FR 2618520 A1 19890127 FR 8809672 A 19880718 L'invention se rapporte, dans L'ensemble, à une vanne de sécurité éfablissant un évent à l'atmosphère à la suite d'une défaillance énergétique, avec un volume situé au- dessusd'unpiston dont le côté inférieur est exposé au vide; et, plus particulièrement, à une vanne de sécurité pour vide qui comprend un volume tampon à l'intérieur du piston. Une vanne de sécurité pour vide est une vanne à deux voies conçue pour éliminer les deux inconvénients qui suivent associés à une défaillance d'énergie: (a) quand une pompe mécanique à vide s'arrête, l'huile de la pompe et la vapeur peuvent revenir dans la chambre en endommageant des composants en cours de traitement; et (b) le redémarrage sous vide d'une pompe mécanique à vide impose une charge de démarrage élevée oui peut déclencher les courts- circuits du moteur ou être la cause de dommages au moteur ou aux moyens d'entraînement à partir du mnte"r. Les vannes dp sécurité Pxistantes fonctionnent par la mise à l'atmosphère, à la suite d'une défaillance de l'alimentation en énergie d'une pompe à vide, du volume situé au-dessus du piston de cette vanne de sécurité dont le côté inférieur est exposé au vide. La pression différentielle entre les faces du piston fait que celui-ci se déplace, com- prime un ressort de rappel et ferme le passage venant de la pompe et allant vers une chambre mise sous vide. La pompe est ensuite mise à l'atmosphère à travers un petit orifice ménagé dans le piston. Apres le rétablissement de l'alimentation en énergie de la pompe à vide, celle-ci redémarre et le solé- noide de mise à l'atmosphère se ferme. Cette fermeture du solenolde entraîne la fermeture de l'évent à l'atmosphère et permet à la pompe en fonctionnement de faire le vide à travers l'orifice dans le volume situé au-dessus du piston. Quand la pression différentielle entre le volume situé au-dessus du piston et la chambre mise sous vide devient suffisamment fai- ble, le ressort de rappel soulève le piston et ouvre la vanne. Dans le brevet européen NO 148 480 au nom de Paquet et autres, il est représenté un piston ayant un canal qui passe à travers une. tige du piston. Le canal raccorde la chambre au-dessus du piston à la pompe quand La vanne est fermée. Dans ce dispositif, la vanne est normalement fermée. Aucun volume tampon n'est prévu entre l'atmosphère et la face du piston dans laquelle se trouve l'orifice. Une membrane sépare le volume audessus du piston d'un volume situé en dessous du piston et communiquant avec un orifice. L'orifice est en communication directe avec l'atmosphère. Un orifice est situé au-dessus du piston et il communique avec le volume d'air enfermé au-dessus du piston. La vanne est commandée par un dispositif qui est normalement fermé. Dans le brevet américain NO 4 070 001 au nom de Musgrove, il est décrit une vanne de sécurité pour vide qui comprend un soufflet fonctionnant pour fermer un orifice lorsque le système de pompage devient défaillant, en obli- geant une plaque circulaire à venir en contact à venir en contact avec cet orifice. Un trou de fuite s'étend à tra- vers la plaque circulaire à partir du bord périphérique de celle-ci et arrive jusqu'à la face intérieure du soufflet, mettant ainsi en communication le volume intérieur du souf- flet avec le volume intérieur de la vanne. L'air provenant de l'évent contrôlé par le soLénolde entre directement dans le soufflet plut8t qu'en passant à travers un orifice. Un inconvénient des vannes antérieures mention- nées ci-dessus est que, à la suite de la fermeture de La vanne au moment d'une défaiLlance de la pompe à vide, de L'air circule à travers l'orifice directement à l'intérieur de La chambre mise sous vide. Cette remontée brutale de la pression introduit de l'air indésirable à l'intérieur de la chambre mise sous vide. Cet air indésirable peut potentielLe- ment faire du tort à un processus ou à une expérience en cours à l'intérieur de La chambre sous vide et peut aussi bien-y introduire des contaminants. Dans les dispositifs antérieurs, il pourrait être désirable de rendre l'orifice unique arbitrairement petit afin de réduire l'irruption de gaz qui se produit au moment de la fermeture de la vanne. Toutefois, l'unique orifice des vannes antérieures ne peut pas être rendu arbitrairement très petit afin de réduire l'irruption du gaz parce que le temps nécessaire à mettre la.pompe à vide en communication avec l'atmosphère serait allongé de manière indésirable. Par conséquent Le but principal de la présente invention est d'apporter une vanne de sécurité communiquant avec une chambre mise sous vide et avec une pompe à vide, capable d'éviter les inconvénients rencontrés dans la techni- que connue par une réduction importante du volume d'air qui est susceptible de s'introduire directement dans la chambre mise sous vide au moment de la fermeture de la vanne de sécurité. Un autre but de la présente invention est de par- venir à une vanne ayant un volume tampon qui est intermédiaire entre le réseau de vide et une vanne d'évent, ce volume tam- pon étant capable de réduire le débit de l'air à partir d'un espace situé au-dessus d'un piston jusqu' au réseau de vide, cet espace au-dessus du piston étant en communication avec l'évent. Un autre but encore de l'invention est de parve- nir à une vanne ayant une vanne d'évent manoeuvrée par un solénolde et communiquant avec un volume au-dessus d'un pis- ton qui communique à son tour avec un volume tampon à travers un orifice, ce volume tampon communiquant avec le réseau de vide à travers un autre orifice. Un but supplémentaire de l'invention est d'appor- ter une vanne de sécurité pour la fermeture d'un passage en relation avec un réseau de vide par la mise en contact d'un piston avec un siège, cette opération étant provoquée par l'ouverture d'une vanne d'évent qui fait que du fluide entre dans un volume au-dessus du piston pour créer une pression différentielle déplaçant le piston jusqu'à un siège, ce pis- ton ayant un volume tampon mobile qui Lui est associé et ce volume tampon ayant un orifice d'entrée en communication avec un volume de débattement qui communique lui-même avec la vanne d'évent, le volume tampon communiquant aussi, par l'intermédiaire d'un orifice, avec le côté exposé au vide de la vanne, de sorte que par suite de l'ouverture de la vanne d'évent le piston est obligé de se poser rapidement sur son siège fermant ainsi hermétiquement soit le réseau de vide soit La pompe à vide, de sorte qu'après fermeture de la vanne seule une quantité relativement petite d'air entre dans le réseau sous-vide, étant donné que Les orifices du volume tampon limitent grandement L'entrée d'air dans le réseau sous vide à partir du volume de débattement, une mem- brane souple étant utilisée pour permettre Les mouvements du piston tout en séparant Le volume de débattement du réseau sous vide afin que de l'air indésirable ou un autre fLuide ne puisse pas entrer dans Le réseau'sous vide. Ces buts, ainsi que d'autres, de L'invention seront mieux compris au cours de la Lecture de la descrip- tion détaillée qui suit donnée uniquement à titre d'exem- pie, en référence aux dessins annexés, dans lesquels: la figure 1 est une vue en coupe par un plan