FR 2643145 A1 19900817 FR 8901900 A 19890214 PROCEDE ET DISPOSITIF DE DETECTION ET DE MESURE D'UNE GRAN- DEUR PHYSIQUE L'invention concerne un procédé et un disposi- tif de détection et de mesure d'une grandeur physique, au moyen de capteurs qui comprennent chacun un élément sen- sible à la grandeur à mesurer, et dont la transmission spectrale varie en fonction de cette grandeur, ces capteurs étant éclairés par un faisceau de lumière incohérente et transmettant des signaux lumineux à des moyens d'analyse spectrale, au moyen desquels on détermine la valeur de la grandeur physique. On connaît déjà, par exemple par les demandes internationales WO 87/05691 et WO 87/05692 de la demande- resse, des procédés et dispositifs de ce genre, dans les- quels les capteurs utilisés sont du type interférométrique et réalisent une modulation périodique du spectre de la lu- mière qu'ils transmettent, à une fréquence de modulation caracter:tL:ue nue varle en fonction de la grandeur phy- sique à mesurer. Les moyens d'analyse sont également du type interférométrique et permettent de réaliser, par transformation de Fourier, une démodulation des flux lumi- neux Issus des capteurs. Cette transformation de Fourier par voie optique du flux lumineux modulé par le capteur permet de détecter la fréquence caractéristique de modula- zion dans le capteur, et donc la valeur de la grandeur phy- sique à mesurer. La présente invention a pour objet un procédé et un dispositif du même type, mais faisant appel à des moyens différents d'analyse des flux lumineux issus des capteurs. Elle a également pour objet un procédé et un disposatlf de ce type, permettant de réaliser le multi- plexage et le démultlplexage des signaux émis par diffé- rents capteurs soumis à une grandeur physique à mesurer. Elle propose, à cet effet, un procédé de détec- tlon et de mesure d'une grandeur physique, consistant à éclairer un capteur de type interférométrique sensible à la grandeur à mesurer par une source de lumière incohérente, à moduler de façon périodique le spectre du flux lumineux dans le capteur à une fréquence qui est fonction de la grandeur à mesurer, puis à démoduler de façon statique le flux lumineux sortant du capteur, au moyen d'un interféro- mètre démodulateur, et à analyser le spectre du flux lumi- neux démodulé pour en déduire la valeur de la grandeur phy- sique, caractérisé en ce qu'il consiste à utiliser un appa- reil d'analyse spectrale du flux démodulé qui a une résolu- tlon optique telle qu'il est insensible aux fréquences de modulation générées par le capteur et par le démodulateur, et à analyser dans le signal démodulé uniquement une modu- lation caractéristique d'une fréquence de battement entre la modulation spectrale due au capteur et celle due au dé- modulateur. L- procédé selon l'invention permet donc, par utilisat:on d'un appareil d'analyse spectrale ayant une ré- solution peu poussée, d'obtenir la valeur de la grandeur physique à mesurer, non pas par analyse d'une modulation zaractérlst:que dans ie capteur, mais par composition de cette modulation caractéristique et d'une fréquence fixe de démodulation. Selon les cas, ce procédé consiste à mesurer la période et la phase de cette modulatIcn caractéristique de battement dans le signal démodulé, lorsque la fréquence de battement est relativement grande et supérieure à l'inverse de la largeur spectrale de la source lumineuse, ou bien il consiste à mesurer la couleur apparente du flux lumineux démodule, lorsque cette fréquence de battement est relati- vement faible et inférieure à l'inverse de la largeur spec- trale de la source lumineuse. On peut donc ainsi, par des moyens classiques de mesure de phase et de période, ou au moyen d'un spec- z trocolorimètre tel que celui décrit dans le brevet français 2 588 656 de la demanderesse, obtenir la valeur de la gran- deur physique à mesurer. Avantageusement, ce procédé consiste également à mesurer, au préalable, l'intensité du flux lumineux non modulé à la sortie du démodulateur, en réglant le démodula- teur ou le capteur pour que l'appareil d'analyse devienne insensible à la fréquence de battement précitée, puis, le capteur étant soumls à la grandeur physique à mesurer, à o multiplier le flux lumineux démodulé par l'inverse du flux non modulé, pour obtenir un signal à analyser indépendant en particulier des. transmissions spectrales de l'ensemble des moyens utilisés. Le procédé consiste également à éliminer le bruit haute fréquence présent dans le signal à analyser, par exemple au moyen d'un lissage de Fourier. De préférence, ces opérations sont réalisées par calcul sur un système de traltement de l'information. Enfin, le procédé selon l'invention consiste également à relier la source de lumière et le démodulateur à une pluralité de capteurs montés en parallèle et ayant des fréquences caractérlst:ques de modulation différentes, et à accorder le démodulateur successivement sur chacun des capteurs. 