Brevet FR3161670A1 — publié le 20251031

Microsystème électromécanique (1), comportant : une poutre (10), s’étendant à partir d’une base (13), jusqu’à une extrémité (14), la poutre étant configurée pour osciller autour d’une position d’équilibre ; au moins une jauge de déformation (11, 12), configurée pour se déformer lorsque l’angle de rotation du diaphragme (θ) augmente; une première butée s’étendant à un premier écartement (e 1 ) de l’axe central, et configurée pour être au contact du diaphragme lorsque l’extrémité s’écarte de l’axe central au-delà d’un premier déplacement (y 1 ); une deuxième butée (20 2 ) s’étend à un deuxième écartement (e 2 ), =de l’axe central, la deuxième butée et configurée pour être au contact de la poutre lorsque l’extrémité s’écarte de l’axe central selon un deuxième déplacement supérieur (y 2 ), supérieur au premier déplacement (y 1 ). Fig. 3B. Microsystème comportant une poutre mobile en flexion et plusieurs butées Le domaine technique de l’invention concerne un microsystème comportant une poutre fléchissant dans un plan, le mouvement de flexion étant relié à une grandeur d’intérêt, par exemple un différentiel de pression une accélération ou un déplacement de l’extrémité de la poutre. ART ANTERIEUR Des capteurs, de types accéléromètres, microphones ou gyromètres, ont recours à des microsystèmes comportant une poutre, dont le mouvement est relié à une grandeur d’intérêt à mesurer, par exemple une accélération, une pression ou le déplacement d’une extrémité de la poutre, sous ce dernier pouvant être généré par un composant relié à l’extrémité de la poutre. L’amplitude de mouvement peut être mesurée par des jauges de déformation piézorésistives ou piézoélectriques, ces dernières permettant de convertir une déformation mécanique en un signal électrique exploitable. Le brevet EP2410767 décrit par exemple un microphone où la poutre constitue un diaphragme soumis à un différentiel de pression, le terme diaphragme désignant l’élément qui délimite deux portions du réseau acoustique dudit microphone, une portion amont soumise aux fluctuations de pression d’une onde sonore incidente et une portion avale connectée à un volume arrière où les fluctuations de pression acoustiques tendent à s’annuler dans le domaine des fréquences audibles. Des jauges de déformation, suspendues entre un substrat fixe et le diaphragme, permettent de mesurer le mouvement du diaphragme produit par les fluctuations de pression de l’onde sonore incidente. Le principe de mesure repose sur une variation de la résistivité du matériau formant chaque jauge piézorésistive, sous l’effet d’une compression ou d’une extension résultant du mouvement en flexion du diaphragme. Une limite d’utilisation des jauges de déformation est leur capacité à supporter les contraintes mécaniques dont le niveau pourrait atteindre une valeur excessive pour un mouvement de diaphragme important. A cette fin, dans EP2410767, un dispositif de butée mécanique est mentionné de façon à limiter le mouvement de flexion à l’extrémité du diaphragme mobile. Par principe, dès lors que le diaphragme est au contact de la butée, la limite de fonctionnement du dispositif est atteinte. Le brevet EP3136052 décrit un dispositif similaire dédié à la mesure du mouvement de large amplitude d’une pièce mécanique mobile. Pour cette application, la poutre est employée comme un élément rigide entre une base en appui sur un pivot et son extrémité connectée à la pièce mécanique mobile par un élément flexible. Le mouvement de la poutre qui est considéré est un mouvement de corps rigide en rotation autour d’un axe de rotation fixé par le pivot. L’allongement de jauges piézorésistives est ainsi relié au déplacement de l’extrémité de la structure élancée par le rapport entre la distance des jauges à l’axe de rotation et la longueur de la poutre. Dans ce dispositif, la liaison flexible qui connecte l’extrémité de la structure élancée à la pièce mécanique mobile joue un rôle déterminant car elle assure la conversion du mouvement de large amplitude de la pièce mobile en un mouvement de moindre amplitude à l’extrémité de la structure élancée. Le rapport de démultiplication adopté est destiné à réduire la sollicitation mécanique des jauges et doit être adapté en fonction de l’amplitude de mouvement de la pièce mobile à mesurer et de l’allongement maximal des jauges. A l’exception de l’élément indiqué précédemment, rien n’est mentionné dans le brevet EP3136052 pour la protection des jauges en cas de surcharge exceptionnelle. Il est à craindre que l’intervention d’un choc selon la direction du mouvement de la pièce mécanique mobile à mesurer conduise à un niveau de contrainte excessif dans les jauges de déformation. Cependant, une poutre n’est jamais parfaitement rigide. Elle peut donc continuer à se déformer sous l’effet d’une charge excessive et solliciter les jauges au-delà du seuil de contrainte jugé excessif et cela même quand elle est en contact avec un dispositif de butée localisé à l’extrémité de la structure élancée tel que mentionné dans le brevet EP2410767. L’invention décrite par la suite permet une conception de systèmes électromécaniques robustes, en préservant l’intégrité de jauges de déformation, et en conférant une plage de fonctionnement plus étendue. Un premier objet de l’invention est un microsystème électromécanique , comportant : une poutre, s’étendant à partir d’une base, jusqu’à une extrémité, la poutre étant configurée pour être mobile en flexion dans un plan de flexion, sous l’effet d’une charge mécanique, à partir d’une position d’équilibre, la poutre s’étendant le long d’un axe central lorsqu’elle occupe la position d’équilibre, la poutre étant configurée pour entraîner, sous l’effet de la flexion, la base en rotation autour d’un axe de rotation, selon un angle de rotation, dans le plan de