FR 2072157 A1 19710924 FR 7047373 A 19701230 70 47373 1 2072157 La présente invention concerne des procédés et un appareil pour lier des pièces à travailler l'une à l'autre, dans lesquels on obtient un alignement rapide et précis des pièces à travailler par rapport à une pointe de liaison. En particu-5 lier,l'invention concerne des systèmes dans lesquels on peut obtenir la vision des pièces à travailler et de la pointe sur laquelle l'alignement doit être fait, grâce à des éléments transparents sur les axes de liaison des machines utilisées pour faire les liaisons. 10 Dans les appareils utilisés pour lier des dispositifs électroniques ,par exemple des plaquettes de circuits intégrés à des substrats ou bases, l'un des problèmes principaux qui se posent est l'alignement des plaquettes de circuits intégrés avec les pointes de liaison ou les ouvertures correspondantes 15 dans des éléments de liaison souples , puis il faut mettre les plaquettes en contact avec les pointes ou devant les ouvertures et il faut aligner les plaquettes sur les traits d'un dessin pratiqué sur la base ou substrat. On a utilisé nombre de systèmes optiques pour faciliter cet alignement. La plupart des 20 systèmes présentent certaines restrictions qui leur sont propres et ne sont donc pas complètement satisfaisants. L'un des systèmes les plus ordinairement employés utilise un miroir semi-argenté suspendu entre une pointe de liaison et un plan sur lequel se trouvent étendues les plaquettes,ou un 25 substrat. Un axe optique d'un microscope est dirigé obliquement sur le miroir semi-argenté et une image à la fois de la pointe et de la plaquette ou du substrat,sur le plan placé au-dessus du miroir,apparaîtf simultanément,dans l'oculaire du microscope. Cependant, la vision oblique provoque des déformations en pers-30 pective, et il est difficile d'obtenir un alignement précis en raison de ces déformations. En plus, du fait que le miroir est suspendu entre la pointe et la pièce à travailler avec laquelle cette pointe doit venir en contact, il faut que le miroir soit monté sur un mécanisme qui permette de l'écarter en pivotant 3 35 ce qui ajoute à la complexité de l'appareil de liaison. Les problèmes de vision oblique associés auxmiroiis semi-argentés sont éliminés dans une certaine mesure par l'emploi de bad 70 47373 2072157 combinaisons de prismes diviseurs de faisceau qui sont suspendus, de manière semblable au miroir,mais qui envoient une image à la fois de la pointe et de la pièce à travailler 9perpendiculairement à l'axe de liaison sur lequel la combinaison est suspen-5 due. Ces combinaisons exigent cependant un alignement très précis sur l'axe de liaison et ainsi , le mécanisme de support, en plus de devoir être capable de s'écarter par pivotement'"de l'axe de liaison , doit présenter des systèmes de réglage prévus pour obtenir un alignement précis du prisme dans le plan. 10 Des systèmes qui utilisent des réticules de référence ont été utilisés aussi pour obtenir ces alignements voulus. De tels systèmes sont décrits dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique.Ho. 3.477.630 accordé à E.J. Schneider le 11 novembre 1969. Ces systèmes, tout en fonctionnant" admirablement lorsqu'ils sont 15 convenablement réglés , ont l'inconvénient que l'alignement précis d'un mécanisme qui met en place une tête mobile exige un ajustement très précis par rapport au réticule de référènce pour obtenir le degré de précision nécessaire. On a utilisé même des systèmes plus compliqués en em~ 20 ployant des miroirs à oscillations rapides pour projeter des images de pièces à travailler et des pointes de liaison simultanément vers un opérateur ,alors que celui-ci essaie d'obtenir l'alignement entre ces deux parties. Manifestement, dès systèmes qui utilisent des miroirs oscillants ont des inconvénients 25 associés à leur complexité propre. Sauf en ce qui concerne le système à réticule de référence, les systèmes décrits précédemment ont un inconvénient commun. Un certain élément optique de l'appareil doit au moins temporairement être suspendu entre la pointe de liaison et la 30 pièce à travailler. Pour donner la place nécessaire à ces éléments , il faut que la pointe de liaison se déplace sur des distances appréciables soit pour saisir la pièce à travailler, soit pour réaliser la liaison. Un déplacement étendu de la pointe de liaison entraîne par lui-même' une difficulté à obtenir un 35 positionnement précis de la pointe de liaison dans toute sa gamme de fonctionnement. Un but de l'invention est de procurer des systèmes pour ' "BAD ORIGINAL 70 47373 3 2072157 faciliter un alignement rapide et précis de pièces à travailler et d'éléments producteurs de force dans l'appareil de liaison. Un autre but de l'invention est de procurer des systèmes dans lesquels les éléments producteurs de force de l'appareil de 5 liaison ne doivent effectuer que des déplacements sur de faibles distances. Un autre but de l'invention est de procurer un appareil de liaison dans lequel les pièces à travailler et les éléments producteurs de force peuvent être considérés sur une ligne droi-10 te de vision , le long d'un axe de liaison. Un but plus particulier de l'invention est de procurer des systèmes dans lesquels la liaison des pièces à travailler peut être obtenue dans des conditions de surveillance visuelle continue. 