FR 2546704 A1 19841130 FR 8309027 A 19830527 SUBSTRATS METALLISABLES POUR CIRCUITS IMPRIMES ET LEJR PROCEDE DE PREPARATION La présente invention se rapporte à des substrats isotropes métallisables constitués par une matière polymérique, des charges de renforcement et des charges pulvérulentes ainsi qu'un procédé de préparation des dits substrats. Dans le domaine de l'électronique la course aux densités d'intégration élevées en matière de circuits intégrés, se traduit par exemple, par la nécessité de disposer des boitiers rigides munis d'un d'un grand nombre de sorties Les "chips carriers" représentent une solution convenable pour ce problème mais leur développement est freiné tant par leur prix élevé que par des problèmes techniques non encore résolus Pour l'instant ces boitiers céramiques sont souvent montés sur des substrats céramiques et soudés par des plots métalliques. Mais les supports céramiques sont chers, de manipulation délicate car fragiles et de dimensions trop faibles Il se posait donc le problème de disposer de supports présentant un coefficient de dilatation thermique voisin de celui du silicium ou des céramiques, non sensibles à l'humidité, isotropes et présentant de bonnes propriétés mécaniques à froid comme à chaud à des températures pouvant aller jusqu'à 250 C. De nombreuses solutions ont été proposées dont certaines font déjà l'objet d'une commercialisation, mettant en oeuvre des matières polymériques comme les résines époxy, les polyimides ou les mélanges d'époxy et de polyimides et des tissus de renforcement en fibres de verre ou de quartz, en fibres de bore ou de carbone ou en fibre de polyamides aromatiques Ces substrats présentent toutefois un certain nombre d'inconvénients Ainsi par exemple les substrats polyimides renforcés fibres de verre présentent un coefficient de dilatation trop important. Les substats polyimides renforcés tissu de Kevlar' (polyamide aromatique) sont difficiles à préparer et ne permettent pas un bon percage de trous De plus ils sont anisotropes. Il est par ailleurs connu par les brevets français 2 256 452 et 2 163 383 de réaliser des articles non tissés constitués par des nappes de fibres infusibles ou présentant des points de fusion supérieurs à 1800 C liées par des polymères de type polyamide-imide ou polyimide. Toutefois la structure poreuse de ces non tissés ainsi que leurs propriétés mécaniques sont entièrement différentes des substrats selon l'invention. Un des buts de la présente invention est d'obtenir des substrats présentant outre une faible reprise d' humidité de l'ordre de 0, 03 à 0,5 A, un coefficient de dilatation thermique entre -65 o C et 1250 C variant de 3 à 8 x 10-6 cm/cm/Q'C et une bonne isotropie. Un autre but de 1 ' invention est d' obtenir à partir des substrats métallisables des supports métallisés selon une localisation prédéterminée pouvant être utilisés comnme support de circuits imprimés ou pouvant remplacer les supports céramiques évoqués plus haut. Les substrats métallisables isotropes selon 1 ' invention sont caractérisés en ce qu'ils sont constitues par des fibres polymériques liées par un polymère à groupements imides et par des charges, mis en forme par voie humide, séchés puis pressés à chaud. Par substrats metallisables on entend des substrats qui par leur composition ou leurs structures peuvent comporter ou recevoir à leur surface une couche de métal Ces substrats peuvent être rigides ou semirigides selon la composition du matériau support isolant Par substrat semi-rigide on entend un matériau pouvant subir une déformation élastique par incurvation. La métallisation peut être réalisée soit par apport d'un film de métal qui est contre-collé à la surface du substrat soit dépôt d'une couche comportant une substance qui pourra par un traitement chimique ultérieur être transformé en métal ou qui servira d'amorce à un dépôt métallique par voie électrolytique ou chimique Cette métallisation peut aussi être réalisée par traitement chimique direct du substrat qui contient alors dans sa masse un composé capable d'être transformé en métal. Par substrats isotropes on entend des substrats isotropes dans le plan dont les propriétés physiques ne dépendent pas de la direction selon laquelle on effectue les mesures et sont identiques dans toutes les directions. Ces substrats sont obtenus en réalisant en un premier temps un non tissé par voie humide à partir de petites fibres de matières polymériques ayant une bonne stabilité à la chaleur, d'un liant et de charges. Les fibres utilisables selon l'invention sont des fibres dont les propriétés mécaniques sont maintenues au dessus de 2000 C et qui présentent un coefficient de dilatation thermique faible voir négatif. De telles fibres peuvent être choisies parmi les aramides qui sont commercialisées sous les appelations de NOMEX ou de IKELVAR ou de KERMEL ou dans les cas o les exigences dans les propriétés