FR 2784179 A1 20000407 FR 9812340 A 19981001 ti 2784179 Chaîne de mesure capacitive La présente invention concerne une chaine de mesure capacitive pour mesurer une distance de l'ordre du millimètre entre une pièce et un capteur capacitif. La distance à mesurer peut être le jeu entre des pièces mobiles telles que des aubes d'une turbine et un capteur fixé dans le carter de la turbine, qui est à mesurer très précisément dans un environnement porté à des températures de plusieurs centaines de degré. Des chaînes de mesure capacitive sont décrites dans des brevets du demandeur (FR-B-2 608 751, FR-B-2 640 373 et FR-B-2 693 555). Elles comprennent en entrée un capteur capacitif, un amplificateur de charge inclus dans un circuit électronique de mesure proprement dit, et une ligne de transmission à haute fréquence de liaison reliant le capteur a l'amplificateur et couplée par transformateur à une source de tension à haute fréquence. D'une part, la ligne de liaison sert à transmettre une porteuse à haute fréquence modulée en amplitude par des variations de la capacité entre le condensateur et la pièce, telle qu'aube. D'autre part, grâce à la ligne de liaison, le circuit de mesure est déporté du lieu de mesure o est fixé le capteur, qui est difficilement accessible et soumis à des températures très élevées. La ligne de liaison est en général composée d'un câble semi-rigide d'environ 1 m de long et d'un câble souple de plusieurs mètres de long. Le câble semi- rigide est directement relié au capteur et est coaxial blindé. Il est résistant à des températures élevées et est soumis aux courbures nécessaires à la 2 2784179 traversée du carter de la turbine dans lequel est fixé le capteur. Le câble souple est un câble plus classique, résistant à des températures moyennes. La ligne de liaison est du type triaxial, c'est-à-dire comprenant une liaison coaxiale dans un blindage cylindrique de manière à diminuer les erreurs de mesure. Le capteur comprend trois électrodes cylindriques concentriques ayant une hauteur d'un 1i C centimètre environ. I1 est difficilement intégrable dans le carter d'une turbine. La structure d'un tel capteur engendre des capacités parasites au niveau des électrodes de garde et de blindage qui s'additionnent à celles de la 1 liaison coaxiale pour perturber les mesures capacitives. Plus la ligne de transmission est de mauvaise qualité, plus les capacités parasites altèrent la précision des mesures lorsque la température de fonctionnement du capteur augmente. 2C La présente invention vise à simplifier la connectique en entrée du circuit de mesure capacitive, de manière à offrir une ligne de liaison à haute fréquence au moins en partie avec des câbles traditionnels, par exemple bifilaires ou coaxiaux, et un capteur miniature intégrable dans l'environnement d'une turbine, tout en conservant la qualité des mesures avec porteuse à haute fréquence. 3C A cette fin, une chaîne de mesure capacitive comportant un capteur traversant un carter et comprenant des première et deuxième électrodes, une ligne de transmission à haute fréquence comprenant un premier conducteur et un deuxième conducteur avec des premières extrémités reliées respectivement aux 3 2784179 première et deuxième électrodes, un transformateur ayant un primaire alimenté par une source de tension à haute fréquence et un secondaire formé par une deuxième extrémité du premier conducteur, le deuxième conducteur ayant une deuxième extrémité reliée à une borne de référence de potentiel, et un amplificateur de charge pour amplifier un signal modulé en amplitude en fonction de la distance entre la première électrode et une pièce et appliqué par les lC deuxièmes extrémités des conducteurs, est caractérisée en ce que le transformateur comprend un secondaire additionnel ayant une première extrémité reliée à la deuxième extrémité du premier conducteur de ligne de transmission formant un it secondaire du transformateur et à une première borne d'entrée de l'amplificateur de charge à travers des moyens capacitif et résistif ayant une impédance avec des parties réelle et imaginaire approximativement égales respectivement à celles de l'impédance du 2c capteur et de la ligne de transmission, et une deuxième extrémité portée à la borne de référence de potentiel. Le secondaire additionnel et le secondaire formé par le premier conducteur de ligne de transmission reliée à la première électrode de capteur, dite électrode de mesure, constituent avec le primaire un transformateur différentiel relié aux bornes de l'amplificateur de charge à travers les moyens 33 capacitif et résistif, par exemple un condensateur et une résistance en série. Les capacités de condensateurs en sortie d'une double boucle d'asservissement dans le circuit de mesure sont volontairement limitées pour améliorer la précision 3? des mesures. 4 2784179 L'invention est utilisée particulièrement lorsque la ligne de transmission est bifilaire ou coaxiale. Selon une réalisation de l'invention, la ligne de transmission à haute fréquence est bifilaire blindée, c'est-à-dire les premier et deuxième conducteurs de la ligne sont filaires dans le conducteur de blindage. La ligne comprend un conducteur de blindage ayant une première extrémité reliée à une troisième électrode du capteur, telle que substrat du capteur, et une deuxième extrémité reliée directement à la borne de référence de potentiel. Les premier et deuxième conducteurs de la ligne en sortie du conducteur de blindage ont des deuxièmes extrémités constituant chacune un secondaire du transformateur. Selon une autre réalisation de l'invention, la ligne de transmission à haute fréquence est coaxiale. Le deuxième conducteur de ligne est un conducteur externe de la ligne coaxiale et a une deuxième extrémité reliée directement à la borne de référence de référence de potentiel. L'invention peut être utilisée également lorsque la ligne de transmission à haute fréquence est triaxiale. Dans ce cas, la ligne comprend un conducteur de blindage ayant une première extrémité reliée à une troisième électrode du capteur et une deuxième extrémité reliée directement à la borne de référence de potentiel. Les premier et deuxième conducteurs de la ligne sont coaxiaux dans le conducteur de blindage et ont des deuxièmes extrémités constituant chacune un secondaire du transformateur. 3. 