FR 2067383 A1 19710820 FR 7041507 A 19701119 70 41507 1 2067383 ' La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un com posant électrique selon lequel une couche métallique est prévue sur un substrat et se trouve au moins partiellement en contact 5 avec une partie de surface de ce substrat. L'invention se rapporte aussi aux composants électriques fabriqués selon ce procédé. On sait que, pour fabriquer un composant électrique, on peut déposer une couche métallique sur un substrat et utiliser au moins une partie de cette couche métallique comme connexion d'électrode 10 sur le substrat. Cependant, dans certains cas, la couche métallique n'adhère pas fortement à la matière du substrat de sorte que la connexion d'électrode ainsi formée possède des caractéristiques électriques diminuées. Même lorsque la connexion d'électrode adhère fortement, des ca 15 ractéristiques électriques diminuées peuvent résulter de la présence sur la surface du substrat d'une mince pellicule ccntaminan te de matières étrangères, par exemple des matières adsorbées et des produits de réaction de surface. Par exemple, lorsque le substrat consiste en une première connexion à couche d'aluminium, 20 une mince pellicule d'alumine ou d'une autre impureté est souvent présente sur sa surface. Cette pellicule peut empêcher un contact intime entre la première couche en aluminium et une deuxième connexion à couche d'aluminium déposée sur la première. Ce contact non intime peut introduire une résistance électrique supplémentai 25 re dans le système de connexions. Un tel système de connexions à couches d'aluminium peut faire partie d'un circuit à film mince ou épais ou peut encore faire partie d'un ensemble d'interconnexions à niveaux multiples sur un circuit intégré monolithique. Le problème des caractéristiques électriques diminuées d'une 30 connexion d'électrode peut être important dans le cas de la fabri cation de diodes à barrière de Schottky. Les diodes à barrière de Schottky présentent des temps de récupération inverse très courts comparativement à des diodes à jonction p-n, du fait qu'il y a un emmagasinage très faible de porteurs minoritaires à hauteur de la 35 jonction métal-semiconducteur. Par conséquent, ces diodes sont in téressantes dans de nombreuses applications industrielles comportant des opérations à grande vitesse» Il est cependant difficile de fabriquer, à l'aide de procédés de dépôt simples connus, des diodes à barrière de Schottky ayant des caractéristiques reprodue 40 tibles comme la tension de seuil et la résistance série, surtout 70 41507 2 2067383 dans le cas de jonctions métal-semiconducteur de grande superficie Ces difficultés semblent provenir en partie de la présence d'une pellicule contaminante de matières étrangères d'une épaisseur d'une ou plusieurs couches monomoléculaires sur la surface du 5 corps semiconducteur. Une telle pellicule contaminante empêche un contact intime entre l'électrode à couche métallique et le corps semiconducteur, de sorte que la barrière de potentiel à hauteur de la jonction varie de façon erratique. lors de la fabrication de dispositifs semiconducteurs, il est 10 souvent souhaitable de pouvoir introduire un élément d'impureté dans une partie de surface du corps semiconducteur et d'établir sur cette partie de surface une connexion d'électrode consistant en une couche métallique. Dans un grand nombre de dispositifs semiconducteurs fabriqués 15 dans le passé, l'introduction de l'élément d'impureté s'effectue par un processus d'alliage» Selon ce processus, un grain d'électrode (par exemple de l'indium) est déposé sur un corps semiconducteur (par exemple du germanium) et, si on chauffe le tout de manière à obtenir une zone en fusion, le grain s'allie à la par-20 tie de surface sous-jacente du corps semiconducteur. Cet alliage a pour effet qu'un élément d'impureté est introduit dans la partie de surface du corps semiconducteur de manière à modifier son type de conductivité, et un contact intime est établi entre le grain d'électrode et la partie de surface précitée. Cependant, de 25 tels processus d'alliage ne conviennent pas bien à la fabrication de composants et de dispositifs microminiaturisés. Il est difficile de contrôler l'étalement latéral et la profondeur de la zone d'alliage formée et il est plus particulièrement difficile de limiter les dimensions de la zone à de faibles valeurs, par exemple 30 de l'ordre de microns ou de dixièmes de micron. En outre, il est difficile de former simultanément et automatiquement un grand nom bre de telles zones alliées sur une surface de corps unique à l'effet d'obtenir simultanément un grand nombre de ces dispositifs C'est pourquoi les recherches sont passées des processus d'allia-35 ge à d'autres processus d'introduction d'éléments d'impureté dans des parties de surface de corps semiconducteurs, notamment la dif fusion thermique d'éléments d'impureté dans le corps semiconducteur à partir d'un courant gazeux léchant le corps semiconducteur Dans ce cas, la connexion d'électrode à couche métallique est obtenue à la suite de la diffusion de l'impureté» 70 41507 3 2067383 ' > Plus récemment on a étudié l'implantation ionique comme procès sus d'introduction d'un élément d'impureté dans un substrat. L'im plantation dans un substrat s'effectue par bombardement direct du substrat à l'aide de faisceaux d'ions énergétiques de l'élément 5 d'impureté. De tels procédés d'implantation sont présentement utilisés dans la fabrication de certains dispositifs semiconducteurs à l'effet de modifier la conductivité et/ ou le type de conducti-vité de parties de surface d'un corps semiconducteur. On peut utiliser à cet effet une source d'ions à haute fréquence alimentée en 10 composés gazeux contenant l'élément d'impureté précité. Un faisœaa. 'ionique accéléré provenant d'une telle source contient des genres d'ions autres que le genre d'ions que l'on désire implanter de sor te qu'il est nécessaire d'analyser magnétiquement le faisceau et de sélectionner le genre d'ions désiré avant que le faisceau ioni-1 5 que ne pénètre dans la chambre cible afin de bombarder le corps. ^Avec un tel procédé connu, il peut être difficile d'obtenir d'une telle source d'ions, en vue de l'implantation, un faisceau ionique suffisamment pur et/ ou un courant ionique suffisamment élevé. En outre, il est souvent nécessaire, lors de l'implantation dans un 20 corps semiconducteur, d'implanter deux genres d'ions d'impureté de -'dotation dans des parties de.surface différentes de corps. Dans ce cas, il peut être nécessaire de recourir à deux bombardements ioni ques différents et même éventuellement à deux sources d'ions séparées. 25 Dans un procédé de fabrication d'un composant électrique selon -la présente invention, on dépose sur un substrat une couche métallique qui est au moins partiellement en contact avec une partie de surface du substrat et on bombarde d'ions la couche métallique afin que, par transfert d'énergie, les atomes d'un élément provenant de 30 la couche métallique pénètrent dans la partie de surface précitée ; du substrat et s'y implantent afin de modifier de façon désirée les caractéristiques électriques relatives à cette partie de surfa ce, au moins une partie de la couche métallique faisant partie du composant fabriqué en tant que connexion d'électrode en contact 35 avec au moins une fraction de la dite partie de surface. Un procédé d'implantation avec bombardement d'une couche par ions de façon que, par transfert d'énergie, des atomes d'un élément provenant de la couche pénètrent dans une partie de surface sous-jaeente peut être dénommé "une implantation de frappe". Il 40faut remarquer qu'à la suite du bombardement ionique, certains des ?Ô 41507 4 2067383 atomes pénétrant dans la partie de surface précitée peuvent être des atomes ionisés de cet élément. En bombardant la couche métallique par ions de façon que, par transfert d'énergie, des atomes d'un élément provenant de la 5 couche métallique pénètrent dans la dite partie de surface, on forme un contact plus intime entre la partie de surface et la cou che métallique. Il en est particulièrement ainsi lorsqu'une mince pellicule contaminante recouvre la surface du substrat au-dessous de la couche métallique. Dans ce cas, les atomes de la couche mé-10 tallique traversant la pellicule contaminante et s'implantant dans la partie de surface du substrat permettent la formation d* un contact électrique plus efficace entre la couche métallique et la dite partie de surface du substrat. Puisque c'est par transfert d'énergie des ions de bombarde-15 ment que des atomes de l'élément précité de la couche métallique pénètrent dans la partie de surface précitée du substrat, il ne faut pas recourir à un traitement à haute température. Ceci n'entraîne que de faibles restrictions quant au type des stades de traitement de la fabrication du composant précédant le bombarde-20 ment, de sorte que le bombardement et l'implantation qui en résul te peuvent s'effectuer à un stade ultérieur de la fabrication» lorsque le substrat utilisé dans la fabrication d'un disposi tif semiconducteur est un corps semiconducteur, la matière de la couche métallique peut être un élément d'impureté du semiconduc-25 teur déterminant un type de conductivité, de sorte que, par un seul bombardement ionique, on obtient un contact intime entre la couche métallique et la partie de surface précitée, les atomes de l'élément d'impureté implantés dans cette partie de surface pouvant changer le type de conductivité de celle-ci » En outre, un 30 tel procédé d'implantation convient bien à la création de régions peu profondes à éléments d'impureté implantés dans le corps semiconducteur et, si on le désire, il est aussi possible de limiter fortement l'étalement latéral. Un tel procédé d'implantation présente donc certains des avantages du processus d'alliage connu 35 dont il a été question (par exemple l'introduction d'un élément d'impureté d'une couche formant électrode et contact intime entre l'électrode et le corps semiconducteur) tout en évitant certains des inconvénients (par exemple contrôle de la faible pénétration et d'un étalement latéral réduit). 