Brevet FR3162513A1 — publié le 20251128

Un capteur de pression résonant (5) est proposé. Le capteur comprend : - un support (6) comportant un fond (7) entouré d’au moins une paroi (8, 9), - une membrane déformable (12) comportant une première face (13) configurée pour être soumise à la pression à mesurer et une deuxième face (14) opposée à la première face, la deuxième face étant reliée au support de sorte que le support et la membrane déformable forment une cavité (15) hermétique, la cavité étant remplie d’une quantité de matière de gaz prédéterminée. La cavité (15) hermétique comprend : - un capteur de température (17) séparé de la membrane déformable et configuré pour mesurer la température du gaz, et - une première poutre (16) séparée de la membrane déformable et comprenant une première extrémité (18) encastrée dans la paroi et une deuxième extrémité (19) libre, la première poutre étant configurée pour mesurer la masse volumique du gaz. Figure pour l’abrégé : Fig 2 Capteur de pression résonant, ensemble de mesure et aéronef associés L’invention concerne l’architecture de capteurs de pression, et plus particulièrement l’architecture d’un capteur de pression résonant. L’invention concerne en outre un système de mesure et un aéronef comportant un tel capteur. Techniques antérieures Le changement climatique est une préoccupation majeure pour de nombreux organes législatifs et de régulation à travers le monde. En effet, diverses restrictions sur les émissions de carbone ont été, sont ou seront adoptées par divers états. En particulier, une norme ambitieuse s’applique à la fois aux nouveaux types d’avions mais aussi ceux en circulation nécessitant de devoir mettre en œuvre des solutions technologiques afin de les rendre conformes aux réglementations en vigueur. L’aviation civile se mobilise depuis maintenant plusieurs années pour apporter une contribution à la lutte contre le changement climatique. Les efforts de recherche technologique ont déjà permis d’améliorer de manière très significative les performances environnementales des avions. La Déposante prend en considération les facteurs impactant toutes les phases de conception et de développement pour obtenir des composants et des produits aéronautiques moins énergivores, plus respectueux de l’environnement et dont l’intégration et l’utilisation dans l’aviation civile ont des conséquences environnementales modérées dans un but d’amélioration de l'efficacité énergétique des avions. Par voie de conséquence, la Déposante travaille en permanence à la réduction de son incidence climatique négative par l’emploi de méthodes et l’exploitation de procédés de développement et de fabrication vertueux et minimisant les émissions de gaz à effet de serre au minimum possible pour réduire de l'empreinte environnementale de son activité. Ces travaux de recherche et de développement soutenus portent à la fois sur les nouvelles générations de moteurs d’avions, l’allègement des appareils, notamment par les matériaux employés et les équipements embarqués allégés, le développement de l’emploi des technologies électriques pour assurer la propulsion, et, indispensables compléments aux progrès technologiques, les biocarburants aéronautiques. Généralement des capteurs de pression non résonants sont mis en œuvre pour mesurer une pression. Un capteur de pression non résonant délivre des signaux statiques ou quasi-statique qui sont une image directe ou quasi-direct de la pression appliquée sur une membrane déformable du capteur. Le signal est conditionné et traiter par un circuit de traitement pour conditionner et traiter le signal délivré par le capteur. Le circuit de traitement est disposé à proximité du capteur pour augmenter le rapport signal sur bruit du signal délivré par une chaîne de mesure comportant le circuit de traitement et le capteur. Dans un aéronef, des capteurs de pression sont notamment disposés dans des moyens de propulsion de l’aéronef, par exemple dans des turbomachines. Dans un tel environnement, la température est généralement supérieure à 175 °C. Cependant le capteur et circuit de conditionnement ne sont pas aptes à fonctionner en continu et de manière pérenne dans un tel environnement. Il est connu de