FR 2011597 A1 19700306 FR 6921107 A 19690624 69 21,1,07 : "1" 2011597 La présente invention a trait,à des éléments électroniques à film mince, tels que des éléments semiconducteurs, des résistances, et des condensateurs, formés sur des substrats souples par dépôt de vapeurs* Elle a également pour ob^et un procédé et 5 un appareil dé îabrication de, tels dispositifs. Des dispositifs électroniques à film mince ont été fabriqués - ,|ans le passé par divers procédé». Cependant ces procédés sont ? ^discontinus donc Coûteux où bien ne produisent pas de dispositifs de qualité régulière. 10 lie but de la présente invention est donc de mettre en oeu vre un nouveau type d'éléments à film mince supportés par un substrat souple et pouvant Stre facilement fabriqués, par un procédé continu, peu coûteux et régulier. ▲ cet effet, 1'invention réside dans un dispositif électro-15 nique comprenant au moins tin élément à film mince supporté par un substrat souple dans lequel ledit élément comprend au moins une couche d'un matériau électriquement conducteur ou semiconducteur formé sur ce substrat par dépôt de vapeur. L'invention sera mieux comprise en se référant à la descrip-20 tion qui va suivre et aux dessins annexés sur lesquels : - les figures 1 et 2 sont des vues latérales coupées en section droite de dispositifs semiconducteurs selon l'invention ; - la figure 3 est une vue latérale d'un appareil utilisé dans la mise en oeuvre de l'invention ; 25 - la figure 4 est une vue supérieure de l'appareil de la fi gure 3 ; - la figure 5 est une vue latérale d'un appareil utilisé dans la mise en oeuvre de l'invention ; - la figure 6 est une vue supérieure de l'appareil de la fi-30 gure 3 y . .... - les figures 7 et 8 sont des vues d'en haut d'éléments électriques fabriqués selon l'invention; et - la figure 9 est une vue d'en haut d'un circuit électrique fabriqué selon l'invention. 35 Sur la figure 1, on a représenté un transistor 10 à effet de champ et à film mince placé sur un substrat souple suivant Tin mode de réalisation de l'invention donné à titre d'exemple. Il est clair cependant que l'invention n'est pas limitée à de tels 69 21107 2011597 transistora et que la plupart des dispositifs semiconducteurs ..P^Z^t.. jltee^^abriqpi'éjB. sur un, substrat souple sfjon l'invention. le transistor 10 comprend un substrat souple, 12, un contact ou électrode de. source 14; un contact ou électrode de 5 drain 16, une couche, d'un matériau semiconducteur 18, une couche 20 d'un isolant électrique et un contact ou électrode de commande 22. Le .substrat souple 22 peut être par-exemple en x papier, en téréphtalate de polyéthylène, en esters ou éthers de cellulose tels que 1 *éthyl-cellulose, en acétate de cellulose, 10 ou en nitrate, de cellulose; en cellulose»régénérée telle que de la cellophane, en. chlorure de polyvinyle, en chlorure-acétate de polyvinyle, en chlorure de.polyyinylidène, en .Mylon, en pellicules de polyimide et de polyamide-imide, en polytétrafluoré-thylène, en polytrifluoromonochloréthylène, et en bandes ou 15 feuilles souples métalliques, par exemple en nickel, aluminium, cuivre,, étain, .tantale et leurs alliages, ou en alliages à base de fer, par exemple une bande mince d'acier inoxydable. Le papier peut être de n'importe qp.el type et avoir une texture de surface quelconque. Il peut être rugueux ou uni, il 20 peut être à base de chiffons,, de pulpe de bois, d'alpha, ou être du papier Kraft. A. titre d'exemple , des dispositifs semiconducteurs selon l'invention ont été fabriqués avec dtt cartes à jouer., des papiers à lettre , et des journaux comme substrats. Le terme "souple" signifie un matériau qui. peut être enrou-25 lé autour d'un mandrin ayant au maxiimm 2,5 cm de diamètre et de préférence 3 mm de diamètre environ. Ses substrats souples portant des transistors à effet de . champ du type représenté spr la figure 1 ont été enroulés suivant des cylindres de 1,6 mm de diamètre sans diminuer la qua-30 lité de leur fonctionnement. Sur la figure 2, on a représenté un dispositif 110 à effet de champ modifié. Le substrat souple .112 du dispositif 110 est une feuille ou bande métallique, et une couche 124 d'un matériau isolant de 1*électricité, qui isole l'élément