FR 2691289 A1 19931119 FR 9205922 A 19920515 DISPOSITIF SEMICONDUCTEUR A EFFET DE CIIAMP, PROCEDE DE REALISATION ET APPLICATION A UN DISPOSITIF A COMMANDE MATRICIELLE L'invention concerne un dispositif semiconducteur à effet de champ et plus particulièrement un transistor à effet de champ du type MOS (Metal/ Oxyde/ Semiconducteur) fabriqué dans du silicium monocristallin ou polycristallin sur isolant Elle concerne également un procédé de réalisation de ce dispositif et une application à un dispositif à commande matricielle. La structure proposée permet de réduire les courants de fuite à l'état bloquant Sans que ceci soit limitatif, l'invention peut avantageusement être appliquée aux transistors à base de silicium polycristallin, et en particulier à ceux destinés à être utilisés pour la commande des pixels d'écrans plats à cristaux liquides et à matrice active. La figure 1 représente un réseau de caractéristiques de transfert typiques d'un transistor de type MOS à canal de type N fabriqué à partir de silicium polycristallin déposé sur substrat de verre ou de quartz. Cette figure est tirée de l'article de Keiji TANAKA et Collaborateurs, publié dans les "Extended Abstracts of the 22nd ( 1990 International) Conference on Solid State Devices and Materials" Sendai 1990, pp 1011-1014 Il apparaît que le courant du transistor à l'état bloquant est d'autant plus important que la tension de drain VD est élevée, et que la valeur absolue de la tension de grille VG est élevée. Les figures 2 a à 2 d illustrent une structure de transistor à effet de champ connue dans la technique et ses différents états de conduction Un tel transistor possède, dans un substrat semiconducteur de type p, deux zones dopées de type N Ces zones de type N tiennent lieu de drain D et de source S et sont donc séparées par une zone de type p. Au-dessus de cette zone de type p est localisée une couche d'isolant IS sur laquelle est située une électrode métallique de grille G. Sur les figures 2 a et 2 b, l'application d'une tension positive sur la grille induit la formation d'une couche d'inversion dans le canal, la référence des tensions étant la source qui est connectée à la terre; le transistor est passant Sur les figures 2 c et 2 d, on a représenté le cas o la tension de grille est négative, ce qui induit la formation d'une couche d'accumulation dans le canal Dans ces conditions, la structure drain-source est constituée de deux jonctions tête- bêche et le transistor est bloquant. Pour cette dernière configuration, on constate cependant que plus VG est élevée en valeur absolue, plus la concentration de trous dans la zone d'accumulation est élevée c'est-à-dire, à V constant, plus le champ électrique dans la D jonction drain-canal (ainsi d'ailleurs que dans la jonction canal-source) est élevé De même, à VG constant (mais toujours négatif), plus VD est élevé, plus le champ électrique dans la jonction drain-canal est aussi élevé Si l'on suppose que le mécanisme de fuite à travers la jonction dépend du champ électrique (ce que l'on va confirmer dans la suite), on comprend mieux la forme des courbes de la figure 1. De façon générale, les régions de contacts de source et de drain (région N sur les figures 2 a et 2 c) sont fabriquées par implantation ionique, éventuellement autoalignées par la grille En ce qui concerne les matériaux semiconducteurs tels que silicium sur isolant, les températures de traitement thermique (oxydation, recuit d'implantation) sont toujours maintenues basses ( 950 'C pour des substrats isolants réfractaires tels que saphir, quartz ou silicium oxydé et ' 600 C pour des substrats en verre) pour des raisons complexes de multiplication de défauts, de changement de type du silicium déposé ou tout simplement de ramollissement du substrat Il en résulte que le recuit d'implantation est imparfait, ce qui conduit à la génération de niveaux profonds dans le gap du semiconducteur. Dans ces conditions, un examen des figures 3 a et 3 b permet de mieux comprendre le mécanisme de fuites électriques à travers une jonction du type drain-canal polarisée en inverse. On a représenté sur la figure 3 a la structure de bande du semiconducteur avec des niveaux profonds situés en milieu du gap Pour des raisons didactiques on a représenté une bande de niveaux profonds DE, dont l'introduction sera supposée consécutive à un recuit d'implantation imparfait. Sur la figure 3 b, on a représenté une jonction de type drain-canal polarisée en inverse (situation décrite sur les figures 2 c et 2 d); on constate qualitativement que plus la polarisation inverse est élevée (donc plus le champ électrique est élevé), plus la probabilité d'effet tunnel assisté par défauts à travers la jonction est élevée Afin de minimiser