FR 2619936 A1 19890303 FR 8712153 A 19870901 Modulateur pour onde électromagnétique, à puits quantiques, et utilisation de ce modulateur comme polariseur L'invention concerne un modulateur pour moduler en amplitude ou en phase une onde électroman- étique, notamment dans le domaine s'étendant des ondes visibles jusqu'aux ondes infra-rouges lointaines. L'onde à modu- ler peut être une onde guidée ou une onde libre. Il est connu de réaliser des modulateurs fon2- tionnant dans Le domaine de l'infra-rouge m-yen et mettant en oeuvre une injection de porteurs. Ce type de modulateur a une bande passante limitée à cause de la durée de vie importante des porteurs. Il est connu aussi de réaliser des modulateurs à effet électro-optique. Cet effet est très rapide, mais il n'est pas possible d'obtenir une barnde passante correspondant à la rapidité de cet effet, car ces modulateurs comportent des élec- trodes, destinées à l'application d'un champ éiectri- que, qui ont des capacités relativement importantes. Dans les modulateurs classiques la bande pas- sante est fonction des dimensions du modulateur. Ce pro- blème de bande passante s'aggrave quand la longueur d'onde augmente car les dimensions d'un modulateur augmentent avec la longueur d'onde de l'onde à moduler. En particulier la réalisation d'un modulateur pour onde du domaine de i'infra-rouge moyen est beaucoup plus difficile que a réalisation d'un modulateur pcur onde du do. ine du Sz s-be ou du proche infra-rouge. Le but de 'invention est de proposer un modula- teur dont la barde passante soit plus large que celle des modulateurs classiques pour des ondes du do-a-ne de l'infra-rouge zoyen ou lointain. L'otjet de l'invention est un modulateur mettant en jeu une interaction optique-optique, au sein de matériaux semi-conducteurs, entre une première onde dite onde à moduler et une s-orde onde, généralement de fréquence supérieure, dite onde de commande, portant le signal modulant, sous la forme d'une modulation d'amplitude. Cette inter- action est rendue possible par l'utilisation de struc- tures quantiques à au moins deux niveaux discrets. L'onde à moduler peut appartenir par exemple au domaine de l'infra-rouge moyen alors que l'onde de commande peut appartenir au domaine visible ou infra-rouge proche, dans lequel il est facile de réaliser des modulateurs Mlassiues. Le modulateur selon l'invention peut aussi être utilisé comme polariseur commandable. Selon l'inventizn, un modulateur pour onde électromagnétique, pour moculer une onde de fréquence 1, dite onde à moduler, par un signal modulant l'am- plitude d'une seconde onde de fréquence 2 ' dite once de commande, est caractérisé en ce qu'il comporte au moins une première couche de mater:au semi-conducteur d'un pre- mier type, comprise entre deux secondes couches d'un matériau semiconducteur d'un second type, toutes les couches étant traversées par l'onde à moduler et par l'onde de commande; les deux types de matériau étant tels qu'il y ait un puits de potentiel dans la bande de conduction et dans la bande de valence de chaque pre- mière ccuche; l'épaisseur de chaque première couche étant telle que les élec:rons de sa bande de conducticn prssèdent au moins deux niveaux discrets d'énergie per- mis dont la différence d'énergie correspond à une fré- quence proche de la fréquence 0 1 de l'onde à moduler et telle que les tous de s- bande de valence possèdent des niveaux d'énergie permis tels que la différence d'éner- gie entre le niveau fondamental permis pour les trous dans la bande de valence et le rniveau fondamental permis pour les électrons dans la bande de conduction, a une valeur proche de celle correspondant à la fréquence de l'onde de commande. L'invention sera mieux comprise et d'autres détails apparaîtront à l'aide de la description ci- dessous et des figures l'ccompagnant: - la figure 1 représente un diagramme des niveaux d'énergie dans la structure quantique utilisée dans le - i0 modulateur selon l'invention; - la figure 2 représente un diagramme des niveaux d'énergie dans cette structure quantique pour un exemple de choix des matériaux constituant le modulateur selon l'invention; - la figure représente les graphes de la partie réelle et de la partie imaginaire de l'indice de réfrac- tion dans la structure quantique, en fonction de la