FR 2619958 A1 19890303 FR 8712070 A 19870831 CIRCUIT IE rilE 'iON DE SEtU) m TSMPRAURE. La présente invention à pour objet un circuit de détection de seuil de température utilisable dans tous les domaines o un contr6le de la teaxnrature doit être exercé. Mais l'invention est plus particulièrement utilisable dans le domaine des circuits intégrés et, dans celui-ci, dans le domaine des mémoires. Il est connu que l'utilisation des circuits intégrés électroniques provoque leur échauffement par le passage des différentes imrpulsions de courant qui les exictent en particulier lors des opératicns de progranmmation. En effet,en particulier avec les mêmoires non volatiles munies de points mémoire avec transistor à grille flottante (du type EPROM ou EEPROM), les impulsions de courant ou de tension doivent être plus importantes pour foroer la migration des charges électriques dans les grilles flottantes des transistors des points mémoire au moment de programmer oes points. Si la cadence de programmation est trop élev6e, il peut en résulter une d6terioration irr6versible du circuit intégré. Pour remédier à cet inconv6nient il est connu de limiter le rythme de programmation en fonction de l'aptitude au refroidissement du circuit intégré à programmer. Cet irncovnient limite ceperndant l'utilisation des mémoires dont le point mnémoire est muni de transistors à grille flottante cimme mémoire a accès aléatoire d'un micro-processeur. En outre il est supposé que des fraudeurs tenteront d'utiliser les aberrations de programmation qui pourront résulter d'un échauffement artificiel extérieur d'un tel circuit intégré avant sa programmation. De tels fraudeurs pourraient ainsi être tentés, pendant cette programmation, de maintenir ces circuits à des températures, - 2 - inférieures au seuil de destruction irréversible, mais supérieures à un seuil limite de fonctionnement normal du circuit. Lors d'un refroidissement ultrieur le contenu des informations stockées dans un tel circuit pourrait être différent de oelui qui y a été introduit pendant la programmation. Ce contenu différent pourrait permettre l'utilisation d'une carte à memoire ainsi frauduleusement modifi6e à des fins malhonnêtes. Le fonctionnement inverse est d'ailleurs également envisageable. Une carte munie d'une mnmoire régulièrement programmeue pourrait, si elle était chauffée globalement, avoir temporairement un contenu d'information modifié et risquerait de permettre des opérations auxquelles elle devrait normalement interdire l'accès. Cette dernière fraude serait d'autant plus subtile qu'elle serait indétectable. En effet, en v6rification à froid, la carte apparaîtrait de nouveau conforme. On connait des détecteurs de température à base de circuits intégrés comportant essentiellement un transistor de type MDS polarisé en direct et dont le seuil de conduction est connu pour varier avec la température. Typiquement pour les transistors au silicium ce seuil de conduction varie entre 0,3 volts et 0,5 volts pour une variation de température de l'ordre de 100 o C aux températures habituelles d'utilisation. Ce détecteur de tenyérature présente cependant l'inconvéient de ne pas être très sensible: une très faible variation de tension correspond à une gamme importante de température. En outre, si cette variation de tension ne dépend pas de la g&ométrie du transistor réalisé, elle dépend d'une manière importante des oonoentrations d'impuretés effectivement implantées dans les régions de source et drain et dans les caissons des transistors ainsi constitués pour servir de détecteurs de température. En effet, du fait des dispersions naturelles des conditions de fabrication, ces détecteurs de température 26 1 9958 - 3 - deviennent peu fiables en plus de leur manque de sensibilité. Leur seuil de détection varie trop d'un détecteur à l'autre. Dans la pratique ces solutions sont rejetées et remplacées per des consignes de précaution terndant à limiter l'utilisation de tels circuits intégrés, ce qui en réduit l'utilisation ccume mêmoire à accès alléatoire, et ce qui bien entendu est sans effet sur les intentions des fraudeurs. L'invention a pour objet de rêmédier à ces inconv6nients en proposant la mise en oeuvre d'un