FR 2750787 A1 19980109 FR 9608393 A 19960705 TETE MAGNETIQUE MATRICIELLE D'ENREGISTREMENT/LECTURE ET PROCEDE DE REALISATION L'invention concerne une tête magnétique matricielle d'enregistrement/lecture applicable notamment à l'enregistrement/lecture de bandes magnétiques multipistes. Les brevets français n 2 630 853 et 2 648 608 décrivent des têtes magnétiques matricielles d'enregistrement/lecture permettant de faire de l'enregistrement/lecture haute densité sur un support d'enregistrement. A titre d'exemple de telles têtes magnétiques sont capables d'enregistrer jusqu'à 1 024 pistes en parallèles sur une bande magnétique de 8 mm de large. Ces têtes matricielles peuvent être réalisées par des technologies hybrides qui allient des étapes de sciage, bobinage, collage et dépôt couches minces. Des modes de réalisation sont décrits par exemple dans le brevet français n 2 648 940. Par ailleurs, ces têtes matricielles peuvent être réalisées par des technologies dites "intégrées" complètement couche mince. Dans ce cas, les conducteurs ne sont plus des fils bobinés mais des films conducteurs gravés. Un certain nombre de brevets décrivent ce type de réalisation. Une contrainte importante liée à ce type de réalisation réside dans le coût de réalisation des têtes qui est pratiquement proportionnel à leur surface. Un objectif important est donc la réduction de la surface du composant. Lorsqu'on a réalisé une tête d'écriture matricielle couche mince, deux alternatives apparaissent pour connecter cette tête à son électronique: connectique face avant: des fils sont soudés directement sur les conducteurs couche mince. Les sur-épaisseurs imposées par ces soudures ne permettent pas d'assurer un bon contact entre la bande et la tête à proximité des fils soudés. On est alors conduit à reporter ces soudures à l'extérieur de la bande (de part et d'autre). La hauteur totale de la tête est donc imposée par cette contrainte. Dans certaines configurations, ceci conduit à un sur-dimensionnement considérable de la tête réelle. connectique face arrière: pour éviter cet inconvénient, il est indispensable de connecter la tête d'écriture en face arrière en réalisant des passages conducteurs (via) dans le substrat. La réalisation de via conducteurs dans des substrats de silicium ne sont pas aujourd'hui maîtrisés industriellement. L'invention fournit une solution à ce problème. L'invention concerne donc une tête magnétique d'enregistrement/ lecture matricielle comportant: - un substrat céramique non conducteur de l'électricité possédant une première et une deuxième faces principales munies chacune de plages de connexion, les deux plage des deux faces étant interconnectées deux à deux par des éléments de connexion internes; - une couche de bonne perméabilité magnétique déposée sur la première face du substrat et portant une première série de conducteur de lignes et une deuxième série de conducteurs de colonnes croisant les conducteurs de ligne, chaque conducteur étant connecté à une plage de connexion de la première face; - des paires de pôles magnétiques localisées sensiblement au croisement d'un conducteur de ligne et d'un conducteur de colonne, les pôles d'une paire étant séparés par un espace d'entrefer et étant couplés magnétiquement à la couche de bonne perméabilité magnétique dans deux zones opposées définies par le croisement d'un conducteur de ligne et d'un conducteur de colonne. Les différents objets et caractéristiques de l'invention apparaîtront plus clairement dans la description qui va suivre et dans les figures annexées qui représentent: - la figure 1, un exemple de tête magnétique selon l'invention; - les figures 2a et 2b, un exemple de substrat de la tête magnétique; - les figures 3a à 3g, différentes vues d'un substrat applicable à I'invention. En se reportant à la figure 1, on va tout d'abord décrire un exemple de réalisation d'une tête magnétique selon l'invention. Une plaque de substrat SU en matériau isolant est recouverte sur une face su2 d'une couche d'un matériau à bonne perméabilité magnétique MAG. Cette couche porte une première série de conducteurs L1, L2 (conducteurs de lignes) et une deuxième série de conducteurs Cl, C2 (conducteurs de colonnes). Les conducteurs de ligne ne sont pas parallèles aux conducteurs de colonnes et en sont séparés par une couche d'isolant IS1. Selon l'exemple de la figure 1, les conducteurs de lignes sont parallèles entre eux et les conducteurs de colonnes sont parallèles entre eux. Si la couche MAG est conductrice, une couche d'isolant IS2 l'isole des conducteurs de lignes et de colonnes. Les