FR 2646311 A1 19901026 FR 8906136 A 19890424 -1 2646311 SUBSTRATS NETALLIQUES ISOLES ET PROCEDE DE FABRICATION DESDITS SUBSTRATS DOMAINE TECENIQUE DE L'INVENTION La présente invention est relative à des substrats métalliques isolés et à leur procédé de fabrication. Elle s'applique particulièrement à la réalisation de circuits imprimés d'interconnexion de composants électro- niques de puissance utilisés, par exemple, dans l'industrie automobile. De tels circuits peuvent se présenter en conformation plane ou spatiale et comporter un ou plusieurs niveaux conducteurs "simple face", "double face à trous métallisés ou "multicouche". ETAT DE LA TECHNIQUE ANTERIEURE Depuis de nombreuses années, les circuits imprimés d'interconnexion de composants électroniques sont obtenus par gravure de substrats consti- tués par exemple d'une feuille mince de cuivre collée sur un support isolant. Parmi les matériaux couramment utilisés comme support pour les substrats rigides, on peut citer par exemple: - le papier imprégné de résine phénolique qui a été particulièrement développé au Japon dans le secteur grand public - le tissu de verre imprégné de résine époxy, plutôt réservé au secteur professionnel en raison de ses meilleures performances électriques. Pour les substrats flexibles, ce sont des films polymères qui servent de support: - - soit en polyimide lorsqu'il faut une bonne tenue à chaud, - soit en polyester si le prix est un critère important. Tous ces supports électriquement isolants ont de mauvaises conductivités thermiques et ne peuvent donc pas participer à la dissipation de la chaleur dégagée par les composants de puissance. Pour éviter la destruction de ces derniers par élévation de leur température, diverses solutions sont envisagées mais, jusqu'à présent, aucune ne donne entièrement satis- faction. I1 est aussi connu de positionner les composants de puissance sur des supports séparés de type échangeur, réalisés par exemple par découpe de profilés à ailettes en aluminium, mais alors la fonction interconnexion de ces composants ne peut plus être intégrée sur le circuit imprimé. Il est également connu d'utiliser des supports en céramique, par exemple en alumine, cordiérite ou nitrure d'aluminium, qui ont une bonne conducti- vité thermique, en mettant en oeuvre par exemple les techniques dites à couche épaisse ou les multicouches. Malheureusement, ces matériaux ont l'inconvénient d'être chers, fragiles et de n'être disponibles qu'en plaques de petites dimensions excédant rarement le dm2. Plus récemment, la technologie du montage en surface des composants sur le circuit imprimé, autorisant un meilleur transfert thermique entre composants et substrat a conduit au concept de substrat métallique isolé, appelé SMI et qui est un matériau constitué: - d'une embase métallique, par exemple en aluminium, jouant le rôle de drain thermique - d'un film mince conducteur de l'électricité, telle qu'une feuille de cuivre par exemple, qui peut être gravé chimiquement pour réaliser les circuits d'interconnexion, - et d'un isolant interposé entre les deux métaux. Le mode d'utilisation d'un tel substrat est par exemple décrit dans le brevet français n 2560437 qui revendique "un procédé de fabrication de circuits électroniques de puissance miniaturisés". Le problème qui se pose dans les SMI est d'obtenir à la fois un bon isolement électrique entre l'embase et la feuille et une bonne dissipation thermique par l'embase. Or, l'amélioration de la première de ces grandeurs peut se faire par l'augmentation de l'épaisseur de l'isolant mais cela va à l'encontre de la deuxième. Il est donc apparu à la demanderesse qu'il était difficile de concilier ces exigences contradictoires pour atteindre les niveaux de performance généralement imposés par les utilisateurs. Ainsi, pour les applications automobiles par exemple, il est demandé de garantir, sous une tension continue appliquée de 500 V, des résistances d'isolement supérieures à 105 M-. entre conducteurs et embase ou entre pistes conductrices. Outre cette caractéristique et la nécessité de dissiper la chaleur