FR 2482208 A1 19811113 FR 8109196 A 19810508 Z482208 L'invention concerne d'une manière générale les pompes destinées au pompage de gaz, et plus particulièrement des pompes à vide et autres. Des pompes destinées à comprimer ou transporter des gaz, par exemple des pompes à vide, sont utilisées dans des applications industrielles et expérimentales très diverses. Selon l'utilisation particulière, certaines caractéristiques typiques souhaitées pour une pompe à vide comprennent une longue durée de vie ou durabilité, une capacité élevée de transfert, en peu de temps, de quantités de gaz relativement grandes et la possibilité d'établir par pompage des dépressions inférieures ou égales à environ 0,133 Pa. Dans des applications industrielles, il est particulièrement souhaitable que la pompe résiste à une usure excessive et au blocage dus à la présence d'impuretés telles que des saletés, de l'eau ou de la vapeur d'eau dans le gaz pompé. Par exemple, des pompes à vide sont souvent utilisées pour faire le vide dans des circuits de réfrigéra- tion, avant l'introduction de nFréon" ou de tout autre fluide de refroidissement. Dans ce type d'application, le gaz pompé peut entraîner des gouttelettes d'eau, de la vapeur d'eau ou de la poussière, ainsi que d'autres impuretés qui risquent d'affecter l'efficacité de l'huile de lubrification à l'intérieur de la pompe et d'entraîner une usure accrue et un risque de fuite, en particulier aux niveaux de pression indiqués ci-dessus. Un type de pompe à vide utilisé dans de telles applications industrielles est une pompe rotative à palettes telle que celle décrite dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique NO 3 782 868. En général, les pompes rotatives à palettes comportent un rotor décentré logé dans une chambre cylindrique. Le rotor comporte généralement deux palettes qui peuvent coulisser radialement et qui sont en contact continu avec la surface de la chambre afin de définir, entre le rotor et la paroi cylindrique de la chambre, une chambre-de pompage dont le volume croit et décroît alternativement pendant que le rotor tourne. Bien que de telles pompes fonctionnent en général de manière satisfaisante, l'usure résultant du mouvement rapide et continu entre les palettes en rotation et la paroi de la chambre exige un graissage continu et abondant et ces organes peuvent être soumis à une usure due à des impuretés introduites dans l'huile et réduisant ainsi l'efficacité du graissage réalisé par cette dernière. Un autre type de pompe utilisée pour effectuer des pompages aux pressions indiquées précédemment est une pompe communément appelée 'pompe à piston rotatif". Cette pompe comporte un élément monté excentriquement, qui tourne avec une embase et qui porte une palette oscillante. En raison du montage excentré, des vibrations peuvent atteindre des niveaux suffisants pour produire des effets destructeurs sur les organes de commande et réduire ainsi la-durée de vie utile de la pompe. De plus, cette dernière est bruyante et difficile à fixer à un système rigide. Un autre type de pompe connue dans l'art antérieur, mais non utilisé pour le pompage de gaz, est le type "Gerotor". Ce type de pompe utilise un rotor intérieur du type à denture d'engrenage qui tourne dans une couronne extérieure, également du type à denture d'engrenage. Les dents du rotor intérieur sont en contact continu avec la surface du rotor extérieur afin que chaque paire de dents définisse une chambre de pompage dont le volume croît et décroît alternativement lorsque le rotor tourne. Ces pompes du type "Gerotor" sont bien connues et sont utilisées en particulier pour le pompage d'huiles, de fluides hydrauliques et d'autres liquides. Par rapport à d'autres pompes, par exemple les pompes à palettes rotatives, elles comportent peu de piècesen mouvement, sont aisées à fabriquer et à assembler et sont le siège de différences de vitesses de rotation peu importantes, par exemple entre les rotors, ce qui réduit - l'usure. Cependant, les pompes du type "Gerotor" actuellement disponibles présentent divers inconvénients lorsqu'elles sont utilisées pour le pompage des gaz. Par exemple, les pompes de ce type utilisent généralement, pour leur lubrification, l'huile ou le fluide pompé et ne disposent pas de moyen indépendant