FR 2012728 A1 19700320 FR 6923148 A 19690708 69 23148 1 201272Ô La présente invention est relative d'une façon générale à la production d'articles en oxyde, en particulier, par décomposition de chlorures métalliques volatils et elle concerne plus particulièrement le dépôt d'un oxyde métallique sur un substrat par hydrolyse 5 en phase vapeur de chlorures volatils anhydres de métaux appartenant aux groupes III et IV de la classification Périodique des Eléments, par exemple de tétrachlorure de titane, de trichlorure d'aluminium, de tétrachlorure de silicium et de tétrachlorure d'étain. Lors de la fabrication de certains dispositifs semi-conducteurs 10 on "titre" un monocristal de silicium à partir d'une masse fondue de silicium très pur. En vue de réduire la quantité d'impuretés introduites dans la masse fondue de silicium à partir du creuset qui contient cette masse fondue, on a trouvé qu'il était avantageux de réaliser le creuset avec de la silice fondue de haute pureté. Les 15 creusets en silice de ce genre doivent obligatoirement présenter une forme très symétrique et des parois latérales parfaitement" uniformes si l'on veut garantir un "tirage" uniforme à partir de la masse fondue de silicium. Diverses techniques ont déjà été mises au point pour la fa-20 brication d'articles en silice. Par exemple, le brevet des Etats-Unis d'Amérique n° 2.272.3^2 concerne une technique de production d'un article transparent en silice, consistant à évaporer du tétrachlorure de silicium et à décomposer la vapeur dans une flamme. Si l'on dirige cette flamme contre un noyau réfractaire, on dépose sur 25 celui-ci une couche de silice. On fritte ensuite la silice par chauffage et on obtient un article transparent. Le Brevet des Etats-Unis d'Amérique n° 3.117.838 décrit la fabrication d'un creuset en silice par un procédé consistant à oxyder un mélange gazeux contenant du silane et un gaz réactif dans un chalumeau de manière à ob-30 tenir de la silice fondue et à envoyer ensuite cette silice fondue sur une forme en carbone. Cependant, toutes ces techniques n'ont pas été entièrement satisfaisantes pour ce qui est de la formation d'un creuset en silice extrêmement pure présentant des caractéristiques désirées d'uniformité et de symétrie, tout en assurant un dépôt 35 efficace et économique de silice. Selon l'invention, on Installe une série de chalumeaux à distance les uns des autres tout autour d'une surface sur laquelle on désire déposer l'oxyde d'un chlorure métallique volatil. Chaque chalumeau envole des Jets ~a^.eux ^e chlorure métallique volatil et 40 de réactifs combustibles contre ladite surface. Quand les courants 69 23148 a fol 27 28 gazeux sont enflammés, le chlorure métallique volatil est décomposé par hydrolyse en phase vapeur et se dépose sur.la surface. L'interaction entre les composants de la flamme à proximité de la surface améliore l'efficacité du dépôt et assure une applicatio^ofurf oxy-5 de métallique de haute pureté sur ladite surface. D'autres caractéristiques et avart âges de l' invention res-sortiront de la description qui va suivre. Aux dessins annexés, donnés uniquement à titre d'exemples : la Fig. 1 est. une vue quelque peu schématique du dispositif 10 selon l'invention pour le dépôt d'un article en oxyde métallique sur un mandrin rotatif ; en bout la Fig. 2 est une vue/partielle schématique du dispositif représentée sur la Fig. 1 . la Fig. 3 est une vue en coupe axiale partielle d'un chalu-15 meau approprié destiné au dispositif représenté à la Fig. 1; la Fig. 4 est une vue en bout du chalumeau représenté à la Fig. 3 ; • " la Fig. 5 est une vue quelque peu schématique d'un autre mode de réalisation de l'invention ; 20 la Fig. 6 est une vue en bout du mode de réalisation de la Fig. 5 ; la Fig. 7 est une vue en bout quelque peu schématique d'un autre mode de réalisation de l'invention. Bien que l'invention soit décrite en particulier dans le 25 cas du dépôt d'oxyde de silicium par décomposition du tétrachlorure de silicium, il convient de faire remarquer que la présente technique permet tout aussi avantageusement de décomposer d'autres chlorures anhydres volatils de métaux des .Groupes III