FR 2703781 A1 19941014 FR 9304228 A 19930409 CAPTEUR DE PRESSION DE GRANDE PRECISION, GRADIOMANOME- TRE INCORPORANT UN TEL CAPTEUR ET PROCEDE DE FABRICA- TION DE CE CAPTEUR. DESCRIPTION L'invention concerne principalement un cap- teur de pression de grande précision, apte à fonction- ner dans un milieu dans lequel règne une pression hy- drostatique très élevée (par exemple, de l'ordre de 1000 bars) L'invention a aussi pour objet un gradioma- nomètre incorporant un capteur de pression différen- tielle Enfin, l'invention a également pour objet un procédé de fabrication d'un tel capteur de pression. Compte tenu de ses caractéristiques, le capteur de pression conforme à l'invention trouve une application privilégiée dans le cadre des mesures de pression différentielle qui sont effectuées dans les puits de forage pétrolier, notamment pour mesurer la densité du fluide présent dans le puits à un niveau donné ou pour mesurer la vitesse de déplacement de ce fluide, par exemple par effet venturi Les applications du capteur de pression selon l'invention ne sont toute- fois pas limitées au domaine pétrolier et concernent tous les domaines dans lesquels une pression ou une différence de pression doit être mesurée de façon par- ticulièrement fiable et précise Ainsi et uniquement à titre d'exemple, le capteur de pression selon l'inven- tion peut être utilisé dans les tubes de Pitot servant à mesurer la vitesse des aéronefs. Pour effectuer des mesures de pression dif- férentielle dans les puits de forage pétrolier, il est connu d'utiliser des capteurs de pression dont l'élé- ment sensible est constitué par une membrane apte à se déformer lorsqu'une très faible différence de pression existe de part et d'autre de cette membrane La mesure de la déformation de la membrane est faite par exemple au moyen d'un pont de jauges piézorésistives associé à la membrane. Dans les capteurs de pression de ce type, la membrane déformable comprend une partie périphérique formant cadre, par laquelle la membrane est fixée sur un support rigide, par exemple par collage ou soudage. Traditionnellement, la région périphérique de la membrane déformable est collée ou soudée directe- ment sur le support rigide Cependant, cet agencement entraîne des erreurs de mesure, parfois importantes, du fait des contraintes induites dans la membrane par la température ou la pression environnante Ces contrain- tes peuvent notamment résulter des différences entre les coefficients de dilatation thermique et les modules d'élasticité des matériaux constituant la membrane et le support De plus, les déformations subies par le support rigide du fait d'un changement de température ou de pression sont transmises intégralement à la mem- brane par sa région périphérique Ces déformations entraînent une erreur sur la mesure, d'autant plus importante que la membrane peut présenter initialement une forme non plane L'amplitude de l'erreur est en outre d'autant plus grande que le procédé d'assemblage de la région périphérique de la membrane sur le support rigide est hétérogène. Pour remédier à cet inconvénient, on a ima- giné d'interposer entre la membrane déformable et son support rigide une pièce de découplage faite du même matériau que la membrane Cette pièce comporte une zone déformable qui isole mécaniquement la membrane déforma- ble de son support Un capteur de pression réalisé selon cette technique est décrit dans le document US-A-4 295 117 et dans le compte rendu de la conférence de Franck K HAAG et al intitulée "Development of A Sputtered Thin Film Pressure Transducer for Use Over the Temperature Range of -3200 F to 500 F O ", faite lors du I S A Instrumentation Symposium de Las Végas en mai 1977 Plus récemment un capteur de pression comportant une pièce de découplage a été décrit dans le document US-A-4 800 758. Ce dernier document décrit notamment, en référence à la figure 3, un capteur de pression compre- nant une pièce de découplage comportant une zone péri- phérique extérieure sur laquelle