FR 2561019 A1 19850913 FR 8403877 A 19840309 2S610 1-9 On sait que dans le domaine des écrans de. visualisation plats, différentes techniques ont été proposées. Le système ideal devrait être capable de générer à la fois des écrans de petites et grandes dimensions, d'être compatible pour le noir et blanc aussi bien que la couleur, d'avoir une faible consommation électrique, et d'être de fabrication simple. Le tube classique de télévision avec balayage du faisceau d'électrons ne peut pas être réduit en épaisseur pour des raisons phy- siques: distorsion de l'image si le faisceau arrive trop rasant sur l'écran, et manque de précision pour atteindre les masques sur l'écran dans le cas de la couleur. Par ailleurs, les dimensions de l'écran ne peuvent pas être augmentées d'une manière inconsidérée pour des raisons de vide et donc, de résistance des matériaux à la pression. On s'oriente donc plutôt vers la formation d'images non pas par un faisceau balayé, mais par une matrice de points adressée ligne- colonne. Dans ce domaine, les cristaux liquides sont attirants car ils ont une très faible consommations électrique mais ils nécessitent, par contre, une source extérieure de lumière pour être visibles. Par ail- leurs,il est très difficile de faire des dégradés dans les niveaux de gris, et de produire des images en couleur. D'autres techniques ont été proposées pour la réalisation d'écrans plats. L'une d'elles utilise une microdécharge plasma dans un gaz comme source d'électrons, ces électrons étant ensuite attirés vers un écran fluorescent. Un adressage ligne-colonne permet d'allumer le point désiré de l'écran. Malheureusement, l'utilisation d'une source de plasma comme source d'électrons est délicate, car le plasma fonc- tionne en tout ou rien, c'est-à-dire qu'il est soit allumé, soit éteint. Il en résulte qu'on ne peut pas obtenir des niveaux de gris. La présente invention concerne un procédé de réalisation d'écrans de visualisation plats, du type dans lequel la formation d'ima- ges est obtenue par une -matrice de points adressée ligne-colonne, ledit procédé étant caractérisé par le fait qu'il consiste: - à utiliser comme source d'électrons des micropointes à émis- sion de champ; a561019 - a connecter, d'une part, les pointes en lignes, d'autre part, les écrans fluorescents en colonnes; - à appliquer un champ électrique, successivement, entre cha- cune des pointes et l'écran qui lui correspond de façon que la pointe en question émette des électrons et forme sur l'écran un point lumineux, dont l'intensité dépend de la tension d'extraction des électrons appli- quée; - et à bloquer simultanément toutes les autres pointes, en appliquant une tension négative sur les autres colonnes non impliquées dans l'émission des électrons; - et ainsi de suite par commutations successives pour obtenir la formation sur l'écran des points lumineux successifs correspondant à ceux de la matrice. L'invention concerne également les écrans de visualisation plats obtenus par la mise en oeuvre du procédé ci-dessus. D'autres caractéristiques, avantages et particularités de la présente invention ressortiront de la description qui en est donnée ci- après en référence aux dessins, très schématiques, annexes, représentant différentes formes de réalisation possibles de ladite invention. Sur ces dessins: La figure 1 est un schéma de principe de base de l'invention. La figure 2 est un schéma explicatif d'une première forme de réalisation d'un écran de visualisation plat mettant en oeuvre le prin- cipe de base de la figure 1, à montage de type diode. La figure 3 est une variante plus évoluée du principe de base de l'invention, à montage du type triodes. La figure 4 est un schéma explicatif d'une variante de réali- sation d'un écran de visualisation plat mettant en oeuvre le principe de la figure 3. La figure 5 est un schéma d'une variante plus évoluée du principe de base de l'invention à montage du type tétrode. Et la figure 6 est un schéma explicatif d'une variante de réalisation d'un écran de visualisation plat mettant en oeuvre le prin- cipe de la figure 5. Le principe de base de l'invention schématisé sur la figure 1 consiste essentiellement à utiliser comme source d'électrons des