FR 2132899 A1 19721124 FR 7213020 A 19720413 72 13020 1 2132899 La présente inrention se rapporte aux valves de lumière à déviation électrostatique pour moduler dans l'espace un faisceau lumineux afin de produire une image de forte brillance fonction de l'amplitude de déformation des ondes lumineuses déviables élec-5 trostatiquement. Les écrans de projection de grande superficie ne sont pas d'un usage très répandu en raison de leur complexité, de leur rendement et de leur prix de revient. Le cinescope normalisé est limité en ce qui concerne la superficie ainsi que la "brillance. -10 L'eidophore à huile est l'un des écrans de projection de télévision les plus satisfaisants» Dans ce dispositif, une source lumineur-se extérieure est modulée dans l'espace au moyen d'un film d'huile qui est déformé par un faisceau électronique à l'intérieur d'un tube à rayons cathodiques. Ce dispositif a pour inconvénient sa 15 complexité, son prix élevé, et la détérioration de la cathode par la présence du film d'huile dans le vide. Des surfaces déformables par la lumière, fabriquées en matières réfractaires ou à haute température, ont également été suggérées antérieurement, par exemple celles faisant l'objet des brevets américains n° 2 644- 208 et 20 n° 2 682 010. Ces dispositifs impliquent d'une façon générale le concept de la fabrication de valves de lumière à déviation électrostatique utilisant une mosaïque d'éléments. (Toutefois ces dispositifs ont pour inconvénient la complexité de fabrication et posent certains problèmes de fonctionnement. 25 Plus récemment, une valve de lumière à déviation électro statique a été décrite par J.A. van Eaalte dans un article intitulé "Nouvelle valve de Lumière Schlieren pour Projection de Télévision", paru dans le numéro d'Octobre 1970 de "Applied Optics". La structure décrite dans cet article consiste en un film tendu 30 sur une grille support. ïïn autre type de dispositif utilisant une feuille pratiquement continue pour l'ensemble d'une valve de lumière est décrit dans un article intitulé "Modulateur de Phase à Réseau Optique Spatial", de K. Preston, paru dans le ISSCC Digest des Technical Papers, Volume 11, pages 100-101, 1967. Ces derniers 35 dispositifs posent un problème du fait qu'il est nécessaire d'utiliser une membrane extrêmement mince mise sous tension sur une superficie relativement grande. Des difficultés se présentent 72 13020 B 2132899 pour la manutention d'une telle membrane mince, le maintien d'une tension uniforme sur chaque élément du réseau, du fait de la fatigue métallique associée à l'étirage de la membrane tendue, ainsi qu'en ce qui concerne l'opération de charge qui exige que 5 le faisceau électronique pénètre à travers cette membrane pour charger une surface isolante située sous cette dernière. En outre, la forte tension de la membrane exige des tensions élevées de fonctionnement qui rendent difficiles l'emmagasinage des signaux en raison des fuites de champ élevées. 3 L'invention a pour objet une valve de lumière à déviation électrostatique qui ne présente aucun des inconvénients énumérés ci-dessus. L'invention réside dans une construction de valve de lumière à déviation électrostatique comprenant un réseau d'éléments 5 déformables, espacés, réfléchissant la lumière, supportés chacun sur un pilier d'entretoisement partant d'une embase, cette embase constituant une électrode de potentiel disposée près de la base du pilier. L'invention ressortira mieux de la description qui va sui-3 vre de modes préférés de réalisation de l'invention, en référence aux dessins annexés, sur lesquels t La figure 1 est une représentation schématique d'un dispositif de projection comportant un réseau de valve de lumière à déviation électrostatique selon les principes de la présente in-5 vention ; La figure 2 est une vue agrandie, de face, d'une partie du réseau de la cible de la figure 1, vue du côté canon à électrons; La figure 3 est une vue agrandie, en coupe, d'une partie du réseau de la cible de la figure 1 ; 3 Les figures 4,5>6,7»8 et 9» illustrent les opérations de fabrication de la structure de la cible représentée à la figure 1 ; La figure 10 est un schéma de dispositif optique de projection illustrant une autre forme de réalisation de 1*invention} 5 La figure 11 représente la cible, vue du canon à électrons, du dispositif représenté à la figure 10; La figure 12 est une coupe de l'un des éléments de réseau de la cible de la figure 10; 72 13020 3 2132899 Les figures 13»14»15 ©t 16 illustrent les opérations de fabrication de la cible de la figure 10; Les figures 17»18,19 et 