flexion, l’angle de rotation, étant défini par rapport à l’axe central ; au moins une jauge de déformation, configurée pour se déformer lorsque l’angle de rotation augmente, la jauge de déformation étant configurée pour générer un signal de détection dépendant de l’angle de rotation ; le microsystème étant caractérisé en ce qu’il comporte une butée de rang 1 et une butée de rang 2, chaque butée étant destinée à contacter la poutre, le microsystème étant tel que : la première butée est disposée, parallèlement à l’axe central, entre la butée de rang 2 et la base ; la butée de rang 1 s’étendant à un premier écartement par rapport à la position d’équilibre, la butée de rang 1 étant configurée pour être au contact de la poutre lorsque l’extrémité s’écarte de la position d’équilibre au-delà d’un premier déplacement; la butée de rang 2 s’étend à un deuxième écartement, supérieur au premier écartement, de l’axe central, par rapport à la position d’équilibre, la butée de rang 2 étant configurée pour être au contact de la poutre lorsque l’extrémité s’écarte de la position d’équilibre selon un deuxième déplacement supérieur, supérieur au premier déplacement; de façon que lorsque l’extrémité se déplace de la position d’équilibre jusqu’au premier déplacement, l’angle de rotation augmente ; lorsque l’extrémité se déplace du premier déplacement, vers le deuxième déplacement, l’angle de rotation diminue, sous l’effet d’une déformation de la poutre et d’un appui de la poutre contre la butée de rang 1. Le microsystème peut comporter plusieurs butées de rang n, n étant un entier supérieur ou égal à 2, chaque butée de rang n étant disposée : le long de l’axe central, à une distance d’autant plus importante de la base que le rang de la butée est élevée ; perpendiculairement à l’axe central, à un écartement, par rapport à la position d’équilibre, d’autant plus important que le rang de la butée est élevé ; la butée de rang n s’étend à un nième écartement , supérieur au n-1 ième écartement par rapport à la position d’équilibre, la butée de rang n étant configurée pour être au contact de la poutre lorsque l’extrémité s’écarte de la position d’équilibre selon un n ième déplacement, supérieur au n-1 ième déplacement. Selon une possibilité, les butées de rang supérieur ou égal à 2 sont positionnées de façon à venir simultanément au contact de la poutre, les butées étant positionnées en fonction d’un profil de déformation de la poutre. Selon une possibilité, les butées de rang supérieur ou égal à 2 sont positionnées de façon à venir successivement au contact de la poutre, les butées étant positionnées en fonction d’un profil de déformation de la poutre. Selon une possibilité, une butée, de rang supérieur ou égal à 2, est configurée de façon que l’écartement entre ladite butée et la position d’équilibre augmente en fonction d’une distance entre la butée et la base, de façon que la forme de la butée correspond à un profil de déformation de la poutre Selon une possibilité, la ou chaque jauge de déformation est une jauge piézorésistive ou piézoélectrique. Selon une possibilité : la poutre s’étend selon une longueur entre la base et l’extrémité ; la première distance est comprise entre 0.2 et 0.6 fois la longueur. Le microsystème peut comporter une unité de traitement, configurée pour : recevoir le signal de détection ; estimer l’angle de rotation de la poutre en fonction du signal de détection. Selon une possibilité, l’unité de traitement est configurée pour calculer une amplitude de flexion de la poutre en fonction de l’angle de rotation. Selon une possibilité : la poutre est couplée à un actionneur, configuré pour induire une flexion de la poutre ; l’unité de traitement est configurée pour extraire une variation du signal de détection en réponse à la flexion induite par l’actionneur ; l’unité de traitement peut être configurée pour déterminer l’amplitude de flexion de la poutre en fonction de ladite variation du signal de détection. Le microsystème peut comporter un détecteur d’un contact entre la poutre et la butée de rang 1. L’unité de traitement peut être configurée pour déterminer l’amplitude de flexion de la poutre en fonction d’un contact entre la poutre et la butée de rang 1. Selon une possibilité, le microsystème comporte une chambre, le microsystème étant tel que la poutre forme un diaphragme, délimitant la chambre, la poutre étant configurée pour fléchir en fonction d’un différentiel de pression de part et d’autre de la poutre. Selon une possibilité, l’extrémité de la poutre forme une masse, de façon que la poutre suit un mouvement de flexion sous l’effet d’un déplacement de la masse, de façon que le déplacement de la masse entraîne la rotation de la base. Les déplacements et les écartements de chaque butée peuvent être définis par rapport à l’axe central. Un deuxième objet de l’invention est un dispositif de mesure, comportant un microsystème selon le premier objet de l’invention, le dispositif de mesure étant configuré pour mesurer une amplitude de flexion de la poutre. Le dispositif peut être un accéléromètre ou un gyromètre ou un microphone. L’invention sera mieux comprise à la lecture de l’exposé des exemples de réalisation présentés, dans la suite de la description, en lien avec les figures listées ci-dessous. FIGURES La FIG. 1 schématise un exemple de dispositif de détection photo acoustique La FIG. 2 schématise un microsystème destiné à une détection photoacoustique. La FIG. 2 est un détail de la FIG. 2 . La FIG. 2 illustre une limite du microsystème décrit en lien avec la FIG. 2 . La FIG. 2 est une courbe représentant des contraintes exercées au niveau des jauges de déformation en fonction d’une charge appliquée à la poutre. les figures 3A et 3B schématisent un premier mode de réalisation d’un microsystème mettant en œuvre l’invention. Dans cet exemple, il s’agit