15 Un autre but encore de l'invention est de procurer un appareil de liaison dans lequel les pièces à travailler peuvent être observées pendant la liaison entre elles en sorte que les déformations des conducteurs-poutres ,provoquées par la liaison, puissent être vérifiées en fonction de la vue que l'on en a. 20 Les buts qui précèdent et d'autres sont obtenus suivant l'invention en utilisant des éléments transparents à placer sur des axes de liaison de l'appareil de liaison. Les pièces à travailler sont alignées sur les éléments producteurs de force en réponse à des images des pièces à travailler et des organes, 25 qui passent à travers les éléments transparents. Des exemples particuliers d'un appareil intéressant pour la mise en pratique de l'invention se rapportent à un appareil de liaison avec des têtes de liaison transparentes, cet appareil de liaison utilisant une pellicule transparente comme élé-30 ment de liaison souple et un appareil de liaison dans lequel les pièces à travailler sont portées par un plateau support , transparent, qui s'écarte par pivotement d'un axe de liaison après qu'une pièce à travailler ait été alignée et mise en contact avec une pointe de liaison suivant une image qui passe à 35 travers le plateau. D'autres buts et particularités de la présente invention se comprendront plus aisément d'après la description détaillée 70 47373 4 2072157 qui va suivre et qui est relative à des formes de réalisation spécifiques de l'invention ; il y a lieu de considérer en même temps les dessins joints au présent mémoire9sur lesquels s - la figure 2 est une vue en perspective d'une forme de 5 réalisation de l'appareil suivant l'invention I - la figure 2 est une vue en coupe partielle d'une partie de tête de liaison de la machine de la figure 15 - la figure 3 est une vue d'une partie d'un écran de surveillance de la machine de la figure 1s montrant une pièce à 10 travailler mal alignée par rapport à une partie de la machine; - la figure 4 est une vue de l'écran de surveillance de la figure 3 ,montrant la pièce à travailler alignée 5 - la figure 5 est une vue de l'écran de surveillance de la figure 3 ^montrant le défaut d'alignement d'une seconde piè- 15 ce à travailler; - la figure 6 est une vue de l'écran de surveillance de la figure 39 montrant un alignement entre les- deux pièces à travailler; - la figure 7 est une vue en élévation en coupe spar- 20 tielle, d'une tête de liaison qui constitue une variante de l'appareil suivant l'invention ; - la figure 8 est une vue de l'écran de surveillance de la machine de la figure 1,montrant des parties de la tête de liaison de la figure 7? 25 - la figure 9 est une vue de l'écran de surveillance de la figure 8,montrant l'alignement entre une pièce à travailler et des parties de la tête de la figure 7; - la figure 10 est une vue de l'écran de surveillance de la figure 99 montrant une pièce à travailler supplémentaire; 30 - la figure 11 est une vue de l'écran de surveillance de la figure 10 ,montrant les pièces à travailler liées ensemble ? - la figure 12 est une vue en élévation d'une machine de liaison qui constitue une forme de réalisation,en variante3de 35 l'appareil suivant l'invention 3 = la figure 13 est une vue considérée suivant les lignes 13-13 de la figure 12 9 montrant un écran de surveillance qui 70 47373 5 2072157 montre une pièce à travailler et une pointe de liaison °, - la figure 14 est une vue en élévation de la machine de la figure 12 dans une position de prise de la pièce à travailler ; 5 - la figure 15 est une vue suivant la ligne 15"15 de la figure 14» montrant un plateau transparent qui porte un certain nombre de pièces à travailler; - la figure 16 -est une vue de l'écran de surveillance de la figure 13 , montrant une pièce à travailler alignée avec 10 une pointe de liaison ; - la figure 17 est une vue de la machine de la figure 129 montrant la machine en état dçopérer une liaison etjloù une par-tie d'un plateau support a été enlevée pour donner plus de clarté ; • 15 - la figure 18 est une vue considérée suivant les lignes 18-18 ,montrant un substrat mis en place pour la liaison? sur un axe de liaison de la machine de la figure 17. Pour la faire comprendre, on décrira 1;invention à propos de la liaison de plaquettes de circuits intégrés à conduc- 20 teurs-poutres , à des éléments conducteurs qui sont engendrés suivant un dessin sur des substrats de matière céramique. Cependant, on comprendra que 1!invention peut être intéressante pour la liaison de nombreux types de petits articles lorsqu'un alignement précis des pièces est important. 