FR 2681689 A1 19930326 FR 9111815 A 19910925 Détecteur de fuite à gaz traceur. Les détecteurs de fuite à l'hélium ont beaucoup progressé, afin d'une part, que le système d'analyse lui-même soit protégé des contaminants issus du système de pompage, mais d'autre part, que les5 pièces à tester soient non soumises aux vapeurs de fluides utilisés dans les pompes. Les détecteurs des premiers temps utilisaient des pompes secondaires à diffusion d'huile, et leur cellule d'analyse était protégée à l'aide de piège cryogénique condensant les vapeurs d'huile de la pompe à diffusion Mais les pièces à tester n'étaient pas protégées des vapeurs d'huile que rétrodiffusent les pompes primaires mécaniques à joint d'huile servant à prévider les pièces jusqu'à dés pressions de l'ordre de 102 mbar. La génération suivante de détecteur de fuite a vu remplacer la pompe secondaire à diffusion d'huile par une pompe de type mécanique (Turbomoléculaire à ailettes ou du type Holveck, etc) qui par constitution ne contient pas de lubrifiant (pompe à palier magnétique), ou si peu (pompe à roulement à bille), qu'elle ne contamine pas la cellule d'analyse et la pièce à tester Cependant la pièce à tester est encore soumise à l'action des vapeurs de lubrifiant de la pompe primaire mécanique à joint d'huile lors de la phase de prévidage, bien qu'en utilisant des pompes secondaires mécaniques pouvant fonctionner à des pressions de l'ordre du mbar, la phase de prévidage pendant laquelle la pièce à tester et la pompe primaire de25 prévidage sont en relation directe, se produise uniquement en écoulement visqueux ce qui limite la rétrodiffusion de vapeurs d'huile vers la pièce à tester, mais cela reste non satisfaisant pour les applications ultra propres o la pièce à tester peut souffrir de la moindre trace d'hydrocarbure (constituant principal des lubrifiants des pompes primaires mécaniques à joint d'huile). D'autre part, dans tous les cas d'utilisation de pompes primaires à joint d'huile, l'environnement extérieur reçoit les vapeurs ou brouillards d'huile, notamment lors du fonctionnement à haute pression Ceci peut être éliminé par le raccordement du refoulement de35 la pompe à un système d'aspiration, mais cela induit des -2- raccordements de tuyauteries supplémentaires du détecteur vers le système de ventilation. Un autre inconvénient généré par l'utilisation de pompes primaires à joint d'huile dans les détecteurs de fuite, provient du fait que5 certaines précautions doivent être prises lors du transport et du fonctionnement de l'appareil. Transport et fonctionnement en position horizontale Vidange de la pompe lors du transport en avion non pressurisé ou dans des conditions de vibrations très importantes. Pour éviter les inconvénients liés au fait que les pompes primaires utilisent un fluide pour leur lubrification et pour assurer leur étanchéité, on peut remplacer ces pompes par des pompes dites sèches Pompe à membrane Pompe à palettes sèches Pompe à piston rotatif Pompe à piston alternatif Pompe péristaltique Pompe à vis etc cependant les pompes sèches présentent plusieurs inconvénients: leur pression limite à l'aspiration est très élevée par rapport à la pression de refoulement de la pompe secondaire qui est plus basse. leur taux de compression est relativement faible pour les gaz légers tels que l'hélium ce qui augmente le temps de récupération du détecteur lorsque celui-ci a absorbé une certaine quantité d'hélium, et peut même rendre inutilisable l'appareil lorsque30 l'on désire détecter des faibles taux de fuite. Elles ont une très faible vitesse de pompage aux basses pressions d'aspiration inférieures à 10 mbar. La présente invention a pour but de proposer un détecteur de fuite utilisant une pompe sèche comme pompe primaire en palliant les inconvénients ci-dessus. L'invention a ainsi pour objet un détecteur de fuite à gaz traceur comportant une cellule d'analyse, une pompe primaire dont l'aspiration est reliée à un orifice d'entrée du détecteur par une première conduite munie d'une première vanne, et un groupe de pompage5 secondaire comportant au moins une pompe secondaire mécanique, ledit groupe ayant son entrée reliée à ladite cellule d'analyse et son refoulement étant relié à l'aspiration de la pompe primaire, caractérisé en ce que la pompe primaire est une pompe dite sèche et en ce que ledit groupe de pompage comporte du c 8 té de son refoulement un10 étage joint dynamique. Ainsi, l'utilisation d'un joint dynamique au refoulement