FR 2553907 A1 19850426 FR 8316794 A 19831021 MODULATEUR OPTIQUE L'invention concerne un modulateur optique et plus particulièrement un atténuateur achromatique notamment pour les objectifs de caméras et de guidage. Il existe différents types de dispositifs permettant d'atténuer l'intensi5 té de la lumière C'est ainsi que l'on trouve les atténuateurs à déplacement mécanique de dispositifs optiques bien connus dans la technique, les atténuateurs par dépôt électrochimique d'un métal sur les parois conductrices transparentes d'une cuve électrolytique, les atténuateurs par réduction ou oxydation de couches minces de métal, et les atténuateurs utilisant l'effet 10 d'un champ électrique dans un mélange de cristal liquide et de colorant dichroïque. L'objet de l'invention est de proposer un modulateur utilisant un autre procédé et applicable notamment dans les viseurs de poursuite Ce type d'application nécessite en effet une forte dynamique de transmission, 15 supérieure à 20 db, pour compenser les variations d'éclairement environnant, qui peuvent être brusques, et une transmission élevée dans l'état ouvert pour permettre la détection de la lumière réfléchie par la cible En outre, les caractéristiques techniques spécifiques du dispositif de détection demandent une bande passante spectrale comprise entre 0,4 et 1,1 microns et une 20 distorsion de l'image aussi faible que possible. Dans le cadre de l'invention, on propose d'utiliser les mouvements de lames de liquides de faible épaisseur, commandés électriquement, sans intervention d'organes mécaniques mobiles, pour modifier les conditions de réfraction et d'absorption rencontrées par un faisceau lumineux qui traverse 25 le dispositif d'atténuation. La demande de brevet français déposée par la Demanderesse le 23 mars 1983 sous le numéro 83 04745 décrit un dispositif permettant de déplacer une lame de liquide Un tel dispositif comporte un espace capillaire délimité par deux plaques de confinemrent dont les faces internes sont 30 munies d'électrodes et permettent d'appliquer un champ électrique dans l'espace capillaire Celui-ci contient deux fluides non miscibles de permit- tivités diélectriques différentes L'application d'une tension entre les électrodes donne lieu à un champ électrique attirant le fluide de plus forte permittivité Le phénomène physique est celui bien connu du remplissage d'un condensateur par un liquide diélectrique sous l'effet de l'établissement de gradients de champ électrique et d'une variation de l'énergie électrostatique. Le contrôle de position des fluides dans l'espace capillaire est obtenu d'une part par le choix des champs électriques appliqués et, d'autre part, par des traitements de surface spécifiques qui rendent les surfaces des électro10 des plus mouillantes que les surfaces qui les environnent Par exemple, dans le cas d'électrodes transparentes d'oxydes métalliques, tels que l'oxyde d'indium et d'étain, gravées sur verre, un dépôt d'une couche monomoléculaire polymérisée d'organo silane est réalisé. L'invention fournit donc un système mettant en oeuvre le phénomène 15 ainsi décrit de déplacement d'un liquide. Elle a pour objet un modulateur optique d'un faisceau lumineux utilisant des cellules de déplacement de fluides par commande électrique constitués de deux lames transparentes parallèles délimitant un espace capillaire relié à un réservoir contenant au moins un fluide, ainsi que des 20 dispositifs d'application de champs électriques permettant de commander le déplacement du liquide entre le réservoir et l'espace capillaire, caractérisé en ce qu'il comprend: au moins une cellule d'un premier type dont les lames transparentes sont placées perpendiculairement à la direction du faisceau, l'espace capillaire étant dans la section du faisceau et le fluide de la cellule 25 étant absorbant; des moyens de mesure de l'intensité du faisceau lumineux fournissant à chaque instant un signal de mesure proportionnel à l'intensité du faisceau lumineux; ainsi que des moyens de commande des dispositifs d'application de champs électriques connectés aux moyens de mesure, recevant le signal de mesure et fournissant en réponse un signal permettant 30 de commander