FR 2550888 A1 19850222 FR 8313392 A 19830817 TRANSISTOR A EFFET DE CHAMP A GRILLE ULTRA-COURTE ET A STRUCTURE HORIZONTALE, ET SON PROCEDE DE FABRICATION La présente invention concerne un transistor à effet de champ, doté d'une structure de grille en forme de V, et dont la longueur de grille est déterminée par la longueur de pénétration de la pointe du V dans une couche de matériau semiconducteur, voisine de la couche active du transistor La structure de ce transistor est horizontale, ce qui permet de disposer des métallisations d'accès et de commande sur une même face d'un circuit intégré par exemple L'invention concerne également le procédé de réalisation de ce transistor, procédé selon lequel il est aisé d'obtenir des grilles de longueur bien inférieure au micron, ce qui rend le transistor à effet de 10 champ selon l'invention plus particulièrement adapté aux très hautes fréquences. Pour pouvoir réaliser des circuits intégrés fonctionnant dans les hyperfréquences, qui requièrent des performances élevées, il s'avère nécessaire de savoir réaliser un transistor à effet de champ présentant une 15 longueur de grille submicronique Les méthodes actuellement connues et utilisées, en particulier par photolithogravure, ne permettent pas d'obtenir des définitions très élevées; réalisée par photolithogravure, une grille de transistor d'un micron de longueur est à peu près la limite de la technologie. D'autres méthodes telles que l'usinage par faisceaux d'électrons donnent de 20 meilleurs résultats, mais elles nécessitent des moyens technologiques complexes donc coûteux et qui ne sont pas appropriées à des réalisations industrielles de grande série. Le procédé selon l'invention permet de définir des grilles de longueur ultra-courte, 2000 à 4000 A de longueur étant un chiffre moyen, par un 25 procédé technologiquement simple, très bien contrôlable et reproductible, et qui permet de réaliser un composant, transistor à effet de champ, dans lequel le transport se fait à deux dimensions (TEGFET) ou à trois dimensions. L'invention reprend une structure connue selon laquelle la longueur de 30 grille est contrôlée par l'épaisseur d'une couche épitaxiée, la grille étant creusée en V dans les couches semiconductrices Cependant, le transistor selon l'invention est différent du V MOS en ce que la longueur de grille est déterminée par la pénétration de la pointe du V, qui est seule électriquement active, dans une couche épitaxiée, la couche active du transistor à effet de champ est elle-même épitaxiée dans le V. Cette structure est obtenue par un procédé simple d'attaque chimique qui, à condition de respecter les coupes cristallographiques du matériau de O départ, permet d'obtenir des grilles de 2000 Ade longueur par exemple bien 10 plus facilement qu'avec les moyens généralement employés, complexes et coûteux. De façon plus précise l'invention concerne un transistor à effet de champ, à grille ultra-courte et à structure horizontale, comportant, supportées par un substrat, au moins une première couche d'un matériau semicon15 ducteur à grande bande interdite, recouverte par une seconde couche d'un matériau semiconducteur à petite bande interdite, ces deux couches formant une mésa sur les flancs de laquelle sont déposées deux métallisations d'électrodes d'accès, source et drain, ce transistor étant caractérisé en ce que la région de contrôle, constituée par la couche active et au moins la 20 métallisation de grille est formée dans un sillon, qui sépare la seconde couche en deux régions d'accès à la couche active, et qui pénètre dans la première couche, la longueur de pénétration dudit sillon dans la première couche constituant la longueur de grille du transistor. La structure du transistor selon l'invention et son procédé de réali25 sation qui fait partie de l'invention, seront mieux compris par la description d'un exemple de réalisation, cette description s'appuyant sur les figures jointes en annexe qui représentent: -figure 1: vue en coupe d'un transistor V MOS selon l'art connu, figure 2: vue en coupe d'un transistor à effet de champ à grille 30 submicronique selon l'invention, figure 3: schéma simplifié du sillon en V, mettant en évidence les plans cristallographiques du matériau, figures 4 à 10: principales