du groupe de pompage permet d'obtenir un groupe de pompage secondaire à pression de refoulement élevé compatible avec la pression limite de la pompe primaire sèche. Selon une autre caractéristique, pour assurer une bonne vitesse de pompage de l'enceinte à tester aux faibles pression inférieures à 10 mbar, ledit groupe de pompage secondaire comporte deux pompes secondaires de type mécanique, séparés l'une de l'autre par une seconde vanne, ladite pompe secondaire la plus proche de20 ladite pompe primaire sèche, appelée seconde pompe secondaire, comportant à son refoulement ledit étage joint dynamique, une seconde conduite reliant en outre l'aspiration de ladite seconde pompe secondaire, en aval de ladite seconde vanne, à ladite première conduite, une troisième vanne étant disposée sur ladite première25 conduite, entre le refoulement de ladite seconde pompe secondaire et la jonction de la seconde conduite avec la première conduite. Selon une autre caractéristique, afin de diminuer considérablement le temps de récupération du détecteur après que celui-ci ait absorbé une certaine quantité d'hélium, le détecteur30 comprend en amont de la pompe primaire sèche un orifice d'entrée permettant l'injection d'un gaz distinct du gaz traceur. L'invention va maintenant être décrite en se référant au dessin annexé dans lequel: La figure 1 représente un détecteur de fuite selon l'invention: -4- la figure 2 représente un deuxième exemple de détecteur de fuite selon l'invention la figure 3 montre shématiquement un exemple de pompe secondaire mécanique comportant à son refoulement un étage joint dynamique. Le détecteur de la figure 1 comporte un analyseur de gaz 1, un groupe de pompage secondaire comportant une première pompe secondaire mécanique 2 et une seconde pompe secondaire mécanique 3 La seconde pompe secondaire mécanique 3 est une pompe secondaire10 comportant à son refoulement un étage joint dynamique comme le montre la figure 3 Le refoulement de la seconde pompe secondaire 3 est relié à l'aspiration d'une pompe primaire sèche 4 telle que l'une de celles énumérées plus haut Le détecteur comporte un orifice d'entrée 5, destiné à être raccordé à une enceinte à tester, relié par une première conduite 6 munie d'une première vanne 7 à l'aspiration de la pompe primaire 4 La première pompe secondaire 2 et la seconde pompe secondaire 3 sont séparées par une seconde vanne 8 Une seconde conduite 9 relie l'aspiration de la seconde pompe secondaire 3, en aval de la seconde vanne 8, à la première conduite 6 Une troisième20 vanne 10 est disposée sur la première conduite 6 entre l'aspiration de la pompe primaire 4 et la jonction 11 de la seconde conduite 9 avec la première conduite 6 Une troisième conduite 12, munie d'une quatrième vanne 13, relie encore l'entrée 5 du détecteur à l'analyseur de gaz 1. Enfin, le détecteur comprend, en amont de la pompe primaire 4, un orifice 14 relié à un récipient 15 de gaz comprimé Ce récipient est équipé d'un système de détente permettant de délivrer un faible débit de gaz de l'ordre de 101 à 102 cm 3/s de gaz détendu. Une sonde de pression 16, placée à l'aspiration de la, seconde pompe secondaire 3 commande l'ouverture et la fermeture de la troisième vanne 10. Comme il a été dit plus haut, la seconde pompe secondaire 3 est une pompe secondaire comportant à son refoulement un étage joint dynamique La pompe peut être soit turbomoléculaire à ailettes soit du type holweck. La figure 3 montre une pompe turbomoléculaire à ailettes comportant au refoulement un joint dynamique: le rotor à ailettes 17 se prolonge par un rotor cylindrique lisse 18 qui tourne en face d'une partie statorique 19 comportant un pas de vis 20. Ainsi, le détecteur de la figure 1, grâce à la pompe secondaire 3 comportant au refoulement un joint dynamique 18,20 peut refouler à une pression relativement élevée, compatible avec la pression limite élevée de la pompe primaire sèche 4. Le fonctionnement est le suivant: le prévidage de la pièce à tester, raccordée à l'entrée 5 du détecteur, se fait en deux temps: Depuis la pression atmosphérique jusqu'à environ 20 mbar l'évacuation est faite par la seule pompe primaire sèche 4 à travers la première vanne 7 et la troisième vanne 10, les vannes 13 et 8 étant fermées; à partir de 20 mbar et au-dessous la vanne 10, commandée par le capteur de pression 16, se ferme et la pièce est vidée par la15 seconde pompe secondaire 3 et la pompe primaire 4 Ainsi, aux faibles pressions on bénéficie du