de lubrification, comme cela est nécessaire pour le pompage des gaz. Ce défaut, associé à la conception habituelle des orifices d'entrée et de sortie des pompes du type "Gerotor", permet une dérivation du gaz entre les pièces mobiles de la pompe et empêche cette dernière d'être utilisée pour le pompage de gaz à de basses pressions. L'invention concerne donc une pompe à gaz du type "Gerotor" qui ne présente pas les inconvénients indiqués ci- dessus. L'invention concerne plus particulièrement une-pompe à vide du type "Gerotor" dont la conception des orifices et la lubrification permettent de réduire l'usure et d'assurer l'étanchéité entre les surfaces en mouvement afin qu'il soit possible de pomper un gaz à une très basse pression. L'invention sera décrite plus en détail en regard des dessins annexés à titre d'exemple nullement limitatif et sur lesquels: - la figure 1 est une vue en perspective d'une pompe à engrenages du type "Gerotor" selon l'invention; - la figure 2 est une vue en perpective éclatée, avec arrachement partiel, de la pompe de la figure 1; - la figure 2a est une vue de face de la pièce centrale de la pompe à trois pièces montrée sur la figure 2; - la figure 2b est une coupe horizontale suivant la ligne 2b- 2b de la figure 2a; - la figure 3 est une élévation des éléments rotatifs assemblés, suivant la ligne 3-3 de la figure 2; - la figure 4 est une élévation des éléments rotatifs assemblés, suivant la ligne 4-4 de la figure 2; - la f igure 5 est une élévation de la surface intérieure de la plaque d'extrémité de la pompe, suivant la ligne 5-5 de la figure 2; - la figure 6 est une coupe verticale partielle suivant la ligne 6-6 de la figure 5; - les figures 7 à 10 sont des coupes transversales partielles des éléments rotatifs assemblés montrant, en partie, le fonctionnement de la pompe à engrenages selon l'invention; et - la figure Il est un schéma d'un circuit de réglage de vitesse et de protection utilisé dans la pompe selon l'invention. Z482208 L'invention est représentée sur les figures sous la forme d'une pompe à vide 20 à deux étages, comportant un ensemble rotatif 22 du type "Gerotor" destiné au pompage de matières gazeuses et autres. Pour chaque étage de pompage, l'ensemble rotatif 22 comprend un rotor intérieur 24 du type à engrenage et une couronne rotative extérieure 26, du type à engrenage, montés à l'intérieur de l'une de deux chambres 28 à rotors, parallèles axialement, mais décalées et situées aux extrémités d'un bloc 30 de pompage. Les références numériques concernant les premier et second étages de pompage sont suivies respectivement des chiffres 1 et 2 comme c'est le cas, par exemple, de la chambre 28-1 de rotors. L'ensemble 22 à rotors du type "Gerotor" et le bloc 30 de pompage sont montés sur une première face d'une plaque 34 de montage et dans un capot 36. Ce dernier contient un bain d'huile dans lequel l'ensemble à rotors et le bloc sont plongés pendant le fonctionnement. L'ensemble 22 à rotors est entraîné par un moteur électrique 38 qui est fixé à l'autre face de la plaque 34 de montage et qui commande cet ensemble par l'intermédiaire d'un arbre passant de manière étanche dans un trou central 40. Si l'on se réfère brièvement aux figures 7 à 10 qui Montrent les éléments de l'engrenage "Gerotor" dans différentes positions de rotation, on peut voir que le rotor intérieur 24-1 est monté sur un arbre 42 d'entraînement qui est décentré à l'intérieur du rotor extérieur 26-1. Lorsque le rotor intérieur 24-1 est mis en rotation par le moteur électrique 38 au moyen de l'arbre 42, l'engrènement des dents 44 et 46 des rotors intérieur et extérieur, respectivement, a pour effet de faire tourner également le rotor extérieur dans la chambre 28-1. Le rotor intérieur 24-1 comporte une dent de moins que le rotor extérieur 26-1, de sorte que les dents du rotor intérieur sont en contact continu avec la surface du rotor extérieur et que chaque paire de dents définit une chambre 48-1 de pompage, comme indiqué par la zone ombrée ou hachurée. Lorsque le rotor intérieur 24-1 tourne, la chambre 48-1 de pompage augmente et diminue alternativement de volume lors de chaque tour des rotors intérieur et extérieur, comme montré par la suite de figures 7 à 10. Selon l'invention, les avantages du