FR 2613065 A1 19880930 FR 8704089 A 19870324 La présente invention est relative à la métrologie et, plus particulièrement, à la métrologie qui fait appel à des techniques optiques interféro- mètriques. L'invention se rapporte plus particuliè- rement à un interféromètre de Michelson à fibres op- tiques perfectionné et à son application notamment à la mesure des températures dans des écoulements par exemple à l'intérieur des turbomachines. La métrologie qui fait appel à l'interfé- romètrie est bien connue. Cette technique qui met en oeuvre des interférences qui sont produites entre une onde de référence et une onde de mesure, qui est per- turbée par le phénomène à étudier, est caractérisée par sa tres grande sensibilité. Depuis que les fibres optiques sont uti- lisables à des fins techniques, on a déjà proposé de s'en servir pour réaliser des interféromètres de Michelson ou de Mach-Zehnder par exemple. L'usage de fibres optiques pour des interféromètres a permis de construire des appareils qui sont insensibles aux champs électromagnétiques, qui présentent de faibles pertes de propagation, qui sont pratiquement immunisés contre les attaques chimiques et qui, de plus, offrent des dimensions compactes et une masse réduite. Comme on le sait, l'interférométrie permet de traduire une différence de marche optique entre une onde de référence et une onde de mesure en différence de phase. Cette différence de phase f est égale à À= 21 n o: est la longueur d'onde du rayonnement utilisé, A est la différence de marche optique avecA=t. e étant l'indice de réfraction du milieu et e la différence géométrique entre les chemins optiques des ondes de référence et de mesure dans leur bras respectif. Dans le cas o on met en oeuvre un bras de référence (C) et un bras de mesure (m) on a en toute rigueur = nrer - nm.m. Tout phénomène qui a une action sur la diffé- rence géométrique 1 des deux chemins optiques et/ou sur l'indice de réfraction n du bras de mesure ou sur m l'indice du bras de référence se traduit donc par une variation de la différence de marche optique. On uti- lise cette propriété pour mettre en évidence des phé- nomènes physiques en particulier des variations de température. Afin de se prémunir contre des perturbations qui peuvent affecter le bras de référence et le bras de mesure en dehors de la zone de mesure c'est-àdire la tête optique et ainsi fausser les résultats, on a déjà proposé d'utiliser, pour la constitution des bras, des fibres optiques qui sont associées les unes aux autres à l'aide de couPleurs optiques qui jouent le rôle des lames séparatrices, semi-réfléchissantes et semi- transparentes, habituellement utillisées dans les interféromètres traditionnels. On peut alors réunir la fibre optique du bras de référence et la fibre optique du bras de mesure de manière que cel- les-ci soient soumises au même environnement sur la majeure partie de leur longueur et que seul le tronçon extrêmal, voisin de la partie terminale libre, de la fibre optique du bras de mesure soit soumis au phé- nomène que l'on veut évaluer. Les deux dioptres des tranches terminales des fibres optiques du bras de mesure et du bras de référence servent de miroirs; pour cela ils sont habituellement métallisés par toute technique classique appropriée. Ce type d'interféromètre de Michelson à fibres optiques est délicat de mise en oeuvre et la qualité des mesures ne répond pas aux performances théoriques qu'on est en droit d'espérer. En effet, même si les deux fibres du bras de mesure et du bras de référence traversent côte à côte des milieux analogues, à l'exception de la partie ter- minale de l'une d'elles, elles manifestent des pertur- bations différentielles particulières qui leur sont propres et qui sont dues à la température ambiante, aux contraintes mécaniques qui s'exercent sur elles, par exemple. Ces manifestations parasites ne font que traduire des hétérogénéités des fibres optiques et/ou du milieu ambiant. Il faut en particulier obtenir des températures notamment au coeur des fibres optiques qui soient particulièrement bien