FR 2606921 A1 19880520 FR 8616002 A 19861118 i 2606921 TETE DE LECTURE EN OPTIQUE INTEGREE POUR LA LECTURE D'INFORMATIONS ENREGISTREES SUR UN SUPPORT MAGNETIQUE DESCRIPTION La présente invention a pour objet une tête de le-irp en optique intégrée pour la lecture d'informations enregistrées sur un support magnétique. L'enregistrement magnétique est une technique qui consiste à créer dans un support magnétique (disque, bande, etc.) des zones dont l'aimantation présente une direction bien déterminée. Sur la figure la, on voit une couche magnétique 10 dans laquelle des domaines 12, 14, 16, etc. ont une aimantation parallèle au plan du support mais dirigée tantôt vers la droite, tantôt vers la gauche. On parle alors d'enregistrement parallèle. Sur la figure lb, une même couche magnétique 10 possède des domaines 12, 14, 16 dont l'aimantation est perpendiculaire au plan du support et dirigée tantôt vers le haut, tantôt vers Le bas. On parle alors d'enregistrement perpendiculaire. Dans chacun de ces cas, on peut associer à une 2G direction d'aimantation un état logique 1 et à la direction opposée un état logique 0. L'ensemble du support contient alcrs une information binaire faite de 1 et de O. La densité d'informations est plus grande dans le cas de l'enregistrement perpendiculaire. C'est donc ce type d'enregistrement qui se développe aujourd'hui et c'est lui qu'on prendra comme exemple dans ce qui suit, sans que l'enregistrement parallèle soit exclu pour autant de l'application de l'invention. La lecture d'un support magnétique s'effectue à l'aide d'une tête de lecture apte à détecter le sens de l'aimantation du support. A cette fin, on peut utiliser un dispositif comprenant une pièce polaire entourée d'un bobinage. Le passage du support magnétique sous cette pièce polaire induit un courant dans le bobinage, dont le sens indique la direction de l'aimantation du support. 2 2606921 Cependant, pour des raisons qui tiennent à la technologie des têtes de lecture magnétiques, il n'est guère possible de tirer parti au mieux des possibilités offertes par l'enregistrement perpendiculaire. C'est la raison pour laquelle on tente de mettre en oeuvre des moyens de lecture optique de tels supports, car les dispositifs optiques ne souffrent pas des mêmes limitations. Le principe de la lecture optique d'un support magnétique est connu et il est rappelé sur les figures 2 et 3. Un milieu magnétique possède la propriété de transformer un faisceau lumineux à polarisation linéaire en un faisceau lumineux à polarisation elliptique. Quand on travaille en réflexion, ce phénomène est appelé effet KERR. En transmission on parle d'effet FARADAY. Dans le cas o l'on envoie un faisceau incident Fi de polarisation linéaire Pi sur un support magnétique S, le faisceau réfléchi Fr (figure 2) présente une polarisation elliptique Pr résultat de l'apparition d'une petite composante de direction perpendiculaire à la direction de polarisation du faisceau incident (figure 3). La combinaison de la composante Pi Cc 2n polarisation incidente et de la composante +Pm ou -Pm due à l'effet du champ magnétique donne des vecteurs Pr' ou Pr4, qui font avec Pi ur angle +a ou -a, selor la direction du charr ma^,etique qui a interagi avec le faisceau lumineux. Pour détecter le sens de rotation, on utilise un 2 analyseur dont la direction n'est pas perpendiculaire à la directior de polarisation incidente Pi, mais perpendiculaire à l'une des directions Pr' ou Pr;. C'est ce qui est représenté sur la figure 3 o la ligne A représente la direction de polarisation transmise par l'analyseur. Dans un tel montage, on obtient, derrière2 l'analyseur, une intensité lumineuse égale soit à 0, soit à A sin 2a. Dans le cas de figure de la figure 3, l'analyseur est monté perpendiculairement à Pr4, ce qui implique que l'intensité du faisceau lumineux transmis par cet