FR 2633430 A1 19891229 FR 8808526 A 19880624 PROCEDE DE REALISATION D'UNE TETE MAGNETIQUE D'ENREGISTREMENT/LECTURE A PARTIR D'UN SUBSTRAT MAGNETIQUE L'invention concerne un procédé de réalisation d'au moins une tête magnétique d'enregistrement/lecture à partir d'un substrat en matériau magnétique. Les têtes magnétiques de lecture et/ou d'enregistrement sont constituées d'un circuit magnétique en forme d'anneau coupé par un entrefer étroit constitué d'un matériau non magnétique. On peut classer les têtes magnétiques en trois grandes familles - les têtes massives sont réalisées par usinage et assemblage de deux demitêtes en matériau magnétique telles que les têtes vidéo (têtes VHS) ou les têtes audio analogiques. Le bobinage de ces têtes est réalisé en fin de procédé de réalisation. - Les têtes couches minces sont réalisées par dépôts successifs de matériaux magnétiques, diélectriques et conducteurs. Ces couches subissent des opérations de masquage et de gravure qui permettent d'obtenir le circuit magnétique, l'entrefer et les spires conductrices. - Les têtes comportant de chaque côté de l'entrefer un alliage métallique magnétique d'épaisseur variant entre 0,1 et micromètres, le reste du circuit magnétique et les spires conductrices étant réalisés de la même façon que pour les têtes massives. Il s'agit des têtes dites MIG (Metal In Gap) qui sont utilisées aujourd'hui dans les systèmes vidéo 8 mm ou audio numérique RDAT (Rotary Digital Audio Tape). Dans le procédé de réalisation d'une tête magnétique d'enregistrement/lecture, il est souvent nécessaire d'usirier une partie hétérogène constituée par l'association d'un matériau magnétique (de la ferrite par exemple) et d'un matériau non magnétique (du verre par exemple). C'est le cas notamment pour la réalisation de la tête magnétique décrite dans la demande de brevet français de la demanderesse enregistrée sous le n 87 14824. Si une couche mince magnétique doit être déposée sur cette face usinée, comme pour la tête magnétique décrite dans la demande de brevet français de la demanderesse enregistrée sous le n 87 14820, il est nécessaire de disposer d'une excellente qualité de surface. Cependant, l'opération de polissage d'une partie hétérogène conduit toujours à une usure différentielle des deux matériaux constituant cette partie hétérogène. Cette usure différentielle est d'autant plus importante que les matériaux présentent des duretés différentes. C'est le cas en particulier de la ferrite qui se polit habituellement avec un mélange de poudre de diamant, et du verre qui se polit habituellement avec de l'oxyde de cérium. Le plan ainsi usiné présente donc un défaut de planéité qui peut être incompatible avec les exigences des étapes suivantes de la réalisation de la tête magnétique. Pour remédier à ce problème, I'invention propose un nouveau procédé de réalisation d'au moins une tête magnétique qui permet le polissage différé des matériaux magnétique et non magnétique constituant la face active de la tête. L'invention a donc pour objet un procédé de réalisation d'au moins une tête magnétique d'enregistrement/lecture à partir d'un substrat en matériau magnétique, la tête magnétique possédant une face active définie par les pôles magnétiques de la tête séparés par un entrefer, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes: - lère étape: réalisation d'une rainure de largeur déterminée sur une face du substrat destinée à devenir la face active de la tête, - 2ème étape: polissage de la face du substrat comportant la rainure, - 3ème étape remplissage de la rainure par un matériau non magnétique destiné à constituer l'entrefer, le remplissage faisant déborder ce matériau non magnétique de la rainure, - 4ème étape: polissage du matériau débordant jusqu'à atteindre le niveau du substrat, 5ème étape usinage du substrat à partir d'une autre face que la face active pour obtenir un entrefer de profondeur déterminée, - 6ème étape fixation sur les pôles magnétiques d'une pièce de fermeture du champ magnétique, - 7ème étape: mise en place d'un bobinage dans le circuit magnétique constitué par les pôles et ladite pièce de fermeture. L'invention sera mieux comprise, et d'autres avantages