Brevet FR3159438A1 — publié le 20250822

L’invention porte sur une mire de résolution pour l’imagerie infrarouge, comportant une pluralité de motifs, reposant sur la face avant d’un support (22), espacés latéralement deux à deux dans un plan principal, destinés à former des motifs sombres sur fond clair lorsque la mire de résolution est éclairée par le faisceau infrarouge. Chaque motif est formé d’une cavité résonante (CR) de type Fabry-Pérot comportant un réflecteur inférieur (23) et un réflecteur supérieur (25) entre lesquelles se situe une couche intercalaire (24) ; le réflecteur inférieur (23), situé du côté du support (22), étant moins réfléchissant que le réflecteur supérieur (25). La couche intercalaire (24) s’étend continûment d’une cavité résonante (CR) à l’autre, et donc également dans une zone intermédiaire (ZI) entourant les cavités résonantes dans le plan principal. Figure pour l’abrégé : Fig.1A Mire de resolution pour l’imagerie infrarouge Le domaine de l’invention est celui des mires de résolution pour l’imagerie, en particulier pour l’imagerie infrarouge. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE Les mires de résolution sont des dispositifs permettant d’évaluer les performances d’un système d’imagerie, telles que la résolution spatiale du photodétecteur matriciel, et éventuellement les distorsions géométriques du système optique associé, dans le but d’effectuer notamment une calibration. La résolution spatiale exprime la capacité d’un système d’imagerie à distinguer les détails. Par ailleurs, les distorsions sont des aberrations géométriques, induites par le système optique associé au photodétecteur matriciel, qui peuvent être de différents types, par exemple des distorsions radiales, prismatiques, de décentrage, etc… Une mire de résolution est habituellement formée de plusieurs motifs, par exemple des motifs sombres sur fond clair ou des motifs clairs sur fond sombre, disposés suivant une fréquence spatiale prédéfinie. Les motifs peuvent être des lignes de différentes largeurs, des points de différents diamètres et/ou de différentes formes (circulaire, carré…), ou autres, agencés habituellement de manière régulière. A titre d’exemple, on peut citer la mire de résolution connue sous le code « 1951 USAF ». A titre d’exemple, une telle mire de résolution peut être formée d’un support transparent revêtu d’une couche opaque. Celle-ci comporte des ouvertures traversantes qui définissent les motifs. On obtient alors des motifs clairs sur fond sombre. En variante, la mire de résolution peut être formée d’un support transparent sur lequel des plots métalliques opaques forment les motifs : ici, on obtient des motifs sombres sur fond clair. Lors d’un procédé d’utilisation de la mire de résolution, on éclaire la mire de résolution et acquiert une ou plusieurs images par le système d’imagerie. On peut alors déterminer la résolution spatiale du photodétecteur matriciel. Dans le cas où plusieurs images seraient acquises, la mire de résolution peut être déplacée en rotation et/ou en translation dans le champ de vue du système d’imagerie, ce qui permet ensuite de déterminer les éventuelles distorsions géométriques. Cependant, il existe un besoin de disposer d’une mire de résolution particulièrement adaptée à l’imagerie infrarouge, en particulier dans le moyen infrarouge dont la bande spectrale s’étend entre 5 et 10µm environ. L’invention a pour objectif de proposer une mire de résolution pour l’imagerie infrarouge, en particulier dans le moyen infrarouge. Pour cela, l’objet de l’invention est une mire de résolution pour l’imagerie infrarouge, destinée à être éclairée en face arrière par un faisceau infrarouge, comportant : un support transparent au faisceau infrarouge, présentant une face arrière destinée à recevoir le faisceau infrarouge, et une face avant opposée ; une pluralité de motifs, reposant sur la face avant du support, espacés latéralement deux à deux dans un plan principal, destinés à former des motifs sombres sur fond clair lorsque la mire de résolution est éclairée par le faisceau infrarouge. Selon l’invention, chaque motif est formé d’une cavité résonante de type Fabry-Pérot comportant un réflecteur inférieur et un réflecteur supérieur entre lesquelles se situe une couche intercalaire ; le réflecteur inférieur, situé du côté du support, étant moins réfléchissant que le réflecteur supérieur. De plus, la couche intercalaire s’étend continûment d’une cavité résonante à l’autre, et donc également dans une zone intermédiaire entourant les cavités résonantes dans le plan principal. Certains aspects préférés mais non limitatifs de cette mire de résolution sont les suivants. La couche intercalaire peut présenter une épaisseur dans les cavités résonantes comprise entre, et différente de, λ c /(4n ci ) et λ c /(2n ci ), où λ c est la longueur d’onde du faisceau infrarouge et n ci est l’indice optique de la couche intercalaire. La couche intercalaire peut présenter une épaisseur, dans la zone intermédiaire, supérieure ou égale à λ c /(4n ci ) et inférieure à λ c /(2n ci ). La couche intercalaire peut présenter un taux d’absorption inférieure à 10% à la longueur d’onde λ c du faisceau infrarouge. Les réflecteurs inférieur et supérieur peuvent présenter une absorption non nulle. La couche intercalaire peut présenter un indice optique égal à celui du support. Les