FR 2490016 A1 19820312 FR 8116954 A 19810907 La présente invention concerne un procédé pour fabriquer des alliages amorphes présentant des caractéristiques amélio- rées de photosensibilité, et des dispositifs réalisés à partir de ceux-ci. L'application la plus importante de l'invention consiste dans la fabrication d'alliages à photo- sensibilité améliorée et de dispositifs comprenant des intervalles de bande réalisés sur mesure en vue d'applica- tions photosensibles spécifiques comprenant des dispositifs photorécepteurs tels que des cellules solaires de type p-i- n, p-n, Schottky ou MIS (semiconducteur métal-isolant); des substances photoconductrices telles que celles qui sont utilisées en xérographie; des dispositifs photodétecteurs et des photodiodes comprenant des mosaïques de photodiodes à grandes surfaces. Le silicium est la base de l'immense industrie des semiconducteurs cristallins et il constitue le matériau avec lequel on a produit les cellules solaires cristallines coûteuses et à haut rendement (18%) destinées à des applica- tions spatiales. Lorsque la technologie des semiconducteurs cristallins a atteint le niveau commercial, elle est devenue le fondement de l'immense industrie actuelle des dispositifs semiconducteurs. Ceci a été dû à la capacité des savants de faire croître des cristaux de germanium et plus particuliè-- rement de silicium pratiquement sans défauts, puis de les transformer en matériaux extrinsèques contenant des régions à conductivité de type p ou de type n. Ce résultat a été obtenu en diffusant dans le matériau cristallin quelques parties par million de matériaux dopants donneurs (n) ou accepteurs (p) introduits en tant qu'impuretés de substitu- tion dans les matériaux cristallins sensiblement purs, de manière à augmenter leur conductivité électrique et détermi- ner leur type de conduction p ou n. Les procédés de fabrica- tion utilisés pour réaliser les cristaux à jonction p-n mettent en oeuvre des procédures extrêmement compliquées, demandant du temps et coûteuses. C'est ainsi que ces maté- riaux cristallins qui sont utiles dans les cellules solaires et les dispositifs de commande de courant sont produits dans des conditions très soigneusement contrôlées en faisant croître des cristaux individuels de silicium ou de germanium, et quand on a besoin de jonctions p-n, en dopant les cris- taux individuels avec des quantités extrêmement faibles et critiques de dopants. Ces procédés de croissance de cristaux produisent des cristaux relativement si petits que les cellules solaires exigent l'assemblage de nombreux cristaux individuels pour couvrir la surface désirée d'un unique panneau à cellules solaires. La quantité d'énergie nécessaire pour fabriquer une cellule solaire selon ce procédé, les limitations pro- voquées par les limites de dimensions du cristal de silicium, et la nécessité de découper et d'assembler ce matériau cristallin, ont constitué une barrière économique impossible à franchir pour parvenir à une utilisation à grande échelle de cellules solaires à semiconducteurs cristallins en vue de la conversion de l'énergie. En outre, le silicium cristallin comporte un rebord optique indirect provoquant une mauvaise absorption de la lumière dans le matériau. Du fait de cette mauvaise absorption de la lumière, les cellules solaires cristallines doivent avoir une épaisseur d'au moins 50 microns pour absorber la lumière solaire incidente. Même si on remplace le matériau cristallin par du silicium polycris- tallin obtenu par des procédés moins coûteux, le rebord optique indirect existe toujours; de ce fait, l'épaisseur du matériau n'est pas réduite. Le matériau polycristallin implique également l'addition de limites granulaires et autres défauts constituant des problèmes. Un autre inconvénient du matériau polycristallin quand il s'agit d'applications solaires vient de ce que l'inter- valle de bande du silicium cristallin qui est d'environ 1,1 eV est de façon inhérente en dessous de l'intervalle de bande optimal qui est d'environ 1,5 eV. L'adjonction de germanium, qui est possible, réduit encore plus l'intervalle de bande, ce qui provoque une diminution correspondante du rendement de la conversion solaire. Pour résumer, les dispositifs à silicium cristallin présentent des paramètres fixes que l'on ne peut faire varier si on le désire, exigent de grandes quantités de matériau, ne peuvent être produits qu'en éléments de surface relativement réduite, leur fabrication étant coûteuse et demandant du temps. Les dispositifs basés sur le silicium amorphe peuvent éliminer ces inconvénients du silicium cristallin. Le silicium amorphe comprend un rebord d'absorp- tion optique présentant des propriétés similaires à celles d'un semiconducteur à intervalle direct et il suffit que le matériau ait une épaisseur d'un micron ou moins pour absorber la même quantité de lumière solaire que le silicium cristal- lin ayant une épaisseur de 50 microns. En outre, le silicium amorphe peut être obtenu plus rapidement, plus facilement et en éléments de plus grande surface que le silicium cristallin. En conséquence, des efforts considérables ont été entre- pris pour mettre au point des procédés permettant de déposer facilement des alliages ou des films amorphes semiconduc- teurs, pouvant chacun couvrir des surfaces relativement importantes si on le désire, et limitées seulement par la dimension de l'équipement de dépôt, et qui pourraient être facilement dopés pour former des matériaux de type p et de type n, les dispositifs à jonction p-n obtenus de ces der- niers étant équivalents à ceux produits au moyen de leurs contreparties cristallines. Pendant de nombreuses années, ces travaux ont été pratiquement sans résultats. On a consta- té que les films amorphes de silicium ou de germanium (grou- pe IV) qui sont normalement coordonnés quatre fois compre- naient des micro-vides et des liaisons non saturées et autres défauts produisant une forte densité d'états locali- sés dans leur intervalle de bande. La présence d'une forte densité d'états localisés dans l'intervalle de bande de films semiconducteurs en silicium amorphe se traduit par un faible degré de photosensibilité ou photoconductivité, et une courte durée de vie en tant que porteur, rendant ces films inadaptés à des applications o l'on fait appel à des caractéristiques de photosensibilité. De plus, ces films ne peuvent être dopés avec succès ou modifiés de toute autre manière pour rapprocher le niveau de Fermi des bandes de conduction ou de valence, ce qui les rend inutilisables pour 2490016 - constituer des jonctions p-n pour cellules solaires et pour les applications concernant des dispositifs de commande de courant. Pour réduire les problèmes qui viennent d'être mention- nés et constatés avec le silicium et le germanium amorphes, W. E. Spear et P. G. Le Comber du Carnegie Laboratory of Physics, Université de Dundee, Dundee, Ecosse ont effectué des recherches sur le "Substitutional Doping of Amorphous Silicon" (Dopage par substitution du silicium amorphe) , ayant fait l'objet d'un rapport publié dans "Solid State Communications", vol. 17, pages 1193 à 1196, 1975, en vue de réduire les états localisés dans l'intervalle de bande du silicium ou du germanium amorphes et rapprocher ces derniers du silicium ou du germanium cristallins intrinsèques et pour doper par substitution lesdits matériaux amorphes au moyen de dopants classiques et appropriés, comme pour le dopage de matériaux cristallins, pour les rendre du type extrinsèque et de conduction de type p ou n. La réduction des états localisés a été obtenue par dép8t par décharge luminescente de films de silicium amorphe o on a fait passer un gaz de silane (SiH4) dans un tube à réac- tion o le gaz est décomposé par décharge luminescente à haute fréquence et déposé sur un substrat dont la températu- re est d'environ 5000K à 6000K (2270C à 3271C). Le matériau ainsi déposé sur le substrat est un matériau amorphe intrin- sèque consistant en silicium et hydrogène. Pour obtenir un matériau amorphe dopé, on a pré-mélangé du gaz de phosphine- (PH3) pour obtenir une conduction de type n, ou un gaz de diborane (B2H6) pour obtenir une conduction de type p, avec le gaz de silane que l'on fait passer dans le tube à réaction à décharge luminescente dans les mêmes conditions de traite- ment. La concentration gazeuse des dopants utilisés était située entre environ 5 x 10-6 et 10-2 parties par volume. On pense que le matériau ainsi déposé comprenait du phosphore ou du bore dopant de substitution et on a constaté qu'il était extrinsèque et de type de conduction n ou p. Bien que ces chercheurs ne l'aient pas su, on sait maintenant par les travaux d'autres chercheurs que l'hydrogène dans le silane se combine à une température optimale avec de nombreuses liaisons non saturées du sili- cium pendant le dépôt par décharge luminescente, de manière à réduire sensiblement la densité des états localisés dans l'intervalle de bande en vue d'obtenir des propriétés élec- troniques du matériau amorphe se rapprochant le plus de celles du matériau cristallin correspondant. D. I. Jones, W. E. Spear, P. G. LeComber, S. Li et R. Martins ont également travaillé sur la préparation de a-Ge:H à partir de GeH4 en utilisant des techniques de dép8t similaires. On a constaté que le matériau obtenu présentait une forte densité d'états localisés dans son intervalle de bande. Bien qu'on ait pu doper le matériau, son rendement était