40 Dans une forme d'exécution de l'invention, le substrat sur 70 41507 5 2067383 ' lequel la couche métallique est déposée consiste en une première couche métallique constituant connexion placée sur un support, les,' atomes précités pénétrant dans la partie de surface sous-jacente de la couche métallique formant connexion afin d'obtenir un con-5 tact ohmique efficace entre les deux couches métalliques, ceci en "alliant" effectivement les deux couches métalliques, les deux cou ches peuvent être en le même métal ou en des métaux différents. lorsque les deux couches sont de l'aluminium, une mince pellicule d'alumine ou d'une autre impureté est souvent présente sur la sur 10 face de contact de la couche métallique fornant connexion» Le hom bardement et l'implantation qui en résulte peuvent établir un con tact électrique efficace au travers de cette pellicule. En choisissant de façon appropriée la masse et l'énergie ciné tique des ions de bombardement comparativement aux atomes de l'é-15lément, il est possible de contrôler le transfert d'énergie d'un ion à un atome de l'élément et il est donc possible de régler la profondeur d'implantation des atomes de l'élément dans le substiat Le choix des ions de bombardement peut être basé sur des expérien ces simples et/ ou des calculs simples, puisque les masses des 20 ions et des atomes et, dans de nombreux cas, la pénétration des ions et des atomes de matières déterminées sont bien connues. Les masses relatives des ions et des atomes sont choisies de manière à obtenir un transfert voulu de l'énergie d'un ion à un atome, et l'énergie de l'ion est choisie en fonction de la profondeur d'im-25plantation désirée pour les atomes de l'élément. L'épaisseur de la couche métallique est choisie en fonction de la profondeur d'implantation désirée dans le substrat des atomes précités, et la pénétration des ions de bombardement et des atomes dans les différentes matières présentes. En général, de telles di-30 tensions sont relativement faibles, de sorte que la couche métalli que est comparativement mince. Dans le cas où le composant fabriqué doit être pourvu d'une connexion d'électrode relativement é-paisse, la partie de la couche métallique déjà prévue dans le composant fabriqué peut être épaissie à la suite du bombardement et 35de l'implantation, par exemple par dépôt ou galvanoplastie., Les atomes en question peuvent être implantés sélectivement dans le substrat afin de former une région de surface ayant une configuration latérale spécifiée. La sélectivité peut être obtenue en utilisant une couche de masquage sur la surface du substrat » 40afin de protéger les parties sous-jacentes du substrat contre l'im bad original 70 41507 6 20673Ô3 ' plantation des atomes, la sélectivité peut.aussi être obtenue en balayant sélectivement la couche métallique en question à l'aide d'un faisceau ionique focalisé. Dans certains cas, les ions de bombardement et les atomes de 5 l'élément provenant de la couche métallique peuvent être implantés dans le substrat sans influencer défavorablement des caractéristiques électriques relatives à cette partie de surface. Dans la fabrication des dispositifs semiconducteurs, lorsque les ions de bombardement constituent un élément d'impureté déterminant un type 10 de conductivité, on peut avantageusement ajouter l'implantation des ions de bombardement à l'implantation des atomes de l'élément précité afin d'obtenir une concentration voulue de l'élément d'im pureté déterminant le type de conductivité dans une partie du sub strat du corps semiconducteur. Dans ce cas, les atomes de l'élé-15 ment provenant de la couche métallique peuvent être des atomes d'un autre élément d'impureté déterminant un type de conductivité, de sorte que deux éléments d'impureté sont implantés dans, le corps semiconducteur en ayant recours à un seul bombardement par un seul genre d'ions et ceci sur une seule couche métallique recouvrant la 20surface du corps semiconducteur. l'expérience montre que, d'une façon générale, la pénétration des ions est plus sensible à la masse de la cible que ne l'est le rendement du transfert d'énergie. Par conséquent, on peut choisir la composition et l'épaisseur de la couche métallique de telle fa-25Çon qu'au moins la majorité des ions bombardant la couche métallique soit absorbée dans celle-ci sans pénétrer dans le substrat. Une telle absorption de la majorité ou en substance de tous les ions bombardant la couche métallique est intéressante dans de nombreux cas. Par exemple, ceci permet de réduire le degré d'endomma-30gement d'un substrat d'un corps semiconducteur lorsqu'au moins la majorité des ions de bombardement est absorbée sans pénétrer dans le corps semiconducteur. En outre, le choix du genre d'ions de bom bardement ne doit pas être limité sévèrement par l'élément partieu lier à implanter (ce qui est le cas pour le procédé d'implantation 35directe), ou par l'influence des ions sur les propriétés de la par tie de surface du corps se&ieonaucteur. On peut choisir un genre d'ions avec lequel il est possible d'obtenir un courant ionique suffisamment élevé à partir d'une source d'ions comparativement simple et ayant une masse permettant un transfert d'énergie souhai 40table aux atomes de l'élément. t 6AB ORIGINAL 70 41507 7 2067383 " Les ions peuvent provenir d'un gaz inerte, par exemple de l'ar gon ou du krypton, et peuvent être obtenus d'un dispositif à décharge gazeuse. Dans ce cas, lorsque le substrat est un corps semiconducteur, l'absorption d'au moins la majorité ou en substance 5 de tous les ions de bombardement sans que ceux-ci pénètrent dans le corps semiconducteur peut s'avérer une caractéristique importante, puisqu'on évite des concentrations de gaz inerte indésira-blement grandes dans le corps semiconducteur. L'expérience a montré, par exemple, que, lorsqu'on implante des doses d'ions de 17 2 10 néon dépassant 10 ions de néon par cm par implantation directe, une zone amorphe se forme dans le corps semiconducteur, la cristallisation de cette zone étant empêchée par précipitation du néon implanté sous forme de bulles. On peut aussi utiliser d'autres genres d'ions, par exemple des ions appartenant à un élément 15 d'impureté déterminant un type de conductivité lorsque le substrat est un corps semiconducteur. Les ions de bombardement peuvent avoir des énergies allant de 10keV à 100 keV. Un tel procédé de fabrication peut s'avérer extrêmement inté-20 ressant pour la fabrication d'un dispositif semiconducteur lorsque le substrat est un corps semiconducteur. La connexion d'électrode peiit former un contact ohmique ou un contact redresseur avec la surface du corps semiconducteur. Comme, d'une façon générale, les pénétrations des ions de bom-25 bardement et des atomes précités dans la couche métallique et dans le corps semiconducteur sont relativement faibles, l'épaisseur de la couche métallique doit être relativement mince afin de permettre une profondeur d'implantation raisonnable dans le corps semiconducteur. C'est ainsi que l'épaisseur de la couche métalli-30 que peut atteindre, par exemple, 0,1 micron au maximum. Cependant, la couche métallique ne peut pas être trop mince parce que, au cours de bombardements à l'aide de fortes doses d' ions, l'épaisseur de la couche métallique est réduite par crachotement (sputtering), au moins une partie de la couche métallique 35 devant être maintenue dans le dispositif fabriqué à titre de connexion d'électrode. En outre, comme cela a été dit, l'épaisseur de la couche métallique peut devoir être telle qu'au moins la majorité des ions bombardant la couche métallique soit absorbée dans cette couche sans pénétrer dans le corps semiconducteur. Par 4° conséquent, l'épaisseur de la couche métallique doit atteindre au 70 41507 8 2067383 ' moins 0,05 micron, par exemple. Le dispositif semiconducteur peut consister en une diode à bar rière de Schottky, la couche métallique étant une électrode à cou che métallique formant une jonction de type Schottky avec la sur-5 face du corps semiconducteur et les atomes du métal pénétrant dans cette partie de surface formant, à la surface, un contact re dresseur intime entre l'électrode à couche métallique et le corps semiconducteur. En bombardant de cette manière l'électrode à couche métallique par ions, des atomes du métal peuvent traverser la 10 pellicule contaminante recouvrant la surface du corps semiconducteur afin de former, à la surface, un contact intime entre l'élec trode à couche métallique et le corps semiconducteur. De cette ma nière, il est possible de fabriquer des diodes à barrière de Schottky à jonction de grande superficie et ayant des caractéris-15 tiques reproductibles. Pour la fabrication de dispositifs semiconducteurs, il est d' une importance particulière d'utiliser des procédés selon la présente invention selon lesquels on a recours à une implantation de frappe pour introduire les atomes de l'élément d'impureté détermi 20 nant un type de conductivité dans la partie de surface du corps semiconducteur. Ledit élément peut donc être un élément d'impureté caractéristique d'un type de conductivité de la matière du corps semiconducteur et peut être implanté de manière à former une région semiconductrice de ce premier type de conductivité dans le 25 corps semiconducteur. De tels procédés peuvent s'avérer avanta*-geux pour l'implantation dans une partie de surface du corps semiconducteur d'un élément d'impureté avec lequel il est difficile d'obtenir des faisceaux ioniques accélérés qui aient soit une pureté suffisamment grande soit un courant ionique suffisamment éle 30 vé pour permettre une implantation directe conformément aux procédés connus décrits ci-dessus. En outre, la concentration en ato mes d'élément d'impureté obtenus par implantation de frappe est généralement forte à la surface du corps semiconducteur de sorte que la couche métallique constituant la connexion d'électrode 35 vient en contact avec une partie à faible résistivité de la région formée par implantation» La couche métallique peut être de l'aluminium, l'aluminium é-tant un lément utilisé dans les technologies connues des disposi tifs semiconducteurs pour des connexions d'électrode, l'aluminium 40 étant, en outre, un élément d'impureté preneur dans le silicium BAD ORIGINAL 70 41507 9 2067383 ' et une matière provoquant peu de craccotement. Dans une autre for me d'exécution, la couche métallique peut être de l'antimoine, élément jouant le rôle d'élément d'impureté donneur dans le silicium o type de conductivité peuvent pénétrer dans une partie du corps se miconducteur du premier type de conductivité afin de renforcer la conductivité à la surface, formant ainsi un "bon contact ohmique entre la couche métallique et la partie du corps semiconducteur. 10 les atomes de l'élément d'impureté caractéristique du premier type de conductivité peuvent pénétrer dans une partie du corps semiconducteur ayant le type de conductivité opposé afin de former avec celle-ci une jonction p-n. En fin de pénétration des atomes de l'élément d'impureté dans 15 le corps semiconducteur, un atome peut subir un nombre de collisions à forte diffusion produisant des défauts de Frehkel et amenant l'atome au repos usuellement dans une position interstitielle. Afin de reconstituer la forme cristalline du semiconducteur et de ramener les atomes de l'élément d'impureté dans des posi-20 tions de substitution, il faut avoir recours à un traitement de recuit. Des études indiquent que les défauts de cristallisation peuvent être généralement entièrement corrigés par recuit à une température modérée inférieure aux températures normales de diffu sion, par exemple environ 600°C dans le silicium,, le traitement 25 de recuit peut être effectué après le bombardement par ions provoquant l'introduction d'atomes de l'élément d'impureté dans la surface du corps semiconducteur et/ ou le corps peut être chauffé durant le-bombardement ionique. Dans ce dernier cas, il s'avère que la pénétration des ions et des atomes dans la couche métalli-30 que et dans le corps semiconducteur est modifiée par la températu re. la demanderesse entend que l'expression "un procédé de fabrication d'un dispositif semiconducteur selon lequel des atomes d' un élément sont implantés dans une partie de surface d'un corps semiconducteur afin de modifier les caractéristiques électriques 35 relatives à la partie de surface" comprend un traitement de recuit lorsque cela est nécessaire. En outre, il faut noter que l'étendue finale des régions et l'emplacement final des jonctions formées dans le corps sewiconducteur par implantation peuvent être déterminées dans certains cas uniquement au cours d'un traitement 5 les atomes de l'élément d'impureté caractéristique du premier 40 de recuit. 