FR 2732776 A1 19961011 FR 9503945 A 19950404 La présente invention concerne le domaine technique général de l'opto- électronique et, plus précisément, un filtre multilongueur d'onde du type comprenant un faisceau de guides optiques réalisés sur un même substrat, agencés de manière à ce que la réponse en longueur d'onde du filtre dépende des déphasages subis par la lumière se propageant dans les guides. Diverses approches technologiques ont été proposées pour obtenir l'indépendance à la polarisation d'un tel filtre multilongueur d'onde. On peut citer à cet égard la publication "Polarization-Independent InPBased Phased-Array Wavelength Demultiplexer with Flattened Wavelength Response" L H. Spiekmann et al., Conférence ECOC 94. Ainsi, on a proposé, comme rappelé dans l'article précité, une structure dans laquelle une lame de quartz demi-onde est placée à mi-chemin sur le faisceau de guides optiques pour permuter les modes de polarisation TE et TM. On a proposé, dans l'article de Zirngibl et al. intitulé "Polarization- Independent 8 x 8 Waveguide Grating Multiplexer on InP" paru, dans Electronic Letters, Vol. 29, pages 201-202, Janvier 1993, d'utiliser des ordres différents pour les modes de polarisation TM et TE On peut également citer une méthode consistant à séparer spatialement les modes de polarisation TE et TM, proposée par M.R. Amersfoort et al. dans l'article intitulé "A phased-array wvavelength demultiplexer with flattened wvavelength response", paru dans Electronic Letters, Vol. 30, 1994. On peut encore citer une méthode consistant à séparer spatialement les modes de polarisation TE et TM tout en considérant des ordres différents, proposée par Spiekmann et al. dans le premier article précité. Les méthodes connues précitées n'offrent pas entière satisfaction. La méthode consistant à rapporter une lame de quartz présente l'inconvénient d'entraîner des pertes de couplage entre cette dernière et les guides optiques, et les performances des méthodes qui utilisent des ordres différents pour les modes de polarisation TE et TM sont limitées en termes du nombre de canaux de longueurs d'ondes différentes pouvant être séparés par le filtre. Enfin, les méthodes jouant sur la géométrie des guides optiques pour modifier la biréfringence sont difficiles à mettre en oeuvre technologiquement. La présente invention a pour objet de remédier aux inconvénients précités et propose un nouveau filtre multilongueur d'onde, insensible à la polarisation, qui soit de fabrication aisée, convienne à une intégration monolithique, et permette de réaliser le démultiplexage d'un grand nombre de canaux. L'invention y parvient en proposant un filtre du type comprenant des rotateurs de polarisation placés sur le trajet de la lumière dans les guides optiques de manière à ce que dans chacun des guides optiques les chemins optiques pour les modes de polarisation TM et TE soient égaux. De façon caractéristique, les rotateurs de polarisation sont du type comprenant des moyens pour charger chaque guide optique et créer une asymétrie de l'indice de réfraction effectif de ce dernier. L'invention a encore pour objet un procédé de réalisation d'un tel filtre. D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée qui va suivre, d'un exemple de réalisation non limitatif de l'invention, et à l'examen du dessin annexé sur lequel: - la figure 1 est une vue d'ensemble, schématique, d'un filtre multilongueur d'onde à faisceau de guides optiques, - la figure 2 est une vue en perspective, schématique et partielle, d'un filtre multilongueur d'onde conforme à l'invention, avec représentation d'une portion rectiligne de guide optique, - la figure 3 est une vue schématique et partielle, en perspective, d'une portion courbe de guide optique, - la figure 4 est une section transversale d'un guide optique selon le trait de coupe IV-IV de la figure 2, - la figure 5 est une section transversale d'un guide optique selon le trait de coupe V-V de la figure 2, - la figure 6 est une section transversale d'un guide optique selon le trait de coupe VI- VI de la figure 2, - la figure 7 est une section transversale d'un guide optique selon le trait de coupe VII-VII de la figure 3, - la figure 8 est une section transversale d'un guide