FR 2533714 A1 19840330 FR 8216297 A 19820928 À DISPOSITIF COUPLEUR OPTIQUE INTEGRE NON LINEAIRE ET OSCILLATEUR PARAMETRIQUE COMPRENANT UN TEL DISPOSITIF La présente invention concerne un dispositif coupleur non linéaire et un oscillateur paramétrique comprenant un tel dispositif. Un tel dispositif permet, sur commande électrique, de transférer entre deux guides d'ondes présentant une zone commune de couplage, totalité ou partie de l'énergie lumineuse véhiculée par l'une d'entre elles; il permet également de moduler l'énergie lumineuse véhiculée par l'un des guides d'ondes. On désigne sous le nom d'optique intégrée des structures monolithiques en couches minces destinées au traitement des signaux lumineux qui sont obtenues par des techniques de dépôt, diffusion et gravure par masquage analogues à celles utilisées dans la réalisation des circuits intégrés élec- troniques On sait notamment, par ces techniques, réaliser des structures linéaires caractérisées par un indice de réfraction supérieur à celui du milieu environnant, et formant des guides d'ondes au long desquels la lumière se propage par une suite de réflexions totales ou de réfractions progressives. Il est connu d'associer deux tels guides d'ondes en les disposant parallèlement l'un à l'autre sur une partie de leurs parcours pour réaliser des coupleurs directionnels; grâce au phénomène d'onde évanescente, l'énergie véhiculée dans le premier guide passe progressivement dans le second guide, et l'on observe un maximum de l'énergie transférée au bout d'une certaine longueur dite longueur de couplage qui dépend des paramètres géométriques et optiques de la structure, et notamment de la valeur des indices de réfraction des matériaux constituant les deux guides et le milieu qui les sépare, puis lénergie repasse progressivement du second guide dans le premier et ainsi de suite Il est également connu, en utilisant pour l'un des matériaux constituant les guides ou le milieu qui les sépare un matériau électrooptique, d'en faire varier l'indice sous l'action d'un champ électrique, ce qui permet, en agissant sur la longueur de couplages de commander électriquement la portion d'énergie transférée d'un guide dans l'autre; on voit qu'il est également possible, sur ce même principe, de réaliser un modulateur de lumière en disposant parallèlement au guide qui véhicule l'onde lumineuse un tronçon de guide dans lequel on transférera une portion plus ou moins grande de cette énergie, De plus, il existe des convertisseurs de fréquence destinés à engendrer, à partir d'un rayonnement électromagnétique guidé de fréquence W, un rayonnement électromagnétique guidé dont la fréquence est multiple de la fréquence w Ces convertisseurs sont notamment utiilisés dans le domaine de l'optique intégrée, ainsi désignée par analogie avec les circuits électroniques intégrés qui sont des structures monolithiques mettant en oeuvre des couches minces. Il est connu que la propagation d'une onde électromagnétique de fréquence W dans un matériau anisotrope, tel que les cristaux biréfringents de phosphate de potassium (KDP), donne naissance à des ondes harmoniques de fréquence p W (p entier, p > 2) Cependant, la plus grande partie d'énergie émergente reste à la fréquence fondamentale w, ce qui indique que le rendement de conversion est généralement médiocre Un tel phénomène non linéaire se produit également lors de la réfraction, et la réflexion qui l'accompagne, d'un faisceau lumineux sur un interface séparant deux milieux d'indices de réfraction différents; toutefois, l'intensité du phénomène de conversion est très inférieure à celle du cas précédent. Dans le domaine de l'optique intégrée, il se pose un problème pour l'utilisation de ce phénomène non linéaire en vue d'obtenir un rendement de conversion suffisant, du fait que le dépôt de matériau anisotrope en couches minces n'est pas réalisable à l'aide des techniques classiques utilisées pour la fabrication des circuits électroniques intégrés. Le dispositif de l'invention par rapport aux dispositifs de couplage linéaire permet donc la génération d'une onde à une fréquence différente de celle