FR 2653553 A1 19910426 FR 8914103 A 19891025 L'invention concerne un capteur de mesure d'une grandeur phy- sique, qui peut être soit une pression, par exemple, soit une accélération. On connaît déjà de tels capteurs, notamment dans le domaine de l'automobile, o l'on dispose des accéléromètres dans un véhicule pour mesurer les accélérations subies par celui-ci et modifier en conséquence certains paramètres. De façon classique, ces accéléromètres comprennent un support fixé en porte-à-faux sur un bâti et supportant à son extrémité libre une masse. Sous l'action d'une accélération, la masse se déplace en déformant le support. Ces déformations sont enregistrées par deux capteurs, tels que des jauges de contrainte, disposés de part et d'autre du support et qui envoient une information sous forme d'une variation de fréquence, vers un circuit électronique qui traite ensuite l'information. Comme illustré en figure 4 des dessins annexés, la courbe représentant l'accélération subie par le véhicule en fonction du signal de sortie obtenu au niveau du circuit électronique est normalement une droite. En d'autres termes, l'amplitude de déplace- ment du support de la masse (et donc le signal de sortie) sont proportionnels à l'accélération subie. Toutefois, on constate, comme illustré en figure 5, que cette proportionnalité entre l'accéléra- tion et le signal de sortie n'est plus respectée pour des fréquences de vibration élevées. La courbe en trait plein représente justement, pour une accélération constante donnée, les variations observées au niveau du signal de sortie au fur et à mesure de l'accroissement des fréquences de vibration du support de la masse. Le tout début de la courbe est une droite horizontale, correspondant à un signal de sortie constant; au contraire le reste de la courbe est inexploita- ble, puisque le signal de sortie varie énormément, notamment au niveau de la fréquence fo correspondant à la fréquence de résonnance du support. Il est donc souhaitable pour obtenir des mesures fiables et précises de munir l'accéléromètre d'un dispositif d'amortissement permettant de supprimer le pic correspondant à la fréquence du résonnance f o. En conséquence, de nombreux accéléromètres possèdent un tel dispositif d'armortissement. On connaît déjà, d'après la demande de brevet WO-A-87/06 347 un dispositif d'amortissement par courants de Foucault. Ce dispositif comprend un ressort à lame à l'extrémité libre duquel est disposé un disque à courants de Foucault constituant une masse et dont le mouvement est amorti par des aimants de polarités différentes, dont les pôles de même polarité sont en opposition. Un tel dispositif est toutefois onéreux et complexe à fabriquer. En effet, pour être efficaces, les aimants doivent être réalisés en un matériau à haut produit d'énergie (BxH élevé) tel que le Samarium-Cobalt. Par ailleurs, dans ce genre de dispositifs, l'en- trefer doit être très petit, ce qui demande un montage extrêmement précis à l'abri de la poussière. On connaît en outre, d'après le brevet US-A-4 751 849, un accéléromètre dans lequel la masse et la poutre supportant cette masse sont logées dans un boîtier hermétique qui peut être mis sous vide ou rempli d'un gaz inerte. Cependant, cet accéléromètre ne comporte pas de moyens d'amortissement des mouvements de sa masse. En conséquence, l'invention a pour but de réaliser un capteur de mesure d'une grandeur physique et notamment un accéléromètre, muni d'un moyen d'amortissement qui permette d'obtenir un amortissement efficace des oscillations de la poutre déformable sous l'action de ladite grandeur physique, afin de réaliser ainsi des mesures fiables et précises sur la plus grande gamme de fréquences possibles, et à des intervalles de temps très rapprochés. Ce but est atteint à l'aide d'un capteur de mesure d'une gran- deur physique muni d'un dispositif d'amortissement, capteur du type comprenant un bâti, au moins un élément déformable sous l'action de ladite grandeur physique monté sur le bâti, une masse reliée à l'élément