FR 2541784 A1 19840831 FR 8303132 A 19830225 DISPOSITIF DE DEFLEXION STATIQUE D'UN FAISCEAU INFRA-ROUGE. La présente invention a pour objet un dispositif de déflexion d'un faisceau infra-rouge polarisé en une série discrète de directions prédétermi- nées, mettant en oeuvre un réseau de diffraction. Pour opérer la déflexion d'un faisceau d'énergie rayonnée avec une grande précision, il est en général préférable d'utiliser un dispositif fonctionnant par valeurs discrètes, celles-ci pouvant en effet être exactement définies par la structure même du dispositif; elles sont donc plus stables, c'est à dire insensibles aux fluctuations ou perturbations extérieures. Un réseau de diffraction permet une déflexion globale d'un faisceau incident dans une direction priviligiée prédéterminée et la direction qui lui est symétrique par rapport à la normale au plan du réseau Un tel réseau ne permet donc d'obtenir la déflexion d'un faisceau incident que dans deux directions prédéfinies symétriques Pour constituer un dispositif permettant de défléchir successivement un faisceau dans plusieurs directions définies, il est donc nécessaire d'associer plusieurs réseaux, avec les inconvénients que cela entraîne au niveau d'une part du rendement lumineux de la déflexion, et d'autre part, surtout, de la précision de la déflexion. Un dispositif de l'art antérieur est décrit dans la demande de brevet français publiée sous le numéro 2 254 057 Ce dispositif est un dispositif de déflexion d'un faisceau d'énergie rayonnée cohérente et polarisée, sous l'action dun signal électrique de commande, comportant: une couche d'un matériau électro-optique; des électrodes portées par chacune des faces de cette couche, les électrodes de l'une des faces au moins étant transparentes, et des moyens d'excitation des électrodes, recevant un signal de commande. L'une des faces de cette couche porte un ensemble d'électrodes de même étendue, contigies mais isolées électriquement, portées sélectivement à des potentiels électriques de valeurs prédéfinies, modifiant ainsi spatialement le déphasage du faisceau incident afin de constituer les lignes d'un réseau difractant Le pas de ce réseau est variable et fonction de la répartition des valeurs prédéfinies du potentiel sur les électrodes. Par rapport à ce dispositif de l'art antérieur, le dispositif de l'invention a pour objet la déflexion d'un faisceau polarisé situé dans le domaine infra- rouge En effet l'extension du champ des possibilités des dispositifs opto- électriques fonctionnant dans l'infra-rouge moyen, notamment ceux tra- vaillant dans la bande 9,5 /um -10,6 /um qui est celle dans laquelle fonctionne le laser à dioxyde de carbone, fait apparaître la nécessité d'utiliser un dispositif de déflexions rapide, donc statique, d'un faisceau lumineux permettant l'accès aléatoire de tous les points de l'intervalle angulaire de déflexion. Le dispositif de l'invention utilise la propriété des cristaux liquides permettant d'obtenir des variations locales notables de leur indice en fonctions du champ électrique qui leur est appliqué Cette propriété permet donc de faire apparaître, dans une lame de cristal liquide comprise entre deux jeux d'électrodes convenablement disposées, un réseau d'indice dont on peut à volonté modifier rapidement le pas et la direction des "traits", on pourra donc, à l'aide d'un dispositif selon l'invention réaliser un système de balayage bidimensionnel permettant un accès aléatoire en tous points du cadre balayé Un tel dispositif permet notamment d'effectuer un balayage de type "cavalier", ou à accès aléatoire qui pourra être réalisé à partir du point particulier auquel on vient d'avoir accès. Enfin, ce dispositif permet de défléchir des faisceaux d'assez grandes dimensions De plus si Pon compare ce dispositif de l'art antérieur, le rendement avec une structure linéaire variant de O à Ir est limité à 30 %. Avec le signal de commande préconisé selon l'invention qui est un signal périodique en dent de scie variant de O à 2 7 r et comportent N "marches" ou paliers par période, le rendement est de l'ordre de 80 %. L'invention a pour objet un dispositif de déflexions statique d'un faisceau comportant une source d'un faisceau infra-rouge polarisé, caracté- risé en ce qu'il comprend des moyens de déflexion de ce faisceau compre- nant une couche de cristaux liquides, des moyens de modulation de cette couche de cristaux liquides et des moyens de génération d'un signal de commande, ces moyens de modulation appliquant aux bornes de cette couche ce signal de commande qui permet de créer dans cette couche des variations locales d'indice formant un réseau de diffraction de ce