FR 2480509 A1 19811016 FR 8008279 A 19800414 La présente invention se rapporte aux dispositifs à ondes magnétosta- tiques de volume. Les ondes magnétostatiques peuvent se propager dans une plaquette de matériau ferrimagnétique soumise à un champ magnétique de polarisation. Ces ondes sont des ondes de surface directives, lorsque le champ magnétique de polarisation est parallèle aux faces principales de la plaquette et lorsque la direction de propagation est normale par rapport à ce champ. La direction de propagation est fixée par l'orientation d'un microru- ban conducteur amené en contact avec la surface de la plaquette. En faisant circuler un courant alternatif à très haute fréquence dans ce microruban, des ondes magnétostatiques sont excitées. De même, ce microruban peut jouer le rôle de transducteur récepteur, c'est à dire convertir l'éenergie des ondes magnétostatiques en énergie électrique. Dans le cas du fonctionne- ment en ondes magnétostatiques de surface, le microruban se comporte comme un transducteur unidirectionnel de sorte que l'échange dénergie entre deux microrubans placés en vis à vis peut avoir lieu avec des pertes relativement faibles. Cependant, à une fréquence de 3 GHIz, le niveau de saturation en puissance des ondes maghnétostatiques de surface est situé 20 dB en dessous du niveau de saturation en puissance des ondes magnétostati- ques de volume. En ce qui concerne les ondes magnétostatiques de volume, l'effet transducteur obtenu au moyen d'un microruban est essentiellement bidirec- tionnel. Les ondes magnétostatiques de volume sont directives ou contradi- rectives, selon que le champ magnétique d'excitation est perpendiculaire à la surface de la plaquette ou dirigé selon la direction de propagation. La vitesse de groupe est de même sens que la vitesse de phase, lorsqu'il s'agit d'ondes directives. Ces vitesses sont opposées lorsque les ondes sont contradirectives. Selon la surface de la plaquette, les ondes magnétostati- ques de volume directives se propagent de façon quasi isotrope, mais ce n'est le cas ni des ondes magnétostatiques de volume contradirectives, ni des ondes magnétostatiques de surface. Le fonctionnement bidirectionnel des microrubans servant à émettre et à recevoir les ondes magnétostatiques de volume a pour inconvénient de réduire de 6 dB la puissance électrique susceptible d'être échangée entre deux microrubans. L'énergie rayonnée inutilement peut en outre occasionner des réflexions gênantes qu'il est nécessaire d'atténuer par un traitement approprié des bords de la plaquette. Il est possible d'associer à un microruban, un coupleur en U pour obtenir un fonctionnement unidirectionnel, mais cette solution entraine un allongement de la plaquette en matériau ferrimagnétique et peut limiter la bande de fréquences utilisable. L'invention a pour objet un dispositif à ondes magnétostatiques de volume comportant à la surface d'une plaquette de matériau ferrimagnéti- que au moins un transducteur à microruban, caractérisée en ce que ce transducteur comporte un ensemble d'éléments conducteurs filamentaires de même écartement et de même longueur; les bornes de ce transducteur étant reliées électriquement aux éléments conducteurs de cet ensemble par un circuit transformateur polyphasé; les amplitudes complexes des courants circulant dans ces éléments conducteurs ayant le même module et des arguments en progression arithmétique dont la raison est égale au déphasage d'une onde magnétostatique de volume franchissant cet écartement dans le sens de propagation choisi. L'invention sera mieux comprise au moyen de la description ci-après et des figures annexées, parmi lesquelles: La figure 1 est une vue isométrique d'un dispositif transducteur à ondes magnétostatiques de volume de type connu; La figure 2 est un diagramme explicatif; Les figures 3 et 4 représentent des dispositifs à ondes magnétostati- ques de volume selon Pinvention; La figure 5 représente une jonction hybride à 3 dB; La figure 6 représente un dispositif à ondes magnétostatiques de volume mettant en oeuvre des transducteurs unidirectionnels et un transdu- cteur bidirectionnel; La figure 7 représente un oscillateur accordable à ondes magnétosta- tiques de volume; 2480S09 Les figures 8, 9 et 10 sont des schémas explicatifs. Sur