FR 2700063 A1 19940701 FR 9215997 A 19921231 PROCEDE DE TEST DE PUCES DE CIRCUIT INTEGRE ET DISPOSITIF INTEGRE CORRESPONDANT L'invention concerne la réalisation des circuits intégrés et elle vise à proposer à la fois un procédé de test original et une construction de tranche de circuit intégré permettant de mettre en oeuvre ce test. Les puces de circuits intégrés, qui font ordinairement quelques millimètres de côté, sont réalisées en série sur des tranches semiconductrices de plusieurs centimètres à plusieurs dizaines de centimètres de diamètre Plusieurs dizaines, centaines, ou milliers de puces sont donc fabriquées à la fois sur une même tranche, et la tranche est découpée en puces individuelles en fin de fabrication Puis ces puces sont mises dans des boîtiers de protection appropriés. Une phase essentielle de la fabrication est le test sur tranche de toutes les puces; ce test permet de rejeter les puces mauvaises avant leur encapsulation, ce qui évite de grever les coûts de fabrication par l'encapsulation inutile et coûteuse de puces mauvaises. Le test sur tranche est effectué à l'aide d'un appareil de test qui est muni d'un ensemble de pointes extrêmement fines, que l'on vient appliquer contre les plots d'entrée/sortie de chaque puce Ces plots sont les plots de contact qui serviront ultérieurement à permettre la communication de la puce avec l'extérieur. L'appareil de test est donc conçu pour appliquer avec précision les pointes de test sur les plots de contact d'une puce, effectuer le test de cette puce, marquer la puce si elle est mauvaise, déplacer les pointes sur la puce suivante, effectuer le test, etc. Cette procédure est longue puisqu'elle est répétée autant de fois qu'il y a de puces En général, si la puce est simple la procédure de test peut être simple, mais alors il y a beaucoup de puces (plusieurs milliers) par tranche; et si la puce est complexe il y a moins de puces par tranche (plusieurs centaines) mais la procédure de test de chaque puce est plus longue Dans les deux cas, le temps de test d'une tranche peut être très long, de sorte que le test devient le principal facteur de coût des circuits intégrés L'appareil de test est en effet très coûteux et le nombre d'appareils de test qu'il faut prévoir pour assurer une fabrication de circuits intégrés en série est d'autant plus élevé que les temps de test de tranches sont plus grands. On peut imaginer de tester toutes les puces d'une tranche en parallèle puisque les procédures à effectuer sur chaque puce sont identiques Mais cela supposerait de réaliser un appareil ayant un nombre de pointes de test égal au produit du nombre de puces par le nombre de plots de contact de chaque puce A titre d'exemple, pour une tranche de 1000 puces de 8 contacts chacune, il faudrait 8000 pointes de test pour l'appareil, au lieu de 8 pointes L'appareil serait tellement coûteux qu'on perdrait tout l'avantage financier qu'apporterait la réduction du temps de test de la tranche De plus, il serait difficile de séparer les signaux renvoyés par les différentes puces en réponse aux signaux envoyés par l'appareil de test, de sorte qu'on aurait du mal à repérer les puces défectueuses. C'est pourquoi on propose selon l'invention une autre approche du test sur tranche. Selon l'invention, on propose un procédé de test de circuit intégré sur tranche entière, avant découpe de la tranche en puces individuelles, caractérisé en ce qu'on applique des pointes de test d'un appareil de test sur des plots de contact situés dans une zone de circuit de test hors des puces à tester, ces plots de contact étant reliés à des entrées de commande et à des entrées de signaux de test d'un démultiplexeur, également situé dans la zone de circuit de test; des groupes de sorties du démultiplexeur sont reliées à des bus respectifs allant du démultiplexeur aux puces, pour permettre la communication entre une puce ou un groupe de puces déterminées et l'appareil de test, ceci en fonction de signaux de sélection de puce appliqués par l'appareil de test aux entrées de commande du démultiplexeur. L'invention propose donc aussi une tranche de circuit intégré destinée à être découpée en une pluralité de puces individuelles, comprenant à cet effet des zones principales