FR 2727555 A1 19960531 FR 9414146 A 19941125 TETE MAGNETIQUE D'ENREGISTREMENTILECTURE ET PROCEDE DE REALISATION L'invention concerne une tête magnétique d'enregistrementl lecture et notamment une tête magnétique intégrée réalisée sous forme d'une tête matricielle dans laquelle les bobinages sont en couches minces. Elle concerne également un procédé de réalisation d'une telle tête. Une telle technique permet de réduire le pas des têtes et ainsi d'atteindre des densités d'enregistrement plus élevées. Le Brevet français n 2 605 783 décrit un procédé de têtes magnétiques en couches minces se prêtant bien à un procédé collectif de têtes matricielles. La Demande de Brevet français n 2 630 853 décrit une manière de réaliser les bobinages associés à une matrice de têtes magnétiques réalisée suivant le procédé du Brevet ci-dessus. Il a par ailleurs été décrit des procédés de réalisations de matrice de têtes bobinées en couches minces notamment dans le Brevet IBM MEE. L'association d'une technologie planaire et d'une technologie de bobinages réalisés en couche mince se heurte à deux inconvénients: - il est difficile de connecter les bobinages situés en face avant du composant puisque cette face est en regard avec le média; on peut prendre les contacts qu'au travers du substrat, ce qui est technologiquement difficile; - les circuits de commande électronique nécessitent un nombre minimum de spires dans le bobinage couche mince de manière à limiter le courant d'écriture; ceci se traduit soit par une forte résistance électrique qui entraîne un échauffement du composant, soit par une surface de bobinage plus grande que ce que permet le pas désiré entre entrefers d'écriture. Les têtes matricielles permettent non seulement un débit d'information élevé malgré des vitesses mécaniques modérées mais aussi des densités de pistes beaucoup plus étroites que ne le permettrait le repositionnement mécanique d'une tête individuelle sur une piste adjacente. A titre d'exemple, la précision de repositionnement par rapport à la bande magnétique de têtes individuelle est de l'ordre de 1 pm pour une tête rotative, 10 pm pour une tête fixe et 3 pm pour une tête asservie en position. Une tête matricielle ne semble pas permettre de meilleur positionnement par rapport à la bande, mais permet un positionnement relatif précis des pistes enregistrées simultanément. Toutefois, l'enregistrement de pistes très étroites avec une tête matricielle soulève deux problèmes: - le pas transverse des entrefers (perpendiculairement au sens de déplacement du support) doit bien sûr être égal au pas des pistes multiplié par le nombre de colonnes d'entrefers dans la matrice de têtes magnétiques de manière à réaliser un enregistrement compact; - l'extension longitudinale de la tête ne doit pas dépasser typiquement 300 fois la largeur de piste de manière à réaliser des paquets de pistes à pas constant malgré une erreur d'azimuth de défilement de la bande qui peut être de l'ordre de 0.5 mRd. Ces considérations nous conduisent à ne pas dépasser un rapport de 16 entre le pas des entrefers et le pas des pistes; ainsi une densité de 1000 TPI (3 pm de largeur de piste) nécessitera un pas d'entrefer de l'ordre de 40 IJm. Pour résoudre ces différents problèmes, l'invention prévoit de commander chaque tête magnétique par un conducteur d'induction de champ magnétique dans lequel circule un courant de commande lui-même induit par un circuit magnétique de commande. L'invention concerne donc une tête magnétique d'enregistrement/lecture comportant un premier circuit magnétique et au moins un premier conducteur d'induction d'un flux magnétiques passant dans ce circuit magnétique, caractérisée en ce que ce conducteur est en circuit bouclé sur un deuxième conducteur de commande qui passe à travers un deuxième circuit magnétique fermé possédant un premier enroulement d'induction d'un flux magnétique alimenté par un courant impulsionnel ou alternatif Les différents objets et caractéristiques de l'invention apparaîtront plus clairement dans la description qui va suivre et dans les figures annexées qui représentent: - les figures la et 1 b, un exemple de réalisation d'une tête magnétique de base selon l'invention; - les figures 2a et 2b, un exemple de réalisation d'un ensemble de têtes magnétiques; les figures 3a et 3b, une