FR 2760076 A1 19980828 FR 9702084 A 19970221 DISPOSITIF DE REFROIDISSEMENT CRYOGENIQUE A OSCILLATEUR DE PRESSION A DOUBLE EFFET La présente invention a pour objet un dispositif de refroidissement destiné notamment au refroidissement à température cryogénique des composants électroniques pendant leur fonctionnement, du type propre à mettre en oeuvre un cycle thermodynamique impliquant périodiquement des phases alternatives de compression et de détente d'un gaz de travail dans un circuit fermé passant par un échangeur froid en situation d'échange thermique avec un composant à refroidir et par un échangeur chaud de réjection thermique vers l'extérieur. Elle se rapporte plus particulièrement aux moyens oscillateurs de pression qui assurent la compression périodique du gaz de travail. L' invention trouvera avantageusement application dans tous les équipements utilisant des composants électroniques qui voient leurs performances améliorées quand ils sont maintenus à température cryogénique, comprise en général entre 80 "K et 200 OK. Parmi ces composants, on peut citer plus particulièrement les composants à base de matériaux supraconducteurs à température critique élevée, ainsi que les composants magnétoélectriques, pour lesquels les basses températures allongent le temps de relaxation magnétique. En pratique, l'invention s'intègre dans la course actuelle vers des performances toujours meilleures pour des dimensions toujours plus réduites en miniaturisation. Elle vise notamment une construction sous forme extrêmement compacte, et néanmoins solide, fiable pour de longues durées d'utilisation, et autorisant des fabrications en série à prix compétitif. Elle vise aussi à éviter la présence de valves et autres pièces mécaniques mobiles et à supprimer les volumes morts favorables à une stagnation polluante du gaz, ce qui va dans le sens d'une meilleure qualité en fiabilité de construction et fonctionnement et en longévité. Pour trouver des explications sur les refroidisseurs cryogéniques connus à ce jour, on pourra se référer utilement à un article de Damien Feger intitulé "Refroidissement des détecteurs optoélectroniques" paru dans "Techniques de l'ingénieur, traité Electronique" pages E4070-l à 11. Cet article restant souvent au niveau des principes, on pourra avoir intérêt à se reporter en plus à des réalisations concrètes décrites dans des textes de brevets déposés par la société demanderesse dont le contenu est accessible au public. En s'attachant surtout aux cycles de Stirling et aux cycles qui en sont dérivés tels que les cycles à tube de gaz pulsé, on rappellera simplement ici que dans les dispositifs de refroidissement du genre considéré, le circuit de gaz de travail traverse aussi un échangeur de récupération thermique entre gaz froid détendu et gaz chaud comprimé. Celui-ci est généralement constitué par un conduit tubulaire dit régénérateur, qui est rempli d'un matériau faisant office d'éponge thermique pour assurer une récupération différée dans le temps ; alternativement, il retient de la chaleur du gaz résultant de la phase de compression en l'accumulant, et il la restitue ensuite au gaz issu de la phase de détente. Le régénérateur est classiquement réalisé sous forme d'un tube allongé à une extrémité duquel se situe la zone froide en contact thermique avec le composant à refroidir. La présence d'un tel régénérateur étant générale des refroidisseurs connus à cycle de Stirling, la solution des refroidisseurs à tube de gaz pulsé consiste essentiellement à remplacer le régénérateur déplaceur (alors monté mobile à coulissement dans un doigt froid) par un échangeur régénérateur fixe, et à compléter le circuit du gaz de travail par un tube dit de gaz pulsé, ou à pulsations, qui reçoit les impulsions en variation de pression en provenance d'un compresseur oscillateur de pression, par l'intermédiaire d'une liaison pneumatique appropriée. En fonctionnement il s'y instaure une variation dynamique de pression correspondant à celle d'un piston gazeux, grâce à l'introduction d'un déphasage entre variations de pression et variations de débit créé par référence à un réservoir tampon à basse pression dont le volume est constant. En pratique, ce déphasage est assuré grâce à la présence d'une ou deux valves sur le circuit de liaison pneumatique entre le tube à pulsations et d'une part le compresseur générateur des oscillations de pression, d'autre part le réservoir tampon à pression et volume constants. Ces valves sont généralement de simples orifices calibrés, dans le souci d'éviter les pièces mécaniques mobiles, mais leur mise au point est délicate. D'autre part, les besoins de l'industrie ont conduit à construire des dispositifs de