réflecteurs inférieurs peuvent être réalisés en un métal et présentent une épaisseur inférieure à leur épaisseur de peau. Les réflecteurs supérieurs peuvent être réalisés en un métal et peuvent présenter une épaisseur supérieure à leur épaisseur de peau, ou peuvent être formés chacun par un miroir de Bragg. Les réflecteurs supérieurs peuvent être des régions d’une même couche métallique continue. C’est le cas en particulier lorsque les réflecteurs supérieurs sont des miroirs de Bragg. Les réflecteurs supérieurs peuvent être des plots distincts, espacés deux à deux dans le plan principal. La mire peut comporter une couche antireflet recouvrant les cavités résonantes et la zone intermédiaire. La couche intercalaire peut présenter une épaisseur dans la zone intermédiaire (ZI) égale à λ c /(4n ci ). La couche intercalaire peut présenter une première épaisseur pour un premier groupe de cavités résonantes adjacentes, et une deuxième épaisseur, différente de la première épaisseur, pour un deuxième groupe de cavités résonantes adjacentes. L’invention porte également sur un système de calibration comportant : une source optique adaptée à émettre un faisceau infrarouge de longueur d’onde λ c ; la mire de résolution selon l’une quelconque des caractéristiques précédentes, adaptée à recevoir le faisceau infrarouge par une face arrière du support opposée aux motifs ; et un système d’imagerie, adapté à recevoir le faisceau infrarouge et à acquérir une image de la mire de résolution. Par ailleurs, l’invention porte également sur une mire de résolution pour l’imagerie infrarouge, destinée à être éclairée en face arrière par un faisceau infrarouge, comportant : un support transparent au faisceau infrarouge ; une pluralité de motifs, reposant sur le support et accolés deux à deux dans un plan principal, destinés à former des motifs plus ou moins sombres lorsque la mire de résolution est éclairée par le faisceau infrarouge ; chaque motif étant formé d’une cavité résonante de type Fabry-Pérot comportant un réflecteur inférieur et un réflecteur supérieur entre lesquelles se situe une couche intercalaire ; le réflecteur inférieur, situé du côté du support transparent, étant moins réfléchissant que le réflecteur supérieur ; la couche intercalaire s’étend continûment d’une cavité résonante à l’autre, et présente une épaisseur différente entre deux cavités résonantes adjacentes quelconques. D'autres aspects, buts, avantages et caractéristiques de l’invention apparaîtront mieux à la lecture de la description détaillée suivante de formes de réalisation préférées de celle-ci, donnée à titre d'exemple non limitatif, et faite en référence aux dessins annexés sur lesquels : la FIG. 1 est une vue schématique et partielle, en coupe transversale, d’une mire de résolution selon un mode de réalisation, ici en transmission ; la FIG. 1 illustre la réponse spectrale d’une mire de résolution similaire à celle de la FIG. 1 ; la FIG. 2 est une vue schématique et partielle, en coupe transversale, d’une mire de résolution selon un autre mode de réalisation, ici en réflexion ; la FIG. 2 illustre la réponse spectrale d’une mire de résolution similaire à celle de la FIG. 2 ; la FIG. 3 est une vue schématique et partielle, en coupe transversale, d’une mire de résolution selon une variante mode de réalisation ; la FIG. 3 est une vue schématique et partielle, en coupe transversale, d’une mire de résolution selon une autre variante mode de réalisation ; la FIG. 3 est une vue schématique et partielle, en coupe transversale, d’une mire de résolution selon une autre variante mode de réalisation. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Sur les figures et dans la suite de la description, les mêmes références représentent les éléments identiques ou similaires. De plus, les différents éléments ne sont pas représentés à l’échelle de manière à privilégier la clarté des figures. Par ailleurs, les différents modes de réalisation et variantes ne sont pas exclusifs les uns des autres et peuvent être combinés entre eux. Sauf indication contraire, les termes « sensiblement », « environ », « de l’ordre de » signifient à 10% près, et de préférence à 5% près. Par ailleurs, les termes « compris entre … et … » et équivalents signifient que les bornes sont incluses, sauf mention contraire. L’invention porte sur une mire de résolution, que l’on peut également appeler mire de calibration (les termes de calibration, calibrage et étalonnage sont considérés ici comme étant synonymes). Comme indiqué précédemment, une telle mire de résolution permet d’évaluer les performances, en termes de résolution spatiale, d’un système d’imagerie, et éventuellement, dans le cas où le système d’imagerie comporte un système optique associé au photodétecteur matriciel, de déterminer les éventuelles distorsions géométriques. La mire de résolution est adaptée à l’imagerie infrarouge, et notamment au moyen infrarouge MWIR (pour Middle Wave InfraRed , en anglais) allant de 5 à 10µm environ. D’une manière générale, la mire de résolution comporte, lorsqu’elle est éclairée par un faisceau infrarouge prédéfini, des motifs sombres sur fond clair. Les motifs sombres sont formés par des cavités résonantes, dites asymétriques, qui absorbent au moins en partie, voire totalement, le faisceau infrarouge incident, et le fond clair est formé par une zone intermédiaire qui