FR 2618273 A1 19890120 FR 8710124 A 19870717 - 1 MODULATEUR/COMMUTATEUR ELECTRO-OPTIQUE INTEGRE A RÉPONSE PASSE-BANDE L'invention concerne un modulateur/commutateur éleetro-optique intégré à réponse passe-bande. Quand on réalise un modulateur électro-optique, en général, à haute fréquence, il ne peut plus être considéré comme un composant à constantes localisées, mais à constantes réparties car ses dimensions deviennent de l'ordre de la longueur d'onde de l'onde électrique modulante appliquée. On est donc conduit à réaliser les électrodes sous forme de lignes de transmission électriques dont l'impédance caractéristique est choisie en fonction de l'utilisation. Du fait de la différence des fréquences entre les ondes optiques guidées et les ondes électriques de modulation, ces deux ondes se propagent avec des constantes de propagation différentes (indices effectifs de refraction), ce qui entraine une limitation dans la bande passante des modulateurs. Ainsi pcur un modulateur de phase, tel que représenté en figure 1, et comprenant un guide optique G soumis à un champ électrique alternatif produit par deux électrodes E1 et E2 encadrant le guide G et une source de courant S, on peut montrer que le déphasage induit dans un dispositif tel que celui représenté en figure 1 est strictement nul à la fréquence -L(neno) e o avec - L, la longueur d'interaction, - c, la vitesse de la lumière dans le vide, - ne, l'indice effectif électrique, - no, l'indice effectif optique. L'explication physique de ce phénomène est qu'à cette fréquence, un groupe de photons traversant le modulateur voit une alternance positive du champ de modulation pendant la première moitié du dispositif et une alternance négative pendant la seconde moitié. Dans le cas de modulateurs électro-optiques par effet Pockels, la variation d'indice est une fonction linéaire du champ appliqué et donc le déphasage total est nul. Ce phénomène est à rapprocher du problème dit "accord de phase" en optique non linéaire, La bande passante d'un tel dispositif est donc reliée directement aux propriétés du substrat aux fréquences optiques et électriques ainsi qu'à la longueur d'interaction. Dans certaines applications, il est intéressant d'utiliser des modulateurs dont la réponse en fréquence n'est pas du type passe-bas (fréquence nulle à fréquence maximale) mais plutôt du type passe-bande: f1-of2 autour d'une fréquence fo de fonctionnement (transmission de signaux radars, par exemple). Dans le cas du modulateur de phase décrit précédemment, on peut alors utiliser la configuration d'électrodes représentée en figure 2. Selon cette configuration, on prévoit deux couples d'électrodes E3-E4 et E5-E6 alimentés en alternatif par une source de tension S. La connexion des électrodes est croisée de façon que l'électrode FE3 est connectée à l'électrode E6 et l'électrode E4 à l'électrode E5. Cette configuration permet d'inverser le signe du champ appliqué dans les deux moitiés du modulateur. Dans ce cas, à fréquence nulle, le déphase accumulé est exactement nul, par contre, à la fréquence donnée par l'équation précédente, le déphasage est maximal. Notons que, grâce à la symétrie autour de la fréquence fo, la bande passante du dispositif de la figure 2 est double de celui de la figure 1 pour une même longueur totale d'électrodes. Naturellement, ce principe simple peut être appliqué à des électrodes multi-sections pour augmenter la fréquence de travail si la longueur d'interaction est fixée. Dans le cas o un modulateur d'amplitude est préférable, on peut appliquer ce principe à l'un ou aux deux bras d'un interféromètre dont le schéma de base est représenté sur la figure 3 et qui comporte deux guides G1 et G2, un guide d'entrée E1 et un guide de sortie SI. Dans les exemples donnés ci-dessus, pour travailler autour de la fréquence fo, on est amené à scinder les électrodes de commandes en plusieurs parties ou au moins à adopter des configurations dont la complexité peut rendre délicat leur emploi à des fréquences élevées. L'invention concerne un dispositif permettant d'utiliser une électrode classique, la résonance autour de f étant o obtenue optiquement. Le principe de base du dispositif de l'invention est de mettre à profit cette différence entre constantes de propagation optiques et électriques plutôt que d'essayer de la compenser par des électrodes multi-sections. L'invention concerne done un modulateur/commutateur électro-optique intégré à réponse passe-bande comprenant: - un premier et un deuxième guides optiques intégrés couplés entre