Brevet FR3164758A1 — publié le 20260123

Pompe à vide (1) turbomoléculaire comportant un filtre pare-éclat (21, 31, 41) et une pluralité de vis de fixation (23), les têtes (23a) des vis de fixation (23) étant tronconiques, des trous taraudés (20) ménagés dans le stator (2) présentant une bordure (20a) respective de forme tronconique complémentaire, les axes (A1) d’orifices traversants (22) du filtre pare-éclat (21) étant radialement décalés vers le centre d’un orifice d’aspiration (4) de la pompe à vide (1) par rapport aux axes (A2) des trous taraudés (20) à l’état desserré des vis de fixation (23), les axes (A1) des orifices traversants (22) se rapprochant d’un alignement axial avec les axes (A2) des trous taraudés (20) par guidage des têtes (23a) tronconiques avec le serrage des vis de fixation (23) dans les trous taraudés (20) de bordure (20a) de forme tronconique complémentaire pour déformer par étirement et tendre le filtre pare-éclat (21). Figure 1 Pompe à vide turbomoléculaire et procédé de montage d’un filtre pare-éclat Domaine technique de l’invention La présente invention concerne une pompe à vide turbomoléculaire. La présente invention concerne également un procédé de montage d’un filtre pare-éclat dans un orifice d’aspiration d’une pompe à vide turbomoléculaire. Arrière-plan technique La génération d’un vide poussé dans une enceinte nécessite l'utilisation de pompes à vide turbomoléculaires composées d'un stator dans lequel un rotor est entraîné en rotation rapide sur paliers magnétiques, par exemple à une rotation de plus de vingt mille tours par minute. Le stator comporte un orifice d’aspiration que l’on raccorde à un orifice de sortie d’une enceinte dont on souhaite abaisser la pression ou à une bride d’une vanne ou d’une canalisation. L’orifice d’aspiration des pompes à vide turbomoléculaire peut être pourvu d’une grille dite « filtre pare-éclat », permettant d’éviter l’introduction par accident de pièces dans la pompe à vide comme une vis ou autre, et leur projection sur le rotor lancé à plein vitesse. Le filtre pare-éclat a également pour fonction de protéger les personnes de risques de coupures par les lames du rotor lors des manipulations de la pompe à vide. Ces filtres pare-éclat présentent des mailles d’assez grandes dimensions et une faible épaisseur axiale afin de minimiser les pertes de charge qui pourraient nuire aux performances de pompage. Certains filtres pare-éclats présentent une forme bombée pouvant être renforcée par le soudage d’une traverse additionnelle. Le filtre pare-éclat est reçu dans l’orifice d’aspiration de la pompe à vide dans lequel il est maintenu en position au moyen d’un anneau élastique d’assemblage reçu dans une gorge associée. Cependant, l’anneau élastique et la traverse additionnelle relativement large et épaisse, peuvent être couteux. De plus, le volume occupé par la traverse peut gêner le passage des molécules gazeuses pompées et diminuer de ce fait les performances de pompage. D’autres filtres pare-éclats présentent une forme plate et sont fixés dans l’orifice d’aspiration par des vis serrées sur la périphérie du filtre. Cependant, ces filtres peuvent se déformer sous l’effet d’un impact et il existe un risque que le filtre pare-éclat déformé s’approche trop près du rotor. Une autre alternative consiste à étirer le filtre pare-éclat avant qu’il soit vissé, soit mécaniquement avec un outil de précontrainte mécanique tirant sur toute sa périphérie du filtre (araignée), soit thermiquement (en le chauffant). Ces solutions peuvent cependant être compliquées à mettre en œuvre car elles nécessitent un équipement d’étirement mécanique ou thermique adapté. De plus, le démontage peut être particulièrement délicat s’il n’est pas réalisé avec ces mêmes équipements d’étirement mécanique ou thermique. Un but de la présente invention est de proposer une pompe à vide turbomoléculaire dont l’efficacité du filtre pare-éclat est renforcée. A cet effet, l’invention a pour objet une pompe à vide turbomoléculaire comportant : - un stator et un rotor