Brevet FR3158406A1 — publié le 20250718

L’invention concerne un dispositif de chauffage comprenant : - une plaque de chauffage (20) présentant une face de support (20a) destinée à recevoir un objet à chauffer et une face opposée dite interne (20b), - une contreplaque (22) assemblée sur la plaque de chauffage (20), et - un ou plusieurs éléments chauffants (4, 5) logés entre la face interne (20b) de la plaque de chauffage (20) et la contreplaque (22). L’invention consiste en ce qu’il comporte en outre au moins un insert (31, 32) en matériau thermiquement conducteur, comportant une ou plusieurs gorges (8) destinées à recevoir le ou les éléments chauffants (4, 5), ledit insert (31, 32) étant logé entre la face interne (20b) de la plaque de chauffage (20) et la contreplaque (22). Figure 1 Dispositif de chauffage tel qu’une plaque de chauffage électrique utilisée dans l’industrie des semi-conducteurs La présente invention se rapporte au domaine des dispositifs de chauffage tels qu’une plaque de chauffage électrique utilisée dans l’industrie des semi-conducteurs. Etat de la technique Les surfaces métalliques chauffantes telles que des plaques de chauffage électrique permettent la mise en température de plaquettes ou galettes en silicium, connues sous le terme anglais « wafer », plaquettes sur lesquelles on dépose le substrat requis à la gravure des puces électroniques. De telles plaques métalliques chauffantes sont capables d'atteindre de hautes températures, par exemple de l'ordre de 900 à 950°C, tout en garantissant une très bonne uniformité thermique. Ces plaques métalliques chauffantes sont utilisées dans des machines de dépôt sous vide, par exemple de type PVD, CVD, ALD, comme porte substrat chauffant pour la fabrication de semi-conducteurs. Ces équipements sont de très haute technicité et doivent présenter une performance thermique élevée. En particulier, le critère d’homogénéité thermique en surface des plaquettes chauffées est crucial pour la qualité du dépôt du substrat. Il est donc important de proposer une surface métallique chauffante qui présente une homogénéité thermique permettant ce chauffage uniforme desdites plaquettes. Généralement, une telle plaque chauffante est réalisée sous forme d’un disque au dos duquel sont formées des gorges en spirale, dans lesquelles court un ou plusieurs éléments chauffants tels que des câbles chauffants blindés à isolant minéral. Ces plaques peuvent atteindre des températures entre 350°C et 950°C, voire plus dans quelques cas, si besoin. La plaque est réalisée en alliage à base d'acier ou de nickel, ou en céramique. Les éléments chauffants, à savoir le ou les câbles chauffants sont plaqués au fond des gorges et brasés tel que décrit dans le brevet WO2020165452A1. Ainsi, la plaque se présente sous forme d’un disque ayant une région fonctionnelle de forme ovale, circulaire ou polygonale, laquelle présente : - d'un côté, une face de support destinée à recevoir par exemple la ou les galette à chauffer, et - de l'autre côté, une face dite interne à la surface de laquelle sont creusées une pluralité de gorges sensiblement concentriques à la région fonctionnelle, notamment circulaires ou formant une ou plusieurs spirales ; l'étape de réalisation du corps comprenant : - l’insertion du ou deux éléments chauffants dans lesdites gorges, - assemblage et fixation sur ladite face interne, notamment par soudure étanche, d'une contreplaque qui vient fermer lesdites gorges pour former ainsi le ou les logements renfermant lesdits éléments chauffants. Puis, on réalise la préparation du corps comprenant le dépôt du matériau de brasure dans un ou plusieurs réservoirs de coulée fixés sur la contreplaque, provisoirement ou formant un pied de fixation et/ou d'amenée des conducteurs des éléments chauffants. Le procédé permet ainsi un assemblage amélioré entre le corps et le ou les éléments chauffants. Ces derniers sont ainsi noyés dans la brasure liquide durant l’opération de brasage, laquelle est en contact intime et continu à la fois avec les éléments chauffants et avec le corps. La brasure remplit les vides et remplace les cavités gazeuses par de la matière métallique, sur la totalité des surfaces accessibles. On obtient ainsi un dispositif chauffant monobloc, au sens où il présente une matière métallique continue dans laquelle les éléments chauffants sont directement noyés. La plaque chauffante ainsi réalisée permet un échange thermique suffisant et uniforme, par conduction totale entre les éléments chauffants et l’ensemble mécanique