FR 2645970 A1 19901019 FR 8905281 A 19890414 MICROMAGNETOMETRE. DETECTION CAPACITIVE La présente invention concerne un micromagnétomètre. On a développé ces dernières années des micromagngtomè- tres réalisés par des techniques similaires aux techniques utili- sées dans le domaine de la fabrication des circuits intégrés. Ces micromagnétomètres sont généralement constitués à partir d'une plaquette de silicium et d'une aile ou volet en silicium portant elle-même un bobinage. Quand un courant constant parcourt le bobi- nage et qu'un champ magnétique est appliqué perpendiculairement à une direction de passage du courant, la déflexion de l'aile ou vo- let constitue une mesure de l'intensité du champ magnétique. Si le courant électrique est un courant alternatif à la fréquence de ré- sonance du système mécanique, l'amplitude de l'oscillation consti- tue une indication de la valeur du champ magnétique. Les calculs montrent que plus l'aile vibrante est mince, plus la sansibiblité du système est &levée. Avec les systèmes de l'art antérieur tels qu'ils vien- nent d'être décrits, dans lesquels la partie vibrante est consti- tuée d'une lamelle de silicium, il n'est pas possible de choisir librement les divers paramètres étant donné qu'il existe une limi- te inférieure à l'épaisseur que l'on peut conférer à une lamelle de silicium obtenue à partir d'une plaquette de silicium. A titre d'exemple, les plaquettes de silicium sont couramment disponibles dans des épaisseurs de 0,3 à 0,5 mm et l'on arrive à les amincir pour obtenir des ailes ou volets d'une épaisseur de l'ordre de 10 à 15 micromètres. En dessous de ces valeurs, il devient en effet difficile de contrôler avec précision l'épaisseur finale. En raison de cette contrainte sur les épaisseurs minima- les, le concepteur d'un micromagnétomètre n'est pas complètement libre de sélectionner indépendamment divers paramètres tels que les dimensions à choisir pour l'aile vibrante (l'envergure de celle-ci est inévitablement relativement importante et le disposi- tif occupera une certaine surface de silicium), la fréquence de résonance, etc. En particulier, on est amené à choisir des systè- mes qui résonnent à des fréquences de l'ordre de la dizaine de ki- lohertz, ce qui n'est pas satisfaisant pour permettre de s'affranchir autant que possible des vibrations mécaniques parasi- tes. En outre, les dimensions de l'aile empêchent de s'affranchir totalement des perturbations liges aux accélérations auxquelles pourraitetre soumis le système. Ainsi, un objet de la présente invention est de prévoir un nouveau type de micromagnétomètre. Un autre objet-de la présente invention est de prévoir un tel micromagnétomètre dans lequel la partie vibrante soit aussi fine et légère que possible. Un autre objet de la présente invention est de prévoir un tel micromagnétomètre dans lequel la partie vibrante occupe une surface aussi faible que possible. Ces objets de la présente invention sont atteints en prévoyant un micromagnétomètre à détection capacitive comprenant: - deux couches minces conductrices superposées, séparées par une interface isolante, et formées sur un substrat isolant, au moins la couche supérieure étant gravée pour comprendre un segment de couche rejoint à ses extrémités par deux bandes parallèles or- thogonales à ce segment, ledit segment et une partie desdites ban- des ainsi que les parties correspondantes de la couche inférieure étant situés au-dessus d'un évidement du substrat; - une surface conductrice formée dans l'évidement du substrat, au moins en regard dudit segment; des moyens de connexion électrique aux deux bandes pour y connecter une source de courant; et - des moyens de mesure des variations de capacité entre la couche mince inférieure et la surface conductrice. Un procédé pour fabriquer un micromagnétomètre selon l'invention comprend les étapes suivantes: - prévoir un substrat à surface supérieure isolante com- prenant au moins une région conductrice; - former, en particulier au-dessus de la région conduc- trice, une portion de couche d'un produit