Brevet FR3162508A1 — publié le 20251128

L’invention concerne un système (101) de mesure d’une déformation photo-induite d’un échantillon comprenant un interféromètre de Michelson (103) qui comprend une première source lumineuse et des moyens d’acquisition et de conversion du signal optique d’interférences en un signal électrique, une seconde source lumineuse (201), un générateur de signaux arbitraires (205) configuré pour moduler l’intensité de la seconde source lumineuse (201) à une fréquence et une unité de traitement (211) du signal électrique. Le second faisceau (203), illumine l’échantillon et l’unité de traitement (211) est configurée pour déterminer l’amplitude de la déformation de l’échantillon à partir du signal électrique. Figure pour l’abrégé : Fig. 2 SYSTÈME DE MESURE D’UNE DÉFORMATION PHOTO-INDUITE D’UN ÉCHANTILLON L’invention est relative au domaine de la caractérisation des propriétés photomécaniques d’échantillons. Elle concerne en particulier un système de mesure d’une déformation photo-induite d’un échantillon. Pour caractériser la déformation photo-induite d’un échantillon, il est connu d’utiliser des méthodes dites capacitives qui consistent à placer l’échantillon à caractériser entre deux plaques d’un condensateur et à déterminer sa déformation en mesurant le changement de capacité du condensateur associé à une illumination déterminée. Ces méthodes sont limitées par le fait que les échantillons à caractériser doivent être suffisamment rigides pour pouvoir pousser les plaques du condensateur lorsqu’ils sont déformés. Une autre approche connue repose sur l’utilisation de méthodes de mesure dite indirectes telle que la spectroscopie (par exemple exposée dans l’article Photostriction of strontium ruthenate , Wei, TC. et al , Nat Commun 8, 15018 (2017)). Ces méthodes sont dites indirectes dans la mesure où elles nécessitent de connaitre a priori des propriétés du matériau dans lequel est réalisé l’échantillon ce qui implique la réalisation de mesures complémentaires et le traitement de données complexes pour pouvoir déterminer ces propriétés. Une autre approche connue également repose sur l’utilisation d’un microscope à force atomique pour déterminer la déformation de l’échantillon par contact de la pointe du microscope avec la surface de l’échantillon qui est soumis à une illumination entraînant sa déformation. Cette approche est cependant coûteuse et la pointe du microscope perturbe la source lumineuse qui est utilisée pour entraîner la déformation et peut aussi détériorer la surface de l’échantillon. La présente invention propose une solution à ces inconvénients. Ainsi, un objectif de l’invention est de proposer un système permettant une mesure directe et précise de la déformation photo-induite d’un échantillon, quel que soit le matériau dans lequel est réalisé l’échantillon et sans nécessiter de contact avec l’échantillon. À cet effet, l’invention selon un premier aspect a pour objet un système de mesure d’une déformation photo-induite d’un échantillon comprenant : - un interféromètre de Michelson comprenant : - une première source lumineuse configurée pour émettre un premier faisceau à une première longueur d’onde; - un premier séparateur configuré pour séparer le premier faisceau en une première partie circulant dans un premier bras de l’interféromètre de Michelson et une seconde partie circulant dans un second bras de l’interféromètre de Michelson ; - l’échantillon, positionné dans le premier bras, de sorte que la première partie du premier faisceau est réfléchie par ledit échantillon ; - un support mobile, sur lequel est monté un miroir, positionné dans le second bras, de sorte que la seconde partie du premier faisceau est réfléchie sur ledit miroir et la position dudit miroir peut être modifiée par l’intermédiaire dudit support mobile ; - des moyens d’acquisition d’un signal optique d’interférences entre la réflexion de la première partie du premier faisceau et la réflexion de la seconde partie du premier faisceau et de conversion dudit signal optique en un signal électrique, ledit système étant caractérisé en ce qu’il comprend en outre : - une seconde source lumineuse configurée pour émettre un second faisceau à une seconde longueur d’onde ; - un générateur de signaux arbitraires configuré pour moduler l’intensité de la seconde source lumineuse à une fréquence