FR 2645940 A1 19901019 FR 8904836 A 19890412 Raccord perfectionné pour conduits de fluide, notamment de gaz de grande pureté L'invention concerne le raccordement de conduit de fluide. Elle s'applique avantageusement, mais non limitativement, à la fabrication de composants microélectroniques qui nécessi- te l'utilisation de gaz de très haute pureté, notamment lors des phases de diffusion. Pour une telle application, il èst nécessaire d'assurer une très bonne étanchéité au niveau du raccordement des conduits véhiculant le gaz de haute pureté, afin, d'une part, d'éviter les fuites, et d'autre part, d'empêcher l'entrée d'agents extérieurs dans les conduits, susceptibles de provoquer par exemple l'oxydation de ces derniers par interaction avec le gaz transporté. Une telle oxydation nuirait alors à terme à la qualité de fabrication des composants. Il convient également d'éviter autant que possible les micro- arrachements de matière qui peuvent éventuellement se pro- duire lors de l'opération mécanique de raccordement des con- duits de fluide. Il est encore sophaitable de minimiser la masse de tels raccords lorsque ceux-ci sont utilisés dans certains domaines, notamment aérospatiaux, dans lesquels le facteur poids est déterminant. Le problème posé par les raccords actuellement connus réside dans le fait que ceux-ci ne respectent que partiellement l'ensemble des contraintes exposées ci-avant. De plus, ce respect, même partiel, impose généralement une sophisti- cation du produit, ce qui en complique le montage, en augmente le poids et peut grever les coûts de production. L'invention a pour but d'apporter une solution à ce problème. Un but de l'invention est de proposer un raccord pour conduit de fluide assurant une très bonne étanchéité au niveau du raccordement. Un autre but de l'invention est de proposer -un raccord n'uti- lisant pas de joint d'étanchéité proprement dit, ce qui en facilite le montage. Pour, notamment faciliter encore le montage et diminuer les coûts de production, l'invention vise à proposer un raccord ne comportant pas d'éléments mâle ni femelle. Un autre but de l'invention est de proposer un raccord dont l'opération mécanique de raccordement proprement dite ne - conduit pas à des micro-arrachements de matière. L'invention a encore pour but de proposer un raccord-de fai- ble masse et de faible coût de production. L'invention vise donc un raccord pour conduits de fluide, du type comprenant deux embouts, ayant chacun une extrémité de fixation sur au moins un conduit respectif, et une face libre de raccordement, ainsi que des moyens de serrage mutuel de ces deux embouts opposés par leur face libre. Selon une caractéristique générale de l'invention, chaque embout comporte un corps métallique coaxial, alésé intérieu- rement en continuité de diamètre avec le conduit et offrant extérieurement, à partir de l'extrémité de fixation, une portée conique s'évasant vers une portée cylindrique; celle-ci est suivie d'au moins un épaulement plan en retrait vers une partie cylindrique centrale qui se termine par une section annulaire radiale rodée ou aboutit l'alésage interne. Chaque embout comporte également une rondelle de forme externe cylindrique en matière synthétique déformable, propre à s'emmancher à contact sur la partie cylindrique centrale de façon à venir en butée contre ledit épaulement plan; cette rondelle cylindrique possède une paroi annulaire radiale qui, avec la section rodée de la partie cylindrique centrale, forme la face libre de raccordement de l'embout; il est également prévu une bague cylindrique allongée, métal- lique, propre à loger intérieurement à contact les deux ron- delles et une partie au moins de chacune des deux portées cylindriques desdits embouts mis face à face, de sorte que les deux faces libres de raccordement viennent en regard l'une de l'autre'; les moyens de serrage mutuels comprennent alors deux demi-co- quilles possédant deux portées coniques homologues des deux portées coniques respectives des deux corps métalliques, l'enserrage de ces deux demi-coquilles assurant le raccorde- ment des conduits de fluide. Très avantageusement, les caractéristiques géométriques des embouts sont choisies pour permettre, lors de l'enserrage des deux demi-coquilles, d'abord une