FR 2615006 A1 19881110 FR 8706247 A 19870504 Guide d'onde optique intégré, son procédé de fabrication, et son utilisation dans un modulateur électrooptique L'invention concerne les guides cd'onde optique intégrés à confine- ment latéral, leur procédé de- fabrication, et leur utilisation en optique intégrée. Les guides d'onde optique sont de plus en plus utilisés non seulement pour la transmission de l'information mais aussi pour le traitement de l'information car ils permettent de grandes rapidités de traitement, cet aspect traitement de l'information a donné naissance à la technologie dite "optique intégrée" relative à la propagation lumineuse dans des guides d'ondes diélectriques réalisés sous forme planaire, sur des substrats transparents de longueur cPd'onde choisie. Classiquement, les guides d'ondes optiques à confinement latéral sont réalisés à la surface cPd'un monocristal de niobate de lithium, par dopage du cristal, généralement avec du titane introduit par diffusion thermique. La région dopée voit son indice de réfraction augmenter, et devient donc guidante pour la lumière dans une certaine gamme de longueurs cPd'onde. Lorsque l'on recherche un guidage avec confinement dans deux dimensions, on diffuse un ruban de titane dont le motif est identique au cheminement de lumière désiré. On obtient ainsi une région dopée cd'indice supérieur à celui du substrat, analogue à un coeur de fibre optique, cheminant en surface du cristal avec la géométrie désirée. Des procédés complémentaires peuvent être utilisés soit pour abaisser l'indice de réfraction de part et d'autre du guide et empêcher la formation d'un guide uniforme en surface, soit pour élever encore selon un profil particulier, l'indice à l'intérieur de la zone guidante. Mais, lorsque l'on diffuse thermiquement le titane dans le cristal de niobate de lithium, plusieurs effets peuvent contribuer à développer des charges électriques à sa surface: - l'effet pyroélectrique qui fait apparaître un flux de charges électriques suivant l'axe optique lorsqu'une variation de température affecte le cristal - l'effet piezo- électrique ou apparition d'une tension lorsqu'une déformation mécanique affecte le cristal par exemple lors de la dilatation thermique. Ces charges peuvent être drainées par les rubans de titane à diffuser. Mais en général ces rubans présentent des interruptions de quelques microns à une dizaine de micron dues soit aux imperfections de la lithographie, soit au motif lui-même. Dans ce cas au lieu de permettre la neutralisation des charges, et donc l'uniformisation du potentiel, les rubans peuvent ramener des différences de potentiel importantes de part et d'autre de leurs discontinuités; le champ électrique très élevé locale- ment pouvant alors entrainer une destruction localisée du cristal si la rigidité diélectrique est insuffisante. On constate alors un éclatement du cristal qui vient interrompre le guide, amenant des pertes de propagation supplémentaires. Par ailleurs, en même temps que le guide est réalisé par diffusion du ruban de titane, un guide plan parasite est créé par l'exodiffusion d'oxyde de lithium pendant le cycle de diffusion thermique. Enfin, un intérêt essentiel de tels guides d'ondes réalisés dans le niobate de lithium est qu'ils présentent l'effet Pockels, c'est-à-dire qu'il est possible de moduler la constante de propagation de l'onde guidée, c'est-à-dire la phase de l'onde, par application d'un champ électrique variable dans le temps au guide. Des configurations particulières de circuits guidés peuvent permettre de moduler la lumière en amplitude, de commuter des signaux lumineux, de réaliser des fonctions de traitement de signal etc... Le champ électrique est appliqué grâce à des électrodes planaires placées de telle sorte que le guide optique subisse la variation d'indice de réfraction souhaitée. Pour cela la position des électrodes et l'orientation cristallographique du substrat sont adaptées aux fonctions désirées. Cependant il a été constaté expérimentalement que le champ électrique créé entre les électrodes à l'intérieur du guide étaient inhomo- gènes, le matériau traversé étant anisotrope et inhomogène, et ceci étant dû au processus de diffusion thermique utilisé. Avec des électrodes planaires disposées aux abords du guide, dans certaines configurations, les lignes de champ obtenues parcourent la région dopée et la région non dopée, et un phénomène de relaxation intervient alors si le matériau présente des régions de constantes