FR 2477771 A1 19810911 FR 8104517 A 19810306 -1- "PROCEDE POUR LA REALISATION D'UN DISPOSITIF SEMI- CONDUCTEUR A HAUTE TENSION DE BLOCAGE ET DISPOSITIF SEMICONDUCTEUR AINSI REALISE" L'invention concerne un procédé pour la réalisation d'un dispositif semiconducteur présentant une jonction pn, qui affleure une surface du corps semiconducteur et qui est polarisé dans le sens de blocage dans au moins un état de fonctionnement, selon lequel, ladite surface est découverte, au moins à l'endroit o ladite jonction pn affleure ladite surface, et munie d'une couche de passivation en un maté- riau semi-isolant. Un tel procédé est décrit dans l'article intitulé"Highly reliable hi.gh voltage transistors by use of the SIPOS pro- cess" par Matsushita et al dans "I.E.E.E. Transactions on electron devices", volume ED-23, No 8, août 1976, pages 826 à 830. Comme le mentionne cet article, des avantages impor- tants sont obtenus lorsque la surface du dispositif semi- conducteur est passivée à l'aide d'une couche semi-isolante au lieu d'une couche isolante en dioxyde de silicium par exemple. Dans le procédé décrit, le corps est en silicium et le matériau semi-isolant est du silicium polycristallin dopé à l'aide d'oxygène, qui est déposé de façon directe sur la surface du corps en silicium. Avant le dépôt de la couche semi-isolante, la surface qu'affleure la jonction pn, est découverte par enlèvement par décapage de la couche en dioxyde de silicium utilisée pendant les premières étapes de fabrication, par exemple pour la localisation du trai- tement de diffusion avec un dopant de type p pour la forma- tion de la jonction pn des dispositifs planaires requis. De plus, dudit article, il ressort que des couches d'oxyde naturel doivent être enlevées par décapage de la surface du corps semiconducteur avant le dépôt de la couche isolante, -2- afin d'éviter les éventuels effets ou le piégeage de por- teurs de charge chauds (dits effets de "mémoire') qui ris- quent de modifier la conductivité de la surface semiconduc- trice, raison pour laquelle ils sont considérés comme défa- vorables pour la passivation d'une jonction pn affleurant la surface. Lorsqu'une jonction pn, qui est directement passivée par une telle couche semi-isolante, est polarisée dans le sens de blocage, le courant de fuite circulant dans le sens de blocage contient un courant qui traverse la couche semi- isolante entre les régions de type p et n constituant la jonction pn. Pour autant que ce courant circule le long de la couche, il provoque une chute de tension le long de la couche semi-isolante. De ce fait, une partie du potentiel négatif de la région de type p est transmise à la région de type n, de sorte que la couche d'épuisement correspondant à la jonction pn polarisée dans le sens de blocage peut s'agrandir le long de la surface. Ainsi s'obtient une modi- fication et une réduction du champ électrique à la surface autour de la jonction, de sorte que la tension de claquage d'un dispositif peut être augmentée, si celle-ci est limitée par claquage desurface. Pour réduire le courant de fuite, il faut augmenter la résistivité de la couche semi-isolante. Toutefois, une augmentation de cette résistivité peut se traduire par un agrandissement limité de la couche d'épui- sement et, de ce fait, une augmentation limitée de la ten- sion de claquage. De plus, pour augmenter la vitesse de commutation de certains dispositifs, il est parfois désirable d'incorporer des centres susceptibles de diminuer la durée de vie (des porteurs minoritaires) (comme l'or) dans le corps semiconduc- teur. Lorsque la surface du corps est passivée de façon di- recte à l'aide d'une telle couche semi-isolante, cette cou- che peut fonctionner comme un fixateur ("getter"), qui peut prélever une partie notable de l'or du corps semiconducteur, -3- comme l'a constaté la Demanderesse. L'invention vise à fournir un dispositif du genre men- tionné ci-dessus présentant une tension de claquage aussi élevée que possible et un courant de fuite aussi faible que possible, la couche de passivation affectant le moins pos- sible les centres susceptibles de diminuer la durée de vie. Elle est basée sur l'idée que ce but peut être atteint par l'application contrôlée d'une couche mince additionnelle en un matériau isolant. Un procédé conforme à l'invention est caractérisé en ce qu'avant l'application du matériau semi-isolant, un traite- ment de transformation est effectué à une température supé- rieure à la température ambiante normale par lequel le mate- riau à la surface découverte du corps semiconducteur est transformé, par voie chimique, en une couche de matériau isolant, sur laquelle est appliqué le matériau