Brevet FR3164757A1 — publié le 20260123

Pompe à vide (1) turbomoléculaire comportant un stator (2) comportant une bride de fixation (6) entourant un orifice d’aspiration (4) et dans laquelle sont ménagés une pluralité de trous traversants (20) pour l’insertion de vis (300), les trous traversants (20) présentant un tronçon distal (21) ménagé dans une partie annulaire distale (22) de la bride de fixation (6). Les trous traversants (20) sont ajourés en périphérie externe dans une partie annulaire proximale (23) de la bride de fixation (6) adjacente à la partie annulaire distale (22) et située du côté de l’orifice d’aspiration (4) de la pompe à vide (1) turbomoléculaire de manière à permettre la visualisation au moins partielle d’une zone de liaison (Z) entre la pompe à vide (1) turbomoléculaire (2) et la paroi de structure fixe (101). Figure 1 Pompe à vide turbomoléculaire, ensemble et installation de pompage Domaine technique de l’invention La présente invention concerne une pompe à vide turbomoléculaire. La présente invention concerne également un ensemble de pompage comportant la pompe à vide turbomoléculaire ainsi qu’une installation de pompage comportant l’ensemble de pompage. Arrière-plan technique La génération d’un vide poussé dans une enceinte nécessite l'utilisation de pompes à vide turbomoléculaires composées d'un stator dans lequel un rotor est entraîné en rotation rapide sur paliers magnétiques, par exemple à une rotation de plus de vingt mille tours par minute. Le stator comporte une bride de fixation entourant un orifice d’aspiration de la pompe à vide, que l’on raccorde à un orifice de sortie ménagé dans une paroi de structure fixe, telle que celle d’une enceinte dont on souhaite abaisser la pression ou celle d’une bride d’une vanne ou d’une canalisation. Le support de la pompe à vide s’effectue généralement par la seule bride de fixation. Des trous taraudés sont prévus dans la paroi de structure fixe autour de l’orifice de sortie, des trous traversants sont prévus dans la bride de fixation et des vis sont adaptées pour que leurs tiges traversent les trous traversants et se vissent dans les trous taraudés associés de la paroi de structure fixe pour solidariser la pompe à vide contre la paroi de structure fixe. Cependant, en cas de destruction du rotor, le rotor entrainé en rotation rapide peut brutalement entrer en contact avec le stator et exploser à l’intérieur de celui-ci. Toute l’énergie cinétique de rotation accumulée est alors transmise au stator. Le stator transmet ce couple à la bride de fixation soumettant les vis à des efforts violents de cisaillement pouvant conduire à leur rupture totale. Il est cependant indispensable pour la sécurité des personnes et des biens que, même en cas de destruction du rotor lancé à pleine vitesse, le stator reste solidarisé à la paroi de structure fixe et contienne les débris du rotor de sorte que ces débris, voire la pompe à vide elle-même, ne constitue pas un projectile. Pour éviter le cisaillement des vis, plusieurs solutions proposent de favoriser leur déformation dans la zone de liaison de la pompe à vide avec la paroi de structure fixe, notamment au moyen de trous traversants de la bride de fixation présentant une géométrie adaptée. On connait en particulier du document EP1537336B1 une bride annulaire de pompe à vide dans laquelle les trous traversants comprennent un tronçon distal cylindrique suivi d’un tronçon proximal élargi coaxial, autorisant lors d’efforts de cisaillement en toute direction latérale dans la zone de liaison entre la pompe à vide et la structure fixe, une flexion de la tige de vis et un décalage latéral correspondant entre le trou traversant et le trou taraudé associé. Cette flexion de la tige de vis permet d’augmenter la tenue sans rupture de la vis et ainsi, la tenue de la pompe à vide à la paroi de structure fixe. On cherche par ailleurs de plus en plus à augmenter le débit de pompage des pompes à vide, ce qui se traduit par des pompes de plus en plus volumineuses. L’augmentation du volume des pompes à vide nécessite des stators plus rigides pour éviter notamment leur ovalisation. Pour cela, les stators présentent des brides de fixation plus épaisses et de façon concomitante, des vis plus longues susceptibles de pouvoir traverser les brides de fixation. L’allongement des brides de fixation complexifie le montage de la pompe à vide sur la structure fixe. Il est en effet plus difficile pour les monteurs d’orienter correctement la pompe à vide face aux trous taraudés de la paroi de structure fixe sans visibilité des emplacements des trous taraudés car la longueur de la bride empêche leur visualisation à travers les trous traversants devenus trop profonds. Pour faciliter le positionnement de la pompe à vide de bride de fixation de grande longueur, une solution peut consister à utiliser des goujons à la place des vis. Les goujons, filetés aux deux extrémités, permettent de visser d’abord les tiges filetées dans les trous taraudés, puis d’enfiler la pompe à vide sur les tiges filetées, puis de serrer des écrous sur les têtes filetées dépassant de la bride. Un premier problème est qu’on ne dispose pas forcément du dégagement axial suffisant sous la paroi de structure fixe pour passer la pompe à vide sous les tiges filetées assemblées. Un autre problème est que le serrage préalable des tiges filetées dans les trous taraudés peut risquer d’être trop ou pas assez profond et entrainer un désalignement des portions déformables des goujons avec les tronçons proximaux élargis des trous traversants de la bride de fixation. Un but de la présente invention est de proposer une pompe à vide turbomoléculaire dont le