les dispositifs d'application de champs électriques. L'invention sera mieux comprise au moyen de la description ci-après et des figures annexées parmi lesquelles: la figure 1 est une vue isométrique explicative d'un dispositif connu à déplacement de liquide; les figures 2, 3 et 4 sont des vues explicatives d'un atténuateur optique selon l'invention; la figure 5 représente un exemple de réalisation selon l'invention; la figure 6 représente une variante d'un exemple de réalisation selon l'invention; la figure 7 représente une vue isométrique d'un exemple de réalisation selon l'invention; la figure 8 représente une vue isométrique d'une variante de réalisation selon l'invention; la figure 9, est une vue isornétrique simplifiée d'un exemple d'association de cellules selon l'invention. Un dispositif électrique de déplacement de globules, tel que représenté par la vue isométrique de la figure 1, comporte deux lames 1 et 2 transparentes séparées par des entretoises 9 Elles délimitent ainsi un espace 15 capillaire 3 rempli de deux fluides fl et f 2 Sur les faces des lames 1 et 2, délimitant l'espace capillaire 3, sont déposées en vis-àvis deux groupes d'électrodes 5-6 et 7-8 Un générateur électrique 56 fournit à la demande des différences de potentiel sur les fils V 1 et V 2, d'une part, vers les électrodes 5-6, et V 3 et V 4, d'autre part, vers les électrodes 7-8 Ces 20 différences de potentiel peuvent être de l'ordre de 100 à 300 volts pour créer des champs électriques de déplacement de l'ordre de 5 106 à 6 107 volts par mètre. Le fluide fl est, par exemple, de l'air Le fluide f 2 peut être choisi parmi les hydrocarbures tels que des alcanes comprenant 5 à 25 atomes de 25 carbone, des cétones (acétone, cyclohexanone, méthyléthylcétone) ou des dérivés nitrés (nitrobenzène, nitrotoluène). L'utilisation de mélanges de liquides pour constituer le fluide f 2 permet de contrôler la tension superficielle, d'éviter la dislocation des globules lors de leur déplacement et d'optimiser le temps de réponse du 30 dispositif aux commandes électriques. Le fluide f 2 a la forme d'un globule Il se trouve pincé entre les lames 1 et 2 Son volume est tel que placé entre les électrodes 5 et 6, comme représenté sur la figure 1, il déborde légèrement le contour des électrodes. Il pourrait également être plus volumineux et empiéter sur le couple d'électrodes 7 et 8. Pour faire passer le globule f 2 de l'espace interélectrodes 5-6 à l'espace interélectrodes 7-8, on applique aux électrodes 7-8 une différence de potentiel V 3-V 4 supérieure à la différence de potentiel VI-V 2 Pour faire revenir le globule à sa position d'origine on effectue l'opération inverse Si des différences de potentiel égales sont appliquées en même temps, ou si aucune différence de potentiel n'est appliquée, le globule f 2 ne tend pas à se déplacer. On va maintenant décrire le modulateur optique de l'invention mettant 0 en oeuvre le procédé de déplacement de liquide précédemment décrit. Le modulateur de la figure 2 comporte un premier type de cellules telles que 10 et 20, un deuxième type de cellules telles que 30, un appareil de mesure d'intensité lumineuse 54, un circuit de commande 55, un générateur de tensions 56. La cellule 10 comporte deux lames transparentes 11 et 12 maintenues écartées parallèlement l'une de l'autre par des entretoises 19 Sur les faces internes des lames 11 et 12 sont déposées des électrodes centrales 15 et 16 qui délimitent un volume 13 qu'on appellera espace capillaire De part et d'autre de ces électrodes 15 et 16 sont déposées des électrodes 17 et 18 Les 20 couples d'électrodes 17-18 délimitent également des volumes 14 qu'on appellera réservoirs. Entre les lames Il et 12 est placé un fluide lf 2 Ce fluide a une composition telle qu'il possède un taux d'absorption de la lumière déterminé. Sur la figure 2 ce fluide est réparti dans les réservoirs 14 L'espace capillai25 re contient un autre fluide tel que de l'air. Les électrodes 15 et 16 sont connectées respectivement aux sorties VI et V 2 d'un générateur de tension 56 Les électrodes 17, situées de part et d'autre de l'électrode 15, sont connectées entre-elles par des connexions non représentées