analyseur sera nulle si l'induction magnétique lue est dirigée vers le bas () et égale à 3 d2606921 A sin 2a (o A est une amplitude) si l'induction magnétique lue est dirigée vers le haut (T). Si une telle technique donne satisfaction à certains égards, elle présente cependant un inconvénient qui est de ne pas pouvoir Etre mise en oeuvre en optique intégrée. Pour comprendre cette impossibilité, il faut rappeler brièvement en quoi consiste une structure de guidage réalisée en optique intégrée. Une telle structure comprend généralement une couche de guidage mince d'indice fort intercalée entre deux couches d'indice faible. Le faisceau lumineux se propage dans cette couche de guidage, avec une partie évanescente dans chacune des couches adjacentes. Or, dans une telle structure deux modes de propagation sont possibles: un mode dit transverse électrique (noté TE), pour lequel Le champ électrique associé à l'onde électromagnétique est dans le plan de la couche de guidage, et un mode dit transverse magnétique (noté TM), pour lequel c'est le champ magnétique qui est dans le plan de la couche. Toute onde inclinée par rapport à ces deux modes se décompose nécessairement en deux composantes, l'une TE, l'autre TM. - Il résulte de cette contrainte qu'il est impossible, en optique intégrée, de réaliser un polariseur et un analyseur qui ne seraient pas crcisés (c'est-à-dire dont les directions de polarisation ne seraient pas à 90 l'une de l'autre). Il en résulte qu'on ne peut pas réaliser le montage illustré sur la figure 3 en optique intégrée, puisque ce montage utilise un polariseur et un analyseur qui ne sont pas croisés. Si l'on analyse le faisceau réfléchi par une couche magnétique selon une direction perpendiculaire à Pi, on détectera les composantes +Pr ou -Pm. Malheureusement, l signal électrique mesuré sera le même dans les deux cas, soit A sin a. Seule une mesure de la phase permettrait de distinguer ces deux polarisations. Il est donc exclu, en principe, d'utiliser une structure optique intégrée pour la lecture de supports magnétiques. Cette exclusion est regrettable car l'optique 4 2606921 intégrée présente de nombreux avantages (compacité, stabilité, facilité de fabrication, etc.). Des têtes de lecture réalisées dans cette technique seraient donc très avantageuses. La présente invention a justement pour but de contourner cette difficulté. A cette fin, et selon l'invention, on ne fait pas appel à un analyseur pour détecter La composante de polarisation résultant de l'action du champ magnétique, mais à un ensemble interférométrique qui permet de détecter la phase de cette composante réfléchie. Selon une deuxième caractéristique de l'invention, le faisceau lumineux incident se propage en mode TE, mais l'ensemble interférométrique fonctionne en mode TM. Pour cela, un réseau convertisseur de mode (TE--TM) est placé sur le trajet de retour du faisceau, de telle sorte que la part de ce faisceau qui est toujours en mode TE après réflexion sur le support magnétique soit convertie partiellement en mode TM. Le faisceau de conversion va constituer un faisceau de référence avec lequel on fera interférer le faisceau de mesure résultant de l'interaction magnétooptique. Ce faisceau de référence est particulièrement utile car il aura subi les mêmes effets que le faisceau de mesure. En particulier, ces deux faisceaux seront soumis aux mêmes fluctuations résultant des variations de la hauteur de vol (c'est-à-dire de la distance séparant le patin de vol du support magnétique). Grâce à la constitution de ce faisceau de référence à partir du faisceau de retour, il sera - possible, par interférométrie, de savoir si le mode TM réfléchi par le support magnétique possède une phase ou la phase opposée et aucun phénomène parasite n'affectera cette détection de phase. Enfin, l'ensemble interférométrique fonctionnant en