FR 2131987 A1 19721117 FR 7207018 A 19720301 72 07018 1 2131987 La présente invention concerne une installation de traitement sous vide, comportant deux compartiments qui peuvent être évacués séparément, et peuvent être reliés ou isolés lrun de l'autre au moyen d'une soupape à vide, un dispositif de transport 5 étant prévu entre les deux compartiments pour amener et enlever un support du produit à traiter. De telles installations à vide sont nécessaires pour les traitements sous vide à plusieurs stades, par exemple pour déposer des couches minces par vaporisation sous vide. 10 On connaît déjà des installations à sas de types divers, pour introduire dans un compartiment à vide le support d'un produit à traiter. Les installations de ce genre ont l'avantage de ne pas obliger à supprimer le vide dans le compartiment de traitement, quand on introduit ou enlève le produit à traiter; mais elles sont 15 onéreuse et sont mal utilisées, parce que le temps de traitement est généralement considérable comparativement au temps d'évacua-tion qu'on peut obtenir avec des pompes â grand rendement. La présente invention a pour objet de réaliser une installation permettant d'utiliser de façon beaucoup plus rationnelle une 20 installation à vide qui comporte deux compartiments dans lesquels on peut faire le vide, comme on le verra par la description suivante. Cette installation à vide du genre mentionné ci-dessus, qui est prévue par la présente invention, est caractérisée en ce qu'on prévoit pour le support du produit à traiter une position de trai-25 tement dans chacun des deux compartiments et de plus une position d'évitement dans l'un des deux compartiments, et qu'à chacune des trois positions précitées correspond un dispositif servant à enlever le support sur l'installation de transport. On décrira maintenant un exemple de réalisation de la présen-30 te invention à l'aide des figures jointes, dans lesquelles les figures 1 et 2 représentent cet exemple de réalisation suivant deux coupes perpendiculaires l'une à l'autre. Un premier compartiment de traitement 1 d'une installation à vide peut être vidé par une pompe 3, qui peut être à volonté re-3 5 li4e au compartiment de traitement 1 ou bien isolé de ce compartiment par le conduit 2 au moyen de la soupape 4= Comme on doit effectuer un dépôt par vaporisation sous vide dans l'exeaple décrit, on prévoit dans le compartiment de traitement 1 des appareils de vaporisation 5 et 6 qui, en cours de fonctionnement, reçoivent le 40 courant de chauffage par l'intermédiaire des traversées électri 71 07018 2 2131987 ques 7 et Ô étanches au vide. Au cours d'un dépôt par vaporisation, on place au-dessus des sources de vapeur le support 9 des objets qui doivent recevoir le dépôt; ce support est suspendu à un dispositif de levage 10. Le dispositif de levage 10 est de plus 5 un dispositif qui peut tourner de façon étanche au vide, de façon qu'on puisse imprimer au support 9 une rotation uniforme pendant le dépôt par vaporisation. Pour cela, on emploie le moteur 11 pourvu d'une transmission 12 et installé en dehors du compartiment sous vide. L'installation comporte encore un deuxième com-10 partiment de traitement 13, qui peut être à volonté relié au compartiment 1 ou bien isolé de ce compartiment, au moyen de la soupape à vide 14. Dans l'exemple décrit, on effectue le chauffage préalable, le dégazage et le.nettoyage des surfaces à recouvrir dans le deuxième compartimfent de traitement, avant de procéder au 15 dépôt par vaporisation. On prévoit dans ce but à l'intérieur du compartiment 13 un dispositif de chauffage électrique 15 et les amenées de courant 16. On peut simultanément recouvrir par vaporisation sous vide les objets qui se trouvent sur un support 9 dans le compartiment 1, et soumettre au traitement préalable les objets 20 qui se trouvent sur un deuxième support 9T de même genre à l'intérieur du compartiment 13. On prévoit un appareil de transport pour pouvoir transporter dans les deux sens les objets à traiter ainsi que leurs supports entre les deux compartiments de traitement, comme l'exige le trai-25 tement à exécuter. Dans l'exemple décrit, cet appareil de transport est constitué par un- chariot 17, que l'on peut faire passer suivant les besoins de l'un à l'autre compartiment quand la soupape 14 est ouverte. Ce chariot roule sur des galets 10 accouplés entre eux par exemple par une commande à chaîne, et fixés dans les 30 deux compartiments à des supports 19 avec possibilité de rotation. Ces galets sont entraînés par exemple au moyen de transmissions de rotation 20 qui sont étanches au vide, et du moteur 21 (fig*. 2;. On peut faire le vide dans le compartiment 13 indépenà^mm^ît du compartiment 1, au moyen de la pompe 24 par lrintermédiaire du 35 conduit 22 avec la soupape 23. Ce compartiment comporte un couvercle 21, que l'on peut ouvrir pour pouvoir introduire ou soj■ ir les supports 9 portant les produits à traiter. La fig. 1 îioatr^ le couvercle en position de fermeture 25 (en trait continu) et en position d'ouverture 25' (en pointillé mixte). 40 L'installation décrite est utilisée de la façon suivante. 