et sont connectées à une sortie V 3 de générateur 56 Il en est 30 de même pour les électrodes 18 qui sont connectées à la sortie V 4 du générateur 56. La cellule 20 est de constitution analogue à celle de la cellule 10 On ne la décrira donc pas Ses électrodes sont connectées de la même façon par des liaisons non représentées à des sorties V 21 à V 24 du générateur 56. La cellule 30 comporte deux lames transparentes 31 et 32 maintenues parallèlement par des entretoises 39 et portant des électrodes centrales 35 et 36 ainsi que des électrodes périphérique 37 et 38 Les électrodes 35 et 36 délimitent un espace capillaire 33. Les électrodes 37 et 38 délimitent des réservoirs 34 Entre les lames 31 et 32 est placé un fluide 2 f 2 transparent et d'indice de réfraction sensible ment le même que celui des lames 31 et 32 Sur la figure 2, ce fluide 2 f 2 est placé dans l'espace capillaire 33 T Les lames 31 et 32 sont inclinées selon un angle a, de 4 radians par 10 exemple, par rapport aux lames des cellules 10 Elles sont placées entre deux prismes 40 et 41 de section rectangle isocèle disposés tête-bêche. L'indice de réfraction des prismes 40 et 41 est égal à celui des lames 31 et 32 et du fluide 2 f 2. Les connexions électriques des électrodes de la cellule 30 sont analo15 gues à celles de la cellule 10, avec les électrodes 35, 36 37, 38 connectéesrespectivement aux sorties V 31, V 32, V 33, V 34. Un écran absorbant 42 est disposé face à la lame 31, faisant avec IT Ir cette lame un angle dièdre de valeur a, soit un angle -4 radians selon l'exemple pris. Les cellules 10, 20 et 30 sont alignées selon un axe XY passant par le centre des espaces capillaires ( 13, 33) des cellules. Selon cet axe XY est placé un appareil de mesure d'intensité lumineuse 54 Cet appareil est connecté, par une liaison 57, à un circuit de commande , lui même connecté au générateur 56 par une liaison 58. Les fluides des cellules 10, 20, 30 occupant les positions indiquées sur la figure 2, si un faisceau 50 est envoyé selon l'axe XY à la cellule 10, il est transmis, sans déviation ni pratiquement d'atténuation, par les cellules 10 et 20 Le faisceau 51 transmis par la cellule 20 est également transmis par la cellule qui fait office de lame parallèle en raison de la présence du fluide 30 2 f 2 dans l'espace capillaire et des valeurs égales (ou suffisamment voisines pour qu'il n'y ait pas réflexion totale) des indices de réfraction des lames 31, 32 des prismes 40, 41 et du fluide 2 f 2 Le faisceau 52 émergeant du prisme 41 est reçu par un appareil de mesure d'intensité lumineuse 54 Celui-ci fournit sur la liaison un signal de mesure proportionnel à l'intensité lumineuse du faisceau 52 Selon la valeur de ce signal, le circuit de commande 55 fournit un signal de commande sur la liaison 58 Le générateur 56 applique alors sur ses sorties VII à V 31 des tensions de commande appropriées pour commander les cellules 10, 20, 30. C'est ainsi que l'application d'une différence de potentiel entre les sorties VI 1 et V 12, vers les électrodes 15 et 16, supérieure à celle appliquée entre les sorties V 13 et V 14, donne lieu, dans l'espace capillaire 13 de la cellule 10, à un champ électrique supérieur à celui régnant dans les réservoirs 14 Le fluide lf 2 des réservoirs 14 se déplace vers l'espace 10 capillaire 13 Il prend la position représentée en figure 3. Aucune tension n'est appliquée aux sorties V 21 à V 32 Les fluides des cellules 20 et 30 ne se déplacent donc pas. Le modulateur de l'invention devient donc tel que représenté en figure 3 Un faisceau lumineux 50 reçu par la cellule 10 selon l'axe XY est en 15 partie absorbé par le fluide lf 2 en raison de son taux d'absorption de la lumière La cellule 10 transmet donc un faisceau lumineux atténué La cellule 20 transmet un faisceau 51 sans atténuation Il en est de même de la cellule 30 comme celà a été décrit précédemment Le faisceau 52 émergeant du modulateur optique a donc été atténué. Si l'intensité lumineuse de ce faisceau est trop élevée, le circuit de commande 55 peut, selon la valeur du signal fournit par l'appareil de mesure, commander le générateur 56 de façon à ce qu'il applique une tension de commande sur