Brevet FR3155588A1 — publié le 20250523

------ Dispositif d’imagerie, appareil d’imagerie ou de caractérisation de matériaux le comprenant et procédé d’imagerie La présente invention concerne un dispositif d’imagerie par rayons X (1), comprenant une source de rayons X (2) générant un faisceau (F) de rayons X, un détecteur de rayons X bidimensionnel (3) comprenant des pixels (3a), un support d’échantillon (4) configuré pour supporter un échantillon (E), au moins un modulateur (5), l’au moins un modulateur (5) étant une membrane sur laquelle est formé un motif de modulation de transmission en forme de spirale. Figure à publier avec l’abrégé : Figure 1a Dispositif d’imagerie, appareil d’imagerie ou de caractérisation de matériaux le comprenant et procédé d’imagerie La présente invention concerne le domaine de l’imagerie par rayons X et a plus particulièrement pour objet un dispositif d’imagerie par rayons X, un appareil d’imagerie ou de caractérisation de matériaux le comprenant et un procédé d’imagerie. L’imagerie par rayons X connaît un essor croissant pour de nombreuses applications, que ce soit dans le domaine médical, dans le domaine de la sécurité ou dans le domaine de la caractérisation des matériaux, en mode autonome ou en couplage avec d’autres techniques de caractérisation telles que la diffraction ou la diffusion rayons X. Un exemple d’équipement de caractérisation de matériaux par diffusion rayons-X comprenant un dispositif d’imagerie par rayons-X est par exemple décrit dans la demande internationale de brevet PCT/EP2020/087969. L’imagerie par contraste de phase a rendu possible l’imagerie par rayons X de matériaux transparents aux rayons X, en mesurant le changement de phase des rayons X traversant ces matériaux. De nouvelles méthodes d'imagerie par rayons X, notamment dans les synchrotrons, donnent maintenant accès à l'atténuation, au déphasage et au champ sombre (en anglais dark field, qui désigne une visibilité de structures de tailles inférieures à la résolution du détecteur de rayons X). Ces nouvelles méthodes exploitent la forte cohérence des sources synchrotrons, dont les propriétés ne peuvent pas être facilement reproduites en laboratoire. La transposition de ces techniques aux sources conventionnelles de laboratoire nécessite des modifications, en particulier dans la méthode utilisée pour moduler spatialement l'intensité du faisceau qui atteint ou quitte l'échantillon imagé. Les sources conventionnelles nécessitent l'utilisation d'un modulateur pour introduire des variations spatiales de l'intensité du faisceau de rayons X. Des implémentations de modulateurs réguliers tels que des réseaux et des maillages ont été rapportées, ainsi que des modulateurs aléatoires tels que du papier de verre. Un exemple d’un tel modulateur à base de papier de verre est par exemple décrit dans la demande internationale de brevet PCT/FR2020/051140. Le procédé d’imagerie pour obtenir, en supplément de l’atténuation obtenue classiquement, le déphasage et le champ sombre nécessite de générer des séquences d’images en déplaçant le modulateur. Les modulations régulières, aussi désignées modulations périodiques, nécessitent des montages optiques complexes et présentent des limites en termes de temps d'exposition, de résolution spatiale des images obtenues et d'anisotropie intrinsèque. Ainsi, pour un modulateur périodique, les nouvelles positions du modulateur peuvent ne pas générer de nouvelles informations si le motif de modulation se chevauche avec lui-même (déplacement correspondant à la période de la modulation). Les performances sont prévisibles (les gradients d'intensité sont contrôlés et connus) mais l'échantillonnage spatial est limité (comme le montre la transformée de Fourier de l'image du modulateur). Les modulations aléatoires atténuent ces problèmes, mais nécessitent la combinaison de nombreuses expositions pour obtenir une bonne qualité d'image. Ainsi, pour un modulateur aléatoire, les nouvelles positions du modulateur génèrent toujours de nouvelles informations (le motif ne se répète jamais lors de déplacements successifs du modulateur), mais la performance globale est imprévisible. Certaines zones ne seront pas échantillonnées efficacement si les gradients d'intensité générés par le modulateur aléatoire sont trop faibles ou trop forts (ce qui ne peut être contrôlé). Il existe donc un besoin pour l’utilisation de sources conventionnelles de rayons X avec un modulateur permettant d’obtenir en peu de déplacements une bonne imagerie par contraste de phase de rayons X ou en champ sombre. L'invention apporte une solution aux limitations de l’état antérieur de la technique en proposant un modulateur apériodique qui combine le meilleur des approches par modulations régulières et par modulations aléatoires. L'invention peut notamment être compatible avec les installations de tomographie assistée par ordinateur pour obtenir des informations volumétriques à partir d'une série d'images bidimensionnelles (2D), et avec les mesures résolues dans le temps telles que l'élastographie. Pour un modulateur apériodique, les nouvelles positions du modulateur génèrent toujours de nouvelles informations (le motif ne se répète jamais lors de déplacements successifs du modulateur). La performance est prévisible et plusieurs fréquences spatiales sont échantillonnées à la fois (comme le montre la transformée de Fourier de l'image du modulateur). La présente invention a donc pour objet un dispositif d’imagerie par rayons X, comprenant une source de rayons X générant un faisceau de rayons X, un détecteur de rayons X bidimensionnel comprenant des pixels, un support d’échantillon configuré pour supporter un échantillon, un modulateur, le support d’échantillon et le modulateur étant positionnés consécutivement dans n’importe quel ordre sur le trajet optique entre la source de rayons X et le détecteur de rayons X bidimensionnel, et une unité de traitement électronique configurée pour générer des données d’imagerie à partir des rayons X détectés par le détecteur de rayons X bidimensionnel, caractérisé par le fait que le modulateur comprend au moins une membrane disposée transversalement à la direction de propagation du faisceau de rayons X, le modulateur ayant une transmission nominale minimale du faisceau de rayons X provenant de la source de rayons X d’au moins 5%, un motif de modulation de transmission étant formé dans chaque membrane de telle sorte que la transmission de rayons X varie dans le plan de la membrane, le motif de modulation de transmission comprenant des extrema de transmission locaux formés dans la membrane, les positions des extrema de transmission locaux suivant, dans le plan de la membrane, une courbe en spirale bidimensionnelle paramétrée en coordonnées polaires calculées avec une distance et un angle à partir d’un centre de la spirale, une distance par rapport au centre de la spirale étant définie par une fonction monotone de l’angle. Une membrane de modulateur est disposée transversalement au faisceau de rayons X signifie que le faisceau de rayons X traverse l’épaisseur de la membrane. Lorsque le faisceau de rayons X est parallèle (faisceau collimaté), la direction