FR 2538617 A1 19840629 FR 8221860 A 19821228 BOITIER D'ENCAPSULATION POUR SEMICONDUCTEUR DE PUISSANCE, A ISOLEMENT ENTREE-SORTIE AMELIORE La présente invention concerne un boîtier d'encapsulation pour semi- conducteur fonctionnant dans une gamme de fréquence comprise en- tre 2 et 20 G Hz Le boîtier selon l'invention est adapté pour améliorer l'isolement entre ses connexions d'entrée et de sortie, au moyen d'une métallisation recouvrant tout le boîtier, sauf autour des connexions d'en- trée-sortie, cette métallisation étant mise à la masse. Les dispositifs semiconducteurs concernés par l'invention sont les semiconducteurs hyperfréquences fonctionnant entre 2 et 20 G Hz Les dis- positifs semiconducteurs fonctionnant à des fréquences inférieures peuvent également être encapsulés dans de tels boîtiers, mais les phénomènes de dispersion d'énergie ne sont pas les mêmes aux basses fréquences Les pastilles de composants hyperfréquences sont montées dans des boîtiers adaptés aux conditions de fréquences, et qui comportent en général une embase métallique, pour la fixation du boîtier et l'évacuation des calories dégagées au cours du fonctionnement, et un cadre isolant traversé par deux rubans métalliques formant deux connexions externes, la troisième con- nexion étant formée par l'embase Les semiconducteurs montés dans de tels boîtiers fonctionnent très bien tant que le boîtier n'a pas de couvercle Mais un couvercle est nécessaire pour protéger la pastille de semiconducteur et ses liaisons, fragiles, par fils d'or avec les connexions externes. Fermer le boîtier au moyen d'un couvercle isolant entraîne la nécessité d'une soudure céramique sur céramique, car il est exclu que le boîtier et son couvercle soient en un isolant polymère Le ruban de soudure de fermeture créé, par couplages capacitifs parasites au niveau des deux rubans de connexion, un couplage entré-sortie qui détériore l'isolement entrée-sortie du semiconducteur, en le shuntant par un réseau parasite. Selon l'invention, le boîtier, en matériaux isolants, est métallisé sur toute sa surface par une métallisation bonne conductrice de l'électricité, réunie au socle métallique et à la masse électrique du circuit, avec seulement des réserves de métallisation autour des passages de connexions extérieures, afin de ne pas les court-circuiter entre elles La fraction d'énergie prélevée sur une connexion extérieure par l'intermédiaire d'un condensateur parasite est réfléchie par la masse électrique ramenée en surface du boîtier. De façon plus précise, l'invention concerne un boîtier d'encapsulation pour semiconducteur de puissance fonctionnant dans une gamme de fré- quence de 2 à 20 G Hz, comprenant une embase métallique, un cadre en matériau isolant à travers lequel passent au moins deux connexions externes d'accès au semiconducteur encapsulé, dites d'entrée et de sortie, et un couvercle en matériau isolant, fixé sur le cadre par soudure au moyen d'une métallisation déposée sur la face libre du cadre et d'une métallisation déposée sur la face du couvercle en regard du cadre, ce boîtier étant caractérisé en ce que l'isolement entre les connexions d'entrée et de sortie est amélioré par une métallisation extérieure du cadre, ladite métallisation ménageant des réserves autour des connexions d'entrée-sortie et étant en contact électrique d'une part avec les métallisations de soudure du cou- vercle et d'autre part avec l'embase métallique qui est à la masse électrique du circuit comprenant le semiconducteur encapsulé dans ce boîtier. L'invention sera mieux comprise par la description qui suit d'un exemple de réalisation, celle-ci s'appuyant sur les figures jointes en annexe et qui représentent: -figure l: vue de trois quart d'un boîtier hyperfréquences, ouvert, selon l'art connu, figure 2: schéma électrique équivalent du boîtier de la figure précé- dente, figure 3: schéma électrique