FR 2558270 A1 19850719 FR 8400734 A 19840118 Modulateur électro-optique interférentiel à haute sensibilité La présente invention concerne un modulateur électro-optique inté- gré du type connu Mach-Zehnder. Un modulateur de type Mach-Zehnder réalisé en optique guidée est décrit dans l'article de R. Keil et F. Auracher (Siemens Forsch-u.Entwi- ckelBer. Bd. 9 (1980) Nr 1, Springer Verlag) "Mach Zehnder Waveguide Modulators in Ti-Diffused LiNbO 3l. Il comporte: - une plaquette d'un matériau cristallin transparent dont l'indice opti- que varie par effet électro-optique sous l'action d'un champ électrique, des guides optiques intégrés, ces guides étant formés dans une face de cette plaquette par des augmentations localisées permanentes de l'indice optique résultant d'un dopage du matériau, ces guides étant monomodes tant selon leur largeur que selon leur épaisseur et formant - un guide d'entrée pour recevoir et conduire une lumière présentant une cohérence spatiale. - une jonction optique d'entrée en Y pour séparer la lumière du guide d'entrée en deux faisceaux de même intensité, - deux bras d'interféromètre de longueurs voisines pour conduire les deux faisceaux ainsi séparés, ces deux bras s'étendant parallèlement l'un à l'autre selon une direction longitudinale, - une jonction optique de sortie en Y pour recombiner les deux faisceaux issus des deux bras, - et un guide de sortie recevant la lumière ainsi recombinée et la transmettant en sortie du modulateur, la longueur de ce guide étant suffisante pour qu'il ne puisse transmettre que son mode fondamental - le modulateur comportant en outre des électrodes formées sur ladite face de la plaquette, associées aux deux bras d'interféromètre, et rece- vant un signal électrique de modulation pour appliquer au matériau de ces deux bras deux champs électriques faisant varier la longueur optique de ces deux bras en sens opposés et pour moduler ainsi l'intensité de la lumière transmise par le guide de sortie, ces électrodes s'étendant selon ladite direction longitudinale sur sensiblement toute la longueur des bras pour augmenter la sensibilité du modulateur. L'optique guidée (ou optique intégrée) permet de réaliser des modulateurs très rapides (grandes bandes passantes) avec des tensions de -2 - commande raisonnable (quelques volts). Mais les modulateurs connus n'ont pas une sensibilité aussi grande qu'on le souhaite parfois, c'est-à-dire que le degré de modulation de lumière obtenu pour une faible tension électrique de commande n'est pas suffisant. On peut remarquer que, dans une certaine mesure, il y a incompatibilité entre la sensibilité et la rapidité: plus un modulateur doit être sensible, plus les électrodes doivent être longues et plus la capacité électrique est grande ce qui entraine une réduction de la bande passante. Le matériau le plus approprié pour la réalisation d'un modulateur électrooptique est le niobate de lithium (LiNbO3) car il conduit à la fabrication de bons guides optiques et il est très électro-optique. On réalise les guides de lumière sur une face d'une plaquette monocris- talline, cette face étant perpendiculaire à l'axe cristallin 3 également appelé axe Z, et on utilise une lumière polarisée selon cet axe, c'est dire que le champ électrique optique est parallèle à cet axe. Le champ électrique de modulation appliqué est lui aussi parallèle à cet axe. Des interféromètres de ce type sont connus par exemple par le brevet français n 2 457 505 (Thomson-CSF), et par une communication à la Second European Conference on Integrated Optics (17-18 octobre 1983 Florence, IEE Number 227 "Linear Mach-Zehnder interferometers in LiNb03 for electromagnetic field sensing" C.H. Bulmer, R.P. Moeller and W.K. Burns, Naval Research Laboratory, Washington, DC 20375, USA). Dans ces modulateurs connus une des électrodes associées à chacun des bras est une électrode recouvrante qui recouvre ce bras pour que le champ électrique appliqué à ce bras soit sensiblement perpendiculaire à ladite face de la plaquette, les autres électrodes étant des électrodes latérales formées à distance latérale de ces bras. De plus, pour augmenter la sensibilité il est connu par ces docu- ments d'allonger les électrodes jusque sur les zones de jonctions en Y d'entrée et de sortie. La sensibilité reste cependant inférieure à ce que l'on souhaite, notamment dans le cas ou le modulateur est utilisé pour la réalisation d'un hydrophone en association avec un transducteur piézoélectrique, ou pour celle d'un dispositif de mesure de tensions électriques faibles, par exemple de l'ordre de quelques