FR 2615682 A1 19881125 FR 8706990 A 19870519 2 6 1 5 6 8 2 GEOPHONE COMPORTANT UN ELEMENT SENSIBLE EN POLYMERE PIEZOELECTRIQUE La présente invention se rapporte aux géophones, c'est-à-dire aux dispositifs qui permettent de détecter les vibrations, sonores ou infrasonores, notamment de l'écorce terrestre. Elle concerne plus particulièrement les géophones comportant un élément sensible formé avec un polymère piézoélectrique. Il est connu, par exemple du brevet US 4 144 520, de réaliser un géophone en utilisant un aimant permanent formant masse inertlelle suspendue dans un boîtier, lui-même en contact avec le milieu soumis aux vibrations à détecter, c'est-à-dire le plus souvent le sol. Un solenoide est bobiné sur le boîtier, de telle manière que les mouvements de l'aimant à l'intérieur du boîtier induisent une tension électrique dans ce solenoïde. Ces mouvements sont dus à l'inertie de l'aimant, qui reste sensiblement immobile lorsque le boîtier vibre en étant entraîné par les mouvements du sol, suite à un tremblement de terre par exemple. On connaît des matériaux polymères, ou copolymères, qui, lorsqu'ils sont convenablement traités, présentent des pro- priétés piézoélectrlques. Le matériau le plus connu est le polyflorure de vinylidène, connu sous l'abréviation de PVF2. On sait réaliser un capteur bilame, tel que représenté sur la figure 1, en utilisant deux lames 101 et 102 superposées et séparées par une électrode conductrice 103. Ces lames sont polarisées dans le même sens, et leurs surfaces extérieures sont recouvertes d'électrodes conductrices 104 et 105. Ce bilame est encastré dans une pièce 106, qui permet ici également la connexion aux électrodes extérieures 104 et 105 et à une connexion de sortie 107. L'électrode centrale 103 est elle-même réunie à une deuxième connexion de sortie 108. 26 1 5682 Lorsqu'on soumet, comme sur la figure, ce bilame à un mouvement de flexion par rapport à la pièce d'encastrement 106 il apparaît entre les connexions 107 et 108 un signal électrique d'autant plus grand que le mouvement de flexion du bilame est grand. Une variante de réalisation consiste à utiliser deux couches de PVF2 polarisées dans des sens contraires et à prendre le signal de sortie entre les électrodes externes. On sait également réaliser des capteurs microphoniques à base de polymère piézoélectrique, comme décrit par exemple dans le brevet français 2 542 552 de la demanderesse. Il est bien certain qu'en fixant un tel microphone sur le sol on obtiendra à la sortie de celui-cl un léger signal dû au mouvement de ce même - sol. Toutefois la sensibilité d'un tel système est tout à fait médiocre en raison de l'absence de masse lnertielle, et la fréquence de résonance sera beaucoup trop haute pour pouvoir détecter correctement les vibrations infra-sonores. Pour obtenir un géophone comportant un élément sensible en polymère piézoélectrique, l'invention propose d'utiliser une masse inertielle suspendue très librement dans un boîtier, et de munir ce boîtier d'au moins un bilame en polymère piézoélectrique venant s'encastrer d'un côté dans le boîtier et prenant librement appui par l'une de ses faces sur la masse inertielle. D'autres particularités et avantages de l'invention apparaîtront clairement dans la description suivante présentée en regard des figures annexées qui représentent - la figure 1: une vue en coupe d'un bilame en polymère piézoélectrique connu; - la figure 2 une vue en arraché d'un géopione selon l'invention; - la figure 3: un schéma explicatif du fonctionnement du géophone de la figure 2; et - la figure 4: un schéma d'une variante du géophone de la figure 2. Le géophone représenté sur la figure 2, comprend un socle 201 définissant un plan horizontal XY. Un capot 202, représenté en arraché sur la figure pour montrer l'intérieur du géophone, vient recouvrir la surface supérieure du socle 201 en délimitant un espace intérieur dans lequel sont placés les éléments principaux du géophone. Ce capot forme avec le socle le boîtier du géophone. Une masse inertielle 203, ayant la forme d'un cylindre, dont l'axe est vertical selon une direction Z perpendiculaire à XY, est suspendue à l'intérieur du capot 202 par des moyens de fixation élastiques 204 et 205. Dans l'exemple représenté, ces moyens de fixation sont