FR 2543395 A1 19840928 FR 8404622 A 19840322 PROCEDE D'ENREGISTREMENT D'UNE IMAGE La présente invention concerne un procédé d'enregistrement d'une image, dans lequel on défléchit un faisceau lumineux issu d'une source de lumière et l'on balaye, avec ce faisceau lumineux défléchi, une surface d'enregistrement revêtue d'une couche de matière photosensible. 5 Un tel procédé a principalement pour objet l'enregistrement d'une image telle que celle d'un schéma de câblage ou similaire en imprimant l'image sur un matériau de support revêtu d'un film de matière photosensible, par exemple sur une carte conçue pour être utilisée dans la fabrication d'un circuit imprimé, I'enre- 10 gistrement étant fait en fonction de signaux d'entrée de l'image en évitant toute altération dimensionnelle. On peut former des circuits imprimés sur des cartes isolantes, conçues spécia- lement pour la fabrication de cartes imprimées, soit par exposition par contact, 15 soit par exposition directe. Dans le procédé d'exposition par contact, une carte portant un film sensible appliqué sur sa surface est exposée à la lumière avec un masque, dans lequel un schéma est préformé en négatif ou en positif, et qui est maintenu en con- 20 tact avec le film sensible La carte ainsi exposée est ensuite développée pour fabriquer le schéma des circuits. Cependant, le procédé d'exposition par contact présente de nombreux inconvé- nients Principalement, il demande plusieurs heures de travail pour préparer 25 un masque à partir de l'image ou du schéma désiré, par exemple au moyen d'un coodinatographe ou d' un appareil similaire; d'autre part, on observe des altérations dimensionnelles dans les schémas de câblage formés sur une carte isolante, lorsqu'un tel masque subit un rétrécissement ou une dilatation et provoque ainsi des distorsions par variation de la température et/ou de l'hu- 30 midité Quand une telle erreur de dimension se présente, on rencontre des difficultés ultérieurement, lorsqu'on perce la carte imprimée, par le fait que les positions de certains des trous se trouvent décalées par rapport au circuit imprimé. 35 Contrairement au procédé classique d'exposition par contact mentionné ci-dessus, le procédé d'exposition directe forme une image ou un schéma de la manière suivante, sans utilisation d'un masque En I'occurence, l'image bi- dimensionnelle est stockée sous forme de signaux numériques d'image dans une mémoire ou un organe similaire Les données d'image ainsi stockées sont 5 ensuite lues et transmises sous forme de signaux d'image Une carte isolante, conçue pour la fabrication d'un circuit imprimé, est alors balayée par de la lumière qui a été soumise au préalable à l'effet des signaux d'image, en opé- rant une deflexion du faisceau lumineux pendant que l'on fait avancer la carte isolante selon un programme prédéterminé Ce procédé sera décrit plus loin 10 plus en détail eiij-référence à la figure 1 Toutefois, il permet très difficilement d'obtenir une bonne précision dimensionnelle dans la direction du balayage à cause de la grande précision requise pour les dispositifs optiques utilisés. Pour remédier à cet inconvénient, on a perfectionné le procédé en superposant, 15 au faisceau lumineux qui impressionne la couche sensible, un second faisceau d'une longueur d'onde différente qui n'a pas d'effet sur la couche sensible. Ce second faisceau est utilisé pour la détection de la position du faisceau dé- fléchi en cours de balayage et pour commander, par un circuit de réaction, l'émission des signaux d'image en fonction de ladite position Un tel procédé 20 est décrit plus loin plus en détail en référence à la fig 2, de même que cer- tains inconvénients inhérents à l'appareillage qu'il nécessite En effet , la superposition de deux faisceaux de longueurs d'ondes différentes entraîne des phénomènes d'aberration chromatique qu'on ne peut pallier que difficilement et de manière coûteuse En outre, l'orientation parfaite des deux faisceaux 25 selon un axe commun est très difficile à obtenir. Par conséquent, l'objet de la présente invention consiste à fournir un procédé d'enregistrement d'une image permettant d'améliorer la précision de chaque image ou schéma enregistré, ainsi que d'abaisser le coût de fabrication d'un 30 dispositif d'enregistrement d'images utilisant ce procédé, en comparaison avec le procédé selon l'art antérieur illustré