dizièmes de volt. -3- La présente invention a pour but la réalisation d'un modulateur électro-optique interférentiel, présentant une sensibilité accrue tout en conservant une bande passante importante et un prix de revient modéré. Le modulateur selon l'invention comporte un interféromètre Mach-Zehnder intégré avec des électrodes recouvrantes comme connu. Il est caractérisé par le fait qu'il comporte six dites électrodes, chaque bras étant associé à trois électrodes qui sont une électrode recouvrante disposée entre deux électrodes latérales, le signal de modulation étant appliqué entre d'une part cette électrode recouvrante et d'autre part ces deux électrodes latérales, de manière que le champ électrique appli- qué à ce bras soit rendu sensiblement uniforme sur toute la largeur de celui-ci. Ceci permet d'augmenter encore la sensibilité du modulateur, mais nécessite la présence de deux électrodes latérales "internes" c'està-dire disposées entre les deux bras. Ceci fait apparaître une capacité parasite supplémentaire entre ces bras, cette capacité étant d'autant plus grande que ces électrodes sont proches. Or l'espacement latéral de ces bras doit rester limité, d'une part pour éviter l'appari- tion de différences de température capables de créer une modulation parasite, d'autre part pour éviter d'augmenter les dimensions et le prix de la plaquette cristalline. Il est cependant apparu possible à l'inven- teur de limiter ces inconvénients à un niveau parfaitement acceptable d'une part par un choix convenable des espacements, d'autre part en disposant la plaquette dans un bottier de protection mécanique et ther- mique de type connu. Quant au nombre accru des électrodes il n'entraîne pas de supplément de coût de fabrication lorsqu'on utilise un processus classique de de photolithogravure. On utilise de préférence les dispositions suivantes: - chacune desdites électrodes recouvrantes déborde latéralement des deux cStés du bras associé de manière à rendre le champ électrique encore plus uniforme sur la largeur de ce bras. - Dans le cas d'un hydrophone les longueurs optiques des deux bras d'interféromètre en l'absence de champ électrique différent d'environ un quart de la longueur d'onde de la lumière de ladite source, lesdites électrodes étant disposées pour appliquer aux deux bras d'interféro- mètre des champs électriques de sens opposés de manière à provoquer des 4- variations d'indice optique de sens opposés dans le matériau cristallin qui les constitue. - La longueur d'action de ces électrodes sur chacun de ces deux bras est supérieure à un centimètre de manière à obtenir une grande sensibilité. - La distance entre ces deux bras est inférieure à 50 micromètres de manière à éviter des écarts de température entre les deux bras. - L'intervalle entre les deux électrodes latérales internes disposées entre les deux bras et associées respectivement à ces deux bras est plus grand que l'intervalle entre chacune de ces électrodes et le bras associé, de manière à diminuer la capacitance du modulateur et à augmenter sa bande passante de fréquences. A l'aide des figures schématiques ci-jointes, on va décrire ci-après, à titre non limitatif, comment l'invention peut être mise en oeuvre. Ildoit être compris que les éléments décrits et représentés peuvent, sans sortir du cadre de l'invention, être remplacés par d'au- tres éléments assurant les mêmes fonctions techniques. Lorsqu'un même élément est représenté sur plusieurs figures, il y est désigné par le même signe de référence. La figure 1 représente une vue d'ensemble d'un hydrophone compor- tant un modulateur selon l'invention. La figure 2 représente une vue en perspective du modulateur de cet hydrophone. Les figures 3 et 4 représentent respectivement une vue de dessus et une vue en coupe transversale de ce modulateur. L'hydrophone comporte: - - une source 1 cohérente spatialement - une lame séparatrice 2 divisant le faisceau initial en deux faisceaux 3 et 4. Le faisceau 4 arrive sur un photodétecteur de référence 5 et a une intensité beaucoup plus faible (100 fois plus faible) que celle du fais- ceau 3. Il sert uniquement de référence pour éliminer les perturbations dues aux fluctuations d'intensité de la source. - - un système d'injection 6 de la lumière. - une fibre unimodale 7 d'aller. - un capteur acoustique 8 immergé passif recevant la lumière et la modulant selon les ondes acoustiques qu'il reçoit. -5- - une fibre unimodale ou multimodale de retour 9. - un photodétecteur de réception 10. - un circuit électronique 11 qui élimine les fluctuations d'intensité de la