FR 2779259 A1 19991203 FR 9806912 A 19980602 Dispositif de simulation d'un corps céleste, notamment simulateur de soleil, et procédé de réglage d'un tel dispositif La présente invention concerne un dispositif de simulation d'un corps céleste, notamment un simulateur de soleil, ainsi qu'un procédé de réglage pour un tel dispositif de simulation d'un corps céleste. Des dispositifs de ce type sont nécessaires par exemple pour tes- ter des capteurs solaires destinés à être utilisés dans les techniques de l'espace, par exemples dans des satellites. Dans ce cas, la lumière produite par le simulateur de soleil doit normalement correspondre le mieux possi- ble à la lumière du soleil sur le plan de l'émission spectrale et sur le plan du rayonnement énergétique. En outre, les rayons lumineux produits doivent être le plus possible parallèles entre eux. Le document DE 89 03 260 Ul montre un simulateur de soleil qui comporte deux lampes au xénon à haute pression, dont la lumière est rayonnée par l'intermédiaire de deux miroirs sphériques, deux miroirs elliptiques et deux masques. Des simulateurs de soleil de ce type, cependant, ne permettent pas de rayonner la lumière produite avec une géométrie de rayons lumi- neux qui correspond à la géométrie des rayons lumineux du corps céleste ou du soleil observés à partir de la terre ou au voisinage de la terre. Les simulateurs de soleil connus comportent par ailleurs un grand nombre de composants optiques, ce qui se traduit par des dimensions importantes du dispositif et des coûts de fabrication et de réglage considérables. Un autre problème qui se pose est comment réduire les gradients de luminosité dans l'image simulée du corps céleste tout en garantissant un rayonnement énergétique suffisant. Pour obtenir un rayonnement éner- gétique suffisant lors du test des capteurs solaires, on utilisait jusqu'à pré- sent des filtres d'essai spéciaux pour tests en laboratoire, que l'on rempla- çait par la suite par des filtres de vol. Cependant, le rayonnement étant plus fort en application dans l'espace, de la lumière parasite parvient jusqu'à la tête de détecteur. Le risque existe en outre que, lors du rempla- cernent du filtre juste avant le vol, de la poussière ou des impuretés autres pénètrent dans le détecteur. Un problème supplémentaire est que, dans les simulateurs de soleil connus, il se forme une ombre portée des composants de la source de lumière, laquelle ombre altère la qualité de l'image simulée. De plus, la source lumineuse utilisée pour la simulation du rayonnement solaire émet un fort dégagement de chaleur qui peut être à l'origine de la destruction de certains éléments constitutifs ou de composants du dispositif ou encore d'imprécisions dans le réglage des composants optiques. La présente invention a donc pour objectif de proposer un dispo- sitif de simulation d'un corps céleste, notamment un simulateur de soleil, avec lequel la lumière du corps céleste, tant du point de vue du rayonne- ment énergétique et de l'émission spectrale que du point de vue de l'homo- généité et de la géométrie des rayons lumineux se rapproche du rayonne- ment naturel du corps céleste. La construction du dispositif doit être aussi compacte que possible. L'invention a également pour objectif un procédé de réglage pour un dispositif du type indiqué, permettant d'obtenir une similitude optimale entre les rayons produits artificiellement et les rayons naturels du corps céleste sur le plan des critères mentionnés plus haut, la dépense nécessaire pour y parvenir étant aussi limitée que possible. Cet objectif est atteint à l'aide d'un dispositif et d'un procédé qui présentent las caractéristiques ci-après. Selon un premier aspect de l'invention, on crée un dispositif de simulation d'un corps céleste, notamment un simulateur de soleil, avec une source de lumière dont l'émission spectrale est adaptée au spectre d'un corps céleste et avec un système optique qui comprend un miroir, un masque et un objectif pour produire, à partir de la lumière émise par la source de lumière, un faisceau parallèle, le diamètre du masque étant adapté à la focale de l'objectif de telle sorte que les rayons lumineux sortent de l'objectif avec un angle de collimation cx qui correspond à l'angle sous lequel le corps céleste apparaît à un observateur à une distance déterminée. Grâce à la combinaison et à l'adaptation réciproque du masque et de l'objectif selon la présente invention, on