déterminée ; - une carte électronique connectée aux moyens et configurée pour faire l’acquisition du signal électrique ; et, - une unité de traitement du signal électrique issu de la carte électronique, et en ce que le second faisceau, dont l’intensité est modulée par le générateur de signaux arbitraires, illumine l’échantillon et l’unité de traitement est configurée pour déterminer l’amplitude de la déformation dudit échantillon à partir du signal électrique. Le système selon l’invention peut comprendre une ou plusieurs des caractéristiques suivantes, prises isolément les unes des autres ou en combinaison les unes avec les autres : - le système comprend en outre un amplificateur à détection synchrone configuré pour générer un signal électrique amplifié de la composante à la fréquence du signal électrique et dans lequel l’unité de traitement est configurée pour déterminer l’amplitude de la déformation de l’échantillon à partir dudit signal électrique amplifié. - la première longueur d’onde de la première source lumineuse est modulable, et de préférence comprise entre 600 nanomètres et le proche infrarouge, et la seconde longueur d’onde de la seconde source lumineuse est modulable, et de préférence comprise entre le proche UV et 600 nanomètres. - les moyens d’acquisition et de conversion du signal optique d’interférences sont compris parmi une photodiode et une caméra numérique. - dans l’interféromètre de Michelson, le premier séparateur est un séparateur de polarisation, et ledit interféromètre de Michelson comprend en outre une première lame quart-d’onde, positionnée dans le premier bras, entre le premier séparateur et l’échantillon, une deuxième lame quart-d’onde, positionnée dans le second bras entre le premier séparateur et le miroir, une troisième lame quart-d’onde, positionnée après le premier séparateur, et un second séparateur, de type séparateur de polarisation, positionné après la troisième lame quart-d’onde. - l’interféromètre de Michelson comprend des premiers moyens d’acquisition et de conversion du signal optique d’interférences et des seconds moyens d’acquisition et de conversion du signal optique d’interférences, positionnés après le second séparateur, sur le trajet du signal optique d’interférences, de sorte qu’une première partie dudit signal optique d’interférences est acquise par lesdits premiers moyens et une seconde partie dudit signal optique d’interférences est acquise par lesdits seconds moyens. - le système comprend en outre une lame demi-onde, positionnée entre la première source lumineuse et le premier séparateur, sur le trajet du premier faisceau. - l’interféromètre de Michelson comprend en outre, un filtre passe bande, centré sur la première longueur d’onde, positionné sur le trajet du signal optique d’interférences, en amont des moyens d’acquisition et de conversion dudit signal optique d’interférences. - la carte électronique est commandée par l’unité de traitement pour générer un signal de commande du support mobile en fonction du signal optique d’interférences, de manière à générer une boucle d’asservissement de l’interféromètre de Michelson. L’invention selon un second aspect concerne également un procédé d’utilisation du système selon le premier aspect, comprenant les étapes suivantes : - illumination de l’échantillon par le premier faisceau de la première source lumineuse ; - illumination de l’échantillon par le second faisceau de la seconde source lumineuse, modulée en intensité par le générateur de signaux arbitraires ; - acquisition du signal optique d’interférences et conversion dudit signal optique d’interférences en un signal électrique par les moyens ; - acquisition, par la carte électronique, du signal électrique ; - détermination, par l’unité de traitement de l’amplitude de la déformation de l’échantillon à partir du signal électrique issu de la carte électronique. L’invention sera mieux comprise à l’aide de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d’exemple et faite en se référant aux dessins annexés dans lesquels : la FIG. 1 est une représentation schématique d’un interféromètre de Michelson tel que celui compris dans un système de mesure d’une déformation photo-induite d’un échantillon selon un mode de réalisation de l’invention ; la FIG. 2 est un organigramme représentant un système de mesure d’une déformation photo-induite