stabilisées. Si l'on veut obtenir une bonne sensibilité, des calculs mon- trent qu'il faut que la température des deux fibres optiques soit stabilisée à mieux que 0,2 K et que la différence des longueurs des fibres optiques des deux bras ne dépasse pas 3,50 mm. Ces difficultés sont tout particulièrement gênantes lorsqu'on veut utiliser un interféromètre à fibres optiques et, en particulier un interféromètre de Michelson, pour faire des mesures de température. Comme on-le sait, la température qu'on veut mesurer d'un fluide en écoulement, et en particulier d'un gaz dans une veine de mesure o le fluide est animé d'une certaine vitesse, est inférieure à.la température réelle de la sonde car l'échauffement parasite de la sonde dû à l'écoulement lui même est proportionnel au carré de la vitesse du fluide. Lorsque la veine est parcourue par un fluide animé d'une vitesse relativement grande, on voit que cet écart peut être relativement important. On voit donc la difficulté de la mesure de la température à l'aide d'une sonde plongée directe- ment dans le fluide qu'on étudie; c'est pourquoi on utilise une technique interférométrique donc sans contact physique avec le milieu i ausculter qui permet de traduire des changements de température en varia- tions d'indice de réfraction du milieu. La mesure des températures d'un fluide en écoulement se pose par exemple en particulier à propos des turbomachines utilisées pour la production d'éner- gie électrique o le fluide est de la vapeur d'eau dans laquelle se trouve, parfois, en suspension des gouttelettes et o il faut disposer d'une sonde minia- ture pour ne pas perturber l'écoulement et aussi du fait du manque de place disponible. Le but de l'invention est de remédier aux inconvénients précédemment indiqués de la technique connue. L'invention a pour objet un interféromètre de Michelson à fibres optiques de préférence monomodes (ou unimodales) o un bras émetteur excité par une source lumineuse et un bras récepteur associé à un photodétecteur sont réunis par un coupleur optique monomode pour former un bras de référence et un bras de mesure terminé par un capteur du phénomène physique à évaluer. Cet interféromètre est remarquable en ce que son bras de référence et son bras de mesure sont constitués par une seule et même fibre optique, en ce que le dioptre de l'extrémité de cette fibre optique opposée au coupleur optique sert de miroir partiel- lement transparent pour l'onde optique de référence et en ce que cette extrémité est accouplée au capteur qui renvoie l'onde optique de mesure au travers du diop- tre. Selon une autre caractéristique de cet in- terféromètre perfectionné selon l'invention, le cap- teur utilisé comprend une cellule qui présente deux faces opposées délimitées par des dioptres transpa- rents qui sont parallèles entre eux et entre lesquels se manifeste le phénomène physique à évaluer, et un miroir parallèle à cette extrémité de la fibre optique pour renvoyer l'onde optique de mesure sur son dioptre, cette cellule étant interposée entre cette extrémité de la fibre optique et ce miroir. Selon une autre particularité de l'inven- tion, le miroir du capteur qui renvoie l'onde optique de mesure est porté par un modulateur de phase vibrant à relativement basse fréquence et le photodétecteur du bras récepteur est associé a un circuit électrique pour extraire du signal qu il produit sa composante dont la fréquence est double de celle du modulateur de phase et qui est réinjectée au modulateur afin de compenser les derives de stabilite du capteur et no- tamment celles de sa cellule de manière a obtenir une détection synchrone à zéro dynamquJe. L'lnterferométre selon l'invention trouve en particulier unp application notamment à la mesure des températures et par exemple de celles qui règnent dans des turbomachines. D'autres caractéristiques de l'invention, apparaitront a la lecture de la description et des revendications qui suivent et a l'examen du dessin annexé, donné seulement à titre d'exemple, o: - la Fig.1 est une vue schématique d'un mode de réalisation