d'un microsystème destiné à une détection photoacoustique similaire au microsystème de la FIG. 2 . La FIG. 3 illustre une flexion de la poutre du microsystème quand intervient un appui contre une butée de rang 1. La FIG. 3 illustre une flexion de la poutre du microsystème, déjà en appui contre la butée de rang 1, quand intervient un appui contre une butée de rang 2. La FIG. 3 schématise différentes flexions de la poutre dans le microsystème décrit en lien avec la FIG. 3 . La FIG. 3 schématise l’impact de la flexion de la poutre, telle que décrite en lien avec la FIG. 3 , sur l’angle de rotation d’une base reliée à la poutre. La FIG. 3 est une courbe représentant des contraintes exercées au niveau des jauges de déformation en fonction d’une charge appliquée à la poutre, dans le cas du premier mode de réalisation. La FIG. 3 illustre une configuration dans laquelle un actionneur est configuré pour induire une flexion de la poutre. La FIG. 4 illustre un deuxième mode de réalisation de l’invention, comportant deux butées. Les figures 4B et 4C illustrent un troisième mode de réalisation de l’invention, comportant n butées, n étant un entier supérieur ou égal à 4. La FIG. 5 montre un troisième mode de réalisation de l’invention La FIG. 6 illustre un quatrième mode de réalisation de l’invention. EXPOSE DE MODES DE REALISATION PARTICULIERS La FIG. 1 représente un dispositif de détection photoacoustique 30. Le dispositif comporte une première et une deuxième chambre 31, 32, destinées à être occupées par un gaz à analyser, à la même pression. La première chambre 31 est configurée pour être exposée à un faisceau laser L modulé en amplitude selon une fréquence de modulation. Le faisceau laser L est émis à une longueur d’onde correspondant à une longueur d’onde d’absorption d’une espèce gazeuse susceptible d’être présente dans le gaz. Sous l’effet de l’absorption, le gaz illuminé s’échauffe, l’échauffement étant modulé selon la fréquence de modulation du faisceau laser. L’échauffement modulé entraîne une variation de pression, par effet photoacoustique, dans la première chambre 31, cette dernière faisant office de chambre de mesure. Dans la deuxième chambre 32, la pression est stable, la deuxième chambre faisant office de chambre de référence. La variation de pression au sein de la première chambre 31 se traduit par une variation de pression ΔP entre la première chambre 31 et la deuxième chambre 32. La variation de pression ΔP est modulée selon la fréquence de modulation du faisceau laser. Le dispositif comporte un microsystème 1, décrit par la suite, de type microphone, destiné à mesurer la différence de pression ΔP. Outre le microsystème, le dispositif comporte un réseau microfluidique 33 permettant l’alimentation en gaz de la première chambre 31 et de la deuxième chambre 32, ainsi que le renouvellement du gaz. La variation de pression au sein de la première chambre 31 se traduit par une variation de pression ΔP entre la première chambre 31 et la deuxième chambre 32, cette dernière étant maintenue à une pression constante. La variation de pression ΔP est modulée selon la fréquence de modulation du faisceau laser. La variation de pression ΔP est d’autant plus élevée que la concentration de l’espèce gazeuse recherchée est importante. Les figures 2A et 2B représente un exemple de microsystème 1 AA selon l’art antérieur. Le microsystème comporte une poutre 10, formant un diaphragme, la poutre étant suspendue à partir d’une base 13, reliée à un substrat fixe 15, formant un support. La poutre est mobile en flexion dans un plan désigné plan de flexion de la poutre. Sous l’effet d’une flexion de la poutre, la base 13 est mobile en rotation par rapport au substrat 15. La base 13 est reliée à deux bras 16, 17 formant une charnière, permettant une rotation de la base autour d’un axe de rotation perpendiculaire au plan de flexion de la poutre. La poutre 10 sépare la première chambre 31 de la deuxième chambre 32. Sous l’effet de la différence de pression ΔP entre les deux chambres, la poutre est configurée pour vibrer selon une amplitude et une fréquence de vibration. La poutre 10 s’étend, à partir de la base 13, jusqu’à une extrémité libre 14. Une butée fixe 20 limite le déplacement de l’extrémité libre 14 de part et d’autre d’une position d’équilibre 10 a . La position d’équilibre 10 a , représentée sur la FIG. 2 et sur la FIG. 2 , correspond à un équilibre de pression entre la chambre 31 et la chambre 32. La différence de pression ΔP entre les chambres 31 et 32, modulée à la fréquence de modulation du laser, entraîne une oscillation de la poutre 10 à la fréquence lumineuse du faisceau laser, de part et d’autre de la position d’équilibre 10 a . L’amplitude de l’oscillation dépend de la concentration de l’espèce gazeuse recherchée dans le gaz illuminé. La FIG. 2 montre un détail de la base 13 à partir de laquelle s’étend la poutre 10. Deux jauges de déformation 11 et 12 sont disposées entre la base 13 et le substrat fixe 15. Sous l’effet de l’oscillation de la poutre, les jauges de déformation subissent une contrainte de déformation, en compression ou en dilatation. Les jauges de déformations permettent de générer un signal de détection qui dépend de leur déformation. Le signal de détection est ainsi représentatif de l’amplitude et de la fréquence de l’oscillation de la poutre par rapport au substrat fixe 15. Le signal de détection est traité par une unité de traitement 19, de type circuit électronique ou microprocesseur. Deux bras 16, 17 s’étendent à partir de la base et la suspendent au substrat fixe. Les bras forment une charnière flexible et définissent un pivot sur lequel la base prend appui. Les bras bloquent un mouvement de translation de la base et autorisent un mouvement de rotation autour d’un axe de rotation perpendiculaire à un plan selon lequel s’étend la