FR 2545295 A1 19841102 FR 8307179 A 19830429 AMPLIFICATEUR HYPERFREQUENCE DE PUISSANCE La présente invention concerne une nouvelle structure d'amplificateurs de puissance haute fréquence monolithique, à transistors à effet de champ, réalisés dans des matériaux rapides de la famille 1 IL V, tels que par exemple Ga As, Ga Al As, In P Ces amplificateurs intégrés sont adaptés en entrée et en sortie, et possèdent un grand gain et une forte puissance de sortie. L'amplificateur haute fréquence selon l'invention existe en une plura- lité de réalisation, de géométries différentes, qui toutes ont une même base, le transistor hyperfréquence de petite ou moyenne puissance, doté d'une seule entrée, la grille ou la source mais d'au moins deux sorties, deux drains par exemple Toutes les réalisations ont également une même structure, selon laquelle une pluralité de transistors à effet de champ élémentaires sont groupés selon une organisation arborescente Chaque transistor à effet de champ élémentaire peut être adapté à la même impédance en entrée et en sortie; étant de faible puissance, il est de faibles dimensions géomé- triques, ce qui permet d'une part d'avoir une faible largeur de grille, d'autre J:lt de ne pas avoir de déphasage important entre les signaux d'entrée et de sortie. Ainsi chaque transistor à effet de champ constitue le module de base, à une entrée et au moins deux sorties, de chaque étage de l'amplificateur hautes fréquences Les modules de base sont organisés selon une structure arborescente, c'est-à-dire qu'un transistor d'un étage commande au moins deux transistors de l'étage suivant Toutes les sorties des transistors du dernier étage sont réunies entre elles pour recueillir sur une sortie unique toute la puissance de l'amplificateur Outre Pamélioration des caracté- ristiques électriques citées, c'est-à-dire hautes fréquences de fonction- nement et faibles déphasages, cette structure apporte un meilleur isolement entrée-sortie, même avec un amplificateur à grand gain, et facilite l'implan- tation géométrique, ce qui est avantageux pour une insertion dans un circuit intégré plus complexe, et ce qui permet d'optimiser la dissipation thermique de l'amplificateur. De façon plus précise l'invention concerne la structure d'un ampli- ficateur de puissance haute fréquence comportant une borne d'entrée sur laquelle est appliqué un signal d'entrée à faible niveau, et une borne de sortie sur laquelle est recueilli un signal sous forte puissance, caractérisé en ce que sa structure, de forme arborescente, comporte une pluralité d'étages d'amplification, connectés en série, chaque étage comportant une pluralité de cellules élémentaires, chaque cellule ayant une borne d'entrée et au moins deux bornes de sorties, de sorte qu'une cellule d'un premier étage commande au moins deux cellules de l'étage d'amplification suivant, les sorties des cellules du dernier étage étant connectées à une unique borne de sortie. L'invention sera mieux comprise par la description de deux exemples de réalisation qui respectent la structure de l'amplificateur selon l'invention,. ces descriptions s'appuyant sur les figures jointes en annexe qui repré- sentent: figure 1 schéma d'un transistor à effet de champ interdigité de puissance, selon l'art connu, figure 2 schéma d'un amplificateur à transistor à effet de champ cellulaire, selon Part connu, figure 3: schéma structurel d'un amplificateur de puissance hyper- fréquences, selon l'invention, figure 4: schéma simplifié d'un transistor à effet de champ consti- tuant un module élémentaire de la structure selon l'invention, figure 5: première configuration dun amplificateur de puissance hyperfréquences selon l'invention, figure 6: seconde configuration d'un amplificateur hyperfréquences de puissance selon l'invention, figure 7: implantation dun amplificateur à trois étages, sur un substrat de Ga As, selon linvention. Les amplificateurs de puissance hyperfréquence, qui sont fréquemment utilisés dans les télécommunications ou, pour des applications de type militaire, utilisent souvent des transistors à effet de champ comme élé- ments actifs Parmi d'autres qualités demandées à ces amplificateurs, trois spécifications sont couramment requises: adaptation en impédance en entrée et en sortie, un grand gain en tension, ou en signal, une forte puissance de sortie, Les réalisations les plus courantes actuellement en électronique solide se font selon la technologie hybride mais elles sont limitées pour plusieurs raisons. Les impédances des transistors à effet de champ ne sont pas faciles à adapter lorsque l'amplificateur travaille dans une gamme de hautes fré- quences, telle que par exemple 5 à 40 G Hz On sait que les lignes de liaison présentent