FR 2013093 A1 19700327 FR 6923292 A 19690709 69 23292 1 2013093 la présente invention concerne un appareil destiné à engendrer et à diriger un faisceau électronique et vise notamment un appareil perfectionné propre à engendrer tin faisceau électronique et à le diriger, en lui imprimant un changement de direction une 5 concentration, vers une zone désirée d'impact sur la surface d'une cible. Les installations de four à faisceau électronique comportent un ou plusieurs montages de canon à électrons destinés à engendrer des faisceaux électroniques de haute énergie et à les proje-10 ter sur une cible pour chauffer celle-ci. Les montages de canon à électrons comprennent d'une manière générale un filament émissif, émettant des électrons, et un moyen propre à concentrer les électrons en un faisceau. Le faisceau d'électrons est accéléré suivant une direction initiale par une anode accélératrice convena-15 ble. On peut établir des champs magnétiques pour diriger le faisceau d'électrons suivant un trajet désiré vers la surface d'une cible contenue dans le four et pour imprimer à ce faisceau le degré de concentration désiré afin de déterminer l'aire de sa zone d'impact sur la surface de la cible. 20 Un type de montage de canon à électrons particulièrement avantageux utilise des champs magnétiques qui s'étendent transversalement à la direction de propagation des électrons dans le faisceau pour dévier le faisceau d'électrons vers la cible suivant un trajet incurvé. En déviant le faisceau électronique à l'aide de 25 champs transversaux, on peut placer le filament émissif ailleurs que sur un trajet de propagation en ligne droite vers la cible. On évite ainsi que le filament soit directement exposé aux vapeurs qui se dégagent de la cible et que ces vapeurs se condensent sur sa surface. Il en résulte une nette réduction de l'éro-30 sion subie par le filament émissif, dont la vie se trouve ainsi prolongée. De plus, l'utilisation de champs transversaux réduit sensiblement la tendance d'ions négatifs et d'électrons secondaires à être captés dans le faisceau électronique, ce qui limite l'accumulation de charges spatiales susceptibles d'affecter fâ-35 cheusement la concentration et la déviation. Le brevet des Etats-Unis n° 3.177-535 décrit un montage de canon à électrons de ce genre,"satisfaisant. Gomme décrit dans ce brevet, la déviation de faisceaux électroniques par des champs magnétiques transversaux trouve une ap-40 plication dans la fusion de matière contenue dans un creuset ver 69 23292 2 2013093 tical. Dans certains cas, l'écaillage de condensés formés sur les surfaces refroidies de l'enceinte sous vide et les éclaboussures de matière fondue dans ùn creuset vertical risquent de nuire au "bon fonctionnement d'un canon à électrons tel que décrit dans ce 5 "brevet. Toutefois, si l'on dispose le filament émissif sous le creuset et qu'on imprime au faisceau électronique un trajet incurvé en le déviant d'environ 270°, le filament émissif se trouve protégé des éclaboussures et des fragments de condensés détachés, sans qu'on ait à utiliser d'écrans ou analogues. 10 Outre qu'on imprime au faisceau un trajet incurvé en le dé viant de plus de 180°, il peut être avantageux de le concentrer de manière à le faire converger, sur la surface de la cible, sur une zone d'impact désirée. En faisant converger le faisceau, sur la surface de la cible, sur une zone ayant la forme générale d'un 15 cercle de diamètre désiré on permet une régulation précise de la quantité de chaleur transmise à la sunface de la cible et du motif thermique établi dans la cible. Toutefois, jusqu'à présent, les dispositifs imprimant une déviation de 270° comportent, pour l'établissement du champ magnétique de déviation, des pièces po-20 laires qui s'étendent au-dessus de la surface de la cible. Les vapeurs qui se dégagent de la matière fondue dans un creuset ont tendance à se condenser sur les surfaces plus froides de pièces polaires magnétiques situées au-dessus de la surface de la matière. Les condensés faiblement adhérents se détachent par-25 fois des surfaces qui les portent et tombent dans le creuset ou sur la trajectoire du faisceau d*électrons. Ces fragments détachée provoquent des