FR 2698447 A1 19940527 FR 9214148 A 19921123 CELLULE DE MESURE MICRO-USINEE La présente invention concerne une cellule de mesure micro-usinée destinée à être montée sur un support et comportant un capteur de mesure comprenant un élément conducteur d'électricité. On connaît déjà des cellules de mesure du type susmentionné On connaît en particulier des cellules de mesure de ce type qui sont des cellules de mesure d'une accélération Ces cellules, dites accélérométriques, sont constituée par un capteur de mesure capacitif comprenant une plaque de silicium dans laquelle est ménagée une électrode mobile, cette plaque étant interposée entre deux autres plaques de même réalisée en silicium, les trois plaques étant légèrement espacées les unes des autres, et l'espace entre ces plaques étant rempli par un matériau de soudage électriquement isolant, sauf au niveau de l'électrode mobile. Une telle cellule présente des inconvénients En effet, les cellules de ce type sont fabriquées par lots, ce qui implique qu'en fin de procédé, les cellules individuelles sont séparées les unes des autres en faisant appel à des opérations de découpage qui sont, le plus souvent, des opérations mécaniques Or ce découpage mécanique engendre des contraintes ou même cause des fissures ou court-circuits au niveau de la partie active de la cellule. En outre, dans la pratique, une cellule de mesure est le plus souvent montée dans le boîtier d'un dispositif électronique auquel elle est associée électriquement, le montage étant réalisé par un simple collage d'une face de la cellule sur une surface plane du boîtier La présence de colle sur une face de la cellule micro-usinée produit des contraintes qui peuvent se propager jusqu'à la partie active de la cellule formant le capteur de mesure proprement dit Ces contraintes dépendent notamment de la sensibilité du dispositif que le décalage de la position du zéro indiqué par celui-ci (offset) De plus on voit apparaître un effet de viellissement qui s'ajoute à cet effet d'hystérèse. La présente invention a donc pour but de pallier les inconvénients qui viennent d'être décrits en fournissant une cellule de mesure dans laquelle les contraintes mécaniques provoquées, notamment lors du découpage ou du collage de la cellule sur son support, ne peuvent pas se propager jusqu'au capteur de mesure proprement dit et n'influencent donc pas la mesure. Ainsi, l'invention a pour objet une cellule de mesure micro-usinée destinée à être montée sur un support et comportant une capteur comprenant un élément conducteur d'électricité, caractérisée en ce qu'elle comporte une structure de montage distincte dudit capteur et reliée à ce dernier par au moins un bras de liaison destiné à supporter le dit capteur, au moins un élément de la structure de montage, un élément du bras de liaison et un élément du capteur étant en outre réalisés ensemble en une seule pièce. Grâce à ces caractéristiques on peut, lors de l'opération de fixation de la cellule sur son support, limiter l'application de la colle à des surfaces faisant partie de la structure de montage uniquement, et donc laisser libres les parois du capteur proprement dit En réalisant ainsi le collage de la cellule de mesure au niveau de la stucture de montage, on confine l'essentiel des contraintes mécaniques au niveau de cette structure. En effet, grâce à cette configuration, la transmission des contraintes mécaniques depuis la structure de montage vers le capteur ne peut se faire que par l'intermédiaire du bras de liaison qui a une section relativement faible, et constitue ainsi une zone d'evanescence des contraintes, à travers laquelle les contraintes mécaniques ne sont transmises que dans une proportion extrêmement réduite. Le fait que la cellule de mesure conforme à la présente invention comporte une sructure de montage distincte du capteur proprement dit présente aussi l'avantage de faciliter la manipulation de la cellule, lors de sa mise en place sur son support En effet, la cellule peut être saisie, par un bras manipulateur par exemple, au niveau de la structure de montage, ce qui évite tous risques d'endommagement du capteur. Mais d'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée qui suit donnée à titre d'exemple et prise en référence aux figures annexées, représentant un mode particulier de réalisation de l'invention, et dans lesquelles: la figure 1 est une vue en perspective partiellement arrachée d'une cellule accélérométrique de l'art antérieur, la figure 2 est une vue en perspective partiellement arrachée d'un mode particulier de réalisation d'une cellule de mesure accélérométrique conforme à la présente invention, la figure 3 est une vue de dessus de la cellule accélérométrique de la figure 2 dont on a