FR 2650919 A1 19910215 FR 8910784 A 19890810 26590-19 Dispositif acoustoélectrique à ondes de surface perfectionné L'invention concerne des ensembles de transducteurs électri- que/acoustique à ondes de surface. Pour les réaliser, on part d'un mince substrat piézo-élec- trique plan. Par micro-lithographie ou par d'autres techni- ques de micro-usinage, on réalise sur une grande face de ce substrat deux rangées de doigts conducteurs fins qui sont parallèles entre eux dans chaque rangée. Sous certaines conditions, il apparaît alors un couplage entre les deux rangées de doigts par des ondes acoustiques de surface qui se propagent dans le substrat piézo-électri- que. Ce couplage possède des caractéristiques temporelles et fréquentielles qui dépendent de la géométrie des doigts,! principalement de leur largeur, ainsi que de phénomènes de propagation acoustique d'une rangée de doigts à l'autre. Jusqu'à présent, ces dispositifs ont été utilisés surtout pour des bandes passantes relativement étroites. Ils donnent alors satisfaction et on sait raisonnablement bien prévoir leur comportement. Il en est différemment pour les applications à large bande ou très large bande auxquelles s'intéresse la Demanderesse. "Très large bande" signifie ici que la bande utile peut couvrir jusqu'à la valeur de sa fréquence centrale. Dans ces applications à large bande, les deux rangées de doigts sont en général inclinées sur la perpendiculaire à la direction des doigts; de plus, la direction moyenne de ces rangées est le plus souvent curviligne. On cherche en effet à maîtriser le nombre de doigts de l'une et l'autre rangées qui vont coopérer pour fournir le couplage acousti- que et ce, pour chaque valeur de fréquence donnée à l'inté- rieur de la bande de travail. Dans l'une des structures connues, dites à doigts simples, la largeur d'un doigt est égale au quart de -la longueur d'onde acoustique instantanée (locale) pour la fréquence associée. Il en est de même pour la distance entre doigts adjacents. La limite des techniques classiques de micro-lithographie font que ces structures opèrent actuellement jusqu'à 2 GHz environ, (fréquence fondamentale). Elles peuvent avoir une bonne réponse en fréquence et en phase, mais souffrent par contre d'une réponse temporelle parasite dite triple écho, et située à environ 20 à 25 dB sous le signal utile. Il a été envisagé d'utiliser des structures dites "à doigts dédoublés", o la largeur des doigts est le huitième de la longueur d'onde acoustique instantanée. Le parasite temporel de triple écho peut alors être abaissé jusqu'à à 45 dB sous le signal utile. Mais ces structures sont difficiles à réaliser. A précision égale en micro-lithogra-- phie submicronique, elles ne permettent d'atteindre que des fréquences deux fois moins élevées que les structures à doigts simples. De plus, l'utilisation de doigts dédoublés stimule à son tour une réponse fréquentielle parasite en harmonique 3 qui peut se trouver à -15 dB sous la réponse fondamentale, et dont la bande est trois fois plus large que celle de la réponse fondamentale. L'homme de l'art connaît parfaitement les inconvénients qui résultent des remarques ci-dessus. Il n'existe donc pas actuellement de solution véritablement satisfaisante lorsqu'on veut travailler en large bande, surtout si l'on veut, en outre, monter en fréquence avec un niveau d'écho triple temporel réduit. L'invention vient apporter une solution à ce problème. Comme précédemment indiqué, l'invention s'applique à des transducteurs électrique/acoustique/électrique à ondes de surface, du type comportant, sur une grande face d'un sub- strat piézo-électrique plan: - une première rangée de doigts conducteurs parallèles pos- * sédant une géométrie individuelle choisie, et répartis selon une distribution choisie le long de cette rangée, - une seconde rangée de doigts conducteurs parallèles possé- dant une géométrie individuelle choisie, et répartis selon une distribution choisie le long de cette rangée, - la seconde rangée étant espacée de la première, de manière à permettre une propagation d'ondes acoustiques de surface entre les doigts de la première rangée et ceux de la seconde. Ce couplage a des caractéristiques spectrales et/ou temporelles définies par la propagation acoustique et la sélectivité fréquentielle due à la géométrie des doigts. Selon un aspect de l'invention, les géométries des doigts