FR 2618221 A1 19890120 FR 8710121 A 19870717 Détecteur d'onde électromagnétique, et analyseur d'image comportant un tel détecteur L'invention concerne un détecteur d'onde électromagnétique notamment pour détecter et mesurer l'amplitude d'une onde opti- que au sein d'un matériau semi-conducteur, et un analyseur d'image comportant un tel détecteur. Dans le domaine des ondes Infra-rouges, on connaît deux types de détecteur: les détecteurs pyroélectriques qui peuvent fonctionner à la température ambiante, mais qui sont lents, et les détecteurs à absorption par un matériau semi-conducteur de type -II-VI. Ces derniers sont basés sur l'absorption de l'onde à détecter, par une transition d'électrons de la bande de valence vers la bande de conduction du matériau semiconducteur. Les électrons libres ainsi créés sont ensuite collectés et drainés par un circuit électrique. La mesure du courant correspondant permet de mesurer la puissance optique reçue par le détecteur. Ces dispositifs doivent donc être constitués de matériaux semiconducteurs pour lesquels la largeur de la bande interdite est inférieure à l'énergie correspondant à l'onde à détecter. Ce fait conduit à utiliser des matériaux semi-conducteurs du type II-VI dont la fabrication est actuellement très délicate. D'autre part, il n'est pas possible- de réaliser avec un même matériau semi-conducteur des guides optiques et un détecteur classique, puisque le guide doit être réalisé au moyen de maté- riaux transparents pour l'onde à propager alors qu'un détecteur classique -nécessite d'utiliser un matériau semi-conducteur absorbant pour cette même onde. Il n'est donc pas possible, en optique intégrée, de réaliser sur un même substrat semi-conducteur un guide à faible perte et un détecteur. Le but de l'invention est de proposer un détecteur constitué de matériaux semi-conducteurs pouvant être réalisés 26 18221 par des techniques de fabrication plus simples, et permettant d'intégrer des guides optiques et un détecteur sur un même substrat. L'objet de l'invention est un détecteur comportant une structure quantique particulière permettant la détection d'une onde au sein d'un matériau semi-conducteur qui, habituellement, est transparent à la fréquence de cette onde. Par exemple, il peut être constitué de matériaux semiconducteurs de type III-IV, pour détecter une onde du domaine de l'lnfrarouge moyen. Deux variantes de ce détecteur sont proposées: - selon une première variante, cette structure quantique absorbe systématiquement l'onde à détecter, et n'est donc pas commandable - selon une seconde variante, l'absorption du matériau semi-conducteur peut être commandée, au cours du temps ou localement, par un pompage optique, au moyen d'une onde de commande ayant une fréquence généralement très supérieure à la fréquence de l'onde à détecter. Par exemple l'onde de commande peut être dans le domaine infra-rouge proche alors que l'onde à détecter est dans le domaine d'infra-rouge moyen. Le détecteur peut alors être absorbant à certains instants ou en certains points de sa surface de détection et être transparent à d'autres instants ou en d'autres points. L'invention a aussi pour objet un analyseur d'image comportant un détecteur conforme à cette seconde variante. Selon l'invention, un détecteur d'onde électromagnétique, est caractérisé en ce que pour détecter une onde de fréquence D 1 ' il comporte: - au moins une première couche de matériau semi-conducteur d'un premier type, et qui est traversée par l'onde à détecter; - au moins deux secondes couches, chaque première couche étant placée entre deux secondes couches et ces secondes couches étant constituées d'un matériau semi-conducteur d'un second type, ces deux types de matériau étant tels qu'il y ait un puits de potentiel dans la bande de conduction et dans la bande de valence de chaque première couche; l'épaisseur de chaque première couche étant telle que les électrons de la bande de conduction de chaque première couche possèdent au moins un niveau discret d'énergie permis, tel que la différence d'énergie entre ce niveau et le bas de la bande de conduction dans les secondes couches soit inférieure ou égale à l'énergie correspondant à la fréquence 31 de l'onde à détecter; ce niveau étant peuplé d'électrons; - deux électrodes pour appliquer un champ électrique, à l'ensemble des premières et des secondes couches et pour recueillir un courant électrique fonction de l'amplitude de l'onde à détecter. invention sera mieux comprise et d'autres détails appa- raîtront à l'aide de la description ci-dessous et des figures l'accompagnant: - la figure 1 représente un diagramme des niveaux d'énergie des porteurs dans la structu e quantique que comporte le détecteur selon l'invention; - la