Brevet FR3162930A1 — publié le 20251205

Dispositif optomécanique La présente description concerne un dispositif optomécanique (300). Un premier élément (304A) et un deuxième élément (302) du dispositif sont mécaniquement mobiles l'un par rapport à l'autre. Un guide d'onde (308) du dispositif comprend une portion (310) fixée à l'un des premier et deuxième éléments, et un résonateur optique ou optomécanique (306) du dispositif est fixé à l'autre des premier et deuxième élément. Un actionneur (324) du dispositif est configuré pour modifier une position relative des premier et deuxième éléments l'un par rapport à l'autre entre une première position où le résonateur (306) est optiquement couplé à la portion (310) du guide d'onde (308) et une deuxième position où le résonateur (306) est optiquement découplé de la portion (310) du guide d'onde (308). Figure pour l'abrégé : Fig. 3 Dispositif optomécanique La présente description concerne de façon générale les dispositifs optomécaniques intégrés, et, plus particulièrement les dispositifs optomécaniques intégrés comprenant un guide d'onde et un résonateur optique ou optomécanique coopérant avec le guide d'onde pour recevoir de la lumière. La FIG. 1 illustre, par une vue de dessus schématique, un exemple d'un dispositif 1 comprenant un guide d'onde 100 et un résonateur optique ou optomécanique 102. Dans l'exemple de la FIG. 1 , le résonateur 102 est un disque, par exemple défini dans une couche, par exemple semiconductrice. Lorsque le résonateur 102 n'a qu'une fonction optique, le résonateur 102 est appelé résonateur optique 102. Lorsque le résonateur 102 a une fonction optique et mécanique, le résonateur 102 est appelé résonateur optomécanique. Le guide d'onde 100 est par exemple défini dans la même couche que le résonateur 102. Le guide d'onde 100 comprend une portion 100A qui est disposée à une distance dc non nulle du résonateur. Dans l'exemple de la FIG. 1 , la distance dc est telle que le guide d'onde 100, et, plus particulièrement sa portion 100A, et le résonateur 102 sont optiquement couplés l'un à l'autre. L'expression "optiquement couplée", signifie, par exemple, que lorsque de la lumière circule dans le guide d'onde 100, une partie de cette lumière peut être injectée dans le résonateur 102. Par exemple, lorsqu'un signal lumineux est injecté dans le guide d'onde 100 d'un côté de la portion 100A (à gauche en FIG. 1 ) avec une puissance Pin pour une longueur d'onde λin, la puissance Pout du signal lumineux dans le guide d'onde 100 de l'autre côté de la portion 100A (à droite en FIG. 1 ), à cette longueur d'onde λin, dépend de la longueur d'onde de résonance λR du résonateur. La FIG. 2 illustre par une courbe 200 l'évolution du rapport de puissance Pout/Pin en fonction de la longueur d'onde λin dans le dispositif 1 de la FIG. 1 . Comme cela se voit sur cette figure, lorsque la longueur d'onde λin est égale à la longueur d'onde λR du résonateur optique ou optomécanique, la puissance Pout est alors à une valeur minimale pouvant être nulle. En revanche, lorsque la longueur d'onde λin s'éloigne de la longueur d'onde λR, la puissance Pout augmente, jusqu'à une valeur maximale. Le principe décrit ci-dessus est utilisé dans de nombreuses applications. Par exemple, le résonateur 102 peut être configuré pour recevoir des particules et le signal lumineux injecté dans le guide d'onde 100 est, par exemple, à une longueur d'onde λin égale à la longueur d'onde λR du résonateur en l'absence de particules. Le système mécanique, c'est à dire le résonateur 102, est activé au voisinage de sa fréquence de résonance mécanique. La puissance de sortie Pout varie avec le mouvement du résonateur 102 et est donc l'image du mouvement du résonateur. Lorsqu'une particule atteint le résonateur 102, la masse de la particule modifie la masse du résonateur 102, donc sa fréquence de résonance mécanique. Cette modification de la fréquence de résonance mécanique du résonateur 102 se voit sur la variation de la puissance Pout qui est l'image du mouvement du résonateur. L'observation de la variation de la puissance Pout par rapport à l'activation mécanique du résonateur 102 permet de détecter les variations de la fréquence de résonance mécanique du résonateur 102, et donc la présence ou l'absence de particule sur le résonateur 102. Par exemple, le résonateur 102 peut être configuré pour se déformer sous l'effet d'une accélération, et le signal lumineux injecté dans le guide d'onde 100 est, par exemple, à une longueur d'onde λin égale à la longueur d'onde λR du résonateur en l'absence d'accélération. Lorsque le résonateur 102 se déforme sous l'effet d'une accélération, cela modifie le taux de couplage optique entre le résonateur 102 et la portion 100A du guide d'onde 100. L'observation de l'évolution de la puissance Pout permet alors de détecter, voire de mesurer, une accélération à laquelle est soumis le résonateur 102. Dans ce cas, le résonateur 102 est un résonateur optomécanique. Par exemple, dans des applications il est prévu que plusieurs résonateurs 102 optomécaniques, par exemple du type décrit dans les deux exemples ci-dessus, soient optiquement couplés à un même guide d'onde 100. Par exemple, dans d'autres applications il est prévu que plusieurs résonateurs 102, par exemple du type décrit dans les deux exemples ci-dessus, soient organisés en une matrice comprenant des lignes ("row" en anglais) et des colonnes ("column" en anglais) de résonateurs 102, et que, dans chaque ligne de résonateurs 102, les résonateurs de la ligne soient tous optiquement couplés à un même guide d'onde 100. A titre d'autre exemple, un dispositif 1 peut comprendre un autre guide d'onde ayant une portion optiquement couplée au résonateur 102, par exemple d'un côté du résonateur opposé au côté où la portion 100A du guide d'onde 100 est couplée au résonateur 102. Dans ce cas, lorsqu'un signal lumineux ayant une longueur d'onde λin égale à la longueur d'onde λR est injecté dans le guide d'onde 100, ce signal lumineux est transmis, via le résonateur 102, à l'autre guide d'onde. Dans ce cas, le résonateur 102 est, par exemple, un résonateur optique ne comprenant aucune fonction mécanique. Dans les exemples ci-dessus, et, plus généralement, dans un dispositif 1, il peut être souhaitable de désactiver le couplage optique entre le résonateur 102 et la portion 100A du guide d'onde. Dit autrement, il peut être souhaitable d'empêcher que de la lumière puisse être transmise au résonateur 102, par exemple d'empêcher que de la lumière à la longueur d'onde λin égale à la longueur d'onde λR de résonance du résonateur 102 au repos ne puisse être transmise au résonateur 102. Pour désactiver le couplage optique entre le résonateur 102 et le guide d'onde 100, il a été proposé de modifier de manière commandable l'indice optique du résonateur 102, de sorte à commander la longueur d'onde de résonance du résonateur 102 à une valeur pour laquelle la lumière se propageant dans le guide d'onde 100 ne peut pas être transmise au résonateur 102, même lorsque la longueur d'onde de résonance du résonateur est modifiée par un facteur environnemental que l'on cherche à détecter comme par exemple une accélération, une particule, une composition du milieu entourant le résonateur 102 etc… Pour commander la longueur d'onde de résonance λR du résonateur 102, il est connu de commander la température du résonateur avec un élément chauffant pour tirer profit de la dépendance de la valeur de la longueur d'onde λR avec la température. Toutefois, les solutions connues pour sélectivement activer et désactiver le couplage optique entre un guide d'onde 100 et un résonateur 102 d'un dispositif 1 présentent des inconvénients. Par exemple, les solutions connues qui reposent sur un contrôle de la température du résonateur 102 sont complexes et encombrantes à mettre en œuvre, et présentent en outre de l'inertie. De plus, ces solutions sont énergivores en raison de la puissance thermique nécessaire pour mettre en œuvre un échauffement. Il existe un besoin pour un dispositif dans lequel le couplage optique entre un guide d'onde et un résonateur optique ou optomécanique peut être sélectivement activé et désactivé, qui pallie tout ou partie des dispositifs connus dans lesquels le couplage optique entre un guide d'onde et un résonateur optique ou optomécanique peut être sélectivement activé et désactivé. Un mode de réalisation prévoit un dispositif optomécanique comprenant : un premier élément et un deuxième élément mécaniquement mobiles l'un par rapport à l'autre ; un guide d'onde comprenant une portion fixée à l'un des premier et deuxième éléments ; un résonateur optique ou optomécanique fixé à l'autre des premier et deuxième élément ; et un actionneur configuré pour modifier une position relative des premier et deuxième éléments l'un par rapport à l'autre entre une première position où le résonateur est optiquement couplé à ladite portion du guide d'onde et une deuxième position où le résonateur est optiquement découplé de ladite portion du guide d'onde. Selon un mode de réalisation : le dispositif comprend un substrat et une première couche reposant sur le substrat ; la première couche comprend une première portion suspendue au-dessus du substrat et mobile par rapport au substrat ; et le premier élément du dispositif comprend la première portion de la première couche. Selon un mode de réalisation, la première couche s'étend en épaisseur dans une direction orthogonale à une face principale du substrat et la première portion de la première couche est mobile par rapport au substrat dans un plan parallèle à la face principale du substrat. Selon un mode de réalisation : la première couche comprend une deuxième portion fixe par rapport au substrat ; les première et deuxième portions de la première couche sont couplées mécaniquement l'une à l'autre par au moins une liaison permettant un mouvement relatif des première et deuxième portions de la première couche l'une par rapport à l'autre ; et le deuxième élément du dispositif comprend le substrat ou la deuxième portion de la première couche. Selon un mode de réalisation, ladite au moins une liaison comprend une unique liaison pivot et le deuxième élément du dispositif comprend le substrat. Selon un mode de réalisation : la première couche comprend une deuxième portion suspendue au-dessus du substrat et mobile par rapport au substrat ; les première et deuxième portions de la première couche sont couplées mécaniquement l'une à l'autre par au moins une liaison permettant un mouvement relatif des première et deuxième portions l'une par rapport à l'autre ; la deuxième portion de la première couche et le substrat sont couplés mécaniquement l'un à l'autre par au moins une liaison permettant un mouvement relatif de la deuxième portion de la première couche et du substrat l'un par rapport à l'autre ; et le deuxième élément du dispositif comprend la deuxième portion de la première couche. Selon un mode de réalisation, le dispositif comprend une deuxième couche reposant sur le substrat, entre le substrat et la première couche, le résonateur et le guide d'onde étant définis dans la deuxième couche. Selon un mode de réalisation, le dispositif comprend au moins une troisième couche entre le substrat et la deuxième couche et au moins une quatrième couche entre la deuxième couche et la première couche. Selon un mode de réalisation, la portion du guide d'onde ou le résonateur qui est fixé à la première portion est fixé à cette première portion par au moins un plot d'ancrage défini dans ladite au moins une quatrième couche. Selon un mode de réalisation, lesdites au moins une liaison sont au moins en partie définis dans la première couche. Selon un