FR 2582181 A1 19861121 FR 8507399 A 19850515 "A 2 5 2 2582181 FOUR DE CUISSON DE SUBSTRAT DE CIRCUIT IMPRIME La présente invention concerne la fabrication des circuits imprimés. Elle concerne plus spécialement la fabrication des substrats de circuits imprimés, par exemple multicouches, par dépôt sérigraphique, sur un substrat isolant, d'une encre conductrice et d'une encre isolante. La cuisson est une opération primordiale dans la fabrication d'un tel substrat. C'est en effet lors de ce traitement thermique à très haute température que les matériaux acquièrent leurs pro- priétés mécaniques et électriques, et que les résines polymères ou autres constituants organiques qui constituent le lien temporaire des encres sont éliminées. Les fours actuellement utilisés pour réaliser cette opération de cuisson ont été plus spécialement conçus pour la cuisson sous atmosphère oxydante (Air) d'encres de sérigraphie conductrices à base de métaux nobles tels que l'or. Ce sont des fours continus, à tapis transporteur, munis d'accès vers l'extérieur permettant l'introduction et la réception des substrats, de moyens d'injection de gaz permettant de réaliser la cuisson sous l'atmosphère souhaitée ('air pour les encres de séri- graphie à base de métaux nobles) et de moyens d'extraction de gaz permettant d'extraire les résidus obtenus par élimination des résines polymères en cours de cuisson. L'élimination des résines polymères, qui a lieu au début du cycle de cuisson entre 250 C et 500 C, donne comme produit des gaz réducteurs. Lorsque la cuisson se fait sous air, ce qui est le cas pour les encres de sérigraphie à base de métaux nobles, ces gaz réducteurs se combinent avec l'oxygène de l'air avant d'être éliminés par les moyens d'extraction. En revanche lorsque l'encre de sérigraphie utilisée est à base de métal non noble, tel que le cuivre, la cuisson nécessite une 82181 atmosphère d'azote (gaz neutre) à très faible concentration d'oxy- gène (pression partielle d'oxygène x du cuivre due à la réactivité de celui-ci. La cuisson sous atmosphère non oxydante soulève alors un problème fondamental qui est l'élimination rapide de ces gaz réducteurs. En effet, si certaines conditions sont réunies (proportion et type de polymère, régime des gaz et taux de chargement du four) la présence de ces gaz réducteurs peut sérieusement affecter les propriétés des matériaux. Or les fours utilisés actuellement ne permettent pas de résoudre ce problème. Suivant l'invention, un four de cuisson de substrat de circuit imprimé obtenu par dépôt sérigraphique, sur un substrat isolant, d'une encre conductrice isolante ou résistive, comportant un matériau organique qui constitue un lien temporaire de cette encre, ce four étant muni de moyens d'injection de gaz permettant la cuisson sous l'atmosphère souhaitée et de moyens d'extraction des gaz réducteurs et/ou résidus de cuisson obtenus par transformation des matériaux organiques sous l'effet de la température, est carac- térisé en ce qu'il comporte en outre des moyens pour assurer un balayage de ces gaz réducteurs en direction des moyens d'ex- traction, de façon à accélérer leur évacuation sans créer de zones de stagnation ou de circulation turbulente. - Suivant une autre caractéristique de l'invention les moyens pour assurer un balayage des gaz réducteurs en direction des moyens d'extraction sont obtenus sans aucune adjonction d'éléments supplé- mentaires, par simple modification et amélioration des éléments existants. Les objets et caractéristiques de la présente invention appa- raîtront plus clairement à la lecture de la description suivante d'un exemple de réalisation, faite en relation avec les dessins ci-annexés dans lesquels: - la figure 1 est une vue, suivant une coupe longitudinale, d'un four suivant l'invention; - les figures 2 et 3 sont deux vues, en coupe longitudinale, de 82181 moyens d'extraction équipant un four suivant l'invention. Les températures régnant à l'intérieur du four représenté sur la figure I sont telles que celui-ci comporte