FR 2662290 A1 19911122 FR 9006042 A 19900515 DESCRIPTION PROCEDE DE REALISATION D'UN ECRAN D'AFFICHAGE A MATRICE ACTIVE ET A CONDENSATEURS DE STOCKAGE ET ECRAN OBTENU PAR CE PROCEDE La présente invention a pour objet un procédé de réalisation d'un écran d'affichage à matrice active et à condensateurs de stockage et un écran obtenu par ce procédé. On sait qu'un écran d'affichage à matrice active est constitué schématiquement de deux plaques, la première étant recouverte d'une matrice de paves conducteurs définissant des pixels, chaque pavé étant associé à un transistor d'adressage lui-même commandé par des lignes et des colonnes d'adressage et la secon- de étant recouverte d'une contre-électrode Un cristal liquide est inséré entre les deux plaques. Récemment, sont apparus des écrans d'afficha- ge à matrice active comprenant, en outre, des condensa- teurs de stockage L'intérêt de ces condensateurs est de limiter les effets de l'élévation de temperatu- re, qui, dans un écran traditionnel, fait décroître la constante de temps de la capacité du pixel, le cristal liquide et le transistor de commande devenant le siège de courants de fuite. Des écrans d'affichage à matrice active et à condensateurs de stockage sont décrits par exemple dans le document GB-A-2 115 199, dans l'article de D TOMITA et al intitulé "A 6 5-in Diagonal TFT-LCD Module for Liquid Crystal TV" paru dans la revue SID 89 DIGEST, pp 151-154 ainsi que dans l'article de Y. ASAI intitulé "A 6 7-in Square High-Resolution Full-Co- lor TFL-LCD" paru dans la revue Japan Display 89, pp 514-517. Les figures la et lb d'une part et 2 a, 2 b d'autre part, permettent d'illustrer schématiquement cet art antérieur. Sur la figure la est représentée une cellule comprenant un transistor TFT (cette appellation rap- pelant qu'il s'agit en général d'un transistor à cou- ches minces), un condensateur Clc correspondant au cristal liquide inséré entre l'armature de la première plaque et la contre-électrode portée à un potentiel VCE La ligne d'adressage commandant la grille du TFT est référencée L et la colonne d'adressage C. la cellule de la figure lb diffère de celle de la figure la par la présence d'un condensateur de stockage Cs, dont une armature est reliée au TFT et l'autre est portée à un potentiel de référence VR. Les figures 2 a et 2 b montrent deux manières de commander un écran à condensateurs de stockage. Sur la figure 2 a, les condensateurs de stockage corres- pondant à une même ligne Ln ont une de leurs armatures reliée à une électrode dédiée LC, spécialement réalisée à cet effet, toutes les lignes LC étant réunies à une bande de référence LR disposée sur le côté de l'écran et portée à un potentiel VR Sur la figure 2 b, les condensateurs de stockage Cs propres à une ligne Ln+l ont une armature reliée à la ligne précéden- te Ln. Dans le premier cas, le potentiel de référen- ce VR peut être le potentiel de la contre-électrode. Dans le second, le potentiel de référence est celui de la ligne précédente Ce potentiel est bien fixe et peut donc servir de référence pendant le temps de trame, sauf durant le temps d'adressage o sa valeur est perturbée Cette perturbation intervenant juste avant le rafraîchissement de la ligne considérée, elle n'a pas d'effet sur le potentiel final du pixel. Pour réaliser de telles structures, de nom- breux procédés sont possibles. S'agissant d'écrans d'affichage tradition- nels, sans condensateurs de stockage, le procédé le plus simble est celui qui est décrit dans le document FR-A-2 533 072 Ce procédé dit "à deux niveaux de masquage", parce qu'il ne requiert que deux photolitho- gravures, comprend essentiellement les opérations suivantes: préparation d'un substrat de verre par nettoyage physico-chimique, dépôt d'une couche de matériau conducteur transparent, par exemple en oxyde d'étain et d'indium (ITO), première photogravure, pour donner à la couche conductrice transparente la forme de colonnes et de pavés prolongés par un appendice, dépôt d'un empilement formé d'une couche semi-conductrice, d'une couche d'isolant et d'une couche métallique, seconde photogravure appliquée à l'empile- ment précédent pour définir des lignes chevauchant les appendices des pavés et croisant les colonnes, ce qui définit des transistors à couches minces. Lorsqu'il s'agit de réaliser un écran à condensateurs de stockage, on se heurte