FR 2659148 A1 19910906 FR 9002575 A 19900301 PROCEDE DE CONNEXION ENTRE UNE FIBRE OPTIQUE ET UN MICROGUIDE OPTIQUE DESCRIPTION La présente invention concerne un procédé de connexion entre une fibre optique et un microguide optique. La fibre optique peut être une fibre monomode ou une fibre multimode. Le microguide optique est du genre de ceux qui comprennent, sur un substrat, une structure de guidage comportant un coeur appelé "coeur du microguide" et compris entre deux milieux dont les indices de réfraction respectifs sont inférieurs à l'indice de réfraction du coeur du microguide. Par définition, une structure de guidage est une structure résultant de la superposition de trois milieux, le milieu intermédiaire (le coeur) présentant un indice de réfraction supérieur à celui des deux autres. Un microguide est un structure de guidage particulière dont l'un au moins des trois milieux constituant la structure de guidage est limité latéralement (par exemple par gravure) de façon à assurer un confinement latéral de la lumière. On définit alors l'axe du coeur du microguide (correspondant à l'axe du microguide) comme un axe situé à mi-hauteur du milieu formant le coeur, parallèle à l'axe du ou des milieux limités latéralement et contenu dans le même plan que cet axe, ce plan étant perpendiculaire aux plans des couches de la structure de guidage. En toute rigueur, l'axe du coeur devrait être défini à partir de l'intégrale de recouvrement des modes guidés de la fibre et du microguide, qui doit être maximum. En pratique, cet axe est toujours très voisin de l'axe géométrique du coeur défini précédemment. C'est donc ce dernier axe que l'on considérera dans le reste de la description pour plus de simplicité. Par ailleurs, pour plus de clarté, la description qui suit se réfère à un microguide dont seul le milieu formant le coeur est limité latéralement, étant bien entendu que l'invention s'applique à tous les types de microguides. En revenant aux deux milieux entre lesquels est compris le coeur du microguide, le milieu supérieur, c'est-à-dire celui qui n'est pas en contact avec le substrat, peut être l'air mais on utilise en général en tant que milieux adjacents au coeur, deux couches de matériaux appropriés ou d'un même matériau approprié qui peut être la silice lorsque le substrat est en silicium. La présente invention s'applique notamment au domaine de l'optique intégrée. Dans ce domaine, l'opération de couplage entre une fibre optique monomode ou multimode et un microguide optique joue un rôLe important et doit être à la fois: efficace, c'est-à-dire conduire à des pertes de connexion ne dépassant pas une valeur de l'ordre de 0,5 à 1 d B, rapide et donc, si possible, ne pas nécessiter de micropositionnement de la fibre avant que celle-ci ne soit rendue rigidement solidaire du microguide optique et peu coûteuse, et doit s'intégrer le mieux possible aux autres opérations technologiques conduisant à la fabrication du microguide optique. La présente invention concerne un procédé susceptible de répondre aux exigences précédentes. Les figures 1 et 2 i L Lustrent L'importance de L'obtention d'une connexion correcte entre une fibre optique et un microguide optique. On a pris L'exemp Le d'une fibre de type STL CW 1505 E dont Le coeur a un diamètre de 8 micromètres et qui est utilisée avec une Lumière dont La Longueur d'onde est éga Le à 1,55 micromètre. La figure 1 représente Les variations du rendement de couplage R en fonction du désa Lignement de L'axe optique de La fibre et de l'axe optique du microguide (ce désa Lignement étant exprimé en micromètres), pour un microguide comportant, entre deux couches de silice, un coeur de si Lice dopée dont La section transversale a La forme d'un carré de 4,8 micromètres de côté et dont L'indice optique dépasse celui des couches adjacentes d'une valeur égale à 6 10 (courbe I de La figure 1) ou 7 10 (courbe II de la figure 1). La figure 2 représente Les variations du rendement de coup Lage R en fonction de La distance (exprimée en micromètres) entre la fibre optique mentionnée plus haut et un microguide optique comportant, entre deux couches de silice, un coeur de -3 si Lice dopée dont l'indice optique dépasse de 7 10 ce Lui des couches adjacentes et dont La section transversale a La forme d'un carré de 5 micromètres de côté (courbe I de La figure 2) ou La forme d'un rectangle de 6 micromètres de Long et de 5 micromètres de Large (courbe II de La figure 2). On connaît déjà des