Brevet FR3162278A1 — publié le 20251121

Dispositif de spectroscopie photoacoustique La présente description concerne un dispositif de spectroscopie photoacoustique (100) comprenant au moins un résonateur mécanique (101) doté d’une première partie (102) de détection d’ondes acoustiques et d’une deuxième partie (104) de transduction des ondes acoustiques détectées par la première partie (102) du résonateur mécanique (101) en au moins un signal de transduction, la première partie (102) du résonateur mécanique (101) étant disposée dans un premier environnement dans lequel les ondes acoustiques sont destinées à se propager, et la deuxième partie (104) du résonateur mécanique (101) étant disposée dans un deuxième environnement sous vide et distinct du premier environnement. Figure pour l'abrégé : Fig. 1 Dispositif de spectroscopie photoacoustique La présente description concerne de façon générale le domaine de la spectroscopie, ou spectrométrie, photoacoustique, et en particulier celui de la détection de gaz par spectroscopie photoacoustique. La spectroscopie photoacoustique est une méthode d'analyse utilisée notamment pour déterminer la concentration d'un gaz spécifique dans un milieu. Elle est basée sur l'effet photoacoustique suivant : une lumière modulée est envoyée à travers un gaz. Si les molécules du gaz sont sensibles à la longueur d’onde de la lumière utilisée, des photons sont absorbés par les molécules de gaz, les fait passer dans un état excité. Une relaxation thermique des molécules se produit et entraîne une production de chaleur qui est proportionnelle à la concentration des molécules de gaz et à la quantité d'énergie absorbée par celles-ci. Un tel changement modulé de température engendre un changement modulé de pression, générant une onde acoustique dont l'amplitude est proportionnelle à la concentration des molécules et à la quantité de lumière absorbée par ces molécules. Cette onde acoustique peut être détectée de différentes façons, et en particulier par un micro-résonateur mécanique couplé à des moyens de détection capacitifs, un tel système étant communément appelé système micro-électromécanique résonant. Cependant, en raison des principes mis en jeu dans une transduction capacitive, en particulier en raison de la faible distance entre les électrodes réalisant cette transduction, il se produit un phénomène d’amortissement visqueux qui est extrêmement désavantageux pour la détection. Cet amortissement visqueux va se traduire par un facteur de qualité réduit et une sensibilité de détection réduite. Il existe un besoin de proposer un dispositif, ou capteur, de spectroscopie photoacoustique présentant des performances améliorées par rapport aux dispositifs de l’art antérieur. Un mode de réalisation pallie tout ou partie des inconvénients des solutions connues et propose un dispositif de spectroscopie photoacoustique comprenant au moins un résonateur mécanique doté d’une première partie de détection d’ondes acoustiques et d’une deuxième partie de transduction des ondes acoustiques détectées par la première partie du résonateur mécanique en au moins un signal de transduction, la première partie du résonateur mécanique étant disposée dans un premier environnement dans lequel les ondes acoustiques sont destinées à se propager, et la deuxième partie du résonateur mécanique étant disposée dans un deuxième environnement sous vide et distinct du premier environnement. Selon un mode de réalisation particulier : - la première partie du résonateur mécanique comporte une première portion de matériau configurée pour être mise en mouvement par les ondes acoustiques et une première partie d’au moins une deuxième portion de matériau dont au moins une première extrémité est couplée mécaniquement à la première portion de matériau, et - la deuxième partie du résonateur mécanique comporte une deuxième partie de la deuxième portion de matériau dont au moins une deuxième extrémité est apte à se déplacer sous l’effet d’une énergie transmise depuis la première portion de matériau. Selon un mode de réalisation particulier, le résonateur mécanique comprend plusieurs deuxièmes portions de matériau s’étendant autour de la première portion de matériau. Selon un mode de réalisation particulier, le résonateur mécanique comprend plusieurs groupes de deuxièmes portions de matériau dans chacun desquels lesdites deuxièmes portions de matériau sont couplées mécaniquement entre elles. Selon un mode de réalisation particulier, dans chaque groupe, les deuxièmes portions de matériau sont couplées mécaniquement entre elles au moins par une troisième portion de matériau disposée aux jonctions des premières et deuxièmes parties de chacune des deuxièmes portions de matériau. Selon un mode de réalisation particulier, dans chaque groupe, les deuxièmes parties des deuxièmes portions de matériau sont couplées mécaniquement entre elles par au moins une quatrième portion de matériau disposée dans le deuxième environnement sous vide. Selon un mode de réalisation particulier : - dans chaque groupe, les deuxièmes portions de matériau forment des poutres droites disposées parallèlement les unes à côté des autres ; - la quatrième portion de matériau forme une portion longitudinale s’étendant perpendiculairement aux deuxièmes portions de matériau. Selon un mode de réalisation particulier : - la première partie du résonateur mécanique comporte une première portion de matériau configurée pour être mise en mouvement par les ondes acoustiques, et - la deuxième partie du résonateur mécanique comporte au moins une deuxième portion de matériau en forme de couronne couplée mécaniquement à la première portion de matériau et apte à se déplacer sous l’effet d’une énergie transmise depuis la première portion de matériau. Selon un mode de réalisation particulier, les première et deuxième parties du résonateur mécanique correspondent à des parties d’une même couche de matériau. Selon un mode de réalisation particulier, le deuxième environnement est délimité par au moins un capot et des parois disposées au niveau d’au moins une jonction entre les première et deuxième parties du résonateur mécanique et reposant sur une première face d’un support. Selon un mode de réalisation particulier, le support comporte au moins une couche de matériau et au moins une ouverture traversant ladite couche de matériau et débouchant en regard de la première partie du résonateur mécanique. Selon un mode de réalisation particulier, le dispositif de spectroscopie photoacoustique peut comporter en outre au moins une source lumineuse solidaire d’une deuxième face, opposée à la première face, du support, et configurée telle qu’un faisceau lumineux modulé destiné à être émis par la source lumineuse passe en regard de l’ouverture. Selon un mode de réalisation particulier, le dispositif de spectroscopie photoacoustique comporte