et XV de la Classification Périodique. Cependant, suivant le mode de réali-30. sation préféré, de l'invention, on décompose du tétrachlorure de silicium pour former de l'oxyde de silicium, suivant la réaction ; ' ' SICl^ + 2H20 ^ Si02 + 4HC1 Sur la Fig. 1," oh a réprésenté un dispositif 'pour la fabrication d'un cresuet en silice. On utilise un mandrin en graphite 10 de forme sensiblement'cylindrique mais présentant une partie terminale arrondie. De préférence, oh réalise le mandrin 10 en un matériau tel que le graphite qui possède un coefficient relativement plus élevé de dilatation thermique que celui de l'oxyde 40 de silicium qui doit être déposé sur ce mandrin. Le mandrin 10 est BAD ORIGINAL 35 69 23148 3 201$?2Ô monté sur un arbre 12, dont une partie 14 est filetée. Cette partie filetée 14 de l'arbre 12, est vissée dans une bague 16 rigidement fixée à un support convenable. L'extrémité de l'arbre 12 est accouplée à l'arbre de sortie d'un moteur convenable 18. Quand le -, , „ , ^ e/i rotation ^ „ 5 moteur 18 est excite, 1 arbre 12 est entraine/aans le sens indiqué par la flèche 20. Par ailleurs, la rotation de l'arbre 12 provoque une extension latérale dans le sens de la flèche 22 en raison de la coopération entre la partie filetée 14 de l'arbre et la bague fixe I6. Un élément d'extension convenable est interposé 10 entre l'extrémité de l'arbre 12 et l'arbre de sortie du moteur 18 afin de permettre une telle translation latérale. Deux chalumeaux 24 et 26 sont disposés au voisinage du mandrin 10 et produisent des flammes 27 et 28 dirigées vers le mandrin en rotation 10. Comme on l'expliquera plus en détail par la 15 suite, les flammes 27 et 28 sont produites par la combustion d'un chlorure métallique volatil à l'état gazeux et d'un mélange de gaz combustibles. Le chlorure métallique volatil est décomposé par suite de l'hydrolyse en phase vapeur par l'action des flammes et, de ce fait, un dépôt d'oxyde de silicium de haute pureté indiqué 20 par la référence 29 se forme sur la surface externe du mandrin rotatif 10. Une hotte de ventilation 30 surmonte le mandrin 10 dans une position opposée à celle des chalumeaux 24 et 26 pour aspirer les fumées et les composants indésirables provenant de la réaction 25 des flammes. La Fig. 2 est une vue en bout du dispositif représenté sur la Fig. 1 ou l'on voit que les chalumeaux 24 et 26 sont espacés d'un angle 0. On a constaté que l'angle 0 peut etre efficacement compris entre 60° et 120°, avec d'excellents résultats, bien qu'un angle de 90° soit préféré pour la plupart des dis-30 positifs. Il est en général recommandé d'établir un angle 1) de manière à produire une petite zone 31 d'interaction antre les portions des flammes à proximité immédiate de la surface du mandrin 10. La Demanderesse a trouvé qu'on améliore l'efficacité du dépôt lorsqu'on prévoit une telle zone d'interaction entre les 35 flammes. Les Fig . 3 et £ représentent une forme de réalisation d'un chalumeau convenant pour la mise en oeuvre de l'invention. Pour obtenir des détails concernant la réalisation et l'utilisation d'un chalumeau similaire, on peut se référer utilement à la 4q demande de brevet déposée le même jour, au nom de la Demanderesse BAD ORIGINAL 69 23148 2012728 oour un procédé et dispositif pour former un article en oxyde en de particulier metallique/haute purete. Cependant, on pourrait utiliser plusieurs autres types de chalumeaux pour décomposer un chlorure métallique volatil et assurer ainsi une mise en oeuvre effi-^ cace de l'invention. Sur les Pig. 3 et 4, un tube 32 en acier inoxydable s'étend sur toute la longueur du chalumeau et constitue un passage pour le tétrachlorure de silicium évaporé qui peut être entraîné dans un gaz porteur. Un raccord en T 33 est branché sur le pourtour du tube 10 32, l'étanchéité entre le tube 32 et le raccord 33 étant assurée par un élément 34. Un élément 36 s'ajuste sur un tube en acier inoxydable 38 afin d'établir un joint étanche entre l'extrémité de ce tube 38 et le tube 32. Une chambre annulaire étroite formant gaine de protection 40 est ainsi définie entre les tubes 32 et 38. Une 15 tubulure d'admission 42 faisant partie du raccord