Brevet FR3161028A1 — publié le 20251010

Capteur hybride (HYB) comprenant : une jauge (PIEZO) de déformation piézoélectrique ; une jauge (RES) de déformation résistive ; et un module électronique (EL.MOD), la jauge de déformation piézoélectrique et la jauge de déformation résistive étant connectées en parallèle à des terminaux (T1 RES , T2 RES , T1 PIEZO , T2 PIEZO ) du module électronique, le capteur hybride étant configuré de manière à ce que la jauge de déformation piézoélectrique et la jauge de déformation résistive génèrent un signal piézoélectrique et un signal résistif, respectivement, en réponse à une déformation d’un objet instrumenté par le capteur hybride (HYB), et le module électronique étant configuré pour combiner un premier signal issu du signal résistif et un second signal issu du signal piézoélectrique, de manière à générer un premier signal de sortie qui est représentatif de la déformation de l’objet instrumenté. Figure à publier avec l’abrégé : Fig. 1 CAPTEUR DE DEFORMATION HYBRIDE COMBINANT UNE JAUGE PIEZOELECTRIQUE ET UNE JAUGE RESISTIVE DOMAINE TECHNIQUE DE L’INVENTION Le contexte de l’invention se situe dans le domaine de la caractérisation de la déformation d’un objet, et plus particulièrement dans l’instrumentation d’un objet au moyen de jauges de déformation. ARRIERE PLAN TECHNOLOGIQUE Les mesures de déformation d’un objet, intégré ou non dans un système complexe, ont de nombreuses applications dans des domaines variés tels que le contrôle de santé intégré (CSI) qui consiste à détecter et caractériser des dommages dans une structure mécanique, la maintenance prédictive, la mesure d’une charge structurelle par exemple au niveau d’une aile d’avion, ou encore des mesures biologiques sur la posture, la respiration, le gonflement d’une partie de l’anatomie d’un sujet. A ces fins, diverses méthodes de mesure existent. Certaines sont basés sur la déformation de structures résonnantes, d’autres sur des principes optiques, d’autres encore sur des phénomènes électriques. Parmi ces derniers, on peut mentionner les jauges de déformation à effet résistif et piézorésistif, les jauges de déformation à effet piézoélectrique, les jauges de déformations à effet capacitif, ou encore les jauges de déformation à effet magnétostrictif. Chacune de ces méthodes possède ses points forts et ses points faibles en termes de coûts, facilité d’installation, praticité d’emploi, intégrabilité à une structure etc… Par exemple, les jauges résistives sont capables de mesures statiques mais produisent un signal plutôt bruité, qui rend compliqué leur utilisation pour des mesures dynamiques à haute fréquence. A l’inverse, les jauges piézoélectriques sont capables de fournir des signaux à bas bruit, mais ne sont pas employables pour des mesures statiques. En dépit de l’existence d’une grande variété de méthodes pour la mesure de déformations, un besoin d’instruments capables de mesures couvrant plusieurs domaines, statique et dynamique par exemple, avec un bruit de mesure faible, tout en étant aisément intégrables sur un objet à caractériser, reste inassouvi. L’objectif du déposant est de fournir un capteur de déformation d’usage simple, aisément intégrable à un objet à caractériser, à coût bas, et capable de procéder à des mesures statiques comme à des mesures dynamiques à faible bruit En vue de la réalisation de ce but, un premier aspect de l’invention est un capteur hybride comprenant : une jauge de déformation piézoélectrique ; une jauge de déformation résistive ; et un module électronique, la jauge de déformation piézoélectrique et la jauge de déformation résistive étant connectées en parallèle à des terminaux du module électronique, le capteur hybride étant configuré de manière à ce que la jauge de déformation piézoélectrique et la jauge de déformation résistive génèrent un signal piézoélectrique et un signal résistif, respectivement, en réponse à une déformation d’un objet instrumenté par le capteur hybride, et le module électronique étant configuré pour combiner un premier signal issu du signal résistif et un second signal issu du signal piézoélectrique, de manière à générer un premier signal de sortie qui est représentatif de la déformation de l’objet instrumenté. Un tel capteur hybride de déformation peut être simplement fixé à un objet à caractériser par collage, ne nécessite qu’une instrumentation simple. Crucialement, en combinant les capacités d’une jauge résistive et celles d’une jauge piézoélectrique, ce capteur hybride permet des mesures à bas bruit tant pour la caractérisation d’un phénomène statique ou quasi-statique que d’un phénomène dynamique, toute la plage de fréquences allant de la situation statique à la situation dynamique étant couverte de manière continue et à bas bruit. Le capteur hybride peut aussi être paramétré de manière à générer des signaux de mesure reproduisant fidèlement, quantitativement parlant, une déformation de l’objet à caractériser, pour toutes les fréquences, basses ou hautes. En outre, ce capteur, en combinant les deux signaux en provenance de la jauge résistive et de la jauge piézoélectrique, permet à l’utilisateur de jouir des avantages de deux capteurs distincts tout en bénéficiant de la simplicité d’emploi d’un capteur unique. Selon des caractéristiques additionnelles non-limitatives du capteur selon l’invention, considérées individuellement ou selon toute combinaison techniquement réalisable : - le premier signal de sortie peut comprendre des composantes à basses fréquences et des composantes à hautes fréquences, qui correspondent respectivement à un contenu fréquentiel pour des fréquences inférieures à un seuil donné et à un contenu fréquentiel pour des fréquences supérieures au seuil donné ; un contenu informatif des composantes à basses fréquences du premier signal de sortie peut provenir majoritairement du signal résistif ; et un contenu informatif des composantes à hautes fréquences du premier signal de sortie peut provenir majoritairement du signal piézoélectrique ; - le premier signal issu du signal résistif peut être généré par une chaîne de mesure de la déformation comprenant un premier filtre passe-bas ; le second signal issu du signal piézoélectrique peut être généré par une chaîne de mesure de la déformation comprenant un premier filtre passe-haut, dans lequel une fréquence de coupure du premier filtre passe-bas et une fréquence de coupure du premier filtre passe-haut peuvent être égales à au moins 10% près ; - la chaîne de mesure de génération du premier signal issu du signal résistif peut comprendre l’application d’un premier gain, la chaîne de mesure de génération du second signal issu du signal piézoélectrique peut comprendre l’application d’un second gain, le premier gain et le second gain peuvent être configurés de manière telle qu’un signal issu de la jauge résistive et un signal issu de la jauge piézoélectrique aient une même amplitude pour une amplitude de déformation donnée de l’objet instrumenté, à au moins 10% près ; - le premier gain peut avoir une valeur égale à au moins 10% près à un inverse de la sensibilité de la jauge résistive, et le second gain peut avoir une valeur égale à au moins 10% près à un inverse de la sensibilité de la jauge piézoélectrique ; - le module électronique peut être configuré de manière à générer un second signal de sortie représentatif de la déformation de l’objet instrumenté par sommation du premier signal représentatif de la déformation de l’objet instrumenté auquel un deuxième filtre passe-haut est appliqué et du signal résistif auquel un deuxième filtre passe-bas est appliqué ; - le second filtre passe-bas et le second filtre passe-haut peuvent chacun avoir une fréquence de coupure, ces fréquences de coupure étant égales à 10% près, préférablement à 1% près ; et la fréquence de coupure du second filtre passe-bas et la fréquence de coupure du second filtre passe-haut sont chacune au moins 5 fois plus élevées que la fréquence de coupure du premier filtre passe-bas et que la fréquence de coupure du premier filtre passe-haut ; - le module électronique peut en outre être configuré de manière à, sur la base d’une comparaison entre (i) le premier signal issu du signal résistif avant qu’il ne passe par le premier filtre passe-bas et (ii) le second signal issu du signal piézoélectrique : réduire un écart entre (i) une fréquence de coupure d’une chaîne de mesure intégrant la jauge de déformation résistive et une fréquence de coupure d’une chaîne de mesure intégrant la jauge de déformation piézoélectrique, et/ou réduire un écart entre (i) un gain d’une chaîne de mesure intégrant la jauge de déformation résistive et (ii) un gain d’une chaîne de mesure intégrant la jauge de déformation piézoélectrique ; - le module électronique pouvant être configuré de manière à, sur la base de la comparaison entre (i) le premier signal issu du signal résistif avant qu’il ne passe par le premier filtre passe-bas et (ii) le second signal issu du signal piézoélectrique : faire converger la fréquence de coupure du premier filtre passe-bas vers la fréquence de coupure du premier filtre passe-haut au moyen d’un filtrage adaptatif, et/ou ajuster la valeur d’un gain de correction placé en série sur l’une (i) de la chaîne de mesure intégrant la jauge de déformation résistive et (ii) de la chaîne de mesure intégrant la jauge de déformation piézoélectrique, de manière à réduire l’écart entre (i) le gain de la chaîne de mesure intégrant la jauge de déformation résistive et (ii) le gain de la chaîne de mesure intégrant la jauge de déformation piézoélectrique ; - la jauge piézoélectrique et la jauge résistive pouvant être (i) intégrées à un substrat de support et l’une à côté de l’autre ou (ii) intégrées à un substrat de support et superposées l’une à l’autre ; - le module électronique peut être intégré au substrat support ; - la jauge résistive peut comprendre un élément électriquement conducteur formée dans une couche électriquement conductrice déposée sur une électrode de la jauge piézoélectrique ; - la jauge piézoélectrique et la jauge résistive peuvent chacune faire partie d’une rosette ; et - la jauge de déformation peut comprendre un élément mince piézoélectrique monocristallin se présentant sous forme d’une plaque s’étendant dans un plan d’extension défini par une première direction et une seconde direction normale à la première direction, de dimensions dans la première direction et la seconde direction chacune supérieures à 100 µm et d’épaisseur inférieure à 50 µm, un rapport de l’épaisseur sur la dimension dans la première direction ou la dimension dans la seconde direction étant inférieur à 0,1. L’invention s’étend à un capteur de force comprenant un corps d’épreuve sur lequel est fixé le capteur hybride selon l’invention. Un tel capteur de force bénéficie des avantages du capteur de déformation décrit plus haut, et plus particulièrement de sa plage fréquentielle de sensibilité, et est donc capable de procéder à des mesures de forces statiques, quasi-statiques ou dynamiques. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES D’autres caractéristiques et avantages de l’invention ressortiront de la description détaillée de l’invention qui va suivre en référence aux figures annexées sur lesquels : FIG. 1 La FIG. 1 représente un capteur hybride de mesure de déformation, combinant une jauge résistive et une jauge piézoélectrique; FIG. 2 La FIG. 2 représente un premier mode de fonctionnement du capteur hybride de la FIG. 1 ; FIG. 3 La FIG. 3 représente une simulation du premier mode de fonctionnement ; FIG. 4 La FIG. 4 représente un élément piézoélectrique pouvant être utilisé dans une jauge piézoélectrique du capteur hybride de la FIG. 1 ; FIG. 5 La FIG. 5 représente des mises en œuvre particulières d’un capteur hybride intégrant une jauge piézorésistive et une jauge piézoélectrique ; FIG. 6 La FIG. 6 représente un dispositif expérimental de validation du fonctionnement du capteur hybride de la FIG. 1 ; FIG. 7 La FIG. 7 représente des mesures de validation obtenues au moyen du dispositif de la FIG. 6 ; FIG. 8 La FIG. 8 illustre différentes configurations d’un capteur hybride combinant une ou plusieurs jauges résistives et une ou plusieurs jauges piézoélectriques ; FIG. 9 La FIG. 9 représente un capteur de force employant des capteurs hybrides tels que ceux des figures 1 et 8 ; FIG. 10 La FIG. 10 représente un deuxième mode de fonctionnement du capteur hybride de la FIG. 1 ; FIG. 11 La FIG. 11 représente un troisième mode de fonctionnement du capteur hybride de la FIG. 1 ; et FIG. 12 La FIG. 12 représente les modules de fonctions de transferts caractéristiques d’une paire de filtres complémentaires. DESCRIPTION DETAILLEE DE L’INVENTION Premier mode de réalisation Un mode de réalisation de la présente invention est décrit au moyen des figures 1 à 9 et des passages associés ci-dessous. La FIG. 1 illustre une première mise en œuvre de l’invention, sous la forme d’un capteur hybride HYB comprenant un substrat formé d’un film de support SPRT intégrant une jauge piézoélectrique de déformation PIEZO, une jauge résistive de déformation RES, et un module électronique EL.MOD d’acquisition et de traitement des données, ces dernières étant constituées de signaux générées par la jauge résistive et la jauge piézoélectrique. Le module électronique possède une première paire de terminaux T1 RES et T2 RES dédiées à la mesure de la résistance électrique de la jauge résistive, une seconde paire de terminaux T1 PIEZO et T2 PIEZO dédiées à la mesure de charges électriques générées par la jauge piézoélectrique, et une paire de sorties S1 et S2 dédiées à la transmission vers l’extérieur d’un signal représentatif de la déformation du film de support. Le module électronique peut comprendre des éléments électroniques associés conventionnellement à des jauges de ces types pour la détection et la transmission des signaux qu’elles génèrent. Les variations de résistivité de la jauge résistive peuvent être détectées par un pont de Wheastone, qui permet de convertir la variation de la résistance de la jauge en tension mesurable par le système d’acquisition. Les variations de la charge électrique apparaissant aux électrodes de la jauges piézoélectriques peuvent être détectées au moyen d’un amplificateur de charge ou directement au niveau d’une entrée en tension d’un système d’acquisition, avec ou sans pré-amplificateur de tension. On peut aussi envisager d’utiliser un montage de type IEPE (Integrated Electronics Piezo-Electric en terminologie anglaise), c’est-à-dire avec un amplificateur de charge intégré au capteur, qui préconditionne le signal pour qu’il soit plus facile à transporter sur des câbles sans rajouter de bruit. Lorsque le module électronique est configuré pour traiter des signaux numériques, il est équipé d’un ou plusieurs convertisseurs analogique-numérique pour numériser le signal avant de procéder aux opérations de filtrage, qui peuvent être plus facilement mises en œuvre numériquement. Principe de la mesure par le capteur hybride Le principe est de combiner les signaux d’une jauge résistive de déformation d’une part, et d’une jauge piézoélectrique de déformation d’autre part. Ces signaux sont combinés de manière à obtenir un signal de sortie dont les informations à basses fréquences et à hautes fréquence proviennent de manière prépondérante de la jauge résistive et de la jauge piézoélectrique, respectivement. La FIG. 2 illustre le fonctionnement du capteur hybride de la FIG. 1 au moyen d’un schéma fonctionnel. Lorsque le capteur hybride HYB est en fonction, une déformation Def de l’objet à la surface duquel il est fixé s’applique également au film de support SPRT et donc à la jauge résistive de déformation RES et à la jauge piézoélectrique de déformation PIEZO. L’objet en question sera mentionné plus bas comme « l’objet instrumenté ». L’objet instrumenté est un corps d’épreuve dans le cas où le capteur est utilisé pour former un capteur de force comme illustré par la FIG. 9 , mais tout objet dont les déformations sont à analyser peuvent constituer l’objet instrumenté : aile d’avion, canalisation, machine en fonctionnement, câble sous tension, élément d’un pont etc… Les blocs de la FIG. 2 inscrits dans les boîtes en traits pointillés nommées « Tr.RES » et « Tr.PIEZO » indiquent des transducteurs basés sur la jauge RES et la jauge PIEZO, respectivement. Il s’agit de blocs fonctionnels, dont les mise en œuvre ne sont pas détaillées ici car bien connues de l’homme du métier. Seules les parties nécessaires à la compréhension du principe de mesure du capteur hybride sont mentionnées dans la suite de ce document. L’association des éléments sensibles de la jauge résistive et de la jauge piézoélectrique avec l’électronique d’acquisition et de traitement des données forment des transducteurs transformant le signal mécanique d’entrée en signaux de natures électriques, de manière bien connue dans le domaine. La déformation Def induit la génération d’un signal d in de déformation mécanique du film de support SPRT, qui constitue le signal d’entrée du capteur hybride HYB. Dans le cas où le capteur ne comporte pas le film de support SPRT (voir les variantes (F), (H) et (I) illustrées par la FIG. 5 ), le signal de déformation mécanique est directement généré par la déformation des jauges, solidaires de la surface de l’objet instrumentées. La jauge RES forme l’élément sensible du transducteur Tr.RES dont le comportement lors d’une mesure peut se modéliser au moyen (i) d’une sensibilité Sens RES (pouvant s’exprimer en mV/µdef) permettant de générer un premier signal électrique (pouvant s’exprimer en mV) à partir du signal mécanique de déformation (pouvant s’exprimer en µdef, unité adimensionnelle utilisée en mécanique des milieux continus pour exprimer les déformations) et (ii) de l’addition d’un bruit Nois (pouvant s’exprimer en mV) audit premier signal électrique par un additionneur Add 1 . La jauge RES génère un signal résistif S RES représentatif du signal d in de la déformation mécanique Def de l’objet instrumenté. Le bruit Nois traduit le fait qu’une jauge résistive est, en pratique, bruyante : les variations des tensions mesurées sont faibles, ce qui rend difficile les mesures à bas bruit, pour des raisons liées à la jauge elle-même ou au système de mesure. Ainsi, le signal généré en réponse à la détection d’une déformation par un système basé sur une jauge résistive est considéré comme bruité. La jauge PIEZO forme l’élément sensible du transducteur Tr.PIEZO dont le comportement au cours d’une mesure peut se modéliser au moyen (i) d’une sensibilité Sens PIEZO (pouvant s’exprimer en pC/µdef) dans le cas d’une mesure en charges électriques ou en mV/µdef dans le cas d’une mesure en tension, permettant de générer un second signal électrique (pouvant s’exprimer en pC ou en mV) à partir du signal mécanique de déformation (pouvant s’exprimer en µdef) et (ii) d’un filtre à gain unitaire passe-haut Filt HP1 . La jauge PIEZO génère un signal S PIEZO représentatif du signal d in de la déformation mécanique Def de l’objet instrumenté. Le filtre passe-haut Filt HP1 traduit le fait que les jauges piézoélectriques ne sont pas capables de mesurer la composante statique d’une déformation et qu’il est courant d’éliminer les fréquences basses de la réponse de la jauge piézoélectrique à une déformation. Il est possible d’acquérir les signaux qu’elles génèrent selon deux méthodes différentes. Une première méthode est d’employer un amplificateur de charge, qui intègre les charges produites par la jauge piézoélectrique. Dans ce cas, afin d’éviter une dérive constante du signal lié aux fuites de ces charges à travers le matériau piézoélectrique employé et à travers l’amplificateur de charge (on peut se reporter aux figures 4 et 5 et aux passages de texte associés pour la configuration typique d’une jauge piézoélectrique, qui intègre un élément piézoélectrique entre deux électrodes), il est courant de filtrer le signal de sortie par un filtre passe-haut du premier ordre. Une seconde méthode est d’employer un amplificateur de tension, qui présente une impédance finie