FR 2508498 A1 19821231 FR 8210971 A 19820623 La présente invention concerne, d'une manière générale, le placage de pièces planes approximative- ment pla L Cs dans un appareil de placage en continu et l se rapporte plus particulièrement au placage à grande v 2 itesse de plaquettes de circuit imprimé suspendues à un monorail au moyen duquel les plaquet- tes sont transportées dans leur propre plan à travers plusieurs étages de traitement séparés dans la machine dont l'un comporte une cuve de placage électrolytique (ou électroplacage) dans laquelle les plaquettes sont déplacées vers le bas au-dessous de la surface de l'électrolyte pour être plaquées à des densités de courant relativement élevées et à une vitesse relativement grande grâce à l'emploi d'une cuve de placage électrolytique perfectionnée présentant des caractéristiques qui n'existaient pas dans les installations de la technique antérieure. L'un des buts de la présente invention est de réaliser un appareil de placage électrolytique dans lequel la plaquette de circuit est montée dans un châssis ou cadre support suspendu à un monorail capa- ble d'immerger le support dans l'électrolyte et de déplacer le support le long d'un trajet défini entre des grilles d'électrode en vis à vis de telle sorte que le métal d'anode qui doit être plaqué peut être maintenu à une première tension par rapport à la pièce formant cathode qui est plaquée et qu'ainsi les grilles d'électrode insolubles peuvent être maintenues à un potentiel électrique différent pour améliorer les caractéristiques de placage de la cellule électrolytique. Un autre but de la présente invention est de réaliser un appareil de placage électrolytique per- fectionné dans lequel l'électrolyte est continuellement entraîné en circulation par une tubulure de refoulement de façon à être pulvérisé par des buses immergées à des pressions et à des débits relativement élevés contre la surface de la plaquette de circuit à plaquer afin de parvenir à un degré voulu d'agitation de l'électrolyte lorsque la plaquette de circuit ou pièce se déplace continuellement d'une extrémité à l'autre de la cuve de placage électrolytique. Encore un autre but de la présente invention est de réaliser un appareil de placage électrolytique comportant une combinaison des caractéristiques ci- dessus. Pour atteindre un ou plusieurs des buts ci- dessus, la présente invention prévoit l'emploi, dans un appareil de placage électrolytique d'un monorail aérien approprié pour transporter des supports dans lesquels des pièces planes approximativement plates individuelles sont suspendues de manière à pouvoir être transportées suivant un trajet qui peut permettre la réalisation de plusieurs étapes de traitement séparées dans la chaîne de fabrication des plaquettes de circuit, trajet qui comporte une partie linéaire horizontale définie dans un réceptacle conçu pour contenir une solution électrolytique, solution dans laquelle 'Les supports et les pièces se déplacent entre des grilles d'électrode insolubles en vis à vis Une tubulure de refoulement est disposée au fond de la cuve de placage électrolytique et des colonnes porte- buses s'étendant verticalement sont agencées de façon à pulvériser de l'électrolyte à partir d'emplacements situés immédiatement derrière les grilles d'électrode ci-dessus mentionnées de façon qu'il frappe continuel- lement les surfaces des plaquettes de circuit pendant que les plaquettes se déplacent vers l'aval dans la cuve Le métal à plaquer est contenu dans des récep- tacles situés derrière les colonnes porte-buses de la tubulure de refoulement et les supports contenant les pièces et les paniers ou sacs d'anode sont couplés à une source primaire de courant électrique, telle qu'un redresseur Les supports de pièce et les deux grilles d'anode insolubles sont connectés à une source de courant secondaire ou auxiliaire de façon à per- mettre de modifier la puissance de sortie des deux redresseurs indépendamment l'un de l'autre afin d'ob- tenir des densités de courant optimales le long du trajet de déplacement de ces pièces Une tubulure d'évacuation est également prévue le long des bo ils latéraux marginaux du réceptacle ou cuve contenant l'électrolyte, cette tubulure étant disposée derrière les paniers d'anode contenant le métal à plaquer de façon à retourner l'électrolyte à une pompe située à l'extérieur de la cuve en vue de sa redistribution à la tubulure de refoulement et aux colonnes porte- buses ci-dessus décrites Chaque grille d'électrode est, de préférence, située entre environ 2,5 et 7,6 cm de la surface de la pièce ou plaquette de circuit proprement dite et les buses qui servent à pulvériser l'électrolyte à travers la grille sur la pièce sont, de préférence, situées à moins de 2,5 cm environ, de la grille d'électrode insoluble respective et elles servent à pulvériser l'électrolyte à travers la grille ouverte sur chacun des deux côtés de la pièce pendant qu'elle passe dans la cuve de placage électrolytique. Les pièces sont portées dans des supports individuels, comme précédemment mentionné, et chaque support est porté de manière librement oscillante par un trolley qui se déplace le long du monorail afin de transporter la plaquette de circuit, d'une station à une autre dans l'ensemble de l'appareil de placage électrolytique. Chaque support est descendu dans la cuve de placage électrolytique et immergé dans la solution électro- lytique pendant qu'il est ainsi suspendu de manière librement oscillante et des barres omnibus parallèles associées à la partie du monorail située immédiatement au-dessus de la cuve de placage électrolytique sont en prise avec des frotteurs disposés sur le trolley de façon à fournir deux sources distinctes de connexion électrique entre les deux redresseurs et la pièce pen- dant que le support se déplace dans la cuve de placage