Brevet FR3152909A1 — publié le 20250314

Capteur biométrique La présente description concerne un capteur biométrique (200) comprenant : – un substrat de support (101) ; – un dispositif de transduction ultrasonore (103) comprenant une pluralité de transducteurs ultrasonores élémentaires, situé du côté d’une face supérieure (101T) du substrat de support ; et – une structure de couplage acoustique (105) revêtant une face supérieure (103T), opposée au substrat de support, du dispositif de transduction ultrasonore, dans lequel la structure de couplage acoustique comprend une face supérieure (105T), opposée à la face supérieure du substrat de support et destinée à recevoir au moins un doigt (111) d’un utilisateur, inclinée par rapport à la face supérieure du dispositif de transduction ultrasonore. Figure pour l’abrégé : Fig. 2 Capteur biométrique La présente description concerne de façon générale les dispositifs électroniques, plus particulièrement les capteurs biométriques. Des capteurs biométriques capables d’identifier des caractéristiques physiques d’un utilisateur ont été proposés. Ces capteurs sont par exemple mis en œuvre à des fins de reconnaissance, d’authentification ou d’identification. Parmi les capteurs biométriques existants, des capteurs biométriques d’imagerie microvasculaire, ou capteurs biométriques microvasculaires, capables d’acquérir des images de vaisseaux sanguins d’un doigt d’un utilisateur, ont en particulier été proposés. Les capteurs biométriques, en particulier les capteurs biométriques microvasculaires, existants souffrent toutefois de divers inconvénients. Il serait souhaitable de pallier tout ou partie des inconvénients des capteurs biométriques existants. Il existe en particulier un besoin de pallier tout ou partie des inconvénients des capteurs biométriques microvasculaires existants. Pour cela, un mode de réalisation prévoit un capteur biométrique comprenant : – un substrat de support ; – un dispositif de transduction ultrasonore comprenant une pluralité de transducteurs ultrasonores élémentaires, situé du côté d’une face supérieure du substrat de support ; et – une structure de couplage acoustique revêtant une face supérieure, opposée au substrat de support, du dispositif de transduction ultrasonore, dans lequel la structure de couplage acoustique comprend une face supérieure, opposée à la face supérieure du substrat de support et destinée à recevoir au moins un doigt d’un utilisateur, inclinée par rapport à la face supérieure du dispositif de transduction ultrasonore. Selon un mode de réalisation, la face supérieure de la structure de couplage acoustique est inclinée, par rapport à la face supérieure du dispositif de transduction ultrasonore, d’un angle compris entre 5° et 45°, de préférence compris entre 5° et 20°, plus préférentiellement égal à environ 10°. Selon un mode de réalisation, la face supérieure de la structure de couplage acoustique est sensiblement parallèle à la face supérieure du substrat de support. Selon un mode de réalisation, le capteur comprend en outre une cale d’inclinaison interposée entre la face supérieure du substrat de support et le dispositif de transduction ultrasonore. Selon un mode de réalisation, le capteur comprend en outre un dispositif de modification de l’inclinaison de la face supérieure du dispositif de transduction ultrasonore par rapport à la face supérieure du substrat de support. Selon un mode de réalisation, le dispositif de modification d’inclinaison comprend un microsystème électromécanique. Selon un mode de réalisation, la face supérieure du dispositif de transduction ultrasonore est sensiblement parallèle à la face supérieure du substrat de support. Selon un mode de réalisation, le capteur comprend en outre un dispositif de modification de l’inclinaison de la face supérieure de la structure de couplage acoustique par rapport à la face supérieure du substrat de support. Selon un mode de réalisation, la face supérieure du dispositif de transduction ultrasonore et la face supérieure de la structure de couplage acoustique sont inclinées chacune par rapport à la face supérieure du substrat. Selon un mode de réalisation, la structure de couplage acoustique comprend une enveloppe contenant un matériau de couplage acoustique présentant une rigidité mécanique inférieure à celle de l’enveloppe. Selon un mode de réalisation, les transducteurs ultrasonores élémentaires sont des transducteurs PMUT. Selon un mode de réalisation, les transducteurs ultrasonores élémentaires sont des transducteurs CMUT. Selon un mode de réalisation, les transducteurs ultrasonores élémentaires sont des transducteurs piézoélectriques. Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d’autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la FIG. 1 est une vue de côté et en coupe, schématique et partielle, d’un exemple de capteur biométrique ; la FIG. 2 est une vue de côté et en coupe, schématique et partielle, d’un exemple de capteur biométrique selon un mode de réalisation ; et la FIG. 3 est une vue de côté et en coupe, schématique et partielle, d’un exemple de capteur biométrique selon un mode de réalisation. De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références dans les différentes figures. En particulier, les éléments structurels et/ou fonctionnels communs aux différents modes de réalisation peuvent présenter les mêmes références et peuvent disposer de propriétés structurelles, dimensionnelles et matérielles identiques. Par souci de clarté, seuls les étapes et éléments utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés. En particulier, les diverses applications dans lesquelles peuvent être mis en œuvre les capteurs biométriques décrits n’ont pas été détaillées, les modes de réalisation décrits étant compatibles avec les applications usuelles de ces capteurs. Par ailleurs, les circuits de contrôle et de traitement des capteurs biométriques n’ont pas été détaillés, les modes de réalisation décrits étant compatibles avec tous ou la plupart des circuits connus de contrôle et de traitement de capteurs biométriques, moyennant éventuellement des adaptations à la portée de la personne du métier à la lecture de la présente description. Sauf précision contraire, lorsque l’on fait référence à deux éléments connectés entre eux, cela signifie directement connectés sans éléments intermédiaires autres que des conducteurs, et lorsque l’on fait référence à deux éléments reliés (en anglais « coupled ») entre eux, cela signifie que ces deux éléments peuvent être connectés ou être reliés par l’intermédiaire d’un ou plusieurs autres éléments. Dans la description qui suit, lorsque l’on fait référence à des qualificatifs de position absolue, tels que les termes « avant », « arrière », « haut », « bas », « gauche », « droite », etc., ou relative, tels que les termes « dessus », « dessous », « supérieur », « inférieur », etc., ou à des qualificatifs d’orientation, tels que les termes « horizontal », « vertical », etc., il est fait référence, sauf précision contraire, à l’orientation des figures. Sauf précision contraire, les expressions « environ », « approximativement », « sensiblement », et « de l’ordre de » signifient à 10 % près, de préférence à 5 % près. La FIG. 1 est une vue de côté et en coupe, schématique et partielle, d’un exemple de capteur biométrique 100. Dans l’exemple représenté, le capteur biométrique 100 comprend un substrat de support 101. Le substrat de support 101 est par exemple une plaquette ou un morceau de plaquette en un matériau semiconducteur, par exemple le silicium, ou une carte de circuit imprimé (« Printed Circuit Board » - PCB, en anglais). À titre de variante, le substrat de support 101 peut être en un matériau diélectrique, par exemple en verre. Dans l’exemple illustré, le capteur biométrique 100 comprend en outre un dispositif de transduction ultrasonore 103. Le dispositif de transduction ultrasonore 103 comprend une pluralité de transducteurs ultrasonores élémentaires, par exemple arrangés en matrice selon des lignes et des colonnes. Les transducteurs ultrasonores élémentaires du dispositif de transduction ultrasonore 103 sont par exemple de type PMUT (de l’anglais « Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer » - transducteur ultrasonore piézoélectrique micro-usiné), de type CMUT (de l’anglais « Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer » - transducteur ultrasonore capacitif micro-usiné) ou de type piézoélectrique. Dans le cas de transducteurs PMUT, chaque transducteur ultrasonore élémentaire du dispositif de transduction ultrasonore 103 comprend par exemple une membrane flexible suspendue au-dessus d’une cavité, une première électrode, située d’un côté de la membrane flexible opposé à la cavité, une couche en un matériau piézoélectrique, située d’un côté de la première électrode opposé à la membrane flexible, et une deuxième électrode, située d’un côté de la couche en matériau piézoélectrique opposé à la première électrode. Dans le cas de transducteurs CMUT, chaque transducteur ultrasonore élémentaire du dispositif de transduction ultrasonore 103 comprend par exemple une membrane