FR 2587852 A1 19870327 FR 8514123 A 19850924 Procédé de réalisation d'un Laser à semiconducteur à ruban enterré avec ou sans réseau de diffraction et Laser obtenu par ce procédé La présente invention a pour objet un procédé de réalisation d'un laser à semiconducteur à ruban en- terré et un Laser obtenu par ce procédé. ELLe trouve une application générale en télécommunications opti- ques. Le domaine technique de l'invention est celui des sources Laser à semiconducteurs Ga lxInxAs1_yPy ou InP pour Liaisons par fibre monomode. L'invention con- cerne plus particulièrement une structure à géométrie dite à ruban enterré, qui est une structure à faibLe courant de seuiL. Cette structure présente des avanta- ges intéressants par rapport aux structures de l'art antérieur. Elle permet, en premier Lieu, de minimiser les courants de fuite apparaissant aux températures de fonctionnement et/ou aux puissances optiques élevées. En second lieu, elle permet un procédé- de réalisation simple en deux étapes d'épitaxie au Lieu de trois comme pour La plupart des structures connues. La figure 1 annexée montre une structure con- nue à contre-réaction distribuée et à ruban enterré. Il s'agit d'une réalisation japonaise de la NEC Corpora- tion décrite dans un article intitulé: "Low threshold and high temperature single Longitudinal mode operation of 1.55 pm - Band DFB-DC- PBH-LD's" par M. Kitamura et aL publié dans ELectronics Letters, 5 juillet 1984, -p. 596-597. Cette structure comprend un substrat 10 en InP dopé n, une couche active 12 en InGaAsP, une couche de guidage 14 en InGaAsP, une couche de confinement 16 en InP dopé p, une couche 18 en -InP dopé p, une couche en InP dopé n, une couche 22 en InP dopé p et enfin une couche de contact 24 en InGaAsP dopé p. La structure à contre-réaction distribuée (dite DFB pour "Distributed Feed Back") comprend un ré- seau holographique 28 du premier ou deuxième ordre (0,24 ou 0,48 pm de pas) gravé dans Le guide formé par La couche 14 située juste au-dessus de La couche active 12, LaqueLLe fonctionne à 1,55 pm de Longueur d'onde. Le confinement électronique des Lignes de courant dans Le ruban est obtenu à L'aide des couches de type p et n, en forme de croissants 26, situées de part et d'autre de La zone active 12 du laser. Les meiLLeurs résuLtats à 1,3 et 1,55 pm de Longueur d'onde ont été obtenus avec cette structure: courant de seuiL 20 mA et puissance de 10 mW par face jusqu'à 60 C. On notera que cette structure est éLaborée en trois étapes d'épitaxie: - La première pour déposer Les deux couches quaternai- res 12 et 14, - La seconde pour La reprise d'épitaxie d'une couche 16 d'InP sur Le réseau préaLabLement gravé dans La cou- che 14, - la troisième enfin, pour l'épitaxie des couches blo- quantes 20 et 22 d'InP de type n et p et ceLLe de contact 24 en InGaAsP. IL faut noter aussi Le haut degré de préci- sion requis pour Le positionnement des couches bLoquan- tes par rapport à La zone active. IL faut remarquer enfin que cette structure ne peut être éLaborée que par épitaxie en phase Liqui- de. W.T. TSANG et ai des BeLL Laboratories ont publié récemment un article intituLé "HeteroepitaxiaL ridge-overgrown distributed feedback laser at 1.5 pm" dans Appl. Phys. Lett. 45, 15 décembre 1984, 1272-1275, o il est décrit une structure dite DFB-HRO (pour "Distributed Feedback-Heteroepitaxial Ridge Over- grown") qui peut être une solution de remplacement in- téressante. La structure correspondante est illustrée sur la figure 2. Elle comprend un substrat 30 en InP dopé n, une couche tampon 32 en InP dopé n, une couche active 34 en GaInAsP dopé n, une couche anti-redissolu- tion 36 en GaInAsP dopé p dans laquelLe se trouve un réseau de diffraction 38, un film 40 de diélectrique SiO2 percé d'une ouverture dans Laquelle a été formée une bande ("Ridge Overgrowth") 42 en InP dopé p, cette