FR 2597391 A1 19871023 FR 8604263 A 19860325 ! PROCEDE DE REALISATION DE PERFORATIONS DANS UN MATERIAU SOLIDE EN FEUILLE. DISPOSITIF D'IRRADIATION POUR LA MISE EN OEUVRE DU PROCEDE ET HATERIAU PERFORE AINSI OBTENU L'invention concerne un procédé de réalisation de perforations dans un matériau solide en feuille, un dispositif d'irradiation pour la mise en oeuvre du procédé et le matériau perforé ainsi obtenu. On connait déjà l'obtention de perforations dans un matériau solide en feuille par réalisation, dans une première phase, de traces d'endommagement du matériau au moyen de particules altérant le matériau le long de leurs trajectoires et par traitement chimique, dans une seconde phase, pour attaquer sélectivement le matériau le long des traces d'endommagement (Physical Review, volume 133a, n' 5a, 1964, pages 1443 et suivantes; Sience, volume 149, n 3682, 1965, pages 383 et suivantes). Plusieurs variantes de mise en oeuvre de ce procédé ont été proposées. Le brevet US 3 303 085 décrit l'obtention de perforations dont la dimension transversale (diamètre) est comprise entre 5 et 20 000 À dans une feuille de mica de 100 microns d'épaisseur. La feuille de mica est placée dans un réacteur et bombardée par des particules a ou des ions oxygène puis traitée chimiquement au moyen d'une solution d'acide fluorhydrique. Le brevet US 3 493 751 décrit l'obtention de perforations dans une feuille de nitrate de cellulose dont l'épaisseur est de 0,02 mm environ. La feuille de nitrate de cellulose est bombardée de particules a dont l'énergie est de l'ordre de 4.5 Mev puis traitée chimiquement au moyen d'une solution aqueuse six fois normale d'hydroxyde de sodium entre 60'C et 70C pendant 30 secondes. Le brevet US 3 612 871 décrit l'obtention de perforations dans une feuille de résine synthétique notamment de polycarbonate. La feuille de polycarbonate est irradiée dans un réacteur nucléaire puis soumise à une radiation électro-magnétique de longueur d'onde inférieure à 4 000 A dont l'énergie est au moins de 1.5 Mev et enfin traitée chimiquement au moyen d'une solution aqueuse d'hydroxyde de sodium à environ 60'C pendant 20 secondes. 2597391 2 D'autres variantes de mise en oeuvre sont envisagées dans l'état de la technique {brevets US 3 713 921, 3 852 134, 3 677 844, FR 2 181 215). Ainsi que cela résulte de l' état connu de la technique, on s'est surtout attaché.. jusqu'à présent, à définir les conditions physico-chimiques du procédé considéré, plus que les modalités de sa mise en oeuvre industrielle permettant d'obtenir i des conditions économiques acceptables et selon un processus suffisamment aisé notamment en continu - un matériau en bande percé de perforations, de bonne qualité - notamment en ce qui concerne -l'homogénéité des perforations et leur régularité dimensionnelle -. Jusqu'à présent, le procédé a été essentiellement mis en oeuvre au moyen de réacteurs nucléaires plutôt qu'au moyen d'accélérateurs de particules. Et, l'emploi d'un accélérateur de particules et du dispositif d'irradiation associé pose un certain nombre de problèmes qui, s'ils ne sont pas réglés, peuvent conduire soit à limiter l'emploi de tels accélérateurs, soit à réaliser des perforations de qualité insuffisante. Plus spécialement. le traitement d'un matériau en bande. en continu, est rendu difficile du fait du vide poussé existant dans le dispositif d'irradiation associé en aval de l'accélérateur et de la vitesse insuffisante du traitement chimique. De plus, le faisceau de particules produit par l'accélérateur est tel qu'il conduit normalement à une répartition des perforations dans le matériau insuffisamment homogène et donc peu acceptable pour certaines applications. Enfin, le faisceau, s'il est intense, peut produire sur le matériau des impacts immédiatement voisins qui, après traitement chimique, conduisent à des perforations multiples composées de plusieurs perforations élémentaires (deux, voire trois perforations). Il en résulte alors une diminution de la régularité dimensionnelle des perforations et donc une perte de la sélectivité du matériau en ce qui concerne son pouvoir filtrant résultant des perforations. L'invention vise donc à résoudre le problème d'une mise en oeuvre industrielle du procédé décrit précédemment (bombardement puis traitement chimique) afin de fabriquer un matériau en bande, perforé, à des conditions économiques acceptables et de très bonne qualité, notamment en ce qui concerne l'homogénéité des perforations et leur régularité dimensionnelle et ceci en utilisant un dispositif 2597391 3 d'irradiation associé à un accélérateur de particules. L'invention propose donc d'abord, un procédé de réalisation de perforations dans un matériau solide en feuille selon la technique décrite précédemment dans lequel on soumet le matériau à un bombardement d'ions lourds fortement ionisés et accélérés ayant une énergie de l'ordre de2Mev par nucléon, le faisceau de particules accélérées ayant par exemple une intensité comprise entre 106 et 1013 ions par seconde environ et ceci au moyen d'un dispositif d'irradiation combiné à cyclotron isochrone placé en amont. De plus, on travaille en continu, ainsi qu'il est expliqué ci-dessous, la feuille de matériau formant une bande défilant d'abord dans le dispositif