FR 2465318 A1 19810320 FR 7922586 A 19790910 La présente invention concerne des perfectionnements aux dispositifs semiconducteurs de type transistors à effet de champ et plus spécialement ceux dont la fréquence de coupure est élevée. Parmi les transistors à effet de champ connus a été décrit un dispositif semiconducteur à effet de champ comportant, supportées par un substrat semi-isolant, d'une part les régions source et drain et d'autre part, une couche active en GaAs et une grille en AlxGa 1xAs formant avec la couche active une hétérojonction. Dans ce type de transistor, x est compris entre 0,1 et 0,8, et, afin de simplifier le texte et les figures, on conviendra d'écrire simplement AlGaAs au lieu de AlxGalxAs. Ce dispositif a été réalisé sous plusieurs formes selon que la couche active est en: - GaAs faiblement dopé de type N \ - GaAs faiblement dopé de type P ou que la grille est en: - AlGaAs recouverte ou non-d'une couche d'oxyde. L'ensemble de ces réalisations présente les caractéristi- ques communes suivantes: - dans la zône d'interface de l'hétérojonction, du côté GaAs, existe une couche d'électrons à grande mobilité, - la concentration en électrons de cette couche est commandée par la polarisation de la grille en AlGaAs, recouverte ou non d'oxyde. C'est la grande mobilité des électrons dans la couche d'interface qui confère à ces dispositifs un avantage par rapport aux transistors à effet de champ connus: transistor à grille Schottky.couramment dénommé MESFET c'est-à-dire "Metal-Schottky-field effect.transistor", en anglais, et transistor MOS (métal/oxyde/silicium) à déplétion ou à inversion lesquels ne présentent pas une aussi grande mobilité d'électrons. Cependant, la commande de charge par la grille en AlGaAs présen- te des limitations. r 246531i En premier lieu, la charge commandée, c'est-à-dire le courant entre source et drain IDs varie comme la racine carré de la tension appliquée sur grille VG; autrement dit, les caractéristiques IDS / VG ne sont pas linéaires. Ces caracté- ristiques non-linéaires existent aussi dans les transistors MESFET ou MOSFET. Ce n'est pas un inconvénient majeur, mais il est plus commode pour l'utilisation de les rendre linéaires. C'est pourquoi, dans les transistors MESFET, la linéarisation est recherchée et quelquefois obtenue d'une manière relative- ment compliquée par la réalisation d'une couche active à profil de dopage variable. En outre, la conception de la commande de charge par la grille en AlGaAs conduit à des structures particulières de transistor, qui diffèrent de celles de transistors MESFET classiques surtout par la technologie des contacts de source, de drain et de grille. Leur fabrication nécessite donc une technologie différente de celle des MESFET en GaAs, ce qui rend leur réalisation industrielle plus difficile. L'objet de la présente invention est de remédier à ces limitations, par l'utilisation de: - l'hétérojonction entre les couches de GaAs et AlGaAs pour créer une couche d'accumulation d'électrons de bonne mobilité. - et d'une grille Schottky pour commander cette charge. De façon plus précise, l'invention concerne un transistor à effet ce champ à fréquence de coupure élevée, comportant, supportées par un substrat semi-isolant, d'une part deux régions d'accès dites source et drain, d'autre part, une région de commande composée d'une grille métallique dite de Schottky et d'une couche active,caractérisé en ce qu'une hétérojonction isotype N-N est formée entre la couche active en GaAs faiblement dopé (N inférieur à 10i6 6lectrons/cm3) et une couche en AlxGa 1xAs, dopé de 5.10 à 0 électrons/cma pour laquelle x est compris entre 0,1 et 0,8, cette couche en AlxGal xAs étant située entre le substrat et la couche active. 24S5318 L'invention sera mieux comprise grâce aux explications qui suivent, lesquelles s'appuient sur les figures qui repré- sentent: Figure 1: coupe schématique d'un MESFET selon l'art connu. Figure 2: coupe schématique d'un FET à hétérojonction et à grille Schottky selon l'invention. Figure 3: schéma de bande d'une structure comportant une hété- rojonction GaAs de type N/AlGaAs de type N et une jonction Schottky. Figure 4: coupe schématique d'une première réalisation de transistor FET à hétérojonction et à grille Schottky selon l'invention. Figure 5: coupe schématique d'une seconde réalisation de transistor FET selon l'invention. Figure 6: coupe schématique d'une troisième réalisation de transistor FET selon l'invention. La figure 1 représente la coupe schématique d'un transistor MESFET selon l'art connu: sur un substrat 1 en GaAs semi-isolant est déposée une couche 2 en GaAs de type N et de dopage de l'ordre de 107 cm3. Les électrodes 3 de source, 4 de drain et 5 de grille sont obtenues par métallisation. Sous l'action d'une tension négative de commande sur la grille 5, il se crée une zone 6 désertée d'électrons. Les