montage sur les parois de structure fixe d’enceinte, de vanne ou de canalisation, est facilité. Un autre but de la présente invention est de proposer une pompe à vide turbomoléculaire dont le montage sur les parois de structure fixe d’enceinte, de vanne ou de canalisation, est sécurisé. A cet effet, l’invention a pour objet une pompe à vide turbomoléculaire comportant un stator et un rotor configuré pour tourner dans le stator, le stator comportant une bride de fixation entourant un orifice d’aspiration de la pompe à vide turbomoléculaire et dans laquelle sont ménagés une pluralité de trous traversants pour l’insertion de vis ou goujons destinés à être vissés dans des trous taraudés d’une paroi de structure fixe pour la solidarisation de ladite pompe à vide à ladite paroi, les trous traversants présentant un tronçon distal ménagé dans une partie annulaire distale de la bride de fixation, caractérisée en ce que les trous traversants sont ajourés en périphérie externe dans une partie annulaire proximale de la bride de fixation adjacente à la partie annulaire distale et située du côté de l’orifice d’aspiration de la pompe à vide turbomoléculaire de manière à permettre la visualisation au moins partielle d’une zone de liaison entre la pompe à vide turbomoléculaire et la paroi de structure fixe. Il est ainsi possible de visualiser au moins partiellement d’une part, les extrémités filetées des vis ou goujons traversant la partie annulaire proximale de la bride de fixation au moment de leur insertion dans les trous taraudés et d’autre part, les trous taraudés de la paroi de structure fixe dans lesquels les vis ou goujons sont destinés à être insérés et contre laquelle la bride de fixation est destinée à être solidarisée. Cette visualisation de la zone de liaison permet de pouvoir bien viser les trous taraudés avec les extrémités filetées des vis ou goujons afin de faire correspondre leurs axes respectifs et ainsi de positionner correctement la pompe à vide. Le montage de la pompe à vide turbomoléculaire sur la paroi de structure fixe peut ainsi être facilité. Il est en outre possible de vérifier simplement par inspection visuelle à travers les ajours si l’extrémité filetée d’une vis ou goujon est endommagée par simple desserrement de la vis ou du goujon alors même que la pompe à vide est solidarisée contre la paroi de structure fixe. La pompe à vide peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prises seules ou en combinaison. L’ajour des trous traversants s’étend sur une longueur axiale par exemple comprise entre 5% et 30%, comme entre 10% et 20%, de la longueur axiale de la bride de fixation. La longueur axiale de la bride de fixation est par exemple comprise entre 20% et 60%, comme entre 30% et 50% de la longueur axiale d’un carter du stator recevant des étages rotor à ailettes du rotor. Selon un exemple de réalisation, les trous traversants présentent respectivement un tronçon proximal ménagé dans la partie annulaire proximale de la bride de fixation, le tronçon proximal présentant une section élargie par rapport à la section du tronçon distal et débouchant du côté de l’orifice d’aspiration de la pompe à vide turbomoléculaire. Selon un exemple de réalisation, les trous traversants sont ajourés par des ouvertures latérales ménagées dans les tronçons proximaux. L’ajour des trous traversants formé par les ouvertures latérales s’étend par exemple sur toute la longueur axiale des tronçons proximaux de section élargie. Les sections transversales des tronçons proximaux peuvent être oblongues. Les ouvertures latérales peuvent être formées par des côtés externes des sections transversales des tronçons proximaux affleurant la périphérie de la bride de fixation. Les centres des sections transversales et les axes des tronçons distaux peuvent être alignés dans une direction radiale, les axes des tronçons distaux étant déportés du côté intérieur de la bride de fixation par rapport aux centres des sections transversales. Selon un exemple de réalisation, les trous traversants sont ajourés en périphérie externe dans la partie annulaire proximale de la bride de fixation du fait que les tronçons distaux sont ménagés au moins partiellement à une distance radiale supérieure à celle d’une extrémité radiale de la partie annulaire proximale de sorte que les vis ou goujons destinés à être insérés dans les trous traversants soient situés au moins en partie à l’extérieur de la partie annulaire proximale. Les tronçons distaux peuvent être entièrement ménagés à une distance radiale supérieure à celle de l’extrémité radiale de la partie annulaire proximale de sorte que les vis ou goujons destinés à être insérés dans les trous traversants soient entièrement situés à l’extérieur de la partie annulaire proximale. La partie annulaire proximale présente par exemple une section de forme externe polygonale présentant autant de côtés que de trous traversants, telle que dodécagonale. L’invention a aussi pour objet un ensemble de pompage caractérisé en ce qu’il comporte une pompe à vide turbomoléculaire telle que décrite précédemment et des vis ou goujons insérés dans les trous traversants de la bride de fixation. Dans le cas de vis, chaque vis présente une tige surmontée d’une tête de vis. Selon un exemple de réalisation des vis, la tige présente une portion distale située du côté de la tête de vis présentant une section plus large qu’une section d’une portion proximale adjacente de la tige située du côté d’une extrémité filetée de la vis, la portion distale étant destinée à être insérée dans le tronçon distal de la partie annulaire distale de la bride de fixation, la portion proximale étant destinée à être insérée dans