électrolytique. D'autres caractéristiques de l'invention appa- raitront à la lecture de la description qui va suivre et à l'examen des dessins annexés dans lesquels: La Figure 1 est une vue en plan de l'extrémité amont d'une cuve de placage électrolytique, la moitié ou partie aval étant pratiquement identique et cons- tituant l'image spéculaire de la partie représentée La Figure 2 est un schéma électrique indiquant les connexions électriques des deux redresseurs qui sont utilisés pour mettre sous tension les grilles d'électrode et les paniersd'anode contenant le métal à plaquer par rapport aux barres omnibus qui mettent sous tension les supports de pièce; La Figure 3 est une vue en coupe verticle prise approximativement suivant la ligne 3-3 de la Figure 1 pour montrer les divers éléments disposés à l'intérieur de la cuve de placage aectrolytique de la Figure 1; La Figure 4 est une vue en coupe verticale prise approximativement suivant la ligne 4-4 de la Figure 1; La Figure 5 est une vue en coupe verticale plus détaillée de la tubulure de refoulement repré- sentée sur la Figure 4, cette vue montrant également une partie du support et de la pièce en train d'être plaquée; La Figure 6 est une vue en coupe horizontale prise approximativement suivant la ligne 6-6 de la Figure 5; La Figure 7 est une vue en coupe prise approximativement suivant la ligne 7-7 de la Figure 6; La Figure 8 est une vue en élévation latérale d'une grille d'anode qui constitue l'un des huit élé- ments de ce type que contient la cuve de placage élec- trolytique; La Figure 9 est une vue en coupe verticale prise approximativement suivant la ligne 9-9 de la Figure 3 -mais dessinée à plus grande échelle; La Figure 10 est une vue en plan du trolley représenté sur la Figure 9, les barres omnibus et le monorail proprement dit étant représentés avec arra- chement partiel pour montrer les détails du trolley et de ses frotteurs électriques; La Figure 11 est une vue en élévation latérale du trolley représenté sur les Figures 9 et 10; La Figure 12 est une vue en coupe verticale prise approximativement suivant la ligne 12-12 de la Figure 10; La Figure 13 est une vue en élévation latérale d'un support approprie pour porter une unique pièce constituée par une série de plaquettes de circuit im- primé assemblées en une unique plaquette unitaire for- mant la pièce; et La Figure 14 est une vue en bout du support de la Figure 13. La fabrication de plaquettes de circuit imprimé nécessite au moins une et quelquefois plusieurs étapes de placage, chacune ayant ses propres problnes à résoudre De telles plaquettes comprennent un substrat ou corps en matière isolante, telle qu'une résine époxyde ou autre matière plastique Une ou plusieurs minces feuilles de cuivre ou couches de cuivrage sont appliquées à au moins certaines parties des surfaces du substrat et des perforations ou trous sont poinçonnés à des emplacements prédéterminés dictés par les configurations de circuit voulues Ces trous servent à établir des connexions électriques avec des composants ajoutés ultérieurement ou simplement à connecter entre elles les couches de cuivre L'appareil que l'on décrira ci-après a pour l'un de ses buts principaux de rendre possible le placage de cuivre dans de tels trous jus- qu'à une épaisseur au moins approximativement égale à celle du cuivre plaqué sur les parties de surfaces prédéterminées des couches de cuivre exposées de la plaquette de cuivre. A titre de documentation, il apparaît utile de donner une brève description de la technique de fabrication des plaquettes de circuit Des Configura- tions de circuit prédéterminées d'un modèle particulier peuvent être créées sur une plaquette du type décrit ci-dessus en exécutant successivement une série d'étapes ou processus élémentaires qui consistent à revêtir d'une résine photosensible la couche de cuivre exposée, habituellement après que le cuivre ait été traité de manière appropriée pour éliminer toute oxydation ou analogue; à placer un masque sur la couche de laque photosensible pour exposer les régions de la couche de cuivre destinées à être enlevées et à protéger, de ce fait, les régions qui formeront finalement la configura- tion de circuit particulière; à soumettre les parties non masquées à une source lumineuse, habituellement dans la gamme de l'ultraviolet, pour provoquer le durcissement de ces régions; à développer la couche de laque photosensible pour fixer les parties durcies et éliminer les régions non exposées à la lumière; à électroplaquer du cuivre sur les minces couches de cuivre de la plaquette qui ont été débarras- sées de la laque photosensible du fait de l'élimination de la plaque photosensible non exposée pendant le développement; à effectuer un placage de soudure sur les régions qui ont été cuivrées pour améliorer leurs capacités d'être électriquement connectées aux com- posants ajoutés ultérieurement à la plaquette; à décoller la laque photosensible durcie et développée; à éliminer par décapage le cuivre audessous de la laque photosensible décollée pour former la configuration du circuit voulue ayant l'épaisseur requise de cuivre dans les régions prévues à cette fin et ayant une couche de soudure plaquée sur ces régions. L'appareil que l'on décrira ci-après se rapporte au procédé ou à l'étape de procédé élémentaire de placage de cuivre, les plaquettes individuelles pouvant être constituées par des parties d'une plaquette de plus grandes dimensions, ou pièce, telle que celle désignée par la référence W sur la Figure 13 Plusieurs plaquettes de circuit B, B qui peuvent ou non être identiques les unes aux autres sont formées sur une unique pièce et celle-ci est généralement amenée dans la cuve de placage électrolytique à l'état "cru", c'est-à-dire recouverte de laque photosensible développée et également convenablement traitée