passant par L'axe d'une vanne de sécurité conforme à l'inven- tion; la figure 2 est une vue analogue à la figure 1 de la même vanne de sécurité montrant la circulation de l'air à travers cette vanne pendant le démarrage de la pompe à vide, la figure 3 est une vue analogue à la figure 1 montrant la circulation de l'air et l'état de la vanne au moment de la fermeture, la figure 4 est une vue en coupe analogue à la figure 1 montrant la vanne à l'état fermé, le piston étant sur son siège, et la circulation de l'air qui se produit au moment de la fermeture de cette vanne, la figure 5 est une vue analogue à la figure 4 montrent la vanne fermée avec le piston sur son siège quand l'équilibre a été atteint après la fermeture, la figure 5A est une vue analogue à la figure 1 montrant l'état de la vanne au moment de l'ouverture, la figure 6 est un graphique représentant la variation de la pression en fonction du volume du piston pendant la fermeture d'une vanne de sécurité et mon- trant la pression résultante de l'air dans le réseau de vide avec une vanne conforme à L'invention, la figure 7 est une vue en coupe d'un autre mode de réalisation d'une vanne de sécurité rendueétanche à L'aide d'un joint torique monté coulissant, sans chambre à volume tampon, la figure 8 est une vue en coupe d'un autre mode de réalisation d'une vanne de sécurité dans lequel le siège fait partie d'un passage conduisant directement à La pompe à vide et dans Lequel une membrane d'étanchéité roulante est utilisée, la figure 9 est une vue en coupe d'un autre mode de réalisation d'une vanne de sécurité similaire à celle de la figure 1, à l'exception d'une inversion des raccordements à La pompe à vide et au réseau de vide, un orifice additionnel étant prévu pour procurer un mouvement plus doux de cette vanne de sécurité, la figure 10 est un schéma d'un système à 4 volumes utilisé comme base de calcul théorique d'une vanne de sécurité ayant un volume tampon conforme à L'invention, la figure 11 est une vue en coupe d'une variante de réalisation selon laquelle le volume tampoi est disposé à l'extérieur du corps de la vanne. Comme on peut le voir sur la figure 1, une vanne de sécurité 2 représentée en coupe est raccordée à l'aide d'un conduit 25 à une vanne 18 manoeuvrée par un solénoide. Cette dernière vanne communique avec un évent qui est lui- même, dans un mode de réalisation préféré, mis en communica- tion avec l'atmosphère. La vanne 2 a un volume de débattement 10 situé au-dessus de l'extrémité supérieure d'un manchon 12. Ce der- nier est monté coulissant le long d'une tige de guidage 13 dont l'extrémité supérieure est fixée à un couvercle 16 de la vanne 2. Un piston 6 est constitué par le manchon 12 ayant à sa partie extrême supérieure, une paroi latérale 22 à profil tronconique, une paroi latérale 23 cylindrique dans l'ensemble raccordée à la paroi 22 et une paroi plus inférieure 24 qui est raccordée à La paroi 23. Le piston 6 enferme un volume tampon 8. La paroi supérieure qui ferme le manchon 12 a un prolongement intérieur 30 fixé dans un trou 29 de la paroi la plus inférieure 24, ce trou 29 se trouvant dans une extension extérieure 27 de La paroi 24. Ce montage assure aussi Le maintien d'une membrane étanche entre le piston 6 et le man- chon 12. La partie inférieure de La paroi 24 a une surface de portée 32 et un joint torique 15 est retenu dans cette surface de portée 32 pour qu'un contact étanche à l'air ou au fluide puisse être réalisé entre cette surface de portée 32 et le siège 14 de La vanne. Le piston 6 a un orifice 11 qui établit la communication entre le volume tampon 8 et le volume de débattement 10. Le piston 6 a un autre orifice 9 qui établit la communication entre le volume tampon 8 et le reste de l'intérieur de la vanne qui peut communiquer avec la pompe à vide et avec le réseau de vide (ce qui est indiqué schématiquement sur la figure 1 par des flèches qui sont désignées respectivement par F1 et F2). Une membrane souple 5 couvre une partie de la paroi 22 du piston 6 comme on peut voir sur la figure 1. Une extrémité de La membrane 5 est fixée entre une partie 17 du corps de la vanne 2 et le couvercle 16 de cette dernière. L'autre extrémité de la membrane souple 5 est fixée entre la face inférieure de la paroi supérieure du manchon 12 et la partie la plus supérieure de la paroi tronconique 22 du pis- ton 6. La membrane 5 sépare le volume de débattement 10 du reste de la vanne 2 en isolant ce volume 10 de la pompe à vide et du réseau de vide, à L'exception de la communication établie entre Le volume de débattement 10 et le volume tam- pon 8 par l'orifice 11. Le volume de débattement 10 communique avec un trou 19 qui est lui-même en communication avec le conduit 25 et la vanne 18 commandée par un solénode. De cette façon, le volume de débattement 10 est en communication avec l'évent quand la vanne 18 commandée par le soLénoide est à l'état ouvert. L'évent est de préférence en communication avec L'at- mosphère bien qu'iL puisse être aussi en communication avec un autre réservoir d'un fLuide quelconque si on le désire. La fermeture de La vanne 18 commandée par Le solénoïde ferme la communication du volume de débattement 10 avec L'évent. La vanne 2 contient Le piston 6 à L'intérieur de La partie 17 de son corps. Cette partie 17 est raccordée à un élément d'extrémité 33 ayant intérieurement un siège de vanne 14 et extérieurement une bride 3 d'extrémité pour son raccordement. La partie.17 du corps est pourvue Latéralement d'une bride de corps 4. Dans L'exempLe de réalisation de la figure 1, La bride d'extrémité 3 communique avec le réseau de vide et La bride de corps 4 communique avec La pompe à vide. Avec la position du piston 6 visible sur La figure 1, La pompe à vide communique avec le réseau de vide par l'in- termédiaire de L'ouverture 26 de La bride de corps 4 qui communique à son tour avec une ouverture adjacente, non dési- gnée par une référence numérique, prévue dans la partie 17 du corps et qui communique elle-même à son tour avec L'inté- *rieur de cette partie 17, en-dessous de La membrane 5 et avec la partie qui est à l'extérieur du piston 6 en-dessous de cette membrane 5. Le volume situé en-dessous de- La paroi 24 du piston 6 communique avec un passage limité par La face intérieure de L'élément d'extrémité 33 et avec un conduit Limité par La paroi 25 de la bride d'extrémité 3. L'élément d'extrémité 33 a un épaulement inté- rieur (non désigné par une référence numérique) pour recevoir une extrémité d'un ressort 7 représenté schématiquement dans L'ensembLe sur La figure 1. La partie supérieure du ressort 7 est en contact avec la face inférieure de la paroi 24 afin de rappeLer élastiquement Le piston 6 à sa position.visible sur La figure 1. La vanne de sécurité 2 de la figure 1 est repré- sentée à L'état "ouvert" dans-Lequel le piston 6 est poussé éLastiquement Loin du siège 14, par Le ressort 7, ce qui autorise une communication directe allant du réseau de vide à La pompe à vide. La vanne de sécurité 2 de la figure 1 illustre l'état de cette vanne quand elle n'est pas en fonctionnement, lorsque la vanne d'évent 18 commandée par un solénoide est ouverte et que la pompe-à vide, l'intérieur de la vanne de sécurité et