d’un échantillon selon un mode de réalisation de l’invention ; la FIG. 3 est un exemple d’évolution, en fonction de la différence de marche, de l’amplitude d’un signal optique d’interférences converti en un signal électrique ; et, la FIG. 4 est un diagramme d’étapes d’un procédé d’utilisation d’un système de mesure d’une déformation photo-induite d’un échantillon selon un mode de mise en œuvre de l’invention. En référence à la FIG. 1 et à la FIG. 2 , nous allons maintenant décrire un mode de réalisation d’un système 101 de mesure d’une déformation photo-induite d’un échantillon 115. L’invention s’applique à un échantillon réalisé dans n’importe quel matériau dès lors que l’échantillon en question est solide et présente une surface plane destinée à réfléchir un faisceau d’une première source lumineuse (décrite plus en détail plus loin). A titre d’exemple non-limitatif, l’échantillon 115 peut être réalisé dans un matériau semi-conducteur tel qu’utilisé dans la fabrication de composants électroniques. Le système 101 comprend un interféromètre de Michelson 103 qui est montré plus en détail à la FIG. 1 . L’interféromètre de Michelson 103 comprend une première source lumineuse 105 (on parle aussi de sonde) qui est configurée pour émettre un premier faisceau 107 à une longueur d’onde λ 1 . L’émission du premier faisceau 107 à la longueur d’onde λ 1 signifie que l’émission est centrée sur la longueur d’onde λ 1 est qu’elle présente une largeur spectrale déterminée autour de cette longueur d’onde. En outre, dans le mode de réalisation représenté, la première source lumineuse 105 est une source laser et présente donc une très faible largeur spectrale (de l’ordre de 0,5nm). De manière générale, l’homme du métier saura sélectionner une source lumineuse dont la longueur d’onde centrale et la largeur spectrale sont adaptées à l’échantillon à caractériser et/ou à des performances voulues du système. Par exemple, pour caractériser un échantillon réalisé dans un matériau semi-conducteur, la longueur d’onde λ 1 de la première source lumineuse 105 peut être choisie entre 600 nanomètres et le proche infrarouge (jusqu’à environ 1,6 micromètre) pour éviter que le premier faisceau 107 soit absorbé par l’échantillon 115. Dans un mode de réalisation particulier, la longueur d’onde λ 1 de la première source lumineuse 105 est modulable. En d’autres termes, il est possible de faire varier la longueur d’onde λ 1 de la première source lumineuse 105 au sein d’un intervalle de valeurs déterminé, c’est-à-dire de régler la valeur de la longueur d’onde centrale de la première source lumineuse 105 dans cet intervalle. Avantageusement, il est ainsi possible facilement d’adapter le système (i.e. de l’optimiser) pour différents échantillons réalisés dans différents matériaux. L’interféromètre de Michelson 103 comprend également un premier séparateur 109 configuré pour séparer le premier faisceau 107 en une première partie circulant dans un premier bras 111 de l’interféromètre de Michelson 103 et une seconde partie circulant dans un second bras 113 de l’interféromètre de Michelson 103. Dans l’exemple non-limitatif représenté à la FIG. 1 , le premier séparateur 109 est un séparateur de polarisation qui sépare le premier faisceau 107 en fonction de sa polarisation et l’interféromètre de Michelson 103 comprend également une lame demi-onde 127 qui est positionnée entre la première source lumineuse 105 et le premier séparateur 109, sur le trajet du premier faisceau 107. Dans cette configuration, la lame demi-onde 127 permet de régler la polarisation du premier faisceau 107 incident sur le premier séparateur 109 de manière à contrôler la répartition de la puissance du premier faisceau 107 entre la première partie et la seconde partie. Avantageusement, ce réglage peut être optimisé en fonction des pertes liées à l’échantillon 115 présent dans un des deux bras (comme décrit plus en détail plus loin). En effet, l’échantillon 115 est positionné dans le premier bras 111 de sorte que la première partie du premier faisceau 107 est réfléchie par l’échantillon 115. Le niveau de réflexion de l’échantillon 115 dépend notamment de son état de surface (i.e. de la diffusion associée) et de son niveau d’absorption. Le réglage de la lame demi-onde 127 permet donc de tenir compte de ce niveau de réflexion pour répartir la puissance du premier faisceau 