FR 2110218 A1 19720602 FR 7135696 A 19711004 71 35696 2110218 La pré-sente invention concerne de manière générale la réalisation des circuits intégres, et plus précisément la connexion des composants à l'aide d'un système mettant en oeuvre une force électromagnétique, soit pour le maintien des compo-5 sants, soit comme force réglée avec précision destinée à former une connexion. L'apparition des dispositifs électroniques à semi-conducteurs formés de circuits intégrés a provoqué le développement de nombreuses techniques d'association de fils métalliques 10 à des surfaces métallisées de semi-conducteur^ pour assurer la connexion des dispositifs. Parmi ces techniques, on connaît la soudure par thermocompression, notamment du type à bille et coin, qui met en oeuvre une pression et une température réglées avec précision pour assurer une déformation plastique et une 15 diffusion de la matière pendant un temps réglé. D'autres techniques d'association sont la liaison pç.r ultrasons, le soudage par fusion ou par apport d'un espace/limite5 parallèles, le soudage au laser, 1'associatioi^ar impulsions thermiques, ainsi que la soudure par forgeage, par revêtement et par compression. 20 En même temps qu'il fallait associer simultanément un grand nombre de bornes ou de connexions, comme cela est bien connu dans la technique, notamment des connexions de faisceaux de fils, de dispositifs planaire^ de châssis à fils enrobés et d'autres-dispositifs transférés, la distance entre les fils a notable-25 ment diminué et il est devenu de plus en plus important de respecter les tolérance. 30 force de serrage destinée à maintenir les pièces avant ou pendant / soit le cycle d'association, / une force qui est elle-meme un paramètre du'procédé d'association. Les diverses techniques d'association ont des impératifs particuliers pour l'action de serrage ou pour le paramètre de force, mais le facteur commun et gé-35 néral est un contact amélioré et réglé avec précision dans la zone d'association. 71 35696 2 2110218 Il est souhaitable de régler totalement la force de l'outil, qu'elle soit fixe ou variable, pendant toute la durée du cycle d'association. Lorsqu'on améliore le réglage de la force, on améliore de même la qualité et la reproductibilité 5 de l'association. Ces caractéristiques sont souhaitables en tous les cas, mais elles sont très importantes dans les cas où on doit traiter des forces très diverses associées à d'autres paramètres variables. De nombreux mécanismes destinés à exercer une force des 10 appareils d'association et de soudage de la technique antérieure sont purement mécaniques, et créent une force unique prédéterminée grâce à- des poids ou à des ressorts réglables. D'autres dispositifs connus impliquent la mise en oeuvre de programmes à force variable, un signal de contre-réaction régulant la force. 15 De tels systèmes sont cependant de grande dimension étant donné la technique des circuits intégrés, et il y a une réduction de la précision du réglage lorsqu'augmente le déplacement de l'outil . Lorsqu'on doit associer en permanence deux ou plusieurs 20 pièces par soudage, thermocompression, fusion, soudage par reflux ou par d'autres techniques, il faut normalement une source externe d'énergie pour créer la liaison. On utilise couramment de nombreux types d'énergie, suivant la techniquejet notamment des radiations infrarouges. Bien qu'on ait décrit un grand nom-25 bre de dispositifs de focalisation dans le passé, aucun ne convient à la réalisation de circuits intégrés dans lesquels on doit limiter les radiations appliquées à une faible surface (de l'ordre de 1,2 à 2,5 mm) où on doit simultanément créer une température constante et réglable et une force d'association des 30 pièces. L'invention concerne un système perfectionné mettant en oeuvre une force électromagnétique. Plus précisément, elle concerne un appareil destiné à la réalisation de connexions de circuits intégrés, et comprenant une source de radiations infra-35 rouges destinée à un chauffage, un objectif destiné à focaliser les radiations de la source, une surface dudit objectif destinée à être au contact du circuit intégré et laissant passer les 71 35696 2110218 radiations focalisées, et un dispositif destiné à appliquer une force mécanique sur l'objectif, celui-ci transmettant la force et la chaleur au circuit intégré. L'invention concerne aussi un procédé de réglage dynamique de l'énergie appliquée à un