d'un interféromètre de Michelson à fi- bres optiques selon la technique antérieure; - la Fig.2 est est une vue analogue à celle de la Fig.1 d'un interféromètre de Michelson à fibres optiques perfectionné selon l'invention; - la Fig.3 est une vue schématique illus- trant certaines des caractéristiques qui sont propres à l'invention; - la Fig.4 est une coupe longitudinale simplifiée d'un mode de réalisation d'un capteur d'un interféromètre de Michelson à fibres optiques selon l'invention qui se présente sous la forme d'une canne sonde cylindrique; et - la Fig.4A est une vue extérieure, tournée d'un quart de tour, du mode de réalisation de la Fig.4, montrant la configuration de la cellule du capteur. Les interféromètres et en particulier ceux utilisant les fibres optiques sont blen connus dans la technique. C'est notamment le cas, lorsque ces inter- féromètres sont construits suivant la configuration connue sous le nom de Michelson. C'est pourquoi, on ne s'étendra pas longuement sur ce qui est classique et on ne fera ressortir que ce qui caractérise l'invention. Sur la Fig.1, on a représenté, schématique- ment, un interféromètre de Michelson à fibres optiques nonomodes. Cet interféromètre comprend un bras émet- teur 10 dont une des extrémités est excitée par une source lumineuse 11 tel qu'un laser dont l'émission est, si besoin, focalisée grâce à une optique 12 sur l'extrémité libre d'une fibre optique. Cet interfé- romètre comprend, aussi un bras récepteur 20, fait d'une fibre optique, associé à un photodétecteur 21. Les fibres optiques du bras émetteur 10 et du bras récepteurs 20 sont réunies localement l'une à l'autre grâce à un coupleur optique 50 de manière à former un bras de référence 30 et un bras de mesure 40 qui se termine par un capteur 41 sensible au phénomène phy- sique à évaluer (température, pression, densité..). Comme il est classique, les bras de mesure et de référence sont agencés de manière que les dioptres à l'extrémité libre des fibres optiques concernées se comportent à la manière d'un miroir totalement réflé- chissant, comme cela est schématisé. Le coupleur optique 50 joue le rôle d'une lame séparatrice semi-transparente et semi-réfléchis- sante habituelle. La manière dont les coupleurs op- tiques sont fabriqués, est classique. Ils sont obte- nus, par exemple, par décapage et polissage local fin puis mise en contact ou bien par fusion localisée. L onde optique de référence (") et l'onde de mesure (">) obtenues par séparation de l'onde incidente (>) dans le coupleur se recombinent, après réflexion dans le coupleur et elles interfèrent pour former des franges d'interférence qui sont transmises par la fibre optique du bras récepteur 20 d'o elles sont détectées par le photodétecteur 21 dont le signal est envoyé à un circuit électrique 60 qui permet de l'ex- ploiter. On se reportera maintenant à la Fig.2, o est représenté un interféromètre de Michelson à fibres optiques perfectionné selon l'invention. Sur cette figure, les éléments constitutifs homologues sont désignés par le même numéro de réfé- rence. En examinant cette figure, on voit immédia- tement que les bras de référence 30 et de mesure 40 sont réunis en une même fibre optique 30/40 dont l'ex- trémité 31 n'est plus un dioptre totalement réflé- chissant mais partiellement tel. Cette extrémité est finement polie; si elle est placée dans l'air et si son indice de réfraction est de 1,5, elle présente un facteur de réflexion, comme connu, de l'ordre de 4 Z. Il est clair que cette valeur peut être modifiée par un traitement approprié, par exemple en déposant sous vide des couches minces de substances pour avoir la valeur recherchée. Une partie (>>) de l'onde incidente (>) est réfléchie sur le dioptre de l'extrémité (31) et forme l'onde de référence et le reste (>>) de l'onde se propage ensuite dans le capteur 41 o elle est tota- lement réfléchie sur le miroir terminal 412 et forme l'onde de mesure, comme il est classique. On voit donc que dans cette solution perfec- tionnée suivant l'invention, la fibre optique unique /40 véhicule à