Brevet FR3164288A1 — publié le 20260109

L’invention concerne un résonateur mécanique (R) destiné à être employé dans un système de mesure d’une propriété d’une particule, comprenant : Un corps (1) comportant une partie oscillante (10) apte à vibrer par rapport à des moyens d’ancrage suivant un plan transversal et un canal fluidique (103) intégré dans sa partie oscillante (10) et dans lequel est amené à circuler un fluide contenant ladite particule, Caractérisé en ce qu’il comporte : Un mécanisme de charnière créé entre la partie oscillante (10) et les moyens d’ancrage, Une jauge de contrainte (3), de type suspendue, configurée pour mesurer la déformation de la partie oscillante (10) lors de sa vibration. Figure à publier avec l’abrégé : Figure 2 Résonateur mécanique destiné à être employé dans un système de mesure d’une propriété d’une particule Domaine technique de l'invention La présente invention concerne un résonateur mécanique destiné à être employé dans un système de mesure d’une propriété d’une particule et dans un système correspondant. Etat de la technique Pour détecter la présence de biomarqueurs d'intérêt tels que des protéines, exosomes, ARN circulant, ADN circulant, virus, ou des espèces cibles de plus grandes dimensions telles que des bactéries et cellules, il est connu d'utiliser des biocapteurs. Parmi les biocapteurs, il existe notamment la catégorie des capteurs gravimétriques. Ceux-ci sont basés sur l'utilisation d'un oscillateur ou résonateur mécanique, doté d'une partie oscillante comprenant une poutre ou plaque suspendue mise en vibration selon un de ses modes de résonance. Toute cible qui se greffe à la surface du résonateur, entraîne l’augmentation de la masse de celui-ci, ce qui diminue la fréquence de résonance, d’un décalage relié à la masse de la cible capturée. En mesurant les fluctuations de fréquence de résonance en continu, il est alors possible de remonter à la masse adsorbée sur le résonateur en temps réel et par exemple de suivre ainsi des cinétiques d’adsorption avec des cibles. Une solution proposée dans l'état de la technique consiste à intégrer et délimiter un canal fluidique à l’intérieur même du résonateur, tandis que celui-ci oscille dans une cavité exempte de fluide. L’avantage réside alors en un facteur de qualité très peu altéré, même en présence de fluide circulant dans l'oscillateur, et ainsi en une limite de détection optimisée. Ce type de résonateur est couramment appelé SMR ("Suspended Microchannel Resonator") ou encore SNR ("Suspended Nanochannel Resonator"), selon les dimensions de son canal fluidique. On peut noter qu'un résonateur muni d’un canal fluidique dont la largeur ou l'épaisseur est inférieure à 1µm sera référencée comme un SNR, autrement il s’agira d’un SMR. Par un gradient de pression imposé entre une entrée fluidique et une sortie fluidique du circuit, il est possible de contrôler l’écoulement du fluide (son débit et sens d’écoulement), et donc le passage de particules en suspension dans le SMR (ou SNR). Ce type de capteur a été utilisé pour diverses applications, incluant la pesée individuelle de particules biologiques telles que des cellules, des bactéries, des nanoparticules ou encore la détection de protéines spécifiques par la fonctionnalisation préalable des parois internes du SMR. Ce principe de fonctionnement est désormais bien connu. La demande de brevet US2021/046477A1 et les brevets US8899102B1 , US8631685B2 et US8312763B2 décrivent ce type de capteur. Les documents US2021/046477A1 et US8899102B2 décrivent pour leur part des solutions de type SMR classique. Dans ces solutions antérieures, la mesure de la déformation de la poutre suspendue peut être réalisée par différents moyens : Capacitifs, Optiques, Piézorésistifs. La mesure par des moyens piézorésistifs présente de nombreux avantages. Les jauges sont peu couteuses, faciles à installer et elles rendent possible une lecture multi-canaux. Classiquement, la jauge est implantée directement