en outre un résonateur acoustique solidaire de la deuxième face du support et comprenant au moins une entrée configurée pour recevoir le faisceau lumineux et au moins une sortie débouchant en regard de l’ouverture du support. Selon un mode de réalisation particulier, la deuxième partie du résonateur mécanique est configurée pour réaliser une transduction capacitive des ondes acoustiques détectées. Il est également proposé un procédé de réalisation d’un dispositif de spectroscopie photoacoustique, comprenant au moins les étapes suivantes : - réalisation d’au moins un résonateur mécanique doté d’une première partie de détection d’ondes acoustiques et d’une deuxième partie de transduction des ondes acoustiques détectées en au moins un signal de transduction, la première partie du résonateur mécanique étant disposée dans un premier environnement dans lequel les ondes acoustiques sont destinées à se propager ; - réalisation d’un deuxième environnement sous vide, distinct du premier environnement et dans lequel la deuxième partie du résonateur mécanique est disposée. Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : - la FIG. 1 représente schématiquement une vue en coupe d’un dispositif de spectroscopie photoacoustique selon un exemple particulier ; - la FIG. 2 représente schématiquement une partie d’un dispositif de spectroscopie photoacoustique selon un premier mode de réalisation ; - la FIG. 3 représente schématiquement une partie d’un dispositif de spectroscopie photoacoustique selon une variante du premier mode de réalisation ; - la FIG. 4 représente schématiquement un résonateur mécanique d’un dispositif de spectroscopie photoacoustique selon un deuxième mode de réalisation ; - la FIG. 5 représente schématiquement une vue en coupe d’un exemple de résonateur acoustique d’un dispositif de spectroscopie photoacoustique ; - la FIG. 6 représente schématiquement une vue en coupe d’un dispositif de spectroscopie photoacoustique comprenant un résonateur acoustique ; – la FIG. 7 , la FIG. 8 , la FIG. 9 et la FIG. 10 représentent schématiquement des étapes d’un procédé de réalisation d’un dispositif de spectroscopie photoacoustique. De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références dans les différentes figures. En particulier, les éléments structurels et/ou fonctionnels communs aux différents modes de réalisation peuvent présenter les mêmes références et peuvent disposer de propriétés structurelles, dimensionnelles et matérielles identiques. Par souci de clarté, seuls les étapes et éléments utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés. En particulier, différents éléments du dispositif de spectroscopie photoacoustique tels que des circuits de commande, de polarisation, de lecture du signal de transduction, etc. ne sont pas détaillés. L’homme du métier sera à même de réaliser de manière détaillée ces éléments à partir de la description fonctionnelle donnée ici. Sauf précision contraire, lorsque l'on fait référence à deux éléments connectés entre eux, cela signifie directement connectés sans éléments intermédiaires autres que des conducteurs, et lorsque l'on fait référence à deux éléments reliés (en anglais "coupled") entre eux, cela signifie que ces deux éléments peuvent être connectés ou être reliés par l'intermédiaire d'un ou plusieurs autres éléments. Dans la description qui suit, lorsque l'on fait référence à des qualificatifs de position absolue, tels que les termes "avant", "arrière", "haut", "bas", "gauche", "droite", etc., ou relative, tels que les termes "dessus", "dessous", "supérieur", "inférieur", etc., ou à des qualificatifs d'orientation, tels que les termes "horizontal", "vertical", etc., il est fait référence sauf précision contraire à l'orientation des figures. Toutefois, ces termes ne présument pas de la position et de l’orientation réelles du dispositif lors de son utilisation. Sauf précision contraire, les expressions "environ", "approximativement", "sensiblement", et "de l'ordre de" signifient à 10 % ou à 10° près, de préférence à 5 % ou à 5° près. Un exemple de réalisation d’un dispositif 100 de spectroscopie photoacoustique est décrit ci-dessous en lien avec la FIG. 1 . Dans toute la description, le dispositif 100 est destiné à être utilisé pour réaliser une détection de gaz par spectroscopie photoacoustique. Toutefois, d’autres utilisations du dispositif 100 sont envisageables. Par exemple, le dispositif 100 peut servir de détecteur de masse (détection gravimétrique par exemple) ou de détecteur de biocapteurs (biomarqueurs par exemple). Le fonctionnement du dispositif 100 sera alors différent de celui décrit ci-dessous. Pour la détection de masse, il est par exemple possible de piloter le dispositif 100 à la fréquence de résonance et observer le changement de fréquence. Pour les biomarqueurs, il est possible d’utiliser le dispositif 100 comme pour la détection de masse pour les particules et/ou il est également possible de fonctionnaliser la surface du dispositif 100 (partie centrale utilisée, dans l’exemple ci-dessous, pour la détection des ondes photo-acoustiques). Le dispositif 100 peut également servir de capteur acoustique permettant de détecter des ondes acoustiques de certaines longueurs d'onde (par exemple pour réaliser une détection de chauves-souris qui envoient des ultrasons). Le dispositif 100 comporte au moins un résonateur mécanique 101 doté d’une première partie 102 de détection d’ondes acoustiques et d’une deuxième partie 104 de transduction des ondes acoustiques détectées en au moins un signal de transduction. Dans un premier mode de réalisation du dispositif 100 représenté sur la FIG. 2 , la première partie 102 du résonateur mécanique 101 comporte une première portion de matériau 106 configurée pour être mise en mouvement par les ondes acoustiques destinées à être détectées, par exemple formant une membrane mobile, et une première partie 108 d’au moins une deuxième portion de matériau 109 dont au moins une première extrémité est couplée mécaniquement à la première portion de matériau 106. Dans l’exemple décrit, le résonateur mécanique comprend plusieurs deuxièmes portions de matériau 109 s’étendant autour de la première portion de matériau 106. Plus particulièrement, dans l’exemple décrit, le résonateur mécanique 101 comprend plusieurs groupes de deuxièmes portions de matériau 109 dans chacun desquels les deuxièmes portions de matériau 109 sont couplées mécaniquement entre elles. Sur la FIG. 2 , quatre groupes comprenant chacun quatre deuxièmes portions de matériau 109 s’étendent depuis la première portion de matériau 106 selon deux axes perpendiculaires l’un à l’autre (parallèles aux axes X et Y sur les figures 1 et 2). La première portion de matériau 106 est destinée à être mise en mouvement par les ondes acoustiques détectées. La surface présentée par la première portion de