FR 2533397 A2 19840323 FR 8215682 A 19820916 Perfectionnements aux torches plasma Perfectionnements aux torches à plasma. L'invention est relative aux générateurs de plasma, et notam- ment aux dispositifs dans lesquels on produit un plasma à l'extrémité d'un tube pourvu d'un orifice dans lequel circule un gaz. On connaît, par le Brevet principal, un générateur de plasma riv-i"cn __ & A -> 4 a 1 1 __ 1 Jjg=,â__ e-' J lui-mroe, est équipé d'un dispositif d'adaptation d'impédance Celui-ci selon une forme préférée, peut prendre l'aspect d'une portion de manche 1 * ' t ' -* il, * _ _, ,n _A _ - diamètre étant connecté à l'ame du coaxial, tandis que l'au- tre manchon est connecté à la gaine de celui-ci. Un dispositif tel qu'il vient d'être résumé, permet de trans- férer au tube une puissance en hyperfréquence, notamment à des fréquences pouvant atteindre 100 M Hz et dépasser plusieurs G Hz, jusqu'à un niveau avoisinant-le kilowatt Les impédances du tube et de la structure excitatrice sont adaptées de telle façon qu'en absence de gaz à l'intérieur du tubel'extrémité antérieure de celui-ci se comporte comme une antenne, c'est-à- dire dissipe sous forme de rayonnement électromagnétique une grande partie, ou même la quasi-totalité de l'énergie hyper- fréquence qui lui est communiquée. Lorsqu'un gaz, introduit à l'extrémité postérieure du tube s'échappe par l'orifice antérieur de celui-ci, l'énergie électromagnétique dans le milieu gazeux environnant immédia- tement la sortie du tube est suffisante pour entretenir un plasma dans cette zone, après un amorçage par tout moyen convenable L'expérience montre alors que les émissions ra- yonnantes de l'extrémité du tube disparaissent à peu près totalement La quasi-totalité de l'énergie hyperfréquence transférée à l'extrémité du tube est consommée pour la for- mation du plasma Le dispositif ainsi obtenu possède un excel- lent rendement. L'invention vise notamment des perfectionnements à des dispo- sitifs générateurs de plasma du type qui vient d'être évoqué ci-dessus Ces perfectionnements sont notamment destinés à améliorer le domaine de puissance d'utilisation du dispositif et sa versatilité d'emploi. Selon un premier aspect, l'invention a pour objet une torche à plasma du type comprenant des moyens d'alimentation en énergie hyperfréquence, des moyens d'amenée de gaz comprenant au moins un tube à travers lequel peut circuler ce gaz et présentant une partie terminale au moins en partie conduc- trice de l'électricité, et pourvue d'un orifice d'échappement du gaz, et des moyens de couplage entre lesdits moyens d'ali- mentation et ledit tube d'amenée de gaz, cette torche étant -caractérisée en ce que les moyens d'alimentation en hyper- fréquence comprennent un guide d'ondes. Selon un mode de réalisation de cet aspect de l'invention, le tube traverse au moins une paroi latérale de guide d'ondes, de préférence la paroi latérale située du côté de l'orifice d'échappement du gaz, par une ouverture ayant une dimension transversale supérieure à celle du tube Selon une forme d'exécution, le tube traverse le guide d'ondes de part en part transversalement à la direction de propagation de l'énergie le long de ce guide d'ondesl. Grace à cet aspect de l'invention, on est parvenu à trans- mettre à un générateur de plasma à tube rayonnantdes puissances hyperfréquences extrêmement élevées, pouvant dépasser cinq kilowatts, et atteindre une, voire plusieurs dizaines de kilowatts, et cela à l'aide de structures d'une simplicité remarquable. En particulier, de tels résultats peuvent être atteints en utilisant un simple guide d'ondes rectangulaire couramment utilisé dans la technique des hyperfréquences, et des moyens de liaison entre ce guide d'ondes et le tube d'amenée de gaz, qui font appel à des fixations de type mécanique tout à fait simplesqu'il s'agisse de soudure ou autre type d'assem- blage. Pour obteni -des réalisations dans lesquelles l' mpédance de la flamme de plasma est convenablement adaptée à l'impé- dance du guide d'ondes, il est avantageux d'utiliser des moyens de couplage complémentaires, et notamment d'entourer la partie du tube l'amenée-de gaz émergeant du guide d'ondes du côté de l'orifice d'échappement, à l'aide d'un manchon métallique de dimension transversale égale ou supérieure à celle de l'ouverture correspondante dans la paroi du guide d'ondes. On a en outre remarqué qu'il pouvait être bénéfique de pré- voir une deuxième ouverture dans la paroi latérale opposée du guide d'ondes traversée par le tube et d'aménager autour de cette ouverture un manchon métallique s'étendant autour de la partie postérieure du tube Ce manchon est pourvu, du côté de son extrémité opposée au guide d'ondes, d'un court-circuit grace auquel l'énergie hyperfréquence transmise par le guide d'ondes à ce manchon se trouve réfléchie vers la partie an- térieure