Brevet FR3159239A1 — publié le 20250815

Ce procédé de réalisation d’une galette de microcanaux comprend les étapes suivantes : – fonctionnalisation de la surface interne des microcanaux (25) par dépôt de nanoparticules métalliques (40) pour permettre une conduction par sauts dans les microcanaux (25) ; et – fixation des nanoparticules métalliques (40) sur la surface des microcanaux (25) par le dépôt d’une couche en matériau diélectrique sur la surface fonctionnalisée des microcanaux (25). L’étape de fonctionnalisation comprend les étapes suivantes : – application de charges électrostatiques d’une première polarité (41) sur les nanoparticules métalliques (40) au sein d’une solution aqueuse ; – application de charges électrostatiques, de polarité inverse (43) à celles des charges électrostatiques appliquées sur les nanoparticules métalliques (40), sur la paroi interne des microcanaux (25) ; et – trempe des microcanaux (25) dans la solution de sorte à déposer les nanoparticules métalliques (40) sur la surface interne des microcanaux (25), avant l’étape de fixation des nanoparticules métalliques (40). Figure pour l’abrégé : Fig 8c PROCEDE DE REALISATION D’UNE GALETTE DE MICROCANNAUX, TUBE INTENSIFICATEUR D’IMAGES ET SYSTEME DE VISION NOCTURNE ASSOCIES Domaine de l’invention L’invention a trait au domaine des galettes de microcanaux, notamment pour l’amplification et la détection des signaux de faible intensité. L’invention concerne plus particulièrement un procédé de réalisation d’une galette de microcanaux pouvant être utilisée comme multiplicateur d’électrons pour des applications diverses, notamment dans le domaine de la vision nocturne et de la recherche scientifique. Dans le domaine de la vision nocturne, les galettes de microcanaux, utilisée comme multiplicateurs d’électrons, permettent d’amplifier la luminosité d’une scène observée, de telles galettes étant mises en œuvre au sein d’un tube intensificateur d’images. Dans le domaine de la recherche scientifique, les propriétés particulières des galettes de microcanaux apportent des avantages certains pour une variété d’applications nécessitant une détection et/ou une amplification du signal de particules diverses, telles que des ions, des neutrons, des particules α ou encore des photons de haute énergie (photons UV et photons de rayons X). A titre d’exemple, les galettes de microcanaux sont utilisées en spectrométrie de masse, en imagerie multispectrale ou hyperspectrale, en spectroscopie et microscopie électronique, en spectrométrie photoélectronique X ou encore pour l’instrumentation nucléaire. Cette invention présente donc une multitude d'applications potentielles, notamment lorsqu’il existe des problématiques d’utilisation de matériaux potentiellement toxiques. Par exemple, l’invention trouve une application particulièrement avantageuse lorsqu’il est recherché de limiter l’utilisation de plomb dans les équipements électroniques et électriques afin de contribuer à la protection de la santé humaine, à la valorisation et à l’élimination écologique de ces déchets. Etat de la technique Tel que schématiquement illustré sur les figures 1 et 2 de l’état de la technique, relatives à l’utilisation d’une galette de microcanaux pour une application de vision nocturne, un tube intensificateur d’images 13 0 comprend au moins trois éléments distincts : une photocathode 16 , un multiplicateur d’électrons 18 0 , et un écran phosphorescent 20 . La photocathode 16 se présente sous la forme d’une couche photosensible semi-transparente recevant les photons du rayonnement électromagnétique incident, c’est-à-dire les photons transmis par l’objectif 12 . Pour ce faire, une fenêtre d’entrée 15 transmet les photons depuis l’objectif 12 sur la photocathode 16 . La photocathode 16 est généralement réalisée sous la forme d’une fine couche de métal ou de semi-conducteur apposée sur une couche en verre ou en matériau transparent à la lumière. Le matériau de la photocathode 16 est choisi en fonction de sa sensibilité aux photons incidents issus de la scène observée. L’interaction des photons du rayonnement électromagnétique incident de la scène observée avec la photocathode 16 produit, par effet photoélectrique, l’émission d’électrons, nommés électrons primaires 28 ou photoélectrons. La photocathode 16 est caractérisée par son rendement quantique, également connu sous la dénomination « quantum efficiency » dans la littérature anglo-saxonne. Ce rendement quantique, exprimé généralement en pourcentage, désigne le ratio du nombre de photoélectrons, ou électrons primaires 28 , émis par rapport au nombre de photons incidents sur la surface de la photocathode 16 . Les électrons primaires 28 sont ensuite soumis à un premier champ électrique au sein d’une première zone d’accélération 17 , permettant de diriger les électrons primaires vers le multiplicateur d’électrons 18 0 . Ce premier champ électrique est réalisé en appliquant une tension entre la photocathode 16 et le multiplicateur d’électrons 18 0 , typiquement une tension de l’ordre de 50 à 500 volts pour garantir un trajet rectiligne des électrons. Ce premier champ électrique est classiquement configuré pour attirer des électrons négatifs générés par la photocathode 16 sur le multiplicateur d’électrons 18 0 . Le multiplicateur d’électrons 18 0 , également appelé amplificateur d’électrons, comporte classiquement une galette de microcanaux 25 recouverte par des électrodes. Cette galette de microcanaux est également connue sous l’acronyme GMC ou MCP pour « microchannel plate » dans la littérature anglo-saxonne. Elle est réalisée dans une plaque de matériau résistif ou diélectrique présentant une épaisseur typiquement comprise entre 0.2 et 1 millimètre. Tel qu’illustré plus précisément sur la FIG. 3 de l’état de la technique, les microcanaux 25 traversent de part en part la galette du multiplicateur d’électrons 18 0 et sont parallèles entre eux. Ils présentent un diamètre compris entre 3 et 12 micromètres. Leur paroi interne est classiquement traitée afin de réaliser une transmission d’un courant électrique par sauts, connu sous l’expression « hopping-conduction » dans la