FR 2688641 A1 19930917 FR 9203013 A 19920313 DESCRIPTION Domaine technique La présente invention concerne un amp Lifi- cateur optique intégré et un Laser mettant en oeuvre un tel amplificateur. L'invention trouve des applications générales en télécommunications optiques. Etat de la technique antérieure Dans le domaine des télécommunications optiques, il est fait usage depuis quelques années d'amplificateurs à fibres optiques, particulièrement avantageux parce qu'ils améliorent considérablement les aspects systèmes. On peut donc s'attendre dans les années à venir à une influence très forte de ce type de compo- sants combinés entre eux pour former des dispositifs optiques intégrés, à condition bien sûr de savoir les réaliser Par exemple, l'insertion d'un tel ampli- ficateur dans un diviseur de I à N permet d'obtenir N signaux identiques sans perte de puissance entre la voie d'entrée et chacune des voies de sortie prises individue lement. Dans le domaine des télécommunications optiques des amplificateurs de ce type permettent de transmettre des données optiques sur de grandes distances, avec une atténuation très faible. De tels amplificateurs sont décrits dans les articles suivants: E K Mwarania, L Reekie, J Wang, J S. Wilkinson, "Low-threshold monomode ion-exchanged waveguide lasers in neodymium-doped BK- 7 glass", Electronics Letters, 2 août 1990, volume 26, N 16. Cet article décrit des lasers réalisés avec des guides optiques en verre pour lesquels on utilise des verres spéciaux à dopage terre rare, en général erbium On réalise ces guides en utilisant les méthodes connues d'échange d'ions Dans de telles méthodes le verre est dopé à la fabrication; il n'est donc pas possible d'obtenir une plaque ne comprenant que certaines zones limitées qui soient dopées: toute la plaque est obli- gatoirement dopée; Yoshinori Hibino, Takeshi Kitagawa, Makoto Shimizu, Fumiaki Hanawa et Akio Sugita, "Neodymium-doped silica optical waveguide laser on silicon substrate", IEEE Photonics Technology Letters, volume 1, NO 11, novembre 1989; K Kitagawa, K Hattori, M Shimizu, Y Ohmori et M Kobayashi, "Guided-wave laser based on erbium-doped silica planar lightwave circuit", Electronics Letters, 14 février 1991, volume 27, No 4 Cet article, ainsi que le précédent, décrit un laser avec des guides optiques en silice dopée obtenue par hydrolyse à la flamme Le dopant, erbium pour des longueurs d'onde au voisinage de 1,54 um ou néodyme pour des longueurs d'ondes au voisinage de 1,06 um, est introduit par trempage dans une solution de type chlorure d'erbium avant l'étape de vitrification. Cette opération est rendue possible du fait de la consistance poreuse de la silice (aspect de suie) avant l'étape de vitrification; A Polman, A Lidgard, D C Jacobson, P.C Becker, R C Kistler, G E Blonder et J M Poate, " 1.54 um room-temperature luminescence of Me V erbium- implanted silica glass", Applied Physical Letters 57, 24 décembre 1990 Cet article décrit une méthode d'implantation d'ions erbium sur des guides optiques en si Lice par la technique CVD ("Chemical Vapor Deposition") Mais l'utilisation d'une telle méthode est difficilement envisageable pour la réalisation d'amplificateurs intégrés pour les raisons suivantes: 1/ l'implantation d'erbium, ion lourd, à forte profondeur (plusieurs micromètres) nécessite des énergies d'implantation considérables Par exemple, dans l'article cité précédemment, avec une énergie de 9,5 Me V la profondeur Rp atteinte est de l'ordre de 1,25 pm et les effets de l'implantation ne sont notables qu'au voisinage de cette profondeur Rp, sur une largeur 6 Rp de l'ordre de 0,55 pum, 2/ les guides en silice dopée pour télécommunications optiques utilisent des variations d'indice "coeur- substrat" faibles (quelque 10-3 à 10-2) et l'épais- seur du coeur est grande ( 4 à-'8 Jm typiquement) afin de présenter une bonne compatibilité avec les fibres optiques monomodes. Dans de telles conditions, si l'on veut employer une implantation ionique pour réaliser des amplificateurs optiques par dopage terre rare sur les guides en silice CVD, il faut employer des implan- tations multiénergies de plusieurs Me V qui nécessitent des équipements