Brevet FR3164273A1 — publié le 20260109

Installation de réfrigération cryogénique comprenant un réfrigérateur (5) comprenant un fluide de cycle cryogénique, une enceinte (2) délimitant un volume étanche sous vide, au moins un plateau (3, 4) conducteur thermique et abrité dans l’enceinte (2), au moins un échangeur (6) de chaleur distinct du ou des plateaux et associé à l’un des plateaux (3, 4), l’échangeur (6) ayant un volume délimité par une surface de travail (61), une surface d’attache (62) et une surface de connexion fluidique (63), un circuit (50) de refroidissement assurant une circulation du fluide de cycle à l’intérieur du volume du ou des échangeurs (6) pour un échange thermique du fluide de cycle avec les plateaux (3, 4) via les échangeurs (6), la surface de travail (61) des échangeurs étant configurée pour accueillir au moins une partie d’un dispositif (7) à thermaliser. Figure d’abrégé : Fig. 1 Installation de réfrigération cryogénique La présente invention est relative à une installation de réfrigération cryogénique adaptée à fournir des puissances froides à des températures inférieures à 100 K et notamment adaptée à refroidir ou pré-refroidir les différents étages d’un réfrigérateur subkelvin. Les réfrigérateurs subkelvin sont des réfrigérateurs permettant d’atteindre des températures inférieures à 1 K. Les réfrigérateurs à dilution, les réfrigérateurs joule-thomson à Hélium-4 ou à Hélium-3 et les réfrigérateurs à désaimantation adiabatique en sont des exemples. Ils permettent d’atteindre des températures de l’ordre de 10 mK ou inférieures. Les réfrigérateurs subkelvin, et notamment les réfrigérateurs à dilution, ont besoin de puissances froides au moins jusqu’à 4,2 K pour fonctionner. Cette puissance froide est habituellement fournie soit à partir de tubes à gaz pulsé (“pulse tubes” en anglais), de cryo réfrigérateurs Gifford MacMahon ou autres dispositifs équivalents, soit à partir d’hélium cryogénique ou liquide. Dans le premier cas, on parle de dilution “sèche” ou “dry”, alors que dans le deuxième cas on parle de dilution “humide” ou “wet”. Typiquement les réfrigérateurs subkelvin comprennent une enceinte, tel un cryostat ou une boîte froide, isolée thermiquement, dans laquelle est hébergée la partie la plus froide du procédé, et dans laquelle se trouvent un ou plusieurs plateaux refroidis à des températures décroissantes. A cet effet, on installe dans l’enceinte et on associe aux plateaux un ou plusieurs pulse tubes ou des équipements permettant d’amener l’hélium cryogénique ou liquide. Avec l’évolution de la technologie, les utilisateurs de réfrigérateurs subkelvin nécessitent de plus en plus de puissance froide à des températures inférieures à 20 mK, ce qui impose d’augmenter également la puissance froide fournie jusqu’à 4,2 K. Les niveaux de puissance fournis par les pulse tubes sont limités et ne seront bientôt plus adaptés aux besoins des réfrigérateurs subkelvin, et notamment des réfrigérateurs à dilution. Une solution connue pour augmenter la puissance froide fournie jusqu’à 4,2 K consiste à augmenter le nombre de pulse tubes installés dans l’enceinte. Mais cette approche implique d'augmenter la taille de l’enceinte (pour loger tous les pulse tubes), tout en réduisant la surface expérimentale, c'est-à-dire la surface des plateaux disponible pour héberger des dispositif à refroidir, puisque l’association des pulse tubes aux plateaux nécessite une surface importante. De plus, les pulse tubes génèrent des vibrations mécaniques non acceptables, ce qui nécessite d’installer un système de découplage, tresses en cuivre par exemple, qui réduit encore la surface disponible et pénalise encore plus les performances thermiques. D’un autre côté, l’utilisation de dilutions “wet” demande des temps importants de mise en froid et réchauffage des réfrigérateurs, ce qui n’est plus adapté aux utilisations actuelles des réfrigérateurs à dilution. De plus, le transfert de l'hélium liquide pour recharger l’enceinte entraîne des perturbations thermiques dans l’ensemble de l’enceinte, ce qui diminue le temps utile de fonctionnement des réfrigérateurs. Cette technologie permet d’avoir des puissances froides importantes combinées à des surfaces d’échange importantes et à une thermalisation efficace. Mais le volume d’Hélium-4 à stocker à l’intérieur de l’enceinte peut être problématique en termes de manipulation de liquide cryogénique et de complexité de fabrication. Pour les réfrigérateurs à dilution de grandes puissances, un des besoins critiques est de pré-refroidir plusieurs milliers de composants. Cette puissance peut être fournie via des structures d’échange de chaleur installées au bord des plateaux. La thermalisation des composants peut encore être assurée par l’utilisation de pulse tubes reliés au plateau à thermaliser par des tresses en cuivre ou en graphène. Dans les deux cas, le dispositif de connexion thermique (tresse, structure d’échange, ou autre) peut occuper une surface importante qui reste par conséquent inutilisée et inutilisable, c’est-à-dire