FR 2770691 A1 19990507 FR 9713951 A 19971106 DISPOSITIF D'EMISSION OPTIQUE A COMPOSANT INTEGRE COMPORTANT AU MOINS UNE SECTION LASER ET UNE SECTION DE MODULATION L'invention se rapporte à un dispositif d'émission optique, comprenant un composant intégré comportant au moins une section laser et une section de modulation de la puissance optique de l'onde fournie par la section laser. Dans les systèmes de transmission optique à haut débit, la variation de fréquence optique des impulsions en sortie du modulateur conditionne la distance maximale de transmission. Dans un système de transmission optique utilisant comme émetteur un composant intégré à section laser et section de modulation, appelé dans la suite dispositif ILM (pour Integrated Laser Modulator), cette variation de fréquence a en fait trois composantes, à savoir une variation de fréquence transitoire (transient chirp dans la littérature anglosaxonne), une variation de fréquence adiabatique (adiabatic chirp) et une oscillation (oscillating chirp). Un dispositif ILM est représenté schématiquement sur la figure 1. C'est un dispositif semi-conducteur comportant au moins une section oscillateur laser 1 et une section de modulation 2. La section 1 comprend un réseau distribué 3, dit réseau de Bragg, le long de l'axe longitudinal de25 propagation et fournit vers la section de modulation 2 de l'énergie lumineuse de puissance P1 à une fréquence donnée (ou longueur d'onde donnée X1) sélectionnée par le réseau distribué, en réponse à une injection transversale de courant électrique Il dans la section laser.30 La section de modulation 2 est une section électro- absorbante, commandée en tout ou rien par un signal de tension Vl. Cette section est traitée pour avoir une bande interdite supérieure à celle de la section laser, de manière à ce que la longueur d'onde laser k1 soit supérieure de plusieurs nanomètres (10 à 50 nanomètres par exemple) à la longueur d'onde Xm de la section de modulation. Ainsi, cette section de modulation polarisée par un niveau de tension V1 nul (Vl= 0) sera-t-elle transparente pour la lumière émise par la section laser et complètement absorbante pour un 5 niveau de tension négatif. Cette modulation en tout ou rien est réalisée par le signal de tension V1, correspondant à la suite de bits à transmettre à la fréquence de transmission du système de transmission optique. Ainsi, la transmission d'un "1" se fait en appliquant un niveau de tension 0 et la10 transmission d'un "0" se fait en appliquant un niveau de tension négatif. On récupère ainsi sur la face de sortie de la section de modulation des impulsions optiques codées. La face 4 de sortie du modulateur est traitée antireflet pour avoir un faible coefficient de réflexion R2.15 Ce dispositif ILM entraîne comme indiqué précédemment trois types de variation de fréquence optique. La variation de fréquence transitoire est la variation de fréquence sur les transitions hautes et basses des impulsions due à la modulation en tout ou rien. Cette20 modulation en tout ou rien entraîne en effet une variation de l'indice de réfraction dans cette section au moment des transitions hautes et basses. Cela produit une variation de la phase sur la face de sortie du modulateur. C'est ce qui fait varier la fréquence de l'impulsion sur les fronts25 montants et descendants de l'impulsion optique, avec en pratique un décalage dans le rouge ou le bleu en sortie de section de modulation. Les variations de fréquence adiabatique et les oscillations sont dues à la structure intégrée du modulateur avec le laser. Bien que traitée antireflet, la face 4 de sortie du modulateur a un coefficient de réflexion R2 non nul. La perte optique dans le modulateur est donc modulée. La modulation résiduelle de cette perte optique entraîne une variation de la densité de porteurs dans la section laser.35 Ceci fait varier l'indice de réfraction dans la section laser, et donc la longueur d'onde laser kl change. La composante statique de cette variation est la variation de fréquence adiabatique qui consiste en une fréquence différente entre les niveaux haut et bas stabilisés d'une impulsion optique en sortie du modulateur. La composante 5 dynamique de cette variation consiste en des oscillations sur chacun des niveaux haut/bas. Ces différentes variations de fréquence sont représentées sur la figure 2. Elles correspondent à une suite d'impulsions optiques en sortie de section de10 modulation. On distingue la variation de fréquence de transition sur les fronts montants Afth et descendants Aftb. La variation de fréquence adiabatique, qui a dans l'exemple représenté une amplitude positive Afa de l'ordre de un gigaherz et les oscillations Afosc sur les états hauts et15 bas. Or, ces variations de fréquence affectent directement la qualité de la transmission optique. Il convient donc de contrôler ces variations de fréquence pour optimiser la qualité de transmission et permettre ainsi d'augmenter