de tenue en température sont un peu moins élevées, parmi les fibres de polyéthylène glycol téréphalate On préférera cependant les aramides tels que décrits dans le brevet français 2 079 785 et plus particulièrement ceux décrits dans le brevet français 1 526 245 Ces fibres sont habituellement sous forme de fibrettes dont la longueur ne dépasse pas 25 mm. A ces fibres peuvent être associés en proportion minoritaire des fibres inorganiques comme les fibres de verre, les fibres de carbone, les fibres d'oxyde d'aluminium et de zirconium, les fibres d'amiante ou de bore et de façon générale les whiskers que l'on utilise déjà dans d'autres applications. Le taux de fibre dans la composition totale sera compris entre % et 60 % en poids. Comme liant on utilisera essentiellement les prépolymères à groupements imides qui à l'état durci sont fortement réticulés présentant de ce fait de très haut modules et des taux de dilatation thermique très faibles On pourra ainsi utiliser des polyimides ou des polyamides-imides ou même éventuellement des polyétherimides Comme polyimide on utilise de préférence un prépolymère obtenu à partir d'un N,N' bis-imide d'acide dicarboxylique non saturé de formule générale D N A N D 1) dans laquelle D représente un radical divalent contenant une double liaison carbone et A est un radical organique divalent possédant 2 à 30 atomes de carbone, et d'une polyamine de formule générale R(NH 2)x ( 2) dans laquelle x est un nombre entier au moins égal à 2 et R représente un radical organique de valence x, la quantité de bis-imide étant de 0,55 à moles par groupement molaire -NH 2 apporté par la polyamine. De tels polyimides sont décrits en particulier dans le brevet français 1 555 564 mais de nombreux dérivés de ces polymères peuvent convenir Ainsi la résine polyimide peut encore être obtenue par réaction entre le bisimide, la polyamine et divers adjuvants tels que par exemple des monoimides (selon le brevet français N 2 046 498), des monomères, autres que des imides, comportant un ou plusieurs groupements polym 6 risables du type CH 2 C= (selon le brevet français N 2 094 607), des polyesters insaturés (selon le brevet français N 2 102 878) ou des composés organosiliciques hydroxylés (selon le brevet français N 2 422 696) Dans le cas o l'on utilise de pareils adjuvants, il faut rappeler que la résine polyimide peut être obtenue soit en chauffant directement les trois réactifs (bis-imide, polyamine et adjuvants) ensemble, soit en chauffant le produit de réaction ou le mélange de 1 ' adjuvant avec un prépolymère de bis-imide et de polyamine préalablement préparé. On choisira de toute façon des prépolymères qui peuvent se trouver sous forme de poudre Plus préférentiellement encore, on utilise dans la présente invention une résine polyimide issue de la réaction entre un bis- maléimide comnre le N,N'-4,4 ' -diphénylméthane bis-maléimide et une diamine primaire cormme le diamino-4,4 ' diphénylméthane et éventuellement l'un des divers adjuvants précités. Les prépolymères de polyamide-imides utilisés commne liants dans 1 ' invention peuvent être définis cornmme comportant une pluralité de motifs de formule: CD -NH Q-N R CI (I) c O / dans laquelle le symbole Q représente un radical divalent comportant au moins un noyau benzénique et le symbole R représente un radical aromatique trivalent. Cone exemples de radicaux représentés par Q, on peut citer les radicaux mphénylène, p-phénylène, p p' diphénylène ou des radicaux de formule T dans laquelle le symbole T peut représenter un atome ou groupement divalent tel que , -CH, -C(CH 3)2-, SO 2-, N=N-. CoiïLe exemples de radicaux représentés par le symbole R, on peut citer les radicaux trivalents de formules: a z' Les polyamide-imides décrits ciavant peuvent être préparés suivant diverses techniques, telles que celles décrites dans les brevets anglais 570 878 et 1 281 '446, le brevet américain 3 260 691, les brevets français 1 386 617, 1 473 600, 1 501 198, 1 559 357 ou 1 576 844. Parmi ces polyamide-imides on mentionnera en particulier ceux qui sont obtenus à partir d'anhydride trimellique et d'un dérivé difonctionnel de formule: X Q X (III) dans laquelle le symbole X représente un groupement NOD ou un groupement de formule -NHCOR 1, le symbole R 1 pouvant représenter un radical alcoyle ayant de 1 à 6 atomes de carbone ou un radical phényle ou méthylphényle. On utilise de préférence dans 1 ' invention des polyamide- imides permettant la présentation du polymère sous forme de poudre Les polytrimellamide-imides provenant de la réaction de 1 ' anhydride trimellique avec le diisocyanato-4,4 ' diphénylméthane ou diisocyanato-4, 4 ' diphényléther conviennent à la fabrication des substrats conformes à 1 ' invention. Ces résines peuvent être utilisées en mélange avec une proportion pouvant varier de O à 75 % en poids d'autres résines thermodurcissables comme par exemple les résines époxy