Brevet FR3158125A1 — publié le 20250711

Procédé de contrôle (100) d’une pompe à vide (1) réelle comportant les étapes suivantes : on simule en temps réel, le fonctionnement de la pompe à vide (1) réelle en faisant fonctionner virtuellement une représentation numérique dynamique de la pompe à vide (1) réelle dans des conditions de fonctionnement de la pompe à vide (1) réelle, on détermine au moins une valeur estimée d’une grandeur physique de sortie à un emplacement déterminé de la pompe à vide virtuelle, on utilise la au moins une valeur estimée de la grandeur physique de sortie déterminée comme signal d’entrée d’une loi de commande ou d’une table de correspondance dont une donnée de sortie permet le contrôle d’un élément physique de la pompe à vide (1) réelle et/ou pour l’émission d’un signal représentatif d’un état de fonctionnement de la pompe à vide (1) réelle. Figure d’abrégé : Figure 1 Procédé de contrôle d’une pompe à vide Domaine technique de l’invention La présente invention concerne un procédé de contrôle d’une pompe à vide et une pompe à vide. Arrière-plan technique Les pompes à vide comportent généralement un ou deux rotors entraînés par un moteur pour tourner dans le stator. Lors de la rotation, le gaz aspiré est emprisonné dans l’espace libre compris entre le au moins un rotor et le stator, pour être refoulé vers la sortie. Les pompes à vide sont notamment employées dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs, d’écrans plats ou de substrats photovoltaïques ou pour des applications d’instrumentation, nécessitant une pression inférieure à la pression atmosphérique. Dans certaines applications de pompage, notamment dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs, les gaz mis en œuvre peuvent se transformer en sous-produits solides qui peuvent se déposer sous la forme d'une couche sur les pièces mobiles et statiques de la pompe. Ces dépôts peuvent entrainer une restriction de jeu entre le stator et le au moins un rotor, pouvant provoquer un grippage du rotor. Il est connu de chauffer le stator pour éviter la condensation de produits de réaction et ainsi limiter la formation de dépôts dans la pompe à vide et augmenter sa durée de vie. En plus de limiter la formation de dépôts, il peut être nécessaire d’augmenter la température de fonctionnement du rotor pour d’autres considérations. En effet, dans le cas des pompes à vide turbomoléculaires, l’augmentation de la température de la pompe à vide peut être nécessaire par exemple pour permettre d’augmenter le flux de gaz à pomper ou le pompage de gaz plus lourds. On veille cependant à ce que la température du rotor ne dépasse pas un certain seuil haut afin de préserver sa tenue mécanique. Des déformations irréversibles du rotor (ou fluage) peuvent apparaitre à haute température et risquer de provoquer des touches du stator avec la partie la plus dilatée du rotor. Il est en outre nécessaire de refroidir le moteur, les paliers ou d’autres composants des pompes à vide pour éviter tout dysfonctionnement. Par ailleurs, dans certaines applications, la température du stator doit être contrôlée de manière à ne pas dépasser un maximum prédéfini au-delà duquel les espèces gazeuses pompées pourraient s’agglomérer dans la pompe à vide et provoquer son grippage. Le contrôle de la température est donc un élément déterminant pour la durée de vie des pompes à vide. Toutefois, les points de mesure de température permettant de contrôler les circuits refroidisseurs ou chauffants ne sont pas forcément situés aux endroits propices de la pompe à vide, soit parce que l’instrumentation est trop couteuse, trop encombrante, trop fragile ou tout à la fois, soit parce qu’il est impossible de disposer des capteurs à certains endroits, comme à l’intérieur des chambres de pompage ou à proximité des roulements. Un but de la présente invention est de résoudre au moins partiellement un des inconvénients précités, en améliorant le contrôle des pompes à vide pour permettre d’augmenter leur durée de vie. A cet effet, l’invention a pour objet un procédé de contrôle d’une pompe à vide réelle comprenant un stator, au moins un rotor, au moins un palier mécanique ou électromagnétique pour guider la rotation du au moins un rotor, un moteur configuré pour entrainer le au moins un rotor, caractérisé en ce que ledit procédé de contrôle comporte les étapes suivantes : - on simule en temps réel, le fonctionnement de la pompe à vide réelle en faisant fonctionner virtuellement une représentation numérique dynamique de la pompe à vide réelle dans des conditions de fonctionnement de la pompe à vide réelle, afin d’obtenir une pompe à vide virtuelle, notamment appelée un jumeau numérique de la pompe à vide, au moins pour une grandeur physique de sortie, représentative du fonctionnement de la pompe à vide réelle, - on détermine au moins une valeur estimée de la grandeur physique de sortie à un emplacement déterminé de la pompe à vide virtuelle, - on utilise la au moins une valeur estimée de la grandeur physique de sortie déterminée comme signal d’entrée d’une loi de commande ou d’une table de correspondance dont une donnée de sortie permet le contrôle d’un élément physique de la pompe à vide réelle et/ou pour l’émission d’un signal représentatif d’un état de fonctionnement de la pompe à vide réelle, - la pompe à vide virtuelle étant synchronisée avec la pompe à vide réelle par au moins un paramètre temporel d’entrée de la pompe à vide réelle, susceptible de varier dans le temps et issu d’au moins un capteur physique et/ou d’une consigne de contrôle d’un élément physique, les valeurs du au moins un paramètre temporel d’entrée de la pompe à vide réelle étant imposées à la pompe à vide virtuelle. Le jumeau numérique donne accès en sortie à des informations sur une grandeur physique temporelle en temps réel, en tout point de la pompe à vide virtuelle, dans les canaux inter-étages, les chambres de pompage... Il y a ainsi un échange de données entre la pompe à vide réelle et le jumeau numérique, dans les deux sens pour améliorer le contrôle de la pompe à vide réelle, notamment pour optimiser les réglages ou pour décider de la nécessité d’une intervention de maintenance. Selon un exemple de réalisation, le jumeau numérique de la pompe à vide réelle est un modèle numérique dynamique de mécanique des fluides et/ou thermique et/ou mécanique des structures et/ou électro-magnétique, résolu avec des méthodes numériques type éléments finis ou volumes finis. Ce modèle est rendu temps réel en utilisant des techniques de réduction d’ordre de modèles dynamiques. Cette réduction d’ordre de modèles peut être faite à l’aide d’outils d’apprentissage utilisant des algorithmes mathématiques, tels que les réseaux de neurones ou l’intelligence artificielle comme l’apprentissage automatique appelé « machine learning » en anglais, ou tels que des méthodes statistiques. Le procédé de contrôle peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prise seule ou en combinaison. La représentation numérique dynamique de la pompe à vide réelle comprend notamment au moins la réplique virtuelle de la géométrie tridimensionnelle des éléments physiques de la pompe à vide réelle, notamment du stator et du au moins un rotor, d’au moins un élément du au moins un palier mécanique ou électromagnétique et d’au moins un élément du moteur. La représentation numérique dynamique de la pompe à vide réelle comprend notamment au moins la réplique virtuelle de la nature des matériaux des éléments physiques de la pompe à vide, notamment du stator et du au moins un rotor, d’au moins un élément du au moins un palier mécanique ou électromagnétique et d’au moins un élément du moteur. Au moins un paramètre temporel d’entrée peut être choisi parmi : - une mesure de température du stator issue d’un capteur de température, - une consigne de contrôle d’un contrôleur de débit massique d’un gaz, - une mesure de pression issue d’un capteur de pression, - une recette d’un équipement d’une enceinte fluidiquement raccordée à la pompe à vide, - une consigne de pilotage d’une vanne, telle qu’une vanne d’un circuit hydraulique de refroidissement de la pompe à vide réelle, - une consigne d’alimentation électrique d’un élément résistif chauffant d’un circuit électrique de chauffage ou d’un élément du système de ventilation de la pompe à vide réelle, - un courant consommé par le moteur, - la vitesse de rotation du au moins un rotor, issue d’un variateur de vitesse du moteur de la pompe