Brevet FR3163448A1 — publié le 20251219

L’ invention concerne un spectromètre imageur pour la mesure de faisceau utilisant une fente inclinée réfléchissante. Le spectromètre imageur est caractérisé en ce qu’il comprend une fente inclinée réfléchissante. La partie de faisceau transmise est celle qui est analysée par le spectromètre imageur. Alors que la partie réfléchie est imagée par des optiques similaires et permet de déterminer la réponse percutionnelle du système optique et la portion de faisceau transmise. Dispositif de mesure d’une image spatio-spectrale à haute résolution utilisant plusieurs détecteurs et une fente inclinée L’invention concerne le domaine de la métrologie optique. Elle concerne plus particulièrement un spectromètre imageur adapté à des faisceaux comme des sources laser ultrabrèves pour des applications dans le domaine de la caractérisation de ces sources lumineuses ou pour de l’imagerie hyperspectrale. Dans ce document, on entend par spectromètre imageur un spectromètre apte à former une image d’une dimension transverse en entrée et résolue spectralement pour chaque ligne de cette dimension. Plus particulièrement, l’invention concerne un spectromètre imageur amélioré pour former une image présentant une grande qualité image sur tout le champ image tout en ayant des distorsions spatiales et spectrales très faibles, afin d’obtenir une image de grande résolution spectrale et spatiale dans tout le champ image même si celui-ci est très large (>400mm²). Il existe de nombreux montages optiques de spectromètres. Un spectromètre imageur comprend habituellement une fente d’entrée, un élément dispersif, qui est en général un réseau de diffraction ou un prisme, différents éléments optiques (lentilles ou miroirs) permettant de former l’image de la fente d’entrée sur un dispositif de détection (matrice de détecteurs 2D). Certains domaines d’application de la spectrométrie nécessitent des appareils spectrométriques ayant des propriétés spécifiques d’imagerie. Un spectromètre imageur doit présenter une très bonne qualité d’imagerie, non seulement dans la dimension spectrale (qui est la qualité classique de résolution spectrale d’un spectromètre) mais aussi dans la dimension spatiale, c’est-à-dire une bonne résolution spatiale suivant la direction de la fente d’entrée. Il est bien connu de l’homme du métier qu’un spectromètre comporte généralement : une fente d’entrée adaptée à laisser traverser le faisceau lumineux amont et dont la largeur contribue à la résolution spectrale, une partie de collimation de la lumière qui projette l’image de la fente à l’infini, des moyens de dispersion angulaire adaptés à disperser angulairement un faisceau lumineux incident en fonction d’une pluralité de longueurs d’onde, une parte imagerie qui image la fente initiale sur une surface image, un détecteur placé sur cette surface. Les parties collimations, dispersions et imagerie sont parfois fusionnées en un seul composant, par exemple un réseau concave. Le détecteur est dans la très grande majorité des cas une matrice de détection CCD (« Charged-Couple Device ») ou CMOS (« Complementary Metal-Oxide_Seminconductor ») dont la surface est plane. Un spectromètre imageur doit aussi présenter les propriétés suivantes : un grand champ, c’est-à-dire que la qualité d’image est conservée pour des hauteurs de fente importante, une faible distorsion, pour un spectromètre imageur la distorsion peut être spectrale et/ou spatiale, une grande ouverture numérique pour optimiser la résolution. Un premier domaine nécessitant de tels spectromètres est la caractérisation des lasers ultrabrefs. La particularité de ces lasers est que le spectre de leur faisceau est large et que leur mesure exacte nécessite de mesurer en même temps les propriétés spectrales et spatiales de la totalité du faisceau. Diverses méthodes de mesure de ces lasers utilisent des spectromètres imageurs. Une particularité de ces sources est que le faisceau est de faible étendue