FR 2006869 A1 19700102 FR 6913109 A 19690424 69 13109 1 2006869 La présente invention se rapporte à un filtre électromécanique pour une bande de fréquences sélectionnée, ayant une caractéristique sélectionnée et comprenant un cristal piézoélectrique ayant des faces opposées et coupé pour travailler en cisaillement 5 en épaisseur lorsqu'il est excité dans une bande de fréquences, une première paire d'électrodes sur ledit cristal, une deuxième paire d'électrodes sur ledit cristal et une troisième paire d'électrodes sur ledit cristal, la troisième paire d'électrodes étant écartée des deux autres en sorte que la troisième paire d'électrodes soit 10 couplée mécaniquement à une autre paire d'électrodes, les électrodes des paires couplées ayant des masses suffisantes et étant suffisamment espacées de l'autre paire d'électrodes à laquelle elle est couplée en sorte que, ne considérant que les deux paires d'électrodes couplées, il existe une caractéristique impédance 15 image réelle - fréquence ayant une partie continue qui part d'une valeur, nulle, croît jusqu'à une valeur maximum et décroît jusqu'à une valeur nulle dans une gamme d'impédances limitée. On a réalisé des dispositifs de transfert d'énergie qui transmettent l'énergie sélectivement et avec des pertes faibles 20 entre des trajets d'énergie au moyen de plaquettes de cristaux résonants, en chargeant les faces opposées d'une plaquette de cristal avec les masses d'un certain nombre de paires d'électrodes espacées qui forment des résonateurs avec la plaquette et concentrent les vibrations de cisaillement en épaisseur entre les élec-25 trodes de chaque paire et en espaçant les résonateurs sur la plaquette unique en sorte que des parties prédéterminées des vibrations de l'un des résonateurs affectent l'autre. Un filtre monolithique - est formé en déposant en phase vapeur deux paires d'électrodes sur des faces opposées d'une pla-30 quette de quartz piézoélectrique et en connectant une des paires à une source et -l'autre à une charge. Les paires d'électrodes forment alors des résonateurs respectifs. Les électrodes ont une masse suffisante et les paires d'électrodes sont suffisamment écartées en sorte que le couplage entre les résonateurs soit suf-35 fisamment petit pour confiner la caractéristique de transmission à une bande présélectionnée et pour confiner sa caractéristique d'impédance image réelle à une gamme d'impédances inférieure à un maximum prédéterminé sur une bande de fréquences et à une autre gamme d'impédances supérieure à un minimum prédéterminé sur une deuxième bande de fréquences. 6AD ORIGINAL 69 13109 2 2006869 Les bandes latérales de tels filtres se sont avérées avoir une raideur ou discrimination réglable en séparant davantage les résonateurs et en déposant entre eux des paires d'électrodes formant des résonateurs intermédiaires supplémentaires. Bien 5 que ces paires d'électrodes intermédiaires aient donné des effets souhaitables, on a constaté que la capacitance formée par les électrodes des paires intermédiaires affectait la courbe de réponse du filtre. Quoique cet effet n'était pas en soi nécessairement indésirable, on a constaté aussi que des capacitances parasites 10 supplémentaires des conducteurs et des éléments métalliques environnants affectaient également la caractéristique du filtre en affectant la capacitance formée par les paires d'électrodes intermédiaires. Il était donc difficile d'accorder de tels filtres pour obtenir des caractéristiques de transmission sûres. 15 Le problème évoqué ci-dessus a été résolu selon l'inven tion grâce à un dispositif convertisseur d'énergie caractérisé en ce que la troisième paire d'électrodes comporte une électrode sur chaque face du cristal et en ce que les électrodes sont court-cir-cuitées. 