Brevet FR3161762A1 — publié le 20251031

La présente invention concerne un modulateur spatial de lumière destiné à être illuminé par des sources de lumière cohérente pour projeter une image holographique et son procédé de fabrication (7). En effet, le modulateur spatial de lumière comprend un substrat sur lequel est formé d’au moins un guide d’ondes. Une couche d’enrobage est déposée (71) sur le substrat et sur l’au moins un guide d’ondes pour former un échantillon enrobé, puis l’échantillon enrobé subit une première (72) et une deuxième (73) chauffes avant un amincissement (74) de la couche d’enrobage pour former un échantillon aminci. Une pluralité de nanorésonateurs est ensuite déposée (75) sur la couche d’enrobage de l’échantillon aminci, les nanorésonateurs étant placés sur la couche d’enrobage à l’aplomb d’au moins un guide d’ondes, chaque nanorésonateur étant formé d’au moins une chaîne de nanoparticules et étant activable optiquement pour définir un pixel de l’image holographique. Figure pour l’abrégé : Figure 7 Procédé de fabrication d’un modulateur spatial de lumière pour dispositif de projection d’image holographique La présente invention se situe dans le domaine général de l’holographie dynamique, applicable à des dispositifs de projection d’image holographique tels que des afficheurs 3D ou des systèmes de réalité augmentée embarqués dans des véhicules, notamment de véhicules autonomes. Arrière-plan technologique L’holographie est une méthode de restitution d’une image 3D (tridimensionnelle) basée sur des figures d’interférences (communément appelées hologrammes) et des phénomènes de diffraction pour reconstruire en 3D un front d’onde émis d’un objet vers un observateur. L’utilisation de l’holographie pour la reconstruction et la visualisation d’image 3D est une solution envisageable car elle ne provoque pas de phénomènes de maux de tête ou autre inconfort que peuvent provoquer d’autres technologies 3D. La réalité augmentée, dite RA, ou AR (de l’anglais « Augmented Reality ») que l’on trouve de plus en plus dans le domaine automobile est une évolution technologique des systèmes Vision Tête Haute (VTH, en l’anglais « Head Up Display »). Pour l’essentiel, un système VTH comprend une unité de génération d’image (PGU pour « Picture Generation Unit » en anglais) qui génère une image. Le système VTH comprend aussi un système optique formé de plusieurs miroirs, possiblement orientables, et adapté pour qu’un observateur aperçoive l’image dans une zone située au-delà du parebrise à une distance de projection (environ 2 mètres devant le conducteur) et selon un certain angle par rapport à l’horizontale par un système optique. Un système « VTH » permet d’afficher, par exemple, des informations de vitesse, des pictogrammes ou encore des informations sur le véhicule dans le champ de vision du conducteur du véhicule lorsque ce dernier est en train de conduire ce véhicule. La réalité augmentée dans le domaine automobile prend la forme d’une ou plusieurs images virtuelles projetées à une distance d’environ 7 mètres devant le parebrise (voire plus). Les images de réalité virtuelle peuvent se superposer aux images d’un système VTH pour, par exemple, surligner des évènements de la route, illuminer virtuellement un tracé GPS, etc. La FIG. 1 illustre un exemple de superposition d’une image issue d’un système VTH (partie 1) superposée avec une image issue d’un système AR (partie 2). Des systèmes AR actuels adaptés pour le domaine automobile sont basés sur l’intégration de plusieurs unités de génération d’image (ou d’une seule unité divisée en deux) et deux chemins optiques mis en œuvre par des miroirs d’optique réfractive : l’un pour la propagation d’une image d’un système VTH et l’autre pour la propagation d’une image d’un système AR. Le défaut principal des systèmes actuels est leur encombrement : les systèmes AR entièrement basés sur de l’optique classique ont des volumes minimaux approchant les 20 litres tandis que les systèmes VTH ont un volume de l’ordre de 5 litres. Les systèmes VTH et AR actuels sont difficilement intégrables sans réduction de leur encombrement. Les afficheurs 3D pour le domaine automobile sont une des tendances du véhicule du futur pour des intégrations dans le cockpit (combiné, écran central) mais aussi pour une intégration comme assistant conversationnel. Des interfaces Homme-Machine seraient alors plus intuitives car l’interaction avec des interfaces 3D est plus intuitive comparée à une interaction avec des interfaces 2D classiques. Les afficheurs 3D existants sont basés sur l’autostéréoscopie (avec ou sans suivi des yeux, « eye tracking » en anglais) qui produit une image différente pour l’œil gauche et pour l’œil droit d’un observateur ou comprennent des écrans plusieurs couches (en anglais « multilayer ») qui sont munis de plusieurs dalles LCD pour produire plusieurs plans image à différentes profondeurs. Les afficheurs 3D autostéréoscopiques souffrent du conflit « vergence/accommodation » c’est-à-dire que l’observateur focalise sur l’écran mais le contenu 3D jaillit devant cet écran. L’expérience 3D peut être dégradée voire « refusée » par l’observateur. Quant aux systèmes multicouches, ils ne permettent qu’un affichage sur plusieurs plans discrets en profondeur ou en jaillissement. Des modulateurs spatiaux de lumière, communément appelés SLM (de l’anglais « Spatial Light Modulator ») peuvent aussi être utilisés en tant qu’afficheur d’image holographique d’un système AR ou en tant qu’afficheur 3D. Le mécanisme de modulation d’un modulateur spatial de lumière repose sur une méthode qui modifie les propriétés du matériau de modulation et sur la manière dont le champ spatial d’un faisceau lumineux incident est modifié. Divers procédés comprenant des effets mécaniques, électro-optiques, thermo-optiques et magnéto-optiques peuvent être utilisés pour modifier les propriétés du matériau de modulation d'un modulateur spatial de lumière qui interagit avec une lumière incidente et transforme sa distribution de champ spatial. L'un des mécanismes de modulation les plus couramment utilisés aujourd'hui est le modulateur de lumière spatial électro-optique contenant des cristaux liquides comme matériau de modulation (LC-SLM de l’anglais « Liquid Crytal Spatial Light Modulator »). Ces modulateurs de type LC-SLM sont basés sur une matrice de pixels à cristaux liquides qui, par la modulation de la phase d’une lumière cohérente, génère un hologramme à tout instant pour produire une vidéo en 2D ou 3D à la sortie d’un système optique. Les technologies silicium/cristaux liquides actuelles de ce type de modulateurs permettent aujourd’hui d’obtenir des tailles de pixels de 1 à 4 µm, et des résolutions d’image jusqu’à 4160 x 