FR 2560439 A1 19850830 FR 8500749 A 19850118 La présente invention concerne un dispositif à semi- conducteurs (par exemple un dispositif de formation d'image) que l'on refroidit pour réduire les niveaux de courant d'obscurité. Plus particulièrement, l'invention concerne un servomécanisme perfectionné permettant de commander le fonctionnement d'un circuit qui comporte un réseau de dispositifs à couplage de charge et qui est intégré dans une puce semiconductrice. La demande de brevet des Etats-Unis d'Amérique déposée par S. L. Bendell sous le n 532 958 le 16 septembre 1983 sous le titre "TELEVISION CAMERA WITH SOLID STATE IMAGERS COOLED BY A THERMAL SERVO", qui a été cédée à RCA Corporation, décrit le refroidissement de dispositifs à semiconducteurs jusqu'à des températures prescrites. Ces températures sont suffisamment basses pour que les courants d'obscurité présents sur tous les dispositifs de formation d'image à semiconducteurs d'un type spécifié soient suffisamment réduits pour que le bruit pouvant être attribué aux variations des courants d'obscurité soit maintenu en deçà d'une limite acceptable dans les images de télévision produites à partir des signaux de sortie de ces dispositifs de formation d'image. Dans les dispositifs de for- mation d'image à couplage de charge à substrat aminci à éclairage par l'arrière qui sont présentement fabriqués par RCA Corporation, le refroidissement du dispositif de formation d'image à semiconduc- teurs de la température de fonctionnement normale jusqu'à 10 C réduit d'un facteur 4 le bruit qui peut être attribué aux variations des courants d'obscurité, jusqu'à des niveaux comparables au bruit - venant d'autres sources. Ce besoin de refroidissment est beaucoup plus modeste que le besoin de refroidissement jusqu'aux températures de l'azote liquide, qui est nécessaire avec les dispositifs de formation d'image à couplage de charge du type détectant la lumière visible qui sont utilisés dans les observations astronomiques et les applications analogues ou avec des dispositifs de formation d'image à couplage de charge de détection d'infrarouge. Le refroi- dissement peut s'effectuer de manière satisfaisante à l'aide de dispositifs de refroidissement thermoélectriques liés aux disposi- tifs de formation d'image à couplage de charge. Les moyens détaillés selon lesquels un dispositif de refroidissement thermoélectrique est lié à un dispositif de formation d'image à couplage de charge pour éviter la condensation à la surface du dispositif de forma- tion d'image exposé à l'éclairement sont décrits dans la demande de brevet des Etats-Unis d'Amérique n 532 957 déposée par P. D. South- gate le 16 septembre 1983 sous le titre "CAMERA WITH REDUCED-CONDEN- SATION COOLED CCD IMAGER", qui a été cédée à RCA Corporation. La mesure de la température du dispositif de formation d'image à semiconducteurs était effectuée dans l'appareil précédem- ment décrit à l'aide de la chute de tension existant sur la jonction semiconductrice polarisée en sens passant qui se trouve sur la même puce semiconductrice que le dispositif de formation d'image. Des complications dans le traitement de la puce semiconductrice sont introduites par le fait qu'il est nécessaire d'éviter l'injection de porteurs de charge par la jonction polarisée en sens passant dans le dispositif de formation d'image, et il n'est pas pratique de placer la jonction polarisée en sens passant dans les parties centrales du dispositif de formation d'image o il serait préfé- rable de mesurer la température. De plus, ce procédé mesure la température en un point de la puce, et non pas sur toute une aire dans laquelle les courants d'obscurité considérés sont produits. De plus, il existe un problème en ce qui concerne la production d'une broche supplémentaire sur le boîtier du dispositif de for- mation d'image pour le passage du signal de sortie du capteur. La demande de brevet des Etats-Unis d'Amérique déposée par P. A. Levine sous le n 382 422 le 27 mai 1982 sous le titre "COMPENSATION AGAINST FIELD SHADING IN VIDEO FROM FIELD-TRANSFER CCD IMAGERS", qui a été cédée à RCA Corporation, et la demande de brevet des Etats-Unis d'Amérique déposée par D. D. Crawshaw sous le n 382 423 le 27 mai 1982 sous le titre "FIELD TRANSFER CCD IMAGERS WITH REFERENCE BLACK-LEVEL GENERATION CAPABILITY", qui a été cédée à RCA Corporation, décrivent diverses manières de mesurer le courant d'obscurité accumulé sur une puce semiconductrice dans laquelle un dispositif de formation d'image à couplage de charge a été intégré. Il existe plusieurs manières d'extraire du dispositif 35. de formation d'image le courant d'obscurité accumulé, par l'intermé- diaire de broches existant déjà sur le boîtier du dispositif de formation d'image et servant à d'autres buts. Le courant d'obscu- rité accumulé augmente de manière connue avec la température, en doublant tous les 10 C environ d'augmentation de la température dans un dispositif de silicium. Le courant d'obscurité accumulé peut être utilisé pour mesurer la variation de température, à la place d'une jonction semiconductrice polarisée en sens passant, ce qui améliore le servomécanisme thermique décrit dans la demande de brevet n 532 958 cité ci-dessus. Le servomécanisme thermique ainsi amélioré préserve la puissance voulue pour le refroidissement, ce qui réduit le refroidissement lorsque le dispositif de formation d'image fonctionne dans un environnement refroidissant par lui-même ou est exposé à une moindre énergie rayonnante. Le but final du refroidissement du dispositif de formation d'image à semiconducteurs est de limiter le niveau des variations du courant d'obscurité. Le niveau des variations du courant d'obscurité d'un élément d'image à un autre (c'est-à-dire une cellule image à une autre) dans un dispositif de formation d'image à semiconducteurs moderne bien conçu est en relation sen- siblement linéaire avec le niveau du courant d'obscurité moyen, pour une durée prolongée et un nombre étendu de cellules images, puisque ces variations sont essentiellement le fait du bruit