FR 2520932 A1 19830805 FR 8201652 A 19820202 SUPPORT DE MONTAGE DE BOITIER DE CIRCUIT INTEGRE, A CONNEXIONS DE SORTIES REPARTIES SUR LE PERIMETRE DU BOITIER La présente invention concerne un support pour cartes de circuit électronique, comportant une pluralité de circuits intégrés à haute densité, encapsulés dans des boîtiers à connexions d'accès périmétriques: afin d'évacuer les calories dégagées par les circuits au cours de leur fonction- S nement, chaque boîtier de circuit intégré est en liaison thermique directe avec un drain thermique, solidaire d'un radiateur, ce drain thermique traversant le circuit d'interconnexion entre les circuits intégrés, grâce à une ouverture dans le circuit d'interconnexion à l'aplomb de chaque bottier de circuit intégré. A l'augmentation de la densité d'intégration dans les circuits intégrés et à l'augmentation de la complexité des circuits électroniques qu'elle a permis sont liés plusieurs problèmes de nature différente. En raison de l'augmentation de la densité d'intégration, les circuits intégrés les plus récents, même réalisés dans les technologies les plus performantes, dissipent chacun une quantité d'énergie non négligeable, de l'ordre de 1 à 5 Watts par exemple chacun pour des circuits intégrés logiques Lorsqu'une carte de circuit électronique comporte de l'ordre d'une centaine de boîtiers de circuits intégrés, elle dissipe donc de l'orde de 100 à 500 Watts Il faut donc monter chaque boîtier sur un drain thermique, quel qu'il soit. Mais à l'augmentation de densité d'intégration est liée, très généra- lement, une augmentation du nombre des connexions d'accès, et comme simultanément les boîtiers de type DIL, à deux rangées parallèles de connexions latérales, sont jugés trop importants en surface -jusqu'à 5 cm de longueur de boîtier pour une pastille de circuit intégré de 5 mm environ de c 8 té les circuits intégrés à haute intégration sont actuellement encapsulés dans des boîtiers de type "chip-carrier", dont les connexions de sorties sont réparties sur tout le périmètre Ceci empêche donc de faire reposer le bottier, comme cela se pratique avec les boîtiers DIL à deux rangées de connexions parallèles, sur un barreau métallique qui sert de drain thermique. Par ailleurs, l'augmentation de complexité des circuits électroniques, a amené à regrouper sur une même plaque ou sur un même support un nombre important de composants La flexibilité d'une plaque de dimension suffisante pour supporter, à titre d'exemple, de l'ordre de 20 à 100 circuits intégrés plus des composants discrets, entraîne alors le risque d'arrachage par cisaillement des soudures sur les connexions de sorties, au niveau du réseau d'interconnexion Ce phénomène de cisaillement est en outre favorisé par la différence des coefficients de dilatation entre les bottiers de circuits intégrés et la nature du matériau qui constitue la plaque support Disposer d'un support de grande dimension, rigide, en lui donnant de l'épaisseur n'est pas une solution industrielle Par contre, il est connu de réaliser des plaques supports de grande dimension qui allient la rigidité d'une plaque métallique et un circuit d'interconnexion, collés ensemble: la plaque métallique, en acier ou en aluminium par exemple apporte en plus de sa rigidité une fonction de drain thermique. Ainsi, selon l'art connu, dans le cas de supports de grande dimension comportant un nombre important de circuits intégrés, les microboîtiers sont fixés sur un substrat d'interconnexion qui facilite les liaisons électriques mais qui rompt la liaison thermique, étant isolant électrique et également isolant thermique ou au moins mauvais conducteur thermique Quel que soit le procédé adopté pour évacuer les calories il demeure toujours une impé- dance thermique importante entre la source de chaleur et le moyen de refroidissement, en raison de l'interposition d'un substrat d'interconnexion. Selon l'invention, la source de chaleur, c'est-à-dire le bottier d'en- capsulation de circuit intégré, est en liaison directe avec le drain thermique et le radiateur de dissipation, et l'impédance thermique est réduite à celle d'une mince pellicule de colle ou de soudure entre bottier et drain ther- mique, tandis que le substrat d'interconnexion électrique est adapté à ce montage thermique: le substrat d'interconnexion, monocouche