littérature anglo-saxonne. Ces microcanaux 25 présentent un axe de révolution α2 incliné d’un angle α3 de quelques degrés, typiquement entre 4 et 12 degrés, par rapport à la normale de la surface du multiplicateur d’électrons 18 0 , de sorte à induire de multiples collisions des électrons primaires 28 dans les microcanaux 25 . Outre le premier champ électrique appliqué entre la photocathode 16 et le multiplicateur d’électrons 18 0 , un deuxième champ électrique est appliqué entre les deux faces du multiplicateur d’électrons 18 0 au moyen des électrodes placées de part et d’autre de la galette de microcanaux 25 . Ce deuxième champ électrique permet d’induire un courant électrique dans chaque microcanal 25 du multiplicateur d’électrons 180 . Plus précisément, le courant est généré dans une couche de conduction située dans la surface interne des microcanaux 25 . Cette surface interne des microcanaux 25 est dimensionnée pour maintenir constant le nombre d’électrons à l’intérieur des microcanaux 25 . Avec ce deuxième champ électrique, lors des multiples collisions entre les photoélectrons et le matériau constituant les microcanaux 25 , un nombre plus important d’électrons secondaires est généré par effet cascade. Ces électrons secondaires sont accélérés au sein des microcanaux 25 afin de provoquer davantage de collisions avec la surface des microcanaux 25 pour générer d’autres électrons secondaires 29 . Ces électrons secondaires sont enfin dirigés par ce deuxième champ électrique depuis l’entrée des microcanaux 25 jusqu’à la sortie des microcanaux 25 . De manière plus détaillée, l’impact d’un électron primaire 28 avec la surface des microcanaux 25 vient arracher des électrons au matériau de surface du microcanal 25 , libérant des électrons secondaires 29 lesquels sont accélérés sous l’effet de la tension entre la surface d’entrée et la surface de sortie du multiplicateur d’électrons 180 . Ces électrons secondaires, une fois générés, laissent une charge positive dans le matériau du microcanal 25 , si cette perte d’électrons n’est pas compensée. Le courant de conduction à l’intérieur de chaque microcanal 25 a ainsi pour avantage de venir compenser, à l’intérieur du matériau et tout le long du microcanal 25 , la perte des électrons due à l’émission électrons secondaires 29 . Typiquement, les électrons primaires 28 sont multipliés par un facteur compris entre 10 3 et 10 6 dans le multiplicateur d’électrons 18 0 . Le taux de conversion des électrons primaires 28 en électrons secondaires 29 correspond au gain électrique du multiplicateur d’électrons 18 0 . A la sortie des microcanaux 25 , ces électrons secondaires 29 sont ensuite déplacés linéairement en direction de l’écran phosphorescent 20 , au sein d’une seconde zone d’accélération 19 , sous l’effet d’un troisième champ électrique généré entre la sortie du multiplicateur d’électrons 18 0 et l’écran phosphorescent 20 , typiquement un champ électrique généré par une tension comprise entre 4 et 10 kV. L’écran phosphorescent 20 permet de transformer les électrons secondaires 29 en photons. Il se présente sous la forme d’une couche phosphorescente ou d’une couche d’un matériau luminophore déposée sur un substrat, classiquement en verre. Le taux de conversion des électrons secondaires 29 en photons mesuré correspond au rendement de l’écran phosphorescent 20 . Pour générer les trois champs électriques, des composants électroniques 22 sont classiquement disposés autour d’une enceinte interne sous vide 24 . Afin de limiter les collisions entre les électrons et des molécules de gaz, et notamment l’air, les deux zones d’accélération 17 et 19 sont classiquement mises sous vide, à une pression dans la gamme des ultra-hauts vides, de l’ordre de 10 - 7 à 10 -10 mbar. Pour ce faire, la photocathode 16 , le multiplicateur d’électrons 18 0 , et l’écran phosphorescent 20 sont encapsulés dans l’enceinte interne sous vide 24 . Les conditions strictes de fonctionnement du tube intensificateur d’images 130 sont telles que les défauts de l’un de ses composants peuvent provoquer une usure prématurée, amenant à une intensification réduite du rayonnement de l’image observée. Cette intensification est mesurée par le gain lumineux, défini comme le produit de quatre grandeurs : le nombre de photons incidents en entrée du tube intensificateur d’images 130 , le rendement quantique de la photocathode 16 , le gain électrique du multiplicateur d’électrons 18 0 et le rendement de l’écran phosphorescent 20 . Classiquement, il est connu que les principaux phénomènes affectant le gain lumineux du tube intensificateur d’images 130 sont la dégradation du rendement quantique de la photocathode 16 et la réduction du gain électrique du multiplicateur d’électrons 18 0 ; l’écran phosphorescent 20 présentant une bonne stabilité au cours de l’utilisation du tube intensificateur d’images 130 . Il a été observé que la dégradation du rendement quantique de la photocathode 16 est due à une génération d’ions positifs par le multiplicateur d’électrons 180 au sein du tube intensificateur d’images 130 . Plus particulièrement, tel qu’illustré sur la FIG. 4 , ces ions positifs 32 , généralement sous la forme d’hydrons ou cations d’hydrogènes, de sodium ou de potassium, sont générés suite à l’interaction des électrons primaires 28 avec la surface interne des microcanaux 25 du multiplicateur d’électrons 18 0 . Compte tenu du premier champ électrique visant à transmettre les électrons chargés négativement depuis la photocathode 16 jusqu’au multiplicateur d’électrons 18 0 , ces ions positifs 32 sont attirés vers la photocathode 16 et remontent le tube intensificateur d’images 130 , provoquant par collision une destruction des liaisons chimiques entre les atomes de la surface de la photocathode 16 . Ces multiples collisions d’ions positifs 32 dégradent, au cours du temps, le rendement quantique de la photocathode 16 . La dégradation du rendement quantique est particulièrement présente dans les tubes intensificateurs d’images 130 utilisant des multiplicateurs d’électrons 18 0 réalisés avec du verre au plomb 30 . En effet, pour réaliser une galette de microcanaux 