FR 2594231 A1 19870814 FR 8701851 A 19870213 PROCEDE DE MESURE D'IMPEDANCES, EN PARTICULIER DE CAPACITES FAIBLES La présente invention a pour sujet un procédé de mesure d'impédances, en particulier de capacités fai- bles, visant à améliorer la précision et la stabilité de mesure, ce procédé utilisant des circuits électroniques de mesure qui comprennent des impédances de référence dont les valeurs électriques se trouvent dans la plage de mesure, et qui sont alternativement connectées, l'une après l'autre, à l'impédance ou aux impédances à mesurer, en utilisant la structure de commutation du circuit de mesure. L'invention convient en particulier pour de tels procédés de mesure d'impédance dans lesquels on utilise une impédance en tant que détecteur électrique permettant de mesurer certaines grandeurs physiques qui agissent sur les valeurs d'impédance. On connaît dans l'art antérieur plusieurs détec- teurs à impédance différents dont le fonctionnement est basé sur le fait que l'impédance dépend de la grandeur à mesurer, qui est habituellement une grandeur physique telle qu'une pression, une température, un niveau d'humidité, une position de l'objet à observer, une puissance, etc. On peut mentionner à titre d'exemples de tels détecteurs à impédan- ce des bandes pour extensomètres, des résistances sensi- bles à la température et/ou la pression, et des capacités au moyen desquelles on peut par exemple mesurer la pression ou la température sur la base de la position rela- tive des armatures de condensateur, ou l'humidité relative sur la base de variations de la constante diélectrique cor- respondant à la capacité. En règle générale, les tolérances de fabrication de détecteurs à impédance font que ces détecteurs ont indi- viduellement des caractéristiques spécifiques, c'est-à-dire qu'ils ont une courbe spécifique individuelle, c'est-à-dire une non linéarité individuelle et une dépendance indivi- duelle vis-à-vis de paramètres autres que celui à mesurer, par exemple la température dans le cas d'une mesure de pression. Un point de départ de la présente invention a été constitué par la technique de l'art antérieur qui résulte par exemple des brevets FI 54 664 et 57 319, appartenant à la demanderesse (qui correspondent aux brevets US 4 295 090 et 4 295 091). Ces brevets décrivent des procédés pour la mesure de capacités faibles. Dans des radiosondes, on utilise des détecteurs capacitifs pour mesurer différents paramètres, en particu- lier la pression, la température et/ou l'humidité atmos- phériques, et dans ces détecteurs, la valeur de la capacité dépend du paramètre à mesurer. Les capacités de ces détec- teurs sont souvent relativement faibles, de quelques pico- farads à quelques dizaines de picofarads ou, au maximum environ 100 pF. La mesure de capacités faibles soulève des difficultés, par exemple du fait de capacités parasites, de variations de la tension d'alimentation, de variations de la température extérieure et d'autres perturbations. Lorsqu'on mesure la température, l'humidité ou la pression ou d'autres grandeurs correspondantes, au moyen de détecteurs électriques ou électromécaniques, une technique connue dans l'art antérieur consiste à connecter au circuit électronique de mesure une ou plusieurs références qui sont stables ou ont des variations connues de façon précise, et l'utilisation de ces références permet de compenser les propriétés individuelles du circuit de mesure et leurs variations au cours du temps. Une technique connue dans l'art antérieur en relation avec des détecteurs capacitifs consiste à utiliser une capacité de référence qu'on connecte au circuit de mesure, généralement un oscillateur RC, en alternance avec la capacité à mesurer. En réglant le circuit de mesure d'une manière appropriée ou d'une autre manière, il est possible de fixer au niveau correct dans chaque cas particu- lier la grandeur de départ du circuit de mesure, déterminée à partir de la capacité de référence. On connaît dans l'art antérieur l'utilisation de circuits de mesure employant une seule référence, en parti- culier dans des connexions en pont, mais la mesure n'est cependant précise que lorsque