FR 2045832 A1 19710305 FR 7020035 A 19700601 70 20035 1 fit 2045832 I»a présente invention concerne un procédé de fabrication d'un ensemble de lignes de commande comportant des éléments de maintien de flux magnétique, destinées à être utilisées pour réaliser un plan de mémoire à matrice magnétique* 5 Dans un plan de mémoire à matrice magnétique dans lequel plusieurs films ferromagnétiques minces sont disposés dans une matrice, des éléments de maintien de flux magnétique permettent de miniaturiser le plan et d'accroître la capacité de mémoire puisque l'interférence magnétique entre les cellules de mémoire 10 voisines peut être effectivement réduite par l'élément de maintien-de flux magnétique* En outre, de tels éléments de maintien de flux magnétique permettent de réduire la puissance du courant de commande passant par la ligne de commande, parce que le chaap magnétique créé par le courant de commande peut être e£fective-15 ment appliqué aux cellules de mémoire* Par conséquent, des élé- . ments de maintien de flux magnétique sont utilisés fréquemment dans des plans de mémoire à matrice magnétique de construction récente et présentant une grande densité d'éléments d'information. Cependant, il est très difficile de réaliser des éléments de 20 maintien de flux magnétique utilisés pour un plan de mémoire à matrice magnétique extrêmement miniaturisé* Ceci fait sérieusement obstacle à la réalisation d'un tel plan de mémoire à matrice magnétique extrêmement miniaturisé* A titre d'exemple, un ensemble de lignes de commande clas-25 siques comportant dés éléments de maintien de flux magnétique est habituellement constitué par un certain nombre de lignes de commande logées respectivement dans un certain nombre de rainures parallèles prévues sur une plaque en ferrite* Dans ce cas, les rainures sont généralement obtenues par une méthode de coupage» 50 la largeur de chaque rainure et le pas entre des rainures voisines doit faire l'objet d'une rectification fine et précise afin d'obtenir un plan de mémoire à matrice magnétique miniaturisé voulu* Cependant, pour répondre à ces exigences, il faut utiliser un outil tranchant présentant une lame très mince qui 35 se courbe facilement, de sorte qu'il est très difficile de réaliser des rainures de haute précision* En outre, s'il s'agit de réaliser des rainures de haute précision, la mise en place des lignes de commande dans les rainures très étroites est une opérations délicate, ce qui constitué un inconvénient pour la mise 70 20035 2 2045832 en pratique du plan de mémoire à matrice» Compte tenu de cet état de choses, il est très difficile de réaliser par les techniques actuellement connues un plan de mémoire à matriee maniaturisé présentant une grande densité d'éléments d'information. 5 La présente invention crée un procédé permettant de fabri quer facilement et de manière économique un ensemble de lignes de commande comportant des éléments de maintien de flux magnétique, destinées à être utilisées pour former un plan à matrice magnétique miniaturisé présentant une grande densité d'éléments 10 d'information» Le procédé conforme à la présente invention consiste essentiellement à déposer d'abord un certain nombre de bandes parallèles comprenant chacune un ruban composite formé d'un ruban conduc% teur et d'un premier ruban magnétique sur une feuille isolante 15 flexible, à déposer ensuite une deuxième matière magnétique au moins sur des surfaces latérales de chacun des rubans composites de manière à former autour du ruban conducteur un élément de maintien de flux magnétique constitué par la deuxième matière magnétique et par le premier ruban magnétique» Les rubans conducteurs souk 20 utilisés en tant que lignes de commande destinées à commander un certain nombre de rubans magnétiques parallèles disposés à faible distance les uns des autres mais de manière à être isolés mutuellement, et perpendiculairement aux lignes de commande» I»e principe et les mérites du procédé conforme à la présen-25 te invention sont élucidés par la