la fois l'onde de référence (">>) et l'onde de mesure (>>) qui interfèrent. Si l'extrémité 31 a le facteur de réflexion que l'on vient d'indiquer, l'onde de référence et l'onde de mesure ont des intensités dissemblables qui sont dans le rapport de 4/96 environ; ceci n'est pas favorable à une bonne visibilité des franges qui sont alors relativement peu contrastées. C'est pourquoi on a indiqué que le dioptre terminal de l'extrémité 31 pouvait être traité. Suivant l'invention, la fibre optique unique /40 se termine par le capteur 41 qui comprend une cellule 411 qui présente deux faces opposées délimi- tées par des dioptres 4110 transparents, parallèles entre eux et entre lesquels se manifeste le phénomène physique à évaluer; ces dioptres 4110 sont aussi, de préférence, parallèles à l'extrémité 31 de la fibre optique qui sert partiellement de miroir. Si besoin est, l'extrémité 31 est associée au capteur 41 par l'intermédiaire d'un élément optique approprié 311, par exemple un collimateur telle une lentille "Selfoc" de la société Nippon Sheet Glass Co, Ltd. Cet élément optique a pour but de rendre parallèle le faisceau divergent sortant de la fibre et de l'y réinjecter après réflexion sur le miroir. On peut utiliser tout autre élément optique classique mais celui retenu convient bien à cause de sa petitesse, le faisceau en sortant présentant un diamètre de 1,8 mm environ. Le miroir 412, parallèle à l'extrémité 31 de la fibre optique, est utilisé pour renvoyer l'onde de mesure (">) sur cette extrémité. Comme on le voit sur la Fig.3, la cellule 411 est interposée entre l'extrémité 31 et le miroir 412. Dans la cellule circule, par exemple, le fluide dont on veut mesurer la tempéra- ture. Comme on le sait, la température modifie l'in- dice de réflexion du milieu et il suffit de suivre les modifications du réseau de franges d interférence pour mesurer les changements de 1'indice et donc d en déduire les variations de température. En effet o représente la différence de marche optique dans la seule tête de mesure, le reste étant rigoureusement identique pour les deux trajets donc sans influence. Il suffit de maintenir 1, insensible à la température. On voit donc que gràce à l'invention l'in- terféromètre de Michelson ne comprend plus qu'un seul bras physique qui est constitué par une seule et même fibre 30/40. On saisit donc pourquoi tous les problè- mes différentiels qui pouvaient exister entre les fibres du bras de mesure 40 et du bras de référence 30 des interféromètres de Michelson classiques sont sup- primés puisqu'on n'utilise qu'une fibre unique o les anomalies affectent rigoureusement également l'onde de référence (") et l'onde de mesure (>>) qui la tra- versent identiquement. En outre, on remarquera que puisque le capteur est traversé deux fois par l'onde de mesure (">), on bénéficie d'une amplification de facteur 2. L'interféromètre étant sensible à la dif- férence des chemins optiques entre les ondes de mesure et de référence, tous les effets perturbateurs dus à l'environnement et agissant sur la fibre sont éliminés puisque les ondes de référence et de mesure les su- bissent simultanément et pareillement. On peut donc grâce à l'invention détecter la variation du chemin optique due au seul capteur et cela indépendamment de l'environnement. Pour encore améliorer la sensibilité de cet interféromètre perfectionné selon l'invention il est particulièrement avantageux que le capteur 41 soit associé a un modulateur de phase 413. Dans ce cas, le miroir 412 est monté sur une ceramique piézo-electri- que 4131 commandée par un generateur basse fréquence , par exemple a 20 kHz. Pour obtenir les résultats optimaux, on utilise une détection synchrone a zéro dynamique des signaux optiques qui est assurée par un circuit élec- trique 60 auquel est associé le génerateur 70. Le circuit 60 comprend un amplificateur à verrouillage de phase 61, un comparateur 62, un ampli- ficateur a gain variable 63, un additionneur 64, une mémoire analogique 65, un amplificateur opérationnel 66 et un additionneur 67. Pour ce faire, on