FR 2567325 A1 19860110 FR 8410521 A 19840703 ELEMENT A CAPACITE VARIABLE, COMMANDABLE PAR UNE TENSION CONTINUE La présente invention concerne un élément à capacité vari- able, commandable par une tension, plus particulièrement destiné à l'intégration sur une pastille de circuit intégré. Cet élément à capacité commandable permet de supprimer les selfs de choc qui filtrent la tension de commande par rapport à la tension du signal, ainsi que les capacités d'isolement qui, normalement, séparent une capacité commandable selon l'art connu et le reste du circuit: néanmoins, dans l'élément selon l'invention, la tension de commande n'interfère pas avec le signal. LVJlément à capacité commandable 0 selon l'invention concerne surtout le domaine des hyperfréquences. 3usqu'à présent, le dispositif à capacité variable -qui ne soit pas constitué par une capacité dont la valeur est modifiée mécani- quement- le plus connu et le plus utilisé est une diode Schottky polarisée en inverse, connue sous le nom de "Varactor". La capacité présentée par la métallisation sur le matériau semiconducteur dans une diode Schottky varie avec la tension de commande appliquée sur la cathode de la diode. Cette capacité variable peut être utilisée comme élément d'accord pour un oscillateur ou un filtre par exemple, mais Pinconvénient de ce type de capacité variable est que la tension continue de commande doit être isolée du signal hyper- fréquence par un filtre, comportant au moins une self de choc, et souvent deux selfs. La présence d'une self de choc à la surface d'une pastille de circuit intégré est à proscrire chaque fois que cela est possible, car une self ou un filtre occupe une surface trop impor- tante sur la pastille et diminue considérablement la densité d'inté- gration. L'élément à capacité variable selon l'invention s'inspire d'un élément à résistance variable, commandable par une tension, bien connu: le transistor à effet de champ. Dans un transistor à effet de champ non polarisé, la tension continue appliquée sur la grille fait varier les résistances entre source et canal et entre canal et drain en pinçant plus ou moins le canal par la zone de déplétion par exemple, si c'est un transistor à effet de champ à déplétion: ainsi la tension de commande sur la grille d'un transistor à effet de champ n'est pas connectée directement sur la tension de signal, et un filtre ou une self de choc sur la tension de grille n'est pas nécessaire. La tension de commande agit par effet capacitif sur le canal. Le schéma équivalent d'un élément à capacité variable selon l'invention permute et les résistances et les capacités des schémas équivalents d'un transistor à effet de champ: c'est donc un schéma à structure en T. Les deux bornes d'accès à cet élément sont consti- tuées par des capacités qui sont soit des diodes Schottky, soit des diodes à jonction; les diodes étant montées en cathode commune. La borne de commande est constituée par une résistance à travers laquelle est appliquée la tension de commande: la résistance est connectée au point commun entre les deux diodes. La réalisation de l'élément à capacité variable selon l'invention s'attache à ce que les capacités présentées par les deux diodes soient des capacités pures, sans résistance d'accès parasite. Dans une forme préférée de réali- sation de l'invention, les diodes sont constituées par une zone dite active, dopée, dans un substrat semi-isolant: deux métallisations Schottky sont déposées côte à côte sur cette zone active constituant ainsi des jonctions Schottky. Ces deux métallisations sont en contact électrique avec deux lignes micro-bande qui constituent les bornes d'accès à l'élément. La zone dopée comporte en outre un appendice en forme de bande, sur lequel est pris un contact ohmique: les dimensions et le taux de dopage de cet appendice règlent la valeur de sa résistance. La tension de commande est appliquée sur le contact ohmique. Dans d'autres formes de réalisation, adaptées selon les néces- sités, l'élément à capacité variable ne comporte qu'une seule diode ou au contraire en comporte plus de deux, ce qui en fait un élément qui, à partir d'une seule tension de commande, permet de contrôler ou d'accorder