équivalent d'un boîtier selon l'art connu perfectionné, figure 4: vue de trois quart d'un bottier selon l'invention, figures 5 et 6: schémas électriques équivalents du bottier selon l'in- vention figure 7: courbes comparatives d'isolement en fonction de la fré- quence de plusieurs boîtiers, connus et selon l'invention. La figure l représente une vue de trois quart dans l'espace d'un boîtier de puissance pour semiconducteur travaillant à de très hautes fréquences, 3- dont le couvercle est ôté et retourné de façon à mieux montrer la structure du boîtier Pour un tel boîtier de puissance, représenté ici dans une forme rectangulaire sans que cela soit limitatif puisque d'autres formes rondes ou carrées existent également, les pièces principales sont: une embase l généralement métallique, en cuivre ou laiton, dorée en surface, -un cadre isolant 2 en céramique, alumine ou oxyde de bérylium, formé de deux partie superposées, un couvercle 3, également en céramique, alumine ou oxyde de bérylium. L'ensemble ainsi formé, lorsqu'il est fermé, constitue une enceinte étanche 4 à l'intérieur de laquelle est fixé un dispositif semiconducteur qui n'est pas représenté Lorsque celui-ci est un semiconducteur du type transistor et qu'il comporte trois électrodes, l'un des contacts est pris par l'intermédiaire de son substrat sur l'embase métallique 1 et les deux autres contacts sont pris sur les connexions d'accès extérieures 5 et 6, qui tra- versent le cadre 2 dans son épaisseur, et qui en hyperfréquence sont des plaquettes ou des rubans métalliques Ces deux connexions extérieures 5 et 6 seront par la suite du texte appelées connexions d'entrée et de sortie. Pour refermer de façon étanche ce boîtier connu, le cadre 2 est métallisé sur sa surface libre extérieure par un ruban métallique 7, et le couvercle 3 est également métallisé par un ruban métallique 8 qui a même forme et mêmes dimensions que le ruban 7 du cadre 2 La fermeture du boîtier se fait par soudure, par apport d'une soudure tendre entre les deux rubans métalliques 7 et 8. Lorsqu'un dispositif semiconducteur, fonctionnant à hautes fréquences, est encapsulé dans un tel boîtier, l'énergie rayonne et en particulier il se forme deux condensateurs parasites au niveau de la traversée du cadre 2 par les connexions d'entrée et de sortie 5 et 6 La fraction -du ruban 5 qui traverse l'épaisseur du cadre 2, et la fraction 9 du ruban de métallisation 7, déposée sur le dessus du cadre, forment les deux armatures d'un conden- sateur parasite dont le diélectrique est le matériau isolant, céramique ou alumine, du cadre 2 De la même façon, un second condensateur parasite est formé entre la fraction de la connexion de sortie 6 qui traverse' le cadre, la fraction 10 du ruban 7 et le matériau du cadre 2 Ces deux condensateurs parasites fonctionnent comme des condensateurs de couplage et sont reliés entre eux par une ligne qui n'est pas résistive constituée par l'ensemble de la métallisation 7 sur le cadre, la métallisation 8 sur le couvercle, et le ruban de soudure qui réunit ces deux métallisations. On est donc en présence, dans le domaine des hautes fréquences d'une double possibilité de résonnance D'une part, il peut y avoir une résonnance de cavité, mais, les dimensions données au boîtier, compte tenu de la fréquence de travail du dispositif semiconducteur, écartent cette possibilité de résonnance de cavité Par contre, la métallisation de jonction entre le boîtier et son couvercle peut donner lieu à une résonnance de ligne, agissant comme une unique boucle d'une self réunie aux connexions d'entrée et de sortie par deux condensateurs de couplage. C'est ce que représente la figure 2 qui donne le schéma électrique équivalent d'un tel boîtier. Les connexions d'entrée et de sortie 5 et 6 sont seules représentées et les deux condensateurs parasites sont formés par une fraction de la céramique -du