Brevet FR3159876A1 — publié le 20250905

Dispositif d’imagerie et son procédé de fabrication Le dispositif d’imagerie comporte une pluralité de photodiodes, une couche de filtres de couleur et une couche de méta-surface. La couche de filtres de couleur se trouve au-dessus de la pluralité de photodiodes, la couche de filtres de couleur comprenant un filtre bleu, un filtre rouge, un premier filtre vert et un deuxième filtre vert. La couche de méta-surface se trouve au-dessus de la couche de filtres de couleur et comporte une première unité de pixel, la première unité de pixel comportant une région bleue au-dessus du filtre bleu, une région rouge au-dessus du filtre rouge, une première région verte au-dessus du premier filtre vert et une deuxième région verte au-dessus du deuxième filtre vert. La première région verte comporte un premier nano-poteau central décalé par rapport au centre de la première région verte d’un premier décalage longitudinal dans une direction d’un axe Y et d’un premier décalage horizontal dans une direction d’un axe X du premier nano-poteau central en vue de dessus. Dispositif d’imagerie et son procédé de fabrication La présente description concerne un dispositif d’imagerie et un procédé de fabrication du dispositif d’imagerie. Dans un capteur d'image à semiconducteur à oxyde métallique complémentaire (CMOS) (également appelé CIS), un composant récepteur, tel qu'une couche de microlentille ou une couche de méta-surface, peut avoir pour fonction de recevoir et de séparer une lumière incidente comprenant différentes longueurs d'onde avec différentes couleurs. Une couche de filtres de couleur peut être disposée sous le composant récepteur et agit comme un absorbeur pour absorber la lumière avec une bande de longueurs d'onde particulière avant que la lumière ne se propage dans des photodiodes. L'acheminement de la couleur de la lumière dans le dispositif d’imagerie affecte également les performances du dispositif d’imagerie. Cependant, le motif des filtres de couleur dans la couche de filtres de couleur et la conception de la couche de méta-surface, par exemple l’agencement et les formes des nanostructures dans la couche de méta-surface, peuvent avoir un impact sur l'acheminement de la couleur de la lumière. Il existe donc un besoin de concevoir la couche de méta-surface pour accroître les performances du dispositif d’imagerie. Un aspect de la présente description est de prévoir un dispositif d’imagerie. Le dispositif d’imagerie comporte une pluralité de photodiodes, une couche de filtres de couleur et une couche de méta-surface. La couche de filtres de couleur se trouve au-dessus de la pluralité de photodiodes, la couche de filtres de couleur comportant un filtre bleu, un filtre rouge, un premier filtre vert et un deuxième filtre vert. La couche de méta-surface se trouve au-dessus de la couche de filtres de couleur et comporte une première unité de pixel, la première unité de pixel comportant une région bleue au-dessus du filtre bleu, une région rouge au-dessus du filtre rouge, une première région verte au-dessus du premier filtre vert et une deuxième région verte au-dessus du deuxième filtre vert. La première région verte comporte un premier nano-poteau central décalé par rapport à un centre de la première région verte d’un premier décalage longitudinal dans la direction d’un axe Y et d’un premier décalage horizontal dans la direction d’un axe X du premier nano-poteau central en vue de dessus. La deuxième région verte comporte un deuxième nano-poteau central décalé par rapport à un centre de la deuxième région verte d’un deuxième décalage longitudinal dans la direction de l’axe Y et d’un deuxième décalage horizontal dans la direction de l'axe X du deuxième nano-poteau central en vue de dessus. Dans certains modes de réalisation, le premier décalage longitudinal et le premier décalage horizontal sont déterminés en fonction d'un angle d'incidence et d'un angle azimutal de la première région verte. L'angle d'incidence de la première région verte est compris entre une première lumière incidente sur une surface supérieure de la première région verte et une ligne normale à la surface supérieure de la première région verte. L'angle azimutal de la première région verte est compris entre un axe horizontal de la couche de méta-surface qui passe par un centre de la couche de méta-surface et une première ligne de connexion entre le centre de la première région verte et le centre de la couche de méta-surface. Dans certains modes de réalisation, la couche de méta-surface comporte en outre une deuxième unité de pixel, dans laquelle la deuxième unité de pixel comporte une troisième région verte, la troisième région verte comporte un troisième nano-poteau central décalé par rapport à un centre de la troisième région verte d’un troisième décalage longitudinal dans la direction de l'axe Y et d’un troisième décalage horizontal dans la direction de l'axe X du troisième nano-poteau central en vue de dessus, dans lequel le troisième décalage longitudinal et le troisième décalage horizontal sont déterminés en fonction d'un angle d'incidence et d'un angle azimutal de la troisième région verte. L'angle d'incidence de la troisième région verte est compris entre une deuxième lumière incidente sur une surface supérieure de la troisième région verte et une ligne normale à la surface supérieure de la troisième région verte. L'angle azimutal de la troisième région verte est compris entre l'axe horizontal de la couche de méta-surface qui passe par le centre de la couche de méta-surface et une deuxième ligne de connexion entre le centre de la troisième région verte et le centre de la couche de méta-surface. Le premier décalage longitudinal du premier nano-poteau central et le troisième décalage longitudinal du troisième nano-poteau central satisfont à l'équation suivante : dans laquelle θ est l'angle d'incidence de la première région verte et θ n'est pas égal à 0 degré, ∅ est l'angle azimutal de la première région verte, est le premier décalage longitudinal du premier nano-poteau central, est l'angle d'incidence de la troisième région verte et n'est pas égal à 0 degré, est l'angle azimutal de la troisième région verte, est le troisième décalage longitudinal du troisième nano-poteau central, ∆θ est une première différence entre l'angle d'incidence de la première région verte et l'angle d'incidence de la troisième région verte, ∆∅ est une deuxième différence entre l'angle azimutal de la première région verte et l'angle azimutal de la troisième région verte. Dans certains modes de réalisation, le premier décalage horizontal du premier nano-poteau central et le troisième décalage horizontal du troisième nano-poteau central satisfont à l'équation suivante : dans laquelle est le premier décalage horizontal du premier nano-poteau central, et est le troisième décalage horizontal du troisième nano-poteau central. Dans certains modes de réalisation, un bord de la première région verte est décalé par rapport à un bord correspondant du premier filtre vert d’une distance de décalage de la première région verte, la couche de filtres de couleur comprend un troisième filtre vert adjacent au premier filtre vert, la troisième région verte est au-dessus du troisième filtre vert, et un bord de la troisième région verte est décalé par rapport à un bord correspondant du troisième filtre vert d’une distance de décalage de la troisième région verte. La distance de décalage de la première région verte et la distance de décalage de la troisième région verte satisfont à l'équation suivante : dans laquelle est la distance de décalage de la première région verte, et est la distance de décalage de la troisième région verte. Dans certains modes de réalisation, la distance de décalage de la première région verte est comprise entre 0 et 300 nm, θ est supérieur à 0 degré et ≤ 35 degrés, et ∅ est compris entre 0 et 360 degrés. Dans certains modes de réalisation, la couche de méta-surface comprend en outre une pluralité de nano-poteaux périphériques, et les nano-poteaux périphériques sont situés aux coins de la région bleue, de la région rouge, de la première région verte et de la deuxième région verte. Dans certains modes de réalisation, le premier décalage longitudinal du premier nano-poteau central est dans la plage des 1/5 d'une dimension du premier filtre vert, et le premier décalage horizontal du premier nano-poteau central est dans la plage des 1/5 de la dimension du premier filtre vert. Dans certains modes de réalisation, le premier décalage longitudinal et le premier décalage horizontal comprennent des décalages positifs. Le deuxième décalage longitudinal et le deuxième décalage horizontal comprennent des décalages positifs. Le décalage positif du premier décalage longitudinal est défini par un décalage de la première région verte vers la région rouge, et le décalage positif du premier décalage horizontal est défini par un décalage de la première région verte vers la région bleue. Le décalage positif du deuxième décalage longitudinal est défini par un décalage de la deuxième région verte vers la région bleue, et le décalage positif du deuxième décalage horizontal est défini par un décalage de la deuxième région verte vers la région rouge. Dans certains modes de réalisation, le premier décalage longitudinal et le premier décalage horizontal comprennent des décalages négatifs. Le deuxième décalage longitudinal et le deuxième décalage horizontal comprennent des décalages