FR 2589591 A1 19870507 FR 8516210 A 19851031 1 2589591 Commutateur opto-électronique notamment à seuil de puissance, son procédé de fabrication et son procédé de commande La présente invention concerne un commuta- teur opto-électronique notamment à seuil de puissance, son procédé de fabrication ainsi que son procédé de commande. Cette invention s'applique dans des domaines très divers tels que le domaine de l'instrumentation des systèmes laser, en particulier pour la synchronisa- tion de différents signaux optiques et électriques pour La commande de cellules de Pockels, pour le découpage ou L'extraction d'impulsions laser. Un commutateur opto-électronique est un dis- positif permettant d'établir, sous l'effet d'un fais- ceau lumineux incident, une conduction électrique entre deux électrodes normalement isolées. La figure 1 représente un commutateur opto- électronique connu. Ce commutateur comprend une lame absorbante 3 intercalée entre un premier et un deuxième éventuel substrats 2, 1. Le premier substrat 2 est constitué par L'air ambiant, le deuxième substrat 1 lorsqu'il existe est constitué par un matériau isolant tel que L'alumine et la lame absorbante 3 est constituée par un matériau photoconducteur tel qu'un semiconducteur. Ce commutateur comprend en outre une première et une deuxième électrodes 5, 7 normalement isolées et déposées sur la surface supérieure de la lame absorban- te 3, ainsi qu'une électrode de référence 9 déposée sur la surface inférieure du substrat 1 lorsqu'il existe ou si le substrat 1 n'existe pas sur la surface inférieure de La lame absorbante 3, parallèlement aux première et deuxième électrodes 5, 7, formant avec elles une ligne de propagation. Les première et deuxième électrodes 5, 7 sont alignées et espacées de façon à former un espace inter-électrodes 11. L'électrode 5 est reliée à des moyens 10 teLs qu'un générateur de tension, permettant d'appliquer une tension d'alimentation à cette électrode 5. L'électrode 7 est reliée à des moyens 17 d'observation et/ou d'utilisation d'impédance adaptée à L'impédance de La Ligne de propagation formée par Les électrodes 5, 7 et 9; cette impédance est généralement une résistance de L'ordre de 50. Ces moyens 17 sont en outre reliés à une masse de référence. Les moyens 17 d'observation et/ou d'utilisa- tion recueiLLent Le signal électrique reçu par L'élec- trode 7 Lorsqu'une conduction électrique est étabLie entre Les électrodes 5 et 7. Par ailleurs, L'électrode de référence 9 est reliée à la masse. La Lame absorbante 3 a une épaisseur de L'ordre de 100-pm. Pour établir une conduction électrique entre Les deux électrodes 5, 7, un faisceau lumineux 13 provenant d'une source lumineuse telLe qu'une source Laser est envoyé sur la lame absorbante 3. La longueur d'onde de ce faisceau 13 doit être telle que l'énergie des-photons de ce faisceau soit comprise dans la bande d'absorption du matériau constituant la lame absorbante 3. Pour une lame absorbante en silicium, on peut choisir par exemple une source lumineuse 'telle qu'un Laser à néodyme de Longueur d'onde 1,06 pm. Dans ces conditions, le faisceau lumineux 13 est absorbé par la lame absorbante 3. Lors de son pas- sage dans la lame absorbante 3, le faisceau 13 absorbé crée des paires électrons-trous dans le matériau cons- tituant cette Lame 3. Ces paires éLectrons-trous sont des porteurs de charges. Ainsi, Lorsque Le faisceau lumineux 13 est envoyé sur la lame absorbante dans L'espace initer-éLec- trodes 11, des porteurs de charges sont créés par te faisceau absorbé dans La lame absorbante 3 entre Les deux électrodes 5, 7. Ces porteurs de charge vont réa- Liser un court-circuit entre Les deux électrodes 5, 7, établissant ainsi une continuité électrique entre ces électrodes 5, 7. La suppression du faisceau lumineux 13, envoyé dans L'espace inter-électrodes 11 permet d'isoler électriquement à nouveau les deux électrodes , 7, après que Les porteurs de charge aient disparu par recombinaison. Une conduction électrique continue est donc étabLie entre Les deux électrodes 5, 7 sous L'effet d'un faisceau Lumineux envoyé de façon continue dans L'espace inter-éLectrodes 11. Cette conduction éLec- trique peut être impulsionnelte si te faisceau lumineux 13 envoyé dans cet espace 11 est Lui-même impuLsionnet. Une conduction