FR 2696821 A1 19940415 FR 9212012 A 19921009 La présente invention est relative à un procédé et une installation de production d'azote ultra- pur sous pression. L'industrie électronique exige la fourniture en continu d'azote ultrapur, ayant typiquement une pureté de l'ordre de 1 à 100 ppb (parties par milliard ou 10-9) par impureté. Dans la technique habituelle, on produit directement de l'azote ultra- pur dans une installation de distillation d'air dite "HPN (High Purity Nitrogen) de type électronique" Il s'agit d'une colonne de production d'azote dans lequel l'air comprimé, épuré à chaud en hydrogène et en monoxyde de carbone par voie catalytique puis épuré par adsorption en eau et en dioxyde de carbone, est refroidi au voisinage de son point de rosée, puis introduit à la base d'une colonne de distillation ayant un nombre de plateaux théoriques suffisant pour produire l'azote ultra-pur en tête La colonne est équipée d'un condenseur de tête refroidi par du "liquide riche" (air enrichi en oxygène) recueilli en cuve et détendu. L'installation est pourvue de moyens de liquéfaction d'une partie de l'azote ultra-pur, et cet azote liquide est envoyé à un stockage de secours En cas de panne de l'installation ou de coupure de courant électrique, ce stockage permet d'assurer la continuité de la fourniture d'azote ultra-pur. Cette technique présente de sérieux inconvé- nients: si la panne se prolonge, le stockage va se vider Il faut donc un stockage très volumineux, qui coûte très cher: 200 000 litres pour fournir 1 000 Nm 3/h pendant 4 jours, qui n'est pourtant pas la durée maximale des pannes constatées; aucune solution commode n'existe si le stockage est vide, puisqu'on ne peut faire appel à de l'azote liquide ordinaire ou à moyenne pureté, c'est-à- dire ayant une pureté moyenne de l'ordre du ppm (partie par million ou 10-6); quand le stockage s'est vidé à la suite d'une panne de l'installation, il faut de nouveau le remplir, ce qui prend beaucoup de temps Par exemple, si 1 ' installation produit 7 % de 1 ' azote ultra-pur sous forme liquide, il faut 2 mois pour reconstituer la réserve ( 200 000 litres) après 4 jours d'arrêt de l'installation. Pendant cette période, l'ensemble du système est vulnérable. L'invention a pour but de fournir une solution plus fiable au problème de la livraison continue d'azote ultra-pur. A cet effet, l'invention a pour objet un procédé de production d'azote ultra-pur sous pression, caractérisé en ce que: on produit de l'azote gazeux à moyenne pureté sensiblement sous la pression de production; on envoie cet azote à la base d'une colonne de distillation équipée d'un condenseur de tête; on refroidit ce condenseur de tête au moyen de liquide de cuve de la colonne détendu et éventuelle- ment d'un premier débit d'azote liquide à moyenne pureté contenu dans un réservoir de stockage; on soutire l'azote ultra-pur de production en tête de la colonne; et pendant les périodes d'arrêt de la produc- tion d'azote à moyenne pureté et pendant les périodes o la demande en azote ultra-pur est excessive par rapport à cette production, on envoie à la base de la colonne de l'azote gazeux de réserve à moyenne pureté obtenu à partir de l'azote liquide dudit réservoir de stockage, et on envoie dans le condenseur de tête un second débit, supérieur audit premier débit, d'azote liquide de ce réservoir. Suivant d'autres caractéristiques dans le cas o on produit l'azote à moyenne pureté par distillation d'air, on épure l'air à distiller en hydrogène et en monoxyde de carbone par voie catalyti- que; pendant lesdites périodes, on soutire l'azote liquide du réservoir, on le fait passer à travers un tronçon de colonne de distillation, on vaporise une première partie du liquide issu de ce tronçon, on fait circuler de bas en haut le gaz obtenu à travers ledit tronçon de distillation, puis on 1 ' injecte éventuellement dans le réservoir, et l'on vaporise le reste du