FR 2010175 A1 19700213 FR 6918321 A 19690604 69 18321 ^ 2010175 La présente invention est relative.»d'une manière générale, aux traitements chimiques et plus particulièrement à des procédés et à des appareils permettant de déposer une matière à partir d'uhe vapeur ou d'un gaz sur un substrat . 5 Dans l'industrie des semi-conducteurs, il est courant de déposer de la matière à partir d'un gaz sur un substrat en vue de former divers composants électroniques .Dana certaines applications, la matière déposée à partir du gaz est la même que celle dont le substrat est formé tandis que, dans d'autres cas, 10 il s'agit d'une matière différente de celle du substrat . Pour donner un exemple du premier cas, pour assurer la croissance de silicium par des techniques de dépôt en phase vapeur, il est courant de serrer un filament en silicium allongé entre deux mandrins traversant chacun une extrémité d'un récipient en quartz 15 à l'intérieur duquel le filament est placé . Une tension est appliquée entre les mandrins en graphite pour faire passer un courant à travers le filament . La résistance du filament au passage du courant élève sa température à un niveau généralement supérieur à environ 1100°C .Un courant de gaz qui peut être gg oonstltué par un mélange de trichlorosllane et d'hydrogène est Introduit dans la chambre en quartz et, après avoir léché l'axe longitudinal du filament, ce coursait de gaz est évacué de la chambre .Le courant de gaz, en entrant en contact avec la surface très chaude du filament en silicium, réagit de manière à 25 déposer du silicium sur ce filament, ce qui augmente le diamètre de celui-cl.La réaction du trichlorosllane et de l'hydrogène peut être représentée pratiquement par la formule simplifiée suivante : SIHCI^ + Hg-^Si + 3HC1 2o On prolonge généralement la circulation de gaz à travers le cylindre de quartz ou chambre de réaction pendant plusieurs heures pour porter le diamètre du filament,qui peut être au début du dépôt de l'ordre de 6,35 mm, à plus de 25,4 mm.Lorsque la tige de silicium a atteint un diamètre désiré, l'admission ^5 du gaz est interrompue et la tige est retirée de la chambre de réaction . Généralement, la matière déposée sur le filament en silicium est polycristalllne et, par conséquent, doit être fondue par zones pour produire une matière monocristalline qui est ensuite découpée en tranches et traitée ultérieurement pour j|.Q produire des transistors, des diodes ou analogues .Selon une 69 18321 2 2010175 15 variante, la tige polycristalllne peut être fondue dans un creusât et l'on peut "tirer" une longue tige monôcristalllne de la matière fondue au moyen de l'un quelconque de toute une variété d'appareils, tels que l'appareil de CzochralskI . r- Le vase de réaction , généralement en quartz » à l'intérieur o ' duquel le dépôt s effectue, peut présenter diverses formes. .'TL peut être cylindrique, le filament étant alors monté suivant son axe . Le vase de réaction peut également être en forme de dôme, plusieurs filaments y étant alors supportés en épingle l0 à cheveux comme représenté dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique N° 3 053 638. Pour de nombreuses applications, si les branches, étalent toutes de même diamètre, cela réduirait considérablement le temps passé et les frais encourus pour la préparation de composants semi-conducteurs finis à partir des tranches de silicium. Mais, pour que les tranches puissent avoir un diamètre uniforme, la tige dans laquelle elles sont découpées doit également avoir un diamètre uniforme, ce qui exige, soit que la tige après son enlèvement du réacteur après dépôt soit uniforme, soit qu'elle 2q soit usinée, après cet enlèvement, à un diamètre uniforme. En utilisant des techniques de dépôt telles que celles qui ont été brièvement décrites ci-dessus , Il est pratiquement Impossible d'obtenir des tiges