FR 2613084 A1 19880930 FR 8803827 A 19880323 La présente invention concerne des dispositifs d'échantillonnage électro-optique de signaux électriques analysés ainsi qu'une construction perfectionnée de cel- lule de Pockels qui y est incorporée. 5 Un dispositif électro-optique d'échantillonnage con- vient particulièrement bien à la mesure de signaux tran- sitoires de l'ordre de la picoseconde, par exemple pro- duits par des photodiodes, des circuits intégrés et d'autres dispositifs rapides qui ont soit une excitation 10 électrique et un signal électrique de sortie, soit une excitation optique et un signal électrique de sortie. Lorsque les caractéristiques du dispositif sont connues, les caractéristiques électriques d'un dispositif soumis aux essais peuvent être mesurées. 15 Des systèmes électro-optiques d'échantillonnage du type considéré dans le présent mémoire mettent en oeuvre des cellules de Pockels. Une cellule de Pockels comprend ce qu'on appelle dans le présent mémoire un "cristal électro-optique" qui a la propriété de présenter une bi- 20 réfringence variable en fonction d'un champ électrique qui lui est appliqué. Cet effet a été décrit dans l'article de F. Pockels, Lehrbuch der Kristalloptic, (Teubner, Leipzig, 1906). Le cristal électro-optique est un élément coûteux d'un dispositif électro-optique d'échantillonnage. 25 Selon l'invention, les possibilités d'utilisation et de réutilisation des cristaux électro-optiques sont facili- tées si bien que les possibilités d'utilisation d'un dis- positif électro-optique d'échantillonnage peuvent être élargies. 30 Le cristal électro-optique est utilisé dans le con- texte suivant. Un train d'impulsions optiques provient d'une source et est divisé dans deux trajets différents, un faisceau d'échantillonnage et un faisceau d'excitation. Une première source est un laser ayant une longueur d'on35 de visible et ayant des impulsions de l'ordre de la pico- seconde. Les impulsions optiques du premier trajet déclen- chent la création du signal électrique à mesurer. Ce 2613084 2 signal électrique est couplé afin qu'il soit accessible au cristal électro-optique, par l'intermédiaire duquel des impulsions optiques d'échantillonnage du second tra- jet se propagent. Le signal se trouve dans un trajet op- 5 tique compris entre un premier et un second polariseur croisé. La biréfringence induite par le champ fait varier la polarisation du faisceau d'échantillonnage. L'intensi- té du faisceau d'échantillonnage, après analyse par pola- risation, est mesurée par un détecteur, par exemple une 10 photodiode lente, d'un type qui n'a pas à assurer la résolution des impulsions individuelles. Le signal de sortie du détecteur est transmis à un dispositif utilisateur. Le signal électrique de sortie du détecteur ainsi qu'un signal électrique de sortie 15 représentatif de la modulation des impulsions dans le faisceau d'excitation sont couplés d'abord à un amplifi- cateur verrouillé qui donne un signal continu de sortie proportionnel à l'amplitude du signal électrique échan- tillonné en phase avec la modulation du faisceau d'exci20 tation. Un affichage peut être formé par indication du signal de sortie de cet amplificateur pendant les pé- riodes des impulsions successives en fonction du signal de sortie d'une ligne à retard variable synchronisée sur le dispositif d'affichage. La théorie sur laquelle repose 25 l'échantillonnage électro-optique est décrite dans l'ou- vrage J.A. Valdmanis et G. Mourou, "Electro-Optic Sampling : Testing Picosecond Electronics", Laser Focus/ Electro-Optics, février 1986, page 44 et dans l'article de J.A. Valdmanis, G.A. Mourou, et C.W. Gabel, IEEE 30 Journal of Quantum Electronics, volume QE-19, 4 avril 1983, p. 664. Un dispositif électro-optique d'échantil- lonnage efficace utilisé pour la mesure de signaux ayant des composantes temporelles de l'ordre de quelques picosecondes est décrit dans le brevet des Etats-Unis d'Amé- 35 rique n 4 446 425. Dans la réalisation la plus commune de l'échantil- lonnage électro-optique, le dispositif électro-optique 2613084 3 d'échantillonnage est incorporé dans un montage d'essai composé de trois parties. Celles-ci sont un support métal- lique ou céramique, un commutateur photoconducteur et un cristal électro-optique. Le support