d'irradiation puis dans au moins un bain de traitement chimique. Selon une autre caractéristique de l'invention, on traite chimiquement le matériau ayant ainsi reçu des traces d'endommagement au moyen d'une solution de produit d'attaque dans un solvant organique. Le solvant organique sélectionné est un alcool notamment l'éthanol, l'isopropanol ou préférentiellement le méthanol. Selon d'autres caractéristiques de l'invention, on dévie le faisceau de particules accélérées.de manière à balayer transversalement la bande de matériau ce qui a pour fonction de régulariser la densité des perforations sur le matériau et on fait varier l'angle d'attaque du matériau par les particules ce qui a pour fonction de tendre à éviter les perforations multiples et donc permet d'obtenir un matériau perforé de bonne sélectivité. L'invention concerne également un dispositif d'irradiation combiné à un cyclotron isochrone placé en amont, pour la mise en oeuvre du procédé. A l'enceinte à haut vide du dispositif d'irradiation est associé un caisson étanche dans lequel est logé un dérouleur de la bande de matériau à traiter, un diaphragme apte à ne pas ralentir substantiellement la vitesse des particules séparant l'enceinte à haut vide et le caisson étanche dont le vide est moins poussé. Selon d'autres caractéristiques de l'invention le dispositif d'irradiation comporte des moyens pour dévier le faisceau de particules et des moyens pour faire varier l'angle d'attaque des particules sur la bande de matériau à traiter. L'invention concerne enfin un matériau obtenu par la mise en oeuvre du procédé. Ce matériau synthétique, notamment polymère, peut avoir une 2597391 4 épaisseur de l'ordre de quelques microns à plus de-100 microns et une 2 il densité de perforations par cm pouvant atteindre 101 les perforations pouvant avoir un diamètre compris entre 5 et 100 000 A. L'invention est remarquable en ce qu'elle permet la réalisation, en continu, de matériau ainsi perforé non seulement dans des conditions économiques très satisfaisantes mais encore avec une excellente qualité, ce qui est susceptible d'élargir considérablement le champ d'utilisation de ce type de matériau perforé, qui peut être utilisé, par exemple, comme membrane d'ultra filtration. Les autres caractéristiques de l'invention résulteront de la description qui suivra en référence aux dessins annexés dans lesquels: - La figure 1 est une vue schématique en coupe par un plan axial illustrant l'enceinte à haut vide du dispositif d'irradiation et le caisson étanche du dérouleur associé. - La figure 2 est une vue schématique en perspective illustrant les moyens pour dévier le faisceau de particules dans le dispositif d'irradiation. - La figure 3 est une vue schématique en élévation d'une bande de matériau montrant la zone de bombardement et le balayage par le faisceau de particules. - La figure 4 est une vue schématique de côté illustrant une première variante possible de moyens pour faire varier l'angle d'attaque des particules sur la bande de matériau à traiter. - Les figures 5 et 6 sont deux vues schématiques en perspective illustrant une seconde variante possible des moyens pour faire varier l'angle d'attaque des particules sur le matériau à traiter, dans deux états successifs. - Les figures 7 et 8 sont deux vues schématiques en perspective illustrant le matériau obtenu par la mise en oeuvre du procédé, respectivement selon les deux variantes de moyens pour faire varier l'angle d'attaque envisagées. 2597391 5 L'invention concerne un procédé d'obtention de perforations 1 dans un matériau solide en feuille 2 dans lequel on soumet d'abord le matériau 2 à un bombardement de particules 3 afin d'obtenir des traces d'endommagement du matériau 2 dans son épaisseur, puis on attaque sélectivement le. matériau 2 ainsi bombardé le long des traces d'endommagement afin d'obtenir les perforations 1 qui, normalement, traversent le matériau 2 de part en part. Selon l'invention, on soumet le matériau 2 à un bombardement d'ions lourds 3 fortement ionisés et accélérés ayant une énergie de l'ordre de 2 Mev par nucléon, le faisceau de particules accélérées 3 ayant une intensité comprise entre 10 et 10 ions par seconde et ceci au moyen d'un dispositif d'irradiation 4 plus spécialement combiné à un cyclotron isochrone placé en amont de ce dispositif d'irradiation 4. Les particules 3, ont dans le faisceau qu'elles constituent, des cheminements au moins sensiblement parallèles. Le matériau 2 dans sa zone de bombardement avec les particules 3 est placé au moins sensiblement perpendiculairement au faisceau de particules 3. Le faisceau a, en section droite transversale, un contour approprié, notamment rectangulaire, dont le grand côté est par exemple égal ou de l'ordre de 50 mm et dont le petit côté est par exemple égal ou de l'ordre de 10 mm. Le matériau 2 forme une bande défilant notamment à vitesse linéaire constante dans le dispositif d'irradiation 4 et, éventuellement. ultérieurement, dans un ou plusieurs bains de traitement chimique, ce qui permet de travailler en continu sur des longueurs importantes de matériau 2 et donc d'automatiser commodément le procédé. Plus précisément, on traite en continu une certaine longueur de matériau 2 -par exemple pouvant atteindre plusieurs mètres