FR 2761822 A1 19981009 FR 9704074 A 19970403 l Laser semiconducteur à émission de surface La présente invention concerne les lasers semiconducteurs à émission de surface c'est à dire du type VCSEL d'après l'anglais 'Vertical Cavity Surface Emitting Laser". Elle concerne plus spécifiquement la réalisation des miroirs devant former la cavité optique de tels lasers. Elle trouve notamment application avec avantage lorsque la lumière devant être émise par ces lasers doit avoir une longueur d'onde voisine de 850 nm, 980 nm, 1300 nm ou 1550 nm pour se situer dans l'une des fenêtres spectrales couramment utilisées dans les systèmes de communication à fibres optiques. io De manière connue cette lumière est émise par la couche active d'une structure amplificatrice traversée par un courant de pompage et est incluse dans une puce monocristalline constituée d'arséniure de gallium AsGa ou de phosphure d'indium InP. Une telle puce est fabriquée par dépôt épitaxial de couches qui se superposent à partir d'un substrat. Dans la suite de la présente description et conformément à l'usage on considérera que ce substrat constitue la partie inférieure de la puce. Ce substrat ayant classiquement un dopage de type N et les dopages des couches de la structure amplificatrice formant nécessairement une séquence N I P, les couches supérieures de la puce ont des dopages de type P. La cavité optique du laser est constituée par un miroir inférieur et un miroir supérieur formés respectivement sur une face inférieure et sur une face supérieure de la puce. Selon une disposition connue qui est adoptée dans le cadre de la présente invention, on fournit le courant de pompage à la structure amplificatrice à travers le miroir supérieur. La lumière à émettre s'échappe alors de cette cavité à travers le miroir inférieur. Dans le cas typique o le miroir supérieur n'occupe qu'une fraction de la surface horizontale de la puce et o il n'existe qu'une faible distance entre le miroir supérieur et la structure amplificatrice, cette disposition connue présente l'avantage d'assurer une coïncidence nécessaire entre deux zones de la surface de cette structure, à savoir celle qui est traversée par le courant de pompage et celle qui est incluse dans la cavité optique. Mais le passage de ce courant à travers le miroir supérieur pose un problème pour la réalisation de ce dernier. Ce problème tient au fait que ce miroir doit présenter à la fois, d'une part une réflectance très élevée, de préférence au moins égale à 99,5% pour permettre la croissance d'une oscillation optique dans la cavité, d'autre part une faible résistance électrique, de préférence inférieure à 10-4 n cm2 si on considère l'unité de surface, pour permettre de faire circuler le courant de pompage, par exemple 1 OkA cm-2,, sans provoquer des pertes et un échauffement gênants par effet Joule. Selon une première solution connue on obtient une résistance électrique suffisamment faible en utilisant un miroir métallique. Mais la réflectance est alors au maximum voisine de 97% ce qui est en général insuffisant. Selon une deuxième solution connue on utilise un miroir de Bragg semiconducteur dopé. Un tel miroir est formé par la superposition de couches 0o présentant des indices de réfraction alternés. Pour permettre un accord de maille cristalline avec la puce, ces couches sont classiquement constituées les unes d'arséniure et phosphure d'indium et de gallium et les autres de phosphure d'indium dans le cas d'une puce de phosphure d'indium. Pour la même raison elles sont classiquement constituées les unes d'arséniure i5 d'aluminium et de gallium et les autres d'arséniure de gallium dans le cas d'une puce d'arséniure de gallium. Elles peuvent recevoir un dopage de type N. Elles permettent alors d'obtenir à la fois la faible résistance électrique et la forte réflectance souhaitées. Elles peuvent aussi recevoir un dopage de type P. Elles permettent alors d'obtenir la faible résistance électrique souhaitée mais leur réflectance est rendue inférieure aux valeurs souhaitées en raison d'une absorption relativement importante de la lumière dans les matériaux constitutifs. Cette absorption croit avec la longueur d'onde de la lumière. Un laser utilisant cette deuxième solution est décrit dans une communication de D. Babic et al, IPRM 95, Transverse mode and polarisation characteristics of