diélectriques et de résistivité diffé- rentes. De plus la répartition des potentiels électriques entre les deux régions varie suivant la fréquence utilisée. En conséquence le champ électrique effectivement appliqué au guide varie avec la fréquence ce qui se traduit par une variation de l'efficacité de modulation électrooptique apparente qui intervient aux alentours de I KHz et qui peut atteindre un facteur 1,5. Ce phénomène est particulièrement préjudiciable à l'utilisa- tion basse fréquence, par exemple pour le codage de signaux en écoute sous-marine, ou aux utilisations nécessitant une large bande pour le traitement de signal en gyrométrie à fibre par exemple. L'invention a pour objet un guide d'onde optique intégré à confine- ment latéral dont les propriétés sont très sensiblement améliorées tant du point de vue de leur transmission optique que de leur comportement électrooptique et électrique. En particulier le guide d'onde optique intégré suivant l'invention permet d'éviter les inconvénients décrits cidessus, en uniformisant le potentiel électrique à la surface du cristal lors de la montée en température, en réduisant le phénomène d'exodiffusion d'oxyde de lithium qui crée un guide d'onde parasite, et en homogénéisant les propriétés diélectriques du matériau au voisinage du guide de façon à obtenir un comportement de modulation électrooptique indépendant de la fréquence du signal électrique applique. Selon l'invention, un guide d'onde optique intégré à confinement latéral comportant un substrat de niobate de lithium ayant au moins une zone centrale dopée au moyen d'un dopant approprié, d'indice supérieur à celui du substrat et s'étendant à la surface du cristal selon la configura- tion souhaitée, est caractérisé en ce que cette zone centrale est flanquée de zones latérales dopées au moyen du même dopant mais à des concentrations moindres, telles que la propagation d'onde guidée dans la zone centrale soit toujours possible. L'invention a également pour objet le procédé de fabrication d'un tel guide d'ondes optique intégré, et son utilisation notamment pour réaliser un modulateur électrooptique, par exemple un modulateur de phase ou un commutateur. L'invention sera mieux comprise et d'autres caractéristiques appa- raîtront à l'aide de la description qui suit en référence aux figures annexees. - Les figures la, lb et lc sont des vues en coupe de modulateurs électrooptiques intégrés suivant l'art antérieur; - La figure 2 est une vue en coupe transversale d'un guide d'onde optique intégré selon l'invention; - La figure 3 est une vue en coupe transversale d'un modulateur électrooptique selon l'invention dans une forme de réalisation; - La figure 4 est un diagramme montrant des courbes de varia- tions de la tension de modulation en fonction de la fréquence de cette tension de modulation - La figure 5 est une vue en coupe transversale d'un commutateur de type COBRA utilisant des guides optiques intégrés selon l'invention; - La figure 6 est un schéma électrique équivalent. Sur ces figures, les mêmes éléments ont été désignés par les mêmes repères. Les figures la, lb et lc représentent des structures de modula- teurs à effet électrooptique selon l'art antérieur. Sur la figure la, la zone de guide obtenue par un dopage au titane, 1, est flanquée de deux zones latérales, 2 et 3, non dopées. Sur la figure la une électrode 4 recouvre une zone latérale et la zone de guidage, tandis qu'une autre électrode 5 est uniquement placée sur l'autre zone latérale. Dans ce cas lorsqu'un champ électrique est appliqué entre les deux électrodes 4 et 5, les lignes de champ traversent des zones non homogènes. Sur la figure lb des électrodes 6 et 7 sont placées de part et d'autre du guide et recouvrent partiellement la zone dopée. Dans ce cas les lignes de champ électrique traversent une zone de matériau homogène. Sur la figure lc les électrodes 8 et 9 ne recouvrent que les zones latérales du guide non dopées. Dans ce cas comme dans le cas de la figure 1, les lignes de champ traversent des zones de matériau non homogènes. Lors du processus de diffusion thermique comme indiqué ci-dessus un phénomène parasite est créé par l'exodiffusion d'oxyde de lithium qui tend à la création d'un guide d'onde uniforme en surface, dans la zone quadrillée sur les figures la, lb et lc, confiné perpendiculairement à la surface. De plus, comme indiqué ci-dessus également, la diffusion thermi- que du titane dans le cristal de niobate de lithium tend à développer des charges