Brevet FR3154200A1 — publié le 20250418

Un dispositif de mesure (1) confocale chromatique d’un paramètre d’une surface (2) d’un échantillon, le dispositif comprenant : une source lumineuse (4) configurée pour générer un faisceau lumineux (6) d'illumination, un objectif à chromatisme axial (8) configuré pour appliquer le faisceau lumineux d'illumination (6) sur la surface (2) de l’échantillon et pour retransmettre un faisceau lumineux rétrodiffusé en provenance de la surface (2) de l'échantillon à un bras de mesure (10), le dispositif de mesure comprenant un bloc séparateur (20) configuré pour faire subir deux réflexions dans un séparateur de faisceau (23) à un faisceau dit réfléchi parmi le faisceau lumineux d'illumination (6) et le faisceau lumineux rétrodiffusé (9), un compensateur optique étant (24) disposé dans le trajet direct de l'autre faisceau. Figure pour l’abrégé : Fig. 1 Dispositif de mesure confocale chromatique à bloc séparateur La présente demande concerne de manière générale le domaine de l’inspection et du contrôle optique d’une pièce, et plus précisément concerne un dispositif de mesure confocale chromatique d’un paramètre d’une surface d’un échantillon. ETAT DE LA TECHNIQUE Le dispositif de mesure est basé sur le principe de la microscopie confocale chromatique, dans lequel une lumière, généralement polychromatique, est focalisée sur la surface à étudier. La répartition spectrale du faisceau lumineux est ensuite analysée afin d’identifier la longueur d’onde de la source lumineuse pour laquelle on obtient une image nette sur la surface, ce qui permet d’en déduire la distance entre l’objectif et la surface. D'autres paramètres de la surface peuvent être déduits en s'intéressant à d'autres caractéristiques du faisceau lumineux réfléchi. Les demandes de brevet FR3086748 et FR3006758 donnent des exemples de dispositifs de mesure confocale chromatique d’un paramètre d’une surface d’un échantillon. Les dispositifs de l'art antérieur peuvent utiliser un cube séparateur dont le rôle est de diriger le faisceau lumineux d'illumination vers l'échantillon, et de diriger un faisceau lumineux de mesure dérivé du faisceau lumineux rétrodiffusé par l'échantillon vers un appareil de mesure. Le cube séparateur comprend une surface semi-réfléchissante qui permet d'intercepter une partie du faisceau lumineux rétrodiffusé, formant le faisceau lumineux de mesure, et de le rediriger, typiquement perpendiculairement, vers l'appareil de mesure. Il est toutefois apparu qu'une telle configuration requiert une orientation très précise du cube séparateur par rapport à un trajet direct le traversant et selon lequel se propage le faisceau d'illumination et le faisceau lumineux rétrodiffusé. Toute déviation d'orientation peut rendre les caractéristiques des faisceaux lumineux non invariantes par rotation, et peut par conséquent significativement détériorer la qualité des mesures. Par ailleurs, les faisceaux lumineux qui sont acheminés par fibres optiques à l'entrée et à la sortie du cube séparateur doivent avoir leurs extrémités parfaitement conjuguées entre elles. Elles doivent être spatialement stables non seulement entre elles, mais également avec le cube séparateur, ce qui peut être difficile, ou rendre le dispositif fragile et sensible aux chocs mécaniques. Présentation de l'invention Un objectif de la présente demande est donc de proposer un dispositif de mesure confocale chromatique d’un paramètre d’une surface d’un échantillon, qui soit mécaniquement robuste, et d'une conception permettant une plus grande précision de mesure grâce à une fabrication et un réglage avec moins de contraintes. Il est à cet effet proposé un dispositif de mesure confocale chromatique d’un paramètre d’une surface d’un échantillon, le dispositif comprenant : - une source lumineuse configurée pour générer un faisceau lumineux d'illumination ; - un objectif à chromatisme axial configuré pour appliquer le faisceau lumineux d'illumination sur la surface de l’échantillon et pour retransmettre un faisceau lumineux rétrodiffusé en