FR 2547072 A1 19841207 FR 8309007 A 19830531 DISPOSITIF DE DEFLEXION D'UN FAISCEAU INFRA-ROUGE A COMMANDE ELECTRONIQUE. la présente invention a pour objet un dispositif de déflexion d'un faisceau infra-rouge suivant une direction prédéterminée. Pour opérer la déflexion d'un faisceau d'énergie rayonnée avec une grande précision, il est, en général, préférable d'utiliser un dispositif fonctionnant par valeurs discrètes, celle-ci pouvant en effet être exactement 5 définies par la structure même du dispositif; elles sont donc plus stables, c'est à dire insensibles aux fluctuations ou perturbations extérieures. Un réseau de diffraction permet une déflexion globale d'un faisceau incident suivant une direction privilégiée prédéterminée et suivant la direction qui lui est symétrique par rapport à la normale au plan du réseau. 10 Un tel réseau ne permet donc d'obtenir la déflexion d'un faisceau incident que dans deux directions prédefinies symétriques Pour constituer un dispositif permettant de défléchir successivement un faisceau dans plusieurs directions définies, il est donc nécessaire d'associer plusieurs réseaux, avec les inconvénients que cela entraine en ce qui concerne d'une part le 15 rendement lumineux de la déflexion, et d'autre part, surtout, la précision de la déflexion; Un dispositif de l'art antérieur est décrit dans la demande de brevet français publiée sous le numéro 2 254 057 Ce dispositif est un dispositif de déflexion d'un faisceau d'énergie rayonnée cohérente et polarisée, sous 20 l'action d'un signal électrique de commande, comportant: une couche d'un matériau électro-optique; des électrodes de l'une des faces au moins étant transparentes, et des moyens d'excitation de ces électrodes recevant un signal de commande L'une des faces de cette couche porte un ensemble d'électrodes de mêmrne étendue, contigies mais isolées électriquement, 25 portées sélectivement à des potentiels électriques de valeurs prédéfinies, modifiant ainsi spatialement le déphasage du faisceau incident afin de constituer les lignes d'un réseau diffractant Le pas de ce réseau est variable et fonction de la répartition des valeurs prédéfinies du potentiel sur les électrodes. Contrairement à ce dispositif de l'art antérieur, le dispositif de l'invention concerne la déflexion d'un faisceau préalablement divisé en plusieur faisceaux élémentaires, chacun d'eux traversant respectivement un modulateur de phase comportant un guide d'onde et au moins une électrode qui lui est adjacente. De plus par rapport à ce dispositif de l'art antérieur, le dispositif de l'invention a pour objet la déflexion d'un faisceau situé dans le domaine infra-rouge En effet l'extension du champ des possibilités des dispositifs optoélectriques fonctionnant dans l'infra-rouge moyen, notamment ceux travaillant dans la bande 9,5 lum -10,6 /um qui est celle dans laquelle 10 fonctionne le laser à dioxyde de carbonne, fait apparaître la nécessité d'utiliser un dispositif de déflexions rapide, donc statique, d'un faisceau lumineux permettant l'accès aléatoire de tous les points de l'intervalle angulaire de déflexion. L'invention a pour objet un dispositif de déflexion d'un faisceau infra15 rouge comportant une source d'un faisceau infra-rouge et un corps en matériau électro-optique muni d'électrodes, des moyens de génération de signaux de commande reliés à ces électrodes, cette source étant couplée à ce corps, caractérisé en ce que ce corps comporte au moins une plaquette de.' ériau électro-optique et que ledit dispositif comprend des moyens de 20 couplage et de division du faisceau infra-rouge en N faisceaux élémentaires, N étant un nombre entier déterminé, et N modulateurs de phase discrets disposés sur chaque plaquette, chaque modulateur de phase comportant un guide d'onde monomode auquel au moins une électrode est adjacente, chaque guide ayant une de ses extrémités couplée aux moyens de couplage et de 25 division du faisceau infra-rouge et son autre extrémité formant une des N sources élémentaires qui délivrent un faisceau unique défléchi. D'autres aspects et avantages de l'invention seront mieux compris à l'aide