FR 2544752 A1 19841026 FR 8306749 A 19830425 La présente invention concerne, un procédé de croissance amorphe avec cristallisation locale sous rayonnement électromagnétique cohérent Elle permet notamment l'obtention de couches minces semiconduc- trices cristallines. On connait-plusieurs méthodes classiques de cristallisation La méthode la plus simple à mettre en oeuvre est le recuit thermique Cette technique con- siste à chauffer le film obtenu par croissance amorphe sur un substrat Dans le cas du silicium, la tempéra- ture de chauffage est de l'ordre de 800 C Cette tech- nique a l'avantage d'être simple, mais présente l'in- convénient de développer dans la couche des polycris- taux macles D'autre part, cette technique est une technique globale, moins souple que les techniques de cristallisation ou de recristallisation locale. On connaît aussi des techniques utilisant la photocristallisation telle que la technique de recris- tallisation par faisceau laser, balayé ou pulsé, qui réalise la recristallisation locale d'une couche par chauffage L'inconvénient de cette technique est que la température atteinte au point d'impact du faisceau laser sur le film de croissance est souvent supérieure à la température de fusion du corps constituant ce film Ceci induit des contraintes de dilatations dif- férentielles entre la zone chadffée et alentour Il en résulte de nombreux d'fauts dans le film tels que des criques et des défauts microscopiques responsables de courants de fuite Mais selon ces techniques il s'agit encore d'un recuit, dans ce cas local, sur des couches de matériaux déjà déposées. On connait aussi une technique utilisant l'évaporation: la technique du jet moléculaire qui repose sur le principe de l'évaporation sous ultravi- de, c'est-à-dire sous une pression de 10-7 à 10-9 Pa à partir de cellules d'effusion de type Kundseno C peut obtenir à partir de cette cellule, un jet de molécules ou d'atomes relativement directif pour recouvrir de façon épitaxiale une surface relativement petite. Par cette technique, on obtient Une épitaxie de touche très fine (quelques Angstr 8 ms) et dont l'épaisseur est bien contrôlée On peut ainsi en par- ticulier élaborer des composés couche par couche Par contre, l'incohvénient principal de cette technique est de nécessiter l'ultravide qui rend cette technolo- gie difficile et coûteuse Le coût d'obtention de cou dhes par cette technique est donc en général incompa- tible avec la production de masse. L'objectif de la présente invention est de pallier les inconvénients rencontrés dans les techni- ques décrites L'objet de la présente invention est un procédé de croissance d'un corps sur un substrat qui autorise en même temps une croissance amorphe et une croissance cristalline. De manière plus précise, l'invention a pour objet un procédé de croissance amorphe d'un corps avec cristallisation locale sous rayonnement électromagné- tique cohérent, la croissance dudit corps étant réali- sée s Ur un support contenu dans une enceinte sous vi- de, ladite enceinte contenant une source dudit corps, caractérisé en ce que: on dépose de manière continue, sous forme aorphe, le corps sur le support et simultanément, on irradie temporairement une ou plusieurs zones dé- terminées de la couche déposée sur le support pen- dant ledit dépôt continu, cette irradiation étant obtenue par un faisceau de rayonnement électromagné- ti- ce cohérent d'irradiation, la puissance W du faisceau et l'énergie du rayonnement électromagné- tique cohérent d'irradiation étant aptes à réaliser une désorption desdites zones. Selon un premier mode de réalisation de l'invention, le faisceau de rayonnement électromagné- tique cohérent d'irradiation est émis sous forme d'im- pulsions à basse fréquence. Selon un deuxième mode de réalisation de l'invention, le faisceau de rayonnement électromagné- tique cohérent d'irradiation est une source lumineuse continue, balayée spatialement. La photodésorption des zones irradiées "nettoie" ces zones, ce qui permet une croissance épi- taxique sur celles-ci. Il