25 Une forme de réalisation de l'appareil suivant l"inven= tion s machine de liaison à élément souple5 indiquée de façon générale par le numéro de référence 20» est représentée à la figure 1. la machine de liaison comprend un ensemble de tête mobile auquel se rapporte le numéro de référence 22s une base 30 24, un ensemble positionneur classique s indiqué de façon générale par le numéro de référence 26, et un système optique électronique comprenant une caméra de télévision 35 machine 20 soit représentée avec un système optique électroniques on pourrait utiliser un microscope classique a«7e? autanlyd'efficacité. BAD OKlGtNAL ! — j 70 47373 6 2072157 le fonctionnement de la machine 20 peut se comprendre* par la discussion et la description d'un cycle de liaison complet. Comme représenté à la figure 1 » un circuit intégré à conducteurs-poutres syndiqué de façon générale par le numéro de 5 référence 30, est représenté sur un écran 32 du dispositif de surveillance 28.. L'image sur l'écran représente des conducteurs de connexion 36 de la plaquette 30 qui sont "bien alignés, avec des conducteurs 389 lesquels sont engendrés suivant un dessin sirun substrat de céramique ,désigné de façon générale par le t) numéro de référence 40. A l'instant correspondant à la situation de la figure 19 le dispositif de surveillance 28 montre, une image de la plaquette 30 en contact avec une ouverture de liaison 42 d'un élément souple, indiqué dans son ensemble par le numér,o de réfé-15 rence 44. l'élément souple 44 est transparent -et Un exemple d'une matière qui convient pour être-utilisée comme élément souple 44 est une pellicule de polyimide. Un 20 exemple d'une telle pellicule est mis dans le commerce par E.I. DuPont de ïlemours and Co3 de Wilmington9 Delawarep sous le nom de "Kapton"(marque déposée). A titre d'exemple9 une pellicule d'une épaisseur- de 09012 mm s'est avérée convenable pour des plaquettes qui ont une épaisseur d'environ 0CQ5 mm. 25 Pour augmenter la visibilité „ l'élément souple 44 peut être coloré. La perception de la couleur se fait facilement au microscope mais un système optique électronique doit avoir une aptitude à percevoir les couleurs pour profiter de la visibilité supplémentaire que la couleur donne à l'élément souple 44. 30 La plaquette 30 est maintenue en contact avec l'élément souple 44 en créant le vide dans une tête de liaison >indiquée de façon générale■par le numéro de référence 46. La construction intérieure de la tête ,46 se voit le mieux à la figure 2. Une ' chambre à vide 48 est formée dans le poussoir 46 et elle est re~ 35 liée à une source de vide 49 par un passage 50 et une tubulure 52(voir figure 1). Pour que le système optique 28 puisse recevoir des images 6AD original 10 47373 7 2072157 de la plaquette 30 , du substrat 40 et de l'élément souple 44? la chambre à vide 48 est construite de telle façon que les parois qui sont traversées par un axe optique 54 soient transparentes. On remarquera que l'axe optique 54 est également l'axe 5 de liaison de la machine 20. la paroi du dessus est un verre transparent ou un disque de quartz 56. Directement en dessous du disque 56 se trouve une partie de coopération, en verre transparent ou en quartz , ou pointe de liaisonfindiquée de façon générale par le numéro de référence 58. La pointe 58 présente une 10 ouverture ou passage de vide 60 par laquelle la force du vide de la chambre 48 peut être transmise à la plaquette 30. La plaquette 30 est mise en contact avec la pointe 58 sous l'influence des forces créées par la source de vide 49. Bien que la plaquette 30 soit maintenue comprimée contre la pointe 58j, 15 il n'y a pas réellement de contact entre elles. L'épaisseur de l'élément souple 44 est supérieure à l'épaisseur d'une partie de corps 61 de la plaquette 30, et ainsi, aucun contact effectif entre la plaquette et la pointe ne se produit dans cette forme de réalisation pendant ce que l'on a appellé "la mise en con-20 tact". La pointe 58 est avantageusement munie d'une saillie 62* La saillie 62 donne le moyen de localiser les forces de liaison dans une petite région de l'un des substrats 40. Cette localisation est souvent souhaitable