FR 2132033 A1 19721117 FR 7209791 A 19720321 72 09791 i 2132033 L'invention concerne un dispositif de revêtement de plaques de grande surface en verre, céramique, matière plastique ou autres matières par pulvérisation cathodique, se composant d'une enceinte reliée à une source de dépression contenant un 5 châssis support pour l'exposition des plaques à revêtir, et de cathodes déplaçables entre les plaques et suspendues à un chariot de transport. Des dispositifs de cette sorte sont connus sous différentes formes d'exécution; avec l'une d'elles (voir le brevet 10 belge n° 658 485), on obtient une disposition telle que les plaques ou carreaux de verre fixés sur un cadre support peuvent être introduits par le haut dans l'enceinte. Plusieurs glissières parallèles sont prévues pour les cadres supports. Ces derniers p peuvent, d'une part être très grands, par exemple 15 m , et sont 15 d'autre part très étroits. Quand ils sont transportés, suspendus aux câbles de grue, ils ne peuvent l'être que très lentement et il y a un danger constant qu'une plaque de verre tombe fortuitement de son support au cours des manipulations, par suite de la déformation élastique et des forces d'inertie. Le cadre support 20 se présente comme un pendule qui doit être saisi par deux personnes et n'être introduit doucement dans l'une des glissières que lorsque l'extrémité du câble de la grue est en position exacte par rapport à la glissière; sinon, le cadre support et la glissière sont sollicités en flexion et desa^ustés. 25 Pour obtenir des temps de charge et de décharge accepta bles pour la chambre à vide, il est absolument nécessaire de transporter le plus possible en même temps et d'introduire dans les glissières disposées à cet effet tous les cadres supports avec leurs plaques. Un pendule de la sorte pesant des tonnes peut 30 toutefois à peine être ralenti à la main. Le changement d'une direction de mouvement dans la direction perpendiculaire apparaît ici comme un inconvénient très grave. Cela nécessite des mesures coûteuses à proportion pour le transport vertical et pour le transport horizontal des cadres supports, sous forme d'installa-35 tions spéciales de grutage, compliquées et d'entretien intensif. Au reste, avec la forme d'exécution connue, les cathodes sont disposées horizontalement dans un chariot de transport qui est à son tour déplaçable verticalement, de sorte que les cathodes sont guidées en direction verticale devant les plaques à revêtir. 40 En outre, le chariot de transport est équipé de qûâTtre axes 72 09791 2 2132033 entraînés, La mise en position des cathodes relativement aux plaques à revêtir conduit à des difficultés avec la forme d'exécution connue, car les plans de guidage pour le chariot de transport ne peuvent être que difficilement ajustés. Les difficultés gran-5 dissent avec une distance croissante entre les axes respectifs, de sorte qu'il ne faut pas s'attendra à obtenir des revêtements impeccables avec des dispositifs de l'espèce connue exécutés à très grande échelle. Une mise en position impeccable ies cathodes relativement aux plaques à revêtir est cependant une condition 10 décisive pour un revêtement uniforme de plaques de grande surface. La présente invention a pour but de rendre possible l'introduction horizontale des plaques à revêtir ainsi qu'une mise en place précise des plaques et des cathodes les unes par rapport aux autres. 15 A cet effet, selon l'invention, dans un dispositif composé d'une enceinte reliée à une source de dépression contenant un châssis support pour l'exposition des plaques à revêtir, et de cathodes déplaçables entre les plaques et suspendues à un chariot de transport, le châssis support présente des rails de 20 guidage supérieurs et inférieurs entre lesquels les cathodes suspendues verticalement dans le chariot de transport en formant un peigne sont déplaçables horizontalement et les cathodes sont guidées d'une part par le chariot de transport mobile sur des rails et d'autre part entre les rails de guidage inférieurs du 25 châssis support. Avec le dispositif selon l'invention.» les plaques à revêtir ou les