la partie annulaire proximale ajourée de la bride de fixation. Dans le cas de goujons, chaque goujon présente une tige présentant une extrémité filetée, la tige étant surmontée d’une tête filetée, chaque goujon comportant un écrou vissable sur la tête filetée. Selon un exemple de réalisation des goujons, la tige présente une portion distale située du côté de la tête filetée présentant une section plus large qu’une section d’une portion proximale adjacente de la tige située du côté d’une extrémité filetée de la tige, la portion distale étant destinée à être insérée dans le tronçon distal de la partie annulaire distale de la bride de fixation, la portion proximale étant destinée à être insérée dans la partie annulaire proximale ajourée de la bride de fixation. L’invention a encore pour objet une installation de pompage présentant une paroi de structure fixe dans laquelle des trous taraudés sont ménagés autour d’un orifice de sortie, caractérisée en ce que l’installation de pompage comporte un ensemble de pompage tel que décrit précédemment, solidarisé à la paroi de structure fixe. Dans le cas où les vis ou goujons destinés à être insérés dans les trous traversants sont situés au moins en partie à l’extérieur de la partie annulaire proximale, l’installation de pompage peut comporter des capteurs de vibrations et/ou des actionneurs et/ou des éléments élastiques de compression et/ou des blocs isolants thermique et/ou mécanique et/ou des organes déformables, entre les vis ou les goujons, agencés sur la paroi d’extrémité de la portion annulaire distale de la bride de fixation ou entre la paroi d’extrémité de la portion annulaire distale de la bride de fixation et la paroi de structure fixe. Brève description des figures D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description de l'invention, ainsi que des dessins annexés sur lesquels : FIG. 1 La FIG. 1 montre une vue schématique en coupe axiale d’un exemple d’une installation de pompage comportant un ensemble de pompage solidarisé à une paroi de structure fixe au moyen de vis. FIG. 2 La FIG. 2 montre une vue schématique partielle en coupe axiale d’un carter et d’une vis de l’ensemble de pompage solidarisé à une paroi de structure fixe de la FIG. 1 . FIG. 3 La FIG. 3 montre une vue en perspective d’un carter de l’ensemble de pompage de la FIG. 1 . FIG. 4 La FIG. 4 montre une vue en perspective d’une vis de l’ensemble de pompage de la FIG. 1 . FIG. 5 La FIG. 5 montre une vue partielle de dessus du carter de la FIG. 3 . FIG. 6 La FIG. 6 montre une vue en perspective d’un carter de stator pour un autre exemple de réalisation. FIG. 7 La FIG. 7 montre une vue similaire à la FIG. 5 pour un autre exemple de réalisation. FIG. 8 La FIG. 8 montre une vue similaire à la FIG. 2 pour un ensemble de pompage solidarisé à une paroi de structure fixe au moyen de goujons. Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence. Description détaillée Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations, sans s’écarter de la portée de l’invention, telle que définie par les revendications. On définit par axiale la direction parallèle à l’axe de rotation I-I du rotor de la pompe à vide et par radiale ou transversale, les directions perpendiculaires à la direction axiale. La FIG. 1 illustre un exemple de réalisation d’une installation de pompage 100 présentant une paroi de structure fixe 101 dans laquelle des trous taraudés 102 sont ménagés autour d’un orifice de sortie 103. La paroi de structure fixe 101 est par exemple celle d’une enceinte dont on souhaite abaisser la pression ou celle d’une bride d’une vanne ou d’une canalisation. L’installation de pompage 100 comporte un ensemble de pompage 200 solidarisé à la paroi de structure fixe 101. L’ensemble de pompage 200 comprend une pompe à vide 1 turbomoléculaire et des vis 300 (figures 1, 2 et 4) ou des goujons 400 ( FIG. 8 ) pour solidariser la pompe à vide 1 à la paroi de structure fixe 101. La pompe à vide 1 turbomoléculaire comporte un stator 2 dans lequel un rotor 3 est configuré pour tourner à grande vitesse en rotation axiale, par exemple une rotation à plus de vingt mille tours par minute. Les gaz pompés entrent par un orifice d’aspiration 4 et sont évacués par un orifice de refoulement (non visible) de la pompe à vide 1 turbomoléculaire. En fonctionnement, l’orifice de refoulement est raccordé à un pompage primaire. Selon un exemple de réalisation, le stator 2 comporte un carter 2a dans lequel est ménagé un logement 8 et comporte au moins deux étages stator annulaire 9 reçus dans le logement 8. Le logement 8 est par exemple cylindrique. Le stator 2 comporte également une douille haute pression 2b dans laquelle est ménagé l’orifice de refoulement de la pompe à vide 1. Les étages stator annulaire 9 sont respectivement agencés entre deux étages rotor à ailettes 10 successifs du rotor 3. Les étages stator annulaire 9 et les étages rotor à ailettes 10 se succèdent axialement le long de l’axe de rotation I-I du rotor 3 dans l’étage turbomoléculaire. Chaque étage rotor à ailettes 10 comporte des pales inclinées qui partent en direction sensiblement radiale d’un moyeu 11 du rotor 3. Les pales sont réparties régulièrement en périphérie du moyeu 11. Le rotor 3 comporte par exemple plus de quatre étages rotor à ailettes 10, comme entre sept et seize étages rotor à ailettes 10 (sept dans l’exemple illustré sur la FIG. 1 ). Selon un exemple de réalisation, le rotor 3 comporte au moins une jupe 5, dite jupe Holweck, en aval des étages rotor à ailettes 10 dans la direction de circulation des gaz pompés, formée par un cylindre lisse, qui tourne en regard de rainures hélicoïdales 7 du stator 2, par exemple