FR 2705827 A1 19941202 FR 9306313 A 19930526 Perfectionnements aux dispositifs de fabrication des électrets et aux électrets obtenus. L'invention est relative aux électrets, c'est-à- dire aux diélectriques polarisés électriquement en permanence par le fait qu'ils sont porteurs de charges électriques permanentes. Elle concerne plus spécialement ceux, de ces électrets, qui se présentent sous la forme de feuilles ou couches minces utilisables notamment pour la constitution de transducteurs électromécaniques (microphones, accéléro- mètres, capteurs de pression, etc.) ou de relais électros- tatiques, et plus spécialement encore, mais non exclusive- ment, parmi ces électrets en feuilles minces, ceux qui présentent des dimensions relativement petites, la plus grande de ces dimensions étant inférieure à un centimètre et même de préférence à 6 mm. Elle vise en particulier les dispositifs de fabrication des électrets du genre en question. Avec les modes de fabrication connus de ces élec- trets, il est très difficile d'obtenir une répartition homogène des charges électriques portées: la densité de ces charges est beaucoup plus faible au voisinage des bords de l'électret qu'au centre, voire nulle. Cette absence d'homogénéité se traduit par un certain nombre d'inconvénients. On va décrire ci-après: - en se référant aux figures 1 et 3, l'un de ces inconvénients, particulièrement grave, dans le cas des relais, - en se référant aux figures 2 et 3, un autre inconvénient rencontré dans le cas des transducteurs électromécaniques tels que les microphones, - puis, en se référant aux figures 4 à 6, l'explication trouvée par les inventeurs de la répartition inhomogène de la charge des électrets considérés. C'est seulement ensuite, en se référant aux figures 7 à 9, que l'on exposera la solution préconisée par l'invention pour rendre homogène la charge des électrets et supprimer ainsi les inconvénients dus à l'rabsence d'homogénéité de cette charge. La figure 1 montre schématiquement un relais à électret susceptible d'être équipé d'un électret conforme à l'invention. La figure 2 montre schématiquement un transducteur électromécanique du type microphone à électret susceptible d'être équipé d'un électret conforme à l'invention. La figure 3 est un graphique faisant apparaître la répartition de la polarisation ou charge électrique dans un tel électret. Les figures 4 à 6 montrent schématiquement trois phases successives du procédé habituel connu de fabrica- tion ou mise en charge électrique d'un électret. L'actionneur électrostatique ou "relais à élec- tret" schématisé sur la figure 1 comprend: - une première plaque-électrode conductrice 1, - une seconde plaque-électrode conductrice 2 montée pivotante sur la première autour d'un axe commun, symbolisé pour simplifier par les deux points X, en réalité confondus, tout en demeurant isolée électriquement de cette dernière, - un électret 3 ou feuille mince diélectrique chargée électriquement adhéré contre la face, de la plaque 1, orientée vers la plaque 2, - un ressort mécanique 4 tendant à écarter en permanence les deux plaques 1 et 2 l'une de l'autre, - deux sources de tension électrique 5a et 5b associées respectivement à deux interrupteurs 6a et 6b, chacune de ces sources étant montée de façon à être, selon la position de l'interrupteur associé, branchée aux bornes des deux électrodes ou mise hors circuit, - et un élément (non représenté) solidaire de l'électrode mobile et propre à coopérer avec des moyens appropriés aux fins d'excitation ou de désexcitation d'un circuit électrique (non représenté) mettant en jeu des courants et tensions beaucoup plus importants que ceux, de "pilotage", engendrés par les sources 5a et 5b. L'élément en question est par exemple un contact propre à coopérer avec un contact fixe solidaire de l'électrode fixe. Il peut également être constitué par un miroir ou écran opaque propre à modifier au cours de son déplacement les caractéristiques d'un faisceau lumineux. Si on suppose fixe l'électrode 1 qui porte l'élec- tret 3, l'électrode 2 peut occuper deux positions d'équi- libre stables, savoir: - une première position de fermeture du relais, pour laquelle elle est plaquée contre l'électret 3 ou disposée très près de cet électret, - et une seconde position d'ouverture du relais, pour laquelle elle est écartée de l'électret 3, comme représenté. La première position est occupée quand la force électrostatique