source 1 et fournit un signal représentatif des ondes acoustiques reçues par le capteur, ce circuit recevant pour cela les signaux de sortie des photodétecteurs 5 et 10. Le capteur acoustique immergé passif 8 est composé par: - un transducteur piézoélectrique 12 recevant les ondes acoustiques et fournissant un signal électrique de modulation. - et un modulateur électro-optique 13 recevant ce signal électrique de modulation et modulant la lumière amenée par la fibre d'aller. Ce modula- teur est réalisé selon la présente invention. Il comporte comme connu: - une plaquette 18 constituée d'un matériau transparent dont l'indice optique varie par effet électro-optique sous l'action d'un champ élec- trique créé par le signal électrique de modulation. - des guides optiques monomodes tant selon leurs largeurs que selon leurs épaiseurs, à savoir: - un guide d'entrée 20 recevant la lumière amenée par la fibre d'aller. - une jonction optique d'entrée en Y 22 pour séparer la lumière provenant du guide d'entrée en deux faisceaux de même intensité. - deux bras d'interféromètre 24, 26 pour conduire les deux faisceaux ainsi séparés qui subissent une variation de longueur optique sous l'ac- tion du signal électrique de modulation. Ces deux bras présente une différence de longueur optique d'environ un quart de longueur d'onde pour maximiser la sensibilité de l'interféromètre et donner une varia- tion linéaire d'intensité en fonction du faible signal électrique de modulation. Des électrodes déposées sur la face utile de la plaquette sur les deux bras pour leur appliquer un champ électrique qui est créé par le signal électrique de transduction et qui induit une variation d'indice optique. Les lignes de champ électrique se referment par l'intérieur de la plaquette et les sens du champ sont opposés dans les deux bras, ce qui induit de variations d'indice de sens opposes. - une jonction optique de sortie en Y 32 pour recombiner les deux fais- ceaux issus des deux bras. .5827O î Z 5 8 2 7 0 - 6- - un guide de sortie 34 recevant la lumière ainsi recombinée et la transmettant à la fibre optique de retour. Ce guide de sortie représente une longueur suffisante pour ne transmettre que le mode fondamental. Suivant la différence de phase entre les faisceaux venant des deux bras et induite par le signal électrique issu du transducteur, la recombi- naison fournit un mode fondamental d'intensité variable. Plus particulièrement la source 1 est un laser He-Ne émettant à 0,633 micromètre de longueur d'onde; - Quant à la plaquette monocristalline elle est constituée de niobate de lithium et coupée comme précédemment indiqué. D'autres maté- riaux pourraient cependant être utilisés, par exemple le tantale de lithium. Selon la présente invention, les électrodes sont deux électrodes recouvrantes 40 et 42 sur les guides 24 et 26 et quatre électrodes latérales, à savoir 44 et 46 de part et d'autre de l'électrode 40, 48 et de part et d'autre de l'électrode 42, le signal de modulation étant appliqué entre d'une part les électrodes interconnectées 40, 48, 50 et d'autre part les électrodes interconnectées 42, 44, 46. Les dimensions longitudinales sont les suivantes, en millimètres Electrodes: 22,8 Bras d'interféromètre: 23,2 Branches des jonctions en Y: 2,005 Plaquette: 33,21 Les branches des jonctions en Y font un angle à 1 degré. Les dimensions transversales sont les suivantes, en micromètres. Electrodes: 5 Intervalle entre électrodes associées à un même bras: 3 Intervalle entre électrodes internes: 17, l'entraxe entre guide étant alors de 38. La largeur de la plaquette est par exemple de 2 mm et son épaisseur de 0,5 mm. Les guides optiques sont réalisés de façon classique par diffusion de titane à partir de bandes préalablement déposées avec - épaisseur de titane: 380 angstroems - largeur des bandes de titane: 3 micromètres a558270 -7- - temps de diffusion: 5 heures - température de diffusion: 980 C Avec ces conditions les guides sont monomodes à la longueur d'onde de 6328 angstroems. Les électrodes sont réalisées par des procédés classiques de pho- tolitographie et sont constituées d'or sur une sous-couche de titane. L'onde optique étant absorbée par le métal, une couche dite "d'isolement optique" est interposée entre le LiNbO3 et les électrodes. Cette couche en SiO2 à une épaisseur d'environ 1000 angstroems. Cette couche non représentée peut s'étendre sur toute la face utile du cristal de niobate. La sensibilité est mesurée par la tension électrique VM qu'il est nécessaire d'appliquer pour passer de la transmission maximum à la transmission