poutre ainsi que les deux bras. L’axe de rotation peut être considéré comme localisé à l’intersection de deux plans médians, le long desquels s’étendent respectivement les deux bras 16 et 17. Sur la FIG. 2 , chaque plan médian a été matérialisé par des lignes en pointillés . L’oscillation de la poutre 10 entraîne, au niveau de la base 13, un modification d’un angle de rotation θ. L’angle de rotation θ correspond à un angle, formé au niveau de la base 13, entre: un axe central A, autour duquel s’étend la poutre 10 à la position d’équilibre, à laquelle les pressions dans les chambres 31 et 32 sont égales; l’axe autour duquel s’étend la poutre 10 défléchi par la variation de pression ΔP entre les deux chambres 31 et 32. L’axe central A est symbolisé par un tiret mixte. Plus l’angle de rotation θ augmente, plus la contrainte exercée sur les jauges de déformation 11 et 12 est importante La FIG. 2 montre une vue du microsystème 1 AA dans le plan de flexion de la poutre. Sur la FIG. 2 , on a représenté la poutre 10 dans la position d’équilibre 10a et dans une position en butée 10b, dans laquelle la poutre est en appui sur la butée 20. Lorsque la poutre est en butée, sous l’effet d’une augmentation de la pression dans la chambre 31, la poutre continue de fléchir en restant maintenue en appui contre la butée, ce qui accroît l’angle de rotation θ mesuré au niveau de la base 13, par rapport à la position d‘équilibre. Sur la FIG. 2 , la flexion a été est matérialisée par une flèche F. Sous l’effet de la flexion, l’angle de rotation θ augmente, ce qui entraîne une augmentation de la contrainte de déformation exercée au niveau des jauges de déformation, pouvant mener à la rupture de ces dernières. Ainsi, du fait de la souplesse de la poutre, après que cette dernière a atteint la butée 20, l’angle de rotation θ peut continuer d’augmenter, sous l’effet d’une augmentation de la variation de pression ΔP de part et d’autre de la poutre. Sur la FIG. 2 , la flexion a été représentée de façon exagérée. Dans ce type d’application, les jauges de déformation sont dimensionnées de façon à mesurer des fluctuations de pression très faibles, de l’ordre de 1Pa. Or, à l’équilibre, la pression, dans chaque chambre, atteint par exemple 1 bar, soit 100 000 Pa, soit 100 000 fois le niveau de différence de pression que l’on souhaite pouvoir mesurer à l’aide des jauges de déformations. De ce fait, un déséquilibre de quelques pourcents de la pression de remplissage des chambres 31 et 32, par exemple du fait d’un mauvais dimensionnement ou d’une mauvaise utilisation du circuit microfluidique 33, peut entraîner une déflexion de la poutre menant à la rupture des jauges de déformation. La FIG. 2 montre la contrainte axiale intervenant dans les jauges de déformation (axe des ordonnées : unité MPa) en fonction de la variation de pression ΔP de part et d’autre de la poutre 10 (axe des abscisses – unité Pa). Les courbes 11a et 11b correspondent à la contrainte axiale s’exerçant dans la première jauge 11 en extension, respectivement: entre la position d’équilibre et le contact avec la butée 20; après que la poutre 10 a atteint la butée 20, sous l’effet de la flexion décrite en lien avec la FIG. 2 . Par contrainte axiale, on entend une contrainte exercée dans l’axe de chaque jauge. Dans l’exemple représenté, les jauges 11 et 12 sont coaxiales, selon un axe représenté en pointillés sur la FIG. 2 . Les courbes 12a et 12b correspondent à la contrainte axiale s’exerçant dans la deuxième jauge 12 en compression, respectivement : entre la position d’équilibre et le contact avec la butée 20 ; après que la poutre 10 a atteint la butée 20, sous l’effet de la flexion. La butée 20 permet de limiter un déplacement de l’extrémité 14 de la poutre 10. Cependant, elle ne permet pas de d’éviter une augmentation de la contrainte s’exerçant sur les jauges de déformation après que la poutre 10 est au contact de la butée. Les plages de fonctionnement des jauges de déformations correspondant aux courbes 11b et 12b ne sont pas utilisables. En effet, le niveau de contrainte peut être tel qu’il peut mener à l’endommagement des jauges de déformation. Ainsi, le microsystème 1 AA décrit en lien avec les figures 2A à 2D n’est pas optimal. Sur la FIG. 2 , on a matérialisé, par une double flèche, la plage de fonctionnement du microsystème, qui s’étend entre 0 et de l’ordre de 60 Pa. La FIG. 3 représente un microsystème 1 selon un premier mode de réalisation. Le microsystème comporte une première butée 20 1 , une deuxième butée 20 2 , et une troisième butée 20 3 , destinées à contacter la poutre 10 afin d’en limiter la rotation. A chaque butée est assigné un rang n, le rang étant d’autant plus élevé que la butée est, parallèlement à l’axe central, à une distance d n élevée de la base 13 à partir de laquelle s’étend la poutre 10. N est un entier naturel strictement positif. La première butée 20 1 est disposée, parallèlement à l’axe central, entre la deuxième butée 20 2 et la base 13. Sur la FIG. 3 , on a représenté les distances d 1 , d 2 , d 3 entre respectivement la première butée 20 1 , la deuxième butée 20 2 et la troisième butée 20 3 et la base 13. Selon une direction perpendiculaire à l’axe central : la première butée 20 1 s’étend à un premier écartement e 1 de la position d’équilibre 10 a , la première butée étant configurée pour être au contact de la poutre 10 lorsque l’extrémité 14 s’écarte de la position d’équilibre 10 a au-delà d’un premier déplacement y 1 . Dans cet exemple, par déplacement, on entend un déplacement de l’extrémité 14 de la poutre par rapport à la position d’équilibre 10 a . la deuxième butée 20 2 s’étend à un deuxième écartement e 2 , supérieur au premier écartement e 1 , de la position d’équilibre 10 a , la deuxième butée étant configurée pour être au contact de la poutre 10 lorsque l’extrémité 14 