l'appareil du réseau de vide sont tous à la pression atmosphérique et en communication avec l'atmosphère par l'intermédiaire de l'évent. Comme il n'existe aucune pression différentielle de part et d'autre de la membrane 5, le piston 6 est tenu à sa position d'ouverture par le ressort de rappel 7. La vanne 18 commandée par un soLénocde comprend une vanne de vide normalement ouverte. La vanne 18 est ali- mentée en puissance à partir d'une source (non représentée) qui, de préférence, alimente simultanément en énergie la pom-. pe à vide. Quand de l'énergie est fournie à la pompe à vide, la vanne 18 commandée par un solénode est alimentée aussi en énergie, d'o il résulte la fermeture de cette vanne 18 et La fermeture de la communication entre l'évent et le volume de débattement 10. La bride 4 du corps est raccordée de préférence au premier tronçon d'une conduite (non représentée).Cette conduite est raccordée elle-même à une pompe primaire de vide dans un exemple préféré de réalisation. Dans l'exemple de réalisation représenté sur la figure 1, la pompe à vide n'est pas en marche et aucune dépression n'est maintenue nulle part dans Le réseau, dans le volume tampon, dans le volume de débattement. La figure 2 montre la circulation de l'air dans la vanne 2 de la figure 1 à un instant juste avant le démar- rage de la pompe à vide, à partir de la situation de la figure 1. Sur la figure 2, la vanne 18 manoeuvrée par un solé- noide est à l'état fermé, isolant hermétiquement le trou 19 de l'évent et permettant par conséquent le maintien d'une dépression une fois que celleci est établie à l'intérieur de la vanne 2. Au démarrage, l'énergie électrique est fournie simultanément à la vanne 18 manoeuvrée par un solénolde pour la fermeture de cette vanne et à la pompe à vide pour le démarrage de ceLLe-ci, pour Le début de l'évacuation de l'air de la conduite de raccordement, du corps de la vanne-2 et de L'appareil de réseau de vide (circulation indiquée par des flèches à la partie inférieure de la vanne 2 sur la figure 2). Le volume tampon 8 du piston est mis en dépression pendant le démarrage par l'intermédiaire de l'orifice 9 qui est en communication directe avec l'intérieur de La vanne 2. Finalement, le volume de débattement 10,qui est situé au- dessus du piston 6 et qui est isolé de l'intérieur du corps de la vanne par la membrane 5,est mis en dépression par l'in- termédiaire de l'orifice 11 du piston qui communique avec le volume tampon 8 de ce dernier. Apres le fonctionnement pendant une certaine durée.de la pompe à vide pendant l'état de la vanne 2 visible sur la figure 2, l'intérieur de l'appareil du réseau en totalité et l'intérieur de la vanne 2 en tota- lité sont tenus à la dépression établie par la pompe à vide. L'intérieur du piston 6 est alors en dépression comme l'est le volume de débattement 10, de sorte que le piston 6 reste à la position visible sur la figure 2 en raison de l'absence d'une pression différentielle positive de part et d'autre de la membrane 5. Cette position et Les conditions mentionnées précédemment constituent la condition opératoire nominale et normale de la vanne, de la pompe à vide et du réseau de. vide. Les flèches visibles sur la figure 2 montrent schématiquement la circulation de l'air à travers la vanne 2 pendant l'opéra- tion de démarrage de la pompe à vide (qui se produit généra- lement simultanément à la fermeture de la vanne 18). Le piston 6 de la vanne 2 reste à sa position d'ouverture jusqu'à la survenance d'une défaillance d'énergie. Lorsque ceci se produit, la pompe à vide s'arrête et la vanne 18 manoeuvrée par un solénoide perd simultanément son éner- gie, ce qui fait que cette vanne 18 normalement ouverte retourne à sa position d'ouverture, ce qui permet l'évacua- tion de l'air. La représentation schématique de La circula- tion de L'air à L'intérieur de La vanne 2 aussitôt après La survenance d'une défaillance d'énergie est visible sur la figure 3. Comme le montre cette figure 3, L'ouverture de la vanne 18 permet une arrivée relativement grande A 'air à travers le trou 19. Le diamètre de ceLui-ci est substantiel- Lement supérieur à celui de l'orifice 11, de sorte qu'un volume d'air substantiellement plus grand peut passer rapide- ment à travers le trou 19 qu'iL ne peut passer immédiatement à travers l'orifice 11 pendant une défaillance d'énergie ou à l'arrêt de l'ensemble. La représentation de la circulation de l'air visible sur la figure 3 illustre le remplissage substantiel- lement immédiat du volume de débattement 10 par de l'air traversant le trou 19, si bien qu'une pression substantielle et significative existe dans le volume de débattement 10 au- dessus du piston 6. Ceci se traduit par une force résultante dirigée vers le bas appliquée sur Le piston 6. A l'instant indiqué sur la figure 3, très peu d'air a circulé à travers l'orifice 11 à l'intérieur du volume tampon 8 et par consé- quent ce volume tampon 8 se trouve à une pression significa- tivement inférieure à celle du volume de débattement 10. Par conséquent, une force nette vers le bas s'exerce sur la face supérieure du manchon 12, sur la paroi 22 et sur la mem- brane 5, qui tend à pousser le piston 6 vers le bas contre la force du ressort 7. De plus, comme Le volume tampon 8 ne permet à l'air de s'échapper que par l'orifice 9, ce volume tampon 8 est, à l'instant qui correspond à la figure 3, a une pression qui est supérieure à celle qui existe dans le reste de la vanne 2 en-dessous de la membrane 5 et en communication avec les brides 3 et 4. Par conséquent, il se produit une circulation de l'air significativement réduite à travers l'orifice 9 en raison de la pression différentielle relativement faible de part et d'autre de cet orifice 9 entre le volume tampon 8 et la pression du réseau à l'intérieur de la vanne 2. En conséquence, très peu d'air s'échappe du volume tampon 8 pour pénétrer dans le réseau sous vide pen- dant l'arrêt ou pendant une défaillance d'énergie électrique. Ainsi L'existence du volume tampon 8 réduit significativement l'entrée de l'air ou d'un autre fluide dans Le réseau sous vide pendant une défaillance d'énergie ou pendant L'arrêt de la pompe à vide en comparaison des dispositifs antérieurs. Le volume tampon permet aussi l'emploi d'un trou 19 à diamètre relativement grand, autorisant une accumulation de pression d'air relativement rapide et impor- tante sur le piston 6 agissant avec force et rapidement sur le piston 6 en le poussant vers le bas contre l'action du ressort 7 jusqu'à ce que ce piston 6 rencontre son siège. Plus vite le piston 6 se déplace vers son siège, plus petite est la quantité d'air ou d'un autre fluide qui entre dans le réseau sous vide. L'appui du piston 6 sur son siège 14 interrompt toute circulation d'air en direction du réseau sous vide. L'existence du volume tampon 8 permet en plus une acoumulation relativement gradueLLe de la pression à l'inté- rieur de la conduite et de la pompe à vide elle-même pendant une interruption, ce qui évite tout choc non nécessaire ou toute élévation soudaine de pression, en raison du freinage de La circulation d'air provoqué par Les orifices 9 et 11. La constitution de la vanne visible sur les figures 1 à 3 a l'avantage supplémentaire que, en