ou multi- couches, comporte une ouverture à l'emplacement du drain thermique de chaque bottier, les dimensions de cette ouverture étant telles que le bottier repose dans sa partie centrale sur le drain thermique et est soudé sur son pourtour, par ses connexions d'accès, sur le réseau d'interconnexion. De façon plus précise, l'invention concerne un support de montage de boîtier de circuit intégré, à connexions de sorties réparties sur le périmètre du boîtier, sur un circuit électronique comportant un substrat d'inter- connexion porteur de bandes métalliques d'interconnexion sur lesquelles le boîtier de circuit intégré est fixé par soudure de ses connexions d'accès, ainsi qu'un élément métallique assurant la double fonction de renfort mécanique du substrat d'interconnexion et de dissipation de la chaleur dégagée par le circuit intégré au cours de son fonctionnement, ce support étant caractérisé en ce que l'élément métallique dissipateur comporte un drain thermique constitué par une surépaisseur de métal, localisée sous le boîtier de circuit intégré et de dimensions latérales inférieures aux dimen- sions latérales du boîtier, ce drain thermique étant en contact direct avec le boîtier, et en ce que le substrat d'interconnexion comporte une ouverture, dont la position et les dimensions latérales correspondent à celles du drain thermique qui, passant à travers le substrat d'interconnexion, établit une liaison à faible impédance thermique entre le boîtier de circuit intégré et l'élément dissipateur. L'invention sera mieux comprise par la description d'exemples de réalisation, cette description s'appuyant sur les figures annexées qui repré- sentent: figure 1: montage d'un boîtier de circuit intégré à connexion périmétrique sur une carte, selon l'art connu; figure 2: synthèse d'exemples de dispositifs de refroidissement d'un boîtier de circuit intégré, selon l'art connu; figure 3: l'invention selon un premier exemple d'application; figure 4: l'invention selon un second exemple d'application-; figure 5: schéma montrant l'adaptation du circuit d'interconnexion sur le radiateur thermique comportant les drains therrni'iues; figure 6: vue éclatée d'un élément de support selon l'invention permettant de voir le montage d'un circuit intégré sur le substrat d'intercon- nexion et sur le drain thermique. La figure 1 représente le montage selon l'art connu d'un circuit intégré encapsulé dans un boîtier à connexions périmétriques sur un support de carte de circuit électronique. Le bottier de circuit intégré 1 est fixé sur un substrat d'intercon- nexion 2 qui est très généralement constitué soit d'une plaque de céramique, si les dimensions le permettent, soit d'un complexe de type tissu de verrelépoxy ou polyimide, ou plus généralement polymère armé Ce S substrat 2 supporte le réseau d'interconnexion 3 constitué par des bandes métalliques, généralement en cuivre Le boîtier 1 est soudé sur les bandes métalliques du réseau d'interconnexions 3 par l'intermédiaire de ses con- nexions d'accès 4. Entre le boîtier 1 et le substrat d'interconnexion 2 existe un certain espace qui est rempli par un joint thermique, par exemple une colle chargée pour être conductrice de la chaleur. L'ensemble est supporté si nécessaire par un élément métallique ou par un radiateur 6. Il est important de préciser que dans ce domaine des circuits intégrés à haute densité d'intégration la tendance actuelle est de les monter dans des bottiers à connexions périmétriques dont les connexions extérieures sont repliées sous le bottier de façon à présenter une certaine élasticité En effet, entre l'élément radiateur 6 métallique, le substrat d'interconnexion 2 en matière minérale céramique ou en matière organique, et le corps du bottier 1 soit céramique soit encapsulation plastique de type silicone, les coefficients de dilatation sont très nettement différents, de l'ordre de 1 à 3. Par conséquent, au cours du fonctionnement du dispositif, ou puisqu'il a été précisé qu'il s'agit de cartes comportant un grand nombre de circuits intégrés, la dilatation de l'élément thermique 6, celle du substrat d'intercon- nexion 2, et celle du corps du microboîtier 1 sont différentes et avec la technique des connexions de sorties qui sornt sérigraphiées sur un corps de bottier 1 en céramique par exemple, il n'y