la distance entre les répéteurs des liaisons optiques.20 Pour contrôler la variation de fréquence transitoire, une solution connue de l'état de la technique consiste à prévoir une troisième section, dite section de phase, après la section de modulation. Cette section de phase est commandée par un signal de tension en opposition de phase25 avec le signal de commande V1 de la section de modulation. De cette manière, on compense la variation d'indice de réfraction dans la section de modulation, ce qui permet de supprimer ou d'atténuer la variation de fréquence transitoire. Cependant, cette solution ignore les problèmes30 de réflectivité sur la face de sortie du circuit modulateur et donc ne résout en rien les problèmes de variation de fréquence adiabatique et d'oscillations sur les niveaux hauts et bas des impulsions optiques. En outre, la section de phase doit avoir une composition différente des autres35 sections (longueur d'onde différente de la longueur d'onde laser kl et du modulateur km), ce qui implique des étapes de fabrication supplémentaires (épitaxie). En outre, les solutions de compensation basées sur des signaux de modulation en opposition de phase sont toujours complexes. Enfin, la modulation de la section de phase entraîne des 5 pertes optiques supplémentaires. En ce qui concerne la variation de fréquence adiabatique et les oscillations, on a pu observer que l'amplitude des oscillations diminue avec l'amplitude de la variation de fréquence adiabatique. Diminuer cette dernière,10 c'est donc réduire aussi les oscillations. On s'intéresse donc plus particulièrement aux variations de fréquence adiabatiques. La variation de fréquence adiabatique varie avec la valeur de la phase Q de l'onde sur la face de sortie de la section de modulation. La valeur de la phase15 elle-même est fonction de la position du réseau par rapport à la face de sortie. Aussi la valeur de la variation de fréquence adiabatique pour un dispositif ILM est-elle très aléatoire. Cependant, pour les dispositifs ILM d'une même série de fabrication, on connaît son amplitude maximum (en20 valeur absolue). Une méthode habituellement utilisée consiste à trier les composants et ne retenir que les composants à faible variation de fréquence adiabatique. Pour réduire la variation de fréquence adiabatique, on effectue aussi un traitement de la face de sortie du modulateur, pour qu'elle soit revêtue de matériaux antireflet, de manière à avoir une réflectivité R2 la plus faible possible. Au prix d'un procédé de fabrication complexe, on arrive ainsi à une réflectivité R2 de l'ordre30 de 2x10-4 contre une réflectivité de l'ordre de 10-3, 10-2 obtenue par les procédés de fabrication courants. Cependant, ces deux méthodes combinées de tri des composants selon leurs performances et de réduction drastique du coefficient de réflexion R2 ont une répercussion non négligeable sur les35 coûts de fabrication et en outre, offrent un rendement très limité. Ainsi l'état de la technique n'offre pas de solutions satisfaisantes à la réduction de la variation de fréquence adiabatique et des oscillations sur les impulsions lumineuses en sortie. 5 Un objet de l'invention est de proposer une solution simple et efficace à ce problème technique. Expérimentalement, on a pu vérifier que l'amplitude de la variation de fréquence adiabatique est une fonction périodique de la phase Q de l'onde sur la face de sortie du10 modulateur. Il existe aussi une valeur de la phase Q pour laquelle l'amplitude de la variation de fréquence adiabatique est nulle (ou égale à une valeur donnée). Dans l'invention, on a ainsi recherché une solution technique permettant de déterminer la valeur de phase Q pour laquelle15 la variation de fréquence adiabatique a la valeur désirée et permettant d'agir sur le dispositif ILM pour obtenir ladite valeur de phase. Or, on observe une modulation de la puissance optique Pl et de la tension de la section laser par la modulation de la tension de commande VI de la section de modulation. Les simulations numériques de la modulation de puissance ÈP1/6Vl par la modulation de la tension Vl montrent que lorsque la phase Q est ajustée pour avoir une amplitude nulle de la variation de fréquence adiabatique, la modulation de la25 puissance laser P1 (face arrière) est minimum. Il en est de même de la modulation de la tension laser V1. Les figures 3 et 4 représentent ces courbes ÈP1/SVl. La première pour une variation de fréquence adiabatique d'amplitude positive de l'ordre de 1 Ghz, montre une forte résonance. La deuxième30 pour une variation de fréquence adiabatique d'amplitude nulle, est fortement réduite. La solution technique au problème posé dans l'invention repose sur cette observation. En mesurant l'amplitude de la modulation de la tension aux bornes de la section laser, il35 est possible de déterminer et d'ajuster la phase en sortie de la section de modulation. Ainsi, si par exemple l'amplitude de cette modulation