ménagées dans la douille haute pression 2b. Les rainures hélicoïdales 7 du stator 2 permettent de comprimer et guider les gaz pompés vers l’orifice de refoulement. Selon un exemple de réalisation, le rotor 3 comporte en outre un bol interne 15, coaxial à l’axe de rotation I-I, agencé en vis-à-vis d’un dôme 17 du stator 2, saillant sous le rotor 3 et dont une embase est reliée à la douille haute pression 2b. En fonctionnement, le rotor 3 tourne dans le stator 2 sans contact entre le bol interne 15 et le dôme 17. Le rotor 3 est par exemple réalisé d’une seule pièce (monobloc). Le rotor 3 est fixé à un arbre d’entrainement 12 de la pompe à vide 1, entraîné en rotation dans le stator 2 par un moteur 16 interne de la pompe à vide 1. Le moteur 16 est par exemple agencé dans le dôme 17 du stator 2, lui-même agencé sous le bol interne 15 du rotor 3, l’arbre d’entrainement 12 traversant le dôme 17 du stator 2. Le rotor 3 est guidé latéralement et axialement par des paliers magnétiques et des paliers mécaniques de secours, supportant l’arbre d’entraînement 12 du rotor 3, situés dans le stator 2. Les paliers magnétiques actifs permettent de maintenir un rotor 3 en lévitation dans le champ magnétique créé. D’autres composants électriques ou électroniques peuvent être reçus dans le dôme 17 du stator 2, comme des capteurs de position. Le stator 2 comporte en outre une bride de fixation 6 entourant l’orifice d’aspiration 4, pour raccorder la pompe à vide 1 à la paroi de structure fixe 101 et mettre en communication l’orifice d’aspiration 4 de la pompe à vide 1 et l’orifice de sortie 103 de la paroi de structure fixe 101. Le support de la pompe à vide 1 s’effectue par la seule bride de fixation 6 entourant l’orifice d’aspiration 4 à l’extrémité du stator 2. L’orifice d’aspiration 4 et l’orifice de sortie 103 sont cylindriques. La bride de fixation 6 de la pompe à vide 1 est annulaire. Dans l’exemple illustratif, la bride de fixation 6 est agencée à l’extrémité du carter 2a du stator 2. La bride de fixation 6 est relativement « épaisse », c’est-à-dire présente une dimension dans la direction axiale relativement importante notamment pour éviter l’ovalisation du stator 2 d’une pompe à vide 1 de grande dimension présentant de grande capacité de pompage. La longueur axiale l1 de la bride de fixation 6 est par exemple comprise entre 20% et 60%, comme entre 30% et 50% de la longueur axiale L du carter 2a du stator 2 recevant les étages stator annulaires 9 du stator 2 et les étages rotor à ailettes 10 du rotor 3 ( FIG. 2 ). La longueur axiale l1 de la bride de fixation 6 est par exemple comprise entre 5 cm et 10 cm, tel qu’entre 6 cm et 8 cm. Comme mieux visible sur les figures 2 et 3, une pluralité de trous traversants 20 est ménagée dans la bride de fixation 6. Les trous traversants 20 traversent la bride de fixation 6 dans une direction axiale parallèle à l’axe de rotation I-I. Ces trous traversants 20 permettent l’insertion des vis 300 destinées à être insérées dans les trous taraudés 102 de la paroi de structure fixe 101 pour solidariser la pompe à vide 1 contre la paroi de structure fixe 101 entourant l’orifice de sortie 103. Les vis 300 présentent des tiges 320 présentant une extrémité filetée, les tiges 320 étant surmontées de têtes de vis 310 ( FIG. 4 ). La longueur des tiges 320 est adaptée pour pouvoir traverser la bride de fixation 6 dans sa longueur axiale et se visser dans les trous taraudés 102 associés de la paroi de structure fixe 101. Les vis 300 sont par exemple en acier, tel qu’en acier inoxydable. Les trous traversants 20 sont régulièrement répartis sur le pourtour de la bride de fixation 6. Le nombre et la répartition des trous traversants 20 correspond bien entendu à ceux des trous taraudés 102 de la paroi de structure fixe 101 et au nombre de vis 300. Il y a par exemple entre huit et seize, tel que douze, trous traversants 20, vis 300 et trous taraudés 102. Les trous traversants 20 présentent un tronçon distal 21 cylindrique ménagé dans une partie annulaire distale 22 de la bride de fixation 6 ( FIG. 2 ). Les têtes de vis 310 sont destinées à venir en butée contre la paroi radiale de la partie annulaire distale 22 une fois les vis 300 vissées dans la paroi de structure fixe 101. La bride de fixation 6 présente une partie annulaire proximale 23 adjacente et coaxiale à la partie annulaire distale 22, la partie annulaire proximale 23 étant située du côté de l’orifice d’aspiration 4. La paroi d’extrémité de la partie annulaire proximale 23 de la bride de fixation 6 est destinée à venir plaquer la paroi de structure fixe 101. Un joint d’étanchéité 27 peut être intercalé entre la paroi de la partie annulaire proximale 23 et la paroi de structure fixe 101, le joint d’étanchéité 27 étant en partie reçu dans une gorge annulaire 26 ménagée dans la paroi d’extrémité de la bride de fixation 6 (figures 1 et 5). Les trous traversants 20 sont ajourés en périphérie externe dans la partie annulaire proximale 23 de la bride de fixation 6 située du côté de l’orifice d’aspiration 4 de la pompe à vide 1 de manière à permettre la visualisation au moins partielle d’une zone de liaison Z entre la pompe à vide 1 turbomoléculaire et la paroi de structure fixe 101. Il est ainsi possible de visualiser au moins partiellement d’une part, les extrémités filetées des vis 300 traversant la partie annulaire proximale 23 de la bride de fixation 6 au moment de leur insertion dans les trous taraudés 102 et d’autre part, les trous taraudés 102 de la paroi de structure fixe 101 dans lesquels les vis 300 sont destinées à être insérées et contre laquelle la bride de fixation 6 est destinée à être solidarisée. Cette