électrons sont donc pincés dans un canal délimité par la zone désertée 6 et le substrat semi-isolant 1. En raison du taux de dopage dans la couche 2 en GaAs, la mobilité, r.'est-à-dire la vitesse de déplacement des électrons dans le canal est faible. La figure 2 représente la couche schématique d'un transis- tor à hétérojonction et à grille Schottky selon l'invention et que l'on peut appeler transistor MESFET à hétérojonction. Sur un substrat 1 en GaAs semi-isolant sont déposés successivement une couche-7 en AlGaAs dopé à un niveau supérieur à 17 3 i électrons/cm, et une couche 8 en GaAs de type N faiblement dopé, au niveau de 1015 électrons/cm3. Les électrodes 3: de source, 4 de drain et 5 de grille sont déposées et disposées comme dans un MESFET classique. La z3ne 9 d'accumulation d'électrons crée par l'hétérojonction GaAs/AlGaAs est située dans la couche 8 de GaAs, à proximité de la jonction. Par action de polarisation de la grille Schottky 5, l'épaisseur de la zone désertée 6 peut être modulée, ainsi que la charge accumulée à l'interface, dans la zone 9. A cette zone 9 corres- pond une zone 10 de désertion d'électrons, située dans la couche 7 de AlGaAs, à proximité de l'hétérojonction. La figure 3 représente le schéma de bande de la structure: métal de grille Schottky/GaAs de type N faiblement dopé/AlGaAs de type N, sous polarisation négative de la grille Schottky. EF désigne le niveau de Fermi *B désigne la hauteur de la barrière de Schottky AEC désigne la discontinuité dans la bande de conduction à l'interface de l'hétérojonction ce qui représente la hauteur de barrière, pour les électrons à l'interface de l'hétérojonction. Les courbures de bande dans GaAs font apparaître la zone 6 de désertion d'électrons à l'interface avec la grille Schottky et la zône 9 d'accumulation d'électrons à l'interface avec AlGaAs. La courbure de bande dans AlGaAs fait apparaître la zone 10 de désertion d'électrons dans AlGaAs à proximité de l'interface avec GaAs. La polarisation négative de la grille Schottky fait étendre la zone désertée 6 et pour une valeur suffisamment élevée de cette tension, la zone désertée 6 s'étend jusqu'à l'interface avec AlGaAs. Cette tension est analogue à la tension de pincement dans un transistor MESFET classique. Elle dépend: - du dopage de la couche 8 de GaAs - de l'épaisseur de la couche 8 de GaAs - du dopage de la couche 7 de AlGaAs - de la concentration en aluminium dans AlGaAs. En outre, la variation de la charge accumulée de la zône 9, sous l'action de la polarisation de la grille Schottky 5 qui module l'épaisseur de la zône dépeuplée 6, est une fonction linéaire de la tension de cette polarisation. Une structure de transistor du type schématisé sur la figure 2, présente donc les propriétés recherchées, c'est-à- dire des caractéristiques IDS - VG linéaires et une technologie des contacts source, drain et grille proche de celle des MESFET classiques. Cependant, elle présente encore des limitations: 1) L'épaisseur de la couche 8 en GaAs faiblement dopée de type N ( 1015 électrons/cm3), doit être de l'ordre d'un micron car à ce niveau de dopage l'épaisseur de la z8ne désertée 6 à polarisation nulle est de cet ordre de grandeur. Une telle épaisseur entraîne plusieurs conséquences: - faible transconductance du dispositif, par rapport aux transistors MESFET classiques, - résistances d'accès de source Rs et de drain RD éle- vées. 2) La couche 7 en AlGaAs étant dopée à un niveau supérieur à 10 électrons/cm3, l'effet tunnel entre GaAs et AlGaAs, peut- être important. De plus, étant dopée à 1017 électrons/cm3, cette couche est faiblement résistive. En conséquence, il apparait une faible résistance parallèle de sortie RB, entre source et drain. 3) Du fait de l'existence d'une zone désertée 10 en élec- trons à l'interface de l'hétérojonction, du côté AlGaAs, il y apparait des capacités parasites qui ont pour conséquence de limiter les performances du transistor. Ces trois limitations peuvent être évitées par la réali- sation des structures décrites dans les figures 4 et 5. La figure 4 représente une structure permettant à la fois d'augmenter la transconductance du dispositif et de réduire les résistances parasites Rs et RD: le transistor comporte comme celui de la figure 2 un substrat semiisolant 1, une source 3, un drain 4, une grille 5 créant une zone désertée 6, une couche 7 en AlGaAs et une couche 8 en GaAs faiblement dopée de type N. Cependant, la couche 8 en GaAs est de faible épaisseur (500 à O 1000 A) et est associée à une couche 11 en GaAs de type N dopé au niveau de 1 à 5.1017 électrons/cm3 environ, et d'épaisseur de o 500 à 1000 A environ. Les métallisations d'électrodes sont déposées sur cette couche 11. L'épaisseur de la zone 9 d'accu- o mulation d'électrons étant d'environ 500 A, on réduit par rapport à la structure proposée dans la figure 2, les résis- tances