FR 2510292 A1 19830128 FR 8119491 A 19811016 Dispositif servant à explorer point par point un objet" L'invention concerne un dispositif servant à explorer point par point un objet, muni d'une source de rayonnement fournissant un faisceau d'exploration, d'un système d'objectif assurant la focalisation du faisceau d'exploration en une tache de rayonnement sur l'objet et d'un système de détection sensible à rayonne- ment conçu pour convertir le faisceau d'exploration provenant de l'objet en un signal électrique pour un circuit de traitement électronique qui rend le signal approprié à la reproduction, système de détection qui comporte au moins deux détecteurs sensibles à rayonnement qui sont disposés l'un après l'autre dans la direction d'exploration. Ce dispositif peut être un microscope optique ou un microscope acoustique aussi bien qu'un microscope électronique ou un microscope à rayons X De ce fait, ledit faisceau d'exploration peut être un faisceau de rayonnement électromagnétique, un faisceau d'ondes acoustiques aussi bien qu'un faisceau corpusculaire. Le terme système d'objectif doit être interprété large- ment comme un système susceptible de rétrécir un faisceau de l'un desdits genres de-rayonnement à unetrès petite tache de l'ordre de grandeur de la longueur d'onde du rayonnement utilisé et de celui des détails à détecter de l'objet Evidemment, le système d'objectif doit être adapté à la source de rayonnement utilisée. La demande de brevet français pu- bliée sous le NO 2 422 220 au nom de la Demanderesse, décrit un dispositif servant à explorer avec une petite tache de lecture un porteur d'enregistre- ment optique présentant une structure d'information, qui est composée de domaines d'information rangés suivant des pistes La structure d'information a la forme d'une structure de phase et les pistes d'information voisines se distinguent les unes des autres du fait que les domaines d'information d'une première piste d'infor- mation sont constitués par des puits relativement pro- fonds et les domaines d'information d'une piste voisine par des puits moins profonds Afin de pou- voir lire convenablement les deux genres de domaines d'information, il faut utiliser des méthodes de lecture différentes Le dispositif de lecture comporte deux détecteurs sensibles à rayonnement qui sont situés dans le champ lointain de la structure d'information, notamment l'un après l'autre, vu dans la direction d'exploration Pour la lecture de la structure de phase plus profonde, il faut additionner les signaux de sortie des deux détecteurs, alors que pour la lecture de la structure de phase moins profonde, ces signaux doivent être soustraits les un des autres Les méthodes de lecture sont connues comme la méthode intégrale et la méthode différentielle respectivement. Du fait que les deux méthodes de lecture présentent des fonctions de transmission optiques différentes (en anglais Modulation Tra de la fréquence. Les puits d'information pouvant être lus à l'aide de la méthode intégrale peuvent avoir une profon- deur optique telle qu'ils provoquent un déphasage de 1800 entre le faisceau d'ordre zéro et l'un des faisceaux partiels de premier ordre formés dans le cas d'une projection de la tache de lecture sur un tel puits. Un tel déphasage se produirait également si la tache de lecture explorait une structure d'amplitude Une disposition d'un détecteur utilisé dans le dispositif de lecture selon ladite demande de brevet français lu No 2 422 220 pourrait donc être utilisée dans un microscope optique permettant de lire des objets de phase aussi bien que des objets d'amplitude. La présente invention vise à fournir une fonction de détection réglable pour un dispositif servant à explorer point par point un objet, de sorte qu'un tel dispositif convient à l'exploration d'objets présentant des structures différentes, c'est-à-dire une structure de phase, une structure d'amplitude ou-ûne structure qui constitue une combinaison d'une structure de phase et d'une structure d'amplitude. Le dispositif explorateur conforme à l'invention comportant au moins deux détecteurs décalés dans la direction d'exploration est caractérisé en ce que dans au moins l'une des connexions entre les détecteurs et les bornes d'entrée d'un étage d'entrée additionneur du circuit de traitement est inséré un élément déphaseur présentant un déphasage réglable. Le déphasage électronique permet d'obtenir une fonction de détection complexe pouvant être adaptée d'une façon simple par voie électronique Par fonction de détection, il y a lieu d'entendre la fonction de transmission du système formé par les détecteurs sensibles à rayonnement et l'étage d'entrée additionneur du circuit de traitement électronique. L'idée de l'invention peut être appliquée à tous genres de dispositifs explorateurs, non seulement aux dispositifs explorateurs optiques, mais également aux dispositifs