semi-isolant, le traitement de transformation étant poursuivi jusqu'à ce que la couche présente une épaisseur, qui est suffisamment petite pour permettre la conduction entre la couche de pas- sivation et le corps semiconducteur mais suffisamment élevée pour maintenir ladite conduction tellement faible que l'é- paisseur de la couche d'épuisement correspondant à la jonc- tion pn polarisée dans le sens de blocage augmente le long de la surface. Contrairement à ce qui était usuel dans le passé pendant l'application d'un matériau semi-isolant pour la passivation de jonctions pn/ on applique maintenant intentionnellement une couche mince en un matériau isolant dans le dispositif réalisé conformément à l'invention entre la couche semi- isolante et la surface semiconductrice qu'affleure la jonc- tion pn. Du fait que l'épaisseur en est telle que la conduc- tion se produisant entre la couche de passivation et le corps semiconducteur soit réduite, mais non éliminée, il s'avère que cette couche limite en matériau isolant fait office de barrière qui, dans le cas d'une résistivité déterminée - 2477771 -4- de la couche isolante, assure que la majeure partie du courant de fuite circule davantage le long de la couche dans la couche semi-isolante, plutôt que de circuler de cette couche d'arrêt en matériau isolant vers la surface semiconductrice. De ce fait, la différence de potentiel, qui est appliquée pour polariser la jonction dans le sens de blocage, est distribuée sur une plus grande longueur de la couche semi-isolante, ce qui se traduit par une aug- mentation de l'épaisseur de la couche d'épuisement le long de la surface dans le cas d'une résistivité déterminée de la couche semi-isolante, comparativement aux dispositifs connus, dans lesquels la surface semiconductrice est pas- sivée de façon indirecte par du matériau semi-isolant. De ce fait, la tension de claquage de la jonction polarisée dans le sens de blocage peut être augmentée, même dans le cas d'utilisation d'une couche présentant une résistivité très élevée pour réduire le courant de fuite. De plus, il s'avère qu'une telle couche limite en un matériau isolant présentant cette épaisseur fait également office de barrière, du fait qu'elle réduit notablement l'ef- fet fixateur de la couche semi-isolante pour des substances susceptibles de diminuer la durée de vie des porteurs de charge, comme de l'or, substances qui peuvent être néces- saires dans le corps semiconducteur. La Demanderesse a constaté que dans les dispositifs semiconducteurs conformes à l'invention, ces avantages con- cernant la tension de claquage, la résistivité de la couche semi-isolante et les substances diminuant la durée de vie peuvent s'obtenir, tout en maintenant d'autres avantages connus de la passivation avec du matériau semi-isolant, comme par exemple la réduction d'effets de charge indési- rables à la surface semiconductrice. Il est évident que la qualité et l'épaisseur de la couche en matériau isolant sont importantes pour l'obtention des fonctions de barrière requises. Ces propriétés de la -5- couche peuvent être réglées de façon connue par formation de la couche du corps semiconducteur par un traitement de transformation chimique de la surface du corps dans une atmosphère contrôlée et utilisation d'une température supé- rieure à la température ambiante normale. La température augmentée de la surface du corps est d'importance s'il s'agit d'obtenir un processus assez rapide et facile à régler pour la formation de la couche. Le brevet britannique no 1 536 764 mentionne que lors- qu'une couche semiconductrice passivée avec une couche semi- isolante (contenant dans ce cas, tant des niveaux de don- neurs profonds que des niveaux accepteurs profonds), il n'est pas toujours nécessaire de découvrir complètement la surface du silicium avant le dépôt de la couche semi-iso- lante par enlèvement d'une couche isolante mince (le plus souvent de l'oxyde) qui est formée de façon naturelle sur le silicium. Cette couche naturelle est formée à la tempé- rature ambiante normale et l'épaisseur en est tributaire des conditions ambiantes, comme l'humidité et la tempéra- ture de l'air. Son épaisseur peut être fortement tributaire des conditions atmosphériques et également de la pollution atmosphérique. Conformément à l'invention, afin d'obtenir l'augmenta- tion requise de la tension de claquage, dans un processus de fabrication fiable il est toujours nécessaire d'enlever de telles couches formées par voie naturelle de façon à obtenir une surface découverte qui est soumise au traite- ment de transformation chimique à une température supérieure à la température ambiante normale, afin de former la couche