la valeur électrique de la référence est proche de la valeur du détecteur, par exemple lorsque le pont est équilibré. Plus la valeur du détecteur s'écarte de la référence, plus les diverses erreurs augmen- tent; ces erreurs résultent par exemple de variations de la sensibilité du circuit électronique de mesure. On connait également dans l'art antérieur un procédé de mesure employant deux références, dans lequel on bénéficie de l'avantage consistant en une précision de mesu- re supérieure, par rapport à l'utilisation d'une seule réfé- rence, même lorsqu'on emploie une plage de mesure étendue. On décrira ci-après de façon plus détaillée en se référant à la figure 1C les principes de mesure basés sur l'emploi de deux références, conformément à l'art antérieur. Si la plage de mesure est étendue et si la préci- sion de mesure exigée est élevée, comme c'est le cas dans certaines applications, des variations non linéaires se pro- duisant dans les circuits électroniques de connexion des détecteurs d'impédance après l'étalonnage dégradent considé- rablement la précision de mesure. Un but de l'invention est d'éviter les inconvé- nients qui ont été indiqués ci-dessus, et de procurer un procédé de mesure nouveau dans lequel on puisse améliorer considérablement la précision de mesure et la stabilité d'impédance du circuit de connexion d'impédance, en particu- lier dans les situations suivantes, qui apparaissent très fréquemment en pratique: - le circuit électronique de mesure et les impé- dances à mesurer, en particulier les détecteurs à impédance, doivent travailler à des températures différentes de celles utilisées dans la situation d'étalonnage; - les conditions de fonctionnement de l'oscilla- teur de mesure sont changées, par exemple les impédances de charge de l'oscillateur sont changées par rapport à la situation d'étalonnage; et le procédé est appliqué à une procédure dite d'auto-diagnostic, par laquelle on détermine l'existence de changements ou de défauts se produisant dans le circuit électronique de mesure. Un but supplémentaire de l'invention est de pro- curer un procédé qui permette d'éliminer ou de réduire l'effet d'un détecteur défectueux sur d'autres détecteurs appartenant au même circuit électronique de mesure. Un but supplémentaire de l'invention est de pro- curer un procédé qui permette de réaliser un émetteur de pression ou un dispositif équivalent dont la plage de mesu- re soit très étendue, par l'utilisation de plusieurs détec- teurs de pression. A cet égard, un but supplémentaire est de procurer un procédé dans lequel une mise en court-circuit des détecteurs les plus sensibles n'affecte pas le fonction- nement des détecteurs de mesure qui travaillent à l'extrémi- té supérieure de la plage de mesure. Pour atteindre les buts indiqués ci-dessus et ceux qui apparaîtront ultérieurement, l'invention est essen- tiellement caractérisée par le fait que le procédé comprend, en combinaison, les étapes suivantes: (a) on connecte les première et seconde impédances de référence CR1 et CR2 au circuit de mesure, chacune à son tour, ces impédances de référence ayant des valeurs d'impé- dance telles que celle de la première, CR1, se trouve à l'extrémité inférieure de la plage de mesure, tandis que celle de la seconde, CR2, se trouve à l'extrémité supérieure de la plage de mesure, (b) on connecte à son tour au moins une troisième impédance de référence Ci3 au circuit de mesure, (c) en utilisant la première impédance de référence CR1 et la seconde impédance de référence CR2, on détermine la valeur Y(CR3) de la fonction spécifique Y=F(C) du système de mesure correspondant à la troisième référence CR3, et on mémorise cette valeur en vue de l'utiliser ultérieurement dans le système de mesure, et (d) après étalonnage ou une opération équivalente, éventuellement, on accomplit les séquences de mesure, en relation avec lesquelles on mesure une nouvelle valeur Y'(CR3) de la fonction spécifique du système de mesure cor- respondant à la troisième impédance de référence CR3, on 2C compare cette nouvelle valeur avec la valeur d'origine Y(CR3) qui a été obtenue et mémorisée conformément à l'étape (c) précédente, et on utilise dans un calcul (équation 7) la quantité différentielle qui résulte de cette comparaison, en vue de déterminer les valeurs Y corrigées, soit Y'(CN) des impédances CN à mesurer. Comme le montrent les modes de réalisation et les tests de l'invention présentés ci-après à titre d'exemples, en utilisant conformément à l'invention une troisième impé- dance de référence, on peut réduire l'erreur du procédé à une valeur de l'ordre du dixième ou même moins, par rapport à l'erreur qu'on obtient dans le cas d'une mesure faite avec deux références. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre de modes de réalisation, donnés à titre d'exemples non limitatifs. La suite de la description se réfère aux dessins annexés sur lesquels: La figure 1A montre le schéma électrique d'un exemple de réalisation du procédé de l'invention. La figure PB montre à l'aide d'un schéma synop- tique le principe d'un équipement utilisant le procédé de l'invention. La figure 1C montre dans un système de coordon- nées xy les courbes spécifiques d'un procédé de mesure de l'art antérieur employant deux références. La figure 2 est une représentation de la dépen- dance de la période T de l'oscillateur de mesure et de la capacité connectée à l'oscillateur de mesure, et mon- trant que, si la fréquence de mesure est élevée, la non linéarité de l'oscillateur de mesure est accentuée. La figure 3 montre l'erreur de mesure provoquée par la non linéarité de l'oscillateur de mesure, l'effet de cette non linéarité s'ajoutant à la non linéarité du capteur et étant éliminé par étalonnage (seule sa va- riation par rapport à l'étalonnage étant éliminée en utilisant la troisième constante). Les figures 4 et 5 montrent des résultats de mesure correspondant au premier exemple de test de l'in- vention, dans lequel on a testé l'effet sur les erreurs de mesure d'une variation de la capacité de charge d'un oscillateur de mesure conforme à la figure 1A. Les figures 6 et 7 montrent, d'une manière cor- respondant aux figures 4 et 5, un autre exemple de test de l'invention, dans lequel on a testé l'effet sur la précision de mesure d'une variation de la température de l'environnement de l'équipement de mesure. La figure IC représente un procédé de mesure de l'art antérieur employant deux références, qui cons- titue l'un des points de départ de la présente inven- tion. Les références 1 et 2 fixent deux points dans le système de coordonnées xy, c'est-à-dire les points x1,y1 et x2,y2, et la ligne droite ko qui passe par ces points est la ligne de fonctionnement linéaire de base du système de mesure. En pratique, du fait par exemple de la non linéarité individuelle du circuit de mesure, et de variations des conditions externes, les courbes spécifiques du système peuvent varier de part et d'autre de la ligne ko, par exemple entre les courbes f1 et f2. Avec ces courbes, il est possible de tra- vailler sur la plage de mesure X2>x2-x1 dans les limites des marges d'erreur a. L'utilisation de la référence 1 permet d'éliminer par exemple l'erreur de transition (YN = f(x)N A), que produit le circuit de mesure, en fixant à Y1 la valeur qui correspond à la constante x1. D'une manière correspondante, en employant la référence 2, il est possible d'éliminer l'erreur de sensibilité (YN = f(x)N k(x)) produite par le circuit de mesure, en fixant à Y2 la valeur de y corres- pondant à la constante x2. En employant les constantes xl, x2, on apporte une correction linéaire aux erreurs produites par le circuit de mesure. Les erreurs dans le circuit de mesure sont habituellement produites par des changements de la température environnante, de la charge imposée au circuit (capacités parasites ou courts-circuits), et de la tension d'alimentation. On poursuivra la description détaillée de l'inven- tion en considérant un exemple de réalisation de l'inven- tion, illustré par le schéma électrique de la figure 1A et le schéma synoptique de la figure lB, ainsi que par les figures 2 et 3, qui représentent certaines courbes spécifi- ques de l'invention. Le circuit électronique de mesure représenté sur la figure 1A fonctionne de la manière suivante. Le