d'attraction F due aux charges permanentes de l'électret, éventuellement renforcées par la tension V appliquée à partir de la source 5a, est supérieure à la force de rappel R du ressort 4. La seconde position est occupée lorsque la force électrostatique F est inférieure à la force de rappel R. Si l'on suppose: - que l'électrode 1 est portée au potentiel nul de la terre, - que l'électrode 2 est portée au potentiel V, - et que V0 est le potentiel de surface de l'électret, dû aux charges électriques portées par ce dernier, on peut dire en première approximation que la force électrostatique F est proportionnelle à l'intégrale sur la surface S de l'électret de la quantité (V - V0)2, et inversement proportionnelle au carré de la distance d entre les deux électrodes. En d'autres termes, F = K f f ( _ dS, d2 formule dans laquelle K est une constante. Pour illustrer un exemple de fonctionnement du relais ci-dessus, on suppose qu'en l'absence de toute tension de commande appliquée V, l'électrode mobile 2 se trouve dans la position représentée sur la figure 1, c'est-à-dire en sa position d'ouverture, la valeur de la force de rappel R étant pour cette position supérieure à la force électrostatique F. Pour faire commuter l'électrode mobile 2 vers la position de fermeture, pour laquelle elle est plaquée contre l'électret 3, il faut augmenter la force F en appliquant entre les deux électrodes une tension V de polarité convenable, c'est-à-dire telle que le champ électrique qu'elle crée dans l'espace séparant l'électrode 2 de l'électret 3 vienne s'ajouter au champ électrique créé par l'électret lui-même, ce qui est obtenu en fermant l'interrupteur 6a. Une fois cet interrupteur 6a fermé, l'électrode mobile 2 commute vers sa position au contact de l'électret 3. La force de contact est alors la somme des forces dues à l'électret et à la tension appliquée V. De plus, elle est augmentée par le fait que la distance d, pour la position de fermeture considérée, est très petite. Selon les valeurs choisies de V0 et de R deux situations peuvent alors se présenter lorsqu'on supprime la tension appliquée V. Ou bien la force électrostatique due uniquement au champ de l'électret est inférieure à la force R, et dans ce cas l'électrode mobile retourne en sa position d'ouver- ture. Ou bien la force électrostatique due uniquement au champ de l'électret est supérieure à la force R et dans ce cas l'électrode mobile reste dans sa position de fermeture. Dans ce dernier cas, le basculement de l'électrode mobile vers sa position d'ouverture est provoqué en fermant l'interrupteur 6b, ce qui a pour effet d'appliquer aux bornes des électrodes 1 et 2 une tension W propre à réduire la force F en superposant au champ créé par l'électret un champ électrique de polarité opposée. Ainsi selon les valeurs choisies pour R, V et V0, on peut avoir un fonctionnement du relais du type monosta- ble (une seule position d'équilibre en l'absence de tension appliquée) ou bistable (deux positions d'équilibre en l'absence de tension appliquée). Si le potentiel de surface V0 est régulièrement réparti sur toute la surface de l'électret, l'application d'une tension de commande V égale à V0 et de polarité convenable entre les électrodes a pour effet d'annuler la force F et de commander la commutation. Cette commande est même obtenue pour les valeurs V1, de la tension V, inférieures à V0, pour lesquelles la force F est inférieure à la force R. Dans la pratique, et contrairement à ce qui a été supposé ci-dessus, le potentiel de surface V0 n'est pas réparti de façon homogène sur toute la surface de l'1élec- tret. La répartition de ce potentiel présente en général la forme représentée par la courbe en cloche A sur la figure 3, o l'on a porté en ordonnées les potentiels ou tensions V et en abscisses les longueurs 1 comptées à partir d'un bord de l'électret considéré comme origine en progressant vers le bord opposé. Dans ces conditions, - si l'on appelle V'0 le potentiel de surface en chacun des points de l'électret, potentiel dont la répartition présente la forme en cloche de la courbe A, - si l'on donne à la tension appliquée extérieu- rement une valeur V' inférieure ou égale à la valeur V0 ci-dessus, la quantité IV' - V'01 n'est nulle que sur une plage linéaire ou au maximum très petite de l'électret: la quantité IV' - V'01 n'est pas nulle sur la plus grande partie de la surface S et l'intégrale de la quantité (V' - V'0)2 sur