isolante présentant les propriétés requises. C'est pour cette raison que dans toute cette demande et notamment dans les revendications, l'étape de fabrication permettant de découvrir la surface semiconductrice dans un procédé con- forme à l'invention comprend également l'enlèvement de chaque couche isolante formée éventuellement par voie natu- -6- relle sur ladite surface pendant le traitement ou le stoc- kage du corps semiconducteur, du fait qu'une telle couche n'est pas formée intentionnellement par un traitement de transformation chimique du corps à une température supé- rieure à la température ambiante normale. Une couche en matériau isolant formée sur la surface d'un corps semiconducteur à partir du matériau semiconduc- teur du corps par un traitement de transformation est connue dans la technique des semiconducteurs sous la dénomination de "couche générique". D'une façon générale, la couche en matériau isolant formée conformément à l'invention est d'une épaisseur d'au moins 10 A, mais inférieure à 100 A (10-2 pm). Il existe plusieurs genres de traitement de trans- formations pouvant être utilisées pour la formation de telles couches génériques minces à des températures supé- rieures à la température ambiante normale pour lesquels s'applique surtout l'oxydation. Le traitement peut être ef- fectué d'une façon complètement séparée des autres étapes du procédé aussi bien qu'en combinaison avec au moins l'une de ces dernières. C'est ainsi qu'après l'introduction du corps semiconducteur dans un réacteur pour le dépôt du maté- riau semi-isolant, un courant de gaz oxydant peut passer sur le corps chauffé pour la formation de la couche géné- rique (dans ce cas, une couche d'oxyde) avant d'amener d'au- tres gaz pour le dépôt du matériau semi-isolant. La couche générique peut être formée égalementdefaçonsimPJe, lorsquecomme partie du traitement servant à dénuder la surface semiconduc- trice, ladite surface est exposée à un liquide de nettoyage à une température supérieure à la température ambiante nor- male, ce liquide étant par exemple de l'acide nitrique ou une solution contenant de l'eau oxygénée, qui provoque tous les deux un traitement d'oxydation. Toutefois, un traitement d'oxydation séparé peut être appliqué, cas dans lequel la surface semiconductrice découverte est exposée à de l'oxy- gène sec à une température supérieure à la température -7- ambiante et inférieure à 500 C; la qualité et l'épaisseur de la couche d'oxyde générique ainsi formée peuvent être réglées rigoureusement au moyen de la pression d'oxygène, de la température et de la durée d'oxydation. La description ci-après, en se référant aux dessins annexés, le tout donné à titre d'exemple non limitatif, fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. Les figures 1 et 2 montrent des sections transversales d'une partie du corps d'un dispositif semiconducteur;pendant plusieurs phases de réalisation d'un procédé conforme à l'invention. La figure 3 représente une section transversale d'une partie agrandie de la partie du corps représentép sur les figures 1 et 2, tout en illustrant une partie de la struc- ture définitive du dispositif réalisé à l'aide du procédé conforme à l'invention. La figure 4 montre une section transversale d'une partie d'un corps d'un autre dispositif semiconducteur dans un stade de réalisation à l'aide d'un autre procédé conforme à l'in- vention. La figure 5 représente une section transversale d'une partie agrandie de la partie du corps représentée sur la figure 4, tout en illustrant une partie de la structure définitive du dispositif réalisé conformément à l'invention. La figure 6 est un graphique donnant la tension de cla- quage VB en volts en fonction de la résistivitéA en qcm du corps semiconducteur, tout en illustrant l'influence d'un traitement de nettoyage oxydant conforme à l'invention. La figure 7 est un graphique donnant la température d'oxydation T en OC en fonction de la résistivitéP en ncm du corps semiconducteur, tout en illustrant l'effet de la croissance de l'oxyde sur la tension de claquage et la figure 8 est un graphique donnant la charge emmaga- sinnée sous forme de porteurs minoritaires, en micro-Coulomb$ en fonction de la température d'oxydation T en OC tout en -8-- illustrant l'effet de la croissance d'oxyde sur les pro- priétés de piégeage. Il y a lieu de noter que les figures i à 5 ne sont pas représentées à échelle et que les dimensions relatives, ainsi que les rapports relatifs de quelques parties de ces figures ont été représentés de façon exagérée ou réduites pour la clarté du dessin. C'est ainsi que la région de type p+ 3 dans le corps semiconducteur peut être l0 fois plus épaisse