FR 2759760 A1 19980821 FR 9701934 A 19970217 La présente invention a pour objet une vanne à membrane destinée au contrôle de circuits de fluides de haute pureté, comportant un siège de membrane sous forme d'une pièce de matériau, forme et traitement particuliers, insérée dans un logement formé à cet effet dans le corps de vanne. La vanne comporte par ailleurs un actionneur adapté à amener la membrane au contact du siège. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un type de siège pour vanne à membrane. Dans la situation actuelle, la technologie des vannes de contrôle de fluide comprend d'une part les vannes dites à soufflet, et d'autre part les vannes à membrane. Les vannes à soufflet offrent des avantages d'excellent coefficient de débit et de possibilité de travailler en dépression jusqu'à un vide de 10-3 ou 10-4 Torr. Par contre, elles ont pour inconvénients principaux les problèmes de fabrication du soufflet du fait des contours mécaniques variables, ainsi qu'un volume mort interne important (mouillé par le fluide) dans la vanne augmentant considérablement le temps de purge des vannes. Enfin, ces vannes à soufflet présentent des problèmes de pollution du gaz par des particules issues du soufflet. Les vannes à membrane comprennent un corps dans lequel sont ménagés des conduits d'amenée et d'évacuation du fluide, le conduit d'amenée débouchant dans une face en regard de laquelle est montée une membrane qui, par déformation, est susceptible d'isoler ou de mettre en communication les conduits d'amenée et d'évacuation de fluide, en obturant ou non l'extrémité du conduit d'amenée du fluide qui forme un siège pour la membrane. Les vannes à membrane ont pour avantage majeur la simplicité de confection par rapport aux vannes à soufflet, avec une réalisation possible par emboutissage, pliage ou découpage. Par ailleurs elles offrent un volume mort très réduit et un état de surface meilleur menant à une pollution nettement plus réduite du gaz. En contrepartie de ces avantages, elles présentent en particulier des problèmes de débit limité en position ouverte par le débattement de la membrane. Enfin des questions d'étanchéité du contact membrane / embase en position fermée se posent pour ce type de vanne. Différentes améliorations ont été apportées aux vannes à membrane, en particulier dans le choix d'embases rondes plus précises (Demande de brevet 91.07191) ou par la définition de géométries de membranes permettant d'augmenter le débit en position ouverte de la vanne (Demande de brevet 91.07192). La présente invention entend remédier au problème de l'étanchéité des vannes à membrane en proposant un corps de vanne modifié incorporant un siège en matériau choisi pour ses qualités de dureté et d'étanchéité en conjonction avec la membrane. Selon un second but de l'invention, il est possible de réaliser différents types de vannes adaptés à des besoins particuliers, en changeant le type de siège assemblé avec un corps de vanne standardisé. La possibilité d'aborder des domaines d'utilisation de ces vannes, par exemple cryogénie, jusqu'ici non accessibles du fait des limitations traditionnelles de ces vannes, constitue un troisième but de cette invention. La capacité à changer le dispositif d'actionnement de la vanne sans ouvrir la ligne de fluide et donc sans risque de pollution dudit fluide constitue un quatrième but de l'invention. Le dispositif objet de la présente invention est donc une vanne de contrôle de flux de fluides gazeux ou liquides, comprenant un corps de vanne, une canalisation d'entrée de fluides, une canalisation d'évacuation de fluides, un système d'actionnement de la vanne, caractérisé en ce que le corps de la vanne comporte un logement destiné à accueillir un élément nommé siège, entourant l'extrémité d'une des canalisations de ladite vanne, assemblé mécaniquement de façon solidaire avec le corps de la vanne, d'axe approximativement confondu avec l'axe vertical de l'actionneur et l'axe vertical de ladite canalisation, et tel que lors de l'action de fermeture de la vanne, le dispositif mobile de clôture du flux gazeux ou liquide vient prendre appui sur le siège, l'assemblage hermétique ainsi formé empêchant ainsi le passage des fluides. Grâce à cette disposition, les