dans la membrane supérieure du corps du résonateur, par dopage (dopage localisé par implantation ionique). Elle vient ainsi suivre la déformation de la partie oscillante lors de sa vibration. On a constaté que dans les structures existantes (Voir publication référencée Suspended Nanochannel Resonator Arrays with Piezoresistive Sensors for High-Throughput Weighing of Nanoparticles in Solution - Marco Gagino, Georgios Katsikis, Selim Olcum, Leopold Virot, Martine Cochet, Aurélie Thuaire, Scott R. Manalis, and Vincent Agache - ACS Sensors 2020 5 (4), 1230-1238 - DOI: 10.1021/acssensors.0c00394 ), où la jauge est ainsi directement implantée, la lecture électrique limite les performances du dispositif. Autrement dit, le rapport signal/bruit est trop faible et notamment inférieur à celui que l’on obtient par comparaison via une lecture optique (par exemple par l’illumination d’une photodiode avec un laser réfléchi sur le SNR en oscillation). Cela peut s’expliquer par une faible amplitude du signal piézorésistif (variation de la résistance) du fait de la configuration choisie (implantation ionique dans la membrane supérieure du résonateur sur une très faible épaisseur en regard de l’épaisseur totale du corps du résonateur qui se déforme). Par ailleurs, nous avons constaté une dégradation du rapport signal/bruit en relation avec le niveau de conductivité du fluide circulant dans le canal du résonateur, en raison d’une isolation insuffisante avec la piézorésistance confinée dans la membrane supérieure du résonateur. Il existe donc un besoin d’obtenir un résonateur de type SMR ou SNR utilisant une mesure par piézorésistivité et dans lequel un maximum de l’énergie liée à la déformation de la partie oscillante du résonateur se trouve concentrée sur la jauge de contrainte, permettant ainsi d’augmenter l’amplitude du signal et donc d’améliorer le rapport signal/bruit. Ce but est atteint par un résonateur mécanique destiné à être employé dans un système de mesure d’une propriété d’une particule, comprenant : Un corps comportant une partie oscillante apte à vibrer par rapport à des moyens d’ancrage suivant un plan transversal et un canal fluidique intégré dans sa partie oscillante et dans lequel est amené à circuler un fluide contenant ladite particule, Un mécanisme de charnière créé entre la partie oscillante et les moyens d’ancrage, Une jauge de contrainte, de type suspendue, configurée pour mesurer la déformation de la partie oscillante lors de sa vibration. Selon une particularité, la partie oscillante comporte une poutre suspendue s’étendant en porte à faux suivant un axe longitudinal et deux poutres latérales maintenant ladite poutre suspendue, ledit canal fluidique étant ménagé à travers lesdites poutres latérales et la poutre suspendue. Selon une autre particularité, le mécanisme de charnière comporte : Au moins un premier élément de jonction mécanique et électrique formant une première passerelle joignant la partie oscillante à une première partie d’ancrage des moyens d’ancrage, ce premier élément de jonction étant déformable en flexion, Des lames de torsion formées par des parois latérales du canal fluidique dans chaque poutre latérale. Selon une autre particularité, la jauge de contrainte est arrangée pour former une deuxième passerelle suspendue entre une deuxième partie d’ancrage des moyens d’ancrage et la partie oscillante. Selon une autre particularité, la première passerelle et la deuxième passerelle sont réalisées suivant deux plans parallèles distincts, perpendiculaires au plan transversal de vibration de la partie oscillante . Selon une autre particularité, le résonateur comporte : Un circuit électrique formé entre une première zone de contact électrique et une deuxième zone de contact électrique, entre lesquelles est destiné à être mesuré un signal électrique, La première zone de contact électrique étant localisée sur la première partie d’ancrage, La deuxième zone de contact électrique étant localisée sur la