les sorties V 21 et V 22 vers les électrodes centrales de la cellule 20 Le fluide de cette cellule se déplace et prend la même position 25 que le fluide de la cellule 10 Le faisceau lumineux 50 après avoir été atténué par la cellule 10 est à nouveau atténué par la cellule 20 et est transmis par la cellule 30 On obtient une atténuation supérieure à l'atténuation précédente. Si l'atténuation du faisceau lumineux doit être plus forte, le circuit de 30 commande fournit un signal sur la liaison 58 tel que le générateur 56 applique une tension entre les sorties Y 33 et V 34 supérieure à la tension entre les sorties V 31 et V 32 Le champ électrique entre les électrodes 37 et 38 de la cellule 30 attire le fluide 2 f 2 dans les réservoirs 34 situés de part et d'autre de l'espace capillaire La cellule 30 passe dans l'état représenté en figure 4. Un faisceau 51 atteint alors la lame 31 de la cellule 30 et en l'absence du fluide 2 f 2, il est réfléchi en quasi totalité par la face interne de la lame, sous la forme d'un faisceau 53, vers le panneau absorbant 42 Néanmoins, 5 une faible partie du faisceau incident 51 est transmise et un faisceau 52 de faible intensité émerge du modulateur. On remarque sur la figure 4 que les cellules 10 et 20 ont été représentées avec leur fluide placé dans les réservoirs Elles ne jouent donc pas le rôle d'absorption Celà n'est, en effet, pas utile en raison de l'atténuation 10 importante apportée dans ce cas par la cellule 30 Pour mettre le modulateur optique dans cet état, le circuit de commande 55, en commandant le générateur 56 pour qu'il applique une tension aux électrodes 37 et 38, doit donc également donner l'ordre au générateur 56 d'appliquer une tension aux sorties V 13, V 14 et V 23, V 24 connectées aux électrodes telles que 17 et 18 15 de la cellule 10 Le fluide des cellules 10 et 20, s'il se trouve dans leur espace capillaire, est attiré dans les réservoirs. Sur les figures 2 à 4 on n'a représenté que deux cellules 10 et 20 du type contenant un fluide absorbant Pour augmenter le nombre de grades d'atténuation, et améliorer la souplesse du modulateur on aura intérêt à 20 prévoir, en série sur la direction XY du faisceau lumineux, un nombre supérieur de cellules que l'on pourra commander en totalité ou en partie. Dans chacune de ces cellules, l'espace utile pour la modulation du faisceau lumineux est l'espace capillaire Dans certaines applications l'encombrement des réservoirs de part et d'autre des cellules peut être un 25 inconvénient et on a intérêt à réduire cet encombrement On prévoit alors des épaisseurs de réservoirs supérieures à l'épaisseur des espaces capillaires. On prévoit également comme c'est le cas sur la figure 5, de disposer les reservoirs d'une cellule du type contenant un liquide absorbant, telle que ceux de la cellule 10, parallèlement à la direction XY du faisceau lumineux 30 50 Les lames 11 et 12 ont été recourbées perpendiculairement au plan de la cellule L'épaisseur des réservoirs a été prévue supérieure à l'épaisseur de l'espace capillaire de façon à les rendre plus compacts. Les électrodes 17 et 18 encadrant les réservoirs épousent la courbure des lames Il et 12 pour faciliter l'amorçage du déplacement du fluide 1 f 2. Comme dans la description des figures 2 à 4, lorsque le fluide If 2 est dans les réservoirs, la cellule transmet un faisceau sans absorption; lorsque le fluide est dans l'espace capillaire 13, la cellule est absorbante. En ce qui concerne la cellule 30, les lames 31 et 32 sont repliées selon 5 un angle a, de -, radians par exemple Elles délimitent un espace capillaire 33 incliné par rapport à l'axe XY et un réservoir 34 prependiculaire à l'axe XY. Lorsque le fluide 2 f 2 est attiré, par les électrodes 35 et 36, dans l'espace capillaire 33, le faisceau lumineux 51 n'est toujours pas dévié par le 10 réservoir 34 qui contient alors de l'air Ce faisceau lumineux atteint l'espace capillaire 33 qui, contenant le fluide 2 f 2, le transmet le faisceau lumineux comme dans le cas décrit en relation avec la figure 2. Les épaisseurs de l'espace capillaire 33 et du réservoir 34 ont été choisies telles que sur la direction XY, la distance el comprise entre