retiré la plaque de couverture, la figure 4 est une vue en coupe de la cellule accélérométrique de la figure 2, faite selon la ligne IV- IV de cette figure, les figure 5 a, 5 b et 5 c sont des vues partielles, de dessus, de plaquettes de silicium sur lesquelles ont été gravées respectivement des premières, secondes et troisièmes plaques de cellules accélérométriques conformes à celle représentée sur la figure 2, Comme on le voit sur la figure 1, une cellule accélérométrique 1 de l'art antérieur est constituée d'une première, d'une deuxième et d'une troisième plaque superposées et référencées respectivement 3, 4 et 5 et réalisées chacune en une seule pièce à partir d'un matériau micro- usinable et conducteur d'électricité, par exemple du silicium La première plaque 3 constitue une base rectangulaire pour la cellule accélérométrique et elle reçoit sur sa face supérieure la deuxième plaque 4. Une couche d'oxyde 14 disposée entre les deux plaques 3 et 4 assure le collage de ces dernières l'une sur l'autre et simultanément les isole électriquement l'une de l'autre. La deuxième plaque 4 comporte une partie intérieure constituant une électrode mobile 9 Cette électrode 9 est solidaire par un de ses côtés du reste de la plaque qui forme un cadre 7 entourant l'électrode mobile 9 La mobilité de l'électrode 9 par rapport au cadre 7 est assurée par le fléchissement d'une région amincie 10 qui relie l'électrode 9 au cadre 7. La deuxième plaque 4 reçoit à son tour, sur sa face supérieure, la troisième plaque 5, et le collage de ces deux plaques l'une sur l'autre est réalisé par une deuxième couche d'oxyde isolant 16. Les couches d'oxyde 14 et 16 remplissent ainsi deux espaces résiduels entre les plaques 3, 4 et 5, mais comme on le voit sur la figure 1, ces couches ne s'étendent pas à l'intérieur de l'enceinte du cadre 7, c'està-dire dans la région de l'électrode mobile 9, si bien que cette dernière est laissée libre de se déplacer On voit encore sur la figure 1 que la deuxième et la troisième plaque 4 et 5 comprennent chacune une barre de connexion électrique, portant la référence 12 et 18, respectivement. La première plaque 3, le cadre 7 formant la partie extérieure de la deuxième plaque 4, et la troisième plaque 5 constituent ainsi une enceinte hermétique à l'intérieur de laquelle l'électrode mobile 9 peut se déplacer Les deux couches d'oxyde 14 et 16 isolent électriquement les trois plaques les unes des autres, et celles-ci forment ensemble un capteur capacitif dont le principe général de35 fonctionnement est bien connu Notons en particulier que la première et la troisième plaque 3, 5 constituent les deux électrodes fixes du capteur entre lesquelles se déplace l'électrode mobile 9 La liaison électrique entre un dispositif électronique, non représenté, et les trois plaques 3, 4, 5 formant les trois électrodes de cette cellule accélérométrique, sont assurées par trois conducteurs soudés sur trois zones de métalisation situées respectivement sur les barres de connexion 18 et 12 et sur une partie exposée de la première plaque 3. De telles cellules accélérométriques sont généralement réalisées par micro-usinage à partir de plaquettes ou "lwafers" en silicium Chacune des plaques 3,4 et 5 de la cellule accélérométrique est obtenue à de multiples exemplaires à partir d'un "wafer' Un tel "wafer"' a le plus souvent la forme d'une pastille de silicium de 100 mm de diamètre et 0,4 mm d'épaisseur. Pour fabriquer des cellules accélérométriques on reproduit tout d'abord, à de multiples exemplaires respectivement sur trois '"wafers" le relief correspondant aux trois plaques 3,4 et 5 de l'accéléromètre, à l'aide de techniques de micro-usinage appropriées Des couches d'oxyde isolant sont ensuite disposées sur des zones déterminées de la surface des trois "wafers", pour permettre le collage subséquent de ceux-ci les uns sur les autres Le collage est effectué à haute température par fusion des couches d'oxyde L'assemblage ainsi réalisé est finalement découpé par sciage d'environ 200 cellules accélérométriques semblables à celle qui a été décrite plus haut. Un des problèmes rencontré avec de telle réalisation est lié à l'opération de sciage En effet, cette opération est assez brutale et peut produire des bavures sur la tranche des plaques de silicium découpées des "wafers" respectifs Ces plaques à l'état assemblé n'étant séparées que par une très faible épaisseur d'oxyde isolant comme on l'a décrit en rapport avec la figure 1, la présence de bavures sur les arêtes des plaques peut occasionner des court-circuits entre celles-ci L'opération de sciage peut en outre produire des contraintes locales responsables de phénomènes d'hystérèse thermique. En se référant maintenant aux figures 2 et