formés de diabolos, en matériau viscoélastique à module de cisaillement faible, prenant appui, pour l'un entre la face supérieure de la masse inertielle et le fond interne supérieur du capot, et pour l'autre entre la face inférieure de la masse inertielle et le socle 201. On connaît de tels matériaux, des gels par exemple, qui permettent d'assurer la suspension verticale de la masse inertielle tout en présentant une résistance quasiment nulle au déplacement de cette masse dans le plan XY, c'est-a-dire une très grande compliance. A titre de variante de réalisation on pourrait utiliser des billes placées entre la masse inertielle, le socle et le capot, ou bien même des ressorts très souples. Un ensemble de trois bilames 206 à 208, en polymère piézoélectrique, encastrés à une extrémité dans des pièces d'encastrement 209 à 211, sont fixés par leur pièce d'encastrement régulièrement à 120 l'un de l'autre sur la face interne verticale du capot 202. Ces bilames viennent s'appuyer par une face sur trois génératrices, elles-mêmes réparties à sur la face latérale de cette masse. Ils maintiennent ainsi ladite masse inertielle centrée au milieu du capot en l'absence de tout effort particulier. 2 61 A titre de variante les pièces d'encastrement peuvent faire partie du capot 202 en étant obtenues lors de l'usinage de celui-cl. Pour obtenir une réponse correcte, il faut que les bilames soient parfaitement encastrés dans leur pièce support et que celle-ci soit parfaitement maintenue sur le capot, de telle manière que la dérivée de la déformée lors de la flexion des bilames, qui correspond à la loi de déformation de ceux-ci, soit nulle à l'endroit de l'encastrement. Dans son mouvement dans le plan XY, la masse tend à se rapprocher de certains bilames en les déformant et donc à s'éloigner des autres. Il est tout à fait nécessaire que les bilames restent toujours en contact avec la masse inertielle. Pour cela on les positionne pour obtenir une précontrainte telle que lorsque la masse inertielle s'éloigne d'un bilame elle diminue cette précontrainte, et que le bilame tend à suivre la masse en se redressant et en maintenant le contact avec la surface de celle-ci. Les sorties de chaque bilame sont reliées à des amplificateurs- de charge tels que 208. Ces amplificateurs sont formés, de manière connue, d'un amplificateur opérationnel rebouclé avec une capacité en parallèle avec une résistance, de manière à ce que l'amplification soit déterminée essentiellement par le rapport entre cette capacité et la capacité du bilame. Les signaux de ces amplificateurs de charge, qui sont avantageusement disposés à l'intérieur du capot, sont disponibles sur des sorties S1 à S3 fixées sur le socle 201. Le signal délivré par un bilame est fonction de l'amplitude du mouvement de la masse inertielle dans une direction perpendiculaire à -la surface de cette masse le long de la génératrice de contact avec le bilame. Comme ces bilames sont répartis régulièrement à 120 sur le pourtour du cylindre, et que l'on connait leurs positions dans le plan XY, les trois signaux ainsi obtenus permettent de déterminer complètement, par un traitement connu, le mouvement relatif de la masse 26 156 2 inertielle par rapport au boîtier. Dans un exemple simple, représenté sur la figure 3, une onde plane, formant un angler avec la direction Y, fait bouger le boîtier 202 entre deux positions, représentées l'une en traits pleins, et l'autre en traits pointillés. Ce déplacement est maximum d'une valeur d dans une direction perpendiculaire au front d'onde. La souplesse du PVF2 permet de réaliser des bilames ayant une fréquence propre de résonance très basse, par exemple inférieure à 1 Hz pour un bilame ayant une longueur de 35mm et une épaisseur de 0,5mm. Dans ces conditions la réponse du géophone est essentiellement déterminée par les caractéristiques de la masse inertielle et de sa suspension viscoélastique. En utilisant ce géophone au-dessus de la fréquence de résonance de la masse inertielle suspendue, celui-ci fonctionne en capteur de déplacement dans une bande de fréquences limitée en bas par la fréquence de résonance et en haut par la décroissance de l'amplitude du signal de sortie. Celui-ci décroît en effet régulièrement en fonction de la fréquence. On peut obtenir, selon les