d’épaisseur de la membrane est parallèle à la direction de propagation du faisceau de rayons X, et lorsque le faisceau est divergent, la direction d’épaisseur de la membrane est parallèle à la génératrice du cône formé par le faisceau de rayons X. La source de rayons X peut être monochromatique ou polychromatique. Le motif de modulation de transmission en forme de spirale créé un motif apériodique, qui ne se répète jamais ni en translation ni en rotation, ce qui a pour effet d’optimiser la répartition spatiale des modulations d’intensités lors de décalages successifs du modulateur nécessaires à la génération des images d’atténuation, de déphasage et de champ sombre. La personne du métier comprendra que d’autres motifs de modulation de transmission additionnels peuvent se superposer au motif de modulation de transmission en forme de spirale, sans s’éloigner du cadre de la présente invention, puisque la seule présence du motif de modulation de transmission en forme de spirale donnera au motif global le caractère apériodique recherché. Selon un mode de réalisation, le modulateur est positionné dans le dispositif d’imagerie à rayons X de telle sorte que les extrema de transmission locaux du modulateur forment en correspondance sur le détecteur de rayons X bidimensionnel des extrema locaux de valeurs détectées, la valeur de détection de rayons X variant sur le détecteur de rayons X bidimensionnel autour de chaque extremum local de valeurs détectées entre une valeur maximale locale et une valeur minimale locale, une taille de modulation étant définie pour chaque extremum local de valeurs détectées comme étant le diamètre autour de l’extremum local de valeurs détectées équivalent à l’aire de surface du détecteur délimitée par le contour de l’isoligne correspondant à une valeur de détection de rayons X égale à la moyenne de la valeur maximum locale et de la valeur minimum locale, la moyenne des tailles de modulation, définie comme taille de modulation moyenne, pour le détecteur de rayons X bidimensionnel étant comprise entre 2 et 50 pixels du détecteur de rayons X bidimensionnel. L’isoligne correspond à la ligne reliant tous les pixels ayant la même valeur sur le détecteur de rayons X bidimensionnel. Elle peut être trouvée soit par analyse de la valeur de chaque pixel, soit par binarisation de l’image détectée sur le détecteur de rayons X bidimensionnel. Les extrema sur une même membrane, positionnés sur la courbe en spirale, peuvent être de même nature, c’est-à-dire uniquement des maxima ou uniquement des minima, mais peuvent également être de natures différentes, c’est-à-dire des maxima et des minima mélangés au sein d’une même membrane, de façon irrégulière ou non. La transmission nominale du modulateur est obtenue, pour un appareil d’imagerie par rayons X donné et un modulateur donné comprenant une ou plusieurs membranes, par détermination directe sur une image du modulateur obtenue dans les conditions nominales d’utilisation du dispositif d’imagerie par rayons X. La transmission nominale du modulateur peut ainsi être calculée, pour chaque pixel du détecteur de rayons X bidimensionnel, comme le rapport de la valeur détectée du pixel sur une première image obtenue avec le modulateur et sans l’échantillon divisée par la valeur détectée du même pixel sur une deuxième image obtenue sans le modulateur et sans l’échantillon, les autres éléments du dispositif d’imagerie par rayons X (source et détecteur) étant positionnés et configurés de façon identique pour les deux images. Le rapport des deux images permet de générer une nouvelle image dont la valeur des pixels correspond à la valeur de transmission nominale calculée précédemment. On peut déterminer sur cette image de transmission un minimum global, un maximum global, une transmission moyenne globale ainsi que des valeurs locales autour des extrema. La transmission nominale est ainsi sans unité. L’unité de traitement électronique peut être intégrée au dispositif d’imagerie ou déportée, par exemple sur un ordinateur rattaché au dispositif d’imagerie. Lorsque l’unité de traitement électronique est intégrée au dispositif d’imagerie, elle peut notamment être un dispositif électronique, par exemple un processeur, un microprocesseur, un microcontrôleur, un processeur de signaux numériques (DSP), une matrice prédiffusée programmable (FPGA), un circuit intégré à application spécifique (ASIC), comprenant ou associé à de la mémoire qui contient des instructions pour commander les différents éléments du dispositif d’imagerie. L’unité de traitement électronique peut également comporter des entrées/sorties voire des dispositifs de communication, sans fil ou filaire. Le modulateur selon l’invention peut avoir une ou plusieurs membranes, disposées parallèlement entre elles dans n’importe quel ordre avec l’échantillon sur le trajet optique entre la source de rayons X et le détecteur de rayons X bidimensionnel. Lorsqu’il y a plusieurs membranes, les membranes peuvent être identiques ou différentes, avoir le même motif de modulation de transmission ou des motifs de modulation de transmission différents, sans s’écarter du cadre de la présente invention, la personne du métier sachant adapter le nombre et la structure des membranes en fonction de l’échantillon à imager et des caractéristiques de l’appareil d’imagerie. Lorsqu’il y a plusieurs membranes pour le modulateur, la transmission nominale se calcule d’une part avec les membranes constituant le modulateur et l’échantillon, et d’autre part sans le modulateur et sans l’échantillon. Avantageusement, le support d’échantillon peut être monté rotatif dans le dispositif d’imagerie, en étant supporté par un axe entraîné en rotation par un moteur commandé par l’unité de traitement électronique. En variante ou en complément, le support d’échantillon peut être monté déplaçable en translation dans n’importe quelle direction, au moyen d’actionneur(s) commandé(s) par l’unité de traitement électronique voire manuellement. De tels actionneurs peuvent par exemple être des platines de translation, des pistons, des dispositifs à crémaillère, des engrenages. La ou les membranes du modulateur peuvent être déplaçables de façon analogue par des actionneurs indépendants. De façon avantageuse, chaque élément du dispositif d’imagerie selon l’invention est déplaçable, manuellement ou de façon commandée mécaniquement. Il est bien entendu que le support d’échantillon peut prendre n’importe quelle forme, par exemple une platine ou un dispositif de pincement, un cadre, un film adhésif partiellement transparent aux rayons X, sans que l’invention soit limitée à cet effet, la personne du métier sachant adapter le support d’échantillon à l’échantillon à imager et au dispositif d’imagerie. De même, tout dispositif est envisageable pour introduire ou déplacer l’au moins une membrane du modulateur dans le dispositif d’imagerie. Le détecteur de rayons X bidimensionnel peut prendre toute forme, et peut notamment être un détecteur à gaz, un film ou écran photo-stimulable, ou un capteur numérique à semi-conducteurs. Le capteur numérique peut fonctionner en détection indirecte (scintillateur) ou directe (photodiode). Les pixels du