FR 2693035 A1 19931231 FR 9208483 A 19920630 DIODE DE PROTECTION POUR COMPOSANT SEMICONDUCTEUR VERTICAL La présente invention concerne les transistors de puissance verticaux haute tension qui sont des dispositifs réa- lisés verticalement sur une tranche de silicium (habituellement constituée d'une couche épitaxiée N sur un substrat N+) dont la face arrière est connectée à une haute tension L'invention s'applique à des transistors de puissance verticaux de type MOS, bipolaires ou à grille isolée Elle s'applique notamment au cas des commutateurs de puissance "intelligents" (Smart Power Switch) qui sont des circuits comprenant sur une même puce de silicium des composants de puissance verticaux et des circuits logiques de commande de ces composants. Les transistors de puissance sont conçus pour suppor- ter une tension directe définie (par exemple 400 volts) Si le circuit externe applique une tension plus importante au dispo-15 sitif, celui-ci entre dans un mode de claquage susceptible de l'endommager Par exemple, la commutation d'une charge inductive produit une surtension avec une certaine quantité d'énergie à dissiper Cette surtension est appliquée sur le commutateur de puissance qui est à l'état bloqué L'une des solutions pour protéger le dispositif est de l'amener brièvement dans un état conducteur pendant la durée nécessaire pour écouler l'énergie excessive à travers le dispositif. On cherche donc à prévoir un dispositif tel qu'une diode à avalanche qui entre en conduction pour une valeur un peu inférieure à la tension de claquage du ou des transistors de puissance pour, par exemple, déclencher la mise en conduction de ces transistors avant leur seuil de claquage et éviter ainsi tout endommagement. Un objet de la présente invention est de prévoir une diode à avalanche de seuil de déclenchement élevé déterminé qui puisse être intégrée sur une même puce que les transistors de puissance sans modifier, ou en modifiant aussi peu que possible, le procédé de fabrication du circuit intégré comprenant des transistors de puissance et éventuellement leur circuit logique de commande Le signal de conduction de la diode pourra alors être envoyé à la base ou à la grille du transistor de puissance pour le remettre en conduction pendant une durée choisie ou pendant la durée de la surtension. Pour mieux faire comprendre le problème que vise à résoudre la présente invention, la figure 1 représente en coupe un exemple de structure mixte classique comprenant un transistor MOS de puissance vertical TP de type diffusé (VDMOS), dont une cellule est représentée, ce transistor étant associé à des circuits logiques dont un transistor MOS à canal N TL est illustré. La structure est réalisée dans un substrat 11 d'un premier type de conductivité, par exemple de type N Une cellule du transistor MOS de puissance TP comprend une région 9-1, 9-2, constituée par des diffusions d'un deuxième type de conducti- vité, par exemple de type P Dans chaque région 9-1, 9-2 sont réalisées deux diffusions 14 de type N+ qui constituent la source du transistor de puissance Les deux diffusions 14 sont connectées entre elles par une couche conductrice 15 qui est par exemple réalisée en aluminium Les bords latéraux des régions 9-1, 9-2 constituent une région de canal 20 du transistor de puissanoe. Chaque cellule du transistor MOS de puissance TP comprend une grille 12 formée par une couche de silicium poly- cristallin Cette grille 12 est séparée du substrat 11 par une couche d'oxyde 13. La face arrière 17 du substrat 11 comprend une couche surdopée 19 revêtue d'une métallisation de drain 18. Le transistor MOS TL de la partie logique est formé dans un caisson 24 de type P Ce caisson 24 comporte deux diffu- sions de type N+, la première diffusion constituant la source 22 et la seconde diffusion constituant le drain 23 du transistor TL Ce transistor comprend une grille 21 constituée par une couche de silicium polycristallin La grille 21 est séparée du caisson 24 par une couche d'oxyde 25 Les diffusions constituant la source 22 et le drain 23 sont chacune connectée à une ligne conductrice désignée par 26, 27, respectivement Les lignes conductrices 26, 27 sont par exemple en aluminium. De façon classique, on prévoit dans le caisson 24 une zone 28 de type P' connectée à une couche conductrioe 29 La zone 28 et la couche conductrice 29 permettent la mise à la masse du caisson 24. En fonctionnement normal, la métallisation de face arrière 18 est connectée à un potentiel positif et les métalli- sations de face avant 15 du transistor de puissance sont connec- tées à un potentiel négatif par rapport à oe potentiel positif, par exemple un potentiel