refroidissement à température cryogénique intégrant dans un même ensemble mécanique compact, le coeur du refroidisseur proprement dit, avec ses échangeurs, et un compresseur à piston mobile générant les oscillations de pression. Ce compresseur est classiquement disposé du côté de la zone chaude, à l'opposé de la zone froide où se situe le composant à refroidir. Son carter sert fréquemment à diffuser la chaleur libérée à l'échangeur chaud vers l'extérieur. Par rapport à l'art antérieur qui vient d'être rappelé, l'invention consiste essentiellement à remplacer le compresseur classique par un oscillateur de pression à double effet d'un type nouveau, en combinaison avec un arrangement adapté des conduits de gaz de travail dans le refroidisseur. Dans un dispositif de refroidissement cryogénique comportant des moyens oscillateurs de pression pour générer périodiquement des phases alternatives de compression et de détente dans un circuit de gaz de travail thermodynamique associé à un échangeur froid en situation d'échange thermique avec un composant à refroidir et à un échangeur chaud de réjection thermique vers l'extérieur, la présente invention se caractérise principalement en ce que le dispositif comporte deux conduits de gaz de travail opératifs en opposition de phase, qui sont en communication pneumatique avec deux chambres différentes, de volumes complémentaires, séparées l'une de l'autre dans lesdits moyens oscillateurs de pression par un élément flexible associé à des moyens électriques de commande de ses déformations de part et d'autre d'une position de repos où le gaz de travail est en équilibre de pression entre les deux conduits, pour y créer des pulsations périodiques de pression qui sont alternativement en haute pression dans l'un et en basse pression dans l'autre. Dans l'un de ses modes de réalisation préférés, le dispositif suivant l'invention est caractérisé en ce que ledit élément flexible est constitué par une lame rectangulaire encastrée fixe à l'une de ses deux extrémités dans le carter de l'oscillateur, en position médiane d'une cavité délimitant lesdites chambres symétriquement, et mobile en son autre extrémité en contact étanche avec une paroi à profil circulaire de ladite cavité. Suivant un autre mode de réalisation avantageux de l'invention, le dispositif est caractérisé en ce que ledit élément flexible est constitué par une membrane en forme de disque qui est encastrée étanche sur tout son pourtour en position médiane d'une cavité délimitant symétriquement lesdites chambres de volumes complémentaires et qui est déformable par lesdits moyens électriques agissant en son centre. L'oscillateur de pression à double effet ainsi conçu présente des avantages multiples dans le cadre des dispositifs de refroidissement cryogénique. En particulier, il apporte une grande sécurité de fonctionnement pour une faible consommation d'énergie, et il participe en conséquence à l'amélioration du dispositif dans ses performances et son rendement. En outre, il réduit au mieux les volumes morts et les zones de stagnation du gaz de travail qui lui feraient courir un risque de pollution. Conformément à d'autres caractéristiques de l'invention, à mettre en oeuvre séparément ou en toute combinaison techniquement opérante - Les chambres de l'oscillateur sont ménagées dans un carter massif présentant une face plane, qui le rend apte à se fixer contre un couvercle d'un boîtier d'isolation thermique enfermant lesdits conduits et le reste des circuits de gaz de travail ainsi que les échangeurs et le composant à refroidir - Ce carter de l'oscillateur est muni d'ailettes de refroidissement dans une zone en contact thermique avec l'échangeur chaud du refroidisseur par l'intermédiaire dudit couvercle, de manière à contribuer ainsi à la réjection de chaleur vers l'extérieur - Les moyens de commande électriques de l'oscillateur comportent des électrodes fixes d'attraction respectivement d'électrodes opposées portées par l'élément flexible - L'élément flexible est réalisé en un matériau piézorésistif sensible auxdits moyens de commande électriques. Par ailleurs, l'invention se concrétise sous des formes différentes suivant que le refroidisseur auquel l'oscillateur de pression est associé comporte un circuit fermé unique de gaz de travail ou que les deux conduits alimentés par l'oscillateur appartiennent à deux circuits fermés différents et néanmoins couplés dans le même refroidisseur. Elle s'applique de manière particulièrement avantageuse aux dispositifs dont le refroidisseur est construit pour mettre en oeuvre un cycle de Stirling. Elle se prête encore mieux aux cycles à tube de gaz pulsé, car dans ce cas, le dispositif suivant l'invention ne comporte