FR 2133953 A1 19721201 FR 7213983 A 19720420 72 13983 X jfc 2133953 La présent© invention est relative aux cibles au silicium à semiconducteur pour les tubes analyseurs d:image et, plus particulièrement, à une cible au silicium destinée à être utilisée dans une caméra de prise de vues en couleurs 5 du type à un seul tube. les caméras de prise de vue en couleurs du type classique répondent à divers types de conception dont l'un utilise trois tubes analyseurs qui sont équipés de filtres optiques pour le rouge, le vert et le bleu, respectivement, afin 10 d'obtenir trois signaux pour les couleurs primaires, et dont un autre type comporte un filtre optique de bande qui est fixé à la surface réceptrice de la lumière d'une cible. Dans un tube analyseur, de très petites zones élémentaires d'une image projetée sur la cible au moyen par 15 exemple d'un système d'optique se trouvent successivement balayées par -un faisceau électronique de très petit diamètre en vue de-décomposer l'image en de multiples éléments, la luminance relative desdits éléments d'image étant transformée en un signal électrique.Plus précisément plusieurs photodiodes à 20 jonction pn ou phototransistors à jonction npn sont formés à la surface de la cible qui est balayée par le faisceau électronique , de telle façon que les trous dans les paires de lacune-trous produits par le signal lumineux appliqué à la surface réceptrice de la lumière de la cible se diffusent à travers 25 le substrat pour passer vers les jonctions pn, puis à partir de là dans les régions du type p, du fait qu'ils sont attirés par le champ électrique dans la couche d'appauvrissement des jonctions pn, accroissant de la sorte la tension des régions du type p. Ladite tension est ramenée à nouveau à la 30 tension de la cathode par le faisceau de balayage, et le courant se manifestant à ce moment-là fournit un signal d'image. Pour réaliser la cible susmentionnée il est fait couramment appel à du silicium, et ce pour les raisons qui seront explicitées ci-après. Tout d'abord, aucune adhérence si-35 gnificative ne se produit sur la cible au silicium, même lorsqu'elle se trouve soumise à une source lumineuse d'une grande intensité comme celle de la lumière solaire, ou lorsqu'elle capte un objet brillant, ou encore lorsque ledit objet brillant est capté durant une longue période de temps. En second lieu, 40 la cible au silicium est exempte de tout phénomène d'adhérence 72 13983 2 2133953 V en raison de l'analyse totale de l'image effectuée par le faisceau électroniqueo Troisièmement, la cible au silicium est suffisamment résistante 'à la chaleur, permettant de la sorte une dissipation adéquate aux températures élevées. Quatrièmement, la cible au silicium présente une haute sensibilité. Toutefois, lorsqu'un filtre optique de bande est combiné avec une telle cible à semiconducteur, conformément à la pratique courante, en vue d'obtenir des signaux de couleur, un intervalle d'au moins 100 microns se forme immanquablement entre la surface de la cible et le filtre optique, en fonction de la structure propre à ladite cible à semiconducteur. La présence d'un tel intervalle est indésirable du fait que les faisceaux lumineux des couleurs primaires se trouvent dispersés par ledit intervalle, ce qui se traduit par une réduction notable dans la résolution du signal d'image ainsi que dans la caractéristique de séparation de la lumière. En outre, la fixation directe du filtre optique à la surface de la cible est également indésirable du fait que le phénomène superficiel particulier au semiconducteur engendre une couche ou région inerte qui annihile les trous produits par la lumière, ce qui entraîne l'impossibilité d'obtenir les performances voulues quant à la sensibilité et à la séparation de la lumière. La présente invention vise en conséquence à pourvoir à un tube analyseur d'image pour une caméra de prise de vues en couleurs du type à un seul tube qui soit exempt des défauts précités et qui soit susceptible de produire des signaux de couleurs primaires avec une haute sensibilité. La présente invention vise en outre à pourvoir à un tube analyseur d'image comportant un type nouveau de cible à semiconducteur capable de séparer correctement la lumière dans les composantes des couleurs primaires, et ce malgré une structure des plus simples. La présente invention vise enfin à pourvoir à un tube analyseur d'image du type miniaturisé, ne requérant aucun filtre optique. La mise en oeuvre de la présente invention se caractérise par le fait que plusieurs couches inertes se trouvent agencées suivant une configuration prédéterminée à la surface réceptrice de la lumière du substrat constituant la cible à semiconducteur. 