FR 2781068 A1 20000114 FR 9808673 A 19980707 "Procédé de fabrication d'une carte à microcircuit permettant de limiter les contraintes mécaniques transmises à celui-ci et carte ainsi obtenue" L'invention se rapporte a un procédé de fabrication d'une carte à microcircuit du type consistant notamment à aménager une cavité dans une partie de l'épaisseur de la carte en matériau isolant formant le support et à fixer le microcircuit dans une telle cavité en le reliant à un réseau de conducteurs permettant d'établir des liaisons électriques entre la cavité et une face de la carte. L'invention concerne plus particulièrement un procédé particulier de montage du microcircuit et du réseau de conducteurs, permettant de réduire de façon très importante les contraintes susceptibles d'être transmises au microcircuit lorsque la carte subit des déformations, après sa fabrication. L'invention concerne également une carte à microcircuit réalisée par mise en oeuvre d'un tel procédé. Dans le domaine de la fabrication des cartes à microcircuit, il est connu de monter le microcircuit dans une cavité ménagée dans une partie de l'épaisseur de la carte en matière plastique formant le support. La cavité est ouverte sur une face de cette carte. Sur cette face, au fond de celle-ci et sur ses côtés, il est classique d'agencer un réseau de conducteurs permettant de raccorder électriquement des zones de connexion du microcircuit à des plages de raccordement extérieur définies sur ladite face tout autour de la cavité. Lorsqu'on utilise un tel réseau de conducteurs, il est avantageux d'utiliser une technique de montage particulière du microcircuit, connue sous le nom de "flip chip". En effet, le microcircuit comporte des zones de connexion qui sont toutes définies sur une face de celui-ci et qui permettent d'avoir accès au microprocesseur et à des mémoires associées. Cette technique de montage consiste à fixer et connecter électriquement, en une même opération, le microcircuit audit réseau de conducteurs et plus particulièrement à des parties de celui-ci qui s'étendent et adhèrent sur le fond de la cavité. Du fait que le microcircuit est rigidement fixé au fond de la cavité, toute déformation de la carte se traduit par des contraintes qui sont transmises au microcircuit et risquent de l'endommager ou le rendre inutilisable, notamment en cas de fissuration du matériau (silicium) constituant le microcircuit ou en cas de rupture d'une interconnexion électrique. L'invention permet de surmonter ces difficultés et d'améliorer la fiabilité d'une telle carte à microcircuit. L'idée de base de l'invention consiste à réaliser à part un module constitué à partir d'une feuille de matériau électriquement conducteur, destiné à former ledit réseau de conducteurs et à y adapter le microcircuit de façon que celui-ci soit fixé et connecté aux conducteurs dudit réseau avant que l'ensemble ne soit assemblé à la carte par fixation des plages de raccordement extérieur dudit réseau sur la face de la carte, tout autour de l'ouverture de la cavité. Autrement dit, à la différence des techniques d'assemblage connues impliquant la fixation du microcircuit au fond de la cavité de la carte, ledit microcircuit se trouve séparé du fond de la cavité (voire "suspendu" dans celle-ci) et le réseau de conducteurs assure une liaison souple entre le microcircuit et la carte, ce qui réduit fortement la communication des contraintes de déformation appliquée à la carte. Plus précisément, I'invention concerne un procédé de fabrication d'une carte à microcircuit consistant notamment à aménager une cavité dans une partie de l'épaisseur d'une carte en matériau isolant formant support, ladite cavité ouvrant sur une face de cette carte, à créer un réseau de conducteurs pour établir des liaisons électriques entre la cavité et ladite face de la carte et à connecter ledit microcircuit à ce réseau de conducteurs, caractérisé en ce qu'il consiste à réaliser à part un module comprenant ledit réseau et ledit microcircuit de façon telle qu'une ébauche dudit réseau soit conformée pour définir au moins en partie un réceptacle et que ledit microcircuit soit fixé à ce réseau en maintenant des parties différentes dudit réseau en position les unes par rapport aux autres, puis, successivement ou non, à