FR 2536536 A1 19840525 FR 8219336 A 19821118 "Fluxmêtre thermique à thermocouples" La présente invention concerne un fluxmètre thermique, c'est-à-dire un dispositif destiné à mesurer un flux ther- mique résultant d'un gradient de température, et plus par- ticulièrement un fluxmètre thermique comportant plusieurs dizaines et de préférence plusieurs centaines de thermo- couples élémentaires disposés en série. On a décrit dans la demande de brevet européenne N O 30499, déposée le ler décembre 1980 par la demanderesse et publiée le 17 juin 1981, un fluxmètre thermique à nombreux thermocouples, notamment avec référence aux figures 3 à 5 de cette demande européenne, comportant, suivant un trajet méandriforme (figure 3), une succession de thermocouples élémentaires connectés en série (figures 4 et 5); ce flux- mètre comprend une plaque en une matière plastique revêtue par une bande ou couche mince méandriforme en une première substance conductrice ou semi-conductrice, notamment en constantan, cette bande ou couche mince étant à son tour revêtue d'une succession de zones, séparées l'une de l'au- tre, de dépôt électrolytique en une seconde matière conduc- trice ou semi-conductrice présentant un pouvoir thermoé- lectrique différent de celui de la première matière conduc- trice ou semi-conductrice, notamment en cuivre Dans le mode de réalisation de la figure 4 de cette demande euro- péenne, lesdites zones avaient une forme dissymétrique par rapport à une direction transversale (forme en queue d'a- ronde), tandis que dans le mode de réalisation de la figure de cette demande le dispositif comportait une succession de revêtements de résine chevauchant chacun une portion d'une desdites zones et une portion adjacente de la bande ou couche non revêtue de dépôt de ladite seconde matière. On réalisait ainsi également une dissymétrie par rapport à une direction transversale. Ll'ensemble des cellules élémentaires ou thermocouples était connecté en série par la bande ou couche en la première matière, qui était continue C'est la dissymétrie par rapport à une direction transversale qui permettait d'engendrer une force électromotrice fonction de la diffé- rence de température à laquelle était soumise chaque cel- lule élémentaire, la première et la seconde matières pré- citées ayant des propriétés thermoélectriques différentes. On connaît par ailleurs un f luxmètre thermique selon le brevet des EtatsUnis no 4 197738 de Monsieur Degenne, déposé le 10 juillet 1978 et délivré le 15 avril 1980 Ce brevet décrit un f luxmètre thermique constitué par des thermocouples connectés en série et comprenant une plaque relativement épaisse en une matière isolante percée de deux séries de canaux transversaux traversant toute l'é- paisseur de la plaque; sur chaque face de cette plaque est disposée une série de revêtements en une première matière conductrice séparés les uns des autres par d'étroi- tes bandes de plaque non revêtues de cette matière conduc- trice; en outre les canaux sont revêtus intérieurement, les canaux de la première série étant revêtus de ladite première matière conductrice et les canaux de la seconde série étant revêtus d'une seconde matière conductrice pré- sentant des pouvoirs thermoélectriques différents; enfin des rondelles en la seconde matière conductrice entourent les bords supérieurs et inférieurs des canaux de la seconde série de canaux La première matière peut être le cuivre et la seconde matière du nickel. On notera que ni le revêtement en la première matière conductrice, ni le revêtement en la seconde matière con- ductrice n' est continu mais forme un ensemble de surfaces (sur les faces de la plaque et sur le pourtour intérieur des canaux) discontinues. Contrairement aux techniques antérieures, la présente invention a pour objet un fluxmètre thermique à nombreux thermocouples comportant une couche mince continue en une première matière conductrice ou semi-conductrice recouver- te sur au moins une de ses faces par une succession de zones, séparées l'une de l'autre, constituées