FR 2476390 A1 19810821 FR 8103172 A 19810218 --1 - Dispositif de prise de vues à couplage chargé et son pro- cédé de fabrication. La présente invention concerne un dispositif de prises de vues à couplage chargé servant à capter une image de rayonnement et à convertir cette dernière en un signal électrique, muni d'un dispositif semiconducteur dans une surface principale duquel sont définis plusieurs canaux de transport de charge pratiquement parallèles, et dont la même surface principale est munie d'une couche isolante sur laquelle est appliqué, pour le transport de charge, un système d'électrodes qui, en vue de pouvoir capter l'image de rayonnement, est muni de fenêtres par l'intermédiaire desquelles notamment de la lumière à courte longueur d'onde peut s'infiltrer dans le corps semiconduc- teur et y engendrer des porteurs de charge, système d'élec- trodes qui comporte un premier groupe d'électrodes qui s'étendent dans une direction perpendiculaire à la direc- tion de transport de charge De plus, l'invention est relative à un procédé permettant de réaliser um tel dispositif de prise de vueso Dans un tel dispositif, est engendrée, dans la partie sensible au rayonnement, une configuration de pa- quets de charge correspondant à la configuration de rayon- nement ou d'exposition pouvant ttre transmise à un regis- tre d'emmagasinage après la période d'intégration (en ang- lais frame/field-transfer). La charge emmagasinée dans le registre d'emmagasinage est glissée, ligne après ligne, dans un registre de décalage à partir duquel elle peut être lue de façon sérielle pour son traitement ultérieur. Le syi:èue d1électrodes permet d'induire dans le corps semiconducteur sous-jacent, des régions de déplé- tion dans lesquelles, ou dans lapior-?ié desquelles, peu- vent 9tre engendrés des porteurs de charge par absorption de rayonnemento Ces porteurs de charge peuvent ttre em- magasinés dans les régions de déplétion au-dessous du sys- tème d'électrodes sous forme des susdits paquets de charge. 247639.0 - 2.- La sensibilité d'un tel dispositif peut ttre affectée par le système d'électrodes. Dans le cas d'appli- cation d'une couche métallique dans ce système d'électrodes, il faut que, d'une façon générale, l'épaisseur du métal soit très petite, sinon il devient imperméable au rayon- nement. L'application de telles couches métalliques minces nécessite assez souvent une étape de réalisation addition- nelle pendant leprocessus de production. L'absorption (et/ou réflexion) par le système d'électrodes peut être empochée par application de rayon- nement à l'arrière du corps semiconducteur. Toutefois, d'une façon générale, il faut à cet effet un processus de production compliqué difficile. Une autre méthode pour augmenter la sensibilité de dispositifs de prise de vues à couplage chargé consiste dans l'utilisation de matériau semiconducteur, par exemple du silicium polycristallin pour le système d'électrodes.- Le coefficient d'absorption du silicium pour le rayonnement à courte longueur d'onde étant assez élevé, cette améliora- tion pour la lumière bleue est cependant plus faible que pour la lumière à grande longueur d'onde. La demande de brevet français NO 2 326 042 montre un dispositif de prise de vues à couplage chargé dans lequel la sensibilité pour la lumière bleue est aug- mentée par application, dans le système d'électrodes com- mun, de fenêtres par l'intermédiaire desquelles la lumière à courte longueur d'onde peut s'infiltrer dans le corps semiconducteur. Ces fenêtres s'obtiennent du fait que dans deux électrodes successives situées perpendiculairement à la direction de transport de charge sont appliqués des évi- dements, qui se raccordent les uns aux autres. Lors de la - réalisation de telles électrodes, notamment pendant la réa- lisation des. évidements, il faut tenir compte des tolérances d'alignement, le plus souvent au détriment de la superficie de la surface semiconductrice nécessaire. De plus, la résis- tance à l'endroit des évidements est supérieure