sous-ensemble 110 constitue l'oscillateur de mesure qui présente une capacité de base Cp sur laquelle on connecte alternativement en parallèle les capacités à mesu- rer CM1 à CM5 et les capacités de référence CR1,CR2,CR3, appartenant au sous-ensemble 140, par l'intermédiaire des commutateurs analogiques 120, sous la commande du circuit logique de commande 130. Les données concernant les facteurs d'étalonnage de chaque détecteur et la valeur Y, soit YCR3 correspondant à la constante CR3 du circuit de mesure, sont enregistrées dans le circuit de mémoire morte programmable électriquement effaçable (EEPROM) du sous-ensemble 150, au début de la pro- cédure d'étalonnage. La mémoire 150 est commandée par les mêmes signaux de commande que le circuit de mesure 110 à 140 décrit ci-dessus. Les signaux relatifs à la mémoire ne sont effectifs que si le signal CS est actif (5V). La figure lB montre au moyen d'un schéma synoptique le principe d'un équipement utilisant le procédé de l'invention. Le sous- ensemble 100 comprend une unité de mesure qui est commandée par un ordinateur (sous-ensemble 200). Au moment du démarra- ge, l'ordinateur 200 représenté sur la figure lB lit les données d'étalonnage des détecteurs et la valeur de la cons- tante YCR3, dans la mémoire EEPROM 150 de l'unité de mesure 100, ces données ayant été enregistrées dans cette mémoire au début de la procédure d'étalonnage. Ensuite, l'ordina- teur 200 commande l'unité de mesure 100 de façon que les détecteurs CN soient connectés, chacun à leur tour, à l'oscillateur de mesure 110, et la période de l'oscillateur est mesurée sur la base des données ci-dessus. L'ordinateur calcule les valeurs de mesure correspondant aux détec- teurs CN, sur la base des algorithmes spécifiques de chaque type de détecteur et enregistrés dans la mémoire de pro- gramme, et il fournit ces valeurs sous la forme d'un signal de sortie sur la voie série (RS 232C), à un terminal, un dispositif de visualisation ou un autre ordinateur. On trouvera ci-après une description plus détail- lée des modes de réalisation des divers détails de l'inven- tion. En ce qui concerne la structure de l'oscillateur de mesure 110 et du dispositif de commutation 120, on se référera aux brevets de la demanderesse FI 54 664 et 57 319, ainsi qu'aux demandes de brevet de la demanderesse FI 842 191, 842 192 et 842 193. Conformément à l'invention, on ajoute aux capaci- tés de référence CR une troisième capacité constante CR3 dont la valeur électrique est choisie en position médiane, pas nécessairement de façon exacte, entre les deux autres valeurs de capacité de référence CR1 et CR2, les valeurs de CR1 et CR2 se trouvant dans les zones d'extrémité de la pla- ge de mesure. Dans un cas spécial, on peut avoir par exemple CR1 O pF. Conformément à l'invention, on utilise la constan- te CR3 pour améliorer la précision du circuit électronique de mesure entre les valeurs des constantes CR1 et CR2, dans des situations particulières dans lesquelles le circuit électronique de mesure et les détecteurs fonctionnent à des températures différentes de celle de la situation d'étalon- nage, ce qui fait apparaître des changements dans l'oscil- lateur de mesure dans ces situations, par rapport à la situation d'étalonnage, ces variations consistant par exem- ple en un changement de la capacité de mesure, et/ou dans lesquelles il est souhaitable de savoir si des changements se sont produits dans le circuit électronique de mesure 23 (auto-diagnostics). En considérant les figures 1A, lB et 2, on déter- mine que la période T = 1/f de l'oscillateur 11 est: TN = Ao+Ai(Cp+CN)+ A2(Cp+CN)2 (1) Dans cette équation: - Ao,A1 et A2 sont invariables pendant le cycle de mesure (CR1-CRM5) mais changent lentement entre les cycles, Cp est la capacité de base de l'oscillateur, - CN est la capacité à connecter, c'est-à-dire tour à tour chacune des constantes CR1, CR2, CR3 et chacune des capacités CMn à mesurer (sur la figure 1A, n = 1, 2,3,4, ). Dans l'équation (1), le terme A2(Cp+CN)2 réprésen- te le facteur d'erreur qu'on ne peut pas éliminer avec la technique de l'art antérieur employant deux références. On adopte les notations