suivantes qui décrivent un mode particulier de réalisation d'une cellule accélérométrique selon la présente invention, on voit que la cellule accélérométrique représentée comporte une structure de fixation 120 qui a la forme d'un cadre entourant complètement le capteur accélérométrique proprement dit, référencé 121. Le capteur capacitif 121 a dans le présent mode de réalisation, une structure et un fonctionnement très semblables à ceux du capteur capacitif de l'art antérieur. Toutefois, au lieu d'être destiné à être monté directement sur un support, comme le capteur représenté sur la figure 1, le présent capteur est, conformément à l'invention, relié par un bras de liaison 128 à la structure de montage 120 Le bras de liaison 128 est comme on peut le voir sur la figure 2, formé par deux barres 133 et 134 qui sont collées l'une à l'autre par une couche d'oxyde isolant 114 La structure de montage 120 a la forme d'un cadre qui entoure complètement le capteur capacitif 121 Ce cadre comporte sur un de ses côtés une ouverture qui permet l'accès à trois zones de métalisation 143, 144 et 145 réalisées sur la surface du silicium et destinées à recevoir trois connexions électriques pour respectivement les trois électrodes du capteur capacitif 121. De façon semblable à ce qui a été décrit plus haut en relation avec l'art antérieur, on fabrique un lot ou "batch" de cellules accélérométriques identiques à celle qui est représentée sur la figure 2, par sciage à partir d'un assemblage de trois "wafers' en silicium collés les uns aux autres par des couches d'oxyde électriquement isolantes, et dans l'épaisseur desquelles on a sculpté35 respectivement par micro-usinage la forme des trois plaques dont est formée la cellule. On va maintenant décrire en détail les constituants de la cellule accélérométrique et le procédé de réalisation de celle-ci, en se référant plus particulièrement aux figures 5 a, 5 b et 5 c Ces figures sont des vues partielles de trois "wafers" sur lesquels ont été respectivement gravés à de multiples exemplaires les reliefs des trois plaques 103,104 et 105 constituant la cellule accélérométrique Comme on peut le voir sur ces figures, chacune des trois plaques a été gravée à de multiples exemplaires dans l'épaisseur d'un des trois "lwafers" par érosion chimique pour produire un motif périodique A la fin de cette opération de micro-usinage, chacun des "lwafers" présente l'aspect d'une structure en forme de grille dont les bareaux sont constitués par des éléments en forme de cadre référencés respectivement 103 b, 104 b et 105 b Des éléments intérieurs référencés respectivement 103 a, 104 a et 105 a sur les figure 5 a, 5 b et c sont conformés à l'intérieur de chacun des maillons de la srtucture en forme de grille ces éléments intérieurs sont distincts des éléments en forme de cadre et reliés à ceux-ci par des barres de liaison référencées respectivement 133, 134 et 135 On voit encore sur les figures 5 a à 5 c des traits mixtes référencé 127 qui se coupent à angle droit Ces traits mixtes n'ont pas de réalité physique à ce stade du procédé de fabrication, mais ils indiquent les lignes selon lesquelles l'assemblage formé par les trois "lwafers"' juxtaposés sera ultérieurement scié pour, à la fin du procédé de fabrication, séparer les cellules accélérométriques les unes des autres Les traits mixtes déterminent donc sur les figures 5 a à 5 c des rectangles qui contiennent chacun les constituants d'une cellule accélérométrique donnée. Les éléments 103 a,104 a et 105 a formeront, une fois les trois "wafers" collés les uns aux autres et sciés, le capteur capacitif 121 alors que les éléments en forme de cadre 103 b, 104 b et 105 b formeront la structure de montage aussi en forme de cadre Les éléments 103 a et 105 a sont les électrodes fixes du capteur capacitif, alors que l'élément 104 a est formé d'un cadre 107 à l'intérieur duquel est disposée une électrode mobile 109 reliée au cadre 107 par une partie mince et donc flexible 110. Pour, d'une part, permettre le collage des "wafers" les uns sur les autres et, d'autre part, assurer l'isolation électrique entre les électrodes du capteur capacitif, des zones d'oxyde isolant (non représentées sur les figures 5) sont créées sur les surfaces de silicium. La couche d'oxyde 116 séparant les plaques 104 et 105 de la cellule accélérométrique est visible sur la figure 3 qui représente une cellule accélérométrique dont on a retiré la troisième plaque (référencée par 105 sur les autres figures). On remarquera sur les figures 5 a, 5 b et 5 c que les traits mixtes 127 sont toujours tracés sur des portions des "wafers" faisant parties de la structure en forme de grille qui est constituée par les éléments 103 b, 104 b et b constitutifs de