FR 2616542 A1 19881216 FR 8708178 A 19870612 2616S 4 PROCEDE DE FABRICATION COLLECTIVE DE CAPTEURS DE PRESSION CAPACITIFS La présente invention concerne un procédé de fabrication collective de capteurs de pression capacitifs en silicium et son application particulière à la réalisation d'un certain type de capteurs. Un capteur de pression capacitif en silicium, comme représenté selon une coupe transversale sur la figure 1, est constitué généralement par une plaquette! de silicium dans laquelle a été réalisée (par micro-usinage) une membrane flexible 2 qui constitue l'une des plaques d'un condensateur variable. Une plaquette de verre 3 comportant une électrode métallisée 4 sur une première face 5 est placée en regard de la plaquette de silicium, de façon que l'électrode - 4 soit la seconde plaque du condensateur variable. Comme une liaison intime doit être réalisée entre la plaquet de silicium! et la plaquette de verre 3, le signal de sortie du condensateur est prélevé à l'extérieur du capteur, sur une métallisation 6 déposée sur la seconde face 7 du verre et reliée à l' électrode 4 par un trou métallisé 8. Comme on connait la pression dans la cavité formant le condensateur, pression qui peut être nulle si on a fait le vide, le signal de sortie donne une mesure absolue de la pression appliquée sur la membrane. Selon un procédé classique de soudure électrostatique, les deux plaquettes l et 3 respectivement de silicium et de verre, qui doivent être scellées ensemble, doivent être soumises à une haute tension après avoir été portées à une température élevée. On doit soumettre la plaquette de silicium I à une tension positive de sorte que les charges positives dopant le silicium migrent vers la plaquette de verre 3 et la plaquette de verre 3 doit être soumise à une tension négative de sorte que les charges positives du verre migrent vers la surface polarisée négativement, créant une accumulation -de charges négatives à la surface du verre en contact avec le silicium, les deux plaquettes I et 3 étant alors scellées par attraction électrostatique. En raison des métallisations réalisées sur les deux faces de la plaquette de verre, une telle soudure électrostatique est impossible. -2 -2É61642 Les inconvénients de ce procédé de soudure électrostatique viennent de ce que la tension négative peut passer par le trou 8 du verre pouvant provoquer un claquage entre les électrodes du condensateur, d'une part, et d'autre part, de ce que la membrane flexible 2 en silicium peut se coller sur la plaquette de verre 3. L'invention a pour but de résoudre ces inconvénients en proposant un procédé de fabrication collective de capteurs de pression capacitifs en silicium à partir d'une plaquette de silicium dans laquelle sont réalisées des membranes sensibles à la pression et d'une plaquette de verre comportant des électrodes métallisées sur une première de ses faces qui sont reliées sur 1' autre face par des trous métallisés à des métallisations, comportant une première étape de mise en contact des deux plaquettes de façon à faire coïncider chaque membrane avec chaque électrode, caractérisé en ce qu'il comporte de plus les étapes suivantes: - mise en place, sur la seconde face de la plaquette de verre d'une plaquette de silicium, dans laquelle ont été micro-usinées des ouvertures selon le motif des métallisations de la seconde face de la plaquette de verre et de dimensions supérieures, en faisant coTncider ces ouvertures avec les métallisations du verre - soudure thermo-électrique à 1' aide d'au moins une plaque métallique placée contre la première plaquette de silicium, portée à une température élevée et soumise à une haute tension; - retrait de la seconde plaquette de silicium et de la plaque métallique - découpe collective des capteurs. Selon une autre caractéristique, ce procédé permet de fabriquer collectivement des capteurs capacitifs de pression absolue lorsqu'il est réalisé dans une enceinte sous-vide. L'invention porte également sur un procédé de fabrication collective de capteurs de pression capacitifs constitués de deux condensatuers en série et sur ce type nouveau de capteur. l _ 3 _ 2616542 D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaitront dans la description qui suit, illustrée par les figures suivantes qui, outre la figure I déjà décrite représentant un mode de réalisation d'un capteur de pression capacitif selon 'art antérieur, représentent - la figure 2: le dispositif de mise en oeuvre-du procédé de fabrication selon l'invention; - la figure 3: le dispositif de mise en oeuvre du procédé pour fabriquer des capteurs de pression capacitifs d'un type nouveau. Sur la figure 2 est représenté en coupe longitudinale le dispositif mettant en oeuvre le procédé