électrique imputsionnelLe est par exemple utilisée pour synchroniser des appareils. Lorsqu'une conduction éLectrique est établie entre les électrodes 5 et 7, Le signal électrique reçu par l'électrode 7 est recueiLLi par Les moyens 17 d'observation et/ou d'utilisation. Le front de montée de ce signal électrique dépend de la forme et de L'amplitude du signal lumineux du faisceau 13 incident. Lorsque le signal Lumineux présente des défauts de reproductibilité, Le signal électrique délivré par l'électrode 7 présente également des défauts de reproductibilité. Ce manque de reproductibilité du signal élec- trique, obtenu par un faisceau Lumineux impuLsionneL, peut par exempte, dans Le cas o le commutateur est utiLisé pour synchroniser des appareiLs d'observation, entraîner des défauts de synchronisation, pouvant être du même ordre de grandeur ou supérieurs aux temps ca- ractéristiques des phénomènes à étudier. Aussi plus Les impulsions Lumineuses sont courtes, par exempLe de L'ordre de La nanoseconde ou de La picoseconde, plus les problèmes de synchronisation deviennent critiques. Par aiLLeurs, L'épaisseur importante de La Lame absorbante 3 peut entraîner, Lorsque Les porteurs de charge sont créés dans toute L'épaisseur de la Lame absorbante 3, un court-circuit entre Les électrodes 5 et 7 et l'éLectrode de référence 9. Cette épaisseur importante de La Lame absorbante 3 ne permet pas d'autre part de conserver une impédance constante de La Ligne de propagation formée par Les électrodes 5, 7 et 9, et ceLa se traduit par des perturbations du signal électrique. - La présente invention a justement pour objet un commutateur opto-éLectronique permettant de remé- dier à ces inconvénients. Ce commutateur permet en particulier d'étabLir une continuité éLectrique, notamment haute tension, entre deux électrodes sous l'effet d'impuLsions Lumineuses courtes. Par ailleurs, Le commutateur conforme à L'invention est susceptible de fonctionner à partir d'une intensité Lumineuse de seuil, ce type de fonctionnement permettant de s'affranchir de La forme du signal Lumineux d'un faisceau incident aussi bien continu qu'impuLsionneL. De façon pLus précise, L'invention a pour objet un commutateur optoélectronique permettant d'établir, sous L'effet d'un faisceau Lumineux inci- dent, une conduction électrique entre une première et une deuxième électrodes normalement isoLées, alignées et espacées de façon à former un espace inter-éLectro- des et comprenant des moyens pour appliquer une tension d'alimentation à La première électrode, caractérisé en ce qu'il comprend un guide optique, servant au trans- port des ondes lumineuses incidentes, comprenant une couche guidante intercalée entre un premier et un deuxième substrats, Les indices de réfraction des pre- mier et deuxième substrats étant inférieurs à L'indice de réfraction de La couche guidante, La première et la deuxième électrodes étant déposées sur la surface supé- rieure de la couche guidante, un organe de couplage de structure périodique, réaLisé dans Le guide optique sur une longueur au moins égale à celle de L'espace inter- électrodes, ledit organe comportant une alternance de zones d'indices de réfraction différents, orientées parallèLement Les unes aux autres. De façon avantageuse, l'organe de couplage est réalisé dans Le guide optique sur une largeur au moins égale à ceLLe de l'espace inter-éLectrodes. Cet organe de couplage permet d'une part d'améliorer L'absorption Lumineuse dans La couche gui- dante, et d'autre part de faire fonctionner éventueLLe- ment ce commutateur à partir d'une intensité Lumineuse de seuil. SeLon un mode de réalisation du commutateur opto-électronique, il comprend en outre une électrode de référence isolée des première et seconde électrodes, sur la surface supérieure de La couche guidante, de part et d'autre des électrodes 5 et 7 formant avec elles une ligne coplanaire, ou sur la surface inférieu- re du substrat et portée à un potentiel de référence. De façon avantageuse, l'organe de couplage de structure périodique est un réseau de diffraction cons- titué par exemple de sillons parallèles régulièrement espacés, gravés dans le guide optique. Selon un autre mode de réalisation du commu- tateur opto-électronique, la couche guidante est une couche d'au plus 1 pm d'épaisseur. Selon