FR 2575597 A1 19860704 FR 8420053 A 19841228 ONERA Aff. 231 Appareil pour la micro-analyse ionique et électronique d'un échantillon solide. L'invention a pour objet l'analyse élémentaire et iso- topique de très petits volumes de matière prélevée à la surface d'un échantillon solide. Jusqu'à présent, on utilise à cet effetunappareil tel que le microscope ionique modèle IMS-3F de la société française CAMECA. A cet appareil correspondent les bre- vets français suivants: 1 240 658 déposé le 30-7-59; 1 352 167 déposé le 28-11.62; 1 576 381 déposé le 16-2- 68; demande de brevet 83 00 538 déposée le 14-1-83, et publiée sous le numéro 2 542 089. Le principe du microscope ionique peut être résumé ain- si: une cible est bombardée à l'aide d'un faisceau d'ions primaires, tous de même nature, et d'énergie contrôlée, couvrant toute la surface visualisée. Chaque point delacible, sous l'effet de ce bombardement, li- bère des atomes qui s'y trouvent. Une partie notable de ces atomes peut s'ioniser spontanément au cours du processus d'éjection et constitue des ions secondaires positifs ou négatifs, caractéristiques de la composi- tion chimique et isotopique du volume érodé. Le faise. ceau d'ions secondaires ainsi créés est repris pour former une image ionique de l'échantillon et, pour être analysé séquentiellement par un spectromètre de masse. L'appareil connu a permis d'importants progrès, par ses qualités de sensibilité de détection, et de résolution en masse, en même temps que par son aptitude à fournir une "image ionique" pour chaque élément présent dans l'échantillon solide analysé. Il se pose maintenant le problème d'améliorer encore la résolution, notamment en son caractère spatial, et la sensibilité de détection ainsi que de réaliser la détec- tion simultanée de plusieurs éléments, condition essen- tielle pour pouvoir analyser de très petits volumes de matière par une méthode destructive, une autre condition étant de disposer d'un moyen indépendant et non- destructif d'observation préalable de l'échantillon. La présente invention a pour objectif d'apporter une solution à ce problème. L'un des buts de l'invention est de permettre la foca- lisation d'une sonde fine et intense d'ions primaires o (1 gm à 200 A), de façon compatible avec une collection très efficace des ions secondaires émis dans un angle solide très grand et dispersés sur une bande énergéti- que de plusieurs dizaines d'électron-volts. Un autre but de l'invention est de permettre une obser- vation simultanée de l'échantillon par microscopie élec- tronique à balayage opérant sur les électrons secon- daires, ou bien sur les électrons transmis, ou encore sur les électrons rétrodiffusés. Un troisième but de l'invention est de réaliser un ap- pareil qui effectue conjointement un balayage sur les ions et les électrons primaires, de manière à produire simultanément les images ioniques donnant chacune la distribution d'un élément présent à la surface de l'échantillon et l'image électronique du microscope à balayage Ce balayage doit êtrecompatible avec l'analyse simul- tanée (parallèle) des différents ions secondaires libé- rés par chacun des points explorés de la cible, en con- servant une grande sensibilité et une haute résolution en masse. Il faut aussi que ce balayage soit compatible avec la focalisation du faisceau d'ions primaires en une sonde qui doit rester fine quelle que soit sa position sur la surface. Il faut encore que le balayage permette de conserver les qualités requises des faisceaux secondaires d'ions et d'électrons. Encore un autre but de l'invention est de réaliser un appareil de faible encombrement. Ceci est important notamment à cause de la stabilité mécanique et du vide poussé nécessaires au bon fonctionnement de l'appareil. L'appareil proposé est comparable à l'appareil CAMECA précité en ce qu'il comporte, dans une enceinte mise sous vide: - un porte-objet mobile, propre à recevoir l'échan- tillon à analyser; - une source d'ions primaires, - de premiers moyens optiques électrostatiques pour amener un faisceau d'ions primaires issus de-ta source à bombarder l'échantillon; et - de seconds moyens optiques électrostatiques pour collecter des ions secondaires émis par l'échantillon, en réponse aux ions primaires qui le bombardent, et pour amener le faisceau d'ions secondaires ainsi col- lectés à l'entrée d'un analyseur d'ions, comprenant un spectromètre de masse. Selon un premier aspect de l'invention, l'appareil- selon l'invention est remarquable par les caractéris- tiques suivantes - les premiers et seconds moyens optiques électrosta- tiques comportent une partie optique commune et coaxia- le, d'axe perpendiculaire au porte-objet et s'étendant jusqu'au voisinage de celui-ci, pour réaliser une col- lection très efficace des ions secondaires,tout en trai- tant simultanément,par les mêmes organes optiques, les faisceaux d'ions primaires et secondaires, - les premiers et seconds moyens optiques comportent, à l'extrémité de ladite partie optique commune opposée au porte-objet des moyens, sous la forme d'un champ électrostatique transverse, propres à séparer les ions primaires des ions secondaires ainsi que des moyens propres à imprimer un balayage au faisceau d'ions pri- maires et à corriger, de façon dynamique et synchrone, sur le faisceau d'ions secondaires, les effets résul- tant du déplacement de la zone émissive sur la surface de l'échantillon, le centre de pivotement du balayage primaire se trouvant sur l'axe de la partie optique commune; et - il est prévu un moyen autonome d'observation électro- nique, comprenant des organes optiques magnétiques in- corporés coaxialement à la partie optique commune mais réglables de façon sensiblement découplée des premiers et seconds moyens optiques électrostatiques, ainsi que des moyens pour appliquer un champ magnétique transver- se perpendiculaire au champ électrostatique indiqué ci- dessus, afin, premièrement d'annuler la déviation que ce champ électrostatique produirait sur le faisceau d'électrons primaires et, deuxièmement, de séparer les faisceaux d'électrons et d'ions secondaires. Ceci per- met l'obtention simultanée d'une image ionique et d'une image électronique de l'échantillon, par balayage. De préférence, le moyen autonome d'observation est agencé en microscope électronique à balayage, dont les moyens de balayage électronique sont incorporés à la- dite partie optique commune. Selon un autre aspect de l'invention, la partie optique commune comporte une lentille électrostatique amenant le centre de pivotement du balayage primaire au centre du diaphragme qui délimite l'ouverture angulaire du faisceau primaire et une optique rapprochée propre à coopérer avec l'échantillon pour, d'une part réaliser la focalisation d'une image ré- duite de la source d'ions (sonde ionique) sur la sur- face de l'échantillon, focalisation qui peut être modu- lée en synchronisme avec le balayage pour corriger la mise au point en fonction de la position de la son- de sur la surface (correction dynamique de défocali- sation), d'autre part réaliser une collection large et effi- cace tant des électrons que des ions secondaires, en formant des images ionique et électronique au voisina- ge du même diaphragme. Dans un mode de réalisation avantageux, l'optique rap- prochée comprend, du diaphragme à l'échantillon: - une électrode annulaire, mise à la masse; - une électrode de contrôle de la collection, alimentée avec la même polarité que l'échantillon; - une électrode de focalisation alimentée avec la polarité opposée; et - une électrode annulaire placée au voisinage de l'é- chantillon pour en délimiter la surface susceptible de perturber les champs électriques de focalisation, et alimentée avec la même polarité que l'échantillon, la- quelle est opposée à celle des ions primaires incidents. Typiquement, pour des ions primaires positifs et des ions secondaires négatifs, l'énergie du faisceau d'ions primaire est de 10 keV en amont de l'optique rapprochée, pour être portée à 15 keV par la coopération de cette optique rapprochée avec l'échantillon porté au poten- tielde -5 keV, tandis que l'énergie des ions secondai- res est égale à 5 keV au niveau du diaphragme. Par ailleurs, l'appareil comporte avantageusement une lentille magnétique au voisinage du diaphragme de l'op- tique rapprochée. Plus généralement, l'optique rapprochée fait partie d'une optique de formation de la sonde ionique et de collection, qui comporte encore une lentille électro- statique en amont du diaphragme. Dans son ensemble, la partie commune coaxiale comporte, en amont de cette optique de formation de sonde et de collection: - un combinateurséparateur de faisceaux comprenant une paire de plaques électrostatiques, et définissant le