raison de l'existence du volume tampon 8 et de la circulation diminuée résultante de l'air dans le volume avoisinant Le siège 14, celui-ci et le joint torique 15 sont tenus relativement exempts de contaminants. Ceci étend grandement la durée de la vanne entre Les opérations nécessaires de nettoyage, de réparation ou de remplacement, puisque Les pièces internes du siège sont tenues dans un environnement relativement propre pendant le fonctionnement de la vanne une fois qu'elle a été installée dans le réseau. A partir de la position représentée sur la figure 3, la pression s'éLève rapidement dans le volume de débatte- ment 10 jusqu'à ce que. la force résultant sur le piston 6 excède' la force nette due au ressort 7 agissant contre La pression et contre Le poids du piston 6. A mesure que La pression s'élève rapidement dans le volume de débattement 10, Le piston 6 se déplace en même temps que le manchon 12 auquel il est rigidement attaché vers La position de fermeture (visi- ble sur La figure 4), Le manchon 12 glissant le long de la tige de guidage 13. Pendant ce bref intervalle de temps, de l'air circule à partir du volume de débattement 10 à'travers l'orifice 11 jusqu'à l'intérieur du volume tampon 8 du piston, ce qui produit une élévation lente de la pression à l'inté- rieur de ce volume tampon 8. L'air fuit aussi à partir du volume tampon 8 à l'intérieur du corps de la vanne par l'ori- fice 9 comme expliqué précédemment. A la fermeture, un joint étanche au vide est constitué entre le piston 6 et le siège 14 de la vanne par le moyen du joint torique 15. En compa- raison des dispositifs antérieurs, le temps nécessaire pour relier à l'évent la pompe à vide conformément à la présente invention reste essentiellement inchangé grâce au choix convenable des dimensions de l'orifice d'entrée 11 et de l'o- rifice 9 de sortie hors du piston. Ce maintien d'une durée comparable nécessaire à relier à l'évent la pompe à vide (entre la vanne 2 de la présente invention et les dispositifs antérieurs) est obtenu en même temps que l'obtention simulta- née d'une réduction significative de la brusque élévation de gaz à la fermeture (vers le réseau sous vide) et une réduc- tion significative en correspondance de la quantité d'air pénétrant dans le réseau sous vide, en comparaison des dis- positifs antérieurs. Des essais et des études théoriques ont indiqué une réduction de 30 fois environ de la grandeur de la brus- que entrée de gaz associée à La fermeture de la vanne en comparaison des dispositifs antérieurs. La figure 6 illustre L'élévation brutale de La pression de l'air à la fermeture en fonction du volume du piston et elle sera expliquée plus Loin en détail. Le choix des dimensions des orifices 9 et 11 résuLte de considératiohs de conception; eLles peuvent être sélectionnées en vue d'arriver à des résultats spécifiques souhaitabLes, comme expliqué plus haut, par tout spéciaListe quaLifié dans Le domaine des vannes de sécurité pour vide. La figure 4 montre La vanne de La figure 3 immé- diatement après L'arrivée du piston 6 sur Le siège 14. Comme Le montre cette figure 4, L'air continue à circuler en péné- trant dans Le volume tampon 8 et dans La conduite qui mène à La pompe à vide à travers La bride 4. La pression qui agit vers Le bas dans Le volume de débattement 10 est indiquée par des flèches P. La pression qui agit sur La paroi infé- rieure du piston 6 est négLigeabLe étant donné que La bride d'extrémité 3 est sous vide. La force résuLtante maintient Le piston 6 sur son siège contre La résistance du ressort 7 qui est dessiné à L'état comprimé sur La figure 4. La membrane 5 est presque complètement séparée de la paroi tronconique 22, sur La figure 4. La nature sou- ple de La membrane 5 permet Le mouvement du piston 6 le long de la tige de guidage 13. Comme on peut le voir sur les figures 3 et 4, étant donné que La bride 3 se trouve directement en-dessous du piston 6 et qu'elle est raccordée à La chambre sous vide, et encore puisque l'ouverture Laté- raLe limitée par La bride 4 est raccordée au vide, un avantage découle de ce que La pression différentielle de part et d'autre de la membrane 5 agit seulement pendant un bref moment pendant la fermeture de La vanne et aussi pendant son ouverture, plutôt que de manière continue. Autrement dit, la pression différentielle de part et d'autre de La membrane 5 existe seulement jusqu'à ce que L'équilibre soit réétabli dans Le réseau, ce qui diminue Les effets d'une contrainte de longue durée sur la membrane. Toutefois, d'autres agence- ment peuvent être envisages ne sortant pas du cadre de la présente invention. La figure 5 montre La vanne 2 à son état de fermeture et lorsque l'équilibre a été atteint et que la con- duite du réseau, le votume tampon 8 et le volume de débatte- ment 10 sont tous à la pression atmosphérique, si bien qu'au- cune pression différentielle n'existe de part et d'autre de la membrane 5. La pression différentielle agissant vers le bas dans cet état existe maintenant de part et d'autre de la paroi 24 du piston, comme indiqué par les flèches P dirigées vers le bas sur la figure 5. La pression P agissant vers le bas sur la paroi 24 du piston provoque une force résultante dirigée vers le bas qui maintient le piston 6 sur son siège contre la résistance du ressort 7. De cette façon le réseau-sous vide est maintenu à un niveau relative- ment élevé de vide en raison de l'étanchéité du siège procu- rée par le joint torique 15 et par la surface de portée 32 du piston visà-vis du siège de vanne 14. Toutefois le reste du réseau est maintenu à la pression atmosphérique et l'évent reste en communication avec le volume de débattement 10, étant donné que la vanne 18 reste ouverte pendante une défaillance d'alimentation électrique ou pendant la fermeture du réseau de la pompe à vide. La séquence des opérations d'ouverture pour l'ou- verture de la vanne 2 au moment du démarrage de la pompe à vide et de la fermeture de la vanne 18 manoeuvrée par un soLénoide est la suivante. Cette séquence des opérations d'ouverture sera décrite en référence à la position du pis- ton 6 visible sur la figure 5A.Dés lerétablissement de l'éner- gie électrique, la pompe à vide démarre et la vanne 18 d'évent à soLénoîde est fermée. La conduite du réseau, l'in- térieur du corps de la vanne, le volume tampon 8 et le volume de débattement 10 sont tous initialement à la pression atmo- sphérique, ayant été précédemment alimentés en air par l'ou- verture de la vanne 18 sur l'évent. Le réseau, disposé en- dessous du piston 6 sous la figure 5, est encore sous vide, étant isolé par le piston 6, le joint torique 15 et le siege 14 de la vanne. La pompe à vide fait alors le vide dans la condui- te, à L'intérieur du corps de la vanne, dans Le volume tampon 8 et dans Le volume de débattement 10. Quand la pression dif- férentieLle de part et d'autre du piston 6 est suffisamment réduite, ce piston est poussé vers sa position d'ouverture par Le re.ssort de rappel 7, ce qui met en communication La pompe à vide avec Le réseau. La force produite par Le ressort de rappeL 7 est choisie pour que le piston 6 ne passe pas à sa position d'ouverture tant que la pression dans La conduite n'a pas été abaissée à une vaLeur