FR 2658839 A1 19910830 FR 9002258 A 19900223 PROCEDE DE CROISSANCE CONTROLEE DE CRISTAUX ACICULAIRES ET APPLICATION A LA REALISATION DE MICROCATHODES A POINTES L'invention concerne un procédé de croissance contrôlée de cristaux aciculaires et son application à la réalisation de microcathodes à pointes Plus particulièrement l'invention a trait au domaine de la croissance contrôlée de monocristaux filamentaires de type "whiskers" Elle permet, au moyen d'une méthode connue (méthode VLS) développée dans les années soixante d'obtenir des matrices régulières de cristaux filamentaires de hauteur et diamètre contrôlés. Une des applications possibles est la réalisation de matrices de micropointes pour cathodes à effet de champ. Les whiskers sont des monocrocristaux filamentaires présentant un rapport de longueur au diamètre supérieur à 10. Ils sont connus depuis très longtemps, mais l'intérêt pour ce type de cristaux a été stimulé au début des années 50 lorsque Herring et Galt, dans le document Physical Review 85, ( 1952), 1060, ont démontré que ces cristaux possédaient des propriétés mécaniques analogues à celles des monocristaux. E.I GIVARGIZOV a également parfaitement illustré cette technique dans: "Current Topics in Materials Science", Volume 1, édité par E KALDIS, North Holland, 1978, p 79. Deux macanismes ont été avancés pour expliquer la croissance filamentaire en phase vapeur largement anisotrope, à savoir, un mécanisme qui postule l'existence d'une dislocation vis au centre du cristal, celle-ci se comportant comme une marche atomique insaturable (croissance du cristal en hélice autour de l'axe de la dislocation) et un mécanisme VLS (pour Vapor-Liquid-Solid) qui prévoit la présence d'une phase liquide au sommet du whisker comme source essentielle d'anisotropie. Le principe de la méthode VLS est représenté sur les figures la et lb pour un substrat ( 111) de silicium; on s'arrange pour intercaler entre la phase vapeur et le solide une couche de liquide dans lequel le Si est soluble La surface de liquide présentant des sites d'adsorbtion insaturables (car il y a dissolution immédiate de l'adsorbat et renouvellement du site) en nombre très élevé (chaque atome de surface du liquide est potentiellement un site d'adsorbtion) est ainsi un lieu de dépôt privilégié à l'origine de l'anisotropie de croissance. L'adsorbat dissout provoque une sursaturation du liquide qui expulse alors du solide à l'interface liquide/solide, de façon à revenir à l'équilibre; la goutte de liquide s'élève petit à petit sur le cristal expulsé qui prend la forme d'un whisker de diamètre égal à celui de la goutte de liquide. Les figures la et lb représentent le principe VLS appliqué au silicium, mais il est bien évident que l'on peut utiliser toute une variété de substrats différents associés à des gouttes de liquide aussi très variés (Voir par exemple GIVARGIZOV déjà cité). Selon les techniques connues on peut donc faire croître sur un substrat des monocristaux filamentaires Cependant, cette croissance n'est pas contrôlée et les points de croissance sont situés de façon aléatoire et irrégulière sur la surface du substrat. La présente invention concerne un procédé de croissance contrôlée de monocristaux filamentaires (whiskers) utilisant la méthode VLS En contrôlant cette croissance, l'invention permet donc de réaliser des monocristaux filamentaires en des points choisis de la surface du substrat et de réaliser par exemple des matrices de filaments. L'invention concerne un procédé de croissance contrôlée de cristaux aciculaires caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes: une première étape de réalisation sur un substrat d'une première couche d'un matériau sur lequel il ne pourra y avoir ni croissance, ni nucléation du matériau à faire croître dans les étapes ultérieures; une deuxième étape de réalisation dans ladite première couche d'au moins une ouverture une troisième étape de dépôt dans ladite ouverture d'au moins un matériau dans lequel peut se dissoudre le matériau de la phase vapeur (matériau à faire croître) et à partir de ladite goutte; une quatrième étape de chauffage et de croissance en phase vapeur, dans ladite ouverture, du matériau à faire croître sous la forme d'un cristal filamentaire. L'invention concerne également un procédé de réalisation d'une microcathode à pointes appliquant le procédé précédent caractérisé en ce qu'il comporte avant la deuxième étape de réalisation, une