entoure les cavités résonantes dans le plan principal de la mire de résolution. Chaque cavité résonante est formée d’un empilement de deux réflecteurs entre lesquels se situe une couche intercalaire, laquelle s’étend continûment d’une cavité résonante à l’autre et donc s’étend également dans la zone intermédiaire. Grâce à cette configuration structurelle et l’utilisation de cavités résonantes asymétriques, la mire de résolution présente des motifs sombres sans qu’ils soient obtenus par plots métalliques opaques ou par l’utilisation d’un matériau semiconducteur fortement absorbant dans l’infrarouge. De plus, elle présente une faible topologie dans le plan principal (faible variation d’épaisseur), limitant ainsi les effets diffractifs en bordure des cavités résonantes, ce qui permet de préserver les performances optiques. La FIG. 1 est une vue schématique et partielle, en coupe transversale, d’une mire de résolution 20 selon un mode de réalisation, ici en transmission, dans le cadre d’un système de calibration 1. On définit ici et pour la suite de la description un repère direct tridimensionnel orthogonal XYZ, où les axes X et Y forment un plan principal de la mire de résolution 20, et où l’axe Z est orienté suivant la direction d’éclairement. Dans la suite de la description, les termes « inférieur » et « supérieur » s’entendent comme étant relatifs à un positionnement croissant lorsqu’on s’éloigne du support transparent 22 suivant la direction +Z. La source optique 10 est adaptée à émettre un faisceau infrarouge prédéfini, appelé ici faisceau infrarouge de calibration, de manière à éclairer toutes les cavités résonantes CR (motifs) de la mire de résolution 20. Le faisceau infrarouge de calibration présente une bande spectrale Δλ c centrée sur la longueur d’onde λ c . De préférence, la bande spectrale Δλ c appartient au moyen infrarouge et est ici comprise entre 5 et 10µm. La longueur d’onde λ c est, par exemple, égale à 7 ou 8µm. Le faisceau infrarouge peut être monochromatique ou non, cohérent (spatialement et temporellement cohérent) ou non, et peut être continu ou être formé d’impulsions. Dans cet exemple, le faisceau infrarouge de calibration est issu d’une source laser : il s’agit alors d’un faisceau monochromatique et cohérent, et ici continu. A titre d’exemple, la source optique 10 peut être une source laser, par exemple de type à cavité verticale émettant par la surface (VCSEL, pour Vertical-Cavity Surface Emitting Laser , en anglais), voire de type à émission par la tranche (EEL, pour Edge Emitting Laser , en anglais). En variante par exemple, la source optique 10 peut comporter une ou plusieurs diodes électroluminescentes. La source optique 10 peut également comporter des éléments optiques de mise en forme du faisceau infrarouge de calibration, par exemple un expanseur de faisceau associé à une lentille de collimation (non représentés). Ainsi, on élargit la dimension latérale du faisceau infrarouge de calibration de manière à éclairer toutes les cavités résonantes CR. Bien entendu, ces différents éléments optiques peuvent être distincts ou confondus. Dans cet exemple, on a représenté une lentille de collimation (configuration en optique en espace libre), mais cette lentille et ces différents éléments optiques peuvent présenter une configuration en optique guidée, et être par exemple un réseau de matrices de diffraction, intégré sur un substrat et couplé optiquement à la source laser. La mire de résolution 20 comporte une pluralité de cavités résonantes CR reposant sur un support transparent 22. Les cavités résonantes CR forment des motifs sombres et la zone intermédiaire environnante ZI forme une zone claire. Elle est destinée à être éclairée en face arrière par la source optique 10. Aussi, le faisceau infrarouge de calibration éclaire la mire de résolution suivant la direction +Z. Le support 22 présente une face arrière et une face avant opposée. Il est réalisé en un matériau transparent à la longueur d’onde λ c du faisceau infrarouge de calibration, dans la mesure où la mire de résolution est éclairée en face arrière. Autrement dit, le matériau du support 22 présente un taux de transmission à la longueur d’onde λ c au moins égal à 50%, de préférence au moins égal à 70%, voire à 90%, voire davantage. A titre d’exemple, il peut être une plaque semiconductrice (wafer, en anglais) présentant par exemple une épaisseur d’une à plusieurs centaines de microns. Elle peut ici être réalisée en un composé semiconducteur cristallin, par exemple ici en silicium. Une couche antireflet 21 peut être disposée sur la face arrière du support 22 (comme illustré sur la FIG. 1 ), ou peut être située entre le support 22 et les cavités résonantes CR. Elle présente une épaisseur de l’ordre de λ c /4n car , où n car est l’indice optique du matériau de la couche antireflet 21. A titre d’exemple, elle peut être réalisée en ZnS, d’indice optique n car égal à 2.2 à la longueur d’onde de 7µm, et d’épaisseur égale à 800nm environ. Chaque cavité résonante CR est une cavité optique de type Fabry-Pérot formée d’un empilement de deux réflecteurs opposés l’un à l’autre, un réflecteur inférieur 23 et un réflecteur supérieur 25, entre lesquels est située une couche intercalaire 24 faiblement absorbante à la longueur d’onde λ c ou non absorbante. Les réflecteurs présentent en revanche un pouvoir d’absorption