une pluralité de circuits. De façon plus précise l'invention concerne un élément à capacité variable, commandable par une tension continue n'inter- férant pas avec une tension hyperfréquence modulée par ledit élément dont la capacité variable est formée par la jonction d'au moins une diode lorsque celle-ci est polarisée en inverse par la tension de commande appliquée à travers une résistance, cet élé- ment étant caractérisé en ce qu'il cornporte, réalisées dans un substrat en matériau semi-isolant: - une zone active dopée au niveau I0 7 at cm3, au moins deux métallisations recouvrant partiellement la zone active, dont l'une au moins forme avec la zone active une diode, ces métallisations laissant en outre entre elles un espace entre deux de leurs bords en regard, - une seconde zone active, dopée au niveau 1017 at cm,-3 en contact ohmique avec la première zone active, cette seconde zone formant une résistance, en contact avec une métallisation ohmique sur laquelle est appliquée la tension de commande, - une première ligne microbande, en contact avec une pre- mière métallisation, et une seconde ligne microbande en contact avec une seconde métallisation, formant les bornes d'accès à l'élé- ment à capacité variable. L'invention sera mieux comprise par la description qui est faite de quelques exemples de réalisation, cette description s'ap- puyant sur les figures jointes en annexe qui représentent: - figure I1: schéma de filtrage de la tension de commande d'une diode schottky utilisée en capacité variable, selon l'art connu, - figure 2: schéma équivalent de l'élément à capacité variable commandé par une tension, selon l'invention, - figure 3: schéma électrique de l'élément à capacité variable selon l'invention, - figure 4: exemple de réalisation de l'élément à capacité variable selon l'invention, conformément aux figures 2 et 3, - figure 5: schéma équivalent de Jélément à capacité vari- able, dans une première variante de l'invention, - figure 6: schéma électrique de l'élément à capacité variable de la figure 5, - figure 7: exemple de réalisation de l'élément à capacité variable selon l'invention conformément à la première variante des figures 5 et 6, - figure 8: vue en coupe d'un cristal semiconducteur, montrant la formation des capacités dans l'élément à capacité variable de l'invention, - figure 9: disposition des métallisations pour augmenter la valeur des capacités dans une seconde variante de l'élément selon l'invention, - figure 10: schéma électrique d'un transformateur accordé par une capacité variable selon l'invention, figure 11: schéma de réalisation du transformateur de la figure 10, figure 12: schéma équivalent d'un élément à capacité variable comportant une pluralité de capacités variables selon une troisième variante de l'invention, - figure 13 -: exemple de réalisation de l'élément à capacité variable selon l'invention conformément à la figure 12, - figure 14: vue en coupe d'un cristal semiconducteur dans le cas o les capacités sont des capacités de jonction entre deux régions de types de dopage opposes. L'invention est essentiellement destinée à l'intégration dun circuit hyperfréquence sur des matériaux tels que Ga As ou les composés de la famille III-V. Elle peut cependant être appliquée sur le silicium, mais, afin de simplifier le texte, elle sera exposée en s'appuyant sur des exemples dans lesquels les diodes Schottky sont formées sur Ga As. La dernière figure permet d'en étendre l'appli- cation au silicium. La figure I représente le schéma de filtrage de la tension de commande d'une diode Schottky utilisée en capacité variable, selon l'art connu. S'il est nécessaire de faire varier la capacité entre deux bornes 2 et 3 d'un circuit, il est connu de monter une diode Schottky I qui est polarisée en inverse. Ce type de diode est plus généralement connue sous le nom de Varicap ou Varactor. Une tension de commande Vcomm est appliquée par une liaison 4 sur la cathode de la diode I. Mais si la liaison 4 était appliquée sans aucune précaution à la cathode de la diode 1, il y aurait interférence entre la tension continue de commande Vcomm et la tension de signal VHF qui est véhiculée au point 2 du circuit. Par conséquent