FR 2575577 A1 19860704 FR 8420025 A 19841228 -1_4 2575577 TRANSDUCTEUR MAGNETIQUE D'ECRITURE / LECTURE POUR ENREGISTREMENT PERPENDICULAIRE. La présente invention concerne un transducteur magnétique d'écriture/lecture pour enregistrement perpendiculaire. Elle est notamment applicable à l'enregistement perpendiculaire d'informations à hautes densités linéique et radiale sur les disques magnétiques des mémoires à disques. On sait que les informations portées par les disques magnétiques sont contenues à l'intérieur de pistes concentriques circulaires et se présentent sous la forme d'une succession de petites cellules magnétiques appelées cellules élémentaires réparties sur toute la longueur de chaque piste. La magnétisation (ou l'aimantation) dans deux cellules magnétiques élémentaires consécutives est de sens opposé et a généralement même module. On appelle transducteur les moyens qui permettent soit d'écrire (on dit également enregistrer) les informations sur les disques magnétiques, soit de les lire, soit de réaliser l'une et l'autre de ces deux fonctions. La tendance actuelle du développement des disques magnétiques est de chercher à obtenir des densités radiales de quelques milliers de pistes par centimètre (mesurées suivant le diamètre des disques) et des densités linéiques égales ou supérieures à dix mille changements de sens de magnétisation par centimètre (mesurées suivant la circonférence des pistes). Un mode préféré d'écriture d'informations permettant l'obtention de telles densités d'enregistrement est le mode d'écriture dit perpendiculaire o l'aimantation dans les cellules élémentaires est perpendiculaire 4 la couche magnétique d'enregistrement du disque. Dans ce mode, le milieu magnétique constituant la couche est un milieu -- 2 --5757 -2 magnétique anisotrope présentant une direction privilégiée de magnétisation (ou d'aimantation) appelée encore direction de facile aimantation, perpendiculaire a la couche d'enregistrement. Pour obtenir de très hautes densités linéique et radiale d'informations, on utilise de préférence des transducteurs magnétiques intégrés ou en couches minces dont le circuit magnétique comporte un pâle principal d'écriture lequel est excité magnétiquement par un bobinage, et un pâle auxiliaire. Il existe divers types de transducteurs. intégrés comportant un pôle principal d'écriture. Lorsque le pôle auxiliaire et le pôle principal du circuit magnétique se trouvent situés d'un même cote par rapport au support d'enregistrement, on dit que le transducteur magnétique est de type sabot. On trouve la description d'un transducteur intégré d'un tel type dans le brevet français N" 2.428. 886 déposé le 13 Juin 1978 sous le titre :Support- d'informations magnétiques à enregistrement perpendiculaire" par la Compagnie Internationale pour l'Informatique CII HONEYWELL BULL dont l'inventeur est M. Jean-Pierre LAZZARI. Le support défile devant le transducteur perpendiculairement au plan des couches minces magnétiques formant les pièces polaires. De préférence, si l'on appelle épaisseur des pièces polaires, la dimension des pôles, mesurée parallèlement au sens de défilement, l'épaisseur du pôle auxiliaire -est très supérieure à l'épaisseur du pôle principal d'écriture (généralement plus de 5 fois supérieure), de sorte que la section du pôle auxiliaire est très supérieure à celle du pôle d'écriture. Le pôle principal d'écriture est réalisé en un matériau magnétique doux, de préférence anisotrope. Dans ce cas, - 3 - 2575571 l'axe de difficile aimantation est perpendiculaire au support d'enregistrement. L'écriture des informations sur le support est alors effectuée en faisant défiler celui-ci a vitesse constante et en faisant traverser le bobinage associé au pôle d'écriture par un courant variable représentatif des informations à écrire. Ce courant traverse le bobinage. Le champ magnétique ainsi produit modifie l'équilibre magnétique des pièces polaires. En regard du pâle principal, il y a concentration du flux magnétique, le profil du champ étant fonction dela perméa- bilité du pôle et de sa très faible épaisseur. L'axe de facile aimantation de la couche magnétique d'enregistrement est perpendiculaire à la surface de celle-ci. La composante, perpendiculaire à cette surface, du champ magnétique a une intensité suffisante qui peut provoquer le renversement de la magnétisation (de l'aimantation) dans cette direction. En regard du pôle auxiliaire, au contraire, le champ magnétique et sa composante perpendiculaire à la surface de la couche sont d'intensité beaucoup moins forte que la même composante en regard du pôle principal d'écriture. (En première approximation, les champs produits au voisinage des pôles ont une intensité variant en raison inverse de la section de ceux-ci, le flux magnétique étant conservatif). L'état magnétique de la couche au niveau du pôle auxiliaire n'est donc pas modifié. Seul le pôle principal intervient donc dans le processus d'écriture. Lorsque le pl61e principal et le pôle auxiliaire sont disposés de part