20 L'invention sera décrite plus amplement ci-après en se référant aux dessins joints dans lesquels: - la figure 1 est une vue schématique en plan d'un filtre selon l'invention; - la figure 2 est une vue en coupe du filtre selon la 2 5 figure 1; - la figure 3 montre la caractéristique de transmission (perte d'insertion en décibels en fonction de la fréquence) du filtre selon les figures 1 et 2; - la figure 4 est un schéma d'un filtre similaire à ce-30 lui des figures 1 et 2 mais ne comportant que deux paires d'électrodes; " la figure 5 montre le circuit équivalent du filtre selon la figure 4; - la figure 6 montre la courbe de variation de la réac-35 tance en fonction de la fréquence correspondant au circuit-de la figure 5 avec des électrodes n'ayant sensiblement aucune masse et un couplage serré; «= la figure 7 montre la courbe de variation de la résistance image du filtre selon la figure 4 pour les mêmes conditions ..qu'à la figure 6; BAD Oï^QINAL 69 13109 2006869 - la figure 8 montre la caractéristique de transmission du filtre selon la figure 4, terminé sur une résistance de valeur fixe; - 1p figure 9 montre la courbe de variation de la réac -5 tance en fonction de la fréquence correspondant au circuit de la figure 5 avec des électrodes ayant des masses données et couplées faiblement ; - la figure 10 montre la courbe de variation de la résistance image du filtre selon la figure 4 pour les mêmes condi- 10 tions qu'à la figure 9; - la figure 11 montre la caractéristique de transmission du filtre selon la figure 4 terminé sur une résistance de valeur fixe adaptée à la bande de fréquences inférieure; - la figure 12 est un schéma d'un montage pour mesurer 15 le couplage entre les résonateurs formés par les électrodes des figures 1 et 2; - les figures 13 à 15 sont des diagrammes montrant les relations entre les paramètres afin de déterminer les dimensions des éléments du filtre selon les figures 1 et 2. 20 Dans la forme de réalisation illustrée sur 1? figure 1, huit p'eires d'électrodes 12, 14; 16, 18; 20, 22; 24, 26; 28, 30; 32, 34; 36, 38; et 40, 42 sont déposées en phase vapeur en ligne suivant l'axe cristallographique Z' sur une plaquette de cristal de quartz en coupe AT, 44, de forme rectangulaire. Les épaisseurs 25 des électrodes et de la plaquette sont représentées à plus grande échelle sur la figure 2 afin de rendre le dessin plus clair. Les électrodes de chaque paire se trouvent de part et d'autre de la plaquette. Une source S applique un potentiel haute fréquence entre les électrodes 12 et 14 et engendre par voie piézoélectrique des 30 vibrations de cisaillement en épaisseur dans la plaquette 44- Les vibrations excitent des vibrations dans la plaquette 44 entre des paires successives d'électrodes 12 à 42 et engendrent une énergie électrique dans les électrodes 40 et 42. Chèque paire d'électrodes forme avec la plaquette de cristal un résonateur couplé aux réso-35 nateurs adjacents. Une résistance de chargé R0 reçoit l'énergie électrique apparaissant entre les électrodes de sortie 40 et 42. Les paires d'électrodes intermédiaires 16 à 38 sont toutes court-circuitées entre elles et mises à 1? terre. Les masses des électrodes 12 à 42 sont suffisamment grandes que pur concentrer l'énergie des vibrations dans 2a plaquette 44 dans le volume 69 13109 k 2006869 compris entre les électrodes de chaque paire et pour atténuer l'énergie de façon exponentielle en fonction de le distance comptée à partir de la paire d'électrodes. Cela limite l'effet des limites de le* plaquette sur les vibrations dans le cristal. En même temps 5 l'écartement entre les paires d'électrodes combiné à l'importance des masses de charge ont pour effet de coupler les paires d'électrodes afin de réaliser une bande passante voulue dans les limites montrées sur la figure 3• De plus, les masses et l'écartement entre les paires 10 d'électrodes sont tels que deux paires d'électrodes adjacentes sont couplées d'une façon que l'on appellera définitive c'est-à-dire que, quels que soient les effets de toutes les autres électrodes, l'impédance image réelle c'est-à-dire la résistance image ou la partie réelle de l'impédance caractéristique, présentée par 15 deux paires adjacentes quelconques lorsque croît la fréquence, forme deux bandes d'impédance réelle ou résistance dans des bandes de fréquences séparées, dans la première desquelles l'impédance image réelle ou résistance a une valeur maximum finie intermédiaire