ne s'agit donc pas, dans le cas de l'in- vention, d'un recuit global ou local, mais d'une irra- diation durant le dép 8 t du matériau qui provoque une cristallisation. Selon une caractéristique secondaire très intéressante de l'invention, le corps à déposer est additionné d'éléments permettant son dopage L'addi- tion de ces éléments de dopage peut être séquentielle et être fonction du semiconducteur désiré. Cette caractéristique permet ainsi d'obte- nir très facilement soit des couches intrinsèques, soit des couches dopées p, soit des couches dopées n, ces différentes couches pouvant être réalisées succes- sivement en changeant simplement l'atmosphère de l'en- ceinte. Selon, une caractéristique secondaire, la. fréquence d'émission des impulsions d'irradiation est inférieure à 5 Hz. Selon un mode de mise en oeuvre préféré du procédé selon l'invention dans lequel ledit corps est du silicium, la longueur d'onde X du rayonnement élec- tromagnétique cohérent d'irradiation est inférieure à 400 nm. Selon un autre mode de mise en oeuvre préfé- ré du procédé selon l'invention dans lequel ledit corps est du silicium, la temperature du substrat est comprise entre 300 C et 500 C. Selon un autre mode de mise en oeuvre pré- féré de I'invention, ledit corps est du silicium et la source dudit corps est accompagnée de bore ou de phos- phore. Ce mode de réalisation permet d'obtenir des semiconducteurs à base de silicium comportant succes- sivement des couches dopées p, N ou des couches in- trinsèques selon la présence ou l'absence d'éléments dopants. Si la technique du jet moléculaire permet le dopage de typé As Ga, elle n'est pas applicable au cas du silicium En effet, de telles couches ne peuvent pas être obtenues actuellement par jet moléculaire si- licium parce que le coefficient de collage du bore et du phosphore est trop faible à basse température ( 400 C) La seule manière d'obtenir ce type de modula- tion spatiale de composition dans cette configuration (stable uniquement à basse température) est l'implan- tation ionique à basse énergie, ce qui complique la technique. L'invention permet de remédier à cet état de * fait parce qu'elle permet d'obtenir directement les couches n, p par incorporation de B 2 H 6 ou PH 3 dans Pi E 4, l'incorporation de P et B étarnt vraisemblable- ment assistée par la lumi ère - Les caractéristiques et avantages de l'in- vention ressortiront mieux de la description qui va suivre, donnée à titre illustratif mais non limitatif, en référence aux figures annexées dans lesquelles: la figure 1 représente de façon schémati- que un dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selon l'invention, la figure la représente, de façon schéma- tique, un autre dispositif de mise en oeuvre du procé- dé, la figure 2 représente l'énergie émise par le faisceau de rayonnement électromagnétique cohérent d'irradiation en fonction du temps, la figure 3 représente de façon schémati- que une application réalisée au moyen du procédé selon l'invention. Le procédé selon l'invention consiste à fai- re croître un corps, tel que par exemple un semi-con- ducteur, sous forme amorphe sur un substrat et simul- tanément à obtenir -une cristallisation locale de ce corps par excitation au moyen d'un faisceau de rayon- nement électromagnétique cohérent d'irradiation On connait de nombreuses méthodes de dépôt de semiconduc- teurs amorphes ou autres On peut citer la pulvérisa- tion cathodique, le jet moléculaire, le dépôt chimique en phase liquide, le dépôt chimique en phase vapeur assisté ou non par plasma ou autres A titre d'exem- ple, on a représenté sur la figure 1 un dispositif pour la mise en oeuvre de la méthode de dépôt chimique en phase vapeur. Ce dispositif comprend une enceinte 2 sous vide contenant un support 4 sur lequel croît le corps à déposer, constituant ainsi une couche 6 Le support 4 peut être chauffé à l'aide d'un moyen 8 Le corps à déposer est évaporé et introduit dans l'enceinte par un orifice 10 Le dispositif comprend également une source de rayonnement électromagnétique