FR 2531213 A1 19840203 FR 8213205 A 19820728 La présente invention concerne un procédé de fo calisation des réseaux de diffraction sphériques holographi- ques travaillant par réflexion pour la dispersion des diffé- rentes radiations constituant une lumière polychromatique. L'invention a également pour objet des objectifs dispersifs et-des spectromètres faisant application dudit procédé. Les spectromètres selon la présente invention sont des spectromètres dans lesquels la dispersion et la focali- sation des radiations incidentes polychromatiques sont assu- rées par un seul élément optique, un réseau concave (ou con- vexe). Dans la présente invention on utilise une fente d'entrée fixe réelle ou virtuelle pour le réseau (dans ce cas, la fente d'entrée est focalisée dans l'espace virtuel du réseau à l'aide d'un miroir torique tra- vaillant en ses points stigmatiques, c'est-à-dire à grandis- sement un); un réseau fixe, de rayon de courbure R, de lar- geur rayée W (hauteur rayée L) ayant N traits/mm et réalisé par la méthode holographique; au moins une fente de sortie ou un détecteur cons- titué, par exemple, d'un ensemble de micro-canaux équidis- tants, parallèles entre eux et disposés sur une surface courbe. La présente invention ne concerne pas les méthodes d'enregistrement de l'hologramme mais a pour objet un procé- dé de focalisation dans lequel l'hologramme déposé sur la sur- face sphérique joue un rôle actif dans la focalisation et a donc aussi pour objet la localisation spatiale des points d'- enregistrement: - C ( 91 = R/r) et D ( = D /r D positionnés par rapport au sommet du réseau en coordonnées polaires. La présente invention concerne en particulier les spectromètres destinés à l'étude des profils des raies, c'est- à-dire ceux pour lesquels la réponse percussionnelle est sy- métrique, condition essentielle pour une application aisée des méthodes classiques de déconvolution. 2 2531213 On sait que si le spectromètre était parfaitement cor- rigé des aberrations, la réponse percussionnelle serait une fonction du type t sin caractérisant la diffraction par une pupille rectangulaire (montage dit stigmatique). Les aberrations du 4 ème ordre-(aberration sphérique généralisée) ne provoquent qu'un élargissement symétrique; par contre, la courbure d'astigmatisme et les termes de co- mas produisent un élargissement dissymétrique qui doit être rendu nul ou négligeable (les tolérances seront alors dé- duites des critères de qualité d'image connus). Dans l'art antérieur on connaît un spectromètre travail- lant avec une fente d'entrée fixe, un réseau fixe, un dé- tecteur fixe dont tous les éléments sont sur un cercle de diamè- tre ROW dit cercle de Rowland (cf J A R Sampson, Techniques of Vacuum ultraviolet Spectroscopy (Wiley, New York,1967)). Toutefois tous les montages sur le cercle de Rowland ne satis- font pas au critère de qualité requis. Par ailleurs, on sait qu'un réseau holographique à dis- tribution de traits non uniforme peut donner des images stig- matiques (cf brevet FR 70 27 186 et son certificat d'addi- tion 73 28 62 j), c'est-à-dire corrigées de toutes les aber- rations, si les points d'enregistrement et les points ob- jets et images sont conjugués harmoniques par rapport au cer- c Le de rayon ROW, ayant pour centre le centre de courbure du ré- seau. Le rapport d&harmonicité dépend de la longueur d'onde d'en- registrement X o, ce qui signifie qu'actuellement cette solu- tion ne peut pas toujours être appliquée dans l'ultraviolet lointain (valeur élevée du rapport Xo/ x\). Conformément aux enseignements théoriques et pratiques de l'art antérieur concernant les réseaux de diffraction sphé- riques, le lieu de focalisation est déterminé en fonction de la position des focales tangentielles objet et image. Tous les dispositifs spectroscopiques sont dérivés de cette notion universellement admise. Dans la présente invention, on s'écarte radicalement de cette notion et de façon tout-à-fait inattendue, contrai- rement aux enseignements de l'art antérieur, on considère 3 2531213 l tant un procédé que des dispositifs dans lesquels le lieu de focalisation est déterminé en fonction de la position des focales sagittales objet et image - Pour autant qu'on le sache un tel mode de mise en oeuvre qui va à l'encontre de la technique généralement admise et qui permet l'obtention d'images dont la-qualité est seulement limitée par la diffraction n'a jamais été réalisé jusqu'à ce jour. Comme on l'a déjà indiqué,l'art antérieur pré- voyait,pour l'obtention d'images stigmatiques, un déplace- ment de la focale sagittale vers la focale tangentielle. On choisissait donc la surface (sphérique ou torique) et une distribution de traits (uniforme ou non uniforme) pour obtenir une image corrigée des aberrations dans le plan de la focale tangentielle. Avec une telle technique on ne peut pas maîtri- ser la correction des aberrations d'ordre impair de façon à ce qu'elles demeurent inférieures à la longueur d'onde, autrement dit on ne peut pas obtenir d'images dont la qua- lité soit-limitée par la diffraction à n'importe quelle longueur d'onde, ni dans un intervalle spectral large, Dans l'art antérieur on a proposé que les défor- mations de la surface d'onde sphérique incidente dans l'es- pace objet soient compensées par celles résultant dans 1 l- espace image de la position du point image = Une telle solution implique de nombreux incon- vénients et de nombreuses limitations, savoir les réalisa- tions ne couvrent pas tout le plan et ne permettent pas d'obtenir le stigmatisme aux très courtes longueurs d'on- de (inférieures à 100 nanomètres), les longueurs d'onde de stigmatisme étant toujours proportionnelles à la longueur d'onde d'enregistrement de l'hologramme actuellement 487,9 nanomètres - L'homme de l'art sait que les notions de focale tangentielle ou sagittale impliquent un montage aberrant (c'est-à-dire avec des défauts). 