centre de pivotement, - une optique de mise en forme des faisceaux ioniques et électroniques, et - des moyens de balayage des faisceaux électroniques. Dans l'application en microscope électronique à bala- yage, l'optique de mise en forme comprend une lentille magnétique suivie de deux lentilles électrostatiques polarisées par des tensions opposées, et les moyens de balayage comprennent deux bobines électromagnétiques disposées l'une derrière l'autre. Pour leur,part, les moyens de balayage ionique sur le faisceau primaire et de correction synchrone sur le faisceau secondaire comprennent de préférence deux pai- res de plaques placées à la suite de deux secteurs électrostatiques, du côté des ions primaires, et deux paires de plaques précédant deux secteurs électrostati- ques du côté des ions secondaires. Avantageusement,il est alors prévu d'une part une len- tille électrostatique de couplage entre les deux sec- teurs électrostatiques primaires, et d'autre part une fente de filtrage d'énergie suivie d'une lentille élec- trostatique de couplage entre les deux secteurs élec- trostatiques secondaires, l'ensemble étant agencé pour produire des déviations d'ions sensiblement achromati- ques au premier ordre. De leur côté,les premiers moyens optiques comportent, après la source d'ions, une optique de réglage du dia- mètre de la sonde ionique. Ainsi, les premiers moyens optiques forment des images successivement réduites de la source d'ions, tandis que les images secondaires, ionique et électronique, formées au voisinage du diaphragme, possèdent un gran- dissement sensiblement égal à l'unité. A l'autre extrémité de l'appareil, l'analyseur d'ions comprend avantageusement une optique de transfert sui- vie d'un spectromètre de masse à grande clarté, capable de détection multiple simultanée. Comme source d'électrons primaires, l'appareil peut comprendre, coaxialement à ladite partie optique com- mune, et en amont de celle-ci, un canon à électrons, suivi d'une lentille magnétique de réglage du diamètre de la sonde électronique. Typiquement,l'énergie des électrons primaires est de l'ordre de 30 keV. Dans une variante de l'invention, l'échantillon étant isolant, l'énergie des électrons primaires est réduite de telle sorte que ceux-ci puissent se réfléchir au voisinage de la surface avec une énergie quasiment nulle. Cette disposition est de nature à éliminer les effets de charge dus au bombardement ionique (demande de brevet 83 00 538). Dans une autre variante, l'énergie des électrons pri- maires est de l'ordre de 100 keV, l'échantillon étant mince et observé par transmission. Enfin, l'appareil comprend, de préférence, à partir de l'extrémité de la partie commune opposée à l'échan- tillon, un autre secteur électrostatique qui reprend les électrons secondaires pour les amener sur un dé- tecteur. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à l'examen de la description détaillée ci- après, ainsi que des dessins annexés, sur lesquels: - la figure 1 est un schéma de principe d'un appareil selon l'invention; - la figure 2 est un autre schéma de principe du même appareil auquel sont ajoutés les auxiliaires électro- niques de celui-ci; - la figure 3 est un schéma optique détaillé de l'appa- reil selon l'invention; - les figures 4A et 4B sont deux schémas optiques dé- taillés du même genre,mais comportant en outre la repré- sentation des points images et des pupilles relatives aux ions primaires positifs; - les figures 5A et 5B sont d'autres schémas détaillés illustrant respectivement le principe du balayage des ions primaires et des ions secondaires; - la figure 6 est le schéma détaillé d'une optique rap- prochée qui fait partie de l'appareil; - les figures 7A et 7B sont des schémas optiques dé- taillés de l'appareil, montrant respectivement les images et les pupilles relatives aux ions secondaires négatifs; - les figures 8, 8A et 8B et 8C sont des schémas sim- plifiés permettant de mieux comprendre le fonctionne- ment de l'appareil selon l'invention, en sa partie ionique; - les figures 9 et 9A sont également des schémas opti- ques simplifiés, mais relatifs à l'optique rapprochée associée à l'optique de mise en forme; - la figure 10 illustre la séparation des ions primaires et des ions secondaires; - la figure 11 illustre les fonctionnements achromati- ques des déviateurs des faisceaux ioniques, primaire et secondaire, compte tenu du séparateur de ces deux faisceaux; - la figure 12 illustre les effets de dispersion chro- matique dus à une déflexion des ions; et - les figures 13A et 13B illustrent respectivement les trajectoires des électrons primaires et des électrons secondaires dans le schéma optique détaillé de l'appa- reil, limité à sa partie axiale. Les dessins annexés comportent de nombreux éléments de caractère certain qu'ils peuvent seuls apporter. Ils font donc partie intégrante de la description, pour ser- vir à faire comprendre l'invenition, aussi bien qu'à la définir. Les figures 1 à 3 montrent que l'appareil décrit com- porte une source d'ions S10, et un spectromètre de masse SP20, précédé d'une optique de transfert 021. Dans un mode de réalisation préférentiel de l'inven- tion, la source d'ions est celle décrite dans la Deman- de de Brevet français N0 84 07 606, déposée le 16 mai 1984 et intitulée "Source d'ions opérant par ionisa- tion de surface, notamment pour la réalisation d'une sonde ionique". Pourleur part, le spectromètre de masse et son optique de transfert sont ceux décrits dans la Demande de Brevet français N 84 01 332, déposée le 27 janvier 1984, sous le titre: "Spectromètre de masse, à grande clarté, et capable de détection multi- ple simultanée". Les contenus de ces deux Demandes de brevet antérieures sont incorporés à la présente des- cription, pour compléter la description et la défini- tion de l'invention. Par ailleurs, la présente invention fait intervenir des faisceaux d'ions et d'électrons. Par une extension classique, on utilise le mot optique pour les organes travaillant sur ces faisceaux à la manière de l'opti- que photonique traditionnelle. Il est alors rappelé que l'optique des ions utilise essentiellement des moyens électrostatiques; celle des électrons primaires se fera principalement à l'aide de champs magnétiques (moyens magnétiques ou électromagnétiques); quant aux électrons secondaires, d'énergie moindre, ils subissent aussi l'action des moyens électrostatiques. Description d'ensemble. L'appareil selon l'invention (figures 1 à 3) est en- touré d'une enceinte EN, dans laquelle on fait un vide poussé par des pompes cryogéniques PC1 et PC2. Un porte-objet PO, réglable, supporte un échantillon EC, afin de pouvoir le déplacer parallèlement à sa surface libre. Au centre, perpendiculairement à la surface de l'échan- tillon, l'appareil est agencé à la façon d'une colonne de microscope électronique à balayage. Selon une caractéristique importante de l'invention, cette colonne présente une partie optique commune, et coaxiale, pour les faisceaux d'ions-et d'électrons primaires et secondaires. Notée 5 sur la figure 1, cette partie s'étend jusqu'à l'échantillon, lequel contribue à ses propriétés optiques. Pour clarifier l'exposé, on admet tout d'abord que les ions primaires sont positifs (de préférence Cs+ ou K+). Les ions secondaires sont en principe négatifs. L'im- pact des ions primaires crée aussi des électrons se- condaires. Enfin, un faisceau électronique primaire (microsonde électronique),frappant la même zone de l'échantillon que le faisceau ionique primaire (micro- sonde ionique) va lui aussi faire naître des électrons secondaires. Dans ces conditions (figure 1): - les ions primaires émis par la source d'ions SO10 sont amenés sur l'échantillon par des premiers moyens optiques électrostatiques, notés globalement 1, et incorporant la partie optique commune 5; - les ions secondaires éjectés par l'échantillon EC sont amenés au spectromètre de masse SP20 par de se- conds moyens optiques électrostatiques 2, incorporant la partie optique commune 5; - des électrons primaires sont produits par un canon à électrons S30, suivi d'une optique R31 pour le ré- glage de la géométrie du faisceau d'électrons, notam- ment son diamètre. Ces électrons primaires vont vers l'échantillon à travers la partie optique commune 5; - enfin les électrons secondaires émis par l'échan- tillon EC traversent aussi la partie optique commune 5, pour être repris par un organe de détection D40 à leur sortie de celui-ci. Il apparaît immédiatement que les fonctions demandées à la partie optique commune 5 sont délicates, car elle doit: - assurer des fonctions optiques pour les quatre fais- ceaux ioniques et électroniques, primaireset secon- daires, et ce, de manière à la fois compatible et ré- glable