compression des deux rondelles en matière synthétique déformable, puis un contact entre les deux sections annulaires rodées. Selon un mode de réalisation, pour la réalisation de cette compression, le plan de la section annulaire radiale rodée de chaque embout est situé, avant raccordement, légèrement en retrait par rapport au plan de la paroi radiale de la rondelle correspondante. Afin notamment d'éviter l'arrachement de matière lors de l'opération mécanique de raccordement, le matériau synthéti- que de chaque rondelle présente avantageusement un faible coefficient de frottement relativement au matériau de la bague allongée. Dans une variante de l'invention, la portée cylindrique de chaque embout est suivie d'au moins deux épaulements suc- cessifs plans en retrait vers ladite partie cylindrique cen- trale. D'autres avantages et caractéristiques de l'invention appa- raîtront à l'examen de la description détaillée ci-après et des dessins annexés, sur lesquels: - la figure 1 est une vue en perspective d'un premier mode de réalisation du raccord selon l'invention, non assemblé; - la figure 2 est une coupe longitudinale d'un embout du raccord de la figure 1, avant raccordement; - la figure 3 est une coupe longitudinale du raccord de la figure 1, après raccordement; - la figure 4 illustre, avant raccordement, un autre mode de réalisation d'un embout faisant partie d'un raccord selon l'invention; et - la figure 5 illustre, après raccordement, cet autre mode de réalisation du raccord. Les dessins comportent, pour l'essentiel, des éléments géomé- triques de caractère certain. A ce titre, ils font partie intégrante de la description et pourront non seulement servir à mieux faire comprendre la description détaillée ci-après mais aussi contribuer, le cas échéant, à la définition de l'invention. Tel qu'illustré sur la figure 1, le raccord comprend deux embouts de conduit identiques la,lb, coaxiaux, une bague métallique allongée 3 ainsi que deux demi-coquilles métalli- ques de serrage 4. Les éléments constitutifs de l'embout la porte des références affectées de la lettre a et ceux de l'embout lb portent des références affectées de la let- tre b. A des fins de simplification, on ne décrira ci-après que l'embout la en se référant également à la figure 2. L'embout la, d'une longueur de quelques millimètres à quel-- ques dizaines de millimètres, possède une extrémité de fixa- tion lla pour un conduit de fluide non représenté sur ces figures. Le terme "longueur" désigne ici et ci-après une dimension mesurée parallèlement à un axe de symétrie longitu- dinal. Cette extrémité de fixation lla comporte ici une par- tie cylindrique d'extrémité ll0a, suivie d'une autre partie cylindrique lMla de plus grand diamètre. Cet embout possède un alésage interne central 12a en continuité de diamètre avec le conduit de fluide lorsque celui-ci est fixé sur l'em- bout. L'extrémité de fixation lla se prolonge par un corps métal- lique 10a également coaxial. Ce corps offre extérieurement, à partir de la partie cylindrique ltla, une portée conique 0l0a s'évasant vers une portée cylindrique 10la d'un diamètre de 12 mm environ et d'une longueur de 1,8 mm environ. Cette portée cylindrique 10la est suivie d'un premier épaule- ment annulaire radial plan 102a, en retrait, qui la raccorde à une portée cylindrique intermédiaire 103a d'un diamètre de 9,7 mm environ et d'une longueur de 1,5 mm environ. Cette dernière portée cylindrique est également suivie d'un deuxiè- me épaulement annulaire radial plan en retrait 104a qui la raccorde à une partie cylindrique central 105a d'un diamètre de 6,5 mm environ et d'une longueur de 1 mm environ. Cette partie cylindrique centrale 105a se termine par une section annulaire radiale rodée 106a o aboutit l'alésage interne 12a. Un autre élément essentiel de l'embout consiste en une ron- delle 2a en une matière synthétique déformable telle que du polytétrafluoroéthylène commercialisé sous la marque "Té- f lon". Cette rondelle, dont l'enveloppe 21a est un cylindre d'un diamètre externe sensiblement égal à celui de la portée cy- lindrique 0lba du corps métallique, possède une face arriè- re annulaire plane 22a venant en butée contre le premier épaulement plan 102a du corps métallique. Cette rondelle possède également une