FR 2542089 A1 19840907 FR 8300538 A 19830114 Procédé et dapositifl L'analyse _ ni lque d'un chan tillon tesolaht. L'inyention concerne -un procédé et un disposiv tif permettant l'analyse ionique d'un échantillon isolant. De façon classique en spectroscopie, on Bom' barde par un faisceau d'ions primaires une cible à la surface de l'échantillon à analyser La cible émet alors des ions négatifs qui sont recueillis par un système qui donne la carte de distribution des éléments presents à la surface de 11 'chantillon. Cette technique est satisfaisante pour des échantillons suffisamment conducteurs. Mais, un grand nombre d'échantillons soumis à l'analyseur ionique sont isolants: sections polies de roches, coupes de dents ou d'os, coupes de tissus biolo= giques, inclusions d'oxydes, couches dioxydes, couches de passivation L'observation de ces échantillons pose des problèmes parce que les charges électriques s'écoulent mal Même lorsqu'un équilibre est atteint entre les flux de charges reçues, émises et évacuées par une faible con- ductivité, des excès ou défauts de charges peuvent exis- ter localement et créer des potentiels qui décalent les distributions en énergie des ions secondaires, déforment les trajectoires des ions secondaires qui vont former les images et modifient les conditions de bombardement primaire En outre, les champs électriques peuvent être localement très intenses et induire la migration d'un certain nombre d'éléments Ce phénomène est particulière- ment visible lorsqu'on fait le relevé des profils d'im- plantation ou de diffusion dans des couches de silices sur les semiconducteurs. Ce problème a été partiellement résolu lorsqu'on extrait les ions positifs émis par la cible: une grille métallique est déposée par évaporation sur la surface. Les plages isolantes de l'échantillon reçoivent, en plus du faisceau d'ions primaires, des électrons secondaires de faible énergie émis par les barreaux de la grille et des électrons de haute énergie produits sur l'électrode d'extraction et attirés par l'échantillon, Le contrôle du potentiel de surface de l'échantillon est alors obte- nu en ajustant convenablement la densité du bombardement primaire - En revanche, lorsqu'on s'intéresse aux ions secondaires négatifs, d'une part, les électrons produits sur l'électrode d'extraction sont repoussés par l'échan- 1 a tillon et, d'autre part, le champ électrostatique extrait en même temps les électrens secondaires émis par la cible l'émission d'électrons secondaires est bien plus intense que l'émission ionique, si bien que, quel que soit le signe des ions primaires de bombardement, il apparaît toujours une charge positive a la surface Cette émission est encore accrue lorsqu'on abaisse le travail de sortie par un bombardement Cs, K ou un soufflage de vapeurs de Cs De plus, sur des échantillons hétérogènes, cette char- ge peut varier d'un endroit à l'autre en fonction du renÂ' dement en électrons secondaires du lieu considéré L'ex- périence montre que cette charge positive est telle que toute microscopie ionique à partir d'ions secondaires négatifs est impossible avec les procédgs traditionnels. Le but de l'invention est de lever cette im- possibilité et de proposer un procédé permettant la suppression effective des effets de charge. Ce but est atteint selon l'invention en ce que l'on dirige perpendiculairement à la cible un faisceau d'électrons dont la composante normale de la vitesse s'annule juste au niveau de la surface de la cible. Ainsi, toute charge positive apparaissant à la surface est immédiatement neutralisée sans qu'un excès de charge négative soit à craindre car les électrons étant lents, ils sont repoussés dès que la surface devient légèrement négative Un avantage majeur de l'invention est donc d'alimenter la surface de l'échantillon en électrons sans que ceux-ci n'aient d'interaction nuisible avec l'échantillon (tels que les problèmes de diffusion de certains éléments sous un bombardement électronique de'trop grande énergie, ou des problèmes de fissuraticin), Avantageusement, un filament porté sensible- ment audit potentiel négatif déterminé émet ledit fais- ceau d'électrons, Avantageusement, le faisceau électronique est, après émission, dévié par un prisme magnétique pour être amené en coïncidence avec l'axe optique du faisceau d'ions négatifs émis par la cible, Avantageusement, on utilise les électrons par- tant de la cible dans l'axe optique pour obtenir une ima- ge électronique de l'échantillon, - L'invention propose également