FR 2692048 A1 19931210 FR 9306778 A 19930607 Montage d'essai Cette invention concerne de façon générale un appareil d'essai en circuit pour des cartes de circuits imprimés, et elle concerne plus particulièrement un montage d'essai en circuit possédant un système amélioré d'alignement et d'étanchéité au vide pour assurer un contact fiable avec les cartes de circuits en essai. Les équipements d'essai automatiques pour contrôler les cartes de circuits imprimés ont longtemps utilisé un montage d'essai à "lit de clous", sur lequel la carte de circuit imprimé est montée pendant l'essai Ce montage d'essai comporte un grand nombre de sondes d'essai analogues à des clous et assujetties chacune à un ressort, disposées pour réaliser un contact électrique sous pression élastique avec des points d'essai désignés sur la carte à essayer Tout circuit particulier déposé sur une carte de circuit imprimé est vraisemblablement différent d'autres circuits; en conséquence, la disposition du lit de clous pour entrer en contact avec des points d'essai dans une carte particulière doit être réalisée sur mesure pour cette carte de circuit. Lorsque le circuit à essayer est conçu, on choisit un modèle de points d'essai à utiliser pour son contrôle et un réseau correspondant de sondes d'essai est configuré dans le montage d'essai Ceci implique de façon caractéristique de percer avec précision un modèle de trous dans une plaque de sondes pour correspondre au réseau sur mesure des sondes d'essai, et ensuite de monter les sondes d'essai dans les trous percés sur la plaque de sondes La carte de circuit est ensuite montée sur le montage, superposée sur le réseau de sondes d'essai Pendant le contrôle, les sondes d'essai assujetties aux ressorts sont amenées en contact sous pression élastique avec les points d'essai sur la carte à essayer Des signaux d'essai électriques sont transférés de la carte aux sondes d'essai et ensuite à l'extérieur du montage pour communiquer avec un appareil d'analyse électronique de contrôle à grande vitesse, qui détecte une continuité ou un manque de conti- nuité entre les divers points d'essai dans les circuits sur la carte. -4 On a dans le passé utilisé diverses approches pour amener les sondes d'essai et la carte de circuit imprimé en contact sous pression pour un contrôle en circuit Une catégorie de ces montages est un montage d'essai câblé, dans lequel les sondes d'essai sont individuellement reliées à des contacts d'inter- face séparés utilisés pour transmettre des signaux d'essai depuis les sondes jusqu'à l'appareil d'analyse de contrôle extérieur Ces montages d'essai câblés sont souvent appelés "montages d'essai sous vide" du fait qu'un vide est créé dans l'intérieur du carter du montage d'essai lors des essais pour attirer le circuit en contact avec les sondes d'essai Une plaque supérieure mobile est montée sur la plaque de sondes stationnaire et un joint d'étanchéité au vide est formé entre la plaque supérieure et la plaque de sondes Un deuxième joint d'étanchéité au vide est monté au-dessus de la plaque supérieure et il a une hauteur suffisante pour maintenir la carte de circuit imprimé au-dessus des sondes à ressort qui se projettent à travers des trous d'accès percés dans la plaque supérieure à des fins d'alignement avec le côté inférieur de la carte En utilisation, un vide créé dans la région entre la plaque de sondes et la plaque supérieure est également appliqué sur le côté inférieur de la carte Ceci comprime les deux joints d'étanchéité au vide et attire vers le bas la carte contre les sondes d'essai et en contact électrique avec celles-ci En maintenant l'étanchéité au vide, les sondes sont maintenues en contact sous pression élastique avec les points d'essai sur la carte pendant le contrôle de cette dernière. Afin que les sondes soient en contact avec les points d'essai appropriés sur la carte de circuit, la plaque de sondes stationnaire inférieure et la plaque supérieure mobile qui supporte la carte doivent rester parallèles l'une à l'autre pour maintenir la carte à plat tout en maintenant sa position perpendiculaire au réseau de sondes Une étanchéité au vide fiable est également nécessaire. Divers problèmes ont existé dans les montages d'essai en circuit de la technique antérieure Le Brevet US 4538104 de Douglas et coll décrit un montage d'essai en circuit du type décrit ci-dessus Ce Brevet se réfère fondamentalement à divers problèmes techniques de fabrication et d'utilisation de tels montages d'essai en circuit Un problème consiste à maintenir de façon fiable le parallélisme de la plaque supérieure et de la plaque de sondes stationnaire tandis que les sondes d'essai sont maintenues parallèles les unes aux autres et perpendiculaires à la carte La plaque supérieure se rapproche ou s'éloigne de la plaque de sondes stationnaire sur des paliers linéaires et/ou des broches de guidage, qui permettent d'aligner la plaque supérieure sur le réseau de sondes lorsque la carte se déplace vers le haut ou vers le bas Les sondes d'essai sont disposées en des modèles correspondants de trous percés dans la plaque de sondes et dans la plaque supérieure Les sondes doivent rester parallè- les les unes aux autres et la plaque supérieure doit constam- ment se déplacer sur les paliers en étant parallèle à la plaque de sondes, sans provoquer aucun coincement entre ces éléments du montage d'essai. Le système d'étanchéité sous vide doit empêcher toute fuite de vide et tout mauvais contact électrique entre les sondes à ressort et la carte de circuit à essayer. Outre qu'il est nécessaire d'aligner de façon précise la plaque supérieure et la carte avec les sondes d'essai sans problèmes mécaniques et outre qu'il est nécessaire de disposer d'un système d'étanchéité au vide efficace, le montage d'essai doit également être adapté pour être utilisé facilement dans des conditions d'essai répétitives par l'utilisateur final Le montage doit également être conçu de façon que ses composants puissent être fabriqués et assemblés à un coût raisonnable. La présente invention améliore le type de montage d'essai en circuit du Brevet 4538104 de Douglas et coll Par exemple, le montage de ce Brevet a des vis à oreilles à l'intérieur des quatre coins du montage, ces vis se vissant dans des arbres de guidage rigides, étroits et longs fixés sur la surface inférieure de la plaque supérieure mobile Ces longs arbres de guidage se logent dans le centre de paliers linéaires aux quatre coins de la plaque de sondes Il peut atre difficile d'enlever la plaque supérieure, car on doit accéder aux vis à oreilles en partant de l'intérieur de la portion inférieure du montage pour dévisser ces vis avant de pouvoir lever la plaque supérieure En outre, les quatre arbres de guidage aux coins de la plaque supérieure peuvent se coincer lorsque l'utilisateur enlève manuellement la plaque supérieure Il existe donc un besoin pour un système amélioré de raccorde- ment de la plaque supérieure mobile à la plaque de sondes, du fait qu'il n'est pas souhaitable que l'utilisateur ouvre le montage pour accéder dans la portion supérieure de celui-ci o se trouve une grande partie du câblage compliqué En outre, lorsqu'on doit enlever la plaque supérieure, à des fins d'entretien ou de diagnostic, par exemple lorsqu'on doit remplacer une sonde d'essai, il est souhaitable de pouvoir enlever la plaque supérieure aussi facilement que possible. Les ensembles de paliers linéaires étanches disposés aux coins du montage du Brevet de Douglas et coll sont complexes et coûteux en termes de nombre de pièces et de main-d'oeuvre pour assembler les paliers La présente invention procure un système de paliers grandement amélioré. Le Brevet 4538104 précité décrit également un joint d'étan- chéité prisonnier intérieur, qui entoure le périmètre de la plaque supérieure mobile Le joint d'étanchéité de la plaque supérieure est un joint creux double continu Le côté inférieur de la plaque supérieure a un rebord périphérique qui se loge vers le bas dans un profond évidement qui porte le joint d'étanchéité périphérique La présente invention procure un joint d'étanchéité au vide beaucoup plus stable, qui est fabriqué à un coût notablement inférieur L'agence- ment d'étanchéité permet également un "flottement" de la plaque supérieure, qui permet à celle-ci une liberté de mouvement selon plusieurs axes, liberté qui est très utile pour aligner correctement le réseau de sondes d'essai avec les points d'essai sur la carte en cours d'essai La disposi- tion d'étanchéité de cette invention évite également les paliers étanches et de ce fait réduit notablement les coûts de fabrication et de main-d'oeuvre. Il existe également un besoin pour procurer un agencement de paliers linéaires qui puissent fixer de façon fiable la plaque supérieure à la plaque de sondes sans permettre de décaler la plaque supérieure par rapport au réseau de sondes, tout en permettant également à la plaque supérieure d'être libérée, lorsque c'est nécessaire, pour être déplacés dans des directions différentes à des fins d'alignement Un tel système de supports de paliers doit être aisément utilisable par l'utilisateur final tout en étant fabriqué à un coût raisonnable. En bref, une réalisation de cette invention procure un montage d'essai en circuit pour contrôler des cartes de circuits imprimés Le montage a une chambre à vide comprise entre une plaque de sondes stationnaire et une plaque supé- rieure mobile Des paliers linéaires ajustables séparément sont disposés dans chaque quadrant du montage et permettent d'aligner parallèlement la plaque supérieure mobile et la plaque de sondes Un joint d'étanchéité au vide fermé et continu, disposé entre la plaque de sondes et la plaque supérieure, contourne les paliers de façon que ceux-ci se trouvent à l'extérieur de la zone soumise au vide Les sondes d'essai assujetties à un ressort dans la plaque de sondes s'étendent à travers des trous dans la plaque supérieure pour accéder à la carte de circuit supportée sur un deuxième joint d'étanchéité au vide au-dessus de la plaque supérieure Les sondes établissent un contact électrique sous pression de ressort avec la carte lorsque la plaque supérieure est déplacée vers le bas en direction des sondes sous l'action du vide créé en dessous de la plaque supérieure La plaque supérieure est fixée sur la plaque de sondes par des verrous individuels à déclenchement rapide s'étendant à travers les paliers linéaires En libérant les raccordements des verrous aux paliers, on permet à la plaque supérieure de se déplacer dans un plan aligné avec le plan de la plaque supérieure pour permettre d'aligner de façon précise la carte en cours d'essai avec le réseau de sondes Dans une réalisation, les paliers qui supportent la plaque supérieure sont mobiles avec la plaque supérieure pendant le processus d'alignement Le raccordement ultérieur des raccords de verrous libérables dans chaque palier fixe la plaque supérieure en alignement parallèle avec la plaque de sondes, le réseau de sondes étant aligné de façon précise perpendiculairement à la carte. Les paliers linéaires réglables procurent un trajet précis sans à-coups de la carte perpendiculairement au réseau de sondes, garantissant ainsi un contact précis simultané des sondes avec tous les points d'essai Le système de paliers permet également d'utiliser des broches de positionnement de la plaque supérieure pour maintenir en place la carte tandis que la plaque supérieure se déplace pour aligner de façon précise la carte avec le réseau de sondes Ceci compense le "décalage" sérigraphique des cartes de circuits imprimés souvent rencontré entre des lots de fabrication différents. Ceci compense également la cumulation des tolérances prove- nant des limitations de production intrinsèques des cartes de circuits et de l'équipement de fabrication du montage d'essai Dans une réalisation, les broches de positionnement mobiles portées sur la plaque supérieure flottante permettent des réglages de correspondance précis pouvant atteindre environ +/ 1,5 mm dans toutes les directions de déplacement de la carte de circuit par rapport au réseau de sondes. Les paliers linéaires sont construits à partir d'un ensemble de composants qui réduit le temps et les coûts de fabrication des paliers, en évitant entre autres la nécessite de paliers étanches, pour autant que la plaque supérieure est supportée par des paliers qui peuvent être disposés à l'extérieur de la zone soumise au vide Le système de verrous à déclenchement rapide fixe la plaque supérieure sur le montage et est aisément déverrouillé pour permettre un enlèvement rapide de la plaque supérieure à des fins d'entretien et/ou de diagnos- tic Les verrous à déclenchement rapide fixent la plaque supérieure sur la plaque de sondes, empêchant tout déplace- ment de la plaque supérieure et résolvant