par des dé- pôts très minces d'une seconde matière conductrice ou semi- conductrice ayant un pouvoir thermoélectrique différent de celui de la première matière, caractérisé par le fait qu'au moins un canal traverse de part en part au moins la plupart desdites zones et la couche mince sous-jacente, ces canaux étant décalés dans le même sens par rapport au centre de chaque zone traversée. De préférence lesdits canaux sont revêtus intérieure- ment d'un dépôt de la seconde matière. Avantageusement ladite couche mince continue a la forme d'une bande qui est de préférence méandriforme, en étant repliée pour former une structure rectangulaire ou carrée. Dans un premier mode de réalisation, la couche mince est déposée sur un substrat en matière isolante et elle est revêtue sur une seule face, à savoir celle opposée à la face fixée sur le substrat, de zones de dépôt très minces. Dans un second mode de réalisation, la couche mince est revêtue sur ses deux faces de zones de dépôt très min- ces, les zones d'une des faces chevauchant partiellement les zones de l'autre face de part et d'autre de la couche mince, et chaque canal, qui traverse tant la couche mince que les portions chevauchantes desdeux dépôts très minces de part et d'autre de la couche mince, est décalé, par rap- port au centre de chacun des deux dépôts, en sens inverses au-dessus et au-dessous de la couche. De préférence la première matière est le constantan et la seconde matière le cuivre. Avantageusement la succession de zones de dépôt très minces et la portion non revêtue de la couche mince ou de la ou des faces recouvertes sont revêtues de couches de résines. Le fluxmètre thermique selon l'invention peut com- prendre plusieurs centaines de thermocouples élémentaires, à savoir autant qu'il y a de zones sur une face ou chacune des faces de la couche mince. On notera qu'un dispositif selon l'invention se dis- tingue essentiellement du fluxmètre thermique selon la demande européenne no 30499 par la présence des canaux, non prévus dans cette demande, et du fluxmètre selon le brevet US N O 4 197 738 par le fait que la couchemince est continue, alors que dans ce brevet US aucun des revêtements supérieur ou inférieur n'est continu. L'invention pourra, de toute façon, être bien comprise à l'aide du complément de description qui suit, ainsi que des dessins ci-annexés, lesquels complément et dessins sont, bien entendu, donnés surtout à titre d'indication. Les figures 1 et 2 représentent, respectivement en perspective cavalière avec arrachement partiel de la cou- che supérieure de résine protectrice et en coupe partielle (par II-II de la figure 1), une portion, comportant deux cellules élémentaires ou thermocouples, d'un fluxmètre thermique selon un premier mode de réalisation de l'inven- tion. La figure 3 est une vue par-dessus, en plan, de la totalité d'un fluxmètre thermique selon l'invention. La figure 4 est une vue analogue à celle de la figure 3, mais à plus grande échelle et limitée à une portion du fluxmètre, la couche supérieure de résine protectrice ayant été supprimée. Les figures 5 et 6 représentent, respectivement en perspective cavalière avec arrachement partiel de la cou- che supérieure de résine protectrice et en coupe partielle (par VI-VI de la figure 5), une portion, comportant deux cellules élémentaires ou thermocouples, d'un fluxmètre thermique selon un second mode de réalisation de l'inven- tion. Selon l'invention, et plus spécialement selon celui de ses modes d'application, ainsi que selon ceux des modes de réalisation de ses diverses parties, auxquels il semble qu'il y ait lieu d'accorder la préférence, se proposant, par exemple, de réaliser un fluxmètre thermique à thermo- couples, on s'y prend comme suit ou d'une manière analogue. Référence étant d'abord faite aux figures 1 et 2 il- lustrant un premier mode de réalisation de l'invention, on y voit figurer deux cellules élémentaires ou thermocouples A et B disposés en série. L'ensemble du fluxmètre thermique comprend dans ce mode de réalisation: une plaque, bande ou pellicule support l en matière plastique, par exemple en polyimide ou en verre époxy, formant substrat; une couche ininterrompue mince 2 en une première matière conductrice ou semi- conductrice, par exemple en constantan (à 35 à 50 % de nickel, le complément à 100 % étant du cuivre, et de préférence à 40 % de nickel et 60 % de cuivre, le constantan habituellement utilisé pour fa- briquer des résistances électriques à 43 % de nickel con- venant aussi très bien) ou en silicium dopé P; une série de dépôts très minces 3, obtenus de pré- férence par voie électrolytique, en une seconde matière conductrice ou semi-conductrice, par exemple en cuivre, fer, zinc, tellurure de bismuth, sulfure de plomb; une série de canaux ou trous 4 percés à la fois dans la première et dans la seconde matière au voisinage d'une extrémité (dans le sens de la longueur) de chaque dépôt très mince en la seconde matière; enfin, éventuellement, une couche supérieure 5 en une résine protectrice déposée par sérigraphie, telle une "épargne souple" utilisée en technologie des circuits im- primés. Une disposition compacte fort avantageuse d'un grand nombre de cellules élémentaires ou thermocouples du type A, B des figures 1 et 2 est-illustrée sur les figures 3 (d'ensemble) et 4 (partielle, mais à plus grande échelle). Le support est alors constitué par une plaque la en matière plastique (polyimid e ou résine époxy par exemple) de forme rectangulaire ou carrée sur laquelle on a collé une feuille de constantan d'épaisseur 25 microns qui a été ensuite attaquée par du perchlorure de fer le long de li- gnes parallèles 6 formant deux peignes imbriqués, par la technique classique de gravure utilisée pour la fabrica- tion des circuits imprimés (on a déposé une couche pro- tectrice en résine photosensible inerte vis-à-vis du per- chlorure de fer sur l'ensemble de la feuille de constantan, puis on a éliminé cette couche suivant les lignes parallè- les 6 avant de procéder à l'attaque par le perchlorure de fer qui n'a agi que le long de ces lignes). On a ainsi obtenu une bande méandriforme 2 a en cons- tantan Par exemple dans un carré de 130 mm de côté (a = 130 mm), on a logé une bande méandriforme 2 a longue de 7250 mm. Sur la bande méandriforme 2 a on a déposé par voie électrolytique des couches 3 a de cuivre épaisses de quel- ques microns et longues de 2,5 mm, l'espacement entre ces couches étant également de 2,5 mm par exemple (b = 2,5 mm, c = 2,5 mm) Le cuivrage a eu lieu après protection, au moyen d'une couche de résine photosensible, des portions ne devant pas être cuivrées. Puis on a gravé des trous 4 a ayant une section de 1,3 mm x 0,6 mm par attaque chimique. Ces trous peuvent être revêtus intérieurement d'une couche 7 en la seconde matière conductrice ou semi-conduc- trice, notamment en cuivre. Enfin on a recouvert la face supérieure (sur les par- ties cuivrées et non cuivrées) du dispositif au moyen d'une couche 5 (voir figures l et 2) d'une résine thermodurcis- sable protégeant le cuivre et le constantan de l'oxydation dont l'épaisseur et les caractéristiques thermiques s o N t choisies de façon à optimiser la sensibilité du capteur. On a ainsi obtenu finalement un circuit méandriforme comportant 1250 cellules élémentaires ou thermocouples du type A, B connectés en série, une première borne étant en E (entrée) et une seconde borne en S (sortie) sur la fi- gure 1. La résistance de surface du dispositif selon les fi- gures 1 à 4 est de 20 m P pour une feuille de constantan épaisse de 25 microns; pour une bande méandriforme de cette épaisseur longue de 7250 mm et large de 1,8 mm, la résis- tance électrique est de l'ordre de 80 On notera que, mal- gré la présence des trous désignés par 4 sur les figures 1 et 2 et par 4 a sur la figure 4, la bande de constantan est continue, ce qui assure la connexion en série des cellules élémentaires ou thermocouples tels que A et B. Sur les figures 5 et 6 on a représenté un second mode de réalisation de l'invention. Dans ce mode de réalisation, le