électronique 35 du dispositif du substrat, -est placée sur le substrat 112 avant q.ue le dispositif : soit^abriqjié. •. Suivant la na^urie .du métal constituant le substrat, la couche isolante 124 peut être un oxyde anodique du métal de la bande lui-même, par exemple de l'oxyde d'aluminium si le métal du 692H07 2011597 substrat 112 est de 1 ' aluminium, ou bien elle peut être une résine séchée isolante de l'électricité telle que celles utilisées pour isoler les fils conducteurs, par exemple une résine phénolique à base de polyvinyle ou une résine époxy pouvant 5 être mélangée avec des résines à base de polyamide-imide ou de polyimide, comme décrit dans les brevets américains 3 179 6J0 et 3 i?9 635- En se référant de nouveau à la figure 1, mais aussi & la figuré 2, la source 14- ou 114 et le drain 16 ou 116 sont placés 10 àur le substrat souple 12 ou sur la couche isolante 124 du substrât 112 et séparés l'un de l*autre. La distance entre la source et le drain n'est pas critique et dépend des propriétés cherchées. Cette source 14 et ..ce drain 16 sont constitués en un métal conducteur de l'électricité, par exemple en or, argent, 15 aluminium, nickel ou leurs alliages. Cette source et ce drain doivent avoir une épaisseur suffisante pour jouer le rôle de O contacts ohmiques. Une épaisseur comprise entre 80 et 300 A et Eé préférence entre 100 À et 300 À est satisfaisante. La. couche de matériau semiconducteur 18 s'étend entre la 20 source- 14 et le drain 16. Se préférence la couche 18 recouvre partiellement la source 14 et le drain 16. Cette couche 18 est constituée par exemple par du tellure; du sulfure de dcadmium, du sélUniure de cadmium, du silicium, de l'arséniure d'indium, de l'arséniure de gallium, de l'oxyde d'étain et du tellurare 25 de ploïib. La couche 18 peut être monocristalline, polycristal-line ou amorphe. On a construit des dispositifs satisfaisants en utilisant une coiiche semiconductrice de tellure ayant une épaisseur com- e o o prisé %ntre 40 A et 200 A et de préférence de l'ordre de 100 A. O 30 On peut aller jusqu'à 5 000 A pour un matériau ayant une coupure de bande plus large, tel que le sulfure de cadmium ou le sélénit&e de cadmium. La couche isolante 20 n'a pas besoin de recouvrir complètement là couche 18 et elle va de la source 14 et au drain 16. 35 Elle dèit seulement isoler l'électrode de commande 22 de la couche semiconductrice 18. La couche isolante 20 peut être constituée en mono-oxyde de silicium, en bioxyde de silicium, en oxyde d'aluminium, en 69 21107 2011597 fluorure de calcium, eu fluorure de magnésium et en composés organiques polymérisables tels que des polymères d'hexachloro-butadiène, du benzène divinyle, des sulfones d'aryle, des alké-nyles fluorés (par exemple du polytétrafluoréthylène), des pa-5 raxylènes et des verres isolants de 1*électricité, tels que du silicate de plomb, du borate ou du borosilicate de plomb, et leurs mélanges. La couche isolante 20 doit être aussi mince que possible pour que le courant dans le dispositif puisse être modulé par 10 une tension relativement faible. Cependant, cette couche doit O servir d'isolant électrique. Une couche de 100 A d'épaisseur renferme quelquefois des piqûres d'aiguille qui affectent défavorablement l'isolement .électrique de cette couche. Une épaisseur d'environ 300 A est l'épaisseur minimale qui permet d'être O 15 sûr qu'il n'y aura pas de piqûres et une épaisseur de 1 000 A est une valeur optimale pour une couche d'isolement continue permettant encore une modulation à basse tension, quand la tension de fonctionnement du dispositif augmente jusqu'à 100 volts, O une épaisseur d'environ 3 000 A est souhaitable, et, pour une 20 tension de fonctionnement de 200 volts, une épaisseur de 500 A O à 600 A est convenable. L'électrode de commande 22 est placée sur la couche isolante 20 entre la source 14 et le drain 16. L'électrode 22 est en un métal conducteur tel que de l'aluminium, de l'étain, de l'ar-25 gent, de l'or ou du platine. Four que cette électrode crée une bonne conductibilité, son épaisseur doit être comprise entre O O • O 300 A et 1 000 A et de préférence entre 500 A et 1 000 A. Ses transistors à effet de champ du type représenté par les figures 1 et 2 ont