70 41507 10 2067383 Lorsque les atomes de l'élément d'impureté du premier type de conductivité pénètrent dans une partie du corps semiconducteur ayant le type de conductivité opposé, le dispositif semiconducteur peut consister en un dispositif pour détecter et/ ou mesurer les 5 radiations, la couche pouvant recouvrir l'entièreté d'une grande face du corps semiconducteur du type de conductivité opposé et pouvant être bombardée par ions de façon que des atomes de l'élément d'impureté pénètrent dans l'entièreté de la grande face précitée de manière à former dans le corps semiconducteur une région 10 peu profonde et voisine de la surface du premier type de conducti vité, cette dernière formant avec la partie voisine du corps semiconducteur du type de conductivité opposé une jonction p-n sensible aux radiations. Une couche de masquage de forme déterminée peut être déposée 15 sélectivement sur la surface du corps semiconducteur, la couche métallique précitée étant deposée sur la couche de masquage et sur au moins une partie non masquée de la surface du corps semiconducteur. La composition et l'épaisseur de la couche de masquage sonttelles que, lorsque les ions sont dirigés sur l'ensemble 20 de la surface précitée du corps semiconducteur, les atomes de la couche métallique pénétrant la couche de masquage ne pénètrent pas dans la surface du corps semiconducteur de sorte qu'il est possible d'effectuer une implantation sélective sur la surface du corps semiconducteur. 25 Dans une forme d'exécution de l'invention, la couche de masqua ge est en matière isolante, par exemple la silice, et au moins une partie de la couche de masquage est présente dans le dispositif fabriqué en tant que couche d'isolement et / ou de passivatâcr* sur la surface du corps semiconducteur. Dans ce cas, lorsque l'é-30 lément est un élément d'impureté du premier type de conductivité, le dispositif semiconducteur peut consister en une diode à jonction p-n, et les atomes de l'élément d'impureté sélectivement implantés dans la surface du corps semiconducteur forment une régLcaa voisine de la surface du premier type de conductivité qui établit 35 avec la partie voisine du corps semiconducteur de type de conductivité opposé une jpnction p-n, cette jonction p-n s'arrêtant à la surface du corps semiconducteur précitée au-dessous de la cou-ehe de masquage en silice. Dans une autre forme d'exécution, la couche de masquage est mé 40 tallique et au moins une partie de la couche de masquage est pré BAP ORIGINAL 70 41507 n 2067383 ' sente dans le dispositif fabriqué en tant qu'électrode du disposi tif. L'électrode peut se trouver en contact avec la surface du corps semiconducteur ou peut être séparée de celle-ci, par exemple par une couche isolante ou relativement mince. 5 Lorsque l'élément est un élément d'impureté du premier type de conductivité, des atomes pénétrant dans une partie de la surface du corps semiconducteur ayant le type de conductivité opposé, le dispositif sehiiconducteur peut consister en un transistor à effet de champ avec porte isolée. La couche métallique de masquage com-10 prend une électrode-porte métallique déposée sur une couche isolante relativement mince recouvrant la surface du corps semiconducteur, les atomes de l'élément d'impureté du premier type de conductivité sélectivement implantés dans la surface du corps semiconducteur formant des régions de source et de drain du premier 15 type de conductivité près de la surface, tandis que la partie de la surface du corps semiconducteur protégée par masquage contre l'implantation par l'électrode-porte métallique constitue la région de canal du transistor à effet de champ avec porte isolée. Le cette manière, les extrémités adjacentes des régions de 20 source et de drain et l'emplacement intermédiaire de la région de canal porteur de courant doivent être automatiquement mis en alignement avec l'électrode-porte métallique si on a recours à un tel procédé d'implantation. Un transistor à effet de champ avec porte isolée fabriqué de cette manière peut avoir une capacité 25 porte-drain très faible du fait que le chevauchement entre électrode-porte et électrode-drain est petit comparativement à un transistor à effet de champ avec porte isolée dans lequel les régions de source et de drain sont uniquement formées à l'aide de techniques de diffusion» En outre, le procédé de l'invention per-30 met d'obtenir des régions de canal ayant des dimensions contrôlées avec précision et de courte longueur. Une couche de masquage supplémentaire, isolante et relativement épaisse peut être déposée sélectivement sur la surface du corps semiconducteur avant le dépôt de la couche métallique contenant l'élément d'impureté. 35 I>urant le bombardement ionique, cette couche de masquage supplémentaire protège contre l'implantation de l'élément d'impureté afin de délimiter le pourtour extérieur le plus éloigné du canal des régions de source et de drain. Dans une forme d'exécution précitée, les ions bombardant la 40 couche métallique sont des ions d'un gaz inerte. 70-41507 12 2067383 " Dans une autre forme d'exécution, en particulier lorsque l'élé ment précité est un élément d'impureté du premier type de conductivité, les ions bombardant la couche métallique appartiennent à un élément d'impureté caractéristique du type de conductivité op-5 posé et pénètrent dans la surface du corps semiconducteur au cours du bombardement. Dans ce cas, il est possible d'implanter deux é-léments d'impureté dans la surface du corps semiconducteur en ayant recours à un seul bombardement ionique, le dispositif semiconducteur peut consister en un transistor bipolaire. Dans ce cas, 10 la couche métallique contenant l'élément d'impureté caractéristique du premier type de conductivité peut être déposée sur une par tie du corps semiconducteur du type de conductivité opposé associée à la région de collecteur du transistor et , au cours du bom bardement ionique, les ions pénètrent dans la surface du corps se 15 miconducteur afin de former une région voisine de la surface et du type de conductivité opposé associée à la région d'émetteur du transistor, les atomes de l'élément djimpureté caractéristique du premier type de conductivité pénètrent dans la surface du corps semiconducteur à une plus grande profondeur afin de former une ré 20 gion du premier type de conductivité associée à la région de base du transistor. lorsque le dispositif semiconducteur consiste en un transistor bipolaire fabriqué de cette manière, les ions caractéristiques du type de conductivité opposé et les atomes caractéristiques du pre 25 mier type de conductivité peuvent être implantés sélectivement dans la surface du corps semiconducteur de façon qu'aussi bien la jonction p-n émetteur-base que la jonction p-n base-collecteur s'arrêtent à la surface du corps semiconducteur. On obtient ainsi ce que l'on nomme un transistor "planar". Dans ce cas, le disposi 30 tif semiconducteur peut consister soit en un transistor bipolaire "planar" pris séparément soit en un circuit intégré comprenant le transistor bipolaire et au moins un autre élément de circuit dont les régions semiconductrices sont formées simultanément avec les régions semiconductrices du transistor bipolaire par implantation 35 sélective dans la surface du corps semiconducteur des ions précités et/ ou des atomes précités. lorsque l'élément précité est un élément d'impureté caractéris tique du premier type de conductivité de la matière du corps semi conducteur,y une autre couche métallique comprenant un élément 40 d'impureté caractéristique du type de conductivité opposé peut BAD ORIGINAL 70 41507 13 2067383 ' recouvrir la surface du corps semiconducteur, les deux couches mé talliques étant bombardées simultanément par des ions qui, grâce au transfert d'énergie, forcent des atomes des deux éléments d'im pureté à pénétrer dans la surface du corps semiconducteur afin de 5 modifier de façon désirable la conductivité et/ ou le type de conductivité associés à des parties de surface du corps semiconducteur. Dans ce cas, la couche métallique contenant l'élément d'impureté caractéristique du premier type de conductivité peut recou vrir l'autre couche métallique au-dessus d'une partie du corps se 10 miconducteur ayant le type de conductivité opposé, le dispositif semiconducteur peut consister en un transistor bipolaire, l'autre couche métallique contenant un élément d'impureté lourd caractérâs tique du type de conductivité opposé étant déposée sélectivement sur la surface du corps semiconducteur tandis que la couche métal 15 lique comprenant l'élément d'impureté du premier type de conductivité peut être déposée sur l'autre couche métallique et sur une partie mise à nu de la surface du corps semiconducteur. Durant le bombardement ionique, les atomes de l'élément d'impureté caractéristique du premier type de conductivité pénètrent dans la surfa-20 ce du corps semiconducteur de manière à former une région du premier type de conductivité associée à la région de base du transis tor tandis que des atomes de l'élément d'impureté caractéristique du type de conductivité opposé, qui sont plus lourds, pénètrent moins profondément dans la surface du corps semiconducteur afin 25 de former une région du type de conductivité opposé associée à l'émetteur du transistor, la jonction p-n émetteur-base s'arrêtanb à la surface du onros semiconducteur. Un tel dispositif serdconducteur peut consister en un transistor bipolaire prâB séparément. Dans une autre forme d'exécution 30 de l'invention, le dispositif semiconducteur est un circuit intégré comprenant le transistor bipolaire et au moins un autre élément de circuit, les atomes des deux éléments d'impureté étant im plantés sélectivement dans la surface du corps semiconducteur afin de former simultanément des régions semiconductrices du transistor 35 bipolaire et de l'autre ou des autres éléments de circuit. le dispositif semiconducteur peut être un circuit intégré qui comprend un transistor bipolaire et un transistor à effet de champ avec porte isolée ou un transistor à effet de champ avec jonction. 