FR 2096583 A1 19720218 FR 7118318 A 19710513 71 18318 1 2096583 La présente invention concerne un dispositif à onde de surface acoustique piézoélectrique. Jusqu'à présent, des ondes acoustiques de masse se propageant dans une colonne d'onde acoustique ont été utilisées pour changer l'aimantation 5 d'un film magnétique mince ayant une anisotropie uniaxiale. Le film est commuté par la contrainte générée dans le film par la tension qui lui est communiquée par l'onde acoustique. On trouvera une illustration de cette technologie dans "Sonic Film Memory" de H. Weinstein et al, RCA Review, vol. 28, page 317, Juin 1967. 10 On sait qu'un film semiconducteur amorphe a un seuil pour la commutation et la mémoire, dû à l'application d'un champ électrique. Le film passe d'un état isolant à haute résistance à un état conducteur à faible résistance lorsque, une tension excédant une certaine valeur de seuil est appliquée au film. Dans la technique antérieure, on connaît des exemples de changement Q 15 dans la résistance de l'ordre de 10 . L'état à haute résistance revient dès que le potentiel électrique retombe sous une autre valeur de seuil. La vitesse de commutation peut être, par exemple, de 150 picrosecondes pour une intensité 4 6 de champ électrique de seuil d'environ 10 à 10 volts/cm. □ans la technique antérieure on a beaucoup étudié la technologie des 20 dispositifs à onde de surface piézoélectrique. Dans un dispositif de ce type, un transducteur d'entrée lance une onde acoustique dans le dispositif, onde qui se propage le long d'une surface du corps cristallin du dispositif. Il y a un champ piézoélectrique détectable associé à l'onde acoustique. Un objet de l'invention est de fournir un dispositif à lignes à retard 25 acoustique dans lequel, une onde de surface acoustique provoque une transformation dans une région localisée adjacente à la ligne à retard; pour que, un circuit externe donne une indication du passage de l'onde de surface. Un autre objet de l'invention est de fournir un dispositif intégré dans lequel, une onde de surface piézoélectrique fait qu'un matériau proche 30 de celui-ci manifeste passagèrement une indication de la présence d'une onde de surface acoustique, comme une conséquence d'un changement d'état physique dans le matériau. Un autre objet de l'invention est de fournir un dispositif à ligne à retard acoustique dans lequel, un champ piézoélectrique associé à une 35 onde de surface acoustique fait qu'un matériau situé dans une région localisée de la surface détecte passagèrement la présence d'un champ piézoélectrique. Un autre objet de l'invention est de fournir un analyseur à impulsions électriques avec une propriété de retard, dans lequel, un dispositif à onde de surface acoustique est localement raccordé selon le temps de passage 40 de l'onde de surface. 71 18318 2 2096583 Un autre objet de l'invention est de fournir un dispositif à onde de surface acoustique pour détecter, amplifier et mémoriser une information. Dans la pratique, cette invention utilise le champ piézoélectrique associé à une onde de surface acoustique pour obtenir une indication de 5 sa présence passagère à un endroit donné dans le dispositif piézoélectrique. Le champ piézoélectrique associé à l'onde de surface acoustique provoque la transformation d'un matériau approprié, adjacent à la surface du dispositif, d'un état physique à un autre état physique. Un champ électrique de polarisation est appliqué de l'extérieur au matériau adjacent de telle sorte que, 10 avec ce champ, et le champ piézoélectrique on obtient une valeur de seuil pour les états de commjtation. Des circuits extérieurs communiquent avec le matériau adjacent pour détecter le changement d'état qui se produit dans ce matériau pendant le passage de l'onde piézoélectrique. Plus exactement, une région localisée est établie dans le matériau semiconducteur amorphe, à proximité d'un dispositif à ligne à retard à onde de surface acoustique. Des électrodes, sur ce dispositif, fournissent un champ électrique de polarisation venant d'une source de tension extérieure, ce qui fait que, avec le champ électrique transitoire, le champ électrique total dans le matériau amorphe est momentanément suffisant pour faire passer 20 le matériau d'un état de haute résistance, à un état de faible résistance, donnant ainsi une indication de la présence passagère de l'onde acoustique. Un exemple de configuration de dispositif conforme aux principes de cette