FR 2630268 A1 19891020 FR 8805156 A 19880419 Procédé et dispositif pour améliorer la directivité de L'émission d'une diode Laser solide DESCRIPTION L'invention a pour objet un procédé et un dispositif pour améliorer l'efficacité de conversion et la directivité de l'émission d'une diode laser solide du type à rubans multiples. Elle trouve une application dans le domaine des télécommunications optiques. Les diodes lasers à semiconducteurs sont des sources optiques très intéressantes pour leur fort rendement de conversion électronique/optique. Cependant, les diodes classiques à simple ruban sont limitées à des puissances optiques émises de l'ordre de quelques dizaines de mW à cause de la dégradation de leurs faces clivées. Pour pallier à ce problème, des diodes lasers ayant plusieurs rubans couplés ont été développées pour obtenir une émission cohérente intense avec une puissance moindre au niveau des faces clivées. Ces diodes lasers sont cependant intrinsèquement multimodes et possèdent donc des caractéristiques dégradées; le diagramme d'émission en champ lointain est par exemple formé de plusieurs lobes situés hors de l'axe optique, leur répartition dépendant du courant d'injec- tion. Par ailleurs, si l'on utilise de façon connue un ruban large pour obtenir une forte puissance opti- que, des phénomènes thermiques, des filaments lasers instables ainsi que des variations de densité de por- teurs de la couche active posent des problèmes. Dans les diodes lasers à plusieurs rubans couplés, plusieurs solutions ont été développées pour coupler ces rubans en phase: par la diffraction comme indiqué dans l'article deT.R. Chen et aI. "Phase Locked InGaAsP laser array with diffraction coupling", Appl. Phys. Lett., vol. 43, n 2, 1983, pp 136-137, par couplage Y comme décrit dans l'article de M. Taneya et ai., "Phased array with the "YY" shaped symmetri- cally branching waveguide", Jap. J. Appl. Phys., vol. 25, n0 6, 1986, pp L432-L434 et par onde évanes- cente comme indiqué dans l'article de D.R. Scifres et aL., "Phase locked semiconductor laser array", Appl. Phys. Lett., vol. 33, n 12, 1978, pp 1015-1017. Cette dernière solution est la plus étudiée pour des raisons de simplicité et de reproductibilité. Si ces diodes lasers possèdent n rubans, elles possèdent aussi n modes de propagation comme décrit dans l'article de E. Kaponr et ai., "Supermode analysis of phase-locked arrays of semiconductor lasers", Opt. Lett., vol. 10, no 4, 1984, pp 125-127 et dans l'article de J.K. Butler et al., "Coupled mode analysis of phase locked injection laser arrays", Appl. Phys. Lett., vol. 44, n 3, 1984, pp 293-295. Chaque mode a une répartition de champ élec- trique et une constante de propagation propre. La partie réelle de la constante de propagation détermine le spectre d'oscillation Fabry Perot de la cavité laser alors que la partie imaginaire détermine le gain. Le mode fondamental dont L'émission de tous les rubans est en phase est le plus intéressant a priori puisqu'il est le seul à avoir un lobe axial dans le champ lointain. Malheureusement, dans cette structure multirubans, le gain du mode augmente avec son ordre V (V est relié au nombre de zéro du champ); le mode fondamental a donc le plus faible gain et le mode d'ordre le plus élevé est le premier à osciller au seuil. Cependant, comme ce dernier n'a pas un parfait recouvrement avec les porteurs, d'autres modes d'ordre supérieur vont osciller lorsque le courant d'injection augmente. En champ lointain, tous ces modes osciLLants sont caractérisés par des Lobes symétriques par rapport à L'axe optique du laser; à chaque mode correspond un angle hors de L'axe. Ceci explique L'émission de teLs Lasers dans deux Lobes symétriques, non limités par la diffraction comme décrit dans les articles de S. Thaniyavarn, W. Dougherty, "Generation of a single lobe radiation pattern from a phased array laser using a near contact variable phase shift zone plate", Elect. Lett., vol. 23, n 1, 1987, pp 5-7 et de G.C. Dente et ai., "Phase and spatial coherence measurements on diode arrays: comparison to supermode theory", AppL. Phys. Lett., vol. 51, n 1, 1987, pp 9- 11. Ce diagramme d'émission varie aussi avec le cou- rant d'injection de la puissance optique. Pour pallier à ce problème, différentes répartitions des rubans ont été utilisées pour obtenir une émission monolobe. Elles