FR 2701475 A1 19940819 FR 9301546 A 19930211 SUBSTRATS EN VERRE REVETUS D'UN EMPILEMENT DE COUCHES MINCES, APPLICATION A DES VITRAGES A PROPRIETES DE REFLEXION DANS L'INFRA-ROUGE ET/OU A PROPRIETES DANS LE DOMAINE DU RAYONNEMENT SOLAIRE. L'invention concerne les substrats transparents, no- tamment en verre, revêtus d'un empilement de couches minces comprenant au moins une couche métallique pouvant agir sur le rayonnement solaire et sur le rayonnement infra-rouge de grande longueur d'onde. L'invention concerne également l'utilisation de tels substrats pour fabriquer des vitrages d'isolation thermique et/ou de protection solaire Ceux-ci sont destinés aussi bien à équiper des bâtiments que des véhicules, en vue no- tamment de diminuer l'effort de climatisation et/ou de ré- duire une surchauffe excessive entraînée par l'importance30 toujours croissante des surfaces vitrées dans l'habitacle. Un type d'empilement de couches minces connu destiné à conférer au substrat des propriétés notamment de basse- émissivité est constitué d'au moins une couche métallique telle qu'une couche d'argent disposée entre deux couches de matériau diélectrique telles que des couches d'oxyde mé- tallique Cet empilement est généralement obtenu par une succession de dépôts effectués par une technique utilisant le vide, comme la pulvérisation cathodique éventuellement assistée par champ magnétique. Si la couche d'argent détermine essentiellement les performances thermiques, notamment en terme d'émissivité du vitrage revêtu, les couches de matériau diélectrique rem- plissent plusieurs rôles puisqu'elles agissent tout d'abord 5 sur l'aspect optique du substrat de manière interfé- rentielle Elles permettent en outre de protéger la couche d'argent des aggressions chimiques et/ou mécaniques. Il est ainsi connu de la demande de brevet européen EP-A-0 226 993 un empilement comportant une couche d'argent intercalée entre deux couches d'un matériau diélectrique constitué d'un oxyde mixte d'étain et de zinc Cet empile- ment présente en outre des couches très minces dites d'ac- crochage en métal, notamment en cuivre, disposées à l'in- terface entre la couche d'argent et chacune des couches15 d'oxyde afin d'en augmenter l'adhérence mutuelle, ce qui conduit à augmenter la durabilité globale de l'empilement Toujours dans l'optique d'améliorer la résistance à la corrosion de la couche d'argent, le brevet français FR-B-2 641 271 décrit un empilement o la couche d'argent20 est intercalée entre deux revêtements de matériau dié- lectrique, chacun de ces revêtements étant constitué d'une pluralité de couches d'oxyde métallique Le revêtement sous-jacent à la couche d'argent se compose de trois cou- ches d'oxyde superposées dont une couche d'oxyde d'étain,25 celle adjacente à la couche d'argent étant en oxyde de zinc et ayant d'après ce document un effet de protection de l'argent, notamment en le rendant moins vulnérable à l'at- taque par l'oxygène Par contre, l'épaisseur de la couche de zinc est faible, car l'oxyde de zinc, peu résistant par30 ailleurs, risquerait, en trop forte quantité, de fragiliser l'ensemble de l'empilement Le brevet français FR-B-2 641 272 correspondant au brevet US -5,153,054 et dont l'ensei- gnement est très proche du brevet français précédent, pré- cise en outre que la présence d'une couche d'oxyde de zinc35 sur la couche métallique sacrificielle recouvrant la couche d'argent contribue également à la protéger de l'oxydation. Le but de l'invention est de trouver un nouveau type d'empilement à couche(s) fonctionnelles qui non seulement présente une durabilité satisfaisante, mais qui en outre 3 ait des