FR 2080529 A1 19711119 FR 7105003 A 19710215 71 05003 1 2080529 La présente invention concerne des dispositifs pour 1'emmagasinement d'information. Il existe maintes sortes de dispositifs électriques dans lesquels 1-'emmagasinement de l'information est une particularité essentielle. Les dispositifs de mémoire et de logique re-, posent souvent sur des mécanismes électromagnétiques dans lesquels l'information est représentée par la polarité de domaines magnétiques emmagasinés dans une feuille, dans un noyau creux ou dans un fil. Dans la forme habituelle de la caméra vidéo, une image optique est emmagasinée sous forme d'une charge électrostatique sur une couche d'emmagasinement monolithique. La densité de charge localisée du dessin électrostatique est alors "lue" par un faisceau d'électrons explorateur. Il y a également un emmagasinement d'information implicite dans les lignes à retard. Ces dispositifs sont, en l'espèce, des dispositifs acoustiques ou électromécaniques où l'information est emmagasinée dynamiquement dans une onde élastique progressive. Les dispositifs électriques d'emmagasinement sont constitués ordinairement de réseaux ou d'arrangements de dispositifs connectés suivant des schémas logiques, dans lesquels de l'information binaire est emmagasinée et traitée par la commutation séquentielle des dispositifs. La présente invention se rapporte à un mécanisme d'emmagasinement d'information original et remarquablement souple. Elle offre beaucoup des avantages des formes particulières des dispositifs d'emmagasinement qui ont été mentionnés précédemment . Suivant l'invention, on a prévu un dispositif d!emmagasinement d'information comprenant un agent d'emmagasinement pour y emmagasiner des porteurs de charge électriques en quantités représentant de l'information en divers lieux d'emmagasinement discrets à la surface ou près de la surface de l'agent d'emmagasinement , des moyens pour transférer, à l'intérieur de cet agent, des porteurs de charge emmagasinée entre les divers lieux d'emmagasinement et finalement à un lieu de détection, et 71 05003 2 2080529 des moyens pour détecter la charge emmagasinée au lieu de détection. L'invention se hase largement sur la constatation du fait qu'on peut emmagasiner une charge électrique en un point 3 de minimum de potentiel défini spatialement à l'intérieur d'un semi-conducteur s que le lieu cl5emmagasinement dans le semiconducteur peut être choisi , et Dans un sens statique, les lieux utilisés pour 1'emmagasinement suivant 1® invention sont bien connus. Il s'agit de couches d'appauvrissement qui sont capables d'emprisonner et 15 d'emmagasiner des porteurs de charge minoritaires « Pour le but de la d escription de l'inventions on appellera ces lieux d'emmagasinement des "puits de potentiel". Il est important de noter que ce dispositif repose sur des porteurs minoritaires exclusivement pour représenter l'information d'un bout à l'autre des 20 opérations de génération de transfert et de détection. ïïn puits de potentiel peut être engendré en un emplacement voulu du semi-conducteur en polarisant localement le semiconducteur. Ceci peut être facilité dans une forme de réalisation représentative, en formant un "dessin" des champs élec-25 triques sur la surface du semi-conducteur. Le dessin peut être d'un bloc pour certaines formes de'dispositifs (que l'on décrira dans la suite), ou il peut avoir une forme géométrique spécifique pour exécuter une fonction voulue, par exemple une fonction de logique. Dans une forme de réalisation préférée de 30 1'invention, les dispositifs peuvent comprendre un réseau métal - isolant - semi-conducteur et la région d'appauvrissement est formée en utilisant l'effet de champ bien connu. Les puits de potentiel peuvent être chargés initialement par divers procédés„ Ceux-ci seront traités en détail ci-après, 35 en même temps que des schémas de lecture ou de détection. La fonction de transport est réalisée en déplaçant les puits de potentiel le long du trajet de transport voulu. Ceci a pour BAPOmmÀ « 71 05003 5 2080529 effet de déplacer la charge accumulée dans chaque puits, les dispositifs décrits ci-dessus sont essentiellement des dispositifs à porteurs minoritaires> c'est-à-dire que les porteurs de charge qui représentent l'information sont des por-5 teurs minoritaires dans le semi-conducteur. Ceci suppose que le semi-conducteur a des propriétés favorables à la génération de porteurs minoritaires et que les étapes d'entrée et de détection se rapportent spécifiquement à ce type, c'est-à-dire à des dispositifs capables de transférer des porteurs minoritai-10 res. Cela supp-ose aussi que le comportement fonctionnel du dispositif repose sur la présence de régions appauvries à l'intérieur du semi-conducteur. cependant aussi être exécutées dans un ^gent d!emmagasinement 15 dans lequel les régions actives ou lieux d'emmagasinement sont en eux-mêmes appauvris en porteurs. Un tel agent d'emmagasinement peut être un des divers semi-conducteurs isolants ou semi-isolants connus. On s'est intéressé à ces matières pendant un certain temps, souvent à propos d'effets piézoélectriques et 20 photoélectriques. Des exemplaires de certaines matières semi-isolantes intéressantes pour l'invention sont des composés II-VI, particulièrement ZnO, CdS, ZnS, ZnSe et CdSe. Ces matières sont des semi-conducteurs ioniques avec de grands intervalles de bandes et une densité en porteurs de charge faible 25 dans son ensemble. D'autres matières qui ont ces propriétés sont KTaO^ et BaTiO^. Ces matières se présentent généralement comme semi-conducteurs de type n, bien que cette propriété ne soit pas importante pour le but de l'invention. Dans la matière de type n, les charges injectées ,transportées et détectées 30 seraient avantageusement des électrons. La description supposera qu'il en est ainsi là où il convient, bien que lfinvention ne soit pas limitée à ce choix» champ électrique nécessaire pouremmagasiner et pour représenter 35 la charge représentant l'information peut être relativement petit. Les tolérances sur l'écartement entre les lieux d'emmagasinement sç>nt dans certains cas moins sévères que dans des Les fonctions essentielles de ces dispositifs peuvent Il y a certains avantages à utiliser ces matières. Le 71 05003 4 2080529 dispositifs à porteurs minoritaires Comme certaines,de ces matières ont de grands intervalles de bandess la génération thermique des porteurs, ou "bruit", est caractéristiquement basse» Ceci permet une plus grande lon-5 gévité des porteurs et, par conséquents des temps d'emmagasinement plus longs» Dans une forme de réalisation préférée de l'invention, la matière a un intervalle de bandes dépassant 1,5 volt mais inférieur à 8 volts. Cet aspect de l'invention donne aussi une liberté consi-10 dérable dans le choix des matières pour ce qui est de leurs propriétés de surface ou de surface de séparation. Dans l'état actuel de la technique, la densité d'états de. la surface est caractéristique