FR 2769450 A1 19990409 FR 9712340 A 19971003 DISPOSITIF PHOTOSENSIBLE A COUPLAGE ET ACCUMULATION DE CHARGES ET LIDAR INCORPORANT UN TEL DISPOSITIF La présente invention a pour objet un dispositif photosensible à couplage et accumulation de charges électri- ques, permettant d'analyser un signal lumineux. Elle trouve une application particulièrement importante, bien que non exclusive, dans les appareils dits "lidarsn permettant de lo mesurer la distance d'obstacles ou de milieux sur lesquels on provoque la rétrodiffusion ou la réflexion d'impulsions lumineuses brèves. De tels lidars sont notamment utilisés pour déterminer l'altitude et la position des nuages à partir de mesure de temps de vol d'impulsions laser rétro- diffusées par la surface des nuages. Un type particulier de lidar, dit "lidar vent", permet de mesurer la vitesse moyenne du vent dans des tranches d'altitude, en utilisant le décalage de longueur d'onde provoqué par l'effet Doppler. On a déjà proposé (demande de brevet FR 95 07349) un dispositif photosensible à couplage et stockage de charges permettant d'analyser un signal lumineux, incorporant un photodétecteur matriciel. Ce détecteur, dit CCD, présente de nombreux avantages, surtout lorsqu'une sensibilité élevée est requise. Les détecteurs CCD peuvent être réalisés de façon à avoir une efficacité quantique élevée depuis l'ultraviolet jusqu'au proche infrarouge; ils permettent de regrouper sur une même puce des fonctions d'intégration de charges et de stockage analogique. Ils permettent de transférer des charges à haute fréquence. Leur bruit de lecture est faible. Le dispositif à couplage de charges suivant la demande FR 95 07349 déjà mentionnée comprend une zone image consti- tuée par une matrice à N colonnes de sites photosensibles recevant le signal lumineux, une zone mémoire constituée par une matrice de N colonnes de sites non photosensibles dont chaque ligne reçoit les charges apparues dans la zone image pendant une durée d'acquisition (qui dans le cas de l'utili- sation dans un lidar correspondra à une fenêtre temporelle d'échantillonnage du signal rétrodiffusé à partir d'une impulsion laser) et un registre de lecture de N sites qui reçoit les charges stockées dans les lignes de la zone mémoire, chacune à son tour. A la frontière entre la zone image et la zone mémoire le dispositif présente une zone d'intégration constituée par une ligne de N sites dans lesquels on accumule, colonne par colonne, les charges collectées dans la zone image pendant la durée d'acquisi- tion. Le nombre de lignes de la zone mémoire correspond au nombre de fenêtres temporelles d'échantillonnage dans le cas d'un lidar. Le registre de lecture est lu à la cadence des tirs laser dans le cas d'un lidar, c'est-à-dire à interval- les correspondant au moins à une durée d'observation de la rétrodiffusion. Dans le cas d'un lidar vent, le dispositif est associé à un spectromètre permettant d'associer chaque colonne de la zone image à un décalage spectral, et donc à une vitesse, différente. Un tel dispositif permet d'abaisser la fréquence de lecture à une lecture par tir dans le cas d'un lidar. Mais il nécessite, pour beaucoup d'applications o l'intensité de la lumière rétrodiffusée est très faible, un détecteur CCD ayant un élément d'intensification, telle qu'une galette de micro-canaux, lui permettant de travailler en comptage de photons. En effet, un dispositif à couplage de charge nu présenterait un bruit de lecture élevé, susceptible de dégrader la mesure dans le cas d'une lecture à l'issue de chaque durée d'observation, notamment d'un lidar o la lec- ture est alors à chaque tir. La présente invention vise à permettre une accumulation des charges de façon analogique, dans des moyens à couplage de charge, permettant de ne lire le dispositif qu'à des intervalles correspondant à plusieurs durées d'observation, donc de plusieurs tirs successifs dans le cas d'un lidar. Dans ce but, l'invention propose un dispositif photosen- sible à couplage et accumulation de charges, permettant d'analyser un signal