le courant de fuite, on a donc intérêt à diminuer soit le champ électrique dans la jonction, soit la densité de niveaux profonds dans cette même jonction On peut diminuer le champ électrique en effectuant un dopage graduel côté drain, de manière à obtenir une structure dite LDD (Ligthly Doped Drain) L'efficacité de ce type de structure, représentée sur la figure 4, a été démontrée en particulier par Keiji NAKAZAWA et Collaborateurs dans un article publié dans "Society of Information Display 1990 Digest", p 311. L'inconvénient cependant de ce type de structure réside dans la diminution du courant des transistors à l'état passant (diminution de 1 à 2 ordres de grandeur) à cause de l'effet de résistance série dû à la région faiblement dopée. Afin de diminuer les densités de défauts dans la jonction, une seconde approche peut être utilisée, qui consiste à déporter la jonction drain-canal hors de la région ou a lieu l'implantation ionique. Cette deuxième approche, qui vise à diminuer la densité de défauts d'implantation résiduels dans la zone de la jonction drain-canal, a été étudiée par K TANAKA et Collaborateurs (déjà cités) ainsi que par TiaoYuan HUANG et Co U (dans un article paru dans IEEE Electron Device Letters, Vol 11, n'11, Novembre 1990, p 541) Afin de déporter les régions de contacts ohmiques de source et de drain, sans implantation ionique, les auteurs cités ci-dessus utilisent une deuxième grille métallique, qui permet de mettre en inversion les régions du canal comprises entre la zone implantée et le bord de grille, de part et d'autre de la grille La figure 5 schématise la structure du transistor utilisé par TANAKA dans le document cité précédemment L'application d'une tension appropriée sur la grille secondaire permet de mettre en inversion les parties du canal comprises entre la grille principale et les zones de source et de drain Cependant l'utilisation de cette structure pose quelques problèmes pratiques, à savoir: 1 Du fait de l'épaisseur relativement importante du diélectrique d'isolation, la tension à appliquer sur la grille secondaire est élevée, de l'ordre de 30 à 60 V. 2 Le transistor devient un dispositif à quatre électrodes, ce qui peut poser des problèmes de connectique. 3 Si l'on relie la grille secondaire à l'électrode de drain, ce qui vise à résoudre le problème de connectique, le transistor ne sera pas passant pour toutes les valeurs de tension de drain (à tension de grille positive comme mentionné dans le document TANAKA précédent) il faut donc pratiquement envisager une polarisation distincte de la grille secondaire. La présente invention permet d'éviter l'utilisation d'une quatrième électrode ainsi que l'utilisation d'une liaison drain-grille secondaire Elle permet de plus d'obtenir un transistor passant pour n'importe quelle valeur positive de tension de grille (dans le cas d'un transistor à canal N tels que représenté en figures 2 a et 2 c). L'invention concerne un dispositif semiconducteur à effet de champ comprenant une zone de source et une zone de drain en matériau semiconducteur dopées d'un premier type et séparées par un canal en matériau semiconducteur intrinsèque ou dopé d'un deuxième type, caractérisé en ce qu'il comporte au moins une grille secondaire, sans connexion extérieure chargée électriquement à un niveau flottant sensiblement déterminé, cette grille secondaire étant située dans un plan parallèle au canal et en regard de celui-ci. Plus particulièrement, l'invention concerne un dispositif à effet de champ comprenant une zone de source et une zone de drain en matériau semiconducteur dopées d'un premier type séparées par un canal en matériau semiconducteur dopé d'un deuxième type ou bien intrinsèque, dont l'état de conduction est commandé par une grille principale, caractérisé en ce qu'il comporte au moins une grille secondaire chargée électriquement à un niveau flottant sensiblement déterminé ou bien comportant une densité contrôlée de charges fixes, cette grille étant située dans un plan parallèle au canal, en regard du canal et isolé de celui-ci, et à proximité du drain. L'invention concerne également un procédé de réalisation d'un transistor à effet de champ, caractérisé en ce qu'il comprend la réalisation sur un substrat d'une couche de matériau semiconducteur comportant deux zones de source et de drain dopées d'un type déterminé reliée par un canal dopé d'un autre type ou bien intrinsèque et de deux grilles secondaires situées au-dessus du canal, à proximité chacune d'une zone de source ou de drain puis d'une grille principale située dans une zone dont la projection dans le plan du canal est sensiblement entre les grilles secondaires; la jonction source- canal ou la jonction drain-canal ou les deux