double-fused 1.52 pm vertical-cavity laser, page 773-776. Les deux miroirs de ce laser sont des miroirs de Bragg semiconducteurs. Pour permettre le passage du courant de pompage le miroir inférieur situé du coté N de la structure amplificatrice est dopé de type N et le miroir supérieur situé du côté P de cette structure est dopé de type P, ce qui provoque l'absorption gênante de lumière mentionnée ci-dessus. Dans ce laser la puce est à base de phosphure d'indium pour permettre de fournir une lumière de 1520 nm de longueur d'onde. Pour limiter l'absorption de lumière grâce à une épaisseur limitée des miroirs, ces derniers sont à base d'arsénure de gallium. Lors de la fabrication de tels lasers chaque tel miroir doit être disposé sur une face, par exemple une face supérieure, d'une plaque à base de phosphure d'indium relativement épaisse. Pour cela il a d'abord eté fabriqué par dépôt épitaxial sur un substrat d'arséniure de gallium relativement épais. Puis il est assemblé à la plaque à base de phosphure d'indium par fusion thermique. Il la renforce mécaniquement de sorte que la face opposée de cette plaque, par exemple sa face inférieure, peut alors être attaquée pour amincir la plaque. Une deuxième opération du même type permet alors de déposer le deuxième miroir pour former une cavité optique de longueur convenable, cette longueur étant mesuré verticalement, c'est à dire selon l'épaisseur de la plaque. On peut aussi consulter à ce sujet un article de D.l. Babic, K. Streubel, R.P. Mirin, N.M. Margalit, E.L. Hu, D.E. Mars, L. 0io Yang and K. Carey, Photon. Techn. lett. vol 7, 1225, 1995. La présente invention a notamment pour but de permettre une fabrication économique de lasers semiconducteurs à émission de surface comportant des miroirs supérieurs ayant à la fois une forte réflectance et une faible résistance électrique, notamment en vue d'une émission de lumière aux longueurs d'onde associées au phosphure d'indium. Dans ce but elle a pour objet un laser semiconducteur à émission de surface caractérisé par le fait que des couches semiconductrices à concentrations de dopage accrues sont incluses dans ce laser pour former une jonction à polarisation inverse permettant à un courant électrique assurant le pompage de ce laser de passer d'un miroir de Bragg à dopage de type N à une couche d'injection à dopage de type P, cette couche appartenant à une structure amplificatrice de ce laser, ce miroir de Bragg coopérant avec un autre miroir pour inclure cette structure dans une cavité optique de ce laser. A l'aide de la figure schématique annexée on va décrire ci-après, à simple titre d'exemple, un mode de mise en oeuvre de cette invention. Cette figure représente une vue en coupe d'un laser selon cette invention. La puce de ce laser est constituée d'un matériau semiconducteur monocristallin qui, typiquement, est à base de phosphure d'indium. Elle a été réalisée par des dépôts épitaxiaux sur un substrat 8. Sa surface comporte une zone centrale ZC au voisinage de l'axe A et une zone périphérique ZP autour de cette zone centrale. Elle définit selon son épaisseur une direction dite verticale DV. Elle présente une face inférieure 4 et une face supérieure 6 et comporte des couches mutuellement superposées. Sauf indication contraire ces couches sont constituées de phosphure d'indium. De cette face inférieure à cette face supérieure ces couches sont les suivantes: - Le substrat 8. Ce substrat présente une épaisseur lui conférant une résistance mécanique permettant de manipuler cette puce, soit seule, soit, typiquement, sous la forme d'une plaque incluant plusieurs puces. - Un miroir inférieur 18. Ce miroir est un miroir de Bragg semiconducteur ayant un dopage de type N. Il est formé sur la face supérieure 4 du substrat 8 en continuité avec ce substrat. Il s'étend sur l'ensemble des deux zones centrale ZC et périphérique ZP. Il est constitué de 40 à 50 paires de couches io constituées chacune d'une couche de phosphure d'indium et d'une couche de phosphure et arséniure d'indium et de gallium. Ces couches ont des indices de réfraction alternés nH = 3,4 et nL = 3,17 et des épaisseurs optiques égales au quart de la longueur d'onde de la lumière du laser qui est par exemple 1520 nm. L'épaisseur totale de ce miroir est voisine de 10 pm. Sa concentration de dopage est par exemple de 2.1018 cm-3. Ce miroir 18 pourrait aussi être constitué de couches dielectriques. - Une couche d'injection inférieure 12 à dopage de type N. Cette couche a une épaisseur de 1 pm et une concentration de dopage de 5. 