FR 2678647 A1 19930108 FR 9109109 A 19910705 PROCEDÉ DE FABRICATION D'UN CRISTAL À GRADIENT DE MAILLE La présente invention concerne la cristallogénèse, et plus particulièrement la fabrication de cristaux à plusieurs éléments dans lesquels la proportion de l'un au moins des élé- ments est continûment variable, d'o il résulte que ces cristaux présentent un gradient de maille cristalline De tels cristaux seront simplement appelés ci-après cristaux à gradient. Les cristaux à gradient peuvent par exemple être utilisés comme monochromateurs de rayonnements à faible longueur d'onde telles que des neutrons ou des rayons X. L'idée d'utiliser des cristaux à gradient comme mono- chromateurs de rayonnements apparaît par exemple dans le brevet allemand 18 16 542 déposé le 23 décembre 1968 au nom de l'Ins- titut Max von Laue-Paul Langevin, Grenoble Dans ce brevet, on mentionne en particulier l'intérêt de cristaux à gradient du type Six Gelîx (x désigne une valeur comprise entre O et 1). Ainsi, depuis plus de vingt ans, on a vu l'intérêt qu'il y aurait à fabriquer des cristaux à gradient Toutefois, on n'est toujours pas arrivé à fabriquer industriellement de tels cristaux suffisamment monocristallins, suffisamment grands, et présentant une plage de variation de concentration de leurs éléments propre à fournir un gradient de maille satisfaisant En effet, on cherche à obtenir des cristaux ayant des dimensions supérieures à quelques millimètres, par exemple une longueur dans la direction du gradient de l'ordre de 10 mm. Les procédés de croissance de cristal peuvent se classer en deux grandes catégories, les procédés partant d'une phase liquide et les procédés partant d'une phase gazeuse Ces deux familles de procédés de croissance cristalline sont connues depuis longtemps Généralement, les procédés partant d'une phase liquide sont utilisés pour obtenir des cristaux de grande dimen- sion alors que les procédés en phase gazeuse, tels que les épi- taxies en phase gazeuse, sont réservés à la fabrication de cristaux en couche mince, par exemple dans le domaine de la microélectronique. A la connaissance de la demanderesse, toutes les ten- tatives de réalisation de cristaux à gradient entreprises depuis une vingtaine d'années, se sont concentrées sur la famille des procédés à phase liquide, et plus particulièrement sur des procédés de tirage dans lesquels on fait continûment varier au cours du tirage la concentration de la phase liquide Ce sont ces procédés qui n'ont toujours pas donné de résultats satisfai- sants En particulier, dans le cas de la fabrication de cristaux à gradient du type Six Gel-x, ces procédés n'ont permis de fournir des monocristaux que si la variation de concentration relative du germanium et du silicium n'était pas supérieure à quelques pour cent. Ainsi, un objet de la présente invention est de pré- voir un procédé général d'obtention de monocristaux à gradient qui permette une fabrication relativement rapide tout en four- nissant une large plage de variation de concentration et une épaisseur notable. Pour atteindre ces objets, la présente invention prévoit d'utiliser des techniques de dépôt chimique en phase vapeur, connues notamment dans le domaine de la fabrication des composants semiconducteurs, en les adaptant au problème posé. L'utilisation de ce type de technique n'avait jamais été propo- sée précédemment en raison, semble-t-il, du double obstacle ci- apres. Le premier obstacle, est que les techniques de dépôt chimique en phase vapeur élaborées pour la fabrication de compo- sants semiconducteurs sont destinées à la fabrication de couches minces ayant des épaisseurs de l'ordre du micromètre Pour atteindre de telles épaisseurs, des procédés de dépôt relative- ment lents sont acceptables Ainsi, couramment, les procédés de dépôt développés dans le domaine des semiconducteurs fournissent des vitesses de croissance faibles Par exemple, un procédé usuel de dépôt de silicium-germanium implique de partir d'un mélange de silane (Si H 4) et de germane (Ge H 4) en présence d'hydrogène à basse pression ( 0,1 Pascal) et à une température de l'ordre de 500 à 6000 C On obtient alors une vitesse de croissance de l'ordre de 1 à 5 nm par minute, ce qui donne, pour la valeur supérieure, une vitesse de croissance de 7 micromètres par jour Il faudrait alors plusieurs années pour obtenir une croissance de l'ordre de la dizaine de millimètres. Par ailleurs, il est connu que l'on peut augmenter les vitesses de dépôt en augmentant la température du substrat sur lequel se produit le dépôt Toutefois, on se heurte alors à un second obstacle qui est que, à l'intérieur d'un cristal, il se produit des phénomènes de diffusion à l'état solide qui sont, par exemple, à la base des procédés d'obtention de régions différemment dopées dans un composant semiconducteur Il est en outre connu que cette vitesse de diffusion croit avec la tempé- rature pour devenir élevée quand on s'approche de la température de fusion du cristal Par exemple, il est connu que si 1 'on forme par épitaxie une couche de germanium sur une couche de silicium, après un recuit à 1000 C pendant vingt-quatre heures, on obtient une couche intermédiaire de 200 nm de Si 1-Gex. C'est sans doute en raison de ce deuxième obstacle que l'on n'a jamais essayé de fabriquer des cristaux à gradient par dépôt chimique en phase vapeur En effet, sachant que, quand la température