du tube De préférence, le guide d'ondes est lui- même court-circuité au-delà du tube d'acheminement du gaz dans le sens de la propagation de l'énergie hyperfréquence, Dans tous les cas, il peut être commode de prévoir que le court-circuit réfléchissant l'énergie transmise à l'extrémité du guide d'ondes et/ou le court-circuit fermant le manchon entourant la partie postérieure du tube d'acheminement du gaz est réglable longitudinalement en position Un tel réglage permet de réaliser une adaptation optimale de l'im- pédance de la structure formée par le tube et les manchons en présence du plasma à celle de l'alimentation hyperfréquence. Il est ainsi possible d'optimiser le rendement de la propa- gation de l'énergie hyperfréquence transmise au tube, en direction de l'extrémité de ce dernier et de sa transforma- tion en Sénergie génératrice de plasma A cet égard, la possi- bilité de pouvoir augmenter, dans des proportions considéra- bles, l'énergie transmise à l'extrémité du tubepermet d'at- teindre des températures de plasma très élevées Sachant qu'avec les générateurs d'énergie hyperfréquence couramment disponibles à l'heure actuelle, il est possible, par une simple commande électronique, de faire varier l'énergie transmise par le guide d'ondes dans des proportions pouvant varier de 1 à 100 dans des intervalles de temps extrêmement É 533397 brefs, on réalise que l'invention permet de modifier très ra- pidement la température d'une flamme de plasma dans des proportions inconnues jusqu'à présent dans des applications pratiques En outre, le pilotage électronique de la source hyperfréquence permet d'effectuer un réglage de la tempéra- ture de la flamme par contre-réaction-lorsqu'on dispose d'un capteur de température sur un objet soumis à l'action de cette flamme. Enfin, la possibilité d'accroître la température des flammes de plasmpa offerte par l'invention présente un avantage dans le cas o l'on cherche à faire des mélanges de gaz, et notam- ment des mélanges dans lesquels l'un au moins des composants est relativement difficile à ioniser. A cet égard, et selon un second aspect, l'invention prévoit un dispositif de torche à plasma, du type comprenant des moyens d'acheminement de gaz comportant au moins un tube à travers lequel on peut faire circuler un gaz et présentant une partie terminale au moins en partie conductrice de l'élec- tricité et pourvue d'un orifice d'échappement de ce gaz, et des moyens d'alimentation du tube en énergie hyperfréquence, ce dispositif étant caractérisé en ce que lesdits moyens d'acheminement de gaz comportent au moins un deuxième tube associé au premier et de préférence monté à l'intérieur de celui-ci pour amener un courant de fluide tel qu'un autre gaz au voisinage dudit orifice, indépendamment du courant véhi- culé par le premier tube Ce deuxième tube peut, selon la forme de réalisation, être métallique ou isolant, seule la partie externe du premier tube étant électriquement conduc- trice pour jouer son rôle dans la transmission de l'énergie électromagnétique qui lui est fournie On peut donc, en choi- sissant convenablement le deuxième tube, transmettre par exemple des gaz corrosifs à l'écgard des m é t a u x. Il est remarquable à cet égard que l'on parvienne à Dbtenir avec efficacité une flamme de plasma avec des orifices de sortie de tube de diamètre relativement important contraire- ment à une opinion répandue. A cet égard, l'invention prévoit divers procédés d'utilisation d'un dispositif tel que celui qui vient d'être défini Selon un premier procédé, on alimente le tube central ou deuxième tube à 1 'aide d'un gaz plasmagène et le tube externe à l'aide d'un gaz de gainage Il est alors possible d'isoler le plasma à sa sortie du tube par une veine gazeuse annulaire empêchant tout contact entre les nmolécules du plasma et l'air ambiant, ou d'ailleurs toute autre atmosphère ambiante. Selon un deuxième procédé d'utilisation du dispositif précédes Oent men- tionné, on utilise le premier tube pour acheminer un gaz plasmagène, c'est-à-dire relativnement facile à ioniser Le gaz acheminé par le deu- xième tube se trouve alors nécessairement enclos à sa sortie par le plas- ma engendré On peut obliger ce gaz à traverser la flaïme si l'on prévoit que la sortie du gaz plasmagène s'effectue par un ou plusieurs orifices dirigés de manière à former une flamine convergente. Grâce à cette dernière façon de procéder, il est possible d'exciter des gaz ou fluides dont la manipulation ou le traitement est en général difficile Elle présente un avantage par exemple en spectroscopie, pour produire des flarmmes Selon un autre aspect, 1 ' invention prévoit également de réaliser un échauf- femnent substantiel d'un agent fluide ou d'un matériau souple tel qu'un fil, filant à grande vitesse dans un tube à 1 'extrémité duquel se trouve engendré un plasma Elle est notamment