un autre mode de réaLisation du commu- tateur opto-électronique, la structure périodique est réalisée dans la couche guidante. Selon une variante de réalisation du commuta- teur opto-électronique, la structure périodique est réalisée dans un fiLm isolant électriquement, interposé entre la couche guidante et Le premier substrat. De préférence, le substrat est du saphir, la couche guidante est un semiconducteur tel que du siLi- cium et te film isolant est de La silice. L'invention a également pour objet un procédé de fabrication d'un commutateur opto-électronique com- prenant un film isolant, ledit film étant formé en dehors des électrodes par oxydation thermique de La couche guidante à une température supérieure à 950 C, en présence d'oxygène. L'invention a aussi pour objet un procédé de commande d'un commutateur opto-éLectronique, une con- duction électrique étant obtenue entre Les première et deuxième électrodes sous L'effet d'un faisceau Lumineux d'intensité inférieure à l'intensité Lumineuse minima- le nécessaire pour induire une variation de L'indice de réfraction de la couche guidante, envoyé sur l'organe de couplage avec un angle d'incidence eo correspondant à un couplage maximum entre ledit faisceau lumineux et Le guide optique. Ce couplage maximum se traduit par une absorption quasi-totaLe de L'énergie lumineuse du fais- ceau qui subit des réfLexions successives en phase dans La couche guidante. L'angle e dépend du pas du réseau, o de La nature et de l'épaisseur de la couche guidante. SeLon une variante du procédé de commande d'un commutateur optoéLectronique une conduction électrique est obtenue sous L'effet d'un faisceau lumi- neux envoyé sur l'organe de couplage avec un angLe d'incidence e. et une intensité supérieure ou égaLe à une intensité de seuil Psi. L'intensité de seuil Ps correspond à L'intensité minimale nécessaire à L'obten- tion d'une variation brusque de la conduction éLectri- que avec un faisceau lumineux d'angLe d'incidence ei, compris entre eo et eo + Ae, L'angle d'incidence 6e0 correspondant à un couplage maximum entre un faisceau Lumineux incident, d'angle d'incidence e0o, d'intensité inférieure à L'intensité Lumineuse minimaLe nécessaire pour induire une variation de L'indice de réfraction de La couche guidante et Le guide optique et Ae correspon- dant à La Largeur anguLaire de coupLage de L'organe de coupLage. Cette intensité de seuiL Psi est égaLe à cette intensité Lumineuse minimale nécessaire pour induire une variation brusque de L'indice de réfraction de La couche guidante. La Largeur angulaire de couplage 6' est dé- terminée par L'ensemble des angles d'incidence permet- tant de coupler des faisceaux Lumineux au guide opti- que, elle dépend de L'absorption du matériau formant La couche guidante et des caractéristiques géométriques de L'organe de couplage. D'autres caractéristiques et avantages de L'invention ressortiront mieux de La description qui va suivre donnée à titre purement iLLustratif et non limi- tatif. La description est faite en référence aux figu- res 2a à 3 annexées dans lesquelles: - la figure 2a représente schématiquement un exemple de réalisation d'un commutateur opto-électro- nique selon l'invention, - La figure 2b représente schématiquement une coupe transversale du commutateur de la figure 2a au milieu de L'espace inter-éLectrodes, - La figure 3 représente schématiquement un autre exemple de réaLisation d'un commutateur opto- éLectronique conforme à l'invention. Le commutateur opto-éLectronique conforme à L'invention représenté figures 2a et 2b comprend un guide optique constitué par une couche guidante 21 in- tercaLée entre un premier et un deuxième substrats 2, 19. La couche guidante 21 a un indice de réfraction supérieur aux indices de réfraction des premier et deuxième substrats 2, 19. Cette couche guidante 21 est réaLisée par un matériau photo-conducteur par exempte par un semiconducteur tet que du siLicium, et Les pre- mier et deuxième substrats 2, 19 sont constitués res- pectivement par L'air ambiant et par un matériau iso- tant tel que du corindon (AL 203) appeLé généralement saphir. Ce commutateur comprend en outre une première et une deuxième électrodes 5, ? normaLement isoLées, déposées sur La couche guidante 21, ainsi qu'une éLec- trode de référence 9 