Brevet FR3161425A1 — publié le 20251024

Un aspect de l’invention concerne un système de régulation (100) comprenant : un microsystème électromécanique (200) dit « MEMS », comprenant une base (210) ; au moins une micromachine (300) thermique configurée pour fonctionner selon un cycle de Stirling, comprenant : un volume de détente (310) délimité en partie par une première membrane déformable (130) ; un volume arrière (330) séparé du volume de détente (310) par la première membrane déformable (130) ; la base (210) du MEMS (200) délimitant en partie le volume arrière (330). Figure à publier avec l’abrégé : Figure 1 SYSTÈME DE RÉGULATION THERMIQUE POUR MICROSYSTÈME ÉLECTROMÉCANIQUE DOMAINE TECHNIQUE DE L’INVENTION Le domaine technique de l’invention est celui de la régulation thermique de microsystèmes électromécaniques (appelés « MEMS » pour « micro-electro-mechanical systems » en anglais) pour fonctionner en tant que capteur (par exemple capteur thermique ou capteur inertiel) et/ou actionneur (par exemple pour réaliser un positionnement micrométrique). ARRIÈRE-PLAN TECHNOLOGIQUE DE L’INVENTION Un microsystème électromécanique, ou MEMS, comprend un ou plusieurs éléments permettant de réaliser une fonction de capteur et/ou d’actionneur. Un MEMS comprend par exemple une microstructure (c’est-à-dire une structure dont des dimensions sont de l’ordre du micromètre) dont une fonction est en partie assurée par la forme de cette microstructure. Il est connu que les performances des MEMS (par exemple la sensibilité du capteur ou la précision de position de l’actionneur) sont sensibles aux variations de la température ambiante. Assurer d’une bonne stabilité en température permet donc d’obtenir des performances optimales. Le document FR 3 078 694 divulgue un système permettant de réguler la température d’un MEMS. Le système comprend un MEMS encapsulé dans un boîtier hermétique sous vide visant à isoler thermiquement le MEMS de l’environnement. Le système comprend également un module Peltier thermiquement couplé au MEMS et un contrôleur. Le contrôleur permet de commander le module Peltier pour modifier la température du MEMS. Il est toutefois connu que l’efficacité énergétique des transferts thermiques par thermoélectricité (tels que l’effet Peltier ou l’effet Seebeck) est limitée. Le document US 6,385,973 B1 décrit une micromachine thermique fonctionnant selon un cycle de Stirling. Elle comprend un circuit fluidique fermé comprenant notamment une première chambre, dite de « détente », une deuxième chambre, dite de « compression », et un milieu poreux, (régénérateur), mettant les deux chambres en relation l’une avec l’autre. Chaque chambre comprend une paroi déformable permettant de moduler son volume. Ainsi, une déflection contrôlée des parois permet de réaliser des séquences de compression/détente d’un gaz enfermé dans le circuit fluidique et de réaliser un transfert thermique de la chambre de compression vers la chambre de détente ou inversement. Si les micromachines thermiques permettent d’obtenir une efficacité énergétique bien meilleure que celle atteignable par thermoélectricité, elles posent toutefois des problèmes d’intégration car elles comprennent notamment des éléments déformables en mouvement. Le document US 10,927,001 B2 décrit également une micromachine thermique fonctionnant selon un cycle de Stirling. À la différence de la micromachine précédente, les mécanismes liés à la compression forment un ensemble compresseur de taille macroscopique et communiquent avec une matrice de chambres de détente grâce à une canalisation. L’intégration de la matrice de détente à un élément macroscopique, tel qu’un détecteur infrarouge, est ainsi facilitée. Compte-tenu de la taille macroscopique de l’ensemble compresseur, cette machine thermique ne peut toutefois pas être facilement intégrée ou couplée efficacement avec un système indépendant et de petite taille, tel qu’une électronique embarquée. Il existe donc un besoin de fournir un système de régulation thermique pour MEMS présentant une bonne efficace énergétique et de petite taille. L’invention offre une solution aux problèmes évoqués précédemment, en améliorant l’interface entre le microsystème électromécanique et la micromachine thermique. Le système offre ainsi une meilleure efficacité énergétique qu’un module Peltier tout en conservant un encombrement réduit. Pour cela l’invention concerne un système de régulation comprenant : un microsystème électromécanique dit « MEMS », comprenant une base ; au moins une première micromachine thermique configurée pour fonctionner selon un cycle de Stirling dite « micromachine Stirling », la première micromachine Stirling comprenant un circuit fluidique comprenant : un premier volume, dit « volume de détente », délimité en partie par une première membrane déformable ; un deuxième volume, dit « volume de compression », délimité en partie par une deuxième membrane déformable ; un troisième volume, dit « volume arrière de détente », séparé du volume de détente par la première membrane déformable ; un quatrième volume, dit « volume arrière de compression » séparé du volume de compression par la deuxième membrane déformable ; un volume régénérateur mettant le volume de compression en relation avec le volume de détente, le système de régulation étant remarquable en ce que la base du MEMS délimite en partie le volume arrière de détente de la première micromachine Stirling. Par « base du MEMS », on entend une portion du MEMS tel qu’un support ou une couche inférieure. La déformation des première et deuxième membranes permet de faire varier les volumes de détente et de compression et ainsi de comprimer/détendre un gaz enfermé dans le circuit fluidique, de manière à réaliser un transfert de chaleur depuis le volume de détente vers le volume de compression. Le volume arrière de détente permet à la première membrane de se déformer et osciller librement. Ainsi, la première micromachine Stirling peut alors fonctionner suivant un cycle de Stirling. La mise en œuvre d’une micromachine Stirling, plutôt que d’un module Peltier, permet d’obtenir une bonne efficacité énergétique. Tout d’abord, l’efficacité énergétique de la micromachine Stirling seule peut largement dépasser celle du module Peltier. Ensuite, la base du MEMS délimite au moins en partie le volume arrière de détente, l’encombrement du système de régulation est réduit car il n’est pas nécessaire de prévoir une paroi supplémentaire entre le volume arrière et le MEMS, pour fermer le volume arrière. De plus, la base du MEMS est rapprochée du volume de détente où ont lieu les échanges thermiques. Le système de régulation présente donc une efficacité énergétique améliorée. Avantageusement, la première micromachine Stirling est distincte du MEMS. Autrement dit, la première membrane déformable ne fait pas partie du MEMS. Lorsque