des matières qui forment la surface de séparation. Une réduction du nombre des états de surface (lieux de 15 recombinaison) rendue possible par l'emploi de nouvelles combinaisons de matières, aura pour résultat une plus grande longévité des porteurs et un transfert plus efficace. Un autre avantage qui a des implications de construction pour les réalisations de certains dispositifs, est que les porteurs représen-20 tant l'information peuvent être injectés directement dans le dispositif par un contact ohmique. L'étage de détection peut comprendre également un contact ohmique. La description détaillée suivante décrit différentes formes de réalisation de l'invention qui présentent en commun 25 la particularité fondamentale d'emmagasinement d'information décrite ci-dessus. Sur les dessins s - La figure 1,1a figure 2, la figure 3 et la figure 4 sont des schémas qui montrent le mécanisme de transport de 30 charge, qui est une particularité fondamentale de l'invention? - la figure 5 est une vue de face, en coupe, en partie schématique, d'un registre à décalage réalisant la particularité nouvelle d'emmagasinement d'informations. -la figure 6 est un programme d'impulsions pour le re-35 gistre à décalage de la figure 5; - la figure 7 est une vue de face, en coupe, en partie schématique, représentant un procédé préféré de. transport de charge 5 badoriûInal t 71 05003 5 2080529 - la figure 8,1a figure 9 et la figure 10 sont des représentations de moyens pour détecter la présence ou l'absence de charge dans l'étage de transport terminal ; - la figure 11 et la figure 12 sont des représentations 5 schématiques de techniques préférées pour favoriser le transport de charge ; - la figure 13 est une vue en plan d'un registre à décalage à canaux multiples constituant une extension du dispositif de la figure 5 j 10 - la figure 14 est une vue en plan d'un arrangement de conducteurs préféré, conçu pour éviter les croisements dans le circuit de commande d'emmagasinement à trois conducteurs ; - la figure 15 est une vue en perspective d'une partie d'un dispositif transporteur de charge illustrant une forme 15 préférée d'arrangement de contacts électriques ; - la figure 16 est une vue de face, en coupe, d'un dispositif de transport de charge montrant une variante de l'arrangement de contacts électriques ; - la figure 17 est une coupe,de face,très schématique 20 d'un dispositif de détection d'image utilisant clés particularités de l'invention ; - la figure 18 est une vue de face, en coupe, d'un moyen prévu comme variante pour le transfert de charge, qui ne nécessite pas de connexions par fils à chaque étage de transfert ; 25 - la figure 19 est une vue de face, en coupe, représen tant une variante de structure de celle de la figure 18 ; - la figure 20 est une vue de face, en élévation, d'une forme de réalisation de l'invention qui utilise un isolant ou un semi-isolant comme agent d'emmagasinement ; et 30 - la figure 21 est une partie modifiée de la figure 20. Les figures 1, 2, 3 et 4 représentent le processus de transfert de charge suivant une forme de réalisation. Le mécanisme de transfert de toutes les formes de réalisation est toujours conçu de la même façon. A la figure 1, le substrat ou 35 base de semi-conducteur 10 est recouvert d'une mince pellicule isolante 11 et comprend deux électrodes métalliques 12 et 13 qui font partie d'un réseau. A la figure 1, l'électrode 12 est 71 05003 6 2080529 polarisées alors que l'électrode 13 ne 1'est pas» Une région d'appauvrissement ou un puits de potentiel 14- se forme sous 15 électrode 12, A la figure 29 des charges minoritaires 159 créées par exemple par absorption d'un photon, engendrant une 5 paire trou-électron, sont montrées en train de migrer vers la région d'appauvrissement 14 et de s'y emmagasiner, lorsque l'électrode 13 est polarisée en même temps que l'électrode 12, la région d'appauvrissement s'étend de façon continue en dessous des électrodes, comme montré à la figure 3, La charge se 10 redistribue en travers de la couche agrandie. Quand on supprime la polarisation de l'électrode 12, comme montré à la figure A, la partie de la région d'appauvrissement sous l'électrode 12 disparaît en décalant toute la charge au puits de potentiel 14'. qui est maintenant associé à l'électrode 13, De même, l'entité 15 de charge représentée à la figure 4 peut être décalée pas à pas vers un emplacement quelconque du semi-conducteur. On corn-prendra que le substrat 10 des figures 1, 2, 3 et 4 peut être de type p et que le signe des charges sera inversé. L'utilisation de ce mécanisme de transport est représsn-20 tée suivant une,forme de réalisation de l'invention à propos du registre à décalage de la figure 5» On a choisi de dispositif pour illustrer l'invention car il s'agit d'une structure fonda-, mentale d'où, l'on peut dériver un grand nombre de formes de dispositifs de logique et de mémoire. La structure est sembla-25 ble à celle des figures 1 - 4, Un substrat de semi-conducteur 20 est couvert d'une couche diélectrique 21 sur laquelle est formée une suite d'électrodes 22 à 24, en groupes de trois, indiquées par a , b à n. Des conducteurs indiqués par 22',23' et 24' sont reliés à chaque troisième électrode, soit à chaque 30 fois une électrode sur trois» Dans cette forme de réalisation, l'étage d'entrée ou étage générateur, montré en 25, est un dispositif MIS-amené à l'état de fonctionnement à avalanche. La charge engendrée en 25 aigre, comme montré, vers le puits de potentiel 27a. La figure illustre la transmission d'un train 35 d'impulsions qui se suivent. On peut faire fonctionner le registre à décalage dans un mode à circulation continue pour augmenter la durée d'emma- BAD ORIGINAL 71 05003 7 2080529 gasinement ou pour régénérer le signal de façon à vaincre le bruit ou les pertes de charge en ramenant simplement le signal de sortie à l'étage d'entrée par l'intermédiaire d'un circuit de réaction approprié 33. 5 On remarquera qu'une application importante du disposi tif est implicite dans le fonctionnement du dispositif de la figure 5. Cette application est un retard de 1'information.ou du signal. Beaucoup de formes de lignes à retard peuvent faire usage de constructions du genre de celle de la figure 5» En po-10 larisant en ordre séquentiel les conducteurs 22', 23' et 24', la charge se déplacera pour passer dans la poche 271). De même, la charge est transportée dans la poche 27n et ensuite dans la région d'appauvrissement 28 accompagnant la jonction p~n 29 de l'étage de sortie. Une impulsion de sortie est alors détectée 15 aux bornes d'une charge 30, comme montré. Une source de polarisation 31 est reliée à l'électrode 32 pour polariser la jonction. L'étage de sortie montré ici utilise une jonction p-n pour extraire des charges recueillies de l'étage terminal 24n. 20 Un détecteur directement analogue, également efficace{ est un dispositif à barrière de Schottky. Un dispositif de Schottky convenable est décrit dans The Bell System Technical Journal, vol. XLIV, No.7, septembre 1965» aux pages 1525 - 1528. Pour des buts de définition, les dispositifs détecteurs de charge 25 prémentionnés peuvent être caractérisés par le terme de "couche barrière". Un programme d'impulsions donné comme exemple pour le registre à décalage de la figure 5 est montré à la figure 6. Ce diagramme représente la transmission du code binaire 1101.Bien 3C que cela ne soit pas évident d'après cette représentation abrégée, il est clairs d'après la figure 5t Que chaque élément 22a à 22n reçoit simultanément des impulsions en passant par le conducteur 22' et qu'il enest de même pour les conducteurs 23' et 24'• Les impulsions sur chaque élément sont réglées dans le 35 temps de telle façon que l'intervalle de temps entre débuts des impulsions qui se suivent, At, soit inférieur à trois fois la largeur d'impulsions, t . Ceci assure que l'impulsion à chaque S? .yUHNEHfcO Q.AU 71 05003 8 2080529 étage de la suite recouvre à la-fois 1:étage antérieur et -1!