principe de l'engrenage "Gerotor" dans son ensemble peuvent être utilisés pour le pompage des gaz et autres, au moyen d'un orifice allongé 50-1 d'entrée de gaz qui s'étend sur un angle relativement grand afin de communiquer avec chaque chambre 48-1 de pompage sur la plus grande partie du temps d'expan- sion de la chambre, pendant le cycle de rotation, et un orifice 52-1 de décharge, espacé angulairement de l'orifice -1 d'entrée et s'étendant sur un angle 13 sensiblement plus petit, cet orifice 50-1 étant disposé de manière à communi- quer avec la chambre 48-1 de pompage immédiatement avant et/ou à la fin du temps de compression (contraction). Il convient de noter que les orifices 50-1 et 52-1 d'entrée et de sortie sont de préférence situés aux extrémités opposées de l'ensemble à rotors, et que l'orifice d'entrée représenté en traits mixtes sur les figures 7 à 10 est en fait réalisé dans la plaque 34- de montage de la pompe (voir figure 2) et se trouve donc, en fait, au-dessus de la surface du dessin. Bien que n'apparaissant pas normalement sur une vue en plan, l'orifice d'entrée est montré sur les figures 7 à 10 à titre explicatif et pour faire mieux apparaitre l'intervalle angulaire séparant les orifices d'entrée et de sortie. Pour comprendre plus clairement cette disposition, on peut se reporter brièvement à la figure 2 qui montre en perspective plutôt qu'en plan l'appareil réel et les orifices d'entrée et de sortie. Pour assurer la lubrification ainsi que l'étanchéité entre les pièces mobiles de l'ensemble 22 à rotors, de l'huile est introduite dans la chambre 48-1 de pompage au moyen des pressions différentielles engendrées par la rotation de la pompe elle-même. L'étanchéité assurée par l'huile et s'ajoutant aux formes relatives et à l'écartement des orifices d'entrée et de sortie permet d'utiliser la pompe pour le pompage des gaz à de très basses pressions. En ce qui concerne cette caractéristique de l'invention, l'huile est aspirée du bain environnant à l'intérieur de la chambre de pompage passant dans un canal 54 ménagé dans la plaque de montage, ou bien dans un canal analogue 54 ménagé dans une plaque 56 d'usure, ce canal établissant une communication entre le bain d'huile, à une première extrémité, et le trou dans lequel l'arbre passe de façon étanche, à l'autre extrémité. L'aspiration provoquée par l'expansion de la chambre 48-1 de pompage attire l'huile dans la zone de l'arbre, puis de cette-zone dans un espace réduit formé entre l'élément rotatif 24-1 et la plaque d'usure 56, et vers l'orifice 50-1 d'entrée, l'huile pénétrant alors dans la chambre 48-1. L'huile de lubrification recouvre les surfaces des pièces en mouvement et réalise un joint entre ces surfaces afin de permettre le pompage à des pressions relativement basses. En d'autres termes, l'huile est aspirée par l'orifice 50-1 d'entrée à une première extrémité de la chambre 48-1 de pompage et elle progresse petit à petit le long du rotor denté 24-1, pendant que ce dernier tourne, puis elle sort par l'orifice 52-1 de sortie, à l'autre extrémité, de manière à suivre un trajet sensiblement hélico!dal le long de l'ensemble à rotors, en même temps qu'elle assume ses fonctions de lubrification et d'étanchéité. Le trajet d'écoulement de l'huile dans le second étage de pompage est analogue au précédent. Une forme préférée de réalisation de l'invention sera à présent décrite plus en détail en regard des dessins annexés. La pompe 20 selon l'invention, représentée à titre uniquement illustratif, est peu volumineuse et relativement légère, ce qui lui permet notamment d'être portée et la rend idéale pour les opérations d'entretien et de dépannage d'équipements sur les lieux d'utilisation, par exemple des sytèmes de réfrigération et autres. Comme montré sur la figure 1, la pompe 20 comporte une poignée 58 qui peut être fixée, par exemple, à la.plaque 34 de montage et qui permet de transporter la pompe. Cette dernière est entraînée par une liaison directe réalisée entre l'arbre 42 à entraînement de l'ensemble à rotors et le moteur électrique 38, à travers la plaque 34 de montage. Bien que différents types de moteurs puissent être utilisés, un moteur du type à balais, contrairement à un moteur classique à induction, est préféré, car il permet l'utilisation