éclaboussures qui rendent 1'évaporation instable et font varier la vitesse d'évaporation parce qu'ils refroidissant la flaque en y pénétrant. Dans un appareil destiné à des opéra-30 tions prolongées, la quantité de condensés accumulés sur les pièces polaires peut devenir suffisante pour obliger à interrompre le cycle d'évaporation et à opérer une mise à l'arrêt prématurée. La présente invention a pour but de proposer : - - un appareil perfectionné destiné à engendrer et à diriger 35 un faisceau électronique; - un tel appareil propre à imprimer au faisceau un trajet incurvé en le déviant d'environ 270° et à le faire converger, à 1'issue de ce traj et ; -- un montage de canon à électrons perfectionné agencé pour 40 occuper, dans un four sous vide, une position minimisant3e contact 69 23292 3 2013093 entre les particules de vapeurs et le filament émissif; - un appareil propre à engendrer et à diriger un faisceau électronique en lui imprimant un changement de direction et en le concentrant au moment où il frappe la surface d'une cible, aucun 5 élément constitutif de l'appareil n'étant situé plus haut que cette surface. D'autres buts de l'invention apparaîtront au technicien d'après la description qu'on va maintenant donner en se référant aux dessins annexés, sur lesquels : 10 - la figure 1 montre en perspective un appareil réalisé sui vant l'invention et indique certaines des lignes de flux du champ magnétique transversal qui dévie le faisceau électronique; - la figure 2 est une vue de dessus de l'appareil; - la figure 3 en est une vue en coupe suivant la ligne 3-3 15 de la figure 2; - les figures 4 et 7 indiquent à titre d'exemple les formes que le faisceau électronique présente en coupe transversale suivant les diverses lignes, 4-4, 5-5t 6-6 et 7-7 respectivement, portées sur la figure 3- 20 - la figure 8 est un diagramme indiquant les valeurs de l'in tensité du champ en divers points du trajet emprunté par le faisceau électronique, et" - la figure 9 est une vue de dessus d'un appareil suivant une variante. 25 D'une manière très générale, l'appareil suivant l'invention comporte des moyens propres à engendrer un faisceau d'électrons suivant une direction initiale et des moyens propres à établir un champ magnétique transversal à cette direction pour imprimer par déviation au faisceau un trajet incurvé. Les moyens générâteurs 30 de champ ont la configuration voulue pour établir un champ présentant, près de la surface de la cible, une région où l'intensité croît, dans le plan du trajet incurvé, du bord intérieur vers le bord extérieur du faisceau. L'intensité moyenne du champ est environ deux fois plus importante près de la cible que près du mi-35 lieu du trajet emprunté par le faisceau et, au voisinage de la cible, les lignes de flux sont cintrées autour de la surface de la cible. ' On va maintenant considérer en particulier les figures 1 à 3 pour décrire en détail l'appareil qu'elles représentent à titre 40 d'exemple. Un creuset 11, contenant de la matière fondue.12 à 69 23292 4 2013093 chauffer, est ménagé dans un taquet plein 13» en cuivre, qui présente des passages 14 permettant à du réfrigérant de circuler à travers le taquet pour refroidir le creuset. On peut prévoir des tuyaux d'admission et d'échappement convenables, non représentés, 5 pour amener du réfrigérant aux passages 14 et pour l'en évacuer. Gomme on l'exposera, on maintient la matière 12 en fusion en bombardant sa surface à l'aide d'un faisceau d'électrons. Par suite du refroidissement, une carapace de matière solidifiée 16 se forme entre la matière fondue et la paroi refroidie du creuset. 