mode TM, il sera insensible aux éventuels faisceaux parasites provenant du faisceau incident, car ceux-ci seront en mode TE. De façon plus précise, la présente invention a pour objet une tête de lecture en optique intégrée, pour la lecture d'informations enregistrées sur un support magnétique présentant 2606921 une aimantation dirigée selon l'un ou l'autre de deux sens contraires, cette tête étant caractérisée par le fait qu'elle comprend: - une source lumineuse émettant un faisceau de lumière, - une structure de guidage optique de ce faisceau, cette structure comprenant un substrat et un empilement d'une première, d'une deuxième et d'une troisième couches transparentes, la deuxième couche ayant un indice plus fort que celui des première et troisième couches qui l'encadrent, le faisceau de lumière émis par la source pénétrant dans la deuxième couche de la structure, - un polariseur intégré à la structure et constitué par une couche métallique déposée sur la troisième couche, ce polariseur atténuant le mode de propagation transverse magnétique et favorisant ainsi le mode de propagation transverse électrique, - une optique de collimation intégrée à la structure et disposée à la sortie du polariseur et délivrant un faisceau de lumière parallèle en mode TE, - un miroir présentant une surface parabolique perpendiculaire au plan des couches et obtenu par gravure de celles-ci, ce mircir recevant le faisceau de lumière parallèle provenant de l'optique de collimation et délivrant un faisceau en mode TE focalisé dirigé vers le support magnétique à lire, ce faisceau se réfléchissant sur ce support, ce qui donne naissance à un faisceau de retour comprenant une première part toujours en mode TE et une seconde part en mode TM, cette seconde part ayant une phase qui dépend du sens de l'aimantation du support, ce faisceau de retour venant frapper le miroir parabolique et s'y réfléchir, et donnant naissance à un faisceau parallèle de retour, - un réseau de diffraction convertisseur de polarisation, placé sur le trajet du faisceau de retour parallèle et intégré à la structure, ce réseau ayant une inclinaison par rapport à la direction du faisceau de retour et un pas tels que la part en 6 2o606921 mode TE du faisceau de retour est partiellement convertie en mode TM par diffraction de Bragg, La part en mode TM de ce même faisceau de retour traversant le réseau sans atténuation, - un ensemble interférométrique fonctionnant en mode TM et apte à faire interférer le faisceau en mode TM diffracté par le réseau de diffraction et le faisceau en mode TM ayant traversé ce réseau, - un photodétecteur disposé à la sortie de l'ensemble interférométrique, ce photodétecteur délivrant un signal électrique dont une composante dépend finalement du sens de l'aimantation lue sur le support. De toute façon, les caractéristiques de l'invention apparaîtront mieux à la lumière de la description qui va suivre. Cette description porte sur des exemples de réalisation qui n'ont naturellement rien de limitatif. Des dessins sont annexés à cette description sur lesquels: - la figure 1, déjà décrite, illustre le principe de l'enregistrement magnétique, - la figure 2, déjà décrite, montre le principe de la lecture optique d'un support magnétique, - la figure 3, déjà décrite, montre les divers composantes en jeu dans une technique de lecture optique, - la figure 4 montre, en vue de dessus, une tête de lecture en optique intégrée selon l'invention, - la figure 5 montre, en coupe, la structure de guidage, - la figure 6 montre un exemple de réalisation d'un polariseur, la figure 7 montre un exemple de réalisation d'un miroir, - la figure 8 montre un exemple de réalisation d'un réseau, - la figure 9 montre une tête de lecture selon l'invention, munie de divers accessoires, - la figure 10 montre un mode de réalisation d'un 7 2606921 déphaseur, - la