FR 2614986 A1 19881110 FR 8706751 A 19870507 2614-986 La présente invention est du domaine des mesures physiques et elle plus particulièrement pour objet une cellule, ou capteur, destinée à la mesure de pressions différentielles exercées de part et d'autre d'une membrane séparant deux milieux, et elle a trait plus particulièrement à celles de ces- cellules dans lesquelles une électrode de condensateur est associée à la membrane en regard d'une autre électode solidaire d'une partie fixe, ces cellules étant dites cellules capacitives de mesure de pressions différentielles. On connaît par un brevet US 2.753.515 (RICKNER) un commutateur basé sur une cellule capacitive de mesure de pressions différentielles; on connaît aussi par un breve US 2.999.385 (WOLFE) une cellule du type précité dans laquelle une membrane en acier est disposée dans une cavité formée entre des disques de verre dont une une face interne est concave. De très nombreuses formes de réalisation de cellules capacitives ont été développées sur le modèle précité, les unes ne comportant qu'une membrane comprise entre des faces concaves en regard, les autres comportant deux membranes, chacune des membranes étant disposée à l'extrémité d'un corps cylindrique à faces d'extrémité concaves communiquant entre elles. Ce dernier type de cellule capacitive est cité comme art antérieur dans un brevet US 4.169.389 (YASUHARA). On pourra prendre aussi connaissance au titre d'un art antérieur voisin traitant de cellules capacitives pour la mesure de la pression différen- tielle, des brevets US 2.808.545 (HIRTREITER), US 3.618.390 (FRICK), US 3.691.842 (AKLEY), US 4.072.057 (YASUHARA), US 4.301.492 (PAQUIN), US 4.-458.537 (BELL), US 4.531.415 (ORLOWSKI). Certains des dispositifs cités comportent des cavités dont la forme est adaptée pour recevoir la membrane lorsque celle-ci se déforme. A la connaissance de la Demanderesse, et tel que cela ressort de l'examen approfondi de l'art antérieur, la forme de ces cavités est celle de calottes sphérique; en outre et 2614-986 2' toujours suivant l'examen. de l'art antérieur les membranes, ou diaphragmes, utilisées sont en métal, par exemple en acier inoxydable, tandis que le disque concave, encore appelé corps de cellule, peut être en verre. 5.Un premier inconvénient des cel- lules à cavité sphérique précitées réside dans le fait que la variation globale de capacité n'est pas une fonction simple de la variation de pression différentielle, à tel point que des circuits électroniques complexes doivent être adjoints à la cellule pour rendre le signal linéaire en fonction de la pression différentielle; un tel circuit est décrit par exemple dans le brevet US 4.193.063 (HITT). Un autre inconvénient de ces cellules réside dans le fait que, dans le cas o le fluide dont on mesure la pression est en contact direct avec la membrane, ce fluide ne doit pas être agressif chimiquement vis-à-vis de la membrane,.or de très nombreux fluides, en particulier des gaz, dont on veut mesurer la pression sont corrosifs à l'égard de l'acier des membranes, par exemple gaz contenant des acides ou des anhydrides d'acide. Un autre inconvénient tenant à la forme sphérique des cavités réside dans la fatigue rapide *de la membrane au voisinage du bord de la cavité' qui forme une arête d'angle solide plus ou moins obtu. La présente invention a pour buts: a) de proposer une structure de cellule capacitive de mesure de pressions différentielles dont les membranes puissent sans dommage être mises en rapport avec. un fluide normale- ment agressif vis-à-vis des membranes en acier, -b) de proposer une cellule capacitive dont la membrane puisse supporter sans fatigue appréciable des variations de pressions élevées et répétées, enfin c) de proposer une cellule capacitive dont la capacité globale varie sensiblement suivant une fonction simple de la pression différentielle mesurée de'façon à éviter l'utilisa- tion de circuits de linéarisation. 