en T 33 est branchée sur une source d'un gaz protecteur, en l'occurence une . „ formant source d oxygène, de sorte que ce gaz est admis dans la chambre / gaine de protection 40. Dans une construction pratique d'un tel chalumeau, le tube 32 est un tube en acier inoxydable ayant 6,35min dé diamètre alors que le tybe 38 qui est également en acier inoxy-20 dable a un diamètre de 9*5 ram. Un boîtier annulaire 44 définit une chambre annulaire de mélange 50 autour du tube 38. Un raccord d'entrée 52 est branché sur une source d'hydrogène tandis qu'un raccord d'entrée 5^ est relié à une source d'oxygène. Une enveloppe annulaire 56 définit 25 une chambre annulaire de refroidissement autour du boîtier 44. Un raccord d'entrée 58 est branché sur une source d'un fluide de refroidissement, par exemple de l'eau froide, tandis qu'un raccord 60 permet l'échappement de ce fluide de refroidissement. Une buse 62 est adaptée sur l'extrémité du chalumeau. Comme le montrent les Fig. 3 et 4, la buse 62 comprend un élément circulaire muni de rebords coudés 64 en vue d'un accouplement étanche aux fluides avec le chalumeau. Une ouverture centrale de buse 66 est formée dans l'extrémité du tube 32. L'extrémité du tube 32 est engagé dans la buse 62 pour définir une ouverture annulaire 68 étant pour le gaz de protectioip., cette ouverture/concentrique par rapport à l'ouverture de protecrionVo£./communi$uet'avec°îlaDcnambre 40. La superficie de l'ouverture 66 de la buse est notablement plus petite que la superficie intérieure du tube 32, de sorte qu'un jet gazeux relativement rapide jaillit de l'ouverture 66. Le gaz qui 40 sort de l'ouverture de protection 68 enveloppe pratiquement le BAD ORÏG'NAL 69 23148 5 2012728 jet gazeux qui jaillit de l'ouverture 66 de la buse en vue d'empêcher sa réaction immédiate, ce qui a pour effet de réduire les dépots de matière sur la face de la buse 62 et, par conséquent, d'en empêcher le colmatage. Plusieurs orifices 70 sont répartis symétriquement auto ur 5 de l'ouverture de buse 66 suivant une disposition cylindrique et communiquent avec la chambre de mélange 50. Le gaz combustible présent dans la chambre de mélange 50 s'écoule par les orifices 70 et entre en réaction avec le gaz qui jaillit de l'ouverture 66. Dans une forme de réalisation préférée du chalumeau, les orifices 10 70 sont au nombre de huit. Dans ce même mode de réalisation pratique du chalumeau, on constate que l'ouverture 66 présente avantageusement un diamètre de 1,6 mm, alors que le diamètre des orifices 70 est de 1,32 mm. Si les conditions opératoires sont différentes, les orifices 70 peuvent être plus grands ou plus nombreux. 15 L'oxygène est introduit par un conduit 72 dans les entrées de trois débitmètres 76 et 78. L'hydrogène provenant d'une source appropriée arrive par un conduit 80 dans un débitmètre 82. Avant l'admission dans les débitmètres respectifs, l'oxygène et l'hydrogène sont séchés. Des robinets convenables sont installés 20 sur les conduits de sortie de tous les débitmètres afin de permettre un réglage du débit d'hydrogène et de celui d'oxygène aux diverses parties du dispositif. L'oxygène qui a été admis dans le débitmètre 76 sort par un conduit 84 pour arriver dans un dispositif de barbotage portant la référence d'ensemble 86. Le dispo-25 sitif de barbotage 86 comprend un récipient rempli de tétrachlorure de silicium liquide. Un élément diffuseur 88 fait barboter l'oxygène de bas en haut à travers le tétrachlorure de silicium de sorte que les vapeurs de ce dernier sont entraînées par l'oxygène et s'échappent vers l'extérieur par un conduit 90. -30 Le conduit 90 est relié au tube J>2, ce qui permet d'établir un courant dosé de tétrachlorure de silicium évaporé, entraîné dans un courant de gaz porteur (oxygène). L'oxygène qui a été admis dans le débitmètre 74, sort de ce dernier par un conduit 92 qui aboutit à la tubulure d'entrée 42 du raccord en T 33. L'oxy- il gène pénètre ainsi dans la chambre de protection 40 d'où/sort par l'ouverture annulaire 68 de la façon déjà décrite. L'oxygène qui a été admis dans le débitmètre 78 sort de ce dernier par un conduit 94 aboutissant au raccord d'entrée 54 qui