sélectivement attaquable par rapport aux surfaces apparentes du substrat; - former au-dessus du substrat et de ladite portion de couche un sandwich comprenant: une première couche conductrice, une couche isolante, 20. une deuxième couche conductrice; - graver ledit sandwich pour en laisser en place une première partie sur le substrat et une deuxième partie sur ladite portion de couche, cette deuxième partie étant conformée pour per- mettre le passage d'un courant dans la couche supérieure dans une direction principale orthogonale au champ à détecter; et - éliminer par attaque sélective ladite portion de cou- che, d'o il résulte que la deuxième partie se trouve en surplomb audessus de ladite région conductrice Selon un mode de réalisation de la présente invention, les couches conductrices sont des couches d'aluminium et la couche d'isolement est une couche d'alumine; le substrat est une plaquet- te de silicium revêtue d'oxyde de silicium; et la région conduc- trice est une portion de couche de silicium polycristallin dope. Selon un mode de réalisation de la présente invention, le produit sélectivement attaquable est du silicium polycristal- lin ou une couche de résine. Ainsi, un micromagnútomètre selon l'invention présente une structure d'aile vibrante particulièrement légère puisqu'elle comprend seulement deux couches minces de métallisation, par exemple un sandwich constitué de deux couches d'aluminium séparées d'une couche d'alumine. Cette structure vibrante extrêmement légère aura une fréquence de vibration élevée qui pourra, comme cela sera indiqué ci-après, être choisie par le concepteur. Celui- ci pourra notamment sélectionner la dimension de l'aile vibrante, ou le métal en constituant les diverses couches conductrices. Si on compare un micromagnétomètre selon la présente invention à un micromagnétomètre à ailes en silicium selon l'art antérieur, on notera que le micromagnétomètre selon la présente invention pré- sentera un coefficient de qualité Q plus important, cest-à-dire une plus forte sensibilité. Ces objets, caractéristiques et avantages ainsi que d'autres de la présente invention seront exposés plus en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite en relation avec les figures jointes parmi lesquelles: la figure 1 est une vue en coupe très schématique d'une structure selon la présente invention; la figure 2 est une vue en perspective schématique, correspondant a la figure 1; les figures 3A et 3B sont des vues en coupe transversale et longitudinale d'une structure selon la présente invention; - les figures 4A, 4B et 4C illustrent très schématiquement un aspect du procedé selon la présente invention; et la figure 5 représente à titre d'exemple et partiellement sous forme de blocs le schéma électrique d'ensemble dfun détecteur selon la présente invention. Le principe d'un micromagnétomètre selon la présente in- vention va d'abord être exposé en relation avec la vue en coupe de la figure 1 et la vue en perspective de la figure 2 qui illustrent de façon très schématique certains aspects de la présente inven- tion. Selon la présente invention, il est prévu une poutre constituée d'un sandwich comprenant une première couche conductri- ce 1, une couche isolante 2 et une deuxième couche conductrice 3. Une première partie du sandwich repose sur un substrat et une deuxième partie constituant la poutre est en surplomb par rapport à ce substrat. Comme le représente mieux la figure 2, la deuxième partie comprend, du moins en ce qui concerne la couche supérieure 3, un segment. 