autre phénne physique. O n s'est rendu compte en effet que le courant de saturation d'un transistor polarisé en inverse évoluait de manière notable en fonction de la teprature. On peut m'me montrer que ce courant peut doubler alors que la température ne varie que de quelques degrés C. En outre dans une réalisation perfectionnée, o deux transistors sont utilisés montés en série et polarisés en inverse tous les deux, on peut montrer que les seuils calibrés de détection sont moins sensibles aux dispersions de fabrication et sont également moins sensibles aux ccnditions d'utilisation c'est-à-dire quand la tension d'alimentation s'écarte d'une valeur Vcc nominale. L'invention à donc pour objet un circuit de d6tection de seuil de température caractérisé en ce qu'il comnporte au oins un transistor polarisé en inverse par un circuit d'alimentation électrique et des moyens de mesure du courant de saturation qui traverse ce transistor. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui suit et à l'examen des figures qui l'accumpagnent. Elles ne sont qu'indicatives et nullement limitatives de l'invention. Les figures montrent: - figures la et lb: des exemples pr6f6rés de réalisation de détecteurs de seuil de temp&rature conafonrme à l'invention; - figure 2: une coupe schdnatique d'une implantation du détecteur de la figure lb dans le substrat semiconducteur 26 19 9 58 -4- d'un circuit intégré; - figure 3: des courbes montrant l'évolution de tensions caractéristiques dans les détecteurs en fonction de la température. Les figures la et lb montrent des détecteurs de seuil de toepérature conforme à l'invention. Ces détecteurs conportent au moins un transistor, respectivement 1 et 2, polarisé en inverse en alimentation électrique entre Vcc et la masse. Dans l'exemple représenté les transistors 1 et 2 sont des transistors à canal P et la tension Voc est positive. Les transistors à canal P sont schmatiquement différenciés des transistors à canal N par la présence d'un petit rondc sur leur grille. Les transistors 1 et 2 sont montés en inverse puisque, étant à canal P, leurs grilles respectivement 3 et 4 sont reliées à un même potentiel que leur source respectivement 5 et 6. Le détecteur de seuil de température de l'invention comporte encore des moyens de mesure du courant inverse de saturation qui traverse les transistors 1 et 2. Dans un exemple préféré de réalisation oes moyens de mesure comportent un deuxième transistor respectivement 7 et 8, en série avec le premier transistor respectivement 1 et 2, et également polarisé en inverse par l'alimentation électrique. Dans la figure la le transistor 7 est aussi un transistor à canal P: sa grille est reliée à sa souroe. Dans la figure lb le transistor 8 est à canal N: sa grille est reliée à sa source c'est-à-dire à la masse. Ce deuxième transistor joue ainsi le r8le d'une résistance dont la tension disponible aux bornes dépend du courant de saturation qui passe dans le premier transistor de détection de température de seuil. En connectant le point milieu, respectivement 9 et , de ces montages a des inverseurs 11 et 12 on peut provoquer le basculement de ces inverseutrs lorsque la tension disponible à ces points milieu dépasse un seuil - 5 pédéterminé. Les moyens de mesure du courant inverse de saturation peuvent bien entendu être différents. Mais la solution ainsi présentée possède l'avantage de délivrer une réponse par tout ou rien pour un seuil prdéterminé de température. Cette réponse binaire peut alors être utilisée pour constituer une alarme,ou, dans le cas o le détecteur est intégré sur le subtrat d'un circuit intégré, pour invalider le fonctionnement de ce circuit intégré dont la température dépasserait le seuil en question. Ce circuit deviendrait alors momentan nt inutilisable, en programmation ou en lecture, ce qui empêcherait la fraude. En outre en cas de programmation trop rapide on peut valider l'exécution de la programmation par le signal disponible à la sortie des inverseurs 11 et 12. On est ainsi assuré de toujours pouvoir utiliser la vitesse maximale de programmation. Les mémoires dites EEPROM deviennent alors utilisables comme mémoire à accès aléatoire. On peut expliquer le phmérxxnone