propriétés thermiques améliorées, notamment des valeurs d'émissivité plus faibles, sans que ce soit au dé- triment des propriétés optiques. Un autre but de l'invention, éventuellement combiné au précédent, est d'obtenir ce même type d'empilement pré- sentant des propriétés optiques améliorées, notamment des valeurs de transmission lumineuse plus élevées tout en gardant de bonnes propriétés thermiques. La solution selon l'invention consiste en un substrat transparent, notamment en verre, muni d'un empilement de couches minces comportant au moins une couche métallique à propriétés dans le domaine du rayonnement solaire et/ou dans le domaine de l'infra-rouge, notamment basse-émissive, qui se trouve disposée entre deux revêtements à base de15 matériau diélectrique Ledit empilement est conçu, selon l'invention, de manière à ce que le revêtement sous-jacent à cette couche métallique comporte au moins un revêtement de "mouillage" comprenant une couche à base d'oxyde de tantale, éventuellement surmontée d'une fine couche à base20 de métal ou d'alliage métallique tel que le nickel-chrome. La couche métallique qui présente les propriétés dans le domaine du rayonnement solaire et/ou dans l'infra-rouge est dans le cadre de l'invention de préférence bas- se-émissive et à base d'argent Elle est ci-après désignée25 sous le terme de "couche fonctionnelle". De manière tout à fait surprenante, si l'on compare les performances, en termes de propriétés optiques et thermiques, d'un empilement tel qu'ainsi défini avec celles d'un empilement comportant une même couche fonctionnelle de30 même épaisseur mais dépourvu de la couche de "mouillage" à base d'oxyde de tantale, on s'aperçoit que l'empilement selon l'invention présente une plus faible émissivité et même une transmission lumineuse plus élevée Les auteurs de l'invention ont ainsi découvert que le choix de la nature des revêtements de matériau diélectrique, et tout particu- lièrement du revêtement sous-jacent à la couche fonction- nelle, avait une influence non seulement sur la durabilité chimique et/ou physique de l'empilement protégeant la cou- che fonctionnelle, mais également sur les propriétés 4 intrinsèques de celle-ci, comme sa valeur d'émissivité. Pour expliquer ce phénomène, on peut avancer l'hypo- thèse que l'oxyde de tantale est particulièrement propice à une nucléation adéquate d'une couche de métal tel que 5 l'argent et favoriserait un meilleur mouillage, donc une croissance de la couche plus continue et présentant moins d'îlots distants les uns des autres en surface Cela se traduirait par une exceptionnelle homogénéité et une meil- leure continuité de cette couche, entraînant de ce fait une10 amélioration de ses performances. On peut ainsi, suivant l'invention, établir toutes sortes de compromis judicieux, en fonction de l'épaisseur de la couche fonctionnelle mise en jeu et/ou des perfor- mances requises, puisque l'invention autorise notamment15 l'obtention de valeurs d'émissivité plus faibles à épais- seur de couche fonctionnelle identique, ou un niveau d'émissivité inchangé pour une épaisseur moindre. Le grand avantage de l'invention réside dans le fait que ce type de compromis peut s'opérer sans que ce soit au détriment des performances optiques, notamment au niveau de la transmission lumineuse, ce qui est crucial aussi bien dans le domaine du bâtiment que de l'automobile par exem- ple En effet, précédemment, on n'obtenait des valeurs d'émissivité moindres qu'en augmentant l'épaisseur de la25 couche fonctionnelle, en diminuant de ce fait la transmis- sion lumineuse. De préférence, le revêtement sous-jacent à la couche fonctionnelle