très lourds et sont d'un coot prohibitif. Exposé de l'invention Pour résoudre ces différents problèmes, l'invention propose de réaliser un amplificateur optique intégré par implantation d'ions terre rare sur un guide d'onde utilisant un matériau à très forte différence d'indice AN par rapport aux matériaux adjacents. On rappelle qu'une structure guide d'onde consiste généralement en une couche tampon, une couche guide et une couche supérieure empi Lées sur un substrat, la couche guide ayant un indice de réfraction réel supérieur à celui des couches tampon et supé- rieure La couche supérieure peut, dans certains cas, être remplacée par de l'air. La présente invention a pour objet un amplificateur optique intégré comprenant sur un substrat en silicium un guide principal qui reçoit, en une première extrémité, un signal d'entrée, et qui délivre, en une seconde extrémité, un signal de sortie, caractérisé en ce que ce guide principal com- porte une zone intermédiaire formant un guide d'un premier type comprenant une couche guidante utilisant un matériau à très forte différence d'indice par rapport aux matériaux adjacents, entourée de deux zones extérieures formant chacune un guide d'un second type permettant de rendre le guide du premier type compatible avec une fibre optique monomode standard, les transitions entre les deux types de zones étant des transitions adiabatiques, et en ce que la zone intermédiaire comprend une zone amplificatrice dans laquelle La couche guidante est dopée ou codopée par implantation ionique de terre rare. Avantageusement le guide du premier type comprend une couche supérieure et une couche inférieure en silice et une couche guidante en nitrure de silicium (Si 3 N 4), ou en oxynitrure de silicium (Si Ox Ny) Le guide du second type comprenant une couche supérieure et une couche inférieure en silice (Si O 2), tous les types de dopage sont possibles à condition que le coeur du guide du second type ait un indice supérieur à celui des couches inférieure et supérieure, cette condition étant réa Lisée en dopant convenablement Lesdites couches. Avantageusement si L'on veut émettre ou amp Lifier La Lumière au voisinage de 1,55 pjm de Longueur d'onde, le dopage terre rare est un dopage à L'erbium La couche guidante dans La zone intermédiaire est en nitrure de silicium d'épaisseur comprise entre 0,04 et 0,3 Jm typiquement pour Les Longueurs d'onde qui intéressent Les télécommunications optiques Une implantation de quelques centaines de Ke V d'ions terre rare suffit alors à faire pénétrer L'ion en question sur une profondeur très voisine des dimensions du guide La couche guidante dans chaque zone extérieure peut être réalisée en silice dopée par dopage de phosphore, de bore, d'azote, de germanium ou de titane; ou en silice non dopée, les zones inférieure et supérieure étant alors dopées au fluor avec des concentrations moins fortes que celles utilisées dans la couche guidante. Dans une première configuration, ledit amplificateur comprend un guide secondaire couplé au guide principal dans tout ou partie de sa zone intermédiaire, ce guide secondaire véhiculant au moins une onde de pompe Chaque guide secondaire comprend une première partie, couplée à la zone intermédiaire du guide principal, formée d'un guide du premier type, et au moins une seconde partie formée d'un guide du second type, reliée à La première partie par une transition adiabatique Dans une telle configuration, La zone amp Lificatrice est implantée dans les guides principal et secondaire au niveau de Leur partie coup Lée. Dans une seconde configuration, l'amplifi- cateur comprend deux guides secondaires, la zone intermédiaire du guide principal étant choisie pour optimiser l'amplification, la zone amplificatrice étant implantée dans le guide principal au niveau de cette zone intermédiaire Avantageusement, dans cette zone le guide principal est réalisé par un guide ayant la forme d'une spirale, afin d'augmenter la longueur d'amplification sans augmenter notablement le volume du composant. Dans une autre configuration avantageuse, on réalise un laser mettant en oeuvre un amplificateur selon l'invention, une zone amplificatrice