étage suivante. Autrement, un puits de potentiel pourrait dis.paraî-:tre avant que le suivant soit accessible à sa-charge«A la figure 6, la ligne supérieure représente la polarisation à la 5 sortie, la ligne qui la suit représente le signal de sortie et la ligne du "bas représente des impulsions d'entrée» En se reportant à la figure-3» on comprendra que le' temps de transfert de charge pour la partie de la charge située sous l'électrode 12.sera égal au temps de chute de l'impulsion 10 de la figure 6. L'expérience prouve que le temps de transfert dans les conditions précisées est très court» Cependant, si le programme d'impulsions de la figure 6 est relativement rapide, il peut, être avantageux d'utiliser une forme d'impulsion qui donne lieu à un temps de chute plus grand. Une forme d'impul-15 sion convenable pour cette fonction est la forme d'onde sinusoïdale. Une modification préférée du mécanisme de transport de charge suivant l'invention fait usage d'un dispositif de polarisation uniforme continu pour tous les conducteurs, de façon à 20 maintenir au moins une couche d'appauvrissement peu profonde sur toute la surface du dispositif. Cette polarisation pourrait être au moins égale à la tension de seuil pour produire une inversion dans l'état de régime. De cette façon, les états de surface fâcheux qui sont inévitablement présents aux surfaces 25 de séparation entre semi-conducteur et isolant (et qui provoquent une recombinaison superficielle fâcheuse) peuvent être maintenus relativement exempts de porteurs majoritaires. C'est-à-dire qu'en isolant le volume des porteurs, majoritaires de la surface de séparation par le moyen d'une couche de charge d'es-30 pace, les porteurs dans les états superficiels, une fois ré-combinés avec les porteurs minoritaires, ne peuvent être rétablis. Cette technique qui exige simplement une polarisation préalable sur chaque contact métallique assure une grande longévité des porteurs minoritaires qui constituent le signal. 35 Dans un dispositif qui a beaucoup d'étages, cet expédient peut être essentiel. La modification qui vient d'être décrite est représentée 71 05003 9 2080529 à la figure 7. le dispositif correspond à une partie médiane du registre à décalage de la figure 6» la couche semi-conductrice de hase 40 qui est à nouveau de 1gpe n ,1a couche isolante 41, et les contacts métalliques 42a» 43a, 44ar 42b, 43b et 44b et 5 les conducteurs associés 42% 43' et 44' correspondent à des éléments semblables de la figure 6. La distinction essentielle est la présence d'une tension de polarisation continue 7' sur tous les conducteurs pour former une région d'appauvrissement uniforme 45 sur le dispositif entier. Des puits de potentiel 10 46 sont formés sous les contacts 42a et 42b comme conséquence du fait que la tension d'impulsion Y est superposée à la ten- P sion de polarisation V. Le registre à décalage de la figure 5 est décrit comme ayant un dispositif à avalanche pour créer une charge à l'em-15 placement d'entrée 25. Il y a plusieurs variantes de procédés pour créer des porteurs de charge minoritaires. Par exemple, si l'étage d'entrée comprend une jonction p-n, des porteurs de charge minoritaires peuvent être injectés dans la région massive du semi-conducteur par des impulsions de polarisation di-20 rectes correspondant au signal d'entrée désiré.-En variante, on peut injecter des porteurs par un système MIS (métal -isolant - semi-conducteur) à avalanche comme décrit dans le Journal of Applied Physics, vol. 9, No.12, page 444. Une construction hybride utilisant un contact de surface métal-oxyde 25 sur une jonction p-n est efficace pour le même but. Une autre variante consiste à engendrer des paires de trous et d'électrons par absorption de photons ou par absorption d'un autre rayonnement ionisant. Les porteurs de charge minoritaires diffuseront vers une région d'appauvrissement voisine qui, dans le cas du 3C registre à décalage de la figure 5, est le premier étage 27a. Un moyen pour réaliser cela est montré en pointillés en 33 à la figure 5. L'élément 33 est une source de lumière - dans le présent cas une représentation schématique d'une diode électroluminescente. Ce mécanisme pour la production de porteurs 35 minoritaires est très utile pour les dispositifs formateurs d'images basés sur les principes de l'invention. On en donnera une description plus détaillée dans la suite. 71 05003 10 2080529 l'étage de sortie peut aussi prendre différentes formes. les figures 8S 9 et 10 représentent quelques variantes. Ces figures montrent la section terminale du dispositif de la figure y compris le dernier étage de transfert 24n. Chacun de 5 ces dispositifs est un dispositif de détection de charge construit suivant les principes connus. A la figure 8, le détecteur est un dispositif MIS et il convient donc particulièrement du point de vue traitement lorsqu'un réseau MIS comprend les étages de transfert. Avec le semi-conducteur appauvri, la capacité 10 associée à l'électrode de détection 50 indiquera la présence ou l'absence de charge introduite extérieurement dans la région appauvrie 51. la capacité aux bornes du détecteur MIS est mesurée par un pont normal de mesure de capacité, comme montré, et la valeur est indiquée au détecteur 52. La source de polarisais tion 55 est commutée par le commutateur 54 pour polariser de façon intermittente la partie du semi-conducteur en dessous de l'électrode 50 pour établir la région d'appauvrissement en vue d'attirer la charge à détecter et pour faire ensuite disparaît tre la région appauvrie pour recombiner les charges qui peuvent 20 s'être accumulées. Dans l'étage de détection de la figure 9,une source de courant alternatif 55 est reliée aux deux plaques de champ voisines 56- et 57, ces dernières constituant à nouveau des dispositifs MIS avec le semi-conducteur 20 et une couche isolante 25 21.Une source de polarisation 58 maintient une région d'appauvrissement 59 en dessous des deux électrodes 56 et 57. Si une