obtient des rayons lumineux dont la géométrie est adaptée de manière optimale, un rayonnement éner- gétique suffisant étant simultanément garanti. De manière avantageuse, la puissance de la source lumineuse est réglée de telle sorte que le rayonnement énergétique du faisceau de rayons corresponde au rayonnement énergétique du corps céleste. De préférence, le masque et le foyer du miroir sont situés dans le plan focal de l'objectif. L'angle de collimation est de préférence de 32 minutes d'arc et le faisceau de rayons présente de préférence un rayonnement énergétique de mW/cm2. Comme source de lumière, on peut utiliser une lampe lumi- nescente à gaz, par exemple une lampe au xénon à haute pression. Ainsi le soleil est simulé de manière optimale. De préférence, le masque et le miroir sont disposés de telle sorte que l'image produite par le masque soit située sur la zone la plus chaude d'un arc produit par la source de lumière. On obtient ainsi un rayonnement particulièrement homogène et on évite dans une large mesure un gradient de luminosité. Le miroir est par exemple un segment de miroir ellipsoYdal dés- axé, au premier foyer duquel est disposée de préférence la source de lumière et au second foyer duquel est disposé de préférence le masque. On obtient ainsi une construction très compacte et l'on peut se dispenser d'uti- liser des lentilles. En outre les éléments de construction de la source de lumière ne produisent pas d'ombre portée. Une régulation du flux lumineux qui comprend la cellule photoé- lectrique de mesure du flux lumineux et un circuit de réglage couplé à la cellule photoélectrique peut être utilisée pour assurer une régulation pré- cise. De préférence, le miroir ou sa surface est réalisé en métal, par exemple en aluminium. On obtient ainsi un très grande précision d'image. Le dispositif peut comporter un filtre d'adaptation afin de mieux adapter le rayonnement de la source de lumière à l'émission spectrale du corps céleste. De manière avantageuse, le masque peut être remplacé par un masque de réglage spécial qui forme avec l'objectif un dispositif de réglage du système optique. Un miroir sphérique peut être disposé de telle sorte qu'il reflète sur elle-même, tête en bas, la source de lumière. Ceci permet d'obtenir une distribution de luminosité encore plus homogène dans le faisceau de rayons produit. Conformément à un aspect supplémentaire de l'invention, un procédé de réglage pour un dispositif de simulation d'un corps céleste est proposé, procédé selon lequel on regarde à travers un objectif du disposi- tif, avec un grossissement correspondant, un plan de masque du dispositif, un masque placé dans le plan d'image étant positionné de manière telle que son ouverture reproduise la zone la plus chaude d'un arc électrique produit par une source de lumière. On obtient de la sorte une bonne exploitation de la puissance de la source de lumière et une répartition très homogène de la luminosité. De manière avantageuse, le réglage est réalisé de telle sorte que l'image d'une cathode de la source de lumière renvoyée par un miroir éllip- soïdal et/ou un miroir sphérique soit située en dehors du bord du masque. De préférence le masque et le foyer du miroir sont situés dans le plan focal de l'objectif. De préférence, on procède tout d'abord à un réglage à froid avec la source de lumière coupée, puis à un réglage à chaud avec la source de lumière en service. Ceci permet d'obtenir un réglage très précis et opti- misé du masque. D'autres caractéristiques avantageuses, d'autres aspects et détails de l'invention apparaîtront au cours de la description qui va suivre faite en référence aux dessins. Les dessins représentent: figure 1, un simulateur de soleil, en tant que mode de réalisation préféré de l'invention, figure 2, de manière schématique la construction du simulateur de soleil selon l'invention, figure 3, de manière schématique la marche des rayons dans la région du masque et de l'objectif, et figure 4, une partie d'une lampe à décharge avec l'arc électrique produit dans celle-ci et le réglage de l'image du masque. La figure 1 représente un simulateur de soleil, en tant que mode de réalisation préféré de l'invention. Le simulateur comporte un boîtier I dans la chambre intérieure duquel ou au centre duquel est disposée une lampe ou une source de lumière 2. La source de lumière 2 est une lampe au xénon à haute pression qui est alimentée par l'intermédiaire d'un dispositif