de Ponde incidente Le couplage entre deux guides s'effectue pour des longueurs d'onde différentes qui ont des constantes de propagation iden- tiques dans ces guides. L'invention présente, en outre, l'avantage par rapport aux dispositifs de couplage non linéaires de permettre la séparation spatiale de l'onde incidente et des ondes générées par effet non linéaire, ces ondes se propageant dans des guides différents. L'invention permet d'utiliser les coefficients linéaires très importants de certains matériaux tels que le coefficient X 333 de susceptibilité non linéaire d'ordre 3 dans le niobathe de lithium (Li Nb 03) ou dans le tantalate de lithium (Li Ta 03), ce qui permet une plus grande efficacité d'interaction entre les guides et il permet d'obtenir une densité d'énergie optique très grande pour une puissance lumineuse relativement faible. Enfin, l'interaction peut être réglée à l'aide d'un champ électrique appliqué aux guides -d'ondes, ce qui permet de régler l'accord de phase entre les ondes transmises par ces différents guides L'invention peut être utilisée 1 O aussi bien dans le cas d'interactions non linéaires simples telles que la génération de second harmonique que dans des interactions plus complexes telles que celles mises en jeu dans l'oscillateur paramètrique. L'invention a pour objet un dispositif coupleur optique intégré non linéaire comportant un substrat plan, ayant une face d'entrée et une face de sortie, réalisé en matériau électro-optique non linéaire, et au moins deux guides d'onde, dont l'un reçoit une onde incidente, disposés à la surface de ce substrat, ces guides d'onde étant parallèles entre eux sur une longueur prédéterminée et séparés par une distance telle que le rayonnement de l'onde incidente soit transférable d'un guide d'onde à un autre, caractérisé en ce que un premier guide est obtenu par échange ionique d'ions H+ dans le substrat, et un second par diffusion localisée de titane dans le substrat. L'invention a également pour objet un oscillateur paramètrique com- prenant un tel dispositif. L'invention sera mieux comprise au moyen de la description ci-après et des figures annexées parmi lesquelles: les figures 1 et 2 représentent une vue en coupe et une vue de dessus d'un dispositif de l'art connu; la figure 3 illustre le dispositif de l'invention, la figure 4 illustre une variante du dispositif de l'invention; la figure 5 illustre un oscillateur paramétrique comprenant le dispo- sitif de l'invention; la figure 6 illustre une variante de l'oscillateur paramètrique repré- ssenté en figure 5. Les figures 1 et 2 représentent respectivement une vue en coupe et une vue de dessus d'un commutateur réalisé en optique linéaire Les deux guides d'ondes lumineuses I et 2 sont insérés dans le substrat; le matériau par l'intermédiaire duquel s'effectue le couplage est celui constituant le substrat Pour implanter les guides 1 et 2, il est possible, à titre d'exemple, de faire diffuser-du titane dans un substrat constitué d'une plaquette mono- cristalline de niobate de lithium (Li Nb 03) Le titane, dans la zone de diffusion, se substitue partiellement au niobium pour donner un composé mixte de formule Li Tix Nb -x 03 présentant un indice de réfraction supérieur à celui du niobate pur; ces zones diffusées, d'indice supérieur à celui du substrat, contituent les guides d'ondes 1 et 2 Si la température de diffusion est supérieure au point de Curie du matériau, on profite de la phase de refroidissement consécutive pour soumettre la plaquette à un champ électrique uniforme, de façon à polariser uniformément la plaquette et à créer ainsi une structure "mono-domaine". Lorsqu'une tension est appliquée entre les électrodes 10 et 20, il se crée une distribution des lignes de champ montrée sous la référence 4 par la figure 1 La composante du champ suivant la direction C perpendiculaire à la surface 23 du substrat a dans l'un et l'autre guide, même valeur absolue et direction opposée, entraînant des variations de l'indice de réfraction de même valeur absolue et de signes contraires Néanmoins, l'existence suivant une direction perpendiculaire à la