FR 2730821 A1 19960823 FR 9502045 A 19950222 Guide oDtique seamenté pouvant notamment être inclus dans un dispositif semiconducteur. La présente invention concerne de manière générale un guide optique à plusieurs segments. Elle concerne plus spécifiquement le raccordement de deux structures guidantes présentant des configurations de confinement différentes. Deux telles structures sont notamment celles d'un ruban enterré et d'un ruban externe formés dans une même plaquette semiconductrice constituant10 un composant optoélectronique. Les rubans enterré et externe constituent typiquement les guides de lumière d'un laser et d'un modulateur intégrés, la plaquette étant constituée par exemple à base de phosphure d'indium. Ils sont respectivement désignés internationalement par les termes15 anglais "Buried Heterostructure" ou "BH" pour "heterostructure enterrée" et "ridge" pour "arête". Leurs caractéristiques respectives seront rappelées dans la description ci-après. D'autres dispositifs peuvent cependant être concernés par cette invention. Ils peuvent être réalisés sur un substrat électroptique tel que le niobate de lithium ou dans un verre. Ils peuvent inclure des éléments optiques divers et des connexions entre ces éléments qui sont par exemple: des lasers, des diodes émettrices de lumière, des25 photodiodes, des modulateurs électro- optiques, des segments d'entrée ou de sortie du guide d'un circuit intégré, des fibres optiques, des commutateurs, des coupleurs, des amplificateurs optiques, des miroirs, des filtres, des réseaux de diffraction, et cetera. Certains de ces éléments30 ou connexions sont réalisés à l'aide de structures guidantes. Une telle structure présente une configuration de confinement définie par les positions et dimensions de ses éléments constitutifs dans un plan transversal et par leurs indices de réfraction. Pour des raisons technologiques ou pour des raisons de performances, cette configuration dépend de l'élément ou connexion à intégrer. Des raccordements 2 2730821 doivent donc parfois être réalisés entre des structures guidantes présentant des configurations différentes, ces structures constituant alors des segments successifs d'un même guide optique. 5 De manière générale de tels raccordements provoquent la perte d'une partie de la lumière guidée. Pour limiter cette perte il est connu d'interposer en série, entre les deux segments de guide constitués par les deux structures guidantes à raccorder, un segment de transition constitué10 par une structure guidante dont une dimension transversale varie d'une manière progressive d'une extrémité à l'autre de ce segment. Typiquement, dans le cas des structures guidantes réalisées en technique planaire, à chacune des deux extrémités du segment de transition, la largeur du coeur de ce segment est égale à la largeur du coeur de la structure guidante raccordée à cette extrémité et cette largeur varie linéairement entre ces deux extrémités. Par ailleurs, pour permettre une fabrication industrielle économique du dispositif le segment de transition doit de préférence être réalisé en même temps et par les mêmes moyens que l'une au moins des structures guidantes à raccorder. La présente invention a notamment pour but de permettre une réalisation peu coûteuse d'un raccordement provoquant des pertes de lumière faibles au passage entre deux structures guidantes présentant des paramètres optiques différents. A l'aide des figures schématiques ci- jointes, on va décrire plus particulièrement ci-après, à titre d'exemple non limitatif, comment la présente invention peut être mise en oeuvre. Lorsqu'un même élément est représenté sur plusieurs figures il y est désigné par le même signe de référence. 