figure 2 représente un diagramme des niveaux d'énergie des porteurs dans cette structure quantique pour un exemple de choix de matériaux semi-conducteurs; - les figures 3a, 3b, 3c représentent un premier exemple de réalisation du détecteur selon l'invention, conformément à la première variante; - les figures 4a, 4b, 4c représentent un deuxième exemple de réalisation d'un détecteur selon l'invention, conformément à la seconde variante - la figure 5 représente une partie du deuxième exemple de réalisation; - la figure 6 représente un exemple de réalisation, d'un analyseur d'image comportant un détecteur selon l'invention; - les figures 7a, b, c représentent un troisième exemple de réalisation du détecteur selon l'invention, destiné plus particulièrement à détecter une onde guidée selon une seule dimension - la figure 8 représente un quatrième exemple de réalisa- -tion, destiné plus particulièrement à détecter une onde guidée selon deux dimensions - la figure 9 représente l'application du quatrième exemple de réalisation à la mesure de la puissance optique le long d'un guide - la figure 10 représente l'application du quatrième exemple de réalisation à la mesure de la puissance optique le long d'un coupleur optique. Le diagramme de la figure 1 représente les niveaux d'énergie des porteurs dans la structure quantique utilisée dans le détecteur selon l'invention. Cette structure quantique À5 comporte: une couche 2 de matériau semiconducteur d'un premier type, noté Mb, et deux couches, i et 3, d'un matériau semi-conducteur d'un second type, noté M, situées de part et d'autre de la couche 2. Les couches 1 et 3 ont une bande interdite de largeur Ega alors que la couche 2 a une bande interdite de largeur Egb inférieure à Ega. Il est généralement admis que la différence entre ces deux largeurs se répartie entre la bande de conduction et la bande de valence selon les proportions 65% et 35% respectivement. L'assoceiation de ces trois couches de matériaux semi-conducteurs ayant des largeurs de bande interdite différen- tes permet la création d'un puits de potentiel pour les élec- trons dans la bande de conduction, et pour les trous dans la bande de valence. Lorsque les dimensions de ce puits sont proches des longueurs d'onde de Broglie associées à ces particules, l'énergie totale qui leur est permise ne peut pren- dre qu'un nombre fini de valeurs discrètes. Ce nombre de valeurs et ces valeurs sont directement fonctions des dimensions du puits quantique et des caractéristiques des matériaux semi-conducteurs La structure quantique utilisée dans le détecteur selon l'invention s une seule dimension: l'épaisseur. 2618 221 1b de la couche 2. Le puits possède alors au moins un niveau discret d'énergie permis, e, pour les électrons dans la bande de conduction, et au moins deux niveaux h1 et h2 pour les trous dans la bande de conduction. Pour simplifier, sur cette figure, tous les trous de la bande de valence sont supposés posséder les mêmes caractéristiques, ce qui conduit à l'existence de seulement deux niveaux discrets d'énergie permis h1 et h2 Si le niveau eI est peuplé d'électrons, une onde. de fréquence V) I peut être détectée et absorbée par une transition du- niveau e1 vers le continuum des états non liés, situés au dessus de la barrière de potentiel, à condition que l'énergie h. 1 de l'onde à détecter, h étant la constante de Planck, soit 1 0 supérieure à une énergie h. peuplé d'électrons, deux variantes de réalisation sont possibles. Selon une première variante, la couche 2 est constituée d'un matériau semi-conducteur assez fortement dopé, avec un dopant de type N, pour permettre une détection sans que le détecteur soit saturé. L'onde à détecter est alors systématiquement absorbée. Selon une seconde variante, la couche 2 est constituée d'un matériau semi-conducteur non dopé, c'està-dire ayant un dopage résiduel aussi faible que possible avec les technologies connues Le peuplement du niveau fondamental e est alors réalisé par un pompage optique, en illuminant la couche 2 par une onde de fréquence ô: 2 proche de la fréquence 2 correspondant à la différence d'énergie entre le niveau fondamental h1 permis pour les trous dans la bande de valence, et le niveau fondamental e1 permis pour les électrons dans la bande de'* conduction du matériau de la couche 2. L'absorption de l'onde à détecter, de fréquence 1, ne peut alors se faire que lorsque l'onde de commande, de fréquence 2' illumine la couche 2. La fréquence 2 est supérieure à la fréquence 1 à cause de la configuration des niveaux d'énergie dans la couche 2, et peut appartenir à un domaine spectral très différent de celui de 1. Par exemple, l'onde à détecter peut être du domaine infra-rouge moyen alors que l'onde de commande