mode de réalisation, l'actionneur comprend au moins un actionneur électrostatique comprenant un élément capacitif ayant une première électrode au moins en partie définie dans le premier élément. Selon un mode de réalisation, le dispositif comprend au moins une butée déterminant un espace minimum non nul entre la portion du guide d'onde et le résonateur dans la première position. Selon un mode de réalisation, le dispositif comprend un résonateur optique ou optomécanique supplémentaire fixé audit l'autre des premier et deuxième éléments de sorte que : le résonateur supplémentaire soit optiquement découplé de ladite portion du guide d'onde dans la première position et soit optiquement couplé à ladite portion du guide d'onde dans la deuxième position ; ou le résonateur supplémentaire soit optiquement couplé à ladite portion du guide d'onde dans la première position et soit optiquement découplé de ladite portion du guide d'onde dans la deuxième position ; ou le résonateur supplémentaire soit optiquement couplé à une portion d'un guide d'onde supplémentaire du dispositif dans la première position et soit optiquement découplé de ladite portion du guide d'onde supplémentaire dans la deuxième position, ladite portion du guide d'onde supplémentaire étant fixée audit l'un des premier et deuxième éléments. Selon un mode de réalisation, le dispositif comprend un guide d'onde supplémentaire ayant une portion fixée audit l'un des premier et deuxième éléments de sorte que : le résonateur soit optiquement découplé de ladite portion du guide d'onde supplémentaire dans la première position et soit optiquement couplé à ladite portion du guide d'onde supplémentaire dans la deuxième position ; ou le résonateur soit optiquement couplé à ladite portion du guide d'onde supplémentaire dans la première position et soit optiquement découplé de ladite portion du guide d'onde supplémentaire dans la deuxième position. Selon un mode de réalisation, le dispositif comprend un guide d'onde supplémentaire ayant une portion fixée audit l'autre des premier et deuxième éléments de sorte que ladite portion du guide d'onde supplémentaire soit optiquement couplée au résonateur. Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la FIG. 1 , décrite précédemment, représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'un dispositif optique ou optomécanique ; la FIG. 2 , décrite précédemment, illustre par une courbe une réponse optique du dispositif de la FIG. 1 ; la FIG. 3 représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'un mode de réalisation d'un dispositif optomécanique ; la FIG. 4 est une vue en coupe schématique selon un plan AA de la FIG. 3 ; la FIG. 5 est une vue en coupe schématique selon un plan BB de la FIG. 3 ; la FIG. 6 représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'une variante de réalisation du dispositif optomécanique des figures 3 à 5 ; la FIG. 7 est une vue en coupe schématique selon un plan AA de la FIG. 6 ; la FIG. 8 représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'encore une autre variante de réalisation du dispositif optomécanique des figures 3 à 5 ; la FIG. 9 représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'encore une autre variante de réalisation du dispositif optomécanique des figures 3 à 5 ; la FIG. 10 est une vue en coupe schématique selon un plan AA de la FIG. 9 ; la FIG. 11 représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'un autre mode de réalisation d'un dispositif optomécanique ; la FIG. 12 représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'encore un autre mode de réalisation d'un dispositif optomécanique ; la FIG. 13 représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'encore un autre mode de réalisation d'un dispositif optomécanique ; la FIG. 14 représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'encore un autre mode de réalisation d'un dispositif optomécanique ; la FIG. 15 représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'encore un autre mode de réalisation d'un dispositif optomécanique ; la FIG. 16 représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'encore un autre mode de réalisation d'un dispositif optomécanique ; la FIG. 17 représente, par une vue de dessus schématique, un autre exemple de mode réalisation du dispositif des figures 3 à 5 ; la FIG. 18 représente, par une vue de dessus schématique, encore un autre exemple de mode réalisation du dispositif des figures 3 à 5 ; la FIG. 19 représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'encore une autre variante de réalisation du dispositif optomécanique des figures 3 à 5 ; la FIG. 20 représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'un autre mode de réalisation d'un dispositif optoélectronique. De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références dans les différentes figures. En particulier, les éléments structurels et/ou fonctionnels communs aux différents modes de réalisation peuvent présenter les mêmes références et peuvent disposer de propriétés structurelles, dimensionnelles et matérielles identiques. Par souci de clarté, seuls les étapes et éléments utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés. En particulier, les procédés de fabrication des dispositifs optiques intégrés décrits ici n'ont pas été détaillés, la fabrication des modes de réalisation et variantes de ces dispositifs à partir d'étapes usuelles de fabrication des dispositifs optiques intégrés connus étant à la portée de la personne du métier à partir la description ci-dessous. Sauf précision contraire, lorsque l'on fait référence à deux éléments connectés mécaniquement entre eux, cela signifie directement en contact sans éléments intermédiaires, et lorsque l'on fait référence à deux éléments reliés ou couplés (en anglais "coupled") mécaniquement entre eux, cela signifie que ces deux éléments peuvent être connectés ou être reliés par l'intermédiaire d'un ou plusieurs autres éléments. Sauf précision contraire, lorsque l'on fait référence à deux éléments fixés l'un à l'autre, cela signifie que ces deux éléments sont mécaniquement solidaires l'un de l'autre, ou dit autrement, qu'un déplacement appliqué à un premier des deux éléments est alors également appliqué au deuxième des deux éléments. Dit encore autrement, cela signifie que la position relative de ces deux éléments l'un par rapport à l'autre est fixe (ou constante). Dans la description qui suit, lorsque l'on fait référence à des qualificatifs de position absolue, tels que les termes "avant", "arrière", "haut", "bas", "gauche", "droite", etc., ou relative, tels que les termes "dessus", "dessous", "supérieur", "inférieur", etc., ou à des qualificatifs d'orientation, tels que les termes "horizontal", "vertical", etc., il est fait référence sauf précision contraire à l'orientation des figures. Sauf précision contraire, les expressions "environ", "approximativement", "sensiblement", et "de l'ordre de" signifient à 10 % ou à 10° près, de préférence à 5 % ou à 5° près. Pour sélectivement activer et désactiver le couplage entre une portion d'un guide d'onde et un résonateur optique ou optomécanique, il est proposé ici un dispositif intégré comprenant un résonateur optique ou optomécanique et un guide d'onde, dans lequel une valeur d'une distance de couplage optique entre le résonateur et une portion du guide d'onde est commandable entre au moins deux valeurs. Pour une première des deux valeurs, de la lumière peut être transmise entre la portion du guide d'onde et le résonateur, par exemple quand cette lumière est à la longueur d'onde de résonance du résonateur, et, pour une deuxième des deux valeurs, de la lumière ne peut pas être transmise entre la portion du guide d'onde et le résonateur, par exemple même lorsque cette lumière est à la longueur d'onde de résonance du résonateur. Dit autrement, le couplage optique entre le guide d'onde et le résonateur est activé lorsque la distance de couplage entre le résonateur et la portion du guide d'onde est à sa première valeur, et est désactivé lorsque la distance de couplage entre le résonateur et la portion du guide d'onde est à sa deuxième valeur. Pour cela, le dispositif intégré comprend deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre. La portion de guide d'onde est fixée à l'un des deux éléments et le résonateur est fixé à l'autre des deux éléments. Le dispositif comprend en outre un actionneur configuré pour modifier la position des deux éléments l'un par rapport à l'autre entre au moins une première position dans laquelle le guide d'onde et le résonateur sont optiquement couplés et une deuxième position dans laquelle le guide d'onde et le résonateur sont optiquement découplés. Dit autrement, le couplage optique entre le résonateur et le guide d'onde, et, plus particulièrement la portion du guide d'onde, est activé dans la première position et désactivé dans la deuxième position. Dans le dispositif proposé, comme cela sera décrit plus en détails en relation avec les exemples des figures 3 à 20, une couche repose sur une face d'un substrat et l'un des deux éléments mobiles comprend, ou correspond à, une portion de cette couche, cette portion étant suspendue au-dessus du substrat et mobile par rapport au substrat. A titre d'exemple, le deuxième des deux éléments mobiles comprend le substrat, par exemple correspond au substrat. A titre d'exemple alternatif, le deuxième des deux éléments mobiles comprend une autre portion de la couche reposant sur le substrat, cette autre portion étant fixe par rapport au substrat et pouvant au moins en partie être suspendue au-dessus, ou, de manière alternative, étant mobile par rapport au substrat et suspendue au-dessus du substrat. Les figures 3 à 5 illustrent un exemple d'un mode de réalisation d'un tel dispositif 300, la FIG. 3 étant une vue schématique de dessus du dispositif 300, la FIG. 4 étant une vue schématique en coupe selon un plan AA de la FIG. 3 , et la FIG. 5 étant une vue schématique en coupe selon un plan BB de la FIG. 3 . Le dispositif 300 comprend un substrat 302, par exemple un substrat semiconducteur, par exemple en silicium. Le dispositif 300 comprend une couche 304 reposant sur le substrat 302, c'est à dire sur une face principale 303 du substrat 302 (la face supérieure du substrat en figures 4 et 5). La couche 304 ne repose pas directement sur le substrat 302, c'est à dire qu'elle n'est pas en contact avec le substrat 302. L'épaisseur de la couche 304 est mesurée dans une direction orthogonale à la face 303 du substrat 302. La couche 304 est par exemple une couche semiconductrice, par exemple en silicium, en germanium ou en silicium-germanium. La couche 304 comprend une portion 304A qui est suspendue au-dessus du substrat 302, c'est à dire au-dessus de la face 303. Dit autrement, il y a un espace vide entre la portion 304A de la couche 304 et le substrat 302. La portion 304A de la couche 304 est mobile par rapport au substrat, dans cet exemple dans un plan parallèle à la face 303 du substrat 302. Par exemple, la portion mobile 304A de la couche 304 est mécaniquement couplée à une portion 304B de la couche 304 par des liaisons 305. Dans l'exemple des figures 3 à 5, la portion 304B a, par exemple, une forme générale de cadre rectangulaire (délimité par des traits en pointillés en FIG. 3 ). Dans l'exemple des figures 3 à 5, la portion 304B est, par exemple, elle aussi au moins en partie suspendue au-dessus du substrat 302. Par exemple, les deux grands côtés du cadre 304B sont suspendus au-dessus du substrat 302. Dans le mode de réalisation des figures 3 à 5, à la différence de la portion 304A, la portion 304B est fixe par rapport au substrat 302. Par exemple, des parties de la portion 304B, par exemple