que la surface de plateau occupée par le dispositif de connexion ne peut pas servir à accueillir des dispositifs à thermaliser. Dans une installation de réfrigération comprenant un réfrigérateur subkelvin, les problématiques suivantes ne sont aujourd’hui pas résolues ou pas de manière satisfaisante. Apporter une puissance froide à une pluralité de températures différentes dans la gamme comprise entre 2 K et 300 K, notamment à des températures inférieures ou égales à 150 K, inférieures ou égales à 77 K, inférieures ou égales à 50 K, inférieures ou égales à 6 K, inférieures ou égales à 5 K, inférieures ou égales à 3 K ou 2,8 K, inférieures ou égales à 2 K ou 1,8 K. Refroidir rapidement le réfrigérateur. C’est-à-dire que l’étape de mise en froid de l’enceinte, nécessaire pour démarrer le procédé de réfrigération subkelvin, nécessite encore des temps très longs. Optimiser la surface expérimentale disponible dans le réfrigérateur, c’est-à-dire augmenter la surface des plateaux effectivement utilisable pour accueillir des dispositifs à refroidir et réduire la surface occupée par les dispositifs de connexion thermique. Permettre d'échanger une quantité d'énergie très supérieure aux solutions conventionnelles, notamment par rapport aux tubes à gaz pulsés. Remplacer les systèmes de refroidissement mécaniques de type pulse tube ou Gifford MacMahon par des systèmes plus efficaces, plus puissants et moins encombrants. Limiter les manipulations de liquide cryogénique et les transferts de liquide cryogénique entre l’extérieur et l’enceinte, et vice versa. La présente invention vise à remédier efficacement à ces inconvénients en proposant une installation de réfrigération cryogénique comprenant un réfrigérateur comprenant un fluide de cycle cryogénique, une enceinte délimitant un volume étanche sous vide, au moins un plateau conducteur thermique et abrité dans l’enceinte, au moins un échangeur de chaleur distinct du ou des plateaux et associé à l’un des plateaux, l’échangeur ayant un volume délimité par une surface de travail, une surface d’attache et une surface de connexion fluidique, un circuit de refroidissement assurant une circulation du fluide de cycle à l’intérieur du volume du ou des échangeurs pour un échange thermique du fluide de cycle avec les plateaux via les échangeurs, la surface de travail des échangeurs étant configurée pour accueillir au moins une partie d’un dispositif à thermaliser. L'invention permet ainsi d’améliorer l'efficacité énergétique globale du système, tout en simplifiant l’expérience utilisateur et en augmentant la surface expérimentale disponible. Selon une réalisation, le circuit de refroidissement comprend un ou plusieurs canaux intégrés dans le volume des échangeurs et configurés pour distribuer le fluide de cycle dans le volume des échangeurs. Selon une réalisation, la superficie de la surface de travail est plus grande que la superficie de la surface de connexion fluidique, notamment la superficie de la surface de travail est au moins cinq fois supérieure à la superficie de la surface de connexion fluidique. Selon une réalisation, l’installation comprend des organes de fixation associés à chaque échangeur et configurés pour établir et maintenir un contact entre un dispositif à refroidir et l’échangeur. Selon une réalisation, les organes de fixation comprennent une ou des structures d’accrochage configurées pour coopérer avec des structures conjuguées d’un dispositif à refroidir, pour permettre une fixation amovible du dispositif à refroidir sur l’échangeur, la structure d’accrochage étant notamment choisie parmi: un taraudage, un filetage, un orifice, une rainure, un plot, un système de pression, une pince grenouille. Selon une réalisation, les organes de fixation comprennent au moins un logement creusé dans la surface de travail et configuré pour héberger au moins une partie d’un dispositif à refroidir. Selon une réalisation, la surface de travail comprend une première partie dotée d’organes de fixation et une deuxième partie dépourvue d’organes de fixation et configurée pour être en contact direct avec un dispositif à refroidir lorsque celui-ci est maintenu en contact avec l’échangeur par les organes de fixation, l’épaisseur de la paroi de l’échangeur étant plus importante au niveau de la première partie qu’au niveau de la deuxième partie. Selon une réalisation, le réfrigérateur est configuré pour refroidir le fluide de cycle à l’extérieur de l’enceinte et le circuit de refroidissement est configuré pour amener le fluide de cycle refroidi à l’intérieur de l’enceinte et extraire de l’enceinte le fluide de cycle réchauffé. Selon une réalisation, le ou les plateaux sont horizontaux en configuration d’utilisation et les échangeurs de chaleur sont fixés sur la face supérieure et/ou sur la face inférieure des plateaux. Selon une réalisation, la surface d’attache des échangeurs est sensiblement plane et fixée au plateau correspondant de manière à être en contact direct avec la surface du plateau. Selon une réalisation, la surface