explorateurs dans lesquels est utilisé un faisceau acoustique, un faisceau d'électrons ou un faisceau à rayons X comme faisceau d'exploration. Il y a lieu de noter que l'article: "A detection method for producing phase and amplitude-images simultaneously in a scanning transmission electron microscope" dans "Philips Technical Review" volume 37, No 1, pages 1 à 9 décrit un microscope électronique explorateur présentant deux détecteurs décalés dans la direction d'exploration permettant d'obtenir tant une image de phase qu'une image d'amplitude d'un objet. Une image de phase s'obtient par soustraction des signaux de détection et une image d'amplitude par addition de ces signaux Dans le microscope électronique connu, les détecteurs ne sont pas connectés à un déphaseur électronique, de sorte que ce microscope ne présente pas l'applicabilité universelle du dispositif explorateur conforme à l'invention. Dans le dispositif explorateur, un élément déphaseur peut être appliqué entre un détecteur seul et une borne d'entrée seule du circuit de traitement. Pour des considérations de symétrie, une réalisation préférentielle du dispositif conforme à l'invention est caractérisée en ce que dans chacune des connexions entre les détecteurs et les bornes d'entrée correspon- dantes de l'étage d'entrée est appliqué un déphaseur réglable et les déphasages introduits par ces déphaseurs sont tous égaux mais présentent un signe opposé. Par suite dudit déphasage, le module du signal d'exploration fourni par l'étage d'entrée additionneurest rendu optimal De plus, dans le cas d'un déphasage de seul l'un des signaux de détection, la phase du signal d'exploration est également influencée La phase du signal d'exploration peut être rétablie si le dispositif explorateur est en outre caractérisé en ce que la sortie de l'étage d'entrée additionneur est connectée à un déphaseur provoquant un déphasage de e e étant 2 ' e tn 10292 le déphasage d'un seul déphaseur inséré dans l'une des connexions entre les détecteurs et les bornes d'entrée de l'étage d'entrée additionneur. Si le dispositif explorateur est en outre caractérisé en ce que l'étage d'entrée additionneur est connecté à un déphaseur susceptible d'introduire un déphasage tributaire de l'asymétrie de phase dans la tache de rayonnement d'exploration, il est possible d'obtenir une compensation pour ladite asymétrie qui peut être provoquée par du coma du système optique. Les éléments déphaseurs peuvent présenter plusieures formes de réalisation suivant l'application requise du dispositif explorateur Une première forme de réalisation la plus simple du dispositif explora- teur conforme à l'invention est caractérisée en ce que les éléments déphaseurs peuvent être réglés entre deux valeurs essentiellement invariables, qui correspondent à une image de phase et une image d'amplitude de l'objet. Une deuxième forme de réalisation du dispositif explorateur, qui offre plus de possibilités, est carac- térisée en ce que les éléments déphaseurs peuvent être régles de façon continue Ce dispositif explorateur permet de représenter de façon optimale tant des objets de phase peu profonds que des objets d'amplitude mais également des objets dont la structure est une combinai- son d'une structure de phase et d'une structure d'ampli- tude De plus, ce dispositif permet de supprimer les détails d'un objet présentant une profondeur de phase déterminée, donc de réaliser un filtrage de phase. Selon une autre caractéristique du dispositif explorateur, les déphasages des éléments déphaseurs sont une fonction de la fréquence spatiale dans l'objet. Ainsi, il est possible de compenser l'asymétrie dans la tache d'exploration provoquée par des défauts dans la sphéricité du faisceau d'exploration. Si, selon une autre caractéristique du disposi- tif explorateur, l'amplification de l'étage d'entrée additionneur du circuit de traitement est une fonction- de la fréquence spatiale dans l'objet, il est possible de supprimer ou précisément d'amplifier des détails à une fréquence spatiale déterminée lors de la reproduc- tion. Dans le cas d'utilisation d'une fonction de détection complexe obtenue de la façon décrite ci-dessus, dont l'amplitude et la phase peuvent être réglée par voie électronique en fonction de la fréquence, un filtrage spatial de l'objet ou une amélioration d'image peut être réalisé sans utilisation de filtres optiques difficiles à réaliser. Le dispositif explorateur peut être caractérisé en ce que l'étage d'entrée du circuit de traitement peut être formé par des amplificateurs spéciaux pour chacun des signaux de détection et un circuit d'addition, le facteur d'amplification de chacun der-amplificateurs étant réglable Ainsi, il est possible de compenser une asymétrie d'amplitude dans le faisceau d'exploration ou d'appliquer le principe d'une bande dite latérale unique (en anglais: single sideband). La