FR 2028924 A1 19701016 FR 6943526 A 19691216 69 43526 1 2028924 La présente invention est relative à la fabrication de diodes semi-conductrices émettrices et se rapporte plus particulièrement à des semi-conducteurs constitués par des composés monocristallins comprenant par exemple e l'arséniure de gallium et 5 du phosphore de gallium, qui sont émetteurs de lumière visible, plans et dont la région P est tournée vers le haut. Une émission efficace c'e lumière par des jonctions PÎT polarisées en sens direct a été observée dans un grar Dans certaines applications, le dispositif obtenu est utilisé 20 dans une position telle que le rayonnement utile est admis à travers la région de type N, toute émission à travers la région de type P étant pratiquement exclue. Dans ce cas, on porte ordinairement une attention relativement moindre aux techniques de diffusion par masquage ou aux conditions de régulation de la diffusion, 25 du fait que la caractéristique d e transmission de la lumière de la région de type P est relativement moins importante. Par exemple, l'accumulation de dopant en excès sur la surface du cristal semiconducteur pendant l'opération de diffusion est d'importance moindre, quelle que soit la détérioration de surface du cristal semi-30 conducteur qui peut en résulter. D'autre part, lorsqu'une diode émettrice doit être employée, le "côté P vers le haut", c'est-à-dire de sorte que le rayonnement utile est émis principalement à travers la région de type P, tous ces facteurs deviennent critiques en ce qui concerne le rendement quantique externe du disposi-' 35 tif. De l'oxyde de silicium dopé au phosphore est ordinairement employé comme masque de diffusion dans la fabrication de telles diodes en raison de son imperméabilité au zinc qui est une impureté du type accepteur courant. L'emploi d'oxyde de silicium dopé 40 au phosphore comme masque de diffusion sur r"e l'arséniure de gai- 69 43526 2 2028924 lium par exemple s'est révélé entièrement satisfaisant, du moins en ce qui concerne sa capacité de définir nettement les limites désirées de la diffusion. Toutefois, l'emploi d'oxyde de silicium dopé au phosphore comme masque de diffusion au zinc sur du phos-5 phore de gallium et de l'arséniure et du phosphure de gallium s' est révélé assez satisfaisant en raison de la diffusion latérale exagérée du zinc le long de l'interface séparant le masque de diffusion et le cristal serai-conducteur ce qui a pour résultat de définir médiocrement les limites de la région diffusée. Ce phénomène 10 devient particulièrement fâcheux lors de la fabrication de réseaux de diodes monolithiques à grande densité^ du fait qu'il se produit fréquemment une fusion des jonctions pu adjacentes, ce qui réduit considérablement le rendement de fabrication. Par conséquent, le besoin s'est fait sentir de mettre au point des masques de diffu-15 sion du zinc perfectionnés pour la fabrication de dispositifs à l'arséniure et au phosphore de gallium et de dispositifs au phos-" phure de gallium. la diffusion latérale de zinc sous un masque en oxyde de silicium dopé au phosphore et sur du phosphure et de l'arséniure de 20 gallium ou du phosphure de gallium s'étend bien au-delà -de toute diffusion latérale prévisible théoriquement ou prévisible d'après l'expérience précédente obtenue dans la fabrication de dispositifs au silicium lorsqu'on emploie de l'oxyde de silicium comme masque de diffusion. Bien qu'une telle diffusion latérale vers l'extérieur 25 soit évidemment fâcheuses comme on peut l'observer, du fait qu'elle contribue à former une jonction de forme peu définie et (ou) médiocrement déterminée d'avance, l'invention est basée en partie sur la découverte selon laquelle la partie périphérique d'une telle jonction diffusée, c'est-à-dire la partie qui se forme par dif-30 fusion latérale est beaucoup plus brillante sous l'effet d'une polarisation en sens direct que les parties restantes de la jonction. Un concept essentiel de l'invention est la détermination de la forme d'une telle diffusion latérale qui permet de produire un dispositif ayant une jonction émettrice de