FR 2642188 A1 19900727 FR 8817615 A 19881230 sgg:od:oid-uou SulOiPU. Xfu rjUti TuDztm O po T ap:fnAP.zi - la 'aDPTd ua JassSeT InaA uoT anb àDUIMt tjnoDo Tl ap sIuatmaOTdwa xne iuepuodspa otD '(aAT!2ezU aUTsal) SagTOSU.T -uou no (aa!T2sod auTsai) SaT0osuT sal:Ied saTnas saT aDeTd ua iassTelmnod Oanbsr ap aunoD eT ap uaiaddoTaA;p - 5i T:Iom aT uolas àenbse.I ap aevnoz eIT ap UOT:l-TOSUT - aV1Tsuaso1fold au-s5a a;CTadde v 'qTsLasol aenbseia ap îtjDnoD dunp aDooT aeDnoD auiaD tns]gdap - sajaild sap na.am.aefsg3' m" anocl,3'p.z t' InVA uo1, anb DvUW a34zooz eT ap 3'zsqns un aris 19d) - -anbTsselD aSOdmioD aps r-AIaOtUITTOtId anD,' d'a au}r lnAeaouti:Tot1d-2p sàtFl sap smai.u$:inoav'iD gP tio!il -. 1P. 2p s$Sr's X Sap uo TtDijqep Pl P -D OT CM"2p 'iTeuAt 0t42 - -al' Sou o>zoqt d ap sauqt1.o au.mTa[tn-Taa snTd nI e6noDa:npuozm.zs.p uTo1- -_TJIgq Psp seI-tMze s'T 8uJaauOD WUO 'AnUT auusgad te AEIwM4 Ma4 Iw34 ïy _.Mauw bl3iLq '3Q 41e 8Lz9- zuamaddolaAag si.de '2SP2 ap S-T1t20o sap Jed auT0SuT 'DuTs5a ap i44Z -nos aun,p an2aaa a2an:nTd auii auu.Luasz.ada [ i *- : sTelanbsaT Tóedc sapllo[ s$wanSTI saT Daev uoTjeTai ua aTe; U aeinpvi zd UOT2ESTTTD,9p aJOp un,p PlueATns uoTIdTISPap eT SueP TWgp ua snld sasodxa auoaas uotruaAuT aaups:id eT pP sPa3np anb TSUTv sPia2U1ZAL 2 ae ae saT1LT2S asTs '2.4qo Sa, sZaUama1DeTdme saD suPp PDPTd va 1uam lT24_ed suio r:e n ava:ap eTTa no -SD ne 9>odd.- sd s -oeq:'os Sapnl,1aeTdia sBvp a;u'ti ç -TT3 -Uslula. 2TdozI ts 1! pusSi ry t Q. SeD =T sueD u 1UU-wTp R2elilsuc-D. sa;2S-JnbOD aT xL' spide-Ta i-iiJa aT tioaà wt v ua TI uUOt2e:tASqO.aftAe:1: zaatddoTaep Sde PsngJ"TA r:o:t -TsuJl2 ap ainrae1EdMea es ap snes;p-nY:ueji ntlD eT ua a-tS15 ET lanT; iJT:J;.p sPssP p -Ti 2TIDaP.i:tat2ur 2E'T ID a OD C ripn T1 (, -Dua..l: e' suep pruVeOA-9d u= 3Ua2ze!S3-.tlo 2aJ *UTQâ514UO21é 2t:aL TTDe "PUrJ T *P srild.9p zo arlud- e-s3!DElllD-n;: AeSzud8) durL aToA*jd ap 3 a VOilVLteit,a-4MWs'd 14 -a >aLf un 't&vtv sdm;Da np un;a.UO1TTs Un4TP.s7 U? IF çte4sseeq Ctc g t1 T9 adovsoazm un:ue&ijj,,=i ua eo.is-o.ad el j:aó'Ci."Il;3nad kg ÀneIdLTaado, c -[ re t ua UnG. ar:b uoPePJdLa3UT, ap puadap TIIa. esTliDadm!i zad eaane,p 'a (atjDnOD elT ep aTe30 -ir:sFT$ed.,T inod a2QjmoaDTtu np.p.OT ap %Tdiiaxa.ed) aUTSaa eI,p lnssTIedgT 01 eXal9!agu sa -aàJ*tlUTm nD à1 .O ap Inapuo;old eT 1 f afnal -eagdo,T anod aTCTU9d Usa uoTu.aFdo a:27aD.atLTS. vT aP lrAaAj2jns aT- TT,nb sues 'S;zTI4flnos s2uvauilTdua xne au.IL TTa 2Uacma-Tld'loo :sa aulsa. eT TanbaT anod g-iom jaamaiad aT a _ID--- '-S aT e -Tudo uo.TnToOSa eT e' puodsalaoz -tnb- nTa$ 1auvOT1DETls Jnod sgI: -Ouw sap unDqz "(0(O0d _ 0oç0) uaumasstssoi2 a3oJ 1 sdozsoizDm snos 9A;asqo UO 'auitga. er ap 2uamaddoTaADD sidt 'c;. tsu..tiSU *puuaxou an9TeA eT r 2JOddeL j7d;C.TWQ sVl: maeTeA sun,p uot23sodxa,p au!UDLU eT ap 2utod ne a-CTl r vl uToeA 2T UO ' c0T2OIf ar ' I970 -Old UO TanbaT a:s ZauleL-ZTd(aL b - tià hbet.