à la jauge piézoélectrique. Il se forme donc un filtre RC passe-haut, ou R est la résistance résultant de la résistance de fuite du matériau piézoélectrique et de l’impédance de l’amplificateur de tension, et C la capacitance de la jauge piézoélectrique. Dans les deux méthodes, le signal généré par la jauge piézoélectrique de déformation est passé par un filtre passe-haut du premier ordre, dont la fréquence de coupure peut être ajustée en jouant sur la résistance de fuite de la jauge, sur sa capacitance ou sur l’amplificateur de charge, le cas échéant. La fonction de transfert H HP (ω) d’un filtre passe-haut à réponse impulsionnelle infinie d’ordre 1 peut s’écrire : Eq. 1 où est la pulsation, la fréquence, la pulsation de coupure, la fréquence de coupure, et j le nombre complexe défini tel que j²=-1. Les signaux S RES et S PIEZO sont fournis en entrées aux terminaux du module électronique EL.MOD. Un gain G RES est appliqué et signal S RES et un gain G PIEZO est appliqué au signal S PIEZO . En outre, le signal S RES est passé par un filtre à gain unitaire passe-bas Filt LP1 après que le gain G RES lui ait été appliqué. Le filtre passe-bas Filt LP1 présente de préférence la même fréquence de coupure que le filtre Filt HP1 , au moins à 10% près, de préférence à 5% près, plus préférablement à 1% près, et encore plus préférablement à 0,1% près. Si le filtre Filt LP1 est un filtre à réponse impulsionnelle infinie d’ordre 1, alors sa fonction de transfert H H L (ω) peut s’écrire : Eq. 2 Les filtres Filt HP1 et Filt LP1 représentent deux exemples de filtres à gain unitaire : le module de leur fonction de transfert dans leur bande passante (f>>fc pour un passe haut, f HP1 et Filt LP1 sont en outre deux filtres dits « complémentaires », en ce que, quelle que soit la fréquence, le module de la somme de leurs fonctions de transfert respectives, et vérifient l’égalité ceci étant dû au fait que leurs fréquences de coupure ont la même valeur. La figures 12 illustre cette situation avec des courbes représentant respectivement Sum, et pour des filtres unitaires complémentaires présentant une fréquence de coupure de 1 Hz, l’axe des abscisses représentant la fréquence f et l’axe des ordonnées le gain g. Enfin, (i) le signal S RES filtré (indiqué comme le signal S Rep.RES sur la FIG. 2 ) et (ii) le signal S PIEZO auquel le gain G PIEZO a été appliqué (indiqué comme le signal S Rep. PIEZO sur la FIG. 2 ) passent par un additionneur Add 2 qui somme ces deux signaux pour donner un signal de sortie S O ut 1 . Dans cette situation, l’équation Eq. 3 ci-dessous exprime, dans le domaine fréquentiel, la constitution du signal de sortie : Eq. 3 où S O ut1 , représente le signal de sortie du capteur hybride, le signal de la déformation de l’objet instrumenté et donc du film support, le signal du bruit Nois, s r la valeur de la sensibilité Sens RES de la jauge résistive au signal , s p la valeur de la sensibilité Sens PIEZO de la jauge piézoélectrique au signal , la fonction de transfert du filtre passe-haut Filt H P1 , la fonction de transfert du filtre passe-bas Filt L P1 , g r la valeur du gain G RES , et g p la valeur du gain G PIEZO . L’équation Eq. 3 peut se réécrire sous la forme de l’équation Eq. 4 suivante : Eq. 4 Pour que le signal soit quantitativement représentatif de la déformation mesurée, il est nécessaire que les signaux issus de la jauge résistive et de la jauge piézoélectrique aient la même amplitude pour une amplitude de déformation donnée. Cette identité entre les amplitudes est assurée par les valeurs de gain g r et g p des deux blocs de gain G RES et G PIEZO . Lorsque l’on introduit les équations Eq. 1 et Eq. 2 ( ) dans l’équation Eq. 4 et que l’on choisit les valeurs des gains de manière telle que et , alors on obtient l’équation Eq. 5 : Eq. 5 On constate que le signal de sortie est égal au signal de la déformation Def appliquée au capteur hybride, plus un terme de bruit introduit par la jauge résistive. En pratique, on choisira pour g r et g p des valeurs respectivement égales à 1/s r et 1/g p à au moins 10% près, de préférence 5% près, plus préférentiellement 1% près, et encore plus préférablement à 0,1% près. Le terme de bruit présent sur le signal de sortie généré par le capteur hybride est beaucoup plus faible que le terme de bruit dans le signal généré par la jauge résistive car il a été filtré par le filtre passe-bas Filt LP1 . Plus la fréquence de coupure sera petite, moins il y aura de bruit dans le signal de sortie . Une jauge résistive utilisée seule ne fournit qu’un signal de mesure très bruité pouvant s’exprimer sous la forme , même si des mesures statiques et dynamiques sont possibles. A l’inverse, une jauge piézoélectrique utilisée seule permet d’obtenir des signaux de mesure très peu bruités pouvant s’exprimer sous la forme , mais uniquement pour des déformations dynamiques en raison du fonctionnement même d’une jauge piézoélectrique. En revanche, en traitant et en combinant de cette manière les signaux issus des deux jauges du capteur hybride, la jauge résistive et la jauge piézoélectriques, on bénéficie de leurs avantages respectifs, très complémentaires entre eux. La part du signal de sortie issue de la jauge résistive permet de caractériser une déformation statique ou basse fréquence, tout en limitant le bruit grâce au filtre passe-bas. La part du signal de sortie issue de la jauge piézoélectrique, naturellement peu bruité, permet de suivre précisément une déformation dynamique de l’objet instrumenté. Comme décrit ci-dessus, le capteur hybride peut être modélisé comme deux chaînes de mesure parallèles entre elles, chacune dédiée à l’une de la mesure résistive et de la mesure piézoélectrique d’une déformation et permettant de caractériser une déformation du film de support et donc de l’objet instrumenté. La chaîne de mesure Meas.Ch RES correspondant à la jauge résistive RES est modélisée comme étant formée de la sensibilité Sens RES , une source du signal de bruit Nois, l’additionneur Add1, le gain G RES et le filtre Filt LP1 . La chaîne de mesure Meas.Ch PIEZO dédiée à la jauge piézoélectrique PIZEO est modélisée comme comprenant la sensibilité Sens PIEZO , le filtre Filt HP1 et le gain G PIEZO . Ces chaînes de mesure sont définies par l’ensemble des opérations appliquées au signal d’entrée d in jusqu’à la sommation des signaux résultants au niveau de l’additionneur Add 2 , d’un part du côté de la jauge résistive et d’autre part du côté de la jauge piézoélectrique. La FIG. 3 illustre des résultats de simulation du fonctionnement d’un capteur hybride tel que modélisé au moyen des figures 1 et 2. Il s’agit de la réponse des différents éléments formant le capteur hybride à une déformation appliquée durant 1s d’amplitude 10 µdef, et modélisée comme une fonction créneau. En (A), la FIG. 3 montre la réponse RA de la jauge résistive (sans filtrage), qui suit parfaitement le créneau de déformation mais est très bruitée. En (B), la figure 3 montre la réponse RB de la jauge résistive filtrée au moyen d’un filtre passe-bas de fréquence de coupure fixée à 0,1 Hz. La réponse résultante est moins bruitée que la réponse RA, mais ne suit pas le créneau de déformation, en raison d’un temps de réponse correspondant à 1/ . En (C), la FIG. 3 montre la réponse RC de la jauge piézoélectrique. Celle-ci n’est pas bruitée, mais en raison du filtre passe-haut faisant partie intégrante de la jauge elle tend à revenir vers 0. Le temps de réponse est court, mais le créneau n’est pas maintenu. En (D), la figure 3 montre la réponse RD du capteur hybride, constituée de la somme de la réponse RB filtrée de la jauge résistive et de la réponse RC de la jauge piézoélectrique. Cette réponse RD suit précisément (bruit très faible) le créneau de déformation, sans dérive ni latence. Le bruit restant correspond au bruit résiduel de la jauge résistive filtré par le filtre passe-bas. Les conditions de simulation correspondent à , , et les filtres passe-haut et passe-bas ont la même fréquence de coupure . Les filtres Filt HP1 et Filt LP1 peuvent être des filtres différents de ceux pris en exemple ci-dessus, tels que des filtres du second ordre ou des ensembles de filtres du premier ordre en série. Pour des mesures quantitatives précises, le principal critère de choix pour les filtres Filt HP1 et Filt LP1 est que le module de la somme de leurs fonctions de transfert soit constant. On considère alors qu’il s’agit de filtres dits « complémentaires ». On aura par exemple pour Filt HP1 un filtre d’ordre 1 lorsque la charge de la jauge piézoélectrique est mesurée en tension, auquel cas, on choisira également un filtre d’ordre 1 pour le filtre Filt LP1 pour assurer la complémentarité entre les deux filtres. D’autres cas sont possibles, par exemple avec une mesure en charge de la jauge piézoélectrique. C’est le choix de ces filtres qui conditionne la fidélité de la réponse électrique du capteur hybride vis-à-vis de la déformation mécanique qu’il caractérise. Si l’on prend l’exemple de la FIG. 12 , on comprend que l’aspect « complémentaire » des deux filtres permet d’obtenir un signal de sortie S Out1 représentatif de la déformation Def, avec une jonction continue et quantitativement exacte entre (i) un signal S Rep.RES essentiellement constitué de composantes à basses fréquence obtenues au moyen de la jauge résistive et (ii) un signal S Rep. PIEZO essentiellement constitué des composantes à hautes fréquences obtenues au moyen de la jauge piézoélectrique. Ainsi, le contenu informatif des composantes à basses fréquences du signal de sortie S Out1 provient majoritairement du signal résistif S RES tandis que le contenu informatif des composantes à hautes fréquences du premier signal de sortie S Out1 provient majoritairement du signal piézoélectrique S PIEZO . On parlera de basses fréquences et de hautes fréquences pour des fréquences respectivement inférieures et supérieures à la fréquence de coupure commune des deux filtres. Le capteur hybride illustré par la FIG. 1 et dont le principe de fonctionnement est illustré par les figures 2 