FR 2505492 A1 19821112 FR 8109000 A 19810506 La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un multidétecteur de rayons X, et notamment de rayons X qui ont traversé un objet ou un organe après avoir été émis par une source émet- tant en direction de l'objet ou de l'organe, ces rayons X se présentant sous la forme d'un faisceau plan présentant une large ouverture angulaire et une faible épaisseur Cette invention s'applique plus particulièrement à la fabrication de multidétec- teurs destinés à la tomographie ou radiographie d'organes, mais également au contrôle industriel, tel que le contrôle de bagages par exemple. On sait que dans ces applications les mul- tidétecteurs de rayons X permettent de mesurer l'ab- sorption d'un faisceau de rayons X traversant un objet ou un organe, cette absorption étant liée à la densité des tissus de l'organe examiné ou à la den- sité des matériaux constituant l'objet étudié. Si l'on veut établir la carte de densité d'un organe ou d'un objet, il est possible et connu d'envoyer un faisceau plan de rayons X incidents sur cet objet ou cet organe, ce faisceau présentant une large ouverture angulaire et une faible épaisseur et d'observer pour chaque position des faisceaux de rayons X incidents par rapport à l'objet ou l'orga- ne, l'absorption correspondante Une multiplicité de balayages dans des directions croisées, permet de connaître grâce au multidétecteur de rayons X, après un traitement numérique approprié des signaux re- cueillis sur les cellules du détecteur, la valeur de l'absorption des rayons X en un point du plan de coupe considéré, et ainsi de connaître la densité des tissus de l'organe ou la densité des matériaux constituant l'objet. Un premier type de multidétecteurs de rayons X à ionisation utilisé en radiographie et en tomographie est multicellulaire et comporte des cel- lules délimitées par des plaques 'conductrices per- pendiculaires au plan du faisceau de rayons X et portées alternativement à des potentiels positif et négatif Ces cellules sont situées dans une enceinte étanche contenant un gaz ionisant Les avantages de ce type de multidétecteur sont les suivants: il procure une bonne collimation des rayons X lorsque les plaques utilisées dans les cellules de détection sont constituées dans un matériau très absorbant; le temps de collection des charges résultant de l'ionisation du gaz par les rayons X est très faible à cause du faible espacement des plaques conductri- ces et de la bonne séparation entre les cellules de détection Cependant, ce type de multidétecteur pré- sente des inconvénients importants: il est très difficile à fabriquer et par conséquent, co Oteux De plus, si l'on désire diminuer l'épaisseur des pla- ques afin d'augmenter la quantité de rayons X détec- tés, il y a diminution de la collimation du fait de la faible épaisseur des plaques; cette faible épaisseur des plaques provoque en outre une micro- phonie très importante Enfin, les multidétecteurs de ce type, comme indiqué plus haut, présentent une grande complexité de réalisation qui entraîne un coût de fabrication élevé; ils nécessitent un mon- tage en salle dépoussiérée, car toute poussière sur l'une des plaques, peut provoquer un amorçage ou une détérioration du courant de fuite entre deux plaques consécutives Il s'ajoute à ces inconvénients que les nombreuses électrodes utilisées nécessitent des connexions électriques très nombreuses, à l'inté- rieur de la chambre étanche, ce qui pose des problè- mes difficiles de fiabilité des soudures des con- nexions sur les électrodes. On connaît un second type de multidétec- teur qui présente une structure beaucoup plus sim- ple, mais qui n'est pas parfait Cet autre type de multidétecteur comprend une chambre étanche conte- nant un gaz ionisable par des rayons issus de l'or- gane ou de l'objet et, dans cette chambre, une pla- que de collection des électrons résultant de l'ioni- sation du gaz; cette plaque est parallèle au plan du faisceau de rayons incidents et elle est portée à une haute tension positive Une série d'électrodes de collection des ions résultant de l'ionisation du gaz par les rayons X issus de l'objet, est disposée parallèlement et en regard de la plaque précédente; ces électrodes de collection des ions sont portées à un potentiel voisin de O et sont dirigées vers la source qui émet les rayons-X, en direction de l'ob- jet Elles sont situées dans un plan parallèle au plan du faisceau des rayons incidents et fournissent respectivement