physique mis en oeuvre de la manière suivante. Si on appelle Is le courant inverse de saturation d'un transistor on sait que Is est le courant de saturation de la jonction source-canal de ce transistor et qu'il varie avec la température. En effet ce courant peut s'écrire: Is = q.A (Dp.Pno/Lp - Dn.Npo/Ln) Dans cette formule q représente la dcarge de l'électron; A représente l'aire de la jonction source-canal. Cette aire dépend de la gécmétrie retenue pour la réalisation du transistor. Les constantes contenues dans les parenthèses représentent les caractéristiques de diffusion des impuretés dans les régions source, drain, et canal des transistors 26 19 9 58 -6- sensibles à la température. Ces constantes dépendent des proodks de fabrication de ces transistors. La onstante Dp représente la constante de diffusion des trous dans un semiconducteur de type N. La constante L1 repr.sente la longueur de diffusion des trous dans un semiconducteur de type N. La constante Pno repr6sente la concentration, à l'équilibre, des porteurs minoritaires dans un semiconducteur de type N, c'est à dire des trous. Rciproquement la constante Dn repr6sente la constante de diffusion des électrons dans un semiconducteur de type P. La constante Ln représente la longueur de diffusion des électrons dans un semiconducteur de type P. Et la constante Npo représente la ooncentration, à l'équilibre, des porteurs irnoritaires dans un semiconducteur de type P. On peut considérer qu'un des deux terms contenus dans les parenthàses est prépondrant par rapport à l'autre. En effet une des régions du transistor:la région source, est nettement plus dopée, avec un transistor de type CMDS, que la zone de canal de conduction. Dans ces conditions le courant Is peut s'éc=rire Is - q.A.D. Ni2/L.N Dans cette expression D orrespedant à la constante de diffusion prpcOdErante, L correspornd à la longueur de diffusion orrespnante, N représente la concentration d'impuretés et Ni représente la concentration insèque de porteurs. Or on sait que la concentration insque de porteur peut s'écrire Nia = Ao Ta exp (-Eo/kT) Dans cette expression T représente la teaèrature, Ego représente la largeur de la rande interdite à 0 K, Ao 7 - représente une constante indépendante de la température, et k représente la constante de BOLTZMNN. Il en résulte alors que Is est proportionnel au cube de la température T et à l'exponentielle contenue dans les parenthèses. Si on dérive l'expression de Is en fonction de la température pour mesurer la sensibilité du courant de saturation à la variation de teBpérature, et si on exprime la dérivée en fonction du courant de saturation Is lui-m*me on obtient l'expression suivante particulièrement intéressante: dIs/dT = Is ((3/T + (Ego/k.T2)) Dans une application numérique o T vaut de l'ordre de 3000K, le coefficient entre les doubles parenthèse est sensiblement égal à 0,165. Ceci signifie que pour une variation de température de l'ordre de 6 C (6 x 0, 165 = 0,99) le courant de saturation double. On voit immédiatement que la sensibilité du détecteur de température ainsi constitué est grande. Si de plus on prend la précaution de mesurer des variations relatives (c'est à dire conparé à lui-même) du courant de saturation Is, on constitue un détecteur de tempéerature dont la fiabilité est indépendante des concentrations réellement imposées pour réaliser les transistors. En effet la dernière expression des variations relatives du courant Is montre que les constantes liées au procédé de fabrication ont en définitive disparu de l'expression. Il en résulte que la détermination du seuil de détection ne sera dG qu'au circuit de détection lui-même et non pas au détecteur propremnt dit. Dans l'application particulière envisagée le détecteur de température est intégré sur le même circuit intégré que oelui qu'il est censé de protéger. On a représenté sur la figure 2 un schema d'implantation correspondant à la figure lb pour bien montrer des variantes 2619 9 58 8- de connexion réalisées dans oe cas. Ceperdant comme on le verra plus loin, d'une manière préférée le montage de la figure la est préféré: il est plus sensible. La figure 2, en référence, A la figure lb, montre un substrat 13 dans lequel