de la description ci-après, fournie à titre d'exemple non limitatif, ainsi que des figures annexées parmi lesquelles: la figure I représente le dispositif de l'invention. les figures 2 à 4 illustrent différents aspects du dispositif de l'invention. la figure 5 représente une vue schématique du dispositif de l'invention. Le dispositif de l'invention est basé sur les possibilités de réalisation de guides d'ondes monomodes dans un substrat et de déphaseurs commandables utilisant l'effet électro-optique au sein d'un même matériau On obtient 5 ainsi de véritables circuits intégrés optiques regroupant sur une même plaquette plusieurs déphaseurs commandables individuellement Le matériau de base utilisé étant un diélectrique ou un semi-conducteur convenablement choisi L'ensemble du dispositif est réalisé à la surface d'un substrat possédant des propriétés électrooptiques, tel que le niobate de lithium 10 (Li Nb O 3) et le tantalate de lithium (Li Ta O 3) (pour le domaine visible ou infra-rouge proche), ou par exemple l'arseniure de gallium (As Ga) (pour l'infra-rouge proche et plus Iointain) Dans un substrat de Niobate de lithium par exemple, les guides d'ondes optique sont obtenus par diffusion de titane. Cette diffusion est sélective grâce à des procédés de photolithographie 15 classique Dans le cas de semiconducteurs, ces guides d'ondes peuvent être réalisés grâce à des techniques d'épitaxie en phase liquide ou gazeuse Ainsi les procédés convenant à l'élaboration de ces circuits intégrés optiques sont ceux qui sont utilisés dans la fabrication des dispositifs électroniques &-quivalents (épitaxie et/ou diffusion masquée, microlithographie par exem20 ple) Il est donc possible en couplant une source de rayonnement infra-rouge aux extrémités d'entrée de ces guides d'ondes par l'intermédiaire d'un dispositif séparateur de faisceau, réalisé en optique intégrée par exemple, de réaliser le dispositif de l'invention tel qu'il apparaisse comme un réseau de N sources élémentaires (extrémités de sortie des N guides diffusés du 25 circuit intégré optique) dont la phase relative est commandable de façon individuelle; N étant un nombre entier déterminé Les électrodes sont disposées sur tout ou partie de chacun des guides diffusés et permettent ainsi d'en faire varier l'indice en fonction du champ électrique E appliqué. Le dispositif proposé se compose donc d'un réseau de N déphaseurs 30 commandables intégrés à N guides dont les centres des extrémités de sortie émergent de la plaquette substrat sur une ligne droite La répartition des extrémités de sortie sur cette droite est symétrique par rapport à l'une d'entre elles. Dès lors, comme dans la théorie des réseaux de diffraction, si l'on effectue la composition en champ éloigné du rayonnement émis par les N sources on voit qu'à une direction particulière du plan perpendiculaire aux extrémités de sortie des N guides et passant par la droite lieu de leur centre 5 correspond une répartition particulière des phases relatives de chacunes ou, ce qui revient au même, une répartition des tensions appliquées aux électrodes des déphaseurs Il est donc possible, en modifiant la répartition de tension d'obtenir, dans un plan gisement par eiemple, la déflexion du faisceau infra-rouge dans un certain domaine angulaire: le dispositif confor10 me à l'invention est donc un système de balayage électronique unidimensionnel appliqué au domaine optique. A la figure 1 est représentée une réalisation partielle du dispositif de l'invention donnée à titre d'exemple pour en faire mieux comprendre le fonctionnement Le dispositif est constitué des N guides monomodes 1 15 intégrés dans le substrat commun 3, qui a la forme d'une plaquette, qui forme électrode commune Les N métallisations 2 disposées sur une partie des guides 1 permettent la commande individuelle de phase de l'onde transportée par chacun de ces guides Mais on peut aussi considérer une configuration classique des électrodes; celles-ci étant disposées deux par 20 deux de façon adjacente à chaque guide d'onde. Le dispositif proposé comporte donc, pour reconstituer le faisceau unique de grande