matériau 106 à l’environnement dans lequel les ondes acoustiques sont destinées à se propager peut être maximisée afin de maximiser la collecte de l’énergie transmise par les ondes acoustiques. En outre, dans le premier mode de réalisation, la deuxième partie 104 du résonateur mécanique 101 comporte une deuxième partie 110 de la deuxième portion de matériau 109 (de chacune des deuxièmes portions de matériau 109 dans l’exemple décrit) apte à se déplacer sous l’effet du mouvement de la première portion de matériau 106. Dans l’exemple de réalisation décrit, dans chaque groupe des deuxièmes portions de matériau 109, ces deuxièmes portions de matériau 109 sont couplées mécaniquement entre elles par au moins une troisième portion de matériau 112 disposée aux jonctions des premières et deuxièmes parties 108, 110 de chacune des deuxièmes portions de matériau 109. En outre, dans cet exemple, dans chaque groupe de deuxièmes portions de matériau 109, les deuxièmes parties 110 des deuxièmes portions de matériau 109 sont également couplées mécaniquement entre elles par au moins une quatrième portion de matériau 114. Dans l’exemple de réalisation décrit, dans chaque groupe de deuxièmes portions de matériau 109, ces deuxièmes portions de matériau 109 forment des poutres droites disposées parallèlement les unes à côté des autres, et la quatrième portion de matériau 114 forme une portion longitudinale s’étendant perpendiculairement aux deuxièmes portions de matériau 109. Les sections de ces poutres, dans un plan perpendiculaire à leur plus grande dimension, peuvent être rectangulaires. Sur la FIG. 2 , pour chaque groupe de deuxièmes portions de matériau 109, la quatrième portion de matériau 114 relie mécaniquement entre elles des deuxièmes extrémités, opposées aux premières extrémités, des deuxièmes portions de matériau 109. Dans l’exemple de réalisation décrit, les éléments du résonateur mécanique 101 forment une structure résonante dotée d’au moins une fréquence de résonance. Dans l’exemple de réalisation décrit, les première et deuxième parties 102, 104 du résonateur mécanique 101, c’est-à-dire les première, deuxièmes, troisièmes et quatrièmes portions de matériau 106, 109, 112, 114, correspondent à des parties d’une même couche de matériau. Par exemple, cette couche de matériau peut comporter du silicium. Sur les exemples des figures 1 et 2, le résonateur mécanique 101 est solidaire d’un support 115. Dans l’exemple de réalisation décrit, le support 115 comporte une couche de maintien mécanique 116, comprenant par exemple un semi-conducteur tel que du silicium. En variante, la couche de maintien mécanique 116 peut comporter un matériau conducteur ou un matériau apte à créer une capacité électrique avec le résonateur mécanique 101. Dans l’exemple décrit, le support comporte également des cinquièmes portions de matériau 118, comprenant par exemple un matériau diélectrique tel que du SiO 2 , interposées entre la couche de maintien mécanique 116 et le résonateur mécanique 101, à l’interface entre les première et deuxième parties 102, 104 du résonateur mécanique 101. Dans l’exemple décrit, le dispositif 100 comporte également des portions d’ancrage 119 contribuant au maintien mécanique du résonateur mécanique 101 au support 115. Des cinquièmes portions de matériau 118 sont également disposées entre les portions d’ancrage 119 et la couche de maintien mécanique 116. Les cinquièmes portions de matériau 118 peuvent avoir une géométrie différente de celle des portions d’ancrage 119. Les cinquièmes portions de matériau 118 permettent une isolation électrique entre le résonateur mécanique 101 et le support 115 et contribuent également à l’étanchéité entre les environnements dans lesquels se trouvent les première et deuxième parties 102, 104 du résonateur mécanique 101. Par exemple, le support 115, le résonateur mécanique 101, les cinquièmes portions de matériau 118 et les portions d’ancrage 119 peuvent être issus d’un substrat SOI (« Silicon-On-Insulator » en anglais, ou silicium sur isolant), ou plus généralement de type semi-conducteur sur isolant, avec le résonateur mécanique 101 et les portions d’ancrage 119 formés par des portions de la couche superficielle de semi-conducteur du substrat SOI, les cinquièmes portions de matériau 118 correspondant à des parties de la couche diélectrique enterrée, ou BOX (« Buried-Oxide » en anglais), du substrat SOI, et la couche de maintien mécanique 116 correspondant à la couche support du substrat SOI. Dans l’exemple de réalisation décrit, la deuxième partie 104 du résonateur mécanique 101 est configurée pour réaliser une transduction capacitive des ondes acoustiques détectées en un signal électrique de transduction. Cette transduction capacitive est ici obtenue grâce à la capacité électrique formée entre la couche de maintien mécanique 116 (formant une première électrode de cette capacité électrique) et les deuxièmes parties 110 des deuxièmes portions de matériau 109 et les quatrièmes portions de matériau 114 (formant des deuxièmes électrodes de cette capacité électrique). Dans la configuration décrite ici, la couche de maintien mécanique 116 et ces éléments du résonateur mécanique 101 forment deux éléments pouvant être chargés électriquement et entre lesquels un espace rempli d’air ou de vide est présent. Ces deux éléments forment une capacité électrique de valeur C 0 qui change lorsque le résonateur mécanique 101 est en mouvement. Lorsque les deuxièmes portions de matériau 109 bougent à une fréquence f 0 , cela créé des modifications de la capacitance à la fréquence f 0 . Cela peut être vu comme un courant alternatif de fréquence f 0 en sortie du capteur. L’amplitude de la composante alternative à la fréquence f 0 est fonction notamment de l’amplitude du déplacement des deuxièmes portions de matériau 109. Sur l’exemple de la FIG. 1 , le dispositif 100 comporte en outre au moins une source lumineuse 120, par exemple une source laser, solidaire d’une face arrière 121 du support 115 (qui correspond à la face arrière de la couche de maintien mécanique 116), opposée à une face avant du support 115 à laquelle le résonateur mécanique 101 est solidarisé. En outre, la source lumineuse 120 est configurée telle qu’un faisceau lumineux modulé en puissance destiné à être émis par la source lumineuse 120 soit collimaté et passe en regard d’une ouverture 122 traversant le support 115 et débouchant en regard de la première partie 102 du résonateur mécanique 101. La modulation du faisceau émis par la source lumineuse 120 peut correspondre à une modulation en fréquence ou en amplitude. Cette modulation peut être interne à la source lumineuse 120 ou être réalisée par un dispositif externe par exemple de type « chopper », ou hacheur optique. La modulation réalisée peut prendre la forme d’un signal carré ou sinusoïdal ou triangulaire. L’efficacité