telles que les produits de réaction de l'épichlorhydrine sur le bis phénol A Le taux de résine sera généralement compris entre 20 et 70 % en poids du total de la composition. Comme charge on utilisera essentiellement un oxyde métallique non conducteur de 1 ' électricité Cet oxyde doit se présenter sous la - forme de particules de très petites dimensions On préfèrera une granulométrie comprise entre 0,1 et 5 microns Parmi les oxydes métalliques pouvant convenir on citera l' oxyde de nickel Il, 1 ' oxyde de cobalt II, l' oxyde de plomb Il, l'oxyde de cadmium II, 1 ' oxyde de chrome II, l'oxyde d'antimoine III, l'oxyde d'étain IV et l'oxyde de cuivre I. On préférera toutefois ce dernier oxyde A cet oxyde metallique peut être adjoint une certaine proportion de charge inerte On choisira les charges ayant un faible taux de dilatation De telles charges peuvent être pulvérulentes ou sous forme de particules comme les paillettes de mica. Le taux de charge total sera généralement compris entre 10 et % en poids du total de la composition Les charges seront constituées de préférence pour 10 à 50 % en poids d'oxyde métallique et pour O à 40 % en poids d'une charge inerte. La composition constituée de fibres, du liant et des charges sera mise en oeuvre par voie humide, appelée aussi voie papetière Cette voie consiste à mettre en suspension directement dans 1 ' eau 1 ' ensemble des constituants dans un mélangeur appelé 'pile" par les papetiers Les fibres de faible dimension, le liant sous forme de poudre ainsi que les charges pulvérulentes ou en paillettes forment alors une pfte qui est mise en forme sur une machine de type machine à papier constituée par un cuvier d' o s'écoule la pâte sur un tapis roulant poreux permettant une première élimination de 1 ' eau Un système d'essorage éventuellement sous légère pression puis application du vide puis séchage à une temperature de l' ordre de 70 à 110 C permet d'obtenir une sorte de carton dans lequel le liant se trouve toujours à l' état de prépolymère Sa densité est en général comprise entre 0,3 et 2. Cette sorte de carton sera ensuite découpé en format puis pressé à chaud On met en oeuvre habituellement une presse à plateau travaillant sous 10 à 300 bars et une température supérieure à 70 C On peut prévoir des cycles durant lesquels pression et température sont augmentés par paliers Ceci dépend essentiellement de la nature du liant choisi. Dans le cas des prépolymères polyimides préférés obtenus à partir d'un bis-imide, d'une polyamine et éventuellement d'un des adjuvants précités (ayant en général un point de ramollissement compris entre 50 et 200 C) , la température de pressage se situe généralement entre 70 et 280 C De préférence, dans le but de permettre un accrochage (ou assemblage) efficace des différents constituants, la temperature est supérieure à 150 C. Ces conditions de température de pressage s'appliquent également aux autres types de prépolymeres thermodurcissables entrant dans le cadre de la présente invention En général, le chauffage des prépolymères permet d'obtenir successivement leur ramollissement et leur durcissement. On peut naturellement procéder à un recuit de l'ensemble par exemple pendant quelques heures à 200 C ou plus. La technique de fabrication des substrats métallisables conformes à 1 ' invention qui vient d' tre décrite présente de nombreux avantages. Comme on l'a déjà mentionné, cette fabrication est simplifiée du fait de 1 ' emploi d'un nombre restreint de constituants et elle permet de s' affranchir du processus d'imprégnation de structure de renforcement par voie collodion qui est polluant. Mais il y a d'autres avantages La préparation du carton par voie papetière est un procédé à grand rendement De plus, la voie papetière autorise le recyclage des déchets: il y a aucun inconvénient à réintroduire dans la pile les déchets de carton formés avant pressage. Par ailleurs, on note qu' il n'y a pratiquement pas de fluage de polyimide lors du pressage final à chaud En définitive, cette possibilité de recyclage, liée au fluage pratiquement nul lors du pressage, assure une perte très faible de résine en cours de fabrication. Les*formats pressés à chaud éventuellement recuits peuvent ensuite subir un traitement de métallisation Il peut être nécessaire au préalable de mettre au jour les grains d'oxyde métallique par traitement mécanique: sablage rouleaux abrasifs frottement avec une pâte abrasive et/ou traitement chimique. On a trouvé que la transformation de l'oxyde métallique en métal et particulièrement de 1 ' oxyde cuivreux en cuivre métallique peut être conduite facilement et de manière quantitative par action des borohydrures La transformation est représentée par la réaction 4 Cu 20 + BH 4 -= 8 CU + B( O O)3 + OHI- Cette facilité de réaction est probablement due à 1 l effet catalytique du cuivre métal qui pourrait s' expliquer par la formation intermédiaire