procédés de connexion entre une fibre optique et un microguide optique. L'un de ces procédés connus est schématiquement illustré sur la figure 3 et consiste d'abord à former, dans un substrat 2, un Logement 4 en forme de V qui est destiné à recevoir la fibre optique 6 Lorsque celle-ci est mise en place dans son logement 4, Le microguide 8 est positionné sur le support 2 en regard de la fibre. Ce microguide comprend par exemple, sur un substrat 10, deux couches de silice entre lesquelles se trouve le coeur du microguide et le positionnement est effectué de façon que Le substrat 10 ne soit pas en contact avec le support 2 de sorte que c'est l'une des deux couches de silice qui est en contact avec ce support. La profondeur du logement 4 en forme de V est telle que l'axe du coeur 12 de la fibre 6, qui est mise en place dans ce logement 4 dépasse de la surface du support 2 et se trouve sensiblement en coïncidence avec l'axe du coeur 14 du microguide optique. Le positionnement latéral relatif de la fibre optique 6 par rapport au microguide optique 8 s'effectue généralement à l'aide de rails (non représentés) que l'on forme à la fois sur le support 2 et au moins dans la couche de silice en contact avec le support 2. Ce procédé connu présente l'inconvénient de nécessiter deux supports, à savoir le support 2 proprement dit et Le substrat 10 du microguide optique 8. De plus, compte tenu des contraintes d'alignement, il est très difficile d'obtenir un couplage efficace entre la fibre optique et le microguide optique sans alignement dynamique des deux supports (c'est-àdire sans micropositionnement du microguide 8 et donc de son substrat 10, par rapport au support 2), d'o un temps de connexion-important et un coot élevé de la connexion. Selon un deuxième procédé connu, schématiquement illustré par la figure 4, la fibre optique 6 est mise en place dans un logement 16 en V réalisé dans un support 18 du genre du support 2, ce support 18 est lui-même mis en place sur un autre support 20 et le microguide 8 est à son tour mis en place sur le support 20 de telle manière que son substrat 10 soit en contact avec ce support 20. La profondeur du logement 16 est telle que l'axe du coeur de la fibre optique puisse alors être sensiblement aligné avec l'axe du coeur du microguide 8. Ce second procédé connu est donc encore plus compliqué et plus co Oteux que le premier procédé connu, mentionné plus haut, puisqu'il nécessite un support de plus. La présente invention a pour objet un procédé de connexion entre une fibre optique et un microguide optique, qui est plus simple et donc moins coûteux que les procédés connus mentionnés précédemment. Cette simplification résulte notamment du fait que, dans la présente invention, on n'utilise qu'un seul support, à savoir le substrat sur lequel est réalisé le microguide optique. De façon précise, la présente invention a pour objet un procédé de connexion entre une fibre optique et un microguide optique comprenant, sur un substrat, une structure de guidage comportant un coeur et deux milieux dont les indices de réfraction respectifs sont inférieurs à celui du coeur de la structure, appe Lé coeur du microguide, ce coeur étant compris entre les deux milieux, procédé caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes: on grave de façon sensiblement anisotrope la structure de guidage à partir d'une extrémité du microguide optique, de façon à éliminer de cette structure une zone qui admet l'axe du coeur du microguide comme ligne médiane et dont la largeur est au moins égale au diamètre extérieur de la fibre optique, on grave par voie sèche une partie du substrat, qui est située sous la zone ainsi éliminée, sur une profondeur permettant de mettre sensiblement en coïncidence l'axe du coeur du microguide et l'axe du coeur d'une extrémité de la fibre lorsque cette extrémité repose au fond du logement ainsi formé dans le substrat, et on fixe l'extrémité de la fibre optique dans ce logement de façon à obtenir sensiblement la coïncidence. Bien entendu, La zone que l'on élimine de la structure de guidage a une longueur suffisante, par exemple de l'ordre de 100 à 1000 micromètres, pour que la fibre puisse être convenablement maintenue dans le logement formé dans le substrat par gravure de ce dernier. Selon un mode de mise en oeuvre préféré du procédé objet de la présente invention, la largeur de cette zone est égale au diamètre extérieur de la fibre. Dans ce cas, il n'est pas nécessaire d'effectuer