FR 2726931 A1 19960515 FR 9413692 A 19941116 TETE MAGNETIQUE VERTICALE A BOBINAGE INTEGRE ET SON PROCEDE DE REALISATION DESCRIPTION Domaine technique La présente invention a pour objet une tête magnétique verticale à bobinage intégré et son procédé de réalisation. Elle trouve une application privilégiée dans l'enregistrement vidéo grand public. Mais elle peut être utilisée aussi dans d'autres domaines, comme celui des sauvegardes de données ou celui des mémoires d'ordinateur. Etat de la technique antérieure Un support d'enregistrement magnétique pour matériau vidéo, sauvegarde de données ou mémoire d'ordinateur, comprend de nombreuses pistes sur lesquelles sont inscrites des informations sous forme de domaines magnétiques. Pour augmenter la densité d'informations, on augmente non seulement le nombre d'informations par unité de longueur, mais encore le nombre de pistes. Pour cela, on dimine la largeur des pistes, et, simultanément, l'intervalle les séparant, jusqu'à les rendre jointives. Aujourd'hui, répondant à ces objectifs, on trouve principalement sur le marché deux types de têtes: des têtes dites à "métal dans l'entrefer" (en anglais "Metal-in-Gap"), et des têtes dites "sandwich". La figure 1 annexée illustre un exemple de tête de ce second type. La tête représentée comprend un substrat 2 supportant un circuit magnétique 4 constitué par une couche magnétique déposée sur la face supérieure du substrat, ce circuit présentant à l'avant deux pièces polaires 5 et 7 séparées par un entrefer 6, qui est formé par un espaceur amagnétique. Cette tête comprend en outre, au-dessus du circuit magnétique, un superstrat 2' amagnétique. Par ailleurs, la tête comprend encore une ouverture 8 percée à travers la couche magnétique, le substrat, et le superstrat ainsi qu'un enroulement conducteur 9 empruntant l'ouverture 8. La tête représentée sur la figure 1 est destinée à coopérer avec un support d'enregistrement S orienté perpendiculairement au substrat, (ou, ce qui revient au même, parallèlement à la tranche de celui-ci). De telles têtes peuvent être qualifiées de "verticales" en ce sens que la surface active est perpendiculaire à la surface du substrat de départ. La largeur de l'entrefer, notée e, est comptée perpendiculairement au substrat (ou, ce qui revient au même, parallèlement au support d'enregistrement). Cette largeur e correspond sensiblement à la largeur respective des pistes du support. Sa longueur, notée L, est comptée dans le sens du déplacement relatif de la tête et du support d'enregistrement S. Quant à la hauteur de l'entrefer, notée h, elle est comptée parallèlement à la face du substrat supportant le circuit magnétique. On ne confondra pas ce genre de têtes avec les têtes dites "horizontales" o l'entrefer affleure sur une face parallèle au substrat et o le support d'enregistrement se déplace parallèlement à cette face du substrat. Une tête horizontale est décrite par exemple dans le document FR-A-2 604 021. L'une des différences essentielles entre les têtes verticales de type sandwich et les têtes horizontales (outre des différences évidentes de structure et de réalisation), tient à ce que, dans ces dernières, la largeur de l'entrefer (correspondant à la largeur de la piste) est définie par lithographie, tandis que la dimension affectée par l'usure de la tête est définie par l'épaisseur du matériau magnétique déposé. Dans les têtes verticales de type sandwich comme celle de la figure 1, au contraire, c'est la largeur de l'entrefer e qui est définie par l'épaisseur du matériau magnétique déposé, tandis que l'usure affecte la hauteur h, laquelle est ajustée par lithographie. La réalisation pratique des têtes verticales de type sandwich telles que celle de la figure 1 implique un grand nombre d'opérations de micromécanique et de soudures à haute température. La réalisation est le plus souvent unitaire, c'est-à-dire non collective. Certains procédés de réalisation sont notamment décrits dans l'ouvrage intitulé "Recent Magnetics