limite de sécurité prédéterminée. Les dispositifs antérieurs, aussi bien que La présente vanne ayant un volume tampon, produisent des bouf- fées de gaz de volumes approximativement égaux à L'instant de l'ouverture. Toutefois, comme La pompe à vide est en marche à cet instant dans tous ces dispositifs, ces bouffées de gaz sont pompées reLativement rapidement et ne sont pas aussi préjudiciables que le serait une grande bouffée d'air qui serait produite (comme dans les dispositifs antérieurs) à la fermeture de la vanne. La vanne représentée sur Les figures I à 5 illus- tre un mode préféré de réalisation. Des caractéristiques spé- cifiques de ce mode de réalisation, qui sont spécialement avantageuses, seront expliquées maintenant. Premièrement, il n'existe aucun joint glissant, l'isolement entre le sommet et le fond du piston étant obtenu par une membrane souple qui est pincée en place par le corps de la vanne sur son bord extérieur et par l'interface manchon/piston sur son bord intérieur. Deuxièmement, les pièces mobiles (la tige de gui- dage 13 et le manchon 12) sont isoLées du côté "sale" du piston 6 qui est exposé au réseau sous vide. L'isolement des pièces glissantes favorise une Longue durée de la vanne et sa fiabilité. Troisièmement, Le passage situé directement en- dessous du piston 6 (dans l'exemple des figures I à 5) est raccordé à la chambre sous vide et cette disposition procure une surface relativement grande du piston sur Laquelle une pression différentielle peut agir en comparaison d'une autre conception selon laqueLLe une pression différentielle "X" existe seulement sur une aire substantiellement toroidaLe définie par Le corps de La vanne sur son bord extérieur et par le siège de la vanne sur son bord inférieur (comme on peut Le voir sur les réalisations des figures 7 et 8 de la présente demande). En plus, et comme mentionné plus haut, la pression différentielle "X" de part et d'autre de la mem- brane 5 existe seulement pendant un bref intervalle de temps au cours de la fermeture et de L'ouverture plutôt que continuellement, ce qui réduit les effets d'une contrainte de longue durée sur cette membrane 5. Avec le mode de réalisation préféré il a été constaté que le rapport entre Le volume tampon 8 et le volume de dégagement 10 (quand la vanne est ouverte) n'est pas un paramètre important de conception pour le fonc- tionnement mais que la taille optimale du volume tampon 8 est dictée plutôt par diverses considérations. Ces dernières comprennent la dimension de l'appareil du réseau et le volume de la conduite, la mécanique de la vanne et les exigences du client. Une telle dépendance multiple gêne l'expression du volume tampon en termes d'une équation ou d'un rapport quel- * conque simple. La théorie qui est utilisable pour la déter- mination de la dimension optimale du volume tampon peut être déduite, par exemple, du diagramme représenté sur la figure 10 (dont l'explication est donnée plus loin) en même temps que l'analyse de ce volume selon les lois de la dynami- que des fluides, du transfert de la chaleur ainsi que les lois de la physique relatives à la conservation d'énergie, à l'inertie et à la masse.. Ces lois sont connues du spécia- liste qualifié dans le domaine des vannes pour vide. Dans un mode de réalisation préféré, pour une vanne 2 d'une dimension nominale de 50 mm, la vanne 18 de passage d'air manoeuvrée par un solénolde a une dimension d'orifice de 1,58 mm, l'orifice 11 a un diamètre intérieur de 1,4 mm et l'orifice 9 de sortie du piston a un diamètre intérieur de 1,12 mm. De même, dans un mode de réalisation préféré, le volume de débattement 10 se trouve dans une gamme de 32 à 98 cm3 et le volume tampon 8 se trouve dans une gamme préférée de 49 à 115 cm3. Toutes ces dimensions sont données pour une vanne d'une dimension minimale de 50 mm. Dans ce mode de réalisation préféré, Le volume de La pompe à vide peut avantageusement être minimisé-par L'installation de la vanne de sécurité 18 aussi près que possible de la pompe primaire de vide ou de La pompe à vide. Dans ce mode de réalisation préféré, Le ressort devrait être précontraint de façon que soit minimisée la charge, après son extension, à la valeur juste requise pour tenir Le piston 6 à la position supérieure désirée de celui- ciplus un coefficient de sécurité ainsi qu'il est souhaita- bLe. Cette compression de "précontrainte" peut être spécifiée Lorsque le poids du piston est-connu. Pour réduire la dif- férence entre la force du ressort à l'état d'ouverture et à- L'état de fermeture, il est souhaitable que le ressort soit aussi long que la place disponible le permet et que sa rai- deur soit minimisée. Le ressort doit avoir une rigidité suf- fisante pour surmonter à la fois les forces dues à La gravité et au frottement. En ce qui concerne La masse du piston, elle doit être la plus faible qu'iL est possible. Une masse située dans une gamme de 90 g environ au moins est préférable. La surface en section droite du piston se trouve de préférence dans la gamme de 16 à 22,5 cm Bien que des dimensions préférées aient été don- nées pour une vanne d'une dimension nominale de 50 mm, il doit être entendu que l'invention n'est pas limitée à cette der- nière mais qu'elle couvre toutes Les variantes qui peuvent être apportées par L'homme de métier à une vanne conforme à L'invention. La figure 6 est un graphique montrant l'élévation brusque de la pression en fonction du volume du piston; ce volume est porté en abscisses, une unité de La graduation représentant 16,38 cm3; la pression est portée en ordonnées, une unité de La graduation représentant 133,3Z Pa. Deux points obtenus, par expérimentation sont portés sur le graphique sur lequel se trouve aussi une courbe théorique dont on peut remarquer qu'elle suit assez bien les résultats expérimentaux. La théorie utilisée pour La conception réelle de La vanne est expliquée plus loin en référence à La figure 10. En comparai- son avec Les dispositifsantérieurs jdes essais et les études thé- oriques montrent que l'importance d'une élévation brutaLe de pression, ou bouffée de pression, à La fermeture de la vanne est réduite d'un facteur de 30 approximativement. La vanne 40 visible sur la figure 7 est un autre exemple de réalisation dans lequeL il existe un joint torique coulissant 42 et dans LequeL Le piston est disposé pour avoir comme siège le conduit qui aboutit à La pompe à vide plutôt que le conduit qui aboutit au réseau sous vide. Dans cette réalisation, la bride de côté 49 conduit au réseau sous vide. La vanne 40 de la figure 5 comprend un piston 41 monté coulissant le Long d'une tige de guidage 48. Un ressort 44 rappelle élastiquement vers le haut le piston 41. Ce dernier a des trous traversants 43 qui permettent le pas- sage du fluide à travers lui. IL a aussi une face inférieure 46. Cette face inférieure 46 du piston 41 est munie d'un joint torique 45 destiné à s'asseoir sur une surface 47, servant de siège,de La bride 50. L'ouverture 39 étabLit la communication avec Le fluide se trouvant audessus d'une face 38 du piston et avec La conduitedu réseau sous vide, jouant un rôle simi- laire à celui de l'ouverture 9 dans l'exemple de réalisation des figures 1 à 5. Bien qu'un volume tampon ne soit pas