flexible suspendue au-dessus d’une cavité, une première électrode, appelée électrode inférieure, située du côté de la cavité opposé à la membrane, et une deuxième électrode, appelée électrode supérieure, située du côté de la cavité opposé à l’électrode inférieure et solidaire mécaniquement de la membrane flexible. Dans le cas de transducteurs piézoélectriques, chaque transducteur ultrasonore élémentaire du dispositif de transduction ultrasonore 103 comprend par exemple une région, ou pastille, en un matériau piézoélectrique interposée entre deux électrodes. Dans ce cas, chaque transducteur ultrasonore élémentaire est en particulier dépourvu de membrane flexible suspendue au-dessus d’une cavité. Les électrodes sont par exemple respectivement situées de part et d’autre de la pastille en matériau piézoélectrique, par exemple sur et en contact avec deux faces opposées de la pastille en matériau piézoélectrique. Le matériau piézoélectrique est par exemple choisi parmi une céramique piézoélectrique (par exemple un titano-zirconate de plomb, PZT), un composite piézoélectrique, ou piézocomposite, comprenant par exemple une céramique piézoélectrique et une résine époxy, un polyfluorure de vinylidène (PVDF), etc. Dans le cas de transducteurs PMUT comme dans le cas de transducteurs CMUT, lorsqu’une tension d’excitation appropriée est appliquée entre les électrodes du transducteur ultrasonore élémentaire, la membrane flexible entre en vibration et émet une onde acoustique ultrasonore. À l’inverse, lorsque le transducteur ultrasonore élémentaire reçoit une onde acoustique dans une certaine gamme de fréquences, la membrane flexible entre en vibration, conduisant à l’apparition d’une tension entre les électrodes du transducteur ultrasonore élémentaire. De façon analogue, dans le cas de transducteurs piézoélectriques, lorsqu’une tension d’excitation appropriée est appliquée entre les électrodes du transducteur ultrasonore élémentaire, la pastille en matériau piézoélectrique entre en vibration et émet une onde acoustique ultrasonore. À l’inverse, lorsque le transducteur ultrasonore élémentaire reçoit une onde acoustique dans une certaine gamme de fréquences, la pastille en matériau piézoélectrique entre en vibration, conduisant à l’apparition d’une tension entre les électrodes du transducteur ultrasonore élémentaire. Bien que cela n’ait pas été détaillé en FIG. 1 , les transducteurs ultrasonores élémentaires du dispositif de transduction ultrasonore 103 sont par exemple couplés à un circuit électronique de contrôle configuré pour, lors d’une phase d’émission, appliquer une tension d’excitation entre les électrodes des transducteurs, de façon à provoquer l’émission d’une onde ultrasonore par les transducteurs, et, lors d’une phase de réception, lire la tension produite entre les électrodes des transducteurs sous l’effet de l’onde acoustique reçue. Le dispositif de transduction ultrasonore 103 présente par exemple, en vue de dessus, un pourtour de forme sensiblement rectangulaire ou carrée. Le dispositif de transduction ultrasonore 103 présente par exemple des dimensions latérales de l’ordre du centimètre, par exemple un côté égal à environ 1 cm dans le cas où le dispositif de transduction ultrasonore 103 présente un pourtour de forme sensiblement carrée. Dans l’exemple illustré en FIG. 1 , le dispositif de transduction ultrasonore 103 est situé du côté d’une face 101T du substrat de support 101 (la face supérieure du substrat de support 101, dans l’orientation de la FIG. 1 ). Plus précisément, dans l’exemple représenté, le dispositif de transduction ultrasonore 103 est disposé sur et en contact avec la face supérieure 101T du substrat de support 101. Cet exemple n’est toutefois pas limitatif, le capteur biométrique 100 pouvant, à titre de variante, comprendre une ou plusieurs couches interposées entre la face supérieure 101T du substrat de support 101 et le dispositif de transduction ultrasonore 103. Le dispositif de transduction ultrasonore 103 comprend une face 103T opposée au substrat de support 101 (la face supérieure du dispositif de transduction ultrasonore 103, dans l’orientation de la FIG. 1 ) sensiblement plane et sensiblement parallèle à la face supérieure 101T du substrat de support 101. La face supérieure 103T du dispositif de transduction ultrasonore 103 correspond par exemple, ou est sensiblement parallèle : – à une face d’un boîtier d’encapsulation des transducteurs ultrasonores élémentaires du dispositif de transduction ultrasonore 103 opposée à la face supérieure 101T du substrat de support 101 ; – à des faces des membranes flexibles des transducteurs ultrasonores élémentaires du dispositif de transduction ultrasonore 103 opposées à la face supérieure 101T du substrat de support 101, par exemple dans un cas où les transducteurs ultrasonores élémentaires sont de type PMUT ou de type CMUT ; et/ou – à un plan orthogonal à une direction d’émission de chaque transducteur ultrasonore élémentaire du dispositif de transduction ultrasonore 103. Dans l’exemple illustré, la direction d’émission de chacun des transducteurs ultrasonores élémentaires du dispositif de transduction ultrasonore 103 est orthogonale à la face supérieure 101T du substrat de support 101. Dans l’exemple représenté, le capteur biométrique 100 comprend en outre une structure de couplage acoustique 105 revêtant la face supérieure 103T et les flancs du dispositif de transduction ultrasonore 103, ainsi que des parties de la face supérieure 101T du substrat de support 101 non revêtues par le dispositif de transduction ultrasonore 103. La structure de couplage acoustique 105 comprend par exemple, comme illustré en FIG. 1 , une enveloppe 107 contenant un matériau de couplage acoustique 109. L’enveloppe 107 comporte par exemple des parois latérales ou murs, symbolisés par des rectangles hachurés en FIG. 1 , permettant d’assurer la tenue mécanique du matériau de couplage acoustique 109 autour du dispositif de transduction ultrasonore 103 et/ou d’éviter tout déplacement latéral du matériau de couplage acoustique 109 relativement à la face supérieure 101T du substrat de support 101. Le matériau de couplage acoustique 109 présente par exemple une rigidité mécanique, ou une viscosité, inférieure à celle des parois latérales de l’enveloppe 107. À titre d’exemple, le matériau de couplage acoustique 109 est un gel ou un liquide. Dans ce cas, bien que cela n’ait pas été détaillé en FIG. 1 , l’enveloppe 107 peut comprendre en outre une membrane obturant une cavité délimitée par les parois latérales de l’enveloppe 107 et les parties de la face supérieure du substrat de support 101 non revêtues par le dispositif de transduction ultrasonore 103, et emplie au moins partiellement du matériau de couplage acoustique 109. À titre de variante, l’enveloppe 107 peut être omise, par exemple dans un cas où le matériau de couplage acoustique 109 est un solide présentant une rigidité mécanique, ou une viscosité, suffisante pour rester solidaire mécaniquement de la face supérieure 101T du substrat de support 101 et ne pas subir de déplacements susceptibles d’endommager le dispositif de transduction ultrasonore 103. La structure de couplage acoustique 105 permet de réaliser une fonction d’adaptation d’impédance entre le dispositif de transduction ultrasonore 103 et un doigt 111 d’un utilisateur placé du côté d’une face 105T de la structure de couplage acoustique 105 opposée à la face supérieure 101T du substrat de support 101 (la face supérieure de la structure de couplage acoustique 105, dans l’orientation de la FIG. 1 ). Dans l’exemple représenté, la face supérieure 105T de la structure de couplage acoustique 105 est sensiblement plane, et sensiblement parallèle à la face supérieure 101T du substrat de support 101. Par ailleurs, dans cet exemple, la face supérieure 105T de la structure de couplage acoustique 105 est sensiblement parallèle à la face supérieure 103T du dispositif de transduction ultrasonore 103. Le capteur biométrique 100 est par exemple adapté à réaliser, au moyen du dispositif de transduction ultrasonore 103, des images microvasculaires du doigt 111 en contact avec la face supérieure 105T de la structure de couplage 105. Le dispositif de transduction ultrasonore 103 est par exemple plus précisément capable de capturer, par imagerie Doppler, des images de vaisseaux sanguins (non illustrés en FIG. 1 ) du doigt 111 situé en regard de sa face supérieure 103T, en détectant une vitesse de déplacement non nulle du sang à l’intérieur de ces vaisseaux. Dans ce cas, les transducteurs ultrasonores élémentaires du dispositif de transduction ultrasonore 103 sont par exemple commandés pour émettre un faisceau ultrasonore incident USW en direction du doigt 111, et pour recevoir un faisceau ultrasonore réfléchi par le sang circulant à l’intérieur des vaisseaux sanguins du doigt 111. Le faisceau ultrasonore incident USW symbolisé, en FIG. 1 , par une série de traits parallèles entre eux, correspond par exemple à un signal impulsionnel, par exemple des ondes planes se propageant le long d’une direction sensiblement orthogonale à la face supérieure 103T du