FR 2050427 A1 19710402 FR 7024423 A 19700701 70 24423 1 2050427 L'invention concerne un dispositif semiconducteur muni d'un corps semiconducteur comportant une région en forme de couche, d'un premier type de conduction, affleurant la surface du corps où cette région est recouverte au moins partiellement d'une couche électriquement i 5 isolante sur laquelle une couche constituant électrode est élaborée pour former une zone d'épuisement dans ladite région pour influencer la résistance électrique de celle-ci dans une direction parallèle â. la surface Les dispositifs de ce genre sont connus et utilisés entre autres, pour régler ou pour amplifier des signaux électriques. 10 Suivant un mode de réalisation connu, un tel dispositif est un transistor â effet de champ à eleetrode-porte isolée, en particulier le transistor & effet de champ à fort épuisement ("deep-depletion"), comme le transistor décrit aux pages 846 â 855 et 855 & 862 de la publication "IEEE Trans actions on Electron .Devices", ES 13» H" 12, parue en décembre 1966. 15 Généralement, un tel transistor à effet de champ, est formé par une mince couche semiconductrice qui est élaborée sur un substrat électriquement isolant et munie d'^ne électrode d'alimentation (la source) et d'une électrode d'évacuation (le drain). L* électrode-porte est élaborée entre la source et le drain sur une couche isolante située sur la couche semi-20 conductrice. En appliquant entre l'électrode-porte et la couche semiconductrice une différence de tension telle & assurer l'évacuation de porteurs de charge .majoritaires hors de la couche semiconductrice, ilr se produit dans celle-ci une zone d'épuisement pouvant au besoin s'étendre sur 1*épaisseur totale de la couche et susceptible d'influencer fortement 25 la résistance- électrique du trajet de courant entre la source et le drain Sans le cas où cette zone d'épuisement a la forme d'un anneau qui s'étend sur l'épaisseur totale de la couche semiconductrice, une telle zone pourrait par exemple être utilisée également pour obtenir l'isolement électrique entre la partie de couche.semiconductrice située 30 à l'intérieur de la zone d'épuisement annulaire et le res^e de la couche. Sans tous ces cas, il est souhaitable qu'à partir de la surface, la zone d'épuisement puisse s'étendre au moins sur une partie considérable de l'épaisseur de la couche semiconductrice. Toutefois, on est alors confronté avec le phénomène 35 70 24423 2050427 la zone d'épuisement de s'étendre plus loin dans la couche semiconductrice, ce gui influence défavorablement et souvent de manière inadmissible le fonctionnement du dispositif semiconducteur. L'invention veut indiquer entre autres un dispositif 5 dans lequel les Inconvénients précités se produisant avec des dispositifs semiconducteurs du genre mentionné sont évités ou du moins amenuisés dans une mesure considérable. L'invention repose entre autres sur l'idée que si d'une manière efficace, un contact redresseur est élaboré sur ou dans la région 10 en forme de couche, d'un premier type de conduction, la formation d'une couche d'inversion peut être évitée ou du moins être entravée considérablement, de sorte que l'on améliore ainsi considérablement les prâpriétés électriques du dispositif. Conformément & l'invention, un dispositif semiconduc-15 teur du genre mentionné dans le préambule est donc remarquable en ce que la région en forme de couche est munie, à proximité de la couche constituant électrode, d'au moins un contact redresseur qui est muni d'un conducteur de connexion, afin de contrecarrer la formation d'une couche d'inversion sous la couche constituant électrode. Lorsque, conformément 20 à l'invention, le contact redresseur est polarisé dans le sens de blocage, des porteurs de charge minoritaires sont aspirés hors de ladite zone superficielle, de sorte que ces porteurs ne peuvent plus donner lieu à la formation d'une couche d'inversion. L'invention est particulièrement importante pour les 25 dispositifs dans lesquels la zone d'épuisement s'étend relativement profondément dans la région en forme de couches en effet, c'est surtout dans ces cas que la présence d'une couche d'inversion est très défavorable. Sans cet ordre d'idées, un mode de réalisation préféré du dispositif conforme & l'invention est remarquable en ce que l'épaisseur et la 50 concentration de dopage de la région en forme de couche sont telles que la zone d'épuisement peut s'étendre sur la totalité de l'épaisseur de cette région. Far l'intermédiaire du conducteur de connexiôn, le contact redresseur peut être polarisé de diverses façons dans le Bens de 55 blocage. Cette opération a lieu d'une façon particulièrement simple lorsque le contact redresseur est relié galvaniquement â la couche constituant électrode. En effet, pour former la zone d'épuisement, cette couche constituant électrode doit, par rapport â la région en forme de couche, être portée â un potentiel tel que le contact redresseur soit polarisé 40 dans le sens de blocage lorsque ledit conducteur de connexion est mis à 70 24423 ? 