2531213 1 L'intuition originale selon la présente inven- tion a consisté à supposer qu'il soit possible d'avoir un montage parfait supprimant les aberrations d'ordre impair, dans ce cas il n'y a pas de raison de déduire la position du sommet du réseau, de l'objet et des images de la seule équation générale de la focale tangentielle; si le montage est stigmatique focales tangentielle et sagittale sont con- fondueset la nouvelle expression de la focalisation doit alors permettre de couvrir tous les points du plan par ac - tion appropriée des variations de phase générées par l'ho- logramme Cette nouvelle expression de la focalisation s'ap- puie, dans la présente invention, sur l'expression litté- rale de la focale sagittale assortie d'une condition spéci- fique sur les points d'enregistrement de l'hologramme; les aberrations d'ordre pair sont alors soit nulles soit né- gligeables au sens du critère de Strehl. Pour résoudre ce problème la présente invention consiste en particulier à dissocier l'espace objet et 1 '- espace image. Dans la solution proposée dans la présente in- vention, la surface d'onde incidente sphérique reste sphé- rique dans l'espace objet après interaction avec le réseau et reste sphérique de même dans l'espace image. Il importe d'observer que bien que les disposi- tifs selon l'invention puissent être utilisés, du point de vue spectral, à n'importe quelle longueur d'onde X, les réalisations indiquées concerneront plus particulièrement l'ultraviolet proche et lointain, c'est-à-dire les longueurs d'ondes inférieures à 300 nm (nanomètres). L'invention propose donc un procédé de focalisation des réseaux de diffracticnsphériques holographiques de rayon de courbure R, travaillant par réflexion pour la dispersion des diffé- rentes radiations constituant une lumière polychromatique, selon lequel on utilise une fente d'entrée et au moins une fente de sortie (ou un détecteur multicanal) fixes, le réseau holographique étantfixe, caractérisé en ce que 2531213 i pour une longueur d'onde A et un ordre de diffraction m, tels que m N = sin d + sin et pour une distance objet r = Re (e étant la distance objet réduite par rapport à la valeur du rayon de courbure R du réseau) et un angle d'incidence C 4 quelconques, on détermine pour l'angle de dif- fraction P la distance image r' = Re' (e 'étant la dis- tance image réduite par rapport au rayon de courbure R du réseau) par la relation (sin étant symétrique. La présente invention a également pour objet un spectromètre corrigé de l'astigmatisme et des comas pour l'étude du profil d'une raie de longueur d'onde \ dans le- quel la source et l'un des points d'enregistrement sont sur la normale au réseau ayant N = sin a /e\ o traits/ mm, A o étant la longueur d'onde d'enregistrement de l'hologramme et tel que le point d'enregistrement est à une distance r C du sommet du réseau de rayon de courbure R et le point source à une distance r telle que 1 +P P,le r R r lieu des images diffractées suivant l'angle tel que, m étant l'ordre de diffraction sin = mn \ avec P = M étant un cercle de rayon R/2 sin 1 = R/2 cos centré sur le rayon diffracté correspondant à la direction sin P O = cos W et passant par le sommet du réseau et son centre de courbure, le second point d'enregistrement étant défini en coordonnées polaires par r D et il tel que sin il= N À O et r D =, r' étant la distance image caractérisée par toute distance du sommet du réseau au cercle précitée. La présente invention fournit également un spectromètre du type ci-dessus dans lequel le point d'enre- gistrement situé sur la normale au réseau étant à une dis- tancer r O,du sommet du réseau de rayon de c courbure R, le point source est situé à une distance r = R ( 1 _m) de ce même sommet. Dans le spectromètre selon la présente inven- tion, le point source peut aussi être situé à une distance du sommetduréseau r = Re telle que j = 1 P (Pc -1) et telle que H c) soit nul pour H-= + cos S f e avec rc = R et r R et =q= 0. Pc 2531213 i La présente invention propose en outre un polychromateur stigmatique, travaillant dans les ordres positifspour les longueurs d'onde + x +, dans Leque L la direction du rayon diffracté correspondant à la longueur d'onde b 'répond à la formule: mn t = sin PX=cos î = 0,6077 et dans lequel le lieu de focalisation est un plan faisant un angle d'environ 73 8 avec la direction du rayon diffracté, la distance image pour 1 ila longueur d'onde x ayant pour valeur r' = R cos = R sin 1 1,t 26 R (k= '= 0). La présente invention a aussi pour objet un polychroma- teur stigmatique, travaillant dans Les ordres négatifs, pour Les longueurs d'ondes A 45 ", == O, le Lieu de focalisation étant un cercle centré sur le _ sing+cos î centre du cercle de Rowland et de rayon R = _R__si_ +__s) La présente invention propose en outre un 2 objectin v dispersif stigmatique pour L'ultraviolet lointain, travaillant dans les ordres négatifs dans Leque L L'objet est situé sur la normale au réseau, la direction d'observation correspondant à un angle de diffraction t inférieur à 45 , L'un des points d'enregistrement étant situé sur la normale au réseau et le second dans la direction tel que 9 + = = t étant une quantité positive très petite vis-à-vis de f et La présente invention a encore pour objet un collimateur dispersif stigmatique pour l'ultraviolet Lointain dans lequel l'objet étant situé à l'infini et pour un angle d'incidence O, la Longueur d'onde d'observation N correspondant à L'angle de diffraction t tel que 2 o tg O( tg = 2 sin 2 M N 2 ?o,l'image obtenue se 2 cos Y forme à la distance r' = Re' du sommet du réseau telle que e' cos O = 1 2 si 2 N 2 Dans Le polychromateur stigmatique de L'invention Le point source et le point image sont situés sur un cercle dont le rayon est centré sur la tangente au sommet du réseau et qui passe par ce sommet,ledit réseau étant un réseau holographique tel que si est la longueur d'onde du laser servant à l'enregistrement et N le nombre de traits par mm tel que N >o = si P sin 1, l'hologramme est réalisé à par- tir de deux points sources C ( t, rc); et D( &, r D) dont la position est définie en coordonnées polaires et tel que rc= a R sin i et r D = a R sin &, a étant un nombre positif pouvant prendre n'importe quelle valeur entière ou fractionnai- re supérieure à O eta R étant