composant le corps. Le procédé décrit dans ce document permet donc de réaliser une plaque chauffante avec une homogénéité du chauffage du corps, ce qui améliore l'uniformité de sa température. Une telle plaque chauffante permet aussi de d'accélérer les transferts thermiques dans le temps et donc de diminuer le temps de réaction lors des réglages en température. Ceci facilite les processus de réglage et d'asservissement en température, favorisant le maintien d'une température stable dans le temps et permettant des modifications rapides de la température obtenue. Toutefois, on a pu constater la présence d’anomalies locales de température liées notamment au cheminement des câbles et à la présence de thermocouples. La présente invention a donc pour but de pallier ces inconvénients en proposant une plaque chauffante du type de celle décrite dans l’art antérieur dans laquelle on améliore encore plus l’uniformité thermique tout en réduisant au maximum voire en éliminant ces anomalies locales de température à la surface de la plaque. A cet effet, l’invention a pour objet un dispositif de chauffage comprenant : - une plaque de chauffage présentant une face de support destinée à recevoir un objet à chauffer et une face opposée dite interne, - une contreplaque assemblée sur la plaque de chauffage, et - un ou plusieurs éléments chauffants logés entre la face interne de la plaque de chauffage et la contreplaque, caractérisé en ce qu’il comporte en outre au moins un insert en matériau thermiquement conducteur, comportant une ou plusieurs gorges destinées à recevoir le ou les éléments chauffants, ledit insert étant logé entre la face interne de la plaque de chauffage et la contreplaque. Un tel insert permet de diffuser la chaleur du ou des éléments chauffants, logés dans les gorges ménagées concentriques et/ou en spirale, vers la face de support de la plaque tout en « lissant » la température à la surface de la plaque. De manière avantageuse, la plaque de chauffage selon l’invention présente une uniformité thermique de la plaque améliorée, les anomalies locales de température imputables à la structure comme le cheminement des câbles, la présence de thermocouples étant ainsi fortement réduites. L’insert présente une face destinée à être logée contre la face interne de la plaque de chauffage et sa face opposée comporte le ou les éléments chauffants. Le ou les éléments chauffants sont fixés audit insert à l’aide d’un matériau de brasure introduit lors d’un cycle de brasage. Ainsi, ce ou ces inserts sont choisis de manière à présenter une conductivité thermique élevée mais également de manière à être capables de supporter les conditions de mise en œuvre d’un cycle de brasage consistant en un vide poussé et une montée en température de plus de 1000°C. Le ou les inserts sont ainsi constitués de matériaux tels que le cuivre et ses alliages, le nickel et ses alliages, le molybdène et ses alliages, le graphite et de tout autre matériau approprié. Lorsqu’on utilise une plaque de chauffage dans un procédé de dépôt sur des plaquettes ou galettes, des étapes de transition dans ce procédé peuvent nécessiter des zones de puissance thermique différentes tel qu’une surpuissance sur une zone annulaire ou autre de la plaque de chauffage. En effet, lors du procédé de dépôt sur les plaquettes, des chargements thermiques peuvent évoluer en cours d’opération. Il est ainsi nécessaire de pouvoir proposer sur une même plaque de chauffage des consignes de température de surface différentes en plusieurs endroits ou zones de ladite plaque de chauffage pour compenser des pertes thermiques localisées et transitoires et ainsi conserver une température de surface uniforme de la plaquette. Dans ces cas, des décalages de température de surface entre zones sont parfois requis. Il peut ainsi être nécessaire de prévoir des différences allant jusqu’à 10% de la température de consigne entre zones. Ainsi, la plaque de chauffage présente au moins deux zones thermiques chacune définie par un élément chauffant indépendant dont la température est pilotée par un thermocouple et un régulateur. De préférence, ces zones thermiques sont rendues possibles en utilisant plusieurs inserts comportant respectivement un élément chauffant indépendant, par exemple 2 ou 3, contrôlés respectivement par 2 ou 3 thermocouples et 2 ou 3 régulateurs. Ainsi, un insert et l’élément chauffant qui est logé dans ses gorges, définissent une zone thermique dont la température est pilotée par le thermocouple et le régulateur associés à l’élément