FR 2564243 A1 19851115 FR 8407297 A 19840511 BOITIER A DISSIPATION THERMIQUE D'ENCAPSULATION DE CIRCUITS ELECTRIQUES la présente invention a pour objet un bottier à dissipation thermique d'encapsulation de circuits électriques. On sait que l'évolution actuelle des circuits intégrés et des circuits hybrides conduit à des dissipations thermiques par unité de surface qui ne cessent de croître. L'évacuation des calories ainsi produites doit se faire par l'intermédiaire du bottier sur lequel le ou les circuits sont montés. Ainsi, lorsque les jonctions d'un dispositif semi-conducteur en fonctionnement sont portées à une température nettement supé- rieure à la valeur maximale recommandée, il se produit une modi- fication de leur état de surface qui entratine des détériorations irréversibles, cumulatives, des caractéristiques du dispositif. Pour certains composants au silicium, la température maximale de jonc- tion est d'environ 200 C, mais une limite plus basse est souvent nécessaire particulièrement dans le cas des dispositifs encapsulés dans une matière plastique. La fiabilité est, en général, améliorée par un fonctionnement à des températures nettement inférieures à la valeur maximale recommandée. Il est donc essentiel que le bottier assure une résistance thermique optimale pour que celui-ci soit susceptible d'assurer l'évacuation d'un nombre élevé de calories par unité de surface de substrat (à titre d'exemple, des résistances thermiques aussi faibles que I C/W sont souhaitables). Les circuits intégrés sont souvent montés en modules qui ont un capot métallique. Le transfert de chaleur implique un transfert du circuit intégré vers son module puis de ce module vers un dissipateur externe. Quand la quantité de chaleur, qui doit être dissipée, est relativement faible, le capot métallique du module peut être exposé à l'air et le fond du module relié au circuit imprimé par l'intermédiaire de broches. La chaleur du circuit intégré est ainsi dissipée à la fois à travers le substrat du circuit sur lequel le module est monté et à travers le capot métallique de ce module. Dans certaines applications, la quantité de chaleur dissipée de cette manière n'est pas suffisante. Il existe différents dispositifs qui permettent d'augmenter la quantité de chaleur du circuit intégré qui peut être dissipée. On connaît ainsi des boîtiers hermétiques couramment dispo- nibles et qui sont constitués d'un corps ou cuvette en alliage Fer- Nickel-Cobalt sur lequel sont scellées avec un verre borosilicate des traversées également en alliage Fer-Nickel-Cobalt. Un substrat est collé ou brasé sur le fond du boîtier qui, du fait qu'il est en alliage Fer-Nickel-Cobalt, est un mauvais dissipateur thermique. Ainsi, l'article du "IBM TECHNICAL DISCLOSURE 1.5 BULLETIN", Vol. 19, N 8 de janvier 1977 intitulé "Multimode heat sink" décrit un dispositif qui comporte un dissipateur de chaleur muni de réceptacles. Les modules, qui sont montés sur un circuit imprimé, sont disposés à l'intérieur de ces réceptacles. Une soudure à faible température de fusion assure la connexion entre les modules et le fond de ces réceptacles. Ce dissipateur peut inclure un circuit de circulation d'eau qui permet de transférer la chaleur vers l'extérieur. Mais un tel dispositif n'est pas modulaire. Contrairement à celui-ci, le boîtier de l'invention permet de réaliser un réseau de circulation de fluide caloporteur qui permet un refroidissement au plus près des pièces et permet ainsi d'éviter un réchauffement des pièces restées froides. L'invention a pour objet un boîtier à dissipation thermique d'encapsulation de circuits électriques, caractérisé en ce qu'il com- porte une armature métallique munie dans sa partie supérieure d'une cavité dont le fond est destiné à la fixation de ces circuits électriques, et dont les parois latérales supportent des connexions par l'intermédiaires de traversées isolantes, un couvercle étant disposé à la surface de cette cavité de manière à rendre celle-ci hermétique, et dans sa partie inférieure de moyens de refroidis- sement pour circulation d'au moins un fluide caloporteur qui com- prend un ensemble monobloc métallique entre les parois laterales duquel ont été percés des alésages de directions parallèles et régulièrement espacés, et des ajours percés aux extrémités de certains de ces alésages de manière à obtenir le réseau de circu- lation désiré de fluide caloporteur, et deux éléments métalliques disposés sur les parois latérales de cet ensemble monobloc de manière à obturer les extrémités de ces alésages et de ces ajours, ces moyens de refroidissement comportant au moins deux orifices de manière à permettre l'entrée et la sortie de fluide caloporteur. