FR 2534099 A1 19840406 FR 8315665 A 19830930 2534-099 -la présente invention concerne une caméra de télé- vision permettant de surmonter un problème de papillotement qui se produit au rythme des trames dans les dispositifs de formation d'image à couplage de charge à entrelacement de trames du type à transfert de trame et, plus particulièrement, du type utilisant un cadencement triphasé de leur registre d'image (ou registre A). Dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 3 801 884 délivrd le 2 avril 1974 à C H Sequin et intitulé "Charge Transfer Imaging Devices", il est décrit, en relation avec la figure 5 de ce brevet, un dispositif qui produit un entrelacement de trames dans ces dispositifs de formation d'image à couplage de charge. Dans le dispositifs le registre d Vimage> ou registre A, et le registre d'emmnagasinage de trame, ou registre B qui lui fait suite en cascade reçoivent des signaux de cadencement de couplage de charge triphasés classiques pendant les intervalles de trans- fert de trame qui ont lieu pendant les temps de retour de spot des trames du signal de sortie vidéo du dispositif de formation d'image. Chacun de ces intervalles de transfert de trame est placé entre temps d'intégration d'image successifs, pendant les temps de trace de spot des trames du signal de sortie vidéo du dispositif de formation d'image La longeur LA 1 des électrodes de grille du -registre A recevant la première impulsion de cadencement M Al^ la longueur LA 2 des électrodes de grille du registre A recevant la deuxième impulsion de cadencement A 2 et la longueur LA 3 des élec- trodes de grille du registre A recevant la troisième phase de cadencement A 3 sont toutes égales dans le dispositif de fonnation d'image à couplage de charges représenté sur la figure 5 du brevet n 3 801 884 cité cidessus Pendant les temps d'intégration d'image des trames impaires, c'està-dire pendant la trace de spot des trames paires, le cadencement triphasé du registre d'image s'arrêtes si bien que des régions de déplétion sont induites à proximité des électrodes de grille recevant une première phase de cadencement A' Des porteurs de charge produits par photoconversion sont recueillis dans ces régions de déplétion de façon à produire les paquets de charge qui échantillonnent l'image, lesquels paquets seront transférés au registre d'emmagasinage de trame, ou registre B, pendant l'intervalle de trace de spot de la trame à venir, puis seront délivrés en cadence, ligne par ligne, pendant l'intervalle de trace de spot de la trame suivante via un registre de lecture, ou registre C. ?*> Pendant les temps d'intégration d'image des trames paires, le cadencement triphasé s'arrâte, si bien que des régions de déplétion sont induites à proximité des électrodes de grille recevant la deuxième phase de cadencement A 2 et de celles recevant la troisième phase de cadencement A 3 d et des porteurs de charge produits par photoconversion de l'image sont recueillis dans ces régions de déplétion Les paquets de charge résultant qui échan- tillonnent l'image sont transférés au registre d'emmagasinage de trame pendant le retour de spot de la trame suivante et sont délivrés en cadence par le registre d'emmagasinage de charge ligne à ligne via le registre de lecture, lequel effectue une conversion des données en parallèle en données en série, dans l'intervalle de trace de spot de la trame suivante. Un dispositif de formation d'image à couplage de charge du type présenté sur la figure 5 du brevet n 3 801 884 cité ci- dessus présente, de manière non souhaitable, un papillotement au rythme des trames Une manière de réaliser un fonctionnement tri- phasé des registres A et B d'un dispositif de fonrmation d'image à couplage de charge, qui ne présente pas de papillotement au rythme des trames, a été décrite par Sequin dans son article d'étude générale "Interlacing in Charge Coupled Imaging Devices," IEEE Transactions on Electron Devices, Vol ED-20, n 6, Juin 1973, *e p 535-541 L'intégration ne se fait que sous les électrodes de la première phase dans 'les temps d'intégration des trames impaires et que sous les électrodes de la deuxième ou de la troisième phase dans les temps d'intégration des trames paires Les aires des électrodes de grille sous lesquelles l'intégration