un dispositif pour l'analyse ionique d'un échantillon isolant porté à un potentiel négatif prédéterminé, du type qui comporte une source d'ions de bombardement primaire dirigé sur une ci- ble à la surface de l'échantillon a analyser, et, dans l'axe optique du dispositif, un spectrographe de masse. Selon l'invention, ledit dispositif comporte également une source portée sensiblement au potentiel de l'échantillon émettant un faisceau d'électrons, et des moyens pour diriger ledit faisceau sur ladite cible per- pendiculairement à la su Xface bombardée. Avantageusement, lesdits moyens consistent en un prisme magnétique,et il est prévu une compensation magnétique de la déviation par ledit prisme de la trajec- toire des ions négatifs émis par la cible. Avantageusement, le prisme est un prisme magné- tique double, déviant les électrons qui partent de la cible dans l'axe optique, et il est prévu un second analyseur délivrant une image électronique de l'échantillon. L'invention sera mieux comprise a la lecture de la description non limitative d'un mode préféré de réalisation, faite en se référant aux planches en annexe sur lesquelles: la figure 1 est un schéma du dispositif d'analyse ionique conforme à l'invention. les figures 2 A et 2 B sont des photographies d'une image ionique d'un même échantillon en analyse clas- sique par la figure 2 A et conformément à l'invention pour la figure 2 B. les figures 3 A et 3 B sont des photographies analogues d'un autre échantillon, On voit sur la figure 1 une source 1 d'ions primaires portée à un potentiel de 10 k V bombardant un faisceau ionique 2 sur une cible à la surface de l'échan- tillon 3 porté à un potentiel de 4 500 V. Le faisceau d'ions négatifs secondaires émis par la cible est accéléré par l'électrode extractrice 4, portée à la masse, traverse une optique collectrice 5 puis le diaphragme 6 situé sur le cross-over Sur le m 9 me axe optique 7 est disposé le spectrographe de masse ( 8) sur lequel ne porte pas l'invention. Selon l'invention, on interpose entre le dia- phragme 6 et le spectrographe 8, le système 1 Il de suppres- sion des effets de charge Ce système 11 comprend une source d'électrons 12 située sur un axe 13 coupant l'axe optique général 7 sous un angle, qui, sur la figure, est de 90 ; Les électrons sont issus d-'un filament porté à un potentiel de 4500 V; ils sont accélérés par une électrode extractrice au potentiel nul, et, traversent un dispositif de centrage classique 14, Ils sont déviés par un pris-me magnétique 15 qui les ramène ainsi sur l'axe optique A la sortie du prisme 15, le faisceau d'é- lectrons passe par le diaphragme 6, cross-over commun au faisceau d'ions et faisceau d'électrons; ensuite il traverse la lentille à émission 5 et arrive dans la zone située entre l'objet 3 et l'électrode d'extraction 4, zone o règne le champ électrique qui permet d'accé- lérer les particules négatives émises par la surface. 1 o Ce champ électrique freine alors les électrons, leur énergie décroît progressivement et s'annule sensible- ment au niveau de la surface, La lentille a émission 5 agit sur les trajectoires électroniques comme elle le fait sur celles des ions négatifs Il en résulte que les électrons arrivent a la surface avec une composante latérale de la vitesse qui est très faible, leur compo- sante normale à la surface étant nulle ou pratiquement nulle (et ne créant, en tout état de cause, aucune interaction nuisible avec l'échantillon) Les électrons qui ne sont pas utilisés & la neutralisation de la sur- face de l'échantillon rebroussent chemin, en compagnie des électrons secondaires émis par la surface de l'é- chantillon (et naturellement avec les ions négatifs), Le prisme magnétique 15 utilisé pour défléchir de 904 les électrons de décharge est avantageusement double; il défléchit en sens inverse les électrons qui partent de la cible, rendant ainsi posssible l'observation de l'ima- ge électronique formée à partir des électrons rétrodif- fusés ou réfléchis, ou encore celle de l'image obtenue avec les électrons secondaires produits soit par bombar - dement ionique primaire, soit par l'impact des électrons incidents. A cet effet, un dispositif annexe classique est prévu sur le chemin du faisceau électronique dévié 16 des lames de sélection 17, un centrage électrostatique 18, une optique post-accélératrice 19, une optique de projection 20, un écran 21. La présence du prisme 15 sur l'axe optique 7 produit également une légère déviation d'angle e de la trajectoire des ions