deuxième partie d’ancrage, Le circuit électrique étant agencé entre la première zone de contact électrique et la deuxième zone de contact électrique, via le premier élément de jonction, la partie oscillante et la jauge de contrainte. Selon une autre particularité, le résonateur comporte un deuxième élément de jonction mécanique et électrique, agencé symétriquement au premier élément de jonction par rapport à l’axe longitudinal et formant une troisième passerelle joignant la partie oscillante à une troisième partie d’ancrage, ce deuxième élément de jonction étant également déformable en flexion pour contribuer à former ledit mécanisme de charnière pour le mouvement de vibration de la partie oscillante. Selon une autre particularité, la première partie d’ancrage et la troisième partie d’ancrage font partie du corps du résonateur mécanique. Selon une autre particularité, le corps comporte deux interstices réalisés de part et d’autre de l’axe longitudinal, creusés sur toute son épaisseur, chaque interstice étant formé de manière à laisser respectivement le premier élément de jonction mécanique et ledit deuxième élément de jonction entre la partie oscillante et leur partie d’ancrage respective. Selon une autre particularité, le corps du résonateur est réalisé par un assemblage de plusieurs couches superposées. Selon une autre particularité, chaque zone de contact électrique est réalisée par métallisation sur une couche du corps du résonateur. L’invention concerne un système de mesure d’une propriété d’une particule comprenant : Un résonateur mécanique comprenant une partie oscillante, Des moyens d’excitation configurés pour faire vibrer la partie oscillante à une fréquence d’excitation, Des moyens de mesure d’un signal électrique en sortie du résonateur mécanique, Le résonateur mécanique étant tel que défini ci-dessus. Selon une particularité, les moyens d’excitation comportent une piézocéramique sur laquelle repose le résonateur mécanique. Brève description des figures D'autres caractéristiques et avantages vont apparaître dans la description détaillée qui suit, faite en liaison avec les figures listées ci-dessous : La FIG. 1 représente un schéma illustrant le principe de réalisation du système de mesure de l’invention ; La FIG. 2 représente, vu en perspective, le résonateur mécanique employé dans le système de l’invention, selon un mode de réalisation avantageux ; La FIG. 3 représente, vu de dessus, le résonateur mécanique de la FIG. 2 ; La FIG. 4 représente une vue en coupe longitudinale selon C1 du résonateur mécanique de la FIG. 3 ; Description détaillée d'au moins un mode de réalisation L'invention concerne notamment un système utilisé pour la mesure d'au moins une propriété (par exemple la masse, le volume, la densité) d'une particule. Par particule, on entend par exemple une particule biologique telle que cellule, exosome, virus, bactérie… On entend également par particule, une particule de type inorganique telle que par exemple une particule d’or, de polystyrène… Pour la suite de la description, on définit un repère orthonormé (X, Y, Z), le plan (X, Y) étant défini comme un plan horizontal. En référence aux figures 1 à 4, le système de mesure comporte un résonateur mécanique (référencé R sur les figures annexées), plus connu sous le nom de SMR ("Suspended Microchannel Resonator" - ci-après désigné également résonateur SMR) ou de SNR ("Suspended Nanochannel Resonator"), son caractère micro ou nano dépendant notamment des dimensions de son canal fluidique intégré. Un résonateur muni d’un canal fluidique dont la largeur ou l'épaisseur est inférieure à 1µm sera référencé comme un SNR, autrement il s’agira d’un SMR. Dans le cadre de l’invention, le résonateur R comporte un corps 1. Le corps 1 comporte une partie oscillante 10. La partie oscillante 10 comporte une poutre suspendue 100 s’étendant en porte à faux suivant un axe longitudinal (selon X) et deux poutres latérales 101, 102 maintenant ladite poutre suspendue. Les