applicable à des dispositifs produisant des plasmas par alimentation hyperfréquence Le fil peut dé- filer dans le tube générateur de plasma ou dans un autre tube concentri- que Sa surface peut ainsi être traitée thermiquement. Enfin, selon un dernier aspect, l'invention prévoit un dispositif de tor- che du type général qui vient d'être évoqué dans lequel le tube d'amenée de gaz s'étend sur une distance relativement grande, par rapport au dis- positif d'alimentation à partir duquel l'énergie hyperfréquence lui est transmise A cet égard, l'invention prévoit qu'un tel tube, dont la forme n'est pas nécessairaement rectiligne, est entouré d'un manchon conducteur avec lequel il forme une structure de propagation de l'énergie hyperfré- quence transmise du caté de l'orifice d'échappement des qaz Ce manchon, lui-même, est équipé d'un dispositif d'adaptation d' impsdance Celui-ci selon une forme préférée, peut prendre l'aspect d'une portion de manche latérale conductrice raccordée au manchon dans sa partie intermeédiaire et à l'intérieur de laquelle on a prévu un moyen de court-circuit ré- fléchissant l'énergie hyperfréquence qui lui parvient Cette manche per- met, notamment lorsque le tube d'acheminement de gaz et son manchon ont une longueur relativement élevée, par exemple de plusieurs dizaines de centimètres, de réaliser une adaptation d'impédance convena- ble à la propagation optimale de l'énergie jusqu'à l'extré- mité du tube A cet égard, on peut prévoir un réglage de la position du court-circuit dans la manche latérale. Grace à cette faculté d'allonger le tube d'acheminement de gaz à l'extrémité duquel se forme le plasma, il devient possi- ble, tout en conservant l'excellent rendement précédemment évoqué, de produire la flamme dans des emplacements diffici- lement accessibles Il devient également possible d'adapter la forme de cette flamme à des conditions d'utilisation par- ticulières C'est ainsi, notamment, que l'on peut réaliser des flammes de section, non point circulaire, mais étirée telles que les flammes plates par exemple. Des explications complémentaires-et la description des modes de réalisation, non limitatifs, sont données ci-après en référence aux dessins annexés, sur lesquels la figure 1 est une vue en perspective d'un dispositif de torche selon l'invention, avec coupes et-arrachements partiels; la figure 2 est une vue schématique en coupe selon le plan repéré par les flèches Il sur la figure 1 de ladite torche; la figure 3 est une vue d'une variante de réalisation de la torche de la figure 1, en section par un plan de coupe repéré par les flèches III-III sur la figure 1; la figure 4 illustre schématiquement la réalisation d'une eortion de la torche dans une variante de réalisation, en 253339 T coupe longitudinale par un plan diamétral du tube; la figure 5 est une vue en bout d'une variante de réalisa- tion de la torche de la figure 4; la figure 6 illustre un mode de fonctionnement possible de cette variante; la figure 7 illustre une troisième variante de réalisation de la torche selon l'invention; la figure 8 est une vue en perspective de l'extrémité d'une torche selon l'invention, selon encore une autre forme de réalisation. Une torche à plasma 10 (figure 1) comprend un tube métallique 12, par exemple en cuivre présentant un profil effilé 14 à son extrémité antérieure, terminé par un orifice 16 par o peuvent s'échapper des gaz admis selon la flèche 18 à l'extzé- mité postérieure 20 de ce tube Le tube 12 est immobilisé, du côté de son extrémité 20, dans une bride de fixation 22 dont la partie périphérique 24 est fixée à l'intérieur d'un manchon métallique rigide 26, de telle façon que le tube 12 et le manchon 26 soient coaxiaux En avant de la bride 22, le tube 26 se raccorde,en contact conducteur,à une paroi latérala 27 d'un guide d'ondes rectangulaire 30, selon une ligne de raccord circulaire 32 A l'intérieur de cette ligne de raccord 32, la paroi latérale 28 est percée d'une ouverture circulaire 34 de plus petit diamètre et qui est traversée coaxialement par le tube 12 Ce tube ressort du guide d'ondes rectangu- laire 30 par une paroi 36 opposée à la paroi 28 et percée d'une ouverture 38 de plus grand diamètre que le tube 12 et coaxiale à ce dernier. Autour de la partie antérieure du tube 12, est également mon- té un manchon cylindrique métallique 40 qui se raccorde en contact conducteur à la face antérieure 36 du guide d'ondes 30 selon une ligne de raccord circulaire 42 qui, dans cet exemple, est de plus grand diamètre que l'ouverture 38 Le tube 40 se termine à son extrémité antérieure 44 dans un plan perpendiculaire à l'axe du tube 12 et au voisinage de l'extrémité de l'orifice 16 de celui-ci, ce manchon étant fixé coaxialement au tube 14. Le guide d'ondes peut être un guide d'ondes couramment dispo- nible dans le commerce pour la transmission en