72 13983 3 2133953 La fonction desdites couches inertes consiste dans le fait que les trous produits en réponse à l'application de la lumière à la surface réceptrice de la lumière de la cible se trouvent renvoyés à ladite surface du substrat, étant ainsi 5 empêchés de s'enfoncer plus avant dans le substrat. En conséquence, les jonctions pn ne se trouvent pas essentiellement affectées par la composante de la lumière incidente sur les couches inertes, ladite composante de lumière appartenant à une gamme de longueur d'onde- courte et ne pouvant de ce fait péné-10 trer profondément à l'intérièur du substrat* ~En conséquence, les couches inertes présentent une sensibilité très faible à la composante de lumière appartenant à la gamme de longueur d'onde courte. Plusieurs bandes de semblables couches inertes présentant diverses dimensions peuvent être disposées à la sur-15 face réceptrice de la lumière du substrat, de manière à réduire la sensibilité aux longueurs d'ondes plus courtes que la gamme de longueur d'onde requise, et n'admettre exclusivement que la composante de lumière se situant dans la gamme de longueur d'onde voulue avec une haute sensibilité. En d'autres termes, 20 lesdites couches inertes agissent virtuellement comme un filtre optique « La présente invention sera maintenant décrite de façon plus détaillée en référence à certains modes de réalisation préférentiels, le tout conjointement aux dessins ci-25 annexés, sur lesquels : la figure la est une vue schématique en coupe de certaines parties d'un mode de réalisation de la présente invention représentant une cible qui est pourvue de plusieurs couches inertes ; 50 les figures lb et le sont des vues en coupe similaires à celles de la figure la mais représentant des variantes de mode de réalisation de la cible illustrée sur la figure la *, la figure ld est un graphique donnant les 35 caractéristiques de séparation de la lumière de la cible illustrée sur la figure la ; les figures 2a et 2b représentent respectivement une vue en plan et une vue en coupe, à une échelle agrandie, d'un autre mode de réalisation de la présente invention 40 et illustrant me cible qui est pourvue de plusieurs couches 72 13983 4 2133953 inertes transparentes ; la figure 3a est une vue schématique en coupe de certaines parties d'un autre mode de réalisation de la présente invention ; 5 la figure 3b est une vue similaire à celle de la figure 3a mais représentant une variante de mode de réalisation de la cibleo En référence tout d'abord à la figure la, laquelle représente une cible à semiconducteur destinée à être 10 utilisée dans une caméra de prise de vues en couleurs du type à un seul tube conforme à la présente invention, l'on peut voir que ladite cible comporte un substrat monocristallin 11 au silicium du type n ayant une résistivité de 10 -A. cm. L'une des surfaces principales 11" du substrat 11, laquelle 15 est balayée par un faisceau électronique, est intérieurement pourvue de régions 12 du type p qui sont disposées en mosaïque dans le même plan, afin de correspondre aux éléments d'image individuels» Une pellicule protectrice d'oxyde 13; recouvre la surface principale 11", et une pellicule résistive 14 20 réalisée dans une substance telle que du trisulfure d'antimoine (SbgS^) recouvre les régions 12 du type p ainsi que la pellicule d'oxyde 13, afin d'empêcher toute surcharge et améliorer l'effet d'impact du faisceau électronique., D'autre part, l'autre surface principale 11' du substrat 11, laquelle 25 constitue la surface réceptrice de la lumière, est constituée intérieurement par plusieurs régions 15 du type n+ et de régions à champ électrique'inversé 16 du type n. Les régions 15 du type n+ peuvent être réalisées en dopant sélectivement la surface principale 111 du substrat 11 avec une impureté du ty-30 pe n telle que du phosphore à haute concentration. Les régions 16 du type n peuvent être réalisées en soumettant une partie des régions 15 du type n+ à un traitement thermique d'une température élevée, en utilisant un masque de bioxyde de silicium pour la diffusion externe d'une partie de l'impureté dans 35 les régions 15 du type n+ à l'extérieur du substrat 11, réduisant de la sorte partiellement la concentration d'impureté superficielle des régions 15 du type n+ . C'est ainsi que la surface principale 11" comporte les régions 15 du type n+ , les régions 16 du type n et