cohérent d'irradiation 12 émettant un faisceau qui, après deux réflexions sur des miroirs 14 et 16, atteint la couche 6 Le miroir 14 réalise une déviation du faisceau la- ser dans une direction parallèle à un des bords du support 4 et le miroir 16 effectue une déviation de ce même faisceau selon une direction orthogonale à celle du miroir 14 L'action combinée des deux miroirs 14 et 16 permet donc d'atteindre avec le faisceau de rayon- nement d'irradiation n'importe quel point de 1 _, ce de la couche 6 o Elle permet aussi de réaliser un balayage d'une partie de ladite surface ou de sa tota- lité. Dans le cas d'un dépet de silicium, on ob- tient une couche 6 amorphe si la température de l'en- ceinte est inférieure à 6000 C Il faut par ailleurs que cette température soit suffisamment élexiée pour que le silicium se condense sur la couche 6 On choi- sit par exemple une température de l'ordre de ê 000 C. Le moyen 12 qui peut être par exemple un faisceau laser, émet un rayonnement électromagnétique cohérent d'irradiation qui réalise une cristallisa- tion locale du silicium déposé sur la couche 6 Ce faisceau peut être dirigé sur un point de la surface de la couche 6, mais il peut également balayer toute la surface grâce aux deux miroirs 14 et 16 Ce rayon- nement électromagnétique cohérent est émis sous forme d'impulsions très courtes, par exemple de l'ordre d'une durée de 10 ns, à une fréquence de l'ordre de quelques hertz Au lieu d'utiliser un rayonnement électromagnétique cohérent émis sous forme d'impul- sions très courteson pourrait utiliser un rayonnement électromagnétique cohérent continu balayé spatiale- ment Ce rayonnement électromagnétique cohérent d'ir-. radiation est constitué de rayons intenses aptes à dé- orber la zone de la couche 6 excitée Par exemple dans le cas d'une couche 6 en silicium, le rayonnement d'irradiation peut être un rayonnement ultraviolet. Cette irradiation, pulsée ou continue, n'effectue pas un recuit de couches déjà déposées, mais a chaque im- pact, l'énergie des photons ultraviolets et la puis- sance du faisceau désorbent la surface, c'est-à-dire apporte de l'énergie aux atomes de silicium adsorbés, mais non encore liés chimiquement, ce qui leur permet de se déplacer et ce qui favorise donc la croissance cristalline Les impulsions du rayonnement ultravio- let nettoient donc la surface et la rendent apte à l'épitaxie. Ce procédé permet donc une croissance épita- * xiale d'une couche de silicium à basse température ( 4000 C) et sur de grandes surfaces (en balayant le faisceau de rayonnements ultraviolets) Ce procédé peut être notamment utilisé pour obtenir des polycris- taux sur Si O 2 fondu ou d'autres substrats isolants, des monocristaux ou des couches épitaxiques sur du si- licium cristallin, du saphir, du grenat, des fluorures (tels que Ca F 2) ou autres Il peut aussi être utilisé en graphoépitaxie. On reconnait sur la figure la l'énceinte 2 renfermant un support 4 sur lequel croît une couche 6; ce support 4 pouvant être chauffé par un moyen 8. Le composé contenant le matériau à déposer pénètre dans l'enceinte 2 par le conduit 10 Mais, dans le dispositif représenté ici, le rayonnement électroma- gnétique cohérent 11 introduit par 13 dans l'enceinte 2 frappe directement la couche 6 en cours de forma- tion Des moyens, non représentés, permettent le dé- placement éventuel soit du rayonnement électromagné- tique cohérent, soit du support 4 et de la couche 6, afin d'effectuer un balayage. Sur la figure 2, on a représenté un diagram- me portant l'énergie du faisceau du rayonnement ultra- violet en fonction du temps La largeur de chaque impulsion est de l'ordre de 15 ns La fréquence des impulsions est au plus de quelques hertz; elle peut être par exemple de 0,5 Hz, c'est-à-dire une période T de deux secondes Le faisceau laser est constitué d'un rayonnement ultraviolet intense, la longueur d'onde X de ce rayonnement étant par exemple de 350 nm et la puissance W du laser de 35 MW. 8 2544752 Par le procédé de léinvention, on obtient donc une couche de