suivantes: TR2 = période de l'oscillateur lorsque la constante CR2 est connectée, TR1 = période de l'oscillateur lorsque la constante CR1 est connectée, TM = période de l'oscillateur lorsqu'une capacité CM à n mesurer est connectée. Dans ces conditions, on peut calculer de la manière suivante la grandeur de départ YM du système de mesure: TR2-TM YM TR2-TR1 (la) En reportant l'équation (1), on obtient: A +A (Cp+CR2)+ A2(Cp+CR2) 2A -Ao(Cp+CM)-a2(Cp+CM)2 YM =2 2 Ao+Ai (Cp+CR2)+A2(Cp+CR2) A-AoA(Cp+CR1)-A2(Cp+CRl) (2) A2 2 2 CR2-CM+ ((Cp+CR2)2-(Cp+CM)2) YM 2 2 (3) CR2-CR + ( (Cp+CR)2- (Cp+CR)2 S'il n'y a pas de terme non linéaire, mais si A2 = 0: CR2-CMN YM= 2 N (4) CR2-CR1 ce qui fait que les termes A et A1 qui varient lentement ont été éliminés. Conformément à l'invention, on élimine l'effet de l'erreur proportionnelle au terme A2 par le fait que le circuit électronique de mesure ajoute une troisième constante CR3 dans la région médiane entre les constantes CR2 et CR1. On suppose que A2 = 0 (équation (1)), et on mesure YCR3 au début de la procédure d'étalonnage: CR2-CR3 YCR 2 (5) YOR$ -R1 Conformément à l'invention, la valeur du terme YCR3 donnée par l'équation (5) ci-dessus est enregistrée dans la mémoire qui fait partie du circuit électronique de mesure. Pendant les cycles de mesure suivants, la valeur de YCR3 est observée et calculée, et si elle a changé, les valeurs YM des détecteurs à mesurer sont corrigées de la manière suivante. On examinera ci-après de façon plus détaillée ces étapes de procédé conformes à l'invention. On adopte les notations suivantes: - YCR3 = valeur Y de la constante CR3 dans la situation de départ, par exemple au début de la procédure d'étalonnage, - YCR'3 = valeur Y de la troisième constante CR3 pendant le cycle de mesure qui est examiné, - Y3 = YCR3-YCR'3 On peut calculer de la manière suivante la correc- tion AYM (figure 3) de la valeur YM conforme à l'invention: AY YMCR,3(YCRT,_YM(YM-1) (6) ce qui fait qu'on peut calculer de la manière suivante la valeur Y finale (précise) (Y'M) de la capacité de détecteur CM qui est mesurée: AY3(YM-1) Y M = YM (1+ YCR'3(YCR)-l) () 3 3 Dans le procédé de l'invention, la forme de courbe d'origine de la fonction T = f(CN) est conservée (figure 2), même si le terme A2 est changé après la procé- dure d'étalonnage. Dans le procédé de l'invention, le terme A2 n'est pas éliminé, mais sa contribution d'erreur est éli- minée de la manière décrite ci-dessus, par un calcul. Conformément à ce qui est indiqué ci-dessus, on utilise dans l'invention une troisième constante CR3 dont la valeur est mesurée et enregistrée dans la situation initia- le, avant l'étalonnage proprement dit, à l'aide des deux autres constantes CR1 et CR2. La valeur de la troisième constante CR3 est choisie en position médiane entre les deux autres constantes CR1 et CR2. Conformément au procédé de l'invention, dans la situation d'étalonnage et dans des situations de mesure, on mesure la variation de la troisième constante et, sur la base de cette variation, on corrige les valeurs à mesurer (équation 7), de façon à corriger l'effet du terme non linéaire A2 (équation 1). On peut utiliser la valeur de la troisième constante CR3 pour des procédures dites d'auto-diagnostic, et sur la base de la variation de sa valeur, il est possible de tirer des conclusions relati- ves à l'état des éléments électroniques d'interface. EXEMPLE 1 On présente ci-après en relation avec les figures 4 et 5, le premier exemple de test de la précision du procé- dé de l'invention, et dans cet exemple on choisit les valeurs suivantes, dans la plage représentée sur la figure 1A: CR2 = 20 pF CR1 = O pF CR3 = 10 pF température de l'environnement TA - 23 C oscillateur CL = 100 pF. On a effectué les mesures de l'exemple 1 au moyen de quatre condensateurs étalons CM1 à CM4, qui étaient des condensateurs étalons encapsulés dans du verre. Dans les mesures, on a fait varier de la manière suivante la capacité de charge CL de l'oscillateur: CL = 100 pF -* O pF. Sur la figure 4, les résultats de mesu- re sont représentés de la manière suivante: * = erreur non corrigée affectant des valeurs Y produites par un