un courant de mesure fonction de la quantité d'ions obtenus par l'ionisation du gaz en regard de chaque électrode, sous l'effet des rayons issus de l'objet ou de l'organe, dans une direction correspondant à celle des rayons incidents. Ce type de multidétecteur présente cer- tains avantages: il n'y a plus, comme dans le mul- tidétecteur mentionné précédemment, de plaques de séparation; ceci élimine tout phénomène gênant de microphonie Du fait de la suppression de ces pla- ques de séparation, la quantité de rayons X détectés est maximale; la réalisation de ce type de multidé- tecteur est plus simple et il est très peu sensible aux poussières Enfin, il est possible, sans con- nexion à l'intérieur de la chambre étanche, de re- cueillir, à l'intérieur de la chambre les signaux disponibles sur chacune des électrodes portées à un potentiel voisin de 0. Ce type de multidétecteur présente cepen- dant encore une grave difficulté de fabrication car les électrodes sont reliées à des points de mesure extérieurs à l'enceinte, par des connexions qui né- cessitent des soudures sur ces électrodes, à l'inté- rieur de l'enceinte Ces soudures sont très diffici- les à réaliser et le passage de ces connexions à travers l'enceinte pose des problèmes d'étanchéité et d'isolation électrique, très difficiles et très coûteux à résoudre. La présente invention a pour but de remé- dier à cet inconvénient et notamment de fabriquer un multidétecteur de ce second type, de manière simple et peu coûteuse, sans soudure sur les électrodes à l'intérieur de l'enceinte pour relier celles-ci, par des connexions, à des points extérieurs à l'encein- te. L'invention se rapporte à un procédé de fabrication d'un multidétecteur de rayons X apte à détecter notamment les rayons X ayant traversé un objet ou un organe, ces rayons étant fournis par une source émettant un faisceau plan de rayons X de faible épaisseur, ce multidétecteur comprenant une enceinte étanche remplie d'un gaz ionisable, et dans cette enceinte, au moins un ensemble multidétecteur principal comportant une plaque plane conductrice, électriquement isolée de l'enceinte, parallèle au faisceau de rayons X et portée à un premier niveau de potentiel, et une pluralité d'électrodes planes parallèles à la plaque, électriquement isolées de cette plaque, ces électrodes étant isolées entre elles, portées à un deuxième niveau de potentiel et s'étendant dans la direction des rayons fournis par la source, procédé caractérisé en ce qu'il consiste à réaliser les électrodes ainsi que des connexions principales entre ces électrodes et des points de mesure extérieurs à l'enceinte permettant de préle- ver les courants circulant respectivement dans ces électrodes, sur une face principale d'une plaque électriquement isolante, ces connexions principales étant électriquement isolées de l'enceinte et tra- versant celle-ci de manière étanche, à l'opposé de la source de rayons X à détecter. Selon une autre caractéristique du procé- dé, on réalise au moins un autre ensemble multidé- tecteur secondaire, de structure identique à celle de l'ensemble multidétecteur principal, la plaque de ce multidétecteur secondaire étant portée à un troi- sième niveau de potentiel et les électrodes étant portées à un deuxième niveau de potentiel, les élec- trodes de ce multidétecteur secondaire ainsi que des connexions respectives entre ces électrodes et des points secondaires extérieurs à l'enceinte étant réalisées sur une face secondaire de la plaque élec- triquement isolante, opposée à la face principale, ces connexions secondaires étant électriquement isolées de l'enceinte et traversant celle-ci de ma- nière étanche à l'opposé de la source de rayons X, le procédé consistant ensuite à relier respective- ment les connexions principales et secondaires. Selon une autre caractéristique, les électrodes et les connexions sont réalisées sous forme de dépôts conducteurs sur la plaque isolante. De préférence, ces dépôts conducteurs sont des dépôts métallisés gravés. L'invention concerne aussi un procédé de fabrication de multidétecteurs de rayons X apparte- nant à un faisceau plan, caractérisé en ce que l'en- ceinte étanche est constituée par au moins une pla- que électriquement isolante portant les électrodes et les connexions entre ces électrodes et les points de mesure extérieurs, au moins une plaque conductri- ce, et au moins une entretoise électriquement isolée dont l'intérieur creux forme ladite enceinte et sé- parant les deux plaques, isolante et conductrice. Ce procédé de fabrication permet évidem- ment encore de réaliser une structure à multidétec- teur principal et multidétecteur secondaire, les deux enceintes définies par deux plaques et une en- tretoise étant superposées et remplies d'un gaz ionisable; il permet aussi de réaliser une superpo- sition de multidétecteurs, soit à structure simple, soit à structure double (multidétecteur principal et multidétecteur secondaire), permettant d'analyser simultanément plusieurs faisceaux plans parallèles juxtaposés. Enfin, l'invention a pour objet un multi- détecteur de rayons X obtenu selon le procédé décrit plus haut. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront mieux de la description qui va suivre, donnée en référence aux dessins annexés dans lesquels: la figure 1 représente schématiquement un multidétecteur de type connu, qu'il est possible de fabriquer selon le procédé de l'invention, la figure 2 est une vue de face du mul- tidétecteur de la figure 1, la figure 3 représente schématiquement un multidétecteur d'un autre type connu, qu'il est possible de fabriquer selon le procédé de l'inven- tion, la figure 4 est une vue latérale du mul- tidétecteur de la figure 3, la figure 5 est une vue schématique en coupe latérale d'un multidétecteur multicoupe, de fonctionnement comparable à celui du multidétecteur de la figure 3, et qu'il est possible de fabriquer selon le procédé de l'invention, la figure 6 est une vue de dessus sché- matique d'une partie des électrodes du multidétec- teur de la figure 5. La figure 1 représente schématiquement et en perspective, un multidétecteur qu'il est possible de fabriquer selon le procédé de l'invention Ce multidétecteur comprend une plaque 1 portée à un premier niveau de potentiel (haute tension positive +HT) et, en regard, une série d'électrodes 2 portées à un deuxième niveau de potentiel (voisin de 0 volt) Cette plaque et ces électrodes sont situées dans une chambre principale 3 étanche, représentée schématiquement et qui contient au moins un gaz ionisable, tel que le xénon par exemple Ce multidé- tecteur permet de détecter les rayons X qui ont tra- versé un objet ou un organe 0, ces rayons étant fournis par une source S ponctuelle ou linéaire ver- ticale qui émet en-direction de l'objet ou de l'or- gane, un faisceau F plan de rayons X incidents; la référence 50 désigne un diaphragme Ce faisceau pré- sente une large ouverture angulaire et une faible épaisseur La plaque 1 est parallèle au plan du faisceau de rayons incidents, tandis que les élec- trodes planes 2 sont situées dans un plan parallèle au plan du faisceau de rayons incidents, en regard de la plaque 1 La plaque 1 qui est portée à un potentiel positif voisin de quelques kilovolts, est une plaque de collection des électrons, tandis que les électrodes 2 sont des électrodes de collection des ions Ces électrodes sont généralement portées par une plaque isolante (non représentée sur cette figure) et sont isolées électriquement entre elles. La pression du xénon à l'intérieur de la chambre étanche a une valeur qui est fonction de l'énergie du rayonnement X à détecter (de 1 à 40 bars envi- ron); ce gaz peut d'ailleurs être additionné à d'autres gaz destinés à améliorer la détection Les -10 électrodes 2 forment des bandes convergentes en di- rection de la source S. La figure 2 représente schématiquement une vue de face du multidétecteur précédent On a représenté sur cette figure, la plaque 1 portée à un potentiel positif +HT ainsi que les électrodes 2 portées à un potentiel voisin de O volt; ces élec- trodes sont supportées par une plaque électriquement isolante 4 et chacune d'elles est reliée à un ampli- ficateur 5 qui permet de prélever le courant circu- lant dans chacune des électrodes; ces courants sont appliqués à un système de traitement (non représen- té) et de visualisation, qui permet de visualiser le corps ou l'objet 0 traversé par les rayons X émis par la source S Sur cette figure, on a représenté par des lignes pointillées verticales, les lignes de champ Dans la chambre 3 contenant au moins du xénon, on-a représenté par Xe+ les ions positifs de xénon qui se dirigent vers les électrodes 2 et par e les électrons qui se dirigent vers la plaque 1; ces ions et ces électrons résultant de l'ionisation du xénon par les rayons X issus de l'objet ou de l'organe 0 Dans le cas de l'adjonction d'un gaz électronégatif les électrons sont remplacés par les ions négatifs, formés à partir du