FR 2069876 A1 19710910 FR 6940590 A 19691125 69 40590 i 2069876 La présente- invention concerne des perfectionnements aux systèmes de positionnement précis d'un objet dans tan plan au moyen de translations de cet objet selon une eu plusieurs directions* et notamment selon deux directions orthogonales X et Y. Elle a trait plus particulièrement à des moyens de correc-5 tion automatique de la position de l'objet de manière à obtenir le positionnement prédétermine avec une très faible erreur, par exemple inférieure au dixième de micron selon chacune des directions de translation. Des systèmes de ce type sont par exemple utilisés dans la fabrication des circuits intégrés pour déplacer sur les machines à masques, soit les mas-10 ques eux-mêmes, soit les supports sur lesquels seront réalisés les circuits intégrés. De tels déplacements, d'amplitude globale relativement faible, de l'ordre par exemple du centimètre et pouvant aller jusqu'au décimètre, sont généralement effectués par des translations successives en X et en Y, chaque translation devant être faite avec une très grande précision. 15 Des systèmes de ce type, utilisant les techniques optiques de l'inter- féromètrie pour contrôler les déplacements et les corrigeant au moyen de boucles d'asservissement opto-électriques appliquant les informations d'erreur obtenues par comparaison des résultats des mesures interférométriques et des données prédéterminées, à des moyens de correction comportant par exemple des dis-20 positifs transducteurs pie?o-électriques, ont déjà été décrits par la Demanderesse dans le brevet français N° 1 583 ^1^ du 2>.1.68. Les systèmes décrits dans cette demande de brevet comportent généralement une platine de base supportant les organes de translation en X et en Y, l'ensemble de correction et l'objet à positionner éventuellement placé sur un 25 support, cette platine de base servant de plan de référence pour les déplacements en X et en Y. L'ensemble de correction, principal objet de l'invention décrite dans cette demande de brevet, comporte plusieurs cadres concentriques, tous situés approximativement dans un même plan et mécaniquement reliés les uns aux autres par une combinaison judicieuse de céramiquespiézoélectriques et JO de lames de torsion. Les différentes céramiques reçoivent les signaux d'erreur élaborés par la comparaison des résultats de mesure délivrés par des ensembles interféro-métrique et des données prédéterminées correspondant aux déplacements désirés, l'objet ou son support portant des miroirs constituant les miroirs mobiles 35 des interféromètres de mesure. Un tel système de positionnement, s'il permet de corriger avec une assez grande précision les erreurs de translation selon deux directions ortho 8AD ORIGINAL1 69 40590 2069876 2 gonales, et notaranent les écarts par rapport à ces directions, écarts dûs principalement aux défauts ûes organes de translation et souvent appelé "saou-vements de lacet"„ est cependant d'une réalisation mécanique assez délicate,, susceptible de nuire à la précision de l'ensemble. 2 L'objet de la présente invention est de réaliser un système de position nement précis utilisant également des boucles d'asservissement cpto-électri-aues, mais comportant un ensemble de correction nouveau ne présentant pas les inconvénients précités et permettant de corriger très simplement et simultanément les écarts en translation et en rotation par rapport aux.directions 10 suivant lesquelles est translaté l'objet. L'ensemble de correction de ce système de positionnement selon l'invention comporte, pour .chaque direction de déplacement, un crgana de correction indépendant constitué de deux plateaux superposés maintenus parallèles et légèrement écartés par des pièces ou entretoises.pouvant se déformer élas-15 tiouement sous l'action de forces parallèles aux deux plateaux;, appliquées à 1'un d'eux par des céramiques piézoélectriques. Celles-ci sont serrées entre les deux plateaux et leurs déformations sont commandées par les signaux d'erreur délivrés par 1'ensemble de mesure" interférométrique, un organe élastique également serré entre ces deux plateaux assurant leur-rappel et/ou -leur 2Q Guidage. ' " Une combinaison de deux de ces organes de correction disposés-l'un au-dessus de l'autre de manière à contrôler et corriger les. déplacements selon deux directions perpendiculaires, permet de. positionner un objet dans un plan avec la précision recherchée. 