configuré pour tourner dans le stator, le stator présentant un orifice d’aspiration, des trous taraudés étant ménagés dans le stator autour de l’orifice d’aspiration, - un filtre pare-éclat présentant des orifices traversants en périphérie, - une pluralité de vis de fixation présentant chacune une tête, les vis de fixation traversant les orifices traversants du filtre pare-éclat, caractérisée en ce que les têtes des vis de fixation du filtre pare-éclat sont tronconiques, les trous taraudés ménagés dans le stator présentant une bordure respective de forme tronconique complémentaire, les axes des orifices traversants du filtre pare-éclat étant radialement décalés vers le centre de l’orifice d’aspiration par rapport aux axes des trous taraudés à l’état desserré des vis de fixation, les axes des orifices traversants du filtre pare-éclat se rapprochant d’un alignement axial avec les axes des trous taraudés par guidage des têtes tronconiques des vis de fixation avec le serrage des vis de fixation dans les trous taraudés de bordure de forme tronconique complémentaire pour déformer par étirement et tendre le filtre pare-éclat. On peut ainsi tendre le filtre pare-éclat de manière simple en une seule opération lors de sa fixation dans l’orifice d’aspiration. Les déformations du filtre pare-éclat en cas d’impact accidentel peuvent ainsi être limitées. De plus, un filtre pare-éclat tendu offre une bonne résistance mécanique lui permettant de présenter une faible épaisseur. Un filtre pare-éclat fin est également moins sensible aux déformations induites par chauffage, en particulier radiatif. Par ailleurs, un filtre pare-éclat fin permet de réduire les coûts et permet de limiter les pertes de charge. La pompe à vide peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prises seules ou en combinaison. La déformation du filtre pare-éclat peut être élastique. L’épaisseur du filtre pare-éclat dans la direction axiale est par exemple inférieure à 2mm, telle qu’inférieure à 1mm, comme 0,6mm. L’écart dans la direction radiale entre le diamètre du cercle dans lequel s’inscrivent les axes des trous taraudés et le diamètre du cercle dans lequel s’inscrivent les axes des orifices traversants du filtre pare-éclat à l’état desserré des vis de fixation peut être compris entre 0,5 % et 5 %, tel que 1 %. Le filtre pare-éclat est par exemple réalisé en acier, tel qu’en acier inoxydable, ou en fibres de carbone. Selon un exemple de réalisation, le filtre pare-éclat présente au moins deux rayons de renfort s’étendant radialement d’une maille centrale du filtre pare-éclat à une bande périphérique du filtre pare-éclat dans laquelle sont ménagés les orifices traversants. Selon un exemple de réalisation, les orifices traversants du filtre pare-éclat d’une paire sont situés de part et d’autre d’une droite alignée avec un rayon de renfort, les orifices traversants de la paire étant plus proches l’un de l’autre que les orifices traversants des paires adjacentes. Selon un exemple de réalisation, les mailles du filtre pare-éclat sont hexagonales, le filtre pare-éclat présentant une structure en nid d’abeille. Selon un exemple de réalisation, les mailles du filtre pare-éclat sont notamment délimitées d’une part, par des rayons du filtre pare-éclat s’étendant d’une maille centrale à une bande périphérique du filtre pare-éclat et d’autre part, par des anneaux concentriques du filtre pare-éclat croisant les rayons. La dimension maximale des mailles du filtre pare-éclat est par exemple inférieure à 2 millimètres, telle qu’inférieure à 1 millimètre. L’invention a aussi pour objet un procédé de montage d’un filtre pare-éclat dans un orifice d’aspiration d’une pompe à vide turbomoléculaire telle que décrite précédemment, dans lequel : - on place un filtre pare-éclat détendu sur l’orifice d’aspiration avec des vis de fixation traversant des orifices traversants du filtre pare-éclat en étant insérées dans des trous taraudés associés du stator, les vis de fixation étant desserrées, les axes des orifices traversants étant radialement décalés