lorsqu'un certain nombre de 25 plaquettes 30 sont liées sur l'un des substrats 40. La saillie 62 s'adapte dans un petit espace du substrat 40 pendant la liaison et il y a peu de chance que soit troublée l'une des plaquettes liées précédemment au substrat. Des dispositifs de chauffage à cartouches classiques 63 30 sont prévus également dans la tête 46 pour assurer l'échauffe-ment de la plaquette 30 avant sa liaison et pendant celle-ci. On peut voir alors à la figure 1 que la plaquette 30 est dans une position où elle peut être convenablement liée aux éléments métalliques 38. La liaison s'accomplit en abaissant l'en-35 semble de tête mobile 22 le long d'ensembles de coulissement classiques 64. Après que l'ensemble 22 ait été abaissés une liaison par moyei; souple classique est produite entre les conduc- BAD opinai 70 47373 8 2072157 teurs 36 et les éléments conducteurs 38. Une description détaillée des caractéristiques techniques pour la fabrication des liaisons souples " avec du polyimide ,peut être obtenue" en se référant à la demande de brevet- français N0 70 36094 du 6 octobre 1970 déposée par la DEMAHDERESSE. 5 Une quantité de chaleur sensible est nécessaire pour pro duire une liaison thermocompressive effective , et on trouve souhaitable d'ajouter à la chaleur produite par le dispositif chauffant 63 de la tête 46 en chauffant le substrat 40. Ceci se réalise le mieux en mettant des dispositifs de chauffage classi-10 ques 65 dans un supp.ort de substrat indiqué de façon générale par le numéro de référence 66. Après achèvement de la liaison, on élève à nouveau l'ensemble de tête 22 dans la position montrée à la figure 1. L'ensemble positionneur est déplacé vers la droite suivant des 15 éléments à coulissement classiques 68 jusqu'à ce qu'un plateau à plaquettes 70 soit placé sur l'axe optique 54. L'élément souple 44 est alors avancé pas à pas en sorte qu'une ouverture suivante parmi les ouvertures 42 soit en alignement avec l'axe 54. 20 On peut voir d'après la figure 1 que l'élément souple 44 est une bande continue qui est passée d'un touret d'alimentation 72 à un touret de reprise 74. Le touret de reprise 74 fait l'objet de l'application d'un couple continuel par un moteur à couple constant classique 76." La commande du mouvement du tou-25 ret de reprise 74 est assurée par l'intermédiaire d'une roue à chaîne 78 d'avancement pas à pas. La.roue à chaîne à mouvement d'avancement pas à pas 78 est déplacée par quantités réglées de façon précise, de 45 degrés. Le mouvement de l'élément 44 est amorcé lorsqu'une broche ac-30 tionnée par un cylindre,80, est retirée de l'un des huit trous 82 d'un plateau 84. La broche 80 est commandée par un cylindre 86 sollicité par ressort et le cylindre n'agit que momentanément pour tirer la broche du trou 82 dans lequel cette broche est engagée. Dès que la broche 80 est libérée du trou 82, le 35 plateau 84 qui se trouve sur le même arbre que la roue à chaîne 58 commence à tourner en raison de la force ezercée sur la roue à chaîne par l'élément 44. Après une rotation de 45 degrés , la BAD OFUéïNAL 70 47373 9 2072157 broche 80 pénètre brusquement dans le prochain des trous 82 et le mouvement de l'élément souple 44 s'arrête- l'écartement entre ouvertures de liaison 42 est tel qu'une rotation de 45 degrés de la roue à chaîne 78 se produise à l'endroit précis de 5 la suivante des ouvertures 42 sur l'axe optique 54. Après qu'une nouvelle ouverture de liaison ait été alignée avec l'axe optique 54, une image telle que celle montrée à la figure 3 apparaît sur l'écran 52 du dispositif de surveillance 28 .Un opérateur peut voir l'ouverture 42 et la projection 10 62 de la pointe 58 , ainsi qu'une quelconque des plaquettes 30 qui se trouvent dans le champ de la caméra 27» Les plaquettes 30 ne sont pas nécessairement rangées en ordre sur le plateau à plaquettes 70 et, en raison de ce fait, il est très vraisemblable que la plaquette .50 puisse ne pas être alignée avec l'ou-15 verture 42. Pour obtenir l'alignement, un opérateur déplace une poignée 88 de l'ensemble positionneur 26 et fait tourner le plateau à plaquettes 70 tout en considérant l'écran 52 jusqu'à ce que l'image que l'on voit à la figure 4 soit obtenue. La figure 20 4,naturellement, représente la plaquette 30 qui est alignée convenablement avec l'ouverture 42. Après que l'on ait obtenu l'image de la figure 4, on abaisse l'ensemble de tête et la force du* vide de la chambre 48 met la plaquette 30 en coopération avec la tête 46 5elle est ti-25 rée contre l'élément souple 44. Après cette mise en contact, l'ensemble de tête 22 est élevé dans la position montrée à la figure 1. L'ensemble positionneur 26 est alors déplacé vers la gauche