72 07018 3 2131987 Les produits à traiter, par exemple des lentilles, qui doivent recevoir un revêtement, sont fixés contre la face intérieure du support qui a la forme d'une calotte. La calotte étant chargée est ensuite placée dans la griffe 32 pendant que le couvercle 25 5 est ouvert, puis le compartiment 13 est refermé. Quand on a fait le vide avec la pompe 24, on peut entreprendre le traitement préalable. Quand ce traitement préalable est terminé, on descend le support sur le chariot 17 puis, après avoir fait le vide dans le compartiment 1 (si cela n'a pas été déjà fait), on l'introduit 10 dans ce dernier compartiment par la soupape 14 qui est ouverte. Ensuite, au moyen de l'appareil de levage qui se trouve dans ce compartiment, on l'enlève du chariot 17 et on le place dans la position de dépôt par vaporisation. Le chariot est ensuite ramené dans le compartiment 13, et la soupape 14 est refermée. Ensuite, 15 le compartiment 13 peut être rempli d'air puis, après ouverture du couvercle, recevoir une charge de produit à traiter, qui se trouve sur un support. Quand on a fait de nouveau le vide dans le compartiment 13, on soumet cette deuxième charge au traitement préalable. Le dépôt par vaporisation sur la première charge est 20 effectué simultanément dans le compartiment 1. Après avoir terminé les opérations qui doivent être effectuées dans les deux compartiments, la soupape 14 est ouverte, le chariot 17 est amené dans le compartiment 1, la première charge est déposée sur le chariot par abaissement du dispositif de tenue 10 et elle est introduite avec 25 ce chariot dans le compartiment d'évitement 13, dans la position d'évitement. Dans cette position, la charge est soulevée au-dessus du chariot par l'appareil de levage 36. Le chariot est ensuite amené dans la position 9f, où il reçoit la deuxième charge après descente de la griffe 32, et transporte cette charge dans le com-30 partiment 1. La charge est prise ici par l'appareil de levage 10 et est placée en position de dépôt par vaporisation, comme on l'a décrit plus haut, après quoi le chariot passe dans la position d'évitement dans le compartiment 13, où il prend la première charge et passe dans le position 9'. Dans cette dernière position, la 35 charge est prise par la griffe 32. Après fermeture de la soupape 14 et remplissage du compartiment de sas par un gaz, la première charge peut être extraite du compartiment 13, et une nouvelle charge peut être introduite. Le cycle entier recommence ensuite. De cette façon, le temps 40 total de charge, comprenant normalement le chargement, l'établis I L 72 07018 sement du vide, le traitement préalable, le dépôt par vaporisation, le remplissage en gaz et le déchargement, peut être considérablement réduit. En effet, pendant le dépôt d'une couche sur une charge, une autre charge peut être sassée et subir le traitement 5 préalable, sans qu'on ait besoin d'un sas spécial qui ne pourrait pas être employé pour le traitement, ainsi qu'on l'a montré. En prenant comme exemple l'appareil de levage qui est relié au couvercle, la fig. 2 montre comment cet appareil peut être constitué. Une tige filetée 20, qui est installée en dehors du 10 compartiment à vide, et qui peut être entraînée par le moteur 26 par l'intermédiaire d'une transmission 27 étanche au vide, entraîne par l'écrou 29 les tiges de levage 30 et 31 qui sont reliées à' cet écrou et qui supportent le griffe 32 mentionnée plus haut. On voit sur la figure que le support des objets à traiter est pourvu 15 d'une plaque de retenue 37 à l'aide de laquelle il peut être introduit dans cette griffe quand elle est abaissée. On peut évidemment employer un dispositif de retenue et un appareil de relevage construit autrement. On voit sur la fig. 2 un dispositif hydraulique 33 déjà connu 20 et servant à ouvrir l'installation en relevant là couvercle 25. Ce couvercle est guidé par la tige 34 à laquelle il est fixé par le bras 35. I 72 07018 5 2131987 REVENDICATIONS 1) Installation de traitement sous vide comportant deux compartiments pouvant être vidés séparément et pouvant être reliés l'un à l'autre ou bien isolés l'un de l'autre par une soupape à 5 vide, un appareil de transport étant prévu pour transporter dans les deux sens,un support des objets à traiter, entre les deux compartiments, et cette installation étant caractérisée en ce qu'on prévoit une position de traitement dans chacun des deux compartiments et de plus une position d'évitement dans l'un des deux com-10 partiments pour le support des objets à traiter, et que, à chacune des trois positions précitées correspond un appareil de levage du support par l'appareil de transport. 2) Installation de traitement sous vide conforme à la revendication 1, caractérisée en ce que l'appareil de transport est 15 constitué par un chariot mobile, et qu'on prévoit dets dispositifs de commande pour amener le chariot à volonté dans une position de traitement ou bien dans la position d'évitement. 3) Installation de traitement sous vide conforme à la revendication 1, caractérisée en ce qu'au moins l'un des deux comparti- 20 ments de traitement possède un couvercle pour ouvrir l'installation, afin d'y introduire et d'enlever les objets à traiter, ce couvercle étant relié à un dispositif servant à élever un support des objets à traiter, qui se trouve dans l'appareil de transport. 4) Installation de traitement sous vide conforme à la reven-25 dication 1,caractérisée en ce qu'on prévoit au moins dans un des deux compartiments de traitement un dispositif pour élever un sup~ port des objets à traiter qui se. trouve dans l'appareil de transport ce dispositif de levage constituant également un dispositif d'entraînement en rotation du support pendant le traitement. 30 5) Installation de traitement sous vide conforme à la reven dication 1, caractérisée en ce que chacun des dispositifs de levage peut être actionné séparément depuis l'extérieur du compartiment à vide. o) Installation de traitement sous vide conforme à la reven-35 dication 1, caractérisée en ce qu'un compartiment de traitement comporte une installation de dépôt par vaporisation et l'autre comporte une installation de traitement préalable aux objets qui ioiver.it être traités par vaporisation sous vide.