vers le centre de l’orifice d’aspiration par rapport aux axes des trous taraudés, - puis, on serre les vis de fixation dans les trous taraudés pour rapprocher les axes des orifices traversants d’un alignement axial avec les axes des trous taraudés par guidage des têtes tronconiques des vis de fixation dans les bordures de forme tronconique complémentaire des trous taraudés de manière à déformer et tendre le filtre pare-éclat. Brève description des figures D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description de l'invention, ainsi que des dessins annexés sur lesquels : FIG. 1 La FIG. 1 montre une vue schématique en coupe axiale d’un exemple de pompe à vide turbomoléculaire. FIG. 2 La FIG. 2 montre une vue agrandie d’un détail de la pompe à vide turbomoléculaire de la FIG. 1 au cours du montage d’un filtre pare-éclat dans un orifice d’aspiration de la pompe à vide avec les vis de fixation à l’état desserré. FIG. 2 La FIG. 2 montre une vue similaire à la FIG. 2 au cours du serrage des vis de fixation. FIG. 2 La FIG. 2 montre une vue similaire à la FIG. 2 à l’issue du serrage des vis de fixation. FIG. 3 La FIG. 3 montre une vue en perspective d’un filtre pare-éclat de la pompe à vide turbomoléculaire de la FIG. 1 . FIG. 4 La FIG. 4 montre une vue en perspective d’un autre exemple de réalisation d’un filtre pare-éclat. FIG. 5 La FIG. 5 montre un détail du filtre pare-éclat de la FIG. 4 . FIG. 6 La FIG. 6 montre un autre détail du filtre pare-éclat de la FIG. 4 . FIG. 7 La FIG. 7 montre une vue en perspective d’un autre exemple de réalisation d’un filtre pare-éclat. Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence. Description détaillée Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations, sans s’écarter de la portée de l’invention, telle que définie par les revendications. On définit par axiale la direction parallèle à l’axe de rotation I-I du rotor de la pompe à vide et par radiale ou transversale, les directions perpendiculaires à la direction axiale. La FIG. 1 illustre un exemple de réalisation d’une pompe à vide 1 turbomoléculaire. La pompe à vide 1 turbomoléculaire comporte un stator 2 dans lequel un rotor 3 est configuré pour tourner à grande vitesse en rotation axiale, par exemple une rotation à plus de vingt mille tours par minute. Les gaz pompés entrent par un orifice d’aspiration 4 du stator 2 et sont évacués par un orifice de refoulement (non visible) de la pompe à vide 1 turbomoléculaire. En fonctionnement, l’orifice de refoulement est raccordé à un pompage primaire. Le stator 2 comporte une bride de fixation 6 entourant l’orifice d’aspiration 4, pour raccorder la pompe à vide 1 à une enceinte dont on souhaite abaisser la pression ou une bride de vanne ou autre. Selon un exemple de réalisation, le stator 2 comporte un carter 2a dans lequel est ménagé un logement 8 s’ouvrant par l’orifice d’aspiration 4 et comporte au moins deux étages stators annulaires 9 reçus dans le logement 8. Le logement 8 est par exemple cylindrique. Le stator 2 comporte également une douille haute pression 2b dans laquelle est ménagé l’orifice de refoulement de la pompe à vide 1. Les étages stators annulaires 9 sont respectivement agencés entre deux étages rotor à ailettes 10 successifs du rotor 3. Les étages stators annulaires 9 et les étages rotor à ailettes 10 se succèdent axialement le long de l’axe de rotation I-I du rotor 3 dans l’étage turbomoléculaire. Chaque étage rotor à ailettes 10 comporte des pales inclinées qui partent en direction sensiblement radiale d’un moyeu 11 du rotor 3. Les pales sont réparties régulièrement en périphérie du moyeu 11. Le rotor 3 comporte par exemple plus de quatre étages rotor à ailettes 10, comme entre sept et seize étages rotor à ailettes 10 (sept dans l’exemple illustré sur la FIG. 1 ). Selon un exemple de réalisation, le rotor 3 comporte au moins une jupe 5, dite jupe Holweck, en aval des étages rotor à ailettes 10 dans la direction de circulation des gaz pompés, formée par un cylindre lisse, qui tourne en regard de rainures hélicoïdales 