liquide issu dudit tronçon pour obtenir ledit azote à moyenne pureté de réserve, que l'on envoie à la base de la colonne; on épure en monoxyde de carbone l'azote de réserve avant de l'envoyer à la base de la colonne; on récupère l'azote impur vaporisé dans le condenseur de tête en tant que second produit. L'invention a également pour objet une installation destinée à la mise en oeuvre d'un tel procédé Cette installation comprend: un appareil de production d'azote gazeux à moyenne pureté; une colonne de distillation équipée d'un condenseur de tête; une conduite équipée d'une vanne de détente reliant la cuve de la colonne au condenseur de tête; et un réservoir de stockage d'azote liquide à moyenne pureté, et des moyens de liaison pour relier sélectivement ce réservoir d'une part à la base de la colonne, et d'autre part au condenseur de tête. Un exemple de mise en oeuvre de l'invention va maintenant être décrit en regard du dessin annexé, dont la Figure unique représente schématiquement une installation de production d'azote ultra-pur conforme à l'invention. L' installation représentée au dessin comprend deux parties principales, à savoir un appareil 1 de production d'azote gazeux a moyenne pureté, typiquement de l'ordre de 1 ppm, et un appareil d'épuration 2, relié à l'appareil 1 par une conduite 3 véhiculant l'azote à moyenne pureté. L'appareil 1, du type dit HPN, comprend, de façon classique, un compresseur d'air 4, un dispositif d'adsorption 5, et une boîte froide contenant une ligne d'échange thermique 6 et une colonne de distillation 7 équipée d'un condenseur de tête 8 En plus de ces éléments habituels des installations de type HPN, l'appareil 1 comprend un réacteur catalytique 9 disposé entre le compresseur 4 et l'adsorbeur 5. L'appareil 1 comprend également des moyens non représentés de maintien en froid, qui peuvent être, suivant la taille de l'appareil, une turbine de détente de liquide riche vaporisé ou des moyens de "biberonnage", c'est-à-dire d'introduction en tête de colonne d'un faible débit d'azote liquide à moyenne pureté provenant d'un stockage approprié. L'appareil d'épuration 2 comprend essentiel- lement un réservoir 10 de stockage d'azote liquide à moyenne pureté, typiquement de l'ordre de 1 ppm, une colonne d'épuration 11 de même constitution générale que la colonne 7, et une ligne d'échange thermique 12. Sous le réservoir 10 est disposé un tronçon 13 de colonne de distillation dont une entrée de liquide supérieure est reliée au fond du réservoir par une conduite 14 et dont une sortie de gaz supérieure est reliée au sommet du réservoir par une conduite 15 de mise en pression du réservoir Une sortie de liquide infé- rieure du tronçon 13 est reliée d'une part à un premier vaporiseur atmosphérique 16 dont la sortie est reliée à une entrée de gaz inférieure du tronçon 13, et d'autre part à un second vaporiseur atmosphérique 17 La sortie de ce dernier est reliée à un point intermédiaire de la conduite 3 par une conduite 18 équipée d'une vanne d'arrêt 19 et, éventuellement, d'un filtre à monoxyde de carbone 20 A en amont du vaporiseur 17 ou 20 B en aval de celui-ci. Une autre conduite 21 équipée d'une vanne de régulation 22 relie le fond du réservoir 10 à la calandre du condenseur de tête 23 de la colonne 11. Le réservoir 10 peut, lorsque cela est nécessaire, être rempli par un camion-citerne 24. En fonctionnement normal, le réservoir 10 n'est utilisé que pour le maintien en froid de la colonne 11 par "biberonnage", au moyen d'un faible débit d'azote liquide de l'ordre de quelques % de la production d'azote, et la vanne 19 est fermée L'air à traiter est comprimé en 4 à une pression quelque peu supérieure à la pression de production de l'azote ultra-pur, épuré en hydrogène et en monoxyde de carbone en 9, épuré en eau et en dioxyde de carbone en 5, et introduit dans la boîte froide de l'appareil 1. Après refroidissement en 6 jusqu'au voisinage