25 D'autres objets et caractéristiques de l'invention resscrtiront de la description suivante donnée à titre d'exemple non limitatif et illustrée par les figures annexées qui représentent : La figure 1 : une vue schématique d'ensemble d'un système de positionnement précis d'un objet dans un plan. 30 La figure 2 : un ensemble de trois vues schématiques représentant un organe de correction selon une direction (X), à deux plateaux ; la première vue est une vue de dessus tandis que les deux autres sont des coupes selon les axes aa et bb de la première. La figure 3 : un schéma synoptique des ensembles de mesure interférons métriques et des circuits associés pour assurer le contrôle des deux translations perpendiculaires, mesurer les écarts par r-pport aux directions de BAD ORIGINAL 69 40590 2069876 ces deux translations, et obtenir une mesure digitale des déplacements selon lesdites direction. La figure 4 : un schéma de principe d'une variante dfutilisation dg l'ensemble de correction permettant de dissocier fonctionnellement les corrections en rotation et en translation de chaque organe de correction. La figure 5 î un schéma de principe d'un circuit permettant d'éviter des erreurs de positionnement dues à des déplacements parasites à constante de temps trop brève pour être corrigés par l'asservissement, tels que des chocs par exemple. La figure 1 représente schématiquement un système de positionnement précis d'un objet 0 dans un plan. Ce système n'est pas nouveau en lui-même ; tel que représenté sur cette figure, il correspond à celui décrit dans le brevet français précité. Sa nouveauté réside plus particulièrement, comme il a déjà été mentionné, dans l'ensemble de correction, tant dans sa réalisation même que dans son utilisation. Ce système comporte une platine de base B servant de référence pour les déplacements. Sur cette platine sont montées deux platines de déplacement en X et en Y, respectivement Px et Py, puis l'ensemble de correction C qui fait plus particulièrement l'objet de la présente invention. Sur cet exemple, l'objet 0 est monté sur l'ensemble de correction C par l'intermédiaire d'un support S sur lequel sont fixés deux miroirs orthogonaux et My servant de miroirs mobiles aux interféromètres du dispositif de mesure des déplacements. Ces interféromètres Ij_, Ig, I4, fixés sur la platine fixe B servant de référence, sont par exemple des interféromètres de Michelson fonctionnant en lumière cohérente. Ils sont avantageusement au nombre de deux pour chaque direction de translation de manière à permettre la mesure des écarts en translation et en rotation par rapport à ces deux directions. Les deux premiers I]_, Ip permettent de mesurer les écarts t y par rapport à la direction de translation en X, à l'aide du miroir My, tandis que les deux autres I3, I4 permettent de mesurer les écarts -t. par rapport à la direction de translation en Y, à l'aide du miroir 1%. Les résultats de mesure de ces interféromètres sont utilisés, comme il est décrit plus lcin, d'une part pour corriger les écarts précités au fur et à mesure du mouvement de translation en cours et d'autre pert pour mesurer avec précision les déplacements effectués, et éventuellement les corriger. bAD ORIGINAL 69 40590 2069876 t L'ensemble de correction C selon la présente invention est constitué de deux organes de correction fonctionnellement indépendants, corrigeant l'un des écarts fc. par rapport à une direction Y déterminée, et l'autre des écarts L y par rapport à une direction X perpendiculaire. 5 La figure 2 représente schématiquement trois vues d'un ensemble de réalisation, d'un de ces deux orL.anes de correction permettant par exemple de corriger les écarts £.x au cours d'une translation en Y. La première vue qui représente cet organe de correction en X vu de dessus permet de voir la totalité du plateau supérieur 1 mobile par rapport 10 au plateau inférieur 2 appelé ici plateau fixe. Dans les deux vues en coupe selon aa et bb, le plateau mobile 1 est représenté en hachures moins serrées que le plateau fixe 2. Dans la première vue, de dessus, les parties visibles du plateau 2 sont également représentées en hachures serrées. Ces deux plateaux sont maintenus parallèles et légèrement écartés au 15 moyen de trois entretoises constituées par de petites colonnettes cylindriques 3» 4, 5 fixées aux deux plateaux comme l'indique la coupe aa et disposées en triangle autour du centre 17 des plateaux de manière à répartir les forces de pesanteur à peu près également entre les trois. Ces entretoises ont une raideur suffisananent basse pour permettre de faibles déplacements 20 relatifs entre les deux plateaux, aussi bien pour des mouvements de translation que de rotation du plateau 1 par rapport au plateau 2. GrÊce à cette disposition les mouvements relatifs des deux plateaux, au lieu d'être réalisés sur des billes ou des galets assurant la liaison mécanique des deux plateaux comme