FR 2772982 A1 19990625 FR 9816101 A 19981221 t SUBS$TRAT D'ANQDLEPOQR UN_ DISPQMSTIF D 'AFEICHAGE ET SON PRO EQE DE FABRICATION La presente lnverlt i on conc-erne umn subst rat d'an()de pour un d L. spositif d'affl(-hdacge qui comlprend une plaque de' verre pourvue, sur sa surface inter i cleure, de filt r s couleur, et- un [procede de fabri.cat ion d(e ce subst rat, et pilus part (icu [ erement un substrat d'arnodie equ ilpe d'un fltre couleur pour un dlsposLitilf td'afflchaq- tel qle, par 0 exemple, un diLsposltif d'affichage fluorescent, un dlsp)-ositi.f a émi ss ion de champ (FED), uti 1.ars nt des cathodes à émission de champ (FEC) a titre de source d'électrons, un affichage à pisrma (PDPI) ou arn-ilocque, et un procédé de fabrication d(e ce dernier. i5 On connail, dans ce domaintrie, un dlls-osJ t i I (t'att]c hae fluorescent couleur comprenant une combinaison d'un luminophore Znr(): Zn emettant uLne luIiélre d' une couleur lumlneuse verte bleutee et de filtres couleur. La fabrication du dilspc)sltlf d'aff lchage fluorescent couleur ( (comprend une tap de trailtemierît thermlique exei-utee a une t emné rature de 5(i() (C a i i li, un mater i au p-Cour.es f i t t- res co(u 1e ur dolt être réststant the(rmiqcllenie-nt. Par exempl e, (es fil t res couleur-, 'oristi tues d'un tru-ite r îau organ c cique e t utit 1l1 is s -)(L r L uni L() l an I o1(- u (_', rie:e U e ru t 'a-s c t 1 I-e utilses pu,,1r le dl ls)posi t 1 f d' aff i( chaqe f lu()rfsc(-rentt co uleur. Ainsi, il est né cessa ce de fabrclquer Les filtres c.ouleur en un mIat er lau ino)rgtanlqcle. le s ma.ite i aux Lnorganiques classiquement utilisés a cette fin comprennent unr cl Io)de niet al] lquîe, un rpigment Lnorganrique et arna, loq ue. (3 A present, 1 'agencement des fil t res couleur dans un F ED va être dfc, rit eri se rtferant a la fi qure b. Avant tout, unr substrat d'a r)nod(e li(0, en matert lau permeable a l1a lumière, tel que d(u verre o(u analolgue, omporte des f iltres couleur 10()1, (02 et 103 sur lesquels une cr uche de l5 lssage 10)4 est agencée usuellement. Ensulte, cles fil irus conductcurs transparents 105 en oxvde d'el tn (lopé a l 'indlum (ITO)) ou analogue sont agences sur la cou(che de l 1ssaqCIe 10)4. lJa c)lc, he de I l- ssa-iq- 1 ()4 e)t- ut étr (,rreit I t tuee- cd'un film de Sio, ou analoque obtenu par pulverlsation cathodlque, d(poslt. lorn en phast apeur, CVD, techniques,au so 1 -qel ou anal ojues. Ensulte, un I umlrncqhcore est cie[ose sur chac-un des fil]ms condiuîcteurs t rnsparents 1US poCur former de ce fait une couche de lumlnc)rhore, donnant lieu a [ ' obtent l(n du subst rat d'anode i)t). Ensuite, un suhs t rat de cathode, sur lecquel des FEC sont formts, est aqcence de manière que les FEC soient tournes vers les iuminophores du 1 () su[ibt rtlat d'ran(idI 10(, t-out en et ant espac.es a. une nlórodi stanrlce des LumlinoporIvOes. Enf in, es d(eux substrLats so e nt re] fe cri re eux -\par scel lacqe au Illven (J' lin organe d'espacement, agencé dans un jeu deflnl entre eux, tout en etant place sur [a t -er ip[herlie extereuLre des substrats, pour fournir de ce fait urle enveloppe qui est ensuit e evacuee p)our d)nerl ur-n vi de I ee'. Lors du fonctionnement cdu FED ainsi forme, les electrons emls par les FEC heurtent les couches cide luminophore du substrat d'anode I OU, donnant lieu a une 2() luminescene (ues c:ourhes de lumlno(-)ph(-)re. La l umi nriescerice des o-(-uches de luminophore est. ob)servee a t ravers les f 1 nis corncducteuurs transparents t 1(), les f LI! r' s ()LItlellt'i I{ f, 1()'2 et 11)3 et le substrat d'an)de I()Ut) depîl s I 'exté rlet r (du subst rat d ' ano(d( 100. Le I uit inr)F),hore Zni(): Zn presenrt- i un large spectre. Ainsi, lc rsque lt-s f Lltrvs C)uleiLr 1()1, 1(2 et 1 03 sc)nt d' une cou)leuLr roue (R), verte (V),et bleue (b) et '-le lea s,ouc hes dce [ i n nop., lh) re' sront select ivement a t. aque.i de,-arn a enlett:(n lin e i unle re sous la forme cle poi-nts, le F ED peut fnrnil r un a f f i't hae 1 t',raph i cille 3( rnul t icc) lc)re. Un fl ltre (-couleur const 1t ue d ' iun nia tel-r iaL i. ri c)r-anlque est d(ieprlt dans la de:mande de irtev-et ai,,ra i S otlcve--I n a 1 ' i nspet ion publ 1- iliu, 'o). 3.1 U()() L -t 't4 et I a deni - nde dcie brevet ja-)(orina i s ouvert e a I ' rns ec - lrl lLo lpb I ciue, No. 73827, I995. A la difference d'un filtre couleur orcanilque, le f ltre co [ eur rionrca ni- que present e une réslstance au nudançgage reciuite. AlnsL, enr vue d'assurer cnue le f- ltre (ouleur lnorqcanlque presente (le tac()n s.n d À* a4uonbasqnas,sdE4_. T F j t 4b_'-?). 7 U7U1u4aAaI Un.IPc 'c j r S- 4 LA_'dCPsuE.14.).ll'.)tlfllp, SLtUTTJ S nT.Snf sa$u.Io.j UCI)S z ()- (I ou ltu-1T u i_ P Sdot1.]r L) saoT lnbs.(-)t]tu, T q( (u.l 3 a. 4nE' un F' I"31 {./lU()I 1.)O.) '11,o-3l [ - p tll (-() '3L! E?flVl r -PcIr' C.:()I.s;]UOlr'dqUPl'.TIU ILdtlu -'tu [4 -Sp uOIXoUUuoop ' T USl IS UloUo ' f lnC, UH '$ f)T 'f 4 _a 1 I T)T r t, I 1 4 T 1J saIp un L., pq Ills uI C)J ' nl , T P uh- ,l Ii 9(1] HT 4ud. PdSUE'.I 4.ri- 4.)lnpUCZ,) iU[l fTJ -[ UoITç XUUWDap r3 1 dUf,,) tlF A L U df) p oDUo.dJ I T j:. p ' [b dtt os r) ', d.r3 ti t J PF.1 ris r34u sold cUUU.) 'fl ( poUF,p 1,p 7 usqns 31 Ir Hi () r 1 0 1HlITlllt(,) 1.1IS J-t1}S1 o t ltrlPA u I)$ À fp,3)U aoj1t[_) e[r af) ru'Ss1 L d JTTjJ-Tp Sa.14 o o4l FT' Ur p)Ul. 'i d CI tt)1 t _'I r -, 4UE,.t0J.1 cS Ua SrlSSp-T.) 4T.1Ilp OtUUIo) rn,oT Eu no '()TS op I pTc', T c '.Itli [Tl OD S- I TT Js '.InS t-i dTE'SSf -3f dpto'[dpU 'uJCJdid unl audiU-i dQ 1 () T o [ '.'- S S, r) r1..9 O F'[ r lt) IPtU)- i'UJ i (UlH H rv n r3 4 *'()(IT-;)pc;ur, p Flv'. lF,'t I '...........R9)l -I t6 (}l 1' .()[T ' t( 101 - in'rln.).so. 1| j l tj sop Ul;')P o-. -4 u rl npr-. u op l JU-.j t9 j j ip un p 4 toapU, T E' H:()I U, -l' P.l 1--U'.i All) l)rI/); 1)o IlU1 I j rip UC)t X U1tUO D')) ItlI :itlb('JA,., 4, luotursnia.nl elq4 1 *'L À.ltl -TJ PT.1IlS o4Uoso.ldod.t OLWUWW):) ' S'() I -4r, g"() I ' 1.() 1.I] LO,) S. l- 4 T IJ sap UiDP L]D.nlS 4Udt1_,:4U30 lOl-1 lP oulloJ Und-EL4 Il OS S(CT s 4 u.lEdsul E.14 sla.- tonIpuo) H')r sur[lj sol' on[) OaopTsu-oû.D D.14d TE - 'duDWTqomd Ta' un,p nA nk t()T 6bPSSIT ap tlnc( -)l P -) UO)T-4:,t'n.qTlSSTJ PT no.lr'jdrl.l P[ 4utuolUoTTp ofnbolbOAOid 'lPOATU op ooUo.ToJJTp P_]- ap UOT-jPtulIOj PJl.îoîji:_dUolh F O.lIOUPUl ap ' anoTncoZ.) sa.