des caractéristiques de fonctionnement éta-30 bli et ils peuvent travailler jusqu'à des fréquences allant jusqu'à 60 MHz. Se tels transistors ont fonctionné jusqu'à 1 000 heures sans variations appréciables de leurs caractéristiques. Le dispositif selon l'invention peut être utilisé dans des applications ne demandant pas une puissance élevée, une très 35 haute fréquence ou une forte température. Ces dispositifs ont été utilisés dans des amplificateurs en cascade, des circuits convertisseurs et oscillateurs. Ses dispositifs du type de ceux des figures 1 et 2 ont pré 69 21107 201 1597 senté les caractéristiques suivantes : ÏEraasconductance : environ 6 000 micro- mhos pour un contact de drain de 4 ma, température de fonctionnement : jusqu'à 150°C, 5 Tension maximale Source- Drain : au moins 200 Volts . Suivant l'invention, ces éléments électroniques sont préparés par condensation sous vide à travers des stencils métalliques. D'une façon générale, le substrat souple est placé dans 10 une chambre à vide et des métaux, des matériaux semiconducteurs et des matériaux isolants sont successivement déposés à partir d'une vapeur sur le substrat à travers des stencils de façon à engendrer sur le substrat des réseaux correspondant aux éléments électronique et électrique du dispositif. Par exemple, dans le 15 cas du dispositif des figures 1 et 2, le substrat est placé dans une chambre à vide, et un métal est condensé à travers un stencil de façon à former des électrodes de source et de drain. Un deuxième stencil est alors utilisé et le matériau semiconducteur se condense de façon à former la couche semiconductriee qui 20 s'étend entre la source et le drain. Le stencil est de nouveau chargé et la couche isolante se condense en formant l'isolant de commande. Finalement, à l'aide d'un quatrième stencil, le contact de commande se condense sur la couche isolante. Plus précisément, le matériau du substrat est choisi et dé-25 coupé aux dimensions voulues. La souplesse de cette technique permet de choisir un substrat de forme et de dimension souhaitables quelconques. Une forme préférée consiste à utiliser un rouleau muni de perforations marginales comme un film photographique. 50 Si le substrat est du papier ou un composé cellulosique, il est nettoyé en soufflant de l'azote.sec sur lui puis en le chauffant dans un four à environ 100°C pendant 30 minutes. Si ce substrat est une feuille métallique anodisée ou un revêtement d'une résine séché sur une feuille métallique, ou un des maté-35 riaux souples indiqués ci-dessus, il est lavé dans du méthanol (ou dans un autre solvant organique s'il est soluble dans le méthanol), séché par de l'hydrogène sec et chauffé dans un four à 100°C environ pendant environ 30 minutes. 69 21107 2011597 Dans ces deux cas, il est ensuite nettoyé par de l'azote sec après avoir été enlevé du four. Sur les figures 3 ëb 4 , le substrat souple nettoyé est ensuite enroulé sur une bobine 50 ou sur un autre support, puis 5 placé dans une chambre à vide. En utilisant un transporteur 51 qui peut être une partie du substrat lui-même ou un autre matériau quelconque, par exemple une bande d'un composé cellulosique, le substrat 12 passe entre des éléments d'une station de dépôt 52, d'une station d'essai 10 54, d'une station d'enrobage 56 et sur une bobine d1 emmagasinage 58. La chambre à vide est alors vidée d'air jusqu'à une pression résiduelle inférieure à 10~^ a* de mercure et de préférence inférieure à 10~^ mm de mercure. 15 Le substrat 12 est alors déplacé de façon à placer une par tie initiale à la station de dépôt 52. Cette station 52 comprend un mécanisme de changement de masque 60 sur lequel sont placés une série de masques 62, un contrôleur d*épaisseur 64, par exemple une micro-balance, un contrôleur 20 optique ou par résistance et un obturateur mécanique 66 utilisé pour commander le début et la fin du dépôt. Quand la première partie du substrat a été mise en place à la station de dépôt, le masque de la source et du drain est placé sur le substrat 12 et la source 14 et le drain 16 (figures 1 et 25 2) sont déposés à partir d'une vapeur sur le substrat. Ces électrodes de source et de drain 14 et 16 peuvent être en or, argent, aluminium ou nickel. Des