assure le support 5 mécanique des dispositifs actifs. Les dispositifs actifs comprennent le cristal électro-optique lui-même, le commu- tateur photoconducteur et le dispositif soumis aux essais. Le commutateur photoconducteur est par exemple une pas- tille de GaAs de quelques millimètres de côté, associée 10 à un guide d'onde métallique ayant des dimensions infé- rieures au millimètre, déposé sur ses surfaces. Le com- mutateur photoconducteur est fixé par un adhésif à une première extrémité du support. Le cristal électro-optique peut être par exemple du tantalate de lithium et il a 15 une ligne de transmission déposée à sa surface, sous for- me d'un guide d'onde. Il est fixé à l'autre extrémité du support par un adhésif. Le dispositif soumis aux es- sais est fixé au support, aussi avec un adhésif, entre le commutateur et le cristal. Des connexions électriques 20 sont réalisées entre le dispositif soumis aux essais et les guides d'ondes du commutateur et du cristal ainsi qu'avec un réseau de polarisation ayant par exemple des liaisons formées par des fils d'or. Pendant le fonction- nement, le commutateur photoconducteur subit une polari- 25 sation convenable qui lui est appliquée. Lorsqu'il est stimulé par le faisceau d'excitation décrit précédemment, une impulsion électrique ayant un temps de montée de l'ordre de la picoseconde est lancée dans le guide d'onde. Ceci cons- titue le signal d'excitation qui excite ou met à l'état 30 conducteur le dispositif soumis aux essais. Ce dispositif transmet une impulsion électrique de sortie qui est alors lancée dans le guide d'onde formé à la surface du cristal et dans lequel le champ électrique affecte la biréfrin- gence du cristal électro-optique et est échantillonné 35 par le second train d'impulsions optiques. Un problème se pose lorsque les essais sont terminés et qu'un autre dispositif doit être soumis à des essais. 2613084 4 Le dispositif qui a été soumis aux essais ne peut pas être retiré en général du dispositif de montage sans des- truction du cristal électro-optique puisque les matériaux utilisés, le tantalate de lithium en général, sont fra- 5 giles. L'enlèvement des liaisons par fils formées avec les guides d'onde du cristal électro-optique peuvent beaucoup détériorer ces guides d'onde. L'adhérence aux surfaces du cristal peut être décrite qualitativement comme étant seulement moyenne. Compte tenu de la fragi- 10 lité, de la très faible dimension et du coût du retraitement sur un cristal électro-optique en particulier, un remplacement fréquent des cristaux électro-optiques n'est pas possible pour la plupart des utilisateurs. Les réalisations antérieures qui ont été proposées 15 pour la résolution de ces problèmes mettent en oeuvre l'élimination de la connexion physique permanente entre le dispositif soumis aux essais et un cristal électro- optique séparé. Ces procédés nécessitent la mise du cristal à une distance inférieure à quelques microns du dis- 20 positif soumis aux essais. Si le cristal touche soit le substrat, soit le dispositif avec une force supérieure à une valeur minimale, par exemple de l'ordre de 0,1 N, l'un des éléments risque d'être détruit. Une autre solu- tion proposée est la fabrication du dispositif qui doit 25 être soumis aux essais sur un substrat présentant l'effet Pockels, avec utilisation du dispositif-substrat lui- même comme cristal électro-optique permettant une étude sans contact, mais sans les problèmes de sensibilité, d'étalonnage et de réglage de position des autres schémas 30 sans contact. Cette technique n'est pas utile pour les dispositifs au silicium puisque le silicium ne présente pas l'effet Pockels. Une autre technique qui a été envisagée par cer- tains est l'utilisation de connecteurs permettant l'in35 troduction du dispositif soumis aux essais dans le trajet des signaux et son extraction. Aucun connecteur actuel- lement disponible n'a une largeur de bande dépassant 2613084 5 50 GHz, et il apparaît qu'une extension de la largeur de bande presque d'un facteur 10, sans introduction de modes, est improbable. Des guides d'onde coplanaires ayant des dimensions inférieures au millimètre ont même 5 une dispersion suffisante pour que le temps de montée d'un signal d'une picoseconde soit prolongé jusqu'à dix picosecondes