invention, consiste en un dispositif à ligne à retard à onde de surface acoustique avec un transducteur d'onde acoustique de surface à doigts inter-calés ou interdigital situé sur celui-ci dans la trajectoire de l'onde de surface, et un film semiconducteur amorphe ovonique déposé directement sur le transducteur. Le transducteur interdigital sert de transducteur pour les ondes acoustiques de surface, et ses électrodes servent à appliquer la tension de polarisation au film ovonique. La tension appliquée est polarisée on en dessous de la valeur de seuil pour le changement d'état du film ovonique. La somme du champ électrique associé à la tension appliquée, et du champ électrique associé à l'onde de surface piézoélectrique est fixé de façon à dépasser la valeur de seuil pour le passage du film ovonique de l'état de haute résistance à l'état de faible résistance. A titre d'exemple, le 3c 0i champ électrique maximum associé à une onde de surface piézoélectrique est de l'ordre de 10^ volt/cm, ce qui représente environ 1/3 à 1/10 de l'intensité de champ électrique de seuil nécessaire pour faire changer d'état un matériau ovonique classique. Le changement d'état du film ovonique par le concours de la tension appliquée et de l'onde acoustique de surface est détecté par 4D le changement dans la résistance du film, changement contrôlé par un circuit 71 18318 3 2096583 extérieur électriquement connecté au film. Voici certains avantages qu'offre la pratique de cette invention: a. Ppr utilisation de composants passifs, une détection de l'onde piézoélectrique transitoire est obtenue localement sur la surface 5 de cristal piézoélectrique. b. Une structure intégrée est fabriquée sans difficulté et économiquement. c. Grâce à l'utilisation d'une onde qui se propage, 1s défaut d'un composant à une station de détection d'un dispositif analyseur, 10 ne compromet pas le fonctionnement du reste du dispositif. Ces objectifs ainsi que d'autres objectifs, caractéristiques et avantages de l'invention vont être rendus évidents dans une description plus détaillée des meilleures réalisations de l'invention, illustrées par les schémas joints. Les figures 1A et 1B sont des exemples schématisés de configurations 15 d'électrodes de la technique antérieure pour l'application d'une tension à un matériau semiconducteur amorphe, c'est-à-dire un matériau ovonique. La figure 1C est un graphique des états de haute et de faible résistance d'un matériau semiconducteur amorphe conforme à la technique antérieure, indiquant que l'état de haute résistance a une tension relativement haute 20 et un courant faible, et que l'état de faible résistance a un courant relativement élevé et une tension faible. La figure 2 est un schéma d'un transducteur interdigital sur lequel est déposée une couche de matériau semiconducteur amorphe pour la pratique de cette invention. 25 La figure 3 est un schéma d'un dispositif à ligne à retard à onde de surface acoustique conforme aux principes de cette invention, dont la sortie via un système de transformation sert à utiliser la champ piézoélectrique associé à l'onde pour transformer l'état d'une région adjacente d'un matériau amorphe pour obtenir une indication de l'arrivée de l'onde piézoélectrique. 30 La figure 4 est un schéma d'un dispositif à ligne à retard à onde de surface acoustique conforme à l'invention, dans lequel un circuit électrique externe fournit une trajectoire de réinjection pour la circulation du contenu d'information de l'onde piézoélectrique. La figure 5 est un eschéma d'une réalisation de cette invention pour 35 obtenir une série d'impulsions pendant le passage d'une onde de surface * piézo-électrique par la coopération de films amorphes adjacents à la surface du cristal piézoélectrique. La figure 6 est un schéma de la coopération de deux dispositifs analyseurs des impulsions, conformément à la figure 5, connectés pour fournir une mémoire ou un affichage par la technique de coïncidence conforme à cette invention. 