un positionnement dynamique de la fibre optique par rapport au microguide optique, d'o un procédé plus simple que le premier procédé connu mentionné plus haut (qui, lui, nécessite un positionnement dynamique). Bien entendu, en variante, dans le cas par exemple d'imprécisions sur le diamètre de la fibre, La largeur de la zone éliminée peut être supérieure au diamètre extérieur donné de la fibre optique, et par exemple, de l'ordre de 1,05 à 1,2 fois ce diamètre, mais alors on effectuera un positionnement dynamique de la fibre optique par rapport au microguide optique. Par ailleurs, lorsque le substrat est gravé, la structure de guidage peut être légèrement attaquée lorsque la gravure du substrat n'est pas suffisamment sélective par rapport aux matériaux de la structure de guidage: il se produit alors une sur-gravure de cette structure de guidage. Il convient donc de tenir compte de cette sur-gravure lorsqu'on grave la structure de guidage, en prévoyant une largeur de zone sensiblement égale à la différence entre celle que l'on veut finalement obtenir et la valeur estimée de la sur-gravure. De plus, lorsque cette sur-gravure n'est pas la même pour toutes les couches de la structure de guidage, en particulier au niveau de l'interface du microguide, par exemple dans le cas d'une structure de type Si O 2/Si N /Si O, il convient également, pour ne pas gêner la connexion fibre/microguide, de protéger totalement ou partiellement cet interface. Pour ce faire, on peut réaliser le microguide de façon que son superstrat, en Si O 2 dans l'exemple ci- dessus, recouvre complètement le coeur du microguide et graver la structure de guidage de façon à laisser une faible épaisseur de superstrat devant le coeur. Le procédé objet de l'invention est tout à fait compatible avec d'autres procédés technologiques que l'on est susceptible de mettre en oeuvre, entre autres pour réaliser le microguide optique et d'autres composants optiques. Selon un mode de mise en oeuvre particulier du procédé objet de l'invention, le substrat du microguide est en silicium et gravé par gravure ionique réactive, en utilisant en tant que masque la structure de guidage précédemment gravée (et dont les matériaux constitutifs sont choisis pour qu'elle puisse jouer ce rôle de masque). On utilise donc une gravure par voie sèche conduisant à un logement sensiblement en forme de U et non pas à un logement en forme V. On notera que dans ce cas, on n'a pas de problème d'orientation comme il s'en produirait dans le cas d'une connexion entre une fibre optique et un microguide optique, si la fibre était placée dans un logement en V réalisé dans un substrat en silicium par attaque chimique préférentielle du silicium et si le microguide était lui-même réalisé au préalable sur ce substrat. En effet, dans un tel substrat, la direction du logement en V serait imposée par la direction des plans cristallins de type 111. Par conséquent, il ne pourrait y avoir que deux orientations relatives possibles du logement en V par rapport au microguide, ces deux orientations étant perpendiculaires l'une à l'autre. Le mode de réalisation particulier mentionné plus haut ne présente pas un tel inconvénient puisqu'il utilise une gravure ionique réactive du substrat. Cette gravure ionique réactive peut être par exemple effectuée à l'aide d'un plasma micro-ondes. Dans une réalisation particulière de l'invention, le substrat est en silicium, les milieux adjacents au coeur sont des couches de silice non intentionnellement dopée et le coeur est en silice dopée. Dans une autre réalisation particulière, le substrat est en silicium, les milieux adjacents au coeur sont des couches de silice non intentionnellement dopée et le coeur est en nitrure de silicium ou en oxynitrure de silicium. Dans la présente invention, le logement formé dans le substrat du microguide optique ne sert qu'au positionnement en profondeur, ou positionnement vertical, de la fibre optique La profondeur de ce logement est choisi en conséquence, de façon à permettre sensiblement la coïncidence des axes respectifs du coeur de la fibre optique et du coeur du microguide optique en projection sur un plan perpendiculaire à la surface du microguide optique. Le positionnement latéral de la fibre optique est assuré par la structure de guidage ou, plus exactement, par les parois latérales de celle-ci, qui apparaissent lorsqu'on élimine ladite zone de cette structure de guidage, la distance entre ces parois (largeur de la