que la couche d'oxyde 10 et 102 fois plus épaisse que la couche semi-isolante 7. Les dimensions horizontales ont été représentées de façon analogue. Sur les figures, les mêmes chiffres de référence sont utilisés non seulement pour désigner les mêmes parties du même dispositif, mais également des parties analogues de divers dispositifs. De plus, il y a lieu de noter que les figures 1 à 5 représentent des parties du corps semiconducteur pour un seul dispositif semiconducteur, alors qu'en pratique un grand nombre de dispositifs semiconducteurs sont obtenus simultanément dans une même plaque semiconductrice par réa- lisation des étapes de fabrication dans toutes les régions des dispositifs semiconducteurs, et puis, subdivision de la plaque élaborée de façon à obtenir des corps séparés pour chaque dispositif semiconducteur. La forme de réalisation selon les figures 1 et 3 con- cerne un dispositif semiconducteur Mesa comportant un corps semiconducteur en silicium monocristallin (voir la figure 3) présentant une jonction pn pratiquement plane 2, qui est constituée par une région de type p 3, qui est appliquée dans une partie de type n 4 du corps, cette jonction affleu- rant la paroi latérale 5 d'une partie Mesa d'une surface non planaire 6 du corps l. La jonction pn 2 est polarisée dans au moins un état de fonctionnement du dispositif dans le sens du blocage. Comme il sera vu en détail ci-après, la jonction pn 2 peut être la jonction redresseuse d'une diode redresseuse de puissance ou la jonction base-collecteur d'un -9transistor de puissance, ou par exemple l'une des jonctions pn d'un thyristor. Une couche de passivation 7 en matériau semi-isolant se trouve sur la surface 6, au moins à l'endroit o se termine la jonction 2. Dans cette forme de réalisation, la couche 7 est recouverte d'une couche isolante 8 en verre par exemple. Conformément à l'invention, la couche semi-isolante 7 se trouve sur une couche 10 en matériau isolant, qui est formée sur la surface 6 à l'aide d'un traitement de trans- formation chimique à une température située au-dessus de la température ambiante normale. Dans cet exemple, la cou- che 10 est une couche d'oxyde générique. Cette couche d'o- xyde 10 a une épaisseur pratiquement uniforme qui est suf- fisamment petite pour permettre la conduction entre la cou- che semi-isolante 7 et le corps semiconducteur 1, comme l'indique les flèches 11, mais qui est suffisamment élevée pour réduire ladite conduction de façon que l'épaisseur de la couche d'épuisement 12 correspondant à la jonction 2 polarisée dans le sens de blocage augmente le long de la surface 6. Sur la figure 3, le bord de la couche d'épuise- ment 12 est indiqué par des lignes pointillées. La ligne mixte 14 indique l'épaisseur réduite de la couche d'épui- sement le long de la surface de la région 4, qui serait produite en l'absence de la couche d'oxyde 10. Comme il a été représenté dans la forme de réalisation selon la figure 3, la région de type p 3 est contactée par l'intermédiaire d'une fenêtre ouverte dans les couches 7,-8 et 10, par une électrode 13 en aluminium par exemple. Près de sa surface principale opposée 16, le corps 1 comporte une région semiconductrice 9, qui est métallisée pour former une électrode 19. Dans le cas d'une diode redresseuse, la région de type n constitue de façon typique un substrat à résisti- vité élevée dans lequel sont formées des régions de type p et n à dopage plus élevé 3, 9, par diffusion d'un dopant de façon que les électrodes 13 et 9 constituent respectivement l'anode et la cathode. - 10- Dans le cas d'un transistor de puissance, la région 4 est constituée d'une couche épitaxiale, qui est déposée sur un substrat à dopage élevé 9 de même type de conduction, constituant ensemble la région de collecteur du transistor. La région 3 de type de conduction opposé constitue ainsi la région de base du transistor avec une électrode de base 13, de sorte que la jonction pn constitue la jonction collecteur- base. Au moins une région d'émetteur du même type de conduc- tion que la région 4 est appliquée localement dans la région de base 3 (dans une partie de la partie Mesa non représentée sur la figure 3) et présente une électrode d'émetteur (non représentée sur la figure 3). Ces électrodes d'émetteur et de base présentent des fenêtres de contact séparées ménagées dans une couche isolante sur la face supérieure de la partie Mesa. Toutefois, comme on l'a déjà mentionné ci-dessus, la jonction pn 2, qui est passivée conformément à l'invention, peut être également une jonction redresseuse d'un thyristor. Dans ce cas, la structure selon la figure 3 est légèrement modifiée. La région 4 est un substrat de type