extrait du signal reçu par le photodétecteur 21 une composante dont la fréquence est double de celle de la modulation de phase basse fréquence due au générateur 70 et on en mesure l'in- tensité; ceci produit une détection synchrone. Cette intensité mesurée est ensuite mise en forme et réinjectée, sous forme d'une haute tension, dans la céramique piézo-électrique du modulateur afin de compenser automatiquement les variations de chemins optiques induites thermiquement dans la veine. La sen- sibilité de l'interféromètre selon l'invention est ainsi constante et optimale car il opère suivant une méthode de zéro. Le signal émis par le photodétecteur 21 qui est excité par les franges d'interférence est traité comme il suit. Le signal I(t) reçu par la photodiode 21 est de la forme: (t) o Io cos (p + acosw t) (1) o,( sont l'amplitude et la fréquence de la modulation de phase basse fréquence, aq est la différence de phase globale, somme de la différence de phase initiale àa des deux ondes de l'interféromètre et du déphasage b.r créé par la variation de température dans la tète de mesu- re. En développant la relation (1) en série de Fourier, on obtient les termes du premier et du deuxième harmoniques: Il (t) 2 10o J1 (a) sin àp. cosw t 12 t) = - 2 Io0 J2 (a) cos àP. cos 2w t o J1 ( a) J2 ( a) sont des fonctions de Bessel. Pour t = o (pas de variation de température 2 6 13065 à l'origine), on a 41 ta *f. En ajustant la posi- tion moyenne de la céramique piézo-électrique autour de laquelle elle oscille avec une tension V, on peut écrire ayi = 2 n W +. (n - 0, +,,...). Dans ce cas, I2 (t) est égal à zéro. Pour t > O (une variation de température AT se manifeste ultérieurement dans la tête de mesure du capteur), on obtient une valeur de àrT différente de zéro, donc 2 T et A2 l'amplitude du termegn2ws'8crit sous forme: A2 2 iOJ2 (a)cs Z n r + - -) - 2 1o J2 ( a) sin àp (2) 2 r Pour détecter cette difference de phase supplémentaire l% ton ajoute, ou soustrait, une tension AV appliquée à la céramique piézo-électrique de façon que A2 soit toujours égale à zéro. Cette tension AV, signal de contre-réaction permet de connaître, à un coefficient près, la varia- tion de température AT dans la cellule de mesure du capteur 41. Les avantages de la technique de détection synchrone à zéro dynamique selon l'invention est de présenter une sensibilité constante et maximale ainsi qu'une plage de mesure très étendue. Cette technique de détection synchrone à zéro dynamique est conduite à l'aide du circuit 60 dont un mode de réalisation particulier comprend les constituants suivant qui opérent comme indiqué. Le générateur basse fréquence 70 alimente en permanence la céramique piezo-électrique 4131 avec un signal sinusoidal de la forme A sin (2 ft) via le circuit additionneur 67. On choisit f très voisine de kHz pour assurer la modulation de phase nécessaire à la détection du signal. La fréquence de 20kHz n'est absolument pas critique, elle peut être choisie autre à condition que la céramique piezo-électrique puisse répondre à la fréquence choisie et que l'amplificateur à verrouilla- ge de phase 61 puisse se verrouiller sur 2f, double de cette fréquence. Le choix de 20kHz provient du fait que cette fréquence est facilement "traitable" élec- troniquement et qu'elle n'est pas "trop basse", ce qui augmenterait le temps de réponse du capteur. La référence émise par le générateur 70 est en fait une référence de fréquence du même type que précédemment A sin (21 ft). En général lorsqu'on utilise un générateur du commerce pour 70, on se sert de la sortie "synchro" comme référence de fréquence; ceci n'est pas obligatoire car le signal de référence peut provenir exactement.de la même sortie que le premier signal utilisé pour commander la céramique piezo-électrique 4131. On observera que l'amplificateur à verrouil- lage de phase 61 dans le montage retenu, se verrouille sur 2 f. double de la fréquence délivrée par le géné- rateur 70. Dans le cas o l'amplificateur à verrouil- lage de phase 61 ne possède pas de façon interne la possibilité de se verrouiller