les 15 deux lames 31 et 32 soit égale à l'épaisseur e 2 Que le fluide se trouve dans l'espace capillaire 33 ou dans le réservoir 34, un faisceau lumineux lors de sa transmission par la cellule 30 traversera la même épaisseur de fluide 2 f 2 et d'air Les trajets optiques ne seront donc pas modifiés en transmission. Les dimensions du réservoir 33 sont calculées, compte-tenu de l'épais20 seur e 2 pour contenir la totalité du fluide 2 f 2. En se reportant à la figure 6 on va décrire une variante du modulateur de la figure 5 Selon cette variante, la cellule 10 est inchangée Par contre, la cellule 30, réalisée de façon analogue à la cellule de la figure 5, a son réservoir 33 disposé parallèlement à l'axe XY Un faisceau lumineux 25 traversant la cellule ne traversera donc pas le réservoir 33. Selon un mode de réalisation préféré, et à titre d'exemple non limitatif, les lames de verre des cellules sont en verre dq'indice de réfraction 1,5 et d'épaisseur 1,5 mm Les entretoises ( 19-39) sont découpées dans un film en polymère, par exemple un film de "MYLAR" ou de "KAPTON", marques 30 déposées de la firme DU PONT DE NEMOURS L'épaisseur des entretoises doit être inférieure à I mm pour que les phénomènes de capillarité des fluides prennent le pas sur les forces gravitationnelles Pour régler l'épaisseur des espaces capillaires on prend des entretoises de 5 /um à 50 /um, et pour les réservoirs, des entretoises de 10 à 200 /um Le collage des lames par l'intermédiaire des entretoises rend étanche la cellule. Avant assemblage, les lames de verres sont équipées de leurs électrodes déposées et gravées selon les techniques de microlithographie Les électrodes sont constituées de dépôts d'oxyde d'indium et d'étain, par 5 exemple du type BALTRACON, commercialisé par la société BALZERS Un recuit à 350 C permet de les rendre transparentes à la lumière La représentation des électrodes sur les figures annexées a été simplifiée mais on précise que l'intervalle séparant deux électrodes d'une même lame, les électrodes 16 et 17 par exemple, doit être de faible largeur, de l'ordre de 10 20 /um De plus, comme celà est décrit dans le brevet français déposé le 30 Juin 1983 par la demanderesse sous le numéro 83 10 914, deux électrodes d'une même lame peuvent avoir des contours dentelés s'interpénétrant Celà permet un déplacement plus aisé du liquide entre les électrodes. Après que les électrodes aient été déposées sur les plaques 1 et 2, des 15 dépôts, tels que RI et R 2 sur la figure 1, sont effectués Ces dépôts très minces ont une épaisseur de l'ordre de 10 nanomètres On peut utiliser par exemple un dépôt d'organo silane, notamment d'alkylméthoxysilane, et en particulier le N,N-diméthyle-N-octadécycle-3- aminopropyltriméthoxysilyl chlorure Ce dépôt est polymérisé sous azote à 110 après hydrolyse des 20 groupements méthoxysilane et formation par chemisorbtion sur le substrat de liaisons hydrogène et siloxane Du fait de la minceur de ces traitements de surface, on observe une plus grande mouillabilité là o le dépôt organique recouvre des électrodes Les polymères fluorés peuvent également constituer des surfaces de confinement non mouillantes En ce qui concerne les 25 fluides lf 2 et 2 f 2, on les choisira pour que leur permittivité diélectrique soit différente de celle du fluide fl qui peut être tout simplement de l'air comme mentionné précédemment Par ailleurs, il est avantageux que le liquide à déplacer soit peu corrosif et peu conducteur de l'électricité On a utilisé avec succès les liquides de remplissage suivants: liquide permittivité conductivité électrique ( ú-Icm-1) Cyclohexanone 18,3 xc o 5 10-18 Nitrobenzene 34,8 x E o 2 10-10 Hexane 1,88 X o 10-o 16 Pour le fluide lf 2, on mélange des colorants le rendant absorbant dans un spectre de longueur d'ondes correspondant au domaine d'utilisation du modulateur On peut ainsi couvrir des bandes spectrales d'absorption comprise entre par exemple 0,4/um et 1,1 /um Afin d'éviter les effets électrochimiques et de ne pas augmenter la consommation électrique des 15 cellules, on a utiliser de préférence des colorants non ioniques à solubilité élevée C'est ainsi qu'on a utilisé avec succès dans le viisble