bande étant recouverte d'une métallisation. Dans une telle structure, le ruban actif n'est pas vraiment enterré. Le confinement électrique du courant est obtenu par l'ouverture (de 5 pm de Lar- ge) effectuée dans la couche de silice. Le guidage op- tique de la lumière engendrée dans la couche active est beaucoup moins efficace que dans la structure enterrée de la figure 1. Les courants de seuil sont de ce fait beaucoup plus importants. On notera aussi que cette structure est éla- borée en deux étapes d'épitaxie: - la première pour le dépôt des trois couches d'InP et des couches quaternaires, - la seconde pour la couche de confinement en InP dopé p, qui est obtenue par épitaxie localisée à travers le masque 40 de SiO2 préalablement déposé sur la cou- che 36. Une autre structure est connue par la publi- cation des demandeurs intitulée: "1.55 pm strip buried Schottky laser" dans "Proceedings of the 9th IEEE International Semiconductor Laser Conference", août 7-10, 1984. Cette structure est représentée sur la figure 3. Elle comprend un substrat 50 en InP dopé n, une couche de confinement 52 en InP dopé n, un ruban d'environ 2 pm de large formé d'une couche active 54 en GaInAsP et d'une couche de guidage 55 en GaInAsP, ce ruban étant enterré dans une couche 56 en InP dopé p; cette couche est recouverte d'une couche 58 en GaInAs en forme de mésa d'environ 5 pm de large. L'ensemble est recouvert d'une couche de titane 60 et d'or 62. Cette structure, dite SBH ("Strip Buried Heterostructure"), est réalisée en deux cycles d'épi- taxie: le premier permet le dépôt des trois couches 52, 54, 55 respectivement en InP et en GaInAsP de com- position correspondant à une longueur d'onde de 1,55 pm et en GaInAsP (à 1,3 pm), ces couches étant ensuite gravées par attaque sélective en forme de ruban. Le second cycle d'épitaxie permet de refaire croître sur le ruban La couche 56 d'InP de type p et une couche de contact 58. Le confinement du courant sur la mésa est ensuite obtenu en déposant sur le sommet un ruban de type Schottky. La structure SBH permet de réaliser aussi un laser DFB à ruban enterré sans complication suppLémen- taire. Il suffit de graver en plus un réseau hologra- phique dans la couche 55 fonctionnant à 1,3 pm, puis d'effectuer la reprise d'épitaxie en prenant soin de ne redissoudre ni le réseau ni le ruban. Un laser DFB-SBH réalisé selon cette techni- que est décrit dans l'article intituLé "Laser GaxIn 1_xAs 1_yPy 1,55 pm à contre-réaction distribuée" par P. CORREC et aI dans les Comptes-Rendus des Jour- nées Nationales de l'Optique guidée, 20-21 mars 1985, Issy-les-Moulineaux, France. Bien que donnant satisfaction à certains égards, toutes ces structures présentent en fait des inconvénients. La structure à ruban type DC PBH (figure 1) appliquée aux lasers DFB, est très difficile à mettre en oeuvre surtout à cause des trois épitaxies successi- ves et de la précision requise pour les épaisseurs et les profondeurs de gravure. La structure type HRO-DFB (figure 2) est plus simple que la première, mais conduit, en contrepartie, à des courants de seuil plus élevés (50- 100 mA au lieu de 20-40 mA) à cause du faible confinement latéral, électronique et optique. Quant à la structure type SBH, eLLe donne lieu à des difficultés de réalisation si l'on veut ob- tenir un réseau de Bragg distribué, du fait de l'épi- taxie en phase liquide qui provoque une redissolution d'une partie de La couche de guidage au cours de la reprise. On observe, par ailleurs, des courants de fui- te importants dans les jonctions p-n de l'InP situées de chaque côté du ruban, et cela à partir d'un courant total de 80 mA. On obtient, de ce fait, une limitation dans la puissance d'émission du laser (3 mW à 60 C au lieu de 10 mW avec la structure DC-PBH). Des Limita- tions du même ordre sont aussi observées dans les La- sers élaborés par