25 , il est connu de réaliser des premières fibres avec une un cœur soluble dans un acide, et une gaine entourant le cœur insoluble dans le même acide. Ces premières fibres, dites fibres primaires, sont obtenues par étirage jusqu’à un premier diamètre désiré puis assemblée pour former une préforme hexagonale composée d’un grand nombre de fibres primaires. Des fibres secondaires, issues du premier matériau de base, sont ensuite obtenues par étirage de la préforme hexagonale jusqu’à un second diamètre désiré puis assemblées à nouveaux afin de réaliser un second matériau de base longiligne obtenue après fusion et refroidissement des fibres secondaires entre-elles. Le second matériau de base longiligne est ensuite découpé transversalement selon un certain plan de coupe. Généralement, le plan de coupe forme un angle compris entre 4° et 12° avec un plan en section perpendiculaire à la longueur du second matériau de base. Cette étape de découpe permet de réaliser de multiples galettes de base. Ces galettes de base sont ensuite trempées dans l’acide afin de dissoudre le cœur dans cet acide, faisant apparaitre les microcanaux 25 . La sélectivité des matériaux du cœur et de la gaine en fonction de leur solubilité dans l’acide est essentielle à la réalisation des microcanaux 25 . En effet, il est nécessaire que la gaine soit insoluble dans cet acide, afin que la trempe ne puisse dissoudre que le cœur. Le verre au plomb 30 , qui se présente sous la forme d’un silicate de plomb, est un exemple de matériau constitutif de la gaine particulièrement efficace pour former ces galettes de microcanaux 25 , étant donné son insolubilité dans une pluralité d’acides. D’autre part, ce verre au plomb 30 présente la particularité d’être facilement réduit chimiquement au moyen du dihydrogène, générant à la surface interne des microcanaux 25 des îlots métalliques en plomb 31 , d’une taille comprise entre une dizaine et quelques dizaines de nanomètres, tel qu’illustré à la FIG. 4 . Ces îlots métalliques en plomb 31 , situés sous une couche de quelques nanomètres de verre ayant une fonction d’émission d’électrons secondaires 29 , permettent la régénération des « trous » créés lors de l’émission d’électrons secondaires 29 . Ainsi, ces îlots métalliques en plomb 31 permettent le passage du courant électronique, par une conduction électronique connue sous le nom de conduction par saut : les électrons « sautent » d’un ilot métallique de plomb à un autre ilot métallique de plomb sous l’effet du champ électrique généré entre les deux électrodes métalliques des faces du multiplicateur d’électrons 180 . Le verre au plomb 30 , qui permet cette conduction par saut lorsqu’il est soumis à une étape de réduction chimique de ses microcanaux 25 , se caractérise par des valeurs de résistivité élevées, de l’ordre de 10 6 à 10 9 ohm.cm, par une insensibilité significative au champ électrique appliqué, la valeur de la résistance ou de la résistivité du verre au plomb étant relativement constante sur une large plage de valeurs de champs électrique, et par une variation négative de la résistance lorsque la température de fonctionnement du multiplicateur d’électrons 180 diminue. L’inconvénient principal de ce type de multiplicateur d’électrons 18 0 est de permettre aux atomes d’hydrogène d’être piégés dans le verre au plomb suite à la réduction de ce verre par dihydrogène, ces atomes d’hydrogène générant par la suite des cations hydrogène 32 lorsque les électrons primaires 28 rentrent en interaction avec la surface interne des microcanaux 25 afin de produire les électrons secondaires 29 , tel qu’illustré à la FIG. 4 . D’autre part, des cations sodium ou potassium peuvent également être émis puisque ceux-ci sont également susceptibles de s’accumuler à la surface des microcanaux 25 lors de la réduction. L’art antérieur présente plusieurs solutions afin d’empêcher la génération d’ions positifs lorsque le multiplicateur d’électrons 180 est en fonctionnement, ou pour éviter l’utilisation de verre au plomb afin de respecter les limitations d’utilisation de matériaux dangereux selon la directive européenne RoHS, acronyme pour « Restriction of Hazardous Substances » dans la littérature anglo-saxonne. Cette directive européenne RoHS vise à limiter l'utilisation de dix substances dangereuses, dont le plomb, dans les équipements électriques et électroniques, tel que précisé dans la version suivante de la directive RoHS : « Directive (UE) 2017/2102 du Parlement européen et du Conseil du 15 novembre 2017 modifiant la directive 2011/65/UE relative à la limitation de l'utilisation de certaines substances dangereuses dans les équipements électriques et électroniques ». Une première solution de l’art antérieur illustrée à la FIG. 5 , consiste à revêtir la surface interne des microcanaux 25 du multiplicateur d’électrons 18 0 , réalisé en verre au plomb 30 , avec une première couche de passivation 33 surmontée d’une couche émissive 34 . La couche de passivation 33 est typiquement nanolaminée sur la surface du verre au plomb 30 et elle permet d’éviter la production et l’émission de cations hydrogène, sodium ou potassium 32 lors de l’interaction avec les électrons primaires 28 . En effet, les électrons primaires 28 sont bloqués à la surface de la couche de passivation 33 , tel qu’illustré sur la FIG. 5 . Par ailleurs, la couche de passivation 33 permet également le transfert d’électrons provenant du verre au plomb vers la couche émissive 34 , afin de fournir suffisamment d’électrons à la couche émissive 34 pour la génération d’électrons secondaires 29 . Les électrons provenant des îlots métalliques en plomb 31 sont ainsi transférés à la couche émissive 34 à travers la couche de passivation 33 . La couche émissive 34 , classiquement réalisée en alumine ou oxyde d’aluminium, génère au contact des électrons primaires 28 des électrons secondaires 29 , grâce aux électrons reçus des îlots métalliques en plomb 31 au travers de la couche de passivation 33 . Dans cette première solution, la couche de passivation 33 et la couche émissive 34 sont réalisées par dépôt de couches minces atomiques, aussi connu sous l’acronyme