lumière formée principalement 35- par diffusion latérale en dessous d'une telle couche d'oxyde et qui tend à rendre maximale la brillance globale et le rendement quantique externe» Par conséquent, l'invention a pour but de fournir : - un procédé perfectionné de fabrication d'une diode semi-4-û concluete-ice émettrice; BAD ORIGINAL- 69 43526 3 2028924 - d'améliorer la définition des limites d'une région diffusée de type P telle que celle produite par l'introduction de zinc comme impureté dans un cristal semi-conducteur de type I\T, comprenant du phosphure et de l'arséniure de gallium ou du phosphure de 5 gallium par exemple; - une diode semi-conductrice émettrice ayant une brillance accrue et un rendement quantique externe accru; - un réseau monolithique de diodes semi-conductrices émettri-ces de lumière et un procédé perfectionné de fabrication d'un tel 10 réseau. Un aspect de l'invention est mis en oeuvre dans un procédé de diffusion sélective de zinc dans un cristal semi-conducteur de type H choisi parmi les composés comprenant du phosphure de gal-liumfet du phosphure d'indium. Outre le phosphure de gallium et le 15 phosphure d'indium, on peut avoir recours à des cristaux mélangés tel que l'arséniure et le phosphure de gallium, le phosphure et 1' antimoniure de gallium, l'arséniure et le phosphure d'indium, le phosphure d'indium et de gallium, l'arséniure et le phosphure d' indium et de gallium, etc. 20 Le masque de diffusion sélective comprend du nitrure de si licium déposé et formé sur le cristal semi-conducteur au moyen de techniques connues. Par exemple, on dépose le nitrure en exposant le cristal semi-conducteur à un mélange de vapeur ou de gaz d'ammoniaque ou de silane (SiH^), dilué dans de l'hydrogène à une tem-25 pérature d'environ 700 à 900§C. On donne ensuite une forme particulière au nitrure déposé par masquage au moyen d'un matériau de réserve photographique et par décapage sélectif avec de l'acide fluorhydrique aqueux et dilué pour former une ou plusieurs fenê-très définissant une ou plusieurs régions du cristal semi-conduc-30 teur dont la conductivité doit être convertie en type P. Le cristal masqué au nitrure est ensuite exposé dans des conditions de diffusion à une source d'impuretés sous forme de vapeur comprenant des atomes de zinc, qui peut être fourni sous la forme de zinc élémentaire ou sous la forme d'un composé quelconque con-35 venable contenant du zinc, tel que de l'arséniure de zinc, pendant une durée suffisante pour convertir la conductivité d'une partie du cristal en conductivité de type P. Un autre aspect de l'invention est mis en oeuvre dans un procédé de diffusion sélective d'une impureté de type accepteur choi-40 sie, tel que du zinc, dans un cristal semi-conducteur à bande d' 69 43526 4 2028924 intervalle de conduction directe de type N par la combinaison? drune diffusion directe dans une partie à découvert du cristal et d'une diffusion latérale le long de l'interface entre le cristal et un masque de diffusion formé dessus.Les cristaux semi-conduc-5 teurs préférés pour le présent mode de mise en oeuvre sont les mêmes que cëux utilisés dans le mode de mise en oeuvre décrit ci-dessus. Le masque de diffusion préféré est de l'oxyde de silicium dopé au phosphore qui est apparu présenter la combinaison nécessaire 10 de propriétés, c'est-à-dire l'imperméabilité au zinc et (ou) aux impuretés comprenant du zinc et une certaine susceptibilité à la diffusion latérale de telles impuretés le long de son interface avec la surface du cristal semi-conducteur.Par conséquent,la mise en pratique de ce mode de réalisation met en jeu la formation et 15 la configuration d'un masque en oxyde de silicium dopé au phosphore sur un cristal semi-conducteur convenable,afin de ménager une ouverture étroite,ce qui met à découvert une partie de la surface du cristal et ensuite l'exposition du cristal masqué à une source convenable d'atomes de zinc,dans des conditions de diffusion,pen-20 dant une durée suffisante pour convertir la conductivité d'une partie du cristal en conductivité de type P. L'ouverture étroite ménagée dans