FR 2598862 A1 19871120 FR 8607064 A 19860516 Laser à semi-conducteur à réaction distribuée et _à_longueur d'onde continûment accordable. La présente invention a pour objet un laser à semiconducteur à réaction distribuée et à longueur d'onde continûment accordable. Les progrès obtenus récemment dans le domaine des lasers à semi-conducteurs ouvrent des perspectives intéressantes pour les futurs systèmes de transmission par fibres optiques. Ainsi, grâce à la bonne monochromaticité des lasers dits à 10 réaction distribuée ("Distributed Feedback Lasers" ou encore lasers DFB en abrégé), il est possible d'accroître considérablement la capacité des liaisons, en transmettant plusieurs longueurs d'onde sur la même fibre par multiplexage optique. On peut aussi augmenter la distance entre les répéteurs, 15 en utilisant la technique de détection cohérente. On sait qu'il s'agit là d'une technique dans laquelle on combine sur un même détecteur, la lumière transmise par la fibre optique avec celle qui provient d'un laser de même longueur d'onde appelé "oscillateur local". Cependant, un des problèmes cruciaux posés par ces applications, reste celui de la dispersion en longueur d'onde des lasers issus d'une même plaque de semi-conducteur ou de deux plaques différentes. Les dispersions observées aujourd'hui sur les lasers DFB sont de quelques dizaines d'Angstroms (20 à 30). 25 Des opérations de tri sont donc nécessaires pour faire coiïncider la longueur d'onde d'émission des sources avec celle des multiplexeurs ou démultiplexeurs optiques, ou bien pour faire V coïncider la longueur d'onde de la source avec celle de l'oscillateur local, pour les systèmes cohérents. La présente invention a pour but d'apporter une solution à ce problème en proposant un laser dont la longueur d'onde peut être accordée électroniquement sur une plage de plusieurs dizaines d'Angstroms. A titre annexe, L'invention permet d'obtenir une modulation de la fréquence optique d'émission. Pour bien comprendre de rappeler en quoi consiste un sont aujourd'hui bien connues. La figure 1 annexée l'invention, it n'est pas inutile laser DFB, mime si ces structures montre une teltle structure à contre-réaction distribuée dans une variante dite à ruban enterré. IL s'agit d'une réalisation japonaise de La NEC Corporation décrite dans un article intitulé: "Low threshold and high temperature single longitudinal mode operation of 1.55 um 10 Band DFB-DC-PBH-LD's" par M. Kitamura et at publié dans Electronics Letters, 5 juillet 1984, 20-p. 596-597. Cette structure comprend un substrat 10 en InP dopé n, une couche active 12 en InGaAsP, une couche de guidage 14 en InGaAsP, une couche de confinement 16 en InP dopé p, une couche 15 18 en InP dopé p, une couche 20 en InP dopé n, une couche 22 en InP dopé p et enfin une couche de contact 24 en InGaAsP dopé p. La structure à contre-réaction distribuée proprement dite comprend un réseau holographique 28 du premier ou deuxième ordre (0,24 ou 0,48 pm de pas) gravé dans le guide formé par la 20 couche 14 située juste au-dessus de la couche active 12, laquelle fonctionne à 1,55 Mm de longueur d'onde. Le confinement électronique des lignes de courant dans le ruban est obtenu à l'aide des couches de type p et n, en forme de croissants 26, situées de part et d'autre de la zone active 12 du laser. Une autre structure est connue par la publication de J.C. BOULEY et aI, intitulée: "1.55pm strip buried Schottky laser" dans "Proceedings of the 9th IEEE International Semiconductor Laser Conference", aoOt 7-10, 1984. Cette structure est représentée sur la figure 2. Elle comprend un substrat 30 en + InP dopé n, une couche de confinement 32 en InP dopé n, un ruban d'environ 2pm de large formé d'une couche active 34 en 6aInAsP et d'une couche de guidage 35 en GaInAsP, ce ruban étant enterré dans une couche 36 en InP dopé p; cette couche est recouverte d'une couche 38 en GaInAs en forme de mêsa d'environ 5 pm de 35 large. L'ensemble est recouvert d'une couche de titane 40 et d'or 42. La structure DFB est obtenue en gravant un réseau holographique dans la couche 35 fonctionnant à 1,3 jm, puis en effectuant une reprise d'épitaxie en prenant soin de ne redissoudre ni le réseau ni le ruban. La longueur d'onde 5 d'émission d'un laser DFB est très proche de celle dite de Bragg (À) fixée par le pas du réseau P et l'indice effectif n de La B lumière dans la