et 3 peut être mis en œuvre au moyen de jauges résistives et de jauges piézoélectriques connues de l’homme du métier. Le film de support SPRT est préférablement fait d’un ou plusieurs matériaux flexibles choisis en fonction de l’application visée, et peuvent être par exemple constituées de métal, chlorure de polyvinyle (PVC), polyimide (PI), polyéthylène téréphtalate (PET), polyéthylène téréphtalate à orientation biaxiale (Mylar®) ou encore d’un matériau composite de résine époxy et de fibres de verre. Le film de support pourrait directement être constitué d’un circuit imprimé flexible (ou FPCB pour Flexible Printed Circuit Board en terminologie anglaise), avec soudure des contacts électrique directement sur cet élément. La jauge résistive de déformation comprend une résistance électrique formée d’un matériau conducteur tel qu’un alliage de nickel et de cuivre, intégrée sur un support souple, comme décrit par exemple dans la demande de brevet FR2693795 ou encore le brevet US2386879. Plus généralement, tout type de jauge résistive dont le fonctionnement est basé sur la variation d’une résistance électrique sous l’effet de la déformation de son support peut convenir pour la formation du présent capteur hybride. La jauge piézoélectrique de déformation a un fonctionnement basé sur l’effet piézoélectrique, qui peut se décrire comme l’apparition de charges électriques à la surface d’un élément formé d’un matériau dit « piézoélectrique » sous l’effet d’une déformation. Cet effet est exploité dans les jauges piézoélectrique pour détecter la déformation d’objets auxquels elles sont fixées. Il existe différents types de jauges piézoélectriques, chacun pouvant être employé pour former la jauge piézoélectrique du capteur hybride illustré par la FIG. 1 . Un premier type de jauges de déformation piézoélectriques est basé sur l’emploi d’un cristal de matériau piézoélectrique de relativement bonne sensibilité à la déformation et stable dans le temps, mais épais et rigide, souvent abrité dans un boîtier métallique dont il est mécaniquement solidaire. Ces dernières caractéristiques le rendant difficile à intégrer et amenant à une perte d’une partie des avantages qu’ont les jauges résistives pour une intégration dans un capteur hybride combinant une jauge résistive et une jauge piézoélectrique (les jauges résistives sont très fines et souples). Un second type de jauges de déformation piézoélectriques est basé sur l’emploi de de structures composites comprenant des barres de PZT (ou titano-zirconates de plomb) situées entre des feuilles de matériaux polymères, ou sur des films piézoélectriques polymères dits « PVDF » pour poly(vinylidene fluoride) en terminologie anglaise. Ces structures sont relativement souples et intégrables aux côtés d’une jauge résistive, mais trop instables dans le temps et trop sensibles à la température pour certaines applications visées pour le capteur hybride décrit ci-dessus. Un troisième type de jauge de déformation piézoélectrique, particulièrement adapté au capteur hybride décrit ci-dessus, emploie comme élément sensible un élément mince piézoélectrique monocristallin se présentant sous forme d’une plaque s’étendant dans un plan d’extension défini par une première direction et une seconde direction normale à la première direction, de dimensions dans la première direction et la seconde direction chacune supérieures à 100 µm et d’épaisseur inférieure à 50 µm, un rapport de l’épaisseur sur la dimension dans la première direction ou la dimension dans la seconde direction étant inférieur à 0,1. L’élément piézoélectrique peut présenter une première sensibilité S x à la déformation selon la première direction et une seconde sensibilité S y à la déformation selon la seconde direction perpendiculaire à la première, une orientation cristalline de l’élément pouvant être telle que abs(S y /S x ) y +S x )/S x ) x -S y )/S x ) Un tel élément mince piézoélectrique est apte à former la base d’une jauge de déformation piézoélectrique, qui peut combiner précision, sensibilité, conformabilité, souplesse, légèreté, stabilité, linéarité, directivité et applicabilité à de larges gammes de déformations, comme décrit en détail dans la demande de brevet français FR2303635. En particulier, cet élément mince piézoélectrique peut présenter des caractéristiques complètement compatibles avec celles des jauges résistives conventionnelles en termes de souplesse et de facteur de forme : souplesse, épaisseur et dimensions latérales pouvant être les mêmes que celles des jauges résistives conventionnelles, ce qui permettrait à un capteur hybride muni d’un jauge piézoélectrique formée d’un tel élément mince de couvrir une gamme d’applications aussi large que celle des jauges résistives, et ce sans présenter de contrainte d’intégration supplémentaire. Cet élément piézoélectrique permet de mesurer des déformations supérieures à 5000 micromètres par mètre avec une résolution de l’ordre de 1 nanomètre par mètre de déformation. Ces chiffrent se comparent avec ceux des jauges résistives conventionnelles qui permettent de mesurer des déformations allant jusqu’à 12000 micromètres par mètre (pour un petit nombre de cycles seulement) mais avec une résolution bien plus faible, de l’ordre de 1 micromètre de déformation par mètre. En comparaison, les jauges piézoélectriques en boitier du premier type de jauges ne sont capables de mesurer que des déformations limitées à environ 300 micromètres par mètre, ce qui limiterait d’autant la plage d’un capteur hybride utilisant cette technologie. L’élément mince piézoélectrique peut être muni d’une paire de couches électriquement conductrices situées respectivement sur deux faces opposées de l’élément mince piézoélectrique. Une jauge de déformation piézoélectrique peut comprendre au moins un élément mince piézoélectrique tel que décrit ci-dessus, fixé sur une feuille souple. Selon des caractéristiques additionnelles, considérées individuellement ou selon toute combinaison techniquement réalisable : - l’élément mince piézoélectrique peut être encapsulé entre la feuille souple et une autre feuille souple ; - la jauge piézoélectrique peut comprendre un amplificateur de charge connecté à l’élément mince piézoélectrique ; - l’amplificateur de charge peut être intégré sur la feuille souple ; En revanche, l’élément mince piézoélectrique monocristallin décrit plus haut répond à l’ensemble des critères nécessaire à une bonne intégration en combinaison avec une jauge résistive : dimensions, souplesse et sensibilité. L’intégrabilité de l’élément piézoélectrique (facilité à le placer en contact intime avec une structure de forme non nécessairement plane) est primordiale ici, et sa sensibilité permet de détecter des déformations de faibles amplitudes. L’élément piézoélectrique peut être formé de tantalate de lithium LiTaO3 sous forme monocristalline, qui appartient au groupe d’espace 3m, mais aussi de niobate de lithium LiNbO3 (groupe 3m), de niobate de plomb et de magnésium MgNb2(PbO3)3 (groupe P1), de nitrure d’aluminium AlN (groupe P6 3 mc), de titanate de baryum BaTiO3, de niobate de potassium KNbO3 ou de titanate de plomb TiPbO3 (tous trois du groupe P4mm). Ainsi, le capteur hybride HYB de la FIG. 1 peut employer une jauge piézoélectrique PIEZO basé sur un élément mince piézoélectrique EL.PIEZO de plan d’extension choisi pour présenter un comportement particulier, unidirectionnel, omnidirectionnel ou bidirectionnel à une déformation unidirectionnelle qui lui est appliquée dans son plan d’extension. Le comportement en sensibilité de l’élément mince piézoélectrique (unidirectionnel, omnidirectionnel ou bidirectionnel) est transféré à la jauge de déformation intégrant cet élément mince piézoélectrique. Afin de bénéficier de la finesse et donc de la souplesse et de la conformabilité de l’élément mince EL.PIEZO, le substrat SPRT sur lequel est fixé l’élément mince EL.PIEZO est de préférence flexible. Ainsi, le substrat est préférablement fait d’un ou plusieurs matériaux flexibles choisis en fonction de l’application visée, et peut être par exemple constitué de métal, chlorure de polyvinyle (PVC), polyimide (PI), polyéthylène téréphtalate (PET), polyéthylène téréphtalate à orientation biaxiale (Mylar®) ou encore d’un matériau composite de résine époxy et de fibres de verre. L’élément mince EL.PIEZO peut être fixé au substrat SPRT au moyen d’un adhésif souple tel qu’un film conductif anisotrope (ACF) qui permet en outre une prise de contact électrique comme décrit dans le document de brevet FR 3 122 985. En utilisation, la jauge PIEZO peut être fixée à la surface d’un objet à instrumenter au moyen d’un adhésif, par exemple une colle cyanoacrylate ou une résine époxy. Outre l’élément mince EL.PIEZO, dans l’exemple de la FIG. 1 , un amplificateur de charge C.AMP est également fixé sur le substrat SPRT et fonctionnellement relié à deux couches électriquement conductrices jouant le rôle d’électrodes, respectivement formée sur deux faces opposées de l’élément mince EL.PIEZO. L’amplificateur de charge a pour fonction de produire une tension correspondant à la charge appliquée en entrée et qui correspond à la charge générée par l’élément EL.PIEZO au cours de sa déformation, à des fins de traitements électroniques du potentiel électrique généré et de procéder à une mesure effective de la déformation de l’élément EL.PIEZO. L’amplificateur de charge peut être de type IEPE, c’est à dire alimenté par un courant continu, d’intensité comprise par exemple entre 4 et 20mA, généré par un système d’acquisition, et renvoyant le signal de mesure sur le câble servant à l’alimentation, en modulant sa tension. Des capteurs piézoélectriques avec un amplificateur de charge intégré sont bien connus dans le domaine de la mesure de contraintes ou d’accélération mettant à profit la piézoélectricité. Un circuit électronique transforme le signal à haute impédance de la jauge piézoélectrique en un signal de tension de basse impédance, plus facile à transmettre à l’électronique de mesure. Un tel amplificateur de charge garantit la