figure 11 montre un mode de réalisation d'un guide optique de sortie, - la figure 12 montre un mode de réalisation d'un détecteur intégré, - la figure 13 illustre une variante dans laquelle la source lumineuse est intégrée à la structure de guidage. Le dispositif représenté sur la figure 4 comprend une source lumineuse S et une structure de guidage 20 dont on comprendra mieux la constitution après la description de la figure 5. Dans cette structure, sont intégrés divers composants, à savoir, un polariseur P, une optique de collimation qui, dans l'exemple illustré, est constituée par un miroir cylindrique à section parabolique MP1, mais qui pourrait être constituée par un miroir plan et une lentille L (en tirets); le dispositif comprend encore un miroir cylindrique à section parabolique MP2, qui focalise la lumière qu'il reçoit en un point F, un réseau convertisseur de polarisation RCP, un miroir M placé sur le trajet du faisceau diffracté par le réseau RCP, et une lame semi- transparente LS, qui recombine le faisceau qu'elle réfléchit partiellement avec le faisceau qui provient du miroir M. L'ensemble comprend encore un photodétecteur D intégré ou non à la structure de guidage. Le fonctionnement de ce dispositif est le suivant. Le polariseur P atténue le mode TM présent dans le faisceau délivré par la source S et délivre un faisceau exclusivement en mode TE (comme on le comprendra mieux après la description de la figure 6). Cela signifie que le champ électrique E est dans le plan de la figure. L'optique de collimation donne de ce faisceau divergent un faisceau de lumière parallèle qui vient frapper le miroir parabolique MP2. Le faisceau réfléchi converge en F, à proximité du support magnétique 10 que l'on veut lire. Apres réflexion sur ce support, le faisceau qui retourne dans la structure de guidage présente une part en mode TE (c'est la part la plus importante) et une part en mode TM, qui 8 2606921 résulte de l'effet magnéto-optique produit par le support. La part en mode TM possède un champ magnétique M dans le plan de la figure (et par conséquentt, un champ électrique perpendiculaire au plan de cette même figure). L'intensité du mode TE est A 2(1-sin a) et celle du mode 2.2 TM est A sin a, mais avec une amplitude Asina ou -Asina selon la direction de l'aimantation rencontrée. Le faisceau de retour, une fois réfléchi par le miroir parabolique MP2, rencontre le réseau RCP. Comme on le comprendra mieux par la suite, les modes TE et TM n'ont pas exactement la même longueur d'onde effective, car les indices effectifs qui caractérisent ces modes ne sont pas les mêmes. L'inclinaison du réseau par rapport au faisceau incident (o si l'on veut l'angle d'incidence 6 par rapport à la normale au réseau, et le pas 2 du réseau sont réglés pour que soit satisfaite la condition de Bragg bien connue: 2p.cos6= >TE). Cette condition n'est satisfaite que pour le mode TE. Dans cette expression, >TE est la longueur d'onde correspondant au mode TE, à savoir >O/NeffTE, si)0 est la longueur d'onde dans le vide du faisceau incident et NeffTE l'indice effectif du mode TE. Dans ces conditions, la partie du faisceau incident qui est en mode TE sera partiellement convertie (environ 50%) en mode TM par diffraction. Le faisceau diffracté sera donc en mode TM. Par ailleurs, la partie du faisceau en mode TM qui frappe le réseau ne sera pas diffractée car sa longueur d'onde ATM ne satisfait pas à la condition de Bragg définie plus haut. Le miroir M réfléchit le faisceau diffracté vers une lame semitransparente LS qui peut être aussi constituée par un réseau. Cette lame réfléchit partiellement le faisceau incident en mode TM. Les éléments RCP, M et LS constituent donc un ensemble interférométrique. Naturellement, on peut en concevoir d'autres, en losange, avec deux brasparallèles, etc. Les deux faisceaux en mode TM interfèrent