les problèmes de correspondance entre les extrémités des sondes et les points cibles à essayer. Une réalisation de l'invention procure un système d'aligne- ment optique qui fonctionne avec le système de paliers reglables pour permettre un alignement rapide et précis de la carte à essayer avec les sondes d'essai Cette réalisation est utile pour aligner un montage d'essai ayant une plaque supérieure mobile portant des broches de positionnement qui supportent la carte à essayer dans une position fixe sur la plaque supérieure mobile La plaque supérieure mobile est supportée sur la base du montage par un système de paliers qui guident normalement le déplacement vertical vers le haut et vers le bas de la plaque supérieure en direction des sondes d'essai qui sont montées sur une plaque de sondes fixe en dessous de la plaque supérieure Dans une réalisation, chaque palier comporte une broche de guidage fixe portée sur la plaque supérieure et disposée pour glisser verticalement à l'intérieur d'un manchon de palier linéaire correspondant. Les manchons de palier sont portés sur des blocs paliers correspondants réglables à une première position permettant à la broche de se déplacer librement avec la plaque supé- rieure par rapport au manchon de palier et à son bloc palier. Chaque bloc palier est également réglable à une deuxième position dans laquelle son manchon de palier correspondant est retenu dans une position f ixe par rapport à la base du montage pour guider le trajet glissant vertical de chaque broche dans son manchon de palier fixe correspondant Dans l'opération d'alignement, les blocs paliers sont réglés à leur première position permettant à la plaque supérieure de se déplacer librement par rapport au réseau de sondes sur la plaque de sondes On utilise un système d'alignement optique pour aligner la carte a essayer par rapport au réseau de sondes lorsque les paliers sont dans la première position permettant une telle liberté de mouvement Le système d'alignement optique comporte des moyens pour détecter la position d'une marque de référence sur la carte et pour procurer une lecture optique montrant tout défaut d'aligne- ment des circuits sur la carte par rapport au réseau de sondes La plaque supérieure est déplacée pour aligner la carte et la marque de référence qu'elle porte par rapport à une sonde optique qui est raccordée à un système de caméras vidéo pour visualiser une image optique de la marque de référence par rapport à un point de référence fixe étalonné sur un écran vidéo En déplaçant la plaque supérieure et en observant l'image optique sur l'écran, on peut amener l'image de la marque de référence en alignement avec le point de référence fixe pour indiquer un alignement correct des circuits sur la carte par rapport au réseau de sondes La première position réglée du système de paliers permet une telle liberté de mouvement de la plaque supérieure pendant la procédure d'alignement optique Après que la carte a été alignée correctement par rapport au réseau de sondes, les blocs paliers peuvent être amenés à leurs deuxièmes positions fixées pour procurer les moyens fixes servant à guider le mouvement vertical de la carte par rapport aux sondes pendant le contrôle. Ces avantages, ainsi que d'autres de l'invention, seront plus aisément compris en se reportant à la description détaillée suivante et au dessin joint, sur lequel: la figure 1 est une vue en perspective de dessus illustrant l'extérieur d'un montage d'essai sous vide en circuit selon les principes de cette invention; la figure 2 est une vue en perspective de dessus montrant le montage de la figure 1 avec la plaque supérieure enlevée; la figure 3 est une vue de dessus partielle et semi- schématique, montrant un palier linéaire et un joint d'étan- chéité au vide dans un coin de la plaque de sondes du montage; la figure 4 est une vue partielle en coupe transversale du palier linéaire et du joint d'étanchéité au vide représentés sur la figure 3; la figure 4 A est une vue partielle de dessus prise selon la ligne 4 A-4 A de la figure 4; la figure 5 est une vue en coupe transversale semi-schéma- tique montrant un autre système de paliers linéaires et une plaque supérieure flottante; la figure 5 A est une vue en élévation latérale schématique partielle montrant une méthode pour fixer un bloc-palier sur la base du montage; la figure 6 est une vue en coupe transversale semi-schéma- tique partielle montrant une autre réalisation d'un système de paliers linéaires; les figures 7 et 8 sont des vues partielles en perspective de dessus montrant une réalisation d'un verrou à déclenche- ment rapide; les figures 9 et 10 sont des vues partielles en perspective de dessus montrant une autre réalisation d'un verrou à déclenchement rapide; la figure 11 est une vue de dessus d'une autre réalisation d'un verrou à déclenchement rapide; la figure 12 est une vue en coupe transversale partielle semi-schématique du verrou représenté sur la figure 11; la figure 13 est une vue de dessus semblable à la figure 11 montrant le verrou dans sa position verrouillée; les figures 14 et 15 sont des vues partielles en perspec- tive de dessus montrant d'autres réalisations d'un verrou à déclenchement rapide; la figure 16 est une vue en élévation latérale schématique montrant une broche de verrouillage à commande par came dans sa position déverrouillée; la figure 17 est une vue en élévation latérale schématique montrant la broche de verrouillage à commande par came de la figure 16 dans sa position verrouillée; la figure 17 A est une vue en élévation latérale montrant une broche de verrouillage à languette dans sa position verrouillée; la figure 17 B est une vue de dessus prise selon la ligne 17 B-17 B de la figure 17 A; la figure 17 C est une vue en élévation latérale de la broche de verrouillage à languette dans sa position déver- rouillée; la figure 17 D est une vue de dessus prise selon la ligne 17 D17 D de la figure 17 C; la figure 18 est une vue de dessus semischématique montrant un agencement de joint double d'étanchéité au vide pour isoler une portion du réseau de sondes; la figure 19 est une vue en coupe transversale partielle de l'agencement de joint double d'étanchéité au vide représentés sur la figure 18; la figure 20 est une vue en élévation frontale semi- schématique partielle montrant un support de bras de sécurité pour l'extérieur du carter du montage; la figure 21 est une vue de dessus schématique montrant un entraînement par moteur selon les axes X et Y pour être utilisé pour aligner la plaque supérieure du montage d'essai en réponse à des informations de réglage de position en provenance d'un système d'alignement optique; la figure 22 est une vue latérale en coupe transversale schématique prise selon la ligne 22-22 de la figure 21; il la figure 23 est un schéma bloc fonctionnel schématique représentant des composants électroniques du système de formation d'images d'alignement du montage d'essai et des entraînements par moteur pour réaliser automatiquement l'alignement; la figure 24 est une vue en coupe transversale semi- schématique de l'entraînement par moteur selon les axes X et Y; la figure 25 est une vue en coupe transversale semi- schématique de l'entraînement par moteur selon les axes X et Y, pris sur la ligne 25-25 de la figure 24; la figure 26 est une vue en coupe transversale semi- schématique montrant un entraînement par moteur selon l'axe Y; la figure 27 est une vue en coupe transversale semi- schématique, avec arrachage partiel, montrant un entraînement par moteur selon l'axe Y pris selon la ligne 27-27 de la figure 26; la figure 28 est une vue en coupe transversale montrant un moyen pour monter une unité d'entraînement par moteur sur une plaque supérieure mobile du montage pour servir à déplacer la plaque supérieure durant une procédure d'alignement optique; et la figure 29 est une vue en coupe transversale prise selon la ligne 29-29 de la figure 28. Les figures 1 et 2 sont des vues en perspective illustrant une réalisation d'un montage d'essai en circuit 20 qui incorpore les principes de cette invention Le montage comprend un carter rectangulaire sous vide ayant une plaque de base inférieure 22 et un sous-ensemble d'enceinte à vide 24 monté au-dessus de la plaque de base Le sous-ensemble d'enceinte à vide comprend une enceinte à vide rectangulaire formée par une paroi rectangulaire verticale 25 s'étendant autour du périmètre du montage Le fond de l'enceinte à vide est formé par une plaque de sondes rigide, rectangulaire et stationnaire 26 à l'intérieur des limites de la paroi extérieure 25 Le sous-ensemble comprend également une plaque supérieure mobile, rectangulaire et plane 28, reposant sur une garniture d'étanchéité à l'intérieur de la paroi 25 de l'enceinte à vide La plaque supérieure s'étend au-dessus du plan de la plaque de sondes 26 et est parallèle ce plan Une multiplicité de sondes d'essai assujetties à un ressort 30 sont montées dans des positions fixes dans la plaque de sondes 26 Les sondes d'essai, représentées schématiquement sur les figures 1 et 2, sont des sondes d'essai convention- nelles assujetties à un ressort bien connues dans la techni- que Les sondes d'essai sont fixées dans des trous 31 percés avec précision dans la plaque de sondes Les sondes d'essai s'étendent vers le haut depuis les trous dans la plaque de sondes et se projettent à travers un modèle correspondant de trous d'accès 32 percés avec précision dans la plaque supérieure 28 La dimension des trous 31 et 32 a été repré- sentée exagérée, pour des raisons de clarté Les modèles de trous pour les sondes sont identiques et les trous correspon- dants pour chaque sonde sont alignés de façon que les sondes, considérées comme un groupe, s'étendent parallèlement l'une à l'autre et perpendiculairement au plan de la plaque supérieure mobile 28. Plusieurs caractéristiques de l'appareil d'essai en circuit, bien connues et conventionnelles dans la technique, ne sont pas représentées Celles-ci comportent un raccordement à une source de vide dans l'intérieur du montage pour créer un vide dans l'espace de la chambre à vide entre la plaque supérieure mobile 28 et la plaque de sondes stationnaire 26 La carte de circuit imprimé à essayer n'est également pas représentée sur les figures 1 et 2 La carte repose sur un joint d'étanchéité au vide (non représenté) fixé sur la surface supérieure de la plaque supérieure mobile de façon à entourer le réseau de sondes et supporter normalement la carte au-dessus des extrémités des sondes d'essai et à une certaine distance de ces extrémités Cette disposition de la carte et de la plaque supérieure est représentée sur la figure 5 et sera décrite plus en détail ci-après Le fond de la plaque supérieure mobile peut avoir des butées (non représentées) pour entrer en contact avec la plaque de sondes et contrôler ainsi la distance entre les deux plaques pour un déplacement maximal. Dans une réalisation, on utilise des butées de 0,76 mm d'épaisseur Les sondes sont alignées pour être en contact avec des points d'essai dans les circuits sur la carte et, lorsqu'un vide est créé à l'intérieur de la chambre à vide, le vide s'exerce également dans l'espace en dessous de la carte et au-dessus de la plaque supérieure Ce vide attire la carte vers le bas en direction des sondes d'essai et en contact électrique avec celles-ci afin de contrôler la continuité des circuits conducteurs Les sondes dans la plaque de sondes sont individuellement reliées à des connexions d'interface séparées (non représentées) à l'inté- rieur du carter du montage en dessous de la plaque de sondes. Ces connexions d'interface sont couplées à un appareil analyseur de contrôle électronique extérieur (non représenté) pour effectuer le contrôle en circuit de la carte d'une manière bien connue. Le sous-ensemble d'enceinte à vide, comprenant la plaque supérieure mobile 28 et la plaque de sondes stationnaire 26, est représenté sur les figures 1 et 2 en une conception ergonomique, à savoir en étant incliné sous un certain angle pour améliorer l'accès et réduire la fatigue de l'opérateur. Bien que ces composants du montage d'essai s'étendent en faisant un angle par rapport au plan horizontal normal, le montage d'essai est disposé de telle sorte que les sondes d'essai 30 s'étendent perpendiculairement aux plans de la plaque supérieure et de la plaque de sondes, lesquels sont à leur tour parallèles l'un à l'autre D'autres illustrations de ces composants de l'invention sont représentées sur le dessin dans les orientations horizontale et verticale normales, pour des raisons de simplicité En variante, la surface supérieure du montage d'essai peut être parallèle au fond du montage si le système d'essai est sur un plan incliné. En se reportant à la figure 2, la plaque supérieure 28 est supportée de façon à pouvoir se