7 du stator 2, par exemple ménagées dans la douille haute pression 2b. Les rainures hélicoïdales 7 du stator 2 permettent de comprimer et guider les gaz pompés vers l’orifice de refoulement. Selon un exemple de réalisation, le rotor 3 comporte en outre un bol interne 15, coaxial à l’axe de rotation I-I, agencé en vis-à-vis d’un dôme 17 du stator 2, saillant sous le rotor 3 et dont une embase est reliée à la douille haute pression 2b. En fonctionnement, le rotor 3 tourne dans le stator 2 sans contact entre le bol interne 15 et le dôme 17. Le rotor 3 est par exemple réalisé d’une seule pièce (monobloc). Le rotor 3 est fixé à un arbre d’entrainement 12 de la pompe à vide 1, entraîné en rotation dans le stator 2 par un moteur 16 interne de la pompe à vide 1. Le moteur 16 est par exemple agencé dans le dôme 17 du stator 2, lui-même agencé sous le bol interne 15 du rotor 3, l’arbre d’entrainement 12 traversant le dôme 17 du stator 2. Le rotor 3 est guidé latéralement et axialement par des paliers magnétiques et des paliers mécaniques de secours, supportant l’arbre d’entraînement 12 du rotor 3, situés dans le stator 2. Les paliers magnétiques actifs permettent de maintenir un rotor 3 en lévitation dans le champ magnétique créé. D’autres composants électriques ou électroniques peuvent être reçus dans le dôme 17 du stator 2, comme des capteurs de position. L’orifice d’aspiration 4 est cylindrique et situé à l’extrémité du carter 2a. Des trous taraudés 20 régulièrement répartis sont ménagés dans le stator 2, ici dans le carter 2a, autour de l’orifice d’aspiration 4. Comme mieux visible en FIG. 2 , les trous taraudés 20 s’étendent dans une direction axiale parallèle à l’axe de rotation I-I. La pompe à vide 1 comporte en outre un filtre pare-éclat 21 et une pluralité de vis de fixation 23. Le filtre pare-éclat 21 présente une forme de disque et des orifices traversants 22 cylindriques répartis dans une bande périphérique 24 du filtre pare-éclat 21 ( FIG. 3 ). Le filtre pare-éclat 21 permet d’éviter l’introduction accidentelle de pièces dans la pompe à vide 1 et leur projection sur le rotor 3 de la pompe à vide 1 lancé à plein vitesse. Le filtre pare-éclat 21 a également pour fonction de protéger les personnes des risques de coupures par les ailettes du rotor 3 lors des manipulations de la pompe à vide 1. Les vis de fixation 23 présentent chacune des tiges 23b surmontées de têtes 23a. Les vis de fixation 23 sont par exemple en acier, tel qu’en acier inoxydable. Les vis de fixation 23 traversent les orifices traversants 22 du filtre pare-éclat 21 et sont insérées dans les trous taraudés 20 associés du stator 2 pour solidariser et tendre le filtre pare-éclat 21 dans l’orifice d’aspiration 4. Le nombre et la répartition des orifices traversants 22 correspond bien entendu à ceux des trous taraudés 20 du stator 2 et au nombre des vis de fixation 23. Il y a par exemple entre six et vingt, tel que huit ou douze, orifices traversants 22, vis de fixation 23 et trous taraudés 20, par exemple régulièrement répartis autour de l’orifice d’aspiration 4. Les têtes 23a des vis de fixation 23 du filtre pare-éclat 21 sont tronconiques. Les trous taraudés 20 ménagés dans le stator 2 présentent une bordure 20a respective de forme tronconique complémentaire. Les axes A1 des orifices traversants 22 du filtre pare-éclat 21 sont radialement décalés vers le centre de l’orifice d’aspiration 4 par rapport aux axes A2 des trous taraudés 20 à l’état desserré des vis de fixation 23 ( FIG. 2 ). Autrement dit, le diamètre du cercle dans lequel s’inscrivent les axes A1 des orifices traversants 22 du filtre pare-éclat 21 est inférieur au diamètre du cercle dans lequel s’inscrivent les axes A2 des trous taraudés 20 à l’état desserré des vis de fixation 23. On considère que les vis de fixation 23 sont desserrées tant que les têtes 23a ne sont pas en contact avec les bordures 20a des trous taraudés 20. Le filtre pare-éclat 21 est alors centré dans l’orifice d’aspiration 4 par les tiges 23b des vis 23 en appui contre les bords externes