le Bleu Indophénol, le Bleu Soudan et le Noir Soudan B On peut également utiliser des colorants anthraquinones qui sont particulièrement stables Pour obtenir une large bande d'absorption spectrale, on utilise des mélanges de plusieurs 20 colorants on des superpositions de cellules, du type 10 et 20 décrit plus haut, contenant chacuneun ou plusieurs colorants. Le volume de fluide If 2 ou 2 f 2 introduit dans une cellule est tel qu'il recouvre les électrodes de l'espace capillaire, voire même déborde légèrement pour chevaucher l'indentation du contour des électrodes, mentionnée 25 précédemment Le fluide placé dans l'espace capillaire est alors en contact avec les électrodes des réservoirs et peut être attiré plus facilement. Inversement, la disposition est la même lorsque le fluide est dans les réservoirs. Les prismes 40 et 41 sont collés aux lames 31 et 32 de telle sorte qu'il 30 y ait adaptation d'indice entre lames et prismes Pour faciliter la réalisation, certains éléments peuvent être moulés, par exemple dans des résines acryliques telles que Polyméthyl metalcrylate (PMMA, "plexiglass"). Les connexions électriques vers le générateur 56 sont réalisées en Il prévoyant un prolongement, non représenté, aux lames transparentes et en y déposant, en même temps que les électrodes, des plages de connexion sur lesquelles on enfiche ensuite un connecteur, ou sur lesquelles on réalise des microsoudures. L'atténuation d'une cellule telle que la cellule I est, selon la concentration du colorant introduit dans le fluide If 2, de l'ordre de 10 % On peut disposer au moins cinq cellules de ce type sans apporter d'atténuation néfaste lorsque toutes les celules sont passantes, c'est à dire non absorbantes. L'atténuation de la cellule 30 est de l'ordre de 90 %. La largeur L, mentionnée sur la figure 5, d'un tel modulateur est de 5 à mm. Avec une largeur de 10 mm on obtient un temps de fonctionnement, nécessité notamment pour le temps de déplacement du fluide, de l'ordre de 15 100 ms. Pour couvrir une surface optique de 60 à 80 mm comme celà peut être le cas, l'association de plusieurs cellules permet si nécessaire de limiter l'épaisseur du dispositif et de conserver les performances de réponse en limitant la longueur du trajet effectué par le liquide On constitue alors un 20 réseau de modulateurs comme représenté par la vue isométrique de la figure 7. Selon un premier plan on dispose des cellules 30 telles que les cellules de la figure 5 Avec des cellules de largeur L = 10 mm, on dispose 7 à 8 cellules selon le champ à couvrir La longueur P des cellules est alors de 70 25 à 80 mm. Selon un deuxième plan parallèle au premier on dispose des cellules 10 contenant un liquide absorbant A titre de variante, sur la figure 7, ces cellules ne comportent qu'un seul réservoir 14 situé sur la droite de l'espace capillaire 13 Le fonctionnement d'une telle cellule est identique à celui des 30 cellules décrites précédemment La largeur L d'une cellule 10 étant égale ment de 10 mm, on dispose, alignées avec les cellules 30, un même nombre de cellules, soit 7 à 8 cellules La longueur P des cellules 10 est également de 70 à 80 mm. Selon d'autres plans parallèles aux deux premiers on dispose des cellules telles que 10, pour obtenir, comme déjà décrit, différents grades de modulation de la lumière. Les cellules 10 et 30 peuvent être associées deux à deux comme celà est représenté en figure 8. Deux cellules 10 sont regroupées en une seule avec, l'une son réservoir à gauche, l'autre son réservoir à droite Elles sont réalisées avec une seule lame 11 et une seule lame 12 Une entretoise 19 est prévue dans la partie centrale. Selon le même axe que chacune de ces cellules sont placées deux 10 cellules 30 dont les espaces capillaires forment un angle dièdre de -2 radians Dans ces conditions, les prismes 40 de ces deux cellules sont fabriqués en un seul prisme 43 De même, les prismes 41 de deux cellules adjacentes sont fabriqués en un seul prisme 44. Lorsque les deux cellules sont réfléchissantes, avec le fluide 2 f 2 dans 1.5 les réservoirs ( 34), un faisceau lumineux incident est réfléchi par la première cellule 30 vers la deuxième cellule 30, laquelle réfléchit