d'image a lieu pendant des trames alternées sont analogues dans les trames suc- cessives Puisque les régions de déplétion induites sous ces élec- trodes pour recueillir la charge sont de même taille dans les trames successives, des quantités analogues de courant d'obscurité s'accumulent dans chaque tramea ce qui élimine sensiblement une des sources de papillotement au rythme des trames Le couplage des signaux de cadencement des registres B et C au registre A pen- dant les temps d'intégration d'image, lequel couplage se faitvia les capacités des registres, àleur substrat commun, est plus sem- blable dans les trames successives, ce qui élimine sensiblement une autre source de papillotement au rythme des trames Toutefois, alors que cette approche fournit un fonctionnement triphasé qui est relativement exempt de papillotement, l'entrelacement des trames est imparfait et conduit à des erreurs d'échantillonnage sur les lignes diagonales, ce qui est inacceptable dans des appli- cations critiques telles que les caméras de télévision. Jusqu'à ce jour, le problème posé par la réalisation d'un dispositif de formation d'image à couplage de charge à fonction- nement triphasé qui, à la fois, présente un bon entrelacement de trames et est libre de papillotement au rythme des trames n'a pas encore été résolu Apparemment, les mécanismes qui assurent un entrelacement de trames sensiblement parfait dans le dispositif de formation d'image à couplage de charge représenté sur la fi- gure 5 du brevet n 3 801 884 cité ci-dessus n'ont pas encore été suffisamment compris pour permettre, même au spécialiste des dis- positifs de formation d'image à couplage de charge, de produire un semblable dispositif de formation d'image o En opposition avec tout ce que l'on aurait pu attendre, la demanderesse a trouvé que ces mécanismes pouvaient être employés pour obtenir un entrelacement de trame complètement, ou pratique- ment, parfait, en même temps qu'une suppression du papillotement au rythme des trames, malgré l'existence de dissemblances dans les aires des électrodes de grille sous lesquelles l'intégration de charge a lieu dans les trames successives L'analyse suivante montre pourquoi il en est ainsi. Dans un dispositif de formation d'image à couplage de charge triphasé, pendant un sur deux des temps d'intégration d'image, un potentiel d'intégration n'est appliqué qu'aux électrodes de grille recevant la phase de cadencement Ai Pendant chacun de ces temps d'intégration alternés, les porteurs de charge produits dans les régions de déplétion sous ces électrodes seront retenus dans ces régions jusqu'à ce qu'ils soient délivrés en cadence dans la phase *A pendant le transfert de la trame suivante Pendant le temps d'intégration, les porteurs de charge produits entre ces régions de déplétion migreront, en moyenne satistique, vers les régions de déplétion qui sont le plus près de leur site respectif de production Ainsi, des porteurs de charge en nombre sensiblement égal à ceux produits en des sites qui sont disposés à une distance au plus égale à (l/2)LAî + ( 1/2)(L 4 +L) du centre de chaque électrode de grille Ai seront recueillis sous cette électrode de grille l A pendant chaque semblable période d'intégration Par conséquent, les centres des cellules image de chaque ligne de cel- lules image pendant ces temps d'intégration se trouveront à mi- longueur d'une électrode de grille recevant le cadencement Al pen- dant le transfert de trame. La demanderesse a observé que leprocessus de centrage des cellules image des trames alternées à mi-longueur des électrodes de grille 1 est indépendant du rapport des longueurs L Al, LA et L, et que ces longueurs ne devaient pas nécessairement être dans le rapport 1:1:1, comme cela est présenté par Sequin. Pendant les temps d'intégration d'image intermédiaires, lorsque des potentiels d'intégration sont-appliqués aux électrodes de grille recevant les phases de cadencement A 2 et A 3 ' des por- teurs de charge produits sous les électrodes de grille Ai au niveau de la barrière de potentiel migreront, en moyenne statistique, pour moitié vers l'électrode de grille t U précédente et, pour moitié, vers l'électrode de grille A 2 suivante (si l'on suppose que les électrodes de grille b A 2 et O A 3 reçoivent la même