peut être du domaine infra-rouge proche. En l'absence de l'onde de commande, la couche 2 est parfaitement transparente. Les couches I et 3 sont réalisées aussi dans un matériau semi-conducteur peu ou pas dopé, ce qui permet d'obtenir un détecteur transparent pour l'onde à détecter en l'absence de l'onde de commande. Ce détecteur peut être inséré sur le chemin de l'onde à détecter sans provoquer la disparition de celle-ci tant qu'il n'est pas commandn- pour réaliser la détection. Cette propriété du détecteur selon l'invention est un avantage par rapport aux détecteurs classiques qui absorbent l'onde à détecter sitôt qu'ils sont placés sur le trajet de celle-ci. D'autre part, le détecteur selon l'invention peut être intégré à un guide optique, pour faire une mesure de la puissance optique à certains instants, sans perturber la propagation de la lumière pendant le reste du temps. Enfin, il est possible de n'illuminer qu'une très petite portion de la surface de la couche 2 afin de détecter la puis- sance optique en un point précis de cette couche, pour analyser point par point la puissance optique traversant cette couche. Cette structure permet done de réaliser un analyseur d'images à balayage optique ou un dispositif de mesure point par point de la puissance optique dans un guide optique. Le principe de fonctionnement du détecteur selon l'invention, permet l'utilisation de matériaux semi-conducteurs de types III-V et en particulier des alliages du type A lxGa xAs dont la technologie est très classique. La figure 2 représente un diagramme analogue à celui de la figure 1, pour un exemple de réalisation destiné à détecter une onde de longueur d'onde-10,6 microns correspondant à une éner- gie de 117 meV, lorsque le détecteur est illuminé par l'onde de commande. Les couches 1 et 3 sont constituées de Ga0,85A10,15As et la couche 2 est constituée de GaAs. Pour ces matériaux, Ega est égal à 1611 meV et Egb est égal à 1424 meV. Pour une épaisseur 1b = 0,006 micron, les niveaux d'énergie permis sont tels que la transition du niveau fondamental e1 jusqu'au niveau le plus bas de la bande de conduction dans les couches 1 et 3 est égale à 70 meV. Avec ces matériaux, l'épaisseur 1b de la couche 2 consti- tuant le puits quantique doit être inférieure à 0,0068 micron pour que les électrons ne possèdent qu'un seul niveau discret d'énergie permis dans la bande de conduction. D'autre part, pour que le détecteur puisse fonctionner à la température am- biante, il faut que la barrière de potentiel, de valeur h.l( à franchir pour les électrons, soit supérieure à k.T = 26 meV, k étant la constante de Boltzmann et T étant égale à 300 K. Enfin, la hauteur de cette barrière doit être inférieure à 117 meV, pour pouvoir détecter une longueur d'onde de 10,6 0D microns. Par conséquent la valeur h.1 0 doit être comprise entre 26 et 117 meV. Dans cet exemple, le choix des matériaux et le choix d'une largeur 1b = 0,006 micron conduit à une hauteur de la barrière de potentiel égale à 70 meV, ce qui convient pour absorber la configuration d'onde à détecter: 10,6 microns. Les trous lourds ont deux niveaux d'énergie permis, hh1 et hh2, alors que les trous légers ont un seul niveau permis, lh1, dans la bande de valence de la couche 2. La différence d'énergie h.; 20 entre le niveau fondamental hh1 pour Ies trous dans la bande de valence et le niveau fondamental e1 pour les électrons dans la bande de conduction est égale à 1485 meV, ce qui correspond à une longueur d'onde de 0,93 micron appartenant au domaine de l'infra-rouge très proche. L'existence de deux fanmilles de trous: les trous légers et les trous lourds, ainsi que l'existence de deux niveaux permis pour les 261822 1 trous. lourds, ne change pas le principe de fonctionnement du détecteur, décrit précédemment en se référant à la figure 1. La figure 3a représente schématiquement un premier exem- ple de réalisation d'un détecteur selon l'invention, conformé- ment à la première variante, pour détecter une onde non guidée, notée h. 1 Cet exemple de réalisation comporte: une élec- trode Schottky, ES1; une couche 11 constituée d'un matériau M; un ensemble de couches, 12, appelé multipuits quantique (M.P.Q.) et constitué d'une succession périodique de couches de matériau Ma d'épaisseur Ia et de couches de matériau Mb d'épaisseur 1b; une couche 13 constituée de matériau Mb; et une électrode ohmique, EOI. L'électrode ES1 est connectée par une borne 14 à un circuit électrique comportant un générateur de tension continue G. L'électrode EO1 est reliée par une borne 15 à ce même circuit électrique. L'onde à détecter h.;D 1 est appliquée perpendiculairement aux couches, à travers l'électrode ES I qui est réalisée de manière à être transparente pour la