déformable, un carter entourant la masse et au moins partiellement l'élément déformable, ce carter étant fixé sur le bâti, et des moyens de mesure montés sur l'élément déformable pour en mesurer la déformation, caractérisé en ce que le carter définit autour de la masse, d'une part, deux chambres de fluide dont les volumes respectifs varient de façon identique et antagoniste lors de la déformation de l'élément et, d'autre part, au moins un passage mettant en communication les deux chambres et s'opposant à l'écoule- ment du fluide d'une chambre à l'autre. L'invention sera mieux comprise à l'aide de la description suivante d'un mode de réalisation préférentiel de l'invention, donné à titre d'exemple illustratif mais non limitatif, et des dessins annexés dans lesquels: - la figure 1 représente une vue en coupe du capteur selon l'invention, - la figure 2 représente une coupe selon la ligne II-II de la figure 1, - la figure 3 représente l'accélération en g en fonction du temps en millisecondes, - la figure 4 est une courbe représentant l'accélération en m/s2 en fonction du signal de sortie en volts, et - la figure 5 est une courbe représentant, pour une accéléra- tion constante donnée, le signal de sortie en volts en fonction de la fréquence en hertz. Le capteur de mesure d'une grandeur physique, selon l'invention, peut être utilisé pour mesurer une accélération, une force ou encore une pression, par exemple. La première partie de la descrip- tion sera donc consacrée à un accéléromètre et la deuxième à un capteur de force. L'accéléromètre comprend de façon classique un bâti 1, un élé- ment déformable sous l'action de l'accélération, ici une poutre 2, et une masse 3 fixée sur ladite poutre. Dans le mode de réalisation représenté en figure 1, la poutre 2 est fixée en porte-à-faux sur le bâti et la masse 3 qui a ici une forme générale cylindrique, est fixée sensiblement à son extrémité libre. On pourrait également prévoir que la poutre soit fixée par ses deux extrémités au bâti et que la masse soit disposée sensiblement au centre de la poutre. On pourrait aussi remplacer la poutre 2, par deux poutres ou plus, fixées au bâti l'une en-dessous de l'autre, parallèlement, la masse 3 étant fixée sur leurs extrémités libres. On autorise ainsi les déplacements de la masse dans la direction de son axe longitu- dinal, mais on limite ses déplacements perpendiculairement à cette direction, ce qui permet également de protéger les moyens de mesure 4 fixés sur lesdites poutres. Sous l'action d'une accélération, la masse 3 est déplacée vers le haut ou le bas (par rapport à la figure 1) ce qui entraîne une déformation de la poutre 2 sur laquelle elle est fixée. Cette déformation est détectée par des moyens de mesure 4 constitués, par exemple, par deux résonateurs à quartz en forme de double diapason montés de part et d'autre de la poutre. Les résonateurs sont connec- tés à un circuit électronique 5 monté directement sur le bâti 1. De façon connue en soi, les résonateurs sont connectés dans des cir- cuits oscillants dont les fréquences de résonnance varient en fonction de leur déformation due à la déformation de la poutre 2. Les circuits résonnants délivrent des signaux qui sont traités et analysés dans le circuit 5. Celui-ci délivre un signal variable en fréquence en fonction de la déformation de la poutre 2 et donc de l'accélération subie par la masse 3. On pourrait remplacer ces résonateurs à quartz par d'autres moyens de mesure tels que des jauges de contrainte, par exemple. Il est en outre à noter qu'à l'endroit o sont montés les résonateurs 4, la poutre comporte sur chacune de ses grandes faces, une rainure 4a définissant dans la poutre une zone 4b de plus faible épaisseur. Afin de réaliser l'amortissement des oscillations de la poutre, un carter 6 est disposé autour de la masse de façon à définir, d'une part, deux chambres 7A, 7B de fluide entre la surface extérieure de la masse et l'intérieur dudit carter et, d'autre part, un passage 8 mettant en communication les deux chambres 7A, 7B et