FR 2465551 A1 19810327 FR 8020636 A 19800925 L'invention concerne de manière générale l'usinage par électro-érosion,et plus particulièrement un procédé et un appareil pour usiner par électroérosion une cavité à trois dimensions dans une pièce en utilisant une mince électrode- outil, par exemple un fil-électrode ou une tige-électrode, dont la forme est en général indépendante de la forme de la cavité souhaitée. Les termes'ralectro-érosion" et "usinage par électro-érosion" qui sont utilisés ici désignent un processus d'usinage dans lequel de la matière est enlevée d'une pièce juxtaposée à une électrode-outil par l'action de décharges électriques successives réalisées entre elles, cette action pouvant comprendre en partie un enlèvement de matière de nature électrolytique ou électrochimique. Il est généralement admis que la technique d'électro- érosion, quand elle est appliquée à l'usinage d'une cavité à trois dimensions dans une pièce, requiert couramment une électrode-outil présentant une forim à trois dimensions de manière à correspondre à la cavité souhaitée dans la pièce. En outre, un grand nombre de telles électrodes, de configu- ration et de taille identique ou similaire, doit être préparé afin de compenser l'usure que subissent les élec- trodes ou outils au cours du processus d'érosion, ou dans le but de réduire autant qoe possible le temps d'usinage nécessaire pour atteindre une précision d'usinage et un fini de surface souhaités. La préparation de ce grand nombre d'électrodes à formes précises est évidemment longue et laborieuse. En outre, l'opération d'usinage courante du type plongeant fait qu'il est difficile de maintenir l'in- tervalle d'usinage libre de débris de copeaux d'usinage et des autres produits qui ont tendance à provoquer l'ins- tabilité de l'usinage. Un but principal de l'invention est de fournir un procédé amélioré d'usinage par électro-érosion d'une cavité à trois dimensions dans une pièce. Un autre but de l'invention est de fournir un procédé d'usinage par électro-érosion d'une cavité à trois dimensions, dans lequel la cavité souhaitée peut etre réalisée dans une pièce au moyen d'une électrode simple. Un autre butde l'invention est de fournir un procédé d'usinage par électro-érosion propre à fournir une cavité à trois dimensions souhaitée dans une pièce avec une effi- cacité accrue. Un autre but de l'invention est de fournir un appareil amélioré pour usiner par électro-érosion une cavité à trois dimensions dans une pièce. Un autre but de l'invention est de fournir un appareil d'usinage par électro-érosion grâce auquel une cavité à trois dimensions peut être réalisée dans une pièce au moyen d'une électrode simple. Un autre but de l'invention est aussi de fournir un appareil d'usinage par électro-érosion propre à fournir une cavité à trois dimensions souhaitée dans une pièce avec une efficacité accrue. Ces buts de l'invention, ainsi que d'autres, sont atteints selon un premier aspect de l'invention, grace à un procédé d'usinage par électroérosion d'une cavité à trois dimensions dans une pièce, caractérisé en ce qu'il comprend les mesures consistant à: ou fine, juxtaposer axialement une électrode-outil mince/ dont la forme est, de manière générale, indépendante de la forme de la cavité souhaitée, à la pièce pour former un intervalle d'usinage balayé par un liquide d'usinage; réaliser une succession de décharges éb ctriques entre l'électrode-outil et la pièce au travers de l'intervalle d'usinage pour enlever par électro-érosion de- l matière de la pièce; déplacer dans trois dimensions l'électrode-outil par rapport à la pièce sur la surface de celle-ci dans laquelle la cavité doit être réaliséetout en maintenant l'intervalle d'usinage sensiblement constant entre l'électrode-outil-et la pièce,pour réaliser la cavité souhaitée dans cette der- nière; et communiquer une vibration ultrasonique à l'électrode- outil pendant que cette dernière est déplacée dans trois dimensions sur et par rapport à la pièce. Plus précisément, l'électrode-outil mince peut être en cuivre, en un alliage contenant du cuivre tel que le laiton ou un alliage cuivre/tungstène, argent/tungstène ou graphite. L'électrode-outil est un fil ou une tige dont le diamètre est de préférence compris entre 0,05 et 1 millimètre, mais qui peut avoir jusqu'à 3 à 5 millimètres quand un usinage grossier est suffisant, et de 1 à 3 millimètres quand un usinage moyen est souhaité. Le domaine compris entre 0,05 et 1 millimètre est préféré pour réaliser un usinage de finition fin ou quand ceci est une nécessité. Le liquided'usinage peut être de tout type utilisé cou- ramment pour l'usinage par décharges électriques courant du type plongeant, mais on utilise de préférence ici de l'eau ou de l'eau distillée ayant une résistivité spéci- f ique comprise entre 103 et 5.106 ohm-cm. La vibration peut être communiquée à l'électrode-outil mince selon son allongement axial ou longitudinal, mais peut aussi, en variante, être appliquée transversalement à l'axe de l'électrode. La fréquence de la vibration est couramment comprise entre 1 et 100 kHz, et de préférence entre et 50 kHz, mais peut aussi être comprise entre kHz et 10 MHz. L'amplitude de la. vibration est couramment comprise entre 1 et 50 microns et, de préfé- rence, entre let 10 microns. Selon un autre aspect de l'invention, est fourni un appareil pour usiner par électro-érosion une cavité à trois dimensions dans une pièce, cet appareil étant caractérisé en ce qu'il comprend une électrode-outil mince, dont la forme est de manière générale indépendante de celle de la cavité souhaitée,qui est propre à être juxtaposée à la pièce pour former un inter- valle d'usinage qui est balayé par un liquide d'usinage; des moyens de fourniture de puissance connectables élec- triquement à l'électrode-outil mince et à la pièce pour réali- ser des décharges éJectriques successives entre elles au travers de l'intervalle d'usinage; des moyens d'avance pour déplacer dans trois dimensions l'électrode-outil mince par rapport à la pièce et sur la - surface de celle-ci dans laquelle la cavité souhaitée doit être réalisée tout en maintenant l'intervalle d'usinage sensiblement constant entre l'électrode-outil mince et la pièce,pour réaliser la cavité souhaitée dans la pièce; et des moyens pour communiquer une vibration ultrasonique à l'électrode-outil mince pendant que cette dernière est déplacée dans trois dimensions sur et par rapport à la pièce. 2465551- De préférence, sont prévus en outre des moyens de détection sensibles à l'usure de l'électrode-outil mince et des moyens de commande sensibles à un signal dérivé des moyens de détection.pour avancer l'électrode-outil mince de manière à compenser l'usure détectée. Les moyens de détection de l'usure peuvent réagir à un changement du type de la vibration communiquée à l'électrode-outil mince, ledit changement représentant une usure de l'électrode-outil mince. Le changement du type de vibration peut être détecté en tant que changement de la fréquence, de l'amplitude et/ou de l'énergie de la vibra- tion communiquée à l'électrode-outil mince. La réflexion de la vibration ultrasonique transmise par le liquide d'usinage à la pièce peut aussi être utilisée, et un changement dans la période de l'écho peut alors être utilisé pour indiquer une usure de l'électrode-outil. L'usure de l'électrode-outil mince peut aussi être détectée en pilotant la caractéristi- que d'une onde sonique ou ultrasonique produite par la dé- charge d'usinage et transmise par le liquide d'usinage. Une usure de l'électrode-outil mince peut aussi être détectée en pilotant le rapport entre le nombre de décharges d'usinage et le nombre d'impulsions d'usinage d'entrée appliquées par unité de temps à l'intervalle d'usinage. Une multiplicité de fines électrodes différentes, cha- cune portée par un porte-outil peut être prévue et stockée dans un magasin d'un dispositif de changement d'outil auto- matique qui les remplace de telle manière qu'une certaine électrode-outil utilisée, après constatation de son usure, est remise au magasin, une nouvelle électrode étant montée dans la tête de machine pour -la remplacer. Selon une autre caractéristique de l'invention, sont prévus des moyens pour dresser l'électrode-outil mince de manière à compenser l'usure de celle-ci au cours d'une opération donnée d'usinage. Les moye'ns de dressage peuvent comprendretne électrode de dressage ayant la forme d'un fil ou d'une bande amenée à la demande en juxtaposition avec la face d'usinage usée de l'électrode-outil en réponse à un signal,et une source de puissance pour