fré- quence de l'onde à moduler; - la figure 4 représenhe un premier exemple de réalisation d'un modulateur selon l'invention, pour moduler une onde guidée selon une seule dimension; - la figure 5 représente les graphes de l'absorp- tion et du déphasage de l'onde à moduler, en fonction de sa fréquence; la figure 6 représerne un second exemple de réalisation du modulateur selon l'invention, pour modu- ler une onde guidée selon deux dimensions; - la figure 7 représente un troisième exemple de réalisation du modulateur seion i'invention, pour modu- ler une onde en propagation libre. Le diagramme de la figure 1 représente les ni- veaux d'énergie des pDrteurs dans la structure quantique utilisée dans le modulateur selon l'invention. Cette structure quantique comporte une couche 2 de matériau semi-conducteur d'un premier type, noté Mb, et deux couches, 1 et 3, d'un matériau semi-conducteur d'un second type noté Ma, situées de part et d'autre de la couche 2. Les couches 1 et 3 ont une bande interdite de largeur Ega alors que la couche 2 a une bande interdite de largeur Egb inférieure à Ega. Il est généralement admis que la différence entre ces deux largeurs se répartit entre la bande de conduc- tion et la bande de valence, selon des proportions voi- sines de 65%/ et 35%/ respectivement. L'association de ces trois couches de matériau semi-conducteur ayant des largeurs de bande interdite différentes permet la création d'un puits de potentiel pour les électrons dans la banJe de conduction, et pour les trous dans la bande de valence. Lorsque les dimen- sions de ce puits sont proches des longueurs d'ondes de de Broclie associées à ces particules, l'énergie totale qui leur est permise ne peut prendre qu'un nombre fini de valeurs discrètes. Ce nombre de valeurs et ces va- eurs sont directement fonctions des dimensions des puits quantiques et des caractéristiques des matériaux semi--onducteurs. La structure quantique utilisée dans le modula- teur selon l'invention a une seule dimension: l'épais- seur, 1b 9 de la couche 2. Le puits possède alors deux niveaux discrets d'énergie permis, e1 et e2, pour les électrons dans la bande de conduction. et deux niveaux h1 et h2 pour les trous dans la bande de conduction. Pour simplifier, tous les trous de la bande de valence sont sz.pposés posséder les mêmes cara.t.-..stiques, ce qui conduit à l'existence de seulement deux niveaux dis- crets d'énergie permis h1 et h2. Le matériau semi-conducteur constituant la cou- che 2 n'a pas de dopage. Il a seulemernt un dopage ré- duel, aussi faible que le permet la technologie, afin que le niveau fondamental el de la bande de conduction dans le puits quantique soit désert afin d'obtenir une efficacité de modulation maximale. Les couches 1 et 3 sont constituées elles aussi d'un matériau semi- conducteur non dopé. Si les trois couches comportaient un dopage, l'efficacité de modulation serait diminuée, mais il y aurait encore un effet de modulation. Le fonctionnement du modulateur selon l'inven- tion consiste à peupler le niveau e1 par un pompage optique au moyen d'une onde de commande ayant une fré- quence 2 proche d'une fréquence 2 correspondant à la différence d'énergie entre le niveau fondamental h1 dans la bande de valence et le niveau fondamental e dans la bande de conduction, dans le puits quantique. Le peuplement du niveau e1 permet ensuite une transition résonnante du niveau e1 au niveau e2 et modifie ainsi notablement les caractéristiques optiques des matériaux formant le puits quantique. Une onde de fréquence proche d'une fréquence 1 correspondant à la différence d'énergie entre les niveaux e1 et e2, subit une absorption et un déphasage qui sont fonctions du peuplement du niveau e1. Ce peu- plement étant fonction de l'amplitude de l'onde de pom- page, il est possible de moduler l'onde de fréquence D1 ' en amplitude ou en phase, en agissant sur l'am- plitude de l'onde de commande assurant le pompage optique. En l'absence de pompage optique, cette structure quantique est tout à fait transparente à l'onre à modu- ler car l'énergie de ces photons, h. D, c h est la constante de Planck, est inférieure aux largeurs E et Egb des bandes interdites des matériaux Ma et Mb Egba " Pour des raisons de symétrie, la transition du niveau ho au r.nveau e, ne peut pas se produire. La