de façon que l'un des substrats 40 sôit,en gr 0 s p aligné avec 30 l'axe optique 54. A ce moment, l'opérateur voit une image semblable à celle que montre la figure 59 sur l'écran 32, L'opérateur déplace alors la poignée 88 du positionneur pour manipuler le substrat 40 tout en considérant l'écran 32 pour obtenir 1'algnement des éléments conducteurs 38 avec les 35 conducteurs de connexion 36. Après qu'une image semblable à celle que montre la figure 6 ait été obtenue, la liaison des conducteurs 36 aux éléments 38 peut avoir lieu et un cycle bad ?0 47373 10 2072157 d'opérations complet est ainsi achevé. Il est important de remarquer que le mouvement vertical de l'ensemble de tête 22 peut être très petit. Il en est ainsi parce qu'il n'est pas nécessaire de placer des éléments d'un 5 système optique complexe entre la pointe 58 et les pièces à travailler .11 est souhaitable de tirer avantage du fait que le mouvement peut être petit pour qu'une précision plus grande puisse être obtenue de la machine 20. Le fait de maintenir petit le mouvement de l'ensemble 22 10 assure aussi que l'image de l'ouverture 42 et l'image de la pla-quette 30 portée par le plateau 70 9.ainsi que l!imâge des élé-ments conducteurs 38 portés par le support de substrat 66 9 soient simultanément dans la profondeur de champ du système optique 28. Il est également important de construire la machine 20 de telle 15 façon que les plaquettes 30 et les éléments conducteurs 38 soient portés sensiblement à même élévation ,en sorte que chacune des images respectives soit au foyer lorsqu'elles sont placées sur l'axe optique 54 par le mouvement de l'ensemble positionneur 26. 20 Une autre forme de réalisation de l'appareil suivant l'in vention représentée à la figure 7 comprend une tête de liaison sans élément souple ^indiquée de façon générale par le numéro y de référence146 . La tête de liaison comprend une chambre à vide 148î,un passage de vide 150 *un disque transparent 156 et une 25 tête de liaison transparente 158. La tête 146 peut être utilisée sur une machine de liaison semblable à celle que montre la figure 1 s sauf qu'il n'est pas nécessaire d'utiliser un élément souple. La tête 146 est conçue pour être utilisée dans un mode de fonctionnement dit "à pointe dure". Il faut prendre des pré-30 cautions pour permettre une compensation pour égaliser les forces de liaison sur tous les connecteurs 36. Une machine dans laquelle la tête 146 peut être utilisée avec avantage est celle qui a été décrite dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique No. 3.475.814 accordé à J.A. Santangini le 4 novembre 1969. La tête 46 peut 35 être également incorporée dans un agencement de "compensation" en montant la tête à pivotement. La pointe 158 comprend une saillie 162 et une ouverture BAD ORIGINAL- 70 47373 2072157 160. L'ouverture 160 est assez grande pour que la partie de corps 61 d'une des plaquettes 30 s'adapte dans 1-ouverture avec un certain jeu autour de tous les côtés de la partie de corps. La dimension relative de l'ouverture 60 par rapport à la partie 5 de corps 61 est montrée très visiblement à la figure 9. La partie saillante 162 sert sensiblement au même but que la partie saillante 62 (figure 2). "One certaine" quantité de chaleur est transmise par la pointe 158 à partir des dispositifs d'échauffement à cartouche 10 163. Naturellement9 il est souhaitable encore de prévoir un chauffage à partir de sources autres que la poussoir 146. En utilisant le poussoir 146s un opérateur se trouve ordinairement d'abord dans une situation dans laquelle l'ouverture 160 est en mauvais alignement par rapport à l'une des 15 plaquettes 30 que montre la figure 8. Ceci est quelque peu analogue à la situation que montre la figure 3. La plaquette 30 est amenée en alignement convenable avec l'ouverture 160 standis qu!on la considère le long d'un axe à la fois optique et de liaison 164 à travers un système optique qui fonctionne en raison 20 de la transparence du disque 156 et de la peinte 158. La figure 9 représente une image telle que la voit l'opérateur après alignement convenable de la plaquette 30 et de l'ouverture 160. La figure 10 représente les éléments conducteurs 38 de l'un des substrats 40 tels qu'ils apparaissent à un opérateur 25 avant l'alignement final du substrat et de la plaquette 30. Le substrat 40 est déplacé avec soin jusqu'à ce que les éléments conducteurs 38 soient alignés convenablement avec les conducteurs de connexion 36. La figure 11 représente une image telle que la voit un 30 opérateur pendant la liaison des conducteurs de connexion 36 aux éléments 38. L'un des avantages très marqués de cet appareil suivant l'invention est qu'il permet à un opérateur