d'amorçage 3 et d'un ballast. Dans le boîtier sont encore disposés un miroir sphérique 4 et un miroir ellipsoidal 5. La lumière produite par la source de lumière 2 est concentrée par le système de miroirs et dirigée sur un masque 6 qui se trouve dans la région de la paroi antérieure la du boîtier 1. Un objectif 7 est placé derrière le masque 6 afin de produire un faisceau paral- lèle de rayons à partir des rayons lumineux divergents. La figure 2 montre les composants du simulateur de soleil, en tant que mode de réalisation préféré de l'invention, et la marche des rayons dans une représentation schématique. Le miroir ellipsoïdal 5 est formé d'un segment de miroir ellipsoïdal désaxé qui est disposé de manière telle que la source de lumière 2 soit située à son premier foyer F1. Le miroir ellipsoïdal 5 focalise le rayonnement émis par la source de lumière 2 en son second foyer F2 o est disposé le masque 6. L'objectif 7 qui, vu dans la direction de marche des rayons, est placé derrière le masque 6 est disposé de telle sorte que le masque soit situé dans son plan focal. Tous les fais- ceaux de rayons divergents partant d'un point du masque se propagent de manière parallèle après l'objectif 7. Le diamètre du masque 6 est adapté à la focale de l'objectif 7, de telle sorte que tous les faisceaux parallèles sor- tants derrière l'objectif 7 soient situés à l'intérieur d'un cône dont l'angle d'ouverture ou l'angle de collimation oc est de 32 minutes d'arc. Il s'agit du même angle que celui sous lequel le soleil présent dans le ciel à une dis- tance quasiment infinie apparaît à un observateur terrestre. Un filtre d'adaptation 8 est disposé extérieurement sur l'objectif 7, filtre qui parfait l'adaptation de l'émission spectrale du rayonnement simulé au spectre solaire. Dans le mode de réalisation de l'invention décrit ici, lequel sert à simuler le soleil, on utilise comme source de lumière une lampe au xénon, dont l'émission spectrale se rapproche dans une large mesure de la lumière naturelle du soleil. Pour optimiser encore plus par- faitement l'adaptation on atténue à l'aide du filtre d'adaptation 8 les pics d'émission de la lampe au xénon entre 800 nm et 840 nm, ainsi qu'entre 860 nm et 1000 nm. Le segment de miroir ellipsoïdal 5 désaxé est réalisé en alumi- nium. Grâce à l'utilisation d'une optique métallique on obtient un simula- teur dont la construction est particulièrement compacte. Le segment de miroir ellipsoidal 5 présente une précision de surface extrêmement éle- vée. Pour simuler le soleil, on n'utilise qu'une zone partielle définie de l'arc électrique produit par la lampe au xénon à haute pression, comme cela décrit plus loin. Le miroir sphérique 4 est disposé du côté de la source de lumière 2 opposé au miroir ellipsoïdal 5. Le miroir sphérique 4 est disposé de telle sorte que la source de lumière 2 ou l'arc électrique produit par la lampe au xénon à à arc court soit située au centre de sa courbure. La lampe au xénon à arc court est disposée droite dans le boîtier 1 et est reproduite sur elle- même tête en bas par le miroir sphérique 4. Ceci permet d'obtenir une den- sité de lumière plus homogène de l'image de l'arc électrique sur le masque 6. Une cellule photoélectrique non représentée sur les figures entre dans le faisceau sur le bord du faisceau de sortie du simulateur et mesure le flux lumineux. Par l'intermédiaire d'un circuit de régulation associé au ballast, le courant de lampe est régulé par un signal produit par la cellule photoélectrique et est maintenu constant à une valeur réglable. L'alimentation en courant électrique du dispositif est réalisée par l'intermédiaire d'un ballast connecté au réseau. Une intensité quelcon- que comprise dans une plage allant de 0 à 160 A peut être réglée sur l'appa- reil. La figure 3 montre de manière schématique la partie du système optique formée du masque 6 et de l'objectif 7 ainsi que la marche des rayons lumineux. Le diamètre du masque 6 et la focale de l'objectif 7 sont mutuellement adaptés de telle sorte que les rayons lumineux sortent de l'objectif 7 avec l'angle de collimation ou d'ouverture oc. Pour simuler la géométrie des rayons solaires, les composants sont accordés les uns avec les autres de telle sorte que l'angle de collimation (x soit égal à 32 minutes d'arc. Dans le cas présent la précision est de + 0,2 minute d'arc. Le dispo- sitif selon l'invention permet donc de produire un faisceau de rayons dans lequel