20 illustrent un autre procédé de fabrication de la cible de la figure 1 ; 5 la figure 21 illustre une modification de la cible de la figure 1 ; La figure 22 illustre une modification de la figure 10; Les figures 23*24,25,26 et 27 illustrent le procédé de fabrication de la cible de la figure 22, et 10 Les figures 28 et 29 illustrent une autre forme de réalisa tion de l'invention. La figure 1 illustre un dispositif de projection. Ce dispositif comprend un tube 10 à cible déformable sous l'action d'un faisceau électronique. Une source lumineuse 12 de forte intensi-15 té, par exemple une lampe à arc au xénon de 500 watts, constitue la source lumineuse destinée à l'éclairement ou irrigation de la cible déformable 20 du tube 10. La lumière de la source 12 est collimatée au moyen d'une lentille convenable 14- et réfractée par un miroir en bandes 16, à 45° du type Schlieren. Le miroir 16 20 renferme des bandes alternées de réflexion 17 et des bandes 18 de transmission. La lumière frappant les bandes réfléchissantes 17 est dirigée sur la cible 20 constituée d'un certain nombre d'éléments réfléchissants 22. En 1*absence d'excitation appliquée à un élément réfléchissant 22 du réseau de la cible 20, la lumière est 25 réfléchie en retour par cet élément 22 sur la bande réfléchissante 17 et en direction de la source 12 ainsi que l'indique le rayon 11. L'excitation d'un élément 22 du réseau par le faisceau électronique déforme celui-ci et module la lumière incidente ainsi qh'illustré par les rayons 13 et 15 cL© telle sorte que ces ra-30 yons puissent passer à travers les bandes transparentes 18 du miroir 16 et former une image sur un écran 24 au moyen d'une lentille de projection 26. De la sorte, une image lumineuse se forme sur l'écran 24, correspondant à la déformation des éléments réfléchissants 22 de la cible 20. La déformation des éléments 22 35 correspond au signal vidéo appliqué au faisceau électronique du tube 10 de sorte que l'imagé projetée sur l'écran 24 corresponde à l'information vidéo appliquée au tube 10. Différents dispositifs optiques peuvent être utilisés. 72 13020 4 2132899 On se référera maintenant en détail au tube 10 à valve de lumière à déviation électrostatique. Celui-ci comprend enveloppe 30, laquelle se composte d'un corps tubulaire 32 et d'une base 3^» I La cible 20 est explorée au moyen d'un faisceau électroni-1o que en forme de crayon, convenable, produit par un canon à électrons 40 constitué au moins d'une cathode 42, d'une grille de commande 44 et d'une anode 48. Dans un mode d'application, la cathode 42 est au potentiel de la masse. Un signal vidéo fourni par une source vidéo 45 est appliqué au moyen d'un commutateur 45 à 15 la grille de commande 44 pour moduler le faisceau d'électrons produit par le canon 40 par l'information vidéo» L'électrode ano— dique 48 a pour fonction d'accélérer et de concentrer le faisceau électronique du canon 40„ Une grille d'accélération 50 est disposée entre la cible 20 et elle est connectée au moyen d'un commu— 20 tateur 53 à une source 52 de potentiel d'enregistrement, ou à une source 55 de potentiel d'effacement. La source 52 peut être d'environ 550 à 700 volts positifs par rapport à la masse. La source 55 est d'environ 500 volts par rapport à la masse. Un dispositif de déviation électromagnétique et de concentration, représenté 25 par les bobines 54 et 56, peut être disposé à l'extérieur de l'enveloppe pour assurer la déviation et la concentration du faiscêau électronique en réponse aux tensions convenables qui sont appliquées de la manière bien connue. Le dispositif 10 que l'on vient de décrire est d'une façon générale similaire au tube de prise de 30 vue vidicon classique, à l'exception de la construction de l'ensemble de la cible 20. La cible 20 illustrée à la figure 1 montre seulement quelques uns des éléments réfléchissants 22 du réseau. En pratique, la cible 20 pourrait comprendre jusqu'à deux millions d'éléments 35 réfléchissants 22 du réseau. La figure 2 est une vue de la cible 20 du côté faisant face au canon à électrons 40, et illustre l'agencement des éléments 22. Dans la forme de réalisation particulièrement représentée, les éléments 22 du réseau sont illustrés 72 13020 5 2132899 sous une forme rectangulaire. Il est évident toutefois que leur configuration peut être de tout type décrit, par exemple: circulaire, elliptique ou hexagonale, avec une modification correcte des dispositifs optiques. 