3 2730821 La figure 1 représente une vue en coupe longitudinale d'une plaquette semiconductrice dans laquelle cette invention doit être mise en oeuvre. La figure 2 représente une vue de cette plaquette en coupe longitudinale après dépôt d'une couche de délimitation. La figure 3 représente une vue de dessus de cette plaquette après une gravure de la couche de délimitation et une première attaque de la plaquette.10 Les figures 4 et 5 représentent deux vues de cette plaquette en coupe selon deux plans transversaux IV-IV et V- V de la figure 3 après cette première attaque. Les figures 6 et 7 représentent deux vues de cette plaquette en coupe selon les deux mêmes plans transversaux après une deuxième attaque. La figure 8 représente une vue de cette plaquette en coupe par le plan transversal IV-IV après remplissage d'évidements latéraux. Les figures 9 et 10 représentent deux vues de cette plaquette en coupe par les deux mêmes plans transversaux après la formation d'électrodes, cette plaquette constituant alors un dispositif conforme à l'invention. La figure 11 représente une vue de dessus d'un guide composite de ce dispositif. La figure 12 représente un diagramme de la variation d'une perte de lumière dans ce dispositif en fonction d'un excès de largeur d'un segment de guide de ce dispositif. A l'aide des figures 1 à 10 on va tout d'abord indiquer comment un ruban enterré et un ruban externe de ce dispositif peuvent être réalisés, étant entendu que ces rubans constituent deux structures guidantes différentes et que ces deux structures doivent être mutuellement raccordées de manière à constituer une partie arrière et un segment avant d'un guide optique selon l'invention.35 Conformément à ces figures, un dispositif à fabriquer est formé dans un substrat 2. Ce dernier est par exemple, 4 2730821 constitué d'une plaquette semiconductrice 2 formée de couches s'étendant selon une direction longitudinale horizontale DZ et une direction transversale DX et superposées selon une direction verticale DY. Ces 5 directions sont définies par rapport à cette plaquette. Cette plaquette comporte un segment à ruban enterré SL un segment de transition ST prolongeant le segment SL, et un segment à ruban externe SM s'étendant et se succédant selon la direction longitudinale et comportant respectivement un10 ruban enterré RL et un ruban externe RM. Ces rubans sont représentés aux figures 9 et 10. Les deux segments sont mutuellement alignés selon la direction DZ. Chacun d'eux comporte une couche à indice accru GL ou GM située entre deux couches de confinement l'une inférieure CB et l'autre supérieure CS. L'indice accru considéré ici est un indice de réfraction n1 et il est accru par rapport à celui des couches de confinement de manière à limiter l'extension verticale d'un mode guidé unique selon lequel une onde optique doit se propager longitudinalement dans ce20 ruban. La couche à indice accru GL et la couche de confinement supérieure CS du ruban enterré RL sont limitées transversalement entre deux blocs de confinement latéral 4 faisant parties de la plaquette 2. Ces blocs ont un indice25 de réfraction n2 inférieur audit indice accru de manière que cette limitation transversale de la couche à indice accru limite l'extension transversale du mode guidé par ce ruban. Ils sont par ailleurs réalisés de manière à confiner dans le ruban enterré un courant d'alimentation circulant30 verticalement dans la plaquette. Ceci peut être obtenu de manière connue par un accroissement de la résistivité électrique d'un matériau constitutif de ces blocs, et/ou par la formation d'une jonction semiconductrice bloquante dans ces blocs. 35 La couche de confinement supérieure CS du ruban externe RM a un indice de réfraction n2 supérieur à l'indice n3 d'un espace, par exemple gazeux, extérieur à la plaquette. Elle est limitée transversalement entre deux évidements 14 et 16 de la plaquette appartenant à cet espace extérieur et laissant subsister la couche à indice accru GM et la couche de confinement inférieure CB. Cette limitation transversale de la couche de confinement supérieure limite l'extension transversale du mode guidé par ce ruban. Toutes ces couches ont été formées par des dépôts épitaxiaux sur un substrat non représenté. Ce substrat et la couche de confinement inférieure sont par exemple du type n. La couche de confinement supérieure CH est par exemple du type p de même qu'une couche de contact fortement dopée 6 qui a été déposée sur cette couche de confinement. Le dispositif à fabriquer comporte aussi des électrodes EL, EM et EG formées au-dessus et