de l’effet photoacoustique qui sera obtenu peut dépendre notamment de la profondeur de modulation appliquée. La source lumineuse 120 peut être configurée pour émettre un ou plusieurs faisceaux lumineux modulés de longueurs d’onde différentes, en fonction de la nature des molécules de gaz destinées à être détectées par le dispositif 100. La source lumineuse 120 est choisie et configurée telle que la ou les longueurs d’onde du ou des faisceaux lumineux émis correspondent à celles absorbées par les molécules de gaz destinées à être détectées. La ou les longueurs d’onde émises par la source lumineuse 120 peuvent appartenir au domaine infrarouge. Afin de détecter plusieurs types de gaz, le dispositif 100 peut comporter plusieurs sources lumineuses 120 émettant des lumières de longueurs d’onde différentes. Dans le dispositif 100, la première partie 102 du résonateur mécanique 101 est disposée dans un premier environnement dans lequel les ondes acoustiques, issues de l’interaction des molécules de gaz à analyser avec le faisceau lumineux destiné à être émis par la source lumineuse 120, sont destinées à se propager. En outre, la deuxième partie 104 du résonateur mécanique 101 est disposée dans un deuxième environnement sous vide et distinct du premier environnement. Dans l’exemple représenté sur la FIG. 1 , ce deuxième environnement est délimité par un capot 124 et des parois 126 disposées au niveau des jonctions entre les première et deuxième parties 102, 104 du résonateur mécanique. Les parois 126 sont en contact avec la couche de maintien mécanique 116 et sont réalisées de manière à ce qu’elles ne forment pas de court-circuit entre le résonateur mécanique 101 et la couche de maintien mécanique 116. Les parois 126 peuvent être isolées électriquement du résonateur mécanique 101 et de la couche de maintien mécanique 116. Les parois 126 peuvent comporter également des parties comprenant du métal et/ou du semi-conducteur de manière à ce qu’elles forment une cage de Faraday. Lorsque le dispositif 100 est réalisé à partir d’un substrat SOI, les parois 126 peuvent être formées par des parties de la couche superficielle de semi-conducteur et du BOX du substrat SOI. En outre, sur l’exemple de la FIG. 1 , la couche de maintien mécanique 116 sur laquelle repose le capot 124 contribue également à séparer hermétiquement ce deuxième environnement par rapport au premier environnement. Le niveau de vide du deuxième environnement peut être tel qu’il permette d’éviter un effet d’amortissement visqueux du résonateur mécanique 101. Ce niveau de vide peut dépendre notamment des dimensions de la deuxième partie 104 du résonateur mécanique 101. Il peut être déterminé par le nombre de Knudsen Kn définit par l’équation suivante : avec λ correspondant au libre parcours des molécules de gaz considérées, et L C correspondant à la dimension caractéristique du résonateur mécanique 101. Pour un nombre de Knudsen Kn > 10, le facteur de qualité du résonateur mécanique 101 est donné par l'amortissement intrinsèque-interne et intrinsèque-externe. Dans ce cas, l'amortissement visqueux peut être considéré comme négligeable. Ainsi, plus les dimensions de la deuxième partie 104 du résonateur mécanique 101 sont petites, moins les conditions de vide à respecter sont contraignantes. Par exemple, le niveau de vide dans ce deuxième environnement peut être inférieur à 100 mBar lorsque les largeurs des deuxièmes et quatrièmes portions de matériau 109, 114 sont inférieures à 1 µm, ou inférieur à 6 mBar lorsque les largeurs des deuxièmes et quatrièmes portions de matériau 109, 114 sont inférieures à 10 µm. En outre, il peut être avantageux d’avoir un nombre important de deuxièmes portions de matériau 109, ce qui permet d’augmenter la capacitance nominale formée par la deuxième partie 104 du résonateur mécanique 101 en comparaison de la capacitance parasite, tout en conservant un nombre de Knudsen Kn > 10. En outre, plus la masse de la deuxième partie 104 du résonateur mécanique 101 est faible, plus grande sera sa susceptibilité mécanique et plus grande sera la sensibilité du dispositif 100. La susceptibilité mécanique du dispositif 100 est définie par l'équation suivante : avec Q n le facteur de qualité du n ième mode de vibration, Ω n la fréquence de résonance du n ième mode, et m n la masse effective qui correspond à la fréquence de résonance Ω n , et n supérieur ou égal à 1. Dans l’exemple de réalisation décrit, les portions d’ancrage 119 peuvent également servir de connexions électriques permettant la collecte de signaux de transduction électrique obtenus et/ou la transmission d’un signal électrique de polarisation au résonateur mécanique 101. Les parois 126, les cinquièmes portions de matériau 118 et les troisièmes portions de matériau 112 sont telles que les première et deuxième parties 102, 104 du résonateur mécanique 101 sont mobiles l’une par rapport à l’autre afin de permettre un transfert d’énergie depuis la première portion de matériau 106 jusqu’aux deuxièmes parties 110 des deuxièmes portions de matériau 109. Les paramètres des parois 126, des cinquièmes portions de matériau 118 et des troisièmes portions de matériau 112 à considérer pour permettre cette mobilité sont notamment le ou les matériaux utilisés pour leur réalisation ainsi que leur caractéristiques géométriques afin d’avoir une flexibilité suffisante aux jonctions des première et deuxième parties 102, 104 du résonateur mécanique 101, avec une faible rigidité angulaire pour avoir de faibles pertes d’énergie lors du mouvement de deuxièmes portions de matériau 109. Dans l’exemple de réalisation représenté sur la FIG. 2 , cette mobilité correspond à un mouvement rotationnel dû à une déformation en torsion des deuxièmes parties 110 des deuxièmes portions de matériau 109 par rapport au premières parties 108 des deuxièmes portions de matériau 109 selon des axes parallèles au plan principal dans lequel se trouve le résonateur mécanique 101 au repos (plan (X,Y) sur les figures 1 et 2), aux jonctions entre les première et deuxième parties 102, 104, c’est-à-dire dans les éléments 112, 118 et 126. Dans cet exemple de réalisation, les jonctions entre les première et deuxième parties 102, 104 du résonateur mécanique 101 forment des liaisons pivot entre elles. En outre, ces jonctions sont telles qu’elles limitent significativement ou empêchent un mouvement de translation dans une direction hors du plan prévu. Dans l’exemple de réalisation représenté sur la FIG. 2 , les extrémités des deuxièmes parties 110 des deuxièmes portions de matériau 109 sont configurées pour se déplacer en phase lorsqu’elles sont mises en mouvement par une détection d’ondes acoustiques, ce qui créé une interférence constructive. En variante, d’autres types de mouvements et/ou de liaisons sont possibles entre les première et deuxième parties 102, 104 du résonateur