les petits côtés du cadre 304B, sont fixées au substrat 302. Par exemple les parties de la portions 304B qui sont fixées au substrat 302 reposent sur et en contact avec une face supérieure d'un empilement de couches en contact deux à deux, la face inférieure de l'empilement de couches reposant sur et en contact avec la face 303 du substrat 302. Les liaisons 305 sont configurées pour permettre un déplacement de la portion 304A par rapport à la portion 304B. En cela, les liaisons 305 sont dites souples. Par exemple, les dimensions des liaisons 305 sont déterminées de sorte à permettre une déformation des liaisons 305 permettant le mouvement relatif des portions 304A et 304B l'une par rapport à l'autre. Les liaisons 305 sont, par exemple, au moins en partie définies dans la couche 304. Le dispositif 300 comprend un premier élément et un deuxième élément mobiles l'un par rapport à l'autre. Dans ce mode de réalisation, le premier élément comprend la portion 304A de la couche 304, et le deuxième élément comprend, par exemple est constitué par, le substrat 302. Ainsi, lorsque la portion 304A se déplace par rapport au substrat 302, le premier élément se déplace par rapport au deuxième élément de manière correspondante. Le dispositif 300 comprend un résonateur optique ou optomécanique 306 et un guide d'onde 308 comprenant une portion 310. Dans ce mode de réalisation, le résonateur 306 est fixé à la portion 304A de la couche 304 et la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au substrat 302, par exemple à la face 303 du substrat 302. Dit autrement, le résonateur 306 est fixé au premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre. Le guide d'onde 308 et le résonateur 306 sont définis dans une même couche 312. La couche 312 a, de préférence, une épaisseur plus faible que la couche 304. La couche 312 est, par exemple, appelée couche NEMS (de l'anglais "Nano Electrico-Mecanical System" - Nanosystème électromécanique) alors que la couche 304 est, par exemple, appelée couche MEMS (de l'anglais "Nano Electrico-Mecanical System" - Microsystème électromécanique). La couche 312 est, par exemple, une couche semiconductrice, par exemple en silicium, en germanium ou en silicium-germanium. A titre d'exemple alternatif, la couche 312 peut être en un matériau diélectrique, par exemple en nitrure de silicium. Par exemple, le matériau de la couche 312 est adapté à guider un signal optique à une longueur d'onde de fonctionnement du dispositif 300. Dans cet exemple, la couche 312 est disposée entre la couche 304 et le substrat 302. Ainsi, dans cet exemple, le guide d'onde 308 et le résonateur 306 sont disposés entre la couche 304 et le substrat 302, sans être en contact directe avec la couche 304 et le substrat 302. Plus particulièrement, la couche 312 repose sur et en contact avec au moins une couche 314 reposant sur en contact avec le substrat 302, et, en outre, la couche 304 repose sur en contact avec au moins une couche 316 reposant sur et en contact avec la couche 312. A titre d'exemple, les couches 316 et 304 sont en des matériaux différents, par exemple gravables sélectivement l'un par rapport à l'autre. A titre d'exemple alternatif, les couches 316 et 304 sont en le même matériau, et peuvent, par exemple, être formée l'une après l'autre pendant une même étape de dépôt en prévoyant un masque reposant sur la couche 312 aux emplacements où la couche 316 ne doit pas être présente. Dans ce mode de réalisation où le résonateur 306 est fixé à la portion 304A de la couche 304, le résonateur 306 est fixé à la portion 304A par au moins un plot d'ancrage 318. A titre d'exemple, chaque plot d'ancrage 318 d'un élément, comme le résonateur 306, défini dans la couche 312 et fixé à la couche 304, est défini dans la couche 316. Dans cet exemple, le résonateur 306 est donc suspendu sous la couche 304, et suspendu au-dessus du substrat 302. Dans cet exemple où le résonateur 306 est un disque, un seul plot d'ancrage 318 disposé au centre du disque 306 fixe le disque 306 à la portion 304A de la couche 304. Dans d'autres exemples non illustrés, le résonateur 306 est constitué par un anneau, par exemple circulaire ou en forme de piste d'athlétisme ("racetrack" en anglais). Dans ces autres exemples, des bras de maintien définis dans la couche 312 s'étendent depuis le résonateur jusqu'à un ou plusieurs plots d'ancrage 318, de préférence disposés à l'intérieur de l'anneau. Dans encore d'autres exemples, le résonateur 306 est un résonateur à cristal photonique, fixé à la portion 304A de la couche 304 par au moins un plot d'ancrage 318, et, si besoin, par au moins un bras de maintien. Dans ce mode de réalisation où la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au substrat 302, cette portion 310 est fixée au substrat par des bras de maintien 320 et par des plots d'ancrage 322. A titre d'exemple, chaque plot d'ancrage 322 d'un élément, comme la portion 310 du guide d'onde 308, défini dans la couche 312 et fixé au substrat 302, est défini dans la couche 314. A titre d'exemple, chaque bras de maintien 320 est défini dans la couche 312, et s'étend depuis la portion 310 jusqu'à un plot d'ancrage 322 correspondant. En FIG. 5 , la délimitation entre la portion 310 du guide d'onde 308 et les bras de maintien 320 est matérialisée par des traits en pointillé. Dans cet exemple, la portion 310 du guide d'onde 308 est donc suspendue au-dessus du substrat 302, et suspendue sous la couche 304. Le dispositif comprend un actionneur 324. L'actionneur 324 est configuré pour modifier la position relative des premier et deuxième éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, c'est à dire, dans ce mode de réalisation, pour modifier la position relative de la portion 304A de la couche 304 par rapport au substrat 302. Plus particulièrement, l'actionneur 324 est configuré pour modifier la position relative des premier et deuxième éléments mobiles l'un par rapport à l'autre entre une première position où le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde 308 sont optiquement couplés l'un avec l'autre, et une deuxième position où le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde 308 sont optiquement découplés l'un de l'autre. A titre d'exemple, dans la première position, la distance de couplage optique dc entre la portion 310 du guide d'onde 308 et le résonateur 306 est telle que de la lumière peut être transmise, via un couplage optique dans l'espace vide dc, entre la portion 310 et le résonateur 306. A titre d'exemple, dans la deuxième position, la distance de couplage optique dc est telle que de la lumière ne peut pas être transmise, via un couplage optique dans l'espace vide dc, entre la portion 310 et le résonateur 306. La valeur de la distance dc est plus faible dans la première position que dans la deuxième position. Dit autrement, dans la première position, le taux de couplage optique, qui est proportionnel à exp -dc/Le avec exp la fonction exponentielle et Le la distance caractéristique de décroissance exponentielle du couplage optique, est assez élevé pour que de la lumière puisse être transmise entre la portion 310 et le résonateur 306, alors que, dans la deuxième position, ce taux de couplage optique est suffisamment faible pour que de la lumière ne puisse pas être transmise entre la portion 310 et le résonateur 306.A titre d'exemple, la distance Le est liée aux distances caractéristiques de décroissance exponentielle des champs évanescents des deux modes optiques qui sont optiquement, l'un de ces deux modes se trouvant dans le résonateur 306, l'autre de ces deux modes se trouvant dans la portion 310 du guide d'onde 308. A titre d'exemple, le taux de couplage optique est suffisamment faible pour que de la lumière ne puisse pas être transmise entre la portion 310 et le résonateur 306 lorsque que dc>3.Le. A titre d'exemple plus particulier, entre les première et deuxième positions, la variation de la distance de couplage optique dc est prévue supérieure à 3.Le, par exemple de sorte à obtenir une diminution du taux de couplage d'une valeur supérieure ou égale à exp - 3 . Dans cet exemple, l'actionneur 324 comprend un actionneur électrostatique. L'actionneur électrostatique comprend une première électrode au moins en partie définie dans le premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre. En outre, l'actionneur électrostatique comprend une deuxième électrode formant un élément capacitif avec la première électrode. Par exemple, en l'absence de polarisation appliquée entre les deux électrodes de l'actionneur électrostatique capacitif, l'actionneur n'a aucun effet sur la position relative des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et, dans cet exemple, cette position relative correspond alors à la première position décrite ci-dessus. A l'inverse, lorsqu'une polarisation non nulle, et par exemple positive, est appliquée entre les deux électrodes de l'actionneur électrostatique capacitif, cela tend à rapprocher les deux électrodes l'une de l'autre ce qui modifie la position relative des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre. Dans cet exemple, lorsque les deux électrodes de l'actionneur électrostatique se rapprochent l'une de l'autre, il en résulte que la portion 304A se déplace comme cela est illustré par une flèche 326 dans les figures. Dans cet exemple, ce déplacement de la portion 304A par rapport au substrat 302 éloigne le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde 308 l'un de l'autre, ou, dit autrement, augmente la distance dc. Dans cet exemple, lorsqu'une polarisation non nulle, par exemple positive, est appliquée entre les électrodes de l'actionneur électrostatique capacitif, la position relative des premier et deuxième éléments mobiles l'un par rapport à l'autre correspond alors à la deuxième position décrite ci-dessus. Les figures 6 et 7 illustrent un exemple d'une variante de réalisation du dispositif 300, la FIG. 6 étant une vue schématique de dessus du dispositif 300 similaire à la vue de dessus de la FIG. 3 , et la FIG. 7 étant une vue schématique en coupe selon un plan AA de la FIG. 6 . Le dispositif 300 des figures 6 et 7 comprend de nombreuses similitudes et éléments en commun avec le dispositif 300 des figures 3 à 5, et seules les différences entre ces deux dispositifs 300 sont ici mises en exergue. Ainsi, sauf indication contraire, tout ce qui a été décrit pour le dispositif 300 des figures 3 à 5 s'applique au dispositif 300 des figures 6 et 7. Dans le mode de réalisation des figures 3 à 5, le premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre comprend, ou correspond à, la portion 304A et le deuxième des éléments mobiles l'un par rapport à l'autre comprend, ou correspond, au substrat 302. Dans la variante de réalisation des figures 6 et 7, le premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre comprend, ou correspond à, la portion 304A mobile par rapport au substrat 302, et le deuxième des éléments mobiles l'un par rapport à l'autre comprend, ou correspond, à la portion 304B de la couche 304 qui est fixe par rapport au substrat 302. Ainsi, dans cette variante, la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée à la portion 304B fixe de la couche 304 plutôt qu'au substrat 302. Par exemple, la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée à la portion 304B de la couche 304 par des plots d'ancrage 318 et par des bras de maintien 320 s'étendant chacun depuis la portion 310 jusqu'à un plot d'ancrage 318 correspondant. En FIG. 7 , la délimitation entre la portion 310 et les bras de maintien 320 est matérialisée par des traits en pointillé. Par exemple, la portion 304B a, comme en figures 3 à 5, la forme générale d'un cadre rectangulaire