lumineux, comprenant: - une zone image constituée par une matrice de M lignes et N colonnes de sites photosensibles, destinés à recevoir le signal lumineux, - une première zone mémoire constituée par une matrice l0 de P lignes et N colonnes de sites non photosensibles, destinée à recevoir dans une première ligne d'intégration la somme des charges acquises dans une zone d'intégration, à l'issue de chacune de périodes d'acquisition successives, - un registre de lecture ayant une seule ligne de N sites, destinée à recevoir en parallèle les charges stockées dans la dernière ligne de la zone mémoire, - une seconde zone mémoire, ou mémoire auxiliaire, à P lignes de N sites, destinée à recevoir le contenu de la première zone mémoire précedemment à chacune des périodes d'acquisition. On peut ainsi réaliser en particulier un rebouclage sur la zone image ou la première zone mémoire, permettant d'accumuler dans chaque ligne de la première zone mémoire les charges provenant de plusieurs sommations successives. Le dispositif comprend de plus des moyens de cadencement permettant: - à l'issue de chaque durée d'acquisition, de transférer à vitesse élevée les charges apparues dans tous les sites des colonnes de la zone image le long des colonnes vers des sites respectifs de la ligne d'intégration, et - pendant chaque période d'observation, de transfé- rer les charges accumulées dans chaque site de la zone d'intégration pas à pas, à la cadence des acquisitions, le long des colonnes de la zone mémoire, vers le registre de lecture. La seconde zone mémoire est en général identique à la première zone mémoire. L'invention est susceptible de nombreux modes de réalisation. Dans un premier cas, le registre de lecture comporte au moins N sites supplémentaires vers lesquels sont transférées les charges provenant de la dernière ligne de la première zone mémoire en vue de la réintroduction dans la seconde zone mémoire et la seconde zone mémoire est prévue pour permettre le transfert série des charges accumulées qu'elle contient vers une zone d'intégration. Dans cette zone seront accumulées, à l'issue de chaque durée d'acquisition, les contenus des lignes correspondantes de la seconde zone mémoire et de la zone image. La zone d'intégration peut être constituée par un registre à décalage d'au moins 2N sites, ayant N sites recevant en parallèle le contenu de la dernière ligne de la seconde zone mémoire et N sites capables de faire la sommation des charges qu'ils contien- nent des charges transférées de la zone image. Dans un deuxième cas, la seconde zone mémoire est prévue de façon que les charges contenues dans chaque ligne de cette seconde zone mémoire et qui proviennent des lignes correspondantes de la première zone mémoire, puissent être transférées dans les lignes correspondantes de la zone image avant chaque période d'observation. Les moyens de cadencement peuvent avoir une constitution similaire à celle décrite dans la demande de brevet FR 95 07349 à laquelle on pourra se reporter. Il est seulement nécessaire de prévoir un cadencement ayant des sorties supplémentaires de commande des transferts vers la seconde mémoire auxiliaire et à partir d'elle. Chacune des architectures ci-dessus permet d'utiliser, dans la zone image, un dispositif à couplage de charges nu, plus simple qu'un dispositif à intensificateur de lumière, ainsi que de détecter aux longueurs d'onde o les intensi- ficateurs de lumière sont peu efficaces, notamment dans le proche infrarouge. Les caractéristiques ci-dessus ainsi que d'autres apparaîtront mieux à la lecture de la description qui suit de modes particuliers de réalisation, donnés à titre d'exemples non limitatifs. La description se réfère aux dessins qui l'accompagnent, dans lesquels: - la figure 1 est un schéma de principe d'un lidar vent conforme à un mode de réalisation de l'invention; - la figure 2 est une vue schématique en plan d'un dispositif photosensible selon un premier mode de réalisa- tion de l'invention; - la figure 3, similaire à la figure 2, montre une variante de réalisation. Le