FR 2676420 A1 19921120 FR 9205944 A 19920515 i "Procédé de fabrication d'une tête thermique" La présente invention concerne un procédé de fabrication d'une tête thermique comportant une résistance chauffante constituée d'un matériau de5 résistance en film mince dont la composition consiste en un mélange d'un métal à haut point de fusion et d'un matériau isolant. Plus précisément, l'invention concerne un procédé de fabrication d'une tête thermique comportant une étape d'uniformisation des valeurs de résistance des résistances chauffantes. D'une façon générale, comme indiqué à la figure 1, une tête thermique en film mince comprend un substrat de céramique 1, une couche de vernis 2 formée15 sur le substrat de céramique 1 et une résistance chauffante 3 formée sur la couche de vernis 2, la résistance chauffante 3 étant constituée d'un matériau de résistance en film mince dont la composition consiste en un mélange d'un métal à haut point de20 fusion et d'un matériau isolant Ensuite, un premier conducteur de modèle 4 destiné à fournir une électrode commune et un second conducteur de modèle 5 destiné à fournir des électrodes séparées, sont formés sur la résistance chauffante 3 de façon qu'une partie de25 cette résistance chauffante 3 puisse être exposée sous la forme d'une bande, le premier conducteur de modèle 4, le second conducteur de modèle 5 et la partie exposée de la résistance chauffante 3, étant recouverts d'un film protecteur 6 de manière à former la tête thermique en film mince Généralement, pour obtenir un nombre de points prédéterminés, on dispose un certain nombre de têtes thermiques en film mince dans une direction de balayage d'impression. Dans la tête thermique en film mince, une valeur de résistance ponctuelle est déterminée par une taille de point et une résistance de feuille d'un film de résistance lorsqu'on prépare un film de résistance constitué du matériau de résistance en film mince dont la composition comprend le métal à haut point de fusion et le matériau isolant La dispersion des valeurs de résistance des résistances chauffantes dans la tête thermique, peut constituer un facteur de dégradation de la qualité d'impression, cette dispersion étant provoquée par la dispersion des résistances de feuille des films de résistance et par la dispersion des tailles de points provoquée par les variations de conditions d'une gravure à l'acide ou analogue dans une étape de photolithogravure. D'autre part, le principal facteur de dispersion des valeurs de résistance moyennes des résistances chauffantes de chaque tête, est du à la dispersion des résistances de feuille des films de résistance produits par étincelage ou analogue en utilisant une cible constituée d'un mélange fritté. Dans ce cas, en réduisant la dispersion des valeurs de résistance, on peut obtenir une grande variété d'avantages comme indiqué ci-après Par exemple, on peut améliorer la qualité d'impression et il n'est pas nécessaire de régler une tension appliquée en fonction des valeurs de résistance des résistances chauffantes de chaque tête lorsqu'on monte plusieurs têtes sur une imprimante Cependant, beaucoup de difficultés techniques subsistent pour réduire la dispersion des valeurs de résistance. On a proposé une grande variété de procédés concernant un processus d'ajustage d'une résistance en film mince, de manière à supprimer la dispersion des valeurs de résistance Cependant, dans tous ces procédés, la forme de la résistance est modifiée par un laser, une soufflerie ou analogue, mais ce procédé n'est pas applicable à la tête thermique Il faut donc supprimer la dispersion des valeurs de résistance des résistances chauffantes sans effectuer le traitement d'ajustage Dans ce cas, il faut contrôler avec précision les conditions nécessaires telles que les conditions d'étincelage, les matériaux d'étincelage, les conditions photolithographiques et analogues lorsqu'on effectue les différents traitements du procédé de fabrication de la tête thermique Si l'on fait varier très légèrement les conditions, il en résultera la dispersion des valeurs de résistance. D'autre part, comme décrit ci-dessus, le matériau de résistance en film mince dont la composition comprend le mélange du métal à haut point de fusion et du matériau isolant, est utilisé pour obtenir une résistivité élevée de la résistance chauffante Généralement, ce matériau de résistance en film mince est utilisé pour former un film de résistance par un