description détaillée suivante et par les dessins annexés dans lesquels des pièces analogues sont désignées par les mêmes numéros de référence, lettres-, symboles. Les fig» 1A, 1B, 10, 13) et 1E sontdes vues partielles en 30 perspective et des vues partielles en coupe illustrant un exemple de l'invention. Les fig» 2A, 2B et 2C sont une vue partielle en perspective et des vues partielles en coupe illustrant un autre exemple de l'invention» 35 Les fig. 3AS 3B, 30 et 3B sont des vues partielles en coupe et une vue partielle en perspective illustrant un autre exemple de l'invention® Les fig» 4A, 4-Bs 40 et 433 sont des vues partielles en coupe illustrant un autre exemple de l'invention» 70 20035 3 2045832 La fig* 5 est une vue partielle en perspective illustrant un exemple d'un dispositif de mémoire à matrice magnétique obtenu en utilisant un ensemble de lignes de commande comportant des éléments de maintien de fiux magnétique, fabriquées conformément 5 à la présente invention. Un exemple de la présente invention est décrit ci-dessous en se référant aux fig* 1A à-1E. On fait d'abord adhérer un film magnétique 5, réalisé par exemple en permalloy, sur une feuille plastique 4 réalisée par exemple en polytéréphtalate d'éthylène 10 (connu sous la marque "Mylar"), qui est flexible et isolante, comme représenté à la fig* 1A. En outre, une couche conductrice 6 (par exemple en cuivre) est déposée sur le film magnétique 5 par métallisation électrique ou par le procédé de dépôt par évapora-tion, et une matière photorésistante 7 est appliquée sur toute la 15 surface de la couche conductrice, comme indiqué à la fig* 1A. Ensuite, lorsque la matière photorésistante 7 est exposée sous un masque oomportant un motif formé de lignes parallèles régulièrement espacées, et développée, on obtient un motif à lignes parallèles de matière photorésistante 7a sur la couche conductrice 6t comme 20 représenté à la fig* 1B. La couche conductrice 6 et le film magnétique 5 sont décapés, par exemple par un procédé électrolytique ou chimique, de manière qu'un certain nombre de bandes composites parallèles 9 comportant chacune un ruban conducteur 6a et un ruban magnétique 5a soient obtenus sur la feuille isolante 4, comme 25 représenté à la fig* 1C. Dans ce cas, les rubans de matière photorésistante 7a subsistent encore sur les bandes parallèles 9» Ensuite, des couches magnétiques 8 (par exemple en ferrite) sont déposées sur les faces latérales de chacune des lignes de bandes parallèles 9, par exemple par électrophorèse, comme représenté 30 à la fig* 1D. Des extrémités des couches magnétiques s'étendent le long des faces latérales du ruban de matière photorésistante 7a* Dans ce cas, l'épaisseur du ruban de matière photorésistante 7a permet, en association avec les rubans de mémoire mentionnés 55 ci-dessous, et qui sont orientés perpendiculairement aux bandes parallèles 9, de réduire le bruit provoqué par le couplage capacitif entre les bandes parallèles 9 et les rubans de mémoire, tout en maintenant à un niveau convenable l'efficacité de commande d'un courant de commande passant par le ruban conducteur 6a vers 70 20035 4 2045832 le ruban de mémoire» Au besoin, les surfaces supérieures des lignes de bandes parallèles 9 peuvent être polies le long d'un plan A-A de manière à obtenir un contact uniforme entre cet ensemble de lignes de 5 commande et un ensemble de rubans de mémoire* En outre, les rubans de matière photorésistance 7a peuvent être supprimés* De la matière moulée 10 peut être appliquée dans les espaces séparant chaque fois deux bandes parallèles voisines 9, comme représenté à la fig* 1E. Dans ce cas, la surface de la matière 10 moulée "10 est polie de manière à obtenir un plan lisse et les rubans conducteurs 6a peuvent, de plus, être décapés après élimination des rubans de matière photorésistante 7a» Un ensemble de lignes de commande comportant des éléments de maintien de flux magnétique, fabriquées conformément aux procé-15 dés de la présente invention, peuvent venir en contact uniformément