outil d'association utilisé dans la réalisation de circuits intégrés, caractérisé en ce qu'on déplace l'outil de manière à l'amener au contact de la pièce à circuit intégré sous la commande de signaux prédéterminés provenant d'un générateur de programme de fabrication, on détecte la force exercée sur la pièce par l'outil, on détecte le déplacement de celui-ci, dû à la déformation de la pièce, on compare les signaux représentatifs de la force et du déplacement détectés avec des signaux de référence créés par le générateur de programme, et on fait varier l'énergie fournie à l'outil en fonction des signaux fournis par le comparateur, de manière à modifier de façon dynamique les paramètres de fabrication du circuit. Dans le mode de réalisation préféré de l'invention, l'appareil d'association par thermocompression comprend une source de chaleur placée dans un système optique et mécanique, combiné à un mécanisme de commandai'une force, ce dernier assurant la stabilité grâce à une commande de contre-réaction indépendante du déplacement de l'outil. Le système optique et mécanique comprend une source de chaleur, un dispositif de focalisation et un-objectif d'association. Les radiations de la source sont collimatées, condensées et dirigées vers la lentille d'association. La disposition de celle-ci est telle que les radiations ne sont focalisées que sur la zone d'association. La face inférieure plane de l'objectif lui-même est au contact des pièces. Ainsi, l'objectif est aussi l'élément mécanique qui transmet la force de maintien aussi bien que la force de compression de l'association. Le paramètre de force de la liaison par thermocompression est assuré par un système réglable à contre-réaction, mettant en oeuvre une force électromagnétique. Bien qu'on puisse utiliser plusieurs types de bouts de soudage et d'autres outils avec le système de réglage de la force, dans un mode de réalisation préféré, l'appareil comprend un outil comportant un objectif venant au contact de la zone d'asso- 71 35696 4 2110213 dation et sur lequel tombent les radiations infrarouges qu'il focalise en fournissant l'énergie thermique nécessaire à la formation de la liaison. La vitesse de déplacement du support du système, la force de l'outil, son déplacement et son éner- 5 gie (c'est-à-dire l'énergie thermique, vibratoire ou autre de l'outil) sont variables et on peut les programmer les uns par rapport aux autres en fonction du temps. En changeant d'outils ou en utilisant le même outil fixé à la plaque de montage, on peut forger à froid les pièces avant de les. associer, on peut 10 les associer avec une force croissante ou décroissante au cours d'une formation de pépites ou on peut les associer par forgeage I grana en mettant en oeuvre un programme qu'on peut répéter un/nombre de fois. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention res 15 sortiront mieux de la description qui va suivre, faite en référence aux dessins annexés sur lesquels : la figure 1 représente un appareil d'association de circuit intégré mettant en oeuvre l'ensemble à tête active de l'invention ; 20 la figure 2 est un schéma d'un bout à ultrasons qu'on peut utiliser avec le système à force électromagnétique de l'invention j la figure 3 est une coupe d'un appareil de l'invention, et elle montre l'ensemble à tête j 25 la figure 4 est une coupe suivant la ligne 4-4 de la fi gure 3 et elle montre la disposition de l'enroulement qui forme le champ et du noyau replié en fer ; la figure 5 est un diagramme montrant le déplacement de l'outil en fonction de la force, dans le cas de l'invention 30 (courbe du bas) et de la technique antérieure (courbe du haut) ; la figure 6 est une coupe schématique de l'ensemble optique et mécanique de thermocompression de l'invention ; la figure 7 représente de façon détaillée l'objectif de la figure 6 ; 35 la figure 8 est une coupe de l'objectif suivant la ligne 8-8 de la figure 7 ; et 71 35696 5 2110218 la figure 9 est un diagramme synoptique du système de commande. La figure 1 représente un mécanisme d'association destiné à la réalisation de circuits intégrés. Une tête 5 à force 5 électromagnétique est fixée à un support 14. Celui-ci est associé par un mécanisme classique 16 de déplacement à un dispositif d'entraînement représenté sous forme d'un moteur électrique 18. Celui-ci rapproche ou éloigne la tête 5 de la surface 20 de travail, en direction verticale, et par l'intermédiaire du