jonctions étant ensuite fortement polarisées temporairement en inverse, de manière à venir charger les grilles secondaires flottantes, par injection de porteurs à travers le diélectrique d'isolation. Les différents objets et caractéristiques de l'invention apparaîtront plus clairement dans la description qui va suivre faite à titre d'exemple en se reportant aux figures annexées qui représentent: les figures i à 5, des dispositifs connus dans la technique et décrits dans ce qui précède; les figures 6 a et 6 b, un premier exemple de réalisation d'un dispositif selon l'invention; la figure 7, un deuxième exemple de réalisation d'un dispositif selon l'invention; les figures 8 a à 8 i, un procédé de réalisation du dispositif des figures 6 a et 6 b; les figures 9 à 9 g et 10 a à l Og, deux variantes selon le procédé des figures 8 a à 8 i; les figures lia à 11 g, un procédé de réalisation du dispositif de la figure 7; les figures 12 a et 12 b, des modes de représentation de transistors à effet de champ; les figures 13 a et 13 b, un exemple de réalisation d'un transistor à effet de champ à grille secondaire rechargeable; les figures 14 a et 14 b, une variante de réalisation des figures 13 a et 13 b; les figures 15 a et 15 b, des applications du transistors de l'invention à la réalisation de dispositifs matriciels. Le principe de l'invention consiste à prévoir de part et d'autre du canal du transistor à effet de champ deux zones d'inversion ou d'accumulation permanentes Cela peut se faire à l'aide de charges appropriées injectées sur deux grilles secondaires flottantes placées de part et d'autre du canal, ou bien à l'aide de charges injectées à l'interface entre deux couches diélectriques (par exemple Si 3 N e t SIO 2) aussi disposés de part et d'autre du canal, ou bien encore à l'aide de charges piégées dans un seul diélectrique comportant deux branches toujours disposées de part et d'autre du canal. Les figures 6 a et 6 b représentent un exemple de réalisation d'une structure de transistor selon l'invention dans le cas o le canal est bordé de part et d'autre par deux grilles secondaires flottantes. La figure 6 a représente en coupe un transistor selon l'invention dans lequel une zone de source S et une zone de drain D en matériau semiconducteur dopé d'un type déterminé sont implantées sur un substrat Ces zones sont reliées par un canal C en matériau semiconducteur dopé d'un autre type ou bien intrinsèque Au-dessus du canal, séparée par une couche d'isolant I 51 se trouve la grille GP Selon l'invention, entre la grille GP et les zones de source et drain se trouvent deux grilles secondaires G 51 et G 52 localisées au-dessus du canal, l'une d'elles à la frontière du canal et de la zone de drain, l'autre à la frontière du canal et de la source Ces grilles secondaires sont isolées du canal et de la grille principale GP. La figure 6 b représente en vue de dessus un exemple de réalisation du transistor de la figure Ga dans lequel les deux grilles sont faites en une seule pièce et constituent donc une seule grille secondaire GS possédant deux branches G 51 et G 52. Les zones de source S et de drain D sont munies de contacts CS et CD En fonctionnement, ces contacts CS et CD ainsi que la grille GP sont connectés à des sources électriques comme représenté en figures 2 a et 2 c par exemple, tandis que la grille secondaire n'est reliée à aucune source électrique Elle est dite flottante ou à potentiel flottant. On supposera les zones de contact de source et de drain de type p+ et le canal intrinsèque ou de type n Dans ces conditions, selon l'invention, on polarise la jonction drain-canal (ou bien la jonction canal-source) en inverse, jusqu'au régime d'avalanche Des électrons sont alors injectés à partir du plasma d'avalanche sur l'une des branches de la grille secondaire flottante; lorsque la charge injectée est suffisante, on coupe la polarisation de drain ou de source; les charges stockées sur la grille secondaire font apparaître une couche d'inversion dans la région du canal sous jacente (voir figure Ga). On a ainsi déporté la zone de "dopage" n+ hors de la zone d'implantation ionique En d'autres termes, la zone de transition entre le canal et les contacts de source et drain se trouve ainsi située hors de la zone ayant subi l'implantation ionique De ce fait, la densité de niveaux profonds dans le gap, au niveau de la jonction, se trouve diminuée et par suite la probabilité de transfert par effet tunnel assisté se trouve aussi diminuée; on a donc amélioré le courant de fuite du transistor. La figure 7 présente une structure de transistor en vue de coupe dans laquelle la grille secondaire flottante GS et la grille principale GP sont placées de part et d'autre du canal C. La