Brevet FR3157535A1 — publié le 20250627

Selon un aspect, la présente description a pour objet une cellule de mesure (110) comprenant une partie fixe (112), un résonateur (114) comprenant un axe longitudinal (Δ) et une partie massive mobile (116) comprenant une face d’exposition (117) au flux de particules. La partie massive est mobile par rapport à la partie fixe selon un unique axe de rotation (Ox) perpendiculaire à un plan formé par l’axe longitudinal du premier résonateur et une direction normale à la face d’exposition. Le premier résonateur a une première extrémité solidaire de ladite partie fixe et une deuxième extrémité solidaire de ladite partie massive mobile. L’axe de rotation et l’axe longitudinal du résonateur sont distants dans la direction normale à la face d’exposition d’une distance prédéterminée (d p ) non nulle. Une première distance (h) entre l’axe de rotation et un centre de masse (Cm) de la partie massive mobile est strictement inférieure à une deuxième distance (p) entre l’axe de rotation et un centre de pression (Cp) de la face d’exposition. FIG. 2A Cellule de mesure pour la mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules La présente description concerne une cellule de mesure pour la force surfacique exercée par un flux de particules, neutres et/ou chargées. De plus, la présente description concerne un dispositif de mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules comprenant une telle cellule de mesure et un procédé de mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules utilisant un tel dispositif. La présente description concerne notamment la mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules en environnement raréfié, par exemple la qualification des propulseurs de satellites au sol en environnement raréfié (faible pression), notamment la qualification des propulseurs électriques et à gaz froid. Etat de la technique La mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules, neutres et/ou chargées, notamment en environnement raréfié, trouve des applications, par exemple, et de façon non limitative, dans la qualification de propulseurs de satellites ou dans la mesure de la pression d’un plasma dans un tokamak pour l’exploration de la physique des plasmas. Par environnement raréfié, on comprend le vide ou un environnement au sein d’une enceinte, par exemple l’intérieur d’un caisson, dans laquelle le libre parcourt moyen des particules est supérieur aux dimensions de l’enceinte. En particulier, un problème difficile associé à la propulsion des satellites est la qualification puis la validation des performances au sol des propulseurs. Les paramètres que l’on cherche à qualifier comprennent notamment le niveau de poussée (magnitude en Newton (N) de la force exercée par le flux de particules éjectées par le propulseur), l'impulsion spécifique (en secondes (s)) et l'efficacité du propulseur définie par une figure de mérite qui compare l’énergie cinétique du flux de particules et l’énergie injectée dans le propulseur. On s’intéresse dans la présente description à la mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules, par exemple pour une qualification au sol mais également en orbite dans le cas de propulseurs de satellites. Dans le cas par exemple de la propulsion électrique, l'énergie électrique est utilisée pour ioniser les atomes de la masse propulsive et éjecter les particules (gaz ionisé) jusqu'à leur vitesse d'éjection. On s’intéresse ainsi dans cet exemple à la mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules chargées. Dans l’exemple d’un propulseur à gaz froid qui utilise un gaz stocké sous haute pression qui est libéré dans une tuyère, laquelle permet d'orienter la poussée exercée, on cherche à mesurer la force surfacique exercée par un flux de particules neutres. La mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules dans un environnement raréfié requiert une résolution élevée, c’est-à-dire une valeur minimale de force surfacique que l’on peut mesurer la plus faible possible, et ce sur de grandes plages de mesure. Par exemple, on cherchera une résolution meilleure que 10 -7 Pa, soit 10 -5 µN.cm -2 , c’est-à-dire une valeur minimale de force surfacique que l’on peut mesurer inférieure à 10 -7 Pa, soit 10 -5 µN.cm -2 , sur des plages de mesures comprises par exemple entre 10 - 7 Pa et 10 2 Pa. Il est connu d’utiliser, en particulier pour la qualification des propulseurs électriques de satellites au sol, des balances de poussée (ou pendules) dans des caissons sous vide. De telles balances de poussée sont décrites par exemple dans Packan et al. [Réf.1]. Le pendule est fixé d’un côté au caisson et supporte le propulseur à l’autre extrémité. Il est possible de déterminer la force surfacique de manière indirecte en mesurant la déflexion du pendule. Néanmoins, de telles balances de poussées sont encombrantes et requièrent la gravité pour fonctionner, ce qui ne permet pas par exemple une utilisation en orbite. Plus récemment, des études ont été menées sur le développement de sondes de mesure par impact du plasma sur une cible. Le déplacement de cette cible ou les contraintes subies par celle-ci permet de connaître la force surfacique du jet. Une telle mesure est intrusive en ce qu’elle peut modifier les propriétés du jet de particules. Il y a donc un besoin pour une sonde d’envergure limitée et cependant capable d’effectuer des mesures de force surfacique sur des étendues de mesure allant de 10 -7 Pa à 10 2 Pa environ. Dans l’article de Chavers et al. [Réf. 2], est décrite une cible conçue pour la mesure de poussée d’un propulseur électrique de forte puissance. Plus précisément, le dispositif de mesure comprend une cible de 5 cm de diamètre maintenue par un bras de 22.8 cm de long, le bras étant retenu par une poutre en titane sur laquelle sont fixées des jauges de déformations. Lorsque le plasma impacte la cible, le bras transmet l’effort à la poutre en titane qui se déforme. Les jauges de déformation mesurent la déformation de la poutre à partir de laquelle on peut déterminer la poussée du plasma. Ce dispositif a cependant pour désavantage d’avoir une sensibilité proportionnelle à la longueur du bras. De ce fait, le dispositif est relativement grand, ce qui, en plus de l’encombrement, peut induire des modifications du comportement du plasma. Le système nécessite aussi la gravité pour fonctionner. Il ne peut donc être installé qu’en étant suspendu au plafond d’un caisson de mesure. Le dispositif décrit dans Trottenberg et al. [Réf. 3] a également pour objectif de mesurer la poussée d’un propulseur. Le dispositif comprend une cible de 20 mm de diamètre maintenue au bout d’un bras de 11 cm équilibré avec un poids. Lorsque le plasma impacte la cible, celle-ci est déplacée. Un galvanomètre actif compense cette force pour remettre le pendule à sa position initiale. Plus petit qu’un pendule ou que la cible décrite dans [Réf. 2], les dimensions du dispositif décrit dans [Réf. 3] restent néanmoins importantes et le dispositif présente les désavantages du pendule dans lequel d’une part, une sensibilité est proportionnelle à la longueur du bras, d’autre part, le système nécessite la gravité pour fonctionner. Dans ce contexte, la présente description décrit des cellules de mesure adaptées à la mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules neutres et/ou chargées, compactes, et qui ne nécessitent pas la gravité pour fonctionner. Dans la présente description, le terme « comprendre » signifie la même chose que « inclure » ou « contenir », et est inclusif ou ouvert et n’exclut pas d’autres éléments non décrits ou représentés. En outre, dans la présente description, le terme « environ » ou « sensiblement » est synonyme de (signifie la même chose que) présente une marge de 10%, par exemple 5%, en dessous et/ou au-dessus de la valeur respective. Selon un premier aspect, la présente description concerne une cellule de mesure pour la mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules comprenant : - une partie fixe configurée pour être reliée mécaniquement et électriquement à un support ; - au moins un premier résonateur comprenant un axe longitudinal, ledit premier résonateur ayant une première extrémité solidaire de ladite partie fixe ; - une partie massive mobile comprenant une face d’exposition au flux de particules, ladite partie massive étant telle que : - ladite partie massive est mobile par rapport à la partie fixe selon un unique axe de rotation perpendiculaire à un plan formé par l’axe longitudinal du premier résonateur et une direction normale à la face d’exposition ; - l’axe de rotation et l’axe longitudinal du premier résonateur sont distants dans la direction normale à la face d’exposition d’une distance prédéterminée non nulle ; - le premier résonateur a une deuxième extrémité solidaire de ladite partie massive mobile ;et - une première distance entre l’axe de rotation et un centre de masse de la partie massive mobile est strictement inférieure à une deuxième distance entre l’axe de rotation et un centre de pression de la face d’exposition, la première distance et la deuxième distance étant des distances projetées sur un