chauffant. On peut ainsi définir des zones thermiques distinctes avec deux éléments chauffants distincts, ces zones, par exemple une centrale et l’autre périphérique, présentant chacune une température différente l’une de l’autre permettant de réaliser des décalages de température entre zones thermiques. On peut prévoir également qu’un seul insert et au moins deux éléments chauffants qui sont logés dans ses gorges, définissent ainsi au moins deux zones thermiques dont la température est pilotée par un thermocouple et un régulateur associés à chaque élément chauffant. Un insert présente une forme de disque dont les dimensions sont adaptées à la plaque de chauffage lorsqu’on prévoit un seul insert et en cas d’au moins deux inserts, lesdits inserts sont constitués d’un disque central et d’anneaux concentriques. On peut ainsi prévoir deux ou trois inserts logés sous une plaque de chauffage et qui, associés respectivement à un élément chauffant, définissent des zones thermiques distinctes. De plus, de manière à optimiser ces décalages de température entre zones thermiques, un élément thermiquement isolant est prévu entre deux zones thermiques de la plaque de chauffage pour réduire les flux de chaleur radiaux entre zones chauffantes et limiter la conduction thermique de zone à zone. En effet, la compacité de la plaque de chauffage, la présence de brasure autour des éléments chauffants et le ou les inserts impliquent une forte conduction thermique et un ajustement indépendant de la température de chaque zone est très difficile voire quasi impossible. Cet élément thermiquement isolant permet ainsi d’ajuster la température de chaque zone thermique en réduisant les flux de chaleur radiaux. Selon une forme de réalisation préférée, on prévoit donc plusieurs inserts sous forme d’un disque central et d’anneaux concentriques, ces disque et anneaux correspondant aux zones où une température déterminée est souhaitée pour aboutir à une uniformité thermique. Ainsi, une zone thermique étant définie par un insert et un élément chauffant associé, un élément en matériau thermiquement isolant est inséré dans un espace réservé entre deux inserts définissant deux zones thermiques adjacentes, cet espace présentant par exemple une largeur de 3 à 10 millimètres, et l’élément thermiquement isolant permettant de diminuer les flux de chaleur radiaux entre zones chauffantes. Cet élément thermiquement isolant forme une barrière thermique entre chaque zone définie par un insert. Cette barrière thermique est ainsi obtenue par la mise en place lors du montage d’un anneau en matériau thermiquement isolant entre les zones dont la température doit être pilotée individuellement, en augmentant la résistance thermique entre lesdites zones sur toute leur périphérie. La section de passage de chaleur entre zones est ainsi réduite de 30 à 75%. Selon une variante de réalisation, un insert peut comporter au moins deux éléments chauffants définissant respectivement une zone thermique différente. Un élément en matériau thermiquement isolant est alors inséré dans un espace réservé dans l’insert entre les deux zones thermiques définies respectivement par un élément chauffant. L’élément en matériau thermiquement isolant est ainsi positionné dans une rainure, de préférence discontinue, configurée pour séparer les zones thermiques. Cela facilite le montage de l’insert dans la plaque, sous forme d’une seule pièce. Des matériaux thermiquement isolants tels que des céramiques moulables, encastrables ou usinables peuvent être choisis et utilisés pour former ces barrières thermiques. De préférence, ces matériaux présentent une conductivité thermique entre 0.1 et 0.6 W/m°C, tels que ceux à base de silice, d’alumine ou de magnésie. Le matériau constituant cette barrière thermique doit donc être à la fois résistante au procédé de brasage à haute température, performante thermiquement (c’est-à-dire présentant une très faible conductivité thermique) et de mise en place aisée. De tels matériaux sont choisis parmi ceux à base de silice, d’alumine ou de magnésie et présentent une conductivité thermique très inférieure à celles des métaux de base constituant la plaque de chauffage. De plus, de tels matériaux sont choisis de manière à ne pas être imprégnés par la brasure lors de la fusion de celle-ci. L’invention concerne également un procédé de fabrication d’un tel dispositif de chauffage comprenant les étapes suivantes : E1 : fabrication d’une plaque de chauffage et contreplaque , E2 : fabrication du ou des inserts et réalisation