en permet l'introduction dans la chambre de mélange 50. L'hydrogène sort du débit- 23148 2012728 metre 82 par un conduit 96 aboutissant au raccord d entree 52,de de mélangé sorte que 1 hydrogène se mélange à 1 oxygène dans la ehambre/50. On envoie vers l'extérieur un mélange gazeux combustible à travers les orifices 70, comme précédemment décrit. Comme l'hydrogène et l'oxygène sont mélangés dans la petite chambre 50 à l'intérieur du chalumeau, les retours de flammes d'un tel chalumeau sont strictement limités à l'intérieur du chalumeau lui-même. Lors du fonctionnement du chalumeau représenté sur les Fig. 3 et 4, l^g courants gazeux sortant des ouvertures 66 et 68 et des orifices/sont enflammés pour former une flamme chaude dont la température se situe aux alentours de 1500°C.L'oxygène qui sort de l'ouverture annulaire 68 est relativement inerte vis-à-vis du tétrachlorure de silicium gazeux qui sort de l'ouverture 66 et, par conséquent, le tétrachlorure de silicium n'est pas décomposé à proximité immédiate de la face de la buse 62. On évite ainsi les accumulations de produits de colmatage dans les ouvertures du chalumeau. Le tétrachlorure de silicium gazeux se combine avec le mélange d'oxygène et d'hydrogène sortant des orifices 70 en un point plus éloigné de l'ajutage et c'est dans cette zone que se produit la combustion. On a trouvé que l'utilisation d'au moins deux chalumeaux de la manière représentée à la Fig; 1 permet d'obtenir un article en silice de haute pureté et possédant une "résistance à vert" suffisante pour un enlèvement aisé du mandrin et le transfert ultérieur dans le four en vue d'un traitement thermique supplémentaire . Cependant, il s'est révélé, dans certains cas, avantageux d'utiliser un chalumeau vitrificateur pour renforcer encore plus la résistance mécanique de l'article en silice avant son enlèvement du mandrin. La Fig. 5 représente une installation sensiblement analogue à celle de la Fig. 1, sauf qu'elle comporte en supplément un chalumeau vitrificateur 100. Les chalumeaux 24 et 26 fonctionnent de la même façon que précédemment pour déposer en hélice une couche de silice de haute pureté 29 pendant que le mandrin 10 effectue son mouvement de translation et de rotation en regard des flammes 27 et 28. L'article en silice déposé sur le mandrin dépend naturellement de la vitesse de rotation et de la vitesse de translation , , -de 1 article du mandrin. L epaisseur de la paroy peut varier entre quelques dizaines de microns et plusieurs centimètres ou même dizaines de centimètres. Le chalumeau vitrificateur 100 chauffe suivant un trajet hélicoïdal des portions successives du corps 29 en oxyde 69 25148 7 2012728 de silicium au cours du mouvement de translation de ce corps en regard du chalumeau, le but de cette opération étant de conférer à a en ce corps une "résistance/vert" suffisante poui/faciliter l'enlèvement du mandrin. Le frittage contribue également à conserver la 5 symétrie des parois latérales de l'article en silice 29. La Fig. 5 montre que le chalumeau vitrificateur 100 est espacé des chalumeaux 24 et 26 et est situé à proximité de l'extrémité courbe du mandrin 10. D'autre part, ce chalumeau 100 est interposé entre les chalumeaux 24 et 26 (Voir Fig. 6). 10 Dans certains cas, on a Intérêt à utiliser plus de deux chalumeaux. C'est ainsi que sur la Fig. 7, on a représenté l'utilisation de trois chalumeaux 102, 104, 106, tous orientés vers le mandrin en rotation 10. Bien que les angles entre les chalumeaux puissent changer en fonction des conditions opératoires désirées, 15 il est le plus souvent recommandé de maintenir les chalumeaux assez rapporchés les uns des autres, afin que les flammes émises par les chalumeaux adjacents réagissent mutuellement au voisinage de la surface du mandrin, comme on l'a montré en 108 et en 110. On a constaté qu'une telle réaction mutuelle donne des résultats 20 supérieurs et une plus grande efficacité de dépôt. Les exemples suivants servent à illustrer l'invention sans en limiter la portée. EXEMPLE 1 On soumet à un mouvement de rotation et de translation du 25 type exposé en référence de la Fig. 1 un mandrin en graphite ayant à peu près 