déposée paraLlètement aux première et deuxième électrodes 5, 7 sur ta surface inférieure du substrat 19. Cette électrode de référence 9 peut également être déposée sur La surface supérieure de la couche guidante 21 paratlètlement et de part et d'autre des première et deuxième électrodes 5, 7. L'ensembLe des électrodes 5, 7 et 9 constitue une ligne de propa- gation. Les première et deuxième électrodes 5, 7 sont alignées et espacées de façon à former un espace inter- électrodes 11. Par ailltteurs, te commutateur de L'invention comprend un organe de couplage tel qu'un réseau de dif- fraction 23 gravé dans la couche guidante 21 sur une Longueur au moins égate à ceLle de l'espace inter-étec- trodes 11. Ce réseau de diffraction est constitué de sillttons 20 parallèLes, régulièrement espacés. Les axes longitudinaux de ces sillons sont parallèles à la di- rection de l'alignement des électrodes 5, 7. Une tension d'alimentation est appliquée à l'électrode 5 par des moyens 10 tels qu'un générateur de tension. L'électrode 7 est reliée à des moyens 17 d'observation et/ou d'utilisation d'impédance adaptée à la ligne de propagation formée par les électrodes 5, 7 et 9. Ces moyens 17 sont en outre reliés à une masse de référence. De plus, l'électrode 9 est reliée à la masse. La couche guidante 21 a une épaisseur en gé- néral inférieure au micron. Elle est de préférence réa- lisée en silicium avec une épaisseur de l'ordre de 1 pm. La longueur d'onde d'un faisceau 13 envoyé sur le guide optique devant être telle que l'énergie des photons de ce faisceau soit légèrement supérieure à la limite de la bande d'absorption du matériau consti- tuant la couche guidante 21. Pour une couche guidante en silicium, on peut choisir par exemple une source lumineuse telle qu'un laser à néodyme de longueur d'onde X=1,06 pm. Le choix et l'épaisseur du substrat 19 sont conditionnés notamment par les valeurs des tensions de sortie recueillies par l'électrode 7, compte tenu de l'isolation électrique du substrat 19. Le substrat 19 est choisi de préférence en saphir, celui-ci présentant une bonne rigidité diélectrique. Pour des tensions de sortie de l'ordre de 5 kV, on choisit un substrat en saphir d'épaisseur 1 mm. Pour obtenir une bonne qualité optique, la couche guidante 21 est de façon avantageuse épitaxiée sur le substrat 19, par ailleurs, ceci facilite la ma- nipulation du matériau constituant la couche guidante et les problèmes de contact thermique entre la couche guidante 21 et Le substrat 19. Cette épitaxie est réalisée, par exemple, pour une couche guidante en silicium, par décomposition thermique de silane (SiH4) sur un substrat chauffé à environ 950 C, Le substrat ayant été préalablement tailLé de façon à ce que son réseau cristallin superfi- ciel soit Le plus proche possible de celui du silicium, afin d'initier La croissance épitaxiale du silicium. Cette épitaxie peut également être réalisée par puLvé- risation ionique par exemple de silicium sur un subs- trat chauffé à environ 750 C, ce type d'épitaxie rédui- sant les contraintes mécaniques à l'interface couche guidante-substrat. Bien entendu, d'autres procédés de dép8t d'une couche guidante sur un substrat peuvent être en- visagés. Pour graver le réseau 23 sur la couche gui- dante 21, un réseau en résine est préalablement réalisé à la surface de la couche guidante 21. Ce réseau en résine est obtenu par insolation d'une couche de résine photosensible avec une source lumineuse telle qu'un Laser HeCd de longueur d'onde environ 4400 A, à travers un système de franges d'interférence. Après développe- ment de la résine photosensible, le réseau obtenu dans La résine est transféré dans La couche guidante 21 par gravure ionique ou chimique de la couche 21 à travers Le réseau de résine. Cette opération de gravure permet aLors d'obtenir le réseau de diffraction 23. S'il n'a pas entièrement disparu au cours de l'opération de gra- vure, le réseau de résine doit être éliminé. Pour obtenir des contacts ohmiques, les éLec- trodes 5, 7 et l'électrode de référence 9 sont réali- sées, par exemple, par dép8t d'un matériau conducteur tel que l'or, respectivement sur la surface supérieure de la couche guidante 21 et sur la surface inférieure du substrat 19. Ce dépôt de matériau conducteur est réaLisé par des techniques connues