-4TJ S ;p. tt'l-sszed*Q, T )rJA r3 0 1 1O.) J UO) UO ' J lu'S I J JnlS UO.3-J Cf)) a4U0UwfEn T nIas s-r P(lo aun..AP_ O _ S T sT ap f) aD1noLo PT F p Uc)T 4l IPW.OJ eT 'TSUITV t npaj4fol0un p Ou aInojai;,p'jnajnoD So.1tJ TT sa.)OAP -'4 TuL. OjUCo) u aU irss Ieda opupea6 snTd olri'l -I.IPAP ' obr3'Ssst I frp roqnoo r_'[ F' Jt' r3 4un U Tb lz rlT upb.IOUT rl T J d, Ptil UIiuEo OAnO.lJ O40 ri,U iT 'U a u pu cIoD SnS.Sap-TZ) OT 4 t..)'?D) r)UU1(!j '.110 I tlO.-) 0.l f [ JT.sT). In l d. qflS a d)P JIlns ouIl i.SS 5.IloCI ' ItIdOlt: 11) s--1i -t J S I infs obs E T ap oqn -o-) e[' I p u t,IlF P U(-)r 1 a -_Io 4ullo7)ouotp, [ '9 4a1s.i$UoDau loD) ' pOUP p 4P.Jl'-ts'.'-a:a lo TlfnoTl onTTJ OT ai.l[uj nlTeOATU ap aDUOa.aJJTp ohl ll rlu.\_)O.lI( 21tt1 l,9 l.). I 1 T t 11*).tlOSS TdO T -)p loT 4]p_4UOlblfE, 1 [o f4 dUnE ' l.touo.sEo.tltoEtOE'b À SUO. ITU.I,), SOUTPZTf) sF) r' SU1. I [ IU S.1. t ISI,n, iTDU ?.1t IUssnT-.1llo JlsSTE o apUE__.Ib 1nrd OUu DOAP 0o51TEd'o. 1 s _ll'l)II),0.] l 1J d[ oril';.tsi go)'ou S'O TIT '.l1[fi[rlfE.) I(l C '.;[)t(p.ld,-).i,-),oS '[ CI oUl O'IU 'S TE' Js 'PS 6LL a o4uanbBsqns BdEa4,T r abre jntr ap.In4P.IBdtuaI j e Te6 c'f nr().HoB l.Bdn 's U(()t 4PUWAl.OJp Bp Jui Od utn '4B Ail.A o9p anBbP d P} aB-p uoi PtWunoJB.) Bp - ulod ne IOnTlla-JuI -4uom.ssTiloUP.l Bp -U i c)d i oU u.[dd.d uo I.Stl ol B.U I OCl d[ (1 t P 'J '_.1 A,.A d9' À i. .1d\ BF) lnbdf(-l PT aP, IAnn[.riB UT;9PJ.Il. Pl.n. oWtu.o0J 3B uoTSlj p ti1 (,1,l I P)j u ol-i Ax un, Fip aBti 41 4s(1) abPSST [ BF 01i40no () i lirl SU1 1 tilt nFu f)Ud, O.Il l'.) [)(')L) I E F' p k-5S;.'5-l *,'I tl1 -iPDT TIqPJ P.' 4(U- I. rip Oeb) J J t1'Uq.)) U lUfl I dl I 1rl P >-sodJ Xo j-1 B mnifno0 Sa.I]TJ 4 a1 'Banot. B'.o4ul PJJtfns F'S.ins 'ondfnl d aBiA - p B ti)onbPd aun, p an:4 t 4su)1 t4ao b GiD F) PI_.) f j j l, p j 1 Tsodsî p urn P F' s l 3 SIU:4) BpoU, eJ) p4P1 Sqfns Un odC)co.0( c 435 -IT uol -Il iJlUT '4UBS.t:(I P4'T Bap 30(d1S. Ull tu l'S btbss I 1 B)p oDtOnoO Bun:_oAP axS tI 4-Bs.noBlno) g.5B-4 fJd[ [I S:-)d tF't.l.(jti)).1rl,)dI. 1 IU OZ)k'J.lr/ P [ 1 11 I lPJ I f U.r) 40 a.l.laS Bp abLl Ti FUrlF a lB T -JSUOO 4B ini, abE bI_ TJj e, Pp 41414socdsîp un r dno BpouPp 4P.I:4C40S un,0p uoi:p1.1-P41p_ B ap apaIood un OE asBOdoId B)p aso U(- lUBAUT B3UOsoa P' Bap -4nq a.I4nP un Àf olss Taop aBL3no.) aun oaAP BaSSTT 2SB -4 nTn3o 1 so14145 sap qur4.IoduwoD a.OTABU. auj i a:_j. nseT -iup 3r0..I fA Bp fnbpTdaun,p BUnIT 4SU03 U sO [tb obitsqoîTjjup jlsîisodsTp un mnod apouP,p ç1 4P.145SnS 9l.U(iosodûi. d a4p 5s UOI34UBAUI o-tuos.ld 'T ap B nq aT 4uanbasuoD a'd À-nanlaou4,j ap oap TDDid 41UaTUOAUOOUT1, ap nA nr o 1 T 1'oP 0a0 E P UOI 4UBAUI o;iUoSoid Pq Batu.oIJiun uou 4.uaWi4oABJ BT 715J oD ap B 4uPf)uBa '9gOl s4uB.lpdsuP4 5 sano14fDnpuoD stuTTJ OT sap UlP.)P.) iris 4uBtuawoJlOjun tnbTlddp 01l4,p 'a6njI-TuB3 Bo.O J PT.lpd -4P- lsqns Il ans nP oATu ap 0DuB104JJTp eP.1ns pu-104,s tub 'o. iot(doulwrJl Bp uoTl4pw.oJ ap apTiIbIT BIT -4uBiuBo a4BtIuBssB oqau, dtuo lOBD ' UP puadBD ''o.oqdouTtunl ap UOt4Putuioj p B pBnbtf r np. î4lad F' tu[1J un,p uoPlxW.uoJ 9 E'T P- n1 T 4upuuop 'B J Ti 4 tuB a B 10 4ooo P- iprd 4l_ a1sqns aT ns.o ctC(loq tunj ap Bf rno) sa0 p o0 unrUopi,:) Bu.woj ap 4u_-P44ltu.IBdI opînbTj un oapuedaJ inod pa:t4sqns np Uot 47o.4 op adve(4 oURn puo.-dtuoû j-rtre -o. JuoLo 4Axo BaT ' autua.BO f1n 513-i',_ Dans unr mode de rea isat ion prefl re de la presenrte invention, la plaque d(e verre est constltuee de verre de borosil (, ite. Dans un mode de réalisatlon preféré de la presente invent tion, les fi lt res couleur sont chac'un c()nst ltues d'un pigment inorganlque. Dans un mode de réalisatlon préferé de la présente invention, le verre à faible point de fusion est cdu vert-re en ZnO sans Pb. Dans un mode de realisation préféré de la presente invention, le verre en ZnO sans Pb est sélectionne dans le groupe comprenant le verre en ZnOBO0-SiO2 à faible point de fusion et le verre Bi203-ZnO-SiO. a faible point de fusi n. Dans un mode de réalisatlon prefere de ia presente invention, le substrat d'anode comprend en outre un fmlm protecteur resistant aux acides formé sur la couche de lissage. Dans un mo)de de real lsatlon préfére de la presente (J tnvent ion, le substrat d ' anode comprend en out re ut- f i] m co-nducteur forme Silur le filmn protecteur resistant a-ux acides par gravure. Selon un atit re aspect de la presente invent ton, un protédé de fabrlcat i()n d'un subst rat cI' a ode-, pcour un disposit i f d'affichagce qui est expose a une etap)e de chauffage durant sa fabricat-ion, est propose. Le -proed compr-end les étapes de formation l)le f lt res co-u [our sur une surface intérieure d'une plaque de verre et d(e forrnato)rn de verre à faible point de fusion en au moeins une couche de 3( lissage sur la surface lnterieure de la plaquei de verre. Le verre a falble point de fusion presente un po nt de ramol 1li ssement lnférieur au pc)tint cde deforniat ion de la plaque de verre et un point de cleformatlon superleur ou ega à la température de ecauffage, a l'etape subsequente. Le procédé comprend en outre l'étape de formationl d'un film conducteur sur la couche de lissage. PA.I flsqns un, p uoT p s4 T et p 3pOU.I9TtU.IDd un Ucowa TJeqoTb, 4U4Uasa cl. U a dr-cir U-)ua3n. aunt -4sa P alTj p S TJonbsaJT SUPp: S 3X UulC SUTSS p s oT D AP UOSTPf r 3 -[ns TnS bl T r.lped S 4.1aoJo sapb [Jue PAP S9)p.1iquolU U') U nl-f 4 ' S's [lp, 1p DElb ISUTE ' S4lq sc() (8)u0 ÀA. o.t4UeIuI orc(Ilns obpsSI [ rp 9Il n4C)S) eT. n1s anlD 4npU:lU IUIJ [ np UOTL4PLUIAIOJ 49 'CO.IIOU 9DaP14PUW J2.JIT.IAnO .,Di P uoteJ p 'b CbesS I 1 p t{)nf)0D e[.ns al.i-4UwuTjddns abuss!i ap CU{Dolo. aun, p UCHI 4CU.IOJ 'OJCFUSSTT r3p JqnDtlOD PT p UOcT4P1wlo03 PT s a.dt- bt'-SSTT o)p I LJDooL O T EailS aElno[flD Sa] [j J Sp)D cr CO.Ieqdlms.Ird PT TI U I J. c) Itl) o_) u CO i)1,1]'> 111 Ul,) E t C -4 I tu.lc)J ap sad4ea 0 9o o.lûno uo pUacIlWuCo) apDD)Coid c UO TUDAUT C -4u s. ad eI op slaj;scId uOTpSTTp-I ap) apotu un sUEp( IIe',p alaqdsotuIe aun supp DbPzP-GiCp ap oanc-.iadtua) PC P aTnallDTIadns Dn;e.adUdo or cUnl p _DT J 1s0.IOq i ne o.D.IA p DtibP.d p Cp uot 4tsodxt 74 'aplA p C p aa qdcsowlpe Dun suep 'qd sues C)U7 u a aIaA- np IUDotussDI otJ. f o A p o.nlQe.odUJ4C eC op DqJo.ld deti-zuEbp ap I.tn4PID.CdLU4 o UIn P UCo ITPUTD)JPD aun P 4CDE)[ISOIC)q ne aI.aTA op D.