description ci-après, en se référant aux dessins annexés, le tout donné à titre d'exemple non limitatif, fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. La figure 1 représente une première forme de réalisation d'un dispositif explorateur conforme à l'invention. La figure 2 montre une partie de la structure d'information d'un porteur d'enregistrement optique. La figure 3 représente les coupes, vues dans le plan des détecteursw des faisceaux de diffraction formés pendant l'exploration du porteur d'enregistrement. La figure 4 illustre une méthode pour le traitement des signaux de détection. La figure 5 illustre le principe d'un microscope électronique conforme à l'invention, la figure 6 le principe d'un microscope à rayons X conforme à l'invention et la figure 7 le principe d'un microscope acous- tique conforme & l'invention. La figure 1 illustre le principe du dispositif explorateur Le faisceau b émis par une source de rayonnement S est focalisé par un système d'objectif représenté schématiquement par une seule lentille L 1 en une tache de rayonnement V sur l'objet à explorer O. Cet objet divise le faisceau incident b en plusieurs faisceaux partiels d'ordres de diffraction différents, dont le faisceau partiel d'ordre de zéro non dévié et les faisceaux partiels déviés dans les premiers ordres sont les plus importants. L'objet O est représenté très schématiquement sur la figure 1 Cet objet peut être un porteur d'enregistoe- ment optique par exemple, présentant une structure d'information qui est constituée par des domaines d'information rangés suivant des pistes d'information. La figure 2 représente en plan une petite partie d'un tel porteur d'enregistrement Dans le cas d'un porteur d'enregistrement en forme de disque circulaire, les pistes d'information 2, qui sont représentées comme des pistes droites, sont en réalité des pistes concentriques ou quasi-concentriques constituant ensemble une seule piste spiralée Les pistes d'information contiennent de très petits domaines d'information 3, dont les longueurs sont de l'ordre de 1/um et la largeur est inférieure à 1/um, qui alternent dans la direction de piste t avec des domaines intermédiaires 4 On peut admettre que la structure d'information est périodique dans deux directions perpendiculaires entre elles, la période dans la direction de la piste, ou direction tangentielle, t étant égale à p et celle perpendiculaire à la direction de la piste, ou direction radiale r, r étantégale à q Dans le cas d'un porteur d'enregistrement dans lequel est emmagasiné un signal vidéo modulé en fréquence, la période p est déterminée par le signal vidéo La période q est égale à la distance comprise entre les pistes. La structure d'information peut être une structure de phase pure, les domaines d'information étant constitués par de petits puits réalisés par pressage dans la surface du porteur ou par de petites saillies dépassant ladite surface La structure d'information peut également être une structure d'amplitude Dans ce cas, les domaines d'information sont constitués par exemple par des domaines non réflecteurs dans une face réflectrice ou par des domaines réflecteurs ou absorbant le rayonnement dans un porteur d'enregistrement transparent. Sur la figure 2, la tache de lecture est désignée par V La largeur de cette taché est de l'ordre de grandeur des dimensions des domaines d'information 3. La structure d'information se comporte comme une trame de diffraction bidimensionnelle Le faisceau de lecture b est divisé par cette trame en un faisceau partiel d'ordre zéro, plusieurs faisceaux partiels d'un premier ordre et plusieurs faisceaux partiels d'ordres supé- rieurs Pour la lecture des domaines d'information 3 surtout le faisceau partiel d'ordre zéro b(O,O) et deux faisceaux partiels de premier ordre b(+ 1,O) et b(-1,0), qui sont déviés dans la direction tangentielle t, sont d'importance Sur la figure 1, il faut admettre que le porteur d'enregistrement se trouve à l'endroit de l'objet O, la direction tangentielle t étant la direction verticale Lors de la lecture, le porteur d'enregistre- ment tourne par rapport à un axe 7. La figure 3 représente les coupes desfaisceaux b(O,O), b(+ 1,O) et b(-1,O) dans le plan du détecteur D. L'axe x et l'axe y sur la figure 3 correspondent à respectivement la direction tangentielle t et la direction radiale r sur la figure 2 Les faisceaux provenant du porteur d'enregistrement b(O,O), b(+l,O) et b(-1,0) présentent des amplitudes complexes qui peuvent être représentées par: B(O,O) B(+ 1,O) exp (-i'i t) B(-1,o) exp (+iwt) On suppose que le porteur d'enregistrement se déplace à vitesse angulaire constante de façon qu'il se forme un facteur de phase tributaire du temps exp (+itt), A étant une fréquence de temps déterminée par la vitesse angulaire et la fréquence spatiale, vu dans la direction tangentielle, des domaines d'information. De