partielle de la lumière infrarouge (l’absorption résonante de la cavité est liée à l’absorption partielle des réflecteurs). Les cavités résonantes CR sont dites asymétriques, dans le sens où les réflecteurs inférieurs 23 sont moins réfléchissants que les réflecteurs supérieurs 25. Elles reposent sur le support 22. Les cavités résonantes CR présentent une résonance d’absorption permettant ainsi de former les motifs sombres de la mire de résolution 20. Les réflecteurs inférieurs 23 présentent une transmission et une réflexion partielles (et une absorption partielle, non nulle), de manière à autoriser l’entrée par transmission du faisceau infrarouge de calibration dans la cavité résonante CR, puis à réfléchir le faisceau infrarouge de calibration présent dans la cavité résonante CR. Il s’agit ici de plots spatialement distincts les uns des autres dans le plan XY, qui participent à définir les dimensions latérales des cavités résonantes CR. Ils sont situés du côté du support 22, et reposent ici sur et au contact de celui-ci. Ils sont de préférence identiques d’une cavité résonante CR à l’autre, en termes de matériaux et d’épaisseur. De préférence, ils sont réalisés en un matériau métallique de faible épaisseur, comme par exemple du titane Ti d’une épaisseur de quelques dizaines de nanomètres. Les réflecteurs inférieurs 23 présentent une épaisseur (physique) inférieure à son épaisseur de peau δ. Rappelons que l’épaisseur de peau est telle que δ=λ c /(2πk), où k est le coefficient d’extinction du matériau. Ainsi, dans le moyen infrarouge, on pourra choisir par exemple le titane ou le platine. En effet, le titane présente un coefficient d’extinction k de 15.8 à la longueur d’onde λ c de 8µm, de sorte que son épaisseur de peau est égale à 80nm environ. L’épaisseur des réflecteurs inférieurs 23 est donc choisie inférieure à 80nm, par exemple égale à 15nm ou à 25nm. La couche intercalaire 24 est réalisée en un matériau non absorbant ou faiblement absorbant à la longueur d’onde λ c du faisceau infrarouge de calibration, par exemple présentant un taux d’absorption inférieur à 10%, de sorte que dans la zone intermédiaire ZI environnante, le faisceau infrarouge est transmis efficacement par la couche intercalaire 24. La couche intercalaire 24 est située entre et au contact des deux réflecteurs. Elle est réalisée de préférence en un matériau diélectrique, amorphe ou cristallin, par exemple un oxyde, un nitrure ou un matériau de type IV, III-V ou II-VI. A titre d’exemple, elle peut être en silicium amorphe, ici non intentionnellement dopé, voire du CdTe. Elle présente une épaisseur e ci,cav et un indice optique n ci tels que l’absorption dans les cavités résonantes CR est au moins égale à 80%, voire à 90% à la longueur d’onde λ c . L’épaisseur e ci,cav dans les cavités résonantes CR est comprise entre λ c /(4n ci ) et λ c /(2n ci ) mais différente de ces valeurs, de manière à optimiser l’absorption par résonance. Par ailleurs, l’indice optique n ci est de préférence sensiblement égal à celui du support 22, de manière à limiter les réflexions à l’interface. Bien entendu, la couche intercalaire 24 peut être réalisée en un même matériau (et donc en une seule couche), ou être formée d’un empilement de différents matériaux. Dans le cas où la couche intercalaire 24 est réalisée en plusieurs matériaux (sans interface à saut d’indice important), l’indice de réfraction n ci peut être un indice moyen défini par une moyenne (par ex. arithmétique) des indices des différentes sous-couches pondérés par leurs épaisseurs. A titre d’exemple, dans le cas d’une couche intercalaire 24 en silicium amorphe, d’indice optique n ci de 3.4 pour une longueur d’onde λ c de 7µm, l’épaisseur pourra être égale à 800nm, donc comprise entre et différente de λ c /(4n ci )=515nm et (λ c /(2n ci )=1030nm. Les réflecteurs supérieurs 25 présentent une réflexion élevée, de préférence totale, de manière à réfléchir le faisceau infrarouge de calibration présent dans les cavités résonantes CR, et présente une absorption optique partielle (non nulle). Ils sont ici des plots spatialement distincts les uns des autres dans le plan XY, et participent à définir les dimensions latérales des cavités résonantes CR. Ils peuvent présenter des dimensions latérales dans le plan XY sensiblement identiques à celles des réflecteurs inférieurs 23. En variante, ils peuvent être des zones d’une même couche continue (cf. FIG. 2 ). Les réflecteurs supérieurs 25 sont situés du côté opposé au support 22 vis-à-vis de la couche intercalaire 24, et reposent ici sur et au contact de celle-ci. Ils sont de préférence identiques d’une cavité résonante CR à l’autre, en termes de matériaux et d’épaisseur. De préférence, ils sont réalisés en un matériau métallique, de préférence un métal noble, dont l’épaisseur (physique) est supérieure à son épaisseur de peau δ. Ainsi, dans le moyen infrarouge, il peut être choisi parmi l’or, l’aluminium, le cuivre…, d’une épaisseur de quelques dizaines de nanomètres. En effet, à titre d’exemple, l’or présente un coefficient d’extinction k de 48.3 à la longueur d’onde λ c de 8µm, de sorte que son épaisseur de peau δ est égale à 26nm environ. L’épaisseur des réflecteurs supérieurs 25 est donc choisie supérieure à 26nm, par exemple égale à 50nm. Notons que, en variante et en particulier dans le cas de la FIG. 2 , les réflecteurs