la lumière vers la direction d'incidence L'atténuation est alors réalisée Cette disposition évite de prévoir les écrans absorbants 42 des figures 2 à 7. Pour accroître les possibilités de modulation de l'intensité lumineuse 20 moyenne d'un faisceau, l'invention prévoit que les circuits de commande 55 non seulement commandent indépendamment les différents plans de réseaux modulateurs mais aussi, commandent sélectivement chaque cellule dans chaque plan. On prévoit alors d'utiliser des cellules de longueur égale à la largeur L. 25 Comme représenté en figure 9, on dispose dans un plan PI O une matrice carrée de cellules 10 On réalise par exemple une matrice de 8 x 8 cellules. De la mrnême façon on assemble des cellules 20 sous forme d'un plan P 20 et des cellules 30 sous forme d'un plan P 30 Les plans P 10, P 20 et P 30 sont superposés de façon que les cellules de mêmes coordonnées dans les 30 différents plans soient alignées selon un même axe parallèle à l'axe XY. 255390 ? REVENDICATIONS 1 Modulateur optique d'un faisceau lumineux comprenant des cellules de déplacement de fluide par commande électrique constituées de deux lames transparentes parallèles délimitant un espace capillaire relié à un réservoir contenant au moins un fluide, ainsi que des dispositifs d'application 5 de champs électriques permettant de commander le déplacement du liquide entre le réservoir et l'espace capillaire par effet diélectrique, le liquide se déplaçant de façon réversible d'une zone ou n'existe pas ou plus le champ électrique vers une zone o on vient de l'établir, caractérisé en ce qu'il comprend au moins une cellule ( 10) d'un premier type dont les lames 10 transparentes ( 11, 12) sont placées perpendiculairement à la direction du faisceau ( 50), l'espace capillaire ( 13) étant dans la section du faisceau et le fluide ( 1 f 2) de la cellule étant absorbant; des moyens de mesure ( 54) de l'intensité du faisceau lumineux fournissent à chaque instant un signal de mesure proportionnel à l'intensité du faisceau lumineux; ainsi que des 15 moyens de commande ( 55,56) des dispositifs d'application de champs électriques connectés aux moyens de mesure( 54), recevant le signal de mesure et fournissant en réponse un signal permettant de commander les dispositifs d'application de champs électriques. 2 Modulateur optique selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il 20 comprend au moins une cellule dudit premier type; une cellule d'un deuxième type dont les lames transparentes sont placées, dans un système de transmission optique, obliquement par rapport à la direction du faisceau lumineux, l'espace capillaire étant dans la section du faisceau et le liquide de la cellule étant transparent et de même indice de réfraction que le 25 système optique de telle sorte que lorsque le liquide est dans l'espace capillaire le faisceau lumineux soit transmis sans déviation et que lorsque le liquide est dans le réservoir le faisceau soit dévié; les moyens de commande ( 55,56) permettant de commander sélectivement en fonction de la valeur du signal de mesure les dispositifs d'application de champs électriques d'une ou 30 plusieurs cellules du premier type et/ou du deuxième type. 3 Modulateur optique selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte plusieurs cellules ( 10) du premier type alignées selon le trajet du faisceau lumineux, les moyens de commande ( 55,56) permettant de commander les dispositifs d'application de champs électriques de tout ou partie de ces cellules, de façon à avoir différents degrés de modulation du faisceau lumineux. 4 Modulateur optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le liquide absorbant des cellules du premier type comporte un mélange absorbant dans une gamme de longueurs d'ondes déterminée. Modulateur optique selon la revendication 2, caractérisé en ce que 10 le système optique comporte deux prismes triangulaires placés tête-bêche avec une face de chacun d'eux inclinée sur la direction du faisceau lumineux, la cellule du deuxième type étant placée entre les deux dites faces inclinées de telle façon qu'en présence du liquide transparent dans l'espace capillaire l'ensemble prismes et cellule transmette la lumière sans la dévier et qu'en 15 l'absence du liquide capillaire, les parois intérieures des lamelles transparentes de la cellule devient la lumière. 