107 entre les deux bras. Dans l’exemple représenté à la FIG. 1 , la polarisation du premier faisceau 107 (incident sur le séparateur 109) est linéaire et forme un angle α avec la verticale (qui est perpendiculaire au plan de l’image) et la puissance de la première partie du premier faisceau 107 (dont la polarisation est linéaire) dans le premier bras 111 est proportionnelle au sinus de l’angle α tandis que la puissance de la seconde partie du premier faisceau 107 (dont la polarisation est également linéaire et orthogonale à la polarisation de la première partie du premier faisceau 107) dans le second bras 113 est proportionnelle au cosinus de l’angle α. L’interféromètre de Michelson 103 comprend également un support mobile 117, sur lequel est monté un miroir 119, positionné dans le second bras 113, de sorte que la seconde partie du premier faisceau 107 est réfléchie sur le miroir 119 et la position du miroir 119 peut être modifiée par l’intermédiaire du support mobile 117. Dit autrement, la longueur du trajet (optique) parcouru par la seconde partie du premier faisceau 107 dans le second bras 113 peut être modifiée en modifiant la position du miroir 119 par l’intermédiaire du support mobile 117. Le terme « monté » implique ici que le miroir est rendu solidaire d’une partie mobile en translation du support mobile 117. Dans un mode de réalisation particulier, le support mobile 117 peut être une cale piézoélectrique. Avantageusement, une telle cale piézoélectrique présente un faible encombrement tout en offrant une précision de réglage du déplacement sub-micrométrique. Dans l’exemple non-limitatif représenté à la FIG. 1 , l’interféromètre de Michelson 103 comprend en outre une première lame quart-d’onde 129, positionnée dans le premier bras 111, entre le premier séparateur 109 et l’échantillon 115, et une deuxième lame quart-d’onde 131, positionnée dans le second bras 113 entre le premier séparateur 109 et le miroir 119. Les lames quart-d’onde 129 et 131 modifient l’état de polarisation, respectivement de la première partie du premier faisceau 107 et de la seconde partie du premier faisceau 107, à chaque passage dans lesdites lames quart-d’onde 129 et 131 (en passant d’une polarisation linéaire à une polarisation circulaire et réciproquement) et permettent, avantageusement, dans cette configuration où le séparateur 109 est un séparateur de polarisation, d’éviter un retour du premier faisceau 107 dans la première source lumineuse 105. L’interféromètre de Michelson comprend encore des moyens 121 et 123 d’acquisition d’un signal optique 125 d’interférences entre la réflexion de la première partie du premier faisceau 107 et la réflexion de la seconde partie du premier faisceau 107 et de conversion dudit signal optique 125 en un signal électrique 127. Dans différents modes de réalisation de l’invention, les moyens 121 et 123 peuvent être, par exemple, une photodiode ou une caméra numérique. Dans tous les cas, ces moyens 121 et 123 sont positionnés sur le trajet du signal optique 125 d’interférences pour en faire l’acquisition et le transformer en signal électrique. Dans l’exemple non-limitatif représenté à la FIG. 1 , l’interféromètre de Michelson 103 comprend également une troisième lame quart-d’onde 137 positionnée après le premier séparateur 109 (i.e. après la recombinaison des deux parties réfléchies du premier faisceau issues des deux bras et ayant traversé le premier séparateur 109) et un second séparateur 133, positionné après (dans le sens du trajet optique) la troisième lame quart-d’onde 137 (et avant les moyens 121 et 123) qui est également un séparateur de polarisation. La troisième lame quart-d’onde 137 permet d’éviter, dans cette configuration dans laquelle le séparateur 109 est un séparateur de polarisation, que les faisceaux issus des deux bras qui sont recombinés après leur passage dans le séparateur 109, présentent des polarisations linéaires orthogonales qui les empêcheraient d’interférer. De plus, dans cet exemple, l’interféromètre de Michelson 103 comprend des premiers moyens 121 et des seconds moyens 123 d’acquisition qui sont positionnés après le second séparateur 133, de sorte qu’une première partie du signal optique 125 d’interférences est acquise par les premiers moyens 121 et une seconde partie du signal optique 125 d’interférences est acquise par les seconds moyens 