supérieurs 25 peuvent être des miroirs de Bragg, formés ainsi d’une alternance de couches diélectriques ou semiconductrices quart d’onde ayant respectivement un indice de réfraction élevé et un indice de réfraction faible. Les cavités résonantes CR présentent des dimensions latérales dans le plan XY qui définissent la forme des motifs sombres. Elles peuvent ainsi s’étendre sous la forme de lignes, rectilignes ou non, de préférence parallèles deux à deux. Les cavités résonantes CR peuvent présenter d’autres formes, par exemple circulaires, carrées, ou autre. Les cavités résonantes CR peuvent avoir différentes dimensions latérales, d’une cavité à l’autre, ou d’un groupe de cavités à un autre groupe de cavités. Les cavités résonantes peuvent présenter une même épaisseur pour toutes les cavités, ou peuvent présenter une même épaisseur pour un groupe de cavités adjacentes, et une épaisseur différente pour un autre groupe de cavités adjacentes. Ces dimensions latérales peuvent être, par exemple, au moins égales à 1µm voire à 10µm, et typiquement de l’ordre de quelques dizaines de microns. Les cavités résonantes CR sont distinctes les unes des autres, dans la mesure où au moins les réflecteurs inférieurs 23 sont distincts (espacés) les uns des autres. En revanche, la zone intermédiaire ZI qui entoure chaque cavité résonante CR dans le plan XY forme une zone continue claire. La couche intercalaire 24 s’étend continûment dans les cavités résonantes CR ainsi que dans la zone intermédiaire ZI. Aussi, dans la zone intermédiaire ZI, on ne trouve pas de réflecteurs inférieurs 23, mais on trouve la couche intercalaire 24. De plus, la couche intercalaire 24 remplit entièrement la zone intermédiaire ZI : elle entoure continûment chaque cavité résonante CR dans le plan XY, et remplit également l’espace intercavité situé entre deux cavités résonantes CR adjacentes. Dans le cas d’une mire de résolution 20 en transmission ( FIG. 1 ), on ne trouve pas non plus de réflecteurs supérieurs 25 dans la zone intermédiaire ZI. En revanche, dans le cas d’une mire de résolution 20 en réflexion (cf. FIG. 2 ) où les réflecteurs supérieurs 25 sont des régions d’une même couche réflectrice continue 41, la zone intermédiaire ZI comporte également une région de cette couche réflectrice continue 41. La couche intercalaire 24 présente une épaisseur e ci,zi dans la zone intermédiaire sensiblement constante. Elle peut être constante autour de toutes les cavités résonantes CR de la mire, ou être constante avec une première valeur autour d’un premier groupe de cavités adjacentes, et constante avec une autre valeur pour un autre groupe de cavités adjacentes (cf. la FIG. 3 décrite plus loin). L’épaisseur e ci,zi peut être sensiblement égale à l’épaisseur e ci,cav dans les cavités résonantes CR, voire être égale à la somme de l’épaisseur e ci,cav et de l’épaisseur e ri des réflecteurs inférieurs 23 (cf. par exemple FIG. 3 ), dans le cas où la couche intercalaire présente une face supérieure plane, par exemple à la suite d’une planarisation mécano-chimique. Dans le cas d’une mire de résolution 20 en transmission, celle-ci peut comporter une couche antireflet supérieure 26, qui recouvre continûment les cavités résonantes CR et la zone intermédiaire ZI. Il peut s’agir ici d’une couche de ZnS d’une épaisseur de 800nm environ. En variante, dans le cas où une telle couche antireflet n’est pas présente, il est possible de réduire l’épaisseur e ci,zi de la couche intercalaire 24 dans la zone intermédiaire ZI de sorte qu’elle soit sensiblement égale à λ c /4n ci (cf. FIG. 3 décrite plus loin). Ainsi, la couche intercalaire 24 présente, dans les cavités résonantes CR, une épaisseur e ci,cav telle que λ c /(4n ci ) ci,cav c /(2n ci ), et, dans la zone intermédiaire ZI, une épaisseur e ci,zi ≈ λ c /(4n ci ). Le système d’imagerie 30 comporte un photodétecteur matriciel, et peut également comporter un système optique associé situé entre la mire de résolution et le photodétecteur matriciel. Dans cet exemple, un tel système optique est absent (application par exemple en imagerie sans lentille). En fonctionnement, la source optique 10 émet le faisceau infrarouge de calibration de manière à éclairer la mire de résolution 20, et plus précisément de manière à éclairer toutes les cavités résonantes CR. Le faisceau infrarouge est transmis par le support transparent 22. Dans les motifs, il est partiellement transmis par le réflecteur inférieur 23 et est réfléchi au moins en partie, et de préférence totalement, par le réflecteur supérieur 25. Il est alors absorbé ici totalement dans les cavités résonantes CR par absorption par résonance. Dans la zone intermédiaire ZI, le faisceau infrarouge est transmis par la couche intercalaire 24 tout en étant faiblement absorbé. Ainsi, le faisceau infrarouge transmis par la zone intermédiaire ZI est reçu et détecté par le système d’imagerie 30. L’image de la mire de résolution 20 montre alors des motifs sombres sur fond clair. Ainsi, les motifs de la mire de résolution 20 ne sont pas réalisés par des plots métalliques opaques, mais par des cavités résonantes Fabry-Pérot asymétriques. Les cavités résonantes CR fonctionnant par résonance d’absorption, on évite ainsi les réflexions parasites que peuvent induire les motifs métalliques opaques, susceptibles de dégrader les performances de la mire. On évite