direction de l'axe C du substrat, qui porte son indice extraordinaire, d'une composante du champ non nulle, ainsi que le fait que le champ électrique appliqué fait également varier la valeur de l'indice dans la partie du substrat 22 comprise entre les deux guides entraîne une certaine dissymétrie du phénomène: le couplage obtenu varie suivant la polarité de la tension appliquée entre les électrodes 20 et 21 La polarité de la tension fournissant le couplage maximum peut se déduire de l'orientation cristallographique du matériau composant le substrat Si cette orientation est inconnue, il est extrêmement aisé de déterminer expérimentalement la polarité optimale par une mesure de l'intensité lumineuse transmise par un des guides pour deux polarités de signes contraires. Si les électrodes métalliques sont déposées directement à la surface des guides, l'existence d'une onde évanescente se propageant dans le milieu métallique, relativement absorbant, peut entraîner des pertes d'énergie dans le coupleur Pour les éviter, il est possible d'intercaler, comme représenté dans la figure l une couche diélectrique transparente Il et 21 entre les guides 1 et 2 et les électrodes 10 et 20 Cette couche isolante est réalisée dans un matériau présentant une bonne transmission pour la longueur d'onde lumineuse véhiculée par le guide, et un indice de réfraction inférieur à celui du guide La silice (Si 2) constitue un matériau parfaitement adapté dans le cas précédemment décrit ou le substrat est constitué par du niobate de lithium. Ces deux guides comme le montre la figure 2, sont parallèles entre eux sur une partie rectiligne de longueur L, fonction du paramètre dit longueur de couplage qui sera défini ultérieurement; la distance entre les parties parallèles rectilignes présente une valeur d qui ne doit pas excéder quelques longueurs d'onde (calculée dans le milieu qui sépare les deux guides) de la lumière véhiculée par les guides Les deux guides sont constitués par un même matériau électro-optique, qui soumis à un champ électrique, possède un indice de réfraction variable en fonction de la valeur du champ appliqué. L'indice de réfraction de ce matériau est ainsi choisi que, même en présence du champ électrique appliqué, il demeure supérieur à l'indice du matériau constituant le substrat 3. Du fait du caractère électro-optique du matériau constituant les guides l et 2, la distribution des lignes de champ dans les guides produit au sein de ceux-ci des variations de l'indice de réfraction sensiblement égales en valeur absolue, mais de signes contraires. Or, lorsqu'une onde est véhiculée par un guide, une partie de l'énergie se propage en dehors du guide, dans le milieu qui l'entoure sous forme d'une onde évanescente; l'amplitude de cette onde décrott exponentiellement lorsque l'on s'éloigne des parois du guide Si un second guide est disposé parallèlement au premier, il capte progressivement, par le biais de cette onde évanescente, l'énergie véhiculée dans le premier guide, et ceci d'autant plus rapidement que les deux guides sont plus rapprochés Au bout d'une distance donnée, dite longueur de couplage, qui dépend à la fois des paramètres géométriques et optiques des deux guides et du milieu qui les sépare (et notamment des indices de réfraction), un maximum d'énergie a été transférée du premier guide dans le second; au- delà de cette longueur, le phénomène inverse se produit: l'énergie se transfère progressivement du second guide dans le premier, jusqu'à atteindre une valeur minimale dans le second guide; toute modification de l'indice d'un des milieux en présence agit évidemment dans un sens ou dans l'autre, sur la longueur de couplage. Dans le dispositif représenté par les figures l et 2, la longueur L peut être choisie égale à la longueur de couplage en l'absence de champ électrique appliqué Du fait de la parfaite symétrie des deux guides dans la zone de couplage, le transfert d'énergie est total du premier vers le second guide (ou du second vers le premier) L'application d'une tension entre les électrodes 20 et 21 diminue la longueur de couplage, et une partie de l'énergie est