visualisation de la zone de liaison Z permet de pouvoir bien viser les trous taraudés 102 avec les extrémités filetées des vis 300 afin de faire correspondre leurs axes respectifs et ainsi de positionner correctement la pompe à vide 1. Le montage de la pompe à vide 1 turbomoléculaire sur la paroi de structure fixe 101 peut ainsi être facilité. Il est en outre possible de vérifier simplement par inspection visuelle à travers les ajours si l’extrémité filetée d’une vis 300 est endommagée par simple desserrement de la vis 300 alors même que la pompe à vide 1 est solidarisée contre la paroi de structure fixe 101. Les figures 1, 2, 3 et 5 montrent un premier exemple de réalisation pour lequel les trous traversants 20 présentent respectivement un tronçon proximal 24 ménagé dans la partie annulaire proximale 23 de la bride de fixation 6, le tronçon proximal 24 étant adjacent et coaxial au tronçon distal 21 avec une éventuelle portion de liaison entre les deux, par exemple conique ou similaire, le tronçon proximal 24 présentant une section élargie par rapport à la section du tronçon distal 21. Le tronçon proximal 24 débouche du côté de l’orifice d’aspiration 4 de la pompe à vide 1. Les tiges 320 des vis 300 peuvent ainsi se déformer avec le déplacement du stator 2 relativement à la paroi de structure fixe 101 en cas de crash du rotor 3. Les tiges 320 des vis 300 peuvent alors s’étirer dans les tronçons proximaux 24 et se déformer sans rupture en suivant le déplacement du stator 2 autorisant un décalage entre les trous traversants 20 et les trous taraudés 102 associés. Ainsi même en cas de destruction du rotor 3 lancé à pleine vitesse, le stator 2 reste solidarisé à la paroi de structure fixe 101 et contient les débris du rotor 3. Les trous traversants 20 sont ici ajourés par des ouvertures latérales 25 ménagées dans les tronçons proximaux 24, pour permettre la visualisation de la zone de liaison Z. L’ajour des trous traversants 20 formé par les ouvertures latérales 25 s’étend par exemple sur une longueur axiale l2 comprise entre 5% et 30%, comme entre 10% et 20%, de la longueur axiale l1 de la bride de fixation 6. L’ajour des trous traversants 20 formé par les ouvertures latérales 25 s’étend par exemple sur toute la longueur axiale l2 des tronçons proximaux 24 de section élargie. La longueur axiale l2 de l’ajour des trous traversants 20 formé par les ouvertures latérales 25 est par exemple comprise entre 0,5 cm et 2 cm, telle que 1 cm. La longueur axiale l2 de l’ajour représente une faible proportion de la longueur axiale l1 de la bride de fixation 6, permettant une inspection visuelle de la zone de liaison Z sans fragiliser la tenue mécanique de la bride de fixation 6. Comme mieux visible sur la FIG. 5 , les sections transversales des tronçons proximaux 24 peuvent être oblongues, c’est-à-dire ici être plus longues que larges et être terminées par deux demi-cylindres. Les ouvertures latérales 25 sont formées par les côtés externes des sections transversales affleurant la périphérie de la bride de fixation 6. Les trous traversants 20 sont alors déportés vers l’extérieur de la bride 6, jusqu’au bord du stator 2 au lieu d’être ménagés de manière symétrique. Selon un exemple de réalisation, les centres des sections transversales et les axes des tronçons distaux 21 sont alignés dans la direction radiale, les axes des tronçons distaux 21 étant déportés du côté intérieur de la bride de fixation 6 par rapport aux centres des sections transversales. On peut prévoir en outre que les tiges 320 des vis 300 présentent une portion distale 321 située du côté de la tête de vis 310 présentant une section plus large qu’une section d’une portion proximale 322 adjacente de la tige 320 située du côté d’une extrémité filetée de la vis 300. La portion distale 321 est destinée à être insérée dans le tronçon distal 21 cylindrique de la partie annulaire distale 22 de la bride de fixation 6. La portion distale 321 est lisse pour éviter la fragilisation de la vis 300 au niveau de la portion distale 321. La portion proximale 322 présente une partie lisse et une extrémité filetée. La portion proximale 322 est destinée à être insérée dans la partie annulaire proximale 23 ajourée de la bride de fixation 6. La portion distale 321 plus épaisse sera moins déformée en cas de crash du rotor 3 au contraire de la portion proximale 322 plus fine qui sera plus facilement déformée. On privilégie ainsi la déformation des vis 300 dans la portion proximale 322 de la tige 320 située hors du tronçon distal 21, la portion proximale 322 pouvant se déformer dans les tronçons proximaux 24. De plus, on limite l’élongation des vis 300 du fait que la plus large portion distale 321 est peu sensible à la déformation. Une fois la vis 300 assemblée, seule la partie lisse de la portion proximale 322 sort du trou taraudé 102, ce qui permet d’éviter la formation d’une amorce de rupture de la vis 300 dans l’extrémité filetée avant la déformation de la partie lisse de la portion proximale 322 affinée. On peut en outre prévoir de ménager un canal 500 de détection de fuites entre le trou traversant 20 et la gorge annulaire 26 ( FIG. 5 ). On peut alors injecter un gaz traceur à travers l’ouverture latérale 25 et surveiller avec un détecteur de fuites fluidiquement raccordé à la pompe à vide 1 (par exemple à l’orifice d’aspiration 4 ou à l’orifice de refoulement) si du gaz traceur peut être retrouvé dans la pompe à vide 1 afin de vérifier l’étanchéité du joint d’étanchéité 27. La FIG. 6 illustre une variante de réalisation du carter 2a de la pompe à vide 1. Dans cette variante, les sections transversales des tronçons proximaux 24 présentent une forme oblongue