s'opposant à l'écoulement du fluide d'une chambre à l'autre. De façon plus précise, la masse se compose de deux demi-masses 3A, 3B fixées à l'extrémité de la poutre 2, de part et d'autre de celle-ci, par l'intermédiaire d'une goupille 9 disposée le long de l'axe de révolution X-X des deux demi-masses, sensiblement perpen- diculairement à la poutre. Chaque demi-masse comprend, faits d'une seule pièce, un corps cylindrique 10 appliqué sur la poutre et une partie tronconique 11 entourée par la partie d'extrémité corres- pondante du carter. On pourrait bien sûr utiliser une masse se composant de plus de deux pièces ou présentant une autre forme, cubique, par exemple. Le carter 6 présente une surface extérieure, de préférence cylindrique, dont la partie inférieure possède un moyen de fixation sur le bâti. De façon avantageuse, ce moyen de fixation est un tenon 12 bloqué par une vis 13 dans un orifice 13a du bâti, la vis étant engagée dans un trou 13b du bâti. Le carter pourrait être fixé sur le bâti par un autre moyen de fixation et en un autre point de sa périphérie. Ce carter définit un logement 14 dans lequel est placée la masse 3 et au moins une partie de la poutre 2. La forme intérieure du logement est complémentaire de la forme de la masse 3, c'est-à-dire que le logement présente une partie médiane cylindrique 14a et deux parties d'extrémité, tronconiques 14b, 14c. Les angles de révolution des troncs de cône de l'intérieur du carter et de chaque demi-masse sont donc sensiblement identiques. Cette complémentarité de forme facilite, au cours du montage de l'ensemble, le centrage du carter sur les demi-masses, plus précisément par rapport à l'axe de révolu- tion X-X de celles-ci. Le carter présente en outre une ouverture 15 pour le passage de la poutre. Selon une caractéristique avantageuse de l'invention et afin de faciliter le montage, le carter se compose de deux pots 6A, 6B cor- respondant chacun sensiblement à la moitié du carter et présentant des organes d'accouplement complémentaires 16. Ces organes sont par exemple des collerettes complémentaires et les deux pots peuvent alors être assemblés par emboîtage. De même, pour faciliter le montage, l'un des pots 6A, 6B comprend une ouverture de passage 17 de la goupille 9, obstruée par un bouchon 18. Lorsque le carter est en deux parties, l'un au moins des pots 6A, 6B présente une encoche pour constituer l'ouverture 15 pour le passage de la poutre. Enfin, on notera que chaque face d'extrémité intérieure du carter perpendiculaire à l'axe X-X, respectivement de chaque pot constitue une butée 19a, 19b pour la masse 3 lors des excursions dans les deux sens de la poutre 2. De préférence, on réalisera le carter 6 en matériau synthétique, la masse 3 en aluminium et l'élément déformable (c'est-à-dire la poutre 2) en une matière ayant le même coefficient de dilatation que les moyens de mesure 4, c'est-à-dire par exemple un acier comportant du nickel et du chrome. Le fonctionnement du dispositif va maintenant être décrit plus précisément. Le fluide contenu entre la masse et le carter est de préférence celui de l'environnement du capteur puisque le carter comprend l'ouverture 15. La plupart du temps, l'air ambiant formera donc ce fluide. De plus, l'air présente l'avantage par rapport à d'autres fluides, tels que l'huile, par exemple, d'être beaucoup moins sensible aux variations de température et de ne pas présenter d'aussi grandes variations de viscosité. Toutefois, on pourrait prévoir, à l'endroit o la poutre passe à travers le carter, un organe d'étanchéité fermant l'ouverture 15, tout en autorisant les vibrations de la poutre malgré le passage de celle-ci à travers le carter. On pourrait alors remplir le carter d'un autre gaz. La hauteur du logement 14 défini par le carter est supérieure à la somme des hauteurs de chaque demi-masse 3A, 3B et de la poutre 2, ce qui définit les deux chambres 7A, 7B remplies du fluide. Lorsque les pièces sont partiellement tronconiques, comme c'est le cas ici, on entend par "chambre" le volume