et d'autre du support d'enregistrement, on dit que l'on a affaire a un transducteur de taie monopole, tel que défini par le Professeur Iwasaki dans la revue "IEEE transactions on magnetics " Vol M3G.13, NM 5 de septembre 1977, aux pages 272 à 277. Dans ce cas, le I flux magnétique crée par le pôle principal d'écriture traverse le support d'enregistrement st passe a travers le pÈle auxiliaire disposé de l'autre côté de ce sppOro - 4 - Il existe certaines versions de transducteurs de type monopole, qui ne comportent pas de pôle auxiliaire de retour de flux. De tels transducteurs sont par exemple décrits dans les demandes de brevets européennes N" 82.304048.0 déposée le 30 Juillet 1982 par la société "Fujitsu Limited" sous le titre "A perpendicular magnetic recording and reproducing head", et N 83.401480.5 déposée le 19 Juillet 1983 par la société américaine "Vertimag Systems Corporation" sous le titre "Read-write head with a planar coil or coils ". Les transducteurs de type sabot et de type monopole fonctionnant de manière analogue, on a tendance dans le langage courant à appeler de tels transducteurs aussi bien transducteurs à pôle principal que transducteurs de type monop8le (single pole head en langue anglaise). Si les transducteurs de type monopÈle sont à l'écriture, bien adaptés à l'enregistrement d'informations à haute densité, puisque la longueur des cellules magnétiques élémentaires enregistrés est sensiblement inférieure ou égale a l'épaisseur du pôle principal d'écriture, il n'en est pas de même à la lecture o le rapport signal/bruit de tels transducteurs est relativement peu élevé. Cela est dû à trois phénomènes essentiels: 1. Le fait que le bobinage associé au pôle principal d'écriture est disposé dans un plan perpendiculaire au support d'enregistrement et au sens de défilement des informations, 2. La très haute densité des informations enregistrées sur le support et lues par le transducteur. 3. La distance entre le support et l'extrémité du p8le d'écriture qui lui fait face. En effet, on montre que plus la densité d'informations est grande, plus le champ magnétique créé par les cellules - 5 - magnétiques élémentaires du support au voisinage de celui- ci a une intensité qui décroît extrêmement rapidement lorsque la distance par rapport à la surface du support croit. Ceci est dû au fort couplage magnétique entre les cellules élémentaires voisines qui entraîne l'existence d'un fort gradient de champ au voisinage de la surface du support. Dans ces conditions, on considère que le flux magnétique fi entrant dans le pôle principal comprend une partie utile 4u produite par l'information qu'on cherche à lire et une partie non utile (productrice de bruit) S e. Ce dernier est du au flux produit par les cellules voisines de celle en regard duquel le pôle se trouve, situées sur la même piste, au flux produit par les cellules des pistes voisines de celle o se trouve l'information lue et au flux produit par des champs magnétiques parasites existant notamment à l'extérieur du support d'enregistrement. Dans ces conditions, on observe aussi bien expérimentalement que par simulation sur ordinateur, les faits suivants. Lorsque le pôle principal est en situation de capter le maximum de flux f i (par exemple, en face d'une cellule élémentaire), il n'est traversé par le flux magnétique utile que sur une très faible hauteur, (distance de tout point du pôle par rapport A l'extrémité de ce dernier disposée en regard du support, cette extrémité étant elle-même située à 2 ou 3 dixièmes de microns du support), et est par contre soumis au flux non utile e sur une hauteur beaucoup plus grande, ce dernier étant une cause non négligeable de bruit: (par exemple un pôle principal d'une hauteur de l'ordre de 10 microns, n'est traversé par le flux utile que sur une hauteur de microns. hauteur de 1 a 3 microns). - 6 - On voit donc, qu'un bobinage disposé perpendiculairement au support ne captera le flux utile que sur une très faible partie de sa hauteur, mais captera par contre sur une grande partie de sa hauteur le flux non utile créé par les cellules magnétiques voisines de celles qui produit le flux magnétique utile. Il en résulte donc que, à la lecture, les transducteurs magnétiques de type monopole actuellement réalisés, sont peu efficaces. La présente invention permet de remédier à ces inconvénients, en disposant le bobinage, au voisinage immédiat de l'extrémité du monopole, de telle sorte que chaque tour de bobinage perpendiculaire au support capte le maximum de flux utile f u et le minimum de flux parasite 4 e, le nombre de tours de bobinage par unité de volume étant très élevé. On obtient ainsi un bobinage très compact disposé autour et au voisinage immédiat de l'extrémité du monopole. Ainsi la disposition géométrique du bobinage par rapport au pôle permet un couplage magnétique extrêmement fort entre le pôle magnétique et le bobinage. Par ailleurs, le bobinage magnétique ainsi disposé, du fait de sa faible hauteur, collecte la plus grande partie du flux