au-dessous de la plaquette dans chacun des segments. Plus précisément les électrodes EL et EM sont respectivement formées sur le ruban enterré RL et sur le ruban externe RM et l'électrode inférieure EG est commune aux deux segments.20 Le ruban externe RM est formé par les opérations suivantes: dépôt de la couche de confinement inférieure CB, formation de la couche à indice accru GL, GM par un dépôt une gravure et un dépôt, dépôts de la couche de confinement25 supérieure CS, d'une couche de contact 6 à fort dopage et d'une couche de délimitation diélectrique 8 représentée à la figure 2 et surmontant la couche de confinement supérieure dans les deux segments, - gravure de cette couche de délimitation pour former dans le segment à ruban externe SM une bande de délimitation coïncidant transversalement avec le ruban externe RM à former, - et attaque de la plaquette par un milieu d'attaque épargnant la bande de délimitation 10. Cette attaque est limitée en profondeur en déçà de la couche à indice accru GL, GM. Elle fait apparaître deux évidements latéraux 6 2730821 initiaux 14 et 16 représentés à la figure 5 et situés de part et d'autre du ruban externe RM. Elle sera désignée ci- après comme étant une première attaque. Pour réaliser un autoalignement des rubans RL et RM, la gravure de la couche de délimitation est effectuée pour former aussi la bande de délimitation 10 dans le segment à ruban enterré SL en faisant coincider transversalement cette bande avec le ruban enterré RL à former. Il en résulte que la première attaque dégage ensuite dans ce premier segment10 une amorce de ruban enterré 12. Cette amorce est représentés à la figure 4. Elle fait saillie entre les deux évidements latéraux initiaux 14 et 16 qui sont limités en profondeur en deçà de la couche à indice accru GL. Le ruban enterré est ensuite formé par les opérations suivantes: - Dépôt d'une couche de protection 18 dans les deux segments SL et SM. - Gravure de cette couche de protection 18 pour ne la laisser subsister que dans le segment à ruban externe SM. - Attaque de la plaquette par un milieu d'attaque épargnant la couche de protection. Cette deuxième attaque est poursuivie en profondeur au- delà de la couche à indice accru GL de manière à dégager dans le segment à ruban enterré SL un corps de ruban enterré 20. Ce corps est25 représenté à la figure 6. Il fait saillie entre deux évidements latéraux approfondis 22 et 24. - Enfin dépôt sélectif d'au moins un matériau 4 par une méthode de dépôt sélective qui est inefficace sur les parties subsistantes des couches de délimitation 10 et de30 protection 18. Ce dépôt constitue les blocs de confinement latéral 4 en remplissant lesdits évidements latéraux approfondis. Bien entendu, selon le type de laser à ruban enterré à réaliser, on peut constituer les blocs de confinement latéral par dépôt d'une succession de matériaux différents les uns des autres. 7 2730821 Les couches de délimitation 10 et de protection 18 sont typiquement constituées de matériaux diélectriques. Une opération d'élimination au moins partielle des parties subsistantes des couches de délimitation et de protection 5 est alors effectuée après le dépôt du matériau de confinement latéral 4 et avant la formation des électrodes supérieures EL et EM. Les couches de confinement CB et CS sont par exemple constituées de phosphure d'indium Inp, la couche à indice accru GL, GM d'alliages ternaires ou quaternaires tels que Ga In AS, Ga In As P, ou d'une superposition de puits quantiques constitués par de tels alliages et séparés par des barrières de phosphure d'indium, la couche de délimitation 10 de nitrure de silicium Si3N4 et la couche de15 protection 18 de silice SiO2, au moins un matériau de confinement latéral 4 étant constitué par exemple de phosphure d'indium semiisolant. Typiquement la couche à indice accru GL, GM présente deux longueurs d'onde caractéristiques différentes telles que 1560 et 1510 nm respectivement dans les deux segments SL et SM de manière que le segment à ruban enterré SL constitue un laser pour émettre une lumière infrarouge et que le segment à ruban externe SM constitue un modulateur