par la figure 2, grâce à l'utilisation d'un seul faisceau lumineux. Dans ce but, le procédé selon l'invention est caractérisé en ce que l'on dérive 35 une portion du faisceau lumineux défléchi au moyen d'un miroir semi- transparent et on l'envoie à des moyens de détection optique de la position de déflexion, et en ce que l'on module le faisceau lumineux issu de la source de lumière -3- à l'aide d'un signal d'image délivré en synchronisation avec un signal de posi- tion produit par lesdits moyens de détection à partir de ladite portion du fais- ceau lumineux défléchi, de telle façon que l'intensité lumineuse minimale du faisceau lumineux ainsi modulé soit maintenue continuellement à un niveau 5 trop faible pour impressionner de manière sensible la matière photosensible. Selon une première forme du procédé, on utilise des moyens de détection op- tique de la position de déflexion, qui comportent un capteur optique et une échelle allongée conformée comme une grille, disposée en position conjuguée 10 d'un point image de la surface d'enregistrement par rapport au miroir semi- transparent, ce point image étant le point de la surface d'enregistrement qui est exposé au faisceau lumineux défléchi D'autre part, on peut utiliser des moyens de détection optique de la position de déflexion constitués par une rangée de capteurs photo-électriques, disposés sous une forme linéaire dans un 15 plan balayé par ladite portion du faisceau lumineux défléchi. Selon une autre forme de réalisation du procédé, on modifie le niveau du signal de position produit par les moyens de détection jusqu'à un niveau prédéterminé, en fonction du niveau du signal d'image qui commande l'intensité du faisceau 20 lumineux issu de la source de lumière On peut notamment disposer, à la sor- tie des moyens de détection optique de la position de déflexion, des moyens agencés pour modifier un facteur d'amplification du signal de position selon que le niveau du signal d'image est bas ou élevé En variante, on peut dispo- ser, à la sortie des moyens de détection optique de la position de déflexion, 25 des moyens agencés pour amplifier le signal de position quand le niveau du signal d'image est bas et pour atténuer le signal de position quand le niveau du signal d'image est élevé. Les divers aspects de la présente invention, ainsi que ses caractéristiques et 30 ses avantages, seront mieux compris à l'aide de la description détaillée donnée ci- dessous des procédés selon l'art antérieur et du procédé selon l'invention en se référant au dessin annexé, dans lequel La figure 1 est un schéma bloc illustrant un exemple de dispositif traditionnel 35 d'exposition directe pour la fabrication de circuits imprimés, La figure 2 est un schéma bloc d'un dispositif classique d'exposition directe -4- faisant usage d'un faisceau laser auxiliaire et adapté à la fabrication de cir- cuits imprimés, La figure 3 est une vue frontale d'un exemple de l'échelle en forme de grille 5 représentée sur la fig 2, La figure 4 est un schéma bloc d'un dispositif d'enregistrement d'image utilisant la première forme de réalisation du procédé selon l'invention, et 10 La figure 5 est un schéma bloc d'un dispositif d'exposition directe utilisant une autre forme du procédé d'enregistrement d'image selon l'invention. En référence à la fig 1, on décrira tout d'abord un dispositif classique d'expo- sition directe pour la fabrication de circuits imprimés Dans ce dispositif, des 15 signaux d'image sont stockés sous forme binaire dans une mémoire l et sont classés selon les deux dimensions de l'image Les signaux d'image sont comman- dés par une unité centrale de traitement 2, de telle manière qu'ils sont con- vertis en signaux séquentiels de balayage pour l'enregistrement, par la tech- nique du balayage, d'une image ou d'un schéma correspondant aux signaux binaires d'image stockés dans la mémoire 1. Les signaux de balayage qui en résultent sont transmis à un modulateur de lumière 3 du type acousto-optique. 