faisceau de pas réglable, ce signal de commande étant un signal périodique en marches d'escalier variant entre une valeur minimum et une valeur maximum en une progression continue, ce signal comportant N marches ou paliers par période tel que son amplitude maximum entraîne un déphasage du faisceau égal à 27 r, les moyens de modulation de la couche de cristaux liquides comportant des électrodes disposées sur les deux faces de cette couche, les électrodes de la face d'incidence du faisceau infra-rouge étant transparentes, isolées électriquement et disposées sur des zones équidistantes entre elles et séparées d'espaces interélectrodes, selon au moins une direction, de gran- deur comprise entre 1 et 10 micromètres, une électrode commune étant déposée sur l'autre face de cette couche de cristaux liquides. D'autres aspects et avantages de l'invention seront mieux compris à l'aide de la description ci-après, fournie à titre d'exemple non limitatif, ainsi que des figures annexées parmi lesquelles: les figures 1 et 2 représentent le dispositif de l'invention. Les figures 3 à 9 illustrent différents aspects du dispositif de l'invention. les figures 10 et Il illsutrent une variante du dispositif de l'invention. Le dispositif de l'invention utilise l'effet électro- optique pour imposer dans le matériau actif une structure de phase diffractante du type réseau d'indice Ce matériau peut être un cristal électro-optique quelconque, cependant la plupart des cristaux utilisés ont des coefficients électro- optiques assez faibles surtout à grande longueur d'onde. L'une des caractéristiques de l'invention réside dans l'utilisation d'un type de matériau électro-optique particulier les cristaux liquides La perte par diffusion est réduite (pour X 10,6/um par exemple), l'absorption résiduelle est faible et la forte anisotropie naturelle du milieu donne lieu à des coefficients électro-optiques très élevés (spécialement à 10,6/um). Les schémas des figures 1 et 2 représentent l'une des réalisations possibles du dispositif proposé et aident à en comprendre le fonctionnement. Le dispositif illustré est, à titre d'exemple non limitatif, un carré de coté L. On distingue sur ces figures: une fenêtre 1 sur laquelle sont disposées les électrodes 5 en forme de bande e O à en La fenêtre 1 doit être transparente au rayonnement incident du faisceau polarisé 12; le matériau utilisé peut être du seleniure de zinc (Zn Se) pour une longueur d'onde de rayonnement À = 10,61 u par exemple. Les électrodes e O à en doivent, elles aussi, être transparentes elles peuvent être réalisées en germanium (Ge) mis en forme par photolithographie par exemple. Des cales d'épaisseur 4 isolant le matériau électrooptique 2 qui est une couche de cristaux liquides Ces cales doivent être isolantes électrique- ment Elles peuvent être réalisées par exemple en milar. Une électrode commune 3, de préférence réfléchissante pour la longueur d'onde de travail; ce peut être alors une couche d'or déposée sur un substrat Il est aussi possible d'utiliser une électrode transparente, le dispositif de l'invention fonctionnant alors par transmission. La couche de cristaux liquides 2 à laquelle les cales d'épaisseur 4, la fenêtre 1 et l'électrode commune 3 impose la forme de lame à faces planes parallèles. Si à un instant donné, on applique, sur les électrodes de la structure ainsi définie, une répartition de potentiel périodique telle que celle repré- sentée sur la figure 3 par exemple Ce signal est un signal périodique en /o marches d'escalier, ou "signal en dent de scie' qui comprend N "marchesl' ou paliers par période, N étant un nombre entier Il en résulte une répartition de la variation de l'indice A N du milieu provoquant la répartition des variations de phase A ? imposée au plan d'onde du faisceau incident 12 de phase représentée sur la figure 4 A 2 =rd An. Soit >_ 2 A E r d = épaisseur de la couche r = coefficient électro-optique. A la répartition des potentiels Vn correspond donc une direction particulière d'interférences constructives Cette direction sera pratique- ment unique si le pas des électrodes est suffisamment petit et si la répartition des A ô à l'intérieur du pas du réseau d'indice est convenable- ment choisi La largeur des électrodes peut être comprise, par exemple, entre 5 et 25 micromètres, et l'espace interélectrode peut être de l'ordre de micromètres. L'angle de réflexion obtenu 6 vaut: A- i = longueur d'onde incidente A = pas de la "dent de scie" Le rendement de diffraction optimum dans la direction de l'ordre I est obtenu si l'amplitude du déphasage au sommet de la "dent de scie" est égal à 2 7 r. Pour un tel réseau de pas A échantillonné