ou dizaines de mètresdans le dispositif d'irradiation 4 en le faisant défiler à une vitesse linéaire appropriée généralement constante. Puis, ultérieurement, cette même longueur de matériau 2 est traitée chimiquement soit de façon dynamique en défilant dans un ou plusieurs bain de traitement chimique i une vitesse linéaire appropriée, identique ou non à la vitesse de défilement dans le dispositif d'irradiation 4, soit de façon statique en étant plongée dans son ensemble dans ce ou ces bains et en y séjournant la durée appropriée. Le traitement chimique est effectué en continu immédiatement après le bombardement ou après un 2597391 6 certain délai de repos ou de stockage. Par exemple, la bande de matériau 2 est entrainée dans le dispositif d'irradiation 4 à une vitesse linéaire comprise entre 0,01 mètre par seconde et 5 mètres par seconde, notamment égale ou voisine {voire supérieure) de 1 mètre par seconde environ. Les particules 3 utilisées pour le bombardement du matériau 2 sont préférentiellement des ions de gaz rares, notamment, l'Argon, le Krypton, le Néon ou encore le Xénon. Des résultats très favorables ont été obtenus avec l'Argon. Selon l'invention, on dévie, dans le temps, le faisceau de particules accélérées 3 (c'est i dire qu'on fait varier l'orientation relative d'attaque du matériau 2 par le faisceau de particules 3 pris dans son ensemble), ce qui a pour fonction de régulariser la densité des perforations 1 sur la bande de matériau 2. A cet effet, on effectue avec le faisceau de particules 3 un balayage sinusoidal transversal, notamment permanent, de la bande de matériau 2. Préférentiellement, l'amplitude du balayage est supérieure à la largeur de la bande de matériau 2 (par exemple égale ou supérieure à deux fois cette largeur) et ceci pour éviter les défauts de linéarité qui résulterait d'un bombardement du matériau 2 en fin de course de balayage. La fréquence de balayage de la bande de matériau 2 avec le faisceau de particules 3 est telle que l'avancement de la bande de matériau 2 pendant une période de balayage du faisceau de particules 3 soit au plus égale et généralement inférieure - et même très inférieure - à la dimension du faisceau de particules 3 dans le sens de défilement de la bande de matériau 2 de manière à bombarder avec les particules 3 une même surface élémentaire de matériau 2 en plusieurs passes successives ce qui a pour effet de régulariser la densité des perforations 1 sur la bande de matériau 2. A cet effet, on se réfère, à la figure 3 qui représente un tronçon de bande de matériau 2 ayant un axe longitudinal médian 5 (dans la direction du défilement de la bande) et qui est limitée par deux bords longitudinaux 6. La trace du faisceau de particules 3 sur la bande définit une surface bombardée 7 (représentée doublement hachurée) qui, comme il a été indiqué précédemment. peut être rectangulaire, ses grands côtés 8 étant parallèles à l'axe 5 et ses petits côtés 9 2597391 7 disposés transversalement sur la bande de matériau 2. Ainsi que cela résulte des valeurs données précédemment pour les dimensions, la largeur 1 de la surface bombardée 7 est inférieure, notamment très inférieure, à la largeur L de la bande de matériau 2. Par exemple, 1 est de l'ordre deL/20. Par suite du balayage transversal du faisceau de particules 3, la surface bombardée 7 est déplacée transversalement sur la bande de matériau 2, le long d'un axe médian transversal 10 en définissant une zone de bombardement transversale 11 limitée par les côtés 9. Cette zone de bombardement 11 déborde largement les bords longitudinaux 6 du fait de l'amplitude du balayage par rapport à la largeur de bande de matériau 2 de manière que la bande de matériau 2 soit placée seulement dans la partie médiane de la zone de bombardement 11 là ou le déplacement du faisceau de particules 3 est au moins sensiblement linéaire. Par exemple, la zone de bombardement 1l s'étend sur une amplitude transversale de l'ordre de 40 cm pour une bande de matériau 2 dont la largeur L est de l'ordre de 20 cm. Compte tenu que le balayage du faisceau de particules 3 est nettement plus rapide que la vitesse de défilement de la bande de matériau 2, et du fait de ce qui précède, l'axe médian transversal 10 est sensiblement rectiligne et perpendiculaire i l'axe longitudinal 5. Avec une fréquence de balayage de 50 Hz (fréquence électrique du secteur), une vitesse de défilement de bande de matériau 2. lors du bombardement, de l'ordre de 60 cm/sec, et avec les dimensions de la surface bombardée 7 précédemment mentionnées, on réalise un bombardement en plusieurs passes ce qui est propre à régulariser la répartition des impacts des particules 3 sur la bande de matériau 2, donc l'homogénéité des perforations 1 ultérieurement obtenues. Par exemple, une même surface élémentaire de matériau 2 est ainsi bombardée neuf fois environ. Le nombre de passes de bombardement peut faire l'objet de variantes en fonction des différentes valeurs numériques employées. Le balayage étant réalisé par un pivotement sinusoidal alternatif du faisceau de particules 3 dans son ensemble crée d'un bord longitudinal à l'autre de la bande de matériau 2 une variation de l'angle d'impact. Toutefois cette variation est en général très faible et de l'ordre de