grille secondaire GS est par exemple réalisée sur un substrat et est recouverte d'une couche d'isolant I 52 Sur la couche d'isolant I 52 se trouve une couche d'un matériau semiconducteur comportant, de part et d'autre des branches G 51 et G 52 de la grille secondaire GS, deux zones dopées d'un type déterminé et constituant une zone de source et une zone de drain Entre ces deux zones se trouve le canal du transistor L'ensemble est recouvert d'une couche d'isolant I 51 sur laquelle est réalisée la grille principale GP qui est elle-même recouverte par une couche d'isolant de passivation I 53 Des contacts métalliques CS, CG, CD traversent les couches d'isolant I 51 et I 53 pour fournir des connexions de source, de grille et de drain. Le principe de fonctionnement de ce transistor est identique à celui des figures Ga et 6 b Il consiste à charger la grille flottante GS par injection à partir du plasma d'avalanche créé par la forte polarisation en inverse de la jonction drain-canal. On a représenté sur les figures 8 a à 8 i un procédé de fabrication du dispositif des figures Ga et Gb A titre d'exemple, ce procédé décrit utilise une technologie silicium mais il pourrait utiliser toute autre technologie à semiconducteur. Etape 1 On part d'une couche mince 2 de semiconducteur (silicium par exemple) sur substrat isolant 1 (silicium de base). Cette couche mince 2 peut être par exemple du matériau de type SIMOX (Separation by I Mplantation of O Xygen), ou bien du silicium sur saphir etc On grave des pavés dans cette couche 2, correspondant aux zones o l'on va réaliser des transistors (figure 8 a). Etape 2 On dépose une première couche de diélectrique 3 (tel que Si 02 ou Si 3 N 4) d'épaisseur par exemple 0,05 à 0,1 prn; on dépose ensuite par exemple une couche de semiconducteur polycristallin 4 (polysilicium dopé n, dégénéré) et d'épaisseur 0,1 à 0,5 pm par exemple (figure 8 b) Cette couche peut aussi être de nature métallique. Etape 3 On grave l'ensemble des couches 3 et 4 en s'arrêtant sur la couche 2 de semiconducteur pour définir les régions de source et de drain S et D (figure 8 c). Etape 4 On pratique une implantation ionique, en utilisant comme masque d'alignement l'ensemble des couches 3 et 4 en poly dégénéré et en diélectrique On réalise ainsi les régions de source et de drain S et D concernant le transistor (figure 8 d). On pratique le recuit d'implantation à une température adéquate. Etape 5 On effectue une deuxième opération de gravure dans les couches 3 et 4, de manière à définir les grilles secondaires G 51, G 52 On notera que le positionnement du masque n'est pas critique (figure 8 e). Etape 6 On reforme (par dépôt ou oxydation) une deuxième couche de diélectrique 5 (diélectrique de grille) d'épaisseur 0,05 à 0,1 pm (figure 8 f). Etape 7 On dépose une couche de métal 6 (aluminium ou poly-Si dégénéré typiquement) pour la grille principale GP de transistor (figure 8 g). Etape 8 On encapsule l'ensemble à l'aide d'un matériau isolant 7 (du type Si O 2 Si 3 N 4 ou Boro Phospho Silicate Glass BPSG) (figure 8 h). Etape 9 On ouvre les zones de contact dans les couches 7, 5, on dépose un métal conducteur (l'aluminium) et on grave les contacts CS, CD et CG (figure 8 i). Etape 10 On polarise ensuite en inverse la jonction drain-canal par exemple, de manière à charger les grilles flottantes G 51 et G 52. Les figures 9 a à 9 g représentent une variante du procédé de réalisation du dispositif des figures 6 a et 6 b Ce procédé comporte les étapes suivantes Etape 1 On réalise une couche mince 2 de semiconducteur (silicium par exemple) sur un substrat isolant 1 On grave des pavés dans cette couche 2, correspondant aux zones o l'on va réaliser des transistors (figure 9 a). Etape 2 On dépose une première couche de diélectrique 3 (tel que Si O 2 ou Si 3 N 4) d'épaisseur par exemple 0, 05 à 0, 1 pm; on dépose ensuite une couche de semiconducteur 4 (par exemple silicium polycristallin) dopé N (dégénéré) et d'épaisseur 0,1 à 0,5 pm par exemple (figure 9 b). Etape 3 On grave l'ensemble des couches 3 et 4 en s'arrêtant sur la couche 2 de semiconducteur pour définir les régions de source et de drain S et D (figure 9 c). Etape 4 On réalise une implantation ionique 25 (figure 9 d). Etape 5 On effectue une deuxième opération de gravure dans la couche 4 (figure 9 e) pour définir les différentes grilles principales (GP) et secondaires (G 51 et G 52) On notera que le positionnement du masque n'est pas critique L'intervalle entre les différentes grilles sera aussi faible que possible (typiquement 1 pm par exemple) de façon à limiter la résistance série. Etape 6 On encapsule l'ensemble à l'aide d'un matériau isolant (du type SIO 2 ' si 3 N 4 ou BPSG) (figure 9 f). Etape 7 On ouvre les zones