découper des parties extérieures de ladite ébauche matérialisant des plages de raccordement extérieur, à placer ledit module dans ladite cavité avec lesdites plages de raccordement extérieur reposant sur ladite face et à fixer ces plages de raccordement extérieur sur ladite face. En d'autres termes, selon un premier mode de réalisation possible, le microcircuit n'est pratiquement relié à la carte que par l'intermédiaire d'un nombre limité de jonctions souples constituées par des pistes du réseau de conducteurs lui-même, ces pistes aboutissant aux plages de raccordement extérieur collées contre la face de la carte, tout autour de la cavité. Ce type de montage réduit considérablement les contraintes transmises au microcircuit. Cependant, le reste de la cavité peut être rempli de différents types de résines ou matériaux de remplissage analogues, plus ou moins souples et déformables. L'invention concerne également une carte à microcircuit réalisée par mise en oeuvre du procédé défini ci-dessus. L'invention sera mieux comprise et ressortira plus clairement de plusieurs variantes du procédé conforme à son principe, données uniquement à titre d'exemple et faites en référence aux dessins annexés dans lesquels: - les figures 1 à 9 et la figure 2b illustrent le déroulement d'un procédé conforme à l'invention; et - les figures 10 à 18 et les figures 11b, 12b et 14b illustrent le déroulement d'une variante du procédé. En considérant plus particulièrement les figures 1 à 8, on va décrire un premier procédé possible pour fabriquer une carte à microcircuit. Sur les dessins, les figures 1 à 7 illustrent plus particulièrement l'élaboration d'un module 12 et les figures 8 et 9 montrent le montage de ce module dans la cavité 13 de la carte 14. La fabrication du module 12 commence à partir d'une feuille de matériau conducteur 15 et de préférence une bande (figure 1). Cette feuille peut être en cuivre éventuellement et de préférence nickelée et dorée. Classiquement, la bande présente une épaisseur très faible de l'ordre de quelques dizaines de microns. Elle est destinée à former le réseau de conducteurs mentionné ci- dessus. Une première étape possible consiste à définir une ébauche 16 du réseau 17 sur la bande de matériau conducteur, cette ébauche étant appelée à définir, au moins partiellement, un réceptacle 18 apte à contenir le microcircuit 19 électriquement connecté à des éléments de l'ébauche. Pour ce faire, selon l'exemple, la bande est gravée, découpée ou usinée (éventuellement par mise en oeuvre d'un faisceau laser), de façon à isoler les uns des autres tous les éléments du réseau mais en incluant une marge extérieure 20 les réunissant. Cette étape symbolisée à la figure 2 aboutit par exemple à créer une configuration représentée sur la figure 2b. On y retrouve donc déjà, en grande partie délimitées, les plages de raccordement extérieur 21, les plages de connexion 22 destinées à être fixées aux zones de connexion du microcircuit et les pistes 23 qui les réunissent. Ensuite, la bande de cuivre est conformée à l'aide d'un système poinçon- matrice 24, 25 comme représenté à la figure 3. Cette conformation aboutit à placer les plages de raccordement extérieur 21 à un niveau différent des plages de connexion 22. Bien entendu, la différence de niveau introduite par cette étape de conformation doit être inférieure à la profondeur de la cavité qui sera réalisée séparément dans la carte; elle doit aussi être supérieure à l'épaisseur du microcircuit 19. Ensuite, on dépose sur la zone destinée à recevoir le microcircuit, c'est-à- dire plus particulièrement sur les plages de connexion 22 de l'ébauche 16, une couche d'adhésif 26 pour la fixation du microcircuit 19. Cette colle peut être une colle isolante si le microcircuit comporte des surépaisseurs sur ses zones de connexion. Dans ce cas, la couche de colle est d'épaisseur suffisante pour assurer l'adhésion du microcircuit tout en permettant un contact électrique direct entre les surépaisseurs et les plages de connexion. En revanche, si le microcircuit ne comporte pas de surépaisseurs sur ses zones de connexion, il peut être collé au moyen d'une colle anisotrope; il suffit que ses propres zones de connexion soient en regard des plages de connexion 22. On rappelle qu'une colle