deux poutres latérales 101, 102 et la poutre suspendue 100 sont agencées pour former un T. La partie oscillante 10 comporte un canal fluidique 103 intégré, débutant par une entrée fluidique, s’étendant ensuite à l’intérieur de la première poutre latérale 101 par un premier tronçon latéral, se poursuivant à l’intérieur de la poutre suspendue 100 par un tronçon aller, allant de son premier tronçon latéral jusqu’à l’extrémité libre de la poutre suspendue 100 et par un tronçon retour allant de l’extrémité libre de la poutre suspendue 100 vers un deuxième tronçon latéral, le canal fluidique se terminant sur une sortie fluidique, via le deuxième tronçon latéral situé à travers la deuxième poutre latérale 102. Le canal fluidique 103 est formé par des parois étanches sur les quatre faces (dessus, dessous, latéralement) et est destiné à être utilisé pour y injecter un fluide dans lequel sont placées une ou plusieurs particules à caractériser. Les poutres latérales 101, 102 et la poutre suspendue 100 de la partie oscillante 10 présentent donc la particularité d’être creuses pour permettre la circulation du fluide. Un résonateur R mécanique de type SMR permet de pouvoir faire circuler des particules de tailles plus importantes (qu’un SNR) dans son canal fluidique 103, et d'analyser potentiellement des échantillons plus complexes (en termes d’hétérogénéité en taille de particules en suspension). Le système comporte des moyens d'excitation 2 configurés pour faire vibrer la partie oscillante 10 du résonateur R, et plus particulièrement sa poutre suspendue 100, à une fréquence d'excitation F_smr. Cette fréquence d'excitation est avantageusement la fréquence d’un mode de résonance du résonateur. Dans ce type de résonateur R, la vibration est généralement réalisée hors plan (comme indiqué par la flèche courbée sur la FIG. 1 ). La vibration hors plan est réalisée suivant la direction (Z). La partie oscillante 10 est susceptible d'être mise en vibration pour osciller à la fréquence d'excitation F_smr, cette fréquence étant avantageusement la fréquence de résonance à son mode propre fondamental ou l’un de ses modes propres supérieurs, voire une combinaison de ces modes. Pour rappel, un tel résonateur mécanique R peut être excité selon plusieurs modes de vibration. Pour chaque mode de vibration, le résonateur présente des nœuds de vibration et des anti-nœuds de vibration. Pour rappel, un anti-nœud de vibration correspond à une zone de la partie suspendue où l'amplitude de vibration est maximale pour le mode de vibration sollicité. Par un gradient de pression imposé entre les ports situés en amont et aval du canal fluidique 103 intégré au résonateur R, il est possible de contrôler l’écoulement du fluide (son débit et sens d’écoulement) dans le canal fluidique 103, et donc le passage de particules en suspension dans le canal fluidique du résonateur mécanique 1. Lorsqu’une particule circule dans le canal fluidique du résonateur, celle-ci altère transitoirement la masse (de Δm) de la poutre suspendue 100 du résonateur R, entraînant un décalage de sa fréquence (de résonance) qui est proportionnel à la masse flottante de la particule. On définit la masse flottante de la particule par la différence de masse entre la particule et la masse du liquide porteur pour un même volume que celui de la particule ; si la particule a la même densité que le liquide porteur, il n’y a aucune différence de masse et la masse flottante est nulle. Le décalage de la fréquence ΔF_smr ( FIG. 1 ) du résonateur R dépend en effet de la masse ajoutée Δm, de la masse totale m du résonateur ainsi que d'un coefficient de correction α qui dépend spécifiquement de la position de la particule P ajoutée, et du mode de résonance du résonateur (par exemple en flexion) selon la relation suivante : Ainsi, lorsqu'une particule de masse flottante Δm donnée est injectée dans le canal fluidique 103 du résonateur R, on obtient un maximum d'amplitude de vibration lorsque cette