et le résultat de l'interférence est détecté par le détecteur D. 9 2606921 Le faisceau diffracté par le réseau RCP constitue un faisceau de référence qui provient du mode TE, lequel a subi toutes les fluctuations auxquelles a été soumis le mode TM résultant de la réflexion sur le support magnétique. Si l'on désigne par r l'amplitude du faisceau de référence et par m l'amplitude du faisceau de mesure, l'interférence fera apparaÂtre une intensité de la forme: 2 2 r + m + 2rm cos f o l'angle f est justement égal à 0 ou 2 2 2 2 r + m +2rm ou à r + m - 2rm. 2 2 La quantité r + m représente une composante fixe. L'écart de signal selon la direction d'aimantation est égal à 4rm. Cet écart est proportionnel à r. Le rapport signal sur bruit est également proportionnel à rm. La relativement grande amplitude (r) du faisceau de référence par rapport à l'amplitude Cm) du faisceau de mesure est donc dans certains cas un facteur avantageux, tont en ce qui concerne La sensibiLité que le rapport signa sir bruit. La figure 5 montre, en coupe, la structure de guidage 20. Une telle structure comporte, de manière connue, un substrat 22, par exemple en silicium, une première couche 24, par exemple en silice SiO d'indice 1,45, une seconde couche 26, par exemple en Si N4 d'indice 2 et une troisième couche 28, par exemple en SiC2 d'indice 1,45. L'épaisseur des première et troisième couches est de l'ordre de 1,5 à 3,um. Celle de la couche intercalaire de l'ordre de 0,1 à 0,24,m. L'onde lumineuse est guidée par la couche 26. En réalité, l'onde est présente dans chacune des couches adjacentes 24 et 28 sous forme d'ondes évanescentes. Cependant, l'étalement du faisceau n'est pas le même pour le mode de propagation TE et pour le mode de propagation TM. Le mode TM est plus étalé que le mode TE. L'indice effectif d'un faiceau lumineux se propageant 2606921 dans une telle structure dépend non seulement de l'indice réel des couches traversées, mais aussi des dimensions de ceeles-ci et de la nature du mode. Comme les modes TE et TM n'ont pas la même répartition spatiale, on conçoit qu'ils n'aient pas les mêmes indices effectifs. Si l'on désigne par >0 la longueur d'onde dans le vide de la lumière utilisée et par NeffTE et NeffTM les indices effectifs en mode TE et en mode TM, ces modes présenteront deux longueurs d'ondes différentes hTE et TM: TE = -et) TM = NeffTE NeffTM L'écart de longueur d'onde dépend de l'écart d'indices effectifs àNeff par la formule: 6 = L Neff Neff L'écart Neff est d'environ 0,1 et Neff est de l'ordre de 1,6. L'écart LA est donc d'environ 500 Angstromrrs. C'est sur cet écart de longueur d'onde ertre les mondes TE et TM que sont basés les divers composants apparaissant dans le dispositif de la figure 4. Pour que cet écart soit le plus grand possible, on donnera à la couche intercalaire 26 une épaisseur faible, par exemple de l'ordre de 0,1 à 0,2,ar. Il faut observer que si la structure de collimation travaillant sur le faisceau d'entrée peut être réalisée sous forme catadioptrique ou dioptrique (c'est-à-dire avec un miroir ou une lentille), en ce qui concerne la structure de collimation travaillant sur le faisceau de retour, elle doit nécessairement être catadioptrique, car le faisceau de retour contient deux modes différents TE et TM, de longueurs d'ondes différentes, 1 2606921 alors que le faisceau d'entrée ne contient qu'un seul mode TE, à une seule longueur d'onde. Les composants utilisés dans Le dispositif de la figure 4 vont maintenant être décrits plus en détail. Le dispositif représenté sur la figure 6, tout d'abord, est un polariseur correspondant au polariseur P de la figure 4. La couche supérieure 28 est partiellement gravée et la partie gravée est recouverte d'une couche métallique 30. Le mode TM sera fortement absorbé par une telle couche, du fait de son étalement, alors que le mode TE