-flk t i 1 [) lf> 1 1 I Sodl( i '.t l 1 tl(c) St 5 1 j J _ S T.I T [IAfl(-)D c P Uo)ÈPj 9D '8 4P 1 TO l sOQ Di p Ca.SCo Dp F) nbCTd eI.Ins (.d SUE,..S () U Z U o D.a_ C p\ i ()(1 p p_) so,(- 4>- s f J. i (,2 suCs OuZ UC al..IDOA aP aan4T4ISUO/) -8s abessT Jap 9t4DlnoD Pl 'UOTUiDAUT 4UDL a I s l ( ap *.IAJd uC I;sT T.C.I ap opo U un sup-Q a.lnAPSb SP pd s9pT)DP xne 4upClst.l8 (I Sna94Dla(4o.id wiT 13T.its. 5n-l;DnpoD tuitJ nt p ozlou]TJJ Dp q4 brPSSjT D p DqàDnlO)D Pj Dp U()IlPUIuOJ PC SA4.dP '"b9essI D p wlr[j aT Ins S9pT.9P XMln 'UPF4SIS1.AIrl A4I)oz4nd lul tj unf)p UCIo4'wCoJ ap sad9Pla Sao at -lno ua puaduoCD C;ppDooaid DT 'UOT 1luAuT 3Uls.DsU Pcl [ F- >4p u4o35 u01-Jst iP-a aDp apoul un sup (] qd sues (JUZ uo.a51aA np 7so8 UI()IStij cp:4U1o0 frql[Pj I, aC.9.5o aT JlIDJ SUPp 'l.4DaTJSOO5q Dp _.9 9 un,p oon4TsucD 49 9so Dp an.b/d PT 'UO -4UaAU- o'$uo1o1 P>?T Ff p _I oJDfd [1()1 ' rS 1 F '-.9 _p DpC)Wo url sIUQ( o.IUwnlU aT Tr'd oTqoasuo,T suep aub$sa.p 4sa hio o6PtIJj;P.p ç' T- TsodsT T) un.Inod ' a-qsn TT UoT4 PSTTe9O a p apow np pOj-))urp 4P. 4isq(lns u-j 'a.-lsnTTT 4sa abpqIJJPep JxIlTsodsTp unri I tOc) [9)() p, >H) e 4-I.SqflS unl p l UcOT rPS T pT 1 I ap apowL Itr.d un '- I Ilit T s. r r j xr p.1o()q1P,p -4UP.I dj,_ rS UA q C E I sa.ntbj xnE, 4uueI.aJa. as ua sa.ie,-ma)Qf -UoS9.lc[ FP ') 4.1.)ap,).1-) t U E' UO [ -AUaAIl il - s. I _ i-i Pt À.lTrtoltf)) So.ldi[.4jSp 14uEH_'iod. obsprj.l JJ F,,p J I1 (x.'sIf) t[>un 4l()di anb-[ssi[_' oo d0uu p 4P.t l4sqrlr uin r H-4 U-4uoS')I -l dr_,.1) Ur on^ ouln; 5 Q ar-4ns J 5 l4 ' a]3j unl SUEPp So.IsTtj In _lOln:().-).;,-)1 i I TJ Sop [)uplclhu) tilb 9t-,'lt4;Tj;J,,p J14:ts(dsT)p un.lnod arnbrssiJ.) apouEI, p 4Pe 1-sqns un i-i vUi.aS,-.Jtc.l dAt 4od.19 uo El1A aun. L on6J e :'Cjj3 un supp sOsTTTT:ln 1fnlTnoo saaJ) s*p puaidmo. mnb 0 6eqF.)i jr J,p _ ITsodsTrp un.inod onbTmrss'p_ opou, p 4e.4fsqns un uuP:uosaJdo.T odnoD u* anA aun 4s9 9 oanbTJ Pl U014uouxt a4UaSdusod l- uOlas apouep 4al4sqnS unp uol4ps1le9À]p apoui awUaTsioiq unp uoT 4PaIe.aqej I sp a'd -4o p oIun. p_4up4:uo9so.ldo.TlanIb:zn 4pwUq)s T adno ua énA autl ouneIqo J.uos 4U S ej p V( soil.mj s1j :.I(J(d.110UI:}Sa 'T 9.ÀlbT[J p[.Irs *4ulso. tod.9t apoueP,p 4Fa4sqns oT Tanb)T suPp 4u99Ds9onTJ a6etqoJe,p JiTS1 St i[f) unl) TI O lUSS9 I 4I I ad aun 4uP-4uIs.l9t(1-d o rtP4uawtPIJadnoicuaanlA iun r s 4ot oa tbT j OT l' a i f TJ P T.ns riso) Iuso.da. tD poI), p I] pI 4s(qnlS ci Io.o(I lODutl 45s TnhalbT suep (G3 Un,p o[1o1T4uaHSo oS 1 4IPd aUn 4UP]u9SsadoI a. 11UtduIobPÀtjJ adtnoû Ho tflA 9un risa, a_ 9lbij Pl I aT-IH!J - f [ p dpOUP, p - ri'4 l sctlS np uoi.[UOTlqpj dp S(oP4p Sof 9rrln.)F'f4.) -Ue'4U&)4C-{Ia ril)t l_ tUt{:)S ordnClo ua dnA uH1 ounDnz)Pu4uqD qUoS r4 F E Stli1 sal U U J1'3UOAU T o4uos. icisu: T UioTo'; U)'qj a J*'(,[) rl]TsojrpT url unmod iopoufp) / oTqdcE'bor)tlJotoqd oUlaun 'fnbtu1TqiD fanAP.Ib un 'oyqdealS.zps duil r ldtuoxa apd on[D soT T S o4 saInbUolnb 9nh T a o.-1Idcocd sanTiuqZ b 4 sap xpd sonîbTuPb1 ou s-uouwbTd sp xneTjaou1w Sop 4UPi rl li Utl ' (q I9 A a) dxlneq 1_ l 4a. 'Flnoa tnoTnOû ç_ o p s o)[1t3fi o 9p -mriA i (1) 4s ',oinntbSr e T ans 4Us.TCB-u P t UU1 (9 J 4 r9.1e 1 Tr T S I) i ( T n 9II 9p nt P a d1 F1 A rD- ()( F, -u1I1IJIU3'1jd40,zI T.o. qnlp..CI X-pdn lbP[d1-i'Pa)PU, *941.cI. ap @-t:4e 4uo IT T apouPp 41.T J(4 -ilS Yp il -r. Y l l: ' -l 4C U(I t 4p '.1 P(: CP P T 1uS,-,.zsc[ V 2-)()()FU P () C Il F T 1 F Sc In-J4pTlodC- cIw (cFs o)f.hP(P b,[ 8I1'fp) C 11.)_X X -Jdilb,.[t omq4:Uaow-uiP.I4 U tii 4ual)np :-4 t np'.f:UCiUCAI 4PU)TJTUú,ZS Uo l4PU; mojo)p oun -la Cnblxw. LI4 - UI F -t il urn ao oDUP4S S. Ia n c sonbi. 4alaoToip Sa 4 TcidO Id sopuPab snT3d p o:uos I.d,Tnb:ewed 'nT o.9 I p Dribel(d FT atd( uri Cl4UHSCd iUOT.nJ fpUTO-d UTqTPJP - uo ID aT-A q - anbo0Tjup 1L Da N;t ed VtS;-l A nbTaqpj 3p nbT- ib pi i snos sni gl? ag XfnlC 4UaUUo.IdWIO C L.DlcUUWWOD aT supp) SelTquodsIp Uos nb 'T oaa.IA op onbeTd eT xnod JI.IaA ap xrtF'_t@a-e S9CQ * ' T@ e TDSoIoq ne a.I.IA op CnbePTd GI IPT op (o7 /-()1I X () P c t7) Thif:) P nIblpEuE 4UCUIa9UAt l4 ú onbiu.i m-l- j1 1t _ ei It.p Hp lUo aIJT9 j j74o un 4UIl 'UOIflsnj @p -Uo - co qT PJ 7C) S- û)7a-()UZ UI s J @I C) a Jtl 1 4S U0.9 14s obpss t T @tD oonoC _'i T o[ aTúd 4so T @ I.I@A ap anbeT(d PT r alb 11JeP l FJ r t as eS P I il M;n.D isun t1T vj ' ST anb 4U1S IF-J t3essT Cp [ 4ifO eU_) oq:tWo, _ ou otao slonbsoi :iris 'ertb)tu_ bJouT u a4tue- [d p ad:. cp (q 43 \ A 'H) onaTq 4 a IAJA sbC.:.'bnoT.. naU D p Sa.I41TTJ Sap -:4 I odwoC:D I ol1aA aF) onlbfJd ePI *'4P- TTSOC)IOq riP.IA op Con4l7suof I O.U9O cf) rnii)F-b'T( o japonais ouverte. 1'inspection publlque No. 55064/ 1996. Ensuite, comrnme représenté sur la figure 2B, le verre en ZnO-B203-SiO2 à falble point de fusion est enduit et appliqué ensuite ou placté en revêtement sur la plaque de verre de borosilicate I par sérlqraphie ou analoque, pour former de ce fait une couche 2a sur lui. L'application ou revêtement est exécuté à un deqré suffisant pour recouvrir des zones de]la plaque de verre I sur I squel les sornt. formés les filtres couleur R, V et B. Ainsl, il n'est pas nécessairement requis de recouvrir la zone restante de la plaque de verre I sur laquelle sont formes des conducteurs éleetriques et analoques. De meme, la couthe 2a est fo, rme selonr une epaisseur de 10 a 20) um (apres calcination), ce qui permet d'obtenir un aplanissement des filtres coultur R, V et B et permet à la couche 2'a de présenter une résistance diélectrique suffisante et une permeabilLté à la lumière ou transmission de la l umière sufflsante. La couche 2a est de préferen(-e forapf- selc)n urne epa I sseu- qui lui permet d(e presenter une t ransml t ranc e (e luIL e re visi hble de 90 - ou plus. Ensuite, la c:ouc(he 'a a fiable point (de fusion est 2:) expoxce a& un sec'hare et a lirf cal],rctlion, comme relrésent é sur la figure 2C. La calc(nl:t lon (e la couche a falble point de fusion 2'a donne lI-iu a un retrai t de la couchf, pour fournir de ce fait la (couche de I issa-e 2. Le sechaqe peut ftre effectué a une temperature de 1()() C au moyen d'une plaque.:haude et la callcinatLo(n peut être effectuee à 6000 C par (cuilssorn. Subsequemment, comme représenté sur la fi qure 2D, le film protecteur 3 resistant aux ac Ides, avant une plus grande permeabilité lumineuse et résistance dielectrîque, est formé sur la couche de llssaqe 2 par des techniques quelconques appropriées, telles que, par exemple, une pulvérlsatlon cathodique, un dépôt on phase vapeur, cles techniques CVD, des techniques au sol-gel ou analoques. Le o film protecteur 3 peult etre conrst it ue