optique selon le trait de coupe VIII-VIII de la figure 3, et - la figure 9 est une section transversale d'un guide optique selon le trait de coupe IX-IX de la figure 2. On a représenté de façon schématique sur la figure 1 un filtre multilongueur d'onde 1, comportant un faisceau de n guides optiques g1,.. . gn. Ces derniers relient deux zones d'expansion 2, 3, constituées dans l'exemple de réalisation décrit par des dioptres plans. Seule la zone d'expansion 2 est représentée en perspective sur la figure 2. Le filtre 1 reçoit la lumière incidente LI4 par un guide optique 10 débouchant dans la zone d'expansion 2. La lumière Li est divisée en une pluralité d'ondes lumineuses se propageant respectivement dans les guides optiques g1,..., gn. Ces ondes lumineuses se regroupent dans la zone d'expansion 3 o elles interfèrent. Les guides optiques gl,..., gn présentent des longueurs respectives croissantes et les chemins optiques parcourus par les ondes lumineuses dans les guides optiques gl,..., gn sont différents. Ces dernières subissent donc des déphasages produisant, après regroupement dans la zone d'expansion 3, des interférences selon le principe de l'interféromètrie de Mach-Zender. La réponse du filtre en longueur d'onde permet ainsi de séparer plusieurs canaux de longueurs d'ondes respectives différentes, et le filtre trouve application comme démultiplexeur dans les réseaux de télécommunications optiques. Un ou plusieurs guide(s) optique(s) relie(nt) la zone d'expansion 3 à un ou plusieurs composants opto- électroniques récepteurs non représentés ou à des fibres optiques destinées à acheminer la lumière filtrée vers d'autres composants optiques ou opto- électroniques. Des rotateurs de polarisation ri,..., rn sont placés sur le trajet de la lumière dans chacun des guides optiques g1,..., gn pour rendre égaux les chemins optiques parcourus respectivement par les modes de polarisation TE et TM, et obtenir l'insensibilité à la polarisation du filtre 1. Ces rotateurs de polarisation ri, r2,..., rn sont du type comprenant des moyens pour charger chaque guide optique de manière à créer une asymétrie de l'indice de réfraction effectif de ce dernier. Le phénomène de rotation de polarisation obtenu en chargeant un guide optique de manière à créer une asymétrie de l'indice de réfraction effectif est connu en soi et a notamment été décrit par Y. Shani dans la publication "Applied Physics Letters" 59 (11), 9 Septembre 1991. Dans l'exemple de réalisation décrit, les guides optiques g1,..., gn s'étendent chacun symétriquement de part et d'autre d'un plan médian de symétrie S pour le faisceau de guides. Ce plan s'étend à son intersection avec les guides perpendiculairement à la direction de propagation de la lumière. Le filtre multilongueur d'onde 1 a été réalisé en déposant successivement par épitaxie en phase vapeur (MOCVD), en une seule étape, sur un substrat plan 4 en matériau binaire InP, une couche de confinement inférieure 5 en matériau binaire InP, de 1ltm d'épaisseur, une première couche de guidage 6 en matériau quaternaire GaInAsP, de 0,1 FLm d'épaisseur et de bande interdite correspondant à une longueur d'onde Xg égale à 1,3 tlm, une couche de confinement intermédiaire 7 en matériau binaire InP, de 1 Lm d'épaisseur, une deuxième couche de guidage 8 en matériau quaternaire GaInAsP, de 0,1 ttm d'épaisseur et de bande interdite correspondant à une longueur d'onde kg = 1,3 [lm, et une couche de confinement supérieure 9 en matériau binaire InP, de 1 Ium d'épaisseur. Les couches de guidage 6, 8 en matériau quaternaire InGaAsP ont chacune une épaisseur inférieure ou égale à 1500 A et un indice de réfraction supérieur à celui des couches de confinement 5, 7 et 9. Compte tenu des valeurs qui précèdent, l'épaisseur totale des couches de confinement inférieure 5, de confinement intermédiaire 7, et de confinement supérieure 9 est de l'ordre de 3 jtm. Pour réaliser le guide optique 10 permettant d'amener la lumière incidente Li à la zone d'expansion 2, on grave la couche de confinement supérieure 9 pour former un ruban 11, de 4 lm de largeur dans l'exemple de réalisation décrit. La zone d'expansion 2 est réalisée par gravure de la couche de confinement supérieure 9 du côté du guide optique 