également d’utiliser des matériaux fortement absorbants dans la gamme infrarouge visée (en particulier le moyen infrarouge) tels que les matériaux semiconducteurs déposés par épitaxie, ce qui rendrait la mire de résolution particulièrement onéreuse. De plus, la mire de résolution 20 présente une faible topologie, c’est-à-dire une faible variation d’épaisseur, entre les motifs sombres (cavités résonantes) et le fond clair (zone intermédiaire), on limite ainsi les effets diffractifs que pourrait générer la bordure des cavités résonantes CR. Aussi, la mire de résolution 20 présente de bonnes performances optiques, ce qui permet d’être en mesure de déterminer avec précision la résolution spatiale des motifs sombres, et, le cas échéant, les distorsions géométriques. Par ailleurs, en choisissant l’épaisseur de la couche intercalaire 24 dans les cavités résonantes CR, il est possible d’ajuster simplement la résonance d’absorption des cavités résonantes CR, et donc le contraste entre les motifs sombres et le fond clair. La FIG. 1 illustre un exemple de réponse spectrale en termes d’absorption A, de réflexion R et de transmission T, de la mire de résolution 20 similaire à celle de la FIG. 1 , dans les zones sombres formées par les cavités résonantes CR et dans la zone claire intermédiaire ZI qui entoure les zones sombres. Dans cette mire de résolution, le support transparent 22 est un substrat de silicium cristallin d’une épaisseur par exemple de plusieurs centaines de microns. Une couche antireflet 21 revêt ici la face arrière du support transparent 22 et permet de minimiser les pertes optiques par réflexion au niveau de la face inférieure. Elle est réalisée en ZnS, dans la mesure où son indice optique de 2.2 à la longueur d’onde λ c de 7µm permet une bonne adaptation de l’indice optique entre l’air environnant (indice optique de 1) et le support transparent en silicium (indice optique de 3.4). Son épaisseur est de l’ordre de λ c /4n ZnS , soit ici 800nm environ. Les réflecteurs inférieurs 23 sont des plots de titane de 30nm d’épaisseur et sont distincts les uns des autres dans le plan XY. La couche intercalaire 24 est ici du silicium amorphe, d’une épaisseur comprise entre λ c /n Si et λ c /4n Si , ici de 800nm environ (n Si = 3.4). Elle s’étend continûment d’une cavité résonante à l’autre, et s’étend également dans la zone intermédiaire, ce qui permet d’y maximiser la transmission du faisceau infrarouge au travers de l’empilement. Les réflecteurs supérieurs 25 sont ici également des plots distincts les uns des autres, réalisés ici en or d’une épaisseur de 50nm. Une deuxième couche antireflet 26 en ZnS d’une épaisseur de 800nm recouvre l’empilement. Il en résulte que la mire de résolution présente, dans les cavités résonantes CR, une absorption A cav de l’ordre de 90% et une réflexion R cav de l’ordre de 10%. La transmission du faisceau infrarouge dans les motifs est quasi-nulle. On obtient ainsi des motifs sombres lorsque la mire de résolution 20 est éclairée par le faisceau infrarouge avec une longueur d’onde λ c de 7µm. En revanche, la mire de résolution 20 présente, dans la zone intermédiaire ZI, une transmission T zi de l’ordre de 90%, une réflexion R zi de l’ordre de 10% et une absorption A zi quasi-nulle. On obtient ainsi un fond clair qui entoure les motifs sombres. On remarque que la mire de résolution 20 fonctionne effectivement en absorption par résonance. Enfin, la topologie de la mire de résolution, définie comme la variation d’épaisseur entre les cavités résonantes CR et la zone intermédiaire ZI, est égale à la somme des épaisseurs des réflecteurs inférieur 23 et supérieur 25, soit ici égale à 80nm. Cette valeur est très éloignée de λ c /(4n Si ), soit de 550nm environ, de sorte que les phénomènes optiques de bords (diffraction par les flancs des motifs) sont évités. La mire de résolution 20 présente ainsi de bonnes performances pour la détermination de la résolution spatiale de l’imageur et/ou, le cas échéant, des distorsions géométriques du système optique de l’imageur. La FIG. 2 est une vue schématique et partielle, en coupe transversale, d’une mire de résolution adaptée à l’imagerie infrarouge, ici dans le moyen infrarouge, selon un autre mode de réalisation. Dans cet exemple, le système de calibration 1 se distingue de celui de la FIG. 1 essentiellement en ce que la source optique 10 comporte un système optique d’éclairement en optique intégré, et en ce que la mire de résolution 20 fonctionne en réflexion et non pas en transmission. Le système de calibration 1 comporte : une source optique 10 qui éclaire la mire de résolution 20 en face arrière ; la mire de résolution 20 en réflexion, où le faisceau infrarouge de calibration est réfléchi dont la zone intermédiaire ZI suivant la direction -Z ; et un imageur 30 situé du côté opposé de la mire de résolution 20 vis-à-vis du système optique d’éclairement. La source optique 10 est formée ici d’une source laser 11 couplée à un système optique d’éclairement 12 réalisé en optique intégrée. Celui-ci permet d’éclairer tous les motifs de la mire de résolution 20. Ainsi, le faisceau infrarouge de calibration émis par la source laser 11 est couplé optiquement à un guide d’onde intégré 13 situé dans un substrat photonique 14, et se propage suivant un axe contenu dans le plan XY, jusqu’à être extrait, par exemple au moyen d’un