sont basées soit sur une répartition non uniforme du gain comme décrit dans l'article C.P. Lindsey et aL., "Single contact tailored gain phased array of semiconductor lasers", AppL. Phys. Lett., vol. 45, n 7, 1984, pp 722-724, du couplage entre rubans comme décrit dans l'article de D.E. Ackley et aI., "Phase locked injection laser arrays with variable stripe spacing", IEEE J. Quantum Elect., vol. QE-22, n 12, 1986, pp 2204-2212, soit sur un couplage en Y entre rubans comme enseigné dans l'article de D.F. Welch et al., "In phase-emission from index guided laser array up to 400 mW", Elect. Lett., vol. 22, n 6, 1986, pp 293-294. Une autre solution est basée sur l'hypothèse d'une oscillation du mode d'ordre le plus élevé dans la cavité laser, celui-ci ayant chaque ruban en opposi- tion de phase par rapport à chacun de ses voisins; un déphasage de X tous les deux rubans permet de les remettre tous en phase et d'obtenir une émission monolobe. Ceci peut être fait soit par déphasage dans la cavité comme décrit dans l'article de D.E. Ackley et al., "Phase locked injection laser arrays with integrated phase shifters", RCA review, vol. 44, 1983, pp 625-633 soit par dépôt d'un diélectrique sur l'une des faces clivées et attaque sélective comme enseigné dans l'article de M. Matsumoto et al., "Single lobed far field pattern operation in a phased array with an integrated phase shifter", Appl. Phys. Lett., vol. 50, no 22, 1987, pp 1541-1543. Cependant, dans toutes ces structures, aucune émission monolobe uniaxiale de forte puissance n'a pu être obtenue. On connait aussi des structures hybrides dans lesquelles un déphasage de t tous les deux rubans est réalisé avec un réseau de déphasage placé dans le champ proche du laser comme décrit dans l'article de M. Taneya et al., "Stable quasi 00 phase mode opera- tion in a laser array diode nearly aligned with a phase shifter", Appl. Phys. Lett., vol. 50, n 13, 1987, pp 783-785 ou dans son plan image grâce à un système optique comme enseigné dans l'article de J.R. Heidel et al., "Use of a phase corrector plate to generate a single-lobed phased array far field pattern", IEEE J. Quantum Elect., vol. QE-22, no 6, 1986, pp 749-752. Pour avoir un déphasage de r, on doit avoir une différence d'épaisseur h =(p+1/2)A/(n-1), p étant un entier, X la longueur d'onde de l'émission laser et n l'indice du matériau dans lequel est réalisé le réseau de déphasage. Cependant, le mode d'ordre le plus élevé n'étant pas le seul à osciller dans La cavité laser, L'émission en sortie du réseau de déphasage n'est pas monolobe. Cette émission de sortie va dépendre de plus, du courant injecté. Par ailleurs, il est connu d'utiliser une cavité externe associée à la diode laser multi-rubans, présentant une réflection selon l'axe optique. Une telle structure est décrite dans J. Yaeli et aL., "Array mode selection utilizing an external cavity configuration", Appl. Phys. Lett., vol. 47, n 2, 1985, pp 89-91. A l'intérieur de la cavité, la face clivée de la diode du laser est traitée antireflet pour que l'oscillation ait lieu dans la cavité externe. Un filtre spatial dans le plan de Fourier de la lentille permet de sélectionner le mode fondamental du laser. Cependant, l'efficacité quantique externe du dispositif est diminuée par rapport à la diode laser seule car le mode fondamental a un moins bon recouvrement avec le profil de gain que les modes d'ordre élevés qui existent naturellement dans la diode laser libre. De plus, à partir d'une certaine puissance optique, le mode d'ordre le plus élevé commence à osciller dans la diode laser seule à cause de la réflectivité résiduelle de la face laser intracavité; ceci limite la puissance accessible dans le lobe central. Une structure équivalente a été réalisée avec une structure réfléchissante localisée servant à la fois de miroir et de filtre spatial (voir article de C. Chang-Hasnain et aI., "Diffraction limited emis- sion from a diode laser array in an apertured graded index lens external cavity", Appl. Phys. Lett., vol. 49, n -11, 1986, pp 614-616. Une réflexion hors de l'axe est aussi connue. Elle permet de faire osciller un mode d'ordre plus élevé dans la cavité; celui-ci a alors un meilleur recouvrement avec Le profil de gain que le mode fonda- mental. Une bonne efficacité quantique externe ainsi qu'une moindre importance de La réflectivité