déporter le circuit de conditionnement dans un environnement moins chaud et de relier ledit circuit et le capteur par une liaison filaire. Il est connu que plus la liaison filaire est longue, plus le rapport signal sur bruit est dégradé de sorte que la détermination de l’amplitude du signal représentative de la pression mesurée est dégradée. Il est en outre connu de disposer le capteur et le circuit de conditionnement situé à proximité du capteur dans un environnement moins chaud compatible avec les conditions de bon fonctionnent du capteur et du circuit de conditionnement, et d’acheminé la pression mesurée à travers un circuit de tuyauteries (capillaire) traversant des compartiments des moyens de propulsion. Cependant, il est nécessaire de prévoir le routage des tuyauteries et de l’espace pour implémenter lesdites tuyauteries dans un environnement très contraint. En outre, les tuyauteries sont sensibles aux phénomènes de condensation pouvant entraîner une défaillance de la chaîne de mesure comportant les tuyauteries, le capteur et le circuit de conditionnement. Il est connu de mettre en œuvre un capteur de pression résonant délivrant un signal modulé en fréquence. Un tel signal est moins sensible aux perturbations, notamment aux perturbations électromagnétiques de sorte que le capteur peut être disposé dans un environnement présentant une température élevée, notamment supérieure à 175 °C et le circuit de traitement du signal peut être déporté dans un environnement moins chaud, tout en permettant le traitement du signal par ledit circuit. Un capteur de pression résonant connu de l’état de la technique comprend un résonateur mécanique monté sur une membrane déformable et en contact avec la membrane déformable, le résonateur faisant office de jauge de contrainte. Le résonateur mécanique comprend généralement une poutre encastrée à chacune de ses extrémités dans un support et relié à la membrane déformable. Lorsqu’une pression est exercée sur la membrane déformable, des contraintes mécaniques sont transférées au résonateur provoquant une variation de la fréquence de résonance de la membrane déformable représentative de la pression exercée sur la membrane déformable. Cependant, comme le résonateur mécanique est en contact avec la membrane déformable, les contraintes mécaniques répétitives liées à la déformation de la membrane sont susceptibles de détériorer l’élément résonant. De plus, la membrane déformable transmet au résonateur l’ensemble des phénomènes de perturbation liés notamment à la nature de l’écoulement d’un fluide sur la membrane déformable, par exemple lorsque l’écoulement est turbulent. En outre, comme la poutre est encastrée à chacune de ses extrémités dans un support lié à la membrane déformable, la fréquence de résonnance de la poutre est très sensible aux phénomènes physiques pouvant se produire sur la membrane qui peuvent induire une dérive et une instabilité à long terme de la poutre et donc, altérer significativement la mesure de pression. Le but de l’invention est de pallier tout ou partie de ces inconvénients, notamment en proposant une nouvelle architecture d’un capteur de pression résonant délivrant des mesures moins sensibles aux phénomènes de perturbations physiques subis par la membrane et ayant une durée de vie accrue. A cet effet, l'invention est le résultat des recherches technologiques visant à améliorer de manière très significative les performances des systèmes de mesures, notamment en environnement aéronautique. En ce sens, l’invention contribue à la réduction de l’impact environnemental des avions. Pour cela, l’invention concerne un capteur de pression résonant. Le capteur comprend : - un support comportant un fond entouré d’au moins une paroi, et - une membrane déformable comportant une première face configurée pour être soumise à la pression à mesurer et une deuxième face opposée à la première face, la deuxième face étant reliée au support de sorte que le support et la membrane déformable forment une cavité hermétique, la cavité étant remplie d’une quantité de matière de gaz prédéterminée. La cavité hermétique comprend : - un capteur de température séparé de la membrane déformable et configuré pour mesurer la température du