sensiblement réduit par rapport à celui obtenu avec le a-Si:H. Dans ces travaux qui ont fait l'objet d'un rapport dans Philosophical Magazine B, vol. 39, page 147 (1979), les auteurs concluent qu'en raison de la forte densité des états dans l'intervalle de bande, le matériau obtenu constitue "... un matériau moins intéressant qu'un matériau à base de a-Si en vue d'expériences de dopage et d'éventuelles appli- cations N. En travaillant sur des cellules solaires amorphes utili- sant du silane et fabriquées au moyen d'un procédé similaire par décharge luminescente, D. E. Carlson a cherché à utili- ser le germanium dans les cellules pour rendre plus étroit l'intervalle optique en vue d'obtenir des cellules solaires optimales ayant une valeur d'environ 1,5 eV en partant de son matériau à cellules solaires le mieux fabriqué et dont l'intervalle de bande était de 1,65 à 1,70 eV. pages 707-717, rapport présenté à la 8 Conférence Interna- tionale sur les Semiconducteurs Amorpnes et Liquides,Cambrid- ge, Mass, du 27 au 31 août 1979). Cependant, Carlson a également indiqué que l'addition de germanium à partir de gaz germane était sans succès du fait qu'elle provoquait des réductions importantes de tous les paramètres photovoltal- ques des cellules solaires. Carlson a indiqué que la dégra- dation des propriétés photovoltaïques montre que les défauts dans l'intervalle de bande sont créés dans les films déposés. (D.E. Carlson, Tech. Dig. 1977 IEDM, Washington, D.C., page 214). Dans un rapport récent sur l'augmentation du rendement des cellules solaires à jonctions multiples (empilées) en silicium amorphe (a-Si:H) déposé à partir de silane et de la manière ci-dessus, les auteurs ont indiqué que le "germanium constituait une impureté nuisible dans le a-Si:H, abaissant exponentiellement sa caractéristique Jsc à mesure qu'augmen- te le Ge...". La conclusion de leurs travaux de même que de ceux de Carlson est que les alliages de silicium amorphe, de germanium et d'hydrogène "présentent de mauvaises propriétés photovoltaïques" et que l'on doit donc "trouver des maté- riaux photovoltaïques à cellules en film présentant une réponse spectrale d'environ un micron pour obtenir des combinaisons efficaces de cellules empilées avec du a-Si:H". (J.J. Hanak, B. Faughnan, V. Korsun et J.P. Pellicane, présenté à la 14 IEEE Photovoltaic Specialists Conference, San Diego, Californie, des 7 au 10 janvier 1980). L'incorporation d'hydrogène dans le procédé ci-dessus non seulement présente des limitations basées sur le rapport fixe entre l'hydrogène et le silicium dans le silane, mais, et ce qui est plus important, des configurations variées de la liaison Si:H qui introduisent de nouveaux états anti- liaison qui peuvent avoir des conséquences nuisibles sur ces matériaux. En conséquence, il existe des limites fondamen- tales à la réduction de la densité des états localisés dans ces matériaux qui sont particulièrement nocifs du point de vue de leur dopage effectif de type p aussi bien que de type n. La densité résultante des états dans les matériaux à dépôt de silane a pour conséquence une réduction de la largeur de la zone d'épuisement qui limite à son tour le rendement des cellules solaires et autres dispositifs dont le fonctionnement dépend du glissement des porteurs libres. Le procédé qui consiste à réaliser ces matériaux en utili- sant seulement du silicium et de l'hydrogène a également pour résultat une forte densité des états de surface qui ont un effet sur tous les paramètres ci-dessus. En outre, les essais antérieurs qui ont été effectués pour réduire l'intervalle de bande du matériau, bien qu'ils aient été couronnés de succès en ce qui concerne la réduction de l'intervalle de bande, ont par ailleurs ajouté dans le même temps des états dans ledit intervalle. L'augmentation des états dans l'intervalle de bande provoque une diminution ou une perte totale de photoconductivité et est donc contre- indiquée pour la production de dispositifs photosensibles. Après la mise au point du dépôt de silicium par décharge luminescente à partir de gaz silane, on a réalisé des tra- vaux sur le dépôt par pulvérisation de films de silicium amorphe dans une atmosphère constituée par un mélange d'ar- gon (qui est nécessaire pour le procédé de dépôt par pulvé- risation) et d'hydrogène moléculaire pour que cet hydrogène moléculaire ait une influence sur les caractéristiques du film de silicium amorphe déposé. Ces recherches indiquent que l'hydrogène agit en tant qu'agent modificateur qui se lie de manière telle qu'il réduit les états localisés dans l'intervalle de bande. Cependant, le degré de réduction des états localisés dans l'intervalle de bande, quand on a recours au procédé de dépôt par pulvérisation, est bien inférieur à celui atteint par le procédé de dépôt de silane décrit ci-dessus. On a également introduit les gaz dopants de type p et n décrits ci-dessus dans le procédé par pulvé- risation pour produire des matériaux dopés de type p et n. Ces matériaux présentaient un rendement de dopage plus faible que les matériaux produits au moyen du procédé par décharge luminescente. Aucun des procédés ne permettait de produire des matériaux dopés de type p efficaces présentant des concentrations d'accepteurs suffisamment élevées pour produire des dispositifs commerciaux à jonction p-n ou p-i-n. Le rendement du dopage de type n était situé en dessous des niveaux acceptables et désirables dans le commerce et le dopage de type p était particulièrement indésirable du fait qu'il réduisait la largeur de l'intervalle de bande et augmentait le nombre d'états localisés dans cet intervalle de bande. Le dépôt préalable de silicium amorpne qui a été modifié par l'hydrogène provenant du gaz silane au cours d'essais pour le faire ressembler plus étroitement à du silicium cristallin, et qui a été dopé d'une manière similaire à celle du dopage du silicium cristallin, présente des caracté- ristiques qui, sous tous leurs aspects importants, sont inférieures à celles du silicium cristallin dopé. On a donc obtenu des rendements de dopage et de conductivité impropres, spécialement dans le matériau de type p, et les qualités pliotovoltaiques de ces fims de silicium laissaient beaucoup à désirer. La réponse spectrale non optimale des dispositifs photo- sensibles à silicium amorphe de l'art antérieur est surmon- tée selon la présente invention en ajoutant un ou plusieurs éléments de réglage de l'intervalle de bande à un alliage photosensible amorphe au moins dans la région de génération de photo-courant de cette bande de manière a régler l'inter- valle de bande sur sa largeur d'utilisation optimale en vue d'applications particulières sans augmenter sensiblement les états nocifs dans la bande. Ainsi, les propriétés électroni- ques élevées du matériau ne sont pas dégradées quand on forme le nouvel alliage de l'intervalle de bande réglé. L'alliage amorphe comprend au moins un élément réducteur de la densité des états, soit le fluor. On peut ajouter l'élément compensateur ou modificateur, qui est le fluor, et/ou d'autres éléments, pendant le dépôt ou après. Le ou les éléments rendant la bande plus étroite peuvent être activés et ajoutés au moyen de procédés par dépôt de vapeur, de pulvérisation ou de décharge luminescente. L'intervalle de bande peut être réglé en fonction des besoins et pour une application spécifique en introduisant la quantité nécessai- re d'un ou plusieurs éléments de réglage dans l'alliage déposé dans au moins une région de génération de photo- courant de cette bande. L'intervalle de bande est réglé sans augmenter sensible- ment le nombre d'états dans cet intervalle de bande de l'alliage du dispositif du fait de la présence de fluor dans l'alliage. Les films de l'art antérieur par dépôt de silane sont déposés de façon typique sur des substrats chauffés entre 250WC et 3501C pour rendre maximales l'incorporation et la compensation du silicium avec l'hydrogène dans les films. Les efforts antérieurs pour ajouter du germanium à ce film n'ont pas eu de succès du fait que la liaison hydrogène/ germanium est trop faible pour être stable à la température du substrat nécessaire au dépôt. La présence de fluor dans l'alliage de l'invention permet d'ajouter à l'alliage des éléments de réglage tels que du germanium ou de l'étain du fait que le fluor forme des liaisons plus résistantes et plus stables que l'hydrogè- ne. Le fluor compense ou modifie le silicium de même que le ou les éléments de réglage de la bande dans l'alliage de façon plus efficace que l'hydrogène du fait des liaisons plus résistantes et therm'iquement plus stables et des confi- gurations plus souples des liaisons dues à la nature ionique de la liaison du fluor. L'utilisation de fluor produit l'alliage ou le film décrits dans le brevet US n0 4.217.374 dans lequel la densité des états dans l'intervalle de bande est beaucoup plus faible que celles produites par une combi- naison de silicium et d'hydrogène, comme c'est le cas à partir de silane. Du fait que le ou les éléments de réglage de la bande aient été introduits de façon contrôlée dans le matériau sans ajouter d'états sensiblement nocifs, en raison de l'influence du fluor, le nouvel alliage conserve des qualités électroniques et une photosensibilité élevées quand on ajoute le ou les éléments de réglage pour déterminer le seuil de la longueur d'onde en vue d'une application photo- sensible spécifique. L'hydrogène enrichit l'alliage