de fabrication, objet de l'invention. Ce procédé peut s'appliquer tant à la fabrication collective de nombreux capteurs de pression qu' à la fabrication d'un seul capteur tel que sur la figure 2. Comme sur la figure précédente, on retrouve la plaquette de silicium 1 de faible épaisseur, dans laquelle a été micro-usinée une membrane flexible 2 sensible à la pression et la plaquette de verre 3 de faible épaisseur comportant 1' électrode métallisée 4 située en regard de la membrane 2 pour former les armatures d'un condensateur. Ces deux plaquettes I et 3 sont mises en contact de telle manière que la membrane 2 coincide avec l'électrode 4. Sur la face 7 de la plaquette de verre 3, opposée à celle 5 supportant l'électrode 4, on vient poser une plaquette de silicium 9 micro-usinée sur toute son épaisseur suivant le motif choisi pour les métallisations 6 de la plaquette de verre 3 et selon les dimensions légèrement supérieures à celles de ces métallisations. Les ouvertures 90 de cette plaquette 9 doivent coïncider avec les métallisations 6. Puis, on place au moins une plaque métallique chauffante 10 contre la première plaquette de silicium I et on soumet 1' ensemble ainsi constitué à une haute tension de façon à porter la plaquette de silicium I du capteur à une tension positive et la plaquette de verre 3 par l'intermédiaire de la plaquette silicium 10, à une tension négative. 4 - 26 616542 En polarisant ainsi négativement le silicium du capteur de pression par rapport au verre et en soumettant l'ensemble à une température élevée, on réalise le scellement de l'interface du verre et du silicium par soudure dite thermoélectrique. Cette étape de soudure peut être mise en oeuvre dans une enceinte sous vide ou remplie d'un gaz neutre si elle constitue la dernière étape du procédé de réalisation des capteurs avant découpe collective, c' est-à-dire si l'étanchéité au niveau des trous métallisés dans le verre a déjà été assurée avec des préformes tenant les températures élevées. AVant la découpe collective, on aura bien entendu retiré la seconde plaquette de silicium. Le procédé selon l'invention, qui consiste à intercaler une plaquette de silicium micro-usinée sur toute son épaisseur entre d'une part les éléments à assembler d'un capteur de pression et la tension de polarisation qu'exige une soudure thermoélectrique, évite la mise sous tension des métallisations déposées sur le verre et peut être aisément mis en oeuvre en utilisant pour faire les ouvertures dans la seconde plaque de silicium, le masque créé pour la réalisation des membranes flexibles dans la première plaque de silicium. Bien entendu, on peut micro-usiner la seconde plaque de silicium à partir d'un nouveau masque, pourvu que les cavités réalisées soient de même nombre et de dimensions légèrement supérieures à celles des métallisations du verre. Selon une autre caractéristique de l'invention, il est possible de fabriquer un capteur de pression capacitif formé de deux condensateurs en série et réalisé à partir d'un support rigide en verre scellé entre deux plaquettes de silicium micro-usinées de manière à former deux condensateurs en série dont on détecte les variations de pression. La figure 3 représente le dispositif de mise en oeuvre du procédé de fabrication collective de tels capteurs. Une première plaquette 20 de silicium est micro-usinée de façon à comporter des membranes flexibles 21. Sur une première face 23 d'une plaquette de verre 22, sont déposées des électrodes. métallisées 24 qui traversent la plaquette par des trous métallisés 25 pour aboutir à des métallisations 26. 1...6 s- -2616542 Une seconde plaquette de silicium 27 est micro-usinée sur une de ses faces 28 de façon à réaliser des cavités 29. Les trois plaquettes sont -assemblées de telle sorte d'une part qu' un premier condensateur est réalisé entre chaque membrane 21 de la première plaquette de silicium 20 et chaque électrode 24 de la plaquette de verre 22 et d'autre part qu'un second condensateur est réalisé entre chaque cavité 29 de la seconde plaquette de silicium 27 et chaque métallisation 26 du verre, ces deux condensateurs étant montés en série électriquement. On place ensuite deux plaques métalliques chauffantes 30 et 31 de part et d'autre de 1' ensemble ainsi constitué reliées à une alimentation électrique haute tension. Dans une première étape, les plaques étant portées à quelques centaines de degrés, la plaque 31' est soumise à un potentiel négatif important par rapport à la plaquette 30, assurant le scellement des plaques 20 et 22 selon le processus décrit auparavant. Puis les polarités des plaques 30 et 31 sont inversées assurant le scellement des plaquettes 22 et 27. Pour réaliser des capteurs de pression absolue, on réalise les étapes de soudure dans une enceinte sous vide. Après scellement des trois plaquettes , 22 et 27, une étape de découpe collective permet de séparer les différents capteurs. Ces capteurs de pression capacitifs, d'un type original puisque constitués chacun de deux condensateurs en série, sont obtenus par un procédé également original de soudure thermoélectrique permettant d'assembler deux pièces d'un même matériau - du silicium en l'occurrence - sur les deux faces d'un support en verre sans manipulation, par simple inversion des polarités de ces deux pièces. 