méca-10 nisme 16. Un outil 30 d'association est fixé à une plaque 50 de montage. On a représenté l'outil 30 comme directement monté au-dessus d'une pièce comprenant un circuit intégré ultra-mince 22 destiné à être associé aux éléments 24 de connexion d'un substrat 26. Celui-ci peut comprendre d'autres éléments à circuits 15 intégrés. On a représenté sur la figure 1 l'outil 30 comme étant un élément de chauffage par résistance. Le courant électrique nécessaire au chauffage parvient par des conducteurs 32 et 33 d'une alimentation convenable non représentée. La figure 2 représente une variante dans laquelle l'outil 20 30 fixé à la plaque 50 de la tête 5 est un appareil d'association par ultrasons. L'outil 30 reçoit cette énergie d'une alimentation (non représentée) par des conducteurs 34 et 35, un transducteur 40 et un cornet 38. On peut utiliser d'autres types d'outils, le seul critère à respecter étant la fourniture d'énergie par 25 l'outil à la pièce. La figure 3 est une coupe de la tête 5 de la figure 1. La tête comprend un boîtier supérieur 8 et un boîtier inférieur 12. Un organe 55 de base muni d'un orifice central 53 et d'un prolongement 54 est fixé au boîtier 8. Une chambre annulaire 58, placée 30 à l'intérieur de l'organe 55, permet la circulation d'un fluide de refroidissement, qui peut être de l'eau. Un raccord 56 permet la pénétration de l'eau de refroidissement dans la chambre 58, depuis une réserve extérieure non représentée. Un second raccord (non représenté) permet l'évacuation de l'eau. Un enroulement 60 35 de révolution,destiné à créer un champ et ayant des conducteurs électriques 62,est fixé à l'organe 55 en en étant isolé électriquement. Les fils 62 passent dans un orifice du boîtier 8 et 71 35696 2110218 rejoignent une source convenable de courant électrique, par exemple une source 162 qu'on^eut programmer en tension (figure 9). Un noyau mobile/70 en forme de coupelle et replié, comprenant un organe central 72, une extrémité fermée 74 et une 5 paroi latérale 76, est concentrique à l'enroulement 60 autour duquel il se trouve. Le noyau 70 constitue l'élément entraîné du système à force électromagnétique. Les composants de l'organe axial central de la tête sont fixés au noyau 70. La figure 4 est une coupe suivant la ligne 4-4 de la fi-10 gure 3 et elle montre la disposition des divers composants constituant l'élément actif logé dans le boîtier 8 de la tête 5. Le noyau qui comprend la paroi latérale 76 et l'organe central 72 est concentrique à l'enroulement 60. Celui-ci est enroulé autour du prolongement 54 de l'organe de base et il en est séparé 15 par une couche 52 d'isolement électrique. Celle-ci peut être en , une toute matière convenable ayant/ conductibilité thermique élevée,' par exemple en résine époxyde chargée. Le prolongement 54 est de / une préférence en matière non magnétique ayant/ conductibilité thermique élevée et destinée à dissiper rapidement la chaleur créée 20 par l'enroulement 60 dans l'eau de refroidissement de la chambre 58 de l'organe de base. Sur la figure 3, on note un ensemble 80 constituant un transducteur de déplacement comportant une partie fixe 81 solidaire du boîtier 8 et un détecteur mobile 82. Des fils 83/trans-25 mettent les signaux en tension représentatifs du déplacement, fournis par le détecteur 82, partent de l'ensemble 80. Le détecteur 82 est fixé par un axe 78 et un prolongement 75 à l'extrémité fermée 74 du noyau 70. Le prolongement 75 coulisse dans un palier lisse 77 fixé au boîtier 8. 30 Une jauge de contrainte 100 est fixée à l'extrémité in férieure de l'organe 72 du noyau 70 par une tige 88. Celle-ci comporte un radiateur axial 86 à ailettes au voisinage de la chambre 58 qui l'entoure. L'eau qui circule dans la chambre 58 absorbe la chaleur par conduction depuis la bobine 60 qui est le 35 générateur principal de chaleur, mais aussi par radiation depuis le radiateur 86.qui est en contact thermique avec le noyau 70. Ainsi, la température de l'élément reste constante grâce à la 71 35696 7 2110218 circulation rapide de l'eau, et la force ne varie pas du fait de variations de température. La jauge 100 comprend un transducteur 98 de force et un boîtier 94. Des flasques supérieur 91 et inférieur 92 dépassent 5 du boîtier 94 et ils sont mobiles avec l'organe axial, tout en pouvant coopérer avec des flasques annulaires fixes 95 et 97 qui dépassent de la face interne du boîtier 12. Les flasques sont tournés