compensé ou modifié au fluor et il peut être ajouté pendant le dépôt avec le fluor, ou après le dépôt, comme cela peut être également le cas pour le fluor et les autres éléments modi- ficateurs. L'incorporation d'hydrogène par dépôt postérieur est avantageuse quand on souhaite utiliser les températures plus élevées du substrat qui sont nécessaires au dépôt et autorisées par le fluor. Alors que les principes de l'invention s'appliquent à chacun des procédés de dépôt mentionnés ci-dessus, on décrira ici à titre illustratif un environnement de dépôt de vapeur et de vapeur activée par plasma. Le système à décharge luminescente décrit dans le brevet US n0 4.226.898 comprend d'autres variables du procédé qui peuvent être utilisées avec avantages avec les principes de la présente invention. En conséquence, un premier objet de l'invention est de proposer un procédé pour fabriquer un alliage amorphe photo- sensible perfectionné, ce procédé comprenant le dépôt sur un substrat d'un matériau comprenant au moins du silicium et incorporant dans ledit matériau au moins un élément rédui- sant la densité des états, cet élément étant du fluor, caractérisé en'ce qu'on introduit au moins un élément de réglage de l'intervalle de bande dans ledit matériau sans augmenter sensiblement les états dans l'intervalle de bande, de manière à produire un alliage ayant un intervalle de bande réglé pour fonctionner sur une longueur d'onde photo- sensible spécifiée. Un second objet de l'invention est de proposer un allia- ge amorphe photosensible perfectionné,-cet alliage compre- nant du silicium et incorporant au moins un élément réduc- teur de la densité des états, cet élément étant du fluor, caractérisé en ce que cet alliage comprend un élément de réglage de l'intervalle de bande incorporé dans le matériau sans augmenter sensiblement les états dans l'intervalle de bande, cet alliage ayant un intervalle de bande réglé pour fonctionner sur une longueur d'onde photosensible spécifiée. Un troisième objet de l'invention est de proposer un dispositif photosensible perfectionné, ce dispositif compre- nant des couches superposées de matériaux divers comportant un corps en un alliage semiconducteur amorphe comprenant une région photosensible active dans laquelle est compris un intervalle de bande que des radiations peuvent venir frapper pour produire des porteurs de charge, ledit alliage amorphe comportant au moins un élément réducteur de la densité des états, cet élément étant du fluor, caractérisé en ce que ledit alliage comprend en outre un élément de réglage de l'intervalle de bande au moins dans ladite région photosen- sible pour augmenter sa capacité d'absorbtion des radiations sans augmenter sensiblement les états dans l'intervalle de il bande, cet intervalle dudit alliage étant réglé pour fonc- tionner sur une longueur d'onde photosensible spécifiée. On décrira maintenant à titre d'exemple et avec référence aux dessins annexés à la présente description le mode de réalisation préféré de la présente invention. La figure 1 est une représentation schématique d'un équipement de dépôt sous vide plus ou moins classique auquel ont été ajoutés des éléments pour effectuer l'adjonction de fluor (et d'hydrogène) par addition de composés moléculaires ou de fluor contenant du fluor, tel que du SiF4, ainsi que des arrivées d'hydrogène et des dispositifs de génération de fluor et d'hydrogène activés qui décomposent le fluor et l'hydrogène moléculaires à l'intérieur de l'espace sous vide de l'équipement de dépôt de vapeur pour convertir le fluor et l'hydrogène moléculaires en fluor et en hydrogène activés et pour diriger l'un ou les deux 'sur le substrat pendant le dépôt d'un alliage amorphe contenant du silicium. La figure 2 représente un équipement de dépôt sous vide similaire à celui représenté à la figure 1, comprenant des moyens de génération de fluor (et d'hydrogène) activés comportant une source de lumière ultraviolette irradiant le substrat pendant le procédé de dépôt de l'alliage amorphe, cette source de lumière remplaçant les dispositifs généra- teurs de fluor et d'hydrogène activés représentés à la figure 1 et les moyens de génération de l'élément de réglage. La figure 3 représente l'équipement de dépôt sous vide de la figure 1 auquel ont été ajoutés des moyens addition- nels pour doper l'alliage du dépôt avec un matériau déter- minant une conductivité de type n ou p. La figure 4 représente une application o le dépôt de l'alliage amorphe et l'application du fluor et de l'hydro- gène activés peuvent être réalisés sous forme d'opérations séparées et dans des enceintes séparées. La figure 5 représente un appareil exemplaire pour diffuser de l'hydrogène activé dans un alliage amorphe préalablement déposé. La figure 6 est une vue en coupe fragmentaire d'un mode de réalisation d'une cellule solaire à barrière de.Schottky qui illustre une application des alliages photosensibles semiconducteurs amorphes réalisés au moyen du procédé de la présente invention. La figure 7 est une vue en coupe fragmentaire d'un dispositif à cellule solaire à jonction p-n comprenant un alliage semiconducteur amorphe dopé réalisé au moyen du procéde de l'invention. La figure 8 est une vue en coupe fragmentaire d'un dispositif photodétecteur qui comprend un alliage semiconduc- teur amorphe réalisé au moyen du procédé de l'invention. La figure 9 est une vue en coupe d'un tambour xérographi- que comprenant un alliage semiconducteur amorphe réalisé au moyen du procédé de l'invention. La figure 10 est une vue en coupe fragmentaire d'un dispositif à cellule solaire à jonction p-i-n. La figure 11 est une vue en coupe fragmentaire d'un dispositif à cellule solaire à jonction n-i-p. La figure 12 est une représentation schématique d'un dispositif de dépôt de vapeur activée par plasma pour dépo- ser les alliages amorphes avec le ou les éléments de réglage de l'invention incorporés dans cet alliage. La figure 13 est un diagramme des irradiations spectra- les solaires représentant les longueurs d'ondes classiques de la lumière solaire qui sont disponibles pour diverses applications photosensibles. Si on se réfère maintenant plus particulièrement à la figure 1, celle-ci représente un équipement de dépôt de vapeur indiqué dans son ensemble par la référence 10, qui peut être un équipement de dépôt de vapeur classique auquel ont été ajoutés des moyens d'injection d'un matériau compen- sateur ou modificateur activé qui seront décrits plus loin. Cet équipement, tel qu'il est illustré, comprend une cloche 12 ou toute autre enceinte délimitant un espace sous vide 14 dans lequel sont disposés un ou plusieurs creusets tel que le creuset 16 contenant le ou les éléments producteurs de film semiconducteur amorphe à déposer sur un substrat 18. Dans la forme de l'invention qui est décrite, le creuset 16 contient initialement du silicium pour former un alliage amorpne contenant du silicium sur le substrat 18 qui, par exemple, peut être un métal, un semiconducteur cristallin ou polycristallin ou tout autre matériau sur lequel.on désire former l'alliage qui doit être déposé par le procédé de la présente invention. Une source de faisceau d'électrons 20 est prévue dans une zone adjacente au creuset 16, cette source de faisceau d'électrons qui est représentée schémati- quement comprenant habituellement un filament chauffé et des moyens de déflexion de faisceau (non représentés) qui diri- gent un faisceau d'électrons sur le silicium contenu dans le creuset 16 pour l'évaporer. Une alimentation de puissance en courant continu et à haute tension 22 fournit la tension élevée appropriée qui est par exemple de 10.000 volts en courant continu, sa borne positive étant reliée au creuset 16 par l'intermédiaire d'un dispositif de commande 24 et d'un conducteur 26. Sa borne négative est reliée au filament de la source de faisceau d'électrons 20 par l'intermédiaire d'un dispositif de comman- de 24 et d'un conducteur 28. Le dispositif de commande 24 comprend des relais ou analogues pour interrompre la conne- xion de la source de puissance 22 avec les conducteurs 26 et 28 quand l'épaisseur du film formé sur un dispositif d'échan- tillonnage de dépôt d'alliage 30 disposé dans l'enceinte sous vide 14 atteint une valeur donnée déterminée en action- nant un bouton manuel 32 prévu sur un panneau de commande 34 du dispositif de commande 24. Le dispositif d'échantillonna- ge d'alliage 30 comprend un câble 36 qui est relié au dispo- sitif de commande 24 et qui comprend des moyens bien connus pour réagir à la fois à l'épaisseur de l'alliage déposé sur le dispositif d'échantillonnage d'alliage 30 et à la vitesse du dépôt. On peut prévoir un bouton de commande manuel 38 sur le panneau de commande 34 pour fixer la vitesse de dépôt de l'alliage que l'on désire et que l'on contrôle par la quantité de courant qui est envoyé au filament de la source de faisceau d'électrons par l'intermédiaire d'un conducteur 40, d'une manière bien connue. Le substrat 18 est supporté sur un porte-substrat 42 sur lequel est monté un élément chauffant 44. Un cable 46 envoie du courant d'excitation à l'élément chauffant 44 qui contrôle la température du porte-substrat 42 et du substrat 18 selon un réglage de la température déterminé au moyen d'un bouton de commande manuel 48 prévu sur le panneau de commande 34 du dispositif de commande 24. La cloche 12 est représentée s'étendant vers le haut à partir d'une base de support 50 d'o