délimité entre, d'une part, le fond et la surface tronconique de chaque demi-pot 6A et 6B et, d'autre part, la surface d'extrémité et la surface tronconique de chaque demi-masse 3A, 3B, respectivement. Par ailleurs, on entend par "passage 8", le volume délimité entre les faces cylindriques respectivement intérieure et extérieure des pots 6A, 6B et des demi-masses 3A, 3B. Lorsque la masse 3 se déplace vers le haut, la chambre supé- rieure 7A se vide d'une certaine quantité de fluide, qui se trouve chassée à travers le passage 8 vers la chambre inférieure 7B dont le volume augmente de la même quantité, la circulation du fluide étant inverse lorsque la masse se déplace en sens opposé. Les volumes respectifs des chambres varient donc de façon identique et antago- niste. Comme illustré en figure 2, le passage de mise en communication des deux chambres 7A et 7B est périphérique (ici annulaire). De préférence, la largeur (L) du passage 8 est de l'ordre de 0,05 à 0,1 mm, ou mieux 0,08 mm. (Elle est donc fortement exagérée sur les figures). On pourrait prévoir aussi un ou plusieurs autres passages, par exemple en percant des canaux verticaux dans chaque demi-masse, ces canaux débouchant respectivement dans les chambres 7A et 7B. Certains tests ont été réalisés avec le capteur selon l'inven- tion. Un exemple de courbe obtenue est représentée en figure 5. Comme cela a déjà été expliqué précédemment, la figure 5 repré- sente le signal de sortie obtenu au niveau du circuit électronique, en fonction des fréquences auxquelles est soumis le dispositif. Si l'on compare la courbe en trait plein représentant les résultats obtenus sans amortissement ou presque et la courbe en traits mixtes représentant les résultats obtenus avec le capteur muni du dispo- sitif d'amortissement selon l'invention, on constate que, grâce à ce dispositif, le pic de la fréquence de résonnance disparaît. La courbe en traits mixtes représente un amortissement recherché n de 0,6 et a été obtenue à la suite d'essais réalisés avec une masse 3 en aluminium de 9,5 g, l'ensemble du dispositif ayant été soumis à une accélération d'environ 1 g. Lorsque le pic de la fréquence de résonnance disparaît, on évite les risques d'endommagement du capteur. En effet, si la poutre atteint sa fréquence de résonnance, elle se déplace d'une amplitude maximum et la masse 3 risque donc de venir buter violemment contre les deux parties d'extrémités tronconiques 14b, 14c du carter, tandis que la poutre et les quartz 4 sont très fortement sollicités. Par ailleurs, on peut constater que la courbe en traits mixtes présente une zone sensiblement rectiligne entre O et fo, dans laquelle on peut effectuer des mesures sensiblement sans risques d'erreurs. Enfin, comme illustré en figure 3, on notera que pour un test effectué dans les mêmes conditions que précédemment, la constante de temps est de 3 ms et qu'après 15 ms la poutre est revenue à sa position d'origine, ce qui permet d'effectuer alors une autre mesure. Selon une autre variante de réalisation, on pourrait adapter très simplement l'accéléromètre décrit plus haut afin de réaliser un capteur de pression. A cet effet, on pourrait envisager d'utiliser un capteur de pression comportant par exemple un élément mobile en fonction de la variation de la pression et agissant directement sur la masse 3. Un tel élément pourrait être une simple tige passant à travers l'ouver- ture 17 de passage de la goupille et dont l'extrémité supérieure viendrait au contact d'un soufflet soumis à des variations de pression. L'ouverture 17 serait alors rendue étanche tout en autori- sant les déplacements axiaux de la tige. REVENDICATIONS 1. Capteur de mesure d'une grandeur physique muni d'un dispo- sitif d'amortissement, capteur du type comprenant un bâti (1), au moins un élément de forme générale allongée et déformable (2) sous l'action de ladite grandeur physique, monté sur le bâti, une masse (3) reliée à l'élément déformable, un carter (6) entourant la masse et au moins partiellement l'élément déformable, ce carter étant fixé sur le bâti, et des moyens de mesure (4) montés sur l'élément déformable pour en mesurer la déformation, caractérisé en ce que le carter (6) définit autour de la masse, d'une part, deux chambres de fluide (7A, 7B) dont les volumes respectifs varient de façon iden- tique et antagoniste lors de la déformation de l'élément (2) et, d'autre part, au moins un passage (8), mettant en communication les deux chambres (7A, 7B) et s'opposant à l'écoulement du fluide d'une chambre à l'autre. 