ayant ses grands côtés suspendus au-dessus du substrat 302, les plots d'ancrage 318 fixant la portion 310 du guide d'onde 308 étant en contact direct (mécaniquement connectés) avec ces grands côtés. Par rapport au mode de réalisation des figures 3 à 5, dans la variante de réalisation des figures 6 et 7, la boucle mécanique entre le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde 308 est plus courte, ce qui permet de limiter l'amplitude des déplacements relatifs entre ces deux éléments lorsque ces déplacements relatifs résultent de dilatation thermique ou de déformation du substrat. Par boucle mécanique, on entend ici l'ensemble des éléments faisant partie du chemin de couplage mécanique le plus court entre le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde. Par exemple, en figures 6 et 7, cette boucle mécanique comprend successivement, à partir du résonateur 306 jusqu'à la portion 310, le plot d'ancrage 318 du résonateur 306 à la portion 304A de la couche 304, la portion 304A de la couche 304, les liaisons souples de couplage mécanique de la portion mobile 304A de la couche 304 à la portion fixe 304B de la couche 304, les plots d'ancrage 318 des bras de maintien 320 à la portion 304B de la couche 304, et les bras de maintien 320 couplant mécaniquement la portion 310 du guide d'onde 308 à ces plots 318 fixés à la portion 304B de la couche 304. La FIG. 8 illustre un exemple d'une autre variante de réalisation du dispositif 300, la FIG. 8 étant une vue schématique de dessus du dispositif 300 similaire aux vues de dessus des figures 3 et 6. Le dispositif 300 de la FIG. 8 comprend de nombreuses similitudes et éléments en commun avec le dispositif 300 des figures 6 et 7, et seules les différences entre ces deux dispositifs 300 sont ici mises en exergue. Ainsi, sauf indication contraire, tout ce qui a été décrit pour les dispositifs 300 des figures 6 et 7 s'applique au dispositif 300 de la FIG. 8 . Dans la variante de réalisation de la FIG. 8 , la couche 304 comprend une portion 304C fixe par rapport au substrat 302, cette portion 304C reposant par exemple sur et en contact avec l'empilement des couches 316, 312, 314 (voir FIG. 4 ). En outre, bien que la portion 304B de la couche 304 soit considérée comme fixe par rapport au substrat 302, cette portion 304B est suspendue au-dessus du substrat 302, et comprend une partie, par exemple un petit côté (par exemple à droite en FIG. 8 ) du cadre rectangulaire 304B, qui est couplée mécaniquement à la portion fixe 304C par des liaisons 800 au moins en partie définies dans la couche 304. Les liaisons 800 sont souples, c'est à dire que ces liaisons 800 sont aptes à se déformer pour que des déformations du substrat 302 par rapport à la couche 304 et/ou des vibrations du substrat 302 soient au moins en partie absorbées par les liaisons 800 et ne soient pas transmises à la portion 304B. Dit autrement, les liaisons 800 sont configurées pour réduire les contraintes du substrat 302 sur la portion fixe 304B. Toutefois, la portion 304B conserve une connexion mécanique directe avec une portion 304D de la couche 304 qui est fixe par rapport au substrat 302, cette portion 304D reposant par exemple sur et en contact avec l'empilement des couches 316, 312, 314 (voir FIG. 4 ). Par exemple, l'autre petit côté du cadre 304B (à gauche en FIG. 8 ) est en contact direct avec la portion 304D, voire repose sur en contact avec l'empilement des couches 316, 312 et 314. Bien que dans l'exemple de la FIG. 8 , le deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre comprenne la portion 304B de la couche 304 et que la portion 310 du guide d'onde 308 soit fixée à la portion 304B, la personne du métier sera en mesure d'adapter la variante de réalisation de la FIG. 8 au cas où le deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre est, comme dans l'exemple des figures 3 à 5, le substrat 302, la portion 310 du guide d'onde 308 étant alors fixée au substrat 302. Dans les exemples des figures 3 à 5 et des figures 6 et 7, le résonateur 306 est en grande partie, par exemple à plus de 70%, disposé sous et en vis-à-vis de la portion 304A de la couche 304. Ainsi, il y a une faible surface, par exemple moins de 30%, du résonateur 306 qui peut recevoir des particules lorsque l'on souhaite utiliser le dispositif 300 comme un détecteur de particules. Dans l'exemple de la FIG. 8 , la portion 304A comprend un évidement, c'est à dire une ouverture traversant la couche 304, de sorte à augmenter la surface du résonateur 306 qui peut être atteinte par des particules. Bien entendu, la personne du métier sera en mesure de prévoir de tels évidements dans d'autres exemples du dispositif 300 décrit ici, par exemple dans le dispositif 300 des figures 3 à 5 ou des figures 6 et 7, ou, à l'inverse, supprimer l'évidement dans l'exemple de dispositif 300 de la FIG. 8 . Les figures 9 et 10 illustrent un exemple d'encore une autre variante de réalisation du dispositif 300, la FIG. 9 étant une vue schématique de dessus du dispositif 300 similaire à la vue de dessus des figures 3, 6 et 8, et la FIG. 10 étant une vue schématique en coupe selon un plan AA de la FIG. 9 . Le dispositif 300 des figures 9 et 10 comprend de nombreuses similitudes et éléments en commun avec le dispositif 300 des figures 3 à 5, et seules les différences entre ces deux dispositifs 300 sont ici mises en exergue. Ainsi, sauf indication contraire, tout ce qui a été décrit pour le dispositif 300 des figures 3 à 5 s'applique au dispositif 300 des figures 9 et 10. Dans le mode de réalisation des figures 3 à 5, le premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre comprend la portion 304A et le deuxième des éléments mobiles l'un par rapport à l'autre comprend, ou correspond, au substrat 302. En outre, dans le mode de réalisation des figures 3 à 5, le résonateur 306 est fixé au premier élément, et, plus particulièrement, à la portion 304A, et la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au deuxième élément, et, plus particulièrement, au substrat 302. Dans la variante de réalisation des figures 9 et 10, le premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre comprend la portion 304A mobile par rapport au substrat 302, et le deuxième des éléments mobiles l'un par rapport à l'autre comprend, ou correspond, au substrat 302. Toutefois, dans cette variante, le guide d'onde 308 est fixé au premier de ces deux éléments, et, plus particulièrement, à la portion mobile 304A, et le résonateur 306 est fixé au deuxième des deux éléments, et, plus particulièrement, au substrat 302 dans cet exemple. Par exemple, la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée à la portion 304A par des bras de maintien 320 et par des plots d'ancrage 318, et le résonateur 306 est fixé au substrat 302 par un plot d'ancrage 322. La personne du métier sera en mesure d'adapter la variante de réalisation des figures 9 et 10 à la variante de réalisation des figures 6 et 7 ou de la FIG. 8 en fixant le résonateur à la portion 304B de la couche 304, par exemple en prévoyant de fixer le résonateur 306 sous une partie de la portion 304B formant une poutre reliant les deux grands côtés de la portion 304B lorsque cette portion 304B a la forme générale d'un cadre rectangulaire. On notera que, bien que cela ne soit pas représenté dans les figures 3 à 10 décrites précédemment, de préférence le guide d'onde 308 comprend, de part et d'autre de la portion 310, des portions qui sont fixées au substrat. Dans ce cas, lorsque c'est la portion 310 du guide d'onde qui est fixée au premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et, plus particulièrement, à la portion 304A de la couche 304, le déplacement de la portion 304A par rapport au substrat 302 entraine une déformation du guide d'onde 308 de part et d'autre de la portion 310. De manière avantageuse, ce n'est pas le cas lorsque la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et plus particulièrement à une partie de ce deuxième élément qui est fixe par rapport au substrat 302, comme c'est par exemple le cas dans l'exemple des figures 3 à 5, des figures 6 et 7 ou de la FIG. 8 . La FIG. 11 représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'un autre mode de réalisation du dispositif 300, la FIG. 11 étant une vue schématique de dessus du dispositif 300 similaire aux vues de dessus des figures 3, 6, 8 et 9. Le dispositif 300 de la FIG. 11 comprend de nombreuses similitudes et éléments en commun avec le dispositif 300 des figures 3 à 5, et seules les différences entre ces deux dispositifs 300 sont ici mises en exergue. Ainsi, sauf indication contraire, tout ce qui a été décrit pour le dispositif 300 des figures 3 à 5 s'applique au dispositif 300 de la FIG. 11 . Dans ce mode de réalisation, le dispositif 300 comprend un résonateur optique ou optomécanique supplémentaire 306', par exemple identique au résonateur 306. A titre d'exemple, le résonateur 306' est défini dans la même couche 312 que le résonateur 306. Dans ce mode de réalisation où le résonateur 306 est fixé au premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et, plus particulièrement, à la portion 304A de la couche 304, le résonateur supplémentaire 306' est lui aussi fixé à ce premier élément. Par exemple, le résonateur 306' est fixé à la portion 304A par un plot d'ancrage 318. Un espace de couplage dc' sépare le résonateur 306' de la portion 310 du guide d'onde 308. Dans ce mode de réalisation, la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et, plus particulièrement, au substrat 302 dans cet exemple. Toutefois, dans d'autres exemples non illustrés où le deuxième élément comprend, ou correspond à, la portion 304B de la couche 304, la portion 310 du guide d'onde 308 peut être fixée à cette portion 304B comme c'est le cas en figures 6 et 7 et en FIG. 8 . Dans le dispositif 300 de la FIG. 11 , lorsque les premier et deuxième éléments mobiles l'un par rapport à l'autre sont dans la première position où le résonateur 306 est optiquement couplé à la portion 310 du guide d'onde 308, le résonateur 306' est alors optiquement découplé de la portion 310 du guide d'onde 308. A l'inverse, lorsque les premier et deuxième éléments mobiles l'un par rapport à l'autre sont dans la deuxième position où le résonateur 306 est optiquement découplé de la portion 310 du guide d'onde 308, le résonateur 306' est alors optiquement couplé à la portion 310 du guide d'onde 308. Par exemple, la position relative des deux résonateurs 306 et 306' l'un par rapport à l'autre est fixe (constante), et les résonateurs 306 et 306' sont disposés respectivement de part et d'autre de la portion 310 du guide d'onde 308, par exemple, dans la direction de déplacement relatif des premier et deuxième éléments l'un par rapport à l'autre. Dans l'exemple de la FIG. 11 , le résonateur 306, et donc le résonateur 306', sont fixés au premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre. La personne du métier sera en mesure d'adapter le mode de réalisation de la de FIG. 11 à la variante de réalisation décrite en relation avec les figures 9 et 10 où la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et, plus particulièrement, à la portion 304A, et où le résonateur 306 est fixé au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, en fixant le résonateur supplémentaire 306' au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, par exemple au substrat 302 ou à la portion 304B que celle-ci soit du type décrit en relation avec les FIG. 6 et 7, ou du type décrit en relation avec la FIG. 8 . Le dispositif 300 du type décrit en relation avec la FIG. 11 permet de commander avec lequel des résonateurs 306 et 306' le guide d'onde 308 est couplé. La FIG. 12 représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'encore un autre mode de réalisation du dispositif 300, la FIG. 12 étant une vue schématique de dessus du dispositif 300 similaire aux vues de dessus des figures 3, 6, 8, 9 et 11. Le dispositif 300 de la FIG. 12 comprend de nombreuses similitudes et éléments en commun avec le dispositif 300 de la FIG. 11 , et seules les différences entre ces deux dispositifs 300 sont ici mises en exergue. Ainsi, sauf indication contraire, tout ce qui a été décrit pour le dispositif 300 de la FIG. 11 s'applique au dispositif 300 de la FIG. 12 . Dans le dispositif 300 de la FIG. 12 , lorsque les premier et deuxième éléments mobiles l'un par rapport à l'autre sont dans la première position où le résonateur 306 est optiquement couplé à la portion 310 du guide d'onde 308, le résonateur 306' est lui aussi optiquement couplé de la portion 310 du guide d'onde 308. A l'inverse, lorsque les premier et deuxième éléments mobiles l'un par rapport à l'autre sont dans la deuxième position où le résonateur 306 est optiquement découplé de la portion 310 du guide d'onde 308, le résonateur 306' est alors optiquement découplé de la portion 310 du guide d'onde 308. De préférence, l'espace de couplage dc entre le résonateur 306 et la portion 310 et l'espace de couplage dc' entre le résonateur 306' et la portion 310 du guide d'onde 308 ont des valeurs identiques, qui varient de manière identique lors d'un déplacement relatif des premier et deuxième éléments l'un par rapport à l'autre. Par exemple, la position relative des deux résonateurs 306 et 306' l'un par rapport à l'autre est fixe (constante), et les résonateurs 306 et 306' sont disposés d'un même côté de la portion 310 du guide d'onde 308, par exemple, dans la direction de déplacement relatif des premier et deuxième éléments l'un par rapport à l'autre. Dans l'exemple de la FIG. 12 , le résonateur 306, et donc le résonateur 306', sont fixés au premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre. La personne du métier sera en mesure d'adapter le mode de réalisation de la de FIG. 12 à la variante de réalisation décrite en relation avec les figures 9 et 10 où la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et, plus particulièrement, à la portion 304A, et où le résonateur 306 est fixé au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, en fixant le résonateur supplémentaire 306' au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, par exemple au substrat 302 ou à la portion 304B que celle-ci soit du type décrit en relation avec les FIG. 6 et 7, ou du type décrit en relation avec la FIG. 8 . A titre d'exemple, le dispositif 300 peut comprendre plus d'un résonateur supplémentaire 306', par exemple deux résonateurs supplémentaires comme cela est représenté en FIG. 12 . Le dispositif 300 du type décrit en relation avec la FIG. 12 permet d'activer et désactiver sélectivement le couplage optique entre plusieurs résonateurs et un même guide d'onde. La FIG. 13 représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'encore un autre mode de réalisation du dispositif 300, la FIG. 13 étant une vue schématique de dessus du dispositif 300 similaire aux vues de dessus des figures 3, 6, 8, 9, 11 et 12. Le dispositif 300 de la FIG. 13 comprend de nombreuses similitudes et éléments en commun avec le dispositif 300 des figures 3 à 5, et seules les différences entre ces deux dispositifs 300 sont ici mises en exergue. Ainsi, sauf indication contraire, tout ce qui a été décrit pour le dispositif 300 des figures 3 à 5 s'applique au dispositif 300 de la FIG. 13 . Dans ce mode de réalisation, le dispositif 300 comprend un résonateur optique ou optomécanique supplémentaire 306', par exemple identique au résonateur 306. A titre d'exemple, le résonateur 306' est défini dans la même couche 312 que le résonateur 306. En outre, dans ce mode de réalisation, le dispositif 300 comprend un guide d'onde 308' supplémentaire comprenant une portion 310'. A titre d'exemple, le guide d'onde 308' est défini dans la même couche 312 que le guide d'onde 308. Dans ce mode de réalisation où le résonateur 306 est fixé au premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et, plus particulièrement, à la portion 304A de la couche 304, le résonateur supplémentaire 306 est lui aussi fixé à ce premier élément. Par exemple, le résonateur 306' est fixé à la portion 304A par un plot d'ancrage 318. Un espace de couplage dc' sépare le résonateur 306' de la portion 310' du guide d'onde 308'. Dans ce mode de réalisation où la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, la portion 310' du guide d'onde supplémentaire 308' est également fixée au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre. Par exemple, dans cet exemple où la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au substrat 302, la portion 310' du guide d'onde 308' est également fixée au substrat 302. Toutefois, dans d'autre exemples non illustrés où le deuxième élément comprend la portion 304B de la couche 304, les portions 310 et 310' des guides d'onde respectifs 308 et 308' peuvent être fixées à cette portion 304B comme c'est le cas pour la portion 310 en figures 6 et 7 et en FIG. 8 . Dans le dispositif 300 de la FIG. 13 , lorsque les premier et deuxième éléments mobiles l'un par rapport à l'autre sont dans la première position où le résonateur 306 est optiquement couplé à la portion 310 du guide d'onde 308, le résonateur 306' est alors optiquement couplé à la portion 310' du guide d'onde 308'. A l'inverse, lorsque les premier et deuxième éléments mobiles l'un par rapport à l'autre sont dans la deuxième position où le résonateur 306 est optiquement découplé de la portion 310 du guide d'onde 308, le résonateur 306' est alors optiquement découplé de la portion 310' du guide d'onde 308'. Par exemple, la position relative des deux résonateurs 306 et 306' l'un par rapport à l'autre est fixe (constante), la position relative des portions 310 et 310' l'une par rapport à l'autre est fixe (constante). Dans l'exemple de la FIG. 13 , le résonateur 306, et donc le résonateur 306', sont fixés au premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et la portion 310 du guide d'onde 308, donc la portion 310' du guide d'onde 308', sont fixées au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre. La personne du métier sera en mesure d'adapter le mode de réalisation de la FIG. 13 à la variante de réalisation décrite en relation avec les figures 9 et 10, en fixant la portion 310 du guide d'onde 308, donc la portion 310' du guide d'onde 308', au premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et, plus particulièrement, à la portion 304A, et en fixant le résonateur 306, donc le résonateur 306', au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, par exemple au substrat 302 ou à la portion 304B que celle-ci soit du type décrit en relation avec les FIG. 6 et 7, ou du type décrit en relation avec la FIG. 8 . Dans l'exemple de la FIG. 13 , il y a deux ensembles d'un résonateur et d'une portion de guide d'onde, à savoir un premier ensemble 306, 310 et un deuxième ensemble 306', 310'. La personne du métier sera en mesure de généraliser cet exemple à plus de deux ensembles d'un résonateur et d'une portion de guide d'onde. Le dispositif 300 du type décrit en relation avec la FIG. 13 permet d'activer et désactiver électriquement le couplage optique entre plusieurs résonateurs et plusieurs guides d'ondes respectifs. La FIG. 14 représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'encore un autre mode de réalisation du dispositif 300, la FIG. 14 étant une vue schématique de dessus du dispositif 300 similaire aux vues de dessus des figures 3, 6, 8, 10, 11, 12 et 13. Le dispositif 300 de la FIG. 14 comprend de nombreuses similitudes et éléments en commun avec le dispositif 300 des figures 3 à 5, et seules les différences entre ces deux dispositifs 300 sont ici mises en exergue. Ainsi, sauf indication contraire, tout ce qui a été décrit pour le dispositif 300 des figures 3 à 5 s'applique au dispositif 300 de la FIG. 14 . Dans ce mode de réalisation, le dispositif 300 comprend un guide d'onde supplémentaire 1400 ayant une portion 1410 fixée à celui des premier et deuxième mobiles l'un par rapport à l'autre auquel est fixé le résonateur 306. La portion 1410 est fixée de sorte que le guide d'onde supplémentaire 1400, et, plus particulièrement sa portion 1410, soit optiquement couplé au résonateur 306. Par exemple, la position relative de la portion 1410 par rapport au résonateur 306 est fixe (constante). En particulier, l'espace de couplage optique dcf entre la portion 1410 et le résonateur 306 est fixe. A titre d'exemple, le guide d'onde 1400 est défini dans la même couche 312 que le résonateur 306 et le guide d'onde 308. Dans ce mode de réalisation où le résonateur 306 est fixé au premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et, plus particulièrement, à la portion 304A de la couche 304, la portion 1410 du guide d'onde supplémentaire 1400 est également fixée à ce premier élément, et, plus particulièrement, à la portion 304A. Par exemple, la portion 1410 du guide d'onde supplémentaire 1400 est fixée à la portion 304A par des bras de maintien 320 et par des plots d'ancrage 318, chaque bras de maintien 320 s'étendant de la portion 1400 à un plot 318 correspondant. Dans ce mode de réalisation, la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre. Dans cet exemple, la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au substrat 302. Toutefois, dans d'autre exemples non illustrés où le deuxième élément comprend la portion 304B de la couche 304, la portion 310 peut être fixée à cette portion 304B comme c'est le cas en figures 6 et 7 et en FIG. 8 . Dans le dispositif 300 de la FIG. 14 , lorsque les premier et deuxième éléments mobiles l'un par rapport à l'autre sont dans la première position où le résonateur 306 est optiquement couplé à la portion 310 du guide d'onde 308, comme le résonateur 306 est optiquement couplé à la portion 1410 du guide d'onde 1400, de la lumière peut être transmise de l'un à l'autre des guides d'ondes 308 et 1400, par l'intermédiaire du résonateur 306. A l'inverse, lorsque les premier et deuxième éléments mobiles l'un par rapport à l'autre sont dans la deuxième position où le résonateur 306 est optiquement découplé de la portion 310 du guide d'onde 308, bien que la portion 1410 du guide d'onde soit optiquement couplée au résonateur 306, de la lumière ne peut plus être transmise de l'un à l'autre des guides d'onde 308 et 1400 par l'intermédiaire du résonateur 306. Dans l'exemple de la FIG. 14 , le résonateur 306 et la portion 1410 du guide d'onde 1400 sont fixés au premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre. La personne du métier sera en mesure d'adapter le mode de réalisation de la FIG. 14 à la variante de réalisation décrite en relation avec les figures 9 et 10, en fixant la portion 310 du guide d'onde 308 au premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et, plus particulièrement, à la portion 304A, et en fixant le résonateur 306, donc la portion 1410 du guide d'onde 1400, au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, par exemple au substrat 302 ou à la portion 304B que celle-ci soit du type décrit en relation avec les FIG. 6 et 7, ou du type décrit en relation avec la FIG. 8 . La FIG. 15 représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'encore un autre mode de réalisation du dispositif 300, la FIG. 15 étant une vue schématique de dessus du dispositif 300 similaire aux vues de dessus des figures 3, 6, 8, 9, 11, 12, 13 et 14. Le dispositif 300 de la FIG. 15 comprend de nombreuses similitudes et éléments en commun avec le