FR 2615037 A1 19881110 FR 8706395 A 19870506 PROCEDE ET MOULE POUR L'ENCAPSULATION D'UN DISPOSITIF SEMI- CONDUCTEUR PAR INJECTION DE RESINE." La présente invention concerne un procédé d'encap- sulation d'un dispositif semiconducteur muni de conducteurs métalliques auxquels il est électriquement relié, par injec- tion d'une résine dans une cavité de moulage surmontant ledit dispositif tandis qu'une portion terminale des conducteurs mé- talliques émerge à l'extérieur de la cavité de moulage. L'in- vention concerne également un moule pour la mise en oeuvre de ce procédé. Ainsi défini, un tel procédé est notamment connu du brevet US-A-3 716 764. Parmi tous les procédés d'encapsulation de dispo- sitifs semiconducteurs le procédé d'injection sous pression est un de ceux qui se prêtent le mieux à une mécanisation poussée et à une fabrication en grandes quantités de pièces, de manière reproductible. En général, dans un stade final de la fabrication, les dispositifs semiconducteurs sont électriquement connectés à des conducteurs provisoirement reliés entre eux sous forme de bandes à positions multiples après quoi l'enrobage par une résine peut être opéré de manière collective au moyen d'un moule possédant des cavités multiples disposées en correspon- dance avec le pas des dispositifs et déterminant la forme des boîtiers. Après quoi, les dispositifs sont séparés les uns des autres en sectionnant les barrettes métalliques de maintien. Une attention particulière doit être apportée sur le choix des plans de joint du moule de manière à ce que la marque inévitable de ce joint soit située à un emplacement du boîtier qui soit le moins gênant possible. Dans le cas particulier des dispositifs émetteurs de lumière, les exigences de la qualité de la surface externe des boîtiers sont élevées notamment du côté du boîtier par o la lumière est émise vers l'extérieur et o le dôme de matière transparente d'enrobage doit respecter rigoureusement une for- me caractéristique. Un plan de joint notamment ne serait pas admissi- ble dans cette zone du bottier car il perturberait le faisceau de lumière émis et donnerait un aspect inhomogène et inesthé- tique au dispositif en fonctionnement. Dans le procédé de moulage par injection, on cher- che donc à éviter d'effectuer un plan de joint dans le corps du boîtier, corps qui viendrait alors d'une partie unique du moule tandis que le plan de joint, nécessaire pour le dégage- ment de la pièce terminée, serait placé uniquement à la base du boîtier, c'est-à-dire sur la surface externe de la matière d'enrobage qui est traversée par les conducteurs métalliques. Dans cette solution, on se heurte cependant à la difficulté que l'air contenu dans la cavité de moulage ne peut pas s'é- chapper suffisamment au moment de l'injection ce qui entraîne un ralentissement de lavitesse de remplissage des cavités et un risque d'inclusion de bulles d'air dans les boîtiers. Une autre difficulté liée au procédé de moulage par injection provient du fait que les liaisons électriques effec- tuées sur le corps semiconducteur au moyen de fils de très faible diamètre peuvent être endommagées par le flux de matiè- re d'enrobage injecté sous forte pression dans la cavité de moulage. Les paramètres de température de la résine, sa vis- cosité, la pression d'injection qui déterminent ensemble la vitesse de remplissage par comparaison avec la vitesse de re- froidissement de cette résine au contact du moule maintenu à température inférieure, sont à cet égard très critiques et ap- paraissent comme difficilement conciliable pour éviter l'arra- chement des fils de liaison lors de l'injection. Il a donc été proposé d'effectuer un préenrobage du composant semiconducteur et de son fil de connection en vue d'augmenter la tenue mécanique de ce fil et de diminuer ainsi le risque d'arrachement du fil pendant l'injection. Il serait cependant souhaitable, notamment pour un point de vue du prix, de pouvoir supprimer cette opération supplémentaire. L'invention vise à fournir un perfectionnement au procédé d'encapsulation par injection avec lequel les inconvé- nients cités précédemment sont éliminés au moins dans une lar- ge mesure, qui permet une augmentation sensible de la vitesse d'injection et permet d'obtenir des dispositifs terminés de très bonne qualité même lorsqu'on opère sur des dispositifs sans préenrobage. Conformément à l'invention ce but est atteint par un procédé d'encapsulation d'un dispositif semiconducteur par injection de résine caractérisé en ce que préalablement à l'injection de la résine on soumet la cavité de moulage et le canal d'injection conduisant à cette cavité à une évacuation de l'air qu'ils contiennent au moyen d'une conduite de vide débouchant dans la cavité de moulage au travers d'une paroi poreuse aux gaz, et en ce que cette évacuation est poursuivie au moins pendant une partie substantielle de l'opération d'in- jection de la résine dans la cavité de moulage. Du fait que l'air contenu dans les cavités de mou- lage et les canaux d'injection est évacué, le flux de résine liquide n'est pas freiné par une contre-pression et l'opéra- tion de remplissage s'effectue plus