10 Cette carapace évite l'érosion de la paroi de creuset et toute réaction entre le matériau constitutif du creuset et la matière chaude fondue formant la flaque. Ainsi, la flaque ne subit pas de contamination et sa composition demeure sensiblement pure. Le taquet 13 présente, au sommet d'une de ses faces latérâLas^ 15 une console 17» Un canon à électrons 18, soutenu par des moyens convenables non représentés, est monté sous la console 17 et ainsi protégé contre les éclaboussures et autres projections émanant de la matière fondue 12. Le canon à électrons 18 engendre un faisceau d'électrons de haute énergie, dont l'axe est indiqué en 20 traits mixtes en 19. Ce canon 18 comporte un filament émissif 21, logé dans un évidement 22 creusé dans me contre-électrode 23.Une anode plate 24, disposée près de la contre-électrode 23, présente un trou 26 situé en face de l'émetteur 21. Un moyen convenable, non représenté, fournit du courant chauffant l'émetteur 21 pour 25 le porter à un niveau de température permettant l'émission d'éleo-trons. D'autres moyens convenables sont prévus pour maintenir la contre-électrode 23 et l'émetteur 21 à tin potentiel négatif élevé par rapport à l'anode plate 24. En conséquence, les électrons émis par l'émetteur 21 sont accélérés à l'opposé de la contre-électro-30 de 23 et à travers le trou 26, suivant une direction initiale sensiblement perpendiculaire à la plaque 24. Du fait que l'émetteur 21 est allongé, on obtient tin faisceau plat qui s'étend dans l'ensemble perpendiculairement au filament et perpendiculairement au plan de la figure 3« 35 Suivant l'invention, on prévoit des moyens propres à engen drer un champ magnétique transversal à la direction initiale du faisceau, pour imprimer par déviation à ce dernier un trajet incurvé, aucun élément constitutif de ces moyens générateurs de champ ne s'élevant au-dessus du niveau atteint par la matière li-40 quide 12 dans le creuset 11. De plus, le champ magnétique ainsi 69 23292 5 2013093 établi est capable de conférer par concentration au faisceau d'électrons une densité de puissance notable, même quand on imprime par déviation au faisceau un chasagement de direction atteignant 270°. Une haute densité de puissance est désirable dans de nom-5 breux cas pour assurer la vitesse d'évaporation désirée ou pour faire apparaître dans la flaque des gradients thermiques très accusés. Tels que représentés sur les figures 1 à 3, les moyens générateurs de champ comprennent deux pièces polaires planes 27 et 28, 10 situées de part et d'autre du creuset 11 et portées par deux culasses 29 et 31 respectivement. Les culasses et les pièces polaires sont en un matériau à faible réluctance magnétique. Un noyau 32, aussi en matière à faible réluctance magnétique, s'étend entre les culasses 29 et 31, qu'il touche à leurs extrémités oppo-15 sées aux pièces polaires 27 et 28. Une bobine électromagnétique 33 est enroulée sur le noyau 32 et des moyens convenables non représentés sont reliés à cette bobine 32 pour l'exciter et engendrer ainsi un champ magnétique qui s'étend entre les pièces polaires et les culasses, comme on l'exposera plus loin. 20 Le taquet 13 qui définit le creuset et l'enroulement 32 sont portés par une structure de support 34- qui présente deux branches horizontales décalées en hauteur, reliées par une branche verticale. La structure 34 est en un matériau de nature à rendre l'assemblage rigide, divers éléments de l'assemblage étant fixés à la 25 structure 34 par des moyens convenables, non représentés. Un trou 35 est percé dans la branche verticale de la structure 34- pour permettre au flux de dispersion de l'enroulement 33 de s'ajouter au flux établi entre les culasses 29 et 31, ceci pour une raison qu'on exposera plus loin. 30 Qjiand 1 ' enroulement électromagnétique 33 est excité par du courant continu qui le traverse, un champ magnétique s'établit entre les pièces polaires 27 et 28 et les culasses 29 et 31* Ce champ magnétique présente des lignes deflux incurvées dans la région marginale 36 située entre l'émetteur 21 et l'espace séparant 35 les culasses 29 et 31 et dans la région marginale 37 située au-dessus du creuset 11. En quittant l'émetteur 21, le faisceau d'électrons a tendance à diverger par suite d'interactions entre les électrons^à changes négatives. Toutefois, du fait qu'elles sont incurvées dans la 40 région 36, les lignes de flux tendent à rétablir la convergence 69 23292 6 2013093 du faisceau parallèlement à l'émetteur. En outre, étant donné qu' en quittant l'émetteur, le faisceau électronique n'a pas encore eu le temps de s'étaler dans une large mesure, les lignes de flux incurvées établies dans la région 36 évitent facilement que la 5 tendance du faisceau à s'étaler n'affecte fâcheusement le fonctionnement de l'appareil. Oes