FR 2566198 A1 19851220 FR 8409593 A 19840619 La présente invention concerne un dispositif de stabilisation en fréquence d'un laser à excitation rf com- prenant une cavité résonante remplie d'un gaz laser et pré- sentant une impédance, un générateur de puissance alterna- tive à fréquence radio rf présentant une impédance de sor- tie, des électrodes d'excitation du gaz laser reliées au générateur, et des moyens agencés pour faire varier la fré- quence du laser. Rappelons ici qu'un laser a de multiples applica- lo tions aussi bien médicales que militaires, par exemple. Les raies d'émission, ou d'absorption, dans les pro- fils de gain des lasers, c'est-à-dire dans les courbes re- présentatives de l'intensité lumineuse des lasers en fonction de la fréquence, autour de fréquences de résonance particu- lières, ont pendant longtemps été utilisées pour la stabili- sation des lasers, c'est-à-dire pour la fixation de la fré- quence d'émission sur une des raies. Mais pour cela, il fallait notamment employer un détecteur d'intensité lumi- neuse, et cela n'était pas pratique. Puis, les sections efficaces d'excitation des molé- cules des milieux gazeux laser, par collision électronique, variant selon leur nature et, pour des molécules données, selon leur niveau d'énergie, on a réalisé que, autour des fréquences de résonance, la population des niveaux, partici- pant à l'amplification ou à l'absorption, variait de la même manière que l'intensité lumineuse en fonction de la fréquence de l'émission optique incidente. Or, une variation de population entratne une variation des propriétés d'ioni- sation macroscopique du plasma laser, et donc de son impé- dance. L'impédance d'un plasma laser variant donc avec la fréquence comme l'intensité lumineuse, on a ensuite proposé de stabiliser les lasers par leur impédance. Toutefois, une telle stabilisation optogalvanique n'a été jusqu'ici prati- quée que pour les lasers à excitation continue et plus par- ticulièrement pour leur stabilisation en haut de raie. Il avait bien été essayé d'appliquer cette technique de stabi- lisation optogalvanique aux lasers à excitation non conti- nue, mais sans succès. Il faut dire que dans le cas des la- sers à excitation continue, l'application de la technique était simple en raison des natures différentes du signal d'excitation et du signal de stabilisation, l'un étant con- tinu et l'autre alternatif. La demanderesse s'est repenchée sur le problème de la stabilisation optogalvanique des lasers à excitation non continue, à excitation rf, après l'apparition, vers les an- nées 1980-1981, de la spectroscopie à décharge rf optogalva- nique. Il s'agit de produire, dans le milieu gazeux d'une cellule à examiner, des atomes excités par un plasma provo- qué par un oscillateur à fréquence radio, couplé à la cellu- le, soit de manière capacitive par des électrodes externes fixées à la cellule, soit de manière inductive par une bobi- ne entourant la cellule. A cause du couplage, l'impédance du milieu gazeux de la cellule constitue l'un des éléments de la charge de l'oscillateur. Cette impédance est modifiée par absorption de photons provoquée par un rayonnement laser incident à fréquence variable, et c'est cette modification d'impédance qui est détectée, soit directement au niveau de l'oscillateur, dont la fréquence ou l'amplitude est modulée en conséquence, soit par l'intermédiaire par exemple d'une antenne. Cette technique de spectroscopie laser est notam- ment décrite dans l'article de D.R. Lyons et al. publié dans Optics Communications, volume 38, numéro 1, du 1.7.1981 et dans l'article de C. Stanciulescu et al. publié dans Applied Physics Letters 37(10) du 15.11.1980. Toutefois, l'analyse d'un gaz par spectroscopie laser à décharge rf optogalvanique est une chose et la stabilisa- tion optogalvanique d'une cavité laser en est une autre, ne serait-ce qu'en raison du fait que, dans le problème posé, la cellule contenant le milieu gazeux et la cavité laser sont confondues, et que, dans les techniques connues de spectroscopie, les puissances rf mises en jeu sont particu- lièrement faibles. Quoiqu'il en soit, la demanderesse a donc résolu le problème de la stabilisation optogalvanique d'un laser à 2566 198 excitation rf et propose aujourd'hui son invention. La présente invention concerne un dispositif de sta- bilisation en fréquence d'un laser à excitation rf compre- nant une cavité résonante remplie d'un gaz laser et présen- tant une impédance, un générateur de puissance alternative à fréquence radio rf présentant une impédance de sortie, des électrodes d'excitation du gaz laser reliées au généra- teur, et des