FR 2490013 A1 19820312 FR 8116958 A 19810907 La présente invention concerne un dispositif à alliage amorphe perfectionné présentant des caractéristiques amélio- rées de photosensibilité. L'application la plus importante de l'invention est la fabrication de dispositifs à alliages photosensibles à cellules multiples comprenant des interval- les de bande ou bandes interdites, c'est-à-dire les interval- les entre les bandes d'énergie, réalisés sur mesure en vue d'applications photosensibles spécifiques et comprenant des dispositifs photovoltaiques tels que des cellules solaires de type p-i-n, Schottky ou MIS (métal-isolant-semiconduc- teur). Le silicium est la base de l'immense industrie des semiconducteurs cristallins et il constitue le matériau avec lequel on a produit les cellules solaires cristallines coûteuses et à haut rendement (18 pour cent) destinées à des applications spatiales. Lorsque la technologie des semicon- ducteurs cristallins a atteint le niveau commercial, elle est devenue le fondement de l'immense industrie actuelle des dispositifs semiconducteurs. Ceci a été dû à la capacité des savants de faire croître des cristaux de germanium et plus particulièrement de silicium pratiquement sans défauts, puis de les transformer en matériaux extrinsèques contenant des régions à conductivité de type p et de type n. Ce résultat a été obtenu en diffusant dans le matériau cristallin quelques parties par million de matériaux dopants donneurs (n) ou accepteurs (p) introduits en tant qu'impuretés de substitu- tion dans les matériaux cristallins sensiblement purs, de manière à augmenter leur conductivité électrique et détermi- ner leur type de conduction p ou n. Les procédés de fabrica- tion utilisés pour réaliser les cristaux à jonction p-n mettent en oeuvre des processus extrêmement compliqués, demandant du temps et qui sont coûteuXe. C'est ainsi que ces matériaux cristallins qui sont utiles dans les cellules solaires et les dispositifs de commande de courant sont produits dans des conditions très soigneusement contrôlées en faisant croître des cristaux individuels de silicium ou de germanium, et quand on a besoin de jonctions p-n, en dopant les cristaux individuels avec des quantités extrême- ment faibles et critiques de dopants. Ces procédés de croissance de cristaux produisent des cristaux relativement si petits que les cellules solaires exigent l'assemblage de nombreux cristaux individuels pour couvrir la surface désirée d'un unique panneau à cellules solaires. La quantité d'énergie nécessaire pour fabriquer une cellule solaire selon ce procédé, les limitations provo- quées par les limites de dimensions du cristal de silicium, et la nécessité de découper et d'assembler ce matériau cristallin ont constitué une barrière économique impossible à franchir pour parvenir à une utilisation à grande échelle de cellules solaires à semiconducteurs cristallins en vue de la conversion de l'énergie. En outre, le silicium cristallin présente un rebord optique indirect provoquant une mauvaise absorption de la lumière dans le matériau. Du fait de cette mauvaise absorption de la lumière, les cellules solaires cristallines doivent avoir une épaisseur d'au moins 50 microns pour absorber la lumière solaire incidente. Même si on remplace le matériau cristallin par du silicium polycris- tallin obtenu par des procédés moins coûteux, le rebord optique indirect existe toujours; de ce fait, l'épaisseur du matériau n'est pas réduite. Le matériau polycristallin implique également l'addition de limites granulaires et autres défauts constituant des problèmes. Un autre inconvénient du matériau polycristallin quand il s'agit d'applications solaires vient de ce que l'inter- valle de bande du silicium cristallin qui est d'environ 1,1 eV est de façon inhérente en dessous de l'intervalle de bande optimal qui est d'environ 1,5 eV. L'adjonction de germanium, qui est possible, réduit encore plus l'intervalle de bande, ce qui provoque une diminution correspondante du rendement de la conversion solaire. Pour résumer, les dispositifs à silicium cristallin présentent des paramètres fixes que l'on ne peut pas faire varier comme on le désire, exigent de grandes quantités de matériau, ne peuvent être produits qu'en éléments de surface relativement réduite,sont longs à fabriquer et coûteux. 24900 13 Les dispositifs basés sur le silicium amorphe peuvent élimi- ner ces inconvénients du silicium cristallin. Le silicium amorphe comprend un rebord d'absorption optique présentant des propriétés similaires à celles d'un semiconducteur à intervalle direct et il suffit que le matériau ait une épaisseur d'un micron ou moins pour absorber la même quantité de lumière solaire que le silicium cristallin ayant une épaisseur de 50 microns. En outre, le silicium amorphe peut être obtenu plus rapidement, plus facilement et en éléments de plus grande surface que le silicium cristallin. En conséquence, des efforts considérables ont été entre- pris pour mettre au point des procédés permettant de déposer facilement des alliages ou des films amorphes semiconducteurs, pouvant chacun couvrir des surfaces relativement importantes si on le désire, et limitées seulement par la dimension de l'équipement de dépôt, et qui pourraient être facilement dopés pour former des matériaux de type p et de type n, les dispositifs à jonction p-n obtenus de ces derniers étant équivalents à ceux produits au moyen de leurs contreparties cristallines. Pendant de nombreuses années, ces travaux ont été pratiquement sans résultats. On a constaté que les films amorphes de silicium ou de germanium (groupe IV) qui sont normalement coordonnés quatre fois comprenaient des micro- vides et des liaisons non saturées et autres défauts produi-. sant une forte densité d'états localisés dans leur intervalle de bande. La présence d'une forte densité d'états localisés dans l'intervalle de bande des films semiconducteurs en silicium amorphe se traduit par un faible degré de photosen- sibilité ou de photoconductivité et une courte durée de vie en tant que porteur, rendant ces films inadaptés à des applications ou l'on fait appel à des caractéristiques de photosensibilité. De plus, ces films ne peuvent être dopés avec succès ou modifiés de toute autre manière pour rappro- cher le niveau de Fermi des bandes de conduction ou de valence, ce qui les rend inutilisables pour constituer des jonctions p-n pour cellules solaires et pour applications concernant des dispositifs de commande de courant. 249001J Pour réduire les problèmes qui viennent d'être mention- nés et constatés avec le silicium et le germanium amorphes, W. E. Spear et P. G. Le Comber du Carnegie Laboratory of Physics, Université de Dundee, Dundee, Ecosse ont effectué des recherches sur le "Substitutional Doping of Amorphous Silicon" (Dopage par substitution du silicium amorphe) , ayant fait l'objet d'un rapport publié dans "Solid State Communications", vol. 17, pages 1193 à 1196, 1975, en vue de réduire les états localisés dans l'intervalle de bande du silicium ou du germanium amorphes et rapprocher ces derniers du silicium ou du germanium cristallins intrinsèques et pour doper par substitution lesdits matériaux amorphes au moyen de dopants classiques et appropriés, comme pour le dopage de matériaux cristallins, pour les rendre du type extrinsèque et de conduction de type p ou n. La réduction des états localisés a été obtenue par dépôt par décharge luminescente de films de silicium amorphe o on a fait passer un gaz de silane (SiH4) dans un tube-à réaction o le gaz est décomposé par décharge luminescente à haute fréquence et déposé sur un substrat dont la température est d'environ 5001K à 6000K (2270C à 327WC). Le matériau ainsi déposé sur le substrat est un matériau amorphe intrinsèque consistant en silicium et hydrogène. Pour obtenir un maté- riau amorphe dopé, on a pré-mélangé du gaz de phosphine (PH3) pour obtenir une conduction de type ni. ou un gaz de diborane (B2H6) pour obtenir une conduction de type pi- avec le gaz de silane que l'on fait passer dans le tube à réaction à décharge luminescente dans les mêmes conditions de traite- ment. La concentration gazeuse des dopants utilisés était située entre environ 5 x 106 et 10 2 parties par volume. On pense que le matériau ainsi déposé comprenait du phosphore ou du bore dopant de substitution et on a constaté qu'il était extrinsèque et de type de conduction n ou p. Bien que ces chercheurs ne l'aient pas su, on sait maintenant par les travaux d'autres chercheurs que l'hydrogène dans le silane se combine à une température optimale avec de nombreuses liaisons non saturées du silicium pendant le dépôt par décharge luminescente, de manière à réduire sensiblement la densité des états localisés dans l'intervalle de bande en vue d'obtenir des propriétés électroniques du matériau amorphe se rapprochant le plus de celles du matériau cristallin correspondant. D. I. Jones, W. E. Spear, P. G. LeComber, S. Li et R. Martins ont également travaillé sur la préparation de a-Ge:H à partir de GeH4 en utilisant des techniques de dépôt similaires. On a constaté que le matériau obtenu présentait une forte densité d'états localisés dans son intervalle de bande. Bien qu'on ait pu doper le matériau, son rendement était sensiblement réduit par rapport à celui obtenu avec le a-Si:H. Dans ces travaux qui ont fait l'objet d'un rapport dans Philosophical Magazine B, vol. 39, page 147 (1979), les auteurs concluent qu'en raison de la forte densité des états dans l'intervalle de bande, le matériau obtenu constitue "... un matériau moins intéressant qu'un matériau à base de a-Si en vue d'expériences de dopage et d'éventuelles appli- cations". Au cours de travaux effectués avec un procédé similaire pour fabriquer par décharge luminescente des cellules solai- res de silicium amorphe en utilisant du silane, D.E. Carlson a cherché à utiliser dans les cellules du germanium pour rendre plus étroit l'intervalle optique en vue d'obtenir une valeur optimale d'environ 1,5 eV pour la cellule solaire et par rapport au meilleur matériau pour cellules solaires qu'il avait fabriqué et qui présentait un intervalle de bande compris entre 1,65 et 1,70 eV. (D.E. Carlson, "Journal of Non Crystalline Solids", vol. 35 et 36 (1980) pages 707 à 717, rapport présenté à la 8 Conférence Internationale sur les Semiconducteurs Amorphes et Liquides, Cambridge, Mass., du 27 au 31 août 1979). Cependant, Carlson a également indiqué que l'addition de germanium provenant de gaz de germane était sans succès du fait qu'elle provoquait des réductions significatives de tous les paramètres photovol- talques des cellules solaires. Carlson a indiqué que la dégradation des propriétés photovoltalques signifie qu'il y a création de défauts dans l'intervalle de bande des filins déposés (D.E. Carlson, "Tech. Dig." 1977 IEDM, Washington, D.C., page 214). Le concept de l'utilisation de cellules multiples pour améliorer le rendement d'un dispositif photovoltaïque a été abordé au moins dès 1955 par E.D. Jackson dans le brevet US n0 2949498 publié le 16 