12,5 cm de diamètre et environ 15 cm de longueur. On fait tourner ce mandrin en graphite à une vitesse de 24 tours/ minute et on le soumet à un mouvement detranslation à une vitesse d'environ 2,5 cm/minute en regard de deux chalumeaix qui sont 30 d'une construction identique à celle du chalumeau représenté sur les Fig. 3 et 4. Avant de débuter le dépôt proprement dit, on préchauffe légèrement le mandrin. Dans l'exemple considéré, le mandrin en graphite porte un revêtement lisse de carbure de silicium. L'angle entre les chalumeaux est réglé à environ 90°C et chaque 35 chalumeau est espécé du mandrin rotatif d'une distance d'environ 8,9 cm. On introduit dans le dispositif de barbotage de l'oxygène à raison d'environ 0,6 litre minute et on maintient ce dispositif de barbotage à une température d'environ 54°c de manière à obtenir du tétrachlorure de silicium évaporé entraîné dans un courant 40 d'oxygène. Le courant qui sort du dispositif de barbotage est in- 69 23148 8 2012728 troduit directement dansle tube central de l'un des chalumeaux et un second dispositif de barbotage dessert le second chalumeau. On alimente chaque chalumeau en oxygène à raison de 1 litre/minute pour constituer le gaz protecteur selon la technique décrite. Pour 5 former le mélange combustible dans chaque chalumeau, on l'alimente en oxygène à raison de 5*2 litres/minute et en hydrogène sous un débit de 30 litres/minute. Une fois que les deux chalumeaux sont allumés, les flammes résultantes lèchent le mandrin pendant que celui-ci effectue son mouvement de rotation et de translation, la 10 durée de cette opération étant de 1 heure. Après dépôt et refroidissement, on constate que le mandrin porte 257 g de silice de haute pureté, ce qui permet de former un creuset en silice ayant un caractère uniforme et symétrique. Une fois le refroidissement terminé, on détache le creuset du mandrin et on le soumet aux au-15 très traitements nécessaires. On constate que ce taux de dépôt, c'est-à-dire 257 g/heure, représente notablement plus du double de celui qu'on pourrait obtenir avec une installation analogue mais n'utilisant qu'un seul chalumeau. On pense qu'il en est ainsi en raison de la réaction mutuelle entre les flammes de deux ahalu-20 meaux comme on l'a d'ailleurs déjà mentionné. EXEMPLE 2 On utilise un dispositif de dépôt analogue à celle de l'exemple 1, avec les mêmes paramètres de débits, mais les chalumeaux applicateurs sont installés à une distance d'environ 10 cm du man-25 drin et un seul chalumeau vitrificateur est installé à une distance d'environ 14 cm de la partie antérieure du mandrin, de la façon indiquée sur la Fig. 5.» suivant un angle de 45° avec l'horizontale. On poursuit le dépôt pendant 90 minutes et on obtient ainsi 495 g de silice de haute pureté déposée sur le mandrin. Ceci 30 correspond à un taux de 330 g de dépôt à l'heure, taux qui est notablement plus élevé que celui qu'on pourrait prévoir en se basant sur les résultats obtenus avec un seul chalumeau. Le creuset en silice ainsi obtenu, présente une forme symétrique excellente sans aucune fissuration dans ses parois latérales. 69 23148 9 2012728 1 - Dispositif pour déposer directement un oxyde à partir d'un chlorure volatil, en particulier métallique, sur une surface caractérisée par plusieurs chalumeaux espacés autour de la surface, chacun de ces chalumeaux comportant des moyens pour diriger 5 des courants gazeux du chlorure volatil et des réactifs combustibles sur la surface, de sorte que lorsque les courants gazeux sont enflammés, le chlorure volatil est décomposé et ledit oxyde se dépose sur la surface. 2 - Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé en 10 outre, par une paire de chalumeaux dirigés vers la surface, et faisant entre eux un angle compris entre 60 et 120 degrés. 