premier support 5 b est en polyimide avec un adhésif polymérisable à 1500 C, la couche continue 2 de première matière conductrice ou semi-conductrice (en - constantan ou en silicium dopé P par exemple) étant dotée sur ses deux faces de dépôts 3 b-et 3 c très minces de se- conde matière conductrice ou semi-conductrice, telle que le cuivre, se chevauchant partiellement de part et d'autre de la couche 2 Dans ce cas également on prévoit des trous 4 b traversant les deux dépôts 3 b, 3 c et la couche 2 Ces trous sont cuivrés intérieurement (couches 7 b) pour assurer le-contact électrique entre une paire de dépôts 3 b et 3 c se chevauchant partiellement Enfin une couche 5 c de rési- ne, analogue à la couche 5 des figures 1 et 2, recouvre-et protège la face inférieure de la couche 2 revêtue partiel- lement de dépôts de cuivre On notera que, comme dans le premier mode de réalisation, la couche 2 en première ma- tière conductrice ou semi-conductrice est continue malgré l'existence de trous 4 b, ce qui assure la mise en série des cellules élémentaires ou thermocouples A' et B'. Les propriétés thermiques du support adhésif et de la résine de protection sont différentes et sont choisies de façon à optimiser la sensibilité. On peut disposer une série de cellules élémentaires A', B' suivant la configuration des figures 3 et 4, comme pour le premier mode de réalisation L'ensemble du type illustré sur la figure 3 peutalors être disposé sur un support adhésif de faible épaisseur afin de réaliser un fluxmètre thermique de grande sensibilité Par exemple un dispositif comprenait 1250 cellules A', B' sur une surface de 125 mm x 125 mm (a = 125), la largeur de la bande méan- driforme de constantan étant de 1,8 mm et l'écart entre les portions parallèles de bande étant de 0,4 mm; les dé- pôts de cuivre avaient 2,1 mm de longueur (distance b sur la figure 4) et ils étaient séparés par des intervalles non cuivrés de 0,7 mm (distance c sur la figure 4) La sen- sibilité de ce dispositif était de l'ordre de 1,5 m V/W/dm 2, avec les mêmes épaisseurs pour le constantan et le cuivre que dans le premier mode de réalisation. La sensibilité augmente avec le nombre d'éléments Or il est facile d'intégrer le dispositif selon l'invention. On a ainsi pu obtenir une sensibilité de l'ordre de 6 m V/W/dm 2 avec des cellules élémentaires de plus petites dimensions. Le fonctionnement d'undispositif selon les figures 1 et 2 (premier mode de réalisation) est le suivant. Si l'on applique une différence de température entre la face supérieure et la face inférieure du dispositif se- lon les figures 1 à 4, c'est-à-dire un flux thermique tra- versant de bas en haut ou de haut en bas (en considérant la figure 2) ce fluxmètre, on constate tout d'abord que,si le fluxmètre ne comportait pas les canaux ou trous 4, aucune différence de potentiel ne serait disponible entre les bornes E et S,car il n'y aurait aucun effet de dissymétrie permettant de créer une différence de température dans le plan horizontal (toujours en considérant la figure 2), différence de température horizontale qui permet le fonc- tionnement du thermocouple selon l'invention Ce sont les trous ou canaux 4 qui réalisent une dissymétrie thermique car le flux thermique évite ces trous préférentiellement, étant donné que l'air est très mauvais conducteur, alors que les première et seconde matières conductrices ou éven- tuellement semi-conductrices sont beaucoup plus conductri- ces de la chaleur que l'air Il se crée alors une diffé- rence de température dans le plan horizontal entre les ex- trémités de gauche et de droite(en considérant les figures 1 et 2) de chaque zone 3, ce qui engendre une force élec- tromotrice d'origine thermoélectrique aux extrémités de chaque cellule élémentaire ou thermocouple A, B; or ces thermocouples sont connectés en série par la bande 2 et on obtient finalement une différence de potentiel notable entre les bornes E et S grâce à la mise en série d'un très grand nombre de cellules élémentaires ou thermocouples. Le même phénomène se