à une difficul- té particulière due à la réalisation des armatures desdits condensateurs. Les procédés de réalisation connus requièrent au moins quatre niveaux de masquage et quelquefois six Par exemple, dans la technique décrite dans l'article de O TOMITA et al visé plus haut, on dépose d'abord, sur un substrat en verre, une couche de Mo-Ta que l'on soumet à une première photogravure pour constituer Les gri L Les des futurs transistors et L'une des armatures des condensateurs de stockage On recouvre L'ensemb Le d'isolant Puis on dépose une couche d'ITO et L'on procède à une deuxième photogravure pour constituer Les secondes armatures des condensateurs de stockage On dépose ensuite un semi-conducteur (a-Si), puis, par une troisième gravure, on ne laisse subsister ce semi-conducteur qu'au-dessus des gril Les Des couches conductrices (a-Si n+, Mo/AL) sont alors déposées et gravées dans une quatrième opération de masquage et gravure. La présente invention a pour but de réduire cette complexité et elle vise plus particulièrement à retrouver la simplicité du procédé dit à deux niveaux de masquage. Ce but est atteint grâce à l'invention par un procédé qui reprend certaines opérations du procédé à deux niveaux de masquage décrit dans FRA-2 533 072 et qui est caractérisé par le fait que, lors de la seconde photogravure, on laisse subsister des lignes capacitives disposées parallèlement aux lignes d'adres- sage et chevauchant une partie des pavés, chaque ligne capacitive formant, avec la partie du pavé qu'elle chevauche, le condensateur de stockage associé à ce pavé. Dans une première variante, le procédé est caractérisé par le fait que les lignes capacitives sont des lignes dédiées à cette fonction et sont toutes reliées à une bande située sur le côté de l'écran. Dans une seconde variante, le procédé est caractérisé par le fait que, lors de la seconde gravu- re, les lignes capacitives sont confondues avec les lignes d'adressage et chevauchent, d'une part, des segments prolongeant Les pavés pour former Les condensateurs de stockage et, d'autre part, les divers appendices co Lonne ou pavé pour former les transistors d'adressage. La présente demande a également pour objet un écran d'affichage obtenu par le procédé qui vient d'être défini Cet écran est du type de ceux qui sont décrits dans FR-A-2 533 072 et il est caractérisé par le fait qu'il comprend en outre des lignes capacitives formées dudit empilement de couches, ces lignes chevauchant une partie des pavés, ces Lignes formant des condensateurs de stockage reliés aux pavés. Dans un premier mode de réalisation, les lignes capacitives sont des lignes spécialement ajou- tées à l'effet de produire une capacité supplémentaire. Dans un second mode de réalisation, les lignes capacitives sont confondues avec Les lignes d'adressage et chevauchent, d'une part, des segments de pavés pour former les condensateurs de stockage et d'autre part, les divers appendices colonne et pavé pour former les transistors d'adressage. De toute façon, Les caractéristiques et avantages de l'invention appaitront mieux à la lumière de la description qui va suivre Cette description porte sur des exemples de réalisation donnés à titre explicatif et nullement limitatif et elle se réfère à des dessins annexés, sur lesque Ls les figures la, lb, déjà décrites, représentent la structure générale des écrans sans et avec condensateurs de stockage; les figures 2 a, 2 b, déjà décrites, illus- trent deux moyens de commande pour des écrans à condensateurs de stockage; la figure 3 montre, en vue de dessus, un écran selon l'invention dans un premier mode de réalisation avec électrode dédiée; les figures 4 a, 4 b montrent deux coupes de l'écran de la figure 3; La figure 5 illustre, en vue de dessus, un deuxième mode de réalisation; la figure 6 illustre, en vue de dessus, un troisième mode de réalisation; la figure 7 illustre, en vue de dessus, un quatrième mode de réalisation; la figure 8 illustre, en vue de dessus, un cinquième mode de réalisation; la figure 9 montre le schéma électrique équivalent d'un écran selon la figure 8; la figure 10, montre en vue de dessus, un sixième mode de réalisation; la figure 11 montre un écran dans lequel le condensateur de stockage est commandé par la ligne précédente; la figure 12 montre une coupe de l'écran de la figure 11; la figure 13 illustre