fonctions mécaniques du corps de vanne et les fonctions d'étanchéité du siège sont séparées, permettant pour ces deux fonctions différentes le choix des matériaux les mieux adaptés, et menant donc à la réalisation de vannes à membranes de meilleure étanchéité. Selon un mode particulier de réalisation, le siège est constitué d'une matière de caractéristiques mécaniques de dureté Vickers comprise entre 80 et , la couche de surface présente une dureté superficielle Vickers de l'ordre de 500 à 600, et le dispositif de clôture de la vanne, prenant appui sur le siège, présente une dureté superficielle comprise entre 250 et 400 V. Cette disposition résulte du traitement de surface, d'un siège en Nickel typiquement, par une couche tribologique permettant de renforcer le potentiel redox et donc d'augmenter la résistance à la corrosion par des agents chimiques traversant la vanne. Selon un autre mode de réalisation, le coeur est réalisé en alliage d'acier de type dit 316 L et de Nickel. Selon un troisième mode de réalisation, le coeur est réalisé en Nickel pur. Ce matériau possède une dureté de 95 Vickers, adaptée à recevoir éventuellement un traitement superficiel, et présente des applications en matière nucléaire, résistant à certaines gammes de radiations. Cette disposition permet des applications particulières dans les domaines médicaux et nucléaires, le nickel étant très peu perméable au passage de certaines particules radioactives, alors que le P.C.T.F.E. présente dejà une perméabilité (taux de diffusion) à des gaz ayant des molécules de faible masse atomique typiquement tels que: H2 Hydrogène et He Hélium. Selon un quatrième mode de réalisation, le coeur est réalisé en résine PCTFE (poly chloro tri fluor éthylène). Cette matière, connue sous le nom usuel de Voltalef (pays francophones) et de KEL-F (pays anglo-saxons), offre d'une part un faible facteur de diffusion de l'Hélium à travers ce corps que les autres matières présentant les mêmes caractéristiques de résistance à la corrosion et à l'attaque par des gaz acides tels que HCI, par exemple le Poly tetra fluor ethylène (PTFE, connu sous le nom usuel Teflon). D'autre part son choix est motivé par une courbe de refroidissement contrôlée liée à sa structure semi-cristalline, qui ouvre des possibilités d'utilisation à très basse température, jusqu'à par exemple -180 ou -200 C, et donc permet une utilisation pour des fluides cryogéniques. Cette utilisation offre alors un domaine nouveau à l'utilisation de vannes à membranes. Les différentes dispositions précédentes montrent bien que le choix du type de matériau constituant le siège de la vanne est réalisé en fonction du type d'application qui est envisagé pour la vanne. Selon un mode particulier de réalisation, le coeur du siège a subi u n traitement par méthode PVD. Ce traitement par dépôt de vapeur sous vide permet de réaliser des dépôts d'épaisseur très minces, par exemple quelques microns avec de matériaux tels que les alliages de la gamme Hastelloy ou Inconel ou autres possédant des caractéristiques adaptées à assurer la résistance à la corrosion du siège entre pH I et pH 14. Selon un mode particulier de réalisation, le siège est en forme d'anneau, avec une section approximativement pentagonale. Ce choix de forme du siège permet d'une part son insertion dans un évidement conique créé à cet effet dans l'embase de la vanne, et d'autre part garantit un contact très étanche aux gaz, lorsque la membrane est en position fermée. Selon un mode particulier de réalisation, le siège présente une section symétrique par rapport à l'axe vertical de ladite section, les deux faces latérales formant un angle de 1,25 plus ou moins 30' avec l'axe de la section du siège. Ce choix d'angle de la gorge servant de logement au siège permet un assemblage en force sans aucun élément extérieur tel que colle, tout en autorisant un assemblage hermétique et réversible. Selon un procédé de fabrication préféré du siège en PCTFE, le siège est réalisé par décolletage. Cette méthode se distingue des méthodes traditionnelles pour lesquelles une technologie d'injection est utilisée et qui peut être source de pollution due aux agents de démoulage couramment utilisés dans ce genre de technologie. Selon une disposition