magnétique utile f u entrant dans le monopole et une relativement faible partie de flux e. On réalise ainsi un transducteur magnétique de type monopole dont le rapport signal/bruit à la lecture est relativement plus élevé que les transducteurs de même type selon l'art antérieur. Selon l'invention le transducteur magnétique pour l'écriture et la lecture d'informations sur un support enregistrement perpendiculaire comprenant: un pèle d'écriture en matériau magnétique à haute - 7- perméabilité, perpendiculaire au support d'enregistrement, - un bobinage couplé magnétiquement au p6le d'écriture dont chaque section de tour est perpendiculaire au support d'enregistrement est caractérisé en ce que, dans le but d'augmenter le rapport signal/bruit, le bobinage est constitué d'une spirale à développement plan parallèlement au support disposée autour et au voisinage de l'extrémité du pôle disposée en regard du support. D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention apparaîtront à la lecture de la description suivante, donnée à titre d'exemple purement illustratif et nullement limitatif, en se référant aux dessins annexés sur lesquels: - La figure 1: est un schéma simplifié rappelant comment est constitué un transducteur intégré de type sabot, - - La figure 2: est un schéma de principe simplifié montrant un transducteur de type monopole, - La figure 3: composée des'figures 3a, 3b et 3c illustre les inconvénients d'un transducteur de type Monop1ôle A la lecture, - Les figures 4, 5, 6: montrent une première forme de réalisation d'un transducteur intégré de type monopole selon l'invention, : - La figure 4 étant une vue en coupe prise au niveau du bobinage, dans un plan perpendiculaire au support et parallèle au sens de défilement des informations, - La figure 5 étant une vue de trois quart en perspective montrant le transducteur selon l'invention disposé en regard de trois pistes du support d'enregistrement, - La figure 6 étant une vue de dessus du bobinage du transducteur selon l'invention, La figure 7: est une vue en coupe prise dans un plan perpendiculaire au support et parallèle au sens de défilement des informations montrant une seconda forme de réalisation du transducteur selon l'invention, - 8 - La figure 8: montre, vue de dessous, depuis le support d'enregistrement le transducteur de la figure 7, - La figure 9: montre une troisième forme de réalisation du transducteur selon l'invention, - La figure 10: illustre les différentes étapes du procédé de fabrication d'un transducteur selon l'invention. Afin de mieux comprendre comment est constitué et comment fonctionne le transducteur magnétique d'écriture/lecture selon l'invention, il est utile de faire quelques rappels sur la constitution et le fonctionnement des transducteurs magnétiques d'écriture/lecture de type monopole selon l'art antérieur, et quels sont leurs inconvénients, plus particulièrement à la lecture. Ces rappels sont illustrés par les figures 1 et 2 montrant les deux différents types de transducteurs monopole et la figure 3 montre les inconvénients de tels transducteurs à la lecture. On considère la figure 1 qui montre un transducteur magnétique de type sabot désigné par TMA1, Ce transducteur TMA1 comprend: - le p8le principal MPOL1, - le pôle auxiliaire PAl, - le bobinage BOBA dont le plan est perpendiculaire au support d'enregistrement SM. Le -pôle principal MPOL1 et le pôle auxiliaire PA1 sont disposés d'un même côté du support d'informations SM et présentent au voisinage de celui-ci un entrefer G dont la grande dimension est perpendiculaire au sens de défilement F des informations et au plan de la figure. Chacun des deux piles, qui constituent le circuit magnétique CMA du transducteur TMA1 est formé par exemple d'une pluralité de couches minces magnétiques séparées les unes des autres - 9 - par des couches minces isolantes, ces différentes couches n'étant pas représentées à la figure 1 pour simplifier. Le pôle principal MPOL1 est disposé sur un substrat magnétique SUBSAT. Le bobinage BOBA peut être réalisé sous deux formes différentes. La première consiste en un empilement d'une succession de couches minces conductrices et isolantes alternées et superposées, alors que la deuxième consiste en une spirale plane formée par exemple dans une seule couche mince conductrice disposée dans un plan perpendiculaire au plan de vol. L'épaisseur du pôle principal MPOL1 (dimension mesurée selon une direction parallèle au sens de défilement F des informations) est très inférieure à l'épaisseur e2 du pôle auxiliaire PAl. Très souvent, les pôles sont réalisés en matériau magnétique anisotrope. L'axe de difficile aimantation est l'axe ADAT normal au plan du support magnétique d'enregistrement SM. L'axe facile non représenté à la figure 1 est perpendiculaire au plan de la figure et au sens de défilement des informations. Le support d'enregistrement SM est constitué d'un couche CM de matériau magnétique anisotrope disposée sur une sous-couche magnétique SCM. L'axe de facile aimantation de