FR 2750539 A1 19980102 FR 9608103 A 19960628 MATERIAUX LASER ET MICROLASERS A FORTES CONCENTRATIONS EN IONS ACTIFS, ET PROCEDES DE FABRICATION DESCRIPTION Domaines techniques et art antérieur L'invention se rapporte au domaine des matériaux utilisés comme matériaux actifs dans les lasers solides. De tels matériaux comportent un milieu de base dopé avec des ions conférant à ce milieu des propriétés lasers. L'invention concerne également le domaine des microlasers ou encore des cavités microlasers, dont le milieu actif est solide. La structure d'un microlaser est celle d'un empilement de multicouches. Le milieu actif laser est constitué par un matériau de faible épaisseur (entre 150-1000 pm) et de petites dimensions (quelques mm2), sur lequel des miroirs diélectriques de cavité sont directement déposés. Ce milieu actif peut être pompé par une diode laser III-V qui est soit directement hybridée sur le microlaser, soit couplée à ce dernier par fibre optique. La possibilité d'une fabrication collective utilisant les moyens de la microélectronique autorise une production de masse de ces microlasers à très faible coût. Les microlasers ont de nombreuses applications, dans des domaines aussi variés que l'industrie automobile, l'environnement, l'instrumentation scientifique, la télémétrie. Les matériaux lasers solides, en particulier ceux destinés aux microlasers ont, pour la plupart, une structure de base dopée avec des ions actifs. Une technique connue, pour réaliser ces milieux actifs, ou matériaux lasers, est la technique de croissance cristalline "Czochralski". C'est le cas notamment, pour le matériau laser YAG dopé au néodyme (YAG:Nd3+). D'une manière générale, le dopage du matériau de base avec les ions actifs est réalisé à une concentration n'excédant pas 1,1 à 1,3%. En raison des limitations physiques (problèmes de ségrégation) de la méthode de croissance Czochralski, il n'est pas possible d'obtenir des concentrations supérieures, en particulier dans les cristaux lasers YAG ou YLF dopés au néodyme (Nd). L'article de J.J. Zayhowski et al. intitulé "Diode-pumped microchip lasers electro-optically Q- switched at high pulse repetition rates" paru dans Optics Letters, vol. 17, n 17, p. 1201-1203, September 1, 1992, cite un taux de dopage de 1, 8%, pour un laser YAG:Nd, mais il ne décrit aucune technique qui permette de réaliser un tel cristal laser. Les microlasers sont, quant à eux, fabriqués à partir de substrats de matériaux lasers solides de grande dimension. Mais les substrats utilisés présentent les limites, exposées ci-dessus, en ce qui concerne leur concentration. Il en résulte un faible coefficient d'absorption à la longueur d'onde du faisceau de pompage optique du matériau laser. En particulier, le rapport entre la puissance absorbée et la puissance incidente est donnée par r=1-e-L, o a est le coefficient d'absorption et L la longueur du microlaser. La valeur du coefficient d'absorption est typiquement de 3,5 cm -1. La longueur d'absorption (longueur au bout de laquelle 63% du faisceau de pompage est absorbé, égale à l'inverse du coefficient d'absorption) est de 2,8 mm. Par exemple, pour un microlaser d'épaisseur 500 pm, épaisseur qui est souvent réalisée lorsqu'on veut un microlaser monomode longitudinal, la puissance de pompe absorbée dans le microlaser lors d'un passage du faisceau de pompage ne représente que 16% de la puissance incidente. Le reste n'est pas absorbé et n'est donc pas utile à l'effet laser. I0 Comme il a été dit ci-dessus, il n'est pas possible d'augmenter la concentration en ions dopants, du fait de la technique de croissance utilisée. Une solution à ce problème pourrait consister à accroître la longueur du microlaser. Par exemple, en passant de 500 pm à 2,8 mm, qui est la longueur d'absorption, la puissance absorbée pour un microlaser YAG:Nd passe de 16% à 63%. Par contre, un microlaser YAG:Nd de longueur 2,8 mm n'a plus un fonctionnement monomode car plusieurs modes Fabry- Pérot de la cavité se trouvent à l'intérieur de la bande de gain du matériau. De plus, une cavité laser de 2,8 mm ne peut plus réellement être considérée comme une cavité microlaser et peut être instable dans une configuration de