2464 pixels. Les systèmes AR de l’état de la technique qui utilisent des modulateurs spatiaux de lumière ne présentent pas une résolution suffisante pour permettre une démocratisation de l’holographie « dynamique », c’est-à-dire pilotée par une unité de contrôle, notamment dans le domaine automobile. En effet, d’une part, le champ visuel d’une image holographique, dû à un angle de diffraction de l’hologramme, est lié à la taille d’un pixel du modulateur et le nombre et la taille des pixels jouent un rôle sur la résolution de l’image holographique. Par ailleurs, le produit de la taille de l’image par le champ de vue est proportionnel au nombre de pixels du modulateur. Ainsi, pour obtenir un hologramme de pixels, qui permettrait d’obtenir une résolution correcte d’une image holographique, un champ de vue de 60° et une image de 50 cm sont nécessaires. Toutefois, les modulateurs actuels ne permettent que des champs visuels d’environ 20° ce qui induit des résolutions insuffisantes des images holographiques. Il est nécessaire de prévoir des modulateurs spatiaux de lumière qui fournissent des images holographiques de résolution élevée et qui procurent des champs de vue au-delà de ceux produits aujourd’hui par des modulateurs spatiaux de lumière. Un modulateur spatial de lumière à la fois compact et disposant d’une grande résolution est par exemple présenté dans la demande de brevet français FR3124865 publiée le 5 juillet 2021. Ce modulateur spatial de lumière nécessite une qualité de fabrication élevée, requérant notamment une disposition précise des réflecteurs correspondants dans ce document à des nanoparticules, en présentant notamment une surface particulièrement plane et propre sur laquelle sont disposées ces nanoparticules et en présentant des épaisseurs de matière maîtrisées afin de garantir le contrôle de chacune de ces nanoparticules. Un niveau de précision aussi élevé pour la fabrication d’un modulateur spatial de lumière nécessite une maîtrise du procédé de fabrication de ce dernier difficilement atteignable et répétable avec des moyens de fabrication courants. Résumé de la présente invention Un objet de la présente invention est de résoudre au moins l’un des problèmes de l’arrière-plan technologique décrit précédemment. Un objet de la présente invention est de permettre la fabrication d’un modulateur spatial de lumière de haute résolution. Un autre objet de la présente invention est d’améliorer les dispositifs de projection d’image holographique. Selon un premier aspect, la présente invention concerne un procédé de fabrication d’un modulateur spatial de lumière destiné à être illuminé par des sources de lumière cohérente pour projeter une image holographique, le modulateur spatial de lumière comprenant : - un substrat sur lequel est formé d’au moins un guide d’ondes ; - une couche d’enrobage placée sur le substrat et enveloppant l’au moins un guide d’ondes ; et - une pluralité de nanorésonateurs placés sur la couche d’enrobage à l’aplomb du au moins un guide d’ondes, chaque nanorésonateur étant activable optiquement et étant formé d’au moins une chaîne de nanoparticules, chaque nanorésonateur définissant un pixel de l’image holographique, le procédé étant caractérisé en ce qu’il comprend les étapes suivantes : - dépôt de la couche d’enrobage sur le substrat et sur l’au moins un guide d’ondes pour former un échantillon enrobé, puis - première chauffe de l’échantillon enrobé à une première température, puis - deuxième chauffe de l’échantillon enrobé à une deuxième température pour former un échantillon recuit, puis - amincissement de la couche d’enrobage de l’échantillon recuit pour former un échantillon aminci, puis - dépôt de la pluralité de nanorésonateurs sur la couche d’enrobage de l’échantillon aminci pour obtenir le modulateur spatial de lumière. Un tel procédé de fabrication permet de disposer : • d’une couche d’enrobage de matière similaire à celle du substrat et ayant notamment des propriétés optiques similaires, • d’une surface de la couche d’enrobage garantissant une bonne disposition de chaque nanorésonateur et leur contrôle via au moins une onde optique circulant dans un guide d’ondes. Selon une variante du procédé de fabrication, la couche d’enrobage est déposée par enduction centrifuge. L’utilisation de l’enduction centrifuge permet de disposer d’une couche d’enrobage de l’échantillon enrobé d’une épaisseur maîtrisée et homogène. Selon une autre variante du procédé de fabrication, la première chauffe comprend une montée en température linéaire jusqu’à la première température, la montée en température étant réalisée suivant une première durée. L’échantillon enrobé est ainsi monté progressivement en température sans subir de choc thermique. Selon une variante supplémentaire du procédé de fabrication, la première durée est comprise entre 25 et 35 minutes et la première température est égale à 180 degrés Celsius. De tels paramètres garantissent l’absence de contraintes thermiques et mécaniques pouvant dégrader l’échantillon enrobé. Selon une autre variante du procédé de fabrication, la deuxième chauffe comprend une montée en température linéaire jusqu’à la deuxième température suivie d’une descente en température linéaire jusqu’à une troisième température, la deuxième chauffe étant réalisée pendant une deuxième durée. Cette deuxième chauffe permet alors un traitement thermique de l’échantillon enrobé. Selon encore une variante du procédé de fabrication, la deuxième chauffe est réalisée dans un four sous azote, la deuxième durée étant comprise entre 160 et 200 minutes. Le traitement thermique est alors contrôlé et réalisé sous atmosphère gazeuse neutre, évitant ainsi toute altération non attendue des matériaux composant l’échantillon enrobé. Selon une variante supplémentaire du procédé de fabrication, la deuxième température est comprise entre 570 et 630 degrés Celsius. Cette deuxième température est définie de manière à permettre une transformation de la couche d’enrobage. Selon une variante additionnelle du procédé de fabrication, la couche d’enrobage est composée d’hydrogénosilsesquioxanes (HSQ) transformés en silice (SiO 2 ) lors de la deuxième chauffe. Ce matériau présente alors des caractéristiques physiques, notamment optiques, proches de celle du substrat. Selon encore une variante du procédé de fabrication, l’étape d’amincissement est réalisée par gravure ionique réactive. Une gravure ionique permet de maîtriser l’épaisseur de matière enlevée tout en conservant une surface propre. Selon une autre variante, le procédé de fabrication comprend en outre une étape de mesure d’une épaisseur de la couche d’enrobage de l’échantillon recuit, l’amincissement étant fonction de l’épaisseur mesurée. Il est ainsi