particulière, la vanne de contrôle de flux de fluides gazeux ou liquides, comprenant un corps de vanne, une canalisation d'entrée de fluides, une canalisation d'évacuation de fluides, un dispositif d'obturation du flux gazeux, un système d'actionnement de la vanne, est caractérisée en ce que le système d'actionnement de la vanne permettant I'obturation du circuit de fluide est interchangeable sans rompre l'étanchéité du circuit de fluide. Cette disposition est très intéressante dans le cadre d'environnements très exigeants tels qu'usines de semi-conducteurs ou autres pour lesquels l'ouverture de la ligne de fluide peut amener une pollution du fluide. Selon une disposition encore plus particulière, la vanne à membrane comporte un manchon fixé sur le corps de la vanne, ledit manchon venant comprimer le rebord latéral extérieur de la membrane, éventuellement par l'intermédiaire d'une pièce intermédiaire nommée couvercle de serrage, pour assurer l'étanchéité de la vanne vis à vis de l'environnement extérieur, lesdits manchon et couvercle de serrage présentant un évidement central permettant le passage d'un système d'actionnement de la membrane. Cette mise en oeuvre simple de la disposition précédente autorise la réalisation simple d'un assemblage garantissant la non ouverture de la ligne de fluide même lors d'un changement de dispositif d'actionnement. Selon une mise en oeuvre encore plus particulière, la vanne de contrôle de flux de fluides gazeux ou liquides est caractérisée en ce que le système d'appui sur la membrane, qui vient traverser le manchon de serrage, présente un trou le traversant de bas en haut et permettant le passage des fluides présent au voisinage supérieur de la membrane. Cette disposition permet la détection de fuites de gaz au niveau de la membrane et donc permet un contrôle permanent du fonctionnement correct de la vanne, en particulier dans le cas de fluides corrosifs. Le procédé d'obtention de vanne de contrôle de circuit de fluides selon l'invention est caractérisé en ce que le corps est réalisé par décolletage et lamage éventuel sur sa face destinée à venir en face du rebord extérieur de la membrane, pour obtenir des traits concentriques sur cette face. Cette mise en oeuvre du corps de vanne permet une bonne étanchéité entre le rebord latéral de la membrane et le corps, lors du serrage par le couvercle de serrage. La description qui va suivre, donnée à titre indicatif et nullement limitatif permet de mettre en évidence les caractéristiques et avantages de l'invention. La figure 1 schématise une vanne avec ses différents éléments principaux. La figure 2 représente une vue en coupe verticale du corps de vanne assemblé. La figure 3 schématise l'actionneur de la vanne. La figure 4 montre une vue en coupe verticale d'un siège selon l'invention. La figure 5 montre en vue éclatée les différentes pièces constituant le dispositif obturateur de la vanne. Tel que représenté selon une disposition classique sur la figure 1, la vanne selon l'invention comprend un corps de vanne (1) qui constitue la partie inférieure de la vanne, et sur lequel est monté l'actionneur (2), de nature manuelle ou mécanique. De façon plus détaillée tel qu'il est visible sur la vue en coupe (Fig. 2), le corps de vanne (1) comprend une embase de vanne (3) dans laquelle sont ménagés les conduits d'arrivée (4) et d'évacuation des fluides (5), la membrane (6) formant dispositif de fermeture de la vanne lorsque le piston (7,13) vient déformer la membrane pour l'appliquer de façon hermétique sur le rebord du conduit d'arrivée des gaz. Le corps de vanne est de nature connue, et son mode de réalisation est connu de l'homme de l'art. Il ne sera donc pas décrit plus avant ici. Selon la présente invention, le corps de vanne comporte une gorge conique destinée à recevoir le siège (8) fixé par blocage, sur lequel vient s'appuyer la membrane (6) en position fermée. Le siège (8) est réalisé préférentiellement en résine synthétique de type POCTFE (Poly-Chloro-Tri- Fluor-Ethylène) ou en alliage métallique, par exemple Acier 316L et Nickel, ou Nickel pur. Les fabrications en alliage métallique permettent la réalisation de vannes dont tous les composants sont réalisés en métal, dont l'objet est le faible facteur