de travail de l’échangeur comprend un ou plusieurs plans parallèles à la surface d’attache et disposés chacun à une distance respective différente de la surface d’attache. Selon une réalisation, la surface de travail de l’échangeur comprend un ou plusieurs plans inclinés par rapport à la surface d’attache. Selon une réalisation, le circuit de refroidissement comprend des conduites comprenant une première portion qui s’étend de la surface de connexion fluidique d’un échangeur selon une direction orthogonale ou oblique par rapport à ladite surface. Selon une réalisation, les conduites comprennent une deuxième portion parallèle à la surface de connexion fluidique de l’échangeur, la première et la deuxième portion de conduite étant reliées entre elles par un coude. Selon une réalisation, l’installation comprend au moins un écran thermique solidaire de l’un des plateaux, l’écran thermique définissant un volume thermalisé à une température prédéterminée. Selon une réalisation, l’installation comprend au moins deux plateaux et le circuit de refroidissement comprend des conduites reliant les échangeurs de chaleur entre eux, les conduites étant configurées pour alimenter les échangeurs en fluide de cycle cryogénique en série ou en parallèle. Selon une réalisation, le circuit de refroidissement comprend des conduites qui traversent au moins un des plateaux ou au moins un des écrans thermiques, notamment par des ouvertures comprenant des contacts ponctuels. Selon une réalisation, l’installation comprend au moins un réfrigérateur subkelvin, notamment un réfrigérateur à dilution, solidaire de l’un au moins des plateaux. Selon une réalisation, les échangeurs comprennent des raccords fluidiques permettant de les connecter au circuit de refroidissement et présentent une hauteur relativement plus importante au niveau de ces raccords par rapport à la hauteur des échangeurs au niveau de la surface libre. Selon une réalisation, une section de l’échangeur dans un plan parallèle à la surface d’attache présente une forme rectangulaire, en losange, ronde, elliptique ou polygonale. Selon une réalisation, la superficie de la surface d’attache est plus grande que la superficie de la surface de connexion fluidique, notamment la superficie de la surface d’attache est au moins cinq fois supérieure à la superficie de la surface de connexion fluidique. L’invention concerne en outre un procédé de refroidissement d’un dispositif dissipateur de chaleur à évacuer, le procédé utilisant une installation telle que décrite dans la présente demande, et comprenant une étape de fixation d’au moins une partie du dispositif dissipateur de puissance à la surface de travail d’un échangeur de chaleur afin d’évacuer la puissance dissipée par le dispositif via l’échangeur. L'invention peut encore concerner tout dispositif ou procédé alternatif comprenant toute combinaison des caractéristiques ci-dessus ou ci-dessous, notamment dans le cadre des revendications. L’invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui suit et à l’examen des figures qui l’accompagnent. Ces figures ne sont données qu’à titre illustratif mais nullement limitatif de l’invention. FIG. 1 est une représentation schématique et partielle de réalisation d’une installation selon l’invention. FIG. 2 est une représentation schématique et partielle d’un détail de réalisation d’une installation selon l’invention. FIG. 3 est une représentation schématique et partielle d’un détail de réalisation d’une installation selon l’invention. FIG. 4 est une représentation schématique et partielle d’un premier mode de réalisation d’un échangeur de chaleur selon l’invention. FIG. 5 est une représentation schématique et partielle d’un deuxième mode de réalisation d’un échangeur de chaleur selon l’invention. FIG. 6 est une représentation schématique et partielle d’un troisième mode de réalisation d’un échangeur de chaleur selon l’invention. FIG. 7 est une représentation schématique et partielle d’un quatrième mode de réalisation d’un échangeur de chaleur selon l’invention. FIG. 8 est une représentation schématique et partielle d’un quatrième mode de réalisation d’un échangeur de chaleur selon l’invention. FIG. 9 est une représentation schématique et partielle d’un détail d’un premier mode de réalisation d’une installation selon l’invention. FIG. 10 est une représentation schématique et partielle d’un détail d’un premier mode de réalisation d’une installation selon l’invention. FIG. 11 est une représentation schématique et partielle d’un cinquième mode de réalisation d’un échangeur de chaleur selon l’invention. FIG. 12 est une représentation schématique et partielle d’un détail d’un premier mode de réalisation d’une installation selon l’invention. FIG. 13 est une représentation schématique et partielle d’un détail d’un premier mode de réalisation d’une installation selon l’invention. FIG. 14 est une représentation schématique et partielle d’un détail d’un premier mode de réalisation d’une installation selon l’invention. FIG. 15 est une représentation