lignes de flux marginales amorcent aussi la déviation du faisceau vers le haut sous l'action de forces engendrées conformément à la loi bien connue des trois doigts de la main droite. Pour assurer la déviation dans le sens voulu, 10 les lignes de flux ressortent vers le haut du plan du papier sur la figure 3« Dans la suite de la présente description, on entendra par "déviation du faisceau" en un point donné l'angle que font ensemble en ce point une tangente à l'axe de courbure du faisceau et une parallèle à la direction initiale que le faisceau 15 présente à la sortie de l'émetteur. A mesure que le faisceau d'élections approche, dans la région 36, de l'espace séparant les culasses 29 et 31» l'intensité du champ magnétique croît, ceci parce qu'on se rapproche des culasses ainsi que de l'enroulement 33 qui émet un flux de disper-20 sion, s'étendant dans son voisinage et parallèlement au noyau 32, de nature à renforcer le champ dans cette région*. Grâce au flux de dispersion de l'enroulement 33» l'intensité du champ magnétique croît, dans la région 36, dans le plan du trajet inGurvé du faisceau (plan de la figure 3) du bord intérieur 38 vers le bord 25 extérieur 39 du faisceau d'électrons 19. Sous l'effet d'une hausse d'intensité de 20 à 40 %, les électrons voisins du bord extérieur du faisceau subissent une déviation suffisamment supérieure à celle que subissent les électrons voisins du bord intérieur pour que les trajets initialement divergents des électrons derieit-30 nent dans l'ensemble convergents dans le plan de la figure 3. Il en est ainsi pour les soixante premiers degrés environ de déviation imprimée au faisceau. En quittant la région 36, le faisceau pénètre dans l'espace séparant les culasses 29 et 31. Dans cet espace, le champ magné-35 tique est sensiblement'uniforme. Etant donné que les-électrons voisins du bord extérieur du faisceau incurvé demeurent plus longtemps dans cette région, parce que leurs trajets y sont plus ]ongs^ le faisceau ne prend pas de divergence et peut, selon les proportions physiques, acquérir une certaine convergence. Dans la ré-40 gion située entre les pièces polaires 28 et 29» le faisceau a une 23292 7 2013093 certaine tendance à diverger parce que le champ est plus intense vers son "bord intérieur, du fait de l'inclinaison relative des pièces polaires. Toutefois, cette tendance n'a qu'un effet négligeable parce que les pièces polaires ont une dimension verticale 5 faible et que les électrons voisins du bord extérieur du faisceau décrivent dans l'ensemble des trajets plus longs. Pour éviter que les bords opposés du faisceau (indiqués en traits interrompus en 38 et 39 sur la figure 3), ne divergent une fois le faisceau parvenu au-dessus des pièces polaires 27 et 28, 10 on agence l'appareil de manière à ce que la région de dispersion du champ magnétique ne subisse, au-dessus des pièces polaires, qu'une décroissance négligeable en fonction de la distance aux pièces polaires dans la région traversée par le faisceau. Une fois le faisceau parvenu au-dessus des pièces polaires 27 et 28, 15 le champ de dispersion établi entre les pièces polaires lui imprime une déviation transversale d'environ 180° vers la surface de la cible. Pour minimiser le gradient de champ régnant au-dessus des pièces polaires magnétiques 27 et 28, on donne aux pièces polaires une dimension horizontale (largeur) au moins égale à leur 20 dimension verticale (épaisseur). On offre ainsi au flux de dispersion une surface au moins aussi grande sur les faces supérieures que sur les faces latérales des pièces polaires, ce qui contribue à renforcer et à améliorer le champ de dispersion au-dessus des pièces polaires. Par exemple, on peut prévoir un espace-25 ment d'environ 38 mm dans la région de plus grande proximité (indiquée en d sur la figure 2) entre des pièces polaires divergentes ayant 6,35 d'épaisseur et environ 32 mm de largeur (dimension w sur la figure 2), faisant ensemble un angle d'environ 45°, pour obtenir, sur les cinquante premiers millimètres au-dessus " 30 des pôles, une densité de flux d'environ 10 % supérieure à celle que permettent d'obtenir des pièces polaires de 12,7 mm de large séparées par la même distance. Pour