FR 2532783 A1 19840309 FR 8215182 A 19820907 La présente invention a pour objet une machine de traitement thermique pour semiconducteurs Elle trouve une application dans le recuit de plaquettes semiconductrices et également dans la recristallisation de silicium amorphe ou polycristallin sur isolant. Une des opérations essentielles de la fabrica- tion de circuits intégrés est le dopage d'un semi- conducteur par des atomes donneurs ou accepteurs d'électrons Cette opération peut s'effectuer par im- plantation ionique, notamment dans le cas des circuits à couches minces Cependant, comme l'implantation ionique provoque une destruction de la structure cristalline du Semiconducteur, sur une épaisseur de quelques milliers d'Angstr 5 ms, une reconstruction du réseau cristallin est nécessaire, pour activer élec- triquement les atomes de l'impureté implantée Cette reconstruction est obtenue par un recuit qui consiste à porter le semiconducteur à haute température, généralement entre 5000 C et 11000 C o Différents moyens de recuit sont connus, à savoir des fours à diffusion de chaleur ou des sources lumineuses cohérentes (lasers), ou encore des faisceaux d'électrons, ou enfin des feuilles de graphite chauffées par effet Joule. Le recuit par four est utilisé depuis de nombreuses années dans l'industrie des semiconducteurs, mais il ne convient plus guère aux nouvelles conceptions de circuits intégrés o l'objecti f essentiel est de porter très haut la densité d'intégration en réduisant les dimensions des composants En effet, le recuit au four, qui demande 15 à 30 minutes à 500-11000 C, provoque, par un mécanisme de diffusion, un étalement des impuretés dans les trois dimensions du semiconduc- -teur. Pour conserver aux zones implantées le profil que leur donne l'implantation, il faut avoir recours à des techniques de recuit plus rapide Celles qui utilisent des lasers ou des faisceaux d'électrons semblent mieux adaptées à cet égard Cependant les installations correspondantes sont complexes et coûteuses et elles consomment beaucoup d'énergie. Le but de l'invention est de fournir une machine de traitement qui soit plus simple et moins coûteuse que les machines antérieures, tout en permet- tant d'obtenir une élévation rapide de la température du semiconducteur traité, avec une consommation en énergie moindre. Ces buts sont atteints, selon l'invention, par l'utilisation de deux lampes disposées de part et d'autre de la plaquette de semiconducteur à traiter L'une au moins de ces lampes émet un rayonnement focalisé sur la face à traiter, fournissant ainsi une haute densité d'énergie L'autre lampe émet un rayonnement qui se tra- duit, sur la face opposée de la plaquette, par une tache concentrique à celle de la tache focale de la face à traiter, de dimensions supérieures et présentant une répartition d'énergie à faible gradient. Le rôle de cette seconde lampe est de préchauf- fer la région traitée, à travers la plaquette semiconduc- trice afin de faciliter le recuit tout en réduisant le gradient thermique dans la plaquette Ce gradient pourrait engendrer l'apparition de lignes de glissement et des dislocations dans le semiconducteur. Le rôle de la première lampe est de Fournir le complément d'énergie pour effectuer localement le trai- tement thermique souhaité. La machine de l'invention peut servir au recuit mais également à la recristallisation de semi- conducteurs Dans ce dernier cas, la seconde lampe est réglée pour émettre un rayonnement peu ou pas focalisé, afin que soit préchauffée la quasitotalité de la plaquette. Les caractéristiques de l'invention apparaî- tront mieux après la description qui suit, d'exemples de réalisation donnés à titre explicatif et nullement limitatif Cette description se réfère à des dessins sur lesquels la figure 1 illustre les moyens de chauffage utilisés dans une machine conforme à l'invention, la figure 2 représente une-vue générale d'une machine conforme à l'invention, dans une variante ou le support de plaquette est fixe, la figure 3 montre le repère utilisé pour définir