pour découpler la tension continue de commande Vcomm et la tension de signal VHF, il est obligatoire de filtrer la tension continue par au moins une self de choc L 1, repérée 5, connectée à la cathode de la diode I. Plus fréquemment, et à moins que le point reéparé 3 du circuit ne soit à la masse, il est nécessaire de monter une seconde self de choc L2 repérée 6 sur l'anode de la diode, ainsi que deux condensateurs CI et C2 repérés 7 et 8. Ce schéma de montage qui est très courant présente deux graves inconvénients lorsqu'on veut l'appliquer à un circuit intégré. Premièrement les selfs de choc occupent une grande surface sur la pastille du cristal dans lequel est réalisé le circuit intégré, ce qui s'oppose à la densification de l'intégration, et deuxièmement les condensateurs CI et C2 ne sont pas souhaités en circuit intégré puisque eux aussi occupent une grande surface et sont délicat à réaliser, par une suite d'opération comportant des métallisations et des couches d'isolement. L'objet de l'invention est donc de réaliser un élément à 2.5 capacité variable, commandable par une tension continue, c'est-à- dire l'équivalent d'une diode Varicap, mais telle que les selfs de choc LI et L2 et les capacités d'isolement Cl et C2 ne soient pas utiles, en vue de l'intégration sur un circuit intégré Ga As par exemple. La figure 2 représente le schéma équivalent de l'élément à capacité variable, commandable par une tension, qui fait l'objet de l'invention. Ce schéma équivalent a une structure en forme de T, dans laquelle deux capacités variables repérées 9 et 1 0 sont interpo- sées entre les points 2 et 3 d'un circuit hyperfréquence, ces points ayant reçu les mêmes indices de repères que sur la figure 1 de façon à faciliter le rapprochement et la comparaison. Les capacités variables 9 et 10 sont commandées par une tension continue de commande Vcomm, appliquée à une liaison métallique 4, qui est réunie au point commun entre les deux capacités variables 9 et 10 par l'intermédiaire d'une résistance 11. La présence d'une capacité 9 entre le signal VHF et la tension de commande Vcomm fait qu'une self de filtrage n'est plus nécessaire. Ce schéma dont la structure est en forme de T, se rapproche du schéma équivalent d'un transistor 1 à effet de champ dans lequel les deux capadcités variables 9 et 10 seraient remplacées par deux résistances variables, et dans lequel la résistance 11 serait remplacée par une capacité fixe. La figure 3 représente le schéma électrique correspondant au schéma équivalent à la figure 2: la réalisation des capacités variables dans l'élément selon l'invention se fait au moyen de deux diodes 12 et 13, qui sont connectées en cathode commune. Au point commun aux deux cathodes est appliquée une tension de commande Vcomm, ce qui fait que -les diodes sont polarisées en inverse. Lorsqu'une tension continue est appliquée à travers la résistance 1I1 sur les cathodes des deux diodes 12 et 13, les capacités de celles-ci varient, et la capacité entre les points 2 et 3 du circuit varie également: la présence des diodes qui s'oppose au passage du courant, depuis la tension continue de commande en 4, vers le signal haute fréquence en 2, fait qu'il n'est pas utile de découpler la tension de commande. La figure 4 représente un premier exemple de réalisation d'un élément à capacité variable selon l'invention, cette figure reprenant les schémas des figures 2 et 3. Dans un substrat en matériau isolant ou semi-isolant, qui n'est pas représenté sur la figure de façon à la rendre plus claire, mais qui constitue le substrat de la pastille de circuit intégré, est réalisé un caisson 14 en matériau dopé. Ce caisson 14 constitue ce que l'on peut appeler une zone active par opposition au reste du substrat isolant ou semi-isolant. Il est dope, par des moyens connus de l'homme de l'art tels que l'épitaxie ou l'implantation ionique, de type n avec un taux de dopage de l'ordre de i017 at.cm-3, le substrat semi-isolant étant, quant à lui, légèrement dopé ou involontairement dopé à un taux inférieure à 101 4, ce qui revient à dire qu'il est semi- isolant. La zone active ou caisson 14 comporte un appendice 15, de forme préférentiellement rectangulaire, dont