dispositif de transduction ultrasonore 103, de fréquence f i et le faisceau ultrasonore réfléchi correspond par exemple à un signal impulsionnel de fréquence f r . En mesurant un décalage fréquentiel entre les signaux incident et réfléchi, c’est-à-dire en mesurant une différence entre les fréquences f r et f i , il est possible de remonter à une vitesse v de déplacement du sang à l’intérieur des vaisseaux sanguins du doigt 111. Un inconvénient du capteur biométrique 100 tient au fait que les images du doigt 111 qu’il est capable d’acquérir présentent des zones dites « aveugles », c’est-à-dire partiellement ou totalement dépourvues d’informations relatives à la vascularisation du doigt 111, correspondant par exemple à des emplacements de vaisseaux sanguins du doigt 111 à l’intérieur desquels le dispositif de transduction ultrasonore 103 ne parvient pas à détecter une circulation sanguine. Les inventeurs se sont aperçus que cela provient du fait que la majorité des vaisseaux sanguins présents au voisinage de l’extrémité du doigt 111 sont orientés selon une direction sensiblement parallèle à l’axe du doigt, et que le capteur biométrique 100 ne permet pas de détecter des flux sanguins parcourant des vaisseaux sanguins orientés parallèlement à la face supérieure 103T du dispositif de transduction ultrasonore 103. Pour tenter de pallier ce problème, il est possible de commander le dispositif de transduction ultrasonore 103 de sorte à émettre le faisceau ultrasonore incident USW, par exemple sous forme d’ondes planes, avec un angle non nul par rapport à la face supérieure 103T du dispositif de transduction ultrasonore 103, par exemple en introduisant des déphasages entre les signaux émis par les différents transducteurs ultrasonores élémentaires du dispositif de transduction ultrasonore 103. Toutefois, cela ne permet pas d’atteindre des angles d’émission du faisceau ultrasonore incident USW, par rapport à la face supérieure 103T du dispositif de transduction ultrasonore 103, présentant des valeurs suffisamment élevées pour solutionner le problème susmentionné, et de nombreuses zones aveugles subsistent dans les images microvasculaires du doigt 111 acquises par le capteur biométrique 100. Des modes de réalisation de capteurs biométriques permettant de pallier tout ou partie des inconvénients du capteur biométrique 100 précédemment décrit en relation avec la FIG. 1 sont exposés ci-après en relation avec les figures 2 et 3. La FIG. 2 est une vue de côté et en coupe, schématique et partielle, d’un exemple de capteur biométrique 200 selon un mode de réalisation. Le capteur biométrique 200 de la FIG. 2 comprend des éléments communs avec le capteur biométrique 100 de la FIG. 1 . Ces éléments communs ne seront pas détaillés à nouveau ci-après. Le capteur biométrique 200 de la FIG. 2 diffère du capteur biométrique 100 de la FIG. 1 en ce que la face supérieure 105T de la structure de couplage acoustique 105 est, dans le cas du capteur biométrique 200 de la FIG. 2 , inclinée par rapport à la face supérieure 103T du dispositif de transduction ultrasonore 103. Dans l’exemple représenté, la face supérieure 103T du dispositif de transduction ultrasonore 103 est inclinée, par rapport à la face supérieure 101T du substrat de support 101, d’un angle α non nul. Par ailleurs, dans cet exemple, la face supérieure 105T de la structure de couplage acoustique 105 est sensiblement parallèle à la face supérieure 101T du substrat de support 101. Dans ce cas, la face supérieure 105T de la structure de couplage acoustique 105 est inclinée de l’angle α par rapport à la face supérieure 103T du dispositif de transduction ultrasonore 103. À titre d’exemple, l’angle α est compris entre 5° et 45°, par exemple compris entre 5° et 20°. L’angle α est par exemple égal à environ 10°. À titre d’exemple, dans le cas où le dispositif de transduction ultrasonore 103 présente, en vue de dessus, un pourtour de forme sensiblement rectangulaire ou carrée, un seul côté ou une seule arête du dispositif de transduction ultrasonore 103 est par exemple en contact avec la face supérieure 101T du substrat de support 101. À titre de variante, le dispositif de transduction ultrasonore 103 peut être incliné de sorte qu’un seul de ses angles soit en contact avec la face supérieure 101T du substrat de support 101. Dans l’exemple illustré en FIG. 2 , le capteur biométrique 200 comprend une cale d’inclinaison 201 interposée entre la face supérieure 101T du substrat de support 101 et une face du dispositif de transduction ultrasonore 103 opposée à sa face supérieure 