FR 2011431 A1 19700227 FR 6920810 A 19690620 69 2081Ô • i 2011431 La pré-sente invention concerne un dispositif "ser!,'i cor ..•acteur ayant u:i corps semiconducteur cui comprend des réfions ccnductrices àjélectrode, une sur-race en substance plane du cjtcs précité- étant r-ourvue d'une couche isolante recouverte par i:r. eon-5 t ri et à plusieurs parties appelées ci-après doigts, ainsi qu'"".e partie commune à tous les doigts, chaque chemin reliant un doirt à la partie commune contenant une résistance série tandis que- les doigts font contact au moins avec une région d'électrode au travers d'ouvertures pratiquées dans la couche isolante, les résistances 10 précitées et la partie commune précitée étant espacées par rapport à la ou aux régions d'électrode. On utilise'fréquemment des contacts à doigts dans des dispositifs semiconducteurs. Par exemple, dans des circuits intégrés où deux ou plusieurs circuits se rejoignent en un point cc:r-15 mun, il peut être souhaitable d'inclure une résistance série dans -chaque circuit, ces résistances série ayant toutes des valeurs égales ou au moins des valeurs d'un même ordre de grandeur pour ces rai-sons de symétrie. Par exemple,, les résistances série peuvent servir à assurer une répartition de courant satisfaisante entre 20 plusieurs diodes ou transistors connectés en parallèle.. Le brevet anglais numéro 1.044-469 décrit un transistor à émetteurs multiples ayant des contacts d'émetteur et de base qui ont la forme de doigts entrecroisés ou imbriqués , les doigts du contact d'émetteur étant reliés à une partie commune de ce 25 contact par l'intermédiaire de résistances série. Dans les dispositifs connus, l'adjonction des résistances série exige des opérations photolithographiques supplémentaires parmi lesquelles un alignement très précis d'un cache pour délimiter les bords latéraux des résistances série, suivi d'une opéra-30 tion de décapage critique. A cause des difficultés rencontrées, ces opérations entraînent- beaucoup de rebuts. La présente invention a pour but de procurer un dispositif semiconducteur du genre décrit dans le préambule cui puisse être fabriqué de façon simple et avec un rendement élevé. L'in-35 vention est basée sur la constatation cm'il n'est pas nécessaire que les résistances série soient électriquement isolées les unes des autres mais qu'on peut utiliser une couche résistive continue et qu'en outre, l'utilisation d'une couche résistive continue permet de supprimer l'opération d'alignement de grande précision 40 précitée. BAD ORIGINAL 69 20810 2 • 2011431 Selon lf? présente invention, un dispositif seiriconducteur ■du genre .décrit dans le préambule, est caractérisé en ce -qu'au noins une partie des résistances série fait partie d'une seule couche résistive continue. 5 Un tel dispositif semiconducteur corprend un contr-ct ayant des résistances série et pouvant être fabriqué de façon sir— pie, la fabrication des résistances n'exigeant aucune opération cri-tioize supplémentaire parce que les dimensions dans une directicn perpendiculaire au sens de l'épaisseur de la couche résistive n'ont 10 en substance aucune influence sur la valeur des résistances. .Les facteurs qui déterminent la valeur des résistances sont-, entre autres, à côté des paramètres classiques consistant en la résistance spécifique et l'épaisseur de la couche résistive, principalement la distance entre les doigts et la partie commune du contact, cette 15 distance ne dépendant pas d'une opération d'alignement mais étant déterminée par le cache au moyen duquel on détermine simultanément les bords des doigts et de la partie commune. 11 faut-remarquer que le brevet anglais numéro I.O44..A69 décrit aussi un transistor ayant un contact d'émetteur comprenant 20 des résistances série, une seule couche résistive continue étant utilisée pour former les résistances série. Cependant, dans le cas de ce transistor, les résistances série ne se trouvent pas dans les chemins reliant les doigts à la partie commune du contact, mais, au contraire, le contact d'émetteur consiste en un motif métallique 25 continu recouvrant une couche résistive qui est déposée sur.une couche isolante et dans les ouvertures pratiouc.es, la couche -résis-tive étant entièrement recouverte par le motif métallique. .Comme la couche résistive n'est connectée qu'à la région d'énettèur sous-jacente, la couche résistive constitue une résistance série entre 30 1s région d'émetteur et le motif métallique du contact, le courant qui traverse