de contact dans la couche encapsulante 5 et on dépose un métal conducteur (aluminium par exemple, pour réaliser les contacts de source (CS), de drain (CD) et de grille (CG) (figure 9 g). Etape 8 On polarise ensuite en inverse la jonction drain-canal et source-canal pour charger les grilles secondaires. En se reportant aux figures 1 ia à 10 g, on va décrire une autre variante du procédé de réalisation du dispositif des figures 6 a et 6 b Cette variante de procédé comporte les étapes suivantes: Etape 1 On part d'une couche mince 2 de semiconducteur (silicium par exemple) sur substrat isolant 1 On grave des il pavés dans cette couche 2, correspondant aux zones o l'on va réaliser des transistors (figure 1 Oa). Etape 2 On dépose une première couche 3 de diélectrique chargé, d'épaisseur par exemple 0,05 à 0,1 pum (figure 10 b). Cette couche 3 est par exemple du 513 N 4 non stoechiometrique, réalisée en jouant sur les quantités relatives de Ni 3 et SIH 4 au cours d'un dépôt de type PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) On obtient en général un matériau comprenant un excès de charges positives, susceptible de mettre un canal p en inversion ou bien un canal N en accumulation. Etape 3 On grave cette couche 3 (figure 10 c). Etape 4 On effectue l'implantation ionique des zones sources S et drain D des transistors (figure 10 d). Etape 5 On effectue une nouvelle gravure de la couche de diélectrique 3 de façon à définir les grilles secondaires G 51 et G 52 (figure 10 e) sans que cela nécessite une précision de la position de la gravure. Etape 6 On forme une deuxième couche de diélectrique 4 (de la silice stoechiometrique par exemple) (diélectrique de grille principale) d'épaisseur 0,05 à 0,1 pim par exemple Puis on dépose une couche 6 de métal ou de semiconducteur polycristallin fortement dopé (figure 10 f) de grille. Etape 7 On grave la couche 6 pour réaliser la grille principale (GP) du transistor On dépose une couche de diélectrique encapsulante 7, dans laquelle on grave des ouvertures pour le dépôt des métallisations de contacts de source et de drain CS et CD (figure 10 g). En se reportant aux figures lia à 11 h, on va maintenant décrire un procédé de fabrication d'un dispositif tel que celui de la figure 7 Ce dispositif est réalisé ci-après en technologie silicium mais il pourrait être réalisé dans toute autre technologie à semiconducteur. Etape 1 On dépose sur un substrat 1 isolant ou couvert par une couche isolante, une couche 12 de silicium dopé N (figure 11) Ce substrat peut être transparent à la longueur d'onde d'insolation qui sera utilisée à l'étape 5 qui va suivre (verre en particulier). Etape 2 On grave des motifs correspondant aux grilles secondaires G 51 et G 52 L'épaisseur h de chaque grille est par exemple de 0, 3 à 0, 6 jum et sa longueur L d'environ 10,um (figure 11 b). Etape 3 On dépose une couche de matériau diélectrique 13 ainsi qu'une couche de silicium actif 14; on grave les pavés de silicium actif dans lesquels seront fabriqués les transistors (figure 1 c). Etape 4 On dépose une couche de diélectrique 15 de grille ainsi que la métallisation de grille GP (ou bien un deuxième polysilicium dégénéré de grille) On grave l'ensemble, de façon à ce que la grille principale GP soit sensiblement positionnée entre les deux grilles secondaires G 51 et G 52, mais sans précision particulière On notera ici encore que le positionnement de la grille principale GP par rapport aux grilles secondaires n'est absolument pas critique (figure 11 d). Etape 5 On dépose une couche de résine photosensible 16 que l'on insole par la face arrière à l'aide d'un faisceau Fl, à travers le substrat, ce qui nécessite que ce substrat soit transparent à la longueur d'onde d'insolation Dans ces conditions, l'ensemble grilles secondaires et grille principale étant opaque (à cause de la présence de polysicilium très absorbant), le masque de résine se trouve autoaligné avec les extrémités latérales des éléments de grilles secondaires G 51 et G 52 (figure le) Si le substrat n'est pas transparent, l'insolation de la couche photosensible se fait par le dessus de la structure à l'aide d'un niveau de masquage supplémentaire (masque mécanique par exemple). Etape 6 En utilisant le masque autoaligné de résine, on pratique l'implantation (de ce fait aussi autoalignée) des zones de source S et de drain D; on élimine ensuite la résine ( 16) et on effectue le recuit d'activation des dopants précédemment implantés (figure 11 f). Etape 7 On encapsule l'ensemble à l'aide d'un matériau isolant 17 dans lequel sont gravées des ouvertures pour les contacts. On dépose l'aluminium et on le grave de façon à réaliser les plots de contacts métalliques CS, CG et CD (figure llg). La figure 