FR 2597287 A1 19871016 FR 8605424 A 19860414 OUTIL DE SOUDAGE POUR DISPOSITIFS ELECTRONIQUES La présente invention concerne les outils de soudage pour dispositifs électroniques et plus particulièrement ceux qui servent à souder simultanément un ensemble de pattes de connexion sur les bornes de connexion d'une microplaquette de circuits intégrés communément appelée puce. Pour pouvoir accélérer et rendre plus économique le montage automatique de puces de circuits intégrés sur des supports, par exemple des circuits imprimés ou des fonds de boitiers, on a mis au point une technique connue sous l'abréviation T.A.B. de l'expression 10 anglaise "Tape Automated Bonding". Selon cette technique, on commence par monter les puces sur un ruban souple en matière isolante qui présente des perforations le long de ses bords pour pouvoir être entrainé comme un film cinématographique et des groupes de fenêtres régulièrement répartis dans sa 15 partie centrale qui comprennent chacun une fenêtre principale et des fenêtres secondaires, souvent au nombre de quatre, disposées autour de celle-ci. Ce ruban porte par ailleurs sur l'une de ses faces et pour chaque groupe de fenêtres un ensemble de bandes conductrices qui 20 passent au-dessus des fenêtres secondaires ou tout au moins d'un certain nombre de cellesci et qui se prolongent au-delà du bord de la fenêtre principale pour former des pattes de connexion rayonnantes dont la configuration correspond à celle des bornes de connexion des puces. Pour fixer les puces sur le ruban on place chacune 25 d'elles sous la fenêtre principale d'un groupe de façon que ses bornes de connexion se trouvent au droit des extrémités libres des pattes de connexion associées à cette fenêtre et on soude en même temps toutes ces extrémités, préalablement revêtues d'une matière fusible telle que l'étain sur lesdites bornes. Ensuite, on recouvre au moins la face avant des puces, c'est-adire celle o se trouvent les bornes de connexion, d'une couche de matériau adhésif durcissable, électriquement isolant et opaque, de façon que les soudures que l'on vient de réaliser y soient noyées et on teste ces soudures. On peut aussi procéder à ce moment là à des 35 essais de fonctionnement des circuits intégrés. Ces essais terminés on découpe le ruban autour de chaque puce selon un contour qui suit les cotés des fenêtres secondaires les plus éloignés de la fenêtre centrale pour obtenir des modules avec des pattes de connexion externes formées par les parties des bandes 5 conductrices qui se trouvaient à l'origine au-dessus de ces fenêtres secondaires. Après cela il ne reste plus qu'à fixer chaque module sur le support qui lui est destiné, ce qui se fait en soudant, là encore en une seule fois, ses pattes externes, revêtues d'un matériau de 10 soudure approprié, sur des conducteurs correspondants de ce support. Pour procéder à cette seconde opération de soudage appelée souvent O.L.B., abréviation du terme anglais "Outer Lead Bonding", on utilise généralement un outil qui comprend au moins un organe chauffant ou thermode monté aux extrémités de colonnes en matériau 15 conducteur et isolées électriquement entre elles qui le relient à un générateur de courant. Apres avoir positionné le module avec la puce pour que les extrémités de ses pattes de connexion externes se trouvent au-dessus des conducteurs du support on abaisse l'outil de soudage de façon à 20 maintenir par pression les premières en contact avec les seconds et on alimente la thermode, ou chaque thermode si il y en a plusieurs, par un courant de forte intensité qui provoque la fusion du matériau de soudure. Puis, très rapidement, on coupe l'alimentation de la thermode ou des thermodes, ce qui permet au matériau de soudure de 25 se solidifier à nouveau, et on relève l'outil de soudage. Naturellement, pour permettre de réaliser des soudages de ce genre à une cadence élevée et de manière très fiable les thermodes utilisées doivent répondre à un certain nombre d'exigences. Tout d'abord, pour autoriser des cycles de chauffage à la fois 30 très rapides et très précis, elles doivent être fabriquées en un matériau à faibles résistivité et inertie thermiques. Pour la même raison elles doivent avoir une structure relativement fine, ce qui peut être obtenu par exemple en les réalisant par découpage d'une tôle ou d'une bande métallique et, si il n'y en a 35 qu'une par outil, par pliage et éventuellement emboutissage. D'autre part, pour assurer