2614'986 La cellule capacitive de l'in- vention destinée à la mesure différentielle de pressions est du type comprenant au moins une partie de corps de forme générale cylindrique ayant au moins une de ses faces d'extrémité concave, ladite partie de corps au moins pouvant être constituée d'un matériau minéral non métallique tel que le verre, ladite face concave constituant ou supportant la première électrode d'un condensateur, au moins une membrane appliquée de façon étanche contre les bords de ladite face concave, ladite membrane constituant ou supportant la secon- de' électrode, ladite cellule pouvant comporter deux membra- nes dans le cas o ledit corps a ses des faces concaves, la cavité de chacune des faces étant obturée par une membrane, les cavités communiquant entre elles par un conduit, le volume des cavités et du conduit tant occupé par un liquide, la cellule comportant dans tous les cas un plan de symétrie compris'entre lesdites faces concaves et un axe- de symétrie perpendiculaire au dit plan et passant par le- centre desdites faces concaves. Suivant l'invention une cellule capacitive du type précité est caractérisée principalement en ce que chaque surface d'une face concave se raccorde de façon tangentielle au plan contenant le bord de ladite face, une zone d'inflexion de ladite surface étant située vers ap- proximativement le milieu de la distance séparant le centre de la surface de son bord. Il résulte de cette disposition un allongement très substantiel.de la durée de vie de la - cellule en raison du ménagement de la membrane; de ce fait, on va pouvoir utiliser des membranes ou diaphragmes de raideur beaucoup plus élevé comme par exemple des membranes en verre ou en céramique; il résultera de l'emploi de ces derniers matériaux comme membrane que cette dernière pourra être mise directement en contact avec un milieu normalement corrosif pour les membranes en acier. Cependant un autre résultat plus surprenant a été constaté: une variation *de la capacité en fonction de la pression beaucoup plus proche de celle des cellules à électrode plane indéformable, que ne]'est la variation des cellules à membrane connues de l'art anté- rieur. Cette constatation a conduit la Demanderesse à rechercher parmi les formes possibles de la cavité, la forme ou famille de formes pour laquelle la variation de capacité reproduirait exactement celle des électrodes planes. Ainsi et suivant une seconde caractéristique de l'invention, il a été trouvé que la forme ou famille de formes recherchée est celle suivant laquelle la distance z séparant ladite surface concave en un quelconque de ses points, est approximative- ment proportionnelle à (Rz - rZ)' dans laquelle R est le rayon de la face d'extrémité et r la distance radiale séparant le point considéré de l'axe de symétrie. :Suivant une autre caractéristi- que générale de la cellule de l'invention, le matériau constitutif de la membrane est un matériau minéral non métallique tel qu'un verre ou une céramique. Suivant une autre disposition caractéristique de l'invention, le corps de cellule est divisé en deux blocs, chacun d'eux constitué d'un matériau non métallique, chacun d'eux étant limité par une surface latérale cylindrique, par une dite face concave et par une face circulaire plane, un corps intermédiaire métallique cylindrique à faces d'extrémités planes et parallèles étant disposé entre les deux blocs non métalliques. - Il résulte de cette dernière disposition que le corps intermédiaire peut supporter sans défaillance des contraintes mécaniques très élevées que ne supporterait pas le matériau des blocs et qu'il peut se prêter à - des usinages de bridage ou de raccordement qui seraient délicats à réaliser ou peu fiables, dans les matériaux non métalliques. Avantageusement le corps inter- médiaire est percé radialement d'un canal de remplissage débouchant dans ledit conduit de communication tandis qu'un moyen d'obturation du canal est situé dans le canal au voisinage de sa jonction avec le conduit. Suivant un autre aspect de l'in- vention, d'une part chacune desdites premières électrodes de condensateur supportée par ladite face concave est consti- tuée par une couche de métal en forme de-calotte, ladite couche en forme de calotte étant centrée sur ledit axe de symétrie et ayant un diamètre égal à environ la moitié du diamètre du bord de la face concave, ladite électrode se prolongeant suivant une mince langue radiale jusqu'au bord de ladite face concave, tandis que, d'autre part, chacune desdites secondes électrodes est constituée par une couche de métal s'étendant sur la totalité d'une face de la membrane, à l'exception d'une partie non métallisée jouxtant le bord de la face, cette partie non métallisée étant destinée à être placée en regard de ladite