FR 2471617 A1 19810619 FR 7930720 A 19791214 La présente invention se rapporte aux dispositifs -optiques permettant d'engendrer dans un matériau de pro- pagation non-linéaire un rayonnement dont la longueur d'onde est un sousmultiple de-la longueur d'onde d'un autre rayonnement appliqué à ce matériau. Elle concerne plus particulièrement les structures intégrées dans lesquelles les deux rayonnements interagissent non liné- airement en accord de phase au sein d'un guide d'onde obtenu par la diffusion d'ions métalliques depuis la i0 surface d'un substrat. Il est connu de réaliser par diffusion de titane dans du niobate de lithium des guides d'ondes intégrés permettant de convertirpartiel- lement une onde fondamentale en une onde harmonique. Le rendement de conversion d'une telle structure reste fai- ble. En effet, le confinement et la grande longueur d'interaction des ondes ne sont pas les seuls facteurs à considérer pour atteindre un vendement de conversion satisfaisant. Le fait qu'il faille satisfaire à la con- dition d'accord de phase, implique un choix des modes de propagation pour lesquels la valeur de l'intégrale de recouvrement est faible. Pour résoudre le problème que pose le choix des modes susceptibles d'offrir une valeur appropriée de l'intégrale de recouvrement, on a proposé de recouvrir un guide d'ondeen sulfure de zinc au moyen d'une couche d'oxyde de titane. Cette technique ne peut pas s'appli- quer aux guides obtenus par diffusion de titane dans le niobate de lithiumn, car les modes qui réalisent l'accord de phase ont une intégrale de recouvrement faible. En effet, l'accord de phase peut être obtenu entre le mode zéro du fondamental et les modes d'ordre supérieur de l'harmonique. Comme les indices effectifs des deux premiers modes harmoniques sont supérieurs à 247161 7 l'indice effectif du mode fondamental, l'adjonction d'une couche passive à la structure de guidage entraîne un relèvement des indices effectifs, d'o il résulte que le premier accord de phase se produit pour un mode harmonique de rang plus élevé que celui que l'on est à même d'utiliser en l'absence de cette couche passive. En vue de pallier les inconvénients mentionnés ci- dessus, l'invention propose d'appliquer la technique de la couche passive à une structure de guidage pour laquelle la plage d'indice effectif du fondamental est située plus haut que celle de l'harmonique. Cette technique prend pour base une structure de guidage qui ne permet pas d'obtenir directement l'accord de phase faute de recouvrement entre les plages d'indice effec- tif. L'invention a pour objet un dispositif optique non linéaire destiné à engendrer un rayonnement harmonique à partir d'un rayonnement fondamental incident, ces rayonnements étant confinés dans un guide d'onde obtenu en diffusant un ion métallique depuis la surface d'un substrat en'niobate de lithium, caractérisé en ce que l'accord de phase est réalisé en revêtant la face libre du guide d'onde d'au moins une couche passive faisant coincider les indices effectifs d'un mode fondamental de propagation et d'un mode harmonique de propagation offrant une valeur del'intégrale de recouvrement supé- rieure à celle obtenable en l'absence de cette couche passive. L'invention sera mieux comprise au moyen de la description ci-après et des figures annexées,parmi les- quelles: - la figure 1 est une vue isométrique d'un dis- positif non-linéaire associé à une source de rayonne- ment monochromatique; - la figure 2 est un diagramme explicatif; - la figure 3 est une vue- isométrique d'un dispo- sitif optique non-linéaire conforme à l'invention; - la figure 4 est une figurel xplicative. Sur la figure 1, on peut'voir une source de rayon- nement 3 dont la fenêtre de sortie 4 émet un rayonne- ment monochromatique qui se propage parallèlement à l'axe z. Ce rayonnement est renu par un dispositif optique non-linéaire dont la struclure comporte un substrat 10 à la surface 5 duqu llon a délimité par diffusion d'un ion métallique unic.nal de guidage 20. Le substrat 10 est taillé dans up #atériau optiquement non-linéaire tel que le niobate deé lithium. L'ion métal- lique diffusé est choisi de façon que l'indice de ré- fraction n dans la zone diffusée 20 soit supérieur à l'indice de réfraction n du substrat. A cet effet, op s peut envisager une diffusion de titane ou de nickel. Lat zone diffusée est complètement entourée par des milieux moins réfringents et constitue un guide d'onde intégré. Ce guide assure un bon confinement des rayonnements et lorsque l'accord de phase est réalisé, il permet d'obtenir facilement une longue distance d'interaction non linéaire. Il va sans dire que sur la figure 1 les dimensions transversales du guide sont fortement exagérées. Pour illustrer le processus d'interaction, on a schématisé sur la figure 1 la distribution