2050427 ce potentiel. Par "liaison galvanique", il y a lieu d'entendre ici, comme d'habitude, une liaison effectuée par l'intermédiaire d'un cmdue-teur électrique, par exêmple un fil métallique, une couche métallique,, 5 ou une région semiconductrice à très bonne conduction, par exemple une zone diffusée fortement dopée. Suivant un troisième mode de réalisation préféré, le contact redresseur est formé par une couché métallique, élaborée sur la région en forme de couche du premier type de conduction et formant avec 10 cette région un contact redresseur métal-semiconducteur. Ce contact redresseur métal-semiconducteur peut être élaboré de façon particulièrement simple lorsque pour ce contact, on utilise une partie de ladite couche constituait électrode. Par conséquent, un quatrième mode de réalisation préféré important du dispositif conforme à l'inventioh est remarquable 15 en ce que la couche constituant électrode est formée par un métal susceptible de former un contact redresseur avec la région en forme de couche du premier type de conduction, et qu'à travers une ouverture dans la V couche isolante, la couche constituant électrode se raccorde â ladite région. 20 :.Avafttageusement, le contact redresseur peut comporter • une jonction p-n. Par conséquent, un autre mode de réalisation préféré est remarquable en ce que le contact redresseur est formé par une zone du deuxième type de conduction, élaborée sur ou dans la région en forme de couche du premier type de conduction. Comme conducteur de connexion 25 associé au contact redresseur, on peut alors utiliser avantageusement la couche constituant électrode elle-même, qui, dans ce cas-là, se raccorde à ladite zone du deuxième type de conduction à travers une ouverture dans la couche isolante. Suivant un sixième mode de réalisation préféré impor-30 tant, la région en forme de couche du premier type de conduction est élaborée de préférence sous forme d'une couche semiconductrice monocristalline formée épitaxialement sur un substrat électriquement isolant. Du côté situé à l'opposé de la surface, la région en forme de couche est dans ce cas donc limitée par le substrat Suivant un autre mode de féalisation 35 préféré Important dudit côté, la région en forme de couche est limitrophe non pas d'un substrat isolant mais d'une région, du deuxième type de conduction , formant une jonction p-n avec ladite région en forme de couche. Comme déjà mentionné, l'invention est particulièrement intéressante dans le cas où le dispositif est un transistor à effet de 40 champ dont la source et le drain sont élaborés sur ou dans la région en 70 24423 t 2050427 forme de couche du premier type de conduction, l'électrode-porte du transistor étant fornée par ladite couche constituant électrode. De préférence, la source et le ârain sont formés par des zones du premier type de conduction, affleurant la surface et s'étendant sur la totalité de 5 l'épaisseur de la région en forme de couche, lesdites zones étant plus fortement dopées que cette région, de sorte que l'on obtient un transistor à effet de champ à fort épuisement. Avec ces transistors, il est très souhaitable que la zone d'épuisement formée par l'électrode-porte puisse pénétrer sur la totalité de l'épaisseur de la région en forme de couche, 10 de sorte que dans ce cas, l'invention est très importante. Pour la même raison, l'invention est.particulièrement importante aussi dans un dispositif dont la région en forme de couche est formée par une couche semiconductrice du premier type de conduction, élaborée sur un substrat dont elle est électriquement isolée, la couche 15 constituant électrode étant réalisée sous forme d'un conducteur entourant quasi entièrement un ou plusieurs composants semiconducteurs élaborés dans ladite couche semiconductrice, l'épaisseur et la concentration de dopage de celle-ci étant telles que la zone d'épuisement puisse s'étendre sur la totalité de l'épaisseur de cette couche semiconductrice. La partie 20 de couche conductrice se trouvant à l'intérieur dudit conducteur, ainsi que les composants