Brevet FR3157934A1 — publié le 20250704

Capteur de viscosité volumique d’une substance gazeuse La présente description concerne un capteur (200) de viscosité volumique d’une substance gazeuse, le capteur comprenant : – un transducteur MEMS (201) comportant un élément mobile (203) suspendu au-dessus d’une cavité (205) et au moins un évent (209) permettant des échanges gazeux entre la cavité et un milieu extérieur ; et – un circuit de commande du transducteur MEMS configuré pour : a) faire vibrer l’élément mobile autour de sa fréquence de résonance ; b) mesurer un signal représentatif d’une fréquence de résonance et d’une bande passante de résonance du transducteur MEMS ; et c) comparer ledit signal à un signal de référence et en déduire une information représentative de la viscosité volumique de la substance gazeuse présente dans la cavité. Figure pour l’abrégé : Fig. 2B Capteur de viscosité volumique d’une substance gazeuse La présente description concerne de façon générale les dispositifs électroniques, et en particulier les capteurs ou détecteurs de gaz. Les capteurs ou détecteurs de gaz sont des dispositifs électroniques généralement utilisés pour mesurer ou détecter la présence ou la concentration de divers gaz présents dans une substance gazeuse, par exemple un mélange gazeux tel que l’air. Ces dispositifs sont mis en œuvre dans de nombreuses applications, telles que des applications de surveillance de qualité de l’air, de contrôle de ventilation, de détection de fuites, etc. Cela conduit à des améliorations, notamment en termes de sécurité et d’efficacité, dans de nombreux domaines techniques. Les capteurs de gaz existants peuvent être classés, entre autres, selon les deux critères suivants : – selon un type de gaz détecté, par exemple le monoxyde de carbone, le méthane, le dihydrogène, l’ammoniac, le dioxygène, etc. ; ou – selon une technique de détection mise en œuvre par le capteur, conduisant à distinguer par exemple des capteurs infrarouge, des capteurs à photo-ionisation, des capteurs électrochimiques, des capteurs à conductivité thermique, des capteurs à base d’oxyde métallique, des capteurs catalytiques, etc. Toutefois, les capteurs de gaz existants souffrent de divers inconvénients. En particulier, les capteurs de gaz existants s’avèrent encombrants, gourmands en énergie, peu stables et onéreux. Il existe un besoin de pallier tout ou partie des inconvénients des capteurs de gaz existants. Il serait en particulier souhaitable de pouvoir disposer de capteurs de gaz compacts, économes en énergie, stables et peu coûteux. Pour cela, un mode de réalisation prévoit un capteur de viscosité volumique d’une substance gazeuse, le capteur comprenant : – un transducteur MEMS comportant un élément mobile suspendu au-dessus d’une cavité et au moins un évent permettant des échanges gazeux entre la cavité et un milieu extérieur ; et – un circuit de commande du transducteur MEMS configuré pour : a) faire vibrer l’élément mobile autour de sa fréquence de résonance ; b) mesurer un signal représentatif d’une fréquence de résonance et d’une bande passante de résonance du transducteur MEMS ; et c) comparer ledit signal à un signal de référence et en déduire une information représentative de la viscosité volumique de la substance gazeuse présente dans la cavité. Selon un mode de réalisation, la cavité est formée dans un substrat en un matériau semiconducteur, de préférence le silicium, l’élément mobile étant une membrane en le matériau semiconducteur. Selon un mode de réalisation, le transducteur MEMS est de type PMUT. Selon un mode de réalisation, le transducteur MEMS comprend une structure d’excitation et de détection comportant : – une première électrode, située d’un côté de l’élément mobile opposé à la cavité ; – une couche en un matériau piézoélectrique, située d’un côté de la première électrode opposé à l’élément mobile ; et – une deuxième électrode, située d’un côté de la couche en matériau piézoélectrique opposé à la première électrode. Selon un mode de réalisation, le transducteur MEMS comprend : – une structure d’excitation comportant une première électrode, située d’un côté de l’élément mobile opposé à la cavité, une première couche en un matériau piézoélectrique, située d’un côté de la première électrode opposé à l’élément mobile, et une deuxième électrode, située d’un côté de la première couche en matériau piézoélectrique opposé à la première électrode ; et – une structure de détection distincte de la structure d’excitation et comportant une troisième électrode, située d’un côté de l’élément mobile opposé à la cavité, une deuxième couche en un matériau piézoélectrique, située d’un côté de la troisième électrode opposé à l’élément mobile, et une quatrième électrode, située d’un côté de la couche en matériau piézoélectrique opposé à la troisième électrode. Selon un mode de réalisation, le transducteur MEMS est de type CMUT. Selon un mode de réalisation, le transducteur MEMS comprend une structure comportant une première électrode revêtant le fond de la cavité, et une deuxième électrode située sur l’élément mobile à l’aplomb de la première électrode. Selon un mode de réalisation, le transducteur MEMS comprend : – une structure d’excitation comportant une première électrode, située sur et en contact avec le fond de la cavité, et une deuxième électrode, située sur l’élément mobile à l’aplomb de la première électrode ; et – une structure de détection distincte de la structure d’excitation et comportant une troisième électrode, située sur et en contact avec le fond de la cavité, et une quatrième électrode, située sur l’élément mobile à l’aplomb de la troisième électrode. Selon un mode de réalisation, le circuit de commande est configuré pour : – lors d’une phase d’excitation, appliquer une tension d’excitation entre les première et deuxième électrodes du transducteur ; et – lors d’une phase de détection, postérieure à la phase d’excitation, lire une tension produite entre les première et deuxième électrodes du transducteur sous l’action d’une déformation de l’élément mobile. Selon un mode de réalisation, le circuit de commande est configuré pour appliquer une tension d’excitation alternative entre les première et deuxième électrodes de façon à provoquer une alternance de phases de compression et de détente de la substance gazeuse présente à l’intérieur de la cavité, et pour simultanément lire une tension produite entre les troisième et quatrième électrodes sous l’action de la vibration de l’élément mobile. Un mode de réalisation prévoit un dispositif de mesure de qualité d’air ou de détection de fuites comprenant un capteur tel que décrit. Un mode de réalisation prévoit un procédé de commande d’un capteur de viscosité volumique d’une substance gazeuse, le capteur comprenant : – un transducteur MEMS comportant un élément mobile suspendu au-dessus d’une cavité et au moins un évent permettant des échanges gazeux entre la cavité et un milieu extérieur ; et – un circuit de commande du transducteur MEMS, le procédé comprenant les étapes suivantes, mises en œuvre par le circuit de commande : a) faire vibrer l’élément mobile autour de sa fréquence de résonance ; b) mesurer un signal représentatif d’une fréquence de résonance et d’une bande passante de résonance du transducteur MEMS ; et c) comparer ledit signal à un signal de référence et en déduire une information représentative de la viscosité volumique de la substance gazeuse présente dans la cavité. Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d’autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la FIG. 1 est une vue de côté, très schématique et partielle, d’un dispositif de mesure de viscosité volumique d’une substance gazeuse selon un mode de réalisation ; la FIG. 2 et la FIG. 2 sont respectivement une vue de dessus et une vue de côté et en coupe selon le plan BB de la FIG. 2 , schématiques et partielles, d’un capteur de viscosité volumique d’une substance gazeuse selon un mode de réalisation ; la FIG. 3 est une vue de côté et en coupe, schématique et partielle, d’un capteur de viscosité volumique d’une substance gazeuse selon un mode de réalisation ; la FIG. 4 est une vue de côté et en coupe, schématique et partielle, d’un capteur de viscosité volumique d’une substance gazeuse selon un mode de réalisation ; la FIG. 5 est une vue de côté et en coupe, schématique et partielle, d’un capteur de viscosité volumique d’une substance gazeuse selon un mode de réalisation ; la FIG. 6 est une vue de côté et en coupe, schématique et partielle, d’un capteur de viscosité volumique d’une substance gazeuse selon un mode de réalisation ; et la FIG. 7 est une vue de côté et en coupe, schématique et partielle, d’un dispositif électronique intégrant un capteur de viscosité volumique d’une substance gazeuse selon un mode de réalisation. De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références dans les différentes figures. En particulier, les éléments structurels et/ou fonctionnels communs aux différents modes de réalisation peuvent présenter les mêmes références et peuvent disposer de propriétés structurelles, dimensionnelles et matérielles identiques. Par souci de clarté, seuls les étapes et éléments utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés. En particulier, les applications des capteurs de la présente description n’ont pas été détaillées, les modes de réalisation décrits étant compatibles avec toutes ou la plupart des applications susceptibles de tirer profit d’un capteur de viscosité volumique d’une substance gazeuse, moyennant éventuellement des adaptations à la portée de la personne du métier à la lecture de la présente description. Sauf précision contraire, lorsque l’on fait référence à deux éléments connectés entre eux, cela signifie directement connectés sans éléments intermédiaires autres que des conducteurs, et lorsque l’on fait référence à deux éléments reliés (en anglais « coupled ») entre eux, cela signifie que ces deux éléments peuvent être connectés ou être reliés par l’intermédiaire d’un ou plusieurs autres éléments. Dans la description qui suit, lorsque l’on fait référence à des qualificatifs de position absolue, tels que les termes « avant », « arrière », « haut », « bas », « gauche », « droite », etc., ou relative, tels que les termes « dessus », « dessous », « supérieur », « inférieur », etc., ou à des qualificatifs d’orientation, tels que les termes « horizontal », « vertical », etc., il est fait référence, sauf précision contraire, à l’orientation des figures. Sauf précision contraire, les expressions « environ », « approximativement », « sensiblement », et « de l’ordre de » signifient à 10 % près, de préférence à 5 % près. Dans la description qui suit, les qualificatifs « isolant » et « conducteur » signifient respectivement, sauf précision contraire, électriquement isolant et électriquement conducteur. La FIG. 1 est une vue de côté, très schématique et partielle, d’un dispositif 100 de mesure de viscosité volumique d’une substance gazeuse selon un mode de réalisation. Dans l’exemple représenté, le dispositif 100 comprend un piston 101 de masse m et d’épaisseur t. Le piston 101 présente par exemple, en vue de dessus, un pourtour de forme sensiblement circulaire et de rayon a. Dans l’exemple illustré, le piston 101 est suspendu, par un ressort 103 de constante de raideur k s , à un ancrage fixe 105T situé au-dessus du piston 101. Dans l’orientation de la FIG. 1 , le piston 101 est situé au-dessus d’une paroi horizontale 105B fixe par rapport à l’ancrage 105T. Dans cet exemple, le piston 101 est suspendu au-dessus de la paroi horizontale 105B par le ressort 103. Dans l’orientation de la FIG. 1 , la face supérieure de la paroi horizontale 105B présente par exemple une aire supérieure ou égale à celle de la face inférieure du piston 101. Dans l’orientation de la FIG. 1 , la face inférieure du piston 101 et la face supérieure de la paroi horizontale 105B délimitent verticalement une région 107. La région 107 s’étend par exemple latéralement sous toute la face inférieure du piston 101, et s’interrompt sensiblement à l’aplomb de la paroi latérale du piston 101. La région 107 contient par exemple une substance gazeuse, par exemple un gaz pur ou un mélange gazeux. À titre d’exemple, la région 107 est remplie d’air. Dans l’exemple représenté en FIG. 1 , le dispositif 100 est dépourvu de parois latérales délimitant, ou bordant, latéralement la région 107. Dans cet exemple, la région 107 communique avec un milieu extérieur, ou milieu ambiant. La substance gazeuse présente entre le piston 101 et la paroi horizontale 105B est ainsi libre de circuler entre l’intérieur de la région 107 et le milieu extérieur. Le piston 101 est par exemple animé d’un mouvement vibratoire ou oscillatoire le long d’un axe vertical, dans l’orientation de la FIG. 1 . La FIG. 1 illustre plus précisément le cas d’une phase de compression, lors de laquelle le piston 101 s’est déplacé, le long d’un axe vertical, d’une distance x par rapport à une position d’équilibre, ou position de repos, symbolisée par un rectangle en pointillé. Lorsque le piston 101 est dans sa position d’équilibre, la région 107 présente une hauteur, ou épaisseur, g 0 . Dans cet exemple, la face inférieure du piston 101 est séparée de la face supérieure de la paroi horizontale 105B par une distance g 0 - x. Le mouvement imprimé au piston 101, par exemple au moyen d’un système électromécanique non détaillé en FIG. 1 , est par exemple un mouvement vibratoire périodique de pulsation ω. Le comportement de la substance gazeuse située dans la région 107 est par exemple caractérisé par une solution à l’équation de Reynolds linéarisée pour un gaz compressible. Cette solution prend la forme de deux forces qui dépendent chacune d’un paramètre σ sans dimension : une force d’amortissement visqueux f d (σ) et une force élastique f e (σ). Le paramètre σ, appelé nombre de compression (« squeeze number », en anglais), est