gaz, et - une première poutre séparée de la membrane déformable et comprenant une première extrémité encastrée dans la paroi et une deuxième extrémité libre, la première poutre étant configurée pour mesurer la masse volumique du gaz. La première poutre et le capteur de température ne sont pas en contact avec la membrane déformable de sorte que le capteur de pression résonant est moins sensible aux phénomènes de perturbations générés, par exemple, par la nature de l’écoulement d’un fluide sur la première face de la membrane déformable, les vibrations de la membrane et les contraintes mécaniques résiduelles de la membrane, et de sorte que la durée de vie du capteur de pression, l’immunité aux perturbations et la stabilité de long terme du capteur de pression sont améliorées par rapport à un capteur de pression connu de l’état de la technique. Comme une seule extrémité de la première poutre est encastrée dans la paroi du support, le capteur de pression est plus stable en fréquence qu’un capteur de pression résonant comportant généralement un élément résonant encastrée à chacune de ses extrémités. Comme le capteur de température et la première poutre sont encapsulés dans la cavité hermétique, les mesures de masse volumique et de température sont moins sensibles aux phénomènes de perturbation externes. De plus, la sensibilité du capteur de pression à la pression exercée par le fluide sur la première face de la membrane déformable est aisément configurable en modifiant uniquement le volume de la cavité et/ou la quantité ou la masse molaire du gaz contenu dans la cavité. En outre, la résolution de mesure du capteur de pression est aisément configurable en choisissant la quantité du gaz emprisonné dans la cavité. De préférence, la largeur de la première poutre est supérieure à la longueur de la première poutre. Avantageusement, la première poutre est de géométrie rectangulaire, trapézoïdale ou triangulaire. De préférence, la première poutre est en forme de T ou de M. Avantageusement, le capteur de pression comporte des jauges piézorésistives disposées entre la paroi et la première extrémité de la première poutre pour mesurer un déplacement de la première poutre. Avantageusement, le capteur de température comprend une deuxième poutre séparée de la membrane déformable et comprenant une première extrémité encastrée dans la paroi et une deuxième extrémité libre, la deuxième poutre étant configurée pour mesurer la température du gaz. De préférence, la longueur de la deuxième poutre est supérieure à la largeur de la deuxième poutre. La longueur de la deuxième poutre est par exemple cinq fois supérieure à la largeur de la deuxième poutre. Avantageusement, la membrane déformable comprend une rainure débouchant sur la deuxième face, la rainure étant disposée sur le pourtour de la membrane déformable dans la cavité hermétique. Il est également proposé un système de mesure de pression comprenant : - un capteur de pression résonant tel que défini précédemment, - des moyens de mesure configurés pour mesurer la fréquence de résonance de la première poutre, - des premiers moyens de détermination configurés pour déterminer la valeur de la masse volumique du gaz dans la cavité à partir de la fréquence de résonance délivrée par les moyens de mesure, et - des deuxièmes moyens de détermination configurés pour déterminer la pression soumise sur la première face de la membrane déformable à partir de la valeur de la masse volumique du gaz et de la valeur de la température du gaz délivrée par le capteur de température. Il est également proposé un aéronef comportant un capteur de pression résonant tel que défini précédemment. D’autres buts, caractéristiques et avantages de l’invention apparaîtront à la lecture de la description suivante, donnée uniquement à titre d’exemple non limitatif et faite en référence aux dessins annexés sur lesquels : - la figure FIG. 1 illustre schématiquement un exemple d’un aéronef selon un exemple de l’invention, - les figures FIG. 2 et FIG. 3 illustrent schématiquement un premier exemple de réalisation d’un capteur de pression résonant selon l’invention, - les figures FIG. 4 , FIG. 5 , FIG. 6 et FIG. 7 illustrent schématiquement des exemples de réalisation