d'amplitude 6 à l'instant t d'une onde fondamentale F de longueur d'onde ÀF L'énergie de cette onde provient de la source 3 et au fur et à mesure qu!elle progresse dans la direction z, celle-ci cède ue partie de son éner- gie à une onde harmonique H de ongueur d'onde X H = k, o k est un entier supérieur à l'unitéS L'onde harmonique H prend naissance au sein du guide d'onde 20 grâce à l'interaction non-linéaire qui s'y produit; elle est schématisée sur la figure i par la distribution d'amplitude 7. Les flèches 8 matérialisent le transfert d'énergie de l'onde fon- damentale vers l'onde harmonique; elles mettent aussi en évidence l'accord de phase qui suppose que les indices de réfraction effectifs des deux ondes soient égaux à l'intérieur du guide 20 pour la di- rection de propagation z. Chacune des deux ondes est susceptible de plusieurs modes de propagation auxquels correspondent des valeurs distinctes de l'indice effectif n. Sur la figure 2, bn a tracé en regard d'une échelle horizontale donnant la valeur de l'indice effectif n des segments 11 à 16 qui matérialisent les plages o peuvent se situer les indi- ces respectifs des ondes fondamentale et harmonique. Les valeurs particulières prises par l'indice pour diffé- rents modes de propagation sont repérées par des traits référencés au moyen des nombres 0, 1, 2... qui représen- tent le rang r du mode propagé. Les plages d'indice Il et 12 se rapportent à un guide d'onde obtenu par diffusion de titane dans un substrat réalisé en niobate de lithium. La plage Il concerne l'onde fondamentale et la plaque 12 concerne l'onde harmonique engendrée par l'interaction non- linéaire. On voit que l'accord de phase est assuré pour l'ordre O du mode de l'onde fondamentale (onde ordinaire) et pour l'ordre 2 du mode de l'onde harmonique (onde extraordinaire). Cette solution classique a pour incon- vénient que la valeur de l'intégrale de recouvrement des modes O et 2 qui réalisent l'accord de phase est faible. Si x est la direction perpendiculaire à la surface du substrat orientée vers l'intérieur (voir sur la figure 3) le profil de champ électrique de l'onde fondamentale peut s'exprimer par Eo (x) et celui de l'onde harmonique par Erk o k est le rang de l'harmonique, r le rang du mode propagé et e la pulsation optique du fondamental. Dans le cas du doublage de fréquence, l'intégrale de recouvrement est donnée par la relation: dNL (x). [Er (x].Er (x) dx... (1) o dNL est l'élément approprié du tenseur de non- linéarité. Pour obtenir une valeur élevée de l'intégrale de recouvrement, il faut choisir un bon profil de mode pour l'onde harmonique qui ait une extension selon x comparable à celle du profil de l'onde fondamentale. Les plages d'indice 13 et 15 se rapportent à un guide d'onde obtenu par diffusion de nickel dans le niobate de lithium. On voit que la plage 13 de l'onde fondamentale n'a pas de zone de recouvrement avec la plage 14 de l'onde harmonique. Il en résulte qu'aucun accord de phase ne peut être obtenu à priori. Les plages d'indice 15 et 16 de la figure 2 se rap- portent à un guide d'onde composite conforme à l'inven- tion. Ce guide composite est réalisé à partir d'un subs- trat en niobate de lithium, dans lequel on a diffusé du nickel et dont la surface est revêtue d'une couche pas- sive d'oxyde de niobium Nb2 05 d'épaisseur appropriée. La plage d'indice 15 de l'onde fondamentale est peu modifiée par rapport à la plage 13 qui concerne le même guide sans la couche passive. Par contre, la plage d'indice 16 qui correspond à l'onde harmonique s'est largement étendue vers la droite. On voit que l'on peut réaliser un accord de phase entre le mode d'ordre zéro de l'onde fondamentale et par exemple, le mode d'ordre 1 de l'onde harmonique. Un tel accord de phase permet d'obtenir une valeur sensiblement plus élevée de l'in- tégrale de recouvrement. Sur la figure 3, on peut voir un dispositif opti- que non linéaire conforme à l'invention. Pour éviter de surcharger cette figure, on n'a pas représenté la source de rayonnement fondamental qui serait par exem- ple, un laser semiconducteur émettant dans le proche infrarouge*- L'interaction non linéaire est confinée dans le guide d'onde 20 obtenu en diffusant du nickel à partir de la face supérieure 5 du substrat 10 en niobate de litihum. Une couche passive 21 d'oxyde de niobium recouvre le guide 20 et peut s'étendre de part et d'autre jusqu'au bord du substrat 10. La couche pas - ve 21 est choisie transparente aux longueurs d'ondes des rayonnements fondamental F et harmonique H; elle doit présenter un indice.de réfraction élevé pour que l'énergie électromagnétique circulant dans le guide y soit convenablement couplée. L'épaisseur e de la couche passive 21 est choisie pour obtenir l'accord de phase désiré. A titre d'exemple non limitatif, en se rapportant