cadres supports sur lesquels les plaquas sent déployées sont ainsi introduit?: fes l'enceinte, non plus en direction verticale mais en direction horizontale* C^la conduit déjà 30 à une importante amélioration du déroulement des opérations. On peut renoncer à ajouter des installations de grutage spéciales et de grande valeur. La suspension verticale de? cathodes dans le chariot de transport mobixe horizontalement rend possible un ajustement et une mise en position des cathodes par rapport aux 35 plaques sensiblement plus précis, par le fait particulier aussi que les cathodes sont directement; supportées et guidées par les rails de guidage inférieurs installés pour l'exposition des plaques ou des cadres supports. Il existe plusieurs possibilités pour- le reste de la 40 réalisation de l'invention, il est a reec»K«.nçkr Que les rails 72 09791 3 2132033 de guidage supérieurs du châssis support soient disposés sous le chariot de transport et reliés par des longerons à la paroi supérieure de l'enceinte. Néanmoins, la mobilité du chariot n'est pas réduite par ce fait, car les cathodes sont suspendues dans le 5 chariot de transport: en formant un peigne, de sorte qu'elles progressent dans le plan formé par les rails de guidage, dans les intervalles entre les rails de guidage voisins. Les rails de guidage supérieurs sont fixés directement à la paroi supérieure de l'enceinte, leur stabilité n'est pas affectée par le chariot de 10 transport. Selon une autre particularité de l'invention, -l'agencement est tel que les rails de guidage inférieurs du châssis support sont supportés par des consoles disposées sur le fond de l'enceinte et leurs arêtes latérales sont conçues comme guidage 15 pour les cathodes. On obtient ainsi un guidage très précis et crès sûr des cathodes au voisinage des rails de guidage inférieurs. Au reste, il y a intérêt à ce que les rails de guidage soient conçus en forme d'U et présentent, sur les parties internes des arêtes latérales, des tasseaux d'écartement pour les plaques ou 20 leurs cadres supports. On peut ainsi fixer les cadres supports vis-à-vis des cathodes d'une manière exactement définie, tandis que la position des surfaces à revêtir des plaques est déterminée sur le cadre support par des éléments de serrage avec butée d'arête antérieure. 25 Selon une autre particularité de l'invention se rappor tant à la conformation du chariot de transport et des cathodes, ces dernières sont contenues dans des cadres tiroirs du chariot de transport, et les traverses transversales inférieures des cadres tiroirs présentent des rouleaux qui sont guidés entre les 30 arêtes latérales des rails de guidage inférieurs. Les cathodes sont réunies en groupe dans les cadres tiroirs, ce qui est favorable au montage. De cette manière, des cathodes de matières différentes peuvent aisément être réunies l'une à l'autre dans un cadre tiroir et, ainsi, plusieurs couches 35 de matières différentes peuvent être déposées en superposition sur les plaques à revêtir, si les bornes électriques des cathodes individuelles sont connectées d'une manière correspondante. L'invention a principalement pour avantage de permettre d' itiliser un transport horizontal, ce qui est d'une importance 40 considérable pour les plaques er carreaux lourds et de grande 72 09791 4 2132033 surface. En outre, du fait du guidage précis des cathodes suspendues au chariot de transport, donc déplaçables horizontalement en face des plaques, on obtient que le revêtement par pulvérisation cathodique ait lieu d'une manière uniforme; une haute quali-5 té de revêtement est ainsi assurée. La description qui va suivre, en regard des dessins annexés, donnés à titre d'exemple non limitatif, fera bien comprendre comment l'invention peut être mise en pratique. La figure 1 est une coupe longitudinale, par A-A de la 10 figure 2, d'un dispositif de revêtement de plaques de grande surface. La figure 2 est une coupe par B-B de la figure 1. La figure 3 montre une partie de l'appareil représenté figures 1 et 2. 