la couche résistive se déplaçant dans le sens de ,1'épaisseur de cette couche. Cette forme de résistances série décrite dans le brevet anglais précité ne convient pas également à tous les cas d'appîi-35 cation. Par exemple, dans le cas de régions d'émetteur ou de régions partielles d'émetteur ayant des surfaces relativement grandes, cette configuration peut avoir pour résultat qu'une couche résistive a une épaisseur inadmissiblement grande et ceci peut même être le cas de régions d'émetteur plus.petites lorsqu'on 4.0 désire disposer d'une résistance série relativement grande. BAD ORIGINAL 69 20810 3 2011431 La présente invention est d'application particulièrement intéressante d-?ns le cas de transistors. Comme on le "sait,-dans les transistors, en particulier les tr.-.nsistors de puissance à haute fréquence, des résistances série sont souvent incluses 5 dans le contact d'émetteur, entre autres à titre de protection contre une seconde disruption. Le. dimension et les espacements des doigts du contact et les valeurs des résistances série comprises, par exemple, dans la gamme des quelques dixièmes d'ohm à plusieurs ohms, sont généralement tels que le cache utilisé pour délimiter 10 les bords des différentes résistances doit être aligné avec une grande précision. En utilisant l'invention, on dispose d'un moyen de fabrication considérablement simplifié et .me forme d'exécution importante d'un dispositif semiconducteur selon la présente invention est caractérisée en ce que le contact en question est le con-15 tact d'émetteur d'un transistor. La couche résistive peut consister en une région en forme de couche recouvrant la couche isol?nte. Une telle couche peut, par exemple, être en titane, tantale, aluminium ou un alliage nickel-chrome. 20 Dans une autre forme d'exécution importante du disposi tif semiconducteur selon la présente invention, la valeur de résistance dans la couche résistive entre deux doigts adjacents est au moins écale à la valeur de résistance dans la couche résistive entre n'importe quel doigt et la partie du contact comrune à tous 25 les doigts. Ceci permet d'obtenir une répartition satisfaisante du courant entre les différents doigts. Dans une autre forme d'exécution importante du dispositif sericonducteur selon la présente invention, la couche résistive est une région de surface du corps semiconducteur voisine de 30 la surface et séparée de la partie adjacente du corps semiconducteur par une jonction p-n. Une telle région superficielle est obtenue, de préférence, par un processus de diffusion au cours duquel la profondeur de diffusion de la concentration en impuretés sont entièrement ré— 35 glées de manière à obtenir la valeur de résistance désirée.L'uti-lisation de la présente invention n'introduit aucune opération d'alignement précise même dans le cas de cette diffusion. Lorsqu'on utilise des résistances série obtenues par diffusion, des opérations d'alignement précises peuvent aussi être 40 évitées en effectuant l'opération de diffusion de manière à fabri- BAD ORIGINAL 69 20810 2011431 cmer des ré si starces en même temps qu'une ou plusieurs op-'rétions de diffusion nécessaires peur fabriquer un corw-ocp-nt de circuît, pur exemrie le composant de circuit avec lenuel les résistances doivent venir en contact. Par exemple, lorsqu'on fabri eue ur 5 transistor, les résistances série peuvent être fabriquées en même te-vDs que l'émetteur et/ou là base aussi obtenue par diffusion. Cr-mme, dans un transistor, les résistances série sont Ff'noralement entourées dans le corps semiconducteur par une région faisant partie de la région de collecteur du transistor, l'Isolement requis 10 pour les résistances série a pour conséquence que l'on désire utiliser la diffusion de la base peur produire ces résistances. D'autre part, comme on désire avoir une faible valeur de résistance pour les résistances série, on désire utiliser la diffusion de l'émetteur. En pratique, il est intéressant d'utiliser une combi-15 naison de ces deux diffusions, la résistance proprement dite étant constituée par une région de surface qui a été obtenue en mène temps que la région d'émetteur et qui, afin de l'isoler, est entourée par une autre région de surface oui a été obtenue en même temps que la région de base. Afin d'éviter un effet de trans"'stor 20 indésirable à cause de la "jonction érr.etteur-base", cette jonction est, de préférence, court-circuitee. Pour des raisons qui ne sont pas claires, cette fabrication de résistances