peuvent partir les divers câbles et autres connexions avec les composants disposés à l'intérieur de la cloche 12. La base de support est montée dans une enceinte 52 dans laquelle débouche une conduite 54 raccordée à une pompe à vide 56. La pompe à vide 56, qui peut fonctionner de façon continue, fait le vide dans l'espace 14 à l'intérieur de la cloche 12. On règle la pression désirée dans la cloche par un bouton de commande 58 prévu sur le panneau de commande 34. Selon cette forme de l'invention, le réglage contrôle le niveau de la pression selon lequel le courant de fluor (et d'hydrogène) activé est régulé à l'intérieur de la cloche 12. Ainsi, si le bouton de commande est réglé pour une pression de 10 4 Torrs dans la cloche, le courant de fluor (et d'hydrogène) dans la cloche 12 sera tel que la pression sera maintenue à l'intérieur de la cloche alors que la pompe à vide 56 con- tinuera à fonctionner. Le dessin montre que les sources 60 et 62 de fluor et d'hydrogène moléculaires sont reliées par des conduites respectives 64 et 66 au dispositif de commande 24. Un détec- teur de pression 68 disposé dans la cloche 12 est relié par un câble 70 au dispositif de commande 24. Des soupapes de contrôle de débit 72 et 74 sont commandées par le dispositif de commande 24 de manière à maintenir la pression réglée dans la cloche. Les conduites 76 et 78 partent du dispo- sitif de commande 24 et traversent la base de support 50 pour parvenir dans l'espace sous vide 14 de la cloche 12. Les conduites 76 et 78 sont respectivement reliées aux dispositifs générateurs de fluor et d'hydrogène activés 80 et 82 qui convertissent le fluor et l'hydrogène moléculaires respectivement en fluor et en hydrogène activés, qui peuvent être des formes atomiques et/ou ionisées de ces gaz. Les dispositifs de génération de fluor et d'hydrogène activés 80 et 82 peuvent être des filaments de tungstène chauffés qui élèvent les gaz moléculaires à leur température de décomposi- tion, ou un dispositif générateur de plasma qui est bien connu dans la technique et qui fournit un plasma de gaz décomposés. Le fluor et l'hydrogène activés sous formes ionisées formés par plasma peuvent également être accélérés et injectés dans l'alliage en cours de dépôt en appliquant un champ électrique entre le substrat et la source d'activa- tion. Dans l'un ou l'autre cas, les dispositifs générateurs de fluor et d'hydrogène activés 80 et 82 sont placés de préférence à proximité immédiate du substrat 18, de manière que le fluor et l'hydrogène activés qu'ils fournissent et dont la durée de vie est relativement courte soient injectés immédiatement au voisinage du substrat 18 o l'alliage est en cours de dépôt. Comme indiqué précédemment, on inclut au moins du fluor dans l'alliage et on y inclut aussi de préfé- rence de l'hydrogène. Le fluor (et l'hydrogène) activés de même que d'autres éléments compensateurs ou modificateurs peuvent aussi être produits à partir de composés contenant les éléments au lieu d'une source de gaz moléculaire. * Comme indiqué précédemment, pour produire des alliages amorphes utiles présentant les caractéristiques désirées permettant leur utilisation dans des dispositifs photosen- sibles tels que des photorécepteurs, des cellules solaires, des dispositifs de commande de courant à jonction p-n, etc., les agents, les matériaux ou les éléments compensateurs ou modificateurs produisent une très faible densité d'états localisés dans l'intervalle de bande sans modifier le carac- tère intrinsèque de base du film. Ce résultat est atteint au moyen de quantités relativement faibles de fluor et d'hydro- gène activés, ce qui fait que la pression dans l'espace 14 de la cloche sous vide peut toujours être une pression relativement basse (telle que de 10-4 Torrs). On peut faire en sorte que la pression du gaz dans le générateur soit plus élevée que la pression dans la cloche en réglant la dimension de la sortie du générateur. On règle la température du substrat 18 pour obtenir la réduction maximale de la densité des états localisés dans l'intervalle de bande de l'alliage amorphe en cause. Généra- lement, la température de la surface du substrat est telle qu'elle détermine une mobilité élevée des matériaux du dépôt, et de préférence une mobilité inférieure à la tempé- rature de cristallisation de l'alliage en cours de dépôt. La surface du substrat peut être irradiée par de l'éner- gie radiante pour encore augmenter la mobilité du matériau constituant l'alliage en cours de dépôt, en montant par exemple une source de lumière ultraviolette (non représen- tée) dans l'espace 14 de la cloche. En variante, et à la place des dispositifs générateurs de fluor et d'hydrogène activés 80 et 82 de la figure 1, ces dispositifs peuvent être remplacés par une source de lumière ultraviolette 84 représentée à la figure 2, qui dirige une énergie ultravio- lette sur le substrat 18. Cette lumière ultraviolette décom- pose le fluor (et l'hydrogène) moléculaires aussi bien à une certaine distance du substrat 18 que sur celui-ci pour former du fluor (et de l'hydrogène) activés qui diffusent dans l'alliage amorphe en cours de dépôt qui se condense sur le substrat 18. La lumière ultraviolette augmente également la mobilité de surface du matériau constituant l'alliage déposé. Aux figures 1 et 2, les éléments de réglage de l'inter- valle de bande peuvent être ajoutés sous forme gazeuse d'une manière identique au fluor et à l'hydrogène en remplaçant le générateur d'hydrogène 82 ou en ajoutant un ou plusieurs générateurs d'éléments de réglage activés 86, 88 (figure 2). Chacun des générateurs 86 et 88 est consacré de façon typique à l'un des éléments de réglage tel que du germanium ou de l'étain. Par exemple, le générateur 86 peut fournir le germanium sous forme de gaz germane (GeH4). On se référera maintenant à la figure 3 qui représente des adjonctions à l'équipement représenté à la figure 1 servant à ajouter d'autres agents ou éléments à l'alliage en cours de dépôt. Par exemple, on peut ajouter initialement un dopant de conductivité n tel que du phosphore ou de l'arse- nic pour transformer l'alliage intrinsèque qui est modeste- ment de type n en un alliage nettement plus de type n, et on peut ensuite ajouter un dopant de type p tel que de l'alu- minium, du gallium ou de l'indium pour former une bonne jonction p-n dans l'alliage. La figure représente un creuset destiné à recevoir un dopant tel que de l'arsenic qui est évaporé par bombardement de celui-ci au moyen d'une source à faisceau d'électrons 92 telle que la source à faisceau 20 qui a été précédemment décrite. La vitesse à laquelle le dopant s'évapore dans l'atmosphère de la cloche 12, qui est déterminée par l'intensité du faisceau d'électrons produit par la source de faisceau d'électrons 92, est réglée par un bouton manuel 94 prévu sur le panneau de commande 34 qui contrôle le courant envoyé dans le filament formant une partie de cette source de faisceau de manière à produire la vitesse d'évaporation réglée. La vitesse d'évaporation est mesurée au moyen d'un dispositif d'échantillonnage d'épais- seur 96 sur lequel le matériau dopant se dépose et qui engendre un signal sur un câble 98 allant du dispositif 96 au dispositif de commande 24 et qui indique la vitesse à laquelle le matériau dopant est déposé sur le dispositif 96. Lorsque l'épaisseur désirée pour l'alliage amorphe présentant le degré désiré de conductivité n a été déposée, on met fin à l'évaporation du silicium et du dopant de conductivité de type n et on dispose dans le creuset 90 (ou dans un autre creuset qui n'est pas représenté) un dopant de conductivité p décrit, et le processus de dépôt de l'alliage amorphe et de dopant continue alors comme précédemment pour augmenter l'épaisseur de l'alliage amorphe au moyen d'une région à conductivité de type p. Le ou les éléments de réglage de l'intervalle de bande peuvent également être ajoutés au moyen d'un processus similaire à celui décrit pour le dopant en utilisant un autre creuset semblable au creuset 90. Dans le cas o les alliages amorphes comprennent deux ou plusieurs éléments qui sont solides à la température ambiante, il est habituellement souhaitable de vaporiser séparément chaque élément placé dans un creuset séparé, et de contrôler leur vitesse de dépôt de toute manière appropriée telle qu'au moyen de commandes de réglage disposées sur le panneau de commande 34 qui, en association avec les dispositifs d'échantillonnage de vitesse de dépôt et d'épaisseur, contrô- lent l'épaisseur et la composition de l'alliage en cours de dépôt. Bien que l'on pense que le fluor (et l'hydrogène) acti- vés constituent des agents de compensation les plus avanta- geux pouvant être utilisés dans des alliages amorphes compen- sés et comprenant du silicium, on peut utiliser d'autres agents compensateurs ou modificateurs selon des aspects les plus larges de la présente invention. Par exemple, le carbone et l'oxygène peuvent être utiles pour réduire la densité des états localisés dans l'intervalle de bande quand on les utilise en faibles quantités de manière à ne pasmodifier le caractère intrinsèque de l'alliage. Comme indiqué précédemment, et bien qu'on préfère que les agents compensateurs et autres soient incorporés dans l'alliage amorphe au moment o il est déposé, le processus du dépôt de l'alliage amorphe et le processus de l'injection des agents compensateurs et autres dans l'alliage semiconduc- teur peuvent être