gaz additionnel. Selon l'invention, le procédé de fabrica- tion de ce multidétecteur consiste à réaliser les électrodes 2 ainsi que des connexions principales entre ces électrodes et des points extérieurs à l'enceinte, permettant de prélever les courants cir- culant respectivement dans ces électrodes, sur une face principale d'une plaque 4 électriquement iso- lante Ces connexions sont représentées de manière plus complète sur les figures 5 et 6 Ces connexions principales sont électriquement isolées de l'en- ceinte et traversent celles-ci de manière étanche, à l'opposé de la source. La figure 3 représente schématiquement et en perspective, un autre multidétecteur obtenu selon le procédé de l'invention Ce multidétecteur com- prend une chambre étanche 6 métallique par exemple contenant au moins un gaz ionisable tel que le xénon par exemple cette chambre se subdivise en deux cham- bres d'ionisation: une chambre d'ionisation prin- cipale 3 et une chambre d'ionisation secondaire 7. La chambre d'ionisation principale 3 contient, comme le multidétecteur de la figure 1, une plaque 1 por- tée à un premier niveau de potentiel (haute tension positive +HT) et une série d'électrodes 2 portées à un deuxième niveau de potentiel (voisin de O volt). La plaque 1 et les électrodes 2 dans la chambre d'ionisation principales 3 forment un ensemble mul- tidétecteur principal Comme précédemment, ces électrodes sont planes et sont portées par une pla- que 4 électriquement isolante; la plaque 1 ainsi que les électrodes 2 sont situées dans un plan pa- rallèle au plan du faisceau de rayons X issus de l'objet O (ce faisceau étant incomplètement repré- senté sur la figure) Les électrodes 2 convergent dans la direction de la source S Chacune des élec- trodes 2 de la-chambre d'ionisation principale 3 est reliée à un amplificateur 5 qui permet de prélever, en vue du traitement, le courant circulant dans cha- cune de ces électrodes La chambre d'ionisation se- condaire 7 est accolée à la chambre principale pour compenser le courant de diffusion provenant des rayons X diffusés par l'organe 0 En effet, comme on le verra plus loin en détail, les électrodes 2 de la chambre d'ionisation principale 3, fournissent res- pectivement un courant I qui est la somme d'une part, d'un courant de mesure IM proportionnel à la quantité d'ions obtenus par l'ionisation du gaz en regard de chaque électrode de la chambre d'ionisa- tion principale sous l'effet des rayons issus de l'objet, dans des directions correspondant à celle des rayons incidents 9, et d'un courant de diffusion ID résultant de l'ionisation du gaz par les rayons 8 diffusés, notamment par l'objet, dans d'autres di- rections que celle des rayons incidents La chambre d'ionisation secondaire 7 contient, comme la chambre d'ionisation principale, une plaque 10 parallèle au plan du faisceau de rayons X incidents, est portée à un troisième niveau de potentiel (haute tension né- gative -HT), ainsi qu'une série d'électrodes 11 pla- nes, parallèles au plan du faisceau de rayons X in- cidents, et situées sur une autre face de la plaque isolante 4 qui porte les électrodes 2 de la chambre d'ionisation principale 3 La plaque 10 et les élec- trodes 11 dans la chambre secondaire 7 forment un ensemble multidétecteur secondaire Les électrodes 11 sont portées, comme les électrodes 2 de la cham- bre d'ionisation principale, à un potentiel voisin de 0 Elles sont respectivement reliées par des con- nexions 12, aux électrodes correspondantes de la chambre d'ionisation principale 3 Les électrodes 11 de la chambre d'ionisation secondaire et les élec- trodes 2 de la chambre d'ionisation principale sont, il de préférence, identiques et situées en regard les unes des autres La chambre d'ionisation secondaire 7 permet, comme on le verra plus loin en détail, de compenser, pour le traitement ultérieur des courants issus des amplificateurs 5, les courants diffusés qui circulent dans chaque électrode de la chambre d'ionisation principale et qui proviennent des rayons X diffusés par l'objet ou l'organe 0 Les électrodes 11 de la chambre d'ionisation secondaire 7 sont des électrodes de collection des électrons e ou des ions négatifs, tandis que la plaque 10 est une plaque de collection des ions Xe+ provenant de l'ionisation du xénon contenu dans la chambre secon- daire 7, par les rayons X diffusés par l'objet ou l'organe 0 De préférence, les électrodes de la chambre d'ionisation secondaire sont situées en re- gard des électrodes