FR 2563051 A1 19851018 FR 8405878 A 19840413 Diode laser à confinement électrique par jonction inverse La présente invention concerne une diode laser à ccnfi- j nction inverse, nement électrique parYcomprenant une première jonction, for- mée par un substrat semi-conducteur, de l'un des deux types de conductivité N et P. et une première couche de l'autre des deux types, une deuxième jonction, formée par ladite première couche et une deuxième couche du même type que le substrat, un canal en forme de V, et, enterrée dans le canal en V, au-dessus d'un fond identique à ladite deuxième couche, une couche active en forme de croissant. On connaît donc déjà des diodes laser à couche active en forme de croissant enterré, c'est-à-dire des diodes laser à guidage par l'indice, dans lesquelles le confinement électrique latéral du canal laser, c'est- à-dire encore la canalisation des lignes de courant sur une très faible largeur, est obtenu par jonction inverse du type thyristor. Par une telle jonction inverse, on entend, rappelons-le, une double jonction de type N-P et P-N, formant ainsi une jonction inverse P-N-P ou, de préfé- rence, N-P-N. Dans ces diodes, la couche active en crois- sant est enterrée dans un canal en forme de V, dont le dièdre s'étend légèrement en dessous du niveau de la première jonction réalisée avec un substrat semi- conducteur de l'un des deux types N et P, de préférence N, et au-dessus d'un fond du même type que le substrat, les parois latérales du canal en V s'étendant au-delà du niveau de la deuxième jonction réalisée avec la première couche de la première jonction de l'autre des deux types et une deuxième couche du même type que le substrat. Ces diodes laser à guidage par l'indice sont notamment utilisées dans les télécommunications par fibres cptiques âmettre un rayonnement de 1,3 gm de longueur d'onde et elles sont avantageusement des diodes en InGaAsP/InP. Si le confinement électrique par jonction inverse du type thyristor permet donc une canalisation des lignes de courant sur une très faible largeur, de l'ordre de 2 gm, il est par contre peu fiable à cause des risques de claquage de la jonction N-P-N. La présente invention vise à éliminer ces risques. A cet effet, la présente invention concerne une diode -inverse du laser. à ccnfinemet électrique par jonction/type mentionné ci-dessus, caractérisée par le fait que les portions de la diode dis- posées latéralement de part et d'autre du canal ert V et de l'autre côté de celui-ci par rapport au substrat sont implantées de protons. Certes, on connaissait déjà des diodes laser dans lesquelles le confinement électrique latéral du canal laser est obtenu par bombardement protonique. Il s'agit aussi de diodesàguidage par l'indice.Mais l'invention n'en demeure pas moins remarquable car, si ces diodes présentent une relativement bonne fiabilité, elles ne permettent pas de canaliser l'injection des porteurs sur des dimensions aus- si faibles que dans les diodes à cQnfinement par jonction inverse, si bien que l'homme de métier était naturellement dissuadé de tenter de combiner les deux technologies. Grâce à l'invention, on obtient des diodes laser à double confinement électrique, ou à confinement électrique renforcé, permettant d'atteindre des rendements élevés tout en présentant une fiabilité tout à fait satis- faisante. L'invention sera mieux comprise à l'aide de la description suivante d'une forme de réalisation préférée de la diode laser de l'invention, en référence aux dessins annexés représentant les différentes étapes de fabrication de la diode laser de l'invention, et sur lesquels: la figure 1 représente une vue schématique d'une plaquette de diodes de l'invention en cours de fabrication, après formation de la première jonction N-P; Z563051 la figure 2 représente la plaquette de la figure 1, juste avant la formation des canaux en V; la figure 3 représente la plaquette de la figure 2, après formation des canaux en V; 5. la figure 4 représente la plaquette de la figure 3, après l'élimination de la couche de masquage, et la figure 5 représente la métallurgie de la plaquette une fois terminée, après l'implantation proto- nique. Les différentes étapes de la fabrication de diodes laser selon l'invention sont illustrées par les figures 1-5. Il s'agit en fait de la fabrication de pla- quettes de mosaiques de diodes dont le clivage permet d'obtenir des diodes élémentaires, ou puces, en l'occu- rence d'environ 250 gm de côté. Seule la métallurgie des plaquettes épitaxiées sera décrite ici, la technologie des étapes ultérieures de montage étant au demeurant classique et bien connue de l'homme de métier. Il s'agit ici de diodes en InGaAsP/InP à 1,3 gm. Sur un substrat 1, ici en phosphure d'indium de type N, InP-N, préalablement décapé chimiquement, on dépose une première couche 2 de InP de type P d'environ 1,5 gm d'épaisseur, par épitaxie en phase liquide (figure 1). On obtient ainsi une première jonction N-P. On procède ensuite, à très faible température, à un dépôtpyrolitique 3 de Si02 sur toute la plaquette, pour former une couche de masquage. Puis on effectue une opération classique de photogravure, pour ménager des ouvertures 4 dans la couche 3 (figure 2). Par les ouvertures 4, on procède à une atta- que chimique de la couche 2 et même légèrement du substrat 1, pour former des gorges ou canaux 5 en forme de V, d'environ 3 gm de largeur et 1,5 gm de profondeur (figure 3). La conformation en V des canaux résulte de l'emploi d'une solution 7d'attaque sélectiveetde a structure cristallographique du matériau semi-conducteur InP. Le dièdre 6 des canaux s'étend légèrement en dessous du niveau de la jonction