indépendamment; - permettre ces fonctions alors que les faisceaux ioni- ques et électroniques sont assujettis à des balayages et des corrections synchrones; et - réaliser tout cela en respectant l'objectif d'avoir une sonde petite, c'est-à-dire fine, en même temps qu'une collection grande, c'est-à-dire très efficace, des ions secondaires. Pour cela, il est tout d'abord prévu que le point d'entrée (point haut, la colonne étant supposée ver- ticale) de la partie optique commune 5 est un centre de pivotement du balayage ionique primaire (B1 3). Par contre, le balayage des électrons primaires s'effectue dans un organe B56 incorporé dans la partie optique commune. De préférence, l'appareil est replié sur lui-même. A cet effet, les ions primaires sont déviés sur un peu moins de 180 par un déviateur D12, avant d'arriver sur leur organe de balayage B13. La déviation est com- plétée à 180 par des plaques électrostatiques B543 (figure 3) faisant partie d'un organe combinateur- séparateur de faisceaux CS54, qui constitue l'extrémité haute de la partie optique commune 5. Réciproquement, en sortie de l'organe CS54, les ions secondaires entrent dans leur dispositif de correction dynamique synchrone des effets du balayage primaire B23, puis dans un déviateur D22,qui cormplète la dévia- tion des ions secondaires à 180 , tout en réalisant un filtrage d'énergie (Fe22) (figure 3). Du côté primaire, les premiers moyens optiques élec- trostatiques comportent alors en tête une optique R11 pour le réglage du faisceau ionique primaire, placée entre la source S10 et le déviateur D12. Du coté secondaire, les seconds moyens optiques élec- trostatiques se terminent par une optique 021 pour le transfert des ions secondaires de la sortie du * déviateur D22 au spectromètre de masse SP20. Description d'un mode de réalisation particulier (ions primaires positifs). La microsonde ionigue (Moyens optigues 1) La source d'ions S10 est une source d'ions Césium Cs, telle que décrite dans la Demande de Brevet 84 07 606, en sa version riche en ions sur l'axe, avec une éner- gie nominale de 10 keV. L'optique de réglage Rll comprend d'abord trois len- tilles électrostatiques Ll10, Llll et L112, montées en cascade, et polarisées positivement. Centrées sur l'axe de la source, elles en forment des images réduites Il-p et I2-P (figure 4A). Viennent ensuite des plaques de centrage B0113, et un correcteur d'astigmatisme CA114, réglé pour être efficace jusqu'à l'échantillon. Le faisceau ionique primaire entre alors dans le pre- mier secteur électrostatique sphérique S121 du dévia- teur D12. Apres une déviation de 90 , l'image de la sourde se trouve en I3-P (figure 4A). Une lentille élec- trostatique L123 amène maintenant le faisceau ionique à un second secteur électrostatique sphérique S122, qui. opère sur 84 . A sa sortie, qui donne une image I4-P, le faisceau est dirigé vers le centre de pivotement des plaques B543, qui l'amène, par une déviation complémen- taire de 6 , dans l'axe optique de la partie optique commune 5. La lentille L123 a pour fonction de combiner les foca- les achromatiques de S121, S122 et B543, de sorte que la déviation globale de 180 produite par ces optiques soit insensible, au premier ordre, à des variations éventuelles de la tension d'accélération des ions du côté de la source, de la dispersion énergétique initia- le des ions, et/ou des tensions alimentant les secteurs électrostatiques (qui sont de préférence les mêmes pour les deux secteurs).-Il est en outre possible de filtrer en énergie le faisceau primaire à l'aide d'une fente de filtrage non représentée. Entre S122 et B543, mais hors de l'axe de la partie op- tique commune, le balayage B13 des ions primaires est réalisé par deux couples de plaques en cascade, B131 et B132, qui font pivoter le faisceau pratiquement au- tour du centre de pivotement de B543 (figure 5A). Le balayage obtenu sur l'échantillon est de l'ordre de la dizaine de micromètres. Le long de la partie optique commune 5, et après les plaques B543, les ions primaires-rencontrent essentiel- lement la lentille électrostatique L554, polarisée posi- tivement, qui fait partie d'une optique de mise en for- me MF55, et l'optique rapprochée 0R57-, qui fait partie de l'ensemble terminal de focalisation/collection FC57. Les autres organes de la partie optique commune ont peu ou pas d'effet sur le faisceau d'ions primaires. La lentille L554 donne de l'image I4-P une avant- dernière image I5-P. L'optique rapprochée 0R57 détermi- ne l'image réduite finale sur la surface de l'échan- tillon. La figure 4A montre ces -images. La figure 4B vient la compléter, en illustrant les points C01-P à C06-P dits de Ccross-over" (pupilles d'éclairement). Il s'agit des points oles.trajectoire d'ions issus de la source parallèlement à son axe optique vont par la suite couper cet axe optique. Ces points, et les tra- jectoires qui les rejoignent, sont importants pour l'obtention d'une optique satisfaisante. 2u__ ___pp_2_he 0R57 Là figure 6 montre plus en détail l'optique 0R57. Elle comprend un diaphragme D570 et des électrodes L572 à L575 de diverses polarités. L'électrode L572 est mise àla masse. Les électrodes L573 et L575 sont polarisées au même signe que l'échan- tillon, qui est opposé au signe des ions primaires. Seule l'électrode L574 est polarisée au même-signe que les ions primaires. Ainsi, lorsque les ions primaires sont positifs, l'é- chantillon EC, l'électrode L575 et l'électrode L573 sont polarisés négativement, tandis que l'électrode L574 l'est positi.vement. L'électrode L554 forme une image du centre depivote- ment (en B543) au centre du diaphragme D570, lequel sert aussi de diaphragme d'ouverture pour le faisceau d'ions primaires FP. La disposition adoptée pour le balayage du faisceau d'ions primaires permet d'effectuer ce balayage autour dudit centre de pivotement sans agir sur le faisceau d'électrons primaires, ni sur les faisceaux secondaires. Toutefois, ce balayage s'effectue à un niveau o l'ima- ge de la source n'est pas encore suffisamment réduite, de sorte que la réduction ultérieure aura aussi pour effet de réduire l'amplitude du déplacement de la mi- crosonde ionique sur l'échantillon(! 10 gm).- Enfin, l'ajustage final de la focalisation sur l'échan- tillon se fait avec la lentille positive L574 de l'op- tique rapprochée OR57. Et cette focalisation peut être corrigée de façon dynamique en modulant la polarisa- tion de L574 en synchronisme avec le balayage, de tel- le sorte que l'image de la source d'ions soit constam- ment au point sur la surface de l'échantillon, quelle que soit la position de la sonde. On note enfin que la distance frontale de l'optique rapprochée de l'échantillon est très courte. La cons- truction ramassée à l'extrême de l'optique 0R57 con- fère des coefficients d'aberration assez faibles à la dernière lentille réductrice de la sonde ionique: une vingtaine de millimètres pour les coefficients Cc d'aberration chromatique et Cs d'aberration d'ouver- ture (ou sphérique). Il en résulte la possibilité de limiter les tensions d'accélération et l'énergie Vl des ions primaires et de travailler avec une source de brillance moyenne sans nuire de façon rédhibitoire à l'intensité trans- portée par la sonde ionique. A partir d'une valeur Vl = 10 keV, l'optique rapprochée 0R57 va porter les ions primaires à une énergie d'impact de 15 keV. On reviendra plus loin sur ces questions,après avoir traité plus en détail des aberrations. On remarquera maintenant que l'optique 0R57 comporte, très près de l'échantillon EC, et au même potentiel que lui, une électrode circulaire L575 (analogue du Wehnelt d'un canon à électrons). La partie cachée de l'échantillon EC par cette électrode n'aura aucune in- fluence sur les champs électriques régnant du fait de l'électrode L574 (potentiel de l'autre polarité) de sorte que le mouvement de l'échantillon peut se faire sans perturber les focalisations des ions primaires ou secondaires. Extraction des ions secondaires. Quant aux ions secondaires (négatifs), il résulte de ce qui précède que leur énergie V2 après accélération sera d'au plus 5 keV, sous l'effet de la différence de potentiel entre l'électrode L572 et l'échantillon. La position de I'électrode L574 près de l'échantillon, et sa polarité par rapport à celui-ci, offrent l'avan- gage de créer un champ extracteur élevé au niveau de la surface de l'échantillon. Ce champ est un peu atténué par la présence de l'électrode L575, mais celle-ci in- troduit une courbure des équipotentielles qui est fa- vorable à la focalisation des ions secondaires. Cette focalisation est réalisée par l'électrode L573, compte tenu de l'effet des autres lentilles, de sorte que les trajectoires des ions secondaires émis dans