provenance de la surface de l'échantillon ; - un bras de mesure configuré pour le faisceau lumineux rétrodiffusé, le bras de mesure comprenant un appareil de mesure du paramètre de la surface de l'échantillon à partir du faisceau lumineux rétrodiffusé ; le dispositif de mesure comprenant un bloc séparateur configuré pour recevoir le faisceau lumineux d'illumination à travers une face d'entrée et le transmettre à l'objectif à chromatisme axial selon un premier trajet, recevoir en retour le faisceau lumineux rétrodiffusé et transmettre par un second trajet le faisceau lumineux rétrodiffusé au bras de mesure ; le bloc séparateur comprenant : - un séparateur de faisceau configuré pour faire subir une première réflexion et une seconde réflexion dans le séparateur de faisceau à un faisceau dit réfléchi parmi le faisceau lumineux d'illumination et le faisceau lumineux rétrodiffusé, le faisceau réfléchi effectuant alors un trajet indirect parmi le premier trajet et le second trajet, l'autre trajet parmi le premier trajet et le second trajet étant un trajet direct exempt de réflexion dans le séparateur de faisceau ; et - un compensateur disposé dans le trajet direct, le compensateur étant séparé du séparateur de faisceau par un espace le long du trajet direct, le compensateur optique définissant pour le trajet direct une longueur optique correspondant à la longueur optique supplémentaire effectuée par le faisceau réfléchi dans le séparateur de faisceau par rapport au trajet direct dans le séparateur de faisceau. Certaines caractéristiques préférées mais non limitatives du dispositif de mesure sont les suivantes, prises individuellement ou en combinaison : - le bloc séparateur comprend une dalle support sur laquelle sont fixés le séparateur de faisceau et le compensateur optique ; - le bloc séparateur comprend une dalle de verrouillage fixée au séparateur de faisceau et au compensateur optique sur un côté opposé à la dalle support ; - la face d'entrée du bloc séparateur est munie d'un masque opaque d'entrée percé d'au moins une ouverture, et la face de sortie du bloc séparateur est munie d'un masque opaque de sortie percé d'au moins une ouverture, les masques opaques d'entrée et de sortie formant des filtres spatiaux conjugués ; - un masque parmi le masque opaque d'entrée et le masque opaque de sortie est fixé sur le séparateur de faisceau ; - un masque parmi le masque opaque d'entrée et le masque opaque de sortie est fixé sur le compensateur optique ; - le séparateur de faisceau comprend une surface semi-réfléchissante pour effectuer une réflexion, et une surface réfléchissante pour effectuer l'autre réflexion du faisceau réfléchi ; - le séparateur de faisceau comprend un prisme de déviation à l'intérieur duquel se produisent la première réflexion et la seconde réflexion, le trajet direct croisant le trajet indirect, et la face de sortie est perpendiculaire à la face d'entrée ; - le trajet indirect est distinct du trajet direct dans le séparateur de faisceau, et la face de sortie est parallèle à la face d'entrée ; - l'appareil de mesure est un appareil d’analyse spectrale configuré pour déterminer une répartition spectrale du faisceau lumineux rétrodiffusé, le paramètre de la surface de l'échantillon étant une distance, ou le bras de mesure comprend un imageur configuré pour mesurer une intensité lumineuse d'au moins une partie du faisceau lumineux rétrodiffusé, le paramètre de la surface de l'échantillon étant une réflectivité. D’autres caractéristiques, buts et avantages de la présente invention apparaîtront mieux à la lecture de la description détaillée qui va suivre, et au regard des dessins annexés donnés à titre d’exemples non limitatifs et sur lesquels : - la FIG. 1 est une vue schématique d'ensemble d'un dispositif de mesure selon un mode de réalisation possible de l'invention ; - la FIG. 2 est une vue de dessus d'un exemple de bloc séparateur selon un mode de réalisation possible de l'invention ; - la FIG. 3 est une vue de dessus d'un exemple de bloc séparateur selon un autre mode de réalisation possible