de Johnson. On peut mesurer le niveau moyen du courant d'obscurité en mesurant le courant d'obscurité accumulé le long des lignes décrites ou suggérées dans la demande de brevet n 382 422 citée ci-dessus, puis on utilise la mesure pour régler la quantité de refroidissement appliquée au dispositif de formation d'image à semiconducteurs. Ceci permet une régulation directe du niveau de courant d'obscurité moyen constant, et, par conséquent, une régula- tion indirecte du bruit constant dû aux variations du niveau de courant d'obscurité, plutôt qu'une régulation de la température constante du dispositif de formation d'image. En effet, la régulation du niveau moyen constant du courant d'obscurité constitue une manière préférable de com- mander la température du dispositif de formation d'image à semi- conducteurs. On observe des variations d'un facteur 2 ou 3 pour les niveaux de courant d'obscurité entre un dispositif de formation d'image semiconducteur et un autre, ce qui est di par exemple aux variations de la structure cristalline du substrat semiconducteur et aux variations des conditions de traitement de mise en place du dispositif de formation d'image sur le substrat. Lorsqu'on effectue une régulation pour un niveau donné du courant d'obscurité au lieu d'une régulation sur une température donnée du dispositif de for- mation d'image, ceci signifie que les dispositifs de formation d'image ayant un moindre courant d'obscurité propre et de moindres variations associées du niveau de courant d'obscurité recevront automatiquement un moindre refroidissement. Le fait de réduire le refroidissement réduit la consommation électrique de la caméra, ce qui prolonge la durée d'utilisation de-la batterie dans une caméra utilisant une batterie. Lorsque l'on remplace le dispositif de formation d'image dans-une caméra, il n'est pas nécessaire d'ajuster la température pour réduire le courant d'obscurité ou pour minimiser la consommation électrique pour un bruit suffisam- ment bas de courant d'obscurité. De plus, il existe une certaine uniformité d'une caméra à l'autre sur une chaîne de production, ce qui diminue la probabilité qu'un client retourne sa caméra en raison d'un fonctionnement "non satisfaisant" de courant d'obscurité par comparaison avec une autre caméra du même type. En ce qui concerne la radiodiffusion, le passage d'une caméra à une autre est moins susceptible d'être remarqué. La mesure du courant d'obscurité produit dans un réseau de dispositifs à couplage de charge de l'aire d'un registre d'emmagasinage de trame d'un dispositif de formation d'image peut fournir une mesure de la température présentant une résolution d'un millième de degré Celsius. Chaque emplacement d'accumulation de charge du courant d'obscurité appartenant à un réseau de dispositifs à couplage de charge d'une taille analogue à un emplacement appar- tenant à un registre (B) d'enmmagasinage de trame d'un dispositif de formation d'image à couplage de charge peut accumuler, sur une durée de 1/60 s, une moyenne de 2 000 électrons à la température ambiante. - Cette moyenne de 2 000 électrons correspond à une variation du bruit quadratique moyen d'environ 40 électrons d'un emplacement à l'autre. Lorsque les contributions respectives des charges de 2 000 électrons se fondent ensemble, elles s'ajoutent arithméti- quement de manière à donner 2 000.n électrons. Une charge de 000 électrons peut être produite par 100 emplacements d'accu- mulation de charges du courant d'obscurité. Le bruit quadratique moyen de 40 électrons provenant de chaque emplacement s'ajoute vectoriellement au bruit quadratique moyen de 40(n)(1/2) électrons, soit un bruit quadratique moyen de 400 électrons, sur 100 emplace- ments. Le nombre d'électrons accumulés double tous les 10'C. Dans l'intervalle de 8 allant jusqu'à-la température ambiante, la moitié de la charge à puits pleins de 200 000 électrons s'accumule avec ce bruit quadratique moyen de 40 électrons, de sorte que la résolution de température est de 8 C/(100 000/400), soit 32 millième de degré Celsius, ce qui est une bonne valeur pour une durée d'échantillonnage courte, cette valeur s'améliorant lorsque la température augmente. Ainsi, il est possible de placer sur toute puce semiconductrice dont la température doit être régulée un réseau de dispositifs à couplage de charge de taille modérée ayant 100 emplacements et de l'utiliser pour mesurer la température de la puce en vue d'une boucle de régulation thermique. L'invention est mise en oeuvre sous forme d'un servo- mécanisme destiné à commander le fonctionnement d'un circuit, o le circuit comporte un réseau de dispositifs à couplage de charge et est intégré dans une puce semiconductrice. Le servomécanisme comporte: un moyen de mesure servant à produire un signal thermo- métrique, dont le niveau est directement relié à la température de la puce et du circuit; un circuit de commande de refroidissement servant à produire un signal de commande dont le niveau est lié à la quantité dont le signal thermométrique dépasse un niveau de référence; et un moyen de refroidissement qui est thermiquement couplé à la puce et qui répond au signal de commande en enlevant à la puce de la chaleur avec une vitesse qui est liée au niveau du signal de commande. Selon l'invention, le moyen de mesure est d'un type qui produit le signal thermométrique en réponse à l'accumulation de charge du courant d'obscurité dans une partie de la puce semi- conductrice. Avec un tel montage, le niveau du courant l'obscurité dans le réseau de dispositif à couplage de charge est maintenu en deçà d'un niveau prescrit. La description suivante, conçue à titre d'illustration de l'invention, vise à donner une meilleure compréhension de ses caractéristiques et avantages; elle s'appuie sur les dessins annexés suivants, parmi lesquels: - la figure 1 est une vue éclatée montrant des parties d'une caméra du type à couplage de charge comportant un dispositif de refroidissement thermoélectrique et présente un schéma de principe du circuit électronique permettant de faire