le masque a de préférence la £ocme d'un cercle ou est une rainure annulaire qui fournit une par BAD ORIGINAL 69 43S26 2028924 conductivité doit être convertie en conductivité de type P. Une seconde couche de 'masquage est formée ensuite sur le . cristal serai-conducteur, dans la fenêtre de la première couche de masquage, la seconde couche de masquage ayant un effet limitatif 5 bien inférieure sur la diffusion de l'impureté du type accepteur choisi. C'est-à-dire que la seconde couche de masquage doit être perméable à l'impureté du type accepteur choisie, ou pratiquement moins résistante à sa diffusion latérale le long ce l'interface entre le masque et le.cristal semi-conducteur, ou doit être à la 10 fois perméable à l'impureté et moins résistante à la diffusion latérale. Ensuite, les première et seconde couches de masquage étant en place, le cristal est exposé à l'impureté du type accepteur choisie, dans des conditions de diffusion, pendant une durée suf-15 fisante pour provoquer la conversion de la conductivité d'une région du cristal en conductivité de type P. Dans un mode de réalisation préféré, une telle conversion de la conductivité en type P est effectuée par la combinaison d'une diffusion directe dans une partie à découvert du cristal et d'une diffusion latérale simul-20 tanée sous la seconde couche de masquage. le cristal semi-conducteur préféré pour la mise en oeuvre de l'invention est un phosphure de gallium ou d'indium, comprenant des cristaux mélangés des composés III à 7, tel que de l'arséniure et du phosphure de gallium, de l'arséniure et du phosphure d'in-25 dium, du phosphure de gallium et d'indium, de l'antimoniure et du phosphure d'indium et de l'antimoniure et du phosphure de gallium. Bien que la mise en pratique de l'invention avec de l'arséniure de gallium et d'autres composés des groupes III et V soit possible, les phosphures conviennent principalement à l'invention du fait 30 que le phénomène de la diffusion latérale est très prononcé avec les phosphures mais ne se produit que de façon négligeable avec le gallium et les autres composés ne contenant pas du phosphure des groupes III à V. L'arséniure et le phosphure de gallium monocristallin ainsi que le phosphure de gallium sont particulièrement 35 utiles. L'arséniure et le phosphure de gallium monocristallin-est produit par une etchnique connue quelconque, comprenant par exemple le dépôt par épitaxie sur un substrat en GaAa monocristallin ayant l'orientation cristalline(iOO ). L'arsenic et le phosphore sont appliqués à la zone de réaction sous la forme '""es hydrures 40 correspondants dilués ""ans de l'hydrogène,- tandis que le gallium BAD ORiGINAL 6 2028924 est fourni sous la ferme de chlorure de gallium dans un diluant .à l'acide chlorhydrique. On emploie une température de dépôt de 1100 à 120Q8C et il faut.ij.se durée d'environ 4 heures pour obtenir une épaisseur ■ eonven&ble, ue paie exemple 375 microns de GaAsP. En 5 même temps que la croissance épitaxiale, or ajoute une certaine quantité d'étain, de soufre, de sélénium ou d'un autre dopant convenable pour obtenir un niveau des impuretés de type donneur dJen- 17 16 17 viron 10 ! à 10 atomes par .caû, et de préférence de 2 x 10 pal' cm3 de préférence. De même, du phosphure de gallium monocristallin 10 est également déposé par épitaxie sur GaAS par la même technique en supprimant Asïï-j des gaz chargés. la première couche de masquage de diffusion préféré est en nitrure de silicium (Sijj^) .qui est pratiquement imperméable au zinc qui est l'impureté de type accepteur choisie. Le nitrure de 15 silicium est extrêmement résistant à la diffusion latérale du zinc le long de l'interface entre le masque et le cristal semi-conduc-teur. La couche de masquage en nitrure de silicium est déposée sur le cristal semi-conducteur par dépôt pyrolytique, par exemple en 20 faisant réagir du silane et de l'ammoniaque à une température d1 environ700§C à 900§C dans l'hydrogène. Une épaisseur du nitrure de silicium de 800 à 1200 A est apparue préférable. On donne une configuration donnée au nitrure de silicium par décapage