réseau de diffraction, en direction de la mire de résolution. Le substrat photonique 14 est, de plus, réalisé de manière à être au moins en partie transmissif au faisceau infrarouge réfléchi par la mire de résolution. La mire de résolution 20 fonctionne ici en réflexion et non pas en transmission. Pour cela, elle diffère de celle de la FIG. 1 en ce que les réflecteurs supérieurs 25 ne sont pas des plots distincts les uns des autres, mais des régions d’une même couche réflectrice continue 41. Cette couche réflectrice 41 s’étend ainsi continûment dans tous les motifs et dans la zone intermédiaire. Ainsi, le faisceau infrarouge de calibration est transmis à l’intérieur des cavités résonantes CR où il est quasi totalement absorbé. En revanche, dans la zone intermédiaire ZI, le faisceau infrarouge est transmis par la couche intermédiaire 24 suivant la direction +Z, est réfléchi suivant la direction -Z par les régions de la couche 41, et rejoint l’imageur après avoir traversé une nouvelle fois la couche intercalaire 24. La FIG. 2 illustre un exemple de réponse spectrale, en termes d’absorption et de réflexion, de la mire de résolution 20. Ici, le faisceau infrarouge de calibration présente une longueur d’onde λ c de 8µm environ. Le support transparent 22 est réalisé en CaF 2 et présente un indice optique de 1.5 environ. Les réflecteurs inférieurs 23 sont réalisés en titane d’une épaisseur de 15nm ; la couche intercalaire 24 est réalisée en silicium amorphe de 750nm environ ; et les réflecteurs supérieurs 25 sont formés par la couche réflectrice continue 41 en or d’une épaisseur de 50nm environ. Dans ces conditions, il apparaît que l’absorption A cav du faisceau infrarouge de calibration par les cavités résonantes est de l’ordre de 97% environ (réflexion inférieure à 3%). En revanche, dans la zone intermédiaire, la réflexion R zi du faisceau infrarouge de calibration est de l’ordre de 95% (absorption de l’ordre de 5%). Ainsi, la mire de résolution 20 présente des motifs sombres sur fond clair avec un contraste maximal pour une longueur d’onde λ c située dans la gamme 7.5-8.5µm. Si l’on souhaite réduire le contraste, il est possible de modifier la longueur d’onde du faisceau infrarouge de calibration, par exemple en se plaçant dans la gamme 6.5-7.5µm. Notons par ailleurs que la mire de résolution peut fonctionner en transmission comme illustré sur la FIG. 1 , en réflexion comme sur la FIG. 2 , mais également en « transflexion », c’est-à-dire que la mire est identique ou similaire à celle de la FIG. 1 (mire en transmission), mais l’imageur est situé du côté du support transparent. Un miroir est alors disposé du côté supérieur de la mire de résolution, pour réfléchir le faisceau infrarouge transmis par la zone intermédiaire. La FIG. 3 est une vue schématique et partielle, en coupe transversale, d’une mire de résolution 20 fonctionnant en transmission selon une variante de réalisation. Cet exemple illustre le fait que, comme mentionné précédemment, la couche intercalaire 24 peut présenter une épaisseur e ci,cav différente dans les cavités résonantes de la valeur e ci,zi dans la zone intermédiaire. La mire de résolution 20 fonctionne ici en transmission : il est donc utile de limiter la réflexion au niveau de la face supérieure de la couche intercalaire 24. Pour cela, une couche antireflet peut être présente, comme illustré sur la FIG. 1 , ou alors la couche intercalaire 24 peut présenter une épaisseur e zi sensiblement égale à λ c /(4n ci ), et donc inférieure à l’épaisseur e ci,cav dans les cavités résonantes. La FIG. 3 est une vue schématique et partielle, en coupe transversale, d’une mire de résolution 20 selon une autre variante de réalisation. Ici, la mire de résolution fonctionne en transmission mais elle pourrait également fonctionner en réflexion. On définit ici plusieurs groupes de motifs qui diffèrent entre eux essentiellement par l’épaisseur e ci,cav dans les cavités résonantes. Ainsi, dans un premier groupe de motifs adjacents, la couche intermédiaire 24 présente une première valeur d’épaisseur e ci,cav1 , constante dans chaque cavité résonante CR1 du premier groupe. En revanche, dans un deuxième groupe de motifs adjacents, la couche intermédiaire 24 présente une deuxième valeur d’épaisseur e ci,cav2 , différente de la première valeur et ici supérieure à celle-ci. Cette épaisseur est ici également constante dans chaque cavité résonante CR2 du deuxième groupe. La FIG. 3 est une vue schématique et partielle, en coupe transversale, d’une mire de résolution 10 selon une autre variante de réalisation. Ici, la mire de résolution 20 fonctionne en réflexion, et ne comporte pas de motifs sombres séparés deux à deux par un fond clair uniforme, mais comporte des motifs accolés les uns aux autres, qui se différencient les uns des autres par une réflexion différente. La mire de résolution 20 comporte un support transparent 22 pour un éclairement en face arrière. Elle comporte également une couche réflectrice continue 42, située entre la couche intercalaire 24 et le support transparent 22. Cette couche réflectrice 42 s’étend continûment sur le support transparent 22, et forme les réflecteurs inférieurs 23. Ces derniers sont formés par des régions de la couche réflectrice 42. On peut considérer que les réflecteurs 23 sont accolés deux à deux et ne sont pas séparés spatialement par une zone