dévier finalement le faisceau vers le bas jusque sur la surface de la matière fondue 12, on donne au champ régnant dans 35 la région du creuset une intensité croissant du bord intérieur 38 vsrs le bord extérieur 39 du faisceau. Comme illustré par la figure 2, on obtient ce résultat en faisant converger les pièces polaires 27 et 28 vers le creuset 11, depuis leurs extrémités voisines de l'enroulement 33. Outre qu'on obtient ainsi le gra-40 dient de champprécité, on donne sensiblement au champ régnant au- 69 23292 8 2013093 dessus du creuset, dans la région 37» une intensité double de oel— le régnant à l'endroit où le faisceau s'élève initialement au-des sus du niveau des pièces polaires 27 et 28. L'intensité du champ régnant dans cette dernière région a la valeur voulue pour impri-5 mer au faisceau une courbure assez accusée. On peut ainsi ramener assez abruptement le faisceau de haut en bas vers la cible, afin que la zone d'impact ne soit pas trop étalée. Il est satisfaisant que le champ ait dans cette région une intensité d'environ 125 à 135 gauss pour un faisceau de 10 kW. Ainsi, par exemple, le champ 10 peut avoir une intensité moyenne d'environ 270 gauss directement au-dessus du centre du creuset. Outre qu'il dévie le faisceau, le champ établi au-dessus du creuset lui imprime aussi un effet final de concentration. Du fait que les pièces polaires ont une largeur très importante par 15 rapport à leur épaisseur et du fait qu'elles sont convergentes, le faisceau traverse, directement au-dessus du creuset, une région dans laquelle l'intensité de champ croît, dans le plan du trajet incurvé, du bord intérieur vers le bord extérieur du faisceau. Etant donné que les électrons voisins du bord extérieur 37 20 du faisceau-19 traversent des parties plus intenses du champ et séjournent plus longtemps dans ce champ que les électrons voisins du bord intérieur 36, la convergence du faisceau s'accuse. De préférence, l'intensité du champ croît, du bord intérieur jusqu'au bord extérieur, de 20 à 40 % environ. De plus, les lignes de for-25 ce étant cintrées, au-dessus du creuset, autour de la surface de la flaque (formant une voûte au-dessus du sommet du creuset), il y a concentration suivant une direction parallèle à l'émetteur (perpendiculaire au plan de la figure 3) dans toutes les parties marginales du champ établi au-dessus des pièces polaires, ce qui 30 fait converger le faisceau vers une petite zone d'impact sensiblement circulaire. Les lignes de force qui s'étendent en voûte au-dessus du creuset sont indiquées en 41 sur la figure 1. Pour établir convenablement le gradient d'intensité du champ et la courbure des lignes de force présentes dans les zones mar-35 ginales du champ, au-dessus des pièces polaires 27 et 28, on choisit judicieusement l'espacement entre pôles, pour un rayon de courbure donné du trajet emprunté par le faisceau, ainsi que le rapport entre la largeur et l'épaisseur des pièces polaires. Plus - ces pièces sont larges, moins la variation d'intensité du champ 40 est rapide sur une distance donnée le long du plan vertical pas 69 23292 9 2013093 sant à mi-chemin entre les pièces polaires. Plus ces pièces sont espacées, moins les lignes de flux magnétique sont cintrées. Ainsi, pour tel ou tel rayon de courbure requis dans un appareil de modèle particulier, on peut choisir de manière empirique les lar-5 geurs et l'espacement à conférer aux pièces polaires. On obtient dans de nombreux cas de bons résultats en prévoyant entre la largeur w de chaque pièce polaire et la plus faible distance d entre pièces polaires un rapport d'environ 0,25 à 1,5» Les figures 4 à 7 sont des vues typiques du faisceau en cou-10 pe transversale à divers niveaux, telles qu'obtenues en interposant à ces niveaux des feuilles métalliques. Dans le plan 4-4, où le faisceau émerge dans la région située au-dessus des pièces polaires, ce faisceau présente en coupe une aire importante. La figure 5 illustre un léger effet de concentration, qui s'accuse 15 dans le plan 6-6 jusqu'à ae que le faisceau prenne, dans le plan de la surface de la flaque 12, comme illustré par la figure 7» la. section circulaire rétrécie désirée (par exemple d'un diamètre de 25 mm