phase de réalisation d'une troisième couche d'un matériau conducteur de l'électricité suivie d'une autre phase de réalisation d'une quatrième couche d'un matériau diélectrique. Les différents objets et caractéristiques de l'invention apparaîtront plus clairement dans la description qui va suivre et dans les figures annexées qui représentent: les figures la et lb, une technique de croissance connue déjà décrite précédemment; les figures 2 a à 2 g, un procédé de croissance de monocristaux selon l'invention; la figure 3, une électrode à pointe obtenue par le procédé de l'invention; les figures 4 a à 4 c, un procédé de réalisation d'une cathode à micropointes selon l'invention; la figure 5, une vue détaillée d'une électrode à pointe obtenue par le procédé des figures 4 a à 4 e; les figures 6 a à 6 d, une variante du procédé de réalisation selon l'invention; les figures 7 a à 7 d, une autre variante du procédé de réalisation selon l'invention. En se reportant aux figures 2 a à 2 g on va tout d'abord décrire le procédé de base selon l'invention. On utilise comme cela est représenté en figure 2 a un substrat de Si par exemple ou de Ga As, d'orientation de préférence ( 111) sur lequel on dépose (ou on obtient par oxydation) une couche 1 de Si O 2 d'épaisseur typiquement comprise entre 0,1 micromètres et quelques micromètres. On dépose ensuite une couche de résine photosensible (ou un masque superficiel métallique) que l'on insole et développe (optiquement ou à l'aide d'un faisceau d'électrons) de façon à réaliser des ouvertures 5 sensiblement circulaires de diamètre compris entre 0,1 et 2 pnm au pas de 0,5 à quelques microns On obtient ainsi une structure telle que représentée en figure 2 b. On grave ensuite (figure 2 c) par RIE (Reactive Ion Etching) la silice sous-jacente en utilisant le masque de résine (ou le masque métallique selon le cas). On dépose ensuite (figure 2 d) par évaporation une couche de métal tel que de l'or (ou bien d'Ag, Cu, Pt, Pd, Ni, Gd, Mg, Os,) d'épaisseur de 1 nm à 500 nm, qui sera adaptée au diamètre des ouvertures dans Si O 2 (plus le diamètre des ouvertures sera faible, plus l'épaisseur de la couche de métal sera elle aussi faible). On dissout (figure 2 e) ensuite la résine ou bien le masque métallique (dans ce dernier cas on opère une dissolution électrochimique) de façon à éliminer la résine et le dépôt d'Au situé sur la résine précitée. L'ensemble des étapes représentées par les figures 2 d et 2 e est une opération de lift off classique. A ce stade du procédé on a obtenu des points métalliques (d'or par exemple) localisés avec précision Par exemple on a pu obtenir une matrice de points d'or. Au cours de l'étape suivante on procède à la croissance d'un matériau semi-conducteur ou autre sur les points de métal sélectivement déposés précédemment; pour celà, et toujours selon l'exemple du silicium on introduit le substrat ainsi obtenu dans un réacteur de dépôt CVD en atmosphère Si H 4 + H Cl ou Si H 2 c 12 + HC 1 ou Si CI 4, ou encore Si H C 13 + H Cl (toujours utilisant comme gaz porteur H 2) et on porte la température entre typiquement 400 et 1000 C. Dans ces conditions, on obtient la formation d'une phase liquide (Au Si, Au P, Au Cu) de type entectique ou non dans chaque micrologement de Si O 2. Ainsi que précédemment expliqué, on a une adsorption préférentielle des molécules de la phase gazeuse sur les gouttelettes de liquide, ce qui induit une anisotropie de croissance locale. On utilise typiquement un mélange gazeux composé de Si H 4 et de HCO afin d'obtenir une sélectivité de dépôt et éviter la nucléation du silicium sur la silice comme cela a été décrit par exemple dans les documents suivants: J O BORLAND, C I DROWLEY Solid State Technology Août 1985 p 141 L KARAPIPERIS et Coll Proceeding of the 18th Int Conf on Solid State Devices and Materials TOKYO 1986, p 713. De cette manière, on est certain de n'avoir de dépôt qu'au niveau des gouttelettes de liquide permettant la croissance des whiskers (figure 2 f) La figure 2 g représente de façon plus détaillée une telle croissance. On obtient ainsi des réseaux réguliers bidimentionnels de whiskers. Notamment, si on a réalisé les dépôts de métal sous forme d'une matrice, on peut obtenir une matrice de monocristaux filamentaires (whiskers). Une des applications possibles est la réalisation de réseaux de microcathodes à effet de champ; les dimensions typiques d'une telle microcathode