effectués, selon un autre aspect de l'in- vention, dans un environnement totalement séparé de celui o s'effectue le dépôt de l'alliage amorphe. Ceci peut présen- ter un avantage dans certaines applications du fait que les conditions de l'injection de ces agents est alors complète- ment indépendante des conditions du dépôt de l'alliage. Egalement et comme précédemment expliqué, si le processus de dépôt de vapeur produit un alliage poreux, on réduit plus facilement la porosité de l'alliage, dans certains cas, au moyen de conditions de l'environnement qui sont totalement différentes de celles présentes dans le processus de dépôt de vapeur. A cette fin, référence est maintenant faite aux figures 4 et 5 qui montrent que le processus A de d&rôt amorphe et le processus B de diffusion de l'agent compensateur ou modificateur sont effectués sous forme d'opérations séparées dans des environnements complètement différents, la figure 5 représentant l'appareil pour mettre en oeuvre le processus de diffusion postérieur à la compensation. Comme indiqué sur cette figure, on prévoit un corps 100 constituant un réceptacle à basse pression, comprenant une chambre à basse pression 102 munie d'une ouverture 104 à son extrémité supérieure. Cette ouverture 104 est fermée par un chapeau 106 pourvu d'un filetage 108 qui se visse autour d'une partie filetée correspondante prévue à l'extérieur du corps 100 constituant le réceptacle. Un joint torique 110 est pris en sandwich entre le chapeau 106 et la face supé- rieure du réceptacle. Une électrode 112 portant l'échantil- lon est montée sur une paroi inférieure isolante 114 de la chambre 102. Un substrat 116 sur lequel a été déjà déposé un alliage semiconducteur amorphe 118 est placé sur l'électrode 112. La face supérieure du substrat 116 contient l'alliage amorphe 118 à modifier ou à compenser d'une manière qui sera maintenant décrite. A une certaine distance au-dessus du substrat 116 est disposée une électrode 120. Les électrodes 112 et 120 sont reliées par des câbles 122 et 124 à une source de puissance 126 en courant continu ou à haute fréquence qui envoie une tension entre les électrodes 112 et 120 pour obtenir un plasma activé du ou des gaz compensateurs ou modificateurs, tels que du fluor, de l'hydrogène et analogues, envoyés dans la chambre 102. Pour des raisons de simplicité, la figure 5 ne représente que de l'hydrogène moléculaire envoyé dans la chambre 102 par une conduite d'entrée 128 qui traverse le chapeau 106 et part d'un réservoir d'alimentation 130 d'hy- drogène moléculaire. D'autres gaz compensateurs ou modifica- teurs (tels que du fluor et analogues) peuvent être égale- ment envoyés de la même manière dans la chambre 102. La conduite 128 est représentée reliée à une soupape 132 à proximité du réservoir 130. Une jauge indicatrice de débit 134 est représentée reliée à la conduite d'entrée 128 au- delà de la soupape 132. Des moyens appropriés sont prévus pour chauffer l'inté- rieur de la chambre 102 de manière que la température du substrat soit élevée de préférence à une température infé- rieure mais proche de la température de cristallisation du film 118. Par exemple, des enroulements d'un fil chauffant 136 sont représentés sur la paroi inférieure 114 de la chambre 102, un câble (non représenté) qui est relié à cet enroulement traversant les parois du corps 100 constituant le réceptacle pour parvenir à une source de courant destinée à les chauffer. La température élevée, en conjonction avec un plasma de gaz contenant un ou plusieurs éléments compensateurs dévelop- pés entre les électrodes 112 et 120, permet de réduire les états localisés dans l'intervalle de bande de l'alliage. La compensation et la modification de l'alliage amorphe 118 peuvent être améliorées en irradiant l'alliage amorphe 118 au moyen d'une énergie radiante provenant d'une source de lumière ultraviolette 138 qui est représentée à l'extérieur du corps 100 constituant le réceptacle et dirigeant une lumière ultraviolette entre les électrodes 112 et 120 par l'intermédiaire d'une fenêtre à quartz 140 montée dans la paroi latérale du corps 100. La faible pression ou le vide régnant dans la chambre 102 peut être obtenue au moyen d'une pompe à vide (non représentée) telle que la pompe 56 de la figure 1. La pres- sion dans la chambre 102 peut être de l'ordre de 0,3 à 2 Torrs, la température du substrat étant de l'ordre de 2001C à 4500C. Le fluor (et l'hydrogène) activés de même que d'autres éléments compensateurs ou modificateurs peuvent être produits à partir de composés contenant les éléments à la place d'une source de gaz moléculaire telle que mention- née précédemment. Diverses applications des alliages amorphes perfection- nés produits par les procédés nouveaux de l'invention sont illustrés aux figures 6 à 11. La figure 6 représente une cellule solaire à barrière de Schottky 142 vue en coupe fragmentaire. La cellule solaire 142 comprend un substrat ou une électrode 144 en un matériau présentant de bonnes pro- priétés de conductivité électrique, et la capacité d'établir un contact ohmique avec un alliage amorphe 1-46 compensé ou modifié pour obtenir une faible densité des états localisés dans l'intervalle de bande et un intervalle de bande rendu optimal par les procédés de la présente invention. Le subs- trat 144 peut comprendre un métal à faible potentiel d'extraction tel que de l'aluminium, du tentale, de l'acier inoxydable ou tout autre matériau compatible avec l'alliage amorphe 146 déposé sur lui et qui comprend de préférence du silicium, compensé ou modifié à la manière des alliages précédemment décrits de façon qu'il présente une faible densité des états localisés dans l'intervalle de bande, et qui de préférence ne soit pas supérieure à 1016 par cm3 par eV. On préfère surtout que l'alliage comprenne une région 148 proche de l'électrode 144, laquelle région forme un interface à faible résistance, fortement dopé et à conduc- tivité n-plus entre l'électrode et une région 150 à forte résistance d'obscurité et relativement non dopée et qui est une région intrinsèque, mais à faible conductivité n. La surface supérieure de l'alliage 146 telle que repré- sentée à la figure 6 relie une région métallique 152, un interface entre cette région et l'alliage amorphe 146 for- mant une barrière de Schottky 154. La région métallique 152 est transparente ou semi-transparente aux radiations solaires, présente une bonne conductivité électrique et un potentiel d'extraction élevé (par exemple de 4,5 eV ou plus, produit par exemple par de l'or, du platine, du palladium, etc.) par rapport à celui de l'alliage amorphe 146. La région métalli- que 152 peut être constituée par une couche unique d'un métal ou elle peut être multi-couches. L'alliage amorphe 146 peut avoir une épaisseur d'environ 0,5 à 1 micron et la région métallique 152 peut avoir une épaisseur d'environ 100 A de manière à être semi-transparente aux radiations solaires. Sur la surface de la région métallique 152 est déposée une électrode grille 156 réalisée en un métal présentant une bonne conductivité électrique. La grille peut comprendre des lignes reliées orthogonalement d'un matériau conducteur qui n'occupe qu'une partie mineure de la surface de la région métallique, dont le reste doit être exposé à l'énergie solaire. Par exemple, la grille 156 peut n'occuper qu'envi- ron 5 à 10% de la surface totale de la région métallique 152. L'électrode grille 156 collecte de façon uniforme le courant provenant de la région métallique 152 pour assurer au dispositif une faible résistance série de bonne qualité. Une couche anti-réflexion 158 peut être appliquée sur l'électrode grille 156 et les surfaces de la région métalli- que 152 comprises entre les surfaces de l'électrode grille. La couche anti-réflexion 158 comprend une surface 160 d'inci- dence pour les radiations solaires et sur laquelle viennent frapper les radiations solaires. Par exemple, la couche anti-réflexion 158 peut avoir une épaisseur d'un ordre de grandeur de la longueur d'onde du point d'énergie maximale du spectre des radiations solaires, divisée par quatre fois l'indice de réfraction de la couche anti-réflexion 158. Si la région métallique 152 est du platine ayant une épaisseur de 100 A, une couche anti-réflexion appropriée 158 serait constituée par de l'oxyde de zirconium ayant une épaisseur d'environ 500 A avec un indice de réfraction de 2,1. Le ou les éléments de réglage de bande sont ajoutés à la région 150 qui engendre le courant photoélectrique. La barrière de Schottky 154 formée à l'interface entre les régions 150 et 152 permet aux photons provenant des radia- tions solaires de produire des porteurs de courant dans l'alliage 146, qui sont recueillis sous forme de courant par l'électrode grille 156. Une couche d'oxyde (non représentée) peut être ajoutée entre les couches 150 et 152 de manière à produire une cellule solaire MIS (semiconducteur métal- isolant). En plus de la barrière de Schottky ou de la cellule solaire MIS représentée à la figure 6, il existe des consti- tutions de cellules solaires utilisant des jonctions p-n dans le corps de l'alliage amorphe formant une partie de celui-ci, au moyen d'opérations successives de dépôt, de compensation ou de modification et de dopage, semblables à celles précédemment décrites. Ces autres formes de cellules solaires sont illustrées de façon générale à la figure 7 de même qu'aux figures 10 et 11. Ces constructions 162 comprennent