pour le placage électrolytique, par exemple par un rinçage et ou un traitement dans un bain acide La présente invention se rapporte spécifiquement à l'électroplacage de cuivre dans une telle installation de traitement de plaquettes de circuit et la moitié d'une telle cuve a été désignée par la référence 12 sur les Figures 1 et 3 Dans les vues en plan et en élévation latérale respectivement de la Figure 1 et de la Figure 3 seule l'extrémité amont d'une telle cuve a été représentée mais la partie d'extrémité aval est pratiquement l'image spéculaire de la moitié amont représentée. Comme représenté sur la Figure 3 à laquelle on se référera, le monorail aérien 10 est agencé pour transporter des pièces, telles que celles désignées par la référence W sur la Figure 13, pièce dont chacune est maintenue dans un cadre ou châssis ouvert 14 de forme générale rectangulaire suspendu par un bras de suspension 14 a à un trolley 16 que l'on décrira ulté- rieurement Chacun de ces supports 14 de pièce se déplace d'une station de pulvérisation d'acide amont tion représentée) jusqu'à un tronçon incliné i Qa d'un monorail qui abaisse le support 14 le long d'un trajet désigné par la référence générale 18 sur la Figure 3 de façon à immerger le support 14 et la pièce W dans la solution-électrolytique E afin de transporter la pièce suivant un trajet défini dans la cuve 12 et plus particulièrement défini le long de l'axe longitudinal de cette dernière. Une tubulure de refoulement 20 est centralement disposée dans la cuve 12 au voisinage du fond de la cuve comme plus particulièrement représenté sur la Figure 1 Chaque support 14 ou plus précisément son bras de suspension 14 a est monté librement oscillant dans un trolley 16 d'une manière que l'on décrira de sorte que les supports 14 et les piè et 24 b s'étendant longitudinalement Les bornes posi- tives du redresseur primaire P sont électriquement connectées à des barres omnibus 26, 26 s'étendant longitudinalement qui ont été également représentées schématiquement sur la Figure 2 et qui forment égale- ment les supports physiques pour les paniers d'anode 22, 22, comme plus particulièrement représenté sur les Figures 1 et 4. Plus particulièrement, chacune de ces barres omnibus 26 s'étendant longitudinalement est portée sur un montant vertical 28 plus particulièrement repré- sente sur la Figure 4, montant qui est, à son tour, porté dans la cuve 12 par un pied 28 a de montant 28 ayant une partie supérieure qui peut être reliée au côté de la cuve, par exemple, par une traverse 30, comme représenté sur la Figure 4 Les récipients 22 à pastilles d'anode sont euxmêmes construits en une matière inerte capable de conduire l'électricité mais qui n'entrave pas l'action électrolytique à l'intérieur de la cellule Ces paniers sont portés par les barres omnibus 26 au moyen de crochets métalliques 32 plus particulièrement représentés sur la Figure 4 et sont ainsi connectés directement aux barres omnibus 26 et assurent ainsi une connexion électrique entre le re- dresseur P et les pastilles d'anode contenues dans les paniers 22. Conformément à la présente invention, des électrodes insolubles sont disposées dans la cuve 12 et ces électrodes sont plus particulièrement position- nées dans une disposition étroitement rapprochée du trajet suivi par les pièces et leurs supports pendant qu'ils traversent la cuve de la manière précédemment décrite Chaque électrode comprend, de préférence, une série de grilles interconnectées, chaque grille comportant un cadre rectangulaire revêtu de plastisol, comme représenté en détail sur la Figure 8, chacun de ces cadres comportant une série de tiges espacées 40, s'étendant verticalement Ces tiges sont, de pré- férence, revêtues d'une matière à base de plomb ou analogue afin d'être conductrices dans la cellule et de favoriser l'action électrolytique au voisinage du trajet des pièces et plus particulièrement de per- mettre l'atteinte d'une forte densité de courant dans la cuve qui est l'un des résultats de l'appareil de placage électrolytique à grande vitesse perfectionné décrit ici. Surla Figure 2 à laquelle on se référera à nouveau, les grilles d'électrode insolubles ont été représentées d'une manière générale, par des lignes 34, 34 s'étendant longitudinalement qui sont connectées à une borne du redresseur auxiliaire par l'intermé- diaire de lignes 34 a, 34 a L'autre borne du redresseur auxiliaire représenté sur la Figure 2 est électrique- ment connectée à l'une des barres omnibus 24 a qui coopère avec le trolley du monorail et avec la structure support 14 portant la pièce W On notera que l'autre barre omnibus 24 b connecte le redresseur P au support 14 et à la pièce W comme précédemment décrit Ainsi, chaque barre omnibus 24 a et 24 b coo- pérant avec le trolley 16 est agencée de façon à être mise sous tension par l'un des redresseurs AUX et P, chaque connexion étant indépendante de l'autre dans le schéma de la Figure 2 Bien que les deux bornes négatives de ces redresseurs puissent être à un potentiel commun, on obtient une régulation indé- pendante de la tension appliquée à leurs circuits électrolytiques respectifs à l'intérieur de la cellule grâce à l'emploi de deux redresseurs réglables indé- pendamment et grâce au fait que leurs bornes positives peuvent avoir des tensions différentes Ceci permet un degré de commande qui n'était pas disponible jus- qu'ici dans les cuves de placage électrolytique et la présence d'électrodes adjacentes au trajet de dépla- cement des pièces permet une régulation très précise du champ électrique dans la solution de façon à rendre optimales les densités b courant le long du trajet de déplacement des pièces qui se déplacent d'une manière ininterrompue et à permettre le placage d'une épaisseur prédéterminée en un minimum de temps. Pour améliorer encore davantage les