1i 17 à 2. 1018cm-3 - Une couche active 14 apte à amplifier une lumière par recombinaison de porteurs de charges de types opposés. Cette couche comporte typiquement de cinq à huit puits quantiques contraints en compression. Ces puits et les barrières qui les séparent sont constitués de manière classique d'arséniure et phosphure d'indium et de gallium avec des proportions différenciées des composants. Cette couche peut aussi être constituée en matériau massif. Son épaisseur est typiquement comprise entre 100 et 400 nm environ. - Une couche d'injection supérieure 16 à dopage de type P. Cette couche a une épaisseur de 1 pm et une concentration de dopage de 5. 1017 à 2.1 018cm-3. Le passage d'un courant de pompage du laser entre ces couches d'injection inférieure et supérieure provoque l'injection de dits porteurs de charges de types opposés dans la couche active. Les couches d'injection inférieure et supérieure et la couche active constituent la structure amplificatrice précédemment mentionnée. -Enfin un miroir supérieur 20. Ce dernier est lui aussi constitué par un miroir de Bragg semiconducteur ayant un dopage de type N et il est par exemple identique au miroir 18. Il est formé sur la face supérieure 6 de la puce 2 en continuité avec cette puce. Il s'étend seulement dans la zone centrale ZC. Il constitue avec le miroir inférieur la cavité optique du laser. Cette cavité a un axe A s'étendant selon la direction verticale DV. La longueur de cette cavité, c'est à dire à la distance entre les deux miroirs, a une une valeur convenable telle que 4 pm. Une partie inférieure du miroir supérieur 20 comporte, en superposition selon cette direction verticale à partir de la couche d'injection supérieure 16 et en continuité avec cette couche: - une couche de connexion inférieure 24 ayant un dopage de type P, et io - une couche de connexion supérieure 26 ayant un dopage de type N. Ces deux couches ont des concentrations de dopage supérieures à des concentrations de dopage de la couche d'injection supérieure 16 et dudit miroir supérieur 20. Elles constituent ladite jonction à polarisation inverse. Leurs concentrations de dopage sont suffisamment élevées pour qu'un effet i5 tunnel permette à cette jonction de conduire le courant de pompage du miroir supérieur à la couche d'injection supérieure sans provoquer de chute de potentiel dommageable. Il est connu que des concentrations de dopage assez élevées pour cela provoquent une forte absorption de la lumière dans le matériau dopé. Dans le cadre de la présente invention il a cependant été trouvé que, malgré la forte diminution de puissance qui pourrait résulter pour la lumière de la traversée d'un matériau semiconducteur ainsi dopé, il était possible, sans nuire à la conduction du courant, de limiter les épaisseurs des couches de connexion à des valeurs assez petites pour que l'absorption effective de la lumière soit suffisamment faible pour ne pas perturber sensiblement le fonctionnement du laser. Plus précisément, de préférence, chacune des couches de connexion inférieure 24 et supérieure 26 présente une épaisseur comprise entre 10 et 300 nm environ. De préférence encore la couche de connexion inférieure 24 est constituée de phosphure et arséniure d'indium et de gallium et a une concentration de dopage supérieure à 3. 1019 cm-3 et par exemple voisine de 8.1019 cm-3. De préférence aussi, la couche de connexion supérieure 26 a une concentration de dopage N supérieure à 1018 cm-3 et par exemple voisine de 3. 1018 cm-3. Le laser comporte en outre: -une électrode inférieure 22 formée sur le substrat 8, et -une électrode supérieure 23 formée sur le miroir supérieur 20 et coopérant avec l'électrode inférieure 22 pour permettre de faire passer le courant de pompage du laser à travers la puce 2. L'électrode inférieure 22 est formée sur le substrat 8 dans la zone périphérique ZP à l'exclusion de la zone centrale ZC de manière à permettre à la lumière L de ce laser de s'échapper de la puce 2 à travers la face inférieure 4 dans cette zone centrale. Celles desdites couches qui sont io situées entre cette face inférieure et la couche active 14 ont des épaisseurs et des conductivités