40 1 18318 4 2096583 Sur la figure 1A, un film semiconducteur amorphe, c'est-à-dire un matériau ovonique, de la technique antérieure, est représenté sous la fournie d'une couche 10, en contact avec des électrodes 12A et 14, adjacentes respectivement aux surfaces supérieure et inférieure de ce matériau. Les électrodes 12A et 14 sont supportées par une base 16. Sur la figure 1B est représenté un autre agencement de la technique antérieure, avec les électrodes 12B et 14 toutes deux en contact avec la surface supérieure de la base 16, la couche 10 de matériau ovonique étant déposée entre les deux, et recouvrant partiellement les deux électrodes. La nature des courbes de résistance pour un matériau ovonique classique est montrée sur la figure 1C, sur laquelle, la ligne de charge de l'état de faible résistance R^, et la ligne de charge de l'état de haute résistance R'sont représentées. Pour ce matériau ovonique H classique, lorsque la tension excède une valeur de seuil sur la ligne d'état de haute résistance R , le matériau change d'état physique, et, la ligne ri de charge passe à l'état de faible résistance indiqué par la ligne R^. Les films ovoniques sont, en général, des semiconducteurs au chalcogé-niure amorphes. Une composition type contient; As, Ge, Si et Te. En général de tels matériaux ont des qualités de commutation et de mémoire lorsqu'ils sont soumis à une valeur appropriée de champ électrique. Les films qui n'agissent que comme corrmutateurs sont appelés commutateurs à seuil ovoniques, et ceux qui agissent également comme mémoire sont appelés commutateurs à mémoire ovoniques. On peut résumer comme suit quelques caractéristiques générales de commutation dans les dispositifs ovoniques: 1. Une commutation peut être observée lorsque l'un des pararhètfcres, tension, longueur d'impulsion, rythme de répétition, est modifié, tous les autres restant constants. 2. Le temps de commutation dépend de l'importance de la tension appliquée . 3. Le temps de commutation comprend le temps de retard et le temps effectif de la commutation. 4. On a trouvé que le temps de retard augmentait avec l'épaisseur de l'échantillon. Le temps effectif de commutation a été décrit dans les documents concernant la technique antérieure comme étant de 150 picosecondes, alors que le temps de retard a été décrit comme étant de 100 nanosecondes. 5. On a considéré que le temps de retard dépendait de la tension V selon la relation suivante: t, = k„ exp C -V/k„D, d 1 2 71 18318 5 2096583 N et k2 ®tant constants, et t^ est l'intervalle de temps entre le commencement de l'impulsion et le passage du courant. 6. Le temps de retard peut être réduit de façon ipportante, en utilisant une impulsion de tension de polarisation, comme l'a écrit R.R. 5 Shanks dans "the Journal of Noncrystalline Solias, 2, page 514, 1970. La description de la réalisation préférée de cette invention commencera par des références aux figures 2 et 3, la figure 2 représentant la perspective schématique d'une partie d'une ligne à retard conforme à la pratique de 10 cette invention, sur cette figure, un transducteur à doigts intercalés ou interdigital 20 est établi sur une section de la ligne à retard piézoélectrique 22. Le transducteur interdigital 20 comprend un segment supérieur 24 et un segment inférieur 26 déposés par une technique de masque et d'évapora-tion sur la surface supérieure du cristal piézoélectrique 22. La partie 15 supérieure 24 du transducteur interdigital 20 comprend les extensions 28 et 30, et la partie inférieure 26 comprend les extensions 32 et 34 qui sont entrelacées avec les extensions 28 et 30 de la partie supérieure 24. L'écar-tement des électrodes interdigitales 28, 32, 30 et 34, c'est-à-dire la distance entre les électrodes adjacentes doit être égale à la moitié de la longueur 20 d'onde des ondes de surface piézoélectrique propagées sur la surface 23 de la ligne à retard piézoélectrique 22. L'onde de surface piézoélectrique est une impulsion haute fréquence. Si l'onde de surface piézoélectrique est une impulsion vidéo, 1'écartement, c'est-à-dire, la distance entre les électrodes, doit être égale à la largeur de l'impulsion multipliée par la 25 vitesse de l'onde de surface piézoélectrique. Un film semiconducteur amorphe 36, utilisé dans la pratique de cette invention pour la transformation du champ électrique transitoire de l'onde de surface piézoélectrique en une indication extérieure, est déposé sur la structure d'électrode interdigitale 20 de façon à s'étendre de l'extension 28 à l'extension 34 pour fournir 30 une configuration interdigitale 38. La configuration pour les électrodes 24 et 26 qui est représentée sur la figure 2, est un transducteur efficace pour les ondes de surface piézoélectriques. La réalisation préférée de cette invention est illustrée par la figure 3 qui représente une ligne à retard à onde de surface piézoélectrique linéaire 35 22 avec un transducteur d'entrée 40 situé sur la gauche et à l'extrémité d'entrée 41 de cette ligne; ainsi qu'un transducteur de sortie 38 situé sur la droite et à l'extrémité de sortie 70 de cette ligne. Le transducteur 40 comprend une structure interdigitale comparable à la structure interdigitale 20 de la figure 2, et il peut, par exemple, être déposé par la même 40 technique de masque que celle utilisée pour le transducteur interdigital 20. 