5 Les éléments réfléchissants 22 du réseau sont illustrés à la figure 3» dans leur état inchangé, tous reposant dans le même plan. Ces éléments 22 ont une surface en une matière conductrice de l'électricité convenable et réfléchissant la lumière, et peuvent être constitués d'or, d'argent, de nickel, de platine, ou 10 de bioxyde de silicium recouvert d'une mince matière réfléchissante telle que l'aluminium. L'épaisseur de l'élément réfléchissant 22 peut être de 800 à 1500 Angstroms, avec une dimension de 45 sur 70 microns. L'élément 22 est supporté au moyen d'un élément central 62 de matière convenable telle que le silicium. Le 15 pilier 62 peut avoir une dimension en coupe transversale d'environ 9 sur 30 microns et une hauteur d'environ 1,5 à 4 microns. Le fond 38 peut être constitué d'une matière convenable transmettant la lumière telle que le quartz, le saphir, ou une spinelle et il supporte le réseau de la cible 20. Une grille con-20 ductrice de l'électricité 64, que l'on désignera par les termes électrode du plan de fond est disposée sur la surface interne de la fenêtre 38. La grille 64 peut être un mince film de métal approprié tel que l'or ou l'aluminium et peut être transparente aux radiations lumineuses. L'électrode 64 est connectée à une 25 source extérieure de potentiel 66 qui peut fournir à cette électrode un potentiel convenable de fonctionnement d'environ 500 volts. On se référera maintenant aux figures 4 à 9 qui représentent un procédé de fabrication de la cible 20. Le fond 38 en quartz a 30 une épaisseur de trois millimètres, et un diamètre d'au moins 38 mm. Ce fond 38 est nettoyé, dégraissé, et un revêtement de silicium 61 y est déposé ainsi qu'illustré à la figure 4, jusqu'à une épaisseur d'environ 3 microns, par un procédé tel que la pulvérisation. Après application du revêtement de silicium 61, celui-ci 35 est recouvert d'un revêtement 63 de chrome d'environ 200 A d'épaisseur ainsi qu'illustré à la figure 5. Sur ce revêtement 63 est alors appliqué un revêtement 65 d'or d'une épaisseur d'environ 1000 A. Ce procédé peut être réalisé par évaporation ou par 72 13020 6 2132899 placage. Le revêtement 63 de chrome constitue une couche d'adhérence pour la couche de silicium 61» L'opération suivante consiste à former un revêtement 67 de matière photorésistante convenable. Cette couche photorésistante 5 67 est alors exposée à la lumière par l'intermédiaire d'une grille et les parties exposées sont éliminées pour former la couche 67 en mosaïque ainsi que représenté à la figure 6. L'opération suivante est l'attaque de la surface avec un produit convenable tel que l'eau régale suivie de dans un rapport de 10:1, "D afin d'attaquer les parties non protégées des couches 63 et 65 jusqu'à la couche 61 de silicium sans affecter celle-ci. La couche 67 est éliminée, et la structure résultante est illustrée à la figure 7. L'opération suivante consiste à utiliser un produit d'attaque approprié tel que acide nitrique/acide acétique/ÏÏF dans 15 le rapport de 10/25/9» pour entailler par dessous et attaquer la couche 61 de silicium uniformément de tous les cStés des éléments 22 formés par les couches 63 et 65 afin d'éliminer une partie appréciable de la couche 61 et constituer; le pilier 62 ainsi qu'illustré à la figure 8. L'attaque n'affecte pas les couches à sur-2° face spéculaire 63 et 65» ni le fond 380 L'opération suivante de fabrication consiste à déposer l'électrode du plan de fond 64, ce qui peut être réalisé par évaporation à travers la structure de manière à constituer la grille conductrice 64 ainsi que représenté à la figure 9 sur le fond 38. On peut former l'électrode 64 a O 25 en déposant un revêtement 71 d'environ 100 A d'épaisseur de tita- O ne et un revêtement 73 de 100 A d'épaisseur d'or. Les revêtements 71 et 73 sont pratiquement transparents. Les revêtements 71 et 73 sont également déposés sur la couche 63. En effectuant 1*évaporation de l'électrode 64 sous un angle oblique par rapport aux sur-30 faces réfléchissantes 22, on peut obtenir des directions préférentielles de courbure du miroir. Il est évident que l'on pourrait utiliser pour le fond 38 d'autres matières convenables telles que le verre optique, les apinelles et le saphir tant que ces matières transmettent les ra-35 diations d'entrée. Dans le cas d'une spinelle, tel que MgAlgO^, ou du saphir.» on fait croître une couche épitaxiale 61. Ce procédé est décrit dans un article intitulé "Silicium en Film Mincel Préparation, Propriétés, et Application sur les Dispositifs", 72 13020 7 2132899 paru page 1490 du numéro de Septembre 1969 de la Bevue "Proceedlngs of the IEEE". En outre, les éléments 62 peuvent être constitués d'autres matières telles que le nickel, l'argent, le