s’écarte de la position d’équilibre 10 a selon un deuxième déplacement y 2 supérieur au premier déplacement y 1 ; la troisième butée 20 3 s’étend à un troisième écartement e 3 , supérieur au deuxième écartement e 2 , de l’axe central A, la troisième butée étant configurée pour être au contact de la poutre 10 lorsque l’extrémité 14 s’écarte de la position d’équilibre 10 a selon un troisième déplacement y 3 supérieur ou égal au deuxième déplacement y 2 . Ainsi, d’une façon générale, et quel que soit le mode de réalisation, pour n ≥ 2 : chaque butée de rang n est disposée à un écartement e n de de la position d’équilibre supérieur ou égal à l’écartement e n-1 de la butée de rang inférieur ; chaque butée est configurée pour être au contact de la poutre 10 lorsque l’extrémité 14 s’écarte de la position d’équilibre 10 a selon un n ième déplacement y n supérieur ou égal au n-1 ième déplacement y n-1 de l’extrémité 14 auquel la poutre 10 atteint la butée de rang n-1. De façon équivalente, l’écartement de chaque butée et chaque déplacement de l’extrémité peuvent être définis par rapport à l’axe central A. Le rang n de chaque butée correspond à un ordre chronologique selon lequel la poutre s’appuie au fur et à mesure de sa déformation, lorsque l’extrémité s’éloigne progressivement de la position d’équilibre. Une butée désigne une zone, ponctuelle ou étendue, contre laquelle la poutre s’appuie pour un déplacement donné de l’extrémité 14. Sur les figures 3A et 3B, le déplacement de l’extrémité 14, perpendiculairement à l’axe central A, est représenté par une échelle en niveaux de gris (unité µm). La FIG. 3 correspond à une configuration selon laquelle la poutre 10 contacte la première butée 20 1 . Le déplacement y 1 de l’extrémité 14 est de l’ordre de 2.5 µm. La FIG. 3 correspond à une configuration selon laquelle la poutre 10 contacte les deuxième et troisième butées 20 2 , 20 3 . Le déplacement y 2 de l’extrémité 14 est de l’ordre de 8.5 µm. Sur le mode de réalisation représenté sur les figures 3A à 3F, le microsystème comporte un total de N butées, N étant égal à 3. L’invention s’applique pour N≥2. Lorsque l’extrémité 14 se déplace, à partir de la position d’équilibre 10a, jusqu’au premier déplacement y 1 , l’angle de rotation θ augmente. Lorsque l’extrémité 14 se déplace du premier déplacement y 1 au deuxième déplacement y 2 , la poutre prend appui sur la première butée 20 1 . La FIG. 3 correspond à cette configuration. Si, du fait d’une augmentation de la différence de pression ΔP, l’extrémité 14 se déplace au-delà du déplacement y1, la poutre 10 fléchit en prenant appui sur la première butée 201, comme représenté sur les figures 3B et 3C. La déformation entraîne une diminution de l’angle de rotation θ. Il s’agit ici d’une différence importante avec la configuration mettant en œuvre une seule butée selon chaque direction de déplacement, décrite en lien avec les figures 2A et 2D. Dans la configuration représentée sur les figures 3A et 3B, au niveau des jauges de déformation, la contrainte maximale est observée lorsque la poutre 10 atteint la première butée 20 1 . Si la différence de pression ΔP augmente alors que la poutre 10 est en appui contre la première butée 20 1 , la déflexion de la poutre entre la première butée 20 1 et l’extrémité 14 entraîne une déflexion de la poutre 10 entre la base 13 et la première butée 20 1 , cette dernière déflexion tendant à rapprocher la poutre de l’axe central A au voisinage de la base 13. Cet effet est détaillé sur les figures 3C et 3D. La figure 3C montre quatre configurations 10 0 , 10 1 , 10 2 et 10 3 de la poutre 10, pour quatre valeurs de charge, c’est-à-dire quatre valeurs de différences de pression ΔP: 10 Pa, 16 Pa, 400 Pa et 800 Pa. L’axe des abscisses correspond à une position selon l’axe central (unité µm), la base étant située à x = 0 µm. L’axe des ordonnées correspond au déplacement y de l’extrémité 14 de la poutre. La première butée 20 1 est disposée à un écartement e 1 de la position d’équilibre 10 a , égal à 1 µm et à une distance d 1 de 350 µm de la base 10. La longueur de la poutre 10, parallèlement à l’axe central A est égale à 750 µm. Lorsque la charge ΔP 0 ), la poutre se déplace, selon un mouvement libre, vers la première butée 20 1 , cette dernière étant atteinte lorsque ΔP = 16 Pa (configuration 10 1 ). La valeur ΔP = 16 Pa correspond à une valeur dite de pleine échelle ΔP 1 : cela correspond à la valeur de ΔP à laquelle la contrainte (ou charge mécanique) exercée sur les jauges de déformations 11, 12 est maximale. Le déplacement y de l’extrémité 14 est d’environ 1.5 µm. Lorsque ΔP > 16 Pa, la poutre prend appui sur la première butée 20 1 et se courbe, de façon que le déplacement y de l’extrémité 14 augmente : cf. configurations 10 2 et 10 3 . La déformation de la poutre entraîne une déflexion, vers l’axe central A, de la portion de la poutre adjacente de la base, comprise entre la base (x = 0) et une distance d’environ 100 µm de la base. Cette portion est matérialisée par une accolade sur la FIG. 3 . Il en résulte une diminution de l’angle de rotation θ. Ainsi, lorsque la charge, c’est-à-dire ΔP, appliquée sur la poutre dépasse la charge de pleine échelle ΔP 1 , la portion de la poutre adjacente à la base tend à revenir vers la configuration d’équilibre, sous les effets combinés de la courbure de la poutre 10 et de l’appui de ce dernier sur le première butée 20 1 . Lorsque la charge ΔP = ΔP max = 800 Pa, la poutre atteint les deuxième et troisième butées 20 2 et 20 3 : configuration 10 3 . Elle est alors bloquée. La valeur de ΔP max = 800 Pa correspond à la charge maximale applicable. Le déplacement de l’extrémité 14 atteint une valeur maximale de 8.5 µm. Il s’agit de la charge pour laquelle, la partie de la poutre adjacente de la base retourne vers l’axe central sous l’effet de la déflexion et