5. On réalise alnsi, de façon simple, un multi- plexage et un démultiplexage des signaux issus d'une plura- lité de capteurs soumis à la grandeur physique à mesurer. L'invention propose également un dispositif de détection et de mesure d'une grandeur physique, en particu- lier par exécution de ce procédé, le dispositif comprenant une source de lumière incohérente, un capteur du type in- terférométrique, sensible à la grandeur à mesurer et réali- sant une modulation pérlodlque du spectre du flux lumineux émis par la source, à une fréquence fonction de la grandeur à mesurer, des moyens de démodulation statique du flux lu- mineux transmis par le capteur, tels qu'un interféromètre démodulateur, des moyens d'analyse spectrale du flux lumi- neux démodulé, et des fibres optiques de liaison entre la source, le capteur, les moyens de démodulation et les moyens d'analyse spectrale, le dispositif étant caractérisé en ce que les moyens d'analyse spectrale ont une résolution optique telle qu'ils sont insensibles aux fréquences de mo- dulation générées par le capteur et par les moyens de démo- dulation, et sensibles à la différence de ces fréquences. Selon les cas, les moyens d'analyse spectrale comprennent des moyens de calcul de la période et de la phase de la modulation caractéristique, dans le signal ana- lysé, de la fréquence de battement entre la modulation due au capteur et celle due aux moyens de démodulation, ou bien des moyens de mesure de la couleur apparente du flux lumi- neux démodulé. Des moyens de suppression du bruit haute fré- quence dans le flux démodulé sont prévus, tels que des mcyens de calcul effectuant un lissage de Fourier sur ce flux. Le dispositif peut comprendre plusieurs cap- teurs connect-és en parallèle entre la source de lumière et les moyens de démodulation, ces capteurs ayant des fré- quences caractéristiques de modulation différentes, les moyens de démodulation étant susceptibles d'être accordés successivement sur chaque capteur. L'invention sera mieux comprise et d'autres de- tails, caractéristiques et avantages de celle-ci apparaî- tront plus clairement à la lecture de la description qui suit, faite à titre d'exemple en référence aux dessins an- nexés dans lesquels: la figure 1 représente schématiquement un dis- positlf selon 'invention; La figure 2 représente schématiquement un autre dlsposit:f selon l'invention, permettant le multiplexage et le démult-plexage de capteurs montés en parallèle. On se réfère d'abord à la figure 1, dans la- quelle la référence 10 désigne une source de lumière inco- hérente. Cette source de lumière 10 est reliée par une fibre optique 12 à un capteur 14 par exemple de type inter- férométrique, qui est sensible à la grandeur physique à me- surer. Cette grandeur physique peut être par exemple la température, un déplacement, un champ électrique, etc... Le capteur 14 réalise une modulation périodique du spectre du flux lumineux émis par la source 10 à une fréquence caractéristique qui varie en fonction de la gran- deur physique à mesurer. Le capteur 14 est lui-même relié par une fibre optique 16 à un système démodulateur 18, tel qu'un interféromètre de démodulation statique, produisant 51 un signal lumineux qui est transmis par une fibre optique à des moyens 22 d'analyse spectrale. Comme indiqué plus haut, ces moyens 22 d'analyse spectrale peuvent être, par exemple, un spectro- colorimètre à fibres optiques, du type décrit dans le bre- vet français 2 588 656 de la demanderesse. Le flux lumineux transmis par le capteur 14 est donné par la formule sui- vante: B' (a) - + B(a) Tl(o) l + cos2 ior(x>J o: B' (c est le flux émergeant du capteur 14, X est la grandeur à mesurer L (X) est la différence de marche variable o30 dans le capteur 14, est le nombre d'onde, Bz s. est le flux lumrneux émis par la source 10, Ti( 3) est la transmiss:on spectrale de l'ensemble fibre optique 12 - capteur 14. De maniètre similaire, le flux lumineux sortant de l'interféromètre démodulateur 18 s'écrit: ÉB"(o) ' B' (a) T2(a) fI + cos2fa0] o: B"( a) est le flux émergeant du démodula- teur 18, L0 est la différence de marche fixe dans le démodulateur 18, T2(c) est la transmission spectrale de l'ensemble fibre optique 16 - démodulateur 18. Cette formule s'écrit encore: B"(a) - B(c)T(o) [1 + cos2r.ta(x) + cos2Trco0 4 1 + 1 co52 (LA (x)) + 1 cos 2,ra(Z0 + A(x) +70 2 0 î avec:; = T c(.z.