anisotrope est une colle électriquement conductrice suivant une direction o elle se trouve en faible épaisseur et qu'elle est en revanche électriquement isolante dans les autres directions. L'opération suivante (figure 4) consiste à fixer le microcircuit 19 par la technique connue dite: "flip-chip" en le déposant dans le réceptacle 18 de façon que ses zones de connexion regroupées sur l'une de ses faces soient respectivement électriquement connectées aux plages de connexion 22 de ladite ébauche. On peut utiliser l'une ou l'autre des deux colles mentionnées ci- dessus en fonction de la structure du microcircuit. D'autres modes de fixation peuvent aussi être utilisés, notamment la soudure. Ensuite (figure 5), le microcircuit 19 est recouvert d'une goutte de résine 28, cette dernière devenant rigide après polymérisation. La polymérisation peut être obtenue thermiquement et/ou par insolation aux rayons ultraviolets. En variante, on peut remplacer la pose de la goutte de résine par une phase de surmoulage non représentée. A partir de ce moment, il est important de noter que le microcircuit 19 ainsi fixé audit réseau de conducteurs, maintient définitivement les positions relatives des différentes parties de ce réseau. Autrement dit, à partir de ce moment, les marges 20 visibles sur la figure 2b ne sont plus nécessaires. On peut donc les éliminer. C'est l'opération représentée sur la figure 6. L'ébauche du module est prise en charge par un organe de préhension 30 comportant un orifice central 31 relié à une source d'aspiration. Cet organe de préhension est associé à un outil de découpage 32 mobile axialement par rapport à l'organe de préhension. L'ébauche est placée dans une matrice de découpage 34 et l'outil 32 est actionné pour éliminer les marges, ce qui a pour effet d'achever la constitution du réseau 17 en individualisant les plages de raccordement extérieur. Le module 12 est alors achevé. Après quoi, ce module est repris (figure 7) par un autre organe de préhension 30a analogue, fonctionnant par aspiration mais combiné à un outil de fixation chauffant 38, mobile axialement par rapport à l'organe de préhension 30a. Par ce moyen, le module 12 est placé dans la cavité 13, préparée à cet effet, de la carte en matière plastique. C'est la situation illustrée à la figure 8. L'outil chauffant 38 est actionné pour fixer les plages de raccordement extérieur sur la face de la carte. L'outil 38 vient plaquer à chaud lesdites plages de raccordement extérieur sur cette surface et le module est par ce moyen fixé à la carte, le microcircuit 19 prenant place dans la cavité 13 et étant essentiellement maintenu dans celle-ci, au moins à ce stade du procédé, par le réseau de conducteurs 17. L'adhérence des plages de raccordement extérieur 21 sur la surface de la carte se fait par collage si le ruban de matériau conducteur a été auparavant enduit d'une couche de colle activable à chaud. Il peut aussi se faire par pénétration de la matière thermoplastique constituant la carte 14 dans des micropores ménagés à la surface du ruban conducteur. De tels pores peuvent être créés par traitement mécanique, chimique ou thermique. La phase finale consiste à remplir la cavité 13 avec une résine 40 polymérisant thermiquement ou par insolation aux rayons ultraviolets. Plusieurs cas sont possibles. On peut utiliser une résine dure (c'est-àdire à faible coefficient d'élongation après polymérisation) et à viscosité assez élevée avant polymérisation. Dans ce cas, elle ne coule pas à travers les interstices séparant les différentes parties du réseau 17 de conducteurs. Dans ce contexte, le microcircuit est placé dans un milieu très rigide du côté extérieur de la carte et dans le vide du côté intérieur, c'est-à-dire qu'il ne touche pas directement le fond de la cavité 13. Cette configuration est favorable pour réduire considérablement les contraintes transmises au microcircuit lorsque la carte est déformée. Inversement, on peut aussi effectuer le remplissage par une résine relativement fluide susceptible de pouvoir remplir entièrement la cavité de la carte. Dans ce cas, la résine est de préférence assez molle après durcissement pour limiter la transmission des contraintes au microcircuit. On peut aussi commencer le remplissage par une résine fluide