dégagée par les composants, il faut assurer une bonne adhérence des conducteurs de cuivre, l'ensemble de ces propriétés devant être conservé après divers tests d'environnement tels que vieillis- sement, chocs thermiques, exposition à la chaleur humide ou immersion dans divers solvants (par exemple hydrocarbures). L'une des solutions proposées jusqu'à présent consiste à. utiliser un substrat métallique isolé ayant pour isolant un film de polyimide de {m qui doit être enduit sur ses deux faces d'un adhésif, ce qui conduit à une épaisseur totale isolante de l'ordre de 75 pm; une telle épaisseur constitue un écran notable aux transferts thermiques entre les composants et l'embase en aluminium. Une autre solution décrite dans le brevet allemand DE-A-3626232 est basée sur le traitement suivant: - "on oxyde la surface entière d'une embase en aluminium pour former un oxyde jouant le rôle d'isolant électrique - on applique un adhésif thermodurcissable sur le substrat oxydé, - on place une feuille de cuivre sur le film adhésif, - on chauffe le composite pour durcir le film adhésif, ladite oxydation étant réalisée électrolytiquement, c'est-à-dire par anodisation". Mais, dans ce brevet, aucune indication n'est donnée sur les caractéristi- ques d'isolement électrique obtenues entre l'embase en aluminium et les conducteurs en cuivre, ou de dissipation thermique par l'embase. C'est pour améliorer cette situation que la demanderesse a recherché une solution utilisant une couche d'oxyde anodique qui présente a priori les avantages suivants: - bonne conductivité thermique - isolement électrique élevé - adhérence directe sur l'aluminium - possibilité de disposer d'une rugosité externe favorable à l'adhérence du film mince conducteur. OBJET DE L'INVENTION Il est connu de l'homme de l'art que l'oxydation anodique de l'aluminium peut conduire, suivant les conditions d'anodisation, et notamment suivant la nature de l'électrolyte mis en oeuvre, soit à une alumine compacte, soit à une alumine poreuse. Dans le premier cas, la couche dite 'barrière" a une épaisseur qui ne dépend que de la tension appliquée pour sa formation (1,4 nm/V), la tension de service devant nécessairement être inférieure à cette dernière; ainsi, pour une utilisation sous 500 V, il est généralement recommandé d'oxyder sous une tension supérieure, par exemple à 600 V et l'on obtient dans ce cas une couche d'épaisseur 850 nm (0,85 Pm). Dans le deuxième cas, la couche, qui peut atteindre plusieurs dizaines de microns, a une structure poreuse contenant un grand nombre de trous cylindriques de très faible diamètre dont les axes sont perpendiculaires à la surface de l'aluminium et qui traversent la plus grande partie de la couche en laissant en fond de pores une couche barrière compacte de quelques dizaines de nm. Or, il a été constaté qu'aucune de ces couches considérées séparément ne répond à l'ensemble des spécifications: les couches compactes qui peuvent avoir des résistances d'isolement satisfaisantes sont inaptes à un bon accrochage des adhésifs, et inversement les couches poreuses qui donnent une bonne adhérence ont des propriétés d'isolement électrique très insuffisantes. Il était donc intéressant de chercher à combiner les avantages de ces deux types de couches et de rechercher les conditions de traitement par double anodisation de l'aluminium en vue de procurer à la fois les qualités d'isolement électrique, de conductivité thermique et l'aptitude à une bonne adhérence avec des films métalliques. DESCRIPTION DE L'INVETION L'invention consiste donc en un substrat métallique isolé comportant une embase d'aluminium, un isolant constitué d'une pellicule d'alumine obtenue par anodisation de ladite embase sur au moins une de ses faces et au moins un film métallique destiné a être transformé par gravure chimique en un réseau de conducteurs caractérisés en ce que ladite pelli- cule d'alumine est formée d'une zone compacte, uniforme, adhérente à l'aluminium ayant une épaisseur supérieure à 150 nm et d'une couche poreuse à surface externe rugueuse. Ainsi, le substrat de