compatibilité de la jauge piézoélectrique avec une large gammes de systèmes électroniques de mesure. Dans ce cas de figure, le module électronique EL.MOD n’est pas intégré à un même support que le capteur. Bien que non représenté, un élément de connexion filaire, tel qu’un cordon sous forme de nappe, est relié à l’amplificateur de charge pour connecter la jauge à une électronique de mesure extérieure. L’élément mince piézoélectrique EL.PIEZO a préférablement une épaisseur inférieure à 50 µm, plus préférablement inférieure à 25 µm, encore plus préférablement inférieure à 10 µm. Si l’on considère un élément piézoélectrique défini comme illustré dans la FIG. 4 , un rapport de l’épaisseur L z de l’élément EL.PIEZO dans une troisième direction z sur sa dimension L X dans une première direction x de son plan d’extension, et/ou d’une dimension L y dans une deuxième direction y de son plan d’extension normale à la direction L x , est inférieur à 0,1, préférablement inférieur à 0,05, plus préférablement inférieur à 0,01. Le plan d’extension xy de l’élément EL.PIEZO est ici défini par les deux directions x et y. Les première, deuxième et troisième directions x, y et z forment un repère orthogonal. Le support SPRT peut avoir une épaisseur comprise entre 5 et 300 µm. Il est cependant préférable que la jauge piézoélectrique PIEZO considérée dans son ensemble soit suffisamment souple pour épouser la surface d’un objet courbe auquel elle doit être fixée et capable d’en suivre les déformations. Le praticien pourra décider pour chaque application des caractéristiques de l’élément mince piézoélectrique EL.PIEZO, de son support, et des autres éléments tels que les couches d’électrodes ou les moyens de prise de contacts électriques. La flexibilité de l’élément piézoélectrique mince est avantageusement exploitée pour fixer la totalité de l’une de ses faces en contact intime avec la surface éventuellement courbe d’un objet à instrumenter (à travers une électrode et un éventuel film adhésif). De cette manière, cet élément piézoélectrique est solidaire de l’objet à instrumenter, subit les mêmes déformations que celles que subit cet objet là où l’élément piézoélectrique est fixé, et sa déformation est donc représentative de celle de l’objet. Le substrat SPRT peut être constitué de ou remplacé par un support flexible tel qu’un circuit imprimé flexible dit « flex PCB », composé de couches de polymère électriquement isolant et de couches de cuivre, permettant de router les signaux entre les différents composants d'un circuit électronique. Chaque ensemble de capteur peut comporter une pluralité d’éléments piézoélectriques EL.PIEZO chacun ayant son propre support, de même que le module d’électronique les contrôlant peut avoir le sien. Alternativement, un même support flex PCB peut accueillir l’ensemble des éléments EL.PIEZO et d’une électronique de contrôle de ces éléments. Encore alternativement, un premier support flex PCB peut être commun à l’ensemble des éléments EL.PIEZO et un second support flex PCB peut être dédié au module électronique de contrôle. La FIG. 7 illustre les résultats de mesures effectuées au moyen d’un capteur hybride comprenant une jauge résistive conventionnelle et d’une jauge de déformation piézoélectrique du troisième type décrit ci-dessus, équipé d’un élément mince piézoélectrique EL.PIEZO. Le dispositif expérimental employé est illustré par la FIG. 6 , et comprend une plaque d’acier horizontale H.Pl fixée rigidement à un support V.Sprt s’étendant verticalement. Une jauge résistive RES et une jauge piézoélectrique PIEZO sont fixée sur la plaque d’acier. L’expérience consiste à placer une masse M sur la plaque, puis à l’en retirer. La FIG. 7 illustre en (A) la réponse de la jauge résistive sans filtrage, en (B) la réponse de la jauge résistive avec un filtrage passe-bas, en (C) la réponse de la jauge piézoélectrique, et en (D) la réponse du capteur hybride qui combine les réponses de la jauge résistive avec un filtrage passe-bas et de la jauge piézoélectrique. Les réponses sont exprimées en µdef. La masse est posée à t=29,7s et retirée à t=31,1s. Les paramètres expérimentaux assuraient que , , et que les filtres passe-haut et passe-bas avaient la même fréquence de coupure , fixée ici à 0,8 Hz. Ces résultats expérimentaux confirment les résultats de simulations illustrés par la FIG. 3 : la mesure effectuée au moyen du capteur hybride permet de corriger les défauts de la jauge résistive utilisée seule (bruit) et ceux de la jauge piézoélectrique utilisée seule (dérive). Plus spécifiquement, le bruit de fond RMS (Root Mean Square en terminologie anglaise) est de 0,53 µdef pour la jauge résistive, alors qu’il n’est que de 0,01 µdef pour le capteur hybride. Le niveau de bruit est donc réduit d’un facteur 50, ce qui représente une réduction de 34 dB du bruit, ce qui représente une réduction très conséquente. En effet, le signal de sortie du capteur hybride est donc à la fois peu bruité, et présente en outre, avec un temps de réponse nul ou quasi-nul, une réponse immédiate. Il n’y a pas besoin de temps de stabilisation après la pause de la masse pour pouvoir mesurer précisément la déformation. La FIG. 1 n’illustre qu’une configuration particulière pour un capteur hybride combinant une jauge résistive et une jauge piézoélectrique. La FIG. 8 illustre d’autres configurations possibles pour le capteur hybride, éventuellement combinables entre elles. En (A), la FIG. 8 illustre une configuration qui diffère de celle de la FIG. 1 en ce que le module électronique EL.MOD n’est pas fixé au support SPRT sur lequel sont fixées la jauge résistive et la jauge piézoélectrique. Une connexion filaire peut relier fonctionnellement le module électronique aux deux jauges de déformation. En (B), la FIG. 8 illustre une configuration différente de celle présentée en (A), en ce que la jauge résistive RES et la jauge piézoélectrique PIEZO sont superposées l’une à l’autre. Ici, le jauge résistive RES est représentée comme fixée sur la jauge piézoélectrique, fixée au support SPRT par l’intermédiaire de la jauge PIEZO. Alternativement, la jauge piézoélectrique pourrait être fixée au support par l’intermédiaire de la jauge résistive. En (C), la FIG. 8 illustre une configuration combinant celles de la FIG. 1 et de la FIG. 8 en (B) : le module électronique est fixé sur le support SPRT et les deux jauges sont superposées l’une à l’autre. En (D), la FIG. 8 illustre une rosette, constituée de trois paires de jauges résistives et piézoélectriques, arrangées pour présenter des axes principaux orientés à 120° les uns des autres, comme bien connu dans le domaine des jauges de déformation. D’autres configurations dans lesquelles le nombre de paires de jauges et leurs orientations relatives sont différentes sont possibles, comme par exemples trois paires de jauges dont les axes principaux forment des angles de 45° ou deux paires de jauges d’axes principaux orientés à 90° l’un de l’autre. Ici, le module électronique est fixé au support, il pourrait être situé hors du support, comme pour la configuration illustrée par la FIG. 1 . Dans le cas d’une combinaison impliquant plusieurs paires de jauges, l’une résistive et l’autre résistive pour chaque paire, le module électronique d’acquisition et de traitement des signaux est configuré de manière à traiter les signaux en provenance de chaque paire de manière à fournir un signal de sortie pour chaque paire de jauges, chaque signal ayant été généré comme le signal S Out1 . Il est également possible pour une jauge résistive de déformation d’être formée à partir d’un élément de résistance électrique variable gravé dans une électrode d’une jauge piézoélectrique ou formé à partir d’une ou plusieurs couches métalliques déposées sur cette électrode. On a alors la garantie que la jauge résistive et la jauge piézoélectrique mesurent exactement la même déformation, notamment grâce à la finesse de l’élément mince piézoélectrique. Cette cointégration paraît plus compliquée avec d’autres technologies, comme par exemple les barres de PZT. Le capteur hybride pourrait naturellement comprendre une telle association d’une jauge résistive et d’une jauge piézoélectrique. On pourrait alors considérer la jauge résistive fixée au film de support par l’intermédiaire de la jauge piézoélectrique. La FIG. 5 illustre en (A) une vue d’en haut d’un capteur hybride HYB basé sur la configuration d’une jauge piézoélectrique conventionnelle avec un élément piézoélectrique EL.PIEZO équipé de ses deux électrodes EL1 et EL2, combinée à une jauge résistive RES. Un élément électriquement conducteur EL.RES de résistivité électrique variable forme l’élément sensible de la jauge résistive RES. Cet élément conducteur est formé dans une couche d’un matériau électriquement conducteur formé sur l’électrode EL2, comme illustré en (C) de la FIG. 5 , qui représente une vue en coupe du capteur HYB selon un plan passant par les points A et B de la FIG. 5 (A). L’élément conducteur EL.RES est formé de méandres gravés dans une couche électriquement conductrice déposée sur l’électrode SH2. Une couche électriquement isolante Ins peut être interposée entre l’élément électriquement conducteur et l’électrode EL2. Les éléments EL.PIEZO et EL.RES sont intégrés à un substrat formé d’un film de support flexible SPRT tel que décrit plus haut, fixés à l’une des surface de ce support comme illustré ici. Un amplificateur de charge C.AMP est également intégré au substrat SPRT, ici fixé à la même surface du substrat que les éléments EL.PIEZO et EL.RES. Les éléments EL.PIEZO et EL.RES pourraient également être intégrés à l’intérieur du support Plus généralement, tout type d’association entre une jauge résistive et une jauge piézoélectrique peut être envisagé pour le capteur hybride, tant que ces jauges sont configurées pour caractériser une même déformation, de préférence simultanément, et que les signaux qu’elles génèrent peuvent être combinés. La FIG. 5 illustre en (B) une variation du capteur hybride HYB illustré en (A) et (C). Dans cette configuration, la jauge