cavité plan-plan. Par conséquent, la solution consistant à augmenter la longueur du milieu laser n'est pas satisfaisante. Dans le cas des microlasers, en particulier à milieu actif YAG ou YLF dopés au néodyme, on cherche à obtenir simultanément un fonctionnement monofréquence et un rendement de pompage amélioré (l'absorption du faisceau de pompage est proportionnelle à la concentration en dopant). Si on considère l'exemple des microlasers YAG:Nd déclenchés passivement par absorbant saturable, en particulier par YAG:Cr4+, on cherche à abaisser les seuls lasers, par exemple aux alentours de mW. Exposé de l'invention L'invention propose donc une méthode qui permet d'obtenir des matériaux actifs laser ayant un dopage élevé en ions actifs. En outre, en vue des applications à la fabrication des microlasers, cette méthode doit être compatible avec les procédés de fabrication collective de ces microlasers. De manière plus précise, l'invention a pour objet un procédé de réalisation d'un matériau actif laser, comportant une étape de croissance, par épitaxie en phase liquide, d'un matériau de base dans lequel des ions actifs, lui conférant des propriétés laser, sont introduits de manière à obtenir une concentration en ions actifs supérieure ou égale à 2%. L'invention a également pour objet un procédé de réalisation d'un matériau actif laser, comportant une étape de croissance, par épitaxie en phase liquide, d'un matériau de base dans lequel des ions actifs, lui conférant des propriétés laser, sont introduits de manière à obtenir une concentration en ions actifs comprise entre 2% et 12%. En particulier, l'invention a pour objet un procédé de réalisation d'un matériau actif laser, comportant une étape de croissance, par épitaxie en phase liquide, d'un matériau de base YAG dopé avec des ions néodymes (Nd3+) à une concentration de 12%. La technique d'épitaxie en phase liquide permet d'augmenter la concentration en ions actifs dans le cristal. Le coefficient d'absorption du milieu laser s'en trouve augmenté dans le même rapport. Il est alors possible de réaliser des milieux actifs laser à fort rendement, à faible seuil, même avec des épaisseurs faibles. Ce procédé est donc particulièrement intéressant pour réaliser les microlasers, notamment monomodes. Enfin, la technique d'épitaxie en phase liquide est compatible avec les procédés de fabrication collective des microlasers, qui utilisent les techniques de la microélectronique. L'invention a également pour objet un procédé de réalisation d'un composant pour cavité microlaser, comportant: - la réalisation d'un matériau actif laser, par croissance, par épitaxie en phase liquide, d'un matériau de base dans lequel des ions actifs, lui conférant des propriétés laser, sont introduits de manière à obtenir une concentration en ions actifs, supérieure à 2%, - la réalisation d'une couche mince d'absorbant saturable, directement sur le matériau actif laser préparé précédemment. Les étapes de dépôt de matériau laser et d'absorbant saturable peuvent être répétées pour avoir finalement des couches alternées de matériau laser et d'absorbant saturable. On peut ainsi choisir l'endroit o se trouve l'absorbant saturable dans la cavité. Ceci permet de réaliser la sélection de modes, en particulier lorsque l'absorbant saturable est au milieu de la cavité. On obtient ainsi l'élément essentiel d'une cavité microlaser déclenchée passivement, et présentant, du fait d'une concentration en ions actifs supérieure à 2%, un milieu actif laser à haut rendement et à faible seuil. De manière particulièrement avantageuse, la couche mince d'absorbant saturable peut être réalisée par épitaxie en phase liquide: ainsi, les deux composants du microlaser, à savoir le milieu actif laser et l'absorbant saturable, sont tous deux réalisés par la même technique, elle-même compatible, comme on l'a déjà vu ci-dessus, avec les techniques de fabrication collective mises en oeuvre dans les procédés de fabrication des microlasers. L'invention a également pour objet un matériau actif laser, comportant un matériau de base dopé avec des ions actifs, conférant à ce matériau de base des propriétés laser, la concentration des ions actifs étant supérieure