FR 2131976 A1 19721117 FR 7206390 A 19720222 72 06390 1 2T31976 La présente invention est relative à des ramoes de glissement pneumati-aues et plus particulièrement à des rampes de glissement à air destinées, à supporter et à diriger une pièce positionnée sur la piste de la rampe, ces ramoes de glissement à air comportant des fentes arquées, dont les parois 5 inférieures sont inclinées afin de permettre que l'air souflé produise une poussée ayant une composante verticale de support, et une composante horizontale de propulsion. Dans le cas du transport de pastilles semiconductrices, telles que des tranches minces de silicium, il est désirable d'éliminer, ou tout au moins 10 de réduire, tout contact physique avec la pastille ou tranche, dans tous les cas possibles, afin de s'opposer à la contamination ou aux Dollutions de la zone superficielle de la tranche. L'équipement pneumatique habituel de support et de propulsion directionnelle est peu utilisé en raison du coût inhérent aux dépenses par unités de longueur parcourue, et, aussi, du fait 15 que les volumes d'air et/ou de pression exigés impliquent un dispositif auxiliaire d'air comprimé très onéreux. En outre, l'état actuel des rampes de glissement pneumatique de l'art antérieur imolique l'existence de chambres de stockage d'air comprimé de très grandes dimensions, ce qui introduit des problèmes lorsque l'on a affaire à des rampes permettant un transport 20 multidirectionnel, particulièrement lorsque les espacements doivent être très restreints. Etant donné ce qui précède, l'objet essentiel de l'invention est de à air fournir une nouvelle rampe de glissement/permettant de supporter et de guider une pièce placée sur cette rampe. 25 Un autrB objet de la présente invention est de fournir une rampe de glissement à air adaptable, à la fois, à des parcours longs et brefs, afin de permettre que l'alimentation en air de la rampe soit assurée par des systèmes existant dans l'équipement d'air comprimé habituel, ou par un système de ventilation. 30 Un autre objet de la présente invention est encore de fournir des rampes de glissement pneumatique qui puissent être étagées de façon à permettre l'envoi et la récention simultanés de pièces et dans laquelle la limitation de l'espacement des étages est déterminée par la hauteur de 'objet. Un autre objet de la présente invention est encore de fournir une rampe 35 de glissement à air, de fonctionnement et d'utilisation simple, oui peut être fabriquée à partir de matériaux peu coûteux. D'autres objets et une compréhension plus totale de l'invention, seront réalisés et acouis en se reportant à la description et aux revendications suivantes, illustrées par les dessins joints. 40 Dans les dessins: 77 06.190 2 2131976 La figure 1 est une vue Diane schématique d'une rampe de glissement à air construite conformément à la orésente invention; La figure 2 est une vue, en perspective agrandie, d'une portion de la rampe de glissement à air représentée sur la figure 1 ; 5 La figure 3 est une vue plane agrandie d'une autre réalisation de rampe de glissement à air construite conformément à la présente invention; La figure 4 est une vue, en perspective et partiellç, selon la ligne 4-4 de la figure 3; La figure 5 est une vue, en perspective et partielle, d'une autre réaliî-10 sation de rampe de glissement à air de la présente invention; La figure 6 est une vue latérale en élévation d'une portion de la rampe de glissement représentée dans la figure 5; et La figure 7 est une vue plane d'une autre réalisation de la rampe de glissement à air de la présente invention utilisée comme un moyen de transit port sous forme de platine/ La figure 1, représente une rampe de glissement à air ou piste 10 particulièrement conçue pour communiquer un effet de support et de déplacement à une pièce qui est en l'occurrence une pastille semiconductrice 11. La rampe de glissement à air ou piste, sur les figures 1 et 2, comprend un plan 20 dB guidage 12 doté de bordures sur ses bords horizontaux, ces bordures étant représentées par les petites parois 13 et 14 qui ont pour but de s'opposer à ce que la pièce ou pastille 11 soit éjectée latéralement hors du chemin de glissement. Conformément à l'invention, des moyens sont fournis dans le plan de 25 guidage 12 afin de supporter la pièce tout en la propulsant (lorsqu'un flux de milieu gazeux approprié est fourni) dans la direction représentée par les flèches 