défini par la relation suivante : Dans la relation qui précède, μ traduit la viscosité dynamique de la substance gazeuse et P a la pression ambiante. La pression ambiante P a correspond par exemple à la pression régnant dans le milieu extérieur, ou à la pression de la substance gazeuse contenue dans la région 107 lorsque le piston 101 se trouve dans sa position d’équilibre. Dans un cas où le piston 101 oscille à haute fréquence, pour laquelle le paramètre σ présente une valeur très grande, par exemple très supérieure à 1, par exemple supérieure à 100 ou supérieure à 1 000, la substance gazeuse n’a alors pas le temps de s’échapper de la région 107 et est tantôt comprimée, tantôt détendue sous l’action du piston 101 qui, par son mouvement oscillatoire, diminue et augmente alternativement le volume de la région 107. Par conséquent, la substance gazeuse présente dans la région 107 subit une alternance de phases de compression et de phases de détente. Cela correspond par exemple à un mode de fonctionnement du dispositif 100 dans lequel le piston 101 est principalement soumis à une force de rappel élastique. La substance gazeuse contenue dans la région 107 se comporte alors comme un ressort de constante de raideur k sg . La constante de raideur k sg est définie par la relation suivante : Dans la relation ci-dessus, S correspond à l’aire de la face inférieure du piston 101 (S = πa 2 dans le cas où le piston 101 est de forme circulaire et présente un rayon a). À titre d’exemple, l’aire S de la face inférieure du piston 101 est de l’ordre de quelques millièmes de micromètres carrés à quelques millimètres carrés. Dans ce mode de fonctionnement, le piston 101 présente une fréquence de résonance f r donnée par la relation ci-dessous : Le mouvement oscillatoire du piston 101 est en outre caractérisé par une bande passante BW de résonance. La bande passante de résonance d’un résonateur correspond à une bande de fréquences pour lesquelles l’amplitude d’oscillation est supérieure à une amplitude d’oscillation maximale divisée par racine de deux, soit une valeur d’atténuation égale à -3dB. La bande passante BW de résonance est principalement fonction de pertes radiatives dans le milieu ambiant et d’une force d’amortissement visqueux causée par la présence de la substance gazeuse dans la région 107. Par ailleurs, du fait que la substance gazeuse située dans la région 107 est soumise à des phénomènes de compression et de détente sous l’action du piston 101, le mouvement du piston 101 est en outre déterminé par un paramètre physique caractéristique de la substance gazeuse se trouvant dans la région 107, appelé viscosité volumique (« bulk viscosity » ou « volume viscosity », en anglais). À l’instar d’autres paramètres, tels que la densité, la viscosité dynamique et la conductivité thermique, la viscosité volumique est un paramètre physique caractéristique de chaque substance fluide ou gazeuse. La viscosité volumique d’une substance liquide ou gazeuse traduit une résistance irréversible, supérieure à une résistance réversible due à un module de compression isentropique de la substance, à une compression ou à une détente de la substance. Plus la viscosité volumique est élevée, plus les pertes liées au mouvement du piston 101 sont élevées et plus la bande passante BW de résonance est grande, ou large. Outre de sa nature, la viscosité volumique d’une substance dépend de la température et de la pression de la substance. Dans un cas d’un mélange de deux substances gazeuses présentant respectivement des viscosités volumiques μ B0 et μ B 1 , par exemple dans un cas où un gaz de viscosité volumique μ B 1 très supérieure, par exemple au moins cent ou mille fois supérieure à la viscosité volumique μ B0 , est ajouté au gaz ou au mélange gazeux de viscosité volumique μ B0 initialement présent dans la région 107, par exemple dans un cas ou du dioxyde de carbone (μ B 1 environ quatre mille fois supérieur à la viscosité volumique μ B0 de l’air à température ambiante) est ajouté à l’air, la substance gazeuse alors contenue dans la région 107 après introduction du gaz de viscosité volumique μ B 1 présente une viscosité volumique μ B donnée par la relation suivante : Dans la relation ci-dessus, la grandeur C 1 correspond à une concentration, exprimée en fraction molaire, du gaz de viscosité volumique μ B 1 dans la substance gazeuse contenue dans la région 107. La viscosité volumique μ B de la substance gazeuse contenant le gaz de viscosité volumique μ B 1 est ainsi supérieure à sa viscosité volumique μ B0 avant l’introduction de ce gaz. Cela augmente la bande passante BW de résonance du piston 101. Pour une concentration C 1 très inférieure à 1, par exemple de l’ordre de quelques pourcents, par exemple inférieure à 10 % ou inférieure à 5 %, l’augmentation de la bande passante BW de résonance est sensiblement proportionnelle à la concentration C 1 . Même pour des concentrations plus élevées que celles décrites ci-dessus, la fonction est proche d’une fonction linéaire ou, du moins, d’une fonction monotone. En mesurant l’augmentation de la bande passante BW, il est ainsi possible de remonter à la concentration C 1 du gaz de viscosité volumique μ B 1 dans la substance gazeuse contenue dans la région 107. Par comparaison de la fréquence de résonance et de la bande passante BW de résonance à un seuil, il est par exemple en outre possible de détecter une introduction du gaz de viscosité volumique μ B 1 dans la substance gazeuse située dans la région 107, et de mesurer sa concentration. Pour cette mesure, le mouvement du piston est dit « sous-amorti », c’est-à-dire qu’il se situe dans une plage pour laquelle le rapport f r /BW est strictement supérieur à 1/2. La FIG. 1 illustre, à titre d’exemple, le cas d’un dispositif comprenant un élément mobile oscillant comportant un piston suspendu, par un ressort, au-dessus d’une surface plane fixe. Toutefois, cet exemple n’est pas limitatif et la personne du métier est, à titre de variante, capable de prévoir, à partir des indications de la présente description, des éléments mobiles différents de celui du dispositif 100 de la FIG. 1 . D’autres exemples de dispositifs présentant un fonctionnement analogue à celui du dispositif 100 de la FIG. 1 sont exposés ci-dessous. La FIG. 2 et la FIG. 2 sont respectivement une vue de dessus et une vue de côté et en coupe selon le plan BB de la FIG. 2 , schématiques et partielles, d’un capteur 200 de viscosité volumique d’une substance gazeuse selon un mode de réalisation. Dans l’exemple représenté, le capteur 200 comprend un transducteur 201, par exemple un transducteur de type MEMS (de l’anglais « microelectromechanical system », microsystème électromécanique). Le transducteur 201 comporte un élément mobile 203 suspendu au-dessus d’une cavité 205 formée dans un substrat 207. À titre d’exemple, le substrat 207 est un morceau de plaquette en un matériau semiconducteur, par exemple le silicium. Dans l’exemple illustré, l’élément mobile 