comportant chacune un circuit intégré respectif qui formera une puce respective après découpe de la tranche, les zones principales étant séparées les unes des autres par des zones de découpe le long desquelles seront effectuées les découpes entre puces individuelles, cette tranche étant caractérisée en ce qu'elle comporte un démultiplexeur et des plots de contact situés dans une zone de circuit de test en dehors des zones principales, le démultiplexeur ayant des entrées de signaux et des entrées de - commande reliées aux plots de contact et ayant des sorties reliées à des bus de conducteurs qui passent le long des zones de découpe entre puces et qui peuvent être reliés aux circuits intégrés des zones principales. De préférence, pour éviter d'avoir un nombre de bus de sortie égal aux nombre de puces, ce qui formerait un réseau très encombrant entre les lignes et colonnes de puces, on prévoit qu'il y a autant de bus de sorties que de lignes de puces dans la tranche; on prévoit également un connecteur local, à proximité de chaque puce, entre la puce et un bus qui passe à côté d'elle, et on prévoit des conducteurs de colonne, passant entre les colonnes de puces, chaque conducteur de colonne permettant de commander simultanément tous les connecteurs locaux correspondant aux puces de cette colonne Les conducteurs de colonne sont reliés aux sorties d'un décodeur de colonne ayant ses entrées reliées à des plots de contact de la zone de circuit de test, de sorte qu'un conducteur de colonne déterminé peut être sélectionné par l'appareil de test. On peut ainsi sélectionner par l'appareil à la fois un bus en ligne (sélection par le démultiplexeur) et un conducteur en colonne (sélection par le décodeur), afin de tester une puce déterminée située au croisement de cette ligne et de cette colonne. on verra que dans cette approche du test sur tranche selon l'invention, on peut essayer d'effectuer en parallèle sur toutes les puces certaines tâches qui peuvent être effectuées simultanément, tout en conservant un traitement successif des tâches qui ne peuvent être effectuées que puce par puce On aboutit donc à une réduction notable du temps de test global et donc du coût résultant, et ceci sans exiger un appareil de test très coûteux ou impossible à réaliser. Le démultiplexeur agit comme démultiplexeur pour l'envoi de stimuli de test vers une puce, mais il agit aussi comme multiplexeur pour recueillir de cette puce des réponses à ces stimuli. Les circuits intégrés des zones principales sont pourvus de plots de contact qui serviront ultérieurement à la connexion de la puce avec l'extérieur; de préférence, les bus issus du démultiplexeur sont reliés à ces plots de contact par l'intermédiaire du connecteur local situé à proximité de chaque puce. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée qui suit et qui est faite en référence aux dessins annexés dans lesquels: la figure 1 représente une tranche de circuit intégré comportant de multiples puces; la figure 2 représente schématiquement l'organisation générale d'une tranche selon l'invention; la figure 3 représente schématiquement la zone de circuit de test prévue sur la tranche pour les opérations de test; la figure 4 représente la connexion locale entre un bus de test et une puce à tester. Sur la figure 1 on a représenté une tranche de circuit intégré classique 10 sur laquelle ont été réalisés de multiples circuits intégrés identiques 12 disposés en réseau de lignes et colonnes de circuits La tranche est destinée être découpée selon des lignes horizontales et verticales (traits tiretés) s'étendant entre les lignes et colonnes de circuits; cette découpe sépare les circuits les uns des autres en puces rectangulaires individuelles comportant chacune un circuit intégré respectif. Les circuits intégrés sont testés individuellement avant la découpe en puces, dans une opération appelée "test sur tranche" par opposition au test du circuit en boitier. Le test est le même pour toutes les puces Par exemple, pour une mémoire, le test consiste à appliquer des signaux d'adresse et des signaux de données à enregistrer, puis à lire les données effectivement enregistrées. Le test est effectué par un testeur qui se compose d'une partie mécanique et