eux, présentant une longueur de couplage déterminée; - une jonction optique en forme de Y connectant optiquement les deux guides à un guide d'entrée, recevant une onde d'entrée par le guide d'entrée, répartissant cette onde d'entrée de façon symétrique vers le premier et le deuxième guides optiques; - au moins une première électrode associée au premier guide optique et au moins une deuxième électrode associée au deuxième guide optique, ces électrodes permettant, sous la commande d'une source de tension, d'appliquer au moins un champ électrique auxdits guides optiques selon une longueur d'interaction déterminée; caractérisé en ce que - les vitesses de propagation dans les deux guides optiques des ondes optiques et électriques présentent une différence de vitesse déterminée en raison soit d'indices 2 6 18273 optique et électrique différents, soit de directions de propagation différentes des ondes optique et électrique, soit des deux à la fois; - la source de tension fournit une tension alternative - le rapport de la longueur d'interaction à la longueur de couplage a une valeur telle que pour une différence donnée des vitesses de propagation des ondes optique et électrique, l'onde optique dans chaque guide voit successivement les alternances positives et négatives du champ électrique fourni par la source et appliqué le long des guides simulant ainsi, pour une fréquence de modulation donnée, un fonctionnement multi-sections d'électrodes à renversement de champ appliqué pour le même dispositif qui serait utilisé en fréquence nalffle. Les différents objets. et caractéristiques de l'invention apparaîtront plus clairement dans la description qui va suivre faite à titre d'exemple en se reportant aux figures annexées qui représentent: - les figures 1 à 3, des dispositifs de l'art connu déjà décrits précédemment; - la figure 4, un exemple de réalisation du dispositif selon]l'invention; - la figure 5, une vue en coupe des guides G1 et G2 de la figure 4; - la figure 6. une courbe illustrant le fonctionnement du dispositif de la figure 4: - la figure 7, un exemple de réalisation à deux sections du dispositif de l'invention; - la figure 8, un diagramme de commutation du dispositif à deux sections de la figure 7; - la figure 9, un diagramme de commutation du dispositif de l'invention à quatre sections; - la figure 10, un diagramme montrant les lieux de modulation d'égales efficacités pour un dispositif à quatre sections - la figure 11, une courbe de réponse en fréquence du dispositif de l'invention - la figure 12, un exemple de réalisation en coupe du dispositif de l'invention. Selon l'invention au lieu d'utiliser une configuration du type modulateur de phase, une structure permettant d'obtenir un effet non nul en continu avec des systèmes d'électrodes multi-sections doit être utilisé de telle façon qu'avec une électrode unisection à une fréquence de travail voulue, on simule un fonctionnement multi-sections. Pour obtenir une réponse quasi-linéaire, l'exemple de réalisation du dispositif à la figure 4, est utilisé. Celui-ci est un coupleur directionnel alimenté par une jonction Y. Il comporte deux guides couplés G] et G2 connectés à un guide d'entrée E1 par une jonction en forme de Y. La jonction Y est symétrique et répartit de façon égale dans les deux guides G1 et G2 l'énergie lumineuse reçue sur le guide d'entrée El. Les deux guides G1 et G2 reçoivent donc deux ondes lumineuses de même fréquence, en phase et la même énergie. Les guides GI et G2 sont surmontés par des électrodes EL1 et EL2 connectées à une source de tension S. Comme cela est représenté en figure 5, les guides G1 et G2 sont réalisés dans un substrat 1 selon les techniques de l'optique intégrée. Les électrodes EL1 et EL2 sont disposées au-dessus des guides Gi et G2 respectivement. Les électrodes EL1 et EL2 ont une longueur L définissant une longueur d'interaction. Par ailleurs, les guides G1 et G2 étant couplés, dans le cas de la figure 4 o une électrode unisection est utilisée, si la longueur de couplage L et la longueur d'interaction L c vérifient la relation: L/Lc = c'2 et si A B étant la variation de la constante de propagation optique entre les deux guides, une courbe de réponse de la figure 6 est alors obtenue quand on applique un /A entre les deux guides. Dans ce cas, le dispositif a bien une réponse linéaire autour de Aà = 0. Une analyse détaillée du fonctionnement d'un tel dispositif permet de montrer qu'il peut fonctionner avec des électrodes multi-sections. La figure 7 représente un dispositif à