FR 2630260 A1 19891020 FR 8805141 A 19880419 l PHOTODETECTEUR EN SILICIUM AMORPHE A RENDEMENT QUANTIQUE AMELIORE L'invention concerne les photodétecteurs, et plus particulièrement mais non exclusivement ceux qui sont réalisés à base de diodes PIN au silicium amorphe. - Dans une diode PIN, composée de trois couches superposées qui sont respectivement une couche de silicium amorphe dopée de type P, une couche de silicium amorphe intrinsèque ou très peu dopée, et une couche de silicium amorphe dopée de type N. la eouche centrale intrinsèque est celle dans laquelle se produit essentiellement l'effet photoélectrique, c'est-à-dire la production d'un courant sous l'effet d'un éclairement. En effet, les photons incidents engendrent des paires électrons-trous dans toutes les couches, mais d'une part c'est seulement dans la couche intrinsèque qu'il y a un champ électrique suffisant pour permettre d'établir un courant, et d'autre part c'est seulement dans la couche intrinsèque (du fait de son très faible dopage) qu'il y a un taux de recombinaison suffisamment faible pour que le courant ou les charges engendrées soit effectivement détectables. Comme c'est la couche intrinsèque qui est donc la couche de détection utile, il est courant de prévoir des moyens pour réduire autant que possible l'absorbtion des photons dans la couche N ou la couche P (selon que c'est la couche N ou la couche P qui est traversée par le rayonnement incident). En effet, puisque ces couches ne participent pas vraiment à la production d'un courant mesurable, il ne faut pas qu'elles constituent un écran par rapport à la couche intrinsèque qui est la vraie couche photodétectrice de la structure. Un moyen de réduction de l'absorbtion du rayonnement lumineux dans la couche N ou P consiste à doper cette couche avec du carbone. Ce dopage rend In couche plus transparente car il augmente le quantum d'énergie qu'on doit appliquer à une liaison lnteratomique pour briser cette liaison et engendrer une paire électron-trou. Ce quantum d'énergie sera appelé cil-après "gap" conformément à l'habitude; il est fonction du matériau semiconducteur utilisé ainsi que des matériaux avec lequel il est dopé. On dope au carbone par exemple la couche P qui reçoit directement le rayonnement incident; son gap augmente et elle devient plus transparente car il devient plus difficile à un électron d'être éjecté de sa bande de valence sous l'action d'un photon; par contre la couche N n'a pas besoin d'être dopée au carbone puisqu'elle est de l'autre côté; et la couche intrinsèque ne doit pas être dopée ai, carbone puisqu'on souhaite qu'elle soit absorbante et qu, de nombreuses paires électrons-trous soient engendrées. Dans des applications comme les piles solaires, destinées à fournir de l'énergie électrique en quantité aussi grande que possible sous l'effet d'un èclairement, on essaye par ailleurs de rendre la couche intrinsque moins transparente par un dopage à l'aide d'un matériau qui tond à diminuer le gap du semiconducteur de la couche intrinsèque En diminuant le gap, on augmente la probabilité pour que tous les photons incidents engendrent une paire électron-trou, même s'ils sont de faible énergie (rouge ou infrarouge). On augmente ainsi la sensibilité du photodétecteur. Pour une couche intrinsèque en siliciutn amorphe, le matériau de dopage tendant à diminuer le gap pent être du germanium. Tout ceci est valable aussi pour des structures de photodiodes voisines, telles que par exemple des structures à cinq couches, de type NIPIN ou PINTP; toutefois, dans ces structures, les deux couches intrinsèques ne jouent pas des rôles identiques et l'une des deux est d'ailleurs nettement plus épaisse que l'autre: c'est celle qui joue le même rôle que la couche intrinsèque unique des diodes PIN; elle constitue la couche centrale, soumise à un champ électrique élevé, d'une diode PIN polarisée en inverse. L'autre couche intrinsèque est beaucoup plus mince, en outre elle joue un autre rôle car elle consitue la couche centrale d'une diode polarisée en direct; si elle est située du côté qui reçoit la lumière on a avantage à ce qu'elle soit aussi rendue plus transparente, par un dopage au carbone par exemple. Tout ceci est encore valable pour des photodétecteurs qui ne sont pas des photodiodes mais dans lesquels la couche détectrice est encore une couche semiconductrice intrinsèque soumise à un champ électrique. La présente invention résulte de l'observation inattendue que pour certaines applications, et plus précisément des applications o les photodétecteurs reçoivent ou doivent détecter une lumière dans une gamme de longueurs d'onde étroite et bien définie, on augmente la sensibilité des photodétecteurs, c'est-à-dire la quantité de charges électriques ou de courant émis en réponse à un flux lumineux