caracté- ristiques de placage électrolytique de l'appareil, des moyens sont prévus pour agiter la solution dans la région du trajet des pièces et, de préférence, ces moyens servent a pulvé iser de la solution électro- lytique directement sur les surfaces des pièces, comme représenté plus particulièrement sur la Figure 6. La tubulure de refoulement 20 s'étendant longitudinalement est représentée sur cette figure comme comportant des colonnes 36, 36 porte- buses s'étendant verticalement, chacune de ces colonnes étant directement raccordée à la tubulure de refoulement 20, comme plus particulièrement représenté sur la Figure 5, par des embouts 38, 38 Des moyens de pompage (non représentes) fournissent de la solution électrolytique sous pression à l'extrémité d'entrée a de la tubulure de refoulement à un débit d'environ 4550 litres à la minute La tubulure 20 est munie de 72 colonnes ou tuyaux 36, 36 porte-buses et qui comportent chacun 54 ouvertures de buse disposées comme représentées sur la Figure 6 de façon qu'une rangée centrale d'ouvertures pulvérise la solution perpendiculairement à la surface à plaquer et que les ouvertures de buse situées de part et d'autre soient orientées à environ 450 du jet pulvérisé perpendicu- lairement et à un angle oblique par rapport à la surface des pièces d'une manière telle que les ou- vertures de buse obliques de colonnes adjacentes 36, 36 émettent des jets qui frappent la même région de la pièce W pour provoquer une réaction turbulente dans cette région de telle sorte que le dépôt des ions métalliques est favorisé, améliorant ainsi le rendement global du procédé de placage électrolytique Des den- sités de courant atteignant 1600 A/m 2 peuvent être obtenues dans cette configuration et on notera que la solution électrolytique sortant des ouvertures de buse, comme représenté sur la Figure 6, passe entre les tiges 40, 40 s'étendant verticalement des parties de grilles d'anode insolubles précédemment mentionnées. Le cadre rectangulaire ouvert portant les tiges d'anode insolubles 40, 40 a été désigné par la référence générale 42 sur la Figure 6 et on voit, en particulier, que-les côtés s'étendant horizontalement du cadre rectangulaire supportent les extrémités des tiges 40, 40 et qu'ils sont, à leur tour, supportés par des branches de cadre 44, 44 s'étendant vertica- lement plus particulièrement représentées sur la Figure 7 A chaque partie 44 s'étendant verticalement du cadre rectangulaire servant à porter ainsi les tiges d'électrode 40, 40 est soudée une patte support 46 revêtue de plastisol ayant une extrémité inférieure encochée 46 a de telle sorte qu'un organe 48 en matière plastique s'étendant horizontalement peut porter le cadre d'électrode insoluble dans l'emplacement prévu pour le recevoir, comme plus particulièrement repré- senté sur les Figures 1 et 3 Lyorgane 48 peut être en une matière plastique inerte quelconque, telle que du chlorure de polyvinyle (CPV), matière qui peut être 2508498 ' facilement soudées aux embouts 38 en CPV, comme représenté sur la Figure 6, de manière ainsi à porter le cadre 42, 44 relativement lourd. La partie supérieure du cadre d'électrode insoluble est portée par des prolongements trans- versaux 50, 50 s'étendant horizontalement de barres omnibus, plus prticulirement re Dprésentés sur la Figure 1, qui sont assembles à leur extrémité inté- rieure aux Parties supérieures des montants verti- i O caux 44, 44 des cadres, ces prolongements 50, 50 e-ant également connectés à des barres omnibus 52, 52 prévues à cette fin au niveau des bords marginaux supérieurs de la cuve -2 Les barres omnibus 52, 52 s'étendant longitudinaiement sont portées au même potentiel électrique que les grilles d'anode inso- lubies elles-mêmes, du fait qu'elles sont connectées directement aux bornes positives du redresseur auxiliaire, comre plus particulièrerment représenté sur la Figure 2. Des moyens sont prévus pour alimenter en solution électrolytique l'extrémité d'entrée 20 a de la tubulure de refoulement 20 et, de préférence, ces moyens comprennent non seulement les moyens de pompage précêdemrn V mentionnés tais également une tubulure de retour formée par des conduites de retour 54, 54 s'étendant longitudinalement disposées adjacentes aux angles infé rieurs s'étendant longitudinalement de la cuve rectangulaire 12 Ces conduites ont des extrémités de sortie 54 a qui ccmmuniquent avec les moyens de pompage (non représentés) de façon à former une source continue d'électrolyte pour la tubulure de refoulement Chaque conduite de retour 54 comporte des tuyaux 56, 56 s'étendant verticalement qui communiquent à leur extrémité inférieure avec la tubulure de retour 54 et qui comportent des ouvertures appropriées pour recevoir la solution électrolytique dans la région située immédiatement derrière les récipients anodiques 22 de façon à empêcher qu'il existe des concentrations ioniques riches en cuivre localisées au voisinage du métal d'anode proprement (dit, en extrayant une telle solution contenant de fortes czoncentrations ioniques riches en cuivre et en retournant cette solution à la pompe et en la fournissant à La tubulure de refoule- ment 20 Ainsi, la solution riche en ions cuivre est utilement, pulvérisée par les buses précédenunent décri- tes sur la surface des pièces à plaquer. On doit noter, cependant, qu'un espace suffisant est laissé entre ces tubes d'évacuation 56 s'étendant verticalement et la barre omnibus 26 s'étendant horizontalement de façon à permettre un enlèvement et un remplacement facile des paniers 22, 22 contenant les anodes Des moyens sont de préférence prévus pour refroidir la solution électrolytique con- tenue dans la cuve après des périodes d'utilisation prolongées de l'appareil décrit et, de préférence, ces moyens sont constitués par un échangeur de chaleur (non représenté) disposé