la figure 1, on peut voir un dispositif à ondes magnétostatiques de volume équipé d'un transducteur en forme de microruban 13. Une plaquette de matériau ferrimagnétique est réalisée en déposant par épitaxie sur un substrat 10 de grenat de galodinium et gallium (GGG> une couche 12 de grenat d'yttrium et de fer (YIG) ayant une épaisseur s de quelques dizaines de microns. Ce matériau possède une raie de résonance ferrimagnétique dont la largeur ne dépasse pas une fraction d'Oersted. Il en résulte des pertes de propagation de l'ordre de 38 dB/ lis en bande X (A H = 0,5 Oersted). Pour exciter ou recueillir les ondes magnétostatiques de volume, on fait appel au microruban 13 qui se présente sous la forme d'un élément filamentaire conducteur de largeur b. Le microruban 13 peut être constitué par une métallisation de la face supérieure de la couche 12 ou par une métallisation effectuée sur une lamelle diélectrique qui vient coiffer la couche 12. L'une des extrémités du microruban 13 est reliée à la masse G et l'autre extrémité constitue une borne d'entrée. En faisant circuler dans le microruban 13 un courant i à très haute fréquence, des ondes magnétostati- ques de volume de nombre d'onde k sont rayonnées selon les deux directions de l'axe de propagation XX. Ces ondes de volume sont du type contradirec- tif, lorsqu'on applique à la couche 12 le champ magnétique de polarisation Ha représenté en trait plein. Ce champ est orienté suivant l'axe XX et est par conséquent contenu dans le plan de la couche 12. Les ondes magnétos- tatiques de volume sont directives lorsque le champ.magnétique de polarisa- tion H est orienté suivant la normale n à la couche 12 (flèche en pointillé). Les ondes magnétostatiques de volume directives présentent l'avantage de se propager dans la couche 12 avec une vitesse qui ne dépend pratiquement pas de l'orientation donnée à l'axe XX perpendiculaire au microruban 13. La figure 2 illustre les propriétés de propagation des ondes magnétos- tatiques de volume. On a porté en abscisse le nombre d'onde k égal au rapport de la pulsation w à la vitesse de phase v,. des ondes. Le domaine d'existence des ondes se situe entre les deux lignes pointillées d'ordonnées m et wM. La pulsation minimale wm est définie par la relation suivante: wm =Y.Hi (1) La pulsation maximale est donnée par la relation: "m = YVHi(Hi + 4 rM) (2) o y est le rapport gyromagnétique égal à 2,8 MHz/Oe dans le cas du YIG 4 fr M est l'aimantation à saturation égale à 1760 de dans le cas du YIG Hi le champ interne, qui diffère du champ de polarisation Ha en raison de l'effet démagnétisant de la couche 12. La courbe FW se rapporte aux ondes magnétostatiques de volume directives; elle indique l'évolution de la pulsation X en fonction du nombre d'onde k pour une valeur donnée du champ Ha. La courbe BW indique l'évolution qui caractérisé les ondes magnétostatiques de volume contradi- rectives. La pente des courbes BW et FW donne la valeur de la vitesse de groupe des ondes magnétostatiques de volume; le signe de cette pente justifie la terminologie utilisée "directive" et "contradirective" (en anglais "FORWARD" et "BACKWARD"). Le domaine d'existence des ondes de volume est tel que: wm o f est la fréquence du courant i. Ce domaine peut être davantage limité par la largeur b du microruban 13. En effet, les ondes magnétostatiques de volume sont excitables jusqu'à une longueur d'onde X> b. Sur la figure 3, on peut voir un premier exemple de réalisation d'un dispositif à ondes magnétostatiques de volume à rayonnement unidirection- nel. La couche ferrimagnétique 12 porte deux conducteurs filamentaires 5 et 6 écartés d'une distance d. Un transformateur polyphasé 14 à quatre voies 1, 2, 3, 4 est relié par ses voies 3 et 4 aux conducteurs filamentaires 5 et 6. Ce transformateur 14 est dans l'exemple considéré une jonction hybride à 3 dB qui délivre sur ses voies 3 et 4 des courants i3 et 14 en quadrature de phase et d'égales amplitudes. Une charge adaptée L sert de terminaison à la voie 2 afin d'absorber Pénergie qui se présente sur cette voie lorsque les conduc- teurs 5 et 6 sont désadaptés en impédance par rapport aux impédances propres des voies 3 et 4. L'excitation des ondes magnétostatiques de volume se fait en alimentant la voie I