ALD pour « atomic layer deposition » dans la littérature anglo-saxonne. Cette première solution permet effectivement d’éviter la génération d’ions positifs, mais présente plusieurs inconvénients. En premier lieu, le dépôt de la première couche de passivation 31 par ALD et de la seconde couche émissive 32 , également par ALD, nécessite un temps de réalisation excessivement long, typiquement plusieurs jours. D’autre part, l’utilisation du verre au plomb 30 et l’étape de réduction de ce verre représentent un danger sanitaire pour les opérateurs et les techniciens, ainsi que des problématiques environnementales. Ainsi, cette solution ne répond pas à la directive européenne RoHS et présente des risques pour la santé humaine et l’environnement, au regard du cycle de vie d’une galette de microcanaux réalisée avec du verre au plomb 30 . Pour éviter d’utiliser du verre au plomb 30 pour former la galette du multiplicateur d’électrons 18 0 , une seconde solution de l’état de la technique propose de former directement les électrons secondaires 29 dans une couche conductrice 36 , tel qu’illustré sur la FIG. 6 . Cette seconde solution est notamment décrite dans le document US 8921799. Dans cette seconde solution, la gaine peut être ainsi réalisée en verre dépourvu de plomb 35 , en céramique, ou tout autre matériau adapté à résister à la dissolution du cœur et présentant une résistivité élevée au courant électrique, de l’ordre d’au moins 10 8 à 10 9 ohm.cm. La gaine n’intégrant pas de molécules métalliques permettant de former rapidement des îlots métalliques, ladite gaine ne sert donc que de support mécanique. La surface interne des microcanaux 25 dans ce type de multiplicateur d’électrons 18 0 est revêtue ainsi par une première couche conductrice 36 fournissant les électrons secondaires 29 , réalisée par ALD, et une seconde couche émissive 34 d’électrons secondaires 29 sur la première couche conductrice 36 , également réalisée par ALD. Comme évoqué pour la première solution de l’art antérieur, le temps de réalisation d’un tel multiplicateur d’électrons 18 0 est excessivement long. Dans le domaine des galettes de microcanaux pour une application de vision nocturne, il apparait donc nécessaire de remédier, de manière fiable, à la génération d’ions positifs au sein du tube intensificateur d’images 130 . Plus particulièrement, il est recherché d’apporter une solution tout en tenant compte du temps de réalisation du multiplicateur d’électrons 18 0 , qui doit être raisonnable, et du matériau de base du multiplicateur d’électrons 18 0 , qui doit être dépourvu de tout matériau considéré comme dangereux et présentant des risques sanitaires pour les opérateurs ou les techniciens ; ou encore des risques environnementaux. Dans les autres domaines mettant en œuvre la fabrication et l’utilisation des galettes de microcanaux, il est également recherché de limiter l’utilisation de matériaux et de substances dangereuses présentant des risques sanitaires ou environnementaux. L’invention propose de répondre à ce problème technique en formant une galette de microcanaux réalisée avec un premier dépôt de nanoparticules conductrices, selon un procédé chimique de dépôt de charges électrostatiques sur la surface interne des microcanaux, suivi d’un second dépôt d’un matériau diélectrique émetteur d’électrons secondaires, par exemple par ALD. Ces deux couches protègent ainsi la surface interne des microcanaux de collisions électroniques génératrices d’ions positifs, tout en assurant une génération d’électrons secondaires suffisante et une conduction de ces électrons secondaires de l’entrée des microcanaux jusqu’à la sortie des microcanaux. L’invention est issue de l’observation selon laquelle, contrairement au préjugé technique de l’homme du métier, il est possible de réaliser un dépôt de plusieurs couches à la surface des microcanaux, pour assurer à la fois la conduction, la génération d’électrons secondaires en quantité suffisante et la passivation de la surface interne des microcanaux, autrement dit la non-génération d’ions positifs, sans recourir au seul procédé ALD, réduisant ainsi le temps de réalisation. Ainsi, au lieu de classiquement réduire un verre dopé au plomb ou de recourir au seul procédé ALD pour la réalisation d’une galette de microcanaux, les inventeurs ont trouvé une méthode permettant la réalisation d’une galette de microcanaux dans un délai raisonnable, sans générer d’ions positifs, tout en permettant de réaliser des galettes de microcanaux fonctionnelles dans une pluralité de matériaux dépourvus de matériaux dangereux tels que le plomb ou le bismuth, et plus spécifiquement dépourvu de matériaux dangereux selon la directive européenne RoHS. Selon un premier aspect, l’invention concerne donc un procédé de réalisation d’une galette de microcanaux, ledit procédé comprenant les étapes suivantes : – fonctionnalisation de la surface interne des microcanaux par dépôt de nanoparticules métalliques pour permettre une conduction par sauts dans les microcanaux ; et – fixation des nanoparticules métalliques sur la surface des microcanaux par le dépôt d’une couche en matériau diélectrique sur la surface fonctionnalisée des microcanaux. Selon l’invention, l’étape de fonctionnalisation comprend les étapes suivantes : – application de charges électrostatiques d’une première polarité sur les nanoparticules métalliques au sein d’une solution aqueuse ; – application de charges électrostatiques, de polarité inverse à celles des charges électrostatiques appliquées sur les nanoparticules métalliques, sur la paroi interne des microcanaux ; et – trempe des microcanaux dans la solution de sorte à déposer les nanoparticules métalliques sur la surface interne des microcanaux, avant l’étape de fixation des nanoparticules métalliques. Outre les étapes de fonctionnalisation spécifique à l’invention, le procédé peut également comprendre les étapes suivantes pour former les microcanaux avant de les fonctionnaliser : – formation de premières fibres, comprenant un cœur soluble dans un acide, et une gaine insoluble dans le même acide, ladite gaine entourant le cœur ; – étirage des premières