dispositifs satisfaisants ont été obtenus avec une source et un drain ayant une épaisseur comprise entre 100 et 500 30 angstroms formés en déposant le métal sur le substrat à une vitesse de 0,1 à 50 angstroms par seconde et de préférence comprise entre 0,7 angstrom et 6 angstroms par seconde. De très bons dispositifs ont été obtenus dans lesquels la êource et le drain sont constitués d'une couche d'or ayant une épaisseur comprise 35 entre 100 et 300 angstroms formée en déposant de l'or sur le substrat à une vitesse de 0,7 à 6 angstroms par seconde. Après que le dépôt d'une épaisseur suffisante des électrodes métalliques de source et de drain a été détecté par le système dé commande 64, un mécanisme d'obturation mécanique 66 est ac-40 tionné de façon à obturer l'arrivée de la vapeur métallique. 69 21107 7 2011597 Ce mécanisme 60 est alors actionné de façon à placer le masque suivant sur le substrat et la couche 18 du matériau semiconducteur est déposée à partir d'une vapeur entre les électrodes de source et de drain. Après la fin du dépôt de la couche 5 18, le masque suivant est mis en position et la couche 20 du matériau isolant de 1*électricité est déposée à partir d'une vapeur sur la couche 18 du matériau semiconducteur. Des dispositifs satisfaisants ont été fabriqués en utilisant une couche de mono-oxyde de silicium ayant une épaisseur comprise entre 300 et 10 500 A, cette couche ayant été déposée à une vitesse de 0,1 à 5 A par seconde et de préférence à une vitesse comprise entre 0,2 et 2 A par seconde. Le masque suivant est alors mis en place et l'électrode de commande 22 est déposée & partir d'une vapeur sur la couche 20. 15 Pour obtenir les meilleurs résultats, l'électrode 22 doit être déposée à partir d'une vapeur à une vitesse comprise entre ;- • ' 0 3 «t 50 A par seconde et de préférence comprise entre 6 et 20 A par seconde. Si on le désire un autre masque peut alors être placé et 20 le dispositif peut être enrobé à l'intérieur d'un revêtement de mono-oxyde de silicium de façon à le protéger de l'atmosphère ambiante. Un revêtement de mono-oxyde de silicium d'épaisseur O comprise entre 250 et 1 000 A s'est révélé satisfaisant quand on O le dépose à une vitesse de 1 à 3 A par seconde. 25 Après la fin de la fabrication du dispositif, le substrat est avancé et cette séquence est répétée en sorte qu'une série de dispositifs sont fabriqués l'un après l'autre sur le substrat. On remarquera que le dispositif de changement de masque 60 30 contient plus que les quatre ou cinq masques 62 nécessaires. Oe mécanisme 60 de la figure 4 contient 12 masques ou trois séries des quatre masques nécessaires. Quand ce mécanisme 60 tourne, chaque masque 62 passe sous une tête de nettoyage 63 où il est nettoyé avant d'être réutilisé. 35 Quand les dispositifs suivants sont préparés, les disposi tifs formés précédemment avancent vers l'élément de test 54 où leurs caractéristiques électriques sont vérifiées. Après avoir trouvé des caractéristiques électriques satisfaisantes, le dis 69 21107 -8- 2011597 positif avance jusqu'à la station d'enrobage où il est enrobé entre un ruban cellulosique et le substrat, ce qui crée un enrobage hermétique du dispositif et ensuite le dispositif avance jusqu'à la bobine $8 d'emmagasinage. 5 En se référant aux figures 5 et 6, on voit que la station de dépôt 52 des figures 3 et 4 peut être divisée en deux stations séparées, et au lieu de placer les divers masques et les sources de dépôt de vapeur sur le substrat ou sous le substrat, ce substrat se déplace séquentiellement sous ou sur les masques 10 162, 262, 362 et les sources de matériaux de dépôt 152, 252, 352. Il peut être prévu une station de masquage et une station comportant une source d'un matériel de dépôt pour chaque dépôt de vapeur ou bien plus de deux dépôts peuvent être effectués à la même station. 