se trouvant dans cette partie peuvent alors être électriquement isolés des autres parties de la couche semiconductrice lorsque la zone d'épuisement s'étend sur la totalité de l'épaisseur de la oouche, ce qui est fortement facilité par l'emploi de l'invention, de la façon 25 déjà décrite. A remarquer qu'il est déjà connu d'isoler électriquement certaines parties d'une couche semiconductrice par l'emploi de zones superficielles annulaires dont le type de conduction est opposé à celui de la couche semiconductrice, zone superficielles formant avec celle-ci 30 une jonction p-n. L'isolement nécessaire est alors obtenu du fait qu'aux extrémités de cette jonction p-n, on applique, une tension de blocage tellement élevée que la zone d'épuisement s'étend sur la totalité de l'épaisseur de la couche. (Voir â ce sujet IEEE International Solid State J. Circuits Conférence, Digest of Technical Papers, pages 150 et 151, février 35 1969)» Un inconvénient de cette structure connue est que par la diffusion latérale, ladite jonction p-n nécessite un enroulement relativement grand, et présente un grand risque de défauts par suite de son pourtour et de sa surface relativemait grande. En mettant en oeuvre 3e procédé d'isolement décrit ci-deBsus et conforme à l'invention, la couche isolante ne doit 40 être munie que d'un conducteur en forme de bande très étroite; en utilisant 70 24423 s 2050427 use zone diffusée annulaire suivant la construction connue décrite, il est pratiquement impossible de réaliser une largeur de conducteur aussi réduite. De plus, conformément à l'invention, ledit conducteur ne doit être muni que d'un seul petit contact redresseur ou de quelques petits 5 oontacts redresseurs. Dans le cas où ces contacts sont élaborés sous forme de zones diffusées de type de conduction opposé à celui de la couche semi-conductrice, on peut également utiliser ces zones pour établir des croisements, du fait que de part et d'autre dudit conducteur, une bande métallique située sur la couche isolante se raccorde â une des zones diffu-10 sées précitées & travers des ouvertures de contact dans la couche isolante. Le nombre de contacts redresseurs appartenant à une couche constituant électrode, et la distance entre ces contacts dépendent entre autres de la distance pouvant.être couverte par les porteurs de charge minoritaires dans la région en forme de couche avant qu'ils n'entrent en recombinaison. 15 De préférence, la distance entre deux contacts redresseurs voisine associés & une même couche constituant électrode est'au maximum égale à deux longueurs de diffusion desdits porteurs de charge minoritaires dans la région en forme de couche. La description suivante, en regard des dessins annexés, 20 le tout donné â titre d'exemple, fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. La fig.l est une vie en plan d'un dispositif semiconducteur conforme & l'invention. La fig. 2 est une coupe transversale de ce dispositif 25 suivant le plan II-II de la fig. 1. La fig. 3 est une coupe transversale du même dispositif suivant le plan III-III de la fig. 1. La fig. 4 est une vue en plan d'un autre dispositif conforme à l'invention. 30 La fig. 5 est une couple transversale suivant le plan T-V de la fig. 4. lia fig. 6 est une coupe transversale suivant le plan VI-VI de la fig. 4. La fig. 7 est une vue en plan d'un troisième disposi-35 tif conforme â l'invention.- La fig. 8 est une coupe transversale suivant le plan VIII-VIII de la fig. 7. La fig. 9 est une coupe transversale suivant le plan IX-IX de la fig. 7. 40 La fig. 10 est une coupe transversale suivant le plan 70 24423 6 2050427 X-X de la fig. 7. La fig. 11 est une coupe transversale suivant le plan XI-XI de la fig. 7. Toutes les figures sont schématiques, alors que les 5 dimensions n'ont pas été représentées à la même échelle. Four la clarté des figureB, on a exagéré particulièrement les épaisseurs. Généralement, les parties correspondantes sur les figures ont été indiquées par les mêmes références. Le dispositif semiconductaur représenté sur les figures 10 1, 2 et 3 est un transistor â effet de champ à électrode-porte isolée. Le dispositif comporte un corps semiconducteur 1 en silicium, muni d'une région 3 en forme de couche affleurant une surface pratiquement plane 2 du corps. Cette région 3 est formée par une couche de silicium monooris-tallin de type de conduction n, présentant une résistivité d'environ 15 10 ohm.cm et une épaisseur de 2^u, et élaborée sur un substrat électriquement isolant 4 qui dans cet exemple est formé par un polymère, par