103T (la face inférieure du dispositif de transduction ultrasonore 103, dans l’orientation de la FIG. 2 ). Dans cet exemple, la cale d’inclinaison 201 est fixe, l’angle α étant alors sensiblement invariable pendant la durée de vie du capteur biométrique 200. Cet exemple n’est toutefois pas limitatif, le capteur biométrique 200 pouvant comporter, à titre de variante ou de façon complémentaire, un dispositif de modification de l’inclinaison de la face supérieure 103T du dispositif de transduction ultrasonore 103 par rapport à la face supérieure 101T du substrat de support 101. Dans ce cas, l’angle α est par exemple ajustable à plusieurs reprises au cours de la durée de vie du capteur biométrique 200. Un tel dispositif de modification d’inclinaison comprend par exemple un microsystème électromécanique, ou MEMS (de l’anglais « MicroElectroMechanical System »). À titre d’exemple, l’angle α est modifié plusieurs fois lors d’une même phase d’acquisition d’images microvasculaires du doigt 111. Un avantage du capteur biométrique 200 tient au fait qu’il permet, par rapport notamment au capteur biométrique 100, d’émettre le faisceau ultrasonore USW sous une incidence non orthogonale aux vaisseaux sensiblement parallèles à l’axe du doigt 111. Cela permet de détecter une circulation sanguine dans un nombre de vaisseaux sanguins du doigt 111 plus important que dans le cas du capteur biométrique 100, donc d’acquérir des images microvasculaires du doigt 111 comprenant davantage d’informations que celles produites par le capteur biométrique 100. La FIG. 3 est une vue de côté et en coupe, schématique et partielle, d’un exemple de capteur biométrique 300 selon un mode de réalisation. Le capteur biométrique 300 de la FIG. 3 comprend des éléments communs avec le capteur biométrique 100 de la FIG. 1 . Ces éléments communs ne seront pas détaillés à nouveau ci-après. De manière analogue au capteur biométrique 200 décrit précédemment en relation avec la FIG. 2 , le capteur biométrique 300 de la FIG. 3 diffère du capteur biométrique 100 de la FIG. 1 en ce que la face supérieure 105T de la structure de couplage acoustique 105 est inclinée par rapport à la face supérieure 103T du dispositif de transduction ultrasonore 103. Dans l’exemple représenté, la face supérieure 105T de la structure de couplage acoustique 105 est inclinée, par rapport à la face supérieure 101T du substrat de support 101, d’un angle β non nul. Par ailleurs, dans cet exemple, la face supérieure 103T du dispositif de transduction ultrasonore 103 est sensiblement parallèle à la face supérieure 101T du substrat de support 101. Dans ce cas, la face supérieure 105T de la structure de couplage acoustique 105 est inclinée de l’angle β par rapport à la face supérieure 103T du dispositif de transduction ultrasonore 103. À titre d’exemple, l’angle β est compris entre 5° et 45°, par exemple compris entre 5° et 20°. L’angle β est par exemple égal à environ 10°. Dans l’exemple représenté, la face inférieure du dispositif de transduction ultrasonore 103 est située sur et en contact avec la face supérieure 101T du substrat de support 101. L’angle β est par exemple sensiblement invariable au cours de la durée de vie du capteur biométrique 300. Cet exemple n’est toutefois pas limitatif, le capteur biométrique 300 pouvant comporter, à titre de variante, un dispositif de modification de l’inclinaison de la face supérieure 105T de la structure de couplage acoustique par rapport à la face supérieure 101T du substrat de support 101. Dans ce cas, l’angle β est par exemple ajusté à plusieurs reprises au cours de la durée de vie du capteur biométrique 300. Un tel dispositif de modification d’inclinaison comprend par exemple un mécanisme de rotation permettant de faire tourner les parois de l’enveloppe 107 autour d’un axe de rotation central sensiblement orthogonal à la face supérieure 101T du substrat de support 101. Plus précisément, dans un cas où le matériau de couplage acoustique 109 est un liquide ou un gel, il peut être prévu un mécanisme permettant de modifier, à volume constant, l’inclinaison de la face supérieure 105T de la structure de couplage 105 par rapport à la face supérieure 101T du substrat de support 101. La conception et la réalisation d’un tel mécanisme sont à la portée de la personne du métier à la lecture de la présente description. À titre d’exemple, l’angle β est modifié plusieurs fois lors d’une même phase d’acquisition d’images microvasculaires du doigt 111. Le capteur biométrique 300 présente, notamment par rapport au capteur biométrique 100, des