cadre 2 et par une fraction, 9 ou 10, de la métallisation de fermeture du couvercle Ces deux condensateurs parasites sont réunis entre eux par une ligne directe représentée par les métallisations 7 et 8, et cette ligne directe court-circuite le dispositif semiconducteur, désigné T La puissance transmise depuis la connexion d'entrée 5 vers la connexion de -sortie 6 est symbolisée par la ligne qui figure au dessus du schéma électrique et pour une puissance E sur la connexion d'entrée, une puissance Eo non négligeable se retrouve sur la connexion de sortie: il n'y a donc pas un bon isolement entre les deux connexions -d'entrée et de sortie. La figure 3 représente le schéma électrique équivalent d'un boîtier selon l'art connu, perfectionné selon une demande de brevet No 81 09 935 de la Demanderesse. Le boîtier selon cette demande de brevet a la même configuration géométrique que le boîtier de la figure 1, ou que tout autre boîtier selon l'art connu Cependant, la solution apportée au problème' de détérioration de l'isolement entre les connexions d'entrée et de sortie consiste en une métallisation résistive d'une surface du couvercle céramique, métallisation qui englobe les tranches latérales de la plaquette de céramique qui constitue le couvercle, et qui est en contact électrique avec le dépôt ou la préforme de soudure tendre prévue pour souder le couvercle sur le boîtier La liaison directe entre les condensateurs parasites est remplacée par une ligne à perte dont la résistance très élevée de la métallisation atténue très fortement le couplage entre les condensateurs parasites sur les connexions d'entrée et de sortie Aux fréquences concernées, de 1 à 100 G Hz environ, le mode de propagation des ondes électriques dans ou sur la céramique du couvercle et dans la couche résistive fait que le cordon de soudure ne constitue par un court-circuit à la métallisation résistive. Ainsi, sur la figure 3, la ligne directe qui était représentée en figure 2 est remplacée par une résistance de valeur élevée, et l'énergie prélevée sur la connexion d'entrée 5 par le premier condensateur parasite est atténuée par passage à travers cette résistance élevée et une partie seulement de l'énergie E O est transmise sur la connexion de sortie 6 Ceci constitue un perfectionnement mais il demeure néanmoins une certaine perte d'énergie par l'intermédiaire d'un couplage RC entre l'entrée et la sortie A titre d'exemple, à 14 G Hz de fréquence de fonctionnement pour le dispositif semiconducteur encapsulé, l'isolement entre les connexions d'entrée et de sortie atteint 15 db. La figure 4 représente une vue de trois quart du boîtier selon l'in- vention. Ce boîtier a la même forme géométrique que le boîtier de la figure 1 ou que celui qui a été décrit dans la demande de brevet de la Demanderesse. Il pourrait d'ailleurs tout aussi bien être d'une autre forme telle que carrée ou circulaire Il comporte une embase métallique 1, un cadre céramique 2 et un couvercle de fermeture 3 Deux connexions d'entrée et de sortie 5 et 6 traversent le cadre métallique dans son épaisseur En vue d'améliorer l'isolation entrée-sortie du dispositif encapsulé, l'ensemble de la surface extérieure du boîtier, cadre 2 et couvercle 3, est métallisé par une métal- lisation conductrice, Il, à l'exception des passages 12 autour des deux connexions d'entré-sortie 5 et 6, ces passages étant réservés pour éviter le contact entre le métal des connexions et le métal de la métallisation 11, ce qui causerait un court-circuit entrée-sortie Cette métallisation est opérée 2 538617 d'une part sur le couvercle 3, d'autre part sur le boîtier sans son couvercle, c'est-à-dire tel qu'il est représenté en figure 1: un cache permet de protéger lors de la métallisation la partie centrale du boîtier sur laquelle sera fixée la pastille de semiconducteur ainsi que les deux réserves faites autour des passages