16'e.C& - 6 - 2 6 6 542 Ce type de capteur à deux condensateurs en série délivre un signal électrique représentatif de la somme de la capacité fixe d'un des condensateurs et de la capacité variable, en fonction de la pression de l' autre condensateur, signal délivré directement par des connexions réalisées sur les supports en silicium. Ainsi sont évités les problèmes d' étanchéité liés aux passages des connexions soit à travers le verre, soit à l'interface verre-silicium existant dans le cas des capteurs à un seul condensateur. - 7 -2616542 R E V E N DICATION S 1/ Procédé de fabrication collective de capteurs de pression capacitifs à partir d'une plaquette de silicium (1) dans laquelle sont réalisées des membranes sensibles (2) à la pression et d'une plaquette de verre (3) comportant des électrodes (4) métallisées sur une première de ses faces (5) qui sont reliées sur l'autre face (7) par des trous métallisés (8) à des métallisations (6), comportant une première étape de mise en contact des deux plaquettes (1 et 3) de façon à faire coïncider chaque membrane avec chaque électrode, caractérisé en ce qu'il comporte de plus les étapes suivantes: 1-5 - mise en place sur la seconde face (7) de la plaquette de verre (3), d'une seconde plaquette de silicium (9), dans laquelle ont été micro-usinées des ouvertures (90) selon le motif des métallisations (6) de la seconde face (7) de la plaquette de verre (3) et de dimensions au moins égales, en faisant coincider ces ouvertures avec les 2D0 métallisations (6) du verre; - soudure thermo-électronique à l' aide d' au moins une ' plaque métallique (10) placée contre la première plaquette de silicium (1), portée à une température élevée et soumise à urie haute tension de façon à polariser positivement la plaquette (1) de silicium et négativement la plaquette de verre (3); - retrait de la seconde plaquette (9) de silicium et de la plaque métallique (10); - découpe collective des différents capteurs. 2/ Procédé selon' la revendication 1, caractérisé en ce que 1' étape de soudure thermoélectrique est réalisée dans une enceinte sous vide. - 8 - 16 X*2 3/ Procédé de fabrication collective de capteurs de pression capacitifs comportant une première étape de mise en contact d' une première plaquette (20) de silicium dans laquelle sont réalisées des membranes (21) sensibles à la pression avec une plaquette de verre (22) comportant des électrodes (24) métallisées sur une première (23) de ses faces qui sont reliées sur l'autre face par des trous métallisés (25), à d'autres électrodes métallisées (26), caractérisé en ce qu'il comporte de plus les étapes suivantes: - micro-usinage d'une seconde plaquette de silicium (27) de façon à réaliser, sur une de ses faces (28), des cavités (29); assemblage de la plaquette de verre (22) entre les deux plaquettes de silicium (20 et 27) en faisant coïncider les membranes flexibles (21), les électrodes métallisées (24) et les cavités (29); - mise en place de deux plaques métalliques (30 et 31) de part et d'autre de l'ensemble précédemment constitué; - soudure thermoélectrique en portant les plaques métalliques (30 et 31) à une température élevée et en les soumettant l'une à un potentiel positif et 1' autre à un potentiel négatif, pendant une première durée puis en inversant les polarités pendant une seconde durée retrait des deux plaques métalliques (30 et 31) - découpe collective des différents capteurs formés chacun de deux D condensateurs en série. 4/ Capteur de pression capacitif réalisé à partir d'une lère plaquette de silicium (20) dans laquelle a été micro-usinée une membrane flexible (21) sensible à la pression et d'une plaquette de verre (22) comportant une électrode métallisée (24) sur une de ses faces (23) reliée, par un trou métallisé (25), à une métallisation (26) placée sur sa seconde face (28), caractérisé en ce qu'il comporte une seconde plaquette (27) de silicium dans laquelle a été micro-usinée une cavité 29) destinée à l - 9 2616542 constituer un condensateur fixe avec la métallisation (26), condensateur relié électriquement en série au condensateur variable constitué par la membrane flexible (21) et l'électrode (24).