est collée la région périphérique de la membrane déformable, une zone inter- médiaire déformable sensiblement plane et une zone intérieure ou centrale collée sur la face en vis-à-vis du support rigide. Dans la pratique, l'assemblage des diffé- rentes pièces destinées à former le capteur impose l'application d'une certaine pression Cependant, la structure décrite dans le document US-A- 4 800 758 est telle que l'application de la pression nécessaire à l'assemblage ne peut pratiquement pas se faire sans engendrer dans la zone intermédiaire déformable de la pièce de découplage, des contraintes risquant de con- duire à sa rupture En d'autres termes, il n'est prati- quement pas possible de fabriquer un capteur de pres- sion de très grande sensibilité présentant la structure décrite dans le document US-A-4 800 758 sans rompre la pièce de découplage, en raison du fort coefficient de découplage nécessité par la faible épaisseur de la membrane imposée par la sensibilité requise. L'invention a précisément pour objet un capteur de pression présentant tous les avantages pro- curés par le capteur décrit dans le document FR-A-4 800 758, c'est-à-dire notamment une grande sen- sibilité et une grande précision indépendamment de la température et de la pression ambiante, mais dont la fabrication peut être faite aisément avec une grande fiabilité et de manière peu coûteuse, sans risque de rupture de la pièce de découplage, même de très faible épaisseur. Conformément à l'invention, ce résultat est obtenu au moyen d'un capteur de pression, comprenant un support rigide, une membrane déformable placée en re- gard d'une face d'appui du support rigide, une pièce de découplage interposée entre la membrane et la face d'appui, et des moyens de mesure d'une déformation de la membrane, la pièce de découplage comporte une zone périphérique extérieure fixée de façon étanche sur une région périphérique de la membrane, une zone intérieure fixée de façon étanche sur la face d'appui et une zone intermédiaire déformable, caractérisé par le fait qu'en l'absence de déformation de ladite zone intermédiaire, la zone périphérique extérieure de la pièce de décou- plage est séparée de la face d'appui par un jeu n'auto- risant qu'une déformation mécaniquement admissible de la zone intermédiaire. Grâce au caractère limité du jeu existant entre la zone périphérique extérieure de la pièce de découplage et la face en vis-à-vis du support, il devient possible de fixer; par exemple par collage, la zone intérieure de la pièce de découplage sur la face d'appui, puis la région périphérique de la membrane sur la zone périphérique extérieure de la pièce de décou- plage, sans engendrer de contrainte risquant d'endomma- ger la pièce de découplage et de rendre le capteur inopérant. Dans une forme de réalisation préféren- tielle de l'invention, la face d'appui du support est sensiblement plane et la zone périphérique extérieure forme une surface de butée en regard de cette face, séparée de cette dernière par le jeu limité précité. Avantageusement, la fixation étanche de la pièce de découplage sur le support et la fixation étan- che de la membrane sur la pièce de découplage sont effectuées par collage rigide. Dans la forme de réalisation préférentielle de l'invention, la pièce de découplage est une pièce sensiblement plane qui présente une épaisseur moindre dans la zone intermédiaire déformable que dans la zone périphérique extérieure et dans la zone intérieure De même, la membrane déformable est une pièce sensiblement plane qui présente une épaisseur moindre dans sa région centrale, constituant la membrane proprement dite, que dans sa région périphérique. D'une manière en elle-même classique, les moyens de mesure de la déformation de la membrane com- prennent un pont de jauges piézorésistives supporté par cette membrane. Le capteur de pression selon l'invention peut notamment être appliqué à la mesure d'une pression différentielle Il comporte alors un conduit central traversant le support