piézoélectrique, la jauge résistive et un module électronique EL.MOD sont intégrés sur un même substrat SPRT, mais dans cette configuration, un amplificateur de charge distinct du reste de l’électronique d’acquisition n’est pas nécessaire, sa fonction étant intégrée à un module électronique EL.MOD gérant directement lui-même l’amplification de la charge. En outre, le module électronique est préférablement fixé à une surface du substrat SPRT opposée à celle accueillant les éléments EL.PIEZO et EL.RES . En effet, lors de la fixation du capteur hybride sur un objet à instrumenter, un module électronique situé du même côté que ces éléments gênerait leur application au plus près de la surface de l’objet à instrumenter. La FIG. 5 illustre en (D) une autre variation du capteur hybride HYB illustré en (A) et (C). Dans cette configuration, l’élément EL.RES n’est pas formé sur l’élément EL.PIEZO, mais à côté de celui-ci, sur le substrat SPRT. L’élément EL.PIEZO pourrait être compris entre deux méandres de l’élément EL.RES de façon à ce que les signaux qui y seront générés soient autant que possible représentatifs d’une même déformation de l’objet instrumenté. La FIG. 5 illustre en (E) une autre variation du capteur hybride HYB illustré en (A) et (C). Dans cette configuration, obtenue par exemple en employant un substrat SPRT formé de plusieurs couche, l’élément EL.RES est enchâssé au sein du substrat SPRT, tout en étant superposé à l’élément EL.PIEZO. La FIG. 5 illustre en (G) une autre variation du capteur hybride HYB illustré en (E). Dans cette configuration, l’élément EL.RES est également enchâssé au sein du substrat SPRT, les éléments EL.RES et EL.PIEZO étant superposés l’un à l’autre, séparés et électriquement isolés l’un de l’autre par une couche formant le substrat SPRT, c’est-à-dire par une partie du substrat SPRTR lui-même. La FIG. 5 illustre en (F) une autre variation du capteur hybride HYB illustré en (A) et (C). Dans cette configuration, un substrat de support des éléments EL.RES et EL.PIEZO n’est pas employé : l’élément EL.PIEZO est autoportant et sert lui-même de support à l’élément EL.RES. Il s’agit d’une configuration minimaliste limitée aux éléments suivants : l’élément EL.PIEZO et sa paire d’électrodes EL1 et EL2, l’élément EL.RES formé superposé à l’élément EL.PIEZO, et une couche électriquement isolante Ins séparant l’élément EL.RES de l’élément EL.PIEZO et ses électrodes. Dans un tel cas de figure, le capteur peut être directement fixé à la surface d’un objet à instrumenter, de la même manière que s’il comportait une substrat de support SPRT. La FIG. 5 illustre en (H) une variation du capteur hybride HYB illustré en (F). Dans cette configuration, une couche électriquement conductrice Cond est présente, ici disposée entre l’élément EL.RES et l’élément EL.PIEZO et ses électrodes, et électriquement isolée de ces éléments par deux couches électriquement isolantes Ins, respectivement interposés entre la couche Cond et l’élément EL.RES et entre la couche Cond et l’élément EL.PIEZO et ses électrodes. La couche Cond peut avoir pour fonction de relier fonctionnellement l’élément EL.RES et/ou l’élément EL.PIEZO à un dispositif électronique de contrôle extérieur tel que me module MOD.EL. La couche Cond peut également avoir pour fonction d’éviter les couplages capacitifs entre l’élément EL.RES et l’élément EL.PIEZO. La couche COND est alors typiquement reliée à la masse du capteur. La FIG. 5 illustre en (H) une variation du capteur hybride HYB illustré en (F). Dans cette configuration, l’élément EL.RES est formé directement sur l’élément EL.PIEZO, à côté de l’électrode EL2 et non superposé à celle-ci. Capteur de force Un capteur hybride tel qu’illustré par les figures 1 et 8 est en première intention dédiée à la caractérisation de da déformation d’un objet instrumenté, sur lequel est fixé le capteur hybride. Il peut cependant être employé pour former, par exemple, un capteur de force. Le principe est de fixer un capteur hybride ou une pluralité de capteurs hybrides, quatre dans l’exemple illustré, à un corps d’épreuve. La fonction du corps d’épreuve est de produire une grandeur physique que l’on peut mesurer lorsqu’il est soumis à une force que l’on cherche à caractériser. Ainsi, la FIG. 9 représente un capteur de force F.SENS constitué d’un corps d’épreuve constitué d’une cellule de force CELL équipée de quatre capteurs de déformation hybrides HYB. En (A), sans force appliquée, la cellule de force est au repos. Sous charge par application d’une force F, situation illustrée en (B), la cellule de force se déforme et deux des quatre capteurs hybrides sont dans un état de compression Comp tandis que les deux autres sont dans un état d’extension Ext. A l’issu d’une étape de calibration de la cellule de force (application d’une force connue à la cellule de force et on mesure de la réponse, pour calculer la sensibilité), la mesure de la déformation de celle-ci au moyen des capteurs hybrides de déformation permet de déduire l’amplitude de la force F appliquée à la cellule. Bien entendu, d’autres types de corps d’épreuve peuvent être employés. Deuxième mode de réalisation Le premier mode de réalisation repose sur l’identité des fréquences de coupure du filtre passe-haut Filt HP1 de la jauge piézoélectrique et le filtre passe-bas Filt LP1 appliqué au signal généré par la jauge résistive. On considère que ces deux filtres forment un premier étage de filtrage. Cependant, en pratique, la fréquence de coupure du filtre passe-haut Filt HP1 , qui correspond aux caractéristiques physiques de la jauge piézoélectrique, ne peut pas toujours être estimée précisément. Notamment lorsque la jauge piézoélectrique est utilisée en mode tension, la fréquence de coupure dépend de la résistance de fuite de l’élément piézoélectrique formant l’élément sensible de la jauge piézoélectrique, qui peut varier en fonction de la température et de la déformation appliquée au capteur. Cela peut poser problème puisque la fréquence de coupure du filtre passe-bas appliqué au signal issu de la jauge résistive doit être égale à la fréquence de coupure du filtre passe-haut de la jauge piézoélectrique pour que le signal de sortie S O ut1 soit quantitativement parlant fidèle à la déformation. Une différence entre ces fréquences de coupure génèrera une distorsion du signal de sortie, surtout à des fréquences proches de ces fréquences de coupure. Ce second mode de réalisation propose a pour but de minimiser cet effet. Il consiste à placer un deuxième étage de filtrage employant un second filtre passe-bas Filt LP2 et un second filtre passe-haut Filt HP2 de même fréquence de coupure f c2 , plus élevée que la fréquence de coupure visée pour les filtres du premier étage Filt LP 1 et Filt HP 1 . On utilise alors le signal de la jauge résistive jusqu’à la fréquence f c2 au-dessus de la fréquence de coupure du premier étage, et le signal de la jauge piézoélectrique n’est utilisée qu’au-dessus de cette seconde fréquence de coupure f c 2 . Les filtres de ce second étage de filtrage sont mis en œuvre de la même manière (soit tous les deux de manière analogique, soit tous les deux de manière numérique), il est donc facile de s’assurer qu’ils ont exactement la même fréquence de coupure f c 2 , ce qui garantit une sortie du deuxième étage de filtrage sans déformation du signal. On choisira typiquement la fréquence de coupure du deuxième étage 5 fois plus grande que , préférablement 10 fois plus grande que de manière à vérifier l’inégalité . Plus est élevée, moins la différence entre les fréquences de coupures des filtres du premier étage Filt LP 1 et Filt HP 1 aura d’influence sur le signal de sortie, mais plus le bruit résiduel sur le signal de sortie sera élevé. La FIG. 10 illustre au moyen d’un schéma fonctionnel le fonctionnement du capteur hybride selon ce second mode de réalisation. Le second mode de réalisation se distingue du premier mode de réalisation par la présence d’un second étage de filtrage comprenant les filtres Filt LP2 , Filt HP2 , et un additionneur Add 3 . Pour les autres éléments de la FIG. 10 , on peut se reporter au premier mode de réalisation et à la FIG. 2 . L’additionneur Add 3 est configuré pour faire la somme entre (i) le signal de sortie S O ut1 auquel un filtrage par le filtre Filt HP2 a été appliqué et (ii) le signal issu de la jauge résistive RES auquel le gain G RES puis un filtrage par le filtre passe-bas Filt LP2 ont été appliqués. En sortie de l’additionneur Add3, on obtient un signal de sortie S Out2 , correspondant au signal S Out1 débarrassé en grande partie de l’influence de la différence entre les fréquences de coupures des filtres Filt LP 1 et Filt HP1 du premier étage. Troisième mode de réalisation Un autre problème peut être rencontré en pratique lors de l’utilisation du capteur hybride : les effets de la température. Tout capteur est soumis à une dérive de sa sensibilité avec la température, c’est-à-dire que le facteur de conversion entre la grandeur mesurée (ici la déformation) et la sortie du capteur (une tension en mV ou une charge en pC par exemple) varie en fonction de la température. Comme les principes physiques sur lesquels sont basées les jauges résistives et les jauges piézoélectriques sont complètement différents, on s’attend à ce que les sensibilités de deux jauges de ces deux types dérivent de manières différentes avec la température. Le premier problème est que la dérive en température génère un biais des mesures réalisées avec le capteur hybride, si elle n’est pas compensée. Moins la sensibilité dérive avec la température, plus le capteur est considéré de bonne qualité. Ce premier problème existe pour tous les capteurs, et de nombreuses solutions ont été développées pour y répondre. Le second problème a pour origine la dérive différentielle entre les deux jauges, la jauge résistive et la jauge piézoélectrique. En effet, pour que le signal de sortie du capteur, qui résulte de la combinaison entre les signaux issus des deux jauges, la jauge résistive et la jauge piézoélectrique, soit quantitativement