des orifices traversants 22 du filtre pare-éclat 21. Il y a par exemple entre 0,5 % et 5 % d’écart, tel que 1 % d’écart, dans la direction radiale, entre le diamètre du cercle dans lequel s’inscrivent les axes A2 des trous taraudés 20 et le diamètre du cercle dans lequel s’inscrivent les axes A1 des orifices traversants 22 du filtre pare-éclat 21 à l’état desserré des vis de fixation 23. Les axes A1 des orifices traversants 22 du filtre pare-éclat 21 se rapprochent d’un alignement axial avec les axes A2 des trous taraudés 20 par guidage des têtes 23a tronconiques des vis de fixation 23 avec le serrage des vis de fixation 23 dans les trous taraudés 20 de bordure 20a de forme tronconique complémentaire pour déformer par étirement et tendre le filtre pare-éclat 21 ( FIG. 2 ). La hauteur des têtes 23a tronconique étant plus grande que l’épaisseur du filtre pare-éclat 21, la bordure 20a tronconique des trous taraudés 20 permet de pouvoir visser suffisamment la vis de fixation 23 pour étirer le filtre pare-éclat 21 et produire une tension. La déformation du filtre pare-éclat 21 peut être élastique de sorte qu’après avoir étiré le filtre pare-éclat 21, celui-ci peut reprendre sa forme initiale détendue avec le desserrage des vis de fixation 23. Le filtre pare-éclat 21 est par exemple réalisé en acier, tel qu’en acier inoxydable, ou en fibres de carbone. L’acier inoxydable et les fibres de carbone sont des matériaux présentant des modules d’élasticité permettant que le filtre pare-éclat 21 puisse présenter une faible épaisseur. Ces matériaux présentent de plus une bonne tenue aux températures élevées. Un filtre pare-éclat 21 en matériau inoxydable présente de plus l’avantage d’être résistant aux gaz corrosifs. L’épaisseur du filtre pare-éclat 21 dans la direction axiale est par exemple inférieure à 2mm, telle qu’inférieure à 1mm, comme 0,6mm. Cette faible épaisseur permet notamment que le filtre pare-éclat 21 reste élastique, soit peu couteux et limite les pertes de charges. Les mailles du filtre pare-éclat 21 peuvent être hexagonales, le filtre pare-éclat 21 présentant une structure en nid d’abeille. Ces formes de maille permettent de transférer les efforts de maille en maille sans rendre le filtre pare-éclat 21 plastique. D’autres formes de mailles sont envisageables comme on le verra plus loin. En particulier, les mailles ne sont pas forcément régulières, elles peuvent être organiques. La dimension maximale des mailles du filtre pare-éclat 21 (dans le plan du filtre pare-éclat) est par exemple inférieure à 2 millimètres, tel qu’inférieure à 1 millimètre. On cherche un filtre pare-éclat 21 le plus fin et le plus ouvert possible. Au cours du procédé de montage du filtre pare-éclat 21 dans l’orifice d’aspiration 4 de la pompe à vide 1 turbomoléculaire, on place le filtre pare-éclat 21 détendu sur l’orifice d’aspiration 4 de la pompe à vide 1 avec les vis de fixation 23 traversant les orifices traversants 22 du filtre pare-éclat 21 et insérées dans les trous taraudés 20 associés du stator 2, les vis de fixation 23 étant desserrées ( FIG. 2 ). Les axes A1 des orifices traversants 22 du filtre pare-éclat 21 sont radialement décalés vers le centre de l’orifice d’aspiration 4 par rapport aux axes A2 des trous taraudés 20. Les têtes 23a ne sont pas en contact avec les bordures 20a des trous taraudés 20. Les tiges 23b des vis 23 sont en appui contre les bords externes des orifices traversants 22 du filtre pare-éclat 21. Puis, on serre les vis de fixation 23 dans les trous taraudés 20, ce qui rapproche les axes A1 des orifices traversants 22 du filtre pare-éclat 21 d’un alignement axial avec les axes A2 des trous taraudés 20 par guidage des têtes 23a tronconiques des vis de fixation 23 dans les bordures 20a de forme tronconique complémentaire des trous taraudés 20 ( FIG. 2 ). Le vissage des vis de fixation 23 génère une tension mécanique dans le filtre pare-éclat 21 permettant de déformer par étirement et tendre le filtre-éclat 21. A l’issue du serrage, le filtre pare-éclat 21 est centré et tendu