203 est une plaque ou une membrane déformable permettant de comprimer ou de détendre une substance gazeuse située dans la cavité 205. À titre d’exemple, l’élément mobile 203 est une membrane en le matériau du substrat 207, par exemple une membrane en silicium, et présente par exemple une épaisseur de l’ordre d’un dixième de micromètre à plusieurs micromètres, par exemple égale à environ 2 µm. À titre d’exemple, la cavité 205 présente une hauteur comprise entre un dixième de micromètre et plusieurs micromètres, par exemple égale à environ 0,8 µm. Dans l’exemple représenté, l’élément mobile 203 et la cavité 205 présentent chacun, en vue de dessus, une forme sensiblement circulaire. Dans cet exemple, la cavité 205 présente plus précisément une forme cylindrique de section circulaire. Dans l’exemple illustré, l’élément mobile 203 présente des dimensions latérales sensiblement égales à celles de la cavité 205. Cet exemple n’est toutefois pas limitatif, l’élément mobile 203 et la cavité 205 pouvant, à titre de variante, présenter des formes quelconques et des dimensions latérales différentes. Le transducteur 201 comprend par exemple en outre au moins un évent 209 (plusieurs évents 209, dans l’exemple représenté), ou orifice d’aération, permettant des échanges gazeux entre la cavité 205 et un milieu extérieur. Dans l’exemple illustré, l’élément mobile 203 est destiné à comprimer et à détendre la substance gazeuse contenue dans la cavité 207 de façon analogue à ce qui a été décrit précédemment en relation avec la FIG. 1 pour le piston 101 et la cavité 107, l’élément mobile 203 du capteur 200 étant analogue à un ensemble comprenant le piston 101 suspendu par le ressort 103 du dispositif 100. Les évents 209 sont par exemple des ouvertures traversantes formées dans la membrane, à l’aplomb de la cavité 205, et peuvent présenter chacun, en vue de dessus, une forme quelconque, par exemple polygonale, rectangulaire, carrée, circulaire, ovale, etc. Dans l’exemple représenté, les évents 209 sont situés à la périphérie de l’élément résonant 203. La membrane étant destinée à subir une déformation maximale au voisinage de sa partie centrale, le fait de prévoir que les évents 209 soient situés à la périphérie de la membrane a pour effet de maximiser une efficacité de compression et de détente de la substance gazeuse par la membrane. Cela présente l’avantage de maximiser la sensibilité du capteur 200. Par ailleurs, le fait de prévoir les évents 209 en périphérie de l’élément mobile 203, c’est-à-dire en périphérie de la cavité 205, dans l’exemple représenté, ne modifie sensiblement pas les forces élastiques et visqueuses s’exerçant à l’intérieur de la cavité 205. Dans l’exemple représenté, le capteur 200 comprend en outre un élément chauffant 211 situé sur l’élément mobile 203. L’élément chauffant 211 comprend, dans l’exemple illustré en figures 2A et 2B, un élément résistif 213, par exemple une couche mince conductrice en un métal ou en un alliage métallique, dont les extrémités sont connectées respectivement à des éléments de reprise de contact 215, par exemple des plots conducteurs en un métal ou en un alliage métallique. L’élément résistif est par exemple situé sur et en contact avec une face de l’élément mobile 203 opposée à la cavité 205 (la face supérieure de l’élément mobile 203, dans l’orientation de la FIG. 2 ). Par ailleurs, les éléments de reprise de contact 215 sont par exemple situés sur et en contact avec la face supérieure du substrat 207, par exemple hors de l’aplomb de l’élément mobile 203. Les éléments de reprise de contact 215 sont par exemple diamétralement opposés par rapport au cercle formé, en vue de dessus, par la cavité 205. L’élément chauffant 211 est destiné à augmenter la température de l’élément mobile 203. Cela permet par exemple d’évacuer l’humidité susceptible de se trouver à l’intérieur de la cavité 205. À titre d’exemple, dans un cas où l’élément mobile 203 est une membrane déformable, la membrane peut venir se coller, ou adhérer, au fond de la cavité 205 du fait de la présence d’humidité. Dans ce cas, l’élément chauffant 211 permet avantageusement d’éliminer au moins partiellement de l’eau condensée présente dans la cavité 205 et de décoller la membrane par rapport au fond de la cavité 205. À titre de variante, l’élément chauffant 211 peut être omis. Dans l’exemple illustré, des plots 217, symbolisés par des triangles en FIG. 2 , sont prévus sur la face inférieure de l’élément mobile 203 et/ou sur le fond de la cavité 205 afin d’empêcher l’élément mobile 203 de se coller au fond de la cavité 205. Les plots 217 peuvent présenter une forme quelconque, par exemple pyramidale, parallélépipédique, cubique, etc. À titre de variante, les plots 217 peuvent être omis. Bien que cela n’ait pas été détaillé en figures 2A et 2B, la face inférieure de l’élément mobile 203 et/ou la face latérale et le fond de la cavité 205 peuvent être revêtus d’une couche hydrophobe. Le capteur 200 est par exemple dépourvu de matériaux à base de plomb. Par ailleurs, le capteur 200 présente par exemple des caractéristiques compatibles avec une réalisation par la mise en œuvre de procédés dits CMOS (de l’anglais « Complementary Metal-Oxide-Semiconductor » - métal-oxyde-semiconducteur complémentaire). De façon analogue à ce qui a été exposé précédemment en relation avec la FIG. 1 , l’élément mobile 203 du capteur 200 est destiné à être soumis à un mouvement vibratoire, ou oscillatoire, le conduisant à se déformer le long d’un axe vertical, dans l’orientation de la FIG. 2 , de sorte à provoquer une alternance de phases de compression et de phases de détente de la substance gazeuse contenue dans la cavité 205. La FIG. 2 illustre plus précisément un cas dans lequel l’élément mobile 203 est dans une position de repos. Par ailleurs, en FIG. 2 , une forme en pointillé symbolise la déformation de l’élément mobile 203 lors de l’une des phases de compression. Bien que cela n’ait pas été détaillé en figures 2A et 2B, différents types de dispositifs d’actionnement et de détection peuvent équiper le capteur 200. La description qui suit en expose quelques exemples, à titre non limitatif. La FIG. 3 est une vue de côté et en coupe, schématique et partielle, d’un capteur 300 de viscosité volumique d’une substance gazeuse selon un mode de réalisation. Le capteur 300 de la FIG. 3 comprend des éléments en commun avec le capteur 200 des figures 2A et 2B. Ces éléments communs ne seront pas détaillés à nouveau ci-après. Le capteur 300 diffère du capteur 200 en ce qu’il comprend un transducteur 301 de type PMUT (de l’anglais « Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer » - transducteur ultrasonore piézoélectrique micro-usiné). Le transducteur PMUT 301 est par exemple plus précisément à excitation et à détection successives, ou alternées. Dans l’exemple représenté, le transducteur PMUT 301 comprend, outre l’élément mobile 203 et la cavité 205 formée dans le substrat 207, une structure 302 