for Electronics", JARECT, vol. 10, Chapitre 11, p. 121-133, 1983, édité par Y SAKURAI, North-Holland, ainsi que dans l'ouvrage intitulé "The Complete Handbook of Magnetic Recording", F. JORGENSEN, Chapitre 9, p. 196- 216, 1988, édité par TAS BOOKS Inc. On connaît, par ailleurs, des têtes verticales telles que représentées sur les figures 2 et 3 utilisant des couches minces et un bobinage intégré. Ces têtes comprennent une couche magnétique inférieure 11 et une couche magnétique supérieure 12, cette dernière chevauchant la couche magnétique inférieure 11 et venant prendre contact avec celle-ci à l'arrière mais laissant à l'avant un entrefer 13. Entre ces deux couches magnétiques et entourant la partie arrière, on trouve un enroulement conducteur 14 intégré dans la structure. Cet enroulement est relié à deux connexions et 16, la connexion 15 venant prendre contact au centre de l'enroulement. De telles têtes sont décrites par exemple dans l'ouvrage de F. JORGENSEN intitulé "The Complete Handbook of Magnetic Recording", troisième édition, 1988, édité par TAB BOOKS INC, chapitre 9, "Manufacture of Head Assemblies", pp. 190-216, en particulier page 205. Bien que donnant satisfaction à certains égards, ces têtes présentent des inconvénients, en particulier en raison de la structure des pièces polaires. Ces pièces (11, 12) sont juxtaposées dans la région de l'entrefer (13) de sorte que la largeur de celui-ci, correspondant à la largeur de la piste à lire, est égal à la largeur des extrémités des pièces polaires (direction horizontale sur la figure 3). La hauteur de l'entrefer, h (voir figure 2) ne doit pas être trop importante de façon à éviter les problèmes de saturation magnétique dans les pôles (ce qui réduit l'efficacité de cette tête). Cette hauteur d'entrefer réduite est contraire à ce qui est nécessaire pour un comportement satisfaisant à l'usure. Cette hauteur h est définie par polissage des pièces polaires. Le but de la présente invention est justement de remédier à ces inconvénients. Exposé de l'invention A cette fin, l'invention propose une tête magnétique dans laquelle les deux pièces magnétiques définissant l'entrefer sont déposées l'une à côté de l'autre (et non plus l'une au-dessus de l'autre), ce qui conduit à une largeur d'entrefer faible, correspondant à l'épaisseur des couches magnétiques déposées, (et non plus à leur largeur). Cette disposition réduit les problèmes d'usure puisque celle- ci affecte la hauteur de l'entrefer, c'est-à-dire la direction parallèle au substrat. La tête magnétique selon l'invention se caractérise en outre par le fait qu'elle comprend deux bobinages formant l'enroulement (et non plus un seul). Ces deux bobinages sont disposés côte à côte au-dessus des pièces polaires. Pour refermer le circuit magnétique, il est prévu une pièce magnétique en forme de pont avec deux jambes prenant contact avec les deux pièces polaires, les deux bobinages entourant ces deux jambes. Il est prévu également un pont conducteur reliant les deux bobinages. La présente invention a également pour objet un procédé de réalisation d'une tête telle qu'elle vient d'être définie. Brève description des dessins - la figure 1 illustre une tête magnétique connue à structure verticale de type sandwich; - la figure 2 illustre une autre tête magnétique connue à pièces polaires superposées, en vue de côté; - la figure 3 montre la même tête mais en vue de dessus; - la figure 4 montre une première étape d'un procédé de fabrication conforme à l'invention; - la figure 5 montre le résultat d'une première gravure avec formation d'un premier caisson; - la figure 6 montre une étape de dépôt d'une couche isolante; - la figure 7 montre, en coupe, la première pièce polaire; - la figure 8 montre cette même première pièce polaire mais en vue de dessus; - la figure 9 montre une étape de préparation d'une deuxième gravure; - la figure 10 montre la formation d'un deuxième caisson; - la figure 11 montre, en coupe, la deuxième pièce polaire; - la