zone éliminée) pouvant être égale au diamètre extérieur de la fibre optique. Lorsque les milieux qui encadrent le coeur du microguide optique sont des couches de silice, l'épaisseur totale de ces couches de silice (hauteur des parois latérales de la structure de guidage) peut être de l'ordre de 15 à 30 micromètres. Une telle hauteur est suffisante pour assurer le positionnement latéral de la fibre optique lorsque la largeur de la zone éliminée est égale au diamètre extérieur de cette fibre. Afin d'améliorer le positionnement relatif de la fibre optique et du microguide optique, on peut graver la structure de guidage et le substrat de façon que, du côté de l'interface fibre-microguide, la largeur de la zone éliminée aille en diminuant vers cette interface. Afin de remédier à un problème de désalignement entre la fibre optique et le microguide optique, qui risque d'apparaître lorsque la fibre optique est trop près du coeur du microguide optique, on peut graver La structure de guidage de façon à dégager de cette structure une languette qui admet comme ligne médiane l'axe du coeur du microguide et dont la largeur est au plus égale à la profondeur du logement. De façon avantageuse, la Longueur de La languette est au moins égale à la profondeur du logement. Enfin, un matériau adaptateur d'indice est de préférence disposé à l'interface fibre-microguide pour améliorer Le rendement de coup Lage entre cette fibre et ce microguide. La présente invention sera mieux comprise à La lecture de la description d'exemples de réalisation donnés ci-après à titre purement indicatif et nullement Limitatif en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels: La figure 1 montre Les variations du rendement de couplage entre une fibre optique et un microguide optique particuliers en fonction du désalignement de ces derniers et a déjà été décrite, la figure 2 montre Les variations du rendement de couplage entre une fibre optique et un microguide optique particuliers en fonction de la distance entre ces derniers et a déjà été décrite, la figure 3 illustre schématiquement un procédé connu de connexion entre une fibre optique et un microguide optique et a déjà été décrite, la figure 4 illustre schématiquement un autre procédé connu de connexion entre une fibre optique et un microguide optique et a déjà été décrite, La figure 5 représente schématiquement un microguide optique que L'on veut connecter à une fibre 1 1 optique conformément à la présente invention, les figures 6 et 7 illustrent schématiquement différentes étapes d'un procédé de connexion conforme à la présente invention, les figures 7 A et 7 B illustrent schématiquement un problème d'attaque différentielle du microguide, susceptible de se poser lors de sur- gravures se produisant au cours de la mise en oeuvre de ce procédé, le microguide étant représenté en coupe dans un plan contenant l'axe de son coeur, les figures 7 C à 7 E illustrent schématiquement une façon de résoudre ce problème, le microguide étant encore représenté en coupe dans un plan contenant l'axe de son coeur, la figure 8 illustre schématiquement d'autres étapes du procédé illustré par les figures 6 et 7, la figure 9 illustre schématiquement une variante de ce procédé, la figure 10 montre un alignement correct du coeur d'une fibre optique et du coeur d'un microguide optique, alignement qui a été obtenu conformément à la présente invention, la figure 11 illustre schématiquement le désalignement qui est susceptible d'apparaître entre la fibre et le microguide lorsque la fibre est trop près du coeur de ce microguide, et les figures 12 à 14 illustrent schématiquement un procédé conforme à la présente invention, permettant de remédier à cet inconvénient. On décrit ci-après un mode de mise en oeuvre particulier du procédé objet de l'invention. Il s'agit de connecter une fibre optique à un microguide optique 22 formé à partir d'une structure de guidage disposée sur un substrat 26. La structure de guidage comprend (voir figure ) une couche 28 qui se trouve sur le substrat 26 et une autre couche 30 qui est sur la couche 28 et, entre les couches 28 et 30, le coeur rectiligne 32 du microguide dont l'indice de réfraction est supérieur à l'indice de réfraction de la couche 28 et à l'indice de réfraction de la couche 30. A titre purement indicatif et nullement limitatif, le substrat 26 est en silicium, les couches 28 et 30 sont en silice non dopée intentionnellement et le coeur 32 est en silice dopée ou en