possible de mesurer de manière continue la hauteur gravée durant l’étape d’amincissement, par exemple à l’aide d’un laser, et d’asservir cet amincissement afin garder une épaisseur cible de couche d’enrobage au-dessus du au moins un guide d’ondes. Selon un deuxième aspect, la présente invention concerne un modulateur spatial de lumière destiné à être illuminé par des sources de lumière cohérente pour projeter une image holographique, le modulateur spatial de lumière comprenant : - un substrat sur lequel est formé d’au moins un guide d’ondes ; - une couche d’enrobage placée sur le substrat et enveloppant l’au moins un guide d’ondes ; et - une pluralité de nanorésonateurs placés sur la couche d’enrobage à l’aplomb du au moins un guide d’ondes, chaque nanorésonateur étant activable optiquement et étant formé d’au moins une chaîne de nanoparticules, chaque nanorésonateur définissant un pixel de l’image holographique, le modulateur spatial de lumière étant caractérisé en ce qu’il est obtenu suivant le procédé de fabrication décrit suivant le premier aspect de l’invention. Le placement d’une pluralité de nanorésonateurs activables optiquement sur la couche d’enrobage avec une grande précision permet d’augmenter significativement le nombre de nanorésonateurs par intersection de guides d’ondes du treillis de guides d’ondes. Comme chaque nanorésonateur peut être activable optiquement indépendamment des autres, chaque nanorésonateur peut correspondre à un pixel de l’image holographique. Ainsi, augmenter le nombre de nanorésonateurs du modulateur spatial de lumière augmente le nombre de pixels et donc la résolution de l’image holographique projetée sans pour autant devoir augmenter l’encombrement de la partie optique d’un dispositif de projection d’image holographique tel qu’un système RA ou VTH ou un afficheur 3D. De plus, la grande précision de positionnement de ces nanorésonateurs est rendue possible par la planéité et la propreté de la surface supérieure de la couche d’enrobage permettant alors une production de grande série répétable et qualitative de ce modulateur spatial de lumière. Ainsi, la présente invention permet d’obtenir des modulateurs spatiaux de lumière ayant des tailles de pixels de l’ordre de 500nm alors que la taille des pixels de modulateurs spatiaux actuels est de l’ordre de 1 à 4 µm, et ce avec une qualité de fabrication optimale. Selon un troisième aspect, la présente invention concerne un dispositif de projection d’image holographique comprenant au moins un modulateur spatial de lumière selon le premier aspect de la présente invention. Selon un quatrième aspect, la présente invention concerne un véhicule comprenant au moins un dispositif de projection d’image holographique selon le troisième aspect de la présente invention. Brève description des figures D’autres caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront de la description des exemples de réalisation particuliers et non limitatifs de la présente invention ci-après, en référence aux figures 1 à 8 annexées, sur lesquelles : FIG. 1 illustre schématiquement la projection d’images par un système de réalité augmentée et d’un système Tête Haute d’un véhicule, selon l’état de la technique ; FIG. 2 illustre schématiquement la projection d’images dans un véhicule 10, selon un exemple de réalisation particulier et non limitatif de la présente invention ; FIG. 3 illustre schématiquement un dispositif de projection d’image holographique pour un véhicule, selon un exemple de réalisation particulier et non limitatif de la présente invention. FIG. 4 illustre schématiquement un modulateur spatial de lumière selon un exemple de réalisation particulier et non limitatif de la présente invention ; FIG. 5 illustre schématiquement une vue en coupe du modulateur spatial de lumière de la FIG. 4 , selon un exemple de réalisation particulier et non limitatif de la présente invention ; FIG. 6 illustre schématiquement une vue en coupe d’un nanorésonateur du modulateur spatial de lumière de la FIG. 4 , selon un exemple de réalisation particulier et non limitatif de la présente invention ; FIG. 7 illustre un organigramme des différentes étapes d’un procédé de fabrication d’un modulateur spatial de lumière, selon un exemple de réalisation particulier de la présente invention ; et FIG. 8 illustre une évolution d’un échantillon pour obtenir un modulateur spatial de lumière selon les différentes étapes du procédé de la FIG. 7 , selon un exemple de réalisation particulier de la présente invention. Description des exemples de réalisation Un modulateur spatial de lumière, un procédé de fabrication de ce modulateur spatial de lumière vont maintenant être décrits dans ce qui va suivre en référence conjointement aux figures 1 à 8. Des mêmes éléments sont identifiés avec des mêmes signes de référence tout au long de la description qui va suivre. Les termes « premier(s) », « deuxième(s) » (ou « première(s) », « deuxième(s) »), etc. sont utilisés dans ce document par convention arbitraire pour permettre d’identifier et de distinguer différents éléments (tels que des opérations, des moyens, etc.) mis en œuvre dans les modes de réalisation décrits ci-après. De tels éléments peuvent être distincts ou correspondre à un seul et unique élément, selon le mode de réalisation. Selon un exemple particulier et non limitatif de réalisation, la présente invention concerne un La présente invention concerne un modulateur spatial de lumière destiné à être illuminé par des sources de lumière cohérente pour projeter une image holographique et son procédé de fabrication. En effet, le modulateur spatial de lumière comprend un substrat sur lequel est formé d’au moins un guide d’ondes. Une couche d’enrobage est déposée sur le substrat et sur l’au moins un guide d’ondes pour former un échantillon enrobé, puis l’échantillon enrobé subit une première et une deuxième chauffes avant un amincissement de la couche d’enrobage pour former un échantillon aminci. Une pluralité de nanorésonateurs est ensuite déposée sur la couche d’enrobage de l’échantillon aminci, les nanorésonateurs étant placés sur la couche d’enrobage à l’aplomb d’au moins un guide d’ondes, chaque nanorésonateur étant formé d’au moins une chaîne de nanoparticules et étant activable optiquement pour définir un pixel de l’image holographique. Ce modulateur spatial de lumière à très haute résolution, qui une fois illuminé par des sources de lumière cohérente, par exemple un laser, est intégrable pour réaliser un écran holographique 3D pour une application d’affichage 3D ou inséré dans un système de réalité augmentée, dit système RA, par exemple pour l’automobile. La FIG. 2 illustre schématiquement la projection d’images dans un véhicule 10, selon un