dans la partie inférieure de la région située entre les tubes d'évacuation 56 et les paniers 22 d'anodes Ces échangeurs de chaleur permettent la circulation d'une eau du robinet froide à travers eux afin d'évacuer la chaleur en excès de la solution électrolyte proprement dite En outre, et conformément à la pratique habituelle, des dispositifs de chauffage peuvent être disposés, aux extrémités amont et aval de la cuve 12, dans la région désignée par la référence générale 5 & sur la Figure 1 pour. chauffer électriquement la solution contenue dans la cuve 12 pendant l'opération de mise en marche initiale de façon à porter la température de la solution à une valeur comprise entre 21 et 43,50 C (intervalle de température qui est, d'une manière générale, la région de fonctionnement souhaitable pour les bains de sulfate de cuivre). On décrira maintenant de manière plus détaillée le trolley 16 qui sert à porter de manière librement oscillante le cadre rectangulaire 14 de forme générale ouverte dans laquelle la pièce W est montée La Figure 9 représente le canal fixe du monorail 10, canal qui est agencé de façon à être porté par un bâti supérieur (non représenté), monorail qui est agencé de façon à déterminer le trajet suivi par les supports et les pièces pendant qu'ils se déplacent d'une station de traitement qu'ils traversent jusqu'à une autre station de traitement dans un appareil typique qui comporte l'appareil de placage électrolytique décrit ici Le long du tronçon particulier du monorail qui définit le trajet suivi par les pièces pendant qu'elles se déplacent dans la cuve 12 de placage électrolytique, il est prévu, de préférence, deux barres omnibus 24 a et 24 b s'étendant longitudinalement, chacune de ces barres omnibus étant directement portée par le monorail au moyen de pattes supports 60, 60 La Figure 3 représente une unique patte support 60 mais il est évident que d'autres pattes supports seront nécessaires pour porter les barres omnibus 24 a, 24 b s'étendant longitudinalement, comme représenté Etant donné que ces barres omnibus 24 a et 24 b ne sont nécessaires que pour la partie de la cuve 12 dans laquelle on peut effectuer un placage, c'est-à- dire sur la partie de trajet linéaire située directement au-dessus de la cuve 12, comme représenté sur la Figure 3, une embou- chure 24 c en forme d'entonnoir est, de préférence, disposée à l'extrémité amont de chaque barre omnibus 24 a et 24 b pour guider les frotteurs du trolley 16 entre les faces intérieures de ces barres omnibus à sec- tion transversale en forme de U, comme représenté sur la Figure 9. Comme plus particulièrement représenté sur la Figure 12, le monorail 10 est du type à chaîne à rouleaux comportant une série de rouleaux 62, 62 reliés entre eux par des maillons 64 (dont un seul a été représenté) de telle sorte que la chaîne peut être entraînée à partir d'un emplacement approprié quelconque de façon à déplacer les rouleaux et les maillons de la chaîne d'une manière continue afin de faire avancer les sup- ports de pièce au moyen de trolleys que l'on décrira ci-après Des biellettes 66, 66 s'étendant vers le bas sont portées à leur extrémité supérieure sur les axes de rouleaux 62, 62 adjacents, comme représenté sur la Figure 12, et une biellette transversale 68 est articulée à ces biellettes dirigées vers le bas. Le support 14 ou plus précisément son bras de sus- pension 14 a est monté pivotant sur la biellette trans- versale 68 au moyen d'un unique boulon 70 de telle sorte que le bras 14 a du support a toujours une orientation approximativement verticale ce qui main- tient ainsi la plaquette de circuit dans une orienta- tion prédéterminée et dans un plan vertical pendant son déplacement dans la cuve 12 Ce résultat est obtenu grâce à l'accouplement entre le trolley et les deux rouleaux adjacents de la chaîne à rouleaux utilisée à cette fin dans le monorail 10. Sur le bord avant du trolley 16 est disposée une patte support 72 en forme de U montée directement sur la biellette transversale 68, dont les branches 72 a et 72 b s'étendant vers le haut sont munies de blocs de montage 74 a et 74 b, blocs dans chacun desquels est montée une tige 76 orientée verticalement, les tiges 76 portant à pivotement des bras de leviers 78, comme plus particulièrement représenté sur la Figure 10 Ces bras de leviers 78 sont rappelés par des ressorts qui les sollicitent vers l'extérieur en éloignement du mono- rail, de tels ressorts ayant été désignés par les réfé- rences générales 80, 80 sur les Figures 10 et 11 De tels ressorts sont utilisés pour chaque bras de levier 78 et ils servent à repousser les frotteurs 82 de prise de courant électrique disposés aux extrémités exté- rieures des bras 78 en appui contre les barres omnibus fixes 24 a et 24 b Chacun de ces frotteurs comporte, en outre, un ressort interne 84 afin d'accrdtre la force d'appui entre le frotteur et la partie évidée des barres omnibus fixes précédemment mentionnée Des conducteurs 86, 86 de raccordement électrique servent à établir une connexion électrique entre chacun des frotteurs 82, 82 et la partie de bras de suspension 14 a du support 14 afin de coupler électriquement continuellement le support et la pièce qu'il porte aux deux redresseurs AUX et P, comme décrit ci- dessus en se référan' à la Figure 2. Chaque support 14 comporte un cadre rectan- gulaire de f'rme générale ouverte, conmi e plus parti- culi rement représenté sur la Figure 13 et une série de pinces métalliques 5 15 re 1,vê tues de plastisol sont montées sur l'inttrieur du cadre afin de porter de manière élastique la plaquette W de circuits imprimés et d'établir une connexion électrique avec le bord marginal de la plaquette à un grand nombre d'emplace- ments a utous: de sa périphérie dans le but de maintenir le potentiel électrique voulu de la pîice W et de rendre