procédé d'étincelage utilisant une cible constituée d'un mélange fritté Cependant, dans le film de résistance d'un matériau de système polygène constitué du matériau de résistance en film mince, un défaut de structure du film peut se produire et la résistivité du film de résistance a tendance à varier lorsqu'on fait varier les conditions d'étincelage Ainsi, lorsqu'on augmente le degré de vide de l'étincelage, la résistivité augmente Par suite, si les conditions d'étincelage ne sont pas contrôlées avec précision, il en résulte la dispersion des valeurs de résistance des résistances chauffantes. Ainsi, la valeur calorifique est différente dans les résistances et une différence de densité est produite dans l'impression des points, ce qui constitue le principal facteur de détérioration de la qualité d'impression. Comme décrit ci-dessus, les problèmes apparaissant dans les résistances chauffantes constituées du matériau de résistance en film mince, peuvent être résumées classiquement de la manière suivante: ( 1) Le contrôle très précis des conditions d'étincelage est nécessaire Ainsi, la variation des conditions provoque une variation de la résistivité des résistances chauffantes, de sorte que la dispersion des valeurs de résistance des résistances est produite après la fabrication des résistances. Cela peut constituer le facteur provoquant la dispersion de la qualité ou classe d'impression. ( 2) La valeur de résistance de la résistance chauffante de la tête thermique est réduite après l'impression Cela provoque également la dispersion de la qualité ou classe d'impression Par exemple, lorsqu'on effectue une application par impulsions de points imprimés de nombreuses fois à l'instant initial dans la tête thermique, et de points imprimés un petit nombre de fois, comme il existe une différence entre les valeurs de résistance des résistances constituant les points, la dispersion est produite dans la densité d'impression et la taille des points La dispersion de la qualité ou classe d'impression est particulièrement frappante dans une tête pour imprimante couleur qui nécessite une uniformité très stricte des valeurs de résistance par point élémentaire. La présente invention a donc pour but de créer un procédé de fabrication d'une tête thermique tenant compte des problèmes ci- dessus de l'art antérieur, qui est capable d'uniformiser la dispersion des valeurs de résistance des résistances chauffantes dans chaque tête thermique, et la dispersion des valeurs de résistance des résistances chauffantes pour chaque point élémentaire, de manière à améliorer la qualité d'impression, et qui est également capable d'uniformiser la dispersion des valeurs de résistance des résistances chauffantes de chaque tête pour supprimer ainsi la nécessité d'un réglage de la tension appliquée lorsqu'on monte un certain nombre de têtes. Un autre but de la présente invention est de créer un procédé de fabrication d'une tête thermique tenant compte des problèmes ci-dessus de l'art antérieur, qui est capable de stabiliser les valeurs de résistance des résistances chauffantes de manière à améliorer la qualité d'impression non seulement lorsqu'on fabrique les résistances chauffantes mais encore lorsqu'on répète une opération d'impression dans une tête thermique après la fabrication des résistances chauffantes. Pour atteindre les buts ci-dessus, la présente invention concerne, sous un premier aspect, un procédé de fabrication d'une tête thermique comportant une résistance chauffante constituée d'un matériau de résistance en film mince dont la composition consiste en un mélange d'un métal à haut point de fusion et d'un matériau isolant; procédé caractérisé en ce qu'il comprend les différentes étapes consistant à: former un film protecteur; et chauffer la résistance chauffante à une température plus élevée que la température ponctuelle nécessaire pour une opération d'impression, après la formation du film protecteur. Selon une autre caractéristique de l'invention, le chauffage de la résistance chauffante est effectué pour chaque point. Selon une autre caractéristique encore de l'invention, le procédé comprend les différentes étapes consistant à former un film protecteur; et appliquer une puissance électrique à la résistance chauffante après la formation du film protecteur, de façon que la résistance chauffante soit chauffée à une température plus élevée que la température ponctuelle nécessaire pour une opération