d’excitation et de détection comportant une première électrode 303, située d’un côté de l’élément mobile 203 opposé à la cavité 205, une couche 305 en un matériau piézoélectrique, située d’un côté de la première électrode 303 opposé à l’élément mobile 203, et une deuxième électrode 307, située d’un côté de la couche en matériau piézoélectrique 305 opposé à la première électrode 303. Lorsqu’une tension d’excitation appropriée est appliquée entre les électrodes 303 et 307 du transducteur 301, l’élément mobile 203 entre en vibration. À l’inverse, lorsque l’élément mobile 203 vibre, une tension apparaît entre les électrodes 303 et 307 du transducteur 301. Le transducteur PMUT 301 est couplé à un circuit électronique de commande 351 configuré pour, lors d’une phase d’excitation, appliquer une tension d’excitation entre les première et deuxième électrodes 303 et 307 du transducteur 301, par exemple de façon à provoquer une compression ou une détente de la substance gazeuse présente à l’intérieur de la cavité 205 sous l’action d’un mouvement de déformation imposé à l’élément mobile 203, et, lors d’une phase de mesure ou de détection postérieure à la phase d’excitation, lire la tension produite entre les première et deuxième électrodes 303 et 307 du transducteur 301 sous l’action de la déformation de l’élément mobile 203, qui est conditionnée par la viscosité volumique de la substance gazeuse située dans la cavité 205. Le circuit électronique de commande 351 est par exemple configuré pour faire vibrer l’élément mobile 203 autour de sa fréquence de résonance f r , et pour mesurer un signal représentatif de la fréquence de résonance et de la bande passante BW de résonance de l’élément mobile 203 du transducteur PMUT 301. Dans l’exemple représenté, le circuit de commande 351 comprend, associés en série entre les électrodes 303 et 307, une source de tension 353 et un commutateur 355. Par ailleurs, dans cet exemple, le circuit de commande 351 comprend en outre un amplificateur 357 dont une première borne d’entrée est connectée à l’électrode 303 et dont une deuxième borne d’entrée est reliée, par un autre commutateur 359, à l’électrode 307. Les commutateurs 355 et 359, représentés à l’état ouvert en FIG. 3 , sont par exemple destinés à être commandés en opposition de phase. Plus précisément, lors de la phase d’excitation, le commutateur 355 est à l’état fermé, de sorte à imposer un signal d’excitation entre les électrodes 303 et 307, tandis que le commutateur 359 est à l’état ouvert afin qu’aucun signal ne soit transmis sur une borne de sortie de l’amplificateur 357. À l’inverse, lors de la phase de détection, le commutateur 355 est à l’état ouvert, de sorte que le signal d’excitation ne soit pas appliqué aux électrodes 303 et 307, tandis que le commutateur 359 est à l’état fermé pour permettre la fourniture d’un signal de mesure ou de détection en sortie de l’amplificateur 357. À titre d’exemple, le signal d’excitation appliqué pendant la phase d’excitation du capteur 300 est un pic ou un échelon de tension. Lors de la phase ultérieure de détection, la fréquence de résonance f r et la bande passante BW de résonance de l’élément mobile sont par exemple mesurées à partir d’une réponse transitoire de l’élément mobile 203 dans les domaines temporel et fréquentiel, par exemple au moyen d’une analyse dite de domaine temps-fréquence (« time-frequency domain », en anglais). De manière plus générale, l’amplificateur 357 fournit en sortie un signal représentatif de la fréquence de résonance f r et de la bande passante BW de résonance de l’élément mobile 203. Ce signal est par exemple ensuite comparé à un signal de référence, afin de déduire, comme exposé précédemment, une information représentative de la viscosité volumique de la substance gazeuse présente dans la cavité 205. La FIG. 4 est une vue de côté et en coupe, schématique et partielle, d’un capteur 400 de viscosité volumique d’une substance gazeuse selon un mode de réalisation. Le capteur 400 de la FIG. 4 comprend des éléments en commun avec le capteur 300 de la FIG. 3 . Ces éléments communs ne seront pas détaillés à nouveau ci-après. Le capteur 400 diffère du capteur 300 en ce qu’il comprend un transducteur 401 de type PMUT à excitation et à détection simultanées. Dans l’exemple représenté, le transducteur PMUT 401 comprend une structure d’excitation 402E comportant une première électrode 403E, située d’un côté de l’élément mobile 203 opposé à la cavité 205, une couche 405E en un matériau piézoélectrique, située d’un côté de la première électrode 403E opposé à l’élément mobile 203, et une deuxième électrode 407E, située d’un côté de la couche en matériau piézoélectrique 405E opposé à la première électrode 403E. De manière analogue, le transducteur PMUT 401 comprend en outre une structure de détection 402D comportant une première électrode 403D, située d’un côté de l’élément mobile 203 opposé à la cavité 205, une couche 405D en un matériau piézoélectrique, située d’un côté de la première électrode 403D opposé à l’élément mobile 203, et une deuxième électrode 407D, située d’un côté de la couche en matériau piézoélectrique 405D opposé à la première électrode 403D. À titre d’exemple, les couches 405E et 405D sont en le même matériau. Lorsqu’une tension d’excitation appropriée est appliquée entre les électrodes 403E et 407E de la structure d’excitation 402E du transducteur 401, l’élément mobile 203 entre en vibration. La vibration de l’élément mobile 203 fait apparaître une tension entre les électrodes 403D et 407D de la structure de détection 402D du transducteur 401. Le transducteur PMUT 401 est couplé à un circuit électronique de commande 451 configuré pour appliquer une tension d’excitation alternative entre les première et deuxième électrodes 403E et 407E de la structure d’excitation 402E du transducteur 401, de façon à provoquer une alternance de phases de compression et de détente de la substance gazeuse présente à l’intérieur de la cavité 205 sous l’action du mouvement oscillatoire de déformation imposé à l’élément mobile 203, et pour simultanément lire la tension produite entre les première et deuxième électrodes 403D et 407D de la structure de détection 402D du transducteur 401 sous l’action de la vibration de l’élément mobile 203 conditionnée par la viscosité volumique de la substance gazeuse située dans la cavité 205. Dans l’exemple représenté, le circuit de commande 451 comprend la source de tension 353 reliant l’électrode 403E à l’électrode 407E de la structure d’excitation 402E. Dans cet exemple, le circuit de commande 451 comprend en outre l’amplificateur 357 dont la première borne d’entrée est connectée à l’électrode 403D de la structure de détection 402D et dont la deuxième borne d’entrée est reliée à l’électrode 407D de la structure de détection 402D. À titre d’exemple, la fréquence de résonance f r et la bande passante BW de résonance de l’élément mobile 203 sont mesurées en balayant un domaine fréquentiel à l’aide