détecteur de rayons X bidimensionnel peuvent être carrés, rectangulaires ou plus généralement polygonaux. Selon un mode de réalisation, la transmission nominale minimale du modulateur est comprise entre 10% et 50%. Selon un mode de réalisation, la taille de modulation moyenne est comprise entre 10 et 20 pixels du détecteur de rayons X bidimensionnel. Selon un mode de réalisation, les extrema de transmission locaux du modulateur sont générés par au moins l’un parmi une augmentation locale de l’épaisseur de la membrane, une diminution locale de l’épaisseur de la membrane, un changement local de la composition chimique de la membrane. Selon un mode de réalisation, la distance moyenne entre deux extrema de transmission locaux de modulateur adjacents, définie comme étant la distance de modulation moyenne, est comprise entre une et trois fois la taille de modulation moyenne, de préférence deux fois la taille de modulation moyenne. Selon un mode de réalisation, le centre de la spirale est formé soit sur la membrane, soit en dehors de la membrane. Selon un mode de réalisation, la source de rayons X est l’une parmi un tube scellé, un tube microfoyer, un tube à rayons X à anode tournante et un tube à rayons X à anode liquide. Comme indiqué ci-avant, la source de rayons X peut être ponctuelle ou non, divergente ou non divergente, monochromatique ou polychromatique, sans que l’invention soit limitée à cet égard. Selon un mode de réalisation, le dispositif d’imagerie comprend au moins l’un parmi une optique et un filtre pour modifier au moins l’un parmi le spectre énergétique et la géométrie du faisceau de rayons X généré par la source de rayons X. L’invention a également pour objet un appareil fonctionnant avec des rayons X, étant d’un type parmi appareil d’imagerie par rayons X, appareil de diffraction de rayons X, appareil de diffusion de rayons X et appareil de fluorescence de rayons X, caractérisé par le fait qu’il comprend un dispositif d’imagerie par rayons X tel que décrit ci-avant. Un appareil selon l’invention peut notamment être un appareil de tomographie. L’invention a également pour objet un procédé d’imagerie utilisant un dispositif d’imagerie par rayons X tel que décrit ci-avant ou un appareil tel que décrit ci-avant, caractérisé par le fait qu’il comprend l’imagerie du modulateur sans échantillon sur le trajet optique entre la source de rayons X et le détecteur de rayons X bidimensionnel et l’imagerie du modulateur avec un échantillon sur le trajet optique entre la source de rayons X et le détecteur de rayons X bidimensionnel pour générer une paire d’images. Selon un mode de réalisation, la paire d’images est générée pour différentes positions du modulateur par rapport à une position stationnaire de l’échantillon. Selon un mode de réalisation, la paire d’images est générée pour une position stationnaire du modulateur et une position stationnaire de l’échantillon pour imager des changements de l’échantillon. Afin de mieux illustrer l’objet de la présente invention, des modes de réalisation particuliers vont maintenant être décrits, en liaison avec les dessins annexés. Sur ces dessins : FIG. 1 est une vue schématique d’un dispositif d’imagerie par rayons X selon un mode de réalisation de l’invention dans une première position d’imagerie, avec modulateur et sans échantillon. FIG. 1 est une vue schématique du dispositif d’imagerie par rayons X de la FIG. 1 dans une deuxième position d’imagerie, avec modulateur et échantillon. FIG. 2 est une vue schématique d’un dispositif d’imagerie par rayons X selon un autre mode de réalisation de l’invention dans une première position d’imagerie. FIG. 2 est une vue schématique du dispositif d’imagerie par rayons X de la FIG. 2 dans une deuxième position d’imagerie. FIG. 3 représente différentes spirales envisageables pour le motif de modulation de transmission d’un modulateur pour un dispositif d’imagerie par rayons X selon l’invention. FIG. 4 représente schématiquement deux modulateurs pour un dispositif d’imagerie par rayons X selon l’invention et leurs caractéristiques. FIG. 5 représente l’évolution du critère RMSE (critère d’erreur quadratique moyenne) en fonction de la taille de modulation d’un modulateur pour un dispositif d’imagerie par rayons X selon l’invention. FIG. 6 représente l’évolution du SSIM (mesure d’indice de similarité structurale) en fonction de la taille de modulation en pixels pour différents types de modulateurs. FIG. 7 représente l’évolution du SSIM en fonction du type de motif de modulation de transmission pour différentes formes de l’échantillon. FIG. 8 représente une image d’un échantillon en champ sombre et champ sombre directionnel pour un modulateur selon l’état de la technique et un modulateur selon l’invention. FIG. 9 représente la procédure de détermination de la taille de modulation pour une modulation non sphérique. Si l’on se réfère maintenant aux Figures 1a et 1b, on peut voir que l’on y a représenté un dispositif d’imagerie par rayons X 1 selon un mode de réalisation de l’invention. Le dispositif d’imagerie par rayons X 1 comprend une source de rayons X 2, un détecteur de rayons X bidimensionnel 3 comprenant des pixels 3a en regard de la source de rayons X 2, un support d’échantillon 4 constitué d’une platine de translation 4a supportant au moyen d’une tige 4b l’échantillon E, un modulateur 5 et une unité de traitement électronique 6. Le support d’échantillon 4 est actionnable manuellement ou mécaniquement, de manière motorisée ou non, pour déplacer l’échantillon E au sein du dispositif d’imagerie 1. Bien que cela ne soit pas représenté pour ne pas alourdir le dessin, le même agencement peut être envisagé pour déplacer le modulateur 5 au sein du dispositif d’imagerie 1. Dans le cas où le dispositif d’imagerie 1 permet d’effectuer également des mesures complémentaires telles que des mesures de diffraction ou diffusion de rayons-X, le support d’échantillon 4 pourra faire partie intégrante d’un goniomètre de diffractomètre ou d’une platine motorisée X,Y,Z d’équipement de diffusion aux petits et grands angles (équipement SAXS/WAXS). La source de rayons X 2 peut être l’une parmi un tube scellé, un tube microfoyer, un tube à rayons X à anode tournante ou un tube à rayons X à anode liquide. La source de rayons X 2 peut être ponctuelle ou non, divergente ou non divergente, monochromatique ou polychromatique, sans que l’invention soit limitée à cet égard. A titre d’exemple non limitatif, la source de rayons X 2 pouvant être utilisée avec l’invention peut être un tube microfoyer équipé d’une anode en cuivre et alimenté à 30 kV, émettant un faisceau conique polychromatique. Le détecteur de rayons X bidimensionnel 3 peut être tout type de détecteur de rayons X connu, les pixels 3a du détecteur de rayons X bidimensionnel 3 pouvant prendre toute forme (carré, rectangle, polygone et notamment hexagone ou octogone). A titre d’exemple non limitatif, un détecteur de rayons X bidimensionnel 3 pouvant être utilisé avec l’invention peut être un détecteur de type pixel hybride en silicium et fonctionnant en détection directe avec des pixels carrés de 75 µm ayant une surface de 70 par 70 mm environ. Le support