d'une partie électrique. La partie mécanique comprend une table mobile X-Y à déplacement micrométrique, portant la tranche 10 à tester, un systèmes de pointes 16 qui peuvent venir se poser simultanément sur les différents plots de contact 18 d'une puce, un système d'alignement précis pour positionner les pointes sur une puce et pour déplacer la table X-Y pas-à-pas de manière à passer à une autre puce d'une ligne ou colonne voisine quand le test de la première puce est fini; un système d'encrage pour marquer la puce testée si elle s'avère défectueuse. La partie électrique du testeur comprend le système de pilotage de la table X-Y, et un ordinateur qui envoie les séquences de test aux puces à travers les pointes de test, et qui analyse les signaux reçus en retour du circuit testé. La figure 2 représente schématiquement une tranche 20 selon l'invention: un réseau de N lignes et M colonnes de circuits intégrés 22 est prévu comme à la figure 1; la tranche est destinée à être ultérieurement découpée en puces individuelles comportant chacune un circuit 22 respectif. Une zone spécifique 24 de la tranche, en dehors des circuits 22, comporte un circuit intégré servant uniquement au test. Ce circuit spécifique de test comprend dans sa version la plus simple: des plots de contact 28 qui ne servent que pendant le test et contre lesquels peuvent venir s'appliquer les pointes de l'appareil de test, et un démultiplexeur 30 ayant des entrées de signaux et des entrées de commande reliées aux plots de contact et des sorties reliées à un grand nombre de bus de plusieurs conducteurs chacun. Les bus partent des sorties du démultiplexeur et s'étendent le long des lignes de découpe future de la puce (lignes horizontales et verticales représentées à la figure 1), pour passer le long de toutes les puces qu'on veut pouvoir tester Les bus servent à accéder individuellement à chaque puce en fonction des commandes appliquées au démultiplexeur 30 par l'appareil de test. Il pourrait y avoir un bus par puce, mais, dans le cas o les puces sont très nombreuses on préfère avoir par exemple un bus pour toute une rangée de puces, et autant de bus que de rangées, la sélection d'une puce à l'intérieur d'une rangée étant faite par un autre moyen; ce moyen peut être un décodeur de colonne 32, ayant des entrées d'adressage reliées à des plots 28, et des sorties qui sont reliées à des conducteurs de colonne s'étendant entre les colonnes de puces pour sélectionner une colonne de puces parmi les autres. L'appareil de test, relié par des pointes aux plots 28, va donc pouvoir commander le démultiplexeur 30 et le décodeur 32 pour sélectionner une puce unique, lui appliquer des signaux de test par un bus qui permet de relier la puce au démultiplexeur, et recueillir par ce bus des signaux en retour, pour les transmettre à l'appareil de test. On peut alors successivement tester chaque puce sans avoir à déplacer mécaniquement les pointes de test. Mais de plus, cette configuration du système de test permet d'accélérer encore le test car elle permet de paralléliser certaines opérations de test lorsque ces opérations peuvent être effectuées simultanément pour les différentes puces. Un exemple simple peut être donné à titre d'illustration dans le cas de puces comportant une mémoire électriquement effaçable et programmable; la procédure de base du test peut se diviser en trois étapes: A Protocole d'envoi d'une adresse et d'une donnée; durée 0,3 milliseconde; B Cycle de programmation un automate d'écriture enregistre dans la mémoire, à l'adresse reçue, la donnée reçue; durée environ 10 millisecondes, majorée à 15 millisecondes pour tenir compte du fait que la durée n'est pas la même pour toutes les puces; C Protocole de lecture de la donnée à l'adresse indiquée: 0,4 ms. La tâche A doit s'effectuer successivement puce par puce, puisqu'il faut envoyer par les bus les adresses et les données alors que le bus ne permet d'accéder qu'à une puce à la fois On pourrait toutefois imaginer dans certains cas que les bus permettent d'accéder simultanément à toutes les puces pour cette tâche, et que la tâche soit alors parallélisée. La tâche B peut s'effectuer en parallèle pour toutes les puces à la fois, car elle est effectuée par un