cela est généralement le cas dans les dispositifs de ce 25 genre de l'art antérieur, sont réalisés par une déformation élastique des entretoises, ce qui a le très grand avantage de supprimer pratiquement toutes lesdiscentinuités que peuvent apporter, dans ces mouvements de très faible amplitude, le roulement de billes ou de galets. Les déplacements du plateau mobile 1 par rapport au plateau fixe 2 30 sont commandés par les déformations selon X de deux groupes de céramiques piézoélectriques 6 et 7 recevant les signaux d'erreur élaborés par l'ensemble de mesure schématiquement représenté sur la ficaire 3. Chacun de ces deux groupes de céramiques est serré entre la partie latérale d'une- ouverture 15, 16, pratiquée dans le plateau mobile par exemple et une face latérale d'une 35 partie 8, 9 de l'autre plateau, plateau fixé dans cet exemple, faisant saillie dans cette ouverture. La coupe selon bb représente trèa achématiqueraent BAD ORIGINAL 69 40590 2069876 5 cette disposition ; la liaison mécanique entre un groupe de céramiquœé ou 7» et le plateau 2 est assurée par une bille métallique 10 et uns pièce 11 fixée au plateau 2. Un ensemble vis-écrcu 12 permet de régler avant toute utilisation du système les contraintes appliquées aux céramiques en dehors de toute 5 application d'un signal d'erreur, de manière notamment à compenser les hétérogénéités des empilements de céramique constituant les deux groupes 6 et 7 et à rendre symétrique le fonctionnement du système. Le guidage du plateau mobile par rapport au plateau fixe et son rappel lors des différents micro-déplacemants, translation et/ou rotation qu'il su-1C bit, sont assurés au moyen d'un organe élastique t«l eu'un cylindre métallique creux 13 disposé verticalement, approximativement au centre des plateaux et en appui, par exemple selon quatre de ses génératrices, sur deux surfaces en Vé se faisant vis-à-vis et se trouvant, l'une sur la partie latérale d'une ouverture pratiquée dans le plateau mobile 1, et l'autre sur la partie laté-15 raie d'une pièce 14 solidaire du plateau fixe 2. La disposition générale de l'ensemble des pièces qui viennent d'être décrites, par rapport au centre 17 des deux plateaux peut être légèrement différente. Par contre, la position relative de l'anneau 13 et des deux groupes de céramiques 6 et 7 est très importante ; il est nécessaire, pour que 20 le système de correction fonctionne de manière optimale, que le centre de l'anneau 13 soit aligné avec les points d'appui des deux groupes de cérami-qu® 6 et 7 sur le plateau 1 (cet alignement est représenté sur la figure 2 par l'axe Sg), et que les deux groupes de céramiques 6 et 7 soient à égale distance de cet anneau, c'est-à-dire dispesés symétriquement par rapport 25 à l'axe aa de la vue de dessus. Cette disposition étant respectée, le cylindre creux 13 peut convenablement jou^.r son double rôle qui consiste d'une part à assurer le rappel élastioue du plateau mobile 1 par rapport au plateau fixe 2 en translation d autre part a et/assurer son guidage en rotation en localisant le centre instantané de ro-30 tation, point 17» une translation étant provoquée par des déformations de même sens et même amplitude des deux groupes de céramiques 6 et 7» tandis eu'une rotation autour de 17 est provoquée par des déformations de même amplitude et sens contraire. Le profil de la section longitudinale de la paroi cylindrique, la loca-35 lisation de ses points d'appui sur les deux surfaces en Vé, le rapport diamètre/hauteur du cylindre sont déterminés de manière, d'une part, a repartir au mieux les deux types de sollicitations auxquels est soumis le cylindre ORIGINAL^ 69 40590 2069876 6 lors des translations et qui sont : (a) une réaction analogue à celle d'une poutre de section annulaire reposant sur deux appuis et chargée dans son plan longitudinal et (b) une réaction analogue à celle d'un anneau localisé entre quatre plans tangents formant deux Vés en opposition et se déformant dans ,1e 5 plan perpendiculaire à l'axe de 1*anneau, et d'autre part à conserver à la surface du cylindre des courbures suffisantes pour que le guidage en rotation soit toujours assuré malgré les déformations de cett- surface résultant des efforts appliqués par les translations. Un tel système de correction à deux plateaux permet par exemple de réa-10 liser des corrections en translation ç ^ de quelques microns avee une précision meilleure que le centième de micron et des corrections en rotation autour de 17 de l'ordre de 10 secondes d'arc. Le réglage ajustable des contraintes appliquées aux céramiques en l'absence de tout signal de commande est tel que le cylindre 13 est légèrement 15 écrasé de manière à