FR 2633141 A1 19891222 FR 8808113 A 19880617 CARTE A PUCE AVEC ECRAN DE PROTECTION L'invention concerne les cartes portatives contenant des circuitsintégrés, plus généralement connues sous le nom de cartes à puces. Les puces de circuit intégré sont montées dans des modules et encartées dans un support électriquement isolant ayant généralement le format d'une carte de crédit pour pouvoir être facilement transportée, conservée dans un portefeuille, rangée dans un étui plat etc. Un module est composé d'une ou plusieurs puces de circuit-intégré telles que des mémoires mortes ou vives, microprocesseurs, circuits logiques ou analogiques, ou combinaison de ces circuits. Les puces sont montées par soudage ou collage sur un support comprenant des pistes conductrices reliées à des plots de contact d'entrée-sortie et d'alimentation des puces. Les pistes conductrices sont reliées & des contacts destinés à être accessibles de l'extérieur et assurant la liaison entre les circuitsintégrés du module et les organes destinés à dialoguer avec eux. Dans le cas de cartes sans contacts, ces pistes sont reliées à des générateurs ou récepteurs d'ondes électromagnétiques assurant la liaison avec l'extérieur. On dépose sur les circuits-intégrés une goutte de résine, ou de manière plus générale une couche de matière isolante destinée à assurer une protection des circuits contre les agressions chimiques et éventuellement mécaniques. L'ensemble circuit-intégré et support, et le cas échéant les émetteurs et récepteurs électromagnétiques forment le module qui est inséré dans un matériau isolant en forme de carte. Les circuits intégrés utilisés dans ces cartes sont destinés à mémoriser, protéger et éventuellement faire des calculs sur des informations provenant de l'extérieur et/ou de l'intérieur des circuits. Ils sont réalisés souvent en technologie MOS (Métal Oxyde Semiconducteur) ou CMOS (MOS complémentaires). Ils sont composés essentiellement à partir de transistors. Les transistors sont composés d'un drain, d'une grille et d'une source, et caractérisés principalement par leurs dimensions et leur tension de seuil, tension au delà ou en deçà de laquelle le transistor est conducteur ou bloqué. Les tensions de seuil sont fixées entre autres par le dosage et la profondeur auxquels sont placées les impuretés dans les zones actives du transistor. Chaque transistor dans le circuit-intégré a été défini en termes de dimension et de tension de seuil de manière à assurer le bon fonctionnement du circuit-intégré. Toute variation de ces paramètres peut entraîner un non-fonctionnement de l'ensemble si cette variation est supérieure aux tolérances définies lors de la conception du circuit. Or un champ électrique important dans l'environnement du circuit-intégré risque de modifier le nombre, la densité ou la répartition des charges électriques dans les zones actives des transistors, dans une mesure suffisante pour modifier la tension de seuil des transistors de manière non négligeable. Une carte à puce étant formée d'un matériau isolant (typiquement du chlorure de polyvinyl), le support du module et sa résine protectrice étant également isolants, il est possible de charger électrostatiquement par frottement ou par influence les cartes donc les couches isolantes dont certaines sont à proximité immédiate de la surface des puces de circuit-intégré. Cela est d'autant plus vrai que les cartes à puces sont généralement destinées à être manipulées par le grand public sans précautions excessives: les cartes sont prises dans les mains, rangées dans des portefeuilles ou des poches de vêtements, frottées contre les vêtements, etc. Si les charges électrostatiques accumulées sont telles qu'un potentiel électrostatique de quelques centaines à quelques milliers de volts soit engendré à la surface d'une de ces couches isolantes, et si cette couche est distante des zones actives de quelques micromètres, il peut alors en résulter un champ électrique de l'ordre du mégavolt par centimètre, suffisant pour décaler la tension de seuil des transistors et perturber leur fonctionnement ainsi que le fonctionnement global du circuit-intégré. Jusqu'à maintenant on s'est préoccupé de protéger les circuits-intégrés contenus dans les cartes à