o circule le courant il. Lorsque les conditions d'adaptation sont réalisées, le courant il a une amplitude 3 dB supérieure à celle du courant i3 et le courant i4 est par exemple en retard de phase de 90 sur le courant i3. Les courants i3 et i4 circulent dans les conducteurs 5 et 6 et leur retour s'effectue via le plan de masse G. L'émission d'ondes magnétostatiques de volume par le ruban transducteur 5 est bidirectionnelle suivant un axe perpendiculaire à ce ruban. Les courbes sinusoidales 8 partant du transducteur 5 représentent les fractions d'ondes rayonnées. En ce qui concerne le ruban transducteur 6, les fractions d'ondes rayonnées sont déphasées de -90 de sorte qu'elles sont représentées par des courbes cosinusoidales 7. Bien entendu, tout ceci suppose une excitation sinusoîdale de la voie I. Sur la figure 3, on voit que la distance d est choisie de façon que les deux fractions d'ondes 7 et 8 s'additionnent à droite pour former une onde rayonnée 9, alors qu'elles s'annulent à gauche des rubans 5 et 6. Le rayonnement unidirectionnel de l'ensemble transduc- teur de la figure 3 est donc obtenu à la condition que: d = n. + X/4 (4) o un est la longueur cd'onde des ondes magnétostatiques de volume et n un nombre entier positif ou nul. La relation (4) peut se mettre sous la forme: 4d X - (5) n -4n+1 Les relations (4) et (5) s'appliquent aussi bien à l'émission vers la droite qu'à la réception des ondes magnétostatiques de volume provenant de la droite. La croix figurant à droite des rubans 5 et 6 signale le côté inactif de l'ensemble représenté sur la figure 3. Sur la figure 4, on peut voir une variante de réalisation qui ne diffère de la réalisation de la figure 3 que par l'inversion de sens du rayonnement unidirectionneL La distance d' séparant les rubans 5 et 6 est donnée par la relation: d' = m n + m (6). Elle peut se mettre sous la forme: 4 d' = (7) m = 4m+3 o Gm est la longueur d'onde des ondes magnétostatiques de volume et m un nombre entier positif ou nul. Si l'on permute les connexions entre la jonction hybride 14 et les ensembles de rubans 5 et 6, on peut définir deux autres configurations possibles. On peut également envisager d'intercaler dans une des liaisons reliant par exemple la voie 4 au ruban 6, un commutateur de phase donnant les déphasages 0 et 180 . Suivant l'état du commutateur, le rayonnement unidirectionnel se produit dans l'un ou l'autre sens. Lorsque d ou d' est petite, l'unidirectionnalité peut être acquise dans une large bande de fréquence si le transformateur polyphasé 14 permet ce mode de fonctionnement en bande large. Les distances d et d' ne doivent cependant pas être réduites au point de susciter des interactions fortes entre les deux microrubans, car elles pourraient perturber le fonctionnement unidirectionnel de Pensemble transducteur. A titre d'exemple non limitatif, on a réalisé une ligne à retard à ondes magnétostatiques de volume directives en formant à la surface d'un substrat en alumine des transducteurs à deux rubans tels que représentés sur les figures 3 et 4. L'autre face du substrat en alumine était complètement métallisée pour jouer le rôle de plan de masse. Les microrubans délimités par photolithographie avaient une largeur b de 35 I m et une longueur de 4 mm. La distance d les séparant était pour chaque ensemble de 200 pm.La distance de propagation était de 6 mm entre les rubans reliés aux voies non déphasées. Deux coupleurs hybrides ont été utilisés, l'un à l'émission, l'autre à la réception. Une couche de grenat d'ittrium fer de 20,5 p m d'épaisseur est formée par hétéroépitaxie en phase liquide sur un substrat de grenat de galodinium et de gallium ayant une épaisseur de 500prm. La couche épitaxiée est amenée en contact avec la face gravée de la plaquette Fd'alumine, afin de recouvrir les rubans conducteurs des deux ensembles transducteurs. Les liaisons d'une des deux jonctions hybrides sont permutées, afin d'assurer l'échange des ondes magnétostatiques de volume. Un champ magnétique extérieur est appliqué perpendiculairement à la couche épitaxiée afin de fixer un domaine de fréquence approprié à la propagation des ondes magnétostatiques de volume directives. A une fréquence de 2,12 GHz qui correspond à une longueur d'onde À de 800O im, on a mesuré des pertes d'insertion ne dépassant pas 10 dB (avec n=O et en utilisant la relation (5". Le même dispositif présente une directivité de l'ordre de 30 dB à 2,1 GHz et la bande passante est de 340 MHz à 10 dB. En inversant le sens de l'échange des ondes magnétostatiques de volume, on obtient une perte d'insertion d'environ 14dB à 2,4 GHz, avec une bande passante similaire. Sur la figure 5, on peut voir un coupleur directionnel à 3 dB particulièrement indiqué pour constituer le transformateur polyphasé 14. 