fibres jusqu’à un premier diamètre désiré ; – réalisation d’un premier empilement latéral des premières fibres au sein d’une première préforme ; – fusion et refroidissement du premier empilement au sein de la première préforme, afin de réaliser un premier matériau de base présentant une forme longiligne s’étendant selon une longueur ; – étirage de secondes fibres issues du premier matériau de base jusqu’à un second diamètre désiré ; – réalisation d’un second empilement latéral des secondes fibres au sein d’une seconde préforme ; – fusion et refroidissement du second empilement au sein de la seconde préforme, afin de réaliser un second matériau de base présentant une forme longiligne s’étendant selon une longueur ; – découpage transversal du second matériau de base selon un certain plan de coupe, ledit plan de coupe formant un angle compris entre 4° et 12° avec un plan en section perpendiculaire à ladite longueur dudit second matériau de base, afin de réaliser de multiples galettes de base ; et – trempe des galettes de base dans un acide pour dissoudre le cœur dans cet acide afin de réaliser des microcanaux. De préférence, la gaine est réalisée en verre dépourvu de plomb. Pour obtenir le retrait de la gaine avec un verre dépourvu de plomb, le cœur est préférentiellement soluble dans l’acide chlorhydrique, alors que la gaine est insoluble dans l’acide chlorhydrique. Au sens de l’invention, une gaine « insoluble » dans l’acide chlorhydrique signifie que la gaine est moins soluble, dans l’acide chlorhydrique, d’au moins un facteur 100 comparé à la solubilité du cœur dans l’acide chlorhydrique. Préférentiellement, la gaine est réalisée en verre, en verre à base de silice, en silicate ou en céramique, ou tout matériau diélectrique perforable présentant une résistivité au courant électrique comprise entre 10 8 et 10 11 ohm.cm, ou même une résistivité supérieure à 10 10 ohm.cm ou 10 11 ohm.cm ; ainsi qu’une capacité à être insoluble dans un acide permettant de dissoudre le cœur. Le cœur est généralement réalisé en verre boro-borate, ou en verre contenant du bore, des cations alcalins, et/ou des cations alcalino-terreux. Dans le procédé chimique de dépôt de charges électrostatiques sur la surface interne des microcanaux, l’étape d’application de charges électrostatiques d’une première polarité sur les nanoparticules métalliques peut être réalisée par application de molécules de citrate sur la surface des nanoparticules métalliques au sein d’une solution aqueuse, au moyen d’un mélange d’une solution aqueuse de citrate de sodium et d’une solution aqueuse d’un composé inorganique métallique. En outre, l’étape d’application de charges électrostatiques, de polarité inverse à celles des charges électrostatiques appliquées sur les nanoparticules métalliques, sur la paroi interne des microcanaux, est préférentiellement réalisée selon un procédé de silanisation. L’étape de fixation des nanoparticules métalliques sur la surface des microcanaux par le dépôt d’une couche en matériau diélectrique peut être réalisée par un procédé de dépôt ALD, ou dans une variante par procédé de dépôt sol-gel. Par ailleurs, après l’étape de fixation des nanoparticules métalliques, une étape de recuit thermique peut être mise en œuvre afin d’éliminer d’éventuels résidus organiques. En ce qui concerne les matériaux mis en œuvre pour obtenir une conduction efficace et une génération efficace d’électrons secondaires, les nanoparticules métalliques sont préférentiellement réalisées en un matériau non oxydable, par exemple en or, en argent ou en platine. La couche en matériau diélectrique, assurant la fonction émissive d’électrons secondaires, est quant à elle préférentiellement réalisée en oxyde d’aluminium Al 2 O 3 /sAl 2 O 3 ou en oxyde de magnésium MgO. Selon un deuxième aspect, l’invention vise également un tube intensificateur d’images comprenant : – une fenêtre d’entrée configurée pour recevoir et transmettre les photons ; – une photocathode fixée sur une face interne de ladite fenêtre d’entrée, apte à convertir les photons transmis par la fenêtre d’entrée en électrons primaires ; – un multiplicateur d’électrons, intégrant une galette de microcanaux, apte à démultiplier les électrons primaires en électrons secondaires ; et – un écran phosphorescent transformant les électrons secondaires en photons. Selon l’invention, la galette de microcanaux est réalisée par la mise en œuvre d’un procédé selon le premier aspect de l’invention. Selon un troisième aspect, l’invention vise un système de vision nocturne comprenant un objectif, un tube intensificateur d’images selon le deuxième aspect de l’invention, et un oculaire et/ou un capteur. Brève description des figures L’invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui suit, donnée uniquement à titre d’exemple, et réalisée en relation avec les dessins annexés, dans lesquels des références identiques désignent des éléments identiques ou analogues, et dans lesquels : La FIG. 1 illustre une vue schématique en section d’un système de vision nocturne comprenant un tube intensificateur d’images de l’état de la technique ; La FIG. 2 illustre une vue en perspective du tube intensificateur d’images de la FIG. 1 ; La FIG. 3 illustre une vue schématique en section du multiplicateur d’électrons du dispositif de vision nocturne de la FIG. 1 ; La FIG. 4 illustre une vue schématique en section d’un microcanal d’une galette de microcanaux selon un mode de réalisation de l’état de la technique, générant des électrons secondaires et des ions positifs ; La FIG. 5 illustre une vue schématique en section d’un microcanal d’une galette de microcanaux selon un autre mode de réalisation de l’état de la technique, générant des électrons secondaires ; La FIG. 6 illustre une vue schématique en section d’un microcanal d’une galette de microcanaux selon un autre mode de réalisation de l’état de la technique, générant des électrons secondaires ; La FIG. 7 illustre une vue schématique en section d’un microcanal d’une galette de microcanaux selon un mode de réalisation de l’invention, générant des électrons secondaires ; La FIG. 8 illustre une vue schématique en