particule est située au niveau de l'anti-nœud de vibration (pour le mode de vibration M_1 par exemple) et donc un décalage de fréquence maximum. Notons, que selon la différence de densité entre la particule et le fluide porteur, la masse flottante Δm sera positive (dans le cas d’une particule plus dense) ou négative (dans le cas d’une particule moins dense). L’actionnement/excitation de la partie oscillante 10 du résonateur R est avantageusement réalisé en amenant une piézo-céramique au contact de la face arrière du dispositif pour actionner le résonateur SMR et sa partie oscillante 10, cette piézo-céramique jouant le rôle des moyens d’excitation 2 précités. La piézo-céramique est par exemple collée sur un circuit imprimé, lui-même conçu pour lui appliquer un potentiel électrique qui va déformer le matériau piézo-électrique. La mise en vibration de ce dernier est réalisée en lui appliquant par exemple un signal électrique à la fréquence de résonance du résonateur. Il faut noter que le signal appliqué peut actionner collectivement plusieurs parties oscillantes (plusieurs SMR et/ou plusieurs SNR) arrangées en parallèle sur un même composant et les différents modes de résonance souhaités pour chacune d’entre elles. Dans ce dernier cas, le signal d'actionnement appliqué à la piézocéramique comporte plusieurs fréquences. La lecture est réalisée en utilisant une jauge de contrainte 3 fonctionnant par effet piézo-résistif. La jauge 3 est configurée pour convertir la force mécanique en signal électrique. Plus la compression de la jauge augmente, plus sa résistance électrique diminue. Pour cela, il s’agit d’insérer la jauge 3 dans un circuit électrique (par exemple un pont de Wheatstone), la déformation de la jauge définissant la résistance électrique du circuit électrique. Le principe de l’invention est schématisé par la FIG. 1 . Il consiste à proposer un agencement mécanique adapté au niveau du résonateur R pour diriger un maximum de l’énergie de la déformation de la partie oscillante 10 et de sa poutre suspendue 100 vers la jauge de contrainte 3. Autrement dit, on souhaite que la déformation mécanique de la partie oscillante 10 du résonateur R, lors de sa vibration, soit concentrée au maximum sur la jauge de contrainte 3. Pour cela, l’invention consiste à prévoir : Au moins une première partie dite d’ancrage 4a et une deuxième partie dite d’ancrage 5, séparées l’une de l’autre, sans liaison électrique entre ces deux parties. Ces deux parties d’ancrage sont reliées mécaniquement entre elles via le bâti 7 ( FIG. 1 – le bâti est choisi isolant électriquement). Un mécanisme de charnière entre la partie oscillante et les parties d’ancrage. Ce mécanisme de charnière est formé en : Créant un premier élément de jonction 104a mécanique et électrique, déformable en flexion, ce premier élément de jonction 104a formant une première passerelle entre la partie oscillante 10 et la première partie d’ancrage 4a, Utilisant des lames de torsion réalisées par les parois latérales du canal fluidique dans les poutres latérales 101 et 102 de la partie oscillante 10. Selon un aspect particulier de l’invention, la jauge de contrainte 3 est agencée pour former une deuxième passerelle suspendue entre la partie oscillante 10 et la partie fixe 5. Selon une réalisation particulière, on crée une première zone de contact électrique 40 et une deuxième zone de contact électrique 50, entre lesquelles on vient effectuer une lecture d’un signal électrique M tenant compte de la résistance dans le circuit électrique. La première zone de contact électrique 40 est avantageusement localisée sur la première partie d’ancrage 4a et la deuxième zone de contact électrique 50 est avantageusement localisée sur la deuxième partie d’ancrage 5. Le circuit électrique est réalisé entre la première zone de contact électrique 40 et la deuxième zone de contact électrique 50, via la première partie d’ancrage 4a, le premier élément de jonction 104a et/ou la poutre latérale 101, la