atteint un angle de rotation θ nul ou pouvant être considéré comme tel. La FIG. 3 schématise les configurations 10 1 et 10 2 , durant lesquels la poutre atteint et dépasse respectivement la première butée 20 1 . L’angle de rotation maximal, noté θ 1 , est atteint dans la configuration 10 1 . Lorsque, à partir de cette configuration, la charge augmente, l’angle de rotation diminue : dans la configuration 10 2 , l’angle de rotation est θ 2 avec θ 2 1 . Sur la FIG. 3 , la poutre à l’état d’équilibre a été représentée en trait plein. La FIG. 3 représente, pour les deux jauges de déformations 11 et 12, le niveau de contrainte (axe des ordonnées – unité MPa) en fonction de la charge exercée sur la poutre (axe des abscisses – unité Pa). La courbe de contrainte axiale positive correspond à la jauge de déformation 11 en extension sur la FIG. 3 . La courbe de contrainte axiale négative est relevée dans la jauge de déformation opposée (jauge 12 en compression sur la FIG. 3 ). Jusqu’à l’atteinte du contact avec la butée, la charge s’appliquant sur la jauge 11 augmente rapidement, jusqu’à une charge de pleine échelle ΔP1, qui est égale à 16 Pa dans cet exemple. A l’atteinte de la configuration 101 décrite en lien avec les figures 3C et 3D, le niveau de contrainte exercé sur les jauges 11 et 12 est maximal. Lorsque la charge augmente, et progresse jusqu’à la charge maximale ΔPmax, le niveau de contrainte diminue, sous l’effet de la diminution de l’angle de rotation. Ainsi, lorsque ΔP varie entre 0 et ΔPmax, le niveau maximal de contrainte est exercé sur les jauges de déformations lorsque ΔP= ΔP1. Un tel mode de réalisation présente plusieurs avantages : la contrainte maximale exercée sur les jauges de déformation, lorsque la poutre atteint la première butée 20 1 (ΔP = ΔP 1 ), est maîtrisée : cela permet de préserver l’intégrité des jauges de déformations. lorsque la charge appliquée à la poutre est comprise entre la valeur pleine échelle ΔP 1 et la valeur maximale ΔP max , la contrainte exercée sur les jauges de déformation diminue, et devient proche de 0 lorsque ΔP = ΔP max . La plage de fonctionnement du microsystème est améliorée, cette dernière étant matérialisée par une double flèche sur la FIG. 3 . Sachant que les valeurs de charges ΔP voisines de la valeur de pleine échelle ΔP 1 peuvent ne pas être quantifiables avec précision, du fait de l’inversion de l’angle de rotation de part et d’autres de la valeur de pleine échelle ΔP 1 . La courbe représentée sur la FIG. 3 illustre le fait que la poutre peut être utilisée selon deux régimes de fonctionnement : un premier régime, pour 0 1 , selon lequel une augmentation de la charge se traduit par une augmentation de la contrainte exercée sur les jauges de déformations. un deuxième régime, pour ΔP1 ≤ ΔP ≤ ΔP max , selon lequel une augmentation de la charge se traduit par une réduction de la contrainte exercée sur les jauges de déformations. Le microsystème ne peut être exploité, dans la totalité de la dynamique de mesure, que si le régime de fonctionnement est connu. Pour cela, il est possible de coupler la poutre à un actionneur, par exemple un actionneur électrostatique 21 comme représenté sur la FIG. 3 . Ce dernier, lorsqu’il est actionné, génère un fléchissement de la poutre, ce fléchissement se traduisant par un signal détecté par les jauges de déformation. Il est possible d’identifier le régime de fonctionnement en fonction du signal induit par l’actionneur, le moyen de plus direct pour discriminer les deux régimes résidant dans le changement de signe intervenant dans la réponse quand la poutre est en butée. L’unité de traitement 19 peut déterminer l’amplitude de flexion de la poutre ou la charge appliquée sur la poutre et/ou l’angle de rotation en fonction du signal détecté sous l’effet du fléchissement de la poutre induit par l’actionneur 21. L’actionneur électrostatique 21 s’étend de préférence le long de la poutre 10, par exemple entre la première butée 20 1 et la deuxième butée 20 2 . L’actionneur électrostatique 21 est configuré pour être polarisé, ce qui génère une force attractive. Il est disposé de façon à éviter un contact avec a poutre. Le fait de disposer l’actionneur électrostatique entre deux butées permet d’éviter un contact entre ce dernier et la poutre, suite à une flexion de la poutre. Sous l’effet de la force attractive exercée par l’actionneur, la poutre subit une flexion selon une direction connue. La mesure d’une variation de l’angle de rotation, sous l’effet de la flexion, permet de déterminer le régime de fonctionnement : si la variation de l’angle de rotation est positive, la poutre fléchit selon le premier régime de fonctionnement. Si la variation de l’angle de rotation est négative, la poutre fléchit selon le deuxième régime de fonctionnement. Selon une possibilité, l’actionneur électrostatique est activé selon une fréquence de modulation différente de la fréquence de déplacement de la poutre. Le signal résultant de chaque jauge de déformation peut être démodulé selon la fréquence de modulation, de façon à extraire une composante représentative de la flexion de la poutre sous l’effet de l’actionneur. Cela permet d’établir la variation de l’angle de rotation résultant de l’activation de l’actionneur : on identifie ainsi le régime de fonctionnement de la poutre. Selon une autre possibilité, le microsystème comporte un détecteur de contact, configuré pour détecter un contact entre la poutre et la butée 20 1 de rang 1. Il peut s’agir, de façon non limitative, d’un détecteur mécanique ou électrique ou électrostatique ou capacitif ou magnétique. Le type de détecteur dépend des propriétés du matériau formant la poutre, en particulier la conductivité. L’unité de traitement 19 peut déterminer l’amplitude de flexion de la poutre ou la charge appliquée sur la poutre et/ou l’angle de rotation en