de diamètre uniforme au cours du processus de dépôt . En particulier, Il est courant que les tiges de silicium, après leur enlèvement du réacteur aient un diamètre médian sensiblement égal à 1,25 fois.le diamètre de leurs extrémités .Chaque tige doit alors être usinée pour éliminer la matière en excès entre ses extrémités, ce qui non seulement augmente les frais de production des composants seml-cônducteurs, mais encore entraîne une perte de silicium. Etant donné que, pour diverses raisons, les tiges de silicium formées daçts les réacteurs de dépôt doivent avoir un diamètre minimal, il est nécessaire de prolonger le dépôt pendant de longues durées après que la partie Intermédiaire des tiges a atteint le diamètre désiré, pour permettre aux parties de la tige voisines de ses extrémités d'atteindre elles aussi ce diamètre . En conséquence, les opérations demandent plus de temps e£ davantage de réactifs que si le dépôt pouvait être effectué dans une a.mblance conduisant à la formation d'une tige de ij.0 diamètre uniforme sur toute 1s longueur .La pureté du matë- 25 30 69 18321 5 2010175 riau fini serait en outre améliorée car l'usinage d'une tige de diamètre non uniforme Introduit nécessairement des substances contaminantes Indésirables . On pense que la création de tiges de silicium de diamètre 5 non uniforme dans plusieurs des techniques de dépôt actuellement utilisées est due au fait que la composition ou gaz à partir duquel le silicium est déposé sur le substrat change à mesure qu'un gaz se déplace le long du filament .L'extrémité du filament voisine de l'extrémité de la chambre de réaction à travers 10 laquelle le gaz est admis est exposée à un gaz présentant une première composition ou concentration, tandis que l'extrémité du filament qui se trouve à l'extrémité opposée du réacteur est exposée à un gaz d'une composition différente car une partie du gaz a réagi entre les extrémités pour déposer du silicium 5 le long du filament.Eçl outre, divers contre-courants du gaz peuvent être créés dans le réacteur au cours du dépôt , en provoquant l'exposition des gaz, pendant de plus longues périodes de temps ,à certaines parties du filament, qu'à d'autres parties de celui-ci . Dans un inase de réaction en forme de dôme présen-20 tant un diagramme d'écoulement des gaz qui détermine un flux de gaz légèrement transversal par rapport à l'axe longitudinal des filaments supportés dans le vase, comme décrit dans le brevet précité , les filaments peuvent croître avec un diamètre irrégulier, du fait que la concentration en réactifs du gaz varie le 25 long du filament et autour de sa circonférence . Des tentatives ont été faites pour éviter ces problèmes en alternant les points auxquels le gaz est Introduit dahs la chambre de réaction .Par exemple, fjendant une première période de temps donnée on Introduit le gaz à travers l'une des extrémités d'un réacteur cylln-20 clrlque et on l'évacué à travers l'autre extrémité de celui-ci, après quoi on Inverse le sens d'écoulement pendant une seconde période de temps éfeale à la première . Toutefois, cette technique ne résout pas le problème car les tiges de silicium résultantes continuent à avoir uh diamètre non uniforme, ce qui exige 25 leur usinage avant leur fusion par zone et leur découpage en tranches , Le procédé suivant l'invention peut être décrit dans ses grandes lignes comme étant un procédé perfectionné de croissance de tiges de matière par dépôt de matière sur un filament allon-40 gé à partir d'un gaz circulant de manière à lécher le filament . 