12 a représente de façon symbolique un transistor à effet de champ comme cela se fait couramment. Dérivé de cette représentation symbolique, nous avons représenté en figure 12 b, un transistor à effet de champ selon l'invention possédant des grilles secondaires G 51 et G 52 Cette représentation symbolique sera utilisée dans la description qui va suivre On va décrire dans ce qui suit un dispositif de recharge des grilles flottantes. Les figures 13 a et 13 b représentent un transistor à effet de champ FET 1 tel que décrit précédemment auquel est combiné un élément FET 2 qui peut être également un transistor à effet de champ de même type que PET 1. La structure du transistor FET 2 est telle qu'elle a été décrite précédemment. Le transistor FET 2 possède des grilles secondaires qui sont des prolongements des grilles secondaires G 51 et G 52 du transistor FET 1 La grille principale du transistor FET 2 est également un prolongement de la grille principale GP du transistor FET 1 Les contacts de source et de drain du transistor FET 2 sont désignés respectivement CC et CD Le contact de drain CD est couplé aux grilles secondaires G 51 et G 52. Lorsque le potentiel VGP de grille principale GP est à une valeur très positive, le transistor FET 2 est passant Les grilles secondaires G 51, G 52 sont chargées sensiblement au potentiel de la source CC. Lorsque le potentiel VGP est rendu nul le transistor FET 2 est bloqué Cependant, dans le transistor FET 2, le rapport de la section W 2 du canal à sa longueur L 2 est nettement inférieur à 1 tandis que, dans le transistor FET 1, le rapport de la section W 1 du canal à sa longueur L 1 est nettement supérieur à 1 Lorsque le transistor FET 2 est bloqué le courant de fuite par FET 2 est, de façon plus certaine, négligeable (parce que W 2/L 2 " 1) et les grilles secondaires ne peuvent se décharger. Les figures 14 a et 14 b représentent une variante de réalisation du dispositif des figures 13 a et 13 b dans lequel le transistor EET 2 des figures 13 et 13 b est remplacé par un transistor à effet de champ de type connu Comme on peut le voir sur la figure 14 a, le transistor FET 2 est nettement séparé de la structure à effet de champ FET 1 Cependant, dans ce dispositif, l'implantation ionique pour la réalisation des drains et des sources des transistors est autoalignée avec les grilles secondaires G 51 et G 52 dans le transistor FET 1 mais ne peut être autoalignée avec la grille principale GP du transistor FET 2 (la grille principale GP étant réalisée après l'implantation ionique) Ce problème n'existe pas dans le dispositif des figures 13 a et 13 b. Le fonctionnement du dispositif des figures 14 a et 14 b est similaire à celui du dispositif des figures 13 a et 13 b. Dans les dispositifs des figures 13 a, 13 b et 14 a, 14 b la source (CC) et la grille du transistor FET 2 sont connectées à la grille principale du FET 1 mais selon une variante non représentée elles pourraient être connectées au drain (CB) du FET 1 Tout autre arrangement pourrait également être envisagé. La figure 15 a représente une variante de réalisation du dispositif de l'invention dans lequel on ne prévoit pas de grille principale. Comme cela est représenté sur la figure 15 a ce dispositif comporte une source S, un drain D reliés par un canal Au-dessus du canal se trouve une grille flottante GF. Pour rendre le dispositif passant, la grille GF est chargée comme décrit précédemment par polarisation en inverse des jonctions drain-canal et/ou source-canal Une zone d'inversion ou d'accumulation est donc induite sous la grille GF rendant le dispositif passant On a donc réalisé un interrupteur permanent. Ce dispositif peut trouver une application notamment dans la commande d'un dispositif matriciel pour lequel on a des conducteurs de commande et des conducteurs de lignes Le dispositif de l'invention est alors disposé en série sur un conducteur de ligne ou de colonne et permet d'établir sur commande la continuité de ce conducteur. Par exemple dans les dispositifs à commande matricielle tels que les écrans à cristaux liquides, on prévoit de dupliquer les conducteurs de ligne et de colonne de façon à disposer de conducteurs de secours Pour mettre en service un conducteur, on établira donc sa continuité en chargeant la grille GF du dispositif tel que celui de la figure 15 a placé en série sur le conducteur. La figure 15 b représente une variante du dispositif de la figure 15 a dans lequel on a un dispositif à commander Dl tel que celui de la figure 15 a. Au dispositif Dl est associé un dispositif de charge D 2 Le dispositif D 2 possède également une grille flottante qui est connectée à celle du dispositif Dl Selon un exemple de réalisation préféré de l'invention, ces deux