optimales les conditions dans la cellule électrolytique constituée par la cuve remplie d'électrolyte A l'extrémité inférieure du bord avant du-cadre 14, un petit galet 90 est monté sur l'extrémité inférieure d'une jambe 92 en matière plastique, jambe qui est fixée au cadre par des boulons en matière plastique désignés par la référence générale 94 Ce _ galet sert à assurer que le support i 4 prend une posi- tion correcte lorsqu'il est abaissé dans la cuve du fait que le galet 90 vient en appui contre la surface supérieure de la tubulure de refoulement 20 dans le cas o le support est légèrement incliné du fait de sa pénétration dans la solution E et du fait que la force vive dirigée vers l'avant du support et de la pièce est arrêtée brièvement par le contact avec le liquide E lorsqu'ils entrent dans la cuve 12 Une fois que le rouleau 90 est en appui contre la surface supérieure de la tubuluae de refoulement 20, le support 14 doit prendre une position horizontale pour franchir la partie du trajet définie par l'intérieur de la cuve et entre les anodes insolubles et les oolonnes de la tubulure de refoulement précedemment décrites. Comme plus particulièrement représenté sur la Figure 5, le support 14 peut comporter un guide en matière plastique de forme générale en U désigné par la référence générale 96, en particulier le long de la barre inférieure 14 b du cadre 14 afin que le cadre soit guidé entre les parties inférieures des grilles de plastisol C'est l'une des caractér Astiques de la présente invention que ces anodes insolubles et, plus particulièrement, leurs parties -nférieures constituent un guide approprié pour le support 14 pendant que ce dernier se déplace suivant le trajet défini pour lui dans la cuve de pl oage électrolytique elle-même Cette partie de guide en matière plastique en forme de U a été également représentée sur la Figure 14 et il appa- raîtra clairement que le galet suiveur 90 et le guide 96 en matièLe plastique servent a positionner avec précision le cadre 14 entre les tiges d'anode 40, 40, comme suggéré par la Figure 5 Comme mentionné précé- demment, cet agencement assure que la solution qui jaillit des buses inclinées des colonnes 36 des deux côtés de la pièce W produit l'écoulement de solution suggéré par la Figure 6 La solution pulvérisée par les ouvertures de buse des colonnes 36, 36 a, de préfé- rence, une vitesse d'environ 600 m/mn et une pression d'environ 0,2 à 0, 35 bars Chaque ouverture de buse a un diamètre d'environ 1,5 mm. Ces colonnes porte-buses sont montées dans une disposition décalée de part et d'autre de la pièce W et cette disposition relative assure l'obtention de résultats de placage améliorés dans les trous de tra- versée de la pièce du fait que les jets pulvérisés de solution perpendiculaires jaillissant de toutes les buses perpendiculaires frappent la pièce sur les lignes de direction des jets de solution inclinés qui jail- lissent des buses situées de part et d'autre des jets perpendiculaires. REVENDICATIONS 1. Appareil pour électroplaquer des pièces planes (W) approximativement plates qui peuvent com- porter de petites ouvertures sur l'une de leurs surfaces ou sur les deux, cet appareil étant caractérisé en ce qu'il comporte: a) des supports ( 14) portant chaque pièce dans un plan approximativement vertical; b) des moyens de transport ( 16) pour déplacer chaque support suivant un trajet, une partie de ce trajet étant dans le plan de la pièce ainsi portée par son sup- port; c) des moyens formant un réceptacle ( 12) conçu pour contenir une solution électrolytique, solu- tion dans laquelle les supports se déplacent le long de ladite partie du trajet d) une tubulure de refoulement ( 20) disposée au fond du réceptacle; e) des moyens pour alimenter la tubulure en électrolyte sous pression; f) une série de colonnes porte-buses ( 36, 36) disposées en au moins deux rangées s'étendant longitudi- nalement, les colonnes faisant saillie vers le haut à partir de la tubulure et les buses étant dirigées vers la partie du trajet des pièces dans le réceptacle de façon à pulvériser la solution sur les deux surfaces des pièces pendant qu'elles se déplacent entre les colonnes; g) une source d'énergie électrique; h) des moyens ( 24 a, 24 b) pour connecter les supports à une borne de la source d'énergie électrique; i) des moyens ( 22) pour porter le métal à plaquer dans le réceptacle, ces moyens support de métal étant connectés (par des barres conductrices ( 30) ) à l'autre borne ( 26) de la source d'énergie électrique; et j) les moyens servant à alimenter la tubu- lure de refoulement en électrolyte comportant des moy ens de poripage et une tubulure de retour ( 54) dans le réceptacle pour recycler la solution et fournir la pression et le débit voulus de la solution au niveau des buses des colonnes. 2. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens servant à porter le métal à plaquer comprennent deux rangées de récipients s'étendant longitudinalement conçus pour contenir le métal à plaquer sous la forme de pastilles, ces rangées de récipients étant orients respectivement derrière les rangées de colonnes de telle sorte que les ions de métal produits au niveau de ces récipients migrent entre les colonnes pour atteindre les pièces portées par les supports. 3. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de transport des supports comprennent un monorail ( 10) et des trolleys ( 16) pour porter chaque support suspendu au monorail, le monorail définissant ladite partie de trajet entre les colonnes porte-buses en portant les supports de manière librement oscillante au-dessous des trolleys. 4. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que chaque support comporte un cadre ( 14) orienté dans le même plan que celui de la pièce et muni de moyens ( 15) pour porter la pièce plane en étant engagés sur les bords marginaux de la pièce. 