valeur pour leurs potentiels d'intégration). La demanderesse a observé que les bords des cellules image se trouvent à mi-longueur des électrodes de grille A) quels que soient les rapports entre LA, LA 2 et LA 3 Lorsque le cadence- ment reprend, les charges se trouvant sous chaque paire d'électrodes de grille O A 2 et c A 3 adjacentes se mélangent Par conséquent, ainsi que la demanderesse l'a observé, la répartition d'une charge sous elles en fonction de leurs longueurs L et L respectives n'a plus A 2 A 3 aucune conséquence en ce qui concerne l'entrelacement de trames. Sur la base de cette analyse, la demanderesse conclut que, de manière surprenante, l'entrelacement de trames est sensiblement parfait indépendamment des valeurs relatives de L Ai, L,2 et L Comme on l'a noté précédemment, le papillotement de trames subit une réduction lorsque l'aire des électrodes de grille sous lesquelles a lieu l'accumulation de charge dans les trames paires est égale à l'aire des électrodes de grille sous lesquelles a lieu l'accumulation de charge dans les trames impaires Si les seules électrodes de grille 4 A reçoivent un potentiel d'intégra- tion dans l'un de ces ensembles de trames et si les électrodes de grille e, et 4 A 3 reçoivent conjointement un potentiel d'inté- gration dans l'autre ensemble de trames, la demanderesse impose la condition suivante pour supprimer le papillotement de trames LAA = LA 2 + LA 3 Toutefois, il existe une contrainte pratique supplémentaire portant sur le rapport relatif des longueurs LA, LA 2 et LA 3 S'il faut éviter l'effet de flou d'image jusqu'à ce qu'un niveau élevé de brillance d'image ait été atteint, comme la demanderesse l'a observé, les capacités des puits de potentiel associés aux régions de déplétion induites sous les électrodes de grille e A 2 et QA 3 doivent être étroites Sinon, un ensemble de régions est entraîné dans le flou d'image pour un niveau de brillance d'image inférieur à l'autre Lorsque les tensions de cadencement 4 A 2 et PA 3 sont d'amplitude identique, on arrive à ce résultat en rendant égaux L et AL Puisque L = L + L, les effets de flou d'image Al A 2 Al A 2 A 3 'a présentent leur début sur des niveaux de brillance identiques à la fois pour les trames impaires et les trames paires Lorsque cette contrainte supplémentaire est imposée, il n'est introduit aucun papillotement au rythme des trames par un déversement exces- sif de charge dans les moyens d'évacuation anti-flou d'image. L'invention est mise en oeuvre sous forme d'un dispositif de formation d'image à couplage de charge du type à transfert de trame possédant un registre A dans lequel les longueurs des électrodes de grille sont proportionnées sensiblement de manière à satisfaire la condition LAI LA 2 LA 3 qui est nécessaire pour un meilleur entrelacement des trames, lorsqu'un cadencement triphasé doit être employé dans le registre A Selon un aspect de l'invention, on donne à la longueur L Al des électrodes de grille 'Ali sous lesquelles a lieu l'intégration d'image pendant un sur deux des temps d'intégration d'image, une longueur double de la longueur de chacune des électrodes de grille A 2 l XA 3 de longueurs égales, sous lesquelles a lieu l'intégration d'Limage pendant les temps d'intégration d'image intermédiaires. La description suivante, conçue à titre d'illustration de l'invention, vise à donner une meilleure compréhension de ses caractéristiques et avantages; elle s'appuie sur les dessins annexés, parmi lesquels: la figure 1 est un schéma de principe simplifié de la caméra à dispositif de formation d'image à couplage de charge sous laquelle l'invention trouve un mode de réalisation; la figure 2 est un schéma temporel général décrivant le transfert de charge dans le dispositif de formation d'image à couplage de charge de la figure 1; la figu Xe 3 est une vue de détail du diagramme temporel général de la figure 2, montrant comment le cadencement du registre d'image s'arrête lors de l'intégration d'une image de trame impaire et lors de l'intégration d'une image de trame paire; la figure 4 est une vue en plan simplifiée de la struc- ture du dispositif de formation d'image à couplage de charge de la figure 1 o les électrodes de grille de la première phase se trou- vant dans son registre d'image sont d'une