Brevet FR3155582A1 — publié le 20250523

Dispositif de mesure de la pression La présente description concerne un dispositif de mesure de la pression pour un circuit fluidique comprenant un substrat (10) recouvert par N capteurs piézoélectriques (11) disposés en ligne sur une même face du substrat (10) avec N un entier supérieur ou égal à 2, chaque capteur piézoélectrique (11) comprenant au moins une couche piézoélectrique organique (103) disposée entre une première électrode (101) et une deuxième électrode (102). Figure pour l'abrégé : Fig. 3 Dispositif de mesure de la pression La présente description concerne de façon générale les dispositifs pour mesurer la pression dans un fluide, par exemple les dispositifs peuvent être utilisés pour mesurer la pression artérielle, la pression dans des systèmes hydrauliques ou la pression dans des circuits d’air. Les dispositifs de mesure de pression pour les systèmes hydrauliques peuvent être utilisés pour détecter des fuites. Ces dispositifs sont immobiles et permettent de mesurer en des points fixes la pression. Chaque capteur donne une pression à un instant t. Les fuites sont détectées lorsqu’il y a une différence de pression entre les points fixes. Dans le cas de la chirurgie, les dispositifs utilisés permettent la mesure de la réserve coronaire (FFR pour « Fractional Flow Reserve »). Cette mesure donne accès à une valeur en un seul point. Ainsi, les différents dispositifs de mesure donnent une valeur en un seul point. Ils ne permettent pas d’obtenir des gradients de pression localisés en des zones d’intérêt. Il existe un besoin d’avoir un dispositif de mesure de la pression et des gradients de pression, afin de pouvoir identifier d’éventuelles surpressions ou dépressions dues à des pathologies ou de détecter d’éventuelles fuites, de manière précise. Ce but est atteint par un dispositif de mesure de la pression pour un circuit fluidique comprenant un substrat recouvert par N capteurs piézoélectriques disposés en ligne sur une même face du substrat avec N un entier supérieur ou égal à 2, chaque capteur piézoélectrique comprenant au moins une couche piézoélectrique organique disposée entre une première électrode et une deuxième électrode. Avantageusement, N est compris entre 2 et 10, de préférence entre 5 et 10. Avantageusement, les capteurs piézoélectriques comprennent entre 1 et 10 couches piézoélectriques organiques, de préférence entre 7 et 10 couches piézoélectriques organiques. Avantageusement, chaque capteur piézoélectrique a une longueur comprise entre 5 mm et 10 cm, de préférence entre 1 et 4 cm, et une largeur comprise entre 1 mm et 2 cm, de préférence entre 1 mm et 1 cm. Avantageusement, chaque couche piézoélectrique organique a une épaisseur comprise entre 3 et 15 µm, de préférence entre 3 et 5 µm. Avantageusement, chaque couche piézoélectrique organique est en PVDF, ou un de ses copolymères, tel que le P(VDF-TrFE). Avantageusement, la première électrode et la deuxième électrode sont en un polymère électriquement conducteur, de préférence du PEDOT-PSS. Avantageusement, les capteurs piézoélectriques sont recouverts par une couche d’encapsulation en un matériau polymère, par exemple, du PDMS, du PMMA, du PVDF ou un de ses dérivés. Ce but est également atteint par un procédé de fabrication d’un dispositif de mesure de la pression comprenant un substrat recouvert par N capteurs piézoélectriques disposés en ligne sur une même face du substrat avec N un entier supérieur ou égal à 2, chaque capteur piézoélectrique comprenant au moins une couche piézoélectrique organique disposée entre une première électrode et une deuxième électrode, une étape de recuit sous vide étant réalisée pour faire cristalliser la couche piézoélectrique. Ce but est également atteint par un procédé de mesure de la pression dans un circuit fluidique, le procédé comprenant une étape au cours de laquelle un dispositif de mesure de la pression est introduit dans le circuit fluidique, le dispositif de mesure comprenant un substrat recouvert par N capteurs piézoélectriques disposés en ligne sur une même face du substrat avec N un entier supérieur ou égal à 2, chaque capteur piézoélectrique comprenant au moins une couche piézoélectrique organique disposée entre une première électrode et une deuxième électrode, la pression sur les N capteurs piézoélectriques étant mesurée de manière indépendante, moyennant quoi on détermine si la pression est identique sur les N capteurs piézoélectriques ou si la pression est différente entre les N capteurs piézoélectriques. Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la FIG. 1 représente, de manière schématique et en trois dimensions, un dispositif selon un mode de réalisation particulier de l’invention ; la FIG. 2 représente, de manière schématique et en coupe, un dispositif selon un autre mode de réalisation particulier de l’invention ; la FIG. 3 représente, de manière schématique et en coupe, un dispositif selon un autre mode de réalisation particulier de l’invention ; la FIG. 4 représente, de manière schématique et en vue de dessus, un dispositif selon un autre mode de réalisation particulier de l’invention ; la FIG. 5 est un graphique représentant la polarisation en fonction du champ appliqué pour un dispositif ayant un substrat en PEN et pour un dispositif ayant un substrat en PI, selon différents modes de réalisation particuliers de l’invention ; la FIG. 6 est un graphique représentant la polarisation en fonction du champ appliqué pour un dispositif ayant été recuit à 150°C pendant 15 min et pour un dispositif ayant été soumis un recuit sous vide à 150°C pendant 15 min, selon différents modes de réalisation particuliers de l’invention ; la FIG. 7 est un graphique représentant la permittivité relative en fonction de la fréquence pour un dispositif ayant été recuit à 150°C pendant 15 min et pour un dispositif ayant été soumis un recuit sous vide à 150°C pendant 15 min, selon différents modes de réalisation particuliers de l’invention ; la FIG. 8 est un graphique représentant l’intensité en fonction de la tension pour des dispositifs ayant des substrats en PEN et en PI, les dispositifs ayant été soumis un recuit sous vide à 150°C pendant 15 min, selon différents modes de réalisation particuliers de l’invention ; la FIG. 9 est un graphique représentant la permittivité relative en fonction de la fréquence pour des dispositifs ayant des substrats en PEN et en PI, les dispositifs ayant été soumis un recuit sous vide à 150°C pendant 15 min, selon différents modes de réalisation particuliers de l’invention ; et la FIG. 10 est un graphique représentant la résistance en fonction de la fréquence pour des dispositifs ayant des substrats en PEN et en PI, les dispositifs ayant été soumis un recuit sous vide à 150°C pendant 15 min, selon différents modes de réalisation particuliers de l’invention. De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références dans les différentes figures. En particulier, les éléments structurels et/ou fonctionnels communs aux différents modes de réalisation peuvent présenter les mêmes références et peuvent disposer de propriétés structurelles, dimensionnelles et matérielles identiques. Par souci de clarté, seuls les étapes et éléments utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés. Sauf précision contraire, lorsque l'on fait référence à deux éléments connectés entre eux, cela signifie directement connectés sans éléments intermédiaires autres que des conducteurs, et lorsque l'on fait référence à deux éléments reliés (en anglais "coupled") entre eux, cela signifie que ces deux éléments peuvent être connectés ou être reliés par l'intermédiaire d'un ou plusieurs autres éléments. Dans la description qui suit, lorsque l'on fait référence à des qualificatifs de position absolue, tels que les termes "avant", "arrière", "haut", "bas", "gauche", "droite", etc., ou relative, tels que les termes "dessus", "dessous", "supérieur", "inférieur", etc., ou à des qualificatifs d'orientation, tels que les termes "horizontal", "vertical", etc., il est fait référence sauf précision contraire à l'orientation des figures. Sauf précision contraire, les expressions "environ", "approximativement", "sensiblement", et "de l'ordre de" signifient à 10 % près, de préférence à 5 % près. Par la suite, nous allons plus particulièrement décrire les dispositifs pour mesurer la pression artérielle ou encore la pression dans des conduits de plomberie ou des circuits d’air conditionné. Le dispositif est intéressant, non seulement, pour mesurer une surpression ou une dépression dans un fluide, mais également pour détecter la position d’une anomalie. Le dispositif est particulièrement intéressant pour la chirurgie vasculaire et cardiaque car les multiples capteurs permettent, en plus, de connaitre la pression artérielle, d’identifier d’éventuelles surpressions ou dépressions dues à des pathologies. En chirurgie, la mesure en plusieurs points simultanément est particulièrement avantageuse, contrairement aux dispositifs de l’art antérieur qui n’autorise qu’une mesure en un seul point. Le dispositif est également particulièrement intéressant pour la détection de fuite dans les systèmes hydrauliques. Le dispositif permet la mesure en plusieurs points simultanément, contrairement aux dispositifs de l’art antérieur qui sont immobiles et mesurent la pression entre dispositifs distincts. Avec les dispositifs de l’art antérieur, les fuites sont détectées entre deux points fixes, ce qui ne permet pas de déterminer l’origine exacte d’une fuite. Dans le cas de maintenance plomberie (par exemple pour des circuits hydrauliques ou des circuits d’air), le dispositif permet de détecter d’éventuelles fuites mêmes invisibles ou inaccessibles depuis l’extérieur. Néanmoins, le dispositif peut également servir pour mesurer la pression dans tout type de fluide. Nous allons maintenant décrire plus en détail le dispositif en faisant référence aux figures annexées. Comme représenté sur les figures 1, 2 et 3, le dispositif de mesure de la pression pour un circuit fluidique comprend un substrat 10 recouvert par N capteurs piézoélectriques 11 disposés en ligne sur une même face du substrat 10. N est un entier supérieur ou égal à 2. Le dispositif peut comprendre entre 2 et 10 capteurs 11 disposés en ligne sur une même face du substrat 10, de préférence entre 5 et 10 capteurs 11 disposés en ligne sur une même face du substrat 10. Par entre X et Y, on entend ici et par la suite que les bornes sont incluses. Chaque capteur 11 comprenant au moins une couche piézoélectrique organique 103 disposée entre une première électrode 101 (aussi appelée électrode inférieure) et une deuxième électrode 102 (aussi appelée électrode supérieure). Le dispositif se distingue fondamentalement de l’art antérieur par la présence de plusieurs capteurs piézoélectriques organiques 11 disposés en ligne sur une même face du substrat 10. Lorsqu’une pression est appliquée sur un capteur 11, celui-ci est déformé mécaniquement, ce qui engendre un signal électrique. Les capteurs 11 peuvent être déformés indépendamment les uns des autres, ce qui permet de remonter à une analyse fine de la pression en plusieurs points dans le circuit fluidiques. Ainsi, chacun des capteurs 11 donne une information sur la pression. En traitant les informations provenant des différents capteurs 11, il est possible de déterminer s’il y a une surpression ou une dépression. Il est également possible de déterminer la position de l’anomalie de manière précise. Le dispositif comprenant les capteurs est longiligne, de préférence portatif, capable de mesurer des pressions et des gradients de pression. Ce dispositif permet d’atteindre n’importe quelle zone du conduit. Le substrat 10 comprend une première face principale 10a et une deuxième face principale 10b. Selon un mode de réalisation avantageux, les capteurs 11 sont disposés uniquement sur l’une des faces du substrat, par exemple sur la première face 10a ( FIG. 3 ). Selon un autre mode de réalisation avantageux, le dispositif comprend une première ligne de N capteurs 11 disposés sur la première face du substrat 10a et une deuxième ligne de N’ capteurs disposés sur la deuxième face 10b principale du substrat 10. De préférence, N est identique à N’. Encore plus préférentiellement, comme représenté sur les figures 1 et 2, les capteurs 11 de la première ligne