tran- sitor. du niveau n2 au niveau e2 n'est pas à rechercher. La figure 2 représente un diagramme des niveaux d'énergie analogue à celui de la figure 1, pour un exem- ole de réalisation dans lequel les couches 1 et 3 sont constituées de Gao 7AIo 3As et o la couche 1 est cons- tituée de GaAs. Pour ces matériaux Ega est égale à ga 1798 meV et Egb est égale à 1424 meV. Pour une épaisseur b -= 0,0085 microns, les niveaux d'énergie permis so.t tels que la transition du niveau el au niveau e2 corres- pond à une différence d'énergie de 117 meV et à une lon- gueur d'ónde de 10,6 microns. L'onde à moduler doit donc avoir une longueur d'onde voisine de cette valeur. Les trous lourds ont quatre niveaux d'énergie permis: hh,,..., hh. Les trous légers ont deux ni- 4. veaux d'énergie permis lh1 et lh2. La différence d'énergie entre le niveau fondamental permis pour ies trous lourds, hh1, et le niveau fondamental permis pour les électrons, e1, dans la bande de conduction, est égal à 1474 meV, ce qui correspond à une longueur d'or.de de 0,84 micron. La longueur d'onde de l'onde de commande doit donc être vDisir.e de cette valeur pour réaliser le pompage optique et peut donc être facilement obtenue avec un laser semiconducteur. Cet exemple montre qu'il est possible de réaliser une interaction au sein de cette structure quantique entre une onde du domaine infra-rouge très proche et une onde du domaine infra- rouge moyen, cette dernière pouvant être fournie, par exemple, par un laser à gaz C02. Les figures ^ et 3b représentent respectivement le graphe de la partie réelle Ar et de la partie ii - naire Li de l'indice de réfraction dans la structure quantique au voisinage de la fréquence 10 corresp:n- dant exactement à la transition résonnante du niveau el au niveau e2. Le grrhe de la prtie réelle a la frze d'une cloche centrée sur la fréquence 1 alors que le graphe de la partie imaginaire - une forme de S centré sur la fréquence 1,avec un minimum et un maximum de part et d'autre de cette fréquence. Ces courbes de dis- persion anormale mettent en évidence les possibilités de modulation en phase ou en amplitude d'une onde de fré- quence 1 voisine de la fréquence 1 La figure 4 représente schématiquement un pre- mier exemple de réalisation du modulateur selon l'inven- tion, pour moduler une onde guidée par confinement selon une seule dimension. Il comporte trois couches: 1, 2, 3, de matériaux semi-conducteurs Ma, Mb, Ma, respec- tivement déposées par épitaxies successives, sur un substrat 4 lui-même constitué d'un matériau semi- conducteur. Les trois couches 1 à 3 et le substrat 4 possèdent la même-structure cristalline et leurs para- mètres de maille sont tous identiques cu très voisins. Ces trois couches correspondent aux trois couches du diagramme représenté sur la figure 1. L'épaisseur de la couche 2 est telle qu'un puits quantique à deux niveaux permis e et e2 est réalisé dans la bande de conduction. L'onde à moduler, notée h. 1, est appliquée dans les couches 1, 2, 3 parallèlement à leur plan, et ressort parallèlement à leur plan après les avoir tra- versées longitudinalement. L'ensemble des couches 1 à3 constitue la zone guidant la lumière. Son épaisseur 1t ainsi que la valeur des indices des matériaux sont choi- sies de telle façon que ces trois couches assurent le guidage d'au moins un mode de propagation pour des fré- quences voisines de 1. Les épaisseurs 11 et 13 des couches 1 et 3 respectiverent sont choisies de faon à optimiser le recouvrement du ou des modes de propagation que l'on désire moduler, aven la perturbation qui est localisée dans la région du puits quantique. L'onde de commande, notée h.?2, traverse les couches 1, 2, 3 perpendiculairement au plan de ces cou- ches, dans cet exemple. Ele peut avoir un angle d'incl- dence quelconque. L'onde de commande est fournie par exemple par un modulateur classique, non représenté, dont la réalisation, pour la fréquence 2 2, est à la portée de l'homme de l'Art. Ce modulateur classique reçoit: d'une part, une onde de fréquence ? 