moyens agencés pour faire varier la fréquence du laser, caractérisé par le fait que le générateur et les électrodes sont reliés par des moyens d'adaptation de l'im- pédance de la cavité laser à l'impédance de sortie du géné- rateur et il est prévu des moyens agencés pour recevoir un signal de désadaptation d'impédance réfléchi par la cavité, et reliés aux moyens de variation de la fréquence par un circuit d'asservissement. L'impédance de la tête d'excitation étant adaptée à celle de la ligne d'alimentation, ou la puissance réfléchie par la cavité étant réduite au minimum, une modification de la fréquence provoque une modification de l'impédance du plasma laser et donc l'apparition d'un si- gnal réfléchi, ou une variation de ce signal si, à l'adap- tation, celui-ci n'est pas tout-à-fait nul. Ce signal réflé- chi constitue bien un signal optogalvanique. Dans la forme de réalisation préférée du dispositif de l'invention, le générateur et les moyens de réception du signal de désadaptation sont reliés aux moyens d'adap- tation par des moyens de couplage agencés pour éviter que le signal d'excitation ne soit reçu par les moyens de récep- tion et le signal de désadaptation ne soit reçu par le gé- nérateur. Dans ce cas, les moyens d'adaptation sont montés en bout de ligne support aussi bien du signal d'excitation que du signal de désadaptation réfléchi. Les moyens de cou- plage, avantageusement un circulateur ou un coupleur direc- tionnel, dirigent le signal d'excitation sur les électrodes de la cavité laser et le signal réfléchi sur le circuit d'asservissement. L'invention sera mieux comprise à l'aide de la des- cription suivante de la forme de réalisation préférée du dispositif de l'invention, en référence aux dessins annexés, sur lesquels: - la figure I représente le schéma synoptique du dispositif de l'invention, appliqué à un laser à excitation rf; - la figure 2 représente l'une des raies du laser de la figure 1, un signal de modulation et le signal de désa- daptation qui en résulte, et - la figure 3 représente le signal de correction à appliquer. Soit donc un laser 1, comportant, dans une structure métallique externe 2, une cavité résonante 3, remplie d'un gaz laser, par exemple un mélange à base de C02, fermée à ses deux extrémités par deux miroirs,4 et 5, entre lesquels s'étendent deux électrodes 6 et 7 sur pratiquement toute la longueur de la structure 2. L'électrode 6 est reliée à la masse et l'électrode 7 est reliée à un générateur 8 de puissance alternative à fréquence radio rf, par l'intermédiaire d'un amplificateur de puissance rf 9, d'un circulateur à trois voies 10, d'une ligne coaxiale 11 et d'un circuit d'adaptation 12, tous ces équipements étant reliés dans l'ordre dans lequel ils vien- nent d'être énoncés. Le pompage électrique et l'émission laser de la cellule est obtenu ici par un champ transverse, c'est-à-dire perpendiculaire à l'axe optique. On aurait pu aussi considérer un laser à excitation rf longitudinale, selon le sens de la longueur de la cellule, bien que dans ce cas une certaine excitation transverse serait également induite. Le miroir 5 est monté en bout d'une céramique piezo- électrique, constituée d'un tube 13, représenté en coupe pour la compréhension, dont un autre plan sensiblement de bout est fixé à la structure 2. L'excitation de la cérami- que 13 provoque sa compression et donc l'éloignement du mi- roir 5 du miroir 4, soit une augmentation de la longueur de la cavité résonante, et, par conséquent, une variation de la fréquence laser. Le circuit d'adaptation 12, qui comprend, de façon classique, une self 14 et un condensateur 15, a pour fonc- tion d'adapter, pour une fréquence donnée, l'impédance du laser 3 à l'impédance de sortie du générateur 8, et mini- miser la puissance réfléchie par la tête laser 3 dans la ligne 11. A partir de l'état d'adaptation, une modification de la fréquence du laser entraîne une modification de l'im- pédance du plasma et, par conséquent, une variation de la puissance réfléchie. Cette variation de la puissance réflé- chie constitue un signal optogalvanique qui peut être ex- trait de la ligne 11 au moyen du circulateur 10, ou de tout autre coupleur directionnel, évitant que ce signal optogal- vanique ne soit reçu par le générateur 8 ou, en d'autres termes, que la cavité 3 ne rayonne dans le générateur 8. Le circulateur 10 est ici un circulateur à trois voies 16, 17, 18. Dans le sens de propagation de 16 vers 17, c'est-à-dire du générateur vers la cavité, le ctrculateur 10 ne couple pasla voie 18, alors que dans l'autre sens, il la couple pour diriger le signal optogalvanique réfléchi de la voie 17 