de plusieurs vitesses d'entraînement de la pompe. Les divers éléments de la pompe à engrenage du type "Gerotor" selon l'invention sont mieux montrés sur la figure 2 qui représente une pompe double ou à deux étages, comportant deux groupes 24-1, 26-1 et 24-2, 26-2 d'éléments de pompage à engrenages "Gerotor", montés en série afin d'accroître l'efficacité du pompage et d'atteindre de plus basses pressions. Chaque groupe d'éléments rotatifs tourne à l'intérieur de l'une de deux chambres cylindriques 28-1 et 28-2 de rotors, ménagées dans le bloc 30 de pompage. Ce bloc peut être réalisé d'une seule pièce. Cependant, un empilage ou assemblage de -trois pièces séparées, comme montré sur la figure 2, est préféré car il entraîne une diminution des coûts de fabrication et d'usinage. Dans ce montage, une pièce centrale (montrée sur les figures 2a et 2b) est placée entre deux pièces extrêmes qui présentent des alésages afin de former les chambres 28-1 et 28-2 de rotors. Les deux rotors intérieurs 24-1 et 24-2 sont mis en -rotation par l'arbre commun 42 d'entraînement qui passe dans le trou 60 ménagé dans la pièce centrale du bloc de pompage, entre les chambres des rotors. L'autre extrémité de l'arbre 42 passe dans un palier (non représenté) logé dans le trou 40 ménagé dans la plaque 34 de montage et elle aboutit au moteur 38. Les rotors 24-1, 26-1 et 24-2, 26-2 sont montés dans les chambres 28-1 et 28-2, respectivement, de manière à affleurer les surfaces extrêmes du bloc 30 de pompage, avec cependant un jeu suffisant pour pouvoir tourner et permettre à l'huile d'assurer l'étanchéité. Etant donné que la plaque 34 de montage est de préférence réalisée en aluminium, il est préférable que le bloc 30 de pompage soit espacé de la plaque de montage par une plaque d'usure en acier, bien que toute autre surface -ou revêtement d'usure puisse être utilisée. L'autre extrémité du bloc de pompage est fermée par une plaque 62 en acier. L'ensemble formé par la plaque d'extrémité, le bloc de pompage, les éléments rotatifs ou rotors et la plaque d'usure, est fixé à la plaque 34 de montage par des boulons (non représentés). Comme indiqué précédemment, cet ensemble est plongé dans un bain d'huile contenu dans le carter 36 de la pompe. Lorsque la pompe fonctionne, le gaz est aspiré du volume dans lequel le vide doit être fait au moyen d'un conduit ou d'un tuyau fixé à l'orifice 61 d'arrivée d'air ménagé dans la plaque 34 de montage et communiquant avec l'orifice allongé et incurvé 50-1 d'entrée, en forme de croissant. Une ouverture, de forme complémentaire en croissant, est réalisée dans la plaque 56 d'usure pour permettre à l'air ou à tout autre.gaz pompé de pénétrer dans la chambre 48-1 de pompage définie entre les rotors 24-1 et 26-1 du premier étage. On peut se reporter brièvement aux figures 7 à 10 qui montrent le cycle de pompage réalisé dans la chambre 48-1 de pompage du premier étage. Lorsque le-rotor intérieur 24-1 tourne dans le sens des aiguilles d'une montre, dans la forme de réalisation représentée, il entraîne le rotor extérieur 26-1 qui comporte une dent de plus que le rotor intérieur, de manière à le faire tourner également dans le sens des aiguilles d'une montre, mais à une vitesse légèrement inférieure à celle de ce rotor intérieur. Ceci constitue un avantage d'une pompe à engrenages du type. "Gerotor", à savoir une faible différence entre les vitesses de rotation du rotor intérieur 24-1 et du rotor extérieur 26-1. Sur la figure 7, la zone ombrée, qui représente la chambre 48-1 de pompage, commence à s'expanser et à aspirer le gaz de l'orifice 50-1 d'entrée. Il convient de noter que la chambre 48-1 de pompage définie entre les rotors est fermée à une première extrémité par la plaque 56 d'usure et à son autre extrémité par la surface intérieure de la chambre des rotors. L'orifice d'entrée est représenté en traits mixtes à titre explicatif, mais, comme indiqué précédemment, il est en fait ménagé dans la plaque d'écartement et dans la plaque de montage et il se trouve en réalité au-dessus du niveau du dessin de la vue en plan de la figure 7. Lorsque la pompe continue de tourner dans le sens des aiguilles d'une montre, la chambre 48-1 de pompage, qui commence à s'expanser alors qu'elle communique d'abord avec le bord avant