sont disposés en regard des capteurs 11 de la deuxième ligne (i.e. N = N’). La disposition de capteurs 11 de part et d’autre du substrat 10 permet d’avoir un substrat 10 plan non déformé. De préférence, les capteurs 11, disposés en regard l’un de l’autre, sont identiques. Ainsi, le dispositif peut comprendre PN portions de capteurs 11, avec N supérieur ou égal à 2. De préférence, chaque portion PN de capteurs comprend un capteur 11 disposé sur la première face 10a du substrat 10 ou chaque portion PN de capteurs comprend un premier capteur 11 disposé sur la première face 10a du substrat 10 et un deuxième capteur 11 disposé sur la deuxième face 10b du substrat 10. De préférence, les capteurs 11 comprennent entre 1 et 10 couches piézoélectriques 103. Lorsque le capteur 11 comprend plusieurs couches piézoélectriques 103, le capteur 11 est formé d’un empilement comprenant une alternance de couches piézoélectriques 103 et d’électrodes 101, 102. Autrement dit, l’empilement est formé de motif 100 comprenant une couche piézoélectrique 103 disposée entre deux électrodes 101, 102. L’empilement commence et se termine par une électrode. Chaque capteur 11 a une longueur L, par exemple, comprise entre 0,1 et 3 cm, de préférence entre 2 mm et 2 cm. Chaque capteur 11 a, par exemple, une largeur l comprise entre 0,1 cm et 2 cm, de préférence entre 0,1 cm et 1 cm. Chaque couche piézoélectrique 103 a une épaisseur, par exemple, comprise entre 3 et 15 µm, de préférence entre 3 et 5 µm. Avec de telles épaisseurs, la détection des surpressions/dépressions est facilitée. La distance L’ entre deux capteurs 11 est, par exemple, comprise entre 0,1 et 1 cm, de préférence entre 0,1 et 0,5 cm. Les différents capteurs 11 peuvent avoir des mêmes dimensions ou des dimensions différentes. De préférence, les dimensions sont identiques. Par exemple, comme représenté sur la FIG. 2 , le dispositif comprend trois portions de capteurs P1, P2, P3. Chaque portion de capteurs comprend un capteur disposé de part et d’autre du substrat 10. La première portion de capteurs P1 comprend des capteurs 11 ayant une seule couche piézoélectrique 103 (i.e. un seul motif 100). La deuxième portion P2 de capteurs comprend des capteurs 11 ayant 4 couches piézoélectriques (i.e. 4 motifs 100). La troisième portion P3 de capteurs comprend des capteurs 11 ayant deux couches de capteurs (i.e. 2 motifs 100). Les dimensions (longueur et épaisseur notamment) des capteurs 11 sont ici différentes. Les couches piézoélectriques 103 sont des couches piézoélectriques organiques. Chaque couche piézoélectrique 103 comprend, de préférence, une matrice polymérique en PVDF ou en un copolymère de PVDF. Il peut s’agir d’un copolymère du fluorure de vinylidène et d'au moins un autre monomère copolymérisable avec le VDF. Avantageusement, le copolymère comprend au moins 50% en mole, de préférence au moins 70% en poids, encore plus préférentiellement au moins 80% en mole de VDF, voire au moins 90% en mole de VDF. A titre illustratif, le ou les monomères copolymérisables sont, par exemple, choisi parmi le chlorotrifluoroéthylène (CTFE), le chlorofluoroéthylène (CFE), l'hexafluoropropylène (HFP), le trifluoroéthylène (VF 3 ), le méthacrylate de méthyle (MMA), le tétrafluoroéthylène (TFE), et les perfluoro(alkyl vinyl) éthers tels que le perfluoro(méthyl vinyl)éther (PMVE). Par exemple, le copolymère est un copolymère de poly(fluorure de vinylidène-trifluoroéthylène) PVDF / TrFe, aussi noté P(VDF-TrFe) ou de PVDF-CTFE. Selon une autre variante de réalisation, le polymère n’est pas un polymère ferroélectrique : il peut s’agir de PVDF-HFP. Chaque couche piézoélectrique organique 103 peut être un matériau composite. Par exemple, la couche 103 peut comprendre, en plus de la matrice polymérique, des particules ferroélectriques. Par exemple, les particules ferroélectriques sont en BaTiO 3 (BTO), PZT (titano-zirconate de plomb, ou « Lead Zirconate Titanate » en anglais), AlN, ZnO, ou encore en SBN (oxyde de Sr-Ba-Nb) ou SBT (oxyde de Sr-Ba-Ti). De préférence, les électrodes 101, 102 sont en un polymère électriquement conducteur, de préférence, du