sur l'harmonique 2 du signal de référence il convient d'intercaler entre le générateur 70 et l'amplificateur 61 un circuit dou- bleur de fréquence classique. L'amplificateur à verrouillage de phase 61 (ou détection synchrone d'amplitude ou encore.lock-in) accepte plusieurs formes de signaux de référence de fréquence (par exemple carré, sinusoïdal,...). Son rôle est de créer un filtre très étroit autour de la fréquence de référence et de délivrer l'amplitude du signal à cette fréquence de référence et de délivrer l'amplitude du signal à cette fréquence contenu dans le signal imposé en entrée du circuit. On utilise un appareil du commerce, mais rien n'empêche de réaliser une carte spécialisée remplissant ce rôle. Le comparateur 62 est, en fait, une associa- tion de deux comparateurs électroniques (de type LM 208 ou analogue) qui surveillent la tension de sortie de l'amplificateur 61 qui doit rester nulle. Si cette condition n'est pas respectée, les comparateurs com- mandent le dispositif de rattrapage d erreur (63,64, et 66). L'amplificateur à gain variable 63 permet d'obtenir un asservissement optimum. On utilise un circuit du type EXAR Integrated System Incorporation XR 2208 ou analogue. L'additionneur 64 est un circuit sommateur de type A 741 ou similaire. La mémoire analogique 65 (sample and hold) est par exemple de type DATEL SHM 20 ou similaire validée pour le comparateur 62. Elle délivre une ten- sion égale à celle délivrée par l'additionneur plus une tension proportionnelle à V. La haute haute tension délivrée par l'ampli- ficateur opérationnel 66 est un signal de contre-réac- tion qui n'est donc pas à proprement parlé un signal de forme pure (sinus, carré...) mais plûtot un "niveau continu" qui évolue constamment en fonction du signal délivré par l'amplificateur à verrouillage de phase 61. La sortie 100 est une borne de prise de mesures. La tension Vo est la tension continue déli- vrée par l'additionneur 67 au temps t =o, lorsqu'on suppose absentes les variations de températures in- duites dans la tête de mesure. AV est le signal de contre-réaction généré par toute la chaine de contre réaction et l'additionneur 67. Ce signal est ajouté ou soustrait à la tension précédente (Vo à l'origine) afin de compenser en permanence les variations de températures induites dans la tête de mesure. L'amplificateur opérationnel 66 est un con- vertisseur continu/continu haute tension de marque RCA type PF 1041 P. L'additionneur 67 est construit à l'aide de composants passifs. Pour obtenir des mesures de bonne qualité qui soient fiables et sensibles, il est nécessaire que le capteur 41 présente une très grande stabilité phy- sique dimentionnelle pour s'affranchir des effets thermiques qui agissent en particulier sur l'écarte- ment des deux dioptres 4110 opposes de la cellule 411. On utilise par exemple des supports en Invar et on autocompense les variations thermiques dues au changement de longueur et d'indice des composants entrant dans la composition de la tète de mesure ("Selfoc", hublots, miroir....) par la dilatation thermique de la céramique piezoélectrique qui agit en sens inverse. Si ceci s'avère insuffisant, on interpo- se entre le miroir et la céramique piezo-électrique, un cale 4132 d'un métal convenablement choisi (Ai par exemple) dont l'épaisseur est calculée afin d'annuler les variations thermiques de la tête. En fait on réalise: -L (indice et longueur de "Selfoc", hublots, dT air extérieur, miroir) - t (céramique piezo-électrique + cale en Al) On a utilisé l'interféromètre perfectionné selon l'invention pour faire les mesures de tempé- rature dans une veine o circule de la vapeur d'eau. On a obtenu une précision de mesure de la température de l'ordre du demi-degré et un temps de réponse re- * lativement rapide, inférieur à une seconde environ. Ces performances ont été obtenues pour une plage de mesure de l'ordre de 50', pour des températures com- prises entre 10C et 60'C environ. Il est aisé d'aug- menter cette plage de mesure électroniquement par un décalage d'origine: lorsqu'on arrive à