couche active du laser (A =2nxP au deuxième B ordre). En fait, la théorie et l'expérience montrent que l'oscillation laser a lieu d'un côté ou de l'autre de AÀ, aux 10 longueurs d'onde À +AÀ ou A -AÀ, comme le montre la figure B B 3, l'intervalle 2 à correspondant approximativement à la longueur du filtre formé par le réseau. On peut aussi montrer par le calcul et vérifier expérimentalement que l'émission se produit à + AÀ ou À -A.A suivant la position des miroirs clivés B B 1 5 par rapport à la période du rés'eau. Cette indétermination est d'ailleurs une des causes principales de la dispersion en longueur d'onde mentionnée ci-dessus. Elle s'ajoute à celles qui résultent des fluctuations d'indice effectif provoquées par les hétérogénéités d'épaisseur des couches et de longueur de la 20 partie active du laser. La structure DFB classique a été modifiée récemment de manière à n'obtenir une oscillation laser qu'à ta longueur d'onde de Bragg. Un des exemples de ces nouvelles structures a été décrit par H. Soda et aI dans la revue Electronics Letters du 22 25 novembre 1984, vol. 20, page 1017. Cette structure est représentée sur la figure 4. Elle comprend un substrat 50 en InP de type n, une couche de guidage 52 en GaInAsP de type n, cette couche étant gravée en réseau, une couche active 54 en GaInAsP, une couche 56 en InP de type p, une couche de contact 58 en 30 GaInAsP, une couche 60 en InP enterrant la couche active, une couche 62 en InP de type n, et enfin une électrode 64 recouvrant le tout. Le ruban constitué par la couche active, la couche de guidage et la couche de confinement comprend une partie centrale il. - 66 éLargie par rapport au reste du ruban. La longueur de cette partie éLargie est L. La vitesse de propagation de l'onde lumineuse dans Le ruban dépend de l'indice effectif n, lequel se trouve modifié d'une quantité An par l'élargissement du ruban. Dans la partie élargie, on montre que L'onde directe et L'onde diffractée par le réseau se trouvent déphasées l'une par rapport à l'autre d'une quantité Ap égale à 2 /1A.An. Sur La totalité de la section de B longueur L, Le déphasage est égal à AàxL. Dans La structure de H. Soda et aL, la longueur L est choisie pour que ce déphasage soit égal à 2' H. Soda et aL ont 2' obtenu ces conditions pour un élargissement du ruban de 2 à 3 Pm et une Longueur L égale à 60 pm. D'autres structures ont été aussi proposées pour 15 obtenir le même résultat, dans LesqueLLes au lieu d'éLargir le ruban sur une distanceL c'est L'épaisseur des guides qui est modifiée sur une distance équivaLente, comme décrit par F. Koyama et aLt dans ELectronis Letters, 10 mai 1984, vol. 20, n 10, p. 391. On peut aussi créer un déphasage spatial de À (à L'ordre 2) entre les traits du réseau en un point sensiblement centré au milieu de La cavité comme décrit par K. Sekartedjo et aL dans ELectronis Letters, 19 janvier 1984, voL. 20, n 2, p. 80. Si ces Lasers représentent un progrès en ce sens qu'ils permettent d'obtenir une longueur d'onde calée sur la longueur 25 d'onde de Bragg, ils présentent encore des dispersions du fait des hétérogénéités qui subsistent inévitablement dans la structure. Par ailleurs, ces Lasers ne sont évidemment pas réglables en longueur d'onde, celle-ci étant fixée par construction. ILs conviennent donc encore assez mal aux systèmes 30 nécessitant une grande précision de longueur d'onde. La présente invention a pour objet une structure DFB dans Laquelle une commande électronique continue de la longueur d'onde d'émission est possible et ce, sur une plage pouvant atteindre plusieurs dizaines d'Angstroms (30 à 50). Les 35 inconvénients de l'art antérieur sont donc surmontés. Ce résultat est obtenu en séparant l'électrode d'injection des charges en deux électrodes, une première placée au-dessus de la zone centrale élargie ou épaissie et une seconde sur le reste du ruban. De cette manière, le courant injecté dans 5 la zone centrale élargie est indépendant de celui qui est injecté dans le reste de la structure. Il peut donc être réglé à volonté pour ajuster le déphasage à une valeur souhaitée, et donner à la longueur d'onde une valeur quelconque située entre À - A et A +A. B B De toute façon, l'invention sera mieux comprise à la lumière de la description qui suit, d'exemples de réalisation donnés à titre explicatif et nullement limitatif. Cette description se réfère à des dessins