de Sit. La couche protectrice 3 peut étre formée selonl une epalsseur dle 1000 A, ce qul permet d'assurer une plus grande résistance aux acides et perméabll ité à la lumiere. Une telle épaisseur de la couche protectrice 3 permet d'augmenter la transmission de lumiére visible du film protecteuir 3,4 un nlveau de 90 --: ou plus. Ensuite, cormme representé sur la figure 2E, le f lm conducteur transparent 4, servdrant d'anode, est constltué d'oxyde d'étain à 1 ' lndlum ITT) ou analugue, selon une épaissefur de 15(00 A par pulverisatlon cathodique. Ensulte un photoréslst 5 comme représenté sur la figure 2F est appliqué un revetement sur- le film connducteur transparent 4 pour une formatiori de motlf s clu f] i conducteur transparent 4 et. est expose ensuite a urne précuisson au moyen d ' une p laque chaude ou analogue. Le photorésist 5 peut présenter une viscosité (de 15 cP. Ensuite, le photorésist 5 est expose a une lumiere a travers un photomasque 6 à une cadence de 8() à 50()0 mJ/cm' par des rayons ultraviolets. Ceci donne lieu à une partie du photorésist 5, autre que sa partie formee sur]e film conduc(-teur transparent 4, qul est soumlse a une exposition. Ensuite, le photorésist 5 est lmmergé dans un I lqull(de révélateur faisarnt que la partie du photoresist 5 exposee à la lumi ére est ret i ree, comme représenté sur la figcure 26. En outre, le photorésist 5 est rlnce avec de l'eau pure et expose enstuite a utrle p)st-cuisson au mo(-) en d'une p [laqlue c(haude ou analogue. Subsequemment, commne represente sur la f Ltiltr-e 2H, la plaque de verre 1 est: ongree danrs unr I qi u iL( de cgravure, de sorte qu'une partie (lu film c,-nducteur transparent 4 autre que sa pFart le recouvert- du phL)to()res LSt -) eut étre retire par corrosion. De 'acide mélange dlsponible dlans le commerce chez TC)iKY) OHKA RUGYO CO., LTD. peut t re ut I l se à titre de liquide de gravure. Ensuite, comme représenté sur la figure 21, le photorésist 5 est retiré au moyen d'un llqulde de pelage et le plagque d(e verre I est alors rincee avec de l 'eau pure, ce qui est suivi d' un nettoyage par une étape de net tovage optionnelle quelconque. Enfin, des l tminophores sont déposées sur tides zones souhaitées dul film cc)nducteur trans[parent 4 par une sérigraphle, une photol ithographle ou analo1gue corre représe'nté sur la figure 2J. Dans Le mod()e de real1isatlion illustre, trols tpes de luminophores R, V et B présentant respect ivement des couleurs lumineuses ro uge, verte et 1() bleue sont agences de manlere à correspondre aux filtres couleur rouge, vert et bleu R, V et B respectivemrent. Ceci fait que le substrat d'anode Il pour un FED qui presente les filtres couleurs R, V et B de type à pigments inorganiques, formés sur sa surfa(e intérileure et c01 comprend la couche de lissage 2 constituée de verre en Znu est obtenu. Dans le mode de réalisatlon illustré, un matériau de verre dont la couche de lissage 2 est formée est limlté à du verre en ZnO à faible point de ramollissement ou à faible point de fusion sans Pb, pour des raisons qui sont decrites ci-après. Le matérlau de verre Zn comprend ZnO-B20(3-SiO2, Bi2O3-ZnO-SlO), et analogue. Le verre en ZnO à faible point de fusion utillsé dans l e mod e (le réa 1 isat ion il lust ré presente un point lde ram(o] lissement par exemple d'envlron 6000 C et un point de déformation par exemple d'environ 50(0 C, donnant lieu à une différence de température entre eux qui (st a nlr'd(-,U aussi falble que 100() C. A.u contraire (-lu verre c(ntenint d(u Ph pr(-)rovoque 1 ' augl(-nrltat ion d ' iune ctiffierenc- de temrperat ure a un niveau aussl 'jrand par exemple t-lue 15( 'C ou piuls. Dans le mode de rA- I sal t in i.) lr l st re, I ' etate dt calcinat ion assoclee a la format ion des cu(-lhes c-te lum]inopho)re r, v et bt et l 'etape de ca,lc: mat c n subsequente associCe a une formation de](,lntit d etanchelte et a unr scellage sont exécutées après la f()rmat lonr du film conducteur transparent 4 (fils ITO) sur la couche de lissage 2. Le point d(e déformation du verre a partir duquel est formée la couche de I issage 2 doit être suptrler icr à la température de calcinatlon d ans chacune des étapes subséquentes. Dans le mode de réalisation illustre, le point de déformation est une temperature du verre a laqluel le la viscosit_é du verre est de 4xUl14 P. Une augmentation de la température du verre pr-c)voque un écoulemnent visqueux du verre. De meme, dans le mode de réalIisat ion i i lustré, la temfpé rat-ure de cal cinat ion est établie à un niveau dLe 50(0 C ou plus. Le point dif 1(i) Idéformat i(on est établl à un niveau tel que decrlt ci -dies.sus en vue d' ernpècher le film conducteur transparent 4 conrstitue de flls IT) ou arialoques sur le film de i. ssaqe 2 en verre d'être soumis à une dégradation allant d'une désolidarlsatlon à une rupture, par un ecoulemenrt vlsquteux de la couche de lissage 2. Le verre en Zno a faible point de fusion utilise danrs [e mode cde redl isa. ion i t1 1 st r- présente un point de déformation par exemple d'environ 500 C, ce qui est sensiblement egal à la temperature de calcination à l'étape subséquente, pour éliminer de ce fait ( toute désol i-darisation possible du film c onducteur transparent 4. De même, le point d(e ramrnol lssement du verre pour la couche()f (de lissage 2 doit (t rt epssentiellement ptlus faible que le point de déformation de la plaque de verre t. Le point de rim(ol l i ssePnii-rt e st unre tempre ratlure de la cc)uc(he de lissage _ a, laque l sa- vi sc(-)sit t est de 4 x 10 P. La températ uire dc travail est supe:r e ure au p-)oint cIe ramol 1lssement. Dans le mde ei de reallsation illus.tre, la p a1ileq d(f ver r-e au b-ro) sl I i'tt ( I preserite unr po i nt de 3() de-fe rmat ion de 65() 'C t and(is que le verre cn Zni a faible p() i nrit de fusion decrit c'1 -d(eisisu preselrit e uin pîo 1i t ( ce ramol 1 issement d'environ)()( 0 C. A1ns1, le modce Àde reéal isa tlon] i lustre, assure que le [()n i t cde rairol ll ssemriient est sensiblement inférieur au point de Cdeformation. En outre, le verre en ZnCo a faible polnt de fusic)n utilisé dans le mode de réalisatlon illustre est électriquement stable et en provoque pas d'alteration de sa tJ res st aince isolante en ra Lson d'une attaque sous une tension élevée. En outre, le verre en ZnO à falble point de fusion est chimiquement stable par rappF()ort aux matt eriaux pour les filtres couleur et a une matrice de couleur noire. Au (contrai re, PbO-)(-) réaqgit avec Fe(), (rouge) contenu dans le matérlau de filtre pour le chanrger en FeO (noir). Alnsl, il ne convient pas pour le matériau de verre a faible point de fusion. 