le rayonnement énergétique est une constante solaire, l'angle de collimation étant en outre proche de celui du rayonnement solaire. Dans le cas présent, le simulateur de soleil produit un faisceau de rayons à section circulaire dont le diamètre est de 200 mm. La figure 4 représente une partie d'une lampe au xénon à haute pression utilisée en tant que source de lumière dans le dispositif de simu- lation selon l'invention, pour simuler le soleil. Un arc électrique 30 est produit entre une cathode 21 et une anode 22 par décharge dans un gaz. Sur la figure 4, des lignes 30a de même luminance sont représentées entre la cathode 21 et l'anode 22. Le plasma de xénon incandescent présente une luminance élevée et une émission spectrale qui se rapproche dans une large mesure du spectre solaire. Pour satisfaire les deux exigences à la sor- tie du simulateur de soleil, à savoir d'une part obtenir un rayonnement énergétique d'une constante solaire et d'autre part créer un angle d'ouver- ture de 32 minutes d'arc, il faut que la luminance du plasma soit légère- ment supérieure à la luminance à la surface du soleil, étant donné que les pertes doivent être compensées. Pour obtenir une luminance très élevée et une distribution de luminosité homogène dans le rayonnement sortant, dans la présente invention, seule la zone du champ lumineux ou de l'arc électrique qui se trouve directement au-dessus de la cathode 21, c'est-à- dire la zone de luminance maximale est reproduite. Ainsi l'utilisation de l'arc électrique est optimale et un gradient de luminosité est largement évité voire considérablement réduit. Le cercle 61 sur la figure 4 représente l'image du masque sur l'arc électrique 30. Cela signifie que le masque 6 est reproduit à l'aide du miroir ellipsoidal 5 dans un plan qui dans l'arc électrique 30 au-dessus de la cathode 21 ou dans le voisinage immédiat de celle-ci et ainsi est situé dans la zone la plus chaude de l'arc électrique 30. L'ouverture du masque est choisie de telle sorte que l'image du masque soit entièrement située dans la zone la plus chaude de l'arc électrique 30. Ainsi les zones de l'arc électri- que 30 situés plus loin vers l'extérieur, de même que la cathode 21 et l'anode 22 sont éliminées. Le cercle 61 avec le champ lumineux largement homogène situé dans celuici sert donc de source de lumière pour produire le rayonnement simulé du corps céleste ou du soleil. L'homogénéité de rayonnement obte- nue, comme indiqué plus haut, est encore améliorée par la reproduction tête en bas de l'arc électrique 30 à l'aide du miroir sphérique 4. Dans le fond du boîtier 1, deux cercles de perçage pour la fixa- tion sur un support sont aménagés dans le voisinage du centre de gravité du simulateur. En outre trois pieds à appui pendulaire par l'intermédiaire desquels le simulateur peut être posé sur une table sont vissés dans la pla- que de fond du boîtier 1. Des vis de réglage accessibles de l'extérieur sont disposées dans la plaque de fond. Les pieds permettent de poser l'appareil à une hauteur suffisante par rapport à la table. Les éléments de réglage qui ne sont pas repérés sur les figures comprennent des dispositifs de déplacement qui sont accessibles de l'extérieur lorsque le boîtier de lampe est fermé. L'actionnement a lieu soit depuis la plaque de fond, soit à travers de petites ouvertures dans les parois du boîtier 1 qui sont masquées par des volets. Un premier dispositif de réglage permet de régler l'objectif 7 par rapport au masque 6, dans la direction axiale. Un deuxième dispositif de réglage permet de déplacer le masque 6 également dans la direction axiale par rapport à l'objectif 7 et au miroir ellipsoïdal 5. Un troisième dispositif de réglage est couplé à un support du miroir ellipsoïdal 5 et comporte des moyens de déplacement en translation respectivement dans la direction latérale et dans la direction axiale et deux moyens de déplacement en rotation autour de deux axes per- pendiculaires à l'axe du simulateur. La lampe ou la source de lumière 2 peut basculer avec son support autour de deux axes horizontaux et être déplacée en translation dans la direction verticale. Un support du miroir sphérique 4 comporte des moyens de déplacement respectivement dans la direction latérale et dans la direction axiale ainsi qu'un moyen de déplace- ment en rotation autour d'un axe vertical. L'ensemble du support peut en outre basculer autour de deux axes horizontaux et être déplacé en