est réalisé un circuit intégré à prot&ger. Le substrat 13, dans un exemple dopé P-, cporte un caisson 14 pour recevoir le transistor 2. Le caisson 14 est dopé N-avec une concentration d'impuretés supérieure à la concentration d'impuretés P- du substrat. Le transistor 2 comporte une région source 6 et une région drain 15. Les régions 6 et 15 sont dopées P+ avec des concentrations supérieures A la concentration d'impuretés implantées dans le caisson 14. Le transistor 2 est naturellement bloqué par la connexion commune 16-17 de sa source 6 et de sa grille 4 au potentiel Vcc de l'alimentation. Dans l'exemple représenté le substrat 13 est connecté A la masse. Le drain 15 du transistor à canal P 2 est relié au drain 26 du transitor à canal N 8. La source 27 du transistor 8 est reliée à la grille 18 de ce transistor 8 et à la masse par une connexion 19-20. Quel que soit le montage, les transistors ainsi mis en série et polarisés 'en inverse possdent la particularité essentielle d'être de tailles différentes. Etant de tailles différentes, le courant inverse qui les traverse est le courant de saturation imosé pour le plus petit d'entre eux. En effet cme ils sont en série le courant qui traversera l'autre transistor est inférieur au courant de saturation prre A cet autre transistor. La figure 3 montre l'évolution des caractéristiques comparées des tensions et courants inverses dans les transistors 1 et 7 (figure la) en fonction de la t"mçrature. A température Tinf inférieure au seuil de déclechement Ts, un me courant inverse de saturation Isinf traverse les deux transistors. Le petit transistor, par exemple le transistor 1, provoque une chute de tension Vl tarndis que l'autre, le 26 1 9958 - 9- transistor 7, provoque une chute de tension V7. Les chutes de tension sont telles que V1 + V7 = Vcc. La tension au point milieu s'établit en cséquence. Lorsque la température s'élève et qu'en définitive le courant inverse de saturation augmente, la résistane équivalente en inverse du petit transistor chute. La résistance du gros transistor chute aussi, ce transistor est aussi soumis à l'échauffement, les courbes caractéristiques se déplacent vers le bas. Mais la variation de cette dernière résistance est inférieure. Il en résulte que la tension V7 augmente tandis que V1 chute. Pour Is = Iss le seuil prédéterminé de tension Vs est atteint par la tension V7. Le point milieu du pont diviseur constitué par les deux transistors en série est donc situé à un potentiel qui évolue avec la température du fait de la plus grande chute relative de la résistance équivalente en inverse du petit transistor. On utilise alors la valeur de ce potentiel pour déclencher un ccmparateur à seuil. Dans la pratique le comparateur à seuil peut être un inverseur dont le seuil de basculement est fixé proche d'une valeur sensiblement égale à la moitié de tension d'alimentation Voc par les dimensions des largeurs et langueurs des transistors 28 et 29 constituant oet inverseur. Le fconctioent dynamique de ce détecteur n'étant pas, dans une application à une mmoire EMOM, d'un ceractère impotant la vitesse de basculement de l'inverseur n'y est pas critique. Et on peut se permettre d'avoir, en limite inférieure du seuil de température, une non onunication. Cepedant, dans le cas o il s'avère nécessaire de détecter rapidoeent et oonfortablement, on peut réaliser le avarateur à l'aide d'un inverseur bistable. Le caractère bistable peut être obtenu en adjoignant entre l'entrée de l'inverseur et le p8le positif de l'alimentation un transistor 21 ou 22 à canal P dont la grille est reliée à la sortie de l'inverseur. Lorsque la température est basse, le 26 1 9958 -10 - transistor détecteur de température présente une résistance élevée, et la tension du point milieu 9, ou 10 est faible. Dans ces conditions la sortie de l'inverseur 11 est à Vcc et les transistors 21 ou 22 sont naturellement bloqués. Par oontre,lorsque le seuil de température à été dépassé, la résistance interne des transistors 1 ou 2 a beaucoup chuté et la tension des points milieux 9 ou 10 s'est élévée. Dans ces conditions les bistables 11-21 ou 12-22 basculent. L'inverseur 11 est détaillé. Il comporte d'une manière connue un