pour moduler cette lumière.25 La présente invention permet de raccorder avec un minimum de pertes deux segments de guide tels que les rubans enterré et externe précédemment décrits. Elle peut cependant trouver d'autres applications. C'est pourquoi elle a de manière générale pour objet un guide optique, ce guide comportant de manière monolithique une partie arrière SL, ST et un segment avant SM s'étendant et se succédant dans une longueur de ce guide en se raccordant dans une zone de raccordement, ce guide présentant en chaque point de sa longueur une largeur W et35 un facteur de confinement latéral V, ce facteur étant constitué par le rapport d'une puissance optique confinée 8 2730821 dans cette largeur à une puissance optique totale, ces puissances optiques étant celles d'une même lumière guidée par ce guide, ce facteur étant plus grand dans cette partie arrière que dans ce segment avant au voisinage de cette zone 5 de raccordement, ce guide étant caractérisé par le fait que cette largeur est elle aussi plus grande dans cette partie arrière que dans ce segment avant au voisinage de cette zone de raccordement. Pour un point de la longueur du guide par lequel passe un plan transversal P dans lequel sont définies des coordonnées x et y, les abscisses x étant définies selon la direction transversale DX, le facteur de confinement latéral (V) est défini par l'égalité X2 +" V= J|IE12.dxdy/ || 1E12.dxdy X1 -C P X1 et x2 étant les abscisses des deux extrémités de la largeur du guide de sorte que W = x2 - xl, et E désignant le champ électrique optique de la lumière guidée.20 Dans certaines limites de la largeur W correspondant à un guidage monomodal ce facteur croit avec cette largeur. Il croit aussi avec l'épaisseur du ruban et avec un écart d'indice constitué par la différence entre l'indice de ruban et l'indice de confinement latéral.25 Dans le cas simple o un ruban homogène présente une section rectangulaire entourée par un matériau de confinement homogène, o il assure un guidage monomodal, et o son épaisseur H reste suffisamment petite par rapport à sa largeur W, ce facteur vaut30 V = 2x.H.-1.(n2-n2).W 9 2730821 n1 et n2 étant les indices de réfraction du ruban et du matériau de confinement et X étant la longueur d'onde de la lumière guidée. Dans le cas typique o nI et n2 restent très voisins d'une valeur moyenne nm constante et o un écart d'indice est défini par l'égalité An = n1 - n2, le facteur de confinement vaut V = k.H.W.An1/2, k étant un coefficient indépendant des dimensions transversales et valant k = 2%.X-l.nml/2 Ladite partie arrière inclue typiquement, comme représenté à la figure 11, un segment arrière SL et un segment de transition ST raccordant ce segment arrière audit segment avant SM, un sens direct DX étant défini à partir de ce segment arrière vers ce segment avant, la largeur du15 guide présentant une première valeur WL dans le segment arrière et une deuxième valeur WM supérieure à la première dans le segment avant. Dans ce cas, selon la présente invention, la largeur du guide croit progressivement dans le segment de transition dans le sens direct à partir de cette20 première valeur jusqu'à une valeur maximale WK atteinte au voisinage de la zone de raccordement et supérieure à cette deuxième valeur. De préférence le guide présente, au moins au voisinage de la zone de raccordement, une symétrie par rapport à un axe longitudinal A.25 Un peu plus particulièrement, et comme dans le cas du dispositif précedemment décrit, le guide est formé en chaque partie de sa longueur par un ensemble de couches superposées telles que CB, GL, CS dans la partie arrière et CB, GM, CS, 6, 10 dans le segment avant, ces couches présentant des épaisseurs respectives. L'une au moins de ces couches superposées inclue un ruban tel que GL dans le segment arrière et RM dans le segment avant. Ce ruban s'étend selon la longueur du guide sur l'épaisseur de cette couche en présentant une largeur limitée. Il présente un indice de35 réfraction constituant un indice de ruban et il est entouré latéralement par des zones de confinement latéral telles que 2730821 4 dans le segment arrière et 14 et 16 