FR 2607246 A1 19880527 FR 8616258 A 19861121 CAPTEURS DE POSITION ANGULAIRE OU LINEAIRE, DE HAUTE PRECISION, A COUPLAGE CAPACITIF La présente invention concerne des capteurs de position à couplage capacitif et plus précisément, la réalisation de tels capteurs effectuant une mesure absolue, c'est-à-dire par rapport à une position de référence connue, et délivrant la mesure avantageusement sous forme d'un signal numérique. Il est connu de faire des mesures de longueur ou de déplacement angulaire par des procédés capacitifs. Par exemple, pour mesurer une rotation on forme un condensateur variable avec un dispositif du type condensateur à masque constitué au moyen de deux plaques entre lesquelles on interpose un écran. La rotation de l'écran couvre plus ou moins une zone active formée par une partie de la surface d'une des plaques et il en résulte une variation de capacité qui est fonction de la rotation. Il est connu également, pour lire des appareils de mesure dans lesquels une aiguille se déplace par exemple un compteur, d'utiliser un dispositif constitué par un élément plan fixe en matériau isolant portant d'une part, une série d'électrodes régulièrement espacées à un pas donné selon une direction de déplacement circulaire et alimentées par des tensions polyphasées pour créer un champ électrique tournant, et d'autre part, une électrode de lecture. L'aiguille de l'appareil de mesure est disposée parallèlement à l'élément plan et situé dans le trajet dudit champ tourant autour d'un axe concentrique avec l'élec- trode de lecture. L'aiguille produit un couplage capacitif entre la série d'électrodes et l'électrode de lecture pour recueillir sur celle-ci une tension induite dont la phase est fonction de la position de l'aiguille par rapport à une position de référence. Un circuit de traitement avec un phasemètre permet de mesurer cette phase et donc la position de l'aiguille. Cette technique ne donne qu'une précision limitée. Le but de l'invention est de réaliser un capteur de position à couplage capacitif dérivé des techniques précitées et pouvant fournir une très grande précision et une réponse linéaire de la mesure d'un déplacement qu'il soit linéaire ou angulaire. Suivant l'invention, il est réalisé un capteur de position angu- laire ou linéaire, de haute précision, à couplage capacitif comportant: - dans un premier plan, une première série de n électrodes réparties régulièrement à un pas P1 déterminé selon une direction donnée pour couvrir une plage de déplacement d'étendue n PI, lesdites électrodes étant alimentées par des tensions polyphasées pour créer un champ électrique mobile selon ladite direction et parcourant périodi- quement ladite plage de déplacement, et une électrode collectrice de lecture, - dans un deuxième plan, parallèle au premier plan et disposé à proximité de celui-ci, un dispositif conducteur électrique déplaçable selon ladite direction et couvrant une partie de ladite plage pour produire, par couplage capacitif avec lesdites électrodes et avec l'élec- trode collectrice une tension induite dans cette dernière dont la phase est une fonction linéaire de la position dudit dispositif conducteur dans la plage de déplacement, et des circuits de traitement de la tension induite pour mesurer la phase et corrélativement la position du conducteur mobile, le capteur étant caractérisé en ce que le dispositif conducteur électrique est constitué au moyen, d'une part, d'une deuxième série d'électrodes en nombre m inférieur à n et qui sont disposées régulière- ment à un pas P2 supérieur à PI, et d'autre part, d'une électrode de couplage capacitif à l'électrode collectrice, les électrodes de la deuxième série étant connectées à cette électrode de couplage, et en- ce que les circuits de traitement précédent par intégration périodique de la tension induite à la période de déplacement du champ, et par détermination par rapport à un instant de référence du décalage présenté par l'instant qui satisfait à la valeur moitié de l'intégration, ledit instant de référence correspondant à une position donnée du dispositif conducteur dans ladite plage. Les particularités et avantages de l'invention apparaîtront dans la description qui suit donnée à titre d'exemple, à l'aide des figures annexées qui représentent: - Fig.l, un schéma général correspondant à une première version d'un capteur de position angulaire conforme à Pinvention; - Fig.2, une vue en coupe de la structure mécanique du capteur de position angulaire selon la figure I; - Fig.3, une représentation partielle linéaire des électrodes du stator et du rotor, ce dernier présentant plusieurs positions de décalage successives; - Fig.4, des formes d'ondes relatives à des tensions d'alimentation polyphasée du stator, aux signaux induits intégrés et à des signaux porte de commande correspondants pour les différentes positions de décalage du rotor selon la figure 3; - Fig.5, un schéma d'une deuxième version d'un capteur de position angulaire conforme à l'invention, version suivant laquelle le capteur comporte une piste grosse et une piste fine dite vernier; - Fig.6, une représentation de la partie rotor du capteur selon la figure 5; - Fig.6a, un détail de réalisation du rotor selon la figure 6; - Fig.7, la représentation en linéaire des pistes du stator et du rotor, des signaux d'alimentation polyphasée et des signaux principaux de fonctionnement du capteur deuxième version; - Fig.9, une représentation équivalente au capteur deuxième version dans une structure linéaire; - Fig.10, un schéma des métallisations du stator du capteur de position linéaire selon la figure 9; - Fig.1 1, un schéma des métallisations du rotor du capteur de position linéaire selon la figure 9; - Fig.12, un schéma d'une troisième version correspondant à un mode préféré de réalisation d'un capteur de position angulaire conforme à l'invention; - Fig.13, un schéma du rotor relatif au capteur selon la figure 12; - Fig.14, la représentation en linéaire des pistes du stator et du rotor de la troisième version, des tensions polyphasées d'alimentation et des signaux principaux de fonctionnement; Fig.15, la