plan parallèle à la face d’exposition. Le centre de masse de la partie massive mobile est également appelé centre d’inertie. Dans le cas où la partie massive mobile est homogène en masse (tous les points ont la même pondération), le centre de masse est confondu avec le barycentre de la partie massive mobile. Le centre de pression de la face d’exposition de la partie massive mobile est le centre d’application de la résultante des forces de pression due au flux de particules, c’est-à-dire le point de la face d’exposition à l’endroit duquel, en opération, le moment des forces de pression du flux s’annule. En pratique, dans l’approximation d’un flux de particules uniforme incident sur la face d’exposition de la partie massive mobile, le centre de pression est sensiblement confondu avec le centre géométrique, ou barycentre, de la face d’exposition. Une cellule de mesure selon le premier aspect permet une mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules exercée sur la partie massive mobile, également appelée « masse d’épreuve » dans la présente description. Plus précisément, une mesure de la force exercée par le flux de particules peut être obtenue par une mesure d’une modification de la fréquence de résonance du résonateur fixé entre la partie fixe et la masse d’épreuve lorsque le premier résonateur est excité à une fréquence de résonance initiale. La masse d’épreuve subit la force exercée par le flux de particules, ce qui entraîne, grâce à l’agencement original de la cellule de mesure selon le premier aspect, l’application d’une compression ou d’une traction sur le résonateur et en conséquence, une modification de la fréquence de résonance. Une telle cellule de mesure est avantageuse comparé aux dispositifs de mesure de l’état de l’art, non seulement car son encombrement est réduit, mais aussi parce que la mesure est faite sans besoin de la gravité. En conséquence, dans le cas de l’application à un propulseur de satellite par exemple, cela permet des mesures de la force exercée par le flux de particules éjectées par le propulseur, même lorsque le satellite est en orbite. Du fait que la première distance entre l’axe de rotation et le centre de masse de la partie massive mobile est strictement inférieure à la deuxième distance entre l’axe de rotation et le centre de pression de la face d’exposition, la mesure est peu sensible aux effets de l’accélération. En effet, dans une telle configuration, la contribution de la poussée est supérieure à celle de l’accélération. Dans des exemples de réalisation préférées, le rapport entre ladite première distance et ladite deuxième distance est inférieur à environ 0,1, avantageusement inférieur à environ 0,01. La déposante a montré que plus le rapport entre la première distance et la deuxième distance est faible, et moins le dispositif est sensible aux effets de l’accélération. Il en résulte une mesure avec une très bonne résolution. Dans des exemples de réalisation, la première distance est sensiblement nulle, c’est à dire que le centre de masse de la partie massive mobile appartient à un plan défini par l’axe de rotation de la partie massive mobile et par la direction normale à la face d’exposition. Cette condition permet de s’affranchir des effets de l’accélération dans la direction perpendiculaire à la face d’exposition, et d’améliorer encore la résolution. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, un rapport entre une troisième distance, définie entre l’axe de rotation et le centre de masse de la partie massive mobile, et une quatrième distance, définie entre l’axe de rotation et l’axe du premier résonateur, est strictement inférieur à 1, avantageusement strictement inférieur à environ 0,1, la troisième distance et la quatrième distance étant des distances projetées sur un plan perpendiculaire à la face d’exposition. Cette condition permet de s’affranchir des effets de l’accélération dans la direction parallèle à l’axe longitudinal du résonateur. Là encore, la résolution est améliorée. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, la cellule de mesure est monolithique, ou monobloc, c’est-à-dire que l’ensemble comprenant partie fixe, partie massive mobile et résonateur est fait en une seule pièce. Par exemple, la cellule de mesure est faite à partir d’un bloc de quartz. D’autres matériaux peuvent être envisagés pour la fabrication de la cellule de mesure, comme par exemple le silicium, le cristal de langatate (LGT), le cristal de phosphate de gallium (GaPO 4 ), ou plus généralement tout autre matériau piézoélectrique : cristaux piézoélectriques ferroélectriques (LBO, LNO, LTO), oxyde de zinc (ZnO), nitrure de gallium (GaN), arsenic de gallium (GaAs), etc. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, la cellule de mesure comprend deux charnières comprenant un axe de rotation commun, ledit axe de rotation commun formant l’unique axe de rotation de ladite partie massive mobile. Deux charnières permettent de s’assurer d’avoir un seul pivot autour d’un seul axe et de limiter ainsi les effets qui pourraient résulter de rotations selon d’autres axes et affecter la mesure. On cherchera une distance suffisante entre les deux charnières, par exemple une distance comprise entre environ 2 mm et environ 5 mm. Dans des exemples de réalisation, une projection de l’axe du premier résonateur dans un plan parallèle à la face d’exposition et comprenant ledit axe de rotation commun coupe ledit axe de rotation commun en un point situé entre les deux charnières, avantageusement en un point milieu situé sensiblement à mi-distance entre les deux charnières. Une telle configuration permet de s’affranchir des effets de rotations éventuelles autour d’un axe perpendiculaire à la face d’exposition. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, une cinquième distance, définie entre une projection du centre de masse de la partie massive mobile sur ledit axe de rotation commun et ledit point milieu, est strictement inférieure à une sixième distance, définie entre ledit point milieu et chacune des charnières. Plus le rapport entre ladite cinquième distance et ladite sixième distance est faible devant 1, plus la mesure s’affranchit des effets de rotations éventuelles autour d’un axe perpendiculaire à la face d’exposition, même en présence de deux charnières. La cellule obtenue est plus robuste. Il en résulte une meilleure résolution. Dans des exemples de réalisation préférés, la cinquième distance est sensiblement nulle et la projection du centre de masse de la partie massive mobile sur ledit axe de rotation commun est sensiblement confondu avec ledit point milieu. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, la partie massive mobile comprend une cible formant la surface d’exposition et deux ailes, ladite cible étant reliée aux deux ailes, aux deux charnières et à la deuxième extrémité du premier résonateur. Un tel agencement de la cellule de mesure permet, grâce à la présence des deux ailes, de décaler le centre de masse vers l’axe de rotation, ce qui permet de limiter les effets de l’accélération suivant une direction perpendiculaire à la face d’exposition. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, la partie massive mobile comprend deux bras permettant de relier ladite cible à chacune des deux ailes, les bras définissant une ouverture. Une telle ouverture permet de limiter l’impact des particules à proximité ou sur le résonateur, ce qui peut, en fonctionnement et dans le cas de particules chargées, perturber la mesure. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, la partie fixe comprend un cadre de découplage et un cadre externe configuré pour être relié au support, ledit cadre de découplage présentant une forme de diapason reliée d’une part au cadre externe, et d’autre part aux deux dites charnières et à la première extrémité du premier résonateur. Un tel agencement est avantageux en ce qu’il peut permettre de limiter les effets résultant de contraintes thermiques ou de vibrations externes sur le résonateur. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, le premier résonateur comporte au moins une poutre vibrante, par exemple une poutre vibrante en mode de flexion. Dans des exemples de réalisation, le premier résonateur comprend deux poutres vibrantes agencées en parallèle pour former un double diapason, chacune des poutres étant reliée à ses extrémités respectivement à un même premier pédoncule et à un même deuxième pédoncule, le premier pédoncule et le deuxième pédoncule formant respectivement la première extrémité et la deuxième extrémité du résonateur. Un double diapason peut permettre d’obtenir une meilleure résolution. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, une partie au moins de la partie massive mobile comporte un revêtement en matériau conducteur d’électricité. Le revêtement en matériau conducteur d’électricité est par exemple en métal ou en graphite. Dans le cas d’un métal, le revêtement peut être obtenu par métallisation. Dans le cas du graphite, le revêtement peut être obtenu par dépôt CVD ou PVD (acronymes anglais de respectivement « chemical vapor deposition » et « physical vapor deposition »). La métallisation ou le dépôt de graphite peut comprendre un revêtement métallique ou de graphite de tout ou partie de la surface de la partie massive mobile. Dans d’autres exemples de réalisation, la cellule de mesure peut comprendre une plaque de métal agencée sur une partie de la partie massive mobile afin d’obtenir la métallisation. Le métal peut comprendre l’un des métaux suivant (ou un alliage de ces métaux) : titane, tantale. Dans le cas d’un flux de particules chargées (propulseur électrique ou tokamak par exemple), recouvrir d’un revêtement en matériau conducteur d’électricité au moins partiellement la partie massive mobile peut faciliter la collection des charges. Recouvrir d’un revêtement en matériau conducteur d’électricité au moins partiellement la partie massive mobile peut permettre également d’augmenter la conductivité thermique, et de ce fait protéger le résonateur grâce à la limitation d’éventuels gradients thermiques. De manière générale, recouvrir d’un revêtement en matériau conducteur d’électricité au moins partiellement la partie massive mobile, notamment un revêtement en métal ou en graphite, peut permettre d’en limiter l’érosion et par conséquent d’augmenter la durée de vie de la cellule de mesure. Selon un deuxième aspect, la présente description concerne un dispositif de mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules, comprenant : - un support; - au moins une première cellule de mesure selon le premier aspect, ladite partie fixe étant reliée mécaniquement et électriquement audit support ; - un circuit électronique configuré pour exciter le premier résonateur de ladite au moins une première cellule de mesure à une fréquence de résonance initiale et mesurer, lorsque le dispositif est soumis au flux de particules, une fréquence de résonance de mesure ; - une unité de traitement configurée pour déterminer, à partir d’une différence entre la fréquence de résonance de mesure et la fréquence de résonance initiale, la force surfacique exercée par le flux de particules. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, le dispositif selon le deuxième aspect comprend une deuxième cellule de mesure, permettant de faire des mesures différentielles et de gagner en résolution. La deuxième cellule est par exemple sensiblement similaire à la première cellule de mesure et comprend par exemple une partie fixe reliée mécaniquement au support, un résonateur et une partie massive mobile. La partie fixe, le résonateur et la partie massive mobile de la deuxième cellule de mesure sont sensiblement identiques respectivement à la partie fixe, au résonateur et à la partie massive mobile de la première cellule de mesure. Cependant, les positions du résonateur et de l’axe de rotation selon la direction normale à la face d’exposition sont inversées entre la première cellule de mesure et la deuxième cellule de mesure, de telle sorte que lorsque la face d’exposition de chacune des cellules de mesure est exposée au flux de particules, un résonateur subit une compression tandis que l’autre résonateur subit une extension. L’unité de traitement est alors par exemple configurée pour déterminer en outre une différence entre la fréquence de résonance de mesure mesurée au moyen de la première cellule de mesure et la fréquence de résonance de mesure mesurée au moyen de la deuxième cellule de mesure pour déterminer la force surfacique exercée par le flux de particules. Une telle mesure différentielle permet de s’affranchir de termes quadratiques dans la dépendance de la fréquence de résonance du résonateur avec la force surfacique exercée par le flux de particules. Une telle mesure différentielle permet également de s’affranchir d’une éventuelle dérive thermique ainsi que d’un éventuel effet de l’accélération selon un axe perpendiculaire à un plan comprenant la normale à la face d’exposition et l’axe de rotation de la partie massive mobile. Une telle mesure différentielle peut être réalisée également avec une unique de cellule de mesure comprenant deux résonateurs. Ainsi, dans des exemples de réalisation, la cellule de mesure comprend un deuxième résonateur, sensiblement identique au premier résonateur. Les projections du premier résonateur et du deuxième résonateur dans un plan perpendiculaire à l’axe de rotation se situent de part et d’autre d’une projection dudit axe de rotation sur ledit plan, de telle sorte que lorsque la face d’exposition est exposée au flux de particules, un résonateur subit une compression tandis que l’autre résonateur subit une extension. Là encore, avec un tel agencement, il est possible de faire une mesure différentielle qui permettra d’annuler les perturbations communes aux deux cellules, telles que la dérive induite par les flux thermiques ou les vibrations. La description concerne selon un troisième aspect un satellite comprenant un propulseur avec des moyens d’éjection d’un flux de particules neutres et/ou chargées et un dispositif de mesure de la force exercée par ledit flux de particules selon le deuxième aspect, le support du dispositif de mesure étant relié mécaniquement et électriquement à un corps du stellite au moyen d’un bras. La description concerne selon un quatrième aspect une enceinte avec environnement raréfié configurée pour la qualification d’un flux de particules neutres et/ou chargées. L’enceinte comprend un dispositif de mesure de la force exercée par un flux de particules selon le deuxième aspect, le support du dispositif de mesure étant relié mécaniquement et électriquement à un corps de l’enceinte, par exemple au moyen d’un bras, le dispositif de mesure étant configuré pour mesurer le flux de particules. Par exemple, l’enceinte est un caisson avec environnement raréfié configuré pour la qualification d’un propulseur de satellite comprenant des moyens d’éjection d’un flux de particules neutres et/ou chargées. Le dispositif de mesure est alors configuré pour mesurer le flux de particules éjecté par le propulseur. La description concerne selon un cinquième aspect un procédé de mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules au moyen d’un dispositif selon le deuxième aspect. Dans des exemples de réalisation, le procédé comprend : - une excitation du premier résonateur et une mesure d’une fréquence de résonance initiale du résonateur, sans flux de particules ; - la réception du flux de particules par la face d’exposition de la cellule de mesure et la mesure d’une fréquence de résonance de mesure du résonateur résultant de la force appliquée par le flux de particules sur ladite face d’exposition ; - la détermination, à partir d’une différence entre la fréquence de résonance de mesure et la fréquence de résonance initiale, de la force surfacique du flux de particules. Par exemple, le procédé selon le cinquième aspect permet la mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules éjectées par un propulseur de satellite. La mesure de la fréquence de résonance initiale du résonateur est faite par exemple lorsque le propulseur est éteint puis le propulseur est allumé pour la mesure de la fréquence de résonance de mesure du résonateur résultant de la force appliquée par le flux de particules éjectées par le propulseur, sur la face d’exposition de la cellule de mesure. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, la mesure de la force surfacique exercée par ledit flux de particules est réalisée lorsque le propulseur est sur un satellite en orbite. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, la mesure de la force surfacique exercée par ledit flux de particules est réalisée lorsque le propulseur est dans une enceinte avec environnement raréfié au sol, par exemple un caisson sous vide. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, le procédé de mesure comprend; - l’application successive de plusieurs différences de potentiel entre une région comportant un revêtement en matériau conducteur d’électricité de la partie massive mobile et une plaque métallique en regard, l’application de chaque différence de potentiel résultant en une force électrostatique appliquée sur la partie massive mobile ; - pour chaque différence de potentiel, la mesure d’une fréquence de résonance de mesure résultant de ladite force électrostatique et la détermination de la différence entre la fréquence de résonance de mesure et la fréquence de résonance initiale. Ces étapes permettent une calibration du dispositif de mesure. On peut alors connaître la force électrostatique appliquée en fonction de la tension. Connaissant la fréquence de résonance de mesure (puisque mesurée), on obtient la courbe de calibration de la différence entre la fréquence de résonance de mesure et la fréquence de résonance initiale en fonction de la force appliquée sur la partie massive mobile. Brève description des figures D’autres avantages et caractéristiques de l’invention apparaîtront à la lecture de la description, illustrée par les figures suivantes : FIG. 1 , représente un schéma d’un dispositif de mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules, selon un exemple de réalisation ; FIG. 2 , représente un schéma d’une cellule de mesure selon un exemple de réalisation, selon une