FR 2041782 A1 19710205 FR 7015097 A 19700424 70 15097 i 2041782 La présente invention concerne un procédé et un appareil utiles pour la fabrication de grilles métalliques et se rapporte plus particulièrement à un appareil et un procédé de fabrication de grilles de cible ou de dispositifs analogues pour 5 des tubes d'emmagasinage. Jusqu'à maintenant, la fabrication des grilles du type auquel se rapporte l'invention a été réalisée par reproduction photographique de clichés principaux. Malheureusement, dans diverses applications, les grilles obtenues n'ont pas été en-10 tièrement satisfaisantes malgré la précision rigoureuse avec laquelle les stades individuels de fabrication des grilles ont été exécutés. Dans certaines applications des grilles de tubes d'emmagasinage comportant des grilles pour cible, telles que la détection de signaux à bas niveau, il est avantageux de ré-15 duire à une valeur minimale les variations de l'écartement entre les lignes de la grille. Dans beaucoup d'applications de tubesd'emmagasinage pour lesquelles le bruit spatial dû à la grille de cible du tube réduit la détection des signaux à bas niveau, l'utilité de la cible est réduite de façon excessive 20 par l'impossibilité de maintenir les diverses imperfections de la grille dans des limites acceptables. En général, les imperfections de la grille peuvent être rapportées à des imperfections de l'original photographique qui peuvent être elles-mêmes attribuées à la formation d'une configuration de lignes entre-25 .croisées, sur le cliché principal par des techniques mécaniques de traçage. A titre d'exemple d'un procédé de fabrication de la technique antérieure, on peut considérer un cliché principal constitué par une pellicule opaque, disposée sur un substrat en 30 verre et dans laquelle un grand nombre de fentes ont été tracées pour former une configuration qui peut être reproduite photographiquement pour obtenir une grille métallique correspondante. tin écartemeht non uniforme des fentes adjacentes résulte d'erreurs périodiques du mécanisme d'entraînement de la 35 machine à tracer et par conséquent l'écartement des lignes d'une grille réalisée à partir du cliché principal est irrégulier ou non uniforme. De plus, des fentes parfaitement recti-lignes et ininterrompues sont très difficiles à réaliser, étant donné leur nombre ; des ondulations, des omissions et autres 40 imperfections des fentes individuelles sont inévitables. Ces 70 15097 2 2041782 imperfections sont répétées dans la grille finalement obtenue à partir du cliché principal. L'écartement irrégulier et les imperfections mentionnés ci-dessus limitent effectivement le degré d'utilité de la grille obtenue pour beaucoup d'applica-5 tions. Le rapport signal/bruit utilisable d'un tube d'emmagasinage peut être défini comme étant égal à 20 fois le logarithme de la moitié du rapport entre la tension crête-à-crête du signal de sortie et la tension efficace .de bruit de fond spa-10 tial due aux irrégularités de la grille de cible. Dans un "tube d'emmagasinage à diélectrique massif, le rapport entre la surface des carrés sans métal adjacents de la surface du substrat de la cible et les lignes de la cible est très proche de l'erreur en décibels définie ci-dessus du fait que le signal ins-15 crit est fonction de la capacité électrique des carrés sans métal. Les ciblés fabriquées selon l'invention sont caractérisées par des erreurs en décibels d'au moins 40 dB ou mieux. Ceci montre que la variation de superficie des carrés sans mé-20 tal adjacents de la surface de la cible reste dans les limrtes d'une tolérance de un pour cent environ. Les procédés de la technique antérieure, tel que celui mentionné ci-dessus, consistant à inscrire de façon répétée des fentes ouvertes dans une pellicule disposée sur un subs-25 trat en verre- pour former un cliché principal , produi sent des cibles dont l'erreur d'uniformité n'est pas meilleure que 33 à 35 dB.environ, ce qui indique une .variation de superficie des carrés sans métal adjacents d'environ 3 $ à 5 Les variations de superficie ou décibels d'erreur de cette impor-30 tance sont inadmissibles pour beaucoup d'applications de tubes d'emmagasinage dans lesquelles le bruit spatial dû à la cible du tube réduit la détection de signaux à bas niveau et restreint de façon excessive l'utilité de la cible obtenue. L'invention concerne donc, entre autres, la production 35 de clichés principaux relativement exempts d'imperfections. Elle fournit un cliché principal comportant des lignes' ou bandes opaques, pratiquement identiques, espacées uniformément et presque parfaites qui peuvent être reproduites pour produire des grilles pour cible de tubesd'emmagasinage des procédés 40 de fabrication de grilles relativement exemptes d'irrégularités 70 15097 3 2041782 d'espacement entre les lignes parallèles, ainsi qu*un appareil utile pour la fabrication de cibles ou dispositifs analogues pour tubes d'emmagasinage. En bref, ces caractéristiques et avantages de