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre donnée à titre d'exemple non limitatif, en relation avec les dessins annexés qui représentent: - la figure 1, un dispositif de l'art antérieur; - la figure 2, le boîtier selon l'invention; - les figures 3 et 4, deux vues explicatives du boîtier selon l'invention; - les figures 5 et 6, deux vues en coupe du boîtier selon l'invention; - la figure 7, une vue latérale du boîtier selon l'invention; - la figure 8, une vue de dessus du boîtier selon l'invention. La figure I illustre un dispositif de l'art antérieur décrit dans l"'IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN", Vol. 19, N 8 de janvier 1977 intitulé "Multimode heat sink" dans lequel des modules I sont montés sur un substrat 4 de façon conventionnelle. Le dessus des modules 1, par contre, est placé dans des réceptacles 2 sur le dissipateur de chaleur 3. Cette structure non assemblée est illustrée a la figure 1. Une soudure à faible température de fusion, qui peut être du type ayant un rétreint négatif après solidification, entoure chacun des modules et réalise une connexion étroite entre les modules et le dissipateur de chaleur 3. Ce dissipateur de chaleur 3 peut inclure un passage 5 pour la circulation d'eau qui permet de transporter la chaleur vers l'extérieur. Cette structure est assem- blée en faisant fondre la soudure et en plaçant le substrat avec les modules 1 dans les réceptacles 2 du dissipateur de chaleur 3. L'invention, quant à elle, concerne un bottier d'encapsulation pour circuit électrique o est intégré son système de refroidis- sement par circulation de fluide caloporteur. Comme représenté à la figure 2, ce bottier comporte une armature métallique 6 supportant les fils de connexion du circuit électrique et au moins un couvercle soudé sur l'armature, un ou plusieurs systèmes de refroidissement par fluide caloporteur avec son réseau de circulation 16. L'invention est plus particulièrement employée pour la réali- sation de bottier d'encapsulation de grande puissance utilisant des composants à forte dissipation thermique. L'armature 6 du boîtier comprend plusieurs parties: une cavité 12 permettant le positionnement des composants, soit par fixation mécanique ou par brasage tendre ou par circuit pré-cablé collé sur le fond 13 de la cavité 12, sur les parois latérales du bottier les fils de connexion sont des broches 11 de géométrie diverse scellées par liaison verre métal et implantées sur l'armature par brasure, et souvent espacées de 2,54 mm ou 5,08 mm suivant les normes de cablage de l'électronique. Ainsi, les connexions se présentent sous la forme de broches 11 dont chacune est maintenue en position par une traversée isolante 9 disposée dans une cuvette en acier 10, par exemple. On utilise classiquement, à cet effet, une perle de verre. Chaque broche Il présente une partie dépassant à l'extérieur du boîtier et qui se termine par une ogive, et une partie dépassant à l'intérieur du bottier destinée à la soudure d'un fil de connexion du ou des circuits dont doit être muni le bottier. Après montage d'un ou plusieurs substrats dans la cavité 12 sur le bottier, un couvercle 15 est soudé ou brasé sur le cadre 17 de manière à rendre le bottier hermétique. Ainsi, le dessus de cette cavité 12 permet par adjonction d'un cadre métallique 17 de réaliser une fermeture par soudure ou brasure et d'avoir aussi un boîtier encapsulé étanche à l'hélium, par exemple. Sous ce boîtier d'encapsulation formant un ensemble monobloc, un ou plusieurs circuits de réfrigération 16 peuvent être intégrés à l'ensemble. Le circuit 16 de circulation de fluide caloporteur est réalisé dans la masse par perçage profond d'alésage 21. Des ajours 22 en extrémité des alésages 21 permettent d'établir la libre circulation du ou des fluides, l'étanchéité est réalisée par deux parties métalliques 7 brasées de chaque côté 8 de ces perçages 21 et 22. La figure 3 représente l'armature métallique 6 seule munie dans sa partie supérieure d'une cavité 12 dont le fond est destiné à la fixation des circuits électriques et dont les parois latérales comportent des