comporte, outre le revêtement de mouillage précédemment évoqué, une couche mince à base d'oxyde mé-30 tallique, tel que l'oxyde d'étain ou l'oxyde de titane, ou de nitrure, par exemple le nitrure de silicium L'avantage de ce mode de réalisation est le suivant: on peut selon l'invention obtenir "l'effet de mouillage" voulu avec une épaisseur d'oxyde de tantale qui peut être relativement faible Par ailleurs, il est nécessaire de conserver au revêtement sous-jacent global une certaine épaisseur afin de conserver les effets interférentiels et de protection de la couche fonctionnelle Comme la vitesse de dépôt de l'oxyde de tantale n'est pas extrêmement élevée, notamment lorsque le dépôt est effectué par une technique type pul- vérisation cathodique, il est donc intéressant de déposer, sous ce revêtement de mouillage, une couche de diélectrique qui a une vitesse de dépôt nettement plus élevée, comme par 5 exemple une couche d'oxyde d'étain On peut ainsi réaliser 1 ' invention sans pour autant ralentir les cadences de pro- duction de manière sensible. De préférence, on dépose en outre sur la couche fonc- tionnelle une couche métallique ou à base d'alliage métal- lique tel que le nickel-chrome qui est dite "sacrifici- elle", car son rôle est de protéger la couche fonctionnelle de l'oxydation lors du dépôt ultérieur du matériau diéle- ctrique au-dessus d'elle, dépôt effectué usuellement par une pulvérisation cathodique réactive, c'est- à-dire en15 présence d'oxygène Dans le produit final, cette couche sacrificielle est donc partiellement ou complètement oxydée. Le revêtement de matériau diélectrique qui se trouve au- dessus de la couche fonctionnelle comporte avanta- geusement au moins une couche à base d'oxyde d'étain et/ou une couche à base d'oxyde de tantale et/ou une couche de nitrure de silicium L'intérêt d'une combinaison constituée d'une couche d'oxyde d'étain surmontée d'une couche d'oxyde de tantale est que, comme on l'a déjà mentionné, la vitesse25 de dépôt de l'oxyde d'étain est assez élevée, et que, d'autre part, l'oxyde de tantale est un oxyde assez dur et compact qui protège efficacement tout l'empilement de la corrosion En dédoublant ainsi ce revêtement, on cumule l'avantage d'une vitesse de production satisfaisante et30 celui d'un produit final extrêmement durable. Concernant les épaisseurs des couches et revêtements de l'empilement selon l'invention, on préfère choisir une épaisseur de couche fonctionnelle comprise entre 7 et 12 manomètres, une épaisseur globale de revêtement sous-jacent comprise entre 30 et 50 nanomètres et une épaisseur globale de revêtement au-dessus de la couche fonctionnelle comprise entre 30 et 50 nanomètres également. Avantageusement, la couche à base d'oxyde de tantale faisant partie du revêtement "de mouillage" a une épaisseur comprise entre 5 et 30 nanomètres, de préférence entre 10 et 20 nanomètres, gamme d'épaisseurs suffisante pour obtenir l'effet recherché sur les propriétés de la couche fonctionnelle De même, l'épaisseur de la couche 5 sacrificielle est de préférence choisie comprise entre 0,3 et 4 nanomètres, notamment entre 1 et 3 nanomètres On choisit de préférence cette même gamme d'épaisseurs pour la couche optionnelle métallique qui peut surmonter la couche d'oxyde de tantale du revêtement de mouillage.10 Toutes ces caractéristiques permettent d'aboutir à la fabrication de vitrages, notamment de vitrages multiples isolants, dont l'émissivité est inférieure ou égale à 0,08 et dont la transmission lumineuse reste élevée, notamment supérieure ou égale à 75 % lorsqu'il s'agit de double-vi-15 trages. Il va de soi que les avantages de