exemple une résine époxy, qui à son tour est élaborée sur un support de verre 5» A la surface 2, la région 3 en forme de couche est recouverte d'une couche électriquement isolante 6 en oxyde de silicium pré-20 sentant une épaisseur de 0,2yu. Cette couche 6 porte une couche 7 constituant électrode en aluminium présentant une épaisseur d'environ 0,5^u. Cette couche 7 forme l'électrode-porte du transistor à effet de champ. Sans la région 3 en forme de couche, on a élaboré également une source et un drain qui/sont ^formés par des zones diffusées 8 et 9 25 de type de conduction n, s•étendant/la totalité de l'épaisseur de la régtên 3 et raccordées à des contacts de connexion 10 et 11 en aluminium, à travers des fenêtres.pratiquées dans la couche isolante 6. Les zones 8 et 9 constituant la source et le drain présentent une concentration superfi- 20 cielle d'environ 10 atomes donneurs par cm8. 30 Pendant le fonctionnement, une différence de tension est appliquée entre les contacts de connexion 10 et 11 par exemple par l'intermédiaire d'une résistance de change 12 (voir la fig. 1), de sorte que du contact d'alimentation 10, des porteurs de charge majoritaires (dans cet exemple des électrons) s'écoulent vers le contact d'évacuation 35 11 à travers la couche 3. A l'aide d'une source de tension 13, l'électrode-porte 7 est mise à un potentiel qui est négatif par rapport à celui de la partie de la couche de silicium 3, située sous cette électrode-porte 7 (voir la fig. 1). Sana ladite partie de la couche 3, àes électrons iont de ce fait 40 pratiquement refoulés hors d'une zone d'épuisement 14 dont la limite est 70 24423 t 2050427 indiquée en pointillé sur la fig. 2. La profondeur sur laquelle la zone 14 s'étend dans la couche 3 dépend de la différence de potentiel entre l'électrode«jsorte et .la région sous-jacente 5. Sur les figures 1 et 2, la zone 14 s'étend sur la totalité de l'épaisseur de couche 5. La zone i 5 d'épuisement 14 influence la résistance de la région 3 en forme de couche dans une direction parallèle à la surface 2, de sorte qu'à l'aide d'une tension de commande sur la couche constituant électrode 7» il est possible de régler le courant s'écoulant entre les contacts d'alimentation et d'évacuation 10 et 11. 10 Sans le transistor â effet de champ décrit ci-dessus, des paires électron-trou seront formées par génération dans la zone d'épuisement 14» Par suite du potentiel négatif de l'électrode-porte 7» les trous seront maintenus sous cette couche-électrode 7 à la surface 2. Parfois, ces trous sont à même d'inverser localement le type de conduction 15 de la couohe 3* de sorte qu'une couche dite d'inversion peut se former à la surface 2. Les pointillés sur les figures 1, 2 et 3 indiquent la limite d'une zone superficielle cohérente 15 se trouvant sous 1'électrode-porte, zone dans laquelle une telle inversion peut avoir lieu dans le transistor à effet de champ décrit. 20 La présenoe d'une telle couche d'inversion est très défavorable pour le fonctionnement convenable du transistor à effet de champ, étant donné qu'une telle couche, en présence d'une augmentation de la tension de commande négative sur l'électrode-porte, donne lieu à un accroissement de la concentration en trous dans la couche d'inversion, 25 au lieu de donner lieu à une extension de la zone d'épuisement 14. Conformément à l'invention, pour empêcher la formation d'une telle couche d'inversion, la région 3 en forme de couche (voir les figures 1 et 3) est à la surface 2 munie de quatre contacts redresseurs concrétisés par quatre zones diffusées de type de conduction p 16, 17» 18 30 et 19» formant des jonctions p-n avec la couche J de type de connection n. Ainsi, (voir la fig. 3) la zone 16 forme une jonction p-n 20 avec la couche 3* Les zones 16, 17, 18 et 19 sont limitrophes de la zone superficielle précitée 15 dans laquelle une inversion est possible. A travers une fenêtre pratiquée dans la couche d'oxyde 6, la zone 16 est raccordée 35 aussi â un conducteur de connexion qui est formé par la couche d'aluminium 7 appartenant également à l'électrode-porte du transistor â effet de champ. Pendant le fonctionnement, la jonction p-n 20, par suite du potentiel négatif de l'électrode-porte 7 par rapport à la couche 3, est polarisée dans le sens de blocage, de même que les jonctions p-n 40 entre les zones 17, 18, 19 et la couche 3* Se ce fait, les trous présents 70 24423 2050427 dans la zone superficielle 15 sont aspirés hors de celle-ci, et la formation de ladite couche d'inversion est empêchée. Sans le dispositif