ou égale à 2%. Cette concentration peut être en particulier comprise entre 2 et 12%. Dans le cas d'un matériau YAG:Nd3+ (ou YLF dopé au néodyme), la concentration peut être comprise entre 2% et 15%, par exemple égale à, ou sensiblement égale à 12%. L'invention a également pour objet une cavité microlaser, comportant un miroir d'entrée, un miroir de sortie, et un milieu actif laser qui est constitué à partir d'un matériau actif laser tel que décrit ci- dessus. Comme déjà décrit ci-dessus, le matériau actif laser est obtenu par épitaxie en phase liquide. L'épitaxie est réalisée sur un substrat, qui présente une structure cristalline proche de celle, ou identique à celle, du matériau de base du milieu actif laser. La cavité microlaser peut donc elle-même comporter le substrat sur lequel l'épitaxie du milieu actif laser a été réalisée. Ce substrat peut également avoir été supprimé. Enfin, il est possible d'adjoindre au milieu actif laser des moyens de déclenchement, actifs ou passifs, de la cavité. Dans le cas de moyens de déclenchement passifs, un mode de réalisation particulièrement intéressant consiste en un absorbant saturable, susceptible d'avoir été déposé par épitaxie en phase liquide, directement sur le milieu actif. Les moyens de déclenchement passifs peuvent comporter une couche mince d'absorbant saturable, d'épaisseur inférieure à 400 pm ou 500 pm. Ces caractéristiques permettent d'obtenir des absorbants saturables intracavité, compatibles avec les tailles des microlasers usuellement mis en oeuvre. Brève description des figures De toute façon, les caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront mieux à la lumière de la description qui va suivre. Cette description porte sur les exemples de réalisation, donnés à titre explicatif et non limitatif, en se référant à des dessins annexés sur lesquels: - les figures 1 et 2 représentent des structures de cavité microlaser selon l'invention, - la figure 3A est une cavité microlaser selon l'invention, avec absorbant saturable et intracavité, la figure 3B est encore une cavité microlaser selon l'invention, avec microlentille pour stabiliser la cavité, - la figure 3C est une cavité microlaser selon l'invention, avec absorbant saturable au milieu de la cavité, - la figure 4 est un exemple de structure microlaser selon l'invention, avec déclenchement actif, - les figures 5A à 5E représentent des étapes de fabrication d'un microlaser selon l'invention, - les figures 6A et 6B représentent un microlaser selon l'invention, avec ses moyens de pompage optique et le, ou les, boîtier(s) de support des différents éléments. Exposé détaillé de modes de réalisation de l'invention Un premier exemple d'une structure de microlaser selon l'invention est illustré sur la figure 1. Cette structure comporte deux miroirs d'entrée et de sortie 2, 4 de la cavité microlaser, ainsi qu'un milieu actif laser 6, fortement dopé, avec une concentration en ions actifs supérieure à 1,5% ou à 2% (pourcentage en masse). Dans le cas o le milieu actif laser 6 est obtenu par croissance par épitaxie en phase liquide sur un substrat d'épitaxie, la cavité microlaser comporte également un substrat d'épitaxie 8 intracavité. En fait, le substrat 8 du milieu actif laser 6 ne se différencie que par les différents dopants qui affectent les propriétés optiques du milieu actif laser 6. Il est également possible de supprimer le substrat 8, après réalisation de l'épitaxie, par exemple par une étape de polissage. Dans ce cas, on obtient la structure de microlaser illustrée sur la figure 2: le microlaser comporte uniquement les miroirs d'entrée 2 et de sortie 4 de la cavité, ainsi que le milieu actif laser 6, fortement dopé. Sur les figures 1 et 2, la référence 10 désigne un faisceau de pompage, par exemple un faisceau d'une diode de pompage, du type diode laser III-V. Le matériau actif laser consiste essentiellement en un matériau de base dopé avec des ions actifs laser. Le matériau cristallin de base peut être choisi parmi l'un des matériaux suivants: YAG (Y3A15012), YVO4, YSO (Y2SiO5), YLF (YLiF4) ou GDVO4, etc. Des critères de choix pour l'un ou l'autre de ces matériaux sont donnés dans le document EP-653 824 (document