FR 2674627 A1 19921002 FR 9103708 A 19910327 CAPTEUR DE PRESSION RESONANT La présente invention se rapporte à un capteur de pression résonant et notamment à un tel capteur de petite taille (quelques millimètres de côté par exemple) réalisé par les technologies de la microélectronique, dont en particulier le micro-usinage. Des capteurs de pression résonant sont parfaitement connus de l'homme de métier et l'on commençera d'abord par en rappeler le principe physique général de fonctionnement. De tels capteurs comportent en général une membrane souple et déformable soumise à l'ambiance o règne la pression à mesurer et qui transmet, par l'intermédiaire d'un système convertisseur, la force qu'elle supporte du fait de cette pression à un système résonateur, par ailleurs mis en vibration par un excitateur et dont on mesure en permanence la fréquence de résonance Comme cette fréquence de résonance est fonction de l'effort transmis au système résonateur, on voit clairement qu'en mesurant cette fréquence, on obtient une grandeur analogique représentative de la pression à mesurer. Les systèmes utilisés pour exciter le résonateur et mesurer la fréquence de résonance appartiennent à de nombreux types connus et mettent en oeuvre des principes physiques également connus. On peut citer par exemple l'ultilisation de jauges élastorésistives insérées dans un pont de Wheatstone et fixées à la surface du corps vibrant constituant le résonateur, l'emploi de matériaux piézoélectriques tels que l'oxyde de zinc Zn O, l'emploi de forces électro-statiques entre deux armatures d'un condensateur dont l'un est gravé sur le résonateur ou constitué par le résonateur lui-même etc En se référant à la figure 1 ci-jointe, on va décrire un exemple schématique de capteur de pression à conversion par quartz oscillant appartenant aux techniques de l'art antérieur Sur cette figure 1, on a représenté dans un boîtier 2 dans lequel règne le vide, un système comprenant un soufflet 4 mis en communication par une ouverture 6 de la paroi du boîtier 2 avec l'atmosphère dont on veut mesurer la pression Ce soufflet 4 qui se dilate plus ou moins en longueur selon cette même pression agit d'abord sur un convertisseur 8 qui est une pièce en forme de levier, articulée autour d'un pivot 10 L'extrémité 12 de ce convertisseur 10 transmet l'action mécanique subie par le soufflet 4 sur un quartz oscillant 14 dont on mesure la fréquence de résonance Cette fréquence de résonance est une valeur analogique de la pression que l'on veut mesurer. Toutefois, les dispositifs de ce genre de l'art connu ont un certain nombre de défauts spécifiques tant du point de vue technique que du point de vue économique On peut les répertorier de la façon suivante: En ce qui concerne d'abord le coût de fabrication de l'appareil, celui-ci est relativement élevé du fait que les fabrications en série sont difficiles et que les appareils doivent être en général fabriqués un par un. De plus, les procédés de fabrication actuellement envisageables ne permettent pas de réduire la taille des capteurs en-dessous d'une certaine dimension (de l'ordre de I ou plusieurs cm par exemple) alors que des applications de plus en plus nombreuses nécessitent des capteurs de petite taille (dont les trois dimensions sont par exemple de l'ordre de quelques millimètres). De plus, les matériaux utilisés pour construire de tels capteurs relèvent de compétences techniques dispersées, alors que la microélectronique est un art "monolithique", à la portée d'un homme de métier unique. En ce qui concerne enfin leurs performances techniques, les capteurs de pression résonants connus à ce jour, ne tolèrent en général que des écarts de fréquence de 5 à 10 % de la fréquence de résonance du résonateur qui peut par exemple se situer entre 95 à 105 k Hz Cette particularité, qui est liée aux contraintes de rupture du résonateur, limite de façon importante la gamme des mesures accessibles pour ces mêmes capteurs. La présente invention a précisément pour objet un capteur de pression résonant qui résoud d'une façon simp Le les défauts de l'art antérieur tels qu'ils viennent d'être rappelés, tout en permettant une fabrication en série des capteurs sous une forme miniaturisée. Ce capteur de pression résonant comportant une membrane déformable, soumise à l'ambiance o règne la pression à mesurer, un convertisseur apte à transmettre la force ainsi supportée par cette membrane à un résonateur mis en vibration par un excitateur et dont la fréquence de résonance que l'on mesure est fonction de l'intensité de cette force, donc de