sélectif en employant une couche de masquage en matériau 25 de réserve photographique tel que du "Kmer" qui est une marque déposée par Eastman Kodak Company. Un décapant convenable permettant d3éliminer les parties non désirées d'une couche de nitrure de silicium est une solution aqueuse d'acide fluorhydriqué tamponnée de préférence avec du fluorure d'ammonium. On préfère une température 30 d'environ 60§C pour le stade de décapage. La seconde couche de-masquage préférée pour les diffusions est de l'oxyde de silicium dopé au phosphore formé- par exemple par dépôt pyrolytique à partir de la réaction de tétraéthylorthosili-cate et d®oxychlorure de phosphore ou de triméthyl.phosphate dans une atmosphère oxydante» Une couche d'oxyde c? silicium dooée au — ^ phosphore ayant une épaisseur c5environ 2^00 - 3500 A est souhai- O table et de préférence avec une épaisseur de /0Q0 -W employant des techniques de décapage sélectif et des m-iéri-ux de réserve photographique o-mmis, on donne une configuration donnée à la cou-4- j elie d?cie ôvpte au phosphore ce v canua dans la ^ene- BAD ORIGINAL 69 43526 7 2028924 tre en nitrure de silicium pour n'en exposer qu'une partie devant être utilisée pour former Les contacts ohmiques appliqués à la région de type P une fois formés. G'est-à-dire que la partie principale et active de la jonction PU est formée par diffusion latérale 5 en dessous d'une couche d'oxyde de silicium dopée au phosphore ayant reçue une forme donnée dans la fenêtre de nitrure. Le cristal de phosphure masqué est soumis ensuite à une diffusion de zinc en scellant par exemple le cristal dans une ampoule de quartz mise sous vide au moyen d'une quantité convenable de zinc 10 élémentaire. L'ampoule scellée est chauffée ensuite par un moyen commode quelconque à 925gC environ pendant une durée de 2 à 15 minutes pour obtenir une conversion convenable de la conductivité de la région à fenêtre du cristal en conductivité de type P. On pré- 18 fère une concentration de surface du zinc d'environ 10 atomes 15 par cm3. Après le stade de diffusion, on prépare la région de type P du cristal pour la fixation de contacts ohmiques convenables. Cette préparation comprend de préférence l'élimination des couches de masquage de diffusion, et ensuite un dépôt d'oxyde de silicium py-20 rolytique frais comme milieu de passivation qui reçoit alors de nouveau une configuration donnée au moyen de techniques de décapage sélectif pour ouvrir la zone appropriée en vue de réaliser les contacts, ce qui met de préférence en jeu le dépôt par évaporation d'un alliage de zinc et d'or. Le contact ohaique appliqué à la ré-25 gion de type îî est de préférence effectué par dépôt par évapora-tion d'un alliage d'antimoine et d'or. D'autres caractéristiques de l'invention apparaîtront au cours de la description suivante, donnée à titre d'exemple et faite en référence aux dessins annexés, dans lesquels : 30 les Pig. 1 à 4 sont des coupes transversales d'une pastille de GaAsP représentant une succession de stades d'un procédé selon 1'invention; la Pig. 5 est une vue de dessus de l'agencement représenté à la Pig. 4; 35 les Pig. 6 à 9 sont des coupes transversales d'une pastille de GaAsP représentant une suite de stades d'un autre procédé de 1' invention; la Pig. 10 est une vue de dessus de l'agencement de la Pig. 9. La pastille 11 se compose d'un cristal de type ET d'arséniure 40 et de phosphure de gallium de 625 microns environ de côté et ayant BÂD ORIGINAL 69 43526 8 2028924 une épaisseur environ 250 microns. La couche de masquage 12 se compose de nitrure de silicium appliqué à la pastille 11 selon des techniques connues comprenant par exemple 1p réaction pyrolytique de silane avec de l'ammoniaque mis en contact avec la pastille 11 5 dans des conditions de dépôt pendant une durée suffisante pour dé- O poser une couche d'environ 1000 A d'épaisseur. Une fenêtre est ménagée ensuite dans la couche de nitrure 12 et définit ensuite une région dans la pastille 11 dont la'conductivité doit être convertie en conductivité de type P par diffusion de zinc. Selon un as-10 pect de l'invention, il