rigide et la zone intérieure de la pièce de découplage. L'invention a aussi pour objet un gradioma- nomètre comprenant un passage rempli de liquide et dont les extrémités débouchent en deux endroits espacés l'un de l'autre, et un capteur de pression différentielle placé dans ce passage, caractérisé par le fait que ce capteur de pression différentielle est conforme à la définition donnée précédemment, le conduit central débouchant vers une extrémité du passage et la membrane étant tournée vers l'autre extrémité. L'invention concerne en outre un procédé de fabrication d'un capteur de pression du type précité, dans lequel les étapes de fixation étanche de la zone intérieure de la pièce de découplage et de fixation étanche de la région périphérique de la membrane s'ef- fectuent dans cet ordre, en appliquant une pression, l'étape de fixation étanche de la région périphérique de la membrane entraînant une déformation mécaniquement admissible d'une zone intermédiaire déformable de la pièce de découplage, par la venue en butée de la zone périphérique extérieure de cette pièce contre la face d'appui. On décrira à présent, à titre d'exemple non limitatif, une forme de réalisation préférentielle de l'invention, en se référant aux dessins annexés, dans lesquels: la figure 1 est une vue en coupe longitu- dinale d'un gradiomanomètre placé dans un puits de forage pétrolier, afin d'y effectuer des mesures de densité; la figure 2 est une vue en perspective représentant à plus grande échelle un capteur de pres- sion différentielle utilisé dans le gradiomanomètre de la figure 1 et réalisé conformément à l'invention; la figure 3 est une vue en coupe verti- cale du capteur de pression différentielle illustré sur la figure 2; la figure 4 est une vue en coupe verti- cale illustrant à plus grande échelle une partie du capteur de pression différentielle selon l'inven- tion; et les figures 5 A à 5 D sont des vues en coupe illustrant schématiquement les principales étapes de fabrication du capteur de pression différentielle selon l'invention. Sur la figure 1, on a représenté un tronçon d'un puits de forage pétrolier 10 délimité par un tu- bage 12 Afin que l'exploitation du puits puisse se faire dans les meilleures conditions, on a besoin de distinguer, à l'intérieur du puits 10, les régions contenant de l'eau, de celles qui contiennent du pé- trole. Pour effectuer cette distinction, on des- cend dans le puits 10 un gradiomanomètre 14 permettant de mesurer sur toute la hauteur du puits parcourue par cet appareil la densité du fluide présent dans le puits Ce gradiomanomètre 14 est suspendu à un câble (non illustré sur la figure 1) qui assure sa descente puis sa remontée, ainsi que la transmission jusqu'à la surface des signaux représentatifs de la densité du fluide, qui sont émis par cet appareil. Le gradiomanomètre 14 comprend un corps cylindrique 16 dans lequel est formé un passage 18 rempli d'un liquide de référence, tel que de l'huile silicone, de densité connue Les extrémités du passage 18 débouchent à deux niveaux différents sur le corps 16 La différence entre ces niveaux correspond à une hauteur h connue par exemple d'environ 0,50 m. Un capteur de pression différentielle 20 est placé dans le passage 18 Ce capteur comporte une membrane déformable 22 qui obture de façon étanche le passage 18 et maintient en place le liquide dans ce dernier, conjointement avec la pression qui règne dans le puits autour du gradiomanomètre 14 La valeur de cette pression augmente avec la profondeur à laquelle se trouve l'appareil, et peut atteindre 1000 bars. Si l'on désigne par p la densité du li- quide de référence présent dans le passage 18 et par p. la densité du fluide présent dans le puits au niveau o se trouve le gradiomanomètre 14, la membrane 22 du capteur de pression différentielle 20 est soumise à une différence de pression AP donnée par la formule: Ap = (po p=) g h cos:O ou g représente le module du champ de gravité local; et O l'angle d'inclinaison de l'appareil