la pression à déterminer, se caractérise en ce que le convertisseur comporte des moyens souples et fléchissants aptes à compenser les moments de flexion résultant de L'action de la force supportée par la membrane, de façon à transmettre au résonateur une traction ou une compression exemptes de torsion ou de flexion. Le capteur de pression selon l'invention, permet de réduire au strict minimum, voir de supprimer complètement l'apparition à l'entrée du résonateur de contraintes localisées dangereuses ou néfastes pour le bon fonctionnement de celui-ci et qui se développaient dans les capteurs de l'art antérieur parce qu'on ne prévoyait pas de moyens spéciaux dans le convertisseur pour en empêcher la formation En effet, le système de forces appliquées par la membrane est transmise par le système convertisseur au résonateur n'est pas un système de forces pures et comporte des couples qui proviennent du changement de direction de la force appliquée sur la membrane au cours de sa transmission par le convertisseur. Selon une caractéristique importante de la présente invention, le capteur de pression se caractérise en ce que l'ensemble du convertisseur et du résonateur est monté dans un cadre rigide rectangulaire comportant selon son axe longitudinal: un pivot monté rotatif autour de deux charnières le reliant aux parois latérales du cadre et dont la direction générale est perpendiculaire à l'axe longitudinal du cadre; un talon lié aux parois du cadre par l'intermédiaire de deux ou plusieurs ailettes en forme de lames dont le plan est sensiblement perpendiculaire au plan du cadre; une poutre souple et f Léchissante reliant le talon et le pivot; une poutre servant de résonateur, reliant le côté du talon opposé à la poutre souple et fléchissante à un des côtés du cadre rigide perpendiculaire à l'axe longitudinal du cadre, et en ce que le cadre rigide est monté dans le plan médian d'un bottier parallélépipédique dont une au moins des faces parallèles au plan du cadre est constituée d'une membrane déformable sous L'effet de la pression qu'elle subit, les déformations de cette membrane étant transmisess au pivot par un ergotso Lidaire de La membrane et reliant mécaniquement cette membrane et ce pivot. Grâce à l'ensemble des composants du convertisseur et du résonateur maintenus par le cadre rigide, et au fait que la répartition et la dimension réciproque des différentes pièces le composant sont calculées par ordinateur en vue du résultat recherché, cette structure permet, lorsqu'elle est correctement optimisée, de ne transmettre à l'entrée de la poutre constituant le résonateur pratiquement que des tractions ou des compressions pures, à l'exclusion de tout moment fléchissant Ceci permet, en supprimant les risques de destruction du résonateur, d'utiliser notamment une gamme de fréquences de résonance beaucoup plus élevée dont les écarts sont de l'ordre de 100 % autour de la fréquence de résonance centrale Un tel appareil peut par exemple fonctionner parfaitement avec des fréquences de résonance qui s'échelonnent entre 50 et 150 k Hz, ce qui donne par exemple un domaine de performances du capteur pouvant se situer entre 0 et 50 ou O et 1 bar avec une précision de -4. Le capteur de pression résonant objet de l'invention présente des avantages complémentaires des précédents lorsqu'il est de surcroît miniaturisé et réalisé à l'aide des techniques de micro-électronique ou du micro-usinage. Dans ce cas en effet, toutes les pièces le constituant sont réalisées, pour le boîtier d'une part et pour le cadre de l'autre, dans un substrat monobloc de silicium ou de quartz, ce qui leur confère une structure cristalline garante de la valeur pratique de la limite à la rupture du matériau en fonctionnement, contrairement à ce qui se passe pour les fabrications macroscopiques dans lesquelles le procédé de fabrication peut altérer les matériaux constitutifs qui n'ont peut être pas intrinsèquement ou par effet de juxtaposition des qualités mécaniques aussi bonnes que celles du quartz ou du silicium monocristallins Indépendamment de la miniaturisation qui permet une ouverture de la gamme d'applications du capteur, l'emploi du quartz pour réaliser l'appareil permet par exemple une excitation-détection facile du résonateur à l'aide d'un détecteur du type piézo-électrique ainsi que la réalisation des conduits électriques de sortie reliant nécessairement le résonateur à l'extérieur par implantation ionique de titane dans le quartz Si l'appareil, et par conséquent le résonateur sont en silicium, l'excitation et la détection peuvent