a été découvert que le nitrure de silicium est un masque particulièrement utile pour la diffusion sélective de zinc, en raison de son imperméabilité à cet élément et de Bon adhérence exceptionnellement bonne à la pastille d'arséniure et de phosphure de gallium 11 et de sa bonne adhérence à l'autre 15 cristal contenant du phosphore des groupes III à V, ce qui offre une bonne résistance à la diffusion latérale du zinc le long de l'interface entre la pastille semi-conductrice et la couche de nitrure . Comme représenté à la Pig. 2, l'agencement de la Pig. 1 est 20 recouvert ensuite d'une couche 13 composée d'oxyde de silicium dopée au phosphore, qui peut être déposée par exemple par la réaetiaa pyrolytique de tétraéthylorthosilicate et dloxychlorure de phosphore dans une atmosphère oxydante. La couche 13 est déposée sui- O vant une épaisseur de 3000 A. 25 Comme représenté à la Pig. 3, la couche 13 est décapée ensui te sélectivement au moyen de techniques employant un matériau de réserve photographique et un décapant convenable quelconque- comprenant par exemple de l'acide fluorhydrique dilué pour former une fenêtre annulaire 14 qui a un diamètre de 250 microns et une lar-30 geur d'environ 12,5 microns. L'agencement de la Pig.3 est exposé ensuite à des vapeurs de zinc afin de convertir la conductivité d'une partie de la pastille 11 en conductivité de type P. On peut utiliser une technique convenable quelconque pour la diffusion du zinc. Toutefois, on préfère sceller la pastille dans une ampoule 35 mise sous vide contenant 10 milligrammes de zinc élémentaire, L' ampoule scellée et-mise sous vide est ensuite chauffée à une température d'environ 925§C pendant cinq minutes environ pour achever l'opération de diffusion et engendrer ainsi la jonction PII 16. La partie de la pastille qui se trouve immédiatement en dessous 40 de la fenêtre 14 est exposée directement à la vapeur de zinc et BAD ORIGINAL 69 43526 9 2028924 est donc plus fortement dopée que la partie dë la pastille qui se trouve en dessous de la partie centrale de la couche de masquage 15. C' est-à-dire que la partie centrale de la région P 15 est dopée plus légèrement du fait qu'elle est formée par exposition à ceux 5 seulement des atomes de zinc qui diffusent latéralement le long de l'interface entre la pastille 11 et la partie centrale de la couche d'oxyde de silicium dopée au phosphore 13. les couches de masquage 12 et 13 sont enlevées ensuite de la surface de la pastille 11 et remplacées par le dépôt pyrolytique 10 d'une couche d'oxyde de silicium non dopé 17. la connexion ohmique de la région P 15 est ensuite obtenue en décapant sélectivement une fenêtre annulaire dans la couche d'oxyde 17 au même emplacement et de même dimension que la fenêtre 14 ménagée préalablement en vue de la diffusion sélective. Un contact ohmique annulaire 18 15 est formé ensuite par dépôt par évaporation d'un métal convenable, par exemple de l'or contenant 0,6 % de zinc, ce qui complète 1' agencement représenté à la Pig. 4. Une vue de dessus de l'agencement achevé est représentés à la Pig. 5 où sont indiqués une couche d'oxyde de silicium 17, un an-20 neau métallique 18 et une jonction 16, cette dernière étant représentée par un pointillé à la périphérie externe de la région de type P 15. Comme décrit ci-dessus, l'invention envisage également d'utiliser une configuration de masque similaire à celle représentée à 25 la Pig. 3 dans laquelle l'oxyde de silicium dopé au phosphore est la seule couche de masquage de part et d'autre- de la fenêtre annulaire. Un tel masque permet une diffusion latérale à la fois vers l'intérieur et vers l'extérieur à partir de la fenêtre annulaire et ne permet ainsi aucune détermination de la limite externe de la 30 jonction résultante. Par conséquent, ce mode 'de réalisation n'est pas préféré pour la fabrication de réseau de diodes ou pour d'autres applications dans lesquelles 1'.