l'inven-5 tion peuvent être obtenus en formant une fente ouverte, unique et presque parfaite dans une pellicule métallique opaque disposée sur un substrat transparent pour constituer ainsi un masque photographique tel que de la lumière ou de l'énergie rayonnante puisse traverser la fente ouverte. Ensuite, une plaque 10 photographique.comportant une émulsion photosensible sur un substrat transparent en matière convenable, telle que du verre ou du quartz, est disposée sur un support, 1*émulsion étant en-dessus . Le masque photographique est placé sur la plaque photo-15 graphique de façon telle que la pellicule métallique soit en regard de 1'émulsion. On déplace le masque photographique en le faisant glisser en travers de la surface de la pellicule dans une direction qui est de préférence perpendiculaire à la fente ouverte dans le sens de sa longueur et à une vitesse pra-20 tiquement constante tandis que des bandes successives et également espacées de 1'émulsion sont soumises à des impulsions de lumière riche en rayons ultraviolets, à travers la fente ouverte et à intervalles d'espacement périodiques qui sont déterminés par comptage des franges d'interférence de la lumière. 25 Après que le nombre désiré d'expositions a été effectué, on développe 1'émulsion et la pellicule devient relativement claire et transparente et comporte une série de lignes ou bandes sombres et opaques. La matière transparente correspond à l'é-mulsion non exposée tandis que la matière opaque correspond à 30 1'émulsion exposée. On forme ensuite la grille au moyen de procédés mettant en jeu la reproduction photographique de la configuration de lignes opaques du cliché principal ou de la plaque développée. D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront de la description qui va suivre, faite en regard 55 des dessins annexés et donnant à titre explicatif, mais nullement limitatif, plusieurs formes de réalisation selon l'invention. Sur ces dessins : La figure 1 est une vue en perspective schématique d'un dispositif pour la mise en oeuvre du procédé de- l'invention ; et .Les figures 2 à 6 représentent les divers stades de ce procédé; La figure Z représente la jpani ère dont un§ fente.ouverte . uniaue est, formee avec une très grande précision dans une 40 pellicule métallique opaque sur un substrat" transparent afin 70 15097 4 2041782 de constituer le masque photographique qui est utilisé dans l'appareil de la figure 1. Avant de procéder à une description détaillée de la figure 2, on va décrire la manière dont la pellicule métallique est formée sur le substrat en verre, étant 5 donné qu'il est très important que cette pellicule métallique soit relativement mince et toutefois suffisamment épaisse pour être opaque. Il est important également que la pellicule métallique soit propre, uniforme et puisse se rayer facilement. Afin d'obtenir une telle pellicule, on se procure d'a-10 bord un substrat 2 en verre ou en une autre matière transparente convenable. On frotte le substrat en verre 2 avec un agent de nettoyage à la craie et on le nettoie ensuite à l'acide nitrique (HKO^). On évapore une première couche d'alumi- J O nium sur le substrat à une épaisseur d'environ 250 A. On 15 frotte ensuite cette couche avec un morceau de coton humecté d'eau, on la rince et on la fait sécher par rotation. Les opérations de frottage, de rinçage et de séchage consécutifs aux stades d1évaporation servent à nettoyer l'aluminium déposé par évaporation en chassant les agents contaminateurs de sa sur-20 face. On répète deux fois les opérations d'évaporation et de nettoyage de l'aluminium pour former une pellicule d'aluminium O 4 de 750 A environ d'épaisseur sur le substrat en verre. En déposant l'aluminium par évaporation en plusieurs stades, chacun d'eux étant suivi d'un stade de nettoyage et d'élimination des 25 agents contaminateurs, le risque de voir des agents contaminateurs restants produire des trous d'épingle traversant la pellicule d'aluminium est pratiquement nul. On peut former maintenant une fente ouverte par traçage dans la pellicule d'aluminium de la manière représentée à la 3C figure 2. En bref, le substrat recouvert 2 est mis en position sous le' ciseau 6 d'une machine à tracer. Le déplacement relatif entre le ciseau et le substrat s'effeetue sous l'action d'un mécanisme à poulies et contre-poids, couplé à une plate-forme de support du substrat qui déplace le substrat sous le ciseau 35 qui reste fixe. Le ciseau 6 traverse-le substrat et perce une fente ouverte rectiligne 8 de largeur uniforme dans la couche d'aluminium 4. la forme du ciseau et la pression du ciseau qui est appliquée au substrat 2 déterminent la précision avec laquelle la fente est obtenue. A titre d'exemple, on emploie 40 70 15097 5 20417 un ciseau ayant une pointe de 5 microns de large, un angle d'inclinaison de 10° environ et un angle de dépouille de 5° environ avec une pression de traçage du ciseau d'environ 300 à 400 milligrammes pour former dans une pellicule d'aluminium