FR 2628984 A1 19890929 FR 8803688 A 19880322 ( RÉPUBLIQUE FRAN AISE ( N de publication: 2 628 984 (à n'utiliser que pour les INSTITUT NATIONAL commandes de reproduction) DE LA PROPRIETE INDUSTRIELLE ae DE LA PROPRIÉTÉ INDUSTRIELLE N d'enregistrement national: 88 03688 PARIS ( Int CI': B 01 J 19/20;H 01 L21/205, 21/68. @ DEMANDE DE BREVET D'INVENTION A1 ) Date de dépôt 22 mars 1988. (j Demandeur(s): L4BORATOIRES D'ELECTRONIQUE ET DE PHYSIQUE APPLIQUEE LEP., Société Anonyme. - Q Priorité: FR. Inventeur(s): Peter Frijlink. ) Date de la mise à disposition du public de la demande: BOPI " Brevets " n0 39 du 29 septembre 1989. ) Références à d'autres documents nationaux appa- rentés: rné Titulaire(s): Mandataire(s): Jean Caron, Société Civile S.P.I.D. ( Réacteur d'épitaxie à planétaire. ) Réacteur d'épitaxie pour traiter plusieurs plaquettes de matériau semiconducteur en les exposant à un courant gazeux 36 3 réactif, muni d'un support de type planétaire. 3 26 L'enceinte dans laquelle les gaz réactifs sont en contact 2 avec les plaquettes 1 est constituée d'un corps cylindrique 19 d'axe vertical qui entoure au plus prés le support planétaire 3, 22 1 4 & 9 24 4, 5, corps cylindrique sur les sections inférieure et supérieure 40,i desquels sont appliqués hermétiquement, respectivement un fond constitué d'une plaque 7, et un couvercle globalement,. plat 9, et un orifice de passage des gaz réactifs est situé au i,-... centre du couvercle, en face du centre du support planétaire. 19;83 38 I Cet orifice central sert à l'introduction des gaz réactifs et t débouche dans l'enceinte par plusieurs entonnoirs concentri- ques 26, 27, 28, dont la partie évasée est tournée vers le bas. oe Co N OV JUL D Vente des fa cicules è rl'MPRIMERIE NATIONALE. 27, rue de le Conv;ention --75732 PARIS CEDEX 15 *Réacteur d'épitaxie à planétaire La présente invention concerne un réacteur d'épita- xie pour traiter plusieurs plaquettes de matériau semi-conduc- teur en les exposant à un courant gazeux réactif, muni d'un support desdites plaquettes, support de type planétaire, c'est-à-dire comportant des moyens pour faire tourner une plu- ralité de disques d'un mouvement général autour d'un axe cen- tral tout en les faisant en outre tourner chacun sur soi même, chacun d'eux portant une plaquette. Un tel support de plaquettes dit aussi 'support d'é- chantillon", est connu du document FRTA-2 596 070, qui décrit en détail un support, des disques et des moyens pour faire tourner les disques. Ce document ne traite pas du problème suivant: un tel support présente d'assez grandes dimensions, qui nécessi- tent une enceinte de réacteur de dimensions correspondantes. On utilise habituellement pour les réacteurs d'épitaxie un tu- be de section cylindrique ou rectangulaire, en quartz, disposé avec son axe horizontal et dans lequel le flux gazeux réactif est introduit et se propage parallèlement aux parois du cylin- dre ce qui présente l'avantage de permettre l'obtention d'un flux de gaz réactif laminaire homogène, fournissant des dépôts d'épaisseur homogène. Mais avec un support dont le disque principal a, par exemple, un diamètre de 25cm, un tube en quartz de dimensions suffisantes pour introduire le dispositif coûte extrémement cher. En outre, le changement/déchargement des plaquettes par l'extrémité du cylindre en quartz n'est pas commode, et nécessite une intervention mécanique pour le dé- montage des moyens d'étanchéité. L'invention fournit un réacteur dont l'enceinte est beaucoup plus compacte et meilleur marché que celle obtenue par l'emploi d'un tube de quartz. Il permet de traiter plu- sieurs plaquettes simultanément sans ouvrir l'enceinte et d'obtenir une bonne homogénité de l'épaisseur des dépôts. A cet effet, l'enceinte dans laquelle les gaz réac- tifs sont en contact avec les plaquettes est constituée d'un corps cylindrique d'axe vertical qui entoure au plus près le support planétaire, corps cylindrique sur les sections infé- rieure et supérieure duquel sont appliqués hermétiquement, respectivement un fond constitué d'une plaque, et un couvercle globalement plat. Le document US-B-3 721 210 décrit un réacteur qui, bien qu'il ne comporte pas de support planétaire permettant le traitement simultané de plusieurs plaquettes, permet néanmoins de réaliser le traitement de plusieurs plaquettes sans ouvrir l'enceinte, et sans