les régions 11 qui ne sont pas soumi-40 ses au traitement du dopage d'impureté. Les régions 15, 16 et 72 13983 2133953 11 sont agencées de manière à se conformer à une configuration prédéterminée, laquelle peut se présenter sous la forme d'une bande, d'une mosaïque, etc. Sur la figure la, la région 15 constitue une couche inerte £, cependant que la région 16 5 constitue une autre couche inerte b_, la partie superficielle exposée du substrat 11 constituant une couche inerte a, ainsi qu'il est représentée. Supposons maintenant qu'une lumière soit projetée sur la surface réceptrice de la lumière 11* de la cible, 10 Des trous se forment en réponse à la partie de la lumière incidente sur la couche inerte a . Toutefois, pratiquement tous les trous formés par les composantes de la lumière présentant des longueurs d'onde courtes et moyennes se trouvent renvoyés vers la surface 111 du substrat et ne peuvent atteindre les 15 régions 12 du type p, du fait que la résistlvité du substrat 11 s'établit à 10 -^tm, qu'aucun champ d1accélération n'est présent' et que la profondeur de la couche inerte a est de l'ordre de 1 à 1,6 micron» En d'autres termes, la couche inerte _a présente une médiocre caractéristique de séparation de la lu-20 mière et la gamme de longueur d'onde sensible se situe du côté d'une longueur d'onde longue avec une pointe de l'ordre de O 8000 A , du fait que pratiquement tous les trous formés par les composantes de la lumière ayant des longueurs d'onde courtes et moyennes se trouvent renvoyés vers la surface 11' du subs-25 trat 11. La performance de séparation de la lumière de la couche inerte £i est représentée par la courbe en traits mixtes A sur la figure ld, dans laquelle l'axe horizontal représente la longueur d'onde de la lumière, cependant que l'axe vertical représente la sensibilité à la lumière. Dans la couche inerte a^, 30 les composantes de la lumière ayant des longueurs d'onde courtes et moyennes se trouvent supprimées ainsi qu'il est représenté, la sensibilité à la lumière étant représentée par la courbe en O traits mixtes A qui a line pointe de l'ordre de 8000 A La région 15 ou couche inerte £ a une concen-55 tration superficielle d'impureté de l'ordre de 10^ cm~^ . Le gradient de concentration d'impureté de ladite couche inerte c se réduit progressivement à l'intérieur du substrat 11 et, par suite, le champ d'accélération se trouve également réduit de façon correspondante à l'intérieur du substrat 11. C'est ainsi 40 que tous les trous formés par la portion de lumière pénétrant 72 13983 6 2133953 dans la couche inerte £ se propagant intérieurement dans le substrat 11, le long d'un tel champ d'accélération, de sorte que ladite couche inerte £ est virtuellement absente. La sensibilité de la couche inerte £ est représentée par la cour-5 be en trait plein C sur la figure ld. D'après ladite figure ld, l'on peut en déduire que la couche inerte £ peut réagir à la lumière se situant dans une large gamme de longueurs d'onde allant de 3000 A à 9000 A , présentant de ce fait ■une haute sensibilité» 10 La région 16 ou couche inerte b a une concen- t 18 —5 tration superficielle d'impureté de l'ordre de 10 cm~^ , du fait qu'elle est soumise à vin traitement thermique, ainsi qu'il a été mentionné précédemment. Etant donné que la concentration d'impureté de ladite partie du substrat 11 est élevée en un 15 point qui se situe à une profondeur de l'ordre de 0,1 à 0,3 micron par rapport à la surface 11' du substrat, la profondeur de la couche inerte b est de l'ordre de 0,1 à 0,5 micron. En d'autres termes, aucun champ d'accélération n'est présent dans les limites d'une profondeur de l'ordre de 0,1 à 0,5 micron 20 dans ladite couche inerte b . La caractéristique de séparation de la lumière de ladite couche inerte b est représentée par la courbe en pointillé B sur la figure ld, et l'on peut voir que sa sensibilité est extrêmement faible dans la gamme de longueur d'onde courte. 25 D'après la description qui précède, l'on com prendra que seule une cible au silicium possède trois caractéristiques différentes de séparation de la lumière lorsque les régions 15 et 16 du type n+ et du type n sont formées à la surface de réception de la lumière 11' du substrat au silicium 30 11, et que la tension superficielle et la profondeur des couches inertes se trouvent réglées de façon appropriée. Les signaux électriques dérivés de la cible au silicium ayant les propriétés susmentionnées peuvent être soumis à des opérations d'addition et de soustraction dans un circuit additif et sous-35 tractif bien connu dans la technique, de manière à obtenir séparément -un signal de couleur rouge, un signal de couleur verte et un signal de couleur bleue dotés d'une haute sensibilité. O'estJainsi par exemple que la courbe A sur la figure ld est utilisée de façon autonome dans le cas de la lumière rouge. 