sont les suivantes dimensions à la base = 1,5 ipm hauteur = 1,5 lm Une telle microcathode a des caractéristiques électriques suivantes: émission de champ pour E = 30 x 106 V/cm environ, tension de grille = 50 V microcathodes à base de whiskers. On part d'une structure composite représentée en figure 4 a et constituée d'un substrat à base de Si( 111) typiquement recouvert de couches suivantes: couche 1 de Si O 2 ou diélectrique de grille (épaisseur de 1 à 10 Pm), couche 2 de grille métallique (ou en silicium polycristallin dégénéré) d'épaisseur 0,1 à 1 pim (G). couche 3 de passivation; La grille est passivée à l'aide d'une couche 3 de Si O 2 ou Si 3 N 4 très mince, de façon à éviter la nucléation sur cette dernière pendant l'opération ultérieure de dépôt; on dépose sur l'ensemble une couche 4 de résine. Après insolation, révélation et développement de la résine, on grave par RIE comme cela est représenté en figure 4 b, des ouvertures telles que 5 dans la structure composite préalablement obtenue Ces ouvertures sont typiquement circulaires et ont un diamètre compris entre 0,1 et 2 micromètres par exemple. Le pas de ces ouvertures peut être de 0,5 micromètres à quelques micromètres. On réalise ensuite (figure 4 c) une opération de dépôt métallique (de l'or par exemple) sur l'ensemble de la structure puis on pratique une opération de "lift-off" (figure 4 d) de façon à enlever la couche 4 de résine et le métal qui se trouve sur cette couche. On fait ensuite croître (figure 4 e) des whiskers tels que 6 à partir des zones métallisées fondues (telles que la zone 5) de la même façon que cela a été décrit précédemment. Si l'on fait varier la température pendant l'étape de dépôt, on peut obtenir une variation de diamètre des whiskers. Ainsi la diminution de la température entraîne une diminution de ce diamètre. Cette décroissance du diamètre peut permettre d'obtenir des micropointes très acérées tout simplement par un traitement contrôlé d'oxydation après dépôt En effet, l'oxydation étant un processus isotrope, on transformera progressivement le silicium en Si O 2 à partir de la partie sommitale des whiskers et l'interface Si/Si O 2 gardera nécessairement la forme d'une pointe Il suffira ensuite d'éliminer la silice formée par oxydation pour révéler les micropointes en Si. On peut aussi pendant l'étape de dépôt opérer un dopage des whiskers, en adjoignant au mélange SIH + H CI de l'arsinic (As H 3), de la phosphine (PH 3) etc pour un dopage de type n ou bien du diborane (B 2 H 6) pour un dopage de type p. On peut ainsi réaliser des jonctions n-p pendant la croissance. Dans ce qui précède, on a considéré la formation d'alliages Me-Si o Me est un métal très peu soluble (solubilité de l'ordre de 1015 à 1017 at/cm 3 dans le silicium ou dans le Ga As et d'une façon générale dans le matériau constitutif du substrat). On peut cependant utiliser un alliage (par exemple Sb Si, As Si, Ga Si, AI Si) dans lequel le métal ou le semi-métal (AI, Ga, As, Sb) déposé dans les zones de croissance des whiskers et constitutif de l'alliage est très soluble dans le silicium (ou dans Ga As ou dans le substrat) avec une solubilité supérieure typiquement à 1019 at/cm 3 (Pour As par exemple la solubilité maximale à 1 0000 C dans Si est de 1,8 1021/ems) Dans ces conditions, on aura au fur et à mesure de la croissance des whiskers une diminution appréciable de la taille de la gouttelette Cette diminution de taille est due à une incorporation significative dans le whisker en croissance de l'élément d'alliage du Si; ceci se traduira par une diminution corrélative du diamètre de la goutte d'alliage et les whiskers auront ainsi naturellement la forme de micropointes Le processus de croissance se terminera de lui-même lorsque tout l'élément d'alliage aura été incorporé dans chaque whisker. A titre d'exemple non limitatif, si l'on veut faire pousser une matrice de microcathodes à base de whiskers en Si de longueur 5 pim, on déposera dans les cavités (figures 4 c et 4 d) de Si O 2 de l'ordre de 0,03 pim de gallium (Les densités atomiques du Si et de Ga sont voisines et de l'ordre de 5 10 22 At/cm 3 et la (solubilité maximale à 10000 C de Ga dans Si et de l'ordre de 3 1019/cm') Dans ce cas, la croissance s'arrêtera d'elle-même lorsque tout l'élément d'alliage aura été consommé, (le Ga en l'occurrence) c'est-à-dire compte tenu de la solubilité précitée du Ga dans Si, lorsque les whiskers auront atteint une hauteur