69 18321 4 2010175 Le procédé comprend les opérations consistant à suspendre le filament à l'intérieur de l'enceinte et à diriger le gaz vers le filament dans une direction transversale à i'axe longitudinal de celui-ci, avec ub débit relativement uniforme sur toute 5 la longueur du filament .Pendant le passage du gaz sur le filament, on. fait tourner celui-ci de façon que tous les points de sa surface soient uniformément exposés au gaz .. L'appareil suivant l'invention peut être brièvement décrit comme étant un appareil capable d'assurer la croissance de tl-10 ges de matière par dépôt sur un filament allongé à partir d'un gaz qu'on fait circuler de façon qu'il lèche le filament; cet appareil comprend une chambre de réaction comportant des panneaux avant et arrière parallèles foramlnés, c'est-à-dire poreux ou ajourés, à travers lesquels et entre lesquels peut passer un 15 gaz . Un collecteur est disposé au-dessus du panneau foramlné avant pour répartir d'une manière uniforme un gaz qui est admis sur la surface de ce panneau . Des mandrins pénètrent partiellement dans la chambre de réaction, en position relative d'alignement, de façon qu'un filament allongé puisse être reçu entre 20 eux et ces mandrins sont montés de manière à pouvoir tourner par rapport à la chambre de façon qu.'on puisse faire tourner le filament en maintenant l'axe longitudinal de celui-ci parallèle au panneau avant . Des moyens sont prévus pour faire tourner au moins l'un des mandrins, et avec lui le filament, par rapport à la 25 chambre de réaction. L'appareil comprend également de préférence un panneau arrière foramlné qui est muni d'un collecteur de façon que la pression appliquée à ce panneau arrière soit suffisamment uniforme sur toute sa surface . D'autres caractéristiques de l'invention apparaîtront au 30 cours de la description qui va suivre . Aux dessins annexés donnés uniquement à titre d'exemple : la Flg.l est une vue en perspective avec arrachement partiel d^un mode de réalisation de l'appareil suivant l'invention; . la FIg. 2 est- une vue en coupe verticale de l'appareil re-35 présenté sur la Fig, 1; la FIg.3 est une vue en coupe suivant la ligne 3-3 de la £16.2 ; la FIg.4 est une vue en plan de dessous de l'appareil représenté sur les FIg.1,2 et 3 ; 40 la FIg..5 est une vue en coupe transversale partielle d'élec trodes et d'un filament supporté par elles . 69 18321 5 2010175 L'invention vise notamment un procédé de croissance de tiges d'une matière telle que du silicium, qui permet d'assurer la croissance de tiges de diamètre uniforme sur toute leur longueur , ce qui élimine la nécessité d'usiner des tiges de dla-5 mètre non uniforme . Un appareil convenant pour le dépôt à partir d'un gaz sur un filament en vue de l'obtention de tiges de diamètre uniforme est réprésenté sur les FIg.1-5,auxquelles on va s* référer maintenant . On va tout d'abord examiner la Fig.l sur laquelle une cham-10 bre de réaction désignée dans son ensemble par la référence 10 comprend des panneaux avant et arrière foramlnés parallèles 11 et 12 qui sont assemblés par leurs bords latéraux avec des panneaux latéraux 13 et 14 et par leurs extrémités avec des plaques supérieure et Inférieur seule la plaque supérieure 15 étant re-15 présentée sur -1a Fig.l. Les panneaux foramlnés 11 et 12,les panneaux latéraux 13 et 14, la plaque supérieure 15 eit la plaque: If^-férieure sont de préférence en quartz.Êes trous 16 des panneaux avant et arrière foramlnés 11 et 12 ont de préférence un diamètre d'environ 3,2 mm. La chambre de réaction 10 est revêtue d'une 20 càfceqfctsemétallique, désignée dans son ensemble par la référence générale 17 . La chemise 17 forme> au-dessus des panneaux foramlnés avant et arrière 11 et 12, des collecteurs 18 et 19. Ces collecteurs 18 et 19 sont munis de tubulures.21 et 22, respectivement . Comme représenté en particulier sur la FIg.3, les col-25 lecteurs 1$ et 19 forment avec lts panneaux foramlnés avant et arrière 11 et 12, respectivement, des chambres 23 et 24. Entre la plaque latérale 25 de la chemise 17 et la plaque latérale 14 de la chambre de réaction 10 est disposé un serpentin de refroldlsséwsat 27, dont