US-5 495 494). Ce document donne également les indications sur le choix de l'épaisseur e du milieu actif laser; en particulier pour obtenir un laser monomode; typiquement, l'épaisseur du milieu actif est de l'ordre de: - 750 pm pour un milieu actif YAG, - 500 pm pour un milieu actif YVO4. En ce qui concerne les ions dopants, on choisit en général du néodyme (Nd) pour une émission laser autour de 1,06 pm. On peut également choisir de l'erbium (Er) ou un codopage erbium-ytterbium (Er+Yb) pour une émission autour de 1,5 pm. Pour une émission autour de 2 pm, on choisit du thulium (Tm) ou de l'holmium (Ho) ou un codopage thulium-holmium. Le dopage à i'ytterbium seul permet d'obtenir une émission à 1,03 pm. Les figures 3A à 3C sont des représentations, en coupe, de cavités microlasers pouvant être mises en oeuvre dans le cadre de la présente invention, c'est-à- dire avec un matériau laser solide, dopé à une concentration supérieure à 1,5% ou à 2%. Dans les trois cas représentés, le substrat d'épitaxie 8 a été supprimé par polissage. Il reste donc le milieu actif laser 6, 6- 1, 6-2, fortement dopé, les miroirs d'entrée 12, 14 et de sortie 22, 24 de la cavité. Un autre élément est également présent à l'intérieur de la cavité microlaser: il s'agit d'un élément absorbant saturable 16. De manière particulièrement avantageuse, l'absorbant saturable peut être une couche mince de matériau absorbant saturable, directement déposée sur le milieu actif solide 6. Dans la mesure o ce dernier est réalisé par épitaxie en phase liquide, un procédé de réalisation particulièrement intéressant, pour cette couche d'absorbant saturable, est l'épitaxie en phase liquide. Dans ce cas, la couche 16 est composée d'un matériau de base, identique à celui du milieu actif solide 6, et dopé avec des ions lui conférant des propriétés d'absorbant saturable, par exemple des ions chrome (Cr4+) ou erbium (Er3+). Ainsi, on peut obtenir une couche d'absorbant saturable, directement déposée sur le milieu actif laser, et d'épaisseur au maximum égale à 400 pm. Toutes les informations nécessaires à la réalisation d'une telle couche d'absorbant saturable sont données dans le document EP-653 824 (US-5 495 494). En particulier, il est également possible de réaliser un dépôt d'absorbant saturable de part et d'autre du milieu actif laser 6, et d'obtenir une cavité microlaser avec deux couches de matériau absorbant saturable directement déposées sur le milieu actif laser. Il est également possible de réaliser des microlentilles 18 en un matériau transparent (par exemple en silice) sur la surface du matériau actif laser 6. Là encore, toutes les informations nécessaires à la réalisation de ces microlentilles sont données dans le document EP- 653 824. Les microlentilles permettent de stabiliser la cavité microlaser. - Les structures des figures 3A à 3C peuvent également être réalisées avec un substrat 8 intracavité: ce substrat est compatible avec un dépôt d'absorbant saturable 16 par épitaxie en phase liquide. Dans le cas de la figure 3C, le positionnement de l'absorbant saturable au milieu de la cavité facilite la sélection de modes de la cavité. Le matériau actif laser d'une cavité microlaser peut être également associé à des moyens de déclenchement actifs, disposés à l'intérieur de la cavité. Ce mode de réalisation est illustré sur la figure 4, o la référence 6 désigne toujours le milieu actif laser, fortement dopé, et o la cavité est limitée par des miroirs d'entrée 26 et de sortie 28 du milieu actif laser. En fait, un miroir intermédiaire 27 délimite deux cavités: une première cavité résonnante est constituée par le milieu actif laser, et une seconde cavité résonnante par un matériau 30 possédant un indice susceptible de varier en fonction de perturbations extérieures. Ce matériau 30 peut être un matériau électrooptique, tel que du LiTaO3, auquel on applique une différence de potentiel à l'aide de deux électrodes de contact 32, 34. Un faisceau de pompage 36 est dirigé sur le miroir d'entrée 26. Le miroir 26, concave, permet d'assurer une réduction de la taille du faisceau laser dans le milieu électrooptique 30. Les conditions relatives au rayon de courbure de ce miroir, et le