à celle se produisant dans le reste de la cathode, ce qui influe désa- vantageusement sur la durée de réponse0 Puis, dans le -- 3 -- dispositif de prise de vues représenté, les parties de fenêtre se situent au-dessus de la région de canal, ce qui risque de se traduire par une perte en rendement de transporte. Au besoin, ce problème peut 8tre résolu par application d'une électrode transparente, ce qui néces- site cependant des étapes de processus étrangers à la technique des semiconducteurs. La présente invention vise à fournir un dispo- sitif de prise de vues à couplage chargé dans lequel il ne se produit pas une telle perte et qui se prste en outre à une réalisation simple0 Il est basé sur l'idée que ce résultat peut tre obtenu par application du système d'électrodes sui- vant une configuration de trame. Un dispositif de prise de vuci à couplage char- gé conforme à l'invention est caractérisé en ce que le système d'électrodes comporte en outre un second groupe d'électrodes, dont les électrodes appartiennent chacune essentiellement à uniquement un canal de transport de charge et s'étendent au-dessus dudit canal de transport de charge dans une direction essentiellement parallèle à la direction de transport de charge et perpendiculaire aux électrodes du premier groupe, et qui sont espacées tout en laissant découvertes des fenttres perméables au rayonnement, ensemble avec les électrodes du premier groupe. Du fait que les fenttres sont formées par des endroits non occupés dans une configuration de trame, il n'est plus nécessaire d'aligner les évidements, les uns par rapport aux autres, dans les diverses électrodes. Les électrodes du second groupe appartenant à certains canaux de transport de charge s'étendent au-dessus de ces canaux, ce qui évite le risque de perte en rendement de transport. De plus, il se produit la liberté de choix des dimensions des fenttres dans certaines limites. Cette liberté de choix permet notamment de réaliser des fenêtres plus grandes, si possible, de sorte que notamment la sensibi- lité du bleu peut etre augmentée. Une forme de réalisation préférentielle d'un dispositif à couplage chargé conforme à l'invention est caractérisée en ce que, à des endroits situés à l'exté- rieur de fenêtres, le système d'électrodes comporte des éléments de raccord assurant la liaison des électrodes du second groupe. Ainsi, on obtient une courte durée de réponse de l'électrode et, de ce fait, une vitesse de transport élevée du dispositif. De plus, on obtient l'avantage que des contacts électriques pour les électrodes du second groupe auxquelles peuvent être appliquées des tensions d'horloge, peuvent se situer ainsi à ctté de ceux pour les électrodes destinées aux autres tensions-d'horloge. Il peut en résulter des avantages du point de vue tech- nique de conception, notamment dans le cas de longs ca- naux de transport de charge. De plus, on atteint ainsi que des zones voisines peuvent être excitées à peu près simultanément dans des canaux de transport de charge dif- férents, de -sorte qu'il existe une grande synchronicité entre les canaux de transport de charge. Cet avantage est plus grand à mesure que les canaux de transport de charge - et, de ce fait, les électrodes du second groupe sont plus longs. Les éléments de raccord se situent de préférence en majeure partie perpendiculairement aux électrodes du second groupe. Une autre forme de réalisation préférentielle d'un dispositif de prise de vues conforme à l'invention est caractérisée en ce que la longueur des parties du second groupe d'électrodes situées entre les fengtres est supérieure à la largeur. Dans une telle réalisation, la surface des- fe- nêtres peut être agrandie notablement, ce qui augmente la sensibilité du bleu de ce dispositif0 Une autre forme de réalisation préférentielle d'un dispositif de prise de vues conforme à l'invention est caractérisée en ce que le corps semiconducteur com- porte un substrat de silicium d'un premier tvpe de cond-uc- - 5-_ tion, doi:t la surface est