2. Capteur de mesure selon la revendication 1, caractérisé en ce que le passage (8) de mise en communication des deux chambres (7A, 7B) est périphérique et prévu entre la surface extérieure de la masse (3) et la surface intérieure du carter (6). 3. Capteur de mesure selon la revendication 1, caractérisé en ce que le carter (6) constitue des butées (19a, 19b) pour la masse (3). 4. Capteur de mesure selon la revendication 1, 2 ou 3, caracté- risé en ce que le fluide est de l'air. 5. Capteur de mesure selon la revendication 1, 2 ou 3, caracté- risé en ce que l'élément déformable (2) est une poutre, en ce que la masse (3) est constituée par au moins deux demi-masses (3A, 3B) fixées de part et d'autre de la poutre (2). 6. Capteur de mesure selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la surface interne de chaque chambre de fluide (7A, 7B) présente une forme complémentaire à la partie correspondante de la masse (3). 7. Capteur de mesure selon la revendication 6, caractérisé en ce que la masse présente une axe de révolution (X-X) sensiblement perpendiculaire à l'axe longitudinal de l'élément déformable (2) et en ce que les surfaces complémentaires de chaque chambre (7A, 7B) et de la partie correspondante (11) de la masse (3) sont coaxiales, de même axe (X-X) que la masse et forment des surfaces de centrage de celle-ci. 8. Capteur de mesure selon la revendication 7, caractérisé en ce que les surfaces de centrage sont tronconiques. 9. Capteur de mesure selon l'une quelconque des revendications à 8, caractérisé en ce que les deux demi-masses (3A, 3B) sont fixées sur la poutre (2) par au moins une goupille (9) traversant lesdites demimasses sensiblement perpendiculairement à ladite poutre. 10. Capteur de mesure selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le carter (6) est constitué par deux pots (6A, 6B) solidaires l'un de l'autre et jointifs par leurs bords et en ce qu'au moins l'un des pots possède des moyens de fixation (12) sur le bâti. 11. Capteur de mesure selon l'une quelconque des revendications prédécentes, caractérisé en ce que le carter (6) présente au moins une ouverture (15) pour le passage de l'élément déformable (2). 12. Capteur de mesure suivant l'une quelconque des revendi- cations 9 à 11, caractérisé en ce que le carter (6) présente au moins une ouverture de passage (17) de la goupille (9). 13. Capteur de mesure selon la revendication 12, caractérisé en ce que ladite ouverture (17) est obstruée par un bouchon (18). 14. Capteur de mesure selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'élément déformable est une poutre (2) montée en porte-a-faux sur le bâti (1) et en ce que la masse (3) est montée sensiblement à l'extrémité libre de cette poutre (2). 15. Capteur de mesure selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le carter (6, 6A, 6B) est réalisé en matériau synthétique. 16. Capteur de mesure selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la masse (3, 3A, 3B) est en aluminium. 17. Capteur de mesure selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'élément déformable (2) est réalisé en acier au nickel-chrome. il 18. Capteur de mesure selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens de mesure (4) montés sur l'élément déformable comportent deux résonateurs à quartz à double diapason montés de part et d'autre dudit élément déformable (2). 19. Capteur de mesure selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le circuit électronique (5) est monté sur le bâti (1) et relié aux moyens de mesure (4).