parasites RS et RD dans les proportions allant de 10- 1 -4 à 10. Compte tenu de l'épaisseur globale des deux couches superposées 8 et 11, la transconductance, toujours par rapport à la structure de la figure 2, s'améliore d'un facteur 6 à 10. La figure 5 représente une structure permettant à la fois d'augmenter la résistance parallèle de sortie RB et de suppri- mer les capacités parasites. Le transistor comporte un substrat semiisolant 1, une source 3, un drain 4, une grille 5, créant une zône désertée 6, une couche 7 en AlGaAs de type N dopé à un niveau supérieur à 1017 électronsl/Cm3, et une couche 8 en GaAs faiblement dopé de type N. Cependant, la couche 7 en AlGaAs est de faible-épaisseur 500 à 1000 A environ, et une couche 12 en AlGaAs semi-isolant est intercalée entre le substrat 1 en GaAs semi-isolant et la couche 7 en AlGaAs dopé. L'épaisseur de la couche 7 en AlGaAs est choisie de faible épaisseur pour être sensiblement égale à l'épaisseur de zône désertée d'électrons 10 dans AlGaAs à l'interface de l'hétérojonction. Etant donc dépourvue d'électrons cette zone 10 est de forte résistivité. Ainsi- entre le substrat semi-isolant 1 et la zone 9 d'accumula- tion, la structure est de forte résistivité. Ce qui a pour effet d'accroître la résistance parallèle de sortie RB. Par absence de conduction dans la couche 7 AlGaAs, les capacités parasites sont supprimées, par rapport à une structure du type des figures 2 ou 4, la résistance RBet les capacités parasites sont diminuées d'un facteur supérieur à 103. La figure 6 représente la structure d'un transistor à effet de champ à hétérojonction, dans laquelle sont réunies les différentes structures partielles décrites à l'occasion des figures 2,4 et 5. Ce transistor est donc constitué par l'ensemble des couches décrites depuis le substrat vers les électrodes: - 1: substrat en GaAs semi-isolant, - 12:AlGaAs semiisolant, à forte résistivité, - 7:AlGaAs type N dopé à un niveau de l'ordre de - 8 - il - 3, 4, 5 1017 électrons/cm3 : GaAs type N dopé au niveau de 105 électrons/cm3, : GaAs type N dopé au niveau de 1017 électrons/cm3 : les électrodes de source, drain et grille respec- tivement. REVENDICATIONS 1. Transistor à effet de champ à fréquence de coupure élevée, comportant, supportées par un substrat semi-isolant (1) d'une part deux régions d'accès dites source (3) et drain (4) d'autre part une région de commande composée d'une grille métallique (5) dite de Schottky et d'une couche active (8)? caractérisé en ce qu'une hetérojonction isotype N-N est formée entre la couche active (8) en GaAs faiblement dopé (N inférieur à 101 électrons/cm3) et une couche (7) en Al GaAs de 5.116 18 3 GalxAs, dopé de 5.1016 à 1018 électrons/cm3, pour laquelle x est compris entre 0, 1 et 0,8, cette couche (7) en AlxGa 1xAs étant située entre le substrat (1) et la couche active (8). 2. Transistor à effet de champ selon la revendication 1, caractérisé en ce que la zone (9) située à proximité de l'hété- rojonction, du côté de la couche en GaAs, constitue une zone électronique à grande mobilité d'électron et que la concentra- tion électronique dans cette zône est modulable par la tension appliquée sur la grille (5), la charge électronique accumulée dans la zone étant en relation linéaire avec la tension appli- quée sur la grille. 3. Transistor à effet de champ selon les revendications 1 et 2, caractérisé en ce que sa transconductance est augmentée et les résistances d'accès à la source RS et au drain RD dimi- nuées par l'adjonction, entre la grille (5) et la couche active o (8) en GaAs, d'épaisseur comprise entre 500 et 1000 A, d'une seconde couche (11) en GaAs, de type N, dopé entre 1017 et 5.1017 électrons/cm3, et d'épaisseur comprise entre 500 et 1000 angstroems. 4. Transistor à effet de champ selon les revendications 1 et 2, caractérisé en ce que la résistance parallèle de sortie RB, entre source (3) et drain (4) est augmentée, et les effets de capacités parasites entre couches diminuées, par l'adjonction, entre le substrat (1) et la couche (7) en AlxGa _xAs, d'épais- o seur comprise entre 500 et 1000 A, d'une seconde couche (12) en AlxGal xAs semi-isolant. 9 - 2465318 5. Transistor à effet de champ selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comporte, déposées sur un substrat semi-isolant (1), dans l'ordre: - une couche (12) en AlxGal xAs semi-isolant - une couche (7) en AlxGa XAs, de type N, dopé de î6 18 3 5.10 à 10 électrons/cm, d'épaisseur comprise entre 500 et 1000 angstroéms. - une couche (8) en GaAs, de type N, dopé à moins de O16 électrons/cm3, d'épaisseur comprise entre 500 et 1000 angstroéms - une couche (11) en GaAs, de type N, dopé de 1017 à 5.1017 électrons/cm3, d'épaisseur comprise entre 500 et 1000 angstroëms - les métallisations de source (3), de drain (4) et de grille Schottky (5) étant déposées à la surface du semiconducteur.