munie d'une région semiconduc- trice d'un second type de conduction opposé au premier type de conduction, dans laquelle sont appliquées des ré- gions de canal et qui constitue une jonction pn avec le substrat cette jonction pn 6étant éloignée d'une distance comprise entre 2 et 5 micromètres de la surface principale. Dans un tel dispositif, des porteurs de charge engendrés dans le substrat ne contribuent pas au courant photo-électrique et par conséquent au signal d'image. Des porteurs de charge engendrés à mune distance de 2 à 5 mi- cromètres de la surface se forment notamment par absor- ption de lumière rouge, à laquelle le silicium est assez perméable. La formation de porteurs de charge par rayon- nement evec de la lumière bleue et verte s'effectue essen- tiellement jusqu'aux profondeurs d'environ 0,1 micromètre, respectivement I micromètreo De plus, la sensibilité aux plus grandes lon- gueurs d'onde de silicium diffère fortement de la courbe de sensibilité de l'oeil humaino Ladite disposition permet d'éliminer pratiquement l'influence de rayonnement de plus grande longueur d'onde, de sorte que la sensibilité du dispositif est mieux adaptée à celle de l'oeil humain. Ce- la est surtout d'importance pour les dispositifs de prise de vues servant à la reproduction d'image en couleur. De plus, ladite disposition permet de réduire fortement le phénomène des "effets d0étalement"o Un procédé poulr- la réalisation d'un tel dispo- sitif de prise de vues oà une surface principale du corps semiconducteur est munie de canaux de transport de charge séparés par des régions de délimitation de canal et le système d'électrodes est appliqué sur une couche isolante recouvrant la surface principale, est caractérisé en ce que les régions de délimitation de canal sont formées, au moins partiellement, par imple taetion d'ions à l'aide du système d'électrodes comme masque0 La description ci-après, en se référant au des- sin annexé, le tout donnlé à titre d'exemple non limitatif, fera bien comprendre comment l'invention peut 9tre réa- -6- lisée. La figure 1 illustre schématiquement le schéma de principe d'un dispositif de prise de vues à couplage chargé que concerne la présente invention. La figure 2 montre schématiquement une vue en plan d'une partie sensible à rayonnement d'un tel dispo- sitif de prise de vues. La figure 3 montre schématiquement une section transversale du dispositif de prise de vues suivant le plan III-III de la figure 20 La figure 4 montre schématiquement une section transversale du dispositif de prise de vues suivant-le plan IV-IV de la figure 10 La figure 5 montre schématiquement une section transversale du dispositif de prise de vues suivant le plan V-V de la figure 2, alors que La figure 6 représente une image qualitative de la sensibilité de rayonnement d'un dispositif conforme à l'invention, comparativement à celle de l'oeil humain et Les figures 7a, 8a, 9a, les figures ?b, 8b, 9b et 10 montrent le dispositif semiconducteur respectivement de la figure 5, et de la figure 4, pendant plusieurs sta- des de la réalisation. Les figures sont schématiques et non à échelle et dans les sections transversales, notamment les dimen- sions de l'épaisseur sont fortement exagérées, ceci pour la clarté du dessin. D'une façon générale, des zones semi- conductrices du même type de conduction sont hachurées dans la même direction; les pièces correspondantes des diverses réalisations portent généralement les m9mes chiffres de référence. La figure 1 montre le schéma de principe d'un dispositif de prise de vues à couplage chargé 1 du genre appelé en anglais "frame-field-transfer". Un tel disposi- tif de prise de vues comporte une partie de prise de vues sensible à rayonnement 2, dans laquelle est formée, pen- dant une certaine période d'exposition, une configuration -- 7 - de rorteurs de charge électriques correspondant à l'image de.rayonnrmement. Après la période d'exposition, la confi- guration de porteurs de charge électriques est emmagasi- née temporairement