étapes de réalisation d'un transistor à effet de champ par le procédé selon l'invention. La figure 1 représente la vue en coupe d'un transistor V MOS selon l'art connu; elle a pour objet de bien marquer la différence existant entre le transistor V MOS qui trouve des applications essentiellement dans ledomaine des transistors de puissance, et le transistor selon l'invention dont l'appli5 cation est plutôt réservée aux très hautes fréquences puisque sa grille peut être amplement submicronique. Le transistor V MOS est une transposition verticale du transistor à double diffusion D MOS Il comporte un substrat 1 de type de dopage n+ sur lequel on a fait croître une couche épitaxiée 2 de type n-, faiblement dopée. 10 Dans cette couche 2, une première diffusion donne un caisson 3 de type p, puis une seconde diffusion donne un caisson 4 de type n+, diffusé à l'intérieur du premier caisson 3 Une attaque chimique profonde permet de réaliser un sillon en forme de V et ce sillon doit largement dépasser la profondeur du caisson p Une couche d'isolant, de silice Si 02 par exemple puisqueles V MOS 15 sont généralement réalisés sur silicium, permet de protéger la surface de la pastille du transistor mais également d'isoler la métallisation de grille 6 qui est rapportée dans le V Une métallisation de source 7 est déposée sur une première face du transistor, et cette métallisation est en contact avec le caisson 4 de type n+ Une seconde métallisation de drain 8 est déposée sur la 20 seconde face de la pastille du transistor, c'est-à-dire côté substrat Un transistor V MOS tel que celui de la figure I fonctionne donc en vertical, c'est-à-dire que le courant se déplace de la source vers le drain transversalement aux couches épitaxiées: le canal 9 qui a été symbolisé sur la figure correspond à la partie commune entre la couche d'oxyde dans le sillon en V 25 et l'épaisseur restante du caisson 3 de type p, cette épaisseur s'étendant entre la couche 2 de type N et le caisson 4 de type n+ La longueur du canal symbolisé par la flèche L correspond donc à i'épaisseur entière d'une couche. Il n'est donc pas possible, lorsque les couches ont été épitaxiées puis diffusées, de choisir ou de modifier la longueur du canal d'un V MOS. Par ailleurs, le V MOS, très intéressant comme transistor de puissance rapide, présente l'inconvénient d'avoir des métallisations sur ses deux faces puisqu'il a une structure verticale et fonctionne verticalement: pour réaliser des-circuits intégrés rapides, il est préférable d'utiliser des composants à structure horizontale de telle sorte que toutes leurs métallisations se trouvent sur une même face de la pastille de circuit intégré. C'est l'un des objets du transistor selon l'invention que de réaliser des transistors très rapides, ayant une structure horizontale, c'est-à-dire toutes leurs métallisations d'un même côté de la pastille de matériaux semicon5 ducteurs, de façon à pouvoir réaliser des circuits intégrés C'est en outre un objet de l'invention que de présenter une méthode de réalisation simple et aisée permettant d'obtenir des grilles de longueur très courte, cette méthode permettant en outre d'adapter la longueur de grille, et de la corriger éventuellement pour l'augmenter si nécessaire, ce que ne permet 10 pas le procédé de réalisation des transistors V MOS. La figure 2 représente une vue en coupe d'un transistor à effet de champ selon l'invention Le transistor à effet de champ selon l'invention peut être réalisé dans différentes configurations: le sillon peut être en forme de V ou en forme hémi-cylindrique, les matériaux peuvent être de genre In P, Ga In As, ou Ga As,Ga AI As, ou d'autres matériaux encore bien connus dans les associations des matériaux de la famille I Il-V, le type de transistor peut être lui-même à transport bi-dimensionnel, c'est- à-dire un TEGFET (Two Dimensional Electron Gas Field Effect Tran20 sistor) ou tri-dimensionnel comme les transistors classiques, -la structure de grille peut être de type à jonction JFET, ou de type MESFET. Pour simplifier les explications, et préciser les figures, l'invention sera décrite sur le cas d'un transistor réalisé avec des matériaux In P/ Ga In As, à 25 transfert bi-dimensionnel, et à structure de grille de type MESFET