nitrure de silicium ou encore en oxynitrure de silicium (Si O N). x y La réalisation du microguide optique est connue dans l'état de la technique. Pour réaliser la connexion entre la fibre optique et le microguide optique, on commence par supprimer une partie de la structure de guidage comme on le voit sur La figure 6, la zone ainsi supprimée admettant l'axe Z du coeur du microguide comme axe médian. Comme on le voit sur la figure 6, cette zone s'étend à partir d'un bord du microguide 22 et a, en vue de dessus, une forme sensiblement rectangulaire. Pour supprimer cette zone, on grave la structure de guidage à travers un masque approprié 34 que l'on forme au préalable sur la couche 30. IL s'agit d'une gravure sélective, par laquelle les couches 28 et 30 et le coeur 32 sont éliminés dans ladite zone mais la partie du substrat 26 située au-dessous de cette zone reste sensiblement intacte. A titre purement indicatif et nullement limitatif, avec un substrat en silicium, des couches 28 et 30 en silice et un coeur 32 en silice ou en nitrure de silicium ou encore en oxynitrure de silicium, on peut utiliser un masque de résine tricouche ou un masque en silicium amorphe ou encore un masque en nickel-chrome et l'on peut utiliser une gravure sèche de type plasma avec un gaz réactif à base de fluor, tel que C F 6, CHF ou CF. 23 4 Après avoir gravé la structure de guidage, le masque est soit é Liminé soit conservé sur cette structure, notamment dans le cas d'un masque en résine. Apres avoir gravé la structure de guidage, on forme dans le subtrat 26, en dessous de la zone de cette structure qui a été éliminée, un logement 36 (voir figure 7) dont la section transversale, par un plan perpendiculaire à l'axe du coeur du microguide, a sensiblement la forme d'un U, et qui admet, comme plan de symétrie, le plan contenant l'axe du coeur du microguide et perpendiculaire aux couches 28 et 30. A titre purement indicatif et nullement limitatif, avec le substrat en silicium mentionné plus haut, des couches 28 et 30 en silice et un coeur également en silice ou en nitrure de silicium ou encore en oxynitrure de silicium, on utilise la structure de guidage précédemment gravée en tant que masque et l'on effectue une gravure isotrope du substrat, telle qu'une gravure ionique réactive utilisant des micro-ondes et un gaz réactif à base de fluor, par exemple le mélange SF 6 + 02, les puissances électromagnétiques mises en F 6 2 ' jeu étant comprises entre 200 W et 1000 W. Il convient de réaliser le logement 36 dans le substrat avec une profondeur aussi précise que possible, cette profondeur étant de préférence définie à moins d'un micromètre près. Pour ce faire deux techniques sont utilisables. Une première technique consiste à contrôler le temps de gravure après avoir étalonné avec précision La vitesse de gravure. On obtient ainsi des précisions de gravure de L'ordre de 0,5 micromètre à 1 micromètre sur une profondeur de 60 micromètres. Une autre technique consiste à effectuer un contrôle interférométrique in situ grâce à un interféromètre optique monté sur la machine servant à graver Le substrat. L'élimination de la zone de La structure de guidage fait apparaître sur cette dernière des parois latérales 38 et une paroi d'interface 40 sur Laquelle se trouve L'extrémité du coeur 32 du microguide. En revenant à La zone de la structure de guidage que L'on a éLiminée, i L convient que La longueur L de cette zone soit suffisante pour que La fibre puisse être convenablement maintenue dans le logement 36 Cette longueur L peut être de L'ordre de à 1000 micromètres. La largeur W de cette zone est déterminée pour permettre un positionnement latéral de la fibre et doit donc être au moins égale au diamètre extérieur de cette fibre (diamètre de la gaine optique -ou "cladding" selon la terminologie anglo-saxonne de la fibre privée de sa gaine protectrice). Une largeur W (distance entre Les parois latérales 38) égale à ce diamètre extérieur permet, comme on l'a déjà vu, un positionnement non dynamique de La fibre optique. Cette Largeur W est essentiellement déterminée par les dimensions du masque 34 servant à graver La structure de guidage. Ces dimensions doivent être calculées en tenant compte des diverses surgravures qui sont susceptibles de se produire ultérieurement, notamment lors de la gravure du substrat 26, et qui augmentent La largeur initiale W d'une valeur généralement comprise entre 2 et 4 micromètres suivant les procédés utilisés. Les