silicium dans laquelle coexistent des régions amorphes et des régions cristallines Une telle structure a beaucoup d'applications industriel- les parmi lesquelles on peut citer la réalisation de circuits de microélectronique sur substrats isolants ou la réalisation de circuits tridimensionnels, la réalisation de registres à décalage pour écran plat à cristaux liquides, la réalisation des circuits élec- troniques d'adressage des barrettes de photodétection ou l'électronique de décodage de eémoires à bulles En opérant dans des conditions identiques à celles don- nées en référence à la figure 2, on a pu obtenir une O O O séquence: p( 100 A); i( 500 A); n( 100 A); cette sé- quence étant répétée périodiquement pour obtenir une structure nipi (très photosensible, avec possibi- lité de modulation du taux d'absorption a et du spec- tre de luminescence). On a représenté sur la figure 3 un circuit d'adressage pour écran à cristaux liquides Le circuit d'adressage comprend un registre d'adressage en ligne et un registre d'adressage en colonne 22 L'adrcs- sage de chaque élément 24 de l'écran à cristaux liqui- des est réalisé par la fermeture d'unr interrupteur, tel qu'un transistor 26, -coimandé parune ligne du registre 20 et par un signal de commande émis par une colonne du registre 22. L'adressage s'effectuant classiquement li- gne par ligne, le registre 22 travaille à une fréquen- ce p fois plus élevée que le registre 20, si l'écran à cristaux liquides a p colonnes Ainsi, le registre 22 doit être réalisé obligatoirement en silicium cristal- lin pour pouvoir travailler à haute fréquence alors que le registre 20 peut être réalisé aussi bien en silicium amorphe qu'en silicium cristallin Ce circuit 9 - d'adressage peut donc être' réalisé avantageusement avec le procédé selon l'invention, le registre 20 étant en silicium amorphe et le registre 22 en sili-= cium cristallisé par un rayonnement d'irradiation. REVENDICATIONS 1 Procédé de croissance amorphe d'un corps avec cristallisation locale sous rayonnement électro- magnétique cohérent, la croissance dudit corps étant réalisée sur un support contenu dans une enceinte sous vide, ladite enceinte contenant une source dudit corps, caractérisé en ce que - on dépose de manière continue, sous forme amorphe, le corps sur le support et simultanément, on irradie temporairement une ou plusieurs surfaces déterminées de la couche déposée sur le support pen- dant ledit dépôt continu, cette irradiation étant obtenue par un faisceau de rayonnement électromagné- tique cohérent d'irradiation, la puissance W du faisceau et la longueur d'onde X du rayonnement électromagnétique cohérent d'irradiation étant ap- tes à réaliser une désorption desdites surfaces. 2 Procédé selon la revendication 1, carac- térisé en ce que le faisceau de rayonnement électroma- gnétique cohérent d'irradiation est émis sous forme d'impulsions à basse fréquence. 3 Procédé selon la revendication 1, carac- térisé en ce que le faisceau de rayonnement électroma- gnétique cohérent d'irradiation est une source lumi- neuse continue balayée spatialement. 4 Procédé selon l'une quelconque des reven- dications 1 à 3, caractérisé en ce que la source dudit corps est additionnée de façon séquentielle d'éléments dopants. 5 Procédé selon les revendications 1 et 2, caractérisé en ce que la fréquence d'émission des im- pulsions d'irradiation est inférieure à 5 Hz. 6 Procédé selon l'une quelconque des reven- dications 1 à 5, dans lequel ledit corps est du sili- cium, caractérisé en ce que la longueur d'onde X du il faisceau de rayonnement électromagnétique cohérent d'irradiation est inférieure à 400 nm. 7 Procédé selon la revendication 6, dans lequel ledit corps est du silicium, caractérisé en ce que la température du substrat est comprise entre 3000 C et 5000 C. 8 Procédé selon l'une quelconque des reven- dications 5 à 7, caractérisé en ce que ledit corps est du silicium dopé par du bore. 9 Procédé selon l'une des revendications 5 à 7, caractérisé en ce que ledit corps est du silicium dopé par du phosphore.