section de l’étape d’application de charges électrostatiques sur des nanoparticules métalliques, selon un procédé de réalisation de la galette de microcanaux de la FIG. 7 ; La FIG. 8 illustre une vue schématique en section de l’étape d’application de charges électrostatique sur la surface interne du microcanal, selon un procédé de réalisation de la galette de microcanaux de la FIG. 7 ; La FIG. 8 illustre une vue schématique en section de l’étape de mise en contact de nanoparticules métalliques de la FIG. 8 sur la surface interne du microcanal de la FIG. 8 ; La FIG. 8 illustre une vue schématique en section d’un microcanal de la galette de microcanaux de la FIG. 8 après interaction des nanoparticules métalliques sur la surface interne du microcanal ; La FIG. 8 illustre une vue d’ensemble d’un appareillage permettant la mise en contact des nanoparticules métallique chargées avec la galette de microcanaux chargée ; La FIG. 8 illustre une vue schématique en section d’un microcanal de la galette de microcanaux de la FIG. 8 après application d’une couche émissive d’électrons secondaires sur la surface interne du microcanal ; La FIG. 9 illustre une vue schématique en section d’un système de vision nocturne comprenant un tube intensificateur d’images selon un autre aspect de l’invention. Description détaillée de l’invention La FIG. 7 illustre la surface interne d’un microcanal 25 , ledit microcanal 25 faisant partie d’une galette de microcanaux 18 réalisée en verre dépourvu de plomb, selon un procédé conforme à l’invention. Ce microcanal 25 comprend à sa surface des nanoparticules métalliques 40 , en l’espèce des nanoparticules métalliques d’or, et une couche en matériau diélectrique 34 . La FIG. 7 représente également la génération d’électrons secondaires 29 suite à l’interaction de la surface du microcanal 25 avec un électron primaire 28 , lorsque la galette de microcanaux 18 est utilisée en tant que multiplicateur d’électrons. Plusieurs étapes de réalisation sont effectuées afin d’obtenir une galette pourvue d’une pluralité de microcanaux 25 . Premièrement, plusieurs premières fibres, comprenant un cœur soluble dans un acide, et une gaine insoluble dans le même acide, sont formées, étirées, et assemblées latéralement au sein d’un premier moule. Au sein de ce premier moule, les premières fibres sont fusionnées afin de réaliser un premier bloc, lequel présente une forme longiligne. Deuxièmement, des secondes fibres sont réalisées à partir de ce premier bloc, et de manière similaire aux premières fibres, sont étirées et assemblées latéralement au sein d’un deuxième moule. Dans ce deuxième moule, un second bloc longiligne est réalisé en fusionnant l’empilement des secondes fibres. Enfin, ce second bloc est découpé selon un certain angle de coupe par rapport à l’axe d’élongation du second bloc, avec un angle compris entre 4° et 12°, aboutissant à la réalisation de plusieurs galettes de base. Ces galettes de base sont finalement trempées dans un acide permettant de dissoudre le cœur sans dissoudre la gaine, aboutissant à la réalisation des galettes de microcanaux 18 . L’acide utilisé peut être de l’acide chlorhydrique, de l’acide nitrique ou de l’acide fluorhydrique, ces trois acides pouvant également être utilisés successivement, en alternance, ou indépendamment les uns des autres. La gaine est réalisée en verre, en verre à base de silice, en silicate ou en céramique, ou tout matériau diélectrique perforable présentant une résistivité au courant électrique comprise entre 10 8 et 10 11 ohm.cm. Le cœur, quant à lui, est généralement réalisé en verre boro-borate, ou en verre contenant du bore, des cations alcalins, et/ou des cations alcalino-terreux. De manière avantageuse, ce choix de matériaux distincts pour la gaine et le cœur permet une sélectivité de dissolution lorsque les galettes de base sont trempées dans un acide déterminé, aboutissant à une dissolution du cœur sans dégrader le matériau constitutif de la gaine. La galette de microcanaux 18 réalisée présente une épaisseur L comprise entre 170 et 190 micromètres, avec des microcanaux 25 d’un diamètre D d’environ 3 micromètres. Le pas de la galette de microcanaux 18 , à savoir l’espacement des microcanaux 25 entendu comme l’espacement entre les axes de révolution de deux microcanaux 25 selon une direction parallèle aux deux faces de la galette de microcanaux 18 , est comprise entre 4 et 5 micromètres. De manière générale, le rapport L/D, aussi nommé facteur de forme, est égal à 45. Toujours selon la FIG. 7 , la surface interne d’un microcanal 25 d’une galette de microcanaux 18 est représentée en coupe longitudinale, ledit microcanal 25 étant réalisé, tel qu’évoqué précédemment, en un matériau présentant une résistivité au courant électrique comprise entre 10 8 et 10 11 ohm.cm. Sur la surface interne du microcanal 25 , un premier dépôt de nanoparticules métalliques 40 et un second dépôt d’une couche en matériau diélectrique 34 sont effectués à la surface des microcanaux. Ces dépôts successifs sont effectués après une pluralité d’étapes successives correspondant au procédé selon l’invention, illustrés aux figures 8a à 8f. En référence à la FIG. 8 , la première étape de réalisation d’une galette de microcanaux 18 selon l’invention correspond à une application de charges électrostatiques négatives 41 à la surface des nanoparticules métalliques 40 . Ces nanoparticules métalliques 40 se présentent sous la forme de nanoparticules métalliques d’or, dans une solution d’acide chloraurique HauCl 4 42 . Cette solution d’acide chloraurique 42 est ensuite ajoutée à une solution de citrate de sodium pour mélange, afin d’aboutir à une solution comprenant des nanoparticules métalliques 40 d’or chargées. Ces nanoparticules métalliques 40 chargées présentent ainsi à leur surface des charges négatives 41 présentes sous la forme de molécules de citrate chargées négativement, obtenue au moyen de la solution de citrate de sodium. Selon un exemple de réalisation particulier, l’obtention de nanoparticules métalliques 40 d’or fonctionnalisées est obtenue comme suit : une solution d’acide chloraurique 42 présentant une