automate interne à chaque puce Pour chaque puce la tâche B peut commencer dès que la tâche A est terminée pour cette puce (mais sans attendre qu'elle soit terminée pour les autres puces). La tâche C doit nécessairement être effectuée puce par puce car il faut pouvoir distinguer les données lues dans les différentes puces après l'opération d'écriture. La tâche C peut commencer pour une puce après la fin de la tâche B de cette puce, mais à condition cependant que toutes les tâches A soient terminées car on en peut envoyer par le testeur une donnée à écrire pendant qu'on renvoie au testeur une donnée lue. Au total, dans cet exemple, le temps total de test pour X puces varie entre: Tl = X 0,3 ms + 15 ms + 0,4 ms (cas favorable o toutes les tâches A sont terminées alors que la tâche B du premier produit n'est pas terminée) et T 2 = X 0,3 ms + X 0,4 ms (cas défavorable o 1 O la tâche C du premier produit doit être retardée jusqu'à ce que toutes les tâches A soient terminées). Pour un nombre de puces de 5000 (classique pour des petits circuits à huit plots de contact sur tranche de cm de diamètre environ), le temps total de test est de 3,5 secondes dans cet exemple Avec un test sous pointes classique, puce par puce, le temps de test serait de X ( 0,3 + 0,4 + 15) ms = 1 minute 18 secondes. Si la procédure de test comporte 20 étapes d'écriture et lecture de données, le temps de test classique est de 26 minutes; avec l'invention il est de lmn ls. Il faut pouvoir connecter à tout moment n'importe quelle puce aux pointes de test par l'intermédiaire du démultiplexeur et des bus qui partent de ce dernier. On va décrire à propos d'un exemple comment se fait cette connexion. On suppose que la tranche non découpée comporte un réseau de puces de N = 100 rangées parallèles de M = 50 puces au maximum chacune (la tranche est ronde et certaines rangées ou colonnes peuvent être incomplètes). On suppose que les puces ont P = 8 contacts extérieurs, ce qui est le cas des puces pour cartes à mémoire de format carte de crédit. Sur la figure 3, on voit que le démultiplexeur 30 comporte de préférence huit entrées/sorties El à E 8 de signaux à démultiplexer, c'est-à-dire en principe autant d'entrées/sorties de signaux qu'il y a de plots de contact sur les puces à tester Ces entrées de signaux peuvent inclure les tensions d'alimentation Vcc et Vss à appliquer aux puces, les signaux d'horloge, etc Les bus pourraient comporter un nombre de conducteurs plus petit que le nombre de plots de contacts des puces dans les cas o tous les plots ne seraient pas nécessaires pour 1 O le test Les entrées de signaux à démultiplexer sont reliées chacune à un plot respectif de contact 28 de la zone de circuit de test 24. Le démultiplexeur 30 comporte autant de groupes de sorties Sl, 52, SN qu'il y a de lignes de puces; par exemple il y a N = 100 groupes de sorties reliés respectivement à N = 100 bus de conducteurs Et chaque groupe de sorties comprend P = 8 sorties, chaque bus ayant 8 fils Ces bus partent du démultiplexeur et s'étendent entre les lignes de puces en longeant les puces de chaque ligne, le long des lignes de découpe ultérieure de la tranche. Le démultiplexeur 30 comporte également des entrées de commande Cl, C 2,, en nombre suffisant pour pouvoir contrôler le fonctionnement du démultiplexeur, et en particulier pour pouvoir donner un ordre de sélection d'un bus parmi N Ces entrées sont reliées à des plots de contact 28 de la zone 24 et elles reçoivent de l'appareil de test notamment une adresse de ligne de puce à tester Par ces entrées, l'appareil de test peut donc sélectionner un bus de sortie parmi N pour le relier aux entrées/sorties El à E 8, c'est-à-dire pour le relier à l'appareil de test. Le décodeur de colonne 32 a également des entrées de commande Bi, B 2, reliées à des plots de contact il 28, en nombre suffisant pour permettre la sélection d'une colonne parmi les M = 50 colonnes possibles, et il a un nombre de sorties Dl, D 2, égal au nombre M de colonnes Ces sorties sont reliées à des conducteurs qui passent chacun le long d'une ligne de découpe verticale respective de la tranche, pour s'étendre le long d'une colonne de puces respective. Chacun de ces conducteurs de sortie du décodeur de colonne