avec la surface d'un plan à ruban de mémoire en raison de la flexibilité de la feuille isolante 4, même si le plan de rubans de mémoire présente une surface légèrement irrégulière* Un autre exemple de la présente invention est décrit ci-20 dessous en se référant aux fig* 2A à 2G. Dans cet exemple, les bandes parallèles 9 sont également fabriquées suivant les procédés cités ci-dessus et les rubans de matière photorésistante 7a sont supprimés, comme représenté à la fig* 2A. Ensuite, on fait adhérer un substrat 11, comme par exemple une plaque en bakélite 25 chimiquement inerte, sur la surface postérieure de la feuille isolante 4, comme représenté à la fig* 2A. Puis une matière non conductrice 12, comme par exemple de la ferrite, est appliquée sur la surface de la feuille isolante 4 de façon à noyer les bandes parallèles 9, comme représenté à la fig* 2B. les surfaces 30 supérieures des bandes parallèles 9 sont décapées de manière à être légèrement inférieures au plan B-B et le substrat 11 est éliminé comme représenté à la fig* 20. Dans cet exemple, chacun des éléments de maintien de flux comporte la matière magnétique non conductrice 12 et le ruban magnétique 5a. 35 Un autre exemple de la présente invention est décrit ci- dessous en se référant aux fig* 3A à 3D. Dans cet exemple un film conducteur 13 .(par exemple un film en cuivre) est déposé par le procédé de dépôt par évaporation.sur une. feuille isolante, flexible et chimiquement inerte 4 (par exemple une feuille réa- , COPY W- . 70 20035 5 2045832 lisée en une matière plastique telle que le pûlyterephtalate d'éthylène), comme représenté à la fig* 3A. Ge film conducteur 13 est soumis à un traitement de photo-gravure de manière à former un certain nombre de rubans conducteurs parallèles 13a, comme 5 représenté à la fig* 3B. Ensuite, un ruban de permalloy 5l) et un ruban de cuivre 6b. sont déposés électriquement sur chaque ruban conducteur 13a, comme représenté à la fig* 3C. Dans ce cas, la matière du ruban en permalloy 5b est déposée sur des surfaces latérales des rubans conducteurs 13a, alors que la matière du ru-10 ban conducteur 6b est déposée sur des surfaces latérales tant des rubans conducteurs 13a que des rubans en permalloy 5h. Ces dépôts inutiles sont éliminés par photogravure en utilisant un modèle à lignes parallèles de matière photorésistante 7b_, de manière à obtenir un certain nombre de rubans composites parallèles 9« Dans 15 ce cas, la matière photorésistante 7b subsiste encore* Conformément aux procédés cités ci-dessus, les rubans conducteurs 13a sont utilisés pour former les rubans en permalloy 5b et les rubans conducteurs 6b sur la feuille isolante 4* Par conséquent, il faut que les rubans conducteurs 13a présentent une adhérence suf- • 20 fisante à la feuille isolante 4. Puis, des couches en ferrite 8 sont déposées sur les surfaces latérales des bandes parallèles 9 conformément au principe de 1'électrophorèse, comme indiqué à la fig* 3D. Au besoin, les rubans de matière photo-résistante 7b peuvent être éliminés* En outre, les espaces situés entre les 25 bandes voisines 9 peuvent être remplis par de la matière moulée, comme dans l'exemple précité* Un autre exemple de la présente invention est décrit ci-dessous en se référant aux fig* 4A à 4D. Dans cet exemple, une couche conductrice 14 est déposée par évaporation sur une feuille 30 isolante et chimiquement inerte 4 supportée par un substrat 11. Da couche conductrice 14 doit avoir une adhérence suffisante à la feuille isolànte 4. Des exemples de matières susceptibles d'être utilisés pour cette couche conductrice 14 sont :-Cr, Ai, Ni, etc« Cette couche conductrice 14 est soumise à un traitement de photo-35 gravure de façon à obtenir des rubans parallèles 14a, comme représenté à la fig* 4B. Ensuite, des rubans en cuivre 15 sont déposés électriquement sur les rubans parallèles 14a, de façon à former un certain nombre de rubans parallèles comportant chacun le ruban conducteur 14a et le ruban en cuivre 1-5* Puis de la COPY i ■3 4 70 20035 