par double diffusion n'a pas encore été pratiquée jusqu'ici pour placer des résistances série entre les doigts 25 de, par exemple,- le contact d'émetteur d'un transistor. Dans certains cas,la raison peut être un manque .de place, par exemple lorsque l'espacement entre doigts est trop faible pour pouvoir inclure une résistance série à double diffusion entre les différents doigts; en effet, les résistances série comprennent chacune 30 deux régions de surface et deux jonctions p-n qui aboutissent à la surface du semiconducteur, la largeur d'une résistance série pouvant dépasser considérablement celle disponible entre deux doigts. L'invention permet d'écarter cet inconvénient et une aufcreNforme d'exécution du dispositif semiconducteur selon la pré-35 sente invention est caractérisée en ce que la couche résistive se compose de deux régions, la première-région étant une région de surf.-ice qui, à l'intérieur du corps semiconductsur, est entièrement entourée par la deuxième région, la deuxième région formant une jonction p-n avec la région de surface et une jonction p-n 40 avec la partie du corps semiconducteur voisine de la deuxième BAD 69 20810 5 2011431 région, la jonction p-n entre la région de surface et la deuxième région étant, de préférence, court-circuitee. Les deux régions de la couche résistive peuvent être formées en même texps que d'autres régions à former, par exemple 5 les régions d'un transistor. En outre, dans le. cas considère, il ne faut pas de jonction p-n aboutissant à la surface entre résistances série adjacentes, de sorte que cette forme d'exécution convient aussi pour des contacts ayant un faible espacement entre doigts. 10 Dans une autre forme d'exécution de l'invention, la région de surface est subdivisée en plusieurs sous-régions, la jonction p-n entre chaque sous-région et la deuxième région étant court-circuitée. Dans le cas d'une couche résistive à double diffusion ayant cette forme, la valeur de résistance dans la couche 15 résistive entre doigts voisins est principalement déterminée p*r la partie de la deuxième région située entre ces doigts, parce que la résistance par unité de surface de la seconde région est habituellement notablement plus grande que celle des sous-régions- Il s'ensuit que cette résistance entre doigts voisins peut facilement 20 avoir une valeur au moins égale à celle de la résistance entre chacun des doigts d'une part et la partie comnune du contact. On remarquera aussi au sujet de ce qui précède que la jonction p-n entre chacune des sous-régions et la deuxième zone est prévue, de préférence, du côté des sous-régions dirigé vers 25 la partie commune du contact. Dans ce cas, non seulement les sous-régions peuvent être mises en contact avec la partie commune du contact via une fenêtre de contact commune mais, en outre, le sens d'écoulement du courant dans les sous-régions est tel que la jonction p-n entre sous-régions et la deuxième zone à une certaine 30 distance du court-circuitage est polarisée dans le sens inverse, de sorte que la résistance entre doigts voisins est extrêmement élevée. On peut utiliser avantageusement une couche résistive fortement al.longée comportant deux bords opposés, un des bords 35 étant relir' à la couche résistive par un certain nombre de doigts tandis oue la couche résistive est pratiquement en contact de façon continue avec la partie commune du contact sur toute la longueur du bord opposé. Une telle couche résistive allongée peut . avoir, par exemple, une forme rectangulaire ou annulaire. U0 De cette manière, on obtient que les résistances série BAD ORIGINAL 69 20810 6 2011431 entre chacun dos doigts et-la partie corcnnne- du contact présentant une vnleur de résistance pratiquement égale, ce qui permet.d'obtenir une bonne répartition du courant parmi l'-s différents doigts. Il est évident que, dans le cas décrit ci-dessus d'une 5 couche résistive allongée, la partie commune du contact aura généralement aussi une forme allongée de sorte que la distance entre l'endroit de fixation du conducteur destiné à être fixé à la partie commune et les différents doigts n'est généralement pas la même. En outre, la résistance par unité de surface de la couche 10 d'électrode, qui constitue la partie commune, est généralement plus faible que celle de la couche résistive, de sorte que les chemins de courant qui vont de l'endroit de fixation, aux doigts couvrent une distance aussi grande que possible dans la partie commune. La différence de longueur de ces chemins de courant dans la partie 15 commune du contact a pour conséquence qu'il y a une différence entre les résistances .série des différents doigts, ce qui peut influencer défavorablement la répartition du courant. Cette différence dans les résistances série peut être diminuée ou même supprimée de différentes manières, par exemple en 20 utilisant une partie commune de contact d'une épaisseur progressivement variable. Ou bien, la concentration en impuretés et/ou la profondeur de diffusion d'une couche résistive obtenue par diffusion ou l'épaisseur de la couche résistive recouvrant la couche isolante peut être différente d'un endroit à l'autre. 