entre des fréquences limites extérieures pour lesquelles la résistance 20 est nulle, et dans la seconde desquelles l'impédance a une valeur minimum intermédiaire entre des fréquences limites extérieures pour lesquelles la résistance a une valeur infinie réelle. Cet effet est obtenu en rendant deux paires quelconques d'électrodes adjacentes suffisamment massives et en les écartant suffisamment 25 l'une de l'autre en sorte que le couplage;) entre elles qui est autrement non affecté soit tel qu'il existe une largeur de bande de fréquences s'étendant d'une fréquence de résonance pour laquelle l'impédance est nulle à une autre fréquence de résonance pour laquelle l'impédance est nulle, qui soit plus petite que la plus 30 petite bande de fréquences entre les fréquences de résonance et d'antirésonance de l'une des deux paires d'électrodes couplées entre elles. Dans la forme de réalisation illustrée sur la figure 1 1 ' effet est accentué en sorte que deux paires quelconques d*électrodes adjacentes soient couplées entre elles avec un cou-35 plage inférieur à un tiers du couplage définitif. Cela revient à dire que ces paires d'électrodes sont suffisamment massives et suffisamment écartées l'une de l'autre que pour que le couplage } entre elles, autrement non affecté soit tel que la largeur de bande de couplage soit inférieure au tiers de la plus petite largeur de bande qui s'étend entre la fréquence de résonance et la 69 13109 5 2006869 fréquence d'antirésonance de l'un des résonateurs couplés entre eux. Les effets d'avoir seulement deux telles paires d'électrodes peuvent être examinés en considérant le montage montré sur 5 la figure 4 et le circuit équivalent représenté à la figure 5. Le circuit équivalent illustre électriquement l'effet du couplage de deux résonateurs sur des filtres ayant seulement deux résonateurs couplés entre eux. Les capacités et contrôlent les fréquences de résonance de Z^ et Zg, et elles varient avec le cou-10 plage. En l'absence de couplage, = C^g. Plus lâche est le couplage, plus grand est C1A et plus petit est C^g. Dans le circuit de la figure 5 l'impédance caractéristique ou impédance image du filtre est donnée par la relation Z^ = V ^oc^sc> dans laquelle ZQc et Zgc sont respectivement l'impédance en circuit ouvert et en 15 court-circuit. Pour la structure en treillis montrée sur la figure 5, Z^ = V Z^Zg. Comme le cristal 44 a un grand facteur de qualité Q, les valeurs de Z^ et Zg sont presque exclusivement constituées de leurs réactances X. et Xt,. L'impédance image est donc 20 Dans les structures dont les électrodes ne chargent pas le cristal, les vibrations engendrées par la source S excitent de larges zones du cristal. Le couplage est alors beaucoup plus serré qu'avec des électrodes massives. Avec un couplage très serré, les réactances X^ et Xg varient en fonction de la fréquence comme mon-25 tré sur la figure 6. Comme X^ et Xg ont des valeurs imaginaires, c'est-à-dire qu'ils sont égaux à jX'j^ et jX'g, leur produit est négatif s'ils sont de même signe et leur produit est positif s'ils sont de signes opposés. Seule la racine carrée d'un nombre positif est réelle de 30 sorte que ce n'est que dans les régions de fréquences dans lesquelles X^ et Xg apparaissent des deux-côtés opposés de l'axe des abscisses que le filtre présente une impédance image qui est positive et réelle. Cette impédance image positive et réelle est la résistance image R^. Comme le montrent les courbes sur la figu-35 re 7, il existe deux impédances images positives réelles ou résistances R^ pour le couplage serré de la figure 6. Ces résistances s'étendent entre les fréquences de résonance f^ et d'antirésonance faA et entre les fréquences de résonance fg et d'antirésonance f&B des résonateurs représentés par les impédances individuelles Z^ et Zg. Comme la perte d'insertion est minimum lorsque la résis 69 13109 6 2006869 tance de terminaison RQ est égale à l'impédance image réelle ou résistance image R^, la perte d'insertion d'un tel dispositif est très élevée dans la bande de fréquences allant de fg^ à fg où lfimpédance image est réactive. La perte d'insertion est faible unique- . 