lidar est schématisé sur la figure 1. Il comprend une source 10 d'impulsions lumineuses brèves (typiquement 20 à 30 ns), généralement constituée par un laser à grenat. Le flux lumineux rétrodiffusé, qui présente un décalage de longueur d'onde ÈX proportionnel à la vitesse de l'obstacle ou du milieu donnant lieu à rétrodiffusion, est recueilli par une optique télescopique 12 qui fournit un faisceau parallèle à un filtre interférentiel 16, qui peut notamment être un interféromètre de Fizeau. Cet interféromètre a pour fonction de générer une frange linéaire dont la position est décalée, par rapport à un plan médian, en fonction du décalage spectral bl. Une optique de sortie 18 forme l'imagede la ou des franges de sortie de l'interféromètre sur la zone image d'un détecteur CCD 14. Un cadenceur 40 commande le laser 10 et un générateur 42 des signaux nécessaires au transfert de charges dans le détecteur CCD. Le dispositif photosensible 14 dont la constitution est montrée en figure 2 comporte une zone image 20 ayant une matrice de M lignes et N colonnes de sites photosensibles. La zone image est suivie, dans le sens f0 de transfert des charges en parallèle, d'une zone d'intégration 22 constituée par une seule ligne de sites. non photosensibles (par exemple masqués) Toujours dans le sens du transfert des charges en parallèle, la zone d'intégration 22 est suivie d'une première zone mémoire 24, constituée par une matrice de P lignes et N colonnes de sites non photosensibles et d'un registre de lecture 26 à entrées parallèles et à sortie série dans le sens indiqué par la flèche fil Le dispositif de la figure 2 comprend une seconde zone mémoire 28 ayant également une matrice de P lignes et N colonnes de sites non photosensibles. Le registre de lecture 26 comporte au moins 2N sites. Les N premiers sites sont disposés de façon à recevoir en parallèle les charges transférées de la première zone mémoire, ligne par ligne. Les N derniers sites sont placés de façon à transférer en parallèle les charges qu'ils contiennent dans la première ligne (ligne inférieure sur la figure 2) de la seconde mémoire 28, comme indiqué par la flèche f2. Le registre 26 peut également être vidé en série sur un étage de sortie 30. La zone d'intégration 22 est prévue pour recevoir, ligne par ligne, le contenu de la seconde zone mémoire 28 et accumuler, dans le site appartenant à une colonne donnée, les charges provenant du site correspondant de la colonne correspondante de la seconde mémoire 28 et l'ensemble des charges piégées dans une colonne de la zone image 20 au cours d'une durée d'acquisition. Pour cela, la zone d'intégration 22 est constituée des N derniers sites d'un registre à décalage à au moins 2N sites. les N premiers sites constituent un tampon 32 dans lequel le contenu de la seconde mémoire 28 est transféré en parallèle, ligne par ligne, comme indiqué par la flèche f3' Les caractéristiques suivantes peuvent être considérées comme représentatives, dans le cas d'un lidar vent ayant un laser fournissant des impulsions de 20 ns et ayant une durée d'acquisition de 8 us: Détecteur monolithique sur silicium, avec masquage par un dépôt d'aluminium ou un masque séparé, et sites carrés de tin de côté - M = N = 16 pixels - P = 10 pixels - Registre de 2N + 1 = 33 sites - Etage de sortie 30 à gain de 10 wuV/e La frange d'interférence a une position décalée de l'axe d'une distance bx proportionnelle à ÈX, avec une répartition énergétique qui peut la conduire à recouvrir plusieurs colonnes. Une localisation avec une précision meilleure qu'un pixel (largeur d'un site) peut être obtenue par calcul de barycentre. Le fonctionnement pendant le première période d'obser- vation est le même que celui décrit dans la demande FR 95 07349 mais la lecture ne s'effectue qu'au bout d'un nombre élevé de durées d'observation, typiquement de 100 à 2000. La séquence est la suivante: (1) Les lignes de la zone image 20 sont accumulées à cadence élevée dans le registre 22 à l'issue de chaque durée d'acquisition, sous l'action de signaux de décalage 40. (2) Pendant