certaines spires sont également dls- 30 poséés entre la plaque supérieure 28 et la chemise 17 et la plaque supérieure 15 de la chambre de réaction 10.Le serpentin 27 s'étend également le long du côté opposé et de l'extrémité opposée de l'appareil . Plus précisément, le serpentin 27 passe entre la plaque latérale 26 de la chemise 17 et la plaque laté-35 raie 13 du réacteur 10 et, comme représenté partiellement sur la FIg.5, Il passe en outre entre la plaque inférieure 29 de la chemise 17 et la plaque Inférieure 20 de la chambre de réaction 10.Le serpentin 27 est muni de tubulures d'admission et d'évacuation 31 et 32, respectivement -, par l'intermédiaire desquelles ^0 on peut faire circuler dans ce serpentin un fluide de refroidis 69 18321 6 2010175 sement tel que de l'eau pour refroidir les plaques latérales 13 et 14 et les plaques supérieure et Inférieure 15 et 20 de la chambre de réaction 10. Dans l'exemple considéré sur la FIg.3, plusieurs filaments 5 allongés 33 sont supportés à l'intérieur de la chambre de réaction 10 parallèlement *ux panneaux foramlnés 11 et 12. Les filaments 33 sont supportés dans la chambre de réaction 10 par un jeu de mandrins supérieurs 34 alignés chacun avec un mandrin inférieur 35 correspondant .En se référant à Ifca FIg.5, qui re-1° présente l'un des mandrins inférieurs 35 et la manière dont il est monté à l'intérieur de l'appareil de la Fig.l, on peut voir que chacun des mandrins 35, qui peut être en graphite ou autre matériau, traverse la plaque Inférieure 29 de la chemise 17 et la plaque Inférieure 20 de la chambre de réaçtioii 10. Les man-15 drlns 35 sont montés de manière à pouvoir tourner par rapport à la chemise 11 et à la chambre de réaction 10, grâce à un palier annulaire -36 qui entoure un manchon isolant 37 en TéfIon entourant lui-même une partie du mandrin 35.Chacun des mandrins 35 présente un évidement carré 38 qui reçoit l'extrémité carrée 20 29 du filament 33, de façon que toute rotation du mandrin 35 entraîne une rotation du filament 35. L'extrémité opposée 4l du filament 33 est égalemefat pourvue d'épaulements carrés destinés à s'engager dans l'évidement carré 42 da mandrin supérieur 34 correspondant .Les mandrins 34 et 35 sont espacés d'une distance 25 suffisante „ pour laisser subsister à l'intérieur de l'évldement 42 un espace permettant au filament 33 de se dilater en direction longitudinale lorsqu'il s'échauffe . Pour permettre la rotation dés mandrins en graphite 35, chacun d'eux est muni d'un pignon annulaire 43 en TéfIon chargé, emmanché à force autour 30 du manchon 37• Comme représenté en particulier sur la FIg.4, chacun des pignons annulaires 43 montés sur les mandrins 35 est en prise avec un autre pignon 43 voisin, de sorte qu'une rotation d'un pignon menant 44 provoque une rotation simultanée dés pignons 35 43 par l'intermédiaire d'un pignon d'accouplement 45 en prise avec l'un des pignons -43 et avec le pignon menant 44. Dans l'exemple représenté sur la Fig.îv le pignon menant 44 est entraîné par un ensemble classique 46 comprenant un moteur électrique et un réducteur . 40 Pour permettre l'application d'un courant électrique à cha- 69 18321 eun des filaments 33, chacun des mandrins 35 présente une partie 47 de plus grand diamètre qui forme une surface clrconférentielle biseautée supérieure 48 et ûne surface clrconférentielle biseau -tée Inférieure 49. Une électrode, désignée dans son ensemble par 5 lê référence générale 51, enserre la partie 47 du mandrin en graphite 35. L'électrode 51 comprend une bague supérieure 52 présentant, à sa périphérie Interne, une surface 53 radialement chan-freinée qui épouse la surface clrconférentielle biseautée supérieure 48 .L'électrode 51 comprend également une bague Inférieure 10 55 présentant, à sa périphérie Interne, une surface radialement chaçifreinée 56 qui s'applique contre la surface clrconférentielle biseautée Inférieure 49 du mandrin 35. La bague supérieure 52 et la bague Inférieure 55 sont maintenues appliquées l'une contre l'autre et sont supportées par une douille de montage 57. 