rapprocher ou s'éloigner de la plaque de sondes 26 sur un système de paliers linéaires verticaux 34 Les paliers sont de préférence disposés dans des quadrants répartis autour du périmètre du montage d'essai Dans une réalisation préférée, les paliers sont disposés dans les quatre coins de la plaque de sondes 26 La présente invention comporte plusieurs réalisations d'ensem- bles de paliers linéaires qui seront décrits plus en détail ci-après Les paliers linéaires 34 fixent la plaque supé- rieure 28 dans une position fixe par rapport à la plaque de sondes 26 de façon que les cartes de circuits imprimés supportées sur la plaque supérieure soient précisément alignées avec le réseau de sondes Chaque ensemble de palier linéaire comporte un ensemble de verrou à déclenchement rapide 34 ', (la portion extérieure supérieure de l'ensemble est représentée sur la figure 1) servant à enlever la plaque supérieure du montage Ceci permet d'accéder à l'intérieur de l'enceinte à vide. L'intérieur de l'ensemble d'enceinte à vide comporte égale- ment un joint d'étanchéité au vide 36, compressible, annulai- re, d'une seule pièce et continu, s'étendant de façon générale autour du périmètre de la plaque de sondes 26 Le joint d'étanchéité au vide 36 a des coins à pans coupés 38 qui s'étendent à l'intérieur par rapport aux paliers linéai- res 34 situés dans les coins de la plaque de sondes 26 Ceci garantit que les ensembles de paliers 34 se trouvent à l'extérieur de la zone soumise au vide formée à l'intérieur du montage dans l'espace situé à l'intérieur du joint d'étanchéité au vide 36 Ceci rend inutile la présence de joints additionnels d'étanchéité au vide pour chaque palier linéaire afin d'isoler les paliers et empêcher le vide créé à l'intérieur de la chambre à vide (à l'intérieur du joint d'étanchéité fermé 36) de s'échapper pendant les essais Le joint d'étanchéité au vide et l'ensemble de palier linéaire sont décrits plus en détail ci-après. La figure 2 illustre également d'autres composants de l'invention, entre autres des zones circulaires évidées 40 dans la surface supérieure de la plaque de sondes 26 pour retenir des ressorts de compression 42 (voir figure 5) pour supporter élastiquement le côté inférieur de la plaque supérieure mobile 28 Un ou plusieurs orifices de vide 44 dans la plaque de sondes sont disposés à l'intérieur de la région à vide rendue étanche par le joint d'étanchéité au vide 36 L'orifice de vide 44 traverse toute l'épaisseur de la plaque de sondes et constitue un moyen pour faire communi- quer un vide créé sur le côté inférieur de la plaque de sondes 26 avec l'intérieur de l'espace entouré par le joint d'étanchéité 36 en passant à travers l'orifice de vide 44 Le vide est également créé à travers les trous d'accès 32 de la plaque supérieure et s'applique sur le côté inférieur d'une carte à essayer supportée au-dessus des sondes 30 sur la plaque supérieure mobile 28 Ainsi, un vide créé à l'inté- rieur de l'ensemble d'enceinte à vide par l'intermédiaire des trous de vide 44 attire la plaque supérieure 28 vers le bas et la carte de circuit imprimé en contact avec les extrémités des sondes d'essai 30 qui s'étendent à travers la plaque supérieure pour accéder au côté inférieur de la carte. Les figures 3 et 4 illustrent une réalisation de l'ensemble de palier linéaire 34 en combinaison avec le joint d'étan- chéité au vide 36 supportant le côté inférieur de la plaque supérieure mobile 28 Dans cette réalisation, chaque ensemble de palier linéaire comprend un manchon de palier tubulaire cylindrique vertical allongé à extrémités ouvertes 46, qui est en une matière plastique dure Le matériau dont est fait le manchon de palier forme naturellement une ouverture circu- laire lubrifiée 48 de diamètre constant sur toute la longueur du manchon de palier Le manchon de palier linéaire 46 est porté par un bloc palier 50 qui est monté de façon réglable sur le côté inférieur de la plaque de sondes 26 en dessous d'un passage circulaire à extrémités ouvertes 52 s'étendant à travers la plaque de sondes depuis la chambre à vide 54 jusqu'au côté inférieur de la plaque de sondes Le bloc palier 50 a une face supérieure plane 56 qui s'applique à plat contre une surface inférieure plane 57 de la plaque de sondes La portion inférieure du manchon de palier linéaire est rigidement f ixée dans le bloc palier 50 Le manchon de palier 46 se projette vers le haut depuis la face supérieure 56 du bloc palier et dans le passage 52 à travers la plaque de sondes Le diamètre du passage 52 est surdimensionné par rapport au diamètre extérieur du manchon de palier 46, de sorte que le manchon de palier peut se déplacer librement sur 3600 à l'intérieur des limites du passage environnant 52. Un verrou à déclenchement rapide 34 ', dans chaque coin de la plaque supérieure mobile, comporte une broche rigide quart de tour 58 qui s'étend vers le bas à travers un manchon station- naire 60 rigidement fixé sur la plaque supérieure Le manchon 60 s'étend depuis la face supérieure de la plaque supérieure à travers l'intérieur du manchon de palier linéaire 46 Le manchon 60 est rigidement tenu dans la plaque supérieure par un moletage à travers la plaque supérieure et par un jonc de retenue 61 Le manchon 60 peut glisser verticalement à l'intérieur du manchon de palier linéaire 46 en étant ajusté étroitement à l'intérieur de ce manchon Le diamètre inté- rieur lubrifié du manchon de palier facilite le déplacement glissant vertical du manchon 60 dans le palier linéaire en plastique dur 46 La broche quart de tour 58 a une portion inférieure 62 dans laquelle est usinée une came spirale 63. Une portion inférieure annulaire 64 du bloc palier 50 s'étend sous le palier linéaire 46 Cette portion 64 du bloc palier porte un téton de verrouillage transversal 65 qui coopère avec la came spirale 63 de la broche 58 et glisse sur cette came Une fente allongée 66 s'étend le long de la broche au- dessus de la came 63 La broche a une tête de déclenchement rapide 70 qui peut pivoter d'un quart de tour pour serrer le bas de la broche dans la portion de réception du bloc palier, ou pour libérer la broche de sa coopération avec le logement dans le bloc palier Lorsque la broche est tournée d'un quart de tour pour l'amener à sa position verrouillée, les ressorts sous la plaque supérieure et la garniture d'étanchéité 36 sont comprimés, tandis que le téton 65 glisse vers le bas le long de la came spirale et se verrouille dans une butée d'arrêt à l'extrémité de la came spirale Le téton 65 dans le bloc palier peut se déplacer librement vers le haut et vers le bas dans la fente 66 Le téton se déplace vers le haut et vers le bas avec la plaque supérieure lorsqu'un vide est appliqué sur l'intérieur du montage ou en est libéré La figure 4 A est une vue supérieure montrant des saillies 71 partant de côtés opposés de la tête de déclenchement rapide et indiquant si la broche de verrouillage est dans sa position verrouillée ou dans sa position ouverte Lorsque les broches dans les quatre coins sont desserrées, la carte est maintenue dans une position fixe à une certaine distance au- dessus des extrémités des sondes d'essai Lorsque les broches sont serrées, la plaque supérieure est maintenue fermement contre le haut de la garniture d'étanchéité, tandis que les sondes restent espacées du côté inférieur de la carte. Lorsque les broches sont serrées et qu'un vide est créé, le vide comprime la portion inférieure périphérique de la plaque supérieure mobile contre la garniture d'étanchéité annulaire compressible 36 Il en résulte un joint d'étanchéité au vide autour du périmètre inférieur de la plaque supérieure mobile. Ce vide applique également la carte en contact avec les sondes d'essai Chaque broche peut être desserrée pour la retirer du palier linéaire La plaque supérieure peut être retirée en retirant les quatre broches dans les quatre coins de la plaque supérieure. La figure 3 montre de petites dimensions x et y représentant de petites distances le long des quatre bords de l'enceinte à vide sur lesquelles la plaque supérieure peut se déplacer dans les deux directions x et y La plaque supérieure peut également pivoter dans une direction z par des mouvements combinés selon x et y Ces mouvements permettent d'aligner la carte de circuit imprimé avec le réseau de sondes avant d'appliquer le vide pendant le contrôle, comme il sera décrit ci-après La plaque supérieure peut être déplacée dans les directions x, y et z (le mouvement a lieu dans le plan de la plaque supérieure), tandis que les broches dans les coins de la plaque supérieure sont verrouillées en place dans les paliers linéaires. Le bloc palier 50 et le palier linéaire 46 peuvent être déplacés en tant qu'unité par rapport à la face inférieure 57 de la plaque de sondes 26 Le bloc palier est fixé sur le fond de la plaque de sondes par des moyens de fixation 72 qui se vissent dans des trous tarautés correspondants 74 dans la face inférieure de la plaque de sondes On accède aux moyens de fixation à travers des trous 76 regardant vers le bas en direction du côté inférieur du bloc palier (Les trous sont représentés épaulés En variante, les moyens de fixation peuvent être exposés sur la face inférieure du bloc palier). Les moyens de fixation sont initialement vissés dans les trous taraudés 74 sans être serrés à fond, le bloc palier étant dans cet état maintenu sur le fond de la plaque de sondes tout en lui permettant de se déplacer ou de "flotter" dans toutes les directions par rapport à la plaque de sondes. Il en résulte pour le palier linéaire, porté par le bloc palier, une complète liberté de mouvement à l'intérieur du passage surdimensionné 52 à travers la plaque de sondes. Lorsque la carte à contrôler est initialement positionnée sur des broches de positionnement (non représentées) fixées sur la plaque supérieure mobile, la carte est maintenue dans une position fixe par rapport à la plaque supérieure On peut ensuite régler la position de la carte pour l'aligner avec le réseau de sondes Les broches de verrouillage à déclenchement rapide sont engagées dans les paliers qui sont seulement maintenus dans un état non bloqué Le verrou de déclenchement rapide dans chaque palier est serré Comme représenté sur la figure 3, la plaque supérieure peut se déplacer librement par rapport à la plaque de sondes (dans les directions x ou y ou dans des combinaisons de celles-ci selon l'axe z) du fait des paliers mobiles La carte est alignée avec le réseau de sondes d'essai en déplaçant la plaque supérieure et le bloc palier considérés comme une unité avec le manchon de palier qui est susceptible de flotter à l'intérieur du passage surdimensionné 52 Une fois la carte correctement alignée avec les sondes d'essai, le bloc palier peut alors être fixé rigidement sur la base du montage en serrant les vis en y accédant par la base du bloc palier. Cet agencement procure un moyen rapide pour régler de façon précise la carte par rapport au réseau de sondes et pour fixer ensuite les paliers linéaires en place et assurer l'alignement correct Une fois engagé, le verrou à déclenche- ment rapide permet un trajet guidé vertical sans à-coups du manchon de verrou à l'intérieur du manchon de palier linéaire pendant le fonctionnement sous vide En outre, les quatre paliers linéaires dans les coins de la plaque de sondes se trouvent à l'extérieur de la zone soumise au vide Ceci simplifie l'assemblage des paliers en ce sens qu'il est inutile de prévoir des joints toriques d'étanchéité ou l'analogue dans l'ensemble de palier pour maintenir l'étan- chéité au vide au niveau des paliers Ceci simplifie la structure de l'ensemble de palier et les moyens procurés pour effectuer les réglages de position de la plaque supérieure mobile. La garniture d'étanchéité 36 représentée sur les figures 2 à 4 est une garniture compressible, de préférence avec une section transversale cellulaire rectangulaire pleine La garniture d'étanchéité est une pièce continue plutôt que d'être constituée par des sections collées ensemble Le matériau préféré de la garniture est un élastomère uréthane microcellulaire à cellules ouvertes; un matériau de garniture actuellement préféré est l'uréthane cellulaire vendu sous le nom PORON par Rogers Corporation Le matériau de la garniture a une forte absorption d'énergie et une bonne résistance à la compression Il est également facilement poinçonné à la configuration désirée, par exemple par découpage au jet d'eau Ceci réduit les coûts de main-d'oeuvre dans la fabrication du joint d'étanchéité Du fait de sa stabilité dimensionnelle, il n'est pas nécessaire que la garniture d'étanchéité soit logée dans une gorge profonde moulée ou usinée autour du périmètre de l'enceinte à vide La garniture peut être logée dans un évidement peu profond 78, comme représenté sur la figure 4 De