conducteurs de lignes et de colonnes forment des points de croisement. A chaque point de croisement est prévue une paire de pôles magnétiques P1, P2. Deux pôles P1, P2 sont séparés par un entrefer El. Les deux pôles sont agencés de façon à être orientés sensiblement selon une ligne passant au-dessus du point de croisement. Les deux pôles sont couplés à la couche MAG en deux zones sensiblement symétriques par rapport au point de croisement. De préférence, les pôles P1, P2 sont en contact avec la couche MAG par l'intermédiaire de plots magnétiques PM1, PM2. Le circuit magnétique d'une tête magnétique élémentaire est ainsi constitué des deux pôles P1, P2 séparés par l'entrefer El, des deux plots PM1, PM2 et de la couche MAG. Le passage d'un courant électrique dans l'un, I'autre ou les deux conducteurs de lignes et de colonnes induira donc la circulation de flux magnétiques dans le circuit magnétique. Selon le sens des courants dans les deux conducteurs, les flux induits s'additionneront ou se retrancheront. Un support magnétique (non représenté) placé à proximité de l'entrefer sera donc influencé par ces flux et pourra enregistrer des informations magnétiques. L'ensemble de la tête magnétique est noyé dans un matériau non magnétique et isolant électriquement. Sur la figure 1, on n'a représenté qu'une tête élémentaire (P1 -P2). Cependant, une tête matricielle peut comporter plusieurs dizaines de conducteurs de lignes et plusieurs dizaines de conducteurs de colonnes, et posséder une tête élémentaire à chaque point de croisement. Les conducteurs de colonnes et les conducteurs de lignes sont connectés à des plages de connexion telles que C01, C02, situées sur la face su2 du substrat. Pour que cette connexion puisse se faire, la couche magnétique MAG ne recouvre pas ces plages de connexion, ou bien des trous sont prévus dans la couche MAG pour accéder à ces plages. Les plages de connexion (C01, C02) sont interconnectées à travers le substrat SU à des plages de connexion situées sur la surface sul du substrat. Le substrat SU se présente alors tel que cela est représenté sur les figures 2a et 2b. Sur la figure 2a, on voit la face su2 du substrat. Dans la zone TM, on a représenté le réseau de conducteurs de lignes et de colonnes o est réalisé l'ensemble de têtes magnétiques. Chaque conducteur de lignes et de colonnes est raccordé à une plage de connexion telles que C01, C02. Les plages M1, M2 sont les connexions de masse communes respectivement aux conducteurs de lignes et aux conducteurs de colonnes. La figure 2b représente le substrat vu du côté de la face sul. A cette face est connectée une plaque de circuits imprimés Cl. A des plages de connexion de la face sul correspondent, sur cette plaque, les plages de connexion telles que C0'1, C0'2. Ces plages de connexion sont connectées par des connexions internes aux plages de connexion de la face su2. Les dispositions des plages de connexion sur les deux faces du substrat n'étant pas les mêmes, il est nécessaire de prévoir une distribution des connexions à l'intérieur du substrat. Les figures 3a à 3g représentent un mode de réalisation d'un tel substrat. La figure 3a représente le substrat en coupe et met en évidence que le substrat est un empilement de couches. Chaque couche est traversée par autant d'éléments de connexions qu'il y a de plages de connexion sur une face. Pour réorganiser la disposition des plages de connexion d'une face par rapport à la disposition des plages de connexion de l'autre face, entre les différentes couches, il est prévu des conducteurs internes, tels que cil, permettant de déplacer les plages de connexion. Les figures 3b à 3g représentent respectivement la face su2 du substrat, les interfaces des différentes couches du substrat 2 à 8 et la face sul. Selon un mode de réalisation préféré de l'invention, le substrat est en alumine. Chaque couche a une épaisseur d'environ 0,25 mm, ce qui conduit à un substrat d'épaisseur de quelques millimètres (2 mm par exemple). Le procédé de réalisation comporte une première phase de réalisation du substrat par empilement de différentes couches d'alumine et réalisation, à chaque étape d'empilement, d'éléments de connexion traversant chaque couche et de conducteurs (cil) permettant de déplacer les plages de connexion. Ce substrat étant réalisé avec sur sa face sul des plages de connexion C0'1, CO'2 et sur sa face su2 des plages de connexion C01, C02, on réalise sur la face su2 I'ensemble de têtes magnétiques. Cet ensemble de têtes magnétiques est implémenté de la manière suivante: À polissage du substrat (face