étalement vers l'extérieur des limites de la jonction ne peut stre toléré. la pastille 21 se compose de phosphore et d'arséniure de gal-35 lium monocristallins de type K et de même dimension que la pastille 1 1 décrite ci-dessus. Comme représenté aux Firr. 6 et 7, la pastille 21 est recouverte d'abord d'un masque er nitrure de silicium 22 comportant une fenêtre convenable pour la diffusion sélective du zinc et qui est recouverte ensuite per une couche 23 59 oxyde de 40 silicium dopée au phosphore, comme les couches 12 et 13 représentées dans le mode de réalisation des Pig» 1 à 5. BAD ORIGINAL 69 43526 10 2028924 Gomme représenté à la Pig. 8, une partie de la couche 23 est éliminée ensuite par des techniques de décapage sélectif et de matériau de réserve photographique pour constituer une fente linéaire 24 en préparation de l'opération de diffusion. L'agencement est 5 ensuite exposé à du zinc élémentaire sous forme de vapeur, dans des conditions de diffusion, pendant une durée suffisante pour former une région 25 de type P qui, en combinaison avec la partie restante du stibstrat, forme la jonction PN 26. La partie de la jonction 26 qui se trouve immédiatement en dessous de la fente 24 est 10 dopée plus fortement et s'étend plus profondément dans le cristal 21 que la partie restante ce la jonction, du fait que la partie de la région - P 25 qui se trouve immédiatement en dessous de la partie centrale de la couche 23 est formée par la diffusion latérale de vapeur de zinc le long de l'interface entre la couche 23 et la 15 couche 21. Dans ce mode de réalisation, comme la diffusion latérale ne progresse que de gauche à droite, il est clair que la jonction 26 devient progressivement moins profonde à mesure que l'on s'écarte de la fente 24. Comme représenté à la Pig. 9, l'agencement de la Pig. 8 est 20 modifié ensuite par l'élimination des couches de masquage 22 et 23 qui sont remplacées par une couche de silicium 27. Un contact ohmique est établi ensuite avec la région 25 en découpant d'abord une fente dans la couche 27 au même emplacement et de même dimension que la fente 24, en déposant ensuite par évaporation un mé-25 tal de contact convenable 28 qui est de préférence un alliage d'or contenant une petite quantité de zinc par exemple. Une vue de dessus de l'agencement de la Pig. 9 est représentée à la Pig. 10, la limite de la région P 25 étant indiquée par la ligne en pointillé 26. BAD ORIGINAL 69 43526 n 2028924 Revendications 1 - Procédé de fabrication d'un dispositif émetteur de lumière, caractérisé en ce qu'il consiste à former une première couche de masquage de diffusion sur un cristal semi-conducteur composite 5 de type K, la couche de masquage étant pratiquement imperméable à une impureté de type accepteur choisie et fortement résistante à sa diffusion latérale le long de l'interface entre le masque et le cristal semi-conducteur, à donner a la première couche de masquage une certaine configuration pour y définir une fenêtre formant une 10 zone du cristal dont la conductivité doit être convertie en conductivité du type P, à former sur le cristal et dans la fenêtre une seconde couche de masquage ayant un effet moins limitatif sur la diffusion de l'impureté de type accepteur choisie, et à exposer le cristal masqué à l'impureté du type accepteur choisie dans 15 des conditions de diffusion, pendant une durée suffisante pour provoquer la conversion de la conductivité d'une partie du cristal en conductivité de type P. 2 - Procédé de fabrication d'un dispositif émetteur de lumière, caractérisé en ce qu'il consiste à former une première couche 20 de.masquage de diffusion sur un cristal semi-conducteur constitué par un dépôt composé des groupes III à V et de conductiviteôe type N, la couche de masquage étant pratiquement imperméable à une impu-reté&u type accepteur choisie et fortement résistante à sa diffusion latérale le long de l'interface entre le masque et le cristal 25 semi-conducteur, à donner une certaine configuration à la première couche de masquage pour y former une fenêtre définissant une zone du cristal en vue de la conversion de la conductivité en conductivité de type P, à former sur le cristal et dans la- fenêtre une seconde couche d.e masquage qui est également pratiquement impermea-30 ble à l'impureté