}n o 'JPWx01 ?p snssazood np siol alienbuTd eT ans jamloi o naA uojI anb sDnd 9D sluewvzTdme s3Ia!p xne aTdmaxe aed auppuodsaiaoD s3uu2azpTdma saz aleainbuTd el ap sltuamaezldme squeaCj3T;p ua isz ap glotu amarm un aAiSSaDDnS je aATA aSgd9a uobel ap 'ssai allanbvId aun ans a]@p -ond uo I9auT2glaz lan3oDaJa inod 'anDTSSCTD uO5e; I uoIleDTiqa ap Pu-Zetl aun supp Jnor Id s!o; aun suToM ne luawuipainoz lanb!DoTlgd PzvT;9Ja un Duop 2!s$9Ds, u TDaD 'aulUDemu a3iao 9p SaieTtgao ap SeTTan3uiDa9 suntoLPD;pom sa-, g auautJaua uoTilsodxa,p 3uivDvw vT aAnOla 3S InbaT sueD aio9d YI ap alaqgmoJSU.,p no ePn3adm:9p SDOT3LBA S'&T 3U anbT]llo lUeM -alaITnDT1led Isa iuiod ne asTM 9p adeI3 anZZPD 'UOloTU nD; 2rpO,T ap inaBv-I aunp s3%a3.- sp!U!jgp e a43aUD UO;T no SaUJ7ep -om sa-E5OTOuTlOl sap aapl:l sueP a.1Sla=xP-P Da xr (xarv eu (Oz no aaFlsod auFsga) Sannggu no 9xuazz dr:s auo3as SnuaaGo s;IOD saT 4aUlS*J el o, a3u OTaAP nP sJv ó3'T aDAea% no ee ap aauelSeul 9-aUTI-4?lé Le-;>3UÉA; dor-l isa auTod nv;4slrao anapuojoad eT anb no ' S ISSaDX9$D uO3L'TOSUT!T TS ' l] FJA I Àag!aVUa 9al1 anp =-r-ne -11a Qno,p sauoz sap sueP ZuP:':iaddOTaAag g siade aoeid ua auauaTca;!.ud eaanuam!nb 9TQ!suasozoud auTs*a vE,uauimtsT!4jns aauuoTssaidE- sed au ep anb6Tj uo;auesT-nsu! Asa uoTilosuip asop el anb no (anoD do3 juiod ne esiL) uod ns 3uaa-rqieuaAuoD sed 3seu auTsg? ap ailDnoD I 4r's cat-loz 3nafI UOI anb aribsvtu np Veul, Is 'iaj;a ul anae3d5aozolqd ur. aldmaxa 0t * 3?d 'snuuoa sleiredde saaàtp avd a-gnuDa) a a33a 3nad Fnb 'auTs$l ap aqDnoz -e aP uoVieTosu!,p adeaa9,I supp apTsCi snssaDood aD ap 9To sadel9 sap aun -ainAea2 ap Cp5aDoid aI a$os enb Tan Àadoilos! ainaea ap sgpa5Dood saT la adoilos -Tuv ainAua2 ap sgpqzold saT anb IsuIv (?msvTd unp aDua$gsd ua) g aquDS ainAea2 ap SgP*. oo0d saT la (anbevavp uTvq un suep) Pplmnq ainaeJ2 ap Sgpgvopd SaT Ja!D inad uo 1sgpCDoid saD!aueè -saDuirm samgnoD sap aànAna2 el inod sgddcTaCp;Cle Iuo sCpgDoJd xnraqmou ap bs3na-npuoDsp bad au!emopaTsurp 'IuPaTV sp ainleBaduwa i'- 1-aed eaneé, 3UeBSIIlTnScl una'', -inog 3 (au u:TnBs. sapuoDs p SUTPZIP SanbT'anb) a2anOo SQ3 9? -np aun auTpuad.nza;3: a'a 3nad 31:rizl aT y uapCzC-d iTddu:xaT anbTpuTsT.mmoD '-p- u2 sdus p re.d pu3ida xnaarjoi 3u:o G -adTlnb.unlDfe,sD eSSi T u!':tuusu '-TdLLTs tmUIa1 TrTn aed 3sa uoT2tUoAUT auas.d Br UOTJS nJooad aT anb ?aj-ou uo - *éTo.it. i@T1 -ad rT aDv lnin SUep anb.anS!; eT ap ali{ne at2ed ET aD sea eT suetp alo; snld dnozn13oq zuoD P17S ?Iuv!