mode électri- que trasversal H Les parois 28 et 36 forment les grands côtés de sa section rectangulaire Les petits cotés de cette section sont délimités par deux parois opposées 46 et 48. Ce guide d'ondes possède une extrémité d'alimentation 50 propre à être raccordée par des moyens conventionnels à une source hyperfréquence non représentée, de façon à permettre à l'énergie -électromagnétique de se propager dans ce guide dans la direction longitudinale du tube (flèche k), le champ électrique E étant orienté transversalement à la direction k et parallèlement aux petits côtés 46 et 48 du guide d'ondes. De l'autre côté du tube 12, par rapport à l'extrémité d'ad- mission 50, le guide d'ondes 30 se termine par une extrémité 52 à l'intérieur de laquelle est monté mobile un piston rec- tangulaire 54 en contact électrique avec les faces internes des parois 28, 36, 46 et 48 du guide d'ondes 30 Ce piston est capable de coulisser, par exemple sous l'action d'une tige de manoeuvre 56, à l'intérieur du guide d'ondes La po- sition de réglage du piston 54, qui forme un court-circuit à l'intérieur du guide d'ondes et provoque la réflexion des ondes hyperfréquences qui lui parviennent en direction du tube, est l'un des facteurs permettant d'adapter l'impédance du système en vue d'obtenir un bon=rendement de la transmis- sion d'énergie hyperfréquence, en direction du système ra- yonnant formé par le tube 12 et le manchon 40, La structure formée par les manchons métalliques 26 et 40, et les ouvertures 34 et 38 dans les grandes parois du guide d'ondes, assure le couplage de l'énergie transmise par le guide d'ondes vers le tube 12 Dans l'exemple représenté, on a prévu,entre la bride 22 et la paroi 28 du guide d'ondes, un piston 58 coaxial au tube 12 et déplaçable longitudinale- ment en position sous l'action d'une tige de commande 60 qui traverse l'abri 22 Le piston 58 est en contact c Dnduc- teur, sur toute sa périphérie, avec l'intérieur du manchon 26 Dans sa partie centrale, il est percé d'une ouverture 62 grâce à laquelle il peut coulisser autour du tube 12 en gar- dant le contact électrique avec celui-ci Il forme réflecteur pour les ondes admises par l'entrée 50 du guide d'ondes 30 et l'ouverture 34; sa position est déterminée de façon à ce qu'il renvoie le maximum de l'énergie qui lui parvient en direction de la partie antérieure du tube 12. En fonctionnement, on peut relier le guide d'ondes 30 à une source hyperfréquence de plusieurs kilowatts L'énergie transférée par ce guide provoque l'excitation du tube 12 qui le traverse transversalement, de telle sorte que son extré- mité antérieure 14 se comporte comme une véritable antenne capable de dissiper sous forme de rayonnement toute l'énergie qui lui parvient Lorsqu'on admet un gaz, notamment un gaz plasmagène tel que de l'argon, à l'extrémité postérieure 20 du tube (flèche 18), il suffit d'un amorçage par une étin- celle à l'orifice 16 pour provoquer un débit d'ionisation dans le gaz qui s'en échappe La zone ionisée se développe, puis s'auto-entretient sous l'effet de l'énergie hyperfré- quence qui lui est délivrée par le tube 12 Un plasma se forme et les mesures montrent que la quasi-totalité de l'énergie hyperfréquence admise à l'entrée du guide d'ondes est employée à la formation et à l'entretien de ce plasma, les échauffements et les rayonnements parasites étant mini- mes En particulier, il est bien net que le plasma formé est localisé à l'avant de l'orifice 16. Dans la réalisation décrite, seul le tube 12 traverse trans- versalement l'intérieur du guide d'ondes 30 Les manchons 40 et 20 sont localisés à l'extérieur de celui-ci Selon les nécessités de l'adaptation d'impédance du système, les ouvertures 38 et 34 peuvent avoir ou non le même diamètre que celles des manchons correspondants De même, les lon- gueurs et les diamètres des manchons peuvent être différents et varier selon les réalisations En particulier, si dans les essais effectués par le Demandeur, la présence d'un man- chon antérieur tel que 40 s'avère en général souhaitable, celle d'un manchon postérieur 26 n'apparaît pas comme abso- lument indispensable Le manchon 40 peut être prolongé au- delà de l'orifice 16 du tube 12 pour obtenir une flamme dans une atmosphère plus pure par exemple. On a représenté sur la figure 2 les portions du piston adap- tateur 58 en bordure de l'ouverture axiale 62 et à sa péri- phérie 64, légèrement rabattues vers l'arrière, de telle façon que ces portions, par leur élasticité propre-maintien- nent un bon contact avec le tube 12 d'une part, et le man- chon 26 d'autre part Pour les très fortes puissances utili- sées avec la réalisation suivant l'invention, il peut,dans certains cas, être désirable, en-vue d'éviter des échauffe- ments et des arcs, de remplacer le court-circuit 58 par un court-circuit à piège quart d'onde, comme illustré