un balayage en spirale à vitesse uniforme, la figure 4 montre, en coupe, un porte- échantillon pour recuit sous atmosphère contrôlée, la figure 5 illustre une variante utilisable pour la recristallisation d'un semiconducteur sur isolant. Comme toute machine de traitement thermique de plaquettes de semiconducteurs, celle de l'invention comprend des premiers moyens pour chauffer localement une zone de cette plaquette et des seconds moyens pour déplacer cette zone et balayer la totalité de la plaquette L'invention se caractérise par la structure des premiers moyens et accessoirement par la nature des seconds. Selon le mode de réalisation représenté sur les figures 1 et 2, une plaquette de semiconducteur 2 repose sur des pointes isolantes 3 (par exemple en cétamique), lesquelles sont solidaires d'un support en forme d'anneau 4 Les moyens de chauffage sont constitués par e une première lampe 10, placée au-dessus de la plaquette 2 et munie d'un premier réflecteur fo- calisant 12; cette première lampe émet un premier rayonnement 14 dirigé vers la face supérieure de la plaquette 2 qui est la face à traiter; ce rayonnement est focalisé par le réflecteur selon une tache focale 16 ayant un certain diamètre; une seconde lampe 20, placée sous la plaquette 2; cette seconde lampe émet un second rayonnement 24 dirigé vers la face inférieure de la plaquette 2 o il forme une seconde tache 26 ayant un diamètre supérieur à celui de la tache focale 16. De préférence dans l'application au recuit, la seconde lampe 20 est munie d'un réflecteur 22 identique au réflecteur 12 mais focalisant le second rayonnement 24 sur un plan 19 légèrement décalé par rapport à la face inférieure de la plaquette 2 De cette manière, la seconde lampe remplit le rôle défini précédemment. Comme on le voit sur l'exemple de la figure 2, les moyens de déplacement de la zone chauffée pour balayer la totalité de la plaquette sont constitués par des moyens de déplacement de l'ensemble des deux lampes, la plaquette restant fixe Dans ce cas, les lampes sont solidaires d'une table de translation 30 du type x y commandée par deux moteurs pas à pas non représentéseux-mêmes actionnés par des signaux provenant d'un circuit de commande approprié Quant à la plaquette, elle est tenue par son support 4, lequel est solidaire d'un pied 32 fixe. Dans une variante avantageuse, les moyens de balayage présentent cependant une nature originale. Ils sont aptes à provoquer un balayage en forme de spirale d'Archimède, pour laquelle les coordonnées polaires r et i du centre de la première tache par rapport au centre de la plaquette, vérifient la relation r =aw o a est une constante,-de plus, l'évolution temporelle de l'angle polaire f est de la forme b /T,-, o b est une constante et t le temps L'intérêt de ce balayage particulier est que la vitesse linéaire ds (v = È) est pratiquement constante en tout point de la spirale En effet, avec des notations précisées sur la figure 3, on a: r = a" et b t donc r = a b V-t Les composantes radiale (vr) et tangentielle (Vt) de la vitesse s'écrivent: dr aob 1 r dt 2 t r d a = a b 2 a b 2 vt est donc indépendante du temps. Avec les vitesses linéaires habituellement utilisées pour le recuit (quelques mm/s), la composante vr est rapidement négligeable devant vt' Par suite = (t 2 + vr)2 vt Un tel mouvement, en spirale d'Archimède à vitesse linéaire constante, peut être obtenu au moyen de deux moteurs pas à pas commandés par un calculateur et agissant sur une table de translation en x-y Son intérêt est double: d'une part, ii conduit à des bras équidistants, ce qui est nécessaire pour pouvoir balayer uniformément la totalité de la plaquet- te; d'autre part, il évite d'avoir une vitesse qui augmente lorsqueon atteint la périphérie de la plaquette, ce qui serait le cas avec une loi angulaire linéaire en fonction du temps. En plus des dispositions originales qui vien- nent d'être décrites, des moyens peuvent être prévus pour que la température de la plaquette dans la zone focale soit maintenue constante Ces moyens comprennent