plus, on a admis qu'il ne se produit pas de défauts dans la suite de piste Si les domaines d'information sont symétriques par rapport à la direction radiale et la direction tangentielle, B(+ 1,0) est égale à B(-1,0) Entre les amplitudes complexes B(+ 1,0) et B(-1,0) d'un côté et l'amplitude B(O,O) de l'autre côté existe un déphasage déterminé 1 10 ' Ce déphasage est essentiellement déterminé par le retard de phase qu subit le rayonnement provenant du fond d'un puits d'information par rapport au rayonnement provenant de la surface de la couche d'information, donc par la profondeur optique de puits d'information ou par la hauteur optique de saillies d'information. Comme le décrit la demande de brevet français publiée sous le N 2 422 220 les domaines d'information peuvent présenter une profondeur optique telle que ledit déphasage Y 10 = 1800, mais également une profondeur optique telle que t 10 = 900 Pour = 90 o, les puits sont très peu profonds et de ce fait, les amplitudes des faisceaux déviés sont très petites C'est pour cette raison qu'il faut choisir de préférence une plus grande profondeur optique, de sorte que t 10 se situe entre 1100 et 120 Comme le décrit déjà l'article: "Position sensing in video- disk read-out" dans: "Applied Optics" Volume 17, No 13, pages 2013 à 2021, une structure d'amplitude se comporte d'une façon analogue à celle d'une structure de phase, dont les domaines d'information introduisent un déphasage de e 10 = 180 . Comme il sera expliqué ci-après en détail, le dispositif explorateur conforme à l'invention convient à la lecture de tant une structure d'information d'amplitude ou une structure d'information de phase profonde ( 10 = 180 ) qu'une structure d'information de phase peu profonde ( o 10 = 90) A cet effet, comme le montre la figure 1, le détecteur D est divisé en deux détecteurs partiels D 1 et D 2, dont les sorties sont connectées aux bornes d'entrée d'un additionneur 9, qui forme l'étage d'entrée d'un circuit de traitement électrique connu en soi 10 Un tel circuit est décrit entre autres dans l'article: "Signal Brocessing in the Philips' VLP system" dans: "Philips Technical Review", Volume 33, No 7, pages 178 à 180 La figure 3 indique les détecteurs partiels D 1 et D 2 par des demi-cercles rayés Conformément à l'invention, un élément 8 est inséré entre le détecteur Do et l'additionneur 9 et provoque un déphasage d'un angle de e du signal du détecteur D 2. Les déphasages O (+ 1,0) et O (-1,0) entre les faisceaux de premier ordre b(+l,O) et b(-1,0) et le faisceau d'ordre zéro peuvent être représentés par: O (+ 1,o) 1 = + X t 0 (-1 ',0) = 10 t J t et les amplitudes complexes peuvent être écrites comme B(o,O) = IB( 0,0)I B(+l,O) = IB(+ 1, O)I exp i ( 10 + W t) s( vr) iai B(-1 os)i exp i pro 10 v qé t) Les variations d'intensité provoquées par les il interférences entre les faisceaux partiels de premier ordre et le faisceau partiel d'ordre zéro à l'endroit des détecteur D 1 et D 2 sont converties par ces détecteurs en signaux électriques 51 et 52. Dans la surface du détecteur se distinguent plusieurs régions, notamment deux régions simplement hachurées d dans lesquelles un faisceau partiel de premier ordre interfère avec le faisceau partiel d'ordre zéro et deux régions doublement hachurées c dans les- quelles se produisent, outre les interférences entre un faisceau partiels de premier ordre et le faisceau partiel d'ordre zéro, également l'interférence entre les deux faisceaux partiels de premier ordre Les régions c et d peuvent être mises en relation avec la fonction de transmission de modulation connue (en anglais: Modulation Transfer Function; MTF) d'un système optique exempt d'aberrations La fonction de transmission de modulation, qui est exprimée par M peut"-tre mise égale à la région de chevauchement des deux ordres en question. Là o un faisceau partiel de premier ordre interfère avec le faisceau partiel d'ordre zéro, donc dans une région d'une grandeur de 2 c +L d, il s'applique la fonction de transmission M( o les deux faisceaux partiels de premier ordre inter- fèrent, donc dans une région d'une grandeur de 2 c sur la figure 3, s'applique la fonction de transmission M( 21) Ainsi, on peut donc poser que 2 c + d = M( 4) 2 c = M( 2 >), donc d = M( 9) M( 28) et c = T N 1 (')- Pour déterminer les signaux 51 et 52 ' il faut additionner les contributions des régions c et d. Dans la région c se trouvent des parties du faisceau partiel d'ordre zéro et des parties des deux faisceaux partiels de premier ordre Dans la région b se trouvent- une partie du faisceau partiel d'ordre zéro et une partie des faisceaux partiels de premier ordre C'est pour cette raison que le signal 51 peut être représenté par: 51 = IB(OO)+B(+ 1,'O)+B(-1,O) o + IB(O,O)+B(+ 1,0) J d expression dans lesquelles les indices c et d signifient que les contributions en question doivent être pondérés par la