charge est présente dans l'étage de transfert terminal 24n, elle est transférée au puits de potentiel accompagnant la plaque 56 lors du demi-cycle négatif, et ensuite vers le puits de 30 l'électrode 57 pour le demi-cycle négatif de cette dernière. Ce transfert de charge dans un sens et dans l'autre en dessous des électrodes 56 et 57 change l'impédance du circuit depuis sa valeur sans charge dans la couche d'appauvrissement. On peut donc détecter la présence ou l'absence de charge aux bornes de 35 l'impédance 60, à l'aide du potentiomètre 61. Le commutateur 62 fonctionne pour effacer la charge à la façon du commutateur 54 de la figure 8. La vitesse de la fonction d'effacement peut être bad original « 71 05003 2080529 améliorée en prévoyant un réseau de commutation pour inverser la polarisation continue plutôt que d'enlever simplement la polarisationo L'étage détecteur de la figure 10 repose sur une mesure 5 de tension continue pour détecter la charge de surface de séparation Qj accumulée entre le semi-conducteur 20 et l'isolateur 21. L'électrode 63 est polarisée négativement par la source 64 reliée en série avec une capacité de blocage qui est montrée sur la figure comme capacité 65 mais qui peut, en va-10 riante.- être une diode. Un changement du niveau de charge est répercuté par un changement de la capacité équivalente du dispositif MIS. Ceci affecte la division de capacité entre cet élément et la capacité 65, conduisant à un changement de La tension peut être mesurée de diverses façons, par exemple 15 par l'électrode de commande d'un transistor à effet de champ. A la figure 10, on a montré un dispositif à effet de champ intégré avec la base de semi-conducteur 20 du dispositif d'emmagasinement. Une région p 20a est montrée comme représentant l'isolant suivant les techniques connues des circuits intégrés. 20 La tension que l'on mesure est reliée à l'électrode de commande 66. La couche isolante pour l'électrode de commande est montrée comme étant un prolongement de la couche isolante 21. Les régions de source et de drain 67 et 68 sont diffusées à travers des fenêtres formées dans cette couche. Les électrodes 25 de source et de drain 69 et 70 sont reliées par l'intermédiaire de la charge 71 à la source de polarisation 72. Le détecteur 13 indique l'état de conduction du transistor à effet de champ qui révèle la présence ou l'absence de charge Qj de la façon suivante. 30 Une impulsion positive délivrée par la source d'énergie 64 recombine toute charge résiduelle et amorce le dispositif pour la détection. Une impulsion négative place une charge positive sur la plaque 63 et appauvrit la région placée sous cette électrode pour recueillir des trous délivrés (ou non dé-35 livrés) par l'étage terminal 24n. L'électrode de commande 66 est polarisée au même potentiel, laissant le transistor à effet de champ dans un état de fonctionnement indiqué par 73. Si la iA&cfcr* > 71 05003 12 2080529 charge pénètre dans la région située en dessous de la plaque 63 » le potentiel négatif sur cette plaque sera réduit. La réduction correspondante du potentiel sur l'électrode de commande 66 mettra le transistor à effet de champ dans un état d*inae-, 5 tivité. S'il n'y a pas de charge Qj, le "transistor à effet de champ restera actif, Le dispositif de la figure 10 est montré comme partiellement intégrée Le transistor à effet de champ peut être utilisé séparément p ou "bien le dispositif peut être intégré encore 10 en intégrant par exemple les éléments 65 et 71 et les connexions électriques » Le mécanisme de transport de charge décrit à propos de la figure 1 repose sur la diffusion thermique de porteurs de charge du puits de potentiel 14 au puits de potentiel 14*. Bien 15 que ce mécanisme de transport soit adéquat, on peut réduire sensiblement le temps de réponse de dispositifs utilisant ce mécanisme en utilisant un champ électrique pour entraîner, la charge vers le nouvel emplacement. Dans bien des .cas, l'emploi ' du champ d'entraînement. améliorera le rendement de l'effet de 20 collection. Un moyen pour obtenir ce résultat est de donner au puits de potentiel une forme telle qu'un gradient de champ existe entre des parois adjacentes. Ce schéma qui, dans le but de la descriptions sera appelé "amélioration par champ" est montré dans deux formes de réalisation données comme exemples 25 aux figures 11 et 12. La figure 11 montre deux conducteurs 72 et 73 situés sur une couche isolante 74 qui;, à son tour9 recouvre le substrat semi-conducteur 75. Avec les conducteurs-72 et 73 polarisés9 leurs couches d'appauvrissement respectives semblent avoir des 3C formes indiquées par les lignes en tirets 76 et 77. Ces lignes qui représentent les limites de la région appauvrie du semiconducteurs sont aussi fonction du potentiel de champ à la surface de séparation entre isolant et semi-conducteur. Il est donc commode, dans cette discussion,, de considérer ces 35 lignes limites comme des profils du champ le -long de la surface du semi-conducteur où la charge est emmagasinée. En conséquence du choix des dimensions des électrodes comparables à ou infé- ®A0 71 05003 13 2080529 rieures à l'épaisseur de l'isolant, le champ s'approche du cas où il semble émaner d'un point plutôt que d'une plaque(comme à la figure 1) et produit un gradient de champ continu le long de la surface. Ce gradient de champ se décrit convenablement 5 comme un puits de potentiel et il tend à confiner la charge en son centre. Lorsqu'on amène ces puits à se recouvrir,(état de choses implicite d'après la discussion précédente , par exemple d'après le programme d'impulsions de la figure 6), le profil de champ composite est marqué par le trait mixte 78 de la figure 10 11. Il est intuitif que les charges se transporteront de la région située sous l'électrode 72 vers l'électrode 73. Après la disparition du champ d'appauvrissement représenté par la ligne 76, les charges seront balayées vers la région de surface de plus haut potentiel dans le puits représenté par la ligne 77, 15 ou directement sous l'électrode 73. L'amélioration par le champ peut être rendue plus efficace en utilisant une forme d'impulsions comme montrée à la figure 12. Par exemple, si l'on applique une impulsion en dents, de scie aux électrodes 72 et 73, alors, à un instant t^, pen-o-20 dant la période de recouvrement des impulsions (période de transport des charges), l'électrode 72 sera polarisée à une moindre tension que l'électrode 73. Ceci est indiqué schématiquement par les flèches près des formes d'impulsions respectives. Les profils de champ séparés en t^ sont décrits par les lignes en 25 tirets 79 et 80, avec le profil composite apparaissant dans la ligne en traits mixtes 89. Le gradient du champ dans la direction du transport de charge voulu s'étend instantanément de toutes parts à la région immédiatement en dessous de l'électrode 73. 