grilles flottantes forment une seule pièce. Pour charger la grille flottante du dispositif Dl on appliquera donc des polarisations inverses au dispositif D 2 De cette façon, en chargeant la grille flottante GF, on ne risquera pas de perturber le fonctionnement des circuits connectés au dispositif Dl Par exemple, dans le cas d'une application à un dispositif à commande matricielle o le dispositif Dl est placé en série sur un conducteur de colonne, les tensions inverses appliquées pour charger la grille flottante ne seront pas transmises aux circuits de commande de colonne de ce conducteur de colonne et ne perturberont pas le fonctionnement de ces circuits. Il est bien évident que la description qui précède n'a été faite qu'à titre d'exemple D'autres variantes peuvent être envisagées sans sortir du cadre de l'invention Les exemples numériques ou les exemples de matériaux utilisés n'ont été fournis que pour illustrer la description Les formes des divers éléments des dispositifs représentés peuvent être différentes. Egalement, dans les procédés de réalisation certaines étapes peuvent être combinées sans constituer des procédés différents. R E V E N D I C A T IO N S 1 Dispositif semiconducteur à effet de champ comprenant une zone de source (S) et une zone de drain (D) en matériau semiconducteur dopées d'un premier type et séparées par un canal en matériau semiconducteur Intrinsèque ou dopé d'un deuxième type, caractérisé en ce qu'il comporte au moins une grille secondaire (G 51, G 52, GF), sans connexion extérieure, chargée électriquement à un niveau flottant sensiblement déterminé, cette grille secondaire étant située dans un plan parallèle au canal et en de celui-ci. 2 Dispositif selon la revendication 1, comprenant une zone de source (S) et une zone de drain (D) en matériau semiconducteur dopées d'un premier type séparées par un canal en matériau semiconducteur dopé d'un deuxième type ou bien intrinsèque, dont l'état de conduction est commandé par une grille principale (GP), caractérisé en ce qu'il comporte au moins une grille secondaire (G 51, G 52) chargée électriquement à un niveau flottant sensiblement déterminé ou bien comportant une densité contrôlée de charges fixes, cette grille étant située dans un plan parallèle au canal, en regard du canal et à proximité du drain (D). 3 Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comporte deux grilles secondaires (G 51, G 52), l'une des grilles secondaires (G Si) étant à proximité de la source (S) et l'autre grille secondaire (G 52), à proximité du drain (D). 4 Dispositif selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que la grille secondaire (G 51, G 52) est isolée. Dispositif selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que la grille secondaire (GSI, G 52) est en diélectrique. 6 Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce que les deux grilles secondaires (G 51, G 52) sont en une seule pièce (GS). 7 Dispositif selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que la zone de source (S), la zone de drain (D) et le canal sont sensiblement dans un même plan, la grille secondaire (G 51, G 52) est dans un plan parallèle à ce plan. 8 Dispositif selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que la grille secondaire (G 51, G 52) est du même côté que la grille principale (GP) par rapport au canal (C). 9 Dispositif selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que la grille secondaire (G 51, G 52) est d'un côté opposé à celui de la grille principale (GP) par rapport au canal. Dispositif selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que ledit dispositif est réalisé sur un substrat en matériau isolant transparent. 11 Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que les grilles secondaires (G 51, G 52) sont couplées au drain d'un transistor de charge (FET 2) qui possède une grille de commande laquelle est couplée à la grille principale (GP) de telle façon que la commande de la grille principale (GP) détermine la conduction du transistor de charge et de ce fait la charge des grilles secondaires. 12 Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que les grilles secondaires (G 51, G 52) sont couplées au drain d'un transistor de charge (FET 2) qui possède une grille de commande laquelle est couplée au drain (CB) de telle façon que la commande du drain (CB) détermine la conduction du transistor de charge (FET 2) et de ce fait la charge des grilles secondaires. 13 Dispositif selon la revendication 11, caractérisé en ce que le transistor de charge (FET 2) possède également deux grilles secondaires (G 51, G 52) chargées électriquement à un niveau flottant sensiblement déterminé et situées dans un plan parallèle au canal, en regard du canal, l'une des grilles secondaires (G 51) étant à proximité de la source (CC) et l'autre grille secondaire étant à proximité du drain (CD). 