plus ni piston de compresseur, ni piston déplaceur en tant que régénérateur. Ainsi, suivant une caractéristique secondaire de l'invention, lesdits conduits en communication avec respectivement chacune desdites chambres appartiennent à deux circuits de gaz de travail qui sont couplés ensemble dans le même dispositif de refroidissement, au moins l'échangeur froid et l'échangeur chaud leur étant communs. Il s'agit donc notamment de deux tubes à pulsations qui s'étendent en parallèle entre ces deux échangeurs. Ces tubes peuvent avantageusement être ménagés au sein d'un bloc de matériau isolant constituant le coeur du refroidisseur et supportant les échangeurs sur deux faces opposées. De préférence, les deux circuits de gaz de travail sont en outre couplés au niveau d'un échangeur de récu pération assurant un transfert thermique entre les flux de gaz pulsé qui y circulent à contre-courant sous l'effet des impulsions de pression alimentant les tubes à pulsation par son intermédiaire, depuis l'oscillateur de pression. Dans le cas d'un bloc tel que mentionné ci-dessus, une solution avantageuse consiste à former l'échangeur de récupération par des canaux en serpentin creusés parallèles dans une plaque de matériau conducteur thermique recouvrant une face longitudinale du bloc parallèle aux tubes à pulsations. Suivant une autre caractéristique de l'invention, lesdits conduits, qui sont en communication avec respectivement chacune des chambres complémentaires de l'oscillateur, appartiennent à un même circuit de gaz de travail du dispositif de refroidissement, construit pour fonctionner suivant un cycle thermodynamique du type à gaz pulsé, lesdits conduits en opposition de phase constituant respectivement son tube à pulsations et son régénérateur. Dans cette conception, la construction du coeur du refroidisseur sous la forme d'un bloc comme ci-dessus conserve pleinement son intérêt. En particulier, l'invention prévoit de constituer le conduit tubulaire du régénérateur sous forme aplatie au sein d'une plaque plane accolée audit bloc et fixée solidaire de celui-ci. Que l'on retienne la variante à circuit de gaz unique ou celle à deux circuits couplés, parmi les solutions qui viennent d'être définies, on réalise un dispositif à cycle de gaz pulsé qui n'a plus besoin d'un réservoir tampon de gaz ni d'un système déphaseur par valves ou orifices calibrés. Leurs fonctions conjointes sont assurées, en mieux, par l'oscillateur à deux chambres complémentaires alimentant les deux conduits en parallèle, mais en opposition de phase, plus éventuellement un perçage capillaire reliant ces conduits entre eux à l'extrémité opposée à celle de leur alimentation. L'invention sera maintenant plus complètement décrite dans le cadre de ses caractéristiques préférées et de leurs avantages, en faisant référence aux figures des dessins annexés, dans lesquelles, d'une manière non limitative pour l'invention revendiquée - la figure 1 représente schématiquement un dispositif suivant l'invention à deux circuits de gaz de travail couplés, vu en coupe longitudinale au niveau d'un tube à gaz pulsé appartenant à l'un des deux circuits ; - la figure 2 est une coupe schématique de son oscillateur de pression à double effet, considéré en vue de dessus par rapport à la figure 1 - la figure 3 illustre schématiquement une variante de réalisation de cet oscillateur de pression, suivant une vue en coupe horizontale partielle - la figure 4 montre, dans leur apparence extérieure suivant une vue éclatée avant assemblage, les trois modules principaux d'un système de conditionnement thermique et mécanique de composants électroniques intégrant le refroidisseur suivant les figures 1 et 2 et l'oscillateur de pression associé - la figure 5 illustre en perspective la constitution du module passif (refroidisseur) d'un tel système dans le cas d'un seul circuit de gaz de travail - et la figure 6 représente en coupe verticale un autre mode de réalisation suivant l'invention pour le module actif constitué par l'oscillateur de pression. Les figures illustrent un système de conditionnement de composants refroidis à température cryogénique, dans une réalisation particulièrement complète, intégrant dans un même ensemble mécanique, compact et solide, tous les moyens mécaniques et pneumatiques pour assurer - les fonctions d'un refroidisseur cryogénique à cycle thermodynamique mis en oeuvre dans un circuit fermé de gaz de travail au voisinage immédiat d'un composant électronique à refroidir, - celles donc d'un générateur de pression associé, imposant périodiquement détentes et compressions alternatives du gaz de travail dans ce circuit, - celles d'un boîtier de protection formant aussi station