de l'orifice d'entrée (figure 7), achève sensiblement son temps d'expansion au moment o elle ne communique plus avec le bord extrême de l'orifice d'entrée (figure 8). Pour permettre cette communication pendant la plus grande partie du temps d'expansion, l'orifice allongé -1 d'entrée est disposé de manière que son bord avant (dans le sens de rotation du rotor) soit rapproché et se trouve à 3 de la position ou du point d'achèvement du temps de contraction ou de. compression, et cet orifice s'étend sur un angle A (figures 7 et 10) qui est supérieur à l'angle C formé entre des dents adjacentes du rotor intérieur 24-1. L'angle A ne dépasse avantageusement pas la valeur (1800 -È) Une fois qu'il ne communique plus avec l'orifice - 1 d'entrée, le rotor intérieur 24-1, en continuant de tourner, provoque une contraction de la chambre 48-1 de pompage (figure 9), ce qui comprime le gaz à l'intérieur de cette chambre. Cette dernière n'entre en communication avec l'orifice 52-1 de sortie (figure 10) que lorsqu'elle est presque totalement contractée et que le volume de gaz est comprimé presque au maximum. L'orifice de sortie se trouve à l'extrémité de la chambre 28-1 du rotor opposée à celle présentant l'orifice 50-1 d'entrée, et il est de préférence espacé de 5 à 380 (angle D) de l'orifice d'entrée, l'espace- ment angulaire demandé étant d'autant plus grand que le diamètre du rotor est faible. L'orifice 52-1 de sortie est naturellement plus petit que l'orifice 50-1 d'entrée, car il s'étend sur un angle B qui est inférieur à l'angle C formé entre les dents adjacentes du rotor intérieur, et cet angle est de préférence inférieur ou égal à la moitié de l'angle C, c'està-dire du second étage de pompage. Si l'on compare les dimensions relatives des rotors des étages 1 et 2, il apparaît que la capacité de pompage de l'étage 1 est très supérieure à celle du second étage de la pompe. Lorsque les volumes de gaz pompés par le premier étage sont supérieurs à ceux pouvant être pompés par le second étage, par exemple au début de l'évacuation d'un volume de gaz, le gaz en excès peut s'échapper par un-orifice 63 de dérivation (figures 2a et 2b) qui communique avec l'orifice 50-2 d'entrée, en forme de croissant, du second étage. L'orifice 63 de dérivation, qui est percé ou autrement réalisé dans la pièce centrale du bloc de pompage, est normalement fermé par une soupape de décharge, par exemple une soupape circulaire du type montré sur la figure 6, qui est réglée pour s'ouvrir sous la pression résultant du pompage de grandes quantités de gaz. Après être sorti du bloc de pompage, le gaz peut s'échapper dans l'atmosphère ambiante par un évent normal 65 ménagé dans le carter 36. Comme représenté sur la figure 2, l'orifice 52-1 de sortie du premier étage communique directement avec l'orifice d'entrée allongé 50-2, en forme de croissant, du second étage de pompage. La chambre 28-2 des rotors du second étage est plus étroite que celle du premier étage et elle loge le rotor extérieur 26-2 et le rotor intérieur 24-2 de manière à leur permettre de tourner, le rotor intérieur 24-2 étant entraîné par l'arbre commun 42 qui traverse le bloc 30 de pompage. L'extrémité de ce bloc est recouverte par la plaque extrême 62 qui, comme montré notamment sur les figures et 6, présente l'orifice 52-2 de sortie du second étage de pompage. Cet orifice de sortie, comme montré sur la figure 6, est normalement fermé par une soupape circulaire 64-, chargée par un ressort et montée dans la surface extérieure de la plaque extrême. Cette soupape circulaire, qui peut être de formes très diverses, est maintenue contre l'orifice 52-2, en position normale de fermeture, par un ressort hélicoïdal 69 et par une lame de recouvrement ou ressort 71 de retenue, et elle est destinée à empêcher le gaz et l'huile de lubrifica- tion de fuir vers l'intérieur des chambres de pompage. D'autres types de soupapes de retenue, par exemple des soupapes à clapet ou à lame, peuvent également être utilisés sans sortir du cadre de l'invention. Bien que l'orifice 52-2 de sortie ménagé dans la plaque extrême soit circulaire, il présente un petit évidement 66 réalisé dans la surface intérieure de la plaque et partant de l'orifice de sortie sous un certain angle afin de communiquer avec la chambre 