cette surface S n'est jamais nulle. Comme c'est le carré de la quantité IV' - V'01 qui intervient dans la formule donnant la force F, les inver- sions de polarité de ladite différence au passage de la ligne correspondant à la valeur nulle de cette différence ne se compensent pas. Cette caractéristique a été rendue sensible par les surfaces hachurées de la figure 3. C'est ainsi que, pour une valeur V1 telle que définie ci-dessus de la tension V, qui permet de commander la commutation pour une valeur du potentiel de surface bien répartie sur l'électret, la quantité V1 - V'0 n'est annulée qu'au niveau de la ligne B: elle ne s'annule en aucun des points des plages de l'électret disposées fictivement de part et d'autre de cette ligne B et correspondant respectivement aux zones hachurées. Cette remarque relative à l'absence d'annulation de la quantité V - V0 s'applique encore davantage si la tension de commande appliquée V est supérieure à V0. Comme la distance d est par ailleurs très faible pour la position de fermeture du relais, la force F demeure très élevée pour cette position quelle que soit la valeur de la tension V. Il est alors nécessaire, pour commuter l'électret à partir de sa position de fermeture, de prévoir une valeur également très élevée pour la force de rappel R. Cette exigence anéantit les principaux avantages dus à la présence de l'électret dans le relais, qui sont: - la stabilité mécanique du relais, due à la force élevée du contact réalisé pour sa position de fermeture, - la possibilité de commuter le relais à l'aide d'une faible tension de commande. Le transducteur électromécanique (microphone ou capteur de pression) schématisé sur la figure 2 comprend: - une première plaque- électrode conductrice 1, - une seconde plaque-électrode conductrice 2 susceptible d'être déplacée par rapport à la première électrode sans l'action d'une force p due à une variation de pression ou à une accélération, - un électret 3 ou feuille mince diélectrique chargée électriquement, adhéré contre la face, de l'élec- trode 1, orientée vers l'électrode 2, - un moyen de rappel 4 (élasticité de l'électrode 2 ou ressort de rappel) sollicitant en permanence l'élec- trode 2 vers sa position d'équilibre, - un cadre intermédiaire isolant 17 permettant de fixer la distance entre les deux électrodes 1 et 2, - et un amplificateur 18 associé à un circuit propre à exploiter les variations des charges électriques induites sur les électrodes 1 et 2 par les variations de la distance d séparant ces deux électrodes. Dans un tel dispositif, les charges de l'électret 3 produisent dans l'espace qui sépare cet électret de l'électrode 2 un champ électrique dont l'amplitude dépend de la densité de ces charges et donc du potentiel de surface V0 en chaque point de la surface de l'électret tournée vers l'électrode 2. Si ce potentiel de surface est régulièrement réparti sur toute la surface de l'électret, une mofidifi- cation de la distance d due à l'action d'une pression, d'une force ou d'une accélération sur l'électrode 2, se traduit par un signal électrique plus grand que celui obtenu, toutes choses égales par ailleurs, si ledit potentiel présente une forme inhomogène telle que celle représentée par la courbe en cloche A sur la figure 3. En effet, la réponse électrique est proportion- nelle à l'amplitude de la variation de la distance d et au champ électrique E qui règne dans l'espace compris entre l'électrode 2 et l'électret 3. Il est à noter que ce champ doit en chaque point être inférieur à une valeur limite Em définie par: - les propriétés du gaz présent entre les électrodes, - les propriétés du matériau diélectrique constitutif de l'électret. Si la charge portée par l'électret est répartie de façon homogène, le champ électrique est constant sur toute la surface de celui-ci et ce champ peut être partout égal à Em, ce qui assure une sensibilité maximale du transduc- teur. Si au contraire la charge électrique portée par l'électret n'est pas homogène, le champ électrique ne peut être égal à Em qu'au centre de celui-ci et elle diminue au fur et à mesure que l'on s'écarte du centre. La réponse électrique globale du transducteur est donc réduite et sa sensibilité n'est pas optimale. Des remarques tout à fait analogues pourraient être faites en considérant un transducteur électromécani- que du type des écouteurs, lequel différerait essentielle- ment du précédent en ce que l'ensemble de