fonctionner ce dispositif de refroidissement thermoélectrique de manière à commander le bruit dû au courant d'obscurité selon l'invention; - les figures 2, 3 et 4 sont des schémas de principe d'appareils servant à mesurer le courant d'obscurité rémanent dans le registre B d'un dispositif de formation d'image à couplage de charge du type à transfert de trame selon différents aspects de l'invention; - la figure 5 est un schéma de principe d'un appareil servant à mesurer le courant d'obscurité accumulé dans des rangées masquées du registre A selon un aspect de l'invention; et - la figure 6 est un schéma de principe d'une variante pouvant être introduite dans l'appareil des figures 1 à 5. Dans la caméra à couplage de charge de la figure 1, la lumière émise ou réfléchie par un objet 3 extérieur à la caméra suit untrajet 4, qui passe par l'ensemble d'objectif et d'obturateur 5 de la caméra, une fenêtre 6 ménagée dans un boîtier (non représenté) qui entoure un dispositif 10 de formation d'image à couplage de charge et un dispositif 7 de refroidissement thermoélectrique associé, pour arriver au dispositif 10 de formation d'image à couplage de charge. La lumière émise projette une image 8 au travers de la surface dorsale de ce dispositif 10 de formation d'image à couplage de charge. La partie du dispositif 10 de formation d'image dans laquelle l'image 8 est projetée se trouve derrière les électrodes de grille de la surface frontale définissant un registre d'image (ou A) 11. Le dispositif de formation d'image 10 est représenté comme étant du type à transfert de trame, qui possède, en plus de son registre d'image 11, un registre d'emmagasinage de trame (ou B) 12 et un registre de ligne de sortie (ou C) 13. Le registre C con- vertit des paquets de charges qui lui sont délivrés, à raison d'une rangée à la fois pendant les intervalles de retour de ligne, en échantillon de signaux de sortie qui sont délivrés en série pendant les intervalles de ligne. Le registre C est considéré, par conven- tion, comme comportant le circuit de sortie servant à transformer la charge en échantillons de courant de tension du signal de sortie. Un type courant de circuit de sortie utilise une diffusion flottante dans le canal de transfert de charge du registre C, la charge se trouvant dans la diffusion flottante ayant pour effet de polariser l'électrode de grille d'un transistor à effet de champ afin de former un électromètre. Les registres 11, 12 et 13 du dispositif de formation d'image 10 occupent des parties d'un substrat semi- conducteur aminci qui sont liées à une plaque dorsale transparente 14. Un masque (non visible sur la figure 1) empêche la lumière d'arriver sur la partie du substrat semiconducteur qui est occupée par les registres B et C (et typiquement les quelques dernières rangées du registre A). La surface antérieure du dispositif 10 de formation d'image à couplage de charge à éclairage par l'arrière sur laquelle les électrodes de grille relatives à ses registres A 11, B 12 et C 13 sont disposées possède un vernis protecteur et est thermique- ment relié (par exemple par collage à l'aide d'une résine époxy thermiquement conductrice) au dispositif de refroidissement thermo- électrique 7. Le dispositif de refroidissement 7 peut lui-même présenter une connexion thermique avec un puits de chaleur 9, par exemple une barre de cuivre, comme représenté, ou une tresse de cuivre. La connexion thermique peut être réalisée par l'inter- médiaire d'un matériau intermédiaire ion représenté sur la figure 1), mais, en tout cas, le dispositif de refroidissement thermo- électrique 7 (qui est représenté sous forme éclatée par rapport au dispositif de formation d'image 10) se trouvera normalement à proximité du dispositif de formation d'image 10 afin de faciliter la conduction thermique entre le dispositif de formation d'image 10 et le dispositif de refroidissement 7. On pourra trouver dans la demande de brevet n 532 957 citée ci-dessus des détails sur la manière d'utiliser un dispositif de formation d'image à couplage de charge 10 en même temps qu'un dispositif de refroidissement thermoélectrique 7 en évitant les problèmes de condensation sur la fenêtre 6. Un générateur 20 de signaux d'horloge délivre des signaux d'horloge via des bus 21, 22 et 23 respectivement au registre A 11, au registre B 12 et au registre C 13. Les signaux d'horloge peuvent être monophasés, diphasés ou polyphasés. Pen- dant la durée des transferts de trame, qui se produisent dans les limites des intervalles de retour de trame, le registre A et le registre B sont cadencés en synchronisme de façon à tranférer des échantillons d'image accumulés depuis-des emplacements du réseau d'éléments d'image du registre image (ou A) 11 jusqu'en des emplacements correspondants du registre d'emmagasinage de trame (ou B) 12. Pendant chaque semblable intervalle de transfert de trame, la charge rémanente qui est due au courant d'obscurité accumulé est refoulée du registre B, puis introduite, en cadence, dans la partie dispositif à couplage de charge du registre C, avec une vitesse élevée, jusqu'à sa partie électromètre. L'électromètre convertit les paquets de charge en échantillons respectifs de tension de sortie du dispositif de formation d'image à couplage de charge, qui sont destinés à être délivrés par une borne de sortie 15 du dispositif de formation d'image à couplage de charge 10. L'amplitude des échantillons diminue ligne par ligne, puisque l'accumulation du courant d'obscurité s'est effectuée sur une fraction plus petite de la trame précédente dans chacune des lignes successives. Par conséquent, pendant les intervalles de transfert de trame, l'enveloppe des échantillons de tension de sortie présente une forme d'onde en marches d'escalier. Pendant l'intervalle de trace de trame suivant, la synchronisation s'arrête dans le registre A afin de permettre l'accumulation d'un nouveau réseau d'échantillons de cellules images. Les paquets de charge correspondant à la description des échantillons de cellules images qui ont été transférés dans le