15 Le dispositif représenté sur les figures est composé essentiellement d'une enceinte 1 reliée à une source de dépression, contenant un châssis support 2 pour l'exposition des plaques 3 à revêtir, et de cathodes mobiles entre les plaques 3 et suspendues dans un chariot de transport 4. L'enceinte 1 est fermée à sa par-20 tie frontale par un couvercle 6 fermant d'une manière étanche et présente à sa partie arrière un manchon 7 pour la liaison à la source de dépression. Le châssis support 2 d'exposition des plaques à revêtir 3 présente des rails de guidage supérieurs et inférieurs 8, 9 Qui 25 sont agencés en forme d'U et présentent, sur les parties internes des arêtes latérales 10, des tasseaux d'éeartement ajustables 11 pour les cadres supports avec leurs plaques 3- Les rails de guidage supérieurs 8 sont suspendus à leurs extrémités par des longerons 12 à la paroi supérieure 13 de l'enceinte et s'appuient, 30 dans la partie arrière de l'enceinte 1, sur les rails de guidage inférieurs 9 par une traverse 14. La distance entre la traverse 14 et l'arête antérieure des rails de guidage 8, 9 correspond à la longueur des cadres supports installés de la manière habituelle avec leurs plaques 3. Les rails de guidage inférieurs 9 sont dis-35 posés sur des consoles 15 qui sont en contact direct avec le fond 16 de l'enceinte. Four faciliter le transport dans l'enceinte 1 des cadres supports avec leurs plaques 3, les rails de guidage inférieurs 9 possèdent des roulea.ux 17. Au reste, les arêtes latérales 10*des rails de guidage inférieurs 9 servent de guides aux 40 cathodes 5. 72 09791 5 2132033 Le chariot de transport 4 des cathodes 5 est disposé au-dessus des rails de guidage supérieurs 8 et peut se déplacer sur les glissières 18. Au moins une glissière 18 sert de guide, comme le montre la figure 2. Le chariot de transport 4 comporte ^ un système d'entraînement 19 qui consiste, dans l'exemple décrit, en un système d'entraînement par câble. Le chariot 4 est muni d'une plaque de transport 20 qui présente des encoches dans lesquelles les cadres tiroirs 21 des cathodes 5 peuvent être introduits. La stabilité statique de la plaque de transport 20 est XO garantie par un système d'entretoises 22 qui sont disposées sur la plaque de transport 20, de telle sorte que les cadres tiroirs 21 peuvent être facilement changés par l'ouverture antérieure de l'enceinte 1 sans démontage du chariot 4. Les cadres tiroirs 21 se composent de traverses longitudinales et transversales 23, 24, 15 dans lesquelles on peut installer les cathodes 5 et où des bornes de cathodes 25 et des barres de terre 26 sont prévues. Sur la traverse transversale supérieure 24 des cadres tiroirs 21'sont placées, perpendiculairement aux deux cotés, des plaques de fixation 27 qui reposent sur la plaque de transport 20, à l'introduc-20 tion des cadres tiroirs 21 dans le chariot de transport 4. La position exacte des cadres tiroirs 21 sur la plaque de transport 20 peut être déterminée par les butées 28 pour les plaques de fixation 27. Les plaques de fixation 2J sont fixées, après l'introduction des cadres tiroirs 21, sur la plaque de transport 20 au 25 moyen de vis 29. La haute tension et 13agent de refroidissement nécessaire sont amenés aux cathodes 5 P&ï* les bornes de cathodes 25» Là, parviennent la haute tension et l'agent de refroidissement par le câble à haute tension 30 et les conduits d'agent de refroidissement 30 31 QU1 se déroulent librement entre la paroi de l'enceinte et le cadre de guidage 32 disposé sur le côté du chariot de transport. En fait, les câbles à haute tension 30 se déroulent le long d'un des cotés du chariot 4, tandis que le long de l'autre côté du chariot de transport 4, se déroulent les conduits d'agent de 35 refroidissement 31. Les câbles à haute tension 30 et les conduits d'agent de refroidissement 31 pénètrent dans l'enceinte par des traversées isolantes et étanches au vide. Des plaques de guidage 33 sont fixées en outre au deux cadres de guidage 32 du chariot de transport 4, lesquelles doivent éviter la formation d'un coude 40 par les câbles de haute tension 30 ou les conduits d'agent de 72 09791 6 2132033 refroidissement 31» quand le chariot 4 se déplace dan»? la