15 de la figure 1. Ce résultat est obtenu par une pluralité de fentes arquées 16 chacune étant dotée de parois latérales 17 et d'une paroi de fond à pente ascendante 18. Dans le cas des figures et pour des raisons 30 qui deviendront évidentes ci-après, la paroi de fond 18 de chacune des fentes aboutit dans le plar> de guidage de façon à provoquer l'écoulement de l'air dans la même direction que le riouvement que l'on entend communiquer à la pièce. Afin de permettre l'admission d'un gaz dans les fentes arquées une 35 chambre d'admission est reliée aux fentes ou cavités pour permettre^ un écoulement d'air le Ions des fentes dans une direction essentiellement orientée dans l'axe de la fente, c'est-à-dire dans une direction verticale par rapport à la paroi de fond 18. A cette fin, la rampe de glissement à air ou piste 10, dans la réalisation représentée dans la figure 2, comorend un canal 1S 40 qui s'étend longitudinalement et nui sert de chambre d'admission pour les 72 06390 3 2131976 fentes. Dans l'exemple représenté, le canal 19 sépare en deux séries les fentes arquées et constitue ainsi un passage libre afin que l'air ou tout autre gaz puisse pénétrer dans la chambre d'admission car un orifice tel que le moyen d'admission 20. La partie inférieure du canal 19 Deut être 5 fermée de la façon représentée par la plaque de support 21 ou ce canal peut être formé directement dans le matériau constituant la piste 10. Afin d'obliger que l'air, pénétrant dans le moyen d'admission, s'écoule essentiellement selon l'axe des fentes arquées, un couvercle 22 obstrue la face supérieure du canal 19 et constitue la face suoérieure de la chambre 10 d'admission19. Dans l'exemple représenté (figure 2) le couvercle comprend une bande 23 oui s'étend longitudinalement et vient s'adapter sur les épau-lements 24 qui ont été taillés dans les parois 19A et 19B du canal 19. De la sorte l'admission de l'air provenant de la chambre d'admission et allant dans les fentes est réalisé par les orifices 1BA définis par le dessous 15 de la bande 23 et par les parois latérales et inférieure 17 et 18 respectivement des fentes 16. Ainsi, le couvercle 22 sert de déflecteur provoquant l'écoulement de l'air, depuis la chambre d'admission, dans les cavités selon une orientation qui est exactement celle de l'axe des fentes. Dans la réalisation représentée dans les figures 1 et 2, un simple 20 ventilateur peut être relié au moyen d'admission 20 et peut ainsi assurer un flux d'air suffisant à supporter les pièces au-dessus de la surface ou plan de guidage 12 tout en leur communiquant un mouvement. Par exemple, 3 un ventilateur de type courant débitant approximativement 2,8 m à la minute à une pression statique de 0 peut assurer l'alimentation d'environ 3m de 25 piste. Eien entendu, il est possible d'utiliser plusieurs ventilateurs espacés le long de la piste selon des intervalles appropriés qui seront déterminés en fonction du rendement en décimètre cube par minute du ventilateur, de la dimension des fentes et aussi de l'orifice 16A. Dans le cas où l'on désire utiliser la piste à air de la présente invention, 30 pour des fonctionnements prolongés, tout en utilisant l'air comprimé de l'entreprise, un flux d'ait plus efficace, ou un flux d'air réduit s'imposera. A cette fin, il est possible d'utiliser la réalisation représentée dans les figures 3 et 4. Ces figures représentent un plan de guidage 30 oui comprend une pluralité de fentes arquées 31, chacune étant dotée de parois latérales 35 32 et 33 et de parois inférieures inclinées ascendantes 34. La paroi inférieure, ou paroi de fond, de chacune des fentes arcuées aboutit sur le plan de guidage en un point calculé pour provoquer l'écoulement précis de l'air dans la direction de déplacement souhaité de la pièce à transporter. La nature des fentes est en fait la même que celle décrite dans les figures 40 1 et 2. Afin de permettre l'entrée d'un gaz, tel que de l'air, dans les 72 06390 4 2131976 Fentes arquées 31, une chambre d'admission 35 est constituée d'une manière similaire à celle décrite précédemment. Une cavité, comportant deux épaulements 36 s'étendant longitudinalement, est prévue dans le plan de guidage 30 et elle est conçue pour recevoir le couvercle 37 identique au couvercle 22 décrit dans les figures 1 et 2. Néanmoins, la profondeur des fentes arouées est telle que ces fentes ne rencontrent pas la chambre d'admission 35. En