2 ayant une amplitude constante et qui est fournie par une diode laser par exemple; et d'autre part, un signal électri- que modulant, représentant par exemple une suite de données binaires. La couche 1 est transparente pour l'onde de commande puisque son énergie h.D 2 est infé- rieure à la largeur Ega de la bande interdite de la cou- ga che 1. Les modes de propagation dans ce type de guide peuvent être décomposés en deux familles, les modes TE (Transverses Electriques) pour lesquels la seule compo- sante du champ électrique oui est associée à la propaga- tion est dirigée suivant un axe oy, et les modes TM (Transverses Magnétiques) pour lesquels le champ élec- trique possède une composante suivant un axe ox et une composante suivant un axe oz, l'axe oz étant parallèle à la direction de propagation de l'onde guidée, l'axe oy étant parallèle au grand côté de la section du guide et l'axe ox étant parallèle au petit c5té de la section du guide. On démontre que seuls subiront l'influence de la transition du niveau e1 au niveau e2, les modes possè- dant une composante non nulle du champ électrique dans la direction perpendiculaire au -an des barrières de potentiel du puits quantique, c'est-à-dire perpendicu- la-re au plan du guide. Le cas le;-us favorable pour la modulation correspond en ouïre à l'utilisation d'un guide possédant un seul mode TM. Le modulateur selon l'inve.ntion peut être uti- lisé pour réaliser soit une modulation d'amplitude, soit une modulation de phase, soit une polarisation comman- dabie. Le type de modulation obtenu dépend de l'écart entre la fréquence 1 de l'onde à moduler et la fré- quence 1 Les figures 5a et 5b représentent respectivement le graphe de l'absorption La par unité de longueur du guide, et le déphasage A0 de cette onde en fonction de la fréquence.1 Le premier graphe a une forme en clo- che centrée sur la fréquence D1 et le second graphe a une forme en S centré sur la fréquence) * et possè- dant un maximum et un minimum décalés en fréquence d'une valeur L1 par rapport à 10 Pour utiliser le modulateur comme modulateur d'amplitude avec un minimum de modulation de phase il est nécessaire que la fréquence 1 de l'onde à moduler soit proche de 1 avec un écart inférieur à A Alors que pour utiliser le modulateur comme modulateur de phase avec un minimum de modulation d'amplitude, il est nécessaire que la fréquence 1 soit écartée d'au moins L? Dar rapport à V 1 pour obtenir un fort dé- phasage Le tout en réduisant le plus possible l'absorp- tion La. La zone hachurée sur la figure 5b correspond au domaine de fréquences à éviter dans ce dernier cas.- Ce modulateur peut être utilisé aussi comme pola- riseur co7zandable. En effet, comme mentionné précédem- ment, seuls les moues TM peuvent être absorbés par une transition des électrons du niveau et au niveau e2 du puits quantique. Dans le cas o des modes de deux types, TE et TM, sont excités à l'entrée du guide, les modes TE conservent Leur amplitude initiale alors zue les modes :TM sont asorbés lorsque le puits quantizue est éclairé à la fréquence ?2 Les amplitudes des modes des deux types restent inchangées en l'absence de cet éclaire- ment. Par conséquent, ce modulateur peut être utilisé comme poa-riseur à commande optique. Le recouvrement entre la zone de perturbation et les zones de propaga- tion des différents modes varie avec l'orre et la na- ture de ces derniers. Le meilleur mode de réalisation du modulateur, pour l'utiliser comme polariseur, comporte un guide possédant un seul mode TE et un seul mode TM, et la fréquence de l'onde à polariser doit être la plus proche possible de 1 Le modulateur selon l'invention permet de réali- ser aussi un polariseur à commande électrique, en l'associant à un modulateur classique ou à un commuta- teur optique commandé électriquement pour arrêter ou transmettre une onde de fréquence D 2 fournie, par exem- ple, par une diode laser. La faible extension de la zone o les propriétés optiques varient en fonction du signal modulant, a pour conséquence que le recouvrement entre les zones de pro- pagation des modes optiques et la zone de perturbation, est faible. Par conséquent l'efficacité de modulation est peu élevée lorsqu'il n'y a qu'une seule structure quantique telle que décrite précédemment. Pour augmen- ter ce recouvrement, il est possible de multiplier le nombre de puits quantiques en empilant, en alternance, des couches de matériaux semiconducteurs des deux types, pour constituer une série de puits quantiques. La figure 5 représente un second exemple de réa- lisation du modulateur selon l'invention, comportant une pluralité de puits quantiques. D'autre part, cet exemple de réalisation a une configuration particulière permettant un confinement bidimensionnJl de l'onde à mo- duler. Il comporte: une première couche 11 desi.née à assurer le confrinement bidimensionnel. corstitué de ma- tériau semi-condu cteur du premier type Ma; une succes- sion périodique de couches de matériau Mb et de matériau Ma, respective:ent d'épaisseur 1b et a constitupnt une zone 12 appelée m. 