autre face arrière annulaire plane 23a, d'un diamètre plus petit que celui de la face arrière 22a, venant en butée contre le deuxième épaulement annulaire plan 104a du corps métallique. La longueur de la face latérale externe 21a de cette rondelle est de 2,54 mm environ. Ainsi, lorsque cette rondelle est emmanchée à contact sur la partie cylindrique centrale 105a et sur la portée cylindrique intermédiaire 103a de l'em- bout, le plan de sa paroi annulaire radiale plane avant 20a, déborde d'une distance d égale à environ 5/100ème de mm du plan de la section annulaire rodée 106a de l'embout. En d'au- tres termes, cette section annulaire rodée est située légère- ment en retrait par rapport à la paroi annulaire 20a de la rondelle. L'embout ainsi constitué possède alors une face libre de raccordement constituée par la section radiale rodée 106a du corps métallique et par la paroi libre 20a de la rondelle en Téflon 2a. Pour procéder au raccordement proprement dit, il est prévu une bague cylindrique allongée métallique 3 ayant une lon- gueur de 7 mm environ, un diamètre externe de 12,6 mm environ et une épaisseur de 0,3 mm environ. Il convient donc de re- marquer que le diamètre interne de cette bague est ajustée de façon à être sensiblement égal à celui de la face externe 21 de chaque rondelle 2 ainsi qu'à celui de la portée cylin- drique 101 de chaque corps métallique. Lors de l'opération de raccordement proprement dite, les deux embouts sont placés en regard l'un de l'autre par leur face libre de raccordement et la bague cylindrique allongée est glissée autour de ceux-ci pour loger intérieurement à contact les deux rondelles en Téflon et une partie de chacune des deux portées cylindriques lOla et 0llb des corps métalli- ques. Une première fonction de cette bague allongée 3 et donc d'as- surer un excellent alignement des deux embouts de façon à assurer un centrage aussi parfait que possible de leur alésa- ge interne. Lors de la mise en place de cette bague 3, le faible coefficient de frottement du Téflon relativement au matériau de la bague permet un glissement de cette dernière sans micro-arrachements de matière tant au niveau des rondel- les 2 qu'au niveau de la bague 3. L'homme de l'art remarque donc que, d'une façon générale, une première condition à respecter pour le matériau constitutif des rondelles 2 est de présenter un faible coefficient de frottement relativement au matériau de la bague 3. Une fois les deux embouts alignés à l'aide de la bague 3, deux demi-coquilles 40s et 40i possédant sur leur face inter- ne 'respective deux demi-portées coniques 401sa, 401sb et 401ia, 40lib, sont mis en place autour des deux embouts et de la bague. Ces quatre demiportées coniques définissent alors deux portées coniques 401a et 401b coopérant avec les deux portées coniques 100ba et 0lb des embouts. L'enserrage des deux demi-coquilles est assuré par deux vis (non repré- sentées sur les figures) coopérant avec des passages 400s et 400i ménagés dans celles-ci. Lors de l'opération de serrage, la coopération des portées coniques des deux demi-coquilles et des embouts permet, tout d'abord, une compression axiale des deux rondelles en Téflon 2a, puis un contact des deux sections rodées 106a et 106b. Ceci est obtenu d'une part en raison de la distance d sépa- rant la paroi libre de chaque rondelle de la section rodée du corps métallique et, d'autre part, en raison du caractère déformable du Téflon. Ce caractère déformable constitue alors une deuxième condition que doit réaliser, d'une façon généra- le, le matériau constitutif des rondelles 2a et 2b. A cet effet, on utilisera un matériau plus tendre que l'acier inoxydable (316 L par exemple) constitutif du raccord. Des matériaux convenables sont, outre le polytétrafluoréthylène, ses dérivés comme par exemple un élastomère fluoré connu - sous la dénomination KEL-F, ou d'autres matériaux synthéti- ques utilisés en connectique de gaz. Le raccord ainsi constitué possède un unique plan d'étanchéi- té constitué d'une part par l'interface des deux rondelles 2 et d'autre part par l'interface des deux sections rodées 106. Une double étanchéité est ainsi réalisée, d'une part, au niveau des rondelles, d'autre part, au niveau des sections rodées et ce, sans l'interposition d'un joint