à ces fréquences des impédances, des selfs, des capacités qui naissent de la proximité entre une ligne et une masse, ou de la proximité de deux lignes entre elles, ou encore de la forme adoptée pour une ligne de liaison Ces difficultés n'existent pas aux plus basses fréquences, c'est-à-dire celles qui se comptent en mégahertz au maximum. Le gain d'un amplificateur hyperfréquences est limité Pour augmenter le gain intrinsèque d'un transistor à effet de champ qui constitue l'un des éléments actifs d'un amplificateur hyperfréquences, il faut augmenter la largeur de la grille de ce transistor, l'impédance du transistor diminue, donc il devient plus difficile à adapter, et en outre, l'augmentation de la largeur de la grille entraîne une diminution de la fréquence maximale de fonction- nement du transistor. La puissance d'un amplificateur hybride est limitée Pour augmenter la puissance d'un tel amplificateur, il faut augmenter la largeur de grille de chaque transistor constituant cet amplificateur, donc réapparaissent les mêmes problèmes d'adaption de l'amplificateur hybride En outre, la puis- sance intrinsèque d'un amplificateur est limitée par la dissipation thermique et par le claquage électrique possible de chaque transistor s'il est poussé à ses conditions maximales. Les figures 1 et 2 représentent deux solutions connues à ce problème d'amplificateur de puissance hyperfréquences: elles peuvent être mises en oeuvre soit selon une technologie hybride, soit selon une technologie de circuits intégrés. La figure 1 représente le schéma de principe d'un transistor de puis- sance dit interdigité Ce transistor de puissance est obtenu par la répétition un grand nombre de fois, d'un transistor à effet de champ élémentaire, du niveau d'un transistor de signal, constitué d'une source 1, d'une grille 2 et d'un drain 3 On connaît des transistors interdigités dans lesquels sont regroupés plus de 500 transistors élémentaires tel que celui constitué par la source 1, la grille 2 et le drain 3 Le couplage de ces transistors de signaux élémentaires pour obtenir un transistor de puissance peut se faire soit comme cela est représenté pour les sources sur la figure 1 par des liaisons, par fils, entre chaque plage métallisée de source 1 et une plage métallisée 4 disposée le long du transistor interdigité Elle peut également se faire comme cela est également représenté pour les drains 3 en prolongeant, au niveau de chaque transistor de signal, la métallisation de drain, toutes les métallisations 3 étant réunies en une métallisation unique 5. Quelque soit le type de liaison assurée entre les éléments de tran- sistors élémentaires, quelque soit également la nature de ces transistors ou la géométrie adoptée pour le transistor interdigité, ce qui est important dans cette figure 1 n'est -pas la représentation exacte d'un transistor interdigité mais plutÈt de permettre de poser le problème de la géométrie des transistors à effet de champ interdigités Si un tel transistor interdigité est de dimensions importantes, parce qu'il regroupe un grand nombre de transistors à effet de champ élémentaires c'est-à-dire de signaux, en d'autres termes, si sa géométrie est trop large parce que les dimensions des métallisations de source I de drain 3 et des bandes de connexion 4 et 5 sont trop grandes aux hautes fréquences par rapport à la longueur d'onde du signal amplifié par ce transistor, il y a des déphasages entre le signal d'entrée et le signal de sortie En d'autres termes, si un signal, ayant une fréquence propre de quelques G Hz, est appliqué sur la grille 6 d'un tel transistor interdigité, et est recueilli sur la métallisation de sortie 7 du drain commun de ce transistor, le chemin parcouru par le signal entre la borne dentrée et la borne de sortie du transistor n'est pas indifférent: la longueur de chemin est notablement différente à l'échelle de la longueur d'onde du signal selon que celui-ci est transmis par les transistors proches des métallisations d'entrée et de sortie ou est transmis par des transistors éloignés les dites métallisations Par conséquent, la longueur et la largeur de chaque élément considéré, que ce soit la source ou le drain d'un transistor élémentaire, ou que ce soit la longueur et la largeur du transistor inter- digité, interviennent et créent une série de déphasages, chaque transistor élémentaire composant le transistor interdigité ayant son propre déphasage. La figure 2 représente un autre type d'amplificateur de puissance _ 5 hyperfréquence connu C'est un amplificateur dit "cellulaire". Le signal hyperfréquence d'entrée est appliqué, dans un amplificateur cellulaire, à un premier organe d'amplification 8, qui est par exemple un amplificateur en tension Le