123. Avantageusement, cela permet, par exemple en réalisant une soustraction des signaux électriques générés par chacun des moyens, d’améliorer le rapport signal sur bruit. Outre l’exemple montré ici dans lequel l’interféromètre comprend des premiers et seconds moyens 121 et 123, l’invention concerne aussi un système 101 dans lequel l’interféromètre 103 ne comprend que (uniquement) des premiers moyens 121 d’acquisition d’un signal optique 125 d’interférences et de conversion du signal optique 125 en un signal électrique 127. Outre l’interféromètre de Michelson 103 décrit plus haut, le système 101 (visible dans son ensemble à la FIG. 2 ) comprend également une seconde source lumineuse 201 (on parle également de pompe) configurée pour émettre un second faisceau 203 à une seconde longueur d’onde λ 2 . La source lumineuse 201 est donc centrée en longueur d’onde sur la seconde longueur d’onde λ 2 est présente une largeur spectrale déterminée. La seconde longueur d’onde λ 2 est différente de la première longueur d’onde λ 1 puisque la seconde source lumineuse 201 doit permettre de générer un effet de photostriction de l’échantillon 115 (i.e. la déformation photo-induite) ce qui implique notamment l’absorption d’une partie du rayonnement de la seconde source lumineuse 201. A titre d’exemple, la seconde longueur d’onde λ 2 de la seconde source lumineuse 201 peut être comprise entre le proche UV (à partir d’environ 350 nanomètres) et 600 nanomètres. Par ailleurs, la seconde source lumineuse 201 peut également être une source laser. En outre, comme pour le cas de la première source lumineuse 105, la seconde longueur d’onde λ 2 de la seconde source lumineuse 201 peut être modulable. Avantageusement, la longueur d’onde d’émission de la seconde source lumineuse 201 peut ainsi être ajustée au matériau dans lequel est réalisé l’échantillon 115 pour optimiser l’effet de photostriction de l’échantillon 115. De plus, dans le mode de réalisation représenté à la FIG. 1 , l’interféromètre de Michelson 103 comprend en outre, un filtre passe bande 135, centré sur la première longueur d’onde λ 1 , positionné sur le trajet du signal optique 125 d’interférences, en amont des moyens 121 et 123 d’acquisition et de conversion du signal optique 125 d’interférences. Grâce à ce filtre passe-bande 135, la seconde source lumineuse 201 ne perturbe pas l’acquisition du signal optique 125 d’interférences par les moyens 121 et 123. Le système 101 comprend également un générateur de signaux arbitraires 205 (également appelé ASG de l’anglais « Arbitrary Signal Generator ») configuré pour moduler l’intensité de la seconde source lumineuse 201 à une fréquence F 1 déterminée. A titre d’exemple, la fréquence F 1 peut être comprise entre 1 mHz et quelques MHz. Le générateur de signaux arbitraires 205 permet donc de faire varier périodiquement (par exemple de manière sinusoïdale) l’intensité de la seconde source lumineuse 201. Le système 101 comprend encore une carte électronique 213 qui est connectée aux moyens 121 et 123 et qui est configurée pour faire l’acquisition du signal électrique 127 et une unité de traitement 211 du signal électrique 127 qui est issu de la carte électronique 213. Dans l’exemple non-limitatif représenté à la FIG. 2 , la carte électronique 213 est commandée par l’unité de traitement 211 pour générer un signal de commande du support mobile 117 en fonction du signal optique 125 d’interférences, de manière à générer une boucle d’asservissement 217 de l’interféromètre de Michelson 103. De plus, la boucle d’asservissement 217 comprend également un amplificateur de tension 215 entre la carte électronique et le support mobile 117 qui permet d’amplifier le signal de commande, si nécessaire, en fonction du déplacement du support mobile 117 qui est requis par l’asservissement. La présence de cet amplificateur de tension 215 dans la boucle d’asservissement 217 est facultative. Dans tous les cas, la boucle d’asservissement 217 permet de stabiliser la différence de marche (c’est-à-dire la différence de chemin optique entre les deux bras de l’interféromètre de Michelson 103) afin de maintenir le signal électrique 127 dans une zone voulue de l’évolution de son amplitude. En particulier, comme le montre la FIG. 3 qui représente l’évolution (en tension), en fonction de la différence de marche, de l’amplitude du signal