O' 5 de 750 A d'épaisseur une fente ouverte de 5 microns de large et de plusieurs centimètres de long. Gomme on désire que la fente ouverte 8 soit parfaite, on peut utiliser une série de substrats en verre 2 recouverts d'aluminium, tracer une fente ouverte unique 8 dans les pellicules d'aluminium 4 des subs-10 trats respectifs 2 et choisir le substrat 2 comportant la meilleure fente ouverte tracée dans la pellicule métallique 4 pour servir de masque photographique 10 de la manière représentée à la figure 2. Le procédé préféré de fabrication de grilles décrit pro-15 voque nécessairement la reproduction d'imperfections ou d'erreurs, telle qu'une ondulation, de chaque ligne de la grille aux points correspondants et donne lieu à une erreur répétitive qui est considérée généralement comme fâcheuse. Pour cette raison, on s'efforce d'obtenir des lignes aussi parfaites 20 que possible de la manière décrite en se référant à la figure '2. . La figure 1 représente un appareil 12 monté sur table dans une chambre abritée de manière à la protéger de la lumière.. Selon une variante, l'appareil 12 peut être situé dans un 25 local obscur. Une plate-forme fixe de support 14 est supportée par un boîtier scindeur de faisceau 16. Un chariot 18, comportant une embase 20 et un montant vertical 22, est monté de façon coulissante sur des blocs parallèles de guidage 24. Un arbre 26 supporté par le montant supporte un bras 28 qui auppor-30' te lui-même une lampe photographique 30. Un rebord 32 est fixé au chariot 18 au moyen d'un dispositif convenable à une hauteur suffisante pour évacuer une plaque photographique 34, comprenant une pellicule d'émulsion à grande résolution 36 sur un substrat en verre transparent 38 (voir figure 3a), située sur 35 la plate- forme 14. Un écran à la lumière 40 souple est constitué par une tôle métallique collée au rebord 32 et comportant une fente ouverte 8A en alignement avec le masque photographique 10 décrit précédemment en relation avec la figure 2 et qui est collé sous l'écran 40. On peut utiliser d'autres types de 40 masques photographique mais on préfère le masque décrit 10 du 70 15097 6 2041782 fait qu'il constitue une barrière opaque à la lumière (couche d'aluminium 4 relativement mines) comportant une fente et permettant d ' obtenir des images de bonne qualité et de bonne définition. produites par exposition à travers la fente.. On peut 5 employer d'autres dispositifs pour fixer le masque photographique 10 au chariot 18 et !•"entraîner avec lui. .. Lorsque la plaque photographique 34 est sur, le support", on applique une huile d•immersion 41 microscopique et à faible fluorescence à 1'émulsion photosensible de la plaque photogra-10 phique 34• La lumière émise par la lampe à éclairs ou lampe photographique 30 appartient à la gamme des ultraviolets, car il est essentiel que 1s lubrifiant ou l'huile n'émette pas elle-même de lumière en réponse à son éclairage par la lumière ultraviolette, S'il en était ainsi? une déformation de l'ima-15 ge apparaîtrait. On utilise donc de l'huile d'immersion mi-croscopiq.u.e » L'huile choisie présente de préférence un indice de réfraction voisin de celui des substrats transparents de la plaque photographique 34 et du masque photographique 10 respectifs. On place ensuite le masque photographique 10 sur 20 l'huile. L'huile lubrifie la surface de séparation entré le masque photographique 10 et la plaque photographique 34 pour faciliter le déplacement du masque 10 sur la plaque 34 pendant le fonctionnement de l'appareil et sert de plus à empêcher la formation ou l'existence de poches d'air au niveau de la sur-25 face de séparation afin d'interdire une réflexion excessive des rayons lumineux due à des indices de réfraction différents, ce qui empêcherait d'obtenir des images opaques nettes dans une zone transparente de la plaque photographique 34. La lampe photographique 30 est constituée de préférence 30 par une source lumineuse à arc au xénon et de grande intensité, capable d'envoyer sur le masque photographique des rayons lumineux parallèles d'intensité uniforme. La hauteur de la lampe photographique 30 se règle facilement en faisant glisser le bras 28 vers le haut ou vers le bas à une hauteur désirée 35 et en serrant ensuite une vis moletée 42 engagée dans un trou taraudé du bras 28 jusqu'au contact périphérique avec l'arbre 26 supportant le bras 28. Un moteur électrique 44 est couplé par une courroie 46 à un réducteur de vitesse 48 dans lequel une vis 50 est tourillonnée. La,vis rotative 5-0 est couplée, au 40 chariot 18 de façon telle que la rotation de la vis confère 70 15097 7 2041782 au chariot 18 un mouvement rectiligne selon le parcours défini par le bloc de guidage 24. Une source de rayonnement laser 52 produit un faisceau de lumière cohérente qui est dirigé par des miroirs 54 et 56 5 supportés par la table dans le trou 58 du boîtier scindeur de faisceau 16. La source 52 peut être constituée par un laser à l'hélium et au néon capable de produire de la lumière rou— O ge de longueur d'onde de 6328 A. Au moyen d'un montage décrit ci-après, chaque fois que le chariot 18 se déplace d'une dis-10 tance correspondant à 80 demi-longueurs d'onde du faisceau de lumière cohérente (25 microns environ), la lampe photographique 30 émet une impulsion lumineuse. Il apparaît donc environ 1000 impulsions lumineuses pour chaque déplacement linéaire de 25,4 mm du chariot. 