électriques à la surface qui peuvent être drainées par les rubans de titane. Mais si ces rubans présentent des interruptions, des différences de potentiel importantes sont ramenées de part et d'autre des disconti- nuités, et l'on constate un éclatement du cristal qui vient interrompre le guide amenant des pertes de propagation supplémentaires. Enfin, les lignes de champ parcourant la région dopée et la région non dopée, notamment dans les exemples représentés sur les figures la et lc, la répartition des potentiels électriques entre les deux régions varie suivant la fréquence utilisée. En conséquenfce le champ électrique appli- qué au guide varie avec la fréquence. Selon la présente invention, un guide d'onde optique tel que représenté sur la figure 2 est formé dans un substrat 10 en niobate de lithium qui a une épaisseur et une largeur de quelques millimètres et une longueur pouvant varier d'un millimètre à quelques dizaines de milli- mètres. Ce substrat 10 présente une face inférieure 11 qui permet son maintien sur un support non représenté et une face supérieure 12. Sur cette face supérieure 12, le substrat 10 présente des zones longitudinales centrales, telles que 13, et des zones longitudinales latérales adjacentes à ces zones centrales, telles que 14 et 15, qui sont toutes dopées au titane mais à des concentrations différentes selon qu'il s'agit de la zone centrale ou des zones latérales, en outre, leurs épaisseurs sont différentes. Les caractéristiques de concentration et de dimensions sont par exemple les suivantes: - Rapport des concentrations: R = Concentration titane (zone 14 ou 15) - 10% R Concentration titane (zone 13) - Profondeur des zones 13, 14, 15 - quelques microns - Epaisseur de la couche de titane dans la zone 13 avant diffusion: 500 A à 900 A - Largeur de la bande de titane dans la zone 13: 3 à 7 microns. - Température de diffusion: 1000 C - Temps de diffusion: 6h Ces caractéristiques montrent que la concentration en titane des 261.5006 zones latérales 14 et 15 est largement inférieure à celle de la zone centrale 13, ceci afin de toujours permettre un guidage optique dans la zone centrale. Par l'effet de dopage en titane, la zone centrale 13 a un indice de réfraction légèrement supérieur de quelques millièmes à un pourcent à celui du substrat 10, égal par exemple à 2,205 alors que celui du substrat est égal à 2,200 pour une longueur d'onde optique de 0,85 /urnm: on obtient ainsi un guide d'onde optique. La figure 3 représente en coupe transversale un guide donde semblable à celui représenté sur la figure 2, qui a été pourvu d'électrodes pour réaliser une fonction de modulation électrooptique, par exemple pour une modulation de phase. La face supérieure 12 supporte deux électrodes métalliques 16 et 17, par exemple en or, qui sont directement en contact avec ladite face comme sur la figure, ou qui en sont séparées par une mince couche tampon diélectrique (non représentée). Ces électrodes 16 et 17 sont disposées parallèlement aux bords de la zone centrale 13 et peuvent la recouvrir partiellement mais la plus grande partie de la zone sous jacente de ces électrodes est constituée par une partie des zones latérales 14 et 15. Les dimensions de ces électrodes sont par exemple les suivantes: - espace interélectrodes: 6 /umn - largeur des électrodes: 50 /um - épaisseur des électrons: 0,2 /um. Les électrodes 16 et 17 sont reliées à une source de tension extérieure par des fils, par exemple en or, non représentés sur la figure 3. Avec une telle structure de modulateur électrooptique, on obtient une courbe de réponse tension de commande/fréquence à effet électro- optique constant quasiment plate en fonction de la fréquence jusqu'à MHz comme le montre la courbe (b) de la figure 2. La courbe de réponse (a) représentée sur le même diagramme est celle qui est obtenue avec un modulateur utilisant un guide formé avec seulement une zone centrale dopée au titane, comme représenté sur la figure lc par exemple, et montre une variation de l'efficacité de modulation électrooptique apparente autour de I KHz, la tension de commande variant de 6,5 V environ à 9 V environ, soit dans un rapport de l'ordre de 1,5. La figure 5 représente en coupe un commutateur de type COBRA, avec deux guides tels que celui représenté sur la figure 2, 13 et 23. Deux électrodes 19 et 20 recouvrent presque totalement les zones de guidage, et le rayonnement transmis dans l'un des guides peut, sur commande de la tension appliquée entre les électrodes, être transféré