3 - Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé en œ que chacun des chalumeaux comprend un boitier comportant un conduit terminé par une buse de sortie permettant de projeter un jet 15 de chlorure vojaj^l, des moyens comprenant une première chambre adjacente/traversant le boitier du chalumeau pour recevoir un gaz combustible et comprenant des ouvertures ou ajutages disposés symétriquement par rapport à l'ouverture du conduit central pour central projeter un courant de gaz combustible autour du jet/et des moyens 20 comprenant une seconde chambre disposée entre ce conduit central et la première chambre, pour recevoir un gaz relativement inerte par rapport au chlorure volatil et comprenant une gaine terminée par une ouverture de gaine permettant de projeter un courant de gaz inerte formant gaine de protection entre' le jet de chlorure et le 25 courant de gaz combustible. 4 - Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé en ce que du tétrachlorure de silicium est décomposé en phase vapeur par hydrolyse pour former de l'oxyde de silicium. 5 - Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé en 30 ce Que des parties en flammes provenant des chalumeaux se rencontrent dans la région de ladite surface. 6 - Dispositif pour former un article en silice de très haute pureté, caractérisé par un mandrin de forme extérieure déterminée et par au moins deux chalumeaux comportant chacun une buse diri- 35 gée vers le mandrin pour projeter un courant de vapeur de tétrachlorure de silicium et un mélange d'hydrogène et d'oxygène de sorte que lorsque l'inflammation se produit, le tétrachlorure de silicium est décomposé pour former un article en silice de très haute pureté sur le mandrin. 2,n 7 - Dispositif suivant la revendication 6, caractérisé par 69 23148 10 2012728 des moyens de ventilation disposés au voisinage du mandrin à l'opposé des chalumeaux. 8 - Dispositif suivant la revendication 6, caractérisé en ce que les chalumeaux sont espacés d'un angle compris entre 60 et 5 120*. 9- Dispositif suivant la revendication 6, caractérisé par des moyens pour déplacer le mandrin par rapport aux chalumeaux. 10 - Dispositif suivant la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comporte un chalumeau de vitrification dirigé vers de 10 le mandrin pour envoyer/la chaleur sur la silice en cours de formation. 11 - Dispositif suivant la revendication 6, caractérisé en ce que chaque chalumeau comprend un boitier comportant un conduit central avec une ouverture d'entrée à un bout pour recevoir du 15 tétrachlorure de silicium entraîné par un gaz porteur et une ouverture de sortie à l'autre bout pour projeter un jet de tétrachlorure de silicium gazeux entraîné par un gaz porteur, une chambre en forme de gaine prévue dans le boitier et comportant une ouverture d'entrée pour recevoir un gaz relativement inerte par rap-20 port au tétrachlorure de silicium et une ouverture annulaire de sortie concentrique à l'ouverture de la buse pour projeter un courant circulaire de gaz inerte autour du jet central, une chambre de mélange dLsposée autour de la gaine et comprenant des ouvertures d'entrée pour des gaz contenant de l'hydrogène et de l'oxygène et 25 plusieurs ouvertures de sortie disposées au voisinage et symétriquement par rapport à l'ouverture annulaire de manière à projeter un courant de gaz combustible destiné à réagir avec le tétrachlorure de silicium. 12 - Procédé pour déposer un oxyde à partir d'un composé 30 volatil, en particulier métallique, sur un mandrin pour former un article de forme déterminée, caractérisé en ce que l'on forme plusieurs courants de composé volatil sous forme de vapeur, on forme un courant de gaz combustible autour des courants précédents, on enflamme ces courants dans une zone d'interaction pour 35 former plusieurs flammes qui provoquent l'hydrolyse en phase vapeur du composé volatil, et on dirige ces flammes sur le mandrin afin de former un article en oxyde de très haute pureté. 13 - Procédé suivant la revendication 12, caractérisé en ce qu'on forme un courant de gaz relativement inerte entre fahacun des- 4o dits courants de gaz combustible afin d'empêcher toutes interaction dans une région déterminée. 8AÔ ORIGINAL 69 23148 h 20Ï2728 14 _ procédé suivant la revendication 12, caractérisé en ce que des parties des flammes agissent au voisinage de la surface du mandrin afin d'accroître le rendement de dépôt. 15 - Procédé suivant la revendication 12, caractérisé en ce que les flammes sont dirigées vers le mandrin en faisant un angle entre elles.