optique d’interférences converti en signal électrique, dans la mesure où le signal électrique 127 est proportionnel au signal optique 125 d’interférences, son amplitude (en fonction de la différence de marche) évolue comme un signal périodique (un cosinus en l’espèce) dont la période correspond à la moitié de la première longueur d’onde λ 1 . La boucle d’asservissement vise dans ce cas à maintenir la différence de marche telle que la dérivée de l’évolution de l’amplitude du signal électrique 127 est maximale (i.e. autour de la phase Φ 0 du cosinus). De cette manière, une déformation photo-induite (périodique) par la seconde source lumineuse 201 entraîne une variation en tension V out de l’amplitude du signal électrique 127 qui peut être déterminée précisément. En effet, dans le système 101 selon l’invention, le second faisceau 203 (issu de la seconde source lumineuse 201), dont l’intensité est modulée par le générateur de signaux arbitraires 205, est utilisé pour illuminer l’échantillon 115 (ce qui entraîne sa déformation photo-induite périodique) et l’unité de traitement 211 est configurée pour déterminer l’amplitude de la déformation de l’échantillon 115 à partir du signal électrique 127. Concrètement, comme il apparaitra plus en détail plus loin en référence au procédé d’utilisation du système 101, c’est la détermination de l’évolution de l’amplitude du signal électrique 127 en fonction de l’intensité ou de la fréquence du second faisceau 203 qui permet à l’unité de traitement 211 de déterminer (i.e. de calculer) l’amplitude de la déformation photo-induite de l’échantillon 115. Enfin, outre les éléments décrits jusqu’ici, dans l’exemple non-limitatif représenté à la FIG. 2 , le système 101 comprend un amplificateur 207 à détection synchrone (ou en anglais « Lock-In Amplifier ») qui récupère le signal électrique 127 issu des moyens 121 et 123 et qui est configuré pour générer un signal électrique amplifié 209 de la composante à la fréquence F 1 du signal électrique 127 et, de ce fait, l’unité de traitement 211 est configurée pour déterminer l’amplitude de la déformation de l’échantillon 115 à partir du signal électrique amplifié 209. La présence de cette amplificateur 207 est facultative et dans différents modes de réalisation, l’amplitude de déformation de l’échantillon 115 peut être déterminée soit directement à partir du signal électrique 127 soit à partir du signal électrique amplifié 209. Avantageusement, l’utilisation de l’amplificateur 207 à détection synchrone permet d’améliorer le rapport signal sur bruit du signal électrique mesuré et donc d’augmenter la précision de la mesure. En référence à la FIG. 4 , nous allons maintenant décrire un mode de mise en œuvre d’un procédé 401 d’utilisation d’un système 101 selon l’invention. L’étape 403 consiste en l’illumination de l’échantillon 115 par le premier faisceau 107 de la première source lumineuse 105 et l’étape 405 consiste en l’illumination de l’échantillon 115 par le second faisceau 203 de la seconde source lumineuse 201 qui est modulée en intensité par le générateur de signaux arbitraires 205. Dans la pratique, ces deux étapes sont concomitantes pour que l’interféromètre de Michelson 103 puisse être utilisé pour mesurer les déformations qui sont induites par la seconde source lumineuse 201. L’étape 407 consiste ensuite en l’acquisition du signal optique 125 d’interférences et sa conversion en un signal électrique 127 par les moyens 121 et 123. Comme dit plus haut, les moyens d’acquisition et de conversion du signal optique 125 (qui sont doubles dans l’exemple représenté à la FIG. 2 ) peuvent également être unique. L’étape 409 consiste en l’acquisition, par la carte numérique 213, du signal électrique 127. Dans la pratique, la carte numérique 213 permet de convertir le signal électrique 127, issu des moyens 121 et 123, qui est analogique en un signal électrique 127 numérique qui est ensuite récupéré et traité par l’unité de traitement 211. Enfin, l’étape 411 consiste en la détermination, par l’unité de traitement 211, de l’amplitude de la déformation de l’échantillon 115 à partir du signal électrique 127 issu de la carte numérique 213. Dans l’exemple représenté à la FIG. 4 , la détermination de l’amplitude de la déformation de l’échantillon 115 est réalisée directement à partir du signal électrique 127. Toutefois, comme évoqué