25 Un faisceau lumineux issu d'une source de lumière d'exposition par exemple d'un tube laser 4 à ions argon, est modulé en tout ou rien par le modulateur de lumière acousto-optique 3, puis il est guidé vers un réf lec- teur polyédrique 5 au moyen d'un expanseur de faisceau 9 et de miroirs fixes 5, 6 Les diverses surfaces réfléchissantes du réflecteur polyédrique 7 tour- 30 nent sous l'action d'un moteur 8 et elles défléchissent le faisceau de lumière d'exposition en faisant balayer, par le faisceau défléchi, un angle prédéterminé (angle de déflexion). Le faisceau de lumière d'exposition traverse ensuite un objectif de focalisation 35 10 disposé tout près du réflecteur polyédrique 7, puis il est réfléchi par un miroir fixe Il disposé à proximité d'une carte isolante 12 appropriée à la fabrication d'un circuit imprimé Ainsi, le faisceau lumineux balaye et im- -5 - pressionne la carte isolante 12 en formant des points images à sa surface. La carte isolante 12 est fixée sur une platine 13 qui est mobile à une vitesse constante dans une direction perpendiculaire à la direction de balayage du fais- 5 ceau (c'est-à-dire dans la direction indiquée par la flèche O sur la figure) grâce à un moteur 14 entraînant un mécanisme auxiliaire du balayage. Quand le réflecteur polyédrique 7 tourne et que la platine 13 avance, la carte isolante 12 est alors balayée successivement sur toute sa surface au point image 10 du faisceau lumineux d'exposition. La précision du mouvement de la platine 13 dans la direction auxiliaire de balayage, sous l'effet de l'entraînement mécanique, peut être maintenue sans trop de difficulté à un niveau suffisant dans le dispositif d'exposition directe, 15 pour autant que le moteur 14 et le mécanisme de transmission soient conçus de manière adéquate Cependant, la précision de la vitesse de déflexion du faisceau et de la largeur du champ de balayage produit par la rotation du réflec- teur polyédrique 7, en d'autres termes la précision du balayage dans la direc- tion principale, est déterminée par la précision de conception et de fabrica- 20 tion du système optique formé par le réflecteur polyédrique 7, l'objectif 10, etc Il n'est pas facile de minimiser les erreurs inhérentes à la conception et/ou à la fabrication et d'atteindre un niveau de précision satisfaisant En outre, il est extrêmement difficile sur le plan technique de maintenir avec une pré- cision suffisante la linéarité de l'angle de rotation du réflecteur polyédrique 7 25 et celle de la position des points images le long de la ligne balayée par le fais- ceau lumineux. La fig 2 est un schéma bloc d'un dispositif d'exposition classique qui tend à remédier aux inconvénients décrits ci-dessus Dans cette figure, tous les 30 éléments ou parties de dispositif identifiés par les mêmes numéros de réfé- rence que sur la fig 1 remplissent les mêmes fonctions que les éléments décrits à propos de la fig 1 Leur description détaillée est donc superflue. En comparaison avec le dispositif illustré par la fig 1, le dispositif de la fig 2 35 comporte un équipement additionnel constitué par une échelle allongée 15 con- formée comme une grille, un capteur photoélectrique 16 et un tube laser auxi- liaire 17 De plus, les miroirs fixes 5, Il sont remplacés par des miroirs semi- 6 - transparents 5 ', 11 '. La fig 3 représente une partie de l'échelle allongée 15 en forme de grille figu- rant sur la fig 2. 5 Dans le dispositif de la fig 2, l'échelle allongée 15 en forme de grille est disposée en position conjuguée du point d'exposition de la carte isolante 12, c'est- à-dire du point image de la surface d'enregistrement de cette carte par rap- port au miroir semi-transparent Il'. 10 Comme dans le dispositif de la fig 1, un faisceau laser, issu du tube laser à argon 4, balaye la carte isolante 12 de façon à l'impressionner D'autre part, le tube laser auxiliaire 17 est disposé de telle manière que tout faisceau laser qu'il produit suive le même axe optique que le faisceau laser issu du tube laser 15 à argon 4 Le faisceau laser issu du tube auxiliaire 17 présente une longueur d'onde qui est en dehors de la gamme de sensibilité de couleurs de la matière photosensible dont la carte isolante 12 est revêtue Le faisceau laser issu du tube auxiliaire 17 balaye la carte isolante 12 et, en même temps, il balaye la surface frontale de l'échelle 15 en forme de grille, qui l'atteint dans une 20 direction sensiblement parallèle à la longueur de la platine 15. Le faisceau laser qui balaye l'échelle 15 traverse les ouvertures de cette échelle en forme de grille (voir fig 3), se trouvant ainsi converti en un faisceau laser interrompu périodiquement à une fréquence proportionnelle à la vitesse de 25 déflexion Ce dernier faisceau laser atteint alors le capteur photoélectrique 16. Le capteur photo-électrique 16 convertit ce faisceau laser en impulsions électriques en fonction de la vitesse de déflexion Les signaux pulsés qui en résul- 30 tent sont introduits dans l'unité centrale 2, laquelle effectue alors la lecture des signaux d'image dans la mémoire en synchronisation avec les signaux pul- sés On obtient ainsi une image ou un schéma sans altérations dimensionnelles -sur la carte isolante 12. 