5 ment au voisinage des deux fréquences pour lesquelles Rq coupe R^. Pour des résistances de charge faibles, les courbes de la figure 6 donnent lieu à la caractéristique de transmission (perte d'insertion en décibels en fonction de la fréquence) montrée sur la figure 8. En attribuant aux électrodes des masses suffisantes 10 l'énergie de vibration en cisaillement d'épaisseur se trouve concentrée dans le cristal 44 entre les électrodes des paires respectives de telle sorte que le cristal 44 vibre avec une amplitude qui décroît exponentiellement à l'extérieur du volume compris entre les électrodes. Le couplage entre les résonateurs diminue donc. ' 15 Une énergie appréciable ne peut donc atteindre les bords du cristal. Avec de telles masses des électrodes on obtient deux résonateurs lorsqu'on utilise deux paires d'électrodes. Lorsque ces deux résonateurs sont placés dans le champ efficace l'un de l'autre, leur fonctionnement est similaire à celui d'un transformateur double-20 ment accordé. En augmentant les distances entre les paires d'électrodes et en augmentant les masses des paires d'électrodes on réduit le couplage entre les résonateurs. Dans ce cas les fréquences de résonance f^ et fg se rapprochent l'une de l'autre. Lorsque le cou-25 plage est suffisamment faible pour que fg soit plus petit que fg^, les courbes X^ et Xg se présentent comme montré sur la figure 9. Les deux bandes de fréquences qui s'étendent entre chaque fréquence de résonance et la fréquence d'antirésonance correspondante se recouvrent et fg*=fA est plus petit que f^-f^. Les impédances images 30 réelles résultantes c'est-à-dire les résistances images R^ se présentent alors dans le plan réel comme montré sur la figure 10 où l'on voit que possède deux gammes réelles de valeurs positives. L'une de ces gammes s'étend entre les fréquences de résonance f^ et fg et la résistance y présente une valeur maximum au milieu 35 de la bande et une valeur nulle aux extrémités. La seconde gamme s'étend entre les fréquences d'antirésonance fgA et fafî et la résistance R^ y présente une valeur infinie pour faA' diminue puis croît ds nouveau vers 19infini à assure que croît la fréquence. Une des deux gammes de fréquences peut être supprimée en terminant lfél-5Cbrode 'sur une résistance don*- le est comprise dans- la *r« BAD ORIGINAL 69 13109 7 2006869 gamme de valeurs de R^ mai? est éloignée de l'autre. Comme sur la figure 10 la valeur de RQ est très voisine de la valeur de la résistance image dans la bande inférieure, le filtre laisse passer les fréquences comprises entre f^ et fg avec une perte faible. La 5 courbe de la perte d'insertion d'un tel filtre terminé sur une résistance de charge de valeur RQ est montrée sur la figure 11. Les caractéristiques des figures 9, 10 et 11 peuvent être obtenues en pppliquant à une paire d'électrodes une tension obtenue sur une impédance de source et en court-circuitant les 10 électrodes de l'autre paire d'un filtre monolithique à deux paires d'électrodes. On note la tension d'entrée. On mesure alors les fréquences auxquelles la tension d'entrée est la plus faible. Ces fréquences représentent les valeurs f^ et fg. Si fA"fB est inférieur à f on a obtenu les conditions qui correspondent 15 aux caractéristiques des figures 9, 10 et 11. C'est l'état que l'on a.appelé plus haut "état de couplage définitif" Les résonateurs sont ainsi couplés de façon définitive. Par contre, si fg-f^ est supérieur ou égal à f ^-f^, on a obtenu les conditions qui correspondent aux caractéristiques des figures 6, 7 et 8. Le 20 coefficient de couplage k entre ces deux résonateurs est alors égal à (fg-fA)/V fAfg. Dans la pratique pour rendre la valeur d'impédance maximum entre fg et f^ beaucoup plus petite que la valeur d'impédance minimum entre f g et f"a^, on choisit généralement la valeur de 25 ïg-f^ inférieure à la fois à On supprime ainsi une ban de d-une façon adéquate tandis que l'on obtient la transmission de l'autre bande moyennant une résistance de terminaison convenable. Sur les figures 1 et 2 les paires adjacentes