30 Les schémas qui viennent d'être décrits ne sont que deux des nombreuses possibilités de produire un gradient de champ ou un champ d'entraînement pour la charge (ou l'absence de charge) accumulée à l'emplacement d'emmagasinement initial. On entend que tous les arrangements produisant une amélioration 35 par champ du transport de charge soient compris dans cette forme de réalisation de l'invention. Le registre à décalage à une dimension de la figure 5 71 05003 H 2080529 peut avantageusement être incorporé dans un registre à canaux multiples tel que le montre la figure 13. Il est évident que l'arrangement linéaire de la figure 5 exige au moins n croisements (la figure montre 3n=? croisements, mais une modification 5 immédiate réduit ce nombre à n)° Les croisements sont utilisés plus économiquement dans l'arrangement de la figure 13 où le même nombre de croisements peut produire un nombre plus grand de canaux. La figure 7 montre quatre canaux mais ce nombre peut être augmenté sans ajouter des connexions de croisement supplé-10 mentaires Une autre forme de réalisation qui est avantageuse du point de vue de la diminution des croisements est représentée par la configuration d'électrodes de la figure 14» On y voit une partie d'un dispositif qui peut être par exemple, une vue 20 en plan d'un dispositif semblable à celui de la figure 7 et dans lequel les conducteurs sont arrangés de telle sorte que l'on évite la nécessité de connexions croisées. En utilisant des nombres précédés de 1 pour indiquer des éléments qui correspondent à ceux de la figure 7, on dépose directement les 25 trois conducteurs 142', 143' et 144' sur une partie surélevée de la couche isolante 140 et ces trois conducteurs relient entre elles les électrodes 142a, 142b, 143a,143b et 144a,144b , respectivement. Le trajet suivi par la charge lorsqu'elle avance pas à pas à travers cette section, est indiqué par la 30 ligne en tirets 145. A ce point de vue, on remarquera que la charge est transportée sous les fils conducteurs et forme ainsi un arrangement commode à croisements par en dessous. D'autres arrangements semblables dans leur conception à ceux de la figure 14 se présenteront aux spécialistes. On peut 35 les décrire de façon générale comme des dispositifs comportant plusieurs électrodes , dans lesquels chaque troisième électrode est reliée à l'un de trois conducteurs et est voisine de deux 71 05003 15 2080529 électrodes, chacune de ces dernières étant reliée à l'un des deux autres conducteurs, tous les conducteurs et les électrodes étant déposés sur une surface de substrat unique. La disposition des conducteurs suivant la surface du dispositif peut être 5 ' une chose importante. Dans un grand réseau, on ne peut, pratiquement 5 lier chaque conducteur à l'électrode qui lui est associée. Par conséquent, le circuit de transfert de charge sera ordinairement imprimé directement sur 1:isolant qui couvre le substrat. Cependant, l'efficacité de l'invention repose souvent 10 sur une maîtrise soigneuse du profil de champ à la surface de séparation du semi-conducteur et de l'isolant.Si les conducteurs sont en contact direct avec l'isolant, le champ provenant de chaque conducteur perturbera le profil de champ voulu. Pour remédier à cette situation, on peut former une épaisseur d'oxyde 15 sur le semi-conducteur. La figure 15 montre un tel agencement en perspective. On revêt d'abord le substrat semi-conducteur 110 d'une mince couche isolante 111. On forme ensuite sur la couche 111 une couche épaisse d'une autre matière isolante et on l'attaque pour former une grille 112 avec des ouvertures 20 pour les plaques de champ métalliques 115. Les plaques de champ peuvent être déposées en même temps que les connexions intérieures 114, dans une simple étape photolithographique. On a montré sur la figure certains recouvrements pour assurer que les endroits soient complètement recouverts. Les trajets con-25 ducteurs 114 allant aux électrodes 115 sont isolés du substrat par 1:isolant épais 112. La double épaisseur de la couche isolante est réalisée commodément en choisissant deux matières isolantes différentes telles que SiÛ2 et 312^ Qui répondent de façon différente à l'attaque. Ainsi, lorsqu'on veut attaquer 5C la seconde couche., pour former des fenêtres pour les électrodes, on peut choisir un agent d'attaque qui n:attaque pas la première couche isolante. Un autre moyen connu dans la technique pour former une couche de double épaisseur consiste à faire le dépôt d'une première couche continue, à obtenir les fenê-55 très par attaque et à faire le dépôt d'une seconde couche uniforme . La figure 16 illustre une technique de fabrication par 71 05003 16 2080529 ticulièrement commode,, On y voit une coupe de face d'une partie d'un dispositif planaire traité. Le substrat de semiconducteur 120 ast à nouveau couvert d'une mince couche isolante convenable 121. On dépose sur la couche 121 une couche 5 métallique continue et on l'attaque pour former des électrodes métalliques discrètes 122-124. On dépose ensuite une couche isolante continue 125 sur les électrodes 122-124. On produit par attaque des fenêtres dans la couche 125 jusqu'au métal sous-jacent. On dépose ensuite un conducteur-poutre 128 de façon 10 qu'il vienne en contact avec les électrodes 122-124. Le procédé présente un avantage net du fait qu'il ne comporte aucune étape critique d'alignement de photoréserves. La possibilité de produire des porteurs de charge minoritaires dans la semi-conducteur par absorption de photons» 15 comme mentionné précédemment, et comme on l'a traité complètement dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique No. 3.403.284 accordé le 24 septembre 1958 à Buclc et d'autres, fait intervenir .une autre catégorie de dispositifs qui font usage du mécanisme d'emmagasinement d'information et de transport de charges 20 suivant l'invention. Une formé de ce dispositif est constituée par une caméra vidéo dont la figure 17 est une illustration schématique. La caractéristique essentielle de cette catégorie de dispositifs est l'enregistrement d'information en parallèle. La lumière sous forme de l'image optique qu'on enregistre tombe 25 sur le côté du semi-conducteur 130 opposé aux éléments de commande de 1'emmagasinement.Ces derniers comprennent à nouveau des dispositifs métal - isolant - semi-conducteur, comme à la figure 5. On répétera que ces éléments peuvent être construits suivant une quelconque des formes de réalisation décri-30 tes ici et qu'il peut s'agir d'autres types de dispositifs à couche d'appauvrissement tels que des structures typiques de transistors. Le réseau montré comprend trois emplacements de bits constitués de trois électrodes indiquées par 132a à 134a, 132b à 134b et 132c à 134c reliées aux conducteurs 132', 133' 35 et 134', comme dans l'arrangement de la figure 5. Sauf pour ce qui est de la particularité de l'enregistrement en parallèle, les autres opérations de charge et de lecture peuvent se confor 71 05003 17 2080529 mer à ce qui précède. L'arrangement ou réseau linéaire montré à la figure 17 peut représenter une ligne de