première vue ; FIG. 2 , représente un schéma de la cellule de mesure illustrée sur la FIG. 2 , selon une deuxième vue ; FIG. 3 , représente un schéma d’un résonateur d’une cellule de mesure, selon un exemple de réalisation, le résonateur étant formé d’une poutre en traction ; FIG. 3 , représente un schéma d’un agencement d’un résonateur tel qu’illustré sur la FIG. 3 , selon un exemple de réalisation ; FIG. 3 , représente un schéma d’un résonateur d’une cellule de mesure, selon un autre exemple de réalisation, le résonateur étant formé d’une double poutre en traction ; FIG. 4 , représente un schéma d’un dispositif de mesure selon un exemple de réalisation, le dispositif comprenant deux cellules de mesure agencées pour une mesure différentielle ; FIG. 4 , représente un schéma d’un exemple de cellule de mesure dans un dispositif selon la présente description, la cellule de mesure comprenant deux résonateurs agencés pour une mesure différentielle ; FIG. 5 , représente un schéma d’une cellule de mesure, ainsi qu’un dispositif pour la calibration de la cellule, selon un exemple de réalisation ; FIG. 6 , représente un schéma d’une cellule de mesure monolithique selon un exemple de réalisation, selon une première vue ; FIG. 6 , représente un schéma de la cellule de mesure illustrée sur la FIG. 6 , selon une deuxième vue ; FIG. 6 , représente un schéma de la cellule de mesure illustrée sur la FIG. 6 , selon une troisième vue ; FIG. 7 , représente un schéma d’une cellule de mesure monolithique telle qu’illustrée sur la FIG. 6 , agencée sur un support, selon un exemple de réalisation et selon une première vue ; FIG. 7 représente un schéma de la cellule de mesure illustrée sur la FIG. 7 , selon une deuxième vue. FIG. 8 représente un schéma d’un satellite équipé d’un dispositif de mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules selon la présente description, configuré pour la mesure de la force surfacique exercée par le flux de particules éjecté par le propulseur du satellite. FIG. 9 représente un schéma d’une enceinte pour la qualification au sol d’un propulseur de satellite, au moyen d’un dispositif de mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules selon la présente description. Les figures annexées sont schématiques et ne sont pas nécessairement à l'échelle, elles visent avant tout à illustrer les principes de l'invention. D’une figure (fig.) à l'autre, des éléments (ou parties d'élément) identiques sont repérés, quand cela est possible, par les mêmes signes de référence. Description détaillée de l’invention La FIG. 1 représente un schéma d’un dispositif de mesure 100 de la force surfacique exercée par un flux de particules 10, selon un exemple de réalisation. Le dispositif de mesure 100 comprend dans cet exemple une cellule de mesure 110 fixée sur un support (non représenté). La cellule de mesure comprend notamment un résonateur 114 et une partie massive mobile 116, également appelée masse d’épreuve dans la présente description, qui seront décrits plus en détails par la suite. La masse d’épreuve 116 comprend une face d’exposition 117 au flux de particules et est mobile autour d’un unique axe de rotation (non représenté sur la FIG. 1 ). Un circuit électronique 120 est configuré pour exciter le résonateur à une fréquence de résonance f r0 initiale. La masse d’épreuve et le résonateur sont agencés de telle sorte qu’en opération, lorsque le dispositif subit une force surfacique F p exercée par un flux de particules 10 incident sur la face d’exposition 117, la masse d’épreuve subit une rotation qui entraîne une force de traction T (ou une compression) sur le résonateur. Il s’ensuit une modification de la fréquence de résonance du résonateur. Le circuit électronique 120 mesure alors la fréquence de résonance modifiée du résonateur, appelée fréquence de résonance de mesure et notée f m dans la présente description. Le dispositif de mesure 100 comprend en outre une unité de traitement 130 configurée pour déterminer, à partir de la différence entre la fréquence de résonance de mesure et la fréquence de résonance initiale, le module F p de la force surfacique F p exercée par le flux de particules. Le circuit électronique 120 comprend par exemple et de manière connue un oscillateur électronique 122 configuré pour appliquer sur des électrodes de couplage (non représentées) agencées sur le résonateur, une tension V f de nature à exciter le résonateur à la fréquence de résonance initiale f r0 . Le résonateur est par exemple une poutre vibrante en traction excitée mécaniquement par effet piézoélectrique, comme cela sera décrit plus en détails par la suite. Le circuit électronique 120 comprend également un amplificateur 124 configuré pour augmenter la puissance du signal électrique généré par la poutre vibrante et un fréquencemètre 126 permettant la mesure de la fréquence du signal amplifié. L’unité de traitement 130 peut comprendre une ou plusieurs entités physiques, et se trouver rassembler dans un ou plusieurs ordinateurs. Lorsque dans la présente description, il est fait référence à des étapes de calcul ou traitement pour la mise en œuvre notamment d’étapes de procédés, il est entendu que chaque étape de calcul ou traitement peut être mis en œuvre par logiciel, hardware, firmware, microcode ou toute combinaison appropriée de ces technologies. Lorsqu’un logiciel est utilisé, chaque étape de calcul ou traitement peut être mise en œuvre par des instructions de programme d’ordinateur ou du code logiciel. Ces instructions peuvent être stockées ou transmises vers un support de stockage lisible par l’unité de traitement et/ou être exécutées par l’unité de traitement afin de mettre en œuvre ces étapes de calcul ou traitement. La FIG. 2 et la FIG. 2 représentent deux vues d’un exemple d’une cellule de mesure 110 d’un dispositif de mesure selon la présente description. La cellule est illustrée de façon schématique pour en expliquer le fonctionnement. La cellule de mesure 110 comprend une partie fixe 112 reliée mécaniquement à un support du dispositif (non représenté sur les figures). La cellule de mesure comprend en outre au moins un premier résonateur 114 comprenant un axe longitudinal Δ et une partie massive mobile 116, ou masse d’épreuve. Le premier résonateur 114 a une première extrémité solidaire de la partie fixe 112 et une deuxième extrémité solidaire de la partie massive mobile (point B). La partie massive mobile 116 comprend une face d’exposition 117 au flux de particules. La partie massive mobile 116 est mobile par rapport à la partie fixe 112 selon un unique axe de rotation Ox perpendiculaire à un plan formé par l’axe longitudinal Δ du premier résonateur et une direction n normale à la face d’exposition 117. Comme illustré sur la FIG. 2 , l’axe de rotation Ox et l’axe longitudinal Δ du premier résonateur 114 sont distants dans la direction n normale à la face d’exposition d’une distance prédéterminée d p non nulle. Comme illustré sur la FIG. 2 , la cellule de mesure peut comprendre deux charnières 118 comprenant un axe de rotation commun, ledit axe de rotation commun formant l’unique axe de rotation Ox de ladite partie massive mobile. Ainsi, la masse d’épreuve est reliée à la partie fixe par les deux charnières. Cette configuration ne laisse comme seul degré de liberté à la masse d’épreuve 116 qu’une rotation autour de l’axe de rotation commun Ox. Ainsi, l’effort normal à la surface d’exposition 117 de la masse d’épreuve exercé par le flux de particules est transmis au résonateur 114. Dans l’exemple de la FIG. 2 , le résonateur 114 est agencé en face avant de la cellule de mesure (sensiblement dans le plan de la surface d’exposition) tandis que la masse d’épreuve est reliée à la partie fixe par les deux charnières agencées en face arrière (sensiblement dans un plan de la face opposée à la surface d’exposition). Il en résulte une force de traction T appliquée au résonateur, tandis que la masse d’épreuve subit une force de traction - T appliquée au point B. Dans d’autres exemples de réalisation, le résonateur 114 peut être agencé en face arrière de la cellule de mesure (face opposée à la surface d’exposition) tandis que la masse d’épreuve est reliée à la partie fixe par les deux charnières agencées en face avant (surface d’exposition). Il en résultera une force de compression appliquée au résonateur. Avantageusement, une projection de l’axe Δ du premier résonateur dans un plan parallèle à la face d’exposition et comprenant ledit axe de rotation commun Ox coupe ledit axe de rotation commun en un point milieu O situé sensiblement à mi-distance entre les deux charnières (voir FIG. 2 ). Cet agencement permet de s’affranchir d’effets résultant de rotations éventuelles suivant un axe orthogonal à la face d’exposition (axe Oz). Le résonateur 114 est par exemple une poutre vibrante travaillant en flexion, dans un plan parallèle à la face d’exposition. Des électrodes disposées sur la poutre permettent de façon connue de coupler le résonateur au circuit électrique oscillant 120 ( FIG. 1 ) et d’exciter mécaniquement la poutre (par effet piézoélectrique) à sa fréquence de résonance. La poutre vibrante est par exemple excitée dans