sont choisies, en correspondance d'une rangée à l'autre, pour procurer un couplage acoustique à large bande de fré- quence, et l'une des deux distributions possède une séquence d'accrochage des doigts modifiée. Bien que d'autres dispositions puissent être envisagées, la Demanderesse estime actuellement qu'une et une seule des deux distributions doit être ainsi modifiée, l'autre gardant une distribution rigoureusement régulière de ses doigts, avec en principe un espacement entre doigts et une largeur de doigts tous deux égaux au quart de la longueur d'onde acoustique environ. On aura remarqué que la caractéristique ci-dessus intéresse essentiellement les doigts et eux seuls. On peut donc penser à des nombreuses dispositions des rangées qui soient confor- mes à l'invention. Dès lors que les doigts des deux rangées sont parallèles entre eux, on peut leur donner des géométries individuelles qui varient progressivement le long de chaque rangée pour couvrir une très large bande de fréquence, tout en se cor- respondant d'une rangée à l'autre, perpendiculairement a la direction commune de ces doigts. En d'autres termes, la largeur d'un doigt est pratiquement toujours un sous-multiple prédéterminé de la demi-longueur d'onde acoustique instantanée désirée, en principe le sous-- multiple d'ordre 2, c'est-à-dire le quart de longueur d'onde. La distance entre doigts adjacents est sensiblement. égale à ce sous-multiple, c'est-à-dire au quart de longueur d'onde. Toutefois, elle en devient un multiple, en principe d'ordre 2, pour les "endroits" ou la séquence- d'accrochage des doigts est modifiée. Très avantageusement, ces "endroits" se trouvent tous les trois ou quatre doigts. Il a déjà été relevé que les première et seconde rangées s'étendent en général suivant des axes curvilignes. On peut néanmoins leur associer des directions générales. Dans une première famille de dispositifs, ces directions générales sont inclinées différemment sur la perpendiculaire à la direction des doigts. Le dispositif possède alors des caractéristiques de ligne dispersive. Dans une autre famille, les directions générales des pre- mière et seconde rangées ont sensiblement la même inclinai- son sur la perpendiculaire à la direction des doigts. Le dispositif possède alors des caractéristiques de ligne à retard non dispersive. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention appa- raitront à l'examen de la description détaillée ci-après, ainsi que des dessins annexés, sur lesquels: - la figure 1 est un schéma illustrant une première famille de dispositifs auxquels peut s'appliquer l'invention; - la figure 2 est un schéma illustrant une seconde famille de dispositifs auxquels peut s'appliquer l'invention; - la figure 3 illustre une structure dite "doigts simples"; tandis que les figures 3A et 3B illustrent le parasite de triple écho de cette structure; - la figure 4 illustre la structure dite à "doigts dédou- blés", tandis que la figure 4A est un diagramme temporel illustrant sa réponse perturbatrice sur harmonique 3; - la figure 5 illustre un exemple de dispositifs perfec- tionnés selon l'invention; et - la figure 6 illustre un autre exemple de dispositifs per- fectionnés selon l'invention. I1 est clair que la géométrie est très importante pour la présente invention. De plus, les dessins annexés sont, pour l'essentiel, de caractère certain. En conséquence, ils sont à considérer comme incorporés à la description, et pourront servir non seulement à mieux faire comprendre celle-ci mais aussi le cas échéant contribuer à la définition de l'inven- tion. Les figures 1 et 2 font apparaître un substrat piézo-élec- trique 1 dont l'épaisseur peut être de l'ordre de 0,5 mm. Ses autres dimensions vont de quelques millimètres à quel- ques dizaines de millimètres, voire plus. Sur une grande face de substrat, sont disposées deux rangées de doigts 10 et 20. Ici, la rangée de doigts 10 est côtoyée par deux plages conductrices 15 et 16, électriquement séparées, par exemple en aluminium, d'épaisseur 200 nanomètres. En alternance, les doigts 11 sont connectés à la plage 15, tandis que les doigts 12 sont connectés à la plage 16. De même, la rangée est munie de plages 25 et 26 avec interconnexion alternée des doigts 21 à la plage 25 et des doigts 22 à la plage 26. Les figures 1 et 2 font encore apparaître que, en partie haute, les doigts sont plus resserrés. Ils