permettre des corrections selon X dans les deux sens. De plus cet écrasement permanent du cylindre permet de résorber les jeux divers dûs au montage des céramiques entre les deux plateaux. Pour obtenir l'ensemble de correction C complet du système de la figure 1, il suffit de superposer deux ensembles élémentaires tels que celui qui 20 vient d'être décrit, en les orientant à 90° l'un de l'autre de manière que l'un corrige les écarts selon la direction X et l'autre les écarts C x ~ y selon la direction Y. Un tel ensemble de correction en X et en Y petit être quelque peu simplifié, le plateau fixe de l'organe de correction inférieur étant constitué 25 par la platine immédiatement inférieure, P sur la figure 1, et son plateau mobile constituant lui-même le plateau fixe du deuxième organe de correction. Dans un cas comme dans l'autre, les deux organes de correction, fonction-nellement indépendants puisqu'ils corrigent chacun les écarts sel^n une seule direction, seront avantageusement superposés de manière que les centres de 30 leurs cylindres creux,, qui sont les deux centres de rotation, soient alignés.-Cette condition, bien que n'étant pas nécessaire, facilite la réalisation et l'utilisation de 1'ensemble de correction* les corrections en rotation se faisant ainsi toutes autour d'un même centre. La figure 3 représente sehéaatiquement l'ensemble de'mesure interféromè» 35 trique et les circuits associés permettant notamment d'élaborer les signaux d'erreur appliqués à un ensemble de correction complet, c'est-à-dire corrigeant les écarts en X.et en Y au cours du positionnement d'un objet par des translations selon Y et selon X. BAD ORIGINAL 69 40590 2069876 7 Les quatre interféromètres 1^, Ig, Ij, Ijj. fixés sur la platine de référence B comme le montre la figure 1, sont alimentés par une source laser La dont le faisceau est réfléchi et/ou transmis par trois lames partiellement réfléchissantes L^, Lg, Lj et deux miroirs î«l^a Mg. Chaque interfsromètre comprend 5 de manière habituelle une lame semi-réfléchissante Si, SpB S^, S4 un miroir de fixe reférence normalement?!# Sg» dont la position peut être ajustée très finement par une céramique piézoélectrique commandée par un potentiomètre Fj_# Pg, P~j>> un miroir de mesure qui est constitué par l'un ou l'autre des deux miroirs % et My montés à 90* sur le porte-objet S de la figure 1, ou, ce 10 qui est équivalent, sur le dernier plateau du dispositif de correction C dent le porte-objet, ou l'objet lui-même sont solidaires, un récepteur optique Ri, Rg, Rj, Rjj. suivi d'un voltmètre V^, Vg» V-, qui permet d'observer le déplacement des franges d'interférence de l'interféromètre correspondant. Au début d'une opération de positionnement, l'ensemble des réglages pré-15 liminaires ayant été effectués - réglages des précontraintes des céramiques de l'ensemble de correction, réglage du parallélisme des miroirs Mjr, My et des directions de déplacement, respectivement Y et X - l'objet à positionner est amené au voisinage de sa position d'arigine à l'aida des platines et Py ; cette position d'origine peut être définie à mieux que 0,1 micron en 20 agissant par exemple sur des sections des quatre groupes de céramiques des deux organes de correction électriquement indépendantes des sections faisant partie de la boucle d'asservissement et auxquelles sont appliquées les signaux d'erreur. Toutefois pour effectuer cette opération, les boucles dTasservissement 25 sont ouvertes afin de ne pas s'opposer au réglage précèdent. Lorsque la position d'origine est ainsi définie, les potentiomètres Pl, P2, Pjj» P4 sont ajustés afin de déplacer très finement les miroirs de référence F]_, Fg, F-5, F4 et de les positionner de manière par exemple que les voltmètres V^, Vg, Vj, indiquent une valeur caractérisant un zéro du si-50 gnal sinusoïdal délivré par les récepteurs Rn , Rg, R^, en répense au défilement des franges d'interférence, zéro situé par exemple sur une partie dudit signal dont la pente est positive. Il est à noter que les détecteurs de déplacements que constituent les interféromètres ont, de manière classique, des courbes de discrimination en 35 S donnant auteur de leur zéro, une tension proportionnelle au déplacement, c'est-à-dire a l'écart a corriger, lasdites courbes de discrimination en S pouvant être obtenues, soit directement par utilisation du signal sinusoïBAD ORIGINAL] 69 40590 8 2069876 dal précité autour .d'un ?