N-P, dans le substrat 1. Les parties de la couche de masquage 3 en SiO2 sont ensuite attaquées, avant que le substrat ne soit nettoyé et décapé (figure 4). On dépose ensuite sur le substrat préOravé, une deuxième couche 7 de InP pour former une deuxième jonction P-N, et, dans les canaux 5, un fond arrondi 8 de InP-N, donc du même type que le subs- trat 1. Le substrat 1 et les deux couches 2,7 forment ainsi une jonction inverse N-P-N. Sur la couche 7 et le fond 8, on dépose du phosphure et arseniure de gallium et d'indium InGaAsP, à l'extérieur des canaux 5 sur la couche 7, sous forme d'une couche 9 d'épaisseur uniforme, et dans les canaux sur le fond 8, sous forme d'une couche active 10 à section en forme de croissant. La forme en croissant de la couche 10 résulte de la croissance préférentele de cette couche en raison ici encore de la structure cristallo- graphique du matériau semi-conducteur InP. Il s'agit d'un croissant dit enterré. Les compositions des bains liquides et la température à laquelle les dépôts sont effectués parti- cipent aussi à la formation du croissant 10 en lui conférant en outre des dimensions très faibles, en l'espèce une épaisseur sensiblement égale ou inférieure à 0,2 Dm et une largeur sensiblement égale ou inférieure à 2 Dm. Les parois latérales 15 des canaux 5 en V s'étendent jusqu'à la couche 9, donc au-delà du niveau de la deuxième joncton P-N formée par les couches 2, 7. Sur les couches 9, 10 on dépose ensuite une couche 11 de InP-P, puis, sur cette couche 11, une dernière couche de InGaA sP fortement dopée en porteurs de type P. En raison de la présence des deux interfaces InP (N) /InGaAsP et InGaAsP/InP(P), on peut parler ici de diodes à double hétéro-structure. Les diodes épitaxiées ainsi obtenues sont - métallisées de façon connue de leurs côtés N et P, c'est-à-dire sur le substrat 1 et la couche 12. On dépose ensuite sur la couche supérieure 12, sensiblement au droit des canaux 5, des bandes d'or et on soumet l'ensemble à l'action d'un implanteur protonique. On ne décrira pas ici l'équipement d'implan- tation, celui-ci étant parfaitement connu de l'homme de métier. Rappelons seulement ici qu'un accélérateur accélère des ions et donc des protons produits par une anode et sélectionnés par un champ magnétique intense. Les bandes d'or arrêtent les protons qui ne s'implantent donc que dans les zones 13 des diodes disposées laté- ralement de part et d'autre des canaux 5 en V et de l'autre côté de ceux-ci par rapport au substrat, c'est- à-dire au-dessus de la couche 9, dans les couches 11 et 12 (figure 5). L'implantation protonique rend les portions 13 considérées très résistives, ce qui les empêche d'être traversées par les lignes de courant. On obtient ainsi des diodes laser à double confinement ou confinement renforcé, avec un premier confinement par jonction inverse et un deuxième confine- ment par implantation protonique: l'effet laser est parfaitement confiné dans la couche active en croissant 10. Après un premier test de sélection en courant pulsé effectué sur les diodes, on découpe les plaquettes pour obtenir des puces qu'on soude sur un refroidisseur en cuivre avec de l'indium, et on procède à un deuxième test de sélection en courant continu. Dans un exemple pratique de fabrication, la demanderesse a obtenu pour chacune des diodes les résultats suivants, I étant le courant de seuil à 20 C s en fonctionnement continu, Rs la résistance série, D le rendement quantique, et p la puissance lumineuse L 30 mA ,5- > 30% p -7 mW On notera que les diodes de l'invention possèdent une bonne fiabilité, une sensibilité relative- ment faible à la température (T de l'ordre de 700K), des courants de seuil faibles et des rendements élevés, supérieurs à 80% qui constituent autant d'avantages qui s'ajoutent encore à celui des diodes à confinement par jonction inverse de l'art antérieur. REVENDICATIONS confinement électrique par 1. Diode laser àjonction inverse, comprenant une première jonction, formée par un substrat semi- conducteur (1), de l'un des deux types de conductivité N et P. et une première couche (2) de l'autre des deux types, une deuxième jonction, formée par ladite première couche (2) et une deuxième couche (7) du même type que le substrat (1), un canal (5) en forme de V, et, enterrée dans le canal en V, au-dessus d'un fond (8) identique à ladite deuxième couche (7), une couche active (10) en forme de croissant, caractérisée par le fait que les portions (13) de la diode disposées laté- ralement de part et d'autre du canal (5) en V et de l'autre côté de celuici par rapport au substrat (1) sont implantées de protons. 2. Diode selon la revendication 1, dans laquelle le substrat (1), la première couche (2), la deuxième couche (7) et le fond (8) du canal (5), sont en phosphure d'indium InP. 3. Diode selon la revendication 2, dans laquelle la couche active (10) est en phosphure et arseniure de gallium et d'indium In Ga As P. 4. Diode selon la revendication 3, dans laquelle, au-dessus de la couche active (10), sont dis- posées une couche (11) en InP et une couche (12) en In Ga A P fortement dopée en porteurs de type P. s 5. Diode selon la revendication 4, dans laquelle les protons sont implantés dans des zones (13) s'étendant dans les couches (11 et 12). 6. Diode selon l'une des revendications 1 à , caractérisée par le fait qu'elle émet un rayonnement laser de 1,3 Nm de longueur d'onde. 7. Diode selon l'une des revendications 1 à 6, dans laquelle le dièdre (6) du canal (5)en Vs'étend légèrement en dessous du niveau de ladite première jonction, et les parois latérales (15) du canal (5) s'étendent au-delà du niveau de ladite deuxième jonction.