1() De plus, l'utillsatlon d(e verre au borosilicate po-)ur la plaque de verre 1 est due au fait cue le verre au borosilicate mlnlmise sa déformation et son retrait-, avant iul,évent uel I ement I ors d'une calc lnat ion r une température aussl e levée que 6)0O C. Toute letormat i(onr p oss'ible i La pdlaque I cde vo-r re I la t ()lrce fac(' u(eon. nt a se rompre lorsqu'elle est conibinee à un autre substrat, pour former un dlsposltif d'affichage en forme de panneau. Le retralt donne lieu à une mauvalse coïncidence des motifs d ' anode. 2( A présent un FED conçu à l'aide du substrat d' anode LI décrit c -dessus, va étre déc r i-t en se réf éranrit à la figure 3 dans laquelle le FED est désigné clans l'ensemble par le numéro de référence 8. D'abord, des couches de lumlnophore r, v, et b sont fo)rmées sur le f iIni conduct u(-r I ransp,-î rnert 4 sur le substrat d'anode ll. Sur la figure.3, trois types de luminophores r, v et b, presentant respeict vement des couleurs lumineuses rouges, vertes et. bleues, sont agences de facon a corresspn(dre respectilvmemnt aux f i ltres (()uleur rouge, vert, ot bleu. R, V et B. En var, rnte, un luminophore ZnO:Zn qui emet une lurniere a plus grande lrcleir de baride spectrale, comprenant des ingredlents d(e couiour lumineuse rouge, verte et bleue, peuvent étre utilises comnmunement pour les filtres couleur R, V et B. Le EED comprend également un substrat d'anode 10 agence de facon à faire face aux luminophores r, v et b du substrat d'anode Il. Le substrat de cathode 10 est formé, sur sa surface intérîeure, avec des FEC 12 de manriere à fa.ire face aux couches de lumlnophore r, v et b. Les FEC 12 comprennent chacune un c(riduct eur catfhodîque fo rmne sur 1i a surface intérieure du substrat de cathodie 1(), une couche isolante 14 formnée sur le conductetur (-athodique 13, une electrode de grille 15 formée sur ta couche isolante 14, des trous 16 f(ormeés dlans I ' e( ctrode dte q rille 1 et a couche ilsolante 14 de manlère a s'v etendre (cmmunement, et des emetteurs 17 agencés dans es tr(-)us lb L)utt en tarint places sur le conducteur cathodlclue LJ et exposes par leur extrémit- d((- pilnte.i travers les t r)us 17.,Le substrat de cathode 10( est acen(é à l'oppose du substrat d'anode il, de manière que les FEC 12 du substrat de cathode 10 solent tournes vers les couches de lumlnc)pho)t-re r, v et b du substrat d'anode 11, de manèlere a être espacé a une microdistance de ces derrinlères. Les deux substrats 1(3 et 11 sont reliés entre eux par scellage, via un organe d'espacement agencé entre eux, de manière à être place sur la périphérie extérieure des substrats 10) et 11, ce qui permet de fournir une enveloppe qul est ensuite evacuee pour obtenir un vide élevé. Lors du fonct ionnement du LiED ai nsl co(ncu, I es électrons émis par les FEC 12 heurtent les ' oru(ehes cie luminopho-re r, v et b du substrat d'anode LI (Iur exclter les d](T}](hes de IllIll rnoFhore donrnant I I é'Li a un re} -ilie sesene des couhes die luminophore. La lIumlnescence alnsi obtenue est observée solus Ia forme d 'une couleur lotlge, verte et b leue a ttravers le filmi conidu teiur t ransp-), re-nt 4, les fil tres couleur R, \ eCt B et lt' s.ubstrt'a.t eer re r, (vi}rUis, l'exterieur du substrat d'anode 11. Lorsque le FED est conçu de façon a permret t r-e aux coucies de I uml n(ro-phol(re r, v et b d'émettre selectîvemrnent une lumiere par points, il peut présenter un affichage graphique multicolore. A présent, un dispositif d'affichage fluorescent conçu à l'aide du substrat d'anode Il decrit ci-cdessus va être décrit en se référant à la figure 4, dans laquelle le disposltif d'affichage fluorescent est désigné globa]ement par le numéro de référence 18. :iea sqns nIp fna-l.xo, T sTrndap TT apoure,,p pa-4sqns al a -' q A e - nIneoe s-:4T:J; slT 'j 4uuauedsuE'.A4.nd4-l:puo. WtlI l];.SI AA F' dTt: A -1 r'I.q snIosszap-ne ooDPT'd. 2] ' ul1T 'j P.-)p PpuluWoPD p.poa 4Da T cDoun, p U[l S Il(s UC a.trIo-d n;Oi O,, Uo ISUt-E' a(ddoja\Xua, rI 34Toq a)p CIuI.j óJ J C1AUo aon aUJ.O.J In-)d xul- Uu -iInOoo) (m)(mr ae9;)Ua6' Lsu Lt a[ F-are' [ anbp 1d P[? -4a 6V CA'oTJP 4pA-4sqns aT ' TT apou'P,p leaStIsqns ao *-s4eInsqs xnap sop atnoa'.xa It.Adt.II I d PJ ns o-li-, ota r? p ap- ia Tuew ap (o4ouasaodat uou) àI p.iali onhbPTqn,un P;'uob 45I OI o)u.:rIJ.lp:sP. A4sqtts aT a TlI apourpp 4-?-4:sqnIs I aC 43uz 'aultuaowPa4-Tpd CllPAa:Cu4 51 un e aDe dsa:ueP:a ua qno0 'TT apoue, p ['a qsqns np a qa A ' sa.oqdouTuwnT xne aDj aoTE.T e a:.,Tuew ap Il apou,,p quaqsqns np osoddo, T ? aDua,rP 61 T -.aTa.:Pe, 4ea4sqns lun 'ul UowtPbc pUA I(mWO)D T 4uoasa.onTJ a beq D -[jp-p jT 4.sodslp oq' *t - A a' anarlno) sa-lTltJ sT înod 4uowounwwflo) saSSTT-:n ( T -1:u.\nc- ' aril [q( -l'a _a b.-A 'Bno. o sno-u-Utitf.nAiJlno:) ar) Sp4UCpdA[. Ul S@p -4U'UldIUiWOD 'T3looA)dS opupq ap -inab.tel op6u r- b,. sn]i F'. i e ttu ri T -)lin 4ltu Trnb zlZ:(-)lZ a -o- odoumuinI un O71UE'I A'PA U3* 'q 4C A ri iq ji-) br.. oni. rono:) s '1]tJ XYlF -'II.-11,O. " Z), 3 1,I.[) i ((-J-.3.i _1)-) t? i ît) d-) i j C,'J jC) S DCCbP 4 5 UOS C serniTq zlC S@4ACA '-a sabrrtoîl sosnouttuln siri t lno. sao} -ue,4u-os8lId H 4e \ ', A oq.tdoU 1tt[ T9p sofiX-4 Set.O l ' o. 9nb l j r'[.rîS * q:o A 'a1 aaoqdcouiunr apC) SOLDnOD 9}) naA..nod 4sC 1J TpouEp4 PA.T 4Sqtns nip, _,u;-.Ap:SUP.A 4.IAtOLtl*puo. UIT Taj [ pAoq'_',d çJ 6OLL I À.li_[ -aL rJ c lS tU7l _p dun suep) O9 '009 Pp -uPeE: ian:f)p- OdCU134 @opa3PtI e'I up u oFUC t,uCr)ol D-:ITE' ou P D rUn 4T0nSUo o33Sodxo 3,o ' 0zt1zPop op:UamOTPJI: un P no) '/pl.\ op oz3ISOtU4E auri suPp j0) 009 (4c ap:UPI Telp- a.:[n:'4p had94) p tId PE'T sue ç Tl u'cicrli (F trFOF F ( S tp UO) T CSI|ttF. *oI.lPct.rbT.lqt'j t I t opoUP, p iPl4p.-)TJI Enp Un 4_ 3t1,113? 'I7 1 À oa()TOO0[1 TnmU otibii]dp_.îB oP4at:PLT [JP_ Un.1dan4oaJ33 4nod It s u1otdi.I -'d o1..o fUJ/ Uo 4Ud1UdluaT 41oO10S.31-3,U1da,[ (i 3,0 A '. 