longueur égale aux lon- gueurs combinées des électrodes de grille de la deuxième phase et de la troisième phase, selon l'invention; et la figure 5 est une vue en section droite de la structure en silicium polycristallin triple d'un groupe d'électrodes de grille du registre A dont les longueurs sont proportionnées selon l'inven- tion. Sur la figure 1, l'image 3 d'un objet 4 est mise au point par un ensemble 5 d'objectifs (symbolisé par une simple lentille convergente) dans le registre d'image, ou registre A, d'un dispositif 10 de -formation d'image à couplage de charge du type à transfert de trame Le dispositif 10 de formation d'image à couplage de charge diffère des dispositifs antérieurs de ce type en ce que les électrodes de grille de la première phase de son registre A ont une longueur égale aux longueurs combinées des électrodes de grille de la deuxième phase et de la troisième phase de son registre A En plus de ce registre A, le dispositif 10 possède un registre d'emmagasinage de trame, ou registre B, masqué contre le rayonnement, un registre de lecture, ou registre C, masqué contre le rayonnement et assurant la conversion des données de parallèle en série, et un étage placé à la fin de son registre C afin de convertir les échantillons de charge consécutifs en échan- tillons de signaux de sortie vidéo Les signaux de sortie vidéo venant de cet étage sont dirigés, comme il est classique, vers un circuit Il assurant le filtrage et la suppression des signaux de' cadencement Le signal sortant du circuit 11 est délivré à un amplificateur de traitement 12 qui insère les signaux de synchro- nisation classiques de façon à doter le signal vidéo de sortie d'une information de synchronisation. Un générateur 15 de signaux temporels, en relation avec une horloge mère interne ou externe (non représentée) produit (a) des signaux de cadencement triphasés à destination du registre A du dispositif de formation d'image à couplage de charge pendant les Lemps de transfert de trame, (b) des signaux de cadencement appropriés à destination des registres B et C du dispositif 10 de formation d'image à couplage de charge, et (c) l'information de synchronisation que l'amplificateur de traitement 12 place dans le signal vidéo de sortie Ces signaux sont sensiblement identiques à ceux utilisés sur la figure 5 du brevet n' 3 801 884 cité ci-dessus. La figure 2 est un diagramme temporel de trames successives apparaissant dans le fonctionnement du dispositif 10 de formation d'image à couplage de charge en réponse à des signaux de cadence- ment provenant du générateur 15 de signaux temporels La figure 3 montre de manière détaillée les différentes manières selon lesquelles le cadencement triphasé du registre A s'arrête pendant l'intégration d'image des trames impaires et paires A sa partie supérieure, la figure 3 montre les trois phases l t A 2 ' 3 du cadencent du registre A pendant l'intervalle d'intégration d'image (de l'instant t O à l'instant t 1) d'une trame impaire A sa partie inférieure, la figure 3 montre les trois phases du cadencement du registre A pendant l'intervalle d'intégration dtimage (de l'instant t 2 à l'instant t 3) d'une trame paire. L'intervalle de trace de spot de la trame paire, qui va de l'instant t O à l'instant tl: est l'intervalle d'intégration d'image de la trame impaire qui va suivre Le cadencement du registre A s'arrête, comme on peut le voir sur la figure 2 Le cadencement du registre B a lieu pendant les intervalles de retour de spot de ligne afin de faire avancer une nouvelle ligne d'échan- tillons de cellules image dans le registre C (après que la précé- dente ligne d'échantillons de cellules image a été délivrée en cadence par le registre C au rythme de cadencement de balayage des cellules images pendant l'intervalle de trace de spot de ligne précédent) Le cadencement du registre B peut être un cadencement triphasé (comme le cadencement normal du registre A) ou bien, comme cela est connu, il peut être par exemple un cadencement à deux ou quatre phases. Comme le montre la figure 3, le cadencement du registre A s'arrête pendant l'intervalle de trace de spot des traces impaires de sorte que seule la phase Al est de niveau haut, la condition de niveau haut étant associée aux électrodes de grille du registre