ou de facteur M2 faible. Cette faible étendue signifie que le faisceau peut être collimaté avec une divergence résiduelle faible. Autrement dit, le faisceau peut être focalisé avec une tâche au foyer proche de la limite de diffraction. Une autre propriété de ces faisceaux qui n’est pas habituelle en spectrométrie est que leur éclairement est important. La collection de la lumière n’est ici pas un problème. L’ouverture numérique est alors importante pour optimiser la résolution et non pour coupler la plus grande portion possible du faisceau à caractériser. En revanche, connaître quelle partie du faisceau est effectivement couplée dans le spectromètre est important pour ce type de mesure. La plupart des spectromètres imageurs commerciaux actuels sont basés sur des systèmes catadioptriques pour pouvoir couvrir une gamme de longueurs d’onde très grande. Ils laissent souvent la possibilité de changer de système de dispersion et de régler la plage de mesure. Cette liberté impose une méthode de calibration avec une source de référence pour étalonner l’échelle des longueurs d’onde. L’utilisation des miroirs garantie l’indépendance des systèmes optiques de collimation et d’imagerie en fonction de la longueur d’onde. Les architectures typique sont de type Offner ou Czerny-Turner. Parmi ceux-ci on peut distinguer le modèle ISOPLANE (marque enregistrée) de ROPER Scientific Inc. maintenant dans Teledyne Imaging décrit dans le document suivant : J.MC CLURE : « ANASTIGMATIC IMAGING SPECTROGRAPH», WO 2013/106307 A1 Bien qu’optimisé pour conserver une bonne résolution et peu de distorsion dans le champ, ce spectromètre reste limité en ouverture (f/4.6) et sa résolution spatiale caractérisée par sa fonction de réponse percutionnelle PSF (« Point Spread Function ») ou son équivalent dans le domaine des fréquences spatiales la fonction de modulation de transfert MTF (« Modulation Transfer Funtion ») ne dépasse pas 20lignes/mm à mi-hauteur au centre du champ soit une résolution spatiale équivalente de l’ordre de 25µm. Cette résolution est adaptée au ancien type de détecteur CCD scientifique dans les pixels sont plus larges que 10µm et les dimensions de l’ordre de 20 x 30 mm² au maximum. Ces performances sont décrites par exemple dans la feuille de spécifications du modèle ISOPLANE 320A de Teledyne Imaging. De nombreux autres types d’architecture optiques sont possibles et utilisent de plus en plus des optiques complexes de forme libre (freeform) ou des optiques asphériques pour corriger les aberrations comme décrit dans le document de revue : P.Mouroulis, R.O. Green: « Review of high fidelity imaging spectrometer design for remore sensing», Opt.Eng. 57(4), 040901 (2018). Mais la plupart des architectures est optimisée pour couvrir une très large bande spectrale et souvent avec des détecteurs ayant des pixels de plus de 10µm. Pour adapter au mieux la résolution du spectromètre avec les détecteurs modernes en particulier CMOS ayant des tailles de pixels de moins de 4µm pour une surface totale supérieur à 20 x 30 comportant plus de 10 millions de pixels, il est bien connu de l’homme du métier que le système optique doit être utilisé sur l’axe et donc réfractif, comme le décrit le document : D.E.Battey, J.B.Slater, R. Wludyka, H.Owen, D.M. Pallister, M.D. Morris : « Axial Transmissive f/1.8 Imaging Raman Spectrograph with Volume-Phase Holographic Filter and Grating », Applied Spectroscopy,Vol.47, 1993, décrivant un spectrographe basé sur des objectifs à lentilles pour la collimation et l’imagerie, publication décrivent le modèle Holospec f/1.8i de KAISER OPTICAL SYSTEM Inc (« marque déposée »). La résolution peut alors dépasser 100lignes/mm même en bord de champs y compris pour des champs importants. Cette très forte résolution sur l’ensemble du champ est particulièrement importante dans les mesures interférométriques où des franges doivent être résolues et exploitées, notamment en interférométrie spectrale. Pour conserver une bonne dynamique