FR 2718576 A1 19951013 FR 9404017 A 19940406 Procédé de décalage de lonaueur d'onde dans une structure semiconductrice à puits quantique La présente invention concerne de manière générale un procédé de décalage de longueur d'onde dans une structure semiconductrice à puits quantique. Elle s'applique notamment à l'intégration d'un laser et d'un modulateur d'amplitude sous la forme de deux segments successifs d'une même structure semiconductrice du type III-V, ces deux segments constituant un segment laser et un segment modulateur et10 différant l'un de l'autre par les longueurs d'onde caractéristique de leurs couches guidantes. Le composant optique qui résulte d'une telle intégration trouve application dans les systèmes de télécommunication à fibres optiques.15 Plusieurs procédés sont connus pour réaliser une telle intégration. Un premier tel procédé est dit "de couplage bout à bout" (en anglais "butt coupling") et décrit dans l'article suivant: B. Garrett and E.J. Thrush - J. Crys. Growth - 97 (1989)20 273. Il présente l'inconvénient de comporter un grand nombre d'étapes. Cet inconvénient est évité dans un deuxième procédé connu décrit dans un article de: T. Kats, T. Sanaki, K. Komatsu and J. Mits, Electron - Letters. 28 (1992) 153. Ce deuxième procédé comporte une croissance épitaxiale sélective dans une zone limitée par un masque diélectrique bordant le segment laser. Une différence apparaît alors entre les longueurs d'onde caractéristiques des deux30 segments. Elle résulte de différences d'épaisseur et de composition provoquées par la diffusion des espèces gazeuses à partir des zones recouverte par le masque vers les zones ouvertes. Actuellement, seule l'épitaxie en phase vapeur aux organométalliques à basse pression (LP-OMVPE) permet de35 mettre ce procédé en oeuvre. Dans ce procédé les mises aux points technologiques sont longues. Un troisième procédé connu peut être appelé "interdiffusion induite localisée". Il permet d'éviter les inconvénients ci-dessus et est décrit dans un article de: J.Y. Emery, L. Golstein, C. Stark, P. Pagnod-Rossiaux, J.L.5 Peyre, F. Gabarit, C. Labourie, F.H. Julien and C. Francis. Proceedings of the fifth International Conference on InP. and Related Materials, Paris 1993, P1 (postdeadline paper). Il sera précisé ci-après. Il présente les inconvénients d'être difficilement transposable à une fabrication industrielle et de donner des résultats difficilement reproductibles. La présente invention a notamment pour but d'éviter d'une manière simple les inconvénients ci-dessus. Elle utilise un procédé de décalage de longueur d'onde dans une structure15 semiconductrice à puits quantique. Ce procédé inclue l'interdiffusion des éléments constitutifs des puits et des barrières d'une structure quantique. Cette structure quantique est interne à une structure semiconductrice du type III-V. L'interdiffusion est induite à chaud à partir de20 la face supérieure de cette structure. Ce procédé se caractérise par le fait que cette interdiffusion est induite par une couche d'un matériau inducteur maintenu dans un état condensé au contact de ladite face de la structure semiconductrice.25 A l'aide des figures schématiques ci-jointes, on va décrire plus particulièrement, à titre d'exemple non limitatif, comment la présente invention peut être mise en oeuvre. Lorsqu'un même élément est représenté sur plusieurs figures il y est désigné par le même signe de référence.30 La figure 1 représente une vue en coupe longitudinale d'un composant optique incluant une structure à décalage de longueur d'onde formée à l'aide du procédé de cette invention. La figure 2 représente un détail II de la figure 1. La figure 3 représente une vue partielle d'une structure de départ lors d'une étape de décalage devant la transformer en la structure à décalage de longueur d'onde de la figure 1. Cette vue est en coupe longitudinale selon une ligne III-III de la figure 4. La figure 4 représente une vue partielle de dessus de la stucture de la figure 3. On va tout d'abord décrire diverses étapes qui sont communes au procédé selon l'invention et au troisième procédé connu précédemment mentionné. Dans une première telle étape commune on réalise une structure de départ monocristalline constituée de matériaux semiconducteurs du type III-V comportant de l'indium et du gallium comme éléments III et du phosphore et de l'arsenic comme éléments V. Le rapport des teneurs d'un tel matériau en phosphore et en arsenic sera désigné ci-après comme le15 rapport phosphore sur arsenic de ce matériau. Cette structure définit des directions longitudinale X, transversale Y et verticale Z. Elle comporte les couches