exciter l'électrode- outil et l'électrode de dressage dans une position de dressage. L'ensemble d'électrode de dressage peut être disposé dans 2465551 une zone. dans laquelle l'usinage de la pièce est réalisé. Le dressage de l'électrode-outil usée peut aussi être réalisé en usinant positivement la partie non usée de l'électrode-outil afin qu'une face d'usinage plate soit toujours exposée dans une relation d'usinage prédéterminée par rapport à la surface de la pièce en cours d'usinage. L'invention sera bien comprise à la lecture de la description détaillée qui va suivre de formes de réalisation de l'invention, et au vu du dessin, dans lequel: - la figure 1 est une vue schématique représentant une installation d'usinage par électro-érosion dans trois dimen- sions, équipée d'une tête vibrante selon l'invention; - la figure 2 est une vue schématique représentant une autre installation selon l'invention équipée d'une tête vibrante à électrode modifiée qui permet une avance de compensation de l'électrode usée; - la figure 3 est une vue schématique représentant une tête vibrante équipée d'un dispositif d'excitation modifié; - la figure 4 est un diagramme de forme d'onde du signal de vibration communiqué à l'électrode-outil mince du dispositif de la figure 3; - la figure 5 est une vue schématique représentant une autre forme de réalisation de l'invention dans laquelle l'électrode-outil mince est un tube; - la figure 6 est une vue schématique représentant un autre dispositif de vibration et de détection selon l'in- vention pour constater l'usure de l'électrode-outil mince; - la figure 7 est une vue schématique représentant une autre installation selon l'invention dans laquelle l'électrode- outil est un fil continu; - les figures 8 et 9 sont des vues schématiques représen- tant schématiquement une autre installation selon l'invention dans laquelle une élevtrode-outil flexible est guidée au travers d'un manchon de positionnement pour rendre sa face d'usinage conforme au contour d'une pièce; - la figure 10 est une vue schématique représentant une autre installation de détection d'usure selon l'invention dans laquelle est piloté le rapport entre le nombre de décharges électriques effectif et le nombre d'impulsions d'usinage entré; 6 2465551 - la figure 11 est une vue schématique représentant un dispositif automatique de changement d'outil propre à être mis en oeuvre selon l'invention; - la figure 12 est une vue schématique représentant une autre forme de réalisation de l'invention dans laquelle la résistance de l'intervalle est pilotée pour observer la précision d'usinage sur la pièce au cours d'une opération de conformation d'une cavité à trois dimensions; - la figure 13 est une vue schématique représentant un ensemble d'affichage illustré qui peut être utilisé avec l'installation représentée à la figure 12; - la figure 14 est une vue schématique, partiellement en coupe, représentant une forme de réalisation de l'inven- tion équipée de moyens pour dresser l'électrode-outil mince; - la figure 15 est une vue schématique, partiellement en coupe, représentant une variante de la forme de réalisation de la figure 14; - la figure 16 est une vue schématique représentant le fonctionnement des dispositifs de dressage des figures 14 et 15; - la figure 17 est une vue schématique, partiellement en coupe, représentant une autre modification du dispositif de la figure 14; - la figure 18 est une vue schématique représentant une partie du dispositif représenté à la figure 17; - la figure 19 est une vue schématique représentant le fonctionnement du dispositif de la figure 17; - la figure 20 est une vue schématique représentant une installation de commande numérique pour l'avance d'usinage en trois dimensions et le dressage automatique de l'électrode- outil selon une autre caractéristique de l'invention; - les figures 21A, 21B, 21C et 2ID sont des diagrammes de formes d'ondes représentant des impulsions de signal.-et des impulsions d'usinage qui sont fournies par l'installation selon la figure 20; - les figures 22, 23 et 24 sont des vues schématiques, partiellement en coupe, représentant-comment se forme une usure sur la surface d'usinage d'une électrode-outil au cours d'une opération d'usinage à trois dimensions; - la figure 25 est une vue schématique représentant les 7 2465551 lignes du contour d'une électrode usée; et - les figures 26, 27, 28 et 29 soit des vues schématiques représentant divers trajets selon l'axe des X et l'axe des Z devant etre suivis par l'électrode-outil par rapport à la pièce au cours d'une opération d'usinage en trois dimen- sions. Se référant tout d'abord à la figure 1, une électrode- outil 1 est représentée juxtaposée à une pièce 2 en formant un intervalle d'usinage G balayé par un agent d'usinage par électro-érosion fourni à partir d'une source de fluide non représentée.L'électrode-outil 1 est ici d'une configuration simple indépendante de la forme compliquée de la cavité 2a devant être usinée dans la pièce, comme une tige ou fil massif ou tubulaire qui peut, comme cela est courant pour une électrode du type plongeant d'usinage par décharges élec- triques ou d'usinage par décharges électrochimiques, dtre en cuivre, en laiton, en alliage argent/tungstène, cuivre/ 011 fi n e tungstène ou graphite et qui est de préférence mindé /pré- sentant par exemple un diamètre ou une épaisseur comprise couramment entre 0,05 et 1 millimètre et dans quelques cas jusqu'à 5 millimètres, en fonction du degré particulier d'usinage souhaité. Ainsi, pour le dégrossissage, une épaisseur ou diamètre de 3 à 5 millimètres serait satisfai- sante. Pour l'usinage moyen et la finition, une dimension comprise entre 1 et 3 millimètres et entre 0,05 et 1 milli- mètre sont souhaitables, respectivement. L'agent d'usinage peut être tout liquide conventionnel d'usinage par décharges électriques ou d'usinage par décharges électrochimiques, mais il est de préférence de l'eau présen- tant une résistivité spécifique comprise entre 10 et 5.106 ohm-cm, ce qui, spécialement quand on l'utilise pour le présent procédé, a été constaté comme permettant à l'usi- nage de se poursuivre avec stabilité et avec d'excellents résultats. La pièce 2, qui peut être soit une ébauche vierge, ou une ébauche précédemment dégrossie, est portée par une table 3 commandée par des moteurs 4, 5 et 6 pour assurer le dépla- cement de la pièce 2 par rapport à l'électrode-outil 1 sui- vant trois axes orthogonaux mutuellement X,Y et Z. Les moteurs 4, 5 et 6 sont des moteurs pas à pas ou des moteurs à courant 8 245555 continu équipés d'un codeur et ils sont commandés en réponse à des signaux de commande fournis par une unité 7 de commande numérique en accord avec un programme de données numériques dont dispose l'unité qui dicte un chemin de contour prédé- terminé à trois dimensions et devant dtre suivi par dépla- cement relatif entre l'électrode-outil 1 et la pièce 2, et ainsi un motif de contour à trois dimensions devant être usiné dans la pièce 2. Une source 8 de puissance d'usinage qui peut être un géné- rateur d'usinage par décharges électriques courant, est con- necté à l'électrode-outil 1 et à la pièce 2 de manière à appliquer une série d'impulsions d'usinage en travers de l'intervalle d'usinage G pour assurer des décharges élec- triques discrètes et espacées dans le temps entre l'électrode- outil 1 et la pièce 2 au travers de l'agent d'usinage, de manière à enlever de la matière de la pièce 2. L'action d'usinage peut comprendre partiellement une action électro- lytique ou électrochimique. L'électrode-outil 1 est portée par un support 9 qui comprend ici une corne de vibrations ultrasoniques propre à propager et amplifier les vibration. ultrasonique. pro- duites par un transducteur 10, ce dernier étant excité par une source 11 de puissance haute fréquence. Le transducteur peut comprendre tout élément piézo-électrique courant (par exemple quartz, sel de Roschell, titanate de baryum), tout élément courant magnétostrictif (par exemple nickel, alliage fer/aluminium) ou un électro-aimant, et la source 9, 10, 11 de vibrations est propre à faire vibrer l'électrode- outil 1 dans la direction de son allongement longitudinal à une fréquence comprise généralement entre 1 et 500 KHz et avec une amplitude comprise entre 1 et 50 microns, bien qu'une plus grande amplitude et une plus grande fré- quence puissent être aussi utilisées. Grâce à la communication d'une vibration haute fréquence, par exemple 10 à 50 kHz, à l'électrode-outil 1 pendant que cette dernière balaye de manière tridimensionnelle la surface de la pièce 2 pour