les dimensions, en conjonction avec le taux de dopage, permettent de déterminer la valeur de la résistance 1 I par laquelle est appliquée la tension de commande Vcomm. Cette tension de commande provient elle-même d'une métallisation 16, en contact ohmique avec J'appendice 5I. Le caisson 14 et son appendice 15 peuvent également être dopés de type p: la mobilité des trous étant plus faible que la mobilité des électrons, un dopage de type p amène une plus grande résistivité de l'appendice 15, ce qui a pour avantage de réaliser la résistance 1l sur une surface plus petite, grâce à un appendice 15 plus petit, et ainsi d'augmenter l'intégration. Sur la zone active 14 sont déposées deux métallisations Schottky 17 et 18, qui comportent au moins deux bords parallèles séparés entre eux par une fente 19, large d'environ 5 microns. La jonction entre les métallisations Schottky 17 et 18 et la zone active 14 constitue les deux diodes Schottky. Par ailleurs, les métallisations Schottky 17 et 18 sont en contact électrique, par recouvrement partiel, avec deux lignes microbandes, 20 et 21, qui présentent normalement une impédance de 50 ohms, avec une largeur typique de 73 microns et une épaisseur de substrat 100 microns. Les lignes microbandes 20 et 21 constituent les liaisons d'accès à l'élément à capacité variable selon l'invention @ elles correspondent aux points 2 et' 3 du schma électrique de la figure 3. Les lignes microbandes sont maintenues à une tension continue nulle. Le contact ohmique 16 est quant a lui polarisé positivement, et les deux diodes Schottky sont donc polarisées à l'inverse, ce qui réalise ainsi le schéma électrique de la figure 3. La figure 5 représente le schéma équivalent de l'élément à capacité variable, dans une première variante de l'invention, lorsque l'un des deux p8les du schéma, le p8le 3 par exemple, ne transmet pas un signal. Dans ce cas il n'est pas indispensable de réaliser un élément à capacité variable avec deux capacités variables telles que 9 et 10 représentées en figure 2. Une seule capacité variable 9, située entre la tension de signal VHF et la tension de commande Vcomm est utile et la capacité variable 10, située entre masse et la tension de commande peut être supprimée. La figure 6 représente le schéma électrique de la figure 5, et la capacité variable 9 est donc, selon l'invention, réalisée sous la forme d'une seule diode 12, dont la capacité est commandée, a travers la résistance 1 I, par une tension de commande Vcomm. La figure 7 représente un exemple de réalisation de l'élément à capacité variable, conformément à la première variante des figures 5 et 6. Dans un substrat semi-isolant ou isolant, qui n'est pas représenté sur la figure 7, est réalisé un caisson 14, soit par épitaxie soit par implantation ionique, dopé de type n ou de type p comme il a été dit au sujet de la figure 4. A côté de ce premier caisson 14 est réalisé un second caisson 15, qui correspond à l'implantation de la résistance I1 à travers laquelle est appliquée la tension de com- mande de la diode. Le caisson 15 peut être en contact direct avec le caisson 14, comme cela a été représenté à la figure 4, ou il peut être séparé de celui-ci tel que représenté en figure 7. Sur une partie du caisson 14 est réalisée une métallisation Schottky 17, tandis que sur l'autre partie du caisson 14 est réalisé un contact ohmique 22: on ne peut plus dans ce cas réaliser un second contact Schottky tel que le contact 18 de la figure 4 car il y aurait alors deux diodes Schottky sur le caisson 14 et c'est pourquoi la métallisation 22 prend un contact ohmique. La métallisation Schottky 17 déborde du caisson 14 et est en contact avec une ligne microbande 20, en tous points analogue à la ligne microbande 20 décrite à l'occasion de la figure 4, La métalli- sation ohmique 22 déborde également du caisson i 4 et- est en contact électrique avec une seconde ligne microbande 21 et avec le caisson implanté 15. Il y a donc une liaison électrique directe entre la métallisaion 16 sur laquelle est appliquée la tension de commande Vcomm, le caisson 14 et la ligne microbande 21. Par contre il y a formation d'une diode Schottky entre la métallisation Schottky 17 et le