transla- tion dans la direction verticale. Pour régler le dispositif de simulation, on procède tout d'abord à un préréglage mécanique des composants optiques à l'aide de repères de référence, puis à un réglage fin interne du simulateur à froid, c'est-àdire avec la source de lumière coupée, le boîtier 1 étant ouvert. Pour le réglage fin à froid on remplace le masque 6 par un masque de réglage spécial non représenté. Ce masque permet, bien que l'ouverture et la position du masque soient identiques, d'observer la zone autour du plan de masque. Lorsque le réglage est correct le plan de masque se confond avec le plan d'image du miroir ellipsoïdal 5. Le plan de masque peut être observé à travers l'objectif 7 du simulateur à l'oeil nu ou à l'aide d'une caméra vidéo. Avec cette disposition particulière des composants optiques lors du réglage le plan de masque est représenté grossi comme au travers d'une loupe. Ainsi il est possible de régler l'image de la cathode 21 de la lampe projetée par le miroir ellipsoi- dal 5 et l'image inversée de la cathode 21 projetée par le miroir sphérique 4 de telle sorte que les deux images soient situées juste en dehors du bord du masque. De même le réglage de la position l'image de lampe dans la direc- tion axiale est opéré à l'aide du masque de réglage. Le réglage est réalisé de telle sorte que les images de lampe soient situées dans le plan de mas- que. Dans ce cas l'image de lampe, lorsqu'on déplace avec un mouvement de va-et-vient latéralement et de haut en bas l'oeil ou la caméra vidéo devant l'objectif 7, doit rester au même endroit par rapport au masque 6. Après le réglage fin à froid on procède à un réglage fin à chaud avec la source de lumière en service. Le boîtier 1 dans lequel se trouve la lampe est fermé. Le réglage à chaud est réalisé avec le masque 6 qui dans ce cas est un masque de soleil. Au cours de la première étape du réglage fin à chaud, on observe les deux images d'arc électrique renvoyées par le miroir ellipsoidal 5 et par le miroir sphérique 4 à l'aide d'un filtre gris fort. Le réglage est réalisé de telle sorte l'ouverture du masque se trouve dans sa position proche de la cathode 21 de lampe. Un critère de réglage supplé- mentaire est l'absence de vignettage dans tout le faisceau de sortie. La deuxième étape est réalisée avec une cellule photoélectriquc que l'on déplace dans le faisceau de sortie du simulateur. Le critère de réglage est ici l'obtention d'une distribution de lumière aussi homogène que possible dans toute la section du faisceau. Lors du réglage fin à chaud qui est réalisé avec le boîtier fermé, les déplacements des composants optiques sont obtenus au moyen de vis de réglage non représentées sur les figures. Celles-ci sont en partie acces- sibles au travers des petites ouvertures masquées dans les parois du boîtier de simulateur 1, comme décrit plus haut. Lorsqu'on utilise une lampe de forte puissance, un refroidisse- ment suffisant doit être assuré. Dans le cas de la lampe au xénon utilisée pour simuler le soleil la puissance est de 4200 W environ. Pour évacuer la chaleur produite une tubulure d'aspiration est montée sur la face supé- rieure du boîtier 1, juste au-dessus de la lampe ou de la source de lumière 2. Un dispositif d'aspiration pour le refroidissement forcé de la lampe 2 est connecté à la tubulure d'aspiration par l'intermédiaire d'un conduit souple de 200 mm de diamètre. La puissance d'aspiration est réglée de telle sorte que la vitesse du vent au niveau de l'équateur de la lampe, à une distance de 5 mm, soit d'au moins 5 m/s. On est assuré ainsi que la température maximale de 230 admissible pour la douille de la lampe ne sera pas dépassée. Le bulbe de lampe porte un revêtement spécial grâce auquel l'air extrait est pauvre en ozone. On évite ainsi une pollution de l'environnement. Bien que l'invention soit décrite ici à l'aide d'un simulateur de soleil, celle-ci n'est aucunement limitée à cette forme de réalisation. La présente invention permet de simuler le soleil avec un degré de qualité élevé aussi bien sur le plan du rayonnement énergétique que sur- le plan de la géométrie pour un observateur se trouvant sur terre ou à proximité de la telTe. Outre la simulation simultanée de l'intensité du rayonnement et de la géométrie du soleil, il est possible de rapprocher l'émission spectrale du faisceau lumineux produit de celle du rayonnement solaire. A cela s'ajoute encore la grande homogénéité du