4 orient& selon une première direction sensiblement parallèle à la limite 5 du substrat au delà de laquelle cette deuxième partie se trouve en surplomb. Ce segment 4 est solidaire de deux bandes 6 et 7 qui lui sont orthogonales et qui se prolon- gent sur le substrat. En d'autres termes, la bande 6, le segment 4 et la bande 7 constituent une portion d'une spire électrique per- mettant de faire passer dans le segment 4 un courant électrique de valeur choisie, par exemple un courant alternatif. Ainsi, en fonc- tion de l'intensité d'un champ magnétique B orient& perpendiculai- rement à la direction principale du segment 4, la poutre constituée par la partie en surplomb se défléchira plus ou moins si le cou- rant est continu ou oscillera plus ou moins si le courant est al- ternatif (par exemple à la fréquence de résonance mécanique de la poutre). Dans l'exemple de la figure 1, le substrat est constitué d'une plaquette de silicium 10 revêtue d'une première couche d'oxyde de silicium 11 ellemême revêtue d'une deuxième couche de silicium 12 constituant une marche au-delà de laquelle la deuxième partie du sandwich 1, 2, 3 se trouve en surplomb. Pour détecter les dé- flexions ou les vibrations du segment 4, une portion de couche conductrice 14 est disposée sensiblement en regard du segment 4 -nou c) ú mnuTmnlvp anznoz amtxnap aun a '(anblmaaqz uopevpgxo aed aldmaxe aed) Z auîmnlep auevlos; aqonoo aun i(apT& snos uoti -vaodeu xsd aldmaxe led) t mnTu;mnTep aqonoo a-t-imad aun saam -Io; luamaaTssazns luos gaitnsua 'qmoldlns ua aenoil as alla,nb 0C :zna& uo uop aguuopuam snssap-iz qTlppues np aTiXHd am xnap eT ap snossep ue luemmelou iaanozl as inod aAeag:Sa pnb-ZZ u7T-e -sTlazúod mnTzTIts ap aqznoD aun agumo; ise aqpnOz allez ans *TZ mn-iz;Ts ap apfZxol ap eîduaxe.ed TeBa ammoo is;$m TTlBqzD?,T e sagea: sed iuos au sanqnoz saslaA. -TP sep salBagieT SuOTSUamTp la gSaassTBd, 981 exemple conformément à la représentation de la figure 2. Après ce- la, la couche 22 de silicium polycristallin est éliminée par une attaque sélective par rapport à l'oxyde de silicium, à l'aluminium et à l'alumine et l'on arrive à la structure illustrée. Bien entendu, la succession d'étapes décrite précédem- ment ne constitue qu'un exemple des nombreux procédés possibles de réalisation de la structure selon l'invention. En particulier, on pourra prévoir diverses étapes de planarisation pour que la surfa- ce supérieure de la couche 21 soit plane et pour que la surface supérieure de la couche de silicium polycristallin 22 se prolonge au même niveau par une surface d'oxyde de façon que la surface su- périeure de la poutre soit plane, comme cela a été représenté en figure 1. On pourra ainsi prévoir sous les couches 1, 2 et 3 un conducteur destiné à compenser le champ à mesurer et faisant par- tie intégrante du micromagnétomètre. D'autre part, de nombreuses variantes sont possibles quant aux matériaux utilisés. Alors que le silicium et l'oxyde de silicium sont les matériaux les plus couramment disponibles - aujourd'hui, d'autres matériaux analogues pourront être utilisés. En outre, au lieu du silicium polycristallin dopé de la couche 14, tout autre matériau conducteur compatible avec le procédé de fa- brication pourra être utilisé. De même, au lieu de deux couches d'aluminium 1 et 3, on pourra utiliser des couches d'autres métaux ou alliages métalliques, tels que Ti ou Ti-Cu, du moment qu'elles aient une tenue suffisante pour permettre leur formation en sur- plomb et une conduction électrique satisfaisante pour laisser pas- ser le courant i destiné à interagir avec le champ électrique B pour fournir un déplacement en raison de la force de Laplace. La raison essentielle pour laquelle on préfère actuelle- ment utiliser comme substrat un substrat de silicium apparalt dans la partie droite de la figure 3B. En effet, le procédé décrit pré- cédemment est compatible avec la fabrication simultanée de tran- sistors MOS dans la plaquette de silicium 10. Comme le notera l'homme de l'art, la grille 25 d'un tel transistor MOS pourra être formée à la même étape que la plaque conductrice 14. En outre, bien que cela ne soit pas représenté dans les diverses figures par souci de simplification, il sera clair que les diverses couches conductrices se prolongent vers d'autres cou- ches ou vers des plots pour assurer les connexions nécessaires, une des étapes de fabrication finale consistant à réaliser des contacts avec les plots mentionnés. Les figures 4A, 4B, 4C illustrent de façon générale la formation d'une poutre en surplomb selon l'invention. Comme le représente la