vers l'axe central de la tête. Ils sont fixes lors du fonctionnement, mais on peut les régler en les vissant. Le flas-10 que fixe 95 coopère avec le flasque mobile 91 du boîtier 94 en formant une butée supérieure qui limite la remontée de l'organe axial de la tête. Le flasque fixe 97 coopère avec le flasque 92 du boîtier du transducteur et forme une butée inférieure qui limite la descente de l'organe axial. Des joints toriques 93 jouent 15 le rôle d'amortisseurs. Des fils métalliques 90 transmettent les signaux représentatifs de la force détectée par le transducteur 98 et passent dans des orifices convenables des boîtiers 94 et 12. Un arbre 96, fixé à une extrémité du transducteur 98, passe dans un orifice du 20 boîtier 94. L'autre extrémité est fixée à une barre transversale 44. L'arbre 96 est coaxial à un ressort 42 dans lequel il passe. Ce dernier se loge entre un siège 99 de l'extrémité inférieure du boîtier 94 et un guide réglable 43. Celui-ci est vissé dans le boîtier 12. L'arbre 96 passe dans un orifice central du guide 25 43 au-dessous duquel se trouve la barre transversale 44 à laquelle est fixé l'arbre 96. La barre 44 porte aussi deux guides cylindriques 46 qui coulissent dans des paliers lisses 48 à l'extrémité inférieure du boîtier 94. La plaque 50 sur laquelle on monte l'outil est fixée aux guides 46. 30 La force créée par l'ensemble comportant le noyau électro magnétique se propage donc directement par l'intermédiaire du transducteur 98, de l'arbre 96 et des guides 46, jusqu'à l'outil fixé à la plaque 50. Le déplacement du transducteur 98 est négligeable. Des conducteurs électriques passent dans des orifices 35 des boîtiers 12 et 94 et relient le transducteur 98 au système à contre-réaction. Les fils électriques relient l'ensemble 80 au système à contre-réaction. Les fils 62 permettent le passage du 71 35696 2110218 courant destiné à créer un champ électromagnétique dans l'enroulement 60. L'élément actif dans la tête 5 es-tyie noyau 70 entraîné par 11 enroulement 60. Le noyau 70 assure la dispersion de la 5 magnétisation qui s'oppose à la magnétisation souhaitable créant une force, en présentant un trajet de faible résistance à son extrémité 74, où la variation de l'induction magnétique est la plus élevée. L'élément fournit en conséquence une force d'intensité moyenne (comprise entre 0 et 6,8 kg force) relativement in-10 dépendante du déplacement relatif du noyau 70 et de l'enroulement 60. La force est donnée par l'équation suivante : B A (NI) 1 Fa = 1 ; pour 0 4 x / x (4R + 12)1/ 2(1-x) ^ 2 dans laquelle, dans le système MKS : 15 F est la force en newtons, est ~ r . B /l'induction magnétique du noyau saturé, S NI est le nombre d'ampère^tour dans l'enroulement, 1 est la longueur de l'enroulement, R est le rayon de l'enroulement, 20 A est la section du noyau, et x est le décalage du noyau par rapport à sa position entièrement introduite. La figure 5 montre graphiquement les avantages du dispositif de l'invention, comparés à ceux de dispositif gâe la techni-25 que antérieure. La force fournie par lès dispositifs de la technique antérieure est donnée par la formule suivante : U (NI)2 Fa ——■—~~ pour 0 ^ x / — 41T x [(l-xJ+U^x] ^ 30 les symboles ayant la même signification, mais î U est la perméabilité de l'air, et o r ' est la perméabilité relative du noyau. 71 35696 9 2110218 La figure 5 montre la stabilité de la force obtenue selon l'invention, la courbe donrn.nt les variations de la force en fonction du déplacement de l'outil. L'échelle des abscisses correspond aux multiples de la longueur de l'enroulement. Dans le 5 mode de réalisation préféré décrit, celui-ci a une longueur d'environ 5 cm. Une plage utile de déplacement est de l'ordre de 1,2 mm, ou de 0 à 0,25 1, 1 étant la longueur de l'enroulement. Le diagramme représente en ordonnées la force normalisée. Le facteur de normalisation est arbitraire et on le choisit 10 uniquement par commodité. Ce facteur est la fonction F(x) pour la 1 valeur x = tjj- ou F .. , F(x) , normalisée = j / l-1 15 La courbe inférieure de la figure 5 montre les varia tions de la force exercée par l'élément de l'inventiofi en fonction du déplacement de l'outil. On choisit un noyau dont la perméabilité U^ est égale à 1000. Dans la plage pratique de déplacement; comprise entre 0 et 0,25 1, la variation de la force norma-20 lisée est négligeable, car elle est inférieure à 0,2. Dans la même plage, la courbe correspondant