fréquence 1 ' Pour cela, différents modes de réalisation sont possibles: une très faible épaisseur, ou une structure en grille, etc... La couche 11 possède un dopage résiduel de type N. qui doit être le plus faible réalisable par la technologie connue, pour ne pas absorber l'onde de fréquence 1 ' Les couches de l'ensemble 12 ont un dopage de type N pour peupler d'électrons le niveau permis e1 des puits quantiques, suffisamment pour qu'il n'y ait pas saturation du détecteur par l'onde à détecter. Mais ce dopage doit néanmoins être compatible avec la tension limite que peut supporter l'électrode ESl et qui régit le champ électrique maximal applicable au sein des couches 12 et 13. La couche 13 constitue le substrat du détecteur et a un dopage de type N très important afin de faciliter l'obtention d'un caractère ohmique pour l'électrode EO1. Dans cet exemple de réalisation, l'onde à détecter étant absorbée par l'ensemble de couches 12, l'électrode EO1 peut ne pas être transparente pour la fréquence. Les couches de l'ensemble 12 sont analogues aux couches 1, 2, 3, 'décrites précédemment à propos des figures i et 2. Elles peuvent être au nombre de 100 par exemple. Les épaisseurs 1a et 1b sont telles que les puits quantiques formés dans les couches de matériau Mb ont des propriétés identiques à celles décrites précédemment. La largeur 1a des barrières de potentiel séparant les puits quantiques est choisie suffisamment grande pour Interdire un couplage entre ces puits, c'est-à-dire pour que l'état d'un électron dans un puits soit Indépendant de l'état des électrons dans les autres puits. L'épaisseur Ib est choisie telle que les puits quantiques possèdent au moins un niveau discret d'énergie permis dans la bande de conduction. La multiplicité du nombre de puits a pour effet d'augmenter le nombre d'électrons disponibles sur le niveau fondamental e1, ce qv- repousse le seuil de saturation du détecteur. L'épaisseur de la couche 11 n'est pas critique car son seul rôle est de protéger le puits quantique de la dernière couche de matériau Mb de l'ensemble 12, du côté de l'électrode ES1. Les figures 3b et 3c représentent des diagrammes des niveaux d'énergie des électrons dans les différentes couches de cet exemple de réalisation, respectivement lorsqu'aucune diffé- rence de potentiel n'est appliquée aux bornes 14 et 15, et lorsqu'une différence de potentiel positive est appliquée à la borne 15 par rapport à la borne 14, c'est-à-dire lorsque le 25. dispositif est polarisé en inverse pour détecter et collecter les électrons ayant transité du niveau fondamental e1 vers le continuum des états non liés. Un faible champ électrique dû à l'électrode Schottky a été négligé et n'est pas représenté. Sur ces figures, les électrons sont représentés par un point noir leur niveau fondamental est représenté par un trait horizontal et leur déplacement est représenté par une flèche. Sur la figurie 3b, chaque couche de l'ensemble de couches 12 possède un puits quantique comportant des électrons sur le niveau fondamental e1. Sur la figure 3c, le champ électrique créé par le générateur G est maximal à l'interface entre l'électrode ES1 et la couche 21 puis il décroît de l'électrode EC1 à l'électrode EO1. Lorsqu'une onde h.0 1 est absorbée, les- électrons franchissent la barrière de potentiel des puits quantiques, sont déplacés par le champ électrique créé par le générateur G, et constituent un courant dont l'intensité est mesurable et traduit la puissance optique détectée. La figure 4a représente schématiquement un second exemple de réalisation du détecteur selon l'invention, pour détecter une onde non guidée, conforrmément à la seconde va- riante. Une onde de commande, h.2, est appliquee, en même temps que l'onde à détecter, h.1, perpendiculairement au plan des couches constituant le détecteur. En l'absence de l'onde de commande h.2, l'onde h. 2 ' I pratiquement sans affaiblissement. Cet exemple de réalisation comporte: une électrode Schottky, ES2, transparente à la fois pour l'onde à détecter et pour l'onde de commande; une couche 21 constituée de matériau M; un ensemble de couches, 22, constituant un multipuits quantique; une couche 23 constituée de matériau Mb; et une électrode ohmique EO2. Les électrodes ES2 et EO2 sont reliées respectivement à deux bornes 24 et 25 permettant de connecter un circuit électrique comportant un générateur G' pour déplacer et collecter les électrons ayant transités du niveau e1 vers le continuum des états libres. L'intensité du courant circulant dans ce circuit permet de mesurer la puissance optique détectée. Dans cet exemple de réalisation, le matériau Ma de la couche 21 et les matériaux Maet Mb de l'ensemble de couches 22 ont un dopage de type N mais le plus faible