suivantes qui se succèdent selon cette direction verticale d'une face inférieure 2 à une face supérieure 4 de cette20 structure: - Une couche de confinement inférieure 6. Cette couche est constituée d'InP et épaisse de 200 nm au moins. Elle a un premier type de conductivité, par exemple le type n. Elle est formée sur un substrat 8 du même type de conductivité25 épaisse de 300 pm. - Une structure quantique 10. Cette structure est constituée par une succession verticale alternative de puits quantiques tels que P2 et P3 et de barrières telles que B1, B2 et B3. Le nombre de ces puits est par exemple six. Des surfaces de30 frontières SF apparaissent entre ces puits et ces barrières. Le rapport phosphore sur arsenic du matériau des puits est différent du rapport phosphore sur arsenic du matériau des barrières. Cette structure quantique a une longueur d'onde caractéristique, par exemple 1,5 gm, dépendant de ces35 rapports ainsi que des épaisseurs des couches et des teneurs en éléments III. Dans cette première étape cette longueur d'onde est constante selon la direction longitudinale. - Enfin une couche de confinement supérieure 12 d'un deuxième type de conductivité p opposé au premier. Cette couche est constituée d'InP et a une épaisseur de 300 nm au moins. Cette structure est telle que le passage d'un courant de polarisation d'un sens direct entre ces deux couches de confinement assure l'injection de porteurs de charges des deux types opposés dans la structure quantique 10. Cette10 injection permet l'amplification sélective d'ondes lumineuses ayant la longueur d'onde caractéristique de cette structure quantique. Ce procédé comporte ensuite les étapes suivantes: On définit dans la longueur de la structure de départ deux segments séparés constituant un segment à longueur d'onde décalée SM et un segment à longueur d'onde conservée SL. - On forme une couche de protection 14 recouvrant la face supérieure 4 de la structure de départ dans le segment à longueur d'onde conservée SL tout en laissant cette face20 exposée dans le segment à longueur d'onde décalée SM. Cette couche est par exemple diélectrique et épaisse de 300 nm. - Dans une étape de décalage on expose cette face supérieure à l'action d'un matériau inducteur de diffusion, ceci à une température d'interdiffusion. La concentration de ce matériau et cette température sont suffisantes pour provoquer une modification affectant une partie superficielle 13 de la couche de confinement supérieure 12 et pour induire ainsi dans la structure quantique 10, à travers la couche de confinement supérieure, une30 interdiffusion des éléments V. Cette interdiffusion fait diffuser le phosphore et l'arsenic à travers les surfaces de frontières SF de la structure quantique 10 et provoque ainsi un décalage localisé souhaité de la longueur d'onde caractéristique de cette couche. Cette modification, cette35 interdiffusion et ce décalage sont au moins limités par la couche de protection 14 dans le segment à longueur d'onde conservée SL. Le décalage de longueur d'onde ainsi réalisé est un décalage vers le bleu. Il est de plusieurs dizaines de nanomètres. Les longueurs d'onde conservées et décalées valent par exemple 1490 nm et 1420 nm. - Enfin on attaque la face supérieure 4 de la structure de départ ainsi modifiée pour éliminer la couche de protection 14 dans le segment à longueur d'onde conservée SL et la partie superficielle modifiée 13 de la couche de confinement supérieure 12 dans le segment à longueur d'onde décalée SM. On obtient ainsi une structure à longueur d'onde localement décalée 16 susceptible de conduire des dits courants de polarisation dans les segments à longueurs d'onde conservée15 et décalée et présentant des longueurs d'onde caractéristiques différentes dans ces deux segments. Dans le troisième procédé connu mentionné ci-dessus, l'étape de décalage comporte la mise de la structure dans une ampoule scellée contenant du phosphore en tant que20 matériau inducteur. Cette ampoule est ensuite chauffée à une température d'interdiffusion pour exposer la face supérieure de la structure à une pression de vapeur importante de ce matériau. La température d'interdiffusion est comprise entre 600' et 700 C. Selon la présente invention l'étape de décalage comporte elle même les étapes suivantes: - On dépose une couche dudit matériau inducteur 18 sur la face supérieure 4 de la structure de départ 1. Ce matériau est avantageusement choisi dans les colonnes III et V de la30 classification périodique des éléments. Il est constitué de préférence par l'indium. - On dépose sur cette couche de matériau inducteur une couche d'encapsulation 20 étanche