ne sera pas affecté. Un tel dispositif élimine donc la part en mode TM comprise dans le faisceau incident et délivre un faisceau exclusivement en mode TE. La figure 7 représente un miroir. Les couches 24, 26, 28 sont gravées jusqu'au substrat 22. Une couche métallique 32 est déposée sur le flanc des couches gravées (mais cette couche n'est pas indispensable, le dioptre couches-air pouvant, dans certains cas, constituer un dioptre à réflexion totale). La figure 8 montre un réseau de diffraction. La couche supérieure 28 est gravée jusqu'à la couche 26 et un diélectrique 34 est déposé sur l'ensemble gravé. Les conditions de propagation varient donc périodiquement dans la couche de guidage, ce qui conduit à des phénomènes de diffraction (réseau dit "d'indice"). Le réseau RCP doit pouvoir distinguer deux longueurs d'onde distantes de 4X=jITE - ATMI. Dans l'exemple donné plus haut, on a vu que Aétait de l'ordre de 500 Angstroms. Mais la sélectivité du réseau doit être supérieure aux fluctuations de longueur d'onde qui peuvent résulter de divers phénomènes parasites notamment de la fluctuation de longueur d'onde de la source lumineuse. Cette incertitude est de l'ordre de 100 Angstroms. La sélectivité en longueur d'onde du réseau doit donc être comorise entre 100 et 500 Angstrôms environ. Le dispositif de la figure 5 représente en fait un schéma de principe. Dans la réalité, la tête de lecture se complétera par divers moyens accessoires mais utiles, qui sont représentés sur la figure 9. 12 2 2606921 Sur cette figure, la tête de lecture comprend, en plus des éléments déjà représentés sur la figure 5, une seconde lame semi-transparente LS' associée à un second détecteur D', un réseau supplémentaire R' disposé avant le détecteur principal D, un déphaseur DPH situé sur le trajet du faisceau diffracté par le réseau RCP, divers atténuateurs AT1, AT2, AT3, et un conduit de guidage G à la sortie du dispositif. Le détecteur D' permet de détecter l'intensité du faisceau de retour et permet une auto-régulation de la source lumineuse. Le réseau R' réfléchit le mode TM et laisse passer sans atténuation le mode TE, si ce mode subsiste dans le faisceau à mesurer. Ce miroir sert donc à parfaire la sélectivité de l'ensemble interférométrique. Le déphaseur DPH est important pour la raison suivante. Les faisceaux qui interfèrent, à savoir le faisceau de référence diffracté par le réseau RCP et le faisceau de mesure qui a traversé ce même faisceau, présentent l'un par rapport à l'autre une phase qui n'est pas égale en toute rigueur à ' ou à 0, selon la direction du champ magnétique rencontré. Cette phase est égale à (YM + f0) o M est égal soit à O, soit à 1, et o 0 est un déphasage dû à la différence de chemins optiques suivis par les deux faisceaux. Ce détecteur D détecte donc l'un des deux signaux suivants: 2 2 r + m + 2rm cos 0 r2 2 r + m - 2rm cos\O. S'il advient malencontreusement que, par construction, 0 soit égal à et/2 ou plus généralement à (2k+1) fY/2, la différence entre les deux valeurs détectées sera nulle. Pour éviter cette situation désavantageuse on ajoute un déphaseur DPH qui introduit un déphasage Y 1. Dans le signal détecté, le terme sensible à la phase sera donc de la forme cos(cO + t1). S'il advient que y 0 soit proche de (2k + 1)1(/2, on donnera à 41 une valeur proche de (2k' + 1)Y/2, pour que la phase totale soit proche de (k + k' + 2)11, ce qui conduit à une sensibilité 13 2606921 maximale. Un mode de réalisation possible d'un tel déphaseur est représenté sur la figure 10. La couche supérieure 28 est partiellement gravée et la partie gravée est recouverte d'un diélectrique 36. Ce diélectrique change la constante de propagation dans la couche de guidage 26 et introduit un déphasage proportionnel à la longueur du diélectrique. Quant au guide de sortie G, il dispense d'avoir un point focal F disposé