avantages analogues ou identiques à ceux du capteur biométrique 200. Divers modes de réalisation et variantes ont été décrits. La personne du métier comprendra que certaines caractéristiques de ces divers modes de réalisation et variantes pourraient être combinées, et d’autres variantes apparaîtront à la personne du métier. En particulier, les modes de réalisation des capteurs biométriques 200 et 300 peuvent être combinés pour obtenir un capteur biométrique dans lequel la face supérieure 103T du dispositif de transduction ultrasonore 103 et la face supérieure 105T de la structure de couplage acoustique 105 sont inclinées chacune par rapport à la face supérieure 101T du substrat de support 101. La réalisation d’un tel capteur biométrique est à la portée de la personne du métier à la lecture de la présente description. Enfin, la mise en œuvre pratique des modes de réalisation et variantes décrits est à la portée de la personne du métier à partir des indications fonctionnelles données ci-dessus. En particulier, les modes de réalisation décrits ne se limitent pas aux exemples de matériaux et/ou de dimensions mentionnés dans la description. Capteur biométrique (200 ; 300) comprenant : – un substrat de support (101) ; – un dispositif de transduction ultrasonore (103) comprenant une pluralité de transducteurs ultrasonores élémentaires, situé du côté d’une face supérieure (101T) du substrat de support ; et – une structure de couplage acoustique (105) revêtant une face supérieure (103T), opposée au substrat de support, du dispositif de transduction ultrasonore, dans lequel la structure de couplage acoustique comprend une face supérieure (105T), opposée à la face supérieure du substrat de support et destinée à recevoir au moins un doigt (111) d’un utilisateur, inclinée par rapport à la face supérieure du dispositif de transduction ultrasonore. Capteur (200 ; 300) selon la revendication 1, dans lequel la face supérieure (105T) de la structure de couplage acoustique (105) est inclinée, par rapport à la face supérieure (103T) du dispositif de transduction ultrasonore (103), d’un angle (α ; β) compris entre 5° et 45°, de préférence compris entre 5° et 20°, plus préférentiellement égal à environ 10°. Capteur (200) selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la face supérieure (105T) de la structure de couplage acoustique (105) est sensiblement parallèle à la face supérieure (101T) du substrat de support (101). Capteur (200) selon la revendication 3, comprenant en outre une cale d’inclinaison (201) interposée entre la face supérieure (101T) du substrat de support (101) et le dispositif de transduction ultrasonore (103). Capteur (200) selon la revendication 3 ou 4, comprenant en outre un dispositif de modification de l’inclinaison de la face supérieure (103T) du dispositif de transduction ultrasonore (103) par rapport à la face supérieure (101T) du substrat de support (101). Capteur (200) selon la revendication 5, dans lequel le dispositif de modification d’inclinaison comprend un microsystème électromécanique. Capteur (300) selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la face supérieure (103T) du dispositif de transduction ultrasonore (103) est sensiblement parallèle à la face supérieure (101T) du substrat de support (101). Capteur (300) selon la revendication 7, comprenant en outre un dispositif de modification de l’inclinaison de la face supérieure (105T) de la structure de couplage acoustique (105) par rapport à la face supérieure (101T) du substrat de support (101). Capteur selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la face supérieure (103T) du dispositif de transduction ultrasonore (103) et la face supérieure (105T) de la structure de couplage acoustique (105) sont inclinées chacune par rapport à la face supérieure (101T) du substrat (101). Capteur (200 ; 300) selon l’une quelconque des revendications 1 à 9, dans lequel la structure de couplage acoustique (105) comprend une enveloppe (107) contenant un matériau de couplage acoustique (109) présentant une rigidité mécanique inférieure à celle de l’enveloppe. Capteur (200 ; 300) selon l’une quelconque des revendications 1 à 10, dans lequel les transducteurs ultrasonores élémentaires sont des transducteurs PMUT. Capteur (200 ; 300) selon l’une quelconque des revendications 1 à 10, dans lequel les transducteurs ultrasonores élémentaires sont des transducteurs CMUT. Capteur (200 ; 300) selon l’une quelconque des revendications 1 à 10, dans lequel les transducteurs ultrasonores élémentaires sont des transducteurs piézoélectriques.