cuivre, l'aluminium, et de diélectriques tels que le bioxyde de 5 silicium. Les éléments réfléchissants 22 peuvent être constitués d'autres matières telles que l'aluminium ou le platine. Il est également possible de fabriquer des éléments réfléchissants 22 en matières isolantes telles que le bioxyde de silicium ou le nitru-re de silicium. Dans le cas des matières isolantes, il est désira-10 ble d'évaporer les matières réfléchissantes sur le support isolant. Les éléments 22 du réseau étant situés sur le fond 38 de quartz transparent, il est possible d'utiliser un dispositif selon lequel le faisceau électronique frappe le côté supérieur de 15 l'élément 22 alors que la lumière est réfléchie par le dessous de celui-ci. Il est naturellement évident que des dispositifs optiques différents pourraient être utilisés pour la projection de la lumière sur la cible 20 et la projection de la lumière réfléchie sur l'écran 24. 20 on décrira le fonctionnement du dispositif représenté à la figure 1 en supposant d'abord que les éléments réfléchissants 22 ne sont pas chargés et se situent dans un plan. La grille 50 est connectée au moyen du commutateur 53 à. la source 52 de potentiel d'inscription d'environ 550 à 700 volts positifs par rapport à la 25 masse. L'électrode 64 est à environ 500 volts positifs par rapport à la terre. Le faisceau du canon à électrons 40 explore la cible 20. 0e faisceau électronique est modulé en connectant la source vidéo 46 au moyen du commutateur 45 à la grille de commande 44. Le potentiel appliqué sur l'élément réfléchissant 22 est d'envi-30 ron 500 volts positifs par rapport à la masse. Le bombardement par le faisceau électronique charge les éléments réfléchissants dans le sens positif. Le potentiel maximal de charge des éléments 22 est le potentiel de la grille 50. Le degré de charge sur chaque élément réfléchissant 22 correspond à l'information vidéo. De cet-35 te manière, une image de charge est inscrite dans l'espace sur le réseau d'éléments 22, selon le signal d'entrée vidéo. L'amplitude de déviation de l'élément réfléchissant 22 correspond au signal 72 13020 8 2132899 vidéo., L'un des éléments 22 de la figure 1 est représenté dévié en réponse à ce signal vidéo. Plus la déviation est forte, plus forte est la lumière réflécMe sur l'image 24. Cette image peut être projetée aussi longtemps qu'on le désire. 5 Pour effacer l'image, le commutateur 4-5 est connecté à une source 4-7 de polarisation continue, et le commutateur 53 est connecté à la source continue 55» Le faisceau électronique charge alors les éléments 22 dans le sens négatif et les ramène au potentiel de la grille 50, c'est-à-dire à 500 volts, le tube est 10 maintenant en état d'effectuer à nouveau l'inscription ou l'enregistrement o La figure 10 illustre un dispositif de projection similaire à celui de la figure 1, mais un dispositif de cible 80 commandé par faisceau électronique modifié remplace la cible 20 de la fi— 15 gure 10 Le dispositif 80 comprend une enveloppe 81 pourvu d'un corps 82 fermé à une extrémité par un fond 84- transparent. Un ensemble de cible 85 obture l'extrémité opposée du corps 82. Un col tabulaire 86 part du corps 82 en faisant un angle d'environ 4-5° par rapport à l'axe de ce corps, et un canon à électrons 87 dispo-20 sé dans ce col dirige un faisceau électronique en forme de crayon sur la cible 85. Un dispositif de déviation, représenté par une bobine 88, assure la déviation du faisceau sur la cible 85 selon ■une trame convenable. La cible 85 se compose d'un support 94- de silicium. Ce sup-25 port 94- consiste en une embase 95 et un certain nombre d'éléments 97 partant de cette embase 95. Chaque élément 97 supporte un élément réfléchissant 99» L'élément 99 est constitué d'une couche 101 de bioxyde de silicium fixée sur le dessus du pilier 97 et d'une couche 103 de matière réfléchissante telle que l'aluminium 30 déposée sur la surface supérieure de la couche 101. Une électrode du plan de fond 102 conductrice de l'électricité, est disposée sur l'embase 95 entre les bases des éléments 97«• Le fonctionnement de ce dispositif est similaire à celui du dispositif représenté à la figure 1. La surface interne de l'enve-35 loppe est pourvue d'une électrode de collecteur 91 qui remplit la même fonction que la grille 50 de la figure 1. Des tensions sont appliquées à la grille de commande 92 et à l'électrode 91, et 72 13020 9 2132899 correspondent à celles appliquées respectivement à la grille de commande 44 et à la grille 50 de la figure 1. La lumière est réfléchie par la même face de l'élément réfléchissant 99 que celle bombardée par le faisceau électronique. 