généralement une électrode transparente 164 par laquelle pénètre l'énergie des radiations solaires dans le corps de la cellule solaire en cause. Entre cette électrode transparente et une électro- de opposée 166 est déposé un alliage amorphe 168, comprenant de préférence du silicium, compensé initialement de la manière précédemment décrite. Dans cet alliage amorphe 168 sont prévues au moins deux régions adjacentes 170 et 172 o l'alliage amorphe comprend des régions respectivement dopées de types opposés, la région 170 étant représentée comme étant une région de conductivité n et la région 172 étant représentée comme étant une région de conductivité p. Le dopage des régions 170 et 172 suffit seulement pour déplacer les niveaux de Fermi vers les bandes de valence et de conduc- tion en cause de manière que la conductivité d'obscurité reste à une faible valeur telle qu'elle est obtenue par le procédé de réglage et de compensation ou de modification de l'intervalle de bande de l'invention. L'alliage 168 comprend des régions d'interface 174 et 176 de contact ohmique, fortement dopées et à haute conductivité, du même type de conductivité que la région adjacente de l'alliage 168. Les régions 174 et 176 de l'alliage sont en contact avec les électrodes 164 et 166 respectivement. Le ou les éléments de réglage sont ajoutés aux régions 170 et/ou 172. Si on se réfère maintenant à la figure 8, celle-ci représente une autre application d'un alliage amorphe utili- sé dans un dispositif photo-détecteur 178 dont la résistance varie en fonction de la quantité de lumière qui vient le frapper. Un alliage amorphe 180 a son intervalle de bande réglé et compensé ou modifié selon l'invention, il ne com- prend pas de jonctions p-n comme dans le mode de réalisation représenté à la figure 7 et il est disposé entre une électro- de transparente 182 et une électrode formant substrat 184. Dans un dispositif photo-détecteur, il est souhaitable que la conductivité d'obscurité soit minimale et il en résulte que l'alliage amorphe 180 comprend une région non dopée mais compensée ou modifiée 186 et des régions fortement dopées 188 et 190 du même type de conductivité et formant un con- tact ohmique à faible résistance avec les électrodes 182 et 184, qui peuvent constituer un substrat pour l'alliage 180. Le ou les éléments de réglage sont ajoutés au moins à la région 186. Si on se réfère à la figure 9, celle-ci représente un dispositif de production d'images électrostatiques 192 (tel qu'un tambour de xérographie). Le dispositif 192 présente une faible conductivité d'obscurité, un seuil de longueur d'onde sélectif, un alliage amorphe non dopé ou légèrement dopé de type p 194 déposé sur un substrat approprié 196 tel qu'un tambour. Le ou les éléments de réglage sont ajoutés à l'alliage 194. Telles qu'elles sont utilisées ici, les expressions: agents ou matériaux compensateurs et agents, éléments ou matériaux modificateurs désignent des matériaux qui sont incorporés dans l'alliage amorphe pour modifier ou changer sa structure, tels que du fluor (et de l'hydrogène) activés incorporés dans l'alliage amorphe contenant du silicium pour former un alliage de composition amorphe silicium/fluor/ hydrogène, présentant un intervalle de bande désiré et une faible densité d'états localisés dans l'intervalle de bande. Le fluor (et l'hydrogène) activés sont liés au silicium dans l'alliage et réduisent la densité des états localisés dans cet alliage, et en raison de la faible dimension des atomes de fluor et d'hydrogène, ils sont tous les deux facilement introduits dans l'alliage amorphe sans-dislocation sensible des atomes de silicium et de leurs rapports dans l'alliage amorphe. Ceci est vrai plus particulièrement du fait de l'extrême électronégativité, de la spécificité, des faibles dimensions et de la réactivité du fluor, toutes ces caracté- ristiques contribuant à influencer et à organiser l'ordre local des alliages par l'intermédiaire des pouvoirs induc- teurs du fluor. La capacité du fluor à se lier à la fois au silicium et à l'hydrogène a pour résultat la formation d'alliages nouveaux et supérieurs comprenant un minimum d'états défectueux et localisés dans l'intervalle de bande. De ce fait, le fluor et l'hydrogène sont introduits sans formation sensible d'autres états localisés dans l'intervalle de bande, pour former les nouveaux alliages. Si on se réfère maintenant à la figure 10, celle-ci représente une cellule solaire p-i-n 198 comprenant un substrat 200 pouvant être en verre ou en une bande continue flexible formée à partir d'acier inoxydable ou d'aluminium. Le substrat 200 a la largeur et la longueur que l'on désire et son épaisseur est de préférence d'au moins 0,08 mm (3 mils). Le substrat comprend une couche isolante 202 déposée sur lui par un procédé classique tel qu'un dépôt chimique, un dépôt de vapeur ou une anodisation dans le cas d'un substrat d'aluminium. La couche 202 par exemple, qui a une épaisseur d'environ 5 microns, peut être réalisée en un oxyde métallique. Lorsqu'il s'agit d'un substrat en alumi- nium, il est constitué de préférence par de l'oxyde d'alu- minium (Al203) et lorsqu'il s'agit d'un substrat d'acier inoxydable, il peut être un dioxyde de silicium (SiO2) ou autre verre approprié. Une électrode 204 est déposée en une ou plusieurs cou- ches sur la couche 202 pour former une électrode de base pour la cellule 198. La couche ou les couches de l'électrode 204 sont déposées par dépôt de vapeur, ce qui est un procédé de dépôt relativement rapide. Les couches de l'électrode sont de préférence des électrodes en métal réfléchissant en molybdène, chrome ou acier inoxydable, lorsqu'il s'agit d'un dispositif photovoltalque ou à cellules solaires. On préfère une électrode réfléchissante du fait que dans une cellule solaire, la lumière qui n'est pas absorbée et qui traverse l'alliage semi-conducteur est réfléchie par les couches 204 formant l'électrode, et elle passe alors à nouveau par l'alliage semi-conducteur et absorbe alors plus d'énergie lumineuse, ce qui augmente le rendement du dispositif. Le substrat 200 est alors placé dans l'environnement du dépôt. Les exemples spécifiques représentés aux figures 10 et 11 sont illustratifs de certains dispositifs à jonction p-i-n qui peuvent être fabriqués en utilisant les procédés et les matériaux perfectionnés de l'invention. Chacun des dispositifs représentés aux figures 10 et 11 comprend un corps formant l'alliage, ayant une épaisseur d'ensemble comprise entre environ 3.000 et 30.000 angstr5ms. Cette épaisseur permet d'être certain qu'il n'y a pas de trous d'épingle ou autres défauts physiques dans les structures et que le rendement de l'absorbtion de la lumière est maximal. Un matériau plus épais peut absorber plus de lumière, mais pour une certaine épaisseur, il n'engendre pas plus de courant du fait qu'une épaisseur plus importante permet une recombinaison plus importante des paires d'électrons-trous engendrés par la lumière. (On comprendra que les épaisseurs des diverses couches représentées aux figures 6 à 11 ne soient pas à l'échelle). - Si on se réfère d'abord à la formation du dispositif n- i-p 198, ce dispositif est formé en commençant par déposer une couche d'alliage fortement dopé n 206 sur l'électrode 204. Lorsque la couche n 206 est déposée, on dépose sur elle une couche d'alliage intrinsèque (i) 208. La couche intrinsèque 208 est suivie par une couche d'alliage forte- ment dopée et conductrice de type p 210 déposée pour consti- tuer la couche semi-conductrice finale. Les couches d'alliage 206, 208 et 210 forment les couches actives du dispositif n- i-p 198. Bien que chacun des dispositifs illustrés aux figures 10 et 11 puissent avoir d'autres utilités, on les décrira maintenant en tant que dispositifs photo-voltaiques. Utilisés en tant que dispositif photo- voltaique, la couche p externe choisie 210 est une couche d'alliage à haute conductivité et à faible absorption de la lumière. La couche d'alliage intrinsèque 208 a une réponse de longueur d'onde réglée sur une photbo-réponse solaire, une forte absorption de la lumière et une faible conductivité d'obscurité et une forte photo- conductivité comprenant des quantités suffisantes d'élément(s) de réglage pour rendre l'intervalle de bande optimal. La couche d'alliage inférieure 204 est une couche n à forte conductivité et faible absorption de la lumière. L'épaisseur d'ensemble du dispositif entre la surface interne de la couche 206 formant l'électrode et la surface supérieure de la couche p 210 est, comme indiqué précédemment, de l'ordre d'au moins 3.000 angstrôms environ. L'épaisseur de la couche dopée n 206 est de préférence comprise entre 50 et 500 angstr5ms. L'épaisseur de l'élément de réglage amorphe contenant l'alliage intrinsèque 208 est comprise de préféren- ce entre 3.000 angstrôms et 30.000 angstr8ms. L'épaisseur de la couche de contact supérieure p 210 est également comprise de préférence entre 50 et500 angstr ms. En raison de la plus courte longueur de diffusion des trous, la couche p est en général aussi mince que possible et de l'ordre de 50 à 150 angstrôms. En outre, la couche externe (ici la couche p+ 210), quelle soit de type n+ ou p, est maintenue aussi mince que possible pour éviter l'absorption de la lumière par cette couche de contact et elle ne comprend pas en général d'élément(s) de réglage de l'intervalle de bande. Un second type à jonction p-i-n 212 est représenté à la figure 