des deux connexions d'entrée et sortie Par conséquent, en raison même du procédé de fabrication du boîtier, la métallisation qui se trouve déposée sur le cadre céramique 2 se trouve être en contact avec l'embase métallique 1 du boîtier, et lorsque le couvercle est soudé pour refermer le boîtier, c'est l'ensemble de l'embase 1, de la métallisation Il sur le cadre 2, et de cette même métallisation 11 sur le couvercle 3 qui constitue la masse électrique du boîtier Il est à noter que, étant donné que la métallisation du cadre a lieu sur un bottier ouvert, la partie intérieure du cadre, c'est-à-dire celle qui est à l'intérieur de la cavité du boîtier, est également métallisée. Dans ces conditions, les condensateurs parasites formés entre une fraction des rubans de connexion d'entrée et sortie 5 et 6, et la fraction correspondante du -ruban de métallisation 7 sur la partie supérieure du cadre 2, existent toujours; mais l'énergie E 1 prélevée sur la connexion d'en- trée 5 dans ce type de boîtier par le condensateur parasite correspondant est réfléchie par la masse, puisqu'il est connu qu'en hyperfréquences une onde est réfléchie par un circuit ouvert ou par une masse Une très faible partie de l'énergie incidente Ei est transmise sur la connexion de sortie 6 C'est ce que représente la figure 5 qui est le schéma électrique équivalent du boîtier selon l'invention. Par comparaison avec les figures 2 et 3, sur la figure 5 l'ensemble du cadre 2 et du couvercle 3, métallisé et soudé, constitue un tout qui est électriquement mis à la masse Par conséquent, la différence par rapport à la figure 2 est que s'il existe bien une ligne directe non résistive entre les deux condensateurs d'entrée et de sortie, cette ligne directe est mise à la masse au plus près du point o est prélevée l'énergie incidente et au plus près du point o est délivrée l'énergie de sortie Le schéma équivalent, donné en figure 6, montre que si Ri est l'impédance d'entrée du disposistif semiconducteur T, l'onde incidente sur la connexion d'entrée 5 est transmise à travers un réseau RC formé par l'impédance R du semiconducteur et la capacité d'entrée Ci du boîtier; de même l'impédance de sortie est formée par R O et C 0, R O étant l'impédance de sortie du dispositif semiconducteur et CO étant la capacité parasite de sortie du boîtier. La figure 7 présente des courbes comparatives d'isolement en fonction de la fréquence de plusieurs boîtiers pour semiconducteurs hyperfréquences. Les fréquences comprises entre 2 et 18 G Hz sont données en abcisses, tandis que l'isolement en décibels est donné en ordonnées. La courbe A, en trait continu épais, représente la courbe isolement- fréquence d'un boîtier ouvert, c'est-à-dire tel qu'il est représenté sur la figure 1 mais sans métallisation 7 Les conditions d'isolement sont les meilleures pour un semiconducteur encapsulé, mais cette solution n'est pas possible dans bien des cas, en particulier pour tous les matériels militaires ou spatiaux qui doivent être impérativement protégés La courbe B, en trait continu et fin, donne la caractéristique isolement-fréquence pour un boîtier perfectionné selon la demande de brevet citée enregistrée sous le No 81 09 935 Cette courbe met en évidence la forme relativement mono- tone de l'isolement, en ce sens que la valeur d'isolement croît à peu près régulièrement entre 2 et 18 G Hz, sans qu'il y ait, comme c'est le cas sur des boîtiers non perfectionnés, deux pics d'absorption presque totale à 10 et à 15 G Hz Ainsi, la courbe B montre qu'à 15 G Hz l'isolement est de l'ordre de 20 db Enfin, la courbe C, en pointillés, donne la valeur d'iso- lement d'un boîtier selon la présente invention On voit qu'à 15 G Hz il y a un gain de l'ordre de 15 db dans l'isolement et que celui-ci atteint 30 db. A 18 G Hz, le gain dans l'isolement est encore de-l'ordre de 20 db. La métallisation qui permet d'obtenir