telles que la tech- nique (en terminologie anglo-saxonne "Lift-off") con- sistant à former par photolithographie un masque de résine sur La couche 21, La résine étant présente uni- quement aux endroits o ce dépôt conducteur ne doit pas être effectué, à déposer Le matériau conducteur sur l'ensemble de La couche et à éliminer La partie du dép6t conducteur située au-dessus de la résine par dis- solution de celle-ci. L'épaisseur des électrodes est prise par exemple égaLe à 1 pm; d'autre part, pour avoir une impédance caractéristique de 50 -., Les élec- trodes 5, 7 ont une Largeur égale à 1,14 fois l'épais- seur du substrat 19 lorsque ce dernier est en saphir. La distance inter-électrodes est fonction de La tension souhaitée entre les deux électrodes 5, 7. En effet, plus La distance inter-électrodes est grande, plus La résistance électrique entre Les deux électrodes est grande et plus les éLectrodes peuvent soutenir de fortes tensions. Le reste de La description permet de compren- dre Le fonctionnement du commutateur opto-électronique conforme à l'invention. L'absorption lumineuse par une couche de faible épaisseur, de L'ordre de I pm est très faibLe. Le réseau de diffraction 23, gravé dans La couche gui- dante 21 permet d'améliorer L'absorption Lumineuse dans cette couche 21, en coupLant un faisceau lumineux inci- dent 13 polarisé de façon à exciter un mode de propaga- tion de La couche guidante 21. La fraction de l'énergie lumineuse d'un faisceau incident couplée sur un mode de propagation de la couche 21 et pénétrant dans la couche 21 est intégralement absorbée par cette couche. La den- sité d'énergie du faisceau dans La couche est très supérieure à la densité d'énergie du faisceau in- cident du fait de La propagation guidée. On entend par faisceau guidé, un faisceau ré- fLéchi sur les parois internes 24, 26 de la couche 21 suivant un mode de propagation de Ladite couche. Les parois 24, 26 correspondent respectivement à L'interfa- ce couche guidante 21-air et à l'interface couche gui- dante 21-substrat 19. Un faisceau Lumineux guidé dans la couche 21 parcourt la couche guidante 21 en créant sur son passage des porteurs de charge. PLus L'épaisseur de la couche guidante 21 est faible, moins elle comporte de modes de propagation. On utilise généralement les modes de propagation fondamen- taux, transverse électrique ou transverse magnétique, notés TE et TM, de La couche guidante 21. Un faisceau Lumineux incident 13 est coupLé à un mode de propagation de La couche guidante 21 Lorsque L'angle d'incidence dudit faisceau 13, sur Le réseau 23, est compris dans une fenêtre angulaire appeLée Lar- geur angulaire de couplage Ae. Cette Largeur anguLaire de couplage Ae est définie%à partir d'un angle d'inci- dence eo correspondant à l'excitation maximum du mode de propagation pour une intensité faibLe par rapport à celle du seuil Ps L'angle d'incidence eo vérifie L'équation: -2 sin eo + p Pk= o X est la longueur d'onde du faisceau incident 13, p est le pas du réseau et Ak est la constante de propaga- tion du mode d'ordre k. La largeur angulaire de couplage Ad à puis- sance moitié, en fonction de l'angle d'incidence e0o est égale à: (2 k + 2 k) -. cos e o o ak et yk représentent respectivement les coeffi- cients d'absorption et de recoupLage du mode de propa- gation d'ordre k. Le coefficient de recouplage est proportion- net à la quantité d'énergie diffractée hors de la cou- che guidante 21. Ce coefficient dépend de la profondeur de modulation du réseau 23. Ainsi, pour une couche guidante en silicium de 0,58 pm d'épaisseur, Le premier mode TE est excité au maximum par un faisceau lumineux 13 dirigé sur le réseau 23 avec un angle d'incidence e0 de l'ordre de , le pas p du réseau étant de 0,35 pm. Pour un bon fonctionnement du commutateur de l'invention, La divergence du faisceau Lumineux 13 * envoyé sur le réseau de diffraction 23, doit être infé- rieure à la largeur angulaire de couplage Ae. Un faisceau lumineux 13, envoyé sur le réseau 23 entre L'espace interélectrodes 11, avec un angle d'incidence eOi compris entre 00 et eo+ AO est couplé à la couche guidante 21. Le faisceau absorbé crée des porteurs de charges sous le réseau et notamment dans l'espace inter-éLectrodes 11. Ces porteurs de charges vont diminuer la résistance de l'espace