schématique et partielle d’un détail d’un premier mode de réalisation d’une installation selon l’invention. FIG. 16 est une représentation schématique et partielle d’un détail d’un premier mode de réalisation d’une installation selon l’invention. FIG. 17 est une représentation schématique et partielle d’un détail de réalisation d’une installation selon l’invention. FIG. 18 est une représentation schématique et partielle d’un détail de réalisation d’une installation selon l’invention. FIG. 19 est une représentation schématique et partielle d’un détail de réalisation d’une installation selon l’invention. En référence à la FIG. 1 , l’installation 1 de réfrigération cryogénique selon un premier mode de réalisation comprend un réfrigérateur 5 et une enceinte 2 délimitant un volume étanche sous vide et de préférence refermé par un couvercle. Le réfrigérateur 5 comprend un fluide de cycle cryogénique et peut être logé, totalement ou partiellement, à l’intérieur ou à l’extérieur de l’enceinte. Le réfrigérateur 5 peut notamment être du type soumettant un fluide de cycle à une séquence de compression, échange thermique et détente. Par exemple, le réfrigérateur 5 peut comprendre un cycle de réfrigération d'un fluide de cycle. Le réfrigérateur 5 comprend alors un circuit de cycle composé des éléments suivants disposés en série: un mécanisme de compression du fluide de cycle, au moins un organe de refroidissement du fluide de cycle, un mécanisme de détente du fluide de cycle et au moins un organe de réchauffage du fluide de cycle détendu. Le fluide de cycle peut comprendre au moins l'un parmi : de l'hélium, de l'hydrogène, de l'azote, du néon, de l'argon. Le circuit de cycle est configuré pour soumettre le fluide de cycle à un cycle thermodynamique amenant le fluide de cycle à au moins une extrémité du circuit de cycle à une température froide déterminée. L’installation 1 comprend au moins un plateau 3, 4 conducteur thermique et abrité dans l’enceinte 2, et au moins un échangeur 6 de chaleur distinct du ou des plateaux et associé à l’un des plateaux 3, 4. A la FIG. 1 un échangeur 6 est associé à chaque plateau 3, 4. Au moins l’un des plateaux 3, 4 pourrait être associé à au moins deux échangeurs 6. Le flux de fluide de cycle est en échange thermique avec les plateaux 3, 4 via le ou les échangeur(s) 6 et comprend le fluide de cycle à la température froide. L’installation comprend un ensemble de conduite(s) 50 d'amenée d'au moins une partie du fluide de cycle du circuit de cycle vers l'échangeur 6 et de retour dudit fluide de l'échangeur 6 vers le circuit de cycle du réfrigérateur 5. Le circuit de cycle peut être configuré pour soumettre le fluide de cycle à un cycle thermodynamique amenant le fluide de cycle à plusieurs températures froides distinctes au niveau respectivement de plusieurs extrémités du circuit de cycle. Plusieurs flux distincts du fluide de cycle auxdites températures froides distinctes sont alors mis en échange thermique avec respectivement aux moins deux plateaux 3, 4 distincts via au moins deux échangeurs 6 respectifs. Le fluide de cycle est ou contient de préférence majoritairement de l'hélium, le circuit de cycle étant configuré pour amener le fluide de cycle à au moins une température froide parmi : 80 K environ, entre 20 et 70 K, entre 1,5 K et 5 K, et/ou dans un état supercritique et/ou diphasique. Le réfrigérateur 5 peut comprendre une réserve de gaz cryogénique liquéfié, par exemple de l'azote liquide et/ou de l’hélium liquide et/ou de l’hydrogène liquide et/ou du néon liquide et/ou un mélange des précédents. Cette réserve de gaz cryogénique liquéfié est de préférence située à l’extérieur de l’enceinte 2. L’installation 1 comprend alors un ensemble de conduite(s) d'amenée de gaz cryogénique liquéfié de la réserve vers le ou les échangeur(s) 6. Comme illustré aux FIG. 2 et FIG. 3 , l’échangeur 6 a un volume délimité par une surface de travail 61, une surface d’attache 62 et une surface de connexion fluidique 63. On entend par surface de travail 61 l’ensemble des surfaces exposées à l’atmosphère de l’enceinte et disponibles pour l’utilisateur de l’installation pour refroidir des dispositifs à thermaliser. La surface d’attache 62 est l’ensemble des surfaces de l'échangeur en contact avec les plateaux 3, 4 et servant notamment à attacher mécaniquement l’échangeur au plateau. La surface de connexion fluidique 63 est l’ensemble des surfaces où est située une interface avec le circuit de refroidissement tel que défini ci-dessous. Les surfaces d’attache 62 et de connexion fluidique 63 ne sont pas disponibles pour, ni utilisables par l’utilisateur de l’installation pour refroidir des dispositifs à thermaliser. L’échangeur 6 est démontable, c’est-à-dire qu’il peut être associé ou installé sur un plateau 3, 4 et être ensuite dissocié ou désinstallé du plateau 3, 4. L’échangeur 6 permet plus de flexibilité dans la conception de l’installation, dans la sélection des positions où la puissance froide est amenée ou des zones à refroidir. Les dimensions et la