su2); réalisation d'une base en matériau magnétique tel que le sendust, le permalloy ou un autre alliage connu pour sa forte perméabilité (couche MAG); : gravure de cette base pour dégager les plages de connexion C1O, C02; isolation électrique (par exemple Si02 ou Polyimide) (couche IS2); 20. dépôt et gravure d'une rangée de conducteurs de lignes (L1, L2) (par exemple Aluminium, ou Or ou Cuivre); isolation de ces conducteurs (Si02 ou Polyimide) (couche ISl); - dépôt et gravure d'une rangée de conducteurs de colonnes (Cl, C2); À isolation de ces conducteurs (couche IS1); planarisation; gravure des couches d'isolant (IS1, IS2) jusqu'à la couche magnétique MAG; remplissage des trous par un matériau magnétique à forte perméabilité magnétique; planarisation; réalisation des pôles (P1, P2) et entrefer (El). Ces pôles sont réalisés par exemple selon la technique décrite dans le brevet français n 2 605 783. Le dessin des conducteurs doit prendre en compte les contraintes imposées par la réalisation des têtes magnétiques: pas réduit entre conducteurs (à 80 pm par exemple). Cette implantation prend aussi en compte les contraintes imposées par la réalisation du substrat: typiquement 250 pm de pas entre les éléments de connexion traversant le substrat (de 100 pm de diamètre). Selon une variante de réalisation, le substrat SU est réalisé en un matériau à bonne perméabilité magnétique en ferrite par exemple. Il n'y a donc pas lieu de prévoir la couche de bonne perméabilité magnétique MAG. L'invention présente l'avantage de fournir une tête magnétique matricielle compacte, intégrée, rigide, aux connexions électriques fiables, et moins chère. REVENDICATIONS 1. Tête magnétique d'enregistrement/lecture matricielle comportant: - un substrat céramique non conducteur de l'électricité possédant une première et une deuxième faces principales (sul, su2) munies chacune de plages de connexion (CO1,CO'1), les deux plage des deux faces étant interconnectées deux à deux par des éléments de connexion internes; - une couche de bonne perméabilité magnétique (MAG) déposée sur la première face du substrat et portant une première série de conducteurs de lignes (L1I) et une deuxième série de conducteurs de colonnes (C2) croisant les conducteurs de ligne, chaque conducteur étant connecté à une plage de connexion de la première face; - des paires de pôles magnétiques (P1, P2) localisées sensiblement au croisement d'un conducteur de ligne et d'un conducteur de colonne, les pôles d'une paire étant séparés par un espace d'entrefer et étant couplés magnétiquement à la couche de bonne perméabilité magnétique dans deux zones opposées définies par le croisement d'un conducteur de ligne et d'un conducteur de colonne. 2. Tête magnétique selon la revendication 1, caractérisée en ce que le substrat est en alumine. 3. Tête magnétique selon la revendication 1, caractérisée en ce que le substrat est en ferrite et tient lieu de couche de bonne perméabilité magnétique. 4. Tête magnétique selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'il comporte plusieurs couches de matériaux isolants électriquement, chaque couche possédant sur ses deux faces principales, des plages de connexions interconnectées par des éléments de connexion traversant la couche, des éléments conducteurs situés sur une face connectant en outre des éléments de connexion à des plages de connexion. 5. Procédé de réalisation d'une tête magnétique matricielle caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes: - réalisation d'un substrat en matériau isolant possédant, sur une première face, des premières plages de connexion et, sur une deuxième face, des deuxièmes plages de connexion, les première et deuxième plages de connexion étant interconnectées à travers le substrat par des éléments de connexion internes; - réalisation sur la deuxième face du substrat successivement ò d'une couche d'un matériau de bonne perméabilité magnétique; À de rubans conducteurs constituant des conducteurs de lignes; À d'une couche d'isolant; de rubans conducteurs constituant des conducteurs de colonnes non parallèles aux conducteurs de lignes; - perçage de trous à travers la couche d'isolant jusqu'à la couche de bonne perméabilité magnétique à des points de croisement d'un conducteur de ligne et d'un conducteur de colonne en des zones sensiblement symétriques du point de croisement; - réalisation de paires de pôles magnétiques, les pôles d'une paire étant séparés par un entrefer et étant réalisés sensiblement dans lesdites zones de façon à être couplés à la couche de matériau à bonne perméabilité magnétique.