d'impression. Selon une autre caractéristique encore de l'invention, l'application de la puissance électrique est effectuée pour chaque point. L'invention concerne également, sous un second aspect, un procédé de fabrication d'une tête thermique comprenant une étape de formation d'une résistance chauffante constituée d'un matériau de résistance en film mince dont la composition consiste en un mélange d'un métal à haut point de fusion et d'un matériau isolant; procédé caractérisé en ce qu'il comprend les différentes étapes consistant à former un film protecteur; et recuire la résistance chauffante sous vide après la formation du film protecteur. Selon une autre caractéristique enfin de l'invention, le recuit est effectué à une température plus élevée que la température ponctuelle nécessaire à une opération d'impression. Dans le procédé de fabrication de la tête thermique selon l'invention, comme l'étape d'application de la puissance à la résistance chauffante est prévue, on peut réduire la valeur de résistance de la résistance à une valeur prédéterminée Cette étape permet de régler la valeur de résistance de la résistance sans modifier la forme de cette résistance, ce qu'on peut ainsi considérer comme une sorte de processus d'ajustage par rapport à sa fonction de traitement Par suite, cette étape pourra être appelée ci-après étape d'ajustage. Dans le procédé de fabrication de la tête thermique selon la présente invention, comme décrit ci-dessus, la caractéristique est qu'on réalise l'étape d'application de la puissance à la résistance chauffante après la formation du film protecteur, tandis que les étapes allant jusqu'à la formation du film protecteur peuvent être effectuées de manière classique Ainsi, le matériau de résistance en film mince dont la composition comprend le mélange du métal à haut point de fusion et du matériau isolant, est tout d'abord appliqué par exemple sur un substrat (en fait sur une couche de vernis formée sur le substrat) de manière à former un film de résistance chauffante par un procédé d'étincelage utilisant une cible constituée d'un mélange fritté On forme ensuite les films conducteurs de l'électrode commune et des électrodes séparées sur le film de résistance, puis on applique ensuite une photogravure à l'acide sur les films conducteurs de manière à former le motif d'électrodes voulus sur lequel on forme enfin le film protecteur On effectue ensuite la caractéristique de la présente invention c'est à dire l'étape d'ajustage. Dans cette étape, il est essentiel d'appliquer la puissance au film de résistance, cette puissance étant destinée à chauffer le film de résistance à une température plus élevée que la température ponctuelle nécessaire à l'opération d'impression Le détail de la puissance appliquée est décrit dans les formes préférées de réalisation. Dans le procédé de fabrication de la tête thermique selon la présente invention, il est difficile de modifier la valeur de résistance de la résistance après l'impression par la tête thermique ou pendant la préparation de la résistance chauffante, de sorte que la valeur de la résistance est stable Par suite, la qualité d'impression a peu de chances de se détériorer De plus, il n'est pas nécessaire de contrôler avec précision les conditions d'étincelage pendant la préparation de la résistance, comme c'était le cas dans le procédé classique. Dans le procédé de fabrication de la tête thermique selon la présente invention, le matériau de résistance en film mince dont la composition comprend le mélange du métal à haut point de fusion et du matériau isolant, peut être appliqué sur un substrat (en fait sur une couche de vernis formée sur le substrat) pour former un film de résistance chauffante par un procédé d'étincelage utilisant une cible constituée d'un mélange fritté, de manière classique. Après cet étincelage, le film de résistance est recuit sous vide pour former la résistance chauffante Dans ce cas, la température de recuit est essentielle et la température de recuit à utiliser est une température plus élevée que la température ponctuelle nécessaire à l'opération d'impression Le détail de la température de recuit est décrit dans les formes préférées de réalisation. De plus, les étapes venant avant et après l'étape de formation de la résistance chauffante, peuvent être effectuées de manière classique, et le matériau de résistance en film mince classique constituant la résistance chauffante, peut être utilisé