étant située entre deux réseaux optiques qui permettent un retour sur elle-même de la longueur d'onde amplifiée. Brève description des dessins La figure I illustre une première confi- guration d'un amplificateur optique intégré conforme à l'invention; la figure 2 illustre une seconde configu- ration d'un amplificateur optique intégré conforme à l'invention; la figure 3 illustre une variante de la seconde configuration représentée à la figure 2; la figure 4 illustre une vue en coupe transversale de la première configuration selon un plan IV-IV représenté à la figure 1; les figures 5 à 7 illustrent plusieurs caractéristiques de l'amplificateur selon l'invention; la figure 8 illustre un laser mettant en oeuvre un amplificateur selon l'invention. Exposé détaillé des modes de réalisation Dans la suite de la description, la structure guide Si/Si O 2/Si 3 N 4/Si O 2 comprenant une couche supérieure et une couche inférieure en silice et une couche guidante en nitrure de silicium sera appelée structure OI 51, la structure guide Si/Si O 2/Si O 2 haut indice/Si O 2 comprenant une couche supérieure et une couche inférieure en silice et une couche guidante en silice dopée avec des dopants augmentant son indice de réfraction sera appelée structure OI 52. L'amplificateur optique intégré de l'invention est réalisé par implantation ionique de terre rare, par exemple erbium, sur un guide de type OI 51 qui utilise un matériau à très forte différence d'indice AN par rapport aux matériaux adjacents. En effet, on a: nsi O 2 c 1,45 n Si 3 N 4 e 2 L'erbium est utilisé car il permet une amplification aux longueurs d'ondes utilisées en télé- communication optique: A 1,54 pm Mais il est possible d'utiliser d'autres terres rares, ou d'uti- liser des codopages tels que erbium-ytterbium. L'amplificateur représenté sur la figure 1 est réalisé sur un substrat 10 Il comprend un guide principal 11 véhiculant le signal à amplifier (longueur d'onde As) auquel est couplé un guide secondaire 12 véhiculant une onde de pompe (longueur d'onde Ap) dans chaque sens. Le guide principal, disposé ici entre une fibre optique monomode d'entrée 13 et une fibre optique monomode de sortie 14, comprend une zone inter- médiaire 15 oyant une structure de type OI 51 située entre deux zones 16 et 17 ayant une structure de type OI 52 Les deux transitions 18 et 19 entre ces deux types de zones sont des transitions adiabatiques. Le guide secondaire, disposé ici entre deux diodes laser 20 et 21 comprend, lui aussi, une zone intermédiaire 22 ayant une structure de type OI 51 située entre deux zones 23 et 24 ayant une structure de type OI 52 Les deux transitions 25 et 26 entre ces deux types de zones sont des transitions adiabatiques. Dans cette première configuration l'utili- sation d'un coupleur bidirectionnel n'est pas obliga- toire: elle permet seulement d'augmenter l'énergie de pompe et donc d'obtenir une amplification plus forte sur des distances d'interaction plus courtes. Dans la seconde configuration représentée à la figure 2, le coupleur bidirectionnel 11-12 de la figure 1 est remplacé par deux coupleurs séparés 11-31, 15-32. Le choix de l'une ou l'autre de ces deux configurations dépend des coefficients d'amplification gs (pour la longueur d'onde du signal à amplifier) et d'absorption ap (pour la longueur d'onde de pompe p) et des caractéristiques des coupleurs désirés. Si les coefficients d'amplification et d'absorption gs et ap sont grands et donc si la longueur d'absorption LA du faisceau pompe (LA 1/ cep) est faible (quelques millimètres au moins), la première configuration, représentée à la figure 1, est plus avantageuse. Si au contraire la longueur d'absorption LA est grande (plusieurs centimètres ou plus), la seconde configuration, représentée à la figure 2, avec deux coupleurs indépendants est plus favorable. Dans la seconde configuration la zone intermédiaire 33 peut favorablement être choisie pour optimiser l'amplification Si l'amplification est faible cette zone 33 aura intérêt à être la plus grande possible Elle pourra par exemple prendre la forme d'un guide "spirale" tel que représenté sur la figure 3, qui permet d'obtenir de grandes longueurs