drans la partie à mémoire 3 à partir de laquelle la configuration est lue de façon séquen- tielle à l'aide du registre à décalage 4. A cet effet, on peut utiliser des techniques connues enr sol. Le dispositif de prise de vues (Figures 2 à 5) comporte un corps semiconducteur 5, qui est composé par exemple à partir ld'un substrat cde si.licim 6 de type n présentant une résistivitQ d'fçnviron 10 ohms.cmo (environ 14 -, o10 atomes, donneurs par cm3) et une réiop de type P7 présentant lun dopage d'environ 3.1015 atomes accep- teurs par cm3. La région de type p 7 peut être appliquée par croissance épitaxiale ou par implantation, suivie de diffusion. A la surface principale 8 du corps semiconduc- teur 5 sont définis plusieurs canaux de transport de char- ge pratiquement parallèles séparés (désignés sur la figure 1 par]e chiffre de référence 9) dans lesquels peut s'ef- fectuer le transport de.charge, qui est représenté de fa- gon schématique sur les figures 1 et 2 à l'aide de flèches 10. Dans le cas envisagé, le dipositif de transport de charge est formé par un "ccd" (en anglais coupled charge device) à transport dans 1' asre (pccd ou bccd). Les ca- naux de transport de Cnarge sont constitués par des ré- gions de type n 11, aqui sont séparées par des régions de délimitation de canal de type p 12 et des r,égions de type n sOus-jacentes 250 Dans,e, exemple, les régions de type n 11, 25 présentent une concentration en impuretés moyen- ne d'environ 1016 atomes par cm3 et une profondeur d'en- viron 1 micromètre, laors que leur largeur est d'environ micromètres. La surface 8 des régions de type p 12 présente une concentration d'environ 1018 atomes accep- teurs par cm3, alors que ces régions présentent à la sur- face une largeur d'environ 5 micromètres et une profon- deur de pénétration dans le corps semiconducteur 5 d'en- viron 0,5 micromètre. La surface principale 8 est recouverte d'une couche 13 en matériau isolant, par exemple de l'oxyde de silicium. Sur cette couche isolante 13 est appliqué un premier jeu d'électrodes à l'aide desquelles peuvent ttre engendrés des puits de potentiel dans le matériau semiconducteurs pour l'emmagasinage de charge et le transport de charge. Ce premier jeu d'électrodes 15, 16 est isolé et s'étend dans une direction perpendiculaire à la direc- tion des canaux de transport de charge. Comme matériau pour les électrodes peut ttre choisi entre autres du silicium polycristallin. Du fait que le silicium polycristallin n'est guère perméable à la lumière (bleue) de courte longueur d'onde, le jeu d'électrodes est muni de fengtres 14, qui présentent une forme rectangulaire dans cet exemple. De la lumière bleue peut s'infiltrer dans le corps semiconducteur 5 par l'intermédiaire de ces fenêtres 14 et y engendrer des porteurs de charge. Conformément à l'invention, à cet effet, le jeu d'électrodes comporte un second jeu d'électrodes 18. Les électrodes 18 appartiennent chacune à un seul canal de transport de charge 9, Il et s'étendent au-dessus de ces canaux 9, 11 dans une direction parallèle à la direc- tion de transport de charge indiquée par les flèches 10 sur les figures 1 et 2. Les électrodes 18 s'étendent per- pendiculairement aux électrodes 15, 16 et délimitent ainsi les fenêtres perméables au rayonnement 14 dans la direction longitudinale des canaux, alors que les électrodes 15, 16 délimitent les fenêtres 14 dans la direction transversale 3 des canaux 11. Les électrodes 18 recouvrent entièrement les canaux de transport de charge 11, de sorte que, lors- voue la charge est transportée au-dessous des électrodes, il ne se produit aucune perte en rendement de transport. Au-dessus des canaux 11, les électrodes 18 constituent, dans cet exemple, de concert avec les électrodes 15 et 16, un jeu d'électrodes pour le système d'horloge triphasé. Dans le dispositif représenté sur le dessin, les électrodes 18 sont interconnectées à des endroits _- 9 -- situés à!'extérieur des fenttres 14 à l'aide d'éléments de conlne:ion 19, qui sont appliqués