conforme à l'invention, le fait d*empêcher la formation de la couche d'inversion n'entrave pas l'extension 5 de la zone d'épuisement 14* Sans l'exemple en question, étant donné la concentration de dopage et l'épaisseur de couche, cette zone d'épuisement peut s'étendre sur la totalité de l'épuisement de la couche 3, de sorte que pour une tension négative suffisante sur l'électrode-porte, il est possible de supprimer au besoin pratiquement le courant s'écoulant entre 10 la source et le drain du transistor. Les distances entre deux contacts redresseurs voisins associés à la couche constituant électrode 7 (donc entre les zones 16 et 17, 17 et 18, 18 et 19 et entre 19 et 16), sont dans cet exemple égales chacune â environ 160yu, ce qui est inférieur à deux longueurs de diffusion 15 des trous dans la couche 3, cette longueur de diffusion étant dans cet exemple environ 100yu.(durée de vie moyenne des trous dans la couche 3 étant environ 15yus). On évacue ainsi efficacement les trous présents dans la zone. Le dispositif décrit est réalisé par exemple de la ma-20 nière suivante. On part d'un substrat de silicium fortement dopé de type de conduction n, sur lequel on forme épitaxialement une couche de silicium 5 de type de conduction H, présentant une résistivité de 10 ohm.cm. Cette couche 5 est ensuite oxydée thermiquement, et on forme, de manière connue, par diffusion les zones 8 et 9* pénétrant sur une profondeur d'environ 2^u. 25 Par décapage électrolytique dans une solution à 5$ de HP, on enlève ensuite le substrat fortement dopé de type de conduction H. L'électrolyse s'arrête automatiquement à la distance limite entre le matériau fortement dopé et ladite couche épitaxiale. Par décapage chimique, on obtient alors une épaisseur de couche finale de 2yu. La couche obtenue est alors fixée sur 30 une plaque de verre 5 à. l'aide d'une résine époxy 4, après quoi on élabore les fenêtres de contact et les diverses couches métalliques. Sur les figures 4, 5 et 6 montrant un autre exemple de réalisation d'un dispositif semiconducteur conforme â l'invention, il s'agit également d'un transistor â effet de champ à électrode-porte isolée. 35 Quant aux concentrations de dopage et aux dimensions, ce dispositif correspond pratiquement au dispositif représenté sur les figures 1, 2 et 3, mais en diffère sur deux points importants. En premier lieu, contrairement â l'exemple précité, la couche semiconductrice de type de conduction n n'a pas été élaborée sur un 40 substrat isolant. Sans cet exemple, le corps semiconducteur comporte une 70 24423 9 2050427 couche de siliciua de type de conduction n, présentant une résistivité de 10 ohm.cm et formée épitaxialement sur un substrat de silicium 34 de type de conduction p, présentant une résistivité d'environ 100 ohm.cm et muni d'un contact ohmique 32. On obtient ainsi (voir les figures 5 et 6) 5 une jonction p-n 35» qui pendant le fonctionnement du dispositif, eBt polarisée dans le sens de blocage â l'aide dfune source de tension 33 (voir la fig. 5), le corps semiconducteur devenant ^insi le siège d'une zone d'épuisement dont les limites 30 et 31 sont indiquées par les pointillés sur les figures 5 et 6. 10 La deuxième différence importante est que le contact redresseur à l'aide duquel, conformément â l'invention, des trous doivent être évacués hors de la zone superficielle cohérente 15, n'est pas formé ici par une zone semiconductrice de type de conduction p, mais par un contact redresseur situé entre les parties 26, 27, 28 et 29 de la couche 15 métallique 7 et la région 3, de type de conduction n (voir les figures 4 et 6). A cet effet, la couche métallique ^ est en nickel qui avec le siliciua de type de conduction n peut former un contact redresseur métal-semiconducteur ou barrière de Schottky. A travers des fenêtres pratiquées d$ns la couche isolante 6, les parties 26 â 29 de la couche de nickel 7 20 se raccordent & la couche 3 et forment avec celle-ci des contacts redresseurs qui sont polarisés dans le sens de blocage par suite du potentiel négatif de l'électrode-porte 7 pendant le fonctionnement du dispositif. Pour le reste, les autres propriétés et le fonctionnement de ce dispositif sont entièrement analogues aux propriétés et au 25 fonctionnement du dispositif représenté sur les figures 1, 2 et 3, qui, comme déjà mentionné, en ce qui concerne la géométrie, les dimensions, et les concentrations de dopage ne diffère pas du dispositif représenté sur les figures 4, 5 et 6. Comme dans .l'exemple précité, les contacts d'alimentation et d'évacuation 10 et 11 sont en aluminium. 