faire progresser l'usinage jusqu'à un achèvement de contour souhaité, il a été constaté que la stabilité de l'usinage est effectivement augmentée et que la vitesse d'enlèvement est trois à cinq fois plus 9 2465551 grande que sans une telle vibration. Etant donné que la surface de l'électrode-outil 1, qui est frappée par les décharges, est beaucoup plus petite que celle de la pièce, l'électrode-outil 1 a tendance à s'user à partir de son extrémité. On a constaté que l'usure peut 9tre effectivement détectée en pilotant un changement du type de vibration. de l'électrode-outil 1 ou une réponse vibratoire de la pièce 2. Par exemple, le changement dans le temps d'arrivée At d'un écho résultant d'un signal vibratoire,transmis à partir du bout de l'électrode, incidant sur la pièce et réfléchi vers l'électrode, est sensiblement proportionnel au changement de la longueur de l'électrode ou de la dimension A, de l'intervalle, suivant la relation: At = aúQ, o oa est une constante. En détectant le changement At, le changement M., ou usure de l'électrode peut être déterminé. Dans la disposition représentée, un détecteur 12 de vi- bration est en conséquence prévu; il comprend un détecteur 12_, un régleur 12b de seuil ou de référence et un compara- teur ou discriminateur 12c. Le détecteur 12a peut détecter le temps d'arrivée de l'écho t qui est comparé par le dis- criminateur 12c avec une valeur de référence présélectionnée à cette fin et qui correspond à une longueur donnée d'élec- trode ou dimension de l'intervalle Z0. Quand il est constaté qu'une déviation se produit, un signal est émis par le dis- criminateur 12c et il est appliqué au circuit-de commande 13 associé à un moteur pas à pas 14. Quand une vibration d'une fréquence de par exemple 10 à 500 kEz est choisie pour faire vibrer l'électrode outil 1, une usure de l'électrode de 0,05 à 0,1 millimètre est-décelée de cette manière avec un grand degré de précision. Le détecteur 12 peut aussi réagir à un changement de la fréquence de la vibration et alors le détecteur 12a est constitué par un détecteur de fréquence, l'unité de réglage 12b a un réglage de référence prédéterminé qui cor- respond à la fréquence arrivant là o l'électrode-outil n'a pas subi d'usure et l'intervalle d'usinage G a une dimension optimale. Le discriminateur 12c est adapté pour fournir un signal représentant un décalage de fréquence et est ainsi propre à surveiller de manière similaire l'usure de l'élec- 2465551 trode. Il a été constaté qu'avec une fréquence d'entrée comprise entre 10 et 50 kHz, une -usure d'électrode d'une valeur tel que mentionné plus haut provoque un déca- lage de fréquence ou accroissement de 4 à 5 kHz. L'électrode-outil 1 est supportée par le support 9 au moyen d'un mandrin 15 dans leqoel elle est guidée par des galets 16 et des galets d'entraînement 17 entraînés posi- tivement par le moteur 14. Ainsi, le circuit 13 de commande agit, en réponse à un signal du discriminateur 12c, indiquant une usure de l'électrode-outil, de manière à fournir au moteur 14 une impulsion de commande ou des impulsions, et le moteur 14, à son tour, entraîne les galets d'avance 17 pour per- mettre la progression de l'électrode-outil 1 selon un nombre prédéterminé de déplacements incrémentiels dans le chemin de guidage du mandrin 15,compensant ainsi l'usure. Le dépla- cement incrémentiel et réglé, de préférence, pour avoir une petite valeur, par exemple environ un micron,si bien qu'une dimension optimale d'intervalle peut être rétablie avec un haut degré de précision. Exemple. Une pièce à base de fer est usinée en trois dimensions au moyen d'une installation telle que décrite et représentée à la figure 1, en utilisant un fil-électrode ou une tige- électrode en cuivre qui vibre à une fréquence de 28 kHz dans des conditions d'usinage électrique variées. Il a été constaté que l'avance de compensation de l'usure est requise une fois pour 104 impulsions de décharge dans des conditions d'usure fournissant une rugosité de surface de PR max, urne fois pour 106 impulsions de décharge dans une condition de faible usure fournissant la-même rugosité, une fois pour 5.103 impulsions de décharge dans une condi- tion d'usure fournissant 10 pR max, une fois pour 5.105 impulsions de décharges dans une condition de faible usure, fournissant la meme rugosité, une fois pour 5.102 impul- sions de décharge. dans une condition d'usure fournissant pR max,et une fois pour 5.104 impulsions de décharge dans une condition de faible usure fournissant la même rugosité. De cette manière, la compensation de l'usure de l'électrode est atteinte de manière constante avec un haut là 2465551 degré de précision, ce qui-permet à l'unique électrode- outil 1, qui a une configuration simple, de réaliser uni- formément un usinage en trois dimensions et de fournir une cavité souhaitée à trois dimensions ou un motif, avec un haut degré de précision. Afin de détecter un changement dans le type de vlibra- tion, l'amplitude peut être aussi mesurée. Un éléevnt piézo- électrique peut être alors fixé au transducteur 10 ou à la corne 9 pour fournir un signal correspondant à un change- ment dans l'amplitude vibratoire, avec une précision voulue. Dans une autre variante, un changement de l'énergie trans- mise de la source 11 au transducteur peut etre détectée en utilisant par exemple un ampèremètre. Quel que soit le paramètre qui est observé, un changement brusque peut dtre détecté et utilisé en tant que signal pour déterminer avec sûreté l'usure de l'outil, ce qui permet de réaliser avec précision une avance de compensation de l'usure. L'électrode-outil 1 n'a pas besoin de présenter une sec- tion arrondie ou circulaire, elle peut présenter une autre section simple, par exemple carrée ou triangulaire. L'unité de mandrin 15 peut alors comprendre un adaptateur propre à maintenir une telle électrode d'autre section, l'adaptateur étant porté de manière déplaçable par des galets de guidage 16 et 17 dans l'ouverture de la corne 9. L'avance de compen- sation de l'usure est en variante réalisée par une tête de machine (non représentée) portant la corne 9 et le trans- ducteur 10. A-la figure 2, dans laquelle les'éléments semblables portent les mêmes références qu'à la figure 1, est représentée une électrode-outil 1 supportée de manière fixe en un accou- plement 115 par la tête 9 à ultrasons qui, à son tour, dépend de manière déplaçable d'une tête de machine 18. Dans cette disposition, la tête 18 est déplaçable verticalement sur une vis d'avance 106a au moyen d'un moteur 106 selon l'axe des Z, pour déplacer l'électrode-outil 1 selon l'axe des Z ou dans sa direction axiale alors que la table 3 est déplacée selon les axes X et Y par les moteurs 4 et 5 respectivement, "le qui déplace la pièce 2 dans un plan X-Y de telle manière qu'un mouvement relatif de contour prédéterminé est assuré entre la partie active de l'électrode-outil 1 et la pièce, 12 2465551 afin d'usiner une cavité à trois dimensions souhaitée ou un motif dans cette pièce. La source 8 d'énergie d'usinage est connectée d'une part à l'électrodeoutil 1 au moyen de l'unité 115 de mandrin et, d'autre part, à la pièce 2 au moyen de la table 3, pour fournir des impulsions d'électro-érosion en travers de l'in- tervalle d'usinage G. Une résistance de shunt 19 est connec- tée aux bornes de l'intervalle G en parallèle avec la source de puissance 8, pour détecter la tension à l'intervalle. Un convertisseur 20 tension-fréquence est connecté à la résis- tance 19 de détection pour convertir le signal de tension en un train d'impulsions dont la fréquence est proportionnelle à la tension à l'intervalle. Le signal de fréquence est alors appliqué à l'unité 7 de commande numérique de telle manière que la vitesse de déplacement selon chacun des axes X, Y et Z est commandée en fonction de la tension à l'intervalle. La corne 9 supportant l'électrode-outil 1 est représentée logée dans une chambre définie par une enveloppe 21 tronco- nique fixée par son extrémité supérieure à la tête de machine 18. L'extrémité inférieure de l'enveloppe 21 présente des galets ou roulettes 22 de guidage entre lesquels l'électrode- outil 1 en fil ou analogue est guidée vers l'extérieur de manière à établir la relation d'usinage avec la pièce 2 tout en étant vibrée sous l'action d'un signal vibratoire qui lui est communiqué par la corne 9 et qui provient du transducteur 10 excité par la source 11 de puissance. La corne 9 est ici montée déplaçable sur une vis d'avance 23 commandée par un moteur 114 qui, là encore, est de préférence un moteur pas à pas ou un moteur à courant continu