dans l’orifice d’aspiration 4, les axes A1 des orifices traversants 22 du filtre pare-éclat 21 sont axialement alignés avec les axes A2 des trous taraudés 20 ( FIG. 2 ). On peut ainsi tendre le filtre pare-éclat 21 de manière simple en une seule opération lors de sa fixation dans l’orifice d’aspiration 4. Les déformations du filtre pare-éclat 21 en cas d’impact accidentel peuvent ainsi être limitées. De plus, un filtre pare-éclat 21 tendu offre une bonne résistance mécanique lui permettant de présenter une faible épaisseur. Un filtre pare-éclat 21 fin est également moins sensible aux déformations induites par chauffage, en particulier radiatif. Par ailleurs, un filtre pare-éclat 21 fin permet de réduire les coûts et permet de limiter les pertes de charge. L’opération peut être réversible du fait des possibles propriétés élastiques du filtre pare-éclat 21. Le filtre pare-éclat 21 peut reprendre sa forme initiale détendue avec le desserrage des vis de fixation 23. Les figures 4 à 6 montrent un deuxième exemple de réalisation du filtre pare-éclat. Dans cet exemple, le filtre pare-éclat 31 présente au moins deux rayons de renfort 25, tel qu’entre quatre et huit, comme six, pour mieux répartir la tension dans les mailles du filtre pare-éclat 31. Les rayons de renfort 25 s’étendent radialement d’une maille centrale du filtre pare-éclat 31 ( FIG. 6 ) à la bande périphérique 24 dans laquelle sont ménagés les orifices traversants 22 ( FIG. 5 ). Il y a par exemple un nombre pair N de rayons de renfort 25 régulièrement répartis, les rayons de renforts 25 étant agencés sur N/2 diamètres. Dans le cas de mailles hexagonales, six rayons de renforts 25 s’étendent radialement depuis chaque sommet de la maille centrale jusqu’à la bande périphérique 24. Les rayons de renfort 25 permettent de réduire les contraintes s’exerçant sur les mailles centrales du filtre pare-éclat 31 tendu. Selon un exemple de réalisation, les orifices traversants 22 du filtre pare-éclat 31 (et des trous taraudés 20 associés du stator 2) d’une paire sont situés de part et d’autre d’une droite alignée avec un rayon de renfort 25, les orifices traversants 22 (et les trous taraudés 20 associés) de la paire étant plus proches l’un de l’autre que les orifices traversants 22 (et trous taraudés 20 associés) des paires adjacentes ( FIG. 4 ). Dans cette configuration, les paires d’orifices traversants 22 permet de limiter les contraintes mécaniques exercées à la base de la liaison entre le rayon de renfort 25 et la bande périphérique 24. Les autres caractéristiques de cet exemple de réalisation sont similaires à ceux du premier exemple de réalisation. La FIG. 7 montre un troisième exemple de réalisation du filtre pare-éclat 41. Dans cet exemple, les mailles du filtre pare-éclat 41 sont notamment délimitées d’une part, par des rayons du filtre pare-éclat 41 s’étendant d’une maille centrale, présentant par exemple une forme de disque, à une bande périphérique 24 du filtre pare-éclat 41 et d’autre part, par des anneaux concentriques du filtre pare-éclat 41 croisant les rayons. Cette configuration permet d’avoir une meilleure répartition des contraintes mécaniques et une meilleure homogénéité de la tension mécanique exercée dans le filtre pare-éclat 41. Les autres caractéristiques de cet exemple de réalisation sont similaires à ceux du premier exemple de réalisation. Pompe à vide (1) turbomoléculaire comportant : - un stator (2) et un rotor (3) configuré pour tourner dans le stator (2), le stator (2) présentant un orifice d’aspiration (4), des trous taraudés (20) étant ménagés dans le stator (2) autour de l’orifice d’aspiration (4), - un filtre pare-éclat (21, 31, 41) présentant des orifices traversants (22) en périphérie, - une pluralité de vis de fixation (23) présentant chacune une tête (23a), les vis de fixation (23) traversant les orifices traversants (22) du filtre pare-éclat (21, 31, 41), caractérisée en ce que les têtes (23a) des vis de fixation (23) du filtre pare-éclat (21, 31, 41) sont tronconiques, les trous taraudés (20) ménagés