FR 2608269 A1 19880617 FR 8617611 A 19861210 PROCEDE DE DETERMINATION QUANTITATIVE DE FORME DE MOTIFS EN RELIEF DE TRES PETITES DIMENSIONS La présente invention concerne un procédé optique de détermination de forme de motifs en relief de très petites dimen- sions, c'est-à-dire de dimensions de l'ordre du micromètre ou moins. La présente invention trouve tout particulièrement des applications dans le domaine de l'industrie microélectronique. En effet, dans ce domaine, les techniques de fabrication telles que la photolithographie et la gravure progressent très rapidement et l'on arrive à des motifs de largeur inférieure à 1 micromètre. Ainsi, lorsqu'ils étudient un circuit intégré, les concepteurs définissent les tolérances acceptables pour la dimension des motifs qui servent à localiser les différentes fonctions. Les écarts de cote sont généralement dus à la fluctuation incontrôlée des grandeurs physiques qui interviennent au cours de la fabrica- tion. Des contrôles sont prévus pour détecter les phases de fabri- cation qui posent des problèmes et procéder rapidement au réglage des machines responsables des défauts ainsi mis en évidence. Cependant, de tels contrôles ralentissent la production et en augmentent le coût et il convient d'éviter les décisions erronées qui conduisent au rejet de circuits corrects ou à l'acceptation de circuits défectueux. Le résultat des contrôles doit par conséquent être juste et fiable. La plupart des systèmes de mesures dimensionnelles tra- vaillent sur une image agrandie du motif à mesurer. Cette image est fournie par un microscope optique ou électronique auquel est associé un équipement spécialement conçu pour assurer la fonction de mesure. Le microscope constitue le premier étage de la chaîne de mesure. Il est constitué d'un dispositif d'éclairage, d'une pla- tine porte-objet et d'un dispositif de formation d'image. L'éclairage est assuré à partir d'une source d'électrons dans le cas du microscope électronique à balayage (MEB) ou d'une source de lumière (lampe ou laser) en microscopie optique. Une fois éclairées, les différentes régions de l'objet réagissent soit en émettant des électrons secondaires (MEB) soit en réfléchissant une partie de la lumière reçue. L'interaction entre l'éclairage et l'objet dépend localement de la nature et de la disposition dans l'espace des matériaux en présence. Le phénomène résultant est à son tour modifié par le dispositif de formation d'image qui assure la collecte de l'information pour la mettre à la disposition du deuxième étage de mesure: le dispositif d'acquisition. L'acquisition de l'information se fait par transfor- mation du signal spatial optique (ou électronique) en un signal électrique qui peut être numérisé. Ce passage d'une information spatiale à une information temporelle est réalisé par balayage. Dans un MEB, l'objet et le détecteur sont fixes: c'est le faisceau d'éclairage qui se déplace par rapport à l'objet. En microscopie optique traditionnelle, l'éclairage, l'objet et l'image sont fixes: c'est le dispositif de balayage du capteur qui génère le signal attendu. La dimension que l'on se propose de déterminer est définie comme la distance qui sépare les deux bords mécaniques d'un trait. Initialement, la forme d'un motif est définie par son dessin sur le masque. Sa structure est essentiellement bidimen- sionnelle et dans une direction donnée- Par contre, le motif réalisé sur une plaquette de cir- cuit intégré nécessite une description en trois dimensions. Il est caractérisé par l'épaisseur des matériaux en présence et par la forme de ses bords. En particulier, si les bords ne sont pas ver- ticaux, ce qui est couramment le cas, il est nécessaire de préciser le niveau auquel correspond la cote mesurée. Grâce à son grand pouvoir de résolution, le MEB donne accès à cette topographie et peut fournir une mesure de référence. Malheureusement, l'opération est destructive. En effet il faut cliver l'échantillon perpendiculairement à la direction du trait et observer la section du motif. De plus, afin d'éviter les phénomènes dus à l'accumulation des charges électriques dans le matériau, il faut métalliser l'objet. Enfin, pour permettre l'étalonnage du grandissement du microscope, le motif doit appar- tenir à une structure périodique dont le pas se mesure facilement. Une telle procédure de mesure est très lourde. C'est néanmoins actuellement le seul procédé connu pour fournir des mesures précises d'objets de très petites dimensions. En effet, la limite de résolution des dispositifs de type MEB est de l'ordre de 0,5 à 50 nm alors qu'elle n'est que de 300 à 1000 nm pour les systèmes optiques. Pour exploiter de façon plus efficace la résolution des systèmes à microscope optique, il a été décrit dans la demande de brevet français 83/12328 du 26 juillet 1983 un procédé particulier dans lequel, au lieu d'observer directement l'image d'un trait, on transforme cette image dans le domaine fréquentiel par transfor- mation de Fourier discrète. Toutefois, ce procédé ne s'applique de façon fiable que quand l'épaisseur de l'objet à mesurer est inférieure