15 II est évidemment clair que les masques et les sources de dépôt peuvent être placés au-dessus ou au-dessous du substrat flexible quand ils passent dans la chambre,>à vide. Certains des matériaux semi-conducteurs pouvant être utilisés selon l'invention peuvent seulement être déposés sur un 20 substrat placé en tête. Par exemple, du sulfure de cadmium doit être déposé sur un substrat ayant une température comprise entre 150 et 200°C. Ceci ne présente pas de difficulté pour le choix d'un substrat parce que la plupart des papiers supportent une telle températu-25 re pendant le temps nécessaire pour déposer une couche d'unna-tériau semiconducteur. l'arséniure d'iridium et l'arséniure de gallium demandent une température du substrat d'environ 500°C pendant le dépôt de la couche semiconductrice à partir d'une vapeur. Quand on 30 utilise de tels matériaux semiconducteurs, on doit choisir un substrat capable de supporter de telles températures. Quand on utilise des matériaux semiconducteurs nécessitant un substrat en tête, l'appareil représenté sur les figures 5 et 6 est préférable à celui représenté sur les figures 3 et 4. 35 En plus des transistors, l'invention peut être utilisée pour fabriquer d'autres éléments électriques et électroniques et des circuits complets placés sur des substrats souples. Sur la figure 7 on a représenté une série de résistances 69 21107 2011597 électriques 70 déposées sur un substrat souple 212. Ces résistances 70 peuvent être constituées d'un matéri&u résistant quelconque placé sur le substrat souple 212 en particulier par des techniques et à l'aide d'appareils représentés et indiqués ci-5 dessus. Le métal particulier à utiliser est déterminé par la résistance totale désirée, par la résistivité du métal et par la longueur désirée ou permise des résistances individuelles. Sur la figure 8, on a représenté une série de condensateurs 72 déposés sur un substrat souple 312. Oes condensateurs 72 com-10 portent deux couches 73 et 75 respectivement d'un métal conducteur de l'électricité déposé sur le substrat souple 312. Oes deux couches métalliques 73 et 75 sont séparées par une couche 77 d'un matériau isolant de l'électricité. En plus de divers éléments électriques, des circuits électriques complets peuvent 15 être fabriqués sur un substrat souple selon l'invention. Sur la figure 9 on a représenté -un circuit amplificateur basse fréquence préparé sur un substrat d'aluminium anodisé selon l'invention. Ce circuit comporte un condensateur 80, trois transistors à effet de champ et à film mince 82 du type représenté 20 sur la figure 2 qui sont connectés comme des diodes en connectant l'électrode de commande à l'électrode de source, trois transistors supplémentaires à effet de champ et à fila mince 84 du type représenté sur la figure 2 et une résistance 86. Le substrat est :un aluminium, les éléments étant isolés de 25 ce substrat par une couche d'oxyde d'aluminium. Les diodes 82 et 84 sont fabriquées en utilisant du tellure comme matériau semiconducteur. Le condensateur 80 est fabriqué en déposant deux couches d'aluminium électriquement isolées l'une de l'autre par une cou-30 che de SiO. La résistance est constituée d'un alliage chrome-nickel et les éléments sont électriquement connectés suivant un circuit par un conducteur de cuivre 88 cléposé à partir d'une vapeur. D'autres circuits tels que des circuits radio, des amplificateurs 35 vidéo et des circuits logiques peuvent être fabriqués sur des -substrats souples selon l'invention. 69 21107 -10- 2011597 BETENBICiflONS 1.- Dispositif électronique comprenant au moins un élément à film mince supporté par un substrat souple dans lequel ledit élément comprend au moins une couche d'un matériau conducteur 5 de l'électricité ou semiconducteur formé sur ce substrat par dépôt d'une vapeur. 2.- Dispositif selon revendication 1, dans lequel ledit élément comprend au moins une couche d'un matériau isolant formé par dépôt de vapeur. 10 3«- Dispositif selon revendication 1, dans lequel au moins un élément à film mince est un dispositif semiconducteur. 4.- Dispositif selon revendications 1 à 3» dans lequel au moins tin dispositif semiconducteur est Tin transistor à effet de champ. 15 5«- Dispositif selon revendications 1 à 4, dans lequel au moins un élément à film mince est une résistance. 6.- Dispositif selon revendications 1 à 5» dans lequel au moins un élément à film mince est un condensateur. 7.- Dispositif selon l'une quelconque des revendications 20 précédentes comprenant au moins deux éléments à film mince, ces éléments étant connectés suivant un circuit électrique. 