à vide réelle, - une mesure de température des gaz issue d’un capteur de température agencé du côté d’un orifice d’aspiration de la pompe à vide réelle. Une grandeur physique de sortie déterminée de la pompe à vide virtuelle peut être la température d’un élément de la pompe à vide virtuelle et/ou la température d’au moins un fluide parcourant la pompe à vide virtuelle, notamment d’au moins un gaz à pomper par la pompe à vide virtuelle et/ou d’un fluide de purge parcourant un circuit de purge de la pompe à vide virtuelle et/ou d’un fluide de refroidissement parcourant un circuit hydraulique de refroidissement de la pompe à vide virtuelle et/ou d’un fluide de lubrification parcourant un circuit de lubrification de la pompe à vide virtuelle. Une grandeur physique de sortie déterminée de la pompe à vide virtuelle peut être au moins une pression partielle d’au moins un fluide parcourant la pompe à vide virtuelle, notamment d’au moins un gaz à pomper par la pompe à vide virtuelle et/ou d’un fluide de purge parcourant un circuit de purge de la pompe à vide virtuelle et/ou d’un fluide de refroidissement parcourant un circuit hydraulique de refroidissement de la pompe à vide virtuelle et/ou d’un fluide de lubrification parcourant un circuit de lubrification de la pompe à vide virtuelle. Une grandeur physique de sortie déterminée de la pompe à vide virtuelle peut être un jeu fonctionnel de la pompe à vide virtuelle entre le au moins rotor et le stator et/ou entre les rotors. Une grandeur physique de sortie déterminée de la pompe à vide virtuelle peut être une puissance ou un courant consommé par le moteur et/ou une vitesse de rotation du au moins un rotor. La au moins une valeur estimée de la grandeur physique de sortie peut être déterminée en n’importe quel point de la pompe à vide virtuelle, et notamment en ce qui concerne la température, à un emplacement situé dans une chambre de pompage de la pompe à vide virtuelle, comme au niveau des parois des chambres de pompage ou du au moins un rotor ou du volume intérieur des chambres de pompage, ou dans un canal inter-étage de la pompe à vide virtuelle ou au niveau d’au moins un palier de la pompe à vide virtuelle. L’élément physique contrôlé de la pompe à vide réelle est par exemple un actionneur d’une vanne ou d’un contrôleur de débit massique d’un circuit hydraulique de refroidissement de la pompe à vide réelle ou l’actionneur d’une vanne ou d’un contrôleur de débit massique d’un circuit de purge de la pompe à vide réelle configuré pour injecter un gaz de purge dans le chemin d’écoulement des gaz pompés ou un élément résistif chauffant d’un circuit électrique de chauffage du stator de la pompe à vide réelle, ou un élément d’un système de ventilation de la pompe à vide réelle ou un variateur de vitesse de la pompe à vide réelle. L’élément physique contrôlé de la pompe à vide réelle peut être contrôlé de manière à abaisser la consommation énergétique de la pompe à vide réelle, notamment électrique et/ou en fluide de refroidissement et/ou en fluide de purge. On peut déterminer une valeur de la grandeur physique de la pompe à vide virtuelle pour une date à venir, en considérant que la valeur du au moins un paramètre temporel d’entrée est figé temporellement ou varie selon une évolution temporelle prédéterminée. Dans ce cas, l’élément physique contrôlé de la pompe à vide réelle peut être contrôlé de manière à réaliser une action corrective en fonction de la valeur de la grandeur physique de la pompe à vide virtuelle pour une date à venir. Par exemple, dans le cas où la valeur de la grandeur physique déterminée pour une date à venir prévoit un dysfonctionnement ou un risque de dysfonctionnement ou des conditions de fonctionnement inadaptées de la pompe à vide réelle, l’élément physique contrôlé de la pompe à vide réelle peut être contrôlé de manière à réaliser une action corrective dans le but de conserver l’intégrité de la pompe à vide réelle et/ou son maintien en conditions de fonctionnement opérationnelles, par exemple en contrôlant les actionneurs du circuit de purge et/ou du circuit hydraulique de refroidissement, par exemple pour réduire les risques de condensation ou de réactions chimiques ou pour limiter la consommation énergétique. On peut afficher une représentation d’au moins une grandeur physique de sortie de la pompe à vide virtuelle. L’invention a aussi pour objet une pompe à vide réelle comprenant un stator et au moins un rotor, au moins un palier mécanique ou électromagnétique pour guider la rotation du au moins un rotor, un moteur configuré pour entrainer le au moins un rotor, caractérisée en ce qu’elle comporte une unité de contrôle configurée pour mettre en œuvre un procédé de contrôle tel que décrit précédemment. L’unité de contrôle peut être embarquée dans la pompe à vide réelle ou être à distance de la pompe à vide réelle, en réseau, notamment en « edge computing » ou « cloud computing » en anglais. En « edge computing », l’exécution informatique est délocalisée près de la source des données, de manière à réduire la nécessité de traiter les données dans un centre de données (« data center » en anglais) distant. En « cloud computing » l’exécution informatique est délocalisée dans le « nuage informatique » de manière à utiliser la mémoire et les capacités de calcul de plusieurs serveurs distants interconnectés. L’invention a encore pour objet un programme d’ordinateur (également appelé algorithme) comprenant des instructions qui, lorsque le programme est exécuté par un ordinateur, conduisent celui-ci à mettre en œuvre les étapes du procédé de contrôle d’une pompe à vide réelle tel que décrit précédemment. Brève description des figures D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description suivante d'un mode de réalisation particulier de l’invention, mais nullement limitatif, ainsi que des dessins annexés sur lesquels : FIG. 1 La FIG. 1 montre un organigramme d’un procédé de contrôle d’une pompe à vide. FIG. 2 La FIG. 2 est une vue schématique en coupe longitudinale d’un premier exemple de réalisation d’une pompe à vide, vue de dessus, avec une vue agrandie de jeux fonctionnels. FIG. 3 La FIG. 3 montre une vue en coupe transversale de la pompe à vide de la FIG. 2 , avec une vue agrandie de jeux fonctionnels. FIG. 4 La FIG. 4 montre une représentation en deux dimensions de la valeur estimée de la température d’éléments virtuels du jumeau numérique de la pompe à vide, selon une vue en coupe longitudinale de la pompe à vide. FIG. 5 La FIG. 5 montre une représentation en deux dimensions de la valeur estimée de la pression partielle d’un des gaz pompés du jumeau numérique de la pompe à vide, selon une vue en coupe transversale de l’intérieur d’un étage de pompage virtuel de la pompe à vide. FIG. 6 La FIG. 6 montre une représentation en deux dimensions de la valeur estimée de la température des gaz pompés du jumeau numérique de la pompe à vide, selon une vue en coupe transversale de l’intérieur d’un étage de pompage virtuel de la pompe à vide. FIG. 7 La FIG. 7 est une vue schématique en coupe longitudinale d’un deuxième exemple de pompe à vide. FIG. 8 La FIG. 8 montre une représentation en deux dimensions de la valeur estimée de la température d’éléments virtuels du jumeau numérique de la pompe à vide, selon une vue en coupe longitudinale de la pompe à vide. Sur ces figures, les éléments identiques ou similaires portent les mêmes numéros de référence. Seuls les éléments nécessaires à la compréhension de l’invention sont représentés. Description détaillée Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations, sans s’écarter de la portée de l’invention, telle que définie par les revendications. On définit la direction axiale comme la direction longitudinale de la pompe à vide, parallèle à l’axe de rotation du au moins un rotor. La direction transversale ou radiale est une direction perpendiculaire à la direction axiale. On définit par vanne, tout type de vanne pilotable, tout ou rien ou proportionnelle, telle qu’une électrovanne. La FIG. 1 illustre un procédé de contrôle 100 d’une pompe à vide 1 réelle. La pompe à vide 1 peut être en particulier utilisée pour le pompage de gaz issus d’enceinte d’équipements de fabrication de semi-conducteurs, d’écrans plats ou de substrats photovoltaïques ou pour des applications d’instrumentation. La pompe à vide 1 peut être une pompe à vide volumétrique, c’est-à-dire qui est configurée pour, à l’aide de deux rotors 3, 4, aspirer, transférer, puis