retransférée du second guide vers le premier (ou du premier vers le second) Le résultat global est alors qu'au fur et à mesure que la tension augmente l'énergie transférée du premier guide vers le second, (ou du second vers le premier), mesurée à l'extrémité de la zone de couplage, diminue jusqu'à atteindre une valeur nulle Le couplage entre les deux guides décroît ainsi de 100 % à O % lorsque la tension appliquée aux électrodes croît Le résultat serait identique si lon donnait à la longueur L une valeur égale à un multiple impair de la longueur de couplage sous champ nul. Il est également possible de donner à la longueur L une valeur égale à un multiple pair de la longueur de couplage sous champ nul Le couplage croit alors à partir de zéro, lorsque la tension appliquée entre les électrodes croit à partir de zéro. On a ainsi réalisé un dispositif qui, sur commande d'un signal élec- trique, permet de commuter partie ou totalité de l'énergie véhiculée par un guide vers l'autre guide qu lîui est associé dans la zone de couplage. Il va alors de soi que si l'on limite l'un des deux guides à un tronçon ayant comme longueur minimale la longueur L de la zone de couplage, ce dispositif permet de moduler à 100 % l'énergie véhiculée par l'autre guide. Mais il est aussi possible de travailler en optique non linéaire; en effet contrairement au -dispositif de l'art connu qui vient d'être décrit, le dispositif de l'invention concerne un coupleur directionnel non linéaire optique intégré Le couplage entre deux guides d'ondes est réalisé, par l'intermédiaire des ondes évanescentes se propageant dans le milieu séparant les deux guides, mais aussi, par l'intermédiaire d'une interaction non linéaire dans le substrat o sont réalisés les guides d'ondes. Autrement dit, le couplage -entre ces deux guides ne s'effectue que pour des longueurs d'ondes différentes qui ont des constantes de propagation identiques dans les deux guides. Une telle structure permet de séparer spacialement les ondes de pompe et les ondes générées par effet non linéaire, les deux ondes se propageant dans dés guides différents. De plus, on peut utiliser des coefficients non-linéaires très important dans certains matériaux; tel, que le X 333 dans le niobate de lithium (Li Nb 03) ou le tantalate de lithium (Li Ta 03). Enfin, l'interaction peut être réglée à l'aide d'un champ électrique appliqué aux guides d'ondes pour réaliser-Itaccord de phase entre les modes. guidés. On appelle onde de pompe, l'onde de fréquence W qui fournit de l'énergie, c'est à dire sur la figure I l'onde qui est transmise dans le premier guide 5 La polarisation induite dans l'onde pompe est de la forme: P = XI E X 2 EE X 3 EEE + E étant le champ électrique auquel est soumis le guide et qui induit la polarisation P. Le terme EE est un terme à la fréquence 2 W qui peut s'écrire: i/2 rôt 2 f 3 (w)z e Dans le deuxième guide 6, une' onde de fréquence 2 W va se propager: elle est de la forme eéi 2 (' -f ( 2 w/z) Ainsi, si on prend l'exemple de la génération de second harmonique dans un cristal non linéaire obtenue par couplage entre deux guides d'ondes, la puissance générée à la fréquence 2 W à partir d'un rayonnement électro- magnétique guidé dans le premier guide de fréquence W s'écrit: AL 2 d 2 sin A 5 L 22 (w) P( 2 w)A d L 5/2 J S o A est une constante dépendant du substrat utilisé, P(ûi) la puissance de la pompe, S la surface sur laquelle a lieu l'interaction, L est la longueur d'interaction et d le coefficient non linéaire utilisé, AS représente la différence 2 6 (() S ( 2 w) entre les deux vecteurs d'ondes des ondes inter- agissant. En effet dans un guide d'onde quelconque, il est connu que l'énergie rayonnée ne peut se propager que selon un nombre discret de modes de propagation caractérisés chacun par une distribution du champ électro- magnétique particulière; par ailleurs, la vitesse de propagation de l'énergie dans le guide possède une valeur définie A cette vitesse correspond un nombre d'onde e = W /V p, Vp étant la vitesse de phase, tels qu'à Pinstant t et à l'abscisse X, les champs électrique E et magnétique H d'une onde plane