0 Ce coupleur connu sous le nom de coupleur de Lange est réalisé à la surface d'une plaquette diélectrique 15 dont la face dorsale est complètement métallisée. Les métallisations visibles sur la figure 5 comprennent les quatre voies 1, 2, 3 et 4 et un ensemble de microbandes interdigitées qui- réalisent sur une distance voisine de XEM/4 un couplage serré entre les voies. La voie 1 est reliée à la voie 4 par un conducteur 22 encadré par deux conducteurs 17 et 20 respectivement reliés aux voies 2 et 3. Des conducteurs plus courts 16 et 21 sont reliés aux voies 1 et 4 pour améliorer le couplage. Des connexions de pontage 18, 19, 23 et 24 parachèvent la structure du coupleur. Ces dernières connexions sont rapportées après photolithograpie par soudage de fils par thermocompression. La longueur d'onde XEM est celles des ondes électromagnétiques transmises par le coupleur. La figure 6 représente une variante de réalisation d'une ligne à retard mettant en oeuvre un transducteur bidirectionnel 13 encadré par deux transducteurs unidirectionnels selon l'invention. L'ensemble transducteur 5, 6, 25 émet des ondes magnétostatiques de volume de nombre d'onde kl qui sont captées par le transducteur 13. L'ensemble transducteur 5, 6, 26 émet des ondes magnétostatiques de nombre d'onde k2 vers le transducteur 13. Un échange s'établit entre chacune des entrées E1 et E2 et la sortie commune S. De nombreux dispositifs à ondes magnétostatiques de volume peuvent être déduits des exemples qui précèdent. Parmi ceux-ci, on peut citer les lignes à retard, les filtres, les déphaseurs, les discriminateurs, les lignes dispersives et les oscillateurs accordables. Une vue isométrique d'un oscillateur accordable est donnée par la figure 7. Une plaquette d'alumine 15 porte sur l'une de ses faces principales une métallisation 27 jouant le rôle du plan de masse. Cette métallisation comporte deux portions remontantes qui relient à la masse 6 deux jeux de rubans conducteurs 5,6 disposés dans la zone ABCD de la face supérieure 28 de la plaquette 15. La face supérieure 28 porte en dehors de la zone ABCD deux coupleurs de Lange 1, 2, 3, 4 ayant leurs voies 2 reliées à des charges adaptées 29 et 30. Un circuit amplificateur à microondes 32 est relié par des connexions 33 et 34 aux voies 1 des deux coupleurs de Lange. La zone ABCD est recouverte par une couche de grenat d'yttrium et de fer 12 épitaxiée sur un substrat 10 de. grenat de galodonium et de gallium. Pour la clarté du dessin, on a représenté Pensemble ferrimagnétique écarté de la plaquette , mais cet ensemble repose en fait sur la face 28. On est donc en présence d'une ligne à retard à ondes magnétostatiques de volume qui met en oeuvre deux transducteurs unidirectionnels. Cette ligne à retard forme avec le circuit 32 une boucle qui oscille à une fréquence qui est fonction du retard des ondes magnétostatiques se propageant entre les rubans 5 dans la direction OX. L'axe ox appartient à un trièdre trirectangle dont l'axe oz est perpendiculaire à la couche 12 et dont l'axe oy a l'orientation des rubans 5 et 6. L'accord en fréquence dépend d'un champ magnétique Ha créé dans la couche 12 par des moyens inducteurs 31. Le réglage de l'intensité du champ Ha permet de faire varier la fréquence de fonctionnement de l'oscillateur. Le rayonnement unidirectionnel peut se généraliser à des transduc- teurs comportant plus de deux rubans conducteurs équidistants. On peut par exemple exciter un ensemble de quatre rubans conducteurs au moyen de courants tétraphasés il, i2, i3 et i4 tels que représentés sur la figure 8. Ces courants ont des amplitudes égales et leurs déphasages respectifs forment une progression arithmétique de raison égale à 90 . L'écartement des rubans conducteurs est choisi de telle façon qu'en