signal de sortie de cet amplificateur 8, qui n'a pas a être détaillé dans le cas présent, est adressé à un transistor de sortie qui est découpé en cellules adaptées 9 Toutes les cellules 9 sont montées en parallèle et chacune d'entre elles n'a qu'une seule entrée et qu'une seule sortie: on peut dire que chaque cellule 9 constitue un transistor hyperfré- quence de moyenne puissance, alliant une optimisation entre les caracté- ristiques électriques des transistors hyperfréquences de signaux et la puis- sance quil est possible de délivrer sans distorsion ou déphasage Pour que le signal de sortie de l'amplificateur 8 soit réparti entre les différentes cellules 9, un amplificateur cellulaire comporte des circuits passifs combi- neurs diviseurs représentés par des blocs diagrammes 10 et 11, le circuit passif 10 répartissant le signal entre les cellules tandis que le circuit passif 11 combine les signaux et la puissance issue des cellules 9. D'autres types damplificateurs de puissance pourraient encore être cités mais il est à remarquer que dans les cas connus le gain en puissance ne se fifit généralement que par un seul étage: dans le cas d'un transistor interdigité tel qu'en figure 1, tous les transistors élémentaires sont en paral- lèle, et ils ont une entrée et une sortie communes Dans le cas de la figure 2, toutes les cellules sont en parallèle, elles ont également une entrée et une sortie qui sont communes. La figure 3 représente le schéma structurel d'un amplificateur hyper- fréquence selon l'invention. Pour mettre plus facilement en évidence la structure de cet ampli- ficateur, on conviendra que chaque élément de base ou cellule de l'ampli- ficateur, représenté par un trait ayant une entrée et deux sorties, constitue un transistor à effet de champ: cette représentation éclaire singulièrement le schéma de la figure 3 Le nombre d'étages représentés n'est pas limitatif de l'invention. L'amplificateur de puissance hyperfréquence représenté en figure 3 comporte 5 étages Le signal d'entrée, appliqué sur la borne 12 qui est par exemple la grille du premier transistor 13, est amplifié et délivré par deux bornes de sortie du transistor 13: ces deux bornes de sortie sont par exemple deux drains de ce transistor Le signal légèrement amplifié en tension et en puissance issu des deux sorties du premier transistor 13 est adressée en parallèle sur les deux bornes d'entrée des deux transis- tors 14 et 15 qui constituent le second étage de l'amplificateur selon lin- vention, en série avec le premier étage. Les deux transistors 14 et 15 du second étage peuvent être compa- rables au transistor 13 du premier étage, c'est-à-dire que ce sont des transistors de signaux dotés chacun dune entrée, une grille, et de deux sorties sur deux drains par exemple Les signaux amplifiés en tension et en puissance issus du transistor 14 sont à leur tour, et chacun respectivement, adressés sur les deux transistors 16 et 17 constituant la moitié du troisième étage Et symétriquement pour les signaux issus du transistor 15. La structure de P'amplicateur hyperfréquence de puissance selon l'in- vention rassemble donc une pluralité d'étages dlamplification, qui sont notés Dur le côté de la figure sous forme du premier, second, troisième etc éta- {ges, lesquels sont en série Mais dans chaque étage, les cellules de base, dotées d'une seule entrée et de deux sorties, sont commandées par une cellule de létage précédent et commandent au moins deux cellules de Pétage suivant Puisque les composants actifs pour les amplificateurs hyperfréquences aux fréquences considéréesen G Hz, sont essentiellement des transistors à effet de champ, chaque cellule de base de l'amplificateur a comme entrée une grille et comme sortie deux drains, ou deux sources. Les sorties de tous les transistors du dernier étage de l'amplificateur sont regroupées pour délivrer sur la borne de sortie 18 un signal amplifié en tension et en puissance. La structure de l'amplificateur selon l'invention rappelle le phénomène d'un photomultiplicateur, dans lequel chaque photon incident donne nais- sance à au moins une paire de photons qui à leur tour donnent naissance à d'autres paires de photons. Outre la caractéristique de chaque cellule d'avoir une entrée et au moins deux sorties identiques, chaque cellule est adaptée à la même impédance en entrée et sur chaque sortie Les liaisons entre les transistors de chaque étage se font par des lignes adaptées telles que par exemple des microbandes dont la longueur et la largeur sont en liaison avec la fréquence de travail, lesquelles lignes microbandes étant elles mêmes connectées aux grilles des transistors par des capacités adéquates. L'entrée de l'unique transistor du premier étage constitue