vers la voie 18. De façon générale, un circulateur est un multipole dans lequel une voie n'est couplée qu'à une seule autre voie, de façon non réciproque. Considérons tout d'abord le cas de la stabilisation en haut de raie et soulignons ici encore que, pour la fré- quence de haut de raie, l'impédance de la tête laser étant adaptée à l'impédance de sortie du générateur 8, le signal réfléchi est nul ou quasiment nul, et de toutes façons minimisé. Une boucle d'asservissement 19, connectée entre le circulateur 10 et la céramique 13, va assurer cette sta- bilisation. Le balayage de correction en fréquences de la cavité laser 3 est obtenu par application d'une tension continue, de correction, à la céramique piezoélectrique 13, tension positive ou négative selon le sens de la correction à ap- pliquer. Si la fréquence à stabiliser F est dépassée, par exemple, la tension de correction doit être négative, dans le cas contraire, elle doit être positive. Une raie R de la cavité laser 3, c'est-à-dire l'enveloppe du signal laser en fonction de la fréquence, ayant la forme en cloche de la figure 2, on remarque que si on applique à la céramique piezoélectrique 13 une tension de modulation superposée alternative S (figure 2) de faible amplitude, la raie enve- loppe est modulée suivant un signal également alternatif T (figure 2), en opposition de phase par rapport au signal S, au-delà de la fréquence F, et en phase, en-deça de la fré- quence F. L'amplitude crête à crête du signal T passe par zéro à la fréquence F. Si on applique à un amplificateur à dé- tection synchrone le signal T, le signal S étant pris com- me référence, en fonction de la fréquence f, on obtient un signal D (figure 3), dont les valeurs sont proportionnelles à celles de la dérivée du signal R en fonction de la fréquen- ce f, le signal D étant positif en-deça du point F, et né- gatif au-delà du point F. Le signal D fournit l'amplitude et le signe de la tension continue à appliquer à la cérami- que piézoélectrique 13 pour corriger la fréquence du laser. En effet, si le plasma dans la cavité résonante 3 réfléchit, par le circulateur 10, dans le circuit d'asser- vissement 19 un signal de désadaptation, c'est que la fré- quence n'est pas F, et alors, le signal D intégré qui en résultera modifiera cette fréquence dans le sens désiré. Ce n'est que pour la fréquence F, qu'aucune tension conti- nue n'est appliquée à la céramique 13, la valeur du signal D étant nulle. Le circuit d'asservissement 19, qui élabore les dif- férents signaux décrits ci-dessus, va maintenant à son tour être décrit dans sa structure. Ce circuit, ou tiroir, d'asservissement, comporte un oscillateur basse fréquence 20, opérant ici à quelques centaines de hertz, et délivrant le signal S destiné à exciter la céramique 13 qui va ainsi vibrer mais avec une faible amplitude. Une diode rf 21, par l'intermédiaire d'un atténuateur 22, par exemple de 10 dB, pour protéger la dio- de qui ne peut recevoir que des faibles puissances, par exemple de l'ordre de 50mW, est connectée à la voie 18 du circulateur 10. La diode 21, qui détecte le signal de désa- daptation réfléchi et atténué, délivre, après redressement, l'enveloppe T de ce signal. La sortie de la diode 21 ainsi que la sortie de l'oscillateur 20 sont reliées aux entrées signal et référence, respectivement,d'un amplificateur à détection synchrone 23 (lock in) qui délivre en sortie le signal D représentatif du déphasage entre les signaux déli- vrés par l'oscillateur 20 et la diode 21 et de l'amplitude de la composante synchrone du signal de la diode 21. Le signal D est intégré dans un intégrateur 24 déli- vrant en sortie le signal continu P, pouvant varier par exemple de O à 5 V. Ce signal P est amplifié dans un ampli- ficateur haute tension 25, délivrant un signal similaire, variant par exemple de O à 1000 V, qui est appliqué à la céramique 13 par l'intermédiaire d'un sommateur 26 recevant également en entrée le signal de sortie S de l'oscillateur 20 et dont la sortie est reliée à la céramique 13. Dans le cas o l'on veut stabiliser le laser à une autre fréquence que celle F du haut de raie, il suffit d'appliquer au détecteur synchrone 23 un signal de décalage, ou tension offset, délivré par un générateur 27, pour déca- ler en fréquence le passage de la courbe D par l'axe des abscisses f. En introduisant dans la cavité laser 3 une cellule, par exemple, d'hexafluorure de soufre SF6 à très basse pression, modifiant la raie R de la figure 2, autour de sa fréquence fSF, suivant sa raie propre, on peut plus faci- lement et finement encore stabiliser la fréquence de la cavité 3 à cette fréquence fSF, en