2784179 Selon une autre caractéristique de l'invention, une inductance est ajoutée entre la deuxième extrémité du premier conducteur de ligne et la borne de référence de potentiel, aux bornes de l'amplificateur de charge. L'inductance avec les capacités parasites de la ligne de liaison et les capacités du circuit de mesure réalisent la résonance à la fréquence de la source à haute fréquence. Le rapport signal sur bruit est ainsi élevé malgré l'augmentation des capacités parasites dans la ligne de transmission. Ces caractéristiques permettent de s'affranchir complètement de l'influence de la capacité de la ligne de transmission entre capteur et amplificateur de charge qui peut être 100000 fois supérieure à la capacité utile du capteur, sans trop modifier le circuit électronique de mesure proprement dit. Elles maintiennent la qualité des mesures dans le circuit de mesure capacitive incluant l'amplificateur de charge, malgré l'augmentation des capacités et résistances parasites très sensibles à la température, due à l'emploi de câble de type bifilaire ou coaxial sans précaution particulière dans la ligne de transmission. 2 De préférence, un condensateur de capacité élevée est prévu entre la deuxième extrémité du premier conducteur de ligne et la première borne d'entrée de l'amplificateur de charge, et des moyens résistif et capacitif à résistance et capacité 3C élevées sont prévus entre une deuxième borne d'entrée de l'amplificateur de charge et la borne de référence de potentiel. Ce condensateur et ces moyens résistif et capacitif participent au fonctionnement correct à basse fréquence du circuit de mesure, c'est-à-dire à 6 2784179 l'équilibre des tensions à basse fréquence à l'entrée de l'amplificateur de charge. De préférence, deux condensateurs et non une résistance et un condensateur, relient la première borne d'entrée de l'amplificateur de charge respectivement à des sorties de deux moyens parallèles pour démoduler et moduler en amplitude des composantes en phase et quadrature dudit signal modulé en amplitude qui est amplifié par l'amplificateur de charge. La mesure et la distance entre pièce et première électrode du capteur est effectuée en sortie d'un détecteur synchrone inclus dans l'un des deux moyens parallèles. Un moyen d'échantillonnage est cadencé par un signal de synchronisation sensiblement à une fréquence de passage de pièces devant la oremière électrode pour échantillonner le signal sortant du détecteur synchrone et de préférence amplifié, en un signal de tension à paliers proportionnels à ladite distance. La miniaturisation du capteur est obtenue par la technique en couches minces. Le capteur comprend deux couches conductrices minces superposées, constituant les première et deuxième électrodes, et un substrat conducteur séparés par des couches isolantes. Le substrat conducteur peut servir d'électrode de blindage sous la deuxième électrode servant d'électrode de garde. Afin d'augmenter la sensibilité des mesures, la caractéristiques suivantes peuvent être retenues. La première électrode peut avoir un contour qui est concentrique au contour de la deuxième électrode, et une surface plus petite que la deuxième électrode. Ces électrodes peuvent avoir des contours et reliefs -7 2784179 sensiblement identiques à une projection d'une extrémité de ladite pièce en regard de la première électrode, sensiblement perpendiculaire au substrat. En pratique, les électrodes du capteur peuvent être reliées aux conducteurs de la ligne de transmission par un tronçon de plages de connexion situé à proximité d'un trou dans un support du capteur traversé par les premières extrémités des conducteurs de ligne. Le tronçon de plages de connexion est de préférence en retrait des électrodes par rapport à la pièce. Le rapport signal de mesure sur bruit peut être encore augmenté si deux capteurs ayant des couches minces conductrices de première et deuxième électrodes et de substrat respectivement reliées en parallèle, sont situés à une distance sensiblement égale au pas des extrémités de pièces passant successivement devant les capteurs. Par exemple, les pièces sont des aubes d'une turbine. Selon encore une autre réalisation, lorsque la ligne de transmission est coaxiale, le capteur est un capteur coaxial, la première électrode du capteur affleure sensiblement une surface du carter en regard de la pièce, et le capteur a un corps en retrait de la surface dans le carter. D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention apparaîtront plus clairement à la lecture de la description suivante de plusieurs réalisations préférées de l'invention en référence aux dessins annexés correspondants dans lesquels: - la figure 1 est un bloc-diagramme schématique d'un circuit de mesure capacitive avec un circuit d'entrée relié à un capteur triaxial connu; 8 2784179 - la figure 2 est une vue en coupe longitudinale schématique d'un capteur capacitif triaxial connu positionné en face d'une aube et relié à une extrémité de câble triaxial connu; - la figure 3 est un circuit d'impédances au niveau du capteur triaxial montré à la figure 2; - la figure 4 est un bloc-diagramme de circuits de traitement de signal de passage d'aube en sortie du circuit de mesure capacitive; - la figure 5 est une vue partielle en coupe transversale schématique à très grande échelle d'un capteur capacitif en couches minces selon l'invention - la figure 6 est une vue en perspective d'un capteur capacitif en couches minces avec des surfaces d'électrodes similaires à l'extrémité d'une aube de turbomachine; - la figure 7 est une vue en perspective d'un double capteur capacitif en couches minces avec des 2C surfaces d'électrodes similaires aux extrémités de deux aubes successives de turbomachine; - la figure 8 montre en détail des interconnexions de deux câbles de liaison triaxiaux au capteur en couches minces et à un amplificateur de charge en entrée du circuit de mesure capacitive à travers un transformateur selon une première réalisation de l'invention; - la figure 9 montre en détail des interconnexions de deux câbles de liaison bifilaires 3C blindés au capteur en couches minces et à l'amplificateur de charge en entrée du circuit de mesure capacitive à travers un transformateur différentiel selon une deuxième réalisation de l'invention; et 9 2784179 - la figure 10 montre en détail des interconnexions de deux câbles de liaison coaxiaux interconnectés à un capteur coaxial et à l'amplificateur de charge en entrée du circuit de mesure capacitive à travers un transformateur différentiel selon une troisième réalisation de l'invention. En