35 Dans le dispositif connu illustré par la fig 2, on utilise deux types de faisceaux laser, présentant des fréquences différentes Même si l'on emploie pour l'ob- jectif de -focalisation 10 un objectif dont l'aberration chromatique est minimisée, -7- il subsiste toujours une certaine aberration chromatique résiduelle (fonction du grossissement) De plus, une aberration peut aussi se manifester dans le miroir semi-transparent 11 ', selon l'angle d'incidence de chaque faisceau laser. Par conséquent, il faut en outre donner à l'échelle 15 en forme de grille, re- 5 présentée à la fig 3, une configuration non linéaire afin de corriger les er- reurs de ce genre. Comme il y a un parcours relativement long entre le réflecteur polyédrique 7 et la carte isolante 12 pour le faisceau laser qui balaye la carte isolante 10 12, un autre inconvénient peut apparaître si les axes optiques des deux fais- ceaux laser ne coïncident pas parfaitement On peut alors observer un écart entre les points images des deux faisceaux laser sur la carte isolante 12, écart qui dépend de l'angle de déflexion du faisceau. Pour remédier à ces inconvénients, le procédé selon la présente invention peut être mis en oeuvre par exemple au moyen des dispositifs décrits cidessous en référence aux fig 4 et 5 Il sous-entend l'utilisation d'une caractéristique particulière de l'exposition, en d'autres termes de la relation existant entre la quantité de lumière d'exposition et la densité de l'image ou schéma qui 20 en résulte, après développement dans la matière photosensible revêtant la carte isolante utilisée pour la fabrication d'un circuit imprimé D'une manière géné- rale, on utilise, dans le procédé selon l'invention, une matière photosensible adaptée à la fabrication de circuits imprimés et présentant une caractéristique e élevée, si bien qu'elle n'est pas impressionnée du tout par une lumière dont 25 l'intensité est égale ou inférieure à un certain seuil, mais elle est nettement impressionnée par une lumière dont l'intensité dépasse ce seuil. Une première forme de réalisation de l'invention est illustrée par le dispositif d'enregistrement représenté par la fig 4 Ce dispositif diffère de celui de la 30 fig 2 en 'ce que le tube laser auxilaire 17 a été supprimé et le miroir semi- transparent 5 ' a été remplacé par un miroir fixe 5. Comme on l'a décrit en référence à la fig 2, le faisceau laser d'entrée est modulé dans le modulateur de lumière acousto-optique 3 en fonction des si- 35 gnaux binaires d'image transmis par l'unité centrale 2 et il sort du modulateur de lumière 3 sous la forme d'un faisceau laser présentant en alternance deux niveaux d'intensité différents, à savoir une intensité permettant d'impressionner -8 - la matière photosensible, et une intensité ne permettant pas d'impressionner la matière photosensible, mais permettant au capteur photoélectrique 16 de détecter le faisceau laser sous forme d'impulsions. 5 Cette technique de commande et modulation d'un faisceau laser sur deux ni- veaux au moyen du modulateur de lumière acousto-optique 3 et la technique de détection du faisceau laser au moyen du capteur photoélectrique 16 ne sont pas en elles-mêmes les objets de la présente invention On peut utiliser dans ce but toute technique connue appropriée Par conséquent, ces techniques ne 10 sont pas détaillées dans la présente description. La présente invention permet de se passer de l'un des deux tubes laser et d'u- tiliser en outre un objectif qui n'est pas spécialement corrigé pour réduire l'aberration chromatique Ainsi, l'invention présente des effets avantageux 15 en ce sens qu'elle évite certains travaux d'assemblage et de réglage tels que l'alignement des axes optiques des faisceaux, elle permet de réduire le coût de fabrication d'un dispositif d'enregistrement d'image et elle permet d'éviter l'aggravation des erreurs que produisaient les variations de l'angle de balayage dues aux défauts d'alignement des axes optiques des deux faisceaux laser. 