l'entrée de l'amplificateur Les sorties des transistors du dernier étage, c'est-àdire le cinquième étage sur la figure 3, sont connectées entre elles par des circuits combineurs passifs classiques du genre des circuits Wilkinson, pour délivrer un signal unique. La figure 4 représente une structure, possible parmi d'autres, pour un transistor à effet de champ constituant chacune des cellules de base 13, 14, 15 etc de la figure 3. Cette cellule de base est constituée par un transistor à effet de champ interdigité possédant par exemple une source 19, une grille 20 et deux drains 21 et 22. Le fait que le transistor soit interdigité permet de gagner en puissance Chaque étage mais il est important de remarquer que les transistors interdigités utilisés dans les amplificateurs selon l'invention ne regroupent qu'un faible nombre de transistors élémentaires Ainsi, sur la figure 4 on voit que chaque drain de sortie correspond à 4 drains de transistors de signal tandis que, comme il a été dit au sujet de la figure 1, les transistors interdigités de puissance regroupent jusque plus de 500 transistors La différence est importante car le transistor de la figure 4, cellule élé- mentaire de Pamplificateur selon l'invention, ne regroupant qu'un petit nombre de transistors de signaux, est de petites dimensions: les faibles dimensions font qu'il n'y a pas de déphasage dû à des longueurs géométriques lorsqu'un signal traverse ce transistor. La cellule élémentaire de la figure 4 comprend également deux circuits d'adaptation en entrée et en sortie qui ne sont pas représentés sur cette figure Enfin, le fait d'avoir deux drains distincts tels que représentés sur la figure 4 n'est pas indispensable dans le cadre de l'invention on peut concevoir un transistor interdigité qui ne regrouperait que deux transistors de signaux ou on peut également concevoir que les drains ne soient pas immédiatement réunis par une métallisation 21 ou 22 mais comportent cha- cun son circuit d'adaptation en impédance L'important, et cela a été déjà précisé, est que chaque cellule n'a qu'une seule entrée et comporte au moins deux sorties. Les circuits d'adaptation entre les différents étages de l'amplificateur peuvent être des lignes quart-d'onde simples, par exemple allant de la sortie d'un transistor d'un étage à une entrée d'un autre transistor de l'étage suivant, avec une capacité en série dans la ligne Elles peuvent être également plus sophistiquées et comporter d'autres éléments tels que les inductances qui optimisent chaque cellule, l'objet final étant de gagner légèrement en tension et en puissance pour chaque cellule élémentaire de façon à obtenir sur la sortie de l'amplificateur un gain important sans distorsion du signal et sans déphasage Cet objectif est atteint en particulier parce que la multiplication du nombre d'étages d'amplificateurs permet de se contenter d'un faible gain pour chaque étage avec donc une faible contre- réaction du signal de sortie sur le signal d'entrée et donc une faible distorsion ou déphasage. La figure 3 représente le schéma structurel d'un amplificateur selon l'invention Dans sa réalisation, l'amplificateur de puissance hyperfréquence peut prendre d'autres formes géométriques d'implantation de chacun des transistors sur une pastille de matériau semiconducteur. La figure 5 représente un premier exemple de réalisation de l'ampli- ficateur selon l'invention, cette implantation étant concentrique. Les transistors ou cellules élémentaires de chaque étage sur la figure 5 ne sont pas repérés comme sur la figure 3 par des numéros, 13,14 15 etc mais par le numéro de l'étage de l'amplificateur dont ils font partie C'est ainsi que l'entrée de l'amplificateur se fait par le transistor central qui constitue le premier étage et qui dans ce cas de figure possède six sorties Les six sorties du premier transistor alimentent six transistors qui constituent le second étage, chaque transistor repéré 2 ayant à son tour deux sorties qui alimentent chacune un transistor du troisième étage et ainsi de suite Dans la configuration de la figure 5, l'amplificateur comprend à titre d'exemple quatre étages de transistors élémentaires. Cette implantation géométrique permet de régulariser la dissipation thermique et par conséquent de conserver des caractéristiques homogènes pour tous les transistors, c'est-à-dire tous les étages de l'amplificateur. La figure 6 représente une autre configuration d'un amplificateur selon l'invention Selon cette configuration, les transistors sont implantés selon au moins deux -lignes, la première ligne regroupant les premiers, second, troisième et quatrième étages, la seconde ligne regroupant le cinquième étage d'amplification, s'il s'agit d'un amplificateur