11. Dans ce dispositif, une première couche p +214 est déposée sur la couche formant électrode 204', suivie par une couche d'alliage amorphe intrinsèque 216 contenant le ou les éléments de réglage de l'intervalle de bande selon une quantité désirée, une couche d'alliage amorphe de type n 218 et une couche d'alliage amorphe externe n 220. En outre, bien que la couche d'alliage intrinsèque 208 ou 216 (sur les figures 10 et 11) soit un alliage amorphe, les autres couches ne sont pas ainsi restreintes et peuvent être polycristalli- nes, telle que la couche 214. (On peut également utiliser l'inverse de la structure des figures 10 et 11, qui n'est pas représenté). A la suite du dépôt des diverses couches d'alliage semiconducteur selon l'ordre désiré pour les dispositifs 198 et 212, on effectue une autre opération de dépôt, de préfé- rence dans un environnement de dépôt séparé. Avantageusement, on utilise un environnement de dépôt de vapeur du fait qu'il constitue un procédé de dépôt rapide. Au cours de cette opération, on ajoute une couche TCO 222 (oxyde conducteur transparent) qui peut être par exemple de l'oxyde d'étain indium (ITO), du stannate de cadmium (Cd2SnO4), ou de l'oxyde d'étain dopé (SnO2). La couche TCO est ajoutée à la suite de la postcompensation du fluor (et de l'hydrogène) si les films n'ont pas été déposés avec un ou plusieurs des éléments compensateurs ou modificateurs désirés à l'intérieur. De même, les autres éléments compensateurs ou modificateurs décrits ci-dessus peuvent être ajoutés par post-compensation. On peut ajouter une électrode grille 224 à l'un quelcon- que des dispositifs 198 ou 212 si on le désire. Pour un dispositif ayant une surface relativement petite, la couche TCO 222 est en général suffisamment conductrice, ce qui fait que la grille 224 n'est pas nécessaire pour un bon rendement du dispositif. Si le dispositif a une surface suffisamment importante ou si la conductivité de la couche TCO 222 est insuffisante, la grille 224 peut être placée sur la couche 222 pour raccourcir le parcours des porteurs et augmenter le rendement de conduction des dispositifs. Si on se réfère maintenant à la figure 12, celle-ci représente un mode de réalisation d'une chambre de dépôt de vapeur activée par plasma 226, chambre dans laquelle le semiconducteur et le ou les éléments de réglage d'intervalle de bande de l'invention peuvent être déposés. Un dispositif de commande 228 est utilisé pour contrôler les paramètres du dépôt, tels que la pression, les débits, etc., d'une manière semblable à celle précédemment décrite avec référence au dispositif 24 (figure 1). La pression doit être maintenue à environ 10-3 Torrs ou moins. Une ou plusieurs conduites de gaz de réaction, telles que les conduites 230 et 232, peuvent être utilisées pour envoyer les gaz tels que du tétrafluorure de silicium (SiF4) et de l'hydrogène (H2) dans la région de plasma 234. La région de plasma 234 est établie entre un enroulement 236 alimenté par un dispositif d'alimentation de puissance en courant continu (non représenté) et une plaque 238. Le plasma active le ou les gaz d'alimentation pour fournir du fluor (et de l'hydrogène) activés qui doivent être déposés sur le substrat 240. Le substrat 240 peut être chauffé à la température de dépôt désirée par des moyens de chauffage comme décrits précédemment. Le ou les éléments de réglage de l'intervalle de bande et le silicium peuvent être ajoutés à partir de deux ou plusieurs nacelles d'évaporation, telles qu'en 242 et 244. La nacelle 242 pourrait contenir, par exemple, du germanium et la nacelle 244 du silicium. Les éléments contenus dans les nacelles 242 et 244 peuvent être évaporés par le fais- ceau d'électrons ou tout autre moyen de chauffage et activés par le plasma. Si on souhaite déposer le ou les éléments de réglage de bande dans la région photo-génératrice du film qui est déposé, on peut utiliser un volet 246. Le volet pourrait tourner et déposer en couches des éléments de réglage de bande séparés provenant de deux ou plusieurs des nacelles, ou bien il peut être utilisé pour contrôler le dépôt de l'élément de réglage de bande provenant de la nacelle 242 (ou autres) pour constituer des couches dans là film ou pour modifier la quantité de l'élément de réglage de bande déposé dans le film. Ainsi, le ou les éléments de réglage de bande peuvent être ajoutés de façon discrète dans les couches, selon des quantités sensiblement constantes ou variables. La figure 13 représente le spectre de la lumière solaire disponible. La masse d'air O (AMO) représente la lumière solaire disponible sans atmosphère et le soleil directement à la verticale. AMI correspond à la même situation après filtrage par l'atmosphère terrestre. Le silicium cristallin a un intervalle de bande indirect d'environ 1,1 à 1,2 eV qui correspond à la longueur d'onde d'environ 1,0 micron. Ceci correspond à une perte, c'est-à-dire à la non génération de photons utiles, pour pratiquement toutes les longueurs d'onde au-dessus de 1,0 micron. Telle qu'il est utilisé ici, l'intervalle de bande ou d'absorption optique E est défini par l'interception extrapolée d'une courbe de (" i w)1/2, o " représente le coefficient d'absorption et i à un dispositif spécifique. Les calculs permettant d'obtenir le rendement de conver- sion théorique maximal en fonction de la largeur de l'inter- valle de bande ont été effectués par J.J. Loferski, et publiés dans le Journal of Applied Physics, volume 27, page 777 de juillet 1956. Lorsqu'il s'agit de matériaux à inter- valle de bande unique; et selon les suppositions faites, l'intervalle de bande optimal est de l'ordre de 1,4 à 1,5 eV quand il s'agit d'applications solaires. Pour obtenir 249001-6 - l'intervalle de bande photovoltalque désiré de 1,5 eV dans les dispositifs amorphes, le ou les éléments de réglage de l'intervalle de bande de l'invention, tel que le germanium, sont ajoutés aux régions photogénératrices, comme décrit précédemment. Une autre application photosensible concerne les lon- gueurs d'onde de lasers, quand il s'agit par exemple d'une réponse infrarouge. Un matériau photo-sensible utilisé dans un dispositif de sortie d'une calculatrice xérographique à grande vitesse utilisant un laser, tel qu'un laser d'hélium et de néon, devrait avoir un seuil de longueur d'onde d'en- viron 0,6 micron. Quand il s'agit d'une utilisation concer- nant des fibres optiques, par exemple avec les lasers GaAs, le seuil du matériau photosensible devrait être d'environ 1 micron ou moins. L'addition du ou des éléments de réglage de l'intervalle de bande de l'invention permet de réaliser des alliages souhaités ayant un intervalle de bande optimal pour l'application en vue. Chacune des couches des alliages du dispositif semicon- ducteur peut être déposée par décharge luminescente sur le substrat de l'électrode de base au moyen d'une chambre à décharge luminescente classique décrite dans le brevet US n0 4.226.898 sus-mentionné. Les couches de l'alliage peuvent également être déposées selon un procédé continu. Par exemple, le système à décharge luminescente est placé initialement sous vide à approximativement 1 mTorr pour purger ou élimi- ner les impuretés de l'atmosphère contenue dans le système de dépôt. Le matériau de l'alliage est alors envoyé de préférence dans la chambre de dépât sous forme gazeuse composée, et avantageusement sous forme de tétrafluorure de silicium (SiF4), d'hydrogène (H2) et de germane (GeH4). De préférence, on obtient le plasma de la décharge luminescente à partir du mélange gazeux. Le système de dépôt du brevet US n0 4.226.898 est utilisé de préférence à une pression compri- se entre environ 0,3 et 1,5 Torrs, et mieux entre 0,6 et 1,0 Torr, et par exemple de 0,6 Torr. Le matériau semiconducteur est déposé à partir d'un plasma se maintenant de lui-même sur le substrat qui est chauffé, de préférence par des moyens infrarouges, à la température de dépôt désirée pour chaque couche d'alliage. Les couches dopées du dispositif sont déposées à des tempéra- tures diverses comrises entre 2000C et environ 1.0000C, en fonction de la forme du matériau utilisé. La limite supérieu- re à la température du substrat est due en partie au type de substrat métallique utilisé. Pour l'aluminium, la températu- re supérieure ne doit pas dépasser environ 6000C et lors- qu'il s'agit d'acier inoxydable, elle ne doit pas dépasser environ 1. 