de La face laser intracavité peuvent être ainsi obtenues. Un tel dispositif est décrit dans C.J. Chang-Hasnain et aL., "High power with high efficiency in a narrow single Lobed beam from a diode laser in an external cavity", Appl. Phys. Lett., vol. 50, n0 21, 1987, pp 14651467. Ce dispositif permet l'obtention d'une émission monolobe hors de l'axe optique. Puisque chaque mode a son propre spectre d'oscillation Fabry Perot, on peut sélectionner un mode par une contre-réaction spectralement sélective. Cela peut être réalisé par un réseau comme décrit dans J.E. Epler et al., "Far field supermode patterns of a multiple stripe quantum well heterostructure laser operated ("- 7330 A, 300 K) in an external grating cavity", Appl. Phys. Lett., vol. 45, no 4, 1984, pp. 406-408. Cependant, à longueur d'onde donnée, le nombre de modes oscillants augmente avec La puissance optique émise. Le mode fondamental est alors le plus instable. Le blocage d'un laser pa.r injection d'un autre laser est aussi connu. L'injection de puissance optique d'un laser (laser maltre) *dans le laser de puissance (laser esclave) permet d'augmenter, dans ce dernier, le gain des modes les plus proches en profil et en fréquence d'émission de celui du laser maitre. Si le mode du laser maitre est monomode trans- verse et longitudinal, on peut sélectionner un mode dans le laser esclave qui est alors monofréquence. Une puissance de 500 mW a ainsi été obtenue dans un lobe hors de l'axe ainsi que 150 mW dans une fibre optique monomode comme décrit dans l'article de L. Coldberg, J.F. Weller, "Injection locking and single-mode fiber coupling of 40-element laser diode array", Appl. Phys. Lett., vol. 50, n 24, 1987, pp 1713-1715. Cependant, sous modulation, soit du laser maitre, soit du laser esclave, la fréquence d'émission de l'un ou l'autre varie, ce qui change le mode sélectionné et donc l'angle hors de l'axe d'émission. Une structure d'autoblocage du laser maitre a été récemment démontrée dans l'artic e de L. Gold- berg, J.F. Weller, "Single lobe operation of a 40-ele- ment laser array in an external ring laser cavity", Appl. Phys. Lett., vol. 51, n 12, 1987, pp 871-872, grâce à une structure en anneau. La sensibilité d'une telle structure à la modulation reste importante. Aussi, l'invention a pour objet un procédé et un dispositif pour améliorer la directivité de l'émission d'une diode laser solide permettant de rémédier aux différents inconvénients décrits ci-des- sus. L'invention est basée sur une utilisation d'une cavité externe particulière couplée à une diode à rubans multiples comme amplificateur. Selon l'inven- tion, une émission monolobe axiale est obtenue avec une bonne efficacité quantique externe grâce à l'ampli- fication du mode d'ordre le plus élevé dans la diode laser. De plus, l'ingérence de la réflectivité rési- duelle de la face laser intracavité est diminuée. Un premier objet de l'invention est un procé- dé pour améliorer l'efficacité de conversion et la directivité de l'émission d'une diode laser solide de type à rubans multiples, caractérisé en ce qu'il consiste à forcer l'amplification dans ladite diode de son mode d'ordre le plus élevé et donc de gain le plus fort, en lui couplant, avec un déphasage de ir entre deux rubans adjacents, une cavité externe de conversion agencée pour osciller, entre une première et une seconde extrémités, la seconde extrémité réflé- chissant Le mode fondamental de la diode, et ainsi assurer en sortie une émission monolobe axiale. Un second objet de L'invention est un dispo- sitif pour améliorer L'efficacité de conversion et la directivité de l'émission d'une diode laser solide de type à rubans multiples, caractérisé en ce qu'il comprend essentiellement une cavité externe couplée à la face intracavité de la diode via un déphaseur de T entre deux rubans adjacents et fermée par des moyens de réflexion partielle et localisée agencés pour qu'ils ne réfléchissent que le mode fondamental de la diode et ainsi permettre en sortie une émission monolobe axiale. La description qui suit donnée à titre illus- tratif et non limitatif, se réfère aux figures 1-3 annexées montrant en vue de dessus, trois modes de réalisation du dispositif selon l'invention. Sur la figure 1, on a représenté une diode laser semi-conductrice solide, de référence générale , comportant plusieurs rubans parallèles 