sont également plus étroits, ce que le dessin ne montre pas ici. Il en résulte que, pour la partie haute des figures 1 et 2, le couplage entre les doigts situés sur la même horizontale interviendra dans là partie haute de la gamme de fréquence concernée. A l'opposé, au bas des figures 1 et 2, les doigts sont plus espacés et leurs largeurs individuelles plus gran- des. En conséquence, le couplage intéressera ici la partie basse de la gamme de fréquence concernée. La différence entre les figures 1 et 2 est la suivante: - sur la figure 1, les directions générales des rangées dans lesquelles s'étendent- les rangées 10 et 20 sont sensi- blement parallèles (dans la mesure o on peut parler de parallélisme pour des directions curvilignes). En consé- quence, le temps de propagation de l'onde de la rangée 10 à la rangée 20 sera sensiblement le même pour toutes les fréquences. Le dispositif illustré sur la figure 1 peut donc être considéré comme une ligne à retard non dispersive. - il en est différemment sur la figure 2, o l'on observe que la distance entre les doigts va diminuer progressivement lorsqu'on passe du bas de la figure qui intéresse les basses fréquences au haut de la figure qui intéresse les hautes fréquences. Il s'agit donc d'une ligne dispersive qui possè- de des propriétés sélectives en fréquence. L'invention s'applique aussi bien aux dispositifs décrits ci-dessus (connus sous le nom de "down chirp" dans la litté- rature anglo-saxonne) qu'à des dispositifs dits "up chirp" pour lesquels la largeur des doigts et la distance entre doigts augmente progressivement lorsque l'on passe du bas de la figure (qui intéresse alors les hautes fréquences) au haut de la figure (qui intéresse alors les basses fré- quences). En principe, les deux rangées sont dans tous les cas incli- nées par rapport à la direction principale de propagation des ondes acoustiques. C'est pourquoi, ces structures sont souvent appelées SLT (pour "SLanted Transducer") ou même ont conservé leur appellation ancienne de "Slanted Acoustic Correlator" ou "SAC". La Demanderesse s'est intéressée à l'application de ces structures pour faire des lignes dispersives et des lignes à retard à très large bande, notamment. La figure '3 illustre avec plus de précision une rangée de doigts utilisables dans les structures des figures 1 et 2. Dans les applications susvisées, on a en principe utilisé jusqu'à présent des structures rigoureusement identiques pour les deux rangées de doigts. Ici, sur la figure 3, la structure utilisée est du type dit à doigts simples. C'est-à-dire que la largeur des doigts est de l'ordre du quart de longueur d'onde acoustique ins- tantanée, de même que l'espacement entre eux. Il s'agit là de la largeur prise dans la direction de propagation des ondes acoustiques, c'est-à-dire dans la direction per- pendiculaire aux doigts. Il n'y a pas lieu de tenir compte de la direction dans laquelle s'étend la rangée elle-même. La figure 3A montre schématiquement à quel niveau peut se situer le triple écho entre deux rangées de doigts ainsi constituées. On comprend en effet que trois trajets entre transducteurs peuvent se produire aisément sans grande per- te, compte tenu de la géométrie des doigts. La figure 3B montre que la réponse de triple écho intervient donc à un temps 3t qui est le triple du temps de la réponse fondamen- tale, tandis que son niveau STE est situé 20 à 25 dB sous le niveau de la réponse principale. Il est clair que, tout du moins pour certaines applications, une telle réponse peut être extrêmement gênante. La structure à doigts simples, qui est donc la plus facile à réaliser toute chose égale par ailleurs, présente donc un inconvénient certain. On connaît aussi les structures à doigts dédoublés, telles que celles de la figure 4. Dans ce cas, la largeur des doigts est le huitième de Ion- gueur d'orde instantanée, de même que leur espacement. Comme déjà indiqué, l'usage de deux structures à doigts dédoublés pour les rangées 10 et 20 fait descendre jusqu'à à 45 dB la suppression de triple écho, ce qui serait satisfaisant. Malheureusement, les doigts dédoublés stimu- lent une réponse fréquentielle parasite en harmonique 3 (figure 4A) qui, non seulement n'est qu'à environ 15 dB de la réponse fondamentale, mais aussi et surtout possède une largeur de bande 3B, B étant celle de la réponse fonda- mentale. Cet inconvénient peut être parfaitement