un angle solide de 2w stéradians par un point de la surfa- ce de l'échantillon EC vont se recouper dans le plan du diaphragme D570, aux aberrations près. L'image ionique secondaire Il-S (figures 7A et 7B), ainsi formée dans le plan du diaphragme D570, a un grandissement de l'ordre de l'unité. Les ions secondai- res peuvent alors franchir ce diaphragme sans atténua- tion-quel que soit le point émissif de l'air balayé par la microsonde ionique, dès lors qu'il n'est pas trop éloigné de l'axe. Il a été observé que l'intensité dans une sonde donnée dépend du diamètre de D570; à son tour, le nombre de pixels, ou éléments d'image, que l'on peut acquérir (avec des fluctuations statistiques acceptables) dans un temps donné, dépend de l'intensité de la sonde. Ce nombre de pixels dépend donc du diamètre du diaphrag- me D570. Or il est également relié, pour une taille donnée de sonde, à la superficie-du champ balayé sur l'échantillon. Et cette superficie est limitée par le diamètre du diaphragme D570. Il est à noter que i'ima- ge, d'un point émissif est fortement aberrante et qu'elle se trouve dans le plan de ce diaphragme. Ce n'est donc que dans la mesure o les aberrations ne remplissent pas toute la surface ouverte du diaphragme D570 que l'on peut balayer la sonde sans introduire de vignettage (assombrissement de l'image sur les bords du champ) dans les images électroniques et ioniques secondaires résultant du bombardement ionique. Pour des particules secondaires dont l'énergie initiale (à l'éjection) n'excède pas une vingtained'électron- volts, les aberrations sont nettement inférieures au diamètre du diaphragme D570, même aux plus petites va- leurs de celui-ci, qu'on utilise pour produire les son- des les plus fines (car alors le champ balayé est aussi plus petit). Au-delà de 20 eV pour l'énergie initiale,il faut te- nir compte de la bande passante énergétique ou chroma- tique du spectromètre de masse, ainsi que des atténua- tions diverses liées à l'acceptance limitée de celui-ci. L'homme del'art comprendra que l'optique rapprochée 0R57, qui résoud les problèmes décrits ci-dessus, est un élément essentiel de l'invention. La microsonde ionique et les aberrations optigues. Les figures 8, 8A et 8B schématisent les premiers mo- yens optiques électrostatiques 1, en les assimilant à une seule lentille électrostatique L, assortie d'un diaphragme Do. La sortie de la source d'ions est une striction So de diamètre do. L'énergie cinétique des ions primaires est V, avec une dispersion (chromatique) - SV. On définit pour une source thermique à ionisation de surface une brillance moyenne B qui s'écrit, de manière approchée: (Jo/) (V/AV) o Jo est le courant émis par l'unité de surface de l'ioniseur, et AV = 2.8V. Le diaphragme Do délimite un demi-angle d'ouverture "objet" ao, tandis que ai et di notent le demi-angle d'ouverture et le diamètre gaussien de la sonde du côté "image" de la lentille L. Si V0 et Vi désignent l'énergie des ions dans les espa- ces objet et image,respectivement, l'invariant optique s'écrit: V/V. do. ao = /Vi. di. ai Le grandissement angulaire est MA = ai/ao, et le gran- dissement linéaire (en fait une réduction) est ML=di/do. Pour Vi = Vo, on a MA.ML = 1. Aberration d'ouverture. L'aberration d'ouverture est principalement une aberra- tion de sphéricité (figure 8A), caractérisée par un diamètre ds à l'intersection d'une courbe du type caus- tique avec les limites d'ouvertures du faisceau (-ai). On a: ds = 1 ML. Cs. ao3 o Cs est le coefficient d'aberration sphérique, qui peut s'écrire: Cs =Cs0+ Cs1.+ Cs2 () + Cs3 (1)3 + Cs4 (1) Les coefficients Csj (j = 0 à 4) ne dépendent que des caractéristiques géométriques et électriques de la lentille L. En fonction de j, et pour Vi = Vo, il vient, lorsque ML dsML Cs lai3.... ds = 2 2 - 2 Cette relation servira à déterminer'l'aberration d'ou- verture des lentilles de l'optique ionique primaire 1 (dans la mesure o la condition Vi = Vo est satisfaite). Pour la lentille L574 de l'optique rapprochée 0R57, Vo (10 keV) est inférieur à Vi (15 keV). C'est alors 3/2 le coefficient Cs4(Vi/Vo)3/2 qui intervient et non Cs4 seul. Aberration chromatiqueg La figure 8B illustre l'aberration "chromatique". S'i, Si et S"i sont les images de So pour les énergies V-ÈV, V et V+6V, respectivement. Le diamètre tache d'aberration chromatique (au niveau de S) est donné par V dc = Cc. ai. a- avec av = 2. V Il est alors associé à la sonde un diamètre "réel" d qui s'écrit d2 = dg2 + ds2 + dc2 o dg est le diamètre gaussien en l'absence d'aberra- tions. Pour un diamètre d choisi, il a été observé qu'existe un couple de valeurs (dg, ì) pour laquelle l'intensité de la sonde passé par un maximum, que l'on cherchera à atteindre. Et ce maximum sera d'autant plus élevé que l'on aura mieux réduit les coefficients d'a- berration Cs4 et Cc, en particulier par l'usage de len- tilles de courte focale. A propos de l'optique rapprochée OR57, on remarquera que: Y la distance frontale entre l'échantillon EC et l'électrode L574 étant faible, il en est de même pour les aberrations sur le faisceau primaire, et l'inten- sité dans la sonde peut Atre accrue; - le champ électrique accélère ou ralentit le faisceau primaire suivant l'endroit considéré, mais ne le dévie pas,ce qui élimine des risques d'instabilité sur la position de la sonde; - il en serait différemment avec un faisceau primaire incliné sur l'objet, qui produirait de plus un effet d'ombrage. Correction dynaiqgue de défocalisation. Simplifiée comme les figures 8 à 8B, la figure 8C il- lustre la correction dynamique effectuée par la lentil- le proche de l'échantillon. Il est rappelé qu'une ima- ge du centre de pivotement du faisceau primaire est établie au niveau du diaphragme D570 (Do sur le schéma de la figure 8C). A raison du balayage (figure 8C) et de l'aberration de courbure de champ de la lentille, la sonde explorerait non pas-une surface plane, mais bien une calotte sphé- rique, illustrée ici tangente à l'échantillon EC. La polarisation de l'électrode de commande de la len- tille L de la figure 8C {L574) dans l'appareil.(figure 6),est ajustée en fonction du balayage, de sorte que la sonde soit focalisée sur la surface plane de l'échan- tillon EC quelle que soit l'amplitude du balayage. Oetiue ioni scondaire (Moyens oEti9ue 2). A leur départ de la surface de l'échantillon EC, les ions secondaires ont des énergies comprises entre zéro et une centaine d'électron-volts, avec une distribution qui présente un maximum vers 5 à 10 eV. Les directions d'éjection sont distribuées sur un angle solide de 2 stéradians,très approximativement selon une loi en cosinus, centrée sur l'axe. Dans l'optique 0R57, l'électrode L574 est par exemple à environ +15 kV par rapport à l'échantillon EC. Le champ électrique d'accélération qui en résulte pour des ions secondaires négatifs contrarie la divergence naturelle des trajectoires initiales de ces ions et réduit, en valeur relative, leur dispersion énergéti- que initiale.Il leur communique une énergie cinétique (5 keV pour des ions monochargésà la sortie de L572), qui est beaucoup plus grande que leur énergie initiale moyenne. A cet égard, l'échantillon EC est partie in- tégrante de l'optique rapprochée 57. On admet pour simplifier que la surface émissive de l'échantillon EC (supposé conducteur) est plane et équipotentielle. La figure 9 est un schéma simplifié o l'on a réuni en 57 l'optique de collection FC57 et l'optique de mise en forme 55, tandis que deux plaques de balayage repré- sentent le dispositif B543. A cette optique de collec- tion, on associe les deux éléments optiques particuliers que sont la pupille d'éclairement ou "cross-over" et l'image, qu'elle crée. Quel que soit le point émissif, les trajectoires nor- males à la surface de l'échantillon vont couper le mê- me point de l'axe optique. C'est le "cross-over", avec lequel il est avantageux de faire coincider le centre de pivotement de la correction dynamique sur les ions secondaires (plaques B234 et B235). L'image est par contre un peu plus loin (voir figure 9, ainsi que C03-S et I3-S, figures 7A et 7B). Pour la fonction de collection d'une microsonde ioni- que à balayage, il suffit ici simplement de récupérer les ions secondaires. Le "cross-over" n'a pas besoin d'être limité en diamètre pour obtenir une localisa- tion fine du point émissif (comme c'est le cas pour le microscope ionique) . L'image d'un point objet (A ou B) est alors tellement entachée d'aberrations que la no- tion même d'image n'est plus adéquate pour décrire pré- cisément la structure du faisceau. Si, par exemple, on se limite aux trajectoires méri- diennes issues d'un point-objet, on peut utiliser une représentation o l'on porte en abscisse et en ordon- née la distance