négatifs. Le décalage négatif du premier décalage longitudinal est défini par un décalage de la première région verte qui l'éloigne de la région rouge, et le décalage négatif du premier décalage horizontal est défini par un décalage de la première région verte qui l'éloigne de la région bleue. Le décalage négatif du deuxième décalage longitudinal est défini par un décalage de la deuxième région verte qui l'éloigne de la région bleue, et le décalage négatif du deuxième décalage horizontal est défini par un décalage de la deuxième région verte qui l'éloigne de la région rouge. Dans certains modes de réalisation, la couche de méta-surface comprend en outre un matériau de remplissage, le matériau de remplissage entourant latéralement le premier nano-poteau central et le deuxième nano-poteau central, dans lequel l'indice de réfraction du matériau de remplissage est compris entre 1,0 et 1,6. Dans certains modes de réalisation, le dispositif d’imagerie comprend en outre une couche diélectrique, et la couche diélectrique est disposée entre la couche de filtres de couleur et le filtre bleu, le filtre rouge, le premier filtre vert, et le deuxième filtre vert. Dans certains modes de réalisation, une dimension de chacune de la région bleue, de la région rouge, de la première région verte et de la deuxième région verte est comprise entre 400 nm et 700 nm. L'indice de réfraction du premier nano-poteau central est compris entre 1,8 et 3,5. Un aspect de la présente description est de prévoir un procédé de fabrication d'un dispositif d’imagerie. Le procédé comporte les étapes qui suivent. Une pluralité de photodiodes est prévue. Une couche de filtres de couleur est formée au-dessus de la pluralité de photodiodes, la couche de filtres de couleur comportant un filtre bleu, un filtre rouge, un premier filtre vert et un deuxième filtre vert. Une couche de méta-surface est formée au-dessus de la couche de filtres de couleur, la couche de méta-surface comportant une première unité de pixel, la première unité de pixel comprenant une région bleue au-dessus du filtre bleu, une région rouge au-dessus du filtre rouge, une première région verte au-dessus du premier filtre vert et une deuxième région verte au-dessus du deuxième filtre vert, la première région verte comportant un premier nano-poteau central et la deuxième région verte comportant un deuxième nano-poteau central. La formation de la couche de méta-surface comporte les étapes suivantes : la formation du premier nano-poteau central décalé par rapport à un centre de la première région verte d'un premier décalage longitudinal dans la direction de l'axe Y et d’un premier décalage horizontal dans la direction de l'axe X du premier nano-poteau central en vue de dessus ; et la formation du deuxième nano-poteau central décalé par rapport à un centre de la deuxième région verte d'un deuxième décalage longitudinal dans la direction de l'axe Y et d’un deuxième décalage horizontal dans la direction de l'axe X du deuxième nano-poteau central en vue de dessus. Dans certains modes de réalisation, le premier décalage longitudinal et le premier décalage horizontal sont déterminés en fonction d'un angle d'incidence et d'un angle azimutal de la première région verte. L'angle d'incidence de la première région verte est compris entre une première lumière incidente sur une surface supérieure de la première région verte et une ligne normale à la surface supérieure de la première région verte. L'angle azimutal de la première région verte est compris entre un axe horizontal de la couche de méta-surface qui passe par un centre de la couche de méta-surface et une première ligne de connexion entre le centre de la première région verte et le centre de la couche de méta-surface. Dans certains modes de réalisation, la formation de la couche de méta-surface comporte en outre la formation d'une pluralité de nano-poteaux périphériques aux coins de la région bleue, de la région rouge, de la première région verte et de la deuxième région verte. Dans certains modes de réalisation, la formation de la couche de méta-surface comporte en outre la formation d'un matériau de remplissage entourant latéralement les nano-poteaux périphériques, le premier nano-poteau central et le deuxième nano-poteau central. Dans certains modes de réalisation, le procédé de fabrication du dispositif d’imagerie comporte en outre la formation d'une couche diélectrique disposée entre la couche de filtres de couleur et le filtre bleu, le filtre rouge, le premier filtre vert et le deuxième filtre vert. Dans certains modes de réalisation, le premier décalage longitudinal et le premier décalage horizontal comportent des décalages positifs. Le deuxième décalage longitudinal et le deuxième décalage horizontal comprennent des décalages positifs. Le décalage positif du premier décalage longitudinal est défini par un décalage de la première région verte vers la région rouge, et le décalage positif du premier décalage horizontal est défini par un décalage de la première région verte vers la région bleue. Le décalage positif du deuxième décalage longitudinal est défini par un décalage de la deuxième région verte vers la région bleue, et le décalage positif du deuxième décalage horizontal est défini par un décalage de la deuxième région verte vers la région rouge. Dans certains modes de réalisation, le premier décalage longitudinal et le premier décalage horizontal comprennent des décalages négatifs. Le deuxième décalage longitudinal et le deuxième décalage horizontal comprennent des décalages négatifs. Le décalage négatif du premier décalage longitudinal est défini par un décalage de la première région verte qui l'éloigne de la région rouge, et le décalage négatif du premier décalage horizontal est défini par un décalage de la première région verte qui l'éloigne de la région bleue. Le décalage négatif du deuxième décalage longitudinal est défini par un décalage de la deuxième région verte qui l'éloigne de la région bleue, et le décalage négatif du deuxième décalage horizontal est défini par un décalage de la deuxième région verte qui l'éloigne de la région rouge. Des aspects de la présente description seront mieux compris à partir de la description suivante lue avec les figures jointes. On notera que, conformément à la pratique normale dans l'industrie, les différents éléments ne sont pas dessinés à l'échelle. En pratique, les dimensions des différents éléments peuvent être arbitrairement accrues ou réduites par souci de clarté. La FIG. 1 est une vue en perspective d'un dispositif d’imagerie lorsqu'une lumière incidente ne se produit pas en incidence normale, selon certains modes de réalisation de la présente description. La FIG. 2 est une vue de côté d'une partie du dispositif d’imagerie de la FIG. 1 . La FIG. 3 est une vue de dessus d'une couche de méta-surface de la FIG. 1 . La FIG. 4 est une vue de dessus d'une structure d'une couche de méta-surface lorsqu'une lumière incidente se produit en incidence normale selon certains modes de réalisation de la présente description. La FIG. 4 est une vue de dessus d'une structure de la couche de méta-surface de la FIG. 1 . La FIG. 5 est une coordonnée illustrant les définitions des différents paramètres lorsqu'une lumière incidente se produit en incidence normale. La FIG. 5 , la FIG. 5 et la FIG. 5 sont des coordonnées illustrant les définitions de différents paramètres lorsqu'une lumière incidente ne se produit pas en incidence normale. La FIG. 5 est un réseau d'une couche de méta-surface selon certains modes de réalisation de la présente description. La FIG. 5 est un diagramme schématique de points de référence. La figure 6A est une vue de côté d'une partie d'un dispositif d’imagerie sous un angle d'incidence ( ) d'une troisième région verte selon certains modes de réalisation de la présente description. La FIG. 6 est une vue de côté d'une partie d'un dispositif d’imagerie sous un angle d'incidence (θ) d'une première région verte selon certains modes de réalisation de la présente description. La FIG. 7 est une vue de dessus d'une couche de méta-surface selon certains modes de réalisation de la présente description. La description qui suit propose de nombreuses modes de réalisation, ou exemples, pour mettre en œuvre différents éléments de l'objet proposé. Des exemples particuliers de composants et d'agencements sont décrits ci-dessous afin de simplifier la présente description. Bien entendu, il ne s'agit que d'exemples et ils ne sont pas destinés à être limitatifs. Par exemple, la formation d'un premier élément sur ou au-dessus d'un deuxième élément dans la description qui suit peut inclure des modes de réalisation dans lesquels les premier et deuxième éléments sont formés en contact direct, et peut également inclure des modes de réalisation dans lesquels des éléments supplémentaires peuvent être formés entre les premier et deuxième éléments, de sorte que les premier et deuxième éléments peuvent ne pas être en contact direct. De plus, la présente description peut répéter des chiffres et/ou des lettres de référence dans les divers exemples. Cette répétition a pour but de simplifier et de clarifier et n'impose pas en soi une relation entre les différents modes de réalisation et/ou configurations évoqués. On notera que, bien que les termes "premier", "deuxième", etc. puissent être utilisés ici pour décrire divers éléments, ces éléments ne doivent pas être limités par ces termes. Ces termes ne sont utilisés que pour distinguer un élément