FR 2676870 A1 19921127 FR 9106285 A 19910524 STRUCTURE DE PROTECTION DANS UN CIRCUIT CMOS CONTRE LE VERROUILLAGE L'invention concerne les circuits intégrés CMOS et plus précisément leur protection contre le phénomène de verrouillage qui peut détruire certaines parties du circuit intégré CMOS. La technologie CMOS génère de nombreuses structures à quatre couches PNPN qui, en formant des transistors bipolaires et des résistances latérales, sont en fait de réels thyristors. Une impulsion parasite unique ou une surtension sur l'alimentation peuvent provoquer le déclenchement de certains de ces thyristors: c'est le phénomène de verrouillage (latch-up dans la littérature anglo-saxonne) des circuits CMOS. Le déclenchement de ces structures établit un court-circuit plus ou moins franc, généralement destructif par suréchauffement du circuit Pour éviter le verrouillage, on utilise de manière classique des règles de dessins des circuits CMOS très strictes En particulier: pour réduire le gain des transistors bipolaires, on augmente la largeur de leur base profondeur importante des caissons, diffusions dans le substrat éloignées des caissons, pour réduire les résistances latérales, on multiplie les prises de substrat et de caisson. La réduction des résistances latérales, sert aussi à réduire le gain des transistors bipolaires (par court-circuit de la jonction émetteur-base). Ces règles sont très contraignantes et coûteuses en place pour un résultat incertain en pratique: pour un circuit, elles vont donner de très bons résultats, pour un autre, de très mauvais. On préfère utiliser dans certains cas, au lieu d'un substrat uniformément dopé dans la masse (substrat massif), un substrat épitaxié Le substrat épitaxié est un substrat très fortement enrichi, par exemple N+, surmonté d'une très fine couche épitaxiée peu dopée N-. Il permet principalement de réduire les résistances latérales, mais c'est une technologie fort coûteuse pour un résultat qui reste non garanti (problème de reproductibilité du résultat d'un circuit à l'autre). Soit un circuit CMOS Il reçoit sur deux bornes d'alimentation, une tension positive Vcc, en général 5 volts en valeur nominale et une tension négative ou nulle Vss, en général O volts Le circuit CMOS accepte une tension maximum Vmax = Vcc Vss à ses bornes de l'ordre de 7 volts L'immunité du circuit CMOS au verrouillage est définie par la surtension V 1 et le courant externe Il pour lesquels le verrouillage se déclenche V 1 doit être supérieure à Vmax Typiquement on cherche à avoir VI supérieur à 2 Vmax et le courant Il le plus élevé possible Les solutions précédemment décrites permettent d'avoir Il de l'ordre de 20 milliampères Dans l'invention, on cherche à porter Il jusqu'à la centaine de milliampères Ainsi on aura des produits CMOS réellement bien protégés contre le verrouillage De plus, on cherche à réduire le coût de la protection en place occupée dans le circuit et en prix de revient. Dans l'invention, on part d'un circuit CMOS de technologie classique, avec des paramètres limites d'immunisation au verrouillage (Vl, Il) propres à la circuiterie interne. Dans l'invention, on intercale entre les bornes d'alimentation, en parallèle sur la circuiterie interne CMOS, un composant d'écrêtage qui se déclenche pour une tension E à ses bornes inférieure à Vl et qui consomme un fort courant Ie bien supérieur au courant Il pour une tension Vl à ses bornes, c'est à dire un composant avec une résistance équivalente faible quand il est déclenché. Dans l'invention le composant d'écrêtage est intégré dans le circuit CMOS Ainsi, si l'intensité du courant externe pour déclencher le verrouillage dans la circuiterie interne reste inchangée (Il), par contre le courant total externe I'l à fournir au circuit CMOS, égal à Il sans l'écrêteur, est augmenté dans l'invention du courant (Ie) transitant par l'écrêteur On a ainsi augmenté la valeur apparente I'i du courant externe de déclenchement du verrouillage Cette valeur apparente dépend alors du dimensionnement de l'écrêteur. Dans un perfectionnement, l'écrêteur est protégé des décharges électrostatiques. L'invention concerne donc un circuit CMOS protégé contre un phénomène de verrouillage, comportant une circuiterie interne alimentée entre une première borne d'alimentation positive et une deuxième borne d'alimentation négative ou nulle, la circuiterie interne ayant comme paramètres connus un courant et une tension de déclenchement de verrouillage, caractérisé en ce qu'un écrêteur est placé en parallèle sur la circuiterie interne, entre la première et la deuxième borne d'alimentation, cet écrêteur ayant un seuil de déclenchement inférieur à la tension de déclenchement de verrouillage de la circuiterie interne et consommant un courant très supérieur au courant de déclenchement du verrouillage de la circuiterie interne quand une tension au moins égale à la tension de déclenchement de verrouillage est appliquée entre la première et deuxième borne d'alimentation. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention sont donnés dans la description qui suit faite à titre indicatif et non limitatif de l'invention et en référence aux dessins annexés dans lesquels: FIG 1 est un schéma synoptique d'un circuit CMOS comportant un dispositif de protection contre le verrouillage selon l'invention, FIG 2 représente une structure d'un dispositif connu de protection aux décharges électrostatiques, FIG 3 est un schéma électrique d'un circuit CMOS dans un premier exemple de réalisation d'un écrêteur selon l'invention, utilisant le dispositif représenté sur FIG 2, FIG 4 représente une structure d'un écrêteur dans un deuxième exemple de réalisation selon l'invention, FIG 5 est un schéma électrique d'un circuit CMOS conformément à FIG 4. FIG 1 est un schéma synoptique d'un dispositif de protection selon l'invention Un circuit intégré CMOS CI comporte une circuiterie interne 1 à protéger du verrouillage et un écrêteur 2 Chaque élément 1, 2 est monté en parallèle sur deux bornes d'alimentation A et B Une alimentation 3 fournit une tension positive Vcc sur la borne A et une tension négative ou nulle Vss sur la borne B. La différence de potentiel V entre les deux bornes d'alimentation du circuit CMOS CI a classiquement une valeur typique de 5 volts notée Vdd et une valeur maximum de l'ordre de 7 volts notée Vmax Pour un seuil E de tension aux bornes du circuit CMOS, donc aux bornes de l'écrêteur, ce dernier se déclenche Il se comporte alors comme un générateur de tension E de thévenin en série avec une résistance faible Re (FIG 1) Ainsi, si la circuiterie interne 1 du circuit CMOS est caractérisée par un couple courant/tension de déclenchement du verrouillage noté (Il, Vi), si la tension V aux bornes du circuit CMOS devient égale à Vi (surtension sur l'alimentation) et si le seuil E de déclenchement de l'écrêteur est inférieur à la tension V 1, alors l'intensité du courant Ie qui transite dans l'écrêteur est donnée par l'expression suivante Vi E Ie = Re L'écrêteur 2 et la circuiterie interne 1 étant chacun en parallèle sur les bornes A et B d'alimentation du circuit CMOS, en cas de surtension d'alimentation Vi, il faut que l'alimentation externe fournisse un courant I'1 égal à la somme des courants des deux branches soit: I'l = Ie + Il, pour déclencher le verrouillage. Le courant de déclenchement du verrouillage de la circuiterie interne 1 est toujours Il, mais le courant apparent I'l de déclenchement du verrouillage du circuit CMOS est lui augmenté du courant transitant dans l'écrêteur qui a la tension Vi à ses bornes. On peut aisément obtenir des courants assez importants de l'ordre de la centaine de milliampères avec des réalisations d'écrêteurs bien connues, dont on va décrire deux exemples dans la suite. Pour éviter une surconsommation du circuit CMOS, on choisira de préférence un écrêteur avec un seuil E supérieur à la tension maximale Vmax admissible par le circuit CMOS Dans un exemple Vmax vaut 7 volts E vaut 12 volts. D'une manière générale l'écrêteur selon l'invention a un seuil E compris entre 10 et 15 volts (E>Vmax, E Re = 20 ohms. Le courant Ie, pour une surtension Vl de 18 volts, est égal dans cet exemple à 300 milliampères. Pour éviter une surconsommation du circuit CMOS, on choisira de préférence un écrêteur avec un seuil E supérieur à la tension maximale Vmax admissible par le circuit CMOS Dans l'exemple numérique précédent, E vaut 12 volts et Vmax vaut 7 volts. D'une manière générale l'écrêteur a un seuil E comprisentre 10 et 15 volts (E>Vmax, E exemple). Dans un exemple préféré (FIG 3), on aura deux diodes zener en série, du type "CMOS", formées chacune d'une jonction P+/N+ (non représentée) dans un caisson, avec une tension de seuil typique de l'ordre de 