r et la pente r' des trajectoires à l'aplomb d'un point donné de l'axe optique (figure 9A). Pour une-optique parfaite, on obtiendrait une droite passant par l'origine. Sur la figure 9A, cela est vrai pour 2,5 eV. Par contre, dès que l'énergie initiale s'élève, les écarts produits par les aberrations d'ou- verture sont d'autant plus élevés que l'énergie est plus grande (courbe 20 eV sur la figure 9B), c'est-à- dire que les ions ont des trajectoires qui s'écartent de plus endplus de l'axe. De leur côté, les défauts chromatiques de l'optique de collection se traduisent par des pentes à l'origine différentes pour chaque énergie. L'homme de l'art aura compris que, si la première image ionique secondaire (Il-S, figure 7A) ne permet pas d'ob- tenir la localisation spatiale de l'émission, celle-ci est néanmoins acquise en localisant le bombardement primaire sur l'échantillon. Dans la partie optique commune 5, les lentilles L556 et L555 (figure 3) forment des images intermédiaires I2-S et I3-S (figure 7A). Leur rôle est notamment d'évi- ter que le faisceau d'ions secondaires ne s'écarte trop de l'axe optique avant d'atteindre les plaques B543, en particulier lorsque le point émissif est situé loin de l'axe, comme cela se produit au cours du balayage de l'échantillon sur de grands champs. Dans l'optique de mise en forme MF55, la lentille L554, polarisée positivement, exerce une action convergente faible. Les travaux menés ont montré par ailleurs ce qui suit: - le faisceau d'ions secondaires issu de l'aire d'im- pact, après mise en forme, doit présenter une structu- re compatible avec l'acceptance du spectromètre de masse SP20, dont le pouvoir séparateur est élevé; - mais il y a lieu d'accomoder une large bande d'éner- gies initiales. De plus,les trajectoires issues de l'aire d'impact se répartissent sur un 'cross-over" étendu, et sur une image empâtée d'aberrations assez grandes.Le faisceau issu d'un point couvre alors toute l'étendue géométrique acceptable par le spectromètre; - en conséquence, le faisceau issu d'un point voisin, lors du balayage, n'entrerait pas tout entier dans le spectromètre. Pour résoudre ce problème, il est prévu, selon l'inven- tion, que le faisceau ionique secondaire est lui aussi soumis à un balayage,dénonmmé correction dynamique syn- chrone, ainsi que cela transparaissait ci-avant. La figure 10 illustre le principe de la séparation des faisceaux ioniques primaire FP et secondaire FS au ni- veau des plaques B543. La figure 11 le montre en plus de détails. Comme l'éner- gie est à ce niveau Vl = 10 keV pour les ions primai- res contre V2 = 5 keV pour les ions secondaires, les premiers sont déviés de 6 lorsque les seconds le sont de 12 . Dans l'exemple décrit, les ions primaires sont Cs+ ou K+, et les ions secondaires négatifs, étant observé que l'implantation de Césium ou de potassium favorise l'émission d'ions négatifs. Inversement, des ions pri- maires I feraient de même pour les ions secondaires positifs. Le séparateur opère dans les deux cas, et même si l'on échange les énergies des ions primaires et secondaires (V1 = 5 keV;, V2 = 10 keV). 15. Il est à noter aussi que les plaques B543 permettraient de séparer des ions de même signe, qui seraient alors déviés dans le même sens. En aval des plaques B543, le faisceau d'ions secondaires pointe vers le déviateur D22, qui est semblable au dé- viateur D12 (figures 1 à.3). Toutefois, son premier secteur électrostatique sphéri- que S223 n'opère que sur 78 (figures 3 et 11). Il est couplé par la lentille L227 au second secteur S224, qui fonctionne sur 90 . A ce niveau,il faut résoudre le problème lié à la forte dispersion énergétique que présentent les ions secon- * daires:toute déviation électrostatique s'accompagne d'une dispersion énergétique, car l'angle de déviation dépend de l'énergie des particules. La figure 12 montre deux trajectoires écartées d'un an- gle ac, dé au fait qu'elles correspondent à des énergies V2 et V2+v. La trajectoire "V2" est inclinée de e sur l'axe à partir du centre de pivotement F'c. On peut écrire: ac X.V2 lorsque l'angle 0 est petit. Dans le cas du secteur sphérique S224 qui assure une déviation'de 90 , ac X. V2 Inversement, si l'on fait converger vers Fc (figure 11) un faisceau dispersé en énergie avec des angles ac ap- propriés, l'axe du faisceau sortira en suivant un rayon unique.La dispersion chromatique est annulée. Ainsi, selon l'invention, la lentille L227 est placée de sorte qu'elle conjugue la focale achromatique résul- tant des actions combinées de B543, de S223 et du sec- teur S224, en donnant le grandissement angulaire propre à annuler les effets chromatiques à la sortie de S224, tout au moins au premier ordre. Il est rappelé que, lorsque la sonde balaie la surface de l'échantillon, l'axe du faisceau secondaire pivote autour de son "cross-over" (COl-S, figure 7B). Il en est de même pour les images de celui-ci C02-S, C03-S (figures 5B, 7B, 11). La correction dynamique synchrone sur le faisceau secon- daire est définie par les deux paires de plaques B234 et B235.(figure 3). Ces deux plaques sont disposées de telle sorte que le centre de pivotement résultant de leur action combinée se trouve en (C03)', image de C03-S donnée par les plaques B543 (figure 11). Il suffit alors d'appliquer aux plaques B234 et B235 des tensions synchrones de celles appliquées aux plaques B131 et B132 du faisceau primaire, respectivement, de façon à annuler la rotation autour de (C03)'. Le faisceau secondaire reste ainsi stationnaire dès son entrée dans le déviateur D22. Et le spectromètre de masse SP20 va alors recevoir un faisceau secondaire présentant toujours les mêmes caractéristiques géométri- ques quel que soit le point balayé. Entre temps, une fente de filtrageen énergie FE22, placée au niveau du "cross-over" C04-S (figure 11), limite à l'intervalle E0O eV, 20 eV: la bande d'énergie transmise au spectromètre. L'optique de transfert 021 et le spectromètre SP20 sont de préférence ceux décrits dans la Demande de Brevet 84 01 332, avec les correspondances du tableau ci-après: La présente Demande La demande 84 01 332 Lentille L218 Lentille LE11 Plaques:B216 Plaques PC12 Lentille-à fentes LF211 Lentille à fentes LF13 Lentille L219 Lentille LE14 Fente Fe21 Fente FE20 Post-accélération PA21 Post-accélération PA21 (non représenté) Hexapôle HP22 Spectromètre SP20 Références 23 à 25 (précé- dées éventuellement de __ _ __ _ __ __ _ _ -lettres) En bref, les lentilles L218 et L219 coopèrent pour pro- duire une striction du faisceau au niveau de la fente FE21, qui est la fente d'entrée du spectromètre. Les plaques B216 centrent le faisceau. La lentille à fentes LF211 rend le faisceau parallèle, en section verticale, au niveau de la fente d'entrée Fe21. Une post-accéléra- tion peut être prévue, pour certaines applications. Moyens d'observation électronique. Il reste à considérer les faisceaux électroniques, qui vont permettre une observation de l'échantillon par un moyen autre que la microsonde ionique, et complémen- taire de celui-ci à de nombreux titres. Dans le mode de réalisation considéré jusqu'à présent, on opère en microscopie électronique à balayage, avec réémission d'électrons secondaires. La microsonde électronique. Le faisceau d'électrons primaires, d'une énergie de keV par exemple, est amené par la lentille magné- tique M31 dans l'axe des plaques B543 du combinateur- séparateur CS54. Au champ électrique dé à ces plaques est superposé un champ magnétique perpendiculaire au plan de la figure (figures 3, 13A, 13B). Ce champ magnétique est ajusté, compte tenu de l'énergie des électrons primaires, pour compenser exactement la déviation que le champ électrique produirait sur.eux s'il agissait seul. Les électrons primaires continuent donc en ligne droite. On note immédiatement, qu'en sens inverse, les électrons secondaires, d'énergie différente, seront par contre dé- viés vers un dispositif de détection D40 comprenant un secteur électrostatique S405 suivi d'un détecteur D406 (figure 13B), par exemple du type multiplicateur d'élec- / - trons type X919AL commercialisé par R.T.C. Une varian- te plus élaborée consiste à post-accélérer les élec- trons secondaires et à utiliser, comme détecteur, un scintillateur. Une étape supplémentaire peut être franchie en modifiant la structure du faisceau électro- nique de telle sorte que l'on ait accès à une image réelle du "cross-over". Onr. peut alors se donner les - moyens d'utiliser, si on le désire, une partie seule- ment du "cross-over" (ou encore deux ou plusieurs par- ties différentes,en parallèle dans deux ou plusieurs voies distinctes de détection) pour modifier le con- traste de l'image électronique ou faire apparaître des contrastes nouveaux. En effet, le "cross-over" con- tient toute l'information sur la distribution angulaire initiale des électrons. Prélever une partie du "cross- over" revient donc à privilégier un angle solide d'émission qui est plus ou moins rempli selon, par exemple, le-relief de la surface ou encore les petites hétérogénéités locales de champs électrique ou magné- tique liées à la structure même de l'échantillon: le contraste évolue avec la zone prélevée sur le "cross- over". Collecter en parallèle deux zones distinctes du "cross-over" permet d'effectuer un traitement de l'ima- ge afin de mieux distinguer les sources du contraste. Quant au faisceau d'électrons primaires, la lentille magnétique M552 assure, compte tenu de la présence de lentilles électrostatiques, son transfert vers une ultime lentille magnétique réductrice M571. Dans le plan principal objet de celle-ci,le diaphragme D570 limite l'ouverture du faisceau d'électrons primaires. En effet, un diaphragme conducteur amagnétique peut être immergé dans le champ magnétique de la lentille, pour limiter l'ouverture, sans en perturber la focali- sation. (Il en est différemment avec les lentilles électrostatiques). Entre M552 et M571, un système B56 de bobines (essen- tiellement quatre bobines B56a et quatre B56b, dispo- sées deux à deux dans deux plans orthogonaux) assure le centrage, le balayage de la sonde électronique, la correction d'astigmatisme étant assurée par huit bobines (non visibles) disposées à mi-distance des bobines B56a et B56b. Le champ magnétique de ces bobines n'a prati- quement pas d'influence sur les trajectoires des ions primaires et secondaires. Ainsi, on peut analyser le même échantillon avec une microsonde ionique, et l'examiner avec un microscope électronique de résolutions comparables, pouvant des- cendre jusqu'à une dizaine de nanomètres. Collection des électrons secondaires. Il en résulte un faisceau d'électrons secondaires réémis lorsque l'échantillon est polarisé négativement (cas des ions primaires positifs). L'optique rapprochée 0R57 devrait alors extraire ces électrons secondaires pour les accélérer sensiblement comme les ions secondaires négatifs (même énergie, avec cependant moins d'aberration chromatique). Il est rap- pelé qu'une première image ionique secondaire I1-S est formée près du diaphragme D570 (figure 7A). Mais ce diaphragme est immergé dans le champ magné- tique de la lentille M571 et placé dans le plan prin- cipal objet de celle-ci (pour les électrons primaires). De plus - cette lentille M571 exerce une action focalisante bien plus forte sur les électrons secondaires (5 keV) que sur les électrons primaires (30 keV); - le champ de fuite de la lentille magnétique M571 atteint l'échantillon EC, et pénètre par ailleurs la lentille électrostatique L576 (figure 3); - enfin, l'optique magnétique fait tourner les images électroniques autour de l'axe optique. Les images ionique (I1-S, figure 7A) et électronique (I'A figure 13B) ne sont donc ni superposables, ni si- tuées exactement au même endroit. Il s'est avéré possible de résoudre d'une manière sa- tisfaisante ce problème eneagissant sur la polarisa- tion de l'électrode L573, pour mettre l'image électro- nique I'1 dans le plan du diaphragme D570 sans que l'image ionique I1-S ne s'en éloigne au point d'intro- duire un effet de vignettage. Par la suite, les images ionique et électronique se séparent nettement (comparer I2-S figure 7A à I'2 figu- re 13B). Les électrons secondaires rencontrent d'abord les bobi- nes de balayage B56. La déviation qui leur est ici imprimée est environ 2, 5 fois plus élevée que pour les électrons primaires. Un compromis peut être obtenu en établissant la distance à l'égard de l'échantillon de sorte que l'image ait tourné de 90 au niveau des bobi- nes. Les lentilles L576 et L555 permettent alors de mettre en forme le faisceau d'électrons secondaires pour qu'il traverse les lentilles L554 et M552 sans atténua- tion, par perte d'électrons trop éloignés de l'.axe. Ainsi, on retrouve une image électronique secondaire Il3 au niveau de la!lentille M552. Séparés par l'organe CS54, les électrons secondaires vont enfin être détectés, comme précédemment décrit, afin de créer une image électronique vidéo ou non en synchronismede:leur balayage. Variantes de l'observation électronique. Il est clair que si les électrons secondaires sont dus uniquement au bombardement ionique (pas d'électrons primaires obtenus par actionnement simultané du canon à électrons), les lentilles M571 et M552 de même que le balayage B556 peuvent être rendus inactifs. Les plaques B543 et le champ magnétique transverse suffi- sent alors à séparer ions et-électrons secondaires. Dans le cas o l'échantiilon est mince, l'observation électronique de celui-ci peut se faire en microscopie électronique par transmission. L'énergie des électrons primaires est alors augmentée, par exemple portée à keV. Un détecteur analogue à ceux connus en micros- copie électronique par transmission (avantageusement d'un type propre à analyser les pertes d'énergie subies par les électrons) est alors logé derrière l'échantil- lon EC,dans le porte-objet PO. Les ionssecondaires dUs à la microsonde ionique peuvent demeurer observables, comme précédemment décrit, avec les électrons secondai- res que peut continuer à émettre l'échantillon sous l'effet du bombardement électronique primaire. Fonctionnement général de l'apareil. Il est important de noter que le choix des énergies d'accélération des diverses particules, joint à la dif- férence de signe entre ions primaires et secondaires, permet de rendre le réglage de chaque faisceau quasi- ment indépendant de celui des autres. En effet, les lentilles magnétiques du microscope assu- rent la focalisation des électrons primaires mais agis- sent très peu sur les faisceaux d'ions. Les lentilles électrostatiques-polarisées positivement agissent sur les ions primaires positifs, mais leur effet focalisant sur les ions secondaires négatifs (ou les électrons secondaires) est beaucoup plus faible; il est pratiquement négligeable sur les électrons pri- maires. Les-lentilles polarisées négativement agissent sur les ions secondaires négatifs et les électrons secondaires (accélérés avec la même énergie) mais assez peu sur les ions primaires positifs et pratiquement pas sur les électrons primaires car leur énergie est trop élevée (30 keV). Lorsqu'on utilise des ions primaires négatifs et qu'on recueille des ions secondaires.positifs, l'indépendance des réglages reste à peu près respectée. Par contre, dans ce cas, on ne peut pas obtenir simultanément une image ionique et une image en électrons secondaires car ces derniers sont retenus sur la cible par la po- larisation positive. Pour observer les échantillons massifs, il reste toutefois la possiblité d'utiliser les électrons rétrodiffusés, leur énergie étant suffi- samment élevée pour qu'ils échappent à l'attraction de l'échantillon. Quant à l'examen des échantillons minces en microsco- pie à transmission, il est toujours compatible avec l'obtention simultanée d'images en ions secondaires positifs ou négatifs. Enfin, les effets de charge qui risquent d'apparaître sur les échantillons isolants lorsqu'on recueille les ions secondaires négatifs peuvent être éliminés grâce à une utilisation particulière du faisceau d'électrons primaires. Il suffit d'abaisser l'énergie de ces der- nières à une valeur égale à 5 keV pour qu'ils se ré- fléchissent avec une énergie très faible au voisinage de la surface de l'échantillon. Il en résulte que les charges positives qui tendent à se développer sur l'isolant, entre autres à cause de l'émission électron nique secondaire, se neutralisent automatiquement sans qu'un excès de charges négatives puisse se développer car le faisceau d'électrons serait alors automatique- ment repoussé (Demande de Brevet 83 00 5.38). Auxiliaires électroniques de l'appareil. Il est maintenant fait référence à la figure 2, pour la description des auxiliaires de l'appareil, lesquels permettent les fonctionnements exposés ci-dessus. Un bloc AS30 réalise l'alimentation du canon à élec- trons, de manière connue. Les lentilles du microscope électronique à balayage (M31, champ magnétique en B543, M552, M571) sont pilo- tées par une alimentation AM31. Un bloc AD réalise'l'alimentation en haute tension des déflecteurs achromatiques D21 et D22, ou plus exac- tement de leurs secteurs sphériques. Un bloc ACS réalise l'alimentation et les réglages du séparateur de faisceau CS54, tandis qu'un bloc AMF réalise le contrôle de ce faisceau par leur optique de mise en forme MF55. Le réglage du diamètre de la sonde ionique par R11 est sous le contrôle d'un circuit AR11, tandis que l'ali- mentation et les réglages propres à la source d'ions S10 