( r) L'appareil 22 d'analyse spectrale est conçu de telle sorte que sa résolution optique n'est pas suffisam- ment poussée pour qu'il soit sensible aux fréquences de mo- dulatlin générées par le capteur 14 et le démodulateur 18, ce qui correspond aux conditions suivantes: dà. (x) " 1 o Az est la résolutlcn optique de l'appareil _2 d'analyse spectrale. Le spectre enregistré par l'appareil 22 d'analyse spectrale s'écrit alors de la façon suivante: s(:) = 1 B()T(> Li + cos2?t (o0 - (x Le spectre vislble par l'appareil 22 d'analyse spectrale comprend donc une modulation à une fréquence ca- ractér:stlque de la différence des différences de marche optiques dans le capteur 14 et dans le démodulateur 18. La différence de marche optique dans le démodulateur 18 étant connue, on en déduit la différence de marche dans le cap- teur 14, et donc la valeur de la grandeur physique X à me- surer. S De préférence, on procède à un calibrage préa- lable du dispositif, de la façon suivante: On fait en sorte, par une action sur le démodu- lateur 18, que la fréquence de battement entre la modula- tion due au capteur 14 et celle due au-démodulateur 18 soit C telle que l'appareil 22 d'analyse spectrale y soit insen- sible. On doit donc avoir la condition suivante: a. IA0-,.(x X " ce qui permet d'obtenir la partie non modulée du flux lumi- neux arrivant sur l'appareil 22 d'analyse spectrale, c'est- à-dire: IB(CTT(c) Cette mesure étant mise en mémosre, il suffira de multiplier par son inverse le flux lumineux analysé pour obtenir un signal du type: l + 2+cos 2 a (A- A(x)) On peut aussi soustraire -- à cette expression et mettre 2 en facteur, pour obtenir une expression du type 1 + cos a x, qui est une modulation pure. Ces opérations-de normalisation étant effec- tuées, on peut ensuite, selon les cas, mesurer la couleur apparente du flux lumineux transmis, par exemple au moyen d'un spectrocolorimètre, ou blen mesurer directement la pé- riode et la phase de la modulation périodique de battement dans le signal analysé. De préférence, la mesure de la couleur appa- rente du flux lumineux est réalisée lorsque la fréquence de battement est faible et inférieure à l'inverse de la lar- geur spectrale de la source lumineuse, c'est-à-dire lorsque: A-0 (x) la modulation correspondante. Une autre possibilité consiste à supprimer, dans le signal analysé, le bruit haute fréquence, par exemple par un lissage de Fourier, les hautes fréquences n'ayant pas de rapport avec le phénomène étudié, et la va- leur maximale de la fréquence de battement étant a priori prévisible. On modélise ensuite le signal sous la forme i + accsb et on détermine la fréquence de battement par ajuste- ment (par exemple par une méthode des moindres carrés). Toutes ces opérations de normalisation, de me- sure et de calcul de la fréquence de battement sont réa- ilsees Par calcul sur des moyens de traitement de l' information. Il est avantageux de choisir la différence de marche optique dans l'interféromètre de démodulation 18 de telle sorte qu'elle soit toujours inférieure à la diffé- rence de marche optique dans le capteur 14, quelle que soit a valeur de la grandeur physique à l'intérieur du domaine de mesure. On évIte ainsi une ambiguïté due à la parité de La fonction cosinus. L'invention permet par ailleurs, comme repré- senr.é en figure 2, de multlplexer et de démultiplexer les ir.nformatlons provenant de différents capteurs, dans la me- sure o les fréquences caractéristiques de modulation géné- rees par ces capteurs sont suffisamment différentes entre elles. Le dispositif de la figure 2 comprend donc une source de lumière incohérente 10, reliée par une fibre op- tique 12 à un coupleur en étoile 24, lui-même relié par des fibres optiques 26 à des capteurs 141,...,14i,... 14n montés en parallèle. Ces capteurs sont reliés par des fibres op- tiques 28 et un coupleur en étoile 30 à une fibre optique 16 menant aux moyens 18 de démodulation statique, eux-mêmes reliés aux moyens 22 d'analyse spectrale. L'interféromètre de démodulation 18 est conçu de telle sorte qu'il puisse être accordé à chaque capteur 141,..., 14i,,,14n, c'est-à-dire que sa différence de marche optique peut prendre des valeurs accordées aux différences de marche optique dans les différents capteurs. On peut alors remonter de façon séquentielle aux valeurs de la ou des grandeurs physiques mesurées par les capteurs. Pour fixer les idées, on précisera à titre d'exemple que le ou les capteurs 14 peuvent être du type de ceux décrits dans les demandes internationales PCT préci- tées de la demanderesse, et que l'interféromètre de démodu- lation 18 peut être un interféromètre de Michelson ou un interféromètre biréfringent. o REVENDICATIONS 1) Procédé de détection et de mesure d'une grandeur physique, consistant à éclairer un capteur (14) de type interférométrique sensible à la grandeur à mesurer par une source (10) de lumière incohérente, à moduler de façon périodique le spectre du flux lumineux passant dans le cap- teur (14) à une fréquence qui est fonction de la grandeur à mesurer, puis à démoduler de façon statique le flux lumi- neux sortant du capteur (14), au moyen d'un interféromètre démodulateur (1l8, et à analyser le spectre du flux lumi- neux démodulé pour en déduire la valeur de la grandeur phy- sique, caractérisé en ce qu'il consiste à utiliser un appa- reil (22) d'analyse spectrale du flux démodulé qui a une résolution opt:que tel-le qu'il est insensible aux fré- quences de modulation générées par le capteur (14) et par le démodulateur 18), et à analyser dans le signal démodulé uniquement une modulation caractéristique d'une fréquence de battement entre la modulation spectrale due au capteur (14) et celle due au démodulateur (18). 