référence à la figure 1, une chaîne de mesure capacitive comprend un circuit d'entrée CE et un circuit de mesure capacitive CMC. Le circuit d'entrée CE comprend essentiellement un capteur capacitif 1, une ligne de transmission à haute fréquence de liaison 2 et un transformateur 3 relié à une source de tension à haute fréquence 4. Selon la figure 2, un capteur capacitif connu de type triaxial comprend des première, deuxième et troisième électrodes concentriques 11, 12 et 13. La première électrode est une électrode filaire centrale de mesure 11, de l'ordre du millimètre de -6 2 diamètre, et de section S = (n/4).10 m par exemple. L'électrode 11 a une extrémité libre qui est disposée en face d'une pièce A reliée à une borne de référence de potentiel, telle que la masse mécanique M d'un dispositif incluant la pièce A, directement ou par des capacités parasites propres au dispositif. La distance J entre l'extrémité de l'électrode de mesure 11 et la pièce A est à mesurer. Par exemple, la pièce I A est constituée successivement par les aubes d'une turbine tournant autour d'un axe perpendiculaire au plan de la figure 1, suivant la flèche F. La distance J est le jeu variable, de l'ordre du millimètre, entre les extrémités des aubes A passant successivement devant l'électrode centrale 11. l'o 2784179 Comme on le verra ci-après, la variation du jeu J engendre un signal à basse fréquence dont les variations d'amplitude d'une période à la suivante varient peu, chaque période correspondant au passage d'une aube respective. Le signal à basse fréquence module en amplitude une porteuse de fréquence F0 en un signal modulé ayant une amplitude variant en fonction du jeu J. La deuxième électrode 12 entoure la première électrode 11 et constitue une électrode de garde. La troisième électrode 13 est une électrode de blindage reliée à la masse M et entourant l'électrode 12 et constitue le corps métallique cylindrique du capteur 1. La face avant du corps du capteur est fixée dans un trou du carter de révolution CT, par exemple cylindrique ou conique, de la turbine. La figure 3 indique schématiquement les capacités Cij et résistances Rij entre les trois électrodes (li ou lj) [11, 12, 13] du capteur, avec 1 La capacité à mesurer C13 représente la capacité directe entre l'électrode centrale de mesure 11 du capteur 1 et l'aube mobile A. En première 2a approximation, la capacité C13 a pour valeur, lorsque l'aube est située au droit du capteur avec un jeu J: _ OErS C13 = OrS J -12 33 avec Co = 8,85.10 F/m et r - 1, et -6 2 par exemple S=(n/4).106 m et J=100 ptm, soit: C13 E 0,07 pf. l1 2784179 La capacité C13 devient négligeable dès que l'aube s'éloigne de la position centrée devant la face d'extrémité de l'électrode 11. La résistance directe de fuite Ri3 est en général très élevée et n'intervient pas dans la mesure du jeu. Les capacités C12 et C23 et les résistances R12 et R23 caractérisent les impédances parasites respectives de l'électrode de mesure 11 par rapport à l'électrode de garde 12 et de l'électrode de garde 12 par rapport à l'électrode de blindage 13 et donc la masse M. les valeurs des impédances parasites, tant au niveau du capteur 1 que de la ligne de liaison 2 sont variables avec la température et la chaine de 1 mesure doit être très tolérante pour ces variations de capacité et de résistance. La ligne de liaison 2 est un câble triaxiai selon la réalisation illustrée à la figure 1 et comprend trois conducteurs concentriques 21, 22 et 23 respectivement reliés aux électrodes 11, 12 et 13 du capteur 1. En général, le câble de liaison comprend un câble triaxial rigide LTR typiquement de longueur cm à 1 m environ dont une extrémité est soudée directement au capteur, et un câble triaxial souple LTS de longueur 1 m à 3 m environ. Le tableau I suivant résume, à titre d'exemple, des valeurs des différentes impédances pour le capteur 1 et la ligne de liaison 2. TABLEAU I Paramètres Capteur Câble LTR Câble LTS C12 (pF) 140 127 350 R12 (Q) > 1000 > 10 12 2784179 C23 (nf) 0,035 0,242 1,2 R23 (Q) > 1000 > 10 Cl3 (pF) mesurer C13. En se référant de nouveau à la figure 1, la source de tension alternative 4 est un oscillateur à haute fréquence HF piloté par un quartz à une fréquence porteuse F0 = 1,2 MHz et asservi en amplitude, de façon à améliorer la forme d'onde de la porteuse et à garantir la constance des caractéristiques de la chaîne de mesure. La porteuse est une tension de polarisation sinusoïdale appliquée 1l par l'oscillateur 4 au capteur 1 à travers le transformateur 3 et est typiquement de 2,83 Veff, soit 2V0 = 8 V crête à crête. L'oscillateur fournit également deux tensions de référence en phase et en quadrature: 2 o VRp = VR sin(ot) et VRQ = VR sin(û)t + 7/2) avec = 2nFo la pulsation de la porteuse HF. Les tensions VRp et VRQ sont utilisées pour piloter des détecteurs synchrones et générer des signaux de tension de compensation active nécessaires au fonctionnement du circuit de mesure capacitive CMC. Dans le circuit d'entrée CE, le transformateur 3 présente un primaire relié à des bornes de sortie de l'oscillateur 4 produisant la porteuse V0 sin( )t) de fréquence F0 et un secondaire, constituant une source flottante, relié d'une part au capteur 1 à travers la 13 2784179 ligne de liaison 2 et d'autre part aux entrées d'un amplificateur de charge 5 inclus dans le circuit de mesure CMC. Comme on le verra dans la suite, la ligne de liaison peut être du type triaxial ou bifilaire blindé, ou coaxial; un conducteur de la ligne de liaison relie l'électrode de mesure 11 à l'entrée inverseuse (-) de l'amplificateur 5 à travers le secondaire du transformateur 3. Un conducteur de blindage de la ligne de liaison relie au moins -0 l'électrode de blindage 13 du capteur 1 à la borne de masse M. L'amplificateur de charge 5 est un amplificateur opérationnel 30 dont la sortie est reliée en contre- réaction à l'entrée inverseuse (-) à travers un condensateur de contre-réaction 51 de capacité C51 et une résistance de contre-réaction 52 en parallèle, et à travers une boucle d'asservissement de phase décrite ci-après. La boucle d'asservissement comprend un filtre passe-bande 61 et un amplificateur 62 connectés en cascade à la sortie de l'amplificateur de charge 5, ainsi que deux voies parallèles entre la sortie de l'amplificateur 62 et l'entrée inverseuse (-) de l'amplificateur de charge 5. Les voies sont assignées à des traitements de signaux en phase (P) et en quadrature (Q). Chaque