dans le segment avant. Ces zones présentent des indices de réfraction constituant des indices de confinement. Ces derniers sont plus faibles que l'indice de ruban. La largeur du guide est une largeur 5 de ruban effective définie dans un ensemble comportant au moins une couche et constitué par la ou les couches incluant desdits rubans. Le guide présente une configuration de confinement dans chaque plan transversal passant par un point de sa longueur. Cette configuration est celle desdites10 couches, rubans, et zones de confinement avec leurs épaisseurs et leurs indices de réfraction, à l'exception de la largeur du guide. Elle est uniforme d'une part dans la partie arrière du guide, d'autre part dans le segment avant et elle y est telle que le facteur de confinement latéral15 est plus grand dans le segment arrière que dans le segment avant. Typiquement la partie arrière se raccorde directement au segment avant. Dans le dispositif précédemment donné en exemple le guide optique est toujours monomodal pour une lumière guidée présentant une longueur d'onde de 1550 nm. Le segment arrière SL a un coeur homogène qui est constitué par la couche GL et qui a l'indice de réfraction n1. Ce coeur est entouré par un ensemble optiquement homogène de matériaux de confinement présentant un indice de réfraction n2. Il25 présente une largeur WL et une épaisseur HL. Ces dimensions et son écart d'indice AnL= n1-n2 lui confèrent un facteur de confinement VL. Dans le segment avant SM la largeur du guide est la largeur WM du ruban externe RM. Un facteur de confinement vertical est essentiellement défini par l'épaisseur HL de la couche GM et par un écart d'indice entre cette couche et les couches adjacentes. Le facteur de confinement latéral VM dépend essentiellement d'une part de l'écart d'indice AnM=n2-n3 d'autre part de l'épaisseur HM de ce ruban. Il est inférieur à VL. 1 2730821 Dans le segment de transition ST, le facteur de confinement selon la direction transversale DX dépend essentiellement de l'épaisseur HL et de l'écart d'indice AnL. La largeur du ruban GL dans ce segment y constitue la 5 largeur du guide. Elle croit dans le sens direct, par exemple linéairement, à partir de WL jusqu'à une largeur maximale WK supérieure à WM. La perte de lumière au passage entre les segments SL et SM décroit lorsque la longueur L du segment de transition ST croit. Cette longueur doit cependant être limitée pour éviter un encombrement excessif du dispositif fabriqué. Dans le cas d'un ensemble laser modulateur semiconducteur tel que donné en exemple elle semble devoir être comprise enter 100 et 500 pm.15 Cette perte de lumière varie aussi en fonction d'un excès terminal de largeur 2WD = WK - WM du segment de transition par rapport au segment avant. Cette variation est représentée à la figure 12, les valeurs de la perte étant portées en ordonnées en décibels, et l'excès de largeur WD20 étant porté en abscisses en micromètres. Ces valeurs de perte ont été fournies par un modèle informatique dans le cas des valeurs suivantes des autres paramètres: WL = 2 fn AnL = 0,04 HL = 0,2 gm. WM = 4 pm AnM= 0,005 HM = 2 pm. L = 0,2 mm. Il apparait sur cette figure que le demi excès de largeur WD doit de préférence être compris dans une plage s'étendant de 1 à 3 pm. De manière plus générale il semble préférable que cet excès soit compris entre 0,1 pm et 30 pm. Par ailleurs, pour faciliter la réalisation du dispositif, il peut être accepté ou préféré que, dans la zone de raccordement o l'on passe du segment de transition au segment avant, le point de changement de largeur o se35 localise la diminution de la largeur du guide soit légèrement décalé vers l'avant ou l'arrière par rapport au point de changement de confinement o se localise la diminution du facteur de confinement. Cette diminution de la largeur du guide pourrait aussi être progresssive. Comme dans le cas précédemment décrit, le guide selon l'invention est typiquement inclus dans un dispositif pour traiter une lumière guidée dans ce guide. La lumière à traiter peut se propager selon la direction longitudinale dans ledit sens direct ou dans le sens opposé. Comme dans ledit cas le traitement effectué peut consister à engendrer10 et à moduler cette lumière. Plus généralement il comporte la réalisation de deux opérations successives concernant cette lumière, l'une étant réalisée dans le segment arrière, l'autre dans le segment avant, la différence entre les configurations de confinement de ces deux segments étant15 rendue nécessaire par les natures respectives de ces deux opérations. 