août 1960. Les structures à cellules multiples discutées dans ce brevet utilisaient des disposi- tifs semiconducteurs cristallins à jonction p-n, mais les concepts d'amélioration sont similaires quand on utilise des dispositifs amorphes ou des dispositifs cristallins. Essen- tiellement, le concept vise à utiliser des dispositifs à intervalles de bande différents pour collecter de façon plus efficace diverses parties du spectre solaire et pour augmen- ter la torsion en circuit ouvert Voc' Le dispositif à cellu- les empilées comprend deux ou plusieurs cellules, la lumière étant dirigée en série au travers de chaque cellule, un matériau à intervalle de bande important étant suivi par un matériau à intervalle de bande plus réduit pour absorber la lumière ayant traversé la première cellule ou couche. De nombreux articles basés sur des cellules cristallines empilées selon le concept de Jackson ont fait l'objet de rapports, et plus récemment plusieurs articles concernant des matériaux en a-Si-H utilisés sous forme de cellules empilées ont été publiés. Marfaing a proposé d'utiliser dans les cellules empilées des alliages de Si-Ge amorphe déposé par silane, mais il n'a pas donné d'indications sur la possibilité d'obtenir ce résultat (Y. Marfaing, Compte rendu de la 20 Conférence de la Communauté Européenne sur l'Energie Solaire Photovoltaïque, Berlin, République Fédérale.Allema- nde, page 287, 1979). Hamakawa et col. ont publié un rapport concernant la possibilité d'utiliser le a-SiH dans une configuration qui sera définie ci-après comme étant une cellule multiple du type à cascade. Il sera fait référence dans ce qui suit à la cellule en cascade en tant que cellule multiple sans couche de séparation ou d'isolation entre chacune des cellules individuelles. Chacune des celluleS de liamakawa était réali- sée en un matériau a-Si:H de même intervalle de bande selon une configuration p-i-n. On a essayé d'obtenir la compatibilité avec le courant de court-circuit (Jsc) en augmentant l'épais- seur des cellules sur le parcours en série de la lumière. Comme on pouvait s'y attendre, le Voc d'ensemble du disposi- tif a augmenté et était proportionnel au nombre de cellules. Dans un rapport récent sur l'augmentation du rendement des cellules solaires à jonctions multiples (empilées) en silicium amorphe (a-Si:H) déposé à partir de silane et de la manière ci-dessus, les auteurs ont indiqué que le "germanium constituait une impureté nuisible dans le aSi:H, abaissant exponentiellement son JSc à mesure qu'augmente le Ge... Partant de leurs travaux de même que ceux de Carlson, Marfaing et Hamakawa, d'autres auteurs ont conclu que les alliages de silicium amorphe, de germanium et d'hydrogène "présentent de mauvaises propriétés photovoltalques" et que l'on doit donc "trouver des matériaux photovoltaiques à cellules en film présentant une réponse spectrale à environ un micron pour obtenir des combinaisons efficaces de cellu- les empilées en a-Si:H". (J.J. Hanak, B. Faughnan, V. Korsun et J.P. Pellicane, rapport présenté à la 140 IEEE Photovol- taic Specialists Conference, San Diego, Californie, des 7 au janvier 1980). L'incorporation d'hydrogène dans le procédé ci-dessus non seulement présente des limitations basées sur le rapport fixe entre l'hydrogène et le silicium dans le silane, mais en outre les configurations variées de la liaison Si:H introduisent de nouveaux états anti-liaison qui peuvent avoir des conséquences nuisibles sur ces matériaux. Ce qui est peut-être plus important encore, l'hydrogène est incapable de compenser ou d'éliminer les états défectueux produits par l'introduction de germanium dans l'alliage. En conséquence, il existe des limites fondamentales à la réduction de la densité des états localisés dans ces matériaux qui sont particulièrement nocifs du point de vue de leur dopage effectif de type p aussi bien que de type n. La densité résultante des états dans les matériaux à dépôt de silane a pour conséquence une réduction de la largeur de la zone d'épuisement qui limite à son tour le rendement des cellules solaires et autres dispositifs dont le fonctionnement dépend du glissement des porteurs libres. Le procédé qui consiste à réaliser ces matériaux en utilisant seulement du silicium et de l'hydrogène a également pour résultat une forte densité d'états de surface qui ont un effet sur tous les paramètres ci-dessus. En outre, les essais antérieurs qui ont été effectués pour réduire l'intervalle de bande du matériau, bien qu'ils aient été couronnés de succès en ce qui concerne la réduction de l'intervalle de bande, ont par ailleurs ajouté dans le même temps des états dans ledit intervalle. L'augmentation des états dans l'intervalle de bande provoque une diminution ou une perte totale de.photoconductivité et est donc contreindiquée pour la production de dispositifs photosensibles. Après la mise au point du dépôt de silicium par décharge luminescente à partir de gaz silane, on a réalisé des tra- vaux sur le dépôt par pulvérisation de films de silicium amorphe dans une atmosphère constituée par un mélange d'ar- gon (qui est nécessaire pour le procédé de dépôt par pulvéri- sation) et d'hydrogène moléculaire pour déterminer les résultats de cet hydrogène moléculaire sur les caractéristi- ques du film de silicium amorphe déposé. Ces recherches ont montré que l'hydrogène agit en tant qu'agent modificateur qui se lie de manière telle qu'il réduit les états localisés dans l'intervalle de bande. Cependant, le degré de réduction des états localisés dans l'intervalle de bande, quand on a recours au procédé de dépôt par pulvérisation, est bien inférieur à celui atteint par le procédé de dépôt de silane décrit cidessus. On a également introduit les gaz dopants de type p et n décrits ci-dessus dans le procédé par pulvéri- sation pour produire des matériaux dopés de type p et n. Ces matériaux présentaient un rendement de dopage plus faible que les matériaux produits au moyen du procédé par décharge luminescente. Aucun des deux procédés ne permettait de produire des matériaux dopés de type p efficaces présentant= des concentrations d'accepteurs suffisamment élevées pour produire des dispositifs commerciaux à jonction p-n ou p-i- n. Le rendement du dopage de type n était situé en dessous des niveaux acceptables et désirables dans le commerce et le dopage de type p était particulièrement indésirable du fait qu'il réduisait la largeur de l'intervalle de bande et augmentait le nombre d'états localisés dans cet intervalle de bande. Le dépôt préalable de silicium amorphe qui a été modifié par l'hydrogène provenant du gaz silane au cours d'essais pour le faire ressembler plus étroitement à du silicium cristallin, et qui a été dopé d'une manière similaire à celle du dopage du silicium cristallin, présente des caracté- ristiques qui, sous tous leurs aspects importants, sont inférieures à celles du silicium cristallin dopé. On a donc obtenu des rendements de dopage et de conductivité impropres, spécialement dans le matériau de type p, et les qualités photovoltaiques de ces fims de silicium laissaient beaucoup à désirer. On a préparé des alliages de silicium amorphe fortement améliorés comprenant des concentrations réduites de façon significative des états localisés dans leurs intervalles de bande et des propriétés électroniques de grande qualité par décharge luminescente, comme décrit dans le brevet US n0 4.226.898 intitulé "Amorphous Semiconductors Equivalent to Crystalline Semiconductors" (Semiconducteurs amorphes équiva- lant à des semiconducteurs cristallins) aux noms de Stanford R. Ovshinsky et de Arun Madan, et par dépôt de vapeur comme le décrit complètement le brevet US n0 4.217.374 publié sous le même titre au nom de Stanford R. Ovshinsky et Masatsugu Izu. Comme le décrivent ces brevets, le fluor est introduit dans le semiconducteur de silicium amorphe pour réduire sensiblement la densité des états localisés de ce semicon- ducteur. Le fluor activé se diffuse de façon spécialement facile et établit des liaisons avec le silicium amorphe dans le corps amorphe, essentiellement pour diminuer la densité des états localisés défectueux qu'elle contient, du fait que la faible dimension des atomes de fluor leur permet d'être introduits facilement dans le corps amorphe. Le fluor se lie aux liaisons non saturées du silicium et forme ce que l'on pense être une liaison stable et partiellement ionique avec des angles de liaison souples, ce qui a pour résultat une compensation ou une modification plus stable ou plus effi- cace que celle formée par l'hydrogène et autres agents compensateurs ou modificateurs. On pense que le fluor consti- tue-un élément compensateur ou modificateur plus efficace que l'hydrogène quand on l'utilise seul ou avec l'hydrogène du fait de ses dimensions excessivement réduites, sa forte réactivité, sa spécificité dans la liaison chimique, et sa plus forte électronégativité. Ainsi, le fluor est qualitati- vement différent des autres halogènes et on le considère de ce fait comme étant un super-halogène. A titre d'exemple, on peut obtenir une compensation avec du fluor seul ou en combinaison avec de l'hydrogène en ajoutant ce ou ces éléments en très faibles quantités (par exemple en fractions d'un pour cent atomique). Cependant, les quantités de fluor et d'hydrogène qu'on utilise de préférence sont beaucoup plus importantes que ces petits pourcentages de manière à former un alliage de silicium- hydrogène-fluor. A titre d'exemple, les quantités de fluor et d'hydrogène constituant l'alliage peuvent être comprises entre 1 et 5% ou plus. On pense que le nouvel alliage ainsi constitué comprend une densité plus faible d'états défectueux dans l'intervalle de bande que celle que l'on obtient par une simple neutralisation des liaisons non saturées et des états défectueux similaires. On estime en particulier que cette quantité importante de fluor participe sensiblement à la nouvelle configuration structurelle d'un matériau conte- nant du silicium amorphe et facilite l'addition d'autres matériaux d'alliage tels que du germanium. En plus de ces autres caractéristiques mentionnées ici, on pense que le fluor est un organisateur de la structure locale de l'allia- ge contenant du silicium au moyen d'effets inductifs et ioniques. On pense que le fluor influence également la liaison de I'nydrogène en agissant de façon avantageuse pour diminuer la densité des états défectueux, l'hydrogène contri- buant à cette action tout en agissant en tant qu'élément réducteur de la densité des états. Le rôle ionique joué par le fluor dans un tel alliage constitue, pense-t-on, un il facteur important du point de vue des rapports avec le voisin le plus proche. Selon la présente invention, on améliore la réponse spectrale non optimale des dispositifs photosensibles au silicium amorphe de la technique antérieure en ajoutant deux ou plusieurs cellules en alliages photosensibles amorphes à intervalle de bande réglé pour régler l'intervalle de bande du dispositif sur les caractéristiques d'utilisation optima- les d'applications