représentation des pistes du stator et du vernier du rotor, ce dernier pour différentes positions, avec les signaux d'alimentation polyphasés, les signaux d'intégration et les portes de commande; - Fig.16, un schéma relatif à la piste de levée d'ambiguTté et à son fonctionnement. L'invention s'applique tout aussi bien à une structure circulaire pour la mesure des angles qu'à une structure linéaire pour la mesure des longueurs, le déplacement dans le premier cas étant une rotation et dans le second cas une translation. L'invention est exposée à l'aide de la figure I pour une structure de base représentant la version la plus simple et est représentée sous forme d'une structure circulaire. Le capteur de position se compose d'un élément plan fixe 1 en matériau diélectrique et qui supporte une série SP d'électrodes rectan- gulaires conductrices SI,S2,S3....Sn. Ces électrodes constituent un peigne. Elles sont régulièrement espacées à un pas donné P1 selon une direction de déplacement DR circulaire. Leur nombre n est choisi un multiple d'une puissance de 2 de la forme n = 2N pour permettre d'utiliser des signaux logiques d'alimentation. Les paramètres n et PI sont choisis de manière à couvrir une plage totale NPI de déplacement correspondant à la longueur totale L à couvrir dans le cas d'un déplacement linéaire ou à l'angle total G à couvrir dans le cas d'un déplacement circulaire, étant entendu que dans ce dernier cas la valeur maximale angulaire correspond à 2 ir.Un générateur de tensions polyphasées 6 alimenté à partir d'un oscillateur 5 produit les n tensions polyphasées décalées d'un incrément de phase D = 2 1r /n ou 2 ir /2N d'une électrode à la suivante. Ces n tensions sont ainsi appliquées respectivement aux électrodes SI à Sn pour créer un champ toumrnant autour de l'axe de rotation Z perpendiculaire au plan 1 et passant par le centre de cette configuration statorique. Le champ tourne avec une période de rotation imposée par la fréquence 2T /w du signal de l'oscillateur 5 de pulsation w, chaque période correspon- dant à une excursion par le champ de la totalité de la plage de déplacement prévue. Le stator I comporte, en outre, une électrode collectrice ou de lecture SC qui est utilisée pour recueillir la tension induite correspondant à la rotation 0 de l'arbre Z, à mesurer par le système, en structure circulaire. L'électrode SC, ou collecteur, est constituée sous forme d'une couronne conductrice. Le deuxième élément 2 du capteur est également en matériau diélectrique, plan et forme un rotor situé à proximité du stator 1. Sur la figure les éléments 1 et 2 ont été espacés pour la compréhension. Le rotor 2 est entraîné par l'axe mécanique Z. Il comporte également une série RP d'électrodes rectangulaires RI à Rm, en nombre m inférieur au nombre n des électrodes du stator. Les électrodes du rotor peuvent être de mêmes dimensions que celles SI à Sn du stator,en particulier, de façon présenter la même largeur LI selon la direction DR de déplacement. Leur nombre m plus réduit est déterminé de manière à ce que le rotor avec ses électrodes couvre une portion de la plage de déplacement, en l'occurrence un secteur donné dans la conception circulaire représentée. Les électrodes RI à Rm sont disposées entre elles à un pas P2 choisi supérieur au pas PI. Le pas P2 des électrodes, leur nombre m et leurs dimensions sont déterminés de manière à obtenir une variation de couplage linéaire lorsque le rotor est décalé angulairement selon la direction circulaire DR de déplacement par rotation de l'arbre 3. Dans l'exemple décrit par la suite on obtient un couplage qui correspond au moins à la surface d'une dent Sj du peigne du stator pour n'importe quelle position de décalage du rotor. L'extré- mité des électrodes RI à Rm est raccordée à une couronne conduc- trice RC qui a la même configuration que l'Pélectrode collectrice SC du stator et qui vient se placer en vis-à-vis de celle-ci. Ainsi, le champ tournant produit entre les électrodes du rotor et du stator un effet capacitif qui entraTne, par couplage entre les couronnes RC et SC la formation d'une tension induite, cette tension étant ensuite prélevée à l'électrode SC et appliquée aux circuits d'amplification et de traite- ment 7 disposés en aval. Les circuits associés à la structure mécanique 1-2-3 comportent l'oscillateur 5 qui alimente le circuit générateur de tensions polypha- sées 6 lequel délivre les n tensions polyphasées d'alimentation des électrodes SI à Sn du stator 1, et également une de ces tensions sous forme numérique pour constituer un signal de référence VR correspon- dant à une position de référence du rotor par rapport au stator. Le signal induit dans l'électrode SC est appliqué aux circuits d'amplifica- tion et de traitement 7 qui comportent, en premier lieu, un amplifica- teur opérationnel 11 à contre-réaction pour développer une tension proportionnelle au couplage capacitif provoqué par le rotor. La phase de cette tension par rapport à la référence VR des signaux polyphasés est une fonction linéaire de l'angle O à mesurer, les circuits en aval produisent une fonction phasemètre qui mesure le déphasage. Suivant l'invention le choix des paramètres structurels compor- tant: les dimensions des électrodes en particulier la largeur LI; leur pas PI et P2; et leur nombre n pour le stator et m pour le rotor qui sont choisis de manière à ce que la relation entre l'angle à mesurer 4 et la phase de la tension induite est rigoureusement linéaire. Le système présente les avantages suivants: il n'y a pas de lien électrique entre la partie mobile 2 et le stator 1, la partie mobile 2 est totalement passive, les signaux électriques sont liés exclusivement au stator 1, la grandeur physique traduite par un déphasage est facile à fournir sous forme numérique. Le type de capteur représenté se prête, par ailleurs, très bien à l'utilisation des techniques de micro- lithographies permettant une réalisation très compacte à un prix de revient modéré et avec une précision potentielle excellente, par exemple 16 bits sous un faible volume. L'utilisation de technique de microassemblage