d'un cristal comprenant plusieurs types d'atomes augmente, la composition du cristal tend à s'homogénéiser, on pensait qu'il ne serait pas possible d'obtenir des cristaux à gradient par des procédés d'épitaxie en phase gazeuse à haute température. La demanderesse s'est aperçue que ce second obstacle était en fait un préjugé et que, dans le cas d'un cristal à gradient d'indice formé par dépôt chimique en phase vapeur dans les conditions qui seront exposées ci-après, oe phénomène d'interdiffusion et d'homogénéisation ne se produit pas ou se produit seulement de façon négligeable. Ainsi, la présente invention propose un procédé de fabrication d'un cristal comprenant au moins deux éléments dans lequel la proportion de l'un au moins de ces éléments varie dans une direction choisie, consiste à procéder à une croissance cristalline par voie chimique en phase vapeur en faisant varier au cours du temps la proportion de chacun des composants dans le gaz à partir duquel est formé le dépôt. Selon une application de la présente invention, le cristal considéré est Six Gelîx Les gaz de dépôt sont un mélange de silane et de germane en présence d'hydrogène Le dépôt est réalisé avec une pression de gaz de l'ordre de 100 pascals et une température de l'ordre de 950 à 10000 C. Selon un mode de réalisation de la présente invention, la proportion des gaz de dépôt est modifiée pour que la varia- tion de proportion d'un élément soit de quelques pour cent par millimètre dans le cristal obtenu. Exemple Dans une expérience pratique, on a procédé dans un réacteur à parois froides o le substrat de silicium était porté à 1000 'C à une pression totale de 100 pascals ( 1 Torr) Dans ce réacteur on a fait circuler des gaz à un débit de 1 litre/minute en partant d'un mélange de Si H 4 ( 50 à 100 cm 3/mn), H Ol ( 2 à 10 cm 3/mn) et le complément en hydrogène Progressivement, une quantité croissante de Ge H 4 a été introduite tandis que la quantité de Si H 4 était maintenue constante, pour obtenir une formation Six Gel-, avec une valeur décroissante de x Au bout de 24 heures, on a obtenu un cristal de Six Gelîx d'une épaisseur de lmm La vitesse de croissance était de 0,6 à 0, 8 micromètre par minute, c'est-à-dire plus de 1000 fois plus élevée que les vitesses précédemment mentionnées En partant d'un substrat de silicium pur, on est arrivé en faisant varier la concentration de germane dans le mélange de la façon indiquée à une composition en surface pour une épaisseur d'un millimètre de Si O,97 Ge O,03- Les résultats obtenus par la demanderesse montrent que pour des couches plus épaisses ( 10 mm), on pourrait atteindre une composition de surface voisine de Si O,70 Geo,30. Inversement, on pourrait partir d'un substrat de ger- manium pour arriver à une couche externe ayant une composition superficielle du type Geo 0705 i O,30. Selon l'application envisagée, on conservera le sili- cium ou le germanium de départ comme substrat pour le cristal à gradient obtenu ou bien on enlèvera par abrasion ce substrat pour obtenir uniquement la partie du cristal à gradient d'in- dice. Au lieu de silane et de germane, on pourrait utiliser des dérivés halogénés tels que Si H 4-n Cln ou Ge H 4-n Cln. Bien que l'exemple donné concerne uniquement le Six Gel-x, la présente invention s'applique plus généralement à la formation d'autres cristaux à gradient, par exemple Gal-x Alx As ou Inl x Gax P. On notera que le procédé selon la présente invention permet d'éviter deux problèmes qui rendent la croissance en phase liquide difficile, voire impossible dans le cas Six Gel-x- Premièrement, un atome de germanium dans une matrice de silicium représente un défaut qui a tendance à créer des perturbations à plus longue distance Cet effet empêche une croissance cristalline lorsque le réseau de silicium n'est plus assez rigide, ce qui devient le cas pour une température supé- rieure à 1000 'C environ. 5 Deuxièmement, les concentrations des constituants d'un alliage sont différentes dans la phase liquide et la phase solide Elles doivent être équilibrées par les processus dynamiques près du front de solidification Dans le cas Si.Gel-,, oes différences sont très importantes Elles10 demandent un fort échange de matière prés du front de solidifi- cation En conséquence, le front de solidification devient instable et une croissanoe monocristalline ne peut être main- tenue. REVENDICATIONS 1 Procédé de fabrication d' un cristal comprenant au moins deux éléments dans lequel la proportion de 1 ' un au moins de oes éléments varie dans une direction choisie, caractérisé en ce qu'il consiste à procéder à une croissance cristalline par 5 voie chimique en phase vapeur en faisant varier au cours du temps la proportion de chacun des composants dans le gaz à partir duquel est formé le dépôt. 2 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit cristal est Si Gel-,. 3 Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que les gaz de dépôt sont un mélange de silane et de germane en présence d'hydrogène. 4 Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'il est mis en oeuvre à une pression de gaz de l'ordre de 100 pascals et à une température de l'ordre de 950 à 1000 'C. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que la proportion des gaz de dépôt est modifiée pour que la variation de proportion d'un élément soit de quelques pour cent par millimètre dans le cristal obtenu.