d'un autre. Par exemple, un "premier élément" peut être appelé "deuxième élément" et, de la même manière, un "deuxième élément" peut être appelé "premier élément", sans s'écarter du champ d'application des modes de réalisation. Tel qu'utilisé ici, le terme "et/ou" comprend toutes les combinaisons d'un ou de plusieurs des éléments énumérés associés. En outre, des termes relatifs à l'espace, tels que "sous", "en dessous", "inférieur", "au-dessus", "supérieur" et autres, peuvent être utilisés ici pour faciliter la description de la relation d'un élément ou d'une caractéristique avec un(d’) autre(s) élément(s) ou une(d’) autre(s) caractéristique(s), comme illustré dans les figures. Les termes relatifs à l'espace sont destinés à englober différentes orientations de l'appareil en cours d'utilisation ou de fonctionnement, en plus de l'orientation représentée sur les figures. L'appareil peut être orienté différemment (tourné de 90 degrés ou dans d'autres orientations) et les descripteurs spatiaux relatifs utilisés ici peuvent également être interprétés en conséquence. Dans la présente description, les termes "environ", "approximativement" et "substantiellement" signifient préférentiellement ± 20% de la valeur indiquée, plus préférentiellement ± 10% de la valeur indiquée, plus préférentiellement ± 5% de la valeur indiquée, plus préférentiellement ± 3% de la valeur indiquée, plus préférentiellement ± 2% de la valeur indiquée, plus préférentiellement ± 1% de la valeur indiquée et encore plus préférentiellement ± 0,5% de la valeur indiquée. La valeur indiquée dans la présente description est une valeur approximative. En réponse à la réduction constante de la taille des pixels, la réception de la lumière par chaque pixel (qui peut être défini par différents filtres de couleur) et l'uniformité de la réception de la lumière entre différents pixels sont devenues des questions d'une importance cruciale. Si la réception de la lumière entre différents pixels est déséquilibrée, un dispositif d’imagerie subira des variations de couleur et entraînera une efficacité quantique (QE) insuffisante entre différents pixels, ce qui diminuera les performances du dispositif d’imagerie. De plus, l'angle d'incidence d'une lumière incidente a également un impact sur l'efficacité quantique du dispositif d’imagerie. Ci-après, plusieurs modes de réalisation de la présente invention sont décrits à l'aide des figures jointes. De nombreux détails pratiques sont décrits dans la suite de la description pour plus de clarté. Toutefois, on notera que ces détails pratiques ne doivent pas être utilisés pour limiter la présente invention. C'est-à-dire que, dans certains modes de réalisation de la présente invention, ces détails pratiques ne sont pas nécessaires. De plus, afin de simplifier les figures, certaines structures et certains éléments conventionnels seront représentés dans les figures d'une manière schématique simplifiée. Étant donné que la lumière incidente est une combinaison de différentes longueurs d'onde avec différentes couleurs et que les photodiodes du dispositif d’imagerie sont utilisées pour détecter la lumière incidente, il est nécessaire de séparer la lumière incidente à travers une couche de méta-surface et une couche de filtres de couleur avant de transmettre la lumière aux photodiodes. La méta-surface est constituée d'une pluralité de nanostructures (telles que des nano-poteaux ou des piliers) qui forment des distributions de phase particulières, ce qui fournit les distributions de phase requises pour différentes longueurs d'onde. La méta-surface guide différentes longueurs d'onde incidentes vers leurs propres positions cibles, ce qui est également connu sous le nom d'acheminement des couleurs. Les positions cibles représentent ici les différents filtres de couleur dans la couche de filtres de couleur. Par exemple, après ajustement des distributions de phase des longueurs d'onde incidentes, une distribution de phase particulière est transmise à un filtre de couleur rouge laissant passer la lumière rouge, puis la lumière rouge transmise à la (aux) photodiode(s) située(s) sous le filtre de couleur rouge, de sorte qu'un signal électrique de lumière rouge puisse être détecté. Dans ce cas, la distribution de phase particulière pour le filtre de couleur rouge peut être comprise comme étant utilisée pour la lumière rouge. Le dispositif d’imagerie de la présente description considère que différents angles d'incidence de la lumière incidente dans un réseau CMOS affecteraient les efficacités quantiques de différents pixels verts dans une matrice de Bayer. Les positions des nano-poteaux dans la couche de méta-surface de la présente description peuvent être ajustées par les équations décrites, qui sont calculées en fonction des angles d'incidence de la lumière incidente et de l'angle azimutal des nano-poteaux. La couche de méta-surface décrite peut fournir des quantités similaires d'efficacités quantiques entre différents pixels verts dans la matrice de Bayer, évitant ainsi l'apparition d'une séparation des canaux entre différents pixels verts et augmentant les performances du dispositif d’imagerie. La séparation des canaux indique que les efficacités quantiques des photodiodes dans les différents pixels verts sont déséquilibrées. La FIG. 1 est une vue en perspective d'un dispositif d’imagerie 100 lorsqu'une lumière incidente L ne se produit pas en incidence normale, selon certains modes de réalisation de la présente description. En d'autres termes, la lumière incidente L de la FIG. 1 est oblique par rapport à la surface supérieure d'une couche de méta-surface 150. La FIG. 2 est une vue de côté d'une partie du dispositif d’imagerie 100 de la FIG. 1 . Plus précisément, la FIG. 2 illustre essentiellement une demi-partie (telle qu'une région bleue BR et une première région verte GR1, ainsi que leurs composants sous-jacents) du dispositif d’imagerie 100 de la FIG. 1 . La FIG. 3 est une vue de dessus d'une couche de méta-surface de la FIG. 1 . Dans les figures 1 et 2, le dispositif d’imagerie 100 comporte une couche de conversion photoélectrique 110. La couche de conversion photoélectrique 110 comporte un substrat 112, une pluralité d'isolations en tranchée profonde (DTI) 114 et une pluralité de photodiodes 116. Comme cela est illustré dans la FIG. 2 , les DTI 114 et les photodiodes 116 sont intégrées dans le substrat 112, et chacune des photodiodes 116 est disposée entre deux DTI 114. Dans certains modes de réalisation, le substrat 112 peut être une structure unique partagée par toutes les DTI 114 et les photodiodes 116 du dispositif d’imagerie 100. Les DTI 114 sont configurées pour empêcher les interférences lumineuses entre des photodiodes 116 adjacentes. Les photodiodes 116 sont configurées pour capter la lumière incidente L et générer des signaux d'intensité en fonction de l'intensité de la lumière incidente L qui se propage sur elles. Les signaux d'intensité forment les signaux d'image. Dans certains modes de réalisation, le substrat 112 peut être un substrat semiconducteur, un substrat de conversion photoélectrique organique, un substrat semiconducteur sur isolant (SOI) ou un autre substrat approprié. Dans d'autres modes de réalisation, des transistors, des photodiodes, ou similaires, peuvent être formés dans les régions actives (définies par les DTI 114) du substrat 112. Dans certains modes de réalisation, des structures d'isolation supplémentaires peuvent être appliquées comme alternative, telles que des isolations par tranchées peu profondes (STI) et des structures d'oxydation locale du silicium (LOCOS). Dans certains modes de réalisation, les DTI 114 peuvent être formées par un processus de photolithographie. Dans les figures 1 et 2, le dispositif d’imagerie 100 comporte une couche antireflet 120 disposée sur le substrat 112. La couche antireflet 120 est configurée pour diminuer la réflexion de la lumière transmise aux photodiodes sous-jacentes 116. Dans certains modes de réalisation, la couche antireflet 120 peut être constituée d'un matériau comportant de l'oxynitrure de silicium (SiO x N y , où x et y sont compris entre 0 et 1). Dans les figures 1 et 2, le dispositif d’imagerie 100 comporte une couche de filtres de couleur 130 disposée sur la couche antireflet 120. La couche de filtres de couleur 130 comporte une pluralité de filtres de couleur, par exemple un filtre bleu B, un premier filtre vert G1, un deuxième filtre vert G2 et un filtre rouge R. La couche de filtres de couleur 130 est disposée selon une matrice 2x2, visible en vue de dessus. Dans certains modes de réalisation, la couche de filtres de couleur 130 est disposée selon une matrice de Bayer. Comme cela est illustré dans la FIG. 2 , la couche de filtres de couleur 130 comporte en outre une pluralité de structures de grille 132 et une pluralité de structures de protection contre la lumière 135. Les structures de grille 132 sont disposées à côté des filtres de couleur. Par exemple, comme cela est illustré dans la FIG. 2 , les structures de grille 132 sont disposées à côté du filtre bleu B et du premier filtre vert G1. Les structures de grille 132 sont configurées pour isoler la lumière à l'intérieur de l'unité particulière afin de servir de fonction de piégeage de la lumière. Chacune des structures de protection contre la lumière 135 est intégrée dans l'une des structures de grille 132. Les structures de protection contre la lumière 135 sont configurées pour empêcher les photodiodes sous-jacentes 