tel quel. L'invention sera décrite en détails en se référant aux dessins ci-joints dans lesquels: la figure 1 est une vue en coupe transversale d'une tête thermique fabriquée par le procédé selon l'invention ainsi que par un procédé classique; la figure 2 est une représentation graphique de la relation entre la résistivité et le degré de vide d'étincelage, de manière à expliquer les caractéristiques d'une résistance chauffante constituée d'un matériau de résistance en film mince dont la composition consiste en un mélange d'un métal à haut point de fusion et d'un matériau isolant selon la présente invention; la figure 3 est une représentation graphique de la relation entre le taux de variation de résistance et le nombre d'impulsions appliquées dans un essai d'application continu d'une impression en relief, de manière à expliquer les caractéristiques de la résistance chauffante constituée du matériau de résistance en film mince dont la composition comprend le mélange du métal à haut point de fusion et du matériau isolant selon la présente invention; la figure 4 est une représentation graphique de la relation entre le taux de variation de résistance de la résistance chauffante et le nombre d'impulsions appliquées à 2,4 watts/point et à 2,7 watts/point, de manière à expliquer le procédé de fabrication d'une tête thermique selon la présente invention; la figure 5 est une représentation graphique de la relation entre la taux de variation de résistance de la résistance chauffante et le nombre d'impulsions appliquées à 2,7 watts/point, de manière à expliquer le procédé de fabrication d'une tête thermique selon la présente invention; la figure 6 est un organigramme d'une forme de réalisation d'une étape d'ajustage du procédé de fabrication d'une tête thermique selon la présente invention; la figure 7 est un organigramme d'une autre forme de réalisation d'une étape d'ajustage du procédé de fabrication d'une tête thermique selon la présente invention; la figure 8 est une représentation graphique de la relation entre le taux de variation de résistance de la résistance chauffante, et le nombre d'impulsions appliquées (du côté gauche), ainsi que la relation entre le taux de variation de résistance et la puissance électrique appliquée (du côté droit) à 2,1 watts/point, de manière à expliquer le procédé de fabrication d'une tête thermique selon la présente invention; la figure 9 est une représentation graphique de la relation entre le taux de variation de résistance de la résistance chauffante, et le nombre d'impulsions appliquées (du côté gauche), ainsi que de la relation entre le taux de variation de résistance et la puissance électrique appliquée (du côté droit) à 2,4 watts/point, de manière à expliquer le procédé de fabrication d'une tête thermique selon la présente invention; la figure 10 est une représentation graphique de la relation entre le taux de variation de il résistance d'une feuille du film de résistance, et la température de recuit sous vide, de manière à expliquer la procédé de fabrication d'une tête thermique selon la présente invention; et la figure Il est une représentation graphique de la relation entre le taux de variation de résistance de la résistance chauffante, et la puissance électrique appliquée dans un recuit à 4000 C et 7000 C, de manière à expliquer le procédé de fabrication d'une tête thermique selon la présente invention. On décrira maintenant les formes préférées de réalisation de l'invention en se référant aux dessins ci-joints. La figure 1 représente une coupe transversale d'une tête thermique en film mince produite par un procédé de fabrication de tête thermique selon la présente invention, cette tête thermique présentant une structure analogue à celle de la tête thermique classique décrite ci-dessus. Dans ce cas, comme indiqué à la figure 1, une couche de vernis 2 est formée sur un substrat de céramique 1, et une résistance chauffante 3 constituée d'un matériau de résistance en film mince dont la composition consiste en un mélange d'un métal à haut point de fusion et d'un matériau isolant, est formée sur la couche de vernis 2 Ensuite, un premier conducteur de modèle 4 destiné à fournir une électrode commune, et un second conducteur de modèle 5 destiné à fournir des électrodes séparées, sont formés sur la résistance chauffante 3 de façon qu'une partie de cette résistance chauffante 3 puisse être exposée sous la forme d'une bande, le premier conducteur