et molle et le terminer par une résine visqueuse et rigide. On peut aussi fixer le module dans la carte par l'intermédiaire d'un adhésif souple placé au fond de la cavité 13. Les figures 10 à 17 illustrent une variante possible du procédé. La fabrication du module commence (figure 10), comme précédemment, à partir d'une feuille de matériau conducteur 15, de préférence une bande. Cette feuille est ensuite découpée (figure 11) mais, selon une configuration différente, illustrée à la figure 11 b, qui laisse subsister, sur les côtés perpendiculaires aux plages de raccordement 21 et dans le prolongement de certaines plages de connexion 22, des rabats 45 destinés a être pliés au cours de la phase de conformation. Comme dans l'exemple précédent, la bande peut être gravée, découpée ou usinée de façon à isoler les uns des autres (figure 11) tous les éléments du réseau 17 en incluant cependant une marge extérieure 20 les réunissant. Ensuite, la feuille 15 est conformée a l'aide d'un système poinçon-matrice comme représenté à la figure 12. Le résultat de cette conformation est représenté à la figure 12b. Ladite conformation aboutit à placer les plages de raccordement extérieur 21 à un niveau différent des plages de connexion 22. La différence de niveau introduite doit être inférieure à la profondeur de la cavité et supérieure à l'épaisseur du microcircuit. Cependant, en raison de la définition des rabats 45 à l'étape précédente, ladite étape de conformation permet de créer un réceptacle 18a sensiblement fermé sur cinq faces, avant le montage du microcircuit 19. Ce réceptacle apparaît plus précisément sur la figure 12b. Ensuite, on dépose sur la zone destinée à recevoir le microcircuit, c'est-à- dire plus particulièrement sur les plages de connexion de l'ébauche, une couche d'adhésif 26 pour la fixation du microcircuit 19. Comme précédemment, cette colle peut être une colle isolante si le microcircuit comporte des surépaisseurs sur ses zones de connexion, ou bien être une colle anisotrope si le microcircuit ne comporte pas de surépaisseurs sur ses zones de connexion. L'opération suivante (figure 13) consiste à fixer le microcircuit 19 par la technique connue dite: "flip chip" en le déposant dans le réceptacle illustré à la figure 11 b. Le microcircuit est positionné de façon que ses zones de connexion regroupées sur l'une de ses faces soient respectivement électriquement connectées aux plages de connexion 22 de l'ébauche. On peut utiliser l'une ou l'autre des deux colles mentionnées ci-dessus en fonction de la structure du microcircuit. D'autres modes de fixation peuvent aussi être utilisés notamment la soudure. Ensuite, le microcircuit 19 peut être recouvert comme précédemment d'une goutte de résine. Dans l'exemple plus particulièrement représenté (figure 14), l'ébauche est placée dans un moule 48 pour recevoir la résine 28a. Le moule est de dimensions telles que les plages de raccordement extérieur 21 soient en dehors de celui-ci. Si le moule 48a comporte une partie 49 plus creuse que l'emplacement des plages de connexion 22 de l'ébauche (figure 14b), la résine pourra protéger et enrober les plages conductrices et la face active du microcircuit. A partir de ce moment, les marges 20 de l'ébauche ne sont plus nécessaires. On peut les éliminer par une opération représentée sur la figure 15. L'ébauche est prise en charge par un organe de préhension 30 comportant un orifice central relié à une source d'aspiration. Cet organe de préhension - comporte aussi un outil de découpage 32 mobile axialement par rapport à l'organe de préhension. L'ébauche est placée dans une matrice de découpage 34 et l'outil est actionné pour éliminer les marges 20, ce qui a pour effet d'achever la constitution du réseau en individualisant les plages de raccordement extérieur 21. Le module est alors achevé. Il est repris par un organe de préhension 30a analogue fonctionnant par aspiration mais combiné à un outil de fixation chauffant 38, mobile axialement par rapport à l'organe de préhension. Par ce moyen, le module est placé dans la cavité 13 préparée à cet effet, de la carte 14 en matière plastique. C'est la situation illustrée à la figure 17. L'outil chauffant 38 est actionné pour fixer les plages de raccordement extérieur sur la face supérieure