116 de recevoir de la lumière supplémentaire provenant de différentes lumières de couleur dans les composants adjacents. Dans certains modes de réalisation, chaque filtre (tel que le filtre bleu B, le premier filtre vert G1, le deuxième filtre vert G2 et le filtre rouge R) de la couche de filtres de couleur 130 permet à une gamme prédéterminée de longueurs d'onde de la lumière de le traverser. Par exemple, le filtre rouge R permet à des longueurs d'onde de lumière comprises entre environ 620 nm et environ 750 nm (lumière rouge) d'être transmises aux photodiodes correspondantes 116, le premier filtre vert G1 et le deuxième filtre vert G2 permettent à des longueurs d'onde de lumière comprises entre environ 495 nm et environ 570 nm (lumière verte) d'être transmises aux photodiodes correspondantes 116, et le filtre bleu B permet à des longueurs d'onde de lumière comprises entre environ 450 nm et environ 495 nm (lumière bleue) d'être transmises aux photodiodes correspondantes 116. Le premier filtre vert G1 peut être le même que le deuxième filtre vert G2. Dans certains modes de réalisation, la hauteur de la couche de filtres de couleur 130 est comprise entre 0,3 µm et 2,0 µm, par exemple 0,5, 0,9, 1,2, 1,5 ou 1,8 µm. Dans certains modes de réalisation, la hauteur de la structure de grille 132 peut être supérieure ou égale à la hauteur de la structure de protection contre la lumière 135, en fonction des exigences de conception du dispositif d’imagerie 100. Dans certains modes de réalisation, la hauteur de la structure de protection contre la lumière 135 est comprise entre environ 0,005 µm et environ 2,000 µm. Dans certains modes de réalisation, les structures de grille 132 peuvent être constituées d'un matériau comprenant un matériau diélectrique transparent. Dans certains modes de réalisation, les structures de protection contre la lumière 135 peuvent être constituées d'un matériau comportant des métaux opaques tels que le tungstène (W), l'aluminium (Al), un nitrure métallique opaque, un oxyde métallique opaque, d'autres matériaux appropriés ou des combinaisons de ceux-ci. Dans la présente description, un "pixel" est déterminé par un filtre de couleur, et chaque pixel peut correspondre à au moins une photodiode. Plus précisément, dans la vue en coupe transversale de la FIG. 2 , un pixel P1 est déterminé par le filtre bleu B de la couche de filtres de couleur 130 et le pixel P1 correspond à deux photodiodes 116. Les photodiodes 116 sous le filtre bleu B sont disposées selon une matrice 2x2 (telles que des photodiodes quadruples (DPD)). Dans le cas où les photodiodes 116 sont disposées selon la matrice 2x2, le filtre bleu B correspond à quatre photodiodes 116. Comme cela est illustré dans la FIG. 2 , le pixel P1 comporte un pixel gauche P1_a et un pixel droit P1_b, dans lesquels chacun des pixel gauche P1_a et droit P1_b correspond à une seule photodiode 116. De même, dans la vue en coupe transversale de la FIG. 2 , un pixel P2 est déterminé par le premier filtre vert G1 de la couche de filtres de couleur 130 et le pixel P2 correspond à deux photodiodes 116. Les photodiodes 116 sous le premier filtre vert G1 sont disposées selon une matrice 2x2. Comme cela est illustré dans la FIG. 2 , le pixel P2 comporte un pixel gauche P2_a et un pixel droit P2_b, dans lesquels chacun des pixels gauche P2_a et droit P2_b correspond à une seule photodiode 116. On comprendra que chacune des DTI 114 peut servir de limite au pixel gauche P1_a, au pixel droit P1_b, au pixel gauche P2_a ou au pixel droit P2_b. Chacune des structures de grille 132 peut servir de limite à un pixel différent (tel que le pixel P1 ou le pixel P2). Chaque ligne centrale (non représentée) de la structure de grille 132 peut définir les limites de différents pixels. En d'autres termes, la structure de grille 132 au milieu de la FIG. 2 s'étend sur la limite du pixel P1 et du pixel P2. Dans certains modes de réalisation, une dimension de chacun des pixels P1 ou P2 est comprise entre environ 400 nm et environ 700 nm, par exemple 500 ou 600 nm. On notera que, dans chaque pixel (tel que le pixel P1 ou le pixel P2), les photodiodes 116 peuvent être disposées selon une matrice mxn, dans lequel m et n sont des nombres entiers positifs qui peuvent être identiques ou différents, mais la présente description n'est pas limitée à cela. Par exemple, les photodiodes 116 sous le filtre bleu B peuvent être disposées selon une matrice 1x2 (telles que des photodiodes doubles (DPD)), et les photodiodes 116 sous le premier filtre vert G1 peuvent être disposées selon une matrice 1x2. Dans le cas où les photodiodes 116 sont disposées selon la matrice 1x2, le filtre bleu B correspond à deux photodiodes 116 et le premier filtre vert G1 correspond également à deux photodiodes 116. Dans les figures 1 et 2, le dispositif d’imagerie 100 comporte une couche diélectrique 140 (également appelée couche d'espacement) disposée sur la couche de filtres de couleur 130. Comme cela est illustré dans la FIG. 2 , la couche diélectrique 140 recouvre les parties supérieures 131 de la couche de filtres de couleur 130 (par exemple le filtre bleu B et le premier filtre vert G1) et les structures de grille 132. Dans le mode de réalisation du dispositif d’imagerie 100, la couche diélectrique 140 peut fournir le trajet nécessaire pour que la lumière incidente L de différentes diffractions atteigne leurs cibles respectives (différents filtres de couleur dans la couche de filtres de couleur 130). Dans certains modes de réalisation, la partie supérieure 131 de chaque filtre de couleur dans la couche de filtres de couleur 130 a une forme trapézoïdale, avec sa surface supérieure plus petite que sa surface inférieure. Dans certains modes de réalisation, l'épaisseur de la couche diélectrique 140 est comprise entre environ 0,1 µm et environ 0,5 µm, par exemple 0,2, 0,3 ou 0,4 µm. La dimension de la couche diélectrique 140 peut être ajustée en fonction des exigences de conception du dispositif d’imagerie 100. Dans certains modes de réalisation, la couche diélectrique 140 peut être constituée d'un matériau comprenant de l'oxyde de silicium, du nitrure de silicium, du carbure de silicium, du carbonitrure de silicium (SiCN), de l'oxynitrure de silicium, de l'oxynitrocarbure de silicium, de l'orthosilicate de tétraéthyle (TEOS), un matériau à faible constante diélectrique k, ou tout autre matériau approprié. Dans les figures 1 et 2, le dispositif d’imagerie 100 comporte une couche de méta-surface 150 disposée sur la couche diélectrique 140. En d'autres termes, la couche de méta-surface 150 est disposée au-dessus de la couche de filtres de couleur 130. Comme cela est représenté dans les figures 1 à 3, la couche de méta-surface 150 a une région bleue BR, une première région verte GR1, une deuxième région verte GR2 et une région rouge RR, et ces régions sont disposées selon une matrice 2x2. Plus précisément, la région bleue BR se trouve au-dessus du filtre bleu sous-jacent B, la première région verte GR1 se trouve au-dessus du premier filtre vert sous-jacent G1, la deuxième région verte GR2 se trouve au-dessus du deuxième filtre vert sous-jacent G2, et la région rouge RR se trouve au-dessus du filtre rouge sous-jacent R. Dans certains modes de réalisation, une dimension de chacune de la région bleue BR, de la première région verte GR1, de la deuxième région verte GR2 et de la région rouge RR est comprise entre environ 400 nm et environ 700 nm. Dans certains modes de réalisation, la hauteur de la couche de méta-surface est comprise entre environ 0,7 µm et environ 1,5 µm, par exemple 1,2 µm. Dans les figures 1 à 3, la couche de méta-surface 150 comporte un matériau de remplissage 152 et une pluralité de nanostructures 154. Le matériau de remplissage 152 entoure latéralement les nanostructures 154. Les nanostructures 154 comportent une pluralité de nano-poteaux périphériques 154A et une pluralité de nano-poteaux centraux 154B. Plus précisément, les nano-poteaux périphériques 154A sont situés aux coins de chacune de la région bleue BR, de la première région verte GR1, de la deuxième région verte GR2 et de la région rouge RR. Dans chacune de la région bleue BR, de la première région verte GR1, de la deuxième région verte GR2 et de la région rouge RR, l'un des nano-poteaux centraux 154B est entouré par la pluralité de nano-poteaux périphériques 154A. Comme cela est illustré dans la FIG. 2 , le nano-poteau périphérique 154A au milieu de la FIG. 2 s'étend sur les limites de la région bleue BR et de la première région verte GR1, et les nano-poteaux centraux 154B ne partagent pas de régions colorées adjacentes. Chacun des nano-poteaux périphériques 154A s'aligne sur chacune des structures de grille 132, par exemple, une ligne centrale du nano-poteau périphérique 154A s'aligne sur une ligne centrale de la structure de grille 132. Afin d'illustrer plus clairement la configuration des nanostructures 154, le milieu du matériau de remplissage 152 de la FIG. 1 est illustré par des traits en pointillés. Dans les modes de réalisation du dispositif d’imagerie 100, les nanostructures 154 sont des colonnes cylindriques. Dans certains modes de réalisation, le nano-poteau central 154B et le nano-poteau périphérique 154A ont un profil rond, rectangulaire ou triangulaire en vue de dessus. Dans certaines variantes de mode de réalisation, dans chacune de la région bleue BR, de la première région verte GR1, de la deuxième région verte GR2 et de la région rouge RR, une