de la chambre d'ionisation prin- cipale et les hautes tensions positive et négative ont la même valeur absolue. La figure 4 représente schématiquement une vue latérale du multidétecteur précédent Sur cette vue, on distingue la source S, l'objet ou l'organe 0, l'un des rayons 9 émis par la source S et, en sortie de l'objet 0, le rayon direct 13 issu de l'objet 0, dans la même direction que le rayon incident 9; on distingue aussi sur cette figure l'un des rayons diffusés 8, issu de l'objet 0, dans une direction différente de la direction du rayon incident 9 Sur la figure, on a représenté l'une des électrodes 2 de la chambre d'ionisation principale qui est reliée à un amplificateur 5 et qui est por- tée à un potentiel voisin de 0, et l'une des élec- trodes 11 de la chambre d'ionisation secondaire 7, qui est située en regard de l'électrode 2 et qui est séparée de cette électrode par la plaque isolante 4. On a également représenté la connexion 12 entre les électrodes des chambres d'ionisation principale et secondaire Enfin, on a représenté les plaques 1 et des chambres d'ionisation principale et secondai- re, portées respectivement à des potentiels positif et négatif +HT et -HT Sur cette figure, on n'a pas représenté en détail la chambre étanche 6 qui con- tient le gaz ionisable; les plaques isolantes 15, 14 supportent les plaques conductrices 1, 10 des chambres d'ionisation principale et secondaire. Lorsque le gaz ionisable est du xénon, les rayons X représentés en 13 et qui sont issus de l'objet, dans la direction des rayons incidents 9, parviennent en- tre les électrodes 2 et la plaque 1 de la chambre d'ionisation principale; il se produit alors une ionisation du xénon entre ces électrodes et cette plaque Cette ionisation est représentée schémati- quement sur la figure par des ions Xe+ qui sont at- _ tirés par les électrodes 2, et par des électrons e ou ions négatifs qui sont attirés par la plaque po- sitive 1 Une ionisation se produit ainsi en regard de chacune des électrodes de la chambre d'ionisation principale grâce aux rayons X issus de l'objet, dans la direction des rayons incidents Ces mouvements d'ions produisent respectivement dans chaque élec- trode, un courant I qui est la somme d'un courant IM résultant de l'ionisation du gaz en regard de chacu- ne des électrodes, sous l'effet des rayons X issus de l'objet (rayons représentés en 13 sur la figure), dans une direction correspondant à celle des rayons incidents, et d'un courant ID de diffusion, qui ré- sulte de l'ionisation du gaz, en regard de chacune des électrodes, à partir des rayons diffusés par l'objet, dans des directions qui ne correspondent pas à celles des rayons X incidents La chambre d'ionisation 7 permet de compenser ce courant de diffusion, grâce à l'ionisation que produisent dans cette chambre, les rayons X diffusés 8; cette ioni- sation provoque la circulation, dans les électrodes 11 de la chambre secondaire, d'un courant ID qui vient se retrancher, grâce à la connexion 12, au courant de diffusion parasite pris en compte par les électrodes de la chambre d'ionisation principale. Ainsi, les amplificateurs 5 reliés à chacune des électrodes des chambres d'ionisation principale et secondaire, reçoivent un courant IM qui est effecti- vement le courant de mesure correspondant à l'ioni- sation du gaz, provoquée en regard de chacune des électrodes de la chambre d'ionisation principale, par les rayons 13 issus de l'objet ou de l'organe, dans les directions qui correspondent à celles des rayons incidents 9. Selon l'invention, le procédé de fabrica- tion de ce multidétecteur consiste, comme pour le multidétecteur de la figure 3, à réaliser sur une face principale 16 de la plaque électriquement iso- lante 4, les électrodes 2 ainsi que les connexions principales 15 entre ces électrodes et les points de mesure 19 extérieurs à l'enceinte; ces points de mesure permettent de prélever les courants circulant respectivement dans ces électrodes; les connexions princpales 15 sont électriquement isolées de l'en- ceinte et traversent celles-ci de manière étanche, à l'opposé de la source Le procédé consiste ensuite à réaliser au moins l'autre ensemble multidétecteur secondaire, de structure identique à celle de l'en- semble multidétecteur principal; la plaque 10 de ce multidétecteur secondaire est portée comme on l'a indiqué plus haut, à une haute tension négative et les électrodes 11 sont portées à un potentiel voisin de 0 Les électrodes 11 de ce multidétecteur