ce matériau magnétique CM est perpendiculaire à la surface du support d'enregistrement et est désigné par AFAM. Pour écrire les informations sur le support SM qui défile dans le sens de la flèche F à vitesse constante, on envoie dans le bobinage un courant représentatif des informations à écrire, formé d'une succession de signaux carrés positifs et négatifs d'une durée variable. Le champ magnétique passant à travers les pôles créés par le passage du courant dans le bobinage a une composante importante selon la direction de difficile aimantation ADAT et le flux magnétique qui en résulte se ferme à - 10 - travers la couche magnétique SM et la sous-couche SCM de la manière indiquée à la figure 1 par les lignes de flux LCM. En regard du pôle principal MPOL1, le champ magnétique a une composante perpendiculaire au support d'enregistrement SM qui a une intensité beaucoup plus grande que la même composante en regard du pôle auxiliaire PA1, en raison de la différence entre les épaisseurs el et e2, et par suite entre les sections du pôle principal et du pôle auxiliaire (voir ci-dessus). On voit donc que le pôle principal MPOL1 crée les informations sur le support SM sans que l'écriture de celles-ci soit perturbée par la présence du pôle auxi- liaire PA1,qui peut ou non voir ces informations défiler devant lui, suivant le sens de défilement choisi pour le support. On considère la figure 2, qui montre un transducteur TMA2 de type monopole, tel que décrit dans l'article précité et dans les demandes de brevet européennes précitées 82.304048.0 et 83.401480.5. Ce transducteur TMA2 comprend: - le monopôle MPOL2; - le bobinage BOBA2 dont le plan est perpendiculaire au support d'enregistrement SM. Le transducteur TMA2 peut ou non comporter un pôle auxiliaire PA2 disposé de telle manière que ce dernier et le monopole MPOL2 soient placés de part et d'autre du support d'enregistrement SM analogue à celui représenté à la figure 1. Le bobinage BOBA2 peut être réalisé de la même manière que le bobinage BOBA1 du transducteur TMA1. En fonctionnement, & l'écriture, lorsqu'un courant circule - dans le bobinage - 11 - BOBA2, le monopole MPOL2 est traversé par un flux magnétique dont on a représenté quelques lignes en traits interrompus à la figure 2. Ce flux magnétique se referme l'infini. A l'inverse, à la lecture le champ magnétique de fuite crée par les différentes cellules enregistrées sur une piste magnétique du support SM crée un flux magnétique passant par le pôle MPOL2 et induit une force électromotrice d'induction aux bornes du bobinage BOBA2. On considère les figures 3a et 3b qui montrent les inconvénients d'un transducteur de type monopole à la lecture. On a considéré un support SM o la densité d'enregistrement est très élevée de l'ordre de 10.000 changements de sens de magnétisation par centimètre. Sur la figure on a représenté un certain nombre de ces changements de sens de magnétisation, ou transitions magnétiques à savoir les transitions Til, Ti, Ti+l. La transition Ti est disposée entre les deux cellules magnétiques Di et Di+l, la transition Ti+l entre les deux cellules Di+l et Di+2 etc.... On a tracé sur cette même figure 3 les lignes de flux magnétiques créées par les champs magnétiques de fuite de la cellule Di passant dans le monopôle MPOL2 (ce pourrait être également le monopole MPOL1, les phénomènes physiques s'y produisant seraient les mêmes). Ces lignes de flux ont été observées par exemple par des méthodes de simulation sur ordinateur. On a supposé que l'épaisseur e2 du monopôle MPOL2 est de l'ordre du micron, les dimensions des cellules magnétiques Di, Di+l etc... enregistrées sur le support SM &tant également de l'ordre du micron. Dans ce cas, on voit que la majeure partie des lignes de flux magnétiques allant de la cellule Di vers les cellules Di_ e, Di+l, est canalisée par la pièce polaire - 12 - MPOL2 sur une hauteur hu très faible par rapport à la hauteur totale du monop6le MPOL2. On a pu observer par simulation que cette hauteur hu était comprise entre 1 et 3 microns, c'est-à-dire de l'ordre de grandeur de l'épaisseur du p6le et de la dimension des différents cellules magnétiques Di. Ces lignes de flux captées par le monop8le MPOL2 sur une hauteur hu constituent le flux utile j u qui donne naissance au signal utile Su recueilli aux bornes du bobinage BOBA2. On a pu par contre observer que la plus grande partie 3e2 du flux magnétique 5e qui est produit essentiellement d'une part par les cellules entourant la cellule Di (dont Di-1 et Di+1) sur la même piste TRi que celle-ci et d'autre part,-par les cellules situées sur les pistes voisines de TRi, pénètre à l'intérieur du monop8le MPOL2 dans la partie supérieure de celui-ci sur une hauteur hp, à partir d'une hauteur hu (hu est mesuree a partir de l'extrémité PTA2 du monop8le). Une plus petite partie Sel de ce fluxfe pénètre le monopôle MPOL2 sur la partie basse de la hauteur hu du monopôle. On rappelle que ce flux J e donne naissance au signal de bruit B, el produisant un signal de bruit