quelques degrés seulement. Selon une autre caractéristique de l'invention, on fait varier substantiellement l'angle d'attaque d'une même surface élémentaire de la bande de matériau 2 par les particules 3, de manière que même dans l'hypothèse d'impacts voisins, les trajectoires des particules 3 2597391 8 associées à ces impacts soient suffisamment divergentes et non parallèles (figures 7 et 8) ce qui permet de tendre à éviter la formation de perforations 1 multiples et donc d'affecter la sélectivité du matériau perforé 2. quant à son pouvoir filtrant. La variation de l'angle d'attaque est déterminée en fonction de l'épaisseur E du matériau 2 à traiter et du diamètre D des perforations 1 à réaliser. Plus l'épaisseur E du matériau 2 est importante, plus la variation de l'angle d'attaque peut être faible. Plus le diamètre D des perforations 1 est important, plus la variation de l'angle d'attaque doit être importante. Selon une première approche, la variation d'angle (ou la tangente de l'angle) est sensiblement proportionnelle i 0 et inversement X proportionnelle à E. Ainsi, pour un matériau 2 de l'ordre de 10 microns d'épaisseur et des perforations 1 de l'ordre de 17 000 A de diamètre, la variation de l'angle d'attaque est de l'ordre de 10'. En général et éventuellement sauf dans le cas d'un matériau 2 très mince avec des perforations I de très petit diamètre, la variation de l'angle d'attaque est d'un ordre de grandeur très différent (par exemple dix fois plus grand) que la variation de l'angle d'attaque résultant du balayage, qui est donc insuffisant à lui seul pour prévenir les perforations 1 multiples. Dans une première variante possible, on dispose la bande de matériau 2 de manière que dans la zone de bombardement 11 elle soit incurvée, notamment suffisamment incurvée, et non plane. Cette variante permet l'emploi d'un faisceau de particules 3 très intense, avec une très faible probabilité de réaliser des doubles ou des triples perforations. Par exemple, la zone de bombardement 11 est incurvée de façon cylindrique à axe transversal à convexité tournée vers le faisceau de particules 3. Dans une seconde variante possible, la bande de matériau 2 est plane ou sensiblement plane - dans la zone de bombardement 11 et on réalise pour une même surface élémentaire du matériau 2 un bombardement en plusieurs passes successives, chacune peu intense, et avec des angles d'attaque suffisamment différents. Par exemple on incline la bande de matériau 2 sur le faisceau de particules 3 sous des angles différents successifs et ceci pour une même surface de matériau 2. Ces passes successives peuvent correspondre éventuellement aux passes ou à des groupes de passes successives résultant du balayage précédemment 2597391 9 mentionné. Pour permettre un traitement en continu de la bande de matériau 2, on traite chimiquement le matériau 2 au moyen d'une solution de produit d'attaque dans- un solvant organique. Par exemple, l'emploi d'une solution de soude comme produit d'attaque dans le méthanol comme solvant permet une vitesse d'attaque de l'ordre de dix fois supérieure à celle d'une solution aqueuse de soude telle que celle utilisée jusqu'i présent, et ceci dans le cas o le matériau 2 est du polycarbonate ou similaire. La durée du traitement d'attaque peut alors être comprise, par exemple, entre 30 secondes et 2 minutes selon le diamètre des perforations 1 à réaliser. Le traitement chimique peut être réalisé soit de façon statique, la totalité d'une longueur de bande de matériau 2 trempant au repos, pendant la durée nécessaire, dans un bain de traitement; soit de façon dynamique, la bande de matériau 2 défilant dans le bain. Cette caractéristique de l'invention permet notamment d'éviter soit de stocker de la bande de matériau 2 de façon excessive, soit une installation coûteuse de traitement chimique. Différents solvants organiques peuvent être envisagés notamment l'éthanol, l'isopropanol et préférentiellement le méthanol. Le produit d'attaque peut être, de façon connue en soi, de l'hydroxyde de sodium ou de potassium. La concentration de produit d'attaque dans le solvant organique peut être comprise entre 1 Z et 50 Z en poids environ et préférentiellement égale ou voisine de 5 Z environ. La température du bain d'attaque peut varier entre 20'C et 60'C environ, préférentiellement entre 50'C et 60'C environ. L'emploi d'un tel solvant organique pour une bande de polycarbonate permet d'atteindre une durée de traitement chimique inférieure à quelques minutes dans les conditions de température mentionnées ci-dessus, avec une excellente qualité de perforations. Cette durée est compatible avec un traitement dynamique par défilement de la bande de matériau 2 dans un bac de produit d'attaque. Le traitement d'attaque peut être suivi, de façon connue en soi, d'un second traitement de neutralisation (par exemple dans un bain d'acide acétique si le traitement initial est réalisé au moyen d'une base forte), puis d'un rinçage et enfin d'un séchage. 