de guidage, par exemple de l'ordre du mètre, sans augmen- tation notable de la taille du dispositif. La structure représentée à la figure 4 est une vue en coupe du coupleur utilisé dans les deux configurations, par exemple selon le plan de coupe IV-IV de la figure 1 Le substrat 35 est en silicium monocristallin La couche tampon 36 est en oxyde de silicium d'indice N 2 de 2 à 15,m d'épaisseur, obtenue par oxydation thermique haute pression du substrat ou par dépôt chimique en phase vapeur assisté par un plasma (PECVD) La couche guide 37 est une couche de nitrure de silicium de 50 à 500 nm d'épais- seur, obtenue par dépôt chimique en phase vapeur basse pression (LPCVD) ou assisté par un plasma (PECVD). Les deux surplots 38 de confinement latéral de la lumière sont des couches d'oxyde de silicium d'indice nl voisin ou égal à N 2, de 0,5 à 5 pm déposées par PECVD ou LPCVD La couche de diélectrique 39 est une couche diélectrique d'indice n D silicium un indice voisin de 2. Le fait d'associer un guide de type OI 51 à un guide de type OI 52, via une transition adiabatique, permet de rendre un guide de type OI 51 compatible avec une fibre optique monomode standard. Dans un guide de type OI 52, c'est-à-dire de structure Si/Si O 2/Si O 2 haut indice/Si O 2, l'oxyde de silicium ou silice (Si O 2) haut indice peut être obtenu par dopage de bore, d'azote, de phosphore, germanium ou titane ou par absence de dopage si la silice environnante est dopée par un dopant qui diminue l'indice de réfraction (fluor). Les zones de transition adiabatiques, qui peuvent être réalisées comme décrit dans le document "Applied Physical Letters" 55 ( 23) du 4 décembre 1989, pages 2389-2391, de Y Shani et al. "Efficient coupling of a semiconductor laser to an optical fiber by means of a tapered waveguide on silicon", permettent de coupler efficacement ( 90 % ou plus) de la lumière d'un guide du type OI 51 vers un guide de type OI 52 correspondant et inversement. Une transition de ce type est représentée sur les figures 5 a et 5 b, respectivement en représen- tation schématique et en coupe longitudinale. La transition représentée permet donc par exemple de passer d'un guide 11 de type OI 51 à un guide 16 de type OI 52 On retrouve sur ces figures a et 5 b les couches déjà représentées en figure 4. Le guide 11 comporte un substrat 35 en silicium monocristallin recouvert d'une couche de confinement inférieure 36 en oxyde de silicium (Si O 2). Sur cette couche on trouve une couche guidante 37 en nitrure de silicium définissant le guide 11, et deux couches successives de confinement, la première 38 ayant un dopage tel que l'indice soit supérieur à celui de la couche 36 et celui de la couche 39. Dans chaque guide 11 ( 16), et également dans la zone de transition 18, la couche de guidage présente un indice de réfraction supérieur à celui des couches qui l'entourent. Dans la zone adiabatique la couche guidante 37 en nitrure de silicium a une largeur qui diminue progressivement vers zéro. Le guide OI 52 peut être gravé ou non suivant le pointillé à la fin de la zone de transition. Dans les deux configurations représentées aux figures 1 et 2 les transitions adiabatiques 18 1 1 et 19 sont indispensables car on doit recoupler la lumière sur des fibres optiques monomodes, par exemple des fibres optiques 13 et 14 Pour réaliser ces con- nexions fibres optiques-guides optiques, on peut avan- tageusement utiliser le procédé décrit dans la demande de brevet français N 90 02575 du 1 er mars 1990. Par contre les transitions adiabatiques et 26 ne sont pas indispensables Mais elles permettent de coupler les diodes laser de pompe 20 et 21 dans les guides 23 et 24 de type OI 52, ce qui a pour effet de faciliter le couplage du point de vue sensibilité de positionnement IL est cependant tout à fait envisageable de supprimer ces deux transitions 25 et 26 et d'utiliser un couplage direct entre les diodes de pompe 20 et 21 et le guide 22 (ou l'un des guides 31 et 32) de type OI 51. Dans un exemple de réalisation de l'ampli- ficateur optique intégré selon l'invention, la zone intermédiaire 15 a les caractéristiques suivantes: coeur en nitrure de silicium d'épaisseur 