procédé pour réaliser la structure de la figure 4 sont donnés dans le document FR-95 00767 (US-08- 587 477). Les figures 5A à 5E illustrent des étapes de mise en oeuvre d'un procédé, pour fabriquer un microlaser selon l'invention. Dans une première étape (figure 5A) un substrat de matériau laser poli, double face, dopé ou non dopé en ions actifs, est sélectionné. Du fait des particularités de la technique d'épitaxie en phase liquide, ce substrat est de préférence constitué d'un matériau identique au matériau de base du milieu actif laser que l'on veut réaliser. Ainsi, si ce dernier est 3+ du type YAG:Nd3+, on sélectionne un substrat en YAG. Puis, dans une deuxième étape (figure 5B) il est procédé à l'épitaxie en phase liquide du matériau laser 46, à fort dopage. Avec cette technique, -il est possible d'obtenir des concentrations en ions actifs supérieures à 1,5% ou à 2%, par exemple situées dans les gammes 1,5-15% ou 2-15% (pourcentage en masse). En particulier, dans le cas du YAG:Nd, il est possible d'obtenir des concentrations en néodyme, jusqu'à 15% (par exemple: 12%). Des expériences réalisées en laboratoire ont montré qu'on pouvait augmenter d'un facteur 5 le coefficient d'absorption du YLF:Nd en le faisant croître par épitaxie en phase liquide. Ceci correspond à une concentration en néodyme de l'ordre de %. Comme dans le cas précédent, des concentrations en Nd comprises entre 2% et 15% peuvent être obtenues. Toutes ces valeurs sont bien supérieures aux concentrations usuellement obtenues par tirage Czochralski. L'épaisseur du milieu actif 46 obtenu peut être facilement contrôlée, par exemple de manière à obtenir une cavité microlaser monomode. Le document EP-653 824 donne des indications sur les épaisseurs de matériau actif ou de la cavité microlaser pour réaliser une cavité monomode. Le milieu actif obtenu subit ensuite une opération de polissage. L'épitaxie en phase liquide est une technique de croissance en solution. Aussi, lors de la croissance d'un cristal substitué, c'est la solubilité des différentes espèces dans la solution qui va jouer sur la concentration des substitutions dans le cristal. Lorsque l'on utilise une technique classique, du type bain fondu, le coefficient de ségrégation est très faible et on ne peut pas obtenir de cristaux fortement concentrés, en particulier dans le cas du néodyme: on doit mettre beaucoup de néodyme dans un bain pour obtenir un cristal très faiblement dopé (de l'ordre de 1,3%) et, au-delà d'une certaine limite, des phases parasites apparaissent. Dans le cas de l'épitaxie en phase liquide, on rencontre deux limitations: - la formation de phases parasites plus stables que le cristal. Lorsque l'on substitue les cations dans un cristal, par exemple les cations de chrome, de vanadium, ou de cobalt,... dans des composés aluminates, silicates de terres rares, on peut constater, lorsque l'on augmente la concentration d'un substituant, l'apparition de phases parasites du type: vanadate de terres rares, ou chromate de plomb (dans le cas de bains à base de solvant PbO). - En outre, en épitaxie en phase liquide, un second problème apparaît avec l'accord de maille couche- substrat. En effet, substituer un cation par un autre, beaucoup plus gros, augmente la maille cristalline de la couche qui devient en compression. Dans ce cas, on réalise une substitution complémentaire, par un petit cation non actif, dont on peut même calculer la concentration et la quantité, par rapport à celles du substituant, en appliquant la loi de Vegard. Ainsi: - dans le cas du YAG (Y3A15012) dopé au néodyme, on peut, par épitaxie en phase liquide, faire pousser des couches fortement concentrées en néodyme, jusqu'à %. Dans ce cas, le paramètre de maille devient trop important et on le réajuste grâce à l'ajout d'une petite terre rare non active telle que le lutécium (à partir de 4-5% de néodyme). Ainsi, des couches lasers monocristallines de YAG:Nd, ayant des concentrations très supérieures à celles des cristaux massifs ont pu être élaborées par épitaxie en phase liquide. - Dans le cas du YAG dopé Cr4+, des couches par épitaxie ayant des absorptions à 1,06pm, de plusieurs dizaines de cm-', ont été élaborées pour réaliser