utiliser un tube de quartz très coûteux. Dans ce réacteur, le disque principal ne sert qu'à la manuten- tion des plaquettes: il est arrêté pendant l'opération de croissance épitaxiale, et est mis en marche pour amener les plaquettes dans l'espace soumis au flux gazeux réactif, ou les en retirer. Du fait que les plaquettes sont traitées les unes après les autres, le cycle de traitement est long. En outre, ce document ne décrit que des moyens très succincts pour obte- nir une régularité aussi parfaite que possible de l'épaisseur des dépôts réalisés, ce qui est l'un des problème techniques résolus par la présente invention. Selon celle-ci, une exel- lente régularité d'épaisseur de dépôt sur toute la surface d'une plaquette peut être obtenue si un orifice de passage des gaz réactifs est situé au centre du couvercle, en face du cen- tre du disque principal. En outre, dans certaines phases opératoires, il faut introduire plusieurs gaz qui sont susceptibles de réagir entre eux très vite. C'est le cas par exemple de l'arsine avec le triethyl-indium. Il convient donc d'éviter de les mélanger à l'avance, et il faut les introduire simultanément mais sépa- rément dans l'enceinte. A cet effet l'orifice central sert à l'introduction des gaz réactifs et débouche dans l'enceinte par plusieurs entonnoirs concentriques, dont la partie évasée est tournée vers le bas. Cette disposition permet d'obtenir que les flux ga- zeux ne se mélangent pas trop vite lors de leur mouvement ra- dial vers l'extérieur de l'enceinte, ce qui provoquerait un dépôt granuleux et abondant au centre du réacteur, nuisible malgré la rotation des plaquettes sur elles-mêmes. En outre une grille cylindrique est avantageusement disposée dans l'es- pace annulaire par lequel l'entonnoir le plus grand débouche dans l'enceinte. Cette grille est par exemple constituée d'ai- lettes tangentes à la section cylindrique de la grille. De plus, la partie inférieure de la paroi conique qui sépare l'un de l'autre les deux espaces annulaires d'introduction des gaz situés le plus à l'extérieur est avantageusement prolongée par une couronne à peu près plane et horizontale. Toutes ces dispositions coopèrent pour améliorer encore la régularité des dépôts sur toute la surface des plaquettes. En outre, lorsque le réacteur est utilisé pour le dépôt de composés dits III-V, l'entonnoir central est utilisé pour introduire les composés V et l'entonnoir extérieur pour les composés III. Cette caracté- ristique, jointe à celles exposées plus haut, permet d'obtenir que le gaz portant le composé V soit toujours en excès par rapport aux autres constituants à la surface des plaquettes. Pour améliorer encore l'homogénéité du flux radial de gaz réactifs, le support planétaire est entouré immédiate- ment, à l'intérieur de l'enceinte cylindrique, par une couron- ne faite d'un anneau en quartz muni d'orifices régulièrement disposés le long de sa circonférence, à l'extérieur de laquel- le est ménagé un espace annulaire de circulation de gaz. Un autre avantage important de la disposition selon l'invention est la facilité de chargement/déchargement des plaquettes de semiconducteur à traiter. En effet, le réacteur peut être ouvert par le dessus, offrant un accès direct à l'emplacement des plaquettes. Afin de profiter au maximum de cet avantage et rendre l'opération d'ouverture encore plus ra- pide, au lieu que le couvercle soit fixé par une série de bou- lons périphériques, il est appuyé sur le corps cylindrique par un système de vérins, qui permettent de le relever pour le chargement/déchargement du réacteur. La description qui va suivre, en regard des dessins annexés décrivant des exemples non limitatifs fera bien com- prendre comment l'invention peut être réalisée. La figure 1 est une demi-vue latérale en coupe (se- lon la ligne AA de la figure 2) d'un réacteur selon l'inven- tion. La figure 2 est une vue de dessus du même réacteur, avec le couvercle enlevé, à une échelle réduite d'environ moi- tié par rapport à celle de la figure 1. La figure 3 est une vue de dessus d'une pièce du réacteur. Afin de pouvoir réaliser un dessin à plus grande échelle, la figure 1 ne représente qu'un peu plus de la moitié d'un réacteur. A l'aide de la figure 2, la partie non repré- sentée se déduit aisément à partir des éléments représentés. Le support des plaquettes est constitué d'un