de l'invention. Sur l’ensemble des figures, les éléments similaires portent des références identiques. DESCRIPTION DETAILLEE En référence à la FIG. 1 , le dispositif de mesure 1 comprend un bras d'illumination 4 configuré pour générer un faisceau lumineux d'illumination 6, de préférence polychromatique (par opposition à une illumination monochromatique telle que celle produite par un laser), à destination d'une surface 2 de l’échantillon. La mise en œuvre d’un faisceau lumineux d'illumination 6 polychromatique permet en effet de réaliser des mesures confocales chromatiques et notamment de présenter un chromatisme axial le long de l’axe de propagation, ce qui permet une mesure de distance sans aucun déplacement du dispositif de mesure 1. Le bras d'illumination 4 comprend une source lumineuse, et peut en particulier comprendre une source de lumière blanche, par exemple une ou plusieurs diodes électroluminescentes. Par ailleurs, le faisceau lumineux d'illumination 6 a de préférence une faible cohérence (spatiale et temporelle), par opposition au faisceau laser qui est cohérent spatialement et temporellement. Le dispositif de mesure 1 comprend un objectif à chromatisme axial 8 configuré pour appliquer le faisceau lumineux d'illumination 6 sur la surface 2 de l’échantillon. L'objectif à chromatisme axial 8 est également configuré pour retransmettre un faisceau lumineux rétrodiffusé 9 en provenance de la surface 2 de l'échantillon. L'objectif à chromatisme axial 8 comprend une série de lentilles présentant un chromatisme axial connu qui sont disposées dans l’objectif de sorte que leurs axes optiques soient coaxiaux, et qui permettent La dispersion chromatique du faisceau lumineux d'illumination 6 le long de son axe optique. Cette aberration optique contrôlée autorise le codage de l'altitude ou de l'épaisseur de la surface 2 de l'échantillon en fonction de la longueur d'onde dans le faisceau lumineux réfléchi 9. Le dispositif de mesure 1 comprend un bloc séparateur 20 configuré pour recevoir le faisceau lumineux d'illumination 6 à travers une face d'entrée 20a et le transmettre à l'objectif à chromatisme axial 8 selon un premier trajet débouchant sur une seconde face 20b. La seconde face 20b est ici opposée à la face d'entrée 20a, mais pourrait être une autre face, en fonction de la forme du premier trajet. Le bloc séparateur est configuré pour recevoir en retour le faisceau lumineux rétrodiffusé 9 en provenance de la surface 2 de l'échantillon, et transmettre par un second trajet le faisceau lumineux rétrodiffusé 9 au bras de mesure 10. Le bras de mesure 10 est configuré pour recevoir le faisceau lumineux rétrodiffusé 9, et comprend un appareil de mesure 14 du paramètre de la surface 2 de l'échantillon à partir du faisceau lumineux rétrodiffusé 9. L'appareil de mesure 14 peut être un appareil d’analyse spectrale configuré pour déterminer une répartition spectrale du faisceau lumineux rétrodiffusé 9, le paramètre de la surface de l'échantillon étant une distance ou une altitude. Le bras de mesure 10 peut comprendre un imageur en tant qu'appareil de mesure 14 configuré pour mesurer une intensité lumineuse d'au moins une partie du faisceau lumineux rétrodiffusé 9, le paramètre de la surface 2 de l'échantillon étant une réflectivité. Le bloc séparateur 20 comprend un séparateur de faisceau 23 configuré pour faire subir une première réflexion et une seconde réflexion dans le séparateur de faisceau 23 à un faisceau dit réfléchi parmi le faisceau lumineux d'illumination 6 et le faisceau lumineux rétrodiffusé 9, le faisceau réfléchi effectuant alors un trajet indirect parmi le premier trajet et le second trajet, l'autre trajet parmi le premier trajet et le second trajet étant un trajet direct exempt de réflexion dans le séparateur de faisceau. Dans l'exemple illustré, le séparateur de faisceau 23 est configuré pour réfléchir partiellement la lumière du faisceau lumineux rétrodiffusé 9 selon une première réflexion, et pour faire subir à la lumière réfléchie du faisceau lumineux rétrodiffusé 9 une seconde réflexion