une limite (supérieure par exemple) de la plage de mesure, on introduit un décalage (off set) de une demi-plage de mesure vers le bas, on recale donc le point de fonc- tionnement au milieu de la nouvelle zone de mesure. Ainsi, il est facile d'obtenir une plage de mesure aussi grande qu'on désire. Mais il est clair que rien ne s'oppose à l'utilisation de cet interféromètre pour ?. d'autres, et avec des amplitudes différentes plages avec la même précision et avec le même temps de réponse. Le capteur proprement dit pouvant être construit sous une forme très ramassée, on comprend qu'il est facile de l'insérer par exemple dans une turbomachine dont il ne perturbe pas l'écoulement, pour connaître le champ de ses températures internes afin d'apprécier la répartition réelle et l'importance des pertes. De telles informations permettent de mieux modéliser les phénomènes afin d'optimiser les maté- riels. La Fig.4 illustre un mode de réalisation d'un capteur d'un interféromètre de Michelson à fibres optiques selon l'invention. Ce mode de réalisation se présente sous la forme d'une canne-sonde cylindrique dont le diamètre extérieur maximal est de l'ordre de mm environ et dont la longueur, suivant les ver- sions, peut varier entre 2,1 m et 3,6 m environ. Cette figure représente une coupe longitu- dinale simplifiée. Les assemblages et montages méca- niques sont classiques et comportent des joints d'étanchéités aux endroits appropriés; de même les liaisons électriques et optiques sont assurées à l'aide de connecteurs traditionnels. Les spécialistes en la matière sont àmême de choisir les solutions qui conviennent aux buts et applications visés ainsi que les éventuels traitements chimiques et/ou thermiques des constituants. C'est pourquoi on limitera la description de ce mode de réalisation particulier à ce qui concerne directement l'invention. Comme on le voit, le capteur 41 comprend une cellule 411 faite par exemple en Invar supérieur. Dans cette cellule sont montés les dioptres 4110 à l'aide de barillet et de bague de serrage et interposition d'un joint; ce type de montage est classique en opti- que c'est pourquoi ces constituants ne sont pas réfé- rencés. Bagues et barillets sont, par exemple faits en Invar supérieur et le joint en "Teflon". Les dioptres 4110 sont des hublots faits de lames à faces parallèles de 1 mm d'épaisseur et de g mm de diamètre environ. Ces lames sont polies et dres- sées et l'homogénéité du matériau choisie de manière qu'elles présentent la qualité optique interféromè- trique requise. On utilise par exemple des verres spéciaux SCHOTT AK 11 et AF 22 qui présentent des 2 613 06 5 constantes thermo-optiques _ opposées Ainsi les variations d'indice et d'épaisseur des hu- blots résultant d'éventuels gradients thermiques qui pourraient perturber le chemin optique sont elles éliminées. Le modulateur de phase 413, avec sa cérami- que piézo-électrique 4131 et sa cale 4132, et le mi- lO roir 412 sont placés dans une monture 84. Cette mon- ture 80 est constituée, essentiellement d'un corps 81 et d'un support 82 séparés par des billes 83 par exem- ple trois de manière à constituer une articulation sphérique. Les billes 83 reposent entre un cône femel- le du corps 81 et une portée sphérique mile du support 82. Un poussoir central à ressort 84 définit le centre de rotation et l'orientation est réglée et fixée à l'aide de trois vis à ressort 85 équidistantes. Cette articulation sphérique permet donc d'assurer le retour de la lumière ayant traversée deux fois la tête de me- sure, dans la fibre optique. Ce réglage est réalisé une fois avant les expériences, il peut être repris en cas de déréglage. Tous les constituants métalliques sont, par exemple, faits en Invar supérieur, la cale en alumi- nium AUG4 et la céramique piézo-électrique porte la référence P.249.2 chez PHYSIK INSTRUMENTE. La configuration de la cellule proprement dite est choisie de manière à ne pas pratiquement perturber l'écoulement dans la veine de mesure. Cette configuration ressort de l'examen des Fig.4 et Fig.4A. On obtient ainsi une largeur intérieure de l'ordre de 13 mm. Grâce à la construction choisie on voit 26 130 65 qu'il est possible de changer la cellule très facile- ment et ainsi d'adapter la géométrie et/ou le profil de celle-ci au cas à étudier sans avoir à modifier la totalité du mode de réalisation de la canne sonde selon l'invention. Cet interféromètre selon l'invention a d'autres applications; par exemple il peut servir en acoustique pour l'étude des fluctuations de densité dans des écoulements car la masse volumique d'un f0 luide est directement proportionnelle à son indice de réfraction. 