d’une première poutre du capteur de pression résonant selon l’invention, - la figure FIG. 8 illustre schématiquement un exemple de réalisation d’une unité de traitement selon l’invention, et - la figure FIG. 9 illustre schématiquement un deuxième exemple de réalisation du capteur de pression résonant selon l’invention. Description détaillée On se réfère à la FIG. 1 qui illustre schématiquement un exemple d’un aéronef 1 comprenant des moyens de propulsion 2 comportant par exemple des turboréacteurs ou des turbopropulseurs équipés de turbomachines 3. L’aéronef 1 tel que représenté est un avion. En variante, l’aéronef 1 est un hélicoptère. L’aéronef 1 comprend en outre au moins un système de mesure 4 comportant un capteur de pression 5 résonant et une unité de traitement UT reliée au capteur de pression 5. Le capteur de pression 5 est disposé par exemple dans la turbomachine 3 pour mesurer la pression des gaz d’échappement de la turbomachine 3. La température des gaz d’échappement est généralement supérieure à 175 °C. Bien entendu, le capteur de pression 5 peut mesurer une pression pour une autre application, par exemple une pression d’huile, d’un liquide, la pression dans une cabine de l’aéronef 1. L’unité de traitement UT est disposée dans un emplacement de l’aéronef 1 ayant des conditions environnementales assurant un fonctionnement optimal et pérenne de l’unité de traitement UT, par exemple dans un emplacement de l’aéronef 1 dont la température est inférieure à 60°C . L’unité de traitement UT est par exemple disposé dans la carlingue de l’aéronef 1, et reliée au capteur de pression 5 par un câble. Les figures 2 et 3 illustrent schématiquement une coupe longitudinale et une coupe selon la ligne de coupe III-III d’un premier exemple de réalisation du capteur 5. Le capteur de pression 5 comprend un support 6 comportant un fond 7 et des parois 8, 9, 10, 11 entourant le fond 7. Le support 6 tel que représenté est rectangulaire. Bien entendu, le support 6 peut avoir une forme différente, par exemple cylindrique comportant une seule paroi cylindrique. Le capteur de pression 5 comprend en outre une membrane 12 déformable comportant une première face 13 destinée à être soumise à la pression à mesurer et une deuxième face 14 opposée à la première face 13. La deuxième face 14 est reliée aux parois 8, 9, 10, 11 de sorte que le support 6 et la membrane 12 forment une cavité hermétique 15. La cavité est remplie d’un gaz de masse molaire M, par exemple de diazote N 2 . La quantité de matière de gaz dans la cavité est prédéterminée selon les besoins en sensibilité et en étendue de la mesure délivrée par le capteur de pression 5. Le capteur de pression 5 comprend en outre un capteur de température 17 séparé de la membrane 12 et apte à mesurer la température Te du gaz présent dans la cavité 15, et une première poutre 16 séparée de la membrane 12 déformable de sorte que la première poutre 16 n’est pas en contact avec la membrane 12. On note V le volume de la cavité 15. Le capteur de température comprend par exemple une deuxième poutre 17a séparée de la membrane 12. La deuxième poutre 17a est par exemple rectangulaire. La première poutre 16 comprend une première extrémité 18 encastrée dans une première paroi 8 et une deuxième extrémité libre 19. La longueur de la première poutre 16 est référencée l 16 et la largeur de la première poutre 16 est référencée L 16 . La première poutre est apte à mesurer la masse volumique ρ du gaz présent dans la cavité 15. Afin de maximiser la sensibilité de la première poutre 16 aux variations de masse volumique ρ du gaz contenu dans la cavité 15, la largeur L 16 de la première poutre 16 est supérieure à la longueur l 16 de la première poutre 16. La première poutre 16 est par exemple rectangulaire. En variante, la première poutre 16 peut être trapézoïdale ( FIG. 4 ), la grande base du trapèze étant encastrée dans la paroi 8 et la petite base du trapèze étant libre. Selon encore une autre variante, la première poutre 16 peut être triangulaire ( FIG. 5 ), le coté le plus long du triangle étant encastrée dans la paroi 8. Lorsque des jauges piézorésistives (non représentées) disposées entre la première paroi 8 et la première extrémité 18 de la