la durée d'acquisition suivante, les charges sont transférées du registre 22 dans la première ligne de la première zone mémoire 24, dans laquelle on décale les lignes en bloc. Cette opération est répétée jusqu'à ce que les P lignes de la première mémoire contiennent les résultats correspondant à P échantillons tempo- rels successifs (signaux 1). (3) A la fin de cette première phase d'observation, le contenu complet de la première zone mémoire 24 est transféré dans la seconde zone mémoire 32 par l'intermédiaire du registre 26 (signaux 1' $2 et *3) (4) Avant que ne commence une seconde période d'ob- servation, les charges contenues dans la dernière ligne de la zone mémoire 28 sont chargées dans les sites 32 du second registre, puis translatés sous la zone image 20. A l'issue de la première période d'acquisition d'une même période d'obser- vation, les charges collectées sont ajoutées à celles du tir précédent lors du transfert de l'image dans les sites 22 du registre à décalage. Cette opération est réalisée pour les P échantil- lons temporels, chaque fois en transférant le contenu d'une ligne de la seconde zone mémoire 28 dans les sites 22. (5) Les phases (3), (4) et (5) sont répétées. (6) Après accumulation du nombre d'observations voulu, les charges sont lues par l'intermédiaire de l'étage de sortie du registre 26. La figure 3, o les organes correspondant à ceux de la figure 2 portent le même numéro de référence, décrit le second mode de réalisation. Le détecteur est constitué d'une zone image 20 encadrée par la première zone mémoire 24 et la seconde zone mémoire 26. Une zone d'intégration 22 est prévue dans la mémoire 24. Elle peut appartenir à cette mémoire ou être constituée par un élément supplémentaire. En aval de la première zone mémoire 24, dans le sens de circulation des charges lors de l'observation, est prévu un registre de lecture 26 relié à l'étage de sortie 30. Le registre de lecture peut aussi bien être placé en 44 de façon à recevoir le contenu de la seconde zone mémoire 28. Deux registres peuvent être prévus, l'un pour la lecture, l'autre pour l'évacuation de charges parasites. Ce dernier registre peut être remplacé par un drain de purge. Le mode de réalisation de la figure 3 est plus simple que celui de la figure 2 en ce qui concerne la structure du détecteur. Mais en contrepartie, il exige que la zone image et les zones mémoire puissent être contrôlées indépendamment et de façon bidirectionnelle, afin de permettre la lecture. Dans le mode de réalisation de la figure 3, la séquence de fonctionnement peut être la suivante: (1) Toutes les lignes de la zone image 20 sont accumulées dans la première ligne de la zone mémoire 24 à l'issue de la première période d'acquisition. (2) Au cours de l'acquisition suivante, les charges sont transférées de la première à la seconde ligne de la zone mémoire 24 par décalage en bloc. (3) Les opérations sont répétées jusqu'au chargement complet des P lignes de la première mémoire 24, correspondant à P échantillonnages temporels. (4) A la fin de cette première observation, la totalité du contenu de la première zone mémoire 24 est transférée dans la seconde zone mémoire 28. Cette opération s'effectue en traversant la zone image 20 (flèche ff sur la figure 3). (5) Enfin la séquence ci-dessus est répétée pendant le nombre d'observations prévu. Dans l'application de l'invention à la constitution d'un lidar, les moyens de cadencement sont prévus pour provoquer l'accumulation de charges pendant des périodes d'acquisition successives correspondant à des temps d'aller-retour de la lumière différents et pour provoquer les observations successives à la cadence d'émission d'impulsions par la source. Le dispositif peut comporter une source d'impulsions lumineuses courtes, sensiblement monochromatique, permettant l'accumulation de plusieurs images successives en effectuant un transfert ligne à ligne de la zone image 20 à la zone mémoire 24; cette source peut notamment être du genre décrit dans le document FR-A- 2 602 057 (brevet nO 86 10621). no