secon- daire, ainsi que des connexions 17 respectives entre ces électrodes 11 et des points secondaires 20, ex- térieurs à l'enceinte, sont réalisées sur une face secondaire 18 de la plaque électriquement isolante 4; cette face secondaire 18 est opposée à la face principale 4; les connexions secondaires 17 sont électriquement isolées de l'enceinte et traversent * celles-ci de manière étanche, à l'opposé de la sour- ce S; le procédé consiste ensuite à relier respec- tivement le point de mesure 19 et les points secon- daires 20. Les électrodes et les connexions sont réa- lisées sous forme de dépôts conducteurs sur la pla- que isolante; de préférence, ces dépôts conducteurs sont des dépôts métallisés gravés sur la plaque iso- lante Comme on le verra plus loin en détail, les plaques conductrices 1 et 7 sont portées respective- ment à une tension positive +HT et à une haute ten- sion négative -HT, en réalisant une connexion entre chacune de ces plaques et une source de haute ten- sion extérieure à l'enceinte; cette connexion est électriquement isolée de l'enceinte et la traverse de manière étanche. La figure 5 est une vue schématique en coupe latérale, d'un multidétecteur multicoupe, dont le fonctionnement est comparable à celui du multidétecteur de la figure 3; ce multidétecteur est fabriqué selon le procédé de l'invention, en em- pilant une pluralité d'ensembles multidétecteurs principaux et secondaires tels que décrits sur la figure 3. Le multidétecteur de la figure 5 est un empilement de multidétecteurs principaux et secon- daires, tels que décrits sur la figure 3 Cet empi- lement comprend un premier ensemble multidétecteur principal comportant une plaque plane-conductrice 1 destinée à être portée à une haute tension positive +HT, électriquement isolée de l'enceinte, (celle-ci pouvant être constituée par exemple par de la résine époxy) Cette plaque plane conductrice est parallèle au faisceau F' de rayons X issus de l'objet ou de l'organe à analyser (non représenté sur cette figu- re) Ce premier ensemble multidétecteur comprend aussi une pluralité d'électrodes planes 2 parallèles à la plaque 1 et s'étendant dans la direction des rayons X du faisceau F' Ces électrodes sont isolées entre elles comme on le verra plus loin en détail, et sont portées à un potentiel voisin de 0 Ces électrodes ainsi que des connexions principales 15 entre ces électrodes et des points de mesure 19 ex- térieurs à l'enceinte permettant de prélever les courants circulant respectivement dans ces électro- des, sont réalisées sur une face 16 de la plaque 4 électriquement isolante Ces connexions principales sont électriquement isolées de l'enceinte et tra- versent celle-ci de manière étanche, à l'opposé de la source qui émet le faisceau F' de rayons X L'en- ceinte contenant un gaz ionisable, est ici consti- tuée par l'entretoise isolante 21, de résine époxy par exemple, dont l'intérieur creux forme une cham- bre; cette entretoise permet de séparer les élec- trodes 2 etila plaque 1 et la chambre peut contenir du xénon par exemple Les couvercles 33 et 34 sont prévus en alliage d'aluminium, mais les plaques 10 et 31 sont identiques aux plaques 1, 15 et 10, 14 de la figure 4 Les couvercles 33, 34 pourraient éven- tuellement s'appuyer de manière étanche sur la pla- que 1 et sur la plaque isolante 4, pour former avec les électrodes 2, un multidétecteur élémentaire dont la face avant serait munie d'une fenêtre étanche 38. Selon l'invention, on réalise au moins un autre ensemble multidétecteur secondaire, de struc- ture identique à celle de l'ensemble multidétecteur principal qui vient d'être décrit La plaque 10 de ce multidétecteur secondaire est portée à une haute tension négative -HT, tandis qua les électrodes 11 de ce multidétecteur, dont la structure est identi- que à celle des électrodes 2 du multidétecteur prin- cipal, sont portées à un potentiel voisin de O Les électrodes 11 ainsi que les connexions respectives 17 entre ces électrodes et des points secondaires extérieurs à l'enceinte formée par les entretoises 21, 22, sont réalisées sur l'autre -face 18 de la plaque électriquement isolante 4 Les connexions se- condaires 17 sont électriquement isolées de l'en- ceinte, celle-ci étant constituée de résine époxy par exemple; ces connexions traversent l'enceinte formée par les entretoises 21, 22 de manière étan- che, à l'opposé de la source émettant le faisceau F' de rayons X Le procédé consiste ensuite à relier les connexions principales 