d'accueil thermiquement isolante pour le composant et supportant ses connexions électriques avec l'extérieur. Les figures 1 et 2 s'intéressent plus spécialement à un système à deux circuits couplés, où refroidisseur et générateur de pression définissent en réalité deux circuits distincts de gaz de travail, qui opèrent suivant le même cycle thermodynamique de type à gaz pulsé, mais sous des variations de pression qui sont en opposition de phase dans l'un par rapport à l'autre. Les deux circuits se combinent à de multiples niveaux, principalement par une interaction de leurs effets thermiques dans le refroidisseur et par leurs liaisons respectives à un même oscillateur générateur des variations de pression, qui est à double effet, mais aussi au niveau des échangeurs de chaleur avec d'une part le composant à refroidir, d'autre part avec l'extérieur en réjection de chaleur, plus le boîtier qui leur est commun. Les deux circuits sont identiques dans leur définition hors fonctionnement, et ménagés parallèlement entre eux. Leurs différentes parties seront référencées par les mêmes chiffres, suivis de la lettre a ou b respectivement. Ils se placent l'un derrière l'autre dans la disposition de la coupe de la figure 1, sauf qu'ils se croisent au passage entre le refroidisseur et l'oscillateur. Dans la conception mécanique de l'ensemble, on distingue - un module dit passif 10, qui constitue le refroidisseur proprement dit, - un module dit actif 20, qui comporte l'oscillateur de pression intégré, - et un module d'encapsulation 30, qui forme simultanément un boîtier d'isolation thermique étanche au vide pour le refroidisseur avec ses échangeurs et une station d'accueil pour le composant à refroidir. Dans le module passif 10, le coeur du refroidisseur est essentiellement formé par un bloc parallélépipédique il, constitué en un matériau massif à bonnes propriétés d'isolation thermique. On peut utiliser à cette fin du verre tel le Pyrex ou une matière céramique. Deux tubes borgnes la et lb sont creusés dans ce bloc 11. Ils appartiennent respectivement à chacun des circuits de gaz de travail, seul le tube la étant visible sur la coupe de la figure 1. Du côté fermé, ils sont néanmoins en communication pneumatique par un perçage capillaire 61 qui les relie l'un à l'autre à travers le bloc 11. En fonctionnement, chacun des tubes constitue le tube à pulsations de son propre circuit, en transmettant d'un bout à l'autre les ondes de pression générées depuis l'oscillateur, suivant le mode de fonctionnement d'un piston gazeux dans un cycle thermodynamique du type à gaz pulsé. Comme il se doit d'une construction miniaturisée pour la mise en oeuvre d'un tel cycle, le refroidisseur intègre avec lui deux échangeurs, l'un 14 dans la zone chaude, du côté gauche sur les figures, l'autre 16 du côté droit dans la zone froide. Ces deux échangeurs sont communs aux deux circuits de gaz de travail. Réalisés en un matériau à forte conductivité thermique, ils recouvrent respectivement les deux faces latérales opposées du bloc 11 aux extrémités des tubes à pulsations. Dans la réalisation pratique illustrée (figure), chacun de ces échangeurs est en forme d'une structure plate pliée en équerre autour d'une arête du bloc 11. Ainsi, la structure en équerre formant l'échangeur froid 16 s'étend de la face latérale droite du bloc 11 à la partie droite de sa face inférieure. Le composant à refroidir 40 est fixé en contact thermique dessus, de préférence par collage. A l'opposé, la structure en équerre 14 formant échangeur chaud enveloppe le bloc sur sa partie gauche, en recouvrant à la fois une fraction de sa face supérieure et la totalité de sa face latérale. En dessous du bloc 11, l'échangeur froid 16 est directement en contact thermique avec le composant à refroidir 40. Naturellement, il pourrait s'agir de plusieurs composants d'un même circuit électronique. Un matériau particulièrement bien adapté pour constituer cet échangeur est le silicium monocristallin d'orientation (110). Ce support conducteur peut en outre être percé de canaux micro usinés améliorant les conditions d'échange thermique. I1 en est ainsi dans l'exemple décrit pour sa zone d'interface avec le bloc 11 qui se situe contre la section d'extrémité des tubes à pulsations la et lb. Quant à l'échangeur chaud 14, il a pour rôle, comme il est classique, d'assurer la réjection de chaleur vers l'extérieur. I1 est complété en cela par une plaque plane 15, réalisée en un matériau fortement conducteur thermique, qui est rapportée scellée sur sa partie surmontant le bloc 11 et qui la prolonge au-delà, à l'écart de la face supérieure du bloc 11 dans toute sa partie droite. Le module passif 10 de la figure 1 comporte