de modèle 4, le second conducteur de modèle 5 et la partie exposée de la résistance chauffante 3, étant recouvert d'un film protecteur 6 de manière à former la tête thermique en film mince Dans ce cas, après la formation du film protecteur 6, on applique une puissance électrique au film de résistance chauffante 3, de manière à pouvoir chauffer le film de résistance chauffante 3 à une température supérieure à la température ponctuelle nécessaire à une opération d'impression. Ensuite, avant de décrire une étape d'ajustage de la résistance chauffante 3 de la tête thermique dans le procédé de fabrication selon la présente invention, on décrira ci-après la puissance électrique devant être appliquée à la résistance chauffante 3. Le matériau de résistance en film mince dont la composition comprend le mélange du métal à haut point de fusion et du matériau isolant pour la résistance chauffante 3, est utilisé pour obtenir une résistivité élevée de la résistance chauffante 3 La formation du film de ce matériau de résistance en film mince est généralement effectuée par un procédé d'étincelage en utilisant une cible constituée d'un mélange fritté Cependant, comme pour le film de résistance d'un matériau de système polygène constitué du matériau de résistance en film mince, un défaut de structure du film a tendance à se produire et, comme indiqué à la figure 2, la résistivité du film de résistance risque d'être modifiée en fonction de la variation des conditions d'étincelage Ainsi, on comprend facilement que lorsqu'on augmente le degré de vide de l'étincelage, la résistivité augmente comme indiqué à la figure 2. De plus, dans la tête thermique utilisant le matériau de chauffage du matériau de résistance en film mince, on effectue un essai d'application continue d'une impression en relief dans les conditions d'une largeur d'impulsion de 1,0 ms, d'une période d'impulsions de 10 ms et d'une énergie d'impulsion de 0,3 mj/point, sur la base d'une énergie appliquée pour obtenir une densité d'impression D= 1,2, le résultat de cet essai étant indiqué à la figure 3. La figure 3 représente la relation entre le taux de variation de la valeur de résistance de la résistance chauffante, et un nombre d'impulsions appliquées. D'après la figure 3, on peut constater une chute de valeur de résistance d'environ 7 % dans la période d'application des impulsions On peut considérer cela de la manière suivante: du fait du chauffage produit par l'application de l'impulsion, on provoque la réorganisation du défaut de structure à l'intérieur du film de résistance et la contrainte est allégée pour faire chuter la valeur de résistance par ce qu'on appelle un effet de recuit. Dans le procédé de fabrication d'une tête thermique selon la présente invention, un phénomène devant se comprendre à partir de la relation entre la résistivité et le degré de vide d'étincelage, ainsi qu'à partir de la relation entre le taux de variation de la valeur de résistance et le nombre d'impulsions appliquées, est effectivement utilisé pour commander la valeur de résistance de la résistance chauffante dans l'étape d'ajustage. D'autre part, la figure 4 représente la relation entre le nombre d'impulsions appliquées et le taux de variation de la valeur de résistance lorsqu'on applique une puissance électrique de 2,4 watts/point à la résistance chauffante dans la période initiale, la puissance électrique appliquée passant ensuite à 2,7 watts/point après qu'on ait constaté la tendance à la stabilité de la valeur de résistance De plus, la figure 5 représente la relation entre le nombre d'impulsions appliquées et le taux de variation de la valeur de résistance lorsqu'on applique une puissance électrique de 2,7 watts/point à la résistance chauffante depuis la période initiale jusqu'à la fin. D'après les relations indiquées aux figures 4 et 5, on peut régler la valeur de résistance dans l'étape d'ajustage A représentée à la figure 6 ou dans l'étape d'ajustage B représentée à la figure 7. Dans l'étape d'ajustage A représentée à la figure 6, on effectue successivement une étape de mesure de la valeur de résistance initiale, une étape de choix de la puissance électrique appliquée, une étape d'application des impulsions et une étape de mesure de la valeur de résistance, puis on détermine ensuite si la valeur de résistance mesurée est une valeur prédéterminée ou non Lorsqu'on détermine que la valeur de résistance est la valeur prédéterminée, on stoppe