donné, en dopant la couche intrinsèque semiconductrice avec un matériau tendant à augmenter le gap du semiconducteur. Autrement dit, on s'est aperçu qu'en dopant la couche intrinsèque avec un matériau qui habituellement a pour rôle de rendre le semiconducteur plus transparent à la lumière donc de diminuer la quantité de charges électriques créées, on aboutissait à augmenter cette quantité de charges et donc la sensibilité du photodétecteur. Lorsque la couche intrinsèque est en silicium amorphe, un dopage au carbone de la couche intrinsèque s'avère particulièrement intéressant lorsqu'on veut détecter un rayonnement dans une gamme de longueurs d'onde étroite autour de 550 nanomètres (couleur verte). Mais on peut le faire aussi pour détecter un rayonnement rouge vers 420 nanomètres. L'invention est particulièrement intéressante dans une application o le photodétecteur est associé à un scintillateur et reçoit du scintillateur un rayonnement dans une bande de longueurs d'onde très étroite (monochromatique ou quasi monochromatique) si cette longueur d'onde correspond à la gamme dans laquelle la sensibilité de la couche intrinsèque est effectivement augmentée par le dopage au carbone. En radiologie en particulier, on utilise des scintillateurs à l'oxysulfure de gadolinium qui émettent un rayonnement monochromatique vert à 550 nanomètres; avec un photodétecteur dont la couche intrinsèque est en silicium amorphe hydrogéné dopé au carbone, on obtient une augmentation de rendement tout à fait appréciable, et de plus une diminution du courant d'obscurité, c'est-à-dire des charges engendrées par agitation thermique même quand le détecteur n'est pas éclairé. Il en est de même pour des scintillateurs à l'iodure de césium émettant un rayonnement monochromatique rouge à-420 nanomètres. L'amélioration du rapport sensibilité/bruit est moindre mais existe quand même avec un dopage au carbone d'une couche intrinsèque de silicium amorphe lorsque le scintillateur est constitué d'oxyde d'yttrium (rayonnement rouge à 610 nanomètres). L'invention n'est pas limitée à l'utilisation du carbone comme dopant et du silicium amorphe comme matériau semiconducteur de la couche intrinsèque: pour déterminer quels matériaux peuvent convenir, on va maintenant donner l'explication supposée du fait que l'on arrive à augmenter la sensibilité de la couche intrinsèque en la dopant avec un matériau qui a priori la rend plus transparente donc moins sensible. L'homme de l'art pourra en déduire par le même raisonnement quel sont les autres dopants possibles pour le silicium amorphe et quels dopants pourraient convenir pour d'autres semiconducteurs que le silicium. Les explications sont données en référence aux figures annexées dans lesquels: - la figure 1 représente le rendement quantique théorique (en traits pleins) et réel (en traits pointillés) de photodétection d'un semiconducteur; - la figure 2 représente les courbes réelles pour un semiconducteur intrinsèque (silicium) non dopé et pour un semiconducteur intrinsèque dopé au carbone Dans la théorie, le rendement quantique d'émission de charges en présence d'un rayonnement de longueur d'onde lambda est une constante au dessous d'une certaine longueur d'onde de coupure Le qui ne dépend que du gap du semiconducteur et qui est inversement proportionnelle à ce gap; il chute ensuite rapidement pour des longueurs d'onde plus grandes. Le rendement quantique est le nombre d'électrons émis par photon incident. Au dessous de Le, tout photon émet le même nombre d'électrons (par exemple 0,5). Au dessus de Le, le -rendement quantique chute fortement. Pour le silicium amorphe, le rendement quantique théorique est constant jusqu'à une valeur de longueur d'onde Lc égale à 650 nanomètres environ. Puis il chute. La courbe Rth de la figure 1, en traits pleins, représente ce rendement. En fait, pour toutes sortes de raisons, le rendement réel d'un photodétecteur en électrons émis par photon n'est pas constant en fonction de la longueur d'onde au dessous de Le. On constate que la courbe réelle Rr correspond plutôt à la forme tracée en pointillés sur la figure 1. Cette forme présente plutôt un maximum pour la longueur d'onde Lc correspondant au gap du semiconducteur et elle décroît à la fois au dessus et au dessous de la longueur d'onde de coupure Le. En dopant le semiconducteur intrinsèque avec un matériau qui augmente le gap, on tend à reculer vers la gauche le maximum de la courbe Rr, puisqu'en augmentant le gap on diminue la longueur d'onde de coupure Le pour laquelle dans la théorie (et d'ailleurs la réalité aussi) le rendement quantique se met à chuter fortement. Toute l'astuce de l'invention consiste dans le ehoix d'un matériau de dopage de la couche intrinsèque en fonction de la longueur d'onde à détecter, ce matériau étant