équipé d'un codeur. Le circuit de commande 13 est ainsi sensible à l'usure de l'outil détectée par le détecteur de vibrations 12, et il fournit un signal de commande au moteur 114. Le moteur 114 est commandé de manière à déplacer la corne 9, ce qui avance axialement l'électrode-outil 1, et à compenser l'usure de l'outil 1 de telle manière qu'une longueur prédéterminée de cet outil reste en saillie à partir des moyens 22 de guidage de l'électrode, et en relation d'usinageavec la pièce 2. Le dispositif à ultrasons représenté à la figure 3 com- prend un premier transducteur 210a fixé à la corne 9 d'am- 13 2465551 plification et excité par une première source 211a de puissance fournissant une sortie à basse fréquence, et un second transducteur 210b fixé au premier transducteur et excité par une seconde source 211b de puissance fournissant une sortie à haute fréquence. La sortie de b première source 211a est reliée à l'entrée de la seconde source 211b, si bien que la source 211b fournit des trains succes- sifs d'impulsions haute fréquence, les trains survenant à la fréquence de la source 211a basse fréquence,par exemple entre 10 et 50 kHz, et les impulsions survenant à la fréquence de la source 211b haute fréquence, par exemple entre 10 et 100 MHz. Il en résulte que1l'électrode en fil fixée à l'extrémité de la corne 9 d'amplification subit des signauxvibratoires présentant la forme d'onde re- présentée à la figure 4, ce qui permet une détection de l.1usure de l'outil avec précision tout en augmentant la stabilité de l'usinage. La fréquence de résonance de la vibration est exprimée par la relation suivante: F = 21 o n est le nombre de noeuds, 1 est la longueur de l'élec- trode en fil, p est la tension de l'électrode en fil 1, r est le poids de l'électrode en fil par unité de longueur et g est l'accélération gravitationnelle. Etant donné que p, r et g sont constants, si l'on considère que-n est cons- tant, on voit que la fréquence F de la vibration est inver- sement proportionnelle à la longueur 1 de l'outil et que l'usure de l'outil en termes de changement tA de la lon- gueur est obtenue en détectant la fréquence F de la vibra- tion, ce qui permet de la compenser. La figure 5 représente une forme de réalisation de l'in- vention dans laquelle l'électrode-outil 1 est un tube 301 présentant un alésage interne par lequel un liquide d'usinage fourni à partir d'une source non représentée, en passant par une admission 24, est introduit de manière à s'écouler dans l'intervalle d'usinage G. Le liquide d'usinage est,de préférence,de l'eau distillée, c'est-à-dire de l'eau claire désionisée, ayant une résistivité supérieure de préférence à 5.10 ohm-cm; cette eau est introduite dans le petit intervalle d'usinage G entre l'extrémité du tube et la pièce 14 246555 1 2. La corne 9 agit ici de manière à communiquer une vibra- tion ultrasonique, d'une fréquence comprise par exemple entre 1 et 100 MHz, produite par le transducteur 10, au liquide d'usinage. La vibration ultrasonique se propage ainsi à une vitesse de 1500 mètres par seconde dans le li- quide d'usinage, deux à trois fois plus vite que dans le corps métallique de l'électrode tubulaire 301. En détectant un changement de la période de l'écho ou tout autre paramètre de la vibration, tel que décrit, l'usure de l'électrode-outil 301 est détectée avec une grande précision. L'électrode tu- bulaire 301 est représentée supportée de manière déplaçable par des galets 317 de guidage commandés par un moteur 314 de manière à faire avancer l'électrode 301 pour compenser l'usure détectée de l'électrode.. Dans cette disposition, l'intervalle d'usinage G peut aussi être soumis à une source de vibrations ultrasoniques communiquées à l'électrode-outil 301. La production de dé- charges électriques intermittentes dans l'intervalle d'usi- nage fournit une production cyclique de pressions de déchàar- ges et produit ainsi une oscillation mécanique qui se pro- page par l'électrode 301 et qui peut être détectée par un transducteur (non représenté dans cette figure) disposé au contact de l'électrode 301 de manière à détecter l'usure de l'électrode. Dans la forme de réalisation représentée à la figure 6, l'usure de l'électrode est détectée par une combinaison d'un transducteur 10 qui fournit la vibration ultrasonique à l'électrode-outil 1, et d'un microphone 25 disposé à proximité de l'intervalle d'usinage. Un comparateur 26 est utilisé pour comparer les deux signaux détectés par ces deux moyens, et indiquer ainsi l'usure de l'électrode. Dans la forme de réalisation représentée à la figure 7, l'électrode-outil est un fil continu 401 fourni à partir d'une bobine 27 et guidé par des galets de guidage 417. Les galets de guidage 417 sont commandés par un moteur 414 pour avancer l'électrode en fil 401 continue et compenser l'usure de la partie d'extrémité de celle-ci. Dans la forme de réalisation des figures 8 et 9, l'élec- trode en fil 401 est guidée dans un manchon flexible 28 de telle manière que la partie d'extrémité de l'électrode qui *2465551 constitue l'extrémité d'usinage, se courbe en conformité du contour de la surface de la pièce 2 qui est usinée. Le manchon 28 est monté à poste fixe sur une tête ou corne de vibration 9, tel que décrit auparavant. L'électrode en fil courbé se déplace le long du contour de la pièce. Une forme de réalisation de l'invention représentée à la figure 10 comprend un ensemble d'électrode, une tête vibratoire et des unités d'avance d'usinage tridimension- nelles, sensiblement similaires à celles qui ont été dé- crites plus haut, en particulier en liaison avec la figure 2, et elle comprend en outre un système de détection de l'usure de l'électrode sers ble au taux de production de décharges d'usinage. Le système comprend un premier impulseur 30 de signal fournissant une série de premières impulsions de signal correspondant aux impulsions d'usinage d'entrée fournies par la source 8 de puissance à l'intervalle d'usinage G entre l'électrode-outil 1 et la pièce 2. Un second impulseur 31 de signal est connecté à la résistance 19 d'intervalle de manière à fournir une série de secondes impulsions de signal correspondant aux impulsions réelles de décharges d'usinage produites dans l'intervalle d'usinage G. Les pre- mier et second impulseurs 30 et 31 de signal sont reliés respectivement à la première entrée d'une porte ET 32, 33, ces portes étant reliées respectivement par leur seconde entrée à un circuit d'horloge 34 fournissant des signaux de temporisation. Les sorties des portes ET 32, 33 sont fournis à des compteurs 35, 36, respectivement, pré-réglés, qui sont propres à fmurnir des signaux de sortie synchronisés grâce à un accouplement 37, les signaux de sortie étant fournis à un diviseur 38. Ce dernier conduit à un discrimi- nateur 39 qui, quand la sortie du diviseur 38 est supérieure à une valeur de seuil présélectionnée, fournit un signal de sortie qui est appliqué à un circuit 40 de commande. Le circuit de commande 40, quand il est excité, fournit une ou des impulsions d'avance qui sont appliquées pour commander un moteur 114 de compensation de l'usure de l'électrode, tel que décrit plus haut. Au cours d'une opération d'usinage, l'électrode-outil 1, qui peut être un fil d'une épaisseur comprise entre 0,1 et 16 2465551 1 millimètre, une tige ou un tuyau d'un diamètre compris entre 2 et 10 millimètres, et qui est portée par la tête d'outil 18, est avancée verticalement selon l'axe des Z au moyen du moteur 106 de manière à être mise en position de relation d'usinage avec la pièce 2, comme représenté. La table 3 est alors commandée pour avancer la pièce 2 dans un plan X-Y, grâce au moteur 4 de l'axe des X et au moteur 5 de l'axe des Y. Tel que décrit plus haut, les im- pulsions de commande pour les moteurs 4, 5 et 106 sont fournies à partir de la commande numérique 7 sur la base de données pré-programmées définissant les mouvements sou- haités pour le trajet. Un fluide d'usinage par décharges électriques est fourni dans la région de l'intervalle d'usi- nage G, alors qu'une succession d'impulsions électriques d'usinages est fournie à partir de la source de puissance 8 à l'électrode-outil 1 et à la pièce 2. Il en résulte que des décharges électriques sont produites entre le bout ou la surface latérale proche du bout de l'électrode-outil 1 et la pièce 2, de manière à enlever successivement de la matière à partir de la pièce. Comme indiqué plus haut, le fluide d'usinage est de préférence de l'eau distillée ayant une résistivité spécifi- que de l'ordre de 103 à 105 ohm-cm. Il a été noté qu'avec de l'eau d'usinage