0000C. Quand on veut produire un alliage amorphe compensé initialement à l'hydrogène, de manière à former une couche intrinsèque dans des dispositifs n-i-p ou p-i-n, la température du substrat doit être inférieure à environ 4000C et de préférence d'environ 3001C. On modifie les concentrations de dopage pour produire la conductivité désirée de type p, p, n ou n à mesure que les couches d'alliage sont déposées pour chaque dispositif. Pour des couches dopées n ou p, le matériau est dopé avec 5 à 100 ppm de matériau dopant au moment o il est déposé. Pour des -20 couches dopées n ou p+, le matériau est dopé avec des quantités de 100 ppm à plus de 1 pour cent de matériau dopant au moment o il est déposé. Le matériau dopant p peut être constitué par des dopants classiques, de préférence dans la gamme de 100 ppm à 5.000 ppm et plus pour le maté- riau p. Le procédé de dépôt par décharge luminescente peut comprendre un plasma engendré par un signal alternatif et dans lequel sont introduits les matériaux. De préférence, le plasma est soutenu entre une cathode et une anode formant substrat au moyen d'un signal en courant alternatif d'envi- ron 1 kHz à 13,6 MHz. Bien que le procédé de réglage de l'intervalle de bande et le ou les éléments de l'invention puissent être utilisés dans des dispositifs avec diverses couches d'alliages amor- phes, il est préférable qu'ils soient utilisés avec des alliages déposés par décharge luminescente et compensés au fluor et à l'hydrogène. Dans ce cas, un mélange de tétrafluo- rure de silicium et d'hydrogène est déposé sous forme d'un matériau d'alliage compensé amorphe à une température d'en- viron 4001C ou au-dessous pour la couche de type n. La couche d'alliage amorphe intrinsèque réglée pour l'intervalle de bande et la couche p peuvent être déposées sur la couche de l'électrode à une température plus élevée du substrat et supérieure à environ 4501C, ce qui permet d'obtenir un matériau compensé au fluor. Par exemple, un mélange des gaz GeH4 + Ar + SiF4 + H2 comprenant un pourcentage de GeR4 par rapport au SiF4 compris entre 0,001 et 1% produit des alliages photosensibles ayant des intervalles de bande souhaités sans perdre leurs propriétés électroniques que l'on désire. Le mélange présente un rapport entre le SiF4 et le H2 compris entre 4:1 et 10:1. La quantité du ou des éléments de réglage, soit ici le germanium, dans l'alliage résultant est beaucoup plus impor- tante que les pourcentages de gaz et elle peut être de façon significative supérieure à 20% en fonction de l'application. L'argon est utile en tant que diluant mais n'est pas essen- tiel au procédé de l'invention. En outre, bien que le ou les éléments de réglage de l'intervalle de bande soient ajoutés au moins à la région photosensible des dispositifs, le ou les éléments peuvent également avoir une utilité dans les autres couches d'allia- ges du dispositifs. Comme mentionné précédemment, les cou- ches d'alliages autres que la couche d'alliage intrinsèque peuvent être autres que des couches amorphes, et par exemple des couches polycristallines. (Le terme "amorphe" désigne un alliage ou un matériau présentant un désordre à long terme, bien qu'il puisse avoir un ordre à court terme ou à moyen terme, et même parfois contenir certaines inclusions cris- *tallines). Dans la présente description "intervalle de bande" signifie l'intervalle entre les bandes d'énergie, c'est-à- dire aussi la bande interdite. REVENDICATIONS 1. Procédé pour fabriquer un alliage amorphe photosensi- ble perfectionné, ce procédé comprenant le dépôt sur un substrat d'un matériau comportant au moins du silicium et incorporant dans le matériau au moins un élément réducteur de la densité des états, cet élément étant du fluor, carac- térisé en ce qu'on introduit au moins un élément de réglage de l'intervalle de bande dans ledit matériau sans augmenter sensiblement les états dans l'intervalle de bande, de maniè- re à produire un alliage ayant un intervalle de bande réglé pour réagir à une longueur d'onde photosensible spécifiée. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément de réglage est du germanium. 3. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'alliage est déposé par décharge luminescente à partir d'un mélange contenant au moins du SiF4, du H2 et du GeH4. 4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que le mélange comprend jusqu'à un pour cent de GeH4. 5. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que le rapport du mélange de SiF4 et de H2 est compris entre 4:1 et 10:1. 6. Procédé selon l'une des revendications 1 à 5, caracté- risé en ce que l'alliage est déposé en comprenant une région photosensible active et en ce que l'élément de réglage est introduit au moins dans cette région. 7. Procédé selon l'une des revendications 1 à 6, carac- térisé en ce qu'on introduit dans le matériau un second élément réducteur de la densité des états, ce second élément étant de l'hydrogène. 8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que les deux éléments réducteurs de la densité des états sont incorporés dans l'alliage déposé sensiblement simulta- nément à l'élément de réglage de l'intervalle de bande. 9. Procédé selon l'une des revendications 1 à 8, carac- térisé en ce que l'élément réducteur est incorporé dans l'alliage après le dépôt de ce dernier. 10. Procédé selon l'une des revendications 1 à 9, carac- térisé en ce que l'élément de réglage est introduit dans l'alliage sous forme de couches sensiblement discrètes. 11. Procédé selon l'une des revendications 1 à 9, carac- térisé en ce que l'élément de réglage est introduit dans l'alliage selon des quantités variables. 12. Procédé selon l'une des revendications 1 àa11, caractérisé en ce que ledit élément de réglage est évaporé avant de l'introduire dans l'alliage. 13. Procédé selon l'une des revendications 1 à 12, caractérisé par une activation par plasma de l'élément de réglage au moment o il est introduit dans l'alliage. 14. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que l'élément de réglage est activé par dépôt de vapeur activée par plasma. 15. Alliage amorphe, caractérisé en ce qu'il est réalisé selon le procédé de l'une des revendications 1 à 14. 16. Alliage amorphe photosensible perfectionné, compre- nant du silicium et au moins un élément réducteur de la densité des états, cet élément étant du fluor, caractérisé en ce que cet alliage (146, 168, 180, 194, 206, 208, 210, 214, 216, 218, 220) comprend un élément de réglage de l'in- tervalle de bande qui lui est incorporé sans augmenter sensiblement les états dans l'intervalle de bande, cet alliage ayant un intervalle de bande réglé pour réagir à une longueur d'onde photosensible spécifiée. 17. Alliage selon la revendication 16, caractérisé en ce que l'élément de réglage est du germanium. 18. Alliage selon la revendication 16 ou 17, caractérisé en ce qu'il comprend une région photosensible active (150, , 172, 180, 186, 194, 208, 216) et en ce que l'élément de réglage est compris au moins dans ladite région. 19. Alliage selon l'une des revendications 16 à 18, caractérisé en ce qu'il comprend un second élément réducteur de la densité des états incorporé, cet élément étant de l'hydrogène. 20. Alliage selon la revendication 16 à 19, caractérisé en ce que l'alliage est déposé par dépôt par décharge lumines- cente. 21. Alliage selon l'une des revendications 16 à 20, caractérisé en ce que l'élément de réglage est déposé selon des couches sensiblement discrètes. 22. Alliage selon l'une des revendications 16 à 21, caractérisé en ce que l'élément de réglage est incorporé selon des quantités variables. 23. Dispositif photosensible perfectionné, comprenant des couches superposées de matériaux divers comportant un corps constitué par un alliage semiconducteur amorphe compre- nant une région photosensible active avec à l'intérieur un intervalle de bande que des radiations peuvent venir frapper pour produire des porteurs de charges, l'alliage amorphe comprenant au moins un élément réducteur de la densité des états, cet élément étant du fluor, caractérisé en ce que ledit alliage (146, 168, 180, 194, 206, 208, 210, 214, 216, 218, 220) comprend en outre un élément de réglage de l'inter- valle de bande, du moins dans ladite région photosensible (150, 170, 172, 180, 186, 194, 208, 216) pour en augmenter la capacité d'absorbtion des radiations sans augmenter sensiblement les états dans l'intervalle de bande, l'inter- valle de bande de l'alliage étant réglé pour réagir à une longueur d'onde photosensible spécifiée. 24. Dispositif selon la revendication 23, caractérisé en ce que l'intervalle de bande de ladite région photosensible est inférieur à 1,6 eV. 25. Dispositif selon la revendication 23 ou 24, caracté- risé en ce que l'élément de réglage est du germanium. 26. Dispositif selon l'une des revendications 23 à 25, caractérisé par un second élément réducteur de la densité des états qui lui est incorporé, cet élément étant de l'hy- drogène. 27. Dispositif selon l'une des revendications 23 à 26, caractérisé en ce que le corps constituant l'alliage (146, 168, 180, 194, 206, 208, 210, 214, 216, 218, 220) est déposé par dépôt par décharge luminescente. 28. Dispositif selon l'une des revendications 23 à 27, caractérisé en ce que le corps constituant l'alliage comprend ledit élément de réglage sous forme de couches sensiblement discrètes. 29. Dispositif selon l'une des revendications 23 à 28, caractérisé en ce que le corps constituant l'alliage comprend ledit élément de réglage en quantités variables. 30. Dispositif selon l'une des revendications 23 à 25, caractérisé en ce que le corps constituant l'alliage fait partie d'une cellule solaire à barrière de Schottky (142). 31. Dispositif selon l'une des revendications 29 et 30, caractérisé en ce que le corps constituant l'alliage fait partie d'une cellule solaire MIS (142). 32. Dispositif selon l'une des revendications 23 à 25, caractérisé en ce que le corps constituant l'alliage fait partie d'un dispositif à jonction p-n (164, 168, 166). 33. Dispositif selon l'une des revendications 23 à 29, caractérisé en ce que le corps constituant l'alliage fait partie d'un dispositif p-i-n (198,212). 34. Dispositif selon l'une des revendications 23 à 29, caractérisé en ce que le corps constituant l'alliage fait partie d'un photodétecteur (178). 35. Dispositif selon l'une des revendications 23 à 29, caractérisé en ce que le corps formant l'alliage fait partie d'un dispositif de production d'images électrostatiques (192).