de 5 pim. Un autre exemple concerne l'utilisation d'un substrat de Ga As Dans ce cas, on disposera, dans les micrologements, du gallium et on opérera sous flux de As H 3 ou de As 2 ou As 4 On obtiendra par suite une croissance de Ga As qui s'arrêtera d'elle-même lorsque le gallium de la goutte aura été incorporé dans le cristal. Ces différents exemples ne sont pas limitatifs et servent simplement à illustrer le principe de l'incorporation progressive de l'un des éléments d'alliage formant la microgoutte liquide, ce qui amène corrélativement à l'auto-façonnage des micropointes. La figure 5 résume ce principe en montrant à différents temps ti, (ti + 1 >ti) la morphologie de la gouttelette et du cristal sous-jacent Au fur et à mesure que le temps croît, la taille de la gouttelette diminue, ce qui conduit à un façonnage de la micropointe Différents paramètres géométriques sont précisés à titre indicatif sur la figure 5. Le procédé a été expliqué en se référant à des alliages binaires; il est bien évident que l'on pourrait utiliser des ternaires (As Ga Si par exemple) ou des quaternaires. Une autre méthode de formation de microgouttes localisées peut aussi être mise en pratique en utilisant un substrat de départ de Ga As sur lequel on dépose tout d'abord une couche 16 de Si O 2 ou de Si 3 N 4 (figure 6 a) d'épaisseur comprise entre 0,1 et 10 Ilm typiquement On grave dans cette couche de diélectrique des micrologements 5 (figure 6 b) de même que lors du procédé précédent On chauffe ensuite de manière contrôlée (dans une enceinte étanche évacuée ou balayée) le substrat de Ga As, ce qui a pour effet de faire évaporer de l'arsenic et donc de faire apparaître des gouttelettes de Ga localisées à l'endroit o a lieu l'évaporation préférentielle c'est-à-dire dans les micrologements 5 Il y a donc un autoalignement des gouttelettes avec les logements de diélectrique (figure 6 c) On fait ensuite entrer un mélange gazeux de croissance type Ga CI + As 4 obtenu par exemple dans un réacteur VPE par la méthode au trichlorure d'arsenic (As C 13) ou bien un mélange tel que As H 3 + TMG (trimethyl gallium) ou TEG (triethyl gallium) de façon à obtenir la croissance de whiskers de Ga As (figure 6 d) Il va sans dire que l'on peut obtenir des whiskers formés d'empilement de Ga As, Ga AI As etc, en utilisant les gaz générateurs appropriés. Les figures 7 a à 7 d représentent une variante de ce procédé. Selon ce procédé donné à titre d'exemple on dépose sur un substrat de silicium une couche 7 de Ga As. La couche 7 est ensuite recouverte d'une couche 16 de Si O 2 ou de Si 3 N 4 (figure 7 a). Comme précédemment, on réalise dans la couche 16 des ouvertures 5 (figure 7 b). Ensuite, on chauffe l'ensemble à une température telle qu'il y ait évaporation de l'arsenic de la couche de Ga As qui se trouve découverte dans les ouvertures 5 Il reste, donc dans chaque ouverture 5, une goutte de galllum (figure 5 c) On fait ensuite, comme cela est représenté en figure 7 d, une croissance de whiskers à l'aide d'un gaz tel que Si H 4 pour whiskers en Si ou les gaz précités (Ga CL + As 2 ou TMG, TEG + As H 3 pour obtenir une croissance de whiskers Ga As. Il est bien évident que dans cette méthode le substrat pourrait être un autre matériau semiconducteur que le silicium. Le point important de ce procédé est que pour réaliser la goutte de matériau permettant la croissance d'un whisker, on réalise une couche 7 d'un matériau, qui par évaporation, fournit dans chaque ouverture 5, un constituant liquide susceptible d'absorber le ou les constituants (sous forme de précurseurs gazeux) du matériau à faire croître sous forme de whiskers. Le façonnage de la forme des micropointes peut être réalisé par d'autres techniques. Notamment selon l'invention, on peut prévoir qu'un élément de l'alliage de la goutte de liquide est légèrement volatile en chauffant Par exemple, en cas de présence de l'arsenic dans cet alliage, on stabilisera cet arsenic par adjonction d' As H 3 dans le flux gaz lors de la croissance. La diminution du flux d'As H 3 permettra une évaporation de l'arsenic de la goutte de liquide et celle-ci en diminuant de volume conduira à une diminution de la section du filament correspondant. On peut également prévoir, dans le flux gazeux, un gaz corrosif permettant d'attaquer au moins un des éléments de l'alliage de liquide Par exemple, dans le cas d'une goutte contenant du gallium on prévoira un gaz HCI mélangé aux