un mode fondamental de flexion, c’est-à-dire qu’elle vibre dans le plan de la cellule (plan xOy). Des résonateurs sont décrits plus en détails ci-dessous en référence aux FIG. 3 à FIG. 3 . Les dimensions du résonateur déterminent sa fréquence de vibration propre. La fréquence de vibration propre peut varier selon les efforts de compression ou d’extension (traction) s’exerçant longitudinalement sur le résonateur. Le circuit électronique est configuré pour déterminer la fréquence de vibration de la poutre vibrante lorsqu’elle est soumise à de tels efforts. A partir de la mesure de la variation de la fréquence de vibration, on peut quantifier la force exercée par le flux de particules comme cela est décrit ci-après. Par convention, les notations en gras dans la présente description représentent des vecteurs. L’impact du flux de particules (10, FIG. 1 ) sur la face d’exposition 117 de la masse d’épreuve 116 crée un moment par rapport à l’axe Ox. Le moment est fonction de la distance p entre le centre d’application Cp de la résultante des forces de pression due au flux de particules (ou centre de pression) et l’axe Ox, la distance p étant une distance projetée sur un plan parallèle à la face d’exposition. En pratique, le centre de pression Cp peut être sensiblement confondu avec le centre géométrique, ou barycentre, de la face d’exposition 117. Comme illustré sur la Fig. 2A, la force (en Newton) exercée par le flux de particules est exercée au centre de pression Cp à une distance du centre O, où d p est la distance entre l’axe de rotation Ox et l’axe Δ du premier résonateur 114, ladite distance étant une distance projetée sur un plan Oxz perpendiculaire à la face d’exposition 117. Le moment de la force appliquée en Cp, par rapport à l’axe Ox, vaut ainsi : Il existe aussi un moment de la force de traction - T appliquée au point B par le résonateur à la masse d’épreuve, par rapport à l’axe Ox : Dans une approximation quasi statique, la somme des moments des forces appliquées à la masse d’épreuve par rapport à l’axe Ox est nulle : On note le facteur d’amplification. De façon plus générale, comme cela sera décrit plus en détails par la suite, la masse d’épreuve peut être soumise également à des accélérations suivant les axes y et z, liées à des vibrations. On pourra optimiser la géométrie de la cellule de mesure pour en réduire les effets. L’effort en extension sur le résonateur modifie sa fréquence de vibration tel que : Où P est la poussée (ou force surfacique F p /A, où A est la surface de la face d’exposition), est la fréquence de vibration du résonateur lorsqu’une force de pression est exercée par le flux de particules sur la masse d’épreuve, est la fréquence de vibration du résonateur sans contraintes, est la sensibilité linéaire à la pression et est la sensibilité quadratique. Cette équation ne prend pas en compte les variations de fréquence non linéaires au-delà de l’ordre 2 supposées négligeables. Le dernier terme représente la variation de fréquence due à d’éventuelles perturbations. En effet, lors de la mesure de la force exercée par le flux de particules, la cellule peut être soumise à des contraintes résultant de l’environnement de mesure. Ces contraintes peuvent résulter de vibrations provenant notamment de pompes de mise sous vide du caisson destiné à recevoir la cellule de mesure, d’un échauffement provenant du flux de particules, ou d’un chargement électrique résultant par exemple d’un flux de particules chargées et pouvant générer des forces. Ainsi, lorsque la cellule n’est pas exposée au flux de particules, la fréquence de vibration du résonateur vaut . L’exposition de la cellule de mesure au flux de particules entraîne une modification de la fréquence de vibration qui devient . La différence de fréquences permet de déterminer la force surfacique exercée par le flux de particules . Le dispositif de mesure ainsi décrit a pour avantage de permettre une mesure quel que soit le champ de gravité. En effet, qu’importe l’orientation de la cellule de mesure, si celle-ci ne bouge pas pendant la mesure, l’effet de la gravité est annulé dans le terme . Un tel dispositif permet également de faire des mesures en microgravité, et notamment dans l’espace, par exemple dans le cas de propulseurs de satellites en orbite. La FIG. 3 représente un schéma d’un résonateur d’une cellule de mesure, selon un exemple de réalisation. Dans cet exemple, le résonateur 114 est formé d’une poutre vibrante dont les dimensions sont une longueur L (direction y ) et des largeurs l et e (respectivement dans les directions x et z ). La largeur e selon l’axe z est appelée largeur non vibrante de la poutre et la largeur l selon x est appelée largeur vibrante. Comme illustré sur la FIG. 3 , la poutre vibrante est montée en traction entre la partie fixe 112 et la masse d’épreuve 116. Elle est reliée respectivement à la partie fixe 112 par une première extrémité et à la masse d’épreuve par une deuxième extrémité. Pour une poutre vibrante 114 telle qu’illustrée sur la Fig. 3A, on peut déterminer la sensibilité linéaire à la pression , par exemple en utilisant la méthode de Rayleigh, et en prenant en compte le facteur d’amplification : La sensibilité linéaire à la pression est exprimée en Hz/(µN.cm -2 ), l et e sont les dimensions de la poutre respectivement dans les directions x et z , E le module de Young du matériau dont est formée la poutre, et ρ est la masse volumique du matériau, A est la surface de la face d’exposition 117. La sensibilité de la cellule de mesure peut ainsi être modifiée en jouant sur différents paramètres. Tout d’abord, le choix du matériau permet de modifier le module de Young E et sa densité ρ. La sensibilité est cependant inversement proportionnelle à la racine carrée des propriétés du matériau, et le choix du matériau présente de ce fait une influence modérée sur la sensibilité. La géométrie de la masse d’épreuve influe aussi la sensibilité. La sensibilité de la cellule est en effet proportionnelle à la surface d’exposition A des particules sur la masse d’épreuve. Elle est aussi proportionnelle au facteur d’amplification , c’est-à-dire à la distance entre la surface d’exposition et l’axe de rotation Ox. Enfin, la sensibilité dépend de la géométrie de la poutre vibrante. Plus la largeur non vibrante e et la largeur vibrante l sont fines, plus la sensibilité de la cellule est élevée. Ces dimensions ont ainsi un impact important sur la sensibilité qui est inversement proportionnelle au carré de la largeur vibrante. Plus la poutre est fine et plus la sensibilité est grande. Cependant, la diminution des largeurs vibrante et non vibrante est limitée par la technique de fabrication et la tenue mécanique du matériau. Une poutre trop fine risquerait d’être détruite lors de sa fabrication, de sa manipulation et de son utilisation. La déposante a montré que des dimensions optimisées pour la poutre vibrante étaient comprises entre environ 1 micron et environ 1 mm pour une dimension de la section de la poutre et entre environ 0.1 mm et environ 10 mm pour la longueur de la poutre. D’autres résonateurs peuvent être utilisés dans une cellule de mesure d’un dispositif selon la présente description. La FIG. 3 représente ainsi un schéma d’un résonateur d’une cellule de mesure formé d’une double poutre en traction. En lieu et place d’une poutre vibrante ( FIG. 3 ), il est possible d’utiliser un double diapason ( FIG. 3 ). Le résonateur comprend alors deux poutres vibrantes 321, 322 attachées chacune par un pédoncule 311, 312, le pédoncule 311 étant relié à la partie fixe 112 par une attache 301 et le pédoncule 312 étant relié à la masse d’épreuve 116 par une attache 302. Lorsque les poutres vibrent, elles créent des ondes en opposition de phase qui s’annulent dans les deux pédoncules. Cela permet d’empêcher que des ondes se propagent dans la partie fixe 112 (ou dans la masse d’épreuve 116), ce qui constituerait une source de perte d’énergie du dispositif. Comme cela apparaît dans l’équation [Math 4], la sensibilité de la cellule de mesure à la force exercée par le flux de particules implique aussi une sensibilité à d’autres forces parasites. Par exemple, des forces parasites peuvent résulter des vibrations de la cellule de mesure qui entraînent une accélération dynamique. Le point d’application d’une accélération subie par la cellule de mesure se situe au centre de masse Cm de la masse d’épreuve (Fig. 2A, Fig. 2B), à une distance de l’axe Ox de rotation de la masse d’épreuve, où h est la distance entre le centre de masse Cm et l’axe Ox, la distance h étant une distance projetée sur un plan parallèle à la face d’exposition, et est la distance entre l’axe de rotation Ox et le centre de masse Cm, ladite distance étant une distance projetée sur un plan Oxz perpendiculaire à la face. L’accélération subie par la cellule de mesure crée une force F appliqué au centre de masse, où M est la masse de la masse d’épreuve. Le moment de la force F , appliquée au centre de masse Cm, par rapport à l’axe Ox, est : Les moments autour des axes y et z sont nuls puisque l’axe Ox est le seul axe de rotation de la masse d’épreuve. Dans l’équation ci-dessus, on fait