'tipuits quantiques; une couc.e '3 de matériau de type Ma; et un substrat 14. La première couche 11 comporte une nervure plane 11b disposée le long du grand axe de symétrie de la cou- che 11, et en saillie par rapport à une partie plane 11a. La partie plane 11a est obtenue par une réduction ix de l'épaisseur 111 de la couche 11. L'épaisseur de la nervure 11a est donc lx et sa largeur est notée y L'onde à moduler h. 1 se propage dans la direction du grand axe de symétrie de la rainure lia. L'épaisseur 1a détermine la largeur des barrières de potentiel séparant les puits et elle doit être suffisamment grande pour interdire le couplage de ces puits, c'est-à-dire pour que l'état d'un électron dans un puits soit indépendant de l'état des électrons dans les autres puits. L'épaisseur b1 est telle que les puits possèdent au moins deux niveaux discrets d'énergie permis dans la bande de conduction. La multiplicité du nombre de puits a pour effet non seulement d'améliorer le recouvrement entre la perturbation recherchée et le mode guidé, mais aussi d'augmenter le nombre d'électrons disponibles sur le niveau e1, ce qui repousse le seui: de saturation des transitions du niveau h au niveau e. et du niveau e1 au niveau e2. Dans cet exemple de réalisation, le confinement de l'onde à moduler étant bidimensionnel, les modes ne sont plus exactement TE et TM, mais quasi TE et quasi TM. Néanmoins, les composantes principales du champ électrique sont situées sur l'axe oy pour les modes quasi TE et sur l'axe ox pour les modes quasi TM. Prati- quement seuls ces derriers subissent donc l'influence de la transition du niveau e1 au niveau e2 Cet exemple de réalisation permet donc, lui aussi, de moduler en phase ou en amplitude une onde guidée de fréquence 1, par un éclairement à la fréquence 2 ' appliqué sur la lar- geur ly de la nervure i_. La largeur iy et l'épaisseur 1x de cette rainure par rapport à la partie plate lia, sont calculées par un procédé classique, en fonction du nombre de modes acceptés pour le guide. La meilleure efficacité de modulation est obtenue par l'utilisation d'un guide possédant un seul mode quasi TM. De même, l'épaisseur 111 et 113 des couches 11 et 13 est déter- minée par un procédé classique en fonction des caracté- ristiques souhaitées pour le guide. Les exemples de réalisation décrits précédemment conviennent très bien pour moduler une onde guidée, car l'interaction entre l'onde guid-e et la perturbation est réalisée sur une distance de propagation importante. En effet, elle est égale à la longueur des couches puisque l'onde guidée se propage paral'ilement au plan des cou- ches et reste confinée dans ces couches. Le cas d'une onde libre est différent car elle ne peut pas rester confinée dans ces couches. L'interaction est alors limi- tée à une distance de propagation approximativement égale à l'épaisseur de la couche, ou des couches, de ma- tériau Mb, qui est beaucoup -lus faible que la longueur des couches. Dans l'exemple t4crit précédemment, cette épaisseur est égale à 0,0085 micron par couche de maté- riau Mb Pour augmenter l'efficacité de l'interaction il est nécessaire de multiplier le nombre de couples de couches de matériau M et de ûatériau M. Ce nombre de a b couples peut être égal à 100 par exemple. La figure 7 représente un exemple de réalisation du modulateur selon l'invention, particulièrement adap- té pour moduler une onde non guidée. Il comporte un mul- tipuits quantique 15, constitue de 100 couples de cou- cnes le matériau M et de matériau Mb réalisées de ma- a b nière analogue à celles des exe-:les de réalisation pré- cédents, sur un substrat 16. L'onde à moduler, notée n., 1est appliquée avec un angle d'incidence quelcon- que, mais non nul par rapport à la normale aux couches , pour obtenir une interaction efficace pour des pola- risations