5 Les figures 13, 14 et 15 illustrent un procédé de fabrica tion de la cible 85® On utilise une plaquette 94- de silicium que l'on chauffe à une température d'environ 1000°G pendant quelques heures afin de former une couche 101 de bioxyde de silicium sur l'une des surfaces ainsi que le montre la figure 13. On applique 10 sur la couche 101 un revêtement photorésistant, on l'expose à la lumière et on élimine les parties indésirables. La partie indésirable de la couche 101 de bioxyde de silicium peut être éliminée au moyen de produits d'attaque tels que HF amoindri pour constituer une matrice telle que celle illustrée à la figure 11, et re-15 présentée à la figure 14. L'opération suivante consiste à utiliser un produit d'attaque convenable du support 94 de silicium afin d'attaquer le silicium à la fois entre et sous une partie de l'élément réfléchissant 99 pour former la structure illustrée à la figure 15» Si le revêtement photorésistant n'a pas été élimi-20 né de la couche 101 d'oxyde de silicium, on l'élimine à ce moment et l'on évapore alors un revêtement de matière conductrice tel que de l'aluminium sur l'ensemble de la cible afin de former un revêtement réfléchissant 103 sur la surface supérieure de la boucle 101 de bioxyde de silicium, et également afin de constituer 25 l'électrode 102 sur l'embase 95 du support 94 à la base des éléments 97 de silicium. La cible représentée à la figure 12 présente un inconvénient du fait que le silicium est utilisé aussi bien comme support 94 que pour l'élément 97. Le découpage du silicium dans le sens hori-30 zontal à partir du bord des éléments réfléchissants 99 provoque également une attaque identique vers le bas dans le support et détermine la distance comprise entre l'élément réfléchissant 99 et l'électrode 102. Si l'espacement entre l'élément 99 ©t l'électrode 102 est grand, la tension qui est alors nécessaire pour 35 obtenir la déformation voulue peut être forte. Il peut alors être désirable dans ce cas d'augmenter l'épaisseur de l'électrode 102 afin de réduire l'espacement entre celle-ci et l'élément réfléchissant 99. 72 13020 2132899 Les structures que l'on rient de décrire ont pour avantage de permettre la fabrication des éléments réfléchissants 22 et 99 avec une seule opération de masquage, sans nécessiter de processus d'alignement du matériau photorésistant. Ce procédé convient 5 à la production en "grande série, à l'impression par projection optique avec peu de défauts, à l'usage de l'industrie. Un avantage supplémentaire réside dans la possibilité de déposer les électrodes de plan de masse 64, 102, à proximité immédiate des éléments réfléchissants 22, 99» pour éviter que l'inscription ef-10 fectuée par le faisceau électronique se fasse sur le diélectrique de la cible. Ceci est compatible avec les grandes vitesses d'ins-? cription ainsi qu'avec une haute résolution, et peut être utilisé dans des modes de réalisation de la transmission afin d'éliminer le cycle d'effacement distinct. 15 Les figures 17, 18 et 19 auxquelles on se référera mainte nant, représentent un autre procédé de fabrication d'une cible convenable du dispositif réprésenté à la figure 1. Une plaquette 110 de spinelle d'environ 0,50 mm d'épaisseur est utilisée, puis une couche épitaxiale 112 de silicium d'environ 4 microns d'épais-20 seur est formée de la manière précédemment décrite. Le dispositif est ensuite traité dans une atmosphère d'oxygène à une température d'environ 1100°G pour former une mince couche 114 de bioxyde de silicium d'environ 6200 AngstrBms d'épaisseur sur la couche 112 de silicium. Cette structure est représentée à la figure 17. 25 L'opération suivante consiste à déposer une matière photorésistante sur le dessus de la couche 114 de bioxyde de silicium, puis à l'exposer et éliminer la partie indésirée du matériau photorésistant. La couche 114 de bioxyde de silicium est alors soumise à une attaque convenable par HF tamponné pour former le revêtement 114 5° en mosaïque ainsi qu'illustré à la figure 18, et constitué d'un certain nombre d'éléments 116. Les éléments 116 dans cette forme de réalisation sont circulaires. La couche photorésistante est alors éliminée et la structure est profondément attaquée dans une solution de 25 parties de HNO^, iO parties d'acide acétique, 3 35 parties de HF, pendant environ 1 minute 1/2, puis l'attaque est brusquement arrêtée dans l'eau, et un rinçage est effectué. La structure ainsi obtenue est illustrée à la figure 19. On peut voir 72 13020 11 2132899 sur cette figure que la couche épitaxiale 112 