transistor 28 à canal P en série avec un - 10 - transistor 29 à canal N. Les grilles de ces transistors sont reliées et servent de bornes d'entrée, le point milieu des transistors sert de sortie. D'une manière préférée dans l'invention les caissons 14 des transistors à canal P tels que 1 ou 2 sont reliés à un mAne potentiel que les sources respectivement 5 ou 6 de ces transistors. En effet si souroe,grille et caisson d'un mème transistor à canal P ne sont pas à un mnme potentiel le courant inverse de saturation qui devrait normalement s'écouler entre source, canal et drain peut aussi s'écouler entre source, canal et substrat. En effet le substrat généraleaent polarisé à la nasse peut collecter les porteurs minoritaires. En réalisant une prise de caisson telle que 23 ou 24 on porte le caisson 14 à un potentiel élevé:si source et caisson sont au même potentiel aucune partie du courant de saturation ne peut circuler entre ces deux plots. Par réciprocité pour le transistor 8, le substrat 13 est relié à la masse en nire tmps que la source 17 par une connexionl 25. on remarque cependant que si le nmtage de la figure la est possible, en réalisant deux caissons séparés pour les deux transistors à canal P 1 et 7 (la prise de caisson du transistor à canal P 7 étant portée alors au potentiel du point milieu 9), oette solution n'est pas _-11 - transposable à un montage avec 2 transistors à canal N mntés en série et réalisés dans un Mmre substrat P. En effet il n'est pas possible de porter le substrat P d'une part au potentiel de la msse et d'autre part au potentiel du point milieu de montage. Donc avec substrat de type P on peut constituer un montage d6tecteur à seuil comportant deux transistors (de taille inégale) de canal P et de canal P, ou de canal P et de canal N, mais pas de canal N et de canal N. Si l'on appelle W la largeur d'un transistor, et si l'on appelle V la longueur de oe transistor mesurée (figure 2) dans le plan du circuit intégré perpendiculairement à la largeur W on a pu mesurer, en prenant pour le transistor 1 un rapport W/V = 5/5 et en prenant pour le transistor 7 un rapport W/V = 5/6, que le seuil de détection en température d'un inverseur de type bistable calé pour basculer à Vcc /2 se situait entre 87 C et 96 C quelle que soit la variation de l'alimentation Vcc entre 4,5 volts et 5,5 volts et quels que soient les pires cas de variation des concentrations d'impuretés N et P pour réaliser les transistors. Campte-tenu d'une température limite de fonctionnement des circuits intégrés de l'ordre de un tel détecteur peut être utilisé pour invalider l'utilisation de ces circuits ou, pour le moins, constituer un signal d'alarme. Le d6séquilibre du pont des transistors provoqué par leur diff6rence de tailles, peut être remplacé par un déséquilibre des concentrations. Les courbes de la figure 3 en seraient modifiâes, mais un fonctionnement similaire pourrait être obtenu. Dans ce cas ependant l'indépenance du seuil de détection vis à vis des phases du procédé de fabrication est moins bien garantie. -12- REVENDICATIONS 1 - Circuit de détection de seuil de température, caractérisé en ce qu'il comporte au moins un transistor (1) polaris en inverse par un circuit (Voc) d'alimentation électrique et des noyens (7,11) pour mesurer le courant inverse (Is) de saturation qui traverse ce transistor. 2 - Circuit selon la revezndication 1 caractérisé en ce que les moyens pour mesurer crportent un deuxième transistor (7) en série (9) avec le premier et polarisé en inverse par l'alimentation, de taille (V) différente du premier, et un comparateur à seuil (11) relié au point milieu (9) de ces deux transistors. 3 - Circuit selon la revendication 2 caractérisé en ce qu'il est intégré dans le substrat (13) d'un circuit intégré pour en assurer la surveillance thermique. 4 - Circuit selon l'une quelconque des revendications 2 ou 3 caractérisé en ce que les deux transitons sont à canal de conduction identique (P). - Circuit selon l'une guelcgnque des revendications 2 à 4 caractérisé en ce qu'un des transistors est à canal P, est réalisé dans un substrat dopé P, et est contenu dans un caisson (14) relié (16) électriquement au potentiel de souroe de oe transistor.