voisin du potentiel de la masse. Le problème que l'on veut résoudre est d'éviter la mise en conduction par claquage du transistor de puissanoe, c'est-à-dire de la jonction entre le substrat 11 et les caissons P 9-1 et 9-2 quand la tension de drain croît alors que le tran-30 sistor est à l'état bloqué On notera qu'il y a aussi, dans le cas représenté d'un circuit intégré comprenant une partie logique, le risque d'un claquage de la jonction entre le subs- trat et les caissons dans lesquels sont disposés les composants logiques. Pour réaliser une diode claquant avant la j onction entre le substrat 11 et les caissons, on pourrait envisager de réaliser cette diode sous forme verticale en prévoyant dans le substrat N une région de type P de niveau de dopage choisi pour 5 claquer avant la jonction avec les caissons des transistors de puissance et de la partie logique Néanmoins, ceci nécessiterait la prévision d'une étape technologique supplémentaire pour réaliser cette région de type P spécifiquement dopée Malgré la complexité de ce procédé, c'est vers cette réalisation que sont10 orientées les études de l'art antérieur En effet, la réalisa- tion d'une diode sur la face avant du substrat se heurte à un obstacle qui est que cela nécessite d'amener la haute tension disponible sur la métallisation de face arrière vers la face avant Ceci perturbe la répartition des lignes de champ dans le composant qui est soigneusement ajustée pour obtenir justement la tenue en tension maximale souhaitée (par exemple 400 volts comme indiqué précédemment). On notera par ailleurs qu'il est connu, par exemple des brevets US-A-4 792 840 et 5 053 743 de réaliser sur la face avant du substrat une résistance dont une borne est connectée à la face arrière, cette résistance ayant la forme d'une spirale Néanmoins, aucun de ces deux brevets ne suggère que cette technologie pourrait être étendue à l'obtention de diodes. Pour atteindre ses objets, la présente invention pré- voit une diode à avalanche haute tension formée dans un circuit intégré comprenant au moins un composant de puissance vertical. Le circuit intégré est réalisé dans un substrat semiconducteur d'un premier type de conductivité dont la face arrière corres-30 pond à une première électrode principale du ou des composants de puissance Les deuxièmes électrodes principales du ou des compo- sants de puissance correspondent à une ou plusieurs régions for- mées dans au moins une région du deuxième type de conductivité formée dans la face avant du substrat. Cette diode comprend une région du deuxième type de conductivité enroulée sensiblement en spirale, formée dans la face avant du substrat; des régions disjointes du premier type de conductivité formées dans la spirale en nombre égal par tour, constituant avec celle-ci des diodes à avalanche élémentaires; des métallisations connectant en série les diodes élémentaires; et une connexion entre une extrémité de la spirale et la pre- mière électrode. Selon un mode de réalisation de la présente invention, le circuit intégré comprend en outre des composants logiques formés dans des caissons du deuxième type de conductivité formés à partir de la face avant du substrat. Selon un mode de réalisation de la présente invention, la connexion susmentionnée est constituée d'une métallisation reliant une extrémité de la spirale à une région surdopée du premier type de conductivité de la face avant du substrat. Selon un mode de réalisation de la présente invention, la connexion susmentionnée est réalisée dans la région centrale de la spirale. Selon un mode de réalisation de la présente invention, la spirale est interrompue au voisinage de chaque zone o y est formée une région du premier type de conductivité. Selon un mode de réalisation de la présente invention, les métallisations connectant en série les diodes élémentaires recouvrent des portions de la spirale comprises entre deux dio- des et s'étendent vers l'extérieur ou vers l'intérieur à partir de ces portions en direction du tour suivant de la spirale à potentiel plus faible. En d'autres termes, la présente invention concerne une diode à avalanche formée dans une structure semiconductrice associant au moins un transistor de puissance et une partie logique ou analogique sur un même substrat semiconducteur, le transistor de puissance étant du type vertical et comprenant une électrode principale sur la face arrière du substrat Cette diode comprend une région du deuxième type de conductivité enroulée sensiblement en spirale, formée dans la face avant du substrat; des régions disjointes du premier type de conducti- vité formées dans la spirale en nombre égal par tour et consti- tuant