une dernière variante de l'écran selon l'invention. On voit, sur les figures 3, 4 a et 4 b, un écran d'affichage obtenu selon un mode de mise en oeuvre du procédé de l'invention Sur une plaque de verre 10, on dépose une couche de matériau conducteur transparent 12, comme l'oxyde d'indium-étain ITO. Par une première photogravure à travers un premier niveau de masquage, on obtient des motifs constitués de colonnes Cn, Cn+ 1, etc et de pavés P Ces motifs correspondent aux zones non hachurées de la figure 3 Chaque pavé P est prolongé par un appendice, dit appendice pavé AP Dans la variante illustrée, chaque colonne est prolongée par un appendice dit appendice colonne AC, de forme recourbée L'appendice pavé AP vient s'insérer entre la colonne et l'appendice colonne AC recourbé Cette disposition est destinée à obtenir un double transistor de commande Mais elle n'est pas obligatoire. On dépose ensuite un empilement d'une couche semi-conductrice 14, par exemple en silicium, d'une couche isolante 16, par exemple en nitrure de silicium et d'une couche métallique 18, par exemple en alumi- nium. Dans une seconde photogravure, à travers un second niveau de masquage, on définit des motifs tels que les motifs hachurés sur la figure 3, à savoir des lignes d'adressage Ln, Ln+ 1, etc, des lignes capacitives LC et une bande de référence Br sur le côté de l'écran. Les lignes d'adressage Ln, Ln+ 1 définissent des TFT (doubles dans La variante illustrée) et les lignes LC définissent, avec la couche conductrice de pavé P qu'elles recouvrent, les condensateurs de stockage recherchés Cs. La figure 4 a correspond à une coupe le Long d'une Ligne d'adressage telle que Ln et fait apparaître les doubles transistors d'adressage, alors que la figure 4 b montre une coupe le long d'une ligne capaci- tive LC et fait apparaître le condensateur de stockage 3 U entre LC et P. Dans La variante de la figure 5, on retrouve les mêmes éléments que sur la figure 3, avec les mêmes références, à cette différence près que, lors de la première gravure, on forme des pavés P se prolongeant par un segment SP, les lignes capacitives réalisées lors de la seconde gravure venant chevaucher ces seg- ments pour former, avec ces segments, les condensateurs de stockage souhaités. L'écran représenté sur la figure 6 diffère de celui de la figure 3 par le fait que, lors de la première gravure, on prolonge chaque colonne par deux appendices colonnes AC 1, AC 2 au niveau de chaque pavé, lequel comprend un appendice AP venant s'insérer entre les appendices colonne, et par le fait que, lors de la deuxième gravure, on prolonge chaque ligne au niveau de chaque pave, par un appendice dit appendice ligne AL, qui vient chevaucher les appendices colonne AC 1, AC 2 et l'appendice pavé AP. Par ailleurs, la ligne capacitive LC est toujours disposée en travers du pavé P pour former le condensateur de stockage Cs. La figure 7 montre une variante qui combine la disposition de la figure 5 o chaque pavé est prolongé par un segment SP et celle de la figure 5 o l'appendice pavé AP vient s'insérer entre deux appendices colonne AC 1, AC 2. Les figures 8 et 9 illustrent un cas o chaque pavé P est commandé par deux transistors d'adressage afin d'obtenir une certaine redondance. L'un des transistors TFT(n)(n) correspond à la ligne Ln et à la colonne Cn, l'autre, TFT(n+ 1)(n), à la ligne Ln+ 1 et à la même colonne Cn Dans ce cas, la ligne capacitive LC chevauche le pavé P dans sa partie médiane, entre les deux lignes d'adressage successives Ln, Ln+ 1. La figure 9 représente le schema électrique correspondant. La variante illustrée sur la figure 10 cor- respond au cas o chaque pavé comprend deux appendices AP 1, AP 2, diagonalement opposes et engages entre deux appendices colonne correspondant respectivement à La colonne Cn+ 1 et à la colonne Cn Un pavé Pn défini par une ligne Ln et une colonne Cn est donc commandé, de manière redondante, par deux doubles transistors, respectivement TFT(n+ 1) (n) et TFT(n)(n+ 1) En cas de coupure de la colonne Cn, le pixel est alimenté par la colonne Cn+ 1. Dans cette variante, la ligne capacitive recouvre les pavés dans leur zone médiane. Dans toutes ces variantes, Les condensateurs de stockage sont obtenus par des lignes affectées spécialement à cette fonction, les lignes venant s'ajouter aux lignes d'adressage Dans une autre