à la profondeur de champ du microscope optique. En fait, on est limité à des mesures sur des couches d'une épaisseur de l'ordre de 0,8 micromètre. Ainsi pour des structures de très petites dimensions, de largeur inférieure à quelques microns mais d'une hauteur de l'ordre du micron ou plus, par exemple un motif de 2x2um, on ne dispose à l'heure actuelle d'aucun procédé de mesure de largeur de trait fiable et non destructif. D'autre part, quand on est en présence d'une telle structure qui ne présente a priori pas des bords verticaux, cela ne signifie rien de donner seulement une mesure de dimension mais il faut en outre arriver à effectuer une détermination de forme. C'est un objet de la présente invention que de prévoir un procédé de détermination de la forme d'un tel motif d'épaisseur non négligeable par rapport à la profondeur de champ d'un système optique. Il faut bien noter que quand on fait une mesure de largeur de trait, on ne sait pas à quel endroit exactement par rapport à la hauteur ou épaisseur du motif s'effectue la mesure. C'est aussi un objet de la présente invention que de lever cette ambigulté. Pour atteindre cet objet ainsi que d'autres, la présente invention prévoit un procédé de détermination quantitative de la forme d'un motif en relief sur un substrat consistant à acquérir à l'aide d'un microscope optique et à numériser une image i(x) de cet objet, la mise au point étant effectuée à une profondeur arbitraire par rapport à l'épaisseur de l'objet, et à calculer par transformation de Fourier le spectre fréquentiel I(X) correspon- dant à cette image. Ce procédé comprend en outre les étapes suivantes: calculer un modèle M(X) correspondant à un objet de largeur L, à la fonction de transfert d'un microscope optique de fonctions caractéristiques T(X) et P(X), et à des paramètres a et b caractérisant le pouvoir réflecteur de l'objet par rapport au substrat selon la formule: M(X) = b [T(X) sincT XL - a P(X) coslrXL] (1) o: sincY = (sinY) /Y en partant de valeurs a, b et L grossièrement estimées, - calculer pour chaque valeur de X: D(X) = I(X)-M(X), - calculer la sommation E de D(X) sur la plage des valeurs de X considérées dans la détermination du modèle, - faire varier a, b et L pour rendre E minimal, et sélectionner la valeur de L correspondante, d'o il résulte que l'on a obtenu la valeur L correspondant à la profondeur arbitraire de l'objet sur laquelle la mise au point est effectuée. On obtient donc ainsi une première mesure de largeur d'un motif mais sans savoir à quelle cote en épaisseur correspond cette mesure. Pour lever cette ambiguité et déterminer de façon quan- titative la forme du profil, on répète la mesure pour des déplacements succesifs par incréments de l'objectif du microscope par rapport à l'objet mesuré. Par exemple, en se dirigeant d'abord dans le sens de la profondeur puis en remontant ensuite en s'éloignant de l'objet. Pour chacune de ces positions, le minimum de la valeur E susmentionnée est recherché pour fournir la valeur L correspon- dante. En outre, les minima parmi les minima de la valeur E indi- quent les positions pour lesquelles la mesure est effectuée aux niveaux o l'objet mesuré présente des ruptures de pentes brutales (sommets, bases...). Ces objets, caractéristiques et avantages de la présente invention apparaîtront plus clairement à la lumière de la descrip- tion détaillée ci-après faite en relation avec les figures jointes parmi lesquelles: la figure 1 représente un exemple de structure dont on veut déterminer la forme; la figure 2 représente ltimage de la structure de la figure 1 sous la forme d'un profil d'intensité-lumineuse i(x) la figure 3 illusEre sous forme de courbe des étapes de mise en oeuvre de l'invention; et la figure 4 illustre l'évolution de la forme du spectre pour différentes mises au point. La figure 1 représente un exemple de motif dont on veut déterminer la forme selon l'invention. Il s'agira par exemple d'une nervure de résine 1 formée sur un substrat 2. Cette nervure est telle que sa hauteur est supérieure à la profondeur de champ du microscope utilisé. Le dispositif de mesure comporte un microscope optique fournissant une image agrandie du motif que l'on veut mesurer. Ce microscope est caractérisé par le fait que son éclairage est toujours partiellement cohérent du fait que la source lumineuse est quasi ponctuelle. L'image ainsi obtenue est reçue sur un récepteur photosensible fournissant un signal proportionnel à l'intensité reçue. Le récepteur effectue un échantillonnage spa- tial de la répartition d'intensité de l'image. Cet échantillonnage respecte les conditions imposées par le théorème de Shannon, à savoir que si p est la limite de résolution du système optique, le pas d'échantillonnage est inférieur à p/2. Les échantillons sont ensuite numérisés et leur ensemble constitue le signal observé. Ce signal est traité par le procédé de transformation de Fourier décrit dans la demande de brevet français 8312328 du 26 juillet 1983. On notera que dans le cas d'un motif tel que celui représenté dont la hauteur (par exemple supérieure