FR 2622008 A1 19890421 FR 8714249 A 19871015 1i 2622008 JAUGES DE CONTRAINTE A FLUAGE REGLABLE ET PROCEDE D'OBTENTION DE TELLES JAUGES DESCRIPTION La présente invention a pour objet un procédé d'obtention de jauges de contrainte permettant de compenser Le fLuage d'un support sur Lequel elles sont destinées à être colltées. Elle a également pour objet des jauges obtenues par ce procédé, et plus particulièrement les jauges pour corps d'épreuve métalliques. L'élasticité des matériaux n'est pas parfaite. En particulier, on constate que l'application d'une contrainte ou d'une charge pendant une longue durée entraîne une augmentation progressive des déformations des corps soumis à ces charges. Ce phénomène est appelé le fluage. Quand des jauges de contrainte sont installées sur ces corps, elles subissent donc un allongement supplémentaire qui se traduit par une évolution de leurs indications. Pour certaines applications o l'on s'intéresse précisément au fluage, il est évidemment souhaitable de pouvoir relever cette évolution; par contre, notamment dans le cas o le support soumis au fluage est une partie déformable d'un capteur de force ou de pression, cette évolution est nuisible car les mesures ne peuvent plus être fidèles. Dans le cas de machines de pesage o l'on amène progressivement les objets à peser ensemble, le temps de mesure peut atteindre plusieurs minutes ou mime plusieurs dizaines de minutes et les variations des indications du capteur peuvent être de plusieurs pourcents. Un problème analogue se pose pour les capteurs de pression qui surveillent en continu l'évolution de la pression d'un liquide dans une conduite. L'invention permet de supprimer l'influence indésirable du fluage du matériau support sur le motif piézorésistif d'une jauge de contrainte en interposant entre eux une couche d'un Z 2622008 matériau soumis à relaxation. Plus précisément, L'invention concerne un procédé d'obtention de jauges de contrainte permettant de compenser Le fLuage d'un support sur lequel elles sont destinées à être collées, Les jauges comprenant un motif piézorésistif gravé sur une face d'une pellicuLe souple, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes: - dép8t d'une couche d'un matériau soumis à relaxation sur L'autre face de la peLlicuLe; - collage de la couche à relaxation sur une éprouvette de même matériau que le support; application d'un effort constant engendrant un fluage sur l'éprouvette; mesure de l'évolution de la résistance de la jauge en fonction du temps; et - déduction de l'épaisseur de la couche à relaxation pour annuler l'évolution de la résistance de la jauge. Deux réalisations particulières mises au point par les inventeurs concernent une jauge de contrainte insensible au fluage d'un support d'acier ou d'aluminium sur lequel elle est destinée à être collée, comprenant un motif piézorésistif gravé sur une face d'une pellicule souple, caractérisée en ce qu'elle comprend une couche de constantan d'épaisseur comprise entre 100 et 200 nanomètres dont une face est à coller sur le support et qui est fixée par son autre face à l'autre face de la pellicule souple ou respectivement une couche d'alliage nickelchrome en proportions massiques 80% et 20% et entre 80 et 100 nm d'épaisseur. On va maintenant décrire l'invention plus en détail à l'aide des deux figures suivantes annexées à titre illustratif et non limitatif: - la figure I représente une jauge de contrainte selon l'invention au moment o elle est utilisée ou essayée; et - la figure 2 représente un déroulement d'essai typique avec différentes jauges de contrainte, conformes à l'invention ou 3 2622008 non, sur un support soumis au fluage. La jauge seLon L'invention comporte, comme on le voit sur la figure 1, des parties déjà utiLisées selon l'art antérieur: tout d'abord, une pellicule souple 1 qui peut être du polyimide de 25 m d'épaisseur et sur La face supérieure référencée 2 de LaqueLLe on dépose une fine couche de matériau conducteur 3 de 0,15Pm d'épaisseur environ que L'on grave ensuite de façon à ne Laisser subsister qu'un motif piézorésistif 4 comprenant des brins paraLlèles 5 reliés entre eux par des boucles 6 de façon à former un seut chemin conducteur entre deux bornes 7. Le dép8t de cette mince épaisseur peut être effectué par pulvérisation cathodique ou évaporation par exemple. Le motif' piézorésistif 4 adhère alors complètement à La peLlicule soupLe 1 dont il suit donc les déformations. L'invention peut toutefois être appliquée également à des motifs piézorésistifs plus épais (5/ma) réalisés après collage de la couche de matériau conducteur sur la peLLicule souple. Les valeurs numériques préconisées dans Les exemples suivantspeuvent cependant devoir être ajustées car l'adhérence réalisée par collage n'est pas parfaite et le motif piézorésistif peut lui-même se déformer sous l'effet d'une sollicitation prolongée. Comme il est connu, l'allongement ou la contraction des brins 5 sont utilisés pour mesurer Les déformations du support sur lequel la jauge est collée. IL est évident que sur Le dessin 2-5 les épaisseurs ont été fortement agrandies par souci de clarté. SeLon l'invention, on dépose sur La face inférieure 8 de la pellicule souple 1 une couche 9 sujette à relaxation; La face supérieure 10 de la couche 9 est soudée à la face inférieure 8 de la pellicule 1, et la face inférieure 11 de la couche 9 est collée à un support 12 soumis au fluage au moyen d'une couche de colle 13. Quand on soumet le support 12 à une contrainte mécanique d'amplitude constante et de durée assez Longue, Les indications possibles des jauges sont représentées sur la figure 2. Sur cette représentation graphique, on a porté en abscisses le temps en minutes, et en ordonnées les valeurs relevées par les jauges. Dans cet exemple, La sollicitation mécanique