acceptable en bande étroite, lorsque la fréquence minimale de la bande est net- tement supérieure au tiers de sa fréquence maximale. Lor- squ'on veut travailler en large bande, elle est pratiquement inacceptable. De plus, à performance fixe des techniques micro-lithogra- phiques, les structures à doigts dédoublés n'atteignent que la moitié de la fréquence que permettent d'atteindre les structures à doigts simples. Allant à l'encontre d'une tendance naturelle qui consiste, du moins lorsqu'on veut travailler en large bande, à uti- liser des structures identiques pour les deux rangées, la Demanderesse a constaté que, sous certaines conditions, il était possible d'utiliser des géométries différentes pour les doigts des deux rangées. Plus exactement, la géométrie individuelle des doigts n'est pas fondamentalement modifiée. Ce qui va être modifié, dans l'une des deux rangées (et en principe seulement dans l'une des deux rangées), c'est la distribution des doigts selon la rangée, plus exactement leur séquence d'accrochage. Ceci est illustré sur la figure 5 o l'on voit à gauche le transducteur en doigts simples de la figure 3. A droite, est représentée partiellement la structure nouvel- le de la présente invention. Elle se caractérise par le fait que, périodiquement,. on fait passer à la demi-longueur d'onde l'espacement entre certains doigts adjacents et que l'on modifie la séquence d'accrochage des doigts. Ceci permet d'améliorer la réponse globale du dispositif, car on bénéficie de l'excellent filtrage fréquentiel de la structure à doigts simples, tandis que 1a structure nou- velle de droite, si elle possède une réponse harmonique- plus complexe, présente par contre une réponse temporelle excellente. On va donc avoir des groupes consécutifs de doigts possédant les propriétés suivante9: - deux groupes consécutifs, tels que 31 à 33 et 34 à 36, sont rattachés à la même plage conductrice; ici, il y a à chaque fois deux doigts attachés à la plage 25 pour 1 attaché à la plage 26. - inversement, dans les groupes suivants, qui comportent les doigts 37 à 39 et 40 à 42, on aura la même structure, mais rattachée d'une manière symétrique, c'est-à-dire qu'un seul doigt est attaché à la plage conductrice 25 tandis que deux doigts sont attachés à la plage conductrice 26. Ce qui vient d'être décrit en référence à la figure 5 vaut pour des triplets de doigts. Mais, on peut également appliquer ces mêmes principes avec des groupes de quatre doigts, ou plus. Unr. exemple à quatre doigts est illustré sur la figure 6. A titre de comparaison, la Demanderesse a réalisé deux lignes à retard articulées sur des structures de base à doigts simples, c'est-àdire dont la largeur est le quart de la longueur d'onde instan- tanée. La distribution ou séquence d'accrochage élémentaire de la figure 3 peut être représentée par la suite périodique de nombres 1,0,-1,0,1,0,-1,0 o 1 désigne un doigt accroché en haut, 0 un espace de largeur d'un quart de longueur d'onde instan- tanée et -1 un doigt accroché en bas, avec une largeur de doigt d'un quart de longueur d'onde instantanée. Celle de la figure 4 (doigts dédoublés) est alors de la forme: l,0,1,0,-1, 0,-1,0,1,0,1,0,-l,0,-l,0 avec une largeur de doigt d'un huitième de longueur d'onde instantanée. Les nouvelles structures proposées ont une largeur de doigt quart d'onde, mais avec des séquences d'accrochage modifiées, de périodicité spatiale supérieure, en particu- lier: - sur la figure 5 (à droite "groupes de 3") 1,0,-1,0,1,0,0,1,0,-1,0,1,0,0 -1,0,1,0,1,0,0,-1,0,1,0,-1,0,0, etc - sur la figure 6 (à droite "groupes de 4") 1,0,-1,0,1,0,-1,0,0,1,0,-1,0,1,0,-1,0,0 -1,0,1,0,-1,0,1,0,0,-1,0,1,0,-1,0,1,0,0 Ces séquences élémentaires sont ensuite répétées jusqu'à l'obtention des caractéristiques de dispersion souhaitées pour le dispositif. Une première ligne à retard a été réalisée avec deux struc- tures à doigts simples strictes. Une seconde ligne à retard a été réalisée avec une structure à doigts simples et une structure nouvelle selon l'invention, comme illustré sur la figure 5 (remarque étant faite qu'on pourrait tout aussi bien mettre la structure nouvelle à gauche et la structure classique à droite). Les niveaux de triple écho étaient à -24 dB pour la ligne en retard classique, contre -50 dB pour la ligne en retard nouvelle selon la présente invention. La ligne à retard nouvelle présente en outre une