refouler le gaz à pomper. Les rotors 3, 4, présentent par exemple des lobes de profils identiques, par exemple de type « Roots », de type « Claw » ou « à vis » ou de type « Scroll » ou d’un autre principe similaire de pompe à vide volumétrique. Les rotors 3, 4, sont entrainés en rotation par un moteur 8 de la pompe à vide 1. La pompe à vide 1 peut comporter un ou plusieurs étages de pompage T1, T2 montés en série. La pompe à vide 1 est dite sèche car en fonctionnement, les rotors 3, 4, tournent à l’intérieur de chambres de pompage d’un stator 2 sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator 2, ce qui permet de ne pas utiliser d’huile dans les chambres de pompage. La pompe à vide 1 peut être une pompe à vide primaire pouvant être mise en route depuis la pression atmosphérique ou une pompe à vide Roots (également « Roots Blower » en anglais), montée en amont et en série d’une pompe à vide primaire. La FIG. 2 illustre une telle pompe à vide 1 volumétrique, en particulier une pompe à vide 1 multiétagée, ici à deux étages de pompage T1, T2. La pompe à vide 1 comporte deux rotors 3, 4 Roots, ici à trois lobes comme visible en FIG. 3 , configurés pour tourner en sens inverse dans les chambres de pompage des étages de pompage T1, T2 d’un corps 5 du stator 2. Les étages de pompage successifs T1-T2 sont fluidiquement raccordés en série les uns à la suite des autres par des canaux inter-étages 6 respectifs ménagés dans le corps 5 du stator 2 et raccordant fluidiquement la sortie de l'étage de pompage qui précède à l'entrée de l'étage de pompage qui suit. Les dimensions axiales des rotors 3, 4 et des chambres de pompage (et donc les débits engendrés), sont par exemple égales ou décroissantes avec les étages de pompage. L’étage de pompage T1 dont l’entrée communique avec un orifice d’aspiration de la pompe à vide 1 reçoit les rotors 3, 4 de plus grande dimension axiale et présente le plus grand débit engendré. La sortie du dernier étage de pompage T2 communique avec l’orifice de refoulement de la pompe à vide 1. Lors de la rotation, le gaz aspiré depuis l’entrée est emprisonné dans le volume engendré par les rotors 3, 4 et le corps 5 du stator 2, puis est entraîné par les rotors 3, 4 vers l’étage suivant. Les rotors 3, 4 sont synchronisés en rotation par un dispositif de synchronisation 7. Le dispositif de synchronisation 7 comporte un engrenage, une roue dentée étant monté sur un rotor respectif 3, 4. Les rotors 3, 4 sont entrainés en rotation par le moteur 8. Plus précisément ici, le rotor du moteur 8 est solidaire en rotation du rotor 3 menant. La pompe à vide 1 comporte des paliers 9 mécaniques, par exemple comprenant des roulements, pour guider la rotation des rotors 3, 4. Il y a par exemple au moins un palier 9 par rotor 3, 4 de part et d’autre des chambres de pompage des étages de pompage T1, T2 du corps 5 du stator 2. Ces paliers 9 sont agencés dans des flasques 10 du stator 2 fixés de part et d’autre du corps 5 de stator 2. La pompe à vide 1 comporte en outre ici un circuit hydraulique de refroidissement 11 du stator 2 et plus particulièrement ici, du carter 12 d’extrémité du stator 2 logeant le moteur 8, des flasques 10 du stator 2 dans lesquelles sont ménagés les paliers 9 de la pompe à vide 1 et du carter 13 d’extrémité logeant le dispositif de synchronisation 7. Ce circuit hydraulique de refroidissement 11 comporte par exemple un serpentin dans lequel circule un fluide caloporteur, comme de l’eau à température ambiante. Le serpentin peut être en partie ménagé dans le carter 12 du stator 2 recevant le moteur 8 et en partie ménagé dans le carter 13 recevant le dispositif de synchronisation 7, les carters 12, 13 étant fixés à un flasque 10 respectif du stator 2. Le serpentin peut être en contact thermique extérieur avec les flasques 10 du stator 2. Le circuit hydraulique de refroidissement 11 peut comporter une vanne ou un contrôleur de débit massique (« mass flow controller » en anglais), dont le pilotage permet le contrôle de la circulation du fluide caloporteur dans le serpentin et donc le contrôle du refroidissement. Les différents éléments du stator 2, notamment les carters 12, 13, les flasques 10 et les éléments du corps 5 tels que des tranches et/ou des demi-coquilles formant les étages de pompage T1, T2, sont fixés entre eux par des vis et étanchéifiés entre eux via des dispositifs d’étanchéité de la pompe à vide 1. La pompe à vide 1 peut comporter un circuit électrique de chauffage 18, notamment du stator 2 ( FIG. 3 ). Le circuit électrique de chauffage 18 peut comporter des éléments résistifs chauffants, tel que des résistances électriques agencés dans des pavés métalliques en contact avec le stator 2, notamment avec le corps 5 du stator 2 dans lequel sont formés les chambres de pompage des étages de pompage recevant les rotors 3, 4. La pompe à vide 1 peut comporter un circuit de lubrification 14 des paliers 9 et du dispositif de synchronisation 7, communiquant fluidiquement avec une réserve de lubrifiant liquide, tel que de l’huile, et au moins un déflecteur 15 de lubrifiant monté sur un rotor 3 , 4. La pompe à vide 1 comporte par exemple un déflecteur 15 sur chaque rotor 3, 4, un premier déflecteur 15 étant monté sur le rotor 3 menant, entre le moteur 8 et un palier 9, et un deuxième déflecteur 15 étant monté à une extrémité axiale du rotor 4 mené, à l’opposé du moteur 8. La pompe à vide 1 peut comporter un circuit de purge, configuré pour injecter un gaz de purge, tel que de l’azote, dans le chemin d’écoulement des gaz pompés pour les diluer. Le circuit de purge peut comporter une vanne ou un contrôleur de débit massique, dont le pilotage permet le contrôle du gaz de purge injecté. La pompe à vide 1 peut comporter au moins un capteur physique, notamment au moins un capteur de température 16, 17 du stator 2. La pompe à vide 1 comporte par exemple deux capteurs de température 16, 17 configurés pour mesurer la température de chacun des deux flasques 10 du stator 2 portant les paliers 9. Ces capteurs physiques sont par exemple réalisés par des thermocouples visés dans les flasques 10 du stator 2. Un premier capteur de température 16 peut être fixé au flasque 10 situé du côté de l’orifice de refoulement de la pompe à vide 1, où les pressions partielles des gaz sont les plus élevées et les risques de dépôt de sous-produit de réaction les plus importants. Un deuxième capteur de température 17 peut être fixé au flasque 10 situé du côté de l’orifice d’aspiration de la pompe à vide 1 où les pressions partielles des gaz sont les plus faibles. La pompe à vide 1 peut comporter une unité de contrôle embarquée, telle qu’un ordinateur ou une carte électronique, comportant un ou plusieurs contrôleurs ou microcontrôleurs ou processeurs et une mémoire, et un programme d’ordinateur comprenant des instructions qui, lorsque le programme est exécuté par un ordinateur, conduisent celui-ci à mettre en œuvre les étapes d’un procédé de contrôle 100 de la pompe à vide 1 réelle. Cette unité de contrôle peut être celle configurée pour exécuter des suites d’instructions de programmes permettant le pilotage de la pompe à vide 1, notamment le contrôle de la vitesse de rotation du au moins un rotor 3, 4 et/ou celle permettant de recevoir et fournir des informations de fonctionnement de la pompe à vide 1, telles que des données d’entrée et sortie d’une interface utilisateur, comme une consigne de température. Alternativement, l’unité de contrôle peut être à distance de la pompe à vide 1 tel qu’en « cloud computing » ou « edge computing » en anglais. Ce qui vient d’être décrit concerne une pompe à vide 1 réelle (ou physique), c’est-à-dire qui existe. Le procédé de contrôle 100 de la pompe à vide 1 réelle comporte les étapes suivantes : - étape 101 : on simule en temps réel, le fonctionnement de la pompe à vide 1 réelle en faisant fonctionner virtuellement une représentation numérique dynamique de la pompe à vide 1 réelle dans des conditions de fonctionnement de la pompe à vide 1 réelle, afin d’obtenir une pompe à vide virtuelle, notamment appelée un jumeau numérique de la pompe à vide 1, au moins pour une grandeur physique de sortie, représentative du fonctionnement de la pompe à vide 1 réelle, - étape 102 : on détermine au moins une valeur estimée de la grandeur physique de sortie à un emplacement déterminé de la pompe à vide virtuelle, - étape 103 : on utilise la au moins une valeur estimée de la grandeur physique de sortie déterminée