de mesure, le montage optique doit également éviter les réflexions multiples. Afin de réduire l’influence de ces phénomènes, il est connu, de l’homme de l’art, d’utiliser un réseau calculé de telle sorte que le spectre qu’il produit soit incliné. Ainsi les faisceaux réfléchis sur la surface sensible du détecteur ne retournent pas vers les optiques. Afin d’optimiser la résolution, il faut que la fente soit très fine. La difficulté avec une telle finesse est alors de coupler le faisceau dans cette fente et de déterminer quelle partie du faisceau y a été couplée. Cependant pour exploiter pleinement la finesse de la fente et la résolution du système optique, la connaissance de la réponse percutionnelle qui combine les deux est très précieuse. En effet, la connaissance précise de la réponse percutionnelle permet un traitement des données de mesure qui améliore la réponse de l’appareil. L’objectif de la présente invention est donc de proposer une solution pour garantir à la fois le couplage optimal, estimer la proportion du faisceau qui est analysé par le spectromètre, idéalement la totalité du faisceau, et mesurer la réponse percutionnelle de l’appareil. A cet effet, l’invention concerne un spectromètre imageur à fente inclinée comprenant les caractéristiques suivantes considérées isolément ou selon toutes leurs combinaisons techniquement possibles : Un spectromètre imageur caractérisé en ce qu’il comporte au moins : Une fente inclinée réfléchissante, qui sépare le faisceau incident en un faisceau transmis à travers la fente et un faisceau réfléchi par la surface complémentaire réfléchissante de la fente, Une optique de collimation qui transforme le faisceau transmis par la fente divergent en un faisceau transmis collimaté dont les rayons sont parallèles, Une partie dispersive générant des faisceaux transmis collimatés dispersés angulairement selon des angles différents selon la longueur d’onde à partir du faisceau transmis collimaté, Une optique de focalisation imageant la fente d’entrée à des positions différentes sur un premier détecteur pour les faisceaux transmis collimatés dispersés angulairement. Une optique d’imagerie du faisceau réfléchi par cette fente sur un second détecteur. L’inclinaison de la fente est utilisée à la fois pour régler finement la largeur de fente si besoin et pour pouvoir imager la réflexion sur cette fente réfléchissante pour déterminer la partie de faisceau couplée et celle non couplée dans le spectromètre imageur. Cette partie réfléchie est également utilisée pour déterminer la réponse percutionnelle du spectromètre imageur en utilisant une optique d’imagerie similaire à celle utilisée dans le spectromètre imageur sur le faisceau transmis et qui image la fente sur un second détecteur pour le faisceau réfléchi. Un spectromètre imageur à fente inclinée tel que décrit ci-dessus , caractérisé en ce que la fente inclinée est composée de plusieurs éléments permettant de faire varier sa largeur dont la partie optique est constituée de deux lames ayant chacune une partie de la surface réfléchissante et l’autre transparente. Ces deux lames sont plaquées l’une contre l’autre pour former une fente transparente dont la largeur est réglée par le mouvement d’une lame par rapport à l’autre. Un spectromètre imageur à fente inclinée tel que décrit ci-dessus, caractérisé en ce qu’il comprend une source de calibration incluse. Un spectromètre imageur à fente inclinée tel que décrit ci-dessus, caractérisé en ce qu’il comporte après la partie dispersive et avant le premier détecteur une ou plusieurs lames séparatrices séparant les faisceaux transmis collimatés dispersés angulairement focalisés sur plusieurs détecteurs dont les images sont utilisées pour reconstituer une image spatio-spectrale plus résolue et, ou de meilleure qualité de signal à bruit que celle obtenue avec un seul détecteur. Dans différents modes de réalisation possibles, la présente invention concerne également les caractéristiques qui