éro, soit en réalisant une détection synchrone de ce Signal autour d'un sommet, la modulation étant obtenue de façon classique sur le faisceau laser» A partir de la position d'origine de l'objet ainsi définie, des&épla-5 eements peuvent alors être effectués pair des translations selon X et selon Y. S'il s'agit par exemple de translations selon X, au cours desquelles les écarts 'y par rapport à la direction de translation doivent être corrigés, les signaux i. yl et '' ^2 délivrés par les récepteurs et Rg et convenablement amplifiés, sont appliqués, à travers dss commutateurs par exemple, aux sec-10 tiens correspondantes des deux groupes de céramique de l'or, 'ane de correction en Y cette opération ayant pour but de fermer la bcucled'asservisse:.;ont. afin de corriger les mouvements de lacet. Tout écart de l'objet en translation ou en rotation par rapport à la direction de translation, se traduisant par un léger défilement des franges d'interférence-, et donc par des tensions d'er-15 reur t. yl et/ou ^y2» est ainsi corrigé par l'action combinée des deux groupes de céramiques de l'organe de correction en Y. Le processus est le même lors des translations en Y, les signaux d'erreur appliqués à l'ensemble de correc-tien • éfcwrvfc alr.rs les si -naux £-xl et 'x2 respectivement appliqués aux sections correspondantes des deux groupes de céramiques de l'organe de correc-20 tion . r..n X. Comme il a déjà été mentionné, le système de positionnement précis selon l'invention permet non seulement la correction des écarts au cours des translations, mais encore, une mesure quantifiée desdites translations avec un quantum de mesure égal à la moitié de la longueur d'onde du rayonnement 25 laser soit par exemple 0,3 micron, et une précision meilleure que le dixième de micron lorsqu'il s'agit de mesures à l'arrêt. Pour cela, il suffit de compléter l'ensenble de mesure par un dispositif susceptible de compter des franges d'interférence au cours de leur défilement tout en tenant compte du sens du mouvement que traduit ce défilement. De tels dispositifs ont par 30 exemple été décrits dans la demande de brevet français n® 69/1182 déposée par la Compagnie Demanderesse le 23 Janvier 1969 et intitulée "Perfectionnements aux procédés et dispositifs de différenciation du sens d'un mouvement". L'ensemble de mesure du système de positionnement selon l'invention est ainsi complété di deux de ces dispositifs de comptage de franges à savoir 35 un dispositif par direction de translation. Chacun de ces dispositifs comporte, associé à un des deux interféromètres de la direction correspondante, Ig et BAD ORIGINAL 69 40590 9 2069876 1^ par exemple, un deuxième récepteur photoélectrique rg et r^, un circuit logique L, un compteur décompteur Cr et par exemple un dispositif d'affichage à lecture directe Ya, Xa. Lors à'une translation selon X par exemple, les deux récepteurs photo-5 électriques r^ et commandent au moyen des signaux imbriqués qu'ils délivrent le circuit logique L cui, en fonction du sens du déplacement en X, commande lui-même le comptage ou le décomptage du compteur Cj., évitant que scient comptées plusieurs fois les mêmes franges par suite de vibrations par exemple. Le résultat de cette mesure est lu , avec la précision du quantum 10 élémentaire de mesure, sur le dispositif d'affichage Xa, tandis que les voltmètres Vj et indiquent l'excédent, fraction du quantum élémentaire, permettant d'obtenir avec une précision meilleure que le dixième de micron, la valeur du déplacement selon X. Ces dispositifs de mesure quantique des déplacements permettent d'cb-15 tenir les valeurs de déplacements prédéterminées, avec la précision précitée, lorsqu'au cours du déplacement selon X par exemple, la valeur lue sur Xa est suffisamment proche de la valeur souhaitée, la platine de déplacement PX est arrêtée et les sections des céramiques de l'organe de correction en X ayant servi au début du positionnement pour obtenir avec précision la posi-2C tion d'origine, permettent d'ajuster finement la position de l'objet. Dans le mode d'utilisation qui vient d'être décrit, les signaux d'erreur £-xi, ~ x2, £yi, --y2 sont appliqués chacun à des groupes de céramiques de l'organe de correction correspondant, les corrections en rotation et en translation se faisant simultanément et indistinctement par l'action combi-25 née des deux groupes de céramiques sur le cylindre creux correspondant. Une autre utilisation du système selon l'invention, qui en constitue une variante préférentielle, schématisée par la figure 4, consiste à dissocier fonctionnellement les corrections en rotation des corrections en translation. Pour cela, les tensions d'erreurs délivrées par les deux ensembles interféro- 30 métriques associés à un même miroir de mesure (tensiorsC. ^ ot * o délivrées « y par les ensembles 1^ et Ig associés au miroir MY sur la figure 4 qui représente l'ensemble de correction selrn line seule direction