A qui reçoivent un potentiel propre à induire des régions de déplécion de charge dans le matériau semi-conducteur voisin des électrodes. Par conséquent, l'intégration de charge a lieu au voisinage des électrodes de grille recevant la première phase A 1 du cadencement du registre A pendant l'intervalle séparant les instants t O et tl, lorsque les porteurs de charge produits par la photoconversion de l'image 3 d'énergie rayonnante sont recueillis dans les régions de déplétion induites au voisinage des électrodes de grille A 1 du registre A La charge produite dans chacune des régions se trouvant entre les électrodes de grille qui reçoivent le cadencement A 1 du registre A tend à migrer jusqu'à la plus proche des deux électrodes de grille A 1 qui les bordent, si bien que les bords des cellules image seront à mi-chemin entre les lignes centrales des électrodes e Le cadencement du registre A 1 reprend pendant l'inter- valle de transfert de la trame impaire, entre l'instant t 1 et l'instant t 2 Les registres A et B sont cadencés à un rythme rapide afin de transférer les paquets de charge intégrés décrivant des cellules image, entre le registre A d'o ils proviennent et le registre B o ils seront emmagasinés Classiquement, le registre C est cadencé à un rythme élevé pour évacuer les courants d'obscurité restants accumulés dans le registre B pendant l'intervalle de trace de spot de la trame précédente A la fin de cet intervalle de transfert de trame, les échantillons de charge décrivant les cellules image de la trame impaire sont emmagasinées dans le registre B du dispositif 10 de formation d'image Pendant l'inter- valle de trace de spot de la trace impaire suivante, de l'instant t 3 à l'instant t 4, cette trame emmagasinée est transférée à raison d'une ligne à la fois, pendant l'intervalle de retour de spot de ligne, du registre B au registre C Pendant les intervalles de trace de spot de ligne, les paquets de charge qui échantillonnent la trace de la trame impaire sont délivrés en cadence par le registre C au rythme de balayage des cellules image et sont transformés en une tension ou un courant de sortie vidéo. Le cadencement du registre A s'arrête pendant la trace de spot de la trame impaire si bien que les échantillons de charge décrivant la trame paire suivante peuvent s'accumuler par photo- conversion de l Vimage 3 d'énergie rayonnante Le cadencement du registre A s'arrête de façon que les électrodes de grille recevant la deuxième et la troisième phase de cadencement A 2 et ^A soient de niveau haut, comme cela est indiqué sur la partie inférieure de la figure 3 Pendant cet arrêt, des régions de déplétion de charge sont induites dans le substrat semi-conducteur au voisinage des électrodes qui reçoivent les phases t A 2 et M se trouvant alors au niveau haut L'intégration de charge a lieu dans ces régions La charge produite dans les régions se trouvant sous chacune des électrodes de grille qui reçoivent le cadencement t A tend à migrer vers celle des électrodes de grille précédente et suivante qui est-la plus proche, si bien que les bords des cel- lules image se trouvent sur la ligne centrale des électrodes de grille O AV Les longueurs relatives des électrodes de grille qui reçoivent des phases différentes du cadencement du registre A n'ont aucune importance de ce point de vue (On suppose que toutes les électrodes de grille du registre A qui reçoivent une phase donnée quelconque des phases de cadencement Al' 4 A 2 et t 3 ont des longueurs identiques) Dans les trames impaires, les bords des cellules image sont à mi-chemin des lignes centrales des électrodes Al et, dans les trames paires, les bords des cellules image sont sur les lignes centrales des électrodes Al, quels que soient les rapports relatifs de LA 1, LA 2 et LA 3 Ainsi, l'écartement des bords des cellules image de lignes adjacentes entrelacées est uniforme sur la trame, si bien que l'entrelacement des trames est parfait. L'instant t 4 est la fin d'un cycle d'image complète pour l'intégration d'image et est également l'instant t' du début du cycle suivant, lequel est identique à celui qui vient d'être décrit Comme précédemment noté, le cadencement du dis- positif 10 de formation d'image à couplage de charge tel que décrit cidessus est analogue à celui décrit