d'étanchéité proprement dit. De plus, les caractéristiques géométriques de la bague 3, réalisée d'un seul tenant, d'une longueur et d'une épaisseur choisies, permettent, tout au long du serrage, d'assurer un excellent guidage des deux embouts de façon à maintenir leur alignement. L'étanchéité d'un tel raccord, mesurée au cours d'essais, est inférieure à 10-9 cm3.s-1 d'Hélium, pour une différence de pression de 1 atmosphère entre l'alésage interne du rac- cord et l'extérieur, pour une surface d'étanchéité unitaire de 1 cm2. Le raccord selon l'invention permet donc d'obtenir une très bonne étanchéité avec un minimum de pièces, notam- ment sans joint d'étanchéité proprement dit. De plus, un tel raccord, comportant des embouts identiques, ne nécessite pas la fabrication de pièces mâle, ni femelle facilite son montage et diminue les coûts de production série. Un raccord de ce type est particulièrement bien adapté au raccordement de conduits de gaz, notamment de grande pureté, tels que l'hydr6gène, l'argon, l'oxygène, l'anhydride chlo- rhydrique et d'autres gaz utiles en fabrication des semi-con- ducteurs comme le chlorure de phosphoryle (POC13), le tribro- mure de bore (BBr3), le trichloréthylène, l'arsine (AsH3), le silane (SiH4). Il convient également en connectique de fabrication pharmaceutique. Un tel raccord peut également résister aux hautes pressions, typiquement jusqu'à plusieurs centaines de bars, et le matériau constitutif des rondelles 2 est choisi également pour résister à une attaque acide. Les figures 4 et 5 illustrent un autre mode de réalisation du raccord selon l'invention, plus particulièrement adapté au raccordement de conduits de fluide ayant un diamètre d'en- viron 0,95 cm (3/8ème de pouce). Les éléments analogues ou ayant des fonctions analogues à ceux représentés sur les figures 1 à 3 ont des références affectées du suffixe v par rapport à celles qu'ils avaient sur les figures 1 à 3. Seules les différences entre ces deux modes de réalisation seront décrites ci-après. L'extrémité de fixation lla-v comporte uniquement la partie cylindrique d'extrémité 110a-v reliée aux portées coniques a-v du corps métallique 10a-v. La portée cylindrique 101a-v du corps métallique n'est suivie que d'un seul épaule- ment plan en retrait 102a-v vers la partie cylindrique cen- trale 105a-v. La rondelle en Téflon 2a-v n'est constituée que d'un seul cylindre d'un diamètre externe égal à 12 mm environ et d'un diamètre interne égal à 9,7 mm environ. Elle vient en butée contre l'épaulement annulaire 102a-v et le plan de sa paroi annulaire radiale 20a-v déborde également de 5/100ème de mm du plan de la section annulaire rodée 106a-v du corps métallique. Les caractéristiques géométriques de la bague allongée 3-v ainsi que des moyens de serrage 4-v sont ajustées compte tenu des dimensions de ce raccord. L'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation ci- dessus décrits mais en embrasse toutes les variantes, notam- ment les suivantes - on a décrit ci-avant deux embouts identiques. On pourrait concevoir que seuls les corps métalliques et les rondelles en matière synthétique déformable de ceux-ci soient identi- ques. En effet, les extrémités de fixation peuvent prendre diverses formes, coudées ou autres, de façon à se raccorder sur des conduits de types divers, voire sur plusieurs con- duits à la fois, ou encore faire partie d'un composant flui- dique tel que vanne ou filtre. L'absence de parties mâle et femelle facilite considérablement les connexions - le nombre d'épaulements plans en retrait situés entre la portée cylindrique de chaque embout et la partie cylindrique centrale, n'est bien sûr pas limitatif. Avantageusement, le recours à un ou deux épaulements permet de fabriquer une gamme de raccords pour conduits de diamètres divers comme 2 à 6 mm, 6 à 10 mm et 10 à 15 mm, chaque portion de gamme utilisant la même ébauche, c'est-à-dire présentant une portée cylindrique 101 de même diamètre et des portées coniques analogues permettant d'employer des bagues et des coquil- les de serrage analogues pour toutes les gammes. Bien entendu, certains des moyens décrits ci-dessus peuvent être omis dans les variantes o ils ne servent pas. Revendications 1. - Raccord pour conduits de fluide, du type comprenant