dimensions du masque 34 peuvent être déterminées à 0,5 micromètre près sans problème, cette précision étant largement suffisante pour la mise en oeuvre du procédé de connexion conforme à l'invention. On notera que l'utilisation des couches 28 et , par exemple en silice, qui contiennent le coeur du microguide, pour le positionnement latéral de la fibre, facilite l'alignement entre cette fibre et le microguide lui-même. On va maintenant expliquer comment tenir compte des sur-gravures à l'interface 40. En effet, dans le cas d'un guide à structure non homogène (o les couches 28, 30 et 32 sont différentes), par exemple de type Si O 2/Si 3 N 4/Sio 2 ou Si O 2/Si O N /Si O 2 sur un substrat de silicium (figure 2 xy 2 7 A), le coeur 32 peut être attaqué différemment du milieu environnant en silice lors de l'attaque du substrat 26 en silicium (figure 7 B), ce qui peut éventuellement être gênant. Pour remédier à cela, lors de la réalisation du microguide, on attaque la couche 32 destinée à former le coeur du microguide, au voisinage de l'interface 40 (figure 7 C). Ensuite, on recouvre complètement le coeur 32 par le superstrat 30 en Sio O (figure 7 D). Ainsi, lors de l'attaque des couches formées sur le substrat, attaque qui conduit à la formation de l'interface 40 (figure 7 E), une épaisseur e de silice se trouve devant le coeur 32 et permet de remédier au problème de l'attaque différente du coeur, lors de l'attaque du substrat 26. L'épaisseur e ne doit pas excéder 10 à 15 micromètres. Cela ne pénalise guère l'efficacité du couplage et permet d'obtenir une interface homogène. La profondeur P du logement 36 est choisie de façon qu'en plaçant une extrémité de la fibre optique dans ce logement, l'axe du coeur de cette fibre optique soit sensiblement en coïncidence avec l'axe Z du coeur 32 du microguide. Lorsque la gravure du substrat conduisant à la formation du logement 36 est terminée, une extrémité de la fibre 42 (figure 8) est mise en place dans ce logement de telle façon qu'elle repose au fond de celui-ci. Lorsque la largeur W est égale au diamètre extérieur de la fibre, le positionnement latéral de cette dernière est directement obtenu et le positionnement vertical de la fibre l'est également puisque la profondeur P du logement a été déterminée à cet effet, de sorte que l'axe du coeur 44 de l'extrémité de la fibre 42 et l'axe Z du coeur du microguide coïncident sensiblement. La fixation de l'extrémité de la fibre dans le logement 36 peut être réalisée à l'aide d'une colle optique telle qu'une colle UV sensible aux rayonnements ultraviolets, par exemple du genre de la colle commercialisée par la société Nordland sous la référence NOA 61, colle dont un film est disposé sur la fibre après la mise en place de l'extrémité de la fibre optique 42 dans le logement 36. En variante, la fixation de la fibre est réalisée par une soudure métallique, après avoir déposé des couches métal Liques (eutectique ou Indium) dans le fond du logement 36 et à l'extrémité de la gaine optique de la fibre optique devant être en contact avec le fond du logement mais, bien entendu, pas sur la face d'extrémité de la fibre, face qui est destinée à se trouver en regard du coeur du microguide. Dans le cas o une soudure métallique est utilisée, il faut tenir compte des épaisseurs des couches métalliques pour le dimensionnement du logement 36. Pour améliorer le rendement du couplage entre la fibre et le microguide, on peut disposer un matériau adaptateur d'indices 46 à l'interface fibre-guide, par exemple sous forme d'un gel ou d'une colle appropriée, ce matériau étant par exemple injecté après positionnement mécanique de la fibre. La distance D (figure 9) entre la fibre optique et le microguide optique n'est pas un paramètre critique dans une connexion bout à bout et une distance D de l'ordre de 10 à 20 micromètres est acceptable et ce, d'autant plus qu'on utilise le matériau adaptateur d'indice à l'interface fibre-guide (pour éliminer les pertes optiques dites pertes de FRESNEL). Cette propriété de non-criticité est utilisable pour améliorer encore le positionnement relatif de la fibre optique par rapport au microguide optique en réalisant un masque 34 permettant d'éliminer, de la structure de guidage, une zone conduisant à des parois latérales 38 qui, du c 8 té de la paroi d'interface 40, vont en se rapprochant l'une de l'autre lorsqu'on va vers cette paroi 40, comme on le voit sur la figure 9. Plus précisément, chaque paroi latérale 38 