réalisable par la technologie connue, pour rendre minimal l'absorption de l'onde - de la fréquence 1 en l'absence de l'onde de commande. La couche 23 constitue le substrat du détecteur et comporte un dopage de type N très important, comme pour le premier exemple de réalisation, mats son épaisseur doit être réduite pour minimiser l'absorption de l'onde de fréquence 1 et pour lui permettre de res.sortir du détecteur en l'absence de l'onde de commande h. Pour la même raison, l'électrode ohmique E02 est réalisée de manière à être transparente pour l'onde La figure 4b représente un diagramme des niveaux d'énergie des porteurs dans les différentes couches de cet exemple de réalisation, lorsqu'aucune différence de potentiel n'est appliquée entre les bornes 24 et 25. L'ensemble des couches 22 comporte une pluralité de puits quantiques dans lesquels le niveau fondamental, el, est désert en l'abserce d'une onde de commande \2. La figure 4c représente un diagramme des niveaux d'énergie des porteurs dans la bande de conduction et dans la bande de valence à travers les couches de cet exemple de réalisation, lorsque une différence de potentiel positive est appliquée à la borne 25 par rapport à la borne 24 et lorsque i5 l'onde de commande h.% 2 illumine le détecteur. L'existence d'un faible champ électrique dû à l'effet Schottky, à proximité de l'électrode ES2, a été négligé et n'est pas représenté sur cette figure. Le champ électrique créé par les électrodes ES2 et E02 est maximal à l'interface entre l'électrode ES2 et la couche 21, 2C puis il décroît en direction de l'électrode E02. La polarisation inverse doit être telle que la zone d'application du champ couvre la totalité des couches 22 et 23. Lorsque l'onde de commande 2 est appliquée, des électrons transitent du niveau permis hi de la bande de valence vers le niveau el dans la bande de conduction, dans chaque puits quantique. L'énergie nécessaire à cette transition est apportée par l'onde de commande. Les électrons peuplant ainsi le niveau el dans chaque puits quantique, transitent vers le continuum des états non liés, sous l'action de l'onde à détecteur h.1, puis sont entraînés par le champ électrique et sont collectés par l'électrode E02. La figure 5 représente une partie de ce second exemple de réalisation. Pour réaliser une électrode E02 couvrant toute la surface de la couche 23 mais étant transparente pour l'onde de fréquence 1 lorsqu'elle n'est pas absorbée par le détecteur, 26 18221 il est possible d'utiliser une électrode EO2 non transparente mais qui ne couvre pas la totalité de la surface de la couche 23. L'électrode EO2 représentée sur la figure 5 ne couvre que la périphérie de la face externe de la couche 23. Une fenêtre 26 laisse libre la plus grande partie de la surface de la couche 23 et laisse passer l'onde de fréquence 1. Le fort dopage de la couche 23 permet néanmoins d'obtenir un champ électrique relativement uniforme à l'intérieur du détecteur. L'exemple de réalisation représenté sur la figure 4a peut être utilisé pour constituer un analyseur d'image. La figure 6 représente une telle utilisation. Des rayons lumineux de fréquence 1 au moins égale à porteurs d'une image, 1 1 ' porteurs d'une image, sont projetés sur l'électrode ES2, par un dispositif optique classique non représenté, par exemple une lentille. Ils traversent l'électrode ES2 et la couche 21, puis forment une image sur l'ensemble 22 des couches constituant le multipuits quantique. Un pinceau P de lumière de fréquence 2 est projeté sur l'électrode ES2 par des moyens de balayage optique classiques, non représentés. Le pinceau P balaye la surface des couches 22 selon un chemin prédéterminé réalisant un balayage systématique de l'ensemble de la surface de ces couches. La résolution du dispositif analyseur d'image ainsi constitué est liée à la dimension de la tache lumineuse S créée par le faisceau à la surface des couches 22; à la longueur de diffusion des électrons dans la direction du plan des couches; et à la diffraction dans la couche 21. La possibilité d'utiliser une onde de commande de fré- quence) 2 appartenant à un domaine de longueurs d'onde très différent du domaine de longueurs d'onde à détecter permet, par exemple, d'analyser une image dans l'infra-rouge proche au moyen d'un faisceau appartenant au domaine infra-rouge moyen, en utilisant des matériaux semi-conducteurs III-V, et en partieulier des alliages du type ALxGa xAs, dont la technologie est classique. La figure 7a représente schématiquement un troisième exem- ple de réalisation du détecteur selon l'invention, pour détecter une onde de fréquence:) 1 guidée selon une seule d nension, et conformément à la seconde variante. L'onde à déteci:er, h.