le rayon du cercle centré sur la tangente au sommet du réseau. Dans un mode de réalisation du polychromateur stigmatique de la présente invention il est prévu un miroir torique tra- vaillant au grandissement I qui donne du point source une image située sur le cercle précité dont le rayon est centré sur la tangente au sommet du réseau et qui passe par ce sommet,ladite image jouant le rôle d'objet virtuel pour le réseau qui en donne une image réelle stigmatique située sur ledit cercle. Dans un mode de réalisation du spectromètre de l'invention, l'objet étant à l'infini sur la normale au réseau,l'un des points d'enregistrement étant au centre de courbure du réseau et le second point d'enregistrement étant tel quel = 450 et r = -,les images diffractées sont observées sur un cercle de rayon R et de centre situé sur la tangente au réseau et passant par le sommet de ce dernier,le montage étant stigmatique pour toutes les longueurs d'onde telles que m X= 359,6 nm et m A= 76,3 nmjm étant l'ordre de diffraction. Divers avantages et caractéristiques de l'invention ressortiront de la description détaillée ci-après faite en regard des dessins annexés sur lesquels: Fig 1 illustre des montages de spectromètre selon l' art antérieur; 2531213 l Fig l A illustre le schéma optique d'un réseau d'un point Lumineux A (ro(, z) sur la fente d'entrée, d'un point image B ( r',, z'); P( u, w, l)étant un point ième situé sur Le N trait compté à partir de L'origine O; C (v, rc) et D (óô, r D) étant les points sources lumineux utilisés pour l'enregistrement de llhologramme Fig 2 montre le Lieu de focalisation des images S' (cercle Pl) corrigées de l'astigmatisme et de la coma pour un point source S situé sur la normale au réseau R 1,tl'un des points C d'enregistrement de l'hologramme étant également sur la normale au réseau R 1, Row étant le cercle de Rowland (Lieu des focales tangentielles)et ladite figure 2 considérant le cas de Longueursd'onde >l et A 2 portées sur le cercle en pointillé Fig 3 montre le Lieu de focalisation(cercle P 2) des images corrigées de l'astigmatisme et de la coma pour plu- sieurs longueurs d'onde obtenues avec un seul réseau; Fig 4 est une variante de la figure 3; Fig 5 montre les Longueurs d'onde de stigmatisme obtenues dans les montages selon les figures 3 et 4 en fonc- tion d'un paramètre caractérisant l'hologramme; Fiç 6 A, 6 B,6 C illustrent un support de réseau à paramètres de réglage indépendants; Figs 7 A, 7 B,7 C illustrent en coupes une fente à ouverture symétrique. Dans l'article intitulé Imaging Properties of Ruled and Holographic Gratings de Michel POUEY dans Journal of the Spectroscopical Society vol 23, Supplement no 1,1974,on a décrit le diagramme du schéma optique en précisant toutes Les notations utilisées pour caractériser a) le réeeau, b) la position spatiale du point source, c) la position spatiale du point image, d) la position spatiale des points d'enregistre- ment (cf figure 1 A) En outre cet article donne l'expression du chemin optique déduit du principe de Fermat et exprimé en fonction des coordonnées pupillaires v w, L). Le chemin optique F= AP>+ PB>+ mn s-exprime par (sin ii-qin Y,) Fil z sin a sin,55 R j 1-2 7 p ZI 2 + 2 + 1 R p,' icl T Tl 2 sin" Sin(y 2 2 -e, + el 7-+ r + (H Il') 2 R 52 + 1 K 2 R É 2 + 7- + l,,C si il 7, - + 1 - %S, + (K,K, 8 R:l Zn siii'-'tr 1 sill",l7 " +M IP 4 -si ny, l,( 11 4 si n"iii- + 4 R;l t e 2 e T's, + JKI -KI' 2 E-, 2 si il 2 à - + il 2531213 Zl I sina,, sin " 2 R 1 I'' e' m 2, e M,i p, S in y-K,;) sin 5) 1 i Sl S l'(I\) V rnef?;' -,c p, A;'I -r,5eha. (équation 1) dans laquelle l C Sre') {r T CS, = S: = (os t/t> S -1 I'> cos /; H= Ccos'-/ _cos,, IT' = Ccos'-Cos i. K, =}}C-cosa, 7 h=(e-cos;, K} 1 =/ -cos 7,, K( (cos,;, * -a aux dessins annexés en considérant tout d'abord le cas parti- culier de l'emploi d'un réseau concave avec le point objet (fente d'entrée) situé sur la normale au réseau (angle d'inci- dence o( nul)(figure 2) et en rappelant l'art antérieur (figure 1). Dans les montages selon la présente invention travaillant sous incidence nulle (figure 2) l'équation fon- damentale est: o sin v =mn X nt O;P= - sin sin 4 = N (équation 2) étant la longueur d'onde du laser utilisé pour réaliser l'ho Logramme et ayant pour valeur communément admise 487,986 nm. Dans l'art antérieur en considérant un réseau classique de type I à traits équidistants et parallèles,la source 51 est située en C (o( = 0, e = 1, r = R) centre de courbure du réseau (figure 1),l'image se forme en S'1 sur le cercle de Rowland de diamètre R La focalisation dans le plan horizon- tal est satisfaite (équation des focales tangentielles T + T' = O avec T = 0 et T' = O, termes en W du chemin optique) Le terme de c Qma en W 3 est nul mais l'astigmatis- me et la coma en L 2 W nt peuvent être simultanément annu- Lés que le réseau soit sphérique ou torique (r' = Re' = R cos 4 cf J A R Sampson, Techniques of Vacuum Ultraviolet Spectroscopy (Wiley, New York, 1967) et M Pouey Journal of the Spectroscopical Society Vo L 23 no 1,1974 pages 67-81). Avec un réseau holographique à distribution de traits non uniforme et à montage sur Le cercle de Rowland,pour que la focalisation sur le cercle de Rowland et que la coma en W 3 soit nulle, il faut que H = H' = 0, c'est-à-dire que: p = 1 (équation 3) ó D coss cos Pour un réseau sphérique et si l'un des points d'enregis- trement C est au centre de courbure t O = 1,1 'astig- matisme sera caractérisé par: 3 AL 2 O ) La réponse percussionnelle ne sera symétrique que si c'est-à-dire pour ô= ko ou pour m o= tous Les termes aberrants du 4 ème ordre étant non nu Ls, le chemin optique aberrant t ( w, L) étant égal à F ( W) F (o). L'art antérieur décrit une solution stigmatique (brevet FR 70-271-86 et son certificat d'addition 73-28-625) telle que le point source S et l'un des points d'enregistre- ment C étant au centre de courbure du réseau o', le point stigmatique image (toutes les aberrations étant nulles) est en 51 (figure 1) avec i r =Pr D (équation 5) le 2 ème point d'enregistrement D situé en DI étant caracté- risé par l'angle 9 tel que sin m N A: et par o r D R p cosú + 7 P (équation 5 ') (cf encore la figure 1). Conformément aux concepts connus,pour réaliser un spectro- mètre (ou un monochromateur),on satisfait tout d'abord à La condition de focalisation dans le plan horizontal en consi- dérant que la somme des focales tangentielles objet et image doit être nulle;on en déduitpour une position du point source,une position de L'image et une condition sur la- locatisation des points d'enregistrement (cf encore J A Ro Sampsont Techniques of Vacuum Ultraviolet Spectroscopy (Wiley, New York, 1967) et M Pouey Journal of the Spectroscopical Society vot 23 Supplément no I 1974 pages 67-81) On est donc conduit à déterminer les conditions dans lesquelles on peut amener la focale sagittale (focali- sation dans le plan vertical) à coïncider avec la focale tangentielle,ce qui impose une seconde condition pour la focalisation des points d'enregistrement Avec celle relative à la valeur de n,il ne reste qu'une relation permettant, à La rigueur, de corriger un des termes de coma (cf M Pouey article précité). 2531213 1 Dans la présente invention,on considère ici de façon distincte L'espace objet et l'espace image(termes du chemin optique affectés de L'exposant prime dans l'équation 1) et on impose comme distance image celle déduite des équations de la focale sagittale;on a donc à déterminer les conditions dans lesquelles on peut amener la focale tangen- tielle à coincider avec La focale sagittale. On considère donc dans le cas présent (réseau sphérique concave) le cas o la source S et le point d'en- registrement C sont sur la normale du réseau (o= = o) (figure 2). Considérons tout d'abord l'espace image:t Pour une longueur d'onde quelconque X et une valeur de n,d'après l'équation 2, et 6 sont fixés; conformément à La présente invention, selon le processus décrit ci-dessus on caractérise la distance image par: r'2 = R / cotg P sin + cos r-7 (équation 6) Le second point source D étant caractérisé par r et par: r = r' /P (équation 6 ') D 2 Le lieu des images corrigées de l'astigmatisme et de la co ma est donc un cercle Pl de rayon R'= R/( 2 sing)= R/( 2 cos 4 o) centré en Oli sur le rayon diffracté et passant par le sommet O du réseau R 1 et son centre de courbure o' (figure 2), la distance image maximale étant égale à R/cos Po(avec sin = cos, cos = sin). On considère maintenant l"espace objet. La position du point source So( = o) peut être choisie arbitrairement le long de la normale au réseau R 1 (r = Re),la position du point d'enregistrement C étant alors caractérisée par = o et par c= R/rc tel que: = 1 P ( c-1)(équation 7) Dans ce cas,d'après le critère de qualité d'image valable pour les fortes aberrations (aberrations du 4 ème ordre > ô) la résolution limite > sera donnée par: 2531213; mnZ, % = 5,18 10-2 W 3,2 + c R 3 e (équation 8) (cf Ml Pouey, Jo Opt Soco Am, 64 ( 1974)1616 et brevets FR 71 04 085 et 72 14 214)o Toutefois, dans cette configuration toutes les aberrations du 4 ème ordre étant proportionnellesà H 2 ( P Pc)'' e elles sont nulles pour H = 0 qui correspond au point stigma- tique déja connu (brevet FR 70 27 186 et son certificat d'ad- dition 73 28 625) (S en O e) mais aussi pour de nombreuses autres possibilités; la première correspondant à. _r r c _; r = R ( 1 P); P + 1 P (équation 9) Cette condition est particulièrement intéressante car elle est valable pour toutes les longueurs d'ondes. Les autres possibilités sont associées aux solutions de l'équation du 3 ème degré e = f (P) obtenues à partir de l'équation ( 7) et de la condition H 2 2 0,2171 1 211 9 0 '2 11,0 ,9447 0,1 '193 301 0,2013 0, -3460 1 732,0 2,3508 -2,8508 1 467 9-X 0,8506 0,350 1 o -1 1 1975 9 0,6567 0,3663 1 2439,1 1,13 20,4254 4983,6 2 -I,3838 -1 374,6 0,76 -1,7762 433,1 1,13 -3,006 -1741,9 0,2208 -3352 -1 789,6 0,3586 -G,614 -4 Bien entendu,d'autres solutions existent pour m = + 1,pour les valeurs négatives de e il faut utiliser une préfocalisation du point source par un miroir torique travaillant en ses points stigmatiques (c'est-à-dire à grandissement I) Par ailleurs il est clair que le point image S' peut être utilisé comme point sourcel'image se formant * alors en S sur la normale au réseau. Dans le cas général si\ =, ies solutions seront déduites de la relation H 2 P + c) par 3 (P 1) +P( 3-2 P) 1 2 + /-(P-1)( 1 _P 44 P 2 7 + p 3 = O (équation 10) Pour P = 1 I= 2 + r 3; Pour P = 3/2;m 7 = 0,73 197 et e 1 = 0,3306553, e 2 4,8817975 et e 3 = 0,30971. Pour certains diagnostics des plasmas, il est important d'observer un intervalle spectral de plusieurs dizaines d'angstroms. Pour un réseau holographique donné,il existe, d'après ce qui précède,une longueur d'onde 1 ( t = 1) correspondant soit à une image stigmatique, soit à une image corrigée des comas et de l'astigmatisme à laquelle est associée une valeur de S Pour des longueurs d'onde voisines de h( t = 1 +) la loi de focalisation dans le plan horizontal sera: 2 os os + sin sin cs -cos + sin sino cos = O e' (équation 11) la distance image r'= Re' étant fonction de p -priori, non situé sur Le cercle P 10 Dans le cas généra L,le lieu de focalisation est une surface courbe assimilable,pour des faibles valeurs de A, à un arc de cercle. Toutefois pour toutes les longueurs d'onde voisines de, telles que Pl 3209, c'est-à-dire tel Les que mn h = sin 1 = cos 0,5432 (équation 12) les variations,en fonction de de la courbure du lieu de focalisation sont nulles,ce dernier étant un cercle de rayon 1,208 R dont la tangente en S$ 2 fait un angle d'envi- ron 80052 avec la direction du rayon diffracté,la distance image r'= OS'2 étant déduite de l'équation ( 6), Pour toutes les longueurs d'onde voisines de 2 telles que 2 N 37 425,c'est-à-dire telles que mn x sin = cos 0,6077 mn 2 = sin 2cos 2 (équation 13) le lieu de focalisation est un plan P' faisant un angle d'environ 73 8 avec la direction du rayon diffracté/la distan- ce image étant de 1 r' = R cos 2 = R sin 2 126 R (voir figure 2) Des solutions valables uniquement pour l'incidence rasante ( oeuvre ont été proposées par Jobin et Yvon (cf VI international- Conférence