minimum. Les tensions VM classiquement utilisées sont de quelques volts. Avec la structure décrite ici, la tension VM est de 0,4 V pour la longueur d'onde utilisée. La bande passante reste largement suffisante dans de nombreuses applications telles que celle décrite ci-dessus ou la mesure de faibles tensions. Plus précisément elle est de 100 MHz environ. -8- REVENDICATIONS 1/ Modulateur électro-optique interférentiel à haute sensibilité compor- tant, - un interféromètre (13) du type Mach-Zehnder intégré, cet interféro- mètre comportant lui même - une plaquette (18) d'un matériau cristallin transparent dont l'indice optique varie par effet électro-optique sous l'action d'un champ élec- trique, - des guides optiques intégrés, ces guides étant formés dans une face de cette plaquette par des augmentations localisées permanentes de l'indice optique résultant d'un dopage du matériau, ces guides étant monomodes tant selon leur largeur que selon leur épaisseur et formant - un guide d'entrée (20) pour recevoir et conduire une lumière présen- tant une cohérence spatiale. - une jonction optique d'entrée en Y pour séparer la lumière du guide d'entrée en deux faisceaux de même intensité, - deux bras d'interféromètre (24, 26) de longueurs voisines pour conduire les deux faisceaux ainsi séparés, ces deux bras s'étendant parallèlement l'un à l'autre selon une direction longitudinale, - une jonction optique de sortie en Y (32) pour recombiner les deux faisceaux issus des deux bras, - - et un guide de sortie (34) recevant la lumière ainsi recombinée et la transmettant en sortie (9) du modulateur, la longueur de ce guide étant suffisante pour qu'il ne puisse transmettre que son mode fondamental - le modulateur comportant en outre des électrodes formées sur ladite face de la plaquette associées aux deux bras d'interféromètre et rece- vant un signal électrique de modulation pour appliquer au matériau de ces deux bras (24, 26) deux champs électriques faisant varier la longueur optique de ces deux bras en sens opposés et pour moduler ainsi l'inten- sité de la lumière transmise par le guide de sortie (34), ces électrodes s'étendant selon ladite direction longitudinale sur sensiblement toute la longueur des bras pour augmenter la sensibilité du modulateur, une des électrodes associées à chacun de ces bras étant une électrode recou- vrante qui recouvre ce bras pour que le champ électrique appliqué à ce bras soit sensiblement perpendiculaire à ladite face de la plaquette, a558270 -9- les autres électrodes étant des électrodes latérales formées à distance latérale de ces bras, - ce modulateur étant caractérisé par le fait qu'il comporte six dites électrodes, chaque bras étant associé à trois électrodes qui sont une électrode recouvrante disposée entre deux électrodes latérales, le signal de modulation étant appliqué entre d'une part cette électrode recouvrante et d'autre part ces deux électrodes latérales, de manière que le champ électrique appliqué à ce bras soit rendu sensiblement uni- forme sur toute la largeur de celui-ci pour augmenter encore la sensibi- lité du modulateur. 2/ Modulateur selon la revendication 1, caractérisé par le fait que chacune desdites électrodes recouvrantes déborde latéralement des deux c8tés du bras associé de manière à rendre le champ électrique plus uniforme sur la largeur de ce bras. 3/ Modulateur selon la revendication 1, caractérisé par le fait que les longueurs optiques des deux bras d'interféromètre (24, 26) en l'absence de champ électrique différent d'environ un quart de la longueur d'onde de la lumière de ladite source (1), - la longueur d'action de ces électrodes sur chacun de ces deux bras étant supérieure à un centimètre de manière à obtenir une grande sensi- bilité, - la distance entre ces deux bras étant inférieure à 50 micromètres de manière à éviter des écarts de température entre les deux bras. 4/ Modulateur selon la revendication 3, caractérisé par le fait que l'intervalle entre les deux électrodes latérales internes disposées entre les deux bras et associées respectivement à ces deux bras est plus grand que l'intervalle entre chacune de ces électrodes et le bras asso- cié, de manière à diminuer la capacitance du modulateur et à augmenter sa bande passante de fréquences. 5/ Modulateur selon la revendication 1, caractérisé par le fait que lesdites électrodes sont disposées pour appliquer aux deux bras d'inter- féromètre (24, 26) des champs électriques de sens opposés de manière à provoquer des variations d'indice optique de sens opposés dans le maté- riau cristallin qui les constitue.