20 Dans la première forme de réalisation décrite ci-dessus, on utilise l'échelle 15 en forme de grille et un capteur photoélectrique 16 En lieu et place de ces éléments, on pourrait aussi utiliser une rangée de capteurs photoélectri- ques disposés linéairement. 25 Dans la première forme de réalisation décrite ci-dessus, on envoie, sur la cou- che photosensible, un faisceau lumineux présentant une intensité trop faible pour impressionner de manière sensible la matière photosensible tant que le faisceau balaye une portion vide de l'image Contrairement à l'art antérieur, 30 c'est une portion du faisceau lumineux défléchi porteur de l'image qui est dé- rivée pour détecter une position correspondant exactement au point image sur la couche photosensible Sur la base du signal de position ainsi obtenu, le dispositif produit un signal de réaction qui permet de commander en fonc- tion du temps la modulation optique. 35 Dans cette première forme de réalisation, on dérive une portion du faisceau lumineux d'enregistrement au moyen d'un miroir semi-transparent ou similaire 9 - et l'on attribue, au faisceau lumineux d'enregistrement, deux niveaux d'inten- sité différents Du fait que l'on utilise un capteur photo-électrique présentant un seul niveau de sensibilité au faisceau lumineux défléchi, aussi bien lorsqu'on n'envoie sur la couche sensible qu'une faible intensité de lumière, trop faible 5 pour impressionner la matière photosensible, que lorsqu'on enregistre une por- tion d'image sur la couche sensible, il se peut que le niveau du faisceau lumi- neux défléchi de faible intensité, correspondant à une portion vide de l'image, soit par trop différent du niveau du faisceau lumineux défléchi de forte inten- sité correspondant à une portion positive de l'image Les impulsions qui en 10 résultent peuvent ainsi présenter des niveaux différents, ce qui est de nature à rendre instable le traitement du faisceau lumineux délivré par la source de lumière, ce traitement étant supposé être synchronisé avec les signaux d'image. La fig 5 illustre un dispositif d'exposition directe se prêtant à la mise en oeu- 15 vre du procédé d'enregistrement d'image selon la seconde forme de la présente invention, procédé qui permet d'effectuer de manière stable le traitement mentionné ci-dessus. En substance, le procédé d'enregistrement d'image selon la seconde forme de 20 la présente invention consiste, par exemple, à disposer un amplificateur à la sortie du capteur photo-électrique, à modifier le facteur d'amplification de l'amplificateur en fonction des signaux d'image et à délivrer des impulsions de réaction qui sont appropriées à la correction dans le temps de la modulation optique par une synchronisation des signaux d'image, tout en présentant des 25 niveaux qui permettent un traitement digital correct, de manière à maintenir à un niveau constant prédéterminé, les signaux pulsés de détec- tion produits pendant le balayage d'une partie vide de l'image, autrement dit pen- dant que l'intensité lumineuse du faisceau défléchi est à son niveau inférieur. 30 Dans le dispositif de la fig 5, on a ajouté un amplificateur 18 dans le circuit de réaction des impulsions P, circuit qui s'étend entre le capteur photo- élec- trique 16 et l'unité centrale 2 de la fig 4 Les autres parties ou éléments sont identiques à ceux de la f ig 4 et on s'abstiendra donc de les décrire. 35 Dans ce dispositif, -le faisceau laser ayant traversé la grille 15 est converti en impulsions P dans le capteur photo-électrique 16 en relation avec la vitesse de déflexion du faisceau laser Les impulsions P servent à transmettre une 10 - information de position indiquant le point image correspondant du faisceau lumineux défléchi sur la carte isolante 12, par exemple par comptage des im- pulsions ou par un procédé similaire Les impulsions P sont alors amplifiées par l'amplificateur 18 dont le facteur d'amplification est variable, puis elles 5 sont transmises en réaction à destination de l'unité centrale 2. A ce stade, un signal binaire d'image lu par l'unité centrale 2 a déjà été intro- duit dans l'amplificateur 18 sous forme d'un signal G de commande du facteur d'amplification L'amplificateur 18 change de facteur d'amplification selon 10 que le signal d'image est d'un niveau élevé ou d'un niveau bas