apparaîtront, à la lecture de la description qui va suivre, donnée à titre non limitatif, et grâce aux dessins annexés parmi lesquels: - les figures 1 à 4 illustrent les 4 premières étapes du procédé selon l'invention, - les figures 5 à 7 illustrent une première variante de la suite du procédé selon l'invention, - les figures 8 à 10 illustrent une seconde variante de la suite du procédé selon l'invention. A titre d'exemple de réalisation, la description va porter sur la réalisation d'une seule tête magnétique, mals l'invention peut être avantageusement utilisée pour réaliser simultanément un grand nombre de têtes magnétiques à partir d'un même substrat. Selon la première étape du procédé selon l'invention, on réalise, par tout moyen connu de l'homme de l'art, une rainure sur l'une des faces d'un susbstrat en matériau magnétique, par exemple en ferrite. C'est ce que montre la figure i o la face I du substrat 2 est creusée par la rainure 3. A titre d'exemple, la rainure 3 peut avoir une largeur de 200 [nm pour une profondeur de 300 nm. La seconde étape du procédé consiste à polir la face 1 du susbstrat 2. L'opération de polissage peut être menée selon des techniques bien connues de l'homme de l'art. Par exemple, si le substrat 2 est en ferrite, le polissage peut être effectué avec une poudre de diamant. Il est préférable de mener l'opération de polissage après l'opération de rainurage car celle-ci peut laisser subsister des bavures. La troisième étape du procédé consiste à remplir les rainures par un matériau non magnétique, par exemple du verre, ce matériau non magnétique étant destiné à constituer l'entrefer. Une façon particulièrement avantageuse de remplir une rainure de dimensions aussi petites que celles indiquées plus haut consiste à utiliser une baguette de verre. Une même baguette permet alors de réaliser les entrefers de toute une rangée de têtes magnétiques. La figure 2 représente, vue axialement, une baguette de verre 4 déposée sur la rainure 3. Le diamètre de la baguette 4 a été prévu pour que le verre, une fois mis en place dans la rainure, déborde de cette rainure. C'est ce que montre la figure 3 o l'on volt le matériau diélectrique 5 déborder de la rainure 3. Le remplissage de la rainure peut être effectué en portant la baguette de verre à une température supérieure à son point de fusion. Cette opération peut être réalisée par chauffage de l'ensemble substrat + baguette de verre, le point de fusion du verre étant nettement inférieur à celui du substrat. La baguette peut aussi être fondue par chauffage localisé. La quatrième étape du procédé consiste à polir le verre débordant de la rainure; Par des techniques 4e polissage bien connues de l'homme de l'art, par exemple à l'aide de poudre d'oxyde de cérium, le verre peut être poli jusqu'à ce qu'il affleure la surface déjà polie du substrat. C'est ce que montre 263343C la figure 4. Ainsi, le retrait du verre par rapport à la face polie 1 sera au maximum de 500 angstr5ms pour une rainure dont les dimensions ont été citées plus haut. Les deux matériaux de la face active peuvent être considérés comme étant dans le même plan. A partir de ce substrat hétérogène poli, on peut continuer l'élaboration de la tête de différentes façons. Une première solution consiste à usiner, à partir de la face du substrat opposée à la face active, des gorges jusqu'à atteindre le matériau non magnétique d'entrefer. C'est ce que montre la figure 5 o l'on voit que la gorge 6 est plus large que l'entrefer 7 résultant du matériau diélectrique 5. La profondeur de l'entrefer peut être inférieure à 200 Illm. Ensuite, comme le montre la figure 6, une contre-pièce 8 de fermeture du champ magnétique peut être fixée à la face du substrat opposée à la face active. La contre-pièce peut être de même nature que le substrat 2. Sa fixation sur le substrat peut être obtenue par collage. Le matériau assurant le collage peut être un verre à température de fusion inférieure à celle du verre utilisé pour réaliser l'entrefer, le collage se faisant alors par élévation de température. Le matériau assurant le collage peut 'également être en polymère contenant une poudre de céramique. La tête magnétique peut alors être terminée