en plus un troisième échangeur 13, en partie supérieure du bloc 11. Sa fonction première est d'assurer un transfert thermique entre gaz chaud comprimé et gaz froid détendu. Dans la mesure où le système comporte deux circuits de gaz de travail couplés pour fonctionner en interaction, cet échangeur de récupération est à effet exclusivement récupératif, et il ne contient donc pas de matériau régénérateur. C'est un échangeur à contre-courant entre deux conduits parallèles, tels 6a, par lesquels les flux de gaz alimentant les deux tubes à pulsations sont guidés en écoulement laminaire suivant des trajets en serpentin. I1 se présente sous la forme d'une plaque plane en trois couches de matériau conducteur, qui est accolée fixe sur la face supérieure du bloc 11. Les conduits en serpentin y sont ménagés, l'un au dessus de l'autre, depuis une entrée à partir de l'oscillateur 20 située du côté chaud jusqu'à une sortie vers le tube à pulsations la (ou lb) du côté froid. De la sorte, l'échange thermique à travers la couche de séparation entre les deux conduits se déroule à contrecourant du fait que dans le même temps, les deux flux de gaz s'y déplacent localement sous l'effet des impulsions de pression qu'ils reçoivent en opposition de phase depuis l'oscillateur du dispositif de refroidissement suivant l'invention. Comme on peut le constater sur les figures, notamment sur les figures 1 et 4, et comme on l'a déjà indiqué, le coeur du refroidisseur, solidaire des échangeurs formant avec lui le module passif 10, et portant le composant 40 collé sur sa face inférieure, est monté à l'intérieur du module d'encapsulation 30. Ce dernier forme un boîtier étanche qui est fermé par un couvercle constitué par la plaque 15 de réjection de chaleur. La paroi formant son fond 32 (figure 1) supporte un circuit imprimé 33 qui assure les connexions électriques entre le composant 40 et des pattes de sortie 34, par l'intermédiaire de traversées isolantes étanches 36. Il est schématiquement illustré qu'à l'extérieur de l'ensemble, les pattes 34 se branchent sur un circuit imprimé 35 d'alimentation du composant 40 et d'exploitation des signaux électroniques qu'il fournit. Du côté à droite sur les figures 1 et 2, des orifices et canaux 2a et 2b sont délimités dans la structure de l'échangeur froid 16, plus exactement ici à son interface avec le bloc principal 11, de manière à assurer la communication entre chacune des extrémités largement ouvertes des tubes la et lb respectivement et l'extrémité droite de l'échangeur à contre-courant 13. A l'extrémité gauche du même échangeur (côté chaud), on trouve des orifices 3a et 3b respectivement, qui sont percés de lui à travers la plaque couvercle 15 jusqu'à l'oscillateur de pression 20. Ce module actif 20, générant les pulsations de pression, est monté sur la plaque 15 comme il est montré sur les figures 1, 2 et 4. Il est constitué par une masse de matériau conducteur thermique, globalement de forme parallélépipédique, qui vient s'appliquer sur la face supérieure du module passif encapsulé. Toutefois, il s'étend en débord du boîtier 30 du côté chaud du refroidisseur, et il est échancré en cet endroit pour former des ailettes 22 qui contribuent efficacement à l'évacuation de chaleur vers l'extérieur. La masse 21 enferme une cavité étanche 23, laquelle contient un élément flexible qui la divise en deux chambres de volume variable en complément l'une de l'autre, de part et d'autre d'une position médiane de repos dudit élément où elles sont en équilibre de pression. Les deux chambres 4a et 4b appartiennent respectivement à chacun des circuits de gaz de travail. Pour cela, la paroi inférieure du module est percée de deux orifices 5a et 5b qui se placent exactement en correspondance avec les orifices homologues 3a-3b de la plaque 15. Dans le mode de réalisation représenté sur les figures 1 à 4, l'élément flexible qui sépare les deux chambres complémentaires est constitué par une lame pivotante 26. Il s'agit d'une lame rectangulaire qui est encastrée étanche dans la masse 21 à l'une de ses extrémités, en 27 à droite sur la figure 2. Son autre extrémité est libre ; au cours des déformations de la lame, elle glisse en contact sur la paroi interne opposée de la cavité 23, qui est courbe à cet effet. De part et d'autre de sa position médiane de repos, la lame 26 va jusqu'à des positions extrêmes symétriques où elle s'applique contre la paroi de la cavité 23. Une forme adaptée de cette paroi réduit la chambre correspondante à un volume nul au maximum de pression dans son circuit. En pratique, le jeu fonctionnel sur les trois tranches libres de la lame est de l'ordre de 50 microns. A la lame 26 il est associé des moyens de commande