40 lep deux couches métalliques peuvent recouvrir entièrement la 70 41507 14 2067383 surface du corps semiconducteur et être balayées par un faisceau d'ions à énergie modulée, la modulation d'énergie étant telle que des atomes des deux éléments d'impureté soient sélectivement implantés dans la surface du corps semiconducteur de manière à for-cj mer des régions semiconductrices de forme désirée et appartenant au dispositif semiconducteur. De cette manière, comme les deux couches métalliques ont des sections transversales de collision différentes, il est possible de fabriquer des diodes, des résistances, des condensateurs, des transistors bipolaires et des tran 10 sistors à effet de champ sur la surface du corps semiconducteur en modulant l'énergie du faisceau ionique. le dispositif semiconducteur peut être un circuit intégré et la surface du corps semiconducteur en question peut être une gran de face d'une couche semiconductrice ayant au moins en majeure 15 partie le type de conductivité opposé et se trouvant sur un substrat semiconducteur du premier type de conductivité. la couche en question peut être une mince couche épitaxiale recouvrant le subs trat semiconducteur„ Les éléments de circuit du circuit intégré peuvent^être isolés entre eux en plaçant les éléments de circuit 20 dans des îlots de la couche qui sont séparés entre eux par une ré gion d'isolement du type de conductivité opposé s'étendant de la surface du corps semiconducteur jusqu'à l'intérieur de la couche, la région d'isolement peut pénétrer dans la couche à la même profondeur que la région de base. Dans ce cas, l'isolement est obte-25 nu en fonctionnement du circuit par polarisation inverse de la jonction p-n entre la région d'isolement et la couche de telle façon que la couche de raréfaction formée occupe l'épaisseur restan te de 1a. couche entre la région d'isolement et la surface de sépa ration du substrat. Dans une autre forme d'exécution, la région 30 d'isolement s'étend dans toute l'épaisseur de la couche et peut être prévue dans la couche avant l'implantation des éléments d'im pureté. Le dispositif semiconducteur peut consister en un circuit inté gré dont différents éléments de circuit sont isolés entre eux par 35 des canaux d'isolement formés ultérieurement dans le corps semiconducteur. les canaux d'isolement peuvent être en une matière diélectrique isolante, au moins dans le voisinage des éléments de circuit, ou bien les canaux peuvent être des canaux à isolement par air. Dans une forme d'exécution de ce dernier cas, les élé-4-0 ments de circuit peuvent être entièrement séparés par isolement à :|U; SAD ORIGINAL 70 41507 15 2067383 " l'air et peuvent être réunie entre eux uniquement par les interconnexions électriques de la couche métallique, c'est-à-dire sous la forme de ce que l'on nomme un circuit intégré à "beam-lead". Dans une autre forme d'exécution, les canaux d'isolement par air 5 peuvent séparer des îlots semiconducteurs comprenant des régions d'éléments de circuit et situés sur un substrat semiconducteur du type de conductivité opposé ou encore sur un support isolant. Le corps semiconducteur peut être du silicium, du germanium, une matière seiaiconductrice composée AT TT - ou même une matiè-10 re semiconductrice composée Ajj - By-j. Il va de soi que, dans la fabrication des dispositifs semiconducteurs, l'implantation par frappe peut être combinée avec de nombreuses autres techniques de semiconducteurs, par exemple l'implantation par ions, la croissance épitaxiale et la diffusion 15 thermique • Plusieurs formes d'exécution de l'invention sont déoritea oi- après à titre d'exemple avec référence aux dessins schématiques annexés, dans lesquels : les figures 1 à 3 sont des vues en coupe transversale d'un 20 corps semiconducteur d'une diode à jonction p-n, montrant différents stades de la fabrication. La figure 4 est une vue en coupe transversale d'un corps semiconducteur d'une diode à barrière de Schottky montrant -on stade de la fabrication» 25 Les figures 5 à 8 sont des vues en coupe transversale d'im corps semiconducteur d'un transistor à effet de champ avec porte isolée montrant différents stades de la fabrication» Les figures 9 à 13 sont des vues en coupe transversale d'un corps semiconducteur d'un transistor bipolaire montrant différente 30 stades de la fabrication. Les figures 14 à 17 sont des vues en coupe transversale d'un corps semiconducteur d'un autre transistor bipolaire montrant dif férents stades de la fabrication» La figure 18 est une vue en coupe transversale d'une partie d' 35 un corps semiconducteur d'un circuit intégré montrant tin stade de sa fabrication. La figure 19 est une vue en coupe transversale d'un composant électrique pourvu de connexions à couche métallique à deux niveaux montrant un stade de la fabrication, et 40 La figure 20 est une vue en coupe transversale du corps semi BAD ORIGINAL 70 41507 16 2067383 conducteur d'un transistor bipolaire supplémentaire montrant un stade de sa fabrication« - Dans les procédés de fabrication d'un composant électrique décrits ci-après avec référence aux dessins annexés, une couche mé-5 tallique est déposée sur un substrat et est au moins partiellement en contact avec une partie de surface de ce substrat, la couche métallique est bombardée par ions de manière que par transfert d' énergie, des atomes d'un élément provenant de la couche métallique pénetrent dans la dite partie de surface du substrat et s'y 10 implantent afin de modifier de façon désirée des caractéristiques électriques relatives à cette partie de surface, au moins une par tie de la couche métallique étant maintenue dans le composant fabriqué à titre de connexion d'électrode en contact avec au moins une fraction de la dite partie de surface. 15 Dans les procédés de fabrication d'un dispositif semiconducteur décrits ci-après, un grand nombre de dispositifs semiconducteurs sont fabriqués à partir d'une plaquette semiconductrice com mune en formant simultanément un ensemble de dispositifs élémentaires sur la plaquette et en subdivisant ensuite la plaquette a-20 fin d'obtenir des corps semiconducteurs séparés pour chaque dispo sitif semiconducteur pris individuellement, les dessins annexés se rapportant à chaque forme d'exécution de l'invention représentent, en coupe transversale, une partie seulement de la plaquette semiconductrice, habituellement la partie qui constitue le corps 25 semiconducteur d'un dispositif semiconducteur. Des divers stades de fabrication sont décrits en se rapportant au corps semiconducteur d'un seul dispositif semiconducteur plutôt qu'en se rapportant à la plaquette entière. Il va de soi que lorsqu'il est question d'opérations comme des techniques de photo-lithographie et 30 de décapage, d'implantation sélective d'atomes et de recuit, ces opérations sont effectuées soit simultanément en plusieurs endroits sur la plaquette ou sur la plaquette entière de manière à former plusieurs dispositifs élémentaires qui sont ensuite séparés en subdivisant la plaquette au cours d'une opération ultérieu 35 re de la fabrication. Exemple.1. Il s'agit de la fabrication d'une diode a jonction p-n dont plusieurs stades de la fabrication sont représentés aux figures 1 à 3. la matière de départ est un corps en silicium de type-n 1 4° faisant partie d'une plaquette en silicium monocristallin cfe "type- n 70 41507 17 2067383 Les grandes faces opposées de la plaquette et du corps en silicium 1 sont parallèles aux plans cristallographiques du silicium (lll). La résistivité du corps en silicium 1 est de 15 ohms-cm tout au moins dans le voisinage d'une surface 2 de type -(111) du 5 corps en silicium,, Une couche de silice ayant une épaisseur de 3-000 angstroms (0,3 micron) est de-osée par croissance sur la surface 2 de type (lll) du corps en silicium en maintenant le corps à 1100°C dans un courant d'oxygène humide pendant environ 20 minutes. On prati-10 que, en ayant recours à des opérations de photolithographie et de décapage, une ouverture carrée d'une largeur de 200 microns dans la couche de silice afin de mettre à nu une partie 4 de la surface 2 du corps en silicium. De cette manière, on obtient une couche de masquage en silice relativement épaisse 3 qui est déposée 15 sélectivement sur la surface 2 du corps en silicium. Dans une autre forme d'exécution, la couche de masquage en silice relativement épaisse de forme déterminée 3 est deposée sélectivement sur la surface 2 du corps en silicium en protégeant sélectivement cet te surface 2 contre l'oxydation au moyen, par exemple, d'une cou-20 che de masquage en nitrure de silicium relativement mince qui est enlevée par après. Le corps en silicium 1 avec sa couche de masquage en silice 3 est transféré dans un appareil de vaporisation sous vide et de l'a luminium est déposé de manière à former sur la couche de masquage 25 en silice 3 et sur la partie non masquée 4 de la surface 2 du corps en silicium une couche d'aluminium 5 ayant une épaisseur de 650 angstroms (0,065 micron). Le pourtour extérieur de la couche d'aluminium 5 est définie par décapage sur la couche de masquage en silicium 3. 30 le corps en silicium 1 portant sa couche de masquage en silice 3 et la couche d'aluminium 5 est transféré dans une chambre cible d'un appareil de bombardement par ions et la couche d'aluminium 5 est bombardée par ions co^aiie cela est indiqué par les flèches de la figure 2. 35 La source d'ions est un dispositif à décharge d'argon gazeux relativement simple permettant d'obtenir un faisceau accéléré d' ions d'argon d'une pureté relativement grande et d'un courant ioni que élevé. On prend soin à réduire au minimum la quantité de gaz organiques secondaires provenant des pompes en plaçant des pièges 40 sur 16s tuyauteries d'amenée, et en utilisant des pompes de diffu 70 41507 18 2067383 sion à azote liquide de piégeage pour le tube accélérateur. De cette manière, la couche d®aluminium 5 est bombardée à l'ai de d'un faisceau d'ions d'argon ayant une masse ionique de 40 a. 1 P m.u., une dose ionique de 3 x 10 ions/cm et une énergie ioni-5 que de 60 keV. Les ions d'argon de bombardement forcent par trans fert d'énergie, des atomes d'aluminium à pénétrer dans la couche de masquage en silice 3 et dans la partie non masquée 4 de la sur face 2 du corps en silicium» La composition et l'épaisseur de la couche de masquage en silice 3 sont telles que, lorsque les ions 10 sont dirigés sur l'ensemble de la surface 2 du corps en silicium, des atomes d'aluminium pénétrant dans la couche de masquage 3 ne pénètrent pas dans la surface 2 du corps en silicium. De cette ma nière, l'aluminium élémentaire est implanté sélectivement dans la surface 2 du corps en silicium. 15 La pénétration moyenne d'ions d'argon à 60 keV dans l'aluminium est d'environ 600 angstroms et la majorité des ions d'argon bombardant la couche d'aluminium 5 est absorbée par la couche 5 et ne pénètre pas dans la surface 2 du corps en silicium. Environ 96 i° de l'énergie des ions d'argon sont transférés aux atomes ^ d'aluminium dans le cas d'une collision frontale, et la pénétration résiiltante des atomes d'aluminium dans l'aluminium ou dans le silicium est d'environ 900 angstroms. Par conséquent, des atomes d'aluminium pénètrent modérément à l'intérieur du corps en si licium 1. 25 Comme l'aluminium est un élément d'impureté preneur dans le si licium, les atomes d'aluminium sélectivement implantés dans la surface 2 du corps en silicium de type-n forment dans le corps 1 une région de type-p près de la surface, cette région formant une jonction p-n avec la partie voisine du corps en silicium à conduc 30 tivité de type-n. Comme précité, un traitement de recuit est nécessaire dans certains cas afin de reconstituer la forme cristalline du semiconducteur et. afin d'amener les atomes de l'élément 3 impureté de positions interstitielles dans des positions de subs titution dans le réseau cristallin. Sur la figure 2, l'étendue de 35 la région intéressée par les atomes d'aluminium implantés et la jonction formée avec la partie voisine du corps en silicium est représentée par un contour en traits interrompus, puisque l'étendue finale de la région et l'emplacement final de la jonction sont déterminés durant un tel traitement de recuit. 