FR 2651580 A1 19910308 FR 8911582 A 19890905 DISPOSITIF DE CARACTERISATION DIELECTRIQUE D'ECHANTILLONS DE MATERIAU DE SURFACE PLANE OU NON PLANE ET APPLICATION AU CONTROLE NON DESTRUCTIF DE L'HOMOGENEITE DIELECTRIQUE DESDITS ECHANTILLONS DESCRIPTION La présente invention concerne les disposi- tifs de caractérisation diélectrique d'échantillons en matériau composite de forme plane et/ou non plane. Elle est applicable au contrôle non destructif de l'homogénéité superficielle de ces échantillons. Elle concerne plus particulièrement les dispositifs permettant de déterminer la permittivité relative et/ou les pertes dans le matériau, dans le domaine des fréquences radio et hyperfréquen- ces, plus particulièrement dans la gamme de 100 MHz à 4 GHz. Les techniques classiques de caractérisation diélectrique des matériaux utilisent des lignes coaxia- les, des guides circulaires, rectangulaires, des cavi- tés. Dans la plupart des cas, ces méthodes ont l'in- convénient d'être destructives et il est nécessaire d'usiner un échantillon à la forme du guide de mesure afin de placer cet échantillon à l'intérieur du guide lors des mesures. On peut se reporter à cet effet à la demande de brevet français publiée sous le NI 2 619 223, inti- tuLée "Procédé et dispositif pour l'estimation des caractéristiques électromagnétiques d'un matériau diélectrique ou magnétique". Il existe cependant des méthodes de mesure non destructives faisant appel à des cavités ou à des lignes coaxiales ouvertes. Quelques unes de ces méthodes sont rappelées dans ce qui suit afin de bien montrer les limites des méthodes existantes et de montrer les problèmes techniques à résoudre. Lorsque l'on utilise une cavité fermée pour effectuer de telles mesures, on est limité par le domaine des fréquences. En effet, les cavités fermées travaillant dans le domaine des hyperfréquences ne sont applicables en conséquence qu'à des échantillons de faibles dimen- sions, habituellement inférieures à 5 x 5 mm2. On pourra se reporter à l'article de X. LE CLEAC'H paru dans la revue Phys. AppL. 17 (1982), pp 481-490. Lorsque l'on utilise une cavité constituée par une boucle de ligne "microruban" ou "microstrip", on peut déterminer la conductivité électrique c- ou la mobilité dans un matériau semi-conducteur. Une réalisation a été décrite par X. LE CLEAC'H, P- N FAVENNEC dans la demande de brevet français publiée sous le N 2 623 291. Là encore on est limité en fré- quence puisque les cavités ont l'inconvénient d'être monofréquences car le principe est basé sur une techni- que de résonance. En ce qui concerne les lignes coaxiales ouvertes, la limitation est apportée quant à la nature des matériaux à contrôler. En effet, les lignes coaxia- les ouvertes ont été étudiées pour la mesure de la permittivité complexe de substances biologiques dans le cadre de la recherche médicale, et également de liquides ou de matières molles. On peut se reporter à l'article de STUCHLY "Equivalent circuit of an open- ended coaxial line in a lossy dielectric", IEEE Trans. Instrum. Meas. vol. IM-31, N 2, Juin 1982. La Limitation est la même pour les méthodes utilisant La technique de la sonde coaxiale en général. Ces sondes peuvent être utilisées dans une large bande de fréquences (100 MHz - 4 GHz) mais nécessitent un bon contact au niveau de l'interface sonde-matériau. Cette condition n'est réalisée que pour les exemples précités, Liquides ou matières moLLes, mais reste un point délicat non résolu pour les matériaux "durs". L'invention a pour objet un dispositif de caractérisation diélectrique permettant de remédier à tous ces inconvénients. En effet, le dispositif selon l'invention permet de connaître avec une bonne résolution les caractéristiques diélectriques d'échantillons de maté- riau composite rigide de forme plane et non plane de géométrie connue, dans Le domaine des fréquences radio et hyperfréquences. Ce dispositif s'applique en outre au contrô- le