inter-électro- des 11 et réaliser, s'ils sont suffisamment nombreux, un court-circuit entre les deux électrodes 5, 7. Lorsque le faisceau lumineux 13 est injecté avec une intensité lumineuse inférieure à l'intensité minimale nécessaire pour induire une variation de l'in- dice de réfraction de la couche guidante 21 et avec l'angle d'incidence e0, il subit des réflexions succes- sives 28 en phases dans la couche guidante 21. On entend par réflexions en phases, des réflexions dans la couche 21 de même angle e' par rapport à la normale aux parois 24, 26. Un faisceau réfléchi successivement en phase dans la couche guidante 21 ne perd pratiquement pas d'énergie par diffraction hors de la couche guidan- te 21; ces réflexions en phases correspondent donc à un minimum de perte d'énergie vers l'extérieur et à un couplage maximum. Ce couplage maximum permet de créer suffisamment de charges électriques pour établir une continuité électrique entre les deux électrodes 5, 7. En revanche, lorsqu'un faisceau lumineux est envoyé sur Le réseau 23 avec un angle d'incidence 6. qui s'écarte de la valeur e et avec une intensité lu- o mineuse inférieure à L'intensité minimale nécessaire pour induire une variation de l'indice de réfraction de La couche guidante 21, Les réflexions successives du faisceau lumineux couplé à la couche guidante 21 sont déphasées. Le faisceau perd de ce fait de l'énergie, qui est diffractée hors de la couche guidante 21. Aussi, si le faisceau d'angle d'incidence ei a une énergie Lumineuse faible, Les porteurs de charges créées dans La couche guidante 21 entre Les deux élec- trodes 5, 7 ne seront pas suffisants pour établir un court-circuit entre les deux électrodes 5, 7. Par contre, si L'intensité lumineuse du fais- ceau d'angle d'incidence Ei compris entre 6e0 et e0o+ Ae augmente et est supérieure ou égale à L'intensité lumi- neuse minimale nécessaire pour induire une variation de l'indice de réfraction de la couche guidante, la créa- tion de porteurs et/ou l'échauffement résultant de la couche guidante 21 provoquent une variation de l'indice de réfraction du matériau constituant la couche 21. Le signe de 6i-eo dépend du signe de la variation de l'in- dice de réfraction. Le signe de 6i-6o est donc choisi de façon à modifier l'indice de réfraction de la couche guidante 21 pour obtenir une amélioration du couplage entre ce faisceau lumineux et la couche guidante 21. La variation de l'indice de réfraction du matériau consti- tuant la couche guidante, par création de por- teurs et/ou par échauffement thermique est non Linéai- re. L'amélioration du coupLage se traduit par une perte moins importante de L'énergie lumineuse. Les por- teurs de charges créées dans La couche 21 vont être plus nombreux et vont donc diminuer La résistance de L'espace inter-éLectrodes jusqu'à L'obtention d'un court-circuit entre Les deux électrodes, si L'intensité Lumineuse incidente est suffisante. L'intensité de seuil Psi correspond à L'intensité Lumineuse minimale nécessaire pour obtenir brutaLement un court-circuit entre Les deux électrodes 5,7 pour un faisceau d'angle d'incidence ei. PLus L'angLe 6i est décaLé par rapport à L'angle eo, plus L'intensité de seuiL Psi est impor- tante. L'intensité de seuiL est bien entendu supé- rieure ou égale à L'intensité Lumineuse minimale néces- saire pour induire une variation de L'indice de réfrac- tion de la couche guidante. Un simple réglage de L'angle d'incidence 6. du faisceau lumineux 13 permet de faire fonctionner le commutateur optoélectronique à partir d'une intensité de seuil Psi'. Par ailLeurs, un faisceau lumineux absorbé par la couche guidante 21 mais non couplé à un mode de propagation de ladite couche 21 contribue également mais faiblement à la création de porteurs de charges. Le réseau 23 est gravé de préférence sur une longueur supérieure à L'espace inter-électrodes 11, cet espace 11 peut avoir une forme Légèrement trapézoïdale afin que des porteurs de charges soient égaLement créés sous Les électrodes pour améliorer les contacts ohmi- ques entre Les électrodes 5, 7 et La couche guidante 21. D'autre part, la largeur du réseau 23 est au moins égale à la largeur des électrodes. Cependant, pour éviter d'avoir une disconti- nuité de l'épaisseur de la couche guidante, le réseau est gravé généralement