40 Dans le cas de la lumière verte, ladite courbe A est soustraite 72 13983 7 2133953 de la courbe B, ie résultat de la soustraction étant multiplié par une constante. Dans le cas de la lumière bleue, la courbe B est soustraite de la courbe C, le résultat de la soustraction étant multiplié par une constante. De la sorte, il est possible 5 d'obtenir des signaux électriques représentatifs des trois couleurs primaires. La figure lb représente une variante de la structure illustrée sur la figure la. L'on peut voir qu'une pellicule 17 réalisée dans une matière telle que du bioxyde de 10 silicium est déposée à la surface de la couche inerte c_ ou région 15 du type n+ sur la figure la, de manière à améliorer la répartition du champ au voisinage de la surface de la région 15 du type n+, empêchant de la sorte toute réduction indésirable de la sensibilité, et améliorant au contraire la sensibi-15 lité à la composante de lumière des longueurs d'onde courtes. La figure le représente une autre variante encore 'de la structure illustrée sur la figure la. L'on peut voir que la surface réceptrice de la lumière 11' est entièrement recouverte par une pellicule antiréfléchissante 18, de ma-20 nière à améliorer encore la sensibilité de la cible au silicium. En outre, une impureté du type p telle que du bore peut être diffusée dans les couches inertes a et b , de manière à former une jonction pn d'une profondeur inférieure à 0,5 micron. Ceci constitue un avantage du fait que l'on peut 25 obtenir des différences plus prononcées entre les caractéristiques de séparation de la lumière des couches inertes. Il convient de remarquer que la cible au silicium conforme à la présente invention est susceptible d'analyser l'image de façon satisfaisante, même en l'absence de la 30 pellicule d'oxyde 175 de la pellicule antiréfléchissante 18 et de la couche du type p. En outre, lesdits moyens peuvent être sélectivement combinés à volonté. Par ailleurs, alors que la couche inerte b se trouve formée dans la région 15 du type n+ dans le mode de réalisation illustré sur la figure la, 35 l'on comprendra aisément que ladite couche inerte b peut être formée séparément d'avec la région 15 du type n+ par diffusion appropriée d'une impureté. Les figures 2a et 2b illustrent ion autre mode de réalisation de la présente invention dans lequel les 40 couches inertes empruntent la forme d'électrodes. Sur lesdites 72 13983 8 2133953 figures 2a et 2b, les parties désignées par les références 21, 211, 22, 23 et 24 correspondent aux parties désignées par les références 11, 11", 12, 13 et 14 sur la figure la. C'est ainsi que les références 21, 21', 22, 23 et 24 désignent respective-5 ment un substrat au silicium, une surface réceptrice de la lumière dudit substrat, des régions du type p , une pellicule d'oxyde et une pellicule résistive. Sur les figures la à le, les couches inertes b et o sont formées par diffusion d'une impureté dans le substrat à semiconducteur, alors que sur les 10 figures 2a et 2b aucune région du type n+ n'est formée à la surface principale ou surface réceptrice de la~lumière du substrat au silicium 21. ' En référence aux figures 2a et 2b, l'on peut voir que plusieurs électrodes transparentes 26 sont disposées 15 sous forme d'une bande, étant électriquement connectées à une électrode transparente 27. Plusieurs électrodes transparentes 28 présentant une largeur inférieure à celle des électrodes 26 sont également disposées sous forme d'une bande, étant électriquement connectées à une électrode transparente 29. Lesdites 20 électrodes transparentes 26, 27» 28 et 29 5 lesquelles peuvent être constituées par de l'oxyde d'étain, se trouvent déposées à la surface réceptrice de la lumière 21' du substrat 21, la pellicule d'oxyde 25 étant interposée entre les électrodes 26, 27 et le substrat 21, et entre les électrodes 26, 27 et les 25 électrodes 28, 29? cependantJque différentes tensions sont appliquées aux électrodes 26 et 28 en vue de la formation des couches inertes à la surface réceptrice de la lumière 21' du substrat 21, en fonction de la tension appliquée. Plus précisément, un dispositif d'application de la tension (non repré-30 senté) est connecté à l'électrode 27 en vue d'appliquer une