réalisation, ce sont les lignes d'adressage elles-mêmes qui remplissent cette fonction Les figures 11 à 13 illustrent ce mode de réalisation. Sur la figure 11, chaque pavé P est prolongé par un appendice AP formant un double transistor avec la ligne Ln+ 1 et par un segment SP passant sous la ligne précédente Ln. La figure 12 montre une coupe le long d'une ligne Ln On y voit, sur le substrat 10, la couche conductrice 12 formant la colonne et son appendice, le pavé et son appendice et le segment supérieur du pavé voisin, la couche semi-conductrice 14, la couche isolante 16, la couche conductrice 18 formant la Ligne Ln. La figure 13 montre une variante à double transistor obtenu par deux appendices colonne AC 1, AC 2, un appendice pavé AP et un appendice Ligne AL, la capacité de stockage étant obtenue par un segment SP prolongeant le pavé et disposé sous la ligne précé- dente Ln. Dans tous ces exemples, la capacité de stockage résulte d'une ligne conductrice chevauchant un pavé conducteur, la séparation entre ces zones conductrices étant obtenue par la couche semi-conductrice ( 14) et couche isolante ( 16). La valeur d'une telle capacité peut être calculée en prenant pour longueur, le pas P des pixels et pour largeur, la largeur W d'une ligne On a alors C S P W Cs= o Er P d o d est l'épaisseur des couches séparant les arma- tures, &r la constante diélectrique de ces couches et Eo la constante diélectrique du vide. Dans la pratique, on a sensiblement: P = 250 m W = 20 pm Er = 7 d = 0,3 m go = 1/36 t 109 ce qui donne, pour Cs, une valeur de 1,03 10-12, soit sensiblement lp F. Cette valeur est à comparer à la capacité du pixel qui, pour un pas de 250 m et une épaisseur de cristal liquide de 5 Pm, vaut environ 0,5 p F. Les condensateurs formés selon l'invention ont donc une capacité supérieure à (ou de l'ordre de) la capacité du pixel, ce qui est bien le but recherché. 1 1 REVENDICATIONS 1 Procédé de réalisation d'un écran d'af- fichage comprenant une première plaque recouverte d'une matrice de paves conducteurs ou pixels (P) reliés à des transistors d'adressage (TFT), des condensa- teurs de stockage (Cs), des colonnes (C) et des lignes (L) d'adressage, et une deuxième plaque recouverte d'une contre-électrode, procédé dans lequel, pour réaliser la première plaque: a) on dépose sur un substrat isolant ( 10) une couche de matériau conducteur transpa- rent ( 12), b) par une première gravure à travers un premier niveau de masquage, on effectue une gravure de cette couche de matériau conducteurs transparent ( 12) pour laisser subsister des colonnes d'adressage (C) (éventuellement munies d'appendices dits appendices colonne (AC)), et une matrice de pavés (P), chaque pavé étant prolongé par au moins un appendice dit appendice pavé (AP) situé à proximité d'une colonne d'adressage (C) (ou des appendices colonne correspondants (AC)), c) on dépose sur l'ensemble un empilement de couches respectivement en matériaux semi-conducteur ( 14), isolant ( 16), et conducteur ( 18), d) par une seconde gravure à travers un second niveau de masquage, on effectue une gravure de cet empilement de couches pour laisser subsister des lignes d'adres- sage (L) (avec éventuellement des appendi- ces dits appendices ligne(AL)), ces lignes (L) (ou les appendices ligne correspon- dants(AL)) chevauchant les colonnes (C) (ou les appendices colonne correspondants (AC)) ainsi que les appendices paves (AP), pour former les transistors d'adres- sage (TFT), ce procédé étant caractérisé par le fait que, lors de la seconde gravure, on laisse subsister des lignes capacitives (LC) disposées parallèlement aux lignes d'adressage (L) et chevauchant une partie des pavés (P), chaque ligne capacitive (L) formant, avec la partie du pavé (P) qu'elle chevauche, le condensateur de stockage (Cs) associé à ce pavé (P). 2 Procédé selon la revendication 1, caracté- risé par le fait que, lors de la première gravure, on forme des pavés (P) se prolongeant par un segment (SP), les lignes capacitives (LC) réalisées lors de la seconde gravure venant chevaucher ces segments (SP) pour former, avec chacun de ces segments, un condensateur de stockage relié au pavé correspondant (P). 