d'électrodes, considérées seules, sont également dans l'état de couplage appelé 30 définitif. Les courbes des figures 9, 10 et 11 leur sont donc applicables. Pour ce faire, on applique une tension de fréquence variable à une des paires d'électrodes adjacentes, en court-circuitant l'autre paire adjacente et en laissant les autres paires d'électrodes en circuit ouvert. La figure 12 illustre un exemple de 35 montage permettant de vérifier le couplage entre deux paires d'électrodes adjacentes. Une source à fréquence variable 60 applique une tension aux électrodes 20 et 22 tandis que les électrodes 24 et 26 sont court-circuitées. Les autres électrodes sont en circuit ouvert. La tension appliquée aux électrodes 20 et 22 est notée au moyen d'un instrument de mesure 62. La fréquence appliquée est mesurée 69 13109 8 2006869 pour les deux tensions les plus basses relevées sur l'instrument 62 lorsque ls fréquence de la source 60 varie. ces deux fréquences mesurées sont les fréquences fA et fg. Sur la figure 1, est inférieur à f ^ -f^ ou faB""^B* Les deux paires d'électrodes 5 en question sont donc dans l'état de couplage définitif. Les autres électrodes n'affectent pas ces mesures d'une façon appréciable car la capacitance CQ des électrodes métalliques décale les fréquences de ces paires suffisamment loin de la bande fg-f^ pour que soit évitée toute interférence notable. En cas de 10 nécessité, une inductance supplémentaire peut être connectée aux bornes des autres électrodes 12 à 18 et 28 à 42 afin d'écarter davantage leurs fréquences de la bande fg-f^- On donnera ci-après un exemple de dimensions convenables pour la structure selon les figures 1 et 2. Ces valeurs ne 15 sont données qu'à titre d'exemple non limitatif. On choisit un cristal de quartz de coupe AT de 3,480 cm de long, 0,118 cm de large et environ 0,019827 cm d'épaisseur. Les électrodes 12 à 42 ont une longueur de 0,2464 cm suivant la longueur du cristal c'est-à-dire suivant l'axe Z', et 0,288 cm transversalement. 20 Les écartements entre les électrodes sont: d1 = 0,0945 centimètres = 0,1059 centimètre d3 = 0,10823 centimètre d4 = 0,1087 centimètre 4 = 0,108*3 centimètre *6 = 0,1059 centimètre d7 = 0,0945 centimètre On admet pour ces écartements une tolérance de plus ou moins •0,000254 cm environ. Les masses des électrodes sont telles qu'elles 30 provoquent des taux de décalage de la fréquence de résonance f du cristal chargé par une paire d'électrodes par rapport à la fréquence fondamentale f d'oscillation en cisaillement d'épaisseur du cristal non chargé, de 3%. Ce taux, que l'on appellera dans la suite "taux de décalage de la fréquence de résonance", est égal à 35 100(f-fr/f) et représente une mesure des masses ou des effets des masses des électrodes. Ce taux de décalage de la fréquence de résonance résulte de l'accroissement des masses des électrodes et tient compte du fait que lorsque les masses des électrodes croissent, la fréquence de résonance du résonateur individuel, mesurée lorsque les autres résonateurs sont désaccordés, diminue. 69 13109 9 2006869 Les coefficients de couplage k résultants entre les paires successives^de gauche à droite sur les figures 1 et 2^ sont: 0,7277; 0,5451; 51560; 5101; 5160; 5451 et 7277- La structure illustrée sur les figures 1 et 2 transmet une fréquence médiane de 5 8,141830 MHz avec une bande passante d-e 3,20 kHz de large. L'in-ductance du résonateur est de 44,2 millihenrys et le facteur de qualité Q est de 160.000 environ afin d'obtenir une bonne allure de bande passante. La source S a une résistance de 736 ohms et le signal sortie sur les électrodes 40 et 42 est appliqué aux 10 bornes de ls résistance de charge RQ de 736 ohms. Du fait que les électrodes sont accordées tout en étant court-circuitées au centre de la bande de fréquences désirée, ce sont à peu près seulement les fréquences associées à l'impédance faible qui sont transmises aux paires d'électrodes successives. 