PEDOT-PSS (poly(3,4-éthylènedioxythiophène). Les électrodes 101, 102 ont, par exemple, une épaisseur comprise entre 0,1 et 3µm, de préférence entre 1,5 et 2,5 µm. Les matériaux formant les différents capteurs 11 peuvent être identiques ou différents. De préférence, ils sont identiques. Encore plus préférentiellement, chaque capteur 11 comprend des électrodes 101, 102 en PEDOT-PSS et une couche piézoélectrique 103 en P(VDF-TrFe). Le substrat 10 peut être un substrat flexible, c’est-à-dire qu’il peut se déformer de manière réversible. Le substrat 10 peut être en polyimide ou en PEN par exemple. L’épaisseur 10 du substrat est, par exemple, comprise entre 25 µm et 125 µm. La longueur du substrat 10 va dépendre du nombre de capteurs. Elle est par exemple comprise entre 0,5 et 20 cm, de préférence entre 0,5 cm et 10 cm. La largeur l’ du substrat 10 peut être comprise entre 1 mm et 2 cm, de préférence entre 2 mm et 2 cm. De préférence, le rapport longueur/largeur du substrat est compris entre 1 et 100 et encore plus préférentiellement entre 3 et 20. Le substrat 10 a une forme longiligne et peut être utilisé dans des conduits étroits. Des moyens de connexion électrique sont disposés de manière à acheminer le signal des capteurs au récepteur. Plusieurs solutions peuvent être envisagées pour acheminer le signal électrique des capteurs au récepteur. Selon une première variante de réalisation, la connexion est réalisée au moyen de fils électriques (i.e. de fils électriquement conducteurs). Les fils sont, par exemple, dans une gaine électriquement isolante. Les fils peuvent être tressés ou positionnés de manière concentrique. Selon une autre variante de réalisation, la connexion est réalisée au moyen de pistes électriques (i.e. de pistes électriquement conductrices). Les pistes peuvent être imprimées sur le substrat 10. Les pistes peuvent être disposées sur une seule face du substrat 10 ou sur les deux faces du substrat 10. Les pistes peuvent être en un métal (or ou argent par exemple) ou en un matériau polymère électriquement conducteur. Par exemple, le matériau polymère électriquement conducteur est du PEDOT :PSS. Il peut également s’agir d’un polymère dans lequel sont dispersées des particules électriquement conductrices, par exemple des particules de carbone. Plusieurs configurations sont envisageables, afin de connecter les pistes électriques et/ou les fils électriques. Par exemple, il est possible de recouvrir une partie de l’électrode inférieure 101 par une des pistes électriques. Les pistes électriques et/ou les fils électriques peuvent être connectés à l’électrode inférieure 101 d’un capteur au moyen d’une colle électriquement conductrice (de type époxy chargé par exemple) ou au moyen d’une soudure. Eventuellement, une plaque électriquement conductrice (par exemple en métal, notamment en cuivre) peut être positionnée sur le substrat 10, d’une part, collée ou soudée à l’électrode inférieure 101 et, d’autre part, collée ou soudée au fil électrique ou à la piste électrique. Selon une autre variante de réalisation, des systèmes mécaniques comme des agrafes ou des rivets peuvent être utilisés pour connecter l’électrode du capteur au fil ou à la piste. Les différentes connexions peuvent être recouverte d’un capot. En particulier, il est possible d’utiliser un capot électriquement conducteur. Par exemple, le capot peut comprendre des nanoparticules. Le capot permet de boucher d’éventuels trous et/ou d’éviter les phénomènes de claquage. Il est également possible d’augmenter la raideur du substrat 10 en ajoutant localement une couche additionnelle sur le substrat. Par exemple, il peut s’agir d’une couche de polymère. Le polymère peut être identique ou différent du polymère du substrat. Il peut également s’agir d’une couche de polymère métallisée. Les couches de polymère peuvent être déposées par collage. Alternativement, la couche additionnelle est une couche diélectrique, par exemple imprimée par sérigraphie. Il peut également s’agir d’un feuillet métallique. Le feuillet peut avoir une épaisseur comprise entre 10 et 1000µm, de préférence entre 10 et 100µm. Le feuillet peut