particulières sans augmenter sensiblement les états nocifs dans la bande. Ainsi, les propriétés élec- troniques élevées du matériau ne sont pas sensiblement affec- tées quand on forme les nouveaux dispositifs à cellules multiples à intervalle de bande étalonné. Les alliages amorphes comprennent de préférence au moins un élément réducteur de la densité des états, soit le fluor. On peut ajouter l'élément compensateur ou modificateur, qui est le fluor, et/ou d'autres éléments, pendant le dépôt ou après. Le ou les éléments de réglage peuvent être activés et ajoutés au moyen de procédés par dépôt de vapeur, de pulvéri- sation ou de décharge luminescente. L'intervalle de bande peut être réglé en fonction des besoins et pour une applica- tion spécifique en introduisant la quantité nécessaire d'un ou plusieurs éléments de réglage dans les cellules de l'al- liage déposé dans au moins leur région de génération de photo-courant, du moins pour certaines des cellules du dispositif. L'intervalle de bande des cellules est réglé sans augmen- ter sensiblement le nombre d'états dans l'intervalle de bande de l'alliage du fait de la présence de fluor dans l'alliage. Les films de la technique antérieure par dépôt de silane sont déposés de façon typique sur des substrats chauffés entre 2500C et 3500C pour rendre maximales l'incor- poration et la compensation du silicium avec l'hydrogène dans les films. Les efforts antérieurs pour réduire l'inter- valle de bande par addition de germanium à ce film n'ont pas eu de succès du fait que la liaison hydrogène/germanium est. trop faible pour être stable à la température du substrat nécessaire au dépôt. La présence de fluor dans l'alliage de l'invention permet d'obtenir un alliage de silicium qui est différent physique- ment, chimiquement et électrochimiquement des autres alliages de silicium du fait que le fluor non seulement se lie au silicium par co-valences, mais a également un effet réel sur l'ordre structurel à court terme du matériau. Ceci permet d'augmenter la quantité des éléments, tels que le germanium, l'étain, le carbone ou l'azote,qui sont effectivement ajoutés à l'alliage, du fait que le fluor forme des liaisons plus résistantes et plus stables que ne le fait l'hydrogène. Le fluor compense ou modifie le silicium de même que le germanium et le ou les autres éléments de réglage de la bande dans l'alliage de façon plus efficace que l'hydrogène, du fait des liaisons plus résistantes et thermiquement plus stables et des configurations plus souples des liaisons dues à la nature ionique de la liaison du fluor. L'utilisation de fluor produit l'alliage ou le film décrits dans le brevet US n0 4.217.374 dans lequel la densité des états dans l'inter- valle de bande est beaucoup plus faible que celles produites par une combinaison de silicium et d'hydrogène, comme c'est le cas à partir de silane. Du fait que le ou les éléments de réglage de la bande aient été introduits de façon contrôlée dans les cellules sans ajouter d'états sensiblement nocifs, en raison de l'influence du fluor, le nouvel alliage des cellules conserve des qualités électroniques et une photocon- ductibilité élevées quand on ajoute le ou les éléments de réglage pour adapter les caractéristiques de longueur d'onde du dispositif à une application photosensible spécifique. En outre, l'hydrogène améliore l'alliage compensé ou modifié au fluor et on peut l'ajouter pendant le dépôt avec le fluor ou après ce dépôt, ceci pouvant être également le cas pour le fluor et autres éléments modificateurs. L'incorporation d'hydrogène par dépôt postérieur est avantageuse quand on souhaite utiliser les températures plus élevées du substrat qui sont autorisées par le fluor. Alors que les principes de l'invention s'appliquent à chacun des procédés de dépôt mentionnés ci-dessus, on décrira ici à titre illustratif un environnement de dépôt de vapeur et de vapeur activée par plasma. Le système à décharge luminescente décrit dans le brevet US n0 4.226.898 comprend d'autres variables du procédé qui peuvent être utilisées avantageusement avec les principes de la présente invention. En conséquence, un premier objet de l'invention est de proposer un dispositif amorphe photosensible perfectionné à cellules multiples comprenant au moins deux cellules, chacune desdites cellules comportant un alliage qui comprend du sicilicium et dans lequel est incorporé au moins un élément réducteur de la densité des états, cet élément étant du fluor,caractérisé en ce que chaque alliage des cellules comprend un élément de réglage de l'intervalle de bande qui lui est incorporé sans augmenter sensiblement les états présents dans l'intervalle, chaque alliage des cellules pré- sentant un intervalle de bande réglé pour fonctionner sur une longueur d'onde photosensible spécifiée et différente de celle-de chacun des autres alliages des cellules. Un second objet de l'invention est de proposer un dispo- sitif photosensible perfectionné à cellules multiples, ce dispositif comprenant au moins deux cellules superposées en des matériaux différents, l'une au moins des cellules compor- tant un alliage semiconducteur amorphe multicouches ayant une région photosensible active dans laquelle est situé un intervalle de bande que des radiations peuvent venir frapper pour produire des porteurs de charge, cet alliage comprenant au moins un élément réducteur de la densité des états, cet élément étant du fluor, caractérisé en ce que l'alliage *comprend en outre un élément de réglage de l'intervalle de bande au moins dans ladite région photosensible pour amélio- rer sa capacité d'absorption des radiations sans augmenter sensiblement les états dans la bande, l'intervalle de bande de cet alliage étant riéglé pour fonctionner-sur une longueur d'onde photosensible spécifiée et différente de celle de la seconde cellule. On décrira maintenant, à titre d'exemple et avec référen- ce aux dessins annexés à la présente description, le mode de réalisation préféré de la présente invention. La figure 1 est une représentation schématique d'un équipement-de dépôt sous vide plus ou moins connu auquel ont été ajoutés des éléments pour effectuer l'adjonction de fluor (et d'hydrogène) par addition de composés moléculaires ou de fluor contenant du fluor, tel que du SiF4, ainsi que des arrivées d'hydrogène et des dispositifs de génération de fluor et d'hydrogène activés qui décomposent le fluor et l'hydrogène moléculaires à l'intérieur de l'espace sous vide de l'équipement de dépôt de vapeur pour convertir le fluor et l'hydrogène moléculaires en fluor et en hydrogène activés et pour diriger l'un ou les deux sur le substrat pendant le dépôt d'un alliage amorphe contenant du silicium. La figure 2 représente un équipement de dépôt sous vide similaire à celui de la figure 1, comprenant des moyens de génération de fluor (et d'hydrogène) activés comportant une source de lumière ultraviolette irradiant le substrat pendant le procédé de dépôt de l'alliage amorphe, cette source de lumière remplaçant les dispositifs générateurs de fluor et d'hydrogène activés représentés à la figure 1 et les moyens de génération de l'élément de réglage. La figure 3 représente l'équipement de dépôt sous vide de la figure 1 auquel ont été ajoutés des moyens addition- nels pour doper l'alliage du dépôt avec un matériau détermi- nant une conductivité de type n ou p. La figure 4 représente une application o le dépôt de l'alliage amorphe et l'application du fluor et de l'hydrogène activés peuvent être réalisés sous forme d'opérations sépa- rées et dans des enceintes séparées. La figure 5 représente un exemple d'un appareil pour diffuser de l'hydrogène activé dans un alliage amorphe préalablement déposé. La figure 6 représente un mode de réalisation d'un dispositif à cellules multiples empilées selon l'invention. La figure 7 représente un mode de réalisation d'un dispositif à cellules multiples en cascade ou en tandem selon l'invention. La figure 8 est une vue en coupe partielle d'un dispositif à cellules multiples empilées mettant en oeuvre la présente invention et comprenant une pluralité de cellules solaires à barrière de Schottky comportant chacune un alliage photoré- cepteur semiconducteur amorphe selon l'invention. La figure 9 est une vue en coupe partielle d'un disposi- tif à cellules multiples en tandem ou en cascade comprenant une pluralité de cellules solaires à barrière de Schottky comportant chacune un alliage semiconducteur amorphe selon l'invention. La figure 10 est une vue en coupe partielle d'un disposi- tif à cellules multiples empilées comprenant une pluralité de cellules solaires p-i-n comportant chacune un alliage semiconducteur amorphe selon l'invention. La figure 11 est une vue en coupe partielle d'un disposi- tif à cellules multiples en tandem ou en cascade comprenant une pluralité de cellules solaires p-i-n comportant chacune un alliage semiconducteur amorphe selon l'invention. La figure 12 est une représentation schématique d'un dispositif de dépôt de vapeur activée par plasma pour déposer les alliages amorphes avec le ou les éléments de réglage de l'invention incorporés dans cet alliage. La figure 13 est un diagramme des irradiations spectrales solaires représentant les longueurs d'ondes classiques de la lumière solaire qui sont disponibles pour diverses applica- tions photosensibles. Si on se réfère maintenant plus particulièrement à la figure 1, celle-ci représente un équipement de dépôt de vapeur indiqué dans son ensemble par la référence 10, qui peut être un équipement de dépôt de vapeur connu auquel ont été ajoutés des moyens d'injection d'un matériau compensateur ou modificateur activé qui seront décrits plus loin. Cet équipement, tel qu'il est illustré, comprend une cloche 12 ou toute autre enceinte semblable délimitant un espace sous vide 14 dans lequel sont disposés un ou plusieurs creusets tel que le creuset 16 contenant le ou les éléments produc- teurs de film semiconducteur amorphe à déposer sur un subs- trat 18. Dans la forme de l'invention qui est décrite, le creuset 16 contient initialement du silicium pour former un alliage amorphe contenant du silicium sur le substrat 18 qui, par exemple, peut être un métal, un semiconducteur cristallin ou polycristallin ou tout autre matériau sur lequel on désire former l'alliage qui doit être déposé par le procédé de la présente invention. Une source de faisceau d'électrons 20 est prévue dans une zone adjacente au creuset 16, cette source de faisceau d'électrons qui est représentée schématiquement comprend habituellement un filament chauffé et des moyens de déflexion de faisceau (non représentés) qui dirigent un faisceau d'électrons sur le silicium contenu dans le creuset 16 pour l'évaporer. Une alimentation de puissance en courant continu et à haute tension 22 fournit la tension élevée appropriée qui est par exemple de 10.000 volts en courant continu, sa borne positive étant reliée au creuset 16 par l'intermédiaire d'un dispositif de commande 24 et d'un conducteur 26. Sa borne négative est reliée au filament de la source de faisceau