2597391 10 L'invention concerne également un dispositif d'irradiation 4 destiné à être combiné i un cyclotron isochrone (non représenté} placé en amont, pour la mise en oeuvre du procédé qui vient d'être décrit. Les caractéristiques principales d'un tel cyclotron isochrone sont connues de l'homme de métier et pour cette raison ne sont pas rappelées ici en détail ne constituant d'ailleurs pas en soi l'invention. Seules les perfectionnements spécifiques au dispositif d'irradiation 4 associé et permettant la mise en oeuvre optimale du procédé sont décrits. On se réfère à la figure 1 sur laquelle est représentée la partie extrême terminale de l'enceinte à haut vide 12 du dispositif d'irradiation 4, dans laquelle circule et est canalisé le faisceau de particules 3. L'enceinte est placée en sortie du cyclotron isochrone et a une forme générale cylindrique, connue en soi. Selon l'invention, i l'extrémité aval de l'enceinte 12 est associé rigidement un caisson 13 étanche à l'air, dans lequel est logé un dérouleur 14 pour la bande de matériau 2. Un diaphragme 15 apte d'une part i ne pas ralentir substantiellement la vitesse des particules 3, d'autre part à ne pas modifier substantiellement leurs trajectoires sépare l'un de l'autre l'enceinte 12 et le caisson 13, à l'endroit d'ouvertures respectives de leurs parois venant en correspondance. Le caisson 13 est placé contre l'extrémité aval de l'enceinte 12 et dans le prolongement de celle-ci. Le caisson 13 comporte une porte d'accès non représentée avec joint d'étanchéité à l'air et également un hublot permettant de contrôler visuellement le bon fonctionnement du dérouleur 14. Le dérouleur 14 comporte une bobine 16 de bande de matériau 2 non bombardé, un mandrin 17 d'enroulement de la bande de matériau 2 bombardé et donc comportant des traces d endommagement, des rouleaux de renvoi 18 et des moyens d'entraînement Une pompe à vide primaire 19 est associée au caisson étanche 13 par une conduite 20 et à une pompe à vide secondaire 21 par une dérivation 259739 1 i 22 branchée sur la conduite 20, la pompe à vide secondaire 21 étant ellemême associée à l'enceinte à haut vide 12. Cette disposition est telle que le vide dans le caisson étanche 13 est moins poussé que celui régnant dans l'enceinte 12, sans que, pour autant, la pression différentielle exercée sur le diaphragme 15 ne soit trop importante et surtout que le comportement des particules 3 ne soit substantiellement affecté. Par exemple, le vide dans l'enceinte 12 est inférieur à 10 mm de mercure' tandis que le vide dans le caisson 13 est de l'ordre de 102 mm de mercure. Le diaphragme 15 est placé à proximité immédiate de la bande de matériau 2 - par exemple à quelques centimètres - de manière que ni le diaphragme 15, ni le vide moins poussé régnant dans le caisson 13 et plus précisément sur la faible distance qui sépare le diaphragme 11 de la zone de bombardement 11 en regard de la bande de matériau 2 n'affecte substantiellement le faisceau de particules 3 en puissance ou en direction. L'existence d'un vide moins poussé dans le caisson étanche 13 permet de diminuer considérablement la durée d'établissement du vide dans ce caisson 13 et donc de faciliter la mise en oeuvre industrielle du procédé, notamment lors de la mise en place et de l'enlèvement de la bande de matériau 2 respectivement dans et depuis le caisson 13, ce qui implique d'ouvrir sa porte d'accès et donc de casser le vide dans le caisson 13. Le diaphragme 15 est préférentiellement réalisé sous la forme d'un film métallique ou autre c'est à dire en un matériau mécaniquement résistant et non susceptible d'être fortement endommagé par le bombardement de particules 3, notament en aluminium très pur de 8 à 12 microns d'épaisseur environ (par exemple d'épaisseur égale ou voisine de 10 microns). Compte tenu de cette épaisseur, et de la nature du matériau constituant le diaphragme 15, la différence de pression entre les deux faces du diaphragme 15 doit rester inférieure à 10 millibars environ pour éviter la détérioration mécanique du diaphragme 15. Des moyens de mesure de contrôle et de régulation du vide 23, 24 peuvent être prévus respectivement tant sur l'enceinte 12 que sur le caisson 13. Le dispositif d'irradiation 4 selon l'invention (figure 2) comporte des moyens 25 pour dévier dans le temps, notamment en permanence, le faisceau de particules 3 dans son ensemble, et réaliser ainsi un balayage transversal de la bande de matériau 2 avec le faisceau de particules 3. Ces moyens 25 sont constitués, par exemple, par un 2597391 12 déflecteur magnétique interposé sur l'enceinte 12, suffisamment éloigné du diaphagme 15. Les pièces magnétiques 26 du déflecteur magnétique 25 sont en acier feuilleté, dans l'entrefer 27 desquelles passe l'enceinte à haut vide 12. Les bobinages 28 associés aux pièces magnétiques 26 sont branchés sur une source de courant alternatif 29 via un banc de condensateur de puissance 30 pour compenser la puissance réactive importante requise par un tel électroaimant 26, 28. L'enceinte à haut vide 5 est réalisée, au moins au droit du déflecteur magnétique 25 en un matériau électriquement isolant pour éviter toute perturbation et notamment est réalisée on verre minéral ou organique ou tout matériau similaire. Les moyens 25 permettent de dévier en permanence le faisceau de particules 3 dans son ensemble en réalisant un balayage sinusoidal transversal de la bande de matériau 2. L'amplitude du balayage peut être comprise entre 40 cm et 60 cm environ; la fréquence de balayage peut être égale ou de