a été appliquée à l'origine des temps et relichée vingt minutes après. La courbe 16 représente les indications d'une jauge traditionneLLe, dépourvue d'une couche 9 sujette à relaxation, et les courbes 17 et 18 représentent les indications de jauges pourvues chacune d'une couche 9 sujette à relaxation, mais d'épaisseurs différentes. On constate que les jauges traditionnelles enregistrent Le fluage du support 12 et fournissent des valeurs de plus en plus importantes quand La sollicitation mécanique est prolongée. Cette augmentation est sensiblement linéaire. Quand on reliche le support 12, on constate que la matière ne revient pas immédiatement à son état initial non déformé, car la partie de déformation due au fluage ne se résorbe qu'a une vitesse sensiblement égale à celle du fLuage: une déformation résiduelle subsiste pendant encore vingt minutes. Par conséquent, aussi bien pendant la sollicitation qu'après celle-ci, la mesure de la jauge traditionnelle ne peut être considérée comme fidèle car elle donne des indications différentes avec le temps. Si la couche 9 sujette à relaxation a une épaisseur relativement importante, on obtient des courbes de réponse du type de la courbe 18: les indications de la jauge deviennent de moins en moins importantes quand la sollicitation se prolonge, et quand on relâche le support 12, le réajustement à zéro n'est également que progressif et on enregistre pendant ce temps des indications de signe opposé à celles enregistrées pendant La sollicitation. La couche 9 sujette à relaxation se cisaille progressivement, à une vitesse supérieure à la vitesse de fluage, de telle sorte que le motif piézorésistif 4 est soumis à des déformations de plus en plus faibles. Après l'enlèvement de la sollicitation, la relaxation subsiste temporairement et soumet le motif piézorésistif à des déformations de signe opposé qui ne disparaissent qu'après une relaxation inverse de la couche 9. Une 2622008 jauge selon l'invention a sensiblement la courbe de réponse 17: Les indications que la jauge fournit restent constantes quand La sollicitation se prolonge et reviennent immédiatement à zéro quand Le support 12 est relâché. Les indications de cette jauge ne dépendent donc pas du temps. Cette courbe 17 s'obtient par un choix judicieux de l'épaisseur de La couche 9 sujette à relaxation, une épaisseur trop faible donnant une courbe 16 et une trop élevée donnant une courbe 18. Cette épaisseur peut être déterminée expérimentalement, en fonction des propriétés de fluage du matériau du support 12 et de relaxation du matériau de La couche 9, en choisissant l'épaisseur de la couche 9 que l'on dépose sur la face inférieure 8 de la pellicule souple 1. La jauge est ensuite collée sur un support d'essai de forme et de dimensions quelconques mais de même matériau que le matériau pour Lequel La jauge a été prévue, et l'on soumet le support d'essai à une sollicitation constante de durée suffisante. Selon les résultats obtenus, on ajuste l'épaisseur de la couche 9 sujette à relaxation. Plusieurs expériences ont ainsi été menées. On a découvert que, pour des supports en acier, il était avantageux d'utiliser une couche de constantan d'épaisseur comprise entre et 200 nm, de préférence proche de 160 nm: pour cette dernière valeur, la jauge est totalement insensible au fLuage du support 12, et pour les valeurs extrêmes, les variations d'indications dues au fLuage ne sont que de 40% des variations que l'on obtiendrait en l'absence de La couche de constantan. Pour des supports d'aluminium, la couche 9 étant cette fois-ci en alliage de nickel-chrome de respectivement 80% et 20% en poids, la fourchette correspondant au même pourcentage de variation des indications est à environ 67 nm et 105 nm. La valeur pour Laquelle la jauge est totalement insensible au fluage est d'environ 90 nm. Bien entendu, l'invention n'est pas limitée à ces exemptes précis mais comprend au contraire toutes les jauges 6 2622008 obtenues à L'aide du procédé selon L'invention. En particulier, Les matériaux du support 12 et de La couche 9 sujette à relaxation peuvent être quelconques et appariés de manière que L conque. 7 2622008 REVENDICATIONS 1. Procédé d'obtention de jauges de contrainte compensant le fluage d'un support (12) sur Lequel elles sont destinées à être collées, Les jauges comprenant un motif piézorésistif (4) gravé sur une face d'une pelticuLe (1) soupLe, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes: - dépôt d'une couche (9) d'un matériau soumis à relaxation sur l'autre face (8) de La peLlicuLe (1); - collage de La couche (9) à relaxation sur une éprouvette (12) de même matériau que Le support (12); - application d'un effort constant engendrant un fluage sur l'éprouvette (12); - mesure de l'évolution de la résistance de la jauge en fonction du temps; et ajustement de l'épaisseur de la couche (9) à relaxation pour annuler l'évolution de la résistance de la jauge. 2. Jauge de contrainte compensant le fluage d'un support (12) sur lequel elle est destinée à être collée, comprenant un motif piézorésistif (4) gravé sur une face (2) d'une pellicule souple (1),caractérisée en ce qu'elle comprend une couche (9) sujette à relaxation dont une face (11) est à coller sur le support (12) et qui est fixée par son autre face (10) à L'autre face (8) de la pellicule souple (1). - 3. Jauge de contrainte selon la revendication 2, pour laquelle le support est en acier, caractérisée en ce que la couche sujette à relaxation est en constantan et d'épaisseur comprise entre 100 et 200 nanomètres. 4. Jauge de contrainte seLon La revendication 2, pour laquelle le support est en aluminium, caractérisée en ce que La couche sujette à relaxation est en nickel-chrome en proportions massiques 80% et 20% et d'épaisseur comprise entre 67 et 105 nanomètres.