d’échantillon 4 est configuré pour supporter un échantillon E à imager par le dispositif d’imagerie par rayons X 1, et peut prendre la forme schématique représentée sur les Figures 1a et 1b, mais la personne du métier comprendra que le support d’échantillon 4 peut prendre toute forme, notamment une platine ou un dispositif de pincement, un cadre, un film adhésif partiellement transparent aux rayons X, une pince, des fils pour maintenir l’échantillon E, voire une surface plane sur laquelle sont disposés l’ensemble des éléments constituant le dispositif d’imagerie par rayons X 1. Bien que cela ne soit pas représenté, le support d’échantillon 4 peut être déplaçable en translation et/ou en rotation, par l’intermédiaire d’un ou plusieurs actionneurs ou manuellement, sur des rails de guidage ou librement, ces considérations étant relatives au montage choisi par la personne du métier qui saura adapter le caractère déplaçable ou non de chaque élément constituant le dispositif d’imagerie par rayons X 1 selon l’invention. Le modulateur 5 selon l’invention comprend dans ce premier mode de réalisation une membrane, c’est-à-dire une paroi mince. Bien que le modulateur 5 soit représenté sur les figures avec une forme rectangulaire, la personne du métier comprendra que le modulateur 5 peut prendre toute forme, et notamment une forme de carré, polygonale, ronde, ovale, et plus généralement n’importe quelle forme, l’invention n’étant pas limitée à cet égard, pour autant que le modulateur 5 ait au moins une partie de sa surface sur le trajet optique des rayons X entre la source de rayons X 2 et le détecteur de rayons X bidimensionnel 3. Comme indiqué précédemment, le modulateur 5 peut être déplacé de manière similaire à l’échantillon E, bien que cela ne soit pas représenté pour ne pas alourdir les figures. Comme cela est représenté sur les figures, le modulateur 5 est disposé transversalement au faisceau F de rayons X provenant de la source de rayons X 2, ce qui signifie que le faisceau F de rayons X traverse l’épaisseur du modulateur 5. Lorsque le faisceau F de rayons X est parallèle, la direction d’épaisseur du modulateur 5 est parallèle à la direction de propagation du faisceau de rayons X, et lorsque le faisceau F est divergent, la direction d’épaisseur du modulateur 5 est parallèle à la génératrice du cône formé par le faisceau F de rayons X. Comme on peut le voir sur la FIG. 1 , un motif de modulation de transmission M, décrit plus en détail ci-après, est formé sur le modulateur 5. Le motif de modulation de transmission M prend la forme d’une partie de spirale comme cela sera décrit ci-après. Le carré 5a formé sur le modulateur 5 sur la FIG. 1 représente la surface traversée par le faisceau F de rayons X provenant de la source 2 sur le modulateur 5. Le carré 3b formé sur le détecteur de rayons X bidimensionnel 3 représente l’image formée sur le détecteur de rayons X bidimensionnel 3 par le faisceau F de rayons X provenant de la source de rayons X 2. La zone utile du détecteur de rayons X bidimensionnel 3 n'est pas nécessairement carrée et peut être plus petite que le faisceau F. On déplacera alors le détecteur de rayons X bidimensionnel 3 pour couvrir toute la zone d'intérêt par des poses successives qui seront recollées par l'unité de traitement électronique 6. Le carré schématique F E en FIG. 1 représente l’étendue spatiale du faisceau F de rayons X dans le plan de déplacement de l’échantillon E. L’unité de traitement électronique 6 peut être connectée ou intégrée au dispositif d’imagerie par rayons X 1, et peut être un dispositif électronique, par exemple un processeur, un microprocesseur, un microcontrôleur, un processeur de signaux numériques (DSP), une matrice prédiffusée programmable (FPGA), un circuit intégré à application spécifique (ASIC), comprenant ou associé à de la mémoire qui contient des instructions pour commander les différents éléments du dispositif d’imagerie par rayons X 1. L’unité de traitement électronique 6 peut également comporter des entrées/sorties voire des dispositifs de communication, sans fil ou filaire. Ainsi par exemple, le traitement des données et le pilotage du dispositif d’imagerie par rayons X 1 sont effectués par des ordinateurs dissociés. Le pilotage du dispositif d’imagerie par rayons X 1 et le traitement numérique des images peuvent être indifféremment effectués par le même dispositif électronique ou des dispositifs électroniques séparés. Le dispositif d’imagerie par rayons X 1 est utilisé pour réaliser l’image d’un échantillon E. Dans une première étape représentée schématiquement en FIG. 1 , seul le modulateur 5 est placé dans le trajet optique du faisceau F de rayons X entre la source de rayons X 2 et le détecteur de rayons X bidimensionnel 3, l’image de l’intersection du faisceau F de rayons X avec le modulateur 5, représentée sur le modulateur 5 par le carré 5a, étant représentée sur les pixels 3a du détecteur de rayons X bidimensionnel 3 par le carré 3b. Il est bien entendu que la forme obtenue sur le détecteur de rayons X bidimensionnel 3 dépend de la forme du faisceau F de rayons X. Dans une seconde étape, représentée sur la FIG. 1 , l’échantillon E est également placé avec le modulateur 5 dans le trajet optique du faisceau F de rayons X entre la source de rayons X 2 et le détecteur de rayons X bidimensionnel 3, l’intersection entre le faisceau F et le plan médian de l’échantillon perpendiculaire à la direction de propagation du faisceau étant représentée schématiquement par le carré F E . L’image de l’échantillon E ainsi obtenue sur le détecteur de rayons X bidimensionnel est représentée par le carré 3c. La personne du métier comprendra que l’ordre, sur le trajet optique du faisceau F de rayons X entre la source de rayons X 2 et le détecteur de rayons X bidimensionnel 3, du modulateur 5 et de l’échantillon E n’a pas d’importance, puisque ce que l’on cherche à imager sur le détecteur de rayons X bidimensionnel 3 est la différence d’image obtenue en présence et en l’absence de l’échantillon E sur le trajet optique du faisceau F de rayons X. Ainsi, bien que l’échantillon E soit représenté sur les Figures 1a et 1b en aval du modulateur 5 sur le trajet optique du faisceau F de rayons X, l’échantillon E pourrait tout aussi bien se situer en amont du modulateur 5 sur le trajet optique du faisceau F de rayons X, sans s’écarter du cadre de la présente invention. L’unité de traitement électronique 6 va exploiter les deux images, avec et sans échantillon E dans le trajet optique du faisceau F de rayons X, pour en déduire l’image de l’échantillon E en exploitant les variations spatiales de l’intensité du faisceau F de rayons X, générées par le modulateur 5, avec et sans passage à travers l’échantillon E. Les Figures 2a et 2b représentent un autre mode de réalisation du dispositif d’imagerie par rayons X 1, identique au mode de réalisation des Figures 1a et 1b, et dans lequel les mêmes éléments portent le même chiffre de référence que pour les Figures 1a et 1b et ne seront pas décrits plus en détail. La différence entre le mode de réalisation des Figures 2a et 2b et le mode de réalisation des Figures 1a et 1b est que le modulateur est constitué