B1 et Se2 un signal de bruit B2, avec généralement B2> B1. On peut donc diviser le monopole MPOL2 en deux parties, une partie utile Pu de hauteur hu qui sert a collecter le flux magnétique donnant naissance au signal utile Su, (et qui collecte aussi,4el) et une partie non utile, à savoir la partie Pp de hauteur hp, concourant à la production de la plus grande partie du signal de bruit B, a savoir B2. On considère une succession de sections SO, S1,...., Sj du pôle d'écriture parallèles au support situées a des distances h0, hl,..., hj (également appelées hauteurs) de - 13 - l'extrémité du pôle PTA2 disposée en regard du support, ( hauteurs h0 et hj, ( Afu)j l'accroissement de flux. utile entre les hauteurs hj_1 et hj c'est-à-dire tel que: '('u)j = (Àu)jl + (fu)j. on a donc: (J-U = ( u)o +Z (fu)j i Si i'on mesure (Atfu)j entre hj-1 et hj pour chaque valeur de hjl1 et hj et que l'on trace les variations de ( du)j en fonction de hj on obtient la courbe de la figure 3c. A partir de la hauteur hj=hu, ( Fu)j est nul. En regardant les figures 3a et 3c, on voit que l'inconvénient des transducteurs de lecture de type monopole est le suivant: d'une part, une grande partie du monopole MPOL2 est non utile et concourt à l'obtention d'un signal de bruit important et d'autre part un bobinage plan, disposé dans un plan perpendiculaire au sens de défilement des informations, ne collectera le flux utile que sur une faible partie de sa hauteur, sur un nombre réduit de tours, alors que la totalité du nombre de tours de ce dernier collectera le flux non utile et générera un signal de bruit important. Le transducteur selon l'invention montré aux figures 4, 5, 6 remédie aux inconvénients mentionnés ci-dessus en disposant le bobinage au voisinage immédiat de l'extrémité du monopâle et autour de celui-ci, la hauteur du bobinage étant égale ou inférieure à la hauteur hu. De la sorte, on augmente le signal utile Su et on diminue le signal de bruit B et le rapport Su/B est élevé. - 14 - Le transducteur TMIl de type monopole selon l'invention comprend les différents éléments suivants: Le monopole ou pôle principal MPOLI1 ayant un axe de difficile aimantation ADATI perpendiculaire au support d'enregistrement SM, ce dernier étant semblable au support montré aux figures 1 à 3, Le bobinage BOBIl qui est une spirale à développement plan parallèlement au support, dont la hauteur b est égale ou inférieure à la hauteur utile hu, et dont la densité de tours par unité de longueur mesurée parallèlement au sens de défilement du support ( par micron) est extrêmement élevée. Le transducteur TMI1 comprend un pôle auxiliaire PAIl réalisé par exemple en ferrite, mais il est clair que l'invention s'applique également à tout transducteur de type monopole soit comportant des pôles auxiliaires réalisé en d'autres matériaux magnétiques que la ferrite, soit réalisé en couches minces, soit ne comprenant pas de pôle auxiliaire. Le bobinage BOBI1 comporte quatre tours. On considère la section de chaque tour, dans un plan donné perpendiculaire au support d'enregistrement et parallèle au sens de défilement (le plan de coupe de la figure 4). On désigne par a la largeur de cette section mesurée parallèlement au sens de défilement et par b sa hauteur mesurée perpendiculairement au support, par c la distance entre le plan parallèle au support contenant l'extrémité PTI1 du monop'le et la partie inférieure de chaque tour de bobinage (celle qui est en regard du support). De préférence, l'extrémité inférieure de chaque tour de bobinage est contenue dans ce plan parailèle, c'est-à-dire que c 'O0. - 15 - La hauteur b est telle que le rapport entre le flux utile uc et le flux non utile ec coupés par l'ensemble des tours du bobinage soit le plus grand possible, de façon à ce que le rapport Su/B soit optimum. Généralement b est égal ou légèrement inférieur à hu. On a a/b microns et a de l'ordre de 3 à 7000 Angstr6ms. Etant donné les dimensions extrêmement faibles de la section de chaque tour et que celle-ci est plus haute que large (a/bdl), on peut admettre que chaque section est assimilable à un segment de droite perpendiculaire au support d'enregistrement. Par extension, on dira que chaque section est perpendiculaire au support et même que chaque tour est perpendiculaire au support. On désigne par p le pas entre les tours du bobinage (distance entre les axes de symétrie des sections de tours) (voir figure 4). Celui-ci est de l'ordre du micron. Dans l'exemple de réalisation montré aux figures 4 à 6, le nombre de tours par micron est donc de l'ordre de 1, ce qui est une densité de tours par unité de longueur élevée pour un transducteur ayant des dimensions de l'ordre de celles indiquées plus haut. Le bobinage BOBI1 a une structure et des dimensions telles qu'il est très compact et concentré autour et au voisinage de l'extrémité PTI! du monopole, ce qui permet 1. D'améliorer le couplage magnetique entre le mnople MPOLI1 et le bobinage, 2. De concentrer le maximum de tours possible autour du monopole, en regard