isolé. Cependant, la précision apportée par cet exemple de réalisation ne limite en rien la portée de l'invention qui s'adresse de façon plus générale à tous les transistors à effet de champ pour lesquels on désire réaliser facilement une grille de longueur très courte largement submicronique. Le transistor selon l'invention est réalisé sur un substrat 10 en In P semi-isolant Cet In P est orienté selon une coupe Z 1007 de l'orientation cristallographique du matériau de départ Le transistor comporte une première couche 11 en In P de type n+, dopée à 5 1017 10 18 électrons cm 3, d'paisseur 2000 environ Cette couche 11 est une couche tampon, mais d'épaisseur 2000 A environ Cette couche 1 l est une couche tampon, mais elle fournit les électrons à la couche 12, qui lui est directement adjacente. Cette couche 12 est en Ga In As, de type n, dopée à 1015, ce qui équivaut à dire qu'elle est non intentionnellement dopée: de façon plus générale la couche 11 est une couche d'un matériau à grand gap et la couche 12 est une couche d'un matériau à petit gap Sur la couche 12 est réalisée, toujours par épitaxie, une couche 13 en In P non dopée: elle constitue une couche "d'isolement' qui permet une sous-gravure sous la couche active, et éloigne la couche active des électrodes d'accès, pour éviter les court-circuits, comme cela sera expliqué ultérieurement L'épaisseur totale de la couche 13 + la 10 couche 12 + une partie de la couche 11, c'est-à-dire jusqu'à la pointe du sillon en V qui sera décrit ultérieurement, peut facilement atteindre 4 à 4,5 microns. Dans les couches superficielles 13 en In P, 12 en Ga In As et, partiellement, 11 en In P, est creusé un sillon 14 en forme de V La pointe de ce 15 sillon doit pénétrer légèrement dans la couche tampon 11, et le détail en sera donné ultérieurement Dans le sillon 14, et à la surface libre de la couche 13 In P sont déposées par les moyens appropriés selon la nature du matériau trois couches 15 de Ga In As, 16 d'oxyde ou de matériaux semiconduc20 teurs et 17 de métal. La couche 15 de Ga In As constitue la couche active du transistor à effet de champ Elle est obtenue par épitaxie en phase vapeur ou par jets moléculaires: si le transistor est un transistor de type TEGFET tel que celui décrit en figure 2, elle a environ 2000 A d'épaisseur et elle est en matériau 25 non dopé; si le transistor est un transistor à transfert tri-dimensionnel, c'est-à-dire un JFET ou MESFET classique, elle a environ 3000 A d'épaisseur et est dopée à 1017 électrons par cm 3. La couche 16 est une couche d'oxyde, ou une couche d'un matériau semiconducteur si l'on veut faire un transistor à effet de champ à jonc30 tion JFET Enfin, la couche 17 constitue la métallisation de prise de contact de grille du transistor. La structure du transistor selon l'invention est précisée par le fait que les couches 11 et 12 sont taillées en mésa, et qu'elles comportent deux métallisations de source 18 et de drain 19, sur les côtés du mésa, et en contact direct avec le nuage d'électrons à deux dimensions, symbolisé par une ligne pointillée 20, à l'interface entre les couches Il et 12 La couche 12 de Ga In As est coupée en deux par le sillon creusé à partir de la surface et qui atteint la couche tampon 11: les deux parties de cette couche 12 situées 5 respectivement à droite et à gauche du sillon sur la figure 2 constituent les couches d'accès à la couche active. Dans la structure de transistor selon l'invention, seule la partie de la pointe du sillon qui pénètre dans la couche tampon 11 constitue la grille, dont la longueur est égale à la somme des deux longueurs 11 et 12, définies 10 par la pointe de ce sillon dans la couche tampon 11 Pour donner une idée des facilités apportées par le transistor selon l'invention pour obtenir une Q grille dont la longueur est égale à 4000 A, c'est-à-dire la somo O me 11 = 2000 A et 12 = 2000 A, il suffit d'ouvrir dans les couches épitaxiées, 11, 12 et 13, un sillon dont la base, à hauteur de la surface externe de 15 la couche 13, est de l'ordre de 5 microns, ce qui est très facilement réalisé par photolithogravure Si après masquage d'un sillon de 5 microns de large l'attaque a lieu sur 4 à 4,5 microns d'épaisseur, la longueur de grille obtenue est très facilement et très