caisson 14. Les deux métallisations 17 et 22 présentent au moins deux c8tés linéaires et parallèles entre eux, distants d'une longueur 19, de l'ordre de 5 microns, qui participe à la formation d'une capacité. La différence entre la figure 7 et la figure 4 est en partie que la ligne microbande 20 est, dans le cas de la figure 7, sous tension continue nulle puisqu'elle est isolée de la tension de com- mande Vcomm par la diode Schottky. Par contre la ligne microbande 21, réunie par un contact ohmique 22 à la résistance 1 1l et au contact 16 sur lequel est appliquée la tension de commande Vcommp est de ce fait soumise à une tension continue variable, qui est celle qui existe sur la métallisation ohmique 16. La figure 8 représente une vue en coupe partielle d'un cristal semiconducteur, sur lequel sont déposées demu métallisations, afin de montrer la formation des capacités. Sur le caisson 14, qui a été diffusé ou implanté dans le substrat de la pastille de circuit intégré, sont déposées deux métallisations Schottky 17 et 18. Lorsque ces métallisations sont soumises à une tension de commande Vcomm, qui vient par l'intermédiaire de la résistance 1 1 qui est électriquement reliée au caisson 14, deux zones de déplétion 23 et 24 se forment sous les métallisations Schottky 17 et 18, respectivement. Entre les zones de déplétion 23 et 24 et le reste du caisson 14 se forment deux capacités de jonction 25 et 26 respectivement. Ce sont ces capacités, dont la valeur varie avec la tension de commande, c'est-à-dire varie également avec la profon- deur des zones de déplétion 23 et 24, qui constituent les capacités variables dans l'élément à capacité variable commandé par une tension de l'invention. En outre, entre les bords des métallisations 17 et 18, qui sont distants d'environ 5 microns, se forme également une capacité 27, qui est fixe puisque la distance entre les métallisations 17 et 18 ne varie pas en fonction de la tension de commande. On retrouve donc sur la figure 8 le schéma en forme de T exposé en figure 2, selon lequel deux capacités varient sous l'effet de la tension appliquée sur une résistance. La figure 8 permet d'introduire la figure 9 qui représente les dispositions des métallisations, afin d'augmenter la valeur des capa- cités, ce qui constitue une seconde variante à l'invention. Puisque les capacités formées par les métallisations Schottky sur la couche active 14 comportent, en partie, une capacité 27 formée entre les bords des métallisations Schottky 17 et 18, il est possible d'augmenter la valeur des capacités 25, 26 en donnant aux deux métallisations 17 et 18 des formes interdigitées: la longueur de l'espace 19 qui sépare les métallisations est plus longue si les métallisations sont interdigitées, ce qui augmente les capacités 25, 26et27. La figure 10 représente le schéma électrique d'un transfor- mateur accordé par une capacité variable selon l'invention. Dans certains circuits, on a besoin de faire intervenir un transformateur comportant un enroulement primaire 28, un enroulement secondaire 29, ces deux enroulements étant réunis en un point commun à la masse 30 par exemple. Mais il est alors nécessaire d'interposer entre les deux extrémités 2 et 3 du transformateur une capacité variable 9 pour accorder le transformateur à double fil en fonction de la fréquence, les extrémités 2 et 3 des deux enroulements corres- pondants aux extrémités 2 et 3 des figures précédentes, de la figure notamment, c'est-à-dire que au moins le point repéré 2 est soumis à une tension VHF La réalisation d'un tel transformateur est donnée en figure 1. Dans un substrat isolant ou semi-isolant, non représenté sur la figure 11, sont réalisés une zone active 14 et un appendice 15, lequel correspond à la résistance de commande 11. Les régions 14 et 15 sont dopées de type n ou de type p comme cela a été précisé précédemment. Puis, par des opérations de métallisations connues, on dépose sur la zone active 14 un enroulement en double spirale, Ii comportant un premier enroulement 28 qui est relié à une ligne microbande 20 et un second enroulement 29 relié à une autre ligne microbande 21. Le point central de cette double spirale est réuni a la masse 30, soit par