registre B sont tous déplacés en cadence en direction d'une certaine rangée pendant chaque inter- valle de retour de ligne. La rangée finale du registre B est déplacée vers l'avant en cadence de manière à charger, en parallèle, la partie dispositif à couplage de charge du registre C. La partie dispositif à couplage de charge du registre C est lue en série au rythme du balayage des cellules images pendant les intervalles de trace de ligne de manière à passer à sa partie électromètre, laquelle répond en délivrant des échantillons du signal de sortie vidéo sur la borne de sortie 16 du dispositif de formation d'image. La syn- chronisation du dispositif de formation d'image 10 qui vient d'être décrite est de nature essentiellement classique. (Le dispositif de formation d'image 10 est représenté comme possédant deux bornes de sortie 15 et 16. Toutefois, pour économiser les broches sur le dispositif de formation d'image, il peut être prévu une seule connexion de sortie reliée à l'extérieur pour la délivrance des memes signaux en vue d'un traitement ultérieur.) Selon l'invention, la charge due au courant d'obscurité rémanent qui est extraite du registre B et passe par le registre C pour arriver à la borne de sortie 15 du dispositif de formation d'image pendant l'intervalle de transfert de trame est délivrée au circuit de mesure 30. Le circuit 30 mesure la valeur intégrée de la charge de courant d'obscurité restante, sous commande d'im- pulsions de synchronisation qui lui sont délivrées par le généra- teur 20 de signaux d'horloge via la ligne de commande 24. Le signal de mesure du circuit 30 est appliqué, via une connexion 25, à un comparateur 26 dans lequel est effectuée une comparaison avec un niveau de référence dans le but de produire un signal d'erreur. Ce signal d'erreur est appliqué via une connexion 27 à un disposi- tif 28 de commande d'alimentation du dispositif de refroidissement commandant, via la connexion 29, l'alimentation électrique du dis- positif de refroidissement thermoélectrique 7, ce qui ferme une boucle de contre-réaction servant à réguler le refroidissement du dispositif de formation d'image à couplage de charge 10. De préfé- rence, le dispositif de formation d'image 10 est refroidi de façon que le courant d'obscurité soit ramené en deçà d'un niveau moyen prescrit, tel que déterminé par le niveau de référence appliqué au comparateur 26. La figure 2 montre de manière détaillée comment le circuit 30 de mesure du courant d'obscurité rémanent peut être construit selon un mode de réalisation de l'invention. En réponse à une impulsion de porte délivrée via une ligne de commande 24a par le générateur de signaux d'horloge 20, la porte 31 de retour de trame sélectionne la réponse de tension en marches d'escalier au signal de courant d'obscurité extrait du registre C à couplage de charge de sorte qu'il apparaît sur la connexion 15 pendant les intervalles de retour de trame, ce qui permet de le séparer de tous les signaux apparaissant sur la connexion 15 pendant les intervalles de trace de trame. La réponse de tension en marches d'escalier ainsi sélectionnée est délivrée comme signal d'entrée à un filtre passe-bas 32, lequel intègre ligne à ligne, les marches de manière à fournir un signal en forme de rampe. Ce signal en forme de rampe, qui est représenté dans le cercle rapporté 33, est délivré à un dispositif de rétablissement en courant continu 34. Ce signal en forme de rampe, qui reparaît à chaque retour de trame, possède une partie descendante escarpée suivie d'une partie en pente montante plus douce. Le signal peut être superposé à un niveau constant décalé, comme représenté, lequel niveau constant est d& aux fuites de lumière sous le bord du masque couvrant le registre B et le registre C du dispositif de formation d'image 10. Si le dis- positif de formation d'image 10 n'est pas obturé pendant le retour de trame, des pointes descendantes de réponse à des taches de trans- fert non représentées) apparaissent sur les parties antérieure et postérieure du signal en forme de rampe. A l'instant t1, qui survient un bref moment après la partie descendante escarpée du signal en forme de rampe, le dis- positif de rétablissement en courant continu 34 répond à une impul- sion délivrée par le générateur de signaux d'horloge 20 via la connexion 24b en fixant la valeur du signal en forme de rampe existant à cet instant sur un potentiel de terre des signaux. Le signal en forme de rampe devient linéairement plus positif après l'instant t1, jusqu'à un instant situé quelque peu après t2, car le courant d'obscurité intégré restant qui diminue est extrait en cadence du registre B, et passe dans le registre C, dans le filtre passe-bas 32 et le dispositif de rétablissement en courant continu 34. Le signal de rampe rétabli en courant continu venant du dispositif de rétablissement en courant continu 34 est délivré comme signal d'entrée à un circuit 35 d'échantillonnage et de maintien, qui répond à une impulsion délivrée par le générateur de signaux d'horloge 20 via une ligne de commande 24c. Le circuit 35 échan- tillonne le signal en forme de rampe à l'instant t2 et maintient la tension échantillonnée au titre de mesure résultante du courant d'obscurité, sur la connexion 25, pendant l'intervalle de trace de trame suivant. Le fait d'échantillonner à l'instant t2 permet d'obtenir la réponse de courant d'obscurité la plus grande pouvant être obtenue avant que n'apparaisse le niveau constant décalé auquel le signal en forme de rampe du courant d'obscurité est superpose. La tension maintenue est ensuite comparée (voir figure 1) avec une tension de référence dans le comparateur 26 qui se présente sous la forme d'un comparateur de tension, de manière que soit produit un signal d'erreur destiné à être transmis au dispositif 28 de com- mande d'alimentation électrique du dispositif de refroidissement. La technique ci-dessus décrite du rétablissement en courant continu suivi d'une opération d'échantillonnage et de main- tien pour produire le signal d'erreur permet d'éliminer tout