pluralité de nano-poteaux intermédiaires (non représentés) peuvent être disposés entre le nano-poteau central 154B et les nano-poteaux périphériques 154A. Dans certains modes de réalisation, les nano-poteaux intermédiaires sont disposés en cercle et le nano-poteau central 154B est disposé selon une configuration cylindrique. On se référera aux figures 2 et 3. Le nano-poteau central 154B dans la région bleue BR présente une valeur de décalage OBxi et OByi par rapport au point central BR_C de la région bleue BR. Le nano-poteau central 154B dans la première région verte GR1 présente une valeur de décalage OG1xi et OG1yi par rapport au point central GR1_C de la première région verte GR1. Le nano-poteau central 154B dans la deuxième région verte GR2 présente une valeur de décalage OG2xi et OG2yi par rapport au point central GR2_C de la deuxième région verte GR2. Le nano-poteau central 154B dans la région rouge RR présente une valeur de décalage ORxi et ORyi par rapport au point central RR_C de la région rouge RR. Les valeurs de décalage OBxi, OG1xi, OG2xi et ORxi représentent les valeurs de décalage dans la direction X lorsque l'angle d'incidence de la lumière incidente L est oblique par rapport à la surface supérieure de la couche de méta-surface 150. Les valeurs de décalage OByi, OG1yi, OG2yi et ORyi représentent les valeurs de décalage dans la direction Y lorsque l'angle d'incidence de la lumière incidente L est oblique par rapport à la surface supérieure de la couche de méta-surface 150. Dans certains modes de réalisation, les valeurs de décalage OBxi, OG1xi, OG2xi et ORxi et les valeurs de décalage OByi, OG1yi, OG2yi et ORyi mentionnées ci-dessus peuvent être dans la plage des 1/5 de la dimension du pixel P1 (voir la FIG. 2 ). La structure des nanostructures 154 sera exposée en détail avec la FIG. 4 ci-dessous. La FIG. 4 est une vue de dessus d'une structure 151a d’une couche de méta-surface lorsqu'une lumière incidente L se produit en incidence normale selon certains modes de réalisation de la présente description. La FIG. 5 est une coordonnée illustrant les définitions de différents paramètres lorsque la lumière incidente L se produit en incidence normale. Par "incidence normale", on entend ici que l'angle d'incidence de la lumière incidente L est parallèle à la direction Z. Dans les coordonnées tridimensionnelles de la FIG. 5 , θ est l'angle d'incidence de la lumière incidente L. On notera que l'angle d'incidence θ est égal à 0 degré lorsque l'angle d'incidence de la lumière incidente L est perpendiculaire au plan XY, et que la structure 151a illustrée à la FIG. 4 correspond à la condition d'incidence normale de la lumière incidente L. En d'autres termes, un vecteur normal du plan XY est parallèle à l'angle d'incidence de la lumière incidente L lorsque l'angle d'incidence θ est égal à 0. La FIG. 4 est une vue de dessus d'une structure 151b de la couche de méta-surface 150 de la FIG. 1 . Les figures 5B à 5D sont des coordonnées illustrant les définitions de différents paramètres lorsqu'une lumière incidente L ne se produit pas en incidence normale. On comprendra que les différences de conditions entre les figures 4A et 4B sont les angles d'incidence de la lumière incidente L, de sorte que les structures 151a et 151b sont différentes. Plus précisément, la couche de méta-surface de la FIG. 4 est soumise à la condition que la lumière incidente L soit en incidence normale, et la couche de méta-surface de la FIG. 4 est soumise à la condition que la lumière incidente L ne soit pas en incidence normale. Lorsque la lumière incidente L n'est pas en incidence normale (c'est-à-dire que l'angle d'incidence de la lumière incidente L est oblique par rapport à la surface supérieure de la couche de méta-surface 150), les valeurs de décalage des nano-poteaux centraux 154B dans la première région verte GR1 et la deuxième région verte GR2 ont des valeurs de décalage supplémentaires par rapport à la structure 151a de la FIG. 4 . En se référant aux figures 4A et 4B, les différences de structure entre les figures 4A et 4B sont les positions du nano-poteau central 154B dans la première région verte GR1 et du nano-poteau central 154B dans la deuxième région verte GR2. On se référera à la FIG. 4 . Dans la région bleue BR, le nano-poteau central 154B se décale par rapport au point central BR_C d'une distance de décalage pour se situer à une position décalée BR_P1, dans laquelle la distance de décalage est définie par un décalage horizontal BR_dx1 dans la direction de l'axe X et un décalage longitudinal BR_dy1 dans la direction de l'axe Y. Dans la première région verte GR1, le nano-poteau central 154B se décale par rapport au point central GR1_C d'une distance de décalage pour se situer à une position décalée GR1_P1, dans laquelle la distance de décalage est définie par un décalage horizontal GR1_dx1 dans la direction de l'axe X et un décalage longitudinal GR1_dy1 dans la direction de l'axe Y. Dans la deuxième région verte GR2, le nano-poteau central 154B se décale par rapport au point central GR2_C d'une distance de décalage pour se situer à une position décalée GR2_P1, dans laquelle la distance de décalage est définie par un décalage horizontal GR2_dx1 dans la direction de l'axe X et un décalage longitudinal GR2_dy1 dans la direction de l'axe Y. Dans la région rouge RR, le nano-poteau central 154B se décale par rapport au point central RR_C d'une distance de décalage pour se situer à une position décalée RR_P1, dans laquelle la distance de décalage est définie par un décalage horizontal RR_dx1 dans la direction de l'axe X et un décalage longitudinal RR_dy1 dans la direction de l'axe Y. On notera que le "décalage horizontal" dans la présente description représente un décalage dans une direction parallèle à l'axe X, et que le "décalage longitudinal" dans la présente description représente un décalage dans une direction parallèle à l'axe Y. Dans certains modes de réalisation, les décalages horizontaux et longitudinaux mentionnés ci-dessus peuvent être dans la plage des 1/5 de la dimension du pixel P1 (voir la FIG. 2 ). On se référera à la FIG. 4 . Dans la première région verte GR1, le nano-poteau central 154B se décale par rapport à la position décalée GR1_P1 d'une distance de décalage supplémentaire pour se situer à une position décalée GR1_P2, dans laquelle la distance de décalage supplémentaire est définie par un décalage horizontal GR1_dx2 dans la direction de l'axe X et un décalage longitudinal GR1_dy2 dans la direction de l'axe Y. Dans la deuxième région verte GR2, le nano-poteau central 154B se décale par rapport à la position décalée GR2_P1 d'une distance de décalage supplémentaire pour se situer à une position décalée GR2_P2, dans laquelle la distance de décalage supplémentaire est définie par un décalage horizontal GR2_dx2 dans la direction de l'axe X et un décalage longitudinal GR2_dy2 dans la direction de l'axe Y. On notera que le décalage horizontal BR_dx1 et le décalage longitudinal BR_dy1 illustrés en FIG. 4 sont respectivement égaux aux valeurs de décalage OBxi et OByi illustrées en FIG. 3 . Le décalage horizontal GR1_dx1 et le décalage horizontal GR1_dx2 illustrés en FIG. 4 sont égaux à la valeur de décalage OG1xi illustrée en FIG. 3 , et le décalage longitudinal GR1_dy1 plus le décalage longitudinal GR1_dy2 sont égaux à la valeur de décalage OG1yi illustrée en FIG. 3 . Le décalage horizontal GR2_dx1 plus le décalage horizontal GR2_dx2 illustrés en FIG. 4 sont égaux à la valeur de décalage OG2xi illustrée en FIG. 3 , et le décalage longitudinal GR2_dy1 plus le décalage longitudinal GR2_dy2 sont égaux à la valeur de décalage OG2yi illustrée en FIG. 3 . Le décalage horizontal RR_dx1 et le décalage longitudinal RR_dy1 illustrés en FIG. 4 sont respectivement égaux aux valeurs de décalage ORxi et ORyi illustrées en FIG. 3 . Dans le mode de réalisation de la FIG. 4 , le décalage horizontal GR1_dx2 dans la première région verte GR1 est le même que le décalage horizontal GR2_dx2 dans la deuxième région verte GR2, et le décalage longitudinal GR1_dy2 dans la première région verte GR1 est le même que le décalage longitudinal GR2_dy2 dans la deuxième région verte GR2. On se référera aux figures 5B à 5D. θ est l'angle d'incidence de la lumière incidente L et ∅ est l'angle azimutal. Dans le cas où la lumière incidente L est oblique par rapport à la surface supérieure de la couche de méta-surface 150 (voir la FIG. 3 ), l'angle d'incidence θ de la lumière incidente L n'est plus égal à 0. Par conséquent, l'angle d'incidence θ peut être défini comme un angle inclus compris entre la direction d'incidence de la lumière incidente L et le vecteur normal à la coordonnée du plan XY. L'angle azimutal correspond à l'angle inclus dans la coordonnée du plan XY. On se référera aux équations mentionnées ci-dessous, sont tous deux des fonctions de l'angle d'incidence θ et de l'angle azimutal ∅. L'angle d'incidence θ et l'angle azimutal ∅ peuvent se référer aux figures 5B à 5D. Comme cela est illustré dans les figures 5B et 5C, la position (r, θ, ∅) et la position (r, θ, ∅') ont les mêmes angles d'incidence mais des angles azimutaux différents, dans lesquels θ n’est pas supérieur à 35 degrés et ∅ est compris entre 0 et 360 degrés, et ∅ > ∅'. Comme cela est illustré dans les figures 5B et 5D, la position (r, θ, ∅) et la position (r, θ', ∅) ont les mêmes angles azimutaux mais des angles d'incidence différents, dans lesquels θ est n’est pas supérieur à 35 degrés et ∅ est compris