l'invention a pour particularité d'avoir une zone compacte d'épaisseur supérieure à celle habituellement rencontrée avec ce type de couche et qui dépasse rarement 100 nm, ladite zone étant recouverte d'une couche poreuse présentant une très forte rugosité externe favorable à son accrochage avec un film métallique qui peut être une feuille par exemple. De préférence, la zone compacte au contact de l'aluminium a une épaisseur comprise entre 150 et 1200 nm mais les meilleurs résultats sont obtenus dans la fourchette d'épaisseur comprise entre 500 et 1000 nm. Si l'épais- seur est inférieure à 150 nm, on constate un isolement électrique insuffi- sant, par contre, avec des épaisseurs supérieures à 1200 nm, la conductivi- té thermique devient trop faible. Quant à la couche poreuse, elle a de préférence une épaisseur comprise entre 5000 et 50 000 nm (5 à 50 pm), fourchette qui peut être réduite aux valeurs de 15000 à 30000 nm (15 à 30 jm) pour affiner les résultats. Si l'épaisseur de cette couche est inférieure à 5 Vm, l'accrochage du film métallique devient insuffisant, au contraire au-delà de 50 m, elle n'apporte qu'une amélioration réduite de l'adhérence. Les photos jointes à la demande illustrent ces deux aspects particuliers. Sur la photo 1 réalisée à un grandissement de 25000, on voit la zone compacte uniforme et adhérente au contact de l'aluminium recouverte d'une couche poreuse. Elle est à comparer avec la photo 2 réalisée au même grossissement mais avec une embase revêtue d'une pellicule d'oxyde suivant l'art antérieur o on constate que la zone compacte située à 3 la base des pores a une épaisseur plus de 10 fois inférieure à celle de la zone selon l'invention. Sur la photo 3 réalisée à un grandissement de 3200, on voit la forte rugosité présentée par la surface externe de la couche poreuse. Cette surface est à comparer à celle de la photo 4 réalisée avec un grandisse- ment de 25000 sur une embase d'aluminium recouverte uniquement d'une couche poreuse o on peut voir une surface externe craquelée mais très plane. Cette différence permet de montrer que l'invention n'est pas une simple juxtaposition d'une couche poreuse et d'une couche compacte de l'art antérieur mais qu'il s'agit d'un revêtement tout à fait particulier: une pellicule poreuse à forte couche barrière et à surface externe d'un profil nouveau. Les pellicules d'alumine anodique ayant une telle structure présentent, outre leur bonne conductivité thermique, les principales caractéristiques suivantes: - l'oxyde est parfaitement adhérent à l'aluminium, - la résistance d'isolement sous 500 V est supérieure à 105 M-a - la quantité d'oxyde donnant cette résistance d'isolement peut être limitée à une épaisseur de 10 à 251um, - la rugosité de la surface extérieure est très favorable à l'accrochage d'un film métallique capable de constituer un réseau conducteur. Ces pellicules se prêtent donc particulièrement bien à la réalisation de substrats métalliques isolés, car on peut appliquer à leur surface un film conducteur, par exemple à l'aide de l'une quelconque des méthodes suivantes séparément ou en combinaison: - contre-collage d'une feuille électrodéposée en cuivre d'épaisseur um par exemple, l'adhésif pouvant être indifféremment déposé au préalable sur l'alumine ou sur le cuivre. Cet adhésif qui est choisi de préférence dans le groupe formé par les résines acrylique et époxy permet également d'adapter les différences de coefficient de dilatation entre ces conducteurs et l'alumine et par conséquent de supporter les déplacements relatifs que subissent les conducteurs au cours des cycles thermiques des circuits gravés; - cuivrage chimique de l'alumine après activation par sels métalliques et rechargement électrolytique par l'une des deux méthodes suivantes: méthode soustractive dite "panel plating" ou méthode semi-additive dite "pattern plating", afin de disposer d'une épaisseur suffisante de cuivre; dans ce cas, il faudra veiller à ce que la structure du métal conducteur corresponde à une capacité de déformation suffisante pour supporter les déplacements relatifs engendrés