environ après une distance de propagation inférieure à cinq millimètres. Une distorsion de la forme d'onde accompagne cet effet. Une autre variante du prin- 10 cipe sans contact met en oeuvre un mince cristal électro- optique avec un revêtement diélectrique très réfléchis- sant formé à sa face inférieure, à proximité de la partie supérieure du guide d'onde coplanaire de sortie ou au contact de cette partie supérieure. Le champ électrique 15 se propageant dans le guide d'onde pénètre dans le cris- tal et des impulsions d'échantillonnage réfléchies par la surface inférieure sont utilisées pour la mesure. Cette technique évite de nombreux problèmes précités mais continue à présenter les inconvénients de nécessiter un 20 appareil très élaboré de positionnement. Ceci nécessite aussi l'utilisation du mode par réflexion. Comme décrit dans la suite, il est souhaitable de pouvoir utiliser soit le mode par réflexion, soit le mode par transmission. Selon l'invention, il est souhaitable de pouvoir réali- 25 ser des mesures répétées des dispositifs soumis aux essais à l'aide d'un seul cristal électro-optique qui peut être affecté à un système particulier d'essai. L'invention concerne l'utilisation d'un cristal électro-optique réutilisable dans un dispositif électro- 30 optique d'échantillonnage. Elle concerne aussi un système et un procédé d'échan- tillonnage électro-optique mettant en oeuvre un cristal électro-optique facilement réutilisable, coopérant avec un support amovible d'échantillon. 35 Elle concerne aussi un dispositif électro-optique d'échantillonnage du type décrit dans lequel une ligne de transmission d'un signal électrique destiné à être 2613084 6 accessible à une impulsion optique d'échantillonnage est formée sur un organe de support et non sur le cristal électro-optique. L'invention concerne aussi de façon générale un dis- 5 positif électro-optique d'échantillonnage etdes sous- ensembles d'un tel dispositif, mettant en oeuvre un pro- cédé au cours duquel un cristal électro-optique n'est pas fixé à des lignes de transmission électrique, si bien que des essais simples, rapides et peu coûteux peuvent 10 être réalisés de manière répétée. Elle concerne aussi un dispositif électro-optique simplifié d'échantillonnage de faible coût d'utilisation par rapport aux dispositifs électro-optiques d'échantil- lonnage connus, si bien que ces dispositifs électro- 15 optiques d'échantillonnage sont alors très utiles pour une gamme très élargie d'utilisateurs. Elle concerne aussi un dispositif électro-optique d'échantillonnage et des sous-ensembles capables de tra- vailler par réflexion ou par transmission. 20 Elle concerne aussi un dispositif d'échantillonnage du type décrit dans lequel le dispositif soumis aux es- sais est fixé à un support d'échantillon comprenant une ligne de transmission électrique, le support d'échantil- lon pouvant être retiré de l'appareil. 25 En résumé, selon l'invention, un dispositif électro- optique d'échantillonnage et des sous-ensembles compor- tent un support amovible d'échantillon tel qu'une ligne de transmission électrique est formée sur lui, cette ligne étant destinée à coupler un signal électrique qui 30 peut être échantillonné par une impulsion optique, un cristal électro-optique et un dispositif de support des- tiné à être mis sélectivement au contact d'un support ou à distance de celui-ci. Après la réalisation d'une mesure, le support et le dispositif soumis aux essais 35 peuvent être retirés et conservés en archives. Dans un autre mode de réalisation, un support de verre peut porter des lignes durables de transmission formées d'or si 2613084 7 bien qu'il peut être utilisé avec chacun de plusieurs dispositifs soumis aux essais. Le cristal électro-optique peut être réutilisé. D'autres caractéristiques et avantages de l'inven- 5 tion ressortiront mieux de la description qui va suivre, faite en référence aux dessins annexes sur lesquels : la figure 1 est un schéma en partie sous forme de diagramme synoptique, représentant un système électro- optique d'échantillonnage pouvant mettre en oeuvre le 10 perfectionnement selon l'invention ; la figure 2 est une vue en plan d'un support d'échan- tillon destiné à être utilisé selon l'invention ; la figure 3 est une perspective montrant la dispo- sition