50 La limite 30 de la zone d'épuisement de, la jonction p-n 35 se déplace lorsque la tension de blocage de cette jonction varie. Au lieu d'être formée par une jonction p-n, cette zone d'épuisement peut l'être par une structure métal-isolant-semiconducteur analogue à la zone d'épuisement 14, et au besoin, être utilisée également pour la commande 35 du dispositif. Les figures 7» 8, 9 et 10 présentent un tout autre exemple d'un dispositif conforme à l'invention. Ce dispositif comporte un substrat 54 en silicium de type de conduction p, présentant une réBisti-vité de 10 ohm.cm, sur lequel on a formé épitaxialement une couche de 40 silicium monocristalline 53 de type de conduction n, présentant une ré- 70 24423 2050427 sistivité de 1 ohm.cm et une épaisseur de 3yu.(Voir les figures 8 et $). A la surface 52, la couche 53 est recouverte d'une couche d*oxyde de silicium 56, présentant une épaisseur de 0,2^u. Sur la couche 56, on a élaboré un conducteur sous forme d'une couche d'aluminium 57 en forme de 5 bande, la largeur de ce conducteur étant 5yu. Dans la couche 53, on a élaboré également un transistor planaire, comportant une zone de base 58 de type de conduction p, une zone d'émetteur 59 de type de conduction n, un contact d'émetteur 60, un contact de base 61 et un contact de collecteur 62 (voir les figures 7 et 8). Ce transistor est entouré quasi en-10 tièrement de la couche d'aluminium 57*(v°ir 1® fig» ?)• A côté du transistor décrit, on a élaboré dans la couche 53 un deuxième transistor muni d'un contact d*émetteur 65, d'un contact de base 64 relié au contact de collecteur 62 du premier transistor et d'un contact de collecteur 65, voir la fig. T. Ce transistor également 15 est entouré quasi entièrement de la couche d1aluminium.57• Fendant le fonctionnement, la couche-électrode 57 est portée à tin potentiel négatif par rapport â la couche 53» Ceci peut avoir lieu (voir la fig. 7) par exemple à l'aide d'une source de tension 66, raccordée % la couche d'alumiftium 57 et à un des contacts de collecteur, 20 par exemple le contact 65. Des électrons sont ainsi évacués hors de la partie de la couche 53* située sous la couche 57, de sorte qu'audit endroit se forme une zone d'épuisement dont les limites sont indiquées par les pointillés 67 sur les figures 9 et 10. Lorsque cette zone d'épuisement s'étend sur la totalité de l'épaisseur de la couche 53* tandis qu'en môme 25 temps la jonction p-n 68 entre le substrat 54 et la couche 53 est polarisée dans le sens de blocage (comme le montre schématiquement la fig.11), une partie de la.couche 53» dans laquelle se trouve le transistor 60, 61, 62, et qui est entouré de la couche métallique 57, est ainsi isolée électriquement du substrat 54 et du reste de la couche 53» La même chose est 30 valable pour la partie de la couche 53» entourée de la couche métallique 57 et dans laquelle se trouve le transistor 639 64, 65. Sur les figures, les traits en pointillé indiquent les limites 72 et 73 de la zone d'épuisement associée à la jonction p-n 68. Comme dans les sxasples présidents^ il se pose ici le 35 problème que, le plus souvent dans la souche 53 sous la couche constituant électrode 57, il se produit, par suite du potentiel négatif de cette couche 57 par rapport & la couche 53s une couche d'inversion dans les zones 69 affleurant la surface 52, couche d'inversion dont les limites sont indiquées schématiquement dans les figures par des pointillés. Par 40 la présence de ce genre de couches d'inversion, les zones d'épuisement 70 24423 2050427 sont en pratique empêchées de s'étendre plus loin que les zonès 69, et certainement pas sur la totalité de l'épaisseur de la couche 53, à moins que des différences de tension élevées inadmissibles soient appliquées entre la couche d'aluminium 57 et la couche de silicium 53. Conformément 5 â l'invention, également ici, la couche 53 de type de conduction n à la surface 52 est munie d'un ou de plusieurs contacts redresseurs ayant la forme de zones superficielles diffusées 70 de type de conduction p, qui (voir les figures 8 et 10) sont limitrophes des zones 69 dans lesquelles des couches d'inversion pourraient se produire. La couche d'aluminium 57 10 se raccorde aux zones 70 â travers des fenêtres de contact (voir les figures 7 et 10). Pendant le fonctionnement, â l'aide de la source de tension 66, une tension négative d'environ 30 volts est appliquée â la couche 57 par rapport à la couche 53- Grâce à la presence de la zone 70, 15 la couche 53 peut, â cette tension relativement faible, devenir le