représentatif de la déformation mesurée, il est nécessaire que les signaux issus de la jauge résistive et ceux issus de la jauge piézoélectrique aient la même amplitude pour une déformation d’amplitude donnée. Cette identité entre les amplitudes est assurée, dans les précédents modes de réalisation, par les deux blocs de gain G RES et G PIEZO , dont les valeurs de gain g r et g p sont considérés comme fixes dans la modélisation du capteur hybride employée dans le présent document. Pour une température de référence T 0 , on peut ainsi choisir des gains g r et g p de manière à ce que les signaux S Rep.RES et S REP.PIEZO aient une même amplitude lors de la mesure d’une déformation donnée. Cependant, si les deux jauges ont des dérives de sensibilité (s r et s p ) en température différentes, alors à une température différente de T 0 les signaux S Rep.RES et S R ep .PIEZO auront des amplitudes différentes pour une même déformation, et le signal de sortie sera déformé par rapport à la déformation mesurée. Autrement dit, dans le premier mode de réalisation, illustré par la FIG. 2 , l’égalité entre les gains globaux respectifs s r ×g r et s p ×g p des deux chaînes de mesure Meas.Ch RES et Meas.Ch PIEZO pourra être perdue en raison d’une dérive différentielle entre les caractéristiques des deux jauges. Le troisième mode de réalisation répond à ce problème en assurant, qu’à chaque instant, (i) les gains respectifs des deux chaînes de mesure Meas.Ch RES et Meas.Ch PIEZO restent égaux entre eux et, (ii) les fréquences de coupure respectives des deux chaînes de mesure Meas.Ch RES et Meas.Ch PIEZO , qui sont celles des deux filtres Filt LP1 et Filt HP1 , soient égales entre elles. Cette identité entre les gains et les fréquences de coupure globaux des deux chaînes de mesure Meas.Ch RES et Meas.Ch PIEZO est dans ce mode de réalisation assurée au moyen d’une technique de filtrage adaptatif décrite ci-dessous au moyen du schéma bloc fonctionnel de la FIG. 11 . Un filtrage adaptatif selon ce mode de réalisation a pour principe d’ajuster en temps réel (i) la fréquence de coupure du filtre passe-bas Filt LP1 appliqué au signal de la jauge résistive et (ii) la valeur g p_ Cor r d’un gain G PIEZO_Corr placé en série entre le gain G PIEZO et l’additionneur Add 2 . La fréquence de coupure du filtre passe-bas Filt LP1 est ajustée en permanence de manière à la faire tendre vers celle du filtre passe-haut Filt HP1 de la chaine d’acquisition de la jauge piézoélectrique, dont les caractéristiques sont susceptibles de varier en fonction de la température ou d’autres paramètres physiques. De manière similaire, la valeur g p_ Corr du gain G PIEZO_Corr est ajustée en permanence de manière à faire tendre le gain global s p ×g p ×g p _Corr de la chaîne de mesure Meas.Ch PIEZO vers le gain global s r ×g r de la chaîne de mesure Meas.Ch RES . La FIG. 11 représente un schéma bloc fonctionnel expliquant l’algorithme mis en œuvre pour l’ajustement de la fréquence de coupure du filtre Filt LP1 et de la valeur g p_ Corr de correction du gain de la chaîne de mesure Meas.Ch PIEZO . Le principe du premier mode de réalisation illustré par la FIG. 2 est repris, auquel vient s’ajouter un filtrage adaptatif représenté par les éléments Filt HP_Est , LMS Alg , Sub et G PIEZO_Corr . Pour les autres éléments de la FIG. 11 , on peut se reporter au premier mode de réalisation et à la FIG. 2 . Le principe employé repose sur l’hypothèse, vérifiée en pratique, selon laquelle, à basses fréquences, l’information contenue dans le signal généré par la jauge piézoélectrique est également contenue dans le signal de la jauge résistive. Il y a ainsi une redondance d’information que l’on peut exploiter pour calibrer en continu la fréquence de coupure du filtre Filt LP1 , et la valeur g p_ Corr du gain G PIEZO_Corr . Pour cela, on utilise une stratégie de filtrage adaptatif classique employant par exemple un algorithme LMS Alg des moindre carrés (désigné ainsi de l’acronyme LMS pour Least Mean Square) pour adapter les caractéristiques de la fonction de transfert du filtre Filt LP1 et le gain global de la chaîne de mesure Mes.Ch PIEZO . On peut utiliser les basses fréquences du signal, typiquement inférieures à 100 Hz pour que le signal de la jauge résistive ne soit pas trop bruité. Pour ce faire, on peut par exemple filtrer au moyen d’un filtre passe-bas de fréquence de coupure de 100 Hz les signaux rentrant le bloc de l’algorithme LMS Alg . Le signal résistif S RES de la jauge résistive auquel le gain G RES a été appliqué est (i) filtré par un filtre passe-haut Filt HP _Est de fonction de transfert estimée H HP EST(ω), dont les paramètres de gain et de fréquence de coupure sont variables, et (ii) envoyé en entrée de l’algorithme LMS Alg . Une deuxième entrée de l’algorithme LMS Alg est alimentée par un signal e d’erreur défini comme (i) le signal S RES de la jauge résistive ajusté au moyen du gain G RES et filtré par le filtre passe-haut estimé Filt HP_Est , dont on soustrait (ii) le signal S Rep.PIEZO représentatif du signal piézoélectrique S PIEZO au moyen du bloc Sub. Le résultat de cette soustraction est un signal d’erreur e qui est représentatif d’un écart entre (i) le signal S Rep.RES issu de la chaîne de mesure Meas.Ch RES avant qu’il ne soit filtré par Filt LP1 mais qui est filtré par Filt HP_est et (ii) le signal S Rep.PIEZO issu de la chaîne de mesure Meas.Ch PIEZO avant son passage par le gain G PIEZO_Corr . Les signaux S Rep.PIEZO et S Rep.PIEZO sont respectivement issus du signal piézoélectrique S PIEZO et du signal résistif S RES . On initialise par défaut le filtre FiltHP_Est avec un gain de 1 et une fréquence de coupure égale à celle des filtres Filt LP1 et Filt HP1 avant dérive et avant modification par le bloc LMS Alg . Au moins pour les basses fréquences, ce signal d’erreur doit être minimisé, ce qui est ici effectué de manière classique au moyen d’un filtrage adaptatif. L’algorithme LMS Alg est configuré de manière conventionnelle pour modifier de manière itérative le gain et la fréquence de coupure du filtre passe-haut estimé Filt HP _ EST de sorte à minimiser l’erreur e. A chaque itération, ou lorsque jugé nécéssaire, la fréquence de coupure du filtre estimé Filt HP_EST est transférée au filtre Filt LP1 , et le gain g p_ corr est mis à jour avec l’inverse du gain du filtre estimé Filt HP_EST . Autrement dit, sur la base d’une comparaison entre (i) le premier signal représentatif s Rep.RES du signal résistif S RES avant qu’il ne passe par le premier filtre passe-bas Filt LP1 et (ii) le second signal s Rep.PIEZO représentatif du signal piézoélectrique S PIEZO , on obtient une erreur e à minimiser par le filtrage adaptatif, ce dernier garantissant (i) que les filtres Filt HP1 et Filt LP1 ont la même fréquence de coupure, et (ii) que les signaux générés respectivement par la jauge résistive et la jauge piézoélectrique ont la même amplitude avant leur sommation, à tout instant, même si les paramètres des filtres évoluent au cours du temps. En procédant spécifiquement comme illustré par la FIG. 11 , la dérive de la sensibilité de la sortie du capteur hybride est égale à celle de la jauge résistive, qui en général dérive moins vite que la sensibilité du de la jauge piézoélectrique. Le transfert des paramètres est représenté conventionnellement par une flèche diagonale en arrière-plan des filtres Filt LP1 et Filt HP _ Est et du gain variable G PIEZO_Corr . En particulier pour la copie des paramètres que sont le gain et de la fréquence de coupure, il est commode de mettre en œuvre ce troisième mode de réalisation de manière numérique. Dans l’exemple présenté ci-dessus, la fréquence de coupure du filtre Filt LP1 , qui peut ici être un filtre numérique de fréquence de coupure variable et définie sur commande, est ajustée de manière à suivre la dérive de la fréquence de coupure du filtre Filt HP1 . Ainsi les fréquences de coupure des filtres Filt LP1 et Filt HP1 sont maintenues égales. Toujours dans cet exemple, le gain global de la chaîne de mesure Mes.Ch PIEZO est corrigée, par le biais du gain G PIEZO_Corr , de manière à assurer son égalité avec le gain global de la chaîne de mesure Ch.Mes RES . Une alternative reposant sur le même principe serait de corriger le gain global de la chaîne de mesure Mes.Ch RES de manière à assurer son égalité avec le gain global de la chaîne de mesure Ch.Mes PIEZO . : il suffirait de placer un gain variable sur la chaîne de mesure Meas.Ch RES et de contrôler sa valeur de gain au moyen d’un algorithme adapté.. Les algorithmes de type LMS sont généralement utilisés pour des filtres à réponse impulsionnelle finie (Finite Impulse Response pour FIR en terminologie anglaise). Leur mise en œuvre pour des filtres à réponse impulsionnelle infinie (IIR pour Infinite Impulse Response en terminologie anglaise) est plus compliquée, mais dans le cas présent, où l’on cherche seulement deux paramètres (un gain et une fréquence de coupure d’un filtre passe-haut du premier ordre), l’adaptation de méthodes connues peut être mise en œuvre par l’homme du métier. On peut par exemple se reporter à l’article de Shynk J.J. « Adaptative IIR filtering », 1989, EEE ASSP Magazine, 6, 4-21. D’autres méthodes d’estimation du gain et de la fréquence de coupure sont envisageables, par exemple par l’emploi d’une transformée de Fourier rapide (ou FFT en anglais pour Fast Fourier Transform), ou d’un filtrage adaptatif des moindres carrés (ou RLS pour Recursive Least Square en terminologie anglaise). Le problème se pose mathématiquement comme un problème d’identification d’un système du premier ordre à partir d’un signal bruité, ce qui est un problème très classique et largement documenté. Dans le présent mode de réalisation, seuls deux filtres sont mis en jeu, et on ajuste le filtre Filt LP1 en réponse aux caractéristiques changeantes du filtre Filt HP1 . D’une manière plus générale, il s’agit de rendre égaux la fréquence de coupure et le gain de l’ensemble de la chaîne de mesure Meas.Ch PIEZO . et ceux de l’ensemble de la chaîne de mesure Meas.Ch PIEZO