on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics June 2-6 1980 University of Virginia Charlottesvil Le Virginia USA III-21) Dans les ordres négatifs/pour toutes les longueurs d'onde voisines de hx 3 telles que tg x =-sin 6 (sin i + cos S)(équation 14) et pour S 45 ( r > o),le lieu de focalisation est un cer- cle centré en O C centre du cercle de Rowland et de rayon: R sin +cos Rc = R S + Cos (équation 15) 2 ssin Par exemple pour = 7704145 n= 2 traits// m, * 49 36, m = 1 ( x d 379,4 nm), R ' 0,568 R, r = 0,48185 R. C On va maintenant considérer l'obtention d'objec- tifs à forts grossissements pour l'ultraviolet proche et lointain selon la présente invention. etipse Pour tout dispositif optique la résolution limite est imposée par la diffraction,donc par longueur d'onde à laquelle on peut réaliser des objectifs parfaitement -corrigés. Dans la présente invention-on va décrire,à titre d'exemple non limitatif, un dispositif stigmatique pouvant travailler à 121,6 nm(Ly d) longueur d'onde à laquelle existe des sources intenses stables et reproductibles. Les applications pratiques d'un tel dispositif sont très nombreuses, à-titre d'exemple on peut citer la repro- duction de masques utilisés pour la réalisation de microcir- cuits semiconducteurs VLSI. Selon la présente invention on considère: -un reseau fixe dont l'angle de miroitement sera optimisé, par tous moyens connus,pour le fonctionnement dans l'ordre m et recouvert de couches réfléchissantes appropriées (AL + Mg F 2 par exemple); -un objet,éclairé par une source monochromatique, situé perpendiculairement à la normale au réseau et situé à une distance r du sommet du réseau; -un détecteur plan situé à une distance r' du sommet du réseau,l'angle de diffraction = 4 x correspon- dant à un fonctionnement dans les ordres négatifs. La distance objet sera d'après l'équation ( 9) r = R ' si: N P _ (équation 16) sin et la distance image r' = R / cos p X cotg sin Dx 7 (équation 17) Le grandissement étant égal à r sin 6 +s) (équation 18) r sin +sin x Pour ? 4 = x = 50, = 50 a 2, r t 4,510-3 R r N 2 R et A r 1/444 v 2,25 103. Si les points d'enregistrement sont: C t rc_ 2 SO Rg D |; 50 2 r D 2 _ 4, 5102 R le dispositif sera strictement stigmatique pour toutes les longueurs d'onde telles que m a 0948656 mc'est-à-dire pour Lyo ( 121,6 nm) dans le quatrième ordre négatif La résolution limite du dispositif sera imposée par la diffrac- tion c'est-à-dire par 0,85 ()w 'autrement dit des fractions de microns pour des ouvertures de f/25 Compte tenu des valeurs de r', il est nécessaire de travailler avec des valeurs-élevées de Rla distance objet étant alors grande. Dans ce cas on peut replier le faisceau à l'aide de miroirs plans La résolutions limite pratique est donc influen- cée par la qualité du réseau et des états de surface des mi- roirs ainsi que par la stabilité mécanique de l'ensemble, problèmes qui sont facilement résolus avec les solutions techniques connues actuel Ement. On considère à présent les montages travaillant sous une incidence quelconque Considérons dans la présente application le cas le plus général dans lequel l'angle d'incidence sur le réseau est différent de zéro D'après les résultats précédent s,l-e lieu des images corrigées de l'astigmatisme et de la coma est déterminé par l'équation de la focale sagittale 1 1 cos o( + cosp + ( Q R) ( = o e e' (équation 19) avec sin o = Q N XO; sin = R N o (équation 20) Z 531213 sin o( + sin P p = m = sno si L = Q R (équation 20 ') X N X c sin o = i (= f D sin 5 =sin c e e' (équation 21) L'équation 19 caractérise le procédé de focalisation généralisée selon la présente invention Pour montrer les applications de ce procédé,on examine ci-après,à titre non li- mitatif,quelques cas con 8 rets particuliers A) Cas particu Lier no 1 i= g, N O = 2 sin L'équation 19 s'écrit alors: 1 2 sin _oc 2 sin c( sin 7 o I,-/ 2 sin 20 e n 2 X 2 2- e N N A o o + * / 2 sin 2 2 sin o( sin O e' N 2 2 2 2 o O (équation 19 ') 1) Supposons l'objet à l'infini(montages embarqués pour l'astrophysique) ou des montages pour synchrotrons le point source émetteur étant pris comme objet et situé à des distances éLevées ( 20 à 40 m)par rapport à la distance image ( 0,5 à 1 m),dans ce cas si e'2 sin 2 b-) = cos (équation 22) el n 2 > 22 on doit simultanément satisfaire L'équation 23 ci-après: n 2 sin 2 in = cos o( (équation 23) o e' N 2 si N O = V, l'image se forme sur le cercle de Rowland (e' = cos) et est corrigée de la coma et de l'astigmatisme pour tous Les angles d'incidence tels que: tg o( tg = 1, k -j P= 2 X (équation 24) avece D =-0 '= 45 c = 2 tg o(/ f, ( = 45 (équation 24 ') A titre d'exempte pour o= 30, N = 2,898 traits//m ( = 450) le montage sera stigmatique à ≥ 126,3 nm,Les aberrations du 4 ème ordre étant négligeables (au sens du critère de Strehl) pour un réseau standard de 1 m de rayon de courbure et de surface W x L = 54 x 54 mm 2 la résolution limite étant de 8 e 5 10 2 nm soit de 2,5 fm Pour d'autres longueurs dgondele montage ne sera pas strictement stigmati- que mais néanmoins travaillera sur un large intervalle spectral avec des résolutions tout à fait acceptables de 0,1 nm. On remarquera que dans le cas général el est donné par L'équation 22 et que la relation reliant c et est donnée par tg O tg = 2 sin n 1 5 2 cos (equation 24 ") L'objectif dispersif est donc stigmatique a la longueur d'onde X déduite de l'équation 20. 