25 Cependant, une forme d'exécution importante du disposi tif semiconducteur selon la présente invention dans laquelle la partie commune du contact est pourvue d'un conducteur de conniexion, est caractérisée en ce que la couche résistive est. en substance une couche homogène, la plus courte distance entre un doigt et 30 la partie commune du contact étant plus grande pour un doigt voisin du point de fixation de ce conducteur de connexion fixé à la partie corn: une que pour un doigt plus éloigné de ce point de fixation. Un tel contact dans lecuel la résistance série entre 35 le point de fixation et les doigts peut facilement être rendue en substance ér.ale pour les différents doigts, peut.se fabriquer d'une façon très simple. L'invention est décrite plus en détail ci-après avec référence à certaines formes, d'exécution de l'invention repré-40 sentées aux dessins annexés, dans lesquels: BAD ORIGINAL 69 20810 7 2011431 La figure 1 est une vue schématique en plan prise de dessus d'une forme d'exécution d'un dispositif semiconducteur selon la présente invention. La figure 2 est une coupe transversale schématique ce ce 5 dispositif semiconducteur, la coupe étant faite suivant la ligne 11-11 de la figure 1. La figure 3 est une vue schématique en plan prise de dessus d'une partie d'une autre forme d'exécution du dispositif semiconducteur selon la présente invention. 10 La figure 4 est 13116 coupe schématique transversale de ce deuxième semiconducteur, la coupe étant faite suivant la ligne 1V-1V de la figure 3. La figure 5 est une vue schématique en plan prise de dessus d'une autre forme d'exécution du dispositif semiconducteur selon 15 la présente invention, et La figure 6 est une coupe transversale schématique de ce dispositif semiconducteur, la coupe étant faite suivant la ligne VI-VI de la figure 5. Le dispositif semiconducteur représenté aux figures 1 20 et 2 comprend un corps semiconducteur l.une surface en substance plane 2 qui est recouverte d'une couche isolante 3 sur laquelle se trouve un contact 4, 5 se composant de plusieurs parties 5 appelées ci-après doigts, ainsi que d'une partie 4 commune à tous les doigts 5, le chemin reliant chaque doigt 5 à la partie commune 4 25 comprenant une résistance série et les doigts 5 faisant contact-ave c le corps semiconducteur 1 à travers des ouvertures 3 pratiquées dans la couche isolante 3. Selon la présente invention, au moins plusieurs des résistances série font partie d'une seule couche résistive conti-30 nue 6, 7. Dans la forme d'exécution considérée, le contact 4, 5 est le contact d'émetteur d'un transistor. 11 faut remarquer que, dans la vue en plan de la figure 1, la couche isolante 3 est supposée être transparente de façon que les zones semiconductrices 35 sous-jacentes soient visibles. Le transistor en question a deux régions d'émetteur 9 qui sont entourées par une région de base 10, la partie, voisine 11 du corps semiconducteur 1 faisant partie de la région de collecteur. La région de base 10 fait contact, au travers des fenêtres 12, avec un contact de base 13 comportant 40 aussi plusieurs doigts, le contact d'émetteur 4*5 et le contact BAD ORIGINAL 69 20810 8 2011431 de base 13 constituant un ensemble de doigts imbriqués. La couche résistive 6, 7 comprend deux régions, la première région étant une région de surface 6 qui, dans le corps semiconducteur 1, est entièrement entourée par la deuxième région 5 7, cette deuxième région 7 formant une jonction p-n 14- avec la région de surface 6 ainsi qu'une fonction' p-n 15 avec la partie 11 du corps semiconducteur 1 voisine de la deuxième région. Dans la forme d'exécution considérée, afin d'éviter un effet dé transistor indésirable, la jonction p-n 14 est court-circuitée par la 10 partie commune 4 Qui fait contact, au travers d'une fenêtre 16, à la fois avec la région de surface 6 et la deuxième région 7. 