secondaires Il est donc prévu un système magnétique additionnel 22 pour compenser cette rotation quelle que soit la masse des ions secondaires. La figure 2 A montre une image ionique globale c'est-à-dire sans filtrage en masse des ions obtenue par bombardement ionique d'une matrice de fer, Les taches sombres correspondent à des perturbations de l'émission ionique secondaire induites par la présence de petits précipités d'alumine (dimensions respectives:environ et 20 ym) à très faible conductibilité électrique, La figure 2 B montre une image ionique obtenue dans les mêmes conditions de bombardement ionique mais, cette fois, avec intervention d'un faisceau d'électrons de faible énergie (clo e V)conformément à l'invention. L'image des précipités d'alumine devient perceptible, renseignant sur les dimensions réelles de ces objets et mettant en évidence pour chacun d'eux l'existence d'une structure interne. La figure 3 A est une image ionique globale ob- tenue, comme précédemment, par bombardement d'une cible de fer-métal riche en précipités d'alumine isolants. Pour la figure 3 B, le faisceau d'électrons lents a été cette fois localisé sur le précipité d'alu- mine situé sur la droite de la préparation L'effet du bombardement électronique se fait également discrètement sentir au niveau du précipité situé au centre de l'image. L'un des mérites de ce procédé de neutralisation des char- ges électrostatiques est qu'il est auto-ajustable. L'adaptation de ce dispositif de décharge des échantillons isolants sur un analyseur ionique classique permet l'analyse, jusqu'ici impossible, d'ions oxygène chargés négativement, émis à partir de matériaux isolants, comme le sont la plupart des comp osés de l'oxygène, oxi- des et silicates, et rend possible l'analyse ponctuelle de la composition isotopique de cet élément dans des ob- jetsd'intêrêt astrophysique: phases minérales clés des météorites, poussières interplanétaires. Par ailleurs, le procédé conforme & l'invention, qui ne modifie en rien l'aspect physique ou chimique de l'échantillon analysé, autorise toutes sortes d'analyses in situ dont le caractère non-destructif est capital. REVENDICATIONS 1 Procédé d'analyse ionique d'un échantillon isolant ( 3), porté à un potentiel négatif déterminé, du type selon lequel on bombarde une cible sur la surface de l'échantillon à analyser par un faisceau d'ions primaires ( 2) et on utilise des ions négatifs émis par la cible bombardée pour produire une image ionique de l'échantillon, caractérisé en ce qu'on dirige perpendicu- lairement à la cible un faisceau d'électrons -( 13-7) dont la composante normale de la vitesse s'annule juste au ni- j O veau de la surface de la cible. 2 Procédé salon la revendication 1, caractéri- sé en ce qu'un filament ( 12) porté sensiblement audit po- tentiel négatif déterminé émet ledit faisceau d'électrons ( 13). 3 Procédé selon l'une quelconque des revendica- tions 1 ou 2, caractérisé en ce que le faisceau élec- tronique ( 13) est, après émission, dévié par un prisme magnétique ( 15) pour être amené en coïncidence avec l'axe optique ( 7) du faisceau d'ions négatifs émis par la cible. 4 Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 a 3, caractérisé en ce qu'on utilise les électrons partant de la cible dans l'axe optique pour obtenir une image électronique de l'échantillon. 5 Dispositif pour l'analyse ionique d'un échantil - lon isolant ( 3) porté à un potentiel négatif déterminé, du type qui comporte une source ( 1) d'ions de bombarde- ment primaire ( 2) dirigé sur une cible a la surface de l'échantillon à analyser, et, dans l'axe optique ( 7) du dispositif, une spectrographe de masse ( 8), caractérisé en ce qu'il comporte également une source ( 12) portée sensiblement au potentiel de l'échantillon émettant un faisceau d'électrons ( 13), et des moyens ( 15) pour diri- ger ledit faisceau ( 13) sur ladite cible perpendiculaire- ment a la surface bombardée. 6 Dispositif selon la revendication 5, caracté- risé en ce que lesdits moyens consistent en un prisme magnétique ( 15), et en ce qu'il est prévu une compen- sation magnétique ( 22) de la déviation par ledit prisme ( 15) de la trajectoire des ions négatifs émis par la cible. 7 Dispositif selon la revendication 6, carac- térisé en ce que le prisme ( 15) est un prisme magnéti- que double, déviant les électrons qui partent de la ci- ble dans l'axe optique ( 7), et en ce qu'il est prévu un second analyseur ( 17,18,19,20,21) délivxant une image électronique de l'échantillon ( 3).