tel - qu'il augmente le gap du semiconducteur au lieu de le diminuer comme on le faisait dans l'art antérieur, - mais qu'il l'augmente dans une mesure calculée pour que le maximum de la courbe de rendement de photodétection se situe aux alentours de la gamme (étroite ou même monochromatique) de longueurs d'onde à détecter dans l'application considérée. Pour un semiconducteur en silicium amorphe intrinsèque hydrogéné, la longueur d'onde de coupure est d'environ 650 nanomètres; le gap est de 1, 6 à 1,7 électron-volt environ. Le dopage au carbone permet d'augmenter le gap du semiconducteur d'environ 0,4 électron-volt, ce qui a pour effet de décaler vers 550 nanomètres environ le maximum de la courbe du rendement quantique en fonction de la longueur d'onde. Ce décalage est obtenu avec une concentration de carbone qui est celle obtenue au moment du dépôt du silicium intrinsèque amorphe par décomposition de silane en présence de méthane avec une proportion de méthane égale à environ 50 % du mélange gazeux. La figure 2 représente ce décalage. Elle montre clairement que si on cherche à détecter un rayonnement monochromatique de longueur d'onde environ 550 nanomètres, la couche intrinsèque de silicium amorphe dopée au carbone sera meilleure qu'une couche de silicium non dopée au carbone, alors qu'elle est globalement plus transparente. Par ailleurs, le courant d'obscurité du photodétecteur sera nettement diminué par cette augmentation du gap du semiconducteur. L'invention s'applique tout particulièrement aux détecteurs de rayons X (radiologie) réalisés à partir de silicium amorphe hydrogéné et utilisant un scintillateur dont l'activateur est le gadolinium. Dans un autre exemple, également applicable en radiologie, on cherche à détecter un rayonnement monochromatique rouge à 420 nanomètres. C'est le cas avec un scintillateur à l'iodure de césium. On augmentera la dose de carbone incorporée au silicium amorphe intrinsèque de manière à déplacer vers la gauche jusqu'aux alentours de 420 nanomètres le maximum de la courbe de rendement quantique. On y arrive par exemple en effectuant le dépôt de silicium intrinsèque par décomposition chimique de silane en présence de méthane, avec une proportion de méthane égale à environ 80 % à 90 % du mélange gazeux (méthane + silane). Pour vérifier par la mesure le déplacement du maximum de la courbe de rendement quantique, on utilise une source de lumière étalon (de spectre et d'intensité parfaitement connus) devant laquelle on place un monochromateur (à prisme ou à réseaux). Ce monochromateur permet de sélectionner une raie monochromatique donnée du spectre de la source et de faire varier cette raie. Pour chaque raie on mesure le signal fourni par le détecteur éclairé par la source de lumière étalon à travers le monochromateur. REVENDICATIONS 1. Détecteur photosensible comprenant une couche photosensible principale constituée par un semiconducteur intrinsèque ou quasi-intrinsèque, caractérisée en ce que la couche intrinsèque est dopée avec un matériau tendant à augmenter le gap du semiconducteur. 2. Détecteur selon la revendication 1, pour la détection d'un rayonnement monochromatique ou dans une bande de longueurs d'onde étroite caractérisé en ce que le matériau de dopage est choisi de telle sorte que le semiconducteur intrinsèque dopé avee ee matériau possède une courbe de rendement quantique en fonction de la longueur d'onde présentant un maximum aux environs de la bande de longueurs à détecter. 3. Détecteur selon la revendication 1, caratérisé en ce qu'il comporte en outre un scintillateur pour convertir un rayonnement reçu en un autre rayonnement à bande de longueur d'onde étroite, ce deuxième rayonnement étant reçu par le semiconducteur intrinsèque. 4. Détecteur selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le semiconducteur est du silicium amorphe et en ce que le matériau de dopage est du carbone. 5. Détecteur selon la revendication 4, caractérisé en ce que le scintillateur est en oxysulfure de gadolinium émettant un rayonnement vert, et en ce que le semiconducteur intrinsèque est du silicium amorphe hydrogéné. 6. Détecteur selon la revendication 5, caractérisé en ce que la proportion de carbone dans le silicium amorphe intrinsèque est celle qui est obtenue par décomposition chimique en phase gazeuse de silane en présence de méthane avec une proportion de méthane d'environ 50 % du mélange. 7. Détecteur selon la revendication 4, caractérisé en ce que le scintillateur est en codure de céslum émettant un rayonnement rouge, et ce que le semiconducteur Intrinsèque est du silicium amorphe hydrogéné, la proportion de carbone dans le silicium étant celle obtenue à partir de la décomposition de silane en présence de méthane, la proportion de méthane étant d'environ 80 à 90 % du mélange.