un pyromètre optique disposé dans une boucle d'asservissement agissant sur l'alimentation des lampes. L'asservissement de la température peut être utile lorsque, au fur et à mesure que le spot se - rapproche des bords de l'installation, un effet de réflexion de la chaleur se manifeste. La machine qui vient d'être décrite a été mise en oeuvre dans des conditions qui vont maintenant être précisées Des lampes à halogène à réflecteur incorporé de 150 W chacune, commercialisées par la Société OSRAM (réf 64635), ont été utilisées Un recuit dans l'air ambiant, sous flux laminaire, a été effectué avec les valeurs des paramètres a et b suivants: a = 1,27 mm/radian b = 2,17 rad/s /2 Pour ces valeurs, la distance entre deux lignes recuites consécutives est de 8 mm et la vitesse linéaire de 3 mm/s La temperature est maintenue à 1000 C Le recuit d'une plaquette de 10 cm dure 5-mn. Des plaquettes de silicium de 10 cm de diamètre ont été implantées dans les conditions suivantes: arsenic:5 x 1014 cm-2 à 50 ke V x 1014 cm-2 à 100 ke V phosphore:triple implantation: 8 x 1014 cm-2 à 100 ke V + 6 x 1014 -2 + 6 x 1014 cm 2 à 80 ke V + 4 x 1014 cm-2 à 50 ke V. La caractérisation des plaquettes obtenues a été réalisée par différentes techniques: par mesure de la résistance de couche: cette mesure a permis de révéler une activation complète des atomes d'impureté et une excellente uniformité le long d'un diamètre (écart type de 3,5 %); par mesure du profil de l'impureté en fonction de la distance à la surface: cette mesure a permis de confirmer que le recuit réalisé ne modifiait pas le profil des dopants résultant de l'implantation par des mesures de planéité à l'aide d'un interfé- romètre de type Fizeau: aucun voilage appréciable n'a pu être révélé. De tels résultats constituent un, avantage certain pour la machine de l'invention En effet, pour obtenir une activation totale, il faut, dans un four à 10000 C, recuire la plaquette pendant au moins mn Mais, après une telle durée, on constate que le profil des impuretés s'est modifié et que les dopants ont diffusé très loin (plusieurs centaines d'Angstrbms pour des couches implantées en arsenic à 5 x 10 et à 100 ke V) A propos de ce phénomène parasite de diffusion, on peut se reporter à l'article de A Gat publié dans la revue "IEEE Electron Device Letters", vol EDL-2, N O 4, avril 1981, pages 85-87. Il est possible d'étendre le principe de la machine décrite plus haut à une machine apte à traiter tout un lot de plaquettes Il suffit pour cela de multiplier le nombre de paires de lampes et de prévoir un support de plaquettes à plusieurs alvéoles recevant chacune une plaquette Un tel support peut être encore animé d'un mouvement en spirale à vitesse uniforme Le recuit d'une plaquette de 110 cm de diamètre s'effectuant en 5 minutes, avec 10 alvéoles, on peut traiter 120 plaquettes à l'heure, ce qui est supérieur à ce que permettent les fours à diffusion qui ne dépassent pas 100 plaquettes à l'heure. La machine de l'invention peut comprendre un support de plaquette permettant un traitement sous atmosphère contrôlée Un tel support est illustré sur la figure 4 Il comprend encore un anneau isolant 4 pourvu de pointes isolantes 3 (par exemple en céramique) suppor-tant la plaquette 2; il comprend en outre un premier conduit 40 d'amenée-de gaz et un second conduit 42 de sortie de ce gaz, ces deux conduits traversant l'anneau en des zones diamétralement opposées; deux hublots transparents ( 44 et 46) sont appliqués sur l'anneau, de part et d'autre de la plaquette, des joints 48-49 assurant l'étanchéité. Une telle structure permet de travailler sous *vide ou sous atmosphère contrôlée Elle permet la fa- brication de siliciures, elle autorise des opérations d'oxydation (oxygène sec ou humide, pour oxydes minces ou épais). Par ailleurs, la machine de l'invention trouve une autre application dans la technologie silicium sur isolant en permettant la recristallisation de semiconducteurs, notamment de silicium amorphe ou polycristallin déposé sur substrat isolant Cette technologie