8.- Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel le substrat est du papier. 9.- Dispositif selon revendications 1 à 7» dans lequel le 25 substrat est un film à base de résine. 10.- Dispositif selon revendications 1 à 7> dans lequel le substrat est une feuille métallique isolée. 11.- Dispositif selon revendications 3 ou 4 à 10 lorsqu'il dépend de la revendication 3, comprenant un substrat souple, 30 une première et une deuxième électrode séparées et fixées sur ce substrat, une couche d'un matériau semiconducteur en contact avec ces électrodes et disposée entre ces électrodes, une couche d'un matériau isolant de l'électricité placée sur la couche de matériau semiconducteur et une troisième électrode placée 35 sur cette couche de matériau isolant. 12.- Dispositif selon revendication 11 dans lequel la souplesse du substrat est telle qu'il peut être enroulé autour d'un mandrin ayant un diamètre d'environ 2,5 cm. 21107 -11- 2011597 13.- Dispositif selon revendications 11 ou 12, âtmn lequel les premières et deuxièmes électrodes sont constituées par de l'or, de l'argent, de l'aluminium, du nickel, ou leurs alliages. 14.- Dispositif selon revendications 11 à 13, dans lequel 3 la couche de matériau semiconducteur est constituée par du tellure, du sulfure de cadmium, du séléniure de cadmium, de l'arséniure d'indium, de l'arséniure de gallium, de l'oxyde d'étain et du tellurure de plomb. 15.- Dispositif selon revendications 11 à 14, dans lequel 10 la couche du matériau isolant est constituée d'un matériau appartenant au groupe comprenant des matériaux isolants de l'électricité organiques ou inorganiques ayant un coefficient de claquage d'environ 1 000 volts pour o,025 mm. 16.- Dispositif selon revendications 11 à 15» dans lequel 15 la troisième électrode est constituée par un métal appartenant au groupe comprenant l'aluminium, le cuivre, fi ^argent, l'or et le platine. 17.- Dispositif selon revendications 11 à 16 dans lequel la première et la deuxième électrodes ont une épaisseur comprise O 20 entre 100 et -*-500 A, la couche du métariau semiconducteur a une O épaisseur comprise entre 40 et 5 000 A, la couche du matériau O isolant a une épaisseur comprise entre 100 et 6 000 A, la troi- O sième électrode a une épaisseur comprise entre 300 et 1 000 A. 18.- Dispositif selon revendications 11 à 16 dans lequel 25 les premières et deuxièmes électrodes ont une épaisseur compri- O se entre 100 et 300 A, la couche du matériau isolant a une épais» o séur comprise entre 300 et 1 000 A, et la troisième électrode O a une épaisseur comprise entre 500 et 1 000 A. 19.- Procédé de fabrication d'un dispositif comprenant au 30 moins un élément électronique à film mince placé sur tin substrat souple, ce procédé comprenant le déplacement du substrat à l'intérieur d'une chambre à vide et le dépôt à partir d'une vapeur d'au moins une couche d'un matériau conducteur ou semiconducteur sur des parties sélectionnées de la surface de ce substrat. 35 20.- Procédé selon revendication 19, dans lequel un dépôt sous forme d'une vapeur d'un matériau isolant est effectué sur des parties sélectionnées de ce substrat et de cette couche. 21.- Procédé selon revendication 20 comportant le dépôt à 69 21107 -12- 2011597 partir d'une Tapeur de cette couche du matériau isolant entre des couches de matériau conducteur ou semiconducteur. 22.- Procédé selon revendication 19 à 21 comprenant le dépôt d'un masque sur ce substrat de façon à exposer lesdites par-5 ties sélectionnées de la surface à la vapeur du matériau à déposer. 2J.- Procédé selon revendication 22 comprenant la mise en place d'un substrat souple dans une chambre à vide, la réduction de la pression dans cette chambre à une valeur inférieure 10 à 10-7 mm de mercure, la mise en place d'un premier masque sur une première partie de ce substrat, le dépôt simultané à partir d'une vapeur de deux électrodes sur ce substrat, ces deux électrodes étant séparées l'une de l'autre d'une distance déterminée, la mise en place d'un deuxième masque sur la première partie du 15 substrat, le dépôt à partir d'une vapeur d'une couche d'un matériau semi-conducteur dans l'espace situé entre les deux électrodes, la mise en place d'un troisième masque sur la première partie du substrat, le dépôt d'une couche d'un matériau isolant sur toute la couche du matériau semiconducteur, la mise en place 20 d'un quatrième masque sur la première partie du substrat et le dépôt à partir d'une vapeur d'une troisième électrode sur la couche du matériau isolant à une égale distance entre la première et la deuxième électrode. 