fonction du contact détecté entre la poutre et la butée de rang 1. Lorsque le régime de fonctionnement ne peut pas être connu, le microsystème demeure utilisable dans le premier régime de fonctionnement, avec l’avantage de ne pas risquer une rupture des jauges de déformations en cas de surpression. Dans le mode de réalisation décrit en lien avec les figures 3A à 3F, le chargement en flexion s’exerçant sur la poutre résulte d’un différentiel de pression de part et d’autre de la poutre. Ce chargement est assimilable à une densité linéique de force considérée homogène sur toute la longueur de la poutre. La distance d 1 entre la première butée 20 1 et la base 13 est préférentiellement inférieure à 58% comprise entre 10% et 75%, ou entre 10% et 60% de la longueur de la poutre 10, entre la base 13 et l’extrémité 14. L’écartement e 1 entre la première butée 20 1 et l’axe central A est déterminé en fonction du niveau de contrainte maximal que l’on convient d’appliquer aux jauges de déformation. L’écartement minimal e min qui peut être obtenu avec le procédé de fabrication ou d’assemblage du dispositif limite la distance d 1 minimale qui peut être adoptée : en notant θ max l’angle maximal qu’il convient de ne pas dépasser, pour une première butée proche de la base, on peut écrire dans le cadre d’une approximation pour les petits angles : d 1 θ max = e 1 ≥ e min si bien que nécessairement d 1 ≥ (e min / θ max ). L’écartement minimal e min correspond par exemple à une épaisseur du substrat, à partir duquel le dispositif est élaboré, divisé par 20. θ max peut être de l’ordre de 1° ou 2° En ce qui concerne la ou les butées de rang n supérieur à 1, leurs positions respectives dépend du profil de déformation de la poutre. Les écarts e n adoptés assurent préférentiellement le retour de la base 13 dans la configuration à rotation nulle, i-e angle de rotation nul, lorsque la poutre contacte la butée de rang plus élevé. Dans le mode de réalisation décrit en lien avec les figures 3A et 3F, on utilise un nombre N de butées égal à 3. Cependant, N peut être égal à 2, comme représenté sur la FIG. 4 , ou être supérieur à 3, comme représenté sur les figures 4B et 4C. Lorsqu’on utilise un nombre de butées supérieur ou égal à 3, il peut être avantageux qu’au-delà du rang 1, la position des butées soit définie en fonction du profil de déformation de la poutre. Cela permet que les butées de rang supérieur à 2 soient simultanément mises au contact de la poutre. Cela est considéré comme avantageux. Il est cependant possible que les butées de rang supérieur à 1 soient successivement mises au contact de la poutre lorsque la charge augmente, une butée de rang n étant mises au contact pour une valeur de charge inférieure à celle pour laquelle la poutre contacte une butée de rang n+1. Un nombre élevé de rangs de butées introduit un effet d’amortissement, par écrasement d’un film de gaz s’étendant entre chaque butée et la poutre préalablement au contact. L’ajout d’amortissement n’est pas recommandé pour des applications de type microphone pour lesquelles le bruit thermomécanique associé à l’amortissement visqueux pénalise le rapport signal sur bruit. L’ajout d’amortissement peut être adéquat dans des applications du microsystème dans des dispositifs de type accéléromètre. La FIG. 5 montre un mode de réalisation dans lequel la butée de rang 2 s’étend, face à la poutre, selon une longueur importante, tout en épousant le profil de déformation de la poutre. Le deuxième écartement, qui correspond à la distance entre la butée de rang 2 et la position d’équilibre, augmente en fonction de la distance par rapport à la base. La variation spatiale du deuxième écartement correspond au profil de déformation de la poutre. Selon ce mode de réalisation, après que la poutre a été mise en contact avec la butée de rang 1, la poutre prend appui sur la butée de rang 1 et se déforme en se rapprochant de la butée de rang 2. Il en résulte une diminution de l’angle de rotation, comme expliqué en lien avec les modes de réalisation précédents. Du fait que la forme de la butée de rang 2 épouse le profil de déformation de la poutre, la poutre se plaque simultanément contre la surface de la butée. La dimension de la butée, le long de la poutre, peut conduire à un écrasement du film de gaz s’étendant entre la poutre et la butée de rang 2 : cela peut engendrer un effet d’amortissement, comme décrit en lien avec les figures 4B et 4C. L’invention permet à la fois de sécuriser le fonctionnement d’un microsystème, tout en permettant une augmentation de la dynamique de mesure. Bien que décrite en lien avec une fabrication d’un microphone, l’invention peut s’appliquer à d’autres types de dispositif, par exemple un gyromètre ou un accéléromètre. Dans les modes de réalisation précédemment décrits, la densité linéique de force exercée sur la poutre, et induisant la flexion, peut être considérée comme homogène. C’est également le cas lorsque le dispositif est un accéléromètre, dans lequel la poutre est utilisée en tant que masse d’épreuve. Selon une autre possibilité, décrite en lien avec la FIG. 6 , l’extrémité 14 de la poutre forme une masse mobile. La poutre 10 fonctionne selon un bras de levier permettant de convertir la force transmise par la masse mobile sur la poutre par un moment de rotation sur la base : la rotation de la base est reliée au mouvement de la masse mobile à l’extrémité de la poutre. L’extrémité 14 peut être relié à un moyen de rappel, exerçant une force de rappel pour ramener la poutre vers la position d’équilibre. Microsystème électromécanique (1), comportant : une poutre (10), s’étendant à partir d’une base (13), jusqu’à une extrémité (14), la poutre étant configurée pour être mobile en flexion dans un plan de flexion, sous l’effet d’une charge mécanique, à partir d’une position d’équilibre, la poutre