intervenir à l'aide d'une simple jonction p N gravée dans le silicium et la liaison électro-statique associée. En ce qui concerne le fonctionnement de l'ensemble talonrésonateur-ailettes, on précisera utilement que la raideur selon l'axe du résonateur de l'ensemble talon-ailettes-résonateur est imposé par le résonateur lui-même alors que l'ensemble talon-ailettes a seul la charge de compenser un moment de flexion résiduel à l'entrée du résonateur C'est la raison d'être de la forme des ailettes de jonction du talon au cadre rigide lesquelles sont constituées par exemple de lames verticales perpendiculaires au plan du cadre rigide empêchant pratiquement toute rotation du talon selon un axe perpendiculaire à l'axe longitudinal du cadre rigide. Selon l'invention, pour fabriquer un capteur de pression résonant tel que précédemment défini à l'aide des procédés de la micro- électronique de micro-usinage, on s'y prend comme suit Le boîtier comportant La membrane et Le cadre rigide sont fabriqués séparément en un même matériau que l'on choisit parmi le quartz et le silicium à partir d'un substrat monobloc de ce matériau que l'on grave à La forme désirée à L'aide des procédés connus de micro-usinage Les parties ainsi fabriquées séparément sont ensuite assemblées pour former le capteur complet. De toute façon l'invention sera mieux comprise en se référant aux figures 2 à 7 ci-jointes qui décrivent un exemple de mise en oeuvre du capteur de pression résonant, objet de l'invention, description qui sera faite surtout à titre indicatif et non Limitatif En particulier, L'exemple qui va être décrit maintenant est relatif à un mini-capteur de quelques millimètres de dimensions et réalisé par micro-usinage Il doit être bien entendu que cet exemple est donné comme étant illustratif de l'une des applications les p Lus intéressantes de l'invention mais que l'on doit considérer que des capteurs de dimensions plus importantes et non fabriqués par micro-usinage peuvent également être réalisés tout en étant compris dans Le cadre de la présente invention Les figures 2 à 7 représentent: la figure 2, une vue de dessus du cadre rigide comportant le pivot, la poutre fléchissante, le talon et Le résonateur; La figure 3, une vue en coupe selon AA' de la figure 2 du cadre précédant; La figure 4, représente une vue en coupe-élévation d'un capteur complet avec son boîtier et son convertisseur; la figure 5 montre La déformation du capteur de la figure 4 sous l'effet d'une pression Pi, appliquée à la membrane supérieure; la figure 6 montre une variante de réalisation du capteur des figures 4 et 5 dans lequel les deux faces opposées, supérieure et inférieure, du capteur sont constituées de membranes soumises respectivement pour l'une à la pression Pl et pour l'autre à la pression P 2. Sur la figure 2, on a représenté la pièce essentielle du capteur résonant, objet de l'invention qui comporte le résonateur 16, la poutre fléchissante 18, ainsi que le talon 20 et le pivot 22 situés conformément à l'invention à l'intérieur du cadre rigide 24 L'ensemble représenté a quelques millimètres de côté et est obtenu par gravure d'un substrat de silicium ou de quartz Selon l'invention, le pivot 22 est relié au cadre rigide 24 par des charnières 26 et Le talon 20 est relié à ce même cadre rigide 24 par un système d'ailettes 28 (au nombre de deux dans l'exemple représenté) qui sont constituées de lames minces perpendiculaires au plan de la fig 2. La poutre fléchissante et souple 18 relie directement le pivot 22 au talon 20 Dans d'autres réalisations, la liaison entre le talon 20 et le cadre 24 peut être réalisée par un ensemble de poutres produisant le même effet de compensation d'un moment de flexion résiduel à l'entrée du résonateur. Si l'on se réfère maintenant à la vue en coupe de la figure 3 o l'on reconnaît les éléments précédents portant les mêmes nombres de références, on voit que l'extrémité du pivot 22 est le lieu d'application de la pression marquée par la flèche F et que c'est cette pression qui déforme l'ensemble de la poutre fléchissante 18, laquelle acquiert, comme on le voit sur cette figure 3, un profil en forme de dôme Le talon 20 est conçu de manière à permettre, en liaison avec le système d'ailettes 28, la compensation de toute flexion résiduelle qui pourrait subsister encore à l'entrée 30 du résonateur. Conformément à l'invention, l'ensemble du pivot 22 de la poutre fléchissante 18 et du talon 20 transmet l'effort F sur le système convertisseur ( 22, 18, 20) en absorbant les moments de flexion de façon à ne transmettre sur le