l'amplificateur 18 et de son circuit d'exploitation serait remplacé par une source de signaux électriques représentatifs de signaux acoustiques. Ainsi, quelle que soit l'application considérée, la répartition inhomogène des charges dans l'électret conduit à des dégradations importantes, voire prohibiti- ves, des performances du dispositif qui le met en oeuvre. Les inventeurs ont cherché à comprendre la raison de la répartition inhomogène des charges dans l'électret, qui est à l'origine des inconvénients ci-dessus décrits. Cette recherche les a conduits à l'analyse suivante. Dans les procédés connus de fabrication des élec- trets considérés en feuilles ou couches minces, on place le diélectrique 3 à charger (figure 4) sur une plaque- électrode 7 mise par exemple au potentiel nul de la masse. Puis on crée des ions 8 dans le milieu qui environne le diélectrique de toute façon désirable. On pourrait à cet effet faire appel à un canon à électrons, ou à un champ électrique d'entraînement... Dans les modes de réalisation ici décrits à titre illustratif, les ions 8 sont créés par effet Corona, et on accélère ces ions vers le diélectrique à travers une grille 9 portée, à l'aide d'une source de tension 16, à un potentiel Vg proche du potentiel de surface que l'on veut obtenir pour l'électret. Au début de l'opération, le champ électrique existant entre la grille et la surface du diélectrique à charger est uniforme et les lignes de champ 10 sont parallèles entre elles (figure 4). Mais au fur et à mesure que les charges s'accumu- lent sur la surface du diélectrique 3, ces charges tendent à dévier les nouveaux ions qui progressent vers elles et donc à modifier les lignes de champ 10 vers l'extérieur (figure 5), les ions destinés à être implantés dans la périphérie de l'électret étant donc directement envoyés vers la plaque-électrode 7. En fin de charge (figure 6), le potentiel de surface au centre de l'électret atteint le potentiel Vg de la grille de sorte que le processus de charge s'arrête complètement dans cette zone, le champ électrique entre grille et électret étant devenu nul dans celle-ci, alors que la périphérie de l'électret est encore incomplètement chargée ou même demeurée totalement non chargée, une décharge partielle des ions initialement implantés dans ladite périphérie pouvant même être observée dans certains cas. Dans la pratique, la largeur de la marge périphé- rique de l'électret pour laquelle on observe cette pénurie ou absence de charge électrique dépend de la distance entre la face libre de l'électret 3 et la grille 9. Lorsque cette distance est inférieure au millimè- tre, ladite largeur est de l'ordre du millimètre. Cette absence d'homogénéité ne présente qu'une importance limitée pour les électrets dont les dimensions (largeur et longueur) sont relativement grandes, étant par exemple de l'ordre du centimètre ou supérieures. Mais l'inconvénient décrit ci-dessus, qui résulte du manque d'homogénéité de la charge devient sérieux dès que l'une au moins desdites dimensions devient petite, et en particulier inférieure à 6 mm, comme c'est le cas de nombreux électrets en SiO2, qui se présentent souvent sous la forme de petites plaquettes rectangulaires dont les dimensions sont de l'ordre de 2 à 3 mm. L'invention se propose essentiellement d'éviter l'absence ou réduction de charge électrique ci-dessus constatée dans les bandes périphériques de l'électret. A cet effet, les dispositifs de fabrication des électrets du genre en question selon l'invention compren- nent encore une électrode pour supporter le diélectrique qui est destiné à être chargé pour devenir un électret, et des moyens pour engendrer des charges électriques et les entraîner vers le diélectrique, et ils sont essentiel- lement caractérisés en ce qu'ils comprennent en outre un cadre entourant le diélectrique au moins en partie et de façon quasi jointive, au niveau ou non de celui-ci, ledit cadre étant constitué et monté de façon à porter, au moins au cours de la charge du diélectrique, des charges électriques de même signe que celles en cours d'implanta- tion dans ce diélectrique, de façon à neutraliser électri- quement la réduction marginale de charge du diélectrique. Dans des modes de réalisation avantageux, on a recours en outre à l'une et/ou à l'autre des dispositions suivantes: - le cadre est conducteur, isolé de l'électrode et lui même porté à un potentiel égal au potentiel de surface final