48-2 de pompage du second étage légèrement plus tôt, dans le temps de compression, que l'orifice de sortie du premier étage, mais cependant à peu près à la fin du temps de compression ou de contraction. Ceci permet un meilleur échappement du second étage lorsque le pompage établit des vides poussés ou de très basses pressions de gaz. Par conséquent, après l'arrivée du gaz dans l'orifice 50-2 d'entrée du second étage de pompage, le fonctionnement est sensiblement le même que celui du premier étage et la géométrie et la position de l'orifice du second étage sont analogues à celles de l'orifice du premier étage. La chambre 48-2 de pompage,,définie entré le rotor intérieur 24-2 et le rotor extérieur 26-2, s'expanse à peu près totalement en passant devant l'orifice 50-2 d'entrée, puis se contracte afin qu'elle communique avec l'orifice 52-2 de sortie ménagé dans la plaque extrême 62, immédiatement avant et/ou à la fin du cycle de compression. Après que l'évacuation des grandes quantités de gaz a commencé et lorsqu'il ne reste pas suffisamment de gaz, à la source, pour exiger la mise en oeuvre de la soupape intermédiaire de décharge, la totalité du gaz pompé passe dans le second étage et sort par la soupape circulaire 64 montée dans la plaque extrême 62. Une caractéristique importante de l'invention, améliorant son utilisation comme pompe de substances gazeuses et pour le pompage des gaz sous des pressions relativement basses, réside dans l'utilisation d'un dispositif perfectionné d'étanchéité et de lubrification par huile. Comme décrit brièvement plus haut, le bloc 30 de pompage et l'ensemble 22 à rotors sont. totalement plongés dans un bain d'huile contenu dans le carter 36 de la pompe. Comme représenté sur la figure 2, l'huile passe le long de la -/82208 rainure ou du canal linéaire 54 ménagé dans la plaque 34 de montage ou, en variante, dans la plaque 56 d'usure, et partant tangentiellement du trou 40 de passage de l'arbre d'entraînement. L'extrémité du canal 54 communique avec le bain d'huile par un petit trou 68 ménagé dans la plaque d'usure. Autrement dit, le trou 68 est situé au-delà du bord du bloc 30 de pompage et il est directement accessible au lubrifiant l'entourant. La différence de pression résultant de l'expansion de la chambre 48-1 de pompage aspire l'huile par le petit trou 68 et le long du canal tangentiel 54 vers le trou 40 de passage de l'arbre et, de ce dernier, vers l'intérieur de la chambre de pompage en passant par le faible jeu-compris entre les rotors 24-1, 26-1 et la surface de la plaque 56 d'usûre, et par l'orifice 50-1 d'entrée. Cette petite quantité d'huile recouvre les surfaces en contact du rotor intérieur et du rotor extérieur et elle obture les faibles espaces compris entre ces surfaces afin de réduire les fuites de gaz se produisant entre lesdites surfaces et de permettre l'obtention de niveaux de pression plus bas, d'une façon plus efficace. En se déplaçant sensiblement dans le même sens que le gaz, l'huile passe de l'orifice 50-1 d'entrée le long du rotor intérieur 24-1 vers l'orifice 52-1 de sortie pour pénétrer dans le second étage afin d'y assumer également des fonctions de lubrification et d'obturation. Lorsque le rotor tourne, cette huile suit sensiblement un trajet hélicoïdal dans chaque étage de pompage. Selon une autre caractéristique de ce dispositif d'étanchéité par l'huile, le diamètre de l'arbre 42 d'entraî- nement est de préférence sensiblement inférieur au plus petit diamètre du cercle de pied des rotors intérieurs 24-1 et 24- 2. On obtient ainsi une zone relativement large et ininterrompue qui, lorsqu'elle est obturée par une pellicule d'huile, tend à empêcher la dérivation du gaz entre la surface extrême du rotor intérieur et la surface opposée de la plaque extrême ou de la chambre des rotors. Des surfaces sensiblement plus courtes ou plus étroites ne permettraient pas la formation d'une pellicule d'huile suffisamment large et permettraient donc une dérivation du gaz (parfois appelée Z482208 "ventilation' ou "fuite") entre les pièces en mouvement et, par conséquent, affecteraient l'aptitude de la pompe à atteindre de basses pressions. Le rapport du diamètre du cercle de pied des rotors intérieurs au diamètre de l'arbre *d'entraînement, semblant donner la