au dispositif de la technique antérieure montre que la force varie dans un rapport supé- 3 v 4 rieur à 10 d'environ 12 à plus de 10 . La figure 6 représente schématiquement une coupe de l'en-25 semble d'outils d'association par thermocompression selon un mode de réalisation préféré de l'invention. Une source classique de radiations infrarouges collimatées comprend une lampe infrarouge 102, un réflecteur parabolique 104 destiné à çollimater les radiations et un condenseur 105. La source peut se déplacer 30 avec l'outj.1 (par exemple grâce au mécanisme 1b de la figure 1). L'ensemble lui-même comprend un organe 108 de montage fixé à la plaque 50. L'organe 108 porte un chariot cylindrique 110 comportant un orifice 109 Par lequel passent les radiations collimatées. Un réflecteur 112 monté dans le chariot 110 fait descendre les 35 radiations dans celui-ci vers une surface hémisphérique 128 d'une lentille 130. Une pièce à circuit intégré du type représenté 71 35696 2110213 sur la figure 1 est au contact d'une surface plane 132 de travail de la lentille 130. La pièc^eut avoir une configuration très variée, nécessitant des liaisons multiples ou uniques. La pièce comprend un substrat 26 en toute matière convenable, par 5 exemple en polyimide. Elle est montée sur la surface 20. Les éléments 24 de liaison peuvent être en cuivre ou en toute autre matière conductrice associée à l'élément 22 à circuit intégré. La lentille 130, représentée sur la figure 6 en position d'association, focalise les radiations infrarouges dans la région 10 de l'association, en fournissant ainsi l'énergie thermique destinée à terminer la liaison par thermocompression. Dans ui> exemple d'opération, on fixe l'ensemble à outil comportant la lentille 130 à un mécanisme convenable de transport, tel que la tête décrite. On met en place les pièces, on 15 amène la lentille au contact d'une pièce, on applique une force convenable et on allume la source de radiations infrarouges pen--dant un temps prédéterminé. A la fin de ce temps, l'association est terminée et on arrête la source infrarouge, puis on éloigne le chariot de la pièce. 20 La figure 7 montre les caractéristiques et les détails de la lentille 130 de l'invention. Il faut que la lentille limite les radiations appliquées à une petite région (de l'ordre . . /économiquement de 0,6 a 1,3 mm) et qu'on puisse changer lqteone active/pour traiter des liaisons très diverses. On choisit pour la lentille 25 un verre ou une matière analogue ayant une absorption pratiquement nulle pour le spectre infrarouge. La lentille de la figure 7 est obtenue par usinage d'une tige cylindrique, avec formation de la face hémisphérique supérieure 128. Le foyer f' de la lentille se trouve à l'intérieur. Elle possède des côtés inclinés 30 usinés 134 qui limitent les dimensions de la surface inférieure à celles de la zone d'association. Les côtés 134 sont meulés mais non polis. Ils assurent une dispersion, supprimant la lumière parasite. La surface 132 peut se trouver à une distance du foyer f' calculée pour donner un point circulaire de diamètre 35 choisi sur la surface 132. La figure 7 par exemple montre trois plans de travail 132a, 132b et 132c^ correspondant à un point circulaire de diamètre de plus en plus petit, et inférieur à 71 35696 2110218 celui de la surface 132 d'origine. La figure 8 est une vue de dessous de la lentille 130 et elle montre la surface 132, et les côtés inclinés 134 et le cercle 131 de radiations focalisées. La lentille 130 satisfait aux conditions suivantes, n étant l'indice de réfraction de l'air et n' celui de la matière de la lentille : 1. Loi de Gauss pour les surfaces sphériques uniques : n s s ' 10 n' f ' ou f ' r n' - n r n' r n* - n c'est-à-dire s = oo 2 te & - — - n' ~ n - 1_ IL-15 g 2 " f' ~ n' ~ 1 n' ou P = 2 tg~1 (1 - La figure 9 est un diagramme synoptique du système de commande à contre-réaction en circuit fermé de l'invention. Les 20 éléments représentés sous forme de rectangles,vers la droite de " la tête 5, sont des circuits électriques et électroniques classiques. Par exemple, le rectangle 150 est un générateur de programme de position et peut être un appareil de commande numérique ou analogue comprenant des circuits numériques logiques, un appa-25 reil électromécanique ou une combinaison de tels dispositifs. C'est le montage des différents éléments qui coopèrent avec la tête 5 et l'outil 30 qui constitue une caractéristique