de déterminer de façon visuelle la mesure dans laquelle les conducteurs 36 se dérobent pendant que la liaison s'opère. Ainsi,un 35 opérateur est entièrement en mesure de voir la façon dont un processus de liaison se fait. L'opérateur peut répondre à un dérobement excessif ou insuffisant des conducteurs et les chan lo 47373 12 2072157 ces d'obtenir des liaisons de bonne qualité sont fortement améliorées avec ce système. Une autre forme de réalisation de l'invention est figurée par 1'appareil représenté aux figures 12 à 18. Une machine de 5 liaison indiquée de façon générale par 180 comprend un ensemble à poussoir ou piston,indiqué de façon générale par 182 ,un ensemble de manipulation de plaquettes ,indiqué de façon générale par 184s positionneur de substrat ,indiqué dans l'ensemble par le numéro de référence 186 set un système optique, indiqué 10 de façon générale par 188. Ici à nouveau, la compréhension de la c onstruction et du fonctionnement de la machine 180 se comprendront le mieux en discutant un cycle complet de fonctionnement. La figure 12 représente l'ensemble à poussoir 182 en position élevée'avant 15 l'alignement de l'une des plaquettes 30 portée par l'ensemble de manipulation de plaquettes,184. L'ensemble à poussoir 182 est élevé par l'action d'une came excentrée tournant sur un arbre 190 sce qui provoque le déplacement cd'un galet 192 relié à un bras de levier indiqué de façon générale par 194. Le bras 20 de levier pivote autour d'un pivot 196. Une partie de mise en contact du bras 194 presse contre un collier dont la position est réglable ,200, lorsque la came 189 tourne pour venir dans la position montrée à la figure 12 ,en sollicitant ainsi l'ensemble de poussoir 182' vers le, haut à l'encontre de la force 25 d'un ressort de compression 202. Alors que l'ensemble de poussoir 182 est élevé , une pointe 203 est maintenue avec sa surface inférieure approximativement à 0,38 mm de la surface d'un plateau a plaquettes transparent 204 de l'ensemble 184 de manipulation de plaquettes. 30 Cet éeartement peut être modifié en réglant le collier 200 pour assurer que la plaquette 30 et la pointe 203 soient dans la profondeur de champ du système optique 188. Lorsque la pointe 203 est maintenue juste au-dessus du plateau 212, le système optique 188 peut être réglé pour produire 35 une image à la fois de la pointe 203 et d'une des plaquettes 30. Le système optique 188 est représenté à la figure 12 comme étant une caméra classique de télévision ,avec un système de lentille BAD ORIGINAL T' 3/3 /O 47373 13 2072157 à angle droit » classique, que l'on peut régler pour la vue suivant un axe optique 206. On pourrait utiliser aussi bien un microscope. l'axe optique est aligné avec l'axe de liaison de la ma-5 chine 180 et un élément de support 207 est prévu f muni d'une ouverture 208 à travers laquelle le système optique 188 peut recevoir l'image de la plaquette 30 et de la pointe 203. L'ensemble de manipulation de plaquettes 184 est conduit dans les directions X et Y par un dispositif manipulateur clas-10 sique 210. la manipulation angulaire se fait en faisant tourner le plateau'204. Pendant la manipulationsun opérateur aperçoit la pointe 203 et la plaquette 30 sur l'écran 212 d'un dispositif de surveillance 9indiqué de façon générale par 214 (figure 13)» associé au système optique 188. Lorsque la plaquette 30 est en 15 alignement convenable avec la pointe 203, on abaisse la pointe dans la position montrée à la figure 15» on applique le vide à l'intérieur d'une, tête de liaison 216 et la plaquette 30 est maintenue contre la pointe 203. La tête de liaison est avantageusement du type montré dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique 20 No. 3.452.917. Une image de l'une des plaquettes 30 convenablement alignée avec la pointe 203 est visible à la figure 16. Lorsque l'ensemble de poussoir 182 est dans la position de reprise de la figure 15, un élément d'arrêt 218 coopère avec un verrou 220 qui est actionné par un cylindre 222. Le cy-25 lindre 222 est montré dans sa position étendue à la figure 14. L'élément d'arrêt 218 est réglable en longueur sen sorte que la force du ressort 202 ne soit pas transmise au plateau 204 par la pointe 203. Après que la plaquette 30 et la pointe 203 soient venues 30 en contact, on fait tourner l'arbre 190 et l'ensemble 182 de piston ou poussoir est élevé. Le verrou 220 est retiré par le cylindre 222 et le plateau 204 pivote en sécartant de l'axe optique et de liaison 206 sous l'action d'une commande à engrenage d'un mécanisme de position indiqué de façon générale par 223 35 dans l'ensemble de manipulation de plaquettes 184. La figure 18 est une représentation de la mesure dans laquelle le plateau à plaquettes 204 est déplacé par rapport à l'axe 206. 