plaque en matériau magnétique munie de bobinages d'excitation; - les figures 4a, 4b, une plaque de composite verre-ferrite servant de substrat au composant; - les figures 5 et 6, une géométrie de conducteurs en couche mince permettant l'adressage d'une matrice de têtes magnétiques; - les figures 7a et 7b, une tête magnétique située à un point de croisement d'une matrice de têtes; - la figure 8, deux réseaux de conducteurs superposés permettant de réaliser une commande matricielle; les figures 9a et 9b, le substrat en matériau magnétique d'une matrice de têtes magnétiques;, - les figures 10a à 10e, certaines étapes d'un procédé de réalisation selon l'invention. En se reportant aux figures 1 a et 1 b, on va tout d'abord décrire un exemple simplifié d'une tête magnétique d'enregistrement/lecture. La tête magnétique 1 proprement dite est représentée sur la partie droite des figures 1 a, 1 b. Elle comporte deux pôles magnétiques 10, 10' séparés par un entrefer 12. Le circuit magnétique de ces pôles est refermé par un substrat 3 en matériau magnétique. Un conducteur électrique 11 passe entre les pôles et le substrat pour induire un flux magnétique dans le circuit magnétique. Sur la partie gauche des figures 1 a, 1 b, se trouve le circuit de commande la tête magnétique. Il comporte un conducteur 21 connecté au conducteur 11 de la tête magnétique. Comme cela est représenté en figure lb, les conducteurs 21 et 11 constituent une boucle fermée. Le conducteur 21 est réalisé sur le substrat 3. Un élément en matériau magnétique 20 recouvre partiellement le conducteur 21. Celui-ci est localisé sur une portion 31 du substrat qui est en matériau non magnétique sous le conducteur 21. L'élément 20 couple magnétiquement les deux parties du substrat 30 et 30' en matériau magnétique situées de part et d'autre de la portion 31. Au substrat 3 est accolée une plaque 4 comportant une rainure 40 et par laquelle est bobiné un fil conducteur 41 autour de la plaque 4. Le bobinage 41 est destiné à être alimenté par un courant de commande. Le courant induit alors un flux magnétique 4 dans le circuit magnétique constitué par la plaque 4, les parties 30 et 30' du substrat 3, l'élément magnétique 20. De ce fait, le conducteur 21 est le siège d'un courant induit. Ce courant circule dans le conducteur 12 qui induit un flux magnétique dans la tête magnétique 1. Une telle tête magnétique présente l'avantage de n'avoir qu'un seul conducteur d'excitation 11 sous ses pôles magnétiques 10, 10'. Ceci permet une réalisation facile même lorsque le pas des têtes est très fin. Le conducteur 21 et le bobinage 41 constituent un transformateur. En prévoyant un nombre suffisant de spires pour le bobinage 41, on peut à partir d'un courant relativement faible d'alimentation du bobinage obtenir un courant élevé dans le conducteur 21 et donc dans le conducteur 11. On peut envisager de commander le bobinage 41 à l'aide d'un circuit électronique sans prévoir des puissances excessives. Les figures 2a et 2b représentent un ensemble de têtes magnétiques 1, 1', 1" et de leurs circuits de commande 2, 2', 2". Chaque tête magnétique et son circuit de commande est réalisé de la même façcon qu'en figures la et lb. Les particularités de cet exemple de réalisation sont que le substrat magnétique 3 peut être commun pour les trois têtes magnétiques, que l'élément magnétique 20 peut être en une seule pièce pour les trois circuits de commande, et que les conducteurs 11, 11', 11" sont connectés par un conducteur commun 5 aux conducteurs 21, 21', 21". Le bobinage 41 commande la tête magnétique 1, le bobinage 41' commande la tête magnétique 1', et le bobinage 41" commande la tête magnétique 1". En se reportant aux figures 3a à 9b on va décrire un exemple de réalisation des têtes magnétiques selon l'invention réalisées sous une forme matricielle. Les figures 3a et 3b représentent une plaque 4 en matériau magnétique qui comporte dans sa face 42, des rainures horizontales 40.1 et des rainures verticales 40.2. Un bobinage passe dans chaque rainure et entoure la plaque en passant par la face opposée à la face 42. On a ainsi représenté un bobinage horizontal 41.1 et deux bobinages verticaux tels que 41.2. Sur la face 42 de la plaque 4 est accolée une plaque de substrat 3 telle que représentée en figures 4a et 4b. Cette plaque