déca- lage de la ligne de base dans le signal délivré sur la connexion de sortie 15 du dispositif de formation d'image 10 qui serait du aux fuites de lumière par-dessous le masque du dispositif de for- mation d'image. Cette technique permet d'éliminer la réponse aux pointes des taches de transfert provoquéespar la marche de la caméra avec son obturateur ouvert pendant le retour de trame. La figure 3 montre un circuit de mesure du courant d'obscurité rémanent pouvant être utilisé à la place du circuit de la figure 2 lorsque le masque protégeant de la lumière le registre B et le registre C n'autorise aucune fuite de lumière appréciable dans le registre B. La porte 31 de retour de trame applique sélectivement la tension en marchesd'escalier (qui est délivrée via la connexion de sortie 15 en réponse à la sortie du courant d'obscurité restant du registre B pendant le retour de trame) à un intégrateur 36. L'intégrateur 36 reçoit une impulsion de repositionnement de la part du générateur de synchronisation 20 via une ligne de commande 24d à la fin de chaque intervalle de trace de trame. Ensuite, pendant l'intervalle de trace de trame suivant, l'intégrateur 36 délivre à la connexion 25 une tension qui mesure le courant d'obscurité restant qui est délivré par le registre B pendant un intervalle de retour de trame. Les variations de cette tension pendant les intervalles de retour de trame sont supprimées grâce à la constante de temps thermique du dispositif de refroidissement thermoélectrique 7. La figure 4 montre une partie du courant d'obscurité transféré du registre B au registre C pendant le transfert de trame, avec intégration par accumulation dans le registre C. Cette accumulation s'effectue en réponse à l'arrêt de la synchronisation du registre C se produisant lorsque ces lignes d'échantillons de courant d'obscurité sont en cours de transfert en provenance du registre B. (On peut arrêter la synchronisation du registre C après la lecture des quelques premières rangées de la charge restante, si celles-ci sont contaminées par des pointes de tension dues aux taches de transfert apparaissant par suite du fait que le dispositif de formation d'image 10 n'est pas obturé pendant le retour de trame.) Le moyen consistant à arrêter la synchronisa- tion du registre C est avantageux en ce que le niveau du courant d'obscurité intégré s'établit dans le canal de transfert de charge du registre C avant sa mesure dans l'étage électromètre de la sortie du registre C, ce qui évite les erreurs pendant l'opération de mesure de lacharge. La mesure de la charge peut être faite et la synchronisation du registre C peut reprendre avant achève- ment du transfert de trame, ce qui assure l'accumulation dans les seules premières rangées de la charge rémanente qui est extraite du registre B. Il est donc possible de sélectionner le nombre de lignes de courant d'obscurité rémanent qui passent dans le registre C en provenance du registre B avant que la synchronisation du registre C ait repris afin d'éviter la surcharge de l'étage électromètre de mesure de charge par l'amplitude accrue de la charge mesurée. (Lorsque le dispositif de formation d'image 10 fonctionne sans obturation pendant le retour de trame, la mesure de la charge avant l'achèvement du transfert de trame permet d'éviter une réponse à la pointe due aux taches de tranfert appa- raissant à la fin du transfert de trame.) Lorsque la synchronisation du registre C 13 reprend et que la réponse de la ligne d'échantil- ions à la rangée de courant d'obscurité accumulée dans le registre C a été transférée hors du dispositif de formation d'image 10 via la connexion de sortie 15, une porte de ligne 37 répond à une impulsion qui lui est délivrée via la ligne de commande 24e en provenance du générateur de signaux d'horloge 20 en transmettant cette ligne d'échantillons de courant d'obscurité à l'intégrateur 36. L'intégrateur 36 répond à cette ligne d'échantillons de courant d'obscurité en produisant indirectement le signal qui mesure le bruit de courant d'obscurité accompagnant le signal de sortie du dispositif de formation d'image à couplage de charge 10. Avec un dispositif de formation d'image 10 à trans- fert de trame dans lequel les rangées de charge se trouvant à l'extrémité du registre B qui est opposée au registre A sont extraites plut tôt dans la trace de trame (et non pas plus tard, comme cela est possible dans d'autres configurations), le courant d'obscurité accumulé qui est extrait pendant le retour incorpore une plus grande contribution de courant d'obscurité de la part des parties du registre B qui sont plus proches de A. Ceci signifie que la plus grande sensibilité au courant d'obscurité se situe vers le centre du dispositif de formation d'image, à proximité du registre A; et le courant d'obscurité mesuré est un meilleur indicateur de la température moyenne de la puce semiconductrice du dispositif de formation d'image 10 que le signal de sortie d'un dispositif capteur de température placé le long du registre A ou du registre B. La figure 5 présente un montage qui peut être utilisé dans une caméra du type à couplage de charge qui est obturée pen- dant le transfert de trame. Ce montage permet l'intégration du courant d'obscurité accumulé dans les parties masquées du registre A, normalement les quelques dernières rangées du registre A qui sont voisines du registre B. Ces quelques dernières rangées de charge transférées au registre B pendant le retour de trame sont les premières à être extraites du registre B pour passer dans le registre C. Une porte 38 répond à une impulsion, qui est délivrée par le générateur de signaux de synchronisation 20 via une ligne de commande 24f pendant une ou plusieurs lignes précédentes de la trace de trame, en sélectionnant comme signal d'entrée de l'inté- grateur 36 1e courant d'obscurité accumulé qui provient de ces rangées masquées du registre A. Ceci peut être réalisé par une synchronisation du registre C effectuée comme pendant le reste de la trace de ligne. Ou bien ceci peut être effectué par arrêt