intermédiaire transmissive. La mire de résolution 20 comporte une couche réflectrice continue 41, qui recouvre la couche intercalaire 24. Elle s’étend ici continûment, de sorte que les réflecteurs supérieurs 25 sont, de manière similaire aux réflecteurs 23, des régions accolées les unes aux autres de cette même couche réflectrice continue 41. La couche intercalaire 24 s’étend continûment d’une cavité résonante à l’autre. Les cavités résonantes sont accolées les unes aux autres, de sorte qu’il n’y a pas de zone intermédiaire formant un fond clair uniforme comme dans les exemples de la FIG. 1 et de la FIG. 2 . La couche intercalaire 24 présente une épaisseur e ci,cav différente d’une cavité résonante à l’autre. Ainsi, elle présente une épaisseur e ci,cav1 dans une première cavité CR1, et une épaisseur e ci,cav2 différente de e ci,cav1 dans une deuxième cavité CR2 accolée à la première cavité CR1. Dans cet exemple, la première cavité résonante CR1 présente, autour de λ c , une faible réflexion R1 alors que la deuxième cavité résonante CR2 présente une réflexion R2 supérieure à R1. Ainsi, on forme des motifs de différentes intensités optiques, dont le contraste est défini par la différence entre R1 et R2. Des modes de réalisation particuliers viennent d’être décrits. Différentes variantes et modifications apparaîtront à l’homme du métier. Mire de résolution (20) pour l’imagerie infrarouge, destinée à être éclairée en face arrière par un faisceau infrarouge, comportant : un support (22) transparent au faisceau infrarouge, présentant une face arrière destinée à recevoir le faisceau infrarouge, et une face avant opposée ; une pluralité de motifs, reposant sur la face avant du support (22), espacés latéralement deux à deux dans un plan principal, destinés à former des motifs sombres sur fond clair lorsque la mire de résolution est éclairée par le faisceau infrarouge ; caractérisée en ce que : chaque motif est formé d’une cavité résonante (CR) de type Fabry-Pérot comportant un réflecteur inférieur (23) et un réflecteur supérieur (25) entre lesquelles se situe une couche intercalaire (24) ; le réflecteur inférieur (23), situé du côté du support (22), étant moins réfléchissant que le réflecteur supérieur (25) ; la couche intercalaire (24) s’étend continûment d’une cavité résonante (CR) à l’autre, et donc également dans une zone intermédiaire (ZI) entourant les cavités résonantes dans le plan principal. Mire de résolution (20) selon la revendication 1, dans laquelle la couche intercalaire (24) présente une épaisseur (e ci,cav ) dans les cavités résonantes (CR) comprise entre, et différente de, λ c /(4n ci ) et λ c /(2n ci ), où λ c est la longueur d’onde du faisceau infrarouge et n ci est l’indice optique de la couche intercalaire (24). Mire de résolution (20) selon la revendication 1 ou 2, dans laquelle la couche intercalaire (24) présente une épaisseur (e ci,zi ), dans la zone intermédiaire (ZI), supérieure ou égale à λ c /(4n ci ) et inférieure à λ c /(2n ci ). Mire de résolution (20) selon l’une quelconque des revendications 1 à 3, dans laquelle la couche intercalaire (24) présente un taux d’absorption inférieure à 10% à la longueur d’onde λ c du faisceau infrarouge. Mire de résolution (20) selon l’une quelconque des revendications 1 à 4, dans laquelle la couche intercalaire (24) présente un indice optique égal à celui du support (22). Mire de résolution (20) selon l’une quelconque des revendications 1 à 5, dans laquelle les réflecteurs inférieurs (23) sont réalisés en un métal et présentent une épaisseur inférieure à leur épaisseur de peau. Mire de résolution (20) selon l’une quelconque des revendications 1 à 6, dans laquelle les réflecteurs supérieurs (25) sont réalisés en un métal et présentent une épaisseur supérieure à leur épaisseur de peau, ou sont formés chacun par un miroir de Bragg. Mire de résolution (20) selon l’une quelconque des revendications 1 à 7, dans laquelle les réflecteurs supérieurs (25) sont des régions d’une même couche métallique continue (41). Mire de résolution (20) selon l’une quelconque des revendications 1 à 7, dans laquelle les réflecteurs supérieurs (25) sont des plots distincts, espacés deux à deux dans le plan principal. Mire de résolution (20) selon la revendication 9, comportant une couche antireflet (26) recouvrant les cavités résonantes (CR) et la zone intermédiaire (ZI). Mire de résolution (20) selon l’une quelconque des revendications 1 à 10, dans laquelle la couche intercalaire (24) présente une épaisseur (e ci,zi ) dans la zone intermédiaire (ZI) égale à λ c /(4n ci ). Mire de résolution (20) selon l’une quelconque des revendications 1 à 11, dans laquelle la couche intercalaire (24) présente une première épaisseur (e ci,cav1 ) pour un premier groupe de cavités résonantes adjacentes, et une deuxième épaisseur (e ci,cav2 ), différente de la première épaisseur, pour un deuxième groupe de cavités résonantes adjacentes. Système de calibration (1), comportant : une source optique (10) adaptée à émettre un faisceau infrarouge de longueur d’onde λ c ; la mire de résolution (20) selon l’une quelconque des revendications précédentes, adaptée à recevoir le faisceau infrarouge par une face arrière du support (22) opposée aux motifs ; un système d’imagerie (30), adapté à recevoir le faisceau infrarouge et à acquérir une image de la mire de résolution (20).