de l'invention, et non pas les circuits séparés utilisés. Sur*la figure 9, la tête 5 comportant un bout ou outil 30 30 approprié se déplace vers une pièce 21 portée par une surface 20, sous l'action du mécanisme d'entraînement représenté par le rectangle 17, lorsqu'il reçoit un signal de commande d'un générateur 150. Lorsque l'outil vient au contact de la pièce, un signal du transducteur 80 passe par les fils 83 et atteint un compa-35 rateur 152. Celui-ci fournit un signal d'erreur par comparaison 71 35696 2110218 du signal provenant du transducteur avec un signal de référence provenant du générateur 150. Le signal d'erreur passe dans le générateur 150 par le fil 151. Le générateur, lorsqu'il reçoit le signal d'erreur du comparateur 152, peut supprimer le signal 5 de commande du mécanisme 17. Lorsque le comparateur 152 fournit un signal d'erreur, le générateur 150 peut aussi déclencher le déroulement d'un programme en envoyant un signal au générateur 156 de programme de force par le fil 157. Le générateur 156 transmet un signal de force à la source 10 162 à tension programmée qui commande l'élément 65 en lui envoyant du courant par les fils 62 à un moment prédéterminé en • fonction du programme de position ou de force. Un signal créé au moment convenable par le générateur 150 ou le générateur 156 et parvenant au circuit 170 de commande d'outil, assure la com-15 mande de la source d'énergie 172 pour l'outil. Cette source 172 fournit de- l'énergie à l'outil 140 par des fils 174 et 175 • Le fil 174 représente le passage de l'énergie électrique ou thermique et le fil 175 le passage d'énergie vibratoire ou mécanique. Le transducteur détecte la force appliquée à l'outil par l'élé-20 ment 65 (par l'intermédiaire du transducteur 98) et un signal de contre-réaction parvient au comparateur 154 par les fils 90. Le signal analogique en tension du transducteur 98 parvient au comparateur 154 qui assure la comparaison avec un signal de référence fourni par le générateur 156. Le signal obtenu passe au 25 générateur 156 par le fil 153. Les faibles déplacements de l'outil provoqués par la déformation de la pièce sont détectés par le transducteur 80 et un signal de contre-réaction du transducteur 80 passe par le fil 83 et parvient aujç&omparateurs 1 52 et 154. 30 II faut noter l'asymétrie totale du système de l'inven tion. Les signaux de contre-réaction de chacun des transducteurs 80 et 98 passent aux deux comparateurs 152 et 154 Les sorties de ces comparateurs passent aux deux générateurs, de position et de force. Ces deux générateurs échangent dos signaux de commande 35 par le fil 157. Le signal de sortie de la source 162 peut être créé, modifié ou supprimé par un signal de position ou un signal de force. Le signal que fournit le circuit 170 peut être créé, 71 35696 2110213 modifié ou supprimé par les signaux provenant de l'un des deux générateurs 150 ou 156. Le mécanisme 17 répond au signal de commande fourni par le générateur 150 qui peut à son tour recevoii-un signal de commande du comparateur 152, du comparateur 154 ou 5 du générateur 156. Ainsi, on peut obtenir selon l'invention une variété infinie de programmes de force, de position et d'énergie d'outil. On va maintenant décrire, en se référant aux figures 3, 6 et 9, un exemple de programme d'association par thermocompres-10 sion. Après fixation de l'ensemble d'association par infrarouge à la plaque 50, on règle le guide 43 de manière à équilibrer le poids de l'organe axial par la force du ressort 42. On règle alors la butée 97 de manière que le joint torique 93 soit au contact de la bride 92 du boîtier 94. On règle alors le flasque 15 supérieur 91 pour laisser un déplacement total d'environ 6,4 mm pour l'organe axial. Si on suppose qu'on veut un programme d'association à charge préalable, le générateur 156 transmet un signal convenable à la source 162 de manière que la force ait la valeur voulue indiquée par le signal de sortie du transducteur 20 98, comparé à un signal de référence dans le comparateur 154. Le générateur de programme de force envoie un signal au mécanisme mécanique d'entraînement qui abaisse la tête. Lorsque la lentille vient au contact de la pièce, l'organe axial de la tête se déplace et le transducteur 80 note ce déplacement. Le signal de contre -25 réaction du transducteur, reçu par l'un des comparateurs 152 ou 154, assure l'arrêt du mécanisme mécanique d'entraînement. Le générateur de