annexés sur lesquels: - la figure 1, déjà décrite, représente une structure à 15 réaction distribuée à ruban enterré, - la figure 2, déjà décrite, représente une autre structure de ce type, - la figure 3, déjà décrite, est un diagramme montrant la plage d'oscillation d'un laser à réaction distribuée, - la figure 4, déjà décrite, montre une structure de l'art antérieur comprenant un ruban à zone centrale élargie, - la figure 5 montre schématiquement une structure selon l'invention, - la figure 6 montre schématiquement, en vue de dessus, 25 une structure selon l'invention, - la figure 7 est un schéma électrique équivalent montrant l'injection de charges dans le laser de l'invention, - la figure 8 est un diagramme montrant les variations de la puissance optique émise en fonction de la densité de 30 courant injecté, pour différentes valeurs du courant injecté dans la partie centrale, - la figure 9 montre un Laser complet selon l'invention, - la figure 10 montre un premier masque permettant de 35 réaliser la partie centrale élargie, i - La figure 11 montre un second masque permettant de graver les électrodes. La structure représentée sur la figure 5 est schématique en ce sens que les différentes couches active, de 5 confinement ou de contact, n'ont pas été représentées explicitement. Seule la couche de guidage 70 est représentée avec sa partie centrale élargie 72 qui sert de section de déphasage. La structure complète sera illustrée sur La figure 9. L'originalité du Laser de la figure 5 tient dans la partition de 10 L'électrode supérieure en une partie centrale 74 reliée à une connexion 75 véhiculant un courant J et une partie 76, entourant la partie centrale 74, et reliée à une connexion 77 véhiculant un courant J2. La même structure vue de dessus est représentée sur la figure 6. On observera que la partie centrale élargie 72, qui introduit le déphasage, peut être gravée en réseau de diffraction comme Le reste du ruban (cas de la figure 6) ou non gravée (cas de la figure 5). L'invention peut aussi s'appliquer à la structure de F.KOYAMA et al. décrite ci-dessus; une des électrodes sera alors placée au-dessus de La zone centrale possédant un guide plus épais, l'autre électrode recouvrant le reste du ruban. Le fonctionnement de cette structure est le suivant. 25 Dans la zone centrale, l'indice effectif a la valeur n et dans le reste du ruban gravé la valeur n. Si L est la longueur de i la zone centrale un déphasage A est obtenu qui a pour valeur (n -n)L.2 n /À. Trois cas peuvent se produire: 0 1 a)- Lorsqu'on augmente La valeur du courant J injecté dans te 0 a)lorsqu'on augmente la valeur du courant Je injecté dans le -1 déphaseur correspondant à la zone centrale, L'indice effectif n diminue de la quantité An égale à -( n / N)xF xAN O' 0 a o à n / à N est la loi de variation connue de l'indice de a réfraction de la couche active avec le nombre de porteurs injectés, r Le facteur de confinement optique et AN Le nombre de porteurs injectés dans La zone active (en première approximation, A N peut se calculer par l'expression AN = AJ1/ jl.d, o q est la charge de L'électron, B la probabilité de recombinaison, d L'épaisseur de La région active). Ainsi, le déphasage peut tendre vers O et la 5 longueur d'onde d'émission du laser se déplacer vers AB+A. De pLus, compte tenu de l'excès de gain induit dans Le déphaseur, il est évident que le courant J à injecter dans le reste de la structure diminue. b)- Inversement, une diminution du courant J entraîne une augmentation de L'indice effectif du déphaseur et donc, selon la relation donnée pLus haut, un accroissement du déphasage. Un calcul simple avec les relations ci-dessus montre que le déphasage peut tendre vers r et que, par conséquent, La longueur d'onde peut être déplacée jusqu'à A - A. La B diminution de gain dans le déphaseur va, en revanche, induire une augmentation du courant de seuil. c)- Si le courant J1 est égal au courant J2' on retrouve une injection uniforme dans l'ensemble de la structure et, par conséquent, la situation que l'on a dans l'art antérieur avec 20 la structure décrite par H. Soda et al. Le déphasage est alors égal à 2 (car la longueur L est choisie pour que le déphasage ait cette valeur dans Le cas d'une injection homogène). La Longueur d'onde d'émission est alors égale à La longueur de Bragg À. B La figure 7 montre le schéma électrique équivalent du