3 Procédé selon la revendication 1, caracté- risé par le fait que, lors de la première gravure, on dote chaque pavé d'un deuxième appendice pavé (AP 2), le premier appendice pavé (AP 1) étant destiné à être situé sous la future ligne d'adressage (Ln) de ce pavé et le second appendice pavé (AP 2) étant destiné à être situé sous la ligne d'adressage suivante (Ln+ 1), chaque pavé (P) étant ainsi commande, de manière redon- dante, par deux lignes consécutives d'adressage (Ln, Ln+ 1) à travers un premier transistor d'adressage (TFT(n+ 1)(n)) et à travers un second transistor d'adressage (TFT(n)(n+ 1)), et par le fait que chaque ligne capacitive (LC) chevauche les paves (P) dans leur partie médiane, entre deux lignes d'adressage successives (Ln, Ln+ 1). 4 Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé par le fait que, lors de la seconde gravure, on grave en outre, dans l'empilement de couches, une bande (Br) située sur le côté de l'écran, toutes les lignes capacitives (LC) étant reliées à cette bande (Br). Procédé selon la revendication 2, caracté- risé par le fait que, lors de la seconde gravure, les lignes capacitives (LC) sont confondues avec les 1 u lignes d'adressage (Ln) et chevauchent, d'une part, les segments (SP) prolongeant les paves (P) pour former les condensateurs de stockage (Cs) et, d'autre part, les divers appendices colonne ou pavé (AC, AP) pour former les transistors d'adressage (TFT). 6 Ecran d'affichage obtenu par le procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, cet écran comprenant: une première plaque recouverte d'une matri- ce de paves conducteurs ou pixels (P) 2 U munis d'un appendice dit appendice pave (AP), des colonnes conductrices d'adressage (C) (munies éventuellement d'appendices dits appendices colonne (AC)) et, des lignes conductrices d'adressage (L) consti- tuées par un empilement de trois couches, respectivement en matériau semiconducteur ( 14), isolant ( 16) et conducteur ( 18), ces lignes formant, dans les zones de chevauchement avec les colonnes (C) (ou les appendices colonne correspondants (AC) et les appendices pavé (AP)), des transistors d'adressage (TFT), une seconde plaque recouverte d'une contre-électrode, cet écran d'affichage étant caractérisé par le fait qu'il comprend en outre des lignes capacitives (LC) formées dudit empilement de couches ( 14, 16, 18), ces lignes chevauchant une partie des pavés (P), cette ligne (LC) formant des condensateurs de stockage (Cs) reliés aux pavés (P). 7 Ecran d'affichage selon la revendication 6, caractérisé par le fait que chaque pavé (P) se prolonge par un segment (SP), les lignes capacitives (LC) chevauchant ces segments (SP) pour former, avec ces segments, les condensateurs de stockage (Cs). 8 Ecran d'affichage selon la revendication 6, caractérisé par le fait que chaque colonne comprend, au niveau de chaque pavé, un appendice colonne (AC) recourbé entourant l'appendice pavé (AP), lequel est inséré entre la colonne et l'appendice colonne recour- bé, la ligne d'adressage chevauchant lesdits appendices et la colonne formant ainsi un transistor double. 9 Ecran d'affichage selon la revendication 6, caractérisé par le fait que chaque colonne comprend au niveau de chaque pavé deux appendices colonne (AC 1, AC 2) encadrant l'appendice pavé (AP) et chaque ligne comprend, au niveau de chaque pave, un appendice ligne (AL) chevauchant les deux appendices colonne (AC 1, AC 2) et l'appendice pavé (AP), le transistor d'adres- sage étant alors double. Ecran d'affichage selon la revendication 6, caractérisé par le fait que chaque pavé (P) est relié à deux transistors d'adressage (TFT(n)(n)) et (TFT(n+ 1)(n)) l'un correspondant à une ligne d'adres- sage (Ln) et l'autre à la ligne suivante (Ln+ 1), chaque ligne capacitive (LC) chevauchant les pavés (P) dans leur partie médiane, entre deux lignes d'adressage successives (Ln, Ln+ 1). 11 Ecran d'affichage selon l'une quelconque des revendications 6 à 8, caractérisé par le fait qu'il comprend une bande de référence (Br) constituée dudit empilement ( 14, 16, 18), cette bande étant gravée sur le côté de la plaque, toutes les lignes capacitives (LC) étant reliées à cette bande (Br). 12 Ecran d'affichage selon la revendication 7, caractérisé par le fait que les lignes capacitives (LC) sont confondues avec les lignes d'adressage (L) et chevauchent, d'une part, lesdits segments de paves (SP) pour former les condensateurs de stockage (Cs) et d'autre part, les divers appendices colonne et paveé (AC, AP) pour former les transistors d'adressage (TFT).