caractérlsques des moyens de suspension utilisés, une bande de fréquences qui peut atteindre trois décades entre 1 Hz et 1 kHz. Il existe toute une gamme de matériaux vlscoélastiques permettant de réaliser une suspension en forme de diabolo comme sur la figure 2 et d'ajuster la fréquence de résonance entre 1 Hz et 100 Hz. Dans une variante de réalisation, représentée. schématiquement en figure 4, on utilise une masse Inertielle 401 et 4 bilames 402 à 405, répartis régulièrement autour de la masse inertielle tous les 90 . On a donc deux paires de bilames respectivement 402, 403 et 404, 405 dans lesquelles les bilames d'une même paire sont diamétralement opposés, et ces paires sont orthogonales entre elles. Après amplification par des amplificateurs de charge 406 à 409, les signaux des bilames sont appliqués dans des 2 6 1 5 6 8 2 amplificateurs différentiels 410 et 411. Les signaux d'une même paire sont appliqués respectivement aux entrées + et - d'un même amplificateur différentiel ce qui, compte tenu du positionnement des bilames, correspond à une sommation de ces signaux. Les signaux de sortie de ces amplificateurs différentiels donnent donc directement l'amplitude et la phase du déplacement de la masse inertielle 401 selon les deux directions X et Y. On simplifile ainsi le traitement ultérieur de ces signaux, au prix toutefois d'une légère complication de construction mécanique, puisque le système ainsi obtenu est hyperstatique et que le centrage de l'ensemble doit être plus rigoureux. Il est à noter que les amplificateurs de charge peuvent être incorporés aux amplificateurs différentiels. L'invention s'étend également au cas d'un géophone triaxial comportant une masse inertielle, par exemple sphérique, et au moins 4 bilames venant s'appuyer sur cette masse sphérique, par exemple aux quatre coins d'un tétraèdre régulier. 2 6 1 5 6 E 2 26156ú'2 REVENDICATIONS 1. Géophone comportant une boîtier (201, 202), une masse Inertielle (203), des moyens élastiques (205-204) de suspension de cette masse au boîtier, et des moyens de mesure (206-208) des déplacement de la masse par rapport au boîtier, caractérisé en ce que ces moyens de mesure comprennent au moins un bilame (206-208) en polymère piézoélectrique fixé rigidement au boîtier (202) par des moyens d'encastrement de l'une de ses extrémités et venant s'appuyer librement sur la masse inertielle (203). 2. Géophone selon la revendication 1, caractérisé en ce que la masse inertielle (203) présente une surface cylindrique dont l'axe est perpendiculaire à un plan de mesure (X,Y) du géophone, et que le bilame (206-208) vient s'appuyer par l'une de ses faces sur une génératrice de cette surface. 3. Géophone selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comprend 3 bilames (206-208) sensiblement identiques répartis régulièrement autour de ladite surface cylindrique pour s'appuyer sur 3 génératrices de cette surface situées à 120 les unes des autres. 4. Géophone selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comprend 4 bilames (406-409) sensiblement identiques répartis régulièrement autour de ladite surface cylindrique pour siappuyer sur 4 génératrices de cette surface situées à 90 les unes des autres. 5. Géophone selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que les moyens de suspension sont formés de diabolos (204,205) en matériau viscoélastique à grande compliance venant s'appuyer d'un côté sur le boîtier (202) et de l'autre respectivement sur les centres des faces terminales de la masse inertielle (203). 6. Géophone selon la revendication 1, caractérisé en ce que la masse inertielle (203) est une sphère, et qu'il comporte au moins 4 bilames (206-208) répartis régulièrement autour de la sphère en s'appuyant chacun par une face sur un point de cette sphère pour pouvoir mesurer les déplacements de celle-ci dans les trois dimensions (X,Y,Z). 7. Géophone selon la revendication 6, caractérisé en ce que les points d'appui des quatre bilames sont répartis sur les sommets d'un trétraèdre régulier. 8. Géophone selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que. dans la position de repos de la masse Inertielle (203) celle-ci vient précontraindre le bilame (206-208) dans une position fléchie qui tend à se redresser lorsque la masse s'en éloigne.