du cadencement du registre C jusqu'à une trace de ligne ultérieure, afin de permettre l'accumulation de la charge dans le registre C et, par conséquent, l'augmentation de l'amplitude du signal sélectionné par la porte 38 comme signal d'entrée de l'intégra- teur 36. Dans l'un et l'autre cas, cette approche générale demande que le masque du dispositif de formation d'image 10 autorise une très faible quantité de lumière à passer sous son bord recouvrant le registre A. Avec cette approche, il vaut mieux utiliser un masque déposé sur la surface dorsale du substrat semiconducteur aminci sur lequel le dispositif de formation d'image 10 est formé. On considère maintenant la manière dont on peut extraire les signaux de sortie du registre C du dispositif de formation d'image 10. Alors que deux sorties du registre C sont représentées, il est possible d'utiliser un dispositif de formation d'image ne comportant qu'un seul signal de sortie vidéo. La porte 31 de retour de trame,ou la porte de ligne 37, recevant ce signal extrait le signal nécessaire à la mesure indirecte du bruit dû au courant d'obscurité, la porte pouvant être faite suivant un type dans lequel les parties non retenues du signal de sortie vidéo sont délivrées à un amplificateur de traitement ultérieur en vue de l'insertion d'impulsions de synchronisation (et d'impulsions d'égalisation si celles-ci sont nécessaires). Le signal de sortie peut être prélevé sur la connexion de drain finale du registre C, et le courant d'obscurité accumulé qui est mesuré pendant le retour de trame se rapporte alors à une charge complète, sans que ceci nécessite de faire intervenir le gain de conversion d'un étage électromètre ou le bruit de scintillement qui est associé au tran- sistor à effet de champ dans un tel étage. Selon une autre possibilité, comme cela a été supposé dans les descriptions des figures 1 à 5, il est possible de pré- lever le signal de sortie du registre C à l'aide d'une grille flottante ou d'un étage de diffusion flottant utilisant-un tran- sistor à effet de champ comme électromètre pour convertir l'ampli- tude de charge en un signal de tension (ou de courant). Le gain de l'électromètre est alors un facteur de la mesure du bruit d12 au courant d'obscurité, ainsi qu'un facteur intervenant dans le rapport de l'amplitude du signal vidéo de sortie à la charge à- puits complets des registres à couplage de charge. Avec deux semblables agencements, on détecte de préférence de manière synchrone le signal de sortie d'électromètre sur un harmonique de la fréquence de synchronisation du registre C afin de supprimer le bruit de scintillement-du transistor à effet de champ. La figure 6 montre une connexion de sortie du dis- positif de formation d'image 10 o cette détection synchrone s'effectue à l'aide d'un circuit d'échantillonnage et de maintien 40. Le circuit d'échantillonnage et de maintien 40 fait suite à un filtre passe-haut 39 qui supprime le spectre de fréquence de la bande de base dans le signal de sortie du dispositif de formation d'image 10. Le signal de sortie du circuit d'échantillonnage et de maintien 40 est ensuite utilisé comme signal d'entrée d'une porte 41 qui correspond à la porte 31 de la figure 2, à la porte 31 de la figure 3, à la porte 37 de la figure 4 ou à la porte 38 de la figure 5. Le refroidissement du dispositif de formation d'image à couplage de charge visant à supprimer le bruit di! au courant d'obscurité élimine le problème des taches de trame pouvant être attribuées au courant d'obscurité. Toutefois, il peut être souhaitable de permettre d'interrompre le refroidissement thermo- électrique pour économiser l'énergie électrique sous certaines conditions. Les différences du niveau de noir d'une ligne à l'autre sur une trame, lorsque le bruit dû au courant d'obscurité augmente d'une ligne à la suivante, provoquent alors la formation de taches de trame. Comme décrit dans la demande de brevet n 382 422 citée, la formation de ces taches de trame peut être compensée par pro- duction d'un signal compensateur formé à partir du courant d'obscu- rité. Dans ce cas, l'appareil présentement décrit qui sert à mesurer le courant d'obscurité peut être utilisé pour produire la compensa- tion des taches de trame. L'invention peut également être appliquée à des dis- positifs de formation d'image éclairés par l'avant dont les surfaces postérieures sont refroidies par des dispositifs de refroidissement thermoélectriques. Un tel montage pourrait être utilisé dans des dispositifs de formation d'image à couplage de charge du type à transfert d'interligne par exemple. Normalement, un dispositif de formation d'image à couplage de charge du type à transfert d'inter- ligne n'est pas cadencé pendant le retour de trame. Le fait d'assurer le cadencement pendant le retour de trame permet d'éliminer la charge due au courant d'obscurité qui s'est accumulée pendant la trame précédente, ce qui tend à introduire une tache de trame allant du sommet au bas dans la réponse image de la trame suivante. Il est toutefois possible de tolérer cette tendance, puisque le refroi- dissement du dispositif de formation d'image réduit le courant d'obscurité qui produit la tache de trame à un niveau suffisant pour que la tache de trame soit négligeable. Selon une autre possibilité, il est possible de doter le dispositif de formation d'image à couplage de charge du type à transfert d'interligne au moyen de colonnes supplémentaires qui sont protégées vis-à-vis de la lumière et qui ne reçoivent pas de charge de la part d'éléments photodétecteurs; et le courant d'obscurité accumulé peut être éliminé pendant les intervalles de retour de ligne et être intégrés de manière à fournir un signal mesurant indirectement le bruit dû au courant d'obscurité. Cette technique peut être utilisée avec des dispositifs de formation d'image à couplage de charge du type à transfert de trame. Mais cette technique constitue un mode de réalisation moins préféré de l'invention en ce que la mesure du courant d'obscurité est alors localisée sur le ou les côtés du