orifices 23 qui permettront la mise en place des broches 1 de connexion. Cette armature 6 est munie dans sa partie inférieure de moyens de refroidissement 16 par circulation d'au moins un fluide caloporteur qui comprend un ensemble monobloc entre les parois latérales duquel ont été percés des alésages 21 de directions parallèles et régulièrement espacés comme représenté à la figure 4 qui est une vue en coupe selon AA'. Des ajours 22 ont été percés ensuite aux extrémités de certains de ces alésages 21, comme représenté à la figure 5 qui est, elle aussi, une vue en coupe selon AA' de manière a obtenir le réseau de circulation désiré de fluide caloporteur. La figure 6 représente une vue du côté 31 de cette armature métallique, une fois les alésages 21 et les ajours 22 percés. Les deux éléments métalliques 7, représentés à la figure 2, sont disposés sur les parois latérales 30 et 31 de cette armature métallique 6 de manière à obturer les extrémités de ces alésages 21 et de ces ajours 22. Ces moyens de refroidissement 16 comportent au moins deux orifices 19, 20 de manière à permetre l'introduction et l'évacuation de fluide caloporteur. Ces orifices 19, 20 peuvent être percés dans l'un de ces deux éléments métalliques 7, comme représenté à la figure 7, mais ils peuvent, tout aussi bien, être percés dans le fond de l'armature métallique 6. Les alimentations et évacuations des fluides peuvent alors être réalisées avec des raccords, brasés ou collés avec des colles aléoétanches permettant une interconnexion rapide et facile avec un échangeur thermique ou une source de fluide réfrigérant. Les figures 7 et 8 représentent une vue de côté et une vue de dessus du boîtier selon l'invention tel que représenté à la figure 1. Ainsi, le boîtier selon l'invention réalise une fonction de conduction entre les circuits électriques et les moyens de refroidis- sement au travers de l'épaisseur de métal de l'armature métallique située entre le fond 13 de la cavité 6 et les alésages 21. Il réalise aussi une fonction d'échange par son utilisation d'au moins un fluide caloporteur. Il intègre donc la partie conductrice de la chaleur et la partie échange thermique. - 15 Le bottier de l'invention possède des moyens de refroidis- sement qui sont modulaires. En effet, il permet de réaliser, à volonté, des circuits série, parallèle de circulation de fluide de manière a effectuer un refroidissement au plus près des pièces chaudes sans échauffement des pièces restées froides. En pouvant ainsi faire varier la surface d'échange, qui est fonction du diamètre des alésages et ajours percés, à débit constant on peut ainsi faire varier la résistance thermique de l'ensemble des moyens de refroi- dissement. Il est aussi possible avec un tel boîtier de réguler le fluide caloporteur à une température déterminée. On peut d'ailleurs consi- dérer plusieurs circuits de refroidissement indépendants ou qui interfèrent entre eux. Le boîtier de l'invention permet, en outre, d'encapsuler des systèmes de grandes dimensions par exemple de 150 mm x 150 mm. Les matériaux utilisés pour l'armature métallique 6 et les deux éléments métalliques 7 sont généralement des alliages a base de cuivre, ou d'aluminium choisis pour leur bonne conductibilité ther- mique. Ainsi, les alliages à base de cuivre peuvent être des cupro- chromes ou des alliages cuivre-beryllium-cobalt par exemple qui permettent d'obtenir des matériaux durs, résistants à la corosion et possédant un coefficient de dissipation thermique élevé. Les bra- sures peuvent être alors des brasures haute température argent- cuivre eutectique qui fondent à 780 C environ. Les alliages à base d'aluminium peuvent être des alliages aluminiumsilicium. Les brasures peuvent être, alors, des brasures plomb-argent eutectique qui fondent à 315 C environ. Le cadre 17 et le couvercle 15 peuvent être réalisés en fer- nickel-cobalt. Des revêtements de protection peuvent être réalisés sur l'ensemble du boîtier par exemple de nickel, d'étain, ou d'or. Les fluides caloporteurs peuvent être, par exemple, l'eau, l'huile. Les circuits électriques peuvent être des composants disposés sur un circuit imprimé qui est collé au fond 13 de la cavité 12. Ils peuvent être, aussi, des circuits hyperfréquences qui sont fixés mécaniquement au fond 13 de la cavité 12. - 2564243; REVENDICATIONS 1. Boîtier à dissipation thermique d'encapsulation de circuits électriques, caractérisé