a aucune souplesse dans les connexions de sortie et les différences de dilatation aboutissent à un arrachement ou plus précisément à un cisaillement de la soudure des connexions de sorties sur le réseau d'interconnexion C'est pourquoi la présente invention concerne essentiellement les microbottiers à connexions périmétriques dont les connexions d'accès sont repliées sous le corps du microbottier de façon à présenter une certaine souplesse qui amortit les différences de dilatation. Dans ce montage selon l'art connu, entre la source de chaleur qui est le corps du microbottier 1 et le drain thermique 6 se présente une impédance thermique élevée constituée d'abord par la goutte de colle, ou de soudure si le corps du microboîtier comporte une partie métallisée, et ensuite par le substrat d'interconnexion qui, étant un isolant électrique, est également sinon un isolant du moins un mauvais conducteur thermique. La figure 2 représente une synthèse de quelques procédés connus pour éliminer la chaleur dégagée par la pastille de circuit intégré dans un microboitier. Comme sur la figure précédente, cette figure 2 représente un élément de circuit complexe comportant un microboîtier de circuit intégré I fixé sur un substrat d'interconnexion 2 par l'intermédiaire de soudures prises sur les bandes d'interconnexion 3 par les connexions de sorties 4 Il est connu de fixer sur la partie supérieure du microboîtier un radiateur tel que le radiateur à ailettes 7 représenté ici et de forcer de l'air pour évacuer les calories dégagées par le dessus du boîtier. Du côté du support, c'est-à-dire de la face inférieure du microboîtier, il est également connu de mettre à profit la présence d'une plaque métallique 6 qui sert à renforcer le substrat d'interconnexion 2 et de lui adjoindre un système tel qu'une tôle ondulée 8 et une seconde plaque de fermeture 9, et de forcer une circulation d'air à l'intérieur de ce système. Enfin, sur la partie droite de cette figure est représenté un troisième système connu qui consiste à adjoindre un boîtier 10 sous le substrat d'interconnexion et d'y faire circuler de l'eau ou un fluide. D'autres systèmes sont également connus, mais tous les systèmes connus jusqu'à présent maintiennent toujours une impédance thermique relativement élevée entre la source de chaleur qui est le microboîtier 1 et l'élément radiateur: cette impédance thermique étant constituée par la goutte de colle ou de soudure sous le boîtier et par le support isolant qui constitue le substrat d'interconnexion 2. De plus, selon certaines normes, et pour certains matériels tels que les matériels militaires ou spatiaux, il n'est pas permis de faire circuler un fluide tel que de l'air ou de l'eau pour refroidir: ceci est inconcevable dans un matériel tel qu'un satellite par exemple. La figure 3 représente une première forme de réalisation du support de circuit électronique selon l'invention Cette figure représente une coupe, au niveau du milieu de deux boîtiers, et les dimensions verticales ont été dilatées de façon à plus facilement faire apparaître la structure de ce support. Selon l'invention, un microboîtier 1 de circuit intégré repose direc- tement sur un drain thermique 11 constitué par une pièce métallique sur laquelle il West fixé, cette pièce métallique ayant une forme extérieure de dimensions telles qu'elle peut passer sous le microboîtier sans toucher et sans court-circuiter les connexions externes 4 du microboîtier L'épaisseur de ce drain métallique 11 est telle qu'elle permet d'assurer un contact méca- nique, c'est-à-dire également un contact thermique, avec la face postérieure du microboîtier 1 lorsque celui-ci est fixé par l'intermédiaire de ses con- nexions extérieures 4 sur le substrat d'interconnexion 2: celui-ci comporte des ouvertures, c'est-à-dire des perforations qui correspondent, au jeu de montage près, aux dimensions extérieures des drains thermiques 11, ou encore aux dimensions intérieures du système de connexions externes du microboîtier 1 Chaque drain thermique a donc une épaisseur de l'ordre de celle du substrat d'interconnexion: ceci remplace avantageusement l'impé- dance thermique qui était constituée selon l'art connu par une épaisseur de colle ou de soudure 5 et une épaisseur de substrat isolant 2 En outre, chaque drain thermique Il est solidaire