exemple de réalisation particulier et non limitatif de la présente invention. La FIG. 2 présente une vue de l’intérieur d’un véhicule 10, notamment de la partie avant de l’habitacle du véhicule 10 comprenant notamment le volant, le tableau de bord, et le pare-brise 100 du véhicule 10. Le véhicule 10 correspond par exemple à un véhicule à moteur thermique, à moteur(s) électrique(s) ou encore un véhicule hybride avec un moteur thermique et un ou plusieurs moteurs électriques. Le véhicule 1 correspond ainsi par exemple à un véhicule terrestre, par exemple une automobile, un camion, un car. Le véhicule 10 embarque par exemple un ensemble de systèmes d’aide à la conduite, dits systèmes ADAS (de l’anglais « Advanced Driver-Assistance System » ou en français « Système d’aide à la conduite avancé ») et un système d’infodivertissement, dit système IVI (de l’anglais « In-Vehicle Infotainment » ou en français « Info-divertissement embarqué »). Le véhicule 10 embarque avantageusement un dispositif de projection d’image holographique. Le dispositif de projection d’image holographique comprend par exemple un ou plusieurs projecteurs intégrés par exemple dans la planche de bord. Un tel dispositif de projection d’image holographique ou de contenus graphiques correspond par exemple à un afficheur 3D ou à un système RA ou VTH, lequel permet l’incrustation d’objets virtuels dans le champ de vision d’un conducteur du véhicule 10, par exemple sur le pare-brise 100 du véhicule 10, de manière à superposer les objets virtuels sur la scène routière réelle. La projection de l’image holographique est par exemple contrôlée par un ou plusieurs calculateurs du système embarqué du véhicule 10, par exemple par le calculateur du système IVI du véhicule 10. L’image holographique est avantageusement affichée sur une surface 101 par projection des données d’images sous la forme d’un faisceau lumineux réfléchi par un modulateur spatial de lumière. La surface 101 correspond par exemple à une lamelle opaque arrangée sur la planche de bord du véhicule 10, par exemple au-dessus et en arrière du volant par rapport à un point de vue correspondant au point de vue selon lequel le conducteur du véhicule 10 est censé regarder la route devant lui lorsqu’il conduite le véhicule 10. L’image holographique comprend avantageusement un ensemble d’objets graphiques chacun représentatif d’un paramètre ou d’un état de fonctionnement du véhicule 10. A titre d’exemple, l’ensemble d’objets graphiques représente des paramètres ou état de fonctionnement du véhicule 10 correspondant à tout ou partie des informations suivantes, selon toutes combinaisons possibles : - une information représentative de vitesse instantanée ; et/ou - une information représentative de rotation d’un arbre moteur (aussi appelé information de compte-tours) ; et/ou - une information représentative d’un kilométrage parcouru ; et/ou - une information représentative d’un niveau de carburant ou de l’état de charge de la batterie dans le cas d’un véhicule électrique ; et/ou - une information représentative d’une température d’un liquide de refroidissement moteur ; et/ou - une information représentative d’un témoin d’alerte (par exemple témoin de charge de la batterie, témoin de pression d’huile moteur, témoin de température d’huile moteur ou de liquide de refroidissement, témoin de défaillance des freins, etc.), correspondant par exemple à un pictogramme s’affichant ou prenant une couleur déterminée en cas d’alerte ; et/ou - une information représentative d’un témoin d’avertissement (par exemple témoin de niveau d’huile moteur, témoin d’air bag (aussi appelé coussin gonflable), témoin d’usure des plaquettes de frein, etc.), correspondant par exemple à un pictogramme s’affichant ou prenant une couleur déterminée en cas d’avertissement ; et/ou - une information représentative d’un témoin de signalisation de fonctionnement d’un système embarqué (témoin de feux de positionnement, de croisement ou de route, témoin de feux de détresse, témoin de désembuage de lunette arrière, etc.), correspondant par exemple à un pictogramme s’affichant ou prenant une couleur déterminée en cas de mise en opération du système embarqué. L’ensemble d’objets graphiques peuvent aussi représenter des informations contextuelles ou d’environnement du véhicule 10 correspondent à tout ou partie des informations suivantes, selon toutes combinaisons possibles : - des informations représentatives de cartographie de l’environnement du véhicule 10, par exemple obtenues d’un système de navigation embarqué dans le véhicule ou d’un système de navigation installé sur un dispositif de communication mobile (par exemple un téléphone intelligent (de l’anglais « smartphone ») relié en communication sans fil avec le véhicule 10, ou plus spécifiquement avec le système embarqué du véhicule 10 comprenant le ou les calculateurs en charge de contrôler la projection de la première image et de la deuxième image ; et/ou - des informations représentatives de navigation du véhicule, par exemple un tracé de l’itinéraire à suivre par le véhicule, la position courant du véhicule, la vitesse instantanée du véhicule, la limitation de vitesse applicable sur la portion de route sur laquelle circule le véhicule 10 ; ces informations sont par exemple obtenues du système de navigation embarqué dans le véhicule ou du système de navigation installé sur un dispositif de communication mobile ; et/ou - une information représentative d’un objet détecté dans l’environnement, par exemple la présence d’un véhicule précédent le véhicule 10, la présence d’un piéton ou d’un animal sur la chaussée devant le véhicule 10, la présence d’un panneau de signalisation routière, la présence d’un objet immobile sur la chaussée, la présence d’une entrée d’un tunnel, etc. ; cette ou ces informations sont par exemple obtenues d’un ou plusieurs capteurs de détection d’objet embarqués dans le véhicule 10 et par exemple associés à un ou plusieurs systèmes ADAS du véhicule 10. Bien entendu, la liste des informations affichées via l’image holographique est donnée à titre d’exemple et n’est pas limitée aux exemples ci-dessus. La FIG. 3 illustre schématiquement un dispositif de projection d’image holographique pour un véhicule 10, selon un exemple de réalisation particulier et non limitatif de la présente invention. Le dispositif de projection d’image holographique 3 comprend une unité de contrôle 31 configurée pour le traitement de données reçues de capteurs du véhicule 10 et/ou de systèmes embarqués dans le véhicule 10. L’unité de contrôle 31 est avantageusement configurée pour fournir des informations nécessaires à la génération d’une ou plusieurs images holographiques à partir des données reçues. Le dispositif