ou moins). Si l'on fait varier l'angle © entre 45 et 60°, la concentra-20 tion transversale, intervenant dans le plan du papier sur la figure 2, a lieu avant la concentration radiale et, en conséquence, la zone d'impact est plus grande que celle représentée sur la figure 7« C'est ainsi qu'il peut apparaître dans le plan 6-6 un î>oint nodal" ou point de section minimale en ce qui concerne la 25 concentration transversale, le faisceau divergeant lorsqu'il atteint le plan 7-7* Si l'on fixe l'angle 6 aux environs de 30° en augmentant la dimension d, la zone d'impact du faisceau se déplace vers la gauche sur la figure 2. On va maintenant considérer la figure 8 qui est un diagramme 30 illustrant un champ qui présente des gradients dMàntensité satisfaisants pour imprimer une déviation d'environ 270° à un faisceau électronique de 10 kW afin que sa zone d'impact soit contenue dans un cercle de diamètre de 25 mm, situé à 38 mm en arrière de l'émetteur et à 25 mm au-dessus de ce dernier. L'inclinaison re-35 lative des pièces polaires (0 sur la figure 2) est de 45°, la distance w est de 25 mm et l'épaisseur des pièces polaires est de 6,35 mm. La distance d est de 17>5 mm et l'espacement entre les culasses 29 et 31 est de 76,2 mm. Pour établir les intensités de champ indiquées,■1'enroulement 33 a une force magnétomotrice de 40 1.700 ampèretours. L'induction magnétique au point de plus faible 69 23292 10 2013093 espacement entre pièces polaires est d'environ 400 gauss. On voit qu'il apparaît sur les bords intérieur et extérieur du faisceau d'électrons des gradients de champ inverses pendant les soixante premiers et pendant les trente derniers degrés environ de dévia-5 tion dji faisceau. Pendant le reste du trajet du faisceau, le gradient "î^èrement opposé, mais insuffisant pour affecter la concentration. La figure 9 représente un agencement satisfaisant pour obtenir une zone d'impact à peu près circulaire, d'un diamètre d'en-10 viron 76 mm, avec un faisceau de 10 kW. Sur la figure 9» les pièces analogues par leurs fonctions aux pièces portées sur les figures 1 à 3 sont désignées par les mêmes références numériques, majorées de 100. Les pièces polaires 127 et 128 partent à peuprès parallèlement du voisinage de l'enroulement 133 jusqu'au voisinais ge de la région du creuset 111. A ce niveau, elles deviennent convergentes, faisant ensemble un angle © d'environ 60°. A l'aide de pièces polaires de 13 x 13 mm séparées par une distance minimale d d'environ 50 mm et, entre leurs tronçons parallèles, par une distance d'environ 89 mm, on peut obtenir une bonne concentra-20 tion en utilisant un enroulement 133 ayant une force magnétoaotxi-ce de 1.450 ampèretours. Au point d'espacement minimal entre pièces polaires 127 et 128, l'intensité du champ atteint 130 gauss environ. L'intensité du champ est, sur la médiane du creuset, d'environ 100 gauss et, entre les tronçons parallèles des pièces 25 polaires, d'environ 126 gauss. Les gradients inverses apparaissait au-dessus du creuset et près de l'émetteur varient sensiblement dans les mêmes proportions que dans l'exemple précédent. On voit donc que l'invention propose un appareil perfectionné propre à engendrer un faisceau d'électrons et à le diriger suivant 30 un trajet incurvé jusque sur la surface d'une cible. Aucune structure n'a à être placée au-dessus de la surface de la cible et l'on peut efficacement faire converger le faisceau pour lui conférer la faible aire d'impact désirée. L'invention est particulièrement indiquée pour l'obtention d'une déviation d'environ 270° et c'est 35 cette application qu'on a décrite, mais elle permet aussi d'obtenir des déviations plus importantes ou plus faibles. Ainsi, on peut imprimer suivant l'invention au faisceau un changement de direction accusé et une forte concentration immédiatement au-dessus de la surface d'une cible sans utiliser de pièces polaires sur-40 plombant cette surface. D'après l'exposé qui précède et les dessins annexés, le tedar-nicien pourra apporter aux modes de réalisation décrits diverses modifications et variantes, dans le cadre défini par les revendi-catxons ci-aessous. 