micro- pointes à émission de champ. Une pointe à émission de champ, 256 1 0 1 9 telle que 1, ayant un rayon de courbure de quelques centaines d'Angs- trôm, émet des électrons e simplement en appliquant un champ électrique entre la pointe 1 et un écran fluorescent 2 grace au potentiel E. Une solution simple pour fabriquer un écran de visualisation plat conformément à l'invention consiste, comme cela est schématisé sur la figure 2, à connecter: d'une part, les pointes en lignes, par exem- ple les pointes 1A1' 1B1'-1c''.. suivant la ligne LA,; les pointes 1A2' lB2' 1C2'' suivant la ligne LA2; les pointes 1A3, 1B3, C3.. suivant la lign LA2 e3tc... la ligne L3 etc...; d'autre part, les écrans en colonnes 2A, 2B, 2C.. Cet agencement permet de réaliser par un matriçage et un adressage ligne- colonne, des points lumineux successifs à émettre sur l'écran. Les pointes peuvent être réalisées par des techniques de dé- pôt ou de gravure en utilisant les méthodes classiques de la microélec- tronique, c'est-à-dire masquage puis gravure humide dans des bains d'acide ou gravure sèche par plasma ou faisceau de particules. Les différentes colonnes de l'écran sont constituées en maté- riau transparent, par exemple en verre, recouvert d'un film métallique et d'un matériau fluorescent. Lorsque, par exemple, la ligne LA2 et la colonne 2B sont adres- sées avec les potentiels convenables, il y a émission d'électrons par la pointe 1B2 et formation d'un point lumineux Plsur l'écran, dont l'inten- sité dépend de la tension V = -E appliquée à la ligne LA2, du rayon de courbure de la pointe 1B2 et de la distance pointe écran, étant bien en- tendu que les deux derniers facteurs sont constants pour toutes les pointes. On voit immédiatement que pour empêcher les pointes de la li- gne LA2, autres que celles situées sur la colonne 2B, à savoir les poin- tes 1A2, 1C2, d'émettre des électrons, il faut appliquer un potentiel négatif V = -E aux autres colonnes écran 2A, 2C..., le potentiel étant nul, V = O, sur la colonne considérée 2B. De même, pour empêcher les pointes situées sur la colonne 2B, autres que celles de la ligne LA2, à savoir les pointes 1B1, lB3..., d'émettre des électrons, il faut appliquer un potentiel nul V = O aux autres lignes LA1, LA3..., le potentiel appliqué sur la ligne LA2 étant négatif V = -E. 25610 1 9 De cette manière, seule la diode constituée par la pointe 1B2 en ligne LA2 et l'écran en colonne 2B est en état passant, toutes les autres diodes se trouvant bloquées. Le rayon de courbure de la pointe considérée et la distance pointe-écran constituant des valeurs constantes fixées par construction, il est apparent que l'intensité lumineuse du point P1 est fonction de la tension E appliquée. On peut ainsiréaliser la formation d'images sur l'écran par une matrice de points adressée ligne-colonne. Afin d'éliminer le problème de la fabrication d'un grand nom- bre de micropointes ayant des rayons de courbure très proches, et égale- ment pour pallier la défaillance éventuelle d'une de ces pointes, il est avantageux de constituer chaque point lumineux par un ensemble de plu- sieurs micropointes. Chaque micropointe ayant une largeur à la base voi- sn e1i sine de 1/Pm, il est possible de placer jusqu'à une centaine de ces poin- tes par point lumineux élémentaire, ce qui, d'une manière statistique, assurera l'uniformité de l'intensité lumineuse sur toute la surface de l'écran. Pour réaliser de la couleur, il suffit, sans vouloir entrer dans des détails techniques inutiles, de tripler les lignes ou les co- lonnes, et de mettre des matériaux fluorescents de couleurs différen- tes, par exemple rouge, vert, bleu, brdonnés en triades sur l'écran en regard de chaque point lumineux élémentaire. Le type de configuration d'écran conforme à l'invention que l'on vient de décrire est du type diode,et constitue la solution la plus simple du point de vue conceptuel, mais des problèmes apparaissent au niveau des tensions de commande. En effet, pour que la tension E d'ex- traction des électrons soit suffisamment faible pour autoriser des com- mutations rapides, la distance pointe-écran doit être de l'ordre de quelques microns, ce qui évidemment crée des problèmes techniques de fabrication. Une