un absorbant saturable (dans les cristaux massifs, on obtient généralement seulement quelques cm-1 d'absorption). Ces couches deviennent également en forte compression et une substitution de l'yttrium par du lutécium permet de réajuster l'accord de maille. Dans ce cas, la concentration maximum en Cr4+ est limitée par l'apparition de phases parasites du type PbCr508 ou MgAl204. Dans une troisième étape (figure 5C), on peut déposer une couche 48 d'un matériau absorbant saturable. Ce dépôt peut être réalisé par épitaxie en phase liquide, le matériau 48 étant alors constitué d'un matériau de base, identique à celui de la couche , dopé avec des ions lui conférant des propriétés d'absorbant saturable. Les deuxième et troisième étapes peuvent être répétées pour avoir une alternance de couches de matériau laser et d'absorbant saturable. Ainsi, on peut obtenir une structure, illustrée sur la figure 3C, o l'absorbant saturable 16 est compris entre deux couches de matériau laser 6-1 et 6-2. L'étape suivante (figure 5D) consiste à réaliser des dépôts de miroirs d'entrée et de sortie , 52, de part et d'autre de l'élément obtenu au cours de l'étape précédente. Il s'agit en général de miroirs dichroïques, obtenus par un dépôt de multicouches diélectrique, procédé connu de l'homme du métier et disponible commercialement. Ensuite (figure 5E) la structure de multicouches obtenue est découpée pour obtenir des puces microlasers. Cette découpe peut être réalisée par une scie diamantée (de type de celles qui sont utilisées en microélectronique pour la découpe des puces silicium). Ainsi, on peut obtenir des puces laser 53-1, 53-2,..., et de quelques mm2 de section. Conformément à ce qui a été décrit ci-dessus, on peut prévoir une étape supplémentaire, au cas o on souhaite fabriquer, sur l'une ou l'autre des faces de la structure obtenue un réseau de microlentilles. De préférence, on grave directement les microlentilles sur le matériau laser, en utilisant des techniques utilisées couramment en microélectronique. Lors du polissage effectué après épitaxie en phase liquide du matériau laser, il est possible d'éliminer le substrat 40 sur lequel l'épitaxie a été réalisée. Ainsi, on ne conserve qu'une couche épitaxiée fortement dopée. Dans tous les cas, la structure obtenue ne nécessite, à aucun moment, l'alignement optique des différents composants. Par ailleurs, elle n'introduit aucune colle optique. Le pompage de la cavité est préférentiellement un pompage optique. Ainsi, les diodes laser III-V sont particulièrement bien adaptées pour pomper une cavité microlaser. Comme illustré sur la figure 6A, une cavité microlaser 54 obtenue comme décrit ci-dessus peut être montée dans un boîtier mécanique 56, prévu pour recevoir également la diode laser de pompage 58. La référence 60 représente le faisceau laser, continu ou en impulsion, obtenu. Selon un autre mode de réalisation (figure 6B), il est possible de prévoir deux boîtiers séparés 56-1 et 56-2: l'un pour recevoir la cavité microlaser 54, l'autre pour recevoir la diode laser de pompage 58, les deux boîtiers étant reliés par une fibre optique 62, à l'aide de connecteurs 64-1 et 64-2 prévus dans chacun des boîtiers. La technique de réalisation d'un matériau laser et de microlasers selon l'invention permet d'obtenir des concentrations élevées en ions actifs, dans un substrat cristallin: ces concentrations sont supérieures à 1,5% ou à 2%. Par exemple, on obtient des concentration sensiblement égales, ou égales, à: 3%, 4%, 5%, 8%, 10%, 11%. Cependant, il n'est pas forcément intéressant d'augmenter la concentration jusqu'à des valeurs supérieures à 12 ou 13%. En effet, si l'on considère le rendement différentiel du microlaser (c'est-à-dire la pente de la courbe, qui donne la puissance du faisceau laser obtenu en fonction de la puissance du faisceau de pompage incident), celui-ci est directement proportionnel au taux d'absorption =l-e-L, o L est la longueur du milieu absorbant laser et a le coefficient d'absorption. Si l'on considère cette seule équation, il est clair qu'on a intérêt à choisir une concentration la plus forte possible. Par contre, lorsque la concentration est très élevée, les effets d'autoextinction