4-0 Dans ce cas, le traitement de recuit s'effectue à une basse BAD ORIGINAL 70 41507 19 2067383 température afin d'éviter la formation d'un eutectique aluminium -silicium qui se situe à des températures dépassant approximative ment 550°C. On effectue un traitement de recuit à basse températu re à 500bC pendant 30 minutes dans une atmosphère d'azote. De cet 5 te manière, une région d'anode de type-p à haute conductivité 6 est formée en association avec les atomes d'aluminium implantés, cette région ayant une profondeur d'environ 0,025 micron. La jonction p-n 7 entre la région de type-p 6 et la partie voisine du corps en silicium de type-n s'arrête à la surface 2 du corps 10 en silicium au-dessous de la couche de masquage en silice 3. La couche d'aluminium 5 se trouvant sur la couche de masquage en silice 3 et sur la partie mise à nu 4 de la surface 2 du corps en silicium fait un bon contact ohmique avec la région de type-p 6 et est maintenue comme anode.Un contact de cathode est établi 15 sur la partie voisine du corps en silicium de type-n. La plaquette en silicium est subdivisée en corps semiconducteurs individuels dont le nombre correspond au nombre de diodes à jonction p-n (voir figure 3). Dans le dispositif achevé, la couche de masquage en si lice 3 est présente sous la forme d'une couche isolante servant à 20 isoler une partie de l'anode 5 par rapport à la partie du corps en silicium de type-n et sous la forme d'une couche de passiva-tion sur la surface 2 où la jonction p-n 7 se termine. On a fabriqué de cette manière des diodes à jonction p-n ayant une tension de disruption de 15 volts. 25 Exemple 2. Il s'agit de la fabrication d'une diode à barrière de Schottky,, Une couche de forme déterminée en silice ayant une épaisseur d'en viron 0,5 micron est formée sur une surface d'un corps en silicium La couche de silice comporte une ouverture mettant à nu une par-30 tie de la surface du corps en silicium à conductivité de type-n. Une électrode à couche d'or ayant une épaisseur d'environ 500 ang stroms (0,05 micron) est formée par dépôt sélectif d'or sur la partie mise à nu de la surface du corps en silicium ainsi que sur des parties voisines de la couche de silice. L'électrode à couche 35 d'or forme avec la partie mise à nu de la surface du corps en silicium de type-n une jonction du type Schottky. Cependant, une péL licule contaminante de matières étrangères, par exemple des matiè res adsorbées et des produits de réaction de surface, est souvent présente sur la surface du corps en silicium et empêche un contact 4-0 intima entre l'électrode à couche d'or et la surface du corps en 70 -.41507 20 2067383 silicium. La figure 4 montre un stade suivant de la fabrication de la diode à barrière de Schottky au cours de laquelle, comme les flèches le montrent, des ions sont dirigés sur la surface 12 du 5 corps en silicium afin de bombarder l'électrode à couche d'or 15» On utilise des ions d'un gaz inerte plus lourd, par exemple du xé non provenant d'un dispositif à décharge de xénon gazeux. les ions de xénon de bombardement forcent, par transfert d'énergie, des atomes d'or à traverser la pellicule contaminante et à pénétrer 10 dans la partie 14 de la surface 12 du corps en silicium qui n'est pas recouverte par la couche de silice 13. L'énergie des ions de xénon de bombardement est telle que les atomes d'or pénétrant dans la surface 12 du corps en silicium forment à la surface un contact redresseur intime entre l'électrode à couche d'or 15 et 15 le corps en silicium de type-n tout en ne pénétrant pas profondément de façon à former une région dans le corps. La composition et l'épaisseur de l'électrode à couche d'or 15 sont telles que les ions de xénon bombardant la couche d'or soient absorbés et ne pénètrent pas dans la surface 12 du corps en silicium. Les ions bom 20 bardant des parties de la couche de silice 13 non recouvertes par l'électrode à couche d'or 15 sont absorbés par la couche de silice 13. Il est inutile d'avoir recours à un traitement de recuit à haute température. Exemple 3. 25 II s'agit ici de la fabrication d'un transistor à effet de champ avec porte isolée distinct dont différents stades sont représentés aux figures 5 à 8. Une couche de silice ayant une épais seur d'environ 1 micron est déposée par croissance sur une surface 22 d'un corps en silicium de type-n 21. En utilisant des tech-30 niques de photo-lithographie et de décapage, on pratique une ouverture d'une largeur de 40 microns dans la couche de silice afin de mettre à nu une partie de la surface 22 du corps en silicium. De cette manière, une couche de masquage en silice relativement é paisse 23 recouvre la surface 22 du corps en silicium. 35 Une autre couche de silice 24* d'une épaisseur inférieure à 1000 angstroms est déposée par croissance sur la partie mise à nu de la surface 22 du corps en silicium en maintenant le corps 21 à 1000°C dans un courant d'oxygène humide (voir figure 5). L'épaisseur' de la couche de masquage en silice relativement épaisse 23 40 augmente au cours de cette opération» BADOFHGINAL 70 41507 21 2067383 G-râce à des techniques de photo-lithographie et de décapage, des ouvertures d'une largeur d'environ 5 microns sont ensuite *pra tiquées dans la couche de silice 24' afin de mettre à nu des parties 25 et 26 de la surface 22 du corps en silicium où des élec-5 trodes de source et de drain viendront en contact avec des régions de source et de drain du transistor. De cette manière, on forme une couche de silice de forme déterminée 24 ayant une épaisseur relativement mince. Du nickel est déposé sélectivement sur la couche de silice relativement cince 24 entre les ouvertures pour 10 les électrodes de source et de drain, afin de former une électrode-porte métallique relativement dense 27 faisant partie du transistor à effet de champ avec porte isolée. L'électrode-porte métallique 27 a une largeur de 5 microns et, comme cela ressortira clairement ci-après, cette largeur détermine la longueur du ca-nal porteur de courant du transistor. La structure résultante est représentée à la figure 6. De l'aluminium est déposé sur les couches de silicium de for— à mes déterminées 23 et 24, sur l'électrode-porte en nickel 27 et sur les parties mises à nu 25 et 26 de la surface 22 du corps en 20 silicium afin d'obtenir une couche d'aluminium 28 ayant une épais seur de 600 angstrô'ms (0,06 micron). La limite extrême de la couche d'aluminium 28 est définie sur la couche de masquage en silice relativement épaisse 23 à l'aide de technique de photo-lithographie et de décapage. 25 Comme les flèches de la figure 7 le montrent, des ions sont di rigés sur la surface 22 du corps en silicium afin de bombarder la-couche d'aluminium 28» On peut utiliser à cet effet un faisceau d'ions de krypton à 160 keV. Les ions de bombardement transfèrent de l'énergie cinétique aux atomes d'aluminium qui, de ce fait, 30 pénètrent dans les couches de silice 23 et 24, dans l'électrode-porte en nickel 27 et dans les parties 25 et 26 de la surface 22 du corps en silicium. Des atomes d'aluminium pénétrant à la fois dans l'électrode-porte en nickel relativement dense 27 et dans la couche de silice 23 y sont absorbés et n'atteignent pas la sur-35 face 22 du corps en silicium. Les atomes d'aluminium traversant la couche de silice relativement mince 24 traversent celle-ci et pénètrent dans la surface 22 du corps en silicium. Par conséquent les atomes d'aluminium sont sélectivement implantés dans la surface 22 du corps en silicium comme cela est indiqué par le con-40 touren traits interrompus de la figure 7. Durant le bombardement 70 41507 22 2067383 par ions, le corps 21 est chauffé à 450°C afin d'obtenir un traitement de recuit à température modérée. les atomes d'aluminium sélectivement implantés dans la surface 22 du corps en silicium de type-n forment des régions de type-p, 5 notamment une région de source 29 et une région de drain 30 près de la surface 22, et la partie de la surface 22 protégée contre l'implantation par l'électrode-porte en nickel 27 constitue la ré gion de canal porteur de courant 31 du transistor à effet de champ avec porte isolée. Par conséquent, les extrémités adjacen-10 tes de la région de source 29 et de la région de drain 30 et l'em placement intermédiaire de la région de canal 31 sont automatique ment alignés sur l'électrode-porte en nickel 27 avec un chevauche ment très faible, de sorte que la largeur de l'électrode-porte 27 détermine la longueur de la région de canal 31 entre la région de 15 source 29 et la région de drain 30. le pourtour extérieur le plus éloigné de la région de canal 31 de la région de source et de 1a. région de drain est déterminé par l'effet de masquage de la couche de masquage en silice relativement épaisse 23. lorsqu'on choisit l'épaisseur de l'électrode-porte en nickel 20 27» on tient compte de l'influence de la dégradation des propriétés de la partie de la couche en silice 24 se trouvant directement au-dessous de l'électrode-porte 27 sur les caractéristiques du dispositif fabriqué. Une telle dégradation peut provenir de l'introduction d'atomes d'aluminium par implantation de frappe» 25 l'électrode-porte en nickel 27 a donc une épaisseur suffisante pour réduire cette dégradation à un niveau admissible. l'épaisseur de la couche de silice 24 est choisie de manière à obtenir des caractéristiques de porte admissibles pour le disposi tif, de manière à permettre une pénétration suffisante d'atomes 30 d'aluminium par implantation de frappe pour obtenir une concentra tion admissible dans les régions de source 29 et de drain 30, et de manière à absorber en combinaison avec la couche d'aluminium 28 au moins la majorité des ions de krypton de bombardement. la couche d'aluminium 28 vient en contact, au travers d'ouver-35 tures pratiquées dans la couche de silice relativement mince 24, avec des régions de source 29 et de drain 30 à l'endroit des parties 25 et 26 de la surface 22 du corps en silicium, lu fait que des atomes d'aluminium pénètrent dans ces parties 25 et 26 par im plantation de frappe, on obtient un contact intime entre la. cou-40 che d'aluminium 28 et les parties de surface 25 et 26 des régions BAD OfifQIHM. 70 41507 23 2067383 de source 29 et de drain 30. Certains ions de "bombardement pénètrent dans la couche d'aluminium 28 et sont ainsi absorbés dans les parties de surface 25 et 26 du corps en silicium non recouver tes par les couches de silice 23 et 24. Lorsqu'on utilise un fais 5 ceau d'ions de krypton de bombardement et si les concentrations en krypton absorbé dans ces parties de surface 25 et 26 ne sont pas élevées, ces ions de krypton absorbés n'influencent pas sérieusement les caractéristiques du dispositif et tendent à sortir du silicium par diffusion. Cependant, dans une forme d'exécution 10 modifiée du procédé considéré, le faisceau d'ions de krypton est remplacé par un faisceau d'ions d'un élément d'impureté preneur approprié qui est utilisé pour introduire par implantation de frappe des atomes d'aluminium provenant de la couche d'aluminium 28. Dans ce cas, l'implantation dans les parties de surface 25 et 15 26 du corps en silicium augmente la concentration en éléments d* impureté preneurs de ces parties 25 et 26 en contact avec la couche d'aluminium 28 et aide aussi à la formation d'un contact d'électrode efficace avec les régions de source 29 et de drain 30. Au moins une partie centrale de la couche d'aluminium 28 est 20 enlevée en ayant recours à des techniques de photo-lithographie et de décapage de sorte que les parties restantes 32 et 33 de la couche d'aluminium 28 constituent des connexions d'électrode de source et de drain isolées entre elles et faisant partie du transistor à effet de champ avec porte isolée. 