épitaxie MO-CVD ("Metal-Organic, Che- mical Vapor Deposition"). Le but de l'invention est justement de remé- dier à ces inconvénients en proposant un procédé simple permettant d'obtenir une structure laser à ruban enter- ré par épitaxie liquide ou vapeur, avec possibilité d'obtention d'une contre-réaction distribuée, ce laser étant à faible courant de seuil et àforte puissance d'émission. L'invention repose sur les deux points essen- tiels suivants: 1) - l'utilisation d'une épitaxie localisée pour en- terrer le ruban actif (et éventuellement le ré- seau), ce qui conduit à une température de crois- sance plus faible qu'avec une épitaxie normale (500 C au Lieu de 600 C), 2) - l'utilisation d'un substrat de type p, pour effec- tuer la reprise d'épitaxie, ce qui permet de n'utiliser qu'une seule couche d'InP très forte- + 18 - ment dopé n (5.101 cm-3) pour limiter efficace- ment les courants de fuite dans les jonctions p-n latérales. IL est connu que l'épitaxie localisée d'un ruban de quelques pm de large conduit à une vitesse de croissance beaucoup plus importante que dans le cas d'une épitaxie sur toute la surface d'un substrat. L'excès de solution dans le bain précipite sur des ré- gions de faibles dimensions. Ce phénomène est signalé dans l'article intitulé "Embedded epitaxial growth of low-threshold GaInAsP/InP injection laser" par P.C. CHEN et aI publié dans Appl. Phys. Lett. 38 (5) 1er mars 1981, pp. 301-303. Ce phénomène traduit un très fort degré de sursaturation du bain et, par conséquent, permet d'ef- fectuer les épitaxies à basse température. Des crois- sances à 500 C ont été ainsi réalisées au lieu de 600-630 C dans le cas usuel. Cette diminution de la température de crois- sance permet: - d'une part, d'éviter les problèmes de redissolution de la couche de guidage mentionnés ci-dessus, - de limiter, d'autre part, Les déformations et dété- riorations du réseau de diffraction, couramment ob- servées aux températures élevées. L'utilisation d'un substrat de type p, à la place d'un substrat de type n, dans la structure SBH, conduit en outre à ne réépitaxier qu'une seule couche + d'InP fortement dopé n pour enterrer le ruban. Une couche de contact est dans ce cas superflue compte tenu des faibles valeurs de résistance de contact mesurées + sur les couches d'InP-n. Par ailleurs, il est très important de noter qu'une couche très conductrice con- duit à une réduction importante des courants de fuite dans les jonctions p-n latérales. En effet, dans La structure SBH classique, une saturation importante de la puissance émise apparaît pour un courant de 80 mA; au-delà, le courant passe dans les homojonctions laté- rales. On peut montrer que le courant de saturation Isat est relié à la différence de potentiel interne de l'homojonction, soit Vht et de l'hétérojonction, soit VH, par la relation: Vh - VH Isat R H eq o Req est la résistance entre le contact et le ruban eq enterré. Les valeurs expérimentales de Vh-VH sont de l'ordre de 400 mV, celles de Req calculées à partir du eq dopage et de l'épaisseur de la couche InP-p de l'ordre de 511., ce qui conduit à des valeurs calculées de Isat voisines des valeurs expérimentales. + L'utilisation d'une couche de type n conduit ainsi, compte tenu de la forte mobilité des électrons, à une résistance Req au moins 10 fois plus faibLe et, eq par conséquent, à un courant de saturation 10 fois plus fort. De façon précise, l'invention a pour objet un procédé de réalisation d'un laser à semiconducteur à ruban enterré du genre de ceux dans lesquels: - on forme une hétérostructure par une première épi- taxie consistant à déposer sur un substrat S une couche de confinement QO ayant un premier type de dopage, une couche active Q1 et une couche de guida- ge Q2' - on dépose sur la dernière couche Q2 une couche de diélectrique, on enlève une partie de cette couche en la