2) Considôr Lns le cas d'un objet à distance finie: soit le grandissement tel que et = (équation 25) e il faudra donc satisfaire à, 2-5 1 4 sin a C mn X + 24 /i CnN 7 =+ cos + cos e -n O (équation 26) avec mn = sin o + sin = sin o( ( 1 r) (équation 27) c'est-à-dire à: 1 = cos O( + cosf (équation 28) ae avec N 2 XZ = 4 sin 2 o( (équation 29). o Pour un angle d'incidence donné,Le pas du réseau est fixé et pour chaque Longueur d'onde correspond un angle de diffraction auquel est associé une distance image déduite de La valeur de e satisfaisant L'équation 28. A titre d'exemple si l'angle de diffraction = 2 o, la valeur de est de 2 cos o C, la distance objet étant donnée par R ' 4 cos 2 d 17 re = 2 cos o (cos o( + 2 cos o C I) (équation 30) et la distance image r' = R e' = 2 cos o C e R (équation 31) Pour o C = 30 o, e 0,8453, 6 =60 et N = 1,4315 trait/ /m le montage est stigmatique pour t 255,6 nm dans l'ordre m = 1. Pour = I, c'est-à-dire dans le cas d'un montage type Littrow t e = o( =) travaillant à grandissement un ( source et image superposées dans l'espace), l'équation 19 ' s'écrit: 2 mn 2 2 i 2 e, 7 = cos c + cos 2 os n N o (équation 32) si N X O = 2, e = cos 8 On retrouve alors une configuration si o du type Rowland stigmatique dans Laquelle on peut travailler hors du plan Avec un réseau de 1 mètre et une ouverture de f/10,pour &= 30, le déplacement du point source hors du plan,dans la direction verticale parallèle aux traits de 7 mm n'introduit qu'une différence de fonctionnement de une lon- gueur d'onde La fente d'entrée peut donc être située à un centimètre audessus du plan du cercle de Rowland,le détecteur étant situé en dessous de ce dernier. B) Cas Darticulier no 2; S 1 = 2 O Pour S et t quelconque l'équation 19 s'écrit: F (ot) G( O) + F I)+ G() O e e' (équation 33) les fonctions F et G dépendant de î et y étant données par: F(o() = 1 + si 2 2 o (équation 35) L'espace objet et l'espace image peuvent être traités- séparément,en effet dans l'espace objet il faudra satisfaire à: e sin V 2 ( 1 t 2)-+ 2 Vt -V 3 + V 2 ( 2 t 2)+ t V 2 t 2)+ t 2 -V 3 + V 2 t 1-2 t 2)+ t V( 2 =t)+ t 2 (équation 36) si t = tg o 5 et V = tg Pour par exempte tg 2 o(' = 2 (c 4 = + 5-7 7356) on a = 109 ,947 pour o( > O e étant positif si 45 O 69089 Pour 7 = 65 %= 44 47122 'n = 3,2928 traits// m e= O Pc sin % = 3,15356; ?c = 3,47957 f D = 4,501556 Les valeurs des distances image et des angles de diffraction sont alors données par l Uéquation 21,et par t X 2 + X _ -4 4 (X 3-X 1) tg 2 + = X) -2 ( 1 + X 3 X 1) X 1 = 1;;n =-sins sin X = sin n)o O (équation 37)' cos_( + C a sin o( 2 'cos 2 e X 3 X 2 t g J -e. Ces exemples montrent que pour un point objet et un réseau donné,il existe toujours pour un angle de-diffrac- tion approprié une distance image pour laquelle L'image obtenue est corrigée de l'astigmatisme et de la coma En particulier on peut obtenir des images à très haute résolution même aux très courtes longueurs d'onde. Dans l'exemple précédent pour p = 78 98 e' = 0,311249, la longueur d'onde de stigmatisme est 41,2 nm dans l'ordre m = I c'est-à-dire aussi 20,6 nm dans l'ordre m = 2. On va maintenant considérer les dispositifs spectros- copiques stigmatiques travaillant simultanément dans plusieurs gammes spectrales avec un réseau unique. Dans la description ci-dessus,on a montré,pour différentes confiqurations,l'intéret des concepts pour lesquels les caractéristiques de l'hologramme étaient directe- m ent reliées à la longueur d'onde via les angles d'incidence et de diffraction (sin o( = P sin; r D = sin S r'2 / sin?) on considère à présent un réseau holographique sphérique concave (ou convexe) réalisé avec deux points sources C et D dont les proximités sont indépendantes de la longueur d'onde d'utilisation et en particulier le cas: -i -i 1 =-Oc = a; 1 = t D = a 1 1 fD a rc R R sint r D R R sin S (équation 38) De plus au lieu de considérer le cercle de Rowland, on positionne la source S et l'image S' sur le cercle de Rayon Ra passant par le sommet O du réseau et centré en O sur la tangente au sommet du réseau fixe dans l'espace (figure 3) avec par conséquent: r = Re = a R sin o( (équation 39) r'= Re'= a R sin P (équation 40) l'enregistrement de l'hologramme est tel que rc = a R sin t (équation 38 ') r D = a R sin la source et l'image sont donc situées sur des cercles de rayon a R. Dans ce qui suit on va considérer le cas o a = 1 r Il importe d'observer que a peut prendre n'importe quelle valeur entière ou fractionnaire à l'exception de O O On peut montrer que tous Les coefficients aberrants caractérisant l'astigmatismeles comas et le défaut de mise 2 2 3 2 au point (termes en l lte, W et W 2)sont proportionnels à: = 01 02 = sin c C 1 /cos 2 o(-sin o( cos o(+ C sin 2 co 7 + sin -1 /-icos 20 sin cos 6 + C sin 2 k / (,quation 41) avec pour C = H H O et = tg S =t Y L S 2 sin Y$= N X O (équation 42) Pour un angle d'incidence donnée est constant et 2 est nul pour toutes Les valeurs de telles que _ _ cos = (équation 43) les valeur de o( étant déduites de l'équation (Ct 2 + 1 c + 1 c 2 7 t 2 + 2 /c 1 7 t -/c 17 = O (équation 44) dans Laque Lle t = tg o(o La réponse percussionnelle est donc symétrique pour les longueurs d'onde >x telles que: x = O tache centrale. = sin "; tg o( = (autocollimation) Ao sin c m sin o sin; tg o( C CC 1)2 C 2 sin C + 1 c (équations 45). La solution en autocollimation est particulièrement intéressante car le dispositif peut travailler dans des ordres élevés,ce qui augmente le pouvoir de résolution limite Par exemple on peut observer dans le 3 ème ordre les raies CV et OVII dont ta mesure des élargissements donne des renseigne- ments fondamentaux sur la densité et La température ionique des plasmas Les autres solutions sont représentées sur la figure 5 Dans l'ordre m = 1 et des valeurs élevées de C C C 15 par exemple)les termes aberrants du 4 ème ordre sont négligeables au sens du critère de Strehl et il existe 2 valeurs de o c'est-a-dire 2 longueurs d'onde voisines pour lesquelles q = O c'est-à-dire pour lesquelles il y a stigmatisme rigoureux Le dispositif est donc opéra- tionnel sur un intervalle de plusieurs dizaines d'angstr 8 ms. La figure 4 donne un exemple de fonctionnement en monochroma- teur, La source S étant refocalisée à l'aide d'un miroir torique M travaillant au grandissement un Le miroir torique M donne une image S' située sur le cercle P 2 laquelle image S'1 joue le rôle d'objet virtuel pour le réseau R qui en don- ne une image réelle stigmatique S sur le cercle P 2 En dé- plaçant le miroir M dans la direction du rayon incident MS et enle faisant tourner,on peut redonner de S une deuxième image S située sur le cercle P 2 qui servira de second point objet virtuel pour le réseau. Pour un hologramme donné C = 15), l'équation 41 présente,en outre,des solutions différentes du cas particu- lier