étendue à défléchir, un certain nombre de sources élémentaires, auxquelles on impose une distribution de phase relative telle que chacun des incréments de puissance correspondant arrive en phase sur le 25 plan à l'infini dont la normale fait l'angle O désiré par rapport à celle du plan des sources. Les signaux de commande des électrodes peuvent respectivement former les paliers d'une rampe de tension, ce qui permet de choisir l'angle a de déflexion Mais on peut aussi choisir un signal de forme précalculée pour 30 obtenir une figure de diffraction particulière. De plus, si le pas A (distance entre deux sources élémentaires plus proches voisines) est maintenu constant comme représenté à la figure 1 la distribution angulaire d'intensité à l'infini résulte de la composition de deux termes: une distribution de type réseau comprenant une suite indéfinie de modes réseau régulièrement espacés, comme représenté à la figure 2, ayant subi une convolution avec la fonction diffraction de l'une des sources élémentaires représentée à la figure 3 Dans le cas général, on obtient donc non seulement la propagation du mode central, mais encore celle d'un certain nombre de modes parasites comme représenté à la figure 4. Ainsi le dispositif de l'invention est représentré schématiquement à la figure 5 La source 4 de rayonnement infra-rouge est couplée à la plaquette 3 de matériau électrooptique, via un séparateur de faisceau 5 qui peut être par exemple réalisé en optique intégrée Le générateur de signaux 6 permet de commander les différentes électrodes 2 associées à chacun des guides 10 d'onde 1 Les rayonnements optiques qui sont couplés aux entrées des guides d'ondes permettent ainsi d'obtenir en sortie le faisceau 7 défléchi. Deux solutions sont alors applicables pour supprimer les modes parasites: La première solution consiste à diminuer suffisamment la valeur de 15 la distance A pour que le premier mode parasite tombe à l'extérieur du lobe de diffraction d'une des sources; la distance intermode est, en effet: A d ûl A Cette solution est la plus généralement appliquée en électromagnétisme mais présente dans le domaine des rayonnements infra/. :ages l'inconvénient d'exiger un très grand nombre de sources. La deuxième solution consiste à faire varier le long de la plaquette la distance A suivant une modulation aléatoire c A tout en assurant que toute paire de sources élémentaires soit équidistante de la source centrale On montre alors qu'à partir d'un nombre de sources N suffisamment élevé l'addition cohérente d'intensité n'est entièrement conservée que pour une 25 seule direction O o Cette modulation peut aussi être introduite l ó (O)J sur les signaux de commande des électrodes ad une manière égale pour chaque paire de guides symétriques par rapport au guide central, les guides étant alors équidistants les uns aux autres Ce peut donc être une variation aléatoire obtenue par un générateur de signaux aléatoires de l'art connu 30 superposée à la rampe initiale. A titre d'exemple, avec des guides d'ondes en Arseniure de gallium et d'aluminium du type: A Ix Gal x As à faible teneur en Aluminium, on peut considérer les ordres de grandeurs suivants: N = 91 à 101 Longueur d'intéraction de chaque guide déphaseur = 40 mm Pertes par absorption dans les guides 10 % Tension de commande + 50 V. Lobes secondaires: 10 d B (max) par rapport au lobe principal. Une matrice de déphaseurs peut être obtenue par empilement de plusieurs dispositifs décrits ci-dessus Une telle matrice permet alors d'effectuer le balayage de tout le demi-espace situé au-delà du plan des extrémités de sortie des guides: on est alors en présence d'un dispositif de balayage bidimensionnel permettant une commande électronique en site et 10 gisement Une modulation aléatoire E (O) étant équivalente à une modulation A, cette façon d'opérer peut faciliter l'élaboration du bloc de déphaseur dont le pas A peut alors être maintenu constant sur les deux dimensions. Un jeu d'électrodes auxiliaires associés à chacun des guides d'ondes 15 analogues à celles de la figure 1 et séparées de celle-ci peut être ajouté au dispositif pour faciliter l'application de la répartition de tension correspondant à cette modulation aléatoire. Le dispositif de l'invention permet donc l'accès aléatoire en tout point du domaine angulaire balayé Cet accès peut être très rapide. 