à l'autre guide. Pour fabriquer un guide du type décrit en relation avec la figure 2, on peut mettre en oeuvre l'une ou l'autre de deux variantes de procédé de fabrication. Dans ces deux variantes, les phases initiales sont les mêmes que dans l'art antérieur jusqu'à la phase de dopage du substrat par du titane. Mais selon l'invention, on effectue non seulement la diffusion d'un ruban de titane, le guide d'onde étant alors formé dans la zone du substrat ainsi dopée, mais également la diffusion d'un film de titane sur toute la surface du substrat. Les conditions de diffusion et l'épaisseur du film de titane uniforme sont choisis de telle sorte que le dopage uniforme produit en surface permette toujours la propagation d'une onde guidée dans la zone centrale du ruban. Plus précisément, sur un substrat de niobate de lithium, de vingt millimètres de long par exemple, on réalise par photolithographie sur la face supérieure du substrat un dépôt d'un ruban de titane qui a une épaisseur de 300 angstrbms environ et une largeur de 3 /um environ. Pour réaliser la diffusion du ruban de titane, le substrat est ensuite placé dans un four o il est soumis à un premier cycle de chauffe qui présente les caractéristiques suivantes: - montée en températeure: 2 heures température de palier: 980*C - durée de palier: 4 heures - descente en température: 6 heures - flux d'oxygène de l,SL/minute: pendant toute la durée du cycle. Par ce cycle, on réalise la diffusion thermique du titane du ruban dans la zone de substrat sous-jacente et on obtient un guide d'onde monomode à la longueur d'onde de 0,8 micron. - On dépose ensuite un film de titane ayant une épaisseur de 50 angstr6ms environ sur toute la face supérieure du substrat, par exemple par pulvérisation radiofréquence. Pour la diffusion du film de titane, le- substrat est à nouveau placé dans un four o il est soumis à un deuxième cycle de chauffe qui présente les caractéristiques suivantes: - montée en température: 2 heures - température du palier: 9800C - durée du palier: 2 heures - descente en température: 6 heures - flux d'oxygène de 1, SL/minute: pendant toute la durée du cycle. Le guide d'onde est alors terminé. Des électrodes peuvent alors être réalisées par pulvérisation cathodique d'or sur la face supérieure du substrat, dans la configuration utile pour réaliser la fonction de modulation électrooptique souhaitée. Cette dernière étape permet d'aboutir par exemple aux structures de modulateur de phase ou de commutateur optique représentées sur les figures 3 et 5. La deuxième variante est telle que le film de titane, qui doit recouvrir toute la face supérieure du substrat, est déposé juste après le dépôt du ruban de titane dont la diffusion thermique aboutira au guide d'onde optique. Le ruban et le film de titane sont alors diffusés thermi- quement dans le substrat simultanément. Les deux cycles de chauffage sont alors remplacés par un seul cycle dont les caractéristiques sont les mêmes que le premier cycle de chauffe de la première variante. On obtient ainsi une diffusion thermique simultanée du ruban et du film de titane. Les électrodes peuvent alors être déposées, selon les configura- tions souhaitées comme indiqué ci-dessus. Bien entendu, les deux variantes lu procédé de fabrication décrites cidessus peuvent être aménagées sans sortir du cadre de la présente invention, l'aspect important étant la diffusion au moins sur une grande partie de la surface du substrat et nécessairement au voisinage des zones guidantes, d'un film de titane de faible épaisseur par rapport au ruban de titane donnant naissance au guide, de manière à obtenir un dopage en titane très inférieur à celui de la zone du guide d'onde optique, de part et d'autre de la zone guidée. La deuxième variante présente des avantages par rapport à la première. En premier lieu la présence d'un film de titane sur la surface de la face supérieure du substrat pendant le cycle de chauffe uniformise le potentiel électrique à la surface lors de la montée en température. En effet, les charges électriques dues aux effets pyroélectrique et piézo- électrique sont drainées par le film de titane, ce qui évite leur accumula- tion à certains endroits de discontinuité, notamment lorsque le ruban de titane présente des interruptions de quelques microns qui sont dues soit aux imperfections de la lithographie, soit au motif lui-même. Un second avantage de la deuxième variante est évidemment un gain de temps et d'énergie, d'o un prix de revient plus