l'invention sont encore accentués lorsqu'on l'applique à des substrats pré- sentant non pas une mais plusieurs couches fonctionnelles, par exemple deux couches fonctionnelles intercalées entre20 trois revêtements à base de matériau diélectrique On munit alors avantageusement chacune des couches fonctionnelles du revêtement de mouillage selon l'invention. Les détails et caractéristiques avantageuses de l'in- vention vont maintenant ressortir des exemples suivants non limitatifs, à l'aide de la figure 1. On précise que, dans ces exemples, les dépôts succes- sifs de couches minces se font par une technique de pulvé- risation cathodique assistée par champ magnétique, mais pourraient aussi être effectués par toute technique uti-30 lisant le vide et permettant une bonne maîtrise des épais- seurs de couche obtenues. Les substrats sur lesquels sont déposés les empile- ments sont des substrats de verre silico-sodo-calcique de 4 millimètres d'épaisseur. A la figure 1, le substrat en verre 1 est surmonté de la couche d'oxyde de tantale 3 qui, optionnellement, peut être disposée sur une couche d'oxyde d'étain 2 et sous une couche fine de nickel-chrome 4 Puis il y a la couche fonctionnelle à base d'argent 5, surmontée d'une couche 7 sacrificielle 6 à base de nickel-chrome, au-dessus de la- quelle sont disposées une couche d'oxyde d'étain 7 et/ou d'oxyde de tantale 3. L'installation de dépôt comprend au moins une chambre de pulvérisation munie de cathodes équipées de cibles en matériaux appropriés sous lesquels le substrat 1 passe successivement Ces conditions de dépôt par chacune des couches sont les suivantes la couche 5 à base d'argent est déposée à l'aide d'une cible en argent, sous une pression de 8 10-3 mbar ( 0,8 Pa) dans une atmosphère d'argon, la ou les couches 2,7 à base de Sn O 2 sont déposées par pulvérisation réactive à l'aide d'une cible d'étain, sous une pression de 8 10 o mbar ( 0,8 Pa) et dans une atmosphère15 argon/oxygène dont 36 % volumique d'oxygène, la ou les couches 3,8 à base de Ta 205 sont déposées par pulvérisation réactive à l'aide d'une cible de tantale, sous une pression de 8 1 O-3 mbar ( 0,8 Pa) et dans une atmosphère argon/oxygène dont environ 10 % volumique d'oxy-20 gène, la ou les couches 4,6 à base de Ni Cr sont déposées à l'aide d'une cible en alliage nickel-chrome, toujours sous la même pression et dans une atmosphère d'argon. Les densités de puissance et les vitesses de défile- ment du substrat sont ajustées de manière connue pour ob- tenir les épaisseurs de couche voulues. EXEMPLES 1 A 6 Ces exemples permettent de mettre en évidence l'amélioration, en termes de propriétés de basse-émissivité, qu'apporte l'invention. L'exemple 1 est l'exemple comparatif, puisqu'il ne possède pas de revêtement de mouillage en oxyde de tantale. Le tableau 1 ci-dessous résume la structure de chacun des empilements et précise l'épaisseur, en nanomètres, de chacune des couches en présence. TABLEAU 1 __________________________________________________________ Ex 1 Ex 2 Ex 3 Ex 4 Ex 5 Ex 6 Sn O O( 2) 40 30 30 Ta 2 05 ( 3) 38 38 38 10 10 Ni-Cr ( 4) 1 1 1 1 1 1 Ag ( 5) 9 9 7,9 9 9 9 Ni-Cr ( 6) 3 3 3 3 3 3 Sn O 2( 7) 40 40 30 Ta 2 05 ( 8) 38 38 38 10 ___________________________________________________________ Chacun des 6 substrats ainsi revêtus est ensuite monté en double- vitrage à l'aide d'un autre substrat en verre similaire (silico-sodo-calcique de 4 mm d'épaisseur) séparé du premier par une lame de gaz, ici de l'air, de 12 milli- mètres d'épaisseur. Le tableau 2 ci-dessous indique, pour chacun des exemples, les valeurs de transmission lumineuse T= en pourcentage, de transmission