69 23292 n 2013093 REVENDICATIONS 1. Appareil propre à engendrer un faisceau d'électrons et à le diriger suivant un trajet incurvé vers la surface d'une cible, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens engendrant un fais- 5 ceau d'électrons suivant une direction initiale et des moyens propres à établir transversalement à cette direction un champ magnétique destiné à dévier le faisceau suivant le trajet incurvé, ces moyens d'établissement de champ étant agencés pour engendrer un champ qui présente, dans une région voisine de la surface de la 10 cible, une intensité croissant dans le plan du trajet incurvé du bord intérieur vers le bord extérieur du faisceau, ce champ ayant près de la cible une intensité moyenne sensiblement double decel-le qu'il présente au voisinage du milieu du trajet du faisceau et présentant en outre des lignes de flux cintrées autour de la sur-15 face de la cible. 2. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdits moyens générateurs de champ sont agencés pour que le champ présente, dans une autre région voisine des moyens générateurs de faisceau, une intensité croissant dans le plan du trajet incurvé 20 du bord intérieur vers le bord extérieur du faisceau. 3. Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que, /desdites dans chadune regxons, l'intensité du champ croît, entre le bord intérieur et le bord extérieur du faisceau, d'environ 20 à 40 %. 4. Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que 25 le faisceau subit au total un changement de direction de 270° et en ce que les régions où l'intensité croît vers le bord extérieur du faisceau couvrent environ les soixante premiers et les trente derniers degrés de déviation du faisceau. 5. Appareil selon la revendication 3, caractérisé en ce que, 30 dans le reste du champ magnétique transversal, c'est-à-dire environ entre le trentième degré et le deux cent quarantième degré environ de déviation du faisceau, l'intensité décroît, dans le plan du trajet incurvé, du bord intérieur vers le bord extérieur du faisceau. 35 6. Appareil selon l'une quelconque des revendications 1 à 5» caractérisé en ce que lesdits moyens générateurs de champ comprennent deux pièces polaires espacées de part et d'autre de la cible 23292 12 2013093 et situées au-dessous de la surface de la cible, ainsi qu'un enroulement qui s'étend entre ces pièces polaires. 7. Appareil selon la revendication 6, caractérisé en ce que ledit enroulement est situé près du trajet emprunté par le fais- 5 ceau d'électrons de manière à ce que son flux de dispersion renforce le flux établi entre lesdites pièces polaires. 8. Appareil selon l'une quelconque des revendications 6 ou7» caractérisé en ce que les trancb.es intérieures des pièces polaires convergent vers la cible, dans le plan de la surface de celle 10 ci, faisant ensemble un angle de 40 à 60° environ. 9. Appareil selon l'une quelconque des revendications 6 à 8, caractérisé en ce que les faces supérieures,des pièces polaires ont des largeurs au moins égales aux hauteurs des tranches intérieures de ces pièces polaires. 15 10. Appareil selon la revendicatibn 9» caractérisé en ce que le rapport entre la largeur de chaque pièce polaire et la plus faible distance entre pièces polaires est compris entre 0,25 et 1,5 environ. 11. Appareil propre à engendrer un faisceau d'électrons et à 20 le diriger suivant un trajet incurvé vers la surface d'une cible, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens propres à engendrer un faisceau d'électrons suivant une direction initiale et des moyens propres à établir, transversalement à cette direction, un champ magnétique destiné à dévier le faisceau d'électrons suivant le 25 trajet incurvé, ces moyens générateurs de champ comportant deux pièces polaires espacées de part et d'autre dudit trajet incurvé, ainsi qu'un enroulement qui s'étend entre lesdites pièces polaires, cet enroulement étant placé près dudit trajet de manière à ce que son flux de dispersion croise le trajet du faisceau pour 30 dévier ce dernier. 12. Appareil selon la revendication 9» caractérisé en ce que ledit enroulement est placé de manière à faire apparaître une région dans laquelle l'intensité du champ crâife, dans le plan du trajet incurvé, de l'un à l'autre des bords du faisceau.