et résistante à la température d'interdiffusion. Cette couche est par exemple35 diélectrique et épaisse de 50 nm. - Enfin on chauffe la structure de départ à la température d'interdiffusion qui reste comprise entre 600 et 700'C. La couche d'encapsulation évite l'évaporation, l'écoulement et/ou l'oxydation du matériau inducteur à cette température. On évite ainsi les inconvénients de la mise de la structure sous ampoule scellée. La structure protégée par la couche d'encapsulation peut être recuite plusieurs fois pour obtenir avec précision un décalage de longueur d'onde de la valeur souhaitée. Ce décalage est en effet apparu10 comme variant linéairement en fonction de la durée totale des opérations de recuit effectuées à la température d'interdiffusion. Par ailleurs l'indium peut être facilement déposé sous la forme d'une couche mince présentant une épaisseur régulière. Cette épaisseur est typiquement comprise entre 3 et 300 nm, de préférence entre 10 et 50 nm environ. La gamme de températures d'interdiffusion indiquée ci- dessus a été choisie suffisamment basse pour éviter à la fois une interdiffusion des éléments III à travers les20 surfaces frontières SF dans la structure quantique 10 et une diffusion de matériaux de dopage des couches de confinement inférieure 6 et supérieure 12 vers cette structure quantique. Les couches de protection 14 et d'encapsulation 20 sont de préférence constituées de matériaux diélectriques usuels tels que la silice Si02 et le nitrure de silicium Si3N4. Dans le cadre de la réalisation de composants pour un système de télécommunication à fibres optiques on dépose des électrodes EL, EM et EC sur les faces inférieure 2 et supérieure 4 de la structure à longueur d'onde localement décalée 16. Ce sont, sur la face supérieure 4, une électrode de laser EL dans le segment SL et une électrode de modulateur EM dans le segment SM, et sur la face inférieure35 2 une électrode commune EC. Par ailleurs une cavité résonante a été formée dans cette structure, par exemple par un réseau de Bragg 22. Ce dernier est situé dans la couche de confinement supérieur 12 de la structure de départ.5 On réalise ainsi un composant optique semiconducteur incluant sous forme intégrée un émetteur et un modulateur. L'émetteur est un laser présentant un gain positif dans le segment à longueur d'onde conservée. Le modulateur module la lumière de cet émetteur dans le segment à longueur d'onde10 décalée. Typiquement la cavité résonante 22 est formée dans le segment à longueur d'onde conservée SL, et le modulateur module l'amplitude de la lumière de l'émetteur. REVENDICATIONS 1/ Procédé de décalage de longueur d'onde dans une structure semiconductrice à puits quantique, ce procédé incluant une interdiffusion d'éléments entre au moins un puits (P2) et5 une barrière (B2) d'une structure quantique (10), cette structure étant interne à une structure semiconductrice (1) du type III-V, cette interdiffusion étant induite à chaud à partir d'une face (4) de cette structure semiconductrice, ce procédé étant caractérisé par le fait que cette10 interdiffusion est induite par une couche (18) d'un matériau inducteur maintenu dans un état condensé au contact de ladite face (4) de la structure semiconductrice (1). 2/ Procédé selon la revendication 1, caractérisé par le fait que ledit matériau inducteur est choisi parmi les éléments III et V inclus dans les colonnes III et V de la classification périodique des éléments, respectivement. 3/ Procédé selon la revendication 2, caractérisé par le fait que ledit matériau inducteur est l'indium. 4/ Procédé selon la revendication 3, caractérisé par le fait que ladite couche de matériau inducteur a une épaisseur comprise entre 3 et 300 nm et de préférence entre 10 et nm. / Procédé selon la revendication 1, caractérisé par le fait que ladite interdiffusion est réalisée à une température d'interdiffusion suffisamment haute pour permettre la diffusion d'éléments V et suffisamment basse pour éviter celle des éléments III. 6/ Procédé selon la revendication 5, caractérisé par le fait que ladite température d'interdiffusion est comprise entre 600'C et 700 C. 7/ Procédé selon la revendication 1, ce procédé comportant d'abord la réalisation d'une structure de départ monocristalline constituée de matériaux semiconducteurs du type III-V comportant de l'indium et du gallium comme35 éléments III et du phosphore et de l'arsenic comme éléments V, le rapport des teneurs d'un tel matériau en phosphore et en arsenic constituant un rapport phosphore sur arsenic de ce matériau, cette structure présentant des directions longitudinale (X), transversale (Y) et verticale (Z) et