sur la face de sortie de la tête de lecture. Avec un tel guide, il suffit de placer l'entrée de celui-ci au point focal F et de réaliser un conduit de guidage vers la face de sortie. Ce conduit n'est d'ailleurs pas nécessairement rectiligne. La figure 11 montre un exemple de réalisation d'un tel guide. La couche supérieure 28 est gravée pour ne laisser subsister qu'un barreau rectiligne ou curviligne de largeur de l'ordre de 1êm. On montre alors que le faisceau lumineux va suivre cette super-structure dans la couche de guidage. On peut d'ailleurs utiliser plusieurs conduits de guidage de ce type, disposés soit en parallèle, soit en éventail. Le détecteur D peut être intégré à la tête. Un détecteur en optique intégrée est décrit dans la demande de brevet européen 0 198 735 au nom du présent demandeur. Comme représenté sur la figure 12, ce détecteur comprend une jonction PN référencée 40 formée dans le substrat de silicium 22 et un réseau de diffraction 42 apte à renvoyer le faisceau se propageant dans la couche de guidage 26 vers la jonction 40. Un tel détecteur est en soi sélectif par rapport au mode de propagation. Il peut être conçu pour n'être sensible qu'au mode TM, ce qui accroit encore la sélectivité du dispositif interférométrique. La source S peut être reliée par fibre optique à la structure de guidage. Mais elle peut aussi être intégrée à celle- ci, comme illustré sur la figure 13. Dans ce cas, la source S est fixée sur le substrat 22 et montée de telle sorte que sa couche B 9230.3 RS 14 2606921 active 46 soit à la hauteur de la couche de guidage 26. Les réseaux utilisés dans le dispositif décrit peuvent être obtenus par holographie ou mieux par masqueur électronique. On peut choisir un angle d'incidence de 63 43 (qui correspond à arctg 2, valeur facile à obtenir avec un masqueur électronique). Le pas du réseau est alors égal à XO/2Neffcos6. Pour une longueur d'onde de 0,8*zn et un indice de 1,6 le pas est alors de 0,56#m. Les réseaux pourront comprendre une centaine de traits. Ils auront donc une largeur d'environ 40,&m, ce qui est peu: l'encombrement des composants est faible. La tête de lecture qui vient d'être décrite peut tenir sur une plaquette de I mm par 1 mm ou moins. Cette tête peut être montée sur un patin de vol classique, qui peut contenir également une tête magnétique d'enregistrement. Les fluctuations de la hauteur de vol n'ont pas d'importance puisque, comme on l'a vu, les deux faisceaux qui interfèrent subissent les mêmes fluctuations. Les effets de celles-ci n'affectent donc pas le résultat final de la mesure. 2606921 REVENDICATIONS 1. Tête de Lecture en optique intégrée, pour la lecture d'informations enregistrées sur un support magnétique (10) présentant une aimantation dirigée selon L'un ou L'autre de deux sens contraires, cette tête étant caractérisée par Le fait qu'elle comprend: - une source Lumineuse (5) émettant un faisceau de lumière, - une structure de guidage optique de ce faisceau; cette structure comprenant un substrat (22) et un empilement d'une première, d'une deuxième et d'une troisième couches transparentes (24, 26, 28), la deuxième couche (26) ayant un indice plus fort que celui des première et troisième couches qui l'encadrent (24, 28), le faisceau de lumière émis par la source pénétrant dans la deuxième couche (26) de la structure, - un polariseur (P) intégré à la structure et constitué par une couche métallique (30) déposée sur la troisième couche (28), ce polariseur atténuant le mode de propagation transverse magnétique (TM) et favorisant ainsi le mode de propagation transverse électrique (TE), 2D - une optique de collimation (MP1) intégrée à la structure et disposée à la sortie du polariseur et délivrant un faisceau de lumière parallèle en mode (TE), un miroir (MP2) présentant une surface parabolique perpendiculaire au plan des couches et