15 La douille de montage 57 est munie d'un moyen de réglage classique (non représenté) , qui permet de la dilater ou de la comprimer radialement .La douille 57 est en outre munie d'un raccord 58 permettant le branchement d'un câble électrique 59 - Dans l'exemple représenté sur la FIg.5, la surface clrcon-20 férentlelle supérieure 48 et la surface radialement efeanfrelnée 53 font avec l'axe du mandrin 35 un angle plus petit que celui que font la surface clrconférentielle Inférieure 49 et la surface radialement chanfreinée 56 avec le même axe .En conséquence, lorsque les bagues 52 et 55 sont radialement comprimées par la 25 douille de montage 57, la bague Inférieure-exerce vers le haut sur la surface biseautée 49 une force résultante plus grande que celle que la bague 52 exerce vers le bas sur la surface 48. La force résultante globàle orientée de bas en haut tend à maintenir le mandrin 35 dans la position représentée sur la FIg.5 et, par 30 conséquent, assure le maintien d'un joint hermétique efficace entre le manchon 37 et la plaque Inférieure 20 du réacteur 10. La structure de l'extrémité supérieure de l'appareil représenté sur la Fig.l est Identique à la structure de sa base .mais, bien entendu, elle est orientée dans une direction différente . 35 Plus précisément, chacun des mandrins en graphite 34 qui, comme les mandrins 35, sont sollicités vers l'intérieur par les électrodes qui y sont fixées , est monté sur l'un d'une série de pignons annulaires 6l qui, comme représenté sur la FIg.2, engrènent entre eux comme les pignons 43 et sont entraînés par un 40 pignon d'accouplement 62 monté sur un arbre 63 qui porte égale2010175 18321 8 2010175 ment le pignon d'accouplement 45. Les pignons d'accouplement 62 et 45 ont le même diamètre que les pignons 6l et 4j de sorte que les mandrins 34 et 35 tournent à la même vitesse .Chacun des mandrins supérieurs 34 est en outre électriquement connecté , par l'intermédiaire d'une électrode 64, à l'un des câbles électriques 65, .et les mandrins inférieurs 35 sont en contact chacun, par l'intermédiaire d'une électrode 51, ^vec l'un des câbles 59* Les jeux alignés de mandrins 34 et 35 sont connectés, par l'intermédiaire des électrodes respectives 64 et 51, à une source d'énergie électrique commune de sorte que, pratiquement, un même passage de courant est établi à travers chacun des filaments 33 à l'intérieur de la chambre de réaction 10. En fonctionnement, l'appareil décrit ci-dessus peut être utilisé pour mettre en oeuvre le procédé suivant l'invention . Elus précisément , les filaments en silicium 33 peuvent être disposés entre les mandrins en graphite 34 et 35 en retirant 1'entretoise ( non représentée) qui supporte les électrodes Inférieures 51 pour permettre de retirer le mandrin en graphite 34 de l'appareil 10. Les filaments en silicium 33 sont ensuite insérés dans les mandrins 35 puis ceux-ci sont remis en place dans l'appareil .Un opérateur peut s'assurer que les filaments 33 sont bien engagés;dans les mandrins supérieurs 34 en observant les-dlts filaments , pendant leur Insertion , à travers un voyant en quartz transparent J>0 prévu dans la plaque latérale 25 de la chemise 17. Une fois que les filaments sont insérés et que 1'entretoise supportant les électrodes 51 a été remise en place ,1a chambre de réaction 10 est balayée avec de l'azote puis avec de l'hydrogène admis dans le distributeur 18 par les tubulures 21. L'hydrogène pénétrant dans ies tubulûres 21 est réparti à l'intérieur &e la chambre 23 formée par le distributeur 18 , après".quoi il traverse les trous 17 du panneau foramlné 11,transversalement aux filaments 33. Le gaz sort ensuite