figure 12 montre, en vue de dessus, les deux pièces polaires; - la figure 13 illustre une étape de dépôt de la couche d'isolant dans laquelle l'enroulement sera réalisé; - la figure 14 illustre la réalisation de gorges dans la couche d'isolant; - la figure 15 montre une sous-couche pour une opération de croissance électrolytique; la figure 16 montre un sous-ensemble après dépôt électrolytique d'une couche conductrice; - la figure 17 illustre cet ensemble après rodage et dépôt d'une nouvelle couche isolante; - la figure 18 montre, en vue de dessus, l'allure des deux bobinages avec les emplacements des futurs plots de connexion; - la figure 19 illustre la réalisation d'ouvertures dans la couche isolante; - la figure 20 montre une couche de résine préparée pour une opération de croissance électrolytique; - la figure 21 montre un sous-ensemble après dépôt électrolytique avec un pont magnétique de fermeture du circuit magnétique; - la figure 22 montre la préparation de la réalisation de plots de connexion; - la figure 23 montre un plot de connexion après croissance électrolytique; - la figure 24 montre ce plot planarisé; - la figure 25 montre, en vue de dessus, les deux bobinages, le pont magnétique, le pont conducteur et les plots de connexion de l'enroulement; - la figure 26 illustre, en coupe, une variante du procédé dans laquelle on forme une surépaisseur sur les pièces polaires; - la figure 27 montre, en vue de dessus, les pièces polaires et leur surépaisseur. Description de modes particuliers de réalisation Pour réaliser une tête conforme à l'invention, on commence, de manière classique, par réaliser un espaceur amagnétique sur un substrat, puis on dépose, de part et d'autre de cet espaceur, une première et une seconde pièces polaires. On forme alors, conformément à l'invention, un enroulement à deux bobinages de la manière suivante: - on dépose sur la première et la seconde pièces polaires, une couche isolante, - on grave dans cette couche isolante une première gorge spiralée au-dessus de la première pièce polaire et une seconde gorge spiralée au-dessus de la seconde pièce polaire, - on remplit les première et seconde gorges d'un matériau conducteur et l'on obtient lesdites premier et second bobinages. Le procédé se poursuit par les opérations suivantes: - on recouvre le sous-ensemble obtenu d'une autre couche isolante, - on ouvre dans cette autre couche isolante une première et une seconde ouvertures au centre respectivement du premier et du second bobinages, ces ouvertures allant jusqu'à la première et la seconde pièces polaires magnétiques, - on forme un pont en matériau magnétique avec une première jambe empruntant la première ouverture et prenant contact avec la première pièce polaire et avec une seconde jambe empruntant la seconde ouverture et prenant contact avec la seconde pièce polaire. Selon l'invention, le procédé se poursuit en ouvrant dans ladite autre couche isolante une première ouverture au-dessus d'une première extrémité du premier bobinage et une seconde ouverture au-dessus d'une première extrémité du second bobinage. On forme ensuite un pont conducteur empruntant la première et la seconde ouvertures, ce qui permet de relier un bobinage à l'autre. Il ne reste plus alors qu'à réaliser deux plots de connexion reliés aux extrémités libres des deux bobinages. On va décrire maintenant, en liaison avec les figures 4 à 24, un exemple de réalisation d'une tête magnétique selon l'invention. Il va de soi que les matériaux mentionnés, les dimensions indiquées ne sont donnés qu'à titre explicatif et nullement limitatif. On part d'un substrat 20 en silicium, d'orientation cristallographique (figure 4). Sur ce substrat, on dépose une couche d'isolant 22, en Si3N4, par la technique LPCVD ("Low Pressure Chemical Vapor Deposition"), cette couche isolante 22 a une épaisseur de 40 nm. Par une opération de lithographie, on définit la forme de la première pièce polaire et l'on dispose divers repères de rodage. On grave alors