laissant sur la zone o l'on veut former un ruban actif, -?, - on grave Les couches Q2 et Q1 jusqu'à La couche de confinement Q0, ce qui laisse subsister un ruban, - on effectue une reprise d'épitaxie sur La structure ainsi gravée pour enterrer le ruban dans une couche Q3 de semiconducteur ayant un second type de dopage opposé au premier, ce procédé étant caractérisé par le fait que: - le substrat S et la couche de confinement Q0 sont dopés n, alors que le semiconducteur utilisé pour la + reprise d'épitaxie Q3 est fortement dopé p, - on forme dans La couche de diélectrique deux ouvertu- res paraLLèLes et étroites de part et d'autre de La zone o l'on veut obtenir le ruban, et l'on grave les couches Q2 et Q1 à travers ces deux ouvertures, - on enLève le diélectrique au-dessus du ruban mais on Le maintient sur le reste de La structure de chaque côté des deux ouvertures, - on effectue la reprise d'épitaxie dans Les deux zones étroites ainsi gravées, reprise d'épitaxie étant ef- fectuée à une température inférieure à la température à laquelle est effectuée la première épitaxie. L'invention a également pour objet un laser obtenu par le procédé qui vient d'être défini. Ce laser est du genre de ceux qui comprennent une hétérostructu- re formée par un substrat, une couche de confinement ayant un premier type de dopage et un ruban formé d'une couche active et d'une couche de guidage, ce ruban étant enterré dans une couche ayant un second type de dopage opposé au premier; ce laser est caractérisé par le fait que: - le substrat et la couche de confinement sont dopés n et la couche dans laquelle est enterré le ruban est + dopée p, - le ruban enterré est encadré par deux bandes étroites en matériau Q3 obtenues par reprise d'épitaxie loca- lisée, - 2587852 - une couche diéLectrique recouvre La couche de guidage Q2 en dehors de L'intervalle formé par Les deux ban- des et le ruban. De toute façon, Les caractéristiques de l'in- vention apparaîtront mieux à la Lumière de La descrip- tion d'un mode de réalisation. Cette description se ré- fère à des dessins annexés sur lesqueLs: - la figure 1, déjà décrite, représente un laser DC-PBH de l'art antérieur, - la figure 2, déjà décrite, représente un laser HRO de L'art antérieur, - la figure 3, déjà décrite, représente un laser SBH de l'art antérieur, - la figure 4 représente un exempte de réali- sation d'un laser seton l'invention. La structure illustrée à la figure 4 nécessi- te deux épitaxies. Dans la première, trois couches sont + déposées sur un substrat S en InP de type p: - une couche QO d'InP de type p dopée entre 5.1016 et 17 -3 3.10 cm, - une couche active Q1 en GaInAsP de composition cor- respondant à une longueur d'onde d'émission de 1,55.m ou 1,3 pm, - une couche de guidage Q2 en GaInAsP de composition correspondant d'une longueur d'onde 1,3 pm pour un laser émettant à 1,5 pm ou 1,15 Mm pour un laser émettant à 1,3 pm. Dans Le cas d'un laser DFB à 1,3 ou 1,55 pm, un réseau de diffraction 70 du premier ou du deuxième ordre est ensuite gravé par Les techniques habitueLLes dans la couche de guidage Q2; On dépose ensuite une couche 72 de diélectri- que, en SiO2 de préférence ou, éventuellement, en Si3N, de 0,15 pm-0,17 pm d'épaisseur. Le dép6t s'ef- fectue par CVD assisté par plasma sur toute la surface du réseau. Deux ouvertures en forme de bandes placées cote à côte sont ensuite gravées dans La sitice à L'aide d'un même masque. La gravure de La structure est ensuite effec- tuée par attaque chimique pour creuser séLectivement Les deux couches Q1 et Q2 jusqu'à La couche QO en InP dopé p. On déLimite ainsi, dans Les deux couches qua- ternaires, un ruban 76 de Largeur W1 égale à I ou 2 pMm, au centre d'une ouverture 78 de Largeur W2 dont La va- Leur peut être comprise entre 8 et 20 pu. On retire ensuite Le masque de diélectrique qui subsistait au sommet du