une zone de précuisson 11, dans laquelle la température évolue jusqu' à 700 C environ, suivie d'une zone de cuisson III dans laquelle la température évolue jusqu'à 900 C environ. Les substrats à cuire se déplacent à l'intérieur du four de l'entrée 1, par laquelle ils sont introduits, vers la sortie IV par laquelle ils sont extraits, en passant successivement par la zone de précuisson Il puis par la zone de cuisson III, c'est-à-dire suivant le sens de la flèche en pointillés. Une injection d'azote est réalisée au niveau de l'entrée et de la sortie du four. L'entrée et la sortie du four sont également équipées de rideaux métalliques I destinés à éviter des entrées d'air. Des moyens d'injection d'azote, localisés en V et VI, sont prévus respectivement dans la zone de précuisson et dans la zone de cuisson. Des moyens d'extraction, localisés en VII, des résidus orga- niques (ou gaz réducteurs) produits par chauffage des résines poly- mères sont également prévus. Ces moyens d'injection d'azote con- sistent par exemple en des rangées de tubes, ces tubes étant disposés transversalement (seule leur section circulaire apparaissant sur la coupe de la figure 1) et étant percés de trous et reliés à un réservoir d'azote. Les moyens d'extraction de gaz réducteurs con- sistent par exemple en une cheminée 2 munie d'un système d'in- jection 3 (représenté très schématiquement par une flèche brisée) permettant de renforcer son efficacité. Les gaz réducteurs produits par chauffage des résines poly- mères sont produits par des réactions qui ont lieu entre 250 C et 500 C, soit dans la zone de précuisson. Les moyens de balayage de ces gaz réducteurs en direction des moyens d'extraction, de façon à accélérer leur évacuation sans créer de zones de stagnation ou de circulation turbulente qui entretiendrait une telle stagnation, résultent de la conjonction des éléments suivants: - les moyens d'injection d'azote localisés en VI, dans la zone de 8 2 1 8 1 cuisson, sont tels que cette injection d'azote n'a plus lieu vertica- lement, comme c'était le cas auparavant, mais est orientée vers l'emplacement des moyens d'extraction, comme indiqué par les flèches sur la figure 1, et ce de préférence suivant un angle o compris entre 0 et 45 . De plus ces moyens sont tels que les tubes d'injection sont munis de trous de section relativement élevée (leur diamètre étant avantageusement supérieur à 3 mm). Cette dernière caractéristique permet d'éviter une aspiration d'air par la sortie du four. L'acquisition de la vitesse du flux d'azote, permettant, en conjonction avec l'orientation adéquate de ce flux, d'assurer un régime non turbulent et une bonne évacuation des gaz réducteurs est ensuite obtenue du seul fait de la température élevée régnant dans cette zone. - De même l'injection d'azote assurée dans la zone de précuisson par les moyens localisés en V est orientée en direction des moyens d'extraction (de préférence suivant un angle compris entre 20 et o). Ceci permet de renforcer le phénomène de balayage précé- demment créé sans créer de régime turbulent et de compenser la perte de vitesse du flux d'azote due à la diminution de la tempé- rature dans la zone de précuisson. Une autre caractéristique tendant au même résultat consiste dans le fait que les tubes d'injection d'azote dans la zone de précuisson sont munis de trous de section relativement faible (par exemple inférieur ou égal à 2 mm). Une autre caractéristique tendant également au même résultat consiste dans le fait que les tubes d'injection d'azote dans la zone de précuisson sont en nombre relativement important (de préférence supérieur à cinq) et sont alimentés par des débimètres indépendants, tels que 4, de manière à compenser les différences de vitesse du flux d'azote dues aux différences de température régnant entre les dif- férents points d'implantation de ces tubes dans cette zone. Une autre caractéristique tendant au même résultat consiste encore dans le fait que les moyens d'injection d'azote dans la zone de précuisson sont