71 18318 6 2096583 Le transducteur 40 comprend une partie supérieure 42 et une partie inférieure 44 avec les paires d'électrodes 46 et 48, 50 et 52 intercalées et espacées conformément à l'espacement utilisé pour la configuration de transducteur de sortie 38. Le transducteur d'entrée 40 est excité par le générateur d'im-5 pulsions 60. Le générateur d'impulsions 60 peut être soit un générateur d'impulsions haute fréquence, soit un générateur d'impulsions vidéo dépendant de la nature de l'espacement des électrodes du transducteur interdigital 40. Pour une impulsion haute fréquence, le transducteur 40 doit avoir un espacement entre les électrodes, qui soit égal à la moitié de la longueur "10 d'onde de l'onde de surface piézoélectrique, pour un générateur d'impulsions vidéo, la distance entre les électrodes est égale à la largeur de l'impulsion multipliée par la vitesse de l'onde de surface piézoélectrique. La section d'entrée de la ligne à retard de la figure 3 est classique dans la technique antérieure, et les références concernant les dispositifs à onde de surface "15 piézoélectrique sont connues. Le cristal piézoélectrique est par exemple du LiNbOg Cniobate de lithium) et la surface 23 de celui-ci, une surface polie du cristal. Les électrodes supérieures 46 et 48 sont connectées, via la connexion 62, au générateur 60, et les électrodes inférieures 50 et 52 sont connectées, via la connexion 64 à la masse. 20 La configuration de transformation 38 comprenant les électrodes interdi gitales 20 et la couche amorphe 36 est située à l'extrémité de sortie 70 du cristal piézoélectrique 22 sur la surface 23. Le film amorphe 36, ayant la caractéristique de conmutation I-V montrée sur la figure 1C, est positionnée sélectivement dans la trajectoire de l'onde de surface piézoélectrique 25 pqur renforcer l'indication de transformation de la présence transitoire du champ piézoélectrique. La configuration d'électrode supérieure 24 est connectée, via le conducteur 72, à la borne positive 74 de la source de tension 76, par exemple une batterie. La borne négative 78 sst connectée, via le conducteur 80, à la masse. La structure d'électrode inférieure 26 est connectée à la ^ masse 66 via le conducteur 82 et la résistance de charge 84. La source de tension 76, est réglée pour polariser la configuration interdigitale 38, à une tension légèrement inférieure à la tension de seuil VTL, [figure 1C) mais stable. Ce réglage peut être fait soit en calculant TH l'amplitude de l'onde de surface piézoélectrique à l'emplacement de la confi- guration interdigitale 38, soit établi de façon expérimentale en réglant la valeur de la source de de tension 76 pendant la propagation d'impulsions venant du générateur 60. Le film 36 est normalement dans l'état de haute résistance R (figure 1C) en l'absence d'onde de surface piézoélectrique H se propageant à l'emplacement de la structure d'électrode interdigitale 40 20. Un champ électrique pour une onde de surface piézoélectrique peut être. 71 18318 7 2096583 par exemple, d'environ 10^ volt/cm, dans un matériau piézoélectrique 22, tels des céramiques au titanate zirconate de plomb et des cristaux de LiNbOg (niobate de lithium). Etant donné que l'écartement des électrodes adjacentes du transducteur 20, c'est-à-dire, la distance entre ces électrodes doit être conçue de manière à capter le maximum de champ électrique transitoire de l'onde de surface piézoélectrique, la force maximum de celui-ci apparaîtra sur des paires adjacentes des électrodes interdigitales. Ainsi, le champ électrique de polarisation, et le champ piézoélectrique transitoire sont ajoutés linéairement à la configuration de sortie 38 pour provoquer la commutation de l'état de la couche amorphe 36, qui passe de la haute résistance R^ à la faible résistance R^, comme cela est montré sur la figure 1C. Après que l'onde de surface piézoélectrique se soit propagée au delà du film amorphe 36, celui-ci retourne à l'état de haute résistance. Ainsi, une tension d'impulsion apparaît dans la résistance de charge 84 connectée à la structure interdigitale 