6 Modulateur optique selon les revendications 2 ou 5 caractérisé en ce que la cellule ( 30) du deuxième type comprend deux lames tranparentes parallèles, comportant des dispositifs d'application d'un champ électrique 20 ( 37, 38), placées perpendiculairement à la direction du faisceau lumineux, et délimitant un espace capillaire ou réservoir ( 34) situé dans la section du faisceau, ce réservoir ( 34) communiquant avec l'espace capillaire ( 33) délimité par les lames obliques ( 31, 32), les moyens de commande permettant de commander les dispositifs d'application de champs électriques pour 25 déplacer le liquide transparent dudit espace capillaire ( 33) vers le réservoir ( 34) et inversement. 7 Modulateur optique selon les revendications 2 ou 5 caractérisé en ce que la cellule ( 30) du deuxième type comprend deux lames transparentes parallèles, comportant des dispositifs d'application d'un champ électrique 30 ( 37, 38), placées parallèlement à la direction du faisceau lumineux, et délimitant un espace capillaire ou réservoir ( 34), ce réservoir ( 34) communiquant avec l'espace capillaire 33 délimité par les lames obliques ( 31, 32), les moyens de commande permettant de commander les dispositifs d'application de champs électriques pour déplacer le liquide transparent dudit espace capillaire ( 33) vers le réservoir ( 34) et inversement. 8 Modulateur optique selon l'une des revendications 1 à 3 et 5 à 7 caractérisé en ce que dans une cellule, l'écartement entre deux lames délimitant un réservoir ( 14, 34) est supérieur à l'écartement de deux lames délimitant l'espace capillaire ( 13, 33) de la même cellule. 9 Modulateur optique selon la revendication 6, caractérisé en ce que, selon une direction du faisceau lumineux perpendiculaire aux lames ( 31, 32) délimitant le réservoir ( 34), la distance parcourue par un rayon lumineux dans le réservoir ( 34) est égale à la distance parcourue par ce rayon dans 10 l'espace capillaire ( 33). Modulateur optique selon les revendications I ou 2, caractérisé en ce que les réservoirs ( 6) des cellules ( 10) du premier type sont placés de part et d'autre de l'espace capillaire ( 13) et parallèlement à la direction du faisceau lumineux. 11 Modulateur optique selon l'une des revendications 1, 2, 8 ou 10, caractérisé en ce que les cellules ( 10) du premier type comportent un seul réservoir ( 16) placé à une extrémité de l'espace capillaire ( 13). 12 Modulateur optique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'on place plusieurs cellules ( 10) du 20 premier type côte à côte dans un premier plan perpendiculaire à la direction du faisceau lumineux ainsi que plusieurs cellules ( 30) du deuxième type côte à côte dans un deuxième plan perpendiculaire à la direction du faisceau lumineux de façon à constituer des réseaux modulateurs englobant la totalité de la section du faisceau lumineux. 13 Modulateur optique selon la revendication 12 caractérisé en ce que les cellules ( 30) du deuxième type sont séparées par des écrans absorbants ( 42) parallèles à la direction du faisceau lumineux. 14 Modulateur optique selon la revendication 12 caractérisé en ce que les cellules ( 30) du deuxième type sont disposées de telle façon que les lames 30 transparentes ( 31, 32) définissant l'espace capillaire ( 33) d'une cellule soient perpendiculaires aux lames homologues de la cellule voisine. Modulateur optique selon l'une quelconque des revendications 12, 13 ou 14, caractérisé en ce que des moyens de commande ( 55, 56) permettent de commander, en fonction, du signal de mesure fourni par les moyens de mesure toutes les cellules d'un même plan de façon uniforme. 16 Modulateur optique selon l'une quelconques des revendications 12, 13, 14 ou 15, caractérisé en ce que des moyens de commande ( 55, 56) permettent de commander sélectivement, en fonction du signal de mesure, 5 fourni par les moyens de mesure ( 54), tout ou partie des cellules d'un même plan de façon à obtenir une intensité moyenne du faisceau déterminée à la sortie du modulateur.