en « D ». Les ouvertures latérales 25 sont formées par les côtés externes plats des formes en « D » des sections transversales affleurant la périphérie de la bride de fixation 6. La FIG. 7 illustre un autre exemple de réalisation pour lequel les trous traversants 20 sont ajourés en périphérie externe dans la partie annulaire proximale 23 de la bride de fixation 6 du fait que les tronçons distaux 21 sont ménagés au moins partiellement à une distance radiale supérieure à celle d’une extrémité radiale de la partie annulaire proximale 23 de sorte que les vis 300 destinées à être insérées dans les trous traversants 20 soient situées au moins en partie à l’extérieur de la partie annulaire proximale 23. Les tronçons distaux 21 peuvent être entièrement ménagés à une distance radiale supérieure à celle de l’extrémité radiale de la partie annulaire proximale 23 de sorte que les vis 300 destinées à être insérées dans les trous traversants 20 soient entièrement situées à l’extérieur de la partie annulaire proximale 23. Autrement dit, les trous traversants 20 sont dépourvus de tronçons proximaux. La partie annulaire proximale 23 présente alors par exemple une section de forme externe polygonale, telle que dodécagonale, présentant autant de côtés qu’il y a de trous traversants 20 ménagés dans la bride de fixation 6. La partie annulaire proximale 23 présente une forme interne cylindrique. Une partie annulaire proximale 23 présentant une section de forme externe polygonale facilite l’usinage. Également, cette forme externe polygonale peut permettre le passage d’un outillage de manipulation de la pompe à vide 1, tel qu’une fourche de levage (dans le cas par exemple d’une pompe à vide dont l’orientation est retournée par rapport à la FIG. 1 ). L’ajour des trous traversants 20 donne la possibilité aux vis 300 de se déformer avec le déplacement du stator 2 relativement à la paroi de structure fixe 101 en cas de crash du rotor 3. Les vis 300 peuvent s’étirer et se déformer sans rupture au niveau de la partie annulaire proximale 23 en suivant le déplacement du stator 2, autorisant un décalage entre les trous traversants 20 et les trous taraudés 102 associés. Ainsi même en cas de destruction du rotor 3 lancé à pleine vitesse, le stator 2 reste solidarisé à la paroi de structure fixe 101 et contient les débris du rotor 3. Comme dans les exemples de réalisation précédemment décrits, l’ajour des trous traversants 20 s’étend par exemple sur une longueur axiale l2 comprise entre 5% et 30%, comme entre 10% et 20%, de la longueur axiale l1 de la bride de fixation 6. La longueur axiale l2 de l’ajour des trous traversants 20 est par exemple comprise entre 0,5 cm et 2 cm, telle que 1 cm. Comme dans les exemples précédents, on peut prévoir que les tiges 320 des vis 300 présentent une portion distale 321 située du côté de la tête de vis 301 présentant une section plus large qu’une section d’une portion proximale 322 adjacente de la tige 320 située du côté d’une extrémité filetée de la vis 300. On privilégie ainsi la déformation des vis 300 dans la portion proximale 322 de la tige 320 située hors du tronçon distal 21. Dans cet exemple de réalisation, du fait du dégagement réalisé dans le stator 2 par les ajours, l’installation de pompage 100 peut comporter en outre des dispositifs auxiliaires 600 ou 700 tels que des capteurs de vibrations et/ou des actionneurs et /ou des éléments élastiques de compression et/ou des blocs isolants thermiques et/ou mécaniques et/ou des organes déformables, agencés entre les vis 300 sur la circonférence de la paroi d’extrémité de la portion annulaire distale 22 ou entre la paroi d’extrémité de la portion annulaire distale 22 de la bride de fixation 6 et la paroi de structure fixe 101. On peut agencer des capteurs de vibrations 700 sur la circonférence de la paroi d’extrémité de la portion annulaire distale 22 de la bride de fixation 6, entre les vis 300. Ces capteurs de vibrations peuvent être des capteurs de forces dynamiques comme des jauges de contrainte axiale ou des capteurs mécaniques ou thermiques comme des accéléromètres ou des jauges de déformation. Ces capteurs peuvent permettre de mesurer les vibrations créées par la pompe à vide 1 sur la paroi de structure fixe 101. On peut agencer des actionneurs 700 sur la circonférence de la paroi d’extrémité de la portion annulaire distale 22 de la bride de fixation 6, entre les vis 300. Les actionneurs, en particulier de grande force et très faible déplacement, tels que des actionneurs piézoélectriques, peuvent permettre d’atténuer par compensation, les vibrations crées par la pompe à vide 1. On peut également prévoir d’agencer des éléments élastiques de compression 600, comme des ressorts, entre les vis 300, de manière à relier la paroi d’extrémité de la portion annulaire distale 22 de la bride de fixation 6 à la paroi de structure fixe 101. Les éléments élastiques de compression peuvent permettre le décollement de la pompe à vide 1 de la paroi de structure fixe 101 dès le desserrement des vis 300 pour faciliter le démontage de la pompe à vide 1. On peut également prévoir d’agencer des blocs isolants thermiques et/ou mécaniques 600, entre les vis 300, de manière à relier la paroi d’extrémité de la portion annulaire distale 22 de la bride de fixation 6 à la paroi de structure fixe 101. La hauteur des blocs isolants dans la direction axiale est supérieure, par exemple de 1/100mm, à la longueur de la partie annulaire proximale 23 pour former une isolation thermique et/ou mécanique entre la paroi de structure fixe 101 et la bride de fixation 6. Le contact entre le stator 2 et la paroi de structure fixe 101 est ainsi entièrement réalisé via les