2 6130 65 REVENDICATIONS. 1. Interféromètre de Michelson à fibres optiques o un bras émetteur (10) excité par une source lumineuse (11) et un bras récepteur (20) associé à un photodétecteur (21) sont réunis par un coupleur optique (50) pour former un bras de référence (30) et un bras de mesure (40) terminé par un capteur (41) du phénomène physique à évaluer, caractérisé en ce que le bras de référence (30) et le bras de mesure (40) sont constitués par une seule et même fibre op- tique (30/40), en ce que le dioptre de l'extrémité (31) de cette fibre optique opposée au coupleur opti- que (50) sert de miroir partiellement transparent pour l'onde optique de reéférence et en ce que cette extré- mité (31) est accouplée au capteur (41) qui renvoie l'onde optique de mesure au travers du dioptre. 2. Interféromètre selon la revendication 1, caractérisé en ce que le capteur (41) comprend une cellule (411) qui présente deux faces opposées déli- mitées par des dioptres (4110) transparents qui sont parallèles entre eux et entre lesquels se manifeste le phénomène physique à évaluer et (in miroir (412) pa- railèle a l'extremité (31) de i,; fibre optique pour renvoyer l'onde optique de mesure au travers du dioptre de cette extrémité (31). cette cellule (411) étant interposee entre cette extrémité (31) de la fibre optique et ce miroir (412). 3. Interféromètre selon la revendication 2, caractérise en ce que ce miroir (412) est porté par un modulateur de phase (413). 4. Interféromètre selon la revendication 3, caractérisé en ce que ce modulateur de phase (413) est une céramique piézo-électrique (4131). 5. Interféromètre selon la revendication 3 ou 4, caractérisé en ce qu'une cale de compensation (4132) est interposée entre ce miroir (412) et ce modulateur (413) de phase. 6. Interféromètre selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'un élément optique (311) est interposé entre cette extrémité (31) de la fibre optique et le capteur (41). 7. Interféromètre selon la revendication 5, caractérisé en ce que cet élément optique est une lentille "Selfoc". 8. Interféromètre selon l'une quelconque des revendications 3 à 7, caractérisé en ce que ce modu- lateur de phase (413) est alimenté par un générateur basse fréquence (70). 9. Interféromètre selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que le photo- détecteur (21) est associé à un circuit électrique (60) pour extraire du signal engendré par ce photo- détecteur (21) sa composante dont la fréquence est double de celle du générateur basse fréquence (70), pour mesurer l'intensité de cette composante, pour la mettre en forme et pour la réinjecter au modulateur afin de compenser les dérives de stabilité de la cellule (411) de manière à obtenir une détection synchrone à zéro dynamique. 10. Interféromètre selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que ce capteur (41) est placé dans un fluide en écoulement. 11. Interféromètre selon la revendication 10, caractérisé en ce que cet écoulement fluide cir- cule dans la cellule (411) entre ses deux dioptres (4110). 12. Interféromètre selon l'une quelconque des revendications 10 ou 11, caractérisé en ce que cet 2 61306 5 écoulement fluide est un gaz tel que de l'air sec ou de la vapeur d'eau. 13. Application de l'interféromètre selon l'une quelconque des revendications 1 à 12 à la mesure des températures. 14. Application de l'interféromètre selon l'une quelconque des revendications 1 à 13 i la mesure des températures dans les turbomachines.