partie arrière de l'enceinte 1. Des câbles de guidage 34 avec contrepoids 35 garantissent que les câbles de haute tension 30 et les conduits d'agent de refroidissement 31 ne seront pas touchés par 5 le chariot 4. Pour une mise en position précise des eathoaes 5 par rapport aux plaques à revêtir 3» des rouleaux 36 à axe de rotation vertical sont installés sur les traverses inférieures 24 des cadres tiroirs 21 du chariot 4. Ces rouleaux 36 s'appuient contre 10 les arêtes latérales 10 des rails de guidage inférieurs 9 et assurent, en liaison avec le guidage du chsriot 4 sur les glissières 8, le maintien de la distance prévue ^ntre les cathodes 5 et les plaques à revêtir 3. Le gaz de travail pour la pulvérisation cathodique est 15 introduit par un tube 37 dans 1 Enceinte 3 et se partage en deux tubes suspendus horizontalement 38 à la paitie antérieure de eette dernière. Les deux tubes 38 sont percés de telle sorte que le gaz de travail puisse se distribuer uniformément dans l'enceinte 1. La décharge dans le gaz pour la pulvérisation cathodique est 20 amorcée dans la région arrière de l'enceinte 1, derrière la traverse 14. Le véhicule de transport 4 avec les cathodes 5 se met alors en mouvement de va-et-vient entre les plaques 3. La décharge dans le gaz peut être excités au moyen d'une tension alternative à fréquence basse ou élevée, les deux pôles de la source de 25 tension alternative, isolés de la terre, poavsiit être reliis aux cathodes 5 situées les unes à e'oté des autres dans 3eux cadres tiroirs 21, ou aux cabhodes 5 placées les rmes derrière les autres dans un cadre tiroir 21. Au cas où plusieurs cathodes 5 povr matières de revêtement différentes sont installées cïsns un cadre 30 tiroir 21, plusieurs couches de matières différentes peuvent être déposées l'une après l'autre sur les claques 3 par commutation de la tension alternative h l'extérieur de l'enceinte 1. Des plaques incurvées peuvent être revêtues de la même manière, au moyen de cathodes de forme appropriée. 72 09791 7 2132033 REVENDICATIONS 1.- Dispositif de revêtement de plaques de grande surface en verre, céramique, matière plastique et autres matières par pulvérisation cathodique, se composant d'une enceinte reliée 5 à une source de dépression contenant un châssis support pour l'exposition des plaques à revêtir, et de cathodes déplaçables entre les plaques et suspendues dans un chariot de transport, caractérisé par le fait que le châssis support (2) présente des rails de guidage supérieurs et inférieurs (8, 9) entre lesquels 10 les cathodes (5)j suspendues verticalement dans lé chariot de transport (4) en formant un peigne sont déplaçables horizontalement, et que les cathodes (5) sont guidées d'une part par le chariot (4) mobile sur des rails (l8) et d'autre part entre les arêtes latérales (10) des rails de guidage inférieurs (9) du 15 châssis support (2). 2.- Dispositif de revêtement selon la revendication 1, caractérisé par le fait que les rails de guidage supérieurs (8) du châssis support (2) sont disposés sous le chariot (4) et sont fixés par des supports (12) à la paroi supérieure (13) de l'en- 20 ceinte. 3.- Dispositif de revêtement selon la revendication 1 ou 2, caractérisé par le fait que les rails de guidage inférieurs (9) du châssis support (2) sont portés par des consoles (15) disposées sur le fond (16) de l'enceinte et que leurs arêtes lâté-25 raies (10) servent au guidage des cathodes (5). 4.- Dispositif de revêtement selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé par le fait que les rails de guidage (8, 9) sont agencés en forme d'U et présentent, sur les parties internes des arêtes latérales (10), des tasseaux d'écar- 30 tement (11) pour les cadres supports avec les plaques (3) qui y sont fixées. 5.- Dispositif de revêtement selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé par le fait que les cathodes (5) sont contenues dans des cadres tiroirs (21) du chariot (4) et 35 que les traverses inférieures (24) des cadres tiroirs (21) sont munies de rouleaux (36) qui sont guidés entre les arêtes latérales (10) des rails de guidage inférieurs(9).