grandeur des régions c et d Pour le signal d'information même, les composantes de courant continu de l'expression pour 51 sont de moindre importance, de sorte que ces composantes peuvent être négligées. Puis, le signal 51 passe en: 51 = 2 Re B(O,O)@Bx(+ 1,O)j c+ 2 Re lB(O,O) BX(-1,O) + i) c- 2 Re B(O,O) BX(+l,O)} d Re représentant la partie réelle de la compo- sante en question Lorsque les régions cet d sont remplacées par la fonction de transmission de modulation, S devient: 51 = M( 2) I B(O,O)I IB(+ 1,0) I j cos('10 +Xt)+cosàj 10-4 t)+ 2 IB(O,O)1 IB(+ 1,O)I LM( 1) M( 2 v)l cos('10 l +t t). A ce sujet, on suppose que les régions d'information soient symétriques, de sorte qu'il s'applique I B(-1,0)| = IB(+ 1,0)I Le signal 51 est proportionnel ( (Y): 512 CM(V) M( 2 'l)J cos(y 10 +,-It)+ 2 M( 2 %))cos f 10 cos tt. D'une façon analogue, le signal 52 du détecteur peut être =écrit comme 52 r 2 _F(C) M(ZV) cos(,10 t)+ 2 M( 2))cosj 10 cos wt. Le signal 529 subit un déphasage óe de sorte qu'il se forme le signal S',. S' 2 " 2 lM(%) M( 2 %)l cos (;lo -0 t e) + 2 M( 2 ()cos) 10 ' cos( ' t + e) Le signal de somme S est représenté par: so C 4 M(\')M( 2 V)lcos('1 ?o1)cos(w t + 2 V) + Ss 2 2 ' 4 M( 9) cos () cos (Y) cs ( t +), ou sl 4 M() cos(Y 10 2) + 4 M( 2) sin( 10)si(e) cos(-t + e). Pour la lecture d'une structure d'amplitude ou d'une structure de phase profonde, dans laquelle s O = 180, on choisit O = Ainsi, le signal de Y 1 80,on chsi We ' somme est de: s t 4 M(\) cos tt. Pour un déphasage 10 ', qui est constant sur tout le porteur d'enregistrement, et pour une vitesse angulaire constante dudit porteur d'enregistrement, le signal S n'est tributaire que de la fréquence spatiale s v des domaines d'information dans la direction de la piste, donc du signal d'information emmagasiné. Pour la lecture d'une structure de phase moins profonde avec y 10 = 900, on choisit pour e = 180 Ainsi le Ss o 4 f M() + M( 2 V) a sin t. Pour un déphasage constant et une vitesse angulaire constante, ce signal n'est également tributaire que de la fréquence spatiale '9 L'image de la structure de phase moins profonde est la première dérivée de la structure même, alors que l'image de la structure d'amplitude apparaît d'une façon normale non dérivée. Pour des considérations de symétrie au lieu du déphasage de Y e d'un seul signal de détecteur, on préfère un e déphasage de 52 de + 2 et un déphasage de S de, comme l'indique la figure 4 Ainsi, les signaux S' et S' sont représentés par: s'Od 2 lM(ó)-M(")l cos(Y 1 o +wt ej+ 2 M( 2)cos 1 o ' t COS ( Wt 2 e * ctcos -o SX 2 l& M(v)-M( 2 ')i cos (Y 10 -i 4 t 2) + 2 M( 2 '9)cos(y 1 o) 0 cos ( t + e) et le signal de somme Ss par s Ss 4 lM()-M( 2)l Cos(-10 2 e) cos wt+ 4 M( 2) cos y 10. cos wt cos 2, ou S S 4 M(w) cos (F 10-s e)+ 4 M( 2) siny 10 sin 2 e cos mt pour Y 10 = 1800 et e = il s'applique: Sas 4 M(') cos t, alors que pour := 90 t e = 180 il s'applique: SL 4 QM(-) + 4 M( 2) cos -J t Dans ce cas apparaît également l'image de la structure de phase peu profonde d'une façon normale non différenciée. Pour la description ci-dessus du principe de l'invention, les faisceaux partiels d'ordres supérieurs peuvent se passer de commentaires Les 3 O faisceaux d'ordre supérieur sont en majeure partie déviés à l'extérieur du détecteur et les amplitudes de ces faisceaux sont notablement plus petites que celles des faisceaux de premier ordre, de sorte que l'influence de faisceaux d'ordres supérieurs peut &tre négligée dans une approximation de premierordre. Une structure d'information, dont les domaines d'information introduisent un déphasage, 10 = 90 o est une structure théorique Oomme il a déjà été mentionné ci-dessus, les faisceaux diffractés provenant d'une telle structure présentent une petite amplitude, de sorte que le signal S est très faible Aussi préfère-t-on s utiliser en pratique une profondeur optique telle que l'angle de phase dépasse légèrement 90 , par exemple % ? 10 = 900. Le dispositif décrit ci-dessus présentant au moins un déphaseur pouvant être réglé entre deux positions, dispositif qui peut être décrit comme un dispositif explorateur présentant une fonction de détection réglable suivant deux positions, est une forme de réalisation spéciale de l'idée 6 'énérale de l'invention qui consiste à munir un dispositif explora- teur d'une fonction de détection complexe réglablequi, dans la surface du détecteur, peut être représentée par: g(x, y) = a pour x > O g(x, y) = a exp (i re) pour x O g(x, y) = a exp (+i ye/2) pour x ' O A l'extérieur de la surface du détecteur, g(x,y) = 0. La fonction de représentation d'un dispositif explorateur conforme à l'invention est le produit de la soi-disant fonction de représentation optique (en anglais: Optical Transfer Function, OTF) du système optique et d'une fonction de transmission additionnelle F, dont les modules et phase sonit: I 35FI = a os( 102) + sin 