blocs isolants. Les blocs isolants thermiques peuvent être réalisés en fibre de verre. Les blocs isolants mécaniques, pour réduire les vibrations, peuvent être réalisés en matériau plastique, tel qu’en matériau polymère. On peut également prévoir d’agencer des organes déformables 600, entre les vis 300, de manière à relier la paroi d’extrémité de la portion annulaire distale 22 de la bride de fixation 6 et la paroi de structure fixe 101. La déformation de ces organes permet de réduire et maitriser le couple transmis à la paroi de structure fixe et aux vis 300 en cas de crash de la pompe à vide 1. Les organes déformables sont par exemple réalisés sous forme de barres, et sont par exemple en acier, tel qu’en acier inoxydable, qui présente de bonnes propriétés d’allongement. Les autres caractéristiques de cet exemple de réalisation sont similaires aux exemples de réalisation précédemment décrits. La FIG. 8 montre un ensemble de pompage 200 comprenant des goujons 400 pour solidariser la pompe à vide 1 turbomoléculaire à la paroi de structure fixe 101. Les goujons 400 présentent des tiges 420 présentant une extrémité filetée, les tiges 420 étant surmontées de têtes filetées 410. La longueur des tiges 420 est adaptée pour pouvoir traverser la bride de fixation 6 dans sa longueur axiale et se visser dans les trous taraudés 102 associés de la paroi de structure fixe 101. Les goujons 400 comportent en outre un écrou 430 respectif, tel qu’un écrou borgne, vissable sur la tête filetée 410. Les goujons 400 sont par exemple en acier, tel qu’en acier inoxydable. Comme les vis 300, les goujons 400 sont insérés dans les trous traversants 20 traversant de la bride de fixation 6 pour être vissés dans les trous taraudés 102 de la paroi de structure fixe 101. Les écrous 430 des goujons 400 sont destinés à venir en butée contre la paroi radiale de la partie annulaire distale 22 une fois les goujons 400 vissés dans la paroi de structure fixe 101. Au montage, les goujons dont les têtes filetées 410 sont pourvues d’écrous 430 respectifs peuvent être préassemblés sur la pompe à vide 1 pour être assemblées à la paroi de structure fixe 101 de la même manière que les vis 300. Comme pour les vis, il est ainsi possible de visualiser au moins partiellement d’une part, les extrémités filetées des tiges 420 des goujons 400 traversant la partie annulaire proximale 23 de la bride de fixation 6 au moment de leur insertion dans les trous taraudés 102 et d’autre part, les trous taraudés 102 de la paroi de structure fixe 101 dans lesquels les goujons 400 sont destinés à être insérés et contre laquelle la bride de fixation 6 est destinée à être solidarisée. Cette visualisation de la zone de liaison Z permet de pouvoir bien viser les trous taraudés 102 avec les extrémités filetées des goujons 400 afin de faire correspondre leurs axes respectifs et ainsi de positionner correctement la pompe à vide 1. Le montage de la pompe à vide 1 turbomoléculaire sur la paroi de structure fixe 101 peut ainsi être facilité. Il est en outre possible de vérifier simplement par inspection visuelle à travers les ajours si l’extrémité filetée d’une tige 420 de goujon 400 est endommagée par simple desserrement du goujon 400 alors même que la pompe à vide 1 est solidarisée contre la paroi de structure fixe 101. En outre, comme dans les exemples précédents, les tiges 420 des goujons 400 se comportent comme les tiges 320 des vis 300 et peuvent se déformer dans les tronçons proximaux 24 ou dans les ajours des trous traversants 20 avec le déplacement du stator 2 relativement à la paroi de structure fixe 101 en cas de crash du rotor 3. Par ailleurs, selon un exemple de réalisation des goujons 400, la tige 420 peut présenter une portion distale 421 située du côté de la tête filetée 410 présentant une section plus large qu’une section d’une portion proximale 422 adjacente de la tige 420 située du côté d’une extrémité filetée du goujon 400. La portion distale 421 est lisse pour éviter la fragilisation du goujon 400 au niveau de la portion distale 421. La portion distale 421 est destinée à être insérée dans le tronçon distal 21 de la partie annulaire distale 22 de la bride de fixation 6. La portion proximale 422 présente une partie lisse et une extrémité filetée. La portion proximale 422 est destinée à être insérée dans la partie annulaire proximale 23 ajourée de la bride de fixation 6. Une fois le goujon assemblé, seule la partie lisse de la portion proximale 422 sort du trou taraudé 102, ce qui permet d’éviter la formation d’une amorce de rupture du goujon 400 dans l’extrémité filetée avant la déformation de la partie lisse de la portion proximale 422 affinée. Les autres caractéristiques de cet exemple de réalisation sont similaires aux exemples de réalisation précédemment décrits. Pompe à vide (1) turbomoléculaire comportant un stator (2) et un rotor (3) configuré pour tourner dans le stator (2), le stator (2) comportant une bride de fixation (6) entourant un orifice d’aspiration (4) de la pompe à vide (1) turbomoléculaire et dans laquelle sont ménagés une pluralité de trous traversants (20) pour l’insertion de vis (300) ou de goujons (400) destinés à être vissés dans des trous taraudés (102) d’une paroi de structure fixe (101) pour la solidarisation de ladite pompe à vide (1) à ladite paroi (101), les trous traversants (20) présentant un tronçon distal (21) ménagé dans une partie annulaire distale (22) de la bride de fixation (6), caractérisée en ce que les trous traversants (20) sont ajourés en périphérie externe dans une partie annulaire proximale (23) de la bride de fixation (6) adjacente à la partie annulaire distale (22) et située du côté de l’orifice d’aspiration (4) de la pompe à vide (1) turbomoléculaire de manière à permettre la visualisation au moins partielle d’une zone de liaison (Z) entre la pompe à vide (1) turbomoléculaire (2) et la paroi de structure fixe (101). Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que l’ajour des trous traversants (20) s’étend sur une longueur axiale (l2) comprise entre 5% et 30%, comme entre 10% et 20%, de la longueur axiale (l1) de la bride de fixation (6). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la longueur axiale (l1) de la bride de fixation (6) est comprise entre 20% et 60%, comme entre 30% et 50% de la longueur axiale (L) d’un carter (2a) du stator (2) recevant des étages rotor à ailettes (10) du rotor (3). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les trous traversants (20) présentent respectivement un tronçon proximal (24) ménagé dans la partie annulaire proximale (23) de la bride de fixation (6), le tronçon proximal (14) présentant une section élargie par rapport à la section du tronçon distal (21) et débouchant du côté de l’orifice d’aspiration (4) de la pompe à vide (1) turbomoléculaire, les trous traversants (20) étant ajourés par des ouvertures latérales (25) ménagées dans les tronçons proximaux (24). Pompe à vide (1) selon la revendication 4, caractérisée en ce que l’ajour des trous traversants (20) formé par les ouvertures latérales (25) s’étend sur toute la longueur axiale (l2) des tronçons proximaux (24) de section élargie. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 4 ou 5, caractérisée en ce que les ouvertures latérales (25) sont formées par des côtés externes des sections transversales des tronçons proximaux (24) affleurant la périphérie de la bride de fixation (6). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 5 ou 6, caractérisée en ce que les sections transversales des tronçons proximaux (24) sont oblongues. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que les trous traversants (20) sont ajourés en périphérie externe dans la partie annulaire proximale (23) de la bride de fixation (6) du fait que les tronçons distaux (21) sont ménagés au moins partiellement à une distance radiale supérieure à celle d’une extrémité radiale de la partie annulaire proximale (23) de sorte que les vis (300) ou les goujons (400) destinés à être insérés dans les trous traversants (20) soient situés au moins en partie à l’extérieur de la partie annulaire proximale (23). Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que les tronçons distaux (21) sont entièrement ménagés à une distance radiale supérieure à celle de l’extrémité radiale de la partie annulaire proximale (23) de sorte que les vis (300) ou les goujons (400) destinés à être insérés dans les trous traversants (20) soient entièrement situés à l’extérieur de la partie annulaire proximale (23). Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que la partie annulaire proximale (23) présente une section de forme externe polygonale présentant autant de côtés que de trous traversants (20), telle que dodécagonale. Ensemble de pompage (200) caractérisé en ce qu’il comporte une pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes et des vis (300) ou des goujons (400) insérés dans les trous traversants (20) de la bride de fixation (6). Ensemble de pompage (200) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que chaque vis (300) présente une tige (320) surmontée d’une tête de vis (310), la tige (320) présentant une portion distale (321) située du côté de la tête de vis (310) présentant une section plus large qu’une section d’une portion proximale (322) adjacente de la tige (320) située du côté d’une extrémité filetée de la vis (300), la portion distale (321) étant destinée à être insérée dans le tronçon distal (21) de la partie annulaire distale (22) de la bride de fixation (6), la portion proximale (322) étant destinée à être insérée dans la partie annulaire proximale (23) ajourée de la bride de fixation (6). Ensemble de pompage (200) selon la revendication 11, caractérisée en ce que chaque goujon (400) présente une tige (420) surmontée d’une tête filetée (410), la tige (420) présentant une portion distale (421) située du côté de la tête filetée (410) présentant une section plus large qu’une section d’une portion proximale (422) adjacente de la tige (420) située du côté d’une extrémité filetée de la tige (420), la portion distale (421) étant destinée à être insérée dans le tronçon distal (21) de la partie annulaire distale (22) de la bride de fixation (6), la portion proximale (322) étant destinée à être insérée dans la partie annulaire proximale (23) ajourée de la bride de fixation (6). Installation de pompage (100) présentant une paroi de structure fixe (101) dans laquelle des trous taraudés (102) sont ménagés autour d’un orifice de sortie (103), caractérisée en ce que l’installation de pompage (100) comporte un ensemble de pompage (200) selon l’une des revendications 11 à 13 solidarisé à la paroi de structure fixe (101). Installation de pompage (100) selon la revendication précédente, comportant une pompe à vide turbomoléculaire (1) selon l’une des revendications 8 à 10 caractérisée en ce que l’installation de pompage (100) comporte des capteurs de vibrations et/ou des actionneurs et/ou des éléments élastiques de compression et/ou des blocs isolants thermique et/ou mécanique et/ou des organes déformables, entre les vis (300) ou les goujons (400), agencés sur la paroi d’extrémité de la portion annulaire distale (22) de la bride de fixation (6) ou entre la paroi d’extrémité de la portion annulaire distale (22) de la bride de fixation (6) et la paroi de structure fixe (101).