la couche 22 de Si3N4 et on supprime la résine du masque. On effectue alors une gravure anisotrope du substrat en silicium, par une solution de KOH (70 C- 38%) ce qui donne naissance à un premier caisson 24 à flanc incliné. On supprime ensuite la couche 22 de Si3N4 (figure 5). On effectue ensuite une oxydation thermique de l'ensemble ce qui crée une couche d'oxyde 26 sur l'ensemble. Cette couche peut avoir une épaisseur de 0,2 pm. On dépose ensuite un matériau magnétique dans le caisson. On peut procéder, par exemple, par croissance électrolytique. Pour cela, on déposera une sous-couche conductrice par pulvérisation cathodique, par exemple en NiFe de 0,1.m d'épaisseur. Par une première lithographie, on forme un masque présentant une ouverture en regard de la sous-couche disposée dans le fond du caisson. On effectue ensuite une électrolyse, de NiFe par exemple sous champ magnétique, pour obtenir des domaines magnétiques orientés parallèlement à l'entrefer. On supprime ensuite la résine. Au lieu d'opérer par dépôt par croissance électrolytique, on pourrait déposer un matériau magnétique comme le Sendust directement par pulvérisation cathodique puis gravure à travers un masque lithographique. On pourrait opérer aussi en deux fois et intercaler une couche d'isolant, par exemple en SiO2, entre deux phases d'électrolyse de NiFe, pour améliorer les performances à haute fréquence. (Les deux phases d'électrolyse sont précédées d'un dépôt d'une couche conductrice et d'un masque). On effectue ensuite une planarisation mécanique jusqu'à s'arrêter sur un plan dans la couche 26 et l'on obtient alors la première pièce polaire 301. Cette pièce est représentée en coupe sur la figure 7 et en vue de dessus sur la figure 8. On dépose ensuite sur le sous-ensemble obtenu une seconde couche isolante 31, en SiO2, d'épaisseur 0,2 g m. Par lithographie, on définit alors une ouverture 32 et par une gravure prenant pour masque la couche 31 de SiO2 et ce qu'il reste de la couche 26, on creuse un second caisson 334 par gravure isotrope du silicium, par exemple par plasma à microondes. On supprime le masque 31 en SiO2 et ce qu'il reste de la couche 26et l'on dépose un matériau magnétique 302 dans le second caisson. On peut procéder encore par croissance électrolytique de NiFe, comme précédemment ou par dépôt de Sendust par pulvérisation cathodique. On planarise l'ensemble mécaniquement jusqu'à faire apparaître l'entrefer 34. On dépose alors une couche 35 de SiO2, de 1 im d'épaisseur par exemple. On obtient alors les deux pièces polaires 301 et 302 telles qu'elles sont représentées en coupe sur la figure 11 et en vue de dessus sur la figure 12. Le procédé se poursuit par la réalisation de l'enroulement et de ses deux bobinages. Pour cela, on commence par déposer une couche isolante 36 de SiO2, d'épaisseur 3 pm par exemple (figure 13). On dépose sur cette couche de SiO2 une couche de résine 38 dans laquelle, par lithographie, on définit des ouvertures 40 (par exemple 40 tours pour chaque futur bobinage). On grave ensuite la couche 36 de SiO2 à travers le masque 38, par exemple par gravure ionique réactive. On supprime ensuite la résine 38 et l'on obtient le sous- ensemble de la figure 14. On dépose alors une sous-couche d'électrolyse 44 sur l'ensemble, par exemple en chrome-cuivre, d'une épaisseur totale de 0,2 lm par exemple. Cette couche peut être déposée par pulvérisation cathodique. On dépose ensuite une résine 45 dans laquelle on ménage une ouverture qui va définir un caisson de dépôt électrolytique. Ce caisson doit avoir une profondeur supérieure à 1 pn, par exemple 4 pm (figure 15). On effectue alors l'opération de croissance électrolytique en prenant la couche 44 comme électrode on forme ainsi une couche métallique 46. On supprime ensuite la résine 45, on élimine par usinage ionique la sous-couche d'électrolyse ainsi dégagée. On planarise alors l'ensemble jusqu'à mettre à nu la couche 36 et on dépose une couche d'isolation électrique 51 en SiO2 d'épaisseur 