représenté sur la figure 7, il est à considérer comme faisant partie du cadre de l'invention d'utiLiser dans la réalisation de la figure 7 un piston ayant un volume tampon comme ceLui qui est représenté sur La figure 1 comprenant Le raccordement par- ticulier à la pompe à vide et au réseau de vide ainsi que la configuration particulière de la partie inférieure du piston et du moyen de support de la tige de guidage. IL est envisagé en plus que Le joint to- rique coulissant 42 de la réalisation de La figure 7 puisse être utilisé à La place de La membrane dans La réalisation de la figure 1, La configuration du pis- ton 6 de-cette figure étant modifiée en conséquence pour y être adaptée, dans La limite des possibilités du spécialiste dans ce domaine. Inversement, il est envisagé d'utiliser la configuration du piston et L'agencement général de la figure 1 pour la partie supérieure du piston 41 de La figure 7 afin qu'un volume tampon et qu'un agencement convenable de la circulation de l'air similaires à ceux de La figure 1 puis- sent être employés dans l'exemple de réalisation de la figure 7. La figure 8 montre, en coupe, un autre exemple de réalisation d'une vanne 60 qui comprend aussi une vanne 18 d'évent manoeuvrée par un solénolde. Le raccordement de la pompe à vide et du réseau sous vide est similaire à celui visible sur la figure 7, avec une bride inférieure 70 rac- cordée à La conduite aboutissant à la pompe à vide et avec une bride Latérale 59 raccordée au réseau sous vide. Une tige de guidage 58 est montée coulissante à L'intérieur d'une douille de guidage 71. Cette dernière est réunie à la bride par des bras 72. Un ressort de rappel 54 est utilisé pour remettre le piston 76 à sa position d'ouverture visible sur la figure 8. Le piston 73 a une paroi supérieure 51 et une paroi inférieure 75. La paroi supérieure 51 a un orifice 53 dont le rôle est similaire à celui de l'orifice 11 sur la figure 1. La paroi inférieure 75 du piston a un orifice 74 qui communique avec la conduite aboutissant à la pompe à vide et qui correspond, pour sa fonction, à l'orifice 9 de la figure 1. La paroi inférieure 75 a en plus un joint torique qui y est monté pour constituer un joint étanche vis-à-vis du siège 57 de la vanne. Le piston 73 a un volume tampon 77 et un volume de débattement 76 relativement petit est prévu au-dessus de la paroi supérieure 51 du piston. La vanne 60 a une paroi supérieure 61 fixée à une bride 62 et entre cesdeux pièces est placée une extrémité d'une membrane déroulable 52. L'autre extrémité de la mem- brane dérouLable 52 est serrée entre la paroi Latérale du piston 73 et la paroi supérieure 51 de ce dernier. La nature et la fonction de la membrane déroulable 52 sont semblables à celles de la membrane souple 5 de la figure 1. IL est à noter ici qu'une membrane déroulable comme la membrane 52 de la figure 8 pourrait être utilisée à la place de la membrane souple 5 dans l'exemple de réalisation de la figure 1. Inversement, une membrane telle que la membrane 5 de la figure 1 pourrait être utilisée à la place de la membrane déroulable 52 dans L'exemple de réalisation de la figure 8. Toutes ces variantes et modifications doivent être considé- rées comme entrant dans le cadre de la présente invention. Toutefois, dans l'exemple illustré par la figure 8, les piè- ces coulissantes sont exposées aux contaminants, étant donné qu'elles se trouvent sur le côté du piston exposé à la dépression. Néanmoins, un tel agencement a Les avantages dus à la bouffée de pression réduite comme il a été expliqué en relation avec l'exemple des figures 1 à 5. Une vanne automatique 2' de démarrage doux est représentée sur la figure 9, cet exemple de réalisation étant virtuellement identique à celui des figures 1 à 5, mais avec l'adjonction supplémentaire d'un orifice de dérivation 31 et avec l'inversion du mode de raccordement à la pompe à vide et au réseau sous vide. Autrement dit, sur la figure 9, la bride de fond est raccordée à la conduite qui communique, à son tour, avec la pompe à vide cependant que la bride laté- rale communique avec le réseau sous vide. En plus, la vanne 18 d'évent manoeuvrée par solénode de la figure 1 a été complètement éliminée dans l'exemple de réalisation de la figure 9. La vanne 2' telle que représentée sur la figure 9 peut être utilisée pour freiner l'effet de la pompe à vide primaire ou de La pompe à vide pendant Le début d'une mise en dépression. Une vanne Z' de démarrage doux, comme ceLLe de La figure 9, instaLlée sur La Ligne de vide primaire, se ferme très rapidement à La suite de L'ouverture d'une vanne d'isoLe- ment de La pompe. Le pompage initial se fait à travers Le petit orifice de dérivation 31 avec une faibLe turbulence produite dans La chambre en dépression. La vanne 2' main- tient aussi une pression inférieure à L'entrée de La pompe à vide, ce qui minimise Le risque de rejet de L'huiLe à L'at- mosphère. La durée du pompage primaire est prolongée de cette façon. Quand La pression différentielle de part et d'autre du piston atteint une petite valeur préréglée, La vanne 2' s'ouvre automatiquement, laissant La Ligne de pompage avec un étranglement minimum pour L'équiLibrage du processus d'établissement du vide primaire ou du pompage. Dans l'exempLe de réalisation de La figure 9, Le débit du pompage initial peut être contrôlé par un choix con- venable de La dimension de L'orifice de dérivation 31. La pression différentielle à LaqueLLe La vanne s'ouvre peut être contrôlée par modification de La force du ressort de rappel et par La modification de La surface en section droite du piston. La durée de L'ouverture du piston est infLuencée aussi par Le volume du piston et par Le volume de débattement en même temps que par Les diamètres des orifices d'entrée et de sortie du piston. La figure 10 montre schématiquement un modèLe théorique qui est utile pour L'anaLyse de La dynamique des fluides avec La vanne de sécurité et qui peut être employé pour La préparation de La courbe théorique de La figure 6 mentionnée précédemment. Le rectangle 90 représente L'atmo- sphère à une pression donnée P indiquant La pression atmo- o sphérique et à une température T indiquant La température o atmosphérique du milieu environnant. L'air circule à travers L'ouverture 0 vers l'intérieur du volume de débattement repré- s senté par Le rectangle 91. Le volume de débattement du rectangle 91 contient de l'air à une pression. P cl et à une température T. Le cI o volume de débattement communique à travers une ouverture 0p PL avec une chambre 92 qui représente le volume tampon du pis- S ton. Ce volume est à une pression Ppis et à une température T. o Le volume tampon 92 du piston communique avec le volume 93 de la pompe à vide à travers une ouverture 0p2 représentée schématiquement. Le volume de la pompe à vide est à une pression Pvp et à une température To. Les valeurs de la pression et de la température et des paramètres des orifices de communication sont des valeurs théoriques qui sont représentatives de l'installation réelle mais sous une forme simplifiée pour une analyse mathé- matique. Le but premier de cette analyse est d'être capable de spécifier la pression, la température, la densité et la masse de l'air circulant