le système de régulation comprend une pluralité de micromachines Stirling telles que décrites précédemment, ces micromachines Stirling sont préférentiellement distinctes du MEMS. Avantageusement, la première membrane déformable et la base du MEMS délimite entièrement le volume arrière de détente. Ainsi la base du MEMS vient jusqu’au contact avec la première membrane déformable. Dans un premier temps, le volume arrière de détente pénètre complètement dans la base du MEMS et réduit la hauteur du système de régulation. De plus, la base du MEMS est à proximité immédiate du volume de détente, permettant d’optimiser le couplage thermique entre le volume de détente et la base. Avantageusement, la première micromachine Stirling comprend une couche d’adaptation s’étendant entre la première membrane déformable et la base du MEMS, une ouverture pratiquée dans la couche d’adaptation mettant en regard la première membrane déformable et la base du MEMS. Cette couche permet ainsi d’adapter une base présentant par exemple une surface plane (ou tout du moins sans évidement) sur la première micromachine Stirling. La couche d’adaptation est préférentiellement thermiquement conductrice. Avantageusement, la couche d’adaptation est électriquement isolante. Cette couche peut permettre d’isoler électriquement la première membrane déformable de la base du MEMS. Ainsi, un potentiel électrique peut être appliqué entre la première membrane déformable et la base du MEMS. Avantageusement, le système de régulation comprend un actionneur magnétique configuré pour déformer la première membrane déformable, l’actionneur magnétique comprenant un élément magnétique et une bobine : l’élément magnétique étant fixé sur la première membrane déformable ; et la bobine étant fixée à la base du MEMS ; ou l’élément magnétique étant fixé sur la base du MEMS ; et la bobine étant fixée à la première membrane déformable. Avantageusement, le système de régulation comprend un actionneur piézoélectrique configuré pour déformer la première membrane déformable, l’actionneur piézoélectrique comprenant un élément piézoélectrique fixé sur la première membrane déformable. Avantageusement, la base du MEMS est conductrice et la première membrane déformable est conductrice. Avantageusement, le volume régénérateur est entouré par un matériau thermiquement isolant. Le matériau présente par exemple une conductivité thermique suffisamment faible pour limiter, au mieux, les transferts de chaleur entre les côtés chaud (volume de compression) et froid (volume de détente) de la micromachine. Avantageusement, le volume arrière de détente, le volume de détente et le volume de compression et le volume arrière de compression de la première micromachine Stirling sont agencés selon une direction perpendiculaire à la première membrane lorsque celle-ci est au repos. Autrement dit, la première micromachine Stirling est agencée verticalement plutôt qu’horizontalement (l’horizon étant considéré comme parallèle à la première membrane). Par « agencés selon une direction », on entend par exemple alignés selon la direction. Cet agencement permet de localiser les sources chaudes et froides de part et d’autre de la machine Stirling. Ainsi la partie correspondant au volume de compression peut être couplée facilement à un système de drainage thermique sans gêner le MEMS. La micromachine peut par exemple être posée sur un bain thermique et le MEMS peut être posé sur la micromachine. Avantageusement, le système de régulation comprend au moins une deuxième micromachine Stirling comprenant un circuit fluidique comprenant : un premier volume, dit « volume de détente », délimité en partie par une première membrane déformable ; un deuxième volume, dit « volume de compression », délimité en partie par une deuxième membrane déformable ; un troisième volume, dit « volume arrière de détente », séparé du volume de détente par la première membrane déformable ; un quatrième volume, dit « volume arrière de compression » séparé du volume de compression par la deuxième membrane déformable ; un volume régénérateur mettant le volume de compression en relation avec le volume de détente, la base du MEMS délimitant en partie le volume arrière de détente de la deuxième micromachine Stirling. Autrement dit, les première et deuxième micromachines sont couplées en parallèle avec le MEMS. Avantageusement, le volume arrière de détente de la première micromachine Stirling et le volume arrière de détente de la deuxième micromachine Stirling sont communs et forment un unique volume arrière de détente. Avantageusement, le système de régulation comprend en outre au moins une micromachine Stirling supplémentaire couplée thermiquement en série avec la première micromachine Stirling, la micromachine Stirling supplémentaire comprenant un volume de détente et un volume arrière de détente séparé du volume de détente par une membrane déformable, le volume arrière de détente de la deuxième micromachine Stirling supplémentaire étant couplé au volume arrière de compression (340) de la première micromachine Stirling ou le volume arrière de détente de la micromachine Stirling supplémentaire étant le volume de compression de la première micromachine Stirling. Avantageusement, le système de régulation comprend une pluralité de micromachines Stirling supplémentaires couplées thermiquement entre elles. Avantageusement, le système de régulation comprend en outre un contrôleur, configuré pour commander la, ou les, micromachines Stirling de manière à transférer une quantité de chaleur depuis la base du MEMS ou vers la base du MEMS. Avantageusement, le contrôleur est configuré pour mesurer une grandeur dépendante de la température du MEMS et commander la, ou les, micromachines Stirling en fonction de la grandeur mesurée par la sonde. La grandeur est une température du microsystème électromécanique ou une température de la micromachine thermique ou une dérive des performances du microsystème électromécanique. Il peut également s’agir d’une grandeur mesurée par une partie sensible du système électromécanique. Avantageusement, le système de régulation comprend une sonde pour mesurer la grandeur dépendante de la température du MEMS. Avantageusement, le système de régulation comprend un circuit de détection configuré pour mesurer la position de la première membrane et/ou la position de la deuxième membrane, le contrôleur étant configuré pour commander la première micromachine Stirling en fonction de la position de la première membrane et/ou la position de la deuxième membrane mesurée par le circuit de détection. L’invention concerne également un système de régulation alternatif comprenant : un microsystème électromécanique dit « MEMS », comprenant une base ; au moins une micromachine thermo-acoustique comprenant un circuit fluidique comprenant : un premier volume, dit « volume de