Ainsi, le facteur d'amplification prend sa valeur la plus faible quand les niveaux des impul- sions P sont élevés Il prend sa valeur supérieure quand les niveaux des impul- sions P sont bas Grâce à l'amplificateur 18, on peut obtenir des impulsions présentant un niveau constant prédéterminé, malgré le fait que le capteur 15 photo-électrique 16 délivre des impulsions présentant des niveaux variés. Par conséquent, dans le cas d'un faisceau laser modifié en fonction d'un signal d'image correspondant à une portion vide de l'image et présentant une faible intensité lumineuse, le facteur d'amplification des impulsions qui correspondent 20 à la lumière ayant traversé l'échelle 15 en forme de grille est augmenté, si bien que le rapport signal/bruit de chaque élément d&information de position, transmis en réaction à l'unité centrale 2, est amélioré et que la commande en fonction du temps peut ainsi s'effectuer avec précision dans l'unité centrale 2. 25 Dans le cas d'un faisceau laser modulé en fonction d'un signal d'image corres- pondant à une portion positive de l'image et présentant donc une forte inten- sité lumineuse, le facteur d'amplification des impulsions correspondantes est diminué de telle façon que le niveau de ces impulsions devienne sensiblement 30 égal au niveau de celles qui correspondent à une portion vide de l'image. Les impulsions issues du capteur photo-électrique 16 sont coupées à un seuil convenable par une technique connue en soi, de manière à constituer des im- pulsions de réaction Pa de forme rectangulaire Elles sont ensuite converties 35 en impulsions à haute fréquence par un circuit en phase ou similaire Un comptage de ces impulsions est introduit dans l'unité centrale 2 pour commander la vitesse de lecture du signal d'image dans la mémoire 1 Ainsi, il est possi- il - ble d'enregistrer une image ou un schéma avec une synchronisation exacte de la vitesse de révolution du réflecteur polyédrique 7 et de la vitesse de lec- ture du signal d'image. 5 Dans la seconde forme de réalisation décrite ci-dessus, le faisceau laser cor- respondant à une portion vide de l'image et celui qui correspond à une portion .positive de l'image sont tous deux convertis en impulsions P de détection de la position de déflexion -par le capteur 16 à l'aide du miroir semitransparent 11 ' et de la grille 15 Les facteurs d'amplification des deux types d'impulsions 10 sont modifiés respectivement par les signaux d'image correspondant à une por- tion vide et à une portion positive de l'image ou du schéma à enregistrer Dans certains cas, il peut être préférable d'effectuer uniquement une atténuation des impulsions de détection d'un faisceau laser correspondant à des portions positives de l'image Dans certains autres cas, il peut être préférable d'effec- .15 tuer uniquement une amplification des impulsions de détection des faisceaux laser correspondants des portions vides de l'image. On peut modifier le facteur d'amplification en changeant le rapport entre une résistance de réaction et une résistance d'entrée d'un amplificateur opération- 20 nel au moyen d'un organe de commutation quand l'amplificateur 18 est cons- titué par l'amplificateur opérationnel, ou en installant deux types différents d'amplificateurs, d'atténuateurs_ ou similaires et en commutant leur sortie au moyen d'un commutateur, de manière à obtenir, à la sortie de l'amplificateur 18, des impulsions de position de déflexion dont les niveaux soient les mêmes. 25 Les signaux d'image lus dans la mémoire 1 sont convertis en signaux séquen- tiels de balayage qui sont synchronisés avec précision avec la vitesse de dé- flexion du faisceau, ce qui permet d'enregistrer, sur la carte isolante 12, une image ou un schéma ne présentant aucune altération dimensionnelle. 30 La seconde forme de réalisation de la présente invention est décrite ci- dessus en supposant qu'on impressionne une carte isolante pour fabriquer un circuit imprimé Il va sans dire que la présente invention peut également s'appliquer à un enregistrement sur d'autres supports d'image, par exemple des films photo35 graphiques, des matériaux thermosensibles conçus pour une exposition par fais- ceau laser infrarouge, etc. 12 - Dans la forme de réalisation décrite en référence à la fig 5, le facteur d'am- plification ou d'atténuation dans le circuit de réaction est modifié en fonction du niveau d'intensité du faisceau lumineux modulé par chaque signal d'image à enregistrer, de telle manière que les impulsions de position produites par 5 le faisceau défléchi soient amplifiées ou atténuées jusqu'à un niveau d'impul- sions prescrit Par conséquent, il est toujours possible d'obtenir des impulsions de détection de position présentant sensiblement le même niveau lors du ba- layage d'une portion vide ou d'une portion positive de l'image, ce qui permet de réaliser l'image ou le schéma prescrit sans altérations dimensionnelles. 