relative d'un support d'échantillon, d'un commu- 15 tateur photoconducteur, d'un cristal électro-optique et d'un dispositif soumis à des essais ; les figures 4 et 5 sont respectivement une vue en plan et une élévation de la moitié inférieure d'un dis- positif de montage d'essai destiné à comprendre le dispo- 20 sitif selon l'invention ; les figures 6 et 7 sont respectivement une vue en plan et une élévation latérale d'une partie supérieure d'un dispositif de montage d'essai ; la figure 8 est une perspective éclatée d'un dispo- 25 sitif de support du cristal électro-optique ; et la figure 9 est une élévation avec des parties arrachées d'un ensemble d'essai mettant en oeuvre l'invention. La figure 1 représente en partie sous forme schéma- tique et en partie sous forme de diagramme synoptique, 30 un ensemble mettant en oeuvre un dispositif selon l'in- vention. La figure 1 comprend des éléments qui sont dé- crits plus en détail en référence aux figures qui suivent. Une source laser 1 transmet un train d'impulsions opti- ques à un répartiteur 2 de faisceau qui répartit le train 35 d'impulsions optiques en un premier train 6 d'impulsions optiques d'échantillonnage et un second train 7 d'impulsions d'excitation. Une photodiode "lente" 8 reçoit les 2613084 8 impulsions résultantes représentatives du signal échan- tillonné et un stimulateur 9, qui peut aussi être appelé commutateur photoconducteur 9, crée des impulsions élec- triques en fonction du train d'impulsions optiques 7 5 d'excitation. Un modulateur 11 est couplé de manière qu'il module le train d'impulsions électriques provenant du stimulateur 9, soit par transmission directe d'un signal électrique, soit par un dispositif 4 de modulation opti- que du faisceau d'excitation frappant le stimulateur 9. 10 La diode 8 et le modulateur 11 sont connectés à un ampli- ficateur verrouillé 12 qui travaille de manière connue afin qu'il transmette un signal de sortie en courant con- tinu dont l'amplitude est proportionnelle au signal de sortie de la diode 8, en phase avec le signal de sortie 15 du modulateur 11. Le signal de sortie de l'amplificateur 12 peut être couplé au dispositif utilisateur 14 qui peut donner un enregistrement et/ou un affichage du signal échantillonné. L'axe des temps du dispositif utilisa- teur 14 peut correspondre à un signal qui lui est trans- 20 mis par un dispositif optique à retard variable 15 couplé optiquement au train 6 d'impulsions d'échantillonnage afin qu'il réponde aux impulsions non modifiées provenant de la source 1 et donne un signal électrique de sortie au dispositif utilisateur 14, de la manière décrite dans 25 les documents précités. Le train 6 d'impulsions optiques d'échantillonnage est transmis par le dispositif 15 à retard variable et est dirigé par un dispositif 17 à miroir, qui est pure- ment éventuel, sur un polariseur 20 et un compensateur bi- 30 réfringent 22. Les impulsions d'échantillonnage du train 6 échantillonnent un signal électrique à détecter lors du passage ultérieur dans un cristal électro-optique 30 qui peut être formé par tout cristal connu dans la tech- nique pour présenter l'effet Pockels, par exemple de tan- 35 talate de lithium. Les impulsions d'échantillonnage sont alors dirigées par un analyseur 32 sur une diode 8. Celle- ci comporte en fait deux diodes formant un montage diffé- 2613084 9 rentiel. Sur la figure 1, le trait interrompu est schéma- tique et ne représente pas le seul trajet nécessaire du train 6 d'impulsions d'échantillonnage. Le cristal électro- optique 30 peut travailler par transmission, le train 5 6 d'impulsions passant en ligne droite dans le cristal 30. Dans une variante, la représentation de la figure 1 correspond à un mode de réalisation dans lequel une ou plusieurs surfaces du cristal électro-optique 30 sont réfléchissantes. Le train 6 d'impulsions optiques d'échan- 10 tillonnage pénètre dans le cristal 30 et est réfléchi par celui-ci vers l'analyseur 32. En mode par réflexion, l'analyseur 32 peut être le polariseur 20. Dans un tel mode de réalisation, l'analyseur 32 et le polariseur 20 sont tous deux du même côté du cristal 30. Comme la repré- 15 sentation en trait interrompu de la figure 1 peut être en ligne droite ou en ligne brisée, la figure 1 repré- sente les deux modes