trame dans un système vidéo. La charge est emmagasinée aux emplacements 132a-132c pendant la période d"intégration optique. Elle est lue en 5 série en transportant la charge dans la section de lecture (voir figure 5). Par la lecture séquentielle de chaque ligne de trame $ on construit le cadre ou image vidéo. Il est évident maintenant que le but essentiel du schéma de transport de charge est de créer un potentiel en mouvement 1C qui suive bien la surface du semi-conducteur. L'emploi de connexions électriques à cette fin a été décrit. Cependant, d'autres moyens pour produire un potentiel en mouvement auront des avantages particuliers. Une variante intéressante, par exemple, est celle d'un champ qui accompagne une onde acousti-15 que en propagation dans un milieu piézoélectrique. La figure 18 représente une forme de réalisation basée sur ce principe. Cette figure montre une partie du registre à décalage de la figure 5 avec le semi-conducteur 159s l'isolant 160 et une série de contacts métalliques 161 correspondant essentiellement à 20 des éléments semblables de la figure 5. On dépose une couche piézoélectrique 162 sur le contact de métal. Cette couche peut être composée - d'une matière piézoélectrique convenable telle que l'oxyde de zinc ou le sulfure de cadmium et on peut la déposer en phase vapeur ou par projection cathodique. Un transducteur 25 piézoélectrique (non montré) ou un autre dispositif convenable quelconque crée une onde ultrasonique qui se propage à travers la couche 162 parallèlement à la surface du dispositif. Le champ électrique qui accompagne la déformation élastique dans la couche piézoélectrique polarise les électrodes 161 les 30 unes à la suite des autres et crée des puits de potentiel 163 qui se déplacent le long de la surface du semi-conducteur 159* C'est ce que l'on obtenait pas à pas à la figure 5. En étendant la solution du champ en mouvement de la figure 18, on peut éliminer- les électrodes discrètes. Par exemple, la figure 19 35 montre un dispositif de construction très simple. La couche de semi-conducteur 170 est revêtue directement d'une couche piézoélectrique 171. Dans ce dispositif, le champ qui s'est propagé 71 05003 18 2080529 en association. avec 1'onde élastique dans l'agent 171 (amorcé® par un générateur d'ultrasons approprié non montré) est utilisé pour former-des puits de potentiel qui se meuvent, 172» On peut utiliser une électrode métallique 173 pour créer une cou-5 eixe d7appauvrissement uniforme sur toute, la surface de transport de charge9 dans le 'but que l'on a décrit à propos de la figure 7» Bien que l'on ait décrit les diverses formes de réalisation prémentionnées du point de vue de leur construction, il 10 est bon d'en discuter des particularités importantes. Un avantage du concept nouveau de dispositif décrit ici est que l'on dispose de matières convenables pour chacun des dispositifs décrits et qu'on en comprend bien le fonctionnement. Par exemple, ces dispositifs peuvent être-fabriqués en silicium et en 15 silice, suivant la technologie bien établie. Dans certaines circonstances, il sera particulièrement intéressant d'utiliser comme couche isolante des combinaisons d'isolants comme SiOg-SiH , SiOj-AlgO^, etc. Pour les électrodes, on utilisera alors 1"aluminium et le silicium dopé. Une construction intéressante 20 pour le dispositif d e la figure 2 pourrait utiliser du silicium de type n de 10 ohms/cm comme couche de base 20 et une épaisseur de 1 . 10 ^ mm à 2 . 10~^ mm de Si02 obtenu par croissance thermique, pour la couche 21, L'oxyde qui a donné les meilleurs résultats est un oxyde sec d'une épaisseur de 1,2 . 10~^ mm 25 développé dans de l'oxygène à 1100°C pendant 1 heure et recuit dans une atmosphère d'azote à 400°C pendant 1 heure. Le potentiel de base pour cet oxyde est typiquement de -5 volts et la 10 2 densité d'états de surface est de l'ordre de 10 états/cm . Les électrodes 22-24 peuvent avoir une épaisseur quelconque, —3 30 par exemple une épaisseur comprise entre 0,1 . 10 mm à quelques millièmes de mm. Un générateur de charge approprié est constitué par une région p ayant une concentration en bore de 13 .3 10 atomes/cm , amenée aux conditions de déclenchement de l'avalanche, c'est-à-dire soumise à quelques volts. Le détec-35 teur peut être une jonction p-n semblable. La création et la détection de porteurs minoritaires dans les semi-conducteurs peuvent être réalisées par des techniques bien connues. ç BADOfUGINAL V- 71 05003 19 2080529 Les dimensions du réseau de transfert peuvent varier largement. L'écartement entre les électrodes dépend de l'éten-_ due accordée à la région de charge d'espace. Par exemple, si le semi-conducteur est du silicium de 10 ohms/cm et si on uti-5 lise une tension de 10 volts, la région d'appauvrissement _3 s'étendra jusqu'à 5 • 10 mm. Cela suggérerait un écartement entre électrodes de l'ordre de quelques millièmes de mm pour avoir le recouvrement nécessaire. On réalise aisément, au moyen des techniques connues, la création et la détection des 10 porteurs de charge minoritaires, dans le silicium. On comprendra pourtant que les dispositifs décrits ici ne se limitent pas à l'usage du silicium et de la technologie qui s'y rapporte et dont il n'a été question qu'à titre d'exemple. Un dispositif utilisant un isolant comme agent d'emmaga-15 sinement ou un demi-isolant est montré à la figure 20.-Ce dispositif est essentiellement un registre à décalage semblable à celui de la figure 5. Une particularité caractéristique de ce dispositif est la matière 180 qui constitue l'agent d'emmagasinement. Cette 20 matière est isolante ou semi-isolante.Cela signifie que, pendant le fonctionnement, la matière est appauvrie de porteurs libres qui pourraient se combiner avec une charge transportée d'un endroit d'emmagasinement à un autre. Des matières spécifiques douées de cette propriété et 25 considérées comme avantageuses sont : ZnO, ZnS, CdS et KTaO^. La couche isolante 181 est en matière diélectrique mince, de grande qualité, ayant des propriétés qui conviennent pour en faire la couche intermédiaire d'un dispositif MIS. On peut citer SiO^ et Al^O^ comme matières d'exemple .Les plaques de 30 champ en métal 182a, 182b, 182n, 183a, 183b, 183n, 184a, 184b et 184n sont reliées à un système de commande à trois fils qui comprend les conducteurs 182, 183 et 184. Si l'on polarise ces conducteurs en ordre successif, on polarise en ordre successif les plaques de champ et on crée un champ progressif apparent 35 le long de la surface du corps semi-isolant 180. Des porteurs injectés par l'étage d'entrée 185 seront transportés par ce champ à l'étage de sortie 186 où la présence ou l'absence de iJAVH:' H-~*\ ■ ■ -Ai:. 71 05003 20 2Û80529 charge est détectée de la manière décrite précédemment. On peut définir plus spécifiquement la matière 180 en se basant sur l'expression suivante s . 5 où £ est la constante diélectrique de la couche isolante 181, E est le__champ électrique à travers cette couche, e est. la char- „ *|Q ge de l'électron (1,6 . 