électriques leur conférant une conductivité selon les directions horizontales plus grande que celle qui résulte des épaisseurs et des conductivités électriques de celles desdites couches qui sont situées entre cette couche active et la face supérieure 6. Le rapport de ces deux conductivités selon les directions horizontales est suffisamment grand pour que le courant de pompage traverse la couche active 14 dans la zone centrale ZC. La répartition horizontale de ce courant à sa traversée de la couche active pourrait être sensiblement la même si le miroir inférieur était du type à couches diélectriques et formé seulement dans la zone centrale, I'électrode inférieure étant alors formee dans la zone périphérique directement sur la face inférieure de la puce. En ce qui concerne la répartition du courant de pompage dans les différentes parties de la zone centrale, la disposition connue ci-dessus est plus favorable qu'une autre disposition connue qui serait utilisée dans de nombreux cas en l'absence de la présente invention. Selon cette autre disposition connue le courant de pompage est introduit dans la puce à partir d'une électrode supérieure située dans la zone périphérique autour du miroir supérieur et c'est seulement ensuite que ce courant est dirigé vers la zone centrale. Il est dirigé vers cette zone par une couche bloquante incluse dans la puce et perçée d'une fenêtre au voisinage de l'axe. Dans la réalisation pratique d'une plaque comportant de nombreuses puces semiconductrices les zones centrales telles que ZC avaient des diamètres allant de 5 à 20 pm et les zones périphériques telles que ZP des diamètres voisins de 0, 25 mm. La tension nécessaire aux bornes du laser pour permettre son fonctionnement est apparue être voisine de 3 V. Dans le laser décrit ci-dessus le miroir supérieur de type N était constitué de matériaux ayant la même maille cristalline que la puce de phosphure d'indium. Il est cependant possible de constituer ce miroir par des couches alternées d'arséniure de gallium Ga As et d'arséniure de gallium et d'aluminium Ga AI As, ces couches étant encore de type N, mais étant en désaccord de maille cristalline avec la puce de phosphure d'indium. La liaison entre un tel miroir et une telle puce peut être réalisée par une liaison par fusion selon le procédé appelé intemrnationalement '"Wafer fusion". Elle peut aussi être réalisée grâce à une formation de ce miroir par un dépôt de io ses couches constitutives par un procédé semblable à ceux qui sont connus pour réaliser des dépôts épitaxiaux. Un tel mode de dépôt conduit à la formation de couches qui peuvent être dites "métamorphiques". La jonction à polarisation inverse peut alors être réalisée entre deux couches d'arséniure de gallium constitutives du miroir supérieur ou à I'interface entre une couche à composition quaternaire ayant la maille cristalline du phosphure d'indium et la première couche d'arséniure de gallium du miroir supérieur. Une solution préférée dans le cas de couches métamorphiques serait cependant de réaliser cette jonction entre deux couches à composition quaternaire ayant la maille cristalline du phosphure d'indium. REVENDICATIONS 1 - Laser semiconducteur à émission de surface, ce laser étant caractérisé par te fait que des couches semiconductrices à concentrations de dopage accrues forment une jonction à polarisation inverse permettant à un courant électrique assurant le pompage de ce laser de passer d'un miroir de Bragg à dopage de type N (20) à une couche d'injection à dopage de type P (16), cette couche appartenant à une structure amplificatrice (12,14,16) de ce laser, ce miroir de Bragg coopérant avec un autre miroir (18) pour inclure cette structure dans une cavité optique de ce laser. 