de réalisation. La biréfringence du cristal électro-optique 30 est affectée par un champ électrique produit par un dispo- 20 sitif 35 soumis aux essais. Selon l'invention, le dispo- sitif 35 et le stimulateur 9 sont tous supportés par un support 40 alors que le cristal électro-optique 30 est représenté sous une forme placée en contact temporaire. Le support 40 et la disposition de celui-ci par rapport 25 aux éléments qu'il supporte, sont décrits plus en détail et représentés sur les figures 2 et 3 ainsi que sur la figure 1. La figure 2 est une vue en plan du support 40 et la figure 3 est une perspective du support 3, indiquant sa position relative par rapport aux différents éléments 30 qu'il supporte. Le support 40 a des lignes 45 de trans- mission électrique qui sont fixées sur lui. Les lignes 45 de transmission électrique comportent des lignes conductrices parallèles 46 destinées à cou- pler des signaux au stimulateur et provenant du disposi- 35 tif 35 soumis aux essais. Les conducteurs 46 sont décrits comme disposés en direction transversale. Aux extrémités transversales opposées du support 40, les conducteurs 2613084 10 aboutissent à des parties 47 de terminaison destinées à être raccordées à un circuit électronique de commande (figure 9). Dans une partie centrale transversalement, à la face supérieure 41 du support 40, des plages ohmi5 ques 50 disposées latéralement permettent le couplage de tensions de polarisation au dispositif 35. Le nombre et la configuration des plages ohmiques 50 dépendent de la nature du dispositif ou des dispositifs soumis aux essais. Le stimulateur ou commutateur photoconducteur 9 10 est fixé par exemple par une colle au support 40. Celui- ci peut être formé de verre. Des fils 52 de liaison for- més d'or ou d'autres dispositifs relient le commutateur photoconducteur 9 à un premier brin des conducteurs 46. Le commutateur 9 est connecté de manière qu'il stimule 15 le dispositif 35. Le dispositif 35 a des liaisons 55 for- mées par des fils d'or ou d'autres dispositifs reliés à une partie séparée du conducteur 46. Les fils 55 res- tent courts de manière intentionnelle. Selon l'invention, le cristal électro-optique 30 est placé sur le support 20 40 et est rappelé mécaniquement (par un dispositif décrit dans la suite) contre les lignes de transmission élec- trique 45 et aussi près que possible en pratique des con- nexions 55 du dispositif soumis aux essais afin que les impulsions optiques transmises dans le cristal électro- 25 optique 30 soient affectées par le champ produit par le dispositif 35. Lorsque le commutateur photoconducteur 9 est stimulé par une courte impulsion lumineuse du train 7 d'excita- tion provenant du laser 1, une impulsion électrique ayant 30 un temps de montée de l'ordre de la picoseconde est lan- cée dans les lignes de transmission 45. Il s'agit du si- gnal qui stimule le dispositif 35. Dans une variante utilisée pour la mesure du dispositif stimulé par de la lumière ayant un signal électrique de sortie, le stimu- 35 lateur 9 peut être formé par le dispositif 35 soumis aux essais. Le dispositif 35 est stimulé directement par le faisceau 7 d'excitation afin qu'il lance un signal élec- 2613084 11 trique de sortie créant un champ qui affecte le cristal 30. Sa biréfrigence est perturbée et cette perturbation est échantillonnée par le train 6 d'impulsions optiques d'échantillonnage. Le degré de rotation de la polarisa- 5 tion est détecté par la diode 8 en coopération avec l'analyseur 32 afin qu'une indication électrique du signal transmis par le dispositif 35 soit obtenue. Ce signal est transmis au dispositif utilisateur par l'amplifica- teur 12, d'une manière connue dans la technique. 