10 coulombs) , t est l'épaisseur du milieu 180 et n est la concentration en porteurs libres de ce milieu. 10 Le produit 6.E définit la polarisation P de l'isolant 181. La polarisation observée po«.r un isolant de qualité exception- —6 — 2 nelle est de 10 . 10™ coulombs cm „ Ainsi, une valeur maxi- 13 maie pratique pour la quantité P/e est de l'ordre de 6 . 10 , de sorte que l'équation (1) peut être réduite à: 15 nt Alors que ces expressions servent à distinguer les matières de l'invention des semi-eonducteurs plus classiques dont il a été question précédemment, il peut être utile de différencier encore ces matières de matières fortement isolantes 20 dans lesquelles la mobilité est si faible que la conduction par trous ou électrons ne peut être envisagée. Pour le but poursuivi, la matière devrait avoir une mobilité d'au moins 10 cm /volts.s» Alors que des matières spécifiquement utiles pour l'invention ont des intervalles de bandes de l'ordre de 25 quelques volts, il n'y a pas de maximum théorique puisque l'agent ou milieu d'emmagasinement lui-même n'a pas à fournir de porteurs. Il est nécessaire cependant d'avoir une différence-barrière, par exemple d'un volt au moins, entre l'agent d'emmagasinement et l'isolant voisin» Ainsi, par exemple, si l'agent 30 d'emmagasinement est une matière à grand intervalle de bandes tel que SiOg, l'isolant doit avoir un intervalle de bandes plus grand (par exemple BeO)„ On doit remarquer que les étages d'entrée et de sortie ou l'un de ceux-ci peuvent comporter des contacts ohmiques pour l'injection et/ou la collection direc-35 tes de porteurs. Cependant, dans certains cas, il peut être avantageux d'avoir une barrière redresseuse à l'un ou l'autre lieu, comme faisant partie par exemple d'un réseau formateur "^ORIGINAL v 71 05003 21 2080529 d'impulsions ou d'un réseau détecteur d'impulsions. En pareil cas, il ne serait pas étonnant d'utiliser par exemple un contact à barrière de Schottky, en 185 ou en 186. Une construction préférée de l'invention comprend, en 5 plus des éléments montrés à la figure 20, une couche MIS du côté avers du corps semi-isolant 180. Cette construction ajoutée permet d'imposer un champ au corps 180 sans injecter de porteurs. Cela sert à diminuer la charge transférée à la région de surface active du dispositif, en augmentant ainsi le rende-10 ment du transfert de charge. Ce moyen est également utile lorsque la couche 180 est très mince, comme par exemple lorsque la couche est une pellicule mince déposée, la construction qui vient d'être décrite est montrée à la figure 21 comme faisant partie du dispositif de la figure 20, en y ajoutant une cou-15 che isolante 187 et une couche de métal 188. Le moyen de polarisation 189 est rendu négatif par rapport au contact d'injection 185, dans le cas où la matière 180 est de type n. La couche 187 peut être formée avantageusement dans l'opération qui sert à former la couche 181. ,AO ORIGINAL 71 05003 22 2080529 REVENDICATIONS 1.- Dispositif d.'eramagasineiaent d'information comprenant un agent d®emmagasinement pour stocker des porteurs de charge électrique en quantités qui représentent de l'information en 5 différents lieux d'emmagasinement discrets à la surface ou près de la surface de l'agent g3emmagasinement discret, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens pour transférer à l'intérieur de cet agent des porteurs de charge emmagasinée d'un lieu d'emmagasinement à chacun des autres, et finalement à un 10 lieu de détections et des moyens pour détecter la charge emmagasinée au lieu de détection. 2.- Dispositif suivant la revendication.1, dans lequel l'agent d'emmagasinement est un corps de matière semi-conductrice, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens asso- 15 ciés à une surface du corps pour former une région d'appauvrissement localisée en un premier lieu d'emmagasinement, des moyens d'entrée pour créer des porteurs de charge minoritaires représentant de l'information d'entrée dans la région d'appauvrissement, des moyens de sortie de l'information au lieu 20 de- détection, les moyens dë transfert ayant pour effet de transférer les porteurs essentiellement parallèlement à la surface, du premier lieu d'emmagasinement à d'autres et de là au lieu de détection. 3°- Dispositif suivant la revendication 1, dans lequel 25 l'agent d'emmagasinement est un corps de matière semi-conductrice d'un type de résistivité donné, une couche isolante mince couvrant au moins une partie d'une des surfaces du corps, caractérisé en ce que les moyens de transfert comprennent une série d'électrodes métalliques prévues sur ladite surface en 3C des lieux successifs et définissant une trajectoire le long de la surface sous-jacente du corpsydes moyens pour former des porteurs de charge minoritaires en dessous d'une première électrode et des moyens pour polariser successivement la série d'électrodes pour appauvrir successivement la région du corps 35 en dessous des électrodes, la polarisation ayant un potentiel tel que les régions appauvries en dessous de régions voisines se recouvrent partiellement, en transférant les porteurs.de I ï ^ v 6AD ORIGINAL } 71 05003 23 2080529 charge minoritaires d'un lieu à un autre à travers le corps semi-conducteur suivant une trajectoire, jusqu'à une électrode associée au lieu de détection, en sorte que la présence ou l'absence de charge minoritaire soit détectée dans le semi- 5 conducteur en dessous de l'électrode associée. 4-.- Dispositif suivant la revendication 3, caractérisé en ce que la matière semi-conductrice est du silicium. 5.- Dispositif suivant la revendication 3, caractérisé en ce que la couche isolante comprend du SiO^. 10 6.- Dispositif suivant la revendication- 2, caractérisé en ce que les moyens pour créer des porteurs de charge minoritaires comprennent une jonction p-n. 7.- Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens pour créer des porteurs de charge minori- 15 taires comprennent un dispositif MIS à avalanche. 8.- Dispositif suivant la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens pour créer des porteurs de charge minoritaires comprennent une source de lumière. 9.- Dispositif suivant la revendication 2, caractérisé 20' en ce que les moyens pour détecter des porteurs'de charge minoritaires comprennent un dispositif MIS. 10.- Dispositif suivant la revendication 9, caractérisé en ce que le dispositif MIS est relié à l'électrode de commande d'un transistor à effet de champ pour mesurer la capacité du 25 dispositif MIS. 11.- Dispositif suivant la revendication 3» caractérisé en ce que les moyens pour polariser en ordre séquentiel la série des électrodes comprennent trois conducteurs séparés dont chacun est relié à une troisième électrode-différente, chaque 30 fois, dans la série. 12.- Dispositif suivant la revendication 10 , caractérisé en ce que les électrodes de la série sont conformées et placées de telle sorte que les trois conducteurs séparés s'étendent parallèlement l'un à l'autre. 