avant la sortie du faisceau lumineux rétrodiffusé 9 par une face de sortie 20c du bloc séparateur 20 vers le bras de mesure 10. Alternativement, par exemple en échangeant les positions du bras d'illumination 4 et du bras de mesure 10, le séparateur de faisceau 23 peut être configuré pour réfléchir la lumière du faisceau lumineux d'illumination 6 provenant d'une face d'entrée 20c selon une première réflexion, et pour faire subir à la lumière réfléchie du faisceau lumineux d'illumination 6 une seconde réflexion avant la sortie du faisceau lumineux d'illumination 6 par une face de sortie 20b du bloc séparateur 20 vers l'objectif à chromatisme axial 8. Le bloc séparateur 20 comprend aussi un compensateur optique 24 disposé dans le trajet direct, et séparé du séparateur de faisceau 23 par un espace 30 le long du trajet direct. Dans l'exemple illustré, le trajet direct est parcouru par le faisceau lumineux d'illumination 6, mais le trajet direct pourrait alternativement être parcouru par le faisceau lumineux rétrodiffusé 9. Dans l'exemple de la FIG. 2 , le séparateur de faisceau 23 comprend un prisme de déviation, configuré pour dévier le faisceau lumineux parcourant le trajet indirect selon un angle proche de 90°, par exemple compris entre 80 et 100°, par rapport au trajet direct. Dans l'exemple illustré, ce prisme de déviation est un pentaprisme, qui peut cependant ne compter que quatre côtés, le cinquième côté n'étant qu'un chanfrein créé par commodité de fabrication et qui n'est pas utilisé optiquement. Dans l'exemple de la FIG. 3 , le séparateur de faisceau 23 comprend une première partie 23a formée par exemple d'un prisme droit à base de trapèze rectangle, couplée à une seconde partie 23b formée d'un parallélépipède. Le compensateur optique 24 présente deux faces parallèles et perpendiculaires au trajet optique direct. Le compensateur optique 24 a typiquement une forme de parallélépipède rectangle, ou pavé droit. Le séparateur de faisceau 23 et le compensateur optique 24 sont formés de matériaux transparents à la lumière dans la plage de longueurs d'onde utilisée, et sont typiquement en verre. La face d'entrée 20a du bloc séparateur 20 est munie d'un masque opaque d'entrée 21a percé d'au moins une ouverture d'entrée 22a par laquelle pénètre le faisceau lumineux d'illumination 6. Il est possible de prévoir plusieurs ouvertures d'entrée 22a dans le masque opaque d'entrée 21a, afin de procéder à une mesure multipoints. Les ouvertures d'entrée 22a sont de préférence rondes. Les ouvertures d'entrée 22a sont de préférence alignées selon une ligne, voire selon plusieurs lignes. Toutefois, afin d’éviter d'augmenter trop fortement la diaphonie ou "cross-talk" entre les points de mesure, le pas entre des ouvertures d'entrée 22a adjacentes est de préférence supérieur à 3 fois le diamètre des ouvertures d'entrée 22a, et de préférence encore supérieur à 4 fois le diamètre des ouvertures d'entrée 22a. Il est aussi possible que l'ouverture d'entrée 22a soit une fente continue, auquel cas il n'y a plus de filtrage spatial dans la direction longitudinale dans laquelle s'étend la fente, mais le filtrage spatial est conservé pour la direction transversale perpendiculaire à la direction longitudinale. Dans les exemples des Figures 2 et 3, le masque opaque d'entrée 21a est fixé sur le compensateur optique 24, puisque c'est le faisceau lumineux d'illumination 6 qui parcourt le trajet direct. La seconde face 20b opposée à la face d'entrée 20a est une face du séparateur de faisceau 23. Lorsque c'est le faisceau lumineux rétrodiffusé 9 qui parcourt le trajet direct, le masque opaque d'entrée peut être fixé sur une face 20c du séparateur de faisceau 23. Dans les exemples illustrés et décrits ci-dessous, le faisceau réfléchi est le faisceau lumineux rétrodiffusé 9, et le trajet indirect est donc le second trajet. Le faisceau lumineux d'illumination 6 parcourt le trajet direct exempt de réflexion dans le séparateur de faisceau 23. Alternativement le faisceau réfléchi peut être le faisceau lumineux d'illumination 6, et le