comme signal d’entrée d’une loi de commande ou d’une table de correspondance dont une donnée de sortie permet le contrôle d’un élément physique de la pompe à vide 1 réelle et/ou pour l’émission d’un signal représentatif d’un état de fonctionnement de la pompe à vide 1 réelle. De façon connue en soi, un jumeau numérique (en anglais, « digital twin ») est une représentation numérique dynamique qui reconstitue fidèlement un objet et son fonctionnement en temps réel, ici la pompe à vide 1 réelle. Le jumeau numérique est une représentation virtuelle de la pompe à vide 1 réelle qui couvre son cycle de vie. Il est mis à jour à partir de paramètres temporels d’entrée en temps réel et utilise la simulation, l’apprentissage automatique et le raisonnement pour reproduire les différents processus d’un environnement virtuel. Le jumeau numérique est un modèle de simulation numérique qui se met à jour et change à mesure que la contrepartie physique change. La pompe à vide virtuelle est synchronisée avec la pompe à vide 1 réelle par au moins un paramètre temporel d’entrée de la pompe à vide 1 réelle, susceptible de varier dans le temps et issu d’au moins un capteur physique 16, 17 et/ou d’une consigne de contrôle d’un élément physique, les valeurs du au moins un paramètre temporel d’entrée de la pompe à vide 1 réelle étant imposées à la pompe à vide virtuelle. Le au moins un paramètre temporel d’entrée permet de réajuster le jumeau numérique à la réalité et ainsi de garantir dynamiquement l’adéquation entre le fonctionnement réel de la pompe à vide 1 réelle et son modèle virtuel. Les paramètres temporels d’entrée sont mis à jour en temps réel dans le jumeau numérique, c’est-à-dire quasi-instantanément, ou à une fréquence au moins inférieure à toutes les secondes. Le jumeau numérique donne accès en sortie à des informations sur une grandeur physique temporelle en temps réel, en tout point de la pompe à vide virtuelle, dans les canaux inter-étages, les chambres de pompage... Il y a ainsi un échange de données entre la pompe à vide 1 réelle et le jumeau numérique, dans les deux sens pour améliorer le contrôle de la pompe à vide 1 réelle, notamment pour optimiser les réglages ou pour décider de la nécessité d’une intervention de maintenance. Une définition d’un jumeau numérique peut être issue du « Digital Twin Consortium » (en anglais) : « un jumeau numérique est une représentation virtuelle d’entités et de processus du monde réel, synchronisés en temps réel et une fidélité spécifiée ». La fidélité est le degré de précision et d’exactitude de la représentation virtuelle et du mécanisme de synchronisation. Le degré de raffinement de la simulation pour chaque composant de la pompe à vide réelle 1 est adapté en fonction de son impact sur la grandeur physique de sortie, sur la précision recherchée et sur le temps de calcul. Elle dépend de la précision du modèle, de la dispersion de comportement des pompes à vide 1 réelles liée aux tolérances de fabrication. Selon un exemple de réalisation, la représentation numérique dynamique de la pompe à vide 1 réelle comprend au moins la réplique virtuelle de la géométrie tridimensionnelle des éléments physiques de la pompe à vide 1 réelle, notamment du stator 2 (notamment le carter 12, les flasques 10 et le corps 5) et du au moins un rotor 3, 4, d’au moins un élément du au moins un palier 9 mécanique ou électromagnétique et d’au moins un élément du moteur 8, du circuit hydraulique de refroidissement 11 et/ou du circuit électrique de chauffage éventuels, du circuit de lubrification 13 et des déflecteurs 15 éventuels, du circuit de purge éventuel, du dispositif de synchronisation 7 des rotors 3, 4 le cas échéant, éventuellement des joints d’étanchéité et des vis. Selon un exemple de réalisation, la représentation numérique dynamique de la pompe à vide 1 réelle comprend au moins la réplique virtuelle de la nature des matériaux des éléments physiques de la pompe à vide 1, corps et revêtements éventuels, notamment du stator 2 et du au moins un rotor 3, 4, d’au moins un élément du au moins un palier 9 mécanique ou électromagnétique et d’au moins un élément du moteur 8, d’au moins un élément du circuit hydraulique de refroidissement 11 et/ou du circuit électrique de chauffage 18 éventuels, d’au moins un élément du circuit de lubrification 14 éventuel, d’au moins un élément du circuit de purge éventuel, d’au moins un élément du dispositif de synchronisation 7 éventuel, éventuellement des joints d’étanchéité et des vis. Concernant la réplique virtuelle de la géométrie et de la nature des matériaux des éléments physiques de la pompe à vide 1 réelle, la pompe à vide virtuelle (ou jumeau numérique) peut utiliser des plans et données CAO de la pompe à vide 1 réelle. Concernant la détermination des évolutions temporelles des grandeurs physiques représentatives du fonctionnement de la pompe à vide 1 réelle, la pompe à vide virtuelle (ou jumeau numérique) peut utiliser d’une part, des modèles physiques tels que des réactions chimiques et/ou physique des fluides et des matériaux, tels que des lois de thermodynamique, et/ou mathématiques et/ou statistiques et/ou empiriques et/ou issus de fouille de données (« data mining » en anglais) et/ou l’intelligence artificielle et/ou l’apprentissage automatique et/ou des bases de données et/ou une ou des lois ou tables de commande et/ou d’autre part, les valeurs des paramètres temporels d’entrée de la pompe à vide 1 réelle. Selon un exemple de réalisation, le jumeau numérique de la pompe à vide réelle est un modèle numérique dynamique de mécanique des fluides et/ou thermique et/ou mécanique des structures et/ou électro-magnétique, résolu avec des méthodes numériques type éléments finis ou volumes finis. Ce modèle est rendu temps réel en utilisant des techniques de réduction d’ordre de modèles dynamiques. Cette réduction d’ordre de modèles peut être faite à l’aide d’outils d’apprentissage utilisant des algorithmes mathématiques, tels que les réseaux de neurones ou l’intelligence artificielle comme l’apprentissage automatique appelé « machine learning » en anglais, ou tels que des méthodes statistiques. Les paramètres temporels d’entrée qui alimentent le jumeau numérique en temps réel, peuvent être issus de capteurs physiques ou peuvent être des consignes de contrôle d’éléments physiques, par exemple contrôlés par la pompe à vide réelle 1. Les paramètres temporels d’entrée issus de capteurs physiques ou de consignes de contrôle, varient dans le temps, parce qu’ils sont modifiés par leur environnement, par une machine ou par un opérateur. Leur variation temporelle impacte les grandeurs physiques du jumeau numérique à simuler. Les capteurs physiques tels que des capteurs de température ou de pression et les éléments physiques contrôlés aux consignes tels que des contrôleurs de débit massiques de gaz, peuvent être ceux de la pompe à vide 1 réelle, ceux de l’enceinte de l’équipement raccordée fluidiquement à la pompe à vide 1 réelle ou ceux d’autres éléments physiques formant la ligne de vide fluidiquement raccordée à la pompe à vide 1 réelle. Un paramètre temporel d’entrée est par exemple une mesure de température du stator 2 issue d’un capteur de température 16, 17 embarqué de la pompe à vide 1 réelle. Un paramètre temporel d’entrée est par exemple une mesure de température des gaz issue d’un capteur de température agencé du côté de l’orifice d’aspiration de la pompe à vide 1 réelle. Un paramètre temporel d’entrée est par exemple une mesure de pression issue d’un capteur de pression. Le capteur de pression est par exemple configuré pour mesurer la pression des gaz à l’orifice d’aspiration de la pompe à vide 1 réelle ou pour mesurer la pression dans l’installation sous vide, c’est-à-dire dans l’enceinte de l’équipement raccordée fluidiquement à la pompe à vide 1 réelle ou dans d’autres éléments physiques formant la ligne de vide fluidiquement raccordée à la pompe à vide 1 réelle. Un paramètre temporel d’entrée est par exemple une consigne de contrôle d’un contrôleur de débit massique d’un gaz. Ce paramètre est par exemple issu d’un contrôleur de débit massique d’un gaz à injecter dans une enceinte fluidiquement raccordée à la pompe à vide 1 réelle ou d’un gaz de purge d’un circuit de purge de la pompe à vide 1 réelle ou injecté dans la ligne de vide fluidiquement raccordée à la pompe à vide 1 réelle. Ce paramètre temporel d’entrée informe à la fois sur la nature et le débit massique du gaz. Un paramètre