en fonction du temps pour un jeu donné de paramètres d'entrée de la vanne. Chaque ouverture, ou chaque orifice, représentés sur la figure 10 freine l'air en créant une chute de pression à travers lui. Le freinage du gaz est de manière inhérente un processus irréversible par lequel l'entropie de l'air s'élève à mesure que cet air suit son chemin à l'intérieur de la chambre de la pompe à vide indiquée en 93. Toutefois, le courant localisé d'air jusqu'à l'étranglement produit par un orifice quelconque donné est principalement isentropique et peut être décrit avec précision à l'aide des équations sim- plifiées d'écoulement d'un gaz compressible isentropique. Le phénomène irréversible se produit comme une dilatation soudaine du gaz à sa sortie de l'orifice correspondant dans le volume situé en aval. Ainsi, les équations théoriques bien connues d'écoulement d'un gaz sont généralement suffisan- tes pour définir le débit massique de l'écoulement à travers un orifice, mais ne sont pas capables, à elles seules, de définir la pression résultante du volume en aval. Une information supplémentaire est nécessaire. Les principes de conservation de l'énergie, de conservation de l'inertie, du comportement d'un gaz parfait, La connaissance des dimensions du volume d'une chambre donnée, la supposition que la vitesse de L'air est négligeable loin des orifices, et la continuité de l'écoulement du fluide fournissent L'information additionnelle.requise pour pouvoir définir complètement et suffisamment La pression résultante en aval. Le principe de la conservation 'de L'énergie avec les suppositions de la vitesse négligeable de l'air avant et après Le passage à travers un orifice et de L'absence de transfert de chaleur à L'air en circulation ou en provenance de cet air (condition adiabatique) se traduit par Le fait que la température de l'air, en amont et en aval, est la même. IL est à noter que ceci n'est pas vrai pour l'air quand il circule à travers l'orifice étant donné qu'il a une fraction sub- stantielle de son enthalpie contenue dans l'énergie cinétique exprimée par la formule d'énergie cinétique j MV2 et que de ce fait l'air en circulation a une température plus basse. Etant donné que la supposition du caractère négligeable de la vitesse est cruciale pour spécifier La tempé- rature en aval, une certaine explication est appropriée. Comme le diamètre des orifices est tellement plus petit que les dimensions générales des volumes avant et après chaque orifice, il peut être supposé que la vitesse de l'air est nulle quand il est contenu dans l'un quelconque de ces volumes. Ceci est une supposition normalement raisonnable lorsque le diamètre de l'orifice n'est pas supérieur à 1/10e du diamètre des volumes en amont et en aval. Ce critère est satisfait dans la présente invention, étant donné que les diamètres des orifices sont de préférence de l'ordre de 1 mm, cependant que le diamètre des chambres est approximati- vement de 50 mm, ce qui procure un rapport des diamètres de 1/50. La température du gaz en circulation s'éLève en revenant jusqu'à son niveau init-ial avant son passage à travers L'ori- fice du fait que son énergie cinétique est convertie à nou- veau en énergie interne. Les courbes de thermodynamique illustrant ce processus sont bien connues. A partir des équations bien connues mention- nées plus haut d'écoulement d'un gaz, la valeur de la masse contenue dans le volume en aval est connue, la température de l'air est la même que la température en amont et le volu- me de la chambre en aval est une valeur donnée. Par consé- quent, on dispose d'une information suffisante pour calcu- ler la pression en aval dans l'hypothèse des équations d'un gaz parfait. Une liste des suppositions et des équations de base utilisées est la suivante: - écoulement permanent (seulement pendant un faible incrément de temps pour les besoins du calcul, après quoi les propriétés de la situation sont mises à jour), - écoulement dans une dimension, écoulement isentropique - écoulement d'un fluide compressible, comportement et propriétés d'un gaz parfait, - aucun transfert de chaleur à l'air ou en provenance de l'air, - vitesses négligeables de l'air ei amont et en aval loin de l'orifice. La pression de l'air, la température, la densité, les débits et la position du piston peuvent être étudiés à un moment quelconque du temps pour chacun des volumes par des analyses mathématiques convenables, per- mettant ainsi une analyse complète de l'effet des divers paramètres de la vanne comme le diamètre des orifices, la dimension des volumes., la masse et la surface en section droite du piston, la vitesse d'action et la précontrainte du ressort de rappel, la vitesse de la pompe à vide, le volume de la conduite et le volume de l'appareil du réseau sous vide. Les équations de base utilisées à la lumière de ce qui précède sont bien connues de tout spécialiste dans le domaine de l'écoulement dynamique des gaz. Les calculs sont faits pour la situation au moment de la fermeture de la vanne etaussi séparément de l'ouverture de la vanne. Pendant l'ouverture de la vanne, la vanne 18 d'évent, manoeuvrée par un solénoide, est fermée de sorte qu'il n'y a aucun écoulement provenant de l'atmosphère en direction du volume de débattement; toutefois la pompe à vide est en marche et par conséquent de l'air est extrait du volume de la pompe à vide, ce qui pourrait être indiqué sché- matiquement par la création d'un orifice sur la partie droite du rectangle 93 afin d'indiquer qu'une certaine quan- tité d'air est en cours d'extraction du réseau. Des métho- des de calcul peuvent être utilisées pour déterminer la quantité mentionnée ci-dessus en relation avec des incréments de temps relativement petits. Un tel modèle numérique expli- qué ci-dessus est utile pour la détermination des tailles souhaitables des diverses pièces et des valeurs souhaitables afin de satisfaire aux critères requis de conception. Ces équations détaillées et ce modèle théorique ne sont pas nécessaires à la compréhension de la présente invention, bien qu'ils soient utiles pour La conception et en conséquence ils ne seront pas développés davantage ici. La figure 11 montre un volume tampon exté- rieur représenté schématiquement comme volume tampon exté- rieur 100. Ce volume 100 peut être constitué par un disposi- tif quelconque à chambre convenable, ayant une paire de conduits 110,111, qui communiquent avec l'intérieur de la vanne 2". La vanne 2"r a un piston 101 qui est imperméable au passage de l'air à travers lui. Le volume tampon extérieur communique avec les conduits 110 et 111 par des orifices respectifs 114 et 113. Ces orifices 114 et 113 correspondent res- pectivement aux orifices 11 et 9 de l'exemple de réalisation de la figure 1 et accomplissent substantiellement les mêmes fonctions. La membrane visible sur la figure 11 sépare encore la-partie supérieure de'L'intérieur de la vanne de la partie inférieure de cette dernière. Les exemples de réalisation décrits ci-dessus t'ont été à titre d'illustration seulement et sans aucune inten- tion de limiter la portée de l'invention. Des modifications à ces modes de réalisation et des variantes supplémentaires ne sortant pas du cadre de l'invention apparaîtront au spé- cialiste de La technique à laquelle l'invention appartient. 