par les cycles thermiques; - évaporation sous vide de cuivre en couche mince ou toute autre méthode de dépôt physique, suivie là aussi d'un rechargement électrolytique selon l'une des deux méthodes ci-dessus, - sérigraphie d'encres polymères conductrices, par exemple à base de cuivre. La plupart des alliages d'aluminium peuvent être utilisés comme embase pour obtenir ces couches particulières; toutefois, les alliages de la série 1000 selon les normes de l'Aluminium Association sont préférés, car ils donnent des qualités d'oxyde répondant mieux aux exigences requi- ses. Ces embases peuvent présenter à la fois une conformation plane éventuelle- ment percée de trous dont le diamètre et la position sont conformes à l'usage final ou une coaformation spatiale éventuellement percée de trous dont la morphologie est en relation avec l'usage final. De préférence, le film métallique est en cuivre, mais peut également appartenir au groupe constitué par le constantan et les alliages nickel- chrome quand les substrats sont destinés à la fabrication de réseaux résistifs. L'invention concerne également un procédé d'obtention desdits substrats. Ce procédé est caractérisé en ce que l'embase en aluminium est soumise sur l'une au moins de ses faces à un traitement dans un bain d'anodisation poreuse puis dans un bain d'anodisation barrière. Ainsi, le procédé comporte une bi-anodisation et qui débute par une anodisation poreuse, la zone compacte se développant par la suite sous la couche poreuse. Initialement, l'embase en aluminium est dégraissée puis décapée par exemple dans des solutions aqueuses d'acide sulfochromique et rincées soigneusement. Puis elle est soumise à une anodisation du type poreux qui est obtenue à l'aide d'un électrolyte appartenant au groupe constitué par l'acide sulfurique, l'acide sulfosalycilique, l'acide chromique, l'acide phosphorique et toute combinaison d'au moins deux desdits acides. De préférence, on choisit l'acide sulfosalycilique généralement utilisé dans l'oxydation autocolorée de l'aluminium et qui donne des pores ayant un bon pouvoir d'accrochage. Enfin, l'embase ainsi revêtue de sa pellicule poreuse est soumise à une nouvelle anodisation au cours de laquelle on développe la zone compacte en utilisant un bain d'électrolyte appartenant au groupe de sels en solution aqueuse constitué par le tartrate d'ammonium, le borate d'ammo- nium, le chromate de potassium, le nitrate d'ammonium, et toute combinai- son d'au moins deux desdits sels. Un colmatage par immersion de 5 à 10 min dans l'eau bouillante peut être effectué sur ces couches bi-anodisées. Quant au placage du film conducteur sur l'alumine anodique, il peut être réalisé, dans le cas du contre-collage, à l'aide de divers adhésifs qu'il est toutefois préférable de choisir parmi l'une des deux familles de résines acryliques ou résines époxy qui conviennent généralement bien aux feuilles de cuivre. Si la couche conductrice est plutôt réalisée à partir d'une méthode physique de dépôt en couche mince, il est générale- ment recommandé de déposer une première couche d'épaisseur voisine de 1 Pm avant de faire le rechargement électrolytique, qui pourra atteindre par exemple une épaisseur de 35 um. L'invention n'est pas limitée à la fabrication de substrats pour circuits d'interconnexion simple face, mais se prête également à la réalisation de substrats pour circuits dits "double face à trous métallisés". Dans ce cas, les principales séquences de fabrication sont par exemple les suivantes: - perçage de trous dans la plaque d'aluminium, - bi-anodisation de la plaque aluminium sur les deux faces et à l'inté- rieur des trous, - cuivrage de la totalité de la surface extérieure de l'alumine, soit par méthode chimique avec activation par sels métalliques, soit par méthode physique, - rechargement électrolytique par l'une des deux méthodes panel plating ou pattern plating. 