détente » ; un deuxième volume, dit « volume de compression », délimité par une membrane déformable ; un troisième volume, dit « volume arrière de compression », séparé du volume de compression par la membrane déformable ; un volume régénérateur mettant le volume de compression en relation avec le volume de détente, le système de régulation étant caractérisé en ce que la base du MEMS délimite au moins en partie le volume de détente de ladite au moins une micromachine thermo-acoustique. La membrane déformable peut être utilisée pour comprimer/détendre un gaz dans le circuit fluidique de manière à induire une onde acoustique dans le circuit fluidique se propageant entre le volume de compression et le volume de détente. Le circuit fluidique forme alors une cavité résonante. Le passage du front de l’onde acoustique dans le volume de détente permet de réaliser un transfert thermique du MEMS vers le volume de détente. La quantité de chaleur ainsi captée du MEMS est ensuite redistribuée au milieu ambiant, du côté du volume de compression. De même que le système de régulation comprenant une machine Stirling, la mise en œuvre d’une micromachine thermo-acoustique, plutôt que d’un module Peltier, permet d’obtenir une bonne efficacité énergétique. Dans un premier temps, une micromachine thermo-acoustique montre une meilleure efficacité qu’un module Peltier. Dans un second temps, le contact direct entre la base du MEMS et le volume de détente de la micromachine thermo-acoustique permet d’améliorer le transfert thermique entre la micromachine thermo-acoustique et le MEMS. Elle permet donc d’augmenter davantage l’efficacité énergétique. De plus cela réduit l’encombrement du système de régulation car il n’est pas nécessaire de prévoir une paroi supplémentaire pour fermer le volume de détente. Dans un mode de réalisation avantageux, le volume de détente peut même pénétrer partiellement, voire totalement, dans la base du MEMS, réduisant davantage l’encombrement du système. Le rapprochement de la base du MEMS du volume régénérateur permet également d’améliorer davantage les échanges de chaleur car ces derniers ont principalement lieu au voisinage du volume régénérateur. L’invention et ses différentes applications seront mieux comprises à la lecture de la description qui suit et à l’examen des figures qui l’accompagnent. BRÈVE DESCRIPTION DES FIGURES Les figures sont présentées à titre indicatif et nullement limitatif de l’invention. Les FIG. 1 et FIG. 2 montrent schématiquement des premier et deuxième, modes de réalisation d’un système de régulation selon l’invention, le système de régulation comprenant notamment une micromachine Stirling et un MEMS. Les FIG. 3 et FIG. 4 montrent schématiquement des troisième et quatrième modes de réalisation du système de régulation selon l’invention, le système de régulation comprenant notamment un contrôleur et une sonde. Les FIG. 5 , FIG. 6 et FIG. 7 montrent schématiquement des cinquième, sixième et septième modes de réalisation du système de régulation selon l’invention, comprenant notamment un assemblage de plusieurs micromachines thermiques. Les FIG. 8 et FIG. 9 montrent schématiquement des huitième et neuvième modes de réalisation du système de régulation selon l’invention, comprenant notamment une micromachine thermo-acoustique et un MEMS. DESCRIPTION DÉTAILLÉE Les FIG. 1 et 2 montrent schématiquement deux modes de réalisation d’un système de régulation 100 selon l’invention. Le système de régulation 100 vise à réguler thermiquement un microsystème électromécanique 200, dit « MEMS », tout en offrant une bonne efficace énergétique (comparée à celle d’une module Peltier) et qui reste de petite taille. Le MEMS 200 est par exemple un dispositif de petite taille, généralement millimétrique voir moins, mettant en œuvre un élément mécanique, dit « partie sensible » de très petite taille, pouvant être comprise entre 1 µm et 500 µm. La partie sensible est par exemple une poutre encastrée ou une membrane déformable. Le MEMS 200 peut être utilisé comme actionneur, par exemple pour positionner un élément tel qu’un miroir. Le MEMS 200 peut faire partie d’un plan focal d’un capteur par exemple infrarouge (plan focal étant également dit « FPA » ou « Focal Plane Array » en anglais). Le MEMS peut également être utilisé pour commuter un circuit électrique, ou en tant que capteur (tel qu’un thermomètre), en tant que balance ou en tant que capteur inertiel (par exemple un accéléromètre ou un gyroscope). La partie sensible du MEMS 200 (non montrée sur les figures) est soutenue par une base 210, aussi appelée « support » ou « couche inférieure » (par exemple encastrée dans cette base 210). Il s’agit d’un élément présentant généralement une taille plus grande que la partie sensible et permettant de fixer le MEMS 200 sur un circuit ou contre un régulateur thermique. Le système de régulation 100 peut comprendre un boîtier, non représenté sur les figures, pouvant être hermétique. Le MEMS 200 et sa base 210 peuvent être encapsulés dans le boîtier. Le boîtier peut permettre d’isoler le MEMS 200 et sa base 210 d’éventuels flux de chaleur provenant de l’extérieur du boîtier afin de faciliter la régulation thermique du MEMS 200. Le boîtier peut également permettre de maintenir le voisinage de la partie sensible sous vide ou dans une atmosphère contrôlée. Pour réguler la température du MEMS 200, le système de régulation 100 met en œuvre des machines thermiques mettant en œuvre un gaz dans un circuit fluidique fermé. À la réception d’un travail mécanique, le gaz subit des transformations thermodynamiques mettant en œuvre un échange de chaleur entre une source froide (l’élément que l’on souhaite chauffer ou refroidir) et une source chaude (généralement l’environnement extérieur). Afin d’être adaptées à la régulation d’un MEMS, les machines thermiques mises en œuvre sont de petites tailles. Contrairement aux machines Stirling macroscopiques qui utilisent des pistons pour comprimer et détendre le gaz, celles-ci utilisent des membranes déformables, qui oscillent avec une amplitude de quelques dixièmes de millimètres et qui ont aussi une épaisseur de quelques dixièmes de millimètres. On parle alors de « micromachines thermiques ». La mise en œuvre de micromachines thermiques permet d’obtenir une meilleure efficacité énergétique qu’un module Peltier. De manière commune aux figures 1 et 2, le système 100 comprend un MEMS 200, dont une portion seulement est représentée. Le MEMS 200 comprend notamment une base 210, représentée comme une portion du MEMS 200. Le système 100 comprend également une première micromachine thermique 300 configurée pour fonctionner selon un cycle de Stirling. Elle peut également être appelée micromachine Stirling 300. La première micromachine 300 comprend un circuit fluidique fermé dans lequel peut circuler un gaz pour subir des