raison de l'étroites- se du trou ainsi crée et de la forte pente de la dérivée de la courbe de part et d'autre de cette fréquence. A la fréquence à stabiliser, l'idéal, jamais atteint, est qu'aucun signal ne soit réfléchi par le laser, ou que l'adaptation d'impédances soit parfaite. A cet égard, on préférera donc procéder à cette stabilisation optogalvani- que sur des lasers guides d'ondes et plus particulièrement monolithiques, avec lesquels l'adaptation peut-être réali- sée à quelques centaines de mW près, pour une puissance de laser de 50 W. De tels lasers monolithiques sont notamment décrits dans la demande de brevet français au nom de la demanderesse, publiée sous le numéro 2 530 087. Dans le dispositif qui vient d'être décrit, on a utilisé pour le signal d'excitation du générateur 8 et le signal de désadaptation réfléchi par le laser la même li- gne Il connectée à un circulateur 10. Une telle disposition n'est pas impérative, même si c'est la plus simple et la plus élégante. On aurait pu aus- si utiliser une seconde ligne distincte pour collecter par l'intermédiaire d'une antenne le signal optogalvanique, sans donc avoir besoin de circulateur. Mais il vaut mieux éliminer une ligne, et ses équipements d'extrémité, qu'un circulateur ou un coupleur directionnel. REVENDICATIONS 1. Dispositif de stabilisation en fréquence d'un laser à excitation rf comprenant une cavité résonante (3) remplie d'un gaz laser et présentant une impédance, un générateur de puissance alternative (8) à fréquence radio rf présentant une impédance de sortie, des électrodes (6,7) d'excitation du gaz laser reliées au générateur (8), et des moyens (13) agencés pour faire varier la fréquence du laser, caractérisé par le fait que le générateur (8) et les élec- trodes (6,7) sont reliés par des moyens (12) d'adaptation de l'impédance de la cavité laser (3) à l'impédance de sor- tie du générateur (8) et il est prévu des moyens (21) agen- cés pour recevoir un signal de désadaptation d'impédance réfléchi par la cavité (3), et reliés aux moyens (13) de variation de la fréquence par un circuit d'asservissement (19). 2. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel le générateur (8) et les moyens (21) de réception du signal de désadaptation sont reliés aux moyens d'adaptation (12) par des moyens de couplage (10) agencés pour éviter que le signal d'excitation ne soit reçu par les moyens de récep- tion (21) et le signal de désadaptation ne soit reçu par le générateur (8). 3. Dispositif selon la revendication 2, dans lequel lesdits moyens de couplage sont constitués par un circula- teur (10) à trois voies (16, 17, 18). 4. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel le circuit d'asservissement (19) comprend des moyens (20) agencés pour moduler les moyens (13) de varia- tion de la fréquence, des moyens (23) agencés pour détec- ter le déphasage entre le signal des moyens de modulation (20) et le signal des moyens (21) de réception du signal de désadaptation ainsi que l'amplitude de la composante synchrone du signal des moyens de réception (21), et des moyens (24) d'intégration du signal des moyens de détec- tion (23) pour contrôler les moyens (13) de variation de la fréquence. 5. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel le circuit d'asservissement (19) comprend un. oscillateur (20), relié aux moyens (13) de variation de la fréquence, une diode rf (21), pour détecter le signal réLé- chi par la cavité (3), un amplificateur à détection syn- chrone (23), relié aux sorties de l'oscillateur (20) et de la diode (21), un intégrateur (24), relié, à l'entrée, à la sortie de l'amplificateur à détection synchrone (23) et, à la sortie, aux moyens de variation de la fréquence (13), I0 par l'itntermédiaire d'un sommateur (26), également relié, à l'entrée, à la sortie de l'oscillateur (20). 6. Dispositif selon la revendication 5, dans lequel la diode (21) est reliée à la sortie d'un atténuateur (10), et l'intégrateur (24) et relié à l'entrée d'un amplifica- teur (25). 7. Dispositif selon l'une des revendications 4 à 6, dans lequel lesditsmoyensde détection (23) sontreliés à la sortie d'un générateur de décalage (27). 8. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel les moyens de variation de la fréquence com- prennent une céramique piezoélectrique (13) supportant un (5) des deux miroirs (4, 5) de la cavité résonante (3). 9. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel la cavité résonante (3) du laser contient une cellule d'hexafluorure de soufre à très basse pression. 10. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel le laser est un laser monolithique.