et l'utilisation de circuits VLSI spécifiques rend possible la conception de tels capteurs à sortie numérique totalement intégrée. Dans le concept de la structure circulaire figure I o la plage couverte est de 211 le peigne du stator est constitué de n = 2 zones métallisées ayant une largeur angulaire égale à LI =A/2N pour ce capteur rotatif et qui serait L/2N+I pour un capteur linéaire (L représentant l'étendue totale de la plage de mesure), l'intervalle séparant chaque zone métallisée étant égal à la largeur de la zone, c'est-à-dire que la largeur LI est choisie égale à la moitié du pas P1. Cet exemple de réalisation des électrodes du stator est reporté en haut de la figure 3, en considérant un développement linéaire. Au- dessous on a représenté, pour différentes positions A à E le rotor 2 qui peut consister en trois électrodes RI,R2 et R3 de même largeur L1 que les électrodes du stator mais avec un pas différent P2 = 1,5 fois Pl c'est-à- dire 37r/2N pour un capteur rotatif, et égal à 3L/2N+I pour un capteur linéaire. Une position relative des zones métallisées des éléments 1 et 2 est choisie comme position de référence il s'agit de la position A représentée sur la figure 3. La figure 2 représente en coupe suivant les directions X et Z les éléments 1 et 2 pour montrer la partie diélectrique et les dépôts métalliques en vis-à-vis avec un interface très faible entre ces parties, de l'ordre par exemple de 10 à 20 microns. L'arbre mécanique 3 peut être fixé d'un côté ou de l'autre du rotor comme représenté sur la figure 1 ou sur la figure 2 Selon le cas, le diélectrique support 1 est percé ou non dans sa partie centrale. L'alimentation du peigne statorique est faite par les tensions polyphasées en nombre n et qui sont constituées par des signaux rectangulaires pouvant être élaborés par des circuits logiques. Leur amplitude est identique et leur durée 3T/2N, T étant la période des signaux polyphasés. Le déphasage entre deux voies consécutives est égal à T/2N. Ces signaux ont été repré- sentés par Vj à Vj+4 pour les électrodes Sj à Sj+4, à la partie supérieure de la figure 4. Le fonctionnement est indiqué maintenant à l'aide des figures 3 et 4 dans lesquelles on a considéré successivement cinq position- nements successifs décalés du rotor. Dans la position A de référence, l'électrode R2 centrale du rotor est en vis-à-vis d'une électrode, en l'occurrence Sj+2, du stator et les deux autres électrodes RI,R3 se situent chacune dans un intervalle entre deux électrodes du stator. Pour cette position il y a donc couplage total entre l'électrode Sj+2 et l'électrode R2 lorsque la tension d'alimentation destinée à cette électrode est appliquée. La figure 4 montre l'intégration correspondante qui a lieu pour cette position A. Les positions B,C,D et E sont déduites de la première position par un décalage considéré à chaque fois égal à un quart du pas Pl de manière à montrer le fonctionnement pour ces quatre positions successives. Les zones hachurées représentent les zones couplées capacitivement au stator lorsque celui-ci reçoit sur l'électrode corres- pondante une tension d'alimentation. La position E présente un décalage d'amplitude égal au pas Pi par rapport à la position 20 et on se retrouve donc dans les conditions initiales avec un couplage total par le biais de l'électrode R2 centrale avec l'Pélectrode Sj+3. Les circuits 7utilisés pour traiter la tension induite SI compor- tent des circuits d'intégration représentés en 12 et en 13 pour intégrer successivement pendant un premier intervalle de temps et pendant un second intervalle de temps délimité par des signaux de porte SPi et SP2 dont le front arrière du premier correspond au front avant du second. Ces signaux sont produits par un générateur 14 qui est alimenté par une boucle d'asservissement de manière à ce que la transition des fronts précités des signaux SPI et SP2 se produise exactement à l'instant o l'intégration est égale à la moitié de sa valeur. Compte tenu de la forme rectangulaire des signaux polyphasés d'alimentation, la tension induite SI a la même forme et on intègre des signaux rectangulaires; en conséquence, la surface intégrée est rectangulaire comme représentée sur la figure 4 en bas ou correspond à plusieurs aires rectangulaires et le barycentre de cette surface est situé à une abscisse qui correspond à l'instant o l'intégration atteint à la moitié de sa valeur. On peut donc relier cet instant à la position du barycentre de la surface totale intégrée. Pour obtenir ce résultat les sorties des intégrations 12 et 13 sont appliquées à un circuit sous- tracteur 14 qui délivre, le cas échéant, la différence Ve non nulle correspondante, cette mesure s'effectuant périodiquement, à la période T de fonctionnement, par application au circuit 14 d'un signal d'horloge correspondant H. Le signal d'erreur Ve est appliqué à un sommateur 19 avec le signal de référence VR, la sortie du sommateur constituant le signal de commande du générateur 14 ainsi que le signal représentatif du déphasage. Dès apparition d'une tension d'erreur Ve en sortie du circuit 15, le rattrapage s'effectue par déplacement de la transition des fronts en sorte que cette valeur Ve s'annule. Il en résulte un signal VS=VR+Ve indicatif du déphasage. Pour produire ce signal VS sous forme numérique les circuits suivants peuvent être prévus: un oscillateur controlé par tension 16 qui transforme la valeur Ve en une variation de fréquence laquelle est traduite par un compteur- décompteur 17 en un mot binaire. Le circuit 19 est un additionneur logique qui reçoit par ailleurs le signal de référence VR sous forme binaire et la sortie binaire de ce circuit est appliqué au générateur 14 et par ailleurs, vers la sortie pour exploitation. Le fonctionnement des circuits est apparent à l'aide des formes d'onde de la figure 4 qui représentent à la partie supérieure les tensions polyphasées successives relatives à la succession d'électrodes Sj à Sj+4. Les signaux d'alimentation ont une durée 3T/2N, T étant la période du système c'est-à-dire la durée celle au cours de laquelle le champ tournant a parcouru la plage