transformations thermodynamiques. Le circuit fluidique comprend deux volumes 310, 320 distincts, dits de « détente » et de « compression », et un milieu, ou volume, 350 dit « régénérateur » mettant les volumes de détente et de compression 310, 320 en relation. Le volume régénérateur 350 comprend par exemple un milieu poreux permettant de stocker ou délivrer une quantité de chaleur au gaz enfermé dans le circuit fluidique. Il peut s’agir d’un matériau métallique ou d’un matériau synthétique (par exemple nylon ou polyester). Il pourrait également comprendre un grand nombre de tubes non poreux de diamètres réduits. La première machine Stirling 300 comprend une première membrane déformable 130 délimitant en partie le volume de détente 310. Cette première membrane 130 permet de faire varier le volume de détente 310 et ainsi comprimer ou détendre le gaz dans le volume de détente 310. La machine Stirling 300 comprend également une deuxième membrane déformable 150 délimitant en partie le volume de compression 320. Cette deuxième membrane déformable 150 permet de faire varier le volume de compression 320. Le volume régénérateur 350 comprend une pluralité de canaux connectant (autrement dit mettant en relation) les volumes de détente 310 et de compression 320. Une déflection des première et deuxième membranes 130, 150 permet ainsi de comprimer et détendre le gaz enfermé dans le circuit fluidique. Selon la fréquence et la phase des déflections des membranes déformables 130, 150, les transformations thermodynamiques du gaz peuvent suivre un cycle de Stirling. La formation du circuit fluidique peut être obtenue par un empilement de couches. Dans les exemples illustrés, l’empilement comprend un substrat 110 plan (comprenant des canaux de faible diamètre formant le volume régénérateur 350). Il peut être réalisé dans un matériau thermiquement isolant. Plus l’épaisseur du substrat 110 est grande et meilleure est l’isolation thermique (en dehors du volume régénérateur 350) entre le volume de compression 310 et le volume de détente 320. L’épaisseur du substrat 110 résulte donc d’un compromis entre l’encombrement de la première micromachine 300 et l’isolation entre les deux volumes 310, 320. Les canaux du volume régénérateur 350 traversent le substrat 110 de part en part en s’étendant par exemple perpendiculairement au substrat 110. Le milieu régénérateur 350 peut également être formé par un matériau poreux. La formation de canaux de faible diamètre et/ou de matériaux poreux dans le substrat 110, destinés à former un milieu régénérateur, est connu de la personne du métier. Une première couche 120 s’étend contre une première face du substrat 110. La première couche 120 présente une première ouverture délimitée par un premier flanc 121. La première couche 120 est disposée de sorte que ce premier flanc 121 entoure les canaux du volume régénérateur 350 débouchant sur la première face du substrat 110. La première couche 120 est préférentiellement réalisée dans un matériau thermique conducteur. Elle présente une épaisseur supérieure à une amplitude d’oscillation de la première membrane 130 mais préférentiellement inférieure à 1 mm. Le substrat 110 et la première couche 120 peuvent également être réalisée à partir d’un même matériau, par exemple en silicium. L’isolation thermique entre les volumes de détente et de compression est alors préférentiellement ajustée grâce à l’épaisseur du substrat 110. La première ouverture pratiquée dans la première couche 120 présente un diamètre équivalent préférentiellement inférieur à 10 mm. Par « diamètre équivalent », on entend le diamètre d’un cercle inscrit dans l’ouverture. La première couche 120 est préférentiellement scellée sur le substrat 110 de manière à réaliser une jointure hermétique. Lorsque le substrat 110 et la première couche 120 sont tous les deux en silicium, le scellement de l’une sur l’autre peut être réalisé par scellement eutectique (encore appelé « brasure ») ou scellement moléculaire (encore appelé « collage moléculaire ») ou scellement par fusion moléculaire (aussi appelé « fusion silicon bonding » en anglais). La première membrane déformable 130 s’étend contre la première couche 120 de manière à fermer la première ouverture. Elle présente une épaisseur de quelques dixièmes de millimètre. Elle est par exemple réalisée en silicium. La première membrane 130 est préférentiellement scellée sur la première couche, par exemple selon l’une des méthodes précitées. Le premier flanc 121 de la première couche 120 s’étend donc du substrat 110 jusqu’à la première membrane déformable 130. La première face du substrat 110, le premier flanc 121 délimitant l’ouverture dans la première couche 120 et la première membrane déformable 130 délimitent ainsi le volume de détente 310. Une deuxième couche 140 s’étend contre une deuxième face du substrat 110, opposée à la première face du substrat 110. Elle peut être réalisée en silicium et, lorsque le substrat 110 est également en silicium, scellée sur ce dernier selon l’une des méthodes précitées. La deuxième couche 140 présente une épaisseur supérieure à une amplitude de déformation de la deuxième membrane 150 et préférentiellement inférieure à 1 mm. La deuxième couche 140 présente une deuxième ouverture délimitée par un deuxième flanc 141. La deuxième couche 140 est disposée de sorte que le deuxième flanc 141 entoure les canaux du volume régénérateur 350, débouchant sur la deuxième face du substrat 110. La deuxième ouverture pratiquée dans la deuxième couche 140 présente un diamètre équivalent préférentiellement inférieur à 10 mm. La deuxième membrane déformable 150 s’étend contre la deuxième couche 140 de manière à fermer la deuxième ouverture. Elle présente également une épaisseur de quelques dixièmes de millimètre et est par exemple réalisée en silicium. Elle peut être scellée sur la deuxième couche 140 selon l’une des méthodes précitées si cette dernière est en silicium. Le deuxième flanc 141 de la deuxième couche 140 s’étend donc du substrat 110 jusqu’à la deuxième membrane déformable 150. La deuxième face du substrat 110, le deuxième flanc 141 et la deuxième membrane déformable 150 délimitent ainsi le volume de compression 320. Afin que la première membrane 130 puisse se déformer librement, un troisième volume 330, dit « volume libre » ou « volume arrière de détente », peut être laissé derrière la première membrane 130. Par « derrière », il est entendu du côté opposé au volume de détente 310. Là où une machine Stirling selon l’art antérieur peut présenter un capot ou une couche additionnelle délimitant le volume 330, l’invention prévoit de délimiter le volume arrière de détente 330 en partie au moyen de la base 210 du MEMS 200. De la sorte, il n’y a pas de surépaisseur apportée par un capot ou une couche supplémentaire de l’art antérieur et le système de régulation 100 peut