FR 2535098 A1 19840427 FR 8317002 A 19831025 Procédé de fabrication d'une tête de transducteur magné- tique à film mince " La présente invention concerne un procédé de fabrication d'une tête de transducteur magnétique à film mince. De façon générale, l'invention concerne un procédé de fabrication d'une tête de transducteur magné- tique à film ';ce par exemple une tête de transducteur magnétique utilisant l'effet de magnétorésistance et dans lequel une p 13 que de protection est collée à une partie d'éléfient de tête magnétique avec interposition d'une couche de protection. On connaît une tête de transducteur magné- tique à effet de magnétorésistance qui reproduit l'infor- mation d'un support d'enregistrement magnétique en utili- sant l'effet; de magnétorésistance Par comparaison avec une tête de transducteur de lecture, magnétique par induc- tion à l'aide d'un électro-aimant, cette tête de transduc- tour lagrnétique à effet de magnétorésistance a l'avantage de pou oir reproduire un signal magnétique d'une piste étroite pour des signaux de faible longueur d'onde et avec une vitesse extrêmement lente Comme tête de transducteur iaagnétique à effet de magnétorésistance, on a déjà proposé une tête dite de type arrière, dans laquelle l'élément à effet de magngtorésistance vient derrière la surface de contact de la bande Dans une telle tête de transducteur magnétique de type arrière, comme il y a un gradin ou une partie en saillie à la surface de la couche de protection, en pratique on prévoit une couche d'isolation appliquée comme revêtement sur l'élément à effet de magnétorésistance ce qui fait perdre de la place et abaisse la fiabilité de la tête de transducteur magnétique L'inconvénient ci- dessus sera expliqué à l'aide d'un exemple représenté aux figures 1 à 3. Comme représenté schématiquement à la figure 1, la tête de transducteur magnétique à effet de magnétorésistance, de type arrière est telle que sur un support de ferrite 1 en ferrite Ni-Zn ou analogue, on dépose successivement un conducteur de polarisation 2, un film à effet de magnétorésistance 3 et un élément de noyau magnétique 4; le dépôt se fait dans cet ordre pour cons- tituer une partie d'élément de tête de transducteur magné- tique avec un circuit magnétique en film mince A la figure 1, la couche d'isolation et les autres éléments n'ont pas été représentés Le film à effet de magnétoré- sistance 3 est en un alliage contenant principalement Ni-Fe, en un alliage contenant principalement Ni-Co ou analogue Ce film est prévu dans une position en retrait par rapport à la surface de contact de la bande la, d'une différence correspondant sensiblement à 10 microns Cet élément présente la forme d'un U et sa largeur est choisie égale approximativement à 5-10 microns L'élément de noyau magnétique 4 est constitué par un film amorphe ou analogue en permalloy, en molybdène- permalloy, en sendust, Co-Zn, Fe-B ou analogue et s'étend à partir de la surface de contact de la bande la jusqu'au côté arrière de façon à passer par-dessus le film à effet de magnétorésistance 3. L'élément de noyau magnétique 4 est coupé dans la partie correspondant au film à effet de magnétorésistance 3 pour que le flux magnétique qui traverse le circuit magnétique formé par l'élément de noyau magnétique 4 et le support en ferrite 1 puisse passer à travers le film à effet de magnétorésistance 3 Du côté de la surface de contact la avec la bande, on a un entrefer magnétique g formé entre le support en ferrite 1 et l'élément de noyau magnétique 4 Dans ces conditions, il est possible de supprimer le conducteur de polarisation 2 en utilisant l'auto-polari- sation. Dans une telle' tête de transducteur magné- tique à effet de magnétorésistance, de type 'rrière", on utilise pour la fabrication la technique des films minces comme cela découle clairement des indications ci-dessus. En effet comme représenté aux figures 2 et 3, on prépare d'abord le support en ferrite 1, puis on y dépose le conducteur de polarisation 2 Lorsqu'on utilise un support en ferrite constituant un bon conducteur, par exemple de la ferrite Mn-Zn ou analogue comme support 1, il est néces- saire de prévoir