puces contre les décharges électrostatiques qui risquent de se produire entre les plots de circuit-intégré et de détruire les composants du circuit. La présente invention se préoccupe non pas de ce risque de destruction par claquage mais du risque de mauvais fonctionnement par modification des tensions de seuil des transistors en dehors des limites fixées par les tolérances à la conception du circuit. Selon l'invention, pour restreindre la création de champs électrostatiques susceptibles de modifier la tension de seuil des transistors et donc de perturber les circuits d'une carte à puce, on propose de recouvrir la puce d'un film mince d'une substance conductrice de l'électricité, relié électriquement à une borne de circuit destinée à être connectée à un potentiel électrique de référence. Le film peut être une couche d'une substance conductrice déposée sur une couche de passivation du circuit-intégré. Il peut être aussi un film métallique, déposé sur un vernis isolant recouvrant la puce et ses fils de liaison. Ce film ne recouvre pas des éléments d'antenne d'émission ou de réception d'ondes électromagnétiques dans le cas o la carte fonctionne avec transmission d'énergie ou d'informations sans contacts. Le procédé de fabrication des puces destinées à être montées dans une carte à puce peut être le suivant: on réalise d'abord sur la puce les circuits à transistors désirés; on dépose une couche métallique d'interconnexion que l'on grave selon un motif comportant, outre les interconnexions, des zones correspondant à des plots de contact pour la connexion de la puce vers l'extérieur; on recouvre la couche d'interconnexion d'une couche de passivation (oxyde ou nitrure de silicium); on peut alors graver une ouverture dans cette couche, pour permettre un contact entre d'une part une connexion située sous cette couche et reliée en fonctionnement à un potentiel de référence, et d'autre part le film conducteur qui sera ultérieurement déposé; on dépose un film conducteur (en aluminium par exemple) sur la totalité de la surface de la puce; on grave ce film pour d'une part dénuder des zones de couche de - passivation qui surplombent les plots de contact de la puce, et d'autre part éventuellement dénuder des zones servant d'éléments d'antenne d'émission ou de réception d'ondes électromagnétiques (pour les cartes à transmission sans contact, si toutefois ces éléments sont sur la puce elle-même); on grave la couche de passivation pour mettre à nu les plots de contact; enfin, on établit des connexions vers l'extérieur par soudage de fils métalliques (technique dite 263314! wire-bonding) ou de rubans métalliques (technique dite tape-automatic bonding) entre les plots et un circuit-imprimé sur support isolant; on peut alors recouvrir le tout d'un vernis isolant de protection contre les agressions chimiques, ou alors on enrobe le tout dans une résine isolante pour constituer un module; et on monte le module dans une carte dite carte à puce. On peut aussi utiliser comme couche écran électrostatique une couche métallique extrêmement mince, de quelques dizaines d'angstrôms d'épaisseur. L'épaisseur est choisie, compte-tenu de la conductivité propre du métal choisi et compte-tenu de la distance entre plots de contact du circuitintégré, pour que la résistance présentée par cette couche entre deux plots de contact soit comprise entre 107 ohms et 1014 ohms environ; elle est alors assez résistante pour éviter des fuites de courant gênantes entre plots, mais assez conductrice pour permettre de jouer le rôle d'écran électrostatique. Dans ce cas, il suffit de procéder de la manière suivante: on dépose la couche de passivation au dessus de la couche d'interconnexion comprenant les interconnexions et les plots de contact du circuit-intégré, on grave la couche de passivation de manière à l'ouvrir au dessus des plots de contact d'une manière tout-à-fait classique; puis, on dépose la couche mince métallique de quelques dizaines d'angstrôms d'épaisseur ou même moins. Cette couche n'est pas gravée; elle est par exemple réalisée dans le même métal que la couche d'interconnexion (dont l'épaisseur est naturellement beaucoup plus épaisse: 1 micron environ ou plus). Elle ne gêne pas la prise de contact avec des