par rapport à la verticale. Cette formule fait apparaître clairement que la différence de pression vue par la membrane 22 du capteur 20 est représentative de la densité pi du fluide présent dans le puits. De préférence, le gradiomanomètre 14 comprend de plus, à l'intérieur du corps 16, un conduit de dérivation 24 raccordé sur le passage 18 en amont et en aval du capteur de pression 20 Un clapet 26, norma- lement fermé, est placé dans le conduit de dérivation 24 Ce clapet 26 est prévu pour s'ouvrir sous l'effet d'un choc, afin d'éviter que la membrane 22 ne soit endommagée. La structure du capteur de pression diffé- rentielle 20 conforme à l'invention va à présent être décrite en détail en se référant aux figures 2 à 4. Le capteur 20 conforme à l'invention comprend tout d'abord un support rigide 28, en forme de disque, réalisé par exemple en un matériau tel que du "Kovar" (Marque déposée) Comme l'illustrent notamment les figures 1 et 3, le support rigide 28 est placé dans une partie de plus grand diamètre du passage 18, per- pendiculairement à l'axe de ce dernier Il est raccordé de façon étanche à-la paroi délimitant le passage 18 et traversé selon l'axe de ce dernier par un conduit cen- tral 30 (figure 3). Le support rigide 28, en forme de disque, comporte une face supérieure plane, ou face d'appui, 32, orientée perpendiculairement à l'axe du passage 18 et destinée à supporter la membrane déformable 22 du capteur De façon plus précise, la face supérieure plane 32 du support rigide 28 supporte la membrane déformable 22 par l'intermédiaire d'une pièce de décou- plage 34. Cette pièce de découplage 34 est une plaque mince et plane, par exemple de forme carrée, réalisée par exemple en silicium selon des techniques usuelles dans la réalisation des microcapteurs (oxydation, dé- pôts, photo-lithographie, micro-usinage anisotrope) La pièce de découplage 34 comporte une zone périphérique extérieure 36, une zone intermédiaire déformable 38 et une zone intérieure 40. La zone intérieure 40 présente une épais- seur qui correspond par exemple à l'épaisseur initiale de la plaquette de silicium La zone périphérique exté- rieure 36 présente une épaisseur moindre, afin que sa face inférieure soit en retrait d'une distance détermi- née par rapport à la face inférieure de la zone inté- rieure 40 (figure 4) La zone intermédiaire déformable 38 présente une épaisseur réduite, par exemple d'envi- ron 50 pm Cette zone intermédiaire déformable 38 est obtenue par enlèvement de matière sur chacune des faces de la plaquette, de telle sorte que la zone périphéri- que extérieure 36 fasse saillie vers la face 32 du support rigide 28, par rapport à cette zone intermé- diaire déformable 38, lorsque la pièce de découplage 34 est fixée sur cette face 32 La face inférieure de la zone périphérique extérieure 36 définit une surface plane de butée 45 (figure 4), en regard de la face 32 du support rigide. La zone intérieure 40 est traversée en son centre par un conduit 41, prévu pour être placé dans le prolongement du conduit 30. La fixation de la pièce de découplage 34 sur la face 32 du support rigide 28 est réalisée par collage de la zone intérieure 40 au moyen d'un film de colle 42 Grâce à la possibilité offerte par l'inven- tion d'exercer une pression importante sur les pièces à assembler, l'épaisseur et l'homogénéité du film de colle 42, déterminantes pour la métrologie du système, sont parfaitement contrôlées Lorsque ce collage a été effectué, il existe entre la surface de butée 45 formée sur la zone périphérique extérieure 36 de la pièce de découplage 34 et la face 32 du support rigide 28 un jeu limité 44 La valeur de ce jeu 44 est déterminée afin que la déformation de la zone intermédiaire 38 entraî- née par la venue en appui de la surface de butée 45 contre la face 32 du support rigide soit mécaniquement admissible pour cette zone intermédiaire 38 A titre d'illustration, le jeu 44 peut être d'environ 30 pm. La membrane déformable 22 est réalisée, comme la