l'application des impulsions pour terminer l'étape d'ajustage Au contraire, lorsqu'on détermine que la valeur de résistance n'est pas la valeur prédéterminée, on ramène le processus à l'étape d'application des impulsions, puis on poursuit ensuite le processus comme décrit ci-dessus jusqu'à ce que la valeur de résistance mesurée soit la valeur prédéterminée Dans l'étape d'ajustage B représentée à la figure 7, une étape d'augmentation de la puissance appliquée et une étape d'application d'une autre impulsion sont introduites après l'étape de mesure de la valeur de résistance de l'étape d'ajustage A et, lorsqu'on détermine que la valeur de résistance mesurée n'est pas la valeur prédéterminée dans l'étape de discrimination des valeurs de résistance, le processus est ramené à l'étape d'augmentation de la puissance appliquée Les autres étapes de l'étape d'ajustage B sont effectuées de la même manière que pour l'étape d'ajustage A. A son tour, la stabilité de la valeur de la résistance pendant l'utilisation de la tête thermique, dépend de la puissance électrique appliquée pour régler la valeur de résistance On décrira maintenant ce point. Tout d'abord, le graphique de gauche de la figure 8 représente le résultat d'un vieillissement par les impulsions ou la relation entre le taux de variation de la valeur de résistance de la résistance chauffante, et le nombre d'impulsions appliquées lorsqu'on applique la puissance électrique de 2,1 watts/point à la résistance Dans ce graphique, la valeur de résistance tend à se stabiliser pour un nombre d'impulsions de 15 x 103 Lorsque la résistance de la tête thermique a atteint la stabilité, on effectue un essai de contrainte par étapes sur la base de la valeur de la résistance après la stabilisation de celle-ci et, par suite, la relation entre le taux de variation de la valeur de résistance, et la puissance appliquée, est représentée dans le graphique de droite de la figure 8 D'après le graphique de droite de la figure 8, on comprend que la variation de la valeur de résistance est faible jusqu'à la puissance nécessaire pour atteindre la stabilisation ( 2,1 watts/point), et l'on peut constater la réduction de la valeur de résistance lorsque la puissance appliquée est supérieure à la puissance de stabilisation. De plus, le graphique de gauche de la figure 9 représente le résultat d'un vieillissement par les impulsions lorsqu'on applique la puissance de 2,4 watts/point à la résistance Lorsqu'on augmente la puissance appliquée, le taux de variation de la valeur de résistance augmente jusqu'à ce que la valeur de résistance se stabilise (application d'un nombre d'impulsions de 15 x 103) et, après la stabilisation de la valeur de résistance, le résultat du phénomène est analogue à celui du cas décrit ci-dessus en se référant à la figure 8 L'essai de contrainte par étapes représenté dans le graphique de droite de la figure 9, est également analogue à celui du cas de la figure 8. On comprendra, d'après la relation représentée aux figures 8 et 9, que la dernière impulsion appliquée pour effectuer l'ajustage, doit être une impulsion de puissance au moins supérieure à celle appliquée pendant la période d'utilisation, de manière à obtenir la stabilité de la valeur de la résistance dans l'état d'utilisation de la tête thermique. A partir de la description ci-dessus, le processus réel de l'étape d'ajustage est obtenu de la manière suivante: ( 1) Le vieillissement par les impulsions est effectué dans des conditions telles que le nombre d'impulsions appliquées, la puissance électrique appliquée et analogues, amènent la température de chauffage à une valeur supérieure à la température de chauffage (température ponctuelle) de la résistance de chauffage dans les conditions d'impression correspondant à la température de chauffage de la résistance chauffante, à la puissance électrique appliquée et analogues de la tête thermique utilisée, puis on mesure ensuite le taux de variation de la valeur de résistance au moment o la valeur de la résistance est stabilisée sur la base du vieillissement par les impulsions. ( 2) On détermine la valeur de résistance de feuille du film de résistance de façon qu'elle se trouve à l'intérieur du taux de variation de la valeur de résistance obtenue en ( 1), et l'on prend cette valeur de résistance de feuille comme valeur de résistance visée lorsque le matériau de résistance en film mince, dont la composition comprend le mélange du métal