15 La source à rayonnement laser 52, le scindeur de fais ceau sus-mentionné, un miroir 60 monté sur le chariot constituent avec-d'autres éléments un interféromètre pour faisceau de lumière cohérente permettant de déterminer la position du chariot par rapport à la plate-forme 14. LT interf éromètre fonc-20 tionne de façon telle que le faisceau de lumière cohérente pénétrant dans le trou 58 du boîtier tombe sur le dispositif scindeur de faisceau et est scindé en deux faisceaux composants. Lrun des faisceaux composants frappe le miroir 60 tandis que l'autre frappe un miroir fixe de référence situé à l'intérieur 25 du boîtier 16. Ces miroirs renvoient les faisceaux respectifs vers le dispositif scindeur de faisceau qui les recombine et les dirige vers un élément photosensible, une photodiode polarisée en sens inverse par exemple, faisant partie d'un détecteur de franges d'interférence 62 afin de convertir le fais-30 ceau recombiné en un signal électrique correspondant. La longueur de la trajectoire du faisceau composant venant frapper le miroir 60 augmente, tandis que la longueur de la trajectoire du faisceau composant venant frapper le miroir fixe de référence sus-mentionné reste constante lorsque le chariot 18 35 s'écarte latéralement de la plate-forme 14. L'intensité du faisceau de lumière cohérente recombiné frappant l'élément photosensible du détecteur 62 varie sinusoïdalement lorsque le chariot 18 se déplace pour produire des franges d'interférence correspondant à l'intensité maximale du faisceau compo-40 site qui apparaît chaque fois que la longueur variable de la 70 15097 8 2041782 trajectoire du faisceau composant varie d'une longueur d'onde complète, le détecteur 62 convertit l'intensité variant sinu-soïdalement d'un faisceau composite en un courant variant sinusoïdal ement. On préfère employer un interféromètre pour fais-5 eeau de lumière cohérente pour obtenir les franges d'interférence les plus fines possible. On pense toutefois que l'on peut également employer avec suecès un interféromètre pour faisceau de lumière non cohérente utilisant une lumière monochromatique filtrée. Il est souhaitable d'obtenir des - franges 10 d'interférence relativement fines afin de pouvoir produire- des lignes espacées avec précision sur la grille finale. Un compteur 64> couplé au détecteur 62, comprend un bas-culeur déclencheur de Schmidt qui change d'état chaque fois que le courant sinusoïdal sus-mentionné passe par des niveaux 15 respectifs de tension de seuil positifs et négatifs près du niveau de tension nulle. Le compteur 54 est préréglé -de sorte que l'apparition d'un nombre prédéterminé de variations de -l'état du basculeur, ce nombre correspondant au nombre de franges d'interférence détectées, actionne un circuit de déclen— 20 chement 66 dé la lampe photographique. Le circuit de déclenchement 66 comprend un redresseur commandé au silicium (B.CS) eouplé convenablement à un amplificateur d'impulsions. L'amplificateur d'impulsions est lui-même couplé à une bobine d'excitation de la lampe photographique au 25 moyen d'un transformateur d'impulsions. Le fonctionnement du circuit de déclenchement amorce le RCS et la bobine d'excitation applique ensuite une impulsion de décharge à la lampe photographique. Chaque fois qu'une impulsion de décharge est appliquée à la lampe photographique, il est produit une brève 30 impulsion lumineuse, de l'ordre de 10 microsecondes par exemple, qui provoque la formation d'une image photographique latente relativement nette sur la plaque photographique par suite de l'éclairage à travers la fente ouverte du masque photographique. • 35 Le circuit couplant le détecteur de 1'interféromètre à la lampe photographique 30 est classique et il n'est pas nécessaire de le décrire plus en détail. La fonction principale de l'ensemble d'interféromètre, de détecteur 62, de compteur 64 et du circuit de déclenchement 66 de la lampe "photographique 40 est d'éclairer par éclairs la lampe 30 en synchronisme avec le 70 15097 9 2041782 déplacement du masque 10 par rapport à la plaque photographique 34 de sorte que les images successives ainsi formées sont espacées, uniformément avec un degré de précision relativement grand. Le comptage électronique des franges de demi-longueur 5.. d'onde peut être réglé pour obtenir un espacement désiré quel-- conque entre les images. On envisage certaines applications dans lesquelles les espacements entre les images successives doivent varier selon des multiples prédéterminés d'une distance prédéterminée. Cette possibilité d'application peut être 10 mise en oeuvre facilement par les spécialistes. L'intervalle de temps séparant les impulsions successives est.