voie comprend en cascade un détecteur synchrone 7p, 7Q, un intégrateur 8p, 8Q, un multiplieur 9p, 9Q et un condensateur de référence Cp, CQ de capacité de référence CR. La bande passante AF du filtre 61 est centrée sur la fréquence F0 de l'oscillateur 4 et a une largeur fixée typiquement à 300 kHz environ. L'amplificateur 62 est un amplificateur-suiveur de 1 4 2784179 gain unitaire et produit un signal de tension filtré et amplifié SFA dont l'amplitude varie inversement avec le jeu J dans le capteur 1. Ce signal est appliqué aux deux détecteurs synchrones 7p et 7Q qui sont pilotés par les tensions de référence en phase et quadrature VRp et VRQ fournies par l'oscillateur 4. Les détecteurs synchrones 7p et 7Q sont des détecteurs de phase qui démodulent en amplitude le signal de tension filtré et amplifié SFA en deux signaux composants en phase et en quadrature Sp et SQ dont l'un d'eux, Sp, est exploité pour mesurer le jeu J. Les signaux composants à basse fréquence Sp et SQ sont respectivement intégrés dans les intégrateurs 8p et 8Q en une tension en phase Vp et une tension en quadrature VQ afin de stabiliser la boucle d'asservissement. Les tensions Vp et VQ sortant des intégrateurs sont appliquées à des premières entrées des deux multiplieurs 9p et 9Q de facteur de multiplication K de façon à multiplier les tensions Vp et VQ respectivement par les tensions de référence VRp = VR sin(2nt) et VRQ = VR sin(2ot + n/2) appliquées à des deuxièmes entrées des multiplieurs. Les signaux modulés en amplitude [K Vp VR sin(2ot)] et [K VQ VR sin(2ct + n/2)] produits par les multiplieurs 9p et 9Q sont réinjectés à l'entrée inverseuse (-) de l'amplificateur de charge 5 via les condensateurs de référence Cp et CQ avec des phases convenables et additionnés au signal de mesure transmis par le capteur 1 via le transformateur 3 afin d'obtenir la stabilité de l'asservissement. Compte tenu du facteur d'amplification très grand aux basses fréquences assuré par les intégrateurs, la valeur moyenne du signal d'erreur ER en sortie de 2784179 l'amplificateur 5 et donc les valeurs moyennes des signaux Sp et SQ sont maintenues nulles. Le courant en phase traversant le capteur 1 et ayant pour amplitude (V0 C13o) est compensé par le courant traversant le condensateur de phase Cp, ayant l'amplitude: Ip = K Vp VR CR. Le courant en quadrature dû aux pertes du capteur et ayant pour amplitude V0/R13 est compensé par un courant traversant le condensateur de quadrature CQ, ayant l'amplitude: IQ = K VQ VR CR. Le condensateur CQ est mieux adapté à cette compensation de courant relative à un capteur capacitif qu'une résistance. Les sensibilités nominales aux sorties des intégrateurs Ip et IQ sont: S(V) = vp - V/pF, et C13 KVR CR S(VQ) = VQ Vo V/Siemens. I/Rn3 KVR CRV A la sortie de l'amplificateur 5, le signal d'erreur ER est normalement nul lorsque la pièce A est immobile. En fonctionnement, lorsque la turbine tourne, le signal ER ne comprend que le bruit de fond du capteur capacitif 1, ainsi que des signaux transitoires, par exemple le passage d'une aube A, qui sont dans la bande passante limitée AF de 3c l'asservissement. Le signal Sp (ou SQ) de passage d'une aube se présente à la sortie de la chaîne de mesure de jeu sous la forme d'un signal à valeur moyenne nulle. 16 2784179 Selon la figure 4, le signal Sp est amplifié dans un amplificateur 71 en un signal amplifié SAp qui est échantillonné par un échantillonneurbloqueur 72. Un signal de synchronisation SS est fourni directement par le système mesuré; en l'occurrence, le signal SS est un signal représentatif de la périodicité de passage des aubes devant un point fixe du carter, fourni par la turbine. Le signal SS cadence l'échantillonneur-bloqueur 72, à travers un déphaseur réglable 73. Le déphaseur réglable 73 ajuste dans l'échantillonneur-bloqueur 72 le point de déclenchement optimal qui correspond à la crête du signal de passage d'aube A. L'échantillonneur- bloqueur 72 produit directement une tension à paliers continus Vj proportionnelle au jeu J à mesurer, comme montré dans le troisième graphe à la figure 4, o t est la variable temps. L'emploi du signal de synchronisation SS extérieur à la chaîne de mesure contribue à exploiter des valeurs de jeu J très grandes, supérieures au millimètre, quel que soit le rapport signal sur bruit. En variante, pour des valeurs de jeu plus faibles, le signal de synchronisation SS peut être généré à partir du signal Sp lui-même sans perte de la qualité des mesures au moyen d'un circuit de récupération de rythme 74, comme montré en traits pointillés à la figure 4. En référence à la figure 5, un capteur capacitif 3C la selon l'invention est un élément en couches minces de petite dimension, fabriqué suivant un procédé de pulvérisation cathodique à radiofréquence. Le capteur la comprend un substrat conducteur 13a en alliage à base de nickel faisant office d'électrode de blindage et deux couches conductrices 17o 2784179 métalliques 12a et lla déposées sur une face du substrat par l'intermédiaire de couches isolantes respectives 15 et 14 par exemple en zircone yttriée ZrO2 (Y203) ou en alumine A1203. La couche conductrice 12a séparée du substrat 13a par la couche isolante 15 constitue l'électrode de garde du capteur. La couche conductrice lla séparée de la couche conductrice 12a par la couche isolante 14 constitue l'électrode de mesure lla. !O Comme montré à droite dans la figure 5 et plus précisément dans la figure 6, le bord périphérique 111 de l'électrode de mesure lla est parallèle au bord périphérique 121 de l'électrode de garde 12a, mais est sensiblement en retrait du bord d'électrode de garde 121. L'électrode de mesure lia a ainsi un contour concentrique au contour de l'électrode de garde 12a, c'est-à-dire similaire à ce dernier mais avec une surface un peu plus petite que celle de la deuxième électrode, comme montré aux figures 6 et 7. La disposition des électrodes lla et 12a superposées parallèlement aux armatures de la capacité de mesure, et particulièrement la position saillante de l'électrode de mesure lla devant l'électrode de garde 12a en direction radiale vers l'intérieur du carter de la turbine à une distance J de l'extrémité périphérique de chaque aube passant devant le capteur, augmentent le nombre de lignes de champ électrique entre l'électrode de mesure lia et l'aube A et diminue le nombre de lignes de champ électrique entre l'électrode de mesure lla et l'électrode de garde 