264631 1 Une autre variante du procédé, moins performante du point de vue de la dissipation thermique, consiste à contrecoller sur l'aluminium convenab- lement anodisé un circuit double 'face à trous métallisés de conception traditionnelle (avec isolant en verre epoxy entre les deux feuilles de cuivre) et préalablement gravé. La généralisation de ce même principe conduit à un substrat métallique isolé à circuits conducteurs multicouches. L'invention se prête également à la réalisation de substrats métalliques isolés à conformation spatiale, cette mise en forme par pliage, emboutis- sage ou même usinage pouvant être appliquée initialement à la tôle d'alu- minium, et donner lieu ensuite aux mêmes séquences de fabrication que ci-dessus, c'est-à-dire bi-anodisation et cuivrage. L'invention peut également être mise en oeuvre pour la fabrication de réseaux résistifs obtenus par gravure chimique d'une feuille mince métal- lique en constantan ou en alliage nickel-chrome. L'invention peut être illustrée à l'aide des exemples d'application suivants: Exemple 1 Des feuilles en alliage d'aluminium des types 1050 et 1199 ont été dégrais- sées au moyen d'une solution alcaline de nom commercial DIVERSEY D 708 à raison de 15 g/l et à une température de 65 C, puis rincées avant d'être décapées par une solution d'acide sulfochromique contenant environ g/l de H2SO4 et 50 g/l de CrO3 et rincées soigneusement. Lesdites feuilles ont alors été soumises à une anodisation du type autocoloration dans un bain contenant 100 g/l d'acide sulfosalycilique à 200C en faisant passer un courant électrique continu de 2A/dm2/face pendant 40 min environ, de façon à développer une couche d'oxyde poreux de 25 fm d'épaisseur en moyenne. Puis, après rinçage à l'eau, les feuilles ont subi une deuxième anodisation dans une solution d'acide borique H3Bo3 à 70 g/l et d'ammoniaque de manière à obtenir une résistance chimique voisine de 3500L-. La tension moyenne du courant électrique continu était de 200 volts et la quantité de courant consommée de 180 cb/dm2. La couche d'oxyde compact obtenue était en moyenne de 1 HM. Après rinçage et séchage, les substrats ainsi réalisés ont été soumis à des mesures de résistance d'isolement sous 500 volts et des temps d'application d'une minute. Puis l'isolant des substrats a été préplaqué avec des feuilles d'adhésif acrylique d'épaisseur 25 Hm et recouverts d'une couche de cuivre électrodéposée d'épaisseur 35 Hm. L'ensemble a été pressé pendant 1 heure à 180 C sous 6,7 MPa et soumis à des essais de détermination de la force de pelage. Les résultats des essais figurent dans le tableau suivant o on trouve également les résultats de mesures de résistance d'isolement effectués sur des substrats ayant subi une seule anodisation en milieu sulfosalycilique dans les conditions décrites ci-dessus ainsi que des mesures de force de pelage effectuées après association avec le film métallique réalisée dans les mêmes conditions que ci-dessus. TABLEAU I *I I l l Bi-anodisation | Mono- I it,I |(suivant l'invention) I anodisation | t _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ I _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ t _ _ Type d'aluminium 1050 1199 1050 1199 - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - I - -1 - - I N Echantillon | 1 2 3 4 1 3 I I_ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ I I I I I I i l R moyen 4,46 5,61 13,8 14,7 0,08 0,17 Résistance -------- ----------------I------------------- d'isolemen R mini 2,0 3,5 7 11,5 | 0,02 I 0,14 I | en 105ML à----------------à------------à----- l R maxi 6,5 | 7,0 | >15,0 t >15,01 0,15 I 0,20 I II _ _ _ _ _ _ t _ _ _ I_ _ t _ _ I Force de pelage en I I l N/mm 3 3,08 2,9 2,95 I 2,75 I 2,75 I I t I I I I I I Ce tableau montre que la bianodisation tout en améliorant les qualités d'adhérence multiplie au moins par un facteur 50 les résistances d'isole- ment. Exemple 2 Des feuilles d'aluminium de type 1050 ont été bianodisées dans les condi- tions de l'exemple 1 sauf en ce qui concerne la première anodisation qui a été faite dans un bain, contenant 180 g/l d'acide sulfurique à il 18 C en faisant passer un courant électrique continu de 1,5 A/dm2/face pendant 60 minutes de façon à développer une couche d'oxyde poreux d'épais- seur 25 ym en