permet de commander la liaison entre les puces de cette colonne et les bus qui passent à proximité de ces puces. Pour des raisons qu'on expliquera plus loin, on prévoit aussi une commande générale d'application d'une tension Vcc à toutes les puces à la fois Cette commande est transmise par l'appareil de test, par exemple à partir d'un plot 28 de la zone de circuit de test Ce plot est relié à un conducteur de commande général CG qui se divise en M conducteurs de colonne permettant de contrôler l'application de l'alimentation Vcc aux puces indépendamment de l'état actif ou passif des bus. La figure 4 représente la connexion locale entre une puce et un bus passant dans une zone de découpe à proximité de cette puce. Un circuit de connexion 40 est prévu localement à proximité de chaque puce (il pourrait même faire partie de la puce) Ce circuit est commandé principalement par le conducteur de colonne Cj issu du décodeur 32 et correspondant à la colonne j Le conducteur Cj commande la liaison entre le bus BU Si, correspondant à la rangée i, et une puce Pij située au croisement de la rangée i et de la colonne j Plus précisément, le conducteur Cj commande la liaison entre les différents conducteurs du bus BU Si et chacun des plots de contact Elij, E 2 ij, E 8 ij, de la puce Huit transistors Tl à T 8 commandés par le conducteur Cj ont été représentés pour indiquer cette connexion locale entre la puce et le bus Le transistor T 7 qui permet la connexion à Vss peut être remplacé par un court-circuit si on accepte que Vss soit appliqué systématiquement à toutes les puces ou au moins à toutes les puces d'une même colonne. Toutes les puces de la colonne j sont connectées aux bus respectifs qui passent à côté d'elles Mais un seul bus est actif, c'est-à-dire sélectionné par le multiplexeur Les autres sont en haute impédance (à l'exception des conducteurs Vcc et Vss des bus) Une seule puce est donc sélectionnée pour être testée. Un neuvième transistor T 9 a été représenté pour commander séparément (indépendamment de T 8) la connexion entre le plot E 8 ij (plot destiné à recevoir l'alimentation Vcc) et le huitième conducteur du bus, c'est-à-dire celui qui amène Vcc Ce transistor T 9 est commandé par le conducteur CG. Il en résulte qu'il y a deux manières d'alimenter la puce: soit le conducteur CG est inactif; seule la puce Pij reliée au bus BU Si sélectionné par le démultiplexeur 30 et connectée à ce bus par le conducteur de colonne correspondant Cj sera alimentée; soit le conducteur CG est actif, et alors toutes les puces de la rangée sélectionnée par le démultiplexeur sont alimentées; on peut d'ailleurs prévoir que toutes les puces de la tranche sont alimentées, mais alors, avec le circuit représenté à la figure 4, cela suppose que Vcc est transmis systématiquement par tous les bus (même non sélectionnés) lorsque CG est actif. Cette commande supplémentaire d'alimentation des puces par le bus CG permet notamment d'effectuer en même temps pour toutes les puces les tâches qui sont parallélisables et qui ne nécessitent pas l'application aux puces de signaux autres que l'alimentation. Dans l'exemple de test de mémoire donné précédemment, l'exécution de la programmation (tâche B) est parallélisable et sera effectuée en utilisant la commande CG. Les puces défectueuses peuvent être repérées par leur adresse en ligne et en colonne Elles peuvent être marquées par encrage après la fin du test Elles peuvent aussi être marquées au moment de la détection d'un défaut, mais alors de préférence par des moyens électriques, tels que l'application d'une tension de claquage électrique à des fusibles disposés à la surface de la puce; ces fusibles sont disposés de telle manière que l'aspect optique de la puce soit suffisamment changé par le claquage pour que la puce puisse être repérée comme une puce mauvaise du seul fait de son changement d'aspect (détectable par un opérateur humain ou par un détecteur optique approprié) Un réseau de fusibles occupant une large surface de la puce peut convenir Il faut alors prévoir une commande de claquage de ces fusibles à partir de l'appareil de test Un conducteur supplémentaire dans les bus de test peut être nécessaire. Lorsque la tranche sera découpée en puces individuelles, les