meilleure étanchéité, est de préférence compris entre 2/1 et 4/1. Pour améliorer encore le joint et la zone d'étanchéité entre les parties adjacentes de la pompe selon l'invention, les orifices d'entrée et de sortie sont de préférence situés sensiblement entre le rayon du petit cercle de pied du rotor intérieur et le rayon du grand cercle de pied du rotor extérieur (R0 - Ri) (figure 9), et ont une largeur avantageusement inférieure à la différence entre ces rayons, de manière que la surface d'étanchéité entre l'arbre 42 d'entraînement et les bords périphériques intérieurs des orifices soit maximale. En outre, il convient de noter que, dans la forme préférée de réalisation de l'invention, les orifices d'entrée et de sortie sont situés aux extrémités opposées de la chambre de pompage, ce qui permet d'accroître l'écartement des orifices pour améliorer l'étanchéité et réduire ainsi la "ventilation" entre les orifices. Un orifice auxiliaire 53 destiné au passage de l'huile (figure 4) est ménagé dans le second étage du bloc de pompage afin d'améliorer lalubrification et l'étanchéité dans des conditions de pression relativement élevées, lorsqu'une grande partie de l'huile.provenant du premier étage s'écoule par la soupape intermédiaire de dérivation. L'huile est aspirée par l'orifice 53 dans le second étage par l'entraînement visqueux et la pression différentielle engendrés par la rotation du rotor extérieur. Une autre technique pour introduire l'huile de lubrification et d'étanchéité dans la chambre de pompage consiste à ménager une série de petits évidements dans les surfaces extrêmes des rotors intérieurs et/ou extérieurs, ces évidements communiquant pendant la rotation et l'huile parcourant des rainures ménagées dans la plaque 56 d'usure et dépassant le bord du bloc de pompage afin de communiquer avec le bain d'huile dans lequel la pompe est plongée. Ainsi, lorsque les rotors tournent, ils entraînent une quantité d'huile choisie ou préalablement dosée en passant devant les canaux d'alimentation en huile ménagés dans la plaque d'usure. Les évidements ou poches déchargent ensuite l'huile dans la chambre de pompage sous l'effet de l'aspiration établie à l'orifice 50-1 d'entrée. Lorsque la pompe s'arrête, ce montage empêche le vide régnant dans le circuit d'aspirer ou de faire revenir l'huile de la pompe dans ce circuit ou vers la source. La pompe 20 à engrenages du type "Gerotor" selon l'invention est de préférence commandée par le circuit électrique à plusieurs vitesses montré sur la figure 11. Un commutateur 70 de pompage à plusieurs vitesses peut prendre des positions 72 et 74 de grande vitesse et de petite vitesse afin qu'il soit possible de faire varier la vitesse de la pompe. Par exemple, la grande vitesse peut être utilisée au début d'une opération d'évacuation ou d'établissement du vide. Le commutateur 70 fait varier la vitesse de la pompe en plaçant en série une de deux résistances 76 et 78, ou ces deux résistances, avec un condensateur 80. Le montage à résistances et condensateur est en parallèle avec un redresseur bidirectionnel commandé ou "Triac" 82 et une diode bidirectionnelle ou "Diac" 84, et les différentes vitesses de charge du condensateur établissent, selon les positions 72 et 74 du commutateur, différents intervalles de conduction pour le "Triac" qui alimente le moteur 38. Un'rupteur thermique 68, constituant la seule protection contre les surchauffes, par exemple par suite d'un temps de fonctionnement excessif à grande vitesse, est monté en parallèle avec le commutateur 70 et, en cas de surchauffe, il se déclenche afin de placer une résistance 77 dans le circuit pour modifier la constante du temps de charge du circuit afin de placer la pompe en mode à faible vitesse de manière à permettre le refroidissement. En résumé, la pompe à engrenages du type "Gerotor" décrite ci-dessus, qui est normalement utilisée uniquement pour le pompage de liquides tels que des fluides hydrauliques, peut être employée avec les avantages caractérisant une telle pompe, c'est-à-dire les vitesses relatives faibles des différentes pièces, la durabilité et la fiabilité, pour le pompage des gaz à de très basses pressions, même au niveau moléculaire. Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées à la pompe décrite et représentée sans sortir du cadre de l'invention. c, REVENDICATIONS 1. Pompe à engrenages du type "Gerotor" destinée au pompage de gaz et caractérisée en ce qu'elle comporte une chambre (28) de rotors, un rotor extérieur (26) monté de manière à pouvoir tourner dans cette chambre, un rotor intérieur (24) monté de manière à pouvoir tourner dans le rotor extérieur et présentant des surfaces qui sont en contact continu avec le rotor extérieur afin qu'au moins une chambre (48) de pompage, s'expansant et se contractant lorsque le rotor intérieur tourne, soit définie entre ce rotor intérieur et le rotor extérieur, la chambre présentant un orifice (50) d'entrée de gaz, disposé de manière à communiquer avec ladite chambre pendant une partie importante du temps d'expansion de cette chambre, et un orifice (52) de sortie du gaz situé à l'intérieur de ladite chambre, espacé de l'orifice d'entrée et disposé de manière à communiquer avec ladite chambre -immédiatement avant la fin de sa contraction. 2. Pompe selon la revendication 1, caractérisée en ce que de l'huile, arrivant à l'orifice d'entrée du gaz, suit un trajet à peu près hélicoïdal à travers la pompe. 3. Pompe à engrenages du type "Gerotor", destinée au pompage de gaz et caractérisée en ce qu'elle comporte une chambre cylindrique (28) à rotors, un rotor extérieur (26) monté de manière à pouvoir tourner dans cette chambre, un rotor intérieur denté (24) monté de manière-à pouvoir tourner dans le rotor extérieur et présentant des surfaces qui sont en contact continu avec le rotor extérieur afin qu'au moins une chambre (48) de pompage, s'expansant et se contractant lorsque le rotor- tourne, soit définie entre ce rotor intérieur et le rotor extérieur, un orifice (50) d'entrée du gaz étant ménagé dans une première extrémité de la chambre et étant disposé de manière à communiquer avec ladite chambre pendant une partie importante du temps d'expansion de cette chambre, et un orifice (52) de sortie du gaz étant ménagé à l'autre extrémité de la chambre afin de communiquer avec cette dernière immédiatement avant la fin de sa contraction, de manière qu'un gaz s'écoulant à travers la pompe suive un trajet hélicoïdal entre les orifices d'entrée et de sortie, pendant que le rotor tourne. 4. Pompe selon l'une des revendications 1 et 3, caractérisée en ce qu'elle comporte un élément (54) d'arrivée d'huile qui communique entre l'orifice d'entrée du gaz et une source d'huile, la pression différentielle résultant du fonctionnement de la pompe ayant notamment pour *effet d'aspirer l'huile de ladite source vers l'orifice d'entrée du gaz. 5. Pompe selon l'une des revendications 1 et 3, caractérisée en ce que le rotor intérieur (24) est entraîné par un arbre axial (42) dont le diamètre est suffisamment inférieur au petit diamètre du cercle de pied du rotor denté pour qu'une surface suffisante d'étanchéité par l'huile soit formée pour s'opposer à la dérivation du gaz entre les pièces en mouvement, le rapport du diamètre du cercle de pied du rotor intérieur au diamètre de l'arbre pouvant notamment être supérieur ou égal à 2/1 et inférieur ou égal à 4/1. 6. Pompe selon l'une des revendications 1 et 3, caractérisée en ce que le bord avant de l'orifice d'entrée du gaz est espacé d'un angle de 5 à 380 du bord le plus proche présenté par l'orifice de sortie. 7. Pompe selon l'une des revendications 1 et 3, caractérisée en ce qu'elle comporte deux chambres (28-1, 28- 2) à rotors, l'orifice de sortie (52-1) de l'une (28-1) desdites chambres communiquant avec l'orifice d'entrée (50- 2) de l'autre (28-2) desdites chambres, et l'orifice de sortie (52-2) de l'autre chambre communiquant avec l'atmos- phère ambiante. 8. Pompe selon l'une des revendications 1 et 3, caractérisée en ce qu'elle comporte une soupape (64) rappelée par ressort et fermant normalement l'orifice de sortie. 9. Pompe selon l'une des revendications 1 et 3, caractérisée en ce qu'elle comporte un moteur électrique (38) destinée à faire tourner le rotor denté, et un élément (70) de commande qui coupe l'alimentation du moteur lorsqu'une quantité choisie de gaz est pompée, cet élément de commande pouvant notamment comprendre un élément (68) sensible à la 248220r8 température et monté de manière à commander le fonctionnement du moteur.