à haut point de fusion et du matériau isolant, est formé sur la couche de vernis pour obtenir le film de résistance chauffante par le procédé d'étincelage utilisant la cible constituée par le mélange fritté. ( 3) Sur la base des conditions d'application déterminées en ( 1), on applique une seule impulsion ou plusieurs impulsions au film de résistancepour régler la valeur de résistance du film de résistance à une valeur de résistance prédéterminée. La procédure définie de ( 1) à ( 3) est commune aux deux étapes d'ajustage A et B Dans le cas de l'étape d'ajustage B, il est nécessaire de démarrer avec une puissance électrique initiale appliquée dans la procédure ( 3), au moins supérieure à la puissance électrique appliquée dans les conditions d'impression de la tête thermique utilisée. En effectuant la procédure définie de ( 1) à ( 3), on termine l'étape d'ajustage de la résistance chauffante Bien évidemment, la procédure ( 1) est effectuée séparément du processus de fabrication de la tête thermique, la procédure ( 2) est effectuée après la formation de la couche de vernis sur le substrat, et la procédure ( 3) est effectuée après la formation du film protecteur sur le premier conducteur de modèle, sur le second conducteur de modèle et sur la résistance chauffante exposée. Comme décrit ci-dessus, après avoir formé le film protecteur dans cette forme de réalisation, on applique la puissance électrique prédéterminée au film de résistance constitué du matériau de résistance en film mince, et l'on peut obtenir les effets suivants: ( 1) La dispersion des valeurs de résistance des résistances chauffantes de chaque tête thermique, peut être supprimée pour rendre les valeurs de résistance uniformes. ( 2) La dispersion des valeurs de résistance des résistances chauffantes pour chaque point élémentaire, peut être supprimée de manière à rendre les valeurs de résistance uniformes. ( 3)La qualité d'impression peut être améliorée à partir de ( 1) et ( 2), tandis que la tête thermique peut assurer une impression de haute qualité pendant une longue période de temps. ( 4) La dispersion des valeurs de résistance des résistances chauffantes de chaque tête thermique, peut être supprimée de manière à rendre les valeurs de résistance uniformes. ( 5) A partir de ( 4), il n'est pas nécessaire de régler la puissance électrique appliquée à chaque tête thermique lorsque plusieurs têtes thermiques sont montées sur l'imprimante. Ensuite, une autre forme de réalisation d'un procédé de fabrication d'une tête thermique selon la présente invention, sera maintenant décrite en se référant aux figures 10 et 11 Dans cette forme de réalisation, on effectue un recuit sous vide dans la tête thermique décrite ci-dessus. La figure 10 illustre la relation entre la température de recuit sous vide d'un film de résistance, et le taux de variation de la valeur de résistance de feuille, la figure 11 représentant le résultat d'un essai de contrainte par étapes d'une tête thermique utilisant un film de résistance recuit à 4000 C et 700 *C, c'est à dire la relation entre le taux de variation de la valeur de résistance et la puissance électrique appliquée On comprend facilement d'après les figures 10 et 11 que lorsqu'on augmente la température de recuit sous vide, le taux de variation de la valeur de résistance augmente (la valeur de résistance étant réduite) à la figure 10, et que lorsqu'on augmente la puissance appliquée, le taux de variation de la valeur de résistance augmente (la valeur de résistance étant augmentée) à la figure 11. Par suite, on pense que lorsqu'on augmente la température de recuit sous vide, la stabilité de la valeur de résistance augmente. A partir de la description ci-dessus, on décrira maintenant le processus permettant d'obtenir les conditions de recuit optimales. Tout d'abord, on effectue le vieillissement par les impulsions en ajoutant les conditions d'impression telles que le nombre d'impulsions appliquées, la puissance appliquée et analogue, de la tête thermique utilisée, de la même manière que dans le cas des figures 8 ou 9, puis on mesure ensuite le taux de variation de la valeur de résistance au moment o la valeur de la résistance est stabilisée sur la base du vieillissement par les impulsions. Ensuite, à partir du graphique représentant la relation entre le taux de variation de la valeur de résistance de feuille, et la température de recuit sous vide obtenue à l'avance par une expérience