10 et par gravure plus profonde jusqu'à la couche de guidage 6 du côté des guides optiques g 1,. , gn...DTD: De même, le ou les guide(s) optique(s) utilisé(s) pour guider la lumière quittant la zone d'expansion 3 est (sont) réalisé(s) par gravure de la couche de confinement supérieure 9 pour former un ou plusieurs ruban(s) de guidage. La zone d'expansion 3 est réalisée par gravure de la couche de confinement supérieure 9 du côté de ce(s) guide(s) optique(s) et par gravure plus profonde, jusqu'à la couche de guidage 6, du côté des guides optiques g1, À.., gn. Bien entendu, on ne sort pas du cadre de l'invention en réalisant plusieurs guides optiques pour amener la lumière à la zone d'expansion 2. Les guides optiques g1,...--, gn sont réalisés par enlèvement de la couche de confinement supérieure 9, de la couche de guidage 8 et de la couche de confinement intermédiaire 7. Cet enlèvement de matière se fait de façon connue en soi, par gravure sèche (RIE, RIBE ou IBE) dans l'exemple décrit. s Chaque guide gk du faisceau (k nombre entier compris entre 1 et n) présente des portions d'extrémité référencées 12 reliées aux zones d'expansion 2 et 3, et entre ces portions d'extrémité 12, des portions rectilignes référencées 13 et une ou plusieurs portions courbes 19 reliant lesdites portions rectilignes. La structure de chaque guide optique gk est du type udilué", présente une biréfringence de l'ordre de S 10-3, la lumière se propageant avec un mode large dans les couches de guidage 6 et 8. Pour réaliser un rotateur de polarisation rk sur une portion rectiligne 13 d'un guide gk, on grave de façon particulière la couche de confinement supérieure 9. Plus précisément, comme représenté sur les figures 2, 5 et 6, la couche de confinement supérieure 9 est gravée de manière à réaliser une succession de motifs alternés 15 et 16 disposés de part et d'autre d'une surface médiane P associée au guide optique concerné gk, et de génératrice perpendiculaire au plan des couches. Les motifs alternés 15 et 16 présentent chacun une largeur L moitié de celle du guide gk, soit dans l'exemple de réalisation décrit une largeur L égale à 2 Fim. Dans les virages, la structure du rotateur rk est asymétrique, la largeur des motifs alternés n'étant plus égale à la moitié de la largeur du guide. Plus précisément, comme représenté sur les figures 3 et 7 et 8, la couche de confinement supérieure 9 est gravée, dans les portions courbes 19 de chaque guide gk, de manière à réaliser une succession de motifs alternés 17, 18 disposés de part et d'autre d'une surface P' de génératrice perpendiculaire au plan des couches. Les motifs 18 situés du côté de la concavité du virage ont une largeur L' supérieure à la demi-largeur du guide, et les motifs 17 situés du côté opposé ont une largeur L" inférieure à la demi-largeur du guide. Dans les portions d'extrémité 12, la couche de confinement supérieure 9 s'étend sur toute la largeur du guide, égale à 3 Hm dans l'exemple de réalisation décrit. La longueur des motifs alternés 15, 16, 17 ou 18 est la même quel que soit le guide optique gk considéré. Cette longueur est égale à X(nTE - nTM), o nTE, nTM désignent les indices effectifs selon la polarisation et le type de structure concerné; structure chargée du côté de la concavité du faisceau de guides ( par les motifs 16 et 18) ou structure chargée du côté opposé ( par les motifs 15 et 17). Chaque motif réalise une fraction de la rotation de polarisation nécessaire dans le guide optique concerné pour permuter les modes de polarisation TE et TM, de manière à avoir des chemins optiques parcourus par les modes de polarisation TE et TM égaux. Grâce à cette permutation des modes de polarisation TE et TM, les longueurs d'ondes centrales du filtre pour les modes de polarisation TE et TM sont égales kOTE = (nTE AL/2 + nTM AL/2) / m kOTM = (nTM AL/2 + nTE L/2) /m, AL étant la différence de longueur entre deux guides optiques consécutifs (gk+l, gk) du faisceau de guides optiques gl,..., gn et m l'ordre de diffraction. Finalement, l'invention permet d'obtenir un filtre multilongueur d'onde insensible à la polarisation, pouvant être intégré au sein d'une structure monolithique avec d'autres composants optiques ou opto- électroniques (puisque