plus haut, la détermination de l’amplitude de la déformation de l’échantillon 115 peut être réalisée à partir d’un signal électrique amplifié 209 qui découle lui-même de l’amplification, par un amplificateur à détection synchrone, du signal électrique 127. Dans tous les cas, l’amplitude δ de la déformation photo-induite est calculée via la formule : où V PP (tel que visible à la FIG. 3 ) correspond à l’amplitude crête-crête de l’évolution du signal électrique correspondant au signal optique 125 d’interférences et V out correspond à la valeur déterminée (par l’unité de traitement 211) de l’amplitude du signal électrique 127 (ou du signal électrique amplifié 209) pour une variation déterminée de l’intensité du second faisceau 203 qui est utilisé pour illuminer l’échantillon 115. En outre, dans différents modes de réalisation, il est possible de faire varier soit l’intensité du second faisceau 203 (qui est ensuite modulé en fréquence) soit sa fréquence de modulation F 1 et de suivre l’évolution de la valeur δ de la déformation photo-induite en conséquence, pour caractériser un échantillon. Par ailleurs, dans le cas où l’échantillon 115 n’est pas parfaitement réfléchissant, ce calcul peut être adapté pour tenir compte de la partie réelle r’ et de la partie imaginaire r’’ (qui doivent être connues au préalable) du facteur de réflexion effectif de l’échantillon 115 à la première longueur d’onde λ 1 . Dans ce cas, le terme V PP peut être remplacé dans la formule ci-dessus par un terme V PP,C qui tient compte du facteur de réflexion effectif de l’échantillon et qui est calculé via la formule : où le terme A correspond à la formule : où d est égal à δ/2. Ainsi, grâce à l’invention, il est possible d’exploiter la précision d’un interféromètre de Michelson pour mesurer un déplacement et déterminer en conséquence la déformation photo-induite d’un échantillon. En outre, le système utilise uniquement des sources lumineuses de type pompe et sonde pour déterminer cette déformation et n’implique donc aucun contact avec l’échantillon ce qui réduit les risques de détérioration de l’échantillon. Enfin, le système est versatile dans la mesure où les choix des types de sources lumineuses (longueur d’onde, largeur spectrale…) utilisées peuvent permettre de couvrir une grande diversité d’échantillons et il est possible d’adapter la mesure à un échantillon qui n’est pas parfaitement réfléchissant. Système (101) de mesure d’une déformation photo-induite d’un échantillon (115) comprenant : un interféromètre de Michelson (103) comprenant : une première source lumineuse (105) configurée pour émettre un premier faisceau (107) à une première longueur d’onde (λ 1 ) ; un premier séparateur (109) configuré pour séparer le premier faisceau (107) en une première partie circulant dans un premier bras (111) de l’interféromètre de Michelson (103) et une seconde partie circulant dans un second bras (113) de l’interféromètre de Michelson (103) ; l’échantillon (115), positionné dans le premier bras (111), de sorte que la première partie du premier faisceau (107) est réfléchie par ledit échantillon (115) ; un support mobile (117), sur lequel est monté un miroir (119), positionné dans le second bras (113), de sorte que la seconde partie du premier faisceau (107) est réfléchie sur ledit miroir (119) et la position dudit miroir (119) peut être modifiée par l’intermédiaire dudit support mobile (117) ; des moyens (121, 123) d’acquisition d’un signal optique (125) d’interférences entre la réflexion de la première partie du premier faisceau (107) et la réflexion de la seconde partie du premier faisceau (107) et de conversion dudit signal optique (125) en un signal électrique (127), ledit système (101) étant caractérisé en ce qu’il comprend en outre : une seconde source lumineuse (201) configurée pour émettre un second faisceau (203) à une seconde longueur d’onde (λ 2 ) ; un générateur de signaux arbitraires (205) configuré pour moduler l’intensité de la seconde source lumineuse (201) à une fréquence (F 1 ) déterminée ; une carte électronique (213) connectée aux moyens (121, 123) et configurée pour faire l’acquisition du signal électrique (127) ; et, une unité de traitement (211) du signal électrique (127) issu de la carte électronique (213), et en ce que le second faisceau (203), dont l’intensité est modulée par le générateur de signaux