suivant "N marches"ou paliers, N étant un nombre entier, le rendement de diffraction est donné par la relation: fsin n =\ pour un réseau binaire; N = 2 on a alors le signal carré représenté à la figure 5 on obtient: TI = 4 40 % pour un réseau tel que N = 4 on a alors le signal en escalier avec 4 "marches" représenté à la figure 6, on obtient: q 2 80 % Afin de conserver un bon rendement de diffraction dans l'ordre l, on choisit l'échantillonnage N = 4 On a alors un réseau de pas faible tel que: (A) Min = 4 (e +E) et le réseau de pas le plus grand tel que (A -)Max =L En effet on choisit en exemple 50 states (Max 100 diffractantes dans la dimension L. On a la déviation angulaire correspondante représentée à la figure 7: X 1 1 T 1 A 6 = AR _ (e+a) l 4 (e + Ll on a donc un nombre N de positions indépendantes: Aà N =; avec A e angle de diffraction. As X 1 100 => N =L L 4 (e+S:) L 1 avece= 20/um; = 5/um;L= 60 mm. => N= 500 Le dispositif décrit assure 50 Q directions indépendantes au sens du critère de Rayleigh ce qui correspondra à 100 directions parfaitement bien définies. Le spectre de transmission infra-rouge d'une cellule cristal liquide d'épaisseur 25 /um est donné à titre d'exemple sur la figure 8 On considère alors du "P C B " ou Pentyl-Cyanobephenil, la tourbe 13 étant celle obtenue sans la couche de cristaux liquides et la courbe 14 avec la couche de cristaux liquides On a alors: Transmission moyenne à 10,6 uum = 70 % Tension de commande V 40 Volts. Les fenêtres de la cellule sont traitées pour obtenir un alignement homogène des molécules (fonctionnement parallèle ou "twisté" à 90 ) Les temps de réponse de telles cellules sont typiquement de 10 à 100 ms Ils peuvent être améliorés par optimisation de certains paramètres tels que la on s-1structure du cristal liquide, sa viscosité, la température de fonctionnement. Il est, bien sur possible d'assembler deux dispositifs selon la figure 1 de telle façon que leurs barres de commandes soient à 900 Pune de l'autre Si ces deux dispositifs fonctionnent en transmission, ce qui est également conforme à l'esprit de l'invention, ils pourront être accolés l'un à l'autre, l'électrode commune 3 devant alors être transparente Un tel dispositif permet une déflexion bi-dimensionnelle x-y des faisceaux. Cependant, un dispositif plus compact est envisageable En effet, si Pon remplace les barres de commande e O à en par une matrice de points commandables séparément, il sera possible d'imposer une répartition de potentiel telle que, en plus de leur pas, la direction des traits du réseau puisse être modifiée à la demande On pourra ainsi réaliser un balayage bidimensionnel en X-Y par exemple. 254 1784 En effet dans ce cas les signaux de commande sont déphasés régulière- ment d'une ligne d'électrodes ponctuelles à une autre Mais ils ont toujours la même période ce qui permet de modifier la direction des traits du réseau. Dans ce cas on peut aussi bien travailler en réf lection avec une électrode commune 13 réfléchissante, ou en transmission avec une électrode commune 3 transparente. Un autre moyen d'imprimer la répartition de tension sur le cristal liquide est celui d'un accès optique par l'intermédiaire d'un photoconducteur. On peut, pour réaliser cette impression, utiliser une valve optique photocon- ducteur-cristal liquide. En effet une manière de contrôler la lumière transmise ou réfléchie par une cellule à cristal liquide nématique consiste à utiliser le phénomène de biréfringence Toutefois, en ajoutant au matériau nématique un faible pourcentage de matériau cholestérique, on obtient un mélange doué de mémoire L'application d'une tension alternative de fréquence plus élevée que la tension de commande permet de rétablir le mélange dans son état transparent initial. La figure 9 représente une valve optique fonctionnant en réflection comprenant une couche de cristal liquide 2, une lame l l de matériau photoconducteur et, le cas échéant, une couche intermédiaire 15 réfléchis- sante pour le rayonnement de lecture La valve optique comprend en outre deux électrodes 3 et 6 pour appliquer la tension alternative issue du générateur 7, aux bornes de ces couches de matériau, une lame support 10 étant placée à côté de la couche de cristal liquide et destinée à supporter l'électrode 3 Cette cellule reçoit du côté photoconducteur un rayonnement d'inscription 9 qui a la forme du signal représenté sur la figure 3 L'électrode 6 et l'ensemble constitué par l'électrode 3 et la lame support 10 doivent être respectivement transparents au rayonnement constituant le faisceau d'ins- cription 9 Cette électrode 3 et cette lame 10 doivent de plus être transparentes pour le