n à résisti- vité élevée dans lequel sont formées des régions à dopage élevé 3 et 9 par diffusion du même dopant accepteur ou des mêmes dopants accepteurs pendant la même étape de diffusion. C'est ainsi que dans ce cas, les région 3 et 9 sont de même type de conduction (type p). Outre dans le cas o ledit thyristor est un triac, la région de type p 9 forme avec son électrode 19 l'anode du thyristor. Unecathode formée par les régions d'émetteur de type n est appliquée locale- ment dans la région de type p 3 d'une façon analogue à celle de la région d'émetteur décrite ci-dessus d'un transistor de puissance. Lorsque le thyristor est un triac, on a appli- qué une région d'émetteur additionnelle de type n dans la région de type p 9, près de la surface 13 et courtcircuitée avec la région 9 par l'intermédiaire de l'électrode 19. Dans le cas d'un thyristor, la partie terminale de la -11- jonction pn doit être passivée entre la région de type n 4 et la région de type p 9. Ce résultat peut s'obtenir par décapage Mesa de la surface 16 du corps 1 de façon que cette jonction pn se termine au-dessous de la couche de passiva- tion à la paroi latérale du Mesa résultant, comme le mon- trent les figures 1 ou 3 du brevet britannique n0 1 294 184A. De préférence, la couche de passivation utilisée pour la jonction entre les régions 4 et 9 comporte également une couche isolante sur une couche en matériau semi-isolant ou une pellicule d'oxyde mince, dont les propriétés sont ana- logues à celles des couches 7, 8 et 10. Toutefois, la jonc- tion pn entre les régions 4 et 9 peut se terminer également au-dessous de la couche de passivation 7, 8, 10 à la surface 6 du corps de transistor par application d'une diffusion pro- fonde dans des structures rainurées, comme le décrivent entre autres les brevets britanniques no 1 536 545 A, No 1 499 845A et No 1 314 267A. Le dispositif selon la figure 3 est réalisé de la façon suivante, à partir d'une plaque de silicium dans laquelle la région de type n 4 se trouve près de sa surface supérieure plane. Comme on vient de le décrire, le caractère de-la ré- gion 4 est variable suivant le genre de dispositif à réali- ser. Un dopant accepteur est diffusé d'abord à partir de toute la face supérieure plane de la plaque pour former une couche de type p 3, confinée à la surface et qui constitue une jonction pn plane 2, qui s'étend latéralement sur toute la plaque (voir la figure 1). Une configuration de couche 20 constituant un masque pour un agent de décapage et réalisé par exemple en dioxyde de silicium est appliquée ensuite sur la couche de type p 3 pour assurer le masquage des régions o doivent être formées les parties Mesa. Ensuite, le silicium décapé est enlevé par décapage de la surface supérieure de la plaque à l'aide d'un agent de décapage connu (par exemple un mélange d'acide acé- tique, d'acide nitrique et d'acide fluorhydrique) -12- sur une profondeur supérieure à la profondeur de la couche de type p 3. Ainsi, sont formées les régions de type p limi- tées aux parties Mesa et les parties restantes de la jonc- tion pn se terminent aux parois latérales découvertes 5 des parties Mesa. Les parties de la surface initiale et la jonc- tion initiale à enlever par décapage sont indiquées par des lignes interrompues sur la figure 1. La surface non planaire 6, qui est formée par ce déca- page Mesa, est découverte, sauf là o elle recouverte de la configuration de couche de masquage 20. La configuration de couche 20 est ensuite enlevée, par exemple par décapage à l'aide d'acide fluorhydrique. Ce décapage assure l'en- lèvement de l'oxyde naturel formé éventuellement sur la sur- face de silicium découverte après le décapage Mesa, par ex- emple par suite des conditions dans lesquelles a été emma- gasinée la plaque après le décapage Mesa. Un traitement d'oxydation à une température supérieure à la température ambiante normale est ensuite effectué pour provoquer la croissance contrôlée de la couche générique 10 sur la surface semiconductrice découverte 6. Un traitement de nettoyage accompagné d'une oxydation peut être utilisé à cet effet, par exemple par immersion de la plaque dans un bain contenant un liquide de nettoyage, comme une solution contenant de l'eau oxygénée ou une solution d'acide nitrique à chaud. Dans le cas d'eau oxygénée des conditions appro- priées consistent par exemple dans une exposition pendant 15 minutes à une solution contenant, en volume, une partie d'eau oxygénée et une partie d'une solution d'ammoniaque con- centrée (ou d'acide chlorhydrique) dans cinq parties d'eau à 80 C. Dans le cas d'acide nitrique, les conditions appro- priées sont constituées par exemple par une exposition