de deux membranes 5, 5’ dans le trajet optique du faisceau F de rayons X. La présence de deux membranes 5 et 5’ dans ce mode de réalisation augmente les variations spatiales de l’intensité du faisceau F de rayons X par rapport au mode de réalisation des Figures 1a et 1b. Le motif formé sur le détecteur de rayons X bidimensionnel 3 en présence des deux membranes 5, 5’, est représenté schématiquement identique à celui des Figures 1a et 1b pour ne pas alourdir le dessin. Le motif réellement formé sur le détecteur de rayons X bidimensionnel 3 avec deux membranes 5, 5’, tel que représenté pour ce mode de réalisation, ressemblerait en partie au motif formé en 3 ème ligne, 5 ème colonne de la FIG. 3 Le fonctionnement est sinon identique à celui décrit pour le mode de réalisation des Figures 1a et 1b et ne sera pas décrit plus en détail ici. Comme pour le mode de réalisation précédent, la personne du métier comprendra que l’ordre, dans le trajet optique du faisceau F de rayons X, des deux membranes 5 et 5’ constituant le modulateur et de l’échantillon E n’a pas d’importance particulière, et que tout ordre peut être envisagé. Ainsi, bien que l’ordre représenté sur les Figures 2a et 2b soit, dans l’ordre sur le trajet optique du faisceau F de la source de rayons X 2 au détecteur de rayons X bidimensionnel 3, membrane 5, membrane 5’ et échantillon E, toute combinaison sur le trajet optique est envisageable, l’échantillon E pouvant se trouver en amont des deux membranes 5 et 5’ ou entre les membranes 5 et 5’, sans s’éloigner du cadre de la présente invention. De même, l’invention n’est pas limitée par le nombre et les positions relatives de membranes disposées sur le trajet optique du faisceau F de rayons X, et il est possible d’envisager dans le cadre de la présente invention plus de deux membranes pour le modulateur. Comme indiqué ci-avant, chaque membrane a un motif de modulation de transmission formé dans celle-ci, de telle sorte que la transmission de rayons X varie dans le plan de la membrane, le motif de modulation de transmission comprenant des extrema de transmission locaux formés dans la membrane, les positions des extrema de transmission locaux suivant, dans le plan de la membrane, une courbe en spirale bidimensionnelle paramétrée en coordonnées polaires calculées avec une distance et un angle à partir d’un centre de la spirale, une distance par rapport au centre de la spirale étant définie par une fonction monotone de l’angle. Des exemples non limitatifs de courbe en spirale que peut prendre le motif de modulation de transmission sur la membrane sont présentés en FIG. 3 , où chaque carré représente un fond blanc ayant une valeur de transmission de rayons X uniforme, sur lequel est formée une courbe en spirale, avec chaque point de la spirale représentant un point où la transmission de rayons X est différente de la transmission de rayons X pour le fond blanc, désigné ci-avant extremum de transmission local. Il est bien entendu que d’autres formes en spirale peuvent être envisagées, et que d’autres motifs peuvent s’ajouter au motif en spirale, sans s’éloigner pour autant du cadre de la présente invention, pour autant que le motif final global soit apériodique et ne se répète jamais ni en translation ni en rotation. La courbe en spirale peut occuper toute la membrane, avec le centre de la courbe en spirale au centre de la membrane et la courbe en spirale centrée sur la membrane, mais la courbe en spirale peut également ne pas être centrée sur la membrane, avec son centre sur la membrane, comme par exemple sur la deuxième figure de la troisième ligne de la FIG. 3 où le carré en pointillés représente la membrane ou la zone utile de la membrane traversée par le faisceau de rayons X, ou la courbe en spirale peut aussi ne pas être centrée sur la membrane, avec son centre en dehors de la membrane, comme par exemple sur la troisième figure de la troisième ligne de la FIG. 3 , où le carré en pointillés représente la membrane ou la zone utile de la membrane traversée par le faisceau de rayons X. Tout matériau, et notamment des métaux, oxydes, polymères ou composites, peut être envisagé pour la membrane constituant le modulateur selon l’invention. Le modulateur a une transmission nominale minimale d'au moins 5% telle que mesurée sur le dispositif d’imagerie dans sa configuration d’utilisation nominale. Cette valeur de transmission nominale minimale est contrôlée par le choix du matériau et de l'épaisseur lors de la conception du modulateur. De préférence, la transmission nominale minimale du modulateur est comprise entre 10 % et 80 %. De préférence, la transmission nominale minimale doit être comprise entre 10 % et 50 %. Le modulateur a une transmission nominale maximale jusqu'à 100% mais pas nécessairement 100%. Le motif de modulation de transmission formé dans chaque membrane du modulateur est formé dans le plan de la membrane traversé en utilisation par le faisceau de rayons X. Il peut être formé de plusieurs manières, par exemple par au moins l’un parmi une augmentation locale de l’épaisseur de la membrane, une diminution locale de l’épaisseur de la membrane, un changement local de la composition chimique de la membrane. La FIG. 4 illustre deux exemples de formation de motif de modulation de transmission, chaque ligne représentant un modulateur, la première colonne représentant le modulateur considéré vu schématiquement de profil, la deuxième colonne représentant l’image de transmission obtenue avec le modulateur considéré et la troisième colonne représentant un profil d’intensité suivant la flèche représentée sur la deuxième colonne pour le modulateur considéré. Dans cet exemple illustratif non limitatif, le modulateur est constitué par une unique membrane ronde, la personne du métier comprendra cependant que l’invention n’est pas limitée à cet égard. Sur la première ligne de la FIG. 4 , le motif de modulation de transmission est formé par des trous formés dans l’épaisseur de la membrane constituant le modulateur. Sur la deuxième ligne de la FIG. 4 , le motif de modulation de transmission est formé par des saillies coniques formées sur la membrane constituant le modulateur. Le centre des trous ou des saillies coniques correspond à un point de la courbe en spirale. Cette différence d’épaisseur de la membrane créé, lorsque celle-ci est traversée par des rayons X, une variation spatiale d’intensité des rayons X due à la différence d’épaisseur de matière traversée par les rayons X. La personne du métier comprendra qu’un effet similaire peut être généré indifféremment par une différence d’épaisseur et/ou de composition chimique du modulateur induisant une variation locale de transmission des rayons X. La troisième colonne de la FIG. 4 illustre les extrema de transmission formés sur la ou les images de transmission de la membrane de la ligne correspondante, suivant la flèche représentée en deuxième colonne. Il résulte de ces figures que le changement de transmission n’est pas abrupte, du fait que les trous ou saillies formés ne sont pas nécessairement parfaits et cylindriques et que le point d’émission de la source de rayons X a une taille finie non nulle, conduisant à une