suivant l'enseignement des demandes de brevet déjà citées. La figure 7 représente une tête magnétique d'enregistrement/lecture équipée de son bobinage 13 et dont les deux pôles magnétiques, formés à partir du substrat 2, portent les références 11 et 12. Une variante de réalisation consisterait à disposer le bobinage avant de coller la contre-pièce 8. Une seconde solution pour terminer l'élaboration de la tête magnétique consiste à amincir le substrat 2 jusqu'à supprimer la continuité de la partie ferrite. C'est ce que montre la figure 8 o les deux pôles magnétiques 21 et 22 sont séparés par l'entrefer 20. La qualité de surface de la face 263.3430 opposée à la face active 1 n'a pas besoin d'être très bonne. La profondeur de l'entrefer peut être de l'ordre de 200 rm. L'amincissement du substrat peut être obtenu par polissage diamant. Comme pour la première solution, une contre-pièce 25 (en forme de U) de fermeture du champ magnétique est fixée sur les pôles magnétiques 21 et 22, comme le montre la figure 9. La tête magnétique peut alors être terminée suivant l'enseignement des demandes de brevet déjà citées. La figure 10 représente une tête magnétique d'enregistrement/lecture équipée de son bobinage 26. Une variante de réalisation consisterait à disposer le bobinage dans une branche de la contre-pièce avant de la fixer sur les pôles magnétiques. 263.343C REVENDICATIONS 1 - Procédé de réalisation d'au moins une tête magnétique d'enregistrement/lecture à partir d'un substrat (2) en matériau magnétique, la tête magnétique possédant une face active (1) définie par les pôles magnétiques de la tête séparés par un entrefer, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes: - lère étape: réalisation d'une rainure (3) de largeur déterminée sur une face du substrat destinée A devenir la face active de la tête, - 2ème étape polissage de la face du substrat comportant la rainure, - 3ème étape remplissage de la rainure par un matériau non magnétique (5) destiné A constituer l'entrefer, le remplissage faisant déborder ce matériau non magnétique de la rainure (3), - 4ème étape: polissage du matériau débordant jusqu'à atteindre le niveau du substrat, - 5ème étape usinage du substrat A partir d'une autre face que la face active pour obtenir un entrefer de profondeur déterminée, 6ème étape fixation sur les pôles magnétiques d'une pièce de fermeture du champ magnétique, - 7ème étape: mise en place d'un bobinage dans le circuit magnétique constitué par les pôles et ladite pièce de fermeture. 2 - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la 7ème étape est réalisée avant la 6ème étape. 3 - Procédé selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que, pour la mise en oeuvre de la 3ème étape, ledit matériau non magnétique se présente sous la forme d'une baguette (4) qui est d'abord disposée sur la rainure (3) le matériau non magnétique étant ensuite introduit dans la rainure. 4 - Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que I'introduction dudit matériau non magnétique dans la rainure est obtenue en chauffant la baguette (4) à une température provoquant sa fusion. - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que les 5ème et 6ème étapes sont menées de la manière suivante: - 5ème étape: usinage d'une gorge (6) à partir de la face du substrat opposée à la face active (1) jusqu'à atteindre ledit matériau non magnétique et obtenir un entrefer (7) de profondeur déterminée, - 6ème étape: fixation sur Ies pâles magnétiques (11, 12) délimités par ladite gorge (6) de la pièce (8) de fermeture du champ magnétique. 6 - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que les 5è et 6ème étapes sont menées de la manière suivante: - 5ème étape: amincissement du substrat (2) à partir de la face du substrat opposée à la face active (1) jusqu'à obtenir deux pôles magnétiques (21, 22) séparés par un entrefer (20) de profondeur déterminée, 6ème étape: fixation sur les pôles magnétiques (21, 22) d'une pièce (25) en forme de U permettant la fermeture du champ magnétique. 7 - Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la fixation de la pièce de fermeture du champ magnétique sur les pôles magnétiques se fait par collage.