trajet indirect peut être le premier trajet. Le faisceau lumineux rétrodiffusé peut alors parcourir le trajet direct exempt de réflexion dans le séparateur de faisceau 23. La lumière pouvant parcourir les trajets dans les deux sens, les caractéristiques énoncées ci-dessous s'appliquent à cette configuration alternative, en inversant l'ordre des trajets lumineux. Le faisceau lumineux d'illumination 6, après avoir pénétré dans le bloc séparateur 20 par l'ouverture d'entrée 22a ménagée dans le masque opaque d'entrée 21a, traverse le compensateur optique 24 disposé dans le trajet direct du faisceau lumineux d'illumination 6, et traverse le séparateur de faisceau 23. De préférence, le faisceau lumineux d'illumination 6 ne subit pas de réflexion dans le bloc séparateur 20 : ni dans le séparateur de faisceau 23, ni dans le compensateur optique 24. Il s'agit en effet d'un trajet direct. Le faisceau lumineux d'illumination 6 ressort du bloc séparateur 20 par la seconde face 20b, et pénètre dans l'objectif à chromatisme axial 8 pour atteindre la surface 2 de l'échantillon. Le faisceau lumineux d'illumination 6 interagit là avec la surface 2 de l'échantillon, et un faisceau lumineux rétrodiffusé 9 est généré, lequel par le principe du retour inverse de la lumière, emprunte le même chemin optique que le faisceau lumineux d'illumination 6, et donc traverse l'objectif à chromatisme axial 8 pour pénétrer dans le bloc séparateur 20 par sa seconde face 20b. Le faisceau lumineux rétrodiffusé 9 pénètre alors dans le séparateur de faisceau 23, et rencontre une surface semi-réfléchissante 25, qui est inclinée par rapport à la perpendiculaire au trajet direct. De manière connue, cette surface semi-réfléchissante 25 est par exemple formée par un dépôt de fines couches métalliques ou de fines couches minces de matériaux diélectriques. Une partie de la lumière du faisceau lumineux rétrodiffusé 9 est réfléchie par cette surface semi-réfléchissante 25, et forme alors le faisceau réfléchi. La lumière du faisceau lumineux rétrodiffusé 9 réfléchi subit donc sa première réflexion sur cette surface semi-réfléchissante 25. Depuis cette surface semi-réfléchissante 25, le faisceau lumineux rétrodiffusé 9 se propage dans le séparateur de faisceau 23 jusqu'à rencontrer une surface réfléchissante 26 pour effectuer la seconde réflexion du faisceau lumineux rétrodiffusé 9. La surface réfléchissante 26 est par exemple formée par un dépôt métallique sur une face du séparateur de faisceau 23. Dans cet exemple, la première réflexion et la seconde réflexion ont préférentiellement des angles de réflexion inférieurs ou égaux à 45° par rapport à la normale, et de préférence encore inférieurs à 30°. Il est toutefois possible de prévoir des angles de réflexion avec d'autres valeurs, dès lors que deux réflexions ont lieu dans le séparateur de faisceau 23. La surface réfléchissante 26 est inclinée de sorte à orienter le faisceau lumineux rétrodiffusé 9 vers une face de sortie 20c du bloc séparateur 23, que le faisceau réfléchi traverse perpendiculairement. Comme dans la FIG. 2 , la surface semi-réfléchissante 25 et la surface réfléchissante 26 sont des faces du pentaprisme, et le faisceau lumineux rétrodiffusé 9 croise le faisceau lumineux d'illumination 6 de façon perpendiculaire après la seconde réflexion, et la face de sortie 20c est alors perpendiculaire à la face d'entrée 20a. Le faisceau lumineux rétrodiffusé 9 sort alors du séparateur de faisceau 23 perpendiculairement au faisceau lumineux d'illumination 6. Dans l'exemple de la FIG. 3 , le faisceau lumineux rétrodiffusé 9 ne croise pas le faisceau lumineux d'illumination 6 après sa première réflexion. La surface semi-réfléchissante 25 sépare la première partie 23a de la seconde partie 23b du séparateur de faisceau 2. Le faisceau lumineux rétrodiffusé 9 ne pénètre pas dans la première partie 23a, mais se propage dans la seconde partie 23b jusqu'à rencontrer la surface réfléchissante 26 formée sur la face de la seconde partie 23b, et y subir la seconde réflexion. Dans ce cas, la surface