les structures perturbatrices permettant d'obtenir les variations d'indice effectif des guides optiques sont réalisées dans les mêmes matériaux que le reste du filtre). L'invention n'est pas limitée à l'exemple de réalisation qui vient d'être décrit. On peut notamment remplacer la structure de type diluée par une structure non diluée mais dont l'indice effectif serait proche de l'indice du substrat de façon à avoir une biréfringence faible (relativement au substrat). REVENDICATIONS 1/ Filtre multilongueur d'onde (1) insensible à la polarisation, comprenant un faisceau de guides optiques (gl,..., gn) réalisés sur un même substrat (4), agencés de manière à ce que la réponse en longueur d'onde du filtre dépende des déphasages subis par la lumière se propageant dans les guides, le filtre comprenant en outre des rotateurs de polarisation (rl,..., rk) placés sur le trajet de la lumière dans les guides de manière à ce que dans chacun des guides optiques les chemins optiques pour les modes de polarisation TE et TM soient égaux, caractérisé en ce que les rotateurs de polarisation (rl,..., rk) sont du type comportant des moyens pour charger chaque guide optique et créer une asymétrie de l'indice de réfraction effectif de ce dernier. 2/ Filtre selon la revendication 1, chaque guide optique effectuant au moins un virage (19), caractérisé en ce que lesdits moyens pour charger chaque guide optique comportent une succession de motifs alternés (17, 18) asymétriques dans la région dudit virage. 3/ Filtre selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que le filtre comporte au niveau de chaque guide optique (gk) l'empilement suivant de couches déposées par épitaxie: - un substrat (4), - une couche de confinement inférieure (5), - une couche de guidage inférieure (6), d'indice de réfraction supérieur à celui de la couche de confinement inférieure (5), - une couche de confinement intermédiaire (7), d'indice de réfraction inférieur à celui de la couche de guidage inférieure (6), - une couche de guidage supérieure (8), d'indice de réfraction supérieur à celui de la couche de confinement intermédiaire (7), - une couche de confinement supérieure (9), d'indice de réfraction inférieur à celui de la couche de guidage supérieure (8). 4/ Filtre selon la revendication 3, caractérisé en ce que lesdits moyens pour charger chaque guide optique (gk) sont réalisés par gravure de la couche de confinement supérieure (9). / Filtre selon l'une des revendications 3 et 4, caractérisé en ce que les couches de guidage inférieure (6) et supérieure (8) sont réalisées en matériau quaternaire InGaAsP, et les couches de confinement inférieure (5), intermédiaire (7) et supérieure (9) sont réalisées en matériau binaire InP. 6/ Filtre selon la revendication 5, caractérisé en ce que lesdites couches de guidage (6, 8) ont chacune une épaisseur inférieure ou égale à 1500 À 7/ Filtre selon l'une des revendications 5 et 6, caractérisé en ce que l'épaisseur totale des couches de confinement inférieure (5), de confinement intermédiaire (7), et de confinement supérieure (9) est de l'ordre de 3 Lm. 8/ Filtre selon l'une des revendications 5 à 7, caractérisé en ce que le matériau quaternaire utilisé présente une longueur d'onde de bande interdite (Xg) égale à 1,3,tm. 9/ Filtre selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que la biréfringence de chaque guide optique (gk) est de l'ordre de 5 10-3. / Procédé pour réaliser un filtre multilongueur d'onde (1) insensible à la polarisation, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes consistant à: déposer par épitaxie un empilement de couches alternées (5, 6, 7, 8, 9) pour constituer un coeur de guidage de la lumière, - graver sur ledit empilement deux zones d'expansion (2, 3), un faisceau de guides optiques (gl,..., gn) reliant lesdites zones d'expansion, au moins un guide d'arrivée de la lumière à l'une des zones d'expansion (2) et un guide de départ de la lumière de l'autre zone d'expansion (3), et un ensemble de motifs (15, 16, 17, 18) destinés à charger les guides optiques de manière à créer une asymétrie de l'indice de réfraction effectif dans chaque guide optique du faisceau, cette asymétrie induisant une rotation de la polarisation de la lumière.