ainsi présenter un encombrement réduit. Pour que la deuxième membrane 150 puisse se déformer librement, un quatrième volume 340 dit « volume arrière de compression » est laissé derrière la deuxième membrane 150. Par « derrière », il est entendu du côté opposé au volume de compression 320. Dans le mode de réalisation de la FIG. 1 , la base 210 présente un évidement borgne, aussi appelé « poche », par exemple de forme cylindrique. Cet évidement présente un flanc 212 et un fond 211. La base 210 est disposée contre la première membrane 130 de sorte que l’évidement borgne soit disposé en regard de la première membrane 130 et dans le prolongement du volume de détente 310. La base 210 peut être scellée sur la première membrane 130 selon l’une des méthodes précitées. Le fond 211 de l’évidement est ainsi disposé en regard de la première membrane 130. L’évidement présente avantageusement une profondeur supérieure à une amplitude de déformation de la première membrane 130. Il présente par exemple une profondeur de quelques millimètres. Le diamètre équivalent de l’évidement (c’est-à-dire le diamètre d’un cercle inscrit sur l’évidement) est supérieur ou égal au diamètre équivalent de l’ouverture pratiquée dans la première couche 120. Il est préférentiellement strictement supérieur au diamètre équivalent de l’ouverture pratiquée dans la première couche 120. Il est par exemple de 15 mm. Le flanc 212 de l’évidement est ainsi en retrait du premier flanc 121 de la première couche 120, délimitant en partie le volume de détente 310. Il est préférable que le volume de détente arrière 330 soit supérieur au volume de détente 310 pour que le travail fourni par la première membrane 130 sur ce volume arrière soit négligeable. De la sorte, la consommation énergétique associée à la compression/détente du gaz dans le volume arrière de détente 330 reste faible. Ainsi, il est avantageux que le diamètre équivalent de l’ouverture pratiquée dans la première couche 120 et/ou la profondeur de l'évidement soient ajustés de sorte que le volume de détente arrière 330 soit supérieur au volume de détente 310 et préférentiellement le plus grand possible. Dans le mode de réalisation de la FIG. 1 , la base 210 délimite, avec la première membrane 130, la totalité du volume arrière 330. Le volume arrière 330 pénètre donc complètement dans la base 210 et réduit davantage l’encombrement du système 100. Lorsque la base 210 est en silicium, l’évidement peut être formé en utilisant un procédé de gravure sèche profonde par exemple une gravure ionique réactive, dite « DRIE » pour « Deep Reactive Ion Etching » en anglais. Dans le mode de réalisation de la FIG. 2 , la base 210 est plane. Elle n’est pas modifiée pour former un évidement. La première micromachine Stirling 300 comprend une couche additionnelle 160 dite « couche d’adaptation ». Elle permet d’adapter la base 210 de manière à former le volume arrière 330 sans modification. La couche d’adaptation 160 s’étend contre la première membrane 130. Elle présente également une ouverture délimitée par un flanc 161. Pour les mêmes raisons qu’abordé précédemment, le volume libéré par la couche additionnelle permet préférentiellement de former un volume de détente arrière 330 qui soit supérieur au volume de détente 310. Pour cela, le diamètre équivalent (c’est-à-dire le diamètre d’un cercle inscrit dans l’ouverture) de l’ouverture pratiquée dans la couche d’adaptation 160 et/ou l’épaisseur de cette couche soient ajustés de sorte que le volume de détente arrière 330 soit supérieur au volume de détente 310. La couche d’adaptation 160 peut également présenter une épaisseur supérieure à une amplitude de déformation de la première membrane 130. Elle présente par exemple une épaisseur de quelques millimètres. Le diamètre équivalent de l’ouverture dans la couche d’adaptation 160 est préférentiellement strictement supérieur au diamètre équivalent de l’ouverture pratiquée dans la première couche 120. Il est par exemple de 15 mm. Due au diamètre plus important, le flanc 161 est préférentiellement disposé en retrait du flanc 121 délimitant la première ouverture de la première couche 120. La base 210 est disposée contre la couche d’adaptation 160 de manière à fermer l’ouverture de la couche d’adaptation 160. La base 210 forme alors le fond 211 du volume arrière 330. La couche d’adaptation 160 peut être réalisée en silicium. Elle peut être scellée sur la première membrane 130 selon l’une des méthodes précitées. De la même manière, la base 210 du MEMS 200 peut être scellée sur la couche d’adaptation selon l’une des méthodes précitées. Au-delà de fournir un volume délimité hermétiquement, ce scellement garantit également un contact thermique de bonne qualité avec la première micromachine 300. La couche d’adaptation 160 peut être électriquement isolante. Elle permet ainsi l’application d’une différence de potentiel entre la première membrane 130 et la base 210 (voir le cas d’un actionneur capacitif ci-après). Elle est par exemple réalisée à partir d’une couche de silicium sur isolant, également appelée « SOI » pour « Silicon On Insulator » en anglais. Une couche de silicium sur isolant comprend deux couches semiconductrices en silicium séparées par une couche isolante (dite également « couche enterrée »). Cette couche isolante peut être en dioxyde de silicium ou peut être gazeuse (par exemple de l’air). Dans le cas où la couche d’adaptation 160 est réalisée à partir de SOI, l’une des couches de silicium peut être soudée à la première membrane 130 et l’autre couche en silicium peut être soudée à la base 210 du MEMS. La première micromachine Stirling 300 peut comprendre des actionneurs pour actionner respectivement les première et deuxième membranes 130, 150. Seul l’actionneur pour la première membrane 130 est décrit ci-après. Toutefois, chaque type d’actionneur décrit ci-après peut être implémenté pour actionner la deuxième membrane 150. Les actionneurs pour actionner respectivement les première et deuxième membranes 130, 150 peuvent être similaires ou différents. Dans le mode de réalisation de la FIG. 1 , l’actionneur représenté est un actionneur piézoélectrique. Il comprend un élément piézoélectrique 410 fixé sur la première membrane 130. Ainsi, les déformations de l’élément piézoélectrique 410 peuvent être transférées à la première membrane 130. L’élément piézoélectrique 410 peut être disposé dans le volume de détente 310 ou dans le volume arrière 330. L’actionneur peut également comprendre plusieurs éléments 410, par exemple disposés de part et d’autre de la première membrane 130. Dans le mode de réalisation de la FIG. 2 , l’actionneur représenté est un actionneur magnétique. Il comprend d’une part au moins un élément magnétique 421, par exemple plusieurs aimants permanents. Chaque élément 421 est fixé sur la première membrane 130 et est disposé dans le volume