REVENDICATIONS 1. Dispositif photosensible à couplage et accumulation de charges, permettant d'analyser un signal lumineux, comprenant: - une zone image (20) constituée par une matrice de M lignes et N colonnes de sites photosensibles, destinée à recevoir le signal lumineux, - une première zone mémoire (24) constituée par une matrice de P lignes et N colonnes de sites non photosensi- bles, destinée à recevoir dans une première ligne la somme des charges dans les colonnes de la zone image, à l'issue de chacune de périodes d'acquisition successives, - un registre de lecture (26) ayant une seule ligne de N sites, destinée à recevoir en parallèle les charges stockées dans la dernière ligne de la première zone mémoire (24), - une seconde zone mémoire (28), à P lignes et N colonnes, destinée à recevoir en parallèle les charges admises au registre de lecture (26) et à effectuer un rebou- clage sur la zone image (20) ou la première zone mémoire (24), permettant d'accumuler dans chaque ligne de la première zone (24) mémoire les charges provenant de plu- sieurs sommations successives, et - des moyens de cadencement permettant: - à l'issue de chaque durée d'acquisition, de transférer à vitesse élevée les charges apparues dans tous les sites des colonnes de la zone image le long des colonnes vers des sites respectifs de la ligne d'intégration pour les accumuler, et - pendant chaque période d'observation, de transfé- rer les charges accumulées dans chaque site de la zone d'intégration pas à pas, à la cadence des acquisitions, le long des colonnes de la zone mémoire, vers le registre de lecture. 2. Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé en ce que le registre de lecture comporte au moins N sites supplémentaires vers lesquels sont transférées les charges provenant de la dernière ligne de la première zone mémoire s (24) en vue de l'introduction dans la seconde zone mémoire (28) et la seconde zone mémoire (28) est prévue pour permet- tre le transfert série des charges accumulées qu'elle contient vers une zone d'intégration précédant la première zone mémoire ou en faisant partie. l0 3. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que la zone d'intégration est prévue pour y accumuler, à l'issue de chaque durée d'acquisition, les contenus des lignes correspondantes de la seconde zone mémoire. 4. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que ladite zone d'intégration (22) est constituée par N sites d'un registre à décalage dont N autres sites (32) constituent un tampon de transfert depuis la seconde mémoire. 5. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que la seconde zone mémoire (28) est prévue de façon que le charges contenues dans chaque ligne de cette seconde zone mémoire (28) et qui proviennent des lignes correspondantes de la première zone mémoire (24) soient transférées dans les lignes correspondantes de la zone image (20) avant chaque période d'observation. 6. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le dispositif à couplage de charges n'est pas associé à un intensificateur optique. 7. Lidar comprenant: - une source impulsionnelle de lumière, - un dispositif suivant l'une quelconque des revendications précédentes, placé pour recevoir la lumière réfléchie ou rétrodiffusée sur des obstacles ou milieux, dans lequel les moyens de cadencement sont prévus pour provoquer l'accumulation de charges pendant des périodes d'acquisition successives correspondent à des temps d'aller- retour de la lumière différents et pour provoquer des observations successives à la cadence d'émission d'impul- sions par la source. 8. Lidar vent selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il comporte un interféromètre agencé pour diriger vers différentes colonnes de la zone image des composantes spectrales de longueur d'onde différentes. 9. Lidar comprenant une source impulsionnelle de lumière et un dispositif selon la revendication 1, en ce que les moyens de cadencement sont prévus pour commander le trans- fert ligne à ligne de la zone image (20) à la première zone mémoire (24).