dans le brevet no 3 801 884 cité cidessus L'absence de papillotement au rythme des trames peut être attribué au fait que la longueur des électrodes de grille Al a été rendue égale aux longueurs combinées des électrodes de grille FA 2 et O A 3 du dispositif 10 de formation d'image à couplage de charge. La figure 4 montre une structure de dispositif de formation d'image analogue à celle du dispositif 10, mais sim- plifiée dans le but de réduire le nombre des rangées et des colonnes se trouvant dans ses registres A et B d'environ 256 et 500, respectivement, à 2 (avec 3 électrodes par rangée) et 9, respectivement La structure 20 d'interruptions de canal, indi- quée en trait interrompu, définit les 9 colonnes des registres A et B, chacune d'elles étant un dispositif à couplage de charge comprenant une première configuration de registre à décalage dans sa partie 30 de registre A, et une deuxième configuration de registre à décalage dans sa partie 40 de registre B Chacune des colonnes 21 àa 29 possèdent les structures d'électrodes de grille 31, 32, 33, 34, 35 et 36 la coupant dans le registre A 30 Pour la clarté de la représentation graphique, les électrodes de grille ne se chevauchent pas sur la figure 4; en réalité, la structure est de préférence conçue de façon que les électrodes se chevauchent, co; ime cela est montré sur la figure 5. Selon l'invention, les structures d'électrodes de grille 31 et 34, auxquelles la-phase de cadencement QAI est appliquée, ont une longueur double de celle des structures d'électrodes de grille 32 et 35, auxquelles la phase de cadencement QA 2 est appliquées et de celle des structures d'électrodes de grille 33 et 36, auxquelles la phase de cadencement OA 3 est appliquée. En pratique, les interruptions de canal séparant les colonnes 21 à 29 dans le registre A 30 peuvent être plus larges que celles existant dans le registre B 40, pour loger les struc- tures d'évacuation anti-flou; par souci de brièveté, celles-ci ont été omises sur la figure 4 Le registre B 40 est montré comme conçu pour le cadencement triphasé à titre d'exemple, et il pos- sède 6 électrodes de grille 41, 42, 43, 44, 45 et 46 de même largeur disposées perpendiculairement aux colonnes 21 à 29 de façon à définir les rangées dans le registre Les électrodes de grille 41 et 44 reçoivent une première phase de cadencement Bl les électrodes de grille 42 et 44 reçoivent une deuxième phase de cadencement OB 2; et les électrodes de grille 43 et 46 reçoivent une troisième phase de cadencement t B 3 Un registre C, désigné par la référence 50, est utilisé pour la conversion des données de parallèle en série, et il est représenté à titre d'exemple comme possédant un cadencement triphasé Pendant le retour de spot de ligne, le cadencement du registre C s'arrête, la phase de cadencement j C 1 qui est appliquée aux électrodes de grille aux extrémités des colonnes étant de niveau haut pour induire des régions de déplétion dans lesquelles les échantillons de charge qui décrivent une ligne de cellules image sont délivrés en cadence à la sortie du registre B Les électrodes de grille t C 2 et C 3 intermédiaires sont au niveau bas. Le cadencement triphasé du registre C reprend pendant la trace de ligne afin de déplacer les échantillons à raison d'une cellule image à la fois jusqu'à une région de diffusion flottante 51 reliée à l'électrode de grille d'un transistor à effet de champ métal-oxyde-semi-conducteur 52 appartenant à l'amplificateur de sortie vidéo du dispositif de formation d'image La diffusion 51 est périodiqucement mise a un potentiel de valeur prédéterminée, enréponse à une impulsion de repositionnement qui est appliquée à une électrode de grille de repositionnement 53 qui verrouille la diffusion 51 sur une diffusion 54 d'évacuation par l'action du transistor a effet de champ Une électrode de grille supplémen- taire 55,-polarisée en courant continu, peut précéder l'électrode de grille 53 au titre de tampon servant à maintenir l'impulsion de repositionnement venant de l'électrode de grille du transistor à effet de champ 52 Le circuit de sortie du registre C est décrit à titre d'exemple, d'autres types de circuit de sortie étant égale- ment connus dans la technique. Le fait de rendre plus larges d'environ 10 microns les électrodes