d' hydrure de cuivre instable. Les borohydrures utilisables dans la présente invention englobent des horohydrures substitués aussi bien que des borohydrures non substitués Des borohydrures substitués dans lesquels au plus trois atomes dl hydrogène de 1 ion borohydrure ont été rehelacés par des substituants inertes cohe par exemplle des radicaux alkyles, des radicaux aryles, des radicaux alkoxy peuvent être utilisés On fait appel de préférence à des borohydrures alcalins dans lesquels la partie alcaline consiste en du sodium ou du potassium Des exemples typiques de composés qui conviennent sont: le borohydrure de sodium, le borohydrure ds potassium, le diéthylborohydrure de sodium, le triméthoxyborohydrure de sodium,-le triphénylborohydrure de potassium. Le traitement réducteur est conduit de manière siîple par mise en contact du format avec une solution de borohydrure dans 1 ' eau ou dans un mélange d'eau et d'un solvant polaire inerte conoue par exemple un alcool aliphatique inférieur On donne la préférence aux solutions purement aqueuses de borohydrure La concentration de ces solutions peut varier dans de larges limites et elle se situe de préférence entre 0,05 et 1 % en poids d' hydrogène actif du borohydrure par rapport à la solution Le traitement réducteur peut être effectué à terpérature- élevée, cependant on préfère le mttre en oeuvre à une température voisine de la temperature ambiante, par exemple entre 15 C et 300 C A propos du déroulement de la réaction, il faut noter qu'elle donne naissance à du B(OH)3 et à des ions OH qui ont pour effet d' induire une augmentation du p H du-milieu au cours de la réduction Or à des valeurs de p H élevées, par exemple supérieures à 13, la réduction est ralentie de sorte qu' il peut être avantageux dl oprer dans un milieu tamponné pour avoir une vitesse de réduction bien déterminée Apres réduction on rince le format. En début de réduction, la réaction concerne essentiellement les grains d'oxyde cuivreux qui se trouvent en surface du substrat et qui sont en contact direct avec 1 ' agent réducteur Du fait de 1 ' effet catalytique du cuivre métal, la réaction de réduction va se poursuivre ensuite dans 1 ' épaisseur du format et ceci bien que les résines utilisées ne présentent pas un caractère hydrophile particulièrement marqué C' est donc en jouant principalement sur la durée du traitement qu' il est possible de contr 8 ler aisément 1 ' importance de la réduction opéréeo Pour obtenir une résistivité répondant aux valeurs souhaitées, la durée du traitement qui est nécessaire est en général assez courte et, selon les proportions d'oxyde compris dans le substrat, elle se situe habituellement entre environ une minute et une quinzaine de minutes Pour une durée de traitement donne, il est possible d' agir encore sur la vitesse de réduction en ajoutant dans le milieu des accélérateurs variés conmme par exemple de 1 ' acide borique, de 1 ' acide oxalique, de 1 ' acide citrique, de 1 ' acide tartrique ou des chlorures de métaux tels que le chlorure de cobalt-II, de nickel-Il, de fer-II, de manganèse-II, de cuivre-II. La réduction qui est opérée dans 1 ' intervalle de temps indiqué ci-avant concerne une partie seulement de 1 ' épaisseur du format A noter que pour des applications électriques, on veille à ne réduire qu' une partie seulement de 1 ' épaisseur du format afin de conserver une partie interne non réduite, isolante pour éviter tout phénomène parasite de pontage conducteur Par contre s' il a été prévu des trous, on constate qu' une couche, au minimum de même épaisseur qu' en surface est aussi réduite sur le pourtour des trous. Etant donné 1 ' état très divisé du cuivre obtenu après le traitement réducteur, on devait s'attendre à ce que son oxydation à 1 ' air soit rapide Or on a constaté qu' il n' en est rien et que le niveau de la résistivité superficielle du format apres réduction n' évolue pas pendant plusieurs jours de conservation à 1 ' air ambiant. Il est donc possible de stocker dans cet état le substrat réduit On peut prévoir à titre de précaution soit un rinçage incomplet laissant des traces de réducteur à la surface du format, soit 1 ' addition au bain de rincage d'un agent réducteur particulier par exemple d' hydroquinone soit la protection du format rincé et séché par enduction d'un film protecteur par exemple de photorésist. Le substrat réduit peut ensuite être m Rtallisé par dép 8 t d B une couche de cuivre, de nickel ou d'un autre métalo Cette métallisation peut être faite par voie électrochimique, mais il a été constaté et ceci constitue un des avantages essentiels liés à la mise en oeuvre de la présente invention, qu'elle peeut être faite aussi directement par voie électrolytique Dans certaines applicatiorns il n'est pas rare de rechercher un dép 3 t de couche métallique dl au moins 20 microns, aussi la possibilité de pouvoir utiliser directement la voie électrolytique