ânnT.,SUa3u.s' 'LIS93 5 am n2ata: MnnTDT-[TS np Tr1T-D P:ui.T1dfs seJi zsz- AU *tlztTTs ap inalzaTea IToAnod rT '2ututap.ard lb.-[puL uLnti-LTs p a:r-isc!ns unzp SBD,aT suef 'aTdM;:4x@ IE-à P1",; L ?llL- aP op'kTi T et ijtllla -éTjda jliOaoi zr a.2ocdeLi Ed (y.7o- eT s'ep s>r1;d sucs,TT1-Ed- sapueq SaSnviqC,,ou 3p dnb IDU=_IdfliO 3ne;: Ix),-Q[qL suB,p u.tXTa O- ap 3U.T3ao> un 3iuips.ad - ".n-; eT ap atDnef 'sT e a.auBs -C.adez alTaD arb eTI4: ?artL2D.Ps ú]il PT Duï np PZld1roD uotIg]!-o -eIioIne aun lfoagaId êp stD nsua aúlïjad [nb aeD -n[,ado eI3;ooEl -qa oed Japcid atlnod uo 't.l.7Euo3ne snTd t,.oS ounja Z1o!TO5UT 3uew STesJnflSUT n Sl3o0Z SP1 Sga'î-2 SUPD r-redsTp SI 2UO 3D0I3ID ep sno SDOZl;T rnb s.aoTe fTpI$!T lu-:nn-Au s-a3 3D3Jo1oD ap snoa Sp $ iu-12ocuoz -guoz Sa 2aOIUOd 1T UQZ, Sv. rT tood ne esTIb Etp atoz E>T vtUjwl:tdp u0 ( P ci ap enbTido adoDsojD-o tin TasTT. n rTdLuxve Jed -jL2nod uO 'i TtOe. auemamaixe aueTaûp alloiD e I uBs.da'!nTPo 3l P.ln2T3 ET PP;1UDTL --ne ' 9usdJ s -T xzuT uo!TTDuP:a;-.p eT 'BenTI ep adr-dEa a3la3 saJdE '2aleT ?P PMOUJT PJDu.OdL-Oz alT PRBL:O. 'TSU!V np aTniezCdml3 eT la a.anp eT uoTas. lTnpuo uama.aelET sUoM no snTd TT;old un! JaaTJIe Inod aITeplpgmiaauuotaJ eT ap 3uam'Lqmot0o un au1ea3ue vBenT; aT 'i sapaeq seI aJaua alsTxa PuTs9" ap bllznoD azulm aunnb si!p 'z e;u[T eT ap PiToip azaied LT aiuasajdaa aT ammoD 'Bauo' a-d 'c - ln. eT ap iioneB2 alzlied ET SUep; uasgjdaj 3sa Tub aD saBsD,éalneT apuq aun1p janlT. sed pueq au aurTsg 4 - la figure 2 représente cette même plaquette après réali- sation c'une étape de fluage selon la présente invention. La figure 1 représent- à titre d'exemple, une couche de résine, par exemple une couche polymère novolaque, formée sur un substrat 1, par exemple un substrat de silicium. La couche de ré- sine a subi le traitement classique d'exposition à un motif de test, par exemple en forme de bande, et de développement. A la partie gauche de la figure, on petit voir en coupe une région cor- respondant à une insolation optimale dans laquelle il demeure des bandes de résine 2 entre lesquelles apparat la surface 3 du subs- trat de siliclum. A la partie droice de la figure, la résine a été insuffisamment intolée et l'on trouve entre des bandes 4 de résine des régions o deneure une couche mince de résine 5. Cette couche peut d'aiLleurs êtr, d'épaisseur inégale et laisser partiellement apparaltre la surface du subti de silicium. tour donner des or- dres de granudeur, i'épaisseur