d'une cellule donnée Di du support, ce qui permet de capter u flux agnetique utile prov-nant du - 16 - monopole MPOLI1 élevé, et d'avoir un signal utile d'amplitude élevée. Les deux facteurs énoncés ci-dessus combinés avec une hauteur b telle que uc/fec soit maximum, font que le transducteur selon l'invention permet, avec le minimum de volume, d'avoir le meilleur rapport Su/B possible avec une amplitude de signal Su relativement élevée. On désigne par Wi la largeur du monopole MPOLI1, mesurée perpendiculairement au sens de défilement des informations F (voir figure 5). Ainsi qu'on peut le -voir sur cette même figure 5, le transducteur TMI1 est montré disposé au-dessus de la piste TRi du support d'enregistrement SM. Les informations écrites sur chaque piste du support SM étant enregistrées par un transducteur analogue au transducteur TMI1, il en résulte que la largeur Wi du monopole MPOLil est sensiblement égale à la largeur de chaque piste TRi du support SM, largeur appelée WE. Pour des raisons évidentes de fabrication la longueur L du bobinage BOBI1 mesurée perpendiculairement au sens de défilement des informations est supérieure à la largeur de piste WE. De même la longueur 1 mesurée parallèlement au sens de défilement des informations est supérieure à l'épaisseur ei du monopole MPOLIl.(figures 5 et 6). Il en résulte qu'une partie du bobinage BOBI1 recouvre une partie des pistes TRi+l et TRi-1 voisines de la piste TRi en regard de laquelle setrouve le monopole MPOLI1 lorsque le transducteur TMI. effectue les opérations de lecture de la piste TRi. On peut donc décomposer le bobinage BOBI1 en trois parties, à savoir une partie centrale dite zone active du - 17 - bobinage ZAI qui produit le signal utile de lecture Su, et deux parties latérales à savoir ZLI1 et ZLI2 qui produisent plus particulièrement une partie du signal de bruit savoir celle provenant des pistes voisines TRi+ l1 et TRi-1, de la piste TRi que le transducteur TMI1 est en train de lire. Pour améliorer encore davantage le rapport Su/B en diminuant le signal de bruit B, on donne aux différentes parties du bobinage, à savoir la partie centrale ZAI, et les deux parties latérales ZLI1 et ZLI2, des structures différentes. La partie centrale ZAI est celle dont la section de chaque tour est décrite ci-dessus et comporte donc un nombre de tours très élevé par unité de longueur, c'est-à-dire de l'ordre d'un tour par micron. La surface de sa section est faible. A l'inverse, dans les parties latérales ZLI1 et ZLI2, le nombre de tours par unité de longueur est beaucoup plus faible que dans la partie centrale ZAI, et de plus, la section de chacun des tours de bobinage est plus grande que dans la partie centrale, le bobinage est ainsi moins efficace et on limite donc le signal de bruit B produit par les parties latérales ZLI1 et ZLI2, d'autant plus que cellesci ne recouvrent que partiellement les pistes voisines TRi-1 et TRi+l Le bobinage BOBI1 comporte des bornes d'arrivée et de départ de courant destinées à être connectées aux circuits de lecture (et d'écriture) de la mémoire à disques comportant le transducteur TMI1, A savoir les bornes CRI1 et CRI2, l'une étant disposée (CRI2) à l'extrémité interne centrale du bobinage, c'est-à-dire au début du premier tour (les tours sont comptés c partir du monop6le - 18 - MPOLI1), l'autre étant disposée à l'extrémité externe du dernier tour du bobinage (au droit de la piste TRi+i, comme on le voit à la figure 5). Le monopole MPOLI1 ayant une hauteur totale de 5 à 10 microns et le bobinage une hauteur b de 1 à 2 microns, on peut considérer que ce dernier est plan eu égard aux dimensions globales du transducteur TMI1. On peut donc le considérer comme une spirale disposée autour de l'extrémité PTI1 du monopole MPOLI1 et au voisinage de celle-ci, le développement de cette spirale s'effectuant dans un plan parallèle au support d'enregistrement. On dit encore que c'est une spirale à développement plan parallèlement au support d'enregistrement. Chacun des tours de bobinage est enterré à l'intérieur d'une matière amagnétique AMAGI1. Il est séparé du tour voisin par un espaceur en matière amagnétique et isolante électriquement. Ainsi le bobinage BOBI1 montré aux figures 4, 5, 6 comprend les espaceurs SPI1, SPI2 à SPI9, SPI10. Ces espaceurs sont par exemple réalisés en alumine. La manière dont-sont réalisés ces espaceurs est exposée dans la suite de la description consacrée au procédé de fabrication du transducteur selon l'invention. Pour diminuer encore plus le signal de bruit B, on peut munir le transducteur selon l'invention de moyens de blindage MBI2 disposés autour du monopole (figures 7 et 8). On obtient ainsi le transducteur TMI2 comportant le monopcle MPOL2 et le bobinage BOBI2. Les différents tours *du bobinage sont noyés dans une matière isolante et magnétique AMAGI2 et séparée par des espaceurs identiques à ceux montrés à la figure 4. De même, le monopole MPOLI2 et le bobinage BOBI2 sont semblables aux éléments MPOLI1 et BOBIl du transducteur -19 - TMI1. Les moyens de blindage MBI2 sont disposés entre le bobinage BOBI2 et le support SM et recouvrent la quasi- totalité de la surface du bobinage BOBI2 de manière à être disposée en regard aussi bien des cellules entourant la cellule Di sur la piste TRi que d'une portion des pistes TRi+l et TRi_1. Ces moyens de blindage sont séparés du bobinage BOBI2 par une couche amagnétique de manière à réduire sensiblement leur couplage magnétique avec celui- ci. (Cette couche est non représentée, pour ne pas surcharger la figure 7). Ces moyens de blindage MBI2 sont réalisés en couches minces et de préférence en matière magnétique anisotrope, d'une manière analogue à celle décrite dans le brevet européen 0 040 994, déposé par la Compagnie Internationale pour l'Informatique CII Honeywell Bull, le 20 Mars 1981, sous le titre "Transducteur magnétique à entrefer de grande dimension variable pour la lecture ou l'écriture des informations d'un support magnétique". Aussi bien pour le transducteur TMI1 que pour le transducteur TMI2 les différents tours de bobinage BOBI1 et BOBI2 sont connectés en série. La figure 9 montre, vue de dessus, une forme de réalisation d'un transducteur TMI3 ayant un monopole MPOLI3 (analogue à MPOLI1 et MPOLI2) et un bobinage BOBI3 o les différents tours sont connectés entre eux en parallèle. A la différence du transducteur TMI2, les parties latérales telles que ZLI1 et ZLI2 n'existent paso Seule subsiste la partie centrale ZAI3. Le bobinage BOBI3 se décompose alors en deux demi- bobinages BOB131 et BOBI32, le bobinage BOB131 occuPaun lapartie située a gauche du monopoIe MPOLI3 et le bobinage B0BI32 la partie située à droite. - 20 - Les quatre tours du demi-bobinage BOBI31 sont connectés en parallèle respectivement aux conducteurs COll et C012 situés respectivement en haut et en bas de ce demi- bobinage alors que les quatre tours du demi-bobinage BOBI32 sont connectés en parallèle aux conducteurs C013 et C014 situés respectivement en haut et en bas de ce dernier. Les courants Il et I2 circulant respectivement dans les tours de chacun des demi-bobinages BOBI31 et BOBI32 sont sensiblement identiques en valeur absolue et de sens opposé, aussi bien à la lecture qu'à l'écriture (de manière qu'à l'écriture, les champs produits par chacun des deux demi-bobinages s'ajoutent et non se retranchent). Il est évident qu'à la lecture, les deux courants Il et 12 pourront être ajoutés de manière appropriée par les circuits de lecture de la mémoire a disques contenant le transducteur TMI3. On considère la figure 10 qui représente les différentes étapes du procédé de fabrication d'un transducteur selon l'invention tel que le transducteur TMI1 ou le transducteur TMI2. Les différentes étapes de ce procédé sont les suivantes: Le procédé comprend deux phases principales, à savoir une phase' Pl relative à la fabrication du monopole, et une phase P2 relative à la fabrication du bobinage. La phase P1 comprend les étapes suivantes: Etape P_.1 (figure 10a). On réalise un substrat électriquement isolant, par exemple en ferrite, qui constituera le pôle auxiliaire du transducteur (PAI1,PAI2) selon l'invention. Ce substrat est dénommé SUBSI. Il a une forme de L renversé présentant un évidement EV dans sa partie intérieure gauche. - 21 - Etape P1.2. On dépose un matériau isolant ISOI sur le susbtrat en ferrite SUBSI1, de 1 à 3 microns d'épaisseur à l'intérieur de l'évidement EV. Cet isolant ISOI est un matériau non magnétique et isolant électriquement. L'ensemble formé par SUBSI1 et ISOLI1 présente une surface latérale verticale gauche SC que l'on rend plane, par exemple par rodage (figure 10b). Etape P1.3. On dépose un matériau magnétique sur toute la surface SC ayant la hauteur du substrat SUBSI1 et une épaisseur d'environ 1 micron ayant sensiblement la forme d'un parallélépipède rectangle qui constitue le monop8le MPOLI1, par exemple (figure 10c). Etape P1.4. On réalise en isolant ISOLI symétrique de ISOI par rapport au monopole MPOLI1 (on peut également déposer un substrat SUBSI2 en plus de ISOLI, symétrique de SUBSI1 et réalisé en ferrite également, ce qui permet de réaliser un transducteur de type coaxial avec double circuit magnétique) par une opération d'assemblage plus connue sous le terme anglo-saxon de packaging utilisé couramment dans la terminologie des semiconducteurs (figure 10d). - Etape P1.5. On planarise (on rend plane) la surface des isolants (ISOLI, ISOI) et de l'extrémité du monopole (MPOL1). La phase P2 comprend les étapes suivantes: Etape P2.1. On réalise d'abord les espaceurs SPI1 à SPI10 en alumine selon la technique décrite par exemple par DC FLANDERS dans le journal of Vacuum science technology, B1(4) d' Octobre - Décembre 1983 à la page 0734 -211X/83/0. - 22 - Cette phase P2.1 se décompose de la manière suivante: a) on réalise des éléments, par exemple six dénommés, E1 à E6 en oxyde de silicium SiO2 (figure 9f) par photolithogravure et gravure à l'intérieur des isolants ISOLI et ISOI (figure 10e); b) on dépose une mince couche d'alumine (isolante et amagnétique) ALUMI ayant l'épaisseur recherchée pour les espaceurs, sur toute la surface des éléments El à E6 (figure 9g); c) on enlève, par exemple par gravure ionique ou par plasma, la partie inférieure (voir figure 10h) de la couche d'alumine ALUMI qui se trouve dans le plan de l'extrémité PTI1 du monopole MPOLI1 (voir figure 9h); d) on enlève les éléments E1 à E6 par gravure sélective et les parties de la couche ALUMI qui sont parallèles à l'extrémité PTI1 du monopole MPOLI1. Etape -_2.2* On réalise les différents tours du bobinage, par croissance d'une couche conductrice disposée entre les espaceurs, le matériau conducteur étant pulvérisé ou évaporé Etape P2.3- On effectue une planarisation de l'ensemble de la structure du transducteur TMI1 ainsi obtenue. Les différentes étapes de fabrication aussi bien de la phase P1 que de la phase P2 utilisent les techniques de fabrication pour semiconducteur, de type semi-conducteur à très haute intégration VLSI. Le bobinage peut être réalisé, de préférence, soit en cuivre, soit en aluminum soit en or, soit en molybdène soit en tungstène. - 23 - Revendications: 1. Transducteur magnétique pour l'écriture et la lecture d'informations sur un support d'enregistement perpendi- culaire comprenant: - un pôle d'écriture (MPOLI1, MPOr'I2) en matériau magnétique à haute perméabilité, perpendiculaire au support d'enregistrement, - un bobinage (BOBI1,BOBI2) couplé magnétiquement au pâle d'écriture dont chaque section de tour est perpendiculaire au support, caractérisé en ce que, dans le but d'augmenter le rapport signal/bruit, le bobinage est constitué d'une spirale à développement plan parallèlement au support, disposée autour de et au voisinage de l'extrémité (PTI1) du pôle d'écriture regard du support. 2. Transducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que le transducteur comprend une zone active centrale (ZAI) et deux parties latérales (ZLI1 et ZLI2) entourant celle-ci, la section des tours et la densité de ceux-ci dans la zone active centrale etant respectivement inférieure et supérieure à la section des tours et leur densité dans les parties latérales. 3. Transducteur selon la revendication 1 caractérisé en ce que le bobinage (BOBI3) comprend deux demi-bobinages séparés (BOBI31, BOBI32) déposés de part et d'autre du monopôle (MPO0I3) dont les tours sont électriquement connectés en parallèle. 4. Transducteur selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que la 4auteur b du bobinage óBOBIi, BOBI2, BOBI3) est telle que le rapport entre les flux utile G et non utile ec captés par celui-ci est maximum. 5. Transducteur selon la revendication 4 caractérisé en ce que la hauteur b est comprise entre 1 et 3 microns. - 24 - 6. Transducteur selon l'une des revendications 1, 2, 3, 4, caractérisé en ce que le pas des tours du bobinage est de l'ordre du micron. 7. Transducteur selon l'une des revendications 1, 2, 3, 4, , 6 caractérisé en ce que il comprend des moyens de blindage (MBI2) recouvrant la surface du bobinage et disposée autour du monopôle (MPOUI2) entre le bobinage et le support d'enregistrement (SM). 8. Procédé de fabrication d'un transducteur magnétique intégré de type monopole selon les revendications 1 à- 4 comprenant un pôle auxiliaire (PAIl, PAI2), comprenant une phase de fabrication du bobinage (BOBI1, BOBI2) caractérisé en ce que l'on réalise dans l'ordre les différentes étapes suivantes: 1. Phase de fabrication du monopôle: a) on réalise un substrat électriquement isolant (SUBSI=PAI1=PAI2) en matière magnétique, b) on dépose un matériau isolant et amagnétique (ISOI) sur une partie du substrat puis on. rode l'une des faces du substrat et l'isolaht de manière à reconstituer une surface plane -SC), c) on dépose le monopôle óMPOrI1) en matériau magnétique sur la surface plan (SC), d) on dépose un isolant (ISOLI) identique à l'isolant (ISOI) et symétrique de ce dernier par rapport au monopole (MPOGI1)i e) on planarise la surface des deux isolants (ISOLI, ISOI) et celle de l'extrémité du monopole (MPOLI1, MPOLI2). - 25 - 2. Phase de fabrication du bobinage: f) on réalise une pluralité d'espaceurs en matière isolante (SPI1, SPIo0), g) on réalise les différents tours du bobinage (par pulvérisation ou évaporation) par croissance d'une couche conductrice disposée entre les espaceurs, h) on planarise l'ensemble de la structure ainsi obtenue. 9. Procédé selon la revendication 3 caractérisé en ce qu'on réalise les espaceurs suivant les phases suivantes: a) on réalise une pluralité d'éléments (E1 à E6) en matériau isolant, à l'intérieur des isolants ISOLI et ISOI symétriques par rapport au monopôle (MPOLI1), au voisinage d'une des extrémités de ce dernier. b) on dépose une couche mince (AUJMI) de matériau isolant électrique et amagnétique sur toute la surface de chacun desdits éléments. c) on enlève la partie inférieure de la couche isolante disposée au voisinage du plan contenant ladite extrémité du monopole. d) on enlève les éléments recherché d'espaceurs (SPI1, SPI10).