au préalable une couche d'isolation de revêtement sur le support en ferrite 1 La couche d'isola- tion 5 est déposée sur le conducteur de polarisation 2 et le film à effet de magnétorésistance 3 est déposé sur cette couche d'isolation 5 Une autre couche d'isolation 6 est déposée par-dessus le film à effet de magnétorésis- tance 3 Dans ces conditions, pour réduire la résistance magnétique du circuit magnétique, on réalise une fenêtre de contact 6 a à travers la couche d'isolation 6 Après cela, on dépose l'élément de noyau magnétique 4 par-dessus ainsi qu'une autre couche d'isolation (couche de protec- t Ion) 7 sur l'élément de noyau magnétique 4 Une plaque de protection 8 est collée sur cette couche d'isolation 7, cette plaque étant en verre ou en céramique Ce collage se fait à l'aide d'une colle de type époxy ou d'une colle à verre En fait, on prévoit en position intermédiaire une couche de liaison 9. Dans une telle structure, du fait de la conception du circuit magnétique, on forme sur la surface supérieure de la couche d'isolation 7 la plus à l'exté- rieur, une partie en gradin ou une surépaisseur de l'ordre de quelques microns Ainsi au voisinage de la jupe de cette partie en saillie, au niveau de la surface de contact la avec la bande, cela augmente l'épaisseur de la couche de liaison 9 Il en résulte une perte de place et une dété- rioration de la résolution de lecture ou de reproduction et du défilement stable du support d'enregistrement magné- tique ou de la bande du fait de cette tête de transducteur. En outre dans la partie de la jupe de la partie en saillie ci-dessus, on a des trous dans la couche de collage 9, si bien que celle-ci peut se peler La tête de transducteur magnétique peut ainsi être usée en partie par la bande, ce qui abaisse la fiabilité de la tête de transducteur magnétique En outre, si l'on utilise une colle à base de résine comme couche de liaison 9, du fait de l'épaisseur de la couche de liaison 9, la résine flue et provoque ainsi un encrassage. La présente invention a pour but de créer un procédé de fabrication d'une tête de transducteur magné- tique en film mince évitant l'enlèvement par pélement de la couche de liaison pour améliorer la fiabilité de la tête de transducteur magnétique et permettant d'éviter la perte de place pour arriver à une meilleure résolution et à un défilement plus stable de la bande. L'invention se propose en particulier d'éviter la couche de liaison servant à coller la plaque de protection sur la couche de protection. A cet effet, l'invention concerne un procédé de fabrication d'une tête de transducteur magné- tique en film mince, procédé selon lequel avant de coller la plaque de protection sur la couche d'isolation, on aplatit celle-ci. Selon ce procédé de fabrication, on peut ainsi supprimer la partie en saillie de la couche d'iso- lation pour éviter que la couche de colle ne puisse se peler et pour réduire ainsi l'encombrement. La présente invention sera décrite de façon plus détaillée à l'aide d'un exemple de réalisation représenté schématiquement dans les dessins annexés, dans lesquels: la figure 1 est une vue en perspective a échelle agrandie, schématique d'une tête selon l'art antérieur la figure 2 est une vue en coupe d'une tête de transducteur selon la figure 1. la figure 3 est une vue en plan de la tête selon la figure 1. les figures 4 à 6 sont des vues en coupe d'une tète de transducteur réalisée selon le procédé de l'invention. Pour la description des figures 4 à 6, on utilisera les mêmes références qu'aux figures 1 à 3 pour désigner les éléments analogues ou identiques. Selon le mode de réalisation de l'inven- tion représenté à la figure 4, on prépare le support en ferrite 1 et on y dépose successivement le conducteur de polarisation 2, la couche d'isolation 5, le film à effet de magn-torésistance 3, la couche d'isolation 6, l'élément fie îoyau magnétique 4 et la couche d'isolation 7; le dresst se iait dans cet ordre pour réaliser la partie d'élément de tète de transducteur magnétique à circuit magnetitque en film mince Ce procédé correspond à celui s O décrit i l'aide des figures 2 et 3 Dans ce mode de réali- sation, on