sur la figure 3. Sur la figure 3, on a utilisé les mêmes numéros de référence que sur les figures 1 et 2 pour les éléments qui n'ont pas subi de modifications On se bornera à décrire les seuls éléments modifiés ou faisant l'objet d'illustrations complé- mentaires Ainsi, par exemple, le tube 12 est terminé parlin embout 14 A métallique ou diélectrique amovible et qui peut être par exemple vissé en 15 à l'intérieur du tube 12 L'orifice d'échappement du gaz plasmagène 16 A est ménagé à l'extrémité de l'embout 14 A Une bague en tôle 70 est vissée, par exemple, par des vis 72 coaxialement au tube 12 sur la face externe de la paroi 36 du guide d'ondes 30 L'extrémité postérieure 74 du manchon métallique 40 est soudée sur la face interne de la bague 70 Un montage semblable à bague 76 est utilisé pour raccorder l'extrémité antérieure du manchon métallique 26 à la face externe de la paroi 28 du guide d'ondes Dans l'exemple de la figure 3, l'extrémité 52 de ce guide d'ondes est fermée par une cloison fixe 78. A l'intérieur du manchon 26 est monté longitudinalement mo- bile un piège quart d'onde 80 ayant la forme d'un bouchon annulaire Il peut être monté par exemple par une ou plu- sieurs tiges telles que 82 prévues de façon à maintenir les parois latérales externe 84 et interne 86 du piège 80, à une faible distance, mais sans contact, respectivement de la paroi interne du tube ou du manchon-26 et de la paroi externe du tube 12 Le piège ou bouchon 80 comprend une face annu- laire plane 88 tournée du côté de l'ouverture 34 dans le guide d'ondes 30 En bordure interne de cette face 88 subsiste un mince intervalle 90 qui communique, tout autour du tube 12, avec un passage circulaire de direction radiale 92 ménagé dans la partie médiane du bouchon 80 Ce passage com Luniqu G lui-même avec un puits annulaire 94 foré coaxialement au tube 12 en direction de la face avant 88 et jusqu'au voisinage de cette dernière La longueur de ce puits annulaire 94 est choisie égale au quart de la longueur d'onde transmise de telle manière que toute l'énergie soit réfléchie. Une structure semblable est prévue pour l'énergie s'échap- pant à la périphérie externe de la surface 88 par un inter- valle annulaire 96 entre le manchon 26 et la périphérie du bouchon 80, un passage radial 98 'étant prévu qui communique avec un puits annulaire 99 également dimensionné au quart de la longueur d'onde à piéger. Dans l'exemple de la figure 3, on a également montré le montage de l'extrémité arrière 20 A du tube 12 sur une bride circulaire 100 solidaire d'une bague 102 pourvue d'un tarau- dage intérieur 103 qui coopère avec un fileta(e 104 à l'ex- térieur de l'extrémité du manchon 26 La rotation de la bague 102 permet d'ajuster avec précision la position lon- gitudinale de l'embouchure 16 A du tube 12 Les tiges 82 sont coulissantes dans la bride 100. Dans un exemple de réalisation, le guide d'ondes 30 transmet en-mode H O une énergie à la fréquence de 2450 M Hz avec une puissance qui peut être modulée entre 100 watts et 5 kilo- watts Les mesures montrent que le rendement reste dans tous les cas supérieur à 90 % La variation de température corres- pondante de la flamme peut évoluer entre 12000 C et 5, voire 6000 WC. Les dimensions du guide d'ondes dans cet exemple sont en section transversale 43 mm x 86 mm. La longueur du tube 12 est environ 235 mm. 2 C La longueur du manchon antérieur 40 est environ 50 mm. Le-diamètre de l'ouverture 38 permettant le transfert de l'énergie hors du guide d'ondes et vers l'avant du tube 12 est de 32 imm. Le diamètre externe du tube 12 est 10 mm et son diamètre d'orifice à 16 A à l'intérieur de l'embout 14 A est de 2 mm. Le diamètre interne-du manchon 40 est de 40 mm. Le débit du gaz (argon) peut être inférieur à 1 litre par minute. Les dimensions du manchon métallique-26 sont longueur environ 140 mm, diamètre interne environ 60 mm, diamètre de l'ouverture 34, 32 mmi. On a ainsi obtenu un montage extrêmement simple pour engen- drer des plasmas nécessitant des puissances relativement con- sidérables Les essais pratiqués ont montré notamment qu'avec un guide d'ondes évoqué ci-dessus, on pouvait faire varier la gamme des puissances transmises dans la mesure indiquée, sans constater pratiquement de perte de rendement Il est donc possible, à l'aide de ce dispositif, de produire des densités d'énergie considérables et de faire varier ces dernières dans des intervalles de temps très brefs Ces pro- priétés sont particulièrement utiles lorsqu'on cherche à traiter des gaz difficiles à ioniser, par conséquence nécessi- tant des températures très élevées à cet effet La possibilité à obtenir des densités d'énergie très importantes est égale- ment précieuse dans les opérations de traitement de surface. La structure qui vient d'être décrite à propos des figures 1 à 3 se prête à des variantes particulièrement