de projection d’image holographique 3 comprend un modulateur spatial de lumière 32 configuré pour réfléchir un faisceau lumineux incident, un faisceau lumineux réfléchi étant représentatif d’une image holographique générée à partir d’informations issues de l’unité de contrôle 31. Le faisceau lumineux incident est généré par au moins une source de lumière cohérente (par exemple laser) 34 formée, par exemple de diode laser RGB (de l’anglais « Red, Green, Blue », en français Rouge, Vert Bleu). Selon un exemple de réalisation particulier et non limitatif, les sources de lumière cohérente sont adaptées pour émettre des ondes lumineuses proche-infrarouges (700nm à 1600nm). Le dispositif de projection d’image holographique 3 comprend également un dispositif réfléchissant 33 associé au modulateur spatial de lumière 32. Le dispositif réfléchissant 33 est configuré pour orienter le faisceau lumineux réfléchi par le modulateur spatial de lumière 32 vers la surface 300, correspondant par exemple à la surface 101 précédemment décrite, pour affichage de l’image holographique dans le champ de vision du point de vue 310 correspondant par exemple à la position d’un œil d’un utilisateur, par exemple le conducteur du véhicule 10 de la FIG. 2 . Selon une variante, le dispositif de projection d’image holographique 3 ne comprend pas de tel(s) dispositif(s) réfléchissant(s), le modulateur spatial de lumière 32 étant alors arrangé de manière à projeter le faisceau lumineux directement sur la surface 101. Selon une variante optionnelle de réalisation, le dispositif de projection d’image holographique 3 comprend en outre des moyens optiques (par exemple un arrangement de lentilles optiques non représenté) configurés pour focaliser l’image holographique dans le plan image. La FIG. 4 illustre schématiquement un modulateur spatial de lumière selon un exemple de réalisation particulier et non limitatif de la présente invention. Le modulateur spatial de lumière 32 est destiné à être illuminé par des sources de lumière cohérente 34 pour projeter une image holographique par réflexion de la lumière cohérente. Ces sources de lumière cohérente 34 sont pilotées (activées/désactivées) par des informations issues de l’unité de contrôle 31 pour générer et projeter une image holographique. L’image holographique correspond à un ensemble de pixels très souvent organisé sous forme de treillis, à chaque pixel étant associées des informations, par exemple des niveaux de gris codés sur 8, 10 ou 12 bits pour chaque canal couleur d’un espace couleur déterminé, par exemple RGB. L’image holographique est par exemple générée pour représenter graphiquement des informations sur l’état de fonctionnement du véhicule 10 ou sur le contexte ou l’environnement dans lequel évolue le véhicule 10. Ces informations sont par exemple reçues de capteurs et/ou de systèmes embarqués dans le véhicule et mesurant des paramètres de contrôle du véhicule 10. L’image holographique issue du modulateur spatial de lumière 32 est projetée sous la forme d’un faisceau lumineux sur la surface 101 par le modulateur spatial de lumière, directement ou via un système optique et/ou un dispositif réfléchissant tel que le dispositif réfléchissant 33 de la FIG. 4 . Bien entendu, la génération et la projection ne se limitent pas à une seule image mais s’étendent à la génération et à la projection d’une séquence d‘images, par exemple à une fréquence d’image égale à par exemple 24, 30 ou 60 images par seconde. Le modulateur spatial de lumière 32 comprend un substrat 321, par exemple réalisé en silice (Si0 2 ). Sur ce substrat 321 sont positionnés des guides d’ondes 322 sous la forme d’un treillis, les guides d’ondes s’entrecroisant et formant des intersections. Par treillis de guides d’ondes 322, il faut entendre un ensemble de guides d’ondes organisé pour former au moins une intersection entre deux guides d’ondes 322, le treillis étant notamment structuré pour former un motif géométrique. Selon un exemple de réalisation particulier, la largeur de chaque guide d’ondes 322 est de l’ordre de 500 nm et l’espacement entre les guides d’ondes est de l’ordre de 500 nm, voire 300nm, soit une distance correspondant à un entraxe des guides comprise entre 800nm et1µm. Selon un autre exemple particulier de réalisation et non limitatif, les guides d’ondes sont formés à partir de silicium (Si) ou Nitrure de Silicium (Si 3 N 4 ). Le modulateur spatial de lumière 32 illustré dans cette FIG. 4 comprend un treillis de six guides d’ondes 322 s’étendant dans un même plan, trois guides d’ondes 322 s’étendant selon une première direction et trois guides d’ondes 322 s’étendant selon une deuxième direction, la deuxième direction étant par exemple normale à la première direction. Les guides d’ondes 322 forment une matrice comprenant, selon cet exemple, neuf intersections. Le substrat 321 ainsi que les guides d’ondes 322 sont recouverts d’une couche d’enrobage 323. Cette couche d’enrobage 323 est ainsi placée sur le substrat 321 et enveloppe chaque guide d’ondes 322. Selon un exemple particulier de réalisation, cette couche d’enrobage 323 est composée d’hydrogénosilsesquioxanes (HSQ). Cette résine, une fois recuite, permet d’obtenir un matériau dont l’indice optique est très proche de celui du substrat 321, la couche d’enrobage une fois recuite se composant de silice (SiO 2 ). Quatre nanorésonateurs 324 sont placés à l’aplomb de chaque intersection sur une surface de la couche d’enrobage 323 définissant un plan supérieur ‘P’, le plan supérieur ‘P’ étant le plan défini par la surface de la couche d’enrobage 323 opposée au substrat 321, dite aussi distale du substrat 321. Les quatre nanorésonateurs 324 sont disposés en groupes 325 de nanorésonateurs dont chaque nanorésonateur est situé à proximité d’un coin d’une surface de la couche d’enrobage 323 correspondante à une intersection. Chaque nanorésonateur 324 correspond alors à un pixel d’une image holographique. Le modulateur spatial de lumière 32 selon la présente invention n’est pas limité à l’exemple de celui donné à la FIG. 4 . En effet, le modulateur spatial de lumière peut comprendre plus d’un treillis de guides d’ondes, plus de six guides d’ondes 322 par treillis, un nombre quelconque de nanorésonateurs 324 par intersection sans pour autant sortir de la portée de la présente invention. Le fait de disposer quatre nanorésonateurs 324 par intersection de guides d’ondes 322 permet de doubler le nombre de nanorésonateurs 324 dans chaque direction de guide d’ondes 322. Ainsi, pour une même largeur de guide d’ondes 322 et une même distance séparant deux guides d’ondes 322, la résolution d’une image est multipliée par 4 comparativement à une solution proposant un unique nanorésonateur 324 par