0,16 pm, implantation erbium. On peut utiliser une énergie 300 Ke V, dose 1014 cm-2 à 1015 cm-2 Rp 0,11 pm A Rp c 0,005 um On peut également réaliser une implantation multiénergie telle que: E 1 50 Ke V E 2 c 120 Ke V E 3 300 Ke V Une telle implantation couvre à peu près toute l'épaisseur du guide et assure donc une concen- tration homogène et forte d'erbium dans tout le coeur et une amplification efficace de la lumière dans la bande spectrale correspondante. Un recuit reste cependant nécessaire pour éliminer les défauts dus au bombardement conique et rendre les ions terre rare actifs. Les paramètres de tels recuits sont connus et se situent à des températures de l'ordre de 600 à 1000 C pendant des durées de 30 ' à 3 heures suivant le degré d'amélioration souhaité et de la dose d'implantation choisie. Pour simplifier l'explication qui va suivre, seule la première configuration sera prise en compte, le coupleur considéré étant alors unidi- rectionnel Une explication analogue pourrait être tout aussi bien développée pour la première configu- ration avec un coupleur bidirectionnel, ou pour la seconde configuration. la longueur d'onde du signal optique à amplifier As est ici égale ou voisine de 1,54 pm. La longueur d'onde de pompe Ap peut être choisie assez librement dans le spectre d'absorption du nitrure de silicium Si 3 N 4 dopé à l'erbium. Il n'est bien sûr pas possible que les coupleurs puissent, par exemple, garder en permanence toute l'énergie du signal à la longueur d'onde signal As dans le guide principal 11 et d'amener toute l'énergie de pompe à la longueur d'onde de pompe Ap du guide secondaire 12 au guide principal 11 En pratique, le coupleur réalise un échange à la fois pour les longueurs d'onde As et Ap. Si on néglige les coefficients de perte ap et d'amplification gs, la réponse d'un coupleur est de la forme suivante bien connue: 1/ pour la longueur d'onde de signal As i dans le guide principal: IS = I So cos 2 Ksz dans le guide secondaire: Is= I So sin 2 Ksz 2/ pour le longueur d'onde de pompe p: i dans le guide principal:P Ip o sin 2 Kpz dans le guide secondaire: Ip = Ipo Cos 2 Kpz Ks et Kp sont les coefficients de couplage aux longueurs d'ondes As et Rp. Les longueurs de couplage correspondantes, c'est-à-dire les longueurs pour lesquelles il y a échange complet d'énergie entre les guides principal et secondaire, sont Lp= T/2 Kp Ls= l T/2 Ks Etant donné que la longueur d'onde de pompe Ap est plus faible que la longueur d'onde de signal As, la longueur de couplage Lp sera généralement plus grande que la longueur de couplage Ls pour une configuration de coupleur donnée On choisit avantageusement la longueur d'interaction du coupleur LI (distance pour lequel il y échange d'énergie lumineuse entre les deux guides) telle que: LI_ Lp = 2 Ls Les échanges d'énergie entre les guides principal et secondaire sont donc alors schématisés par le diagramme de la figure 6. Sur la longueur LI, l'énergie de signal ( -s) passe du guide principal 11 au guide secondaire 12, puis revient dans le guide principal 11. Sur la même longueur LI l'énergie de pompe ( Xp) passe du guide secondaire 12 au guide principal 11 suivant les formules données plus haut (si ap et gs sont faibles, ce qui sera en général le cas). On peut considérer l'exemple chiffré suivant (en faisant référence à la figure 4): avec As= 1,55 pm Ap= 0,98 Jum on obtient nsio 2 = 1,45 à 0,98 pm; et nsi O 2 = 1,44 à 1, 55 Pm n Si 3 N 4 = 1,98 1,986 à,98 m 1,976 à 1,55 pm n D=l (air) W=l m S= 0, 8 m Lp=LI= 88,6 um => LI sera plus important avec n D= 1,40, S de l'ordre de 1 à 8,m et W de 1 à 8 Pm. Ceci n'est qu'un exemple, il existe une infinité de solutions. Il est clair que les zones d'implantation utiles seront toujours celles o il y a à la fois le faisceau de signal et le faisceau de pompe. Dans la première configuration de la figure 1, l'implantation a lieu au niveau du coupleur et affecte à la fois les guides principal 11 et secondaire 1 2. Dans la deuxième configuration de la figure 2, la zone implantée sera favorablement la zone inter- médiaire 33 et n'affecte que le guide principal 11. Bien entendu des configurations intermé- diaires peuvent être