de détente 310 ou dans le volume arrière de détente 330. D’autre part, l’actionneur magnétique comprend une bobine 422 pour générer un champ magnétique. La bobine est disposée sur la base 210, au voisinage de chaque élément magnétique 421. Elle peut être fixée contre la base 210 ou insérée dans un logement prévu à cet effet. Le logement peut être un évidement borgne qui laisse la bobine en regard des éléments magnétiques 421. Il peut également s’agir d’un logement interne de la base 210. Dans ce dernier cas de figure, le matériau dans lequel est constituée la base 210 est préférentiellement non magnétique. Alternativement, la bobine 422 peut être fixée sur la première membrane 130 et les éléments magnétiques 421 peuvent prendre place contre la base 210 ou être insérés dans un logement prévu à cet effet. Dans ce cas, la bobine 422 peut comprendre une ou plusieurs spires déposées sur la membrane et faisant office de bobine. De manière alternative à ces deux modes de réalisation (et non illustré), l’actionneur peut être capacitif. Dans ce cas, la première membrane 130 est conductrice (par exemple métallique) et la base 210 est également conductrice (par exemple métallique ou en semiconducteur dopé). Ainsi, la première membrane 130 peut être actionnée par l’application d’un champ électrique entre la base 210 et la première membrane 130. Afin de garantir une isolation électrique entre la base 210 et la première membrane 130, la couche d’adaptation 160 peut être électriquement isolante. Elle est par exemple réalisée à partir d’une couche semiconductrice de silicium sur isolant tel que décrite précédemment. Les FIG. 3 et 4 montrent schématiquement deux modes de réalisation du système de régulation 100 dans lequel ce dernier comprend un contrôleur 510 et une sonde 520. Le contrôleur 510 est configuré pour commander la première micromachine Stirling 300 (ou la pluralité de micromachines Stirling s’il y a lieu). Il est par exemple configuré pour alimenter les actionneurs des première et deuxième membranes 130, 150. Dans le cas d’un actionneur magnétique, le contrôleur 510 est par exemple configuré pour alimenter la bobine 422 en courant électrique (ou les spires sur la première membrane 130). Dans le cas d’un actionneur piézoélectrique, le contrôleur 510 est par exemple configuré pour appliquer un champ électrique sur l’élément piézoélectrique 410. De la même manière, dans le cas d’un actionneur capacitif, le contrôleur 510 est par exemple configuré pour appliquer une différence de potentiel électrique entre la première membrane 130 et la base 210 du MEMS 200. Le contrôleur 510 permet donc, par l’intermédiaire de la micromachine Stirling 300, de compresser et détendre le gaz dans le circuit fluidique de manière à faire subir des transformations thermodynamiques au gaz. Ainsi il permet de chauffer ou refroidir le MEMS 200. La différence de phase entre les compressions dans le volume de compression 320 et le volume de détente 310, permet de refroidir ou chauffer le MEMS 200. Il permet également d’ajuster la fréquence des compressions/détentes pour modifier la puissance de refroidissement (c’est-à-dire la quantité de chaleur retirée ou apportée par unité de temps). Le contrôleur 510 peut être configuré pour faire fonctionner la première micromachine Stirling 300 selon un mode spécifique de fonctionnement, par exemple pour chauffer ou pour refroidir le MEMS 200, avec préférentiellement une puissance thermique prédéterminée. Pour ajuster le mode de fonctionnement ou la puissance thermique, le contrôleur 510 peut modifier la fréquence des déformations des membres 130, 150 (on parle alors d’oscillations des membranes 130, 150) ou la phase entre les oscillations des membranes 130, 150. Le contrôleur 510 est toutefois préférentiellement configuré pour ajuster la puissance de la régulation en fonction de la température du MEMS 200. Pour cela, le contrôleur 510 peut tirer parti de la sonde 520. La FIG. 3 montre un mode de réalisation où la sonde 520 est disposée au niveau du MEMS 200, par exemple au niveau de sa partie sensible. La sonde 520 est configurée pour mesurer une donnée relative à la température du MEMS 200. La sonde 520 est par exemple un thermocouple, mesurant directement la température de la partie sensible. La sonde 520 peut également mesurer une autre quantité, telle qu’une dérive des performances de la partie sensible (par exemple un décalage d’une fréquence de résonance ou une diminution d’une amplitude de vibration). Avantageusement, la sonde est préférentiellement non intrusive pour le MEMS 200. Elle peut être positionnée hors du boitier hermétique comprenant le MEMS 200. Le contrôleur 510 peut également être configuré pour mesurer une grandeur relevée par la partie sensible du MEMS 200. En d’autres termes, le contrôleur 510 peut être configuré pour estimer la dérive thermique du MEMS 200 en scrutant les données mesurées grâce au MEMS 200. Le contrôleur 510 peut par exemple estimer une densité spectrale de bruit à partir des données acquises par le MEMS 200. Le contrôleur 510 peut ainsi ajuster les paramètres de commande de la micromachine Stirling 300 (par exemple la fréquence et l’amplitude de déformation des membranes) de manière à ajuster la régulation de température du MEMS 200. La FIG. 4 montre un mode de réalisation où la sonde 520 est disposée au niveau de la première micromachine 300 et plus particulièrement au niveau du volume de détente 310 (au plus proche de la base 210). Ainsi la sonde 520 peut permettre de déterminer la température la température du MEMS 200 à partir de la température du volume de détente 310, de sorte que le contrôleur 510 puisse ajuster le fonctionnement de la première micromachine 300. La FIG. 5 montre schématiquement un mode de réalisation du système de régulation 100 comprenant une pluralité de micromachines Stirling 300, 300a, 300b. Dans ce mode de réalisation, les micromachines 300, 300a, 300b sont couplées thermiquement en série. Le volume de détente de la première micromachine 300 est couplé thermiquement au MEMS 200 selon l’un des modes de réalisation décrits précédemment. Deux micromachines supplémentaires 300a, 300b sont couplées thermiquement en série entre elles. Par « couplées thermiquement en série », on entend qu’une source froide d’une des deux micromachines supplémentaires 300b est couplée thermiquement à une source chaude de l’autre micromachine supplémentaire 300a, par exemple au moyen d’un conducteur thermique. Par exemple la chambre arrière de détente 330b de l’une 300b peut être couplée thermiquement à la chambre arrière de compression 340a de l’autre 300a. Les deux chambres arrière 330b, 340a sont par exemple creusées dans une même pièce conductrice tout en restant séparées l’une de l’autre. Un transfert thermique par conduction peut alors s’établir entre les deux micromachines 300a, 