être en zinc ou en aluminium. La connexion de la masse peut être mutualisée afin de diviser le nombre de pistes électriques/fils électriques. Ceci permet de diminuer l’encombrement du aux connexions, et ainsi diminuer la taille du substrat. Ceci est particulièrement avantageux pour des circuits fluidiques de faible diamètre, typiquement dans le cas de la chirurgie. Le substrat 10 et les capteurs 11 peuvent être recouverts par une couche d’encapsulation. La couche d’encapsulation peut être en un matériau polymère, par exemple, du polydiméthylsiloxane (PDMS), du poly(méthacrylate de méthyle) (PMMA), du polyfluorure de vinylidène (PVDF) ou un de ses dérivés. L’encapsulation peut être réalisée par trempage, par évaporation thermique ou par pulvérisation (‘spray’) d’une solution. L’étape d’encapsulation est, avantageusement, réalisée une fois que les connexions électriques ont été réalisées. Des éléments radio-opaques peuvent être ajoutés sur le dispositif, par exemple, sur le substrat 10 ou sur la couche d’encapsulation, entre les portions de capteurs 11, afin de pouvoir assurer un suivi visuel de la navigation dans le système cible. Les éléments sont, par exemple, sous la forme de croix, carrés ou points. Le dispositif de mesure de la pression peut être réalisé selon les étapes suivantes : a) déposer N zones électriquement conductrices sur un substrat 10, les zones électriquement conductrices étant disposées en ligne et étant destinées à former des premières électrodes 101, b) former des couches piézoélectriques 103 sur les zones électriquement conductrices, c) former des deuxièmes électrodes 102 sur les couches piézoélectriques 103. Ainsi, chaque capteur piézoélectrique 11 comprend au moins une couche piézoélectrique organique 103 disposée entre une première électrode 101 et une deuxième électrode 102. Les étapes a), b) et c) peuvent être réitérées pour former un empilement comprenant plusieurs couches actives. Lors de l’itération, l’étape a) est réalisée sur la couche piézoélectrique 103 sous-jacente. Le procédé comprend, en outre, une étape de recuit sous vide réalisée pour faire cristalliser la couche piézoélectrique. Lors de l’étape b), la couche en matériau piézoélectrique peut être déposée par « spin coating » (dépôt à la tournette). D’autres types de dépôts localisés peuvent être utilisés comme la sérigraphie ou la pulvérisation ou même le dépôt par jet d’encre. De préférence, la couche piézoélectrique est déposée par sérigraphie. En une passe, l’épaisseur déposée est comprise entre 1 et 20µm. Il est possible de superposer plusieurs couches par sérigraphie jusqu’à l’épaisseur finale désirée. Le procédé comporte également une étape de cristallisation de la couche en matériau piézoélectrique. Cette irradiation est par exemple mise en œuvre avec une lumière flash UV, avec une durée du flash, ou de l’impulsion, comprise entre environ 500 µs à 2 ms, une fluence (énergie délivrée par unité d’aire) comprise entre environ 15 J/cm² et 25 J/cm², et avec une lumière de longueur d’onde comprise entre environ 200 nm et 380 nm. Le nombre de flashs, ou impulsions, de lumière UV réalisés lors de cette irradiation varie en fonction de l’épaisseur sur laquelle le matériau piézoélectrique doit être cristallisé. Par exemple, pour une épaisseur de P(VDF-TrFe) égale à environ 2 µm, l’irradiation peut être mise en œuvre avec une fluence égale à environ 17 J/cm², une durée d’impulsion égale à environ 2 ms et un nombre d’impulsions égal à 5. Le matériau piézoélectrique, ayant éventuellement subi une précédente cristallisation, est ensuite soumis à un recuit, par exemple, réalisé à environ 130°C pendant environ 60 min, pour finaliser la cristallisation totale du matériau. La cristallisation du matériau peut donc être réalisée en deux temps : tout d’abord l’irradiation par impulsion lumineuse UV pour bien cristalliser la seconde face de la couche en matériau afin d’augmenter sa conductivité thermique, puis un recuit thermique achevant la cristallisation pour le reste de matériau non cristallisé par la précédente irradiation. Alternativement, le recuit peut être réalisé sous