mécanique 101. En outre, les parois 126, les portions de matériau 118, les portions d’ancrage 116 et les troisièmes portions de matériau 112 sont telles qu’elles assurent une isolation étanche aux gaz entre les première et deuxième parties 102, 104 du résonateur mécanique 101. Lors d’une analyse de gaz mise en œuvre par le dispositif 100 décrit ci-dessus, un faisceau lumineux modulé est émis par la source lumineuse 120 en présence du gaz à analyser se trouvant dans le premier environnement. Les molécules de gaz absorbant la lumière provoquent un échauffement localisé et modulé. Une onde acoustique de même modulation que celle de la lumière émise est alors générée et se propage en raison des changements périodiques de la pression engendrée par la modulation de température obtenue. La partie de cette onde acoustique se propageant dans l’ouverture 122 engendre une mise en mouvement de la première portion de matériau 106. L’énergie liée au mouvement de la première portion de matériau 106 est transmise aux premières et deuxièmes parties 108, 110 des deuxièmes portions de matériau 109. Le mouvement des deuxièmes parties 110 des deuxièmes portions de matériau 109 vis-à-vis de la couche de maintien mécanique 116 engendre une variation, de même modulation que celle de l’onde acoustique, de la capacité électrique formée entre ces éléments. Cette variation de capacité électrique est détectée par un circuit de détection, non représenté sur la FIG. 1 , puis analysée par un circuit de traitement, également non représenté sur la FIG. 1 . A partir de la ou des fréquences détectées et des amplitudes de variation de la capacité électrique à cette ou ces fréquences, la nature du ou des gaz ayant interagit avec la lumière émise peut être identifiée et leur concentration peut être déterminée. Ce fonctionnement est similaire à celui d’un microphone à condensateur. Sur l’exemple de la FIG. 2 , plusieurs dimensions sont désignées et des exemples de valeurs sont données ci-dessous pour ces dimensions : L1 : Largeur de chaque groupe de deuxièmes portions de matériau 109, par exemple égale à 400 µm ; L2 : Longueur d’une deuxième partie 110 de chaque deuxième portion de matériau 109, par exemple égale à 375 µm ; L3 : Dimension d’un côté du résonateur mécanique 101, par exemple égale à 1500 µm ; w1 : largeur de chaque deuxième portion de matériau 109, par exemple égale à 7 µm ; w2 : largeur de chaque quatrième portion de matériau 114, par exemple égale à 7 µm ; w3 : largeur de chaque troisième portion de matériau 112 ou largeur de chaque paroi 126, par exemple égale à 10 µm, et qui est supérieure à w1 et w 2 ; h1 : épaisseur des différentes portions de matériau du résonateur mécanique 101, par exemple inférieure à 40 µm, ou de préférence inférieure à 20 µm et par exemple égale à 15 µm ; h2 : hauteur des parois 126, par exemple égale à 200 µm ; h3 : épaisseur des portions 118 supérieure à 0,5 µm et de préférence supérieure à 2 µm. En outre, la dimension des côtés des portions 118 et 119 peut être égale à 80 µm. La fréquence de résonance d’un résonateur mécanique 101 dont les différentes portions de matériau sont réalisées selon les dimensions indiquées ci-dessus peut être par exemple égale à 22 kHz. Afin de maximiser l’amplitude de déplacement du résonateur mécanique 101 lors d’une détection de gaz, celui-ci peut être réalisé tel que sa fréquence de résonance corresponde à la fréquence correspondant à la durée de relaxation thermique du gaz cible destiné à être détecté par le dispositif 100. Par exemple, la durée de relaxation thermique du méthane (CH 4 ) dilué dans de l’azote est égale à 11 µs, ce qui correspond à l’obtention d’une pression acoustique maximale à une fréquence d’environ 20 kHz. Dans ce cas, les exemples de dimensions précédemment mentionnés peuvent être considérés comme bien adaptés pour la réalisation d’un résonateur mécanique 101 destiné à la détection d’un tel gaz. En outre, la force photoacoustique, notée F Pa , obtenue est proportionnelle à la surface de la première partie 102 du résonateur mécanique 101 qui est exposée aux ondes acoustiques et peut être approximée par l’équation suivante : avec S 102 correspondant à la surface de la première partie 102 du résonateur mécanique 101 qui est exposée aux ondes acoustiques, Δp correspondant à différence de pression entre les deux faces de la membrane formée par la première portion de matériau 106, et Φ correspondant à la fonction de forme qui décrit la déformation du résonateur mécanique 101. Le rapport signal/bruit (RSB) du dispositif 100 calculé en tenant compte uniquement de la fluctuation thermique peut être approximé par l'équation suivante : avec k b , T , Δf correspondant respectivement à la constante de Boltzmann, la température et la largeur de bande des fréquences détectées par le dispositif 100. Pour augmenter le RSB du dispositif 100, il est donc favorable d'augmenter la surface S 102 de la première partie 102 du résonateur mécanique 101, de diminuer la fréquence de résonance Ω n et de réduire la masse effective m eff du résonateur mécanique 101. La diminution de la masse effective m eff du résonateur mécanique 101 peut être obtenue en amincissant les différentes portions de matériau du résonateur mécanique 101 (avec par exemple une épaisseur h1 Dans l’exemple de réalisation décrit ci-dessus, les deuxièmes portions de matériau 109 du résonateur mécanique 101 sont couplées mécaniquement entre elles, dans chaque groupe de deuxièmes portions de matériau 109, par une seule quatrième portion de matériau 114 reliant entre elles les extrémités des deuxièmes parties 110 des deuxièmes portions de matériau. Dans une variante de réalisation représentée sur la FIG. 3 , le résonateur mécanique 101 peut comporter, pour chaque groupe de deuxièmes portions de matériau 109, plusieurs quatrièmes portions 114 reliant mécaniquement entre elles les deuxièmes portions de matériau 109. Sur l’exemple de réalisation représenté sur la FIG. 3 , pour chaque groupe de deuxièmes portions de matériau 109, les quatrièmes portions 114 sont réparties sur au moins une partie de la longueur des deuxièmes portions de matériau 109. Cette variante de réalisation a pour avantage d’augmenter la rigidité de la deuxième partie 104 du résonateur mécanique 101 et également la capacité nominale formée entre la deuxième partie 104 du résonateur mécanique 101 et la couche de maintien mécanique 116. Dans un deuxième mode de réalisation du dispositif 100, le résonateur mécanique 101 peut être tel que sa deuxième partie 104 comporte une deuxième portion de matériau 109 en forme de couronne couplée mécaniquement à la première portion de matériau 106 (qui forme par exemple une membrane mobile, comme dans le premier mode de réalisation) et qui est apte à se déplacer sous l’effet d’une énergie transmise depuis la première portion de matériau 106 