variation de la transmission avec des maxima et minima locaux de transmission sur la membrane. Pour la membrane de la première ligne de la FIG. 4 , les minima de transmission correspondent à l’épaisseur moyenne de la membrane (hors trous)(en gris sur la deuxième colonne) tandis que les maxima de transmission correspondent aux trous (en blanc sur la deuxième colonne). Pour la membrane de la deuxième ligne de la FIG. 4 , les maxima de transmission correspondent à l’épaisseur moyenne de la membrane (hors saillies) (en blanc sur la deuxième colonne) tandis que les minima de transmission correspondent aux saillies (en noir sur la deuxième colonne). La transmission moyenne autour d’un extremum de transmission peut être calculée comme étant la moyenne arithmétique de la valeur maximale de transmission locale et de la valeur minimale de transmission locale autour de l’extremum local de transmission. Pour une modulation de forme sphérique, la taille peut être déterminée comme la largeur à mi-hauteur le long d’un profil passant par l’extremum local. Pour une modulation de forme non sphérique, on détermine la taille de modulation comme étant le diamètre équivalent à la surface formée par les pixels dont la valeur mesurée est supérieure ou égale à la transmission moyenne autour de l’extremum dans le cas d’un maximum local, ou inférieure ou égale dans le cas d’un minimum local. Le contour de cette surface est délimité par l’isoligne correspondant à la valeur moyenne. Ainsi, par exemple sur la FIG. 9 , en prenant comme exemple un trou à section carrée formé sur le modulateur (9A), la modulation projetée sur le détecteur de rayons X bidimensionnel est un carré arrondi (9B). La taille de modulation peut alors être calculée à partir du contour défini par l’isoligne correspondant à la moyenne du minimum (noir autour de la modulation) et du maximum local (centre de la tâche carrée) (9C). La surface de modulation peut être obtenue sur l’image obtenue (9D) et est définie par les pixels dont l'intensité est supérieure ou égale à la moyenne dans le cas où l'extremum est un maximum local, ou inférieure ou égale à la moyenne dans le cas où l'extremum est un minimum local, la taille de modulation correspondant alors au diamètre du cercle équivalent de même surface que la surface de modulation (9E), quelle que soit la forme du motif sur le modulateur. Le modulateur peut être fabriqué selon différents procédés, en fonction du matériau et de l'épaisseur. A titre d’exemple non limitatif, un modulateur constitué d’une membrane en PMMA avec des cônes (deuxième ligne de la FIG. 4 ) peut être produite par fabrication additive (micro-impression 3D) en utilisant par exemple la polymérisation à 2 photons. Dans ce cas, les cônes en PMMA sont déposés sur un substrat en SiO 2 , ce qui donne une membrane composite répondant aux exigences techniques (contraste de transmission, modèle de modulation et tailles). Une membrane en silice pure peut également être produite par réplication d'un masque en acrylate (masque fabriqué par micro-impression 3D). La faisabilité avec de la silice de 125 µm d'épaisseur a été vérifiée. Les modulateurs en métaux (Cu, Ni, Au) avec des trous peuvent être produits par galvanoplastie. Un masque négatif est réalisé à l'aide d'un procédé lithographique et le métal est déposé dans les vides du masque. Le matériau du masque est ensuite éliminé par lavage pour produire la feuille de métal à motifs. Enfin, des modulateurs avec des trous sphériques peuvent être produits par perçage laser (démonstration faite sur une feuille de nickel de 50 µm d'épaisseur avec des trous de 70 µm). Les points de la courbe en spirale forment donc un motif de modulation de transmission apériodique, ne se répétant pas par translation ou rotation. Dans le mode de réalisation représenté, les extrema sont d’un seul type sur une membrane : maxima ou minima. Une membrane ayant à la fois des minima et des maxima est également envisagée dans le cadre de l’invention. Le motif de modulation de transmission sur le modulateur créé en correspondance sur le détecteur de rayons X bidimensionnel des extrema locaux de valeurs détectées, la valeur de détection de rayons X variant sur le détecteur de rayons X bidimensionnel autour de chaque extremum local de valeurs détectées entre une valeur maximale locale et une valeur minimale locale, une taille de modulation étant définie pour chaque extremum local de valeurs détectées comme étant le diamètre autour de l’extremum local de valeurs détectées équivalent à l’aire de surface du détecteur ayant une valeur de détection de rayons X supérieure ou égale à la moyenne de la valeur maximum locale et de la valeur minimum locale dans le cas où l’extremum local est un maximum, ou inférieure ou égale à cette moyenne dans le cas où l’extremum local est un minimum, la moyenne des tailles de modulation, définie comme taille de modulation moyenne, pour le détecteur étant comprise entre 2 et 50 pixels projetés sur le détecteur de rayons X bidimensionnel. La taille moyenne de modulation définie ci-dessus dépend de la géométrie du modulateur et de la fonction d'étalement du point du dispositif d’imagerie par rayons X. La taille de modulation moyenne est comprise entre 2 et 50 pixels projetés sur le détecteur de rayons X bidimensionnel. La taille de modulation est mesurée en utilisant les mêmes configurations géométriques et les mêmes paramètres expérimentaux que pour les mesures. Ainsi, la taille déterminée correspond à la géométrie du modulateur convoluée par la fonction d'étalement du dispositif d’imagerie par rayons X. Concernant le calcul de la taille de modulation du modulateur, la relation entre la taille de modulation moyenne "d m " du modulateur en microns (µm) et la taille de modulation en pixels "d pix " sur le détecteur de rayons X bidimensionnel peut être estimée à partir de : avec M le grossissement du montage : M=1 pour un faisceau parallèle M= distance(source-détecteur)/distance(source-membrane) pour un faisceau conique. Si un objectif optique est placé devant le détecteur de rayons X bidimensionnel, son grossissement doit être pris en compte. S est la taille du foyer d’émission de la source de rayons X (µm) PSF det est la fonction d'étalement du point du détecteur (µm) p size est la taille du pixel (µm). Trois exemples pour différentes applications du dispositif d’imagerie par rayons X de l’invention sont décrits ci-après. Exemple 1 : Faible résolution à faible énergie Taille de la modulation de la cible sur le détecteur d pix =14 (pixels) Grossissement M=7,2 Taille du foyer d'émission source s=40 (µm) PSF du détecteur PSF det =75 (µm) Taille des pixels du détecteur p size =75 (µm) Il est constaté que la taille de modulation sur le modulateur devrait être de 142 µm. L'énergie relativement faible (anode Cu 30 kVp) permet d'utiliser une couche mince de 50 µm de nickel (transmission nominale minimale 10%). Exemple 2 : Imagerie haute résolution à haute énergie Taille de modulation de la cible sur le détecteur d pix =14 (pixels) Grossissement M=5 Taille du foyer d'émission source s=6 (µm) PSF du détecteur PSF det =85 (µm) Taille des pixels du détecteur p size =50 (µm) Il est constaté