l'intermédiaire d'un puit métallisé à travers le substrat de la pastille, soit par un filo Les lignes d'enroulement 28 et 29 sont des contacts Schottky. La métallisation It par laquelle est amenée la tension de commande Vcomm est un contact ohmique. La figure 12 représente le schéma équivalent d'un élément à capacité variable compor tant une pluralité de capacités variables, qui constituent une troisième variante à l'invention0 Alors que dans les figures précédentes, telle que la figure 2, l'élément à capacité variable de l'invention avait une structure en forme de T comportant au maximum deux capacités variables 9 et 10, avec une première variante, illustrée en figure 5, ne comportant qu'une seule capacité variable 9, le schéma de il'lement selon l'invention permet de commander simultanément autanrt de capacités variables que la technologie permet d'en implanter sur une pastille de circuit inté- gré. Ainsi sur la figure 12, cinq capacités variables sont repris sentées, et elles sont commandées simultanément par une unique et même tension de commande comm, mais ce nombre de cinq capacités variables ne constitue pas une limite à la portée de l'invention. La figure 13 représente un exemple de réalisation de l'élément comportant une pluralité de capacités variables dont le scheéma équivalent est donné en figure 12. De rntme que dans les cas précédents, l'élément cormportant une pluralité de capacités Varia- bles 31 à 35 comporte, réalisé dans un substrat isolant ou semi- isolant qui n'est pas représenté sur la figure 13, une zone active 14 de type de dopage n ou p. Cette zone active 14 comprend un appendice 15 qui constitue la résistance 11 à travers laquelle est appliquée la tension de polarisation comm qui provient de la métallisation ohmique 16. Une meétallisatiorn Schotthy 37 est en partie su.portée par la région active 14 et en partie en contact electrique avec une première microbande 20. Des métallisations Schottky, ou éventuellement une métallisation ohmique, indiffé- remment repérées 18, recouvrent partiellement la région active 14 et sont en contact avec des lignes microbandes 21. Dans ce type de variante à l'invention, avec une pluralité de capacités variables, il ne peut y avoir an maximum qu'une seule métallisation telle que 18 qui soit à contact ohmique, les autres étant à contact Schottky. En effet, s'il n'est pas utile que deux métallisations 18 forment deux diodes avec la couche active 14, il suffit alors de les réunir en une seule métallisation. La configuration représentée en figure 13 n'est pas exhaustive, et d'autres formes pour la région active 14 entrent dans le domaine de l'invention, pourvu que des métallisations Schottky forment avec une région active une pluralité de diodes ayant toutes leur cathode réunies en un point auquel est appliquée une tension de commande en inverse. La figure 14 représente une application de l'invention lorsque le matériau semiconducteur est le sislicium. Dans un substrat 36 sont diffusés ou implantés d'abord un caisson 37 de type p, ensuite deux caissons 38 et 39, de type n, plus petits et qui sont compris dans le caisson 37. Les types de polarité des caissons peuvent être inversés, mais il est connu que les métallisations adhèrent mieux sur le matériau dopé n. Deux métallisations 40 et 41 sont en contact, respectivement, avec les deux caissons 38 et 39. Les capacités se forment à la jonction p- n, et les métallisations sont de préférence à contact ohmique. Cependant, dans le silicium, on peut également réaliser l'élément à capacité variable de l'invention au moyen d'au moins deux diodes Schottky, donc avec des métallisation à contact Schottky. Les applications de l'élément à capacité variable de l'invention se trouvent surtout dans les circuits intégrés hyperfréquences sur Ga As ou matériaux rapides. Cet élément entre dans la réalisation de: oscillateurs accordables, filtres variables, déphaseurs, amplifi- cateurs ou commutateurs. Ces circuits intégrés sont eux-mêmes utilisés dans les radars, systèmes de contre-mesures, télécommu- nications, et, de façon plus générale, dans les systèmes hyper- fréquences. REVENDICATIONS 1. Elément à capacité variable, commandable par une tension