10 sin Carg e e pour la situation asymétrique arg t F = O pour la situation symétrique. t:l 'e 10292 Dans la situation asymétrique, la phase de seul un des signaux de détecteur est tournée, notamment de e, alors que dans la situation symétrique, les phases des deux signaux de détecteur sont décalées respec- tivement de + 97 e et de I Le déphasage électronique t e est utilisé pour rendre optimal le module du signal SB: co f 1 2 e) + sin 10 sin y e 00 " 110 2 sin 2 Dans la situation symétrique, l'argument ne subit pas de variations par suite de l'optimisation du module. Une telle variation se produit notamment dans la situation asymétrique La variation de l'argument peut être annulée par application d'un déphaseur additionnel 11 susceptible d'introduire un déphasage de Y derrière l'additionneur 9, comme le montre la figure 1. Dans la situation asymétrique aussi bien que dans la situation symétrique, la phase -du signal Ss peut être influencée par une asymétrie de phase dans la tache d'exploration V La cause essentielle d'une telle asymétrieconstitue le coma du système optique Une compensation de cette distortion de phase s'obtient par déphasage du 'signal Ss de 9, Q étant une fonction de ladite asymétrie de phase Ainsi, dans la forme de réalisation préférentielle selon la figure 4, est appliqué un déphaseur additionnel 12 derrière l'additionneur 9. Dans la situation asymétrique de la figure 1, le déplhaseur 11 est réalisé de façon à provoquer un déphasage de e ÈP D'une façon générale, le déphasage T e peut être réglé entre O et 360 Pour un dispositif de lecture conçu pour lire tant des porteurs d'enregistrement présentant une structure de phase que des porteurs d'enregistrement présentant une structure d'amplitude, ou des porteurs d'enregistrement présentant des structures de phase de profondeurs différentes, il ne s'impose pas la nécessité de pouvoir régler le déphasage électronique de façon continue sur une large gamme Toutefois, il n'en est pas de même pour un microscope optique utilisé pour rendre visibles non seulement des structures de phase peu profondes ou des structures d'amplitude peu profondes, mais également toutes sortes de structures intermédiaires, ce qui veut dire des structures qui ne sont ni des structures de phase pures ni des structures d'amplitude pures. Il n'est pas nécessaire de connaître préalable- ment la profondeur de phase des objets, par exemple des tissus biologiques ou des organismes à observer avec un tel microscope On peut explorer à plusieurs reprises successivement l'objet, chaque fois avec une autre valeur pour If e, de façon à obtenir une bonne qualité d'image. Les objets à observer avec le microscope proposé ne présentent pas nécessairement une profondeur de phase constante, comme les porteurs d'enregistrement optiques décrits ci-dessus Ces objets peuvent être constitués par des composants présentant tous une autre profondeur de phase Ainsi, l'objet peut être exploré à plusieurs reprises avec chaque fois une autre valeur du déphasage électronique Yie Lors de chaque exploration, une profondeur de phase déterminée est représentée en contraste maximal De la totalité des images partielles peut être reconstruit l'objet original. Les déphaseurs, 8 sur la figure 1 et 8 ' et 8 " sur la figure 4, peuvent être des dispositifs dont le déphasage est une fonction de la fréquence de temps. Pour une vitesse d'exploration constante, une fréquence spatiale déterminée (C) dans l'objet correspond à une fréquence de temps déterminée (à) Des déphaseurs tributaires de la fréquence sous forme de filtres numériques transversaux sont connus en soi, pour d'autres buts, entre autres du livre: "Theory and application of digital Signal processing" Rabiner and Gold Prentice-1 lall Inc 1975, entre autres la page 40 Dans le cas d'utilisa- tion de tels déphaseurs, on peut faire en sorte qu'unique- ment pour certaines fréquences spatiales, le déphasage électronique présente la valeur optimale pour l'explora- tion Ainsi, seules les structures partielles de l'objet présentant une fréquence spatiale déterminée sont représentées convenablement, alors que les structures partielles présentant d'autres fréquence spatiales apparaissent de façon affaiblie dans l'image. De plus, l'amplification du circuit additionneur 9 peut être rendue tributaire de la fréquence, de sorte que la fréquence spatiale requise peut être augmentée davantage et les fréquences indésirables peuvent être supprimées davantage. L'utilisation de déphaseurs tributaires de la fréquence et d'un amplificateur tributaire de la fréquence permet de réaliser un filtrage spatial de l'objet ou une amélioration de l'image sans nécessiter l'utilisation de filtres optique La tâche difficile à remplir jusqu'à présent pour le filtrage optique, notamment la réalisa- tion de filtres optiques, est remplacée par une tâche plus facile à manipuler, notamment