12a. La densité de champ électrique est donc plus élevée entre les armatures lia et A de la capacité à mesurer, comparativement au capteur triaxial cylindrique à électrodes cylindriques concentriques dont les extrémités sont alignées 18 2784179 diamétralement, comme montré à la figure 2. La sensibilité du capteur en couches minces selon l'invention est ainsi plus élevée. Une couche de protection en alumine 16 enrobe l'ensemble multicouche lla14-12a-15 sur le substrat 13a. Le capteur la ainsi conçu présente une excellente tenue mécanique jusqu'à 1000 C environ. De manière à augmenter la sensibilité des mesures capacitives entre l'électrode de mesure lla et les aubes A, la surface des électrodes du capteur multicouche la est semblable à celle des extrémités des aubes, comme montré à la figure 6. D'une part, la surface des couches dans le capteur la suit la courbureengendrée par le déplacement rotatif des aubes indiqué par la flèche F, ou la courbure des extrémités des aubes dans un plan diamétral et par conséquent la courbure circulaire du carter cylindrique CT. Dans un logement complémentaire ménagé sur la surface intérieure SI du carter, le capteur la est fixé convenablement, par exemple par collage ou soudage. Le capteur en couches minces la a une épaisseur totale de quelques dizaines de micromètres, et l'électrode de mesure lla affleure sensiblement la surface intérieure concave SI du carter CT, et le corps du capteur la est sensiblement en retrait de la surface SI, dans le carter. D'autre part, la géométrie des électrodes du capteur est adaptée à la géométrie et aux dimensions 33 des extrémités des aubes. L'électrode de mesure 1la est précisément similaire à l'extrémité de l'aube A, c'està-dire le contour et le relief de l'électrode lla sont sensiblement identiques à la projection radiale de l'extrémité de l'aube, ici en forme de croissant asymétrique, sur la surface intérieure SI 19 2784179 du carter cylindrique CT. Les deux autres électrodes 12a et 13a demeurent parallèles à l'électrode lia, c'est-à-dire épousent la courbure de l'électrode de mesure, et sont sensiblement plus grandes. Un court tronçon de deux plages de connexion à courbure longitudinale circulaire en couches minces 17a prolonge en saillie les électrodes de mesure et de garde et est très petit par rapport aux surfaces des électrodes de capteur proprement dites. Le 1!? tronçon de plages de connexion 17a est en retrait des électrodes lla et 12a et de la surface intérieure concave de carter SI, c'est-à-dire est plus enfoncé que les électrodes dans le carter CT afin que sa capacité avec une aube soit négligeable. Le tronçon 1I 17a est situé à proximité de ou débouche dans l'embouchure intérieure d'un trou TRa traversant le carter CT supportant le capteur. Comme on le verra ci-après, les deux plages du tronçon de connexion 17a relatives aux électrodes lla et 12a, et le substrat 13a sont respectivement soudées aux extrémités de conducteurs de mesure, de garde et de blindage d'une ligne de transmission à haute fréquence de liaison selon des réalisations de l'invention décrites ci- après, une première extrémité de la ligne de liaison traversant le trou de carter TRa. Après connexion de la première extrémité de la ligne de liaison au tronçon de plages de connexion, le trou TRa est rempli de ciment réfractaire, isolant électriquement. En variante, le motif des électrodes lla, 12a et 33 13a du capteur élémentaire la est dupliqué en deux motifs élémentaires identiques ME1 et ME2 au pas PA des aubes comme montré à la figure 7, ou en plus de deux motifs, le long du chemin circulaire suivi par les aubes rotatives A et donc le long d'un arc de cercle principal du carter cylindrique CT. Dans le 2784179 capteur 14 ainsi constitué, les électrodes de mesure et de garde des motifs d'électrodes ME1 et ME2 sont reliées en parallèle respectivement par les deux plages de connexion superposées dans un tronçon de connexion à courbure longitudinale circulaire 17b plus long que le tronçon 17a, le blindage étant assuré par le substrat 13a. Le tronçon de connexion 17b longe un trou de carter TRb ménagé entre les motifs de capteur ME1 et ME2 afin que des premières extrémités de conducteurs d'une ligne de liaison 2 traversant le trou TRb soient soudées aux plages de connexion respectives. Dans une première réalisation de l'invention montrée à la figure 8, la ligne de transmission à haute fréquence de liaison 2a comprend un câble triaxial semi-rigide relativement court 21a, typiquement de longueur 30 cm à 1 m, et un câble triaxial souple relativement long 22a, typiquement de longueur supérieure à 3 m environ. Le câble semi-rigide 21a chemine depuis le carter CA à travers la turbomachine contenant la turbine considérée. Il est semi-rigide et résistant à très haute température de plus de 500 C. Des premières extrémités du conducteur central 211a, dit âme, du conducteur de garde cylindrique 212a et du conducteur de blindage cylindrique externe 213a du câble 21a traversent le trou de carter TRa, TRb et sont connectées après dénudage aux électrodes de capteur lia, 12a et 13a respectivement. Des deuxièmes extrémités des conducteurs 211a, 212a et 213a du câble semi-rigide 21a sont reliées respectivement à des premières extrémités du conducteur central 221a, du conducteur de garde cylindrique 222a et du conducteur de blindage cylindrique externe 223a du 21 2784179 câble souple long 22a, à travers un connecteur triaxial schématisé en 23a de type à presse-étoupe ou serre-câble. Les liaisons des deuxièmes extrémités des conducteurs de câble souple 22a aux bornes de l'amplificateur de charge 5 à travers le transformateur 3a, et à la masse M sont également montrées à la figure 8. i0 jLe primaire du transformateur 3a comprend un tube de cuivre 3P et des tores magnétiques en ferrite 3T enfilés autour du tube 3P. En variante, le tube de primaire est remplacé par un fil conducteur. Le nombre de tores enfilés définit la self inductance du 1l primaire. Les fils de sortie 41 et 42 de l'oscillateur HF entre lesquels la tension de polarisation alternative V0 sinot est appliquée sont connectés aux extrémités du tube primaire 3P. Un condensateur CO est interconnecté entre les fils de 2C sortie d'oscillateur 41 et 42 pour faire fonctionner l'ensemble capteur la, ligne de liaison 2a et transformateur 3a au voisinage de la résonance, de façon à diminuer la charge de l'oscillateur 4. A la deuxième extrémité dénudée du câble triaxial souple 22a, le conducteur central de mesure 221a et le conducteur de garde 222a constituent un câble coaxial qui traverse le tube de primaire 3P et forment deux secondaires identiques du transformateur 3a, le deuxième 222a blindant le premier 221a. Après 33 dénudage, la deuxième extrémité du conducteur central 221a est connectée au point chaud négatif (-) de l'amplificateur de charge 5 à travers un condensateur de capacité C et à la masse de référence M à travers une inductance L. Le sens de traversée du primaire 3P définit la phase du signal de mesure capacitive. 