faible, du fait d'un seul cycle de chauffe. Un avantage commun aux deux variantes, du, semble-t-il, à la diffusion du titane du film recouvrant toute la face supérieure du substrat, est la réduction du phénomène d'exodiffusion de l'oxyde de lithium pendant le cycle de chauffe, phénomène qui a pour conséquence la création d'un guide plan parasite aux abords du guide d'onde central. En ce qui concerne les avantages résultant de la structure obtenue, ils consistent principalement en un homogénéisation des proprié- tés diélectriques du matériau au voisinage du guide, notamment de la constante diélectrique et de la résistivité, car les lignes de force du champ électrique qui est appliqué un guide par l'intermédiaire des électrodes ne traversant que des zones dopées. Le schéma électrique de la figure 6 montre que le modulateur électrooptique est équivalent à deux circuits Résistance-Condensateur en série auxquels on applique la tension inter-électrodes. Par exemple, le guide est représenté par la résistance R I en parallèle avec le condensa- teur Ci, aux bornes desquels apparaît la tension modulante, tandis que le substrat est représenté par la résistance R2 en parallèle avec le condensa- teur C2, aux bornes desquels est la tension inutilisée. Dans les modula- teurs électrooptiques de l'art antérieur dans lesquels les lignes de champ électrique traversent une zone dopée et une zone non dopée, les valeurs de RI et CI sont très différentes de R2 et C2 du fait de cette dissymétrie entre les zones. En homogénéisant ces deux zones par un dopage au titane, on atténue cette dissymétrie des valeurs et on obtient un comportement électrique régulier dans une large bande de fréquences. REVENDICATIONS 1. Guide d'onde optique intégré à confinement latéral comportant un substrat (10) de niobate de lithium ayant au moins une zone centrale (13) dopée au moyen d'un dopant approprié, d'indice supérieur à celui du substrat et s'étendant à la surface du cristal selon la configuration souhaitée, caractérisé en ce que cette zone centrale est flanquée de zones latérales (14, 15) dopées au moyen du même dopant mais à des concentra- tions moindres, telles que la propagation d'onde guidée dans la zone centrale soit toujours possible. 2. Guide d'onde selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dopant est le titane. 3. Guide d'onde selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que toute la surface du substrat est dopée. 4. Guide d'onde selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la profondeur de la zone centrale est au moins égale à celle des zones latérales. 5. Procédé de fabrication d'un guide d'onde selon la revendication 1, caractérisé en ce que, de manière connue en soi, la zone centrale est obtenue par diffusion d'un ruban de dopant déposé à la surface du substrat selon la configuration souhaitée et en ce que les zones latérales sont obtenues par diffusion d'un film de dopant d'épaisseur moindre que celle du ruban. 6. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le film de dopant est déposé après le ruban sur toute la surface du substrat. 7. Procédé selon l'une des revendications 5 et 6, caractérisé en ce que le ruban et le film de dopant sont déposés successivement puis diffusés par diffusion thermique simultanément sur un seul cycle de chauffage et refroidissement. 8. Procédé selon l'une des revendications 5 et 6, caractérisé en ce que le ruban est déposé puis diffusé par diffusion thermique au cours d'un premier cycle de chauffage et refroidissement, et en ce que le film est ensuite déposé puis diffusé par diffusion thermique au cours d'un second cycle de chauffage et refroidissement. 9. Modulateur électrooptique utilisant au moins un guide d'onde Il optique intégré selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caracté- risé en ce qu'il comporte en outre des électrodes planaires déposées à la surface du substrat ainsi dopé s'étendant le long de la zone centrale (13) . 10. Modulateur selon la revendication 9, caractérisé en ce que, pour un modulateur de phase, les électrodes (16 et 17) s'étendent sur les zones latérales de part et d'autre de la zone guidante. 11. Modulateur selon la revendication 9, caractérisé en ce que pour un commutateur électrooptique, le substrat comporte deux guides d'ondes (13 et 23) adjacents, ayant une zone latérale commune (15) et deux zones latérales extrêmes (14 et 18), et en ce que les électrodes recouvrent respectivement une zone centrale et la zone latérale extrême contig e.