la conception de filtres électroniques présentent les caractéristiques de phase et d'amplitude requises. Le dispositif explorateur peut présenter deux amplificateurs spéciaux pour les signaux de détecteur 51 et 52 La figure 4 représente ces amplificateurs par 13 ' et 13 " La fonction de détection d'un dispositif explorateur présentant deux amplificateurs tributaires de la fréquence spéciaux et des déphaseurs tributaires de la fréquence peut être écritecomme g(x,y) = a 1 () exp (-i e( pour x > O g(x,y) = a,(V) exp (+i pour x O V représentant la fréquence spatiale dans l'objet. Les deux amplificateurs spéciaux peuvent être utilisés pour compenser une éventuelle asymétrie d'amplitude dans le faisceau d'exploration Dans le cas d'utilisation de deux amplificateurs spéciaux, il est possible d'amplifier un signal de détecteur et de supprimer l'autre de façon à appliquer le principe d'une seule bande latérale unique (en anglais: single sideband). Pour l'exploration conforme à l'invention d'un objet dans deux directions perpendiculaires entre elles, on fait en sorte que le spot décrive d'abord plusieurs lignes suivant une première direction Les données ainsi obtenues peuvent être emmagasinées dans une mémoire d'image Puis, on fait en sorte que le spot décrive plusieurs lignes dans la deuxième direction En fin de compte les données des explorations dans les deux directions peuvent être combinées. Pour l'exploration dans deux directions peuvent être utilisés deux détecteurs, les détecteurs et l'objet étant tournés de 9 Q O l'un par rapport à l'autre à la transition entre une direction d'exploration et l'autre Il est également possible d'utiliser quatre détecteurs dont un jeu est destiné à une direction d'exploration et un jeu à l'autre direction d'exploration. La présente invention concerne la division d'un détecteur en deux détecteurs partiels et la façon dont le signal fourni par les deux détecteurs partiels est traitée par voie électronique L'invention n'est pas limitée à un genre déterminé de rayonnement d'exploration comme de la lumière Ce qui importe c'est que le rayonnement d'exploration peut être concentré en une seule tache L'invention peut être appliquée, outre à un microscope optique, également à un microscope électronique, un microscope à rayons X ou un microscope acoustique, pourvu que ces microscopes soient suffisamment exempts d'aberrations Ces microscopes permettent d'observer des détails, dont la grandeur se situe-à la limite du pouvoir de résolution du microscope en question. La figure 5 représente schématiquement un microscope électronique La source d'électrons ES émet un faisceau d'électrons b Ce faisceau est focalisé e par une lentille électronique EL dans le plan de l'objet 0, qui est par exemple un objet de phase faible L'objet divise le faisceau b en un faisceau partiel d'ordre e zéro be( 0,0) et en(entre autres)deux faisceaux partiels de premier ordre be(+ 1,0) et be(-1,0) Le faisceau d'ordre zéro et les parties des faisceaux de premier ordre sont captés par deux détecteurs DE 1 et DE 2, qui i 2 convertissent le rayon électronique en un signal électrique L'angle / e, dont sont déviés les faisceaux partiels de premier ordre, est de même ordre de grandeur que l'ouverture numérique, qui est égale à sin fe de la lentille électronique,tout comme dans le cas du 1 microscope lumineux Le signaux 51 et 52 des détecteurs DE 1 et DE 2 sont traités de la façon décrite à l'aide des figures 1 et 4. La figure 6 représente très schématiquement une forme de réalisation d'un microscope à rayons X. XS est la source de rayons X qui, du fait qu'il faut une source claire, est de préférence constituée par un synchrotron Le faisceau à rayons X b est focalisé x sur l'objet, par exemple un specimen biologique ou une structure cristalline Le système de focalisation XF peut être constitué par une plaque de zone, comme le représente la figure 6, ou par au moins un réflecteur. Le faisceau à rayons X provenant de l'objet est capté par deux détecteurs à rayons X DX 1 et DX 2 Les signaux 51 et 52 provenant de ces détecteurs peuvent être traités de la façon décrite à l'aide des figures 1 et 4 Pour les particularités concernant la source de rayons X XS, le système de focalisation XF et les détecteurs à rayons X DX 1 et DX 2, pieces qui ne constituent pas robjet de la présente invention, il y a lieu de s'en référer à l'article: "The scanning X-ray microscope", pages 365 à 391 du livre: "Scanned image microscopy" E A Ash, Academic Press 1980. 