électromagnétique de fréquence W soient de la forme A e Pindice de réfraction du milieu constituant le guide, cet indice étant lui- même fonction de la fréquence W ou p W de l'onde s'y propageant, et d'autre part de l'épaisseur du guide 2 P( 2 W) est maximum quand S)L 12 est égal à 1, c'est à dire quand àe = O (accord de phase), o ( 2)2 W 27 w 0 ( 2 J) = 2,7 N ( 2 il))et 6 i(a)= 2 Tn (). Dans un milieu -massif cette dernière condition est équivalente à poser n(w) = n( 2 W), ce qui est en général impossible dans des régions de dispersion normale Pour réaliser cette condition, on utilise la biréfringence de certains matériaux tels que le phosphate deutéré de potassium (KD 2 P 4), le niobate de lithium (Li Nb -03) conjointement à des réglages avec la tempé- rature ou la direction de propagation par rapport aux axes du cristal Dans les guides d'ondes, on peut en plus espérer profiter de la dispersion modale pour réaliser l'accord de phase. La combinaison de ces différents principes a amené à la réalisation de doubleurs de fréquence et oscillateurs paramétriques aussi bien en optique classique qu'en optique guidée. Dans le dispositif de l'invention, on utilise la dispersion modale en réalisant l'interaction dans deux guides d'ondes optiques intégrés formant un coupleur directionnel, ces deux guides étant réalisés avec des processus différents. Comme représenté à la figure 3, on considère alors l'exemple de la génération de second harmonique Supposons que l'on sache réaliser deux guides d'ondes 5 et 6, que l'on indicera dans la suite I et II, dans lesquels on peut vérifier: 2 S (X)= ( 2 w) soit /K () = / 'K ( 2 w) K étant le nombre d'onde de la lumière dans le vide. Si on rapproche ces deux guides à une distance de l'ordre de quelques longueurs d'ondes (quelques micromètres), on forme un coupleur direction- nel Ce dernier est d'un type assez particulier car, les deux guides ne sont résonnants que pour deux ondes guidées de fréquences différentes: l'une 24 se propageant dans le premier guide 5 à la fréquence w, l'autre 25 se propageant dans le second guide 6 à la fréquence 2 w En général on aura: I/ () /K et: / /K ( 2 w) +/K ( 2 w). Le coupleur n'est donc résonnant que pour l'onde 24 de fréquence W se propageant dans le premier guide 5 et l'onde 25 de fréquence 2 W se propageant dans le deuxième guide 6 On conçoit que si un matériau électro- optique est utilisé, on va pouvoir faire varier les indices de réfraction des guides d'ondes et finalement modifier les fréquences W et 2 W pour lesquelles ces deux guides sont résonnants a Si le matériau dans lequel sont fabriqués les guides est non linéaire optiquement on conçoit alors que si une onde de pompe à la fréquence W est couplée dans le premier guide 5 elle va générer, par l'intermédiaire du coefficient non linéaire utilisé et du couplage interguide, une onde à la fréquence 2 W qui va se propager dans le deuxième guide 6 Notons que comme: g K(w) $ "^II (w) l'onde de pompe 24 de fréquence n'est pas couplée dans le deuxième guide 6 (ou d'une façon négligeable), il en est de même pour l'onde 25 de fréquence 2 W qui n'est pas couplée dans le premier guide 5. Comme l'interaction est en accord de phase, l'onde à fréquence 2 W voit son intensité augmenter avec la longueur d'interaction L A la sortie, il suffit de séparer les guides spatialement pour séparer ainsi également l'onde de fréquence W et l'onde de fréquence 2 u L'intensité de l'onde à la fréquence 2 W peut être réglée électriquement par l'intermédiaire d'élec- trodes 28, 29 du type "COBRA" Le "COBRA" est un commutateur électro- optique rapide, commandable par des signaux électriques de puissance relativement faible, applicable aux circuits électro-optiques intégrés par l'intermédiaire d'électrodes déposées à la surface du substrat de part et d'autre de deux guides d'onde En effet, ce commutateur comporte deux guides d'énergie rayonnée déposés sur un même substrat, parallèles sur une longueur de couplage prédéfinie; l'application d'un champ électrique de commande faisant varier l'indice de réfraction des guides l'un par rapport à l'autre et, par suite, assurant un