35 13.- Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de sortie d'information sont couplés aux moyens d'entrée pour assurer une circulation continue de l'information. BAD ORIGINAL 71 05003 24 2080529 14.^ Dispositif suivant la.revendication-13, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens pour régénérer l'information détectée par les moyens de sortie. - 15?- Dispositif suivant.la revendication 11, caractérisé 5 en ce que les moyens de polarisation comprennent ' un générateur d'impulsions pour appliquer une impulsion à chaque conducteur en ordre séquentiel,.mais en sorte que les impulsions sur les conducteurs séquentiels se recouvrent pendant une partie de Ie impulsion. 10 16.- Dispositif suivant la revendication 14s caractérisé en ce.que les impulsions sont des impulsions d'ondes carrées. 17Dispositif suivant-la revendication 15, caractérisé en ce que les impulsions sont des impulsions d'ondes sinusoïdales. 15 18.- Dispositif suivant la revendication 15, caractérisé en ce que les impulsions sont des impulsions en dents de scie. 19.- Dispositif suivant la revendication 3, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens pour polariser toutes les électrodes à un potentiel uniforme en sorte que la surface de 20 séparation entre le semi-conducteur et l'isolant soit maintenue appauvrie pendant le fonctionnement du dispositif. 20.= Dispositif suivant ,1a revendication 3» caractérisé en ce que le détecteur comprend un circuit de pont capacitif pour mesurer les changements de capacité du sémi-conducteur en 25 dessous de son électrode associée. 21.= Dispositif suivant la revendication 3» caractérisé en ce que les moyens détecteurs comprennent deux électrodes voisines avec des moyens.pour relier une source de courant alternatif aux électrodess et des moyens pour mesurer la dissi- 30 pation de puissance de ce courant alternatif. 22.- Dispositif suivant la revendication 2, caractérisé en ce que les électrodes sont espacées d'une distance d'environ 3 . le"5 mm. 23.- Dispositif suivant la revendication 2, caractérisé 35 en ce que la longueur des électrodes dans la direction de la trajectoire est comparable à l'épaisseur de l'isolant ou lui est inférieure. BAD OB1GINM. ^ 71 05003 25 2080529 24.- Registre à décalage à canaux multiples comprenant le dispositif de la revendication 1, caractérisé en ce que plusieurs séries d'électrodes de métal sont formées sur cette surfaces chaque série constituant un canal du registre à déca- 5 lage définissant une trajectoire le long de la surface sous-jacente du corps semi-conducteur. 25.- Registre à décalage à canaux multiples comprenant le dispositif de la revendication 1» avec un corps de matière semi-conductrice d'un type de résistivité donné où une couche 10 isolante mince couvre au moins une partie d'une des surfaces du corps, caractérisé en ce qu'il comprend un réseau d'électrodes métalliques, formé sur cette surface aux lieux , plusieurs électrodes d'entrée arrangées., le long d'un côté du réseau, plusieurs électrodes de sortie arrangées le long du côté opposé 15 du réseau , et une série de groupes d'électrodes s'étendant entre chaque électrode d'entrée et une électrode de sortie, chaque série comprenant avec ses électrodes associées d'entrée et de sortie un canal du registre à décalage, l'écartement entre les électrodes de chaque série étant inférieur à l'écarte-20 ment entre les électrodes de la série voisine , chaque groupe d'électrodes comprenant une première électrode, une seconde électrode et une troisième électrode en ordre successif, un premier, un deuxième et un troisième conducteur reliés respectivement chaque fois à la première,à la deuxième et à la 25 troisième électrode , et des moyens pour polariser le premier, le deuxième et le t roisième conducteur en ordre successif avec des impulsions électriques qui se recouvrent séquentiellement . 26.- Dispositif suivant la revendication 3> caractérisé 30 en ce qu'une couche isolante couvre toutes les électrodes métalliques ,sauf en ce qui concerne des ouvertures à travers la couche, qui mettent à nu une partie de chaque électrode, et avec des contacts métalliques déposés dans ces ouvertures. 27.- Dispositif suivant la revendication 2, caractérisé 35 en ce que les moyens d'entrée comprennent des moyens pour former une image lumineuse sur le corps semi-conducteur. 28.- Dispositif suivant la revendication 3, caractérisé ■ » ) oftjûlnal 71 05003 26 2080529 en ce que des porteurs minoritaires sont formés simultanément en dessous de chacune des électrodes de la série par une image lumineu.se projetée sur le corps semi-conducteur. 29.- Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé 5 en ce que les moyens pour transférer, les porteurs.de charge minoritaires comprennent un champ électrique qui se déplace effectivement à l'intérieur du corps semi-conducteur. 30.- Dispositif suivant la revendication 29» caractérisé en ce que le champ électrique est engendré en polarisant séquen- 10 tiellement une série d'électrodes. 31®- Dispositif suivant la revendication 29s caractérisé en ce qu'une couche piézoélectrique est formée sur l'une des surfaces du dispositifs et en ce qu'il y a des moyens pour créer une onde acoustique dans cette couche, en sorte que le 15 champ électrique soit créé par l!onde acoustique se propageant dans la couche piézoélectrique. 32.- Dispositif d'emmagasinement d'information suivant la revendication 1, caractérisé ea ce que l'agent d'emmagasinement comprend une matière isolante ou semi-isolante (181). 20 33=- Dispositif suivant la revendication 32,caractérisé en ce que la matière isolante a un intervalle de bandes de l'ordre de 1,5 volt à 8,0 volts. 34.- Dispositif suivant la revendication 32,caractérisé en ce que la matière semi-isolante est choisie dans le groupe 25 comprenant ZnO, ZnS, CdS, CdSe, ZnSe, BaTiO^ et KTaO^. 35o- Dispositif suivant la revendication 32,caractérisé en ce qu'une structure MIS couvre la surface opposée à la première surface. 36.- Dispositif suivant la revendication 19 caractérisé. 30 en ce que les moyens de transfert - comprennent une couche isolante et plusieurs plaques de champ conductrices sur la couche isolante. 37.- Dispositif suivant la revendication 36, caractérisé en ce que la matière isolante ou semi-isolante satisfait au 35 critère suivant -4—> nt où£ est la constante diélectrique de la couche isolante, E est BAOOHtÛiKAL * 71 05003 27 2080529 le champ électrique à travers la couche isolante, e est la charge de l'électron, t est l'épaisseur de la matière semi-isolante et n est la concentration de porteurs dans la matière. 38.- Dispositif suivant la revendication 37, caractérisé 13 5 en ce que nt 39«- Dispositif suivant la revendication 32, caractérisé en ca que les moyens de transfert (182-184) donnent un champ électrique qui change le long de la surface de l'agent d'emmagasinement. 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