dispositif 300 des figures 3 à 5, et seules les différences entre ces deux dispositifs 300 sont ici mises en exergue. Ainsi, sauf indication contraire, tout ce qui a été décrit pour le dispositif 300 des figures 3 à 5 s'applique au dispositif 300 de la FIG. 15 . Dans ce mode de réalisation, le dispositif 300 comprend un guide d'onde supplémentaire 308' ayant une portion 310' fixée à celui des premier et deuxième éléments mobiles l'un par rapport à l'autre auquel est fixée la portion 310 du guide d'onde 308. Dans ce mode de réalisation où la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, la portion 310' du guide d'onde supplémentaire 308' est également fixée au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre. Par exemple, dans cet exemple où la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au substrat 302, la portion 310' du guide d'onde 308' est également fixée au substrat 302. Toutefois, dans d'autre exemples non illustrés où le deuxième élément comprend, ou correspond à, la portion 304B de la couche 304, les portions 310 et 310' des guides d'onde respectifs 308 et 308' peuvent être fixées à cette portion 304B comme c'est le cas pour la portion 310 en figures 6 et 7 et en FIG. 8 . Dans le dispositif 300 de la FIG. 15 , lorsque les premier et deuxième éléments mobiles l'un par rapport à l'autre sont dans la première position où le résonateur 306 est optiquement couplé à la portion 310 du guide d'onde 308, le résonateur 306 est alors également optiquement couplé à la portion 310' du guide d'onde 308', et de la lumière peut être transmise de l'un à l'autre des guides d'ondes 308 et 308', par l'intermédiaire du résonateur 306. A l'inverse, lorsque les premier et deuxième éléments mobiles l'un par rapport à l'autre sont dans la deuxième position où le résonateur 306 est optiquement découplé de la portion 310 du guide d'onde 308, le résonateur 306 est alors également optiquement découplé de la portion 310' du guide d'onde 308', et de la lumière ne peut plus être transmise de l'un à l'autre des guides d'onde 308 et 308' par l'intermédiaire du résonateur 306. Par exemple, la position relative des portions 310 et 310' l'une par rapport à l'autre est fixe (constante). Dans l'exemple de la FIG. 15 , le résonateur 306 est fixé au premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et la portion 310 du guide d'onde 308, donc la portion 310' du guide d'onde 308', sont fixées au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre. La personne du métier sera en mesure d'adapter le mode de réalisation de la FIG. 15 à la variante de réalisation décrite en relation avec les figures 9 et 10, en fixant la portion 310 du guide d'onde 308, donc la portion 310' du guide d'onde 308', au premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et, plus particulièrement, à la portion 304A, et en fixant le résonateur 306 au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, par exemple au substrat 302 ou à la portion 304B que celle-ci soit du type décrit en relation avec les FIG. 6 et 7, ou du type décrit en relation avec la FIG. 8 . La FIG. 16 représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'encore un autre mode de réalisation du dispositif 300, la FIG. 16 étant une vue schématique de dessus du dispositif 300 similaire aux vues de dessus des figures 3, 6, 8, 9, 11, 12, 13, 14 et 15. Le dispositif 300 de la FIG. 16 comprend de nombreuses similitudes et éléments en commun avec le dispositif 300 des figures 3 à 5, et seules les différences entre ces deux dispositifs 300 sont ici mises en exergue. Ainsi, sauf indication contraire, tout ce qui a été décrit pour le dispositif 300 des figures 3 à 5 s'applique au dispositif 300 de la FIG. 16 . Dans ce mode de réalisation, le dispositif 300 comprend un guide d'onde supplémentaire 308' comprenant une portion 310'. A titre d'exemple, le guide d'onde 308' est défini dans la même couche 312 que le résonateur 306 et le guide d'onde 308. Dans ce mode de réalisation où la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, la portion 310' du guide d'onde supplémentaire 308' est elle aussi fixée à ce deuxième élément. Dans cet exemple, la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au substrat 302, et la portion 310' du guide d'onde 308' est alors, de préférence, fixée au substrat 302, par exemple par des plots d'ancrage 322 et des bras de maintien 320 s'étendant chacun depuis la portion 310' jusqu'à un plot 322 correspondant. Toutefois, dans d'autre exemples non illustrés où le deuxième élément comprend la portion 304B de la couche 304, les portions 310 et 310' des guides d'ondes respectifs 308 et 308' peuvent être fixées à cette portion 304B comme c'est le cas en figures 6 et 7 et en FIG. 8 . Dans le dispositif 300 de la FIG. 16 , lorsque les premier et deuxième éléments mobiles l'un par rapport à l'autre sont dans la première position où le résonateur 306 est optiquement couplé à la portion 310 du guide d'onde 308, le résonateur 306 est alors optiquement découplé de la portion 310' du guide d'onde 308'. A l'inverse, lorsque les premier et deuxième éléments mobiles l'un par rapport à l'autre sont dans la deuxième position où le résonateur 306 est optiquement découplé de la portion 310 du guide d'onde 308, le résonateur 306 est alors optiquement couplé à la portion 310' du guide d'onde 308'. Par exemple, la position relative des deux portions 310 et 310' l'une par rapport à l'autre est fixe (constante). Par exemple, ces portions 310 et 310' sont disposées respectivement de part et d'autre du résonateur 306, par exemple, dans la direction de déplacement relatif des premier et deuxième éléments l'un par rapport à l'autre. Dans l'exemple de la FIG. 16 , le résonateur 306 est fixé au premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et la portion 310 du guide d'onde 308, donc la portion 310' du guide d'onde 308', sont fixées au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre. La personne du métier sera en mesure d'adapter le mode de réalisation de la FIG. 16 à la variante de réalisation décrite en relation avec les figures 9 et 10 où les portions 310 et 310' des guides d'ondes respectifs 308 et 308' sont fixées au premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, et, plus particulièrement, à la portion 304A, et où le résonateur 306 est fixé au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre, par exemple en fixant le résonateur 306 au substrat 302 ou à la portion 304B que celle-ci soit du type décrit en relation avec les FIG. 6 et 7, ou du type décrit en relation avec la FIG. 8 . Le dispositif 300 du type décrit en relation avec la FIG. 16 permet de commander avec lequel des guides d'onde 308 et 308' le résonateur 306 est couplé. La FIG. 17 illustre, par une vue schématique de dessus, un exemple d'une variante de réalisation du dispositif 300, la FIG. 17 étant une vue schématique de dessus du dispositif 300 similaire aux vues de dessus des figures 3, 6, 8, 9, 11, 12, 13, 14, 15 et 16. Le dispositif 300 de la FIG. 17 comprend de nombreuses similitudes et éléments en commun avec le dispositif 300 des figures 3 à 5, et seules les différences entre ces deux dispositifs 300 sont ici mises en exergue. Ainsi, sauf indication contraire, tout ce qui a été décrit pour le dispositif 300 des figures 3 à 5 s'applique au dispositif 300 de la FIG. 17 . Dans les exemples de modes et variantes décrits précédemment en relation avec les figures 3 à 16, l'actionneur 324 comprend, à titre d'exemple, un actionneur électrostatique, et, à titre d'exemple plus particulier, un actionneur électrostatique dans lequel le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde 308 sont dans leur première position relative l'un par rapport à l'autre lorsqu'aucune polarisation n'est appliquée entre les électrodes de cet actionneur, et le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde 308 sont dans leur deuxième position relative l'un par rapport à l'autre lorsqu'une polarisation non nulle, par exemple positive, est appliquée entre les électrodes de cet actionneur. Dans la variante de réalisation de la FIG. 17 , l'actionneur électrostatique capacitif a un fonctionnement symétrique. Dans cette variante, le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde 308 sont dans leur première position relative l'un par rapport à l'autre lorsqu'une polarisation non nulle, par exemple positive, est appliquée entre les électrodes de l'actionneur 324, et le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde 308 sont dans leur deuxième position relative l'un par rapport à l'autre lorsqu'aucune polarisation n'est appliquée entre les électrodes de l'actionneur 324. Par exemple, la position de l'actionneur par rapport à la portion 304A dans la direction de déplacement de la portion 304A est inversée. La personne du métier sera en mesure d'adapter cette variante aux exemples de modes de réalisation et de variantes décrits précédemment en relation avec les figures 3 à 16. Par ailleurs, bien que l'on ait décrit des exemples de modes de réalisation et de variantes dans lequel l'actionneur 324 comprend un unique actionneur électrostatique capacitif, l'actionneur peut, dans d'autres exemples, comprendre plusieurs, par exemple deux, actionneurs électrostatiques capacitifs, par exemple disposés de part et d'autre de la portion 304A. Par exemple, cela peut permettre un meilleur contrôle de la valeur de l'espace de couplage dc. La FIG. 18 illustre, par une vue schématique de dessus, un exemple d'une variante de réalisation du dispositif 300, la FIG. 18 étant une vue schématique de dessus du dispositif 300 similaire aux vues de dessus des figures 3, 6, 8, 9, 11, 12, 13, 14, 15, 16 et 17. Le dispositif 300 de la FIG. 18 comprend de nombreuses similitudes et éléments en commun avec le dispositif 300 des figures 3 à 5, et seules les différences entre ces deux dispositifs 300 sont ici mises en exergue. Ainsi, sauf indication contraire, tout ce qui a été décrit pour le dispositif 300 des figures 3 à 5 s'applique au dispositif 300 de la FIG. 18 . Le dispositif 300 de la FIG. 18 diffère du dispositif 300 des figures 3 à 5 en ce qu'il comprend au moins une butée 1800, par exemple deux butées 1800 dans l'exemple de la FIG. 18 . La ou les butées 1800 sont configurées pour limiter le déplacement de la portion 304A, de sorte à limiter le déplacement du résonateur 306 par rapport à la portion 310 du guide d'onde 308. Plus particulièrement, la ou les butées sont configurées pour empêcher que le résonateur 306 et la portion 310 ne puissent venir en contact l'un de l'autre. Dit autrement, la ou les butées 1800 déterminent un espace minimum non nul entre le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde 308. Dit encore autrement, la ou les butées 1800 déterminent la valeur minimale de l'espace de couplage entre le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde 308. A titre d'exemple, cet espace minimum non nul entre le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde 308 est celui qui se retrouve entre le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde 308 lorsque la portion 304A vient aux contacts des butées 1800. Les butées 1800 comprennent alors chacune une portion de la couche 304. A titre d'exemple alternatif, cet espace minimum non nul entre le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde 308 est celui qui se retrouve entre le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde 308 lorsque qu'une portion de la couche 312 fixée à la portion 304A vient aux contacts des butées 1800. Les butées 1800 comprennent alors chacune une portion de la couche 312. La couche 312 étant, de préférence, plus fine que la couche 304, cela peut permettre une plus