optiques parallèles au plan d'incidence. L'onde à moduler traverse le substrat 16 et ressort parallèlement à sa direction d'incidence. Pour ê_re transparent, le substrat 16 est constitué d'un ma- tériau semi-conducteur non dopé d'épaisseur quelconque, ou bien d'un matériau dopé ayant une très faible épais- seur. L'onde de commande, notée h. 2, est appliquée avec une incidence nulle par rapport à la normale aux couches, dans cet exemple. L'invention n'est pas limitée aux exemples de réalisation décrits précédemment. Il est à la portée de "'hcm-e de l'art de choisir d'autres matériaux pour per- mpttre la modulation d'une onde appartenant à un domaine de longueur d'onde différent, ou pour utiliser une onde de commande appartenant à un domaine de longueur d'onde différent. L'invention est applicable notamment à l'optique guidée active dans le domaine de l'infra-rouge moyen et loiran.. REVENDICATIONS 1. Modulateur pour onde électromagnétique, pour moduler une onde de fréquence Z 1, dite onde à moduler, par un signal modulant l'amplitude d'une seconde onde de fréquence 0 2 9 dite onde de commande, caractérisé en ce qu'il comporte au moins une première couche (2) de matériau semiconducteur d'un premier type (Mb), comprise entre deux secondes couches (1, 3) d'un matériau semi-conducteur d'un second type (Ma), toutes les couches (1, 2, 3) étant traversées par l'onde à moduler ( y 1) et par l'onde de commande (V 2); les deux types de matériaux (Ma, Mb) étant tels qu'il y ait un puits de potentiel dans la bande de conduction et dans la bande de valence de chaque première couche (2); l'épaisseur de chaque première couche (2) étant telle que les électrons de sa bande de conduction possèdent au moins deux niveaux discrets d'énergie permis (e1, e2) dont la différence d'énergie correspond à une fréquence (D1O) proche de la fréquence 1 de l'onde à moduler et telle que les trous de sa bande de valence possèdent des niveaux d'énergie permis (hi 9 h2,...) tels que la différence d'énergie entre le niveau fondamental permis pour les trous (h1) dans la bande de valence et le niveau fondamental (e1) permis pour les électrons dans la bande de conduction, a une valeur () 2 proche de celle correspondant à la fréquence ( 2) de l'onde de commande. 2. Mod-iateur selon la revendication, caracté- risé en ce que pour moduler une onde guidée par confine- ment monodimensicnnel, les couches (1 à 3) sont traver- sées par l'onde à moduler (h.Q 1) parallèlement à leur plan; et en ce que l'épaisseur totale (l+) de ces cou- ches (1 à 3) est telle qu'elles assurent le guidag' d'au moins un mode transverse maznétique pour la gamme des fréquences ( 1) de l'onde à moduler; et en ce que l'épaisseur des secondes couches (1, 3) est telle qu'il y ait un bon recouvrement du ou des modes de l'onde à moduler (h. 1) avec une perturbation engendrée par l'onde de commande (h.a 2) dans chaque premiere couche (2). 3. Modulateur selon la revendication 1, caracté- risé en ee que pour moduler une onde guidée par confine- ment bicimentionnel, les couches (1 à 3) sont traversées par l'onde à moduler ' I) parallèlement à leur plan; et en ce que l'épaisseur totale (1t) de ces couches ( 3) est telle qu'elles assurent le guidage d'au moins un mode transverse magnétique pour la gamme des fréquences 1 de l'onde à moduler; et en ce que la seconde couche la plus superficielle (1) a une épaisseur non uniforme, cette couche (1) comportant une réduction d'épaisseur (1) de part et d'autre d'une nervure (11b), dont le grand Px correspond à la cirezticn de propagation de l'onde à moduler (h. V 1) la largeur (ly) de la nervure 1 y (11b) et la réduction d'épaisseur (lx) étant choisies en x fonctions des modes de propagation souhaités. 4. Modulateur selon la revendication 1, caracté- risé en ce que, pour moduler une onde non guidée, il comporte une pluralité de couches (15) de matériau du premier et du second type (Ma, Mb), empilées en ater- nance, sur un substrat (16) transparent pour l'onde à moduler (h. 1); et en ce que la lumière à moduler (h.Q 1) traverse les couches (15) avec un angle d'in.i- dence non nul. 5. Utilisati-cn d'un mod lateur selon l'une des revendications 1 à 2 pour polariser une onde lumineuse guidée comportant au zoins un mode transverse électrique et au moins un mode transverse magn-.que.