la réflexion de l'énergie inci- dente par mise à la masse du boîtier est par exemple une métallisation de type or-germanium, déposée par pulvérisation cathodique sur une épais- o seur de 1000 A, suivie d'un enrichissement en or de quelques microns d'épais- seur, ou de tout autre métal conducteur moins dispendieux que l'or Il est également possible dans le cadre de l'invention, de ne métalliser que le cadre 2, et d'utiliser le couvercle 3 recouvert d'une couche métallique résistive révélée dans le brevet cité Il est enfin possible, dans le cadre de l'invention, de ne métalliser qu'une ou de préférence deux bandes, sur les flancs du cadre céramique 2 Ces bandes métallisées sont bien entendu 2 538617 chacune le plus près possible des connexions externes 5 et 6, tout en maintenant une réserve 12 pour ne pas les mettre à la masse: le résultat est d'autant plus efficace que les condensateurs parasites sont mis à la masse le plus près possible des connexions externes 5 et 6 Dans ce cas de métal- lisation par bandes, il suffit de métalliser, sur la figure 4, les deux seuls flancs du cadre 2 qui portent les connexions externes 5 et 6 Bien entendu, ces bandes doivent être également en contact avec la métallisation de fermeture 7 + 8 et avec l'embase 1 à la masse. La description qui a été faite de l'invention, s'appuyant sur le cas de dispositifs à trois électrodes, et sur le cas de bottiers rectangulaires, s'applique tout aussi bien à n'importe quel autre type de dispositifs semi- conducteurs hyperfréquences, quelque soit le nombre des électrodes d'accès, quelque soit la forme du boîtier, le fondement de l'invention étant de prélever l'énergie dérivée par l'intermédiaire d'un condensateur parasite au plus près de l'endroit o cette énergie est dérivée et de la réfléchir par une mise à la masse de l'ensemble du boîtier De façon plus générale, l'invention est précisée par les revendications suivantes. REVENDICATIONS 1 Bottier d'encapsulation pour semiconducteur de puissance fonction- nant dans une gamme de fréquence de 2 à 20 G Hz, comprenant une em- base ( 1) métallique, un cadre ( 2) en matériau isolant à travers lequel passent au moins deux connexions externes d'accès au semiconducteur encapsulé, dites d'entrée ( 5) et de sortie ( 6), et un couvercle ( 3) en matériau isolant, fixé sur le cadre ( 2) par soudure au moyen d'une métallisation ( 7) déposée sur la face libre du cadre ( 2) et d'une métallisation ( 8) déposée sur la face du couvercle ( 3) en regard du cadre ( 2), ce boîtier étant caractérisé en ce que l'isolement entre les connexions d'entrée ( 5) et de sortie ( 6) est amélioré par une métallisation ( 11) extérieure du cadre ( 2), ladite métallisation ména- geant des réserves ( 12) autour des connexions d'entrée-sortie ( 5, 6) et étant en contact électrique d'une part avec les métallisations ( 7, 8) de soudure du couvercle ( 3) et d'autre part avec l'embase ( 1) métallique qui est à la niasse électrique du circuit comprenant le semiconducteur encapsulé dans ce bottier. 2 Bottier d'encapsulation selon la revendication 1, caractérisé en ce que le couvercle ( 3) est métallisé sur sa face extérieure et sur ses faces latérales. 3 Boîtier d'encapsulation selon la revendication 1, caractérisé en ce que le cadre ( 2) est également métallisé sur ses parois intérieures, avec réserves autour des connexions d'entrée-sorties ( 5, 6). 4 Boîtier d'encapsulation selon la revendication 1, caractérisé en ce que la métallisation ( 11) du cadre ( 2) est limitée à au moins une bande métallique qui réunit les métallisations ( 7, 8) de soudure du couvercle ( 3) à l'embase métallique ( 1). Bottier d'encapsulation selon la revendication 1, caractérisé en ce que la métallisation ( 11) du cadre ( 2) et du couvercle ( 3) est constituée par un dépôt d'or-germanium, sur 0,1 micron d'épaisseur, et par un dépôt d'or sur I à 5 microns d'épaisseur.