de la couche de résine au niveau des bandes feut être de l'ordre du micromctre, et les bandes peuvent etr, réalisées à un pas de 1 à 3 microeatres. Quant à l'épaisseur de la couche 5, elle est extrmeMent faible puisqu'elle résulte du 23 dernier réglag.. roche du réglage optimal. il en résulte, comme on l'a indiqug précédFtt que cette couche 5 est très peu visible. pour un ob9era8teur et, en rai.pn de sa très faible épaisseur de- [ unes, 10Aóeu? à'onde opti ue, diedle-flement décelable par ré- flecton&túrie, par rapport au ca.5 oiD le est absente. 4ipi, le proc&dà selon la présente invention propose comme le montre la figure 2 de soumettre la plaquette à une étape thermique à une température supérieure à la température de fluage (ou température de transition vitreuse) de la résine utilisée, par exemple, Dour une résine Kodak XrI 820 une température.de l'ordre de 1D0 à 11d' pendant quelques dizaines de secondes. On s'aperçoit alors que, dans le cas oà la résine a complètement été éliminée entre les bandes t L'allure. de ces bandes se déforme mais il eiçite un p iêt dc'ecrr4,7: l'inerfàace r&%ina-Substri et la 33 U eS313D' UOT16*TPUBttZu 8T U9Trs5 apJOILiA*t L'@a ?PeTS3i- unsp JfnO"I)P utod ne l asTlu -el SaeTffi Sep e:lUuodaa3JoD S]DaS.T' 2uLod ne SeSl SW T S an i3D uia Il39zlD01 ?1ra:1 ?T 01es -îRDGJD * az> ua JîT viola& efe-tsel et rt,$o 1 so r aun L a1anLeTd eT.Jm-B.Od P 1U92S:SUOD el:4> ': ( sa6e SDT ea' '>teIo U9 PL a.J4OD TTlP1b -iD ua 1:1 3uTi"ZEu 1T inodWtpLeGSal3jD â; eT d UO1teTOSUTT zau-Luiiài jlnod ezi3nboeTd Lr iTu- t:eia (ú :;3Sga1 el1 39oOIFaP (G UOTITOSUT a6bB anod Dan4L;;a 2ute: eujgTp lu!od nF es.m. aun 'SIuamuuieTdia guuup..j;îp uç zuair, - aAlssa$Dns 'sSi aP;jou] un aed au!sal eT aaTOSU- (I : saueATns s edea saT ueuaidmoD '>uTs*a aun,p aneA al a3lanbeTd aun jns anbTqdP.aoq!TTOlOqd uolTlsodxa,p eulTtDeu aun,p aUTod ne esm. PT ap UCT UIu,ap:P D p Da. od '1 zW 9,zt Q23 /.. 881t9E Bien entendu, La présente invention est susceptible de nombreuses variantes qui apparatrvet à i'homme de l'art. On a ex- posé cl-dessus l'exemple d'une plaquette de silicium revêtue d'une couche de résine. I1 pourra s'agir d'un autre substrat adaptr au processus que l'on cherch, à mettre en.oeuvre dans une fabrication réelle. Par exemple, le substrat pouTre comporter une couche supé- rieure d'oxyde de silicium, de métal, de nitrure de silicium, de polysiliciure métallique, etc. D'autre. part, on a lndiqu& ci-dessus que le procédé était mis en oeuvre sur une p[luette test. On pAmurra e&alement le ietr eu oeie eo p tiiî J une plaquettC. réelle d'un lot fLaluet te-s à traiteOr.