par les trous 16 du panneau foramlné arrière 12 et quitte la chambre 24 formée par. le collecteur 19 derrière le panneau arrière 12, par la tubulure 22. Après le balayage de la chambre de réaction 10 à l'hydrogène, la température du filament 3,3 est élevée au niveau désiré, par exemple 1100°C , si le filament est en silicium, en appliquant une tension entre les électrodes supérieures 64 et les électrodes Inférieures 51. Lorsque les filaments 33 ont atteint la température désirée , on fait circuler un fïix gazeux 18321 9 2010175 contenant des réactifs et:'qui est admis par l'intermédiaire des tubulures 21. Si le filament est en silicium , par exemple ,on peut admettre un mélange de trichlorosllane et d'hydrogène dans un rapport de 5/95 ( en volume) , dans les tubulures 21. Dans 5 la chambre 23, le gaz est distribué sur le panneau foramlné 11 pour maintenir une pression suffisamment uniforme sur toute la face de ce panneau de façon que le gaz traversant les trous 16 circule avec un débit sensiblement uniforme en exposant ainsi chacun des filaments 33 à peu près à la même quantité de gaz sur. 10 toute $a longueur . Le gaz, du fait qu'il traverse la chambre de réaction 10 transversalement à l'axe longitudinal de chacun des filaments 33, lèche toute la longueur de ceux-ci avec une même concentration, ce qui évite la création dans les filaments de tronçons de plus grand diamètre que le reste .Le gaz qui, comme 15 précédemment décrit, peut être du trichlorosllane et de l'hydrogène, réagit dans la chambre de réaction 10 en déposant du silicium sur les filaments 33 et, après cette réaction, il est évacué à travers le panneau foramlné arrière 12 dans la chambre 24 d'où il sort par les tubulures 22. Grâce à la présence du collecteur 20 19* la pression du gaz sur le panneau foramlné arrière 12 este sensiblement le même eh tous les points de celui-ci,,qe qui évite une canalisation du flux de gaz à travers la chambre de réaction 10 et ce qui assure que toute la longueur de chacun des filaments 33 est exposée à une quantité sensiblement uniforme d'un 25 gaz d'une concentration à peu près constante . Pour assurer une croissance uniforme des filaments 33,ceux-ci sont entraînés en rotation sous l'éction de l'ensemble moteur-réducteur 46, qui les fait tourner à un tour par minute ou moins dans la plupart des applications .Etant donné que les filaments 30 peuvent devenir très plastiques sous l'influence des températures ëlevées, les engrenages assurent l'application d'un couple de rotation uniforme et simultané aux deux extrémités des filaments 33, ce qui réduit au minimum les contraintes qui seraient créées par la rotation si l'on n'appliquait le couple qu'à l'une des ex-35 trémités des filaments . Une fols que la quantité désirée de matière a été déposée sur le filament 35, ce qui peut être vérifié par une Inspection à travers les voyants 30, la circulation du gaz peut être Interrompue et les tiges de matière peuvent être retirées dans 40 l'ordre Inverse de l'ordre d'installation des filaments 33. 69 18321 10 2010175 Grâce à l'invention, il est possible d'assurer la croissance de tiges de diamètre uniforme sur toute leur longueur, ce qui évite les problèmes posés par' la nécessité d'usiner la matière en excès sur des tiges de diamètre non uniforme . 5 L'invention peut être utilisée pour la croissance de di verses matières comprenant du silicium ou du germanium monocristallins ou polycrlstallins,. ou pour la formation de couches épltaxlales de diverses matières sur des substrats en matières différentes . Divers types de panneaux foramlnés peuvent être 10 utilisés pour répartir le flux des gaz uniformément, y compris du quartz fritté'^et l'expression "foramlnés" couvre aussi, notamment, diverses matières poreuses à travers lesquelles on peut faire passer le gaz •. 