telle que celle représentée à la figure 10, on obtient la température de recuit au moment o elle coïncide avec le taux de variation de la valeur de résistance Cette température devient la condition de recuit optimale. Par exemple, comme le taux de variation de la valeur de résistance est d'environ -5 (AR/R%) au moment o elle tend à se stabiliser dans le vieillissement par les impulsions à 2,1 watts/point représenté au graphique de gauche à la figure 8, la température de recuit sous vide au moment o le taux de variation de la valeur de résistance de feuille est de -5 à la figure 10, est égale à environ 6000 C De la même manière, comme le taux de variation de la valeur de résistance est environ de -8 (AR/R%) au moment o elle tend à se stabiliser dans le vieillissement par les impulsions à 2,4 watts/point représenté au graphique de gauche à la figure 9, lorsqu'on l'adapte à la figure 10, la température de recuit sous vide est environ de 6800 C. Dans cette forme de réalisation, le temps de recuit est variable suivant les conditions d'impression et la température de recuit, un temps d'environ 20 à 60 minutes étant préférable. Comme décrit ci-dessus, après avoir déposé le matériau de résistance en film mince sur la couche de vernis pour former le film de résistance par le procédé d'étincelage courant utilisant la cible constituée du mélange fritté, le film de résistance est recuit sous vide à la température de recuit obtenue comme décrit ci-dessus, pour préparer la résistance chauffante avec les effets suivants: ( 1) Il n'est pas nécessaire de contrôler avec précision les conditions d'étincelage lorsqu'on forme le film de la résistance chauffante en utilisant le matériau de résistance en film mince, tandis que la dispersion des valeurs des résistances chauffantes à peu de chances de se produire après la préparation, même lorsqu'on fait légèrement varier les conditions. ( 2) Même après avoir effectué l'impression par la tête thermique, les valeurs de résistance des résistances chauffantes ont peu de chances de chuter et sont stabilisées, de sorte qu'on supprime complètement des perturbations telles qu'une variation de la densité d'impression, une variation de la taille des points et analogues. ( 3)A partir de ( 1) et ( 2), on peut améliorer la qualité d'impression et la tête thermique peut assurer une haute qualité d'impression pendant une longue période de temps. R E V E N D I C A T I O N S ) Procédé de fabrication d'une tête thermique comportant une résistance chauffante constituée d'un matériau de résistance en film mince dont la composition consiste en un mélange d'un métal à haut point de fusion et d'un matériau isolant; procédé caractérisé en ce qu'il comprend les différentes étapes consistant à: former un film protecteur; et chauffer la résistance chauffante à une température plus élevée que la température ponctuelle nécessaire pour une opération d'impression, après la formation du film protecteur. ) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le chauffage de la résistance chauffante est effectué pour chaque point. ) Procédé de fabrication d'une tête thermique comportant une résistance chauffante constituée d'un matériau de résistance en film mince dont la composition consiste en un mélange d'un métal à haut point de fusion et d'un matériau isolant, procédé caractérisé en ce qu'il comprend les différentes étapes consistant à: former un film protecteur; et appliquer une puissance électrique à la résistance chauffante après la formation du film protecteur, de façon que la résistance chauffante soit chauffée à une température plus élevée que la température ponctuelle nécessaire pour une opération d'impression. ) Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'application de la puissance électrique est effectuée pour chaque point. ) Procédé de fabrication d'une tête thermique comprenant une étape de formation d'une résistance chauffante constituée d'un matériau de résistance en film mince dont la composition consiste en un mélange d'un métal à haut point de fusion et d'un matériau isolant; procédé caractérisé en ce qu'il comprend les différentes étapes consistant à former un film mince de résistance; et recuire la résistance chauffante sous vide après la formation du film de résistance. 6 ) Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que le recuit est effectué à une température plus élevée que la température ponctuelle nécessaire à une opération d'impression.