25 Dans l'exemple considéré, la plaquette est ensuite subdivisée de manière à obtenir des corps semiconducteurs individuels ayant la structure représentée à la figure 8 et comportant des conducteurs d'amenée de courant S, G- et D connectés à des electrodes de source, de porte et de drain. 30 Dans une modification de l'exemple considéré, le dispositif est un circuit intégré comprenant un corps semiconducteur possédant des régions de plusieurs transistors à effet de champ avec porte isolée formés comme décrit as.ns le présent exemple. Après le bombardement par ions, des parties de j_a couche d'axuminiwi 28 35 sont enlevées tandis que les i^arties restantes de la couche d'alu minium 28 et l'électrode-porte en nickel 27 forment des connexiore d'électrode et des interconnexions entre les différents transistors à effet de champ pris séparément. On obtient ainsi un circuit intégré en déposant sur la surface d'un corps semiconducteur 40 une couche d'isolement et de passivation (23 et 24)» une couche 70 41507 24 2067383 métallique (27 et 28) servant à former un dessin de contacts et d'interconnexions sur la couche d'isolement et de passivation ain si que sur des parties mises à nu de la surface du corps semiconducteur, et en formant ensuite à la surface du corps semiconduc-5teur des régions semiconductrices du circuit intégré par introduc tion dans le corps semiconducteur d'atomes d'un élément d'impureté provenant de la couche métallique. la couche métallique est une couche multiple et on utilise des parties épaissies 27 et 23 respectivement de la couche métallique et de la couche isolante pour 10 protéger des parties de surface du corps semiconducteur contre l'implantation. Dans l'exemple considéré ainsi que dans la modification de cet exemple, la présence de la couche d'aluminium 28 constitue au cours du "bombardement par ions, une couche conductrice continue 15 recouvrant les couches isolantes 23 et 24 et reliant entre elles l'électrode en nickel 27 et les parties de surface 25 et 26 du corps en silicium de manière à porter celles-ci à un potentiel égal. Ceci peut être intéressant en ce qu'on diminue les fortes concentrations de charges locales qui peuvent provenir d'un bom-20 bardement par ions et qui peuvent provoquer une discruption de la couche isolante et des effets de surface indésirables. La couche conductrice continue maintient des parties de surface adjacentes à un potentiel en substance commun et peut être aisément reliée à une source depotentiel appropriée, par exemple en reliant la cou-25 che à un point de mise à la terre de l'accélérateur d'ions. Exemple 4. Il s'agit de la fabrication d'un transistor bipolaire pris individuellement dont divers stades sont représentés aux figures 9 à 13- Une couche de masquage en silice relativement épaisse 43 et 30 une couche de silice considérablement plus mince 44' sont formées sur une face 42. d'un corps en silicium 41 au moyen de traitements semblables à ceux décrits à l'exemple 3. Le corps en silicium 41 comprend une couche épitaxiale de type-n se trouvant sur un substrat de type-n de plus forte conductivité (n+), la surface 42 du 35 corps en silicium étant une surface de la couche épitaxiale. Par des techniques de photo-lithographie et de décapage, on forme une ouverture partiellement annulaire dans la couche mince de silice 44' afin de mettre à nu une partie 45 de la surface 42 du corps en silicium, là où l'éleetrode-base viendra en contact avec la ré 40 gion de base du transistor. On forme une région de contact de BAD ORK3INAI. 70 41507 25 2067383 base de type-p 56 à haute conductivité grâce à une faible diffusion de bore dans la partie mise à nu 45. Une autre opération photo-lithographique et de décapage permet de remettre à nu la partie 45 de la surface 42 du corps en sili-5 cium tandis qu'une deuxième ouverture entourée par la première est pratiquée de manière à mettre à nu une partie 46 de la surface 42 du corps en silicium où l'électrode émetteur viendra en con tact avec la région d'emetteur du transistor. De cette manière, on forme une couche de silice à forme déterminée 44. la structure 10 résultante est représentee en coupe transversale à la figure 10. De l'aluminium est déposé au moins sur la partie mise à nu 45 de la surface 42 du corps en silicium et sur des parties avoisi-nantes de la mince couche de silice 44, afin de former une couche de masquage en aluminium à forme déterminée 47. Le pourtour 15 de la couche de masquage en aluminium 47 est défini par des techniques de photo-lithographie et de décapage de telle façon que la couche de masquage en aluminium 47 couvre de façon adéquate la partie 45 de la surface 42 du corps en silicium tout en chevauchant au minimum la mince couche de silice 44. On peut aussi uti-20 liser un procédé ultra-sonique pour enlever de l'aluminium de la couche de silice 44. Au cours d'une opération ultérieure de dépôt, de l'aluminium est déposé sur les couches de silice 43 et 44, sur la couche de masquage en aluminium 47 et sur la partie mise à nu 46 de la sur-25 face 42 du corps en silicium, afin de former une couche en aluminium 48 ayant une épaisseur de 500 angstrô'ms (0,05 micron)» La li mite extérieure de la couche en aluminium 48 est déterminée par des techniques de photo-lithographie et de décapage sur la couche de masquage en silice relativement épaisse 43. 30 Comme les flèches de la figure 12 l'indiquent, des ions d'anti moine sont dirigés sur la surface 42 du corps en silicium de mani ère à bombarder la couche d'aluminium 48. L'antimoine est un élément d'impureté donneur dans le silicium, tandis que l'aluminium est un élément d'impureté preneur. 35 Les ions d'antimoine de bombardement traversent la couche d'aluminium 48 et pénètrent dans la partie 46 de la surface 42 du corps en silicium, les couches de silice 43 et 44 ainsi que la couche de masquage en aluminium 47. Les ions d'antimoine pénétrant dans les couches de silice 43 et 44 et dans la couche de masquage ♦ 40 en aluminium 47 y sont absorbés et n'atteignent pas la surface 42 : ' -* 70 41507 26 2067383 du corps en silicium. De cette manière, des ions d'antimoine sont implantés sélectivement dans la surface 42 du corps en silicium. Des ions d'antimoine pénétrant dans la partie 46 de la surface 42 du corps en silicium forment une région à conductivité de type-n 5 voisine de la surface et associée à la région d'émetteur 49 du transistor bipolaire n-p-n. Les ions d'antimoine bombardant la couche d'aluminium 48 trans fèrent de l'énergie cinétique à des atomes d'aluminium de la couche 48, ceux-ci pénétrant dans la partie 46 de la surface 42 du 10 corps en silicium, dans les couches de silice 43 et 44 et dans la couche de masquage en aluminium 47. Les atomes d'aluminium traver sant la couche de silice relativement épaisse 43 y sont absorbés et n'atteignent pas la surface 42 du corps en silicium. Les atomes d'aluminium pénétrant dans la mince couche de silice 44 et dans 15 la couche de masquage en aluminium 47 traversent ces deux couches 44 et 47 pour pénétrer dans la surface 42 du corps en silicium. ) De cette manière, des atomes d'aluminium sont sélectivement implan tés dans la surface 42 du corps en silicium et pénètrent plus pro fondément que les ions d'antimoine à l'effet de former une région 20 à conductivité de type-p- associée à la région de base 50 du transistor bipolaire n-p-n. La partie sous-jacente et contiguë de type-n du corps en silicium 41 est associée à la région de collecteur 51 du transistor. Durant le bombardement par ions, des atomes d'aluminium péné-25 trant dans la couche de masquage en aluminium 47 en provenance de la couche d'aluminium 48 aident à la formation d'un contact ohmi-que efficace entre la couche d'aluminium 47 et la couche d'aluminium 48, réunissant efficacement ces deux couches. Par conséquent^ au travers des ouvertures pratiquées dans la couche de silice 44, 30 la couche d'aluminium 48 se trouve en contact électrique avec la région d'émetteur 49 et la région de base 50 à hauteur des parties respectives 46 et 45 de la surface 42 du corps en silicium. Par des techniques de photo-lithographie et de décapage, on enlève des parties de la couche d'aluminium 48 de façon que les par-35 ties restantes 52 et 53 constituent une électrode émetteur et une électrode-base isolée entre elles et appartenant au transistor bipolaire n-p-n. Le substrat de type-n à haute conductivité forme l'électrode-collecteur du transistor. La plaquette est ensuite subdivisée en un certain nombre de corps séparés ayant 2.a 40 structure représentée à la figure 13. Les couches de silicium 43 70 41507 27 2067383 et 44 sont présentes dans le dispositif fabriqué en tant que couches d'isolement et de passivation sur la surface 42 du corps en silicium, la jonction p-n émetteur-base 54 et la jonction p-n base-collecteur 55 s'arrêtent à la surface 42 du corps en silicium. 5 Exemple 5. * Il s'agit ici de la fabrication d'un autre transistor bipolaire n-p-n pris séparément et dont différents stades sont représentés aux figures 14 à 17. la matière de départ est un corps en silicium de type-n 61 faisant partie d'une plaquette en silicium de 10 type-n composée d'une couche épitaxiale recouvrant un substrat à haute conductivité de type-n+. De l'antimoine est déposé au moins sur une partie d'une surface 62 du corps en silicium 61 afin d'obtenir une couche d'antimoi ne relativement mince (0,03 micron) 63. la surface 62 du corps en 15 silicium est une surface de la couche épitaxiale de type-n. le pourtout de la couche d'antimoine 63 est déterminé par les techniques de photo-lithographie et de décapage de façon que la couche d'antimoine 63 ait une largeur d'environ 5 microns et ne recouvre qu'une partie de la surface 62 du corps en silicium. De 20 l'aluminium est déposé sur la couche d'antimoine 63 et sur la par tie adjacente mise à nu de la surface 62 du corps en silicium afin a*obtenir une couche d'aluminium relativement mince 64 ayant une épaisseur d'environ 0,05 micron, l'antimoine est un élément d'impureté donneur dans le silicium tandis que, comme précité, l'alu-25 minium est un élément d'impureté preneur. Comme les flèches de la figure 14 le montrent, des ions sont dirigés sur la surface 62 du corps en silicium afin de bombarder la couche d'aluminium 64 et la couche d'antimoine 63. Par transfert d'énergie, des atomes d'antimoine et des atomes d'aluminium 30 pénètrent dans la surface 62 du corps en silicium. Des ions de bombardement sont des ions de krypton et proviennent d'un disposi tif à décharge de krypton gazeux. Durant le bombardement par ion^ le corps en silicium 61 est maintenu à une température d'environ 450°Cc 35 Des atomes d'aluminium pénètrent dans la couche d'antimoine 63 et dans la surface 62 du corps en silicium afin de former une