l'ordre de 50 Hz; la bande de matériau 2 peut avoir une largeur de 20 cm environ et une vitesse de défilement de l'ordre de 1 mètre par seconde. Les moyens 25 sont conçus de manière qu'une même surface élémentaire de la bande de matériau 2 à bombarder soit traitée en plusieurs passes successives grâce à des balayages successifs. L'angle de balayage peut avoir une amplitude angulaire de l'ordre de quelques degrés, par exemple comprise entre 3 et 10' environ. Afin d'assurer une longueur d'amplitude de balayage suffisante tout en évitant une amplitude angulaire excessive, les moyens 25 sont suffisamment écartés de la bande de matériau 2. Par exemple, l'enceinte 12 a une forme générale cylindrique de diamètre de l'ordre de 20 cm et les moyens 25 sont écartés de plusieurs mètres notamment de l'ordre de 2 à 6 mètres- du diaphragme 15 et donc du matériau 2. Le dispositif d'irradiation 4 selon l'invention comporte également des moyens 31 pour faire varier substantiellement l'angle d'attaque d'une même surface élémentaire du matériau 2 par les particules 3. par exemple de l'ordre d'une dizaine de degrés. Comme indiqué précédemment, la mise en oeuvre des moyens 31 permet d'éviter ou de diminuer le risque de réalisation de perforations multiples, notamment doubles ou triples. 2597391 13 Les moyens 31 peuvent faire l'objet de plusieurs variantes de réalisation. Dans une première variante (figure 4) la bande de matériau 2 est conformée de façon incurvee dans la zone de bombardement 11 grâce, par exemple, à une surface d'appui incurvée 32 constituée notamment par un rouleau d'axe transversal sur un arc duquel est appliqué le matériau 2. Le rayon de courbure de la surface 32 est suffisamment petit pour que d'un bord transversal extrême à l'autre de la' zone de bombardement 11, la variation de l'angle d'attaque du matériau 2 par les particules 3 soit significatif et par exemple de l'ordre de plusieurs dizaines de degrés. La zone de bombardement 11 forme un arc cylindrique d'ouverture a. Eventuellement la valeur a est telle que les perforations I restent voisines d'une direction perpendiculaire à la bande de matériau 2. Cette première variante de réalisation autorise l'emploi d'un faisceau de particules 3 intense. Par exemple, le rouleau constituant la surface d'appui incurvé 39 peut avoir un diamètre de l'ordre de 6 à 10 cm, notamment égal ou voisin de 8 cm, et l'angle " compris notamment entre 50' et 90* environ. Dans une seconde variante (figures 5 et 6) la bande de matériau 2 est plane - ou substantiellement plane - dans la zone de bombardement 11 et l'angle relatif d'attaque de la bande de matériau 2 par le faisceau de particules 3 varie dans le temps, le bombardement étant réalisé sur une même surface élémentaire du matériau 2 en au moins deux passes selon deux angles suffisamment différents, successivement. Les deux passes concernent en tout ou en partie une même surface élémentaire de matériau 2, grâce notamment au balayage à recouvrement. A cet effet, il est prévu par exemple que le dérouleur 14 soit monté pivotant dans son ensemble autour d'un axe, notamment transversal 33 par rapport à la bande de matériau 2, entre deux positions extrêmes inclinées l'une par rapport à l'autre d'un angle R, des moyens d'entraînement (non représentés) tels qu'un moteur permettant de faire passer le dérouleur 14 de l'une à l'autre de ses positions extrêmes. Par exemple, une première position extême (figure 5) correspond à une attaque perpendiculaire du matériau 2 par les particules 3 et une seconde position extrême (figure 6) à une attaque selon un angle de l'ordre de 60'. L'invention concerne enfin le matériau 2 comportant des perforations 1 réalisé grâce au procédé qui vient d'être décrit. 2597391 14 Le matériau 2 est préférentiellement une matière synthétique notamment polymère choisie parmi les polyesters notamment le polyéthylène téréphtalate, les polycarbonates notamment le polycarbonate de bisphénolA, les. polyéthers aromatiques (polyéthers sulfones, polyéthers cétones), les polysulfones et les polyoléfines (polyéthylène. polypropylène, chlorure de polyvinyle, polyfluorure de vinylidiéne). les acétates et nitrates de cellulose. Le matériau 2 peut être présenté en bande flexible dont l'épaisseur peut varier entre quelques microns et plus de 100 microns, la largeur de la bande pouvant varier de 5 cm à 150 cm environ. Les perforations 2 il 1 réalisées peuvent avoir une densité par cm allant jusqu'à 10, les dimensions des perforations 1 étant comprises entre 5 A et 100 000 A. Les perforations 1 traversent, en général, le matériau 2 de part en part, étant de type débouchant ce qui correspond principalement à une fonction tamis ou filtration du matériau 2 ainsi perforé. Les perforations 1 sont distribuées de façon aléatoire selon les configurations successives du faisceau de particules 3. Grâce au balayage i recouvrement précédemment décrit, la répartition des perforations 1 présente une bonne homogénéité sur toute la surface de la bande de matériau 2. La variation de l'angle d'attaque du matériau 2 par les particules 3 permet permet d'éviter des perforations 1 doubles ou triples. Lorsque deux impacts sont voisins, ce qui peut arriver, bien que déjà peu probable, il est en effet presque impossible que les