énergétique T en pourcentage, les valeurs de facteur solaire FS (sans unité, et qui cor- respond au rapport de l'énergie totale traversant le vi- trage sur l'énergie solaire incidente), les valeurs de transmission thermique surfacique appelée facteur K et ex-25 primée en W/m 2 K, et les valeurs d'émissivité S sans unité. TABLEAU 2 ___________________________________________________________ Exemple T 1 TE FS K s ___________________________________________________________ 1 74,4 52,6 0,64 1,77 0,09 2 77,9 55,2 0,64 1,72 0,06 3 77,5 58,2 0,68 1,76 0,08 4 76,9 54,1 0,64 1,75 0,07 76,6 54,6 0,64 1,74 0,07 6 75,6 52,9 0,64 1,76 0,08 Tous ces exemples ont donc, excepté l'exemple 3, la même épaisseur de couche d'argent 5, la même épaisseur de revêtement global sous-jacent 2, 3, 4 d'environ 40 nm et la 9 même épaisseur de revêtement global 6, 7, 8 sur la couche d'argent 5, épaisseur également de l'ordre de 40 manomètres. Si l'on compare l'exemple 1 et l'exemple 4, dont la seule différence avec l'exemple 1 réside dans l'utilisation d'une couche de Ta 2 05 au lieu d'une couche de Sn O 2 sous la couche d'argent, on constate que la présence de cette cou- che de Ta 2 O, (exemple 4) permet de faire chuter l'émissi- vité de 0,09 à 0,07, ce qui est une amélioration considé-10 rable Cette chute d'émissivité est en outre accompagnée d'une augmentation de T 1, de 74,4 à 76,9 %, augmentation également non négligeable et très avantageuse. Les exemples 5 et 6 constituent un compromis, puisque le revêtement sous-jacent comprend, outre la couche de Ta 2 O, selon l'invention, une première couche de Sn O 2. Le point tout à fait étonnant est que, même en faible épaisseur, la couche de Ta 2 05 continue à exercer une in- fluence très favorable sur les propriétés de la couche d'argent, puisque son émissivité reste inférieure ou égale20 à 0,08 La T, de ces deux exemples est toujours plus éle- vée que celle de l'exemple 1 comparatif L'intérêt subsi- diaire mais non négligeable de dédoubler ainsi le revête- ment sousjacent est que l'on peut ainsi diminuer les coûts de production, les cibles au tantale étant plus coûteuses25 que celles en étain, et contribuer à augmenter les cadences de production (il a été vérifié industriellement que la vitesse de dépôt de l'oxyde de tantale était moindre que celle de l'oxyde d'étain). Tout dépend donc en fait du niveau de performance souhaité Ainsi, les exemples 2 et 3 mettent en évidence que l'on peut encore améliorer les propriétés de l'empile- ment par la présence d'une couche 8 relativement épaisse de Ta 2 05, sur la couche d'argent 5: l'exemple 2, muni à la fois d'une couche de Ta 2 O 5 sous l'argent de 38 nm et d'une35 couche de Ta 2 05 sur l'argent de 40 nm, permet d'atteindre une émissivité exceptionnellement basse de 0,06 pour une T, qui est proche de 78 %. Un autre choix peut consister à chercher à diminuer l'épaisseur de la couche d'argent 5 sans détériorer les propriétés de l'empilement Ainsi, l'exemple 3 montre qu'avec une diminution de l'épaisseur de la couche d'argent d'environ 12 %, la présence de deux couches de Ta 2 05 permet de conserver une émissivité faible de 0,08 et une TL élevée 5 proche de 78 % Par ailleurs, la valeur de TE de l'exemple 3 est sensiblement plus élevée que celle de l'exemple 1, alors même que les valeurs d'émissivité sont proches, ce qui est très avantageux en terme de gain de chaleur global de l'habitacle qui serait équipé de ce type de vitrage.10 Il est à noter en outre que la présence d'une couche de Ta 2 05 sur la couche d'argent, associée ou non à une couche d'étain, contribue à améliorer très sensiblement la durabilité chimique et