69 18321 ii 2010175 REVENDICATIONS 1-Appareil pour assurer la croissance d'une tige d'une matière déterminée par dépôt sur un filament allongé à partir d'un gaz qu'on fait circuler sur cet élément, cet appareil com- 5 prenant une chambre de réaction, une paire de mandrins montés sur cette chambre en étant alignés et espacés de manière à pouvoir recevoir respectivement et d'une manière fixe les extrémités opposées d'un filament allongé destiné à être monté dans la chambre de manière à s'étendre entre les mandrins, la 10 chambre comportant une admission permettant d'y introduire un gaz contenant la matière à déposer de façon à exposer le filament allongé à ce gaz afin de provoquer le dépôt 4e ladite matière sur le filament à partir du gaz, et la chambre comportant en outre ube évacuation à travers laquelle le gaz peut être 15 évacué de la chambre, ledit appareil étant caractérisé en ce que les mandrins sont montés de manière à pouvoir tourner par rapport à la chambre, un mécanisme étant prévu pour entraîner en rotation au moins l'un des mandrins de manière à Imprimer une rotation à la paire de mandrins et au filament qui s'étend entre 20 ceux-ci pour exposer d'une manière plus "uniforme le filament au gaz Introduit dans la chambre, afin de réaliser une plus grande uniformité du diamètre de la tige produite par croissance par le dépôt de matière sur le filament à partir du gaz . 2-Appareil suivant la revendication 1, dans lequel plusieurs 25 paires de mandrins disposés en alignement et espacés sont montés sur la chambre, chaque paire de mandrins étant adaptée pour recevoir respectivement et d'une manière fixe les extrémités opposées d'un filament allongé de façon à monter plusieurs filaments dans la chambre d'une manière connue en sol, ledit ap- 30 pareil étant caractérisé en ce que chacun des mandrins est monté de façon à pouvoir tourner par rapport à la chambre, le mécanisme d'entraînement étant commun aux diverses paires de mandrins et entraînant en rotation au moins l'un des mandrins de chaque paire de manière à Imprimer unexrotation uniforme à chacune des dlver- 35 ses paires de mandrin^t à chacun des filaments s'étendant respectivement entre ces mandrins . 3-Apparell suivant la revendication 2, caractérisé ®n ce que la chambre de réaction comporte des panneaux foraminés avant et arrière parallèles espacéz à travers lesquels et entre lesquels 40 le gaz peut passer, un collecteur avant disposé au-dessus du 69 18321 -12 2010175 panneau foramlné avant et, contenant l'admission de la chambre, pour répartir uniformément le gaz admis sur toute la surface du panneau foramlné avant, et un collecteur arrière disposé au-dessus du panneau foramlné arrière et contenant l'évacuation de 5 la chambre pour maintenir une pression sensiblement uniforme sur le panneau foramlné arrière lorsque le gaz traverse celui-ci. 4-Appareil suivant la revendication 3, caractérisé en ce que les diverses paires de mandrins sont disposées sur la cham- 10 bre de manière à maintenir les filaments respectifs reçus par ces mandrins de façon que l'axe longitudinal de chacun des filaments reste parallèle aux panneaux foramlnés avant et arrière . 5-Apparell suivant l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que 3_e mécanisme d'entraînement 15 est construit de manière à entraîner en rotation tous les mandrins simultanément afin de réduire au minimum les contraintes créées dans le ou les filaments au cours de sa ou de leur rotation. 