de déplacement, c'est-à-dire le cercle. Le décalage entre ces signaux polyphasés est égal au temps T/2 nécessaire au champ pour parcourir l'étendue correspondant au pas PI qui sépare deux électrodes successives. A la partie inférieure sont représentés en position A,B,C,D et E successivement les signaux intégrés, l'instant médian to+ T de l'intégration étant identifié de part et d'autre par des hachures distinctes. Au-dessous de ces signaux intégrés se trouve dessinées les signaux de porte SP1 et SP2 après stabilisation de la boucle. On voit que l'instant to+ T correspondant à la moitié de l'intégration se déplace linéairement dans le temps en même temps que le décalage angulaire (ou linéaire) à mesurer dû au déplacement du rotor (ou d'un curseur). Le retard T x présenté par rapport à l'instant to correspondant à la position A initiale de référence est une fonction linéaire du décalage linéaire 0 x (ou Lx) du conducteur mobile 2. Les valeurs ont été indiquées pour les quatre positions successives, la variation du retard d'une position à N l'autre correspondant à (T/4)/2N On considère maintenant, à l'aide notamment des figures 5 et 6, une version améliorée de celle décrite précédemment. Suivant cette nouvelle version la structure de piste SP est renouvelée sur le stator 10 de manière à avoir une première piste SPG destinée à une mesure grosse et une deuxième piste SPV destinée à une mesure fine. Ces deux pistes concentriques et identiques du point de vue nombre d'électrodes et alimentation, sont séparées par un anneau de garde SAG constitué par une piste circulaire interposée entre deux autres pistes circulaires formant l'une une électrode collectrice SCG associée à la piste SPG et l'autre, une électrode collectrice SCV associée à la piste SPV. Le stator 10 correspondant est représenté sur la figure 5. Le rotor 20 placé en vis-à-vis de ce stator est indiqué sur la figure 6; comporte une première piste RPG (identique à la piste RP de la figure 1) pour la mesure grosse qui est connectée à l'électrode de couplage RCG. Cette piste comporte, par exemple, un groupement de trois électrodes qui coopèrent avec la piste SPG du stator et permet la production d'un courant induit sur le collecteur SCG qui est en vis-à- vis de l'électrode RCG. Le rotor 20 comporte une deuxième piste RPV pour la mesure fine et constituant un vernier par duplication du groupement de trois électrodes à des intervalles angulaires (ou linéai- res) déterminés. Dans le cas représenté la métallisation correspon- dante est reproduite seize fois, à des secteurs angulaires décalés de 21/16, c'est-à-dire 2112N-3. L'anneau de garde extérieur RAG du rotor permet de manière connue d'assurer l'uniformité du champ entre les armature des pistes RPV et SPV. De même, l'anneau de garde SAG sur le stator, disposé entre les collecteurs SCG et SCV, préserve l'unifor- mité du champ entre les pistes SPG et SPV. La figure 6a représente l'un des ces groupements GVj de la piste RPV du rotor 20 pour mettre en évidence certaines particularités de l'anneau de garde RAG qui se prolonge latéralement de part et d'autre de chacune des électrodes RI,R2 et R3 de chaque groupement par des métallisations AGC qui encadrent pratiquement ces électrodes de manière également à préserver les couplages magnétiques uniformes Il et éviter des couplages latéraux entre électrodes. La figure 7, représente de manière équivalente aux figures 3 et 4 et de manière successive la disposition structurelle des pistes dans cette nouvelle version et les signaux particuliers de fonctionnement. On distingue de haut en bas, en premier lieu, la représentation des pistes SPV ou SPG du stator 10 constituées chacune de n = 2N électrodes. Au-dessous se trouve la piste vernier RPV du rotor avec les groupements séquentiels de trois électrodes R1,R2,R3 et au-dessous la piste RPG grosse du rotor également avec trois électrodes R1,R2,R3 et un seul groupement. Sont indiqués ensuite les quatres signaux V1,V2,V3 et V4 qui alimentent les électrodes indiquées S1,S2,S3 et S4 du stator, en considérant le groupement de RPV dont l'électrode centrale R2 est co7ncidente avec l'Pélectrode 2 du stator. Les signaux VI à V4 sont reproduits à une cadence égale à la période T définie précédemment. On distingue ensuite le signal SIV induit sur le collec- teur vernier SCV, les signaux de porte SP1 et SP2 qui commandent la démodulation, le signal induit SIG sur le collecteur gros SCG, et un signal particulier TG comportant autant d'impulsions qu'il y a de groupements sur la piste vernier et qui permet de localiser la piste grosse RPG laquelle se trouve en vis-à-vis d'un groupement de la piste vernier RPV. Le fonctionnement correspondant du système à l'aide de ces signaux va être décrit à l'aide des circuits représentés sur la figure 5. On distingue comme précédemment pour chaque voie, grosse et fine, un amplificateur opérationnel, respectivement IIG et 11V, à liaison capacitive pour transmettre les signaux induits SIG et SIV. La voie grosse est appliquée à un circuit de décision à seuil 31 qui reçoit le signal TG qui le débloque seize fois par tour; l'un des créneaux TG correspond dans la position représentée au couplage entre la piste RPG avec les électrodes S9,SIO,Sll lorsque celles-ci sont excitées. L'exemple proposé à la figure 5 porte sur un capteur rotatif mais les mêmes circuits conviennent pour un capteur linéaire. La solution proposée permet d'obtenir une résolution du codage de 16 bits. Le peigne du stator comporte 128 dents ce qui permet d'avoir un vernier d'ordre 16. Une horloge de base à 6,6 MHz dans l'oscillateur 5 est associée à un diviseur 16 bits obtenu par le compteur 29 21, le compteur 2 23 et le décodeur 25 pour produire les 128 signaux polyphasés alimentant en parallèle les peignes SPV et SPG du stator 10. La fréquence de base 1/T ainsi obtenue est de 100Hz. Les signaux induits sur les collecteurs gros et vernier présentent respectivement les fréquences 100 et 1600Hz. Des boucles de poursuite du second ordre constituées par les circuits amplificateur opérationnel 11V, compteur-décompteur 9 bits 29, compteur-décompteur 