FR 2011034 A1 19700227 FR 6910808 A 19690417 69 10808 1 2011034 Cette invention concerne des supports de pièces usinées pour le transport d'articles, et, plus particulièrement, des supports employant des moyens d'aspiration à vide sur la surface de contact pour le maintien des pièces à usiner attachées au fond du support durant le transport. 5 Dans l'art antérieur, il est conventionnel d'utiliser un ou plusieurs ori fices sur la surface du fond des supports de pièces à usiner qui sont reliés à des alimentationsde vide pour la suspension et le transport d'articles relativement petits et fragiles durant leur fabrication et leur traitement. Il est aussi conventionnel d'appliquer sélectivement de l'air sous pression, soit par 10 les mêmes orifices ou soit par des orifices séparés pour décharger par force l'article provenant de la pièce à usiner après son transport entre les stations de traitement. Le premier objet de l'invention présente est de fournir dans un support de pièces usinées utilisant des dispositifs de prélèvement par vide, des moyens 15 pour éviter le dépôt de contaminants sur la surface arrière de la pièce usinée durant le transport. Le support de pièces usinées à dispositif à vide de la présente invention est particulièrement utile comme composant d'une machine de traitement humide dans laquelle on transporte des pastilles semi-conductrices fragiles et minces entre les diverses stations de traitement le long de la 20 chaine de fabrication de semi-conducteur pour la développer, l'imprimer et la sécher. La zone de support de pastille comprend un bossage sur-élevé central, relié à une source de vide. La partie concentrique évidée ou'décalée comprend plusieurs orifices écartés reliés à une alimentation d'air sous pression. Le vide maintient la pastille alors que l'air sous pression est envoyé radialement 25 entre l'épaulement évidé et la périphérie de la pastille pour maintenir le support et le côté arrière de la pastille libre de contaminants durant le traitement. D'autres objets, caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront mieux de l'exposé qui suit fait en référence aux dessins annexés 30 à ce texte, qui représentent un mode de réalisation préféré de celle-ci. La figure 1 est une vue en perspective d'un nouveau support de pièces à usiner de la présente invention. La figure 2 est une vue de face en coupe du support de la figure 1 prise suivant les axes 2-2 de la figure 1. 35 La figure 3 est une coupe en vue de dessus d'une partie du support prise suivant l'axe 3-3 de la figure 2. La figure 4 est une vue de dessous prise du support de lia figure 2 suivant les axes 4-4 de la figure 2. Le support de pièce usinée 10 de la présente invention comprend un loge-40 ment 12 de toute configuration convenable telle que tronc de cône, formé d'un 69 10808 2 2011034 matériau substantiellement dur tel que de l'acier inoxydable, aluminium,laiton, teflon ou tout autre plastique tels que par moulage. Le logement de préhension en tronc de cône montré comprend ainsi une face 14 de préhension ou à diamètre réduit, une surface supérieure à diamètre plus important 16 et une paroi an-5 nulaire conique 18. Le logement de préhension 12 est percé centralement en 20 et est lamé en 24. Le logement 24 reçoit un bouchon annulaire 26 de teflon ou tout autre matériau similaire afin de former le logement de préhension 12. Le bouchon de têflon 26 étant an place on a par conséquent défini une chambre de pression 22. Le fait que la surface de fond ou surface de préhension 14 soit 10 fournie avec une partie périphérique annulaire évidée 28 formant un bossage central élevé ou plate-forme de contact pour la pastille 30 est impartant. Le bossage 30 comprend un creux annulaire 32 et des connexions à angles droits 34. Un trou 38 ou alésage de petit diamètre, seul est percé centralement au logement de préhension et se prolonge verticalement à angle droit par rapport 15 à la face de contact 14 du support de pièces usinées. Le trou 38 ne se prolonge que partiellement dans le logement de préhension 12 vers le sommet du support 12. Un alésage de petit diamètre horizontal 40 coupe l'alésage vertical 38 près de son point de terminaison. L'alésage 40 est lamé et fileté en 42 et reçoit l'extrémité fileté 44 de la sortie de vide 46. La sortie de 20 vide 46 est faite de préférence de métal, tel que d'acier inoxydable et comprend une section terminale 48 de diamètre réduit avec un bout conique pour la réception d'un tuyau de caoutchouc (non montré) conduisant à une source de vide tnon montrée] La partie évidée annulaire 28 de la face de contact du support, comprend une paire d'évidsments annulaires concentriques 52 et 54. Des 25 séries de plusieurs trous ou passages 56 et 58 de petit diamètre écartés sur la circonférence se prolongent verticalement à partir de leurs rainures annulaires respectives 54 et 52 jusqu'à la chambre de pression commune 22. Le logement de préhension comprend un second alésage horizontal fileté 60 qui se prolonge entre la paroi 18 et la chambre de pression 22. Cet alésage est au 30 dessus de l'alésage 42 et reçoit de la même façon la partie filetée 64 d'un tube d'acier inoxydable 62. L'extrémité 66 du bouchon du tube 62 est reçue à l'intérieur d'un alésage de petit diamètre 68 aligné axialement avec l'alésage fileté 60 mais ne se prolongeant que seulement partiellement dans la paroi du logement de préhension de l'autre côté de la chambre de pression 22. Plusieurs 35 trous ou lumières 70 se prolongent transversalement à travers la partie 72 du tube d'entrée d'air 62 qui se trouve à l'intérieur de la chambre 22. De la même façon que pour le tube de sortie de vide 46, l'extrémité terminale extérieure 74 de ce tube est de diamètre réduit et est conique en 76 pour recevoir un tube d'alimentation d'air sous pression (non montré) amenant de l'air 40 sous pression à partir d'une alimentation(non montré). 