dispositif de formation d'image, au lieu d'Vtre répartie sur la largeur du dispositif de formation d'image. De plus, dans l'intérêt de conserver l'aire de la puce image, il n'est pas souhaitable de réserver des parties importantes de l'aire à la seule mesure du courant d'obscurité. Bien entendu, l'homme de l'art sera en mesure d'ima- giner, à partir du dispositif dont la description vient d'être donnée à titre simplement illustratif et nullement limitatif, diverses variantes et modifications ne sortant pas du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Servomécanisme permettant de commander le fonction- nement d'un circuit (10, 20), lequel circuit incorpore un réseau de dispositifs à couplage de charge (11, 12, 13) et est intégré dans une puce semiconductrice, caractérisé en ce que ledit servo- mécanisme comporte: (a) un moyen de mesure (30, 26) servant à produire un signal thermométrique (sur 27) dont le niveau est directement lié à la température de ladite puce et dudit circuit, (b) un circuit (28) de commande de dispositif de refroidissement qui produit un signal de commande (sur 29) dont le niveau est lié à la quantité dont ledit signal thermométrique dépasse un niveau de référence, et (c) un moyen de refroidissement (7), qui est thermiquement couplé à ladite puce, répondant au signal de commande en retirant de la chaleur à ladite puce avec une vitesse qui est liée au niveau dudit signal de commande; et en ce que: ledit moyen de mesure (30) est du type qui produit ledit signal thermométrique en réponse à l'accumulation de la charge due au courant d'obscurité dans une partie de ladite puce semiconductrice, de façon à maintenir le niveau du courant d'obscu- rité dans ledit réseau de dispositifs à couplage de charge en deçà d'un niveau prescrit. 2. Caméra de télévision incorporant le servomécanisme de la revendication 1 de façon à maintenir au-dessous du niveau prescrit le niveau de courant d'obscurité accompagnant les échan- vidéo délivrés par ladite caméra; caractériséeen ce que: le courant d'obscurité qui s'accumule dans un ou plusieurs puits d'énergie potentielle induits dans ladite puce semiconductrice par application d'une tension à une électrode de grille de celle-ci est transformé périodiquement en un échantillon respectif de courant d'obscurité; et lesdits échantillons de courant d'obscurité venant de ladite puce sont appliqués audit moyen de mesure comme base de production dudit signal thermométrique. 3. Caméra de télévision qui incorpore le servomécanisme de la revendication l, et dans lequel un dispositif de formation d'image à semiconducteurs (10), comprenant ledit circuit intégré sur ladite pastille, possède des registres (11, 12, 13) formés à l'intérieur dudit réseau de dispositifsà couplage de charge; caractériséeen ce que lesdits registres maintiennent, à certains moments (intervalles d'intégration), des échantillons de charge qui sont descriptifs de l'image reçue par ladite caméra; et en ce que: au moins une partie (12, 13) desdits registres est protégée vis-à-vis du rayonnement d'image reçu et maintient, à d'autres moments (intervalles de transfert de trame), des échan- tillons de charge qui ne sont descriptifs que du courant d'obscurité accumulé; et ledit moyen de mesure (30, 26) sépare desdits échan- tillons de charge descriptifs de l'image lesdits échantillons de charge du courant d'obscurité qui sont pris auxdits autres instants dans ladite partie protégée des registres et comporte un circuit servant à comparer le niveau desdits échantillons de courant d'obscu- rité avec ledit niveau de référence afin de produire ledit signal thermométrique; si bien que le niveau du bruit dû au courant d'obscurité accompagnant un signal de sortie vidéo par ailleurs produit par ledit dispositif de formation d'image est limité à un niveau pres- crit. 4. Caméra de télévision selon la revendication 3, caracté- risée en ce que ledit moyen de mesure comporte: un moyen (30) de mesure de courant d'obscurité qui répond à des échantillons de charge du courant d'obscurité en produisant (sur 25) un signal dont le niveau représente le bruit dû au courant d'obscurité dans ledit signal vidéo; et un moyen comparateur (26) servant à produire (sur 27) ledit signal thermométrique en fonction de la différence existant entre ledit niveau de la valeur de référence et le signal représen- tant le niveau de courant d'obscurité. 5. Caméra de télévision selon la revendication 4, carac- térisée en ce que: ledit dispositif de formation d'image à semi- conducteurs (10) est du type à transfert de trame et, par conséquent, comporte dans lesdits registres (a) un registre d'emmagasinage de trame (12) dans lequel des échantillons d'image sont transférés pendant un intervalle de retour de trame et duquel des échantillons d'image sont ultérieurement transmis pendant des intervalles de trace de ligne, et (b) un registre de ligne de sortie (13), (i) dans lequel registre de ligne de sortie des échantillons emma- gasinés en rangées à l'intérieur dudit registre d'emmagasinage de trame sont transférés, en parallèle à raison d'une rangée à la fois, une rangée dans chaque intervalle d'une série d'intervalles de retour de ligne, et (ii) duquel une réponse en série est produite pendant les intervalles de trace de ligne faisant suite aux inter- valles respectifs de retour de ligne; et en ce que: ledit moyen de mesure de courant d'obscurité comporte: une grille (31) ayant pour fonction, pendant la partie de retour de trame o des échantillons d'image sont en cours de transfert audit registre d'emmagasinage de trame et des échantillons de courant d'obscurité rémanent sont en cours de transfert hors dudit registre d'emmagasinage de charge, de sélectionner des parties de ladite réponse en série délivrée par ledit registre de ligne de sortie; un filtre passe-bas (32) qui répond auxdites parties sélectionnées de la réponse en série délivrée via ladite porte en provenance dudit registre de sortie en produisant au cours de chaque retour de trame une réponse en forme de rampe (33) respective dont la pente initiale est escarpée dans un premier sens et est suivie d'une pente finale peu inclinée dans un second sens opposé au premier; un moyen (34) servant à fixer la pente finale peu inclinée de ladite rampe au voisinage de son début sur un niveau prescrit afin de rétablir un courant continu; et un circuit d'échantillonnage et de maintien (35) servant à échantillonner quelques instants après la fixation de la pente finale peu inclinée de ladite rampe et à maintenir l'échantillon, jusqu'à ce que l'échantillon suivant soit pris dans le retour de trame suivant, en vue de son application audit moyen comparateur. 