préférence, la garniture d'étanchéité est disposée dans l'évidement de l'enceinte à vide de façon que la plus grande partie de sa hauteur en section transversale s'étende au-dessus de la base 26 de la plaque de sondes La stabilité dimensionnelle de la garniture d'étanchéité supporte la portion périphérique inférieure de la plaque supérieure mobile, de telle sorte que la plaque supérieure peut flotter par rapport à la garniture d'étan- chéité Ceci permet à la surface inférieure plane de la plaque supérieure mobile de reposer sur la garniture d'étan- chéité et de glisser sans à-coups dans les deux sens en travers de la surface supérieure plane de la garniture d'étanchéité entourant de façon continue toute la périphérie de l'enceinte à vide lorsque des réglages de position sont effectués sur la plaque supérieure flottante par rapport à la garniture d'étanchéité et l'enceinte à vide sous-jacente Le dessin montre une surface inférieure plane continue sur la plaque supérieure mobile; dans une variante, un bourrelet périphérique continu de 0,75 mm peut s'étendre vers le bas depuis le périmètre extérieur de la plaque supérieure. La figure 5 illustre une autre forme de l'invention Cette vue montre une plaque supérieure 28 de montage d'essai reposant sur la garniture d'étanchéité périphérique 36 qui s'étend autour de la périphérie de l'enceinte à vide et de la plaque de sondes 26 Une carte de circuit imprimé 80 est montée sur une garniture périphérique compressible 82 au- dessus de la plaque supérieure mobile La garniture peut être en le même élastomère cellulaire compressible que le joint d'étanchéité au vide 36 Des broches de positionnement, représentées schématiquement en 84, sont engagées dans des trous de broches de positionnement percés avec précision dans la carte pour tenir celle-ci dans une position fixe sur la plaque supérieure Un réseau de sondes d'essai assujetties à un ressort (non représenté), montées dans la plaque de sondes, s'étendent à travers des trous d'accès dans la plaque supérieure pour venir en contact avec le côté inférieur de la carte à contrôler Des ensembles de paliers linéaires 86 sont disposés dans les quatre coins du montage pour supporter la plaque supérieure mobile afin de guider son mouvement en direction et en s'éloignant de la plaque de sondes lors du fonctionnement sous vide, d'une manière semblable aux ensembles de paliers 34 décrits précédemment Seul l'un des ensembles de paliers 86 est représenté sur la figure 5, à des fins de simplicité Dans cette réalisation de l'ensemble de palier, un manchon de palier linéaire 88 est monté sur un bloc palier 90 Le manchon de palier 88 est fait dans le même matériau composite plastique dur, avec un diamètre intérieur naturellement lubrifié décrit précédemment Le bloc palier comporte les trous d'accès 92 dans sa base pour recevoir des moyens de fixation 94, qui se vissent dans des trous taraudés correspondants 96 dans la base de la plaque de sondes Des entretoises en téflon 98 sont placées à l'interface entre le bloc palier 90 et la face inférieure 57 de la plaque de sondes 24 Le manchon de palier linéaire 88 s'étend vers le haut depuis le bloc palier dans un trou surdimensionné 100 dans la plaque de sondes de façon que le palier linéaire puisse se déplacer en tant qu'unité avec le bloc palier en pouvant pivoter librement sur 3600 à l'intérieur du trou surdimensionné 100 Lorsque les moyens de fixation filetés 94 sont vissés dans les trous 96 dans la plaque de sondes, ils coopèrent avec des rondelles plates 102 qui s'appliquent contre des épaulements 104 à l'intérieur du bloc palier. Lorsque les moyens de fixation 94 sont serrés à fond contre les épaulements 104, le bloc palier et le manchon de palier linéaire 88 peuvent être maintenus dans une position rigide fixe par rapport à la plaque de sondes Si l'on desserre légèrement les moyens de fixation 94, ils peuvent retenir le bloc palier sur la base du montage et tenir le manchon de palier 88 dans une position fixe à l'intérieur du trou surdimensionné 100, mais ils procurent une petite liberté de mouvement ou "flottement" du bloc palier et du manchon par rapport au trou 100 Une broche de verrouillage 106 est représentée schématiquement dans le passage vertical circu- laire à travers l'intérieur du manchon de palier 88 Cette broche de verrouillage 106 représente schématiquement l'une de diverses formes de broches de verrouillage (décrites ci- après) pour fixer la plaque supérieure mobile 28 sur les ensembles de paliers linéaires Lorsque les blocs paliers sont desserrés, la plaque supérieure, les broches de ver- rouillage, les paliers et les blocs paliers peuvent être déplacés en tant qu'unité par rapport à la plaque de sondes. Ceci permet de déplacer la carte à contrôler pour aligner de façon précise les points d'essai sur la carte avec les sondes d'essai Une fois la carte alignée (dans certains cas, les blocs paliers n'ont pas besoin d'être fixés en place pendant l'essai Ils peuvent rester desserrés), les blocs paliers peuvent être serrés en place Lorsqu'un vide est créé pendant les essais, les paliers guident le déplacement vertical de la plaque supérieure et le joint d'étanchéité est comprimé pour maintenir le vide en dessous de la plaque supérieure Les paliers sont isolés du vide à l'intérieur des chambres à vide. La réalisation de la figure 5 illustre une technique pour aligner de façon précise les sondes d'essai avec la carte à contrôler, technique dans laquelle la plaque supérieure est déplacée par rapport à la plaque de sondes et au joint d'étanchéité au vide par un entraînement par moteur extérieur représenté schématiquement en 108 Dans cet agencement, un système d'alignement extérieur peut être utilisé pour déterminer les points de référence avec lesquels des marques d'indexation correspondantes sur la carte sont alignées pour aligner de façon précise les points d'essai dans les circuits sur la carte avec les sondes d'essai correspondantes dans le montage La plaque supérieure est ensuite déplacée pour déplacer la carte de façon à aligner les marques d'indexation sur la carte avec les points de référence fixés dans le système d'alignement extérieur Les marques d'indexation sur la carte peuvent être des marques de référence conventionnel- les imprimées avec précision en des positions fixes connues sur la carte par rapport au réseau de circuits imprimés sur la carte Un tel système d'alignement à utiliser avec la disposition peut être un système d'alignement optique décrit dans la Demande PCT US 91/03688, publiée le 12 décembre 1991 sous le numéro de publication WO 91/19392, intitulé "Test Fixture Alignment System" (Système d'alignement de montage d'essai), cédé au présent Demandeur et incorporé ici à titre de référence La plaque supérieure peut se déplacer librement dans les directions orthogonales des axes X ou Y ou dans les directions de rotation selon l'axe Z (combinaisons de mouvements selon les axes x et y) Les broches de verrouil- lage 106 sont initialement bloquées dans les paliers linéai- res 88 pour fixer la plaque supérieure mobile sur les paliers linéaires portés par les blocs paliers Ainsi, les blocs paliers, les paliers linéaires et le verrou 106, ensemble avec la plaque supérieure, se déplacent en tant qu'unité pendant l'alignement Le trou surdimensionné 100 dans chaque ensemble de palier linéaire procure une liberté de 3600 autour de l'extérieur de chaque palier 88 pour permettre de déplacer le palier à l'intérieur du trou surdimensionné en toute position à l'intérieur nécessaire pour effectuer l'alignement exigé entre les marques d'indexation et les points de référence, et aligner ainsi automatiquement les sondes avec les circuits sur la carte La plaque supérieure est déplacée par l'entraînement par moteur à commande par ordinateur extérieur 108, qui se raccorde à un bras rigide 109 fixé sur la plaque supérieure mobile pour appliquer automatiquement les forces dans les directions appropriées pour déplacer la plaque supérieure Pendant ce mouvement de la plaque supérieure par rapport à la plaque de sondes, les blocs paliers 90 dans chaque ensemble de palier sont desser- rés par rapport à la plaque de sondes en desserrant les raccordements entre les moyens de fixation 94 et les trous taraudés 96 dans la base de la plaque de sondes Ces raccor- dements restent à tout moment desserrés pendant l'alignement et pendant le fonctionnement sous vide du montage d'essai, pour autant que chaque carte peut être indépendamment alignée par le système d'alignement optique grâce à la liberté qu'a chaque carte de se déplacer par rapport au réseau de sondes. Le bras rigide 109 et son raccordement au système d'entraîne- ment procurent une rigidité appropriée pour tenir la plaque supérieure en place après son alignement Les paliers linéaires procurent un moyen pour guider la broche de verrouillage 106 pendant le trajet vertical dans les manchons de paliers (pendant le fonctionnement sous vide) sans que se produise un coincement. La disposition pour déplacer la plaque supérieure pendant le processus d'alignement optique est représentée schématique- ment sur la figure 5 Les figures 21 à 29, décrites ci-après, montrent des détails d'un système d'entraînement par moteur préféré pour aligner automatiquement la plaque supérieure sur le réseau de sondes en réponse aux informations d'alignement détectées produites par le système d'alignement optique. La figure 5 A représente un autre système de paliers linéaires et un moyen pour fixer les blocs paliers 90 a sur le montage. Dans le système représenté sur la figure 5 A, le bloc palier 90 a retient le palier linéaire 88 a L'arbre représenté schématiquement en 106 a glisse verticalement dans le palier 88 a comme dans les réalisations précédemment décrites Des moyens de fixation 94 a retiennent le bloc palier, mais restent desserrés dans des pièces rapportées 96 a pour permettre une liberté de mouvement jusqu'à la position réglée Des feuilles de glissement en téflon 98 a facilitent le mouvement des blocs paliers par rapport à la plaque supérieure mobile Le palier linéaire est disposé dans un trou surdimensionné l O Qa et les moyens de fixation 94 a se trouvent dans des alésages surdimensionnés 94 b Le bloc palier est retenu par une plaque de base séparée 90 b et des écrous auto-bloquants 94 c Dans cette réalisation, un goujon fileté séparé 110 est placé dans chaque bloc palier adjacent à chaque mécanisme de verrou à déclenchement rapide (repré- senté schématiquement en 34 a) Si on n'utilise pas de système d'alignement optique, les blocs paliers peuvent être fixés sur le montage par les goujons 110 En variante, si on utilise un système d'alignement optique et si l'entraînement d'alignement optique est détaché de la plaque supérieure mobile, chaque bloc palier peut être fixé sur la base du montage par les goujons 110 pour maintenir l'alignement Dans un agencement préféré, on peut accéder à chaque goujon 110 par un trou d'accès séparé 111 disposé dans la plaque supérieure 28 adjacent à chaque mécanisme de verrouillage 34 a Les trous d'accès sont également représentés sur la figure 1 Chaque trou d'accès permet le passage d'un outil pour tourner la tête li Qa du goujon 110 Les goujons peuvent rester desserrés pendant que la plaque supérieure 28 est décalée à sa position correcte (par le système d'alignement optique) Les goujons sont ensuite serrés depuis l'accès à travers les trous 111 pour fixer rigidement les blocs paliers dans une position fixe Les goujons coopèrent avec des écrous auto-bloquants ll Ob qui bloquent les goujons 110 lorsqu'ils sont serrés de dessus Ainsi, l'accès pour fixer les blocs paliers 90 a se fait entièrement depuis le côté supérieur du montage Ceci évite d'ouvrir le montage pour fixer les positions des paliers après que la plaque supérieure a été alignée par le système d'alignement optique. Dans une autre forme de l'invention, les blocs paliers eux- mêmes peuvent être fixés à la plaque de sondes, soit dans les cas o on n'utilise pas de système d'alignement optique, soit après qu'on a utilisé le système d'alignement optique pour aligner la plaque supérieure avec le réseau de sondes. Lorsqu'on utilise le système d'alignement optique, les blocs paliers ne sont pas fixés en permanence; ils sont desserrés pendant le processus d'alignement Le système de fixation représenté sur la figure 5 A est préféré avec les procédures d'alignement optique, car on peut accéder sans obstacle aux goujons de blocage 110 depuis le côté supérieur du montage. La figure 6 montre une réalisation d'un système de verrou à déclenchement rapide, qui peut être utilisé avec chaque ensemble de palier linéaire Cette réalisation montre schématiquement la plaque supérieure mobile 28, la garniture d'étanchéité compressible 36, la plaque de sondes 26 et un bloc palier 112 qui