jusqu’à la deuxième partie 104. Sur l’exemple de la FIG. 4 , la deuxième portion de matériau 109 forme deux couronnes concentriques reliées mécaniquement entre elles par des bras de maintien. En outre, dans ce deuxième mode de réalisation, les parois 126 disposées au niveau des jonctions entre les première et deuxième parties 102, 104 du résonateur mécanique 101 a également une forme de couronne qui, dans cet exemple, est concentrique à celles formées par la deuxième portion de matériau 109. Les différents éléments du résonateur mécanique 101 peuvent être tels que l’amplitude de déplacement de la première portion de matériau 106, W 106 , soit très faible par rapport à celle des deuxième portions de matériau 109 W 109 , c’est-à-dire telles que W 106 W 109 . Par exemple, ces amplitudes de déplacement peuvent être telles que W 106 W 109 , ou de préférence W 106 W 109 , ou de préférence W 106 W 109 . Dans les différents exemples et modes de réalisation, les dimensions de la ou des deuxièmes portions de matériau 109 sont telles que ses dimensions dans le plan (X,Y) sont beaucoup plus importantes que son épaisseur (dimension selon l’axe Z) afin d’obtenir une mobilité lors du mouvement de la première portion de matériau 106. Des résonateurs mécaniques 101 de configuration et/ou de forme différente de ceux précédemment décrits sont possibles. Dans une variante pouvant s’appliquer aux différents modes de réalisation du dispositif 100, le dispositif 100 peut comporter en outre un résonateur acoustique 130 solidaire de la face arrière 121 du support 115. Le résonateur acoustique 130 comporte une entrée 132 configurée pour recevoir le ou les faisceaux lumineux destinés à être émis par la source lumineuse 120 et au moins une sortie 134 débouchant en regard de l’ouverture 122. La FIG. 5 représente schématiquement une vue en coupe d’une partie d’un exemple de réalisation du résonateur acoustique 130, et la FIG. 6 représente schématiquement un exemple de réalisation du dispositif 100 comprenant un tel résonateur acoustique 130. Sur l’exemple de la FIG. 5 , le résonateur acoustique 130 a une forme de « T ». Dans un tel résonateur acoustique, une onde stationnaire est créée dans la partie creuse de plus grande dimension de ce résonateur 130 et qui forme l’entrée 132. La partie de plus petite longueur et formant la sortie 134 est disposée en regard de l’ouverture 122. Sur l’exemple de la FIG. 5 , la partie creuse de plus grande dimension comporte l’extrémité opposée à l’entrée 132 qui est également ouverte. Une longueur L mR de la partie creuse de plus grande longueur du résonateur acoustique 130 peut être choisie de manière à être en accord avec la fréquence de résonance du résonateur mécanique 101. Le rayon R mR de la partie creuse de plus grande longueur peut être choisi en fonction des dimensions du ou des faisceaux lumineux destinés à être émis par la source lumineuse 120. La longueur t 0 de la partie creuse de plus petite longueur et formant la sortie 134 est par exemple égale à 0,5 mm et son rayon r 0 est par exemple égal à 0,25 mm. Le résonateur acoustique 130 peut être configuré tel que la longueur effective L eff de sa partie creuse de plus grande longueur soit égale à : avec c correspondant à la vitesse du son, f mR correspondant à la fréquence de résonance du résonateur acoustique 130, S et S S correspondant aux surfaces, en coupe transversale, des parties creuses de plus grande longueur et de plus petite longueur respectivement, et t eff correspondant à la longueur effective de la partie creuse de plus petite longueur. Le résonateur acoustique 130 permet d’augmenter la force photoacoustique obtenue grâce au confinement des ondes acoustiques dans le résonateur 130. L’utilisation d’un tel résonateur acoustique 130 autorise de réduire les dimensions de la première partie 102 du résonateur mécanique 101, ce qui réduit la masse effective du résonateur mécanique 101 et, par conséquent, augmente la susceptibilité mécanique du résonateur mécanique 101 ainsi que la sensibilité du dispositif 100. En outre, le résonateur acoustique 130 permet d'utiliser des faisceaux laser à grande divergence et empêche l'excitation thermique du résonateur mécanique 101. Pour optimiser la force photoacoustique, le résonateur acoustique 130 peut être conçu de manière à ce que sa fréquence de résonance corresponde à celle du résonateur mécanique 101. Un exemple de procédé de réalisation du dispositif 100 est décrit ci-dessous en lien avec les figures 7 à 10. Dans cet exemple, le dispositif 100 est réalisé à partir d’un substrat SOI destiné à servir à la réalisation du résonateur mécanique 101 et du support 115 de ce résonateur mécanique 101. A titre d’exemple, le substrat SOI peut comporter une couche superficielle 136 de silicium d’épaisseur égale à 250 µm, un BOX 138 de SiO 2 d’épaisseur égale à 0,5 µm, et une couche support de silicium d’épaisseur égale à plusieurs centaines de microns. Une lithographie et une gravure sont mises en œuvre à travers la couche support du substrat SOI destinée à former la couche de maintien mécanique 116 du dispositif 100, formant ainsi l’ouverture 122 (voir FIG. 7 ). Par exemple, cette gravure peut correspondre à une gravure humide pouvant être mise en œuvre avec une solution de KOH, ou peut correspondre à une gravure ionique réactive profonde, ou DRIE (« Deep Reactive Ion Etching » en anglais). Des étapes de lithographie et gravure de la couche superficielle 136 sont ensuite mises en œuvre afin de conserver au moins une partie de la couche superficielle 136 destinée à servir à la réalisation du résonateur mécanique 101, des parois 126 et des portions d’ancrage 119 (voir FIG. 8 ). Une gravure localisée de la portion restante de la couche superficielle est ensuite mise en œuvre afin de former les différentes parties 102, 104 du résonateur mécanique 101, les parois 126 et les portions d’ancrage 119 (voir FIG. 9 ). Par exemple, cette gravure peut correspondre à gravure DRIE. Une gravure d’une partie du BOX 138 du substrat est ensuite mise en œuvre afin que les portions restantes du BOX 138 correspondent notamment aux cinquième portions de matériau 118 précédemment décrites formant les liaisons entre la couche de maintien mécanique 116 et le résonateur mécanique 101 et les portions d’ancrage 119 (voir FIG. 10 ). Par exemple, cette gravure peut correspondre à une gravure humide ou en phase vapeur pouvant être mise en œuvre avec une solution de HF. Le capot 124 est ensuite réalisé dans un environnement sous vide afin que la deuxième partie 104 du résonateur mécanique 101 se retrouve disposé dans un environnement sous vide. Des connexions électriques étanches au vide peuvent ensuite être réalisées entre la face arrière 121 du support 115 et les portions d’ancrage 119 avec les parois 126. Ces connexions électriques du dispositif 100 peuvent être réalisées