établi par la vitesse du chariotg la longueur d'onde du faisceau de lumière cohérente émis par la source de faisceau laser 52 et par le réglage du compteur 64. Dans le mode 15 de réalisation décrit, la vitesse de déplacement du chariot est-réglable sur une gamme de 6,25 à 1,25 microns par seconde. Si le chariot 18 se déplace à la vitesse de 6?25 microns par seconde, la longueur d'onde du faisceau de .lumière cohérente O est de 6328 A et le compteur 64 est réglé de manière à compter 20 80 franges d'interférence par éclair, la lampe photographique 30 émet un éclair toutes les quatre secondes et il est émis 1000 éclairs par déplacement .de 25,4 Htm du chariot» Le déplacement du chariot est relativement lent pour réduire à une valeur minimale les erreurs de position des images individuelles 25 formées sur la plaque photographique 34 et pour obtenir des images, claires, nettement définies et nettes du fait que la durée de l'éclair, de 10 microsecondes environ, est de beaucoup inférieure à la durée pendant laquelle le chariot 18 se déplace d'une distance égale à la largeur de la fente 8 du 30 masque 10. Selon un procédé préféré de l'invention, 1'émulsion exposée de la plaque photographique, obtenue avec l'appareil de la figure 1, est développée pour obtenir une série de bandes parallèles de matière opaque dans un champ par ailleurs trans-35 parent. L'article obtenu peut être appelé cliché principal. On forme ensuite un substrat en verre recouvert de couches successives de métal et de matière de réserve photographique. Cet article peut être appelé cliché secondaire. On place le cliché principal sur le cliché secondaire, 1'émulsion 40 du premier étant en contact avec la matière de réserve du 70 .15097 10 204T782 second. On soumet cet ensemble à des -rayons .lumineux dirigés sur le cliché principale Les rayons lumineux traversent la matière de 1'émulsion transparente et. atteignent les zones de matière de réserve situées dessous et en alignement tandis que 5 les "bandes opaques d'-éauls±oa masquent les zones 'de matière de réserve situées dessous et interdisent leur exposition. La matière de réserve photographique exposée se polymérise et durcit. On soumet ensuite la aatièrs. de- réserve photographique 10 à un solvant qui élimine la matière de-réserve non exposée. Il est formé par suite dans la matière de réserve une configuration de fentes ouvertes parallèles qui correspond à la configuration de bandes opaques de 1!émulsion. On élimine le métal se trouvant au fond des.fentes ouvertes pour former une série 15 de bandes vides de métal dans la pellicule métallique.. A ce point5 la matière de réserve photographique est éliminée de préférence., mais nor: nécessairement ». L'article obtenu constitue un cliché secondaire du fait que le métal restant est opaque à la lumière= 20 On forme ensuite un substrat de cible diélectrique re couvert de couches respectives de- métal et de matière de réser ve -photographique» Get article peut être appelé ébauche de cible» Le cliché secondaire est placé sur l'ébauche de cible9 le métal du premier étant en contact avec la matière de réser-25 ve de la seconde0 La matière la réserve photographique de l'ébauche est soumise à une lumière projetée à travers la bande sans métal du cliché secondaire pour exposer et polymériser les bandes correspondantes de matière de réserve de l'ébauche. Le cliché secondaire est remis en position sur l'ébauche de ci 30 ble de telle sorts que les bandes sans métal sont orientées perpendiculairement aux bandes de matière de réserve précédemment exposées de 1'ébauche de cibleo On répète l'exposition de l'ensemble pour polymériser un second jeu de bandes de matière de réserve. 35 ■ On soumet ensuite la matière de réserve de l'ébauche à un solvant sélectif pour éliminer les zones qui n'ont pas été exposées à la lumière. Il en résulte la formation d'une grille constituée de bandes entrecroisées de matière de réserve photographique polymériséesur le«substrat de la- cible qui com-40 porte des zones carrées en métal non protégé, situées dans 70 15097 „.-u ... 2041782 les trous de la grille en matière de réserve. Les carrés métal-ligues sont éliminés pour former une grille métallique sur le substrat de la cible se trouvant sous la grille de matière de réserve. On enlève ensuite entièrement la grille en matière 5 de réserve restante, l'article obtenu peut servir de cible dans un tube d'emmagasinage. On comprendra mieux les stades décrits ci-dessus en se référant aux figures 3 à 6. La figure 3a représente schématiquement le déplacement du masque photographique 10 destiné à aligner succ.e-ssivement 10 la fente 8 avec les zones respectives de la plaque photographique 34. A la position représentée, le masque 10 est déjà passé par des positions successives auxquelles des images latentes de bandes respectives ont été formées dans 1'émulsion photosensible 36 par projection