Y peur dos translations selon X), sont appliquées d'une part à un circuit 40 qui en fait la somme et d'autre part à un circuit 41 qui en fait la différence, le signal 35 somme étant caractéristique des erreurs en translation et le signal différence des erreurs en rotation. jad original] 69 40590 2069876 10 Gemme l'indique schématiquement la figura 4, le signal somme délivré par le circuit 4C est appliqué en parallèle à une section ST de chacun des deux groupes de céramiques Gl, G2 de l'organe de correction en Y tandis que le signal différence délivré par le circuit 41 est appliqué symétriquement, 5 par un circuit push-pull par exemple, à une autre section de chacun des deux groupes Gl, G2« Chacun de ces signaux est appliqué à la section de céramique correspondante par des commutateurs ly commutés sur la position active 2 uniquement lors des translations selon X, comme il a déjà été signalé pour -le premier mode d'utilisation du système, 10 De manière générale, les deux modes de correction, translation et ro tation, bien que foncticnnellement dissociés, agissent simultanément» Peur que les erreurs an rotation autour d'un centre de, rotation autre que le centre de rotation des organes de correction, centre des cylindres creux (13 sur la figure 4), qui peuvent donner lieu à une modification du sigoal caractéris-15 tique des erreurs de translation,, n'affectent pas la stabilité du système, les deux modes de correction doivent être suffisamment indépendants l'un de l'au» tre. Pour cela, le signal somme délivré, par 40 est appliqué aux deux groupes ùe céramique de l'organe de correction correspondant avec une plus faible constante de temps que celle avee laquelle le signal- différence est appliqué 20 aux sections correspondantes de ces desax groupes de céramique. Ainsi, le système de positionnement qui vient d'être décrit, permet d'une part de corriger avec une très grande précision les écarts par rapport à la direction de translation- et d'autre part, d'obtenir une mesure précise de ladite translation par comptage des franges d'interférence. 25 Dans certains cas, notamment lorsque le système de positionnement est soumis à un choc extérieur transitaire qui, pendant un bref instant provoque un écart par rapport à la direction de la translation en cours relativement important et avec une trop bravo constante de temps, l'asservissement ne peut pas corriger cet écart et décroche. Lorsque le choc transitoire est terminé, 30 la boucle d'asservissement- pourrait, rester accrochée sur une période du signal sinusoïdal délivré par les récepteurs photo-électriques et correspondant à une frange d'interférence autre eue oelie pour laquelle a été réglé le zéro du système. Pour éviter ces éventuels décrochages de l'asservissement en cas de choc transitoire, le système utilise les dispositifs de comptage de fran-35 ges associés aux interféromètres et représentés sur la figure 3, en les complétant comme l'indique schématiquement la figure 5« Dans un mode de réalisation relativement simple.» seuls seront utilisés les résultats d'un des BAD ORIGINAL 69 40590 2069876 II deux intérféromètres associés à chaque direction, Ig par exemple pour les translations selon X. Dans un mode de réalisation plus élaboré, les deux interféromètres Il et Ig seront utilisés. Pour celas il suffit de compléter le circuit asso-5 cié à 1^ de la même manière que celui associé à Ig en lui ajoutant un deuxième récepteur q et un dispositif de comptage de franges. L'ensemble des deux récepteurs ri. Ri est alors, lui aussi complété par un circuit tel que celui de la figure 5« S'il s'agit par exemple d'une translation selon X, les interféromètres 10 Ii et Î2 mesurent les écarts i et 6 y2» Les systèmes de comptage de franges associés aux interféromètres et comprenant, pour l'interféromètre I2 par exemple ^combinai son des récepteurs rg et Rj}» la logicue L et le compteur décompteur Cj. n'ont normalement rien à compter tant que l'asservissement fonctionne. Tant qu'il en est ainsi, le compteur Cj, associé à chaque interfé-15 romètre (1-^ et 3jj ) indique zéro, et un organe décodeur de zéro 50 connecté sur ce compteur Cp commande l'ouverture d'un circuit logique à coïncidence 51 qui reçoit d'autre part le signal d'erreur délivré par le récepteur R2 (ou Rl) ainsi appliqué à une section Ti du groupe de céramique correspondant à l'interféromètre considéré de l'organe de correction en Y. 20 Dans le cas de la deuxième variante précitée où corrections en trans lation et en rotation sont fcnctîonnellement dissociées, le circuit à coïncidence commande l'application des signaux sonnie et différence à des sections des groupes de céramiques considérés. Lors de la