gaz de croissance qui donnera, avec le gallium, du Ga Cl Selon la quantité de HC 1 on aura une diminution correspondante de la taille de la goutte. Alors que le procédé décrit précédemment en relation avec les figures 1 à 7 d permet d'obtenir des micropointes de forme générale représentée en figure 8, les procédés de variation d'une goutte de liquide, tel que celui prévoyant un élément volatile dans la goutte de liquide, ou celui prévoyant un gaz corrosif dans le flux gazeux permet d'obtenir une micropointe du il type par exemple représenté en figure 9 Sur cette figure 9 on voit que durant la croissance de la hauteur h de la micropointe, on a réduit rapidement la dimension de la goutte liquide. Il ressort de ce qui précède que: l'invention concerne une méthode de localisation aisée et reproductible de la position de gouttes d'impuretés liquides. l'invention concerne une méthode de génération de gouttes "in situ". l'invention concerne une méthode de formation de whiskers de diamètre décroissant. REVENDICATIONS 1 procédé de croissance contrôlée de cristaux aciculaires caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes: une première étape de réalisation sur un substrat d'une première couche ( 1) d'un matériau sur lequel il ne pourra y avoir ni croissance, ni nueléation du matériau à faire croître dans les étapes ultérieures; une deuxième étape de réalisation dans ladite première couche ( 1) d'au moins une ouverture ( 5); une troisième étape de dépôt sélectif dans ladite ouverture ( 5) d'au moins un matériau qui une fois liquide est susceptible de se dissoudre et d'absorber le matériau à faire croître; une quatrième étape de chauffage et de croissance en phase vapeur, dans ladite ouverture ( 5), du matériau à faire croître sous la forme d'un cristal filamentaire. 2 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la deuxième étape de réalisation d'une ouverture ( 5) se fait par dépôt d'un masque et attaque du matériau de ladite première couche ( 1) à travers le masque. 3 Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que la troisième étape de dépôt se fait par évaporation dudit matériau suivi d'un enlèvement du masque et du matériau déposé à la surface du masque. 4 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la première étape de réalisation de la première couche ( 1) est précédée par une phase de dépôt d'une deuxième couche d'un matériau contenant un constituant dans lequel le substrat peut se dissoudre et que la troisième étape de dépôt se fait par évaporation permettant de ne garder dans l'ouverture ( 5) que ledit constituant. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le substrat est du silicium et le matériau déposé lors de la troisième étape est un métal tel que Au, Cu, Pt, Pd, Ni, Gd, Mg) et que la quatrième étape se fait avec un gaz de Si H 4 et Hcl, ou Si H 2 C 12 et H Cl, ou Si C 14. 6 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le substrat est du Ga As et que la quatrième étape se fait avec un gaz de Ga Cl + As 4 ou TMG, TEG + As H 3. 7 Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que la troisième étape se fait par évaporation de l'arsenic du Ga As se trouvant dans l'ouverture de façon à former une goutte de gallium dans l'ouverture. 8 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on prévoit une variation de la température lors de la quatrième étape de croissance de façon à faire varier la largeur (le diamètre) du cristal filamentaire. 9 Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le matériau de la troisième étape contient un constituant qui est volatile à la température de croissance de la quatrième étape et que la croissance de la quatrième étape se fait en présence d'un gaz permettant de contrôler l'évaporation de ce constituant. Procédé selon l'une des revendications 1 à 8 précédentes, caractérisé en ce que la croissance d'un gaz corrosif permettant d'attraquer au moins un constituant du matériau déposé lors de la troisième étape, la quantité de ce gaz corrosif étant contrôlée de façon à contrôler l'attaque de ce constituant. 11 Procédé de réalisation d'une microcathode à pointe appliquant le procédé de l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte avant la deuxième étape de réalisation, une phase de réalisation d'une troisième couche ( 2) d'un matériau conducteur de l'électricité suivie d'une autre phase de réalisation d'une quatrième couche ( 3) d'un matériau diélectrique.