de tension est minimum, l'amplitude correspondante de la variation de fréquence adiabatique sera nulle. Si on veut positionner l'amplitude de la variation de fréquence adiabatique à une valeur déterminée, non nulle, il faut en outre calibrer la variation de la tension haute fréquence avec la variation de phase. En effet, connaissant pour une même série de fabrication l'amplitude maximale de la variation de fréquence adiabatique, on peut calibrer la10 courbe de modulation de la tension laser et déterminer ainsi la valeur de phase à obtenir. Ainsi, d'une façon générale, l'invention consiste à modifier l'indice de réfraction dans une section laser prévue pour produire une onde laser, de façon à asservir la15 phase de l'onde fournie à une section de modulation. En pratique, l'asservissement de la phase peut être réalisé en modifiant l'indice de réfraction dans cette section laser par injection d'un courant électrique de correction.20 Telle que caractérisée, l'invention concerne donc un dispositif d'émission optique comprenant un composant intégré comportant une section laser pour fournir une onde laser à une section de modulation, ladite section laser comprenant au moins une section oscillateur, caractérisé en25 ce que ledit dispositif comprend un circuit électronique pour ajuster un courant électrique injecté dans la section laser en réponse à la mesure de l'amplitude de la modulation de la tension entre les bornes de ladite section oscillateur.30 Dans un premier mode de réalisation de l'invention, on agit directement sur le courant électrique d'injection Il dans la section oscillateur. La densité de porteurs étant maintenue fixe au delà du seuil d'oscillation, l'asservissement de l'indice de réfraction dans la section35 oscillateur par le courant Il se produit par effet thermique. Ceci n'est pas sans conséquence sur la puissance optique, mais ne pose pas de problème dans des applications à des dispositifs d'émission optique à amplificateurs en régime sature. Pour des applications de transmission optique utilisant des amplificateurs en régime linéaire, on préfère un deuxième mode de réalisation de l'invention, dans lequel la puissance optique est inchangée. Dans ce deuxième mode de réalisation de l'invention, la section laser comprend une section de contrôle de phase couplée à la section10 oscillateur. Cette section de contrôle de phase est placée entre la section oscillateur et la section de modulation et elle est de même constitution que la section de modulation (même structure verticale et même compositions des couches semi- conductrices). Cette section de contrôle de phase est commandée en courant par le circuit électronique de commande pour modifier son indice de réfraction par modification de la densité de porteurs. On asservit ainsi la phase sans effet thermique, moyennant la réalisation d'une section de contrôle de phase. Cette section de contrôle de phase étant20 de même constitution que la section de modulation, il n'y a cependant pas d'étapes de procédé supplémentaires. Il suffit simplement de prévoir l'existence d'une électrode supplémentaire lors du dessin du masque de définition des électrodes. En modifiant l'indice de réfraction dans la section laser, on modifie légèrement la valeur de la longueur d'onde k1 dans cette section. Mais cette variation est de l'ordre de 1 nanomètre en pratique, sans conséquence aucune pour la différence de 10 à 30 nanomètres nécessaire entre les30 longueurs d'onde kl et Xm, pour que la section de modulation soit transparente pour l'émission laser. D'autres particularités et avantages de l'invention apparaîtront à la lecture de la description donnée à titre d'exemple illustratif mais non limitatif, et faite en référence aux dessins annexés dans lesquels: - la figure 1, déjà décrite, représente schématiquement une structure d'un dispositif ILM intégré de l'état de la technique, - la figure 2 représente les trois types de variation de fréquence de l'impulsion optique en sortie de section de modulation, - les figures 3 et 4 représentent chacune la courbe de modulation en petits signaux de la puissance laser (face arrière) en fonction de la fréquence de modulation de la10 section de modulation, - la figure 5 représente un premier mode de réalisation de l'invention, - la figure 6 représente un deuxième mode de réalisation de l'invention, - la figure 7 montre une courbe d'amplitude de la variation de fréquence adiabatique en fonction de la phase de sortie et - la figure 8 montre la forme d'un train d'impulsions optiques obtenu selon l'invention, avec une variation de fréquence adiabatique ramenée à une valeur nulle. Dans tout le reste de la description, les mêmes références sont utilisées pour désigner les mêmes éléments. La figure 5 représente un premier mode de réalisation de l'invention. Le dispositif ILM comporte une première section prévue pour fournir une onde laser et une deuxième section de modulation 2. Dans ce