des gorges, insertion éléments chauffants dans les gorges ainsi qu’un ou plusieurs thermocouples E3 : insertion du ou des inserts dans la plaque de chauffage, E3’ : de manière optionnelle, insertion d’un élément thermiquement isolant entre deux éléments chauffants définissant deux zones thermiques, E4 : remplissage de réservoirs de coulée ménagés depuis la face arrière de la contreplaque, à l'aide d’un matériau de brasure dans une quantité déterminée pour assurer le remplissage de tous les volumes accessibles au sein des gorges, entre les éléments chauffants, et la plaque de chauffage, ainsi que les thermocouples, E5 : préchauffage au four, jusqu'à obtention d'une température uniforme au sein de l'ensemble de l'assemblage, à une température inférieure à la température de fusion du matériau de brasure, E6 : chauffage de coulée, à une température supérieure à la température de fusion du matériau de brasure, pendant une durée déterminée pour permettre le remplissage de tous les volumes accessibles au sein des gorges, entre les éléments chauffants et le ou les inserts. L’insertion de l’élément thermiquement isolant peut être réalisée par l’introduction dans une rainure ménagée dans l‘insert ou la plaque ou lors du moulage de l’insert. L'invention sera bien comprise et d'autres aspects et avantages apparaîtront clairement à la lecture de la description qui suit, donnée à titre d'exemple en référence à la planche de dessins annexée sur laquelle les figures représentent : FIG. 1 une vue en coupe d’un dispositif de chauffage selon l’invention ; et FIG. 2 une vue en transparence du dessus du dispositif de la FIG. 1 Le dispositif de chauffage 1 selon l’invention est constitué d’une plaque de chauffage 20 du type utilisé pour fabriquer une galette ou plaquette de semi-conducteur. Cette plaque de chauffage 20 est constituée d’une plaque plane (possiblement avec des reliefs locaux) destinée à recevoir un objet à chauffer. Typiquement, la plaque de chauffage 20 est réalisée sous forme d’un disque monobloc pourvu d’un rebord périphérique 21. La plaque de chauffage 20 présente ainsi une face de support 20a sur laquelle une galette de semi-conducteur peut être déposée pour être chauffée. Deux éléments chauffants 4 et 5 sont disposés dans le dispositif de chauffage 1 de manière à constituer un élément chauffant 4 dit intérieur, formant au moins une spirale, positionné sensiblement au centre de la plaque de chauffage 20, et un élément chauffant 5 dit périphérique, formant une boucle circulaire ou plusieurs boucles en spirale, qui entoure ledit élément chauffant intérieur 4, notamment de façon plane, parallèles à la surface de support et par exemple coplanaires entre elles. Ces deux éléments chauffants 4 et 5 sont de préférence constitués de câbles chauffants blindés à isolant minéral. Contre la face interne 20b de la plaque de chauffage 20 sont disposés deux inserts 31 et 32 constitués d’un matériau thermiquement conducteur. Le premier insert 31 placé centralement est en forme de disque. Cet insert 31 présente des dimensions similaires à la partie centrale de la face interne 20b de la plaque de chauffage 20. Dans l’épaisseur de cet insert 31 sur sa face opposée à la plaque 20, sont réalisées une pluralité de gorges 8, en spirale, destinées à recevoir le câble chauffant blindé à isolant minéral 4. Un second insert 32 présente une forme annulaire et est positionné entre l’insert 31 et le rebord périphérique 21 de la plaque de chauffage 20. Dans l’épaisseur de cet insert 32 sur la face opposée à la plaque 20, sont réalisées une pluralité de gorges 7 par exemple en spirale dans lesquelles est reçu le second câble chauffant blindé à isolant minéral 5. Ces inserts 31 et 32 en matériau de conduction thermique élevée permettent d’améliorer l’uniformité thermique de la plaque de chauffage en diffusant radialement la chaleur pour lisser la température de surface de la plaque de chauffage 20. Les deux zones de chauffage délimitées par les inserts 31 et 32 et les câble chauffants 4 et 5, définissent des zones thermiques différentes Z1 (centrale) et Z2 (périphérique), contrôlées chacune par un thermocouple 6 et un régulateur associés. Ces deux zones Z1, Z2 permettent ainsi d’imposer des consignes de températures de surface de la plaque de chauffage 20 différentes, permettant de compenser des pertes thermiques localisées et transitoires, pouvant survenir du fait de l’introduction locale d’un gaz pour réaliser un plasma par exemple et ainsi conserver une température de surface uniforme de