en ce qu'il comporte une armature métal- lique (6) munie dans sa partie supérieure d'une cavité (12) dont le fond (13) est destiné à la fixation de ces circuits électriques, et dont les parois latérales (14) supportent des connexions (11) par l'inter- médiaire de traversées isolantes (9), un couvercle (15) étant disposé à la surface de cette cavité (12) de manière à rendre celle-ci hermétique, et dans sa partie inférieure de moyens de refroidis- sement (16) pour circulation d'au moins un fluide caloporteur qui comprend un ensemble monobloc métallique entre les parois laté- rales duquel ont été percés des alésages (21) de directions parallèles et régulièrement espacés, et des ajours (22) percés aux extrémités de certains de ces alésages (21) de manière à obtenir le réseau de circulation désiré de fluide caloporteur, et deux éléments (7) métal- liques disposées sur les parois latérales de cet ensemble monobloc de manière à obturer les extrémités de ces alésages (21) et de ces ajours (22), ces moyens de refroidissement (16) comportant au moins deux orifices (19, 20) de manière à permettre l'entrée et la sortie de fluide caloporteur. 2. Bottier selon la revendication 1, caractérisé en ce que les deux éléments métalliques (7) sont brasés de part et d'autre de la partie inférieure de l'armature métallique (6). 3. Bottier selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend un cadre métallique (17) disposé entre l'armature métal- lique (6) et le couvercle (15) de manière à souder le couvercle (15) à cette armature métallique (6). 4. Boîtier selon la revendication 1, caractérisé en ce que les traversées isolantes (9) sont des perles de verre. 5. Bottier selon la revendication 4, caractérisé en ce que ces perles de verre (9) sont disposées dans des cuvettes (10) en acier. 6. Boîtier selon la revendication 1, caractérisé en ce que les connexions (11) sont des broches implantées par brasure. 7. Boîtier selon la revendication 1, caractérisé en ce que des raccords sont disposés dans les orifices (19, 20) pour permettre I'alimentation et l'évacuation de fluide caloporteur. 8. Boîtier selon la revendication 7, caractérisé en ce que ces raccords sont fixés par brasure. 9. Boîtier selon la revendication 7, caractérisé en ce que ces raccords sont fixés par collage à l'aide d'une colle aléoétanche. 10. Boîtier selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'armature métallique (6) et les deux éléments métalliques (7) sont réalisés en alliages à base de cuivre. 11. Boîtier selon la revendication 10, caractérisé en ce que ces alliages à base de cuivre sont des cuprochromes. 12. Boîtier selon la revendication 10, caractérisé en ce que ces alliages à base de cuivre sont des alliages cuivre-beryllium-cobalt. 13. Boîtier selon la revendication 10, caractérisé en ce que le matériau de brasure est de l'argent-cuivre eutectique. 14. Boîtier selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'armature métallique (6) et les deux éléments métalliques (7) sont réalisés en alliages à base d'aluminium. 15. Boîtier selon la revendication 14, caractérisé en ce que ces alliages à base d'aluminium sont des alliages aluminium-silicium. 16. Boîtier sleon la revendication 14, caractérisé en ce que le matériau de brasure est du plomb-argent eutectique. 17. Boîtier selon la revendication 1, caractérisé en ce que le cadre (17) et le couvercle (15) sont en ferro-nickel-cobalt. 18. Boîtier selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il reçoit un revêtement en un matériau choisi parmi les matériaux suivants: nickel, étain, or. 19. Boîtier selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'un fluide caloporteur est de l'eau. 20. Boîtier selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'un fluide caloporteur est de l'huile. 21. Boîtier selon la revendication 1, caractérisé en ce que les circuits électriques sont fixes par soudure au fond (13) de la cavité (12). 21. Boîtier selon la revendication 1, caractérisé en ce que les circuits électriques sont fixés par brasure au fond (13) de la cavité (12). 23. Boîtier selon la revendication 1, caractérisé en ce que les circuits électriques sont disposées sur un circuit imprimé collé sur le fond (13) de la cavité (12). 24. Boîtier selon la revendication 1, caractérisé en ce que les circuits électriques sont des circuits hyperfréquences fixés mécani- quement sur le fond (13) de la cavité (12).