7 bits 27, additionneur 9 bits 22, décodeur 24, logique de transfert 26, amplifi- cateur opérationnel IIG et décision par comparaison à seuil 31, permettent d'asservir l'ensemble compteur-décompteur 16 bits repré- senté par les circuits 27 et 29 sur la valeur du déphasage à mesurer qui représente la valeur numérique de la grandeur physique à coder. L'asservissement s'effectue à partir du signal vernier SIV avec une boucle primaire constituée par les circuits amplificateur opérationnel ilV, démodulateur à oscillateur contrôlé par tension 34, compteur- décompteur 9 bits 29, additionneur 9 bits 22 et décodeur 24, faisant intervenir les 9 bits de plus petit poids de l'ensemble compteur- décompteur 27 et 29. L'exploitation du signal gros SIV après comparai- son à un seuil en 31 permet de controler la cohérence des 7 bits de plus fort poids. La vitesse de poursuite maximum théorique dans cette solution est de 100 tours/s. La grandeur codée sur 16 bits est disponible en sortie du compteur-décompteur, la communication vers l'extérieur s'effectue sous forme série par l'intermédiaire d'un addi- tionneur 33 suivi d'un circuit interface parallèle-série 35; elle peut s'effectuer en parallèle par l'intermédiaire d'une mémoire tampon 37 en aval de l'additionneur 33. Une mémoire morte 32 de correction d'erreur peut être prévue. Le circuit 70 comportant le circuit de décision à seuil 31 et le démodulateur à oscillateur controlé par tension 34 représentent un ensemble analogique qui peut être réalisé en circuit intégré. La partie restante 71 peut être entièrement numérique et réalisée en prédiffusé CMOS. La figure 8 représente une réalisation possible du capteur rotatif qui vient d'être décrit ou celui de la première version figure 1. Le stator et le rotor peuvent être obtenus par photogravure de verre ou de silicium métallisé, Pépaisseur de la couche métallique peut être de 1 à 2 microns et la précision globale de l'ordre de 2 microns. Une formule possible représentée est d'utiliser une structure d'intercon- nexion en céramique multicouche cocuite 1 pour constituer le stator , cette structure permet une grande souplesse au niveau des liaisons électriques tesl les éléments 70,71 et 72 ce dernier représentant les circuits qui ne peuvent pas être intégrés c'est-à-dire les amplis opérationnels llV et 1IG. La structure cocuite permet aussi une bonne compatibilité des coefficients de dilatation thermique et l'aména- gement d'une cavité hermétique pour le câblage des puces des circuits de traitement. La cavité hermétique est représentée par le couver- cle 73 et les montants 74. L'ensemble est placé sous un bottier 75 qui laisse passer vers l'extérieur les sorties de connexions tension conti- nue, masse et signal VS numérique et, par ailleurs, la sortie de l'arbre 3 par l'intermédiaire d'un roulement à billes 77. Les figures 9,10 et 11 représentent une structure analogue sur un capteur linéaire. La figure 9 montre le capteur; les éléments 10L et 20L représentent le stator linéaire et le rotor linéaire qui est entraîné par la pièce 80. L'élément 81 est une structure d!inter- connexion pour alimenter les électrodes du stator 10L. Les circuits sont à l'intérieur du bottier hermétique 74L fermés par le couver- cle 73L. Un exemple de réalisation des pistes du stator et du rotor est montré sur les figures 10 et 11. On a considéré un réseau 64 phases dédoublé pour assurer la continuité de la mesure sur la totalité de la course utile. La figure 11 montre la structure des bandes de garde qui comporte la bande centrale RAGI et les bandes latérales RAG2 et RAG3 prolongées au niveau de chacune des électrodes. La bande RAG1 est positionnée en vis-à-vis de la bande SAG du stator. L'avantage des ces structures à vernier est d'apporter une amélioration sensible des performances dynamiques, la tension d'erreur étant plus fréquemment disponible, par exemple 16 fois par tour dans l'exemple décrit pour le capteur rotatif selon les figures 5 et 6. Une amélioration sensible de la précision est obtenue car le vernier fait participer la totalité du peigne stator à l'élaboration de la tension d'erreur ce qui se traduit par un moyennage d'un erreurs de photo- gravure et une élimination au premier ordre des erreurs induites par une mauvaise position de la partie mobile. Les figures 12 et suivantes se rapportent maintenant à une structure préférentielle de réalisation du capteur selon une structure dite périodique et qui est dérivée de la structure vernier précédente. La formule à vernier conduit, quand on recherche une grande précision à avoir un nombre élevé de dents aux peignes vernier SPV et gros SPG du stator 20 ce qui entraîne la production d'un nombre équivalent de tensions polyphasées et par conséquent un coût très important des circuits de traitement 70. Ainsi, dans l'exemple précité on avait envisagé 128 dents et autant de tensions d'alimentations polyphasées. Dans la structure périodique envisagée, cet inconvénient est éliminé et, par ailleurs, d'autres avantages significatifs sont révélés au niveau de la précision et des performances dynamiques. L'étendue de mesure du capteur est divisée en 2N2 secteurs égaux. Chaque secteur est pourvu d'un peigne métallisé analogue à celui décrit dans la solution précédente; ce peigne comporte 2NI dents ou électrodes pour chaque secteur. Les points homologues de chaque secteur sont ainsi alimentés en parallèle. Dans ces conditions le nombre total de tensions polyphasées nécessaires est égal à 2N1 alors que le nombre global de dents des peignes vernier SPV et gros SPG du stator 200 est de 2NI+N2. Le choix NI = N2 constitue un bon compromis. Dans l'exemple représenté, on a choisi NI=N2=4, ce qui correspond à la production de seulement 16 tensions polyphasées différentes pour une étendue totale de mesure comportant 256 élec- trodes par peigne du stator. Dans cette structure, les pas des curseurs sont, en ce qui concerne le vernier RPV représenté sur le figure 13, 21r/2 NI+N22 pour un capteur rotatif et L/2NI+N2-2 pour un capteur linéaire, et pour la piste RPG, 27r/2N2 pour un capteur rotatif et L/2N2 pour un