calcul basé sur deux références, + = erreur affectant des valeurs Y obtenues avec trois références et corrigées conformément à l'invention. La figure 5 illustre la variation qui se manifeste dans la capacité à mesurer (l'erreur de mesure) en fonction _3 de la capacité (pF) à mesurer, lorsque CL = 100 pF---O0 pF. On peut calculer de la manière suivante la valeur de l'erreur de mesure de la capacité CM: CMN = CR2-YM(CR2-CR1) dC-M = -(CR2-CR) dYM 2=1 CMn= (CR2-CR1) x YM D'après la figure 4, l'erreur corrigée maximale qu'on peut obtenir est: AYM = 0,0001. CM = 0,0001 x 20 pF = 2 fF (1 fF = 10-15 F) La sensibilité du détecteur de pression est d'environ 1,4 fF/hPa. La variation du condensateur de charge CL qui est décrite dans l'exemple 1 illustre une situation dans laquel- le l'un quelconque des détecteurs à mesurer devient défec- tueux et est court-circuité, la mise à la masse du condensa---= teur de découplage entraînant une situation de défaut. EXEMPLE 2 (figures 6 et 7) Les valeurs de départ sont les mêmes que dans l'exemple 1. On teste le procédé de l'invention en faisant varier la température de l'environnement, AT, de 22 C jusqu'à -39 C. Les résultats sont présentés sur les figures 6 et 7 d'une manière qui correspond à celle des figures 4 et 5. L'exemple 2 simule une situation dans laquelle le détecteur à mesurer et le circuit électronique de mesure sont placés à des températures différentes de celles de la situation d'étalonnage. Le procédé de l'invention permet d'améliorer la précision de mesure, en particulier dans des mesures ayant des exigences élevées. En outre, on peut éliminer l'effet d'un détecteur défectueux sur les autres détecteurs dans le % même circuit électronique de mesure. Le procédé de l'inven- tion permet de réaliser par exemple un émetteur de pression ayant une plage de mesure très étendue, par l'utilisation de plusieurs détecteurs de pression. Une mise en court- * circuit des détecteurs les plus sensibles n'affecte pas le fonctionnement des détecteurs de mesure à l'extrémité supérieure de la plage de mesure (pressions supérieures). On peut utiliser avantageusement le procédé de l'invention pour des opérations d'auto-diagnostic du circuit électroni- que de mesure. Conformément à l'invention, en utilisant une troisième impédance de référence, on peut éliminer une dépendance non linéaire de la grandeur de départ YM du sys- tème de mesure, vis-à-vis de l'impédance à mesurer. Confor- mément à l'invention, en utilisant une troisième impédance de référence constante, il est possible de faire en sorte que l'effet de cette non linéarité reste invariable, même si la non linéarité elle-même change sous l'effet de varia- tions se produisant dans la charge, la température ou d'autres facteurs dans le circuit de mesure. Bien qu'on ait mentionné ci-dessus une troisième impédance de référence CR3, il faut noter que dans certai- nes applications spéciales, on peut remplacer la troisième référence par des troisièmes références au nombre de deux ou plus, dont l'effet conjoint est similaire à l'effet d'une troisième référence, décrit ci-dessus. En règle géné- rale, il est cependant préférable de n'utiliser qu'une seule troisième impédance de référence. Il va de soi que de nombreuses modifications peu- vent être apportées au procédé décrit et représenté, sans sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Procédé de mesure d'impédances, en particulier de capacités faibles, destiné à améliorer la précision de mesure et la stabilité, dans lequel on utilise un circuit électronique de mesure (110-140) qui comprend des impédances de référence dont les valeurs électriques se trouvent dans la plage de mesure, et qui sont connectées alternativement, l'une après l'autre, à l'impédance ou aux impédances à mesu- rer, en utilisant-une structure de commutation (120) du cir- cuit de mesure, caractérisé en ce que le procédé comprend, en combinaison, les étapes suivantes: (a) on connecte au circuit de mesure, chacune à son tour, les première et seconde impédances de référence OR1 et OR2, ces impédances de référence ayant des valeurs d'impédance telles que la valeur de la première, CR1, se