physique de l'empilement. EXEMPLES 7 A 1215 Afin de mieux analyser l'influence respective de la couche 3 de Ta 2 05 et de la couche 4 de Ni-Cr sous la couche d'argent, on a réalisé une seconde série d'exemples 7 à 12, ces empilements étant cette fois dépourvus des couches 7, 8 d'oxyde sur la couche 5 d'argent. L'exemple 7 est l'exemple comparatif dépourvu de cou- che de Ta 2 05 sous la couche 5 d'argent. La constitution et les épaisseurs en manomètres des couches de ces exemples sont rassemblées dans le tableau 3 ci-dessous.25 TABLEAU 3 ___________________________________________________________ | Sn O 2 ( 2) | Ta 2 05 ( 3) | Ni Cr( 4) | Ag( 5) Ni Cr( 6) Ex 7 | 40 I _ 1 9 | 3 Ex 8 | 38 I 9 | 3 Ex 9 35 5 I I 9 | 3 Ex 10 | 32,5 | 7,5 I I 9 | 3 Ex 11 | 40 | 10 | I 9 | 3 Ex 12 | 25 | 15 J _ 9 I 3 à_ ___________________ Pour évaluer les performances de ces empilements, on a cette fois mesuré par la méthode des 4 points la résistance superficielle R, exprimée en ohms par carré, de ces der- niers. Les résultats sont indiqués dans le tableau 4 ci-dessous. TABLEAU 4 ___________________________________ | Exemples | Rl 7 I 8,0 l 8 6,5 | 9 7,8 l 10 7,5 11 7,2 l 12 7,2 Sachant que l'on peut considérer que la résistance carrée est, avec une bonne approximation, proportionnelle à 1 'émissivité, on constate de nouveau que la couche de Ta 205 sous-jacente apporte une amélioration sensible, même, comme c'est le cas pour les exemples 9 et 10, lorsqu'elle n'a qu'une faible épaisseur.20 Ces exemples montrent également que la couche 4 en Ni Cr n'est qu'optionnelle et que la couche de Ta 2 05 à elle seule suffit pour induire de fortes améliorations des pro- priétés optiques de la couche d'argent. Par ailleurs, une analyse par microscopie à force atomique a permis de donner des indications quant à l'état de surface des couches d'argent Cette analyse a été réa- lisée sur des surfaces de deux micromètres carré Elle a tout d'abord été effectuée sur la couche d'argent ( 5) d'un empilement 7 ' identique à l'exemple 7 mis à part qu'il est30 dépourvu de la couche de Ni Cr ( 4), puis sur la couche d'argent ( 5) de l'empilement selon l'exemple 8. Le tableau 5 ci-dessous donne les résultats d'analyse en précisant les valeurs, en nanomètres, des hauteurs pic-vallée ("peak-to-valley" en anglais) ainsi que la di-35 mension latérale moyenne des amas toujours en nanomètres (d.l m) présents à la surface de la couche. TABLEAU 5 _________________________________________________ | Exemples | pic-vallée | d l m I 7 ' I 11,3 30 8 10,0 J 70 On peut interpréter ces chiffres de la manière sui- vante: déposer une couche d'argent sur une couche de Ta 2 O_ (exemple 8) plutôt que sur une couche de Sn O 2 permet de diminuer légèrement la rugosité de l'état de surface de l'argent, de par des valeurs pic-vallée un peu plus f ai- bles Par contre, on augmente parallèlement de manière très importante la largeur des amas ou agrégats Cette augmen-15 tation traduirait l'effet de mouillage mis en évidence dans l'invention, dans la mesure o des amas "plus larges" con- fèrent à la couche une continuité de surface bien meil- leure, entraînant de ce fait des performances, notamment de conductivité électrique, améliorées.20 En conclusion, l'invention a mis au point un nouveau type de revêtement diélectrique sous-jacent à une couche fonctionnelle, revêtement qui agit favorablement sur les propriétés de cette dernière et est de grande souplesse de mise en oeuvre.25 REVENDICATIONS 1 Substrat transparent ( 1), notamment en verre, muni d'un empilement de couches minces comportant au moins une couche ( 5) métallique à propriétés dans l'infra-rouge, no- 5 tamment basse émissive, disposée entre deux revêtements à base de matériau diélectrique, caractérisé en ce que le revêtement sous-jacent à la couche ( 5) à propriétés dans l'infra- rouge comporte au moins un revêtement de mouillage qui est adjacent à ladite couche ( 5) et qui comprend une10 couche ( 3) à base d'oxyde de tantale. 