pen- dant 15 minutes à une solution d'acide nitrique concentrée à 800 C. La couche d'oxyde résultante 10 est d'une qualité acceptable et présente une épaisseur pratiquement uniforme d'environ 15 A (0, 0015 pm). Cette couche d'oxyde est suffi- -13- samment mince pour assurer la conduction (par exemple par suite de l'effet tunnel de porteurs de charge) entre le corps de silicium 1 et la couche semi-isolante appliquée 7, mais suffisamment épaisse pour constituer une barrière ré- duisant cette conduction, ce qui favorise la circulation du courant le long de la couche 7, et fournit les avantages décrits ci-dessus. Au lieu d'un traitement de nettoyage cccompagné d'une oxydation, il est possible de recourir à un traitement d'o- xydation selon lequel la surface de silicium découverte 6 est exposée à de l'oxygène sec à une température comprise entre 300 et 5000 C. Pour ce traitement, la plaque en sili- cium peut être introduite, soit dans un réacteur, qui doit être utilisé dans ce cas pour le dépôt du matériau semi- isolant, soit dans un four d'oxydation spécial. Pour ce traitement d'oxydation thermique à une température peu éle- vée, il est plus facile de régler la croissance d'oxyde et de former ainsi des couches d'oxyde de bonne qualité présen- * tant des propriétés reproductibles. Des conditions appro- priées sont par exemple une exposition à 350 C à un courant d'oxygène sec sous pression atmosphérique pendant 30 minutes. L'épaisseur résultante de la couche d'oxyde est évaluée à une valeur légèrement supérieure à 10 A (0,001 pm). Immédiatement après la formation et le rinçage de la couche d'oxyde 10, le matériau semi-isolant est déposé pour la formation de la couche de passivation 7, comme le repré- sente la figure 2. D'une façon générale, le matériau de la couche 7 est choisi de façon à présenter une résistivité com- prise entre 107 et 10 ncm. Plusieurs matériaux peuvent être utilisés à cet effet, par exemple un matériau à base de chalcogénure ou du silicium polycristallin dopé à l'oxy- gène. Des matériaux à base de chalcogénure appropriés pour la couche 7 sont décrits dans l'article de Smeets et al dans "Journal of Electrochemical Society", "Solid-State Science and Technology", septembre 1977, pages 1458 à 1459. La for- -14- mation du silicium polycristallin dopé à l'aide d'oxygène est décrite entre autres dans le brevet britannique n0 1 496 814 A; la teneur en oxygène d'une telle couche poly- cristalline pour la couche 7 se situe en général entre 10 et 40% en atomes et est par exemple d'environ 20% en atomes. Dans certains cas, il peut être même désirable d'utiliser du silicium polycristallin ou amorphe non dopé pour la cou- che 7. Du silicium polycristallin (non dopé) peut présenter une résistivité d'environ 106 Ocm. Toutefois, l'application d'une couche 10 conforme à l'invention offre l'avantage de permettre l'utilisation de couches semi-isolantes 7 présen- tant une résistivité élevée, ce qui réduit le courant de fuite tout en obtenant toujours un agrandissement notable de la couche d'épuisement. Une couche épaisse de verre passivant 8 est ensuite formée de façon connue sur la couche semi-isolante 7 pour protéger la couche 7 contre l'humidité et d'autres impuretés et augmenter ainsi la passivation de la surface semiconduc- trice 6. Ensuite, la plaque est soumise à d'autres traite- ments, par exemple pour l'application de fenêtres de contact et d'électrodes, après quoi elle est subdivisée de façon à obtenir des corps séparés 1 pour chaque dispositif semicon- ducteur. Il est évident que de nombreuses variantes sont possibles dans le cadre de la présente invention, Dans la variante selon la figure 5, la couche semi-isolante 7 est recouverte d'une couche d'oxyde de silicium 17 et ensuite d'une couche en nitrure de silicium 18 au lieu de la couche de verre 8. De plus, la figure 5 montre l'application de la présente invention à un dispositif dit planaire o le corps 1 pré- sente une surface pratiquement plane 6 qu'affleure la jonc- tion pn 2. A la partie terminale de la jonction pn 2 -et au- delà de celle-ci- cette surface 6 est passivée par la cou- che semi-isolante 7 sur une couche mince d'oxyde 10, tout comme dans la forme de réalisation précédente. Dans ce cas, -15- la surface en silicium 6 n'est pas découverte par décapage Mesa dans le silicium, mais par l'enlèvement de couches isolantes et de couches de verre utilisées pour la diffu- sion de dopants de la surface initiale de la plaque. C'est ainsi que, comme le représente la figure 4 dans cette forme de réalisation, une configuration de couche iso- lante 30 est appliquée sur la région de type n 4 de la plaque. Pour localiser de façon connue la