10 Le support 40 est un dispositif de transmission optique placé en position repérée par rapport au cristal électro-optique 30 afin que le train d'impulsions opti- ques d'échantillonnage 6 soit transmis lorsque le cris- tal 30 est utilisé en mode de fonctionnement par trans- 15 mission. Pendant l'utilisation, le cristal 30 et le sup- port 40 se trouvent sur le trajet de rayonnement du train d'impulsions optiques d'échantillonnage 6. ,e cristal 30 est maintenu en coopération temporaire avec le support 40 par un dispositif mécanique de rappel 20 décrit plus en détail en référence aux figures 8 et 9 qui suivent. Lors de l'utilisation de l'appareil, le sup- port et les éléments qu'il porte peuvent avoir la dispo- siton relative représentée sur la figure 3. Selon l'in- vention, comme les lignes de transmission électriques 25 45 sont formées sur le support 40 et non sur le cristal 30, ce dernier peut être facilement séparé du support 40. Comme les cristaux 30 sont fragiles et, par rapport aux autres éléments, très coûteux, lorsque leur réutili- sation est facilitée, la gamme d'utilisation pratique 30 de l'échantillonnage électro-optique est élargie. Si un cristal 30 ne peut être utilisé qu'une fois ou deux, il ne peut être utilisé que dans des applications de recherche. Grace à la réutilisation possible du cristal 30, celui-ci convient mieux au contexte industriel, dans 35 des dispositifs de caractérisation permettant les essais de transistors à effet de champ à arséniure de gallium. Lorsque les mesures sont terminées et que le cristal 30 2613084 12 a été retiré du contact du support 40, le support 40 et le dispositif 35 ainsi que le commutateur photoconduc- teur ou stimulateur 9 restent comme un tout. Le support 40 peut être retiré du dispositif 45 de montage décrit 5 dans la suite. Le support retiré 40 avec le dispositif 35 fixé sur lui peuvent facilement être conservés à titre de référence ultérieure. L'ensemble d'essai comporte en autre un dispositif de montage ayant une moitié inférieure représentée sur 10 les figures 4 et 5 en plan et en élévation respectivement, supportant une moitié supérieure représentée sur les figu- res 6 et 7 en plan et en élévation respectivement. Un dispositif mécanique de rappel et de support destiné à maintenir le cristal électro-optique 30 est représenté 15 sur la figure 8 qui est une perspective éclatée. La figu- re 9 est une vue en plan, avec des parties arrachées, représentant un ensemble réalisé selon l'invention. Le tronçon inférieur (figures 4 et 5) comprend une plate-forme 64 qui peut être par exemple formée de 20 "Delrin". Une ouverture centrale et verticale 66 est des- tinée à permettre le passage de la lumière. Un épaulement 67 d'une cavité, comprenant la plate-forme, est formé à la face supérieure 68 du bloc 64 afin qu'il supporte un support 40 d'échantillon en face de l'ouverture 66. 25 Un premier et un second ergot 71 et 72 de positionnement ont des positions décalées transversalement par rapport au bloc 64 et permettent le positionnement de la moitié supérieure du dispositif de montage décrit dans la suite en référence au bloc 64. Une première et une seconde tige 30 articulée 75 et 76 de support sont destinées à supporter le tronçon supérieur décrit dans la suite et à donner une première position "ouverte" dans laquelle un couver- cle est soulevé et une seconde position "fermée" dans laquelle le couvercle est mis au contact des ergots 71 35 et 72 de positionnement afin que le couvercle ait une position fixe par rapport au bloc 64 et au support 40 lorsque le support 40 est en appui sur l'épaulement péri- 2613084 13 phérique 67. La moitié supérieure comporte un couvercle 80 ayant une ouverture centrale 82 placée en face de l'ouverture 66, dans la position fermée. Des trous 84 et 85 du bloc 5 80 logent des parties supérieures des tiges articulées 75 et 76 afin que le bloc 80 puisse pivoter par rapport à la base 64. Des trous 86 et 87 sont destinés & coopérer avec les ergots 71 et 72 afin que, lorsque l'appareil est dans la seconde position de fermeture, les ergots 10 71 et 72 forment des dispositifs d'alignement par coopé- ration avec les trous 86 et 87. Des sondes 90 et 91 for- mant des connecteurs coaxiaux raccordés à des dispositifs 92 et 93 de connexion, sont destinées à transmettre des signaux aux dispositifs 47 de contact représentés sur 15 la figure 3. Un dispositif 94 de connexion est aussi dis- posé dans le bloc 80 afin qu'il permette d'autrescon- nexions comme décrit dans la suite. La figure 8 représente un dispositif de rappel méca- nique du cristal 30 vers le support 40 lorsque l'appareil 20 est dans la seconde position de fermeture. Une plaque transparente 100 a le cristal 30 fixé sur sa face infé- rieure 101, par exemple par une colle optique. Un dispo- sitif 102 de fixation, par exemple des écrous, fixe des tiges filetées 104 et 