avec celle-ci des diodes à avalanche élémentaires, des métallisations connectant en série les diodes élémentaires; et une connexion entre une extrémité de la spirale et la première électrode. Ainsi, la présente invention utilise des diodes à ava- lanche de type latéral, disposées sur la face avant, en série. Dans un dispositif de puissance, il est possible d'intégrer des diodes latérales basse tension ( 5 à 20 volts) A titre d'exem- ple, la jonction base-émetteur d'un transistor bipolaire de puissance ou la jonction source-caisson d'une cellule MOS peut être utilisée Chaque diode peut être très petite et, en en connectant plusieurs en série, on obtient avec précision la ten- sion de détection désirée Par exemple, si l'on veut atteindre une tension de protection de 380 volts, 38 diodes ayant une tension de claquage de 10 volts seront disposées en série. Ces objets, caractéristiques et avantages ainsi que d'autres de la présente invention seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite en relation avec les figures jointes parmi lesquelles: la figure 1 représente à titre d'exemple une vue en coupe d'un circuit intégré comprenant un transistor MOS vertical et une partie logique; la figure 2 représente une vue de dessus d'une diode à avalanche haute tension selon la présente invention; la figure 3 A représente une vue de dessus agrandie correspondant à la vue en coupe partielle de la figure 3 B; la figure 3 B représente une vue en coupe selon la ligne 3 B-3 B de la figure 2; la figure 4 représente une vue en coupe selon la ligne 4-4 de la figure 2; la figure 5 représente une vue en coupe selon la ligne -5 de la figure 2; et la figure 6 représente une vue de dessus d'une diode selon la présente invention munie de ses métallisations. La figure 2 représente un exemple de réalisation d'une diode à avalanche de type spiral selon la présente invention. Bien que cela ne soit pas décrit, il est clair que cette vue de dessus constitue seulement une partie d'une puce de circuit intégré dont les autres parties correspondent par exemple à ce qui est illustré en figure 1. La figure 2 représente une vue de dessus d'une diode à avalanche selon la présente invention à une étape intermédiaire de fabrication o les métallisations n'ont pas encore été formées Cette figure représente un caisson P comprenant une partie centrale PO et une partie spirale s'étendant vers une région périphérique Pp Dans le mode de réalisation représenté, chaque tour de cette spirale comprend des parties horizontales et verticales sensiblement rectilignes et est interrompu au niveau de ces parties rectilignes La région centrale de la partie PO comprend une région diffusée de type N NO qui rejoint le substrat et qui est donc au potentiel de la métallisation de face arrière La région périphérique Pp est normalement connectée au potentiel de référence bas. Le long de chaque tour de la spirale sont disposées des régions N dans cette spirale pour former des diodes succes- sives Dans le mode de réalisation représenté, la spirale comprend un petit peu plus de cinq tours, le premier tour comprenant des diodes Dl à D 8, le deuxième tour des diodes D 11 à D 18, le troisième tour des diodes D 21 à D 28, le quatrième tour des diodes D 31 à D 38, le cinquième tour des diodes D 41 à D 48 et la portion de dernier tour des diodes D 51, D 52 et D 53 Chaque diode est reliée à la suivante par une métallisation M repré- sentée schématiquement par un trait en figure 2. Ainsi, les tours successifs de la spirale sont à des potentiels progressivement décroissants, ce qui permet, comme cela a été exposé dans le cas des résistances spirales faisant l'objet des brevets américains précédemment cités, d'étaler la 5 répartition des lignes de champ On évite ainsi des transitions brusques de potentiel entre des points voisins de la surface du composant et donc une réduction indésirée de sa tenue en tension. La structure selon l'invention sera mieux comprise en examinant les figures 3, 4 et 5. La figure 3 comprend des figures 3 A et 3 B La figure 3 B représente une vue en coupe partielle selon la ligne 3 B-3 B de la figure 2 et la figure 3 A représente une vue de dessus corres- pondante On peut voir dans cette figure les diodes D 43 et D 44. La diode D 43 est formée dans une portion P 43 du caisson spiral de type P et comprend une région N N 43 La surface de la struc- ture est revêtue d'une couche isolante 31, classiquement une couche d'oxyde, sauf en des emplacements o des contacts marqués d'une croix en figure 3 A sont ménagés Ainsi, un contact est assuré sur la région N 43 et un contact sur la région P 43 Le contact sur la région N 43 est relié