forme de l’échangeur 6 peuvent ainsi être choisies plus librement au moment de la conception de l’installation. L’installation 1 comprend un circuit 50 de refroidissement assurant une circulation du fluide de cycle à l’intérieur du volume du ou des échangeurs 6 pour un échange thermique du fluide de cycle avec les plateaux 3, 4 via les échangeurs 6. La surface de travail 61 des échangeurs 6 est configurée pour accueillir au moins une partie d’un dispositif 7 à thermaliser (c’est-à-dire à refroidir à une température déterminée). Il peut s’agir notamment d’un dispositif dissipateur de chaleur à évacuer. Par exemple, le dispositif 7 peut être un dispositif électronique tel un amplificateur, un atténuateur, un capteur, ou tout autre circuit électronique ou microélectronique, ou encore une partie d’un câble électrique. Ceci permet de réduire la taille des plateaux et d’optimiser l’utilisation du volume et l’encombrement de l’installation. A taille de plateau constante, ceci permet d’augmenter la surface de travail disponible pour l’utilisateur. Cette solution offre également la souplesse de pouvoir faire évoluer l’installation dans le temps et/ou d’adapter et améliorer des installations existantes. L’échangeur 6 peut également être utilisé pour refroidir un dispositif dans lequel circule un fluide à refroidir, notamment de l’Hélium-3, de l’Hélium-4 ou un mélange des deux. Il est entendu que l’échangeur 6 thermalise, via la surface d’attache 62, le plateau 3, 4. Le ou les plateau(x) 3, 4 font partie de l’installation 1 et ne sont pas considérés, au sens de l’invention, comme des dispositifs 7 à thermaliser. Selon un mode de réalisation, le circuit de refroidissement 50 comprend un ou plusieurs canaux ou chambres 56 intégrés dans le volume des échangeurs 6 et configurés pour distribuer le fluide de cycle dans le volume des échangeurs 6. Des exemples sont illustrés aux FIG. 4 , FIG. 5 , FIG. 6 , FIG. 7 , FIG. 8 et FIG. 11 . Selon un mode de réalisation, la superficie de la surface de travail 61 est plus grande que la superficie de la surface de connexion fluidique 63. Notamment la superficie de la surface de travail 61 est au moins cinq fois supérieure à la superficie de la surface de connexion fluidique 63, de préférence au moins dix fois, encore plus préférentiellement au moins vingt fois. Selon un mode de réalisation, la superficie de la surface d’attache 62 est plus grande que la superficie de la surface de connexion fluidique 63, notamment la superficie de la surface d’attache 62 est au moins cinq fois supérieure à la superficie de la surface de connexion fluidique 63, de préférence au moins dix fois, encore plus préférentiellement au moins vingt fois. Ainsi l’installation 1 met à disposition le plus d’espace possible pour les besoins de l'utilisateur. Selon un mode de réalisation, l’installation 1 comprend des organes 70 de fixation associés, par exemple mécaniquement (attache ou autre), à chaque échangeur 6 et configurés pour établir et maintenir un contact entre un dispositif 7 à refroidir et l’échangeur 6. Les organes 70 de fixation peuvent être situés sur et/ou peuvent être compris dans l’échangeur 6 ; ils peuvent encore être distincts de celui-ci, par exemple une pince ou une structure en étau. Ceci permet d’établir un contact thermique entre le dispositif à refroidir et l’échangeur. De préférence la fixation est amovible et permet de changer et/ou d’extraire le dispositif à refroidir, par exemple en cas de substitution ou maintenance. Selon un mode de réalisation, les organes 70 de fixation comprennent une ou des structures d’accrochage configurées pour coopérer avec des structures conjuguées d’un dispositif 7 à refroidir, pour permettre une fixation amovible du dispositif 7 à refroidir sur l’échangeur 6. La structure d’accrochage peut par exemple être choisie parmi: un taraudage, un filetage, un orifice, une rainure, un plot, un système de pression, une pince grenouille. Lorsque la structure d’accrochage est un filetage ou un taraudage, plusieurs de ceux-ci peuvent être présents. Ils peuvent être organisés en un réseau ou tamis uniforme sur toute ou partie de la surface de travail, par exemple comme représenté aux FIG. 4 et FIG. 5 . Par exemple, une ou plusieurs vis ou tiges filetées 70, ou des solutions équivalentes, peuvent alors être utilisées pour accrocher le dispositif 7. Une structure d’accrochage en étau peut être réalisée en utilisant deux plaques tenues ensemble par une ou plusieurs tiges. Tout autre moyen d’exercer une pression orthogonale à la surface de travail peut être utilisé en tant que structure d’accrochage. La FIG. 6 donne un exemple d’une telle structure. Selon un mode de réalisation, les organes de fixation 70 comprennent au moins un logement 64 creusé dans la surface de travail 61 et configuré pour héberger au moins une partie d’un dispositif 7 à refroidir. Ceci permet d’installer plus facilement le dispositif à refroidir, par exemple en introduisant le dispositif en force ou en le chassant dans le logement. Selon un mode de