de la luminescence (ou "Quenching" en terminologie anglo-saxonne) réduisent la durée de vie du niveau haut de l'ion actif qui participe à l'effet laser. Or, le seuil du laser, c'est-à-dire la puissance absorbée à partir de laquelle l'effet laser se produit, est inversement proportionnel à la durée de vie. Par conséquent, si l'on raisonne en termes de puissance incidente, le seuil Ps est donné par la relation suivante: ( - e-aL) o T, a et L ont la signification donnée cidessus et o k est une constante de proportionnalité. Pour une épaisseur de microlaser inférieure à 1 mm, les calculs montrent que le seuil minimum est obtenu pour une concentration comprise entre 2% et 3%, valeur qu'il n'est pas possible d'obtenir par la méthode classique de croissance Czochralski. Pour une puissance de pompe donnée, le maximum de puissance laser est obtenu pour une concentration comprise entre 3% et 12%. La concentration de 3% donne le seuil le plus faible, alors que la concentration de 12% donne le meilleur rendement différentiel. En particulier, dans le cas d'un laser YAG:Nd, il est possible d'obtenir des concentrations en néodyme jusqu'à 12%. Par ailleurs, des expériences réalisées en laboratoire ont montré qu'on pouvait augmenter d'un facteur 5 le coefficient d'absorption du YLF dopé au néodyme, en faisant croître la structure cristalline par épitaxie en phase liquide. Cela correspond à une concentration en néodyme de l'ordre de 5%, ce qui est bien supérieur à la concentration de 1% que l'on atteint communément par tirage Czochralski. REVENDICATIONS 1. Matériau actif laser comportant un matériau cristallin de base dopé avec des ions actifs, conférant à ce matériau de base des propriétés laser, la concentration des ions étant supérieure ou égale à 2%. 2. Matériau actif laser comportant un matériau cristallin de base dopé avec des ions actifs, conférant à ce matériau de base des propriétés laser, la concentration des ions étant comprise entre 2% et.12%. 3. Matériau actif laser selon l'une des revendications 1 ou 2, le matériau cristallin de base étant choisi parmi Y3A15012, YVO4, Y2SiO5, YLiF4 ou GdVO4 et étant dopé avec des ions de néodyme (Nd), ou d'erbium (Er), ou de thulium (Tm), ou d'holmium (Ho), ou d'ytterbium (Yb), ou avec un codopage d'ions erbium et d'ytterbium (Er+Yb), ou avec un codopage de thulium et d'holmium (Tm+Ho). 4. Matériau actif laser comportant un matériau cristallin YAG, dopé avec des ions néodyme (Nd3+) à une concentration comprise entre 2% et 15%. 5. Matériau actif laser comportant un matériau cristallin YLiF4, dopé avec des ions néodyme, à une concentration comprise entre 2% et 15%. 6. Matériau actif laser selon l'une des revendications 1 à 5, susceptible d'avoir été obtenu par épitaxie en phase liquide. 7. Cavité microlaser comportant un miroir d'entrée (2, 12, 22, 26), un miroir de sortie (4, 14, 24, 28) et un milieu actif laser (6) constitué d'un matériau cristallin de base, dopé avec des ions actifs conférant à ce matériau de base des propriétés laser, la concentration des ions étant supérieure à 2%. 8. Cavité microlaser comportant un miroir d'entrée (2, 12, 22, 26), un miroir de sortie (4, 14, 24, 28) et un milieu actif laser (6) constitué d'un matériau cristallin de base, dopé avec des ions actifs conférant à ce matériau de base des propriétés laser, la concentration des ions étant comprise entre 2% et 12%. 9. Cavité microlaser selon l'une des revendications 7 ou 8, le matériau de base étant choisi parmi Y3A150l12, YV04, Y2SiOs, YLiF4 ou GdVO4 et étant dopé avec des ions de néodyme (Nd), ou d'erbium (Er), ou de thulium (Tm), ou d'holmium (Ho), ou d'ytterbium (Yb), ou avec un codopage d'ions erbium et d'ytterbium (Er+Yb), ou avec un codopage de thulium et d'holmium (Tm+Ho). 10. Cavité microlaser comportant un miroir d'entrée (2, 12, 22, 26), un miroir de sortie (4, 14, 24, 28) et un milieu actif laser (6) comportant un matériau cristallin YAG, dopé avec des ions néodyme (Nd3+) à une concentration comprise entre 2% et 15%. 11. Cavité microlaser comportant un miroir d'entrée (2, 12, 22, 26), un miroir de sortie (A, 14, 24, 28) et un milieu actif laser (6) comportant un matériau cristallin YLiF4 dopé avec des ions néodyme à une concentration comprise entre 2% et 15%. 