d'électrons 20 par l'intermédiaire d'un dispositif de com- mande 24 et d'un conducteur 28. Le dispositif de commande 24 comprend des relais ou analogues pour interrompre la conne- xion de la source de puissance 22 avec les conducteurs 26 et 28 quand l'épaisseur du film formé sur un dispositif d'échan- tillonnage de dépôt d'alliage 30 disposé dans l'enceinte sous vide 14 atteint une valeur donnée déterminée en action- nant un bouton manuel 32 prévu sur un panneau de commande 34 du dispositif de commande 24. Le dispositif d'échantillonnage d'alliage 30 comprend un câble 36 qui est relié au dispositif de commande 24 et qui comprend des moyens bien connus pour réagir à la fois à l'épaisseur de l'alliage déposé sur le dispositif d'échantillonnage d'alliage 30 et à la vitesse du dépôt. On peut prévoir un bouton de commande manuel 38 sur le panneau de commande 34 pour fixer la vitesse de dépôt de l'alliage que l'on désire et que l'on contrôle par la quanti- té de courant qui est envoyé au filament de la source de faisceau d'électrons par l'intermédiaire d'un conducteur 40, d'une manière bien connue. Le substrat 18 est supporté sur un porte-substrat 42 sur lequel est monté un élément chauffant 44. Un câble 46 envoie du courant d'excitation à l'élément chauffant 44 qui contrôle la température du porte-substrat 42 et du substrat 18 selon un réglage de la température déterminé au moyen d'un bouton de commande manuel 48 prévu sur le panneau de commande 34 du dispositif de commande 24. La cloche 12 est représentée s'étendant vers le haut à partir d'une base de support 50 d'o peuvent partir les divers câbles et autres connexions avec les composants disposés à l'intérieur de la cloche 12. La base de support est montée dans une enceinte 52 dans laquelle débouche une conduite 54 raccordée à une pompe à vide 56. La pompe à vide 56, qui peut fonctionner de façon continue, fait le vide dans l'espace 14 à l'intérieur de la cloche 12. On règle la pression désirée dans la cloche par un bouton de commande 58 prévu sur le panneau de commande 34. Selon cette forme de l'invention, le réglage contrôle le niveau de la pression selon lequel le courant de fluor (et d'hydrogène) activés est régulé à l'intérieur de la cloche 12. Ainsi, si le bouton de commande est réglé pour une pression de 10-4 torrs dans la cloche, le courant de fluor (et d'hydrogène) dans la cloche 12 sera tel que la pression sera maintenue à l'intérieur de la cloche alors que la pompe à vide 56 conti- nuera à fonctionner. Le dessin montre que les sources 60 et 62 de fluor et d'hydrogène moléculaires sont reliées par des conduites respectives 64 et 66 au dispositif de commande 24. Un détec- teur de pression 68 disposé dans la cloche 12 est relié par un câble 70 au dispositif de commande 24. Des soupapes de contrôle de débit 72 et 74 sont commandées par le dispositif de commande 24 de manière à maintenir la pression réglée dans la cloche. Les conduites 76 et 78 partent du dispositif de commande 24 et traversent la base de support 50 pour parvenir dans l'espace sous vide 14 de la cloche 12. Les conduites 76 et 78 sont respectivement reliées aux disposi- tifs générateurs de fluor et d'nydrogène activés 80 et 82 qui convertissent le fluor et l'hydrogène moléculaires respectivement en fluor et en hydrogène activés, qui peuvent être des formes atomiques et/ou ionisées de ces gaz. Les dispositifs de formation ou génération de fluor et d'hydrogène activés 80 et 82 peuvent être des filaments de tungstène chauffés qui élèvent les gaz moléculaires à leur température de décomposition, ou un dispositif générateur de plasma qui est bien connu dans la technique et qui fournit un plasma de gaz décomposés. Le fluor et l'hydrogène activés sous formes ionisées formés par plasma peuvent également être accélérés et injectés dans l'alliage en cours de dépôt en appliquant un champ électrique entre le substrat et la source d'activa- tion. Dans l'un ou l'autre cas, les dispositifs générateurs de fluor et d'hydrogène activés 80 et 82 sont placés de préférence à proximité immédiate du substrat 18, de manière que le fluor et l'hydrogène activés qu'ils fournissent et dont la durée- de vie est relativement courte soient injectés immédiatement au voisinage du substrat 18 o l'alliage est en cours de dépôt. Comme indiqué précédemment, on inclut au moins du fluor dans l'alliage et on y inclut aussi de préfé- rence de l'hydrogène. Le fluor (et l'hydrogène) activés de même que d'autres éléments compensateurs ou modificateurs peuvent aussi être produits à partir de composés contenant les éléments au lieu d'une source de gaz moléculaire. * Comme indiqué précédemment, pour produire des alliages amorphes utiles présentant les caractéristiques désirées permettant leur utilisation dans des dispositifs photosensi- bles tels que des photorécepteurs, des cellules solaires, des dispositifs de commande de courant à jonction p-n, etc., les agents, les matériaux ou les éléments compensateurs ou modificateurs produisent une très faible densité d'états localisés dans l'intervalle de bande sans modifier le carac- tère intrinsèque de base du film. Ce résultat est atteint au moyen de quantités relativement faibles de fluor et d'hydro- gène activés, ce qui fait que la pression dans l'espace 14 de la cloche sous vide peut toujours être une pression relativement basse (telle que de 10-4 torrs). On peut faire en sorte que la pression du gaz dans le générateur soit plus élevée que la pression dans la cloche en réglant la dimension de la sortie du générateur. On règle la température du substrat 18 pour obtenir la réduction maximale de la densité des états localisés dans l'intervalle de bande de l'alliage amorphe en cause. Généra- lement, la température de la surface du substrat est telle qu'elle détermine une mobilité élevée des matériaux du dépôt, et de préférence une mobilité inférieure à la tempéra- ture de cristallisation de l'alliage en cours de dépôt. La surface du substrat peut être irradiée par de l'énergie radiante pour encore augmenter la mobilité du matériau constituant l'alliage en cours de dépôt, en montant par exemple une source de lumière ultraviolette (non représentée) dans l'espace 14 de la cloche. En variante, et à la place des dispositifs générateurs de fluor et d'hydrogène activés et 82 de la figure 1, ces dispositifs peuvent être rempla- cés par une source de lumière ultraviolette 84 représentée à la figure 2, qui dirige une énergie ultraviolette sur le substrat 18. Cette lumière ultraviolette décompose le fluor (et l'hydrogène) moléculaires aussi bien à une certaine distance du substrat 18 que sur celui-ci pour former du fluor (et de l'hydrogène) activés qui diffusent dans l'allia- ge amorphe en cours de dépôt qui se condense sur le substrat 18. La lumière ultraviolette augmente également la mobilité de surface du matériau constituant l'alliage déposé. Aux figures 1 et 2, les éléments de réglage de l'inter- valle de bande peuvent être ajoutés sous forme gazeuse d'une manière identique au fluor et à l'hydrogène en remplaçant le générateur d'hydrogène 82 ou en ajoutant un ou plusieurs générateurs d'éléments de réglage activés 86 et 88 (figure 2). Chacun des générateurs 86 et 88 est consacré de façon typique à l'un des éléments de réglage tel que du germanium, de l'étain, du carbone ou de l'azote. Par exemple, le généra- teur 86 peut fournir le germanium sous forme de gaz germane (GeH4). On se réfère maintenant à la figure 3 qui représente des adjonctions à l'équipement représenté à la figure 1 servant à ajouter d'autres agents ou éléments à l'alliage en cours de dépôt. Par exemple, on peut ajouter initialement un dopant de conductivité n tel que du phosphore ou de l'arsenic pour transformer l'alliage intrinsèque qui est modestement de type n en un alliage nettement plus de type n, et on peut ensuite ajouter un dopant de type p tel que de l'aluminium, du gallium ou de l'indium pour former une bonne jonction p-n dans l'alliage. La figure représente un creuset 90 destiné à recevoir un dopant tel que de l'arsenic qui est évaporé par bombardement de celui-ci au moyen d'une source à faisceau d'électrons 92 telle que la source à faisceau 20 qui a été précédemment décrite. La vitesse à laquelle le dopant s'éva- pore dans l'atmosphère de la cloche 12, qui est déterminée par l'intensité du faisceau d'électrons produit par la source de faisceau d'électrons 92, est réglée par un bouton manuel 94 prévu sur le panneau de commande 34 qui contrôle le courant envoyé dans le filament formant une partie de cette source de faisceau de manière à produire la vitesse d'évaporation réglée. La vitesse d'évaporation est mesurée au moyen d'un dispositif d'échantillonnage d'épaisseur 96 sur lequel le matériau dopant se dépose et qui engendre un signal sur un câble 98 allant du dispositif 96 au dispositif de commande 24 et qui indique la vitesse à laquelle le matériau dopant est déposé sur le dispositif 96. Lorsque l'épaisseur désirée pour l'alliage amorphe présentant le degré souhaité de conductivité n a été déposée, on met fin à l'évaporation du silicium et du dopant de conductivité de type n et on dispose dans le creuset 90 (ou dans un autre creuset qui n'est pas représenté) un dopant de conductivité p décrit, et le processus de dépôt de l'alliage amorphe et de dopant continue alors comme précédemment pour augmenter l'épaisseur de l'alliage amorphe au moyen d'une région à conductivité de type p. Le ou les éléments de réglage de l'intervalle de bande peuvent également être ajoutés au moyen d'un processus similaire à celui décrit pour le dopant en utilisant un autre creuset semblable au creuset 90. Dans le cas o les alliages amorphes comprennent deux ou plusieurs éléments qui sont solides à la température ambiante, il est habituellement souhaitable de vaporiser séparément chaque élément placé dans un creuset distinct, et de 2 490013 contrôler leur vitesse de dépôt de toute manière appropriée telle qu'au moyen de commandes de réglage disposées sur le panneau de commande 34 qui, en association avec les disposi- tifs d'échantillonnage de vitesse de dépôt et d'épaisseur, contrôlent l'épaisseur et la composition de l'alliage en cours de dépôt. Bien que l'on pense que le fluor (et l'hydrogène) activés constituent des agents de compensation les plus avantageux pouvant être utilisés dans des alliages amorphes compensés et comprenant du silicium, on peut utiliser d'autres agents compensateurs ou modificateurs selon des aspects les plus larges de la présente invention. Par exemple, le carbone et l'oxygène peuvent être utiles pour réduire la densité des états localisés dans l'intervalle de bande quand on les utilise en faibles quantités de manière à ne pas modifier le caractère intrinsèque de l'alliage. Comme indiqué précédemment, et bien qu'on préfère que les agents compensateurs et autres soient incorporés dans l'alliage amorphe au moment o il est déposé, le processus du dépôt de l'alliage amorphe et le processus de l'injection des agents compensateurs et autres dans l'alliage semiconduc- teur peuvent