rayonnement simulé du corps céleste. REVENDICATIONS 1. Dispositif pour la simulation d'un corps céleste, notamment simulateur de soleil, caractérisé par - une source de lumière (2) dont l'émission spectrale est adaptée au spec- tre d'un corps céleste, - un système optique qui comprend un miroir (5), un masque (6) et un objectif (7) aux fins de former à partir de la lumière émise par la source de lumière (2) un faisceau de rayons parallèle, - le diamètre du masque (6) étant adapté à la focale de l'objectif (7), de telle sorte que les rayons lumineux sortent de l'objectif sous un angle de collimation oc qui correspond à l'angle sous lequel le corps céleste apparaît à un observateur à une distance déterminée. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé par le fait que la source de lumière (2) est calculée de telle sorte que le rayonnement énergétique du faisceau lumineux corresponde au rayonnement énergéti- que du corps céleste. 3. Dispositif selon une quelconque des revendications précéden- tes, caractérisé par le fait que le masque (6) et le foyer du miroir (5) sont situés dans le plan focal de l'objectif (7). 4. Dispositif selon une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé par le fait que l'angle de collimation est de 32 minutes d'arc et que le faisceau de rayons présente un rayonnement énergétique de mW/cm2. 5. Dispositif selon une quelconque des revendications précéden- tes, caractérisé par le fait que l'image du masque (6) produite par le miroir (5) est située sur la zone plus chaude d'un arc électrique produit par la source de lumière (2). 6. Dispositif selon une quelconque des revendications précéden- tes, caractérisé par le fait que le miroir (5) est un segment de miroir ellip- soïdal désaxé au premier foyer F1 duquel est disposée la source de lumière (2) et au second foyer F2 duquel est disposé le masque (6). 7. Dispositif selon une quelconque des revendications précéden- tes, caractérisé par le fait que la surface du miroir est réalisée en métal, de préférence en aluminium. 8. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par une régulation du flux lumineux qui comprend une cellule photoélectrique pour mesurer le flux lumineux et un circuit de régulation couplé à la cellule photoélectrique. 9. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par un filtre d'adaptation (8) pour adpater le rayonnement de la source de lumière (2) à l'émission spectrale du corps céleste. 10. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que le masque (6) peut être remplacé par un masque de réglage aux fins de constituer avec l'objectif (7) un dispositif pour le réglage du système optique. 11. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, 1 caractérisé par un miroir sphérique (4) qui est disposé de telle manière qu'il réfléchit sur elle-même, tête en bas, la source de lumière (2). 12. Dispositif selon une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que la source de lumière (2) est une lampe à décharge gazeuse, notamment une lampe au xénon à haute pression. 13. Dispositif selon une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par des éléments de réglage actionnables de l'extérieur pour le réglage des différents composants. 14. Procédé de réglage pour un dispositif de simulation d'un corps céleste caractérisé par le fait que l'on observe un plan de masque du dispositif à travers un objectif (7) dudit dispositif, ledit objectif permettant de former à partir de la lumière émise par la source de lumière (2) un faisceau de rayons parallèles, un masque (6) placé dans le plan de masque étant positionné de telle sorte que son ouverture reproduise la zone la plus chaude d'un arc électrique produit par une source de lumière (2), le diamètre du masque (6) étant adapté à la focale de l'objectif (7), les rayons lumineux sortant de l'objectif sous un angle de collimation ax qui correspond à l'angle sous lequel le corps céleste apparaît à un observateur à une distance déterminée. 15. Procédé de réglage selon la revendication 14, caractérisé par le fait que l'image d'une cathode (21) de la source de lumière (2) projetée par un miroir ellipsoidal (5) et/ou un miroir sphérique (4) est situé en dehors du masque. 16. Procédé de réglage selon la revendication 14 ou la revendication 15, caractérisé par le fait qu'après un réglage à froid avec la source de lumière (2) coupée, on procède à un réglage à chaud avec la source de lumière (2) en service.