38 lorsque l'onde de surface piézoélectrique dépasse l'emplacement de la couche amorphe 36. Une indication de sortie de l'onde de surface piézoélectrique transitoire est donnée sous forme de tension par un dispositif sensible à la tension 85 connecté à la résistance 84 par les connexions 87 et 89. Etant donné que l'énergie qui est fournie à la résistance de charge 84 vient de la source de tension de polarisation 76, l'amplitude du signal de sortie peut être très grande par rapport à l'amplitude du champ piézoélectrique. Ainsi, la réalisation de cette invention représentée sur les figures 2 et 3, est un détecteur efficace pour les impulsions données par le générateur 60. Les différentes étapes de la fabrication de la configuration de sortie 38 sur la figure 2 sont les suivantes: 1. Couper et polir le support piézoélectrique 22 qui peut être du titanate zirconate de plomb ou du niobate de lithium. 2. Pose des structures d'électrodes interdigitales 24 et 26, c'est-à-dire de l'aluminium, par la combinaison d'une technique d'évapo-ration classique et d'une technique photolithographique. 3. La structure résultant des stades 1 et 2 est placée dans un ensemble de pulvérisation haute fréquence et le film semiconducteur amorphe 36 est déposé sur les électrodes interdigitales 28, 30, 32 et 34 par une technique classique de pulvérisation haute fréquence. Pendant le dépôt, le support piézoélectrique 22 est refroidi, de préférence à la température de l'azote liquide (77°K), pour favoriser la formation d'un film 36 amorphe possédant la caractéristique de coimiutation voulue. Nous allons maintenant présenter la mise en oeuvre de cette invention 71 18318 8 2096583 en nous référant aux réalisations des figures 4 à 6. La structure de base de la réalisation préférée de la figure 3 est utilisée dans chacune de ces réalisations, et les mêmes chiffres de référence sont utilisés quand cela est possible. La figure 4 représente une réalisation de cette invention 5 permettant d'obtenir une utilisation de mémoire. Sur la figure 5 est représenté un système analyseur à impulsions, et sur la figure 6 un système de corrmuta-tion à coïncidence. En général, les circuits additionnels présentés pour les" réalisations des figures 4 et 6 sont classiques sauf pour ce qui concerne l'utilisation de la structure d'électrodes 20 et le film amorphe 36 montrés 10 sur la figure 2. La trajectoire de réaction entre la structure de transformation de sortie 38 et le transducteur inte'rdigital d'entrée 40 pour 11utilisationde cette invention, corrme mémoire, montrée sur la figure 4, comprend la connexion 100 qui est connectée à la résistance de charge 82 et à la jonction 102. 15 La jonction 102 est connectée via le conducteur 104 à la porte de sortie "ET" 106, qui est actionnée par une impulsion lue, appliquée au conducteur 108 pour donner une indication de sortie sur le conducteur 110. La jonction 102 est également connectée à une entrée de la porte "ET" 112 qui est actionnée par une impulsion de réécriture sur le conducteur 114. L'opération de la 20 mémoire à circulation est commencée par une impulsion d'entrée sur une ligne d'entrée 116 connectée à la porte "ET" 118 qui est actionnée par une impulsion d'enregistrement appliquée au conducteur 120. Les sorties de la porte "ET" de réécriture 112 et de la porte "ET" d'enregistrement 118 sont communiquées à la porte "OU" 126 via les conducteurs 122 et 124 respectivement. La sortie 25 de la porte "OU" 126 est connectée à la porte SET" d'horloge 130, via le conducteur 128, la porte 130 est actionnée par une impulsion d'horloge appliquée au conducteur 132. La sortie de la porte "ET" d'horloge 130 est connectée, via le conducteur 134, à l'amplificateur 136, qui est connecté aux deux électrodes interdigitales 42, via le conducteur 62. Le fonctionnement de 30 la réalisation de la figure 4 exige un modèle classique d'impulsion de chronologie. Par exemple, un circuit d'impulsions d'horloge classique donnant des impulsions chronologiques, est connecté à une porte "ET" 130, et toutes les autres impulsions, c'est-à-dire, impulsion entrée, impulsion d'enregistrement, impulsion de lecture écriture, et impulsion de lecture sont en relation 35 chronologique avec les premières impulsions. Avec l'agencement présenté sur la figure 4, on obtient une ligne à retard de mémoire à circulation stable dans laquelle, l'atténuation de l'onde de surface piézoélectrique dans le cristal piézoélectrique 22 est annulée