capteur linéaire. Pour simplifier les représentations figures 12 et 13 les anneaux de garde n'ont pas été indiqués. On constate que la solution entraîne une ambiguité dans la mesure qui se situe au niveau de l'identification des secteurs. Un dispositif de levée d'ambiguTté est utilisé. C'est le rôle de la piste de levée d'ambiguïté SPA du stator à laquelle est associé le curseur levée d'ambiguîté RLA au rotor. Le stator 100 comporte trois zones, une zone vernier avec la piste SPV, une zone gros avec la piste SPG, chacune étant constituée d'électrodes équidistantes en nombre 2NI+N2 et chacune de ces pistes est associée à un collecteur, respectivement SCV et SCG; et une zone levée d'ambiguîté avec une piste SPA formée de 2N2 secteurs succes- sifs et associée à un collecteur SCA. Le rotor 200 comporte similairement trois zones, une zone curseur vernier RPV constitué de 2N+N2-2 électrodes métallisées réparties en 16 secteurs successifs comportant successivement un secteur avec quatre couples de deux électrodes rapprochées puis un secteur avec quatre électrodes, et ainsi de suite. Une deuxième zone formant un curseur gros est constituée par la piste RPG pour laquelle on a, pour chaque secteur, un couple de deux électrodes suivi d'une seule électrode pour le secteur suivant. Enfin, une zone curseur levée d'ambiguTté constitué par une électrode RLA connectée à la piste RCA de couplage au collecteur SCA du stator. Les électrodes des pistes RPV et RPG sont couplées aux électrodes collectrices du stator par l'intermédiaire des pistes de couplage RCV et RCG. Le stator 200 est alimenté par 16 tensions polyphasées de période T. Chacune de ces tensions, S1 à 516, est un signal logique de durée TI=T/2NI séparé temporellement des tensions voisines de même durée T1. Les signaux S1 à S16 sont distribuées au peigne vernier et gros ainsi que sur les 16 éléments de la piste levée d'ambiguïté, ils sont détaillés sur la figure 14 en vis-à-vis des secteurs du stator. La figure 14 montre, de manière similaire au cas précédent les dispositions en ligne des électrodes du stator et du rotor ainsi, que dans le cas présent, les pistes levée d'ambiguïté. Les formes d'onde S1 à S16 relatives aux 16 tensions polyphasées peuvent être produites très facilement par un simple circuit logique. Les tensions induites au collecteur sont représentées sur la figure 15 o on a considéré comme précédemment cinq positions successives A,B,C,D,E pour le décalage angulaire du rotor avec les tensions intégrées correspondantes et le décalage temporel progressif du barycentre de l'intégration. Ce décalage temporel varie de manière linéaire avec le déplacement angulaire ou linéaire de la partie mobile 200. Le circuit de traitement gère la transition des signaux de commande SPI et SP2 du démodulateur en sorte que les parties intégrées s'égalisent de chaque côté de la transition de ces signaux. Dans ces conditions, la position temporelle de la transition correspond au barycentre de la surface intégrée et cette position est rigoureu- sement proportionnelle au déplacement de la partie mobile. La période de la tension vernier est égale à T/2N-2 ce qui correspond pour une fréquence de base 1/T=800Hz et NI=4, à une fréquence de 3200Hz valeur excellente pour les performances dynamiques de la mesure. Ces valeurs peuvent être obtenues avec des circuits de traitement du type CMOS standard ce qui constitue un avantage très important de la structure périodique considérée. Sur le collecteur gros, la tension induite a une période égale à T; cette tension est exploitée comme un signal logique. Sur le collecteur SCA de levée d'ambiguTté la tension induite a également une période T elle est exploitée de façon similaire à la tension gros. Le circuit de traitement représenté sur la figure 12 concerne le capteur rotatif 100. Les mêmes circuits conviennent pour un capteur linéaire. Ce schéma est destiné à l'obtention d'une précision de codage de 16 bits avec les paramètres ayant les valeurs suivantes N1=N2=4 et l/T=800Hz. Avec ces paramètres, les peignes stator comportent 256 dents et la fréquence de la tension vemrnier est de 3200Hz. Les 16 signaux sont obtenus à partir d'un oscillateur 5 à 3,27MHz associé à un diviseur 12 bits constitué par les compteurs 91, 92 et le décodeur 93. Le principe du traitement est analogue à celui du capteur non périodique de la figure 5. Une boucle de poursuite du second ordre permet d'asservir un compteur-décompteur 16 bits sur la valeur du déphasage mesuré qui représente la valeur numérique de la grandeur physique à coder. L'asservissement s'effectue à partir de la tension vernier avec une boucle primaire faisant intervenir les huit bits de faible poids de compteur-décompteur. Les 4 bits suivants sont obtenus par surveillance de la tension gros. Enfin, les 4 bits de fort poids sont déterminés à partir des informations provenance du collecteur de levée d'ambiguïté. La figure 16 illustre une solution permettant d'assurer simple- ment cette fonction avec une excellente protection entre les aléas de détection. Les huit bits de fort poids sont initialisés au début de la mise sous tension du codeur à partir des informations gros et levée d'ambiguité. L'évolution de ces bits est ensuite assurée par l'asservis- sement vernier. La cohérence de ces bits avec les informations gros et levée d'ambiguïté est cependant surveillée en permanence en vue d'un réajustage éventuel, suite à un parasitage par exemple. L'opération de levée d'ambigulté peut être menée à bien en s'appuyant sur les points suivants: - la valeur des bits B4 et B5 déterminés par l'exploitation du signal gros SIG. Ces bits sont les deux bits de plus fort poids du compteur- décompteur 98 (Fig.12), - la valeur détectée par le signal de levée d'ambigulté SLA dans le circuit de contrôle de levée d'ambiguîté 94. Suivant la phase de ce signal par rapport aux tensions déphasées d'alimentation S1 à 516, il est attribué aux 16 signaux logiques possibles appelés A à P, les valeurs consignées dans le tableau ci-après: SLA en VALEURS BINAIRES DE phase avec A BCDEFGHI 3 KLMN O P Si 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 