70 47373 14 2072157 Avec l'ensemble de poussoir 182 en position élevée, un bloc support de substrat convenablement usiné Pindiqué de façon générale par 224s est mis en coopération avec le positionneur de substrat 186 ,comme montré aux figures 17 et 18. Le position-5 neur de substrat 186 comprend deux éléments de butée positionna-bles de façon précise 9226.Les éléments 226 sont mis en position par réglage de vis de réglage à micromètres 228. Le bloc support 224 est muni de deux organes de positionnement 230 placés perpendiculairement l'un à l'autre et d'une 10 pince à ressort 232. Un substrat , indiqué de façon générale par 234} est maintenu contre les éléments 230 par une pince 232. Les éléments- conducteurs 236 sur le substrat sont placés de façon très précise par rapport à la surface extérieure du substrat en sorte que les éléments conducteurs soient situés de façon très 15 précise par rapport aux cotés du bloc 224. Les vis micrométriques 228 sont ajustées alors pour qu'une partie voulue du substrat 234 se trouve sur l'axe 206après que le bloc 224 ait été placé sur les éléments de butée 226. Ainsi, la plaquette 30 qui est en coopération avec la pointe 203 peut être liée à un en-20 droit voulu quelconque du substrat sans avoir un contrôle visuel effectif de l'alignement du substrat 234. La liaison se produit lorsque l'ensemble de poussoir 182 est abaissé avec le verrou 220 retiré. La rotation de la came 189 permet à l'ensemble de poussoir 182 de se déplacer vers le 25 bas sous l'action du ressort 202 jusqu'à ce que la pointe 203 presse les conducteurs de connexion 36 contre le substrat 234 et à ce moment, la liaison entre les conducteurs de connexion 36 et les éléments conducteurs 236 a lieu,avec le ressort 202 fournissant la force de liaison. 30 L'ensemble de poussoir 182 est à nouveau élevé en faisant tourner la came 189. Le verrou 220 est déplacé vers l'extérieur, le plateau à plaquettes 204 est ramené par mouvement de pivotement sur l'axe 206 et un nouveau cycle d'opérations peut commencer. 35 On peut reconnaître que dans une situation où un certain nombre de plaquettes doivent être liées à un substrat, un certain nombre de machines de liaison 180 peuvent être placées BAD ORIGINAL 70 47373 15 2072157 le long d'une chaîne de montage et chacun des positionneurs de substrat 186 peut être réglé pour assurer une localisation particulière de la plaquette sur le substrat. Ainsi,, l'un des substrats 234 monté sur l'un des blocs 224 peut être passé de 5 l'une des machines 180 à d'autres machines suivantes où les plaquettes sont liées en divers endroits du substiat, en créant ainsi une opération de manufacture extrêmement efficace. On recTonnaft rà~âussi qurun schema^àé" fabrication exige que les éléments conducteurs 236 soient situés de façon très précise par 10 rapport aux surfaces extérieures des substrats 234. Le système est très utile lorsque les éléments conducteurs 236 sont fabriqués par des techniques de photo~projection précises. 70 47373 16 =7 20/i S 5/ BEVEITOICAT-IONS 1o- Procédé pour lier des conducteurs d'une pièce à travailler à un substrat à 1: aide, d'une pointe de liaison où l'alignement entre la pièce à--travailler et la pointe suivant 5 un axe de liaison s5 exécute en réponse à une image de la pointe et de la pièce- à travailler s transmise à travers un élément transparent sur l'axe et agrandie par un système optique, caractérisé en ce que ce procédé conmrend les étapes consistant.à soutenir la pièce à travailler (50)_,assez près de. la pointe de 10 liaison (5891585203) et à assurer que la pièce à travailler et la pointe soient simultanément dans la profondeur du champ d'un système optique agrandissant (279285188) ayant un axe optique qui coïncide avec l'axe de liaison (545164,206) g à déplacer la pièce à travailler (30) et la pointe l'une par rapport à -l'au-15 tre en réponse à l'image (28„44;214,121)de la pièce à travailler et de la pointe 9pour aligner la pièce à travailler avec la pointe § à mettre en contact la pointe avec la pièce à travailler; à aligner une partie voulue d'un substrat opaque (40) avec l'axe de liaison set à déplacer la pointe et la pièce à travailler 20 en contact avec elle pour réaliser une coopération avec compression avec le substrat pour obtenir la liaison entre la pièce à travailler et le substrat. 2.= Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que la pointe utilisée pour réaliser une mise en coopération 25 par compression de la pièce à travailler et du substrat est d'une matière transparente,et caractérisé encore en ce qu'on voit la pièce à travailler et le substrat à travers la pointe transparente pendant une partie au moins de la période de mise en coopération avec compression. 