précédent;en effet si V = tg f /2, L' équation 41 s'écrit: V 4 + 2 / 1 + 1 V 3 + 2 /-2 C I 7 V 2 + 2 -1 1 _ 7 V + 1 = O (équation 46) Pour toutes les valeurs de o C > 3 , l'équation 46 a quatre solutions réelles dont deux au minimum sont positives Pour chaque valeur de o,il existe donc pour les ordres positifs, deux valeurs de X pour lesquelles la réponse percusionnelle est symétrique,astigmatisme et comas étant corrigés et les aberrations du 4 ème ordre négligeables au sens du critère de Strehl. Si La source S et le détecteur (placé derrière la fente de sortie localisée en S') peuvent se déplacer sur un cercle de rayon R passant par le sommet O du réseau et centré en O sur sa tangenteon obtientpour un réseau donné', toute une série de valeurs de longueurs d'onde pour lesquelles le dispositif est stigmatique dans le cadre de l'approximation du critère de Strehl. A titre d'exemple non limitatifon considère main- tenant le cas de l'incidence très rasante Pour un angle d'incidence voisin de 85 O et 1 = C = 15 le stigma tisme est obtenu pour la longueur d'onde > ^J 3 A (n = 1,025 traits/ Lm), l'angle de diffraction déduit de l'équation 46 étant de = 96 73. En considérant que l'objet est à l'infini et situé sur la normale au réseau (o( = 1/e = 0)o Dans ces conditions, sin = P sin = mn (équation 47) mais en considérant de plus que sin t = Dsin = 1. l'équation Se focalisation généralisée s'écrit alors: 1 + cos))sin g+ sini " _ 7 cos S 1 7 (équation 48) Avec un réseau unique,on obtient plusieurs images stigmatiques se formant sur le cercle P 2 ( Rc = R sin) à des longueurs d'onde A correspondant aux valeurs de satisfaisant à l'é- quation 48. A titre d'exemple pour c = 1 (un-des points C d'enregistrement au centre de courbure du réseau) et pour È= 450 avec D:, l'équation 48 prend La forme: t 4 2 t 2 4 t + I = O (équation 48 '). si t = tg /2, les longueurs d'onde de stigmatisme sont,puis- que N = 1, telles que m = 359,6 nm et m = 76,3 nm. Entre ces deux longueurs d'ondeles images ne sont plus stigmatiques mais des élargissements correspon- dants sont parfaitement tolérables eu égard aux largeurs de fente généralement utilisées ( 10 à 30 tm). Compte tenu des performances optiques des montages selon la présente invention,il importe du point de vue de la réalisation mécanique que les éléments essentiels, c'est-à- dire le support de réseau et la ou les fentes soient réalisés avec précision et comportent des possibilités de réglage de sensibilité appropriée. Les figures 6 A, 6 B,6 C illustrent un support de réseau avec paramètres de réglages indépendants tandis que les figures 7 A, 7 B, 7 C concernent une fente à ouverture symétri- que. Sur les figures 6 A, 6 B, 6 C, XX' est l'axe de rota- tion du réseau pour le réglage de son orientation par auto- collimation YY' est l'axe de basculement du réseau (le plan tangent au sommet du réseau doit être vertical,la fente d'entrée étant la verticale du lieu et la normale au réseau étant dans le plan horizontal) ZZ' est l'axe de basculement des traits du réseau(le milieu de toutes les images diffractées doit se trouver dans le plan horizontal). On décrit à présent les figures 6 A, 6 B, 6 C Le réseau R est logé dans un boltier 12 et fixé par une plaque 13 percée d'un orifice rectangulaire limitant la surface active de la pupille Le boîtier 12 est maintenu dans un support 14 par l'intermédiaire d'un tirant comportant un écrou 15 et une lame élastique 16 Un alésage effectué dans le support 14 et une partie cylindrique de l'arrière du boltier 12 assurent la matérialisation de l'axe ZZ' La précision de la réalisation mécanique et le réglage de l'é- paisseur des trois cales situées dans le fond du boîtier 12 assurent -le positionnement du sommet du réseau sur l'axe XX' à quelques centièmes de microns. 29 2531213 La fourche 17 solidaire de la pièce matérialisant l'axe XX' comporte sur sa partie supérieure deux taraudages, ces derniers par l'intermédiaire de vis taillées en V 18 et de billes 19 assurent la matérialisation de l'axe YY'. Le basculement du réseau R est assuré par l'action de deux vis serrant la pièce 21,lalame de ressort 20 étant enserrée entre le support 14 du boitier 12 et la pièce 21. Le réglage de la rotation des traits du réseau est effectué au moyen de deux vis antagonistes 22 et 23 agissant d'une part sur le méplat réalisé sur une portion de cylindre 24 fixé sur l'arrière du support 14 du boîtier 12 du réseau R et d'autre part sur un méplat de la vis 25,une force de rappel étant fournie par la lame de ressort 26. Les figures 7 A, 7 B, 7 C illustrent en coupes une fen- te à ouverture symétrique. Le boîtier de la fente est constitué par un fond 3 et une pièce cylindrique 2 Deux lèvres mobiles 4 et 5 (figure 7 ?) sont plaquées sur le fond 3 par une pièce 1. Un bouton de commande non représente assure une translation de l'axe 6 qui par l'intermédiaire de la bille 8 assure une poussée verticale sur le V formé par la partie supérieure des deux lèvres mobiles 4 et 5,la valeur de l'angle étant choisie de telle façon qu'à 7,5 mm de déplacement vertical de l'axe 6 corresponde une ouverture de 1,5 mm de la fente (à 1/100 de déplacement correspond donc une ouverture de 2 microns) La force antagoniste est obtenue par un ressort 9 et une bille 11 identique à la bille 8,le ressort 9 étant maintenu par une pièce 7 fixée sur la pièce cylindrique 2. Les oeillets 10 (figure 7 B) servent au réglage de la verticalité de la fente qui doit être logée dans un bottier lié à l'enceinte à vide dudispositif spectral. 