intersection de guides d’ondes 322. Il est à noter que le nombre de nanorésonateurs 324 à chaque intersection de guides d’ondes 322 varie entre 0 et n j , n j représentant le nombre maximal de nanorésonateurs 324 présents à l’aplomb d’une même intersection j. Par exemple, les nanorésonateurs 324 ont une taille de 100 à 250 nm. Le modulateur spatial de lumière 32 permet d’obtenir des tailles de pixels inférieures à 500nm conduisant à des champs de vue de plus de 60° et à des résolutions très élevées d’image holographique, bien supérieures à celles des images holographiques actuelles. Chaque nanorésonateur 324 comprend deux chaînes de nanoparticules, une première chaîne 324a disposée selon la première direction selon laquelle s’étendent des guides d’ondes 322 et une deuxième chaîne 324b disposée selon la deuxième direction selon laquelle s’étendent des guides d’ondes 322. La longueur d’une chaîne de nanoparticules est définie de manière à activer la première chaîne 324a ou deuxième chaîne 324b en fonction d’une longueur d’onde définie. La FIG. 6 illustre schématiquement une vue en coupe d’un nanorésonateur 324 selon un exemple de réalisation particulier et non limitatif de la présente invention. Chaque chaîne de nanoparticules 324a, 324b du nanorésonateur 324 est composée d’un matériau à changement de phase 3242 déposé entre deux couches d’un matériau plasmonique 3241, 3243. La couche 3243 est en contact avec la couche d’enrobage 323. Selon un exemple de réalisation particulier et non limitatif, le matériau plasmonique est de l’or ou de l’argent et le matériau à changement de phase est du dioxyde de Vanadium (VO2), un alliage de germanium-antimoine-tellure (GeSbTe) ou du Trisulfure d’antimoine (SbS3). Les longueurs d’activation sont définies par les longueurs L de la couche inférieure 3243 des chaînes de nanoparticules. Ainsi, pour activer un nanorésonateur 324, la première chaîne de nanoparticules 324a de ce nanorésonateur 324 doit être éclairée par une première onde lumineuse de longueur d’onde (d’activation) égale à la première longueur L 1 de la première chaîne de nanoparticules 324a et la deuxième chaîne de nanoparticules 324b de ce nanorésonateur 324 doit être éclairée par une deuxième onde lumineuse de longueur d’onde (d’activation) égale à la deuxième longueur L 2 de la chaîne de nanoparticules 324b. Les première L 1 et deuxième L 2 longueurs des première 324a et deuxième 324b chaînes de nanoparticules d’un même nanorésonateur 324 sont égales ou différentes selon les cas d’utilisation. Ainsi, toute chaîne de nanoparticules orientée selon la direction longitudinale d’un guide d’ondes 322 et placée sur ce guide d’ondes est activée lorsque ce guide d’ondes 322 est parcouru par une onde lumineuse dont la longueur d’onde correspond à la longueur d’onde d’activation associée à la longueur L de cette chaîne de nanoparticules. Le fait de disposer une pluralité de nanorésonateurs 324 par intersection de guides d’ondes 322 permet d’augmenter le nombre de nanorésonateurs 324 dans chaque direction longitudinale de guide d’ondes 322. Ainsi, pour une même largeur de guide d’ondes 322 et une même distance séparant deux guides d’ondes 322, la résolution d’une image est accrue comparativement à une solution proposant un unique nanorésonateur 324 par intersection de guides d’ondes 322.Un nombre maximal de nanorésonateurs 324 peut varier selon les intersections d’un treillis de guides d’ondes pour créer une image holographique comprenant des régions spatiales avec des résolutions différentes. En variante, un même nombre de nanorésonateurs 324 est placé à l’aplomb de chaque intersection d’un treillis de guides d’ondes. Un nanorésonateur 324 est activé lorsque ses deux chaînes 324a, 324b sont activées. Il convient alors d’émettre dans le premier guide d’ondes 322 s’étendant selon la première direction et formant l’intersection sur laquelle est située le nanorésonateur 324 une première onde lumineuse dont la longueur d’onde permet d’activer la première chaîne 324a du nanorésonateur 324, et d’émettre dans le deuxième guide d’ondes 322 s’étendant selon la deuxième direction et formant l’intersection sur laquelle est située le nanorésonateur 324 une deuxième onde lumineuse dont la longueur d’onde permet d’activer la deuxième chaîne 324a du nanorésonateur 324, les première et deuxième ondes étant générées simultanément. Les première et deuxième ondes lumineuses sont appelées ondes d’activation. Le nanorésonateur 324 du modulateur spatial de lumière 32 est alors activé ou excité de manière à modifier un angle de réflexion d’un rayon lumineux incident et générer ainsi un pixel de l’image holographique par le rayon lumineux réfléchi. Dit autrement, les première et deuxième ondes lumineuses émises se propagent respectivement le long de la direction longitudinale des premier et deuxième guides d’ondes et interagissent avec des chaînes de nanoparticules alignées le long des directions longitudinales de ces guide d’ondes. Seules les chaînes de nanoparticules alignées le long des premier et deuxième guides d’ondes dont les longueurs correspondent aux longueurs d’ondes (d’activation) des ondes lumineuses émises sont alors activées (ou excitées). Chaque pixel d’une image holographique peut ainsi être éclairé. La propagation des deux ondes lumineuses de longueurs d’onde particulières permet d’adresser chaque pixel de l’image holographique. Ce principe d’adressage individuel des pixels est contrôlé par les valeurs des longueurs d’ondes des ondes lumineuse émises le long de directions longitudinales des guides d’ondes 322, c’est-à-dire par des valeurs de longueurs d’onde qui correspondent aux résonances de chaines de nanoparticules 324a, 324b formant des nanorésonateurs 324 placés à l’aplomb des intersections du treillis de guides d’ondes. Pour permettre l’activation de chaque chaîne 324a, 324b, il convient de maîtriser l’épaisseur de matière comprise entre un guide d’ondes 322 et un nanorésonateur 324. La FIG. 5 illustre schématiquement une vue en coupe du modulateur spatial de lumière de la FIG. 4 , selon un exemple de réalisation particulier et non limitatif de la présente invention. Cette épaisseur ‘e’ de matière de la couche d’enrobage 323 est notamment déterminée pour que les ondes émises à travers les guides d’ondes 322 puissent interagir avec les nanorésonateurs 324 disposés sur la couche d’enrobage 323. Une épaisseur ‘e’ trop importante de matière atténuerait notamment l’effet d’une onde d’activation sur une chaîne de nanoparticules 324a, 324b sensée la recevoir et perturberait alors le fonctionnement du modulateur spatial de lumière 32. L’épaisseur de la couche d’enrobage 323 entre un guide d’ondes 322 et un nanorésonateur 324 est par exemple