être effectués, selon un autre aspect de l'in- vention, dans un environnement totalement séparé de celui o s'effectue le dépôt de l'alliage amorphe. Ceci peut présenter un avantage dans certaines applications du fait que les conditions de l'injection de ces agents sont alors complète- ment indépendantesdes conditions du dépôt de l'alliage. Egalement et comme précédemment expliqué, si le processus de dépôt de vapeur produit un alliage poreux, on réduit plus facilement la porosité de l'alliage, dans certains cas, au moyen de conditions de l'environnement qui sont totalement différentes de celles présentes dans le processus de dépôt de vapeur. A cette fin, référence est maintenant faite aux figures 4 et 5 qui montrent que le processus A de dépôt amorphe et le processus B de diffusion de l'agent compensateur ou modificateur sont effectués sous forme d'opérations séparées dans des environnements complètement différents, la figure 5 représentant l'appareil pour mettre en oeuvre le processus de diffusion postérieur à la compensation. Comme indiqué sur cette figure, on prévoit un corps 100 constituant un réceptacle à basse pression, comprenant une chambre à basse pression 102 munie d'une ouverture 104 à son extrémité supérieure. Cette ouverture 104 est fermée par un chapeau 106 pourvu d'un filetage 108 qui se visse autour d'une partie filetée correspondante prévue à l'extérieur du corps 100 constituant le réceptacle. Un joint torique 110 est pris en sandwich entre le chapeau 106 et la face supérieu- re du réceptacle. Une électrode 112 portant l'échantillon est montée sur une paroi inférieure isolante 114 de la chambre 102. Un substrat 116 sur lequel a été déjà déposé un alliage semiconducteur amorphe 118 est placé sur l'électrode 112. La face supérieure du substrat 116 contient l'alliage amorphe 118 à modifier ou à compenser d'une manière qui sera maintenant décrite. A une certaine distance au-dessus du substrat 116 est disposée une électrode 120. Les électrodes 112 et 120 sont reliées par des câbles 122 et 124 à une source d'alimentation 126 en courant continu ou à haute fréquence qui envoie une tension entre les électrodes 112 et 120 pour obtenir un plasma activé du ou des gaz compensateurs ou modificateurs, tels que du fluor, de l'hydrogène et analogues,- envoyés dans la chambre 102. Pour des raisons de simplicité, la figure 5 ne représente que de l'hydrogène moléculaire envoyé dans la chambre 102 par une conduite d'entrée 128 qui traverse le chapeau 106 et part d'un réservoir d'alimentation 130 d'hydro- gène moléculaire. D'autres gaz compensateurs ou modificateurs (tels que du fluor et analogues) peuvent être également envoyés de la même manière dans la chambre 102. La conduite 128 est représentée reliée à une soupape 132 à proximité du réservoir 130. Une jauge indicatrice de débit 134 est repré- sentée reliée à la conduite d'entrée 128 au-delà de la soupape 132. Des moyens appropriés sont prévus pour chauffer l'inté- rieur de la chambre 102 de manière que la température du substrat soit élevée de préférence à une température inféri- eure mais proche de la température de cristallisation de l'alliage 118. Par exemple, des enroulements d'un fil chauf- fant 136 sont représentés sur la paroi inférieure 114 de la chambre 102, un câble (non représenté) qui est relié à cet enroulement traversant les parois du corps 100 constituant le réceptacle pour parvenir à une source de courant destinée à les chauffer. La température élevée, en conjonction avec un plasma de gaz contenant un ou plusieurs éléments compensateurs dévelop- pés entre les électrodes 112 et 120, permet de réduire les états localisés dans-l'intervalle de bande de l'alliage de la cellule. La compensation et la modification de l'alliage amorphe 118 peuvent être améliorées en irradiant l'alliage amorphe 118 au moyen d'une énergie radiante provenant d'une source de lumière ultraviolette 138 qui est représentée à l'extérieur du corps 100 constituant le réceptacle et diri- geant une lumière ultraviolette entre les électrodes 112 et par l'intermédiaire d'une fenêtre à quartz 140 montée dans la paroi latérale du corps 100. La faible pression ou le vide régnant dans la chambre 102 peut être obtenue au moyen d'une pompe à vide (non représentée) telle que la pompe 56 de la figure 1. La pression dans la chambre 102 peut être de l'ordre de 0,3 à 2 torrs, la température du substrat étant de l'ordre de 2001C à 4500C. Le fluor (et l'hydrogène) activés de même que d'autres éléments compensateurs ou modificateurs peuvent être produits à partir de composés contenant les éléments à la place d'une source de gaz moléculaire, comme mentionné précédemment. La figure 6 représente un dispositif à cellules photovol- talques multiples et empilées 141 comprenant trois cellules photovoltaiques individuelles électriquement séparées 143, et 147. Ces cellules individuelles peuvent être séparées physiquement, chaque cellule étant fabriquée sur son propre substrat séparé, ou bien elles peuvent être physiquement contiguës et séparées par une couche déposée et électrique- ment isolante. Par exemple, les trois cellules ont des intervalles de bande décroissants, et choisis de préférence pour égaliser ou être compatibles avec le courant engendré par chacune des cellules. Les cellules sont reliées par des connexions externes 149 et 151 qui peuvent comprendre des circuits compatibles avec la charge, ou peuvent être des grilles isolées entre chaque cellule. Par exemple, les cellules 143 peuvent être réalisées en un alliage de a- Si:F:H dont l'intervalle est d'environ 1,9 eV. La cellule peut être réalisée avec une faible quantité d'élément de réglage d'intervalle de bande tel que du germanium, avec un intervalle de 1,5 eV. La troisième cellule 147 peut être réalisée avec une quantité plus importante d'élément ou d'éléments de réglage de bande, avec un intervalle de 1,2 eV. Les énergies des photons qui sont absorbées par chaque cellule sont indiquées par les lignes ondulées 153, 155 et 157. Ces lignes 153, 155 et 157 représentent les énergies des photons situés respectivement au-dessus de 1,9 eV, 1,5 eV et 1,2 eV. Si on le souhaite, les cellules peuvent éga- lement comprendre des intervalles de bande étalonnés. En rendant sensiblement compatibles les circuits engendrés à partir de chaque cellule, la tension d'ensemble en circuit ouvert Voc du dispositif est améliorée sans diminuer sensi- blement le courant de court-circuit Jsc' Un dispositif à cellules multiples en tandem ou en cascade 159 est représenté à la figure 7. Ce dispositif peut être réalisé avec les cellules de la figure 6, les courants de chacune de ces cellules étant rendus compatibles. Les cellules à courant compatible 143', 145' et 147' absorbent les mêmes énergies des photons représentées en 153, 155 et 157. Les cellules ne sont pas munies de connexions externes entre elles, mais elles utilisent par contre des jonctions 161 et 163 qui constituent les connexions électriques entre les cellules. Bien que l'énergie radiante dont il a été question ci-dessus à titre d'exemple vienne du spectre solaire, l'invention permet également de répondre à d'autres applications de cellules multiples utilisant d'autres sour- ces de lumière. En outre, bien que les substrats des cellu- les 143 et 145 doivent être sensiblement transparents à l'énergie des photons en cause, les substrats des cellules 147 et 147' ne sont pas soumis aux mêmes restrictions. Les connexions externes des cellules 141 et 159 ne sont pas représentées. Dans les dispositifs à cellules multiples de la présente invention, on peut utiliser divers types de cellules à alliage amorphe. A titre d'exemple, la cellule 143 peut être pourvue d'un intervalle de bande rendu plus important à la manière décrite ici. Selon un autre exemple, la cellule 145 peut être sensiblement intrinsèque ou avoir été soumise à un réglage de l'intervalle de bande. La cellule 147 peut être pourvue d'un réglage de- l'intervalle de bande et chacune des cellules peut être étalonnée. La figure 8 représente en coupe partielle un dispositif à cellules multiples empilées 142 qui comprend une pluralité de cellules solaires à barrière de Schottky. Le dispositif à cellules solaires 142 comprend trois cellules solaires à barrière de Schottky 142a, 142b et 142c. Comme le montre la figure, le dispositif 142 peut comprendre des cellules additionnelles si on le désire. La cellule solaire 142a comprend un substrat ou une électrode 144 en un matériau présentant de bonnes propriétés de conductivité électrique, et la capacité d'établir un contact ohmique avec un alliage amorphe 146a compensé ou modifié pour fournir une faible densité des états localisés dans l'intervalle de bande et un intervalle de bande rendu optimal par les procédés de la présente invention. Le subs- trat 144 peut comprendre un métal semi-transparent ou un métal à faible potentiel d'extraction tel que de l'aluminium, du tentale, de l'acier inoxydable ou tout autre matériau compatible avec l'alliage amorphe 146 déposé sur lui et qui comprend de préférence du silicium ou du germanium, compensé ou modifié à la manière des alliages précédemment décrits de façon qu'il présente une faible densité des états localisés dans l'intervalle de bande. On préfère surtout que l'alliage comprenne une région 148a proche de l'électrode 144, laquelle région forme un interface à faible résistance, fortement dopé et à conductivité n-plus entre l'électrode et une région 150a à relativement forte résistance d'obscurité et non déooée et cGui est une région intrins;1que, mais à faible conductivité n. La surface supérieure de l'alliage amorphe 146a telle que représentée à la figure 8 relie une région métallique 152a, un interface entre cette région métallique et l'allia- ge amorphe 146a formant une barrière de Schottky 154a. La région métallique 152a est transparente ou semi-transparente aux radiations solaires, présente une bonne conductivité électrique et un potentiel d'extraction élevé (par exemple de 4,5 eV ou plus, produit par exemple par de l'or, du platine, du palladium, etc.) par rapport à celui de l'alliage amorphe 146a. La région métallique 152a peut être constituée par une couche unique d'un métal ou elle peut être multicouches. L'alliage amorphe 146a peut avoir une épaisseur d'environ 0,5 à 1 micron et la région métallique 152a peut présenter une épaisseur d'environ 100 A de manière à être semi-transparen- te aux radiations solaires. Sur la surface de la région métallique 152 est déposée une électrode grille 156a réalisée en un métal présentant une bonne conductivité électrique. La grille peut comprendre des lignes reliées orthogonalement d'un matériau conducteur qui n'occupe qu'une partie mineure de la surface de la région métallique, dont le reste doit être exposé à l'énergie solaire. Par exemple, la grille 156a peut n'occuper qu'envi- ron 5 à 10% de la surface totale de la région métallique 152. L'électrode grille 156a collecte de façon uniforme le courant provenant de la région métallique 152a pour assurer au dispositif une faible résistance