du signal d’excitation appliqué par la source 353, et la réponse de l’élément mobile 203 est mesurée, par la structure de détection 402D, dans le domaine fréquentiel, par exemple au moyen d’une analyse dite de domaine fréquentiel (« frequency domain », en anglais). La FIG. 5 est une vue de côté et en coupe, schématique et partielle, d’un capteur 500 de viscosité volumique d’une substance gazeuse selon un mode de réalisation. Le capteur 500 de la FIG. 5 comprend des éléments en commun avec le capteur 300 de la FIG. 3 . Ces éléments communs ne seront pas détaillés à nouveau ci-après. Le capteur 500 diffère du capteur 300 en ce qu’il comprend un transducteur 501 de type CMUT à excitation et à détection successives, ou alternées. Dans l’exemple représenté, le transducteur CMUT 501 comprend, outre l’élément mobile 203 et la cavité 205 formée dans le substrat 207, une structure 502 comportant une première électrode 503, appelée électrode inférieure, revêtant le fond de la cavité 205, et une deuxième électrode 507, appelée électrode supérieure, située sur l’élément mobile 203 à l’aplomb de l’électrode 503. L’électrode 503 est par exemple plus précisément située sur et en contact avec le fond de la cavité 205 formée dans le substrat 207. L’électrode 507 est par exemple située sur et en contact avec la face supérieure de l’élément mobile 203. L’électrode 507 présente par exemple des dimensions latérales inférieures ou égales à celles de l’électrode 503. À titre d’exemple, l’élément mobile 203 est en un matériau isolant et les électrodes 503 et 507 sont en un matériau conducteur, par exemple un métal ou un alliage métallique. À titre de variante, l’électrode 507 peut être en graphène. Cela permet avantageusement de minimiser l’impact, sur les déformations de l’élément mobile 203, lié à la présence de l’électrode 507. À titre de variante, l’électrode 507 et l’élément mobile 203 peuvent être réalisés par un même élément, par exemple une couche mince, par exemple une couche de graphène. Lorsqu’une tension d’excitation appropriée est appliquée entre les électrodes 503 et 507 du transducteur 501, l’élément mobile 203 entre en vibration. À l’inverse, lorsque l’élément mobile 203 vibre, une tension alternative apparaît entre les électrodes 503 et 507 du transducteur 501. De manière analogue au transducteur PMUT 301 du capteur 300, le transducteur CMUT 501 du capteur 500 est couplé à un circuit électronique de commande 551 configuré pour, lors d’une phase d’excitation, appliquer une tension d’excitation entre les première et deuxième électrodes 503 et 507 du transducteur 501, par exemple de façon à provoquer une compression ou une détente de la substance gazeuse présente à l’intérieur de la cavité 205 sous l’action d’un mouvement de déformation imposé à l’élément mobile 203, et, lors d’une phase de mesure ou de détection postérieure à la phase d’excitation, lire la tension produite entre les première et deuxième électrodes 503 et 507 du transducteur 501 sous l’action de la déformation de l’élément mobile 203, qui est conditionnée par la viscosité volumique de la substance gazeuse située dans la cavité 205. Dans l’exemple représenté, le circuit de commande 551 comprend, associés en série entre l’électrode 507 et un nœud d’application d’un potentiel de référence, par exemple la masse, le commutateur 355 et la source de tension 353. Dans cet exemple, le circuit de commande 551 comprend en outre une source de tension continue 553 reliant l’électrode 507 au nœud d’application du potentiel de référence. La source de tension continue 553 permet d’appliquer une force électromagnétique qui rapproche l’élément mobile 203 de la paroi horizontale 105B, augmentant ainsi la capacité et le coefficient de couplage électromécanique du système. À titre d’exemple, la tension continue 553 est ajustée de sorte que le transducteur CMUT 501 fonctionne au voisinage d’une tension dite d’effondrement, correspondant à une valeur de tension à partir de laquelle la constante du ressort ne permet plus d’équilibrer la force électrostatique. Cela permet avantageusement de maximiser le couplage électromécanique. Par ailleurs, dans l’exemple illustré, le circuit de commande 551 comprend en outre l’amplificateur 357 dont la première borne d’entrée est connectée à l’électrode 503 et dont la deuxième borne d’entrée est reliée, par le commutateur 359, à l’électrode 507. Les commutateurs 355 et 359, représentés à l’état ouvert en FIG. 5 , sont par exemple destinés à être commandés en opposition de phase. Le fonctionnement du capteur 500, en particulier la commande des commutateurs 355 et 359, est analogue à ce qui a été précédemment décrit pour le capteur 300 en relation avec la FIG. 3 et ne sera par conséquent pas décrit à nouveau ci-après. La personne du métier est capable de déduire le fonctionnement du capteur 500 à partir des indications de la présente description, notamment à partir de la description fonctionnelle du capteur 300. La FIG. 6 est une vue de côté et en coupe, schématique et partielle, d’un capteur 600 de viscosité volumique d’une substance gazeuse selon un mode de réalisation. Le capteur 600 diffère du capteur 500 en ce qu’il comprend un transducteur 601 de type CMUT à excitation et à détection simultanées. Dans l’exemple représenté, le transducteur CMUT 601 comprend une structure d’excitation 602E comportant une première électrode 603E, située sur et en contact avec le fond de la cavité 205, et une deuxième électrode 607E, située sur l’élément mobile 203 à l’aplomb de l’électrode 603E. De manière analogue, le transducteur CMUT 601 comprend en outre une structure de détection 602D comportant une première électrode 603D, située sur et en contact avec le fond de la cavité 205, et une deuxième électrode 607D, située sur l’élément mobile 203 à l’aplomb de l’électrode 603D. Lorsqu’une tension d’excitation appropriée est appliquée entre les électrodes 603E et 607E de la structure d’excitation 602E du transducteur 601, l’élément mobile 203 entre en vibration. La vibration de l’élément mobile 203 fait apparaître une tension alternative entre les électrodes 603D et 607D de la structure de détection 602D du transducteur 601. Le transducteur CMUT 601 est couplé à un circuit électronique de commande 651 configuré pour appliquer une tension d’excitation alternative entre les première et deuxième électrodes 603E et 607E de la structure d’excitation 602E du transducteur 601, de façon à provoquer une alternance de phases de compression et de détente de la substance gazeuse présente à l’intérieur de la cavité 205 sous l’action du mouvement oscillatoire de déformation imposé à l’élément mobile 203, et pour simultanément lire la tension produite entre les première et deuxième électrodes 603D et 607D de la structure de détection 602D du transducteur 601 sous l’action de la vibration de l’élément mobile 203 conditionnée par la viscosité volumique de la substance gazeuse située dans la cavité 205. Dans l’exemple représenté, le