résonateur 16 composé d'une poutre plane qu'un effort de traction ou de compression simple Dans le mode de mise en oeuvre des figures 2 et 3, la poutre réfléchissante 18 est une poutre unique dont le profil est optimisé par ordinateur en fonction des impératifs précédents Le résonateur 16 est également une poutre simple, mais pourrait aussi bien dans certains cas revêtir la structure d'un "diapason" à plusieurs branches IL est clair que la fréquence de résonance utilisée pour mesurer la pression peut être l'un quelconque des modes de vibration de ce résonateur 16, bien que tous ne soient pas adaptés de façon égale à la solution du problème recherché De même, le plan de vibration du résonateur n'est pas imposé par principe mais plutôt par des considérations technologiques: il pourrait par exemple être perpendiculaire au plan du substrat dans lequel il est usiné ou parallèle à ce plan, comme c'est le cas par exemple d'un résonateur réalisé selon la technologie quartz. L'excitation du résonateur 16 se fait par création d'une petite excitation mécanique à sa surface à l'aide de moyens connus et non représentés ici Si cette excitation comprend une composante (au sens de l'analyse de Fourier) dont la fréquence coincide avec la fréquence de résonance, cette composante, même très faible est généralement suffisante pour amorcer une vibration d'amplitude élevée La détection de la fréquence de résonance peut se faire par exemple à l'aide d'un dispositif détecteur de déformations; dans certains cas également, la résonance se répercute sur le dispositif excitateur et peut être décelé et mesuré par celui-ci. Lorsque le cadre rigide 24 est réalisé en silicium, il est commode d'utiliser une excitation de type électrostatique avec par exemple un condensateur réalisé à la surface du résonateur 16 constituant une électrode et une seconde électrode surmontant une zone diélectrique en nitrure de silicium Si 3 F 4. La détection peut alors être faite simplement à l'aide d'un pont de Wheatstone formé de jauges piézo-résistives Dans le cas particulier o le cadre rigide 24 est réalisé en quartz, il y a tout intérêt à utiliser la propriété piézo-électrique de ce matériau, ce qui permet alors de confondre la fonction d'excitation et la fonction de détection, puisque une simple variation de la capacité fournissant l'excitation électrique est l'indice que le système fonctionne à la résonance. La fonction du système convertisseur ( 18, 20, 22) est de concentrer les efforts de flexion dans les pièces intermédiaires (pivot 22 et poutre f Léchissante 18) de façon à exercer exclusivement un effort net de traction (ou de compression) sur le talon 20 Ce talon 20 doit donc exercer un couple de rappel suffisamment élevé pour compenser, à leur point de jonction, le couple dû à la poutre fléchissante 18 En revanche, il doit opposer à une traction (ou compression) dirigée selon l'axe principal du résonateur 16, une résistance propre la plus faible possible Ainsi l'effort statique en traction (ou compression) appliqué sur l'ensemble talon- résonateur est transmis intégralement sur le résonateur Cette dernière particularité du fonctionnement du capteur est réalisée en partie grâce au système d'ailettes 28 qui autorise un déplacement longitudinal du talon et freine au contraire considérablement toute tentative de rotation de ce dernier. Pour résumer, le système convertisseur est conçu de façon à ce que le moment total des 1 1 efforts, calculé à l'encastrement 30 du résonateur dans le talon, soit nul sans que soit nul l'effort résultant dirigé selon l'axe du résonateur 16. En se référant maintenant à la figure 4, on retrouve l'ensemble convertisseur 18, 20, 22, le résonateur 16, montés ensemble dans un boîtier parallélépipédique 32, dont la surface supérieure est amincie pour former la membrane souple 34 soumise à la pression à mesurer Comme le convertisseur 18, 20, 22 et le résonateur 16, le boîtier 32 et la membrane 34 sont obtenus par gravure d'un substrat dans un même matériau La figure 4 permet de voir l'ergot 36 fixé à la membrane souple 34 qui assure un lien mécanique entre cette membrane 34 et le pivot 22 du convertisseur. Sur la figure 5 on a représenté la déformation de la structure de la figure 4 sous l'effet d'une pression Pl appliquée à la partie supérieure de la membrane 34 On voit que l'ensemble convertisseur 18, 20, 22 sous l'effet de l'effort exercé par l'ergot 36 sur le pivot 26 se déforme pour adopter un profil en dôme identique à celui qui a été représenté sur la figure 3. Dans le cas de la figure 6, le capteur résonant