un soudage correct de toutes les pattes de connexion sur les conducteurs du support, il faut à la fois que la répartition de la température au niveau de leur semelle, c'est-à-dire de la partie plane qui est amenée au contact des 5 pattes, soit parfaitement uniforme et que le matériau dont elles sont constituées leur permette de présenter une bonne résistance mécanique et une surface de contact de dureté suffisante pour que la pression exercée sur ces pattes soit toujours, elle aussi, la plus uniforme possible. Comme matériaux qui conviennent très bien pour ce type de thermodes et qui sont couramment utilisés on peut citer le titane, certains aciers au chrome et l'alliage connu sous la marque "Inconel" qui est à base de nickel et qui contient également du chrome et du fer. Pour la première opération de soudage, c'est-a-dire celle qui permet de monter les puces sur le ruban et que l'on appelle I.L.B. ("Inner Lead Bonding") ont fait plutôt appel à des outils d'une autre catégorie, dont l'organe chauffant n'est plus chauffé par intermittence par des impulsions de courant qui le traversent mais 20 de façon continue et sans être relié lui-même à une source d'électricité. Il est alors constitué par une pièce massive fixée à l'extrémité d'un manche, qui présente, d'une part, une semelle généralement rectangulaire dont les dimensions sont adaptées à celles des puces et, d'autre part, un trou pour le logement d'un 25 élément de chauffage, constitué par une résistance, et au moins un autre trou destiné à recevoir un thermocouple qui permet de contrôler la température à laquelle il est porté en agissant sur le générateur de courant qui alimente la résistance. Dans ce cas, le matériau ou les matériaux qui composent l'organe 30 chauffant, que l'on continue à appeler thermode, doivent être bons conducteurs de la chaleur et lui permettre de présenter une grande inertie thermique. Par ailleurs la semelle doit être très dure et, évidemment, parfaitement plane. Les outils de soudage que l'on utilise actuellement le plus 35 souvent et qui remplissent le mieux ces conditions sont ceux dont la thermode est formée d'un corps en Inconel, alliage dont on a déjà parlé et qui se comporte très bien dans le domaine des températures qui conviennent pour I'I.L.B., c'est-a-dire entre 450 et 600 C, et d'une semelle en diamant fixée sur ce corps. Ces outils sont très fiables mais, à cause du diamant, leur prix de revient est élevé et il est exclu de les employer pour la connexion de puces de grandes 5dimensions qui, en gros, sont celles dont la surface dépasse 30 mm2. Or, ces puces sont de plus en plus courantes étant donné que l'on intègre des circuits de plus en plus compliqués, avec des bornes d'entrée et de sortie de plus en plus nombreuses. A côté de ces outils de soudage à semelle en diamant il y a ceux 10 dont la thermode est réalisée entièrement en céramique et, plus précisément, en oxyde de béryllium (BeO). Ils ont l'avantage de revenir beaucoup moins cher que les précédents et de convenir pour des puces de n'importe quelle grandeur mais ils sont nettement moins fiables et du point de vue dureté ils ne dépassent pas 2000 Vickers 15 alors que celle du diamant est d'environ 3000 Vickers. De plus, la poussière d'oxyde de béryllium produite au moment de l'usinage de la thermode est toxique et la fixation de cette dernière au bout d'un manche est compliquée et pose souvent des problèmes. L'invention a pour but de fournir un outil de soudage destiné 20 lui aussi plus spécialement à 1'I.L.B., qui soit à la fois très satisfaisant en ce qui concerne sa dureté au niveau de sa surface de contact, très fiable et peu coûteux. Un autre but de l'invention est de fournir un outil composé d'éléments faciles à réaliser et à assembler et qui ne présente pas 25 de danger pour les personnes chargées de le fabriquer. Enfin, l'invention vise également à ce que cet outil puisse convenir pour des puces de n'importe quelle grandeur. Ces buts sont atteints grâce au fait que, dans un outil de soudage selon l'invention qui comporte lui aussi une manche et un 30 organe chauffant massif avec une partie plane destinée à être appliquée sur des pattes de connexion à souder et un logement pour un dispositif de chauffage, cet organe chauffant comprend un corps en tungstène et une couche de nitrure de titane qui recouvre ce corps au moins à l'endroit de ladite partie plane. En fait, pour des raisons que l'on indiquera par la suite, il est préférable que la couche de nitrure de titane recouvre tout le corps sauf du côté o il est fixé au manche. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaitront à la lecture de la description qui suit d'une forme préférée d'exécution, description qui se réfère au dessin annexé sur lequel les figures 1 et 2 sont des vues, respectivement, en coupe axiale et de dessous de l'outil de soudage selon l'invention, sous cette forme d'exécution. L'outil de soudage qui est montré par ces figures comprend une thermode 2, de forme essentiellement cylindrique, percée à peu près à mi-hauteur d'un trou diamétral 4 pour le logement d'une résistance 10 de chauffage non représentée et, plus bas, d'un autre trou diamétral 6, plus petit, destiné à recevoir un thermocouple qui n'a pas lui non plus été représenté. D'autre part, les faces supérieure 8 et inférieure 10 de cette thermode présentent respectivement un trou central 12, relativement 15 grand et peu profond, dans lequel pénètre l'extrémité inférieure d'un manche 14 et un bossage rectangulaire 16 (voir figure 2), de hauteur constante, qui constitue évidemment la partie plane, la semelle, qui viendra appuyer sur les extrémités des pattes de connexion a souder. Pour illustrer cela on a également représenté en pointillés sur la figure 1, une puce a avec deux de ses bornes b et les deux pattes de connexion c auxquelles ces dernières seront fixées. Conformément à l'invention la thermode 2 est constituée par un corps en tungstène 18 qui détermine sa forme et par une couche de 25 nitrure de titane (TiN) 20 qui recouvre entièrement ce corps sauf du côté du manche 14. Cette couche 20 dont l'épaisseur est de preférence comprise entre 1 et 4 pm a deux rôles: Premièrement, elle permet à la semelle 16 d'avoir une dureté 30 d'environ 2300 Vickers alors qu'autrement cette dureté serait seulement celle du tungstène, c'est-à-dire à peu près 400 Vickers. Il est bien clair qu'avec une telle valeur on serait loin de la dureté du diamant et même de celle de l'oxyde de béryllium. Par contre avec 2300 Vickers on se situe entre les deux. Deuxièmement, elle protege le corps 18 contre l'oxydation. En effet, si le tungstène permet à la thermode de bien remplir les conditions de conductibilité et d'inertie thermiques dont on a parlé, il a l'inconvénient de s'oxyder et ceci d'autant plus rapidement que la température augmente. Par conséquent, sans le nitrure de titane la semelle 16 ne resterait pas longtemps plane et propre. La meilleure façon de procéder pour former la couche 20 est de 5 commencer par nettoyer très soigneusement le corps 18, par exemple en le plaçant dans un bac à ultra-sons, et d'utiliser ensuite la technique maintenant très répandue du dépôt physique en phase vapeur généralement désignée par l'abréviation P.V.D. du terme anglais "Physical Vapor Deposition". Cette technique peut être mise en oeuvre de différentes manières. L'une d'elles consiste à introduire la pièce à traiter dans une enceinte contenant une cible de titane et à créer dans cette enceinte un vide poussé par pompage pour pouvoir ensuite soumettre la pièce à un décapage ionique à haute tension. Lorsque cette phase de 15 décapage est terminée, on introduit dans l'enceinte de l'argon et du gaz ammoniac (NH3) et on crée au moyen d'un champ électromagnétique de très haute fréquence une décharge électroluminescente qui ionise l'argon et qui donne ainsi naissance à un plasma. Ce plasma arrache alors à la cible des particules de titane qui réagissent avec le gaz 20 ammoniac et vont se déposer sous forme de nitrure de titane sur la pièce à recouvrir pour y former une couche superficielle dont l'épaisseur dépend de la durée de l'opération. En procédant ainsi on peut obtenir une très bonne adhérence de la couche de TiN sur le corps en tungstene. Cela serait moins vrai 25 si l'on faisait appel à d'autres techniques de dépôt qui ne sont malgré tout pas à exclure et notamment à celle du dépôt chimique en phase vapeur ou C.V.D. ("Chemical Vapor Deposition"). Naturellement, comme on l'a déjà laissé entendre, on pourrait se contenter d'une couche de TiN qui ne recouvrirait le corps de 30 thermode 18 qu'à l'endroit du bossage 16 ou que la face avant de ce corps mais l'opération de dépôt serait plus compliquée car il faudrait masquer au moins toute la surface latérale du corps et l'outil serait moins beau à voir. En ce qui concerne le manche 14, on voit sur la figure 1 que 35 celui-ci est