du type accepteur mais qui est sensiblement moins • résistante à la diffusion latérale le long de l'interface entre le masque et le cristal semi-conducteur, à donner une certaine configuration à la seconde couche de masquage pour ne recouvrir que la partie principale de la fenêtre en laissant une petite partie du 35 cristal à découvert, à exposer le cristal masqué à l'impureté, du type accepteur, dans des conditions de diffusion, pendant une durée suffisante pour provoquer la conversion de la conductivité d' une région de cristal en conductivité de type P par la combinaison d'une diffusion directe dans la partie à découvert du cristal et 40 d'une diffusion latérale sous la seconde couche de masquage. BAD ORIGINAL 69 43526 2028924 3 - Procédé suivant l'une quelconque des revendications 1 et c, caractérisé en ce que le première couche de masquage de diffusion est en nitrure de silicium. 4 - Procède suivant l'une quelconque des revendications 1 et 5 2 » caractérisé en ce que le second masque de diffusion est en oxyde de silicium dopé au phosphore. 5 - Procédé suivant l'une quelconque des revendications 1 et 2 , caractérisé en ce que le cristal est du phosphore de gallium ou de l'arseniure et du phosphure de gallium. 10 6 - Procédé suivant l'une quelconque des revendications 1 et 2 , caractérisé en ce que l'impureté du type accepteur choisie comprend du zinc. 7 - Procédé de fabrication d'un dispositif semi-oonducteur, caractérisé en ce qu'il consiste à déposer une couche de masquage 15 en nitrure de silicium sur un cristal semi-conducteur de type 5 choisi parmi les composés contenant du phosp^Bre de gallium et. . contenant du phosphure d'indium, à donner une certaine configuration à la couche de masquage pour former une fenêtre définissant une région du cristal dont la conductivité doit être convertie en 0 conductivité de type P, et à exposer le cristal masqué à une source d'impureté sous forme'de vapeur comprenant des atomes de aine, dans des conditions de diffusion, pendant une durée suffisante pour convertir la conductivité d'une partie du criatsl en conductivité du type P. i - 5 8 - Procédé suivant la revendication 7, caractérisé en ee qu' il consiste à former une couche d'oxyde de silicium sur le cristal à l'intérieur de la fenêtre de nitrure après la formation de la fenêtre dans la couche de masquage et avant l'exposition du cristal masqué, à une source d'impureté. 30 9 - Procédé suivant la revendication 8, caractérisé en ce que la zone du cristal définie par la fenêtre en nitrure est entièrement recouverte par l'oxyde de silicium. 10 - Procédé suivant la revendication 8, caractérisé en ce que la partie principale seulement de la zone de cristal définie 35 par la fenêtre est recouverte d'oxyde de silicium et cette petite partie est exposée directement à la source d'atomes de zinc. 11 - Procédé de fabrication d'un dispositif émetteur de lumière, caractérisé en ceq^il consiste à former une couche de masquage de diffusion sur une surface d'un cristal semi-conducteur à 40 intervalle de bande à conduction directe et de type E, la couche BAD ORIGINE 69 43526 13 2028924 de masquage étant pratiquement impermeable à une impureté du type accepteur choisie et sensible à une diffusion latérale de cette impureté le long de l'interface entre le masque et le cristal semi-conducteur, à donner une certaine configuration à la couche 5 de masquage, pour y former une ouverture étroite, ce qui met à-découvert une partie de la surface du cristal, et à exposer le cristal masqué à une source r 'impuretés sous forme de vapeur comprenant l'impureté du type accepteur choisie, dans des conditions de diffusion, pendant une durée suffisante pour convertir la con-10 ductivite d'une partie du cristal à la conductivité du type P par • la combinaison d'une diffusion directe dans la partie à découvert du cristal et d'une diffusion latérale sous la couche de masquage. 12 - Procédé suivant le revendication 11, caractérisé en ce que la couche de masquage comprend de silicium dopé au phosphore 15 et l'impureté du type accepteur choisie est du zinc. BAD ORIGINAL