est du type différentiel, c'est-à-dire que le boîtier 32 a ses deux faces supérieure et inférieure constituées d'une membrane souple, respectivement 34 et 38, l'ensemble des déformations des membranes 34 et 38 sous l'influence des pressions Pl et P 2 appliquées de l'extérieur transmettant, à l'ensemble convertisseur par les ergots 36 et 40 une déformation résultante. Dans l'exemple décrit les membranes souples 34 et 38 ont une superficie de quelques millimètres carrés et une épaisseur de quelques micromètres ou dizaines de micromètres S'il est nécessaire de modifier la raideur des membranes, on peut adapter leur forme en conséquence En particulier, une ou plusieurs variations locales d'épaisseur peuvent permettre d'obtenir des membranes qui, tout en conservant une épaisseur moyenne assez éLevée ont néanmoins pne raideur très faible. Dans la plupart des réalisations de capteur, objet de l'invention, l'intérieur du boîtier 32 est conçu de façon étanche et mis sous vide, ce qui facilite considérablement la vibration du résonateur. Bien entendu, des liaisons électriques entre l'intérieur et l'extérieur du boîtier 32 doivent être prévues pour faire passer l'énergie électrique d'excitation du résonateur 16 et pour mesurer en retour sa fréquence de vibration Ces moyens ne sont pas représentés sur les figures précédentes car ils sont connus de l'homme de métier On peut indiquer, quand il s'agit d'une technique de réalisation de l'appareil en quartz, que ces liaisons électriques peuvent être obtenues facilement par implantation de titane dans la paroi même de l'élément 24 du boîtier. Le procédé de préparation de la structure précédente d'un capteur de pression résonant miniaturisé peut consister à préparer séparément le cadre rigide 24 supportant le convertisseur et le résonateur ainsi que le boîtier 32 avec au moins l'une de ses faces constituant la membrane souple Chacune de ces deux pièces est réalisée séparément par gravure d'un substrat de silicium ou de quartz, ce qui conduit à des systèmes monobloc particulièrement solides. Les deux pièces sont ensuite assemblées et montées l'une dans l'autre pour obtenir le capteur complet des figures 4 à 6. REVENDICATIONS 1 Capteur de pression résonant comportant une membrane déformable 34, soumise à l'ambiance o règne la pression à mesurer, un convertisseur 18,20,22 apte à transmettre la force ainsi supportée par cette membrane 34 à un résonateur 16 mis en vibration par un excitateur et dont la fréquence de résonance que l'on mesure est fonction de l'intensité de cette force, donc de la pression à déterminer, caractérisé en ce que le convertisseur 18,20,22 comporte des moyens souples et f Léchissants 18 aptes à absorber les moments de flexion résultant de l'action de la force supportée par la membrane 34, de façon à transmettre au résonateur une traction ou une compression exemptes de flexion génératrice de contraintes localisées à l'entrée du résonateur. 2 Capteur de pression résonant selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'ensemble du convertisseur 18,20,22 et du résonateur 16 est monté dans un cadre rigide rectangulaire 24 comportant selon son axe longitudinal: un pivot 22 monté rotatif autour de deux charnières 26 le reliant aux parois latérales du cadre 24 et dont la direction générale est perpendiculaire à l'axe longitudinal du cadre; un talon 20 lié aux parois du cadre par l'intermédiaire d'un système d'ailettes 28 dont le plan est sensiblement perpendiculaire au plan du cadre; une poutre souple et fléchissante 18 reliant le talon 20 et le pivot 22; une poutre 16 servant de résonateur, reliant le côté du talon 20 opposé à la poutre souple et fléchissante 18 à un des côtés du cadre rigide 24 perpendiculaire à l'axe longitudinal du cadre, et en ce que le cadre rigide 24 est monté dans Le plan médian d'un boîtier parallélépipédique 32 dont une au moins des faces parallèles au plan du cadre est constituée d'une membrane déformable 34 sous l'effet de la pression qu'elle subit, les déformations de cette membrane 34 étant transmises au pivot par un ergot solidaire de la membrane 34 et reliant mécaniquement cette membrane et ce pivot 22. 3 Procédé de fabrication d'un capteur de pression selon l'ulne quelconque des revendications 1 et 2 précédentes sous forme miniaturisée, caractérisé en ce que le boîtier comportant la membrane et le cadre rigide sont fabriqués séparément en un même matériau choisi parmi le quartz et le silicium à partir d'un substrat monobloc de ce matériau gravé à l'aide des procédés de micros-usinage, puis assemblés ensuite.