réalisation, la surface de travail 61 comprend une première partie 611 dotée d’organes de fixation et une deuxième partie 612 dépourvue d’organes de fixation. La deuxième partie 612 est configurée pour être en contact direct avec un dispositif 7 à refroidir lorsque celui-ci est maintenu en contact avec l’échangeur par les organes de fixation. L’épaisseur de la paroi de l’échangeur peut être plus importante au niveau de la première partie 611 qu’au niveau de la deuxième partie 612 de la surface de travail 61. Ceci permet d’améliorer les échanges thermiques à travers la parois plus fine de la partie 612, tout en garantissant une fixation efficace à une parois plus épaisse de la partie 611. Selon un mode de réalisation, le réfrigérateur 5 est configuré pour refroidir le fluide de cycle à l’extérieur de l’enceinte 2 et le circuit 50 de refroidissement est configuré pour amener le fluide de cycle refroidi à l’intérieur de l’enceinte 2 et extraire de l’enceinte 2 le fluide de cycle réchauffé après avoir circulé dans l’échangeur 6. Ceci permet de séparer la production du froid de son utilisation, et d’optimiser l’utilisation du volume interne de l’enceinte. Ceci permet également de réduire ou supprimer les vibrations générées par le réfrigérateur et qui peuvent être transmises via l’échangeur 6 au(x) plateau(x) 3, 4. L’installation est ainsi configurée pour réduire ou supprimer la transmission dans l’enceinte des vibrations générées par le réfrigérateur. Selon un mode de réalisation, le ou les plateaux 3, 4 sont horizontaux en configuration d’utilisation et les échangeurs 6 de chaleur sont fixés sur une face supérieure 31 et/ou sur une face inférieure 32 des plateaux. Ceci permet de maximiser la surface utile pour l’utilisateur de l’installation. Selon un mode de réalisation, comme illustré par exemple en FIG. 3 , un au moins des plateaux 3, 4 peut comprendre un logement 33 destiné à accueillir un échangeur de chaleur 6, de manière à ce que la surface de travail 61 de l’échangeur 6 se trouve au même niveau que la surface 31, 32 du plateau. Comme illustré aux FIG. 3 , FIG. 9 , FIG. 10 , FIG. 12 , FIG. 13 , FIG. 14 , FIG. 15 et FIG. 16 , des filetages ou taraudages 70 peuvent également être prévus sur la surface supérieure 31 ou inférieure 32 des plateaux 3, 4. Ceci permet, le cas échéant, de fixer un dispositif 7 à thermaliser “à cheval” entre l’échangeur 6 et le plateau 3, 4. C’est-à-dire que le dispositif 7 à thermaliser peut être installé de manière à ce qu’une partie soit en contact direct avec l’échangeur 6 alors qu’une autre partie est en contact direct avec le plateau 3, 4. On note que, dans d’autres configurations, le dispositif 7 à thermaliser peut être installé de manière à ce qu’une partie soit en contact direct avec l’échangeur 6 alors qu’une autre partie est en contact direct avec le plateau 3, 4, en prévoyant des structures d’accrochage 70 uniquement au niveau de l’échangeur 6 ou uniquement au niveau du plateau 3, 4. Selon un mode de réalisation, la surface d’attache 62 des échangeurs 6 est sensiblement plane et fixée au plateau 3, 4 correspondant de manière à être en contact direct avec la surface du plateau 3, 4. On réalise ainsi un contact thermique efficace, permettant de transférer au plateau la puissance froide. Dans un mode de réalisation, la surface de travail 61 de l’échangeur 6 comprend un ou plusieurs plans 613, 614 parallèles à la surface d’attache 62 et disposés chacun à une distance respective différente de la surface d’attache 62. Ceci permet d’accueillir des dispositifs 7 à thermaliser qui comportent des parties devant être positionnées à des niveaux différents. Dans un mode de réalisation, la surface de travail 61 de l’échangeur 6 comprend un ou plusieurs plans 615 inclinés par rapport à la surface d’attache 62. Ceci permet d’accueillir des dispositifs 7 à thermaliser qui nécessitent d’être opérés sur une pente ou sur plusieurs pentes. Selon un mode de réalisation, le circuit de refroidissement 50 comprend des conduites 53 comprenant une première portion qui s’étend de la surface de connexion fluidique 63 d’un échangeur 6 selon une direction orthogonale ou oblique par rapport à ladite surface de connexion fluidique 63. Les conduites 53 peuvent comprendre une deuxième portion parallèle à la surface de connexion fluidique 63 de l’échangeur 6, la première et la deuxième portion de conduite étant reliées entre elles par un coude. Ceci assure une distance contrôlée entre la conduite 53 et la surface de travail 61 de l’échangeur 6 et permet d’augmenter la surface disponible pour l’utilisateur de l’installation pour accueillir des dispositifs 7 à refroidir. Il est entendu que des orientations différentes de la conduite 53 pourraient également permettre d’obtenir l’effet d’éloigner la conduite 53 de la surface de l’échangeur 6 et augmenter ainsi la surface de travail disponible pour l’utilisateur. Selon un mode de réalisation, l’installation comprend au moins un écran thermique 9 solidaire de l’un des plateaux 3, 4, l’écran thermique 9 