solution, tout à la fois plus évoluée et plus simple, de l'invention facilitant les problèmes de commutations rapides et permet- tant de réduire considérablement les problèmes techniques dont il vient d'être question ci-dessus, est schématisée sur la figure 3. Cette solution consiste essentiellement à utiliser un montage de type triode avec une grille de commande 3 qui permet de moduler l'in- tensité électrique. On voit immédiatement qu'en faisant varier la ten- sion E2 on change l'intensité d'électrons émise, et qu'en faisant va- rier la tension E1, on change l'énergie des électrons e atteignant l'écran lumineux 2. Dans le cas du montage triode, le matriçage est semblable à celui du montage diode, étant toutefois important de remarquer que con- trairement à ce dernier, il existe ici la possibilité de trois combi- naisons, à savoir: - 1) pointe 1-grille 3, la troisième composante, en l'occu- rence l'écran 2, étant à un potentiel fixe; - 2) pointe 1-écran 2, la troisième composante, en l'occu- rence la grille 3, étant à un potentiel fixe; - 3) grille 3-écran 2, la troisième composante, en l'occu- rence la pointe 1, étant a un potentiel fixe. Comme on peut le voir sur le schéma de la figure 4 (qui est analogue a celui de la figure 2, mais sur lequel seules les pointes iAl' 1BI' 1Cl"' et les grilles correspondantes 3Al " 3B 3c.. ont été représentées pour la clarté du dessin), on peut utiliser également dans le cas d'un montage du type triode une solution à trois composantes en faisant un adressage ligne-colonne pour les pointes et les écrans, mais sans modulation des valeurs des tensions appliquées E et E3, en reliant toutes les grilles 3A1' 3B1' 3C1.. ensemble et en modulant la tension commune E2 pour faire varier l'intensité lumineuse. De la même manière, on peut réaliser un adressage ligne-colonne entre grille et écran avec des tensions E2 et E1 fixes et relier toutes les pointes ensemble afin de faire varier l'intensité lumineuse en modus lant la tension commune E3. On peut encore réaliser un adressage ligne-colonne entre pointe et grille avec des tensions B3 et E2 fixes et relier tous les écrans en- semble afin de faire varier l'intensité lumineuse en modulant la tension commune E1 d'écran. On voit que cette technique a trois composantes permet de sé- parer les fonctions adressage et modulation d'intensité. 25610 19 Il est bien évident que pour ce montage de type triode, on peut réaliser de la couleur comme dans le cas du montage du type diode en triplant les lignes et les colonnes et en mettant des matériaux fluorescents de couleurs différentes sur l'écran. Pour des raisons de fabrication, aussi bien de l'écran que des pointes, il apparait judicieux de relier toutes les pointes ensem- ble et tous les écrans ensemble, car autrement des difficultés apparais- sent quant à la fabrication de pointes sur support isolant qui sépare les colonnes ou lignes de pointes. L'invention permet de résoudre de façon simple et efficace le problème cidessus en adoptant le montage de type tetrode schématisé sur les figures 5 et 6. Ce montage comporte, comme dans les cas précédents, pour cha- que point lumineux unitaire, une pointe à émission de champ 1, un écran fluorescent 2, une première grille d'extraction 3, une deuxième grille d'extraction 4. Comme on peut le voir sur le schéma de la figure 6 qui est analogue à celui de la figure 4, toutes les pointes 1AI'1B, I Cl"' sont reliées ensemble ainsi que les écrans 2A, 2B, 2c.. il en résulte que grâce à ce montage tétrode, l'adressage ligne-colonne se fait en jouant sur les tensions E2 et E3 tandis que la modulation de l'intensité lumineuse est obtenue par la variation de la tension El. Il est bien évident que pour ce montage tétrode, on peut réa- liser, comme dans les cas précédents, de la couleur en triplant les lignes et les colonnes et en mettant des matériaux fluorescents de couleurs différentes sur l'écran. Il va de soi que la présente invention n'a été décrite et re- présentée qu'à titre purement explicatif et nullement limitatif et qu'on pourra apporter tout équivalent technique dans ses éléments cons- titutifs, sans pour autant sortir du cadre de ladite invention. On notera en particulier que le matriçage et 