entre 0 et 360 degrés, et θ' > θ. Toutes les conditions dans lesquelles la lumière incidente L ne se produit pas en incidence normale peuvent être calculées à l'aide des équations mentionnées ci-dessous. varient en fonction de l'angle d'incidence de la lumière incidente L et de l'angle azimutal. La FIG. 5 représente un réseau de la couche de méta-surface 150 selon certains modes de réalisation de la présente description. Une "unité de pixel" est ici constituée d'une région bleue BR, d'une première région verte GR1, d'une deuxième région verte GR2 et d'une région rouge RR. La couche de méta-surface 150 est constituée d'une pluralité d'unités de pixels, comme cela est illustré dans la FIG. 5 . La FIG. 5 illustre une première unité de pixel et une deuxième unité de pixel adjacente à la première unité de pixel. On notera qu'il y a un nano-poteau central 154B dans chacune de la région bleue BR, de la première région verte GR1, de la deuxième région verte GR2 et de la région rouge RR dans chacune de la première unité de pixel et de la deuxième unité de pixel. En se référant aux figures 4B et 5E, le décalage horizontal GR1_dx1 plus le décalage horizontal GR1_dx2 dans la première région verte GR1 est déterminé en fonction de l'angle d'incidence θ et de l'angle azimutal ∅ de la première région verte GR1, et le décalage longitudinal GR1_dy1 plus le décalage longitudinal GR1_dy2 dans la première région verte GR1 est également déterminé en fonction de l'angle d'incidence θ et de l'angle azimutal ∅ de la première région verte GR1. L'angle d'incidence θ de la première région verte GR1 est compris entre une première lumière incidente L (voir la FIG. 1 et la FIG. 5 ) sur une surface supérieure de la première région verte GR1 et une ligne normale à la surface supérieure de la première région verte GR1. En se référant à la FIG. 5 , l'angle azimutal ∅ de la première région verte GR1 est compris entre un axe horizontal X de la couche de méta-surface 150 qui passe par un centre C de la couche de méta-surface 150 et une première ligne de connexion CL1 entre le centre de la première région verte GR1 et le centre C de la couche de méta-surface 150. Comme cela est illustré dans la FIG. 5 , la couche de méta-surface 150 comporte en outre une deuxième unité de pixel, la deuxième unité de pixel comportant une troisième région verte, la troisième région verte comporte un troisième nano-poteau central décalé par rapport à un centre de la troisième région verte d’un troisième décalage longitudinal et d’un troisième décalage horizontal du troisième nano-poteau central, le troisième décalage longitudinal et le troisième décalage horizontal étant déterminés en fonction d'un angle d'incidence et d'un angle azimutal de la troisième région verte. L'angle d'incidence de la troisième région verte est compris entre une deuxième lumière incidente sur une surface supérieure de la troisième région verte et une ligne normale à la surface supérieure de la troisième région verte. L'angle azimutal de la troisième région verte est compris entre l'axe horizontal X de la couche de méta-surface qui passe par le centre C de la couche de méta-surface 150 et une deuxième ligne de connexion CL2 entre le centre de la troisième région verte et le centre C de la couche de méta-surface 150. Le décalage longitudinal GR1_dy1 plus le décalage longitudinal GR1_dy2 (voir la FIG. 4 ) du nano-poteau central 154B dans la première région verte GR1 et le troisième décalage longitudinal du troisième nano-poteau central satisfont à l'équation suivante : dans laquelle θ est l'angle d'incidence de la première région verte et θ n'est pas égal à 0 degré, ∅ est l'angle azimutal de la première région verte, est le décalage longitudinal plus le décalage longitudinal du premier nano-poteau central, est l'angle d'incidence de la troisième région verte et n'est pas égal à 0 degré, est l'angle azimutal de la troisième région verte, est le troisième décalage longitudinal du troisième nano-poteau central, ∆θ est une première différence entre l'angle d'incidence de la première région verte et l'angle d'incidence de la troisième région verte, ∆∅ est une deuxième différence entre l'angle azimutal de la première région verte et l'angle azimutal de la troisième région verte. La figure 5F est un diagramme schématique de points de référence. Le point de référence 1 et le point de référence 2 représentent des éléments connus ci-dessus, et le point de référence 3 représente les inconnus ci-dessus. Le point de référence 3 peut être obtenu par les points de référence les plus proches (tels que le point de référence 1 ou le point de référence 2). Le décalage horizontal GR1_dx1 plus le décalage horizontal GR1_dx2 (voir la FIG. 4 ) du premier nano-poteau central 154B dans la première région verte GR1 et le troisième décalage horizontal du troisième nano-poteau central satisfont à l'équation suivante : dans laquelle est le décalage horizontal GR1_dx1 plus le décalage horizontal GR1_dx2 du premier nano-poteau central, et est le troisième décalage horizontal du troisième nano-poteau central. Dans certains modes de réalisation, θ est supérieur à 0 degré et ≤ 35 degrés, et ∅ est compris entre 0 et 360 degrés. Une fois la structure 151b de la FIG. 4 obtenue, les nanostructures 154 (qui comportent les nano-poteaux périphériques 154A et les nano-poteaux centraux 154B) sont formées conformément à la structure 151b, comme illustré à la FIG. 3 . Dans certains modes de réalisation, les nanostructures 154 peuvent être formées par tout processus de dépôt et de structuration approprié, puis le matériau de remplissage 152 est formé pour entourer latéralement les nano-poteaux périphériques 154A et les nano-poteaux centraux 154B. Dans un autre mode de réalisation, les nano-poteaux périphériques 154A et les nano-poteaux centraux 154B sont formés par dépôt du matériau de remplissage 152, suivi d'une gravure de plusieurs trous dans le matériau de remplissage 152. En d'autres termes, les nanostructures 154 peuvent être des trous remplis d'air ambiant, puis le matériau des nanostructures 154 est formé dans les trous. Dans les figures 1 à 3, dans certains modes de réalisation, les dimensions (telles que les diamètres) des nanostructures 154 en vue de dessus sont comprises entre environ 120 nm et environ 250 nm. Les dimensions des nano-poteaux centraux 154B peuvent être égales ou supérieures aux dimensions des nano-poteaux périphériques 154A. Bien que les nanostructures 154 soient illustrées comme ayant des formes circulaires en vue de dessus, la présente description n'y est pas limitée. Les nanostructures 154 peuvent avoir n'importe quelle forme géométrique appropriée, tant que la distribution de phase nécessaire des différentes lumières colorées peut être formée. Dans certains modes de réalisation, les nanostructures 154 peuvent être constituées d’un matériau comprenant des matériaux conducteurs transparents, tels que l'oxyde d'indium-étain (ITO), l'oxyde d'étain (SnO), l'oxyde d'indium-zinc (IZO), l'oxyde d'indium-gallium-zinc (IGZO), l'oxyde d'indium-étain-zinc (ITZO), l'oxyde d'antimoine-étain (ATO), l'oxyde de zinc dopé à l'aluminium (AZO), le dioxyde de titane (TiO 2 ), d'autres matériaux appropriés, ou des combinaisons de ces matériaux. Dans certains modes de réalisation, le matériau de remplissage 152 peut être constitué de résines transparentes, telles que les résines de polyéthylène téréphtalate (PET), les résines de polycarbonate (PC), les résines de polyimide (PI), les polyméthacrylates de méthyle (PMMA), les résines de polystyrène, d'autres résines appropriées, ou des combinaisons de celles-ci. Dans les équations susmentionnées, chacun parmi D GR et D GB comporte un décalage positif et un décalage négatif. Le décalage positif de D GR est défini par un décalage par rapport à la région verte (telle que la première région verte GR1 ou la deuxième région verte GR2) vers la région rouge RR, et le décalage positif de D GB est défini par un décalage de la région verte (telle que la première région verte GR1 ou la deuxième région verte GR2) vers la région bleue BR. Plus précisément, dans la première région verte GR1 de la FIG. 4 , le décalage longitudinal GR1_dy1 et le décalage longitudinal GR1_dy2 peuvent être tous deux considérés comme les "décalages positifs" de D GR et le décalage horizontal GR1_dx1 et le décalage horizontal GR1_dx2 peuvent être considérés comme les "décalages positifs" de D GB . Dans la deuxième région verte GR2 de la FIG. 4 , le décalage horizontal GR2_dx1 et le décalage horizontal GR2_dx2 peuvent être considérés comme des "décalages positifs" de D GR et le décalage longitudinal GR2_dy1 et le décalage longitudinal GR2_dy2 peuvent être considérés comme des "décalages positifs" de D GB . Dans le mode de réalisation de la FIG. 3 , tous parmi le décalage horizontal GR1_dx1, le décalage horizontal GR1_dx2, le décalage longitudinal GR1_dy1 et le décalage longitudinal GR1_dy2 dans la première région verte GR1 sont des décalages positifs. De même, tous parmi le décalage horizontal GR2_dx1, le décalage horizontal GR2_dx2, le décalage longitudinal GR2_dy1 et le décalage longitudinal GR2_dy2 dans la deuxième région verte GR2 sont des décalages positifs. La figure 6A est une vue de côté d'une partie d'un dispositif d’imagerie 100a sous un angle d'incidence de la troisième région verte GR3 selon certains modes de réalisation de la présente description. La FIG. 6 est une vue de côté d'une partie d'un dispositif d’imagerie 100b sous un