par la mise en œuvre d’une gravure localisée et d’une métallisation. Par exemple, il est possible de déposer une couche de SiO 2 du côté de la face du support 115 où se trouve le résonateur mécanique 101, puis de mettre en œuvre une lithographie et une gravure de ce SiO 2 avant la réalisation du capot 124. Après que le capot 124 soit réalisé, une gravure localisé aux emplacements souhaités pour les contacts peut être réalisée, puis les contacts sont achevés par une métallisation dans les emplacements souhaités. Le support et le résonateur (poignée du SOI) sont tous deux connectés électriquement. Le système fonctionne également si l'un des deux n'est pas connecté électriquement. Si nous avons les deux connexions, une électrode sera connectée à la polarisation et l'autre à la masse. En outre, la source lumineuse 120 est isolée électriquement du capteur. La source lumineuse 120 et éventuellement le résonateur acoustique 130 peuvent être mis en place au niveau de la face arrière 121 du support 115. Le dispositif 100 obtenu peut correspondre à celui visible sur la FIG. 1 . De manière plus générale que l’exemple de procédé de réalisation décrit ci-dessus, le dispositif 100 peut être réalisé en mettant en œuvre les étapes suivantes : - réalisation d’au moins un résonateur mécanique 101 doté d’une première partie 102 de détection d’ondes acoustiques et d’une deuxième partie 104 de transduction des ondes acoustiques détectées en au moins un signal de transduction, la première partie 102 du résonateur mécanique 101 étant disposée dans un premier environnement dans lequel les ondes acoustiques sont destinées à se propager ; - réalisation d’un deuxième environnement sous vide, distinct du premier environnement et dans lequel la deuxième partie 104 du résonateur mécanique 101 est disposée. Le dispositif 100 tel que décrit précédemment forme un capteur résonant de type MEMS (« Micro-Electro-Mechanical System » en anglais, ou microsystème électromécanique) ou NEMS (« Nano-Electro-Machanical System » en anglais, ou nanosystème électromécanique) utilisé en spectroscopie photoacoustique, en particulier pour de la spectrométrie gazeuse, avec une transduction de mouvement sous vide. Le dispositif 100 peut notamment former un capteur de gaz photoacoustique intégré, peu encombrant, réalisé par exemple en technologie VLSI (« Very Large Scale Integration », ou intégration à très grande échelle) dont la transduction, par exemple capacitive, du signal est mise en œuvre sous vide. Du fait que la deuxième partie 104 du résonateur mécanique 101 réalise la transduction dans un environnement sous vide, l’amortissement visqueux est très fortement réduit par rapport à une transduction qui n’est pas réalisée sous vide, voire supprimé, et également grâce à la présence des parois 126. Cela se traduit par un facteur de qualité du résonateur mécanique 101 élevé, et donc une meilleure sensibilité de détection du dispositif de spectroscopie photoacoustique 100. En effet, la sensibilité d’un capteur photoacoustique augmente lorsque sa susceptibilité mécanique et la force photoacoustique à laquelle il est soumis augmentent. La transduction sous vide mise en œuvre dans le dispositif 100 est avantageuse car elle permet d'éviter l'amortissement visqueux qui une source de réduction du facteur de qualité et donc de la susceptibilité mécanique du dispositif 100. Enfin, un avantage apporté par la disposition de la première partie 102 du résonateur mécanique 101 en regard de l’ouverture 122 par laquelle les ondes acoustiques passent avant d’atteindre la première partie 102 est une réduction supplémentaire de l’amortissement visqueux du résonateur mécanique 101. Le dispositif 100 peut être capable de détecter de faibles concentrations de gaz, et peut être peu sensible au bruit (grâce à l’important facteur de qualité obtenu), compact et intégré. Dans les exemples et modes de réalisation décrits ci-dessus, la deuxième partie 104 du résonateur mécanique 101 est configurée pour réaliser une transduction capacitive des ondes acoustiques détectées par la première partie 102 du résonateur mécanique 101. En variante, la deuxième partie 104 du résonateur mécanique 101 pourrait être configurée pour mettre en œuvre un autre type de transduction, par exemple piézorésistive, piézoélectrique, optomécanique, etc. Le signal de transduction délivré par la deuxième partie 104 du résonateur mécanique 101 peut correspondre par exemple à un signal de transduction de nature électrique ou optique. Dans ce cas, le résonateur mécanique 101 peut être pourvue d’éléments de transduction adaptés pour mettre en œuvre une telle transduction. Plusieurs exemples d’applications du dispositif 100 sont donnés ci-dessous. Par exemple, dans le domaine de l’industrie, le dispositif 100 peut être utilisé pour la surveillance des émissions de gaz toxiques, la protection des travailleurs contre les gaz toxiques et la détection des fuites dans les pipelines ou dans le domaine de la pétrochimie. Le dispositif 100 peut par exemple être configuré pour détecter au moins l’un des gaz suivants : H 2 S, SO 2 , NO, HF. Selon un autre exemple d’application, le dispositif 100 peut être utilisé pour la surveillance de la qualité de l'air, par exemple pour la surveillance d’émission de gaz à effet de serre et/ou dans le domaine automobile. Le dispositif 100 peut par exemple être configuré pour détecter au moins l’un des gaz suivants : CO 2 , CH 4 . Selon un autre exemple d’application, le dispositif 100 peut être utilisé dans le domaine de la sécurité et de la défense, par exemple pour la surveillance et/ou la détection de substances explosives et/ou toxiques. Le dispositif 100 peut par exemple être configuré pour détecter au moins l’un des gaz suivants : CH 4 , NO, Sarin, CO. Selon un autre exemple d’application, le dispositif 100 peut être utilisé dans le domaine médical, par exemple pour la détection non invasive de pathologies basées sur l'analyse de l'haleine. Dans ce cas, le dispositif 100 peut par exemple être configuré pour détecter au moins l’un des gaz suivants : C 2 H 4 (en ppb), CH 4 (en ppm), CO (en ppm), NO (en ppb), acétone (en ppb). Selon un autre exemple, le dispositif 100 peut servir à la détection de marqueurs de certaines maladies comme la COVID 19. Dans ce cas, le dispositif 100 peut par exemple être configuré pour détecter au moins l’un des gaz suivants : O 3 , NH 3 . Selon un autre exemple d’application, le dispositif 100 peut être utilisé dans le domaine des sciences de la vie, par exemple pour la détection d’incubateurs de micro-organismes (détection de CO 2 ), l’analyse de solides (détection de CH 4 et/ou de CO 2 ), la botanique (détection de C 2 H 4 ), l’émission de gaz en milieu naturel (détection de CH 4 ). D’autres exemples d’application du dispositif 100 sont envisageables, comme la conservation des aliments et