de grille du registre A d'un dispositif de formation d'image à couplage de charge tend à produire un bruit de scintil- lement qui est visible dans les images de télévision produites à partir du signal de sortie vidéo du dispositif de formation d'image. On peut simplement éviter ceci en donnant aux électrodes de grille de la phase de cadencement PA 1 du registre A une largeur de 10 mi- crons ou un peu moins et en donnant aux électrodes de grille du registre A recevant les phases de cadencement t A 2 et A 3 une lar- geur moitié moindre, dans la mise en oeuvre de l'invention Ces largeurs sont suffisamment grandes pour pouvoir être réalisées par des procédés photolithographiques classiques lors de la fabri- cation du dispositif de formation d'image à couplage de charge. La figure 5 montre une vue en section droite d'un groupe de grilles du registre A présentant des largeurs effectives qui sont proportionnées selon l'invention La coupe passe au travers de la puce de formation d'image, entre les-interruptions de canal, perpendiculairement à la direction de transfert de charges sous ls grilles La structure peut être sensiblement telle que décrite par C H Sequin, F J Morris, T A Shankoff, M F Tompsett et E.J Zimany, Jr, dans leur article "Charge-Coupled Area Image Sensor Using Three Levels of Polysilicon" paru dans IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, Vol ED-21, n 11, novembre 1974, p 7 i 2-720. Une autre description de la structure du dispositif a couplage de charge en silicium polycristallin triple est donné par W Jo Bertram, A.M Mohsen, F J Morris, D A Sealer, C H Sequin, et M F Thompsett dans leur article "A Three-Level Metallization Three-Phase CCD" paru dans le n 12 suivant de cette même revue, Vol ED-21, décembre 1974, p 758-767 Un substrat 60 de silicium de type p appartenant à un dispositif de formation d'image a couplage de charge à canal enterré est dopé au niveau de sa surface antérieure (vers le haut de la figure 5) de façon à être de type n, ce qui forme une jonction 61 définissant la surface du canal enterré le long duquel les pa- quets de charge sont transférés (Le traitement initial du substrat de silicium 60 comporte également une diffusion d'éléments parti- culiers de source et de drain et l'implantation d'interruptions de canal; ces particularités ne sont pas présentées sur la figure 5) On fait croître thermiquement sur la surface antérieure du substrat 60 une couche de dioxyde de silicium (Si O 2) d'une épaisseur d'environ 150 nm, dont des parties 62 subsistent sous les électrodes ÀA 1 longues 63 Un premier niveau de silicium poiy- cristallin est déposé sur cette première couche d'oxyde de grille, est dopé au moyen de phosphore pour le rendre conducteur et faci- liter le contact, et est oxydé par action de vapeur d'eau La couche de Si O 2 résultante, d'une épaisseur d'environ 100 nm, fournit le masque d'incision dans la photo-incision ultérieurement effectuée pour définir un premier ensemble de structures 63 d'électrodes de grille Il est préférable de fabriquer d'abord les électrodes A 1 longues, puisque le rapport de leur longueur à la somme des longueurs des électrodes QA 2 et A 3 plus courtes s'établit sans qu'il soit besoin de tenir compte de la perfection d'alignement des opérations successives de photomasquage De plus, la capacité de l'électrode longue vis-à-vis de son environnement est minimisée par le fait -2534 99 qu'elle est placée dans le premier niveau de silicium polycristal- lin, par rapport au cas o elle serait placée dans le deuxième ou le troisième niveau. On fait croître thermiquement une nouvelle couche d'oxyde de grille, dont des parties 64 subsistent au-dessus des grilles A 1 et sous les grilles t A 2 On fait déposer le deuxième niveau de silicium polycristallin sur cette deuxième couche d'oxyde de grille, on dope au moyen de phosphore et on oxyde à la vapeur d'eau On effectue une photo-incision de la couche d'oxyde afin de définir un deuxième ensemble de structures d'électrodes de grille 65 dans le deuxième niveau sous-jacent de silicium poly- cristallin dopé On fait ensuite thermiquement croître une nouvelle couche d'oxyde de grille, dont des parties 66 subsistent sur les grilles 4 A 2 et sous les grilles IA 3 On fait déposer le troisième niveau