partie oscillante 10 du résonateur R, la jauge de contrainte 3 et la deuxième partie d’ancrage 5. Selon la déformation subie par la jauge de contrainte 3, la résistance sera plus ou moins élevée et le signal électrique mesuré M sera amené à varier. La jonction de la partie oscillante 10 avec la première partie d’ancrage 4a, via le premier élément de jonction 104a, et la jonction de la partie oscillante 10 avec la deuxième partie d’ancrage 5, via la jauge de contrainte 3, sont réalisées suivant deux plans P1, P2 ( FIG. 4 ) parallèles entre eux, suivant (X, Y), ces deux plans s’étendant par exemple respectivement suivant la face supérieure du corps 1 du résonateur R et suivant la face inférieure du corps du résonateur R. Le mécanisme de charnière est créé au niveau du résonateur mécanique R avec un élément de jonction 104a qui, du fait de son épaisseur limitée (par exemple de l’ordre d’une centaine de µm, avec un rapport d’épaisseur compris entre 10 et 100, entre l’épaisseur de la poutre et celle de l’élément de jonction), est très souple en flexion (et très raide en compression, notamment beaucoup plus raide en compression que la jauge de contrainte 3. La souplesse en flexion créée grâce au mécanisme de charnière occasionne de faibles pertes d’énergie lors de la vibration du résonateur. La déformation est principalement encaissée par la jauge). Et comme la jauge de contrainte 3 est suspendue, un maximum de l’énergie de la déformation est transmis à la jauge de contrainte 3. Ainsi, c’est la jauge de contrainte qui encaisse la majeure partie de la déformation de la partie oscillante 10. De manière avantageuse, la jauge de contrainte présente une forme allongée et une section réduite, ce qui lui confère une plus grande résistance mécanique, une résistance accrue au stress à force constantes et une résistance au flambement. Selon la réalisation des figures 2 à 4, le corps 1 du résonateur R comporte la première partie d’ancrage 4a et également une troisième partie d’ancrage, référencée 4b car avantageusement identique à la première partie d’ancrage 4a décrite ci-dessus. Cette troisième partie d’ancrage 4b est également reliée mécaniquement au bâti 7. La partie oscillante 10 du résonateur R est reliée à cette troisième partie d’ancrage 4b par un deuxième élément de jonction 104b mécanique et électrique, formant une deuxième passerelle, symétrique à la première passerelle. Les deux éléments de jonction 104a, 104b concourent à remplir la fonction de charnière 6 entre la partie oscillante 10 et les deux parties d’ancrages 4a, 4b, en combinaison chacun avec les lames de torsion formées par les parois latérales du canal fluidique 103 dans chaque poutre latérale 101, 102. Les deux éléments de jonction 104a, 104b sont identiques et permettent de contribuer au mécanisme de charnière en étant choisis très souples en flexion et très raides en compression, plus raides en compression que la jauge de contrainte 3, de manière à transmettre un maximum de l’énergie de déformation de la partie oscillante 10 vers la jauge de contrainte 3. Selon un aspect particulier de l’invention, pour créer le premier élément de jonction 104a et le deuxième élément de jonction 104b, on vient creuser dans le corps 1 du résonateur R, deux interstices 105a, 105b distincts entre chaque partie d’ancrage 4a, 4b et la partie oscillante 10. On obtient ainsi deux interstices 105a, 105b différents, réalisés symétriquement de part et d’autre de l’axe longitudinal (suivant X). Chaque interstice 105a, 105b est réalisé de manière à laisser, entre la partie d’ancrage 4a, 4b et la partie oscillante 10, ledit élément de jonction 104a, 104b, sur une épaisseur déterminée, inférieure à l’épaisseur E des couches ( FIG. 4 ) formant principalement le corps 1 du résonateur R. Les interstices sont également créés pour former les poutres latérales 101, 102 de la partie oscillante 10, et donc pour aider à la formation du mécanisme de charnière. De manière avantageuse, la jonction