et thermiquement réuni à un système d'absorption ou d'évacuation des calories représenté sur la figure 3 par une plaque métallique 12. L'usinage des drains thermiques 11 peut être réalisé de plusieurs façons: par usinage direct dans une plaque métallique plus épaisse, par usinage chimique après masquage de la partie supérieure de chaque drain thermique 11 afin d'éviter son attaque chimique, ou encore par repoussage de rmétal; dans ce cas la face inférieure de la plaque 12 n'est plus plane mais cela ne présente pas d'inconvénient. La fixation d'un microboîtier 1 de circuit intégré sur son drain thermique 11 peut se faire de plusieurs façons S'il s'agit d'un microboîtier moulé en matière plastique, une mince pellicule de colle assure un contact thermique, nettement supérieur à la goutte de colle selon l'art antérieur, car cette goutte de colle a une épaisseur correspondant à la longueur des pattes de fixation 4, tandis que, selon l'invention, la pellicule de colle peut être limitée à quelques microns d'épaisseur S'il s'agit d'un microboîtier céra- mique, sa face postérieure peut être métallisée, ou d'un microboîtier plastique à drain métallique, le microboîtier est fixé par soudure, par exemple par le procédé de refusion en phase vapeur sur le drain ther- mique 11. Le circuit complet d'interconnexions, c'est-à-dire la pièce comportant un substrat isolant 2 et le réseau de bandes métalliques conductrices 3, peut ê O tre réalisé séparément Dans un premier temps, il est perforé par poinçon- nage, aux endroits correspondants aux drains thermiques Il des différents circuits intégrés du circuit électronique, puis dans un deuxième temps, il est rapporté sur le radiateur, ou support de circuit 12, et est fixé de façon souple La souplesse des liaisons entre les connexions externes 4 des circuits intégrés et le réseau d'interconnexions est une chose importante puisqu'il a été dit que dans ce cas de circuit électronique complexe, les différences de dilatation entre les bottiers, le réseau d'interconnexions, le substrat arrivent à cisailler les soudures entre les connexions 4 et les bandes conductrices 3. On peut donc concevoir, si le nombre de circuits intégrés fixé sur des drains thermiques 11 est suffisant, que le réseau d'interconnexions soit très légè- rement fixé sur la plaque d'embase 12, et que ce soit en fait les circuits intégrés et leurs connexions externes 4 qui maintiennent en place le réseau d'interconnexions. La figure 4 représente une autre forme de réalisation du support de circuit électronique selon l'invention La partie circuits intégrés et circuits d'interconnexions est identique à celle qui est représentée en figure 3 Mais chaque drain thermique 11 n'est plus usiné dans une plaque 12, mais rapporté sur un support qui sert de radiateur 13 Ceci peut, dans certains cas, faciliter des réalisations relatives à des circuits électroniques dissipant beaucoup Ainsi, au lieu de partir d'un support métallique constitué par une plaque dans laquelle il faut usiner des drains, on part d'un circuit d'intercon- nexions et de drains qui se présentent sous forme de pastilles et on rapporte le tout sur des éléments adaptés à la puissance à dissiper, ces éléments pouvant être des éléments munis d'ailettes comme il est représenté sur la figure 4 ou des éléments comportant, si les normes de fabrication le permettent, une circulation de fluide comme cela a été représenté en figure 2. L'important dans ce cas est d'assurer un bon contact thermique entre le drain 11 et le support métallique 13, ce contact étant assuré de la façon la plus courante par soudure ou brasure des drains thermiques 11 sur la plaque support 13. La figure 5 représente une vue en plan des deux pièces principales constitutives d'un circuit électronique complexe, c'est-à-dire le substrat d'interconnexion 2 et le radiateur thermique 12. Sur la figure 5, chacune de ces deux pièces est représentée séparément et un nombre de circuits intégrés limité à six a été choisi, bien que dans la réalité une telle plaque-support comporte, comme il a été dit, de l'ordre de à 100 circuits intégrés. Sur la partie supérieure de la figure 5 apparaît la plaque métallique qui sert de radiateur 12 et sur cette plaque sont usinés ou rapportés des drains thermiques 11 Sur la partie inférieure de la figure 5, apparaît