pièce de découplage 34, à partir d'une pla- quette de silicium en utilisant les techniques de mi- cro-usinage habituellement mises en oeuvre dans le domaine de la microcapteurs Elle se présente sous la forme d'une plaque plane et carrée dont les dimensions extérieures sont identiques à celles de la pièce de découplage 34. La membrane déformable 22 comprend une ré- gion périphérique 46 dont l'épaisseur correspond, par exemple, à l'épaisseur de la plaquette initiale, ainsi qu'une région centrale 48, d'épaisseur réduite, consti- tuant la membrane proprement dite L'épaisseur de cette région centrale 48 peut notamment être égale à environ pm. La membrane déformable 22 est fixée de fa- çon étanche sur la pièce de découplage 34 par collage rigide de la région périphérique 46 sur la zone péri- il phérique extérieure 36 au moyen d'un film de colle 50. Lorsque le capteur est terminé, du fait de la possibi- lité d'exercer une pression pendant l'assemblage, l'épaisseur de ce film de colle 50 est généralement inférieure à 3 pm. Avantageusement, la colle utilisée pour les films de colle 42 et 50 est une colle époxy assurant une fixation rigide haute température ( 2000 C) et étan- che pour un faible coût. Pour détecter et mesurer les déformations de la partie centrale 48 de la membrane déformable 22, on utilise des moyens de mesure comprenant un pont de jauges piézorésistives 51 formé, par exemple, sur la face supérieure de la membrane 22 comme l'illustre la figure 2 Ce pont de jauges piézorésistives peut être obtenu en mettant en oeuvre les techniques classiques de la microélectronique Il comprend quatre résistances Ri, R 2, R 3 et R 4 disposées deux à deux selon deux di- rections orthogonales, ainsi que des liaisons 52 élec- triquement conductrices reliant les résistances pour former le pont de jauges 51 Des contacts 54 sont égale- ment formés sur la face supérieure de la membrane 22, pour permettre le raccordement du pont de jauges à une cartouche électronique (non représentée), par des con- ducteurs électriques 56 soudés sur ces contacts 54 et traversant de manière étanche le support rigide 28. D'autres traversées étanches 58 peuvent être prévues dans le support rigide 28, comme l'illus- tre la figure 2, pour permettre le passage d'autres conducteurs électriques servant notamment au chemine- ment des signaux de mesure délivrés par la cartouche électronique (non représentée) jusqu'à la surface. La structure du capteur de pression qui vient d'être décrite en se référant aux figures 2 à 4 permet de fabriquer ce capteur de façon simple et peu coûteuse, avec une fiabilité optimale, d'une manière qui va à présent être décrite en se référant aux f igu- res 5 A à 5 D. Dans un premier temps et comme l'illustre la figure 5 A, quelques gouttes de colle calibrées 42 ' sont déposées sur la face 32 du support rigide 28, autour du conduit central 30, par exemple à l'aide d'une aiguille La pièce de découplage 34 est ensuite mise en place à l'aide d'une pipette d'aspiration 60, de telle sorte que le conduit central 41 soit situé dans le prolongement du conduit central 30. Une force calibrée est ensuite appliquée sur la zone intérieure 40 de la pièce de découplage 34, par exemple à l'aide d'un outil 62, de façon à presser cette zone avec une force déterminée contre la face 32 du support rigide 28, comme l'illustre la figure 5 B. Cette opération permet de garantir l'efficacité et l'étanchéité du collage, ainsi que l'obtention de l'épaisseur désirée pour le film de colle 42. Après recuit du premier assemblage et comme l'illustre la figure 5 C, quelques gouttes de colle calibrées 50 ' sont ensuite déposées sur la face supé- rieure de la zone périphérique extérieure 36 de la pièce de découplage 34 La membrane déformable 22 est ensuite mise en place sur la pièce de découplage 34 à l'aide de la pipette d'aspiration 60. Enfin, comme l'illustre la figure 5 D, une force calibrée est appliquée sur la région périphérique 46 de la membrane déformable 22, par exemple à