12. Cavité microlaser selon l'une des revendications 7 à 11, le milieu actif laser étant susceptible d'avoir été obtenu par épitaxie en phase liquide. 13. Cavité microlaser selon la revendication 12, comportant en outre un substrat (8) sur lequel l'épitaxie du milieu actif laser est susceptible d'avoir été réalisée. 14. Cavité microlaser selon l'une des revendications 7 à 13, comportant en outre des "moyens de déclenchement passif (16) de la cavité. 15. Cavité microlaser selon la revendication 14, les moyens de déclenchement passif comportant un absorbant saturable, susceptible d'avoir été déposé par épitaxie en phase liquide, directement, soit sur le milieu actif laser (6), soit sur le substrat sur lequel ce dernier est épitaxié. 16. Cavité microlaser selon l'une des revendications 14 ou 15, les moyens de déclenchement passif comportant une couche mince d'absorbant saturable (16), d'épaisseur inférieure à 400 pm. - 17. Cavité microlaser selon l'une des revendications 7 à 16, comportant des couches alternées de matériau actif laser et d'absorbant saturable. 18. Cavité microlaser selon la revendication 17, comportant une première couche (6-1) de milieu actif laser, une couche d'absorbant saturable (16), une seconde couche de milieu actif laser (6-2), la couche d'absorbant saturable étant située au milieu, ou sensiblement au milieu, de la cavité microlaser. 19. Cavité microlaser selon l'une des revendications 7 à 13, comportant en outre des -moyens de déclenchement actif (30, 32, 34) du microlaser. 20. Cavité microlaser selon l'une des revendications 5 à 15, la cavité étant stabilisée. 21. Cavité microlaser selon l'une des revendications 6 à 20, la cavité étant monomode. 22. Procédé de réalisation d'un matériau actif laser, comportant une étape de croissance, par épitaxie en phase liquide, d'un matériau cristallin de base dans lequel des ions actifs, lui conférant des propriétés laser, sont introduits de manière à obtenir une concentration des ions actifs supérieure ou égale à 2%. 23. Procédé se réalisation d'un matériau actif laser comportant une étape de croissance, par épitaxie en phase liquide, d'un matériau cristallin de base dans lequel des ions actifs, lui conférant des propriétés laser, sont introduits de manière à obtenir une concentration des ions actifs comprise entre 2% et 12%. 24. Procédé de réalisation d'un matériau actif laser, comportant une étape de croissance, par épitaxie en phase liquide, d'un matériau cristallin de base YAG dopé avec des ions néodyme (Nd3+) à une concentration de 12%. 25. Procédé de réalisation d'un matériau actif laser, selon l'une des revendications 22 à 24, l'épitaxie en phase liquide étant réalisée sur un substrat comportant un matériau identique au matériau de base du matériau actif laser. 26. Procédé de réalisation d'un matériau actif laser selon l'une des revendications 22 à 25, l'épitaxie en phase liquide ayant lieu sur un substrat, qui est ensuite éliminé. 27. Procédé de réalisation d'un matériau actif laser, selon l'une des revendications 22 à 26, le matériau de base étant choisi parmi Y3A15012, YVO4, Y2SiO5, YLiF4 ou GdVO4 dopé avec des ions de néodyme (Nd), d'erbium (Er), ou de thulium (Tm), ou d'holmium (Ho), ou d'ytterbium (Yb). 28. Procédé de réalisation d'un composant pour microcavité laser, comportant: - une étape de réalisation d'un matériau actif laser, par croissance, par épitaxie en phase liquide, d'un matériau cristallin de base dans lequel des ions actifs, lui conférant des propriétés laser, sont introduits de manière à obtenir une concentration en ions actifs, supérieure à 2%, - une étape de réalisation d'une couche mince d'absorbant saturable, directement sur le matériau actif laser préparé précédemment. 29. Procédé selon la revendication 28, la couche mince d'absorbant saturable étant réalisée par épitaxie en phase liquide. 30. Procédé selon l'une des revendications 28 ou 29, les étapes de réalisation de matériau actif laser et d'absorbant saturable étant répétées de manière alternée. 31. Microlaser comportant une cavité microlaser selon l'une des revendications 7 à 21, et des moyens de pompage (58) de la cavité.