6 volts. Un exemple de réalisation pratique de telles diodes est décrit dans le brevet italien N O 2 2228 A/89 déposé au nom de Sgs-Thomson Microelectronics s r l le 31 octobre 1989. Ce dispositif à diodes équivaut à un écrêteur unique assimilé à un générateur de Thévenin de caractéristiques E, Re de l'ordre de 12 volts et 20 Ohms Mais il ne résiste pas intrinsèquement aux décharges électrostatiques, autre phénomène auquel sont très sensibles les circuits CMOS En effet, les décharges électrostatiques peuvent induire des courants de plusieurs ampères Il faut donc adjoindre à l'écrêteur, un dispositif de protection aux décharges électrostatiques La circuiterie interne 1 CMOS est elle classiquement déjà protégée aux décharges électrostatiques. De manière connue (FIG 2), le dispositif de protection aux décharges électrostatiques est un transistor bipolaire latéral T, par exemple de type NPN dans un substrat P- On pourrait aussi utiliser un transistor latéral de type PNP réalisé dans un caisson N Dans l'exemple, le transistor bipolaire latéral NPN est obtenu dans un substrat P avec de droite à gauche une première diffusion N+ c reliée à Vcc, une deuxième diffusion N+ e reliée à Vss et une troisième diffusion P+ de prise de substrat reliée à Vss: la diffusion c est le collecteur et la diffusion e l'émetteur du transistor bipolaire T de protection 'de type NPN dans cet exemple Sa base b est constituée par la zone de substrat entre l'émetteur et le collecteur, et polarisée via une résistance latérale Rl entre le substrat P et la zone de diffusion P+ Les diffusions sont isolées entre elles par une couche d'oxyde de champ 4 et, sous chaque couche d'oxyde de champ, une zone 5 plus dopée que le substrat P-, zone 5 appelée en général zone P-iso ou encore "implantation de champ" Le seuil de déclenchement du transistor T est lié à la tension d'avalanche de sa jonction collecteur-base Cette tension Vo est liée au dopage superficiel dans cette zone du substrat et plus précisément par la zone 5 P-iso entre les deux diffusions N+ e et c Dans le cas de procédés CMOS actuels typiques, cette tension Vo est de l'ordre de 20 volts. Or la tension E de déclenchement de l'écrêteur est de l'ordre de 12 volts et dans tous les cas, inférieure à 20 volts Le seuil E est donc inférieur à celui du dispositif 4 de protection aux décharges électrostatiques et en, cas de décharges électrostatiques, seul l'écrêteur va alors conduire Ce dispositif 4 de protection décrit sur FIG 2 ne sert donc à rien et l'écrêteur risque d'être détruit. Aussi, on intercale en série une résistance de protection R'e entre la borne A (Vcc) et l'écrêteur (FIG 3) Entre 12 et 20 volts, cette résistance R'e permet à la tension aux bornes du dispositif 4 de protection d'atteindre au moins 20 volts, ce qui permet de le déclencher et donc de limiter le courant de décharge I'e dans l'écrêteur. On note Icrit le courant maximal admissible dans l'écrêteur En pratique, il faut que le courant I'e traversant l'écrêteur soit inférieur à Icrit soit: I'e Icrit, Vo, E, Re étant connus et I'e dans la FIG 3 s'exprimant par: Vo E I'e = Re + R'e I'e (Vo E) Re Icrit On cherche de plus à avoir un gain maximum en courant dans l'écrêteur pour la protection contre le latch-up: il faut donc choisir R'e le plus faible possible On pourra se rapprocher en pratique de la valeur minimale Rmin donnée dans l'inégalité précédente soit: Vo E Rmin = Re Icrit De préférence, pour plus de sécurité, on choisira plutôt que le courant maximal transitant dans l'écrêteur soit Icrit/2 et donc on choisira: 2 (Vo E) ( 1) R'e = Re Icrit Le courant passant dans l'écrêteur en cas de surtension V 1 (appliquée entre les bornes A et B) est alors: ( 2) I'e =(Vi E) Re + R'e Dans un exemple numérique, avec Icrit = 400 m A Vo = 20 volts, Re = 20 Ohms, Vi = 18 volts et E = 12 2 volts, de ( 1) il vient: R'e = 20 Ohms et de ( 2) il vient: Il'e = 150 m A. Le courant apparent de déclenchement du verrouillage du circuit CMOS est donc: I 1 l= Il + I'e = 20 + 150 = 170 MA Ainsi, le gain en courant est moindre que sans protection aux décharges électrostatiques (on passe de I'1 = 300 m A à I'1 = 170 m A), mais il reste de niveau très satisfaisant. Dans un autre exemple de réalisation de l'écrêteur (FIG 4), on utilise un transistor bipolaire latéral T' comme celui vu précédemment pour le dispositif de protection aux décharges