1 pm par exemple. On obtient le sous- ensemble de la figure 17. La f gure 18 montre, en vue de dessus, les deux bobinages 501, 502, les emplacements 52 et 56 des futurs plots de contact et les connexions 54, 58 reliant ces emplacements aux deux bobinages. On poursuit le procédé en ménageant diverses ouvertures dans la couche isolante 51, à savoir des ouvertures 601 et 602 au-dessus des première et deuxième pièces polaires ainsi que des ouvertures 621 et 622 au- dessus de certaines spires du bobinage (figure 19). On dépose ensuite une sous-couche d'électrolyse 63 par pulvérisation cathodique. On peut utiliser le NiFe d'épaisseur 0,1 pimn. On dépose ensuite une résine 64 dans laquelle on ménage des ouvertures 661 et 662 au-dessus des zones des futurs contacts électriques et 68 audessus de l'emplacement du futur pont magnétique (figure 20). Par électrolyse de NiFe, on réalise alors un pont magnétique 70 et un pont électrique 75 (figure 21). Pour former les plots de contact électrique, on dépose une couche isolante 76 (figure 22) sur la structure précédemment obtenue que l'on ouvre au-dessus des extrémités 52 et 56 des connexions de l'enroulement. On dépose ensuite, sur l'ensemble, une sous-couche d'électrolyse 83, par exemple en CrAu de 0,2 gm d'épaisseur. On dépose ensuite une couche de résine 77 (figure 23) dans laquelle on ménage une ouverture pour la croissance électrolytique. Par électrolyse d'or, on forme deux plots 81-82. On enlève la résine 77 et l'on planarise le tout pour laisser subsister les deux plots 81, 82 (un seul est représenté en coupe sur la figure 24). La figure 25 montre l'ensemble en vue de dessus. Les couches utilisées ont une hauteur telle qu'après planarisation, les plots 81, 82 aient une hauteur supérieure aux ponts 70 et 75 de sorte que ceux-ci se trouvent enterrés dans la couche d'isolant 76. Toutes les opérations qui viennent d'être décrites peuvent être obtenues de manière collective sur un même substrat. Il restera alors, par des opérations classiques de micromécanique, à séparer les différentes têtes les unes des autres. Dans une variante de réalisation, on renforce l'épaisseur des pièces magnétiques en ajoutant une surépaisseur. C'est ce qui est représenté sur les figures 26 et 27. Ayant obtenu les pièces polaires 301 et 302, on dépose une couche isolante 90 fine de SiO2, par exemple de 0,2 gm d'épaisseur. On dépose ensuite une couche 92 de SiO2 d'épaisseur 3 gm dans laquelle on grave des caissons dont la forme correspond sensiblement aux pièces polaires déjà réalisées. Par croissance électrolytique de NiFe ou par pulvérisation cathodique de Sendust, on réalise des surépaisseurs '1 et 30'2 au-dessus des première et seconde pièces polaires. On effectue ensuite une planarisation mécanique et on dépose sur l'ensemble une couche 94 de SiO2 de 1 um pour l'isolation électrique. La figure 26 représente les pièces polaires et leurs surépaisseurs en coupe et la figure 27 ces mêmes pièces en vue de dessus. REVENDICATIONS 1. Tête magnétique verticale de type sandwich comprenant un substrat (2), un circuit magnétique comprenant une première et une seconde pièces polaires (5, 7) disposées côte à côte sur le substrat (2) et séparées par un entrefer (6), et un enroulement conducteur (9) entourant le circuit magnétique, cette tête étant caractérisée par le fait que la première et la seconde pièces polaires (301, 302) sont des couches minces en matériau magnétique déposées sur le substrat (20), ces couches encadrant l'entrefer (34) et par le fait que l'enroulement conducteur est formé d'un premier bobinage conducteur (501) et d'un second bobinage conducteurs (502) tous deux disposés côte à côte et intégrés dans une même couche isolante (38) recouvrant la première et la seconde pièce polaire (301, 302), le premier bobinage (501) étant placé au- dessus de la première pièce polaire (301) et le second bobinage (502) au-dessus de la seconde pièce polaire (302) et par le fait qu'elle comprend en outre une pièce magnétique (70) en forme de pont avec une première jambe (74) en contact avec la première pièce polaire (301) au centre du premier bobinage (501)et avec une seconde jambe (712) en contact avec la seconde pièce polaire (302) au centre du second bobinage (502). 