15 Les résonateurs successifs formés par chaque paire d'électrodes, toutes court-circuitées, fonctionnent d'une manière similaire jusqu'à ce que la dernière paire d'électrodes applique les signaux à la charge RQ. Lorsqu'on détermine le couplage entre les paires d'élec-20 trodes adjacentes comme montré sur la figure 12, ce sont les capacités CQ des paires en circuit ouvert qui se désaccordent suffisamment pour ne pas perturber la mesure de f^ et de fg. Si pour une raison quelconque le désaccord n'est pas suffisant, une bobine d'induction est connectée aux bornes des électrodes dont le cou-25 plage n'est pas mesuré à ce moment, de manière à les désaccorder. En fonctionnement, la source S applique une tension alternative aux électrodes 12 et 14. Ces électrodes engendrent par voie piézoélectrique une énergie acoustique dans le cristal 3itué entre elles. En raison de leurs masses, ces électrodes retiennent 30 une grande partie de l'énergie des vibrations engendrées dans le cristal 44 dans le volume compris entre les électrodes et à l'écart des bords du cristal 44. Toutefois, les vibrations entre la première paire d'électrodes se répartissent successivement dans la gamme acoustique des paires d'électrodes subséquentes et 35 excitent dans las régions comprises entre ces électrodes des vibrations de la même fréquence. Les vibrations dans la dernièfi paire d'électrodes engendrent un signal électrique qui apparaît aux bornes de la charge. L'expression "vibrations de cisaillement en épaisseur*3 est utilisée ici dans le sens indiqué dans "Encyclopedia of Science 69 13109 10 2006869 and Technology", publiée par McGraw-Hill Book Company, New York, 1966, volume 10, pages 220-222. Elle couvre les vibrations selon lesquelles les faces opposées vibrent suivant leurs plans en directions opposées, et elle comprend les vibrations selon lesquel-5 les les parties de la même face vibrent en phase ainsi que les vibrations selon lesquelles les parties de la même face vibrent en opposition de phase. Ce dernier mode de vibration se produit lorsque sur un cristal .de quartz de coupe AT, les électrodes sont alignées arîva± la direction Z'. Le premier mode de vibration se 10 produit lorsque, sur ce cristal, les électrodes sont alignées sulvat la direction X. Les vibrations de cisaillement en épaisseur se rapportent également aux vibrations qui se produisent lorsque les électrodes, sur le cristal de quartz de coupe AT, sont alignées gxisantdes directions comprises entre les directions X et Z*. 15 Les figures 13, 14 et 15 montrent un exemple de courbes qui ont été développées pour des structures telles que celle de la figure 4 travaillant en cisaillement dfépaisseur, et qui permettent de réaliser des structures. La structure selon les figures 1 et 2 est réalisée en 20 sélectionnant d'abord une largeur de bande totale et en calculant les coefficients de couplage (fg-f^)/V Xpf-Q entre chaque paire d'électrodes en sé basant sur la théorie des circuits. On choisit les dimensions des électrodes et un taux de décalage de la fréquence de résonance convenable (entre 0,3 et 3%) à l'aide des 25 courbes des figures 13s 14 et 15. Si t est l'épaisseur de la plaquette et r la largeur des électrodes, ^ est généralement égal à 12 bien qu'en pratique on puisse utiliser toute valeur comprise entre 6 et 20. On choisit fréquemment une valeur de 15t pour la longueur des électrodes normale à l'axe de couplage afin d'assu-30 rer une bonne suppression des autres modes de vibration. La fréquence fondamentale f des vibrations de cisaillement en épaisseur est déterminée pour correspondre au taux de décalage de la fréquence de résonance PB'choisi en rendant f égal à f . D'où: m 0 r On commence la fabrication par la coupe d'une plaquette 16 dans un cristal de quartz ayant i'-'c^ienoation cristallographie 69 13109 n 2006869 que désirée, par exemple une coupe AT. La plaquette est ensuite polie et attaquée chimiquement jusqu'à une épaisseur t correspondant à la fréquence fondamentale f du mode de vibration de cisaillement désiré. D'une façon générale l'épaisseur est inversement 5 proportionnelle à la fréquence désirée. Des masques présentant des découpures sont placés sur chaque face de la plaquette en vue de procéder au dépôt des électrodes. La forme géométrique des électrodes est déterminée en considérant les largeurs de bande désirées et le taux de décalage de la fréquence de résonance convenables. 