première poutre 16 sont utilisées pour suivre des déplacements de la première poutre 16, la première poutre 16 est de préférence en forme de T ( FIG. 6 ) ou de M ( FIG. 7 ) améliorant le rapport signal sur bruit d’un signal délivré les jauges piézorésistives et donc la résolution de la mesure de la masse volumique ρ. Lorsque la première poutre 16 est en forme de T ( FIG. 6 ), elle comprend une première barre 16a disposée sensiblement en parallèle avec la première paroi 8, et une deuxième barre 16b sensiblement perpendiculaire à la première paroi 8. La deuxième barre 16b comprend une première extrémité encastrée dans la première paroi 8 et une deuxième extrémité reliée à la première barre 16a. Lorsque la première poutre 16 est en forme de M ( FIG. 7 ), elle comprend une première barre 16c disposée sensiblement en parallèle avec la première paroi 8, des deuxième, troisième et quatrième barres 16b, 16e, 16f sensiblement perpendiculaires à la première paroi 8. Chaque barre 16b, 16e, 16f comprend une première extrémité encastrée dans la première paroi 8 et une deuxième extrémité reliée à la première barre 16c. La troisième barre 16e est disposée entre les première et quatrième barres 16d, 16f. La deuxième poutre 17a comprend une première extrémité 20 encastrée dans la paroi 8 et une deuxième extrémité 21 libre. La longueur de la deuxième poutre 17a est référencée l 17 et la largeur de la première poutre 17a est référencée L 17 . Afin de maximiser la sensibilité de la deuxième poutre 17a aux variations de température T du gaz contenu dans la cavité 15, la longueur l 17 de la deuxième poutre 17 est supérieure à la largeur L 17 de la deuxième poutre 17. La longueur l 17 de la deuxième poutre 17 est par exemple cinq fois supérieure à la largeur L 17 de la deuxième poutre 17. L’analyse de la fréquence de résonance de la première poutre 16 permet de déterminer la masse volumique ρ du gaz présent dans la cavité 15. L’analyse de la fréquence de résonance de la deuxième poutre 17a permet de déterminer la température Te du gaz dans la cavité 15. Comme la fréquence de résonance d’une poutre dépend principalement des variations du module d’Young généré par les variations de la température, la géométrie de la deuxième poutre 17 est apte à la mesure de la température. Bien entendu, le capteur de pression 5 peut comprendre un deuxième capteur de température comprenant par exemple une troisième poutre apte à mesurer la température du gaz et une quatrième poutre apte à mesurer la masse volumique du gaz afin d’augmenter la fiabilité du capteur de pression 5 en redondant la détermination de la température du gaz dans la cavité 15 et la détermination de la masse volumique du gaz dans la cavité 15. La valeur de la pression exercée par exemple par un fluide sur la première face 13 de la membrane 12 est déterminée, par exemple, en appliquant la loi des gaz parfait à partir de la valeur de la masse volumique ρ et de la valeur de la température Te délivrées respectivement par le capteur de pression 5. Comme la cavité 15 est hermétique, la quantité de matière de gaz dans la cavité 15 est constante. La sensibilité de la membrane 12 est égale à la différence des pressions appliquées sur les première et deuxième faces 13 et 14 de la membrane 12. Lorsque la pression appliquée sur la première face 13 est supérieure à la pression appliquée sur le deuxième face 14, la déformation de la membrane 12 résultant de la différence de pression appliquée sur les première et deuxième faces 13, 14 engendre une variation du volume de la cavité hermétique 15. La variation du volume de la cavité hermétique 15 engendre une variation de la masse volumique du gaz dan sla cavité hermétique 15. Selon la loi des gaz parfaits : (1) R étant la constante des gaz parfait et P la pression. La pression exercée sur la première face 13 de la membrane 12 est déterminée par l’unité de traitement UT à partir de l’équation (1), de la fréquence de résonnance de la première poutre 16 et de la fréquence de résonnance de la deuxième poutre 17a. En variante, lorsque le capteur de température 17 comprend un autre type de résonateur remplaçant la deuxième poutre 17a, le résonateur comprenant par exemple un capteur à onde acoustique