de la carte. L'outil vient plaquer à chaud lesdites plages de raccordement extérieur sur cette face et le module est, par ce moyen, fixé à la carte. Comme précédemment, l'adhérence des plages de raccordement extérieur sur la surface de la carte se fait par collage ou par pénétration de la matière thermoplastique constituant la carte dans des micropores ménagés à la surface du ruban conducteur. La phase finale (figure 18) consiste à remplir la cavité avec une résine souple 50 polymérisant thermiquement ou par insolation aux rayons ultraviolets. A titre de variante applicable aux deux modes de réalisation décrits ci- dessus, il est à noter qu'on peut réaliser simultanément les opérations précitées consistant à découper des parties extérieures de l'ébauche pour individualiser les plages de raccordement et à fixer celles-ci sur la carte. Pour ce faire, on place directement l'ébauche, comme obtenue à la figure 5 ou à la figure 14, dans la cavité 13 de la carte elle-même et on procède à une opération de pressage-découpage à chaud au moyen d'un seul outil chauffant dont les bords extérieurs sont adaptés pour découper les marges. D'autres variantes peuvent être envisagées. Par exemple, la conformation de l'ébauche peut être réalisée après la pose du microcircuit et le recouvrement de celui-ci par une goutte de résine. Inversement, on peut procéder à la conformation de la feuille de matériau conducteur avant le prédécoupage définissant le réseau de conducteurs. Ce découpage partiel est suivi du montage du microcircuit par la technique dite "flip chip". Ensuite, la protection du microcircuit peut être achevée en déposant dans l'ébauche une goutte de résine ou en procédant à une opération de surmoulage. La découpe finale, permettant d'éliminer les marges est ensuite mise en oeuvre et le module est mis en place et fixé dans la cavité selon l'un des enchaînements d'opérations décrits ci-dessus. Une carte à microcircuit réalisée par mise en oeuvre d'un procédé conforme à l'invention est remarquable notamment en ce que la face active du microcircuit 19 comportant les zones de raccordement et les plages de raccordement 22 du réseau de conducteurs, auxquelles elle est connectée, ne sont pas directement fixées au fond de la cavité mais se trouvent légèrement à distance de ce fond et séparées de celui-ci, I'espace de séparation étant éventuellement rempli d'un matériau adapté, de préférence une résine isolante souple. REVENDICATIONS 1- Procédé de fabrication d'une carte à microcircuit consistant notamment à aménager une cavité dans une partie de l'épaisseur d'une carte en matériau isolant formant support, ladite cavité ouvrant sur une face de cette carte, à créer un réseau de conducteurs pour établir des liaisons électriques entre la cavité et ladite face de la carte et à connecter ledit microcircuit à ce réseau de conducteurs, caractérisé en ce qu'il consiste à réaliser à part un module comprenant ledit réseau (17) et ledit microcircuit (19) de façon telle qu'une ébauche (16) dudit réseau soit conformée pour définir au moins en partie un réceptacle et que ledit microcircuit soit fixé à ce réseau en maintenant des parties différentes dudit réseau en position les unes par rapport aux autres, puis, successivement ou non, à découper des parties extérieures (20) de ladite ébauche matérialisant des plages de raccordement extérieur, à placer ledit module dans ladite cavité (13) avec lesdites plages de raccordement extérieur reposant sur ladite face et à fixer ces plages de raccordement extérieur sur ladite face. 2- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'une étape de réalisation de ladite ébauche consiste à découper les éléments dudit réseau dans une feuille de matériau conducteur (15) en incluant une marge extérieure les réunissant et à conformer (figure 3) ultérieurement ladite ébauche pour définir ledit réceptacle. 3- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'une étape de réalisation de ladite ébauche consiste à conformer une feuille de matériau conducteur définissant ledit réceptacle et à y découper ultérieurement, par exemple au moyen d'un faisceau laser, les éléments dudit réseau en laissant subsister une marge extérieure les réunissant. 