11 est évident que, dans la forme d'exécution considérée où la couche résistive 6, 7 obtenue par diffusion et particulière- jg ment la deuxième région 7 de la couche résistive touche, à l'inté-15 rieur du corps semiconducteur, la région de collecteur 11 du transistor, un court-circûitage de la jonction p-n 15 au lieu d'un • court-ci rcûitage de la jonction p-n 14 est inadmissible. Si la jonction p-n 15 était court-circuitée, la tension d'émetteur-col- r lectèur apparaîtrait, en cours de fonctionnement, en substance 20 entièrement aux bornes de la jonction p-n 14 de sorte que, lors d'un fonctionnement normal du transistor, cette jonction p-n 14 serait polarisée dans le sens passant, de sorte que la région de surface 6 serait isolée de la région de collecteur 11. La région de surface 6 est subdivisée en deux sous-25 régions, chacune des jonctions p-n 14 entre une sous-région et la deuxième région 7 étant court-circuitée. Cette subdivision en sous-régions n'est pas essentielle cependant et la région de surface 6 peut aussi être cohérente. Le transistor représenté aux figures 1 et 2 peut être 30 entièrement fabriqué par un procédé couramment utilisé en techno-logie de semiconducteurs. Le corps semiconducteur 1 peut comprendre un substrat semiconducteur 17 et.une couche 11 obtenue par croissance épitaxiale, cette couche épitaxiale ayant une résis-tivité plus grande que celle du substrat 17. La couche épitaxiale 35 11 et le substrat 17 ont le même type de conductivité. et constituent ensemble la région de collecteur du transistor. La région de base 10 et la deuxième région 7 sont d'un type de conductivité opposé à celui de la couche épitaxiale 11 et sont formées dans cette couche épitaxiale 11 de préférence par une opération de dif-40 fusion conventionnelle unique. Au cours d'une opération de diffuBAD ORIGINAL 69 20810 9 2011431 sion suivante, on peut former simultanément les régions d'émetteur 9 et les régions de surface 6.' Les contacts 4, 5 et 13, qui se trouvent sur la couche isolante 3 pouvant être du bioxyde de silicium, peuvent êtré en 5 aluminium ou en une autre matière d'électrode appropriée cornue l'a?. ou le nickel. Ces contacts sont fabriqués d'une façon classique, le contact de base 13 touchant la région de base 10 par des ouvertures 12, les doigts 5 touchant les sous-régions d'émetteur 9 par les ouvertures 8 et les sous-rérions de surface 6 de la 10 couche résistive 6, 7 par des ouvertures 18, tandis que la partie conu:!àne 4 peut se trouver en contact, par une ouverture 16, à' la fois avec les sous-régions de surface 6 et la deuxième région 7. Le contact de base 13 et la partie commune 4 du- contact d'émetteur 4, 5 peuvent être pourvus de conducteurs de connexion, 15 ceci de façon classique et le substrat 17 peut être connecté de façon conventionnelle à un contact de collecteur, tandis que le transistor peut être enfermé dans une enveloppe classique. ■ Le transistor conforme à.l'invention décrit ci-dessus a un contact d'émetteur qui comprend des résistances* série dans 20 chaque doigt, la fabrication de ces résistances série n'exigeant pas d'opérations supplémentaires alors que, pour les résistances série à double diffusion, on a utilisé une configuration qui permet d'obtenir une répartition de courant satisfaisante entre les différents doigts, cette solution pouvant être utilisée 25 même lorsque l'espacement entre doigts est faible. La subdivision de la région de surface 6 en sous-régions a pour avantage que la valeur de résistance dans la couche résistive entre doigts adjacents, c'est-à-dire la valeur de résistance de la couche résistive entre deux fenêtres voisines 13, est aisément plus élevée 30 que la résistance entre chaque fenêtre 18 et la fenêtre 16, ce qui,,améliore la répartition-du courant. Le court-circuitage des jonctions p-n 14 au travers de la fenêtre 16, en d'autres mots sur les côtés des sous-régions voisins de la- partie commune 4, a pour avantage qu'en cours de fonctionnement, les parties de jonc-35 tions p-n les plus éloignées du court-circuit, c'est-à-dire de la fenêtre 16, sont polarisées en sens inverse pour le sens d'écoulement habituel du courant d'émetteur, ce qui a pour résultat que la valeur de résistance dans la couche résistive 6, 7 entre doigts adjacents 5 est notablement plus élevée qUe la résistance entre 40 chaque doigt 5 pris, séparément et la partie commune 4. BAD ORIGINAL 69 20810 10 2011431 L'invention peut aussi être utiliv-'e dans des circuit.