de ce type, est obtenue une fini- tion de surface sensiblement supérieure à celle que l'on obtient avec du pétrole. La rugosité maximale est ainsi divisée par deux dans des conditions d'impulsions identiques. Par exemple, avec un temps actif d'impulsions de 1 micro- seconde, un temps entre impulsions de 3 microsecondes, et une intensité de courant de crête de 20 Ampères, une rugosité de surface 3 à 4 microns R max peut être obtenue en utilisant de l'eau comme fluide d'usinage. Les moteurs 4, 5 et 106 sont chacun des moteurs à impul- sions ou un moteur à courant continu équipé d'un codeur. Des impulsions de commande peuvent être appliquées à chacun des moteurs à impulsions selon une fréquence fixe, mais de pré- férence selon une fréquence commandée de manière à varier en fonction de l'état de l'intervalle afin que le taux d'avance suivant chacun des axes puisse varier en fonction de ce dernier, comme décrit plus haut. 17 2465551 Au cours dé l'opération d'usinage, une vibration haute fréquence est communiquée à l'électrode-outil 1 au moyen d'un dispositif 9, 10, 11 d'oscillation ultrasonique, comme décrit plus haut. La stabilité d'usinage est ainsi remarqua- blement augmentée et on obtient une vitesse d'enlèvemrtent d'une valeur supérieure à trois fois celle que l'on constate sans vibrations de l'électrode. L'électrode-outil 1 a tendance à s' user à partir de sa partie d'extrémité qui sert de surface d'usinage, et l'usure est particulièrement notable avec une électrode plus fine qui est juxtaposée en relation d'usinage à une grande surface de pièce à usiner. Le système de détection et de compensation de l'usure de l'outil fonctionne comme suit. Le minuteur 34 fournit pé- riodiquement un signal de minutage qui est appliqué aux pprtes ET 32 et 33 pour les activer. Pendant la période d'ac- tivation, les impulsions de signal provenant de l'impulseur de signal d'entrée, passent par la porte 32 et sont appli- quées au compteur 35 pour y être comptées. En m8me temps, les impulsiom de signal représentant les impulsions de décharges à l'intervalle provenant de l'impulseur 30 passent par la porte 33 et sont appliquées au compteur 36 o elles sont comptées. Quand le premier compteur 35 a compté un nombre prédéterminé d'impulsions d'entrée ou de source, il fournit un signal de sortie. Pendantce temps, quand le second compteur 36 a compté un nombre d'impulsions de décharges d'intervalle prédéterminé, il fournit un signal de sortie. Ces deux signaux de sortie sont fournis au diviseur 38 qui fournit alors un signal de sortie représentant le rapport ou la différence de ces deux sorties de compteurs. Alors que l'électrode 1 s'use,la dimension de l'intervalle G entre l'électrode-outil 1 et la pièce 2 augmente, et les décharges d'usinage ont du mal à être provoquées. Ceci est la cause d'une diminution du nombre de décharges par rapport à un nombre sensiblement fixe d'impulsions de source fournies par l'alimentation 8 en puissance par unité de temps. En conséquence, l'impulseur 31 de signal fournit un nombre réduit d'impulsions de signal qui sont comptées par le compteur 36. Le diviseur 38 compare alors les sorties des compteurs 35 et 36 et fournit un signal de rapport qui est 18 2465551 proportionnel à l'usure de l'outil. Quand le rapport est supérieur à une valeur de seuil, le discriminateur 39 four- nit un signal qui excite le circuit de commande 40 qui, à son tour, fournit me impulsion de commande, cette dernière étant appliquée au moteur 114 d'avance de compensation. Les compteurs 35 et 36 sont alors automatiquement remis à zéro et sont prêts pour un cycle de comptage suivant. -A ce stade, les portes 32et 33 continuent à être activées par le signal de minutage provenant du circuit minuteur 34 et les impulsions d'entrée et les impulsions de décharges à l'intervalle peuvent passer et atteindre les compteurs 35 et 36, respectivement, pour y être comptées. Le diviseur 38 continue à fournir le signal de rapport de manière à per- mettre au circuit de commande 39 de fonctionner en continu pour permettre au moteur 114 d'être commandé en continu de manière à réaliser l'avance de compensation de l'électrode- outil 1. Quand la dimension de l'intervalle est réduite du fait de l'avance de compensation d'usure par le moteur 114, le rapport des impulsions de décharges à l'intervalle aux impulsions de source est réduit. Quand ce rapport tombe en dessous de la valeur de seuil, le discriminateur 39 est désactivé pour cesser de commander le moteur 114. Les portes 32 et 33 sont désactivées lors de l'expiratinn du signal de minutage provenant du circuit d'horloge 34 afin de bloquer les impulsions de signal provenant des impulseurs 30 et 31. La figure 11 représente une autre forme de réalisation de l'invention dans laquelle est prévue une unité 41 auto- matique de changem nt d'outil. L'unité 41 comprend un magasin 42 de stockage d'outils présentant la forme d'un disque-sur lequel sont montées de manière amovible plusieurs unités d'électrode-outil la, lb, lc, etc., ayant des configurations d'électrodes différentes, qui peuvent être rondes, triangu- laires,-carrées, etc., et/ou avec des dimensions différentes, chaque unité comprenant un ensemble 9, 10 de vibreur ultra- sonique supportant le corps d'électrode 1, et propres à être portés par la tête d'outil 18, tel que décrit "us haut. Le magasin 42 est pivoté successivement dans des positions de changement d'outil prédéterminées, en réponse à un signal fourni par une unité de commande. Un bras 44 de changement d'outil,avec une pince, est aussi prévu commandé par un signal provenant du compteur 43 de manière à prélever une unité d'électrode usée sur la tête d'outil 18, par exemple l'électrode la, de remettre cette électrode au magasin 42, puis de prélever une unité d'électrode suivante prédéterminàe0 par exemple l'électrode lb dans le magasin et de la monter dans la tête d'outil 18 pour permettre à une opération d'usinage suivante d'être réalisée sur la pièce 2, Une autre forme de réalisation représentée à la figure 12 utilise un ensemble d'outil vibratoire pour surveiller la précision d'usinage d'une pièce avant, pendant et après une opération donnée d'usinage électrique. Tel qoe décrit plus haut, une électrode-outil 1 est supportée rigidement en un accouplement 115 par une corne 9 à ultrasons équipée d'un transducteur, le transducteur étant excité par une source 11 haute fréquence, à sortie variable, pour permettre à l'amplitude de la vibration communiquée à l'électrode- outil d'être réglée de manière variable. La corne 9 est fixée à la tete de machine 18 qui est déplaççble verticalement selon l'axe des Z au moyen d'un moteur 106 alors que la table 3 portant la pièce 2 est déplacée dans un plan X-Y par les moteurs 4 et 5. Un déplacement tridimensionnel est ainsi réa- lisé par les moteurs 4, 5 et 106, de la même manière que pour la forme de réalisation déjà décrite, sous l'action des instructions programmées de la commande numérique 7. Dans cette forme de réalisation, une source de puissance 50 de pilotage, indépendante de la source 8 de puissance d'usinage est connectée à l'intervalle d'usinage entre l'électrode- outil 1 et la pièce au moyen d'une résistance 51 de détection dont les bornes en dérivation sont connectées à un circuit discriminateur 52. Un affichage illustré 53 est connecté d'une part à la sortie du circuit discriminateur 52 et, d'autre part, à une sortie de la commande numérique 7. On considère qu'une opération donnée d'usinage tridimen- sionnel a été réalisée sur la pièce 2. L'électrode-outil 1 est alors animée d'une vibration dont la fréquence est comprise, par exemple, entre 2 et 3 KHz ou 10 à 50 kHz, avec une amplitude comprise par exemple entre 0,1 et 1 micron ou entre 5 et 10 microns, en faisant agir l'ensemble vibratoire 9, 10 et 11. L'électrode-outil 1 est déplacée suivant le contour usiné 2a de la pièce 2, de manière tridimensionnelle, en faisant agir as moteurs d'avance 4, 5 et 106 pour suivre le même trajet que celui qui a été suivi au cours de l'opération d'usinage sous la dépendance des signaux de commande de la commande numérique 7. La fréquence et l'amplitude de la vibration de l'outil sont maintenues constantes à des valeurs qui dépendent d'un degré particulier souhaité pour la précision du contrôle. L'électrode-outil vibrante 1 est alors juxtaposée à la pièce 2 en formant un intervalle de petite dimension moyenne, qui peut, si souhaité, être rempli de fluide d'usinage. L'électrode-outil 1 rentre ainsi en léger contact avec la surface 2a de la pièce,puis perd ce contact, et, pour une fréquence fixe et