s’étendant le long d’un axe central (A) lorsqu’elle occupe la position d’équilibre, la poutre étant configurée pour entraîner, sous l’effet de la flexion, la base en rotation autour d’un axe de rotation, selon un angle de rotation (θ), dans le plan de flexion, l’angle de rotation, étant défini par rapport à l’axe central ; au moins une jauge de déformation (11, 12), configurée pour se déformer lorsque l’angle de rotation (θ) augmente, la jauge de déformation étant configurée pour générer un signal de détection dépendant de l’angle de rotation ; le microsystème étant caractérisé en ce qu’il comporte une butée de rang 1 et une butée de rang 2, chaque butée étant destinée à contacter la poutre, le microsystème étant tel que : la première butée (20 1 ) est disposée, parallèlement à l’axe central, entre la butée de rang 2 et la base ; la butée de rang 1 s’étendant à un premier écartement (e 1 ) par rapport à la position d’équilibre, la butée de rang 1 étant configurée pour être au contact de la poutre lorsque l’extrémité s’écarte de la position d’équilibre au-delà d’un premier déplacement (y 1 ) ; la butée de rang 2 (20 2 ) s’étend à un deuxième écartement (e 2 ), supérieur au premier écartement, de l’axe central, par rapport à la position d’équilibre, la butée de rang 2 étant configurée pour être au contact de la poutre lorsque l’extrémité s’écarte de la position d’équilibre selon un deuxième déplacement supérieur (y 2 ), supérieur au premier déplacement (y 1 ) ; de façon que lorsque l’extrémité (14) se déplace de la position d’équilibre jusqu’au premier déplacement (y 1 ), l’angle de rotation augmente ; lorsque l’extrémité se déplace du premier déplacement (y 1 ), vers le deuxième déplacement (y 2 ), l’angle de rotation diminue, sous l’effet d’une déformation de la poutre et d’un appui de la poutre contre la butée de rang 1. Microsystème selon la revendication 1, comportant plusieurs butées de rang n, n étant un entier supérieur ou égal à 2, chaque butée de rang n étant disposée : le long de l’axe central, à une distance (d n ) d’autant plus importante de la base que le rang de la butée est élevée ; perpendiculairement à l’axe central, à un écartement (e n ), par rapport à la position d’équilibre, d’autant plus important que le rang de la butée est élevé ; la butée de rang n (20 n ) s’étend à un nième écartement (e n ), supérieur au n-1 ième écartement par rapport à la position d’équilibre, la butée de rang n étant configurée pour être au contact de la poutre lorsque l’extrémité s’écarte de la position d’équilibre selon un n ième déplacement (y n ), supérieur au n-1 ième déplacement (y n-1 ) Microsystème selon la revendication 2, dans lequel les butées de rang supérieur ou égal à 2 sont positionnées de façon à venir simultanément au contact de la poutre, les butées étant positionnées en fonction d’un profil de déformation de la poutre. Microsystème selon la revendication 2, dans lequel les butées de rang supérieur ou égal à 2 sont positionnées de façon à venir successivement au contact de la poutre, les butées étant positionnées en fonction d’un profil de déformation de la poutre. Microsystème selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel une butée, de rang supérieur ou égal à 2, est configurée de façon que l’écartement entre ladite butée et la position d’équilibre augmente en fonction d’une distance entre la butée et la base, de façon que la forme de la butée correspond à un profil de déformation de la poutre Microsystème selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la jauge de déformation est une jauge piézorésistive ou piézoélectrique. Microsystème selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel : la poutre s’étend selon une longueur ( ) entre la base et l’extrémité ; la première distance est comprise entre 0.2 et 0.6 fois la longueur. Microsystème selon l’une quelconque des revendications précédentes, comportant une unité de traitement (19), configurée pour recevoir le signal de détection ; estimer l’angle de rotation de la poutre en fonction du signal de détection. Microsystème selon la revendication 8, dans lequel l’unité de traitement est configurée pour calculer une amplitude de flexion de la poutre en fonction de l’angle de rotation. Microsystème selon la revendication 8 ou la revendication 9, dans lequel : la poutre est couplée à un actionneur (21), configuré pour induire une flexion de la poutre ; - l’unité de traitement est configurée pour extraire une variation du signal de détection en réponse à la flexion induite par l’actionneur et pour déterminer l’angle de rotation et/ou l’amplitude de flexion de la poutre et/ou l’angle de rotation en fonction de ladite variation du signal de détection. Microsystème selon la revendication 8 ou la revendication 9, comportant un détecteur d’un contact entre la poutre et la butée de rang 1. Microsystème selon la revendication 11, dans lequel l’unité de traitement est configurée pour déterminer l’angle de rotation et/ou l’amplitude de flexion de la poutre en fonction d’un contact entre la poutre et la butée de rang 1. Microsystème selon l’une quelconque des revendications précédentes, comportant une chambre, le microsystème étant tel que la poutre forme un diaphragme, délimitant la chambre, la poutre étant configurée pour fléchir en fonction d’un différentiel de pression de part et d’autre de la poutre. Microsystème selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l’extrémité de la poutre forme une masse, de façon que la poutre suit un mouvement de flexion sous l’effet d’un déplacement de la masse, de façon que le déplacement de la masse entraîne la rotation de la base. Dispositif de mesure, comportant un microsystème selon l’une quelconque des revendications précédentes, le dispositif de mesure étant configuré pour mesurer une amplitude la flexion de la poutre.