10 L'écartement d convenable entre les électrodes peut être déterminé à partir de courbes telles que celles montrées sur les figures 13, 14 et 15 qui montrent les variations du couplage pour diverses valeurs du rapport d/t (écartement entre électrodes/ épaisseur du cristal), pour diverses valeurs du taux de décalage 15 de la fréquence de résonance, indiqué par le symbole PB, et pour diverses valeurs de r/t à une fréquence centrale de 10 MHz. Pour obtenir les taux de décalage voulus de la fréquence,de l'or ou du nickel est déposé en couches, par vaporisation par exemple, au travers de masques de façon à réaliser des con-20 nexions possibles et réaliser à peu près le taux de décalage de la fréquence de résonance désiré. L'énergie est appliquée séparément à chaque paire d'électrodes et charge celles-ci jusqu'à ce qu'il se produise un décalage correspondant au taux de décalage de la fréquence de résonance désiré. On opère ainsi jusqu'à ce que la 25 paire d'électrodes résonne à la fréquence f . Durant ce processus de dépôt, les autres paires d'électrodes sont désaccordées en les maintenant en circuit ouvert. Toutefois, il peut être nécessaire d'éliminer les effets des autres paires en les terminant sur une charge inductive. Le couplage et les réponses de chaque paire de 30 résonateurs couplés sont alors mesurés et l'on obtient la largeur de bande désirée. Des réglages peuvent être effectués en faisant varier légèrement le taux de décalage de la fréquence de résonance de chaque paire d'électrodes. 35 69 13109 12. 2006869 REVENDICATIONS. 1.- Filtre électromécanique pour une bande de fréquences sélectionnée, ayant une caractéristique de charge sélectionnée et comprenant un cristal piézoélectrique ayant des faces opposées et cou- 5 pé pour travailler en cisaillement en épaisseur lorsqu'il est . excité dans une bande de fréquences, une première paire d'électrodes sur ledit cristal, une deuxième paire d'électrodes sur ledit cristal et une troisième paire d'électrodes sur ledit cristal, la troisième paire d'électrodes étant écartée des deux autres en sor-10 te que la troisième paire d'électrodes soit couplée mécaniquement à une autre paire d'électrodes, les électrodes des paires couplées ayant des masses suffisantes et étant suffisamment espacées de l'autre paire d'électrodes à laquelle elle est couplée en sorte que, ne considérant que les deux paires d'électrodes couplées, il 1 5 existe une caractéristique impédance image réelle - fréquence afyant une partie continue qui part d'une valeur nulle, croît jusqu'à une valeur maximum et décroît jusqu'à une valeur nulle dans une gamme d'impédances limitée, caractérisé en ce que la troisième paire d'électrodes comporte une électrode sur chaque face du cristal et 20 en ce que les électrodes sont court-circuitées. 2.= Filtre selon la revendication 1, caractérisé en ce que la troisième paire d'électrodes est située entre les première et deuxième paires d'électrodes. 3.- Filtre selon la revendication 1, caractérisé en ce 25 que plusieurs paires d'électrodes sont situées entre les première et deuxième paires d'électrodes et en ce que chacune des paires d'électrodes située entre les première et deuxième paires d'électrodes est court-circuitée. 4.- Filtre selon la revendication 1, caractérisé en ce 30 que plusieurs paires d'électrodes court-circuitées sont placées entre les première et deuxième paires d'électrodes, les électrodes de chaque paire étant situées sur des faces opposées du cristal. 5.- Filtre selon la revendication 1, caractérisé en ce que les paires d'électrodes ont des masses suffisantes et sont 35 suffisamment écartées l'une de l'autre pour que seul le couplage entre une paire d'électrodes et une autre paire à laquelle la première est couplée, soit tel qu'il existe une largeur de bande entre deux fréquences de résonance, qui soit inférieure à la largeur de bande entre deux fréquences d'antirésonance de l'une ou l'autre des paires d'électrodes couplées.