comprise entre 30 et 100nm, une telle épaisseur permettant ainsi à une onde lumineuse parcourant un guide d’ondes 322 d’activer une chaîne de nanoparticules 324a, 324b d’un nanorésonateur 324 placé au-dessus de ce guide d’ondes 322. La maîtrise de ces côtes et le bon fonctionnement d’un modulateur spatial de lumière tel que décrit ci-dessus requiert une maîtrise particulière du procédé de fabrication d’un tel modulateur spatial de lumière. La FIG. 7 illustre un organigramme des différentes étapes d’un procédé de fabrication d’un modulateur spatial de lumière, selon un exemple de réalisation particulier de la présente invention tandis que la FIG. 8 illustre une évolution d’un échantillon jusqu’à obtenir un modulateur spatial de lumière selon les différentes étapes du procédé de la FIG. 7 , selon un exemple de réalisation particulier de la présente invention. Le procédé de fabrication d’un modulateur spatial de lumière tel que décrit précédemment requiert le suivi des étapes ci-dessous, lesquelles sont suivies dans le même ordre que celui développé dans cette description. Le procédé de fabrication débute à partir d’un échantillon initial 32A comprenant un substrat 321 sur lequel est disposé au moins un guide d’ondes 322. Les dimensions du substrat 321 et le nombre de guides de lumière 322 ne sont pas limitatifs et correspondent par exemple aux exemples de réalisation particuliers décrits précédemment. Dans une étape 71, une couche d’enrobage 323 est déposée sur le substrat 321 et sur l’au moins un guide d’ondes 322 pour former un échantillon enrobé 32B. Selon un exemple de réalisation particulier, la couche d’enrobage 323 est déposée par enduction centrifuge, couramment appelé dépôt à la tournette (ou « spin coating » en anglais). La couche d’enrobage 323 est par exemple constituée de résine d’hydrogénosilsesquioxanes (HSQ) qui est connue pour être un matériau planarisant et pour se transformer en silice (SiO 2 ) lors d’un recuit (voir étape 73 ci-après). D’autres matériaux sont évidemment possibles tels que d’autres types de résines comme le poly méthacrylate de méthyle acrylique (PMMA) notamment. Dans une étape 72, l’échantillon enrobé 32B subit une première chauffe, la première chauffe comprenant par exemple une montée en température linéaire jusqu’à une première température suivant une première durée. Selon un exemple de réalisation particulier, la première durée est comprise entre 25 et 35 minutes, de préférence 30 minutes, et la première température est égale à 180 degrés Celsius. Pour cette étape 72, l’échantillon enrobé 32B est, par exemple, placé sur une plaque chauffante pendant 30 min avec une rampe de température atteignant 180°C. Cette deuxième étape permet de monter en température l’échantillon enrobé 32B de manière progressive, évitant ainsi toute contrainte mécanique due à des dilatations différentielles des différents matériaux composant l’échantillon enrobé 32B. Une fois l’échantillon enrobé 32B à une température égale à la première température, celui-ci subit, dans une étape 73, une deuxième chauffe à une deuxième température pour obtenir un échantillon recuit 32C. La deuxième chauffe comprend par exemple une montée en température linéaire jusqu’à la deuxième température suivie d’une descente en température linéaire jusqu’à une troisième température, la deuxième chauffe 73 étant réalisée pendant une deuxième durée. Par exemple, la deuxième chauffe est réalisée dans un four tubulaire sous azote, la deuxième durée étant comprise entre 160 et 200 minutes et la deuxième température est comprise entre 570 et 630, par exemple égale à 600 degrés Celsius. Ainsi, l’échantillon enrobé 32B monte progressivement à la température de 600 degrés Celcius, par exemple de manière linéaire, permettant alors à la couche d’enrobage 323 composée d’hydrogénosilsesquioxanes (HSQ) le cas échéant de se transformer en silice (SiO 2 ), qui est le même matériau que celui du substrat 321 selon un exemple de réalisation particulier. A noter que la deuxième température est par exemple maintenue pendant une durée suffisante pour que la transformation s’accomplisse pour la totalité de la matière de la couche d’enrobage 323, voire pendant une durée supérieure afin d’éviter toute dérive du procédé et le rendre davantage robuste. L’échantillon est alors un échantillon recuit 32C. Sa température est ensuite redescendue jusqu’à une troisième température, par exemple la troisième température est égale à la température ambiante, c’est-à-dire une température d’environ 20 degrés Celsius. La couche d’enrobage 323 présente une épaisseur initiale ‘E’ volontairement supérieure à l’épaisseur ‘e’ nécessaire au bon fonctionnement du modulateur spatial de lumière. En effet, il n’est pas possible, sans opération de rectification, d’obtenir une épaisseur suffisamment maîtrisée et une planéité suffisante pour disposer directement les nanorésonateurs 324 sur la surface ‘S’ de la couche d’enrobage 323 distale du substrat 321. Ainsi, dans une étape 74, la couche d’enrobage 323 de l’échantillon recuit 32C est amincie pour former un échantillon aminci 32D, c’est-à-dire que son épaisseur initiale ‘E’ est ramenée à l’épaisseur ‘e’ nécessaire au bon fonctionnement du modulateur spatial de lumière en rectifiant la surface ‘S’ distale du substrat 321. Un tel amincissement, aussi appelé rectification, est par exemple réalisé par gravure ionique réactive, c’est-à-dire par gravure plasma par couplage inductif par ions réactifs aussi appelé ICP-RIE (de l’anglais « Inductively Coupled Plasma – Reactive Ion Etching »). Le gaz utilisé pour cette gravure est préférentiellement le trifluorométhane ou fluoroforme (CHF3), celui-ci pouvant également être remplacé par de l’hexafluorure de soufre (SF6) ou par un mélange de plusieurs gaz. Ce mécanisme de gravure par plasma évite de polluer la surface de la couche d’enrobage avec des espèces chimiques autres que celles contenues sur l’échantillon. Ce type de procédé est préféré à d’autres procédés industriels connus tels qu’un procédé de polissage mécanochimique appelé CMP (de l’anglais « Chemical Mechanical Proceed »). Cette technique utilise une machine constituée d’un tampon de polissage souvent bien plus grand que l’échantillon. L’échantillon est approché périodiquement du tampon qui tourne sur lui-même sur lequel est déposé un liquide contenant diverses espèces chimiques servant à graver chimiquement l’échantillon. Or, cette solution présente le désavantage de nécessiter contact direct avec l’échantillon, ce qui peut entrainer des contraintes mécaniques dans l’échantillon risquant alors d’endommager, voire détruire, l’échantillon ou du moins les matériaux moins denses comme les matériaux diélectriques plus fragiles. De plus, il n’y