fait l'objet, depuis quelques années,-de nombreuses études, destinées à la réalisation d'empi- lements de couches alternativement monocristallines et isolantes De telles structures permettent d'aug- menter la densité d'intégration des circuits. La difficulté essentielle que soulève cette technique concerne la réalisation d'un substrat mono- cristallin à partir d'une couche de silicium amorphe ou polycristallin déposée sur un isolant (typiquement oxyde ou nitrure supporté par une plaquette de silicium monocristallin) Par ailleurs, compte tenu des possibi- lités actuelles de la technologie du silicium, il est essentiel que le cristal obtenu soit orienté . Des tentatives de recristallisation ont été effectuées avec les lasers émettant en continu, mais compte tenu de la taille des spots disponibles avec ces sources et des problèmes de recouvrement des lignes fondues, cette solution paraît peu adaptée à des plaquettes de grande dimension ( 10 cm de diamètre). Une autre solution connue consiste à utiliser une plaque de graphite chauffée par effet Joule et 2532783. une baguette de graphite également chauffée par effet Joule, cette baguette étant déplacée à la surface du semiconducteur o elle fond uneligne étroite de silicium Une telle technique est décrite dans l'article de JOC C FAN publié dans la revue "Applied Physics Letters" 40 ( 2), 15 Janvier 1982, page 158. La machine de l'invention offre encore, dans ce domaine, des possibilités intéressantes O Par rapport à l'application au mecuit, une adaptation doit être faite v la lampe défocalisée 20 doit porter le substrat à environ 11000 C et la lampe focalisée 10-12 doit pouvoir fondre localement la couche de silicium. Les puissances des lampes sont donc plus fortes dans cette application que dans la précédente On pe 9 ut d'ailleurs utiliser comme seconde lampe disposée sous la plaquette à traiter, une lampe irradiant la quasi- totalité ou même la totalité de la surface Ce résultat peut être obtenu en utilisant un réflecteur parabolique dont le foyer est occupé par la lardpe Dans cette disposition, seule la première lampe est déplacée pour obtenir le balayage stur la plaquette. Par ailleurs, il est connu, en cristallogra- phie que, lors du tirage d'un cristal, la zone fondue doit présenter un front concave vis-à-vis de la zone recristallisée, afin d'éviter la nucléation sur les bords La resolidification doit donc s'effectuer en priorité au centre de la zone fondue, ce qui permet de tirer de longs grains monocristallins. Cette forme particulière de la zone fondue peut être aisément obtenue en déformant la tache focale circulaire, conformément à ce qui est illustré sur la figure 5 Une tige 50, terminée par une pointe en platine 52, est placée dans le faisceau 14 émis par la première lampe très près de la plaquette La pointe 52 constitue un masque qui porte ombre sur la plaquette et permet d'obtenir la forme en "haricot" 16 souhaitée On pourrait naturellement employer d'autres moyens comme des masques, des réflecteurs, etc, mais la solution illustrée semble particulièrement simple à mettre en oeuvre. Des essais de recristallisation ont été effectués avec une machine équipée suivant le schéma de la figure 5, avec les mêmes lampes que pour le recuit. La zone fondue était déplacée avec une vitesse de 0,5 à 1 mm/s dans un type de balayage ligne par ligne Des grains visibles à l'oeil nu ont été obtenus Ces grains, monocristallins sont orientés suivant la normale au plan de la plaquette et dans la direction du balayage Ces cristallites ont des dimensions typiques de 3 mm par quelques centimètres La largeur est limitée par la taille du spot obtenu Ces cristallites comportent des zones jointives faiblement désorientées (par rapport à dans le plan de la plaquette La distribution angulaire des zones, séparées par des sous-joints est inférieure à 0,70 (typiquement 0,30). On remarquera que la largeur des grains obtenus ( 3 mm) est supérieure à celle qui est rapportée dans le dernier article cité, o elle n'est que de 2 mm. Par ailleurs, dans cet article, il