porte un palier linéaire 114 De préfé- rence, le palier linéaire est un manchon en matière plastique dure semblable aux paliers linéaires décrits précédemment. Une broche de guidage verticale 116 est rigidement fixée à l'intérieur du diamètre intérieur du palier Une vis à oreilles 118 se visse dans la base de la broche de guidage et une tête de vis à oreilles 119 est serrée contre le bas du bloc palier pour tenir prisonnière la broche de guidage entre le palier et l'épaulement sur la broche de guidage La portion supérieure de la broche de guidage est fixée sur la plaque supérieure Une douille est fixée rigidement sur la plaque supérieure et empêche tout mouvement latéral de la plaque supérieure par rapport à la broche de guidage Cette douille en acier a un trou traversant qui est disposé de façon amovible autour de l'extérieur de la broche de guidage. Cette douille métallique annulaire 120 entoure une portion supérieure de la broche de guidage au niveau de la plaque supérieure mobile Une rondelle annulaire en acier 122 et une douille annulaire en caoutchouc 124 sont fixées sur la portion supérieure de la broche de guidage au- dessus de la douille en acier La rondelle repose sur la douille en caoutchouc La douille en caoutchouc permet normalement un petit jeu avec un léger mouvement vers le haut et vers le bas de la plaque supérieure par rapport à la broche de guidage. Un ressort de rappel 126 entoure la portion supérieure de la broche de guidage entre le haut du palier et le côté infé- rieur de la douille métallique 120 La portion supérieure de la broche de guidage au-dessus de la plaque supérieure comporte une tête agrandie 128 au-dessus d'une gorge annu- laire 130 formant un épaulement annulaire 132 rigidement fixé dans une position espacée au-dessus de la surface supérieure de la plaque supérieure Les ressorts de rappel maintiennent la plaque supérieure au-dessus de la garniture d'étanchéité. Les figures 7 et 8 montrent un mécanisme de verrou pour raccorder rigidement la plaque supérieure mobile 28 à la portion supérieure de la broche de guidage 116 Dans cette réalisation du mécanisme de verrou, un cadre de guidage en forme de U 134 entoure la tête 128 de la broche de guidage au-dessus de la plaque supérieure Un verrou à ressort 136 coulisse à l'intérieur du guide en forme de U 134 Le verrou 136 peut être tiré à la main vers l'extérieur contre le rappel du ressort de compression, comme on le voit sur la figure 8, pour permettre de dégager la plaque supérieure 28de la portion supérieure de la broche de guidage Le rappel du ressort amène le verrou en prise avec la gorge annulaire 130 formée en dessous de l'épaulement 132 de la tête 128 sur la broche de guidage Cette coopération entre le verrou et la gorge 130 de la broche de guidage verrouille de façon amovible la plaque supérieure avec la broche de guidage Ce verrouillage sur la broche applique également une pression dirigée vers le bas sur la douille de caoutchouc pour la comprimer et reprendre tout jeu entre la plaque supérieure et la broche de guidage Ceci tient la plaque supérieure dans une position fixe sur la broche de guidage Lorsqu'un vide est créé d'en dessous la plaque supérieure mobile, la plaque supérieure sera attirée vers le bas pour comprimer le ressort 126 et appliquer la surface inférieure de la plaque supé- rieure contre la garniture d'étanchéité 36 La broche de guidage permet un trajet vertical sans à-coups guidé dans chaque coin de la plaque de sondes et de la plaque supérieure mobile Dans cette réalisation, l'accès à la broche de guidage du palier linéaire et au verrou se fait seulement d'en dessus la plaque supérieure mobile La plaque supérieure peut être retirée en libérant les verrous pour libérer la plaque supérieure et la faire glisser hors des broches de guidage Ainsi, il est inutile d'accéder au côté inférieur du bloc palier pour libérer la plaque supérieure de la plaque de sondes. Les figures 9 et 10 montrent une autre forme du verrou à ressort des figures 7 et 8 Dans la réalisation des figures 9 et 10, la tête 128 de la broche de guidage 116 est ver- rouillée sur la plaque supérieure 28 par une plaque verrou à rappel par ressort 140 ayant une encoche en forme de U 142 en vis-à-vis de la tête de la broche de guidage Un épaulement se projetant vers l'intérieur en forme de U 144 à l'intérieur * de l'encoche en forme de U 142 coopère avec la gorge annu- laire 130 dans la broche sous la pression du ressort de rappel du verrou La figure 9 montre la position verrouillée. La figure 10 montre la position déverrouillée, dans laquelle le verrou est tiré manuellement en l'écartant de la broche de guidage contre le rappel du ressort de rappel intérieur Deux goujons filetés 146 se projettent vers le haut de la plaque de guidage et servent de guides dans des fentes de guidage parallèles allongées 148 dans le verrou pour guider le déplacement du verrou entre sa position verrouillée et sa position déverrouillée. Les figures 11 à 13 montrent une réalisation d'un verrou à déclenchement rapide ayant un capuchon cylindrique en matière plastique moulée 150 qui pivote autour de l'axe d'une broche verticale 152 Cette broche 152 est fixée sur la face supérieure de la plaque supérieure mobile 28 et s'étend au- dessus de celle-ci La broche de guidage 116 décrite précé- demment a sa tête de verrouillage 128 se projetant au-dessus de la surface supérieure de la plaque supérieure et dans une fente ouverte incurvée 154 dans une portion latérale du capuchon espacée de l'axe de la broche 152 La fente a un épaulement incurvé se projetant vers l'intérieur 156 sur les deux côtés, et cet épaulement coopère avec la gorge annulaire en dessous de la tête 128 L'épaulement se projetant vers l'intérieur 156 s'étend sur la plus grande partie de la longueur de la fente et sur les deux côtés de celle-ci, mais il est supprimé dans une zone de dégagement 158 à une extrémité de la fente La figure 11 montre la tête 128 de la broche de guidage s'étendant à travers la région de dégage- ment 158 de la fente; dans cette position, on peut dégager le capuchon de la broche de guidage pour enlever la plaque supérieure Pour verrouiller la plaque supérieure sur la plaque de sondes, le capuchon est placé sur la tête de verrouillage 128 de la broche de guidage et il est engagé dans la fente 154 On peut ensuite faire pivoter le capuchon autour de l'axe de la broche 152 dans la direction représen- tée sur la figure 11 Il en résulte que l'épaulement de blocage 156 dans la fente incurvée vient en prise avec le côté inférieur de la tête de verrouillage 128 En tournant complètement à fond le capuchon jusqu'à la position verrouil- lée représentée sur la figure 13, on fixe le verrou à déclenchement rapide dans sa position verrouillée avec l'épaulement de verrouillage 156 retenu dans la gorge 130 en dessous de la tête 128 de la broche de guidage 116 Dans cette position, le verrou maintient une pression sur la plaque supérieure par compression de la douille en caout- chouc La broche de guidage coopère avec le palier tubulaire pour permettre un déplacement vertical guidé sans à-coups de la plaque supérieure pendant le fonctionnement sous vide. L'enlèvement des capuchons libère la plaque supérieure et permet de l'enlever des broches de guidage. Les figures 14 et 15 montrent une autre forme d'un verrou à déclenchement rapide, dans lequel un capuchon plastique moulé cylindrique amovible 160 se verrouille sur la tête de verrouillage 128 sur la broche de guidage 116 La figure 14 montre le capuchon ayant une ouverture fendue agrandie 162 qui se loge autour de la tête de verrouillage 128 du verrou. Des épaulements 164 se projettent vers l'intérieur sur les côtés opposés d'un passage rétréci en dessous de la fente 162 Le capuchon 160 peut être entièrement retiré de la tête de verrouillage 128, comme on le voit sur la figure 14, et il peut glisser sur la tête de verrouillage pour maintenir la broche de guidage dans sa position verrouillée sur la plaque de sondes Dans cette réalisation, les canaux de guidage 164 sont engagés dans la gorge de diamètre réduit 130 en dessous de la tête de verrouillage 128 pour maintenir la broche de guidage sur la plaque de sondes. Les figures 16 et 17 montrent un autre arrangement pour verrouiller et déverrouiller la plaque supérieure mobile 28. Dans cette réalisation, une broche de verrouillage 165 s'étend à travers le manchon 60 qui est fixé sur la plaque supérieure 28 Le manchon est fixé sur le bloc palier 50 qui porte le palier linéaire 46 comme décrit précédemment Le haut de la broche de verrouillage 165 a un levier 166 avec une came 167 coopérant avec un gradin dans la tête de la broche Le levier de came pivote autour d'un axe 166 a Le bas de la broche porte une garniture annulaire compressible 168 disposée entre le bas du manchon et un mamelon 169 fixé sur le bas de la broche Lorsque le levier est dans la position verticale déverrouillée représentée sur la figure 16, la garniture 168 n'est pas comprimée et la broche peut se déplacer librement à travers le palier 46 Lorsque le levier est amené par pivotement à la position verrouillée représen- tée sur la figure 17, la came est appliquée de force en prise avec le gradin, ce qui raccourcit la longueur effective de la broche et comprime la garniture entre le bas du manchon et le mamelon Ceci maintient la plaque supérieure dans une position verrouillée libérable sur le montage. Les figures 17 A à 17 D représentent un autre verrou à commande par came, également appelé "broche de verrouillage à languet- te" Dans cette réalisation, un arbre 360 porte une came supérieure 361 qui pivote sur l'axe 362 d'une broche verti- cale 363 Une languette décalée 364 se projette au niveau du bas de la broche rotative jusqu'à une position déportée par rapport au côté de l'arbre Une garniture ou un ressort 365 est disposé entre la languette et le bas de l'arbre Un téton de verrouillage 366 dans une portion supérieure de l'arbre est décalé de l'axe de la broche 363 Le téton de verrouil- lage 366 peut pénétrer dans un trou d'arrêt dans le côté inférieur de la came supérieure 361 pour empêcher cette came de tourner Les figures 17 A et 17 B montrent la position verrouillée du verrou, dans laquelle la plaque supérieure et la plaque de sondes sont verrouillées ensemble Le verrou est libéré en tirant vers le haut la came supérieure pour la faire tourner sur le téton de verrouillage, comme il est représenté sur les figures 17 C et 17 D Ceci amène la lan- guette en alignement avec l'arbre, de sorte que l'arbre peut se déplacer librement à travers les paliers linéaires La garniture ou ressort 365 est comprimé lorsque le verrou est tourné jusqu'à sa position déverrouillée. Les figures 18 et 19 montrent un joint d'étanchéité annulaire secondaire 170 qui peut être utilisé pour isoler une portion de la région de vide à l'intérieur du montage d'essai Par exemple, la figure 18 montre une multiplicité de trous d'accès de sondes d'essai 31 ' dans la plaque de sondes 26. Les trous d'accès peuvent être utilisés pour des sondes d'essai 174 qui viennent en contact avec une certaine région de la carte de circuit imprimé à essayer Dans les cas o les sondes d'essai dans les trous 31 ' viennent en contact avec un dispositif de circuit intégré, tel qu'un dispositif monté en surface, ou avec tout autre dispositif de circuit sur la carte qui ne doit pas être soumis à une dépression notable pendant l'essai, le joint d'étanchéité au vide secondaire peut isoler l'espace 171 à l'intérieur du joint d'étanchéité du vide appliqué dans l'espace annulaire 172 à l'inté- rieur de l'enceinte à vide entourant le joint d'étanchéité secondaire Cette zone soumise à vide 172 peut être utilisée pour attirer mécaniquement la plaque supérieure mobile en contact avec les sondes pendant les essais, tandis que les sondes d'essai à l'intérieur de l'espace 171 sont isolées du vide Le joint d'étanchéité 170 peut être dans le même matériau cellulaire que la garniture d'étanchéité 36, de préférence en matériau Poron Le joint d'étanchéité secon- daire peut reposer dans un évidement usiné peu profond 176. La figure 21 montre un autre agencement de "double joint d'étanchéité", lequel sera décrit plus en détail ci-après. La figure 20 illustre une manette de sécurité à ressort, qui empêche l'ensemble d'enceinte à vide articulé de blesser par inadvertance l'utilisateur L'ensemble d'enceinte à vide, qui comprend la plaque de sondes 26 et la plaque supérieure mobile 28, est articulé pour tourner jusqu'à une position ouverte au-dessus de la plaque de base 22 Ceci permet d'accéder aux sondes d'essai sur le côté inférieur de la plaque de sondes La manette de sécurité comporte une barre métallique rigide 180 ayant un axe d'articulation 182 à sa base pour fixer en rotation la barre sur une portion frontale