vide. Par exemple, il peut s’agit d’un recuit à une température comprise entre 100 et 150°C. La pression est, par exemple, de 1 mbar. Le recuit sous vide est, par exemple, réalisé pendant une durée comprise entre 1 et 3 min. Lorsque le matériau piézoélectrique est un copolymère à base de P(VDF-TrFe), une étape de polarisation du matériau est réalisée avant son utilisation. Cette étape peut être réalisée, par exemple, en appliquant une tension électrique continue à ses bornes, via les électrodes. Cette polarisation est réalisée une seule fois pour toute la durée de vie du matériau. Cette polarisation par courant continue peut se faire à une température ambiante ou à chaud (jusqu’à environ 100°C). Lorsque la polarisation est réalisée à une température ambiante, il est possible d’appliquer une tension continue jusqu’à environ 150V/µm d’épaisseur de la couche pendant une durée par exemple comprise entre quelques secondes et quelques minutes. Par exemple, on appliquera une tension de 120V/µm pendant 20s. Lorsque la polarisation est réalisée à chaud, par exemple à une température d’environ 90°C, une tension continue par exemple comprise entre environ 50 V et 80 V par micron d’épaisseur de la couche peut être appliquée pendant une durée par exemple comprise entre environ 1 min et 5 min. La température est ensuite abaissée jusqu’à atteindre la température ambiante, puis le champ électrique appliqué sur le matériau, via la tension continue appliquée, est stoppé. De telles polarisations permettent au PVDF d’atteindre une polarisation rémanente entre 6 µC/cm² et 9 µC/cm², par exemple environ 8 µC/cm². Les dipôles à l’intérieur de la couche restent orientés ainsi, même lorsque le matériau n’est plus soumis à ce champ électrique. Le matériau peut être ainsi polarisé en appliquant une tension de polarisation initiale aux bornes des électrodes. On choisira, de préférence, une épaisseur de matériau inférieure ou égale à environ 2 µm afin de favoriser la polarisation du matériau de cette capacité, et le niveau de la tension électrique appliquée entre les électrodes pour réaliser la polarisation initiale du matériau (lorsque le matériau doit être initialement polarisé). On réalise avantageusement un recuit, à la fin du procédé, ou entre les différentes étapes. Le recuit est, par exemple, à une température comprise entre 100°C et 150°C, de préférence autour de 100°C pour enlever les traces résiduelles de solvant et/ou finaliser la cristallisation du matériau. A l’issue du procédé, on réalise avantageusement des reprises de contact. Le dispositif est simple à utiliser. Il permet de mesurer la pression dans un circuit fluidique (gaz ou liquide). Le procédé de mesure comprend les étapes suivantes : - Introduire le dispositif de mesure de pression tel que décrit précédemment dans le circuit fluidique, - Mesurer la pression sur les N capteurs piézoélectriques 11, la pression de chaque capteur 11 étant mesurée de manière indépendante, moyennant quoi on détermine si la pression est identique sur les N capteurs piézoélectriques 11 ou si la pression est différente entre les N capteurs piézoélectriques 11. Divers modes de réalisation et variantes ont été décrits. La personne du métier comprendra que certaines caractéristiques de ces divers modes de réalisation et variantes pourraient être combinées, et d’autres variantes apparaîtront à la personne du métier. Enfin, la mise en œuvre pratique des modes de réalisation et variantes décrits est à la portée de la personne du métier à partir des indications fonctionnelles données ci-dessus. Exemples illustratifs et non limitatifs de différents modes de réalisation Dans ces exemples, le substrat d’une surface de 1 mm x 1 cm est recouvert localement par des portions de capteurs. Les capteurs comprennent des couches piézoélectriques en PVDF-TrFE. Les électrodes sont en PEDOT :PSS. Le substrat est soit en poly(naphtalate d'éthylène) (PEN) soit en polyimide (PI). Dans un premier temps, les couches piézoélectriques sont polarisées ( FIG. 5 ). L’influence du recuit sur la polarisation et la permittivité a également été étudiée : l’un des dispositifs a