langue; grâce à cette disposition, la connexion des électrodes avec le circuit électrique est réalisée depuis leur bord. Avantageusement encore, lesdites couches de métal constituant lesdites première et deuxième électrodes de condensateur sont déposées parmétallisation sous vide. Avantageusement enfin un manchon *est disposé autour de l'ensemble formé par les membranes, les deux blocs et le corps intermédiaire, un joint de scellement assurant la liaison entre le manchon et]'ensem- ble. La présente invention sera mieux comprise et des explications en seront données à la descrip- tion qui va être faite de formes particulières de réalisa- tion en relation avec les figures des planches annexées dans lesquelles - les fig.1 et 2 sont des illus- trations schématiques de cellules type de l'art antérieur auquel se réfère la présente invention, - la fig.3 est une coupe schéma- tique diamétrale d'une demie-cellule de l'invention, - la fig.4 est une coupe schéma- 2614986' tique diamétrale d'une cellule de l'invention appliquant les principes illustrés à la figure précédente, et - les fig.5 et 6 sont des illus- trations des électrodes de condensateur d'une cellule de la fig.4. Sur les fig.1 et 2, une cellule type de l'art antérieur, chacune des deux cellules étant fonctionnellement équivalente à l'autre, comprend au moins une partie de corps de forme générale cylindrique ayant au moins une de ses faces d'extrémité concave, ladite partie de corps au moins pouvant être constituéée d'un matériau minéral non métallique tel que le verre, ladite face concave constituant ou supportant la première électrode d'un conden- sateur, au moins une membrane appliquée'de façon étanche contre les bords de ladite face concave, ladite membrane constituant ou supportant la seconde électrode, ladite cellule pouvant comporter deux membranes dans le cas o ledit corps a ses deux faces concaves, la cavité de chacune des faces étant obturée par une membrane, les cavités communiquant entre elles par un conduit, -le volume des cavités 'et du conduit étant occupé par un liquide, la cellule comportant dans tous les cas un plan de symétrie compris entre lesdites faces concaves et un axe de symétrie perpendiculaire au dit plan et passant par le centre desdites faces concaves. Il est important de noter que les cavités sont substantiellement sphériques et que leur bord forme une arête qu'en analyse algébrique on définira comme une ligne ou lieu de rebroussement. Sans doute l'angle solide formé par le cône de tangence à la partie sphérique et par le plan formé par le bord proprement dit du corps de celle est-il très obtu; cependant cet angle est la cause d'une fatigue prématurée des membranes même si celles-ci sont minces et souples comme le sont les membranes de l'art antérieur. -Sur la fig.3 et à l'inverse des cellules des figures précédentes, le rebord 30 de la cavité vient rejoindre de façon tangentielle le plan du bord et, il est remarquable de constater qu'approximativement la moitié extérieure de la surface concave 6,8 des figures précédentes présente une concavité tournée vers le corps de cellule tandis que la moitié intérieure de la surface concave 6,8 a une concavité tournée vers 1 'extérieur du corps de cellule; ces deux moitiés se rejoignent tangentiellement dans une zone d'inflexion 34; ainsi il n'existe pour la surface concave 6,8 aucun lieu de 'rebroussement tel que défini ci-dessus à propos de l'art antérieur. Iao Toujours sur la fig.3, on a représenté un couple d'axes orthogonaux o,r et o.,z respecti- vement contenus dans le plan du bord 30 de la cavité, et passant par le centre 36 de celle-ci; suivant ces repères un point 31 de la surface 6,8 a pour coordonnées zl et rl et il est de même de tout point Si de la surface qui a pour coordonnées ri -et zi; ai chaque point 3i d'abscisse ri de la surface a une ordonnée zi satisfaisant à la relation zi = k(Rz - ri)', la forme de la surface concave 6,$ est. alors celle d'une forme préférée de réalisation de l'inven- tion dans laquelle la variation de capacité en fonction de la pression sera identique à celle de la cellule à électro- des planes. Il doit être compris qu'il ne s'agit pas d'une forme unique de surface concave mais d'une famille dont chaque membre répond à une valeur particulière de K. Ainsi, on pourra avoir, répondant à cette définrition, cldes concavi- tés prononc(ées aussi bien que des concavités à peine apparentes; pour fixer -les idées et pour des valeurs de R de l'ordre de 15' mm, la profondeur des cavités (distance du point O au point. 