couplage maximum ou minimum entre les deux guides. On ne peut réaliser l'accord de phase entre deux ondes véhiculées par les deux guides en utilisant deux guides obtenus par diffusion de titane, en effet les deux plages ne() (ne(W) + Ane(w) et ne( 2) (ne( 2 w) + ne( 20) sont dissociées. Pour réaliser cet accord dans un cristal de niobate de lithium (Li Nb O 3) . L'un des guides 6 est réalise par diffusion de titane et l'autre 5 par échange ionique (par exemple H+) qui permet d'augmenter l'indice extraordinaire ne dans de grandes proportions: le deuxième guide 6 est réalisé par diffusion de titane; le premier guide 5 est réalisé par échange ionique par exemple d'ion H+,- on a alors: (ne + A ne)I " (ne +Ane)II. Il y a donc recoupement des deux plages, contrairement donc au cas de la dispersion normale o l'on a: ne( 2 w) " ne (w) De plus, l'échange ionique permettant d'obtenir des variations d'indice très importante (An e rb 0,12 0,15) on a alors: (ne + à nà (W) > (ne + Ane)II( 2 w) Ce qui signifie que la condition: e 'K (w) = /'K ( 2 w), qui relie les indices effectifs des modes transmis, est réalisable. Les deux guides 5 et 6 n'ont pas forcément des largeurs égales, mais les constantes de propagation à la fréquence W dans le premier guide 5 et à la fréquence 2 W dans le deuxième guide 6 sont égales. Lorsque cette condition d'accord de phase est réalisée, le coupleur est résonnant, et on peut avoir échange d'énergie entre les deux guides 5 et 6 pour une onde de fréquence W dans le guide 5 et une onde de fréquence 2 w dans le guide 6 En sortie on retrouve des ondes séparées à ces deux fréquences W et 2 w En effet il n'y a pas d'échange à la fréquence W entre les deux guides, et il n'y en a pas, non plus, à la fréquence 2 w. En effet en général: e I I H K (w) + K () et ( 2 w() $ + ( 2 w) On peut alors jouer sur la polarisation appliquée aux électrodes pour régler ou dérégler cet accord de phase Cette polarisation est parallèle à l'axe C du cristal qui est l'axe de Pindice extraordinaire du substrat. Dans ce cas les deux ondes seront polarisées extraordinaires, car l'échange ionique augmente seulement ne, et on pourra donc utiliser le coefficient non linéaire X 333 qui est le plus grand du niobate de lithium (Li Nb 03) et qui n'est pas utilisable dans les dispositifs de l'art connu à cause des problèmes non résolus d'accord de phase. Les mêmes résultats peuvent être obtenus avec du tantalate de lithium (Li Ta 03). Le procédé décrit ci-dessus peut être utilisé dans une configuration plus complexe d'un coupleur directionnel non linéaire à 3 guides Dans ce cas, comme représenté à la figure 4, on utilise'un deuxième guide 7 obtenu par diffusion de titane identique au guide 6 dans lequel est également créée une onde à la fréquence 2 w, On profite ainsi des deux ondes évanescentes existant de part et d'autre du guide 5. Il faut noter que les deux guides 6 et 7 représentés à la figure 4 o se propagent l'onde de fréquence 2 W peuvent ensuite être recombinés dans un oeb guide monomode de sortie unique 8 Des électrodes 12, 13, 14, 15 permet- tent de régler la phase relative des deux ondes 25 et 26 avant leur recombinaison 27 dans le guide de sortie 8. Dans cette configuration, l'efficacité de l'interaction est naturel- lement supérieure à celle obtenue dans l'exemple précédent. On peut utiliser le même type de coupleur que celui décrit précédem- ment pour réaliser un oscillateur paramétrique qui est représenté en figure En effet une onde de pompe intense de fréquence W envoyée dans un P milieu non-linéaire est susceptible de donner naissance à une polarisation contenant deux ondes de fréquences wi et a Ws Telles que)p = W +s +w i Ces phénomènes sont identiques dans leur principe à ceux mis en jeu dans l'amplification paramétrique des courants alternatifs Par analogie mp est dite onde de pompe, c'est à dire qui fournit de l'énergie au système, wi et cs qui jouent des rôles symétriques sont dites l'onde "signal" et l'onde "idler". On peut mettre alors à profit l'amplification paramétrique pour réaliser des oscillateurs, en incorporant le milieu non-linéaire dans une cavité