aplatit la couche d'isolation 7, la plus l'extérieur comme le montre la ligne en pointillés à la figure >, C et aplatissement de la couche d'isolation 7 peut se faire par rodage ou par un procédé d'attaque par des ions Lorsou'on utilise la corrosion par des ions, on fait un masquage pour exposer la partie en saillie de la couche d'isolation 7, puis on effectue le procédé d'atta- que par les ions. Lorsqu'on effectue le rodage, on risque de rayer ou de casser la partie formant électrode 10 représentée à la figure 5 Pour cela, on applique une cou- che de protection 11 sur la partie d'électrode 10, puis on effectue le rodage Après le rodage, on enlève de nou- veau la couche de protection 11 par un procédé chimique. Dans ces conditions, la couche d'isolation 7 et la partie formant électrode 10 sont protégées contre la corrosion ou les accidents mécaniques. Après avoir aplati comme décrit ci-dessus, la partie en saillie de la couche isolante 7 (figure 6), on colle la plaque de protection 8 sur la couche isolante 7 à l'aide d'une couche de collage 9 Dans ces conditions, comme la surface supérieure de la couche isolante 7 est plate, on peut avoir une couche de collage 9 mince Il en résulte une diminution de la perte d'espacement et on évite que la couche de collage 9 ne puisse se peler. Bien que le mode de réalisation ci-dessus de l'invention ait été décrit dans son application à la fabrication d'une tête de transducteur magnétique à effet de magnétorésistance, et à circuit magnétique en film mince, l'invention peut également s'appliquer de façon générale à la fabrication d'une tête de transducteur magnétique d'enregistrement en film mince. Comme décrit ci-dessus, grâce à l'inven- tion, avant de coller la plaque de protection sur la par- tie supérieure de la partie de l'élément de tête de trans- ducteur magnétique en utilisant la couche d'isolation, on aplatit cette couche d'isolation pour pouvoir réduire l'épaisseur de la couche de collage reliant la plaque de protection à la couche d'isolation Cela permet de dimi- nuer l'espacement et d'arriver à une meilleure résolution ainsi qu'à un défilement plus stable de la bande En outre comme la couche de collage ne peut pas se peler, on évite l'usure partielle de la tête de transducteur magnétique et on améliore la fiabilité de cette tête De plus même si l'on utilise une résine comme colle, cette résine ne peut fluer vers l'extérieur, ce qui évite tout encrassage ou analogue. Comme déjà précisé ci-dessus, il convient de remarquer qu'aux figures 4 à 6, la référence 1 désigne un support en ferrite, la référence 3 un film mince à effet de magnétorésistance, la référence 4 l'élément de noyau magnétique, la référence 7 la couche d'isolation, la référence 8 la plaque de protection et la référence 9 la couche de collage; l'entrefer magnétique porte la réfé- rence g. R E V E N D I C A T I O N S 1 ) Procédé de fabrication d'une tête de trans- ducteur magnétique en film mince caractérisé en ce qu'on forme une partie d'élément de tête de transducteur magnée- tique avec un circuit magnétique sur un support ( 2), on forme une couche de protection ( 7) sur la partie d'élément de tête de transducteur magnétique ( 2, 5, 3, g, 4), on aplatit cette partie de couche de protection ( 7) et on colle une plaque de protection ( 8) sur la couche de pro- tection ( 7). ) Procédé de fabrication d'un élément de tête de transducteur magnétique en film mince selon la reven- dication 1, caractérisé en ce que le circuit magnétique en film mince comporte un élément à effet de magnéto- résistance ( 3). 30) Tête de transducteur magnétique en film mince obtenue par la mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisée en ce qu'elle se compose d'un support avec un conducteur de polarisation ( 2) recouvert d'une couche isolante ( 7) elle-même recouverte d'un élément de film à effet de magnétorésistance ( 3), recouvert d'une couche isolante ( 6) sur laquelle est disposée un élément de noyau magnétique ( 4), l'ensemble étant recouvert d'un film de protection ( 7) aplati au niveau des surépaisseurs et portant une pla- que de protection extérieure ( 8) collée par une couche de colle ( 9).