utilisées pour tenir compte de cas pratiques qui se situent entre les configurations des figures I et 2 avec des zones intercoupleur de longueur L Zi C pas très différentes des longueurs d'interaction des coupleurs LI. Des implantations localisées convenablement entre les guides 1 et 2 peuvent alors être favorables. Si LZIC LI on peut avoir la configuration représentée à la figure 7 Sur cette figure les zones implantées peuvent avoir l'emplacement des zone hachurées. Dans toutes les configurations selon l'in- vention, la zone amplificatrice est avantageusement implantée sur les portions de guide o les ondes de signal et de pompe sont présentes de manière notable. Si l'une ou l'autre de ces ondes est absente ou simplement faible dans la portion considérée, l'implan- tation ionique ne fera qu'augmenter l'absorption d'une ou de ces deux ondes, ce qui est préjudiciable au rendement global de l'amplificateur. Pour réaliser la zone intermédiaire 15 du guide principal 11, le guide le plus favorable est de type OI 51 avec un coeur en nitrure de silicium. Toutefois, on peut envisager un procédé analogue avec des guides de coeur Si Ox Ny dont l'indice serait suffi- samment élevé (n Si Ox Ny > 1,7). L'amplificateur de l'invention décrit précédemment peut être utilisé pour réaliser un laser, tel que représenté sur la figure 8 On introduit alors un éLément optique capable de jouer le rôLe de résona- teur et l'on supprime le signal de longueur d'onde As. Avantageusement les éléments résonateurs peuvent être réalisés par des réseaux 41 et 42 dont le pas p est calcu Lé pour assurer un retour de la lumière amplifiée dans le milieu amplificateur 40 Le signal optique en entrée est véhiculé par un guide 44 de type OI 52 et transite par une transition adiabatique 45 avant d'atteindre le réseau 41 Le signal optique en sortie du second réseau 42 est véhiculé par un guide 46 de type OI 52 après passage dans une transition adiabatique 47 En pratique, il est bien connu que le pas p est égal à: p= RA/2 n A AA étant ici la longueur d'onde de lumière émise dans la partie amplificatrice 40 (qui aura donc le même rôle que As dans le cas précédent) et n A l'indice effectif du mode guide dans le guide de lumière. Bien entendu dans cette configuration les coupleurs ne sont plus nécessaires car il n'y a plus de signal de longueur d'onde As mais seulement un signal de sortie à la longueur d'onde AA fourni par la partie amplificatrice de longueur LA. La longueur d'onde de pompe Ap peut donc être directement injectée dans le guide principal suivant les moyens décrits précédemment. les réseaux 41 et 42 permettent un retour sur elle-même de la longueur d'onde amplifiée A mais transmettent intégralement le signal de pompe Ap. La zone implantée amplificatrice 40 est comprise entre ces réseaux 41 et 42 et sa longueur LA est optimisée en fonction du coefficient d'amplifi- cation g désiré En pratique, on s'arrange pour que cette longueur LA corresponde à peu près à la longueur sur laquelle le coefficient g reste positif, c'est-à-dire la longueur pour laquelle le faisceau de pompe produit une inversion de population suffisante pour assurer un gain d'amplification supérieur aux pertes de propagation du faisceau à amplifier. Dans le cas de l'amplificateur de l'in- vention, l'implantation d'erbium est favorable car elle conduit à une amplification de lumière autour de la longueur d'onde 1,54/Jm qui est celle choisie pour les communications optiques Dans le cas des lasers d'autres longueurs d'ondes d'émission peuvent être intéressantes: l'implantation d'erbium peut donc être remplacée par une implantation d'un autre élément dans la mesure o la lumière émise en excitant les transitions radiatives par la lumière de pompe se situe dans une zone de transparence des guides considérés non implantés. IL est bien entendu que la présente in- vention n'a été décrite et représentée qu'à titre d'exemple préférentiel et que l'on pourra remplacer ses éléments constitutifs par des éléments équivalents sans, pour autant, sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1 Amplificateur optique intégré comprenant sur un substrat ( 10) en silicium, un guide principal ( 