de l'électret ou voisin de ce potentiel, - le cadre est percé d'une ouverture destinée à recevoir l'électret et il est placé sur l'électrode avec interposition d'une couche isolante de l'électricité, le cadre fait partie intégrante d'une plaque conductrice supportant elle-même l'électrode avec interpo- sition d'une couche isolante de l'électricité, - les moyens de charge du diélectrique compren- nent une grille s'étendant parallèlement à la surface à charger de ce diélectrique, à une petite distance de cette face, et portée à un potentiel électrique U1 et le cadre est lui même porté à un potentiel U2 égal à U1 ou voisin de U1, - le cadre est constitué en un diélectrique susceptible de recevoir en permanence des charges électri- ques, tout comme le diélectrique que ce cadre entoure, - le cadre fait lui-même partie d'une grille ou feuille ou couche perforée destinée à la fabrication simultanée d'une pluralité d'électrets et dont il délimite l'une des mailles, - le diélectrique constitutif de l'électret est constitué en SiO2. L'invention vise également les électrets obtenus à l'aide des dispositifs ci-dessus, caractérisés par une répartition remarquablement homogène de la charge électri- que portée par eux en permanence, y compris dans leur marge périphérique. L'invention comprend, mises à part les disposi- tions ci-dessus, certaines autres dispositions qui s'utilisent de préférence en même temps et dont il sera plus explicitement question ci-après. Comme indiqué plus haut, c'est en référence aux figures 7 à 9 que trois modes de réalisation de l'inven- tion vont être maintenant décrits, à titre bien entendu non limitatif. Ces trois figures montrent schématiquement, respectivement, trois dispositifs utilisés pour charger des électrets et établis conformément à la présente invention. Dans chacun de ces dispositifs, on retrouve les éléments suivants des figures 4 à 6: le diélectrique 3 à charger, qui se présente sous la forme d'une feuille ou couche mince, avantageusement constituée en SiO2, la plaque-électrode 7 mise à la masse sur laquelle est placé le diélectrique, plaque qui peut être constituée en silicium, les ions 8 engendrés à proximité de la face à charger de l'électret, la grille 9 portée à un potentiel U, non nul à l'aide d'une source 16 et les lignes de champ électrique 10 suivies par les ions 8. Dans le premier mode de réalisation schématisé sur la figure 7, on voit en outre un cadre conducteur 11 placé sur l'électrode 7 avec interposition d'une couche isolante 12, autour du diélectrique 3, de façon quasi-jointive. Ce cadre 11 est connecté électriquement à la grille 9 de sorte qu'il est porté au même potentiel que cette dernière. La présence du cadre 11 porté au potentiel indiqué le long des bords du diélectrique 3 empêche toute dévia- tion ou fuite des ions 8 en direction de la périphérie débordante de l'électrode 7. Au contraire, ledit cadre 11 joue le même rôle que la grille 9 en ce qui concerne le refoulement des ions 8 en direction du diélectrique 3. En définitive, la répartition de la charge électrique permanente implantée dans l'électret final 3 n'a plus la forme en cloche A de la figure 3, mais la forme trapézoïdale ou quasi rectangulaire représentée par la courbe C sur ladite figure 3. On peut dire en somme, en première approximation, que le potentiel de surface final désiré V0 est créé sur la totalité de la surface de l'électret. Dès lors il est possible et facile d'annuler simultanément la valeur IV V0j de la formule explicitée ci-dessus dans l'exemple relatif aux relais sur toute la surface S de l'électret, et donc l'intégrale du carré de cette valeur sur ladite surface, et par suite la force d'attraction électrostatique F, ce qui permet de réduire d'autant la force élastique antagoniste R. Le cadre 11 peut être fixé définitivement à l'électrode 7, la connexion électrique entre ce cadre et cette électrode pouvant être établie après la mise en charge de l'électret. Si, comme supposé ci-dessus, l'électret 3 est constitué en SiO2 et l'électrode-substrat 7, en silicium, le cadre 14 peut être celui qui est communément utilisé pour assurer un collage final entre ledit substrat 7 et une autre feuille ou plaque de silicium (non représentée) recouvrant le tout et convenablement micro-usinée, ledit cadre 11 étant alors avantageusement constitué en or ou alliage d'or. Selon une variante, on peut prévoir que le cadre 11 n'est placé sur l'électrode 