14 Dispositif selon la revendication 13, caractérisé en ce que les différentes grilles secondaires sont interconnectées entre elles. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte un deuxième dispositif semiconducteur à effet de champ (D 2) possédant également une zone de source et une zone de drain séparées par un canal, caractérisé en ce que les deux dispositifs semiconducteurs à effet de champ (Dl, D 2) possèdent en commun une grille flottante (GF) pouvant être chargée électriquement à un niveau flottant. 16 Dispositif selon la revendication 12, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens connectés à la source et au drain de l'un des dispositifs (D 2) pour polariser en inverse les jonctions drain-canal et source-canal de ce dispositif (D 2) de façon à charger à un niveau déterminé la grille flottante (GF). 17 Procédé de réalisation d'un transistor à effet de champ, caractérisé en ce qu'il comprend la réalisation sur un substrat ( 1) d'une couche de matériau semiconducteur ( 2) comportant deux zones de source et de drain (S, D) dopées d'un type déterminé reliée par un canal (C) dopé d'un autre type et de deux grilles secondaires (G 51, G 52) situées au- dessus du canal (C), à proximité chacune d'une zone de source ou de drain (S, D) puis d'une grille principale (GP) située au-dessus des grilles secondaires; la jonction source-canal ou la jonction drain-canal principale ou les deux jonctions étant ensuite fortement polarisées en inverse, jusqu'au régime d'avalanche. 18 Procédé de réalisation selon la revendication 14, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes: réalisation sur un substrat ( 1) d'une couche ( 2) de semiconducteur, puis d'une couche de diélectrique ( 3), puis d'une couche de semiconducteur dopé ( 4) d'un premier type (n par exemple); gravure des couches de diélectrique ( 3) et de semiconducteur fortement dopé ( 4) pour déterminer les zones de source et de drain; implantation des zones de sources et de drain (S et D) dans la couche de semiconducteur ( 2) gravure dans les couches de diélectrique ( 3) et de semiconducteur fortement dopé ( 4) d'électrodes secondaires (G 51, G 52); dépôt d'une couche d'isolant ( 5) sur l'ensemble réalisation d'une grille principale (GP) sur la couche d'isolant ( 5) entre les grilles secondaires (G 51, G 52) et en partie au-dessus de celles-ci; dépôt d'une autre couche d'isolant ( 7) sur l'ensemble obtenu et réalisation de contacts de connexions (CS, CD, CG), à travers cette couche d'isolant ( 7) aux zones de source et de drain (S, D) et à la grille principale (GP); polarisation en inverse de la jonction drain- canal, ou de la jonction source-canal, ou des deux jonctions. 19 Procédé de réalisation d'un transistor à effet de champ, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes réalisation sur un substrat éventuellement transparent ( 1) d'une couche de semiconducteur ( 12) fortement dopé d'un premier type et gravure dans cette couche de grilles secondaires (G 51, G 52); dépôt d'une couche d'un matériau diélectrique ( 13) et d'une couche de semiconducteur cristallin ( 14) et gravure de cette dernière couche pour déterminer les dimensions du transistor; dépôt d'une autre couche de matériau diélectrique ( 15) et d'une couche de matériau de grille (GP) et gravure dans ces deux couches d'une grille principale (GP) située entre les grilles secondaires (G 51, G 52) et recouvrant en partie celles-ci; dépôt sur l'ensemble d'une résine photosensible ( 16) et insolation de cette résine photosensible de façon à éliminer sensiblement la résine photosensible non située au au-dessus des grilles secondaires (G 51, G 52) et de la grille principale (GP); implantation ionique de la couche de semiconducteur ( 14) non protégé par la résine photosensible ( 16) de façon à doper d'un deuxième type les zones de source et de drain (S, D); réalisation d'une couche d'isolation ( 17) sur l'ensemble obtenu et réalisation à travers cette couche d'isolation de contacts de source (CS), de drain (CD) et de grille principale (CG); polarisation en inverse de la jonction drain-canal, ou de la jonction source-canal, ou des deux jonctions. Procédé selon la revendication 16, caractérisé en ce que le substrat est transparent et que l'insolation de la résine photosensible se fait à travers le substrat. 21 Application du dispositif selon l'une des revendications 1 ou 15, à un dispositif à commande matricielle, comportant des conducteurs de commande, caractérisé en ce qu'il comporte au moins un dispositif semiconducteur à effet de champ (Dl) disposé en série avec un conducteur de commande.