d'adsorption d'humidité (vapeur d'eau ambiante), ainsi que le contrôle de la réduction des particules créées par la vanne elle-même, ces vannes étant donc adaptées au contrôle de flux de gaz de très haute pureté. Le but est de maitriser le relargage de particules, par exemple par un traitement par électropolissage des pièces. Des qualités équivalentes vis à vis du relargage de particules ne peuvent être obtenues avec des pièces réalisées en matière plastique. En dehors de ces cas particuliers, les sièges seront plus classiquement fabriqués en résine synthétique, ou en alliage métallique recevant un traitement de surface. Un traitement par PVD (Plasma Vapor Deposition, traitement de dépôt sous vide) permet d'améliorer les qualités de résistance à la corrosion par le dépôt d'une épaisseur de typiquement 2 à 3 microns de matériau riches en Nickel (typiquement plus de 50%) et résistants aux agents chimiques par leurs autres composants compensant la résistance aux environnements de pH pour lesquels le Nickel n'est pas le meilleur matériau. Des matériaux correspondants à ces caractéristiques incluent par exemple les alliages Hastelloy ou Inconel. L'assemblage du siège sur le corps de la vanne se fait par insertion en force dans le logement prévu à cet effet dans 1' embase de la vanne. A cet effet, le choix d'un angle de 1,25 à plus ou moins 30' par rapport à l'axe perpendiculaire au corps de vanne pour les deux faces latérales du siège et de la gorge faisant effet de logement permet un montage en force sans aucun collage ou autre pièce, et apporte de plus une étanchéité du montage. Le démontage d'un siège en PCTFE de son support peut se faire en utilisant de l'air chaud entraînant une dilatation différentielle du siège et de l'embase de vanne. L'actionneur de la vanne (2) est classiquement vissé sur le corps de la vanne. Il se compose de plusieurs éléments. Tout d'abord au dessus de la membrane servant d'obturateur, un couvercle (9) vient prendre appui sur le rebord extérieur de la membrane. Ce couvercle est serré sur le rebord de la membrane par un manchon (10) vissé sur le corps de vanne qui présente u n filetage (11) à cet effet. L'étanchéité de la vanne vis à vis de l'environnement extérieur est alors créée. Le manchon et le couvercle de membrane sont tous deux munis d'un orifice axial (12) permettant le passage d'un système d'appui sur la partie centrale de la membrane, et créant ainsi les fonctions d'ouverture et de fermeture de la vanne. Ce dispositif garantit donc bien l'indépendance des fonctions d'une part d'étanchéité vis à vis de l'environnement éventuellement pollué de la vanne, et d'autre part de déclenchement de la vanne. Il devient alors possible de changer le système d'actionnement sans avoir à ouvrir la vanne et donc sans introduire de polluant dans la ligne de fluide. Cette disposition constitue un avantage majeur de cette vanne par rapport aux système connus. Le plus souvent, le dispositif prenant appui sur la partie centrale de la membrane comprendra d'une part un sceau (7) de diamètre égal approximativement à celui de la zone centrale de la membrane et au diamètre du siège sur lequel la membrane vient prendre appui en position fermée, et d'autre part un piston (13) actionnant ce sceau. Cette disposition permet de choisir des caractéristiques de matériau et de dureté particulières pour le sceau, et un autre matériau pour le système d'actionnement. Un perçage (14) réalisé dans le piston depuis sa partie basse (à proximité du sceau) jusqu'à une face placée au dessus de la limite supérieure du manchon de serrage permet la détection, par des capteurs adaptés, de fuites de gaz éventuelles au niveau de la membrane. Enfin, le piston est mû par un système (15) qui peut être soit mécanique par un vissage manuel du bouchon, soit pneumatique et contrôlé à distance. Ce système est classique et connu de l'homme de l'art. La portée de la présente invention ne se limite pas aux modes de réalisation présentés mais s'étend au contraire aux perfectionnements et modifications à la portée de l'homme de l'art. REVENDICATIONS 1.Vanne de contrôle de flux de fluides gazeux ou liquides, comprenant un corps de vanne, une canalisation d'entrée de fluides, une canalisation d'évacuation de fluides, un système d'actionnement de la vanne, caractérisé en ce que le corps de la vanne comporte un logement destiné à accueillir un élément nommé siège, entourant l'extrémité d'une des canalisations de ladite vanne, assemblé mécaniquement de façon solidaire avec le corps de la vanne, d'axe approximativement confondu avec l'axe vertical de l'actionneur et l'axe vertical de ladite canalisation, et tel que lors de l'action de fermeture de la vanne, le dispositif mobile de clôture du flux gazeux ou liquide vient prendre appui sur le siège, l'assemblage hermétique ainsi formé empêchant le passage des fluides. 