au vide pour une longueur d'onde du fondamental X F = 1 /um et pour une longueur d'onde de l'harmoni- que AH = 0,5 1um, on peut adopter un profil d'indice du guide diffusé dans le niobate de lithium donné par l'expression suivante 2 n(x) = ns + à n e a2 avec a = 3 um ns, indice du niobate de lithium En, variation en surface de l'indice. En adoptant une couche passive 21 d'épaisseur e = 0,5 /um en oxyde de niobium, Nb205, on peut obtenir un rendement de conversion de 10 % avec un guide de /um de large et de 1 cm de long. Ainsi donc, une source infrarouge d'une puissance de 20 mW peut en combinaison avec le dispositif qui vient d'être décrit fournir dans le spectre visible une puissance convertie de 2 mW. Le contrôle de l'accord de phase dépend de l'épaisseur e donnée à la couche 21. Afin de rendre plus aisé cet accord, l'invention prévoit de doter le dispositif de la figure 3 d'électrodes 17 et 18 qui encadrent le guide 20. Ces électrodes sont par exemple déposées à la surface 5 du substrat 10 avant d'y déposer la couche passive 21. En reliant les électrodes 17 et 18 à un générateur 19 de tension V réglable, on peut mettre à profit les propriétés électro-optiques du niobate de lithium pour parfaire l'accord de phase. Cette tension peut aussi servir à détruire l'accord de phase, afin de moduler l'énergie lumineuse fournie par la conversion non linéaire. Sur la figure 4, on a représenté une tranche 25 du guide composite de la figure 3 avec le profil d'in- dice n en fonction de la profondeur x sous la surface du substrat et les profils des distributions de champ électrique E. La courbe 22 donne le profil d'indice, la courbe 23 donne le profil du mode d'ordre zéro du rayon- nement fondamental et la courbe 24 donne le profil du mode d'ordre un du rayonnement harmonique. L'intégrale de recouvrement calculée d'après les profils de mode 23 et 24 fournit une va-leur élevée propice à un bon rendement de conversion. L'exemple de réalisation décrit permet de doubler la fréquence du rayonnement incident, mais on peut éga- lement étendre le domaine de l'invention à unemultipli- cation de fréquence d'ordre supérieur ou à la création d'effets paramétriques. Bien que l'on ait décrit dans ce qui précède et représenté sur les dessins, les carac- téristiques essentielles de la présente invention appli- quées à des modes de réalisation préférés de celle-ci, il est évident que l'homme de l'art peut y apporter toute modification de forme ou de détail qu'il juge utiles, sans pour autant sortir du cadre de l'invention. En particulier, la couche passive peut être simple ou composite et être confectionnée avec d'autres matériaux que le Nb2 051 par exemple le Ti. 2 L'interaction non linéaire permet également d'envisager la génération d'un rayonnement qui soit un produit de modulation de deux rayonnements incidents. f REVENDICATIONS 1. Dispositif optique non linéaire destiné à en- gendrer un rayonnement harmonique à partir d'un rayon- nement fondamental incident, ces rayonnements étant con- finés dans un guide d'onde obtenu en diffusant un ion métallique depuis la surface d'un substrat en niobate de lithium, caractérisé en ce que l'accord de phase est réalisé en revêtant la face libre du guide d'onde d'au moins une couche passive faisant coincider les indices effectifs d'un mode fondamental de propagation et d'un mode harmonique de propagation offrant une vale de l'intégrale de recouvrement supérieure à celle obte- nable en l'absence de cette couche passive. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que des moyens électriques d'ajustement dé l'accord de phase sont prévus. 3. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que ces moyens électriques comprennent une source de tension de commande reliée à deux électrodes qui encadrent le guide d'onde. 4. Dispositif selon l'une quelconque des revendi- cations 1 à 3, caractérisé en ce que l'ion métallique est le nickel. 5. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que la couche passive est réalisée en oxyde de niobium. 6. Source de rayonnement comprenant un dispositif optique non linéaire selon l'une quelconque des reven- dications précédentes, caractérisée en ce que le rayon- nement fondamental est produit par une source de rayon- nement monochromatique dont la fréquence est reliée par interaction non linéaire à celle du rayonnement harmo- nique délivré. 7. Source selon la revendication 6, caractérisée en ce que la source de rayonnement monochromatique est un laser à semiconducteur émettant dans l'infra- rouge. 8. Source selon la revendication 7, caractérisée en ce que lé rayonnement harmonique délivré est un rayonnement visible. 9. Source selon.la revendication 6, caractérisée en ce qu'au moins un second rayonnement fondamental produit par une autre source est appliqué au guide d'onde.