connecteurs locaux 40 n'interviendront plus. Pour la réalisation pratique des circuits spécifiques de test, on peut prévoir une réalisation en technique classique de circuit intégré, les conducteurs des bus et les autres conducteurs de colonne étant réalisés par le même niveau de métallisation qui sert à faire les plots de contact des puces. Dans les circuits intégrés dans lesquels on prévoit que la puce est entièrement entourée par une barrière de protection contre les infiltrations d'humidité, le mieux sera d'interrompre localement cette barrière pour laisser le passage à des conducteurs de liaison entre la puce et le connecteur 40 L'interruption de la barrière pourra être en forme de chicane pour détériorer le moins possible l'efficacité de la barrière Mais on pourrait aussi prévoir que les liaisons entre la puce et le connecteur local se font par un niveau supplémentaire de métallisation, selon des technologies qui n'ont alors plus besoin d'être très fines: par exemple un dépôt et une gravure de polymère conducteur peuvent permettre de faire ces connexions qui ne servent qu'au moment du test Le polymère conducteur est ensuite éliminé avant la découpe de la tranche. REVENDICATIONS 1 Procédé de test de circuit intégré sur tranche entière, avant découpe de la tranche ( 20) en puces individuelles ( 22), caractérisé en ce qu'on applique des pointes de test d'un appareil de test sur des plots de contact ( 28) situés dans une zone de circuit de test ( 24) hors des puces à tester, ces plots de contact étant reliés à des entrées de commande et à des entrées de signaux de test d'un démultiplexeur ( 30) également situé dans la zone de circuit de test, et des groupes de 1 o sorties du démultiplexeur étant reliées à des bus respectifs allant du démultiplexeur aux puces, pour permettre la communication entre une puce ou un groupe de puces déterminées et l'appareil de test, ceci en fonction de signaux de sélection de puce appliqués par l'appareil de test aux entrées de commande du démultiplexeur. 2 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'appareil de test applique des signaux de test successivement aux différentes puces, et en ce que certaines séquences de test sont effectuées en parallèle pour plusieurs puces à la fois. 3 Tranche de circuit intégré ( 20) destinée à être découpée en une pluralité de puces individuelles ( 22), comprenant à cet effet des zones principales comportant chacune un circuit intégré respectif qui formera une puce respective après découpe de la tranche, les zones principales étant séparées les unes des autres par des zones de découpe le long desquelles seront effectuées les découpes entre puces individuelles, cette tranche étant caractérisée en ce qu'elle comporte un démultiplexeur ( 30) et des plots de contact ( 28) situés dans une zone de circuit de test située en dehors des zones principales, le démultiplexeur ayant des entrées de signaux (El à E 8) et des entrées de commande (Cl, C 2, ) reliées aux plots de contact et ayant des sorties (Si à Sn) reliées à des bus de conducteurs qui passent le long des zones de découpe entre puces et qui peuvent être reliés aux circuits intégrés des zones principales. 4 Tranche de circuit intégré selon la revendication 3, caractérisée en ce qu'elle comporte N rangées de puces, N bus de conducteurs passant le long de ces rangées, un connecteur local ( 40) pour relier une puce déterminée à un bus qui passe à côté de cette puce, des conducteurs de colonne, passant entre des colonnes de puces, chaque conducteur de colonne permettant de commander simultanément tous les connecteurs correspondant aux puces de cette colonne, et un décodeur de colonne ( 32) ayant des entrées reliées à des plots de contact de la zone de circuit de test et des sorties reliées aux conducteurs de colonne. 5 Tranche de circuit intégré selon la revendication 4, caractérisée en ce que le connecteur local ( 40) est relié à des plots de contact de la puce à laquelle il est associé. 6 Tranche selon la revendication 4, caractérisée en ce qu'elle comprend des moyens (CG) pour appliquer simultanément à toutes les puces une tension d'alimentation, même si elles ne sont pas sélectionnées par le démultiplexeur ni par le décodeur de colonne.