2531213 REVENDICATIONS 1.Procédé de focalisation des réseaux de dif- fraction sphériques holographiques de rayon de courbure R, travaillant par réflexion pour la dispersion des différentes radiations constituant une lumière polychromatique, selon le- quel on utilise une fente d'entrée et au moins une fente de sortie (ou un détecteur multicanal) fixes, le réseau hologra- phique étant fixe, caractérisé en ce que pour une longueur d'onde X et un ordre de diffraction m, tels que m n A= sin C + sin 3 et pour une distance objet r = Re (e étant la distance objet réduite par rapport à la valeur du rayon de courbure R du réseau) et un angle d'incidence O quelconques, on détermine pour l'angle de diffraction P la distance image r' = Re' (e' étant la distance image réduite par rapport au rayon de courbure R du réseau) par la relation: 1 _ cos " + 1 cos j + (sin " + sinfi) e -n o (k 2-k'2)=O 0 o k 2 k'2 = c Cos D + cos 2 2 C correspondant à la somme des équations sagittales objet et i- mage, relations dans lesquelles: N représente le nombre de traits par mm du réseau holographique réalisé à la longueur d'onde laser A o à partir de l'enregistrement de franges d'- -interférences générées par deux points sources C et D défi- nis par leurs coordonnées polaires respectivement par rapport au sommet du réseau pour r=RD r =R/ Pc D ( c le point C ( et le point D (J et tels que Pisin mi sin = D, la répartition d'inkensitéde l'image diffractée obtenue étant sy- métrique. 31 2531213 2.Spectromètre corrigé de l'astigmatisme et des comas pour l'étude du profil d'une raie de longueur d'onde A faisant application du procédé selon la reven- dication 1, caractérisé en ce que la source (S) et l'un des points d'enregistrement (C) sont sur la normale au réseau (R 1) ayant N = sin I/ X o traits/mm, étant la lon- gueur d'onde d'enregistrement de l'hologramme et tel que le point d'enregistrement (C) est à une distance rc du sommet ( 0) du réseau de rayon de courbure R et le point source (S) à une distance r telle que = + P P le r R r c lieu des images diffractées suivant l'angle p tel que, m étant l'ordre de diffraction, sin B = mn X avec P = m étant un cercle (P 1) de rayon R/( 2 sin -) = R/( 2 cos-p 3 centré sur le rayon diffracté correspondant à la direction sin = cos, ) et passant par le sommet ( 0) du réseau et son centre de courbure, le second point d'enregistrement (D) étant défini en coordonnées polaires par r D et S tels que sin O = N et r D r ' rétant la dis- D m Y tance image caractérisée par toute distance du sommet du ré- seau au cercle (P 1). 3 Spectromètre selon la revendication 2, ca- ractérisé en ce que le point d'enregistrement (C) situé sur la normale au réseau étant à une distance r r co r =, du sommet ( 0) du réseau de rayon c m de courbure R, le point source est situé à une distance r = R ( 1) de ce même sommet;. * o 4 Spectromètre selon la revendication 2, carac- térisé en ce que le point source (S) est situé à une distance du sommet ( 0) du réseau r = Re telle que 1 = 1 P ( P c-l) et telle que H 2 ( P +) soit nul pour 2 c soit nul epour H c R d + cos 2 O avecr = R et r D= c-R r D 32 -2531213 Polychromateur stigmatique, travaillant dans les ordres positifs, pour les longueurs d'onde \ x _ j X z \ l'une des revendications 3 ou 4, caractérisé en ce que la direction du rayon diffracté correspondant à la longueur d'onde Ax répond à la formule: mn x = sin px = cos = 0,6077 et dans lequel le lieu de focalisation est un plan (P') faisant un angle d'environ 73 8 avec la'direction du rayon diffracté, la distance imag I pour la longueur d'onde \x ayant pour valeur r' = R cos C x' = R sin 1 1,26 R. 6 Polychromateur stigmatique, travaillant dans les ordres négatifs, pour les longueurs d'ondes Ax A A l'une des revendications 3 ou 4, caractérisé en ce que la di- rection du rayon diffracté correspondant à la longueur d'onde x répond à la formule mn x = sin p, avec tg p x = - sin m (sin J + cos 2 ) avec 2 > 45 , le lieu de focalisa- tion étant un cercle centré sur le centre ( 0 '') du cercle de Rowland (R) et de rayon R 2 ( ssin + cos) ' 7 Objectif dispersif stigmatique pour l'ultra- violet lointain, travaillant dans les ordres négatifs selon le montage suivant l'une des revendications 3 ou 4, caracté- risé en ce que l'objet est situé sur la normale au réseau, la direction d'observation correspondant à un angle de diffrac- tion f inférieur à 45 , l'un des points d'enregistrement (C) étant situé sur la normale au réseau et le second dans la direction 8 tel que 8 + P =, E étant une quantité positive très petite vis-à-vis de J et p 8 Collimateur dispersif stigmatique pour l'ul- traviolet lointain faisant application du procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'objet étant situé à l'infini et pour un angle d'incidence O, la longueur d'on- de d'observation /\correspondant à l'angle de diffraction tel que: 33 2531213 2 sin 2 P N 2 X 2 I 9 Polychromateur stigmatique faisant appli- cation du procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le point source (S) et le point image (S') sont si- tués sur un cercle (P 2) dont le rayon (a R) est centré en (U) sur la tangente au sommet ( 0) du réseau et qui passe par ce sommet, ledit réseau étant un réseau holographique tel que si o est la longueur d'onde du laser servant à l'enregis- trement et N le nombre de traits par mm tel que N Xo = sin J - sin m, l'hologramme est réalisé à partir de deux points sour- ces C ( q, rc) et D (s, r D) dont la position est définie en coordonnées polaires et tel que r c = a R sin " et r D = a R sino, a étant un nombre positif pouvant prendre n'importe quelle va- leur entière ou fractionnaire supérieure à 0. Polychromateur stigmatique selon la reven- dication 9, caractérisé en ce qu'il comprend un miroir torique (M) travaillant au grandissement 1 qui donne du point source (S) une image (S') située sur le cercle (P 2) dont le rayon est centré sur la tangente au sommet du réseau et qui passe par ce sommet, ladite image (S'I) jouant le rôle d'objet vir- tuel pour le réseau (R) qui en donne une image réelle stigma- tique située sur le cercle (P 2). 11 Spectromètre selon la revendication 9, ca- ractérisé en ce que l'objet étant à l'infini sur la normale au réseau de rayon (R), l'un des points d'enregistrement (C) étant au centre de courbure ( 0 ') du réseau et le second point d'lenregistrement (D) étant tel que 5 = 45 et r R D-X/f 34 2531213 les images diffractées sont observées sur un cercle de centre ( 0) situé sur la tangente au réseau et passant par le sommet de ce dernier, le montage étant stigmatique pour toute les longueurs d'onde telle que m> t= 359,6 nm et m Y = 76,3 nm, m étant l'ordre de diffraction.