programme de force fournit alors un signal qui commande la mise sous tension de la source de radiations infrarouges. Celle-ci fonctionne soit pendant un temps déterminé, en 30 fonction du programme de force, soit jusqu'à la réception d'un signal de contre-réaction fourni par le transducteur de déplacement. Lorsque l'association est réalisée, le transducteur 80 contrôle dynamiquement le déplacement minuscule de la lentille, dû à la déformation de la pièce. Dès que cette formation est dé-35 tectée, la source de radiations infrarouges est mise hors tension et le mécanisme 17 reçoit un signal de commande et élève la len 71 35696 2110218 tille et la tête en les éloignant de la pièce. Il est bien entendu que l'invention n'a été décrite et représentée qu'à titre d'exemple préférentiel et qu'on pourra apporter toute équivalence technique dans ses éléments constitutifs sans pour autant sortir du cadre de l'invention, qui est défini dans les revendications annexées. 71 35696 2110218 REVENDICATIONS 1. Appareil d'association destiné à la réalisation de circuits intégrés, caractérisé en ce qu'il comprend une source de radiations infrarouges destinée au chauffage, une lentille 5 destinée à focaliser les radiations de la source, une face de la lentille étant au contact du circuit intégré et assurant le pas- /et , x sage des radiations focalisées,/un dispositif destine a appliquer une force mécanique sur ladite lentille, la force et la chaleur étant transmises au circuit intégré par cette lentille. 10 2. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que les radiations de la source sont focalisées à l'intérieur de ladite lentille. 3. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que les radiations focalisées sortant de ladite face délimitent 15 un dessin de dimension limitée à celle de la zone d'association sur ladite face. 4. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que la lentille comprend un barreau de verre portant une face hémisphérique à son extrémité opposée à la face destinée à être 20 au contact du circuit intégré, les côtés étant de préférence inclinés entre la face hémisphérique et la face de contact. 5. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que la lentille comprend au moins un coté incliné voisin de la -face de contact, le coté ayant de préférence une face meulée 25 destinée à supprimer les radiations parasites. 6. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dispositif destiné à appliquer une force comprend un dispositif destiné à régler dynamiquement ladite force. 7. Appareil d'association par thermocompression, destiné 30 à la réalisation de circuits intégrés, caractérisé en ce qu'il comprend une source de radiations infrarouges destinée au chauffage, une lentille destinée à focaliser les radiations provenant de ladite source, une face de la lentille étant au contact du circuit intégré et assurant le passage des radiations focalisées, 35 et un dispositif destiné à appliquer une force mécanique à ladite lentille qui transmet la force et la chaleur au circuit intégré de manière à former une association par compression. 71 35696 2110218 8. Procédé de réglage dynamique de l'énergie appliquée à l'outil d'association utilisé dans la réalisation des circuits intégrés, caractérisé en ce qu'on fournit de l'énergie à l'outil de manière qu'il vienne au contact d'une pièce comportant un cir-5 cuit intégré, sous la commande de signaux prédéterminés fournis par un générateur de programme de réalisation, on détecte la force appliquée à la pièce par l'outil, on détecte le déplacement de l'outil provoqué par la déformation de la pièce, on compare des signaux représentatifs de la force détectée et du dépla-10 cernent détecté avec des signaux de référence fournis par le générateur^ et on fait varier l'énergie fournie à l'outil en fonction des signaux de sortie du comparateur de manière à modifier dynamiquement les paramètres de réalisation du circuit. 9. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce 15 qu'on fournit à l'outil de l'énergie sous forme thermique ou combinée thermique et vibratoire. 10. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'on fournit à l'outil de l'énergie sous forme de radiations infrarouges, l'outil comprenant une lentille destinée à focali- 20 ser les radiations et dont une face est destinée à être au contact de la pièce, ladite face assurant le passage des radiations focalisées• 11. Système à force électromagnétique comportant une commande à contre-réaction et destiné à la réalisation de cir- 25 cuits intégrés, caractérisé en ce qu'il comprend un outil d'association d'une pièce à circuit intégré, un dispositif électromagnétique destiné à appliquer une force audit outil, un dispositif destiné à détecter la force appliquée à l'outil, un dispositif destiné à détecter le mouvement de l'outil lors de la dé-30 formation de la pièce, un dispositif commandé par le dispositif de détection de déplacement et destiné à fournir de l'énergie d'association à l'outil,/un dispositif commandé par le dispositif de détection de force et le dispositif de détection de déplacement et destiné à modifier la force et l'énergie fournies à 35 l'outil en fonction d'un programme prédéterminé de réalisation. 12. Système selon la revendication 11, caractérisé en ce que le dispositif destiné à fournir de l'énergie à l'outil fournit 71 35696 2110218 de l'énergie vibratoire ou de l'énergie vibratoire et thermique combinée. 13. Système à force électromagnétique, comportant un dispositif de commande à contre-réaction et destiné à la réali-5 sation de circuits intégrés, caractérisé en ce qu'il comprend un enroulement destiné à créer un champ électromagnétique, un dispositif destiné à fournir du courant électrique à l'enroulement, un organe actif axialement mobile et comprenant un nojrau replié en fer, un transducteur de déplacement et un transducteur de force, 10 tous deux fixés au noyau, un outil fixé à l'organe mobile, et un dispositif destiné à faire varier le courant fourni à l'enroulement sous la commande de signaux provenant des transducteurs de déplacement et de force de manière à assurer la commande de la force appliquée à l'outil. 15 14. Système selon la revendication 13,. caractérisé en ce qu'il comprend de plus un dispositif destiné à maintenir le système à une température choisie, ce dispositif comprenant de préférence un organe de base autour duquel est bobiné l'enroulement et comportant une chambre dans laquelle circule un fluide de re-20 froidisseinentf et un radiateur en contact thermique avec le noyau et voisin de l'organe de base. 15. Système à force électromagnétique comportant un dispositif de commande à contre-réaction et destiné à la réalisation de circuits intégrés, caractérisé en ce qu'il comprend un 25 noyau mobile en fer destiné à fournir une force et ayant la forme d'une coupelle ayant une extrémité fermée et une paroi cylindrique, le noyau comportant de plus un organe central dépassant de l'extrémité fermée, un enroulement fixe de révolution destiné à créer un champ magnétique lors du passage d'un courant électri-30 que et disposé dans le noyau dont il entoure l'organe central, un dispositif destiné à maintenir l'enroulement et le noyau à une température choisie, un transducteur de déplacement coaxial à l'organe central du noyau et fixé à l'extrémité fermée de celui-ci, ledit transducteur fournissant un signal de sortie repré-35 sentatif du déplacement du noyau, un transducteur coaxial à l'organe central du noyau auque] il est fixé et fournissant un signal de sortie représentatif de la force produite par le noyau, 71 35696 2110218 un outil coaxial au transducteur de force auquel il est fixé, et un dispositif destiné à faire varier le courant électrique fourni à l'enroulement en fonction des signaux de sortie des transducteurs de déplacement et de force de manière à régler la 5 force appliquée à l'outil. 16. Système selon la revendication 15, caractérisé en ce qu'il comprend de plus un dispositif destiné à fournir à l'outil de l'énergie vibratoire ou de l'énergie combinée vibratoire et thermique. 10 17. Système selon l'une des revendications 11 et 15, caractérisé en ce que l'outil est un outil d'association par thermocompression qui comprend de préférence une source de radiations infrarouges destinée au chauffage et une lentille destinée à focaliser les radiations de la source, une face de la 15 lentille étant au contact du circuit intégré et laissant passer les radiations focalisées. 18. Système selon la revendication 15, caractérisé en ce que le dispositif destiné à maintenir le noyau et l'enroulement à une température choisie comprend un organe de base autour du-20 quel est bobiné l'enroulement et comportant une chambre dans laquelle circule un fluide de refroidissement, et un radiateur en contact thermique avec le noyau et voisin de l'organe de base.