de préférence per- pendiculairement à l'électrode 1E. Le système total 17 des 6électrodes 18 acquiert ainsi une plus courte durée de réponse et de plus, la connexion du système d'électrodes 17 peut.tre appliquée à ctté de la connexion pour ifTs électrodes 15, ce ?ui est avanltageux du point de vue Lechn- que Le conceptiono D)ans le prsernt exenme, les électrodes 18, pour autant 1Q qiO'elles se situent entre les fenêtres 14,vues dans la direction reflle à la direction de transport, sont plus longues ce celles s'é- tendant parallèlement à cette direction. La dernière di- mension est déterminée entre autres par le pouvoir de ré- solution requis et la surface admissible du dispositif de prise de vues. Suivant la grandeur des paquets de charge à transporter, il est possible de choisir, pour une dimen- sion déterminée dans la direction de transport une surfa- ce tellement favorable pour la fenêtre que la sensibilité au bleu du dispositif est optimale. Il y a lieu de noter que le dispositif de prise de vues montré entre les canaux 9, 11 ne comporte pas les moyens d'anti-hyperluminrosi,té usuelso L'hyperluminosité peut ttre évitée par évacuation des porteurs de charge excédentaires par recombinaison à l'aide de conditions superficielles, conmme décrites dans la demande de brevetréerlandais dépcse simultanément N8O0O99Ble 19/2/80 au nomde N.V. PHILIPS'GLOEILAMPEN- FABRIEKEN, dont le contenu est inséré dans le présent document Après la période d'intégration, la configuration de paquets de charge correspondant à la configuration de rayonnement ou d'exoosition est transmise à la partie à mémoire 3, comme il a déjà été mentionné ci- dessuso Cette partie à mémoire 3 ne doit pas capter de rayonnement et n'est donc pas munie de fenStres, ce qui permet de la réa- liser sur une surface notablement plus petite que la par- tie de prise de vues 2. La configuration est lue de fa- çon séquentielle à 'l'aide du registre à décalage 4 (fi- gure 1) de la partie à mémoire 3. - 11 - de char cedrés, diffère fortement de la sensibilité Lumineuse de l'oeil humain. Cela est représenté sur la figu.e 6 o la sensibilité lumineuse y du silicium est représentée en fonction de la longleur d'onde A de la lmière incidente à l'aide de la courbe 21. A titre com- paratif, sur la figure 6, la courbe 22 montre la sensi- bilité lumineuse de l'oei] u.umain. De la figure il res- sort que notamment la sensibilité au rouge du silicium dépasse notablement celle de l'oeil humaine Dans l'exemple représenté sur le dessin du dis- posti. de prise de rues d'image à couplage chargé 1, la jonóC.ion pn 23 se situe entre le substrat O et la couche de type p 7 à-a ure distance d'environ 3,5 micromètres de la surface principale 8o Dans le silicium, la lumière rouge engendre tssen tieement des porteurs de charge jusqu'à une profondeur d'environ 10 micromètres. En l'ab- sence de dispositions spéciales, ceux-ci se déplacent sous l'effet de diffusion à travers le corps semi.conduc- teur, les électrons engendrés dans le corps semiceonducteur, peuvwnt; ainsi t+;re captés dans les minima de potentiel qui ront formées à une dis-_,ance de quelques dizaines de micromètres de l'endroit de la lumière incidente par le jeu d'électrodes et qui fournissent ainsi une contribu- tion de sienal indésirable aumx canaux de transport de charge plus 4loinnés. L'pliecat..on de la jonction pn 23 une profondeur d'environ 3,5 micromètres permet de cap- ter des électrons engendrés à une profondeur d'au moins 3 micromètres par exemple dans le substrat 6, de sorte que la contribution de la lumière rouge et, notamment, du rayonnement à plus grande longueur d'onde à la courbe de sensibilité du dispositif de prise de vues à couplage chargé est réduite et la courbe de sensibilité totale du dispositif s'approche plus celle de l'oeil humain. Simul- tanément, cette disposition permet d'atteindre que les élections engendrés par la lumière rouge incidente ne contribuent pas ou guère aux signaux de canaux de trans- port de charge autres que.les