laser de L'invention avec deux générateurs de courant 81 et 82 délivrant deux courants J et J. I 2 Le diagramme de La figure 8 montre Les variations de La puissance lumineuse P émise par Le laser en fonction de la 30 densité de courant J injecté dans le ruban, La densité de courant J injectée dans la zone centrale de déphasage étant prise comme paramètre. Si L'on désigne par J la densité de courant de seuil correspondant à une injection uniforme, on peut noter J = kJ. On a alors trois cas différents: I s - si k=1, on a J =J et L'émission a lieu à A; c'est la courbe 90 du diagramme de Ba figure 8, courbe 90 du diagramme de ta figure 8, 259886 2 - si k>1, la longueur d'onde peut être accordée jusqu'à A +2A B suivant la valeur de k; on obtient la courbe 91, - si k on obtient la courbe 92. Le calcul et L'expérience montrent que les variations de courant J nécessaires pour observer l'accord sont de quelques milliampères (environ 5) pour un Laser à ruban enterré présentant un courant de seuil J d'une vingtaine de milliampères. s La plage d'accord en longueur d'onde est ainsi égale à 10 2 fA, c'est-àdire à la largeur de la bande caractéristique du réseau (bande appelée "stop-band"). La meilleure valeur publiée pour cette bande est de 39 Angstroms. Une optimisation des paramètres technologiques du réseau (ordre, forme...) permet d'obtenir un accord de 50 à 60 Angstroms. Un exemple de procédé de réalisation de la structure de l'invention va maintenant être décrit. La figure 9 montre le Laser obtenu par ce procédé et les figures 10 et 11 deux masques mis en oeuvre dans ce procédé. Le procédé pris comme exemple comprend schématiquement 20 six étapes: 1 Formation d'"une hétérostructure par épitaxie en phase liquide ou épitaxie en phase vapeur OM-CVD; cette + hétérostructure comprend, sur un substrat 100 de type n: 18 17 18 - une couche 102 d'InP de type n dopée entre 510 et 10 électrons/cm w une couche active 104 en GaInAsP de longueur d'onde 1,55 pm ou 1,3 p m suivant la longueur d'onde souhaitée pour le laser, - une couche guide 106 en GaInAsP 1,3 y m pour un laser 1,5 p m ou 1,15 ym pour un laser 1,3 p m. 2 - Gravure dans la couche 106 d'un réseau du premier ou deuxième ordre par -les techniques de masquage et de gravure classique (masquage holographique ou masquage électronique). 3 - Gravure chimique ou ionique du réseau pour lui donner une forme de ruban selon le motif représenté figure 10. Les dimensions critiques sont e0, e1 et L. On peut prendre par exemple e =2 Mm, e1=3 m et L=50 mm. Les valeurs optimales se situent entre 1 et 3 m pour el, 2-4um pour e2 et 20100 m pour L, pour un laser de longueur comprise entre 200 et 400 p m. 4 - Reprise d'épitaxie pour former une couche 108 d'InP de type p + et une couche 110 d'InGaAsP de type p. La technique de croissance la mieux appropriée pour cette étape est l'épitaxie en phase vapeur aux organométalliques car les motifs gravés avec le masque de la figure 10: ruban, déphaseur, croix de centrage, réapparaissent en surface après reprise, ce qui facilite d'autant 10 le réalignement des contacts. - Prise de contact: après les opérations usuelles d'amincisement du substrat 100, des contacts Au-Ge (118) et Au-Zn (112) sont déposés sur toute la surface respectivement sur les côtés n et p de la structure. Le contact 112 est ensuite gravé en 15 forme de ruban de 4 Mm de large à l'aplomb du ruban enterré puis interrompu au niveau de la zone centrale à l'aide du masque représenté figure 11. Ce masque présente une fente 124 qui sépare les deux électrodes. Dans ce masquage la longueur L doit être identique à celle du déphaseur de la figure 10. On obtient alors 20 une électrode 114 et une électrode 116 séparées l'une de l'autre. 6 - Métallisation Ti-Au: afin de faciliter la prise de contact sur le ruban 112 en Au-Zn de 4,m de large, on procède tout d'abord à la gravure de la couche de contact 110 de part et d'autre du ruban 112 en Au-Zn, puis on dépose un contact 114 en 25 Ti-Au sur le ruban Au-Zn et sur la couche 108 d'InP-p ainsi dégagée. Il est connu que le contact Ti-Au ainsi réalisé permet un confinement du courant injecté dans le ruban (cf. la demande de brevet français FR-A-2 488 049) car il forme un contact ohmique au centre et deux barrières Schottky sur les bords, au 30 contact avec InP de type p. La structure finale est obtenue après clivage et montage de la puce laser, puis