conséquence, une ouverture ou orifice 38 peut être pratiqué entre la fente arquée et la chambre d'admission le long de la ligne médiane de la cavité comportant l'évidement 36 assurant ainsi la communication du fluide entre la fente 31 et la chambre d'admission 35. Les petits orifices 38 s'étendent alors dans un plan essentiellement perpendiculaire au plan de guidage, de telle sorte que lorsque le couvercle 37 est en place, l'air est dirigé selon l'axe des fentes arquées ce qui a pour effet de provoquer l'expulsion de l'air dans une direction ascendante et vers l'avant du plan de guidapre 30. Du fait que les ouvertures ou orifices 38 peuvent être relativement petits, l'écoulement de l'air est réduit et la pression interne de la chambre d'admission doit être accrue du fait de l'accroissement de résistance. De la sorte, avec une rampe de glissement à air ainsi construite, l'alimentation d'air comprimé à basse pression de l'entreprise peut être utilisée. La structure de la présente invention permet d'étager des rampes de glissement à air de telle sorte que plusieurs pièces peuvent être transportées dans la même direction ou dans des directions opposées. A cette fin, et ainsi que le représente mieux les figures 5 et 6, une pluralité de plans de guidage 40, 50, et 60 sont représentés sous une forme juxtaposée et superpoa sée. Dans le cas représenté, chacun des plans de guidage tîst relié à des chambres d'admission 70 et 71 disposées le long des bords opposés latéraux 41, 42, 51, 52, 61 et 62 des plans de guidage. Les fentes arquées 43, 53 et 63, formées dans la surface de chacun des plans de guidage 40, 50 et 60, sont dotées chacune de parois inférieures à profils obliques ascendants qui aboutissent à la surface des plans de guidage correspondant de façon que l'air soufflé d'une part, supporte les pièces telles que les pastilles 11A et 11B, et d'autre part, déplace ces pastilles dans le sens désiré (flèches 40, 50A). Ainsi aue le représente les figures, les fentes arquées pratiquées dans chacun des plans sont constituées par des séries dextrosum et senestrosum dans lesquelles par exemple la série de fentes dextrosum 43A du plan de guidage 40 est reliée à la chambre d'admission 70 par des ouvertures ou orifices 44; et, la série de fentes senestrosum 43B est reliée par les ouvertures ou orifices 45 à la chambre d'admission 71. Dans la mesure où les chambres d'admission sont situées le long des bords longitudinaux des plans de guidage, ces derniers peuvent 72 06390 5 2131976 être espacés les uns des autres, par des intervalles très rapprochés, selon une relation de juxtaposition ou de superposition. En outre, les fenteîs peuvent être formées dans des directions opposées ou divergentes, de telle sorte que la tranche 11A portée au-dessus du plan de guidage 40 soit transportée 5 de la gauche vers la droite alors que la tranche 11B se déplaçant sur le plan de guidape 50, et entre les Dlans de guidage 40 et 50, est transportée dans l'autre sens. Dans certains cas où il est désirable d'inspecter les pièces transportées où les objets lors de leur déplacement à travers plusieurs stations de 10 travail, une glissière de soufflage économique construite conformément à la présente invention peut être utilisée à la place d'une table tournante. C'est ainsi que la rampe de glissement pneumatique peut revêtir la forme d'une piste circulaire 60, dotée de plusieurs cavités arauées 81 semblables aux fentes précédemment décrites Cfigure 7). Dans ce cas, la pièce 62 peut 15 être transportée circulairement autour de la piste en disposant cette pièce sur la glissière et elle peut être ainsi transportée d'une station à toute autre station suivante disposée sur la périphérie de la piste sans avoir à faire subit à cette piste un mouvement de rotation. Bien entendu, des moyens, de guidage doivent être prévus, afin de s'opposer à la force centri-20 fuge qui tendrait à éjecter la pièce à transporter dans le sens radial, c'est-à-dire vers l'extérieur de la piste, ces moyens de guidage consistent dans la figure 7, à un rebord annulaire 83. La rampe de glissement de la présente invention peut être construite à partir de tout matériau approprié, tel que le nylon et autre corps similaire 25 et les fentes peuvent être réalisées par tout procédé approprié, tel que par moulage. De la sorte, la présente invention fournie une nouvelle rampe de glissement, destinée à communiquer à une pièce d'une