l'aide d'un outil 64 Cette opération permet d'assurer l'effi- cacité du collage étanche de cette région 46 sur la zone périphérique extérieure 36 de la pièce de décou- plage 34 ainsi que l'obtention de l'épaisseur désirée pour le film de colle 50. Au cours de cette dernière opération, le jeu limité 44 qui existe entre la zone périphérique extérieure 36 et la face supérieure 32 du support ri- gide 28 (figure 4) est rattrapé par une légère flexion de la zone intermédiaire déformable 38 de la pièce de découplage, sans aucun risque de rupture de cette pièce, compte tenu de la faible épaisseur du jeu 44 existant initialement (par exemple, environ 30 pm) En effet, ce jeu est calculé, comme on l'a déjà mentionné, afin que la déformation de la zone intermédiaire 38 qui intervient lors du collage de la membrane déformable 22 sur la pièce de découplage 34 ne dépasse pas les limi- tes mécaniquement admissibles pour cette pièce. Par conséquent, l'agencement précédemment décrit du capteur de pression conforme à l'invention garantit une fabrication pratiquement sans déchet et pour un moindre coût que les capteurs de pression exis- tants. En fonctionnement, l'existence de la pièce de découplage 34 entre la membrane déformable 48 et le support rigide 28 permet de réaliser des mesures très précises et parfaitement reproductibles, du fait que les déformations parasites de la membrane qui pour- raient résulter de déformations du support rigide 28 dues à la pression ou à la température ne sont pas transmises à la membrane par la pièce de découplage 34. Il est à noter que le capteur de pression conforme à l'invention, qui est utilisé en capteur de pression différentielle dans la forme de réalisation qui vient d'être décrite, peut aussi être utilisé comme capteur de pression absolue, dans la mesure o la pres- sion à mesurer est très proche d'une pression de réfé- rence régnant de l'autre côté de la membrane Dans ce cas le conduit central 41 pratiqué dans la pièce de découplage 34 peut être supprimé. Par ailleurs et comme on l'a déjà indiqué, le capteur de pression conforme à l'invention peut être utilisé pour effectuer des mesures de pression ou de pression différentielle dans des appareils différents du gradiomanomètre illustré sur la figure 1 Ainsi et uniquement à titre d'exemple, le capteur de pression selon l'invention peut servir à mesurer la vitesse de déplacement d'un fluide dans un puits de forage ou, de façon plus générale, la vitesse de déplacement d'un mobile tel qu'un aéronef. En outre, si la liaison rigide étanche en- tre chacune des pièces constituant le capteur de pres- sion est avantageusement réalisée au moyen de colle époxy comme on l'a décrit précédemment, d'autres modes de liaison peuvent être envisagés tels qu'une liaison par film d'or ou par du "Pyrex" (Marque déposée) pulvé- risé. REVENDICATIONS 1 Capteur de pression, comprenant un sup- port rigide ( 28), une membrane déformable ( 22) placée en regard d'une face d'appui ( 32) du support rigide, une pièce de découplage ( 34) interposée entre la mem- brane et la face d'appui, et des moyens de mesure (Ri, R 2, R 3, R 4) d'une déformation de la membrane, la pièce de découplage comportant une zone périphérique exté- rieure ( 36) fixée de façon étanche sur une région péri- phérique de la membrane, une zone intérieure ( 40) fixée de façon étanche sur la face d'appui et une zone inter- médiaire déformable ( 38), caractérisé par le fait qu'en l'absence de déformation de ladite zone intermédiaire ( 38), la zone périphérique extérieure ( 36) de la pièce de découplage ( 34) est séparée de la face d'appui ( 32) par un jeu ( 44) n'autorisant qu'une déformation mécani- quement admissible de la zone intermédiaire ( 38). 2 Capteur de pression selon la revendica- tion 1, caractérisé par le fait que la face d'appui ( 32) du support rigide est sensiblement plane, la zone périphérique extérieure ( 36) formant une surface de butée ( 45) en regard de la face d'appui, séparée de cette dernière par ledit jeu ( 44). 