siège d'une zone d'épuisement 67 s'étendant sur la totalité de l'épaisseur de la couche 53 et assurant ainsi, avec la jonction p-n 68, l'isolement électrique effectif. En effet, les jonctions p-n entre les zones 70 de type p et la couche 53 ^e type n sont polarisées dans le sens de blocage par la 20 source de tension 66 par l'intermédiaire de la couche d'aluminium 57» et aspirent hors des zones superficielles 69 les trous formés par génération dans les zones d'épuisement 67, de sorte que la formation d'une couche d'inversion est exclue dans ces zones 69. La bande d'aluminium très étroite 57 occupe beaucoup 25 moins de place que les canaux de séparation diffusés habituels utilisés dans les circuits intégrés pour isoler entre eux des caissons. Les dimensions des zones ^0 de type p sont relativement réduites, par exemple 10 x 20yu, et ces zones 70 peuvent en.outre être utilisées avantageusement pour établir des croisements de la couche d'aluminium 57 avec d'autres 30 liaisons dans le circuit, voir par exemple les figures 7 et 10(Croisement 60/57). Comme dans l'exemple du dispositif représenté sur les figures 4, 5 et 6, une ou plusieurs des zones 70 de type de conduction p peuvent évidemment être remplacées par des contacts redresseurs métal-35 semiconducteur, par exemple du fait que le conducteur 57 est réalisé en nickel formant avec la couche 53 des contacts redresseurs â travers des fenêtres de contact pratiquées dans la couche d'oxyde 56. Toutefois, pour obtenir une zone d'épuisement isolante ininterrompue 67 entourant entièrement les transistors, 11 faut alors qu'à l'endroit de ce contact redres-40 seur, la couche 57 soit pratiquement ininterrompue, bien qu'une fente très 70 24423 2050427 étroit* ou une entaille soit parfois admissible. On conçoit également qu'au lieu d'être fixé sur un substrat 54 de type de conduction p, la couche 53 peut être fixée également sur un substrat isolant, analogue à celui se rapportant au disposi-5 tif représenté sur les figures 1 & 3* La fabrication des dispositifs décrits en référence des figures 4 à 11 peut avoir lieu par la mise en oeuvre des procédés habituellement utilisés dans la technique des semiconducteurs, par exemple des procédés d'oxydation, de diffusion, de croissance épitaxiale et d'éva-10 poration, combinés avec des procédés de décapage photolithographiques connus. Bien que l'invention soit décriteâ l'aide de formes de réalisation et d'application déterminées, le technicien pourra en réaliser de nombreuses variantes sans sortir du cadre de l'invention. En effet, 15 au lieu d*être reliés directement aux couches-électrodes 7» 57» 1*® contacts redresseurs 16, 36, 70 peuvent être mis au potentiel désiré à travers un conducteur de connexion distinct, ce potentiel ne devant pas nécessairement être celui desdites couches constituant électrodes. Sous condition de satisfaire aux critères préconisés par 1'invention, il est 20 également possible d'utiliser des matériaux semiconducteurs autres que le silicium, tandis que les couches isolantes et les couches métalliques peuvent être réalisées en des matériaux autres que ceux préconisés dans la description. Les types de conduction dont question ci-dessus peuvent être remplacés par les types de conduction opposés, et il est également 25 possible d'utiliser d'autres concentrations de dopage ainsi que des dispositifs nantis d'autres dimensions. . Il va de soi que, outre pour des transistors à effet de champ et des structures d'isolement décrits dans les exemples, l'invention peut être mise & profit tout aussi avantageusement pour tous les 30 dispositifs dans lesquels l'intensité du courant s*écoulant en direction de l'épaisseur d'une couche semiconductrice est influencée par une zone d'épuisement dont l'extension suivant ladite direction est empêchée par la formation d'une source d'inversion telle que décrite dans la description. 70 24423 1' 2050427 REVENDICATIONS t 1. Dispositif semiconducteur muni d'un corps semiconducteur comportant une région en forme de couche, d'un premier type de conduction, affleurant la surface du corps oû cette région est recouverte 5 au moins partiellement d'une couche électriquement isolante sur laquelle une couche constituant électrode est élaborée pour former une zone d'épuisement dans ladite région pour influencer la résistance électrique de celle-ci dans une direction parallèle & la surface, caractérisé*^!? ce que la région en forme de couche est munie, à proximité de la couche 10 constituant électrode, d'au moins un contact redresseur qui est muni d'un conducteur de connexion, afin de contrecarrer la formation d'une couche d'inversion sous la couche constituant électrode. 