concentration molaire de 0,25 mM est portée à ébullition, puis un volume approprié de citrate de sodium concentrée à 1% est ensuite ajouté à la solution d’acide chloraurique 42 . Après un mélange intensif des solutions pendant 20 minutes, la suspension de nanoparticules métalliques 40 d’or est refroidie à température ambiante et reconcentrée à 25mM par filtration tangentielle. Ce procédé de préparation de nanoparticules métalliques 40 d’or, connue dans l’état de la technique sous le nom de procédé de Turkevich de réduction de citrate, permet d’aboutir à des nanoparticules métalliques 40 sphériques d’or-citrate stabilisées. Idéalement, la stabilité colloïdale de la suspension de nanoparticules métalliques 40 d’or est caractérisée par spectroscopie UV-Vis et par DLS, acronyme pour « Dynamic Light Scattering », dans la littérature anglosaxonne. La solution de nanoparticules métalliques 40 d’or chargées avec des molécules de citrate à leur surface est ensuite reconcentrée jusqu’à 200 fois par filtration tangentielle. Selon une variante, du polysorbate 80 peut être ajouté au mélange acide chloraurique-citrate de sodium afin d’améliorer la stabilité colloïdale. Tel que représenté sur la FIG. 8 , la seconde étape de réalisation d’une galette de microcanaux 18 en verre dépourvu de plomb 35 selon l’invention correspond à charger la surface interne des microcanaux 25 de la galette par application de charges électrostatiques positives 43 . La surface des microcanaux 25 est ainsi traitée selon un procédé de silanisation, et plus particulièrement selon un procédé de silanisation en phase liquide. Selon une variante, la galette de microcanaux 18 peut être réalisée avec du verre au plomb, mais non réduit, empêchant ainsi l’exposition des particules de plomb et protégeant l’environnement et les opérateurs des effets néfastes des particules de plomb. Selon un exemple particulier de réalisation, l’application de charges électrostatiques positives 43 sur la surface interne des microcanaux 25 par silanisation est réalisée comme suit : une solution concentrée à 5% d’un silane est préparée, en l’espèce le silane utilité est du EDMPS (N-(-aminoethyl)3-aminopropylmethyldimethoxisilane (95%)), lequel est dilué dans de l’eau ultrapure. La galette de microcanaux 18 est ensuite trempée dans cette solution, puis soumise à une sonication pendant une heure à une température de 50°C. La galette de microcanaux 18 est ensuite rincée entre deux et trois fois avec du méthanol, et éventuellement deux fois avec de l’eau ultrapure. La galette de microcanaux 18 traitée est ensuite séchée quelques secondes avec un pistolet pulvérisateur d'azote ou d’air, ou par un flux d’air laminaire. De manière avantageuse, une phase de recuit thermique peut être envisagée pour éliminer certains résidus organiques. Selon une variante non représentée, la silanisation des galettes de microcanaux 18 se passe de tout traitement thermique, afin d’éviter l’agrégation des nanoparticules métalliques 40 . En référence à la FIG. 8 , les nanoparticules métalliques 40 chargées négativement sont déposées sur la surface du microcanal 25 chargée positivement. Les polarisations respectives des nanoparticules métalliques 40 et de la surface du canal étant inverses, les charges négatives 41 sur les nanoparticules métalliques 40 vont être attirées par les charges positives 43 sur la surface du microcanal 25 , ces charges positives 43 jouant le rôle de ligand, conduisant à la solidarisation des nanoparticules métalliques 40 d’or sur la paroi de la surface interne du microcanal 25 , tel que représenté sur la FIG. 8 . Les nanoparticules métalliques 40 d’or sont ainsi présentes à la surface du verre du microcanal 25 de manière homogène, avec une densité comprise entre 400 et 500 nanoparticules par µm². Selon d’autres modes de réalisation, la densité des nanoparticules métalliques d’or déposées à la surface des microcanaux peut être comprise jusqu’à 1500 à 1600 nanoparticules par µm². La phase de dépôt des nanoparticules métalliques 40 chargées à la surface des microcanaux 25 s’effectue au moyen d’une installation d’imprégnation par recirculation, au moyen d’une réserve de solution 44 contenant les nanoparticules métalliques 40 d’or, un support 45 pour maintenir la galette de microcanaux 18 , une boucle de recirculation 46 , et une pompe péristaltique 47 , tel que représenté sur la FIG. 8 . La FIG. 8 représente l’étape finale de réalisation d’une galette de microcanaux 18 selon l’invention, au cours de laquelle une couche en matériau diélectrique 34 est apposée sur la surface du microcanal 25 fonctionnalisé, permettant de fixer les nanoparticules métalliques 40 sur la surface du microcanal 25. Cette couche est réalisée en un matériau diélectrique, et plus précisément en oxyde d’aluminium Al2O3/sAl2O3 ou en oxyde de magnésium MgO, permettant avantageusement de générer les électrons secondaires lorsque la galette de microcanaux 18 est utilisée en tant que multiplicateur d’électrons. Cette couche en matériau diélectrique 34 est réalisée par dépôt ALD ou par dépôt sol-gel. La FIG. 9 représente un système de vision nocturne 11 comprenant un tube intensificateur d’images 13 , un objectif 12 et un oculaire 14 , alignées sur un axe optique α1 . Ce tube intensificateur d’images comprend au moins trois éléments distincts : une photocathode 16 accolée à une fenêtre d’entrée 15 , un multiplicateur d’électrons 18 , et un écran phosphorescent 20 . Le multiplicateur d’électrons 180 est réalisé avec une galette de microcanaux 18 selon la présente invention, permettant d’éviter la génération d’ions positifs à la suite de la génération d’électrons secondaires au sein des microcanaux 25 , lesquels dégradent la structure de la photocathode 16 et la durée de vie du tube intensificateur d’images 13 , et permettant d’éviter l’utilisation de verre au plomb. Ainsi, l’invention permet d’aboutir à une galette de microcanaux 18 fonctionnelle, en évitant l’utilisation de métaux présentant des risques sanitaires et environnementaux, tout en réduisant considérablement le temps de réalisation de ladite galette. D’autre part, l’invention permet avantageusement