13 2730821 REVENDICATIONS 1) Guide optique, ce guide comportant de manière monolithique une partie arrière (SL, ST) et un segment avant (SM) s'étendant et se succédant dans une longueur de ce guide en se raccordant dans une zone de raccordement, ce guide présentant en chaque point de sa longueur une largeur (W) et un facteur de confinement latéral (V), ce facteur étant constitué par le rapport d'une puissance optique confinée dans cette largeur à une puissance optique totale, ces puissances optiques étant celles d'une même lumière guidée par ce guide, ce facteur étant plus grand dans cette partie arrière que dans ce segment avant au voisinage de cette zone de raccordement, ce guide étant caractérisé par le fait que cette largeur est elle aussi plus grande dans15 cette partie arrière que dans ce segment avant au voisinage de cette zone de raccordement. 2) Guide selon la revendication 1, ladite partie arrière incluant un segment arrière (SL) et un segment de transition (ST) raccordant ce segment arrière audit segment20 avant (SM), un sens direct (DX) étant défini à partir de ce segment arrière vers ce segment avant, la largeur (W) du guide présentant une première valeur (WL) dans le segment arrière et une deuxième valeur (WM) supérieure à la première dans le segment avant, cette largeur croissant25 progressivement dans le segment de transition dans le sens direct à partir de cette première valeur jusqu'à une valeur maximale (WK) atteinte au voisinage de la zone de raccordement et supérieure à cette deuxième valeur. 3) Guide selon la revendication 2, ce guide présentant au moins au voisinage de la zone de raccordement une symétrie par rapport à un axe longitudinal (A). 4) Guide selon la revendication 2, ce guide étant formé en chaque point de sa longueur par un ensemble de couches superposées (CB, GL, CS, CB, GM, CS, 6, 10)35 présentant des épaisseurs respectives, l'une au moins de ces couches superposées incluant un ruban (GL, RM) s'étendant 14 2730821 selon la longueur du guide sur l'épaisseur de cette couche en présentant une largeur limitée, ce ruban présentant un indice de réfraction constituant un indice de ruban, ce ruban étant entouré latéralement par des zones de confinement latéral (4, 14, 16) présentant des indices de réfraction constituant des indices de confinement plus faibles que l'indice de ruban, la largeur du guide étant une largeur de ruban effective définie dans un ensemble comportant au moins une couche et constitué par la ou les10 couches incluant desdits rubans, le guide présentant audit point de sa longueur une configuration de confinement, cette configuration étant celle de ces couches, rubans, zones de confinement avec leurs épaisseurs et indices de réfraction, à l'exception de la largeur du guide, dans un plan transversal passant par ce point, cette configuration de confinement étant uniforme d'une part dans la partie arrière (SL, ST) du guide, d'autre part dans son segment avant (SM), le facteur de confinement latéral (V) étant plus grand dans le segment arrière (SL) que dans le segment avant.20 5) Guide selon la revendication 4, la partie arrière (SL, ST) se raccordant directement au segment avant (SM). 6) Guide selon la revendication 2, ce guide étant inclus dans un dispositif pour traiter une lumière guidée dans ce guide (G).25 7) Guide selon la revendication 5, ce guide étant formé dans un substrat semiconducteur (2), un ruban enterré et un ruban externe constituant respectivement les segments arrière (SL) et avant (SM) de ce guide. 8) Guide selon la revendication 7 lesdits segments arrière (SL) et avant (SM) constituant respectivement un émetteur laser pour engendrer une lumière et un modulateur optique pour moduler cette lumière.