temporel d’entrée est par exemple une recette d’un équipement de l’enceinte fluidiquement raccordée à la pompe à vide 1 réelle, informant de la nature, des débits et des pressions partielles des gaz injectés dans l’enceinte. Un paramètre temporel d’entrée est par exemple une consigne de pilotage d’une vanne ou d’un contrôleur de débit massique, telle qu’une vanne ou un contrôleur de débit massique du circuit hydraulique de refroidissement 11 contrôlant la circulation du fluide caloporteur ou telle qu’une vanne d’isolation de l’installation sous vide, ou une consigne d’alimentation électrique d’un élément résistif chauffant du circuit électrique de chauffage 18 ou d’un élément du système de ventilation. Un autre paramètre temporel d’entrée peut être la pression et/ou la température du fluide caloporteur du circuit hydraulique de refroidissement 11 issue d’un capteur physique du circuit hydraulique de refroidissement 11 de la pompe à vide 1 réelle. En effet, celle-ci peut varier dans le temps du fait de variations du réseau de distribution d’eau. Un paramètre temporel d’entrée est par exemple le courant consommé par le moteur 8 et/ou la vitesse de rotation du au moins un rotor 3, 4, issu d’un variateur de vitesse du moteur 8 de la pompe à vide 1 réelle. Un paramètre temporel d’entrée est par exemple une mesure de la couche de dépôt de produits de réaction issu d’un capteur de dépôt à un emplacement donné. La pompe à vide virtuelle (ou jumeau numérique) peut être synchronisée avec la pompe à vide 1 réelle depuis sa mise en fonctionnement, en sortie d’usine de sorte qu’elle comprend également le processus par lequel la pompe à vide 1 réelle est passée, c’est-à-dire son histoire. Les conditions de fonctionnement de la pompe à vide 1 réelle peuvent comprendre d’une part, les paramètres temporels d’entrée et d’autre part, des données d’entrée qui ne varient pas dans le temps. Les données d’entrée, peuvent être une consigne de contrôle d’un contrôleur de débit massique d’un gaz, comme le gaz de purge et/ou la pression et/ou la température du fluide caloporteur du circuit hydraulique de refroidissement 11 par exemple s’ils ne changent pas dans le temps. Les conditions de fonctionnement de la pompe à vide 1 réelle comprennent par exemple au moins une consigne de contrôle de température du stator 2 et une vitesse de rotation du rotor 3. Une grandeur physique de sortie déterminée de la pompe à vide virtuelle peut être la température d’un élément de la pompe à vide virtuelle et/ou la température d’au moins un fluide parcourant la pompe à vide virtuelle, tel que la température d’au moins un gaz à pomper par la pompe à vide virtuelle et/ou du fluide de refroidissement parcourant le circuit hydraulique de refroidissement 11 de la pompe à vide virtuelle et/ou du fluide de lubrification parcourant le circuit de lubrification 13 de la pompe à vide virtuelle et/ou du fluide de purge parcourant le circuit de purge de la pompe à vide virtuelle. Une grandeur physique de sortie déterminée de la pompe à vide virtuelle peut être au moins une pression partielle d’au moins un fluide parcourant la pompe à vide virtuelle, notamment d’au moins un gaz à pomper par la pompe à vide virtuelle et/ou du fluide de purge parcourant le circuit de purge de la pompe à vide virtuelle et/ou du fluide de refroidissement parcourant le circuit hydraulique de refroidissement 11 de la pompe à vide virtuelle et/ou du fluide de lubrification parcourant le circuit de lubrification 13 de la pompe à vide virtuelle. Une grandeur physique de sortie déterminée de la pompe à vide virtuelle peut être un jeu fonctionnel de la pompe à vide virtuelle entre le au moins rotor et le stator et/ou entre les rotors de la pompe à vide virtuelle. Une grandeur physique de sortie déterminée de la pompe à vide virtuelle peut être une puissance ou un courant consommé par le moteur et/ou une vitesse de rotation du au moins un rotor. Il est possible d’afficher une représentation, par exemple en deux dimensions ou en trois dimensions, d’au moins une grandeur physique de sortie de la pompe à vide virtuelle, par exemple en couleurs ou en dégradés de gris. Il est ainsi possible par exemple de visualiser une simulation de l’évolution de la cartographie thermique interne de la pompe à vide 1 réelle en temps réel. Par exemple, la FIG. 4 montre une représentation en deux dimensions de la température de la pompe à vide virtuelle, les parties foncées montrant les températures les plus chaudes. On retrouve les éléments de la pompe à vide 1 réelle de la FIG. 2 . On comprend que les rotors 3, 4 de la pompe à vide 1 réelle présentent une température élevée et uniforme à l’intérieur des chambres de pompage. On constate également que les flasques 10 du stator 2 recevant les paliers 9 et le moteur 8 sont correctement refroidis. Cette représentation de la température de la pompe à vide virtuelle évolue en temps réel, au fur et à mesure de la synchronisation de la pompe à vide virtuelle avec la pompe à vide 1 réelle. La FIG. 5 montre une représentation en deux dimensions de la valeur estimée de la pression partielle d’un gaz pompé par la pompe à vide virtuelle, les parties foncées montrant les pressions les plus élevées. On retrouve les éléments de la pompe à vide 1 réelle de la FIG. 2 . On comprend qu’au refoulement de la chambre de pompage, la pression des gaz est plus élevée qu’à l’admission, ceci du fait de la compression des gaz. La FIG. 6 montre une représentation en deux dimensions de la valeur estimée de la température des gaz pompés par la pompe à vide virtuelle. On comprend qu’au refoulement de la chambre de pompage (en bas sur la figure), le gaz est plus chaud qu’à l’admission (en haut), ceci du fait de la compression des gaz. Etape 102 : on détermine au moins une valeur estimée de la grandeur physique de sortie à un emplacement déterminé de la pompe à vide virtuelle. Cette étape permet de réaliser un capteur virtuel (ou « virtual sensor » en anglais), c’est à dire permet à partir du jumeau numérique d’une grandeur physique temporelle d’estimer une nouvelle valeur de la grandeur physique qui en général, ne peut pas être mesurée directement par un capteur physique. La fréquence à laquelle on extrait au moins une valeur estimée de la grandeur physique du jumeau numérique peut être différente, notamment inférieure, à la fréquence de synchronisation du jumeau numérique qui est en temps réel. Les valeurs estimées des grandeurs physiques de sortie peuvent être déterminées en tout point de la pompe à vide virtuelle, notamment dans les emplacements difficiles, voire impossibles d’accès de la pompe à vide 1 réelle, comme dans les chambres de pompage ou dans les canaux inter-étages 6 ou à l’emplacement des paliers 9 ou des rotors 3, 4. Etape 103 : on utilise la au moins une valeur estimée de la grandeur physique de sortie déterminée comme signal d’entrée d’une loi de commande ou d’une table de correspondance dont une donnée de sortie permet le contrôle d’un élément physique de la pompe à vide 1 réelle et/ou pour l’émission d’un signal représentatif d’un état de fonctionnement de la pompe à vide 1 réelle. L’élément physique contrôlé de la pompe à vide 1 réelle est par exemple un actionneur. La donnée de sortie est par exemple une alimentation électrique de l’actionneur. L’actionneur est par exemple celui d’une vanne ou d’un contrôleur de débit massique du circuit hydraulique de refroidissement 11 configuré pour contrôler la circulation du fluide caloporteur. L’actionneur est par exemple celui d’une vanne ou d’un contrôleur de débit massique du circuit de purge configuré pour contrôler la circulation d’un gaz de purge dans le chemin d’écoulement des gaz pompés. L’élément physique contrôlé de la pompe à vide 1 réelle est par exemple un élément résistif chauffant du circuit électrique de chauffage 18 du stator 2. La donnée de sortie est par exemple une alimentation électrique de l’élément chauffant 18 ou le pilotage d’un relais ou d’un interrupteur permettant l’alimentation de l’élément chauffant. L’élément physique contrôlé de la pompe à vide 1 réelle est par exemple un élément du système de ventilation, tel qu’un ventilateur. La donnée de sortie est par exemple une alimentation électrique de l’élément du système de ventilation ou le pilotage d’un relais ou d’un interrupteur permettant l’alimentation de l’élément du système de ventilation. L’élément physique contrôlé de la pompe à vide 1 réelle est par exemple le variateur