électrostatiques (FIG 2), mais en surdopant sa base b' c'est à dire en surdopant la zone 6 P-iso (FIG 4) entre les deux diffusions N+ qui forment l'émetteur e' et le collecteur c' On a vu en effet que ce faisant, on ajustait le seuil Vo de déclenchement de ce dispositif classique de protection aux décharges électrostatiques (par modification de la tension d'avalanche collecteur-base) Ainsi on peut régler le seuil Vo de déclenchement du transistor T' entre 10 et 15 volts, par exemple à 12 volts Dans un tel dispositif, quand il est déclenché, la résistance dynamique est quasiment nulle: il absorbe donc tout le courant, sans limite Il devient donc impossible de déclencher le verrouillage (latch-up): on a un écrêteur (FIG 5) de caractéristiques E = 12 volts et Re = O ohm. Le dispositif de protection aux décharges électrostatiques est donc devenu, en abaissant son seuil de déclenchement, également un dispositif de protection contre le verrouillage Mais, ce dispositif est plus coûteux que dans le premier exemple de réalisation, car il nécessite un niveau de masquage/implantation supplémentaire dans la fabrication du circuit CMOS, pour surdoper la base (réalisation de la zone 6) Par contre son efficacité est totale, car il interdit radicalement le verrouillage et car il est protégé intrinsèquement des décharges électrostatiques. D'autres réalisations d'écrêteurs avec les conditions requises (E entre 10 et 15 volts environ, Re faible) sont bien sûr possibles pour protéger du verrouillage selon l'invention. REVENDICATIONS 1 Circuit CMOS protégé contre un phénomène de verrouillage, comportant une circuiterie interne ( 1) alimentée entre une première borne (A) d'alimentation positive (Vcc) et une deuxième borne (B) d'alimentation négative ou nulle (Vss), la circuiterie interne ( 1) ayant comme paramètres connus un courant (Il) et une tension (Vi) de déclenchement de verrouillage, caractérisé en ce qu'un écrêteur ( 2) est placé en parallèle sur la circuiterie interne ( 1), entre la première (A) et la deuxième borne (B) d'alimentation, cet écrêteur ( 2) ayant un seuil de déclenchement (E) inférieur à la tension de déclenchement de verrouillage (Vl) de la circuiterie interne ( 1) et consommant un courant (Ie) très supérieur au courant de déclenchement du verrouillage (Il) de la circuiterie interne ( 1) quand une tension au moins égale à la tension de déclenchement de verrouillage (Vl) est appliquée entre la première et la deuxième borne d'alimentation. 2 Circuit CMOS selon la revendication 1, caractérisé en ce que le seuil de déclenchement (E) de l'écrêteur est supérieur à une tension maximale (Vmax) autorisée pour le fonctionnement de la circuiterie interne CMOS. 3 Circuit CMOS selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'écrêteur se compose de diodes zener montées en série et en inverse entre la première (A) et la deuxième borne (B) d'alimentation, la somme des tensions de seuil des diodes étant égal au seuil de déclenchement de l'écrêteur ainsi constitué. 4 Circuit CMOS selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'écrêteur se compose de deux diodes zener (zl, z 2), chaque diode ayant un seuil de l'ordre de 6 volts. Circuit CMOS selon la revendication 3, ou la revendication 4, caractérisé en ce que l'on place en parallèle sur l'écrêteur, entre la première (A) et la deuxième borne (B) d'alimentation, un dispositif de protection ( 4) aux décharges électrostatiques. 6 Circuit CMOS selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'une résistance de protection (R'e) de l'écrêteur est placée en série entre la première borne (A) d'alimentation et l'écrêteur ( 2). 7 Circuit CMOS selon la revendication 6, caractérisé en ce que le dispositif ( 4) de protection aux décharges électrostatiques, est un transistor bipolaire latéral (T) dont un collecteur (c) est connecté à la première borne (A) d'alimentation, un émetteur (e) et une base (b) sont connectés à la deuxième borne (B) d'alimentation. 8 Circuit CMOS selon la revendication 1 ou la revendication 2 caractérisé en ce que l'écrêteur ( 2) est un transistor bipolaire latéral (T') dont un collecteur (c') est connecté à la première borne (A) d'alimentation, dont un émetteur (e') et une base (b') sont connectés à la deuxième borne (B) d'alimentation et en ce que la base (b') a été surdopée pour diminuer une tension d'avalanche collecteur-base.