des boissons et contrôle de la qualité (détection de C 2 H 4 ), l’intégration dans les téléphones mobiles et autres objets portés sur soi à des fins multiples (par exemple à des fins de sécurité personnelle), etc. Le dispositif 100 peut également être configuré pour détecter des gaz autres que ceux précédemment mentionnés. Divers modes de réalisation et variantes ont été décrits. La personne du métier comprendra que certaines caractéristiques de ces divers modes de réalisation et variantes pourraient être combinées, et d’autres variantes apparaîtront à la personne du métier. Enfin, la mise en œuvre pratique des modes de réalisation et variantes décrits est à la portée de la personne du métier à partir des indications fonctionnelles données ci-dessus. Dispositif de spectroscopie photoacoustique (100) comprenant au moins un résonateur mécanique (101) doté d’une première partie (102) de détection d’ondes acoustiques et d’une deuxième partie (104) de transduction des ondes acoustiques détectées par la première partie (102) du résonateur mécanique (101) en au moins un signal de transduction, la première partie (102) du résonateur mécanique (101) étant disposée dans un premier environnement dans lequel les ondes acoustiques sont destinées à se propager, et la deuxième partie (104) du résonateur mécanique (101) étant disposée dans un deuxième environnement sous vide et distinct du premier environnement. Dispositif de spectroscopie photoacoustique (100) selon la revendication 1, dans lequel : - la première partie (102) du résonateur mécanique (101) comporte une première portion de matériau (106) configurée pour être mise en mouvement par les ondes acoustiques et une première partie (108) d’au moins une deuxième portion de matériau (109) dont au moins une première extrémité est couplée mécaniquement à la première portion de matériau (106), et - la deuxième partie (104) du résonateur mécanique (101) comporte une deuxième partie (110) de la deuxième portion de matériau (109) dont au moins une deuxième extrémité est apte à se déplacer sous l’effet d’une énergie transmise depuis la première portion de matériau (106). Dispositif de spectroscopie photoacoustique (100) selon la revendication 2, dans lequel le résonateur mécanique (101) comprend plusieurs deuxièmes portions de matériau (109) s’étendant autour de la première portion de matériau (106). Dispositif de spectroscopie photoacoustique (100) selon la revendication 3, dans lequel le résonateur mécanique (101) comprend plusieurs groupes de deuxièmes portions de matériau (109) dans chacun desquels lesdites deuxièmes portions de matériau (109) sont couplées mécaniquement entre elles. Dispositif de spectroscopie photoacoustique (100) selon la revendication 4, dans lequel, dans chaque groupe, les deuxièmes portions de matériau (109) sont couplées mécaniquement entre elles au moins par une troisième portion de matériau (112) disposée aux jonctions des premières et deuxièmes parties (108, 110) de chacune des deuxièmes portions de matériau (109). Dispositif de spectroscopie photoacoustique (100) selon la revendication 5, dans lequel, dans chaque groupe, les deuxièmes parties (110) des deuxièmes portions de matériau (109) sont couplées mécaniquement entre elles par au moins une quatrième portion de matériau (114) disposée dans le deuxième environnement sous vide. Dispositif de spectroscopie photoacoustique (100) selon la revendication 6, dans lequel : dans chaque groupe, les deuxièmes portions de matériau (109) forment des poutres droites disposées parallèlement les unes à côté des autres ; la quatrième portion de matériau (114) forme une portion longitudinale s’étendant perpendiculairement aux deuxièmes portions de matériau (109). Dispositif de spectroscopie photoacoustique (100) selon la revendication 1, dans lequel : - la première partie (102) du résonateur mécanique (101) comporte une première portion de matériau (106) configurée pour être mise en mouvement par les ondes acoustiques, et - la deuxième partie (104) du résonateur mécanique (101) comporte au moins une deuxième portion de matériau (109) en forme de couronne couplée mécaniquement à la première portion de matériau (106) et apte à se déplacer sous l’effet d’une énergie transmise depuis la première portion de matériau (106). Dispositif de spectroscopie photoacoustique (100) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les première et deuxième parties (102, 104) du résonateur mécanique (101) correspondent à des parties d’une même couche de matériau. Dispositif de spectroscopie photoacoustique (100) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le deuxième environnement est délimité par au moins un capot (124) et des parois (126) disposées au niveau d’au moins une jonction entre les première et deuxième parties (102, 104) du résonateur mécanique (101) et reposant sur une première face d’un support (115). Dispositif de spectroscopie photoacoustique (100) selon la revendication 10, dans lequel le support (115) comporte au moins une couche de matériau (116, 118) et au moins une ouverture (122) traversant ladite couche de matériau (116, 118) et débouchant en regard de la première partie (102) du résonateur mécanique (101). Dispositif de spectroscopie photoacoustique (100) selon la revendication 11, comportant en outre au moins une source lumineuse (120) solidaire d’une deuxième face (121), opposée à la première face, du support (115), et configurée telle qu’un faisceau lumineux modulé destiné à être émis par la source lumineuse (120) passe en regard de l’ouverture (122). Dispositif de spectroscopie photoacoustique (100) selon la revendication 12, comportant en outre un résonateur acoustique (130) solidaire de la deuxième face (121) du support (115) et comprenant au moins une entrée (132) configurée pour recevoir le faisceau lumineux et au moins une sortie (134) débouchant en regard de l’ouverture (122) du support (115). Dispositif de spectroscopie photoacoustique (100) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la deuxième partie (104) du résonateur mécanique (101) est configurée pour réaliser une transduction capacitive des ondes acoustiques détectées. Procédé de réalisation d’un dispositif de spectroscopie photoacoustique (100), comprenant au moins les étapes suivantes : réalisation d’au moins un résonateur mécanique (101) doté d’une première partie (102) de détection d’ondes acoustiques et d’une deuxième partie (104) de transduction des ondes acoustiques détectées en au moins un signal de transduction, la première partie (102) du résonateur mécanique (101) étant disposée dans un premier environnement dans lequel les ondes acoustiques sont destinées à se propager ; réalisation d’un deuxième environnement sous vide, distinct du premier environnement et dans lequel la deuxième partie (104) du résonateur mécanique (101) est disposée.