moyenne. On a mesuré sur les substrats ainsi obtenus les résistances d'isolement suivantes: Résistance R moyen 1,62 d'isolement R mini 1,1 en 105M R maxi 2,7 Force de pelage en N/mm 2,7 On constate que les valeurs de résistance sont un peu moins bonnes qu'avec l'acide sulfosalycilique, mais en tout cas supérieures à celles obtenues par monoanodisation. REVENDICATIONS 1. Substrats métalliques isolés comportant une embase d'aluminium, un isolant constitué d'une pellicule d'alumine obtenue par anodisation de ladite embase sur au moins une de ses faces et au moins un film métal- lique destiné à être transformé par gravure chimique en un réseau de conducteurs caractérisés en ce que ladite pellicule d'alumine est formée d'une zone compacte uniforme adhérente à l'aluminium ayant une épaisseur supérieure à 150 nm et d'une couche poreuse à surface externe rugueuse. 2. Substrats selon la revendication 1 caractérisés en ce que la zone compacte a une épaisseur comprise entre 150 et 1200 nm. 3. Substrats selon la revendication 2 caractérisés en ce que la zone compacte a une épaisseur comprise entre 500 et 1000- nm. 4. Substrats selon la revendication 1 caractérisés en ce que la couche poreuse a une épaisseur comprise entre 5 et 50 Pm. 5. Substrats selon la revendication 4 caractérisés en ce que la couche poreuse a une épaisseur comprise entre 15 et 30 rm. 6. Substrats selon la revendication 1 caractérisés en ce que le film est séparé de la couche d'alumine poreuse par l'intermédiaire d'un adhésif. 7. Substrats selon la revendication 6 caractérisés en ce que l'adhésif est capable de supporter les déplacements relatifs des conducteurs engen- drés par les cycles thermiques que subissent les circuits gravés. 8. Substrats selon la revendication 6 caractérisés en ce que l'adhésif est choisi dans le groupe des résines acrylique et epoxy. 9. Substrats selon la revendication 1 caractérisés en ce que l'aluminium est choisi parmi la série 1000 suivant les normes de l'Aluminium Associa- tion. 10. Substrats selon la revendication 1 caractérisés en ce que l'embase en aluminium présente une conformation plane. 11. Substrats selon la revendication 10 caractérisés en ce que l'embase en aluminium est percée de trous dont le diamètre et la position- sont conformes à l'usage final. 12. Substrats selon la revendication 1 caractérisés en ce que l'embase en aluminium présente une conformation spatiale. 13. Substrats selon la revendication 12 caractérisés en ce que l'embase en aluminium est percée de trous dont la morphologie est en relation avec l'usage final. 14. Substrats selon la revendication 1 caractérisés en ce que le film métallique est en cuivre. 15. Substrats selon la revedication 1 caractérisés en ce que le film métallique appartient au groupe constitué par le constantan, les alliages nickelchrome. 16. Procédé de fabrication de substrats selon la revendication 1 caracté- risé en ce que l'embase en aluminium est soumise sur l'une au moins de ses faces à un traitement dans un bain d'anodisation poreuse puis dans un bain d'anodisation barrière. 17. Procédé selon la revendication 16 caractérisé en ce que le bain d'aodisation poreuse est formé par un électrolyte appartenant au groupe d'acides constitué par l'acide sulfurique, l'acide sulfosalycilique, l'acide chronique, l'acide phosphorique et toute combinaison d'au moins deux desdits acides. 18. Procédé selon la revendication 17 caractérisé en ce que le bain d'anodisation poreuse est formé par l'acide sulfosalycilique. 19. Procédé selon la revendication 16 caractérisé en ce que le bain d'anodisation est formé par un électrolyte appartenant au groupe de sels en solution aqueuse constitué par le tartrate d'ammonium, le borate d'ammonium, le chromate de potassium, le citrate d'ammonium et toute combinaison d'au moins deux desdits sels. 20. Procédé selon la revendication 19 caractérisé en ce que le bain d'anodisation est formé de borate d'ammonium. 21. Procédé selon la revendication 1 caractérisé en ce que le film métal- lique est obtenu par dépôt physique sous vide suivi d'un rechargement électrolytique.