20 Le dispositif trouve en particulier son application dans les domaines suivants: imagerie active; dispositif de balayage et de prépointage rapide à accès aléatoire fonctionnant aussi bien à l'émission qu'à la réception; dispositifs de pointage et poursuite ultra-rapide et/ou multicibles; dispositifs de correction de fronts d'onde à commande électrique. REVENDICATIONS 1 Dispositif de déflexion d'un faisceau infra-rouge comportant une source ( 4) d'un faisceau infra-rouge et un corps en matériau électro-optique muni d'électrodes ( 2), des moyens de génération de signaux de commande ( 6) reliés à ces électrodes, cette source étant couplée à ce corps, caractérisé en ce que ce corps comporte au moins une plaquette ( 3) de matériau électro5 optique et que ledit dispositif comprend des moyens de couplage et de division ( 5) du faisceau infra-rouge en N faisceaux élémentaires, N étant un nombre entier déterminé et N modulateurs de phase discrets disposés sur chaque plaquette ( 3), chaque modulateur de phase comportant un guide d'onde monomode ( 1) auquel au moins une électrode ( 2) est adjacente, 10 chaque guide ayant une de ses extrémités couplée aux moyens de couplage et de division ( 5) du faisceau infra- rouge et son autre extrémité formant une des N sources élémentaires qui délivrent un faisceau unique défléchi ( 7) 2 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les guides d'ondes ( 1) sont réalisés sur l'une des faces de chaque plaquette ( 3) par 15 création de zones dans lesquelles l'indice de réfraction est supérieur à celui du matériau électro-optique. 3 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que le matériau électro-optique est en Arséniure de galliumo li Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce que les guides 20 d'ondes sont obtenus par épitaxie. Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce que les guides d'ondes sont obtenus par diffusion. 6 Dispositif selon la revendication 19 caractérisé en ce qu'une électrode est disposée sur une partie de chaque guide d'onde ( 1), le matériau 25 électro-optique formant l'électrode commune, 7 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que deux électrodes sont déposées parallèlement entre elles de façon adjacente à chaque guide d'onde ( 1). 8 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens 30 de génération des signaux de commande ( 6) des électrodes génèrent des signaux formant les paliers d'une rampe de tension. 9 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de couplage et de division ( 5) sont réalisés en optique intégrée. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les guides d'ondes ( 1) sont rectilignes et parallèles entre eux. 11 Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que les guides d'ondes ( 1) sont équidistants entre euxo 12 Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que les guides d'ondes ( 1) sont groupés par paires symétriquement par rapport à un guide d'onde central, la distance de l'un des guides de chaque paire par 10 rapport au guide voisin étant obtenue suivant une loi aléatoire. 13 Dispositif selon la revendication 11, caractérisé en ce que les guides d'ondes ( 1) sont groupés par paires symétriquement par rapport à un guide d'onde central, un signal de modulation aléatoire étant superposé aux signaux de commandes des électrodes de manière égale pour les guides de 15 chaque paire. 14 Dispositif selon la revendication 13, caractérisé en ce que une électrode supplémentaire est associée à chaque guide d'onde, le signal de modulation aléatoire étant appliqué à cette électrode. Dispositif selon Pune quelconque des revendications 11 à 14, 20 caractérisé en ce qu'il comporte une plaquette ( 3) de matériau électrooptique. 16 Dispositif selon l'une quelconque des revendications 11 à 14, caractérisé en ce qu'il comporte plusieurs plaquettes ( 3) superposées les unes aux dessus des autres.