deux sections selon l'invention selon lequel l'électrode du guide GI a été scindée en deux électrodes identiques EL'1 et EL"1. Ces électrodes sont alimentées électriquement de façon à fournir des champs électriques déphasés de Â radians. On peut également obtenir un résultat similaire avec des électrodes connectées comme en figure 2. La figure 8 correspond au diagramme de commutation du dispositif à deux sections de Rla figure 7. En abscisse, on a porté le /ifL créé entre les deux guides et en ordonnées L/L. Les croix correspondent aux points o l'énergie a été c transférée vers le guide G1 et les carrés aux points o l'énergie a été transférée vers le guide G2. On voit que seules certaines valeurs de L/Lc permettent d'obtenir 100% de modulation. Ces valeurs de L/L sont celles c satisfaisant la relation: L/Lc = N cos (11/4N). La figure 9 donne un exemple de fonctionnement d'un dispositif à 4 sections et la figure 10 (4 sections) montre les lieux correspondants à 99%, 80%... de modulation permettant ainsi de définir avec quelle précision on doit réaliser le dispositif pour obtenir un taux de modulation donné. Avec un tel principe de fonctionnement, on conçoit aisément que, pour une longueur d'interaction et des indices effectifs optiques et électriques donnés, le dispositif avec une électrode homogène (unisection) travaillera à 1, 2,... sections selon la fréquence de l'onde de modulation comme cela a été décrit précédemment. Le rapport L/Lc -de la longueur d'interaction L à la longueur de couplage Lc a une valeur telle que pour une différence Av (que l'on détermine) des vitesses de propagation des ondes optique et électrique, l'onde optique dans chaque guide G1, G2 voit successivement les alternances positives et négatives du champ électrique fourni par la source S et appliqué le long des guides G1, G2 simulant ainsi, pour une fréquence de modulation déterminée, un fonctionnement multi-sections d'électrodes A renversement de champ appliqué pour le même dispositif qui serait utilisé en fréquence nulle. Selon l'invention, un fonctionnement A N sections simulées est obtenu en appliquant un champ électrique de fréquenee fN répondant A la relation f N c N 2 L(ne-no) Cette relation est valable pour une propagation dans le même sens des ondes électrique et optique. Pour une propagation en sens contraire de ces ondes, la relation donnant fN est: f _ N c N - 2 L(ne+no) Enfin, il convient de préciser que dans le cas d'un dispositif A multisections d'électrodes (N couples d'électrodes), avec un champ A fréquence nulle, le dispositif travaillant alors A renversement de champ par connexions croisées des électrodes (voir par exemple la figure 2), l'invention prévoit d'avoir: L N cos i Lc 4N c On aura alors une efficacité de commutation de sensiblement 100% vers l'un ou l'autre des deux guides G1 ou G2. Un exemple de fonctionnement de ce type est démontré sur la figure 11 o on a représenté la réponse en fréquence d'un modulateur tel que celui de la figure 4, dont les caractéristiques sont les suivantes Matériau utilisé: LiNbO3 avec: indice effectif optique = 2.2 indice électrique optique = 4.25 longueur d'interaction = 8.56 mm L/Lc = 3.92 ondes optiques et électriques contra-propagatives et adaptation de toutes les impédances réalisées. Dans ce cas, le modulateur a un comportement résonnant électro-optique du type à 4 sections autour de la fréquence GHz. Il faut noter que la fréquence de travail est directement liée au choix de L/Lc et que, en fait, la bande passante est liée à la longueur de l'électrode. A titre d'exemple, le descriptif de l'invention peut être réalisé de la façon suivante: On peut utili.ser un substrat de LiNbO dans lequel les guides d'ondes sont fabriqués par diffusion de titane. A 1,3 Um, la largeur de la bande de titane avant diffusion peut être de 7 microns et son épaisseur de 450 A pour permettre l'obtention de guides monomodes (diffusion à 950 C pendant 6 heures. Sur les guides, on dépose une couche tampon de SiO2 (épaisseur % 3000A) pour isoler le mode guidé des électrodes métalliques et ainsi minimiser les pertes à la propagation. La technique de dépôt utilisée peut être dépôt en phase vapeur - pulvérisation. Les électrodes sont obtenues par masquage d'une couche d'or (réalisée par évaporation ou pulvérisation) de faible épaisseur. Cette dernière est ensuite augmentée jusqu'à environ 4 microns par dépôt électrolytique pour diminuer les pertes ohmiques d'électrodes (figure 11). La géométrie des électrodes est choisie pour assurer la transmission