105, rappelées par des ressorts, 25 vers le support 100 du cristal. Les tiges 104 et 105 sont entourées chacune par un ressort 106, 107. Les tiges 104 et 105 sont fixées au bloc 30 et les ressorts 106 et 107 appliquent une force de rappel au support 100. Dans une variante, un mandrin sous vide ou un autre dispositif 30 peut rappeler le cristal 30 contre le support 40. La totalité de l'ensemble est représentée sur la figure 9 qui est une élévation de l'appareil dans la seconde position de fermeture, avec des parties arrachées représentant le support 40 d'échantillon logé dans l'ou35 verture 66 et supporté par l'épaulement 67. Des con- nexions ohmiques 112 sont formées entre les connecteurs 92 et 93 et des plages 47 du support 40 d'échantillon. 2613084 14 Le dispositif 99 de rappel et de support de cristal est au contact du cristal 30 dans la position représentée sur la figure 3. Le laser 1 est monté de manière qu'il projette un faisceau en face des ouvertures 82 et 66, 5 et un circuit électronique 110, comprenant le dispositif supplémentaire représenté sur la figure 1 ainsi qu'un dispositif classique générateur de signaux destinés à être couplés aux contacts 47 et 50 de la figure 3, est aussi présent. Des contacts ohmiques 111 assurent la 10 liaison entre le dispositif 94 de connexion placé dans le bloc 80 et les plages 50 du support 40. Dans la secon- de position, le dispositif fonctionne comme décrit en référence à la figure 1. Lorsqu'un support 40 d'échantil- lon doit être retiré et lorsque le cristal 30 doit être 15 utilisé avec un autre support 40, le bloc 80 est soulevé vers la première position d'ouverture. Plus précisément, le couvercle 80 est tourné autour d'un axe qui est aligné transversalement sur un axe passant par les articulations des tiges 75 et 76, et le dispositif de support et de 20 rappel 99 soulève le cristal 30 à distance du support 40. Un nouveau support 40 peut être placé dans l'appareil. Dans une variante, un premier support 40 peut être retra- vaillé afin que le dispositif soumis aux essais soit retiré et qu'un autre dispositif 35 soit fixé. Comme les 25 lignes de transmission35 peuvent adhérer plus fermement aux autres matières fixées sur le support qu'au cristal électro-optique fragile 30, ce changement peut être fiable et relativement simple. 2613084 15 REVENDICATIONS 1. Dispositif électro-optique d'échantillonnage à effet Pockels comprenant une cellule de Pockels à onde pro- gressive destinée à l'échantillonnage électro-optique de 5 parties successives d'un signal électrique à l'aide d'im- pulsions optiques qui se propagent dans la cellule, ledit dispositif étant caractérisé en ce qu'il comprend un cristal électro-optique (30), une ligne de transmis- sion électrique (45) le long de laquelle le signal élec- 10 trique se propage afin qu'il crée un champ électrique accessible aux impulsions optiques d'échantillonnage qui se propagent dans le cristal électro-optique transversa- lement à la ligne de transmission électrique, un support amovible (40) d'échantillon auquel sont fixées les lignes 15 de transmission, et un dispositif de support destiné à supporter mécaniquement le cristal électro-optique en coopération temporaire avec le support amovible, afin qu'il forme la cellule de Pockels, le support amovible comprenant un dispositif destiné à loger un dispositif 20 à soumettre à des essais. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les impulsions optiques sont transmises dans le cristal électro-optique (30) par transmission, et le support (40) comporte un dispositif de transmission (45) 25 en face du cristal électro-optique afin qu'il transmette des impulsions d'échantillonnage. 3. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que le cristal électro-optique (30) comporte un dispositif destiné à recevoir et réfléchir les impulsions 30 électro-optiques d'échantillonnage. 4. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte une plate-forme (64) destinée à sup- porter le support amovible (40), et le dispositif de sup- port est articulé, ce dispositif de support comprenant 35 en outre un dispositif mécanique de rappel destiné à repousser le cristal électro-optique (30) vers le support amovible (40) et comprenant un dispositif (71, 72) des- 2613084 16 tiné à délimiter une position de coopération du disposi- tif de support afin que le cristal électro-optique reste en coopération avec le support amovible, et la plate- forme (64) comporte une ouverture en face du cristal 5 électro-optique, délimitant un trajet pour le passage des impulsions optiques d'échantillonnage. 5. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'il comprend un dispositif (35) destiné à être soumis aux essais, fixé au support amovible (40) afin 10 qu'il transmette un signal à la cellule de Pockels. 6. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que le dispositif soumis aux essais est un émetteur électrique stimulé optiquement. 7. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé 15 en ce que le dispositif soumis aux essais (35) est un émetteur électrique stimulé électriquement, et le dispo- sitif d'échantillonnage comporte en outre un émetteur électrique stimulé optiquement, couplé au dispositif sou- mis aux essais et destiné à transmettre un signal élec- 20 trique au cristal électro-optique. 8. Dispositif électro-optique d'échantillonnage, caractérisé en ce qu'il comprend un dispositif de support, un support amovible (30) d'échantillon supporté de façon amovible mais fixe par le dispositif de support, une 25 ligne de transmission électrique (45) fixée au support amovible (30), un cristal électro-optique (30), un dispo- sitif de maintien destiné à supporter mécaniquement le cristal électro-optique sélectivement soit dans une pre- mière position dans laquelle le cristal n'est pas au con- 30 tact du support amovible, soit dans une seconde posi- tion dans laquelle le cristal est au contact du support amovible et a ainsi accès à un faisceau optique d'échan- tillonnage et à un signal électrique qui se propage dans la ligne de transmission électrique. 35 9. Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'il comporte en outre des ouvertures destinées à délimiter, dans le dispositif de support et dans le 261 3084 17 dispositif de maintien, un trajet de circulation des im- pulsions d'échantillonnage vers le cristal électro-opti- que (30). 10. Dispositif selon la revendication 9, caractérisé 5 en ce qu'il comporte en outre un dispositif soumis à des essais (35) fixé mécaniquement sur le support amovible (40) et destiné à transmettre un signal électrique de sortie qui doit être échantillonné par le cristal électro- optique (30), et formant une connexion électrique avec 10 la ligne de transmission électrique. 11. Dispositif selon la revendication 10, caracté- risé en ce que le dispositif soumis aux essais (35) est un émetteur électrique stimulé optiquement. 12. Dispositif selon la revendication 10, caracté- 15 risé en ce que le dispositif soumis aux essais (35) est un émetteur. électrique stimulé électriquement, et le dis- positif d'échantillonnage comporte en outre un émetteur électrique stimulé optiquement, couplé au dispositif sou- mis aux essais et destiné à transmettre un signal élec- 20 trique au cristal électro-optique (30). 13. Procédé de mise en oeuvre d'un dispositif élec- tro-optique d'échantillonnage à effet Pockels comprenant une cellule de Pockels à onde progressive destinée à échantillonner électro-optiquement les parties successi- 25 ves d'un signal électrique à l'aide d'impulsions optiques qui se propagent dans la cellule, un cristal électro- optique (30), et une ligne de transmission électrique (45) le long de laquelle se propage le signal électrique afin qu'il crée un champ électrique accessible aux impul- 30 sions optiques d'échantillonnage qui se propagent dans le cristal électro-optique transversalement à la ligne de transmission électrique, ledit procédé étant carac- térisé en ce qu'il met en oeuvre un support amovible (40) auquel est fixée la ligne de transmission électrique et 35 qui supporte le cristal électro-optique, celui-ci étant maintenu temporairement au contact du support (40), afin que la cellule de Pockels soit formée et permette l'échan- 2613084 18 tillonnage, et l'enlèvement sélectif du cristal électro- optique du contact avec le support. 14. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce qu'il comprend la disposition de plusieurs supports 5 amovibles (40) d'échantillon, destinés à coopérer chacun sélectivement avec le cristal électro-optique (30).