de surface , la pression exercée sur la première face 13 de la membrane 12 est déterminée par l’unité de traitement UT à partir de l’équation (1), de la fréquence de résonnance de la première poutre 16 et de la mesure de température délivrée par le capteur de température 17. La FIG. 8 illustre schématiquement un exemple de réalisation de l’unité de traitement UT. L’unité de traitement UT comprend des moyens de mesure 30 aptes à mesurer la fréquence de résonance de la première poutre 16. Lorsque le capteur de température 17 comprend la deuxième poutre 17a, les moyens de mesure 30 de la fréquence sont en outre aptes à mesurer la fréquence de résonance de la deuxième poutre 17a. En outre, l’unité de traitement UT comprend des premiers moyens 31 de détermination aptes à déterminer la valeur de la masse volumique ρ et la valeur de la température Te du gaz dans la cavité 15, à partir des fréquences de résonances de la première poutre 16 et de la deuxième poutre 17a délivrées par les moyens de mesure 30. Des corrélations entre les fréquences de résonances des première et deuxième poutres 16, 17a et les valeurs de la masse volumique ρ et de la température Te sont effectuées pour compenser les effets indésirables de la température sur le comportement de la première poutre 16 et les effets de la masse volumique sur le comportement du capteur de température 17. Lorsque le capteur de température 17 ne comprend pas la deuxième poutre 17a et comprend un autre type de résonateur, les premiers moyens 31 déterminent la valeur de la température Te du gaz dans la cavité 15 à partir des mesures délivrées par l’autre type de résonateur. L’unité de traitement UT comprend des deuxièmes moyens de détermination 32 aptes à déterminer la pression P à partir de l’équation (1). En variante, les moyens de mesure 30, premiers moyens 31 et les deuxièmes moyens 32 sont réalisés sous la forme d’algorithmes mis en œuvre par l’unité de traitement UT. Contrairement à un capteur de pression connu de l’état de la technique, la première poutre 16 et le capteur de température 17 ne sont pas en contact avec la membrane 12 de sorte que le capteur de pression 5 résonant est moins sensible aux phénomènes de perturbation générés par exemple par la nature de l’écoulement d’un fluide (par exemple un écoulement turbulent) sur la première face 13 de la membrane 12 et de sorte que la durée de vie du capteur de pression 5 est amélioré en l’absence de contraintes mécaniques liées à la déformation de la membrane exercées de manière directe sur la première poutre 16 et le capteur de température 17. Une seule extrémité de la première poutre 16 et le cas échéant de la deuxième poutre 17a est encastrée dans la paroi du support de sorte que le capteur de pression 5 est plus stable en fréquence qu’un capteur de pression résonant comportant généralement un élément résonant encastrée à chacune de ses extrémités. Comme le capteur de température 17 et la première poutre 16 sont encapsulés dans la cavité 15 hermétique, les mesures de masse volumique et de température sont moins sensibles aux phénomènes de perturbation externes, par exemple au débit et à la nature de l’écoulement d’un fluide en contact avec la première face 13 de la membrane 12 de sorte que la détermination de la pression exercée par le fluide sur la première face 13 de la membrane 12 est moins sensible aux phénomènes de perturbation externes. De plus, la sensibilité du capteur de pression 5 à la pression exercée par le fluide sur la première face 13 de la membrane 12 est aisément configurable en modifiant uniquement le volume V de la cavité 15 ou/et en ajustant la quantité de matière de gaz dans la cavité 15, sans modification de la première poutre 16 et/ou la membrane 12 et/ou de la deuxième poutre 17a. En outre, la résolution de mesure du capteur de pression 5 est aisément configurable en choisissant la quantité de matière de gaz à emprisonné dans la cavité 15. Plus la quantité de gaz est faible (faible pression relative à la température), meilleur est le facteur de qualité de la première poutre 16 et le cas échéant de la deuxième poutre 17 de sorte que la résolution est améliorée. La FIG. 9 illustre schématiquement une coupe longitudinale d’un