par une métallisation M 42-43, représentée de façon symbolique par un trait en figure 3 A, au contact sur la région P 42 de la diode D 42 précédente Le contact sur la région P 43 est relié par une métallisation M 43-44 au contact sur la région N 44 de la diode D 44 suivante Le caisson spiral est formé dans un substrat qui correspond, par exemple, à une partie du substrat 11 illustré en figure 2. La figure 4 représente une vue en coupe schématique selon la ligne 4-4 de la figure 1 On peut voir à la partie gauche de la figure la coupe de la partie centrale comprenant la région NO en contact avec le substrat 11 et entourée de la région PO Ces régions NO et PO sont contactées par une métalli- sation MO qui rejoint, comme cela est représenté symboliquement en figure 2, le contact sur la région Nl de la diode Dl On voit aussi en coupe des régions successives P 6, P 17, P 26, P 37, P 46 et Pp, toutes revêtues d'une région isolante puisque l'on est en dehors des zones de contact La région P 6 est revêtue de la métallisation M 6-7, la région P 17 de la métallisation M 16-17, la région P 26 de la métallisation M 26-27, la région P 37 de la métallisation M 36-37 et la région P 46 de la métallisation M 46-M 47. La figure 5 représente une vue en coupe selon la ligne de coupe brisée 55 de la figure 2 Cette vue en coupe a été brisée pour passer par des régions de contacts entre une métal- lisation et la couche sous-jacente La partie gauche de la figure est similaire à la partie gauche de la figure 4 Ensuite, on trouve les régions de type P P 5, P 16, P 25, P 36, P 45 puis Pp. Dans les régions P 16 et P 36 sont formées des régions N, respec- tivement N 16 et M 36 Un contact avec les régions P 5, N 16, P 25, M 36 et P 45 est établi par des métallisations respectives M 5-6, M 16-17, M 25-26, M 36-37, M 45-46. A la lumière de cette description des figures 3 à 5, on comprend mieux la vue de dessus de la figure 2 dans laquelle de mêmes références sont utilisées qu'en figures 3 à 5. Dans la figure 2, les régions P de la spirale sont interrompues en divers emplacements, au voisinage des zones o y sont formées des régions N pour mieux séparer entre elles les diverses diodes élémentaires Toutefois, cette spirale de type P pourrait être continue Ceci aurait pour résultat que chacune des diodes serait en parallèle avec une résistance de valeur élevée En effet, la région P est de dopage relativement faible et sa résistance par carré n'est pas négligeable Ainsi, les diodes série selon la présente invention présenteraient une certaine résistance parallèle d'o il résulterait une certaine fuite mais ceci ne nuirait pas au fonctionnement fondamental du circuit. On notera aussi en considérant la figure 2 que les emplacements o la spirale P est interrompue sont choisis pour ne pas être toutes alignés selon un axe radial C'est ce qui explique le décalage apparaissant entre les diodes successives, par exemple dans la région o on a tracé la ligne de coupe 5-5. Ceci a pour but d'assurer une meilleure répartition des poten- 5 tiels et d'éviter les phénomènes liés à une courbure excessive des lignes de champ quand un potentiel élevé est appliqué entre les faces avant et arrière Bien que cela ne soit pas représenté sur la figure, la dernière diode D 53 aura sa région de contact P reliée au potentiel bas de la structure, par exemple à la borne10 de grille ou de base du transistor de puissance que cette diode vise à protéger contre des surtensions directes. La figure 6 est une vue de dessus qui correspond à celle de la figure 2 mais dans laquelle les diverses métallisa- tions ont été indiquées On notera que chaque métallisation reliant deux diodes successives de la spirale déborde vers l'extérieur par rapport à chaque région P qu'elle recouvre pour avoir la fonction dite de plaque de champ (en anglais: field plate) et améliorer encore la répartition des potentiels Bien que cela ne soit pas représenté dans la figure, le dernier contact de la diode D 53 est connecté par une métallisation de la façon indiquée précédemment Cette figure se comprend bien à partir de l'analyse des figures précédentes, aussi elle ne porte pas de référence sauf les références générales M pour désigner une métallisation et D pour désigner une diode ainsi que la référence D 53 pour désigner la dernière diode de la spirale. La présente invention est susceptible de nombreuses variantes et modifications qui apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, comme cela a été indiqué précédemment, la diode selon l'invention n'est pas nécessairement utilisée avec une structure du type de celle illustrée en figure 1 mais peut être utilisée avec d'autres