comportant des couches se succèdant selon cette direction5 verticale dans l'ordre suivant entre une face inférieure (2) et une face supérieure (4) de cette structure: - une couche de confinement inférieure (6) d'un premier type de conductivité, - une structure quantique (10) constituée par une succession verticale alternative de puits quantiques (P2, P3) et de barrières (B1, B2, B3) présentant des surfaces de frontières (SF) entre ces puits et ces barrières, le rapport phosphore sur arsenic du matériau des puits étant différent du rapport phosphore sur arsenic du matériau des barrières, cette15 structure quantique ayant une longueur d'onde caractéristique dépendant de ces rapports, cette longueur d'onde étant d'abord constante selon la direction longitudinale, - et une couche de confinement supérieure (12) d'un deuxième type de conductivité opposé au premier de manière que le passage d'un courant de polarisation d'un sens direct entre ces deux couches de confinement assure l'injection de porteurs de charges des deux types opposés dans la structure quantique (10) et que cette injection permette25 l'amplification sélective d'ondes lumineuses ayant ladite longueur d'onde caractéristique de cette structure quantique, ce procédé comportant ensuite les étapes suivantes: - on définit dans la longueur de la structure de départ deux segments séparés constituant un segment à longueur d'onde décalée (SM) et un segment à longueur d'onde conservée (SL), - on forme une couche de protection (14) recouvrant la face supérieure (4) de la structure de départ dans le segment à longueur d'onde conservée (SL) tout en laissant cette face35 exposée dans le segment à longueur d'onde décalée (SM), - dans une étape de décalage on expose cette face supérieure à l'action d'un matériau inducteur de diffusion, ceci à une température d'interdiffusion, la concentration de ce matériau et cette température étant suffisantes pour5 provoquer une modification affectant une partie superficielle (13) de la couche de confinement supérieure (12) et pour induire ainsi dans la structure quantique (10), à travers la couche de confinement supérieure, une interdiffusion des éléments V, cette interdiffusion faisant diffuser le phosphore et l'arsenic à travers les surfaces de frontières (SF) de la structure quantique (10) et provoquant ainsi un décalage localisé souhaité de la longueur d'onde caractéristique de cette couche, cette modification, cette interdiffusion et ce décalage étant au moins limités par la15 couche de protection (14) dans le segment à longueur d'onde conservée (SL), - et on attaque la face supérieure (4) de la structure de départ modifiée pour éliminer la couche de protection (14) dans le segment à longueur d'onde conservée (SL) et la20 partie superficielle modifiée (13) de la couche de confinement supérieure (12) dans le segment à longueur d'onde décalée (SM), grâce à quoi on obtient une structure à longueur d'onde localement décalée (16) susceptible de conduire desdits courants de polarisation dans lesdits25 segments à longueurs d'onde conservée et décalée et présentant des longueurs d'onde caractéristiques différentes dans ces deux segments, ledit procédé étant caractérisé par le fait que ladite étape de décalage comporte elle même les étapes suivantes:30 - on dépose une couche dudit matériau inducteur (18) sur la face supérieure (4) de la structure de départ (1), - on dépose sur cette couche de matériau inducteur une couche d'encapsulation (20) étanche et résistante à la température d'interdiffusion,35 - et on chauffe la structure de départ à la température d'interdiffusion. 8/ Procédé selon la revendication 7, caractérisé par le fait que lesdites couches de protection (14) et d'encapsulation (20) sont constituées de matériaux diélectriques tels que la silice SiO2 et le nitrure de silicium Si3N4. 9/ Procédé selon la revendication 7, caractérisé par le fait qu'on dépose des électrodes (EL, EM, EC) sur les faces inférieure (2) et supérieure (4) de la structure à longueur d'onde localement décalée (16), une cavité résonante (22) étant formée dans cette structure de manière à réaliser un composant optique semiconducteur incluant sous forme intégrée un émetteur et un modulateur, cet émetteur étant un émetteur laser présentant un gain positif dans le segment à longueur d'onde conservée, ce modulateur modulant la lumière de cet émetteur dans le segment à longueur d'onde décalée.15 10/ Procédé selon la revendication 9, caractérisé par le fait que ladite cavité résonante (22) est formée dans le segment à longueur d'onde conservée (SL), ledit modulateur modulant l'amplitude de la lumière de l'émetteur.