\, est appliquée parallèlement au plan des couches constituant le détecteur alors que l'onde de commande, h. 2, est appliquée perpendiculairement à ces couches. Cet exemple de réalisation comporte une électrode ohmnique, EO3; une couche 41 constituée de matériau semi-conducteur Mb et qui est le substrat du détecteur; une couche 42 constituée de matériau Ma; une couche 43 constituée de matériau Mb; un ensemble de couches 44 constituant un multipuits quantique et comportant une alternance de couches de matériau Ma et de matériau Mb; une couche 45 constituée de matériau Ma, et une électrode Schottky ES3. Les électrodes ES3 et EO3 sont reliées respectivement par des bornes 46 et 40, à un circuit électrique comportant un générateur G" L'intensité du courant dans ce circuit électrique traduit la puissance optique de l'onde détectée. La couche 41 a un dopage de type N, important pour per- mettre l'obtention d'un contact ohmique pour appliquer un champ électrique à travers toutes les couches du détecteur. L'ensemble des couches 44 a les mêmes caractéristiques que l'ensemble des couches 22 dans l'exemple de réalisation précédent. Leur dopage est de type N et est le plus faible possible. De même, les cou- ches 42, 43, 45 ont un dopage du type N le plus faible possible. Les couches 42, 43, 45 ont surt)ut pour rôle d'améliorer le confinement du mode fondamental du guide dans l'ensemble des couches 44 et de limiter le recouvrement de la zone de propaga- tion de ce mode avec la couche de substrat 41 et avec l'élec- trode ES3. Ainsi l'efficacité du détecteur est augmentée et les pertes de propagation subies par le mode fondamental sont réduites. Les couches 41, 42, 43, 45 ont respectivement des indices optiques N1 N2, N3, N5 tels que N2 est égal à N5 et est compris entre N1 et N3, pour mieux confiner l'onde de fréquence 1 Le mode fondamental du guide est choisi pour propager l'onde à détecter,. car c'est le mode le mieux confiné dans la zone faiblement dopée, et en particulier dans l'ensemble des couches 44. Un graphe superposé à la figure 7a indique la répartition de l'énergie propagée dans cette structure guidante, en fonction de l'abscisse dans les différentes couches de cette structure. De nombreuses variantes de réalisation des couches 45, 43, 42 situées aux deux extrémités de multipuits quantique sont envisageables pour constituer une structure guidante telle qu'il y ait un bon recouvrement du ou des modes de l'onde à délecter h.)1 avec la perturbation engendrée par l'onde de commande h. 2 dans chaque couche de matériau Mb du multipuits quantique. En règle générale, les 2 couches les plus extrêmes dans la structure du multipuits quantique ont des épaisseurs choisies telles qu'il y ait un bon recouvrement. - En l'absence de l'onde de commande h. 2, le détecteur est pratiquement transparent pour l'onde de fréquence J), les seules pertes Eçtant dues àl'absorption par les porteurs libres qui sont en grande concentration dans la couche 41 du substrat et dans le métal constituant l'électrode ES3. L'onde h. ressort alors parallèlement au plan des couches. La figure 7b représente un diagramme des niveaux d'énergie des électrons dans la bande de conduction.pour les différentes couches de cet exemple de réalisation, lorsqu'aucune différence de potentiel n'est appliquée entre les bornes 40 et 46. Le faible champ électrique dû à l'électrode Schottky a été négligé et n'est pas représenté. En l'absence de l'onde de com- mande h. 2, cette structure quantique possède une pluralité de puits quantiques dont le niveau fondamental e dans la bande de conduction est désert. La figure 7c représente un diagramme des niveaux d'énergie des électrons dans la bande de conduction et dans la bande de valence, à travers les différentes couches de cet exem- ple de réalisation, lorsqu'une différence de potentiel positive est appliquée à la borne 40 par rapport à la borne 46 et lorsque le détecteur est Illuminé par l'onde de commande. Sous l'action de l'onde de commande, les électrons quittent le niveau fondamental h1 de la bande de valence et vont peupler le niveau fondamental e1 de la bande de conduction dans chacun des puits - quantiques de l'ensemble de couches 44. Sous l'action de l'onde à détecter, h.) ' les électrons peuplant le niveau e1 transitent vers le continuum des états non liés puis sont déplacés par le champ électrique en direction de l'électrode EO3. L'intensité du courant circulant dans le circuit électrique tnaduit la puissance optique de l'onde détectée. En l'absence d'éclairement, le niveau fondamental e1 de la bande de conduction est désert, l'onde à détecter n'est pas absorbée. Elle peut donc traverser le détecteur en restant confinée et continuer - sa route dans un guide optique. Dans un exemple de