premier mode de réalisation de l'invention, la première section est seulement formée d'une section oscillateur 1. Une source de courant continu30 SC1 injecte un courant électrique Il transversalement dans la section oscillateur 1. Des moyens de modulation non représentés appliquent aux bornes de la section de modulation 2 une tension polarisée en inverse Vl et modulée en tout ou rien. Des moyens de mesure de l'amplitude de35 modulation de la tension Vl aux bornes de la section oscillateur comprennent un amplificateur haute fréquence 5 et un convertisseur de tension alternatif/continu 6. L'amplificateur de tension haute fréquence 5 reçoit en entrée la tension V1 prise aux bornes de la section oscillateur 1. Il est suivi du convertisseur de tension 5 alternatif/continu 6 qui fournit la tension continue VDC1 dont le niveau correspond à l'amplitude de la composante alternative de la tension V1 et qui constitue donc une mesure de l'amplitude de la modulation de cette tension V1. Cette tension continue VDC1 est appliquée en entrée d'un10 commutateur COM à deux voies de sortie. Une première voie A est une entrée de mesure d'un circuit d'asservissement 7 de la phase Q du dispositif ILM. Ce circuit d'asservissement 7 délivre en sortie un niveau de tension analogique d'asservissement Ve appliquée sur une entrée non inverseuse15 +) d'un amplificateur différentiel 11. La deuxième voie B est appliquée sur l'entrée inverseuse (- ) de l'amplificateur différentiel 11. Cet amplificateur différentiel fournit en sortie une commande de variation en courant Cc appliquée à la source de courant20 continu SC1, pour ajuster la valeur du courant électrique Il. Le circuit d'asservissement 7 comprend une unité de traitement UT qui reçoit d'un convertisseur analogique/numérique 8 la valeur numérique de la tension25 VDC1. De préférence, un registre de donnée 9 configurable par exemple au moyen d'interrupteurs est associé à l'unité de traitement. L'unité de traitement délivre sa consigne numérique d'asservissement CA vers un convertisseur numérique analogique 10, qui délivre en sortie la tension analogique de consigne Ve appliquée sur l'entrée non inverseuse de l'amplificateur différentiel 11. Le circuit de contrôle du dispositif ILM a deux modes de fonctionnement, un mode de calibration et un mode automatique. Le premier mode de fonctionnement est un mode de calibration, qui consiste à relever dans l'unité de traitement la courbe de l'amplitude de la modulation de la tension aux bornes de la section laser en fonction du 5 courant électrique continu Il. Pour cela on fait varier ce courant entre deux valeurs extrêmes, de manière à balayer la courbe représentée à la figure 7. Dans ce mode, c'est la voie A du commutateur qui est sélectionnée. L'amplificateur différentiel reçoit seulement la tension analogique de10 consigne Ve fonction de la consigne CA. Quand cette courbe est relevée, l'unité de traitement détermine la valeur de la consigne numérique d'asservissement CA pour laquelle on a une amplitude nulle de la modulation de la tension. Le circuit peut alors passer15 en mode automatique. Dans ce mode, c'est la voie B qui est validée. L'unité de traitement applique la consigne d'asservissement Ca déterminée. La boucle de réaction avec l'amplificateur différentiel 11 est opérationnelle: la valeur du courant Il est ajustée en permanence, par le20 contrôle en temps réel de l'amplitude de la modulation de la tension laser. En pratique, la variation de courant nécessaire est de l'ordre de 50 à 100 milliampères. Il peut être intéressant dans certaines applications de pouvoir choisir une amplitude de variation de fréquence adiabatique différente de zéro. En mode de calibration, on utilise alors le registre de donnée 9 pour y programmer l'amplitude maximale (amplitude crête) de variation de fréquence adiabatique du dispositif ILM, par exemple 2Ghz. On a vu en effet que l'on connaît cette valeur pour une30 série de fabrication. A titre d'illustration, la figure 7 montre une courbe de l'amplitude de la variation de fréquence adiabatique avec la phase Q. Dans cet exemple, l'amplitude maximale est de 2Ghz. Cette valeur maximale est égale aussi à 2Ghz pour tous les dispositifs ILM d'une même série de fabrication. Comme la variation de la modulation de tension avec la phase suit la même variation périodique entre 0 et 27 que l'amplitude de la variation de fréquence adiabatique avec la phase, l'unité de traitement peut calibrer la courbe 5 mesurée: à la variation maximum de la modulation de la tension, elle fait correspondre l'amplitude maximum de la variation de fréquence adiabatique. En mode automatique, on peut alors programmer dans le registre de données l'amplitude de variation de fréquence adiabatique voulue, par exemple 0Ghz, 0.5Ghz ou 1Ghz. L'unité de traitement pourra alors déterminer avec sa courbe calibrée la consigne numérique d'asservissement CA à appliquer. On a vu que ce mode de réalisation