de silicium est attaquée, mais que la couche 110 de spinelle n'est pas affectée. De cette manière, la couche 112 de silicium peut être éliminée sur une distance appréciable sous 1*élément 116 afin de former un pi-5 lier 118 tout en maintenant la distance désirée entre cet élément 116 et le support 110 de spinelle sur lequel l'électrode du plan de fond est formée„ L'opération suivante de fabrication consiste à évaporer un revêtement réfléchissant 120 sur l'élément 116 de bioxyde de sili-10 cium, ainsi qu'un revêtement conducteur 122 sur la couche de spinelle qui forme l'électrode du plan de fond. Cette opération peut s'accomplir ainsi qu'illustré à la figure 20, en effectuant 1'éva-poration au moins de trois sources différentes. Le dépôt ainsi obtenu sur le support 110 de la spinelle est illustré à la figure 15 21o Le dépôt résultant sur le support 110 de spinelle forme une zone de revêtement 124 sous un côté de l'élément 116 au moyen de la source A. ïïn revêtement est formé sur la zone 126 diamétralement opposée au revêtement 124, au moyen de la source C. La source A déposera un revêtement 128 sur l'élément 116 et chevauchant 20 ies revêtements 124 et 126. Il en résulte un revêtement relativement épais dans l'intervalle séparant les éléments 116 de sorte que si le revêtement 128 n'est pas sensiblement transparent à la lumière, cela ne posera pas de problème. Les revêtements 124 et 126 sous les éléments réfléchissants 116 sont pratiquement trans-5 parents en raison de leur faible épaisseur. Le revêtement 122 résultant assure un axe de flexion ainsi qu'indiqué par le trait interrompu D0 L'axe se situe dans le plan passant par le centre de l'élément 118 et il est symétrique autour de ce plan. La direction de la flexion des éléments est donc fixe ce qui simplifie le dis-30 positif optique de Schleiren. Il est évident naturellement que l'axe de flexion des éléments 117 doit être agencé de manière à être parallèle aux bandes réfléchissantes 18 du miroir de Schleiren 16. Si les revêtements 124 et 126 formés par les deux sources A et C sont d'environ 50 Angstrffms, ils seront pratique-35 ment transparents à la lumière. Le revêtement réfléchissant 120 comprend les revêtements formés par les sources A et C ainsi que par la source B. La source B peut former un revêtement de 200 72 13020 12 2132899 AngstrSms donnant tua pouvoir de réflexion adéquat aux éléments réfléchissants 116, Les dispositifs que l'on vient de décrire concernent principalement deux de ces dispositifs dans lesquels l'information 5 vidéo est enregistrée dans la matrice réfléchissante au moyen d*un faisceau électronique. La figure 22 illustre schénsatiquement un dispositif dans lequel un réseau réfléchissant 130 est commandé au moyen d'une image lumineuse 132 focalisée sur le réseau 130 et qui module la déformation de ce dernier de manière correspondant 10 au signal d'entrée lumineux. En référence maintenant à la figure 22, l'image lumineuse d'entrée 132 est dirigée au moyen d'une lentille appropriée 134 et d'un obturateur 136 sur une cible à réseau réfléchissant 130. Les dispositifs optiques et de projection ont été précédemment décrits en réSrence à la figure 10. 15 Les figures 23, 24, 25, 26 et 27 illustrent la fabrication du réseau réfléchissant 130. Une plaquette 140 de spinelle est utilisée. Un revêtement conducteur transparent 142 est déposé sur une surface de la plaquette 140, au moyen d'une matière convenable O telle qu'une couche d'oxyde d'étain d'une épaisseur de 20 A# Sur 20 cette couche conductrice 142, on fait croître une couche 144 de type N de silicium jusqu'à une épaisseur d'environ 4 microns. La structure ainsi obtenue est représentée à la figure 23. L'opération suivante de fabrication consiste à diffuser une matière convenable telle que le bore dans la couche N 144 de silicium afin 25 de former une région P+ 146 sur la surface de la couche 144. Cette région P+ 146 peut alors être oxydée pour former un revêtement 148 de bioxyde de silicium. Cette structure est représentée à la figure 24. L'opération suivante consiste à former un revêtement photorésistant sur le revêtement 148, à l'exposer puis à en élimi-30 ner les parties indésirées, et ensuite à attaquer la couche 148 de bioxyde de silicium au moyen d'une matière convenable telle que HF tamponné afin de former un certain nombre d'éléments rectangulaires 150 de bioxyde de silicium. La structure ainsi obtenue, le matériau photorésistant étant éliminé, est illustrée à la fi-35 gure 25. L'opération suivante consiste à attaquer la surface supérieure de la structure avec un produit convenable tel que 25 parties de HNO^, 10 parties d'acide acétique et 3 parties de H3?,. 