faisceau 12 que l'on veut réfléchir Les électrodes 3 et 6 peuvent être constituées par une couche de quelques dixièmes de micro- mètres d'épaisseur d'oxyde d'étain ou d'indium déposé par pulvérisation cathodique, o d'un mélange de ces oxydes Si le rayonnement d'inscription est un rayonnement X, on utilisera de préférence pour l'électrode 6 une 2-54 1784 couche d'un millier d'angstr 5 ms d'épaisseur d'un métal à faible numéro atomique Cette valve optique peut aussi fonctionner en transmission, et dans ce cas la couche 15 n'existe plus. La couche 2 de cristal liquide peut être, par exemple constituée par un matériau mésomorphe se présentant en phase nématique à la température ambiante, d'une épaisseur de 15 micromètres environ Le matériau méso- morphe est choisi de façon à présenter une anisotropie diélectrique négative ou positive suivant l'effet désiré Dans le cas o une couche de cristal liquide à mémoire est nécessaire, on utilisera un mélange nématique- cholestérique Dans le cas o la couche de cristal liquide possède une structure en hélice, le rayonnement de lecture est polarisé linéairement et les moyens analyseurs sont des moyens analyseurs linéaires La constante diélectrique relative à ces matériaux est de lordre de 10. * Le matériau photoconducteur constituant la lame 11 est dans l'exem- ple de la figure 10 un oxyde de bismuth-silicium (BSO) Il peut être avantageusement choisi pour présenter une bonne transparence dans une partie au moins du spectre correspondant à la lumière visible Sa résistivité en absence d'illumination est de Pordre de 1014 P cm et diminue d'environ 1000 fois pour un éclairement de Im W dans le proche ultra-violet Ces matériaux peuvent se présenter sous la forme de lames suffisamment épaisses pour qu'ils jouent le rôle de support dans la valve optique De plus le matériau photoconducteur utilisé comporte des pièges qui sont des atomes d'impureté distribuées uniformément dans le volume de ce matériau Ils sont capables de capturer un électron ou un trou qui ont diffusé à partir de l'endroit o ils ont été engendrés par excitation photonique Lors de l'éclairement d'une lame photoconductrice les photons incidents qui ont une énergie suffisante peuvent créer des paires électron-trou Si un champ électrique est appliqué à la lame, les électrons et les trous sont entraînés vers les électrodes Pour un champ électrique continu les électrons sont attirés par l'électrode positive et les trous vers l'électrode négative Les porteurs de charge créés dans le matériau par le rayonnement ionisant ou par l'existation photonique sont piégés dans une région du volume o apparaît une charge d'espace qui réduit sensiblement le transport des charges électriques Lorsqu'on applique au photoconducteur une tension alternative, si la fréquence de la tension alternative est suffisamment grande, la charge d'espace dans le photoconducteur n'a pas le temps de s'établir et le courant mesuré dans le circuit extérieur est voisin du courant initial Io Dans ces conditions la tension transférée au cristal liquide est notable et contribue à commander efficacement la modulation optique que ce cristal liquide permet d'obtenir Il est donc possible de générer ainsi le réseau permettant de défléchir le faisceau infra-rouge 12 La génération de l'image I (x), de même allure que la courbe v = f (x) de la figure 3 de pas A, peut être alors obtenue, comme représenté à la figure 10 par l'intermédiaire d'un tube cathodique 13 dont l'image de la face avant est projetée sur le photoconducteur, la brillance de limage peut alors être amplifiée par utilisation d'un amplificateur micro-canaux. L'utilisation d'une telle valve optique présente les avantages suivants par rapport à la première solution décrite: Pas de gravure des électrodes. Fonctionnement bi-dimensionnel obtenu en modifiant Porientation du réseau sur le tube cathodique. Le pas (A)Min peut être rendu inférieur à 100 /um (lié à la résolution spatiale de la valve). Un dispositif selon l'invention trouvera en particulier son applications dans les systèmes suivants: imagerie active, en tant que dispositif de balayage et de prépointage rapide à accès aléatoire fonctionnant aussi bien à l'émission qu'à la réception. dispositifs de correction de fronts donde à commande électrique ou optique. REVENDICATIONS 1 Dispositif de déflexions statique d'un faisceau comportant une source d'un faisceau ( 12) infra-rouge polarisé, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens de déflexion de ce faisceau comprenant une couche de cristaux liquides ( 2), dés moyens de modulation de cette couche de cristaux liquides ( 2) et des moyens de génération d'un signal de