ressortiront au cours de la description qui va suivre et qui devront être considérées isolément ou selon toutes leurs combinaisons techniquement possibles : le spectromètre à fente inclinée comprend un dispositif d’imagerie de la fente sur un détecteur ou un écran, l’angle d’inclinaison de la fente est utilisé pour déterminer la largeur réelle de la fente, la fente est composée de deux optiques réflectives dont l’une est fixe et l’autre mobile par rapport à cette dernière, dont la surface réfléchissante couvre la moitié de la surface avec un bord droit extrêmement précis, les deux surfaces constituant les parties masquant de la fente, le système d’imagerie du faisceau sur la fente est centré sur le faisceau incident réfléchi, le système pourra comprendre aussi l’optique de focalisation du faisceau dans la fente qui peut être déplacé selon l’axe pour optimiser le couplage, la partie dispersion est encadré de deux miroirs permettant un réglage fin des angles en entrée et en sortie, il est possible d’insérer dans la partie dispersion des optiques supplémentaires telles que des filtres pour la calibration ou des modulateurs spatiaux pour modifier la réponse percutionnelle de l’appareil, le spectromètre comporte plusieurs voies obtenues par réplication et plusieurs détecteurs dont les données sont traitées pour obtenir le signal final. L’invention sera décrite plus en détail en référence aux dessins annexés dans lesquels : Les figures 1 et 2 sont des représentations d’une mesure d’un faisceau par un spectromètre imageur dans une représentation schématique à trois dimensions et des vues de dessus et de côté selon l’art antérieur ; La FIG. 3 est une représentation de la fente d’un spectromètre imageur dans une représentation schématique à trois dimensions et des vues de dessus et de côté selon l’art antérieur ; La FIG. 3 est une représentation de la fente inclinée et de son ouverture apparente pour le faisceau transmis dans une représentation schématique à trois dimensions et des vues de dessus et de côté ; La FIG. 3 est une représentation de la fente inclinée constituée de deux lames réfléchissantes sur une moitié de leur surface qui combinée permettent d’obtenir une fente de largeur variable dans une représentation schématique à trois dimensions et des vues de dessus et de côté ; La FIG. 4 est une représentation en vues de dessus et de côté d’un spectromètre imageur selon un premier mode de réalisation de l’invention ; La FIG. 5 est une représentation en vues de dessus et de côté d’un spectromètre imageur selon un second mode de réalisation de l’invention ; La FIG. 6 est une représentation en vues de dessus et de côté d’un spectromètre imageur selon un troisième mode de réalisation de l’invention ; La FIG. 7 est une représentation en vues de dessus et de côté d’un spectromètre imageur selon un quatrième mode de réalisation de l’invention. La FIG. 1 est une représentation schématique à trois dimensions d’une mesure d’un faisceau (1), se propageant selon z l’axe optique, presque collimaté. Ce faisceau a une répartition d’énergie selon les dimensions transverses (x et y) et spectrale en longueur d’onde λ. Ce faisceau est mesuré par un dispositif (2) qui permet d’obtenir son profil selon une dimension spatial, ici x par exemple et la dimension spectrale. L’image obtenue (3) correspond au signal mesuré c’est-à-dire la densité spectro-spatiale d’énergie du faisceau. Dans l’idéal, l’ensemble du faisceau est mesuré, c’est-à-dire que l’énergie selon y est sommée. La figure 2 est une représentation schématique des vues de dessus et de côté d’un dispositif de mesure telle que celle de la figure 1 avec un dispositif de l’état de l’art. On retrouve en entrée le faisceau à mesurer (1). Ce faisceau est couplé au dispositif (2) qui comprend une optique de mise en forme 4 qui permet de coupler dans la fente (5) le faisceau à mesurer. La fente (5) du spectromètre imageur est très fine selon y et large selon x. L’optique de couplage (4) doit