2 6185O20 R E V E D I C AT I 0 N S 1. Vanne de sécurité pour vide, comprenant un corps de vanne (16, 17) ayant un volume intérieur, un moyen (18) de mise en communication avec un évent fonction- nant sélectivement,'une première ouverture (3) et une seconde ouverture (4), un piston (6,46,73) mobile à L'intérieur du corps de vanne (16, 17) entre une première position d'ouver- ture et une seconde position de fermeture, cette premi.ère ouverture (3) et cette seconde ouverture (4) étant en commu- nication quand ce piston mobile (6,46,73) se trouve à cette première position d'ouverture et ce même piston coupant La communication entre Ladite première ouverture (3) et ladite seconde ouverture (4) quand il est à sa seconde position de fermeture, un siège (14) pour la pose sur ce siège dudit piston mobile à sa seconde position de fermeture afin de cou- per la communication entre la première ouverture (3) et la seconde ouverture (4), caractérisée en ce que le moyen (18) de communication avec un évent fonctionnant sélectivement peut être ouvert. quand ledit volume intérieur du corps de vanne (16, 17) est sous vide afin de provoquer le dépla- cement du piston mobile (6) de sa première position d'ouver- ture à sa seconde position de fermeture, ce piston mobile (6) ayant un volume tampon intérieur (8), un premier orifice (11) et un second orifice (9) qui communique avec ce premier ori- fice (11) par l'intermédiaire de ce volume tampon intermé- diaire (8), ladite vanne comprenant encore un moyen de blo- cage (5,42,52) pour empêcher toute communication de fluide entre Ledit moyen (18) de communication avec un évent manoeuvrant sélectivement et Ladite seconde ouverture (4), ce volume tampon (8) communiquant avec le volume intérieur du corps de la vanne par l'intermédiaire du second orifice M9), le moyen (18) de communication avec un évent manoeuvra- ble sélectivement étant en communication avec le premier orifice (11), le volume tampon (8) étant suffisamment grand pour que, pendant l'existencedu vide à l'intérieur du corps de la vanne et au moment de l'ouverture dudit moyen (18) de communication avec un évent, ladite première ouverture (3) soit fermée par le piston mobile (6) avant qu'une fuite significative de fluide se produise à partir de ce volume tampon (8) par l'intermédiaire du second orifice (9). 2. Vanne selon la revendication 1, carac- térisée en outre par l'existence d'un volume de débattement (10) entre la paroi supérieure (12) du piston mobile (6) et ledit moyen (18) de communication avec un évent manoeuvrable sélectivement. 3. Vanne selon la revendication 1, carac- térisée en ce que le moyen de blocage est constitué par une membrane souple (5) reliant le piston mobile (6) au corps de vanne (16, 17). 4. Vanne selon la revendication 3, carac- térisée en ce que la membrane souple (5) constitue un joint étanche au fluide autour du piston (6) en divisant le volume intérieur du corps de vanne (16, 17) pour permettre le main- tien de pressions différentes du fluide sur les côtés opposés de cette membrane souple (5). 5. Vanne selon la revendication 2, carac- térisée en ce qu'elle comprend en plus une membrane souple reliant le piston mobile (6) au corps de vanne (16,17). 6. Vanne selon la revendication 5, carac- térisée en ce que la membrane souple (5) constitue un joint étanche au fluide autour du piston (6) et divise le volume intérieur du corps de vanne (16,17) pour permettre le main- tien de pressions différentes du fluide sur les côtés opposés de cette membrane souple (6). 7. Vanne selon la revendication 4, carac- térisée en ce que le premier orifice (11) communique avec une partie du volume intérieur du corps de vanne (16, 17) qui est en communication avec un premier côté de la mem- brane souple (5) et le second orifice (9) communique avec une seconde partie du volume intérieur du corps de vanne (16,17) qui est en communication avec l'autre côté de cette membrane souple (5). 8. Vanne selon la revendication 3, carac- térisée en ce que la membrane souple (5) est un élément annulaire analogue à un disque dans l'ensemble. 9. Vanne selon la revendication 3, carac- térisée en ce que ledit moyen de blocage est un joint tori- que coulissant (42) qui est monté pour empêcher le passage du fluide entre La paroi extérieure (42) du piston mobile (46) et la paroi du corps de vanne (16,17). 10. Vanne selon la revendication 3, carac- térisée en ce que le moyen de blocage est une membrane déroulable (52). 11il. Vanne selon la revendication 1, carac- térisée en ce que Le corps (16, 17) de cette vanne présente. une ouverture (19) qui est en communication avec le moyen (18) de communication avec un évent manoeuvrable sélective- ment, ce moyen étant constitué par une vanne manoeuvrable sélectivement pour communiquer avec un évent, La mise en position d'ouverture de ladite vanne (18) établissant la communication entre le volume intérieur du corps de vanne (16,17) et ledit évent. 12. Vanne selon la revendication 1, carac- térisée en ce que Ladite première ouverture (3) est rac- cordée à un réseau à mettre sous vide. 13. Vanne selon La revendication 1, carac- térisée en ce que Ladite seconde ouverture (4) est raccor- dée à une pompe à vide. 14. Vanne selon la revendication 1, carac- térisée en ce que ladite première ouverture (3) communique avec la face inférieure du piston mobile (6) quand ce der- nier est à sa position de fermeture sur Le siège (14) prévu dans La vanne. 15. Vanne selon la revendication 14, carac- térisée en ce que ladite première ouverture (3) est en communication avec un réseau à mettre sous vide. 16. Vanne selon la revendication 14, carac- térisée en ce que ladite seconde ouverture (4) est en com- munication avec un réseau à mettre sous vide. 17. Vanne selon la revendication 1, carac- térisée en outre par l'existence d'une tige de guidage (28, 48,58) ayant une extrémité fixée au corps de vanne (16, 17) pour guider le mouvement du piston mobile (6, 46, 73) à l'intérieur de ce corps de vanne. 18. Vanne de sécurité pour vide comprenant un corps de vanne (16, 17) ayant une première ouverture (3) et une seconde ouverture (4), un piston mobile (6) déplaçable à l'intérieur de ce corps de vanne, un siège (14) prévu dans ce corps pour le repos du piston (6) à une position de celui- ci fermant la communication entre ladite. première ouverture (3) et ladite seconde ouverture (4), caractérisée en ce qu'elle comprend un volume tampon extérieur (100) en commu- nication avec le volume intérieur du corps de vanne, un moyen (18) de mise en communication avec un évent manoeuvra- ble sélectivement, une membrane souple (5) reliant le piston mobile (101) au corps de vanne, ce volume tampon extérieur (100) communiquant avec l'intérieur du corps de vanne par l'intermédiaire d'une paire d'orifices (114, 113), un premier (114) de ces orifices communiquant avec ledit moyen (18) de mise en communication avec un évent manoeuvrable sélective- ment et avec une partie du volume intérieur du corps de vanne située audessus de ladite membrane souple (5), et l'autre (113) desdits orifices communiquant avec l'intérieur du corps de la vanne en dessous de ladite membrane souple (5).