FR 2617333 A1 19881230 FR 8709174 A 19870625 26 17333 PROCEDE D'ELIMINATION DE ZONES DE NITRURE OU D'OXYNITRURE DE SILICIUM La présente invention concerne un procédé d'élimination de zones de nitrure ou d'oxynitrure de silicium. Ce procédé s'applique plus particulièrement à l'enlèvement de couches ou de zones de nitrure et/ou d'oxynitrure de silicium à la surface d'un substrat de silicium lors d'étapes préliminaires de fabrication d'un circuit intégré c'est-à-dire lors des étapes de formation de zones d'isolement pour séparer des composants ou des ensembles de composants élémentaires. Lors des étapes initiales de fabrication d'un circuit intégré, tant du type MOS que du type bipolaire, l'un des procédés classiques réside dans la formation de zones d'oxyde de silicium relativement épaisses, couramment appelées zones d'oxyde épais ou d'oxyde de champ destinées à séparer des flots dans lesquels seront formés un ou plusieurs transistors ou autre composant élémentaire. Le procédé le plus classique de formation de zones localisées d'oxyde de champ sur un substrat de silicium, dit - procédé LOCOS, consiste à faire croître une couche mince d'oxyde de silicium (Si02) puis à déposer une couche mince de nitrure de silicium (Si3N4). Ces couches sont ouvertes par gravure selon la configuration souhaitée puis la zone d'oxyde de champ est amenée à croître et ne se développe que dans les ouvertures, la couche de nitrure servant de masque à l'oxydation. Une fois l'oxyde déve- loppé, on élimine la couche de nitrure de silicium, généralement par des procédés d'attaque chimique; on maintient la couche mince de SiO2 pour l'utiliser comme électrode de grille de transistors MOS ou on l'élimine pour arriver à une structure du type repré- senté en figure lA. Dans cette figure, la référence 1 désigne ie substrat de silicium, la référence 2 la zone d'oxyde de champ et la référence 3 des résidus de nitrure de silicium dont l'expé- rience montre qu'ils apparaissent inévitablement à la fin du pro- cessus. Une variante du procédé LOCOS, appelée procédé SILO, consiste à utiliser comme sandwich antioxydation, un sandwich nitrure/silice/nitrure plutôt que simplement silice/nitrure. L'expérience montre que l'on obtient ainsi des zones d'oxyde de champ mieux délimitées sur les bords et que l'on minimise l'effet de bec d'oiseau. On se retrouve en fin de procédé avec une struc- ture du type de celle représentée en figure lB dans laquelle les mêmes références qu'en figure 1A désignent les mêmes couches. Mais cette fois, au lieu de résidus localisés de nitrure 3, il demeure une couche mince de nitrure 4. D'autre part, il conviendra de souligner que le résidu de nitrure 3 et la couche de nitrure 4 ne sont généralement pas du nitrure de silicium stoechiométrique (Si3N4) mais plus générale- ment des composés complexes dits oxynitrures désignés par la for- mule générique Si0xNy. Pour la réalisation de composants dans les zones entourées par l'oxyde de champ 2, il est impératif d'éliminer ces couches ou résidus d'oxynitrure qui viendraient autrement per- turber les traitements ultérieurs et le fonctionnement des dispo- sitifs formés. Le procédé le plus simple pour atteindre ce résultat consiste à procéder à une attaque chimique avec des produits tels que H3PO4 qui attaquent le nitrure de silicium sélectivement par rapport à SiO2 et à Si. Toutefois, ces procédés présentent l'inconvénient que l'attaque ne fonctionne plus de façon sélective ou très mal dans le cas d'un oxynitrure. D'autre part, de façon générale, on souhaite à l'heure actuelle dans les technologies de fabrication de circuits intégrés éviter le plus possible les procédés d'attaque chimique en phase liquide qui présentent toujours l'inconvénient que les conditions de pureté idéales ne sont pas toujours satisfaites. En effet, il est toujours difficile d'obtenir un produit chimique liquide parfaitement pur alors que pour un gaz cela est plus simplement possible. En