circuit de commande 651 comprend les sources de tension 353 et 553 reliant chacune l’électrode 607E au nœud d’application du potentiel de référence. Dans cet exemple, le circuit de commande 651 comprend en outre l’amplificateur 357 dont la première borne d’entrée est connectée à l’électrode 603D de la structure de détection 602D et dont la deuxième borne d’entrée est reliée à l’électrode 607D de la structure de détection 602D. Le fonctionnement du capteur 600 est analogue à ce qui a été précédemment décrit pour le capteur 400 en relation avec la FIG. 4 et ne sera par conséquent pas décrit à nouveau ci-après. La personne du métier est capable de déduire le fonctionnement du capteur 600 à partir des indications de la présente description, notamment à partir de la description fonctionnelle du capteur 400. Bien que cela n’ait pas été représenté en figures 3 à 6 afin de ne pas surcharger le dessin, les transducteurs 301, 401, 501 et 601 peuvent comporter l’élément chauffant 211 et/ou les plots 217 du transducteur 201 du capteur 200 des figures 2A et 2B. Dans un souci de clarté, les circuits de commande 351, 451, 551 et 651 ont été représentés de façon simplifiée. Les capteurs 200, 300, 400, 500 et 600 précédemment décrits présentent pour avantages, par rapport aux capteurs de gaz existants, d’être compacts, économes en énergie, stables et peu coûteux. La FIG. 7 est une vue de côté et en coupe, schématique et partielle, d’un dispositif électronique 700 intégrant un capteur de viscosité volumique d’une substance gazeuse, par exemple le capteur 300 de la FIG. 3 , selon un mode de réalisation. Afin de ne pas surcharger le dessin, la structure 302 d’excitation et de détection et le circuit de commande 351 du capteur 300 n’ont pas été représentés en FIG. 7 . Dans l’exemple représenté, le dispositif électronique 700 comprend un substrat de support et d’interconnexion 701 sur lequel est situé le capteur 300. À titre d’exemple, le substrat de support et d’interconnexion 701 est une carte de circuit imprimé ou un boîtier céramique. Dans l’exemple illustré, le dispositif électronique 700 comprend en outre une puce de circuit intégré 703, par exemple une puce de type ASIC (de l’anglais « Application-Specific Integrated Circuit » - circuit intégré propre à une application). Dans l’exemple représenté, la puce de circuit intégré 703 est située sur le substrat de support et d’interconnexion 701. Bien que cela n’ait pas été détaillé en FIG. 7 dans un souci de lisibilité du dessin, le circuit de commande 351 du capteur 300 est par exemple formé au moins partiellement dans la puce de circuit intégré 703. Dans l’exemple représenté, le capteur 300 est connecté à la puce de circuit intégré 703 par connexion par fils (« wire bonding », en anglais), le capteur 300 et la puce de circuit intégré 703 comprenant par exemple chacun un ou plusieurs éléments de reprise de contact 705, par exemple des plots conducteurs, interconnectés par un ou plusieurs fils conducteurs 707. De façon analogue, au moins l’un des éléments de reprise de contact 705 de la puce de circuit intégré 703 est par exemple connecté à un élément de reprise de contact 709, par exemple un plot conducteur formé sur le substrat de support et d’interconnexion 701, par un fil conducteur 711. À titre d’exemple, le fil conducteur 711 connectant l’un des éléments de reprise de contact 705 de la puce de circuit intégré 703 à l’un des éléments de reprise de contact 709 du substrat de support et d’interconnexion 701 permet de transmettre un signal d’alimentation de la puce 703 depuis le substrat 701. Dans l’exemple illustré en FIG. 7 , le dispositif électronique 700 comporte en outre une enceinte 713, ou capot, située sur le substrat de support et d’interconnexion 701 et à l’intérieur de laquelle sont situés le capteur 300 et la puce de circuit intégré 703. Un filtre 715 est par exemple disposé en vis-à-vis d’une ouverture 717 formée en partie supérieure de l’enceinte 713. Le filtre 715 est par exemple destiné à permettre des échanges gazeux entre l’intérieur et l’extérieur de l’enceinte 713 tout en empêchant ou en limitant la pénétration de corps étrangers, par exemple de poussières, à l’intérieur de l’enceinte 713. Dans l’exemple représenté, le dispositif électronique 700 comprend en outre un absorbeur ultrasonore 719 placé contre la paroi interne de l’enceinte 713 et en vis-à-vis du capteur 300. Cela permet par exemple d’éviter ou de limiter une perturbation des mouvements de l’élément mobile 203 du capteur 300 causée par des réflexions d’ondes ultrasonores contre la partie supérieure de l’enceinte 713. Le fait de prévoir l’absorbeur ultrasonore 719 à l’aplomb du capteur 300 permet notamment d’éviter ou de limiter la formation d’ondes stationnaires à l’intérieur de l’enceinte 713. Bien que la FIG. 7 illustre un exemple dans lequel le filtre 715 et l’absorbeur ultrasonore 719 sont deux éléments distincts, cet exemple n’est pas limitatif, les fonctions de filtrage et d’absorption ultrasonore pouvant, à titre de variante, être réalisées au moyen d’un même élément. Par ailleurs, bien que cela n’ait pas été détaillé en FIG. 7 , le dispositif électronique 700 peut en outre comporter un capteur de température et/ou un capteur d’humidité à l’intérieur de l’enceinte 713. Le fait de prévoir un capteur de température et/ou un capteur d’humidité à l’intérieur de l’enceinte 713 permet par exemple de corriger l’influence de variations de température et/ou d’humidité ambiante sur les mesures effectuées par le capteur 300. Par ailleurs, des variations de pression ambiante sont par exemple détectées en tirant profit du fait que cela entraîne une modification de la fréquence de résonance de l’élément mobile 203 du capteur 300. Cela permet par exemple avantageusement de se dispenser d’utiliser un capteur de pression séparé. Le dispositif électronique 700 est par exemple plus précisément un dispositif de mesure de qualité d’air. À titre d’exemple, le dispositif électronique 700 permet de détecter une modification de teneur en dioxyde de carbone dans l’air. À titre de variante, le dispositif électronique 700 peut être un détecteur de fuites de gaz présentant une viscosité volumique élevée. Le circuit intégré 703 est par exemple configuré pour estimer la concentration C 1 en dioxyde de carbone dans le milieu extérieur et pour comparer la concentration C 1 à une valeur de seuil et à fournir un signal d’alarme, indiquant une dégradation de la qualité de l’air ou la présence d’une fuite, en cas de franchissement de cette valeur de seuil. Divers modes de réalisation et variantes ont été décrits. La personne du métier comprendra que certaines caractéristiques de ces divers modes de réalisation et variantes pourraient être combinées, et d’autres variantes apparaîtront à la personne du métier. En particulier, bien que des exemples de capteurs à actionnement piézoélectrique ou capacitif aient été détaillés ci-dessus, les modes de réalisation ne se limitent pas