correspond-elle vraiment à un procàdé industriellement rentable Il est possible bien entendu de procéder, de manière classique, d'abord à une Fitallisation electrochimique, puis de renforcer ce premier dép 8 t par un dêp 3 t ultérieur électrolytique Pour avoir une description détaillée des conditions opératoires propres à la métallisation électrochimique, on peut se reporter à l'ouvrage "Encyclopedia of Polymer Science and Technology, 1968, volure 8, pages 658 à 661 " Les proportions des constituants du bain électrochimique, la durée de 1 ' imersion du format, la température et les autres conditions opératoires sont déterminées dans chaque cas particulier de manière connue en soi pour obtenir les meilleurs résultats. La métallisation par électrolyse est bien connue cf notamment "Encyclopedia of Polymer Science and Technolcgy, 1968, volume 8, pages 661 à 663 " Le format convenablement réduit constitue la cathode et le métal à déposer l' anode Tous deux sont imrergés dans un électrolyte traversé par un courant Par exemple dans le cas d'un cuivrage électrolytique, le métal déposé peut procéder du cuivre monovalent ou bivalent et provenir d'un électrolyte cyanure (cuivre monovalent) ou d'un électrolyte à base de sulfate, pyrophosphate ou fluoborate (cuivre bivalent) Plusieurs adjuvants peuvent être ajoutés dans 1 ' électrolyte: un sel alcalin ou alcalino-terreux, un acide (bain de cuivrage acide au sulfate de cuivre) ou une base (bain d étamage alcalin au stannate) pour augmenter la conductivité de l' électrolyte; un agent tampon pour éviter les variations rapides du p H; des corps modifiant la structure des électrodépôts comme par exemple des colloïdes, des agents tensio-actifs, un phénol, un phénol sulfoné, un brillanteur minéral ou organique, un agent nivelant tel que par exemple la coumarine La qualité de l'électrodép 8 t, qu'il soit d'un métal ou d'un alliage métallique, va dépendre de la composition de l'électrolyte et des conditions physiques de l'électrolyse (teipérature, densité de courant cathodique et anodique, distance anode-cathode, conditionnement superficielles des électrodes, etc) le réglage de ces différents paramètres sera fait dans chaque cas particulier de manière connue en soi. Le fait de pouvoir propager la réduction dans l'épaisseur du substrat va permettre d'engendrer les avantages suivants lors de la métallisation, il y aura un ancrage profond du métal déposé dans le substrat résineux; dans le cas d'une soudure avec un apport de métal formant un alliage, l'alliage pourra migrer également à l'intérieur du substrat puisqu'il y a une réelle continuité du cuivre dans l'épaisseur du substrat; dans le cas d'une métallisation destinée à jouer le rôle de drain thermique, il sera possible d'agir sur le transfert thermique de la résine en faisant progresser plus ou moins la réduction dans la masse du format. Il va de soi que des modifications peuvent être apportées aux modes de réalisation qui viennent d'être décrits, notamment par, substitution de moyens équivalents, par exemple en matière d'oxyde métallique utilisable, sans pour cela sortir du cadre de la présente invention C'est ainsi que l'on peut remplacer l'oxyde cuivreux par d'autres oxydes métalliques non nobles dont le degré d'oxydation est choisi de manière à permettre une réduction facile de l'oxyde par le borohydrure et qui sont susceptibles de former intermédiairement des hydrures métalliques instables. Selon la durée du traitement électrolytique on pourra obtenir des couches métalliques dont l'épaisseur est de l'ordre du micron, couches enracinées dans le substrat et présentant une bonne cohésion, contrairement à ce qui se passe avec des dépôts "Electroless" Des substrats comportant une couche aussi mince de métal présentent un grand intérêt pour la réalisation de circuits imprimés, car ils permettent lors des traitements ultérieurs de gravure de supprimer les défauts et notamment la sous- gravure On peut ainsi augmenter la densité de la circuiterie et augmenter la fiabilité des circuits. Il va de soi que l'on peut obtenir aussi des dêpots métalliques beaucoup plus importants, de 1 ' ordre de 20 à 50 microns par exemple, dêpôts correspondant aux techniques actuellement utilisées pour la réalisation de circuits imprimés On peut de m me déposer par fusion ou par voie électrolytique des couches d'alliage de type plomb/étain. La réalisation de circuits imprimés à partir de substrats réduits peut alors se faire selon les procédés additifs classiques et la réalisation de circuits à partir de substrats réduits et métallisés par voie électrolytique, par gravure classique. Le procédé selon 1 ' invention permet aussi d' obtenir des substrats métallisables ou métallisés qui comportent une couche de métal ancrée dans le polymère pouvant être aussi faible qu'un micron tout en étant cohérente et résistante Ce procédé se distingue des procédés antérieurs