est question d'une texture ( 100) dans la zone recristallisée alors que, avec la machine de l'invention, on obtient bien un monocristal . Les résultats mentionnés ont été obtenus avec des Andes découpées de 1 cm de large par quelques centimètres de long Mais rien n'empêche d'utiliser des plaquettes circulaires de type industriel, de cm de diamètre Le balayage ligne par ligne doit s'effectuer avec un recouvrement des lignes de l'ordre de 10 %, sans refonte des grains obtenus à la ligne précédente. Naturellement, il va de soi que toutes les opérations qui viennent d'être décrites peuvent être réalisées avec des plaquettes en position verticale ou autre, de sorte que les-mots "dessus" ou "dessous" n'ont pas de caractère limitatif, mais se rapportent simplement aux exemples illustrés ot la plaquette est horizontale. REVENDICAT IONS 1 Machine de traitement thermique pour plaquettes de semiconducteur, comprenant des moyens pour chauffer localement une zone d'une des faces d'une telle plaquette et des movens pour balayer cette zone sur la totalité de la plaquette, carac- térisée en ce que les moyens pour chauffer localement une zone de la plaquette sont constitués par: une première lampe ( 10) munie d'un premier réflecteur focalisant ( 12), cette première lampe émettant un premier rayonnement ( 14) focalisé sur la face à traiter de la plaquette ( 2) selon une tache focale ( 16) ayant un certain diamètre, une seconde lampe ( 20) émettant un second rayonnement ( 24), dirigé vers l'autre face de la plaquette ( 2) et formant sur cette autre face une seconde tache ( 18 ayant un diamètre supérieur à celui de la tache focale. 2 Machine selon la revendication 1, carac- térisée en ce que la seconde lampe ( 20) est munie d'un réflecteur ( 22) focalisant le second rayonnement ( 24) dans un plan ( 19) légèrement décalé par rapport à la seconde face de la plaquette ( 2). 3 Machine selon la revendication 1, carac- térisée en ce que la seconde lampe ( 20) émet un rayonnement dirigé sur la totalité ou la quasi- totalité de la seconde face de la plaquette ( 2). 4 Machine selon l'une quelconque des reven- dications 1 à 3, caractérisée en ce que les moyens de balayage de la zone chauffée sont constitués par des moyens de déplacement de l'ensemble des première et seconde lampes, la plaquette restant fixe. Machine selon l'une quelconque des reven- dications 1 à 4, caractérisée en ce que les moyens de balayage sont aptes à provoquer un balayage en forme de spirale d'Archimède pour laquelle les coordonnées polaires r et If du centre de la première tache par rapport au centre de la plaquette vérifient la relation r = a? o a est une constante, et pour laquelle l'évo- lution temporelle de l'angle polaire f est de la forme b/f o b est une constante et t le temps, la vitesse linéaire de déplacement de la zone étant alors pratiquement constante. 6 Machine selon l'une quelconque des reven- dications 1 à 5, caractérisée en ce qu'elle comprend- un support de plaquette permettant un traitement en atmosphère contrôlée ce suppôrt comprenant un anneau isolant ( 4) pourvu de pointes isolantes ( 3) dirigées vers l'intérieur et aptes à supporter la plaquette sur sa périphérie, un premier conduit d'amenée de gaz ( 40) et un second conduit de sortie de ce gaz ( 42), ces deux conduits traversant l'anneau en des zones diamétralement opposées, deux hublots ( 44, 46) trans- parents étant appliqués sur l'anneau de part et d'autre de la plaquette. 7 Machine selon l'une quelconque des reven- dications 1 à 6, caractérisée en ce qu'elle comprend un moyen pour donner à la première tache focale une forme présentant une zone concave. 8 Machine selon la -revendication 7, carac- térisée en ce que le moyen en question est constitué par une tige ( 50) terminée par une pointe ( 52), cette pointe étant placée dans le rayonnement ( 14) émis par la première lampe ( 10) et portant ombre dans la tache focale, cette ombre dessinant la zone concave en question. 9 Machine selon la revendication 8, carac- térisée en ce que la pointe ( 52) est en platine.