fils ou rubans d'interconnexion. Elle joue le rôle d'écran électrostatique car elle est portée à un potentiel qui est compris entre les potentiels d'alimentation haut et bas du circuit-intégré (par exemple 0 volt et 5 volts). Elle évacue les charges électrostatiques qui pourraient être engendrées à proximité de la surface supérieure de la puce. Enfin, elle est suffisamment résistive dans la direction latérale (compte-tenu de la distance entre deux plots qui est de l'ordre de plusieurs centaines de micromètres) pour ne pas laisser un courant appréciable fuir entre les différents plots de contact. Le circuit-intégré est alors soudé à un circuit-imprimé par des fils de liaison ou des rubans découpés par photogravure; il est ensuite enrobé soit d'un film protecteur isolant assurant la protection contre les agents chimiques, soit d'une goutte de résine isolante assurant une protection contre les agressions chimiques et mécaniques. Le module protégé par ce film ou cette goutte de résine est alors mis en carte. Dans une autre variante, on réalise le circuit-intégré classiquement et on le connecte par des fils de liaison métalliques ou des rubans métalliques aux conducteurs d'un circuit-imprimé; on enrobe alors d'une fine couche isolante (quelques micromètres à quelques dizaines de micromètres d'épaisseur) l'ensemble du circuit; puis, on dépose sur l'ensemble, principalement du côté de la surface supérieure de la puce, un film conducteur servant d'écran électrostatique de protection; le film conducteur peut être déposé par évaporation d'un métal conducteur, ou par dépôt et séchage d'une solution contenant une substance conductrice; enfin on peut effectuer soit un enrobage final dans la résine et un montage du module. ainsi constitué dans une carte, soit un montage direct dans une carte. Dans une autre réalisation encore, on réalise d'abord un module avec la puce et le circuit-imprimé sur 263314-1 lequel elle est soudée ou collée, en enrobant le tout d'une résine de protection; puis, on place sur le module un film conducteur relié au potentiel de référence et on monte le tout dans la carte. Dans tous les cas, la feuille sera placée essentiellement du côté de la surface supérieure de la puce, c'est-à-dire du côté o sont formés les transistors. REVENDICATIONS 1. Carte à puce contenant au moins une puce de circuit-intégré, caractérisée en ce que, en vue d'éviter des défaillances dues à des charges électrostatiques perturbant les tensions de seuil des transistors de la puce, la puce est recouverte d'un film mince d'une substance conductrice de l'électricité, relié électriquement à un potentiel de référence. 2. Carte à puce selon la revendication 1, caractérisée en ce que le film est constitué par un dépôt d'un matériau conducteur de très faible épaisseur sur la puce, recouvrant directement une couche de passivation et l'ensemble des plots de contact formés sur la puce, et en contact avec ces plots. 3. Carte à puce selon la revendication 2, caractérisée en ce que le dépôt conducteur de très faible épaisseur présente une résistance de l'ordre de 107 à 1014 ohms entre deux plots de contact de la puce. 4. Carte à puce selon la revendication 3, caractérisée en ce que l'épaisseur du dépôt est de l'ordre de quelques dizaines d'angstrôms ou moins. 5. Carte à puce selon la revendication 1, caractérisée en ce que le film est une couche conductrice, recouvrant une couche de passivation déposée sur la puce et ouverte au dessus de plots de contact de la puce, ce film étant gravé pour laisser libre les ouvertures de la couche de passivation, et une connexion conductrice étant établie entre le film et l'un des plots de contact. 6. Carte à puce selon la revendication 1, caractérisée en ce que des fils de liaison sont soudés sur des plots de contact de la puce, et en ce que une couche isolante de protection est déposée sur l'ensemble, et le film d'une substance conductrice est déposé sur la couche isolante de protection. 7. Carte à puce selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisée en ce que le film ne recouvre pas des éléments d'antenne d'émission ou de réception d'ondes électromagnétiques dans le cas o la carte fonctionne avec transmission d'énergie ou d'informations sans contacts.