série de bonne qualité. Une couche isolante 158a est appliquée sur l'électrode grille 156a pour isoler la cellule 142a de la cellule voisi- ne 142b. La couche isolante 158a peut être par exemple en SiO ou en Si N 2 3 4 La cellule 142b et chacune des autres cellules intermédiaires situées entre la cellule inférieure 142a et la cellule supérieure 142c comprend une électrode grille 160b déposée sur la couche isolante de la cellule adjacente telle que la couche isolante 158a de la cellule 142a. La grille 160d est de préférence identique à la grille 156a et en alignement avec celle-ci pour éviter toute formation inutile d'ombre. Sur la grille 160b est déposée une région métallique 162b qui est transparente ou semi-transparente. La région métalli- que 162b a de préférence une bonne conductivité et un poten- tiel d'extraction élevé comme la région 152a. On dépose sur la région métallique 162b un autre alliage amorphe 146b qui comprend de préférence du silicium et qui est compensé ou modifié à la manière des alliages précédem- ment décrits. L'alliage 146D comprend une région 148b proche du métal 162b qui forme un interface à faible résistance, fortement dopé et à conductivité n-plus entre le métal 162b et une région non dopée 150b et à résistance d'obscurité relativement élevée qui est une région intrinsèque mais à basse conductivité n. De préférence, l'alliage 146b a un intervalle de bande réglé de la manière précédemment décrite de façon que l'intervalle de bande de cet alliage 146b soit plus élevé que l'intervalle de bande de l'alliage 146a. Comme la cellule 142a, la cellule 142b comprend une région métallique transparente ou semi-transparente 152b formant une barrière de Schottky en 154b et une électrode grille 156b sur la région 152b. Sur l'électrode grille 156b est déposée une autre couche isolante 158b pour isoler la cellule 142b de la cellule 142c. La cellule supérieure 142c est essentiellement identique à la cellule intermédiaire 142b à l'exception qu'elle ne comprend pas de couche isolante mais par contre une couche anti-réflexion 163 déposée sur l'électrode grille 156c. Par ailleurs, l'alliage amorphe 146c qui comprend la région n- plus 148c et la région 150c qui est légèrement de conductivi- té n, intrinsèque et à forte résistance d'obscurité, est réglé du point de vue de son intervalle de bande de manière que celui-ci soit plus important que l'intervalle de bande de l'alliage 146b. Une couche anti-réflexion 163 peut être appliquée sur l'électrode grille 156c et les surfaces de la région métalli- que 152c comprises entre les surfaces de l'électrode grille. La couche anti-réflexion 163 comprend une surface 164 d'in- cidence pour les radiations solaires et sur laquelle vien- nent frapper les radiations solaires. Par exemple, la couche antiréflexion 163 peut avoir une épaisseur d'un ordre de grandeur de la longueur d'onde du point d'énergie maximale du spectre des radiations solaires, divisée par quatre fois l'indice de réfraction de la couche anti-réflexion 163. Si la région métallique 152c est du platine ayant une épaisseur de 100 A, une couche anti-réflexion appropriée 163 serait constituée par de l'oxyde de zirconium ayant une épaisseur d'environ 500 A avec un indice de réfraction de 2,1. Le ou les éléments de réglage de bande sont ajoutés aux régions 150a, 150b et 150c qui engendrent le courant photoélec- trique. Les barrières de Schottky 154a, 154b et 154c formées à l'interface entre les régions 150a et 152a, 150b et 152b et 150c et 152c respectivement permettent aux photons provenant des radiations solaires de produire des porteurs de courant dans les alliages 146a, 146b et 146c, qui sont recueillis sous forme de courant par les électrodes grilles 156a, 156b et 156c. De préférence, toutes les grilles sont alignées pour éviter une formation inutile d'ombre. De même, une couche d'oxyde (non représentée) ayant une épaisseur de l'ordre de 30 A peut être ajoutée entre chacune des couches a et 152a, 150b et 152b, et 150c et 152c de manière à produire un dispositif à cellules solaires empilées MIS ( métal-isolant-semiconducteur). La figure 9 représente un dispositif à cellules multiples en tandem ou cascade 166 illustré en coupe partielle et comprenant également une pluralité de cellules solaires à barrière de Schottky. Le dispositif à cellules solaires 166 comprend trois cellules solaires à barrière de Schottky 166a, 166b et 166c. Comme le montre la figure, le dispositif 166 peut comprendre des cellules additionnelles si on le désire. La cellule solaire 166a comprend un substrat ou une électrode 167 en un matériau présentant de bonnes propriétés de conductivité électrique, et la capacité d'établir un contact ohmique avec un. alliage amorphe 168a compensé ou modifié pour obtenir une faible densité des états localisés dans l'intervalle de bande et un intervalle de bande rendu optimal par les processus de la présente invention. Le substrat 167 peut comprendre un métal transparent ou semi- transparent ou un métal à faible potentiel d'extraction tel que de l'aluminium, du tentale, de l'acier inoxydable ou tout autre matériau compatible avec l'alliage amorphe 168a déposé sur lui et qui comprend de préférence du silicium ou du germanium,compensé ou modifié à la manière des alliages précédemment décrits pour qu'il présente dans l'intervalle de bande une faible densité d'états localisés. On préfère surtout que l'alliage comprenne une région 169a proche de l'électrode 167, laquelle région forme un interface à faible - résistance, fortement dopé et à conductivité n-plus entre l'électrode et une région 170a à relativement forte résis- tance d'obscurité et non dopée et qui est une région intrin- sèque, mais à faible conductivité n. La surface supérieure de l'alliage amorphe 168a telle que représentée à la figure 9 relie une région métallique 171a, un interface entre cette région et l'alliage amorphe 168a formant une barrière de Schottky 172a. La région métal- lique 171a est transparente ou semi-transparente aux radia- tions solaires, présente une bonne conductivité électrique et un potentiel d'extraction élevé (par exemple de 4,5 eV ou plus, produit par exemple par de l'or, du platine, du palla- dium, etc.) par rapport à celui de l'alliage amorphe 168a. La région métallique 171a peut être constituée par une couche unique d'un métal ou elle peut être multi couches. L'alliage amorphe 168a peut avoir une épaisseur d'environ 0,5 à 1 micron et la région métallique 171a peut avoir une épaisseur d'environ 100 A de manière à être semi-transparen- te aux radiations solaires. La cellule 166b et toutes les autres cellules intermé- diaires entre la cellule inférieure 166a et la cellule supérieure 166c comprennent un alliage amorphe 168b qui comporte de préférence du silicium et est compensé ou modi- fié à la manière des alliages précédemment décrits. L'allia- ge 168b comprend une région 169b proche du métal 171a qui forme un interface à faible résistance, fortement dopé et à conductivité n-plus entre le métal 171a et une région 170b non dopée et à résistance d'obscurité relativement élevée, qui est une région intrinsèque mais à faible conductivité n. De préférence, l'alliage 168b, du moins dans la région 170b, a un intervalle de bande réglé d'une manière précédemment décrite de façon que cet intervalle de bande de l'alliage 168b soit plus élevé que l'intervalle de bande de l'alliage 168a. Comme la cellule 166a, la cellule 166b comprend une région métallique transparente ou semi- transparente 171b formant une barrière de Schottky en 172b. La cellule supérieure 166c est essentiellement identique à la cellule intermédiaire 166b, à l'exception qu'elle comprend en outre une électrode grille 173 et une couche anti-réflexion 174 déposée sur l'électrode grille 173. En outre, l'alliage amorphe 168c, comprenant la région n-plus 169C et la région de faible conductivité n, intrinsèque et à forte résistance d'obscurité 170c, a un intervalle de bande réglé, du moins dans la région 170c, de manière que son intervalle de bande soit plus important que l'intervalle de bande de l'alliage 168b. L'électrode grille 173 sur la surface de la région métallique 152 est réalisée en un métal présentant une bonne conductivité électrique. La grille peut comprendre des lignes reliées orthogonalement d'un matériau conducteur qui n'occupe qu'une partie mineure de la surface de la région métallique, dont le reste doit être exposé à l'énergie solaire. Par exemple, la grille 173 peut n'occuper qu'envi- ron 5 à 10% de la surface totale de la région métallique 171c. L'électrode grille 173 collecte de façon uniforme le courant provenant de la région métallique 171c pour assurer au dispositif une faible résistance série de bonne qualité. La couche anti-réflexion 174 peut être appliquée sur l'électrode grille 173 et les surfaces de la région métalli- que 171c comprises entre les surfaces de l'électrode grille. La couche anti-réflexion 174 comprend une surface 175 d'in- cidence pour les radiations solaires et sur laquelle vien- nent frapper les radiations solaires. Par exemple, la couche antiréflexion 174 peut avoir une épaisseur d'un ordre de grandeur de la longueur d'onde du point d'énergie maximale du spectre des radiations solaires, divisée par quatre fois l'indice de réfraction de la couche anti-réflexion 174. Si la région métallique 171c est du platine ayant une épaisseur de 100 A, une couche anti-réflexion appropriée 174 serait constituée par de l'oxyde de zirconium ayant une épaisseur d'environ 500 A avec un indice de réfraction de 2,1. Le ou les éléments de réglage de bande sont ajoutés aux régions 170a, 170b et 170c qui engendrent le courant photo- électrique. Les barrières de Schottky 172a, 172b et 172c formées à l'interface entre les régions 170a et 171a, 170b et 171b, et 170c et 171c permettent respectivement aux photons provenant des radiations solaires de produire des porteurs de courant dans les alliages 168a, 168b et 168c, qui sont recueillis sous forme de courant par l'électrode grille 173. Une couche d'oxyde (non représentée), ayant une épaisseur de l'ordre de grandeur de 30 A, peut être ajoutée entre les couches 170a et 171a, 170b et 171b, et 170c et 171c de manière à produire un dispositif à cellules solaires multiples en tandem ou cascade MIS (métal-isolant-semiconduc- teur). Telles qu'elles sont utilisées ici, les expressions: agents ou matériaux compensateurs et agents, éléments ou matériaux modificateurs désignent des matériaux qui sont incorporés dans un alliage amorphe pour modifier ou changer sa structure, tels que du fluor (et de l'hydrogène) activés incorporés dans l'alliage amorphe contenant du silicium pour former un alliage de composition amorphe silicium/fluor/ hydrogène, présentant un intervalle de bande désiré et une faible densité d'états localisés dans l'intervalle de bande. Le fluor (et l'hydrogène) activés sont liés au silicium dans l'alliage et réduisent la densité des états localisés dans cet alliage, et, en raison de la faible dimension des atomes de fluor et d'hydrogène, ils sont tous