réalisation, les couches 42, 43, 45 ont chacune une épaisseur de 3 microns et l'ensemble des couches 44 a une épaisseur de 1, 5 micron, en étant constitué de 50 puits créés chacun par une couche de matériau Mb d'épaisseur 0,006 micron et une couche de matériau Ma d'épaisseur 0,0024 micron. Les matériaux Ma et Mb sont respectivement constitués par Ga0 85Al 15As et GaAs. Les dopages N des couches 42, 43, 45 1 3 + sont de 5.101 cm. Le dopage N de la couche 41 du substrat 18 -3 est de 2.1018cm. Les indices optiques sont alors égaux à: N3 = 3,27 N2 = N5 = 3.21 N1 = 2,88 Cet exemple de réalisation permet de détecter une onde de l'infra-rouge moyen, de longueur d'onde 10,6 microns, avec une onde de commande de longueur d'onde 0,83 micron, située dans le domaine de l'infra-rouge proche. La figure 8 représente schématiquement un quatrième exem- ple de réalisation du détecteur selon l'invention, pour détecter une onde guidée selon deux dimensions, sous la commande d'une onde de fréquence 2 2' Cet exemple de réalisation est très proche de l'exemple de réalisation précédent, à l'exception de la couche 45 qui comporte une nervure plane 45a, située le long db son grand axe de symétrie et parallèle à la direction de propagation de l'onde à détecter. La nervure 45a est obtenue par une réduction l1 de l'épaisseur de la couche 45, de part et x d'autre de la nervure 45a. La couche 45 comporte donc une partie plane 45b située de part et d'autre de la nervure 45a. Le calcul de la largeur ly et de l'épaisseur lx de la nervure 45a est fait par un procédé classique, en fonction des modes de propagation souhaités dans la structure guidante. L'électrode ES3 ne couvre que la surface de la nervure 45a. L'éclairement par l'onde de commande h. V2 est appliqué uniformément sur toute la surface de cette électrode ES3, perpendiculairement au plan des couches. Avec un tel déeeteur, il est possible de réaliser des mesures de puissance optique dans un tronçon de guide optique bidimensionnel, en l'intégrant à ce guide. L'exemple de réalisation précédent peut être utilisé aussi pour réaliser une mesure plus localisée de la puissance optique se propageant à travers un guide. Comme représenté sur la figure 9, une mesure de la puissance optique à travers un très court tronçon de guidç peut être réalisée en projetant un pineeau 49 de lumière de fréquence D2 sur une surface 50 ayant la largeur de la nervure 45a ot ayant une longueur aussi faible que possible pour faire une mesure pratiquement dans une section du guide. En déplaçant le faiseeau lumineux le long de la nervure 45a il est possible de mesurer les variations de la puissance optique le long du guide. Il est possible par exemple de déterminer les pertes de propagation subies par un mode considéré au seirn de ce guide. De même, cette technique de mesure permet de déterminer la longueur de couplage d'un coupleur cirectionnel. La figure 10 représente l'utilisation du détecteur selon l'invention pour mesFirer la longueur de couplage d'un "oupleur directionnel. Un tel -.oupleur comporte deux guides monomodes assez proches, sur une distance L appelée longueur d'interaction, pour qu'il y ait un couplage entre les deux guides. Ce couplage se traduit par un échange périodique d'énergie optique entre les deux guides et cet échange est total lorsque la structure est parfaitement symétrique. Comme représenté sur la figure 10, les deux guides sont modifiés pour incorporer un détecteur ayant une structure semblable à celle représentée sur la figure 8. Les deux guides couplés sont fabriqués en amincissant la couche 45, pour créer deux nervures 45b. et 45c comportant un segment o elles sont parallèles et très proches sur une longueur L. Elles sont chacune recouvertes d'une électrode, respectivement ES5 et ES6, pour recueillir un courant de mesure. Un pinceau 49 de lumière de fréquence) 2 éclaire une petite surface 50 du guide constitué par la nervure 45b, la petite surface 50 ayant une largeur égale à celle de la nervure 45b et ayant une longueur aussi faible que possible pour obtenir une mesure pratiquement dans une section du guide. Le.inceau 49 est déplacé le long du guide dans la partie constituant le coupleur. Le graphe montre la variation de l'intensité i du courant recueilli par l'électrode ES5, en fonction de l'abscisse z le long du guide. 2'3 Ce courant passe par un minimum pour l'abscisse L c correspondant à L/2. La portée de l'invention ne se limite pas aux exemples de réalisation décrits ci-dessus. De nombreuses variantes sont à la portée de l'homme de l'Art, en modifiant le choix des matériaux pour détecter une onde de longueur d'onde appartenant à un domaine différent ou bien pour utiliser une onde de commande appartenant à un domaine de longueur d'onde différent. Il est aussi à la portée de l'homme de l'Art de réaliser d'autres struc- tures de guides optiques incorporant le détecteur selon l'in- vention. L'invention est applicable notamment au domaine de l'opti- que guidée intégrée. 