figure 4A, sur un substrat 30 est formée une couche 31 d'un produit sélectivement attaquable, revêtue de couches min- ces 32 du ou des matériaux dont on veut constituer la poutre. Ensuite, pendant l'étape illustrée en figure 4B, la poutre est gravée selon la configuration souhaitée et enfin, comme cela est illustré à l'étape de la figure 4C, le produit sélectivement atta- quable 32 est éliminé. A titre de matériau sélectivement attaquable, on a sug- géré précédemment l'emploi de silicium polycristallin. I1 pourra être plus simple dans certaines applications de prévoir une couche de résine. Si on désigne par 1 la longueur des bandes 6 et 7 ortho- gonales au segment 4 (voir figure 2), par L la largeur de ces ban- des et la largeur du segment, par L0 la longueur totale du segment 4, et par e l'&paisseur. totale du sandwich comprenant les éléments 1, 2 et 3, on obtient avec une structure du type illustré en figu- re 2 oh e - 2 pm: - une fréquence de résonance de 160 kHz avec L - 30 pm, 1 - 60 pm, L0 - 120 pm, (une accélération de 1 g correspondant a un champ magnétique de 1,5 nT, alors qu'elle correspondrait à 103 nT pour un microma- gnétomètre comparable à aile vibrante en silicium); - une fréquence de résonance de 1,4 MHz avec L = 20 gm, 1 - 10 pm, L0 - 40 pim. C'est un avantage de la présente invention, dû notamment a la faible masse de la poutre, que de pouvoir obtenir des fré- quences de résonance aussi élevées qui permettent de s'affranchir des vibrations ou accélérations parasites existant couramment dans les systèmes macaniques, et de diminuer le bruit inversement pro- portionnel à la fréquence du système électronique de détection. En outre, et comme cela est souhaitable pour une bonne ditectivité, le procédé de fabrication selon la présente invention permet d'obtenir une distance entre les deux plaques d'électrode 4 et 14 permettant de détecter des vibrations de la poutre selon l'invention de très faibles amplitudes. Si cette distance faible permet d'obtenir une capacité de valeur mesurable même pour de pe- tites dimensions de la poutre selon l'invention, elle présente un inconvénient en ce que l'air inclus entre la poutre et la plaque d'électrode de substrat tend à amortir les vibrations. Pour s'affranchir de cet effet, on montera de préférence une structure selon l'invention dans un capot mis sous vide. La figure 5 illustre très schématiquement le montage d'un capteur selon la présente invention. Dans le schéma de la figure 5, la spire ou portion en segment de la couche supérieure 3 dans laquelle circule le courant i destiné à interagir avec le champ magnétique appliqué pour faire fléchir ou osciller la struc- ture est désignée par la référence 40. La partie de la couche infé- rieure 1 du segment 4 constitue une première plaque, reliée à la masse, d'un condensateur 41 dont l'autre plaque correspond à la surface conductrice 14. Cette deuxième plaque est polarisée par une connexion à une source de tension VCC effectuée par l'intermé- diaire de deux diodes tête-bêche 42 et 43. Cette deuxième plaque est également reliée à la grille d'un transistor MOS 44, normale- ment un transistor formé dans la même structure, comme cela est représenté dans la partie droite de la figure 3B. Le montage de polarisation à deux diodes tête-bêche permet de polariser la gril- le du transistor 44 à la valeur de la tension VCC. Le signal de sortie amplifié par le transistor MOS 44 est encore amplifie par un amplificateur haute fréquence 45 agis- sant par l'intermédiaire d'un circuit d'asservissement 46 et d'un transistor MOS 47 connecté en série avec la spire 40 pour asservir le courant dans cette spire 40 à la fréquence de résonance de la poutre (valeur maximale du signal de sortie). En outre, on peut prévoir un conducteur de compensation 50 disposé par exemple sur le substrat précédemment décrit et qui est asservi par un démodu- lateur synchrone 51 et un circuit d'asservissement 48 pour mainte- nir à une valeur très faible l'oscillation du capteur selon l'invention et améliorer la linéarité des mesures. Comme