2 Substrat selon la revendication 1, caractérisé en ce que le revêtement de mouillage comprend une couche ( 3) à base d'oxyde de tantale surmontée d'une couche ( 4) à base de métal ou d'alliage métallique.15 3 Substrat selon la revendication 2, caractérisé en ce que la couche ( 5) à propriétés dans l'infra-rouge est à base d'argent. 4 Substrat selon l'une des revendications 2 ou 3, caractérisé en ce que la couche ( 4) à base de métal ou d'alliage métallique du revêtement de mouillage est en al- liage nickel-chrome, notamment d'une épaisseur comprise entre 0,3 et 4 nanomètres. 5 Substrat selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que le revêtement sous- jacent à la couche ( 5) métallique à propriétés dans l'infra-rouge comporte sous le revêtement de mouillage au moins une couche ( 2) mince à base d'oxyde métallique, notamment une couche à base d'oxyde d'étain ou d'oxyde de titane ou à base de nitrure tel que le nitrure de silicium.30 6 Substrat selon l'une des revendications précé- dentes, caractérisé en ce que la couche ( 5) à propriétés dans l'infra-rouge est recouverte d'une couche ( 6) sacrificielle à base de métal ou d'alliage métallique tel qu'un alliage nickel-chrome, notamment d'une épaisseur35 comprise entre 0,3 et 4 manomètres, notamment entre 1 et 3 nanomètres. 7 Substrat selon l'une des revendications précé- dentes, caractérisé en ce que le revêtement à base de ma- tériau diélectrique au-dessus de la couche ( 5) métallique à 14 propriétés dans l'infra-rouge comporte au moins une couche mince d'oxyde métallique, notamment une couche ( 7) à base d'oxyde d'étain et/ou une couche ( 8) à base d'oxyde de tantale et/ou une couche de nitrure de silicium. 5 8 Substrat selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la couche ( 5) à propriétés dans l'infra-rouge a une épaisseur comprise entre 7 et 12 nanomètres. 9 Substrat selon l'une des revendications précé- dentes, caractérisé en ce que le revêtement sous-jacent à la couche ( 5) à propriétés dans l'infra-rouge a une épais- seur totale comprise entre 30 et 50 nanomètres. 10 Substrat selon l'une des revendications précé- dentes, caractérisé en ce que la couche ( 3) à base d'oxyde de tantale appartenant au revêtement de mouillage a une épaisseur comprise entre 5 et 30 nanomètres, de préférence entre 10 et 20 nanomètres. 11 Substrat selon l'une des revendications 2 à 10, caractérisé en ce que la couche ( 4) à base de métal ou d'alliage métallique surmontant la couche ( 3) à base d'oxyde de tantale dans le revêtement de mouillage a une épaisseur comprise entre 1 et 4 manomètres. 12 Substrat selon l'une des revendications précé- dentes, caractérisé en ce que le revêtement ( 6, 7) en ma- tériau diélectrique au-dessus de la couche ( 5) métallique à propriétés dans l'infra-rouge a une épaisseur totale com- prise entre 30 et 50 nanomètres. 13 Substrat selon l'une des revendications 1 à 11, caractérisé en ce qu'il est muni d'un empilement de couches minces comportant deux couches ( 5) métalliques à propriétés dans l'infra-rouge. 14 Application du substrat selon l'une des revendi- cations précédentes à un vitrage multiple bas-émissif, no- tamment présentant une émissivité inférieure ou égale à35 0,08 et présentant une haute transmission lumineuse TL, notamment supérieure ou égale à 75 %.