1 IoqdC)UlWtri op SCol]nol X-nP a-4,4-ouaad pL '3.IO9UFU c3p n.)uo._) 4S3' 1J.l)ukS,.diOflT)j -dUBPq3IJ0Je, jr Iso(dsTp el,-dnbs. l0 1 [ pouP, p A7 / / 7 Les étapes restantes sont essrenteilleemenrt lderntquees à celles représentées sur Les f igures >D a 2J. En généra], lorsqu' une poudre de verr-e est fcrndue donnant lieu à une fluldlfication, les bulles d'alr corntenues dans le verre sont evacuees. Le verre ern ZnO a faible point (de fusion, utllise dans le mode de réalisatl(on lllustre, est crlstallise à une temnperature d'nviron (500C avant sa comptéte flu idlficatlon, falsant que I 'on [)parvlent pas a en evacuer completement les bulles d'air. Cependant, 1( le traltement de dégazage décrit (-dessus ldonnrl lieu a un chauf fage du verre a falb le point de fuslion, a une température qul lui permet de comlmencer a fondre danrls lun( atmosphère de vide, si blen que l'air contenu dans les vides existants entre les particules du verre petit être évacué vers l'extérleur. Ensuite, l'atmosphère est renvoyée à une atmosphère d'air, de sorte que la pression atmosphérique presse les vides entre les partlcules, pour réduire de ce fait la quantité de bulles d'air restant dans le verre. Ceci donne lieu à une augmentation à la fois de la transparence de la couche de lissage 2 en verre et de la planéité de surface. A présent, unr trolsleme mo(tip d(e real i sat -i di'un substrat d'an(ode se ion r1a pr-esente nvent l)n va e t c re iCC t-lt (i-après en se reférant aux figures 5S a)L,. 27 Le trisJ ifme mo () de de ta I sa- lit io est a arac t erI i ser pro' le fait cqu'une etape de fc rma -ilon d-e coruche,ie llssage est xe(cute d.eux fols p[ ir1 r forme F dc('e i falt une mail -lCó n(olre (BM) elnt re les couct(-hes cde 1 ssage alnsl fo)rmees. Ceel pet- rnet aux flt res couletr et a la niatrice( noire d 'ït-re 3() sparés 'un de I 'autre. Les (Louches de i ssage sont chacune co(nstituées d'un mat(éra-au de verre(en Zn(). falble point de fusion, tel que, par exemple, ZnO-B-)-Siu, ou ara 1 alogue. L'agencement des filtres couleur et de la matrice noire sur une plaque de verre en juxtaposition entre eux provoque une augmentation de l'aire de contact entre les filtres couleur et la matrice noilre et les couches de ooU.ToJ: so w _ g oqDfnoD eT 'Umowq ao 'sonoTjue P]o sonslT. I4_Ol? S.ino4DnpuOa soa Ss;WIoJ quos aTTlonbpl ans T ossa^ Tp onbTeld el op o _l4IÀ ' 4 al oUOZ I a.-tio-).a op sinO.l auOLUOLess aOD u SPEd 40,u 1 l 'tsurTV '] 4l A 'A Inolno3 so-JT-J Sl.T 9;oU'BP _ 4uos soTroanbsoIa.ns I r ro.l ox o p onb_[iD rd P o p soau oz sop uuo4lcJhuioaT.îIT. m /xJnorl0a> 1nod 4uesTjjn.s a6op U1 lD un p nr 1 Ja 4 S; -' 1UEUo14aoa.z oT lo uol-:e'D zIl dde,* UT I oJ 4 4 oT sTnm 1alO;1 t,-Ja 'f)IN a_,d,,k ('-A,, ari[l)ll. a rop n aIp -'l sn()s onbT.1q 4F 'UoTSnj ap lU[od ol qitpj t F'TP()I-S 3i:-OUZ ua O;r4OA o *r' PCg oqatlnUa) oun -I tJ [) d.OUIJ.. aIlol ' OlTedP.lt.loS ied 1 o Tr Po1Ttso-c)oq ne 0.1 a. O ap onb eTd u,.lfns 4TFnpuo [o O/rihT Tj l' is o uO,T 51 J 0.pn [op Ui rod q TT' J e r(iTS- - (r-U)Z Uo O.Im.1JA 0 'T C cIbJ P Tr E s -as luoso.do.I. UIUtD) 'd-lTrnsu Q9Gh r t)()U 'oN onb1 T qndi 'ioi:)odsu, S T e Ov J.I OAtlO s t i'u uod 'L 49 Ae.t CI r-m p)Utqp op Uo)T 41' ciT rld Pe[ SUe'p -WJ3. -'P. en:)> s.r[l;op sa-rd sop a'oldiWoxo I 'md ' s.rrn-] -:suo( 9D 4E3 4UDAUAr/ldc q]' A 'H anol0nofo Sc0. 1J SOl * O,-).11. o0\ p *)o- nLUTIJi e' t.ltrl()d OST fT-4fn oao' 4nod 'DiN aPd -Vo,, onb-r.TqPj ap onbimr- el snos onbTIqeFj 's Ea-ET Isooq O( 0 ne o. aAo oq À onbo A ue no oabeou un 'n a 4d.boq4 Ilu oqoqd oun ' ofaT nApaoun 'O 1 qdPe__6 T- soun 'oIduo x o mud ' onb soI j -1 ' sonbuoi 1 onb s o-). :ido addc sotlb r uqloog sap aIed sanbTuPeJ'OUT sUaUlbTld ep xnfT.aotm sap f upesI4ll4n a 40 \ ' n ojq 14 4.b0, 'obnno:.Infl0rf0 sJi4lTj ap onAino( c 4sa 'v5 anbTJ eP ans aquoasoda. awO) 'o4TmtTTso:oq ne o.. oWAxuo l or.a o^ap onbld e 'P1ploqeP a i P:E I samibnTj xrip oouo.O;:. Uo So-41-0 p O:.I1 -4W)L\ IJ(F T PST TI P -If) 0pptu oeo1is (.)- np l)pouep,p -4'u.I -sqns rip iW) [ 4l)n.l sUC;) FiT 40 UQTOl 4_D I.I .Iouaqdtuo).Iriod ' pbe'SSI T O-[h s0l.l)no).qo [ sup[) ó [tn' -lwn.,)a -4u e.t iH) [ [ r op UOIs.Iod.)lp Pv e n() uoT snjj p i l rP noTT Ouuo)p l-i rl 1 1 UoI 4 'ST U_.a 1) OpOC)IIl T Su _F).l I 11t)l oJ.OT I 4I I o)p:l4 inl Tln oo So.1 41 I) J p;.1 tl_,] O) ufl, T U(-) cP.l Pdo Pl s P'l À obPss T T ' O soq@noD sop UO _(-)lnlSSI OUn P IuW [ IlOUUOTSP OOO n1 [.I0UUOp PA 0:) 'oSbesss-fT)p saqtlDno soI SUPF1) aoTnwnDfp_ o4Utlp- ilUOoD e o4UlltpUf)cds._lio-) lic)?J ap 4TPJ:J;) o[).-o4uoallble.1nod 'obess rt RT selon une épalsseur de 10) à 2() lim (épalsseur apres calcination), ce qui permet d'obtenir un aplanissement des filtres couleur R, V et B et pFermet a]a c(-uc( he dce presenter une resistance diélectrlque sufflisante et une perméad)i 1 i té à la lumri1ère ou t rarnsnilttance de la luml. l-e suffisante. La couche 2a est de préférence formee selon une epalsseur qul lui permet de presenter une transmitt tanrce de lumière visible de 90( - ou pltus. Ensult e-, la càouche a fatbite poinrt dIe fusiorn 'a cst 1( exposée a un sécthage et à une camclntl(in, comme represente sur la figure 5C. La c(alnatlon de la cou(he,f f lIble point de fusion 2a donne lieu à un retrait de la couche, pour fournir de ce fait une couche de lissage 2. Le séchage peut être effectué à 100 C au movyen d'une plaque chaude, et la caleination peut être effectuére à 600 C par cuisson dans une atmosphère d'air. Subséquemment, comme représenté sur la figure 5D, une matrice noire 23 est formée sur la couche de lissage 2 par sérigraphie, gravure, photolithographie, novage ou analogue. Ceci peut être effectué en utlllsanrt par exemple une pate dief matrlce no ire dcritelas la pubiclratisn die demande de brevet japonais ouverte,a l' lrspe'tion publique No. 65066, 1996. Ensulte, lcs eétapes -ée:rlt(-s _l-lesuIls cr1 reff-ren(ce aux figures 5B et C sorint substanrt xel e inpt e-peteeS pour former une autre couche de l iss iSae i s - r al] l-t r 1 c e nuire 23, corno e reprèésenté. sut- la figure fiL. Ensuite, un film protectteur 3 res ist.ant aux acides, avant une plus cr, ri(de prmehiIllltc a I uiiere et une plus 3() grande résistance dIléleectrique, est foirme sur la c(i:uhe (le lissage -22, cornme représentiLé sur la fiqure 5[. Ce(_l}eit être effectué par des techniques appropriées quelconqules, telles que, par exemple, une pulvérisatlon cathodique, un dépôt en phase vapeur, des techniques CVD, des techniques au sol-gel ou analogues. Le film protecteur i peut être constitué de S102. La (ouche protectrice 3 peut être formee selon une épaisseur de 1000 A, ce qu1 assure une 2( augmentat ionr à la fois de la résistance aux acides et de la perméabillté