deux embouts (la, lb), ayant chacun une extrémité de fixation (lia, llb) sur au moins un conduit respectif, et une face libre de raccordement, ainsi que des moyens de serrage mutuel (4) de ces deux embouts opposés par leur face libre, caractérisé en ce que chaque embout (la) comporte: 10. un corps métallique coaxial (10a), alésé intérieurement (12a) en continuité de diamètre avec le conduit, et offrant extérieurement, à partir de ladite extrémité (11a), une por- tée conique (100a) s'évasant vers une portée cylindrique (101a), suivie d'au moins un épaulement plan en retrait (102a) vers une partie cylindrique centrale (105a) se terminant par une section annulaire radiale rodée (106a) o aboutit l'alésage interne (12a), et une rondelle de forme externe cylindrique (2a) en matière synthétique déformable, propre à s'emmancher à contact sur la partie cylindrique centrale (105a), en butée contre ledit épaulement plan (102a), et possédant une paroi annulaire radiale plane (20a) qui, avec ladite section rodée (106a), forme la face libre de raccordement, en ce qu'il est prévu une bague cylindrique allongée (3) métallique, propre à loger intérieurement à contact les deux rondelles (2a,2b) et une partie au moins de chacune des deux portées cylindriques (10la,10lb) desdits embouts mis face à face, de sorte que les deux faces libres de raccordement viennent en regard l'une de l'autre, et en ce que les moyens de serrage (4) comprennent deux demi- coquilles (40s,40i) possédant deux portées coniques (401sa, 401sb,401ia, 401ib) homologues des deux portées coniques respectives (0la,0lb) des deux corps métalliques coaxiaux, l'enserrage de ces deux demi-coquilles assurant le raccordement des conduits de fluide. 2. - Raccord selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il présente une étanchéité inférieure ou égale à -9 cm3.s-1 d'Hélium, pour une différence de pression de 1 atmosphère entre l'intérieur et l'extérieur du raccord pour une surface d'étanchéité unitaire de 1 cm2. 3. - Raccord selon l'une des revendications 1 et 2, caracté- risé en ce que les caractéristiques géométriques des embouts sont choisies pour permettre, lors de l'enserrage des deux demi-coquilles, une compression des deux rondelles en matière synthétique déformable suivie d'un contact entre les deux sections annulaires rodées. 4. - Raccord selon la revendication 3, caractérisé en ce que, avant raccordement, le plan de la section annulaire radiale rodée (106a) de chaque embout (2a) est situé légère- ment en retrait par rapport au plan de la paroi annulaire radiale plane (20a) de la rondelle correspondante (2a). 5. - Raccord selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le matériau synthétique déformable de chaque rondelle (2a,2b) présente un faible coefficient de frottement relativement au matériau de la bague allongée (3). 6. - Raccord selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le matériau synthétique de chaque ron- delle est choisi dans le groupe formé par le polytétrafluo- réthylène et ses dérivés. 7. - Raccord selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la portée cylindrique (101a) de chaque embout (la) est suivie d'au moins deux épaulements annulaires plans en retrait (102a, 104a) vers ladite partie cylindrique centrale (105a). 8. - Raccord selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la bague métallique allongée (3) est d'un seul tenant, possédant un diamètre interne sensiblement égal à celui des rondelles en matière synthétique déformable et à celui des portées cylindriques des deux embouts, et en ce que la longueur et l'épaisseur de cette bague sont choisies pour assurer un centrage correct des deux embouts. 9. - Raccord selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le fluide transporté est un gaz. 10. - Raccord selon la revendication 9, caractérisé en ce que le gaz transporté est de grande pureté. 11. - Raccord selon l'une des revendications 9 et 10, carac- térisé en ce que le gaz transporté appartient au groupe formé par l'hydrogène, l'argon, l'oxygène, l'anhydride chlorhydri- que, le chlorure de phosphoryle, le tribromure de bore, le trichloréthylène, l'arsine, le silane. 12. - Raccord selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les deux embouts sont identiques.