36) pourra s' échelonner entre 30. et 100 N-m; les cellules à concavité les plus faib] es seront associées à des membranes -ayant les épaisseurs les plus fortes, par exemple de l'ordre de 0,7 à 0,8 mm tandis que les cellu]es à concavité les plus profondes seront associécs aux membranes les plus fines (de l'ordre de 0,1 min); les premières de ces cellules conviendront pour des pressions pouvant atteindre 400 Bar tandis que les secondes convien- dont pour des pressions pouvant atteindre 100 Bar. Sur la.fig.4, une cellule de l'invention conforme au modèle du type représenté en fig.1 se compose d'un corps divisé en deux blocs 2,4 en matériau non métallique, chacun des blocs étant limité par une surface concave 6,8 par une surface latérale 38 et, par une surface circulaire plane 40; un corps intermédiaire métal- lique 42 cylindrique à face d'extrémités planes et parallèle sert d'assise aux faces 40. Le corps intermédiaire 42 est percé radialement d'un canal 44 de remplissage débouchant dans un conduit de communication axial 22, un moyen d'obtu- ration 46 (vis à pointeau, vis à bille, etc...) étant situé dans le canal au voisinage de sa jonction avec le conduit. Les membranes 43,45 qui, conformé- ment à l'invention sont en verre, en céramique, ou en toute autre matière minérale amorphe ou cristalline, sont du type "en assiette" c'est-à-dire à rebord épais; elles pourraient être encore de simples disques. Sur la fig.5S, on a représenté, vue suivant l'axe 28, ia face concave d'un corps de cellule; cette face comporte dans sa partie centrale une zone métallisée 1Z en forme de calotte centrée sur l'axe de symétrie 28 et qui se prolonge par une langue assez fine 48 jusqu'au bord du corps de cellule, la calotte métallisée 12 constitue la première armature de condensateur et la langue 48 son moyen de connexion avec le circuit électrique extérieur. Sur la fig.6, on a représenté, vue suivant l'axe 28, la face interne d'une membrane 16,14, cette face comporte sur la quasi totalité de sa surface une couche métallisée 18 qui forme la 'seconde électrode; on ob- serve qu'une zone 50 environ aussi longue et légèrement plus large que la langue 48 est réservée à la métallisation de façon à être non métallisée, cette zone 50 est destinée à être placée en regard de la langue 48; cette disposition évite le contact entre les deux électrodes. L'intérêt d'avoir métallisé la quasi totalité de la face interne de la membrane réside'dans le fait que sa face métallisée consti- tue en même temps un blindage à l'encontre de champs électriques parasites. La connexion, à la masse par exemple, de cette seconde électrode s'effectue à partir du bord de la face métallisée. Bien que la disposition ci-des- sus décrite pour les électrodes soit une disposition préfé- rée, il doit être compris que l'on pourrait utilisé une disposition inverse, par exemple dans le cas o la cellule devrait comporter une membrane centrale unique; on pourrait encore envisager les cas de surfaces en regard entièrement métallisées l'une et l'autre, ou encore partiellement métal- lisées l'une et l'autre. Enfin on remarquera sur la fig.6 la présence d'un joint de scellement et d'étanchéité 54 dis- posé entre le manchon 52 et l'ensemble - du corps et des membranes, ce joint étant aussi présent entre les rebords des membranes et du corps de cellule, et entre les corps de cellule et le corps intermédiaire. Bien que l'on ait décrit et/ou représenté des formes particulières de réalisation d'une cellule capacitive de mesure de pression différentielle conforme à l'invention, il doit être compris que la portée de cette dernière n'est pas limitée à ces forme mais qu'elle s'étend à toute cellule du type visé, comportant les caractéristiques générales énoncées plus haut. R E V E N D I C AT I O N S 1.