S2 0 I 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 S3 0 0 I 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 S4 0 0 0 I 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 S6 0 0 0 0 0 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 S7 0 0 0 0 0 0 I 0 0 0 0 0 0 0 0 0 58 0 0 0 0 0 0 0 I 0 0 0 0 0 0 0 0 59 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0 0 0 0 0 S10 0 0 0 0 0 0 0 0 0 I 0 0 0 0 0 0 SIl 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0 0 0 S12 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0 0 S13 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0 S14 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 I 0 0 515 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 I 0 S16 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1I L'élaboration des données logiques A à Pest réalisé avec des circuits à coincidence, par exemple, simplement avec des bascules. Les relations entre les bits B4, B5 les signaux logiques A à P et la valeur des bits de fort poids BO,BI,B2 et B3, du code de sortie du codeur sont consignées dans le tableau suivant: Valeur Equation Logique Programmée Bits de fort poids SPG Binaire X = B4.B5, Y = B.B5 Secteur I pour Z = B4 0 B5 BOB1 B2 B3 concerné N A A.X + P.Y + (A+P)Z 0 0 0 0 1 B B.X + A.Y + (B+A)Z 0 0 0 I 2 C C.X + B.Y + (C+B)Z 0 0 I 0 3 D D.X+C.Y + (D+C)Z 0 0 1 1 4 E E.X + D.Y + (E+D)Z 0 I 0 0 5 F F.X + E.Y + (F+E)Z 0 1 0 I 6 G G.X + F.Y + (G+F)Z 0 1 1 0 7 H H.X + G.Y + (H+G)Z 0 I 1 I 8 I I.X + H.Y + (I+H)Z I 0 0 0 9 3 J.X + I.Y + (3+I)Z 1 0 0 1 10 K K.X + 3.Y + (K+3)Z I 0 1 0 il L L.X + K.Y + (L+K)Z 1 0 1 i 12 M M.X + L.Y + (M+L)Z 1 I 0 0 13 N N.X + M.Y + (N+M)Z I I 0 I 14 O O.X + N.Y + (O+N)Z 1 I I 0 15 P P.X + O.Y + (P+O)Z 1 I 1 I 16 Ces valeurs peuvent être fournies aisément en utilisant un réseau logique programmable dit PLA qui est l'abréviation de "Programmable Logic Array" en anglo-saxon, ce réseau recevant les données A à P, B4 et B5 et ne délivrant que les 16 valeurs précitées de l'ensemble de bits BO,BI,B2 et B3. A ces valeurs correspondent respectivement les secteurs 1 à 16 de la piste SPG (Fig.16). La valeur VS codée est disponible comme précédemment sous forme parallèle ou série. Le circuit VLSI de traitement numérique 710 est sensiblement plus simple que dans la formule non périodique, le circuit de traitement analogique 700 est par contre légèrement plus complexe à cause de la voie complémentaire 31A de levée d'ambigulté. Cet accroissement de complexité est cependant tempéré par l'exi- gence de précision moins élevée au niveau du démodulateur 8 bits 34 pour la structure périodique contre 9 bits pour la structure non périodique. Les avantages de la structure périodique sont du point de vue précision une amélioration par sensibilité moindre vis-à-vis des erreurs de positionnement du rotor par rapport au stator (erreur de centrage et de parallèlisme); à performance dynamique égale une vitesse d'analyse temporelle nécessaire beaucoup plus faible; des exigences de performances plus faibles au niveau du démodulateur. La précision potentielle du codeur périodique peut être sensiblement accrue tout en conservant un traitement réaliste et en maintenant une précision du démodulateur équivalente à 8 bits. Enfin les performances dynamiques sont sensiblement améliorées. La figure 17 représente un exemple de réalisation du stator en utilisant une structure d'interconnexion 95 en céramique multicouche cocuite. La céramique est initialement fabriquée avec l'ensemble des interconnexions entre la surface externe qui reçoit les métallisations et qui est située à la partie supérieure et la surface externe qui reçoit l'électronique de traitement représentée à la partie inférieure, cette électronique étant également sous bottier hermétique. Après cuisson, la céramique 95 est rectifiée ce qui lui confère les qualités géométri- ques compatibles avec la précision demandée. La structure ainsi obtenue est ensuite métallisée puis gravée. On obtient ainsi des interconnexions collectives entre la gravure stator et le substrat d'o un coût de réalisation moins élevé et un gain en fiabilité. La gravure est référencée par rapport à une structure géométriquement très précise d'o un gain en précision. Cette méthode est également applicable à la réalisation de la partie mobile non figurée sur ce schéma partiel. REVENDICATIONS 1. Capteur de position angulaire ou linéaire, de haute précision, à couplage capacitif comportant: - dans un premier plan,(l), une première série de n électrodes (SI à Sn) réparties régulière- ment à un pas PI déterminé selon une direction donnée (DR) pour couvrir une plage de déplacement d'étendue n PI, lesdites électrodes étant alimentées par des tensions polyphasées pour créer un champ électrique mobile selon ladite direction et parcourant périodiquement ladite plage de déplacement, et une électrode collectrice de lecture (SC), - dans un deuxième plan (2), parallèle au premier plan et disposé à proximité de celui-ci, un dispositif conducteur électrique déplaçable selon ladite direction et couvrant une partie de ladite plage pour produire, par couplage capacitif avec lesdites électrodes et avec l'élec- trode collectrice une tension induite dans cette dernière dont la phase est une fonction linéaire de la position dudit dispositif conducteur dans la plage de déplacement, et des circuits de traitement (7) de la tension induite pour mesurer la phase et corrélativement la position du conducteur mobile, le capteur étant caractérisé en ce que le dispositif conducteur électrique est constitué au moyen, d'une part, d'une deuxième série d'électrodes (RP) en nombre m inférieur à n et qui sont disposées régulièrement à un pas P2 supérieur à P1, et d'autre part d'une électrode (RC) de couplage capacitif à l'électrode collectrice (SC), les électrodes de la deuxième série étant connectées à cette électrode de couplage, et en ce que les circuits de traitement (7) procèdent par intégration périodique de la tension induite à la période de déplace- ment du champ, et par détermination par rapport à un instant de référence (to) du décalage présenté par l'instant (to+t qui satisfait à la valeur moitié de l'intégration, ledit instant de référence correspon- dant à une position de référence du dispositif conducteur dans ladite plage. 2. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que les électrodes de la deuxième série ont les mêmes dimensions (L1) que celles de la première série, les paramètres m et P2 étant en outre choisis de manière à produire un couplage capacitif qui varie linéaire- ment avec le décalage angulaire. 3. Capteur selon la revendication 2, caractérisé en ce que lesdits paramètres sont choisis de manière à ce que la deuxième série d'électrodes couvre au moins la surface d'une électrode (Sj) de la première série, quelle que soit la position du dispositif conducteur dans ladite plage. 4. Capteur selon la revendication 2 ou 3, caractérisé en ce que lesdites électrodes (SP,RP) sont rectangulaires, de même largeur (L1) selon la direction (DR) de déplacement, le nombre m est choisi égal à 3 et le pas P2 égal à 1,5 PI. 5. Capteur selon l'une quelconque des revendications I à 4, caractérisé en ce que les circuits de traitement (7) comportent des moyens d'intégration (12,13) pour intégrer le signal induit dans ladite électrode collectrice respectivement au cours d'un premier signal de porte (SP1) puis au cours d'un deuxième signal de porte (SP2), lesdits circuits intégrés étant insérés dans une boucle d'asservissement d'un circuit générateur (14) desdits signaux de porte, en sorte que la transition des signaux de porte viennent se caler à Pinstant correspon- dant à la valeur moitié de la valeur totale d'intégration, ladite transition correspondant au front arrière du premier signal de porte et au front avant du deuxième signal de porte. 6. Capteur selon la revendication 5, caractérisé en ce que les moyens d'intégration sont réalisés avec un circuit analogique démodu- lateur (34) utilisant un oscillateur contrôlé par tension, la tension d'erreur étant délivrée sous forme d'une variation de fréquence qui est appliquée à un ensemble de circuits logiques (71,710) avec des circuits compteur-décompteur (27-29, 97-98-99) pour être fournie en numé- rique (VS NUM.). 7. Capteur selon l'une quelconque des revendications I à 6, caractérisé en ce que le premier plan (1) comporte une troisième série (SPV) de n électrodes identiques à la première série d'électrodes (SPG) et disposée parallèlement à celles-ci et à la direction (DR) de déplacement, ainsi qu'une deuxième électrode collectrice (SCV) de lecture associée à cette troisième série d'électrodes, ledit deuxième plan comportant une quatrième série d'électrodes (RPV) reproduisant ladite deuxième série d'électrodes (RPG) séquentiellement à un pas déterminé (2 r /2 N-3 ou L/2 N-3, avec n = 2N) de manière à obtenir un nombre N déterminé de groupements le long de ladite plage de déplacement, ladite quatrième série d'électrodes (RPV) étant couplée par ledit champ avec ladite troisième série d'électrodes (SPV) pour constituer un vernier de lecture, la deuxième série d'électrodes (RPG) et la première série (SPG) permettant d'établir une mesure grosse. 8. Capteur selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il est formé selon une structure périodique, ladite première (SPG) et troisième (SPV) séries d'électrodes portées par le premier plan étant formé de 2N2 groupement successif comportant 2N électrodes par groupement de manière à n'utiliser que 2NI tensions polyphasées pour alimenter lesdits groupements en parallèle, le nombre global d'élec- trodes de ladite première ou troisième série étant égal à 2NI+N2, lesdites deuxième (RPG) et quatrième (RPV) séries d'électrodes dans le deuxième plan étant également réparties selon 2N2 groupements à un pas égal à 2 /2N+N2-2 ou L/2N1+N2-2 pour la piste vernier corres- pondant à ladite quatrième série (RPV) et selon que le capteur est rotatif ou linéaire, et les électrodes de la deuxième série (RPG) correspondant à la piste grosse étant à un pas 2 X /2N2 pour un capteur rotatif et L/2N2 pour un capteur linéaire, des moyens de levée d'ambiguïté étant prévus pour identifier le secteur concerné par la mesure, ces dits moyens d'ambiguïté comportant sur le premier plan une piste (SPA) de 2N2 éléments et une électrode collectrice de lecture (SCA) et sur le deuxième plan une piste de couplage (RCA) à ladite électrode de lecture et qui est connectée à une piste (LRA) formée par un curseur. 9. Capteur selon la revendication 8, caractérisé en ce que les coefficients N1 et N2 sont choisis égal à 4 de manière à produire 16 tensions polyphasées d'alimentation pour un nombre global de 256 électrodes sur les pistes du premier plan formant ladite première et troisième séries d'électrodes, ledit capteur fournissant une précision de 16 bits. 10. Capteur selon l'une quelconque des revendications précé- dentes, caractérisé en ce qu'il comporte en outre des anneaux de garde (SAG, RAG) avec des prolongations latérales de part et d'autre de chacune des électrodes desdites séries d'électrodes. 11. Capteur selon l'une quelconque des revendications précé- dentes, caractérisé en ce que lesdits premier et deuxième plans sont constitués chacun par une plaque en matériau diélectrique, lesdites électrodes étant obtenues sous forme de métallisations sur une face de chaque plaque. 12. Capteur selon la revendication 11, caractérisé en ce que ledit premier plan correspond au stator et le deuxième plan au rotor dans la réalisation sous forme d'un capteur rotatif, ledit deuxième plan correspondant à un curseur dans une réalisation linéaire. 13. Capteur selon la revendication 11 ou 12, caractérisé en ce que ledit matériau diélectrique est à base de verre ou de silicium. 14. Capteur selon la revendication Il ou 12, caractérisé en ce que ledit matériau diélectrique est formé à base d'une céramique multicouche cocuite (10,20,95), chaque plaque comportant, sur une surface extérieure les métallisations constituant lesdites électrodes, sur l'autre surface extérieure les circuits de traitement et d'alimen- tation polyphasée, ces circuits étant placés sous bottier étanche (73,74).