excellente réponse fréquen- tielle en amplitude, sans les ondulations habituelles dues au triple écho. On a également pu observer une très faible variation du temps de groupe sur toute la bande utile, que l'on pouvait difficilement obtenir jusqu'à présent. Bien entendu, ce qui précède et a été décrit à propos de structures de base à doigts simples peut aussi s'appli- quer à des structures à doigts dédoublés. En outre, l'invention n'est nullement limitée aux exemples particuliers d'application décrits. Elle peut en effet s'é- tendre à tout dispositif utilisant des rangées de doigts couplés acoustiquement par ondes de surface à des fins de traitement de signaux électromaghétiques. * Revendications 1. - Dispositif acoustoélectrique à ondes de surface, de type comportant, sur une grande face d'un substrat piézo- électrique plan: - une première rangée (10) de doigts conducteurs parallèles possédant une géométrie individuelle choisie, et répartis selon une distribution choisie le long de cette rangée, - une second rangée (20) de doigts conducteurs parallèles possédant une géométrie individuelle choisie, et répartis selon une distribution choisie le long de cette rangée, - la seconde rangée étant espacée de la première, de manière à permettre une propagation d'ondes acoustiques de surface entre les doigts de la première rangée et ceux de la seconde, qui confère au dispositif des caractéristi- ques spectrales et/ou temporelles définies par la propaga- tion acoustique et la sélectivité fréquentielle due à la géométrie des doigts, caractérisé en ce que les géométries des doigts sont choi- sies, en correspondance d'une rangée à l'autre, pour procu- rer un couplage acoustique à large bande de fréquences, et en ce que l'une des deux distributions ou séquence d'ac- crochage de doigts (20M) est modifiée sensiblement périodi- quement. 2. - Transducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que les doigts des deux rangées (10,20) sont paral- lèles entre eux, en ce qu'ils présentent des géométries individuelles qui varient progressivement le long de chaque rangée pour couvrir -une très large bande de fréquences, tout en se correspondant d'une rangée à l'autre perpendicu- lairement à la direction des doigts. 3. - Transducteur selon la revendication 2, caractérisé en ce que la largeur d'un doigt (11,12,21,22) est sensible- ment un sous-multiple prédéterminé de la demi-longueur d'on- de acoustique instantanée associée, tandis que la distance entre doigts adjacents est sensiblement égale à ce sous-mul- tiple, ou multiple de celui-ci. 4. - Transducteur selon l'une des revendications précéden- tes, caractérisé en ce que la modification de séquence d'ac- crochage des doigts par élargissement s'effectue tous les- trois ou quatre doigts. 5. - Transducteur selon l'une des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que les directions moyennes des première et seconde rangées (10,20) sont inclinées différemment sur la perpendiculaire à la direction des doigts, ce qui confère au transducteur des caractéristiques de ligne dispersive. 6. - Transducteur selon l'une des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que les directions moyennes des première et seconde rangées (10,20) ont sensiblement la même incli- naison sur la perpendiculaire à la direction des doigts, ce qui confère au transducteur des caractéristiques de ligne à retard non dispersive. 7. - Transducteur selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que, pour l'une au moins des rangées (10,20), les doigts sont respectivement reliés à au moins deux plages conductrices (15, 16;25,26) qui s'étendent de part et d'autre de la rangée. 8. - Transducteur selon la revendication 7, caractérisé en ce que ladite rangée (20M) munie de plages possède la distribution modifiée, et présente sensiblement périodi- quement deux doigts consécutifs (33,34;39,40) rattachés à la même plage conductrice. 9. - Transducteur selon la revendication 7, caractérisé en ce que ladite distribution modifiée comprend des groupes consécutifs de doigts (31 à 36; 37 à 42) dont les figures de rattachement auxdites plages sont symétriques. 10. - Transducteur selon la revendication 7, caractérisé en ce que chaque groupe (31 à 36) comprend un espace agrandi entre deux doigts, se trouvant ainsi composé de deux figures successives identiques de rattachement auxdites plages (31 à 33; 34 à 36).