les deux facilement introduits dans l'alliage amorphe sans dislocation sensible des atomes de silicium et de leurs rapports dans l'alliage amorphe. Ceci est vrai plus particulièrement du fait de l'extrême électronégativité, de la spécificité, des faibles dimensions et de la réactivité du fluor, toutes ces caracté- ristiques contribuant à influencer et à organiser l'ordre local des alliages. Dans la création de ce nouvel alliage, les fortes capacités inductives du fluor et sa capacité à agir en tant qu'organisateur de l'ordre à court terme sont d'importance. La capacité du fluor à se lier à la fois au silicium et à l'hydrogène a pour résultat la formation d'alliages nouveaux et supérieurs comprenant un minimum d'états défectueux et localisés dans l'intervalle de bande. De ce fait, le fluor et l'hydrogène sont introduits,sans formation sensible d'autres états localisés dans l'intervalle de bande, pour former les nouveaux alliages. En plus des cellules solaires multiples à barrière de Schottky ou MIS, qui sont empilées et en tandem ou en casca- de, et représentées aux figures 8 et 9, il existe des cons- tructions de cellules solaires utilisant des jonction p-i-n dans le corps de l'alliage amorphe en formant une partie, réalisées au moyen d'opérations successives de dép8t, de compensation ou de modification et de dopage telles que précédemment décrites. Ces autres formes de cellules solai- res sont illustrées dans leur ensemble aux figures 10 et 11. Si on se réfère maintenant à la figure 10, celle-ci représente un dispositif à cellules solaires multiples empilées 180, comprenant une pluralité de cellules solaires p-i-n 181a, 181b et 181c. La cellule inférieure 181a comprend un substrat 182 qui peut être transparent ou semi-transpa- rent, ou formé à partir d'acier inoxydable ou d'aluminium. Le substrat 182 a la largeur et la longueur désirées et son épaisseur est de préférence d'au moins 0,08mm. Sur le substrat 182 est déposée une couche n-plus 183 à faible absorption de la lumière et forte conductivité. Sur la couche n-plus 183 est déposée une couche d'alliage intrinsèque 184 ayant un intervalle de bande réglé, une forte absorption de la lumiè- re, une faible conductivité d'obscurité et une photoconducti- vité élevée, comprenant une quantité suffisante du ou des éléments de réglage pour rendre l'intervalle de bande opti- mal. Sur la couche intrinsèque 184 est déposée une couche p-plus 185 de faible absorption de la lumière et de forte conductivité. Sur la couche pplus 185 est déposée une couche TCO (oxyde conducteur transparent) 186 qui, par 24900 13 exemple, peut être de l'oxyde d'indium et d'étain (ITO), du stannate de cadmium (Cd2SnO4), ou de l'oxyde d'étain dopé (SnO2). Une électrode grille 187 est ajoutée à la couche TCO 186 et elle peut se présenter sous la forme des grilles précédemment décrites. La cellule 181a peut être isolée de sa cellule adjacente 181b. A cette fin, on applique une couche isolante 188 sur la grille 187, cette couche 188 pouvant être constituée par exemple en SiO2 ou en Si 3N4 La cellule 181b et toutes les autres cellules intermédi- aires qui peuvent être ajoutées comme indiqué sur la figure comprennent un corps 189 en un alliage amorphe comprenant une couche n-plus 190, une couche intrinsèque 191 et une couche p-plus 192. De préférence, chacune de ces couches présente les mêmes propriétés électriques et photoconductri- ces que les couches correspondantes de la cellule 181a. Cependant, la couche intrinsèque 191 a un intervalle de bande réglé de manière qu'il soit plus important que l'in- tervalle de bande de la couche intrinsèque 184. Pour faciliter la collecte du courant, on prévoit un oxyde de contact transparent ou semi-transparent 193 et une électrode grille 194 entre la couche n-plus 190 et la couche isolante 188. La couche 193 peut être réalisée par exemple en oxyde d'étain. De même, on prévoit une couche TCO 195 et une électrode grille 196 contre la couche p-plus 192. La cellule intermédiaire 181b est isolée de la cellule supérieu- re 181c par une couche de matériau isolant 197 tel que du SiO2 ou du Si3N4. La cellule supérieure 181c est sensiblement identique à la cellule intermédiaire 181b. Elle comprend également une électrode grille 198, un oxyde de contact transparent ou semi-transparent 199, une région n-plus 200, une région intrinsèque 201, une région p-plus 202, une couche TCO 203 et une électrode grille 204. De plus, on prévoit une couche antiréflexion 205 sur la grille électrode 204 et la région intrinsèque a de préférence un intervalle de bande réglé de la manière précédemment décrite de façon qu'il soit plus important que l'intervalle de bande de la couche intrinsèque 191 de la cellule 181b. Pour obtenir un rendement maximal de la cellule, toutes les grilles doivent être alignées pour éviter toute forma- tion inutile d'ombre. On comprendra également que l'on puisse obtenir un dispositif à cellules multiples n-i-p en- inversant l'ordre des couches ou des régions n-plus ou p- plus. Si on se réfère maintenant à la figure 11, celle-ci représente un dispositif à cellules multiples en tandem ou cascade 206 comprenant également une pluralité de cellules solaires p-i-n 207a, 207b et 207c. La cellule inférieure 207a comprend un substrat 208 qui peut être transparent ou semi-transparent, ou constitué à partir d'acier inoxydable ou d'aluminium. Chacune des cellules 207a, 207b et 207c comprend un corps en alliage amorphe 209a, 209b et 209c respectivement, contenant au moins du silicium. Chacun des corps des alliages comprend une région ou couche n-plus 210a, 210b et 210c, une région ou couche intrinsèque 211a, 211b et 211c, et une région ou couche p-plus 212a, 212b et 212c. La cellule 207b comprend une cellule intermédiaire et, comme représenté sur la figure, des cellules intermédiaires additionnelles peuvent être incorporées dans le dispositif si on le désire. On peut également obtenir un dispositif à cellules multiples n-i-p en inversant l'ordre des couches ou régions n-plus et p-plus. Pour chacune des cellules 207a, 207b et 207c illustrées à la figure 11, les couches p sont des couches en alliage à faible absorption de la lumière et à forte conductivité. Les couches d'alliage intrinsèque ont un seuil de longueur d'onde réglé pour une photo-réponse solaire, une caractéris- tique d'absorption de la lumière élevée, une conductivité d'obscurité faible et une forte photo-conductivité, et elles comprennent des quantités suffisantes du ou des éléments de réglage pour rendre optimal l'intervalle de bande en vue de l'application de la cellule. De préférence, les couches intrinsèques ont leur intervalle de bande réglé de manière que la cellule 207a ait l'intervalle de bande le plus bas, la cellule 207c l'intervalle de "ande le plus élevé et la cellule 207b un intervalle de bande compris entre les deux. Les couches d'alliage inférieures sont constituées par une couche n à faible absorption de la lumière et à haute conductivité. De préférence, l'épaisseur des couches dopées n est comprise entre 50 et 500 angstrôms. L'épaisseur des couches d'alliage intrinsèque amorphe et contenant l'élément de réglage est comprise de préférence entre environ 3.000 angstrôms et 30.000 angstrôms. L'épaisseur des couches p est également comprise de préférence entre 50 et 500 angstrôms. En raison de la plus courte longueur de diffusion des trous, les couches p sont en général aussi minces que possible et de l'ordre de 50 à 150 angstrôms. En outre, la couche la plus externe (ici la couche p 212c) est maintenue aussi mince que possible pour éviter l'absorption de la lumière par cette couche de contact et elle ne comprend pas en général d'élément ou d'éléments de réglage de l'intervalle de bande. A la suite du dépôt des diverses couches d'alliage semiconducteur selon l'ordre désiré pour les cellules 209a, 209b et 209c, on effectue une autre opération de dépôt, de préférence dans un environnement de dépôt séparé. Avantageu- sement, on utilise un environnement de dépôt de vapeur du fait qu'il constitue un procédé de dépôt rapide. Au cours de cette opération, on ajoute une couche TCO 213 (oxyde conduc- teur transparent) qui peut être par exemple de l'oxyde d'étain indium (ITO), du stannate de cadmium (Cd2SnO4), ou de l'oxyde d'étain dopé (SnO2) . La couche TCO est ajoutée à la suite de la post-compensation du fluor (et de l'hydrogène) si les alliages n'ont pas été déposés avec un ou plusieurs des éléments compensateurs ou modificateurs désirés. On peut ajouter une électrode grille 214 au dispositif si on le désire. Pour un dispositif ayant une surface rela- tivement petite, la couche TCO 213 est en général suffisa- mment conductrice, ce qui fait que la grille 214 n'est pas nécessaire pour un bon rendement du dispositif. Si le dispositif a une surface suffisamment importante ou si la conductivité de la couche TCO 213 est insuffisante, la grille 214 peut être placée sur la couche 213 pour raccourcir le parcours des porteurs et augmenter le rendement de con- duction du dispositif. Les intervalles de bande de chacune des cellules formant les dispositifs des figures 8, 9, 10 et 11 peuvent également être étalonnés dans leur région photosensible intrinsèque ou active. Cet étalonnage peut être réalisé selon le procédé décrit dans une demande également déposée par la Demande- resse. Si on se réfère maintenant à la figure 12, celle-ci représente un mode de réalisation d'une chambre de dépôt de vapeur activée par plasma 226, chambre dans laquelle le semiconducteur et le ou les éléments de réglage de l'inter- valle de bande de l'invention peuvent être déposés. Un dispositif de commande 228 est utilisé pour contrôler les paramètres du dépôt, tels que la pression, les débits, etc., d'une manière semblable à celle précédemment décrite en - référence au dispositif 24 (figure 1). La pression doit être maintenue à environ 10 3 torrs ou moins. * Une ou plusieurs conduites de gaz de réaction, telles que les conduites 230 et 232, peuvent être utilisées pour envoyer les gaz tels que du tétrafluorure de silicium (SiF4) et de l'hydrogène (H2) dans une région de plasma 234. La région de plasma 234 est établie entre un enroulement 236 alimenté par un dispositif d'alimentation en courant continu (non représenté) et une plaque 238.,Le plasma active le ou les gaz d'alimentation pour fournir du fluor (et de l'hydro- gène) activés qui doivent être déposés sur le substrat 240. Le substrat 240 peut être chauffé à la température de dépôt désirée par des moyens de chauffage comme décrits précé- demment. Le ou les éléments de réglage de l'intervalle de bande et le silicium peuvent être ajoutés à partir de deux ou plusieurs nacelles d'évaporation, telles qu'en 242 et 244. La nacelle 242 pourrait contenir, par exemple, du germanium et la nacelle 244 du silicium. Les éléments contenus dans les nacelles 242 et 244 peuvent être évaporés par un faisceau d'électrons ou tout autre moyen de chauffage et ils sont activés par'le plasma. Si on désire déposer le ou les éléments de réglage de bande dans la région