à cinq étages. De façon plus générale, un amplificateur selon l'invention dans la configu- ration de la figure 6 comporte au moins deux lignes parallèles de transistors implantés dans la rondelle de matériaux semiconducteurs Sur la première ligne se trouvent la borne dentrée 12 et les premiers étages alignés et alternés, l'ensemble des premiers étages étant choisi de telle façon que la somme de tous les transistors soit égale à la somme des transistors du dernier étage moins un; le dernier étage est quant à lui composé d'une seule ligne de transistors dont les sorties sont réunies pour former une unique sortie 18 de l'amplificateur. Cette configuration, ou implantation géométrique selon la figure 6 permet de résoudre les problèmes de dimensions car les amplificateurs classiques hybrides ont tendance a être très longs, particulièrement s'il y a un grand nombre d'étages. Dans cette seconde configuration étant donné que les étages ont été partagés en n-1 étages sur une ligne et le dernier étage sur l'autre ligne, chaque ligne comportant le même nombre de transistors à une unité près, cette configuration permet de régulariser la dissipation thermique, dis- tribuée de façon uniforme. Un aspect important de l'amplificateur hyperfréquence de puissance selon l'invention est que le problème d'isolation entre l'entrée et la sortie du signal électrique est beaucoup moins important que pour un amplificateur selon l'art connu En effet, l'amplificateur selon l'invention est constitué d'une pluralité de transistors de signaux à effet de champ, chacun ayant les mêmes caractéristiques que ses voisins Le gain de chacun de ces transistors de signaux peut être maintenu à un niveau relativement faible de telle sorte que le signal reste relativement constant à la dispersion de fabrication près entre chaque point de l'amplificateur ou entre chaque cellule de base. Le niveau de signal restant relativement constant et avec un faible gain pour chaque étage, la réaction du signal de sortie sur le signal d'entrée est faible: par conséquent, il y a peu de déphasages entre les signaux de sortie et les signaux d'entrée Il est même possible avec la configuration de la figure 6 de connecter les transistors constituant les étages de l'ampli- ficateur de telle façon que les phases soient également très proches, c'est-à- dire que les transistors étant implantés de façon alternée, tête bêche sur une même ligne, les signaux en avance de phase contre-réactionnent les signaux en retard de phase par exemple. En ce qui concerne le gain total de l'amsplificateur, chaque transistor élémentaire peut avoir qu'un faible gain, mais la multiplication de ce faible gain par le nombre d'étages permet d'obtenir, sur la sortie de lamplificateur considéré dans son ensemble, un signal fortement amplifié en tension et en puissance, sans les limitations dues au déphasage. En conclusion, on peut dire que dans un amplificateur classique, selon l'art connu, le signal augmente à chaque étage par le gain de l'étage et la taille du transistor augmente avec la hiérarchie des puissances Par contre, t de signal étant optimisé pour la fréquence de travail. L'invention a été exposé en s'appuyant sur des figures dans lesquelles les transistors à effet de champ sont schématisés soit par un trait, comme dans les figures 3 et 6, soit par un cercle, comme sur la figure 5 La figure 7 représente un amplificateur selon l'invention, vu au niveau de la surface libre sur une pastille d'un matériau semiconducteur Cet amplificateur est limité sur la figure 7 à trois étages seulement, ce qui ne limite pas pour autant la portée de l'invention. On reconnait sur cette représentation de la partie visible dcun ampli- ficateur selon l'invention, intégré sur Ga As, le premier étage, constitué par le transistor 13, le second étage, constitué par deux transistors 14 et 15, le troisième étage, dont les transistors 16 et 17 forment une moitié. L'entrée de l'amplificateur se fait en 12 sur la grille du premier transistor 13, et la sortie en 13, sur les drains de tous les transistors du dernier étage. Chaque transistor comporte une source 19, une grille 20 et deux drains 21 et 22 Les liaisons entre transistors se font par des microbandes uart d'onde 23 et des capacités 24. Les métallisations d'alimentations et les découplages à la masse ne sont pas représentés sur cette figure. Etant donné les fréquences de travail de l'amplificateur selon l'in- vention, les matériaux rapides tels que Ga As, Al Ga As, In P ou d'autres matériaux des familles I 11 V par exemple sont préférables Toutefois, ce type d'amplificateur est également applicable à de plus faibles fréquence, sur des matériaux tels que les silicium. L'amplificateur selon l'invention