2. Pièce destinée à entourer l'extrémité d'une des canalisations de vanne de contrôle de fluides, à être assemblée de façon solidaire au corps de vanne, et à recevoir la partie mobile de la vanne lorsque ladite vanne est actionnée, formant ainsi fermeture hermétique du circuit de fluide. 3. Corps de vanne de contrôle de flux de fluides gazeux ou liquides, caractérisé en ce qu'il comporte un logement destiné à accueillir un élément en forme d'anneau nommé siège, conforme à la revendication 2, avec lequel il est assemblé mécaniquement de façon solidaire. 4. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que le coeur est constitué d'une matière de caractéristiques mécaniques de dureté Vickers comprise entre 80 et 120, et en ce que la couche de surface présente une dureté superficielle Vickers de l'ordre de 500 à 600, et en ce que le dispositif de clôture de la vanne, prenant appui sur le siège, présente une dureté superficielle comprise entre 250 et 400 V. 5. Dispositif selon l'une des revendications 3 ou 4, caractérisé en ce que le coeur est réalisé en alliage d'acier de type dit 316 L et de Nickel. 6. Dispositif selon l'une des revendications 3 ou 4, caractérisé en ce que le coeur est réalisé en Nickel pur. 7. Dispositif selon l'une des revendications 3 ou 4, caractérisé en ce que le coeur est réalisé en résine PTCFE (poly chloro tri fluor éthylène). 8. Dispositif selon l'une des revendications 3 à 7, caractérisé en ce que le coeur du siège a subi un traitement de surface par méthode PVD. 9. Dispositif selon l'une des revendications 2 et 3 à 8, caractérisé en ce que le siège est en forme d'anneau, avec une section de base approximativement pentagonale. 10. Dispositif selon l'une des revendications 2 et 4 à 10, caractérisé en ce que le siège présente une section symétrique par rapport à l'axe vertical de ladite section, les deux faces latérales formant un angle de 1,25 plus ou moins ' avec l'axe de la section du siège. 11. Procédé de fabrication d'un siège selon la revendication 9, caractérisé en ce que le siège est réalisé par décolletage. 12. Vanne de contrôle de flux de fluides gazeux ou liquides, comprenant un corps de vanne, une canalisation d'entrée de fluides, une canalisation d'évacuation de fluides, un dispositif d'obturation du flux gazeux, un système d'actionnement de la vanne, caractérisé en ce que le système d'actionnement de la vanne permettant l'obturation du circuit de fluide est interchangeable sans rompre l'étanchéité du circuit de fluide. 13. Vanne à membrane selon la revendication 12, caractérisée en ce qu'elle comporte un manchon fixé sur le corps de la vanne, ledit manchon venant comprimer le rebord latéral extérieur la membrane, éventuellement par l'intermédiaire d'une pièce intermédiaire nommée couvercle de serrage, pour assurer l'étanchéité de la vanne vis à vis de l'environnement extérieur, lesdits manchon et couvercle de serrage présentant un évidement central permettant le passage d'un système d'actionnement de la membrane. 14. Vanne de contrôle de flux de fluides gazeux ou liquides selon la revendication 13, caractérisée en ce que le système d'appui sur la membrane, qui vient traverser le manchon de serrage, présente un trou le traversant de bas en haut et permettant le passage des fluides présent au voisinage supérieur de la membrane. 15. Procédé d'obtention de vanne de contrôle de circuit de fluides selon l'une des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que le corps est réalisé par décolletage et lamage éventuel sur sa face destinée à venir en face du rebord extérieur de la membrane, pour obtenir des traits concentriques sur cette face.