de vitesse. La donnée de sortie est par exemple une commande de vitesse de rotation ou une limitation de courant envoyée au variateur de vitesse. L’élément physique contrôlé de la pompe à vide 1 réelle est par exemple contrôlé de manière à abaisser la consommation énergétique de la pompe à vide 1 réelle, notamment la consommation électrique et/ou la consommation en fluide de refroidissement et/ou en fluide de purge. On peut également déterminer une valeur de la grandeur physique de la pompe à vide virtuelle pour une date à venir, en considérant que la valeur du au moins un paramètre temporel d’entrée est figé temporellement ou varie selon une évolution temporelle prédéterminée. On peut ainsi prédire, en particulier quelques heures à l’avance, une valeur de la grandeur physique du jumeau numérique. Dans ce cas, l’élément physique contrôlé de la pompe à vide 1 réelle peut être contrôlé de manière à réaliser une action corrective en fonction de la valeur de la grandeur physique de la pompe à vide virtuelle pour une date à venir. Par exemple, dans le cas où la valeur de la grandeur physique déterminée pour une date à venir prévoit un dysfonctionnement ou un risque de dysfonctionnement ou des conditions de fonctionnement inadaptées de la pompe à vide 1 réelle, l’élément physique contrôlé de la pompe à vide 1 réelle peut être contrôlé de manière à réaliser une action corrective dans le but de conserver l’intégrité de la pompe à vide 1 réelle et/ou son maintien en conditions de fonctionnement opérationnelles, par exemple en contrôlant les actionneurs du circuit de purge et/ou du circuit hydraulique de refroidissement 11, par exemple pour réduire les risques de condensation ou de réactions chimiques ou pour limiter la consommation énergétique. Selon un exemple de réalisation, la grandeur physique de sortie déterminée de la pompe à vide virtuelle est la température des parois des chambres de pompage et/ou des canaux inter-étages et/ou des rotors et/ou la température des gaz pompés dans les chambres de pompage et/ou la température d’un composant de la pompe à vide, comme des paliers. Par exemple, la valeur estimée de la température des parois des chambres de pompage, à l’intérieur des chambres de pompage du stator 2 et/ou des canaux inter-étages 6 et/ou des rotors 3, 4 et/ou la valeur estimée de la température des gaz pompés dans les chambres de pompage, extraites de la pompe à vide virtuelle, peuvent être utilisées comme signaux d’entrée d’une loi de commande dont une donnée de sortie permet le contrôle d’un élément physique de la pompe à vide 1 réelle, comme le contrôle d’un actionneur d’une vanne ou d’un contrôleur de débit massique du circuit hydraulique de refroidissement 11 et/ou l’alimentation électrique d’un élément chauffant du circuit électrique de chauffage 18 et/ou d’un élément d’un système de ventilation de la pompe à vide 1 réelle. Cette régulation permet de mieux maitriser les températures internes dans les étages de pompage, à la fois des parois et des gaz pompés. En alternative et/ou en complément, la valeur estimée de la température des parois des chambres de pompage, des canaux inter-étages 6 et/ou des rotors 3, 4 et/ou des gaz pompés dans les chambres de pompage, extraites de la pompe à vide virtuelle, peuvent être utilisées pour l’émission d’un signal représentatif d’un état de fonctionnement de la pompe à vide 1 réelle. Pour cela, on peut comparer une valeur estimée de la température des parois des chambres de pompage, de canaux inter-étages 6 et/ou des rotors 3, 4 extraites de la pompe à vide virtuelle à des seuils, et/ou la valeur estimée des gaz pompés dans les étages de pompage extraites de la pompe à vide virtuelle avec une valeur seuil et, en fonction du résultat de la comparaison, émettre un signal représentatif d’un état de fonctionnement de la pompe à vide 1 réelle, en particulier un signal d’alerte, par exemple si les parois des chambres de pompage du stator 2 présentent des zones trop froides risquant à des produits de réaction de se former. Il est également possible d’extraire une grandeur physique supplémentaire de la pompe à vide virtuelle comme la pression partielle d’au moins un gaz par exemple, à l’intérieur des chambres de pompage du stator 2 ou des canaux inter-étages 6, en plus de la température des parois ou des gaz, pour mieux définir les risques de réactions chimiques et/ou de condensation et /ou de dépôts de sous-produits de réaction. Ainsi, on contrôle la régulation thermique de la pompe à vide 1 réelle ou des fluides qui la parcourent, directement à partir des valeurs de température les plus pertinentes, notamment pour réduire les risques de condensation ou de réactions chimiques dans les étages de pompage. Cette optimisation de la gestion thermique peut permettre d’augmenter la durée de vie de la pompe à vide 1 réelle. Selon un autre exemple, la valeur estimée de la température des paliers 9 de la pompe à vide 1, déterminée de la pompe à vide virtuelle peut être comparée à des seuils et, en fonction du résultat de la comparaison, on peut émettre un signal d’alerte par exemple si la température des paliers 9 dépassent des seuils préjudiciables pour leur durée de vie. Selon un autre exemple de réalisation, une grandeur physique de sortie déterminée de la pompe à vide virtuelle est un jeu fonctionnel J1, J2, J3 entre le au moins rotor 3, 4 et le stator 2 et/ou entre les rotors 3, 4. En particulier et comme illustré sur les figures 2 et 3, les valeurs estimées des jeux fonctionnels J1, J2, J3 peuvent être le jeu fonctionnel axial J1, entre le corps 5 du stator 2 et les rotors 3, 4 dans la direction axiale, le jeu fonctionnel radial J2, entre le corps 5 du stator 2 et les rotors 3, 4 dans la direction radiale et le jeu fonctionnel J3 entre les rotors 3, 4. Les valeurs estimées des jeux fonctionnels J1, J2, J3 extraites du jumeau numérique peuvent être utilisées pour l’émission d’un signal représentatif d’un état de fonctionnement de la pompe à vide 1 réelle, notamment une alerte ou une alarme notamment si les valeurs estimées des jeux fonctionnels J1, J2, J3 sont inférieures à des seuils d’alerte, de sorte qu’un opérateur puisse décider d’isoler la pompe à vide 1 réelle de l’enceinte par exemple en vue d’une intervention de maintenance. Les valeurs estimées des jeux fonctionnels J1, J2, J3 extraites du jumeau numérique peuvent être utilisées comme signaux d’entrée d’une loi de commande ou d’une table de correspondance dont une donnée de sortie permet le contrôle d’un élément physique de la pompe à vide 1 réelle, en particulier pour en déduire une action corrective à réaliser. Par exemple, les valeurs estimées des jeux fonctionnels J1, J2, J3 extraites du jumeau numérique, peuvent être utilisées comme signaux d’entrée d’une loi de commande dont une donnée de sortie permet le contrôle d’un actionneur d’une vanne ou d’un contrôleur de débit massique du circuit hydraulique de refroidissement 11 et/ou l’alimentation électrique d’un élément chauffant du circuit électrique de chauffage 18 et/ou d’un élément d’un système de ventilation de la pompe à vide 1 réelle, notamment si les valeurs estimées des jeux fonctionnels J1, J2, J3 extraites du jumeau numérique sont inférieures à des seuils d’alerte, par exemple de manière à élargir les jeux fonctionnels en chauffant le corps 5 du stator 2 pour le dilater. Ce procédé de contrôle 1 s’applique à tout type de pompe à vide 1 réelle. Les figures 7 et 8 illustrent ainsi un autre exemple pour une pompe à vide 1 turbomoléculaire. La pompe à vide 1 turbomoléculaire comporte un stator 2 dans lequel un rotor 3 est configuré pour tourner à grande vitesse en rotation axiale, par exemple une rotation à plus de vingt mille tours par minute. La pompe à vide 1 ne comporte donc qu’un seul rotor 3 et ne comporte pas de dispositif de synchronisation, ni circuit de lubrification. En fonctionnement, l’orifice de refoulement de la pompe à vide 1 turbomoléculaire est raccordé à un pompage primaire. La FIG. 7 illustre un exemple de réalisation d’une pompe à vide 1 turbomoléculaire. Dans cet exemple de réalisation, la pompe à vide 1 turbomoléculaire est dite hybride : elle comporte un étage turbomoléculaire 20 et un étage moléculaire 21 situé en aval de l’étage turbomoléculaire 20 dans la direction de circulation des gaz pompés (représentée par les flèches F1 sur la FIG. 7 ). Les gaz pompés entrent par l’orifice d’aspiration 22, traversent d’abord l’étage turbomoléculaire 20, puis l’étage