est essentiellement utilisé pour les âaux radioélectriques, dans les télécommunications, les radars ou les 6 dtériels militaires et spatiaux Il est destiné à l'intégration monolithique et une configuration telle que celle de la figure 6 permet de l'inclure dans des circuits intégrés plus complexes, comportant entre autres un amplificateur hyperfréquence. L'invention est précisée par les revendications suivantes. REVENDICATIONS 1 Amplificateur hyperfréquence de puissance, comportant une borne d'entrée ( 12) sur laquelle est appliqué un signal d'entrée à faible niveau, et une borne de sortie ( 18) sur laquelle est recueilli un signal sous forte puissance, caractérisé en ce que sa structure, de forme arborescente, comporte une pluralité d'étages d'amplification, connectés en série, chaque étage comportant une pluralité de cellules élémentaires ( 13 à 17), chaque cellule ayant une borne cdentrée ( 20) et au moins deux bornes de sor- ties ( 21, 22), de sorte qu'une cellule ( 13) d'un premier étage commande au moins deux cellules ( 14, 15) de l'étage d'amplification suivant, les sorties des cellules du dernier étage étant connectées à une unique borne de sortie ( 18). 2 Amplificateur hyperfréquence selon la revendication 1, caractérisé en ce que les cellules élémentaires d'amplification ( 13 à 17) sont des tran- sistors à effet de champ, de faible puissance, dont la borne d'entrée ( 20) est la grille, dont les bornes de sorties, au moins deux ( 21, 22) sont soit deux drains, soit deux sources, les transistors étant alimentés par celles de leurs électrodes, source ou drain respectivement, qui ne constituent pas leurs ectrodes de sorties. 3 Amplificateur hyperfréquence selon la revendication 1, caractérisé en ce que les cellules élémentaires d'amplification ( 13 à 17) sont des transis- tors à effet de champ de faible puissance, dont la borne d'entrée ( 19) est la source, dont les bornes de sorties, au moins deux ( 21, 22), sont deux drains, la grille étant à la masse, les transistors étant alimentés, à travers des inductances, par leurs drains. 4 Amplificateur hyperfréquence selon la revendication 2, caractérisé en ce que les transistors à effet de champ ( 13 17) constituant les cellules élémentaires étant des transistors de faible puissance, leurs dimensions géométriques sont petites et le déphasage entre les signaux d'entrée et de sorties, pour chaque transistor, est faible. Amplificateur hyperfréquence selon la revendication 2, caractérisé en ce que tous les transistors des étages constituant l'amplificateur ont les mêmes dimensions, et en ce que le gain en puissance, entre un premier étage et un second étage qui lui succède, est obtenu par au moins le doublement du nombre de transistors du second étage par rapport au premier étage. 6 Amplficateur hyperfrequence selon la revendication 2, caractérisé en ce que les transistors sont adaptés en impédance, en entrée et en sorties, les liaisons entre deux transistors ( 13, 14) appartenant à deux étages succes- sifs de l'amplificateur se faisant par des microbandes adaptées et par des inductances et des capacités en série entre microbande et entrée du transistor. 7 Amplificateur hyperfréquence selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il est réalisé sur un cristal de matériau semiconducteur, selon la technologie des circuits intégrés. 8 Amplificateur hyperfréquence selon la revendication 7, caractérisé en ce que sa structure d'implantation monolithique est concentrique, le transistor d'entrée constituant le premier étage étant au centre, les transistors des étages suivants étant implantés selon des cercles concen- triques autour du transistor d'entrée, le signal de sortie de l'amplificateur étant recueilli sur une métallisation ( 18) qui entoure le dernier étage d'amplification. 9 Amplificateur hyperfréquence selon la revendication 7, caractérisé en ce que sa structure d'implantation monolithique est linéaire, les transis- llrs des premiers étages (ler au 4 ème) étant implantés sur une premiere ligne, répartis symétriquement par rapport au transistor central d'en- trée ( 13), les transistors du dernier étage ( 5 ème) étant implantés sur une seconde ligne, parallèle à la première, l'entree ( 12) de l'amplificateur étant sur le transistor ( 13) central de la première ligne et la sortie ( 18) de P'amplificateur prélevée sur une métallisation qui réunit toutes les sorties de tous les transistors de la deuxième ligne. Amplificateur hyperfréquence selon la revendication 9, caractérisé en ce que, parmi les transistors ( 13 17) des premiers étages (ler au 4 ème), les transistors ( 14) d'un étage sont implantés tête-bêche avec les transis- tors ( 16, 17) de l'étage suivant, afin d'annuler les déphasages.