production d'un choc transitoire le compteur Cr associé 25 à l'un et/ou à l'autre des deux interféromètres Ii et Ig, compte ou décompte les franges qui défilent et inhibe le circuit a coïncidence 51 par l'intermédiaire du circuit 50. Les corrections fines fcjri et/on ne sont alors plus effectuées. Les informations délivrées par le compteur Cr sont appliquées à un convertisseur 52 du type convertisseur numérique analogique. A la fin 50 du choc transitoire, l'information + n correspondant au nombre de franges dont le système s'est trouvé décalé après le choc est transformée par le convertisseur en une tension v, conformément à ce qu'indique la courbe v = f(n), et la tension + v résultante est appliquée à une section Tg du groupe de céramiques correspondant de l'organe de correction considéré (ici or-35 gsue de correction en Y). Ainsi l'écart résiduel dû au choc transitoire est corrigé approximativemenif^les compteurs Cp reviennent au zéro et l'asservissement recommence à fonctionner. BAD ORIGINAL 1 69 40590 2069876 12 Ainsi, 1'ensemble du système qui vient d'être décrit permet d'effectuer des trnaslations selon une ou plusieurs directions, et notamment deux directions orthogonales avec une très grande précision. Il est particulièrement intéressant pour la fabrication des circuits intégrés où il permet de réaliser sur les machines à masques de petits déplacemants très précis en X et en Y. La description qui précède a été donnée à titre d'exemple non limitatif ; d'autres variantes peuvent être réalisées sans pour autant sortir du cadre de l'invention. BAD ORIGINAL 69 40S90 2069876 13 REVENDICATIONS 1.Système de déplacement précis d'un objet dans un plan au moyen de translations selcn une ou plusieurs directions, comportant peut* chaque direction de translation, des moyens de déplacement dudit objet, un dispositif de mesure des écarts de l'objet par rapport 5 à ladite direction et un organe de correction supportant lodit objet et recevant du dispositif de mesure correspondant des informations caractéristiques des écarts mesurés et corrigeant automatiquement lesdits écarts, caractérisé en ce que, ledit organe de correction comporte deux plateaux superposés,main-tenus parallèles et sans contact l'un avec l'autre par des "entretoises" 10 susceptibles de se déformer élastiquement sous l'action de forces parallèles aux deux plateaux, appliquées s. l'un des plateaux dit "mobile" par des dispositifs transducteurs à effet piézoélectrique mécaniquement solidaires de deux parties des deux plateaux de manière à se déformer perpendiculairement à ladite direction de translation et recevant, sous forme de signaux élec-15 triques, les informations caractéristiques des écarts, un organe élastique susceptible de subir de légères déformations du type écrasement et/ou torsion, /serré entre deux autres parties des deux plateaux, assurant le rappel élastique et/ou le guidage du plateau mobile par rapport à l'autre plateau dit "fixe". 20 2.Système de déplacement d'un objet dans un plan selon la revendica tion 1, permettant de le positionner dans ledit plan au moyen de translations selon deux directions perpendiculaires, X et Y, caractérisé en ce qu'il comporte deux organes de correction superposés, disposés à 90e l'un de l'autre de manière à corriger chacun les écarts de l'objet par rapport à une des deux 25 dites directions. 3.Système de déplacement d'un objet dans un plan selon la revendication 2 caractérisé en ce que, dans une variante, le plateau fixe de l'organe de correction supportant l'objet à déplacer est constitué par le plateau mobile de l'autre organe de correction dont le plateau fixe est lui-même soli-30 daire des moyens de déplacement en X et en Y. 4,Système de déplacement d'un objet dans un plan selon l'une des revendications 1 à 3 caractérisé en ce que chaque plateau mobile est mécaniquement fixé à chaque plateau fixe par trois entretoises constituées de petites colonnettes fixées perpendiculairement entre les deux dits plateaux et dispo-35 sées en triangle autour de leur centre de gravité. bad original 69 40590 2069876 it 5.Système de déplacement d'un objet dans un plan selon l'une des revendications 1 à h caractérisé en ce que chaque organe de correction comportant un plateau fixe et un plateau mobile comprend deux groupes de dispositifs transducteurs à effet piézoélectrique, tels que des céramiques piézo»-5 électriques, disposés entre les faees latérales se faisant vis-à-vis d'une partie en creux d'un plateau et d'une partie en saillie de l'autre, ces deux groupes étant disposés symétriquement par rapport à l'axe des deux plateaux parallèle à la direction des écarts corrigés par l'organe de correction dont Ils font partie. 