-: intérrés. On exemple d'une telle utilisation---est■ donne aux figures 'i 3 et 4. La forme d'exécution comprend .deux, .trsnsi stor? dont les émetteurs sont reliés à un conducteur de connexion com'-.un 22, 1? 5 combinaison des transistors étant inclase dans un circuit dont le reste ne présente pas d'intérêt pour l'invention et n'est donc pas représenté. Sur les figures 3 et 4> des éléments-semblables portent les mêmes références que sur les figures 1 et 2. La forme d'exécution en question représente un substrat 10 17 et une couche épitaxiale d'un type de conductivité opposé,des parties de la couche épitaxiale étant converties de façon connue en des régions isolantes 20 du même type de conductivité-que le substrat 17. Les îlots 11 restants de la couche épitaxiale constituent les régions de collecteur des deux transistors. Ces régions 15 de collecteur 11 se trouvent en contact, par l'intermédiaire de fenêtres 23, avec une bande métallique 24 qui est aussi reliée à d'autres composants du circuit. En outre, chaque zone de collecteur 11 peut comprendre une partie à faible résistivité lia afin de diminuer la résistance série du collecteur. 20 La couche résistive 'comprend une seule région de surface continue 21 qui peut être formée en même temps que les régions d'émetteur 9. Cette région de surface 21 est entourée par une région isolante 20 dont elle est séparée par une jonction p~n 25. De préférence, une telle couche résistive obtenue nar diffusion a uns 25 résistance par unité de surface comprise entre 1 et10 ohms. On fera observer qu'afin de tenir, compte de la tension de disruption de la jonction p-n 25, il peut être souhaitable que la couche résistive ne soit pas entourée par une région isolante qui présente habituellement une faible résistivité. Dans ce cas, 30 la couche résistive peut aussi être constituée par un îlot 11 dont la résistivitéj si cela est nécessaire, peut être localement diminuée par formation d'une ou de plusieurs régions de Jtrface • ayant le même type de conductivité que l'îlot. Ou bien, on peut, utiliser la configuration décrite avec référence aux figures 1 et 2, et, 35 dans ce cas, les régions semiconductrices du transistor et la couche résistive peuvent être formées dans le même ilôt. La couche résistive 21 est de forme allongée et comprend deux bords opposés de grande longueur, différents "doigts 5 ""étant connectés à la, couche résistive 21 au travers de fenêtres 13 le 40 long d'un des bords tandis que la couche résistive 21 est en con- bad original 69 20810 ii 2011431 tact avec la partie commune 4 du contact 4, 5 au travers de 1s fenêtre 16, ceci en substance sur toute la longueur du bord opposé. r*- La partie commune 4 du contact 4, 5 est connect-'e au conducteur de connexion 22 commun aux émetteurs de transistors, 5 ce conducteur consistant, dans la forme d'exécution considérée, en une bande métallique qui connecte les émetteurs à un autre point du circuit. Des cnemins de courant vont des émetteurs., par les doigta 5, la couche résistive 21, la partie commune 4 et le point de jonction de fixation à la partie communs 4, jusqu'au conducteur 10 22. Pour obtenir une répartition de courant satisfaisante entre les différentes sous-régions d'émetteur 9, il est souhaitable que la résistance des chemins de courant entre les sous-régions d'émetteur S et le point de fixation soit en substance égale pour toutes les sous-régions 9. Dans la forme d'exécution considérée, ceci est 15 obtenu par le fait que la plus courte distance entre un doigt 5 et la partie commune 4 du contact 4, 5 est .plus longue pour un doigt 5 proche du point de fixation du conducteur 22 à la partie commune 4 que pour tin doigt 5 plus éloigné de ce point de fixation. A cause de ces différences de distance entre les fenêtres 18 et la fenêtre 20 16, la résistance des parties du chemin de courant longeant la couche résistive en substance homogène 21 est différente pour chaque doigt 5 et, dans un chemin de courant dont la partie située dans la partie commune 4 présente une résistance élevée, la partie située dans la couche résistive présente une faible résistance et 25 vice versa. On supprime ainsi de façon simple les différences entre les Résistances série totales des chemins de courant allant du point de fixation aux régions d'émetteur ou tout au moins on les réduit fortement, ceci pour les différents doigts. One autre forme d'exécution est décrite ci-après avec 30 référence aux figures 5 et 6. Cette forme