le substrat d'interconnexion 2 dans lequel sont pratiquées des ouvertures 14, le nombre, lçs dimensions et la position de chaque ouverture 14 correspondant au nombre, aux dimensions et à la position des drains 11, et aux circuits intégrés qui seront fixés sur chaque drain. On voit par conséquent que le réseau d'interconnexions, ou plus exactement le support de polyimide ou de tissu de verre époxy, qui soutient le réseau d'interconnexion apparaît comme étant le négatif du support thermique du circuit: à un drain thermique 11 en relief correspond une ouverture 14. La figure 6 représente une vue partielle d'un circuit complexe selon l'invention, cette vue étant limitée à un seul microboîtier et à son système de jonction thermique avec le radiateur D'une part, est constitué un dispositif d'absorption et d'évacuation des calories constitué par au moins une plaque métallique 12, sur laquelle sont rapportés ou dans laquelle sont usinés des drains thermiques 11, en relief. D'autre part, est usiné un dispositif d'interconnexion 2 comportant un substrat isolant et des bandes métalliques 3, aboutissant à la périphérie de chaque ouverture 14 dans le substrat Le substrat d'interconnexion étant posé et éventuellement fixé par un adhésif souple sur un support méca- nique 12, chaque circuit intégré est alors amené en position et ses con- nexions externes 4 sont soudées sur les bandes 3 du réseau d'interconnexions par refusion en phase vapeur ou par soudure à l'étain. La présente invention a été décrite sur le cas des microboîtiers à connexions périphériques, parce que c'est pour ce type de dispositif de semi- conducteurs qu'il est le plus utile Cependant, d'autres applications, par exemple sur des semi-conducteurs encapsulés dans des boîtiers du type chip- carrier à connexions externes sérigraphiées ou sur des microbo tiers du type DIL, pour lesquels des solutions sont déjà connues, sont envisageables et appartiendraient au domaine de l'invention, qui est précisé par les revendi- cations ci-après. REVENDICATIONS 1 Support de montage de boîtier de circuit intégré, à connexions de sorties réparties sur le périmètre du boîtier, sur un circuit électronique comportant un substrat d'interconnexion ( 2) porteur de bandes métal- liques ( 3) d'interconnexion sur lesquelles le boîtier de circuit intégré ( 1) est fixé par soudure de ses connexions d'accès ( 4), ainsi qu'un élément métal- lique ( 12) assurant la double fonction de renfort mécanique du substrat d'interconnexion ( 2) et de dissipation de la chaleur dégagée par le circuit intégré ( 1) au cours de son fonctionnement, ce support étant caractérisé en ce que l'élément métallique dissipateur ( 12) comporte un drain ther- mique ( 11) constitué par une surépaisseur de métal, localisée sous le boîtier de circuit intégré ( 1) et de dimensions latérales inférieures aux dimensions latérales du boîtier ( 1), ce drain thermique étant en contact direct avec le boîtier, et en ce que le substrat d'interconnexion ( 2) comporte une ouver- ture ( 14), dont la position et les dimensions latérales correspondent à celles du drain thermique ( 11) qui, passant à travers le substrat d'interconnexion, établit une liaison à faible impédance thermique entre le boîtier de circuit intégré ( 1) et l'élément dissipateur ( 12). 2 Support de montage selon la revendication 1, caractérisé en ce que le drain thermique ( 11) est usiné dans l'élément dissipateur ( 12). 3 Support de montage-selon la revendication 1, caractérisé en ce que le drain thermique ( 11) est rapporté sur l'élément dissipateur ( 12) par soudure ou brasage. 4 Support de montage selon la revendication 1, caractérisé en ce que le bottier de circuit intégré ( 1) est directement soudé sur le drain ther- mique ( 11). Support de montage selon la revendication 1, caractérisé en ce que le bottier de circuit intégré ( 1) est directement collé sur le drain ther- mique ( 11) par une fine pellicule de colle conductrice thermique. 6 Support de montage selon la revendication 1, caractérisé en ce que, le substrat d'interconnexion ( 2) étant collé sur l'élément dissipateur ( 12) , ce montage souple absorbe, au niveau des connexions de sorties ( 4) du boî- Il tier ( 1), les différences de dilatation en fonctionnement entre le substrat d'interconnexion ( 2) et l'élément dissipateur ( 12).