rapidement. Ceci offre de multiple avantages: la résine est moins sujette à l'oxydation et aux brûlures par compression pendant son trajet jusqu'aux cavités, le risque d'inclusion de bulles d'air est éliminé et la pression d'injection peut être réduite d'environ 25% par rapport à celle qui est nécessaire en l'absence d'évacuation. On a constaté qu'en utilisant une telle pression réduite, le risque de détérioration des liaisons électriques était prati- quement éliminé. La particularité consistant à pratiquer l'évacua- tion au moyen d'une conduite intérieure au moule débouchant dans les cavités au travers d'une paroi poreuse aux gaz permet d'obtenir cette évacuation de l'air en un temps très bref compte tenu du faible volume à évacuer et permet aussi de poursuivre l'évacuation pendant la phase d'injection ce qui s'oppose à toute remontée de pression d'air résultant de fuites par les joints du moule. L'invention concerne également un moule pour la mi- se en oeuvre du procédé précédemment défini, caractérisé en ce que le seuil d'injection débouche dans la cavité de moulage dans une position adjacente à la paroi poreuse et en ce que la direction du flux d'injection est sensiblement perpendiculaire à la surface de la paroi poreuse qui borde ladite cavité. Selon cette disposition avantageuse, le flux de ma- tière d'enrobage se dirige tout d'abord du côté de la cavité qui est opposé à la surface de la paroi poreuse et le remplis- sage de la cavité se termine du côté qui est au voisinage de cette paroi, ce qui a pour effet de fournir une pleine effica- cité à l'évacuation pratiquée dans la cavité durant toute la phase d'injection de la matière d'enrobage. Selon un mode particulier de mise en oeuvre de l'invention particulièrement adapté à la fabrication de diodes électroluminescentes, la surface de la paroi poreuse qui borde la cavité est située dans le plan par lequel la portion termi- nale des conducteurs métalliques émerge, et en ce que le seuil d'injection débouche dans ce plan entre deux conducteurs mé- talliques. De cette manière les petites perturbations de sur- face du boîtier résultant du moulage par contact avec la paroi poreuse, celles du plan de joint et du seuil d'injection sont toutes réunies dans la même région, à la base du boîtier, là o ces perturbations sont les moins gênantes. La description qui va suivre en regard des dessins annexés donnés à titre d'exemples non limitatifs, fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. La figure 1 représente une vue schématique en coupe d'un moule pour la mise en oeuvre du procédé selon l'invention et la figure 2 donne une vue en plan limitée à un dé- tail de la partie centrale du moule de la figure 1. La figure 1 montre un exemple de moule 1 utilisant le procédé selon l'invention dans une application à l'encapsu- lation d'un dispositif semiconducteur qui est ici une diode électroluminescente. Le moule 1 se compose d'une partie fixe 10, d'une partie mobile 11 et d'un tiroir 12. Pour plus de simplicité, le système d'articulation habituelle qui retient le tiroir 12 lors de l'ouverture du moule 1 n'a pas été représentée sur la figure, de même que les moyens nécessaires à la fermeture de ce moule qui appartiennent au domaine connu de la technique de moulage. Le plan principal de fermeture du moule ou plan de joint principal est indiqué par le repère 15 et se prolonge le long du tiroir 12 par un plan de joint annexe 16 dont l'incli- naison permet un bon maintien du tiroir 12 lorsque le moule 1 est en position de fermeture. Un dispositif semiconducteur, à encapsuler, a été représenté à l'intérieur du moule, il comporte le cristal se- miconducteur 17 raccordé électriquement à des conducteurs mé- talliques 18 dont une portion terminale 18a émerge à l'exté- rieur du boitier à réaliser par injection. La partie active du dispositif semiconducteur 17, 18 est surmontée par une cavité de moulage 20 qui va être remplie de résine injectée au moyen d'un canal d'injection 21 réalisé dans la partie mobile 11 du moule, au voisinage du plan de joint principal 15. Ce canal d'injection 21 est en liaison avec le nez 22 de la machine d'injection représenté schématiquement en tirets, qui est ap- puyé fermement contre le moule 1. Le moule 1 comporte une plu- ralité de positions de moulage disposées linéairement dans une direction qui est perpendiculaire au plan de coupe de la figu- re 1. Pour assurer l'alimentation en résine des différentes cavités de moulage 20, le canal d'injection 21 comporte un ca- nal de répartition 23 s'étendant dans une direction perpendi- culaire et qui distribue la matière d'enrobage dans chacune des branches individuelles d'injection 25. Le moule 1 comporte encore une aiguille d'éjection 26 de la carotte qui est actionnée après moulage lors de l'ou- verture et de l'éloignement de la partie mobile 11 du moule, tandis que par ailleurs, le tiroir 12 porte un doigt de posi- tionnement 27 qui coopère avec une ouverture correspondante présentée par une barrette de liaison 18b des conducteurs mé- talliques du dispositif. 