deuxième exemple de réalisation du capteur de pression 5. Le deuxième mode de réalisation du capteur de pression 5 diffère du premier mode de réalisation du capteur de pression 5 illustré à la FIG. 2 en ce que la membrane 12 comprend une rainure 15 débouchant sur la deuxième face 14 et étant disposée sur le pourtour de la membrane 12 dans la cavité 15 hermétique. L’épaisseur de la membrane 12 comprenant la rainure 35 est plus grande en son centre que sur son pourtour disposé dans la cavité 15 de sorte que le déplacement de la membrane est plus important comparé à la membrane 12 présentant une épaisseur constante telle qu’illustré à la FIG. 2 et ce, pour une pression identique exercée sur la première face 13 de la membre 12. Un épaississement de la deuxième face 14 de la membrane 12 et l’ajout de la rainure 35 permet en outre la réduction du volume V total de la cavité 15 La variation relative du volume (ΔV/V) de la cavité 15 est amplifiée augmentant ainsi la variation de la masse volumique de gaz dans la cavité 15 de sorte que la sensibilité du capteur de pression 5 est améliorée. Capteur de pression résonant (5) comprenant : - un support (6) comportant un fond (7) entouré d’au moins une paroi (8, 9, 10, 11), - une membrane déformable (12) comportant une première face (13) configurée pour être soumise à la pression à mesurer et une deuxième face (14) opposée à la première face, la deuxième face étant reliée au support de sorte que le support et la membrane déformable forment une cavité (15) hermétique, la cavité étant remplie d’une quantité de matière de gaz prédéterminée, caractérisé en ce que la cavité (15) hermétique comprend : - un capteur de température (17) séparé de la membrane déformable et configuré pour mesurer la température du gaz, et - une première poutre (16) séparée de la membrane déformable et comprenant une première extrémité (18) encastrée dans la paroi et une deuxième extrémité (19) libre, la première poutre étant configurée pour mesurer la masse volumique du gaz. Capteur selon la revendication 1, dans lequel la largeur (L 16 ) de la première poutre (16) est supérieure à la longueur (l 16 ) de la première poutre. Capteur selon la revendication 2, dans lequel la première poutre (16) est de géométrie rectangulaire, trapézoïdale ou triangulaire. Capteur selon la revendication 2, dans lequel la première poutre est en forme de T ou de M. Capteur selon la revendication 3, comportant des jauges piézorésistives disposées entre la paroi et la première extrémité de la première poutre pour mesurer un déplacement de la première poutre. Capteur selon l’une des revendications 1 à 5, dans lequel le capteur de température (17) comprend une deuxième poutre (17a) séparée de la membrane (12) déformable et comprenant une première extrémité (20) encastrée dans la paroi (8) et une deuxième extrémité (21) libre, la deuxième poutre étant configurée pour mesurer la température du gaz. Capteur selon la revendication 6, dans lequel la longueur (l 17 ) de la deuxième poutre (17a) est supérieure à la largeur (L 17 ) de la deuxième poutre. Capteur selon l’une des revendications 1 à 7, dans lequel la membrane (12) déformable comprend une rainure (35) débouchant sur la deuxième face (14), la rainure étant disposée sur le pourtour de la membrane déformable dans la cavité (15) hermétique. Système (4) de mesure de pression comprenant : - un capteur de pression (5) résonant selon l’une des revendication 1 à 8, - des moyens de mesure (30) configurés pour mesurer la fréquence de résonance de la première poutre (16), - des premiers moyens de détermination (31) configurés pour déterminer la valeur de la masse volumique du gaz dans la cavité (15) hermétique à partir de la fréquence de résonance délivrée par les moyens de mesure (30), et - des deuxièmes moyens de détermination (32) configurés pour déterminer la pression soumise sur la première face (13) de la membrane (12) déformable à partir de la valeur de la masse volumique du gaz et de la valeur de la température du gaz délivrée par le capteur de température (17). Aéronef (1) comportant un capteur de pression (5) résonant selon l’une des revendications 1 à 8 ou un système (4) de mesure de pression selon la revendication 9.