sur toute la surface de la cou- che guidante 21. La figure 3 représente un autre exemple de réalisation d'un commutateur opto-électronique. IL se différencie du commutateur des figures 2a et 2b par un film isolant 25 intercalé entre la couche guidante 21 et Le substrat 2 constitué par l'air, permettant de protéger La couche guidante. Par aiLLeurs, Les électrodes 5, 7 sont de même déposées sur La couche guidante et sont également espacées pour for- mer un espace inter-électrodes 11. Le réseau de dif- fraction 23 est gravé dans ce fiLm isolant 25 sur une Longueur au moins égale à celle de L'espace inter-éLec- trodes 11 et sur une Largeur au moins égale à cet espa- ce. La gravure du réseau 23 est effectuée par exemple par Les mêmes opérations que celtes décrites aux figures 2a et 2b. D'autre part, Le réseau 23 est gravé de préférence sur toute L'épaisseur du film 25, dont l'épaisseur est par exemple de L'ordre de 0,1 lIm. Le film isolant 25 est formé en dehors des électrodes par exempte par oxydation thermique de La couche guidante 21 ou par dépôt d'un isolant tel que de La silice (SiO2) ou du nitrure de silicium sur la couche guidante 21. L'opération d'oxydation de la couche guidan- te peut être effectuée à une température de L'ordre de 1000 C en présence d'oxygène. Une addition de chtore pendant cette opération d'oxydation permet par ailleurs d'augmenter La durée de vie des porteurs (de 1 à une dizaine de nanosecondes) dans la couche guidante 21 mais diminue la résistance de la couche 21 et donc La résistance entre Les deux électrodes 5,7. En fonction de l'utilisation du commutateur de l'invention, on ef- fectue ou pas cette opération de recuit en présence de chlore. L'utilisation d'un film isolant 25 pour gra- ver le réseau 23 permet d'avoir une couche guidante 21 d'épaisseur continue. Le réseau 23 est alors gravé de façon avantageuse sur une partie seulement du film iso- lant 25 correspondant à une surface au moins égale à La surface de l'espace inter-électrodes 11. La description donnée précédemment n'a été donnée bien entendu qu'à titre explicatif et non limi- tatif, toutes modifications concernant la réalisation et les dimensions du guide optique du réseau de dif- fraction ou des électrodes peuvent être envisagées sans sortir du cadre de l'invention. En particulier, la lar- geur de la couche guidante 21 peut par exemple être limitée à la largeur des électrodes pour augmenter la résistance de la couche guidante. Le commutateur opto-électronique conforme à L'invention permet donc, par l'utilisation d'une couche guidante mince, de l'ordre de 1 pm, d'augmenter la ré- sistance électrique de ladite couche par rapport à celle des commutateurs opto-électroniques de l'art an- térieur. De ce fait, on peut soit réduire la longueur de l'espace interélectrodes, soit appliquer de plus fortes tensions. De plus, la faible durée de vie des porteurs de charges de l'ordre de 1 ns pour les commu- tateurs n'ayant pas subi un recuit en présence de chlore, permet d'établir sous l'effet d'un faisceau lu- mineux impulsionnel une continuité électrique brève. D'autre part, la faible épaisseur de la couche guidante permet d'assurer et de conserver l'adaptation de la li- gne de propagation sur toute sa longueur. Le commutateur conforme à l'invention permet en outre par l'utilisation d'un organe de couplage, d'augmenter l'absorption lumineuse dans la couche gui- dante et de faire fonctionner le commutateur de l'in- vention à partir d'une intensité lumineuse de seuil. Ce type de fonctionnement permet notamment de s'affranchir des fluctuations d'un faisceau lumineux de faible in- tensité. Par ailleurs, le commutateur de l'invention est réalisable par des techniques connues de la micro- électronique. REVENDICATIONS 1. Commutateur opto-éLectronique permettant d'étabLir, sous L'effet d'un faisceau Lumineux inci- dent, une conduction électrique entre une première et une deuxième électrodes normaLement isolées, aLignées et espacées de façon à former un espace inter-éLectro- des (11), comprenant des moyens (10) pour appLiquer une tension d'aLimentation à La première électrode (5), ca- ractérisé en ce qu'iL comprend un guide optique, ser- vant au transport des ondes Lumineuses incidentes, com- prenant une couche guidante (21) intercalée entre un premier et un deuxième substrats (2, 19), Les indices de réfraction des premier et deuxième substrats étant inférieurs à L'indice de réfraction de La couche gui- dante, la première et La deuxième électrodes (5, 7) étant déposées sur La surface supérieure de La couche guidante, un organe de coupLage (23) de structure pé- riodique, réaLisé dans Le guide optique sur une Lon- gueur au moins égaLe à ceLLe de L'espace inter-éLectro- des (11), Ledit organe comportant une alternance de zones d'indices de réfraction différents, orientées pa- rallèLement les unes aux autres. 