- Cellule capacitive pour mesure différentielle de pres- sions, du type comprenant au moins une partie de corps (2,4) de forme générale cylindrique ayant au moins une (6,8) de ses faces d'extrémité concave, ladite partie de corps au moins pouvant' être constituée d'un matériau minéral non métallique tel que le verre, ladite face concave constituant ou supportant la première électrode (12) d'un condensateur, au moins une membrane (14,16) appliquée de façon étanche contre les bords de ladite face concave, ladite membrane constituant ou supportant la seconde électrode (18), ladite cellule pouvant com- porter deux membranes dans. le cas ou ledit corps a ses deux faces. concaves, la cavité- de chacune des faces étant obturée par une membrane, les cavités communiquant entre elles par un conduit (22), le volume (24) des cavités et du conduit étant occupé par un liquide, la cellule comportant dans tous les cas un plan de symétrie (26) compris entre lesdites faces concaves et un axe de symétrie (28) perpendiculaire au dit plan et passant par le centré (36) desdites faces concaves, caractérisée: en ce que que chaque surface d'une face concave se raccorde de façon tangentielle au plan contenant le bord (30) de. ladite face, une zone d'inflexion (34) de ladite surface étant située vers approximativement lemilieu de la distance séparant le centre (36) de la surface de son bord (30), d'o il résulte un a].longement- très substantiel de la durée de vie de la cellule même dans les cas d'utilisation- sous des pressions élevées; 2.- Cellule selon la revendication 1 caractérisée: en ce que la distance z séparant ladite surface concave en un quelconque de ses points, est approximativement. proportionnelle'à (RZ - r)2 dans laquelle R est le rayon de la face d'extrémité et r la distance radiale séparant le point considéré de l'axe de symétrie, d'o il résulte que]a réponse de la cellule à la pression est identique à celle d'une cellule à électrodes planes; 3.- Cellule selon la revendication 1, caractérisée: en ce que le matériau constitu- tif de la membrane est un matériau minéral non métalli- ques; d'o i] résulte que l'on peut à discrétion choisir des-matériaux de très grande raideur ou de très grande inertie chimique; 4.- Cellule selon la revendication 3, caractérisée: en ce que le matériau constitu-. tif de la membrane est le verre; 5.- Cellule selon la revendication 1, caractérisée: en ce que ledit corps est divisé en deux blocs (2,4), chacun d'eux constitué d'un maté- riau non métallique, chacun d'eux étant limité par une surface. latérale cylindrique' (38), par une dite face concave et par une face circulaire plane (40), et en ce qu'un corps intermédiaire (42) métallique cylindrique à faces d'extrémités planes et parallèles est disposé entre les deux blocs non métallique, d'o il résulte que le corps intermédiaire peut supporter sans défaillance des con- traintes mécaniques très élevées que ne supporterait pas le matériau des blocs et qu'il peut se prêter à des usinages de bridage ou de raccordement qui seraient délicats à réaliser ou peu fiables, dans les matériaux non métalliques; 6.- Cellule selon la revendication 5, caractérisée: en ce que ledit corps intermé- diaire est percé radialement d'un canal (44) de remplis- sage débouchant dans ledit conduit de communication, et en ce qu'un moyen (46) d'obtura- tion du canal est situé dans le canal au voisinage de sa jonction avec le conduit 7.- Cellule selon la revendication 3, caractérisée: en ce que chacune desdites pre- mières électrodes (12) de condensateur supportée par ladite face concave est constituée par une couche de métal en forme de calotte, ladite couche en forme de calotte étant centrée sur ledit axe de symétrie et: ayant un diamètre égal à environ la moitié du diamètre du bord de la face concave, et en ce que ladite couche de métal se prolonge suivant une mince langue radiale (48) jusqu'au bord de ladite face concave; 8.- Cellule selon la revendication 7, caractérisée: en ce que chacune desdites se- condes électrodes (18) est constituée par une couche de métal s'étendant sur la totalité d'une face de la membrane, à l'exccption d'une partie (50) non métallisée jouxtant le bord de la face, cette partie non métallisée étant destinée à être placée en regard de ladite langue (48) 9.- Cellule selon la revendication 7, caractérisée: en ce que lesdites. couches de métal constituant lesdites première.et deuxième électro- des de condensateur-sont déposées par métallisation sous vide; 10.Cellule selon l'a revendication 6, caractérisée: en ce qu'un manchon (52) est disposé autour de l'ensemble formé par les membranes, les deux blocs et le corps intermédiaire, un joint de scellement (54) assurant la liaison entre le manchon et ledit ensemble.