2. Dispositif semiconducteur selon la revendication 1, caractérisé en oe que l'épaisseur et la concentration de dopage de la 15 région en forme de couche sont telles que la zone d'épuisement puisse s'etendre sur la totalité de l'épaisseur de cette région. 3. Dispositif semiconducteur selon la revendication 1 ou 2 caractérisé en ce que le contact redresseur est relié galvaniquement & la couche constituant électrode. 20 4* Dispositif semiconducteur selon l'une des revendica tions 1, 2 ou 3 » caractérisé en ce que le contact redresseur est formé par une couche métallique, élaborée sur la région en forme de couche du premier type de conduction et formant avec cette région un contact redresseur métal-semiconducteur. 25 5* Dispositif semiconducteur selon la revendication 4» caractérisé en ce que le matériau formant la couche constituant électrode est un métal pouvant former un contact redresseur avec la région en forme de couche du premier type de conduction, alors que ladite couche se raccorde à ladite région à travers une ouverture pratiquée dans la couche 30 isolante. x 6. Dispositif semiconducteur selon l'une des revendica tion 1, 2 ou 3» caractérisé en ce que le contact redresseur est formé par une zone du deuxième type de conduction, élaborée sur ou"dans la région en forme de couche du premier type de conduction. 35 7» Dispositif semiconducteur selon la revendication 6, caractérisé en ce que la couche constituant électrode se raccorde & ladite zone du deuxième type de conduction â travers une ouverture pratiquée dans la couche isolante. 8. Dispositif semiconducteur selon l'une des revendica- 40 tions 1 à 7» caractérisé en ce que la région en forme de couche du premier 70 24423 2050427 type de conduction est élaborée, de préférence sous forme dfun* couche monocristalline, sur un substrat électriquement isolant. 9. Dispositif semiconducteur selon l'un* des revendications 1 â 7» caractérisé en ce que du côté situé à l'opposé de ladite 5 surface, la région en forme de couche du premier type de conduction est limitrophe d'une zone d'épuisement, du deuxième type de conduction, formant une jonction p-n avec ladite région en forme de couche. 10. Dispositif semiconducteur selon l'une des revendications 1 â 9» caractérisé en ce que le dispositif est un transistor & effet 10 de champ dont la source et le drain sont élaborés sur ou dans la région en forme de couche du premier type de conduction, et dont l'électrode-porte est formée par ladite couche constituant électrode. 11. Dispositif semiconducteur selon la revencication 10, caractérisé en ce que la source et le drain sont formés par des zones du 1^ premier type de conduction, affleurant la surface et s'étendant sur la totalité de l'épaisseur de la région en Corme de couche du premier type de conduction, lesdites zones étant plus fortement dopées que cette région. 12. Dispositif semiconducteur selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que la région en forme de couche est formée 20 par une couche semiconductrice du premier type de conduction, élaborée sur un substrat dont elle est électriquement isolée, la couche constituant électrode étant réalisée sous forme d'un conducteur entourant quasi entièrement un ou plusieurs composants semiconducteurs élaborés dans ladite couche semiconductrice, l'épaisseur et la concentration de dopage de 25 celle-ci étant telles que la zone d'épuisement puisse s'étendre sur la totalité de l'épaisseur de cette couche semiconductrice. 13. Dispositif semiconducteur selon l'une des revendications 1 & 12, caractérisé en ce que la distance entre deux contacts redresseurs voisins associés & une même couche constituant électrode est au 50 maximum égale à deux longueurs de diffusion des porteurs de charge minoritaires dans la région en fofme de couche du premier type de conduction. 14. Dispositif semiconducteur selon l'une des revendications 1 à 13, caractérisé en ce qu'entre 1s couche constituant électrode et la région en forme de couche du preaier type de conduction, on applique 35 une différence de potentiel telle que dans ladite région se forme une zone d'épuisement, et que le contact redresseur soit polarisé dans le sens de blocage. 15. Dispositif semiconducteur selon la revendication 14» caractérisé en ce que la différence de potentiel est telle que la zone 40 d'épuisement s'étende sur la totalité de l'épaisseur de la région en forme de couche du premier type de conduction.