d'exécution concerne ce qui s'appelle un transistor à émetteurs multiples dont le corps semiconducteur comprend un substrat 51 d'un type de conductivité sur lequel est déposéeépitaxialement Une couche 52 qui peut avoir le même type de conductivité tout en ayant une résistivité plus 35 élevée. Le substrat 51 et la couche épitaxiale 52 réunis forment la région de collecteur du transistor. On forme dans la couche épitaxiale 52 une région de base 53 du type de conductivité opposé comportant aussi une grille 53a qui est aussi du type de conductivité opposé mais présente une 40 résistfvité plus faible. La grille 53a, qui est prévue de façon BAD ORK3WAL 69 20810 12 2011431 connue-afin de réduire la résistance série de la base, entoure plusieurs parties de base 53b dans lesquelles sont: forcées les sous-régions d'émetteur 54* La surface semiconductrice en substance plane est recou-5 verte d'une couche isolante 55 sur 1?quc-lle se trouvent un contrct de base 56 et un contrct d'émetteur 57, 53. Celui-ci comprend ces doigts 58 faisant contact avec 1rs sous-régions d'émetteur 54- su travers de fenêtres 59 et connectés à une partie de contact 57 commune à tous les doigts 58. La partie commune 57 du contact 10 d'émetteur et le contact de base 56 forment un ensemble de doigts imbriqués, la partie 57 et le contact 56 constituant en quelque sorte un peigne» Selon la présente invention, une couche résistive 60 consistant en une région en forme de couche recouvre la couche iso-15 lante 54. Dans la forme d'exécution considérée, deux couches résistives 60 font contact électrique avec les doigts 58 et aussi avec la partie commune 57, chacun des chemins reliant les doigts 58 à la partie commune comprenant une partie d'une couche résistive 60 jouant le rôle d'une résistance série. Les couches résistives 60 20 sont en substance homogènes et les distances entre chaque doigt 53 et la partie commune 57 ainsi que les espacements entre doigts adjacents 58 sont choisis de façon que la valeur de résistance dans la couche résistive 60 entre doigts adjacents 58 soit plus élevée que la valeur de résistance dans la couche résistive 60 25 entre chaque doigt 58 et la partie commune à tous les doigts 57. La forme d'exécution représentée aux figures 5 et 6 peut être entièrement fabriquée d'une manière communément utilisée en technologie de semiconducteurs. Les couches résistives 60 peuvent être déposées en phase vapeur et ce dépôt peut se faire avant ou 30 après la formation du motif métallique des contacts 56 et 57, 58 . La valeur de la résistance série comprise dans le contact 57, 58 dépend non seulement de.la matière qui peut être du titane mais aussi de l'épaisseur de la couche résistive 60, des espacements entre les doigts 58 et la partie commune 57 et aussi des largeurs 35 des bords 58. Par exemple, la couche de titane 60 peut, avoir une épaisseur de 0,2 à 0,5 micron, la résistance par unité de surface pouvant varier entre environ 2,5 et 7 ohms. La largeur des doigts 58 et.les espacements entre les doigts 58 et la partie, commune 57 peuvent être d'environ 10 à 30 microns. 40 - Le contact de base 56 et la partie commune 57 du contact *BAD ORKàWAL 69 20810 13 2011431 d'émetteur peuvent être pourvus de conducteurs de connexion de façon connue et le corps semiconducteur peut être enfermé dans un boîtier de façon connue. Ce transistor à émetteurs multiples présente une réper-5 tition du courant d'émetteur satisfaisante entre les différentes sous-régions d'émetteur et peuf être fabriqué de façon simple, la formation des résistances série dans le contact d'émetteur n'introduisent aucune opération photolithographique cri tique au cours du procédé de fabrlcation. 10 11 va de soi que l'invention n'est pas limitée aux for mes d'exécution décrites et que de nombreuses variantes sont possibles sans sortir de son cadre. Le corps semiconducteur peut consister en une des matières sers!conductrices habituelles cotr^e le siliciun-, le germanium ou un composé tandis que la couche 15 isolante peut consister non seulement en bioxyde de silicium r.ais aussi, par exemple, en nitrure de silicium. Le corps semiconducteur ne doit pas être un substrat pourvu d'une couche épitaxiale mais peut être en substance homogène ou peut, par exemple, consister en un corps semiconducteur dont la conductivité, sauf pour la 20 couche superficielle, est augmentée par diffusion d'une impureté. En outre, la couche superficielle et le substrat peuvent avoir des types de conductivité