deux traces respectives soient parallèles. Très certainement elles sont divergentes, ce qui n'affecte donc pas la sélectivité du matériau 2 comportant les perforations 1 en ce qui concerne son pouvoir filtrant. Selon une variante possible, la bande de matériau 2 comporte deux lisières longitudinales 34 dépourvues de perforations 1. Ces lisières 34 peuvent avoir comme fonction d'assurer une certaine tenue mécanique de la bande de matériau 2. Par exemple. elles peuvent avoir chacune une largeur de l'ordre de 20 mm pour une bande de matériau 2 de 20 cm de largeur. Eventuellement. la bande de matériau 2 comporte une ou plusieurs autres bandes ou surfaces dépourvues de perforation 1 s'étendant dans le sens longitudinal de la bande ou inclinées sur 2597391 15 celui-ci ou placées différemment. A cet effet, il est interposé sur le faisceau de particules 3 des caches correspondant aux lisières, bandes surfaces prévues. Ces caches sont par exemple placés dans et portés par le caisson 13 ou situés entre le caisson 13 et l'enceinte à haut vide 12. Le matériau constituant ces caches arrête les particules 3, du fait de sa nature et de son épaisseur, appropriées. Par exemple un cache est réalisé en acier de quelques mm d'épaisseur. En variante, les caches sont constitués par la paroi même du caisson 13 dans laquelle est ménagée une ouverture qui est fermée par le diaphragme 15. REVENDICATIONS 1. Procédé de réalisation de perforations (11 dans un matériau solide en feuille (2) dans lequel on soumet d'abord le matériau (2) à un bombardement de particules (3) afin d'obtenir des traces d'endommagement du matériau (2) dans son épaisseur puis on attaque sélectivement le matériau (2) ainsi bombardé le long des traces d'endommagement afin d'obtenir des perforations (1) caractérisé par le fait qu'on soumet le matériau (2) à un bombardement d'ions lourds (3) fortement ionisés et accélérés ayant une énergie de l'ordre de 2 Mev par Nucléon. le faisceau de particules accélérées (3) ayant une intensité comprise entre 10 et 1013 ions par seconde, et ceci au moyen d'un dispositif d'irradiation (4) combiné à un cyclotron isochrone placé en amont. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé par le fait qu'on travaille on continu, la feuille de matériau (2) formant -une bande défilant dans le dispositif d'irradiation (4) puis éventuellement dans au moins un bain de traitement chimique. 3. Procédé selon la revendication 2. caractérisé par le fait qu'on entraîne la bande de matériau (2) dans le dispositif d'irradiation (4) à une vitesse linéaire. notamment constante, comprise entre 0,01 et 5 mètres par seconde, notamment égale ou voisine de 1 mètre par seconde environ. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3. caractérisé par le fait que les particules (3) pour le bombardement du matériau (2) sont des ions de gaz rares notamment l'Argon, le Krypton ou le Néon, le Xénon. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé par le fait qu'on dévie le faisceau de particules accélérées (3) dans le temps de manière à balayer transversalement la bande de matériau (2) ce qui a pour fonction de régulariser la densité des perforations (1) sur le matériau (2). 6. Procédé selon la revendication 5, caractérisé par le fait qu on 2597391 17 dévie le faisceau de particules (3) avec une amplitude nettement supérieure à la largeur de la bande de matériau (2). 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 5 et 6, caractérisé par le fait qu'on dévie le faisceau de particules (3) avec une fréquence telle que l'avancement de la bande de matériau (2) pendant une période de balayage soit inférieure à la dimension du faisceau de 'particules (3) dans le sens du défilement de la bande de matériau (2). de manière à bombarder une même surface élémentaire de matériau (2) en plusieurs passes successives. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7. caractérisé par le fait qu'on fait varier substantiellement l'angle d'attaque d'une même surface élémentaire de matériau (2) par les particules (3). notamment de l'ordre d'une dizaine de degrés ou plus ce qui a pour fonction de tendre à éviter la réalisation de perforations multiples doubles ou triples. 9. Procédé selon la revendication 8, caractérisé par le fait que pour faire varier l'angle d'attaque du matériau (2) par les particules (3) on place le matériau (2) de façon qu'il soit incurvé dans sa zone de bombardement (11). 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications 8 et 9, caractérisé par le fait que pour faire varier l'angle d'attaque du matériau (2) par les particules (3), on réalise le bombardement d'une meme surface élémentaire d'un matériau (2) en plusieurs passes successives selon au moins deux angles d'attaque différents. 11. Procédé selon l'une quelconque des revendications I à 10, caractérisé par le fait qu'on traite chimiquement le matériau (2) au moyen d'une solution de produit d'attaque dans un solvant organique. 12. Procédé selon la revendication 11, caractérisé par le fait qu'on utilise comme solvant organique un alcool, notamment l'éthanol, lisopropanol et, préférentiellement, le méthanol. 13. Procédé selon 1 'une quelconque des revendications 11 et 12, caractérisé par le fait qu'on utilise comme produit d'attaque une base forte, notamment de l'hydroxyde de sodium ou de potassium. 