261B221 X6 1 8 2 2 1 REVENDICATIONS 1. Détecteur d'onde électromagnétique, caractérisé en ce que pour détecter une onde de fréquence il comporte - au moins une première couche (2) de matériau semi-conducteur d'un premier type (Mb), et qui est traversée par l'onde à détecter - au moins deux secondes couches (1, 3), chaque première couche (2) étant placée entre deux secondes couches (1, 3) et ces secondes couches (2, 3) étant constituées d'un matériau semi- conducteur d'un second type (Mb), ces deux types de matériau étant tels qu'il y ait un puits de potentiel dans la bande de conduction et dans la bande de valence de chaque première couche (1); l'épaisseur (lb) de chaque première couche (]1) étant telle que les électrons de la bande de conduction de chaque première couche (1) possèdent au moins un niveau discret d'énergie permis (el), tel que la différence d'énergie entre ce niveau (e1) et le bas de la bande de conduction dans les secondes couches (1, 3) soit inférieure ou égale à l'énergie correspondant à la fréquence 71 de l'onde à détecter; ce niveau (e1) étant peuplé d'électrons: - deux électrodes (ES1, EO1) pour appliquer un champ électrique, à l'ensemble des premières et des secondes couches (1, 2, 3) et pour recueillir un courant électrique fonction de l'amplitude de l'onde A détecter. 2. Détecteur optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que, pour que.le niveau fondamental (e1) de la bande de conduction de chaque première couche (2) soit peuplé d'électrons, le matériau de premier type (Ma) comporte un dopage de type N. 3. Détecteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que, les premières et les secondes couches (1, 2, 3) ont un dopage aussi faible que possible; et en ce que, pour que le niveau fondamental (e1) de la bande de conduction de chaque première couche (2) soit peuplé d'électrons, celle-cl est 26 18221 illuminée par une onde de fréquence 2 proche de la fréuene i 2 correspondant à' la difference d'énergie entre le niveau fondamental (hl) permis pour les trous dans la bande de valence, et le niveau fondamental (e1) permis pour les électrons dans la bande de conduction du matériau du premier type (Ma) 4. Détecteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que les deux électrodes (ES1, EO1) sont transparentes à la fréquence;1 de l'onde à détecter. 5. Détecteur selon la revendication 1, pour détecter une onde (h. \1) guidée selon une seule dimension, caractérisé en ce que les premières et les secondes couches (44) sont des couches planes; en ce que l'onde guidée se propage à travers les premières et les secondes couches (44) parallèlement à leur plan; en ce que l'épaisseur totale de ces couches (44) et leurs indices qont tels qu'ils assurent le guidage d'au moins un mode pour la gamme des fréquences (1) de l'onde à détecter; et en ce que l'épaisseur des secondes couches les plus extrêmes est telle qu'il y ait un bon recouvrement du ou des modes de l'onde à détecter (h.\ 1) avec une perturbation engendrée par l'onde de commande (h. 22) dans chaque première couche (2). 6. Détecteur selon la revendication 1, pour détecter une onde (h. 1) guidée selon deux dimensions, caractérisé en ce que les premières et les secondes couches (44) sont des couches planes; en ce que l'onde guidée se propage à travers les premières et les secondes couches (44) parallèlement à leur plan; en ce que l'épaisseur totale de ces couches (44) et leurs indices sont tels qu'ils assurent le guidage d'au moins un mode pour la gamme des fréquences ( 1) de l'onde à détecter; et en ce que la seconde couche la plus superficielle (45) a une épaisseur non uniforme, cette couche (45) comportant une réduction d'épaisseur (lx) uniforme, de part et d'autre d'une nervure (45a), dont le grand axe correspond à la direction de propagation de l'onde à détecter (h. 1),' la largeur (1 y) de la nervure (45b) et la réduction d'épaisseur (lx) étant choisies en fonction des modes de propagation souhaités. 26 18221 7. Analyseur d'image, caractérisé en ce qu'il comporte un détecteur selon la revendication 1, l'onde à détecteur (h. 1) étant porteuse d'une image qui est projetée sur le plan des premières et secondes couches (22); et en ce qu'il comporte des moyens pour illuminer le détecteur avec une onde de commande (h. 2) projetée sur le plan des premières et des secondes couches (22) en illuminant une surface (S) petite devant la surface totale du détecteur, et en balayant toute la surface du détecteur selon un chemin prédéterminé.