nettement inférieure à 1 micron De plus, cette structure permet de réaliser une métallisation de grille dont la largeur est 20 de l'ordre de 10 microns, ce qui se fait facilement. On peut remarquer sur la figure 2 que les couches 15 de Ga In As et 13 d'In P sont sous-gravées par rapport aux couches métalliques 17 et d'isolant 16 Cette sous-gravure n'est pas indispensable au fonctionnement du transistor ou à la mise en oeuvre de son procédé de réalisation: néanmoins, 25 elle facilite grandement la réalisation du transistor car elle permet d'utiliser le mésa inversé formé par les couches 13, 15, 16 et 17 comme masque pour la réalisation des métallisations de source 18 et de grille 19 qui sont autoalignées par rapport à la métallisation de grille 17 La réalisation de ces sous-gravures sera explicitée ultérieurement à l'occasion du procédé de 30 réalisation du transistor selon l'invention. La figure 3 représente un schéma simplifié du sillon en V, mettant en évidence les plans cristallographiques du transistor selon l'invention. Le substrat 10 étant taillé selon une orientation de la couche d'In P 13, de la couche de Ga In As 12, et de la couche d'In P 11. Des solutions connues sont par exemple les solutions de H Br + Br 2 + H 20 dans les proportions de 1-20-100, ou de 1-17-35 Il a été dit précédemment que le sillon en V 14 peut être remplacé par d'autres sillons, d'autres 15 formes: l'important étant de limiter la longueur de grille à une faible pénétration dans une couche de matériau tampon, la forme du sillon n'est pas le plus important, et d'autres techniques pour réaliser des attaques hémi-cylindriques par exemple font partie du domaine de l'invention. La figure 4 représente la première étape du procédé de réalisation, 20 illustré par les figures suivantes Sur un substrat 10, on fait croître par des techniques d'épitaxie connues de l'homme de Pl'art une couche tampon 11, à grand gap, une couche d'accès 12 à petit gap, et une couche complémentaire 13 En figure 5, le sillon en V 14 est creusé à travers les trois couches superficielles 11, 12 et 13 Il est creusé par le procédé qui vient 25 d'être décrit au sujet de la figure 3 Avec des matériaux tels que In P et Ga In As, ce sillon a automatiquement un angle de 55 . En figure 6, on a déposé à la surface de la pastille et dans le sillon en V trois couches: la couche active 15, une couche d'isolant 16 ou d'un autre matériau semiconducteur si l'on veut faire un transistor à jonction, et 30 une métallisation 17 L'étape suivante en figure 7 consiste à délimiter par masquage le contour de l'électrode de grille 17 puis à utiliser la métallisation de grille 17 comme masque pour l'attaque de l'oxyde 16 sousjacente. Cette attaque est facilement faite par l'acide fluorhydrique HF additionné de fluorure d'ammonium FNH 4 dilué Lorsque cette attaque est terminée, elle bute sous la couche sous-jacente 15 de Ga In As, ne l'attaque pas, mais laisse un bord 21 commun à la métallisation 17 et à l'oxyde 16 sousjacent. Pour réaliser la sous-gravure de la couche 15 de Ga In As, représentée en figure 8, on utilise une solution d'acide sulfurique H 2 SO 4 additionnée 5 d'eau oxygénée H 2 02 diluée dans Pl'eau H 2 O Cette solution attaque sélectivement Ga In As et la durée de l'attaque règle la longueur de la sousgravure 22, sous la couche d'oxyde 16. Quant à la couche 13 d'ln P, sa sous-gravure, sous la couche 15 de Ga In As elle-même sous-gravée, est obtenue par un mélange d'aci10 de chlorhydrique HCI et d'acide orthophosphorique H 3 PO 4 Là encore la durée de l'attaque, sélective puisqu'elle bute contre la couche 12 dln P, règle la longueur de la sous-gravure 23 De façon plus générale les solutions utilisables dans la gravure des associations In P-In Ga As P sont décrites en détails dans la revue 'Chemical Etching of In Ga As P-ln P, par Ada15 chi, Noguchu et Kawaguchi, dans 3 of The Electrochemical Society, volume I 29, N 5, May 82, page 1054. La figure 10 reprend presque la figure 2, mais permet de préciser que le transistor selon l'invention est achevé en taillant une mésa dans les couches 11 et 12, et en utilisant le "champignon" de grille comme masque 20 d'auto-alignement pour le dépôt des électrodes de source et de drain La métallisation des trois