7 que d'une manière provisoire et amovible après la mise en charge. Dans le mode de réalisation qui vient d'être décrit, la valeur finale U1 obtenue pour le potentiel de surface de l'électret est en principe égale au potentiel auquel était portée la grille 9 au cours de la charge. En pratique, cette valeur finale peut être légère- ment supérieure au potentiel de la grille, car les ions accélérés peuvent avoir une énergie cinétique suffisante pour franchir la grille même lorsque le champ électrique existant entre celle-ci et la surface de l'électret est devenu nul, venant ainsi se déposer sur l'électret même après établissement de ladite égalité. Dans un tel cas, il convient de porter le poten- tiel du cadre 11 à une valeur finale U2 légèrement supérieure à U, au cours de la mise en charge. On évite ainsi la survenance d'un phénomène du même type que celui décrit en référence aux figures 4 et ci-dessus. A titre d'exemple, si l'électrode 7 est portée à un potentiel U0 nul, on peut donner respectivement aux tensions U1 et U2 les valeurs 200 et 220 Volts. Dans le second mode de réalisation schématisé sur la figure 8, les dimensions de l'électrode 7 sur laquelle est plaqué le diélectrique à charger sont identiques à celles de ce diélectrique et l'ensemble est déposé sur un substrat conducteur 13 avec interposition d'une couche isolante 14. Le substrat 13 est porté au potentiel U, défini ci-dessus et il est dimensionné de façon à déborder autour de l'ensemble 3, 7. Ce sont alors les bords de ce substrat qui jouent ici le rôle du cadre 11 ci-dessus: ces bords ne sont pas disposés rigoureusement "autour" du diélectrique 3, c'est- à-dire au même niveau que celui-ci, mais le rôle électri- que de correction qu'ils jouent vis-à-vis des ions 8 périphériques, en les repoussant vers le diélectrique 3, est tout à fait analogue au précédent. Ici encore, on peut prévoir avantageusement des moyens, schématisés par le trait interrompu 15, pour relier électriquement le substrat 13 à l'électrode 7 après la mise en charge de l'électret 3. Dans le troisième mode de réalisation schématisé sur la figure 9, le cadre, visible en 19, est constitué en un matériau diélectrique identique ou analogue à celui constitutif du diélectrique 3, c'est-à- dire capable comme ce dernier de piéger les charges électrique projetées sur sa surface. Tout se passe alors comme si le cadre 19 consti- tuait lui-même la périphérie d'un diélectrique agrandi et mis en charge conformément aux enseignements des figures 4 à 6 ci-dessus. La principale différence entre les deux processus réside en ce que, dans le cas présent, ladite "périphérie" du diélectrique agrandi, qui est moins chargée que le reste de ce diélectrique -reste qui constitue la portion centrale du diélectrique agrandi, destinée à devenir l'électret- peut être séparée de ce reste à la fin de la charge, étant constituée ici par le cadre 19 lui-même, indépendant de l'électret formé 3. On peut observer que, dans ce dernier cas, tout comme dans ceux des figures 7 et 8, le cadre 19 est, au cours de la charge du diélectrique 3, porteur de quelques charges électriques de même sens que celles à implanter dans ce diélectrique, charges propres à s'opposer électri- quement aux "fuites", vers l'électrode 7, des charges destinées à être implantées dans la périphérie du diélec- trique. On peut observer en outre que la présence du cadre 19 éloigne par elle-même de l'électrode 7 les bords du diélectrique 3, ce qui réduit d'autant la tendance aux fuites ci-dessus signalées. Des dispositions sont avantageusement prises pour permettre la séparation effective du cadre 19 après charge de l'électret 3, une couche anti-adhésive (non représen- tée), pouvant être interposée entre ce cadre et l'élec- trode 7. L'épaisseur du cadre 11 ou 19 peut être égale à celle de l'électret 3; elle peut également être infé- rieure ou supérieure à celle de l'électret 3. La largeur de l'intervalle compris entre l'élec- tret 3 et le cadre 11 ou 19 qui l'entoure peut être nulle; elle peut être non nulle, mais est alors de préférence inférieure à la distance séparant la grille 9 de la face en regard de l'électret 3. En suite de quoi, et quel que soit le mode de réalisation adopté, on obtient finalement des procédés et dispositifs de mise en charge d'électrets permettant d'obtenir pour ces derniers une répartition remarquable- ment homogène de la charge électrique implantée, y compris