électriques qui lui impriment un mouvement de déformation périodique, alternativement de part et d'autre du plan médian de la cavité 23. Ces moyens sont illustrés sur la figure 2 par deux couples d'électrodes. Chaque couple comportant une électrode 27a-27b solidaire de la lame 26 qui est portée à la tension de référence, et une électrode en regard 28a-28b dans la paroi de la cavité 23. Les électrodes externes de chaque couple, 28a et 28b, sont soumises à des tensions périodiques opposées, qui combinent leurs effets en attraction et répulsion de la lame 26. On a fait apparaître schématiquement sur la figure 2, des fils 24 et 29 d'alimentation électrique des électrodes. Un circuit de commande non représenté assure la régulation et l'entretien des déformations de la lame 26 ; il est fixé plaqué sur le carter de l'oscillateur. Sur la figure 2, les électrodes externes apparaissent en volume dans la masse du carter de l'oscillateur, mais elles sont de préférence réalisées par de simples revêtements conducteurs déposés sur la surface des parois de la cavité 23, et alimentés comme les électrodes internes depuis la face droite de l'oscillateur. Tout en restant dans le cadre de la présente invention, le mode de commande des déformations de l'élément flexible générant les oscillations de pression peut se concrétiser sous différentes variantes. En particulier on peut utiliser une lame rectangulaire en matériau piézorésistif multi-couches dans laquelle sont enchâssées deux électrodes en Kovar, les contacts électriques étant procurés par des dépôts métalliques au niveau de son encastrement dans le carter de l'oscillateur. Dans la variante de la figure 3, l'oscillateur de pression du module passif 10 est également du type comportant une cavité 23 à section triangulaire et une lame rectangulaire 26 qui pivote dans la cavité 23 autour de son extrémité à droite sur la figure. Par contre, le carter de l'oscillateur est réalisé en deux parties qui sont assemblées l'une à l'autre par soudage ou collage. Il s'agit, d'une part, d'une plaque rectangulaire 64 qui vient s'assembler, comme ci-dessus, sur la plaque 15 du module passif 10 qui forme le couvercle du module d'encapsulation 30 (figure 4), d'autre part d'une masse 65, constituant un carter à paroi épaisse autour de la cavité triangulaire 23. Les ailettes de refroidissement 22 sont formées dans la partie gauche de la masse 65 qui se place en débord de la plaque 15. On a fait également apparaître sur la figure 3 les orifices des canaux 5a et 5b, qui débouchent dans les chambres complémentaires, 4a et 4b, que la lame 26 sépare dans la cavité 23. Ils mettent ces chambres respectivement en communication avec les circuits d'alimentation des tubes à pulsations la et lb, par l'intermédiaire de l'échangeur de récupération surmontant le bloc 11 (figure 4). La lame 26 est constituée en un matériau piézorésistif multi-couche formant, sur les deux faces opposées de la lame encadrant l'âme centrale 86, des revêtements électriquement conducteurs. Ces derniers constituent les électrodes de commande qui sont excitées, à partir d'une source extérieure, en passant par des jonctions électriques de type verre/métal ou céramique/métal qui sont illustrées en 62 et 63. Le carter 21 ou 65 du module dit actif, celui de l'oscillateur de pression, est par exemple en alumine, matériau à bonne conduction thermique et à grande résistance électrique. Il est métallisé sur sa face inférieure pour être scellé par soudure sur la plaque 15. A titre d'exemple, un système de conditionnement tel que décrit et illustré par les figures peut être réalisé, en vue d'une puissance frigorifique de 100 mW à 180 OK pour une température ambiante de 30 OC, sous des dimensions de 35 mm par 25 mm par 25 mm, avec un boîtier en céramique présentant une épaisseur de parois de 1,5 à 2 millimètres, et un oscillateur assurant des impulsions de pression à une excursion maximale de 20 % par rapport à une pression de chargement de 2 bars. Suivant un autre mode de mise en oeuvre de l'invention, l'élément flexible interne à l'oscillateur de pression est constitué, en lieu et place de la lame 26, par un disque circulaire qui est élastiquement extensible pour être déformé par son centre et qui est encastré étanche sur tout son pourtour dans la paroi de la cavité 23, laquelle est alors de section circulaire, du moins en cet endroit, c'est-à-dire dans son plan médian vertical si les canaux de communication avec le refroidisseur restent dans les mêmes positions. En variante du mode de réalisation de l'invention décrit ci-dessus dans le cadre d'un cycle purement récupératif, on rappellera que l'échangeur 13 peut être remplacé par un dispositif de transfert