canaux de transport de char- ge les plus proches. Ainsi, on empche les soi-disant 24763-90 - 12 - effets d'étalement. ILe dispositif semiconducteur comme représenté sur les figures 3 et 4 peut ttre réalisé de la façon suivante (figures 7 à 10). On part d'un substrat en silicium de type n 6 présentant une épaisseur d'environ 400 micromètres et une résistivité d'environ 10 ohmsacmo, ce qui correspond à une concentration en impuretés d'environ 5o1014 atomes donneurs par cm3, sur lequel est appliquée, par implanta- tion et exodiffusion, une couche 7 de type p d'une épais- seur d'environ 4,5 micromètres et dans une concentration en impureté d'environ 3o01O5 atomes accepteurs par cm3, ce qui correspond à une résistance d'environ 5 ohms.cm. (figures 7a, 7b)o Ensuite, on applique la région de type n 11,25, d'une épaisseur d'environ 1 micromètre, égale- ment par implantation et exodiffusion de façon que la concentration moyenne définitive en atomes donneurs dans cette région soit d'environ 1016 atomes/cm3. De plus, des régions de 12a sont appliquées, également par implanta- tion, par exemple jusqu'à une profondeur d'environ 0,5 micromètreo Ces régions présentent une concentration en impuretés moyenne d'environ 3o1017 atomes/cm3. Ainsi, on obtient le dispositif selon les figures a, 8 bo Les ré- gions de délimitation de canal 12 sont pratiquement en- tièrement définies par ces régions 12ao Ensuite, la surface principale 8 est munie, par exemple par oxydation thermique, d'une couche en oxyde d'une épaisseur d'environ 0,1 micromètreo On y applique une couche en silicium polycristallin d'une épaisseur d'environ 0,6 micromètreo En vue de rendre cette couche convenablement conductrice, elle est contaminée, pendant ou après le dép8t, avec des atomes donneurs par exemple. A partir de cette couche de silicium polycristallin sont formées les électrodes 15 du système d'électrodes, par exemple à l'aide de techniques de décapage conlueso En- suite, l'oxyde non découvert par du silicium polycristal- lin est enlevé par décapage et on applique à nouveau une couche d'oxyde, et ensuite, une deuxième couche de sili- - 13 - crum poldyc:isba1lin. A partir de cette deuxième couche sont formées les 4lectrT)-'es 16 du système d'électrodes. Puis, ='oxyde non découvert par le silicium polycristal- i n es'.,l.r'v, s az:s qo1:o onl applique une couche d'oxyde. Ainsi, la couche isolante 13 est fln- en matériau conducteur conmme par exemple du silicium po- lycristallin dopé, d'une épaisseur d'environ 0,4 micro- mètreo A partir de cette couche conductrice sont formées * par décapage les électrodes 18 et la connexion transver- sale 19 du système d'électrodes 1'? (figure 9a, 9b). En principe, on a obtenu le disp!ositif selon les figures J et 4. Afin d'emptcher que par suite d'erreurs d'ali- gnement, les bords des regions 12a ne coïncident pas en- tièrement avec les borde des fenêtres 14 pendant la réa- lisation, on effectue de préférence une étape d'implanta- tion additionnelle à travers la fenêtre 14 avec les élec- trodes 15, 1I en silicium polycristallin et les électrodes 18 comme masque, afin d'obtenir que les fenptres 14 se si- tuent entièrement au-dessus des régions de délimitation de canal de type p 12. L'implantation, qui est représen- tée schématiquement sur la figure 10 à l'aide des flèches 24, s'effectue à une énergie de par exemple 80 keV et à densité moyenne d'environ 10 ions/cm20 Par suite de cette implantation, il se forme, dans ledit cas, des ré- gions 129 qui constituent, ensemble avec les régions 12a à l'endroit des fenêtres 14, des régions de délimitation de canal de type p raccordées 12 au-dessus desquelles se situent entièrement les fenêtres 14. Il est évident que la présente invention n'est pas limitée à l'exemple mentionné ci-dessus mais que de nombreuses variantes sont possibles pour l'initié sans sortir du cadre de la présente invention. C'est ainsi que les éléments de connexion ne sont pas appliqués perpen- diculairement aux bandes d'électrode 18, mais qu'ils les croisent de façon à former un certain angle avec ceux-ci. De plus, au lieu de deux éléments 15, 16, il est possible - 14 - d'appliquer trois éléments dans une direction perpendi- culaire à la direction de transport et les bandes d'élec- trodes perpendiculairement auxdits éléments de façon à former un dispositif pour un système d'horloge a 4 phases. De plus, il est possible d'appliquer d'autres dispositifs de transport comme par exemple des registres à sauts et ccd superficiels. De plus, dans le procédé sont possibles plusieurs variantes. -O O O O O - 15 - REVENDICATIONS: 1. 