conséquence, on s'est dirigé vers des procédés d'oxydation thermique en présence d'un gaz, par exemple de la vapeur d'eau, pour transformer le nitrure de silicium en oxyde de silicium, après quoi ce dernier est éliminé par une gravure sélective par rapport au silicium. Un inconvénient bien évident de ces procédés, comme cela est représenté en figure 2, est que le nitrure 3, s'oxyde beaucoup plus lentement que le silicium nu ou recouvert de silice, 1, existant dans les régions voisines. C'est d'ailleurs pour cette raison que lors des étapes antérieures du procédé le nitrure a été utilisé pour éviter l'oxydation des couches sous- jacentes. Il se forme donc en surface une couche d'oxyde 5 beaucoup plus épaisse que. la hauteur des résidus de nitrure, et la gravure pour éliminer cette couche 5 réduira l'épaisseur de l'oxyde de champ 2. Par ailleurs, on connaît dans l'art antérieur, par exemple à partir du brevet français 2 555 360 déposé aux noms des inventeurs de la présente demande, un appareil d'oxydation en présence d'un plasma d'oxygène. Cet appareil est décrit pour l'oxydation de plaquettes de silicium. Il est proposé dans ce document d'effectuer des oxydations dans une plage préférentielle de pression de 20 à 50 milliTorr (2 à 7 pascals) et une plage préférentielle de températures comprise entre 500 et 800 C. Les diverses courbes représentées dans ce document indiquent que les vitesses de croissance sont sensiblement constantes, c'est-à-dire que l'épaisseur de la couche d'oxyde formée varie sensiblement linéairement avec la durée au moins jusqu'à des épaisseurs d'oxyde de l'ordre de 600 nm. Il n'est pas suggéré dans ce document d'oxyder du nitrure de silicium. Un objet de la présente invention est de prévoir un procédé d'oxydation du nitrure de silicium en présence d'un plasma qui ne présente pas les inconvénients de l'art antérieur tels que décrits en relation avec la figure 2. La présente invention se base sur la découverte du fait que, dans certaines conditions opératoires, par exemple en utili- sant un appareil du type décrit dans le brevet cité ci-dessus et en choisissant des plages données de pression et de température ainsi que des modes particuliers de polarisation électrique, on arrive à oxyder le nitrure de silicium à une vitesse sensiblement égale à la vitesse d'oxydation du silicium nu. Ainsi, grâce à la présente invention, on évite les inconvénients exposés précédemment en relation avec la figure 2 du fait que l'oxydation du silicium en dehors des zones recouvertes de nitrure est faible. On évite donc, lors'de la gravure ulté- rieure de la couche de silice, d'enlever une épaisseur de silice importante ce qui réduirait l'efficacité des zones d'oxyde de champ ou obligerait à faire croître initialement des couches plus épaisses. Ces objets, caractéristiques et avantages ainsi que d'autres de la présente invention seront exposés plus en détail dans la description suivante d'exemples particuliers faite en relation avec les figures jointes parmi lesquelles: les figures lA, lB et 2 décrites précédemment étaient destinées à illustrer l'état de la technique; la figure 3 représente une structure découlant de celle de la figure 1A après un traitement selon la présente inyention, et la figure 4 représente des courbes illustrant des résultats obtenus selon la présente invention en ce qui concerne l'épaisseur oxydée e en fonction du temps t. ' Dans les figures 1, 2 et 3, les épaisseurs ne sont pas tracées à l'échelle, ni d'une figure à l'autre, ni à l'intérieur d'une même figure. La figure 3 illustre le résultat obtenu par la présente invention à savoir que, par un traitement selon la présente invention, le nitrure ou l'oxynitrure de silicium 3 est oxydé sen- siblement à la même vitesse que le silicium nu pour former une couche de silice 6 qui a une épaisseur légèrement supérieure à l'épaisseur maximale des résidus de nitrure de silicium 3 ou de la couche de nitrure de silicium 