jusqu'aux bords de ces électrets. Ce dernier avantage est particulièrement précieux pour les électrets de petite taille et en particulier pour ceux dont les dimensions sont inférieures à 6 mm. Pour les relais équipés des électrets ainsi obtenus, on ne rencontre plus le grave inconvénient décrit plus haut relatif à l'exigence du recours à une force de rappel élevée pour commander la commutation d'ouverture, ladite commutation pouvant être commandée par simple application d'une tension dont la valeur est inférieure au potentiel de surface de l'électret. De même, pour les transducteurs électromécaniques tels que les microphones, les écouteurs, les accéléromè- tres, etc., on ne rencontre plus les inconvénients associés à une distribution non uniforme des charges et en particulier la perte de sensibilité. Comme il va de soi, et comme il résulte d'ailleurs déjà de ce qui précède, l'invention ne se limite nullement à ceux de ses modes d'application et de réalisation qui ont été plus spécialement envisagés; elle en embrasse, au contraire, toutes les variantes, notamment: - celles o l'électrode qui porte le diélectrique à charger serait portée à un potentiel fixe U0 autre que celui, nul, de la masse, - et celles o le cadre ferait lui-même partie d'une grille ou feuille ou couche perforée destinée à la fabrication simultanée d'une pluralité d'électrets et dont il délimiterait l'une des mailles. REVENDICATIONS 1. Dispositif pour fabriquer un électret se présentant sous la forme d'une feuille ou couche diélec- trique mince chargée électriquement en permanence, comprenant une électrode (7) pour supporter le diélectri- que (3) qui est destiné à être chargé pour devenir un électret, et des moyens pour engendrer des charges électriques et les entraîner vers le diélectrique, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un cadre (11, 19) entourant le diélectrique au moins en partie et de façon quasi jointive, au niveau ou non de celui-ci, ledit cadre étant constitué et monté de façon à porter, au moins au cours de la charge du diélectrique, des charges électri- ques de même signe que celles en cours d'implantation dans ce diélectrique, de façon à neutraliser électriquement la réduction marginale de charge du diélectrique. 2. Dispositif de fabrication d'électret selon la revendication 1, caractérisé en ce que le cadre (11) est conducteur, isolé de l'électrode (7) et lui même porté à un potentiel égal au potentiel de surface final de l'électret (3) ou voisin de ce potentiel. 3. Dispositif de fabrication d'électret selon la revendication 2, caractérisé en ce que le cadre (11) est percé d'une ouverture destinée à recevoir l'électret (3) et est placé sur l'électrode (7) avec interposition d'une couche (12) isolante de l'électricité. 4. Dispositif de fabrication d'électret selon la revendication 2, caractérisé en ce que le cadre (11) fait partie intégrante d'une plaque conductrice (13) supportant elle-même l'électrode (7) avec interposition d'une couche (14) isolante de l'électricité. 5. Dispositif de fabrication d'électret selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que les moyens de charge du diélectrique (3) compren- nent une grille (9) s'étendant parallèlement à la surface à charger de ce diélectrique, à une petite distance de cette face, et portée à un potentiel électrique U, et en ce que le cadre (11) est lui même porté à un potentiel U2 égal à U1 ou voisin de U1. 6. Dispositif de fabrication d'électret selon la revendication 1, caractérisé en ce que le cadre (19) est constitué en un diélectrique susceptible de recevoir en permanence des charges électriques, tout comme le diélec- trique (3) que ce cadre entoure. 7. Dispositif de fabrication d'électret selon l'une quelconque des précédentes revendications, caracté- risé en ce que le cadre (11,19) fait lui-même partie d'une grille ou feuille ou couche perforée destinée à la fabrication simultanée d'une pluralité d'électrets (3) et dont il délimite l'une des mailles. 8. Electret en feuille mince fabriqué à l'aide du dispositif selon l'une quelconque des précédentes revendi- cations, caractérisé en ce que sa charge de surface est très homogène, même sur ses marges. 9. Electret selon la revendication 8, caractérisé en ce que chacune des deux grandes dimensions de la feuille est inférieure à 6 mm. 10. Electret selon l'une quelconque des revendica- tions 8 et 9, caractérisé en ce qu'il est constitué en SiO2.