tant par sa simplicité que par son faible coût et par le très grand nombre de possibilités ouvertes. De plus sa technologie est adaptée aux équipement existants Les possibilités de variantes sont très nombreuses, car à chaque étape du procédé il est possible de 1 ' interrompre par exemple par un stockage du produit semi-fini pour le reprendre ultérieurement. Les exemples suivants donnés à titre non limitatif illustrent 1 ' invention et montrent comment elle peut être mise en oeuvre. EXEMPLE 1 Dans une cuve de 5000 litre, appelée "pile' dans 1 ' industrie papetière on incorpore successivement 2000 1 d'eau, kg de pulpe Kevlar R Lorsque la pâte apparaît bien homogène, on charge progressivement, toujours sous agitation 30 kg de résine polyimide commercialisée sous le nom de Kerimid 601 par Rh 3 ne-Poulenc, en poudre de granuloméetrie inférieure à 60 microns. L'agitation est maintenue une dizaine de miniutes, et on charge enfin 40 kg de Cu 20 de granulométrie moyenne 1 micron. Progressivement la pâte en suspension se colore en rouge, tandis que les grains de Cu 20 se fixent sur la pulpe de KEVLAR 1000 litres d'eau supplémentaires sont introduits Enfin, on incorpore 3 kg de fécule cationique en solution aqueuse et 4 litres d' une solution de silice colloïdaleo Après incorporation de la silice colloïdale, l'agitation est limits au stricte minimum assurant sa répartition dans la masse, afin de ns pas géner la précipitation permettant la fixation des charges pulvérulentes sur le renfort fibreux. Cette pâte est transvasée dans un cuvier à partir duquel s'effectue l alimentation de la machine papetière. La largeur utile du tapis filtrant est de 2,60 m et sa longueur de 10 Stres Le tapis est constitué d' une forte toile nylon formant bande sans fin, défilant à la vitesse (réglable) de 2 mètres/minuteg et animée transversalement d'un mouvement de vibration. Dans le premier quart du parcours la toile repose sur un plan continu, interdisant pratiquement l'écoulement de l'eau A ce niveau la pâte, du fait des vibrations se répartie de façon homogène Dans les deux quarts suivants la toile est libre, et l'écoulement d'eau s'effectue naturellement. Dans le dernier quart la toile passe sur des caissons de décompression assurant un essorage force. Le cylindre final de renvoi de la toile est également sous vide sur une fraction de sa circonférence De dép 8 t de pâte subit par ailleurs unpressage en continu par un cylindre rotatif appuyant sur le précédent selon une génératrice. Lorsque la p Rte essorée, se présentant sous la forme d'une feuille continue de 4 m d'épaisseur et de 2,60 m de large, échappe de la partie du cylindre en déco pression, elle est transférée sur un tapis continu qui 1 ' achemine vers le four de séchage, long de 20 m, permettant une élimination totale de 1 ' eau sous forte ventilation et tempeérature faible (dans ce cas 70 C)o En sortie de four le carton d'un grammage de 1500 g/m 2 est découpé en formats de 1000 x 1000 min et d'épaisseur d'environ 3,5 mmo Ce produit semi-ouvré da Dns lequel la résine est encore sous forme de prépolymère est ensuite pressé sous 200 bars à 220 C pendant 1 heure La plaque résultante de coloration rouge brique a une épaisseur de 1,2 min. D'autres essais de stratification conduits sur des empilages de "carton" et dans des conditions de température, pression et durée identiques à 254 170 J 4 i 4 celles indiquées préc 5 dezr-ent conduisent à des stratifies ayant jusqu' à ilm d' épaisseur sans tendance au dalaminage des plis constitutifso Sur unre éprouvette de 4 x 6 x 10 mmn, (la dimension de 10:m étant prise dans le plan du stratifié) une mesure de coefficient de dilatation est effectuée de la teupérature ambiante à 250 C, selon la dimension de 10,u sur un appareil de I Thermomcbanicai analysis" de DU PONT de type 900. Le coefficient ainsi détermine est de 12 x 10-6 c tm/cn/C, Un stratifié de 1 min d' 5 paisseur est décapé superficiellement à 1 'aide d'un papier abrasif fin puis soigneusement dépoussieré par rinçage à 1 ' eau en cuve à ultrason Le décapage superficiel est conduit de telle sorte que la pellicule brillante (film superficiel de résine pure) soit éliminée totalement A près cette operation la charge d'oxyde de cuivreux est accessible à la surface du substrat et apte à subir 1 ' opération de réduction chimique qui confère au substrat une bonne conductibilité de surface. La solution réductrice est préparée de la façon suivante: Dans un erlen de 1000 ml on introduit dans l'ordre sous agitation et après dilution de chaque constituant 500 1 ml d'eau distillée, 2,5 g de soude en pastilles, g de sel de sodium d'un carboxyx thylcellulose (type 7 ME, Mmedium viscosity", PM 250 000 d'EERCULES) g de borohydrure de potassium, 5 cm 3 d'une solution aqueus à 1 % de Cemulsol DB 311 De SFOS. Le substrat est enduit par la solution réductrice et après un contact de 3 mn la solution et les sous