1 'adressage ligne-colonne constitoent deux des phases du procédé de l 'invention sont des opérations bien connues de l'hanime de l'art et leurs modes de mise en oeuvre, dans le détail, peuvent être choisis parmi ceux les plus généralement utilisés. REVENDICATIONS 1. Procédé de réalisation d'écrans de visualisation plats du type dans lequel la formation d'images est obtenue sur écran fluorescent par une matrice de points adressée ligne-colonne, ledit procédé étant caractérisé par le fait qu'il consiste: - à utiliser comme source d'électrons des micropointes à émis- sion de champ; - à connecter, d'une part, les pointes en lignes, d'autre part, les écrans fluorescents en colonnes; - a appliquer un champ électrique, successivement, entre cha- cune des pointes et l'écran qui lui correspond de façon que la pointe en question émette des électrons et forme sur l'écran un point lumineux dont l'intensité dépend de la tension d'extraction des électrons appli- quée; - et à bloquer simultanément toutes les autres pointes, en appliquant une tension négative sur les autres colonnes non impliquées dans l'émission des électrons; - et ainsi de suite par commutations successives pour obtenir la formation sur l'écran des points lumineux successifs correspondant à ceux de la matrice. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'on incorpore, entre chaque pointe et l'écran correspondant, une grille d'extraction des électrons permettant de moduler tant l'intensité des électrons émis que l'énergie des électrons atteignant l'écran. 3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'on choisit pour le matriçage, l'une des trois combinaisons possibles: pointe-grille, pointe-écran, ou grille-écran, la troisième composante, dans chaque cas étant alors mis à un potentiel fixe. 4. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que dans le but de séparer les fonctions adressage et modulation d'intensi- té lumineuse, on fait un adressage ligne-colonne pour les pointes et les écrans, mais sans modulation des valeurs des tensions appliquées, et en reliant toutes les grilles ensemble avec modulation de la tension appliquée pour faire varier l'intensité lumineuse. 5. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que, dans le but de séparer les fonctions adressage et modulation d'intensité lumineuse, on fait un adressage ligne-colonne pour les grilles et les écrans, mais sans modulation des valeurs des tensions appliquées, et en reliant toutes les pointes ensemble avec modulation de la tension appliquée pour faire varier l'intensité lumineuse. 6. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que, dans le but de séparer les fonctions adressage et modulation d'intensité lumineuse, on fait un adressage ligne-colonne pour les pointes et les grilles, mais sans modulation des valeurs des tensions appliquées, et en reliant tous les écrans ensemble avec modulation de la tension ap- pliquée pour faire varier l'intensité lumineuse. 7. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'on incorpore entre chaque pointe et l'écran correspondant,- une pre- mière grille d'extraction d'électrons, puis une deuxième grille d'ex- traction desdits électrons, tandis que toutes les pointes sont reliées ensemble et tous les écrans reliés ensemble, grâce à quoi l'adressage ligne-colonne se fait en jouant sur les tensions appliquées respecti- vement sur la première et la deuxième grille d'extraction alors que la variation d'intensité lumineuse est obtenue par la modulation de la tension appliquée entre pointe êt écran. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que chaque point lumineux est engendré sur l'écran par un ensemble de plusieurs micropointes pouvant atteindre la centaine par point lumineux élémentaire. 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que pour réaliser de la couleur, on triple les lignes ou les colonnes et on met des matériaux fluorescents de couleurs diffé- rentes, de préférence rouge, vert et bleu, ordonnées en triades sur l'écran, en regard de chaque point lumineux élémentaire. 10. A titre de produits industriels nouveaux, les écrans de visualisation plats obtenus par la mise en oeuvre du procédé tel que spécifié aux revendications 1 à 9.