12, métal- lisés, séparés par des zones non pompées 13. Les rubans 12 font 5 im de large. Pour des diodes lasers émettant entre 800 et 900 nm, la couche active sous-jacente aux rubans 12 et le substrat sont en GaAs intentionnellement non dopé et les couches de confinement en Gal.xAlxAs dopé n ou p, avec O Pour des diodes lasers émettant entre 1300 et 1650 nm, la couche active sous-jacente aux rubans 12 est en GalxInAslyPy, avec 0 les couches de confinement et le substrat en InP. La couche active a une épaisseur de 100 nm environ et les couches de confinement de 1000 nm. Cette diode 10 comporte une face laser cLivée 14 pourvue d'un revêtement 15 hautement réfléchissant par exemple en SiO2 recouvert d'un métal. La face intracavité de la diode, parallèle à la face clivée 14 porte La référence 16 et est revêtue d'un matériau 17 antireflet par exemple du SiO ou Si3N4. Le pompage optique est assuré électriquement en appliquant sur les rubans 12 un potentiel de quelques volts par rap- port a-u potentiel de référence appliqué au substrat. Selon l'invention, on couple la diode laser à une cavité externe de conversion 18 avec un dépha- sage de entre deux rubans adjacents 12, assuré par un déphaseur 20 du type réseau de déphasage. Ce dépha- seur, dans un premier mode de réalisation, est placé dans le champ proche de la diode laser 10. Le réseau de déphasage est une couche de matériau 21 présen- tant en alternance deux épaisseurs e et E différant de h=(p+1/2)X/(n-1) o p est un entier positif, À la longueur d'onde du rayonnement émis par la diode 10 et n l'indice de réfraction du matériau 21. Ce dernier peut être du SiO2 avec n=1,5, e=100 nm et E=185 nm pour une diode laser émettant à 850 nm. La largeur des zones 26 les plus épaisses est égale à celle des zones les plus fines 28. Le pas du réseau est par exemple de 20 pm. On peut aussi utiliser en variante un réseau d'indice. Afin d'éviter toute réflexion partielle intermédiaire de la lumière produite par la diode , les faces arrière 22 et avant 24 du déphaseur 20 sont recouvertes respectivement d'un revêtement et 27 antireflets tels que ceux classiquement utili- sés sur du verre. Selon l'invention, la cavité laser externe 18 est agencée pour osciller, entre l'extrémité 14 ou face clivée de la diode et l'extrémité de sortie , avec uniquement réflexion du mode fondamental de la diode 10 à L'extrémité 40, et assurer ainsi à la sortie 40 une émission 29 monolobe et selon l'axe de la cavité. A cet effet, et selon un premier mode de réalisation (figure 1), on utilise une optique de focalisation 30 telle qu'un objectif, une simple lentille convergente 32 ou une lentille GRIN dont les plans de Fourier (plans objet et image) coïncident d'une part avec le réseau de déphasage 20 et d'autre part avec l'extrémité de sortie 40 de la cavité. Les références fl et f'1 indiquent les distances foca- les objet et image de la lentille 32. La sélection du mode fondamental de la diode est assurée par un filtre spatial 42 placé à l'extrémité 40 de la cavité. Un miroir 44 à réflexion partielle est placé en aval du filtre 42. Il permet de réfléchir une partie de l'émission laser en vue de son amplification ainsi que la sortie de l'émission 29. Dans le plan de Fourier image de la lentille 32, le filtre spatial 42 sélectionne le mode fondamen- tal de la diode laser 10. Ce mode fondamental se propa- geant en retour de la droite vers la gauche, est trans- formé dans le mode d'ordre le plus élevé par le réseau de déphasage 20; ce mode est alors injecté dans la diode laser 10, réfléchi sur la face laser clivée 14 possédant le traitement réfléchissant 15 et se propage à nouveau de la gauche vers la droite. Ce mode sort de la diode laser 10 par la face 16 traitée avec le matériau antireflet 17 et est transformé en mode fondamental par le réseau de déphasage 20; ce mode fondamental est ensuite réfléchi dans le plan de Fourier image de la lentille 32 et l'oscillation se poursuit. L'avantage d'un tel disposifif est une émis- lq sion monolobe axiale avec amplification du mode d'ordre Le plus éLevé dans La diode laser qui a Le plus fort gain. Ceci a plusieurs avantages: une efficacité quantique externe meilleure que celle obtenue par amplification directe du mode fondamental et une moin- dre influence de la réflectivité résiduelle de la face intracavité 16 de la diode laser 