22 2784179 La deuxième extrémité du conducteur de garde 222a après avoir traversé le tube de primaire 3P est reliée directement à la masse M. La deuxième extrémité du conducteur de blindage 223 est reliée directement à la masse M et au fil de sortie d'oscillateur 42, et à travers une combinaison parallèle d'un condensateur de capacité C' et une résistance R' à l'entrée directe (+) de l'amplificateur de charge 5. Lé Les résistances 52 et R' avec les capacités C et C' assurent la polarisation correcte de l'amplificateur de charge 5 quelles que soient les valeurs des impédances du capteur et du câble de liaison. Compte tenu des valeurs très élevées des capacités C et C', les impédances de ces capacités correspondant à la fréquence élevée de fonctionnement F0 sont très petites; tout se passe comme si les signaux HF sont directement appliqués aux entrées de l'amplificateur de charge 5. La capacité de contre-réaction C51 fixe des facteurs de sensibilité aux sorties des détecteurs synchrones 7p et 7Q pour les signaux à haute fréquence Sp et SQ représentatifs du jeu J entre aube A et capteur la, et les capacités de référence CR des condensateurs Cp et CQ fixent la sensibilité des sorties VQ et VS des intégrateurs 8p et 8Q pour les basses fréquences et en continu. En première approximation et en valeur moyenne, la somme de courants à l'entrée inverseuse de l'amplificateur de charge 5 est nulle: 1l + + + IQ = O, Il étant le courant dans le conducteur central 221a. En régime statique, turbine arrêtée et capacité entre aube A et électrode de mesure lia constante, la composante basse fréquence du courant Il provient 23 2784179 principalement des impédances parasites du capteur associé à la ligne de liaison triaxiale 2a. Cette composante basse fréquence varie fortement avec la température et augmente très vite avec la longueur de la ligne de liaison. Les courants Ip et IQ compensent respectivement les termes en phase et quadrature du courant Il de telle façon que la tension d'erreur ER à la sortie de l'amplificateur de charge 5 soit nulle. C Lorsque la turbine tourne et une aube A passe au droit du capteur la avec un jeu J, la tension d'erreur prend la valeur ER = VO(EOErS/J) sin(2nFOt). Compte tenu de la tension alternative maximale _5 que peuvent fournir les multiplieurs 9p et 9Q, les valeurs des capacités CR des condensateurs Cp et CQ sont choisies de façon que la plage de fonctionnement des bandes d'asservissement en phase et en quadrature soit largement compatible avec la plage de température du capteur. Les valeurs des tensions Vp et VQ sont alors utilisées pour mesurer la température propre du capteur en fonctionnement, moyennant un étalonnage préalable de la chaîne de mesure. 2. Avec une ligne de liaison longue, la somme totale XC _ C12 + C23 + 2CR + C51 des capacités ramenées à l'entrée de l'amplificateur de charge 5 est suffisamment élevée pour que le facteur de bruit de l'amplificateur 5 augmente et le gain effectif de l'amplificateur 5 diminue, rendant la mesure inutilisable. L'inductance supplémentaire L réalise la condition de résonance L.XC.o) = 1. Dans une deuxième réalisation de l'invention montrée à la figure 9, la ligne de transmission à 24 2784179 haute fréquence de liaison 2b comprend un câble bifilaire blindé semirigide et résistant à très haute température, relativement court 21b, et un câble bifilaire blindé souple relativement long 22b. Des premières extrémités de deux fils conducteurs isolés 211b et 212b torsadés à l'intérieur du câble 21b et une première extrémité du conducteur de blindage cylindrique externe 213b du câble 21b traversent le trou de carter TRa, TRb et 3 sont connectées après dénudage aux électrodes de capteur lla, 12a et 13a respectivement. Des deuxièmes extrémités des conducteurs 211b, 212b et 213b du câble semi-rigide 21b sont reliées respectivement à des premières extrémités de deux fils conducteurs isolés 221b et 222b torsadés à l'intérieur du câble 22b et à une première extrémité du conducteur de blindage cylindrique externe 223b du câble souple long 22a, à travers un connecteur bifilaire blindé à prises mâle et femelle schématisé en 23b. Les 23 isolants entre conducteurs filaires 211b-221b et 212b-222b peuvent être en magnésie et la gaine externe autour du conducteur de blindage peut être en Inconel (marque déposée). Les liaisons des deuxièmes extrémités des conducteurs de câble souple 22b aux bornes de l'amplificateur de charge 5 à travers le transformateur 3b, et à la masse M sont également montrées à la figure 9. Comparativement à la première réalisation avec ligne de liaison triaxiale et au 33 tableau I, la capacité C13 entre électrode/conducteur de mesure et électrode/conducteur de blindage vue par le transformateur 2b passe de quelques centièmes de picofarad correspondant à la capacité de capteur entre aube A et électrode de mesure lia, à 200 à 300 picofarads environ correspondant à la capacité de la 2784179 ligne de liaison entre fils conducteurs de mesure 211b-221b et conducteurs de blindage 213b-223b. Pour compenser cette dernière capacité de câble et ainsi conserver la sensibilité aux sorties à basse fréquence Vp et VQ des intégrateurs 8p et 8Q, les capacités de référence CR des condensateurs Cp et CQ pourraient être augmentées fortement. Toutefois, les bruits propres des "sources" alternatives à basse fréquence Vp et VQ qui ne sont pas corrélées à la 1 source principale à haute fréquence constituée par l'oscillateur 4, à faible bruit et asservie en amplitude, deviendraient prépondérants. Au niveau du transformateur 3b, un troisième secondaire 3A sous la forme d'un fil conducteur traversant le tube de primaire 3P constitue avec la deuxième extrémité du fil conducteur de mesure 221b un transformateur différentiel, comme montré à la figure 9, afin d'éviter une augmentation des capacités de référence CR. 2C Comparativement au transformateur 3a