4- Procédé selon la revendication 2 ou 3, caractérisé en ce qu'il consiste à assembler ledit microcircuit (19) à ladite ébauche (16) par une étape de montage connue en soi, dite "flip chip" établissant les liaisons électriques entre des zones de connexion dudit microcircuit définies sur une face de celui-ci et des plages de connexion de ladite ébauche. - Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que le microcircuit comportant des surépaisseurs sur ses zones de connexion, il est collé (26) sur ladite ébauche au moyen d'une colle isolante de sorte que lesdites surépaisseurs soient en contact électrique avec lesdites plages de connexion. 6- Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que le microcircuit est collé (26) au moyen d'une colle anisotrope sur ladite ébauche de sorte que ses zones de connexion soient en regard desdites plages de connexion. 7- Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé par une étape consistant, après fixation du microcircuit dans ledit réceptacle, à le recouvrir d'une résine durcissable (28) par polymérisation. 8- Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il consiste à découper les parties extérieures de ladite ébauche après recouvrement du microcircuit par ladite résine (figure 6). 9- Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'il consiste à transporter le module ainsi obtenu après découpage desdites parties extérieures et à le placer dans ladite cavité de la carte (figure 7). - Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il comporte une opération consistant, après fixation du microcircuit, à déposer ladite ébauche dans un moule (48) de dimensions telles que lesdites plages de raccordement extérieur soient en dehors dudit moule et à enrober la partie située dans le moule par un matériau adapté. 11- Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il comporte une opération consistant à déposer ledit module dans un moule de dimensions telles que lesdites plages de raccordement extérieur soient en dehors de ce moule et à enrober la partie située dans ledit moule par un matériau adapté. 12- Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il consiste à conformer ladite ébauche pour matérialiser ledit réceptacle, après montage dudit microcircuit. 13- Procédé selon l'une des revendications 1 à 11, caractérisé en ce qu'il consiste à conformer ladite ébauche (16) pour matérialiser ledit réceptacle avant montage dudit microcircuit. 14- Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il consiste à conformer ladite ébauche pour matérialiser ledit réceptacle après enrobage dudit microcircuit. - Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ladite feuille de matériau conducteur dont sont issues lesdites plages de raccordement extérieur est recouverte, sur une face, d'une couche de colle activable à chaud et en ce qu'il consiste à plaquer à chaud (38) lesdites plages de raccordement extérieur sur ladite carte, après mise en place dudit module dans la cavité (figure 8). 16- Procédé selon l'une des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que ladite feuille de matériau conducteur dont sont issues lesdites plages de raccordement extérieur est munie d'une face pourvue de micropores et en ce qu'il consiste à plaquer à chaud (38) lesdites plages de raccordement extérieur après mise en place dudit module dans la cavité. 17- Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il consiste, après montage et fixation du module dans la cavité, à remplir celle-ci par un matériau de surenrobage adapté, par exemple une résine souple. 18- Procédé selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'on place ladite ébauche dans ladite cavité et en ce qu'on réalise simultanément les opérations précitées consistant à découper des parties extérieures de ladite ébauche et fixer lesdites plages de raccordement extérieur par une opération de pressage-découpage à chaud au moyen d'un seul outil chauffant. 19- Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'étape de conformation précitée consiste à créer un réceptacle sensiblement fermé sur cinq faces (figure 12b) par des parties de feuille dudit matériau conducteur, avant le montage dudit microcircuit et en ce qu'il consiste ultérieurement à déposer dans ce réceptacle un matériau de remplissage adapté, par exemple une résine durcissable.