la plaquette traitée déposée sur la plaque de chauffage 20. Ainsi, comme déjà évoqué ci-dessus, la plaque de chauffage 20 présente une face de support 20a destinée à recevoir la galette à chauffer, et une face dite interne contre laquelle est logé le ou les inserts 31, 32 à la surface desquels sont creusées une pluralité de gorges 7, 8 sensiblement concentriques circulaires ou formant une ou plusieurs spirales. Une fois, les éléments chauffants 4, 5 logés dans les gorges 7, 8 des inserts 31, 32, on assemble, notamment par soudure étanche, une contreplaque 22 qui vient fermer lesdites gorges 7 pour former ainsi le ou les logements renfermant lesdits éléments chauffants 4, 5. On dépose ensuite un matériau de brasure dans un ou plusieurs réservoirs de coulée fixés sur la contreplaque 22. Ainsi, une telle plaque de chauffage peut être fabriquée selon les étapes suivantes : E1 : fabrication d’une plaque de chauffage 20 et contreplaque , E2 : fabrication du ou des inserts 31, 32 et réalisation des gorges 8, insertion éléments chauffants 4, 5 dans les gorges 8 ainsi qu’un ou plusieurs thermocouples E3 : insertion du ou des inserts 31, 32 dans la plaque de chauffage 20, fermeture par la contreplaque 22, E3’ : de manière optionnelle, insertion d’un élément thermiquement isolant 10 entre deux éléments chauffants 4, 5 définissant deux zones thermiques Z1, Z2, E4 : remplissage de réservoirs de coulée ménagés en face arrière de la contre-plaque 22 à l'aide d’un matériau de brasure dans une quantité déterminée pour assurer le remplissage de tous les volumes accessibles au sein des gorges 8, entre les éléments chauffants 4, 5, et la plaque de chauffage 20, ainsi que les thermocouples. Puis on réalise une étape de chauffage qui comprend les opérations suivantes : E5 : préchauffage au four, jusqu'à obtention d'une température uniforme au sein de l'ensemble de l'assemblage, à une température inférieure à la température de fusion du matériau de brasure. Optionnellement, le préchauffage comprend un palier de dégazage qui se fait sous vide secondaire, en totalité ou pendant une partie finale du préchauffage. E6 : chauffage de coulée, à une température supérieure à la température de fusion du matériau de brasure, pendant une durée déterminée pour permettre le remplissage de tous les volumes accessibles au sein des gorges, entre les éléments chauffants 4, 5 et le ou les inserts 31, 32. La coulée se fait sous vide secondaire, c'est-à-dire à une pression inférieure à 10-3 mbar (un millibar). Le matériau de brasure forme un alliage métallique à base de nickel, notamment de la famille BNi. De manière à pouvoir réguler de manière optimale la température de la plaque de chauffage 20, selon les deux zones thermiques définies Z1, Z2, on insère entre ces deux zones Z1, Z2, donc entre deux éléments chauffants différents 4, 5 une barrière thermique constituée d’un élément thermiquement isolant 10, c’est-à-dire un matériau présentant une faible conduction thermique. Cette barrière est insérée dans une rainure ménagée sur la face interne 20b de la plaque de chauffage 20 dans un espace intercalaire réservé entre les inserts 31, 32, donc entre les zones Z1, Z2 chauffantes pour diminuer les flux de chaleur radiaux entre ces zones chauffantes Z1, Z2. Cet espace intercalaire présente une largeur de 3 à 10 millimètres de largeur. On peut également prévoir un seul insert comportant deux éléments chauffants définissant respectivement une zone thermique, l’insert comportant une rainure dans laquelle peut être logée un élément thermiquement isolant. La barrière thermique limite le flux de chaleur conductif en occupant un espace de forme annulaire en lieu et place du métal de base, de la brasure ou de l’insert. On insère donc au moment du montage, un élément thermiquement isolant 10 sous forme d’un anneau, par exemple en matériau poreux ou constitué d’une lame de gaz, entre chaque zone Z1, Z2 à piloter individuellement. Ce matériau forme donc la barrière thermique qui augmente la résistance thermique entre zones sur toute leur périphérie. Les inserts 31, 32 ne recouvrent pas la ou les barrières thermiques pour ne pas contrecarrer leur effet de mur au flux de chaleur. Ainsi on cumule les deux effets : uniformité des températures renforcée sur chaque zone mais indépendance thermique de zone à zone. On évite ainsi que la conduction thermique liée à la compacité de la plaque chauffante 20, la présence de brasure autour des éléments chauffants 4, 5 et les inserts 31, 32 ne perturbent l’ajustement indépendant