montré à la figure 8, les deuxièmes extrémités des deux conducteurs filaires 221b et 222b traversent également le tube de primaire 3P pour être reliées respectivement à la borne inverseuse (-) de l'amplificateur de charge à travers le condensateur C, et à la masse directement, et la deuxième extrémité du conducteur de blindage externe 223b est reliée à la masse. Le secondaire additionnel 3A est un fil additionnel ayant une première extrémité 33 reliée à la borne inverseuse de l'amplificateur de charge 5 à travers un condensateur de capacité variable CA, une résistance variable RA, et le condensateur de capacité élevée C, et une deuxième extrémité reliée directement à la masse M. Les éléments capacitif et résistif CA et RA sont réglés 26 2784179 sensiblement aux valeurs élevées de la capacité et de la résistance des câbles de liaison 21b-22b ramenées à l'entrée du transformateur. La capacité CA est au moins sensiblement égale à la somme de la capacité entre les fils conducteurs 211b-221b et 212b-222b et la demi-somme des capacités entre les fils conducteurs 211b-221b et 212b-222b et le conducteur cylindrique de blindage 213b-223b. La résistance RA est proportionnelle au moins à la somme des résistances des conducteurs de mesure 211b-221b, conducteur de garde 213b-223b, et conducteur de blindage 213b-223b pour des fréquences élevées. La valeur moyenne du courant de mesure Il est dans la plage de fonctionnement des asservissements 1j compensée par les courants en phase et quadrature Ip et IQ, comme dans la première réalisation, et le courant IA dans le fil supplémentaire 3A. Les caractéristiques de chaîne de mesure sont retrouvées en diminuant la valeur de l'inductance L résultant de 2 l'augmentation de la somme des capacités afin de conserver la condition de résonance. Si l'on choisit une ligne de liaison triaxiale telle que celle 2a selon la première réalisation, un fil additionnel 3A de secondaire de transformateur avec un condensateur CA et une résistance RA peuvent être introduits selon l'invention comme montré en traits pointillés à la figure 8, d'une manière analogue à la figure 9, afin de diminuer les 3 capacités de référence CR pour une ligne de liaison triaxiale à capacités parasites élevées. Dans une troisième réalisation montrée à la figure 10, la ligne de transmission à haute fréquence de liaison 2c est simplement coaxiale et comprend un 27 2784179 câble coaxial semi-rigide et résistant à très haute température, relativement court 21c et un câble coaxial souple relativement long 22c. Le capteur lc est un capteur coaxial cylindrique comprenant une électrode filaire centrale lic et une électrode de blindage 12c. L'extrémité de l'électrode centrale lic en regard des aubes A affleure sensiblement la surface intérieure concave SI du carter CT. Le corps du capteur lc est fixé en retrait iC de la surface SI et logé dans un trou cylindrique TRc du carter CT. Des premières extrémités du conducteur central 211c, dit âme, et du conducteur de blindage cylindrique externe 213c du câble 21c sont présentées devant le trou de carter TRc pour être connectées, après dénudage, à l'électrode de mesure 11c et à la fois à l'électrode de blindage 12c et au carter CT respectivement, la surface du trou de carter TRc étant analogue à une électrode de garde. Des 2c deuxièmes extrémités des conducteurs 211c et 213c du câble semi-rigide 21c sont reliées respectivement à des premières extrémités du conducteur central 221c et du conducteur de blindage cylindrique externe 223c du câble souple long 22c, à travers un connecteur coaxial à brides schématisé en 23c. Les liaisons des deuxièmes extrémités des conducteurs de câble souple 22c aux bornes de l'amplificateur de charge 5 à travers le transformateur 3c, et à la masse M sont également montrées à la figure 10. Comparativement à la deuxième réalisation montrée à la figure 9, les liaisons des deuxièmes extrémités des conducteurs 221c et 223c du câble coaxial souple 22c aux bornes inverseuse et directe de l'amplificateur de charge 5 sont identiques à celles relatives aux conducteurs de 28 2784179 mesure et de blindage 221b et 223c du câble 22b. Un fil conducteur additionnel 3A dans le transformateur 3b est également prévu pour former un transformateur différentiel avec le secondaire formé par la deuxième extrémité du fil central de mesure 221c. La capacité CA et la résistance RA associées au fil conducteur additionnel 3A sont ajustées respectivement en dépendance de la capacité totale et la résistance totale de la ligne de liaison 2c. A titre d'exemple, les dimensions des câbles de la ligne de liaison coaxiale 2c sont les suivantes: - diamètre du conducteur central de mesure = 1 mm; - câble semi-rigide 21c: 1,5 mm avec gaine en Inconel (marque déposée) et longueur 1 m; - câble simple souple 22c: diamètre = 2 mm et longueur = 5,5 m; - inductance L nécessaire à l'accord L = 11,8 pH et 2c0 - éléments additionnels: CA = 947 pF et RA = 4,7 Q. En particulier, la variation de la sensibilité S(Vj) en V/pf à la sortie en phase Sp au niveau de l'échantillonneur-bloqueur 72 de la chaîne de mesure 2 pour la ligne de liaison coaxiale 2c avec le transformateur 3c avec fil additionnel de secondaire 3A, en fonction de la distance J entre aube A et capteur la variant jusqu'à 2 à 3 millimètres est similaire à la variation de sensibilité sensiblement 3C hyperbolique pour la ligne de liaison triaxiale 2a avec transformateur 3a avec ou sans fil additionnel 3A. L'invention améliore la qualité de la mesure de 2- jeu notamment grâce aux aspects suivants: 29 2784179 - pas de sensibilité aux vibrations parasites, à savoir amplification HF sélective et signal HF de valeur nulle en moyenne, - résolution très élevée et sans remontée de bruit aux basses fréquences, c'est-à-dire utilisation d'une fréquence porteuse élevée et bruit transposé après démodulation synchrone, - très grande stabilité du gain en fonction de la température, et compensation possible des variations résiduelles grâce à la mesure locale de la température du capteur, - bande passante élevée AF permettant la visualisation des passages d'aube: 300 kHz avec la fréquence porteuse F0 à 1,2 MHz, et - 10 Hz environ de bande passante pour la mesure du jeu moyen après une deuxième détection synchrone. 