soudure de deux fils 120 et 122 sur les deux électrodes 116 et 114 déposées c té p. Pour finir, il faut observer que l'idée de contrôler 35 électroniquement la longueur d'onde d'émission d'un laser DFB a déjà été émise par plusieurs auteurs. On peut citer par exemple l'article de M. Kitamura et al dans IEEE, JQE, NO 21, mai 1985, pages 415-417. Dans une telle structure la phase de l'onde lumineuse par rapport au réseau est reliée par un modulateur de phase intra-cavité appelé "tuning region". Selon le courant injecté dans cette zone, on peut obtenir une émission stable à À +iA o à A -AZ et l'on s'affranchit ainsi de B B l'indétermination sur À résultant du clivage de ka cavité. Le 10 modulateur de phase est tout simplement constitué par La structure laser démunie de son réseau. Le passage du courant dans cette région change l'indice de propagation proportionnellement au -nombre de porteurs injectés, ce qui permet de régler La distance optique qui sépare la face clivée et le réseau. Une structure analogue peut être utilisée avec une région sans réseau qui est utilisée pour L'amplification optique et une avec réseau qui sert à accorder l'indice effectif. Cette structure permet d'obtenir une variation discontinue de longueur d'onde sur une plage de 40 Angstroms, avec une variation par pas 20 de 5 Angstroms. Il s'agit en fait d'une structure légèrement différente de la diode à réaction distribuée, dite structure DBR (pour "Distributed Bragg Reflector") o la sélectivité en longueur d'onde et l'accord sont obtenus en distribuant la contre-réaction du réseau à l'extérieur de la cavité. Une telle structure est décrite par exemple dans l'article de M. Yamagushi et al publié dans Electronics Letters du 17 janvier 1985, vol. 21, nO 2, pages 64-65. La structure de l'invention se distingue de ces dispositifs par le fait que l'injection de charges se fait dans 30 une zone située à l'intérieur de la cavité, dans une partie élargie ou épaissie qui produit en ellemême un déphasage d'origine géométrique, ce déphasage étant ajusté électroniquement. De cette manière, l'accord en longueur d'onde est continu et non pas discontinu comme dans l'art antérieur, ce 35 qui constitue un avantage décisif pour les liaisons optiques. REVENDICATIONS 1. Laser à semi-conducteur à réaction distribuée comprenant un substrat (108) et, sur ce substrat, une double hétérostructure constituée par une couche de confinement (102), 5 une couche active (104), une couche de guidage (106) gravée pour constituer un réseau de diffraction, cette couche active (104) et cette couche de guidage (106) étant gravées pour former un ruban présentant une certaine largeur (e2) et une certaine épaisseur et une partie centrale de Largeur ou d'épaisseur plus grande, une 10 électrode métallique surmontant l'ensemble et permettant L'injection de charges à travers Le ruban, ce laser étant caractérisé par Le fait que l'électrode métallique comprend deux parties distinctes formant une première électrode (116) placée au-dessus de la partie centrale élargie ou épaissie du ruban, 15 cette première électrode (116) étant reliée à une première connexion (120) pour l'injection d'un premier courant (J1) et une seconde électrode (114) placée au-dessus du reste du ruban et reliée à une seconde connexion (122) pour l'injection d'un second courant (J). 2. Laser selon la revendication 1, caractérisé par le fait que le ruban est enterré dans une première couche épitaxiée (108), une seconde couche épitaxiée (110) en forme de mésa surmontant la première couche épitaxiée (108). 3. Laser selon La revendication 2, caractérisé par le 25 fait qu'une première couche métallique (112) surmonte la mésa. 4. Laser selon la revendication 3, caractérisé par le fait que la première et La seconde électrodes (116, 114) sont constituées par une seconde couche métallique recouvrant la première couche épitaxiée (108) et La première couche métallique 30 (112), un contact ohmique étant formé entre la première et la seconde couches métalliques et un contact Schottky étant formé entre la seconde couche métallique et la première couche épitaxiée (108). 5. Laser selon la revendication 1, caractérisé par te fait que la partie centrale élargie est gravée en réseau de diffraction comme le reste du ruban. 6. Laser selon La revendication 1, caractérisé par Le fait que La partie centrale élargie n'est pas gravée en réseau.