'ldispositif de prise de lvues 'à couplage char- _é sevant à capter Mule image de rayornnement et à conver- tir cette dernière en un signal électrique, muni d'un dispositif semiconducteur dans une surface principale du- quel sont défiris plusieurs canmux de transport de charge prati.quement p:a.es, et donrt la mPme surface princi- pale est munie d'une couche isolante sur laquelle est ap- pliqué, pour le transport de cha-gE, un système d'élec- trodes qui, en vue de pouvoir capter l'image de rayon- ement, est mui de fent'res par L'intermédiaire des- quelles notamment de la lumièreS à courte longueur d'onde peut s'infilt-rer dans le corps semiconducteur et y en- gendrer des porteurs de charge, système d'électrodes qui comporte un premier groupe d'électrodes qui s'étendent dans une direction perpendiculaire à la direction de trans- port de charge, caractériseé en ce que le système d'élec- trodes comporte en outre un second groupe d'électrodes, dont les électrodes appartiennent chacune assentiellement à un._quement un canal de transport de tharge et s'éten- dent au-dessus dudit canal de transport de charge dans une direction essentiellement parallèle à la direction de transport de charge et perpendiculaire aux électrodes du premier groupe, et qui sont espacées tout en laissant dé- couvertes des fenêtres Perméables au rayonnement, ensemble avec les électrodes du premier groupe. 20. Dispositif selon la revendication 1, caractéri- sé en ce que le système d'électrodes comporte des éléments de connexion à des endroits situés à l'extérieur des fe- nôtres et assurant l'interconnexion des électrodes du deuxième groupe. 3 DDispositif selon la revendication 2, caractéri- sé en ce que les éléments de connexion se situent essen- tiellem-l -erjendiculairement aux électrodes du deuxième groupe - 16 - 4. Dispositif selon l'une des revendications I à 3, caractérisé en ce que la longueur des parties des électrodes du deuxième groupe délimitant les fenêtres dans la direction de transport est sup&rieure à leur largeur. c, 5 o Dispositif selon l'une des revendications I à 4, caractérisé en ce que le corps semiconducteur comporte un substrat en silicium d'un premier type de conduction, dont la surface est munie d'une région semiconductrice d'un deuxième type de conduction opposé au premier type o de conduction, région dans laquelle sont formées des régions de canal et qui constituent une jonction pn avec le substrat cette jonction pn étant située à une distance comprise entre 2 et 5 micromètres de la surface principale. 6. Dispositif selon l'une des revendications I à , caractérisé en ce que le corps semiconducteur est muni de régions de délimitation de canal, qui se situent au moins à l'endroit des fenttreso 7 0 Dispositif selon l'mune des revendications I à 6, caractérisé en ce que le système d'électrodes comporte 2c une structure d'électrodes pour le transport triphasée 8. Procédé permettant de réaliser un dispositif de prise de vues selon la revendication 6 ou 7, selon lequel une surface rincipale du corps semiconducteur est munie de canaux de transport de charge espacés par des régions de délimitation de canal et que le système d'élec- trodes est appliqué sur une couche isolante recouvrant la surface principale, caractérisé en ce que les régions de délimitation de canal sont formées, au moins partiel- lement, par implantation d'ions, le système d'électrodes servant de masque0 OO$ * * *