inférieure de la plaque de base L'axe d'articulation est rigide de façon à résister aux pressions axiales exercées sur l'extrémité opposée de la barre Un téton d'accès 184, porté sur la face frontale de la barre, se projette à travers une fente incurvée 186 sur la face frontale de la plaque de base. Le téton d'accès est utilisé pour faire pivoter manuellement la barre 180 entre une position de repos représentée en traits mixtes et une position active verticale représentée en trait plein La manette de sécurité a un ressort de torsion de rappel représenté schématiquement en 187 pour ramener normalement la barre de sécurité à sa position verticale. Lorsque l'ensemble d'enceinte à vide articulé est amené en rotation à sa position ouverte, la manette de sécurité 180 pivote jusqu'à sa position active verticale sous la force du ressort 187, avec le bord supérieur de la barre espacé bien au-dessus du bord inférieur 188 de l'ensemble d'enceinte à vide L'enceinte à vide est normalement maintenue dans sa position totalement ouverte par une pression de ressort, mais une force exercée vers le bas par inadvertance peut faire pivoter rapidement vers le bas tout l'ensemble et heurter éventuellement les doigts de l'utilisateur La manette de sécurité 180 élimine ce problème Dans sa position active, elle résiste à tout mouvement vers le bas de l'ensemble d'enceinte à vide pour retenir l'enceinte à vide dans une position partiellement ouverte La manette de sécurité 180 est amenée par pivotement vers le bas jusqu'à sa position de repos lorsque l'ensemble d'enceinte à vide articulé est amené par rotation à sa position fermée. Dans une réalisation, le couvercle supérieur du montage peut être maintenu dans une position ouverte inclinée fixe par un ou plusieurs ressorts pneumatiques (non représentés) Lorsque le montage est ouvert, le ressort pneumatique peut limiter le trajet du couvercle supérieur à, par exemple, moins d'environ 600 Si on ajoute des accessoires (par exemple une porte de retenue) au couvercle supérieur, ces accessoires peuvent modifier le centre de gravité si le couvercle tourne pour s'ouvrir jusqu'à un angle de 90 * Le ressort pneumatique évite un tel déplacement du centre de gravité. Les figures 21 à 29 représentent une réalisation d'un système d'entraînement par moteur selon les axes X-Y pour déplacer automatiquement la plaque supérieure 28 et l'amener en alignement correct avec le réseau de sondes sur le montage de façon que les circuits sur la carte à contrôler soient correctement alignés avec les sondes 30 Tout défaut d'ali- gnement de la carte par rapport au réseau de sondes est détecté par un système d'alignement optique tel que celui décrit dans la publication PCT WO 91/19392, citée précédem- ment Les figures 21 à 23 représentent schématiquement une réalisation du montage d'essai et du système de paliers linéaires utilisés en coopération avec une réalisation du système d'alignement optique Le système de paliers repré- senté à des fins d'illustration est semblable à celui décrit précédemment en liaison avec la figure 5 A Ce système de paliers comporte les blocs paliers mobiles aux quatre coins du montage Chaque bloc palier comporte un manchon de palier 88 a et des moyens de fixation 94 a qui doivent être desserrés pour permettre la liberté de mouvement des blocs paliers tandis que la plaque supérieure 28 est déplacée en utilisant le système d'alignement optique Chaque bloc palier est également représenté avec sa broche de verrouillage 110 utilisée pour fixer les blocs paliers pour maintenir l'ali- gnement après déplacement de la plaque supérieure et aligne- ment correct de la carte à contrôler avec le réseau de sondes par le système d'alignement optique. En résumé, le montage comporte des blocs paliers 90 a aux coins arrière du montage Ces blocs paliers sont semblables à ceux décrits précédemment en liaison avec la figure 5 A. Deux blocs paliers séparés 190, situés aux coins avant du montage, sont modifiés pour comporter un bras d'extension 192 couplé à des moteurs d'entraînement séparés servant à déplacer automatiquement la plaque supérieure pour l'amener en alignement comme décrit ci-après Les blocs paliers 190 sont par ailleurs semblables aux blocs paliers arrière 90 a en ce qu'ils comportent des moyens de fixation 94 a permettant une liberté de déplacement du bloc palier par rapport à la plaque supérieure; ils comportent également le palier linéaire 88 a et l'arbre 106 a décrits précédemment, ainsi que les broches 110 servant à fixer les blocs paliers avant lorsque l'alignement optique a été terminé. Le système représenté sur la figure 21 comporte également la garniture d'étanchéité extérieure annulaire 36 qui constitue un joint d'étanchéité extérieur entre le côté inférieur de la plaque supérieure mobile 28 et la face supérieure de la plaque de sondes 26 Comme décrit précédemment, ce joint d'étanchéité au vide isole la zone soumise au vide des blocs paliers mobiles qui se trouvent à l'extérieur de la zone soumise au vide Dans la réalisation représentée sur la figure 21, la carte de circuit imprimé 80, qui est montée sur le haut de la plaque supérieure 26, est également isolée totalement de la zone soumise au vide Dans cette réalisa- tion, un joint d'étanchéité au vide 194, fait en un matériau semblable au joint d'étanchéité 36, est fixé sur le côté inférieur de la plaque supérieure mobile Le fond du joint d'étanchéité 194 se loge dans un évidement peu profond de configuration associée dans la surface supérieure de la plaque de sondes Lorsqu'un vide est créé, une zone annulaire de vide 196 est formée entre le joint d'étanchéité 194 et le joint d'étanchéité 36, de sorte que la carte de circuit imprimé à contrôler est complètement isolée de la zone soumise au vide. En se reportant maintenant au système d'alignement optique, et particulièrement en se reportant aux figures 21 et 22, deux moteurs d'entraînement portatifs sont attachés aux bras d'extension 192 des blocs paliers 190 situés aux coins avant du montage et servent à déplacer automatiquement l'alignement de la plaque supérieure par rapport aux sondes d'essai sur la base du montage Les blocs paliers frontaux 190 sont rigide- ment fixés sur une barre transversale rigide 197, qui s'étend latéralement en travers de l'avant du montage en dessous de la plaque de sondes 24 Les blocs paliers 190 sont montés entre des feuilles de glissement en téflon, de sorte que les blocs paliers frontaux 190 et la barre transversale 197 sont solidarisés en une unité monobloc et se déplacent ensemble par rapport à la plaque supérieure La fixation des blocs paliers sur la base du montage permet un déplacement vertical en coulissement de la plaque supérieure dans le plan de la plaque supérieure seulement, tandis que la plaque supérieure ne peut pas se déplacer dans la direction verticale ou en basculement Comme mentionné précédemment, les arbres 106 a fixés sur le fond de la plaque supérieure mobile sont alignés dans les paliers linéaires 88 a, de sorte que tout mouvement des blocs paliers frontaux déplacera automatiquement la plaque supérieure Les blocs paliers 90 a situés aux coins arrière du montage restent à l'état non bloqué pendant l'alignement optique, et les arbres 106 a sur la plaque supérieure mobile, qui coopèrent avec les paliers linéaires dans les blocs paliers arrière, sont libres et suivent le trajet induit sur les blocs paliers frontaux par le système d'alignement optique Les bras d'extension 192 des blocs paliers frontaux sont entraînés pendant l'opération d'aligne- ment par un moteur d'entraînement 198 selon l'axe X et l'axe Y en coopération avec un moteur d'entraînement 200 selon l'axe Y Chacun de ces moteurs d'entraînement est contenu à l'intérieur d'un boîtier portatif séparé adapté pour être raccordé de façon amovible aux coins frontaux du montage avant l'opération d'alignement optique L'étroit bras d'extension 192 partant de chaque bloc palier frontal s'étend entre deux bras d'extension extérieurs fixes 202 rigidement fixés sur la plaque de sondes Les bras fixes extérieurs 202 s'étendent parallèlement aux bras mobiles 192 sur les blocs paliers frontaux, qui s'étendent dans l'espace entre les bras d'extension extérieurs 202 Les bras d'extension fixes ont des broches fixes verticales 204 (décrites ci-après) sur les moteurs d'entraînement pour raccordement à des logements correspondants sur le montage pour tenir les moteurs d'en- traînement dans une position fixe au niveau des coins frontaux du montage pendant l'opération d'alignement Les broches fixes 204 sur les moteurs d'entraînement peuvent être retirées de ces logements lorsqu'on retire les moteurs des coins frontaux du montage Les bras d'extension 192 des blocs paliers frontaux mobiles sont raccordés à deux broches mobiles verticales 206 qui se raccordent à des logements sur un chariot mobile (décrit ci-après) porté par les arbres d'entraînement selon les axex X-Y des moteurs d'entraînement 198 et 200 L'opération d'alignement en utilisant les moteurs d'entraînement est décrite plus en détail ci-après. On se reporte maintenant aux représentations schématiques des moteurs d'entraînement 198 et 200 représentées sur la figure 21; le moteur d'entraînement 198 selon les axes X et Y comprend un moteur d'axe Y 208 ayant un écrou d'entraînement taraudé 210 qui tourne autour de son axe lorsque le moteur d'axe Y 208 est entraîné L'écrou d'entraînement 210 coopère avec un arbre fileté fixe d'axe Y 212, solidarisé du bras d'extension 192 du bloc palier représenté dans le coin gauche frontal du montage Lorsque le moteur d'axe Y est entraîné, l'écrou d'entraînement 210 déplace axialement l'arbre d'axe Y 212 dans la direction de l'axe Y, comme représenté en 214 sur la figure 21 L'unité d'entraînement 198 comprend également un moteur d'axe X 216 ayant un arbre de sortie aligné avec l'axe X représenté en 218, perpendiculaire à l'arbre d'axe Y Le moteur d'axe X comprend un écrou taraudé d'entraînement 220 coopérant avec un arbre fixe d'axe X 222, lequel est raccordé à des mécanismes d'engrenage intérieurs (décrits ci-après) qui déplacent la plaque supérieure dans la direction appropriée selon l'axe X, lorsque le moteur d'axe X entraîne l'écrou d'entraînement 220. L'unité d'entraînement d'axe Y 200 comporte un moteur d'axe Y 224 pour entraîner un écrou d'entraînement d'axe Y 226 coopérant avec un arbre d'axe Y fixe 228, f ixé sur le bloc palier représenté au niveau du coin frontal droit du montage. Pendant le fonctionnement du système d'alignement optique, comme décrit plus en détail ci-après, la plaque supérieure peut être déplacée selon l'axe X, selon l'axe Y ou peut être tourné dans l'axe Z, comme suit Tout alignement dans l'axe X est produit en actionnant le moteur d'axe X 216 qui déplacera le bras d'extension frontal 192 du bloc palier représenté au niveau du coin gauche frontal du montage La plaque supérieure toute entière est fixée en tant qu'unité rigide sur l'entraînement d'axe X, de sorte que les signaux d'entrée arrivant au dispositif de commande du moteur d'axe X peuvent déplacer la plaque supérieure vers la gauche ou vers la droite selon l'axe X Le mouvement d'axe Y est produit en actionnant à l'unisson les moteurs d'axe Y 208 et 224 pour déplacer la plaque supérieure en direction de l'avant ou en direction de l'arrière selon l'axe Y 214 Les moteurs d'entraînement d'axe Y 208 et 224 peuvent également être actionnés pour produire un mouvement de rotation selon l'axe Z de la plaque supérieure en faisant tourner un moteur d'axe Y dans un sens de rotation et l'autre moteur d'axe Y dans le sens de rotation opposé Des signaux d'entrée correspondants arrivant au moteur d'axe Y peuvent produire une rotation en sens inverse des aiguilles d'une montre ou dans le sens des aiguilles d'une montre de la plaque supé- rieure en plus d'un mouvement vers l'avant ou vers l'arrière uniquement selon l'axe Y. En se reportant à la figure 23, sous une forme préférée, le système d'alignement optique comporte un viseur d'alésage de petit diamètre 230 (représenté schématiquement sur la figure 23 et montré en position dans le montage sur la figure 22). Le viseur d'alésage comprend un guide d'image sous forme de fibres optiques pour transmettre l'image d'une marque de référence 232 sur la carte à une unité de traitement à distance Le viseur d'alésage comporte également des fibres optiques pour transmettre de la lumière en provenance d'une source de lumière éloignée au voisinage de la marque de référence de façon à éclairer celle-ci L'image de la marque de référence transmise par le guide d'image à fibres optiques est ainsi renforcée L'extrémité côté sonde du viseur d'alésage est montée dans une position fixe sur la plaque de sondes 24 en dessous de la plaque supérieure mobile 28 La sonde peut accéder à la marque de référence