est constituée de bandes horizontales telles que 31.1 et de bandes verticales telles que 31.2 en matériau non magnétique (du verre par exemple). Ces bandes correspondent aux rainures de la plaque 4. Entre les bandes horizontales et verticales se trouve du matériau magnétique tel que 30 et 30'. La partie centrale 35 de la plaque de substrat 3 comporte une surface carrée en matériau magnétique. La plaque 3 est accolée par sa face 33 à la face 42 de la plaque 4. Sur la face 34 est réalisé un réseau de conducteurs 21.1. Un conducteur horizontal 21.1 est réalisé au-dessus de chaque bande en matériau non magnétique 31.1 tel que cela est représenté en figure 5. A la partie supérieure de la face 34 on prévoit par exemple quatre conducteurs et à la partie intérieure quatre conducteurs. Huit conducteurs parallèles 11.1 sont alors prévus avec chacun une extrémité connectée à un conducteur 21.1. Les autres extrémités des conducteurs 21.1 sont connectées par le conducteur 5.1 aux extrémités libres des conducteurs 11.1. L'ensemble est recouvert d'une couche de matériau isolant. Un réseau de conducteurs verticaux 21.2 et 11.2 est réalisé au-dessus de l'isolant (voir figure 6). Ce réseau est similaire à celui de la figure 5 mais est orienté à 90 des conducteurs 21.1 et 11.1. Les conducteurs 21.2 sont situés au-dessus des bandes verticales non magnétiques 31.2. L'ensemble est à nouveau recouvert d'une couche isolante. Les conducteurs 11.1 et 11.2 constituent les conducteurs de commande d'une matrice de têtes magnétiques. En effet, au-dessus de chaque point de croisement des conducteurs 11.1 et 11.2 sont réalisés des têtes magnétiques. Chaque tête magnétique comporte deux pôles magnétiques 10 et 10' réalisés de préférence en couche mince à l'aide d'un matériau à très bonne perméabilité magnétique (du sendust par exemple, à savoir un alliage d'aluminium, de fer et d'étain). Les deux pôles magnétiques sont séparés par un entrefer 12. Ils ont par exemple une géométrie telle que représentée en figure 7a avec chacun une partie 14, 14' de surface relativement grande. Les deux parties 14, 14' sont situées en diagonale du point de croisement. Deux éléments étroits 15, 15' interrompus par l'entrefer 12 joignent les parties 14, 14'. De préférence, comme cela est représenté par la coupe cc de la figure 7b, les parties de pôles magnétiques 14 et 14' sont en contact direct avec la zone 35 en matériau magnétique du substrat 3. Pour cela, les couches d'isolant déposées sur les conducteurs 11.1 et 11.2 ont été gravées à l'emplacement de ces parties 14 et 14'. Enfin, les conducteurs 21.1 et 21.2 sont recouverts d'une couche magnétique 20 pour refermer le circuit magnétique au-dessus de chaque conducteur de façon similaire à ce qui a été représenté en figure la. Sur la figure 8, on a représenté les réseaux de conducteurs superposés 21.1 et 21.2. La couche magnétique 20 est délimitée par les pointillés 23 et 24 et se trouve entre ces pointillés au-dessus des conducteurs 21. 1 et 21.2. Ainsi selon l'invention, la réalisation des conducteurs en couche mince de la tête magnétique s'avère technologiquement beaucoup plus simple que celle d'un bobinage multispire. Il n'est pas nécessaire d'assurer le retour de l'extrémité intérieure du fil par une autre couche mince, séparée par une couche d'isolation dans laquelle ont été gravées des épargnes permettant la reprise de contact. L'absence de fil de retour en couche mince permet de gagner un facteur 2 sur la résistance et donc la dissipation thermique. La règle de fabrication est moins contraignante et permet la gravure de couches plus épaisses donc moins résistives. L'invention permet ainsi de faire passer un signal de commande en face avant du composant et de réaliser les fonctions de transformateur nécessaire à l'usage d'un bobinage couche mince monospire. Le substrat présenté en figures 4a, 4b est réalisé par sciage d'un bloc de ferrite, remplissage de verre et amincissement par polissage; il diffère de la structure antérieure en ce que le passage des flux se fait par la partie périphérique; la partie centrale sur laquelle sont déposés les têtes magnétiques est un monolithe de ferrite. De plus, les flux transférés en face avant ne sont plus les I x c flux correspondants à chaque croisement de bobinage et l'entrefer correspondant, mais