région de type-p associée à la région de base 65 du transistor bipo laire n-p-n. Des bornes d'antimoine plus lourds que les atomes d'à luminium pénètrent plus faiblement dans la surface 62 du corps en 40 silicium afin de former, près de la surface, une surface de type-n 70 41507 28 2067383 associée à la région d'émetteur 66 du transistor, la jonction p-n émetteur-base 67 s'arrête à la surface 62 du corps en silicium,, Durant le bombardement par ions et l'implantation d'atomes résultante, des contacts intimes se font entre la couche d'aluminiun 5 64 et la couche d'antimoine 63, entre la couche d'antimoine 63 et la surface 62 du corps en silicium ainsi qu'entre la couche d'alu minium 64 et la surface 62 du corps en silicium. De cette manière, des parties de la couche d'aluminium 64 et de la couche d'antimoi ne 63 peuvent être maintenues afin de former les électrodes-base 10 'et-émetteur du transistor. Il y a une exception à ceci lorsque le transistor est prévu pour un fonctionnement à haute fréquence. Dans ce cas, il peut être utile d'enlever l'antimoine de l'électro de-émetteur. Cependant, dans l'exemple considéré, grâce à des techniques de photo-lithographie et de décapage, des parties de 15 la couche d'aluminium 64 sont enlevées et il en est de même de parties de la couche d'antimoine 63 de façon que les parties restantes 68 et 69 forment des électrodes-émetteur et-base respectives et mutuellement isolées (voir figure 15). la partie de substrat de type-n à haute conductivité faisant partie du corps en si 20 licium 61 constitue l'électrode-collecteur du transistor. Avant de subdiviser la plaquette en divers corps semiconducteurs pris séparément, IL est souhaitable de recouvrir les parties mises à nu de la surface 62 du corps en silicium d'une couche d'i solement et de passivation, en particulier la partie de surface 25 où la jonction p-n émetteur-base 67 aboutit. Ceci s'effectue à l'aide d'un processus au silane en utilisant du tétra-éphoxy-sila ne (TEOS). le corps est chauffé à environ 450°C dans une atmosphè re de IE0S afin de déposer une couche de silice 70 sur les parties mises à nu de la surface 62 du corps en silicium ainsi que sur les 30 parties de couche métallique 68 et 69 constituant respectivement 1'électrode-émetteur et l'électrode-base (voir figure 16). Les parties de couche métallique 68 et 69 constituant l'électrode-émeb teur et l'électrode-base, respectivement, sont remises à nu en dé limitant la forme de la couche de silice 70 à l'aide de techniques 35 de photo-lithographie et de décapage, la plaquette en silicium étant ensuite subdivisée en différents corps semiconducteurs sépa rés ayant la structure représentée à la figure 17. Exemple 6. Il s'agit de- la fabrication d'un circuit intégré à isolement 40 par air dont un stade de la fabrication est représenté à la ——^ BAD ORIGINAL 70 41507 29 2067383 figure 18. la matière de départ est un corps en silicium 71 faisant partie d'une plaquette en silicium composée "d'une .couche ' épitaxiale de type-n se trouvant sur un substrat de type-p. Seule la partie du corps 71 comprenant les régions d'un transistor bipolai 5 re, d'une diode à jonction et d'une résistance faisant partie du circuit intégré est représentée aux dessins annexés, les parties restantes du corps 71 qui ne sont pas représentées comprennent des régions des éléments de circuit restants du circuit intégré complet. 10 De l'antimoine est déposé sur toute une surface 72 du corps en silicium 71 de manière à obtenir une couche d'antimoine relativement mince (0,03 micron) 73. la surface 72 du corps en silicium est une surface de la couche épitaxiale de type-n. De l'aluminium est déposé sur toute la couche d'antimoine 73 afin d'obtenir une 15 couche d'aluminium relativement mince (0,05 micron) 74. Comme les flèches de la figure 18 l'indiquent, des ions sont dirigés s\ir la surface 72 du corps en silicium afin de bombarder la couche d'aluminium 74 et la couche d'antimoine 73o Par transfert d'énergie, les -atomes d'antimoine et d'aluminium pénètrent 20 dans la surface 72 du corps en silicium. les ions de bombardement sont des ions de krypton et proviennent d'un dispositif à décharge de krypton gazeux sous la forme d'un faisceau ionique à énergie modulée. Simultanément, on effectue un traitement de recuit à 450°C. l'énergie du faisceau varie d'un bas niveau à un haut 25 niveau E^ en passant par un niveau intermédiaire Eg. Des ions de krypton à énergie élevée E^ ont une énergie suffisante pour traverser la couche d'aluminium 74 et pénétrer dans la couche d'antimoine 73 de sorte que des atomes d'aluminium de la couche 74 et des atomes d'antimoine de la couche 73 pénètrent dans la surface 30 72 du corps en silicium. Des ions de krypton de bombardement à énergie intermédiaire Eg ont une énergie suffisante pour forcer des atomes d'aluminium de la couche 74 à pénétrer la surface 72 du corps en silicium tout en ayant une énergie insuffisante pour atteindre la couche d'aluminium 74 et faire pénétrer des atomes 35 d'antimoine dans la surface 72. les atomes d'aluminium pénétrant dans la couche d'antimoine 74 ont pour conséquence qu'un petit nombre seulement d'atomes d'antimoine pénètre dans la surface 72 du corps en silicium. Des ions de krypton à faible énergie E^ ont une énergie insuffisante pour faire pénétrer soit des atomes d'a-40 luminium soit des atomes d'antimoine dans la surface 72 du corps BAD OFMGJNAL 70 41507 30 2067383 en silicium et, dans certains cas, le bas niveau d'énergie peut être en substance zéro. Dans ce cas, en substance aucun ion de krypton ne bombarde les couches 73 et 74. Les couches 73 et 74 sont balayées par le faisceau à énergie ^ modulée de la manière indiquée à la figure 18. L'énergie E des ions de bombardement est représentée en fonction de la position x dans la section transversale du corps en silicium où des ions déterminés sont dirigés. Coinme cela est indiqué, la modulation d'énergie du faisceau ionique est telle que des atomes d'aluminium 10 et d'antimoine soient sélectivement implantés dans la surface du corps semiconducteur afin de former des régions de forme voulue qui sont indiquées par des contours en traits interrompus sur la figure 18. Par conséquent, l'information contenue dans le fais-ceaù à énergie modulée est transformée en un dessin d'implantation. 15 dans le corps en silicium 71. Les atomes d'aluminium implantés forment, dans la couche épita xiale de type-n, les régions de type-p constituant la région de base 75 d'un transistor bipolaire T, la région 76 d'une diode à jonction D et une région d'isolement 77 d'une résistance R. Des 20 atomes d'antimoine implantés forment une région d'émetteur de type-n 78 dans la région de base 75 du transistor ï et une région de résistance de type-n 79 dans la région d'isolement 77. D'une façon semblable à ce qui a été décrit dans l'exemple 5, des parties de la couche d'aluminium 74 et de la couche d'antimoi 25 ne 73 sont enlevées, les parties restantes constituant des connex ions d'électrode pour les divers éléments du circuit. Une couche d'isolement et de passivation en silice est prévue là où cela est nécessaire sur les parties mises a nu de la surface 72 du corps en silicium et, en déposant une couche métallique supplémentaire, 30 on établit des interconnexions entre les divers éléments de circuit. Divers éléments ae circuit ou des groupes d'éléments de cir cuit peuvent être isolés ç.f-.r les rainures pratiquées par décapage entre les éléments ou les groupes et ceci dans toute la profondeur de la couche épitaxiale de type-n, c'est-à-dire de la surfa 35 ce 72 du corps en silicium au substrat de type-p. Exemple 7. Un stade de la fabrication d'un composant électrique comportait des connexions à couches métalliques à deux niveaux est décrit ci-après avec référence à la figure 19. 40 Le composant électrique est un dispositif semiconducteur bàd original 70 41507 31 2067383 consistant en un corps semiconducteur 80 comportant les régions se miconductrices de divers éléments de circuit qui, pour la clarté du dessin, ne sont pas représentés. Sur une grande face 81 du corps 80 se trouve une couche isolante 82. la couche isolante 82 5 peut consister en de la silice obtenue par croissance thermique lorsque le corps semiconducteur 80 est en silicium. Un jeu d'inter connexions à couche d'aluminium 83 est présent sur la couche isolante 82, et établit un contact électrique avec des régions du corps semiconducteur 80 à hauteur des ouvertures pratiquées dans 10 la couche isolante 82. la couche isolante 82 et le jeu d'interconnexions à couche" d'à luminium 83 sont recouverts d'une couche isolante supplémentaire 84 pouvant consister en un dépôt de silicium. Un second niveau d'interconnexions à couche d'aluminium 85 est prévu sur la couche 15 isolante supplémentaire 84 et établit un contact électrique avec les parties des interconnexions du niveau inférieur à hauteur d' ouvertures pratiquées dans la couche isolante 84. l'épaisseur du second niveau d'interconnexions à couche d'aluminium 85 est d'environ 0,15 micron. Cependant, à cause de la présence d'une mince 20 pellicule d'alumine ou d'autres impuretés sur la surface du niveau inférieur d'interconnexions en aluminium 83 à la surface de séparation 86 avec le second niveau d'interconnexions à couche d'aluminium 85, on obtient un contact résistif insuffisant entre les deux niveaux d'interconnexion 83 et 85. 25 La figure 19 montre un stade ultérieur de la fabrication du composant électrique au cours duquel, comme les flèches le montra# des ions sont dirigés sur la surface 81 afin de bombarder le second niveau d'interconnexions à couche d'aluminium 85. On utilise un faisceau ionique d'ions d'argon à 120 kvE, ces ions provenant 30 d'un dispositif à décharge d'argon gazeux, les ions d'argon de bombardement forcent, par transfert d'énergie, les atomes d'alumi nium à traverser la pellicule contaminante située à hauteur de la surface de séparation 85 et à pénétrer dans une partie de surface du niveau inférieur d'interconnexions à couche d'aluminium 83 de 35 manière à venir en contact avec ce niveau inférieur. Ces atomes d'aluminium introduits par implantation de frappe permettent la formation d'un contact ohmique à faible résistance entre les deux niveaux d'interconnexions 83 et 85. Pehdant le bombardement ionique, le corps est maintenu à une température d'environ 450°C. la 16 2 40 dose d'ions d'argon est d'environ 10 ions/cm et des ions bom- 70 41507 32 2067383 "bardant la couche 85 y sont absorbés. Exemple 8„ Un stade de la fabrication d'un transistor bipolaire est décrit ci-après avec référence à la figure 20. la: matière de départ est 5 un corps en silicium de type-p 90 consistant en une couche épitasi aie de type-p 91 recouvrant un substrat de type-p à haute conductivité (p+) 92. En ayant recours à des traitements semblables à ceux décrits dans l'exemple 3» on dépose sur la surface 95 de la couche épitaxiale 91 une couche de masquage en silice de forme dé 10 terminée et relativement épaisse 93 ainsi qu*une couche de silice plus mince et de forme déterminée 94. Des parties de la surface 95 du corps en silicium où une électrode—base et une électrode-émetteur viendront en contact avec la région de base et la région d'émetteur respectivement sont mises à nu à hauteur d'ouvertures 