en réduisant l'écart les séparant. On peut faire converger la fréquence de coupure de la chaîne de mesure Meas.Ch RES vers celle de la chaîne de mesure Meas.Ch PIEZO comme illustré par la FIG. 11 , ou, inversement, faire converger la valeur de la fréquence de coupure de la chaîne de mesure Meas.Ch PIEZO vers celle de la chaîne de mesure Meas.Ch RES . Symétriquement, on peut faire converger le gain global de la chaîne de mesure Meas.Ch PIEZO vers celui de la chaîne de mesure Meas.Ch RES , ou inversement. Cela peut consister à ajuster les paramètres de gain et de fréquence de coupure d’un filtre unique, ou bien à ajuster des les paramètres de gain et de fréquence de coupure de filtres combinés entre eux, par exemple mis en série, ou tout autre procédé, comme employer un gain correctif comme illustré par la FIG. 11 . On entend par « faire converger » une opération qui consiste à réduire un écart entre deux valeurs. En outre, selon les conditions (dérive de la fréquence de coupure mais pas du gain ou inversement, dérive se produisant au niveau de la jauge piézoélectrique ou bien au niveau de la jauge résistive ou inversement), le module électronique peut être configuré pour ajuster seulement l’un ou l’autre du gain et de la fréquence de coupure. Bien entendu, les variantes et modes de réalisation détaillés ci-dessus peuvent être combinés entre eux selon toute combinaison technologiquement réalisable. Dans cette description, dire de deux valeurs qu’elles sont « égales à au moins n% près » signifie qu’un écart relatif exprimé en pourcent entre ces deux valeurs est inférieur à n%. L'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation décrits ci-dessus et on peut y apporter des variantes de réalisation sans sortir du cadre de l'invention tel que défini par les revendications. Capteur hybride (HYB) comprenant : - une jauge (PIEZO) de déformation piézoélectrique ; - une jauge (RES) de déformation résistive ; et - un module électronique (EL.MOD), la jauge de déformation piézoélectrique et la jauge de déformation résistive étant connectées en parallèle à des terminaux (T1 RES , T2 RES , T1 PIEZO , T2 PIEZO ) du module électronique, le capteur hybride étant configuré de manière à ce que la jauge de déformation piézoélectrique et la jauge de déformation résistive génèrent un signal piézoélectrique (S PIEZO ) et un signal résistif (S RES ), respectivement, en réponse à une déformation (Def) d’un objet (CELL) instrumenté par le capteur hybride (HYB), et le module électronique étant configuré pour combiner un premier signal (s Rep.RES ) issu du signal résistif (S RES ) et un second signal (s Rep.PIEZO ) issu du signal piézoélectrique (S PIEZO ), de manière à générer un premier signal de sortie (S Out1 ) qui est représentatif de la déformation (Def) de l’objet (CELL) instrumenté. Le capteur hybride selon la revendication 1, dans lequel : - le premier signal de sortie (S Out1 ) comprend des composantes à basses fréquences et des composantes à hautes fréquences, qui correspondent respectivement à un contenu fréquentiel pour des fréquences inférieures à un seuil donné ( f c ) et à un contenu fréquentiel pour des fréquences supérieures au seuil donné ; - un contenu informatif des composantes à basses fréquences du premier signal de sortie provient majoritairement du signal résistif (S RES ) ; et - un contenu informatif des composantes à hautes fréquences du premier signal de sortie provient majoritairement du signal piézoélectrique (S PIEZO ). Le capteur hybride selon la revendication 1 ou 2, dans lequel : - le premier signal (s Rep.RES ) issu du signal résistif (S RES ) est généré par une chaîne de mesure de la déformation (Def) comprenant un premier filtre passe-bas (Filt LP1 ) ; - le second signal (s Rep.PIEZO ) issu du signal piézoélectrique (S PIEZO ) est généré par une chaîne de mesure de la déformation (Def) comprenant un premier filtre passe-haut (Filt HP1 ), dans lequel une fréquence de coupure du premier filtre passe-bas (Filt LP1 ) et une fréquence de coupure du premier filtre passe-haut (Filt HP1 ) sont égales à au moins 10% près. Le capteur hybride selon la revendication 3, dans lequel : - la chaîne de mesure de génération du premier signal (s Rep.RES ) issu du signal résistif (S RES ) comprend l’application d’un premier gain (G RES ), - la chaîne de mesure de génération du second signal (s Rep.PIEZO ) issu du signal piézoélectrique (S PIEZO ) comprend l’application d’un second gain (G PIEZO ), le premier gain (G RES ) et le second gain (G PIEZO ) sont configurés de manière telle qu’un signal (S Rep.RES ) issu de la jauge résistive (RES) et un signal (S Rep.PIEZO ) issu de la jauge piézoélectrique (PIEZO) aient une même amplitude pour une amplitude de déformation (Def) donnée de l’objet instrumenté, à au moins 10% près. Le capteur hybride selon la revendication 4, configuré de manière telle que : - le premier gain (G RES ) a une valeur (g r ) égale à au moins 10% près à un inverse de la sensibilité (s r ) de la jauge résistive (RES), et - le second gain (G PIEZO ) a une valeur (g p ) égale à au moins 10% près à un inverse de la sensibilité (s p ) de la jauge piézoélectrique (PIEZO). Le capteur hybride selon l’une quelconque des revendications 3 à 5, dans lequel le module électronique (EL.MOD) est configuré de manière à générer un second signal de sortie (S Out2 ) représentatif de la déformation de l’objet instrumenté par sommation (i) du premier signal (S Out1 ) représentatif de la déformation de l’objet instrumenté auquel un deuxième filtre passe-haut (Filt HP2 ) est appliqué et (ii) du signal résistif (S RES ) auquel un deuxième filtre passe-bas (Filt LP2 ) est appliqué. Le capteur hybride selon la revendication 6, dans lequel : - le second filtre passe-bas (Filt LP2 ) et le second filtre passe-haut (Filt HP2 ) ont chacun une fréquence de coupure, ces fréquences de coupure étant égales à 10% près, préférablement à 1% près ; et - la fréquence de coupure du second filtre passe-bas (Filt LP2 ) et la fréquence de coupure du second filtre passe-haut (Filt L H 2 ) sont chacune au moins 5 fois plus élevées que la fréquence de coupure du premier filtre passe-bas (Filt LP 1 ) et que la fréquence de coupure du premier filtre passe-haut (Filt L H1 ). Le capteur hybride selon l’une quelconque des revendications précédentes 3 à 7, le module électronique étant en outre configuré de manière à, sur la base d’une comparaison (e) entre (i) le premier signal (s Rep.RES ) issu du signal résistif (S RES ) avant qu’il ne passe par le premier filtre passe-bas (Filt LP1 ) et (ii) le second signal (s Rep.PIEZO ) issu du signal piézoélectrique (S PIEZO ) : - réduire un écart entre (i) une fréquence de coupure d’une chaîne de mesure (Ch.Meas RES ) intégrant la jauge (RES) de déformation résistive et une fréquence de coupure d’une chaîne de mesure (Ch.Meas PIEZO ) intégrant la jauge (PIEZO) de déformation piézoélectrique, et/ou - réduire un écart entre (i) un gain (s r , g r ) d’une chaîne de mesure (Ch.Meas RES ) intégrant la jauge (RES) de déformation résistive et (ii) un gain (s p , g p , g p_Corr ) d’une chaîne de mesure (Ch.Meas PIEZO ) intégrant la jauge (PIEZO) de déformation piézoélectrique. Le capteur hybride selon la revendication 8, le module électronique étant configuré de manière à, sur la base de la comparaison (e) entre (i) le premier signal issu (s Rep.RES ) du signal résistif (S RES ) avant qu’il ne passe par le premier filtre passe-bas (Filt LP1 ) et (ii) le second signal (s Rep.PIEZO ) issu du signal piézoélectrique (S PIEZO ) : - faire converger la fréquence de coupure du premier filtre passe-bas (Filt LP1 ) vers la fréquence de coupure du premier filtre passe-haut (Filt HP1 ) au moyen d’un filtrage adaptatif (Filt LP1 , Filt HP_Est , G PIEZO_Corr LMS Alg ), et/ou - ajuster la valeur (g p_Corr ) d’un gain de correction (G PIEZO_Cor ) placé en série sur l’une (i) de la chaîne de mesure (Ch.Meas RES ) intégrant la jauge (RES) de déformation résistive et (ii) de la chaîne de mesure (Ch.Meas PIEZO ) intégrant la jauge (PIEZO) de déformation piézoélectrique, de manière à réduire l’écart entre (i) le gain (s r , g r ) de la chaîne de mesure (Ch.Meas RES ) intégrant la jauge (RES) de déformation résistive et (ii) le gain (s p , g p , g p_Corr ) de la chaîne de mesure (Ch.Meas PIEZO ) intégrant la jauge (PIEZO) de déformation piézoélectrique. Le capteur hybride selon l’une quelconque des revendications précédentes 1 à 9, la jauge piézoélectrique et la jauge résistive étant (i) intégrées à un substrat de support (SPRT) et l’une à côté de l’autre ou (ii) intégrées à un substrat de support (SPRT) et superposées l’une à l’autre. Le capteur hybride selon la revendication 10, le module électronique (EL.MOD) étant intégré au substrat support (SPRT). Le capteur hybride selon l’une quelconque des revendications précédentes 1 à 9 et 11, la jauge résistive (RES) comprenant un élément électriquement conducteur (EL.RES) formé dans une couche électriquement conductrice déposée sur une électrode (EL2) de la jauge piézoélectrique (PIEZO). Le capteur hybride selon l’une quelconque des revendications précédentes 1 à 12, la jauge piézoélectrique et la jauge résistive faisant chacune partie d’une rosette. Le capteur hybride selon l’une quelconque des revendications précédentes 1 à 13, dans lequel la jauge (PIEZO) de déformation comprend un élément mince piézoélectrique (EL.PIEZO) monocristallin se présentant sous forme d’une plaque s’étendant dans un plan d’extension (xy) défini par une première direction (x) et une seconde direction (y) normale à la première direction, de dimensions (L X , L Y ) dans la première direction et la seconde direction chacune supérieures à 100 µm et d’épaisseur (L Z ) inférieure à 50 µm, un rapport de l’épaisseur sur la dimension (L X ) dans la première direction ou la dimension (L y ) dans la seconde direction étant inférieur à 0,1. Capteur de force (F.SENS) comprenant un corps d’épreuve (CELL) sur lequel est fixé le capteur hybride (HYB) selon l’une quelconque des revendications précédentes 1 à 14.