seulement les I + c flux correspondants aux I bobinages horizontaux et c bobinages verticaux. Le matriç,age de ces I + c flux se fait par les couches conductrices représentées en figure 9: la variation de flux encerclant chacun des montants périphériques des éléments de circuit génère dans ceux-ci des potentiels induisant un courant qui circule dans la partie centrale. Comme on l'a vu, la figure la représente les éléments dans lequel circule ce flux: le bloc de ferrite 4 rainuré et bobiné en face arrière, le composite verre-ferrite 3 servant de substrat, une couche mince de matériau magnétique 20 recouvrant la spire couche mince 21 en face avant. Cette couche 20 est préférentiellement déposée en même temps que les couches 10, 10' composant la tête magnétique. Le flux qui peut être induit dans le circuit est limité par la saturation de cette couche mince (de l'ordre de 1 Tesla); sur 5 mm de rainure et 4 IJm de couche, un flux de 20 nWb peut être induit. La variation de ce flux à 15 MHz induit une tension de 2 Volts dans le circuit couche mince. Si la résistance de la spire est inférieure à 10 Ohms, un courant suffisant pour l'écriture peut être induit; ceci correspond typiquement à une couche de résistance carrée 0.1 Ohm; c'est-à-dire une fraction de micron d'un bon conducteur tel que le cuivre, I'or ou l'aluminium. La structure de la tête magnétique diffère faiblement de la structure du Brevet 2 605 783. Pour des pas de têtes magnétiques modérés, il n'est pas indispensable de creuser les couches isolantes (comme en figure 8) ayant servi à la séparation des circuits conducteurs. Pour des pas très fins (quelques dizaines de microns), il est préférable de le faire comme le montre la figure 8 de manière à bien refermer le circuit magnétique. La réalisation d'une tête magnétique matricielle ainsi décrite pourra être réalisée dans le procédé suivant. On réalise dans une plaque 4 en matériau magnétique des rainures orthogonales 40.1 et 40.2. Dans chaque rainure on réalise un bobinage d'excitation 41.1, 41.2 qui passe dans la rainure et sur la face opposée aux rainures (figures 3a, 3b). Par ailleurs, on réalise dans une plaque de substrat en matériau magnétique 3 des rainures que l'on remplit d'un matériau non magnétique 31.1, 31.2 (voir figures 9a, 9b). La face opposée aux rainures est usinée pour obtenir la face 33 de la figure 4b. Cet usinage peut être fait dès maintenant ou ultérieurement. On réalise sur les bandes horizontales 31.1 de matériau non magnétique, les conducteurs horizontaux de commande 21.1 ainsi que les conducteurs d'induction 11.1 tel que cela est représenté en figure 5. La figure 10 Oa représente en coupe un conducteur d'induction 11. 1 par exemple. Comme représenté en figure 10b, on recouvre l'ensemble d'une couche d'isolant. Notamment au-dessus de la zone 35 o doivent se croiser les conducteurs d'induction 11.1 et 11.2. On réalise ensuite les conducteurs verticaux de commande 21.2 ainsi que les conducteurs verticaux d'induction 11.2 tel que cela est représenté en figure 6. La figure 10c représente en coupe un point de croisement entre un conducteur d'induction horizontal 11.1 et un conducteur d'induction vertical 11.2. L'ensemble est à nouveau recouvert d'une couche isolante (figure 10d). On grave ensuite (figure 10e) les deux couches d'isolant déposées précédemment en diagonale de part et d'autre de chaque point de croisement pour accéder à la zone centrale 35 en matériau magnétique du substrat 3. On réalise ensuite les différentes têtes magnétiques telles que celles représentées en figure 8 selon par exemple la technique décrite dans la Demande de Brevet n 2 605 783. Dans la même opération, on peut recouvrir les conducteurs de commande 21.1 et 21.2 par une couche en matériau magnétique. Enfin la plaque 4 bobinée précédemment est accolée par sa face 42 à la face 33 de la plaque du substrat 3 opposée à celle portant les têtes magnétiques et les conducteurs de telle façon à avoir continuité dans les circuits magnétiques de commande et que les bobinages soient sensiblement au-dessous des bandes de matériau non magnétique 31.2 de la plaque de substrat 3. REVENDICATIONS 1. Tête magnétique d'enregistrementilecture comportant un premier circuit magnétique (1) et au moins un premier conducteur d'induction (11) d'un flux magnétique passant dans ce circuit magnétique, caractérisée en ce que ce conducteur est en circuit bouclé sur un deuxième conducteur de commande (21) qui passe à travers un deuxième circuit magnétique fermé (2) possédant un premier enroulement (41) d'induction d'un flux magnétique alimenté par un courant impulsionnel ou alternatif. 