2) Procédé selon la revendication 1, caracté- risé en ce que, quand la fréquence de battement est relati- vement grande et supérieure à l'inverse de la largeur spec- trale de la source de lumière (10), il consiste à mesurer la période et la phase de ladite modulation caractéristique dans le signal démodulé. 3R Procédé selon la revendication I, caracté- risé en ce que, quand la fréquence de battement est relati- vement faible et inférieure à l'inverse de la largeur spec- 0 trale de la source de lumière (10), il consiste à mesurer la couleur apparente du flux lumineux démodulé. 4) Procédé selon l'une des revendications pré- cédentes, caractérisé en ce qu'il consiste au préalable à mesurer l'intensité de la partie non modulée du flux à la sortie du démodulateur, en réglant le démodulateur (18) ou le capteur (l4) pour que l'appareil d'analyse (22) devienne insensible à la fréquence de battement précitée, puis, le capteur (14) étant soumis à la grandeur physique à mesurer, à multiplier le flux lumineux démodulé par l'inverse de la partie non modulée du flux, pour obtenir un signal à analy- ser indépendant en particulier des transmissions spectrales de l'ensemble des moyens utilisés. ) Procédé selon la revendication 1 ou 4, ca- ractérisé en ce qu'il consiste à éliminer le bruit haute fréquence présent dans le signal à analyser, au moyen d'un lissage de Fourier, puis à modéliser le signal et à déter- miner par calcul la fréquence de battement. 6) Procédé selon l'une des revendications 1 à , caractérisé en ce que les opérations précitées sur le signal à analyser sont réalisées par calcul sur un système de traitement de l'information. 7) Procédé selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il consiste à relier la source (10) et le démodulateur (18) à une pluralité de capteurs (141,...,14i, 14n) montés en parallèle et ayant des fré- quences caractéristiques de modulation différentes, et à accorder le démodulateur (18) successivement sur chacun des capteurs. 8) Dispositif de détection et de mesure d'une grandeur physique, en particulier par exécution du procédé S selon l'une des revendications précédentes, comprenant une source (10) de lumière incohérente, un capteur (14) de type interférométrique sensible à la grandeur à mesurer et réa- lisant une modulation périodique du spectre du flux lumi- neux émis par la source (10), à une fréquence fonction de la grandeur à mesurer, des moyens (18) de démodulation sta- tlque du flux lumineux transmis par le capteur (14), tels qu'un interféromètre démodulateur, des moyens (22) d'analyse spectrale du flux lumineux démodulé, et des fibres optiques (12,16,20) de liaison entre la source (10), le capteur (14), les moyens de démodulation (18) et les moyens (22) d'analyse spectrale, caractérisé en ce que les moyens d'analyse (22) ont une résolution optique telle qu'ils sont insensibles aux fréquences de modulation géné- rées par le capteur (14) et par les moyens de démodulation (18), et sensibles à la différence de ces fréquences. 9) Dispositif selon la revendication 8, carac- térisé en ce que les moyens d'analyse (22) comprennent des moyens de calcul de la période et de la phase de la modula- tion caractéristique, dans le signal analysé, de la fré- quence de battement entre la modulation due au capteur (14) !C et celle due au moyen de démodulation (18). ) Dispositif selon la revendication 8, carac- térlsé en ce qu'il comprend des moyens de mesure de la cou- leur apparente du flux lumineux démodulé. 11) Dispositlf selon la revendication 8, carac- i: térlsé en ce qu'1 comprend des moyens de suppression du bruit haute fréquence dans le flux démodulé, tels que des moyens de calcul effectuant un lissage de Fourier sur ce flux. 412 D3spcs t'f selon l'une des revendications 8 à 11, caracterise en ce qu'il comprend plusieurs capteurs (14i,..., 14i, 14h connectés en parallèle entre la source de lumlère (10) et les mcyens de démodulation (18), ces capteurs ayant des fréquences caractéristiques de modula- tion différentes, les moyens de démodulation (18) étant susceptibles d'être accordés successivement sur chaque cap- teur.