300b. Alternativement, les deux micromachines 300a, 300b peuvent être imbriquées de sorte que la chambre arrière de compression 340a de l’une 300a forme la chambre de détente 310b de l’autre 310b. L’une des deux micromachines supplémentaires, dans l’exemple 300a, est couplée thermiquement en série à la première micromachine 300. Dans l’exemple illustré en FIG. 5 , son volume de détente 310a est couplé thermiquement au volume de compression 320 de la première micromachine 300. Ces deux volumes 310a, 320 sont alors uniquement séparés par une membrane déformable, commune aux deux micromachines 300, 300a. Autrement dit, le volume arrière de compression 340 de la première micromachine 300 forme le volume de détente 310a de la micromachine supplémentaire 300a. Alternativement, ces deux micromachines 300, 330a pourraient être couplées plus simplement, sans chercher à réduire l’encombrement outre mesure. Par exemple, les deux volumes arrières 340, 320 peuvent être creusés dans une même pièce conductrice tout en restant séparés l’un de l’autre. La micromachine supplémentaire 300b à l’extrémité de la chaîne de micromachines 300, 300a, 300b peut être couplée à un système de drainage thermique ou à un échangeur de chaleur tel qu’un radiateur. Par exemple son volume arrière de compression 340b est couplé thermiquement à un système de drainage thermique ou à un radiateur. Cet assemblage série de micromachines 300, 300a, 300b permet d’augmenter la puissance thermique du système de régulation 100 dans un environnement où les micromachines Stirling doivent présenter des dimensions latérales (ou transverses) proches des dimensions latérales (ou transverses) de la base 210 du MEMS 200, voire du MEMS 200 en tant que tel. Les volumes de détente et de compression 320, 320a, 320b, 330, 330a, 330b des différentes micromachines peuvent être couplés thermiquement par conduction. Une paroi peut séparer les micromachines 300, 300a, 300b entre elles mais permettre un transfert thermique. Il est également possible de considérer un transfert thermique par convection où un fluide caloriporteur permet de coupler thermiquement les différentes micromachines entre elles. Dans un développement avantageux, les volumes de compression et de détente des micromachines 300, 300a, 300b couplées thermiquement sont délimités par une même membrane déformable. En d’autres termes, un volume arrière d’une micromachine forme un volume de détente ou de compression d’une autre micromachine. Ce mode de couplage permet de réduire l’encombrement longitudinal (c’est-à-dire dans le sens du couplage thermique des micromachines 300, 300a, 300b) du système de régulation 100. Il permet également d’améliorer le couplage thermique. Ainsi, suivant ce développement, le volume de compression 320 de la première micromachine 300 (celle connectée au MEMS 200) partage la même membrane déformable que le volume de détente 310a de l’une des micromachines supplémentaires 300’. Réciproquement, le volume de compression 320 de la première machine 300 joue alors le rôle de volume arrière 330a de la micromachine supplémentaire 300a. De la même façon, les volumes de détente 310a, 310b et de compression 320a, 320b des micromachines suivantes 300a, 300b sont imbriqués les uns avec les autres de manière à former les volumes arrières 330a, 330b, 340a, 340b de ces micromachines 300a, 300b. La FIG. 6 montre schématiquement un mode de réalisation du système de régulation 100 comprenant également une pluralité de micromachines Stirling 300, 300’, 300’’, et en l’occurrence des première, deuxième et troisième micromachines Stirling 300, 300’, 300’’. Toutefois, à la différence du mode de réalisation de la FIG. 5 , les micromachines 300, 300’, 300’’ sont connectées en parallèle. Dans ce mode de réalisation, chaque micromachine 300, 300’, 300’’ présente un volume arrière de détente 330, 330’, 330’’ délimité en partie par la base 210. La base 210 du MEMS 200 présente par exemple une pluralité d’évidements formant les volumes arrière de détente 330, 330’, 330’’ des différentes micromachines 300, 300’, 300’’. Chaque chambre de compression des micromachines 300, 300’, 300’’ peut être couplée thermiquement à un bain thermique ou à un échangeur de chaleur tel qu’un radiateur. Cet assemblage parallèle de micromachines 300, 300’, 300’’ permet également d’augmenter la puissance thermique du système de régulation 100. Dans un développement, les volumes arrières de détente 330, 330’, 330’’ peuvent être connectés entre eux pour ne former qu’un seul et unique volume arrière de détente. La FIG. 7 montre une combinaison des assemblages des figures 5 et 6 où une pluralité de micromachines 300, 300a, 300b, 300’, 300a’, 300b’, 300’’, 300a’’, 300b’’ forment des colonnes de micromachines couplées en série (mode de réalisation de la FIG. 5 ) et où la pluralité de colonnes est couplée à la base 210 du MEMS 200. Cet assemblage de micromachines 300 permet d’augmenter la puissance thermique du système de régulation 100 en augmentant le nombre de micromachines 300 sans toutefois nécessiter une base 210 trop large. La FIG. 8 montre un mode de réalisation d’un système de régulation 100. À la différence des modes de réalisation des figures 1 et 2, ce système de régulation 100 comprend une micromachine thermo-acoustique 301 en lieu et place de la machine Stirling 300. Une micromachine thermo-acoustique 301 repose également sur le cycle de Stirling. Dans une machine Stirling plus conventionnelle (micrométrique ou non), c’est l’action d’un ou plusieurs pistons ou d’une pluralité de membranes déformables qui permet de réaliser les compressions/détentes du gaz et sa circulation dans le milieu régénérateur. Dans une machine thermo-acoustique, c’est l’action d’une onde acoustique qui permet de réaliser les compressions/détentes du gaz et sa circulation dans le régénérateur 350. Ainsi, à la différence des micromachine Stirling de figures 1 à 7, la machine thermo-acoustique 301 de la FIG. 8 ne comprend pas de première membrane. La machine thermo-acoustique 301 comprend un volume de détente 310 qui s’étend du substrat 110 à la base 210 du MEMS 200. Elle ne nécessite donc pas de volume arrière de détente. Elle ne nécessite qu’un volume arrière de compression 340. Dans le mode de réalisation de la FIG. 8 , le flanc 212 de la base 210 est aligné dans le prolongement du flanc 122 de la première couche 120. Le substrat 110, le flanc 122 de la première couche 120, le flanc 212 de la base 210 et le fond 211 de la base 210 délimitent donc entièrement le volume de détente 310. Dans une variante, la base 210 peut être disposée directement contre la première couche 120 afin de délimiter le volume de détente 310. Ce mode de réalisation ne nécessite pas de modification (par exemple d’évidement) de la base 210. Dans le cas où la première couche 120 et la base 210 ne peuvent pas être mises