non destructif de l'homogénéité diélectrique de tels échantillons. L'invention a plus particulièrement pour objet un dispositif de caractérisation diélectrique d'échantillons de matériau de surface plane et/ou non plane comprenant une sonde reliée à une ligne coaxiale par un connecteur, principalement caractérisé en ce que la sonde comporte: - une pièce tubulaire conductrice dont une extrémité est destinée à être reliée au conducteur extérieur du connecteur, dont l'autre extrémité formant L'embase de la sonde s'étend vers l'extérieur de maniè- re à présenter une surface annulaire plane, - une tige conductrice, coaxiale à la pièce tubulaire, centrée dans celle-ci, et dont une extrémité est destinée à être en contact électrique avec le conducteur central du connecteur, - une pièce annulaire en matériau diéLectri- que logée dans la pièce tubulaire, solidairement à la tige, sa périphérie extérieure étant en contact de frottement avec La surface intérieure de la pièce tubulaire, et caractérisé en ce que l'ensemble pièce annulaire et tige coulisse en opposant une résistance lorsque sa deuxième extrémité est en contact avec l'échantil- lon, ce qui assure un bon contact avec ce dernier, et caractérisé en ce que cette extrémité ayant au moins un axe qui coïncide avec une génératrice de cette surface, le contact a toujours lieu, que la surface soit plane ou non plane. Afin de résoudre le probLème du contact entre la sonde et un échantillon de matériau rigide à surface plane, la deuxième extrémité de la tige conductrice a une forme circulaire de manière à ce que les lignes du champ électrique ' créé lorsque la sonde est parcourue par des courants transmis par la ligne coaxiale, soient réparties uniformément autour de cette tige. Afin de résoudre le problème du contact entre la sonde et un échantillon de matériau rigide à surface non plane ou convexe, la deuxième extrémité de la tige conductrice a une forme allongée de manière à favoriser les lignes de champ sur les bords exté- rieurs sensiblement parallèles à l'axe longitudinal de cette extrémité. Selon un aspect de l'invention, l'ensemble pièce annulaire et tige conductrice est rendu coulis- sant et oppose une résistance par des moyens mécani- ques. Selon un autre aspect de l'invention, l'en- semble pièce annulaire et tige conductrice est rendu coulissant et oppose une résistance par des moyens mécaniques et pneumatiques. Selon un mode de réalisation, au moins une arrivée d'air est ménagée dans la paroi du conduc- teur extérieur en amont ou en aval de la connexion du dispositif avec la ligne coaxiale, et les extrémités du conducteur central du connecteur et de la tige conductrice destinées à être en contact ont une forme adaptée de sorte que l'une puisse coulisser dans l'au- tre. L'invention concerne en outre le contrôle non destructif de l'homogénéité diélectrique d'échan- tillons de matériau, ce contrôle se faisant au moyen d'un dispositif tel que précédemment décrit, consistant par ailleurs dans le cas d'un échantillon de forme plane à placer l'échantillon sur une table couplée à des moyens de déplacement permettant de la déplacer suivant deux axes orthogonaux (X,Y) dans le plan de cette table, le dispositif étant également couplé à ces moyens de déplacement qui lui permettent d'être déplacé au-dessus de la table suivant un axe orthogonal (Z) aux deux autres, et caractérisé en ce qu'il consis- te à placer une ventouse autour des extrémités de l'embase de la sonde du dispositif et à relier cette ventouse à une pompe à vide de manière à améliorer le plaquage du dispositif sur l'échantillon à chaque position de mesure. Les échantillons de surface non plane sont places sur un mandrin tournant. L'invention sera mieux comprise à l'aide de la description faite à titre d'exemple non limitatif en regard des figures annexées dans lesquelles: - les figures la, lb, 1c, représentent, à titre de rappel, respectivement les coupes