électrodes 18 de source, 19 de drain et 20 de grille se fait simultanément, le bord des électrodes 18 et 19 étant autoaligné par rapport aux bords de l'électrode de grille 20 qui vient en surépaisseur par rapport à la métallisation d'origine 17. La différenciation des couches active 15, dans laquelle est située le canal, et d'accès 12, toutes deux en Ga In As, permet la réalisation de nombreuses variantes, avec possibilité d'ajuster un plus grand nombre de paramètres de façon indépendante. Par exemple, leur dopage conditionne la présence d'une conduction à 30 deux dimensions de forte mobilité Celle-ci pourra donc être limitée au canal si la compatibilité avec des composants voisins rexige L'épaisseur de la couche d'accès I 2 influe sur les résistances d'accès donc les performances en fréquence Celle de la couche active 15 permet le réglage de la tension de pincement, ainsi que le caractère "normalement bloqué" ou "normalement passant" du transistor. Les principales variantes à l'invention reposent sur d'autres choix possibles pour la commande électrique par la grille L'oxyde peut être remplacé par une jonction PN ou par un contact Schottky. Toutefois le composant peut être réalisé dans toute famille de matériaux autres que Ga In As-In P connue pour permettre la croissance d'hétérojonctions de bonne qualité, par exemple Ga AI As/Ga As. De plus, la possibilité de le réaliser en Ga In As sur In P, un des matériaux dans lequel sont fabriqués les lasers à semiconducteurs, le rend 10 intégrable sur une même pastille que ceux-ci et donc apte aux applications optoélectroniques. Il est, de façon plus générale, destiné aux circuits intégrés hyperfréquences. REVENDICATIONS 1/ Transistor à effet de champ, à grille ultra-courte et à structure horizontale, comportant, supportées par un substrat ( 10), au moins une première couche ( 11) d'un matériau semiconducteur à grande bande interdite, recouverte par une seconde couche ( 12) d'un matériau semiconducteur 5 à petite bande interdite, ces deux couches ( 11, 12) formant une mésa sur les flancs de laquelle sont déposées deux métallisations ( 18, 19) d'électrodes d'accès, source et drain, ce transistor étant caractérisé en ce que la région de contrôle, constituée par la couche active ( 15) et au moins la métallisation de grille ( 17) est formée dans un sillon ( 14), qui sépare la seconde cou10 che ( 12) en deux régions d'accès à la couche active ( 15), et qui pénètre dans la première couche ( 11), la longueur de pénétration dudit sillon ( 14) dans la première couche ( 11) constituant la longueur ( 11 + 12) de grille du transistor. 2/ Transistor à effet de champ selon la revendication 1, caractérisé en ce que, le substrat ( 10) ayant une orientation cristallographique couches épitaxiées ( 11, 12). 3 Transistor à effet de champ selon la revendication 1, caractérisé en 20 ce qu'il comporte en outre, déposée sur la seconde couche ( 12) une troisième couche ( 13), dite couche d'isolement, en matériau semiconducteur non dopé, ladite couche ( 13) plaçant la couche active ( 15), d'une part, et les deux métallisations ( 18, 19) de source et drain, d'autre part, dans deux plans différents, les métallisations de grille ( 17) et de source et drain ( 18, 19) 25 étant auto-alignées. 4/ Procédé de réalisation d'un transistor à effet de champ, à structure horizontale, selon la revendication 3, caractérisé par la suite d'opérations suivantes: a/ sur un substrat ( 10) en matériau semiconducteur, coupé selon 30 l'orientation cristallographique et métallisation, par pulvérisation, des électrodes ( 18, 19) de source et drain, en utilisant la structure de la région de contrôle ( 13 + 15 + 16 + 17) 25 pour l'auto-alignement. / Procédé de réalisation d'un transistor à effet de champ selon la revendication 4, caractérisé en ce que, le transistor étant à grille à jonction ( 3 FET), la couche intermédiaire ( 16) entre couche active ( 15) et métallisation de grille ( 17) est une couche de matériau semiconducteur. 6/ Procédé de réalisation d'un transistor à effet de champ selon la revendication 4, caractérisé en ce que, le transistor étant à grille isolée (MISFET ou MOSFET), la couche intermédiaire ( 16) entre couche active ( 15) et métallisation de grille ( 17), est une couche d'oxyde.