produit dans le mode de réalisa- tion des figures 5 et 6 (avec disposition dans le plan, comme illustré sur les figures 3 et 4), du fait du passage préférentiel du flux de chaleur par les canaux ou trous 4 b lorsqu'une différence de température existe entre la face supérieure et la face inférieure du fluxmètre (en considé- rant la figure 6); en effet les canaux 4 b créent une dis- symétrie dans le plan horizontal du fait de leur position dissymétrique par rapport au centre des zones 3 b et 3 c, car la température entre les deux extrémités à gauche et à droite (en considérant les figures 5 et 6) des zones 3 b et 3 c engendre, dans chaque cellule élémentaire ou thermocou- ple A', B', une force électromotrice d'origine thermoélec- trique Les différentes cellules A', B' sont connectées en série par la bande 2 et on peut ainsi obtenir, avec les nombreuses cellules A', B' disposées comme illustré sur les figures 3 et 4, une force électromotrice totale importante. Comme il va de soi et comme il résulte d'ailleurs dé- jà de ce qui précède, l'invention ne se limite nullement à ceux de ses modes d'application et de réalisation qui ont été plus spécialementenvisagés; elle en embrasse, au contraire, toutes les variantes. 11. REVENDICATIONS 1 Fluxmètre thermique à nombreux thermocouples com- portant une couche mince continue en une première matière conductrice ou semi-conductrice recouverte sur au moins une de ses faces par une succession de zones, séparées l'une de l'autre, constituées par des dépôts très minces d'une seconde matière conductrice ou semi-conductrice ayant un pouvoir thermoélectrique différent de celui de la première matière, caractérisé par le fait qu'au moins un canal traverse de part en part au moins la plupart desdites zones et la couche mince sous-jacente, ces canaux étant dé- calés dans le même sens par rapport au centre de chaque zone traversée. 2 Fluxmètre thermique selon la revendication 1, ca- ractérisé par le fait que lesdits canaux sont revêtus in- térieurement d'un dépôt de la seconde matière. 3 Fluxmètre thermique selon la revendication 1 ou 2, caractérisé par le fait que ladite couche mince continue a la forme d'une bande. 4 Fluxmètre thermique selon la revendication 3, ca- ractérisé par le fait que la bande est méandriforme, en étant repliée pour former une structure rectangulaire ou carrée. Fluxmètre thermique selon l'une quelconque des re- vendications précédentes, caractérisé par le fait que la couche mince est déposée sur un substrat en matière iso- lante et elle est revêtue sur une seule face, à savoir celle opposée à la face fixée sur le substrat, de zones de dépôt très minces. 6 Fluxmètre thermique selon l'une quelconque des re- vendications 1 à 4, caractérisé par le fait que la couche mince est revêtue sur ses deux faces de zones de dépôt très minces, les zones d'une des faces chevauchant partiel- lement les zones de l'autre face de part et d'autre de la couche mince et chaque canal, qui traverse tant la couche mince que les portions chevauchantes desdeux dépôts très minces de part et d'autre de la couche mince, est décalé, par rapport au centre de chacun des deux dépôts, en sens inverses au-dessus et au-dessous de la couche. 7 Fluxmètre thermique selon l'une quelconque des re- vendications précédentes, caractérisé par le fait que la première matière est le constantan. 8 Fluxmètre thermique selon l'une quelconque des re- vendications précédentes, caractérisé par le fait que la seconde matière est le cuivre. 9 Fluxmètre thermique selon l'une quelconque des re- vendications précédentes, caractérisé par le fait que la succession de zones de dépôt très minces et la portion non revêtue de la couche mince ou de la ou des faces recouver- tes sont revêtues d'une couche de résine protectrice. 10 Fluxmètre thermique selon l'une quelconque des re- vendications précédentes, caractérisé par le fait qu'il comprend plusieurs centaines de thermocouples élémentaires, à savoir autant qu'il y a de zones sur une face ou chacune des faces de la-couche mince.