de réaliser une galette de microcanaux 18 dans une pluralité de matériaux résistifs, tels que la céramique. Enfin, dans les applications d’utilisation de galettes de microcanaux en tant que multiplicateurs d’électrons au sein de tube intensificateurs d’images, l’invention permet d’éviter la génération d’ions positifs au sein du tube intensificateur d’images et de prolonger sa durée de vie. Procédé de réalisation d’une galette de microcanaux (18), ledit procédé comprenant les étapes suivantes : – fonctionnalisation de la surface interne des microcanaux (25) par dépôt de nanoparticules métalliques (40) pour permettre une conduction par sauts dans les microcanaux (25) ; et – fixation des nanoparticules métalliques (40) sur la surface des microcanaux (25) par le dépôt d’une couche en matériau diélectrique (34) sur la surface fonctionnalisée des microcanaux (25) ; caractérisé en ce que l’étape de fonctionnalisation comprend les étapes suivantes : – application de charges électrostatiques d’une première polarité (41) sur les nanoparticules métalliques (40) au sein d’une solution aqueuse (42) ; – application de charges électrostatiques, de polarité inverse (43) à celles des charges électrostatiques appliquées sur les nanoparticules métalliques (40), sur la paroi interne des microcanaux (25) ; et – trempe des microcanaux (25) dans la solution (42) de sorte à déposer les nanoparticules métalliques (40) sur la surface interne des microcanaux (25), avant l’étape de fixation des nanoparticules métalliques (40). Procédé de réalisation d’une galette de microcanaux (18) selon la revendication 1, dans lequel le procédé comprend les étapes suivantes : – formation de premières fibres, comprenant un cœur soluble dans un acide, et une gaine insoluble dans le même acide, ladite gaine entourant le cœur ; – étirage des premières fibres jusqu’à un premier diamètre désiré ; – réalisation d’un premier empilement latéral des premières fibres au sein d’une première préforme ; – fusion et refroidissement du premier empilement au sein de la première préforme, afin de réaliser un premier matériau de base présentant une forme longiligne s’étendant selon une longueur ; – étirage de secondes fibres issues du premier matériau de base jusqu’à un second diamètre désiré ; – réalisation d’un second empilement latéral des secondes fibres au sein d’une seconde préforme ; – fusion et refroidissement du second empilement au sein de la seconde préforme, afin de réaliser un second matériau de base présentant une forme longiligne s’étendant selon une longueur ; – découpage transversal du second matériau de base selon un certain plan de coupe, ledit plan de coupe formant un angle compris entre 4° et 12° avec un plan en section perpendiculaire à ladite longueur dudit second matériau de base ; et – trempe des galettes de base dans l’acide afin de dissoudre le cœur dans cet acide afin de réaliser des microcanaux (25). Procédé de réalisation d’une galette de microcanaux (18) selon la revendication 2, dans lequel le cœur est soluble dans l’acide chlorhydrique, et dans lequel la gaine est insoluble dans l’acide chlorhydrique. Procédé de réalisation d’une galette de microcanaux (18) selon la revendication 2 ou 3, dans lequel la gaine est réalisée en verre dépourvu de plomb (35). Procédé de réalisation d’une galette de microcanaux (18) selon l’une des revendications 1 à 4, dans lequel le procédé comprend, après l’étape de fixation des nanoparticules métalliques (40), une étape de recuit thermique afin d’éliminer d’éventuels résidus organiques. Procédé de réalisation d’une galette de microcanaux (18) selon l’une des revendications 1 à 5, dans lequel l’étape d’application de charges électrostatiques d’une première polarité (41) sur les nanoparticules métalliques (40) est réalisée par application de molécules de citrate sur la surface des nanoparticules métalliques (40) au sein de la solution aqueuse (42), au moyen d’un mélange d’une solution aqueuse de citrate de sodium et d’une solution aqueuse d’un composé inorganique métallique. Procédé de réalisation d’une galette de microcanaux (18) selon l’une des revendications 1 à 5, dans lequel l’étape d’application de charges électrostatiques de polarité inverse (43) à celles des charges électrostatiques d’une première polarité (41) appliquées sur les nanoparticules métalliques (40) sur la paroi interne des microcanaux (25), est réalisée selon un procédé de silanisation. Procédé de réalisation d’une galette de microcanaux (18) selon l’une des revendications 1 à 7, dans lequel les nanoparticules métalliques (40) sont réalisées en un matériau non oxydable. Procédé de réalisation d’une galette de microcanaux (18) selon la revendication 8, dans lequel les nanoparticules métalliques (40) sont réalisées en or, en argent ou en platine. Procédé de réalisation d’une galette de microcanaux (18) selon l’une des revendications 1 à 9, dans lequel la couche en matériau diélectrique (34) est réalisée en oxyde d’aluminium. Procédé de réalisation d’une galette de microcanaux (18) selon l’une des revendications 1 à 10, dans lequel l’étape de fixation des nanoparticules métalliques (40) sur la surface des microcanaux par le dépôt d’une couche en matériau diélectrique (34) est réalisée par un procédé de dépôt ALD. Tube intensificateur d’images (13) comprenant : – une fenêtre d’entrée (15) configurée pour recevoir et transmettre les photons ; – une photocathode (16) fixée sur une face interne de ladite fenêtre d’entrée (15), apte à convertir des photons transmis par la fenêtre d’entrée (15) en électrons primaires (28) ; – un multiplicateur d’électrons, intégrant une galette de microcanaux (18), apte à démultiplier les électrons primaires (28) en électrons secondaires (29) ; et – un écran phosphorescent (20) transformant les électrons secondaires (29) en photons ; caractérisé en ce que la galette de microcanaux (18) est réalisée par la mise en œuvre d’un procédé selon l’une des revendications 1 à 11. Système de vision nocturne (11) comprenant : – un objectif (12) ; – un tube intensificateur d’images (13) selon la revendication 12 ; et – un oculaire (14) et/ou un capteur.