10 6.Système de déplacement d'un objet dans un plan selon la revendica tion 5 caractérisé en ce que l'organe élastique de rappel et/ou de guidage de chaque plateau mobile par rapport à chaque plateau fixe est constitué par un cylindre creux susceptible de subir de légères déformations élastiques en compression et/ou en torsion, serré verticalement entre les faces laté-15 raies se faisant vis-à-vis d'une partie en creux d'un plateau et d'une partie en saillie de l'autre, et disposé de manière que son axe vertical coupe la droite définie par les points d'appui sur le plateau mobile des deux groupes de céramiques correspondants. T.Système de déplacement d'an objet dans un plan selon la revendication 20 6 caractérisé en ee que l'axe vertical du cylindre de rappel d'un organe de correction passe par le centre de gravité des plateaux de cet organe « 8,Système de déplacement d'un objet dans un plan selon la revendication 6 ou 7 caractérisé en ce que lesdites faees latérales serrant ledit cylindre de rappel d8un organe de correction constituent deux surfaces en Vé en 25 appui chacune sur ledit cylindre selon deux de ses génératrices. 9.Système de déplacement d'un objet dans un plan selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ee que le dispositif de mesure d 'écarts associé à chaque direction de translation comporte des systèmes de mesure par interféromètrie en lumière cohérente, tels que des interféromètres 50 de Michelson dont le miroir mobile est fixé sur l'objet à déplacer, ou toute pièce qui en est solidaire, parallèlement à ladite direction, tout écart de l'objet par rapport à cette direction se traduisant par une variation du signal délivré par les récepteurs associés aux interféromètres par rapport à un signal prédéterminé correspondant à un écart nul, cette variation eonsti-35 tuant le signal d'erreur. BAD ORIGINAL1 69 40590 2069876 15 10. Système de déplacement dfun objet dans un plan selon la revendication 9 caractérisé en ce que le dispositif de mesure des écarts associé à chaque direction de translation comporte de*«x interféromètres rassurant les écarts par rapport à ladite direction en deus peints différents de cette di- 5 rection. 11. Système de déplacement d'un objet dans un plan selon la revendication 10 caractérisé en ce que les deux si;jnaux d'errear délivrés par les récepteurs associés aux deux interféromètres assurant les écarts selon une direction sont appliqués chacun à une section d'un des deux groupes de céra- 10 miques de l'organe de correction correspondante 12. Système de déplacement d'un objet dans un plan selon la revendication 10 caractérisé en ce que les deux signaux d'erreur délivrés par les récepteurs associés aux deux interféromètres mesurant les écarts selon une direction sont appliqués d'une part à un circuit qui en fait la somme et 15 l'applique identiquement à deux sections des deux groupes de céramiques de l'organe de correction correspondant de manière à corriger les écarts en translation, et d'autre part à un circuit qui en fait la différence et l'applique symétriquement à deux autres sections des deux dits groupes de céramiques, de manière à corriger les écarts en rotation. 20 13. Système de déplacement d'un objet dans un plan selon la revendi cation 12 caractérisé en ce que les signaux somme et différence sont appliqués aux sections correspondantes des deux groupes de céramiques avec des constantes de temps différentes, respectivement faible et plus forte. 14. Système de déplacement d'un objet dans un plan selon une des re- 25 vendications 9 à 13 caractérisé en ce oue des systèmes de comptage et de décomptage des franges d'interférence au cours de leur défilement/les récepteurs sont associés aux dispositifs de mesure selon chaque direction de mesure. 15. Système de déplacement d'un objet dans un plan selon la revendiea- 30 tion 14 caractérisé en ce que des dispositifs d'affichage sont connectés aux dispositifs de comptage et de décomptage de franges, et indiquent de manière quantifiée, la valeur des translations effectuées. BAD ORIGINAL 69 40590 16 2069876 16. Système de déplacement d'un objet dans un plan selon la revendication 14 ou 15 caractérisé en ce que les systèmes de comptage et de décomptage de franges associés au dispositif de mesure selon la direction perpendi-eulaire à celle de la translation en cours sont utilisés pour inhiber l'asser-5 vissement pendant des chocs transitoires se traduisant par un écart brusque dans ladite direction perpendiculaire à celle de latranslation, et appliquer à l'organe de correction associé un signal de correction approché fonction de l'écart résiduel après le choc» bad original