2784179 REVENDICATIONS 1 - Chaîne de mesure capacitive comportant un capteur (la) traversant un carter (CT) et comprenant des première et deuxième électrodes (11a, 12a), ur.e ligne de transmission à haute fréquence (2a, 2b, 2c) comprenant un premier conducteur (211a-221a, 211b- 221b, 211c-221c) et un deuxième conducteur (212a- 222a, 212b-222b, 213c-223c) avec des premières extrémités reliées respectivement aux première et deuxième électrodes, un transformateur (3a, 3b, 3c) ayant un primaire (3P) alimenté par une source de tension à haute fréquence (4) et un secondaire formé par une deuxième extrémité (221a, 221b, 221c) du premier conducteur, le deuxième conducteur ayant une deuxième extrémité (222a, 222b, 223c) reliée à une borne de référence de potentiel (M), et un amplificateur de charge (5) pour amplifier un signal modulé en amplitude en fonction de la distance (J) entre la première électrode (11a) et une pièce (A) et appliqué par les deuxièmes extrémités des conducteurs (221a, 221b, 221c; 222a, 222b, 223c), caractérisée en ce que le transformateur (3a, 3b, 3c) comprend un secondaire additionnel (3A) ayant une première extrémité reliée à la deuxième extrémité (221a, 221b, 221c) du premier conducteur de ligne de transmission formant un secondaire du transformateur et à une première borne d'entrée (-) de l'amplificateur de charge (5) à travers des moyens capacitif et résistif (CA, RA) ayant une impédance ayant des parties réelle et imaginaire approximativement égales respectivement à celles de l'impédance du capteur et de la ligne de transmission (2a, 2b, 2c), et une deuxième extrémité portée à la borne de référence de potentiel (M). 31 2784179 2 - Chaîne de mesure conforme à la revendication 1, dans laquelle la ligne de transmission à haute fréquence (2b) est bifilaire blindée et comprend un conducteur de blindage (213b-223b) ayant une première extrémité reliée à une troisième électrode (13a) du capteur (la) et une deuxième extrémité reliée directement à la borne de référence de potentiel (M), et les premier et deuxième conducteurs de la ligne sont filaires dans le conducteur de blindage et ont des deuxièmes extrémités (221b, 222b) constituant chacune un secondaire du transformateur (3b). 3 - Chaîne de mesure conforme à la revendication i5 1, dans laquelle la ligne de transmission à haute fréquence (2c) est coaxiale, et le deuxième conducteur de ligne (213c-223c) est un conducteur externe de la ligne coaxiale et a une deuxième extrémité (223c) reliée directement à la borne de 21 référence de référence de potentiel (M). 4 - Chaîne de mesure conforme à la revendication 1, dans laquelle la ligne de transmission à haute fréquence (2a) est triaxiale et comprend un 2 conducteur de blindage (213a-223a) ayant une première extrémité reliée à une troisième électrode (13a) du capteur (la) et une deuxième extrémité reliée directement à la borne de référence de potentiel (M), et les premier et deuxième conducteurs de la ligne sont coaxiaux dans le conducteur de blindage et ont des deuxièmes extrémités (221a, 222a) constituant un secondaire coaxial du transformateur (3a). - Chaîne de mesure conforme à i'une quelconque des revendications 1 à 4, comprenant une inductance 32 2784179 (L) entre la deuxième extrémité (221a, 221b, 221c) du premier conducteur de ligne et la borne de référence de potentiel (M). 6 - Chaîne de mesure conforme à l'une quelconque des revendications 1 à 5, comprenant un condensateur (C) de capacité élevée entre la deuxième extrémité (221a, 221b, 221c) du premier conducteur de ligne et la première borne d'entrée (-) de l'amplificateur de charge (5), et des moyens résistif et capacitif (R', C') à résistance et capacité élevées entre une deuxième borne d'entrée (+ ) de l'amplificateur de charge (5) et la borne de référence de potentiel (M). / 7 - Chaîne de mesure conforme à l'une quelconque des revendications 1 à 6, comprenant deux condensateurs (Cp, CQ) reliant la première borne d'entrée (-) de l'amplificateur de charge (5) respectivement à des sorties de deux moyens parallèles (7p, 8p, 9p; 7Q, 8Q, 9Q) pour démoduler et moduler en amplitude des composantes en phase et quadrature dudit signal modulé en amplitude qui est amplifié par l'amplificateur de charge. 2ô 8 - Chaîne de mesure conforme à la revendication 7, comprenant en sortie d'un détecteur synchrone 7 inclus dans l'un des deux moyens parallèles (7p, 8p, 9p; 7Q, 8Q, 9Q), un moyen d'échantillonnage (72) cadencé par un signal de synchronisation (SS) sensiblement à une fréquence de passage de pièces (A) devant la première électrode (11a) pour produire un signal de tension à paliers proportionnels à ladite distance (J). 33 2784179 9 - Chaîne de mesure conforme à l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans laquelle le capteur (la) comprend deux couches conductrices minces superposées, constituant les première et deuxième e électrodes (11a, 12a), et un substrat conducteur (13a) séparés par des couches isolantes (14, 15) - Chaîne de mesure conforme à la revendication 9, dans laquelle la première électrode (lia) a un contour (111) qui est concentrique au contour (121) de la deuxième électrode (12a), et une surface plus petite que la deuxième électrode. 11 - Chaîne de mesure conforme à la revendication 9 ou 10, dans laquelle les électrodes (11a, 12a) ont des contours et reliefs sensiblement identiques à une projection d'une extrémité de ladite pièce (A) en regard de la première électrode, sensiblement perpendiculaire au substrat (13a). 12 - Chaîne de mesure conforme à l'une quelconque des revendications 9 à 11, dans laquelle les électrodes (11a, 12a) du capteur (la) sont reliées aux conducteurs de la ligne de transmission 2 (2a, 2b, 2c) par un tronçon de plages de connexion (17a) situé à proximité d'un trou (TRa) dans un support (CT) du capteur traversé par les premieres extrémités des conducteurs de ligne. 3 -13 - Chaîne de mesure conforme à l'une quelconque des revendications 9 à 12, comprenant au moins deux capteurs (ME1, ME2) ayant des couches conductrices de première et deuxième électrodes et de substrat respectivement reliées en parallèle, et situés à une distance sensiblement égale au pas des 34 2784179 extrémités de pièces (A) passant successivement devant les capteurs. 14 - Chaîne de mesure conforme à 'une quelconque des revendications 1, 3 et 5 à 8 lorsqu'elles dépendent de la revendication 3, dans laquelle le capteur est un capteur coaxial (lc), la première électrode (llc) du capteur affleure sensiblement une surface (SI) du carter (CT) en regard de la pièce (A), et le capteur (lc) a un corps (12c) en retrait de la surface (SI) dans le carter (CT).