15 et secondaires 17 aux points de mesure 19, pour chacune des électrodes, par un connecteur 40, représenté schématiquement sur la figure Si on ferme les entretoises creuses 21, 22 par des couvercles 33, 34 s'appuyant de manière étanche sur les plaques 1 et 10, on obtient un mul- tidétecteur de structure comparable à celui de la figure 3; ce multidétecteur permettant de compen- ser, grâce à l'ensemble secondaire, comme on l'a mentionné plus haut, le courant de diffusion présent- dans le courant prélevé sur chacune des électrodes. On peut également afin de réaliser un multidétecteur multicoupes, fabriquer un autre empilement compara- ble à l'empilement qui vient d'être décrit Cet autre empilement comprend un multidétecteur princi- pal formé par la plaque 1 portée à la haute tension positive et des électrodes 23 de collections des ions, portées à un potentiel voisin de 0, reliées à des points de mesure 24, par des connexions princi- pales 25; les électrodes 23 et les connexions prin- cipales 25 sont réalisées, comme précédemment, sur une face 26 d'une plaque électriquement isolante 27. Les électrodes 23 et la plaque 1 sont séparées par une entretoise isolante creuse 28 De la même maniè- re que pour l'empilement précédent, un multidétec- teur secondaire est formé de l'autre côté de la pla- que isolante 27 Ce multidétecteur secondaire com- prend des électrodes 29 portées à un potentiel voi- sin de 0 Ces électrodes sont isolées entre elles et dirigées dans la direction des rayons du faisceau F' Elles sont reliées respectivement par des con- nexions secondaires 30, à des points extérieurs Cet ensemble multidétecteur secondaire comprend aussi une plaque 31 portée à une haute tension négative -HT et séparée des électrodes 29 par une entretoise isolante 32; les différentes entretoises, électro- des et plaques de cet empilement sont rendues soli- daires par des couvercles 33, 34 et munis de moyens de fixation 35; les couvercles, les entretoises, les plaques et connexions, ainsi que les plaques supportant les électrodes, sont rendus solidaires de manière que l'ensemble forme un volume creux 36 étanche, contenant du xénon par exemple Les diffé- rentes chambres formées dans ce volume creux peuvent être mises en communication par des ouvertures tel- les que 37 réalisées dans les plaques supportant les électrodes et -dans la plaque 1 portée à la haute tension positive +HT Les électrodes 29 et la plaque 31 de la chambre secondaire du second empilement, forment une chambre de compensation des courants de diffusion qui viennent perturber les courants mesu- rés sur les électrodes 23 de la chambre principale de ce second empilement A cet effet, le connecteur 41 permet de relier respectivement aux points de me- sure 24 des électrodes 23 et 29 de ce second empile- ment Afin d'assurer la solidité et l'étanchéité du dispositif qui contient du xénon par exemple, à une pression supérieure à 10 atmosphères, une fenêtre étanche 38, maintenue par une bride 39, est disposée sur la face avant du multidétecteur. Il est bien évident que le détecteur re- présenté sur cette figure comprend deux empilements qui permettent de réaliser deux coupes parallèles d'un organe ou d'un objet à analyser; ce multidé- tecteur pourrait comporter un seul empilement ou plus de deux empilements Il est bien évident aussi que chaque multidétecteur pourrait ne pas comporter la chambre de compensation des courants de diffu- sion; l'invention porte en effet sur la réalisation des électrodes et de leurs connexions avec des points extérieurs, ces électrodes et ces connexions étant réalisées sous forme de dépôts conducteurs sur une plaque isolante Ces dép 8 ts sont métallisés et gravés sur la plaque isolante. L'invention porte aussi, et surtout, sur la fabrication d'un multidétecteur par empilement de telles plaques isolantes équipées de dépôts conduc- teurs et d'entretoises isolantes, cet empilement réalisant l'enceinte isolante remplie de gaz détec- teur. La figure 6 est une vue de dessus du dé- tecteur de la figure 5, selon une coupe effectuée au niveau de la plaque 4 par exemple On distingue sur cette figure, les électrodes 2 dirigées dans la di- rection des rayons du faisceau F' de rayons X et les connexions principales 15 entre ces électrodes et des points de mesure 19 extérieurs au multidétec- teur On distingue mieux également que les électro- des 2 et les connexions 15 sont réalisées sous forme de dépôts conducteurs sur la plaque isolante 4 Il est bien évident