que la taille de modulation devrait être de 138 µm. L'énergie relativement élevée (énergie moyenne = 100 keV) permet d'utiliser une couche mince de 150 µm d'or. Exemple 3 : Imagerie médicale à haute énergie Taille de modulation cible sur le détecteur d pix =12 (pixels) Grossissement M=2,5 Taille du foyer d'émission source s=50 (µm) PSF du détecteur PSF det =100 (µm) Taille des pixels du détecteur p size =50 (µm) Il est constaté que la taille de modulation devrait être de 235 µm. L'énergie relativement élevée (anode W 120 kVp) permet d'utiliser une couche mince de 50 µm d'or. La transmission nominale minimale est contrôlée par la combinaison du matériau de la membrane constituant le modulateur et de son épaisseur. Elle est choisie en fonction du spectre d'énergie de la source de rayons X et de l’efficacité du détecteur de rayons X, en appliquant la loi de Beer-Lambert qui relie la transmission, l'atténuation des rayons X (dépendant du matériau et de l'énergie) et l'épaisseur : tr=exp(-μ*x) avec tr la transmission, μ le coefficient d'atténuation linéaire du matériau et x l'épaisseur. La tableau ci-dessous donne l'épaisseur de la membrane, pour un modulateur constitué d’une seule membrane, pour obtenir 30 % de transmission nominale minimale (c'est-à-dire l'épaisseur maximale) en fonction de l'énergie moyenne de la source et du matériau de la membrane, en supposant une efficacité de détection de 100% à l’énergie considérée. Energie moyenne source Matériau Or Aluminium Nickel Cuivre Silice PMMA 8 keV 3 µm 88 µm 27 µm 25 µm 100 µm 1,5 mm 100 keV 120 µm 26 mm 3,0 mm 2,9 mm 28 mm 61 mm Les Figures 5, 6 et 7 représentent le résultat de simulations numériques permettant d’évaluer la performance du motif de modulation de transmission en motif apériodique tel que décrit dans l’invention. Les caractéristiques du dispositif d’imagerie simulé sont les suivantes, représentatives d’un dispositif pouvant être intégré à un équipement de diffusion rayons-X aux petits angles (SAXS) : la source de rayons X est polychromatique avec une anode cuivre de taille de foyer d’émission de 50 µm, d’énergie moyenne de 8,6 keV. Le détecteur de rayons X bidimensionnel est de dimension 1030x514 pixels avec une taille de pixels de 75 µm. La distance source-échantillon est de 550 mm avec une distance source-membrane de 330 mm et membrane-échantillon de 220 mm. La distance échantillon-détecteur est de 1825 mm (les mêmes tendances de performance ayant été observées sur une distance comprise entre 50 mm et 4500mm). Si l’on se réfère à la FIG. 5 , on peut voir que le critère RMSE (erreur quadratique moyenne, en anglais Root Mean Square Error) est représenté en fonction de la taille de modulation en pixels. Ce critère RMSE quantifie l’écart entre l’image obtenue numériquement et l’image théorique exacte, une valeur faible indiquant une meilleure qualité d’image. Il découle de cette figure qu’il existe une taille de modulation moyenne de 14 pixels pour laquelle l’erreur quadratique est minimale, avec une augmentation du RMSE autour de cette valeur minimale. La FIG. 6 représente les valeurs du critère SSIM (mesure d’indice de similarité structurale, en anglais Structural Similarity Index Measure) pour différents motifs de modulation formés sur le modulateur en fonction de la taille de modulation en pixels. Ce critère SSIM quantifie la similarité entre l’image obtenue numériquement et l’image théorique exacte, une valeur élevée indiquant une meilleure qualité d’image. Il découle de cette figure que le motif de modulation de transmission en spirale apériodique selon l’invention donne les meilleures valeurs de SSIM comparé à un motif aléatoire ou à des motifs périodiques carrés ou hexagonaux. La FIG. 7 représente les valeurs du critère SSIM en fonction de la forme de l’échantillon, pour différents motifs de modulation de transmission. Le motif apériodique selon l’invention donne les meilleurs SSIM, quelle que soit la forme de l’échantillon. Des mesures expérimentales montrent que l'utilisation de la modulation en spirale améliore la qualité de l'image, notamment grâce à un meilleur rapport signal/bruit. La FIG. 8 permet de constater l’amélioration de la qualité de l'image, par une vérification expérimentale sur des images en champ sombre (première ligne) et en champ sombre directionnel (deuxième ligne) d'un fil de nylon (à gauche sur chaque image) et de deux brins de fibres de carbone (à droite sur chaque image), avec un modulateur de l’état de la technique de type papier de verre (première colonne) avec un motif de modulation de transmission aléatoire et un modulateur selon l’invention avec un motif de modulation de transmission apériodique en spirale (deuxième colonne). Pour calculer le rapport signal sur bruit, deux zones d'intérêt (ROI) de taille égale sont définies : l'une dans la fibre, où l'intensité moyenne du signal est calculée, et l'autre autour des fibres, où le bruit est estimé en mesurant l'écart-type des données. Le rapport des deux valeurs constitue le rapport signal sur bruit désigné SNR. Les ROI sont définies avec les mêmes paramètres sur chacune des quatre images, comme représenté par les rectangles sur les figures. Le rapport signal sur bruit en champ sombre (première ligne) est de 6 pour le modulateur de l’état de la technique (première colonne) contre 11 pour le modulateur selon l’invention (deuxième colonne). Le rapport signal sur bruit en champ sombre directionnel (deuxième ligne) est de 8 pour le modulateur de l’état de la technique (première colonne) contre 23 pour le modulateur selon l’invention (deuxième colonne). Le modulateur à motif de modulation apériodique en spirale donne donc de meilleurs résultats que les modulateurs de l’état de la technique. Le dispositif d'imagerie selon l’invention peut être utilisé pour une ou plusieurs expositions en positionnant le modulateur et l'échantillon sur le trajet du faisceau de rayons X. Le dispositif d'imagerie selon l’invention peut aussi être utilisé pour générer une ou plusieurs paires d'images du faisceau modulé seul et du faisceau modulé avec l'échantillon inséré le long de la trajectoire. Dans un mode de réalisation de l'invention, une ou plusieurs paires d'images sont générées avec différentes positions du modulateur par rapport à un échantillon stationnaire. Des méthodes numériques sont appliquées à une ou plusieurs paires d'images pour extraire des modalités d'imagerie supplémentaires telles que l'atténuation, le déplacement et le champ sombre. Cette analyse se base sur l’utilisation d’algorithmes de deux types dits explicites ou implicites. Les méthodes explicites consistent à comparer les distorsions locales du motif de référence par la présence de l’échantillon, c’est une comparaison itérative, pixel à pixel. Une liste non exhaustive de ces algorithmes peut être citée : XSVT, UMPA, XSS. Les méthodes implicites reposent sur la résolution d’un système d’équations dont les inconnues sont les modalités d’images à reconstruire (absorption, phase, champ sombre) et dont les données d’entrée sont les paires d’images du modulateur seul et du modulateur avec l’échantillon. Plusieurs algorithmes implicites existent tel que Optical Flow (flux