de lumière à travers la 15 fente 8 et la pellicule d'huile 41 sur l1émulsion 36 en alignement avec la fente 8 aux positions respectives. La figure 3b, représente la plaque photographique 34 après l'opération d'exposition et le développement de 1*émulsion photosensible. L'article obtenu ou cliché principal 34A 20 comporte, comme on peut le voir, des lignes opaques d'émul--sion 68 (vue d'extrémité) pour lesquelles 1'émulsion a été exposée. L1émulsion non exposée est effectivement transparente . La figure 4a montre l'alignement du cliché principal 34A 25 avec un cliché secondaire 70 comprenant un substrat en verre transparent 7.2 recouvert d'une pellicule métallique 74 et d*une pellicule de matière de réserve photographique 76. La pellicule métallique 74 est constituée par un mélange de chrome et O d'or formé en déposant une couche de chrome de 500 A environ 30 d'épaisseur sur le substrat et en déposant ensuite une cou- O che d'or de 1000'A environ d'épaisseur sur la couche de chrome. La pellicule de matière de réserve 76 déposée sur la pellicule métallique 74 a une épaisseur d'environ 2000 à 3000 A. Comme représenté à la figure 4a, le cliché principal 34A est disposé 35 sur le cliché secondaire 70, la pellicule d'émulsion 36 étant en contact avec la matière de réserve. La matière de réserve 76 est exposé à la lumière ultraviolette pendant une durée de 1,5 à 2 minutes environ au moyen d'une lampe à vapeur de mercure, projetée à travers les zones 40 transparentes de-la pellicule d'émulsion 36 pour polymériser 70 15097 12 2041782 . et durcir la matière de réserve exposée. A la fin de ce stade d'exposi^on, la matière de réserve 76 contient des bandes non polymérisées 78 (vue d'extrémité). On développe la matière de réserve 76 en lui appliquant un solvant sélectif. Le solvant 5 dissout les bandes de matière de réserve non développée 78 qui étaient en alignement avec les bandes ou lignes opaques 68 pendant l'exposition ci-dessus. Il est donc formé une série de ffentes ouvertes parallèles 80 dans la matière de réserve, comme représenté à la figure 4£. On élimine ensuite le. métal si-10 tué au fond des fentes 80 pour former les bandes sans métal 82 représentées à la figure 4d. L'élimination du métal en vue de former les bandes 82 est effectuée de préférence par une opération de micro-usinage à faisceau ionique classique. A titre d'exemple, le micro-15 usinage par faisceau ionique peut être effectué en disposant l'article représenté à la figure iç à l'intérieur d'une chambre mise sous vide sur une électrode en forme de palette située à 25 cm environ d'un canon à faisceau ionique. L'argon gazeux du canon à faisceau ionique est ionisé par les électrons qui 20 le frappent. Une différence de potentiel de 5000 V. environ est appliquée entre 1'électrode-palette et le canon afin de projeter sur la surface du matériau de réserve 76 un faisceau convenablement concentré d'ions argon. Ces ions argon frappent la surface de l'article et éliminent par pulvérisation le mé-25 tal se trouvant au fond des fentes 80. Il est préférable mais non nécessaire d'éliminer la matière de réserve 76 restant sur la pellicule métallique micro-usinée 74. Le cliché secondaire obtenu 70a est représenté à la figure 4d avec la matière de réserve restante. 30 L'emploi du micro-usinage par faisçeau ionique pour en lever le métal du fond des fentes ouvertes ménagées dans la matière de réserve est préféré à l'emploi d'un agent chimique décapant le métal dans le but d'éviter la dépouille du métal en-dessous de la matière de réserve et la réduction résultan-35 te de définition des bords des fentes formées dans le métal. Le micro-usinage par fàisceau ionique est capable de produire des grilles présentant une bonne définition des bords, de l'ordre du micron et même moins. L'article obtenu ou cliché secondaire 70a peut être uti-40 lisé maintenant de la manière représentée à la figure. 5a selon 70 15097 13 2041782 laquelle le cliché secondaire 70a est disposé sur une ébauche de cible 90, la matière de réserve du cliché secondaire étant en contact avec une couche de matière de réserve de l'ébauche de cible. L'ébauche de cible 90 comprend un substrat en ma-5 tière diélectrique 92 recouvert d'une première couche métallique 94 et d'une seconde couche (mentionnée ci-dessus) de matière de réserve photographique 96. L'exposition de la matière de réserve 96 du substrat 92 dé la cible est. effectuée en projetant de la lumière ultraviolette à travers les fentes du 10 cliché secondaire 70a sur les zones de la matière de réserve qui sont en alignement pour former l'image représentée à la figure 5b. On réoriente le cliché secondaire 70a par rapport à l'ébauche de cible 90 en le faisant tourner de 90° par rap-15 port à cette dernière. On effectue une autre exposition de la matière de réserve, ce qui fournit des jeux orthogonaux de bandes entrecroisées de matière de réserve exposé et polyméri-sé. On développe ensuite la matière de réserve 96 afin d'éliminer par