produits de la réaction sont éliminés par lavage à 1 ' eau distillée accompagn d'un léger brossage Le substrat est rincé à l'alcool et séché La résistance électrique mesurée entre deux points de la surface distants d'un vingtaine de cm, à 1 ' aide. d'électrodes ponctuelles varie de 10 à 70 ohms. La surface est apte à recevoir un dépÈt métallique de renforcement par une méthode électrolytique. EXEMPLE 2 Sur 1 ' équipement décrit dans l'exemple 1 on incorpore successivement dans la pile 3000 1 d'eau 20 kg de pulpe Kevlar. Puis apres homogénéisation de la pate, kg d'un coipound polyimide (Kerimid 601 de RHONE-POULENC) et oxyde cuivreux: 40/60 parties en poids (ce compound obtenu par fusion en four d'un mélange pulvérulent K 601/Cu 20 a été ensuite broyé finement et ne contient pas de grains de taille supérieure à 40 microns). Apres un nouveau temps d'homogénéisation sous forte agitation au terme duquel il apparaît que la majeure partie du compound est fixée sur la pulpe, 80 kg de charge inerte sont introduits. Nous utilisons pour cela un mica Muscovite 16 mesh ayant subi un traitement de surface à sec par un agent de couplage (Triéthoxysilane de vinyle, référence A 151 de UNION CARBIDE, au taux de 1 %) Une conséquence secondaire du traitement à sec est la réduction de la taille moyenne des splits de mica mis en oeuvre. Apres homogénéisation, 1000 1 d'eau supplémentaire, environ, sont ajoutés pour ajuster la consistance de la pate, puis 6 kg de fécule cationique en solution dans l'eau et enfin 8 litres de silice colloïdale en solution dans l'eau. Apres cette dernière incorporation, 1 ' agitation est réduite au strict minimum pous permettre une bonne répartition dans la masse Le liquide apparaît alors clair, les fines particules s'étant fixées sur la pulpe Kevlar du fait de la précipitation du système silice colloïdale-fécule cationique Le contenu de la pile est transféré dans le cuvier d' o il alimente la machine papetière décrite dans le premier exemple. La vitesse de défilement de la toile est d'environ 2 m/mn et le "carton" résulant a une épaisseur de 6 mm lorsqu'il se présente à 1 ' entrée du four de séchage A la sortie du four, réglé à 80 OC, 1 ' épaisseur du carton est toujours de 6 mm, son grammage est de 2200 g/m La découpe du "carton" continu est faite en formats de 1000 x 1000 mm. 16 - Ces formats, parfaitement secs, dans lesquels la résine est demeurée sous forme de prépolymère sont pressés à chaud sous 150 bars selon le cycle thermique suivant Chargement en presse chaude à 160 Co Affichage de la consigne à 200 C dès le chargement (température atteinte après 20 mm) Durée totale du cycle 1 heureo Déchargement à chaud Puis recuit 12 heures à 250 c La plaque pressée résultant de l'opération est de couleur rouge brique, et a une épaisseur de 1,6 mun. Comme dans 1 l exemple 1, le coefficient de dilatation est déterminé sur appareil de "T M A " DU PONT selon une direction prise dans le plan du stratifié Les éprouvettes de mesure sont découpées de telle sorte que les axes de mesure fassent à partir d'une direction arbitraire prise dans le plan de stratification des angles de 0-45 et 90 . Les coefficients de dilatation, de la température ambiante à 250 C, sont comparables quelle que soit l'éprouvette et compris entre 5 et 6 x 10-6 cm/cm/ C Un élément de stratifié de 20/20 cm est décapé superficiellement par sablage puis percé selon un schéma préétabli. Le format ainsi percé est traite par la solution réductrice décrite dans 1 ' exemple 1 Pour cela le format est posé à la surface de la solution et immergé de façon à ce que le liquide pénétre dans les troux en chassant 1 ' air, puis recouvre la face supérieure La plaque est alors retirée et placée verticalement pour égouttage. Après 3 mn de contact, la solution réductrice est rincée à 1 ' eau distillée sous léger brossage Le format est rincé ensuite à l'alcool et séché Sa surface est cuivrée et conductrice de 1 ' électricité, ainsi que les parois des trous. La plaque perforée ainsi obtenue est alors soumise aux opérations permettant la fabrication d'un circuit imprimé double face à trous métallisés: Dépôt recto-verso de photorésist. Insolation recto-verso au travers de masque. Développement du photorésist. Renforcement électrolytique dans un bain acide de sulfate de cuivre avec anode de cuivre, dans les plages sans photorésist ainsi que dans les trous Lorsque l' épaisseur du dipat atteint une trentaine de microns en moins d' une heure, le circuit est rincé à 1 'eau. Strippage du photorésist restant Gravure non sélective au perchlorure de fer jusqu' disparition complète du cuivre dans les zones non renforcées. Après rinçage à 1 ' eau, immersion rapide dans un bain d' acide sulfurique dilué pour redonner un aspect brillant au circuit. Rinçage soigneux à 1 ' eau distillée puis à 1 ' alcool et enfin séchage. Au terme de cette opération nous disposons d'un circuit double face à