de la partie oscillante 10 avec chaque partie d’ancrage 4a, 4b, via chaque élément de jonction 104a, 104b, et la jonction de la partie oscillante 10 avec la partie fixe 5, via la jauge de contrainte 3, sont réalisées suivant les deux plans P1, P2 parallèles précités, s’étendant par exemple respectivement suivant la face supérieure du corps 1 du résonateur R et suivant la face inférieure du corps 1 du résonateur ( FIG. 4 ). Ainsi, lors de la vibration de la partie oscillante, celle-ci est amenée à fléchir au niveau de chaque élément de jonction 104a, 104b, contribuant au mécanisme de charnière, en compagnie des lames de torsion évoquées ci-dessus. La déformation est transmise à la jauge de contrainte 3 avec un fort rapport signal/bruit, celle-ci étant suspendue entre la partie oscillante 10 du résonateur R et la partie fixe 5, la partie fixe 5 étant distincte. Autrement dit, un maximum de la déformation mécanique est ainsi transmise à la jauge de contrainte 3, permettant d’obtenir un signal fort et donc d’améliorer le rapport signal/bruit final, en masquant les bruits. Le circuit électrique réalisé entre les deux zones de contact électrique 40, 50 est avantageusement réalisé par dopage élevé uniforme pour tout le corps de la structure. Le circuit électrique est réalisé en gravant le silicium et en coupant mécaniquement les chemins. Ainsi, selon le niveau de déformation appliqué à la partie oscillante 10, la résistance du circuit qui traverse la jauge de contrainte 3 sera plus ou moins importante. Comme indiqué ci-dessus, la partie oscillante 10 est solidaire de la première partie d’ancrage 4a et de la troisième partie d’ancrage 4b, via ses deux poutres latérales 101, 102. Ainsi, lors de sa déformation, ses poutres latérales 101, 102 sont amenées à se déformer en torsion. Ces poutres latérales 101, 102 sont ainsi choisies souples en torsion. De manière non limitative, le corps du résonateur mécanique R est avantageusement réalisé par un assemblage de plusieurs couches dopées. Les zones de contact électrique peuvent être formées par métallisation sur la partie fixe et la première partie d’ancrage. Le procédé de fabrication du dispositif utilise les technologies habituelles de fabrication de MEMS/NEMS, par travail sur des couches superposées : Photo-litho gravure d’une couche NEMS présente sur un substrat SOI (« Silicium on insulator ») pour former la jauge de contrainte 3, Dépôt d’un oxyde de protection sur la couche NEMS, Photo-lithogravure de la couche d’oxyde de protection au-dessus de la jauge de contrainte 3 et du canal fluidique 103, Epitaxie d’une couche MEMS épaisse de silicium (par exemple 20µm), Photo-lithogravure profonde de la couche MEMS de silicium pour former le canal fluidique 103 et une ouverture destinée à former chaque élément de jonction 104a, 104b mécanique, Collage d’une couche fine (par exemple un wafer SOI et 500nm) pour refermer le canal fluidique 103 par le dessus, Photo-lithogravure profonde de la couche MEMS pour détourer la partie oscillante 10, la partie fixe 5 et gravure des bords de chaque élément de jonction 104a, 104b, Gravure chimique isotopique de la couche d’oxyde de protection pour libérer la partie oscillante 10, Métallisation pour créer les zones de contact électrique 40, 50. Résonateur mécanique (R) destiné à être employé dans un système de mesure d’une propriété d’une particule, comprenant : Un corps (1) comportant une partie oscillante (10) apte à vibrer par rapport à des moyens d’ancrage suivant un plan transversal et un canal fluidique (103) intégré dans sa partie oscillante (10) et dans lequel est amené à circuler un fluide contenant ladite particule, Caractérisé en ce qu’il comporte : Un mécanisme de charnière créé entre la partie oscillante (10) et les moyens d’ancrage, Une jauge de contrainte (3), de type suspendue, configurée pour mesurer la déformation de la partie oscillante (10) lors de sa vibration. Résonateur selon la revendication 1, caractérisé en ce que la partie