2. Commutateur opto-éLectronique selon La revendication 1, caractérisé en ce que l'organe de cou- pLage (23) est réalisé dans le guide optique sur une largeur au moins égaLe à ceLLe de l'espace inter-éLec- trodes (11). 3. Commutateur opto-électronique selon L'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une électrode de référence (9), isolée des première et seconde électrodes (5, 7), sur la surface supérieure de la couche guidante (21), de part et d'autre des électrodes (5, 7) formant avec elles une ligne copLanaire, ou sur La surface inférieu- re du substrat (19), et portée à un potentiel de réfé- rence. 4. Commutateur opto-éLectronique seLon L'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'organe de coupLage de structure périodique est un réseau de diffraction (23). 5. Commutateur opto-éLectronique seLon L'une queLconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que La structure périodique est constituée de siLLons paraLlèles (20) gravés dans Le guide optique. 6. Commutateur opto-électronique seLon L'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que la couche guidante (21) est une couche d'au plus 1 pm d'épaisseur. 7. Commutateur opto-électronique seLon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la structure périodique est réaLisée dans La couche guidante (21). 8. Commutateur opto-éLectronique seLon L'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la structure périodique est réalisée dans un fiLm (25) isolant électriquement, interposé entre Ladite couche guidante (21) et Le premier substrat (2). 9. Commutateur opto-éLectronique seLon L'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que Le deuxième substrat (19) est du saphir. 10. Commutateur opto-électronique seLon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que la couche guidante (21) est du silicium. 11. Commutateur opto-électronique seLon l'une quelconque des revendications 8 à 10, caractérisé en ce que Le film isolant (25) est de La silice. 12. Procédé de fabrication d'un commutateur opto-électronique seLon L'une queLconque des revendi- cations 8 à 11, caractérisé en ce que le film isolant (25) est formé en dehors des électrodes par oxydation thermique de la couche guidante (21), à une température supérieure à 9500C en présence d'oxygène. 13. Procédé de commande d'un commutateur opto-éLectronique selon l'une quelconque des revendi- cations 1 à 12, caractérisé en ce que la conduction électrique est obtenue sous L'effet d'un faisceau Lumi- neux (13) d'intensité inférieure à l'intensité Lumineu- se minimale nécessaire pour induire une variation de l'indice de réfraction de la couche guidante (21), envoyé sur l'organe de couplage (23) avec un angle d'incidence 6eo correspondant à un couplage maximum entre ledit faisceau lumineux et le guide optique. 14. Procédé de commande d'un commutateur opto-électronique selon L'une quelconque des revendi- cations 1 à 12, caractérisé en ce que la conduction électrique est obtenue sous l'effet d'un faisceau lumi- neux (13) envoyé sur l'organe de couplage (23) avec un angle d'incidence 8i et une intensité supérieure ou égale à une intensité de seuil Psi' l'intensité de seuil Ps. correspondant à l'intensité minimale néces- saire à l'obtention d'une brusque variation de la con- duction électrique avec le faisceau lumineux d'angle d'incidence 6i, compris entre 60 et 60 +A6, l'angle d'incidence eo correspondant à un couplage maximum entre un faisceau lumineux d'intensité inférieure à L'intensité lumineuse minimale nécessaire pour induire une variation de l'indice de réfraction de la couche guidante (21) et d'angle d'incidence 6o et le guide optique et A6 correspondant à la largeur angulaire de couplage de l'organe de couplage (23).