électromagnétique de l'onde de modulation. Dans le cas de la figure 11, la ligne est du type asymétrique coplanaire. Pour assurer une impédance caractéristique de 50, le rapport W/G doit être égal à 0,6, ce qui, pour un espace G typique de 10 microns conduit à une largeur W de l'ordre de 6 microns. Il est bien évident que la description qui précède n'a été faite qu'à titre d'exemple non limitatif. Les formes de réalisation et les exemples numériques n'ont été fournis que pour illustrer la description. D'autres variantes peuvent être envisagées sans sortir pour autant du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Modulateur/commutateur électro-optique intégré à réponse passe-bande comprenant - un premier et un deuxième guides optiques (Gl, G2) intégrés couplés entre eux présentant une longueur de couplage (L) déterminée - une jonction optique en forme de Y connectant optiquement les deux guides (G1 et G2).à un guide d'entrée (El), recevant une onde d'entrée par le guide d'entrée (El), répartissant cette onde d'entrée de façon symétrique vers le premier et le deuxième guides optiques (Gl, G2); - au moins une première électrode (El) associée au premier guide optique (Gi) et au moins une deuxième électrode (E2) associée au deuxième guide optique (G2), ces électrodes permettant, sous la commande d'une source de tension (S), d'appliquer au moins un champ électrique auxdits guides optiques (Gi, G2) selon une longueur d'interaction (L) déterminée; caractérisé en ce que les vitesses de propagation dans les deux guides optiques (G1, G2) des ondes optiques et électriques présentent une différence de vitesse (Av) déterminée en raison soit d'indices optique et électrique différents, soit de directions de propagations différentes des ondes optique et électrique, soit des deux à la fois - la source de tension (S) fournit une tension alternative; - le rapport (L/Lc) de la longueur d'interaction (L) à la longueur de couplage (Lc) a une valeur telle que pour une différence (A v) donnée des vitesses de propagation des ondes optique et électrique, l'onde optique dans chaque guide (G1, G2) voit successivement les alternances positives et négatives du champ électrique fourni par la source (S) et appliqué le long des guides (G1, G2) simulant ainsi, pour une fréquence de modulation donnée, un fonctionnement multi-sections d'électrodes à renversement de champ appliqué pour le même dispositif qui serait Utilisé en fréquence nulle. 2. Modulateur/commutateur électro-optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la source (S) de tension permet l'application d'un champ électrique alternatif dont la fréquence a une valeur proportionnelle au nombre de sections N simulées et à la vitesse de la lumière (c) dans le vide, et inversement proportionnelle au double de la longueur d'interaction (L) multiplié par la somme des indices électrique et optique (ne et no) lorsque les ondes optique et électrique se propagent en sens opposés, ou multipliée par différence de ces Indices lorsque les ondes optique et électrique se propagent dans le même sens. 3. Modulateur/commutateur électro-optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que: - sur une longueur d'interaction déterminée (L), il comporte pour chaque guide (G1, G2) un nombre égal d'électrodes toutes d'une même longueur, ces électrodes des deux guides formant des couples d'électrodes d'application de champs électriques aux guides optiques (G1, G2), les connexions électriques des électrodes de deux couples voisins étant croisées; - la source (S) fournit une tension de fréquence nulle le rapport de la longueur d'interaction (I) à la longueur de couplage (Lc) a une valeur proportionnelle au nombre de couples d'électrodes (N) et au cosinus de Â1 radians divisé par quatre fois le nombre de couples d'électrodes 4. Modulateur/commutateur électro-optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le substrat est en matériau électro-optique. 5. Modulateur/commutateur électro-optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le substrat est en niobate de lithium et les guides optiques sont réalisés par diffusion de titane. 6. Modulateur/commutateur électro-optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le substrat (1) dans lequel sont réalisés les guides optiques (G1, G2) est recouvert d'une couche tampon sur laquelle sont réalisées les électrodes isolant les modes guidés des électrodes. 7. Modulateur/commutateur électro-optique selon la revendication 6, caractérisé en ce que la couche tampon est un oxyde de silicium.