pour me amplitude donnée de vibrations,, la résistance électrique peut etre détectée en tant que fonction de la position neutre, et donc réelle, de l'électrode-outil 1 par rapport à la surfacé 2a de la pièce. La durée d'approche ou de contact varie proportionnellement à la proximité moyenne et elle-est réfléchie précisément par la résistance électrique contrôlée., Le circuit discriminateur 52 peut présenter un ou plu- sieurs niveau(x) de seuil correspondant à une ou des dimen- sion(s) d'intervalle souhaitée(s), et ainsi un degré ou des degrés de précision d'usinage souhaité(s), et il fournit des sorties discriminées qui sont appliquées à l'unité 53 d'affi- chage illustré. -A l'unité d'affichage 53 sont fournis des signaux de position correspondants au déplacement d'usinage tridimension- nel (X,Y,Z) de l'électrode-outil 1 par rapport à la pièce 2 et, en correspondance de chacune de ces positions, elle enregistre un signal de précision d'usinage discriminé reçu à partir du circuit discriminateur 52. La figure 13 montre une forme de réalisation de l'unité d'affichage illustrée 53, représentée à la figure 12. Une tête d'enregistrement 54 supporte un crayon 55 d'enregistre- ment qui coopère avec un papier 56 d'enregistrement qui est en position fixe et qui est porté par un bras 57 qui peut être exactement déplacé de la même manière que l'électrode- outil 1 est déplacée par rapport à la pièce 2 selon les axes X, Y et Z. La tete 54 stocke dans ses chambres séparées 21 2465551 54a, 54b et 54c, trois encres de couleurs différentes, par exemple rouge (R), jaune (Y) et bleu (B) et elle comprend des clapets indépendants qui sont respectivement associés à ces chambres, les clapets étant actionnés sélec- tivement par des signaux de sortie du circuit discriminateur 52, qui représentent différents degrés de précision d'usinage. Ainsi, par exemple, quand le discriminateur constate une résistance d'intervalle comprise entre 1 et 50 ohms, le clapet (R) est ouvert pour fournir l'encre rouge au crayon 55. Quand une résistance d'intervalle comprise entre 51 et ohms est constatée, le clapet (Y) est ouvert pour fournir l'encre jaune au crayon 55. Quand la résistance d'intervalle est comprise entre 101 et 300 ohms, le clapet (B) est ouvert pour fournir l'encre bleue au crayon 55. Ainsi, sur le papier d'enregistrement 56, est dessinée une courbe 58 par le crayon qui correspond au chemin d'usinage relatif en trois dimensions entre l'électrode-outil 1 et la pièce 2, la couleur pouvant être modifiée localement en fonction des degrés de précision du contour usiné sur la pièce 2, d'un point à un autre. Les parties de la courbe dessinées en bleu représentent le plus grand-i degré de précision d'usinage, les parties dessinées en jaune représentent le degré moyen de précision d'usinage et les parties dessinées en rouge représentent le degré le plus bas de précision d'usinage. Un contrôle extrêmement précis de la précision d'usinage est ainsi obtenu sur le papier d'enregistrement 56, et il peut être utilisé pour réaliser une finition postérieure de la pièce usinée 2. La figure 14 représente une autre forme de réalisation de l'invention qui comprend des moyens pour dresser l'électrode- outil au cours d'une étape donnée d'une opération d'usinage. Dans cette installation, une électrode-outil 501 est fixée à un support d'outil 521 au moyen d'un mandrin 515 et d'une bague annulaire 515a, et le support d'outil 521 est fixé à une tige ou tête 518 de machine qui est déplaçable verticalement ou selcn l'axe des Z. L'électrode-outil 501 et le support d'outil 521 sont coaxialement creux et le dernier présente une entrée de fluide 521a par laquelle un liquide d'usinage, de préférence de l'eau distillée présen- tant une résistivité spécifique telle qu'indiquée plus haut, est fourni sous une haute pression à partir d'une unité de source comprenant me pompe 560a. Le liquide d'usinage circulant ainsi à l'intérieur du support 521 d'outil et de l'électrode-outil 501 est fourni sous une pression élevée supérieure à 5 Kg/cm, de préférence supérieure à 10 Kg/cm, et de façon encore plus souhaitable, supérieure à 25 Kg/cm, dans l'intervalle d'usinage G présent entre l'électrode et une pièce 502 qui est fixée dans un réservoir 561 de travail. Le liquide d'usinage récolté dans le réservoir 561 de travail est retourné à l'unité de source de fluide par une pompe 560b. Le réservoir 561 est porté par une table de travail 503 qui peut être déplacée par des moteurs selon l'axe des X et l'axe des Y (non représentés sur cette figure) afin de déplacer la pièce 502 dans le plan X-Y, tel que décrit plus haut. Un vibreur 562 ultrasonique est fixé ici à une plaque 518a de la tige 518 et il est excité par une source de puissance 562a haute fréquence pour produire une vibration ultrasonique qui est transmise par le liquide d'usinage à la zone de l'intervalle d'usinage G, et par le support 521 d'outil à l'électrode-outil 501. Une source de puissance d'usinage par décharges élec- triques comprend une source 508a de courant continu et un commutateur 508b de puissance monté en série avec l'électrode- outil 501 et la pièce 2. Le commutateur 508b est excité par un impulseur 563 de signal au moyen d'un conducteur 563a pour impulser la sortie de la source 508a de courant continu de telle manière qu'une succession d'impulsions d'usinage sort appliquée en travers de l'intervalle d'usinage G entre l'électrode-outil 501 et la pièce 502. L'unité de dressage de l'électrode porte dans son ensemble la référence 564 et elle comprend une bande-électrode 564a d'une largeur comprise entre 1 et 2 centimètres et d'une épaisseur d'environ 0,1 millimètre qui est alimentée axiale- ment à partir d'une bobine d'alimentation 564b et qui est reprise sur une bobine 564c de reprise, les bobines 564b et 564c étant montées sur une console 564d. Le trajet de circulation de la bande-électrode 564a entre les bobines 564b et 564c de fourniture et de reprise comprend une roulette conductrice de l'électricité 564e,équipée d'une Z465551 brosse 564f, de galets de freinage 564g et 564h, d'une table-électrode 564i de référence,de galets de guidage 564j, 564k et 5641, d'un cabestan 564m et d'un galet d'appui 564n. Le cabestan 564m est commandé par un moteur non représenté pour faire avancer axialement la bande- électrode 564a sur ces éléments. Une source de courant de dressage 565 comprend une source de courant continu 564a et un commutateur de puissance 565b connecté à l'électrode- outil 501 et à la brosse 564f. Le commutateur de puissance 565b est excité par l'impulseur 563 de signeal grace à un conducteur 563b pour impulser la sortie de la source 565a de courant continu, fournissant ainsi une succession de courants de dressage entre l'électrode-outil 501 et la bande-électrode 564a. La figure 15 représente une forme de réalisation modi- fiée pour communiquer une vibration à l'électrode-outil 501. Ici, le support d'électrode 521' est en un matériau magné- testrictif et il comprend une bobine 562' d'excitation qui l'entoure, la bobine étant excitée par une source 562'a de puissance haute fi quence. Dans cette forme de réalisa- tion, est prévue une unité de commande 566, commandée par une commande n umérique non représentée sur cette figure et sensible à une chute de tension détectée par une résistance 566a en série avec la source 508a de puissance d'usinage, et à une chute de tension détectée par une résistance 566b en série avec la source 565a de puissance de dressage. Les amplificateurs 566c et 566d sont connectés entre la résis- tance 566a et l'unité de commande 566 et entre la résis- tance 566b et l'unité de commande 566, respectivement. Dans cette forme de réalisation, l'impulseur de signal de la figure 14 est divisé en un premier impulseur 563' pour exciter le commutateur 508b et en un second impulseur 563" pour exciter le commutateur 565b. L'unité de commande 566 fonctionne sous la dépendance de la commande numérique et elle pilote, par les amplifi- cateurs 566c et 566d_, le courant d'usinage et le courant de dressage, respectivement, elle agit sur les moteurs de - commande d'usinage en trois dimensions, les impulseurs 563' et 563" de signaux et la source 562a de puissance haute fréquence, si bien que ces fonctions individuelles peuvent ttre réalisées avec une efficacité optimale. La vibratinn haute fréquence de l'électrode-outil est utilisée pour stabiliser les conditions d'usinage, comme décrit plus haut, et elle peut servir en même temps pour minimiser, c'est-à-dire pour en améliorer l'uniformité, l'usure de l'électrode-outil 501. On ne peut cependant