a pas de suivi en temps réel de la quantité de matière enlevée. Ainsi, même lorsque le processus est calibré, il est encore nécessaire de réaliser des contrôles pendant cette étape pour s’assurer de l’épaisseur de matière enlevée. Enfin, la surface obtenue après ce procédé est souvent sale, la solution chimique utilisée contaminant la surface et des résidus pouvant s’y être déposés. Il est donc nécessaire d’intégrer une étape additionnelle de nettoyage de surface qui peut être complexe, longue et coûteuse. Selon une variante, le procédé de fabrication 7 comprend une étape additionnelle de mesure d’une épaisseur de la couche d’enrobage 323 de l’échantillon recuit 32C, l’amincissement étant fonction de cette épaisseur. Pendant cette étape, il est possible de suivre en continu la hauteur gravée et/ou l’épaisseur de matière restante à l’aide d’un laser placé au-dessus de l’échantillon recuit et l’éclairant selon un angle d’incidence normal à la surface ‘S’ à rectifier, le laser émettant un rayon lumineux présentant une longueur d’onde de 679nm. L’amincissement de l’échantillon recuit 32C est alors asservi en fonction de l’épaisseur de matière mesurée pour atteindre en fin d’étape une épaisseur cible correspondant à l’épaisseur ‘e’ précédemment déterminée. En fin d’étape 74, l’échantillon est un échantillon aminci 32D, dont l’épaisseur de matière au-dessus du au moins un guide d’ondes 322 est égale à l’épaisseur ‘e’ définie précédemment. Dans une étape 75, la pluralité de nanorésonateurs 324 est déposée sur la couche d’enrobage 323 de l’échantillon recuit pour obtenir ledit modulateur spatial de lumière 32, notamment dans les positions précédemment définies, par exemple à l’aplomb du au moins un guide d’ondes 322 voie à l’aplomb des intersections de guides d’ondes 322 lors de la présence d’un treillis de guides d’ondes 322. Un tel procédé présente pour avantage d’être simple de mise en œuvre, les machines utilisées étant souvent présentes dans une salle blanche. L’étape d’amincissement est effectuée sans contact direct avec l’échantillon et ne le détériore pas. Enfin, il est possible de suivre la hauteur gravée durant l’étape d’amincissement pour maîtriser parfaitement l’épaisseur de matière restante et garantir ainsi le bon fonctionnement des nanorésonateurs. Selon une autre variante, l’amincissement de la couche d’enrobage est effectué localement, voire de manière à obtenir des épaisseurs différentes selon des zones déterminées via l’utilisation de masques localisés. Un tel procédé est connu de l’homme du métier est, par exemple, utilisé en gravure ionique réactive aussi appelée RIE (de l’anglais « Reactive-Ion Etching »). Bien entendu, la présente invention ne se limite pas aux exemples de réalisation décrits ci-avant mais s’étend à un modulateur spatial de lumière qui inclurait des éléments secondaires sans pour cela sortir de la portée de la présente invention ainsi qu’à un procédé de fabrication d’un tel modulateur spatial de lumière. La présente invention concerne également un dispositif de projection d’image holographique comprenant au moins un modulateur spatial de lumière 32 obtenu par le procédé de fabrication présenté ci-dessus. La présente invention concerne également un véhicule, par exemple automobile ou plus généralement un véhicule autonome à moteur terrestre, comprenant au moins un dispositif de projection d’image holographique décrit ci-dessus. Procédé de fabrication (7) d’un modulateur spatial de lumière (32) destiné à être illuminé par des sources de lumière cohérente pour projeter une image holographique, ledit modulateur spatial de lumière (32) comprenant : - un substrat (321) sur lequel est formé d’au moins un guide d’ondes (32A) ; - une couche d’enrobage (323) placée sur ledit substrat (321) et enveloppant ledit au moins un guide d’ondes ; et - une pluralité de nanorésonateurs placés sur la couche d’enrobage à l’aplomb dudit au moins un guide d’ondes (322), chaque nanorésonateur (324) étant activable optiquement et étant formé d’au moins une chaîne de nanoparticules, chaque nanorésonateur (324) définissant un pixel de ladite image holographique, ledit procédé étant caractérisé en ce qu’il comprend les étapes suivantes : - dépôt (71) de ladite couche d’enrobage (323) sur ledit substrat (321) et sur l’au moins un guide d’ondes (322) pour former un échantillon enrobé (32B), puis - première chauffe (72) dudit échantillon enrobé (32B) à une première température, puis - deuxième chauffe (73) dudit échantillon enrobé (32B) à une deuxième température pour former un échantillon recuit (32C), puis - amincissement (74) de ladite couche d’enrobage (323) dudit échantillon recuit (32C) pour former un échantillon aminci (32D), puis - dépôt (75) de ladite pluralité de nanorésonateurs sur ladite couche d’enrobage (323) dudit échantillon aminci (32D) pour obtenir ledit modulateur spatial de lumière (32). Procédé de fabrication (7) selon la revendication 1, pour lequel ladite couche d’enrobage (323) est déposée (71) par enduction centrifuge. Procédé de fabrication (7) selon l’une des revendications 1 à 2, pour lequel ladite première chauffe (72) comprend une montée en température linéaire jusqu’à ladite première température, ladite montée en température étant réalisée suivant une première durée. Procédé de fabrication (7) selon la revendication 3, pour lequel ladite première durée est comprise entre 25 et 35 minutes et ladite première température est égale à 180 degrés Celsius. Procédé de fabrication (7) selon l’une des revendications 1 à 4, pour lequel ladite deuxième chauffe (72) comprend une montée en température linéaire jusqu’à ladite deuxième température suivie d’une descente en température linéaire jusqu’à une troisième température, ladite deuxième chauffe (73) étant réalisée pendant une deuxième durée. Procédé de fabrication (7) selon la revendication 5, pour lequel ladite deuxième chauffe est réalisée dans un four sous azote, ladite deuxième durée étant comprise entre 160 et 200 minutes. Procédé de fabrication (7) selon l’une des revendications 1 à 6, pour lequel ladite deuxième température comprise entre 570 et 630 degrés Celsius. Procédé de fabrication (7) selon la revendication 7, pour lequel ladite couche d’enrobage (323) est composée d’hydrogénosilsesquioxanes (HSQ) transformés en silice (SiO 2 ) lors de ladite deuxième chauffe (73). Procédé de fabrication (7) selon l’une des revendications 1 à 8, pour lequel l’étape d’amincissement (74) est réalisée par gravure ionique réactive. Procédé de fabrication (7) selon la revendication 9, lequel comprend en outre une étape de mesure d’une épaisseur de ladite couche d’enrobage (323) dudit échantillon recuit, l’amincissement (74) étant fonction de ladite épaisseur.