obtenu par gravure de celles-ci, ce miroir recevant le faisceau de lumière parallèle provenant de l'optique de collimation et délivrant un faisceau en mode (TE) focalisé dirigé vers le support magnétique à lire, ce faisceau se réfléchissant sur ce support, ce qui donne naissance à un faisceau de retour comprenant une première part toujours en mode (TE) et une seconde part en mode (TM), cette seconde part ayant une phase qui dépend du sens de l'aimantation du support, ce faisceau de retour venant frapper le miroir parabolique (MP2) et s'y réfléchir, et donnant naissance à un faisceau parallèle de retour, 16 2606921 - un réseau de diffraction convertisseur de polarisation CRCP), placé sur le trajet du faisceau de retour parallèle et intégré à la structure, ce réseau (RCP) ayant une inclinaison (e) par rapport à la direction du faisceau de retour et un pas (p) tels que la part en mode (TE) du faisceau de retour est partiellement convertie en mode (TM) par diffraction de Bragg, la part en mode (TM) de ce même faisceau de retour traversant le réseau (RCP) sans atténuation, - un ensemble interférométrique (M, LS) fonctionnant en mode (TM) et apte à faire interférer le faisceau en mode (TM) diffracté par le réseau de diffraction et le faisceau en mode (TM) ayant traversé ce réseau, - un photodétecteur (D) disposé à la sortie de l'ensemble interférométrique, ce photodétecteur délivrant un signal électrique dont une composante dépend finalement du sens de l'aimantation lue sur le support. 2. Tête de lecture selon la revendication 1, caractérisée par le fait que l'ensemble interférométrique comprend un réflecteur (M) disposé sur le trajet du faisceau diffracté par le réseau convertisseur de polarisationn (RCP), et une lame séparatrice (LS) placée sur le trajet du faisceau de retour transmis par le réseau convertisseur, le faisceau réfléchi par le réflecteur (M) et le faisceau partiellement réfléchi par la lame séparatrice (LS) étant confondus et interférents, le photodétecteur (D) étant disposé sur le trajet commun de ces deux faisceaux. 3. Tête de lecture selon la revendication 1, caractérisée par le fait qu'il comprend en outre un déphaseur (DPH) placé sur le trajet du faisceau diffracté par le réseau convertisseur de polarisation (RCP). 4. Tête de lecture selon la revendication 1, caractérisée par le fait que la structure de guidage optique comprend en outre un microguide de lumière (G) ayant une extrémité placée au point de focalisation (F) du miroir parabolique (MP2) et une autre extrémité débouchant sur la face 17 Oo | 17 2606921 de sortie de La tête, à proximité du support magnétique à lire (10). 5. Tête de lecture selon la revendication 1, caractérisée par Le fait que l'optique de collimation est constituée par un miroir (MP1) présentant une surface parabolique perpendiculaire au plan des couches et obtenue par gravure de celles-ci. 6. Tête de lecture selon la revendication 1, caractérisée par le fait que le photodétecteur (D) est intégré à la structure de guidage et comprend une jonction PN (40) intégrée dans le substrat (22) et un réseau de diffraction (42) intégré dans l'empilement de couches et apte à diffracter le faisceau guidé par la deuxième couche vers la jonction PN. 7. Tête de lecture selon la revendication 1, caractérisée par le fait que la source lumineuse (S) est couplée à la couche de guidage par une fibre optique. 8. Tête de lecture selon la revendication 1, caractérisée par le fait que la source lumineuse (S) est intégrée au substrat. 9. Tête de lecture selon la revendication 1, caractérisée par le fait que la structure de guidage comprend en outre une seconde lame séparatrice (LS') disposée sur le trajet de la lumière ayant traversé la première lame séparatrice et un second photodétecteur (D') placé sur le trajet du faisceau réfléchi par cette seconde lame séparatrice (LS').