semi-réfléchissante 25 et la surface réfléchissante 26 sont inclinées de 45° par rapport à l'axe optique par lequel passe le trajet direct. La face de sortie 20c est alors parallèle à la face d'entrée 20a, et le faisceau lumineux rétrodiffusé 9 sort alors du séparateur de faisceau 23 parallèlement au faisceau lumineux d'illumination 6. La face de sortie 20c du bloc séparateur 23 est munie d'un masque opaque de sortie 21c percé d'au moins une ouverture 22c par laquelle passe le faisceau lumineux rétrodiffusé 9. Le masque opaque de sortie 21c présente la même conformation que le masque opaque d'entrée 21a, et peut donc être pareillement muni de plusieurs ouvertures 22c, qui peuvent être alignées, ou être muni d'une fente. Le masque opaque d'entrée 21a et le masque opaque de sortie 21c forment des filtres spatiaux conjugués. Le masque opaque de sortie 21c est fixé sur une face du bloc séparateur 20, formée par exemple d'une face du pentaprisme dans la FIG. 2 et d'une face de la seconde partie du séparateur de faisceau 23 dans la FIG. 3 . La fixation des masques 21a, 21c est typiquement réalisée avec une colle appropriée. Plus généralement, selon les configurations, un masque parmi le masque opaque d'entrée 21a et le masque opaque de sortie 21c est fixé sur le séparateur de faisceau 23, tandis que l'autre masque parmi le masque opaque d'entrée 21a et le masque opaque de sortie 21c est fixé sur le compensateur optique 24. Grâce au fait que le masque opaque d'entrée 21a et le masque opaque de sortie 21c sont fixés sur le bloc séparateur 20, le positionnement de ces masques 21a, 21c est parfaitement maîtrisé, ce qui se traduit par un filtrage spatial de plus grande qualité. En outre, les masques sont solidaires du bloc séparateur 20, et il n'y a pas de risque de désalignement des masques 21a, 21c. Il s'agit d'une grande amélioration par rapport à des dispositifs où les masques seraient portés sur une autre référence mécanique, par exemple liée à des fibres optiques de transport ou un homogénéiseur. La face d'entrée 20a, la seconde face 20b, et la face de sortie 20c du bloc séparateur 20 peuvent avantageusement être traitées antireflet, par exemple avec un dépôt de couches minces de matériaux diélectriques. Grâce aux deux réflexions subies par le faisceau lumineux réfléchi parcourant le trajet indirect dans le séparateur de faisceau 23, le dispositif de mesure 1 est beaucoup plus robuste aux imperfections de positionnement du séparateur de faisceau 23, et notamment permet de rendre les caractéristiques des faisceaux lumineux invariantes par rotation. Il en résulte d'une part une amélioration de la qualité des mesures puisqu'une source de défaut est éliminée, et d'autre part une fabrication plus aisée du dispositif de mesure 1, puisque les contraintes de positionnement sont allégées. Cependant, la double réflexion subie par le faisceau lumineux réfléchi parcourant le trajet indirect dans le séparateur de faisceau 23 implique que le faisceau réfléchi parcourt un plus grand chemin optique que la lumière sur le trajet direct dans le séparateur de faisceau 23. Le compensateur optique 24, disposé dans le trajet direct, permet de compenser l'augmentation du chemin optique subie par le faisceau réfléchi. Le compensateur optique 24 définit ainsi pour le trajet direct une longueur optique correspondant à la longueur optique effectuée par le faisceau réfléchi dans le séparateur de faisceau 23. La longueur optique est la distance parcourue par un rayon lumineux multipliée par l’indice de réfraction que le rayon a rencontré lors de son trajet. Pour simplifier, lorsque le compensateur optique 24 est dans le même matériau que le séparateur de faisceau 23, la longueur du compensateur optique 24 le long du chemin optique correspond à la distance parcourue par le faisceau réfléchi entre sa première réflexion, par exemple sur la surface semi-réfléchissante 25, et sa sortie par la face de sortie 21c. Le compensateur optique 24 est distinct du séparateur de faisceau 23 du point de vue des faisceaux lumineux, en ce sens que le compensateur