disque fixe 5 en graphite percé de canalisations d'amenée de gaz 13, 14, 16 et dont la partie supérieure est creusée en forme de cuvette. Dans cette cuvette est disposé un disque principal 4 d'environ 25 cm de diamètre qui-tourne en sustentation sur un lit de gaz et ce disque porte à son tour plusieurs disques se- condaires 3 qui, eux aussi, tournent en sustentation sur un lit de gaz, et sur chacun desquels est posée une plaquette ou tranche de semiconducteur 1. Un tube d'amenée de gaz dont on ne voit que l'extrémité en 13 car il n'est pas dans le plan de la coupe amène le gaz de sustentation (de d'hydrogène) sous le disque principal 4. Un autre tube 16 débouche au centre du plateau fixe 5 en face d'une extrémité d'un conduit 15 qui est à l'intérieur du disque principal tournant 4 et qui débouche sous le disque secondaire 3. Dans les disques 4 et 5 sont creusées des rigoles en forme de spirale qui provoquent une composante de rotation du gaz entraînant la rotation des disques supportés. Sous cha- que disque rotatif est prévue une rigole qui collecte les gaz et les renvoie vers le disque inférieur. Ceci est décrit plus en détail dans le document mentionné en préambule FR-A-2 596070 qui doit être considéré comme faisant partie de la présente description, à titre d'exemple de réalisation du support. La dimension du disque principal permet de loger par exemple au choix 5 disques secondaires portant chacun une plaquette de 7,62 cm de diamètre ou 7 disques secondaires por- tant chacun une plaquette de 5,08 cm de diamètre. Le disque intermédiaire a une épaisseur d'environ 5mm, le disque princi- pal une épaisseur d'environ 12mm, et avec le disque support fixe l'épaisseur totale est d'environ 28mm. Toutes ces pièces sont réalisées en graphite. L'enceinte du réacteur est constituée d'un corps cylindrique 19 d'axe vertical 32 de section circulaire sur le- quel sont appliqués hermétiquement un couvercle 8 et un fond 7 sur lesquels on reviendra plus loin. Ce corps 19 entoure au plus près les disques 4 et 5, de façon à limiter au maximum le volume à chauffer et le volume des gaz réactifs nécessaires. La hauteur du corps 19 est choisie de manière à laisser au- dessus du support en graphite 3, 4, 5 un espace 2 de hauteur appropriée pour le passage des gaz réactifs. C'est dans cet espace que les plaquettes sont en contact avec les gaz réac- tifs. Ce corps est refroidi par -un serpentin constitué de tubes 12 qui lui sont soudés et dans lequel circule de l'eau. Le corps est réalisé en acier inoxydable. Il comporte une gor- ge intérieure 42 qui en fait le tour et qui est fermée par une paroi cylindrique 18 en quartz qui recouvre toute la surface interne du corps cylindrique. De l'hydrogène est amené dans la gorge 42 par un tube 41 (figure 2) et pénètre dans l'enceinte en fuyant par l'intervalle entre le corps 19 en acier et la couronne 18 en quartz, de façon à éviter que des produits de réaction n'y pénètrent et salissent le corps 19. Le gaz de sustentation pour le système support de plaquettes est amené par un tube 21 qui traverse le corps cylindrique et la couron- ne 18 et pénètre dans le bloc de graphite 5. Le fond du réacteur est constitué par une simple plaque de quartz circulaire 7 dont l'épaisseur est d'environ 4 mm. L'étanchéité est assurée par 2 joints toriques 44 entre lesquels est creusée une gorge 43 dans laquelle on fait le vi- de. Le système support de plaquettes est posé sur ce fond 7 par l'intermédiaire de cales 6 en graphite, qui ména- gent un espace pour l'évacuation des gaz de sustentation. En outre, un tube débouchant en 14 et dont l'orifice est tourné vers le dessous du disque fixe 5 injecte de l'hydrogène dans cet espace afin d'éviter que les gaz réactifs ne puissent y parvenir et y réaliser des dépôts. Sous le fond 7 sont disposées des lampes infrarou- ges 38, munies de réflecteurs 39, fournissant un rayonnement infrarouge qui traverse le fond 7 et chauffe le support de graphite 5. L'utilisation d'une pluralité de lampes permet de moduler leur puissance relative pour obtenir une régularité parfaite du chauffage depuis le centre jusqu'à l'extérieur du disque. Le couvercle est constitué d'un disque-de quartz 8 dont l'épaisseur est d'environ 4mm, appliqué sur des joints toriques 20 entre lesquels est prévue une gorge 33 comme la gorge 43 à la partie inférieure. Ce disque est