2 - Laser selon la revendication 1, ce laser comportant une puce (2) présentant une face inférieure (4) et une face supérieure (6) et comportant des couches semiconductrices mutuellement superposées se succédant selon une direction verticale (DV) de cette puce allant de cette face inférieure à cette face supérieure, ces couches incluant: - une couche d'injection inférieure (12) ayant un dopage de type N, - une couche active (14) apte à amplifier une lumière par recombinaison de porteurs de charges de types opposés, et - une couche d'injection supérieure (16) ayant un dopage de type P de sorte que le passage d'un courant de pompage dudit laser de cette couche d'injection supérieure à la dite couche d'injection inférieure (12) provoque l'injection de dits porteurs de charges de types opposés dans ladite couche active, ces couches d'injection inférieure et supérieure et cette couche active constituant ladite structure amplificatrice, ce laser comportant en outre - un miroir inférieur (18) formé sur ladite face inférieure (4) de la puce (2), - un miroir supérieur (20) constitué par un miroir de Bragg semiconducteur ayant un dopage et formé sur la dite face supérieure (6) de la puce (2) en continuité avec cette puce pour constituer avec ledit miroir inférieur ladite cavité optique du laser, -une électrode inférieure (22), et -une électrode supérieure (23) formée sur ledit miroir supérieur (20) et coopérant avec ladite électrode inférieure (22) pour permettre de faire passer ledit courant de pompage à travers ladite puce (2), ce laser étant caractérisé par le fait que ledit dopage du miroir supérieur (20) est du type N, les couches semiconductrices de ce laser incluant en superposition selon ladite direction verticale (DV) à partir de ladite couche d'injection supérieure (16) et en continuité avec cette couche: - une couche de connexion inférieure (24) ayant un dopage de type P, et - une couche de connexion supérieure (26) ayant un dopage de type N, ces deux couches ayant des concentrations de dopage supérieures à des concentrations de dopage de ladite couche d'injection supérieure (16) et dudit miroir supérieur (20), ces deux couches de connexion constituant ladite io jonction à polarisation inverse et leurs concentrations de dopage étant suffisamment élevées pour qu'un effet tunnel permette à cette jonction de conduire ledit courant de pompage dudit miroir supérieur à ladite couche d'injection supérieure. 3- Laser selon la revendication 2, ce laser étant caractérisé par le fait que chacune des deux dites couches de connexion inférieure (24) et supérieure (26) présente une épaisseur comprise entre 10 et 300 nm. 4- Laser selon la revendication 3, ladite épaisseur de chacune des couches de connexion (24, 26) étant comprise entre 50 et 100 nm environ. - Laser selon la revendication 3, ce laser étant caractérisé par le fait que ladite couche de connexion inférieure (24) est constituée de phosphure et arséniure d'indium et de gallium et a une concentration de dopage P supérieure à 3.1019 cm-3. 6 - Laser selon la revendication 5, ladite concentration de dopage P étant voisine de 8.1019 cm-3. 7- Laser selon la revendication 3, ce laser étant caractérisé par le fait que ladite couche de connexion supérieure (26) a une concentration de dopage N supérieure à 1018 cm-3. 8- Laser selon la revendication 7, ladite concentration de dopage N étant voisine de 3. 1018 cm-3. O10 9- Laser selon la revendication 2, ledit miroir inférieur (18) étant constitué par un miroir de Bragg semiconducteur ayant un dopage de type N et formé sur ladite face inférieure (4) de la puce (2). - Laser selon la revendication 2, ladite cavité optique ayant un axe (A) s'étendant selon ladite direction verticale (DV), ladite puce (2) ayant une surface s'étendant perpendiculairement à cet axe et comportant une zone centrale (ZC) au voisinage de cet axe et une zone périphérique (ZP) autour de cette zone centrale, ledit miroir supérieur (20) étant formé seulement dans cette zone centrale sur ladite face supérieure (6) de la puce (2), ladite io électrode inférieure (22) étant formée dans ladite zone périphérique à l'exclusion de ladite zone centrale de manière à permettre à une lumière (L) de ce laser de s'échapper de ladite puce à travers ladite face inférieure (4) dans cette zone centrale, celles desdites couches qui sont situées entre cette face inférieure et ladite couche active (14) ayant des épaisseurs et des conductivités électriques suffisamment grandes par rapport à des épaisseurs et des conductivités électriques de celles desdites couches qui sont situées entre cette couche active et ladite face supérieure pour que ledit courant de pompage traverse cette couche active dans ladite zone centrale. 11- Laser selon la revendication 2, ladite puce (2) étant constituée de matériaux ayant la maille cristalline du phosphure d'indium, ledit miroir supérieur (20) étant constitué de couches ayant la maille cristalline de l'arséniure de gallium.