remarquables dans certaines utilisations. Sur la figure 4, on a représenté deux tubes d'acheminement de gaz coaxiaux 110 au centre et 112 à la périphérie Ces tubes sont montés coaxialement à l'intérieur d'un manchon métallique 114 représenté en tirets Ils sont connectés à une structure excitatrice hyperfréquence non représentée, du côté de l'une de leurs extrémités 116 Cette structure peut notamment être formée essentiellement par un guide d'ondes tel que 30 des figures 1 à 3 pourvu d'une ouverture appropriée 38, pour permettre à l'énergie hyperfréquence d'en sortir Le tube 112 est métallique, tout au moins à sa surface extérieure 117 Il définit avec le tube 110 un canal annulaire 118, à l'intérieur duquel peut être acheminé un premier gaz comme l'indique la flèche 119, en direction de son extrémité antérieure 120, laquelle est pourvue d'un orifice annulaire ou plusieurs orifices en couronne pour la sortie du gaz. Sur la figure 5, on a représenté la face avant d'une combi- naison de tubes telle que sur la figure 4 L'extrémité du tube 112 est fermée par une cloison percée d'une série d'ori- fices 121 répartis sur une couronne centrée sur l'axe commun des tubes 110 et 112 Le tube 110 se termine par un orifice 122. Le tube 110 peut également être métallique Toutefois, cela n'est pas indispensable En effet, l'énergie électromagnétique peut être transmise à la zone de formation de plasma à l'avant des tubes 110 et 112 par la seule surface externe du tube 112. Le dispositif de la figure 4 présente l'intérêt, considérable en pratique, de permettre d'utiliser ou de former un plasma en faisant participer plusieurs milieux fluides et non un seul gaz, comme précédemment évoquée Selon un premier procédé, on alimente le tube interne 110 à l'aide d'un gaz plasmagène, par exemple de l'argon, admis à son extrémité postérieure comme l'indique la flèche 123 On admet, selon la flèche 119 dansl'intervalle annulaire 118, un gaz de gainage, par exemple de l'hélium Celui-ci, au dé- bouché à l'extrémité 120 de ce tube forme une veine gazeuse tubulaire qui entoure les particules ionisées constituant la flamme de plasma à la sortie 122 du tube 110, et cela sur une longueur qui peut être relativement considérable Une telle veine gazeuse peut être obtenue avec un débit limité de gaz dans l'intervalle 118,tout en procurant une protection très efficace de la flamme de plasma contre les sources de pollution ou les réactifs non désirés. Selon un autre procédé d'utilisation, le gaz plasmagène, tel que de l'argon, est admis dans l'espace annulaire 118 et on utilise le tube central 110 pour acheminer un autre gaz ou un autre matériau fluide que l'on désire soumettre à l'action du plasma à la sortie 122 de ce tube Pour faci- liter cette interaction, on peut d'ailleurs prévoir d'orien- ter les orifices 121 de façon à former une flamme 125 conver- gente (figure 6) au sortir du tube plasmagène 112, Tout agent parvenant à l'extrémité 122 du tube 110 est alors forcé de traverser la flamme 125. * Cette disposition permet d'envisager de nombreuses applica- tions En particulier, elle est utile pour l'analyse de tout gaz dont on cherche à connaître le spectre, le plasma per- mettant d'assurer l'excitation de ce gaz d'une manière très efficace. Elle est également intéressante dans les applications au traitement de surface par exemple avec des gaz tels que notamment des halogènes ou des halogénures dont l'excitation est en général difficile à obtenir La disposition consi- dérée est également intéressante en oxycoupage, l'oxygène étant forcé à travers le plasma par le tube central. Le tube central 110 peut être réalisé en-une matière autre que métallique En particulier, dans le cas o le deuxième gaz, ou gaz dopant, est corrosif à l'égard des métaux, tels que notamment-dans le cas du chlore ou du fluor, le système fonctionne avec un tube central résistant chimiquement au gaz véhiculé et constitué en un matériau non conducteur. On peut également admettre par le tube central 110, tout agent ou matière capable de filer par l'orifice de sortie -122, notamment dans le but d'en provoquer un échauffement très rapide C'est ainsi par exemple que l'on peut utiliser ce dis- positif pour élever la température d'un fil de matière syn- thétique défilant à grande vitesse d'une quantité suffisante pour modifier sa plasticité sans toutefois affecter sa struc- ture chimique. Bien entendu, la puissance transférée en hyperfréquence est proportionnée au débit de gaz admis dans les tubes 110 et 112 Dans un exemple de réalisation, on a produit un plasma à partir d'un gaz évacué par un orifice 122 de 2 mm de dia- mètre et entouré d'une gaine gazeuse à la sortie d'un orifice annulaire 120 de diamètre interne 4 mm et externe 6 mm. Dans un autre exemple, on a produit une flamme de plasma convergente, à partir de huit orifices 121 de