moléculaire 21, pour être ensuite évacués vers un orifice de refoulement de la pompe à vide 1 turbomoléculaire. Dans l’étage turbomoléculaire 20, le rotor 3 comporte au moins deux étages de pales 23 et le stator 2 comporte au moins un étage d’ailettes 24. Les étages de pales 23 et d’ailettes 24 se succèdent axialement le long de l’axe de rotation I-I du rotor 3. Le rotor 3 comporte par exemple plus de quatre étages de pales 23, comme entre quatre et douze étages de pales 23 (sept dans l’exemple illustré). Chaque étage de pales 23 du rotor 3 comporte des pales inclinées qui partent en direction sensiblement radiale d’un moyeu du rotor 3 fixé à un arbre d’entrainement 25 de la pompe à vide 1. Les pales sont réparties régulièrement en périphérie du moyeu. Chaque étage d’ailettes 24 du stator 2 comporte une couronne de laquelle partent, en direction sensiblement radiale, des ailettes inclinées, réparties régulièrement sur le pourtour intérieur de la couronne. Les ailettes d’un étage d’ailettes 24 du stator 2 viennent s’engager entre les pales de deux étages de pales 23 du rotor 3 successifs. Les pales 23 du rotor 3 et les ailettes 24 du stator 2 sont inclinées pour guider les molécules de gaz pompés vers l’étage moléculaire 21. Ici, dans l’étage moléculaire 21, le rotor 3 comporte en outre une jupe 26, dite jupe Holweck, en aval des au moins deux étages de pales 23, formée par un cylindre lisse, qui tourne en regard de rainures hélicoïdales 27 du stator 2. Les rainures hélicoïdales 27 sont agencées les unes au-dessus des autres. Il y a par exemple entre trois et dix rainures hélicoïdales 14, telle que six. Les rainures hélicoïdales 14 du stator 2 permettent de comprimer et guider les gaz pompés vers l’orifice de refoulement. Le rotor 3 comporte en outre un bol interne, coaxial à l’axe de rotation I-I, formé sous la jupe 26 et agencé en vis-à-vis d’une cloche 28 du stator 2, saillant sous le rotor 3. En fonctionnement, le rotor 3 tourne dans le stator 2 sans contact entre le bol interne et la cloche 28. Le rotor 3 est entraîné en rotation dans le stator 2 par un moteur 8 de la pompe à vide 1. Le moteur 8 est par exemple agencé dans la cloche 28 du stator 2, elle-même agencée sous le bol interne du rotor 3, l’arbre d’entrainement 25 traversant la cloche 28 du stator 2. Le rotor 3 est guidé latéralement et axialement par des paliers 9 magnétiques ou mécaniques supportant l’arbre d’entrainement 12 du rotor 3, situés dans le stator 2. Il y a par exemple des premiers paliers 9 supportant et guidant une première extrémité de l’arbre d’entrainement 25 dans une embase de la cloche 28 du stator 2 et des seconds paliers 9 supportant et guidant une deuxième extrémité de l’arbre d’entrainement 25 agencés au sommet de la cloche 28. D’autres composants électriques ou électroniques peuvent être reçus dans la cloche 28 du stator 2, comme des capteurs de position. La pompe à vide 1 peut comporter un dispositif de refroidissement configuré pour refroidir la cloche 28, agencé par exemple dans la cloche 28 ou en contact thermique avec la cloche 28, tel qu’un circuit hydraulique de refroidissement, afin de pouvoir refroidir continuellement les éléments qu’elle contient comme notamment les paliers 9, le moteur 8 et autres composants électriques ou électroniques pour permettre leurs fonctionnements. La pompe à vide 1 peut comporter un dispositif de purge 30 configuré pour injecter un gaz de purge dans l’interstice situé entre la cloche 28 du stator 2 et le bol interne du rotor 3. Le dispositif de purge 30 est par exemple configuré pour injecter un gaz de purge au niveau d’au moins un palier 9 situé dans le stator 2, supportant et guidant l’arbre d’entrainement 25 du rotor 3 de sorte que le flux de gaz de purge traverse le au moins un palier 9 avant de sortir de la cloche 28 du stator 2 et de circuler dans l’interstice. La circulation du gaz de purge est schématisée par des flèches f2 sur la FIG. 1 . La pompe à vide 1 peut comporter un dispositif de chauffage interne 31 agencé dans le chemin d’écoulement des gaz de la pompe à vide 1 et configuré pour chauffer le rotor 3. Le dispositif de chauffage interne 31 peut comporter des éléments radiatifs, par exemple agencés dans les rainures hélicoïdales 27 d’une douille 32 du stator 2 de la pompe à vide 1. Le dispositif de chauffage interne 31 radiatif présente l’avantage d’avoir un temps de réponse court, de manière que le chauffage puisse être coupé en moins d’une minute après la commande d’arrêt. La pompe à vide 1 turbomoléculaire peut en outre comporter un capteur de température 33 configuré pour mesurer la température du rotor 3. Le capteur de température 33 est par exemple un capteur de température infrarouge. Le capteur infrarouge est sans contact, ce qui permet de mesurer la température du rotor 3 en rotation avec une grande précision dans les gammes de températures comprises entre 50°C et 250°C. Le capteur de température 33 peut être configuré pour mesurer la température de la jupe 26 du rotor 3 (la partie cylindrique), notamment dans une partie basse c’est-à-dire située du côté de l’orifice de refoulement de la pompe à vide 1, de manière à viser l’endroit du rotor 3 qui subit le plus de contraintes mécaniques. Le capteur de température 33 est par exemple agencé derrière (sous) la jupe 26 du rotor 3, entre le stator 2 et le bol interne du rotor 3 ( FIG. 1 ). De cette manière, le capteur de température 33 n’est pas agencé dans le chemin de pompage des gaz et de ce fait, est peu soumis aux attaques corrosives des gaz pompés et peut bénéficier de la protection par le gaz de purge. La pompe à vide 1 peut également comporter un dispositif de chauffage externe configuré pour chauffer le stator 2 de la pompe à vide 1. Le dispositif de chauffage externe est par exemple configuré pour chauffer une enveloppe externe 34 du stator 2 de la pompe à vide 1. En alternative ou en complément, le dispositif de chauffage externe peut être configuré pour chauffer le stator 2 au niveau du refoulement de la pompe à vide 1, notamment autour de l’orifice de refoulement. Le dispositif de chauffage externe comporte par exemple une ou plusieurs ceintures résistives chauffantes ou une ou plusieurs cartouches chauffantes, dont l’alimentation électrique peut être contrôlée par une unité de contrôle. Le chauffage peut notamment être contrôlé autour d’une température de consigne au moyen d’un capteur de température configuré pour mesurer la température du stator 2. Comme dans le premier exemple de réalisation, on simule en temps réel, le fonctionnement de la pompe à vide 1 réelle en faisant fonctionner virtuellement une représentation numérique dynamique de la pompe à vide 1 réelle dans des conditions de fonctionnement de la pompe à vide 1 réelle, en particulier au moins pour une consigne de contrôle de température du stator 2 et pour une vitesse de rotation du rotor 3, afin d’obtenir une pompe à vide virtuelle, notamment appelée un jumeau numérique de la pompe à vide 1, au moins pour une grandeur physique de sortie, représentative du fonctionnement de la pompe à vide 1 réelle, on détermine au moins une valeur estimée de la grandeur physique de sortie à un emplacement déterminé de la pompe à vide virtuelle, on utilise la au moins une valeur estimée de la grandeur physique de sortie déterminée comme signal d’entrée d’une loi de commande ou d’une table de correspondance dont une donnée de sortie permet le contrôle d’un élément physique de la pompe à vide 1 réelle et/ou pour l’émission d’un signal représentatif d’un état de fonctionnement de la pompe à vide 1 réelle, la pompe à vide virtuelle étant synchronisée avec la pompe à vide 1 réelle par au moins un paramètre temporel d’entrée de la pompe à vide 1 réelle, susceptible de varier dans le temps et issu d’au moins un capteur physique 33, tel qu’un capteur de température et/ou un capteur de position, et/ou d’une consigne de contrôle d’un élément physique, les valeurs du au moins un paramètre temporel d’entrée de la pompe à vide 1 réelle étant imposées à la pompe à vide virtuelle. La FIG. 8 montre une représentation en deux dimensions de la température des éléments de la pompe à vide virtuelle, les parties foncées montrant les températures les plus chaudes. On retrouve les éléments formant la pompe à vide 1 réelle de la FIG. 7 . On comprend que le rotor 3 de la pompe à vide 1 réelle présente une température élevée et uniforme. Procédé de contrôle (100) d’une pompe à vide (1) réelle comprenant