lavage la matière de réserve non exposée, ce qui 20 laisse subsister une grille de bandes de matière de réserve exposée 98, comme représenté à la figure 5ç_, contenant dans ses trous des carrés du métal sous-jacent 94 du substrat de la cible. En éliminant ensuite les carrés métalliques à découvert on obtient une grille constituée de bandes métalliques ortho-25 gonalesj située sous les bandes restantes de matériau de réserve. La linéarité des bandes en matière de réserve de la grille détermine dans une grande mesure celle des bandes métal Tiques de la grille obtenue. Selon l'invention, la- linéarité deô" bandes de la grille en matière de réserve est telle qu'on 30 obtient une définition des bords de ces bandes, qui peut être de la grille en matière de réserve par rapport à une droite coïncidant avec le bord de cette bande, qui est meilleure que 0,2 aicron . On enlève ensuite complètement la grille en ma-35 tière de réserve de sorte que l'on obtient sur le substrat de la ciblé une ligne dont les trous ne comportent pas de métal, comme représenté à la figure 5d. On voit mieux sur la vue en plan représentée à la figure 6 la cible 9.0a de la figure 5d. A la figure 6, la grille ci-40 ble pour tub^ de mémoire comprend un substrat 92 en quartz définie comme étant point quelconque d'une bande 70 15097 14 2041782 diélectrique rond qui supporte une grille métallique ronde de même diamètre et composée de fils meUalliques or entourés par un "bord en or dépose à la périphérie sur le/ substrat. A titre d'exemple, il a été foi-ûié un substrat de 50,8 mm 5 supportant une grille de même diamètre dont les fils individuels 100 ont une largeur de 5 microns eu/iron et dont les axes sont séparés par une distance de 25 microns, de sorte que la grille comporte environ 1000 fils entrecroisés orthogonalement par 25,4 nim sur la surface du substrat. Le substrat. 92 peut 10 présenter d'une manière générale une forme et une dimension convenables quelconques. Les fils individuels 100 de la grille peuvent avoir une largeur aussi faible qu'une fraction de micron, comme par exemple 0,25 raicron, mais ont de préférence une largeur de 1 à 6 microns. La largeur des fils respectifs 15 100 de la grille dépend de la largeur de la fente ouverte qui a été formée dans le masque photographique. L'appareil représenté à la figure 2 est capable de produire jusqu'à 8000 fils de grille par 25,4 mm sur la surface du substrat. 20 générale la perfection ou la qualité de la cible peut être décrit brièvement et généralement comme suit. On monte la cible dans un tube de mémoire. On balaie la cible avec un faisceau électronique afin d»inscrire ou de lire une information sous la forme d'une tension. L'information lue est affichée simul-25 tanénient sur un oscilloscope, La variation des nuances de gris affichées sur l'oscilloscope constitue une mesure grossière du niveau de bruit pouvant être attribué aux défauts d'uniformité et aux erreurs apparaissant dans la grille et dus à 'un écartement irrégulier des fils de la grille et aux irrégu-30 larités des fils individuels de la grille. Comme en général, la quantité de charge qui est emmagasinée dans un trou particulier de la grille sur l'écran du tube par un faisceau électronique de balayage est fonction de la dimension de la zone associée de la grille, il est clair que l'information 35 apparaissant à la lecture est fonction de l'uniformité de la grille. Plus particulièrement, la variation de la superficie des trous individuels sans métal à la surface du substrat de la cible par rapport à une superficie nominale désirée provoque diverses nuances de gris .qui sont plus Glaires ou plus 40 sombres qu'une nuance normalisée. Un écartement non uniforme Un- procédé permettant de déterminer d'une manière assez 70 15097 15 2041782 entre les fils parallèles de la grille provoque des nuances de gris différentes et perceptibles sur l'écran du tube, ce qui limite le niveau inférieur des signaux pouvant être affichés et distingués d'un niveau donné de bruit de fond. 5 Une mesure du degré de perfection d'une grille de cible est la nature de la configuration moirée d'essai que l'on observe lorsque la cible est mise en contact avec une configuration parfaitement r'épétable et ayant le même écartement et lorsqu'on regarde les deux en transparence du fait que, comme 10 il est bien connu, les configurations moirées d'essai produisent une amplification optique du réseau ou de la configuration de la grille. Des grilles de cible exemplaires présentent des configurations moirées d'essai contenant des ondulations irrégulières et non répétables. l'invention fournit des con-15 figurations de grille dans lesquelles ces caractéristiques sont notablement moins prononcées. Bien entendu l'invention n'est nullement limitée aux modes de réalisation décrits et représentés, qui n'ont été donnés qu'à titre d?exemple. 