30 3.~ Procédé suivant une quelconque des revendications 1 et 2P caractérisé en ce qu'on voit la pièce à travailler -et le substrat à travers un élément souple transparent (44) tandis qu!on aligne les deux pièces. 4.- Procédé pour lier une première pièce à travailler à 35 une seconde pièce à travailler (substrat),suivant les revendications 15 2 et 3, caractérisé en ce qu'on aligne la première piè-= ce à travailler (30) sur une partie prédéterminée de l'élément bad original 70 47373 17 2072157 souple transparent (44), tout en voyant la pièce à travailler à travers l'élément ; en ce qu'on met en contact la première pièce à travailler alignéè avec l'élément ; en ce qu'on met en contact la première pièce à travailler déjà en contact savec 5 une partie prédéterminée de la seconde pièce (40) tout en voyant les pièces à travailler avec l'élément jet en ce qu'on met en coopération par compressions pendant une durée prédéterminée, la pointe de liaison contre ladite partie de la seconde pièce à travailler avec la première pièce à travailler et l'élé-10 ment souple entre eux, pour réaliser une liaison(dite"souple" c'est-à-dire une liaison où intervient un élément souple),entre les pièces à travailler , tout en voyant les pièces à travailler à travers l'élément. 5.- Procédé suivant la revendication 4S caractérisé en 15 ce qu'il comprend encore les étapes qui consistent à soutenir plusieurs des pièces à travailler considérées en premier lieu sur un plateau transparent (70) à déplacer le plateau pour qu'il soit recoupé par un axe de liaison (54) d'une machine de liaison (20) 5 è^roir, le long de l'axe de liaison avec le sys-20 tème optique agrandissant (27528)sà travers le plateau transparent pour se rendre compte par ia vue de la position de la pointe de liaison et d'une quelconque des pièces à travailler ou parties de ces pièces qui sont près de l'axe de liaison ou sur cet axe ; à manipuler le plateau support en réponse à la vue 25 que l'on a des pièces pour aligner l'une des premières pièces à travailler avec la pointe de liaison ; à déplacer la pointe le long de l'axe de liaison pour mettre la pointe en coopération avec la première pièce à travailler alignée s à déplacer la poih-te vers une position de retrait 1 et à déplacer le plateau pour 50 lui faire quitter sa position d'intersection avec l'axe de liaison. 6.- Appareil pour exécuter le procédé suivant l'une quelconque des revendications 1j2,3j4s5> caractérisé en ce que l'on a prévu un bloc support amovible (224) ayant deux surfaces 35 de référence (230) qui se recoupent et des moyens de retenue (232) maintenant une partie voulue du substrat en un emplacement désiré par rapport aux surfaces de référence (figure 17). 70 47373 18 2072157 7.- Appareil suivant la revendication 6, caractérisé en ce qu'au moins deux éléments d'arrêt ou de butée positionna-Taies de façon réglable,(226), sont prévus, éléments de butée contre lesquels les surfaces de référence (230) peuvent être 5 placées. 8.- Appareil suivant la revendication 6 ou la revendication 7, caractérisé en ce qu'un support de pièce à travailler (184) est prévu, comprenant un élément transparent (204) (figure 18). - ' 10 9.= Appareil suivant une quelconque des revendications 6,7,8, caractérisé en ce qu'une tête de liaison (46) est prévue ,capable de transmettre de la lumière à travers au moins une partie de ce dispositif, comprenant une chambre creuse située de façon que la liaison passe devant deux côtés de 'cette 15 chambre ,et fermée par une partie de coopération transparente sur l'un de ses côtés , à travers laquelle l'axe de liaison passe5 et fermée par un élément transparent du côté opposé par lequel l'axe de liaison passe. 10.= Appareil suivant la revendication 9, caractérisé 20 en ce que la tête de liaison est munie d'une ouverture sur le troisième côté de la chambre creuse, cette ouverture pouvant être reliée à une source de vide. 11.- Appareil suivant une quelconque des revendications 9 et 10, caractérisé en ce que,la partie de mise en coopération, 25 transparente, est conformée de façon è- recevoir une partie de corps d'une plaquette de circuit intégré à conducteurs de connexion ou conducteurs-poutres ,tandis que les conducteurs-poutres de la plaquette portent contre la partie de coopération. 12.- Appareil suivant une quelconque des revendications 30 9,10, 11 j, caractérisé en ce que la partie de mise en coopération transparente est en quartz. 13«= Appareil pour exécuter le procédé de liaison suivant la revendication 3S caractérisé en ce que l'élément souple transparent est constitué d'une pellicule de polyimide.