angle d'incidence θ de la première région verte GR1 selon certains modes de réalisation de la présente description. Comme cela est illustré dans la FIG. 6 , un bord de la première région verte GR1 est décalé par rapport à un bord correspondant du premier filtre vert G1 d’une distance de décalage de la première région verte GR1. Le filtre de couleur 130 comporte un troisième filtre vert G3 (voir la FIG. 6 ) adjacent au premier filtre vert G1 (voir la FIG. 6 ). La troisième région verte GR3 se trouve au-dessus du troisième filtre vert G3, et un bord de la troisième région verte GR3 est décalé par rapport à un bord correspondant du troisième filtre vert G3 d’une distance de décalage de la troisième région verte GR3, comme cela est illustré dans la FIG. 6 . La distance de décalage de la première région verte GR1 et la distance de décalage de la troisième région verte GR3 satisfont à l'équation suivante : dans laquelle S(θ) est la distance de décalage de la première région verte GR1, et est la distance de décalage de la troisième région verte GR3. Dans certains modes de réalisation, la distance de décalage de la première région verte GR1 est comprise entre 0 et 300 nm. Dans certains modes de réalisation, la distance de décalage S(θ) est comprise entre environ -P1/2 et environ P1/2. Dans certains modes de réalisation, la distance de décalage S(θ) est 0 nm lorsque θ est 0 degré. Dans certains modes de réalisation, la distance de décalage S(θ) est 72 nm lorsque θ est 7,5 degrés. Dans certains modes de réalisation, la distance de décalage S(θ) est 157 nm lorsque θ est 15 degrés. Dans certains modes de réalisation, la distance de décalage S(θ) est 209 nm lorsque θ est 22,5 degrés. Dans certains modes de réalisation, la distance de décalage S(θ) est 291 nm lorsque θ est 30 degrés. Un procédé de fabrication du dispositif d’imagerie 100 comporte les étapes suivantes. La couche de conversion photoélectrique 110 est formée. La couche antireflet 120 est formée sur la couche de conversion photoélectrique 110. La couche de filtres de couleur 130 est formée sur la couche antireflet 120. La couche diélectrique 140 est formée sur la couche de filtres de couleur 130. La couche de méta-surface 150 (qui comporte les nano-poteaux périphériques 154A et les nano-poteaux centraux 154B) est formée sur la couche diélectrique 140, la couche de méta-surface 150 étant formée selon la structure 151b. La FIG. 7 est une vue de dessus d'une couche de méta-surface 750 selon certains modes de réalisation de la présente description. Les différences entre la couche de méta-surface 750 de la FIG. 7 et la couche de méta-surface 150 de la FIG. 3 sont les positions des nano-poteaux centraux 154B dans la région bleue BR, la première région verte GR1, la deuxième région verte GR2 et la région rouge RR, respectivement. Les nano-poteaux centraux 154B de la FIG. 7 ont des décalages négatifs. Dans la présente description, le décalage négatif de D GR est défini par un décalage de la région verte (telle que la première région verte GR1 ou la deuxième région verte GR2) qui l’éloigne de la région rouge RR, et le décalage négatif de D GB est défini par un décalage de la région verte (telle que la première région verte GR1 ou la deuxième région verte GR2) qui l’éloigne de la région bleue BR. Plus précisément, dans la première région verte GR1 de la FIG. 7 , le décalage longitudinal GR1_dy1 et le décalage longitudinal GR1_dy2 peuvent être tous deux considérés comme les "décalages négatifs" de D GR et le décalage horizontal GR1_dx1 et le décalage horizontal GR1_dx2 peuvent être tous deux considérés comme les "décalages négatifs " de D GB . Dans la deuxième région verte GR2 de la FIG. 7 , le décalage horizontal GR2_dx1 et le décalage horizontal GR2_dx2 peuvent être tous deux considérés comme des "décalages négatifs" de D GR et le décalage longitudinal GR2_dy1 et le décalage longitudinal GR2_dy2 peuvent être tous deux considérés comme les "décalages négatifs" de D GB. Dans le mode de réalisation de la FIG. 7 , tous parmi le décalage horizontal GR1_dx1, le décalage horizontal GR1_dx2, le décalage longitudinal GR1_dy1 et le décalage longitudinal GR1_dy2 dans la première région verte GR1 sont des décalages négatifs. De même, tous les décalages horizontaux GR2_dx1, les décalages horizontaux GR2_dx2, les décalages longitudinaux GR2_dy1 et GR2_dy2 dans la deuxième région verte GR2 sont des décalages négatifs. On se référera au dispositif d’imagerie 100 de la FIG. 2 . Dans certains modes de réalisation, l'indice de réfraction des nanostructures 154 (qui comporte les nano-poteaux périphériques 154A et les nano-poteaux centraux 154B) est supérieur à l'indice de réfraction du matériau de remplissage 152. Dans certains modes de réalisation, l'indice de réfraction des nano-poteaux périphériques 154A est identique à l'indice de réfraction des nano-poteaux centraux 154B. Dans certains modes de réalisation, l'indice de réfraction des nano-poteaux périphériques 154A est compris entre environ 1,8 et environ 3,5, par exemple 2,0, 2,5 ou 3,0. Dans certains modes de réalisation, l'indice de réfraction du nano-poteau central 154B est compris entre environ 1,8 et environ 3,5, par exemple 2,0, 2,5 ou 3,0. Dans certains modes de réalisation, l'indice de réfraction du matériau de remplissage 152 est compris entre environ 1,0 et environ 1,6, par exemple 1,2 ou 1,4. Dans certains modes de réalisation, le matériau de remplissage 152 peut être de l'air. Il convient de noter que, lorsque les nanostructures 154 sont entourées par l'air ambiant (l'indice de réfraction du matériau de remplissage 152 est de 1), la plus grande différence entre les indices de réfraction peut être réalisée pour générer une distribution de phase beaucoup plus large, de sorte que la lumière incidente L peut être plus facilement séparée sur la base des différentes longueurs d'onde. Dans certains modes de réalisation, les rayons du nano-poteau central 154B dans chacune de la région bleue BR, de la première région verte GR1, de la deuxième région verte GR2 et de la région rouge RR sont différents les uns des autres. Les dimensions de chacun des nano-poteaux centraux 154B peuvent être ajustées en fonction des exigences de conception du dispositif d’imagerie 100. On se réfèrera à nouveau au dispositif d’imagerie 100 de la FIG. 2 . Dans certains modes de réalisation, l'indice de réfraction de la couche diélectrique 140 est inférieur à l'indice de réfraction des nanostructures 154. Dans certains modes de réalisation, l'indice de réfraction de la couche diélectrique 140 est compris entre environ 1,0 et environ 1,6, par exemple 1,2 ou 1,4. Dans certains modes de réalisation, l'indice de réfraction de chaque filtre (tel que le filtre bleu B, le premier filtre vert G1, le deuxième filtre vert G2 et le filtre rouge R) de la couche de filtres de couleur 130 est supérieur à l'indice de réfraction des structures de grille 132. Dans certains modes de réalisation, l'indice de réfraction de chaque filtre de la couche de filtres de couleur 130 est compris entre environ 1,4 et environ 2,3, par exemple 1,6, 1,8, 2,0 ou 2,2. Dans certains modes de réalisation, l'indice de réfraction des structures en grille 132 est compris entre environ 1,0 et environ 1,3, par exemple 1,1 ou 1,2. La présente description tient compte de la condition selon laquelle la lumière incidente L ne se produit pas en incidence normale et fournit un procédé pour former la couche de méta-surface, dans laquelle le(s) nano-montant(s) central(aux) de la (des) région(s) verte(s) a (ont) une (des) distance(s) de décalage supplémentaire(s) par rapport aux nano-poteaux centraux de la région bleue et de la région rouge. La (les) distance(s) de décalage supplémentaire(s) peut (peuvent) être calculée(s) à l'aide des équations mentionnées ci-dessus. La couche de méta-surface de la présente description permet une large gamme d'angles d'incidence de la lumière incidente et fournit des quantités équilibrées d'efficacité quantique pour différents pixels verts dans la matrice de Bayer. La couche de méta-surface décrite peut fournir des quantités similaires d'efficacité quantique entre les différents pixels verts, évitant ainsi l'apparition d'une séparation des canaux entre les différents pixels verts et augmentant les performances du dispositif d’imagerie. La présente description a été effectuée comme indiqué ci-dessus, mais elle n'est pas utilisée pour limiter la présente description. La personne du métier pourra apporter diverses modifications, substitutions et altérations sans s'écarter de l'esprit et de la portée de la présente description. Par conséquent, la portée de la protection de la présente description est soumise à l'étendue de la revendication jointe à la demande et à ses structures équivalentes. Dispositif d’imagerie, comprenant : - une pluralité de photodiodes ; - une couche de filtres de couleur sur la pluralité de photodiodes, dans lequel la couche de filtres de couleur comprend un filtre bleu, un filtre rouge, un premier filtre vert et un deuxième filtre vert ; et - une couche de méta-surface au-dessus de la couche de filtres de couleur et comprenant une première unité de pixel, la première unité de pixel comprenant une région bleue au-dessus du filtre bleu, une région rouge au-dessus du filtre rouge, une première région verte au-dessus du premier filtre vert et une deuxième région verte au-dessus du deuxième filtre vert, dans lequel la première région verte comprend un premier nano-poteau