de l'invention n'est intéressant en pratique que dans des applications d'émission optique utilisant des amplificateurs optiques en régime saturé. En effet, l'asservissement de la phase par le courant d'injection Il agit par effet thermique dans la section laser, faisant varier la puissance optique.20 Un autre mode de réalisation laisse invariante cette puissance. Dans ce deuxième mode de réalisation qui est représenté sur la figure 6, la section laser du dispositif ILM prévue pour fournir une onde laser comprend une section de contrôle de phase 12 couplée à la section oscillateur 1.25 Cette section de contrôle de phase 12 est de même constitution que la section de modulation 2 et elle est placée entre la section laser 1 et la section de modulation 2. Une source de courant continu SC2 injecte dans cette section de contrôle de phase 12 un courant transversal I2 polarisé en sens direct, ce qui permet de modifier la densité de porteurs dans cette section. C'est la source de courant SC2 qui, dans ce mode de réalisation, est commandée par la sortie Cc de l'amplificateur différentiel 11. Ce deuxième mode de réalisation de l'invention nécessite certes une section supplémentaire. Mais cette section étant de composition identique à la section de modulation, il n'y a pas d'étapes supplémentaires dans le procédé de fabrication. L'asservissement de la phase selon l'invention permet de réduire ou d'annuler la variation de fréquence adiabatique et les oscillations, comme représenté sur la figure 8 pour une amplitude nulle de variation de fréquence adiabatique. Cet asservissement reste cependant sans effets sur les variations de fréquence transitoires. Des circuits de correction des variations de fréquence transitoires10 peuvent donc être avantageusement combinés au dispositif d'émission selon l'invention. Revendications 1. Dispositif d'émission optique comprenant un composant intégré comportant une section laser (1, 12) pour fournir une onde laser à une section de modulation (2), ladite section laser (1, 12) comprenant au moins une section oscillateur (1), caractérisé en ce que ledit dispositif comprend un circuit électronique (5, 6, 7, 11) pour ajuster un courant électrique (Il, I2) injecté dans la section laser10 (1, 12) en réponse à la mesure (VDC1) de l'amplitude de la modulation de la tension (V1) entre les bornes de ladite section oscillateur (1). 2. Dispositif d'émission optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit courant ajusté est fourni par une source de courant continu (SCl) appliquant un courant électrique transversal (Il) à ladite section oscillateur (1). 3. Dispositif d'émission optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite section laser (1, 12) comprend une section de contrôle de phase (12) placée entre la section oscillateur (1) et la section de modulation (2), ladite section de contrôle de phase (12) étant de même25 constitution que la section de modulation (2), et en ce que ledit courant ajusté est fourni par une source de courant continu (SC2) appliquant un courant électrique transversal (I2) à ladite section de contrôle de phase (12). 4. Dispositif d'émission optique selon l'une ou l'autre des revendications 2 et 3, caractérisé en ce que le circuit électronique de commande comporte des moyens de mesure (5, 6) de l'amplitude (VDC1) de la modulation de la tension (V1) aux bornes de la section oscillateur (1) et un amplificateur différentiel (11) recevant sur une entrée non-inverseuse (+) une tension de consigne d'asservissement (Ve) et sur une entrée inverseuse (-) ladite mesure (VDc1) d'amplitude de la modulation, ledit amplificateur fournissant en sortie une commande (Cc) de variation en courant. 5. Dispositif d'émission optique selon la revendication 4, caractérisé en ce que le circuit électronique de commande comprend un circuit d'asservissement (7) comprenant une unité de traitement (UT) apte à fournir en sortie ladite tension de consigne d'asservissement (Ve) et à relever des10 mesures de la modulation d'amplitude de la tension (Vl) aux bornes de la section oscillateur 1, un commutateur (COM) étant prévu pour appliquer sélectivement ladite mesure (VDC1) d'amplitude de modulation sur une première voie (A) vers ladite unité de traitement (UT) en mode de calibration. 6. Dispositif d'émission optique selon la revendication 5, caractérisé en ce que le circuit d'asservissement (7) comprend un registre de données configurable (9) pour fournir la valeur maximale de l'amplitude de la variation de20 fréquence adiabatique du composant intégré en mode de calibration. 7. Dispositif d'émission selon la revendication 6, caractérisé en ce que dans un mode automatique, la mesure d'amplitude (VDc1) est appliquée sur l'entrée inverseuse de l'amplificateur différentiel (11) par une deuxième voie (B) du commutateur (COM), le registre de donnée (9) contenant alors la valeur désirée de l'amplitude de la variation de fréquence adiabatique.30