différents. % En outre, les doigts du contact ne doivent pas tous être connectés à des régions ou sous-régions séparées de l'élé-25 ment de circuit semiconducteur en contact, mais plusieurs doigts peuvent faire contact avec une région semiconductrice continue, les résistances série incluses influençant la répartition du courant. dans cette région ser.iconductrice unique. La valeur des résistances série peut être réglée en ré-30 glant les dimensions de la surface conductrice des doigts aux endroits où un contact est établi avec la couche résistive. Par.s le cas d'une couche résistive obtenue par diffusion par exemple, un élargissement des fenêtres de contact entraîne une réduction de la résistance série. 35 . On rercarouera aussi que,par exemple,les bords allongés et opposés de la couche résistive 21 représentée à la figure 3 ne coi-vent pas être parallèles mais que la. forfne latérale de la couche résistive peut aussi être adaptée aux valeurs ce résistance désirées pour les différents bords et qu'en outre,la forme et/ou l'emplacement de la fenêtre de contact 16 influence aussi les valeurs 4.0 des différentes résistances série. BAD ORIGINAL 69 20810 - U 2011431 REVE?» DICATIOU S . 1«- Dispositif semiconducteur comprenant un corps semiconducteur, une surface en substance plane comportant des régions d'électrode semi-conductrices, le corps semiconducteur, étant pourvu 5 d'une couche isolante sur laquelle se trouve un contact se composant de plusieurs parties appelées ci-après doigts et une partie commune à tous les doigts, une résistance série étant incluse dans chacun des chemins reliant les doigts à la partie commune, les doigts faisant contact avec au moins une région d'électrode par des 10 ouvertures pratiquées dans la couche isolante, les résistances et la partie commune précitées étant espacées par rapport à la région ou les régions d'électrode, caractérisé en ce qu'au moins plusieurs des résistances série font partie d'une couche résistive continue. 2.- .Dispositif semiconducteur suivant la revendication 1, 15 caractérisé en ce que le contact est le contact d'émetteur d'un transistor. 3.- Dispositif semiconducteur suivant la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la couche résistive est une région superficielle voisine de la surface, en ce qu'elle pénètre dans le 20 corps semiconducteur et est séparée de la partie voisine du corps semiconducteur par une jonction p-n. 4-»- Dispositif semiconducteur suivant la revendication 3, caractérisé en ce que la couche résistive comprend deux régions, une première région étant une région superficielle qui, dans le 25 corps semiconducteur, est entièrement entourée par la deuxième région, la deuxième région formant une jonction p-n avec la région superficielle et une jonction p-n avec la partie du corps semiconducteur voisine de la deuxième région, une de ces deux jonctions p-n étant court-circuitée. 30 5.- Dispositif semiconducteur suivant la revendication 4» caractérisé en ce que la région superficielle est subdivisée en plusieurs sous-régions, la jonction p-n entre chaque sous-région et la deuxième région étant court-circuitée. 6.- Dispositif semiconducteur suivant la revendication 1 35 ou 2, caractérisée en ce que la couche résistive recouvre la couche isolante et consiste en une région en forme de couche. 7.- Dispositif semiconducteur suivant l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la vsleur de résistance dans la couche résistive entre deux doigts adjacents 40 est au moins égale à la valeur de résistance dans la couche résis- BAD ORIGINAL 69 20810 2011431 15 tive entre chacun de ces doigts et la partie du contact commune à tous les doigts. 8.- Dispositif semiconducteur suivant l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la couche 5 résistive est allongée et comporte deux bords allongés opposés, plusieurs bords étant connectés à la couche résistive le long d'un des bords tandis que la couche résistive est connectée à la partie commune du contact en substance sur toute la longueur du bord opposé» 10 9«- Dispositif semiconducteur suivant la revendication 8, dans lequel la partie commune .est pourvue d'un conducteur de connexion, caractérisé en ce que la couche résistive est une couche en substance homogène, la distance la plus courte entre un doigt et la partit comnune du contact étant plus longue pour un doigt voisin 15 du poiht d'attache du conducteur de* connexion à la partie comsiune que pour un doigt plus éloigné de ce point d'attache.