70 15097 16 2041782 REVENDICATIONS 1°) - Procédé de fabrication d'une grille métallique pour tube à rayons cathodiques, caractérisé en ce qu'il consiste à mettre en alignement un masque photographique ayant une fente 5 unique avec une plaque photographique constituée par une pellicule d'émulsion photosensible supportée par un substrat transparent, à déplacer le masque photograpitilque sur la plaque toiit en projetant par intermittence de la lumière à travers.la feja-te sur 1'émulsion photosensible de façon à former une série 10 d'images latentes, uniformément espacées et parallèles de la fente dans 1"émulsion photosensible, à développer l'émulsioja pour former un cliché principal comportant un réseau de lignes opaques sur fond transparent dans 1'émulsion, à mettre en alignement le cliché principal avec une plaque transparen-15 te recouverte successivement d'une première couche de métal et d'une première couche de matière de réserve, à exposer la première couche de matière de réserve à travers le cliché principal de façon à former une image en matière de réserve non ex— posée correspondant au réseau de lignes opaques du cliché, à 20 développer la première couche de matière de réserve pour en éliminer sélectivement celle qui n'a pas été exposée, à éliminer sélectivement le métal des zones où la matière de réserve non exposée a été enlevée pour former un cliché secondaire comportant une série de fentes dans la première couche de métals 25 à aligner le cliché secondaire avec un substrat de support 3?si-couvert d'une seconde couche de métal et d'une seconde coueîi« de matière de réserve successivement, à exposer cette seconde couche de matière à travers le cliché secondaire, à orienter ce dernier perpendiculairement à la direction dans laquelle 30 il était orienté pendant l' exposition précédente "de la seconde couche de matière de réserve, à exposer de nouveau la seconde couche de matière de réserve à travers le cliché secondaire, à éliminer sélectivement les parties non exposées de la seconde couche de matière de réserve pour former un réseau de 35 grille constitué par des lignes entrecroisées orthogonalement de parties exposées de la seconde couche de matière de réserve j et à former une grille constituée par des fils métalliques s'entrecroisant perpendiculairement sur le substrat de support en éliminant sélectivement les zones de la seconde couche mé— 40 tallxque qui sont situées dans les trous de la grille et en 70 15097 17 2041782 éliminant la grille en matière de réserve. 2°) - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le stade de déplacement du masque photographique sur la plaque photographique s'effectue en le déplaçant latérale-5 ment et en continu tout en projetant de la lumière par inter- • mittence à travers la fente du masque. 3°) - Procédé selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que les parties exposées de la première couche de matière de réserve .sont éliminées après la formation 10 du réseau de fentes dans la première couche de métal. 4°) - Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les opérations d'élimination sélective du métal sont effectuées par usinage par faisceau ionique. 15 5°) - Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la surface de séparation entre le masque photographique et la plaque photographique est lubrifiée avant de déplacer le masque sur la plaque. 6Ô) - Appareil pour la mise en oeuvre du procédé selon 20 la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend un support de la plaque photographique, un dispositif à éclairs placé sur le support, un masque photographique comportant une fente et interposé entre le dispositif à éclairs et le support, un dispositif destiné à déplacer le masque dans une di-25 rection latérale pai* rapport au support, un interféromètre destiné à mesurer les positions relatives entre le masque et le support et comprenant un détecteur destiné à produire des signaux indiquant ces positions relatives, un compteur desdits signaux destiné à fournir un signal de sortie lorsqu'un cer-30 tain nombre de ces signaux a été compté, et un dispositif de déclenchement sensible à ce signal de sortie afin de déclencher le dispositif à éclairs. 7°) - Appareil selon la revendication 6, caractérisé en ce que le dispositif de déplacement du masque photographique 35 comprend un dispositif d'entraînement du masque unidirection-nellement et à une vitesse uniforme selon une trajectoire rec-tiligne. 8°) - Appareil selon l'une des revendications 6 et 7» caractérisé en ce que le masque comprend un substrat trans-40 parent comportant une surface recouverte d'une pellicule opaque 70 15097 18 2041782 contenant ladite fente. 9°) - Appareil selon l'une quelconque des revendications 6 à 8, caractérisé en ce qu'un fluide d'immersion optique supplémentaire est disposé entre le masque et la plaque pho-5 tograpliique et présente un indice de réfraction qui correspond sensiblement à celui des surfaces du masque et de la plaque. 10°) - Appareil selon la revendication 9» caractérisé en ce que le fluide d'immersion optique est un lubrifiant à 10 faible fluorescence.