à ces cas mais s’appliquent plus généralement à tout type d’actionnement susceptible d’être utilisé dans un dispositif MEMS. À titre de variante, la personne du métier est capable, à partir des indications de la présente description, de prévoir un actionnement de type électrostatique, électrothermique, électromagnétique, etc. De façon analogue, bien que des exemples de capteurs à détection piézoélectrique ou capacitif aient été détaillés ci-dessus, les modes de réalisation ne se limitent pas à ces cas mais s’appliquent plus généralement à tout type de détection susceptible d’être utilisée dans un dispositif MEMS. À titre de variante, la personne du métier est capable, à partir des indications de la présente description, de prévoir une détection de type piézorésistive, optique, etc. Enfin, la mise en œuvre pratique des modes de réalisation et variantes décrits est à la portée de la personne du métier à partir des indications fonctionnelles données ci-dessus. En particulier, les modes de réalisation décrits ne se limitent pas aux exemples particuliers de matériaux et de dimensions mentionnés dans la présente description. Par ailleurs, la personne du métier est capable de substituer le capteur 300 par le capteur 200, 400, 500 ou 600 dans le dispositif électronique 700. Capteur (200 ; 300 ; 400 ; 500 ; 600) de viscosité volumique d’une substance gazeuse, le capteur comprenant : – un transducteur MEMS (201 ; 301 ; 401 ; 501 ; 601) comportant un élément mobile (203) suspendu au-dessus d’une cavité (205) et au moins un évent (209) permettant des échanges gazeux entre la cavité et un milieu extérieur ; et – un circuit de commande (351 ; 451 ; 551 ; 651) du transducteur MEMS configuré pour : a) faire vibrer l’élément mobile autour de sa fréquence de résonance ; b) mesurer un signal représentatif d’une fréquence de résonance et d’une bande passante de résonance du transducteur MEMS ; et c) comparer ledit signal à un signal de référence et en déduire une information représentative de la viscosité volumique de la substance gazeuse présente dans la cavité. Capteur (200 ; 300 ; 400 ; 500 ; 600) selon la revendication 1, dans lequel la cavité (205) est formée dans un substrat (207) en un matériau semiconducteur, de préférence le silicium, l’élément mobile (203) étant une membrane en le matériau semiconducteur. Capteur (300 ; 400) selon la revendication 1 ou 2, dans lequel le transducteur MEMS (301 ; 401) est de type PMUT. Capteur (300) selon la revendication 3, dans lequel le transducteur MEMS (301) comprend une structure d’excitation et de détection comportant : – une première électrode (303), située d’un côté de l’élément mobile (203) opposé à la cavité (205) ; – une couche (305) en un matériau piézoélectrique, située d’un côté de la première électrode opposé à l’élément mobile ; et – une deuxième électrode (307), située d’un côté de la couche en matériau piézoélectrique opposé à la première électrode. Capteur (400) selon la revendication 3, dans lequel le transducteur MEMS (401) comprend : – une structure d’excitation (402E) comportant une première électrode (403E), située d’un côté de l’élément mobile (203) opposé à la cavité (205), une première couche (405E) en un matériau piézoélectrique, située d’un côté de la première électrode opposé à l’élément mobile, et une deuxième électrode (407E), située d’un côté de la première couche en matériau piézoélectrique opposé à la première électrode ; et – une structure de détection (402D) distincte de la structure d’excitation et comportant une troisième électrode (403D), située d’un côté de l’élément mobile opposé à la cavité, une deuxième couche (405D) en un matériau piézoélectrique, située d’un côté de la troisième électrode opposé à l’élément mobile, et une quatrième électrode (407D), située d’un côté de la couche en matériau piézoélectrique opposé à la troisième électrode. Capteur (500 ; 600) selon la revendication 1 ou 2, dans lequel le transducteur MEMS (501 ; 601) est de type CMUT. Capteur (500) selon la revendication 6, dans lequel le transducteur MEMS (501) comprend une structure (502) comportant une première électrode (503) revêtant le fond de la cavité (205), et une deuxième électrode (507) située sur l’élément mobile (203) à l’aplomb de la première électrode. Capteur (600) selon la revendication 6, dans lequel le transducteur MEMS (601) comprend : – une structure d’excitation (602E) comportant une première électrode (603E), située sur et en contact avec le fond de la cavité (205), et une deuxième électrode (607E), située sur l’élément mobile (203) à l’aplomb de la première électrode ; et – une structure de détection (602D) distincte de la structure d’excitation et comportant une troisième électrode (603D), située sur et en contact avec le fond de la cavité, et une quatrième électrode (607D), située sur l’élément mobile à l’aplomb de la troisième électrode. Capteur (300 ; 500) selon la revendication 4 ou 7, dans lequel le circuit de commande (351 ; 551) est configuré pour : – lors d’une phase d’excitation, appliquer une tension d’excitation entre les première et deuxième électrodes (303, 307 ; 503, 507) du transducteur (301 ; 501) ; et – lors d’une phase de détection, postérieure à la phase d’excitation, lire une tension produite entre les première et deuxième électrodes du transducteur sous l’action d’une déformation de l’élément mobile (203). Capteur (400 ; 600) selon la revendication 5 ou 8, dans lequel le circuit de commande (451 ; 651) est configuré pour appliquer une tension d’excitation alternative entre les première et deuxième électrodes (403E, 407E ; 603E, 607E) de façon à provoquer une alternance de phases de compression et de détente de la substance gazeuse présente à l’intérieur de la cavité (205), et pour simultanément lire une tension produite entre les troisième et quatrième électrodes (403D, 407D ; 603D, 607D) sous l’action de la vibration de l’élément mobile (203). Dispositif (700) de mesure de qualité d’air ou de détection de fuites comprenant un capteur (200 ; 300 ; 400 ; 500 ; 600) selon l’une quelconque des revendications 1 à 10. Procédé de commande d’un capteur (200 ; 300 ; 400 ; 500 ; 600) de viscosité volumique d’une substance gazeuse, le capteur comprenant : – un transducteur MEMS (201 ; 301 ; 401 ; 501 ; 601) comportant un élément mobile (203) suspendu au-dessus d’une cavité (205) et au moins un évent (209) permettant des échanges gazeux entre la cavité et un milieu extérieur ; et – un circuit de commande (351 ; 451 ; 551 ; 651) du transducteur MEMS, le procédé comprenant les étapes suivantes, mises en œuvre par le circuit de commande : a) faire vibrer l’élément mobile autour de sa fréquence de résonance ; b) mesurer un signal représentatif d’une fréquence de résonance et d’une bande passante de résonance du transducteur MEMS ; et c) comparer ledit signal à un signal de référence et en déduire une information représentative de la viscosité volumique de la substance gazeuse présente dans la cavité.