central décalé par rapport à un centre de la première région verte d’un premier décalage longitudinal dans une direction d'un axe Y et un premier décalage horizontal dans une direction d'un axe X du premier nano-poteau central en vue de dessus, et dans lequel la deuxième région verte comprend un deuxième nano-poteau central décalé par rapport au centre de la deuxième région verte d’un deuxième décalage longitudinal dans la direction de l'axe Y et d’un deuxième décalage horizontal dans la direction de l'axe X du deuxième nano-poteau central en vue de dessus. Dispositif d’imagerie selon la revendication 1, dans lequel le premier décalage longitudinal et le premier décalage horizontal sont déterminés en fonction d'un angle d'incidence et d'un angle azimutal de la première région verte, dans lequel l'angle d'incidence de la première région verte est compris entre une première lumière incidente sur une surface supérieure de la première région verte et une ligne normale à la surface supérieure de la première région verte, et dans lequel l'angle azimutal de la première région verte est compris entre un axe horizontal de la couche de méta-surface qui passe par le centre de la couche de méta-surface et une première ligne de connexion entre le centre de la première région verte et le centre de la couche de méta-surface. Dispositif d’imagerie selon la revendication 2, dans lequel la couche de méta-surface comprend en outre une deuxième unité de pixel, dans lequel la deuxième unité de pixel comprend une troisième région verte, la troisième région verte comprenant un troisième nano-poteau central décalé par rapport à un centre de la troisième région verte d’un troisième décalage longitudinal dans la direction de l'axe Y et d’un troisième décalage horizontal dans la direction de l'axe X du troisième nano-poteau central en vue de dessus, le troisième décalage longitudinal et le troisième décalage horizontal étant déterminés en fonction d'un angle d'incidence et d'un angle azimutal de la troisième région verte, dans lequel l'angle d'incidence de la troisième région verte est compris entre une deuxième lumière incidente sur une surface supérieure de la troisième région verte et une ligne normale à la surface supérieure de la troisième région verte, dans lequel l'angle azimutal de la troisième région verte est compris entre l'axe horizontal de la couche de méta-surface qui passe par le centre de la couche de méta-surface et une deuxième ligne de connexion entre le centre de la troisième région verte et le centre de la couche de méta-surface, et dans lequel le premier décalage longitudinal du premier nano-poteau central et le troisième décalage longitudinal du troisième nano-poteau central satisfont à l'équation suivante : dans lequel θ est l'angle d'incidence de la première région verte et θ n'est pas égal à 0 degré, ∅ est l'angle azimutal de la première région verte, est le premier décalage longitudinal du premier nano-poteau central, est l'angle d'incidence de la troisième région verte et n'est pas égal à 0 degré, est l'angle azimutal de la troisième région verte, est le troisième décalage longitudinal du troisième nano-poteau central, ∆θ est une première différence entre l'angle d'incidence de la première région verte et l'angle d'incidence de la troisième région verte, ∆∅ est une deuxième différence entre l'angle azimutal de la première région verte et l'angle azimutal de la troisième région verte. Dispositif d’imagerie selon la revendication 3, dans lequel le premier décalage horizontal du premier nano-poteau central et le troisième décalage horizontal du troisième nano-poteau central satisfont à l'équation suivante : dans lequel est le premier décalage horizontal du premier nano-poteau central, et est le troisième décalage horizontal du troisième nano-poteau central. Dispositif d’imagerie selon la revendication 4, dans lequel un bord de la première région verte est décalé par rapport à un bord correspondant du premier filtre vert d’une distance de décalage de la première région verte, la couche de filtres de couleur comprend un troisième filtre vert adjacent au premier filtre vert, la troisième région verte est au-dessus du troisième filtre vert, et un bord de la troisième région verte est décalé par rapport à un bord correspondant du troisième filtre vert d’une distance de décalage de la troisième région verte, et dans lequel la distance de décalage de la première région verte et la distance de décalage de la troisième région verte satisfont à l'équation suivante : dans laquelle est la distance de décalage de la première région verte, et est la distance de décalage de la troisième région verte, et dans lequel la distance de décalage de la première région verte est comprise entre 0 et 300 nm, θ est supérieure à 0 degré et ≤ 35 degrés, et ∅ est comprise entre 0 et 360 degrés. Dispositif d’imagerie selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel la couche de méta-surface comprend en outre une pluralité de nano-poteaux périphériques et un matériau de remplissage, les nano-poteaux périphériques étant situés aux coins de la région bleue, de la région rouge, de la première région verte et de la deuxième région verte, le matériau de remplissage entourant latéralement le premier nano-poteau central et le deuxième nano-poteau central, l'indice de réfraction du matériau de remplissage étant compris entre 1,0 et 1,6, dans lequel le dispositif d’imagerie comprend en outre une couche diélectrique, la couche diélectrique est disposée entre la couche de filtres de couleur et le filtre bleu, le filtre rouge, le premier filtre vert et le deuxième filtre vert, et dans lequel une dimension de chacune de la région bleue, de la région rouge, de la première région verte et de la deuxième région verte est comprise entre 400 nm et 700 nm, dans lequel un indice de réfraction du premier nano-poteau central est compris entre 1,8 et 3,5. Dispositif d’imagerie selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel le premier décalage longitudinal du premier nano-poteau central est dans la plage de 1/5 d'une dimension du premier filtre vert, et le premier décalage horizontal du premier nano-poteau central est dans la plage de 1/5 de la dimension du premier filtre vert. Dispositif d’imagerie selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel le premier décalage longitudinal et le premier décalage horizontal comprennent des décalages positifs, dans lequel le deuxième décalage longitudinal et le deuxième décalage horizontal comprennent des décalages positifs, dans lequel le décalage positif du premier décalage longitudinal est défini par un décalage de la première région verte vers la région rouge, et le décalage positif du premier décalage horizontal est défini par un décalage de la première région verte vers la région bleue, et dans lequel le décalage positif du deuxième décalage longitudinal est défini par un décalage de la deuxième région verte vers la région bleue, et le décalage positif du deuxième décalage horizontal est défini par un décalage de la deuxième région verte vers la région rouge. Dispositif d’imagerie selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel le premier décalage longitudinal et le premier décalage horizontal comprennent des décalages négatifs, dans lequel le deuxième décalage longitudinal et le deuxième décalage horizontal comprennent des décalages négatifs, dans lequel le décalage négatif du premier décalage longitudinal est défini par un décalage de la première région verte qui l’éloigne de la région rouge, et le décalage négatif du premier décalage horizontal est défini par un décalage de la première région verte qui l’éloigne de la région bleue, et dans lequel le décalage négatif du deuxième décalage longitudinal est défini par un décalage de la deuxième région verte qui l’éloigne de la région bleue, et le décalage négatif du deuxième décalage horizontal est défini par un décalage de la deuxième région verte qui l’éloigne de la région rouge. Procédé de fabrication d'un dispositif d’imagerie, comprenant : - la fourniture d’une pluralité de photodiodes ; - la formation d’une couche de filtres de couleur au-dessus de la pluralité de photodiodes, la couche de filtres de couleur comprenant un filtre bleu, un filtre rouge, un premier filtre vert et un deuxième filtre vert ; et - la formation d’une couche de méta-surface au-dessus de la couche de filtres de couleur, la couche de méta-surface comprenant une première unité de pixel, la première unité de pixel comprenant une région bleue au-dessus du filtre bleu, une région rouge au-dessus du filtre rouge, une première région verte au-dessus du premier filtre vert, et une deuxième région verte au-dessus du deuxième filtre vert, la première région verte comprenant un premier nano-poteau central, la deuxième région verte comprenant un deuxième nano-poteau central, et la formation de la couche de méta-surface comprenant : la formation du premier nano-poteau central décalé par rapport au centre de la première région verte d’un premier décalage longitudinal dans une direction d’un axe Y et d’un premier décalage horizontal dans une direction d’un axe X du premier nano-poteau central en vue de dessus ; et la formation du deuxième nano-poteau central décalé par rapport au centre de la deuxième région verte d’un deuxième décalage longitudinal dans la direction de l'axe Y et d’un deuxième décalage horizontal dans la direction de l'axe X du deuxième nano-poteau central en vue de dessus.