par la caractéristique d'amplification du circuit de sortie, et la caractéristique de mémoire est obtenue par la trajectoire de réinjection entre là configuration de transformation interfiigi- 40 71 18318 9 2096583 taie de sortie 38 et le transducteur interdigital d'entrée 40. La réalisation de l'analyseur à impulsions de cette invention, présentée sur la figure 5, comprend une série de configurations de transformation situées à la suite les unes des autres, 38-1 à 38-5, à des emplacements 5 Lj à Lj. sur la surface du cristal piézoélectrique 23. Avec une source de tension commune 76, et des bornes de sortie indépendantes 100-1 à 100-5, pour les résistances de charge 84-1 à B4-5, on obtient une série d'impulsions de chronologie venant du dispositif de la figure 5. Le signal d'impulsion qui est donné à chacune des sorties, est délivré après un intervalle de 10 temps qui est égal à la distance entre les configurations de transformation adjacentes divisées par la vitesse de l'onde de surface piézoélectrique. La réalisation de cette invention présentée sur la figure 6, donne une sélection par coïncidence d'une charge donnée parmi plusieurs charges. Deux systèmes semblables à la réalisation de la figure 5, sont connectés, de 15 façon à coopérer, à chaque charge, par exemple la résistance de charge 84-11 est partagée par la configuration de transformation 38-1A, et le système transducteur 38-1B des lignes à retard 22-1 et 22-2 respectivement. Si chaque résistance de charge 84-11, 84-12, ... 84-55, est en fait la charge elle-même, c'est-à-dire, une lampe d'affichage, le décodeur X et le décodeur 20 Y, 150 et 152, ne sont pas nécessaires. Cependant, si les résistances de charge 84-11, 84-12, ... 84-55, sont des emplacements de mémoire avec des informations mémorisées, les décodeurs sont nécessaires pour identifier l'information mémorisée. Dans la technique antérieure de tels décodeurs sont classiques, de plus amples détails ne s>ont pas donnés ici. 25 Les connecteurs 108-1 et 108-2 sont respectivement connectés aux portes "ET" 106-1A ... 106-5A et aux portes "ET" 106-1B ... 106-5B. En déclenchant les générateurs d'impulsion 60-1 et 60-2, en synchronisme et en établissant les impulsions de lecture A et B sur les connecteurs 108-1 et 108-2, conformément à la résistance de charge qui doit être choisie dans le système dans le 30 rapport de temps voulu, n'importe laquelle des résistances de charge est sélectionnée par la présence passagère des ondes piézoélectriques dans les deux configurations de transformations appropriées 3B-1A, 38-2A, ... 38-5A et 38-1B, 38-2B, ... 38-5B. Par exemple la configuration de transformation 38-5A et 38-2B sélectionnent la résistance de charge 84-25. 35 Bien que l'on ait décrit dans ce qui précède et représenté sur le dessin, les caractéristiques essentielles de l'invention appliquées à un mode de réalisation préféré de celle-ci, il est évident que l'homme de l'art peut y apporter toutes modifications de forme ou de détail qu'il juge utiles, sans pour autant sortir du cadre de ladite invention. 40 71 18318 10 2096583 REVENDICATIONS 1.- Dispositif à onde de surface acoustique piézoélectrique caractérisé en ce qu'il comprend: un élément de propagation d'onde de surface piézoélectrique, 5 un transducteur d'entrée sur ledit élément de propagation d'onde pour envoyer dans celui-ci des ondes de surface piézoélectriques et comprenant une source d'impulsions pour exciter lesdites ondes, un transducteur de sortie pour fournir une indication de la présence transitoire d'une onde de surface piézoélectrique, comprenant une strucure 10 d'électrode pour capter le champ piézoélectrique de ladite onde de surface piézoélectrique, une couche d'un matériau semiconducteur amorphe, proche de ladite structure d'électrode, pour envelopper ladite onde de surface piézoélectrique de manière à provoquer à l'intérieur de celui-ci un changement d'état se mani-15 festant par un changement détectable d'une propriété physique dudit matériau et un ensemble de circuits extérieurs connectés à ladite structure d'électrode pour fournir une indication de la présence transitoire de ladite onde de surface piézoélectrique, à l'emplacement dudit transducteur, due audit 20 changement d'état. 2.- Dispositif selon la revendication 1 caractérisé en ce qu'il comprend en outre une source de potentiel de polarisation pour établir un champ électrique de polarisation dans ladite couche de matériau semiconducteur amorphe. 