69 10808 3 2011034 Avec l'extrémité intérieure du tube d'entrée bouché et avec le bouchon de teflon circulaire 26 scellé au sommet du logement de préhension 12 on amène de l'air sous pression à la chambre d'aspiration et par là aux rainures annulaires concentriques 52 et 54 de la face de préhension du support. Au même 5 moment, le tube de sortie de vide 46 est relié à une source de vide. Cela fournit une zone centrale plutôt petite» définie par le bossage ou la plateforme d'aspiration 30 suffisante pour maintenir une pastille semi-conductrice ou tout autre article en contact durant le transport. Comme on le voit mieux dans les figures 2 et 4, la pression d'air remplit la rainure 54 inmédiatement 10 adjacente à la plate-forme annulaire élevée 30 bien qu'à l'intérieur de cette plate-forme, il existe une aspiration d'un niveau suffisant pour maintenir la pastille de poids léger, montrée par les lignes pointillés en 76, en contact avec le logement de préhension et disposée sur le bossage élevé ou couronne plateau 30 de la face de préhension 14 quelle que soit la force 15 créée par la pression d'air provenant de la chambre de pression 22 par le réseau circonférenciel des orifices 56 et 58. Il est important de remarquer par conséquent, que la force de maintien fournie par le vide agissant sur une petite partie centrale de la pastille 78 est supérieure à cslle fournie par l'air sous pression agissant sur la péri-20 phérie de la pastille. Naturellement il n'est nécessaire d'utiliser pour éliminer ou éviter au contaminant d'adhérer sur la surface arrière de la pastille 78 maintenue par le vide qu'un petit flux d'air a faible vitesse. On doit aussi comprendre, bien que l'invention soit décrite en rapport avec le dispositif de préhension à vide„ la pièce support de travail qui sup-25 porte une pastille mince, semi-conductrice, l'appareil de la présente invention peut être facilement appliqué au support par vide d'un article transporté de taille plus importante et sans rapport avec le domaine électrique ou électronique. L'importance avec laquelle la couronne annulaire 30 et le segment 32 dépasse la surface annulaire 26 adjacente varie naturellement suivant la 30 pression du fluide appliqué et l'article particulier que l'on supporte par le support de prélèvement à vide. Il est seulement nécessaire de fournir un intervalle de taille suffisante entre la pièce de travail et la surface annulaire 28 de telle sorte que l'air sous pression puisse facilement sortir d'une façon radiale pour maintenir les surfaces adjacentes libres de contaminants. 35 Bien que l'on ait décrit dans ce qui précède et représenté sur les dessins, les caractéristiques principales de l'invention appliquées à un mode de réalisation préféré de celle-ci, il est évident que l'homme de l'art peut y apporter toutes modifications de forme ou de détail qu'il juge utiles sans pour autant sortir du cadre de ladite invention. 69 10808 4 2011034 REVENDICATIONS 1. Dispositif de préhension et de transport d'objet plans comprenant une face de préhension adaptée pour couvrir ledit objet durant la préhension, des premiers moyens définissant une première zone sur cette face de préhension pour soumettre une partie de l'objet plan au vide afin de maintenir ledit objet 5 en contact avec ladite face de préhension durant le transport caractérisé en ce qu'il comprend en outre des second moyens définissant une seconde zone s*étendant à l'entour de la première zone et espacée dudit objet et soumise à de l'air comprimé pour maintenir cette seconde zone et la face arrière de l'objet dépourvue de produits contaminants durant le transport. 10 2. Dispositif selon la revendication 1 caractérisé en ce qu'il est destiné à la préhension et au transport de pastilles semi-conductrices minces et que la première zôhe comprend une portion centrale de la surface de préhension en relief pour entrer en contact avec l'objet et que la seconde zone comprend 15 une portion périphérique de la surface de préhension en retrait. 3. Dispositif selon les revendications 1 ou 2 caractérisé en ce que les premiers moyens comprennent un bossage comportant un orifice à vide et que les seconds moyens comprennent une portion annulaire de surface en retrait entou- 20 rant l'orifice à vide et au moins un orifice d'air comprimé s'ouvrant sur cette portion de surface en retrait en dehors du bossage. 4. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3 caractérisé en ce que les premiers moyens pour soumettre une partie de l'objet manipulé au vide comprend 25 un perçage soumis au vide et une surface élargie adjacente en retrait pour soumettre la majeure partie du centre de l'objet manipulé au vide de façon à maintenir fixé l'objet transporté durant le transport. 5. Dispositif selon la revendication 4 caractérisé en ce que la surface péri-30 phérique en retrait de la face de préhension porte une paire de rainures annulaires concentriques et plusieurs orifices d'air comprimé s'ouvrant respectivement dans ces rainures concentriques. 6. Dispositif selon la revendication 5 caractérisé en ce qu'il est percé et 35 lané à l'extrémité opposés à la face de préhension, qu'un bouchon cylindrique est inserré dans le laraage» pour former une chambre de pression fermée, les ori fices d'air comprimé faisant communiquer les rainures concentriques et la chambra de prassionle dispositif comportant des moyens pour fournir de l'air à sett® chaire à© pression.