diffusion de do- pants accepteurs dans la surface 6 de la plaque pour la for- mation de la région de type p 3 et les anneaux de type p entourants 33 et 34. De tels anneaux, qui sont décrits entre autres dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique (US) no 3 391 287 et dans l'article déjà cité de Matsushita et al, sert à régler l'agrandissement de la couche d'épuisement 12. Bien que cela ne soit pas indiqué sur la figure 4, lors de la diffusion, une couche de verre se forme assez souvent à l'endroit des fenêtres dans la couche 30. Après cette dif- fusion de type n pour la formation des jonctions pn, la couche 30 et la couche en verre sont enlevées par décapage connu de façon à découvrir à nouveau la surface de silicium 6. Ensuite, la surface 6 peut être soumise à oxydation, tout comme dans les formes de réalisation précédentes, et être munie des autres couches de passivation 7, 17 et 18. Au lieu de recourir à un traitement d'oxydation, il est possible de former la couche générique 10 en un autre maté- riau isolant, par exemple du nitrure de silicium, qui est formé par nitruration de la surface de siliCium 6 à tempé- rature élevée. De plus, il est évident que les types de con- duction de toute les régions des dispositifs selon les fi- gures 3 et 5 peuvent être inversées. La figure 6 est un graphique donnant l'accroissement de la tension de claquage VB (en volts) provoqué par la forma- tion d'une couche d'oxyde 10, pour laquelle est appliqué un traitement de nettoyage accompagné d'une oxydation pour les diodes redresseuses présentant une structure analogue à -16- celle selon la figure 3. En abscisses figure la résisti- vité de la région de type n, en Q2cm. Les régions 3 et 9 représentent des concentrations respectives en dopants d'en- viron 1020 atomes/cm3 aux surfaces 6 et 16. Les épaisseurs des régions 3, 4 et 9 étaient d'environ 45, 105 et 60 pm respectivement, alors que la hauteur du Mesa était d'envi- ron 70 pm. Les épaisseurs de la couche de verre 8 et de la couche semiisolante 7 étaient d'environ 20 pm et de 0,5 pm environ. Les lignes A(1) et A(2) concernent une couche semi- isolante 7 présentant une résistivité d'environ 2.108 Qcm, à la température ambiante normale, alors que les lignes B(1) et B(2) concernent une résistivité d'environ 10 9" cm, pour la couche 7. Les diodes présentant des tensions de cla- quage indiquées par les lignes A(1) et B(1) ne présentaient aucune couche d'oxyde 10 entre la couche semi-isolante 7 et la surface de silicium 6; la couche est déposée de façon directe sur la surface découverte 6 après nettoyage dans de l'acide fluorhydrique, de sorte que ces diodes A(1) et B(1) ne tombent pas dans le cadre de la présente invention. Les diodes correspondant aux lignes A(2) et B(2) étaient des dispositifs conformes à l'invention contenant une couche mince d'oxyde à l'interface entre la couche 7 et la surface 6. La couche d'oxyde 10 fut formée par exposition de la sur- face découverte 6 à une solution de nettoyage oxydante du genre mentionné ci-dessus et l'épaisseur était évalue à en- viron 15 A (0,0015 pm). Comme il ressort de la figure 6, l'application de cet interface d'oxyde provoquait une augmentation de la tension de claquage VB des diodes d'envi- ron 400 volts ou plus. Le graphique de la figure 7 concerne des diodes redres- seuses analogues à celles correspondant aux lignes A(2) et B(2) selon la figure 6, mais dans ce cas, la couche d'oxyde fut formée par exposition de la surface découverte 6 pendant 30 minutes à de l'oxygène sec à une température, qui figure en ordonnée (T en OC) et qui se situe dans la gamme -17- comprise entre environ 2500 C et 500 C. Ici aussi, la ré- sistivité de la région 4 est placée en abscisses. Les di- verses lignes (750 volts à 1000 volts) du graphique indi- quent la tension de claquage VB pour des diodes présentant des épaisseurs différentes pour la couche d'oxyde 10, déter- minées par la température d'oxydation T. Comme il ressort du graphique, la tension de claquage VB augmente avec l'épais- seur de la couche d'oxyde 10 (température d'oxydation crois- sante T). Toutefois, l'épaisseur de l'oxyde (et par consé- quent la température d'oxydation pendant une durée d'oxyda- tion déterminée) ne doit pas être choisie si élevée que la conduction entre la couche semi-isolante 7 et la surface semiconductrice 6 est réduit à un niveau très bas, du fait que dans ce cas, les avantages de l'utilisation d'une couche de passivation en matériau semi-isolant se perdent et la couche d'épuisement 12 s'agrandit même de façon à atteindre les bords du corps 1. Cela est d'importance primordiale du fait que la résistivité de la couche 7 diminue en général