l’hypothèse que la composante de la force F ne provoque pas de variation de fréquence. Cela suppose que la distance dmp entre une projection du centre de masse Cm de la partie massive mobile sur l’axe de rotation commun des charnières (voir FIG. 2 ) et le point milieu O entre les charnières est très petit devant une distance dpc entre ledit point milieu et chacune des charnières. Autrement dit, la projection du centre de masse Cm de la masse d’épreuve sur l’axe de rotation commun est sensiblement confondu avec le point milieu O. En supposant la masse d’épreuve fixe, alors le principe fondamental de la dynamique indique que la somme des moments des forces appliquées au centre de masse par rapport au point O est nulle : Similairement à [Math 5], on peut exprimer la sensibilité en accélération en Hz/g en fonction du facteur d’amplification avec i=z ou y tel que et . La sensibilité dépend des dimensions de la poutre (largeur non vibrante e et largeur vibrante l ), des propriétés du matériau (module de Young E et densité ρ) et de la masse M de la masse d’épreuve. Avec les dimensions de la poutre et le matériau fixés, les sensibilités en accélération sont proportionnelles à : Du fait que dans une cellule de mesure selon la présente description, h est inférieur à p, le rapport est inférieur au facteur d’amplification et la contribution de l’accélération dans la mesure se trouve ainsi inférieure à celle de la poussée. Par ailleurs, il est ainsi possible de choisir la géométrie de la masse d’épreuve de la cellule de mesure de telle sorte à minimiser . Pour cela, on pourra concevoir la masse d’épreuve de la cellule de mesure de telle sorte à ce que h soit très petit devant d p , par exemple h sensiblement égal à 0. Par ailleurs, il est possible de choisir la géométrie de la masse d’épreuve de la cellule de mesure de telle sorte à minimiser . Pour cela, on pourra concevoir la masse d’épreuve de la cellule de mesure de telle sorte à ce que d g soit strictement inférieur à d p , avantageusement inférieur à 0,1 d p . Par exemple, dans le cas où l’axe de rotation est l’axe de rotation commun de deux charnières 118, les charnières peuvent être agencées non plus en face arrière de la masse d’épreuve mais au milieu de l’épaisseur de la masse d’épreuve, pour faire tendre la distance d g vers 0. Des forces parasites peuvent également résulter du dépôt de charges électriques sur la masse d’épreuve dans le cas d’une mesure d’une force surfacique exercée par un flux de particules chargées. La déposante a montré qu’un revêtement comportant un matériau conducteur d’électricité sur la masse d’épreuve permet d’évacuer ces charges. Un tel revêtement peut également permettre d’augmenter la durée de vie de la cellule de mesure. Comme cela sera expliqué en référence à la FIG. 5 , un tel revêtement, par exemple métallique, peut également être utilisé comme électrode dans une procédure de calibration du dispositif de mesure. Des dérives de mesure de la force surfacique exercée par le flux de particules peuvent également résulter d’un échauffement en température de nature à provoquer des dilatations thermiques. La présence d’un revêtement métallique sur la masse d’épreuve peut permettre de diminuer les gradients de température aux extrémités du résonateur et donc de diminuer les dérives thermiques. Comme il apparaît sur l’équation [Math 4], les variations de fréquences dépendent d’un terme quadratique de la force surfacique des particules exercée sur la masse d’épreuve. Pour gagner en précision de mesure, ce terme quadratique peut être limité par une mesure différentielle entre deux capteurs. La FIG. 4 représente un schéma d’un dispositif de mesure selon un exemple de réalisation, le dispositif comprenant deux cellules de mesure 110 A , 110 B agencées pour une mesure différentielle. La première cellule de mesure 110 A est similaire à la cellule de mesure décrite en relation avec la FIG. 2 et la FIG. 2 et comprend une partie fixe 112 A reliée mécaniquement au support du dispositif (non représenté), un résonateur 114 A et une partie massive mobile ou masse d’épreuve 116 A avec une face d’exposition 117 A . La masse d’épreuve est en rotation autour d’un unique axe O A x, par exemple l’axe de rotation commun de charnières 118 A . On note Cm A le centre de mase et C P A le centre de pression. En opération, la face d’exposition 117 A subit une force surfacique F p A exercée par le flux de particules. Il en résulte une force de traction T A (ou extension) sur le résonateur 114 A au point de liaison B A du résonateur avec la masse d’épreuve. On note M Γ A la force parasite exercée au centre de masse Cm A et résultant d’une accélération selon y , par exemple due aux vibrations. La deuxième cellule de mesure 110 B comprend une partie fixe 112 B reliée mécaniquement au support, un résonateur 114 B et une partie massive mobile ou masse d’épreuve 116 B avec une face d’exposition 117 B . La partie fixe, le résonateur et la partie massive mobile de la deuxième cellule de mesure sont sensiblement identiques respectivement à la partie fixe, au résonateur et à la partie massive mobile de la première cellule de mesure. En particulier, la masse d’épreuve 116 B est en rotation autour d’un unique axe O B x, par exemple l’axe de rotation commun de charnières 118 B . On note Cm B le centre de masse et C P B le centre de pression. Par rapport à la première cellule de mesure, seule la position du résonateur 114B par rapport à l’axe de rotation est inversée. Autrement dit, les distances, selon la direction n normale à la face d’exposition, entre le résonateur et l’axe de rotation sont sensiblement identiques dans les deux cellules mais les positions du résonateur et de l’axe de rotation sont inversées entre la première cellule de mesure et la deuxième cellule de mesure, de telle sorte que lorsque la face d’exposition de chacune des cellules de mesure est exposée au flux de particules, un résonateur subit une compression tandis que l’autre résonateur subit une extension. Ainsi, en opération, lorsque la face d’exposition 117 B subit une force surfacique F pB exercée par le flux de particules, il en résulte une force de compression T B sur le résonateur 114 B au point de liaison B B du résonateur avec la masse d’épreuve. On note M Γ B la force parasite exercée au centre de masse Cm B et résultant d’une accélération selon y , par exemple due aux vibrations. Ainsi, dans l’exemple montré sur la FIG. 4 , le résonateur 114 A de la première cellule de mesure, par exemple une poutre vibrante, subit une compression sous l’effet d’une force surfacique exercée par un flux de particules sur la face d’exposition 117 A , alors que le résonateur 114 B de la deuxième cellule de mesure, par exemple une poutre vibrante, subit une extension. Il en résulte des variations de fréquences opposées des résonateurs 114 A et 114 B . Dans un tel dispositif, les fréquences fondamentales des deux résonateurs sont les mêmes, tout comme l’éventuelle dérive thermique restante , où θ est la température. Etant donné que seule la sensibilité en accélération suivant y est non nulle alors, si les deux cellules sont proches l’une de l’autre, les accélérations suivant cet axe sont similaires et les contributions à la fréquence du résonateur de chaque résonateur qui dérive de cette accélération sont également identiques. Ainsi, la fréquence du résonateur 114 A de la première cellule de mesure 110 A et la fréquence du résonateur 114 B de la première cellule de mesure 110 B s’écrivent : La différence de fréquence entre les deux résonateurs permet alors d’avoir une mesure de la force surfacique exercée par le flux de particules en annulant les effets de vibration résiduelle ainsi que les dérives thermiques. Il en résulte une amélioration de la précision de la mesure. Dans l’exemple de la FIG. 4 , le dispositif de mesure comprend deux cellules de mesure pour effectuer une mesure différentielle. Une mesure différentielle peut aussi être obtenue avec une cellule de mesure unique comprenant deux résonateurs. La FIG. 4 représente ainsi un schéma d’un exemple de cellule de mesure dans un dispositif selon la présente description, la cellule de mesure comprenant deux résonateurs agencés pour une mesure différentielle. Dans cet exemple de réalisation, la cellule de mesure 110 comprend un deuxième résonateur 114 B , sensiblement identique au premier résonateur 114 A , les projections du premier résonateur et du deuxième résonateur dans un plan perpendiculaire à l’axe de rotation étant situés de part et d’autre d’une projection de l’axe de rotation Ox sur ledit plan, de telle sorte que lorsque la face d’exposition 117 est exposée au flux de particules, un résonateur (dans cet exemple le premier résonateur 114 A ) subit une extension (traction T A ) tandis que l’autre résonateur (dans cet exemple le deuxième résonateur 114 B ) subit une compression T B . Dans cet exemple, la différence de fréquence entre les deux résonateurs permet, comme dans l’exemple précédent, d’avoir une mesure de la force surfacique exercée par le flux de particules en annulant les effets de vibration résiduelle ainsi que les dérives thermiques. Avantageusement, une