part une force de support, et d'autre part, une force de déplacement,le rampe de glissement étant par 30 elle-même adaptée aux utilisations prolongées ou brèves afin de permettre à l'alimentation d'air qui lui est appliquée, d'être assurée par les systèmes d'air ccmprimé d'entreprise existant ou par un simple dispositif de ventilation. En outre, la présente invention peut permettre l'envoi et la réception simultanée de plusieurs pièces à traiter en utilisant des rampes de glisse-35 ment étagées, ce qui a pour effet de réaliser des économies d'encombrement, et d'espace. Bien que l'on ait décrit dans ce qui précède et représenté sur les dessins les caractéristiques essentielles de l'invention appliquées s un mode de réalisation préféré de celle-ci, il est évident que l'homme de l'art peut y ap-40 porter toutes modifications de forme ou de détail qu'il juge utiles, sans pour autant sortir du cadre de ladite invention. 72 06390 6 2131976 REVENDICATIONS 1.- Rampe de glissement permettant de supporter et de déplacer u0e pièce en traitement, — „ — . cette rampe de glissement étant caractérisée en ce qu'elle comprer d: 5 une piste comportant un clan de guidage doté, dans sa surface, d'une pluralité de fentes arquées, ces fentes étant dotées de parois inférieure et latérales, la paroi inférieure présentant une pente ascendante et aboutissant dans le plan de guidage selon une direction identique à la direction du mouvement de la pièce à déplacer, 10 une chambre d'admission s'étendant longitudinalement et reliée à ladite piste, des moyens de liaison, Dour relier la chambre d'admission auxdites fentes et, des moyens pour obliger l'air, provenant de la chambre d'admission, à 15 s'écouler dans les fentes arquées selon la direction de l'axe de ces fentes. 2.- Rampe de glissement selon la revendication 1, caractérisée en ce que la chambre d'admission est sous-jacente à ladite piste. 3.- Rampe de glissement selon la revendication 2 caractérisée en ce qu'elle comporte en outre une cavité s'étendant longitudinalement dans la face supé- 20 rieure de la rampe de glissement, un canal étant ménagé sous cette cavité et s'étendant longitudinalement le long de ladite piste, ce canal étant en communication pneumatiqae avec les fentes arquées. 4.- Rampe de glissement selon la revendication 3, caractérisée en ce que le canal s'étend sous la cavité longitudinale et constitue une partie de la 25 chambre d'admission. 5.- Rampe de glissement selon la revendication 3, caractérisée en ce que la cavité longitudinale comprend une paroi inférieure qui comporte elle- même une pluralité d'ouvertures, ces ouvertures traversant la oaroi inférieure et fournissant lesdits moyens de communication pneumatique entre la chambre 30 d'admission et les fentes arquées. 6.- Ramoe de glissement selon l'une quelconque des revendications 3 à 5, caractérisée en ce qu'elle comporèe en outre un couvercle surmontant la cavité longitudinale. 72 06390 7 2131976 7.- Rampe de glissement selon la revendication 1, caractérisée en ce que la chambre d'admission comporte deux parties, chacune de ces parties étant disposée le long de l'un des bords longitudinaux du plan de guidage. 8.- Rampe de glissement selon la revendication 7, caractérisée en ce que ^ les fentes arquées sont disposées selon deux séries de fentes, ces deux séries de fentes étant respectivement en liaison avec les deux parties de la chambre d'admission. 9.- Rampe de glissement selon l'une des revendications 7 ou 8, caractérisée en ce que le plan de guidage est composé d'une pluralité de sous-plans de guidage qui sont étages et superposés, chacun de ces sous-pàans de guidage étant relié aux deux parties de la chambre d'admission, et chacun de ces sous-plans comportant deux séries de fentes arquées. 10.- Rampe de glissement selon la revendication 9, caractérisée en ce que les fentes arquées d'au moins un des sous-plans de guidage sont disposées "JS de façon à communiquer, à une nièce à traiter, un déplacement dans une direction opposée à la direction du déplacement communiqué, à une nièce à traiter, Dar les fentes arquées situées dans un autre sous-plan de guidage. 11.- Rampe de glissement selon la revendication 1, caractérisée en ce que la piste a une forme circulaire. 20 12.- Rampe de glissement selon la revendication 11 caractérisée en ce que la périphérie de la piste comoorte des parois pour maintenir la pièce à traiter sur laiflite piste.