localisés dans une zone comprise entre 450 C et 800 C, soit après lafflone de formation des gaz réducteurs et non pas 82181 au-dessus de cette zone. - les moyens d'extraction des gaz réducteurs ne sont plus localisés n'importe o, comme cela pouvait être le cas auparavant, mais au plus près de la zone o se produisent les réactions aboutissant à la formation de ces gaz (soit entre 250 C et 5000C), de façon à éviter le plus possible une stagnation de ces gaz au-dessus du substrat. Ceci vient donc renforcer le phénomène de balayage (symbolisé par les flèches en traits plus épais de la figure l) en contribuant à assurer une évacuation plus rapide et plus efficace de ces gaz. Dans cette même optique le système d'injection 2 équipant la cheminée l est placé au plus près de la base de la cheminée, et de préférence à une hauteur h inférieure à 200 mm, comme cela apparaît sur les figures 2 et 3 qui représentent deux exemples de réalisation d'un tel système d'extraction. Sur ces schémas apparaissent la cheminée 2, l'injecteur 3 et le débimètre 4 commandant ce système d'injection. Il faut souligner que si le four suivant l'invention est particu- lièrement intéressant, voire indispensable, pour la cuisson sous atmosphère non oxydante, il peut également être utilisé avec profit pour la cuisson sous air. 82181 REVENDICATIONS 1. Four de cuisson de substrat de circuit imprimé obenu par dépôt sérigraphique, sur un substrat isolant, d'une encre isolante ou résistive comportant un matériau organique qui constitue un lien temporaire de cette encre, four muni de moyens d'injection de gaz permettant la cuisson sous l'atmosphère souhaitée, et de moyens d'extraction des gaz réducteurs et/ou résidus de cuisson obtenus par transformation des matériaux organiques sous l'effet de la tempé- rature, caractérisé en ce qu'il comporte en outre des moyens pour assurer un balayage de ces gaz réducteurs en direction des moyens d'extraction, de façon à accélérer leur évacuation sans créer de zone de stagnation ou de circulation turbulente. 2. Four selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens pour assurer un balayage des gaz réducteurs en direction des moyens d'extraction consistent dans une orientation des moyens d'injection de gaz dans la direction de l'emplacement des moyens d'extraction de gaz réducteurs, de façon à créer un régime non turbulent et à éviter une stagnation des gaz réducteurs. 3. Four selon l'une des revendications 1 et 2, dans lequel les moyens d'injection de gaz comportent des premiers et des seconds moyens localisés respectivement dans une zone de précuisson et dans une zone de cuisson, caractérisé en ce que les moyens pour assurer un balayage des gaz réducteurs en direction des moyens d'extraction consistent dans le fait que le diamètre des trous d'injection de gaz dans la zone de précuisson est relativement faible. 4. Four selon la revendication 3, caractérisé en ce que le diamètre des trous d'injection de gaz dans la zone de cuisson est relativement élevé. 5. Four selonrLAune des revendications 3 et 4, caractérisé en ce 82181 que les tubes d'injection de gaz dans la zone de précuisson sont en nombre relativement important. 6. Four selon l'une des revendications] à 5, caractérisé en ce que les tubes d'injection de gaz dans la zone de précuisson sont localisés dans une zone de température située après la zone de formation des gaz réducteurs. 7. Four selon l'une des revendications I à 6, caractérisé en ce que les moyens d'extraction des gaz réducteurs sont localisés au plus près de la zone de formation de ces gaz. 8. Four selon l'une des revendications i à 7, dans lequel les moyens d'extraction de gaz réducteurs consistent en une cheminée munie d'un système d'injection, destiné à accélérer l'évacuation de ces gaz, caractérisé en ce que ce système d'injection est localisé au plus près de la base de la cheminée. 9. Four de cuisson de substrat de circuit imprimé, caractérisé !5 en ce qu'il comporte l'ensemble des caractéristiques énoncées aux revendications 2 à 8.