6-Appareil suivant l'une quelconque des revendications pré-20 cédentes, caractérisé en ce que chacun des mandrins est' de forme générale cylindrique, l'une de ses extrémités faisant saillie à l'extérieur de la chambre et présentant une partie de plus grand diamètre qui forme une surface supérieure et une surface inférieure, une électrode fixe/en contact avec chacun des man- 25 drlns et comprenant une bague supérieure qui présente, sur sa périphérie interne, une surface radialement chanfreinée,ladite bague supérieure entourant la partie de plus grand diamètre de l'extrémité précitée mandrin correspondant,tandis que la surface radialement chanfreinée prévue à la périphérie inférieure 30 de la bague supérieure épouse la surface supérieure de la partie de plus grand diamètre de l'extrémité précitée du mandrin, une bague Inférieure présentant sur sa périphérie Interne une surface radialement chanfreinée, ladite bague inférieure étant contlguë à la bague supérieure et entourant }a partie de plus 35 grand diamètre de l'extrémité précitée du mandrin tandis que la surface radialement chanfreinée prévue à la périphérie de la bague inférieure épouse la surface inférieure de la partie de plus grand diamètre de l'extrémité précitée du mandrin, cha --cune des électrodes pouvant être connectée à une source d'éner-40 gie électrique de façon qu'une tension • - soit appliquée entre 69 18321 13 2010175 les mandrins des paires respectives pour provoquer le passage d'un courant électrique à travers le ou les filaments, de manière à le ou à les chauffer afin de provoquer un dépôt de matière sur ce ou ces filaments à partir du gaz Introduit dans la 5 chambre . 7-AappareIl suivant la revendication 6, caractérisé en ce que la bague Inférieure de chaque électrode fait, avec la surface Inférieure, de la partie de plus grand diamètre de l'extrémité précitée du mandrin correspondant, un premier angle, tandis 10 que la bague supérieure de chaque électrode fait, avec la surface supérieure de la partie de plus grand diamètre de ladite extré -mité du mandrin correspondant, un second angle différent dû premier, de sorte qu'une compression radiale des bagues supérieure et Inférieure de chaque électrode crée une force tendant à dé-15 placer le mandrin respectif correspondant vers l'intérieur par rapport à la chambre . 8-Procédé pour la croissance d'une tige d'une matière déterminée par dépôt de matière sur un filament allongé à partir d'un gaz qu'on fait circuler sur ce filament en utilisant l'ap- 20 pareil suivant la revendication 1, ledit procédé étatit caractérisé en ce que l'on suspend le filament à l'intérieur d'une chambre de réaction , on dirige du gaz contenant la matière à déposer sur le filament dans une direction transversale par rapport à l'axe longitudinal de cet élément avec un débit relati-25 vement uniforme sur toute sa longueur et on fait tourner le filament de £9Q0n que tous les points de sa surface soient uniformément exposés au gaz . 9-Procédé suivant la revendication 8, caractérisé en ce que la rotation du filament est obtenue en Imprimant un couple de 30 rotation simultané aux deux extrémités du filament de manière à réduire au minimum la création de contraintes dans le filament . 10-Procédé suivant la revendication 8 ou 9, caractérisé en ce qu'on dirige le gaz vers le filament en l'introduisant 55 initialement dans un premier collecteur de la chambre de réaction pour le distribuer à l'intérieur du collecteur et maintenir ainsi une pfcesslon sensiblement uniforme dans ce pre&ier collecteur, puis en faisant passer le gaz, à partir du premier collecteur, à travers un premier panneau foramlné disposé parallè-40 lement à l'axe longitudinal du filament de manière à diriger le 18321 2010175 gaz transversalement à cet* axe et d'une manière uniforme sur toute la longueur du filament . 11-Procédé suivant la revendication 10, caractérisé en ce qu'on fait passer le gaz, après que le filament a été exposé à 5 celui-ci, à travers un second panneau foramlné disposé parallèlement à- l'axe longitudinal du filament, puis on dirige le gaz traversant le second panneau foramlné dans un second collecteur de la chambre- de réaction, de manière à maintenir une pression sensiblement uniforme sur toute la surface du second panneau fo-10 raminé .