été soumis à un simple recuit à 150°C pendant 15 minutes et l’autre des dispositifs a été soumis à un recuit sous vide (1 mbar) à 150°C pendant 15 minutes. Les substrats sont en PI pour ces mesures (figures 6 et 7). Le recuit sous vide est préféré au recuit simple car il permet d’obtenir des couches actives présentant moins de joints de grains et donc moins de fuite électrique. Les performances du capteur sont améliorées. Les figures 8, 9 et 10 montrent différentes propriétés (intensité en fonction de la tension appliquée, permittivité en fonction de la fréquence, résistance en fonction de la fréquence) des dispositifs en fonction de la nature du substrat (PEN ou PI). Ces dispositifs ont été soumis à un recuit sous vide à 150°C pendant 15 min. Dispositif de mesure de la pression pour un circuit fluidique comprenant un substrat (10) recouvert par N capteurs piézoélectriques (11) disposés en ligne sur une même face du substrat (10) avec N un entier supérieur ou égal à 2, chaque capteur piézoélectrique (11) comprenant au moins une couche piézoélectrique organique (103) disposée entre une première électrode (101) et une deuxième électrode (102). Dispositif de mesure de la pression selon la revendication 1, caractérisé en ce que N est compris entre 2 et 10, de préférence entre 5 et 10. Dispositif de mesure de la pression selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les capteurs piézoélectriques (11) comprennent entre 1 et 10 couches piézoélectriques organiques (103), de préférence entre 7 et 10 couches piézoélectriques organiques (103). Dispositif de mesure de la pression selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que chaque capteur piézoélectrique (11) a une longueur comprise entre 5 mm et 10 cm, de préférence entre 1 et 4 cm, et une largeur comprise entre 1 mm et 2 cm, de préférence entre 1 mm et 1 cm. Dispositif de mesure de la pression selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que chaque couche piézoélectrique organique (103) a une épaisseur comprise entre 3 et 15 µm, de préférence entre 3 et 5 µm. Dispositif de mesure de la pression selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que chaque couche piézoélectrique organique (103) est en PVDF, ou un de ses copolymères, tel que le P(VDF-TrFE). Dispositif de mesure de la pression selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la première électrode (101) et la deuxième électrode (102) sont en un polymère électriquement conducteur, de préférence du PEDOT-PSS. Dispositif de mesure de la pression selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les capteurs piézoélectriques (11) sont recouvertes par une couche d’encapsulation en un matériau polymère, par exemple, du PDMS, du PMMA, du PVDF ou un de ses dérivés. Procédé de fabrication d’un dispositif de mesure de la pression comprenant un substrat (10) recouvert par N capteurs piézoélectriques (11) disposés en ligne sur une même face du substrat (10) avec N un entier supérieur ou égal à 2, chaque capteur piézoélectrique (11) comprenant au moins une couche piézoélectrique organique (103) disposée entre une première électrode (101) et une deuxième électrode (102), Le procédé étant caractérisé en ce qu’une étape de recuit sous vide est réalisée pour faire cristalliser la couche piézoélectrique (103). Procédé de mesure de la pression dans un circuit fluidique, le procédé comprenant une étape au cours de laquelle un dispositif de mesure de la pression est introduit dans le circuit fluidique, le dispositif de mesure comprenant un substrat (10) recouvert par N capteurs piézoélectriques (11) disposés en ligne sur une même face du substrat (10) avec N un entier supérieur ou égal à 2, chaque capteur piézoélectrique (11)comprenant au moins une couche piézoélectrique organique (103) disposée entre une première électrode (101) et une deuxième électrode (102), la pression sur les N capteurs piézoélectriques (11) étant mesurée de manière indépendante, moyennant quoi on détermine si la pression est identique sur les N capteurs piézoélectriques (11) ou si la pression est différente entre les N capteurs piézoélectriques (11).