sont permis par un circuit AS10. Un circuit CG réalise le contrôle général du vide et des sécurités. Un ordinateur ou unité centrale de traitement UCT, au- quel est associée une mémoire de masse MEV, est prévu pour le rassemblement des mesures, et, de préférence, pour assister les réglages produits par les autres cir- cuits. L'ordinateur pilote en-tout cas un système de balaya- ge d'images SBI, qui agit directement sur les balaya- ges ioniques B12 et B23, sur le balayage électronique B56, et sur le mouvement du porte-objet PO. Indirecte- ment, le système SBI agit sur la lentille L574 (figu- re 6) de l'optique FC57 (figure 2) ou plus précisément OR57 (figure 3), afin de réaliser la focalisation dy- namique. Cette action passe par un circuit de réglage de focalisation et de collection AFC, qui pilote l'op- tique FC58, à l'exception de sa lentille magnétique. Un organe CSM, sous le contrôle de l'ordinateur UCT, commande le spectromètre de masse SP20. Les mesures issues de ce spectromètre SP20 et du détec- teur d'électrons D40 sont reprises dans un circuit dAacquisition MAD, lequel influe sur le système de ba- layage SBI. Enfin, l'ordinateur UCT regroupe ces mesures pour les ranger dans la mémoire de masse MEV, compte tenu du balayage. Mise en oeuvre pratique de l'appareil. Certains autres aspects de l'invention seront mainte*. nant décrits, en prenant l'exemple d'une sonde ionique de diamètre 0,1 Nm et d'intensité égale à 7.10 12 A (sur l'échantillon). Influence du bruit d'émission. Si un point-image ou pixel possède une taille égale au diamètre de la sonde, on peut déterminer qu'en 10-5 seconde, un pixel reçoit en moyenne n = 440 ions. Avec un rendement de pulvérisation de matière égal à 5 atomes arrachés de l'échantillon par ion incident, 1'ir- radiation-de 10-5 sec. arrache une épaisseur de matière d'environ 5.102 Angstrom (côté destructif de l'analyse ionique). Le rendement en électrons secondaires étant de l'ordre de 10 par ion incident, la détection du signal électro- nique issu d'un pixel pourra se faire, avec toutefois un bruit statistique de l'ordre de - 5%. Dans ces conditions, obtenir une image en électrons secondaires qui se répète à la fréquence de télévision -25 images par seconde- implique que l'on se limite à un champ balayé de N = 4.10 pixels. Pour augmenter ce champ, il faut accroître l'intensité de courant dans la sonde. Mais si l'on tient compte d'un contraste minimal obser- vable C égal à K fois le bruit, il vient: =n2 - nl >K n o n2 et et nl sont les nombres d'ions incidents sur deux plages voisines et n le nombre moyen d'ions inci- dents. Si K = 5, N = 4.103 et n = 440 ions, l'image devra présenter à son émission des contrastes d'au moins 25%. Ceci est vrai en vidéoscopie à 25 images/ seconde, mais une pose d'une seconde suffira à obser- ver des contrastes de 5%. De plus, l'image va évoluer sous l'effet de l'érosion ionique. On peut admettre que la topographie de l'échantillon ne va pas changer de façon perceptible avant l'arrachement d'une épaisseur de matière de l'or- dre du tiers du diamètre de la sonde (soit 300 Angs- tr6ms environ). Dans l'exemple donné, le temps caracté- ristique d'évolution est alors de 4 mn, ce qui est compatible avec l'observation de l'image électronique secondaire à la fréquence de télévision. L'utilisation du potassium réduirait la vitesse d'érosion de l'échan- tillon et augmenterait la durée d'observation. Mais d'autres facteurs peuvent influer sur la qualité de l'image électronique, notamment: - l'implantation des ions primaires (césium) qui fa- vorise l'émission électronique secondaire, cet effet peut varier d'un grain cristallin à l'autre,et aussi au cours du régime transitoire d'émission électroni- que secondaire en fonction du bombardement par les ions primaires; - cet effet peut aussi favoriser la fixation des molé- cules de gaz résiduel dans l'enceinte à vide, et in- fluer par là sur le rendement de l'émission électroni- que secondaire. Pour sa part, l'image ionique secondaire (obtenue par balayage de l'échantillon avec la microsonde ionique) est plus exigeante, car un ion primaire incident crée moins d'ions secondaires que d'électrons secondaires. De façon générale, le rendement utile en ions secondai- res - rapport du nombre d'ions arrivant sur le détec- teur (spectromètre) au nombre d'atomes éjectés de la cible - dépend de la probabilité de formation des ions au cours du processus d'éjection et de l'efficacité de collection du système extracteur couplé au spectromètre de masse. Ainsi, avec un rendement moyen d'un ion secondaire pour atomes éjectés, et une concentration atomique de 25%, l'image obtenue en 1/25 seconde sur 4.10 points/ images avec la sonde de diamètre 0,1 micron possède en moyenne 10 ions par pixel. Il en résulteun bruit statistique de - 30%. La réduction de ce bruit nécessite l'érosion d'une épaisseur plus grande de matière pendant le temps d'acquisition de l'image, donc une sonde plus intense. Avec une sonde 40 fois plus intense (pour la même di- mension de pixel), on retrouverait la même statisti- tique que sur l'image électronique en fréquence télévi- sion, mais l'épaisseur érodée serait alors de 2 Angs- *tr6ms par image. Pour conserver la même statistique avec la sonde ini- tiale (0,1 micron, 7.10-12 Ampère et 0,05 AngstrOm érodé par image), il faut réduire à 102 le nombre de pixels d'une image (à-25 images/seconde). Mais l'invention apporte une possibilité différente: - l'image en électrons secondaires (de cause ionique) permet de régler la focalisation de la sonde ionique à une fréquence vidéo (25 images/seconde); - cela fait, il n'est plus du tout indispensable d'observer l'image ionique secondaire à la fréquence vidéo. Influence du bruit de détection. Il faut encore tenir compte du bruit de fond du détec- teur d'ions que constitue le spectromètre de masse. Pour l'image ionique de 4.103 pixels de 0,1 micron, on peut accumuler les données correspondant à l'érosion d'une épaisseur de 300 Angstr6ms (en 4 minutes). Au bout des 4 minutes, un élément présent à la concen- tration de 40 ppm aura produit une dizaine d'ions carac- téristiques par pixel. Si l'on admet 0,1 coup/seconde comme bruit de fond moyen du spectromètre, le bruit s'élèvera à environ 25 coups en 4 minutes. Le rapport du signal en ions secondaires sur le bruit dû à la détection est supé- rieur à 103, ce qui est satisfaisant. Influence de la guatlit du vide. Reste enfin l'effet du gaz résiduel dans l'enceinte à vide. La présence de vapeur d'eau, d'oxyde de carbone et d'autres résidus peut induire, même à très basse pression, une émission d'ions H, C, 0, OH,notamment. Pour un vide de 5.10- 9 Torr, chaque micron carré de surface de l'échantillon EC reçoit 1,5.104 molécu- les par seconde. Si toutes ces molécules se fixent sur la surface, et que leur rendement d'ionisation est le même que pour les atomes de l'échantillon, le rapport entre le nom- bre Nv d'atomes (d'oxygène par exemple) arrivant du gaz résiduel sur l'échantillon, et le nombre NA d':atomes éjectés par unité de temps s'écrit: Nv 1,5.104 50p NA p.ó - C o p est la densité atomique de l'échantillon (nombre d'atomes par micron-cube, C l'épaisseur érodée en mi- crons par seconde, et p la pression partielle exprimée en Torr. Dans l'exemple étudié (p = 5.109 Torr, sonde de 0,1 micron sur 4.103 pixels) on a c = 1,25.10 4 microns/ seconde, d'o Nv/NA ' 2.10-3. L'apport du gaz résiduel est donc équivalent à une concentration de matière de 0,2%0 dans l'échantillon, soit 50 fois plus que la limite de détection (40 ppm par pixel). Il faut donc soit améliorer le vide, soit plutôt tra- vailler avec une sonde plus intense et/ou balayant un champ moins grand. On note maintenant C le contraste minimum observable, Np le courant dans la sonde, en ions/seconde, N le nombre de pixels par image, t le temps de pose de l'image électronique, p la densité atomique de l'échan- tillon, S le rendement de pulvérisation ionique de l'échantillon et e l'épaisseur érodée. Il a été observé que C = KlNp--i-. o K est une constante et e; Np.S.t/p. N.d2 2 2 2 d'o p.d2.e = S.K2/C2 Ceci montre que le contraste observable est limité essentiellement: - par l'épaisseur e que l'on peut éroser sans nuire à la résolution (donnée par le diamètre d), et - par le rendement de pulvérisation S. On peut aussi relier ces enseignements à ceux donnés plus haut, car: E = e/t = Np.S/p.N.d2 d'o N = 50 Nd2p NA Np.S Si l'on prend maintenant N = 104 et p = 5.10-9 le tableau suivant donne les résultats. Diamètre sonde d Courant sonde Np Nv/Na (microns) (ions/seconde) (5.10 9Torr;104pixels 0,02 4.105 0,5 0,05 4.10 0,05 0,1 4.10 0,005 9 -5 0,5 3.10 6.10 Ces évaluations supposent que la vitesse de balayage du faisceau est suffisamment élevée pour que tout se passe comme si l'érosion se déroulait sous l'effet d'un bombardement uniforme, malgré le balayage de trame de type télévision. Différents moyens permettent de réduire ces effets, en particulier l'utilisation d'un balayage à commande nu- mérique, beaucoup plus souple, ou encore l'élimination du début de l'émission (par conséquent du régime tran- sitoire de celle-ci). Revendications. 