trouve à l'extrémité infé- rieure de la plage de mesure, et que la valeur de la secon- de, CR2, se trouve à l'extrémité supérieure de la plage de mesure, (b) on connecte à son tour au circuit de mesure au moins une troisième impédance de référence CR3, (c) en uti- lisant la première impédance de référence CR1 et la seconde impédance de référence CR2, on détermine la valeur Y(CR3) de la fonction spécifique Y = F(C) du système de mesure correspondant à la troisième référence CR3, et on mémorise cette valeur en vue d'une utilisation ultérieure dans le système de mesure, et (d) après un étalonnage ou une opéra- tion équivalente, eventuellement, on accomplit des séquen- ces de mesure, en relation avec lesquelles on mesure une nouvelle valeur Y'(CR3) de la fonction spécifique du sys- tème de mesure correspondant à la troisième impédance de référence CR3, on compare cette nouvelle valeur avec la valeur d'origine Y(CR3) obtenue et mémorisée conformément à l'étape (c) précédente, et on utilise dans un calcul (équa- tion 7) la quantité différentielle qui résulte de cette comparaison, pour déterminer les valeurs Y corrigées, ! Y'(CN),des impédances CN à mesurer. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on calcule les valeurs corrigées Y'M de la fonc- tion Y, obtenues par le procédé de mesure, conformément à la formule suivante: AY3(YM-1) Y'M = YM (1+ YCR'3(YCR'3-1) 3 3 dans laquelle: CR2-CM YM = CR CR- c'est-à-dire la valeur YM déterminée au moyen du modèle linéaire à l'aide des première et seconde références CR1 et CR2, AY3 = YCR3-YCR'3, YCR3 = valeur Y de la constante CR3 dans la situation de départ, c'est-àdire au début de la procédure d'étalonnage, YCR'3 = valeur Y de la troisième constante CR3 pendant le cycle de mesure qui est considéré, YM = valeur Y de la capacité à mesurer. 3. Procédé selon l'une quelconque des revendica- tions 1 ou 2, caractérisé en ce que, conformément au procé- dé, la grandeur de départ à mesurer est, d'une manière con- nue en elle-même, la période (T) de l'oscillateur de mesu- re (110), et on mesure cette période à l'aide du circuit électronique de mesure, d'une manière connue en elle-même. 4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'on calcule la grandeur de départ non corrigée du système de mesure par la formule: TR2-TM YM - YM TR2-TR 2 1 dans laquelle: TR2 = période de l'oscillateur (110) lorsque la capacité de référence CR2 est connectée, TR1 = période de l'oscillateur lorsque la capacité constante CR1 est connectée, TM = période de l'oscillateur lorsqu'une capacité CM à mesurer est connectée. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendica- tions 1 à 4, caractérisé en ce qu'on l'utilise dans la mesure d'une grandeur physique variable telle qu'une tempé- rature, une pression, un taux d'humidité, une translation, une force et/ou différentes sortes de rayonnements. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendica- tions 1 à 5, caractérisé en ce qu'on utilise la variation de la valeur Y'(CR3) de la fonction spécifique de la troi- sième référence, par rapport à la valeur d'origine corres- pondante Y(CR3), pour des procédures d'auto-diagnostic du circuit de mesure (110-140), comme par exemple pour l'observation ou l'indication du caractère fonctionnel ou de défauts du circuit électronique de mesure. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendica- tions 1 à 6, caractérisé en ce qu'on l'utilise dans des radiosondes pour la télémesure de la pression, de la tempé- rature et/ou de l'humidité atmosphériques. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendica- tions 1 à 7, caractérisé en ce qu'on l'utilise dans des mesures de pression, dans lesquelles on a élargi la plage de mesure par l'utilisation ce plusieurs détecteurs de pression capacitifs dont les plages de fonctionnement couvrent conjointement la totalité de la plage de mesure, et en ce que le procédé de l'invention permet d'éliminer l'effet d'une mise en court-circuit des détecteurs les plus sensibles, qui couvrent l'extrémité inférieure de la plage de mesure, sur le fonctionnement des détecteurs qui couvrent l'extrémité supérieure de la plage de mesure.