thermique différé entre gaz froid détendu et gaz chaud comprimé, impliquant de remplir les conduits de gaz d'un matériau emmagasinant l'énergie thermique pour la restituer ensuite au cours des phases du cycle. Le conduit appartenant à chaque circuit joue alors le rôle d'un tube régénérateur, se connectant en série avec le tube à pulsations correspondant entre des canaux de communication avec la chambre associée de l'oscillateur de pression. Si nécessaire, les différents canaux peuvent être calibrés dans la section de passage qu'ils offrent au gaz de travail. La figure 5 des dessins annexés illustre un autre mode de réalisation du dispositif conforme à l'invention, suivant lequel l'oscillateur tel que déjà d un tube à pulsations en série avec un conduit de dispositif de récupération thermique de type régénératif. Le coeur du refroidisseur comporte un tube à pulsations unique 51, creusé longitudinalement dans le bloc principal 11. La structure générale du module passif est construite comme ci-dessus. Le tube 51 débouche à l'interface avec l'échangeur froid 16, dans une zone où sa matière est micro-usinée pour augmenter sa surface spécifique en communication avec un canal vertical 52. Du côté opposé, on voit l'échangeur chaud 14, qui est ici formé d'une seule pièce avec la plaque 53 du dispositif de récupération surmontant le bloc 11. Contrairement au cas précédent, le tube 51 débouche également, du côté gauche du bloc 11 (zone chaude), dans un canal 54 qui ferme le circuit de gaz par communication avec l'une des chambres de l'oscillateur de pression (chambre 4b de la figure 3). L'autre chambre, 4a, par un canal 55, communique avec l'extrémité gauche du régénérateur 56 formé dans la plaque 53, du côté chaud du refroidisseur. Du côté froid, le circuit de gaz se ferme entre le régénérateur 56 et le tube 51 par le canal 52 déjà mentionné. Le régénérateur 56 forme un conduit de section aplatie ménagé dans la plaque 53. L'effet de régénération par récupération du travail développé à la source chaude est obtenu en le constituant par un matériau fait d'une mosaïque de plots de verre cylindriques, disposés en répartition hexagonale, qui sont micro-usinés par photolithographie en surface d'une plaque de verre, sous des dimensions de 100 à 200 microns. La plaque 53 est donc constituée en réalité par deux plaques de verre assemblées, avec une plaque pleine 58 recouvrant la plaque micro-usinée 57. Dans le refroidisseur ainsi constitué, le fonctionnement conforme à un cycle régénératif à gaz pulsé est assuré par l'oscillateur comme il le serait par un second piston de compresseur à double effet en lieu et place des valves de déphasage et du réservoir tampon des solutions classiques. Parmi les avantages obtenus, on supprime ainsi les volumes morts, qui sont toujours pénalisants, surtout aux échelles miniatures. La figure 6 montre schématiquement une autre variante de réalisation de l'oscillateur de pression. L'élément flexible n'y est plus constitué par une lame pivotante mais par une membrane en forme de disque 76, à âme piézo-résistive, qui se déforme élastiquement sous l'effet d'une excitation électrique parvenant sur ses deux faces conductrices à partir des jonctions 72 et 74 de la même manière que ci-dessus. La disposition des connexions pneumatiques est également différente des variantes déjà décrites. Le disque 76, dans sa position médiane de repos, se présente dans un plan horizontal parallèle à la face supérieure du module passif 10. Il est monté en travers d'une cavité 73. Il est maintenu fixe et étanche au niveau d'un joint 77 qui ferme le pourtour de la cavité 73. Cette dernière est en forme de secteur sphérique de part et d'autre de sa section médiane où se trouve le disque 76 en position de repos. Le carter de l'oscillateur présente une face inférieure plane 78 qui s'accole en position horizontale sur la plaque 15 du module passif. C'est donc sur cette face 78 que débouchent les canaux 81 et 84 pour la communication pneumatique entre les chambres 75b et 75a respectivement et les conduits du module passif à alimenter en impulsions de pression. On voit sur la figure, qu'au départ des chambres de la cavité 73, il est percé deux canaux obliques 81 et 83, et que le canal supérieur 83 rejoint le canal 84, percé lui verticalement, par l'intermédiaire d'un canal 82 percé horizontalement. Ces canaux sont faciles à réaliser par perçage ultrasonique dans la masse du carter 71, du moment que, comme illustré, celui-ci est réalisé à partir de deux pièces sensiblement symétriques qui sont ensuite assemblées collées pour fermer la cavité 73 avec le disque 76 enchâssé dedans. La description ci-dessus, faite en référence aux dessins qui