transver- sales, longitudinales et le schéma électrique équiva- lent d'une ligne coaxiale, - la figure 2 représente l'évolution des capacités Co et Cf en fonction de la permittivité ú/pour une fréquence donnée, - la figure 3 représente un schéma de prin- cipe d'un dispositif permettant la caractérisation diélectrique d'échantillons rigides, - la figure 4a représente le schéma d'une coupe de la sonde conforme à L'invention selon l'axe AA de la figure 3 et seLon un premier mode de réalisa- tion, - la figure 4b représente le schéma d'une coupe transversale de la sonde selon la figure 4a, avec le détail de la répartition des lignes de champ électrique sur la figure 4c, - la figure 5a représente le schéma d'une coupe de la sonde conforme à l'invention selon l'axe AA de la figure 3, selon un deuxième mode de réalisa- tion, - la figure 5b représente le schéma d'une coupe transversale de la sonde selon la figure 5a, avec le détail de la répartition des lignes de champ électrique sur la figure 5d, - la figure 5c représente le schéma d'une coupe de la sonde placée sur un échantillon de surface non plane, la figure 6, représente un schéma d'une coupe plus détaillée du connecteur et d'une sonde selon une variante de réalisation, - la figure 7 représente un schéma d'une coupe plus détaillée du connecteur et d'une sonde selon une deuxième variante de réalisation, - la figure 8 représente le schéma du dispo- sitif de contrôle de l'homogénéité diélectrique d'un échantillon conformément à l'invention, - la figure 9 représente une variante de réalisation adaptée au contrôle d'échantillons de surface non plane. Le principe de l'invention utilise la théo- rie de base de la ligne coaxiale en circuit ouvert et permet, comme cela est détaillé dans ce qui suit, de résoudre le problème du contact (interface sonde/ matériau à mesurer) sur un diélectrique rigide de forme plane et/ou non plane. La ligne coaxiale en circuit ouvert est utilisée comme sonde ou détecteur pour la mesure des caractéristiques diélectriques de matériaux, dans le domaine des fréquences radio et hyperfréquences. Le principe de la méthode est basé sur la mesure du coefficient de réflexion à l'interface sonde S - matériau M. On considère que la propagation dans la ligne se fait selon le mode TEM et que les éLéments sont localisés. La sonde S est alors représen- tée par le schéma équivalent des figures la, lb, lc. Le coefficient de réflexion est directement lié à l'admittance Y = G + jB, l'impédance caractéris- tique de la ligne étant Zo = 1/Yo. La permittivité relative est liée à l'admittance par la relation suivante B = Co X à+ Cf, o = 2 1-TF; F étant la fréquence, Co la capacité liée au champ électrique concentré dans le matériau en contact avec la sonde et, Cf la capacité liée au champ électrique concentré dans la ligne. La conductance G est liée aux pertes diélectriques dans le matériau. La caractérisation diélectrique consiste à déterminer La permittivité ê/ et les pertes dans le matériau &, en utilisant les relations qui sui- vent: t B - Cf = K' . Co Co = G K" (. Co Pour les fréquences supérieures à 1 GHz et pour des matériaux à forte permittivité ( > 20), il faut prendre en compte un terme lié à la conductance Go de la sonde ouverte à l'espace libre, qui s'ajoute aux expressions précédentes: K' - Go W.Co avec A + jB = (K' -jK")5/2 E/ ZK" Go c c.Co Les grandeurs Co et Cf peuvent être détermi- nées par étalonnage au moyen de plaques de permittivité connue, en fonction de la fréquence. La figure 2 montre l'évolution de ces capa- cités en fonction de à la fréquence 1 GHz (exemple d'étalonnage de la sonde déterminée expérimentalement dans le cas du standard KMR).) La figure 3 est le schéma de principe d'un dispositif permettant la caractérisation diélectrique d'échantillons rigides conformément à l'invention. Ce dispositif comporte une sonde de mesure 3, connectée par l'intermédiaire d'une Ligne coaxiale 2 à un analyseur de