tension positive de 0 à 2 volts aux électrodes 26. Un autre dispositif d'application de la tension (non représenté) est connecté à l'électrode 29 pour l'application d'une tension positive de 4 à 5 volts aux électrodes 28. La région dans la-35 quelle les électrodes 28 ne se trouvent pas surmontées par l'électrode 26 correspond à la couche inerte b sur la figure la, ceci étant dû au fait que l'ampleur du champ d'accélération est minime dans ladite région. La région dans laquelle les électrodes 26 et 28 se trouvent mutuellement superposées cor-40 respond à la couche inerte ç_ sur la figure la, ceci étant dû 72 13983 9 2133953 au fait que l'ampleur du champ d'accélération est important dans ladite région» La région dans laquelle les électrodes 26 et 28 ne se trouvent pas déposées sur le substrat 21 correspond à la couche inerte a_ sur la figure la. 5 La figure 3a est une vue en coupe de certai nes parties d'un autre mode de réalisation de la présente invention. Plusieurs régions 32 du type p, une pellicule d'oxyde 33 ét une pellicule résistive sont formées sur le côté de la surface d'ion substrat 31 qui est balayée par un faisceau élec-10 tronique afin de pourvoir à plusieurs photodiodes. Du côté de la surface réceptrice de la lumière 31' du substrat 31? plusieurs régions du type n+ sont formées par diffusion d'une impureté dans le substrat 31? jusqu'à ce que la concentration superficielle d'impureté atteigne un niveau de l'ordre de 17 —-5 15 10 cm ' . Une pellicule d'oxyde'39 d'une épaisseur de l'or- O dre de 1000 A est formée à la surface réceptrice de la lumière 31' du substrat 31? cependant que plusieurs électrodes 36 en oxyde d'étain sont déposées sur la pellicule d'oxyde 39» Une autre électrode transparente 37 en oxyde d'étain est déposée 20 sur chacune des électrodes 36? une pellicule d'oxyde 38 y é-tant interposée, laquelle, présente une largeur supérieure à celle de l'électrode 36, ainsi qu'il est représenté. La figure 3 illustre une variante de la structure représentée sur la figure 3a. Là région 35 du type n+ est 25 formée sur la totalité de la surface réceptrice de la lumière 31* du substrat 31? des tensions sélectionnées 'étant' appliquées aux électrodes transparentes 36 et 37® La*disposition des électrodes 36 et 37 sur la région 35 du type n+" et l'application de tensions appropriées auxdites électrodes donnent une 30 couche d'appauvrissement à la surface du substrat 31? laquelle entre en contact avec la pellicule d'oxyde 39? de façon que' l'ampleur du champ d'accélération dans la région 35 du type n+ puisse être aisément réglée. Le fait que le champ d'accélération puisse être réglé par la tension appliquée a pour avanta-35 ge que la performance de séparation de la lumière peut être aisément réglée comme on le désire, après que la cible ait été complétée. Dans les modes de réalisation décrits en référence aux figures 2a à 3b se trouve illustrée à titre illus-40 tratif une structure comportant partiellement des électrodes 72 13983 2133953 transparentes qui se chevauchent mutuellement. Toutefois, la présente invention ne se limite nullement à un tel type de structure, incluant entre autres une structure dans laquelle les électrodes transparentes sont disposées en parallèle mais 5 sans se chevaucher mutuellement. L'on comprendra également que n'importe quel moyen approprié, tel qu'une pellicule antiréfléchissante, peut être disposé à la surface réceptrice de la lumière de la cible afin d'améliorer les qualités d'analyse de l'image. 10 Dans les modes de réalisation de la présente invention décrits ci-dessus, il a été fait mention à titre illustratif uniquement d'une structure de cible au silicium comportant trois couches inertes différentes. Toutefois, la présente invention ne se limite nullement à une telle structure 15 spécifique, laquelle peut comporter de façon générale n'importe quelle région appropriée comme par exemple une région de réglage de la luminance. L'on comprendra en outre que les couches inertes peuvent se présenter sous forme de mosaïque, de réseau ou d'une configuration discontinue, au lieu de la configura-20 tion sous forme de bande telle qu'illustrée sur les dessins. Il ressort de la description qui précède que la présente invention pourvoit à une cible au silicium destinée à être utilisée dans un tube analyseur d'image dans lequel la tension superficielle de la surface réceptrice de la lumière 25 et la profondeur des couches inertes sont déterminées de façon appropriée, de telle façon que ladite cible soit dotée de trois caractéristiques