optique 24 est séparé du séparateur de faisceau par un espace 30 le long du trajet direct. L'espace 30 est typiquement un intervalle d'air, ou "air gap" en anglais. Afin de garantir la stabilité mécanique entre le séparateur de faisceau 23 et le compensateur optique 24, le bloc séparateur 20 comprend une dalle support 28 sur laquelle sont fixés le séparateur de faisceau 23 et le compensateur optique 24. De préférence, le matériau de la dalle support 28 présente des caractéristiques mécaniques similaires à celles des matériaux du séparateur de faisceau 23 et du compensateur optique 24, et en particulier présente un coefficient de dilatation thermique très proche. Pour faire simple, la dalle support 28, le séparateur de faisceau 23 et le compensateur optique 24 sont dans un même matériau, typiquement en verre. Le séparateur de faisceau 23 et le compensateur optique 24 peuvent être collés à la dalle support 28. Afin d'améliorer encore la tenue mécanique des éléments du bloc séparateur 20, le bloc séparateur 20 peut comprendre une dalle de verrouillage fixée au séparateur de faisceau 23 et au compensateur optique 24 sur un côté opposé à la dalle support 28, par exemple par collage. Le séparateur de faisceau 23 et le compensateur optique 24 sont alors maintenus en position à la fois par la dalle support 28 et par la dalle de verrouillage, assurant ainsi une excellente tenue mécanique. Le positionnement du compensateur optique 24 permet de compenser d'éventuelles imperfections de fabrication du séparateur de faisceau 23. Lors de l'assemblage, le séparateur de faisceau 23 est fixé à la dalle support 28. Le compensateur optique 24 est disposé sur la dalle support 28 dans le trajet direct, avec une couche de colle dont la polymérisation est contrôlée, par exemple via une exposition aux ultraviolets. Des actionneurs commandables peuvent maintenir le compensateur optique 24. Des mesures sont alors faites par exemple avec des dispositifs à objectif à chromatisme axial placés à la seconde face 20b du bloc séparateur 20, de préférence en plusieurs points des faces du bloc séparateur 20. Des premières mesures sont d'abord récoltées à la face de sortie 20c en masquant le trajet direct par un masque placé dans l'intervalle d'air 30, puis des deuxièmes mesures sont récoltées à la face de sortie 20c sans masquage dans l'intervalle d'air 30. En faisant la différence entre les deuxièmes mesures et les premières mesures, on obtient des troisièmes mesures. Dans les premières mesures et les troisièmes mesures, un pic d'intensité indique la longueur du trajet optique. Le positionnement du compensateur optique 24 est modifiée, par exemple grâce aux actionneurs commandables, afin de faire coïncider les pics d'intensité. Une fois cette coïncidence atteinte, la position du compensateur optique 24 est rendue définitive grâce au collage, par exemple par polymérisation de la colle par ultraviolets. La dalle de verrouillage peut venir encore solidifier le bloc séparateur 20. Il est ainsi possible par un espace 30 de taille non homogène entre le séparateur de faisceau 23 et le compensateur optique 24, de compenser d'éventuels défauts géométriques ou de positionnement. On s'assure ainsi également que les masques 21a, 21c sont parfaitement conjugués. L'invention est définie par les revendications, et n'est pas limitée aux modes de réalisation décrits et représentés aux figures annexées. Des modifications restent possibles, notamment du point de vue de la constitution des divers éléments ou par substitution d'équivalents techniques, sans sortir pour autant du domaine de protection de l'invention. Dispositif de mesure (1) confocale chromatique d’un paramètre d’une surface (2) d’un échantillon, le dispositif comprenant : - un bras d’illumination (4) configuré pour générer un faisceau lumineux (6) d'illumination ; - un objectif à chromatisme axial (8) configuré pour appliquer le faisceau lumineux d'illumination (6) sur la surface (2) de l’échantillon et pour retransmettre un faisceau lumineux rétrodiffusé (9) en provenance de la surface (2) de l'échantillon ; - un bras de mesure (10) configuré pour le faisceau lumineux rétrodiffusé (9), le bras de mesure (10) comprenant un appareil de mesure (14) du paramètre de la surface (2) de l'échantillon à partir du faisceau lumineux rétrodiffusé (9) ; - un bloc séparateur (20) configuré pour recevoir le faisceau lumineux d'illumination (6) à travers une face d'entrée (20a) et le transmettre à l'objectif à chromatisme axial (8) selon un premier trajet, recevoir en retour le faisceau lumineux rétrodiffusé (9) et transmettre par un second trajet le faisceau lumineux rétrodiffusé (9) au bras de mesure par une face de sortie (20c) ; caractérisé en ce que le bloc séparateur (20) comprend : - un séparateur de faisceau (23) configuré pour faire subir une première réflexion et une seconde réflexion dans le séparateur de faisceau (23) à un faisceau dit réfléchi parmi le faisceau lumineux d'illumination (6) et le faisceau lumineux rétrodiffusé (9), le faisceau réfléchi effectuant alors un trajet indirect parmi le premier trajet et le second trajet, l'autre trajet parmi le premier trajet et le second trajet étant un trajet direct exempt de réflexion dans le séparateur de faisceau ; - un compensateur (24) disposé dans le trajet direct, le compensateur (24) étant séparé du séparateur de faisceau (23) par un espace (30) le long du trajet direct, le compensateur optique (24) définissant pour le trajet direct une longueur optique correspondant à la longueur optique supplémentaire effectuée par le faisceau réfléchi dans le séparateur de faisceau (23) par rapport au trajet direct dans le séparateur de faisceau (23). Dispositif selon la revendication 1, dans lequel le bloc séparateur (20) comprend une dalle support (28) sur laquelle sont fixés le séparateur de faisceau (23) et le compensateur optique (24). Dispositif selon la revendication 2, dans lequel le bloc séparateur (20) comprend une dalle de verrouillage fixée au séparateur de faisceau (23) et au compensateur optique (24) sur un côté opposé à la dalle support (28). Dispositif selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la face d'entrée (20a) du bloc séparateur (20) est munie d'un masque opaque d'entrée (21a) percé d'au moins une ouverture (22a), et la face de sortie (20c) du bloc séparateur (20) est munie d'un masque opaque de sortie (21c) percé d'au moins une ouverture (22c), les masques opaques d'entrée et de sortie formant des filtres spatiaux conjugués. Dispositif selon la revendication 4, dans lequel un masque parmi le masque opaque d'entrée (21a) et le masque opaque de sortie (21c) est fixé sur le séparateur de faisceau (23). Dispositif selon la revendication 4, dans lequel un masque parmi le masque opaque d'entrée (21a) et le masque opaque de sortie (21c) est fixé sur le compensateur optique (24). Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le séparateur de faisceau (23) comprend une surface semi-réfléchissante (25) pour effectuer une réflexion, et une surface réfléchissante (26) pour effectuer l'autre réflexion du faisceau réfléchi. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le séparateur de faisceau (23) comprend un prisme de déviation à l'intérieur duquel se produisent la première réflexion et la seconde réflexion, le trajet direct croisant le trajet indirect, et la face de sortie (20c) est perpendiculaire à la face d'entrée (20a). Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel le trajet indirect est distinct du trajet direct dans le séparateur de faisceau (23), et la face de sortie (20a) est parallèle à la face d'entrée (20a). Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'appareil de mesure (14) est un appareil d’analyse spectrale configuré pour déterminer une répartition spectrale du faisceau lumineux rétrodiffusé (9), le paramètre de la surface de l'échantillon étant une distance, ou le bras de mesure comprend un imageur configuré pour mesurer une intensité lumineuse d'au moins une partie du faisceau lumineux rétrodiffusé (9), le paramètre de la surface de l'échantillon étant une réflectivité.