15 respectives 96 et 97 pratiquées dans la couche de silice mince 94. l'ouverture 96 pour le contact de base est partiellement annulaire et entoure partiellement l'ouverture 97 pour le contact d'émet teur. De l'aluminium est déposé au moins sur la partie mise à nu de 20 la surface du corps en silicium a hauteur de l'ouverture 97 du contact d'émetteur ainsi que sur des parties voisines de la couche de silice mince 94 afin d'obtenir une couche mince. Grâce à des techniques de photo-lithographie et de décapage, le pourtour de la mince couche d'aluminium est déterminé de telle façon que la 25 couche mince d'aluminium restante 98 forme une électrode située dans l'ouverture 97 du contact d'émetteur tout en chevauchant légèrement seulement des parties voisines de la couche mince de silice 94° Comme les flèches de la figure 20 le montrent, des ions d'impu 30 reté donneurs de faible dotation, par exemple du phosphore, sont dirigés sur la surface 95 du corps en silicium de manière à s'implanter dans des parties de la couche épitaxiale de type-p 91 et de bombarder la mince couche d'aluminium 98. l'épaisse couche de silice 93 protège par masquage les parties sous-jacentes du corps 35 en silicium contre l'implantation, tandis que la mince couche de silice 94 et la mince couche d'aluminium 98 sont atteintes par les ions de bombardement. De cette manière, les ions de bombardement sont sélectivement implantés dans la couche épitaxiale de ty pe-p 91 et y forment une région de base de type-n 99» Des ions 4-0 bombardant la mince couche d'aluminium 98 transfèrent de l'énergie « BAD ORIGINAL 70 41507 33 2067383 cinétique à des atomes d'aluminium de la couche 98, ces atomes pé nétrant dans la partie sous-jacente du corps en silicium à hauteur de l'ouverture pratiquée dans la mince couche de silice 94 afin d'y former une région d'émetteur de type-p 100. Des atomes d'alu-^ minium sont plus lourds que les ions donneurs de bombardement uti lises de sorte que ces atomes d'aluminium ne pénètrent pas aussi profondément dans le corps en silicium 90. Durant le bombardement par ions et l'implantation, le corps en silicium 90 est maintenu à une température de recuit convenable, par exemple au moins 450°G •10 La jonction p-n collecteur-base et la jonction p-n émetteur-base' s'arrêtent à la surface 95 du corps en silicium, c'est-à-dire au-dessous des couches de silicium 93 et 94» On obtient ainsi un transistor bipolaire en implantant des ions d'impureté de bombardement d'un type de conductivité afin de for-15 mer la région de base ainsi que des atomes d'impureté plus lourds introduits par implantation de frappe et du type de conductivité opposé afin de former la région d'émetteur. Grâce à l'introduction d'atomes d'aluminium par implantation de frappe, la mince couche d'aluminium 98 forme un contact intime 20 avec la région d'émetteur 100 à hauteur de l'ouverture 97 pratiquée dans la couche mince de silice 94. La mince couche d'aluminium 98 est maintenue dans le dispositif fabriqué, en tant qu'élec trode de contact d'émetteur» Il va de soi que de nombreuses modifications sont possibles 25 sans sortir du cadre de l'invention. Comme cela a été mentionné dans une modification de l'exemple 3» un circuit intégré peut êtie formé dans certains cas en déposant sur une surface d'un corps se mi conducteur une couche "d'isolement et de passivation, en déposant ensuite une couche conductrice pour un contact et pour un jeu d'in 30 terconnexions sur la couche d'isolement et de passivation de forme déterminée ainsi que sur des parties mises à nu de la surface du corps semiconducteur, et en formant ensuite sur la surface du corps semiconducteur des régions semiconductrices du circuit inté gré en introcuisant les éléments d'impureté provenant de la coucbe 35 conductrice dans le corps semiconducteur. La couche conductrice peut être une couche multiple comprenant divers éléments et on peut utiliser des £jarties épaissies de la couche conductrice et/ ou de la couche isolante pour protéger par masquage des parties de la surface du corps semiconducteur contre l'implantation. Le 40 dépôtsd'une couche conductrice continue sur la couche isolante de 70 41507 34 2067383 forme déterminée et sur la surface du corps présente un avantage en ce que sont réduites les fortes concentrations de charges loca les qui peuvent résulter du bombardement ionique et qui peuvent provoquer la disruption de la couche isolante ainsi que des effeis de surface indésirables. La couche conductrice continue maintient des parties de surface adjacentes à un potentiel en substance é-gal et peut être aisément reliée à une source de potentiel appropriée, par exemple en re liant la couche à un point de mise à la terre se trouvant sur l'accélérateur d'ions. Bien que, dans le procédé décrit, une partie de la couche métal lique comprenant l'élément précité est soumise à un seul bombarde ment ionique par un seul genre d'ions, des parties d'une telle couche métallique peuvent être soumises à plusieurs bombardements à l'aide de différents genres d'ions et même éventuellement avec des énergies différentes. En outre, l'énergie des ions bombardant une partie de la couche métallique peut varier au cours de la période de bombardement afin d'obtenjr un profil de concentration d'implantation désiré dans la partie du substrat se trouvant directement au-dessous de la partie considérée de la. couche métalli que. En particulier, dans les procédés décrits pour la fabrication de dispositifs semiconducteurs, il est évident qu'on peut utiliser d'autres techniques classiques appropriées et/ ou d'autres matiè res, par exemple d'autres matières semiconductrices, d'autre matières d'isolement et/ ou de passivation et d'autres matières conductrices, ainsi que d'autres éléments d'impureté et d'autres genres d'ions. La demande de brevet de même date de la Demanderesse intitulée "Procédés de fabrication d'un dispositif semi-conducteur" décrit un procédé de fabrication d'un dispositif semiconducteur selon lequel une couche se trouvant sur une surface d'un corps semicon ducteur est bombardée par ions de façon que, par transfert d'érer gie, des atomes de la couche pénètrent dans une partie sous-ja-cente de la surface du corps et s'y implantent afin de modifier de façon désirée les caractéristiques électriques relatives à cette partie de la surface, la composition et l'épaisseur de la î matière se trouvant sur la surface du corps semiconducteur sur la trajectoire des ions de bombardement étant telles qu'au moins la majorité des ions bombardant la couche soit absorbée sans pénétrer dans le corps semiconducteiir „ BAD ORIGINAL 70 41507 35 2067383 REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d'un composant électrique selon lequel une couche métallique est déposée sur un substrat et se trouve au moins partiellement en contact avec une partie de la surface de 5 ce substrat, caractérisé en ce que la couche métallique est bombardée par ions de façon que, par transfert d'énergie, les atonies d'un élément provenant de la couche métallique pénétrent dans ladite partie de la surface du substrat et s'y implantent afin de former un contact très intime entre la couche métallique et 10 ladite partie de surface, au moins une partie de la couche métallique étant maintenue dans le composant fabriqué sous la forme d'une connexion d'électrode en contact avec au moins une fraction de ladite partie de surface» 2. Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que 15 le substrat portant la couche métallique consiste en une connexion à couche métallique déposée précédemment sur un support, et en ce que les atomes précités pénétrent dans la partie sous-jacente de surface de la connexion à couche métallique afin de former un contact ohmique efficace entre les deux couches métalliques» 20 Procédé suivant l'une dés revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que les ions proviennent d'un gaz inerte et sont obtenus à l'aide d'un dispositif à décharge gazeuse» 4. Procédé suivant l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le substrat est un corps semiconducteur et 25 en ce que le composant électrique fabriqué est un dispositif semiconducteur . 5. Procédé suivant la revendication 4, caractérisé en ce que le dispositif semiconducteur consiste en'une diode à barrière de Schottky, en ce que la couche métallique est une électrode à 30 couche métallique formant une jonction de type Schottky avec la surface du corps semiconducteur et en ce que les atomes métalliques pénétrant dans ladite partie de surface forment, à la surface, ion contact redresseur intime entre l'électrode à couche métallique et le corps semiconducteur. 35 6» Procédé suivant l'une des revendications 4 ou 5, caractérisé en ce qu'une couche de masquage de forme déterminée est déposée sélectivement sur la surface du corps semiconducteur, et en ce que la couche métallique précitée est déposée sur la couche de masquage et sur au moins une partie non masquée de la surface 70 41507 36 2067383 du corps semiconducteur, la composition et l*épaisseur de la couche de masquage étant telles que, lorsque les ions sont dirigés sur toute la surface du corps semiconducteur, des atomes de la couche métallique pénétrant dans la couche de masquage ne pénètrent pas 5 dans la surface du corps semiconducteur de sorte qu'on obtient une implantation sélective dans la surface du corps semiconducteur• 7» Procédé suivant la revendication 6, caractérisé en ce que le dispositif semiconducteur consiste en une diode à jonction p-n et en ce que les atomes de l'élément d'impureté sélectivement 10 implantés dans la surface du corps semiconducteur forment une région voisine de la surface du premier type de conductivité, cette région formant avec la partie voisine du corps semiconducteur et du type de conductivité opposé une jonction p-n, jonction qui aboutit à la surface du corps semiconducteur au-dessous de la couche 15 de masquage en silice» 8o Procédé suivant la revendication 6, caractérisé en ce que la couche de masquage est métallique et en ce qu'au moins une partie de la couche de masquage est présente, dans le dispositif fabriqué, sous la forme d'une électrode du dispositif» 20 9« Procédé suivant la revendication 4, caractérisé en ce qu'une autre couche métallique comprenant un élément d'impureté caractéristique du type de conductivité opposé est déposée sur la surface du corps semiconducteur et en ce que les deux couches métalliques sont simultanément bombardées par ions qui,, par transfert d'éner-25 gie, forcent des atomes des deux éléments d'impureté à pénétrer dans la surface du corps semiconducteur afin de modifier de façon désirée les caractéristiques électriques relatives à des parties de surface du corps semiconducteur» 10« Procédé suivant la revendication 9* caractérisé en ce que 30 les deux couches métalliques recouvrent toute la surface du corps semiconducteur et sont balayées par un faisceau d'ions à énergie modulée, la modulation d'énergie étant telle que les atomes des deux éléments d'impureté soient sélectivement implantés dans la surface du corps semiconducteur afin de former des régions semi-35 conductrices de forme voulue du dispositif semiconducteur. 11. Composant électrique fabriqué par un procédé suivant l'une des revendications précédentes.