6. Caméra de télévision selon la revendication 4, caractérisée en ce que ledit dispositif de formation d'image à semiconducteurs est du type à transfert de trame et, par conséquent, comporte parmi lesdits registres: (a) un registre d'emmagasinage de trame (12), dans lequel des échantillons d'image sont transférés pendant un intervalle de retour de trame et duquel des échantillons d'image sont ensuite transférés pendant des intervalles de trace de ligne, et (b) un registre de ligne de sortie (13), (i) dans lequel registre de ligne de sortie des échantillons emmagasinés en rangée à l'intérieur dudit registre d'emmagasinage de trame sont trans- férés, en parallèle à raison d'une rangée à la fois, une rangée dans chaque intervalle d'une série d'intervalles de retour de ligne, et (ii) duquel une réponse en série est produite pendant les inter- valles de trace de ligne faisant suite aux intervalles respectifs de retour de ligne; et en ce que ledit moyen de mesure de courant d'obscurité comporte: une porte (31) servant à sélectionner des parties de ladite réponse en série délivrée par ledit registre de ligne de sortie pendant la partie du retour de trame o des échantillons d'image sont transférés audit registre d'emmagasinage de trame, et des échantillons de courant d'obscurité restants sont en cours de transfert hors dudit registre d'emmagasinage de charge; et un intégrateur (36), qui est repositionné avant le début de ladite partie de retour de trame, servant à intégrer lesdites parties de la réponse en série délivrée par ledit registre de ligne de sortie pour en faire un signal destiné à etre appliqué audit moyen comparateur. 7. Caméra de télévision selon la revendication 4, caractérisée en ce que: ledit dispositif de formation d'image à semiconducteurs est du type à transfert de trame et comporte parmi lesdits registres: (a) un registre d'emmagasinage de trame (12) dans lequel des échan- tillons d'image sont transférés pendant les intervalles de retour de trame et duquel des échantillons d'image sont ensuite transférés pendant des intervalles de trace de ligne, et (b) un registre de ligne de sortie (13), (i) dans lequel registre de ligne de sortie des échantillons emmagasinés en rangées à l'intérieur dudit registre d'emmagasinage de trame sont transférés, en parallèle à raison d'une rangée à la fois, une rangée dans chaque intervalle d'une série d'intervallesde retour de ligne, surtout en ce qui concerne les intervalles de retour de ligne qui se produisent pendant une partie de chaque intervalle de retour de trame, et (ii) duquel une réponse en série est produite pendant les intervalles de trace de ligne qui font suite à ces intervalles de retour de ligne; et ledit moyen de mesure de courant d'obscurité comprend: une porte (37) servant à sélectionner ladite réponse en série délivrée par ledit registre de ligne de sortie pendant un premier intervalle de retour de ligne, qui se produit à l'intérieur de ladite partie de chaque intervalle de retour de trame; et un moyen (36) servant à intégrer la réponse en série produite pendant la première ligne à l'intérieur de ladite partie de chaque intervalle de retour de trame; et o ledit moyen d'intégration retient la réponse en série intégrée au titre dudit signal thermométrique pendant au moins une partie notable de l'intervalle de trace de trame suivant. 8. Caméra de télévision selon la revendication 4, caractérisée en ce que: ledit dispositif de formation d'image à semiconducteurs comporte parmi lesdits registres: (a) un registre d'image (i) dans lequel sont maintenus auxdits certains moments des échantillons descriptifs de l'image, et (ii) qui comporte en outre ladite partie dans laquelle,auxdits autres moments,sont maintenus lesdits échan- tillons de charge descriptifs du seul courant d'obscurité accumulé, ladite partie étant masquée vis-à-vis de l'image reçue, (b) un registre d'emmagasinage de trame dans lequel des échantillons d'image sont transférés dudit registre d'image pendant une période de retour de trame, et duquel lesdits échantillons d'image sont transférés en parallèle à raison d'une ligne à la fois pendant chaque intervalle d'une succession d'intervalles de trace de ligne à l'intérieur d'une période de trace de trame, et (c) un registre de ligne de sortie, (i) dans lequel registre de ligne de sortie des échantillons emmagasinés en rangée à l'intérieur dudit registre d'emmagasinage de trame sont transférés, en parallèle à raison d'une rangée à la fois, une rangée dans chaque intervalle d'une série d'intervalles de retour de ligne, et (ii) duquel une réponse en série est produite pendant les intervalles de retour de ligne faisant suite à ces intervalles de retour de ligne; et en ce que ledit moyen de mesure de courant d'obscurité comporte: une porte (38) sélectivement validée pour ne laisser passer que la partie de ladite réponse en série qui est la réponse aux échantillons venant de la partie masquée dudit registre d'image, et un intégrateur (36), qui est repositionné avant la validation de ladite porte, servant à intégrer la partie de ladite réponse en série que ladite porte a laissé passer. 9. Servomécanisme selon la revendication 1, destiné à être utilisé dans une caméra de télévision possédant un dispositif de formation d'image à semiconducteurs comportant un circuit qui est intégré sur ladite puce et o des registres sont incorporés dans ledit réseau de dispositifs à couplage de charge.