3.- Dispositif selon la revendication 2 caractérisé en ce que lesdits trans-25 ducteurs d'entrée et de sortie sont des transducteurs à doigts intercalés. 4.- Dispositif selon la revendication 3 caractérisé en ce que ledit matériau semiconducteur est un matériau ovonique ayant un état de résistance élevé et un état de résistance faible. 5.- Dispositif selon la revendication 4 caractérisé en ce que ladite source 30 d'impulsiore engendre des impulsions haute fréquence. 6.- Dispositif selon la revendication 4 caractérisé en ce que ladite source d'impulsions engendre des impulsions vidéo. 7.- Dispositif à Dnde de surface piézoélectrique à circulation caractérisé 71 18318 n 2096583 en ce qu'il comprend: un élément de propagation d'onde de surface piézoélectrique, un transducteur d'entrée peur envoyer dans ledit, élément des ondes de surface piézoélectriques, 5 un transducteur de sortie comprenant une structure d'électrode pour détecter lesdites ondes de surface piézoélectriques, et une couche d'un matériau semiconducteur amorphe, proche de ladite structure d'électrode, possédant deux états de résistance qui dépendent de la présence d'un champ électrique de seuil, 10 une source de potentiel connectée audit transducteur de sortie pour polariser ce dernier au-dessous d'une valeur de seuil pour commuter l'état de ladite couche dudit matériau qui ajouté au champ piézoélectrique transitoire à l'emplacement dudit transducteur de sortie fournit une indication de la présence transitoire de ladite onde de surface piézoélectrique audit 15 emplacement, et un trajet de réaction entre ledit transducteur de sortie et ledit transducteur d'entrée comprenant des circuits de lecture et d'écriture pour identifier la présence transitoire de ladite onde de surface piézoélectrique à générer l'emplacement dudit transducteur de sortie et pour une translation de 20 ladite identification vers ledit transducteur d'entrée de manière à faire circuler ladite impulsion piézoélectrique dans ledit élément de propagation d'onde de surface piézoélectrique. 8.- Dispositif de balayage à impulsions caracLérisé en ce qu'il comprend un élément de propagation d'onde de surface piézoélectrique, 25 un transducteur d'entrée pour envoyer dans ledit élément des ondes de surface piézoélectriques et comportant une source d'impulsions pour exciter ledit élément, plusieurs transducteurs de sortie, disposés séquentiellement sur ledit élément piézoélectrique, engendrant des séries respectives d'impulsions re-30 présentatives de la présence transitoire de ladite onde de surface piézoélectrique, chacun desdits transducteurs de sortie comprenant une couche d'un matériau semiconducteur amorphe présentant deux états qui dépendent d'un champ électrique de seuil, une source de potentiel pour polariser lesdits transducteurs de sortie 35 au-dessous de ladite valeur de seuil de champ électrique pour ledit matériau pour chacun desdits transducteurs ae sortie, et des moyens de sortie pour présenter uns indication de chaque présence transitoire de ladite onde de surface piézoélectrique aux emplacements respectifs desdits transducteurs de sortie. 71 18318 12 2096583 9.- Dispositif de mémoire à sélection par coïncidence caractérisé en ce qu'il comprend un premier et un second dispositifs à onde de surface piézoélectrique comprenant respectivement un premier et un second transducteurs d'entfée pour 5 envoyer des ondes de surface piézoélectriques dans lesdits dispositifs, une première et une seconde séries de transducteurs de sortie disposées sur lesdits premier et second dispositifs à onde de surface, respectivement, pour indiquer la présence transitoire des ondes de surface piézoélectriques, chacun de ces transducteurs de sortie comprenant une structure d'électrode 10 et une couche d'un matériau semiconducteur amorphe présentant deux états dépendant de l'amplitude du champ électrique qui lui est appliqué et des moyens de polarisation engendrant dans chacun des transducteurs de sortie un champ électrique de polarisation inférieur à la valeur nécessaire pour commuter l'état dudit matériau, 15 une matrice de charges connectSe auxdites première et seconde séries de transducteurs, grâce à quoi une sélection synchronisée desdits transducteurs de sortie sélectionne une charge donnée. 10.- Dispositif sein la revendication 9 caractérisé en ce que, un décodeur X et un décodeur Y sont connectés à ladite matrice de manière à identifier 20 ladite charge sélectionnée.