la structure de montage, et que notamment ces traits mixtes ne coupent jamais les éléments intérieurs 103 a, 104 a et 105 a constitutifs du capteur capacitif 121 Grâce à cette caractéristique, l'opération de sciage ne risque pas de provoquer les problèmes énumérés plus haut en relation avec l'art antérieur On remarquera de plus, que sur la figure 5 a les traits mixtes 27 ne coupent pas les barres de liaison 133 qui relient les éléments 103 a aux éléments 103 b En revanche, sur les figures 5 b et 5 c les traits mixtes 27 coupent les barres de liaisons 134 et 135 respectivement On comprendra donc qu'une fois l'opération de sciage effectuée le long des traits mixtes 27, les parties extérieures 104 b et 105 b seront complètement séparées des parties intérieures 104 a et 105 a respectivement, alors que la plaque 103 formée par les parties 103 a et 103 b conservera sa structure unitaire. Grâce à cette disposition les éléments 104 b et 105 b de la structure de montage en forme de cadre 120 ne seront en contact électrique ni avec la deuxième, ni avec la troisième électrode du capteur capacitif Dans ces conditions tout risque de provoquer un court-circuit entre les plaques du capteur durant l'opération de sciage ou durant une manipulation ultérieure est éliminé. Comme on vient de le décrire, une fois l'opération de sciage effectuée, les barres de liaison 134 et 135 ne relient plus le capteur capacitif aux éléments 104 b et b de la structure de montage Toutefois, la barre de liaison 134 réalise encore une fonction de renforcement de la barre de liaison 133 à laquelle elle est collée par la couche d'oxyde 114 Les barres de liaison 133 et 134 forment ainsi ensemble un bras de liaison unique 128 qui relie le capteur capacitif 121 à la structure de montage Il importe en effet que ce bras de liaison, qui soutient à lui seul le capteur, soit extrêmement rigide, et ceci tout particulièrement pour un fléchissement co- linéaire avec l'accélération que l'on désire mesurer Les barres de liaison 134 et 135 portent en outre les plages de connexion 144 et 145 prévues pour le branchement, respectivement de la deuxième et de la troisième életrode du capteur capacitif. REVENDICATIONS 1 Cellule de mesure micro-usinée destinée à être montée sur un support et comportant un capteur ( 121) comprenant au moins un élément conducteur d'électricité ( 103 a, 104 a, 105 a), caractérisée en ce qu'elle comporte une structure de montage ( 120) distincte dudit capteur ( 121) et reliée à ce dernier par au moins un bras de liaison ( 128) destiné à supporter ledit capteur, au moins un élément ( 103 b) de la structure de montage, un élément ( 133) du bras de liaison et un élément ( 130 a) du capteur étant en outre réalisés ensemble en une seule pièce. 2 Cellule de mesure selon la revendication 1, caractérisée en ce que ledit élément ( 130 a) du capteur, ledit élément ( 133) du bras de liaison et ledit élément ( 103 b) de la structure de montage sont réalisés en un matériau conducteur d'électricité. 3 Cellule de mesure selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que ledit capteur ( 121) est un capteur capacitif. 4 Cellule de mesure selon la revendication 3, caractérisée en ce que ledit capteur capacitif ( 121) comprend une première ( 103 a), une deuxième ( 109) et une troisième électrode ( 105 a), ladite deuxième électrode ( 109) étant interposée entre la première ( 103 a) et la troisième électrode ( 105 a) et mobile entre ces dernières qui sont fixes l'une par rapport à l'autre, un espace étant en outre ménagé entre lesdites électrodes pour permettre le déplacement de ladite deuxième électrode ( 109) sous l'effet d'une force. Cellule de mesure selon la revendication 4, caractérisée en ce qu'elle est une cellule accélérométrique. 6 Cellule de mesure selon la revendication 4 ou 5, caractérisée en ce que ledit capteur capacitif ( 121) comprend trois plaques conductrices ( 103 a, 104 a, 105 a) isolées les unes des autres, deux desdites plaques au il moins ( 103 a, 104 a) comprenant chacune une partie allongée ( 133, 134) qui forment ensemble ledit bras de liaison ( 128). 7 Cellule de mesure conforme à l'une des revendications 4,5 ou 6, caractérisée en ce qu'une seule desdites trois plaques ( 103) est en contact électrique avec ladite structure de montage ( 120). 8 Cellule accélérométrique conforme à l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que ladite structure de montage ( 120) à la forme d'un cadre qui entoure au moins partiellement ledit capteur capacitif ( 121). 9 Cellule accélérométrique conforme à la revendication 8, caractérisée en ce que ledit cadre ( 120) entoure totalement ledit capteur capacitif ( 121) à l'exception d'une ouverture ménagée dans un des côtés du cadre ( 120).