3 Capteur de'pression selon l'une quelcon- que des revendications 1 et 2, caractérisé par le fait que la région périphérique ( 46) de la membrane ( 22) est fixée de façon étanche sur la zone périphérique exté- rieure ( 36) de la pièce de découplage ( 34) par un pre- mier film de colle ( 50) et la zone intérieure ( 40) de la pièce de découplage ( 34) est fixée de façon étanche sur ladite face ( 32) par un deuxième film de colle ( 42). 4 Capteur de pression selon l'une quelcon- que des revendications précédentes, caractérisé par le fait que la pièce de découplage ( 34) est une pièce sensiblement plane présentant une épaisseur moindre dans la zone intermédiaire déformable ( 38) que dans la zone périphérique extérieure ( 36) et dans la zone inté- rieure ( 40). Capteur de pression selon l'une quelcon- que des revendications précédentes, caractérisé par le fait que la membrane déformable ( 22) est sensiblement plane et présente une épaisseur moindre dans une région centrale ( 48) formant membrane que dans la région péri- phérique ( 46). 6 Capteur de pression selon l'une quelcon- que des revendications précédentes, caractérisé par le fait que les moyens de mesure d'une déformation de la membrane ( 22) comprennent un pont de jauges piézorésis- tives (Rl, R 4) supporté par la membrane. 7 Capteur de pression selon l'une quelcon- que des revendications précédentes, caractérisé par le fait que la membrane déformable ( 22) et la pièce de découplage ( 34) sont en silicium. 8 Capteur de pression selon l'une quelcon- que des revendications précédentes, caractérisé par le fait qu'il est appliqué à la mesure d'une pression différentielle et comporte un conduit central ( 30,41) traversant le support rigide ( 28) et la zone intérieure ( 40) de la pièce de découplage ( 34). 9 Gradiomanomètre comprenant un passage ( 18) rempli de liquide et dont les extrémités débou- chent en deux endroits espacés l'un de l'autre, et un capteur de pression différentielle ( 20) placé dans ledit passage, caractérisé par le fait que le capteur de pression différentielle est conforme à la revendica- tion 8, le conduit central ( 30,41) débouchant vers une extrémité du passage et la membrane ( 22) étant tournée vers l'autre extrémité. Gradionamomètre selon la revendication 9, caractérisé par le fait qu'un conduit de dérivation ( 24), comportant un clapet ( 26) normalement fermé, est raccordé sur ledit passage ( 18) de part et d'autre du capteur de pression différentielle ( 20), ce clapet étant apte à s'ouvrir sous l'effet d'un déplacement brusque du liquide dans le passage. 11 Procédé de fabrication d'un capteur de pression, comprenant un support rigide ( 28), une mem- brane déformable ( 22) placée en regard d'une face d'ap- pui ( 32) du support rigide, une pièce de découplage ( 34) interposée entre la membrane et la face d'appui, et des moyens de mesure (Rl, R 4) d'une déformation de la membrane, ce procédé comprenant une étape de fixation étanche d'une zone intérieure ( 40) de la pièce de découplage sur la face d'appui et une étape de fixa- tion étanche d'une région périphérique ( 46) de la mem- brane sur une zone périphérique extérieure ( 36) de la pièce de découplage, caractérisé par le fait que les étapes de fixation étanche de la zone intérieure et de fixation étanche de la région périphérique s'effectuent dans cet ordre, en appliquant une pression, l'étape de fixation étanche de la région périphérique de la mem- brane entraînant une déformation mécaniquement admissi- ble d'une zone intermédiaire déformable ( 38) de la pièce de découplage, par la venue en butée de la zone périphérique extérieure ( 36) contre la face d'appui ( 32). 12 Procédé selon la revendication 11, ca- ractérisé par le fait que les étapes de fixation étan- che de la zone intérieure ( 40) et de fixation étanche de la région périphérique ( 46) sont réalisées par col- lage. 13 Procédé selon la revendication 12, ca- ractérisé par le fait que le collage est effectué au moyen d'une colle époxy.