continue (Vcomm) n'interférant pas avec une tension hyperfréquence (VHF) modulée par ledit élément, dont la capacité variable est formée par la jonction d'au moins une diode (12) lorsque celle-ci est polarisée en inverse par la tension de commande (Vcomm) appliquée à travers une résistance (1l), cet élément étant caractérisé en ce qu'il cornporte, réalisé dans un substrat en matériau semi-isolant (nDi 101 4 at.cm_3): - une zone active (14) dopée au niveau 1017 at.cm-3, - au moins deux métallisation (17, 18) recouvrant partiel- lement la zone active (14), dont Pune au moins (17) forme avec la zone active (14) une diode, ces métallisations laissant en outre entre elles un espace (19) entre deux de leurs bords en regard, - une second zone active (15), dopée au niveau 1017 at.cm-3, en contact ohmique avec la première zone active (14), cette seconde zone formant une résistance (11), en contact avec une métallisation ohmique (16) sur laquelle est appliquée la tenison de commande (Vcomm)' - une première ligne microbande (20), en contact avec une première métallisation (17), et une seconde ligne microbande (21), en contact avec une seconde métallisation (18), formant les bornes d'accès à l'élément à capacité variable. 2. Elément à capacité variable selon la revendication 1, caractérisé en ce que les deux métallisations (17, 18) sont des métallisations Schottky, et en ce que l'élément comporte deux -diodes Schottky (12, 13) formées par la jonction entre métallisations et couche active (14), les deux diodes (12, 13) étant montées en cathode commune. 3. Elément à capacité variable selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'une première métallisation (17) est une métal- lisation Schottky, et une seconde métallisation (22) est à contact ohmique, et en ce que l'élément comporte une seule diode Schottky (12), dont la cathode reçoit la tension de commande ( comm) et dont l'anode est en liaison direc e avec le signal hyperfréquence (VHF). l. Elément à capacit, variable selon la revendication 1, caractérisé en ce que les deux- métallisations (40, 4) sont des contacts ohmiques, la couche active comportant au moins un caisson (38) de type n, dans un caisson (37) de type p, et en ce que l'élémrent o cornporte au moins une diede à j0onction p-n, dont la capacité de jonction varie avec la tension de commande (Vcomn)- 5. Elemént à capac eé variable selon la revendication D caractérisé en ce que la zone active (If + 15) est dopée de type n. 6. Elément à capaciré variable selon la revendication I, caractérisé en ce que la zone actiiYe (14)-> D5 est dopée de type pD en vue d'augmenter la densité dîntégration par augmentation de la résistance de la zone dopée. 7. Elément à capacité variable selon la revendication 1, caracterisé en ce que, en rue d'augmenter la capracité formPna entre les bords en regard des metallisations I7, 1g,} ceux-cl ont une forme interdigitée, et sont separés par un espace constant (1 9)o 8. Element à capaciY.é variable selon la revendication D, caracteérisé en ce que deux métallisations Schottky (2a, 29), ayant un point commraun a la masse (3,0 eît eeposes an une double spirale sur une zone active {i4), elle même réunie à tra'-ves une résistance (I]) à une tension de commande (V cnm), forment un transîormateur avec circuit accordé. 9. Elément à capacité variable selon la revendication 2, carac- térisé en ce que les deux lignes microbandes (20, 21) sont à une tension continue nulle (OV). 10. Elément à capacités variable selon la revendication 3, caractérisé en ce que la ligne microbande (20) en contact avec la métallisation Schottky (17) est à une tension continue nulle (OV) et en ce que la ligne microbande (21) en contact avec la métallisation ohmique (22) est à la tension continue de commande (VcOmm). 11. Elément à capacité variable selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il est intégré dans une pastille de silicium. 12. Elément à capacité variable selon l'une quelconques des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il est intégré dans une pastille de matériau de la famille III-V, dont le substrat est binaire (Ga As, In P...) et la couche active est binaire ou ternaire (AI Ga As, Ga In P...).