à un micron) est supérieure à la profondeur de champ du microscope utilisé, on ignore quelle est la valeur de la hauteur h à laquelle la mise au point est effectuée. Ainsi, selon la présente invention, on fait l'acquisi- tion de l'image i(x) pour une certaine mise au point du microscope (figure 2) et on calcule sa transformée de Fourier discrète qui correspond par exemple à la courbe I(X) représentée en traits pleins en figure 3. D'après le procédé classique décrit dans la demande de brevet susmentionnée, on peut éventuellement en déduire une première valeur approchée de la largeur pour la mise au point effectuée. On part ou bien de la valeur de largeur ainsi mesurée par le procédé classique ou bien d'une estimation a priori de la valeur de la largeur et l'on calcule, à partir de cette valeur estimée et de valeurs a priori des paramètres a et b, une fonction M(X) selon la formule (1) énoncée précédemment. Pour mémoire on notera que b est un facteur de normalisation, a est un facteur dépendant des paramètres de réflexion respectifs du motif 1 et du substrat 2, T(X) et P(X) sont des fonctions connues caractéris- tiques de la fonction d'appareil du microscope optique. On calcule ensuite pour chaque valeur de X la valeur D(X) = I(X) - M(X) (voir figure 3) et l'on effectue la sommation E de D(X) sur la plage des valeurs de X considérée dans la détermination du modèle. Ensuite, on fait varier la valeur de L choisie arbitrairement comme point de départ de construction de la courbe M(X) ainsi que les valeurs a et b et l'on retient comme valeur de L la valeur qui amène à obtenir une sommation E minimale. Par ce procédé, on a obtenu une valeur précise de la largeur L pour une hauteur h. Toutefois, ce résultat ne serait valable que si le motif 1 était parfaitement rectangulaire du fait que l'on ne peut pas déterminer optiquement ou mécaniquement à quelle hauteur h le microscope a été mis au point par rapport au plan du substrat 2. Selon l'invention, on s'est aperçu que quand on déplace l'objectif du microscope par rapport à l'objet observé en se rapprochant du substrat 2, la valeur E obtenue après optimisation atteint un minimum minimorum quand h = 0. On peut ainsi déterminer le moment o le microscope est réglé pour une mise au point au niveau du substrat 2. Ensuite, en éloignant par incréments le microscope du substrat 2, et en calculant les valeurs L suc- cessives pour chaque incrément, on peut déterminer la forme du motif à analyser. On voit également un autre minimum apparaître quand on se trouve au sommet des motifs. Plus généralement, des minima nets apparaissent au niveau de chaque rupture de pente géométrique de l'objet mesuré. Pour mieux faire comprendre la mise en oeuvre de l'invention la figure 3 représente, pour le cas du motif de la fi- gure 1, des valeurs de la fonction log[I(x)/I(O)] et plus spéci- fiquement pour IO0(x), I(x) et I1i(X) correspondant aux hauteurs hO, h et hl, respectivement. Dans ce qui précède on a mentionné un éloignement et un rapprochement microscope/substrat dans le cas o le motif est en relief; la méthode s'applique de même dans le cas o le motif est en creux, le minimum minimorum correspondant au niveau de l'interface entre le substrat et la couche portant le motif. REVENDICATIONS 1 Procédé de détermination quantitative de la forme d'un motif dans une couche formée sur un substrat consistant à acquérir à l'aide d'un microscope optique et à numériser une image i(x) de cet objet, la mise au point étant effectuée à une profon- deur arbitraire par rapport à l'épaisseur de l'objet, et à calculer par transformation de Fourier le spectre fréquentiel I(X) correspondant à cette image, caractérisé en ce qu'il comprend en outre les étapes suivantes: - calculer un modèle M(X) correspondant à un objet de largeur L, à un microscope optique de fonctions caractéristiques T(X) et P(X), et à des paramètres a et b caractérisant le pouvoir réflecteur de l'objet par rapport au substrat selon la formule: M(X) = b [T(X) sinclrXL - a P(X) coslXL] o: sincY = (sin Y)/Y en partant de valeurs a, b et L grossièrement estimées. - calculer pour chaque valeur de X: D(X) = I(X)-M(X), - calculer la sommation E de D(X) sur la plage des valeurs de X considérées dans la détermination du modèle, - faire varier a, b et L pour rendre E minimal, et sélectionner la valeur de L correspondante, d'o il résulte que l'on a obtenu la valeur L correspondant à la profondeur arbitraire de l'objet sur laquelle la mise au point est effectuée. 2. Procédé de détermination quantitative de la forme d'un motif sur un substrat selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre les étapes consistant à: faire varier la distance microscope substrat. pour chaque distance, mettre en oeuvre le procédé selon la revendication 1, déterminer qu'on est à la zone d'affleurement substrat- motif quand la valeur de la sommation E obtenue est minimale, et éloigner ensuite par incréments le microscope de l'interface substrat/motif pour déterminer la valeur de L pour des distances successives et en déduire de façon quantitative la forme du motif.