à travers une ouverture 231 dans la plaque supérieure 28 Il y a en fait deux viseurs d'alésage, chacun étant utilisé pour former l'image d'une marque de référence 232, deux telles marques étant disposées dans des coins diamétralement opposés du montage Un réceptacle de petit diamètre, de préférence un connecteur standard de 2 mm, permet de monter chaque viseur d'alésage sur la plaque de sondes La plaque supérieure mobile comporte des broches de positionnement fixes 84 introduites dans des trous de broches de positionnement dans des coins diagonalement opposés de la carte à essayer Les broches de positionnement sont rigidement fixées sur la plaque supérieure et elles tiennent la carte dans une position fixe au-dessus de la plaque supérieure. En utilisation, le viseur d'alésage détecte la position de chaque marque de référence et produit une lecture optique montrant tout défaut d'alignement de chaque marque de référence par rapport à un point de référence zéro connu, montré en 234 sur l'écran d'un moniteur 236 De préférence, les images transmises par chaque viseur d'alésage sont entrées dans des caméras vidéo miniatures séparées 238 situées à distance du montage d'essai Les systèmes optiques des caméras vidéo focalisent les images transmises des marques de référence sur un dispositif à couplage de charge (puce CCD) situé en 240 dans chaque unité de caméra vidéo à distance La puce CCD convertit l'image en provenance du système optique vidéo en signaux numériques 241 traités par un système de visualisation vidéo qui comporte une unité de commande de caméra dans un dispositif de commande 242 Un câble vidéo coaxial 243 transmet les signaux vidéo au moniteur TV 236 Des images agrandies des marques de réfé- rence sont produites sur l'écran du moniteur vidéo L'écran est divisé de telle sorte que deux sections d'écran, V 1 et V 2, visualisent chaque marque de référence 232 par comparai- son avec un point de référence fixe correspondant 234 produit par un générateur à croisée de fils 244 La publication WO 91/19392 du système d'alignement optique décrit des procédu- res d'étalonnage pour déterminer les points de référence fixes La sortie du générateur électronique à croisée de fils 244 est électroniquement couplée au câble vidéo et également visualisée en tant que point de référence fixe sur l'écran. Le mouvement de la carte fait que les images des marques de référence changent sur l'écran par rapport à leurs points de référence fixes correspondants Tout mouvement de la carte par rapport au réseau de sondes est visualisé en tant que défaut d'alignement des marques de référence par rapport à leurs points de référence fixes En déplaçant la carte par rapport à la plaque de sondes (et en conséquence par rapport aux viseurs d'alésage), on peut aligner les images des marques de référence avec les points de référence fixes Ceci aligne automatiquement la carte de circuit imprimé avec le réseau de sondes Dans cette réalisation, les broches de positionnement 84 de la plaque supérieure restent fixes et, avec la carte et la plaque supérieure, elles se déplacent ensemble par rapport à la plaque de sondes et aux viseurs d'alésage. Comme mentionné précédemment, les paliers linéaires de cette invention procurent un moyen pour permettre un mouvement de la plaque supérieure 28 avec une liberté de 360 pendant l'opération d'alignement optique Les paliers linéaires sont retenus dans leur position lâche pendant les procédures d'alignement optique Dans une forme préférée de l'invention, la plaque supérieure mobile est déplacée par l'unité d'en- traînement motorisée d'axes X et Y 198 et par l'unité d'entraînement motorisée d'axe Y 200 Chaque unité d'entraî- nement est commandée par ordinateur pour déplacer automati- quement la plaque supérieure et l'amener en alignement correct avec le réseau de sondes En utilisation, l'opérateur du système d'alignement observe les alignements relatifs des marques de référence 232 par rapport aux points de référence fixe 234 et actionne les unités d'entraînement motorisées 198 et 200 pour déplacer la plaque supérieure jusqu'à ce que les marques de référence et leurs points de référence fixes correspondants soient alignés Les unités d'entraînement motorisées 198 et 200 sont activées par des signaux de commande 245 et 246 respectivement émis par le dispositif de commande 242 L'une ou l'autre ou les deux unités d'entraîne- ment motorisées sont actionnées en réponse à des ordres d'entraînement de moteur 246 et 248 envoyés à une unité de commande 250 On va maintenant décrire les systèmes d'entraî- nement motorisés. Les figures 24 et 25 montrent l'unité d'entraînement d'axes X et Y 198, qui comporte un motoréducteur d'axe X 250 et un motoréducteur d'axe Y 252 Le motoréducteur d'axe X fait tourner l'écrou d'entraînement d'axe X 220 Des paliers de poussée 254, réglés à un jeu zéro, maintiennent l'écrou d'entraînement 220 dans une postion fixe lorsqu'il tourne autour de son axe L'axe fileté d'axe X 222 est maintenu dans une position fixe sans tourner Un coupleur d'entraînement flexible 256 absorbe les chocs au démarrage et en fin de parcours La rotation de l'écrou d'entraînement d'axe X déplace l'arbre d'axe X 222 axialement dans les deux sens le long de l'axe X. Le motoréducteur d'axe Y 252 est couplé à l'écrou d'entraîne- ment d'axe Y 210 par l'intermédiaire de pignons coniques 258 et 260 disposés à angle droit Un coupleur d'entraînement flexible d'axe Y est représenté en 262 Le pignon 260 a son arbre de sortie couplé à l'écrou d'entraînement d'axe Y supporté par des paliers radiaux à jeu nul 264 La rotation de l'écrou d'entraînement d'axe Y déplace l'arbre d'axe Y 212 axialement en direction ou en s'éloignant de l'écrou d'en- traînement dans des directions opposées le long de l'axe Y. Des segments anti-jeu 266 sont portés sur les deux arbres filetés des unités d'entraînement X et Y. Des supports de montage fixes 268 sont espacés sur les côtés opposés de l'arbre d'axe Y 212 Les supports fixes sont solidarisés du carter 270 de l'unité d'entraînement et ces supports de montage portent les boches fixes 204 Ces broches sont utilisées pour monter l'unité d'entraînement 198 sur le coin frontal du montage Un support de montage de broches mobile 272 est porté sur l'extrémité de l'arbre d'axe Y 212 entre les deux supports de montage fixe 268 Lorsque l'arbre d'axe Y est déplacé dans l'un ou l'autre sens le long de l'axe Y, le support mobile 272 se déplace linéairement avec le mouvement de l'arbre 212 Le support mobile 272 porte les broches mobiles 206, décrites précédemment, qui sont raccor- dées aux blocs paliers au niveau des coins frontaux du montage. L'arbre d'axe X 222 est solidarisé d'un chariot 274 pour déplacer en translation latérale l'arbre d'axe Y dans la direction de l'axe X lors de la translation de l'arbre d'axe X 222 Le chariot 274 comporte une glissière en queue d'aronde 275 qui force le bloc de broches mobiles 272 à se déplacer seulement selon l'axe X Un jeu en 276 permet une translation de l'arbre d'axe Y 212 et de son support de broches mobiles 272 pendant les réglages d'alignement le long de l'axe X Un jeu en 278 entre le support de broches mobiles 272 et les supports de broches fixes 268 permet également un déplacement selon l'axe X. En se reportant aux figures 26 et 27, le moteur d'entraîne- ment d'axe Y 224 comprend un motoréducteur d'axe Y 280 ayant son arbre de sortie couplé à l'écrou d'entraînement d'axe Y 226 au moyen de pignons coniques intermédiaires 282 et 284 disposés à angle droit L'unité d'entraînement comporte également des paliers radiaux a jeu nul 286, un coupleur d'entraînement flexible 288 et un segment anti-jeu 290 décrits précédemment L'arbre d'entraînement d'axe Y 228 est porté sur une glissière en queue d'aronde 292 qui permet un mouvement libre selon l'axe X tout en limitant le déplacement selon l'axe Y lorsque le bloc de broches mobiles 294 est entraîné dans la direction de l'axe X Des blocs de broches fixes 296, fixés sur le carter 298 de l'entraînement d'axe Y, portent les broches de montage fixes 204 Le bloc de broches mobiles 294 porte les broches 206 pour le raccordement aux blocs paliers au niveau du coin frontal droit du montage. Dans l'utilisation des entraînements par moteur, chaque unité d'entraînement est montée sur un bras d'extension correspon- dant sur les blocs paliers au niveau des coins frontaux du montage Les figures 28 et 29 montrent les moyens pour monter de façon amovible chaque unité d'entraînement sur le bloc palier Comme mentionné précédemment, les broches fixes 204 du support de montage de broches fixes 268 sont introduites dans des logements correspondants 290 dans un bloc de montage fixe 202 solidarisé de l'avant de la base du montage Ceci tient chaque unité d'entraînement dans une position fixe par rapport au montage L'unité d'entraînement comporte également les broches mobiles 206 portées sur le support de broches mobiles 272 qui est entraîné selon l'axe X ou l'axe Y par l'unité d'entraînement Les broches 206 sont introduites dans de longs logements étroits 294 dans le bras d'extension 272 du bloc palier au coin du montage Toutes les quatre broches 204, 206 sont introduites simultanément dans leurs logements correspondants 290, 294 respectivement Ainsi, lorsque l'unité d'entraînement est montée sur le coin frontal du montage, elle est maintenue dans une position fixe par rapport au montage par les broches extérieures 204, tandis que les unités d'entraînement peuvent déplacer la plaque supérieure dans les directions X, Y et Z par la fixation des broches 206 sur les blocs paliers au niveau des coins frontaux du montage. Dans l'opération d'alignement, les moteurs d'entraînement sont fixés sur les coins avant du montage, et on utilise le système d'alignement optique pour observer tout défaut d'alignement de la carte de circuit imprimé par rapport au réseau de sondes, après quoi on actionne les moteurs d'en- traînement pour déplacer la plaque supérieure jusqu'à ce que le système d'alignement optique indique que l'alignement est correct On peut ensuite enlever les unités d'entraînement du montage, après quoi on règle les broches de verrouillage 110 pour maintenir les paliers linéaires aux quatre coins du montage dans une position fixe par rapport à la plaque supérieure mobile Le montage est ainsi prêt pour qu'on y fasse le vide et que l'on essaie la carte de circuit imprimé. Revendications 1. Montage d'essai sous vide ( 20) pour contrôler des cartes de circuits imprimés, comprenant une plaque de sondes stationnaire ( 26), une plaque supérieure mobile ( 28) disposée à une certaine distance au- dessus de la plaque de sondes pour supporter une carte à contrôler, la plaque de sondes ( 26) supportant un réseau de sondes d'essai ( 30) s'étendant à travers la plaque supérieure ( 28) pour accéder à la carte à contrôler, une garniture d'étanchéité annulaire ( 36) s'éten- dant autour d'un périmètre de la plaque de sondes pour être en contact avec le côté inférieur de la plaque supérieure, la plaque supérieure ( 28) pouvant se déplacer en direction de la plaque de sondes sous l'action d'un vide appliqué dans une zone de vide formée entre la plaque de sondes et la plaque supérieure pour amener la plaque supérieure en direction de la plaque de sondes et comprimer ainsi la garniture d'étan- chéité ( 36) pour maintenir le vide tout en tenant les sondes ( 30) en contact avec la carte pendant le contrôle, la garniture d'étanchéité ( 36) formant un joint étanche à l'air fermé continu autour d'une limite périphérique extérieure de la zone soumise au vide, de telle sorte qu'un vide soit exercé sur la zone de vide formée à l'intérieur de la garniture d'étanchéité pour déplacer la plaque supérieure en direction de la plaque de sondes, la garniture d'étanchéité continue ( 36) ayant une limite intérieure regardant vers la zone de vide et une limite extérieure regardant en direction opposée à la zone de vide, une multiplicité d'ensembles de palier linéaire ( 34) répartis tout autour du périmètre de la plaque de sondes et coopérant avec la plaque supérieure pour guider le déplacement vertical de la plaque supérieure la rapprochant et l'éloignant de la plaque de sondes et de la garniture d'étanchéité ( 36) pendant le fonctionnement sous vide du montage d'essai ( 20), caractérisé en ce que les ensembles de palier linéaire ( 34) qui supportent la plaque supérieure mobile ( 28) pour la guider verticalement en la rapprochant et en l'éloignant de la plaque de sondes sont montés sur la plaque de sondes sur le côté de la limite extérieure de la garniture d'étanchéité ( 36) opposé à la zone de vide formée à l'intérieur de la limite de la garniture, de telle sorte que les ensembles de palier ( 34) sont à l'exté- rieur de la zone de vide et ne sont pas exposés au vide formé dans la zone de vide pour déplacer la plaque supérieure ( 28) en direction de la plaque de sondes ( 26). 2. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que chaque ensemble de palier linéaire ( 34) comprend un manchon de palier tubulaire en matière plastique ( 46) monté sur la plaque de sondes ( 26), et une broche de guidage fixe ( 58) portée par la plaque supérieure ( 28) et positionnée pour se déplacer verticalement d'un mouvement glissant guidé à l'intérieur du manchon de palier ( 46). 3 Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que la broche de guidage ( 58) comprend un verrou ( 34 ') coopérant avec la plaque supérieure ( 28) pour la maintenir en position fixe sur la broche de guidage, le verrou ( 34 ') pouvant être dégagé de la broche de guidage ( 58) seulement à partir d'au- dessus de la plaque supérieure mobile ( 28) pour retirer la plaque supérieure de la broche de guidage et de son support fourni par le palier linéaire ( 34). 4. Montage d'essai sous vide ( 20) pour contrôler des cartes de circuits imprimés, comprenant une plaque de sondes stationnaire ( 26), une plaque supérieure mobile ( 28) à une certaine distance au- dessus de la plaque de sondes pour supporter une carte de circuit imprimé à contrôler, la plaque de sondes ( 26) supportant un réseau de sondes d'essai ( 30) s'étendant à travers la plaque supérieure pour accéder à la carte, une garniture d'étanchéité annulaire ( 36) s'étendant autour d'un périmètre de la plaque de sondes pour entrer en contact avec le côté inférieur de la plaque supérieure, la plaque supérieure ( 28) pouvant être déplacée en direction de la plaque de sondes sous l'action d'un vide appliqué à une zone de vide entre la plaque de sondes et la plaque supé- rieure pour attirer la plaque supérieure ( 28) vers la plaque de sondes ( 26) et comprimer ainsi la garniture d'étanchéité au vide ( 36) pour conserver le vide tout en maintenant les sondes en contact avec la carte pendant le contrôle, une multiplicité d'ensembles de palier linéaire ( 34) répartis tout autour du périmètre de la plaque de sondes et coopérant avec la plaque supérieure pour guider le déplacement vertical de la plaque supérieure la rapprochant et l'éloignant de la plaque de sondes et de la garniture d'étanchéité pendant le fonctionnement sous vide du montage d'essai, caractérisé en ce que chaque ensemble de palier linéaire ( 34) comprend un manchon de palier tubulaire ( 46) monté sur la plaque de sondes ( 26) et une broche de guidage fixe ( 58) portée par la plaque supérieure ( 28) et disposée pour se déplacer vertica- lement d'un mouvement glissant guidé à l'intérieur du manchon de palier ( 46), en ce que le manchon de palier ( 46) est solidarisé d'un bloc palier ( 50) porté en dessous de la plaque de sondes ( 26) sur le côté de celle-ci opposé à la plaque supérieure ( 28), un passage ( 52) étant ménagé dans la plaque de sondes pour recevoir la portion supérieure du manchon de palier ( 46) se projetant du bloc palier ( 50), des moyens étant prévus sur le bloc palier pour fixer de façon amovible le bloc palier sur le côté inférieur de la plaque de sondes avec la portion supérieure du manchon de palier disposée dans le passage, en ce que le passage ( 52) est surdimensionné par rapport au diamètre extérieur du manchon de palier ( 46) pour accorder une certaine liberté de mouve- ment radial du manchon de palier à l'intérieur du passage, en ce que la broche de guidage ( 58) est solidarisée du côté inférieur de la plaque supérieure ( 28) et peut être déplacée avec un mouvement latéral glissant de la plaque supérieure par rapport à la plaque de sondes, la broche de guidage ( 58) étant disposée pour glisser verticalement à l'intérieur du manchon de palier ( 46) pour guider le déplacement vertical de la plaque supérieure ( 28) par rapport à la plaque de sondes ( 26), et en ce que des moyens de verrou ( 34 ') sont fixés de façon libérable sur la broche de guidage ( 58) pour maintenir la broche de guidage à l'intérieur du manchon de palier pour un déplacement vertical guidé de la broche à l'intérieur du manchon et pour fixer la plaque supérieure dans une position fixe par rapport à la plaque de sondes, les moyens de verrou pouvant être libérés pour permettre une certaine liberté de mouvement glissant de la plaque supérieure par rapport à la plaque de sondes. 5. Appareil selon la revendication 4, caractérisé en ce que le verrou libérable ( 34 ') coopère avec la plaque supérieure ( 28) pour maintenir la broche de guidage ( 58) dans une position fixe sur la plaque supérieure, le verrou pouvant être enlevé de la broche de guidage par audessus de la plaque supérieure mobile pour enlever la plaque supérieure de la broche de guidage et de son support constitué par le palier linéaire ( 34). 6. Appareil selon la revendication 4, caractérisé en ce que l'ensemble de palier ( 34) comporte en outre des moyens de réglage ayant une première position dans laquelle la broche ( 58) et le manchon ( 46) peuvent glisser latéralement par rapport à la plaque de sondes ( 26) pour permettre à la plaque supérieure ( 28) de glisser librement latéralement dans le plan de la carte pour aligner les circuits sur la carte par rapport aux sondes d'essai ( 30), les moyens de réglage ayant une deuxième position dans laquelle la broche ( 58) et le manchon ( 46) sont retenus dans des positions fixes l'un par rapport à l'autre et par rapport à la plaque de sondes ( 26) pour empêcher ce mouvement de déplacement latéral de la plaque supérieure ( 28) pour guider le trajet de la plaque supérieure par rapport à la plaque de sondes, lorsque les circuits sur la carte sont alignés avec les sondes d'essai ( 30), et des moyens d'alignement optique comportant un guide d'image à fibres optiques fixé sur la plaque de sondes ( 26) pour détecter une image d'une marque d'indexation fixe ( 232) sur la carte, des moyens pour convertir l'image détectée en une visualisation de la marque d'indexation, des moyens ( 244) pour produire une image d'un point de référence fixe repré- sentant un alignement correct des circuits sur la carte par rapport aux sondes d'essai, et des moyens pour déplacer les images de la marque d'indexation détectée et du point de référence fixe pour les aligner et pour indiquer automatique- ment un alignement correct des circuits sur la carte par rapport aux sondes d'essai, l'ensemble de palier ( 34) étant retenu dans la première position pour permettre cet aligne- ment et étant ensuite amené à la deuxième position pour permettre ce trajet guidé de la carte correctement alignée par rapport au réseau de sondes d'essai. 7. Appareil selon l'une des revendications 4, 5 ou 6, caractérisé en ce que le manchon de palier ( 46) est en matière plastique. 8 Montage d'essai sous vide ( 20) pour contrôler des cartes de circuits imprimés, comprenant une plaque de sondes stationnaire ( 26), une plaque supérieure mobile ( 28) à une certaine distance au-dessus de la plaque de sondes pour supporter une carte à contrôler, la plaque de sondes ( 26) supportant un réseau de sondes d'essai ( 30) s'étendant à travers la plaque supérieure pour accéder à la carte à contrôler, une garniture d'étanchéité annulaire ( 36) s'éten- dant autour d'un périmètre de la plaque de sondes ( 26) pour venir en contact avec le côté inférieur de la plaque supé- rieure ( 28), la plaque supérieure ( 28) pouvant être déplacée en direction de la plaque de sondes ( 26) sous un vide exercé sur une zone de vide entre la plaque de sondes et la plaque supérieure pour attirer la plaque supérieure ( 28) en direc- tion de la plaque de sondes ( 26) et comprimer ainsi la garniture d'étanchéité ( 36) pour conserver le vide tout en appliquant les sondes ( 30) en contact avec la carte en cours de contrôle, une multiplicité d'ensembles de palier linéaire ( 34) répartis autour du périmètre de la plaque de sondes et coopérant avec la plaque supérieure pour guider un trajet vertical de la plaque supérieure se rapprochant et s'éloi- gnant de la plaque de sondes et de la garniture d'étanchéité pendant le fonctionnement sous vide du montage d'essai, caractérisé en ce que chaque ensemble de palier linéaire ( 34) comporte un manchon de palier tubulaire ( 46) monté sur la plaque de sondes ( 26), et une broche de guidage fixe ( 58) portée par la plaque supérieure ( 28) et disposée pour se déplacer verticalement en étant guidée à l'intérieur du manchon de palier, en ce que le manchon de palier est solidarisé d'un bloc palier ( 50) porté en dessous de la plaque de sondes sur le côté de celle-ci opposé à la plaque supérieure, un passage ( 52) étant ménagé dans la plaque de sondes pour recevoir la portion supérieure du manchon de palier se projetant en s'éloignant du bloc palier ( 50), des moyens étant prévus sur le bloc palier pour fixer de façon amovible le bloc palier sur le côté inférieur de la plaque de sondes avec la portion supérieure du manchon de palier disposée dans le passage ( 52), en ce que le passage ( 52) est surdimensionné par rapport au diamètre extérieur du manchon de palier pour permettre au manchon de palier de se déplacer radialement librement à l'intérieur du passage, et en ce que la broche de guidage ( 58) est solidarisée du côté inférieur de la plaque supérieure et peut être déplacée avec le mouvement latéral glissant de la plaque supérieure par rapport à la plaque de sondes, la broche de guidage étant agencée pour se déplacer en glissant verticalement à l'inté- rieur du manchon de palier. 9. Appareil selon la revendication 8, caractérisé en ce que l'ensemble de palier ( 34) comprend en outre des moyens de réglage ayant une première position dans laquelle la broche ( 58) et le manchon ( 46) peuvent glisser latéralement par rapport à la plaque de sondes ( 26) pour permettre à la plaque supérieure ( 28) de pouvoir glisser librement latéralement à l'intérieur du plan de la carte pour aligner les circuits sur la carte par rapport aux sondes d'essai ( 30), les moyens de réglage ayant une deuxième position dans laquelle la broche ( 58) et le manchon ( 46) sont maintenus dans des positions fixes l'un par rapport à l'autre et par rapport à la plaque de sondes ( 26) pour empêcher ce mouvement de déplacement latéral de la plaque supérieure pour guider le trajet de la plaque supérieure par rapport à la plaque de sondes, lorsque les circuits sur la carte sont alignés avec les sondes d'essai, et en ce que des moyens d'alignement optique comportent un guide d'image à fibres optiques fixé sur la plaque de sondes pour détecter une image d'une marque d'indexation fixe ( 232) sur la carte, des moyens pour convertir l'image détectée en une visualisation de la marque d'indexation, des moyens ( 244) pour générer une image d'un point de référence fixe représentant un alignement correct des circuits sur la carte par rapport aux sondes d'essai, et des moyens pour déplacer les images de la marque d'indexation détectée et du point de référence fixé pour les aligner afin d'indiquer automatiquement un alignement correct des circuits sur la carte par rapport aux sondes d'essai, l'ensemble de palier ( 34) étant retenu dans la première position pour permettre cet alignement et étant ensuite amené à la deuxième position pour permettre le trajet guidé de la plaque correc- tement alignée par rapport au réseau de sondes d'essai ( 30). 10. Appareil selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens d'alignement optique ayant un guide d'image à fibres optiques fixé sur la plaque de sondes pour détecter une image d'une marque d'indexation fixe ( 232) sur la carte, des moyens pour convertir l'image détectée en une visualisation de la marque d'indexation, des moyens ( 244) pour produire une image d'un point de référence fixe repré- sentant un alignement correct des circuits sur la carte par rapport aux sondes d'essai, et des moyens pour déplacer les images de la marque d'indexation détectée et du point de référence fixe pour les aligner et indiquer automatiquement un alignement correct des circuits sur la carte par rapport aux sondes d'essai, l'ensemble de palier ( 34) pouvant être déplacé entre une première position pour permettre cet alignement et être ensuite amené à une deuxième position pour permettre ce trajet guidé de la carte correctement alignée par rapport au réseau des sondes d'essai ( 30). 11 Appareil selon l'une des revendications 8, 9 ou 10, caractérisé en ce que la plaque supérieure ( 28) comporte un bras rigide entraîné par un entraînement par moteurs exté- rieur pour faire glisser la plaque supérieure par rapport à la plaque de sondes ( 26) en une combinaison de mouvements axiaux latéraux et longitudinaux, lorsque l'ensemble de palier est dans la première position. 12. Appareil selon l'une des revendications 8, 9 ou 10, caractérisé en ce que le manchon de palier tubulaire ( 46) est en matière plastique.