cela a été indiqué au cours de la description qui précède, la présente invention peut être soumise à de nombreuses variantes et perfectionnements qui apparattront à l'homme de l'art, notamment en ce qui concerne les matériaux utilisés. Divers procé- dés de fabrication pourront être choisis parmi les procédés clas- siques dans le domaine de la fabrication des circuits intégrés. En outre, on pourra prévoir des variations de forme de la poutre vibrante. Par exemple, la couche conductrice inférieure qui sert de plaque de condensateur n'aura pas nécessairement la même découpe que la couche conductrice supérieure qui sert à lais- ser passer un courant interagissant avec un champ magnétique. On pourra aussi prévoir de charger la poutre, par un revêtement iso- lant, par exemple en SiO2. On pourra également coupler deux struc- tures symétriques de façon à éliminer certains effets parasites. REVENDICATIONS 1. Micromagnftomètre à détection capacitive caractérisé en ce qu'il comprend: - deux couches minces conductrices (1, 3) superposées, séparées par une interface isolante (2), et formées sur un subs- trat isolant, au moins la couche supérieure étant gravée pour com- prendre un segment de couche (4) rejoint à ses extrémités par deux bandes parallèles (6, 7) orthogonales à ce-segment, ledit segment et une partie desdites bandes ainsi que les parties correspondan- tes de la couche inférieure étant situés au-dessus d'un évidement du substrat;. - une surface conductrice (14) formée dans l'évidement du substrat, au moins en regard dudit segment; - des moyens de connexion électrique aux deux bandes pour y connecter une source de courant; et - des moyens de mesure des variations de capacité entre la couche mince inférieure et la surface conductrice. 2. Micromagnétomètre selon la revendication 1, caracté- risé en ce que les couches minces ont des épaisseurs de l'ordre d'environ 0,1 à quelques micromètres, en ce que ledit segment a une longueur de l'ordre de quelques dizaines à quelques centaines de micromètres, et en ce que les parties en surplomb desdites ban- des ont des longueurs et largeurs de l'ordre de la dizaine de micromètres. 3. Procédé de fabrication d'un élément capteur de micro- magnétomètre, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes consis- tant: - prévoir un substrat à surface supérieure isolante (10, 11, 21; 30) comprenant au moins une région conductrice (14); - former, en particulier au-dessus de la région conduc- trice, une portion de couche (22; 31) d'un produit sélectivement attaquable par rapport aux surfaces apparentes du substrat-; - former audessus du substrat et de ladite portion de couche un sandwich comprenant: une première couche conductrice (1), une couche isolante (2), une deuxième couche conductrice (3); - graver ledit sandwich pour en laisser en place une première partie sur le substrat et une deuxième partie sur ladite portion de couche, cette deuxième partie étant conformée pour per- mettre le passage d'un courant dans la couche supérieure dans une direction principale orthogonale au champ à détecter; et - éliminer par attaque sélective ladite portion de cou- che, d'o il résulte que la deuxième partie se trouve en surplomb audessus de ladite région conductrice 4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que lesdites couches conductrices sont des couches d'aluminium et la couche d'isolement est une couche d'alumine. 5. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que le substrat est une plaquette de silicium revêtue d'oxyde de silicium. 6. Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ceD que la région conductrice est une portion de couche de silicium polycristallin dopé. 7. Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que le produit sélectivenent attaquable est du silicium polycris- tallin, la couche de silicium polycristallin selon la revendica- tion 6 étant elle-même préalablement revêtue d'oxyde de silicium. 8. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que la couche de produit sélectivement attaquable est une couche de résine.