1. Appareil pour la micro-analyse d'un échantillon so- lide, du type comportant, dans une enceinte (EN), mise sous vide (PC1, PC2): - un porte-objet mobile (PO), propre à recevoir l'échan- tillon à analyser (EC); - une source d'ions primaires (S10); - despremiers moyens optiques électrostatiques (1) pour amener un faisceau d'ions primaires issus de la source à bombarder l'échantillon (EC); et - de seconds moyens optiques électrostatiques (2) pour collecter des ions secondaires émis par l'échantillon, en réponse aux ions primaires qui le bombardent, et pour amener le faisceau d'ions secondaires ainsi collec- tés à l'entrée d'un analyseur d'ions, comprenant un spectromètre de masse (SP20); caractérisé: - en ce que les premiers (1) et seconds (2) moyens opti- ques électrostatiques comportent une partie optique commune et coaxiale (5), d'axe perpendiculaire au porte- objet (PO), et s'étendant jusqu'au voisinage de celui- ci, pour réaliser une collection très efficace des ions secondaires, tout en traitant simultanément, par les mêmes organes optiques, les faisceaux d'ions primaires et secondaires, - en ce que les premiers (1) et seconds (2) moyens optiques comportent, à l'extrémité de ladite partie optique commune (5),opposée à l'échantillon, des moyens propres à imprimer un balayage du faisceau primaire d'ions (B13) dont le centre de pivotement se trouve sur l'axe de la partie commune (5), associés à des moyens propres à assurer. une correction dynamique syn- chrone du faisceau d'ions secondaires (B23) dont le centre de pivotement se trouve au niveau d'une image du "cross-over" (C03), donnée par l'optique de col- lection des ions secondaires; - en ce qu'il est prévu un moyen de séparer les fais- ceaux d'ions primaires et secondaires (CS54); et - en ce qu'il est prévu un-moyen autonome d'observa- tion électronique (3, 4), comprenant des organes opti- ques magnétiques incorporés coaxialement à la partie optique commune (5), réglables de façon sensiblement découplée des premiers et seconds moyens optiques élec- trostatiques, ainsi que des moyens pour appliquer un champ magnétique transverse à ladite extrémité de la partie optique commune, afin de séparer les faisceaux d'électrons et d'ions, ce qui permet l'obtention simul- tanée d'une image ionique et d'une image électronique de l'échantillon. 2. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que le moyen autonome d'observation (3, 4) est agen- cé en microscope électronique, à balayage, dont les moyens de balayage(B56) sont incorporés à ladite partie optique commune. 3. Appareil selon l'une des revendications 1 Pt 2, caractérisé en ce que la partie optique commune com- porte, au voisinage immédiat du porte-objet, une opti- que rapprochée (0R57), propre à coopérer avec l'échan- tillon pour: - d'une part réaliser une focalisation d'une image (I5) de la source d'ions, dont l'ouverture angulaire est d6- limitée par un diaphragme (D570) au niveau duquel est formée une-image du centre de pivotement du balayage du faisceau primaire, la focalisation incluant une correction dynamique synchrone tenant compte du bala- yage; - d'autre part réaliser une collection large et effi- cace tant des électrons que des ions secondaires en formant des images ionique et électronique au voisi- nage du même diaphragme. 4. Appareil selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'optique rapprochée (OR57) comprend, du dia- phragme à-l'échantillon: - une électrode annulaire, mise à la masse (L572) ; - une électrode de contrôle de la collection (L573), alimentée avec la même polarité que l'échantillon (EC), - une électrode de focalisation (L574), alimentée avec la polarité opposée; et - une électrode (L575), placée au voisinage de l'échan- tillon pour en délimiter la surface susceptible de per- turber les champs électriques de focalisation et ali- mentée avec la même polarité que l'échantillon, laquel- le est opposée à celle des ions primaires incidents. 5. Appareil selon l'une des revendications 3 et 4, caractérisé en ce que l'énergie du faisceau d'ions pri- maires est augmentée environ de moitié dans l'optique- rapprochée (0R57). 6. Appareil selon la revendication 5, caractérisé en ce que l'énergie du faisceau d'ions primaires est de l'ordre de 10 keV en amont de l'optique rapprochée (0R57), pour être portée à environ 15 keV par la coo- pération de cette optique rapprochée (OR57) avec l'échantillon, tandis que l'énergie des ions secondai- res est sensiblement égale à l'augmentation d'énergie que subissent-les ions primaires du fait de l'optique rapprochée (OR57). 7. Appareil selon l'une des revendications 3 à 6, carac- térisé en ce qu'il comporte une lentille magnétique (M571) au voisinage du diaphragme (D570) de l'optique rapprochée (OR57). 8. Appareil selon l'une des revendications 3 à 7, caractérisé en ce que l'optique rapprochée (0R57) fait partie d'une optique de formation de la sonde ionique et de collection (FC57), qui comporte encore une len- tille électrostatique (L576) en amont du diaphragme (D570). 9. Appareil selon la revendication 3, caractérisé en ce que la partie commune coaxiale (5) comporte en amont de ladite optique (FC57): - un combinateur-séparateur de faisceaux (CS54) com- prenant une paire de plaques électrostatiques, et dé- finissant le centre de pivotement; - une optique de mise en forme des faisceaux ioniques et électroniques (MF55); et - des moyens de balayage des faisceaux électroniques (B56). 10. Appareil selon la revendication 9, caractérisé en ce que: - l'optique de mise en forme- (MF55) comprend une len- tille magnétique (M552) suivie de deux lentilles élec- trostatiques (L554, L555) polarisées par des tensions opposées, et - les moyens de balayage comprennent deux ensembles de deux bobines électromagnétiques disposées l'une derriè- re l'autre (B56 a et b). 11. Appareil selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens de balayage ionique comprennent deux paires de plaques (B131, B132) placées à la suite de deux secteurs électrostatiques (S121, S122) du côté des ions primaires, et deux paires de plaques (B234, B235) précédant deux secteurs électro- statiques (S223, S224) du côté des ions secondaires, l'ensemble étant agencé pour rendre le faisceau secon- daire stationnaire à la sortie de (S224) quel que soit le balayage imprimé au faisceau primaire. 12. Appareil selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'il est prévu d'une part une lentille électro- statique de couplage (A123) entre les deux secteurs électrostatiques primaires, d'autre part une fente de filtrage d'énergie (Fe22) suivie d'une lentille élec- trostatique de couplage (L227) entre les deux secteurs électrostatiques secondaires (S223, S224). 13. Appareil selon l'une des revendications précéden- tes, caractérisé en ce que les premiers moyens optiques (1) comportent, après la source d'ions, une optique de réglage du diamètre de la sonde ionique (Rll). 14. Appareil selon l'une des revendications précédent tes, caractérisé en ce que les premiers moyens opti- ques (1) forment des images successivement réduites (11-I5,figure 4A) de la source d"ions, tandis que les images ionique et électronique formées au voisina- ge du diaphragme (D570) possèdent un grandissement sensiblement égal à l'unité. 15. Appareil selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'analyseur d'ions comprend une optique de transfert (021) suivie d'un spectromètre de masse à grande clarté, capable de détection multiple simultanée (SP20). 16. Appareil selon l'une des revendications précéden- tes, caractérisé en ce qu'il comprend, coaxialement à ladite partie optique commune,et en amont de celle-ci, un canon à électrons (S30) suivie d'une lentille magné- tique (M31) de réglage du diamètre de la sonde électro- nique. 17. Appareil selon la revendication 16, caractérisé en ce que l'énergie des électrons primaires est de l'or- dre de 30 keV. 18. Appareil selon la revendication 1.6, caractérisé en ce que l'énergie des électrons primaires est de l'or- dre de 100 keV, l'échantillon étant mince, et observé par transmission. 19. Appareil selon l'une des revendications 1 à 18, caractérisé en ce qu'il comprend, à partir de l'extré- mité distale de la partie commune (5), un autre sec- teur électrostatique (S405) qui reprend les électrons secondaires pour les amener dans un détecteur.