globalement plat, c'est à dire qu'il est plat à l'exception de son centre qui est relevé en forme d'entonnoir 28. Du gaz peut être amené dans cet entonnoir par le tube 38. A l'intérieur de l'enton- noir 28 sont prévus deux autres volumes 26 et 27 concentriques dont la partie inférieure est en forme d'entonnoir avec la partie évasée vers le bas. Chacun des volumes 26 et 27 commu- nique avec une source de gaz par un tube respectivement 36, 37. Cet ensemble de trois entonnoirs concentriques est réalisé en quartz et l'entonnoir extérieur est réalisé d'une seule pièce avec le couvercle 8. La partie inférieure des pièces 26 et 27 est située à environ 2mm audessus du disque principal 4. Le tube intérieur 36 permet d'amener par exemple de l'arsi- ne AsH3 prédilué dans l'hydrogène; le second conduit 37 amène par exemple de l'hydrogène, et le conduit extérieur 38 peut amener un mélange de corps organo-métalliques dilués dans de l'hydrogène. Pour éviter que la distribution du flux, égale dans toutes les directions dans le plan horizontal, ne soit insta- ble, une grille cylindrique 48 est placée dans l'espace annu- laire par lequel l'entonnoir 28 débouche dans l'enceinte. Cet- te grille est représentée isolément sur la figure 3, o elle est vue de dessus. A droite de la figure est indiqué aussi un morceau de grille, vu de côté: c'est une bande 48 plate en feuillard de molybdène dans laquelle sont réalisées au laser des découpes en forme de U qui créent chacune une languette 47. Lorsque la bande est enroulée pour former un cylindre, les languettes restent plates et tangentes à la section du cylin- dre obtenu, comme indiqué en 49. Elles forment des ailettes qui imposent au gaz une vitesse de sortie à peu près tangen- tielle au cylindre. Du fait que chaque ailette est balayée à l'extérieur par le gaz frais sortant de l'ailette précédente, il ne s'y forme pas de dépôt salissant. En outre, la partie inférieure de la paroi conique qui sépare l'un de l'autre les deux espaces annulaires 27, 28 d'introduction des gaz situés le plus à l'extérieur est pro- longée par une couronne à peu près plane et horizontale. Cette couronne est réalisée en mobybdène et en deux parties 45, 46 pour en faciliter le montage. Elle peut être fixée par exemple à la grille 48 par tout moyen connu. On se rend compte en ob- servant cette couronne 45 sur la figure 1, qu'elle sépare l'un de l'autre les flux de gaz sortant des volumes 28 d'une part, et 26, 27 d'autre part, retardant leur mélange et rendant ho- rizontale leur vitesse, afin d'éviter les turbulences. Cette couronne 45 pourrait aussi être constituée par un aplatissement du bord en quartz de la paroi d'entonnoir située entre les volumes 27 et 28. Le couvercle 8 est maintenu par une pièce métalli- que 9 qui l'appuie contre le corps 19. Entre la pièce métalli- que 9 et le disque 8 est ménagé un espace 34 que l'on peut, pour régler la température du couvercle, remplir de gaz au mo- yen de tuyaux 10, 11 et dont l'étanchéité est réalisée au mo- yen des joints toriques 22, 23, 24. La pièce annulaire 25 pou- vant coulisser légèrement par rapport à la pièce 9 est desti- née à éviter de briser le couvercle en quartz lors du monta- ge. La pièce métallique 9 est refroidie par des moyens non re- présentés, qui peuvent être par exemple des tubes d'eau analo- gues aux tubes 12, ou bien des passages creux ménagés dans la pièce et remplis d'eau. L'ensemble des pièces constituant le couvercle peut être soulevé pour accéder à l'intérieur du réacteur. Un système est prévu pour appuyer cet ensemble sur le corps 19 et aussi pour le soulever. Il n'est pas représenté pour ne pas compliquer la figure. Il peut être réalisé facilement par tous les moyens connus de la mécanique. A titre d'exemple la pièce 9 peut être munie de manchons à billes coulissant autour de tubes verti- caux et permettant donc un mouvement de translation verticale, mouvement qui est commandé par un ou plusieurs vérins hydrau- liques. Pour augmenter l'homogénité de la répartition des mélanges gazeux le long des cercles d'axes 32, le dispositif porte-plaquettes est entouré d'une couronne en quartz 17 qui est munie d'orifices, ici des fentes verticales 40 régulière- ment disposées tout le long de sa circonférence. Entre cette couronne 17 et la couronne 18 existe un espace annulaire dans lequel débouchent deux tubes 29 