10 Le procédé selon l'invention, tel que décrit ci-dessus, permet en outre de ré- duire le coût global de fabrication des dispositifs d'enregistrement d'image utilisant ce procédé, puisqu'il n'utilise qu'un seul tube laser contrairement au procédé connu décrit plus haut, exigeant un dispositif coûteux du fait de la 15 dépendance de deux tubes laser. D'autre part, la présente invention n'exige pas de prendre en considération l'aberration chromatique, ce qui permet d'utiliser un objectif peu coûteux comme objectif de focalisation 10 Il suffit de tenir compte de l'aberration d'une seule 20 couleur en ce qui concerne l'échelle 15 en forme de grille. La caractéristique la plus avantageuse de l'invention consiste en l'utilisation d'un seul tube laser Cela rend inutile le travail d'alignement des axes opti- ques qui est nécessaire quand on utilise deux tubes laser D'autre part, les 25 procédés selon l'invention résolvent complètement le problème des erreurs causées par des variations de l'anglede balayage, variations qui étaient elles- mêmes accrues par un écart entre les deux axes optiques. Les procédés décrits ci-dessus peuvent faire l'objet de nombreuses variantes 30 et modifications évidentes pour l'homme de l'art, sans sortir du cadre de la présente invention. Revendications 1 Procédé d'enregistrement d'une image, dans lequel on défléchit un faisceau lumineux issu d'une source de lumière et l'on balaye, avec ce faisceau lumi- neux défléchi, une surface d'enregistrement revêtue d'une couche de matière photosensible, caractérisé en ce que l'on dérive une portion du faisceau lumi- 5 neux défléchi au moyen d'un miroir semi-transparent et on l'envoie à des moyens de détection optique de la position de déflexion, et en ce qu'on module le fais- ceau lumineux issu de la source de lumière à l'aide d'un signal d'image déli- vré en synchronisation avec un signal de position produit par lesdits moyens de détection à partir de ladite portion du faisceau lumineux défléchi, de telle 10 façon que l'intensité lumineuse minimale du faisceau lumineux ainsi modulé soit maintenue continuellement à un niveau trop faible pour impressionner de manière sensible la matière photosensible. 2 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'on utilise des moyens 15 de détection optique de la position de déflexion qui comportent un capteur optique et une échelle allongée conformée comme une grille, disposée en posi- tion conjuguée d'un point image de la surface d'enregistrement par rapport au miroir semi-transparent, ce point image étant le point de la surface d'enre- gistrement qui est exposé au faisceau lumineux défléchi. 3 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'on utilise des moyens de détection optique de la position de déflexion constitués par une rangée de capteurs photo-électriques, disposés sous une forme linéaire dans un plan balayé par ladite portion du faisceau lumineux défléchi. 4 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'on modifie le ni- veau du signal de position produit par les moyens de détection jusqu'à un ni- veau prédéterminé, en fonction du niveau du signal d'image qui commande l'in- tensité du faisceau lumineux issu de la source de lumière. 5 Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que l'on dispose, à la sortie des moyens de détection optique de la position de déflexion, des moyens agencés pour modifier un facteur d'amplification du signal de position selon que le niveau du signal d'image est bas ou élevé. 6 Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que l'on dispose, à la sortie des moyens de détection optique de la position de déflexion, des moyens agencés pour amplifier le signal de position quand le niveau du signal d'image est bas et pour atténuer le signal de position quand le niveau du signal d'image 5 est élevé.