structures de composants de puissance verticaux. Des moyens autres qu'un contact central N+ peuvent être utilisés pour assurer la conduction entre la face arrière il et la face avant du substrat On pourra prévoir une connexion spéciale arrivant au centre de la spirale. Les contacts sur différents points de la spirale de type P pour former une électrode des diverses diodes seront de préférence formés sur une région surdopée de cette spirale pour améliorer 1 'ohmicité des contacts. Par ailleurs, on a représenté et décrit en relation avec les diverses figures une spirale fermée autour d'un centre sur lequel arrive la haute tension On pourrait également envi-10 sager que la spirale selon la présente invention entoure l'ensemble de la puce de circuit intégré, des composants tels que les transistors de puissance verticaux et les divers compo- sants logiques étant formés dans la partie centrale du circuit intégré En ce cas, c'est la partie extérieure de la spirale qui15 sera amenée au potentiel de la métallisation de face arrière. Bien que des modes de réalisations particuliers de la présente invention aient été décrits en relation avec des tran- sistors MOS verticaux correspondant à une technologie de fabri- cation particulière, elle s'applique de façon générale à de20 nombreuses autres technologies comprenant un composant de puis- sance vertical Le composant de puissance vertical peut être de type bipolaire Ce composant de puissance peut être associé à des circuits logiques formés autrement que dans des caissons de type P, par exemple sur isolant ou en association avec des couches enterrées. REVENDICATIONS 1 Diode à avalanche haute tension formée dans un cir- cuit intégré comprenant au moins un composant de puissance vertical, ce circuit intégré étant réalisé dans un substrat semiconducteur d'un premier type de conductivité ( 11) dont la face arrière correspond à une première électrode principale du composant de puissance dont la deuxième électrode principale correspond à au moins une région formée dans au moins une région du deuxième type de conductivité elle-même formée dans la face avant du substrat, ladite diode étant caractérisée en ce qu'elle comprend: une région du deuxième type de conductivité (PO, Pl P 53,Pp) enroulée sensiblement en spirale, formée dans la face avant du substrat; des régions disjointes du premier type de conductivité (Ni N 53) formées dans la spirale en nombre égal par tour et constituant avec celle-ci des diodes à avalanche élémentaires; des métallisations (Ml-2 M 52-53) connectant en série lesdites diodes élémentaires; et une connexion (MO,NO) entre une extrémité de ladite spirale et ladite première électrode. 2 Diode à avalanche haute tension selon la revendica- tion 1, caractérisée en ce que le circuit intégré comprend en outre des composants logiques dans des caissons du deuxième type de conductivité formés à partir de la face avant du substrat. 3 Diode selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que ladite connexion est constituée d'une métallisation (MO) reliant une extrémité de la spirale à une région surdopée (NO) du premier type de conductivité de la face avant du substrat. 4 Diode selon la revendication selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que ladite connexion est réalisée dans la région centrale de la spirale. Diode selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisée en ce que ladite spirale est interrompue au voisinage de chaque zone o y est formée une région du premier type de conductivité. 6 Diode à avalanche selon la revendication 1, carac- térisée en ce que lesdites métallisations connectant en série les diodes élémentaires recouvrent des portions de la spirale comprises entre deux diodes et s'étendent vers l'extérieur ou vers l'intérieur à partir de ces portions en direction du tour suivant de la spirale à potentiel plus faible. 7 Diode à avalanche formée dans une structure semi- conductrice associant au moins un transistor de puissance et une partie logique ou analogique sur un même substrat semiconduc- teur, le transistor de puissance étant du type vertical et comprenant une électrode principale sur la face arrière du substrat, caractérisée en ce que ladite diode comprend: une région du deuxième type de conductivité enroulée sensiblement en spirale, formée dans la face avant du substrat; des régions disjointes du premier type de conductivité formées dans la spirale en nombre égal par tour et constituant avec celle-ci des diodes à avalanche élémentaires; des métallisations connectant en série lesdites diodes élémentaires; et une connexion entre une extrémité de ladite spirale et ladite première électrode.