un stator (2), au moins un rotor (3, 4), au moins un palier (9) mécanique ou électromagnétique pour guider la rotation du au moins un rotor (3, 4), un moteur (8) configuré pour entrainer le au moins un rotor (3, 4), caractérisé en ce que ledit procédé de contrôle (100) comporte les étapes suivantes : - on simule en temps réel, le fonctionnement de la pompe à vide (1) réelle en faisant fonctionner virtuellement une représentation numérique dynamique de la pompe à vide (1) réelle dans des conditions de fonctionnement de la pompe à vide (1) réelle, afin d’obtenir une pompe à vide virtuelle, notamment appelée un jumeau numérique de la pompe à vide (1), au moins pour une grandeur physique de sortie, représentative du fonctionnement de la pompe à vide (1) réelle, - on détermine au moins une valeur estimée de la grandeur physique de sortie à un emplacement déterminé de la pompe à vide virtuelle, - on utilise la au moins une valeur estimée de la grandeur physique de sortie déterminée comme signal d’entrée d’une loi de commande ou d’une table de correspondance dont une donnée de sortie permet le contrôle d’un élément physique de la pompe à vide (1) réelle et/ou pour l’émission d’un signal représentatif d’un état de fonctionnement de la pompe à vide (1) réelle, - la pompe à vide virtuelle étant synchronisée avec la pompe à vide (1) réelle par au moins un paramètre temporel d’entrée de la pompe à vide (1) réelle, susceptible de varier dans le temps et issu d’au moins un capteur physique (16, 17 ; 33) et/ou d’une consigne de contrôle d’un élément physique, les valeurs du au moins un paramètre temporel d’entrée de la pompe à vide (1) réelle étant imposées à la pompe à vide virtuelle. Procédé de contrôle (100) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la représentation numérique dynamique de la pompe à vide (1) réelle comprend au moins la réplique virtuelle de la géométrie tridimensionnelle des éléments physiques de la pompe à vide (1) réelle, notamment du stator (2) et du au moins un rotor (3, 4), d’au moins un élément du au moins un palier (9) mécanique ou électromagnétique et d’au moins un élément du moteur (8). Procédé de contrôle (100) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la représentation numérique dynamique de la pompe à vide (1) réelle comprend au moins la réplique virtuelle de la nature des matériaux des éléments physiques de la pompe à vide (1), notamment du stator (2) et du au moins un rotor (3, 4), d’au moins un élément du au moins un palier (9) mécanique ou électromagnétique et d’au moins un élément du moteur (8). Procédé de contrôle (100) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu’au moins un paramètre temporel d’entrée est choisi parmi : - une mesure de température du stator (2) issue d’un capteur de température (16, 17 ; 33), - une consigne de contrôle d’un contrôleur de débit massique d’un gaz, - une mesure de pression issue d’un capteur de pression, - une recette d’un équipement d’une enceinte fluidiquement raccordée à la pompe à vide (1), - une consigne de pilotage d’une vanne, telle qu’une vanne d’un circuit hydraulique de refroidissement (11) de la pompe à vide (1) réelle, - une consigne d’alimentation électrique d’un élément résistif chauffant d’un circuit électrique de chauffage (18) ou d’un élément du système de ventilation de la pompe à vide (1) réelle, - un courant consommé par le moteur (8), - la vitesse de rotation du au moins un rotor (3, 4), issue d’un variateur de vitesse du moteur (8) de la pompe à vide (1) réelle, - une mesure de température des gaz issue d’un capteur de température agencé du côté d’un orifice d’aspiration de la pompe à vide (1) réelle. Procédé de contrôle (100) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu’une grandeur physique de sortie déterminée de la pompe à vide virtuelle est la température d’un élément de la pompe à vide virtuelle et/ou la température d’au moins un fluide parcourant la pompe à vide virtuelle, notamment d’au moins un gaz à pomper par la pompe à vide virtuelle et/ou d’un fluide de purge parcourant un circuit de purge de la pompe à vide virtuelle et/ou d’un fluide de refroidissement parcourant un circuit hydraulique de refroidissement (11) de la pompe à vide virtuelle et/ou d’un fluide de lubrification parcourant un circuit de lubrification (13) de la pompe à vide virtuelle. Procédé de contrôle (100) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu’une grandeur physique de sortie déterminée de la pompe à vide virtuelle est au moins une pression partielle d’au moins un fluide parcourant la pompe à vide virtuelle, notamment d’au moins un gaz à pomper par la pompe à vide virtuelle et/ou d’un fluide de purge parcourant un circuit de purge de la pompe à vide virtuelle et/ou d’un fluide de refroidissement parcourant un circuit hydraulique de refroidissement (11) de la pompe à vide virtuelle et/ou d’un fluide de lubrification parcourant un circuit de lubrification (13) de la pompe à vide virtuelle . Procédé de contrôle (100) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu’une grandeur physique de sortie déterminée de la pompe à vide virtuelle est un jeu fonctionnel (J1, J2, J3) de la pompe à vide virtuelle entre le au moins rotor (3, 4) et le stator (2) et/ou entre les rotors (3, 4). Procédé de contrôle (100) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu’une grandeur physique de sortie déterminée de la pompe à vide virtuelle est une puissance ou un courant consommé par le moteur (8) et/ou une vitesse de rotation du au moins un rotor (3, 4). Procédé de contrôle (100) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la au moins une valeur estimée de la grandeur physique de sortie est déterminée à un emplacement situé dans une chambre de pompage de la pompe à vide virtuelle, comme au niveau des parois des chambres de pompage ou du au moins un rotor (3, 4) ou du volume intérieur des chambres de pompage, ou dans un canal inter-étage (6) de la pompe à vide virtuelle ou au niveau d’au moins un palier (9) de la pompe à vide virtuelle. Procédé de contrôle (100) selon l’une des revendications précédentes, pour lequel l’élément physique contrôlé de la pompe à vide (1) réelle est un actionneur d’une vanne ou d’un contrôleur de débit massique d’un circuit hydraulique de refroidissement (11) de la pompe à vide (1) réelle ou l’actionneur d’une vanne ou d’un contrôleur de débit massique d’un circuit de purge de la pompe à vide (1) réelle configuré pour injecter un gaz de purge dans le chemin d’écoulement des gaz pompés ou un élément résistif chauffant d’un circuit électrique de chauffage (18) du stator (2) de la pompe à vide (1) réelle, ou un élément d’un système de ventilation de la pompe à vide (1) réelle ou un variateur de vitesse de la pompe à vide (1) réelle. Procédé de contrôle (100) selon l’une des revendications précédentes, pour lequel l’élément physique contrôlé de la pompe à vide (1) réelle est contrôlé de manière à abaisser la consommation énergétique de la pompe à vide (1) réelle. Procédé de contrôle (100) selon l’une des revendications précédentes, pour lequel on détermine une valeur de la grandeur physique de la pompe à vide virtuelle pour une date à venir, en considérant que la valeur du au moins un paramètre temporel d’entrée est figé temporellement ou varie selon une évolution temporelle prédéterminée. Procédé de contrôle (100) selon la revendication précédente, pour lequel l’élément physique contrôlé de la pompe à vide (1) réelle est contrôlé de manière à réaliser une action corrective en fonction de la valeur de la grandeur physique de la pompe à vide virtuelle pour une date à venir. Procédé de contrôle (100) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu’on affiche une représentation d’au moins une grandeur physique de sortie de la pompe à vide virtuelle. Pompe à vide (1) réelle comprenant un stator (2) et au moins un rotor (3, 4), au moins un palier (9) mécanique ou électromagnétique pour guider la rotation du au moins un rotor (3, 4), un moteur (8) configuré pour entrainer le au moins un rotor (3, 4), caractérisée en ce qu’elle comporte une unité de contrôle configurée pour mettre en œuvre un procédé de contrôle (100) selon l’une des revendications précédentes. Programme d’ordinateur comprenant des instructions qui, lorsque le programme est exécuté par un ordinateur, conduisent celui-ci à mettre en œuvre les étapes du procédé de contrôle d’une pompe à vide (1) réelle selon l’une des revendications 1 à 14.