11) qui reçoit, en une première extrémité, un signal d'entrée et qui délivre, en une seconde extrémité, un signal de sortie, caractérisé en ce que ce guide principal ( 11) comporte une zone intermédiaire ( 15) formant un guide d'un premier type comprenant une couche guidante ( 37) utilisant un matériau à très forte différence d'indice par rapport aux matériaux adjacents ( 36, 39) entourée de deux zones extérieures ( 16, 17) formant chacune un guide d'un second type permettant de rendre le guide du premier type compa- tible avec une fibre monomode ( 13, 14), les transitions ( 18, 19) entre les deux types de zones étant des transitions adiabatiques, et en ce que la zone intermé- diaire ( 15) comprend une zone amplificatrice dans laquelle la couche guidante est dopée ou codopée par implantation ionique de terre rare. 2 Amplificateur selon la revendication 1, caractérisé en ce que le guide du premier type comprend une couche supérieure ( 39) et une couche inférieure ( 36) en silice et une couche guidante ( 37) en nitrure de silicium ou en oxynitrure de silicium Si Ox Ny, et en ce que chaque guide du second type comprenant une couche supérieure ( 39) et une couche inférieure ( 36) en silice non intentionnellement dopée, tous les types de dopage sont possible à condition que le coeur du guide du second type ait un indice supérieur à celui des couches inférieure et supérieure, cette condition étant réalisée en dopant convenablement lesdites couches. 3 Amplificateur selon la revendication 2, caractérisé en ce que le dopage terre rare est un dopage à l'erbium. 4 Amplificateur selon la revendication 2, caractérisé en ce que la couche guidante ( 37) dans la zone intermédiaire ( 15) est en nitrure de silicium d'épaisseur comprise entre 0,04 et 0,3 micromètres. 5 Amplificateur selon La revendication 2, caractérisé en ce que la couche guidante ( 38) dans chaque zone extérieure ( 16, 17) est réalisée en silice dopée par dopage de phosphore, de germanium ou de titane, de bore et d'azote. 6 Amplificateur selon la revendication 2, caractérisé en ce que la couche guidante ( 38) dans chaque zone extérieure ( 16, 17) est réalisée en silice non dopée, les zones inférieure et supérieure étant dopées au fluor avec des concentrations moins fortes que celles utilisées dans la couche guidante. 7 Amplificateur selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit amplificateur comprend en outre sur le substrat au moins un guide secondaire ( 12) couplé au guide principal ( 11) dans tout ou partie de sa zone intermédiaire, ce guide secondaire véhi- culant au moins une onde de pompe. 8 Amplificateur selon la revendication 7, caractérisé en ce que chaque guide secondaire ( 12; 31, 32) comprend une première partie couplée à la zone intermédiaire principale, formée d'un guide du premier type. 9 Amplificateur selon la revendication 8, caractérisé en ce que chaque guide secondaire ( 12; 31, 32) comporte au moins une seconde partie formée d'un guide du second type reliée ( 23, 24; 31, 32) à la première partie par une transition adiabatique ( 25, 26). Amplificateur selon l'une quelconque des revendications 7 à 9, caractérisé en ce qu'il comprend un seul guide secondaire ( 12), la zone ampli- ficatrice étant implantée dans les guides principal ( 11) et secondaire ( 12) au niveau de Leurs parties couplées. 11 Amplificateur selon la revendication , caractérisé en ce que la zone amplificatrice est implantée dans Le guide principal ( 11) au niveau de cette zone intermédiaire ( 33) 12 Amplificateur selon l'une quelconque des revendications 7 à 9, caractérisé en ce qu'il comprend deux guides secondaires ( 31, 32), La zone intermédiaire du guide principal étant choisie pour optimiser l'amplification. 13 Amplificateur selon l'une quelconque des revendications 11 ou 12, caractérisé en ce que le guide principal ( 11) dans la zone intermédiaire est réalisé par un guide ( 33) ayant la forme d'une spirale. 14 Laser mettant en oeuvre un amplifi- cateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que le zone amplificatrice ( 40) est située entre deux réseaux optiques ( 41, 42) qui permettent un retour sur elle-même de la longueur d'onde amplifiée.