en contact (car leurs matériaux ne permettent par exemple pas un scellement de l’une sur l’autre), la couche d’adaptation 160 peut être insérée entre la base 210 et la première couche 120 (mode de réalisation de la FIG. 9 ). Le flanc 161 de la couche d’adaptation 160 est préférentiellement aligné avec les flancs 212, 122 de la base 210 et de la première couche 120. La couche d’adaptation 160 permet ainsi d’adapter une base 210, par exemple plane, sans modification. Système de régulation (100) comprenant : - un microsystème électromécanique (200) dit « MEMS », comprenant une base (210) ; - au moins une première micromachine (300) thermique configurée pour fonctionner selon un cycle de Stirling, dite « micromachine Stirling », la première micromachine Stirling comprenant un circuit fluidique comprenant : - un premier volume (310), dit « volume de détente », délimité en partie par une première membrane déformable (130) ; - un deuxième volume (320), dit « volume de compression », délimité en partie par une deuxième membrane déformable (150) ; - un troisième volume (330), dit « volume arrière de détente », séparé du volume de détente (310) par la première membrane déformable (130) ; - un quatrième volume, dit « volume arrière de compression » séparé du volume de compression par la deuxième membrane déformable ; - un volume régénérateur (350) mettant le volume de compression (320) en relation avec le deuxième volume de détente (320) ; le système de régulation (100) étant caractérisé en ce que la base (210) du MEMS (200) délimite en partie le volume arrière de détente (330) de la première micromachine Stirling (3). Système de régulation (100) selon la revendication précédente, dans lequel la première membrane déformable (130) et la base (210) du MEMS (200) délimite entièrement le volume arrière de détente (330). Système de régulation (100) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel la première micromachine Stirling (300) comprend une couche d’adaptation (160) s’étendant entre la première membrane déformable (130) et la base (210) du MEMS (200), une ouverture étant pratiquée dans la couche d’adaptation (160) mettant en regard la première membrane déformable (130) et la base (210) du MEMS (200). Système de régulation (100) selon la revendication précédente, dans lequel la couche d’adaptation (160) est électriquement isolante. Système de régulation (100) selon l’une des revendications 1 à 4, comprenant un actionneur magnétique configuré pour déformer la première membrane déformable (130), l’actionneur magnétique comprenant un élément magnétique (421) et une bobine (422) ; l’élément magnétique (421) étant fixé sur la première membrane déformable (130) ; et la bobine (422) étant fixée à la base (210) du MEMS (200) ; ou l’élément magnétique (421) étant fixé sur la base (210) du MEMS (200) ; et la bobine (422) étant fixée à la première membrane déformable (130). Système de régulation (100) selon l’une des revendications 1 à 4, comprenant un actionneur piézoélectrique configuré pour déformer la première membrane déformable (130), l’actionneur piézoélectrique comprenant un élément piézoélectrique fixé (410) sur la première membrane déformable (130). Système de régulation (100) selon l’une des revendications 1 à 4, dans lequel la base (210) du MEMS (200) est conductrice et la première membrane déformable (130) est conductrice. Système de régulation (100) selon l’une des revendications 1 à 7, dans lequel le volume arrière de détente (330), le volume de détente (310), le volume de compression (320) et le volume arrière de compression (340) de la première micromachine Stirling (300) sont agencés selon une direction perpendiculaire à la première membrane (130), lorsque celle-ci est au repos. Système de régulation (100) selon l’une des revendications 1 à 8, comprenant au moins une deuxième micromachine Stirling (300’) comprenant un circuit fluidique comprenant : un premier volume (310’), dit « volume de détente », délimité en partie par une première membrane déformable ; un deuxième volume (320’), dit « volume de compression », délimité en partie par une deuxième membrane déformable ; un troisième volume (330’), dit « volume arrière de détente », séparé du volume de détente par la première membrane déformable ; un quatrième volume (340’), dit « volume arrière de compression » séparé du volume de compression par la deuxième membrane déformable ; un volume régénérateur (350’) mettant le volume de compression en relation avec le volume de détente, la base (210) du MEMS (200) délimitant en partie le volume arrière de détente (330’) de la deuxième micromachine Stirling (300’). Système de régulation (100) selon la revendication précédente, dans lequel le volume arrière de détente (330) de la première micromachine Stirling (300) et le volume arrière de détente (330’) de la deuxième micromachine Stirling (300’) sont communs et forment un unique volume arrière de détente. Système de régulation (100) selon l’une des revendications précédentes, comprenant en outre au moins une micromachine Stirling supplémentaire (300a) couplée thermiquement en série avec la première micromachine Stirling (300), la micromachine Stirling supplémentaire comprenant un volume de détente (310a) et un volume arrière de détente (330a) séparé du volume de détente par une membrane déformable, le volume arrière de détente de la deuxième micromachine Stirling supplémentaire étant couplé au volume arrière de compression (340) de la première micromachine Stirling ou le volume arrière de détente de la deuxième micromachine Stirling supplémentaire (300a) étant le volume de compression (320) de la première micromachine de Stirling. Système de régulation (100) selon la revendication précédente, comprenant une pluralité de micromachines Stirling supplémentaires (300a, 300b) couplées thermiquement entre elles. Système de régulation (100) selon l’une des revendications précédentes, comprenant en outre un contrôleur (510), configuré pour commander la, ou les, micromachines Stirling (300) de manière à transférer une quantité de chaleur depuis la base (210) du MEMS (200) ou vers la base (210) du MEMS (200). Système de régulation (100) selon la revendication 13, dans lequel le contrôleur (510) est configuré pour mesurer une grandeur dépendante de la température du MEMS (200) et commander la, ou les, micromachines Stirling (300) en fonction de la grandeur mesurée par la sonde (520). Système de régulation (100) selon la revendication 13, comportant un circuit de détection configuré pour mesurer une position de la première membrane (130) et/ou la position de la deuxième membrane (150), le contrôleur (510) étant configuré pour commander la première micromachine Stirling (300) en fonction de la position de la première membrane et/ou la position de la deuxième membrane mesurée par le circuit de détection.