analogue à celle d'un laser Ces "oscillateurs paramétriques", dont l'émission offre les mêmes propriétés de cohérence que celle des lasers, présentent l'intérêt que l'on peut faire varier leur fréquence de façon continue En effet, wp étant donné, il faut trouver deux ondes W et ws respectant les conditions du début De plus, si l'on veut constituer un oscillateur à wi la direction du vecteur d'onde ki sera imposée par la cavité. Si par exemple wp est envoyée comme onde extraordinaire dans un cristal de phosphate deutéré de potassium (KDP) On montre alors qu'il existe, pour chaque valeur de ks un couple d'ondes ordinaires (wi' W s) telles que w + W = W p, et vérifiaànt ki + k = k avec des directions données de k I i S S p et kp Les valeurs de wi, ws sont imposées en ajustant l'angle O du cristal par rapport à la direction de Ép, ce qui change kp, qui dépend de O pour une onde extraordinaire, ou encore ne modifiant la température du cristal. Ainsi sur la figure 5 l'onde de pompe se propage ici dans le guide 6 et les ondes signal et "idler"' seront créées dans le guide 5 suivant les conditions: w +w =w s 1 p (W S) + ( Wi p) (Notons que d'autres combinaisons doivent être possibles: par exemple W s dans le guide 5 et w et p dans le guide 6). I p Si le gain est suffisant on peut faire osciller le dispositif en créant une contreréaction dans le guide 5 (ou guide 5 et guide 6) en réalisant par exemple des dépôts réfléchissants 12 et 13 à us et i sur les tranches d'entrée et de sortie du guide 5 Les longueurs d'onde d'émission du dispositif sont conditionnées par les relations énoncées cidessus En particulier on peut modifier celles-ci par l'action d'un champ électrique qui modifiera les indices de réfraction des deux guides et donc les conditions d'accord de phase On peut ainsi réaliser un oscillateur paramétrique dont la longueur d'onde est réglable électriquement Cet oscillateur peut être du type simplement (à la fréquence ws) ou doublement, (aux fréquences ws et résonnant suivant les dispositifs utilisés pour assurer la contreréaction. Ainsi on peut réaliser un oscillateur paramétrique sortant des ondes aux fréquences W p, ws et ì qui sont telles que: X = +W@. p S 1 et k p k s) +j( i), qui traduisent l'accord de phase. En faisant varier les indices de ces deux guides d'onde, -on va faire varier ces fréquences Ainsi sur la figure 59 on a réalisé un tel oscillateur en utilisant -la même technologie que pour le coupleur représenté en figure 3, c'est à dire que le guide 6 est réalisé par diffusion de titane dans le substrat et le guide 5 par échange ionique par exemple dions H+ dans ce même substrat Dans ce cas aussi, on peut utiliser le coef ficient X 333 très important dans le niobate de lithium En jouant sur la position des électrodes, et sur la tension qui leur est appliquée on peut faire varier la fréquence des ondes de sortie On peut aussi mettre en oeuvre une amélioration qui est illustrée à la figure 6, dans laquelle le guide 6 obtenu par diffusion de titane est situé entre deux guides 5 et 30 obtenus par échange ionique Deux dépôts réfléchissants 12, 13, 31, 32 sont réalisés sur les faces d'entrée et de sortie du guide 30 Ainsi dans le guide 5 on a des ondes de fréquences W et W, et dans le guide 30 des ondes de fréquence w' et wa)'. Dans tous les cas de figures considérés dans l'invention, on peut effectuer un réglage des guides d'onde en jouant sur la température, en effet la diffusion du titane dans le substrat s'effectue aux environ de 10000 C pendant un lapse de temps de quelques heures et l'échange ionique par exemple d'ions H+ s'effectue aux environs de 250 'C pendant une durée de l'ordre de 1 heure. Les guides considérés dans l'invention ne sont pas forcément des guides monomodes, les fréquences considérées étant celles de modes qui sont transmis dans les guides. REVENDICATIONS 1 Dispositif coupleur optique intégré non-linéaire comportant un sub- strat plan ( 3), ayant une face d'entrée et une face de sortie, -réalisé en matériau électro-optique non linéaire, et au moins deux guides d'onde ( 5, 6) dont l'un reçoit une onde incidente, disposés à la -surface de ce substrat, ces guides d'onde étant parallèles entre eux sur une longueur prédéterminée (L) et séparés par une distance telle que le rayonnement de l'onde incidente soit transférable d'un guide d'onde à un autre, caractérisé en ce que un premier guide est obtenu par échange ionique d'ions H+ dans le substrat ( 3) et un second par diffusion localisée de titane dans le substrat ( 3). 