diamétralement opposés (figure 2) qui permettent l'évacuation des gaz réactifs. Sur la figure 2, qui représente le réacteur couver- cle enlevé on peut voir la disposition des différents tubes traversant le corps 19: le tube 21 d'amenée des gaz de sus- tentation qui débouche dans le bloc de graphite 5,le tube 31 débouchant en 14 pour débiter du gaz sous l'ensemble support de plaquettes, le tube 30 qui débouche en 13 pour fournir le gaz de sustentation du disque principal 4, le tube 16 creusé dans la partie fixe du support de plaquettes et qui amène le gaz destiné aux disques secondaires, le tube 41 amenant du gaz dans la gorge annulaire 42, les tubes 29 d'évacuation des gaz réactifs, et un tube 37 fermé à son extrémité qui pénètre dans la partie fixe du support de plaquettes et permet l'introduc- tion d'un thermocouple de mesure de la température. Le disque principal représenté ici porte cinq disques secondaires 3 de 7,62cm de diamètre. A titre de variante, la section du corps cylindri- que 19 pourrait aussi, par exemple, être un carré au lieu d'un cercle, ce qui ne changerait pas le comportement des flux ga- zeux pourvu que l'on conserve la couronne extérieure 18. REVENDICATIONS: 1. Réacteur d'épitaxie pour traiter plusieurs plaquet- tes de matériau semi-conducteur en les exposant à un courant gazeux réactif, muni d'un support desdites plaquettes, support de type planétaire, c'est-à-dire comportant des moyens pour faire tourner une pluralité de disques d'un mouvement général autour d'un axe central tout en les faisant en outre tourner chacun sur soi même, chacun d'eux portant une plaquette, ca- ractérisé en ce que l'enceinte dans laquelle les gaz réactifs sont en contact avec les plaquettes est constituée d'un corps cylindrique d'axe vertical qui entoure au plus près le support planétaire, corps cylindrique sur les sections inférieure et supérieure duquel sont appliqués hermétiquement, respective- ment un fond constitué d'une plaque, et un couvercle globale- ment plat. 2. Réacteur selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'un orifice de passage des gaz réactifs est situé au cen- tre du couvercle, en face du centre du disque principal. 3. Réacteur selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'orifice central sert à l'introduction des gaz réac- tifs et débouche dans l'enceinte par plusieurs entonnoirs con- centriques, dont la partie évasée est tournée vers le bas. 4. Réacteur selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'une grille cylindrique est disposée dans l'espace annu- laire par lequel l'entonnoir le plus grand débouche dans l'en- ceinte. 5. Réacteur selon la revendication 4, caractérisé en ce que la grille est constituée d'ailettes tangentes à la sec- tion cylindrique de la grille. 6. Réacteur selon l'une quelconque des revendications 3 à 5, caractérisé en ce que la partie inférieure de la paroi conique qui sépare l'un de l'autre les deux espaces annulaires d'introduction des gaz situés le plus à l'extérieur est pro- longée par une couronne à peu près plane et horizontale. 7. Réacteur selon l'une quelconque des revendication 3 à 6, pour l'épitaxie de composés III-V, caractérisé en ce que l'entonnoir central est utilisé pour introduire les composés V et l'entonnoir extérieur pour les composés III. 8. Réacteur selon l'une des revendications 3 à 7, caractérisé en ce que le couvercle est un disque de quartz, et en ce qu'il est fait d'une seule pièce avec l'entonnoir le plus à l'extérieur. 9. Réacteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le support planétaire est entouré immédiatement, à l'intérieur de l'enceinte cylindrique, par une couronne faite d'un anneau en quartz muni d'orifices régulièrement disposés le long de sa circonférence, à l'extérieur de laquelle est ménagé un espace annulaire de circulation de gaz. 10. Réacteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le couvercle est appuyé sur le corps cylindrique par un système de vérins, qui permettent de le relever pour le chargement/déchargement du réacteur. 11. Réacteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la plaque de fond est en quartz, et en ce qu'une source de rayonnement infrarouge est placée sous ce fond. 38 OR /26 I48 4--- -'J2-27 4 FIG 3 " 24X23 if | t2 28 22.11 4 8. g.10 24 21 2 i9J 44(41817 '6'7 5 3 " 4j 15' 13 - FIG. 2 a1 2 _ 43'qjl 41.1 FIG. 2$"