pas éviter jusqu'à un certain point l'usure de l'électrode-outil 1 et son irrégularité. Pour satisfaire la fonction de dressage, l'unité 564 est ainsi requise. Comme représenté à la figure 16, la table 564i de référence est alors déplacée en dessous de l'électrode-outil 501 pendant que le cabestan 564m est commandé pour déplacer axialement la bande- électrode 564a de telle manière que cette dernière se déplace en contact avec la surface supérieure de la table 564i de référence. L'impulseur 563, par la ligne 563b, ou l'impulseur 563", est actionné pour fermer et ouvrir alter- nativement le commutateur 565b de puissance; l'électrode- outil 501 est déplacée de la position 501' jusqu'à la posi- tion 501" o elle est maintenue pendant une durée prédéter- minée pour que sa face 501a' d'usinage qui a été usée irré- gulièrement, soit dressée selon une surface 501a" plane. Dans une forme de réalisation modifiée représentée à la figure 17, le support d'électrode 620 comprenant une prise 621_ de fourniture de fluide et supportant l'électrode- outil 601 de la manière décrite plus haut, est porté par un bras 618 s'étendant horizontalement et peut-être déplacé verticalement par celuici par rapport à une colonne 618a de la machine. L'électrode-outil 501, comme dans la dispo- sition précédente, est tubulaire et peut avoir un diamètre extérieur compris entre 0,5 et 10 millimètres. De la même manière que pour la forme de réalisation pré- cédente, une unité 644 de dessage de l'électrode est disposée dans le réservoir 561 de travail et a une structure représentée à la figure 18. L'unité 644 comprend une électrode de dressage 644a ayant la formé d'un fil ou d'une bande continue fournie à partir d'une bobine 644b de fourniture et reprise dans un réceptacle 644c après coupe en morceaux 644a' au moyen d'un couteau 6640 après avoir circulé sur des galets de guidage 644j, 644k et 6441, un cabestan 644m et un galet d'appui 644n. Sur le trajet de circulation de l'électrode 2465551 de dressage 644a est prévu un élément 644j de dressage pré- liminaire entre les galets de guidage 644k et 6441. Un frein à ressort 644r est fixé à une partie de support 644s de l'élément 6441 de dressage préliminaire pour appliquer une force de freinage sur la bobine 644b qui est portée par une paire de galets 664t et 664u de support. Ces élé- ments sont disposés dans le-boîtier 664v. Le bottier 664v est ouvert à sa partie supérieure pour permettre l'installation et l'enlèvement de la bobine 664b et la tension de l'électrode-664a en fil ou en bande sur les éléments de guidage, et présente un support 664s fixé dans sa zone supérieure. L'élément 664g de dressage préli- minaire qui est monté sur le support 664s présente à sa surface supérieure une rainure de guidage pour recevoir l'électrode en fil ou en bande 664a; le support 664s est, comme représenté à la figure 19, recouvert à sa partie supérieure par un revêtement 664w d'isolation pour le protéger de l'érosion par décharges électriques. L'électrode en fil ou en bande 664a est tirée à partir de la bobine de fourniture 664b, guidée sur les galets 664i et 664k, passe dans la rainure de guidage du support 664s, sur le galet 6641, entre le cabestan 664m et le galet d'appui 664n et est éventuellement coupée par l'unité de coupe 664o en morceaux 664a' qui sont rassemblés dans le réceptacle 664c. La bobine 664b est montée à rotation sur les galets 664t et 664u, et un couple approprié est appliqué par le frein à ressort 664r. En conséquence, le cabestan 664m étant commandé par un moteur (non représenté), une tension plus grande qu'un minimum choisi est toujours appliquée à l'électrode en fil ou en bande 664a. La face supérieure de l'élément 664g et l'électrode en fil ou en bande qui passe dans la rainure de guidage sur le support 664s sont disposées de manière à être précisément parallèles à un plan de référence d'usinage de la machine. L'ensemble 664 de dressage de l'électrode fonctionne comme suit. La table de travail 503 est déplacée de manière à positionner l'élément 664q afin qu'il vienne immédiatement en dessous de l'électrode-outil 601, puis l'impulseur 563' est actionné. La pompe 560a est commandée pour permettre la 26 2465551 fourniture du liquide d'usinage dans la zone de l'élément 664g pendant que le bras 618 est déplacé vers le bas pour amener l'électrode-outil 601 d'une position 601' à une position 601" de dressage préliminaire. L'élément 664g est alors propre à dresser grossièrement la surface d'usinage 601a usée. Ensuite, le mouvement vers le bas du bras 518 est interrompu et la table de travail 503 est commandée pour le dressage de finition de l'électrode-outil 601 pendant qu'elle est déplacée de la position 601" à une 1o position 601"' tel que représenté à la figure 19 en liaison avec l'électrode de &essage 664a. La figure 20 représente un autre dispositif pour détecter l'usure de l'électrode-outil et commander l'avance d'usinage en trois dimensions de manière à compenser l'usure de l'élec- trode. Dans ce dispositif aussi, la source de puissance 708 comprend une source 708a de courant continu et un commuta- teur de puissance 708b monté en série avec l'électrode- outil 701 et la pièce 702. Le commutateur 708b est commandé par un impulseur 708c de signal via un conducteur 708d pour impulser la sortie de la source 708a, appliquant ainsi une succession d'impulsions d'usinage entre l'électrode- outil 701 et la pièce 702. L'impulseur 708c de signal agit aussi via un conducteur 708e sur un commutateur 719 qui est monté en série avec la source 708a de courant continu et une résistance 719a. Un circuit 719c de détection d'intervalle est sensible à la chute de tension dans la résistance 719a quand chaque impulsion de signal est appli- quée au commutateur 719b pour connecter la résistance 719a à l'intervalle d'usinage G. La table de travail (non représentée sur cette figure) portant la pièce 702 est déplacée de manière tridimensionnelle selon les axes X, Y et Z par des moteurs 704, 705 et 706 équipés de codeurs 704a, 705e et 706a, respectivement, comme décrit plus haut. Une horloge 770 à impulsions est prévue pour fournir uin train d'impulsions d'horloge qui sont dis- tribuées de manière appropriée par une commande numérique 707 aux moteurs de l'axe des X, de l'axe des Y et de l'axe des Z, 704, 705 et 706 d'une façon bien connue dans l'art. A cette fin, des circuits de distribution 771, 772 et 773 ainsi que des circuits d'amplification et de détermination de polarité 774, 775 et 776, sont prévus dans les canaux - d'entrée respectifs des moteurs 704, 705 et 706, comme re- présenté. L'impulseur 708c de signal fournit des impulsions de signal haute fréquence tel que représenté à la figure 22 QA) par le conducteur 708d et des impulsions de signal basse fréquence tel que représenté à la figure 21(B) par le can- ducteur 708e, ces tra ins d'impulsions séparés étant appliqués au commutateur 708b et au commutateur 719bo Chaque impulsion de signal délivrée sur le conducteur 708e (figure 21(B)) est synchrone à une quelconque impulsirn de signal délivrée sur le conducteur 708d.o En l'absence d'une quelconque impulsion sur le conducteur 708e, le commutateur 708b est ouvert et fermé par des imrpul- sions de signal présentes clans le conducteur 708d, de manière à appliquer une série d'impulsions haute tension entre l'électrode-outil 701 et la pièce 702, les impulsions pro- voquant des décharges électriques à l'intervalle dont la tenstion et la forme d'onde du courant sont indiquées par A aux figures 21(C) et 21(D), respectivement. En la présence d'une impulsion dans le conducteur 708d survenant de manière synchrone avec une impulsion dans le conducteur 708d, les deux commutateurs 708be 719b sont fermés et la source 708a est shuntée sur la résistance 719a. En conséquence, l'impul- sion d'intervalle a une tension réduite et une grandeur de courant tel que représenté en B sur les figures 21(C) et 21(D), qui sont incapables de provoquer une décharge d'usinage dans une condition normale d'intervalle. Quand, cependant, l'état de l'intervalle n'est pis satisfaisant, un courant accru se développe en travers de l'intervalle d'usinage G et est détecté en tant que chute de tension accrue par la résistance de détection 719a_. On se réfère maintenant aux figures 22, 23 et 24. Il est intéressant d'observer comment l'électrode-outil subit l'usure au cours d'une opération d'usirage par décharges électriques pour laquelle l'électrodeoutil 701 qui a une forme cylindrique, est utilisée pour usiner une rainure 702a d'une profondeur D s'étendant dans la direction de l'axe