à la lumière de la couche protectrice 3. UJne telle épaisseur permet d'augmenrter la t ransmlttanr(-e de lumière visible du film prote-ct eur 3 a un niveau de t() ou plus. Ensuite, (:ommnie représenté sur la f iqure 5(, un f ilm condu('teur t ransparent 4, ser'arnt id'arlode, est de-pose sur le film protecteur 3. Le film c 'onducteur transparent 4 peut être constitue dC'oxvde d'étaln a 1 ' ndlum 1TO))ou analogue, selon une epa isseur de li(J) A, par pulverlsat i(-)n cat hocdlqule. Subséquemment, un photorésist 5, tel que represente sur la figure 5H, est appliqul par revêtement sur le film conducteur transparent 4, pour réaliser des motifs sur le fllni conducteur transparent 4, et est expc)sé ensulite à une pré-cuisson au moyen d'une plaque chaude ou analoque. Le photorésist 5 peut présenter -ine viscosité de I5 cP. Ensuite, le photorésist 5 est exposé à des rayons ultravtioets ài travers un photomnasque 6 à une puissance 2( de 80 à 500 mJ cm2. Ceci donnre lieu à une partie ldu phoctorésist 5 autre que sa part Le fo r-m,(- sur le fj Itm conducteur transpar-enrt 4, lqui est soumaise, à une exp Unr mat riau, fabriqué sc>us la ma rque de fabrique "TSM1R-8900" par TOKYO) OHKA KOVGY C). , LTD., peut etre utti i isé pour la fornmat:]ion dlu Fphoftorêslst,. Ensuite, le photoréslst 5 est immerge dans un llquide reve latCour quci peut fêtre clisp)ribtLe din-s Ie commerce sous la marque de fabrique "NcD-W'" chez TON()O iHO A RHGYO CO., LTD., faisant que la pa rtle du phhtc)rest ist - 5 ex p)see a la lumière est ret iree, comme représentê sur la f tlure 51. Ensu ie, la p-laque de verre 1 est rinc'e avec de l'eau pure et exposée ensuite a une post-culsson, 1au movyenr d'une plaque chaude ou analogue. La post-cuîsson peut être exécutée à une température de 140(C pendant 5 minutes. Subséquemment, comme représenté sur la figure 5J, la plaque de verre 1 est immergée dans un lilquide de gravure, de sorte qu'une partie du film co)nducteutr transparent 4, 2.14 4nlDod 11Ta 'jdwhuoxa 9P-d t 2 U2a1o3.21 r3p o.iaunu. 1ied T T ou-b) i i 32 '4u2.9 lUP.14 In - J4npUOD wiJ3 T 14 un queuiaIdwOD 2bPqttoT JJe,p JT4.sodsTp un _e oanbr Ildde 4U-'uwUfnuItuoo 5 T104i2 4nod aTT9 -snssap-D 41.1 ap anb lao 03t] un e 42 4U :2o-1C)nl}J opbep;q,ep [rjtiJSodsîp 1o4 urn _e uot e:l)1(iddp,1 22 41W[l1UT sc sd 432 1u UOI T,4U2AUT.4ua;isa.td Pr- À2]1 otojj o6'm DbiTJUO p o4P lsr'1uo. DI 4Tc'j3 D p.Do.Iof[u1p *. i1001 *]- I['[D tU l l 201 IUr|p-1 ST 2[- O0I DlH>U Tifn 110 lT F2 i 3 DAI).1 4 i Ul1 ln(d irinl:,uo T-)nE-, rssnriuTIurlT UC)U 1,[ó)1 - )/)(S 'r:U [l S.I OA_- () F? J T r::l vn 9 P,-); Y {-) r T 3. ')t l tl;.l rl( S _ rt)ol jS ri _ r;I.) AU L.u [ P ri 4-1 1 p ' I T 4 E1' D P ' P J1 r i S 9li ri s. d I 3 j 1 T;-) iiU fA T t rI Dpt 2414lI EIi o q :_DOtiI ' o-îoclioa.u I 432s o.t 4[.sn lT uoI45 3'siiTEó p 2) U r)(>) I f npp.Ue, P 4P.1 4s(lnS DT T}nt)beT sutlep '(i.i] Ul -1 [1'1[)().I-Ici -1 'U' d.i l- t Ol DO) t.1 -4'IU EF 4Ur'u.l(duulo.) j4.111,1- I I r 414 I rl)23:4.I tl r-' s.I1[ l.l x ill ()iJ ' ri t[ [E u F'1J9.IU( [ L H U, iUtJI(_ 1 (U 2C1A-4 Dp d 4o \ 'l.Ina:, JO a:t.441l 14 21sT 24uHSe.: d ti) 'OC5 ulitl on(-o T1 poi1p P, > l-'J(-lnfS r3 T b 1'j 1;35 'H 43 r '* \ [leftq 42 44.IrA 'i)b(fl.I.4I1-lnt-. 3244 14 xfl-' Sr 1 -4U'W2lr9At4 od34 S uoI 4Isod UD D.pu(.c-;l-slio) 3 O. [ UF'lU rH- D2 52d3Hi,-:- 4Ht0 3 o1 C'4 4. 2442IA abnoi s3osnUTWnl SIfnolnO Srip -;4LU2WAT 4 d .31 juequoso.d f ('q 4 A ' I 2-i LIduoi nl1)p s3a nfO SDI '344l30Sf[ UOT4P3S.1 Pd ap apow J1 Sue(l *q 42 A 'i a;4oqdouIunT ap S2Dq4lOno sap -41uJ 2a ap 4oU40oj ànod 'anB[reue no a2tdea6o4-41[o:oqd ?Tqd'aSbT.13s aun aed b 4ua.Jdsuepi fnl2oDnpuoD WTTJ np l of ? 32llprPl4n)s sauoz saçp.l-ns sasodap 4Hlo3s slodtodouttun sa7)p 1 n'qc aitj u.1 mIos J 4 iul3s.1do. atUIUOD 'urjuj U lirI ' Oi ODOM V.'-tHO OÀ.1oI z7o,qp,,f) anbr.:rqj ap anbhrp, eT snos: .:WoUo oT supp elqiuo,-qIs) p s:n oprnbiT 1T1 u ÀnbHuolonb 1Tniou(uOl-lcio D.;'_ 4'0 _11 D[ Di(-E'4.3 =)ti l.I Fi'( d tF'A( j-3HU in, [ Dp T ATrlS '.Tl- {' tlk'O, i 0}3,. \ F' Dz4,)u 1 3 ISO T;O.D.l9.\)Ai i? /,5-,[c I- ?[ D r) D3 1 tlPUj ' iS - ' otilt, 1)p;p ttilE I T 'l,[) P C.iUI Ht' 't.1 n -4E> i.1 Sc-. 3 C 4S3':S O C1,4_11 ai 51 (...lurlb t j uI. 1n s PJ l (-Hd.DlJ. 2 r tUWo0 'o4 tn(sH4 -aaI\.iF Dp: op to l]T Dp 24414 ' -, sT14n a.D l t D ', '' (1) riD_)H V'qHQ) ( O.()/ 21q.) 2uw).idlit()O); dj S11FE'p aTqTuOddSîp 'O-)hu'jtUW Dp:)î-', I DQO *'of ap oain-l.atdwu-4 oun e nIrAb.I F r09ip aoT frlT r t 11 ['U2:li t Pl UH- noq4 ' Sc32lU [Ui 9 luE'puad 4n:0X2 2.14- 0tn 4nd 2JalnAP.Ib6 21TT124 aun -UoT3SO.IOD Ired c2alTa. c.I14a -0n2E 'ç 3sîr 3oJo4ot[E np 2-lA[o0)2a 2il:.E uF'S anb -). l244? a.x aqdso.4r o: un su'p 4UaWu lT4 nip U O:-4:np-i ap aoDpdmo anboîpueu no r-[ r -0 -OU ua a.laA oT anb Tv 'uossnj op P'o 1 [OI-I]Tp t ?.,r TOu:Z uoû aî.q:.l u u OA np uJ, AA 'e anbTulb.Iou1 SEú lu-_wtbtid _'.OneO:2N Si@. 0411J sap uo4a1-'ao.0 ol '.CTo ua 0 1 a.iio e. do oqdF?, T aT s.Dp,I 8 uot1Ton uo.xo nP0T 4ueX1_.Pna[no10 0.1T411 np rnu o.:[th T[ n J C l n U)o it-t J,[? p Ur, p uosITr?.i U-) Cb FetOT 33Fj p 9:U' 1 1 T PFJ3) r 110;, I Wl tUI tU U ttO'41 U. U1)uos.ICI I' f TSUV ()f *3 r4 l1'trIb>-)S(4nfl tc8t( 410 utS';t L. ribr llC tÉj'.i dp io abA 4 rJtl 'P rl' jri> * 4UF:itlD 0, 9U111 ' 31t10tLO - 80.1 413[[ 8S1 4,:Ttl -4xT jLîUO,.1 T 14111 UI i. Tinwrl ' TlIP'$SI t.; jJn.s t-C 40)l) uH P uIT T?.:p oDU0P..351S%.1 8. 0p1U0.It siTld C-Url ri:.J,.1( ' rIgbCo F'TU ' n ( r _ ( O'q-()U7 Ua 0.I.]OA aT Ol[3 T1 -4 uortrsnj op 4uto,-i3 lqti E'4 E_' 01uz; JOT4IoTIUtUN[;)[ ' sn jr C(1 O:,el|DJqe, p 31 d 4cio:î n-p sasnauîulîwUn s8fi [blS.l - F.b e l sao [ Cr Fi 80f 4ooE:['j* p ' F -.) iE p j t -14L OCS r p Tit suF'p ' u 11U-1 4c U1 U E 4ou1a8 e' I ap ' apoU', p:F.1 -4(1 1S tlp 1U 1 F' I A.l t I1( 11. t( U t 4u 1 l0l]1O 1]_1(1. 0 (A0 UU t 4.\4 A,- O>41qs1.0 c Fu E TsuyV ' qt s 1 oaA aT:urtT ap obFTd aunr sur'p snld( rio o Jr $ nb oloDAO -lAsnlF ouaxuin[ t p aOu1p4liW.sT.' oun,p nAantod oa9a4,p 'aOis-o 09-OUZ ua 11 A a. 0 Jrb Ta:14 'uOilSlj: op 4UTod 1T(lT-3J F Cuz u11 0 a.0 A ne hamb. ad 4t'4 zpt-C)p aC) u-Cu10LTFT Ol anb aînsse uo 4.1 U1 1AU1T oq. uasald EI ' o.l l:no U3 *.zirTa TT-T:(D)D Ul C.. 4,OD-) l p cD T aepTd apur.ib snTd aun 4ue4uasa.id ua:no0 4f nlbl.xqe;j a0aa:nad :mnbîurot?. IOUI b t iclI eI tF? d-A op inlo[noo so.i41l;1 s8T pUo. IdtUOo inb 'flA: un.nod apoue,p:-s.sqns aT onU 0.8nssp UOTjUCAUT -41 U- r' T ' 1 suV * c.n rio)) sr_-: [ rj sa p. nrlossilT(, I C[) tl()1l -4E TI0tUtbrlE, 3UItL 4 t EP3 a:J) op).J r1oqqo _s7 znod- ' _in-Cs 8I Fid () I DUr>., i 1 F _' 1 t s r d E> Ul 1 1 j U1 U1: , W. O., p: _) I S- ()0V C-()tl Z TI or.li: ' 3.r i t ' 311U St:I Ir, t-l [od o 1 t Pj r i Z il ' a d1.1 il}9 P 4 CU.] '3 11)91 4110_\U T,411. i kE I ' UILJrIU, C| 01.1.0I.I. 4A. 48)1VT8q UtanIp - T JOO onFOiTtu a4:}TurTd aunl 1 UdoJ.0l3U op 34nblUulFbTOUI ruaUl -d (i ' E>c]( 4 aop.nl no_ D 4 1S. T SCip) P'A.I1OC l u, pt) 1E'.I BPcS(t t43k'118 nUF0 4 9d UOT 4U1c A 1:}1 a04S10.l8 F' j ' op:)ocîd_ [i o:t. 