grande précision sur les dimensions des butées par rapport à l'exemple précédant. A titre d'exemple, la position relative de la ou des butées 1800 par rapport au deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre est fixe (constante). Dans l'exemple de la FIG. 18 où le deuxième élément correspond au substrat 302, la ou les butées sont, par exemple, fixes par rapport au substrat 302. La personne du métier sera en mesure de prévoir de telles butées 1800 dans les exemples de modes de réalisation et de variantes décrits précédemment. En outre, la personne du métier sera en mesure de prévoir des butées similaires aux butées 1800, mais qui soient configurées pour déterminer un espace minimum entre le résonateur 306 et la portion 310' du guide 308' (par exemple en figures 15 et 16), ou entre le résonateur 306' et la portion 310 (par exemple en FIG. 11 ). La FIG. 19 illustre, par une vue schématique de dessus, un exemple d'une variante de réalisation du dispositif 300, la FIG. 19 étant une vue schématique de dessus du dispositif 300 similaire aux vues de dessus des figures 3, 6, 8, 9, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17 et 18. Le dispositif 300 de la FIG. 19 comprend de nombreuses similitudes et éléments en commun avec le dispositif 300 de la FIG. 8 , et seules les différences entre ces deux dispositifs 300 sont ici mises en exergue. Ainsi, sauf indication contraire, tout ce qui a été décrit pour le dispositif 300 de la FIG. 8 s'applique au dispositif 300 de la FIG. 19 . Dans le dispositif 300 de la FIG. 8 , la portion 304B est considéré comme fixe par rapport au substrat 302, bien qu'une ou plusieurs liaisons souples 800 relient une partie de la portion 304B suspendue au-dessus du substrat 302 à une portion fixe 304C de la couche 304. Cela provient du fait qu'une autre partie de la portion 304A conserve une connexion mécanique directe avec une portion 304D de la couche 304 qui est fixe par rapport au substrat 302. Dans le dispositif 300 de la FIG. 19 , la portion 304B de la couche 304 est entièrement suspendue au-dessus du substrat 302, et n'est plus connectée à la partie 304D de la couche 304 qui est fixe par rapport au substrat. En effet, en FIG. 19 , la portion 304B est couplée à chacune des portions 304C et 304D par des liaisons 800. Il en résulte que la portion 304B est mobile par rapport au substrat. Les liaisons 800 permettent d'absorber des contraintes (déformations et/ou vibrations) que le substrat 302 pourrait transmettre à la portion 304B. Dit autrement, dans le dispositif 300 de la FIG. 19 , les portions 304A et 304B sont couplées mécaniquement l'une à l'autre par au moins une liaison 305 permettant le déplacement de la portion 304A par rapport à la portion 304B, et la portion 304B est couplée au substrat 302 par au moins une liaison 800 permettant un déplacement de la portion 304B par rapport au substrat 302. Par exemple, la portion 304B est couplée au substrat 302 par au moins une liaison 800 entre la portion 304A de la couche et une portion 304C, 304D de la couche 304 qui est fixe par rapport au substrat. Dans le dispositif 300 de la FIG. 19 , le deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre comprend, par exemple correspond, à la portion 304B de la couche 304. La personne du métier sera en mesure d'adapter cette variante aux exemples de modes de réalisation et de variantes décrits précédemment en relation avec les figures 9 à 16. La FIG. 20 représente, par une vue de dessus schématique, un exemple d'un autre mode de réalisation du dispositif optoélectronique 300, la FIG. 20 étant une vue schématique de dessus du dispositif 300 similaire aux vues de dessus des figures 3, 6, 8, 9, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18 et 19. Le dispositif 300 de la FIG. 20 comprend de nombreuses similitudes et éléments en commun avec le dispositif 300 des figures 3 à 5, et seules les différences entre ces deux dispositifs 300 sont ici mises en exergue. Ainsi, sauf indication contraire, tout ce qui a été décrit pour le dispositif 300 des figures 3 à 5 s'applique au dispositif 300 de la FIG. 20 . Dans les exemples de mode de réalisation et de variantes décrits précédemment en relation avec les figures 3 à 19, la portion 304A est mobile par rapport au substrat 302 grâce à des liaisons 305, voire à des liaisons 305 et 800. Les liaisons 305 et 800 sont des liaisons souples. Toutefois, dans d'autres mode de réalisations, d'autres liaisons que des liaisons souples peuvent être prévues, pour que le premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre qui comprend la portion 304A mobile par rapport au substrat 302, soit mobile par rapport premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre. Par exemple, une liaison pivot peut être prévue entre ces premier et deuxième éléments comme c'est le cas dans le mode de réalisation illustré par la FIG. 20 . Plus particulièrement, dans l'exemple de la FIG. 20 , la portion 304B de la couche 304 est fixe par rapport au substrat 302. Par exemple, bien que cela ne soit pas représenté en FIG. 20 , la portion 304B de la couche 304 repose sur et en contact avec l'empilement des couches 316, 312, 314, cet empilement reposant sur et en contact avec le substrat 302. La portion 304A de la couche 304 est suspendue au-dessus du substrat 302 et est reliée mécaniquement à la portion 304B par une liaison pivot 2002, par exemple par une unique liaison pivot 2002. La liaison pivot 2002 comprend, par exemple, deux bras de maintien 2000 formés au moins en partie dans la couche 304. Chaque bras 2000 s'étend depuis la portion 304B jusqu'à une même région de la portion 304A où les bras 2002 se rejoigne. Cette région correspond au point de pivot 2004 de la liaison pivot 2002. La portion 304A constitue un bras de levier de la liaison pivot. Dans l'exemple de la FIG. 20 , le bras 304A peut pivoter autour du point de pivot 2004, dans un plan parallèle à la face 303 (non référencée en FIG. 20 ) du substrat 302. Dans ce mode de réalisation, le premier des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre comprend la portion 304A, par exemple correspond à cette portion 304A. Le deuxième des deux éléments mobiles l'un par rapport à l'autre comprend le substrat 302, par exemple correspond au substrat 302. Dans l'exemple de la FIG. 20 , le résonateur 306 est fixé à la portion 304A, par exemple par un plot d'ancrage 318. Par exemple, le résonateur 306 est fixé à la portion 304A au niveau d'une extrémité du bras de levier que forme la portion 304A par rapport au point de pivot 2004. Dans l'exemple de la FIG. 20 , la portion 310 du guide d'onde 308 est fixée au substrat 302, par exemple par des bras de maintien 320 et des plots d'ancrage. A titre d'exemple alternatif, le résonateur 306 peut être fixé au substrat 302 et la portion 310 peut être fixée à la portion 304A. Toutefois, la mise en œuvre de cet autre exemple peut s'avérer plus complexe que celle de l'exemple illustré par la FIG. 20 , et, en outre, peut conduire à des déformations du guide d'onde 308 au-delà de la portion 310. L'actionneur 324 est ici configuré pour faire pivoter de manière commandée la portion 304A autour du point de pivot 2004. Par exemple, l'actionneur 324 est disposé proche de l'extrémité du bras de levier 304A opposée à l'extrémité du bras 304A où est fixé le résonateur. A titre d'exemple, le bras 304A s'étend en longueur dans une direction parallèle à celle dans laquelle la portion 310 du guide d'onde 308 s'étend en longueur. Par exemple, l'actionneur 324 est un actionneur électrostatique, par exemple un actionneur électrostatique capacitif. La prévision d'une liaison pivot pour commander le déplacement relatif de la portion 304A, donc du résonateur 306 dans l'exemple illustré, par rapport au substrat 302, donc à la portion 310 du guide d'onde 308 dans l'exemple représenté, permet, en fonction de la disposition du point pivot 2004 sur la longueur du bras 304A : - soit de réduire l'amplitude du déplacement entre le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde 308 par rapport à l'amplitude de déplacement entre le bras 304A et l'actionneur 324 ; soit, au contraire, d'amplifier l'amplitude du déplacement entre le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde 308 par rapport à l'amplitude de déplacement entre le bras 304A et l'actionneur 324. Bien que cela ne soit pas représenté en FIG. 20 , la personne du métier sera en mesure de prévoir une ou plusieurs butées 1800 dans le dispositif 300 de la FIG. 20 , par exemple sur l'actionneur 324. Par exemple, une telle butée 1800 est configurée pour que, quand l'extrémité du bras 304A se rapproche de l'actionneur 324 lorsque l'actionneur 324 commande un rapprochement du résonateur 306 et de la portion 310, cette extrémité du bras 304A vienne au contact de la butée lorsque le résonateur 306 et la portion 310 sont dans la première position où ils sont optiquement couplés. La personne du métier sera en mesure d'adapter les variantes de réalisation décrites en relation avec les figures 11 à 18 au mode de réalisation de la FIG. 20 . A titre d'exemple, dans les exemples de modes de réalisation et de variantes décrits précédemment en relation avec les figures 3 à 20, la couche 312 est une couche semiconductrice d'une structure de type silicium sur isolant (SOI de l'anglais "Semiconductor On Insulator"), la ou les couches 314 correspondant à la couche isolante de cette structure SOI, et le substrat 302 correspondant au substrat sur lequel repose la structure SOI. A titre d'exemple, la ou les couches 316 sont des couches diélectriques formées sur la couche 312 avant qu'un substrat semiconducteur ne soit reporté sur ces couches 316, puis aminci. A titre d'exemple alternatif, la ou les couches 316 sont formées sur un substrat semiconducteur, puis l'ensemble du substrat semiconducteur et des couches 316 est reporté sur la couche 312 avant que ce substrat ne soit aminci. A titre d'exemple, la couche 304 a une épaisseur comprise entre 200 nm et 100 µm. A titre d'exemple, la couche 312 a une épaisseur comprise entre 200 nm et 500 nm. A titre d'exemple, la distance minimale entre deux portions de la couche 304, en l'absence d'action de l'actionneur 324 pour rapprocher ces deux portions l'une de l'autre, est par exemple comprise entre 500 nm et 1 µm, et dépend, par exemple, des procédés de gravure mis en œuvre pour définir ces deux portions dans la couche 304. A titre d'exemple, la distance minimale entre deux portions de la couche 312, en l'absence d'action de l'actionneur 324 pour rapprocher ces deux portions l'une de l'autre, est par exemple de l'ordre de 100 nm, et dépend, par exemple, des procédés de gravure mis en œuvre pour définir ces deux portions dans la couche 304. A titre d'exemple, les amplitudes de déplacement de la portion 304A par rapport à la partie de l'actionneur 324 qui est fixe par rapport au substrat 302, sont comprises entre environ 50 nm et 1 µm. A titre d'exemple, dans le mode de réalisation de la FIG. 20 , le bras ou portion 304A a une longueur comprise entre 10 et 1000 µm, et la portion du point de pivot 2004 le long du bras 304A est configuré pour obtenir une réduction par un facteur compris entre 1 et 100 de l'amplitude du déplacement entre le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde 308 par rapport à l'amplitude de déplacement entre le bras 304A et l'actionneur 324, ou, une augmentation par un facteur compris entre 1 et 100 de l'amplitude du déplacement entre le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde 308 par rapport à l'amplitude de déplacement entre le bras 304A et l'actionneur 324. Dans les exemples de modes de réalisation et variantes décrits en relation avec les figures 3 à 