26150 37 Conformément au procédé selon l'invention, avant de réaliser l'injection et alors que le nez 22 de la machine d'injection est appliqué contre le moule, on soumet les cavi- tés de moulage 20, le canal d'injection 21, son canal de ré- partition 23 et ses branches individuelles 25 à une évacuation de l'air qu'ils contiennent au moyen d'une conduite de vide , 31, 32 qui débouche dans chaque cavité de moulage 20 à travers une paroi poreuse 33. Cette paroi poreuse 33 est réalisée par exemple en métal fritté qui est choisi suffisamment poreux pour pouvoir obtenir une bonne évacuation en un temps court, de quelques secondes, mais qui forme une barrière à l'écoulement de la ré- sine lors de l'injection. La conduite de vide 31, 32 est dis- posée à l'intérieur du tiroir 12 selon une technique qui s'ap- parente à celle d'un canal d'injection, tandis qu'a l'exté- rieur du tiroir, une tubulure-30 pour le vide chemine dans une gorge 35 pratiquée dans la partie fixe 10 du moule, et est raccordée à un système de pompage 36 via une vanne 37 comman- dée électriquement. Avantageusement, l'opération d'évacuation de l'air est poursuivie pendant au moins une partie substantielle de l'opération d'injection et de préférence jusqu'à la phase de maintien en pression qui suit le remplissage des cavités de moulage. Selon un mode préféré de mise en oeuvre de l'inven- tion, représenté sur la figure 1, la surface de la paroi po- reuse 33 qui borde la cavité de moulage 20 est située dans le plan de base du boîtier par lequel la portion terminale 18a des conducteurs métalliques émerge du boitier, et la branche individuelle 25 d'alimentation a un seuil d'injection 36 qui débouche dans la cavité de moulage 20 dans une position adja- cente à la surface de la paroi poreuse-33. De plus, le seuil d'injection 36 est disposé de telle manière que la direction du flux de la matière injectée dans la cavité est sensiblement perpendiculaire au plan de base du boitier qui contient la surface de la paroi poreuse 33. Avec une telle disposition, la matière injectée commence par emplir la partie de la cavité 26 150S7 qui est à l'opposé du seuil d'injection 36 alors que la fin du remplissage s'effectue au voisinage du plan de joint 15. C'est pourquoi l'évacuation d'air joue un rôle efficace pendant la phase d'injection, les traces d'air résiduel étant éliminées au fur et à mesure du remplissage de la cavité de moulage 20. De plus, les fils de connexion électrique du dispositif semi- conducteur ne sont pas directement exposés au flux d'injec- tion. La figure 2 représente une vue dans le plan de joint 15 qui est limitée à l'emplacement d'une cavité de mou- lage. Les éléments correspondants à ceux de la figure 1 y sont affectés des mêmes repères numériques. Comme visible aux figures 1 et 2, et selon un mode de mise en oeuvre avantageux, le seuil d'injection 36 débouche dans la cavité de moulage 20 au niveau du plan de joint 15 en- tre deux conducteurs métalliques 18 adjacents. De cette ma- nière, les petites perturbations apportées à la surface du boîtier qui sont dues à la technique de moulage par injection sont toutes rassemblées au voisinage du plan de base du boî- tier à un endroit o ces imperfections n'offrent pas d'incon- vénients notables lors de l'utilisation du dispositif. Dans le cas décrit de l'encapsulation d'une diode électroluminescente, on utilise une résine thermoplastique transparente comme un polycarbonate, un polyphtalate-carbona- te, ou un polyarylate. Le procédé selon l'invention s'applique non seule- - ment à l'encapsulation de diodes électroluminescentes mais plus généralement à tout dispositif semiconducteur dont le boîtier peut être réalisé par moulage de résine. 26 15037 REVENDICATIONS 1. Procédé d'encapsulation d'un dispositif semiconduc- teur (17) muni de conducteurs métalliques (18) auxquels il est électriquement relié, par injection d'une résine dans une ca- vité de moulage (20) surmontant ledit dispositif tandis qu'une portion terminale (18a) des conducteurs métalliques émerge à l'extérieur de la cavité de moulage caractérisé en ce que préalablement à l'injection de la résine on soumet la cavité de moulage (20) et le canal d'injection (21),(23),(25) condui- sant à cette cavité à une évacuation de l'air qu'ils contien- nent au moyen d'une conduite de vide (30),(31).,(32) débouchant dans la cavité de moulage au travers d'une paroi poreuse (33) aux gaz, et en ce que cette évacuation est poursuivie au moins pendant une partie substantielle de l'opération d'injection de - la résine dans la cavité de moulage (20). 2. Moule pour la mise en oeuvre du procédé selon la revendication 1 caractérisé en ce que le seuil d'injection (36) débouche dans la cavité de moulage (20) dans une position adjacente à la paroi poreuse (33) et en ce que la direction du flux d'injection est sensiblement perpendiculaire à la surface de la paroi poreuse (33) qui borde ladite cavité. 3. Moule selon la revendication 2 caractérisé en ce que la surface de la paroi poreuse (33) qui borde la cavité (20) est située dans le plan (15) par lequel la portion termi- nale (18a) des conducteurs métalliques (18) émerge, et en ce que le seuil d'injection (36) débouche dans ce plan entre deux conducteurs métalliques (18) adjacents.