pour chaque zone Z1, Z2. Dispositif de chauffage comprenant : - une plaque de chauffage (20) présentant une face de support (20a) destinée à recevoir un objet à chauffer et une face opposée dite interne (20b), - une contreplaque (22) assemblée sur la plaque de chauffage (20), et - un ou plusieurs éléments chauffants (4, 5) logés entre la face interne (20b) de la plaque de chauffage (20) et la contreplaque (22), caractérisé en ce qu’il comporte en outre au moins un insert (31, 32) en matériau thermiquement conducteur, comportant une ou plusieurs gorges (7, 8) destinées à recevoir le ou les éléments chauffants (4, 5), ledit insert (31, 32) étant logé entre la face interne (20b) de la plaque de chauffage (20) et la contreplaque (22). Dispositif de chauffage selon la revendication 1, caractérisé en ce que le ou les inserts (31, 32) sont constitués de matériaux présentant une conductivité thermique élevée tels que le cuivre et ses alliages, le nickel et ses alliages, le molybdène et ses alliages, le graphite. Dispositif de chauffage selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce la plaque de chauffage (20) présente au moins deux zones thermiques (Z1, Z2) chacune définie par un élément chauffant indépendant (4, 5) dont la température est pilotée par un thermocouple (6) et un régulateur. Dispositif de chauffage selon la revendication 3, caractérisé en ce qu’un insert (31, 32) et l’élément chauffant (4, 5) qui est logé dans ses gorges (7, 8), définissent une zone thermique (Z1, Z2) dont la température est pilotée par un thermocouple et un régulateur associés à l’élément chauffant (4, 5). Dispositif de chauffage selon la revendication 3, caractérisé en ce qu’un insert (31, 32) et au moins deux éléments chauffants (4, 5) qui sont logés dans ses gorges (7, 8), définissent ainsi au moins deux zones thermiques (Z1, Z2) dont la température est pilotée par un thermocouple et un régulateur associés à chaque élément chauffant (4,5). Dispositif de chauffage selon l’une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu’un insert (31, 32) présente une forme de disque ou d’anneau. Dispositif de chauffage selon l’une des revendications 3 à 6, caractérisé en ce qu’un élément thermiquement isolant (10) est prévu entre deux zones thermiques (Z1, Z2) de la plaque de chauffage (20). Dispositif de chauffage selon la revendication 7, caractérisé en ce qu’un élément thermiquement isolant (10) est inséré dans un espace réservé entre deux inserts (31, 32) définissant les deux zones thermiques (Z1, Z2). Dispositif de chauffage selon la revendication 7, caractérisé en ce qu’un élément thermiquement isolant (10) est inséré dans un espace réservé sur un insert (31, 32) entre les deux zones thermiques (Z1, Z2) définies respectivement par un élément chauffant (4, 5). Dispositif de chauffage selon l’une des revendications 7 à 9, caractérisé en ce que l’élément thermiquement isolant est constitué d’un anneau (6) en matériau thermiquement isolant présentant une conductivité thermique entre 0.1 et 0.6 W/m°C, tels que ceux à base de silice, d’alumine ou de magnésie. Procédé de fabrication d’un dispositif de chauffage selon l’une des revendications 1 à 9, comprenant les étapes suivantes : E1 : fabrication d’une plaque de chauffage (20) et contreplaque , E2 : fabrication du ou des inserts (31, 32) et réalisation des gorges (8) , insertion éléments chauffants (4, 5) dans les gorges (8) ainsi qu’un ou plusieurs thermocouples E3 : insertion du ou des inserts (31, 32) dans la plaque de chauffage (20), fermeture par la contreplaque (22), E4 : remplissage de réservoirs de coulée ménagés à l'aide d’un matériau de brasure dans une quantité déterminée pour assurer le remplissage de tous les volumes accessibles au sein des gorges (7, 8), entre les éléments chauffants (4, 5), et la plaque de chauffage (20), ainsi que les thermocouples, E5 : préchauffage au four, jusqu'à obtention d'une température uniforme au sein de l'ensemble de l'assemblage, à une température inférieure à la température de fusion du matériau de brasure, E6 : chauffage de coulée, à une température supérieure à la température de fusion du matériau de brasure, pendant une durée déterminée pour permettre le remplissage de tous les volumes accessibles au sein des gorges, entre les éléments chauffants et le ou les inserts. Procédé de fabrication d’un dispositif de chauffage selon la revendication 11, caractérisé en ce qu’il comprend une étape d’insertion E3’ d’un élément thermiquement isolant (10) entre deux zones thermiques (Z1, Z2).