72 13020 13 2132899 qui attaque les couch.es de silicium 14-4- et 14-6 afin d'éliminer la quantité désirée de ces couches» La structure ainsi obtenue est représentée à la figure 26. Il se forme ainsi des éléments 152 qui renferment la jonction P-N 154. L'opération qui suit con-5 siste à déposer un revêtement 156 d'aluminium sur les éléments 150 de.bioxyde de silicium jusqu'à une épaisseur de 500 AngstrSma La structure ainsi obtenue constitue l'élément réfléchissant 156 du dispositif. Le revêtement conducteur transparent 14-2 fait fonction d'électrode plane de fond. 10 La lumière dirigée sur le réseau réfléchissant 130 par la scène 132 modifie la conductivité de la jonction 154- formée entre les régions 144- et 14-6 de type P et F, d'où s'ensuit l'établissement d'une charge sur l'élément réfléchissant 150, provoquant ainsi une déviation,, Cette charge appliquée sur l'élément réfléchis-15 sant fuit par la jonction P-ïf jusqu'à l'électrode 14-2. Le canon à électrons 133 peut être utilisé pour ramener la totalité des éléments 156 au potentiel d'équilibre désiré. Les figures 28 et 29 illustrent un dispositif dont le réseau réfléchissant 160 est commandé par un dispositif conducteur élec-33 trique X-Y. La figure 28 indique les électrodes X 162 de matière conductrice déposée sur une base de verre sur laquelle sont formées des fenêtres ouvertes 166, ainsi que représenté. L'opération suivante de fabrication consiste à disposer une couche de silicium sur le réseau X 162, suivi par le dépôt d'une couche réfléchis-25 santé convenable, et d'une attaque de cette couche sous la forme des éléments conducteurs Y 168 ainsi que le montre la figure 29. La couche de silicium est éliminée par attaque de manière à laisser seulement les éléments de support 170. L'application d'une tension par les sources 172 et 174 à un conducteur X choisi et à 50 un conducteur Y choisi 162 et 168 effectue la déviation de la partie de l'élément T 168 au point de croisement avec le conducteur X 162. Des dispositifs de commutation 176 et 178 sont utilisés pour appliquer les tensions aux conducteurs sélectionnés. La lumière fournie par une source similaire à la source 12 et des dis-35 positifs optiques similaires à ceux représentés à la figure 1 peuvent être utilisés. 72 13020 w 2132899 REVENDICATIONS 1. Structure de valve de lumière à déviation électrostatique, caractérisée en ce qu'elle comprend un réseau d'éléments réfléchissant la lumière, déformables, espacés, supportés chacun 5 par un élément entretoise partant d'une embase, cette embase formant une électrode de potentiel disposée à proximité de la base de cet élément d*entretoise. 2. Structure selon la revendication 1, caractérisée par le fait que cette embase est choisie dans les matières du groupe 10 comprenant le silicium, le quartz, le verre, le saphir et les spinelles. 3. Structure selon la revendication 1 ou 2, caractérisée par le fait que les éléments d*entretoises sont choisis dans un groupe de matières comprenant le silicium, l'aluminium, le cuivre, 15 l'argent, le nickel et le bioxyde de silicium. 4. Structure selon la revendication 1, 2 ou 3, caractérisée par le fait que les éléments réfléchissant la lumière sont choisis parmi les matières du groupe comprenant l'aluminium, le platine, le titane, l'or et le cadmium. 20 5» Structure selon la revendication 1, 2 ou 3, caractérisée par le fait que les éléments réfléchissants sont constitués par un support de bioxyde de silicium et d'un revêtement réfléchissant le métal. 6. Structure selon la revendication 1, caractérisée par le 25 fait que l'embase est constituée d'une matière choisie dans le groupe comprenant le saphir et les spinelles, et que l'élément d'entretoise est constitué de silicium. 7» Structure selon l'une quelconque des précédentes revendications caractérisée par le fait que l'élément d'entretoise a 30 une coupe transversale sensiblement inférieure à celle de l'élément réfléchissant et est situé au centre de cet élément réfléchissant. 8„ Structure selon l'une quelconque des précédentes revendications caractérisée par le fait que les éléments réfléchissants 35 sont rectangulaires et que les éléments d'entretoise ont une coupe transversale de forme rectangulaire. 9. Structure selon l'une quelconque des revendications 1 à 72 13020 2132899 7, caractérisée par le fait que les éléments réfléchissants sont circulaires et que les éléments d'entretoise ont une coupe transversale circulaire. 