trous traversants métallisés dont le coefficient de dilatation du substrat est compatible avec celui de composants actifs en silicium Il est donc possible de procéder à 1 ' implantation directe de ces composants (par collage par exemple, avec un colle conductrice) conduisant ainsi à un circuit hybride à trous traversants conducteurs. EXEMPLE 3 On prépare, conmme indiqué dans 1 ' exemple 1 une p Ete pour opération papetière Sa composition est semblable à celle de 1 ' exemple 1: kg de pulpe Kevlar 30 kg de résine polyimide K 601 (granulométrie inférieure à 60 microns) kg de CU 20 (granulométrie inférieure à 1 micron) * 3 kg de fécule cationique 4 litres de solution de silice colloïdale. La machine papetière est modifiée de telle sorte qu'en bout de bande d'égouttage la nappe soit reprise sur un cylindre de 2 m de diamètre Dans ce cas la technique consiste à recueillir sur ce cylindre plusieurs tours de nappe de faible grammage de façon à faire croître l'épaisseur de la nappe d'origine Au terme de cette croissance le dépôt sur le cylindre est tranché selon une génératrice et transféré sur le tapis roulant conduisant au four Pour un réglage donné de la nappe formée en continu, il est possible de compter le nombre de couches successives reprises sur le cylindre, ou de suivre 1 ' épaississement du dépôt sur cylindre avec un palpeur signalant lorsque 1 ' épaisseur requise est atteinte. Dans sa partie de formation de nappe en continu, la machine est réglée pour former une nappe d' environ 200 g/m 2 o Cette nappe reprise sur cylindre est tranchée tous les 7 tours alors que le palpeur indique une épaisseur de 4 Amd Le format de 2 mni x 2,60 m est séché à 70 C puis coupé en formets de 1 m x 1,20 m (les chutes sont récupérées pour &tre recyclée dans une opération ultérieure)o Après stratification comme indiqué dans 1 ' exemple 1 et découpe d' échantillons de 4 x 6 x 10 mm Le coefficient de dilatation est déterminé, selon la dimension de 10 mg, prise dans le plan du stratifié, de la temrérature ambiante à 250 WC, sur TNA DU PONT 900. Ce coefficient est de 5 x 10 -6 cm/c C quelque soit la direction de mesure prise dans le plan de stratification EKEMPLE 4: On renouvelle l'essai décrit dans l'exemple 3, mais en substituant à la pulpe Kevlar, de la fibre Kevlar coupée de longueur moyenne 25 rmm Avant introduction en pile, la fibre coupée diluée dans 2000 litres d'eau est travaillé en affineuse papetière pendant une heure. Au terme de ce traitement, la pulpe obtenue est examinée au microscope. Il apparaît que la fibre, à 1 ' origine parfaitement cylindrique, conporte maintenant des ébarbures susceptible d' améliorer 1 ' accrochage des fibres entre elles et la rétention des charges pulvérulentes. La suite des opérations est identique à celle indiquée dans 1 ' exemple 3 Le produit résultant conduit à un coefficient de dilatation de 2,5 à 3 x 10-6 cm/cm/ C quelle que soit la direction de mesure prise dans le plan de stratification. REVENDICATIONS 1 ) Substrats isotropes métallisables ayant de très faibles coefficients de dilatation caractérisés en ce qu'ils sont constitués par des fibres polymériques liées par un polymàre à groupements imides et par des charges, mis en forme par voie humide, séchés puis pressés à chaud. 2 ) Substrats selon la revendication 1, caractérisés en ce que les fibres polymériques sont des fibres de polyamide aromatique. 3 ) Substrats selon la revendication 1, caractérisés en ce que le liant est un prépolymere de polyimide obtenu par réaction entre un N,N'-bisimide d'acide dicarboxylique non saturé, une polyamine primaire et éventuellement un adjuvant tel que notamment un monoimide, un monombre polymérisable comportant un ou plusieurs groupements du type CH 2 =C=, un polyester insaturé, un composé organosilicique hydroxylé. 4 ) Substrats selon la revendication 1, caractérisés en ce que la charge est de 1 ' oxyde cuivreux. ) Substrats selon la revendication 1, caractérisés en ce qu'ils sont constitués: par 20 à 70 % en poids de liant par 20 à 60 % en poids de fibres par 10 à 60 % en poids de charge 6 ) Procédé d'obtention des substrats selon la revendication 1 caractérisé en ce que 1 ' on prépare une dispersion aqueuse des fibres ainsi que de la résine durcissable sous forme de poudre, d'un oxyde métallique non conducteur, et éventuellement de la charge inerte et/ou de paillettes de mica puis que 1 ' on forme une nappe par élimination de 1 ' eau, léger pressage et séchage puis que 1 ' on achève la polymérisation de la nappe par traitement à une température comprise entre 70 C et 250 C sous une pression comprise entre 10 et 300 bars 7 ) Substrats métallisés caractérisés en ce que les substrats métallisables selon la revendication 1 subissent un traitement de décapage mécanique et/ou chimique suivi d'un traitement ds réduction par un borohydrure alcaline éventuellement suivi d' une métallisation par voie électrolytique.