10292 La figure 7 illustre le principe d'un microscope acoustique conforme à l'invention Un tel microscope comporte un convertisseur piézo-électrique PEC, présen- tant une réponse uniforme sur toute sa surface Ce convertisseur engendre une onde sonore,qui est dirigée vers l'objet à examiner, par exemple une couche réflec- trice Si le convertisseur est plan et l'onde sonore est une onde plane, une lentille acoustique peut être appliquée entre l'objet et le convertisseur et convertit l'onde sonore en une onde convergente sphérique Comme le montre la figure 7, le convertisseur lui-même peut être courbé de façon que l'onde sonore émise soit déjà convergente L'onde sonore est réfléchie par l'objet et retourne au convertisseur, qui convertit l'onde sonore en une tension électrique L'intégration s'effectue sur toute la surface du convertisseur Le convertisseur PEC fonctionne donc comme source et comme détecteur. La tension d'entrée et la tension de sortie sont séparées l'une de l'autre du fait qu'il ne s'agit que d'impulsions courtes. La tension de sortie est tributaire des phases des parties de faisceau séparées Si un réflecteur est disposé au foyer, toutes les parties de faisceau parcourent un trajet de même longueur et les parties de faisceau aux points 15 et 16 sont en phase Toutefois, lorsque le réflecteur se déplace dans la direction verti- cale, c'est-à-dire si la surface O à examiner présentant des écarts verticaux se déplace dans la direction X, les diverses parties de faisceau parcourent des trajets de longueurs différentes et les parties de faisceau présentent un certain déphasage aux points 15 et 16, de sorte que la tension de sortie subit des variations. Pour plus de particularités sur le microscope acoustique qui, lui, ne fait pas objet de la présente invention, il y a lieu de s'en référer à l'article: "Scanning acoustic microscopy", pages 24 55 dudit livre: "Scanned image microscopy" Conformément à l'invention, le convertisseur est divisé en deux parties DA 1 et DA 2, DA 1 étant connecté de façon directe et DA 2 par l'inter- médiaire d'un élément déphaseur 8 à un additionneur 9. Le traitement du signal est égal à celui selon la figure 1 ou celui selon la figure 4. 10292 REVENDICATIONS: 1 Dispositif servant à explorer point par point un objet, muni d'une source de rayonnement fournissant un faisceau d'exploration, d'un système d'objectif assurant la focalisation du faisceau d'exploration en une tache de rayonnement sur l'objet et d'un système de détection sensible à rayonnement conçu pour convertir le faisceau d'exploration provenant de l'objet en un signal électrique pour un circuit de traitement électro- nique qui rend le signal approprié à la reproduction, ce système de détection comportant au moins deux détecteurs sensibles à rayonnement qui sont disposés l'un après l'autre dans la direction d'exploration, caractérisé en ce que dans au moins l'une des connexions entre les détecteurs et les bornes d'entrée d'un étage d'entrée additionneur du circuit de traitement est inséré un élément déphaseur présentant un déphasage réglable. 2 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que dans chacune des connexions entre les détec- teurs et les bornes d'entrée correspondantes de l'étage d'entrée est inséré un déphaseur réglable, les déphasages introduits par ces déphaseurs étant égaux, mais présentant un signe opposé. 3 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que la sortie de l'étage d'entrée additionneur est connectée à un déphaseur provoquant un déphasage ?W F e étant le aêphasage d'un seul déphaseur dans l'une des connexions entre les détecteurs et les bornes d'entrée de l'étage d'entrée additionneur. 4 Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que la sortie de l'étage d'entrée additionneur est connectée à un déphaseur provoquant un déphasage 9, qui est tributaire d'une asymétrie dans la tache d'exploration. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que la sortie de l'étage d'entrée additionneur est connectée à un déphaseur provoquant un déphasage Q-2 ' e étant le déphasage d'un seul déphaseur inséré dans l'une des connexions entre les détecteurs et les bornes d'entrée de l'étage'd'entrée et Q étant tributaire d'une asymétrie dans la tache de rayonnement d'exploration. 6 Dispositif selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que les éléments déphaseurs sont réglables entre deux valeurs essentiellement invariables, qui correspondent à une image de phase et à une image d'amplitude de l'objet. 7. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que éléments déphaseurs sont réglables de façon continue. 8 Dispositif selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que les déphasages des éléments déphaseurs sont réglables en fonction de la fréquence. 9 Dispositif selon la revendication 1, 2, 3, 4, ou 8, caractérisé en ce que l'amplification de l'étage d'entrée additionneur du circuit de traitement est réglable en fonction de la fréquence. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que l'étage d'entrée du circuit de traitement est formé par des amplificateurs séparés pour chacun des signaux de détecteur et un circuit additionneur, le facteur d'amplification de chacun des amplificateurs étant réglable.