différentes de séparation de la lumière. Conformément à la présente invention, l'on peut aisément obtenir des signaux de couleur bleu, vert et rouge sons utiliser aucun 50 filtre de couleur. Plus précisément, le signal de la couleur rouge peut être directement obtenu à partir de la couche inerte a, le signal de couleur verte en soustrayant le signal produit par la couche inerte a du signal produit par la couche inerte b, cependant que le signal de couleur bleue peut être obtenu 35 en soustrayant le signal produit par la couche inerte b du signal produit par la couche inerte ç_. Par ailleurs, bien que l'on ait décrit un semiconducteur du type n réalisé avec du silicium, l'on peut tout aussi bien utiliser n'importe quel type approprié de semi 72 13983 ii 2133953 conducteur du type n réalisé dans quelqu1autre matériau. Il convient de remarquer que les signaux d'images colorées peuvent être obtenus à partir d'une caméra de prise de vues en couleurs du type à un seul tube, du fait que la cible à semiconducteur conforme à la présente invention comporte au moins trois différentes régions possédant des caractéristiques différentes de séparation de la lumière. 72 13983 12 2133953 REVENDICATIONS 1. Cible à semiconducteur destinée à être utilisée dans un tube analyseur d'image pour une caméra de prise de vues en couleurs du type à un seul tube, caractérisée 5 par le fait qu'elle comporte un substrat semiconducteur du type n , plusieurs éléments photoélectriques qui sortit disposés sous forme de mosaïque sur le côté de la surface dudit substrat qui se trouve balayée par un faisceau électronique, ainsi que plusieurs couches inertes qui sont disposées suivant une 10 configuration prédéterminée sur le côté de la surface réceptrice de la lumière dudit substrat, chacune desdites couches inertes ayant des propriétés telles qu'elle annihile les trous qui s'y trouvent formés en réponse à la projection de la lumière. 15 2. Cible à semiconducteur, suivant la reven dication 1, dans laquelle chacune desdites couches inertes comporte une région dopée avec une impureté du type n. 3» Cible à semiconducteur, suivant la revendication 2, dans laquelle ladite région,dopée dans chacune des-20 dites couches inertes comporte une première et -une deuxième région présentant des concentrations d'impureté différentes. 4. Cible à semiconducteur, suivant la revendication 3» dans laquelle ladite première région constitue une couche qui est formée par diffusion de l'impureté à partir de 25 la surface du substrat, cependant que ladite deuxième région constitue une couche à champ électrique inversé présentant une faible concentration d'impureté superficielle, étant formée en soumettant une partie de ladite première région à la diffusion vers l'extérieur. 30 5- Cible à semiconducteur, suivant la revendi cation 4, dans laquelle ladite deuxième région formée par la diffusion vers l'extérieur présente une telle répartition de la concentration d'impureté que l'on obtient une concentration maximale à l'intérieur du substrat précité. 35 6. Cible à semiconducteur, suivant la reven dication 55 dans laquelle ladite concentration maximale d'impureté se situe en un point éloigné de 0,1 à 0,5 micron par rapport à la surface du substrat précité. 7= Cible à semiconducteur, suivant la reven-40 dication 3? dans laquelle lesdites première et deuxième régions 72 13983 13 2133953 de chacune des couches inertes sont ensuite dopées avec une impureté du type p. 8. Cible à semiconducteur, suivant la revendication 1, dans laquelle chacune desdites couches inertes est 5 constituée par un dispositif d'électrodes transparentes. 9. Cible à semiconducteur, suivant la revendication 8, dans laquelle ledit dispositif d'électrodes transparentes est réalisé avec de l'oxyde d'étain (SnC^). 10. Cible à semiconducteur, suivant la reven- 10 dication 1, dans laquelle chacune desdites couches inertes est formée en disposant un dispositif d'électrodes transparentes sur une région qui est dopée avec une impureté. 11. Cible à semiconducteur., suivant la revendication 1, dans laquelle chacune desdites couches inertes 15 est recouverte d'une pellicule d'oxyde. 12. Cible à semiconducteur, suivant la revendication 1, dans laquelle ladite surface réceptrice de la lumière du substrat précité est recouverte avec une pellicule antiréfiéchissante. 20 13. Cible à semiconducteur, suivant la re vendication 8, dans laquelle ledit dispositif d'électrodes transparentes comporte deux électrodes transparentes au moins qui sont mutuellement isolées électriquement.