6 2045832 ferrite 16 est déposée sur chacun des rubans parallèles, conformément au principe de 1'électrophorèse» De la matière moulée 17 est appliquée sur la surface de la feuille isolante 4a, comme indiqué à la fig* 40. La feuille isolante 4a-et le substrat 11 5 sont alors éliminés de l'ensemble de? lignes de commande moulées, comme indiqué à la fig» 4L, ®n utilisant la technique de polissage» Dans ce cas, les rubans conducteurs 14a et 15 peuvent être décapés de façon à être plus bas qu'un plan poli C-C. L*ensemble de lignes de commande comportant des éléments de 10 maintien de flux magnétique, fabriquées conformément aux exemples ci-dessus de. l'invention, peut être utilisé pour former un dispositif de mémoire à matrice, comme représenté à la fig» 5» Dans cet exemple, l'ensemble de lignes de commande 23 comportant des éléments de maintien.de flux magnétique 24 est déposé sur une 15 feuille isolante 21, alors que des rubans magnétiques 22 comportant chacun un ruban conducteur entouré de deux films ferromagnétiques minces reliés en série autour du ruban conducteur, sont déposés sur un substrat isolant 27. La feuille isolante 21 et le substrat 27 sont déposés ri-20 goureusement de façon parallèle l'un par rapport à l'autre, de manière que les lignes de commande 23 et les rubans magnétiques 22 se coupent perpendiculairement» Des bornes 25 et 26 sont utir-lisées pour les lignes de retour respectives des lignes de commande 23 et des rubans magnétiques 220 70 20035 7 2045832 REVENDICATIONS 1 - Procédé de fabrication d'un ensemble de lignes de commande comportant des éléments de maintien de flux magnétique, caractérisé en ce qu'il comprend les opéràtions de déposer sur une 5 feuille isolante flexible 4 un certain nombre de bandes parallèles 9 comprenant chacune un ruban composite formé d'un ruban conducteur 6a, 6b et d'un premier ruban magnétique 5a, 5b, et de dépos» ser une deuxième matière magnétique 8 au moins sur des surfaces latérales de chacune des bandes composites 9, de façon à consti-10 tuer autour du ruban conducteur 6a, 6b un élément de maintien de flux magnétique formé par la deuxième matière magnétique & et le premier ruban magnétique 5a, 5b« 2- Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que la première opération consiste à déposer uniformément une première 15 couche magnétique mince 5 et une couche conductrice 6 sur une feuille flexible, isolante et chimiquement inerte 4, et à effectuer la photo-gravure de la première couche magnétique mince 5 et de la couche conductrice 6, de façon à former un certain nombre de bandes composites parallèles 9 dont chacune comporte un ruban 5a 20 formé par la première couche magnétique mince et un ruban 6a formé par la couche conductrice, constituant ainsi l'une des lignes de commande* 3 - Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que la seconde opération consiste à déposer une matière magnétique non 25 conductrice 12 dans des espaces situés chaque fois entre deux bandes composites parallèles voisines 9, de sorte que la matière magnétique non conductrice 12 et les bandes parallèles 9 forment un plan uni B_B. 4 - ^rocédé suivant la revendication 3, caractérisé én ce que 30 la deuxième opération consiste en outre à décaper des rubans composites parallèles ai de sorte que les niveaux des rubans parallèles soient légèrement inférieurs à celui du plan uni B-B. 5 - Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que la première opération consiste à déposer uniformément une pre- 35 mière couche conductrice 13 sur une feuille flexible, isolante et chmiquement inerte 4, à effectuer le photo-décapage de la première couche conductrice 13, effectué de façon à former un certain nombre de rubans parallèles 13a constitués par la première couche conductrice, et à déposer électriquement un premier ruban 70 20035 8 2045832 magnétique 5la et un deuxième ruban conducteur sur chaeun des rubans parallèlês 13à de la première couche conductrice, de façon à former un certain nombre de bandes composites parallèles 9.