formé par un tube métallique dont la partie inférieure présente un certain nombre d'ailettes de refroidissement 22 en forme de couronnes et qui a du côté de la thermode un fond 24 percé d'un trou 26. Ce trou 26 permet à une vis sans tête 28 dont une partie non filetée est logée à l'intérieur d'un trou borgne 30 situé au fond et 5 au centre du trou 12 de la termode déjà mentionné et qui a été soudée à cette dernière par brasage ou mieux en utilisant un faisceau laser de pénétrer à l'intérieur du manche et de coopérer avec un écrou 32 pour assurer la fixation de ce manche sur la thermode. Pour éviter d'avoir des problèmes au moment du chauffage de la 10 thermode il est important que le manche 14, la vis 28 et l'écrou 32 soient réalisés dans des matériaux dont les coefficients de dilatation sont très proches ou, de préférence, dans le même. Ce matériau peut être avantageusement l'Inconel mais il peut s'agir aussi, par exemple, de nickel ou d'un acier inoxydable. D'autre part, lorsque le coefficient de dilatation du matériau qui compose le manche est nettement supérieur à celui du tungstène, ce qui est le cas pour l'Inconel puisqu'il y a à peu près un facteur cinq entre les deux, il est nécessaire que le diamètre de l'extrémité inférieure de ce manche soit un peu plus petit que celui du trou 20 12 dans lequel elle se trouve, comme le montre la figure 1. Enfin, cette figure montre également l'existence d'une goupille d'indexation 34 qui pénètre à la fois dans la thermode et dans le fond 24 du manche et qui sert à positionner ces deux pièces l'une par rapport à l'autre. Grâce à cela on est sûr que lorsque l'outil 25 sera placé de façon précise sur une machine destinée à le recevoir, grâce à des moyens non visibles sur le dessin, la semelle 16 occupera une position correcte par rapport aux puces et aux pattes de connexion qui défileront devant elle. Bien entendu, l'invention n'est pas limitée au mode d'exécution 30 que l'on vient de décrire. En particulier on pourrait très bien imaginer de réaliser un outil conforme à l'invention destiné à autre chose que l'I.L.B., par exemple au soudage des pattes externes d'un boitier plat contenant une ou plusieurs puces sur des conducteurs portés par un support. Il 35 suffirait pour cela de donner à la thermode les dimensions voulues, notamment en ce qui concerne la semelle, et de prévoir dans celle-ci une cavité dans laquelle le bottier en question pourrait venir se loger au moment du soudage. Dans ce cas la semelle ne serait évidemment pas pleine mais constituée par exemple par une partie plane de la thermode comprise entre deux rectangles semblables dont les diagonales seraient confondues. REVENDICATIONS 1. Outil de soudage pour dispositifs électroniques destiné notamment au soudage simultané d'un ensemble de pattes de connexion sur les bornes de connexion d'une microplaquette de circuits inté5 grés et comportant un organe chauffant (2) placé à l'extrémité d'un manche (14) et présentant un logement (4) pour recevoir un dispositif destiné à son chauffage et une partie plane (16) prévue pour être appliquée sur lesdites pattes de connexion, caractérisé par le fait que ledit organe chauffant comprend un corps (18) en tungstène 10 et une couche de nitrure de titane (20) qui recouvre ce corps au moins à l'endroit de ladite partie plane. 2. Outil de soudage selon la revendication 1, caractérisé par le fait que ladite couche (20) recouvre entièrement ledit corps (18) sauf sur une face (8) située du côté du manche (14). 3. Outil de soudage selon la revendication 1 ou 2, caractérisé par le fait que ladite couche a une épaisseur comprise entre 1 et 4 pm. 4. Outil de soudage selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé par le fait que le manche (14) comprend un tube 20 métallique qui présente un fond (24) percé d'un trou (26) et qui est fixe à l'organe chauffant (2) par une vis (28) solidaire de ce dernier, qui passe dans ledit trou et qui coopère avec un écrou (32) placé à l'intérieur dudit tube. 5. Outil de soudage selon la revendication 4, caractérisé par 25 le fait que le tube (14), la vis (28) et l'écrou (32) sont réalisés dans le même matériau. 6. Outil de soudage selon la revendication 5, caractérisé par le fait que ledit matériau est un alliage de nickel, de chrome et de fer. 7. Outil de soudage selon l'une quelconque des revendications 4 à 6, caractérisé par le fait que ledit tube (14) présente des ailettes de refroidissement (22).