5. Appareil selon la revendication 3, caractérisé en ce que chaque trolley comporte au moins un frotteur ( 82) de prise de courant électrique qui fait saillie latéralement vers l'extérieur à partir des moyens portant le support librement oscillant et en ce que les moyens servant à connecter les supports à une borne de la source d'énergie électrique comprennent au moins une barre omnibus ( 24 a) portée (au moyen d'organes ( 60)) par la partie de monorail, le frotteur de prise de courant électrique venant en appui contre la barre omnibus pendant le déplacement du trolley le long de la partie de monorail. 6. Appareil selon la revendication 3, caracté- risé en ce que le monorail a des parties (i Ca) inclinées vers le bas et vers le haut respectivement à l'extrémité amont et à l'extrémité aval d'une partie de trajet rectiligne pour déplacer les supports entre les colonnes, les parties inclinées servant à déplacer les supports vers le bas jusque dans le réceptacle et vers le haut hors du réceptable tandis qu'ils sont portés de manière oscillante par les trolleys. 7 Appareil selon la revendication 6, caractérisé en ce que la tubulure de refoulement comporte un conduit ( 20) disposé suivant l'axe longi- tudinal du réceptacle, les colonnes comprenant des tuyaux s'étendant verticalement vers le haut dont les extrémités inférieures communiquent directement avec le conduit de manière à délimiter un espace (Figure 5) entre les tuyaux pour recevoir les supports, des rails ( 42) de guidage des supports étant montés sur les tuyaux pour recevoir au moins le bord inférieur des supports entre eux de manière à guider les supports pendant leur déplacement le long de la partie du trajet entre les colonnes ou tuyaux porte-buses. 8. Appareil selon la revendication 7, caractérisé en ce que chacun des supports comporte un galet de guidage ( 90) monté sur le bord avant de sa partie inférieure (Figure 13) de manière à venir en appui contre la surface supérieure du conduit de la tubulure de refoulement pour empêcher tout mouvement d'oscillation latéral du support pendant son déplacement entre les colonnes ou tuyaux. 9. Appareil selon la revendication 7, caractérisé en ce que les buses sont constituées par des ouvertures latérales formées dans les tuyaux, les ouvertures étant agencées dans des configurations linéaires verticalement espacées dans chaque tuyau (Figure 6). 10. Appareil selon la revendication 9, caractérisé en ce que les ouvertures de buse formées dans chaque surface sont agencées en plusieurs confi- gurations verticalement espacées, une ligne d'ouvertures étant orientée de manière à diriger la solution électro- lytique perpendiculairement à la surface des pièces dans ledit plan vertical et les autres lignes d'ouver- tures étant orientées de manière à diriger la solution à des angles aigus par rapport à la surface des pièces (Figure 6). 11. Appareil selon la revendication 7, caractérisé en ce que les tuyaux porte-buses sont espacés horizontalement dans les rangées et en ce que les tuyaux disposés d'un côté du trajet sont placés approximativement entre ceux disposé du côté opposé du trajet des supports qui se déplacent entre eux (Figure 6). 12. Appareil selon la revendication 11, caractérisé en ce que les buses sont constituées par des ouvertures latérales formées dans les tuyaux, ces ouvertures étant agencées dans des configurations linéa res verticalement espacées dans chaque tuyau (Figure 6). 13 Appareil selon la revendication 12, caractérisé en ce que les ouvertures de buse formées dans chaque tuyau sont disposées en plusieurs configu- rations verticalement espacées, une ligne d'ouvertures étant orientée de manière à diriger la solution électro- lytique perpendiculairement à la surface des pièces dans ledit plan vertical et d'autres lignes d'ouvertures 24 ' étant orientées de manière à charger, diriger la solution à des angles aigus par rapport à la surfaces des pièces (Figure 6). 14. Appareil selon la revendication 12, caractérisé en ce que chacun des supports comporte un galet de guidage ( 90) monté sur le bord avant de sa partie inférieure (Figure 13) de manière à venir en appui contre la surface supérieure du conduit de la tubulure de refoulement pour empêcher tout mouvement d'oscillation perpendiculaire du support pendant son déplacement entre les colonnes ou tuyaux. 15. Appareil selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il comporte, en outre, des moyens ( 50, 52) pour connecter électriquement les rails de guidage à une source d'énergie électrique (AUX) pour accroître l'action de la cellule électrolytique dans la solution. 16. Appareil de placage électrolytique comportant des moyens de transports ( 16) pour déplacer des pièces ( 10) à plaquer le long d'un trajet dont une partie traverse une solution électrolytique, caractérisé en ce qu'il comporte: a) une source primaire d'énergie électri- que (P), b) des moyens ( 24 a, 24 b) connectant chaque pièce (W) à une borne de la source d'énergie électrique primaire, c) des moyens ( 22) pour porter du métal à plaquer de façon que le métal soit immergé dans la solution; d) des moyens ( 30) connectant le métal à plaquer à l'autre borne ( 26) de la source d'énergie élec- trique primaire; e) une source d'énergie électrique auxiliai- re (AUX); f) des moyens ( 34 a, 34 b) connectant les pièces à une borne de la source d'énergie électrique auxiliaire; g) des électrodes insolubles (Figure 8) disposées de part et d'autre de la partie du trajet si- tuée dans la solution; et h) des moyens ( 50, 52) connectant les élec- trodes à l'autre borne de la source d'énergie électrique auxiliaire. 