20, l'actionneur 324 est configuré pour commander la position relative du résonateur 306 et de la portion 310 du guide d'onde entre : - une première position où ces deux éléments sont optiquement couplés, par exemple lorsque le taux de couplage optique est à sa valeur maximale pour le dispositif 300 considéré, et - une deuxième position où ces deux éléments sont optiquement découplés l'un de l'autre, par exemple lorsque le taux de couplage est à sa valeur minimale pour le dispositif 300 considéré. Dans d'autres exemple, l'actionneur 324 peut être configuré pour commander au moins une autre position relative du résonateur 306 par rapport à la portion 310 du guide d'onde 308, par exemple pour commander de manière continue cette position relative entre les première et deuxième positions relatives décrites ci-dessus. Cela permet que, pour un dispositif 300 considéré, le taux de couplage entre le résonateur 306 et la portion 310 du guide d'onde 308 puisse prendre au moins une autre valeur entre les valeurs minimale et maximale décrites ci-dessus. Par exemple, il est envisageable de générer une modulation continue du taux de couplage selon un signal périodique de fréquence fmod comprise entre 0 Hz et fc, fc étant une fréquence de coupure mécanique qui dépend de la masse du système et des raideurs mécaniques mises en jeu, de sorte, par exemple, à moduler le signal optique dans le résonateur 306 avec un déplacement des éléments mobiles qui pourrait être, par exemple, inférieur ou supérieur à Le. A titre d'exemple d'application, une telle modulation continue peut permettre d'encoder de l'information dans le signal optique. Plus généralement, lorsqu'il est indiqué que l'actionneur 324 est configuré pour modifier la position relative du résonateur 306 et de la portion 310 du guide d'onde entre une première position où ces deux éléments sont optiquement couplés, et une deuxième position où ces deux éléments sont optiquement découplés l'un de l'autre, cela signifie, par exemple, que l'actionneur 324 est configuré pour commander au moins deux positions différentes des premier et deuxième éléments l'un par rapport à l'autre, une de ces au moins deux positions correspondant à la première position ou à une position intermédiaire entre les première et deuxième positions, et une autre de ces au moins deux positions correspondant à la deuxième position ou à une autre position intermédiaire entre les première et deuxième positions. Dit autrement, lorsqu'il est indiqué que l'actionneur 324 est configuré pour modifier la position relative du résonateur 306 et de la portion 310 du guide d'onde entre une première position où ces deux éléments sont optiquement couplés, et une deuxième position où ces deux éléments sont optiquement découplés l'un de l'autre, cela signifie, par exemple, l'actionneur 324 est configuré pour commander au moins deux positions différentes des premier et deuxième éléments l'un par rapport à l'autre, chacune de ces au moins deux positions correspondant à un couplage optique, ou taux de couplage optique, différent entre le résonateur 306 et le guide d'onde 308. De préférence, l'actionneur 324 est configuré pour que les premier et deuxième éléments soient dans la première position l'un par rapport à l'autre pour un premier état de l'actionneur, et soient dans la deuxième position l'un par rapport à l'autre pour un deuxième état de l'actionneur. Dans les exemples de modes de réalisation et variantes décrits en relation avec les figures 3 à 19, la portion 304B à une forme générale rectangulaire. Toutefois, les modes de réalisation et variantes décrits ne se limitent pas à une portion 304B ayant la forme générale d'un cadre, et la personne du métier sera en mesure de prévoir d'autres formes de portions 304A. Dans les exemples de modes de réalisation et variantes décrits en relation avec les figures 3 à 20, les premier et deuxième éléments mobiles l'un par rapport à l'autre se déplacent l'un par rapport à l'autre dans une direction parallèle à la face 303 du substrat 302. La personne du métier sera en mesure de mettre en œuvre un dispositif 300 dans lequel les premier et deuxième éléments mobiles l'un par rapport à l'autre se déplacent l'un par rapport à l'autre dans une direction orthogonale à la face 303 du substrat 302, et saura adapter les modes de réalisation et variantes décrits à un tel dispositif 300. Dans les exemples de modes de réalisation et variantes décrits, l'actionneur 324 est un actionneur électrostatique capacitif. La personne du métier sera en mesure de prévoir un ou plusieurs actionneurs 324 d'autres types, par exemple de type piézo-électrique ou de type électro-thermique. Divers modes de réalisation et variantes ont été décrits. La personne du métier comprendra que certaines caractéristiques de ces divers modes de réalisation et variantes pourraient être combinées, et d’autres variantes apparaîtront à la personne du métier. Enfin, la mise en oeuvre pratique des modes de réalisation et variantes décrits est à la portée de la personne du métier à partir des indications fonctionnelles données ci-dessus. Dispositif optomécanique (300) comprenant : un premier élément (304A) et un deuxième élément (302, 304B) mécaniquement mobiles l'un par rapport à l'autre ; un guide d'onde (308) comprenant une portion (310) fixée à l'un des premier et deuxième éléments ; un résonateur optique ou optomécanique (306) fixé à l'autre des premier et deuxième élément ; et un actionneur (324) configuré pour modifier une position relative des premier et deuxième éléments l'un par rapport à l'autre entre une première position où le résonateur (306) est optiquement couplé à ladite portion (310) du guide d'onde (308) et une deuxième position où le résonateur (306) est optiquement découplé de ladite portion (310) du guide d'onde (308). Dispositif selon la revendication 1, dans lequel : le dispositif comprend un substrat (302) et une première couche (304) reposant sur le substrat ; la première couche (304) comprend une première portion (304A) suspendue au-dessus du substrat (302) et mobile par rapport au substrat ; et le premier élément du dispositif comprend la première portion de la première couche. Dispositif selon la revendication 2, dans lequel la première couche (304) s'étend en épaisseur dans une direction orthogonale à une face principale (303) du substrat (302) et la première portion de la première couche est mobile par rapport au substrat (302) dans un plan parallèle à la face principale du substrat. Dispositif selon la revendication 2 ou 3, dans lequel : la première couche (304) comprend une deuxième portion (304B) fixe par rapport au substrat ; les première et deuxième portions (304A, 304B) de la première couche (304) sont couplées mécaniquement l'une à l'autre par au moins une liaison (305, 2002) permettant un mouvement relatif des première et deuxième portions de la première couche l'une par rapport à l'autre ; et le deuxième élément du dispositif comprend le substrat (302) ou la deuxième portion (304B) de la première couche. Dispositif selon la revendication 4, dans lequel ladite au moins une liaison comprend une unique liaison pivot (2002) et le deuxième élément du dispositif comprend le substrat (302). Dispositif selon la revendication 2 ou 3, dans lequel : la première couche (304) comprend une deuxième portion (304B) suspendue au-dessus du substrat et mobile par rapport au substrat ; les première et deuxième portions (304A, 304B) de la première couche (304) sont couplées mécaniquement l'une à l'autre par au moins une liaison (305) permettant un mouvement relatif des première et deuxième portions l'une par rapport à l'autre ; la deuxième portion (304B) de la première couche (304) et le substrat (302) sont couplés mécaniquement l'un à l'autre par au moins une liaison (800) permettant un mouvement relatif de la deuxième portion (304B) de la première couche et du substrat (302) l'un par rapport à l'autre ; et le deuxième élément du dispositif (300) comprend la deuxième portion (304B) de la première couche (304). Dispositif selon l'une quelconque des revendications 2 à 6, dans lequel le dispositif (300) comprend une deuxième couche (312) reposant sur le substrat, entre le substrat (302) et la première couche (304), le résonateur (306) et le guide d'onde (308) étant définis dans la deuxième couche. Dispositif selon la revendication 7, dans lequel le dispositif (300) comprend au moins une troisième couche (314) entre le substrat (302) et la deuxième couche (312) et au moins une quatrième couche (316) entre la deuxième couche (312) et la première couche (304). Dispositif selon la revendication 8, dans lequel la portion (310) du guide d'onde (308) ou le résonateur (306) qui est fixé à la première portion (304A) est fixé à cette première portion par au moins un plot d'ancrage (318) défini dans ladite au moins une quatrième couche (316). Dispositif selon l'une quelconque des revendications 2 à 9, dans lequel lesdites au moins une liaison (305, 2002, 800) sont au moins en partie définis dans la première couche (304). Dispositif selon l'une quelconque des revendications 2 à 10, dans lequel l'actionneur (324) comprend au moins un actionneur électrostatique comprenant un élément capacitif ayant une première électrode au moins en partie définie dans le premier élément (304A). Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, dans lequel le dispositif (300) comprend au moins une butée (1800) déterminant un espace minimum non nul entre la portion (310) du guide d'onde (308) et le résonateur (306) dans la première position. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, dans lequel le dispositif (300) comprend un résonateur optique ou optomécanique supplémentaire (306') fixé audit l'autre des premier et deuxième éléments de sorte que : le résonateur supplémentaire (306') soit optiquement découplé de ladite portion (310) du guide d'onde (308) dans la première position et soit optiquement couplé à ladite portion (310) du guide d'onde (308) dans la deuxième position ; ou le résonateur supplémentaire (306') soit optiquement couplé à ladite portion (310) du guide d'onde (308) dans la première position et soit optiquement découplé de ladite portion (310) du guide d'onde (308) dans la deuxième position ; ou le résonateur supplémentaire (306') soit optiquement couplé à une portion (310') d'un guide d'onde supplémentaire (308') du dispositif dans la première position et soit optiquement découplé de ladite portion (310') du guide d'onde supplémentaire (308') dans la deuxième position, ladite portion (310') du guide d'onde supplémentaire (308') étant fixée audit l'un des premier et deuxième éléments. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, dans lequel le dispositif comprend un guide d'onde supplémentaire (308') ayant une portion (310') fixée audit l'un des premier et deuxième éléments de sorte que : le résonateur (306) soit optiquement découplé de ladite portion (310') du guide d'onde supplémentaire (308') dans la première position et soit optiquement couplé à ladite portion (310') du guide d'onde supplémentaire (308') dans la deuxième position ; ou le résonateur (306) soit optiquement couplé à ladite portion (310') du guide d'onde supplémentaire (308') dans la première position et soit optiquement découplé de ladite portion (310') du guide d'onde supplémentaire (308') dans la deuxième position. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, dans lequel le dispositif (300) comprend un guide d'onde supplémentaire (1400) ayant une portion (1410) fixée audit l'autre des premier et deuxième éléments de sorte que ladite portion (1410) du guide d'onde supplémentaire (1400) soit optiquement couplée au résonateur (306).