parcourant cette distance l'onde magnétostatique de volume subisse un déphasage de 90 . Pour l'un des sens de propagation, les ondes magnétostatiques élémentaires peuvent engendrer dans un ruban récepteur des courants i'l, 12, i'3 et i'4 ayant une résultante nulle comme le montre la figure 9. Pour l'autre sens de propagation, les ondes magnétostatiques élémentaires induisent des courants P'1, i"2, i"3 et it4 en concordance de phase comme le montre la figure 10. L'unidirection- nalité du rayonnement d'un ensemble de P rubans peut être assurée àvec un transformateur polyphasé à P phases. Du point de vue simplicité, c'est le système diphasé qui est le plus avantageux, mais des systèmes plus comple- xes peuvent offrir des avantages spécifiques de l'application envisagée. Sans s'écarter du domaine de ia présente invention, on peut associer deux transducteurs unidirectionnels rayonnant dans le même sens avec un troisième transducteur utilisé comme récepteur0 Cette configuration peut se déduire de la figure 6 en remplaçant le transducteur 13 par un transducteur unidirectionneL Les deux transducteurs qui se suivent et qui rayonnent dans le même sens sont découplés l'un par rapport à l'autre, bien qu'ils soient en mesure d'échanger des ondes magnetostatiques de volume avec le troisième transducteur. REVENDICATIONS 1. Dispositif à ondes magnétostatiques de volume comportant à la surface d'une plaquette de matériau ferrimagnétique (10, 12) au moins un transducteur à microruban, caractérisé en ce que ce transducteur comporte un ensemble d'éléments conducteurs filamentaires (5, 6) de même écarte- ment et de même longueur; les bornes (1) de ce transducteur étant reliées électriquement aux éléments conducteurs (5, 6) de cet ensemble par un circuit transformateur polyphasé (1, 2, 3, 4); les amplitudes complexes des courants circulant dans ces éléments conducteurs (5, 6) ayant le même module et des arguments en progression arithmétique dont la raison est égale au déphasage Pd'une onde magnétostatique de volume franchissant cet écartement dans le sens de propagation choisi (OX). 2. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que ce transducteur comporte deux éléments conducteurs (5, 6); ce circuit trans- formateur polyphasé étant une jonction hybride à 3dB dont les voies de sortie (3, 4) font circuler dans les éléments conducteurs (5, 6) des courants en quadrature de phase. 3. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que cette jonction hybride est constituée par un coupleur à microbandes interdigitées assurant un couplage électromagnétique serré entre les voies d'entrée et de sortie. 4. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caracté- risé en ce que les éléments conducteurs (5, 6) et le circuit transformateur polyphasé (1, 2, 3, 4) sont constituées par des métallisations déposées sur l'une des faces principales (28) d'une plaquette (15) de matériau diélectri- que; l'autre face principale de la plaquette (15) étant recouverte d'une métallisation (27) jouant le rôle de plan de masse; la plaquette de matériau ferrimagnétique (10, 12) recouvrant une zone (A3BCD) de la plaquette diélectrique (15) renfermant les éléments conducteurs (5, 6). 5. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractéri- se en ce que la plaquette de matériau ferrimagnétique est une couche de grenat Fd'yttrium et de fer (12) épitaxiée sur un substrat taillé dans un grenat 1l de galodinium et de gallium. 6. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractéri- sé en ce qu'il comprend au moins deux transducteurs à rayonnement unidirectionnel. 7. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comprend en outre au moins un transducteur à rayonnement bidirectionnel (13). 8. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractéri- sé en ce que la plaquette ferrimagnétique est soumise à un champ magnétique de polarisation (Ha). 9. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens amplificateurs (3Z) reliés électriquement aux transducteurs à rayonnement unidirectionnels afin de constituer une boucle oscillatrice. 103 Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que des moyens d'accord (31)créent au sein de la plaquette ferrimagnétique (10, 12) un champ magnétique (H A) d'intensité réglable.