2. Tête magnétique selon la revendication 1, caractérisée par le fait qu'elle comprend en outre un pont conducteur (75) connectant une première extrémité (731) du premier bobinage (501) à une première extrémité (732) du second bobinage (502). 3. Tête magnétique selon la revendication 2, caractérisée par le fait qu'elle comprend deux plots de connexion (52, 56, 81, 82) reliés à des secondes extrémités des premier et second bobinages (501, 502). 4. Tête magnétique selon la revendication 1, caractérisée par le fait que chaque pièce polaire (301, 302) comprend une surépaisseur (30'1, 30'2) en matériau magnétique en dehors de la zone d'entrefer (34). 5. Procédé de réalisation d'une tête magnétique verticale à bobinage intégré conforme à la revendication 1, consistant à: - réaliser sur un substrat (2, 20) un espaceur magnétique (6, 34), - déposer de part et d'autre de l'espaceur (6, 34) une première pièce polaire (5, 301) et une seconde pièce polaire (7, 302), - former un enroulement conducteur (9), caractérisé par le fait que pour former l'enroulement conducteur: - on dépose sur la première et la seconde pièces polaires (301, 302), une couche isolante (38), - on grave dans cette couche isolante (38) une première gorge spiralée (421) au-dessus de la première pièce polaire (301) et une seconde gorge spiralée (422) au-dessus de la seconde pièce polaire (302), - on remplit les première et seconde gorges d'un matériau conducteur (46) et l'on obtient lesdits premier et second bobinages (501, 502) 6. Procédé selon la revendication 5, caractérisé par le fait qu'il comprend en outre les opérations suivantes: - on recouvre l'ensemble d'une autre couche isolante (51), - on ouvre dans cette autre couche isolante (51) une première et une seconde ouvertures (601, 602) au centre respectivement du premier et du second bobinage (501, 502), ces ouvertures (601, 602) allant jusqu'à la première et la seconde pièces polaires (301, 302), - on forme un pont (70) en matériau magnétique avec une première jambe (711) empruntant la première ouverture (601) et prenant contact avec la première pièce polaire (301) et avec une seconde jambe (712) empruntant la seconde ouverture (602) et prenant contact avec la seconde pièce polaire (302). 7. Procédé selon la revendication 6, caractérisé par le fait qu'on ouvre dans ladite autre couche isolante (51) une première ouverture (621) audessus d'une première extrémité (731) du premier bobinage (501) et une seconde ouverture (622) au-dessus d'une première extrémité (732) du second bobinage (502) et que l'on forme un pont conducteur (75) empruntant la première et la seconde ouvertures (621, 622). 8. Procédé selon les revendications 6 et 7, caractérisé par le fait que l'on forme le pont magnétique (70) et le pont conducteur (75) en une seule opération. 9. Procédé selon la revendication 8, caractérisé par le fait que l'opération unique de formation des ponts magnétique (70) et conducteur (75) est une croissance électrolytique de métal. 10. Procédé selon la revendication 6, caractérisé par le fait que l'on forme deux plots de connexion (81, 82) à deux extrémités de l'enroulement par croissance électrolytique d'un métal, ces plots ayant une épaisseur supérieure à l'épaisseur des ponts magnétique (70) et conducteur (75) et dans des ouvertures ménagées dans une couche isolante ayant une épaisseur supérieure à l'épaisseur des ponts magnétique (70) et conducteur (75). 11. Procédé selon la revendication 5, caractérisé par le fait qu'après avoir déposé la première et la seconde pièces polaires (301, 302) de part et d'autre de l'espaceur (34), on dépose sur chacune de ces première et seconde pièces une surépaisseur (30'1, '2) en matériau magnétique en dehors de la zone d'entrefer.