des X. On voit que l'espace g latéral de l'intervalle, dans la direction de l'avance selon l'axe des X, est plus 2465551. pâtit que la dimension de l'intervalle G dans la direction verticale ou selon l'axe des Z, et que l' enlèvement de matière à partir de la pièce 702 se fait de manière prédo- minante le long d'une surface semi-cylindrique, et aussi, dans une moindre mesure, le long d'une partie de base, de l'électrode-outil 701 dans la direction de l'avance, laissant dans la pièce une surface 702a usinée. Il en résulte qu'une usure irrégulière 701a se développe sur la surface de l'électrode avec une inclinaison. La confi- guration de cette usure qui se développe quand l'électrode- outil est avancée cns la seule direction de l'axe des X, est aussi représentée à la figure 25 et elle devient com- plexe quand la direction de son avance est modifiée de manière variée. Quand l'électrode-outil 701 est descendue ou déplacée vers le bas (selon l'axe des Z), en un point Q suivant une succession de chemins d'avance comme représenté à la figure 26, puis est reculée(de telle manière qu'est obtenue une profondeur accrue 702c, une inclinaison 702d d'usinage irré- gulière a tendance à se développer sur la surface 702c comme représenté à la figure 24. On voit aussi qu'il y a une différence dans la dimension effective ú de l'intervalle entre l'état représenté à la figure 22 et l'état représenté à la figure 23. Une usure irrégulière de l'électrodeoutil est aussi provoquée sur sa surface cylindrique aussi bien que sur sa partie de base, comme représenté. Ces problèmes sont résolus en avançant de manière compensatoire l'électrode-outil d'une distance d pendant qu'elle est avancée d'un point P' jusqu'à un point Q' à la figure 27, selon un programme prédéterminé quand un changement dans l'état d'usinage n'est pas-détecté par le détecteur 719c, si bien que la partie non usée 701b sur la base de l'électrode-outil représentée à la figure 24 peut être effectivement usinée ou usée. Il est aussi recommandé d'adopter l'un des motifs de trame d'avance représentés aux figures 28 et 29. A la figure 29, les positions A, B, C, D et E et les flèches qui sont associées à ces points, représentent une séquence de chemins devant 6tre suivis. On se réfère à la figure 20. Un système de commande pour 29 2465551 la gouverne des moteurs pas à pas 704 et 705 et un système de commande pour la gouverne du moteur pas à pas 706 sont séparés l'un de l'autre tout en étant associés. Le premier système est sous i dépendance d'un programme de commande numérique pour réaliser une avance de contour dans un plan X-Y tout enflant sensible au détecteur 719c pour réali- ser l'avance de contour à une vitesse telle que la dimension g de l'intervalle soit maintenue constante, comme requis. Le second système est,d'un autre côté, commandé pour réali- ser un mouvement descendant (sur une distance D), jusqu'à un point mort et en outre pour réaliser des petites avances vers le haut et vers le bas selon un mouvement unidirectionnel, ou à trame, selon l'axe des Z. De cette façon, l'usure de l'électrode-outil 701 est grandement égalisée et l'on obtient l'état représenté à la figure 22, comme on le comprendra au vu des figures schématiques 24 à 29. 246555*1 REVENDICATIONS 1. Procédé pour usiner une cavité tridimensionnelle dans une pièce par électro-érosion,caractérisé en ce qu'il com- prend les mesures consistant à: juxtaposer axialement une mince électrodeoutil,ayant une forme, pour l'essentiel, indépendante de la forme de la cavité souhaitée, à la pièce, en ménageant un intervalle d'usinage baigné par un liquide d'usinage; réaliser une succession de décharges électriques entre l'électrode-outil et la pièce au travers de l'intervalle d'usinage pour en-lever par électro-érosion de la matière de la pièce; déplacer relativement de manière tridimensionnelle l'électrode- outil par rapport à la pièce tout en maintenant l'intervalle d'usinage sensiblement constant entre l'électrode- outil et la pièce pour conformer la cavité souhaitée dans cette dernière; et communiquer une vibration à l'électrode-outil alors que cette dernière est déplacée de manière tridimensionnelle au- dessus et par rapport à la pièce. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que lÈlectrodeoutil mince est en un matériau choisi dans le groupe qui comprend le cuivre, les alliages de cuivre, les alliages argent/tungstène et le graphite. 3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'électrodeoutil mince a un diamètre ou une épaisseur compris entre 0,05 millimètre et 1 millimètre. 4. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'électrodeoutil mince a un diamètre ou une épaisseur compris entre 1 millimètre et trois millimètres. 5. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que le diamètre de l'électrode-outil est compris entre 3 millimètres et 5 millimètres. 6. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que le liquide d'usinage est de l'eau ayant une résistivité spécifique comprise entre 103 et 5.106 ohm-cm. 7. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la vibration a une fréquence comprise entre 1 et 100 kHz. 8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que la fréquence est comprise entre 10 et 50 kHz. 31 2465551 9. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la vibration a une fréquence comprise entre 100 kHz et 100 MHz. 10. Procédé Delon l'une quelconque des revendications 7 à 9, caractérisé en ce que la vibration a une amplitude comprise entre 1 et 50 microns. 11. Procédé selon la revendication 108 caractérisé en ce que l'amplitude n'est pas supérieure à 10 microns. 12. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre la mesure consistant à détecter une usure d'usinage de l'électrodeoutil mince pour produire un signal représentatif de celle-ci, et, en fonction de ce signal, d'avancer axialement l'électrode-outil mince, indé- pendammert du déplacement tridimensionnel, afin de compenser ladite usure. 13. Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce que l'usure est reconnue en détectant un changement du type de la vibration communiquée à l'électrode-ouli 1 mince. 14. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que le changement du type de la vibration est détecté en tant que changement de la fréquence de ladite vibration. 15. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que le changement du type de vibration est détecté en tant que changement de l'amplitude de la vibration. 16. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que le changement du type de la vibration est détecté en tant que changement de l'énergie de la vibration. 17. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que l'usure est décelée en mesurant un écho résultant de la réflexion de la vibration par la pièce. 18. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que l'usure est décelée en détectant une onde sonique ou ultrasonique résultant des décharges électriques dans l'intervalle d'usinage. 19. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que l'usure est décelée en pilotant le rapport existant entre le nombre de décharges électriques et le nombre commandé des impulsions d'usinage qui sont appliquées à l'intervalle par unité de temps. -20. Appareil pour usiner de manière tridimensionnelle une cavité dans une pièce par électro-érosion, caractérisé en ce qu'il comprend une mince électrode-outil dont la forme est, de manière générale, indépendante de celle de la cavité souhaitée, et propre à être juxtaposée à la pièce en formant un intervalle d'usinage baigné d'un liquide d'usinage; des moyens de fourniture de puissance pouvant être reliés électriquement à ladite électrode-outilet à la pièce pour réaliser des décharges électriques successives entre elles autravers de l'intervalle d'usinage; des moyens d'avance pour déplacer de manière tridimensionnelle l'électrode- outil par rapport à la pièce et au-dessus de la surface de celle-ci dans laquelle-la cavité souhaitée doit être confor- mée tout en maintenant sensiblement constant l'intervalle d'usinage entre l'électrode-outil mince et la pièce, pour conformer la cavité souhaitée dans la pièce; et des moyens pour communiquer une vibration haute fréquence à l'électrode- outil mince alors que cette dernière est déplacée de manière tridimensionnelle sur et par:rapport à la pièce. 21. Appareil d'usinage par électro-érosion pour réaliser une cavité tridimensionnelle dans une pièce, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens pour mettre en oeuvre le procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 19.