de son point de rosée, l'air est introduit à la base de la colonne 7, qui produit en tête de l'azote gazeux à moyenne pureté, réchauffé en 6 puis envoyé dans la conduite 3, et qui produit en cuve du liquide riche contenant les impuretés lourdes de l'air traité Ce liquide riche, après détente dans une vanne de détente 25, est envoyé dans la calandre du condenseur de tête 8 de la colonne Le liquide riche vaporisé est réchauffé en 6 puis évacué via une conduite 26 en tant que gaz résiduaire de l'installation Les passages d'azote du condenseur 8 peuvent être équipés de moyens de recueil des impuretés légères restantes (hélium et néon) et d'envoi de celles-ci dans la calandre du condenseur pour leur évacuation avec le liquide riche vaporisé. L'azote véhiculé par la conduite 3 est refroidi jusqu'au voisinage de son point de rosée en 12 et introduit à la base de la colonne 11 Celle-ci produit en tête l'azote gazeux ultra-pur de production, qui, après réchauffement en 12, est livré via une conduite 27. Le reflux de la colonne 11 est obtenu en détendant légèrement dans une vanne de détente 28, par exemple de 1 bar, le liquide de cuve de cette colonne, et en introduisant le liquide détendu dans la calandre du condenseur de tête 23 Ce liquide, après vaporisation, constitue de l'azote gazeux à pureté légèrement dégradée par rapport à celle de l'azote à moyenne pureté, par exemple à 1,5 ppm, et peut être valorisé, après réchauf- fement en 12, via une conduite 29. L'appareil 2 peut ainsi produire environ 30 % du débit entrant par la conduite 3 sous forme d'azote ultra-pur, et environ 70 % de ce débit sous forme d'azote impur, à une pression légèrement inférieure A titre d'exemple, les pressions peuvent être de l'ordre de 10 bars pour 1 ' azote à moyenne pureté sortant de l'appareil 1, 9 bars pour l'azote ultra-pur, et 8 bars pour l'azote véhiculé par la conduite 29 Il est à noter que cette différence de pression entre les conduites 27 et 29 est favorable à la sécurité des réseaux s'ils sont intercon- nectés, l'azote le plus pur étant à la plus haute pression. En cas de panne de l'appareil 1, ou bien si la demande en azote ultra-pur dépasse les possibilités de cet appareil, on ouvre les vannes 19 et 22, et on ferme éventuellement une vanne d'arrêt 30 prévue sur la conduite 3. Du liquide du réservoir 10, épuré en produits légers par son passage dans le tronçon de distillation 13, est vaporisé en 17, épuré éventuellement en monoxyde de carbone en 20 A ou 20 B, et introduit dans la conduite 3 pour subir le même traitement d'épuration que décrit plus haut Les impuretés lourdes contenues dans l'azote liquide du réservoir 10 s'éliminent dans la colonne 11, en se rassemblant en cuve de colonne, tandis que les impuretés légères encore présentes sont éliminées dans le condenseur 23 comme expliqué plus haut au sujet du condenseur 8. Pendant ce mode de fonctionnement, le refroidissement du condenseur 23 est complété ou assuré totalement par de l'azote liquide à moyenne pureté provenant du réservoir 10 via la conduite 21. Le réservoir 10 est constamment maintenu à la pression nécessaire grâce au vaporiseur 16, au moyen d'une régulation appropriée bien connue dans la technique et non représentée. On voit que l'appareil d'épuration 2 permet de garantir de façon économique la continuité de la livraison de l'azote ultra-pur, et ce de manière très fiable puisque l'ensemble de cet appareil est entièrement statique et ne comporte aucune pièce en mouvement La seule condition à vérifier est la présence permanente d'azote liquide ordinaire, c'est-à-dire à moyenne pureté, dans le réservoir 10. REVENDICATIONS 1 Procédé de production d'azote ultra-pur sous pression, caractérisé en ce que: on produit de l'azote gazeux à moyenne pureté sensiblement sous la pression de production; on envoie cet azote à la base d'une colonne de distillation ( 11) équipée d'un condenseur de tête ( 23); on refroidit -ce condenseur de tête au moyen de liquide de cuve de la colonne détendu et éventuelle- ment d'un premier débit d'azote liquide à moyenne pureté contenu dans un réservoir de stockage ( 10); on soutire l'azote ultra-pur de production en tête de la colonne; et pendant les périodes d'arrêt de la produc- tion d'azote à moyenne pureté et pendant les périodes o la demande en azote ultra-pur est excessive par rapport à cette production, on envoie à la base de la colonne de l'azote gazeux de réserve à moyenne pureté obtenu à partir de l'azote liquide dudit réservoir de stockage, et on envoie dans le condenseur de tête ( 23) un second débit, supérieur audit premier débit, d'azote liquide de ce réservoir. 2 Procédé suivant la revendication 1, dans lequel on produit l'azote à moyenne pureté par distilla- tion d'air, caractérisé en ce qu'on épure l'air à distiller en hydrogène et en monoxyde de carbone par voie catalytique (en 9). 3 Procédé suivant la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que, pendant lesdites périodes, on soutire l'azote liquide du réservoir ( 10), on le fait passer à travers un tronçon de colonne de distillation ( 13), on vaporise une première partie du liquide issu de ce tronçon, on fait circuler de bas en haut le gaz obtenu à travers ledit tronçon de distillation, puis on l'in- jecte éventuellement dans le réservoir, et l'on vaporise le reste du liquide issu dudit tronçon ( 13) pour obtenir ledit azote à moyenne pureté de réserve, que l'on envoie à la base de la colonne ( 11). 4 Procédé suivant l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu'on épure en monoxyde de carbone l'azote de réserve (en 20 A ou 20 B) avant de l'envoyer à la base de la colonne ( 11). Procédé suivant l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'on récupère l'azote impur vaporisé dans le condenseur de tête ( 23) en tant que second produit. 6 Installation de production d'azote ultra- pur sous pression, caractérisée en ce qu'elle comprend: un appareil ( 1) de production d'azote gazeux à moyenne pureté; une colonne de distillation ( 11) équipée d'un condenseur de tête ( 23); une conduite équipée d'une vanne de détente ( 28) reliant la cuve de la colonne au condenseur de tête; et un réservoir ( 10) de stockage d'azote liquide à moyenne pureté, et des moyens de liaison ( 18, 21) pour relier sélectivement ce réservoir d'une part à la base de la colonne, et d'autre part au condenseur de tête. 7 Installation suivant la revendication 6, caractérisée en ce que l'appareil ( 1) de production d'azote à moyenne pureté comprend un compresseur d'air ( 3), un réacteur catalytique ( 9) d'épuration en hydrogène et en monoxyde de carbone, un dispositif d'adsorption ( 5) d'épuration en eau et en dioxyde de carbone, une colonne ( 7) de séparation d'air par distillation produisant l'azote à moyenne pureté en tête, et une ligne d'échange thermique ( 6) assurant par échange de chaleur indirect le refroidissement de l'air jusqu'au voisinage de son point de rosée et le réchauffement des produits sortant de la colonne de séparation ( 7). 8 Installation suivant la revendication 6 ou 7, caractérisée en ce qu'au réservoir de stockage ( 10) est associé un tronçon ( 13) de colonne de distillation comportant une entrée supérieure de liquide reliée au fond du réservoir, une sortie supérieure de gaz reliée éventuellement à la partie-supérieure du réservoir, une entrée inférieure de gaz, et une sortie inférieure de liquide reliée d'une part, via un premier vaporiseur ( 16), à l'entrée inférieure de gaz, et d'autre part, via un deuxième vaporiseur ( 17), à la base de la colonne par une conduite ( 18) équipée d'une vanne d'arrêt ( 19). 9 Installation suivant l'une quelconque des revendications 6 à 8, caractérisée en ce que lesdits moyens ( 18) reliant le réservoir à la base de la colonne comprennent un filtre ( 20 A, 20 B) d'épuration de l'azote de réserve en monoxyde de carbone.