commande, ces moyens de modulation appliquant aux bornes de cette couche ( 2) ce signal de commande qui permet de créer dans cette couche ( 2) des variations locales d'indice formant un réseau de diffraction de ce faisceau ( 12) de pas réglable, ce signal de commande étant un signal périodique en marches d'escalier variant entre une valeur minimum et une valeur maximum en une progression continue, ce signal comportant N marches ou paliers par période tel que son amplitude maximum entraîne un déphasage du faisceau ( 12) égal à 2 W, les moyens de modulation de la couche de cristaux liquides comportant des électrodes ( 5) disposées sur les deux faces de cette couche ( 2), les électrodes de la face d'incidence du faisceau infra-rouge étant transparentes, isolées électriquement et disposées sur des zones équidistantes entre elles et séparées d'espaces interélectrodes, selon au moins une direction, de gran- deur comprise entre 1 et 10 micromètres, une électrode commune ( 3) étant disposée sur l'autre face de cette couche de cristaux liquides. 2 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'espace interélectrode est de 5 micromètres. 3 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que la largeur des électrodes est comprise dans la gamme de 5 micromètres à 25 micromètres. 4 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'électrode commune ( 3) est une électrode réfléchissante au rayonnement infra-rouge. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les électrodes ( 5) de la face d'incidence du faisceau sont en germanium. 6 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les électrodes ( 5) disposées sur la face d'incidence du faisceau infra-rouge ont la forme de bandes parallèles, chacune des électrodes étant portée, par rapport à l'électrode commune ( 3), à une tension correspondant à un palier du signal de commande, de manière à présenter une répartition périodique du poten- tiel sur ces électrodes ( 5) correspondant au signal de commande. 7 Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comprend une deuxième couche de cristaux liquides disposée de l'autre coté de l'électrode commune ( 3) par rapport à la première couche ( 2), cette électrode commune ( 3) étant transparente, la face extérieure de la seconde couche de cristaux liquides comportant des électrodes ayant la forme de bandes parallèles, isolées entre elles et transparentes, ces électrodes ayant une direction perpendiculaire avec la direction des électrodes déposées sur la première couche de cristaux liquides ( 2), le faisceau infra-rouge étant défléchi en traversant le dit dispositif. 8 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les électrodes disposées sur la face d'incidence du faisceau infra-rouge sont situées dans des plages équidistantes selon deux directions perpendiculaires et séparées d'espaces interélectrodes compris 1 et 10 micromètres, chacune des électrodes étant portée, par rapport à l'électrode commune ( 3), à une tension correspondant à un palier du signal de commande, la répartition du potentiel sur ces électrodes étant donc une répartition périodique correspon- dant au signal de commande. 9 Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que les signaux de commande sont déphasés d'une manière régulière d'une ligne d'électrode par rapport à la suivante. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche ( 2) de cristaux liquides est disposée entre la première face d'une lame photoconductrice ( 11) dont l'autre face supporte une première électrode ( 6) et la première face d'une lame support ( 10) qui supporte une seconde électrode ( 3), le signal de commande étant réalisé par un rayonnement d'inscription envoyé du coté de la lame photoconductrice. 11 Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce qu'il comprend une couche intermédiaire réfléchissante entre le lame photo- conductrice ( 11) et la couche ( 2) de cristaux liquides. 12 Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que les premières et seconde électrodes sont constituées par des couches d'oxyde d'étain déposé par pulvérisation cathodique. 13 Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que les premières et seconde électrodes sont constituées par des couches d'oxyde d'indium déposé par pulvérisation cathodique. 14 Dispositif selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'il com- prend un tube cathodique ( 13) dont l'image de la face avant est projetée sur la lame photoconductrice ( 11) ce qui permet de réaliser le rayonnement d'inscription. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que la couche de cristaux liquides est réalisée en Pentyl- Cyanobéphénil.