17 Appareil selon ld revendication 16, caractérisé en ce que les pièces à plaquer ont une configuration approximativement plane et sont agencées de manière à se déplacer dans leur propre plan à travers la solution électrolytique et en ce que les électrodes insolubles comprennent une série de grilles approxima- tivement rectangulaires (Figure 8) positionnées dans une disposition relative bout à bout (Figure 1) en deux rangées parallèles de part et d'autre de ladite partie du trajet. 18 Appareil selon l'une des revendications 16 et 17, caractérisé en ce que les électrodes insolubles (Figure 8) sont maintenues à un potentiel électronique par rapport aux pièces contenues dans la solution, potentiel qui est différent du potentiel électrique du métal à plaquer par rapport aux pièces contenues dans la solution (Figure 2). 19. Appareil selon la revendication 18 en combinaison avec la revendication 7, caractérisé en ce que chaque grille approximativement recta Dgulaire (Figure 8) comprend un cadre ouvert ( 42, 44) approxima- tivement rectangulaire en métal conducteur recouvert d'un revêtement en matière plastique insoluble et des tiges parallèles ( 40, 40) montées à leurs extrémités opposées dans le cadre, ces tiges étant également fabriquées en un métal conducteur et ces tiges étant également recouvertes d'un revêtement en métal inerte qui ne réagit pas avec la solution électrolytique. 20. Appareil selon la revendication 19, caractérisé en ce que les tiges d'électrodes insolubles ( 40) sont disposées adjacentes au trajet des pièces planes à une distance de ce trajet comprise entre envi- ron 2,5 et î,2 cm. 21. Appareil pour électroplaquer des pièces planes (W) approximativement plates qui peuvent compor- ter de petites ouvertures sur l'une de leurs surfaces ou sur les deux, cet appareil étant caractérisé en ce qu'il comporte: a) des supports ( 14) portant chaque pièce dans un plan approximativement vertical; b) des moyens de transport ( 16) pour dépla- cer chaque support suivant un trajet, une partie de ce trajet étant dans le plan de la pièce ainsi portée par son support; c) des moyens formant réceptacle ( 12) conçus pour contenir une solution électrolytique, solu- tion dans laquelle les supports se déplacent le long de ladite partie du trajet; d) une tubulure de refoulement ( 20) disposée au fond du réceptacle; e) des moyens pour alimenter la tubulure en électrolyte sous pression; f) une série de colonnes porte-buses ( 36, 36) disposées en au moins deux rangées s'étendant longi- tudinalement, les colonnes faisant saillie vers le haut à partir de la tubulure et les buses étant dirigées vers la partie du trajet des pièces dans le réceptacle; g) une source d'énergie électrique pri- maire (P); h) des moyens ( 24 a, 24 b) pour connecter les supports à une borne de cette source d'énergie électrique primaire; i) des moyens ( 22) pour porter le métal à plaquer dans le réceptacle, ces moyens étant connectés (par des barres conductrices ( 30)) à l'autre borne ( 26) de la source d'énergie électrique primaire pour créer une cellule électrolytique dans la solution; j) des électrodes insolubles (Figure 8) adjacentes à la partie du trajet située entre les colon- nes porte-buses; et k) une source d'énergie électrique auxiliai- re (AUX) dont les bornes sont connectées respectivement aux électrodes insolubles et aux supports pour favoriser l'action de la cellule électrolytique. 22. Appareil selon la revendication 21, caractérisé en ce que les électrodes insolubles (Figure 8) comprennent des grilles parallèles ( 42, 44) disposées de part et d'autre du trajet, entre les colonnes porte- buses. 23. Appareil selon l'une des revendications 21 et 22, caractérisé en ce que les moyens de transport des supports comprennent un monorail ( 10) et des trol- leys ( 16) pour porter chaque support suspendu au mono- rail, le monorail définissant ladite partie de trajet entre les colonnes porte-buses en portant les supports (à l'aide de pivots ( 70)) de manière librement oscillante au-dessous des trolleys. 24. Appareil selon l'une des revendications 21 et 22, caractérisé en ce que chaque support comporte un cadre ( 42, 44) orienté dans le même plan que celui de la pièce et muni de moyens ( 15) pour porter la pièce plane en étant engagés sur les bords marginaux de la pièce. 25 Appareil selon l'une des revendications 21 et 22, caractérisé en ce que les moyens servant à alimenter la tubulure de refoulement en électrolyte comprennent des moyens de pompage et une tubulure de retour ( 54) disposée dans le réceptacle pour recycler la solution électrolytique et fournir le débit et la pression voulus de la solution au niveau des buses des colonnes. 26. Appareil selon la revendication 23, caractérisé en ce que chaque trolley comporte au moins un frotteur ( 82) de prise de courant électrique qui fait saillie latéralement vers l'extérieur à partir des moyens portant le support librement oscillants et en ce que les moyens qui servent à connecter les supports à une borne de la source primaire d'énergie électrique comprennent au moins une barre omnibus ( 24 a) portée au moyen d'organe ( 60) par la partie de monorail, le frotteur de prise de courant électrique venant en appui contre la barre omnibus pendant le déplacement du trol- ley le long de la partie de monorail. 27. Appareil selon la revendication 26, caractérisé en ce que chaque trolley comporte un second frotteur ( 82) de prise de courant électrique qui fait saillie approximativement en direction opposée du premier frotteur de prise de courant du trolley, les moyens servant à connecter les supports à l'alimentation en énergie électrique auxiliaire comprenant une seconde barre omnibus ( 24 b) également portée par la partie de monorail, cette seconde barre omnibus étant disposée du côté du monorail opposé à celui o est disposée la première barre omnibus, le second frotteur de prise de courant venant en appui contre la seconde barre omnibus pendant le déplacement du trolley le long de la partie de monorail.