2. Tête magnétique selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'elle ne comporte qu'un seul premier conducteur d'induction (11) et que l'enroulement d'induction (41) comporte plusieurs spires. 3. Tête magnétique selon la revendication 1, caractérisée en ce que: - le premier conducteur d'induction (11) est situé sur une première face (34) d'un substrat en matériau magnétique et que dans la zone de prolongement de ce conducteur, le substrat est non magnétique (31) sous le conducteur (21); - le premier conducteur d'induction (11) est recouvert par une première couche (10, 11) de matériau à bonne perméabilité magnétique interrompue par un entrefer (12) et réalisant la tête magnétique; - le conducteur de commande (21) est recouvert par une deuxième couche (20) de matériau à bonne perméabilité magnétique. 4. Tête magnétique selon la revendication 3, caractérisée en ce que la première couche (10, 10') et la deuxième couche (20) de matériau à bonne perméabilité magnétique sont une même couche de matériau. 5. Tête magnétique selon la revendication 3, caractérisée en ce qu'il comporte une plaque en matériau magnétique accolée à une deuxième face du substrat opposée à la première face, autour de laquelle est bobiné l'enroulement d'induction( 41). 6. Tête magnétique selon la revendication 3, caractérisée en ce qu'elle comporte: - un deuxième conducteur d'induction( 11.2) perpendiculaire au premier conducteur d'induction (11.1) et définissant un point de croisement, les deux conducteurs d'induction passant à ce point de croisement, dans le premier circuit magnétique (1) d'une tête magnétique; - un deuxième conducteur de commande (21.2) bouclé sur le deuxième conducteur d'induction; - un deuxième enroulement d'induction (41.2) associé au deuxième conducteur de commande (21.2). 7. Tête magnétique selon la revendication 3, caractérisée en ce qu'elle comporte: - plusieurs premiers conducteurs d'induction (11) parallèles entre eux associés chacun à des premiers circuits magnétiques (1) d'une tête magnétique élémentaire; - plusieurs deuxièmes conducteurs de commande (21) parallèles entre eux chacun étant bouclé sur un premier conducteur d'induction; - plusieurs enroulements d'induction (41) chacun d'eux étant associé magnétiquement à un premier conducteur de commande (21). 8. Tête magnétique selon l'une des revendication 6 ou 7, caractérisée en ce qu'elle comporte: - plusieurs deuxièmes conducteurs d'induction (11.2) parallèles entre eux et perpendiculaires aux premiers conducteurs d'induction (11.1) chaque croisement d'un premier conducteur d'induction et d'un deuxième conducteur d'induction définissant un point de croisement à l'endroit duquel chaque conducteur passe dans un circuit magnétique définissant une tête magnétique élémentaire, les premiers et deuxièmes conducteurs d'induction étant isolés les uns des autres; - plusieurs deuxièmes conducteurs de commande (21.2) bouclés chacun sur un deuxième conducteur d'induction; - plusieurs deuxièmes enroulements d'induction (41.2) associés chacun à un deuxième conducteur de commande (21.2). 9. Tête magnétique selon la revendication 8, caractérisée en ce que les deuxièmes conducteurs de commande (21.2) sont perpendiculaires aux premiers conducteurs de commande (21.1). 10. Tête magnétique selon la revendication 9, caractérisée en ce que les premiers et deuxièmes conducteurs d'induction (11.1, 11.2) se croisent dans une zone (35) de forme parallélépipédique et que les conducteurs de commande sont situés à l'extérieur de cette zone, les premiers conducteurs de commande étant parallèles à un premier côté de la forme parallélépipédique et les deuxièmes conducteurs de commande étant parallèles à un deuxième côté de la forme parallélépipédique non parallèle au premier côté. 11. Tête magnétique selon la revendication 10, caractérisée en ce que les premiers conducteurs de commande sont répartis de chaque côté de la zone (35) et que les deuxièmes conducteurs sont répartis de chaque côté de la zone (35).