focaliser selon y et laisser le faisceau collimaté selon x. Dans le spectromètre imageur de l’état de l’art (20), cette optique n’est pas comprise. Selon la dimension utilisée pour la dispersion spectrale (y), le faisceau est diffracté par la fente très fine ( sommée selon y ou plus exactement selon la fréquence spatiale associée à y k y : . Si la fente est large alors f y est grand et toute l’énergie est intégrée. Mais dans ce cas l’image de la fente sur le détecteur est également grande et la résolution spectrale est faible. Or on souhaite avoir la plus grande résolution spectrale possible. Donc on doit utiliser une largeur de fente non pas déterminée par le faisceau d’entrée et ses caractéristiques de fréquence spatiale selon y mais par la résolution spectrale souhaitée. En plus de la résolution spectrale élevée, la bande de mesure doit être suffisante pour couvrir la totalité du spectre du faisceau. Le détecteur doit ainsi comporter un très grand nombre de pixels. Les détecteurs de l’état de l’art comportent plus de 50 millions de pixels de taille de 3.76µm ou 3.45µm, par exemple les détecteurs CMOS IMX455, IMX461 et IMX661 de SONY (« marque déposée »). Cette taille de pixel est bien inférieure au 16µm ou plus précédemment utilisée dans l’état de l’art. La résolution optimale du spectromètre imageur exploitant pleinement cette résolution est donc bien supérieure à l’état de l’art défini par l’ISOPLANE 320A. Or la taille de l’image de la fente sur le détecteur est le résultat de l’image de la fente convoluée par la réponse percutionnelle du système d’imagerie ou sa fonction de transfert optique H décrite directement selon λ : , où E in est le champ au niveau de la fente d’entrée. Sans considérer les aberrations des optiques, on retrouve que la résolution est directement limitée par la diffraction et l’ouverture de l’imagerie sur le détecteur. La limite est donc de l’ordre de où f est la longueur focale et D le diamètre de l’ouverture. Pour des mesures autour de 800nm, on retrouve que l’ouverture f/D doit être inférieure à f/3.8 et la fente inférieure à 5µm. La fente a donc une largeur proche voir inférieure à la limite de diffraction de l’optique d’entrée ce qui cause un problème de couplage et par conséquent le besoin de déterminer la proportion du faisceau analysé. Le grossissement de l’imagerie de la fente sur le détecteur peut être utilisé pour diminuer les contraintes sur la largeur de la fente, mais dans ce cas, c’est la longueur de la fente qui pose problème et doit dépasser 25mm. Au-delà de 25mm, la dimension du faisceau en entrée devient également un problème par 10µm. Selon l’état de l’art actuel un bon compromis est une longueur de fente de 25mm par 10µm. Selon le détecteur utilisé, le grossissement idéal de l’optique couvrant la totalité de la hauteur du détecteur est soit proche de 1 (pour le détecteur IMX455 de taille 36 x 24mm), soit de 0.75 (pour les IMX461 et IMX661). La finesse en largeur de la fente équivalente à un pixel est alors de 3.5µm ou de 2.6µm et donc inférieure aux fentes de 5 ou 10µm par 25mm qui seront utilisées. La taille de la fente (5) est montrée sur la FIG. 3 dans les trois dimensions puis selon les vues de face et de dessus. Sa largeur selon y doit être extrêmement fine (de la taille d’un pixel) alors que sa longueur selon x doit être de la taille du détecteur complet soit 24mm ou 35mm. Sans recourir à une technologie plus complexe que celle utilisée pour les fentes de 10µm et 5µm, la présente invention propose un montage de fente inclinée pour diminuer sa largeur projetée selon l’axe y comme l’illustre la FIG. 3 . La largeur de fente correspondante est diminuée d’un facteur cos(α) d’autant plus important que l’angle est important. Pour diminuer encore d’avantage la largeur de fente, il est également possible d’assembler deux optiques pour constituer une fente 5b comme montré sur la FIG. 3 . Les deux optiques comportent une zone réfléchissante et une zone de transmission comme