24.- Procédé selon revendication 23, dans lequel le sutos-25 trat souple est constitué d'un matériau appartenant au groupe • comprenant le papier, le téréphtalate de polyéthylène, des esters et des éthers de cellulose, la cellulose régénérée, le chlorure de polyvinyle, l'acétate de chlorure de polyvinyle, le chlorure de polyvinylidène, des films de polyimide et de polya-30 mide, le polytétrafluoréthylène, le polytrifluoromonochloréthy-lène, et des bandes ou feuilles souples métalliques, les deux premières électrodes appartenant à un métal du groupe comprenant l'or, l'argent, l'aluminium, le nickel et leurs alliages, la couche du matériau semiconducteur étant constituée par un 35 matériau semiconducteur appartenant au groupe comprenant le tellure, le sulfure de cadmium, le séléniure de cadmium, l'arséniure d'indium, l'arséniure de gallium, l'oxyde d'étain et le tel-lurure de plomb, la couche du matériau isolant étant constituée 69 21107 2011597 7 d'un matériau appartenant au groupe comprenant des matériaux isolants de l'électricité, organiques ou inorganiques, ayant tine constante de claquage d'au moins 1 000 volts pour 0,025 mm et la troixième électrode étant constituée d'un métal apparte-5 nant au groupe comprenant l'aluminium, le cuivre, 1'étain, l'argent, l'or et le platine. 25.- Procédé selon revendication 24 dans lequel les deux premières électrodes sont déposées à partir d'une vapeur à une - O vitesse comprise entre 0,1 et 50 A par seconde, la couche du ma-10 tériau isolant étant déposée à partir d'une vapeur à une vites- O se comprise entre 0,1 et 5 A par seconde et la troisième électrode étant déposée à partir d'une vapeur à une vitesse compri- O se entre 3 et 50 A par seconde. 26.- Procédé selon revendication 24 dans lequel les deux 15 premières électrodes sont déposées à partir d'une vapeur à une r O vitesse comprise entre 0,7 et 6 A par seconde, la couche du matériau isolant étant déposée à partir d'une vapeur à une vites- © se comprise entre 0,2 et 2 A par seconde et la troisième électrode étant déposée à partir d'une vapeur à une vitesse comprise 20 entre 6 A et 20 A par seconde. 27•- Procédé selon revendications 24 à 26 dans lequel le substrat souple est constitué par du papier, les deux premières électrodes sont constituées par de l'or, la couche du matériau semiconducteur est constituée par du tellure, la couche du ma-25 tériau isolant est constitué par du monooxyde de silicium et la troisième électrode est constituée par de 1'aluminium. 28.- Appareil permettant de préparer un dispositif comprenant au moins un élément électronique à film mince placé sur un substrat souple par dépôt de vapeur, cet appareil comprenant 30 une chambre à vide contenant un dispositif d'emmagasinage d'un matériau constituant tin substrat souple, et un dispositif permettant de déplacer ce substrat à partir de ce dispositif d'emmagasinage , au moins une station de dépôt à laquelle le substrat souple peut être amené, cette station de dépôt comportant une 35 série de masques destinés au dépôt de matériaux sur le substrat souple, une source du matériau à déposer à partir d'une vapeur à travers ces masques, et tin dispositif de mesure de la quantité du matériau déposé à partir de la vapeur, une station d'essai, une station d'enrobage, et un dispositif permettant de rassembler 69 21107 -14- 2011597 le substrat souple après son passage dans ces différentes stations . 29.- Appareil selon revendication 28 dans lequel la série des masques sont placés sur une pièce tournante. 5 30.- Appareil selon revendication 28, dans lequel les mas ques sont placés sur une ligne entre le dispositif d'emmagasinage du substrat et la station d'essai. 31.- Appareil selon revendications 28 à 30, dans lequel le dispositif de mesure de la quantité du matériau déposé à partir 10 d'une vapeur sur le substrat souple est une micro-balance.