définissant un volume thermalisé à une température prédéterminée. Selon un mode de réalisation, l’installation comprend au moins deux plateaux 3, 4 et le circuit de refroidissement 50 comprend des conduites 51 reliant les échangeurs de chaleur entre eux. Les conduites 51 peuvent être configurées pour alimenter les échangeurs 6 en fluide de cycle cryogénique en série ou en parallèle. Les échangeurs peuvent être situés sur un même plateau 3, 4 ou sur des plateaux différents 3, 4. Selon un mode de réalisation, le circuit de refroidissement 50 comprend des conduites 51, 52 qui traversent au moins un des plateaux 3, 4 ou au moins un des écrans thermiques 9. Les conduites 51, 52 peuvent traverser les plateaux 3, 4 et/ou les écrans 9 par des ouvertures 8 comprenant des contacts ponctuels 80. On limite ainsi les pertes thermiques par conduction. Selon un mode de réalisation, l’installation comprend au moins un réfrigérateur subkelvin 10 solidaire de l’un au moins des plateaux 3, 4. Le réfrigérateur subkelvin peut être un réfrigérateur à dilution, un réfrigérateur Joule-Thomson à Hélium-3 ou à Hélium-4, un réfrigérateur à désaimantation adiabatique, ou tout autre dispositif permettant de produire du froid à une température inférieure à 1 K, de préférence inférieure à 100 mK. Dans le cas d’un réfrigérateur à dilution, celui-ci peut notamment être configuré pour produire de la puissance froide à des températures inférieures à 20 mK, de préférence inférieures à 10 mK. Selon un mode de réalisation, les échangeurs 6 comprennent des raccords fluidiques permettant de les connecter au circuit de refroidissement 50. Les raccords fluidiques sont situés au niveau de la surface de connexion fluidique 63. Les échangeurs 6 peuvent présenter une hauteur relativement plus importante au niveau des raccords fluidiques par rapport à la hauteur des échangeurs au niveau de la surface de travail. C’est-à-dire que la hauteur totale de l’échangeur mesurée sur une droite orthogonale à la surface de connexion fluidique 63 est supérieure à la hauteur totale de l’échangeur mesurée sur une droite orthogonale à une surface de travail 61 adjacente. Ceci permet une meilleure distribution du fluide de cycle et une meilleure homogénéisation de son débit. Selon un mode de réalisation, une section de l’échangeur 6 dans un plan parallèle à la surface d’attache 63 peut présenter une forme rectangulaire, en losange, ronde, elliptique ou polygonale. L’invention concerne également un procédé de refroidissement d’un dispositif 7 à thermaliser. Le procédé utilise une installation selon l’un ou plusieurs des modes de réalisations décrits ci-avant et comprend une étape de fixation d’au moins une partie du dispositif 7 à thermaliser à la surface de travail 61 d’un échangeur 6 de chaleur. Selon un mode de réalisation, le dispositif 7 à thermaliser est fixé “à cheval” entre l’échangeur 6 et le plateau 3, 4. C’est-à-dire que le dispositif 7 à thermaliser est installé de manière à ce qu’une partie soit en contact direct avec l’échangeur 6 alors qu’une autre partie est en contact direct avec le plateau 3, 4. Le dispositif 7 à thermaliser peut en particulier être un dispositif dissipateur de chaleur à évacuer et le procédé permet d’évacuer la puissance dissipée par le dispositif 7 via l’échangeur 6. Par exemple, le dispositif 7 peut être un dispositif électronique tel un amplificateur, un atténuateur, un capteur, ou tout autre circuit électronique ou microélectronique, ou encore une partie d’un câble électrique. Installation de réfrigération cryogénique comprenant un réfrigérateur (5) comprenant un fluide de cycle cryogénique, une enceinte (2) délimitant un volume étanche sous vide, au moins un plateau (3, 4) conducteur thermique et abrité dans l’enceinte (2), au moins un échangeur (6) de chaleur distinct du ou des plateaux et associé à l’un des plateaux (3, 4), l’échangeur (6) ayant un volume délimité par une surface de travail (61), une surface d’attache (62) et une surface de connexion fluidique (63), un circuit (50) de refroidissement assurant une circulation du fluide de cycle à l’intérieur du volume du ou des échangeurs (6) pour un échange thermique du fluide de cycle avec les plateaux (3, 4) via les échangeurs (6), la surface de travail (61) des échangeurs étant configurée pour accueillir au moins une partie d’un dispositif (7) à thermaliser. Installation selon la revendication 1, caractérisée en ce que le circuit de refroidissement (50) comprend un ou plusieurs canaux (56) intégrés dans le volume des échangeurs (6) et configurés pour distribuer le fluide de cycle dans le volume des échangeurs (6). Installation selon l’une quelconque des revendications 1 ou 2, caractérisée en ce que la superficie de la surface de travail (61) est plus grande que la superficie de la surface de connexion fluidique (63), notamment la superficie de la surface de travail (61) est au moins cinq fois supérieure à la superficie de la surface de connexion fluidique (63). Installation selon l’une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisée en ce qu’elle comprend des organes (70) de fixation associés à chaque échangeur (6) et configurés pour établir et maintenir un contact entre un dispositif (7) à refroidir et l’échangeur (6). Installation selon la revendication 4, caractérisée en ce que les organes de fixation comprennent une ou des structures (70) d’accrochage configurées pour coopérer avec des structures conjuguées d’un dispositif (7) à refroidir, pour permettre une fixation amovible du dispositif (7) à refroidir sur l’échangeur (6), la structure (70) d’accrochage étant notamment choisie parmi: un taraudage, un filetage, un orifice, une rainure, un plot, un système de pression, une pince grenouille. Installation selon la revendication 4, caractérisée en ce que les organes de fixation comprennent au moins un logement (64) creusé dans la surface de travail (61) et configuré pour héberger au moins une partie d’un dispositif (7) à refroidir. Installation selon l’une quelconque des revendications 4 à 6, caractérisée en ce que la surface de travail (61) comprend une première partie (611) dotée d’organes de fixation et une deuxième partie (612) dépourvue d’organes de fixation et configurée pour être en contact direct avec un dispositif (7) à refroidir lorsque celui-ci est maintenu en contact avec l’échangeur par les organes de fixation, l’épaisseur de la paroi de l’échangeur étant plus importante au niveau de la première partie qu’au niveau de la deuxième partie. Installation selon l’une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisée en ce que le réfrigérateur (5) est configuré pour refroidir le fluide de cycle à l’extérieur de l’enceinte (2) et le circuit (50) de refroidissement est configuré pour amener le fluide de cycle refroidi à l’intérieur de l’enceinte (2) et extraire de l’enceinte (2) le fluide de cycle réchauffé. Installation selon l’une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisée en ce que le ou les plateaux (3, 4) sont horizontaux en configuration d’utilisation et les échangeurs (6) de chaleur sont fixés sur la face supérieure (31) et/ou sur la face inférieure (32) des plateaux. Installation selon l’une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisée en ce que la surface d’attache (62) des échangeurs (6) est sensiblement plane et fixée au plateau (3, 4) correspondant de manière à être en contact direct avec la surface du plateau (3, 4). Installation selon la revendication 10, caractérisée en ce que la surface de travail (61) de l’échangeur (6) comprend un ou plusieurs plans (613, 614) parallèles à la surface d’attache (62) et disposés chacun à une distance respective différente de la surface d’attache (62). Installation selon la revendication 10, caractérisée en ce que la surface de travail (61) de l’échangeur (6) comprend un ou plusieurs plans (615) incliné(s) par rapport à la surface d’attache (62). Installation selon l’une quelconque des revendications 1 à 12, caractérisée en ce que le circuit de refroidissement (50) comprend des conduites (53) comprenant une première portion qui s’étend de la surface de connexion fluidique (63) d’un échangeur (6) selon une direction orthogonale ou oblique par rapport à ladite surface (63). Installation selon la revendication 13, caractérisée en ce que les conduites (53) comprennent une deuxième portion parallèle à la surface de connexion fluidique (63) de l’échangeur (6), la première et la deuxième portion de conduite étant reliées entre elles par un coude. Installation selon l’une quelconque des revendications 1 à 14, caractérisée en ce qu’elle comprend au moins un écran thermique (9) solidaire de l’un des plateaux, l’écran thermique (9) définissant un volume thermalisé à une température prédéterminée. Installation selon l’une quelconque des revendications 1 à 15, caractérisée en ce qu’eIle comprend au moins deux plateaux (3, 4) et en ce que le circuit de refroidissement (50) comprend des conduites (51) reliant les échangeurs de chaleur entre eux, les conduites (51) étant configurées pour alimenter les échangeurs (6) en fluide de cycle cryogénique en série ou en parallèle. Installation selon l’une quelconque des revendications 15 ou 16, caractérisée en ce que le circuit de refroidissement (50) comprend des conduites (51, 52) qui traversent au moins un des plateaux (3, 4) ou au moins un des écrans thermiques (9), notamment par des ouvertures (8) comprenant des contacts ponctuels (80). Installation selon l’une quelconque des revendications 1 à 16, caractérisée en ce qu’elle comprend au moins un réfrigérateur subkelvin (10), notamment un réfrigérateur à dilution, solidaire de l’un au moins des plateaux. Procédé de refroidissement d’un dispositif (7) dissipateur de chaleur à évacuer, le procédé utilisant une installation selon l’une quelconque des revendications 1 à 18, et comprenant une étape de fixation d’au moins une partie du dispositif (7) dissipateur de puissance à la surface de travail (61) d’un échangeur (6) de chaleur afin d’évacuer la puissance dissipée par le dispositif (7) via l’échangeur (6).