celle représentée dans l’encart 5b1 de la FIG. 3 . Leur réalisation nécessite une grande précision pour obtenir une démarcation entre les deux zones parfaitement droite et lisse. Ce type de dépôt peut être obtenu par l’homme de l’art en dépôt sous vide en électronique. Les deux optiques sont assemblées parfaitement parallèles et au contact, plaquées l’une contre l’autre pour former l’ensemble 5b. Elles permettent de diminuer encore davantage la largeur de la fente d’entrée tout en ayant une très grande longueur de fente. D’autres assemblages plus complexes sont également possibles. Ce type de fente (5a, 5b ou autres) est utilisée dans les différents modes de réalisation d’un spectromètre imageur 40 ; 50 ; 60 ;70 représentés sur les figures 4 à 7. La largeur efficace de la fente inclinée est alors variable avec l’angle. Sa dimension est si faible que son alignement et l’optimisation de la portion du faisceau incident dans la fente devient difficile à réaliser et à estimer. Ainsi la FIG. 4 représente un mode de réalisation possible de l’invention qui combine l’utilisation d’une fente tiltée (5a, 5b ou autres) avec un système de visualisation du faisceau réfléchi (6b,8b,9b) par la fente en parallèle de la mesure spatio-spectrale. La partie du faisceau réfléchie correspond à la tâche du faisceau sur la fente sans la partie transmise par la fente comme le montre l’image (3b). Le point (A) au centre de la fente est imagé au centre par le point (A’) sur le détecteur (9b). Les optiques utilisées (6b,8b) sont similaires à celles utilisées (6,8) par la partie spatio-spectrale permettant de caractériser la réponse percutionnelle du système. La partie dispersion 7 n’est pas identique. Sur la partie visualisation de la fente, cette partie (7b) comporte soit un filtre spectral fin centré sur la bande, soit aucune optique, soit une atténuation ou un filtre spatial. La réponse obtenue peut alors être comparée avec celle de la partie de faisceau transmise par la fente. La combinaison de ces deux mesures permet de déterminer la partie du faisceau transmise par la fente et la réponse percutionnelle de l’appareil. La FIG. 5 représente un mode de réalisation possible de l’invention qui combine le mode de réalisation de la FIG. 4 avec une source de calibration interne (11) qui utilise l’autre face de la fente inclinée (5) pour injecter dans l’appareil un faisceau de spectre calibré connu. La partie réfléchie est imagée dans le système et utilisée sur le détecteur pour régler les optiques et calibrer la réponse percutionnelle et la dispersion. Cette implémentation limite cependant la calibration car la source de calibration ne traverse pas la fente. La FIG. 6 représente un mode de réalisation où la partie source de calibration (11 et 110) est modifiée pour pouvoir suivre le même chemin que le faisceau à mesurer à travers la fente. La calibration et la mesure de la réponse percutionnelle sont alors dans des conditions identiques à celles de la mesure. Sur la FIG. 7 , le signal est séparé sur une autre voie de détection par une lame séparatrice (12) pour pouvoir utiliser deux détecteurs (9 et 9c) en sortie. Les deux détecteurs permettent d’améliorer la qualité du signal et la résolution obtenue en traitant les informations obtenues. Les différents modes de réalisation de l’invention permettent l’amélioration de l’utilisation d’un spectromètre imageur par l’utilisation combinée d’une fente inclinée réfléchissante dont l’ouverture apparente varie avec l’angle d’inclinaison. Cette fente permet ainsi d’obtenir des ouvertures très faibles selon la direction qui servira pour l’analyse des longueurs d’onde en même temps qu’une grande longueur pour l’autre dimension transverse qui correspond à la taille du détecteur. La grande difficulté de couplage de la lumière dans la fente extrêmement fine ainsi obtenue est compensée par la visualisation de la fente en réflexion. La partie du faisceau réfléchie par la fente est en effet utilisée. Elle est imagée