que les électrodes 11, 23 et 29 sont réalisées de la même manière. Les plaques et électrodes des chambres d'ionisation principale et secondaire de chaque em- pilement sont réalisées, de préférence, sous forme d'un dépôt de cuivre sur un support isolant. A titre indicatif, le nombre des cellules de chaque chambre peut être supérieur à 500, pour un angle d'ouverture du faisceau de rayons X supérieur à 400; dans ce cas, le pas entre chacune des élec- trodes de chaque chambre est de 1 mm environ De préférence, la plaque isolante qui supporte les électrodes des chambres principale et secondaire est située à mi-distance entre les plaques qui sont res- pectivement portées au potentiel positif et négatif. La distance entre ces plaques est d'environ 14 mm et le temps de collection des ions est voisin de 10 ms. REVENDICATIONS 1 Procédé de fabrication d'un multidé- tecteur de rayons X apte à détecter un faisceau (F) plan de rayons X de faible épaisseur, ce multidétec- teur comprenant une enceinte étanche remplie d'un gaz ionisable et, dans cette enceinte, au moins un ensemble multidétecteur principal comportant une plaque plane conductrice ( 1), électriquement isolée de l'enceinte, parallèle au faisceau de rayons X et portée à un premier niveau de potentiel (+HT), et une pluralité d'électrodes planes ( 2) parallèles à la plaque ( 1), isolées de cette plaque, ces électro- des ( 2) étant isolées entre elles, portées à un deuxième niveau de potentiel et s'étendant dans la direction des rayons fournis par la source, procédé caractérisé en ce qu'il consiste à réaliser les électrodes ( 2) ainsi que des connexions principales ( 15) entre ces électrodes et des points de mesure ( 19) extérieurs à l'enceinte permettant de prélever les courants circulant respectivement dans ces élec- trodes, sur une face principale ( 16) d'une plaque électriquement isolante ( 4), ces connexions princi- pales étant électriquement isolées de l'enceinte et traversant celle-ci de manière étanche, à l'opposé de la source qui émet les rayons X. 2 Procédé selon la revendication 1, ca- ractérisé en ce qu'il consiste à réaliser au moins un autre ensemble multidétecteur secondaire, de structure identique à celle de l'ensemble multidé- tecteur principal, la plaque ( 10) de ce multidétec- teur secondaire étant portée à un troisième niveau de potentiel (-HT) et les électrodes ( 11) étant por- tées à un deuxième niveau de potentiel, les électro- des ( 11) de ce multidétecteur secondaire ainsi que des connexions ( 17) respectives entre ces électrodes ( 11) et des points secondaires extérieurs à l'en- ceinte étant réalisées sur une face secondaire ( 18) de la plaque électriquement isolante ( 4), opposée à la face principale ( 16), ces connexions secondaires étant électriquement isolées de l'enceinte ( 21, 22, 34, 35, 38) et traversant celle-ci de manière étan- che à l'opposé de la source de rayonx X, le procédé consistant ensuite à relier respectivement les con- nexions principales et secondaires. 3 Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 1 et 2, caractérisé en ce que les élec- trodes et les connexions sont réalisées sous forme de dépôts conducteurs sur la plaque isolante. 4 Procédé selon la revendication 3, ca- ractérisé en ce que les dépôts conducteurs sont des dépôts métallisés gravés sur la plaque isolante. Procédé selon la revendication 4, ca- ractérisé en ce qu'il consiste à porter chaque pla- que conductrice à la haute tension en réalisant une connexion entre cette plaque et une source de haute tension extérieure à l'enceinte, cette connexion étant électriquement isolée de l'enceinte et la tra- versant de manière étanche. 6 Procédé selon la revendication 5, ca- ractérisé en ce qu'il consiste à empiler une plura- lité d'ensemble multidétecteurs principaux et se- condaires. 7 Procédé de fabrication d'un multidé- tecteur de rayons X selon l'une au moins des reven- dications 1 à 6, caractérisé en ce que l'enceinte étanche est constituée par au moins une plaque élec- triquement isolante ( 4) portant les électrodes ( 2) et les connexions ( 15) entre ces électrodes et les points de mesure extérieurs, au moins une plaque conductrice ( 10), et au moins une entretoise iso- lante ( 22), électriquement isolée des électrodes et de la plaque conductrice et séparant les deux pla- ques isolante et conductrice, dont l'intérieur creux forme ladite enceinte. 8 Multidétecteur de rayons X obtenu par le procédé selon l'une au moins des revendications 1 à 7.