2 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte un premier guide ( 5) qui reçoit l'onde incidente ( 24) de fréquence, un second guide ( 6) qui transmet une onde ( 25) de fréquence 2 c créée par couplage, et des moyens pour appliquer un champ électrique modulant à au moins un de ces deux guides dans la partie o ils sont parallèles entre eux pour effectuer ainsi l'accord de phase entre l'onde incidente ( 24) de fréquence et londe ( 25) créée par couplage de fréquence 2 . 3 Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que, le substrat étant réalisé en matériau biréfringent, ces moyens pour appliquer un champ modulant à au moins un des deux guides sont ré alisés par des électrodes disposées de part et d'autre de ce guide, ces électrodes créant dans le substrat une polarisation parallèle à l'axe qui porte l'indice extra- ordinaire de ce substrat ( 3). 4 Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comporte un troisième guide d'onde ( 7) de même nature que le second guide d'onde ( 6), disposé de l'autre côté du premier guide ( 5) par rapport au second guide ( 6), ce second ( 6) et ce troisième ( 7) guides étant recombinés en sortie pour former un guide de sortie unique ( 8), et des moyens pour régler la phase relative des ondes véhiculées par ces deuxième ( 6) et troisième ( 7) guides avant leur recombinaison dans le guide de sortie ( 8). 5 Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le substrat ( 3) est réalisé en un matériau possédant un coefficient non linéaire important. l 6 6 Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que le substrat ( 3) est réalisé en niobate de lithium qui possède un coefficient X 333 de susceptibilité non linéaire d'ordre 3 important. 7 Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que le substrat ( 3) est réalisé en tantalate de lithium qui possède un coefficient X 333 de susceptibilité non linéaire d'ordre 3 important. 8 Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que le substrat ( 3) est réalisé en phosphate deutéré de potasium. 9 Oscillateur paramétrique, caractérisé en ce qu'il comprend un dispositif coupleur optique intégré non linéaire comprenant au moins deux guides d'ondes, selon l'une quelconque des revendications I à 8, le second guide ( 6) recevant l'onde incidente dite onde de pompe de fréquences p, le premier guide ( 5) transmettant par couplage deux ondes de fréquences ns 5 et tn telles que op = 5 +to des dépôts réfléchissants ( 12, 13) déposés sur ses 1 s faces d'entrée et de sortie du substrat pour réfléchir au moins l'une des ondes propagées dans le premier guide ( 5) et des moyens de réglage de ces fréquence ws et o i. Oscillateur paramétrique selon la revendication 9, caractérisé en ce que ces moyens de réglage des fréquences comportent des électrodes disposées de part et dautre de ce premier ( 5) et de ce second guide ( 6) dans la partie' o ils sont parallèles qui permettent le réglage de ces fréquences 11 Oscillateur paramétrique selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comprend un troisième guide d'onde ( 30) de même nature que le premier guide d'onde ( 5) disposé de l'autre côté du second guide ( 6) par rapport au premier guide ( 5) qui transmet par couplage deux ondes de fréquences ô>s' et òi', des dépôts réfléchissants ayant été déposés sur les faces d'entrée et de sortie du substrat ( 3) pour réfléchir au moins l'une des- ondes propagées dans ce troisième guide ( 30) et des moyens de réglage de 3 O et to '. ces fréquences n'et i'. 12 Oscillateur paramétrique selon la revendication 11, caractérisé en ce que ces moyens de réglage des fréquences comportent des électrodes disposées de part et d'autre de ces guides dans la partie o ils sont parallèles.