10„ Structure selon l'une quelconque des précédentes reven- 5 dications caractérisée par le fait que l'électrode de potentiel s'étend sous les éléments réfléchissants pour constituer sous ceux-ci un revêtement non uniformément réparti. 11. Dispositif à valve de lumière à déviation électrostatique caractérisé en ce qu'il comprend une enveloppe à vide pourvue 10 d'un canon à électrons et une structure de cible de valve de lumière selon l'une quelconque des précédentes revendications, cette cible étant supportée par une fenêtre d'entrée transparente à la lumière, l'électrode de potentiel étant commune à la totalité de ce réseau d'éléments réfléchissants disposé sur cette fenêtre 15 d'entrée à la base des éléments d'entretoise, l'électrode de potentiel fonctionnant à un potentiel fixe, des moyens pour explorer par un faisceau électronique produit par le canon à électrons les éléments réfléchissants afin de déposer sur ceux-ci une charge çpi en effectue la déviation, des moyens pour diriger la lumière à 20 travers cette fenêtre d'entrée sur les éléments réfléchissants et des moyens pour former une image représentant la lumière réfléchie par ces éléments et correspondant à leur déviation. 12. Dispositif de valve de lumière selon la revendication 11, caractérisé par le fait que le degré de déformation des élé- 25 ments réfléchissants est déterminé par la différence entre le potentiel de ces éléments et celui de l'électrode de potentiel. 13. Dispositif de valve de lumière selon la revendication 11, caractérisé par le fait que chaque élément d'entretoise comprend un dispositif photosensible répondant aux radiations d'en- 30 trée pour en modifier la résistance et changer ainsi la charge appliquée sur les éléments réfléchissants» 14,. Dispositif de valve de lumière selon la revendication 13, caractérisé par le fait que le dispositif photosensible est une jonction P-N. 35 15. Dispositif de valve de lumière selon la revendication 11,12,13 ou 14, caractérisé par le fait que l'électrode de potentiel est constituée d'un revêtement appliqué sur les superficies 72 13020 16 2132899 du support exposées au canon à électrons, et s'étend également sous les éléments réfléchissants pour constituer sous ceux-ci un revêtement non uniformément réparti. 16. Dispositif de valve Se lumière selon la rev«ndication 5 15» caractérisé par le fait que ce revêtement non uniformément réparti sous l'élément réfléchissant assure une déviation symétrique autour d'un plan perpendiculaire à cet élément et passant par le centre de 1*élément d'entretoise0 17o Procédé de fabrication d'une structure de valve de lu-10 mière à déviation électrostatique, selon la revendication 1, consistant à utiliser un support d'une première matière, à appliquer sur ce support un revêtement d'une seconde matière pour constituer des éléments d'entretoise, à appliquer sur ce second revêtement un revêtement d'une troisième matière pour constituer les élé-15ments réfléchissants, à appliquer sur le troisième revêtement un revêtement photorésistant et à l'exposer aux radiations à travers un dispositif approprié pour constituer une mosaïque d*éléments photorésistants correspondant à ces éléments réfléchissants, à traiter cette structure avec un premier produit d'attaque afin 2D d*éliminer certaines parties de la troisième couche entre les éléments de la mosaïque photorésistante sans affecter pratiquement la seconde couche, à traiter cette structure avec un second produit d'attaque auquel la seconde couche est susceptible afin d'éliminer celle-ci entre les éléments réfléchissants ainsi également 25 que sous une partie de ceux-ci pour former les éléments d'entretoise situés entre les éléments réfléchissants et le support, le second produit d'attaque n'affectant pas les première et troisième couches, et à évaporer une matière conductrice d'électricité sur la surface du support faisant face aux éléments réfléchis-J) sants. 18. Procédé de fabrication d'une structure de valve de lumière à déviation électrostatique selon la revendication 6 consistant à utiliser un support en spinelle, à former un revêtement de silicium sur le support en spinelle, à former un certain nombre 35 d'éléments réfléchissants sur la surface du revêtement de silicium, à attaquer le revêtement de silicium afin d'éliminer la totalité du silicium entre les éléments réfléchissants et le support sauf 72 13020 17 2132899 en ce qui concerne les éléments d'entretoises situés au centre et supportant les éléments réfléchissant sur le support, et à évaporer une matière conductrice de l'électricité sur la surface du support faisant face aux éléments réfléchissants.