avec l'augmentation de la température de fonctionnement du dispositif. C'est ainsi que l'épaisseur de la couche 10 doit être choisie de façon à maintenir un équilibre entre le cou- rant circulant le long de la couche 7 et le courant circu- lant entre la couche 7 et la surface 6, de sorte que lors du fonctionnement du dispositif, la couche d'épuisement 12 n'atteint pas le bord dudit corps. Une couche 10, qui est formée par oxydation dans de l'oxygène sec pendant 30 mi- nutes à 3500 C, convient à un dispositif dont la base de type n présente une résistivité de 40 Qcm et dont la jonc- tion présente une température de fonctionnement de 1500 C. Une telle épaisseur de. la couche d'oxyde 10 suffit éga- lement pour réduire la fixation par la couche semi-isolante 7 d'or et d'autres centres réduisant la durée de vie pouvant être présents dans la région de base de type n 4 en vue de diminuer les effets de l'emmagasinage des porteurs de charge minoritaires. La figure 8 montre un graphique donnant la - 18- quantité emmagasinée de porteurs de charge minoritaires Q8 en microCoulombs en fonction de la température d'oxyda- tion T en OC pour un tel dispositif contenant de l'or. La grandeur de Q5constitue une mesure pour la charge collectée dans la région 4 lorsque la jonction 2, qui est polarisée en sens direct, est polarisée brusquement dans le sens de blocage; cette grandeur s'obtient d'une façon connue des spécialistes. La courbe de la figure 8 illustre le résultat dans le cas o l'on effectue un traitement thermique ulté- rieur (par exemple à une température de 7600 C) afin de pro- voquer la fixation de quelques centres réduisant la durée de vie dans la région 4 par le matériau semi-isolant de la couche 7. Ce traitement thermique peut être effectué par exemple à la température de chauffage de la couche de verre 8. De la figure 8 il ressort que pour les dispositifs spé- ciaux mesurés, la quantité de porteurs de charge minori- taires emmagasinés dans la région 4 augmente lorsque l'é- paisseur de la couche d'oxyde 10 diminue en dessous de l'épaisseur correspondant à une température d'oxydation T de 350 C. Ainsi, la couche 10 fonctionne comme une barrière contre la fixation des centres réduisant la durée de vie dans la couche 7, surtout lorsque la couche 10 est formée suivant une épaisseur correspondant à une température d'o- xydation de 3500 C ou d'une valeur plus élevée. -19- - REVENDICATIONS - 1.- Procédé pour la réalisation d'un dispositif semicon- ducteur présentant une jonction pn 2 qui affleure une sur- face 6 du corps semiconducteur 1 et qui est polarisé dans le sens de blocage dans au moins un état de fonctionnement, se- lon lequel, la surface 6 est découverte, au moins à l'endroit o la jonction pn 2 affleure la surface 6, et munie d'une couche de passivation en un matériau semi-isolant, caracté- risé en ce qu'avant l'application du matériau semi-isolant, un traitement de transformation est effectué à une tempéra- ture supérieure à la température ambiante normale par lequel le matériau à la surface découverte 6 du corps semiconducteur 1 est transformé, par voie chimique, en une couche de maté- riau isolant 10, sur laquelle est appliqué le matériau semi- isolant 7, le traitement de transformation étant poursuivi jusqu'à ce que la couche 10 présente une épaisseur, qui est suffisamment petite pour permettre la conduction entre la cou- che de passivation 7 et le corps semiconducteur 1 mais suf- fisamment élevéepour maintenir ladite conduction tellement faible que l'épaisseur de la couche d'épuisement 12 corres- pondant à la jonction pn 2 polarisée dans le sens de blocage augmente le long de la surface 6. 2.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche en matériau isolant 10 présente une épaisseur inférieure à 100 A (0,01 pm). 3.- Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le traitement de transformation est un traitement d'o- xydation à l'aide duquel ladite surface semiconductrice dé- couverte 6 est oxydée pour former une couche d'oxyde en tant que couche en matériau isolant 10. 4.- Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que le traitement d'oxydation consiste à soumettre la surface semiconductrice découverte 6 à de l'oxygène sec à une tempé- rature comprise entre 300 et 5000 C. -20- 5.- Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que comme phase du traitement servant à découvrir la surface semiconductrice 6, ladite surface est exposée à un liquide à l'aide duquel la surface semiconductrice 6 est oxydée pour la formation de ladite couche d'oxyde 10. 6.- Dispositif semiconducteur réalisé par la mise en oeuvre d'un procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5.