diamètre 1 mm répartis sur une couronne de diamètre 8 mm autour d'un ori- fice central 122 de diamètre 4 mm par lequel la flamme était alimentée en un gaz dopant Il va de soi que la mise en pra- tique de l'invention n'est pas limitée au seul cas de deux tubes concentriques. Dans certaines circonstances, il est utile de pouvoir diri- ger une flamme dans un emplacement difficilement accessible et/ou de lui donner ou conférer une forme particulière, non nécessairement cylindrique. La figure 7 illustre l'extrémité d'une torche du type décrit en référence aux figures 1 à 3, dans laquelle le tube d'amenée du gaz 12 B est sensiblement allongé par rapport aux exemples évoqués précédemment Dans le présent exemple, il peut par exemple atteindre une longueur de plusieurs dizaines de cen- timètres, par opposition à une longueur de plusieurs centi- mètres dans les cas précédemment envisagés Ce tube 12 B est entouré d'un manchon 40 B se projetant à l'avant du tube guide d'ondes 30 B Le manchon 40 B se prolonge jusqu'au voisinage de l'orifice 16 B du tube 12 B (extrémité 130) Afin d'assurer une transmission parfaitement adaptée de l'énergie hyperfré- quence le long du système tube 12 B manchon 40 B, un adaptateur d'impédance supplémentaire 132 est prévu Celui-ci se présente sous la forme d'une manche latérale métallique 134 dont une extrémité est en contact conducteur avec la surface externe du manchon 40 B autour d'une ouverture 136 en un point inter- médiaire dans la paroi latérale de celui-ci Dans l'axe de la manche 134 est montée une tige 138 en contact électrique avec la face extérieure du tube 12 B au point 140 Un court-circuit hyperfréquence 142 est monté coulissant à l'intérieur de la manche 134 et autour de la tige 138 Ce court-circuit peut être réalisé sous la forme d'un piston fixe ou mobile, ou d'un piège quart d'onde comme évoqué précé- demment et déplacé à l'aide d'une tige 139 O N a reconnu en outre qu'un tel adaptateur d'impédance latéral permettait également de prolonger l'extrémité du tube 12 B au-delà de l'extrémité 130 du manchon 40 B (comme représenté par les pointillés 147), en conservant les qualités de ren- dement élevé désirées. On a en outre observé que, grâce à un adaptateur latéral d'impédance tel que 132, on pouvait également modifier la forme du tube 12 B afin d'aboutir à des configurations de flamme non cylindriques. On a représenté en figure 8 une extrémité 150 d'un tube 152 de section rectangulaire, par laquelle s'échappe, par un ou plusieurs orifices, un gaz plasmagène de façon à former une flamme sensiblement plate Le tube 152 est entouré d'un manchon conducteur 160, métallique, de forme également rec- tangulaire, jouant un rôle analogue au manchon 40 B de la figure 7 et pourvu d'un adaptateur d'impédance tel que 132. Dans tous les exemples envisagés jusqu'à présent, on a admis que la torche, selon l'invention, permettait de créer une flamme de plasma dans une ambiance à la pression atmosphé- rique Ceci est un avantage dans de très nombreuses applica- tions pratiques Les essais ont montré toutefois qu'il était possible de travailler également à des pressions ambiantes pouvant aller jusqu'à plusieurs atmosphères, tout en conser- vant l'application des principes selon l'invention. Revendications. 1 Torche à plasma du type comprenant des moyens d'alimenta- tion en énergie hyperfréquence, des moyens d'amenée de gaz comprenant au moins un tube ( 12) dans lequel on peut faire circuler un gaz et présentant une partie terminale au moins en partie conductrice de l'électricité et pourvue d'un ori- fice ( 16) d'échappement de ce gaz, et des moyens de couplage entre ces moyens d'alimentation et le tube, caractérisée en ce que lesdits moyens d'alimentation comprennent un guide d'ondes ( 30) dont une paroi est percée d'une ouverture ( 38) de dimension supérieure à la dimension transversale du tube et traversée par celui-ci - 2 Torche selon la revendication 1, caractérisée en ce que ladite ouverture ( 38) est située du côté de l'orifice ( 16) d'échappement du gaz. 3 Torche selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que le tube ( 12) traverse le guide d'ondes de part en part transversalement à la direction de propagation de l'énergie dans celui-ci. 4 Torche selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que ledit guide d'ondes ( 30) est un guide d'ondes à section rectangulaire. Torche selon l'une des revendications précédentes, carac- térisée en ce que le guide d'ondes ( 30) est court-circuité à son extrémité opposée à l'entrée de l'énergie hyperfréquence, par rapport audit tube ( 12). 6 Torche selon l'une des revendications précédentes, carac- térisée en ce que lès moyens de couplage comprennent également un manchon métallique ( 40) autour de la portion du tube ( 12) situé du côté de l'orifice ( 16) d'échappement des gaz. 7 Torche selon la revendication 6, caractérisée en ce que ledit manchon métallique ( 40) a une dimension transversale supérieure à celle de l'ouverture correspondante ( 38) dans ledit guide d'ondes ( 30). 