débit engendré par la pompe secondaire 3. L'épreuve de détection de fuite est ensuite effectué soit en contrecourant, les vannes 13 et 10 étant fermées et les vannes 7 et 8 étant ouvertes, soit en direct en ouvrant les vannes 13 et 8 et20 les vannes 7 et 10 étant fermées. La commande de la troisième vanne 10 est figurée par la ligne pointillée 17. Le récipient de gaz 15 permet de diminuer considérablement le temps de récupération du détecteur après qu'il ait absorbé une certaine quantité d'hélium. A cet effet le gaz est injecté soit en permanence soit après qu'un test ait été conduit. Le gaz injecté est, bien entendu, un gaz neutre exempt d'hélium On peut utiliser par exemple de l'azote, du gaz carbonique, de l'argon ou tout autre gaz dont la teneur en hélium est inférieure au PPM. L'injection du gaz, dans la figure 1 est faite à l'aspiration de la seconde pompe secondaire 3, cependant cette injection peut être réalisée ailleurs, par exemple en tout point35 intermédiaire de la première pompe secondaire 2 à condition cependant -6- que le système d'injection soit muni d'une vanne afin de pouvoir couper l'injection pendant la phase de prévidage pour éviter de faire remonter la pression de la pompe secondaire 2 et ainsi de nuire au fonctionnement de l'analyseur 1. La figure 2 est un détecteur simplifié dans lequel le groupe de pompage secondaire ne comporte qu'une unique pompe secondaire 2 Dans ce cas, cette pompe secondaire 2 comporte à son refoulement un joint dynamique, comme dans le cas de la pompe 3 de la figure 1, de façon à ce que la pression au refoulement du groupe de pompage secondaire soit compatible avec la pression limite de la pompe primaire sèche 4. Ici, le prévidage de la pièce à tester ne se fait qu'à travers la pompe primaire sèche 4. Un avantage du détecteur de la figure 1 est que la conductance de la quatrième vanne 13 peut être assez élevée, car, en test en méthode directe, l'ouverture de cette vanne 13 peut être effectuée à une pression beaucoup plus basse que dans le détecteur de la figure 2 puisque le prévidage, grâce à l'association des pompes 3 et 4 permet de descendre à une pression bien inférieure Ceci a pour conséquence de diminuer considérablement le temps de réponse de l'appareil. -7- REVENDICATIONS 1) Détecteur de fuite à gaz traceur comportant une cellule d'analyse ( 1), une pompe primaire ( 4) dont l'aspiration est reliée à un orifice d'entrée ( 5) du détecteur par une première conduite ( 6) munie d'une première vanne ( 7), et un groupe de pompage secondaire comportant au moins une pompe secondaire mécanique ( 2, 3), ledit groupe ayant son entrée reliée à ladite cellule d'analyse ( 1) et son refoulement étant relié à l'aspiration de la pompe primaire ( 4), caractérisé en ce que la pompe primaire ( 4) est une pompe dite sèche et en ce que ledit10 groupe de pompage comporte du c 8 té de son refoulement un étage joint dynamique ( 18, 20). 2) Détecteur de fuite selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit groupe de pompage secondaire comporte deux pompes secondaires de type mécanique ( 2, 3) séparées l'une de l'autre par une seconde vanne15 ( 8), la pompe secondaire ( 3) la plus proche de ladite pompe primaire sèche ( 4), appelée seconde pompe secondaire ( 3), comportant à son refoulement ledit étage joint dynamique ( 18, 20) et en ce qu'une seconde conduite ( 9) relie l'aspiration de ladite seconde pompe secondaire ( 3), en aval de ladite seconde vanne ( 8), à ladite première20 conduite ( 6), une troisième vanne ( 10) étant disposée sur ladite première conduite ( 6), entre le refoulement de ladite seconde pompe secondaire ( 3) et la jonction ( 11) de la seconde conduite ( 9) avec la première conduite ( 6). 3) Détecteur de fuite selon la revendication 2, caractérisé en ce que ladite troisième vanne ( 10) est commandée par un capteur de pression ( 16) placé à l'aspiration de ladite seconde pompe secondaire ( 3). 4) Détecteur de fuite selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu'il comprend, en amont de ladite pompe primaire sèche ( 4), un orifice d'entrée ( 14) permettant l'injection d'un gaz30 distinct du gaz traceur. ) Détecteur de fuite selon la revendication 4, caractérisé en ce que ledit orifice d'entrée est relié à un récipient de gaz ( 15). 6) Détecteur de fuite selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'une troisième conduite ( 12), munie d'une quatrième vanne ( 13), relie ladite entrée ( 5) dudit détecteur à l'analyseur de gaz ( 1).