comprend alors une première partie 37 qui est située du côté du bord de la structure et qui est parallèle à l'axe Z et une seconde partie 39 qui forme un angle aigu avec cet axe Z et se rapproche de ce dernier en allant vers la paroi d'interface 40. Dans ce cas, on obtient une convergence analogue pour le logement 36 lorsqu'on a gravé le substrat 26 pour former ce logement. On peut alors positionner l'extrémité de la fibre optique 42 en butée contre les parties 39 des parois Latérales de La structure. On peut ainsi, sans dégrader la qualité du couplage entre la fibre et le microguide, rattraper une erreur de cote de + 1 micromètre sur la largeur W de la zone éliminée, sans difficulté. Avec un angle de l'ordre de 60 par exemple entre chaque partie 39 de paroi latérale et l'axe Z du coeur du microguide, ceci conduit à un positionnement idéal de la fibre par rapport au microguide, avec une distance D inférieure à 10 micromètres, pour une largeur d'interface LI du microguide égale à 125 micromètres et pour une fibre optique dont le diamètre extérieur de gaine optique est compris entre 125 et 127 micromètres, d'o une perte optique de l'ordre de 0,2 d B seulement. En considérant un microguide dont le substrat 26 est en silicium et dont les couches 28 et 30 sont en silice, une gravure ionique réactive de ce substrat en silicium est très isotrope. La sur-gravure S (sous les couches de silice voir figure 10) est de l'ordre de 30 micromètres pour une profondeur P du logement de l'ordre de 60 micromètres (S étant, de façon généra Le, de l'ordre de P/2). Cependant, à l'aplomb de la matière servant de masque pour cette gravure du substrat en silicium, la forme du logement conduit à une profondeur P' légèrement inférieure à P, comme on le voit sur la figure 10. Ceci n'est pas gênant pour le positionnement d'une fibre optique dont la section transversale est circulaire et dont l'extrémité n'est pas placée trop près de l'extrémité du coeur du microguide, la mise en coïncidence de l'axe du coeur de cette extrémité de la fibre et de l'axe du coeur du microguide étant sensiblement obtenue comme on le souhaite. Mais cette profondeur différente P' devient gênante lorsque L'extrémité de La fibre optique est rapprochée de l'extrémité du coeur du microguide. En effet, à partir d'un point d (voir figure 11) l'extrémité de La fibre optique remonte légèrement en suivant la forme du logement et il se produit un désalignement à la fois angulaire et vertical entre L'axe du coeur de l'extrémité de la fibre optique et l'axe du coeur du microguide, d'o une diminution du couplage entre la fibre optique et le microguide optique. Pour remédier à cet inconvénient, il faut rendre Pl aussi voisin de P que possible et donc diminuer, au cours de la gravure du substrat, l'effet d'ombrage du masque servant à cette gravure. Pour ce faire, on modifie la forme de la partie de la structure qui correspond à l'interface fibre-microguide. Plus précisément, on fait en sorte que cette partie surplombe le fond du logement. A cet effet, on grave la structure de guidage (figure 12) en utilisant un masque 48 dont la forme est choisie de façon à dégager une partie de la structure de guidage sous la forme d'une languette 50 dont l'axe médian est l'axe Z du coeur du microguide. La languette 50 s'avance entre les parois Latérales 38 de la structure lorsque cette dernière a été gravée à travers Le masque 48. On réalise ensuite une gravure sélective du substrat 26 (figure 13) sous la languette 50 et sous la zone de structure de guidage précédemment gravée, de manière à dégager cette Languette 50. Ainsi la languette se trouve en surplomb au- dessus du fond du logement résultant de la gravure du substrat. En formant une languette dont la longueur LL est au moins égale à La profondeur P du logement formé dans le substrat et dont la largeur wl est au plus égale à cette profondeur P, la gravure du substrat (attaque du silicium dans le cas d'un substrat en silicium), qui a lieu suivant les trois directions respectivement perpendiculaires aux trois faces libres de la languette, permet d'obtenir une distance d'aplomb P' très proche de P et donc de diminuer fortement le phénomène parasite de remontée de la fibre. En pratique, pour des structures de microguides monomodes par exemple, on peut choisir pour LL une valeur de l'ordre de 60 à 100 micromètres et pour wl, une valeur de l'ordre de 20 à 30 micromètres. Une fois la languette réalisée, on fixe comme précédemment