optique) (OF) ou le Low Coherence System (système à faible cohérence) (LCS). Dans un autre mode de réalisation, des images du modulateur et de l'échantillon sont acquises pour suivre les évolutions de l'échantillon. Une ou plusieurs images du modulateur sans l'échantillon peuvent être acquises avant, pendant ou après la série temporelle représentant des stades d’évolution de l’échantillon. Des méthodes numériques sont appliquées à la séquence d'images pour extraire des modalités d'imagerie supplémentaires reflétant l'évolution de l'échantillon tout au long de l'expérience. On peut citer par exemple l’élastographie dont l’objectif est d’analyser la vitesse de déplacement d’une onde mécanique. Les distorsions du motif causées par l’onde mécanique sont alors analysées d’une image à l’autre par des algorithmes implicites ou explicites, comme ceux cités ci-dessus. Dans un autre mode de réalisation, les deux méthodes d'acquisition sont combinées pour acquérir une séquence temporelle d'une ou plusieurs paires d'images. L’unité électronique de traitement permet d’obtenir l’image souhaitée à partir des paires d’images capturées. – Dispositif d’imagerie par rayons X (1), comprenant une source de rayons X (2) générant un faisceau (F) de rayons X, un détecteur de rayons X bidimensionnel (3) comprenant des pixels (3a), un support d’échantillon (4) configuré pour supporter un échantillon (E), un modulateur (5, 5’), le support d’échantillon (4) et le modulateur (5, 5’) étant positionnés consécutivement dans n’importe quel ordre sur le trajet optique entre la source de rayons X (2) et le détecteur de rayons X bidimensionnel (3), et une unité de traitement électronique (6) configurée pour générer des données d’imagerie à partir des rayons X détectés par le détecteur de rayons X bidimensionnel (3), caractérisé par le fait que le modulateur (5, 5’) comprend au moins une membrane disposée transversalement à la direction de propagation du faisceau (F) de rayons X, le modulateur ayant une transmission nominale minimale du faisceau (F) de rayons X provenant de la source de rayons X (2) d’au moins 5%, un motif de modulation de transmission étant formé dans chaque membrane de telle sorte que la transmission de rayons X varie dans le plan de la membrane, le motif de modulation de transmission comprenant des extrema de transmission locaux formés dans la membrane, les positions des extrema de transmission locaux suivant, dans le plan de la membrane, une courbe en spirale bidimensionnelle paramétrée en coordonnées polaires calculées avec une distance et un angle à partir d’un centre de la spirale, une distance par rapport au centre de la spirale étant définie par une fonction monotone de l’angle. – Dispositif d’imagerie par rayons X (1) selon la revendication 1, caractérisé par le fait que le modulateur (5, 5’) est positionné dans le dispositif d’imagerie à rayons X (1) de telle sorte que les extrema de transmission locaux du modulateur (5, 5’) forment en correspondance sur le détecteur de rayons X bidimensionnel (3) des extrema locaux de valeurs détectées, la valeur de détection de rayons X variant sur le détecteur de rayons X bidimensionnel (3) autour de chaque extremum local de valeurs détectées entre une valeur maximale locale et une valeur minimale locale, une taille de modulation étant définie pour chaque extremum local de valeurs détectées comme étant le diamètre autour de l’extremum local de valeurs détectées équivalent à l’aire de surface du détecteur délimitée par le contour de l’isoligne correspondant à une valeur de détection de rayons X égale à la moyenne de la valeur maximum locale et de la valeur minimum locale, la moyenne des tailles de modulation, définie comme taille de modulation moyenne, pour le détecteur de rayons X bidimensionnel (3) étant comprise entre 2 et 50 pixels du détecteur de rayons X bidimensionnel (3). – Dispositif d’imagerie par rayons X (1) selon la revendication 2, caractérisé par le fait que la transmission nominale minimale du modulateur est comprise entre 10% et 50%. – Dispositif d’imagerie par rayons X (1) selon l’une quelconque des revendications 2 et 3, caractérisé par le fait que la taille de modulation moyenne est comprise entre 10 et 20 pixels du détecteur de rayons X bidimensionnel (3). - Dispositif d’imagerie par rayons X (1) selon l’une quelconque des revendications 2 à 4, caractérisé par le fait que les extrema de transmission locaux du modulateur (5, 5’) sont générés par au moins l’un parmi une augmentation locale de l’épaisseur de la membrane, une diminution locale de l’épaisseur de la membrane, un changement local de la composition chimique de la membrane. - Dispositif d’imagerie par rayons X (1) selon l’une quelconque des revendications 2 à 5, caractérisé par le fait que la distance moyenne entre deux extrema de transmission locaux de modulateur adjacents, définie comme étant la distance de modulation moyenne, est comprise entre une et trois fois la taille de modulation moyenne, de préférence deux fois la taille de modulation moyenne. - Dispositif d’imagerie par rayons X (1) selon l’une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé par le fait que le centre de la spirale est formé soit sur la membrane, soit en dehors de la membrane. - Dispositif d’imagerie par rayons X (1) selon l’une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé par le fait que la source de rayons X (2) est l’une parmi un tube scellé, un tube microfoyer, un tube à rayons X à anode tournante, et un tube à rayons X à anode liquide. - Dispositif d’imagerie par rayons X (1) selon l’une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé par le fait qu’il comprend au moins l’un parmi une optique et un filtre pour modifier au moins l’un parmi le spectre énergétique et la géométrie de faisceau du faisceau (F) de rayons X généré par la source de rayons X. – Appareil fonctionnant avec des rayons X, étant d’un type parmi appareil d’imagerie par rayons X, appareil de diffraction de rayons X, appareil de diffusion de rayons X et appareil de fluorescence de rayons X, caractérisé par le fait qu’il comprend un dispositif d’imagerie par rayons X (1) selon l’une quelconque des revendications 1 à 9. – Procédé d’imagerie utilisant un dispositif d’imagerie par rayons X (1) selon l’une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé par le fait qu’il comprend l’imagerie du modulateur (5, 5’) sans échantillon (E) sur le trajet optique entre la source de rayons X (2) et le détecteur de rayons X bidimensionnel (3) et l’imagerie du modulateur (5, 5’) avec un échantillon (E) sur le trajet optique entre la source de rayons X (2) et le détecteur de rayons X bidimensionnel (3) pour générer une paire d’images. – Procédé d’imagerie selon la revendication 11, caractérisé par le fait que la paire d’images est générée pour différentes positions du modulateur (5, 5’) par rapport à une position stationnaire de l’échantillon (E). – Procédé d’imagerie selon la revendication 11, caractérisé par le fait que la paire d’images est générée pour une position stationnaire du modulateur (5, 5’) et une position stationnaire de l’échantillon (E) pour imager des changements de l’échantillon (E).