ruban 76 et t'on effectue une seconde épitaxie d'une couche InP de type n dopé entre 1018 et 5.1018 cm 3. La reprise d'épitaxie est effectuée à basse température pour Les raisons évoquées ci-dessus. IL est évident que cette structure et ce pro- cédé peuvent aussi convenir à des Lasers sans contre- réaction distribuée, c'est-à-dire à des Lasers à 1,3 ou à 1,55 pm, à faibLe courant de seuil (10-20 mA). REVENDICATIONS 1. Procédé de réalisation d'un laser à semi- conducteur à ruban enterré dans lequel: - on forme une hétérostructure par une première épi- taxie consistant à déposer sur un substrat (S) une couche de confinement (QO) ayant un premier type de dopage, une-couche active (Q1) et une couche de gui- dage (Q2), - on dépose sur la dernière couche (Q2) une couche de diélectrique (72), - on enlève une partie de cette couche la laissant sub- sister sur La zone o l'on veut former un ruban ac- tif, - on grave les couches (Q2 et Q1) jusqu'à la couche de confinement (Q0), ce qui laisse subsister un ruban (76), on effectue une reprise d'épitaxie sur la structure ainsi gravée pour enterrer le ruban dans une couche (Q3) de semiconducteur ayant un second type de dopage opposé au premier, ce procédé étant caractérisé par le fait que: - le substrat (S) et la couche de confinement (Qo0) sont dopés n alors que le semiconducteur utilisé pour la + reprise d'épitaxie est fortement dopé p, - on forme dans la couche de diélectrique deux ouvertu- res parallèles et étroites de part et d'autre de la zone o l'on veut obtenir le ruban, et l'on grave les couches (Q2 et Q1) à travers ces deux ouvertures, - on enlève le diélectrique (72) au-dessus du ruban (76) mais on le maintient sur le reste de la structu- re de chaque côté des ouvertures (78), - on effectue la reprise d'épitaxie dans les deux zones étroites ainsi gravées à une température inférieure à la température à laquelle est effectuée la première épitaxie. 2. Procédé selon la revendication 1, caracté- risé par le fait que l'on grave en outre la couche de guidage (Q2) pour constituer un réseau de diffraction distribué (70). 3. Procédé selon la revendication 1, caracté- + risé par le fait que le substrat (S) est en InP dopé p, la couche de confinement (Q0) en InP dopé p entre 16 17 -3O 5.1016 et 3.1017 cm 3, la couche active (Q1) en GaInAsP et la couche de guidage (Q2) en GaInAsP, la couche de + 018 reprise d'épitaxie en InP dopé n entre 1018 et 18 -3 5.1018 cm3 4. Procédé selon la revendication 1, caracté- risé par le fait que la reprise d'épitaxie s'effectue à une température inférieure à 600 C. 5. Procédé selon la revendication 4, carac- térisé par le fait que la reprise d'épitaxie s'effectue vers 500 C. 6. Procédé selon la revendication 1, caracté- risé par le fait que la reprise d'épitaxie s'effectue en phase liquide. 7. Procédé selon la revendication 1, caracté- risé en ce que la reprise d'épitaxie s'effectue en phase vapeur. 8. Laser à semiconducteur obtenu par le pro- cédé de la revendication 1, comprenant une hétérostruc- ture formée par un substrat (S), une couche de confine- ment (Q0) ayant un premier type de dopage et un ruban (76) formé d'une couche active (Q1) et d'une couche de guidage (Q2), ce ruban (76) étant enterré dans une cou- che (Q3) ayant un second type de dopage opposé au pre- mier, ce laser étant caractérisé par le fait que: - le substrat (S) et la couche de confinement sont do- + pés n et la couche (Q3) est dopée p, - le ruban enterré (76) est encadré par deux bandes étroites en matériau (Q3) obtenues par reprise d'épi- taxie localisée, - une couche diélectrique (72) recouvre La couche de guidage (Q2) en dehors de l'intervaLle (78) formé par Les deux bandes et le ruban. 9. Laser seLon La revendication 8, caracté- risé par Le fait que La couche de guidage (Q2) est gravée sous forme de réseau de diffraction distri- bué (70). B 8775.C RS