calibration du dispositif de mesure est effectuée avant la mise en œuvre du dispositif. Plusieurs méthodes de calibration peuvent être mises en œuvre. Par exemple, il est possible d’exercer sur la face d’exposition des forces connues appliquées par contact. Une solution de calibration préférée est une calibration électrostatique. La FIG. 5 représente un schéma d’une cellule de mesure 110 d’un dispositif de mesure selon la présente description, ainsi qu’un dispositif 510 pour la calibration de la cellule, selon un exemple de réalisation. Le dispositif de calibration 510 comprend des moyens 514 d’application d’une différence de potentiel entre une région métallisée de la cellule de mesure formant une première électrode 119 et d’une plaque métallique formant une deuxième électrode 512, située à une distance d de la première électrode. La première électrode 119 est par exemple en tantale ou en titane. La mise en place d’une électrode métallique sur la masse d’épreuve et d’une plaque métallique en regard permet de créer une force électrostatique F ES lorsqu’il y a une différence de potentiel entre les deux électrodes. La force électrostatique crée un mouvement de la masse d’épreuve autour de l’axe de rotation de la masse d’épreuve, par exemple l’axe commun des charnières 118, ce qui crée une contrainte sur le résonateur 114. La force appliquée sur la masse d’épreuve est : Avec la surface de l’électrode de calibration 119 sur la masse d’épreuve, la permittivité du vide et V la différence de potentiel appliquée entre les deux électrodes. En reproduisant la mesure pour plusieurs valeurs de différences de potentiel, on peut effectuer une calibration. Une calibration telle que décrite ci-dessus a pour avantage d’être sans contact avec la cellule de mesure et facilement mise en œuvre puisqu’il suffit de disposer une plaque métallique sous la masse d’épreuve. Ainsi, cette calibration peut être faite in-situ, ou entre deux mesures. Les FIG. 6 , FIG. 6 et FIG. 6 représentent des schémas d’une cellule de mesure 110 monolithique selon un exemple de réalisation, selon différentes vues. La cellule de mesure 110 est monolithique en ce que la partie fixe, la partie massive mobile, ou masse d’épreuve, et le résonateur 114, par exemple une poutre vibrante, sont faits à partir d’un seul bloc de matériau, par exemple du quartz. Dans cet exemple, la partie massive mobile 116 est mobile autour de deux charnières 618. La masse d’épreuve comprend une cible formant la surface d’exposition 117 et deux ailes 612, la cible étant reliée d’une part aux deux ailes 612 et d’autre part aux deux charnières 618 et à une extrémité du résonateur 114. Un tel agencement de la partie massive mobile permet de répartir la masse de telle sorte que le centre de masse est proche de l’axe des charnières 618. Par ailleurs, dans cet exemple, la partie fixe 112 comprend un cadre de découplage 630 et un cadre externe 620 configuré pour être relié au support (non représenté). Le cadre de découplage présente une forme de diapason et est relié d’une part au cadre externe et d’autre part aux charnières 618 et à une deuxième extrémité du résonateur 114. Comme illustré sur la FIG. 6 , la cible peut comprendre deux poches d’allègement 617 en face arrière. Cela permet de limiter la masse de la cible et les contraintes appliquées sur les charnières 618 et la poutre vibrante 614, tout en garantissant une grande surface de contact avec les particules, une bonne tenue mécanique de la cible, et un éloignement des modes de résonance parasites du mode de fonctionnement de la poutre vibrante. Dans des exemples de réalisation, la cible 617 est reliée aux charnières 618 par deux bras 610 de telle sorte à créer une ouverture 615 entre la cible et la poutre 114. L’ouverture 615, optionnelle, permet d’éviter la collision de particules à proximité de la poutre vibrante. Les bras 610 sont reliés aux ailes 612 qui permettent de positionner le centre de masse de la masse d’épreuve au plus près de l’axe des charnières, dans le plan xy. Le paramètre h ( FIG. 2 ) est ainsi sensiblement nul. Un troisième bras à la base de la masse d’épreuve relie les ailes 612 aux charnières 618 et à la poutre 114. Une telle géométrie de la masse d’épreuve est avantageuse en ce qu’elle permet donc d’annuler les effets des accélérations parasites (vibrations) sur les deux axes x et z. La partie fixe 112 comprend le cadre de découplage 630 et le cadre externe 620. Le cadre externe 620 a une fonction mécanique de maintien de la masse d’épreuve, de la poutre vibrante 114 et du cadre de découplage 630. Il permet aussi le maintien de la masse d’épreuve lors de la fabrication et sa protection physique. Le cadre externe 620 comprend des connecteurs 640, (voir FIG. 6 , FIG. 6 ), configurées pour assurer un contact physique avec le support (non représenté), formé par exemple d’une embase. Les connecteurs 640 permettent également un contact électrique avec le circuit électronique (120, FIG. 1 ). Les connecteurs 640 sont faits avantageusement en un matériau ayant un comportement thermique proche de celui du matériau de la cellule de mesure, par exemple du kovar® (alliage fer nickel chrome cobalt). Ils sont collés au cadre externe par exemple par de la colle conductrice. Le cadre de découplage 630 forme un filtre thermique et mécanique permettant de protéger la poutre 114 et la masse d’épreuve 116 des effets de l’environnement extérieur. Le cadre de découplage a dans cet exemple une forme de diapason relié au cadre externe par un embout 631. Les branches du diapason sont reliées aux charnières 618. La poutre vibrante est fixée entre une partie centrale du diapason et le troisième bras du cadre externe, dans une zone de minimum de contraintes thermiques. La finesse des branches du diapason permet leur déformation et évite la transmission des efforts. La déposante a montré des performances très satisfaisantes avec des cellules de mesure monolithiques telles qu’illustrées sur les FIG. 6 , FIG. 6 , FIG. 6 . Les cellules sont par exemple en quartz. Les dimensions extérieures de la cellule de mesure sont comprises par exemple entre environ 10 mm et environ 30 mm, avec une épaisseur comprise entre environ 100 microns et environ 500 microns sur les bords, par exemple environ 500 microns, l’épaisseur pouvant atteindre moins de 50 microns au niveau des charnières et de la poutre. Avec une telle géométrie de la cellule de mesure, la déposante a obtenu une sensibilité linéaire de 0.6 Hz/(µN.cm-2) soit Hz/Pa pour une fréquence de vibration de 60 kHz. La cellule de mesure réalisée est particulièrement compacte et est insensible à la gravité. La FIG. 7 et la FIG. 7 représentent des schémas selon deux vues d’une cellule de mesure monolithique 110 telle qu’illustrée sur la FIG. 6 , agencée sur un support 201, selon un exemple de réalisation. Le support 201 est dans cet exemple une embase qui prend la forme d’une carte électronique reliée à la cellule de mesure par les connecteurs 640. Cette disposition permet d’avoir l’électronique nécessaire à la mise en vibration au plus proche de la cellule de mesure. La carte 201 peut aussi comprendre des moyens de calibration électrostatique par exemple sous la forme de 2 plaques placées en regard des ailes (voir aussi FIG. 5 ). Le dispositif de mesure peut également comprendre, dans des exemples de réalisation, une plaque ayant des dimensions similaires à celle de la carte électronique 201 et mise en place en face de la cellule de telle sorte que sensiblement seule la cible de la masse d’épreuve soit exposée au flux de particules. Un tel dispositif de mesure peut être ensuite placé dans n’importe quelle position car il est insensible à la gravité. La FIG. 8 représente un schéma d’un satellite 800 comprenant un corps 810 équipé d’un propulseur et des panneaux solaires 820. Comme illustré sur la FIG. 8 , le satellite est dans cet exemple équipé d’un dispositif de mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules selon la présente description. Le dispositif de mesure comprend une cellule de mesure 110, par exemple du type de celle décrite en référence aux figures précédentes. La partie fixe de la cellule de mesure est reliée à un support lui-même fixé à un bras 850 relié mécaniquement et électriquement au corps 810 du satellite. Le dispositif de mesure est configuré pour la mesure de la force surfacique exercée par le flux de particules 10 éjecté par le propulseur du satellite. Le circuit électronique et l’unité de traitement du dispositif de mesure peuvent être déportés ou agencés à proximité de la cellule de mesure. La FIG. 9 représente un schéma d’une enceinte 900 avec environnement raréfié, par exemple un caisson sous vide, configuré pour la qualification d’un propulseur de satellite 910 comprenant des moyens d’éjection d’un flux de particules neutres et/ou chargées. L’enceinte comprend un dispositif de mesure de la force exercée par le flux de particules 10 éjecté par le propulseur. Le dispositif de mesure comprend une cellule de mesure 110, par exemple du type de celle décrite en référence aux figures précédentes. La partie fixe de la cellule de mesure est reliée à un support lui-même