arbitraires (205), illumine l’échantillon (115) et l’unité de traitement (211) est configurée pour déterminer l’amplitude de la déformation dudit échantillon (115) à partir du signal électrique (127). Système (101) selon la revendication 1, comprenant en outre un amplificateur (207) à détection synchrone configuré pour générer un signal électrique amplifié (209) de la composante à la fréquence (F 1 ) du signal électrique (127) et dans lequel l’unité de traitement (211) est configurée pour déterminer l’amplitude de la déformation de l’échantillon (115) à partir dudit signal électrique amplifié (209). Système (101) selon la revendication 1 ou la revendication 2, dans lequel la première longueur d’onde (λ 1 ) de la première source lumineuse (105) est modulable, et de préférence comprise entre 600 nanomètres et le proche infrarouge, et la seconde longueur d’onde (λ 2 ) de la seconde source lumineuse (201) est modulable, et de préférence comprise entre le proche UV et 600 nanomètres. Système (101) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les moyens (123, 125) d’acquisition et de conversion du signal optique (125) d’interférences sont compris parmi une photodiode et une caméra numérique. Système (101) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel, dans l’interféromètre de Michelson (103), le premier séparateur (109) est un séparateur de polarisation, et ledit interféromètre de Michelson (103) comprend en outre une première lame quart-d’onde (129), positionnée dans le premier bras (111), entre le premier séparateur (109) et l’échantillon (115), une deuxième lame quart-d’onde (131), positionnée dans le second bras (113) entre le premier séparateur (109) et le miroir (119), une troisième lame quart-d’onde (137), positionnée après le premier séparateur (109), et un second séparateur (133), de type séparateur de polarisation, positionné après la troisième lame quart-d’onde (137). Système (101) selon la revendication 5, dans lequel l’interféromètre de Michelson (103) comprend des premiers moyens (121) d’acquisition et de conversion du signal optique (125) d’interférences et des seconds moyens (123) d’acquisition et de conversion du signal optique (125) d’interférences, positionnés après le second séparateur (133), sur le trajet du signal optique (125) d’interférences, de sorte qu’une première partie dudit signal optique (125) d’interférences est acquise par lesdits premiers moyens (121) et une seconde partie dudit signal optique (125) d’interférences est acquise par lesdits seconds moyens (123). Système (101) selon la revendication 5 ou la revendication 6, comprenant en outre une lame demi-onde (127), positionnée entre la première source lumineuse (105) et le premier séparateur (109), sur le trajet du premier faisceau (107). Système (101) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l’interféromètre de Michelson (103) comprend en outre, un filtre passe bande (135), centré sur la première longueur d’onde (λ 1 ), positionné sur le trajet du signal optique (125) d’interférences, en amont des moyens (121, 123) d’acquisition et de conversion dudit signal optique (125) d’interférences. Système (101) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la carte électronique (213) est commandée par l’unité de traitement (211) pour générer un signal de commande du support mobile (117) en fonction du signal optique (125) d’interférences, de manière à générer une boucle d’asservissement (217) de l’interféromètre de Michelson (103). Procédé (401) d’utilisation d’un système (101) selon l’une quelconque des revendications précédentes, comprenant les étapes suivantes : illumination (403) de l’échantillon (115) par le premier faisceau (107) de la première source lumineuse (105) ; illumination (405) de l’échantillon (115) par le second faisceau (203) de la seconde source lumineuse (201), modulée en intensité par le générateur de signaux arbitraires (205) ; acquisition (407) du signal optique (125) d’interférences et conversion (407) dudit signal optique (125) d’interférences en un signal électrique (127) par les moyens (121, 123) ; acquisition (409), par la carte électronique (213), du signal électrique (127) ; détermination (411), par l’unité de traitement (211) de l’amplitude de la déformation de l’échantillon (115) à partir du signal électrique (127) issu de la carte électronique (213).