4 des figures lA et lB, respec- tivement. Ce procédé peut paraître particulièrement avantageux dans le cas o l'on part d'une structure telle que celle de la figure lA mais il faut bien noter que le cas d'une structure de départ telle que celle de la figure lB est en fait très analogue puisque, lors d'une oxydation d'une couche continue de nitrure de silicium 4, il existe toujours des emplacements o le nitrure est oxydé plus vite qu'ailleurs, soit en raison d'inégalités d'épais- seur, soit en raison de défauts structurels de la couche, soit aux limites des masques, et l'on se retrouve donc dans le même cas qu'en figure 1A. Le résultat illustré en figure 3 a été obtenu en utili- sant un appareil tel que décrit dans le brevet français 2 555 360 qui sera considéré ici comme connu et comme faisant partie intégrante de la présente description. Une différence de structure existe toutefois entre l'appareil utilisé selon la présente invention et l'appareil décrit dans ce brevet antérieur à savoir que les plaquettes de silicium au lieu d'être connectées électriquement à une électrode dont on contrôle la polarisation sont électriquement flottantes dans la zone de diffusion du plasma. D'autre part, alors que dans l'art antérieur, on pré- conisait (pour l'oxydation de silicium) des températures de fonc- tionnement relativement faibles, de préférence comprises entre 500 et 800 C, on procédera selon la présente invention à des tempéra- tures nettement plus élevées, par exemple de l'ordre de 750 à 9500C. Les plages de pression d'oxygène seront du même ordre de grandeur que- dans le document cité, c'est-à-dire par exemple comprises entre 20 et 50 milliTorr (2,5 et 7 Pa). La figure 4 représente l'épaisseur e en nanomètres (nm) d'oxyde formée en fonction du temps t en heures au cours du pro- cessus selon la présente invention pour diverses valeurs des paramètres de pression et de température. Ces courbes représentent l'épaisseur d'oxyde formé à partir de nitrure de silicium ou de silicium nu. On note à partir de ces courbes qu'il est possible d'ajuster la vitesse d'oxydation en faisant varier les paramètres de pression P et de température T. Pour chacune de ces courbes les paramètres sont indiqués dans le tableau ci-dessous. Dans tous les cas la puissance appliquée 'à l'appareil restait constante (600 W). Numéro de Température Pression I | Courbe ( C) Torr I 11 750 102 I 12 750 I 10 XI I 21 950 3.10-2 L 22 950 îo-1 I On notera par ailleurs que la vitesse de croissance diminue en fonction du temps pour atteindre une valeur sensible- ment nulle (voir en particulier les courbes 11 et 12). Ainsi,.dans des conditions expérimentales données, l'épaisseur d'oxyde formée tend vers une valeur maximale finie réglable par le choix de la pression et de la température. On peut donc créer des couches d'oxyde d'épaisseur très uniforme et prédéterminée. 2 6 1 7 3 3 3 REVENDICATIONS 1. Procédé d'élimination de couches ou zànes de nitrure et/ou d'oxynitrure de silicium (3) à la surface d'un substrat de silicium (1), éventuellement au dessus d'une couche mince d'oxyde de silicium, consistant à oxyder le nitrure ou oxynitrure pour le transformer en SiO2 puis à graver sélectivement ce SiO2 (6) par rapport au silicium sous- jacent, caractérisé en ce que l'oxydation est effectuée dans un réacteur d'oxydation à plasma d'oxygène dans des conditions telles que les vitesses d'oxydation du nitrure, de l'oxynitrure et du silicium sont du même ordre de grandeur. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le réacteur satisfait aux conditions suivantes: - les plaquettes à traiter sont maintenues à un poten- tiel flottant; - la pression d'oxygène est comprise entre 20 et 50 milliTorr (2,5 et 7 Pa); et - la température est comprise entre 750 et 950 C. 3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que la pression et la température de fonctionnement sont prédéter- minées pour l'obtention d'une épaisseur d'oxyde choisie.