fixé à un bras 950 relié par exemple à une platine de rotation. Le circuit électronique et l’unité de traitement du dispositif de mesure peuvent être déportés ou agencés à proximité de la cellule de mesure. Bien que décrite à travers un certain nombre d’exemples de réalisation, les dispositifs et procédés de mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules selon la présente description comprennent différentes variantes, modifications et perfectionnements qui apparaîtront de façon évidente à l’homme de l’art, étant entendu que ces différentes variantes, modifications et perfectionnements font partie de la portée de l’invention telle que définie par les revendications qui suivent. Cellule de mesure (110) pour la mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules comprenant : - une partie fixe (112) configurée pour être reliée mécaniquement et électriquement à un support ; - au moins un premier résonateur (114, 114 A ) comprenant un axe longitudinal (Δ), ledit premier résonateur ayant une première extrémité solidaire de ladite partie fixe ; - une partie massive mobile (116) comprenant une face d’exposition (117) au flux de particules, ladite partie massive étant telle que : - ladite partie massive est mobile par rapport à la partie fixe selon un unique axe de rotation (Ox) perpendiculaire à un plan formé par l’axe longitudinal du premier résonateur et une direction ( n ) normale à la face d’exposition ; - l’axe de rotation (Ox) et l’axe longitudinal du premier résonateur sont distants dans la direction ( n ) normale à la face d’exposition d’une distance prédéterminée (d p ) non nulle ; et - le premier résonateur a une deuxième extrémité (B) solidaire de ladite partie massive mobile ; - une première distance (h) entre l’axe de rotation (Ox) et un centre de masse (Cm) de la partie massive mobile est strictement inférieure à une deuxième distance (p) entre l’axe de rotation (Ox) et un centre de pression (Cp) de la face d’exposition (117), la première distance et la deuxième distance étant des distances projetées sur un plan (Oxy) parallèle à la face d’exposition. Cellule de mesure selon la revendication 1, dans laquelle le rapport entre ladite première distance (h) et ladite deuxième distance (p) est inférieur à environ 0,1, avantageusement inférieur à environ 0,01. Cellule de mesure selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle un rapport entre une troisième distance (d g ) entre l’axe de rotation (Ox) et le centre de masse (Cm) de la partie massive mobile et une quatrième distance (d p ) entre l’axe de rotation (Ox) et l’axe (Δ) du premier résonateur est strictement inférieur à 1, avantageusement strictement inférieur à environ 0,1, la troisième distance et la quatrième distance étant des distances projetées sur un plan (Oxz) perpendiculaire à la face d’exposition. Cellule de mesure selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle la cellule de mesure est monolithique. Cellule de mesure selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle : - la cellule de mesure comprend deux charnières comprenant un axe de rotation commun ; - ledit axe de rotation commun forme l’unique axe de rotation (Ox) de ladite partie massive mobile. Cellule de mesure selon la revendication 5, dans laquelle une projection de l’axe (Δ) du premier résonateur dans un plan parallèle à la face d’exposition et comprenant ledit axe de rotation commun (Ox) coupe ledit axe de rotation commun en un point milieu situé sensiblement à mi-distance entre les deux charnières. Cellule de mesure selon la revendication 6, dans laquelle une distance (dmp) entre une projection du centre de masse (Cm) de la partie massive mobile sur ledit axe de rotation commun et ledit point milieu est strictement inférieure à une distance (dpc) entre ledit point milieu et chacune des charnières. Cellule de mesure selon l’une quelconque des revendications 5 à 7, dans laquelle : - la partie massive mobile (116) comprend une cible formant la surface d’exposition (117) et deux ailes (612), ladite cible étant reliée aux deux ailes, aux deux dites charnières et à la deuxième extrémité du premier résonateur; - la partie fixe comprend un cadre de découplage (630) et un cadre externe (620) configuré pour être relié au support, ledit cadre de découplage présentant une forme de diapason reliée d’une part au cadre externe, et d’autre part aux deux dites charnières et à la première extrémité du premier résonateur. Cellule de mesure selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle le premier résonateur comporte au moins une poutre vibrante en mode de flexion. Cellule de mesure selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle une partie au moins de la partie massive mobile (116) comporte un revêtement en matériau conducteur d’électricité. Dispositif de mesure (100) de la force surfacique exercée par un flux de particules (10), comprenant : - un support (201); - au moins une première cellule de mesure (110, 110 A ) selon l’une quelconque des revendications précédentes, ladite partie fixe (112) étant reliée mécaniquement et électriquement audit support ; - un circuit électronique (120) configuré pour exciter le premier résonateur de ladite au moins une première cellule de mesure à une fréquence de résonance initiale et mesurer, lorsque le dispositif est soumis au flux de particules, une fréquence de résonance de mesure ; - une unité de traitement (130) configurée pour déterminer, à partir d’une différence entre la fréquence de résonance de mesure et la fréquence de résonance initiale, la force surfacique exercée par le flux de particules. Dispositif de mesure selon la revendication 11 comprenant une deuxième cellule de mesure (110 B ), dans lequel : - la deuxième cellule de mesure comprenant une partie fixe (112) reliée mécaniquement au support, un résonateur (114 B ) et une partie massive mobile (116 B ), ladite partie fixe, ledit résonateur et ladite partie massive mobile de la deuxième cellule de mesure étant sensiblement identiques respectivement à la partie fixe, au résonateur et à la partie massive mobile de la première cellule de mesure ; - les positions du résonateur et de l’axe de rotation selon la direction ( n ) normale à la face d’exposition sont inversées entre la première cellule de mesure et la deuxième cellule de mesure, de telle sorte que lorsque la face d’exposition de chacune des cellules de mesure est exposée au flux de particules, un résonateur subit une compression tandis que l’autre résonateur subit une extension ; - l’unité de traitement (130) est configurée pour déterminer en outre une différence entre la fréquence de résonance de mesure mesurée au moyen de la première cellule de mesure et la fréquence de résonance de mesure mesurée au moyen de la deuxième cellule de mesure pour déterminer la force surfacique exercée par le flux de particules. Satellite (800) comprenant un propulseur avec des moyens d’éjection d’un flux de particules (10) neutres et/ou chargées et un dispositif de mesure de la force exercée par ledit flux de particules selon l’une quelconque des revendications 11 ou 12, le support du dispositif de mesure étant relié mécaniquement et électriquement à un corps (810) du satellite au moyen d’un bras (850). Enceinte (900) avec environnement raréfié configurée pour la qualification d’un flux de particules neutres et/ou chargées, l’enceinte comprenant un dispositif de mesure de la force exercée par un flux de particules selon l’une quelconque des revendications 11 ou 12, le support du dispositif de mesure étant relié mécaniquement et électriquement à un corps de l’enceinte, le dispositif de mesure étant configuré pour mesurer le flux de particules (10). Procédé de mesure de la force surfacique exercée par un flux de particules au moyen d’un dispositif selon l’une quelconque des revendications 11 ou 12, le procédé comprenant : - une excitation du premier résonateur et une mesure d’une fréquence de résonance initiale du résonateur (fr 0 ), sans flux de particules ; - la réception du flux de particules par la face d’exposition de la cellule de mesure et la mesure d’une fréquence de résonance de mesure du résonateur (fr(P)+fr 0 ) résultant de la force appliquée par le flux de particules sur ladite face d’exposition ; - la détermination, à partir d’une différence entre la fréquence de résonance de mesure et la fréquence de résonance initiale, de la force surfacique du flux de particules. Procédé de mesure selon la revendication 15 comprenant une étape supplémentaire de calibration, ladite étape de calibration comprenant ; - l’application successive de plusieurs différences de potentiel entre une région comportant un revêtement en matériau conducteur d’électricité de la partie massive mobile (116) et une plaque métallique en regard, l’application de chaque différence de potentiel résultant en une force électrostatique appliquée sur la partie massive mobile ; - pour chaque différence de potentiel, la mesure d’une fréquence de résonance de mesure résultant de ladite force électrostatique et la détermination de la différence entre la fréquence de résonance de mesure et la fréquence de résonance initiale.