de silicium polycristallin, on dope à l'aide de phosphore et on oxyde à la vapeur d'eau On effectue une photo-incision de l'oxyde et du troisième niveau sous-jacent de silicium polycristal- lin dopé afin de définir un troisième ensemble de structures d'électrodes de grille 67 On fait croître thermiquement une couche d'oxyde en guise de couvercle. On amincit le substrat 60 jusqu'à 10 microns, ou une valeur analogue, en attaquant par incision sa surface inférieure initiale On applique à la nouvelle surface inférieure une dif- fusion dégradée pour supprimer la recombinaison superficielle des porteurs de charge On revêt le substrat aminci d'une plaque dorsale en verre (non représenté) Puis, dans des parties du dis- positif de formation d'image à couplage de charge non représentées sur la figure 5, on ouvre des fenêtres de contact avec les niveaux de silicium polycristallin et avec le substrat, et on fait déposer ure couche de métallisation supérieure que l'on incise pour former ce-qui constitue, en effet, un quatrième niveau de métal. Bien entendu, l'homme de l'art sera en mesure d'imaginer, à partir du dispositif dont la description vient d'être donnée à titre simplement illustratif et nullement limitatif, diverses variantes et modifications ne sortant pas du cadre de l'invention. R E V E N D I C A T I O N S 1 Camera de télévision destinée à produire des signaux vidéo à entrelacement de trames, en réponse à des images d'énergie rayonnante reçues ( 3), présentant un effet réduit de papil- lotement entre trames alternées, o la caméra comprend: un dispositif ( 10) de formation d'image à couplage de charge du type transfert de trame possédant un registre d'image ( 30) doté de premiers, de deuxièmes et de troisièmes ensembles d'électrodes de grille ( 31, 34; 32, 35; 33, 36) cycliquement disposés parallèlement entre eux et perpendiculairement a ses canaux de transfert de charge; un premier registre d'emmagasinage ( 40) et au moins un registre de lecture ( 50) convertissant les données de parallèle en série qui est suivi par un étage ( 51 à 54) de conversion d'échan- tillons de charge en signaux vidéo; un moyen ( 5) qui focalise les- dites images d'énergie rayonnante sur le registre d'image dudit dispositif de formation d'image à couplage de charge; un amplifica- teur de traitement ( 12) qui reçoit un signal vidéo de chaque étage de conversion d'échantillons de-charge en signaux vidéo; et un moyen ( 15) qui délivre des signaux de cadencement audit amplifica- teur de traitement et audit registre du dispositif de formation d'image à couplage de charge, lequel moyen comprend en outre (a) un moyen qui délivre respectivement une première, une deuxième et une troisième phase (A A 2 ' A 3 de signaux de cadencement tri- phasés aux premiers, aux deuxièmes et aux troisièmes ensembles Ad'élec- trodes ( 31: 32, 33) du registre d'image dudit dispositif de forma- tion d'image a couplage de charge pendant les temps de transfert de trame (t 1 à t 2, t 3 à t 4, etc), lesdits temps de transfert de trame se trouvant entre des temps d'intégration d'image adjacents (t O à tl, t 2 à t 3 e etc) consécutivement numérotés par rapport à un temps d'intégration d'image de référence choisi arbitrairement, et (b) un moyen servant a arrêter ledit cad Encement triphasé pen- dant chaque temps d'intégration d'image de numérotation paire, si bien que l'intégration de charge se produit seulement au voisinage des premiers ensembles d'électrodes de grille ( 31, 34), et à arrêter ledit cadencement triphasé pendant chaque temps d'intégration d'image à numérotation impaire, si bien que l'intégration de charge ne se produit que sous les deuxièmes et les troisièmes ensembles d'électrodes de grille ( 32, 35; 33, 36); caractérisée en ce que la longueur (L Al) de chaque électrode de grille ( 31) appartenant à chacun desdits premiers ensembles d'électrodes de grille ( 31, 33) du registre d'image est sensiblement égale à la somme des longueur (LA 2 + LA 3) des électrodes de grille ( 32, 33) de chacun desdits deuxièmes et troisièmes ensembles. 2 Caméra selon la revendication 1, caractérisée en ce que les longueurs des électrodes de grille desdits deuxièmes et troisièmes ensembles ont sensiblement la même valeur. 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