10. Selon l'invention, il est possible, comme représenté sur la figure 2 de réaliser le déphasage de Â de l'émission laser issue de la diode en plaçant le réseau de déphasage 20 dans le plan image d'une optique de focalisation 50 telle qu'une lentille, le plan objet de cette lentille 50 étant alors confondu avec la face intracavité 16 de la diode. Il est aussi possible, comme- représenté sur la figure 3, de remplacer le filtre spatial 42 et le miroir 44 semiréfléchissant associé par une structure à réflexion partielle localisée constituée par exemple par un matériau absorbant 48 revêtu en son centre d'une plage 49 réalisée en un matériau partiellement réfléchissant tel qu'un empilement de diélectrique. D'autres modifications des éléments optiques de la cavité externe 18 ainsi que d'autres agencements de ces éléments peuvent être envisagés sans pour autant sortir du cadre de l'invention. En particulier, les modes de réalisation représentés sur les figures 2 et 3 peuvent être combinés. REVENDICATIONS 1. Procédé pour améliorer l'efficacité de conversion et la directivité de l'émission d'une diode laser solide (10) de type à rubans multiples (12), caractérisé en ce qu'il consiste à forcer l'amplifica- tion dans ladite diode de son mode d'ordre le plus élevé et donc de gain le plus fort, en lui couplant, avec un déphasage de w entre deux rubans (12) adjacents assuré par un déphaseur (20), une cavité externe de conversion (18) agencée pour osciller, entre une première et une seconde extrémités (14, ) , le mode fondamental de la diode (10) étant réfléchi à la seconde extrémité et ainsi assurer en sortie une émission monolobe axiale (29). 2. Procédé selon la revendication 1, caracté- risé en ce que le couplage de la diode à la cavité externe (18) est assuré de manière à éviter toute réflexion partielle intermédiaire. 3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la première extrémité (14) de la cavité externe possède une haute réflexion alors que la seconde extrémité (40) possède une réflexion partielle et localisée. 4. Procédé selon l'une quelconque des reven- dications précédentes, caractérisé en ce que l'on utilise dans la cavité externe des moyens de focalisa- tion (30) dont les plans de Fourier sont confondus avec les plans du déphaseur (20) et de la seconde extrémité (40). 5. Dispositif pour améliorer. l'efficacité de conversion et la directivité de l'émission d'une diode laser solide (10) de type à rubans multiples (12), caractérisé en ce qu'il comprend essentiellement une cavité externe (18) couplée à la face intracavité (16) de la diode via un déphaseur (20) de r entre deux rubans (12) adjacents et fermée par des moyens (42, 44, 49) de réflexion partielle et localisée agencés pour qu'ils ne réfléchissent que le mode fondamental de la diode et ainsi permettre en sortie une émission monolobe axiale. 6. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que le déphaseur est un réseau de déphasage (20) formé d'une couche de matériau (21) présentant en alternance deux épaisseurs e et E diffé- rant de h = (p+1/2)X/(n-1) o p est un entier, X la longueur d'onde du rayonnement émis par la diode et n l'indice de réfraction du matériau. 7. Dispositif selon la revendication 5 ou 6, caractérisé en ce que le déphaseur (20) est situé dans le champ proche de la face intracavité (16) de la diode ou dans son plan image grâce à une première optique de focalisation (50). 8. Disposit.if selon l'une quelconque des revendications 5 à 7, caractérisé en ce que la face intracavité (16) de la diode et les deux faces (24, 26) du déphaseur (20) sont traitées avec des matériaux antireflets (25, 27). 9. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 5 à 8, caractérisé en ce que la face clivée (14) de la diode est pourvue d'un revêtement (15) hautement réfléchissant. 10. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 5 à 9, caractérisé en ce que l'extrémité (40) de la cavité externe opposée à la diode est pour- vue d'un filtre spatial (42) et d'un miroir à réflexion partielle (44) ou d'une structure équivalente à réfle- xion partielle localisée (48). 11. Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que la cavité externe inclut une seconde optique de focalisation (30) dont les plans de Fourier con.cident avec Le déphaseur (20) et La structure de réflexion localisée (40) ou le miroir (44).