avec un dispositif optique équivalent à celui utilisé pour l’analyse spectrale. L’image obtenue sur le détecteur est utilisée pour optimiser le couplage dans le spectromètre imageur en diminuant au minimum l’énergie réfléchie par exemple. Mais aussi pour déterminer par l’étude de l’image de la fente la réponse percutionnelle du spectromètre. Comme les optiques sont identiques, l’image obtenue est l’image complémentaire de celle à travers le spectromètre imageur. La présente invention apporte non seulement une amélioration de qualité d’imagerie en utilisant des fentes plus fines et en mesurant la réponse percutionnelle mais aussi une simplification de l’utilisation de l’appareil en permettant un alignement simplifié et la vérification de la partie effectivement couplée dans le spectromètre. L’utilisation de la fente inclinée permet également de faciliter l’inclusion d’une source de calibration dans l’appareil lui-même comme l’illustre les figures 5 et 6. La calibration garantit alors les meilleurs performances en terme de résolution spectrale absolue pour le spectromètre. L’utilisation de plusieurs détecteurs à la sortie du dispositif en séparant le faisceau par une lame séparatrice comme représentée sur la FIG. 7 permet aussi d’améliorer les performances du spectromètre en limitant les effets d’échantillonnage liés aux détecteurs. L’utilisation de plusieurs lames et de plus de deux détecteurs peut alors être envisagé. Spectromètre imageur caractérisé en ce qu’il comporte au moins : Une fente inclinée réfléchissante (5), qui sépare le faisceau incident en un faisceau transmis à travers la fente et un faisceau réfléchi par la surface complémentaire réfléchissante de la fente Une optique de collimation (6) qui transforme le faisceau transmis par la fente(5) divergent en un faisceau transmis collimaté dont les rayons sont parallèles, Une partie dispersive (7) générant des faisceaux transmis collimatés dispersés angulairement selon des angles différents selon la longueur d’onde à partir du faisceau transmis collimaté, Une optique de focalisation (8) imageant la fente d’entrée à des positions différentes sur un premier détecteur (9) pour les faisceaux transmis collimatés dispersés angulairement. Une optique d’imagerie (6b,7b,8b) du faisceau réfléchi par cette fente sur un second détecteur (9b). L’inclinaison de la fente est utilisée à la fois pour régler finement la largeur de fente si besoin et pour pouvoir imager la réflexion sur cette fente réfléchissante pour déterminer la partie de faisceau couplée et celle non couplée dans le spectromètre imageur. Cette partie réfléchie est également utilisée pour déterminer la réponse percutionnelle du spectromètre imageur en utilisant une optique d’imagerie (6b,7b ;8b) similaire à celle utilisée (6,7,8) dans le spectromètre imageur sur le faisceau transmis et qui image la fente sur un second détecteur (9b) pour le faisceau réfléchi. Spectromètre imageur à fente inclinée selon la revendication 1, caractérisé en ce que la fente inclinée est composée de plusieurs éléments permettant de faire varier sa largeur dont la partie optique est constituée de deux lames ayant chacune une partie de la surface réfléchissante et l’autre transparente. Ces deux lames sont plaquées l’une contre l’autre pour former une fente transparente dont la largeur est réglée par le mouvement d’une lame par rapport à l’autre. Spectromètre imageur à fente inclinée selon la revendication 1, caractérisé en ce qu’il comprend une source de calibration incluse. Spectromètre imageur à fente inclinée selon la revendication 1, caractérisé en ce qu’il comporte après la partie dispersive et avant le premier détecteur une ou plusieurs lames séparatrices séparant les faisceaux transmis collimatés dispersés angulairement focalisés sur plusieurs détecteurs dont les images sont utilisées pour reconstituer une image spatio-spectrale plus résolue et, ou de meilleure qualité de signal à bruit que celle obtenue avec un seul détecteur.