photogénératrice du film en cours de dépôt, on peut utiliser un volet 246. Le volet peut tourner en déposant des couches séparées d'éléments de réglage de bande à partir de deux ou plusieurs des nacelles, ou bien il peut être utilisé pour commander le dépôt de l'élément de réglage de bande à partir de la nacelle 242 (ou autres) pour obtenir des couches dans le film ou pour modifier la quanti- té d'élément de réglage de bande déposé dans le film. Ainsi le ou les éléments de réglage de bande peuvent être ajoutés de façon discrète selon des quantités étagées ou variant de façon continue. La figure 13 représente le spectre de la lumière solaire disponible. La masse d'air O (AMO) représente la lumière solaire disponible sans atmosphère-et le soleil directement à la verticale. AM1 correspond à la même situation après filtrage par l'atmosphère terrestre. Le silicium cristallin a un intervalle de bande indirect d'environ 1,1 à 1,2 eV qui correspond à la longueur d'onde d'environ 1,0 micron. Ceci correspond à une perte, c'est-à-dire à la non-génération de photons utiles, pour pratiquement toutes les longueurs d'onde lumineuse au-dessus de 1,0 micron. Telle qu'il est utilisé ici, l'intervalle de bande ou d'absorption optique E est défini par l'interception extrapoléed'une courbe(C t u)l/2, o CK représente le coefficient d'absorption et t w (ou e) l'énergie des photons. Pour une lumière ayant une longueur d'onde située au-dessus du seuil défini par l'inter- valle de bande, l'énergie des photons ne suffit pas pour engendrer une paire de photo-porteurs et n'ajoute donc pas de courant à un dispositif spécifique. Chacune des couches des alliages du dispositif semicon- ducteur peut être déposée par décharge luminescente sur le substrat de l'électrode de base au moyen d'une chambre à décharge luminescente de type connu décrite dans le brevet US n0 4.226.898 sus-mentionné. Les couches de l'alliage peuvent également être déposées selon un procédé continu. Dans ces cas, le système à décharge luminescente est placé initialementsous vide à approximativement 1 mtorr pour purger ou éliminer les impuretés de l'atmosphère contenue dans le système de dépôt. Le matériau de l'alliage est alors envoyé de préférence dans la chambre de dépôt sous forme gazeuse composée, et avantageusement sous forme de tétrafluo- rure de silicium (SiF4), d'hydrogène (H2) et de germane (GeH4). De préférence, on obtient le plasma de la décharge luminescente à partir du mélange gazeux. Le système de dépôt du brevet US n0 4.226.898 est utilisé de préférence à une pression comprise entre environ 0,3 et 1,5 Torrs, et mieux entre 0,6 et 1,0 torr, et par exemple à environ 0,6 torr. Le matériau semiconducteur est déposé à partir d'un plasma se maintenant de lui-même sur le substrat qui est chauffé, de préférence par des moyens infrarouges, à la température de dépôt désirée pour chaque couche d'alliage. Les couches dopées du dispositif sont déposées à des tempé- ratures diverses comprises entre 2000C et environ 1.000C, en fonction de la forme du matériau utilisé. La limite supérieure à la température du substrat est due en partie au type de substrat métallique utilisé. Pour l'aluminium, la température supérieure ne doit pas dépasser environ 6000C et, lorsqu'il s'agit d'acier inoxydable, elle peut dépasser environ 1. 0000C. Quand on veut produire un alliage amorphe compensé initialement à l'hydrogène, de manière à former la couche intrinsèque dans des dispositifs n-i-p ou p-i-n, la température du substrat doit être inférieure à environ 4000C et de préférence d'environ 3000C. On modifie les concentrations de dopage pour produire la conductivité désirée de type p, p, n ou n à mesure que les couches d'alliage sont déposées pour chaque dispositif. Pour des couches dopées n ou p, le matériau est dopé avec 5 à 100 ppm de matériau dopant au moment o il est déposé. Pour des couches dopées n ou p, le matériau est dopé avec des quantités de 100 ppm à plus de 1 pour cent de matériau dopant au moment o il est déposé. Le matériau dopant n peut être constitué par des dopants classiques déposés aux tempé- ratures des substrats respectifs de préférence dans la gamme de 100 ppm à 5.000 ppm et plus pour le matériau p. Le procédé de dépôt par décharge luminescente peut comprendre un plasma engendré par un signal alternatif et dans lequel sont introduits les matériaux. De préférence, le plasma est soutenu entre une cathode et une anode formant substrat au moyen d'un signal en courant alternatif d'envi- ron 1 kHz à 13,6 MHz. Bien que les dispositifs à cellules multiples de l'inven- tion puissent utiliser diverses couches d'alliages amorphes, il est préférable qu'ils utilisent des cellules avec des alliages déposés par décharge luminescente et compensés de fluor et d'hydrogène. Dans ce cas, un mélange de tétrafluo- rure de silicium et d'hydrogène est déposé sous forme d'un matériau d'alliage compensé amorphe à une température d'en- viron 4000C ou au-dessous pour la couche de type n. La couche d'alliage amorphe intrinsèque à intervalle de bande réglé et la couche p peuvent être déposées sur la couche de l'électrode à une température plus élevée du substrat et supérieure à environ 4500C, ce qui permet d'obtenir un matériau compensé au fluor. Par exemple, un mélange des gaz GeH4 + Ar + SiF4 + H2 comprenant un pourcentage de GeH4 par rapport au SiF4 compris entre 0,001 et 1% produit des alliages photosensi- bles ayant des intervalles de bande réglés sans perdre leurs propriétés électroniques que l'on désire. Le mélange présen- te un rapport entre le SiF4 et le H2 compris entre 4:1 et 10:1. La quantité du ou des éléments de réglage dans l'al- liage résultant est beaucoup plus importante que les pour- centages de gaz et elle peut être nettement supérieure à vingt pour cent en fonction de l'application. L'argon est utile en tant que diluant mais n'est pas essentiel au pro- cédé de l'invention. En outre, bien que le ou les éléments de réglage de l'intervalle de bande soient ajoutés au moins à la région photosensible des cellules, le ou les éléments peuvent également avoir une utilité dans les autres couches d'allia- ges des dispositifs. Comme mentionné précédemment, les couches d'alliages autres que la couche d'alliage intrinsè- que peuvent être autres que des couches amorphes, et par exemple des couches polycristallines. (Le terme "amorphe" désigne un alliage ou un matériau présentant un désordre à long terme, bien qu'il puisse avoir un ordre à court terme ou à moyen terme, et même parfois contenir certaines inclu- sions cristallines). REVENDICATIONS 1. Dispositif amorphe photosensible à cellules multiples, comprenant au moins deux cellules, chacune de ces cellules comportant un alliage qui comprend du silicium et dans lequel est incorporé au moins un élément réducteur de la densité des états, cet élément étant du fluor, caractérisé en ce que chaque alliage desdites cellules (146a, 146b, 146c, 168a, 168b, 168c, 184, 189, 191, 209a, 209b, 209c, 211a, 211b, 211c) comprend un élément de réglage de l'inter- valle de bande qui lui est incorporé sans augmenter sensi- blement les états présents dans l'intervalle, chaque alliage des cellules ayant un intervalle de bande réglé pour fonc- tionner sur une longueur d'onde photosensible spécifiée et différente de celle de chacun des autres alliages des cel- lules. 2. Dispositif photosensible à cellules multiples compre- nant au moins deux cellules superposées en matériaux diffé- rents, l'une au moins des cellules comportant un alliage semiconducteur amorphe multicouches ayant une région photo- sensible active dans laquelle est situé un intervalle de bande que des radiations peuvent venir frapper pour produire des porteurs de charge, cet alliage comprenant au moins un élément réducteur de la densité des états, cet élément étant du fluor, caractérisé en ce que l'alliage (146a, 146b, 146c, 168a, 168b, 168c, 184, 189, 191, 209a, 209b, 209c, 211a, 211b, 211c) comprend en outre un élément de réglage de l'intervalle de bande au moins dans ladite région photosen- sible (146a, 146b, 146c, 168a, 168b, 168c, 184, 191, 201, 211a, 211b, 211c) pour améliorer sa capacité d'absorption des radiations sans augmenter sensiblement les états dans la bande, l'intervalle de bande de cet alliage étant réglé pour fonctionner sur une longueur d'onde photosensible spécifiée et différente de celle de la seconde cellule (142a, 142b, 142c, 143, 143', 145, 147, 147', 154a, 154b, 154c, 166a, 166b, 166c, 181a, 181b, 207a, 207b, 207c). 3. Cellule multiple selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que l'élément de réglage est un élément appartenant au groupe consistant en germanium, étain, carbo- ne et azote. 4. Cellule multiple selon l'une des revendications l à 3, caractérisée en ce que chaque alliage des cellules com- prend une région photosensible active et en ce que l'élément de réglage est inclus au moins dans cette région (146a, 146b, 146c, 168a, 168b, 168c, 184, 191, 201, 211a, 211b, 211c). 5. Cellule multiple selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisée en ce qu'au moins l'une des cellules (142a, 142b, 142c, 143, 143', 145, 145', 147, 147', 154a, 154b, 154c, 166a, 166b, 166c, 181a, 181b, 181c, 207a, 207b, 207c) comprend en outre un second élément réducteur de la densité des états incorporé dans la cellule, cet élément étant de l'hydrogène. 6. Cellule multiple selon l'une des revendications 1 à , caractérisée en ce que l'une au moins des cellules (142a, 142b, 142c, 143, 143', 145, 145', 147, 147', 154a, 154b, 154c, 166a, 166b, 166c, 181a, 181b, 181c, 207a, 207b, 207c) est déposée par dépôt par décharge luminescente. 7. Cellule multiple selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisée en ce que l'une au moins des cellules (142a, 142b, 142c, 143, 143', 145, 145', 147, 147', 154a, 154b, 154c, 166a, 166b, 166c, 181a, 181b, 181c, 207a, 207b, 207c) comprend ledit élément de réglage sous forme de couches sensiblement discrètes. 8. Cellule multiple selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisée en ce que l'une au moins desdites cellules (142a, 142b, 142c, 143, 143', 145, 145', 147, 147', 154a, 154b, 154c, 166a, 166b, 166c, 181a, 181b, 181c, 207a, 207b, 207c) comprend ledit élément de réglage selon des quantités variables. 9. Dispositif selon l'une des revendications 4 à 8, caractérisé en ce que l'intervalle de bande de ladite région photosensible (146a, 146D, 146c, 168a, 168b, 168c, 184, 191, 201, 211a, 211b, 211c) est inférieure à 1,6 eV. 10. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que leait élément de réglage est du germanium. 11. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que ledit alliage fait partie d'une cellu- le solaire à barrière de Schottky (142a, 142b, 142c, 154a, 154b, 154c, 166a, 166b, 166c). 12. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 11, caractérisé en ce que ledit alliage fait partie d'une cellu- le solaire MIS (142a). 13. Dispositif selon l'une des revendications i à 12, caractérisé en ce que ledit alliage fait partie d'un dispo- sitif p-i-n (180, 206).