l'extrémité de la fibre optique 42 (figure 14) dans le logement formé dans le substrat de façon que la face d'extrémité de la fibre soit en regard de la face d'extrémité de la languette 50 et que l'axe du coeur de cette extrémité de fibre coïncide sensiblement avec l'axe Z du coeur du microguide qui se trouve dans la languette. La présente invention peut être mise en oeuvre avec une structure de guidage formée sur un substrat en silicium et comprenant une couche 28 en silice dont l'épaisseur est comprise entre 2 et 15 micromètres, une couche 30 en silice dont l'épaisseur est comprise entre 5 et 10 micromètres et un coeur 32 en nitrure de silicium dont l'épaisseur est comprise entre 0,1 et 0,2 micromètre. L'invention peut également être mise en oeuvre avec une structure de guidage formée sur un substrat en silicium et comprenant une couche 28 en silice dont L'épaisseur est comprise entre 6 et 12 micromètres, une couche 30 en silice dont l'épaisseur est comprise entre 2 et 10 micromètres et un coeur 32 en silice dopée dont l'épaisseur est comprise entre 2 et 6 micromètres. REVENDICATIONS 1 Procédé de connexion entre une fibre optique et un microguide optique ( 22) comprenant, sur un substrat ( 26), une structure de guidage comportant un coeur ( 32) et deux milieux ( 28, 30) dont les indices de réfraction respectifs sont inférieurs à celui du coeur de la structure, appelé coeur du microguide, ce coeur ( 32) étant compris entre les deux milieux ( 28, ), procédé caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes: on grave de façon sensiblement anisotrope la structure de guidage à partir d'une extrémité du microguide optique ( 22), de façon à éliminer de cette structure une zone qui admet l'axe du coeur du microguide comme ligne médiane et dont la largeur est au moins égale au diamètre extérieur de la fibre optique, on grave par voie sèche une partie du substrat, qui est située sous la zone ainsi éliminée, sur une profondeur permettant de mettre sensiblement en coïncidence l'axe (Z) du coeur ( 32) du microguide ( 22) et l'axe du coeur d'une extrémité de la fibre ( 42) lorsque cette extrémité repose au fond du logement ( 36) ainsi formé dans le substrat, et on fixe l'extrémité de la fibre optique dans ce logement ( 36) de façon à obtenir sensiblement la coïncidence. 2 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la largeur (W) de la zone est égale au diamètre extérieur de la fibre ( 42). 3 Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que le substrat ( 26) est en silicium et en ce qu'il est gravé par gravure ionique réactive, en utilisant en tant que masque la structure de guidage précédemment gravée. 4 Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le substrat ( 26) est en silicium, en ce que les milieux adjacents au coeur sont des couches ( 28, 30) de silice non intentionnellement dopée et en ce que le coeur ( 32) est en silice dopée. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le substrat ( 26) est en silicium, en ce que les milieux adjacents au coeur sont des couches ( 28, 30) de silice non intentionnellement dopée et en ce que le coeur ( 32) est en nitrure de silicium ou en oxynitrure de silicium. 6 Procédé selon l'une quelconque des revendications 4 et 5, caractérisé en ce que l'épaisseur totale des couches ( 28, 30) de silice est de l'ordre de 15 à 30 micromètres. 7 Procédé selon l'une quelconque des revendications I à 6, caractérisé en ce qu'on grave la structure de guidage et le substrat de façon que, du côté de l'interface fibre-microguide, la largeur de la zone éliminée aille en diminuant vers cette interface. 8 Procédé selon l'une quelconque des revendications I à 7, caractérisé en ce qu'on grave la structure de guidage de façon à dégager de cette structure une languette ( 50) qui admet comme ligne médiane l'axe (Z) du coeur ( 32) du microguide et dont la largeur est au plus égale à la profondeur du logement. 9 Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que La longueur de la Languette ( 50) est au moins égale à la profondeur du logement. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que le microguide comprend un superstrat ( 30) qui recouvre complètement le coeur ( 32) du microguide et en ce que la structure de guidage est gravée de façon à laisser une faible épaisseur (e) de superstrat devant le coeur. 11 Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce qu'un matériau adaptateur d'indice ( 46) est disposé à l'interface fibre-microguide.