dans le stator (2) présentant une bordure (20a) respective de forme tronconique complémentaire, les axes (A1) des orifices traversants (22) du filtre pare-éclat (21, 31, 41) étant radialement décalés vers le centre de l’orifice d’aspiration (4) par rapport aux axes (A2) des trous taraudés (20) à l’état desserré des vis de fixation (23), les axes (A1) des orifices traversants (22) du filtre pare-éclat (21, 31, 41) se rapprochant d’un alignement axial avec les axes (A2) des trous taraudés (20) par guidage des têtes (23a) tronconiques des vis de fixation (23) avec le serrage des vis de fixation (23) dans les trous taraudés (20) de bordure (20a) de forme tronconique complémentaire pour déformer par étirement et tendre le filtre pare-éclat (21, 31, 41). Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que la déformation du filtre pare-éclat (21, 31, 41) est élastique. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que l’épaisseur du filtre pare-éclat (21, 31, 41) dans la direction axiale est inférieure à 2mm, telle qu’inférieure à 1mm, comme 0,6mm. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que l’écart dans la direction radiale entre le diamètre du cercle dans lequel s’inscrivent les axes (A2) des trous taraudés (20) et le diamètre du cercle dans lequel s’inscrivent les axes (A1) des orifices traversants (22) du filtre pare -éclat (21, 31, 41) à l’état desserré des vis de fixation (23) est compris entre 0,5 % et 5 %, tel que 1 %. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le filtre pare-éclat (21, 31, 41) est réalisé en acier, tel qu’en acier inoxydable, ou en fibres de carbone. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le filtre pare-éclat (31) présente au moins deux rayons de renfort (25) s’étendant radialement d’une maille centrale du filtre pare-éclat (31) à une bande périphérique (24) du filtre pare-éclat (31) dans laquelle sont ménagés les orifices traversants (22). Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que les orifices traversants (22) du filtre pare-éclat (31) d’une paire sont situés de part et d’autre d’une droite alignée avec un rayon de renfort (25), les orifices traversants (22) de la paire étant plus proches l’un de l’autre que les orifices traversants (22) des paires adjacentes. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les mailles du filtre pare-éclat (21, 31) sont hexagonales, le filtre pare-éclat (21, 31) présentant une structure en nid d’abeille. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 1 à 7, caractérisée en ce que les mailles du filtre pare-éclat (41) sont délimitées d’une part, par des rayons du filtre pare-éclat (41) s’étendant d’une maille centrale à une bande périphérique (24) du filtre pare-éclat (41) et d’autre part, par des anneaux concentriques du filtre pare-éclat (41) croisant les rayons. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la dimension maximale des mailles du filtre pare-éclat (21, 31, 41) est inférieure à 2 millimètres, telle qu’inférieure à 1 millimètre. Procédé de montage d’un filtre pare-éclat (21) dans un orifice d’aspiration (4) d’une pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes, dans lequel : - on place un filtre pare-éclat (21, 31, 41) détendu sur l’orifice d’aspiration (4) avec des vis de fixation (23) traversant des orifices traversants (22) du filtre pare-éclat (21, 31, 41) en étant insérées dans des trous taraudés (20) associés du stator (2), les vis de fixation (23) étant desserrées, les axes (A1) des orifices traversants (22) étant radialement décalés vers le centre de l’orifice d’aspiration (4) par rapport aux axes (A2) des trous taraudés (20), - puis, on serre les vis de fixation (23) dans les trous taraudés (20) pour rapprocher les axes (A1) des orifices traversants (22) d’un alignement axial avec les axes (A2) des trous taraudés (20) par guidage des têtes (23a) tronconiques des vis de fixation (23) dans les bordures (20a) de forme tronconique complémentaire des trous taraudés (20) de manière à déformer et tendre le filtre pare-éclat (21, 31, 41).