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J J -F', [) J I 41 SodS r T)l) J.P Ifs oun ns.n0tfl01i04x5 oallTuil dun,p uOX,--lJi_4 Pel 4uoUAtiPOTJTU6TS 4 ID ia @bet) ojje F) Ji o4 rsods t p utn e U( 4UOAU1L 1 J 4uoso.Id ( eT op -@poUP, 4p o tI Jsqns np UOt4-JP- l Idde, I ' i4 nof uq Àawjlqo.ad UflOlnp sups 3fA np tu4UPSTPJST4PS anbE':4:P oun 4Tej oo ap aanssp anod '041flp9. oou-USTS0I oun 4uo uosos.d 'sonboTeÄue 40 anrI fnoo so34j Lj soi ornb SOTT 14 'So.inoT-a)JUT Suol_-0o) soI onbIs.ioT OULU@1 '(1JA ni) spuE ()u SoT x.1 0UbT 1O 4T)T T tDoTp T 0U124.S1S9.I Ul 0U1U4304 0o d4U1Ul11nP, p Wu.at 'or, ntS Fu'I no (1o 3 unnb 104 'obrqv;gjprp JT4Tsodslp un Ins UO -Il O A OlT a-, i O)q;) T @Ap @pOUP, p 0pU1. Sfqns np l()l42P-) [d, 1 {(Ad}-, p',u0upso. apupa.lb snd uT( Un @4Uo_.oUuT UO/'>P'J zgp l olosd ' onbo T PuIP C) o l(-)TS- fq7q.-OU UO O.I.I@A (A d1 îttb j149T 'ut(lsnf l op 4uiod lqîTejP P C)UZ ua o.1IaIA Dl *4U@.A PdSU'.I 4 À '4 u;- - c,:l s u tn - n4.Itl.i lanpuOJ 1UT4 4.ins so.ioqdouitunj S@op u11t1u4 J: eF 4uPe fnp soa.oqioululitlnll;.) S0p DnoD sf)p O4TtU.IOJTUn-uOU PT 4UOtUOflbTl 4uld ITPJ OID 0). I"-UIUI TW Inif> a n nts T pup no -ul S-fl ro o'q- ou z u1 o.io @T o.nb T41 'uoisnj a Dp uiocI o lqlJ ç OUZ 11 c.99. 1 o f I FP o Tuejde 4s0.fTno rIoD s.91 4 f T 9[) 5 041is(S.u 9ltT-t. *anolnoD Si otlIlJ s59p 041.6T;TD1E'1UtO-r4I3 Tlrp UO UdT.IP2 PA OUIF 411@4 OD ap.IOl:')1U0.arîOd ' c9 D.;4n[)9.1 REVENDICATXINS 1. - Substrat d'anode pour un dlsp)sltlf d'affichage qul est const-ltlue d'une t laque de ver-t-e urll u sa -surfa(-e lntérleure, de filt. res couleur eet est: expo-se a un traltement- d(- chauffage l durant sa faibrlc'atlnr, ca'ractr.sie er nce fill 1 ( co)mprend rlca mo) ins une cotl-el( de i 1 s: (sa const-ltuée de verre à faible point de f. :usio.n et fto()rree sur la surface intérieure de ladite plaque de verre (1), ledit ( verre à faible p[ol rit de fus on avant un po 1. nt de ramollissement inférleur au point de deformation de ladite plaque de verre (1) et un point de déformation superleur ou &qal à la température de chauf fage uti lsé-e à l'étape subséquente. 2. - Substrat d'anode selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite plaque de verre (1) est constituée de verre de borosilicate. 3. - Substrat d'anode selon la revendication 1, caractérlse en c- e que lesdlts fil]tres couleur (R, V et B) 2) sont chacun const ltués d' un pigment i n()) rganlue. 4. - Scubst rat ci' anode sel( n La revendlicat ionr 1, cardact _rlsr eon ce que le i clt verre à faible po i nt cie fus i on est d.i verre en Zn() sans ['b. -)._ Sub;Li i st r at (d ' r, ode r e 1 c)r la lr\'en-ldIct i,n 4, c-ralt-t ér ise -n c*e -tue lcit J r v rre en Zn(,) sa ris P)b est se I ec t i.()rire dans r e g ron îp.ep (c n)F-re na ri, t di ll vr- tr-e er Zn riO-B2(_3-S - à faible po nt de fusion at iLiu verre BP20s3-ZnO-SiO, à faible point de fusio)n. 6. - Substrat d'anode se lo n la revend icatl ion 1, c:aractérisé en ce qu'll comprend en outre un f i ni protecteur (3) résistant aux acides, formé sur ladite couche de lissage ('2). 7. - Substrat d'anode selon la revendicat ion 6, caracter sé en ce qu' i] comprend en outt re un f] lm conducteur (4) formé sur ledit film protecteur (S) resistant aux acides, par gravure. 8. - Procède de fabricalt lon d'un substrat cd'anode ( Il pour un dlsposltif d'afflchaqe, -ui est expose a une étape de c:hauffage durant sa fabric-;t c(ri, c'arac-teri se en ce qu' il comprend les étapes de: formati on de flt res (-oui] rt (R, V et BE sur une surface intérieure d'une plaque de verre ( L); formrnatlc)r ion de verre a falble p Lnt dce fus ion cri au moins une cou(che de Issage ( 2} sur Ia surface(- I nt r leur de ladite plaque de vrrr- (1); ledit verre à faible p(olnt de fusion avanrt un point dc ramolllssement inférievir au p roint. de deformati)on de ladlte plaque de verre (1) et un point de déformation superieur ou égal à la température de chauffage à l 'étape subséquent-e; et formation d'un film co-)nducteur (4) sur ladite (our)bhe de lissage (2). 9. - Procédé selon la revendicatlon 8, caractérisé en ce que ladite plaque de verre (1) est constituée de verre de borosilicate; et ledit verre à faible point de fuston e-st (di verre en ZnO sans PbF). 1(). - Procédé selo)n la revendlcatl)on q, caractarlse en ce qu' l com)rl-reid en)atre l es etapes citef: formrat i on d'un film protecteur () resistarnt aux acides suir ledit f-i ln de i ssaqCe apres ai frrnat (i,rl de ladît e coulche de 1i i Ssaqe ( 2); et formatt i rn duciit film rcorducteuîr (4) sur ledit film protecteur ( 3) résistant aux acides par gravure. 11. - Procédé selon la reverd(icatlon 9, caracterise en ce que ladite couche de lissage (2) est formée a partitr dudit verre en ZnO sans Pb par les étapes de: dépôt dudit verre en ZnO sans Pb sur ladite plaque de verre ( 1) de) orosi 1 icate de façron a recouvrlr lesdlt s filtres couleur (R, V et B); exposit1 ionr de ladite plaque de verrl-e (I) de borosl l icate A une calclnati onr a une temperature de d(ea zage prcoche de Ia tenI i er-rt lure de ramo I l ssertent dudit vefrre eri ZnC) sans Pb, dans une atmllc-sph[ere (t VI( (; et expositi or d(e lacite plaqule dae 'ce ire ( I) dce boroisl i cate, I11 t nempeuaitu t.e sulper-' I(rlle -i Lt adlt e tempe ra tiL ( de- dc, (-le,-zage canis une aitlli)S l'lerf-e (il ' a Ir. 12. - Proc-e(le selon la revendlcat ion 9, carla-,.t erl-tse en ce cu' il ((rmlprend en cut re les etapes de: 1) formation d'une matrice nollre po)11trcéf tntr la péripherle d-esadits f iltres couleuir ( R, V et B) sur lad it e couche de lissage (2) après la formation de ladite couche de lissage (2'); formation d'une couche de lissage (2) supplémentalre sur ladite couche de lissage (2) de façon à recouvrlr ladite matrice noire; et formation dudit film conducteur (4) sur ladite couche de lissage (2) supplénirentaire.