l'illustre, montre clairement comment l'invention se concrétise en pratique dans ses diverses fonctions et résultats. Accessoirement, on aura compris qu'il est particulièrement commode de faire largement appel aux techniques de collage chimique ou électrochimique pour assembler les différentes pièces, aux techniques de photolithographie et perçage ultrasonique pour réaliser les usinages, et aux techniques de soudage verre/métal ou céramique/métal pour ce qui est des traversées électriques étanches. REVENDICATIONS 1. Dispositif de refroidissement cryogénique comportant des moyens oscillateurs de pression pour générer périodiquement des phases alternatives de compression et de détente dans un circuit de gaz de travail thermodynamique associé à un échangeur froid en situation d'échange thermique avec un composant à refroidir et à un échangeur chaud de réjection thermique vers l'extérieur, caractérisé en ce qu'il comporte deux conduits de gaz de travail opératifs en opposition de phase, qui sont en communication pneumatique avec deux chambres différentes (4a-4b), de volumes complémentaires, séparées l'une de l'autre dans lesdits moyens oscillateurs de pression (20) par un élément flexible (26) associé à des moyens électriques de commande de ses déformations de part et d'autre d'une position de repos où le gaz de travail est en équilibre de pression entre les deux conduits (la-lb), pour y créer des pulsations périodiques de pression qui sont alternativement en haute pression dans l'un et en basse pression dans l'autre. 2. Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé en ce que ledit élément flexible est constitué par une lame rectangulaire (26) encastrée fixe à l'une (27) de ses deux extrémités en position médiane d'une cavité (23) délimitant lesdites chambres (4a-4b) symétriquement, et mobile en son autre extrémité en contact étanche avec une paroi à profil circulaire de ladite cavité (23). 3. Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé en ce que ledit élément flexible est constitué par une membrane en forme de disque (76) qui est encastrée étanche sur tout son pourtour en position médiane d'une cavité (23) délimitant lesdites chambres de volumes complémentaires (75a-75b) et qui est déformable par lesdits moyens électriques agissant en son centre. 4. Dispositif suivant la revendication 1, 2 ou 3, caractérisé en ce que lesdits conduits (la-lb) en communication avec respectivement chacune desdites chambres de l'oscillateur de pression appartiennent à deux circuits de gaz de travail couplés du même dispositif de refroidissement, ledit échangeur froid (16) et ledit échangeur chaud (14) étant communs aux deux circuits de gaz de travail (la-lb). 5. Dispositif suivant la revendication 1, 2 ou 3, caractérisé en ce que lesdits conduits (51, 56) en communication avec respectivement chacune desdites chambres de l'oscillateur de pression appartiennent à un même circuit de gaz de travail du dispositif de refroidissement, construit pour fonctionner suivant un cycle thermodynamique du type à gaz pulsé, lesdits conduits, alimentés en impulsions pression en opposition de phase, constituant respectivement son tube à pulsations (51) et son régénérateur (56). 6. Dispositif suivant l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que lesdites chambres (4a-4b, 75a-75b) sont ménagées dans un carter (21) à face plane (78) propre à être accolée fixe au couvercle (15) d'un boîtier isolant (30) enfermant lesdits conduits (la-lb, 51-56) et le reste du ou des circuits de gaz de travail, ainsi que les échangeurs chaud (14) et froid (16) et le composant à refroidir (40). 7. Dispositif suivant la revendication 6, caractérisé en ce que le carter (21) de l'oscillateur (20) est muni d'ailettes de refroidissement (22) dans une zone en contact thermique avec l'échangeur chaud (14) du refroidisseur (10) par l'intermédiaire dudit couvercle de réjection de chaleur (15). 8. Dispositif suivant l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que lesdits moyens de commande électriques comportent des électrodes fixes (28a-28b) d'attraction respectivement d'électrodes opposées (27a-27b) portées par l'élément flexible (26). 9. Dispositif suivant l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit élément flexible (26, 76) est réalisé en un matériau piézorésistif sensible auxdits moyens de commande électriques. 10. Dispositif suivant la revendication 5 combinée à l'une quelconque des autres revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit conduit formant régénérateur (51) est de forme aplatie, et ménagé dans une plaque plane (53) solidaire d'un bloc parallélépipédique (11) dans lequel est ménagé ledit conduit formant tube à pulsations (51).