oscillante comporte une poutre suspendue (100) s’étendant en porte à faux suivant un axe longitudinal et deux poutres latérales (101, 102) maintenant ladite poutre suspendue (100), ledit canal fluidique (103) étant ménagé à travers lesdites poutres latérales et la poutre suspendue. Résonateur selon la revendication 2, caractérisé en ce que le mécanisme de charnière comporte : Au moins un premier élément de jonction (104a) mécanique et électrique formant une première passerelle joignant la partie oscillante (10) à une première partie d’ancrage (4a) des moyens d’ancrage, ce premier élément de jonction (104a) étant déformable en flexion, Des lames de torsion formées par des parois latérales du canal fluidique (103) dans chaque poutre latérale (101, 102). Résonateur selon la revendication 3, caractérisé en ce que la jauge de contrainte (3) est arrangée pour former une deuxième passerelle suspendue entre une deuxième partie d’ancrage (5) des moyens d’ancrage et la partie oscillante (10). Résonateur selon la revendication 4, caractérisé en ce que : La première passerelle et la deuxième passerelle sont réalisées suivant deux plans parallèles distincts, perpendiculaires au plan transversal de vibration de la partie oscillante (10). Résonateur selon la revendication 5, caractérisé en ce qu’il comporte un deuxième élément de jonction (104b) mécanique et électrique, agencé symétriquement au premier élément de jonction (104a) par rapport à l’axe longitudinal et formant une troisième passerelle joignant la partie oscillante (10) à une troisième partie d’ancrage (4b), ce deuxième élément de jonction (104b) étant également déformable en flexion pour contribuer à former ledit mécanisme de charnière pour le mouvement de vibration de la partie oscillante (10). Résonateur selon la revendication 6, caractérisé en ce que la première partie d’ancrage (4a) et la troisième partie d’ancrage (4b) font partie du corps (1) du résonateur mécanique (R). Résonateur selon la revendication 7, caractérisé en ce que le corps comporte deux interstices réalisés de part et d’autre de l’axe longitudinal, creusés sur toute son épaisseur, chaque interstice étant formé de manière à laisser respectivement le premier élément de jonction mécanique (104a) et ledit deuxième élément de jonction entre la partie oscillante (10) et leur partie d’ancrage respective. Résonateur selon l’une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu’il comporte : Un circuit électrique formé entre une première zone de contact électrique (40) et une deuxième zone de contact électrique (50), entre lesquelles est destiné à être mesuré un signal électrique (M), La première zone de contact électrique (40) étant localisée sur la première partie d’ancrage (4a), La deuxième zone de contact électrique (50) étant localisée sur la deuxième partie d’ancrage (5), Le circuit électrique étant agencé entre la première zone de contact électrique (40) et la deuxième zone de contact électrique (50), via le premier élément de jonction (104a), la partie oscillante (10) et la jauge de contrainte (3). Résonateur selon la revendication 9, caractérisé en ce que le corps du résonateur est réalisé par un assemblage de plusieurs couches superposées. Résonateur selon la revendication 10, caractérisé en ce que chaque zone de contact électrique est réalisée par métallisation sur une couche du corps du résonateur. Système de mesure d’une propriété d’une particule comprenant : Un résonateur mécanique (R) comprenant une partie oscillante (10), Des moyens d’excitation (2) configurés pour faire vibrer la partie oscillante (10) à une fréquence d’excitation (F_smr), Des moyens de mesure d’un signal électrique (M) en sortie du résonateur mécanique (R), Caractérisé en ce que le résonateur mécanique (R) est tel que défini dans l’une des revendications 1 à 11. Système selon la revendication 12, caractérisé en ce que les moyens d’excitation comportent une piézocéramique sur laquelle repose le résonateur mécanique.