8 Torche selon l'une des revendications précédentes, carac- térisée en ce que lesdits moyens de couplage comprennent également un manchon métallique ( 26) autour dudit tube du côté opposé audit orifice ( 16) par rapport audit guide d'on- des, l'intérieur de ce manchon ( 26) communiquant avec' Vin- térieur du guide d'ondes par une ouverture ( 34) de dimension transversale supérieure à celle du tube et ce manchon ( 26) étant court-circuité à son extrémité opposée au guide d'on- des ( 30). 9 Torche selon l'une des revendications précédentes, carac- térisée en ce que ladite ouverture ( 38) traversée par le tube ( 12) est ménagée dans une grande face'du guide d'ondes ( 30) à section rectangulaire. Torche selon l'une des revendications précédentes, carac- térisée en ce que le manchon ( 40) entourant la portion de tube ( 12) du côté de llorifice ( 16) a une longueur sensible- ment égale à celle de cette portion de tube. 11 Torche selon l'une des revendications précédentes, carac- térisée en ce que lesdits moyens d'amenée de gaz comprennent au moins deux tubes ( 110, 112) propres à amener deux courants de gaz respectifs dans une même zone de formation de plasma. 12 Torche selon l'une des revendications précédentes, carac- térisée en ce que le manchon ( 40) entourant les moyens d'ache- minement de gaz ( 12) comprennent un dispositif d'adaptation d'impédance latérale à l'avant dudit guide d'ondes ( 30). 13 Dispositif de torche à plasma du type comportant-des moyens d'amenée d'un gaz comprenant au moins un tube ( 12) dans lequel on peut faire circuler un gaz et présentant une partie terminale ( 14) au moins en partie conductrice de l'électricité et pourvue d'un orifice ( 16) d'échappement de ce gaz et des moyens d'alimentation de ce tube en énergie hyperfréquence, caractérisé en ce que lesdits moyens d'amenée de gaz comprennent au moins un deuxième tube ( 110) associé au premier tube ( 112) pour amener une autre courant de fluide au voisinage dudit orifice ( 120) 14 Dispositif selon la revendication 13, caractérisé en ce que le deuxième tube ( 110) est monté à l'intérieur du premier tube ( 112) Dispositif selon la revendication 142-caractérisé en ce que ledit deuxième tube ( 110) est en un matériau non conduc- teur de l'électricité. 16 Dispositif selon l'une des revendications 14 ou 15, caractérisé en ce que l'orifice de sortie du premier tube ( 112) est conformé pour provoquer la formation d'un jet con- vergent sensiblement dans l'axe de sortie du deuxième tube. 17 Procédé d'utilisation d'un plasma engendré à l'aide d'un dispositif selon l'une des revendications 14 à 16 e caracté- risé en ce qu'on alimente le tube intérieur ( 110) à l'aide d'un gaz plasmagène et le tube extérieur ( 112) à l'aide-d'un gaz de gainage. 18 Procédé d'utilisation d'un plasma engendré à l'aide d'un dispositif selon l'une des revendications 14 à 16, caractérisé en ce qu'on alimente le tube extérieur ( 112) à l'aide d'un gaz plasmagène et le tube intérieur ( 110) à l'aide d'un autre fluide. 19 Torche à plasma-comprenant des moyens d'amenée de gaz comportant a u moins un tube dans lequel on peut faire circu- ler un courant de gaz plasmagène, ce tube présentant une partie terminale au moins en partie conductrice de l'électri- cité et pourvue d'un orifice ( 16 B) d'échappement du gaz et des moyens d'alimentation de ce tube en énergie hyperfréquence, caractérisée en ce que ledit tube est entouré d'un manchon métallique ( 40 B) couplé auxdits moyens d'alimentation de façon" telle que l'énergie hyperfréquence se propage vers l'orifice d'échappement dudit tube, des moyens d'adaptation d'impédance ( 132) étant prévus latéralement le long de ce manchon. Torche selon la revendication 19, caractérisée en ce que lesdits moyens d'adaptation comprennent une manche conductri- ce ( 134) débouchant dans une ouverture ( 136) dans ledit man- chon ( 40 B), munie d'une tige centrale ( 138) raccordée au tube ( 12 B) et fermée à son extrémité opposée au manchon par un court-circuit ( 142). 21 Torche selon l'une des revendications 19 ou 20, caracté- risée en ce que ledit tube ( 16 B) présente une section trafis- versale de forme non circulaire. 22 Procédé d'utilisation d'un plasma fabriqué à l'extrémité d'un tube recevant une alimentation en énergie hyperfréquence et à l'intérieur duquel on fait circuler un gaz, caractérisé en ce qu'on fait circuler à l'intérieur de ce tube un matériau souple tel qu'un fil défilant à grande vitesse pour effec- tuer un traitement thermique à la surface de ce fil. 23 Procédé selon la revendication 22, caractérisé en ce que le fil circule dans un tube disposé concentriquement à l'in- térieur du tube plasmagêne.