réseau vectoriel 1 (par exemple un analyseur HP 8510B), qui mesure l'impédance au niveau de l'interface 5 sonde 3 - matériau 4, dans la bande de fréquences désirées selon une réalisation particulière (100 MHz-4GHz). Comme on peut le voir sur les figures 4a et 5a la sonde 3 est composée de: - une pièce tubulaire extérieure, conductri- ce 7 dont l'extrémité supérieure, telle que cela est représenté sur la figure, est destinée à être reliée au conducteur extérieur de la ligne coaxiale par l'in- termédiaire d'un connecteur 30 visible sur Les figures 6 et 7. L'extrémité basse 20 sur la figure formant l'embase de la sonde s'étend vers l'extérieur et pré- sente une surface annulaire plane suffisamment élevée pour assurer un bon rayonnement de la sonde (on choisit par exemple trois fois le diamètre interne du conduc- teur extérieur), - une partie centrale 11 (ensemble 8, 10), 111 (ensemble 108, 109, 110) composée d'une tige con- ductrice 8 ou 108 coaxiale à la pièce tubulaire 7 entourée d'une pièce annulaire en matériau diélectrique 10 ou 110 assurant un contact glissant 6 avec Le con- ducteur extérieur 7. L'extrémité haute, sur La figure, de la tige 8 ou 108 est destinée à être reliée par l'in- termédiaire d'un connecteur à l'âme de La ligne coaxia- le. L'extrémité basse est destinée à être en contact avec le matériau à caractériser. La pièce diélectrique 10 ou 110 est solidai- re de la tige 8 ou 108. Comme cela sera précisé à propos des figures 6 et 7, la partie centrale 11 est coulissante et en- traSne dans son mouvement, indiqué par une flèche, hors de la partie tubulaire la pièce diélectrique (ou 110) et la tige 8 (ou 108). La figure 4b correspond à une coupe trans- versale de la sonde représentée sur la figure 4a et permet de montrer un mode de réalisation de la tige 8 dans le cas o la sonde 3 est destinée à effectuer des mesures sur des échantillons à surface plane. La forme de la tige est circulaire de maniè- re à ce que les lignes du champ électrique E créé lorsque la sonde est parcourue par des courants trans- mis par la ligne coaxiale, soient réparties uniformé- ment autour de cette tige (comme on peut le voir sur le détail de cette figure). Les figures Sa, 5b, 5c, correspondent à la réalisation d'une sonde destinée à effectuer des mesures sur des échantillons de surface non plane (ou convexe dans l'exemple décrit). L'extrémité 109 die la tige 108 est de forme allongée de manière à favoriser les lignes de champ sur les bords extérieurs qui sont sensiblement parallè- les à l'axe longitudinal 22 de cette extrémité. La coupe de la sonde de la figure 5a est prise dans un plan passant par l'axe longitudinal de l'extrémité 109 qui se trouve suivant une génératri- ce du matériau 4. La coupe représentée sur la figure 5c permet de montrer une forme convexe du matériau 4. Dans le cas de formes non planes (figure 5c), le volume d'air entre le matériau et la sonde est source d'erreur sur la détermination des caracté- ristiques diélectriques. Pour minimiser (voire suppri- mer) cette erreur, on fait intervenir un facteur de correction dans le calcul permettant de remonter aux valeurs de la permittivité complexe du matériau. Ce facteur de correction est déduit de manière classique à partir d'un étalonnage au moyen de matériaux de caractéristiqes et formes connues, et permet de relier la valeur équivalente mesurée, en présence du volume d'air, à la valeur réelle du matériau. Les figures 6 et 7 représentent le schéma plus détaillé d'une sonde 3 reliée à un connecteur vus selon une coupe longitudinale. Le plan P est le plan interface connecteur sonde. La figure 6 correspond à une première va- riante de réalisation (correspondant au standard APC7) permettant d'obtenir une partie centrale 11 ou 111 coulissante qui oppose une résistance lorsqu'elle est en contact avec le matériau. La partie centrale 11 (ou 111) est rendue coulissante selon cette première variante par des moyens mécaniques (poussée mécanique). Ces moyens mécaniques sont réalis6s par une pièce conductrice 15 amovible et mobile dont une extrémité basse sur la figure est plaquée contre l'extrémité haute de la tige conductrice. L'extrémité haute de cette pièce 15 a la forme d'un entonnoir, forme adaptée pour pénétrer partiellement à l'intérieur de la partie extrême de l'âme 14 placée dans le connecteur et assu- rer en même temps un contact électrique. Cette pièce 15 assure donc la continuité électrique entre le conducteur central 14 du connecteur 12 et le conducteur central 8 (ou 108). Lorsque la sonde 3 est raccordée au connecteur 30, la pièce 15 repousse le corps interne 11 coulissant dans le conduc- teur extérieur 7 de la sonde. Au moment o la sonde sera plaquée contre le matériau 4, le corps interne 11 repoussera la pièce 15 à l'intérieur de son conduc- teur central 14. Ainsi, la tige 8 de la sonde sera toujours en contact, d'une part avec le conducteur central 14 du connecteur, d'autre part avec le matériau à tester. La figure 7 représente une deuxième variante de réalisation correspondant au standard KMR. Cette deuxième variante permet d'obtenir une partie centrale 11 (ou 111) coulissante par des moyens mécaniques et pneumatiques, la poussée étant pneumatique. Une arrivée d'air comprimé est prévue soit dans le connec- teur 30, soit dans la sonde 3. Pour simplifier, on a représenté les deux solutions possibles sur la même figure 7. L'extrémité du conducteur central 16 est fixe. Pour assurer le mouvement de la pièce 11 de la sonde 3, de l'air comprimé est envoyé en surpression dans le connecteur 30 par l'arrivée 23, ou dans la sonde 3 par l'arrivée 24, et a pour effet de repousser la pièce 11 (effet ressort). Ce n'est qu'au moment o la sonde est en contact avec le matériau que la pièce 11 de la sonde vient en contact avec le conducteur central 14 par son extrémité 16 et ainsi la mesure peut être faite. La figure 8 montre un exemple de dispositif de contrôle non destructif des caractéristiques diélec- triques locales d'un échantillon et de l'homogénéité diélectrique du même échantillon. L'échantillon 4 est fixé à une table 25 entraînée par des moyens de déplacement selon deux axes X ou Y à mouvements croisés classiques en soi et non représentés. Ces moyens permettent en outre d'avoir un mouvement suivant la direction Z pour amener la sonde en contact mécanique avec l'échantillon. Une pompe à dépression 40 classique, reliée à une ventouse 50 placée autour du dispositif permet d'obte- - nir un bon contact sonde-matériau. La table 25 permet ensuite de déplacer l'échantillon suivant les direc- tions X et Y lorsque la sonde est écartée de l'échan- tillon pour permettre une mesure à un nouveau point. Les déplacements requis et les mesures sont réalisés de façon automatique par l'intermédiaire d'un calcula- teur et d'un programme numérique qui restitue également les caractéristiques diélectriques du matériau. Tout dispositif classique à commande numérique permet d'ob- tenir la commande des déplacements de la table et les calculs désirés sans difficulté pour l'homme de métier. Comme représenté sur la figure 9, pour le contrôle de formes cylindriques ou coniques, le principe de mesure est le même, mais le mécanisme de déplacement diffère en ce que l'échantillon est placé sur un mandrin tournant 35, muni d'un déplacement suivant l'axe Z. Le dispositif permet un balayage de l'ensemble des génératrices de l'échantillon cyclin- drique ou conique. A titre d'exemple, deux dispositifs ont été mis au point à partir des modèles de sonde stan- dards APC7 et KMR. Le principe de l'invention peut être appliqué évidemment à d'autres standards comme par exemple GR900 (modèLe plus grand) ou K (modèle plus petit). REVENDICATIONS 1. Dispositif de caractérisation diélectri- que d'échantillons de matériau de surface plane et/ou non plane comprenant une sonde (3) reliée à une ligne coaxiale (2) par un connecteur (30), caractérisé en ce que la sonde (3) comporte: - une pièce tubulaire (7) conductrice dont une extémité est destinée à être reliée au conducteur extérieur 12 du connecteur, dont l'autre extrémité formant l'embase de la sonde s'étend vers l'extérieur de manière à présenter une surface annulaire plane, - une tige (8 ou 108) conductrice, coaxiale à la pièce tubulaire (7), centrée dans celle-ci et dont une extrémité est destinée à être en contact électrique avec le conducteur central (14) du connec- teur (30), - une pièce annulaire (10, 110) en matériau diélectrique logée dans la pièce tubulaire (7) solidai- rement à la tige (8 ou 108), sa périphérie extérieure étant en contact de frottement avec la surface inté- rieure de la pièce tubulaire, et caractérisé en ce que l'ensemble pièce annulaire (10, 110) et tige (8, 108) coulisse dans la pièce tubulaire (7) en opposant une résistance lorsque sa deuxième extrémité est en contact avec l'échantillon (4), ce qui assure un bon contact avec ce dernier; et caractérisé en ce que cette extrémité ayant au moins un axe qui coïncide avec une génératrice de cette surface, le contact a toujours lieu, que la surface soit plane ou non plane. 2. Dispositif de caractérisation diélectri- que d'échantillons de matériau de surface plane, carac- térisé en ce que la deuxième extrémité (9) de la tige conductrice (8) a une forme circulaire de manière à ce que les lignes du champ électrique t créé lorsque la sonde est parcourue par des courants transmis par la ligne coaxiale, soient réparties uniformément autour de cette tige. 3. Dispositif de caractérisation diélectri- que d'échantiLlons de matériau de surface non plane, caractérisé en ce que la deuxième extrémité (109) de la tige conductice (108) a une forme allongée de manière à favoriser les lignes de champ sur les bords extérieurs sensiblement parallèles à l'axe longitudinal de cette extrémité. 4. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'ensemble tige conductrice (8 ou 108) et pièce annulaire (10 ou 110) est rendu coulissant et oppose une résistance par des moyens mécaniques. 5. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'ensemble tige conductrice (8 ou 108) et pièce annulaire (10 ou 110) est rendu coulissant et oppose une résistance par des moyens pneumatiques et mécaniques. 6. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'au moins une arrivée d'air (23, 24) est ménagée dans la paroi du conducteur extérieur en amont ou en aval de la connexion du dispositif avec la ligne coaxiale et en ce que les extrémités du conducteur central (14) du connecteur (30) et de la tige conductrice (8, 108) destinées à être en con- tact ont une forme adaptée, de sorte que l'une puisse coulisser dans l'autre. 7. Contrôle non destructif de l'homogénéité diélectrique d'échantillons de matériau, caractérisé en ce qu'il consiste à utiliser un dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 6. 8. Contrôle non destructif selon la revendi- cation 7, caractérisé en ce qu'il consiste, dans le cas d'un échantillon de surface plane, à placer l'é- chantillon (4) sur une table (25) couplée à des moyens de déplacement permettant de la déplacer suivant deux axes orthogonaux (X,Y) dans le plan de cette table (25), le dispositif étant également couplé à ces moyens de déplacement qui lui permettent d'être déplacé au dessus de la table suivant un axe orthogonal (Z) aux deux autres, et en ce qu'il consiste à placer une ventouse (50) autour des extrémités recourbées du dispositif et à relier cette ventouse à une pompe à vide (40) de manière à améliorer le plaquage du dispositif sur l'échantillon à chaque position de mesure. 9. Contrôle non destructif selon la revendi- cation 7, caractérisé en ce qu'il consiste, dans le cas d'un échantillon de surface non plane, à placer l'échantillon sur un mandrin tournant (35) couplé à des moyens de déplacement suivant un axe (Z) orthogo- nal au plan du plateau.