14. Dispositif d'irradiation destiné à être combiné à un cyclotron isochrone placé en amont pour la réalisation de perforations (1) dans un matériau (2) par bombardement de particules (3) conformément au procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 13, caractérisé par le fait qu'à son enceinte à haut vide (12) est associé un caisson étanche (13) dans lequel est logé un dérouleur (14) de la bande de matériau (2) à traiter, un diaphragme (15) apte à ne pas ralentir substantiellement la vitesse des particules (3) séparant l'enceinte (12) et le caisson (13) et étant placé à proximité du matériau (2). 15. Dispositif d'irradiation selon la revendication 14. caractérisé par le fait qu'il comporte une pompe à vide primaire (19) associée au caisson (13) et une pompe à vide secondaire (21) associée à l'enceinte (12) de manière que le vide dans le caisson (13) soit moins poussé que celui régnant dans l'enceinte (12), sans que, pour autant, la pression différentielle exercée sur le diaphragme (15) ne soit trop importante. 16. Disposition d'irradiation selon l'une quelconque des revendications 14 et 15, caractérisé par le fait que le diaphragme (15) est un film métallique ou autre en un matériau mécaniquement résistant et non susceptible d'être fortement endommagé par le bombardement de particules (3), notamment en aluminium d'épaisseur comprise notamment entre 8 et 12 microns. 17. Dispositif d'irradiation selon l'une quelconque des revendications 14 à 16, caractérisé par le fait que le vide régnant dans le caisson (13) est de l'ordre de 10 2 mm de mercure tandis que le vide régnant dans l'enceinte (12) est de l'ordre de 10-6 mm de mercure. 18. Dispositif d'irradiation destiné à être combiné à un cyclotron isochrone placé en amont pour la réalisation de perforations (1) dans un matériau (2) par bombardement de particules (3) conformément au procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 13, caractérisé par le fait qu'il comporte des moyens (25) pour dévier dans le temps le faisceau de particules (3) et réaliser ainsi un balayage transversal de la bande de matériau (2) avec le faisceau de particules (3). 2597391 19 19. Dispositif d'irradiation selon la revendication 18, caractérisé par le fait que les moyens (25) sont constitués par un déflecteur magnétique. 20. Dispositif d'irradiation selon l'une quelconque des revendications 18 et 19, caractérisé par le fait que le déflecteur magnétique (25) comporte un 'électroaimant (26, 28) alimenté à partir d'une source de courant alternatif (29), les pièces magnétiques (26) de l'électroaimant étant en acier feuilleté et l'enceinte (12) placée dans l'entrefer (27) étant réalisée en un matériau électriquement isolant. 21. Dispositif d'irradiation destiné à être combiné à un cyclotron isochrone placé en amont pour la réalisation de perforations (1) dans un matériau (2) par bombardement de particules (3) conformément au procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 13, caractérisé par le fait qu'il comporte des moyens (31) pour faire varier substantiellement l'angle d'attaque des particules (3) sur une même surface élémentaire du matériau (2). 22. Dispositif d'irradiation selon la revendication 21, caractérisé par le fait que les moyens (31) sont constitués par une surface d'appui incurvée (32) du matériau (2) dans la zone de bombardement (11). 23. Dispositif d'irradiation selon l'une quelconque des revendications 21 et 22, caractérisé par le fait que la zone de bombardement (11) du matériau (2) est montée mobile entre deux positions extrêmes, des moyens d'entrainement permettant de la faire passer de l'une à l'autre de ses positions, de manière à faire varier l'angle d'attaque. 24. Dispositif d'irradiation destiné à être combiné à un cyclotron isochrone placé en amont pour la réalisation de perforations (1) dans un matériau (2) par bombardement de particules (3) conformément au procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 13 caractérisé par le fait qu'il comporte un ou plusieurs caches en un matériau de nature et d'épaisseur propres à arrêter les particules (3) afin de réaliser sur la bande de matériau (2) des lisières ou bandes ou surfaces (34) dépourvues de perforations (1). 2597391 20 25. Matériau solide en feuille comportant des perforations (1)} par le procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 13. caractérisé par le fait qu'il se présente sous forme d'une bande d'épaisseur comprise entre quelques microns et plus de 100 microns, la largeur de la bande étant comprise entre 5 cm et 150 cm, la densité des 2 il perforations par cm pouvant atteindre 10 et les perforations ayant un diamètre compris entre 5 et 100 000 A. 26. Hatériau perforé selon la revendication 25, caractérisé par le fait qu'il est réalisé en polymère choisi parmis -les polyesters notamment le polyéthylène téréphtalate, les polycarbonates, notamment le polycarbonates de bisphénol-A, les polyéthers aromatiques, les polysulfones et les polyoléfines, les acétates et les nitrates de cellulose. 27. Matériau perforé selon l'une des revendications 25 et 26 caractérisé en ce qu'il comporte une ou plusieurs lisières ou bandes ou surfaces (34) dépourvues de perforations (1).