Brevet FR3145933A1 — publié le 20240823

La présente invention se rapporte à un procédé de fabrication d’un article verrier comprenant au moins un substrat de verre sur lequel est déposé un empilement de couches, ledit empilement de couches comprenant la succession des couches suivantes, à partir de la surface dudit substrat de verre : - une première couche comprenant au moins un matériau diélectrique, - une seconde couche comprenant du nitrure de titane, - une troisième couche comprenant au moins un matériau diélectrique, ladite couche comprenant du nitrure de titane étant déposée par pulvérisation cathodique magnétron en régime d’impulsions de haute puissance (HiPIMS). La présente invention concerne également un article verrier susceptible d’être obtenue par un tel procédé. Vitrage d’isolation thermique et/ou de protection solaire comprenant une couche de nitrure de titane déposée par HiPIMS La présente invention concerne des articles verriers, en particulier des vitrages, munis d'empilements de couches minces dits fonctionnels, c'est-à-dire agissant sur le rayonnement solaire et/ou thermique essentiellement par réflexion et/ou absorption du rayonnement infrarouge proche (solaire) ou lointain (thermique). L'application plus particulièrement visée par l'invention est en premier lieu le domaine du bâtiment, en tant que vitrage d’isolation thermique et/ou de protection solaire. Sans sortir du cadre de l’invention le présent vitrage peut également être utilisé dans les vitrages de véhicules, comme les verres latéraux, les toits-autos, les lunettes arrière s . Par « vitrage », on entend au sens de la présente invention tout article verrier constitué par un ou plusieurs substrats de verre, en particulier les simples vitrages, les doubles vitrages, les triples vitrages etc. On entend par couche « fonctionnelle » ou encore « active », au sens de la présente demande, les couches de l'empilement qui confèrent à l'empilement l'essentiel de ses propriétés d’isolation thermique et/ou de protection solaire. Le plus souvent les empilements en couches minces équipant un vitrage lui confèrent des propriétés sensiblement améliorées d’isolation très essentiellement par les propriétés intrinsèques desdites couches actives. Lesdites couches agissent sur le flux de rayonnement infrarouge thermique traversant ledit vitrage, par opposition aux autres couches, généralement en matériau diélectrique et ayant le plus souvent principalement pour fonction une protection chimique ou mécanique desdites couches fonctionnelles. Par « matériau diélectrique », on entend un matériau dont la forme massive et dénuée d’impuretés ou de dopants présente une forte résistivité, notamment une résistivité initialement supérieure à 10 ohms.mètres (Ω.m)à température ambiante (300K). De tels vitrages munis d’empilements de couches minces agissent sur le rayonnement IR incident soit essentiellement par l’absorption dudit rayonnement par la ou les couches fonctionnelles, soit essentiellement par la réflexion dudit rayonnement par ces mêmes couches. De tels vitrages sont commercialisés et utilisés essentiellement : - pour assurer une protection de l’habitation ou de l’habitacle (automobile) vis-à-vis du rayonnement solaire et en éviter une surchauffe, de tels vitrages étant qualifiés dans le métier d’antisolaire, et/ou - pour assurer une isolation thermique de l’habitation ou de l’habitacle et éviter les déperditions de chaleur, ces vitrages étant qualifiés de vitrages isolants. Par « antisolaire ou protection solaire », on entend ainsi au sens de la présente invention la faculté du vitrage de limiter le flux énergétique, en particulier le rayonnement Infrarouge solaire (IRS) le traversant depuis l’extérieur vers l’intérieur de l’habitation ou de l’habitacle. Par « isolant thermique ou vitrage isolant », on entend un vitrage muni d’au moins une couche fonctionnelle lui conférant une déperdition énergétique diminuée, ladite couche présentant des propriétés de réflexion du rayonnement IR compris entre 5 et 50 micromètres. Les couches fonctionnelles utilisées dans cette fonction présentent un coefficient de réflexion du rayonnement IR élevé et sont dites bas-émissives (ou low-e selon le terme anglais). Dans certains pays, les normes impliquent que les vitrages présentent des propriétés à la fois antisolaire et d’isolation thermique pour les vitrages de bâtiment. Par « bas émissif », on entend un vitrage muni d’au moins une couche fonctionnelle lui conférant une émissivité normale ε n (ou émissivité totale à incidence normale) inférieure à 50%, de préférence inférieure à 45% voire inférieure à 40%, l’émissivité étant définie par la relation : ε n = 1 - R n dans laquelle R n est le facteur de réflexion selon la normale (selon l’annexe A de la norme internationale ISO 10292 (1994) et selon la norme NF EN 12898 (2019)) du vitrage. La notion de vitrage bas émissifs est notamment décrite dans l’article de référence des Techniques De l’Ingénieur : « Vitrages à isolation thermique renforcée », C3635 (1999). D’une manière générale, toutes les caractéristiques énergétiques présentées dans la présente description sont obtenues selon les principes et méthodes décrits dans les normes internationales ISO 10292 (1994) et ISO 9050 (2003) et la norme NF EN410 (2011), se rapportant à la détermination des caractéristiques d’isolation énergétiques des vitrages utilisés dans le verre pour la construction. Ces revêtements sont de façon classique déposés par des techniques de dépôt du type CVD (dépôt chimique en phase vapeur) pour les plus simples ou le plus souvent à l’heure actuelle par des techniques de dépôt par pulvérisation cathodique sous vide, souvent appelé magnétron dans le domaine, notamment lorsque le revêtement est constitué d’un empilement complexe de couches successives dont les épaisseurs ne dépassent pas quelques nanomètres ou quelques dizaines de nanomètres. Les empilements les plus performants commercialisés à l’heure actuelle incorporent au moins une couche fonctionnelle métallique en argent fonctionnant essentiellement sur le mode de la réflexion d’une majeure partie du rayonnement IR (infrarouge) incident. Leur émissivité normale ne dépasse pas quelques pourcents. Ces empilements sont ainsi utilisés principalement en tant que vitrages du type bas émissifs (ou low-e en anglais) pour l’isolation thermique des bâtiments. Ces couches sont cependant sensibles à l’humidité et sont donc exclusivement utilisées dans des vitrages multiples (doubles ou triples vitrages), sur une (ou plusieurs) face(s) en regard d’une des cavités. Les empilements selon l’invention ne comprennent pas de telles couches en argent, ou encore de couches du type or ou platine ou alors en quantités très négligeables, notamment sous formes d’impuretés inévitables. D’autres couches métalliques à fonction antisolaire ont également été reportées dans le domaine, comprenant des couches fonctionnelles du type Nb, Ta ou W ou des nitrures de ces métaux, tel que décrit par exemple dans la demande WO01/21540. Au sein de telles couches, le rayonnement solaire est cette fois majoritairement absorbé de manière non sélective par la ou les couches fonctionnelles, c'est-à-dire que le rayonnement IR proche (appelé également IR solaire) (c'est-à-dire dont la longueur d’onde est comprise entre environ 780 nm et 2500 nm) et le rayonnement visible (dont la longueur d’onde est compris entre environ et 380 et 780 nm) sont absorbés/réfléchis sans distinction. Dans de tels vitrages, les valeurs de l’émissivité normale ε n sont en général plus élevées. Des valeurs d’émissivité plus faibles peuvent uniquement être obtenues lorsque la couche fonctionnelle est relativement épaisse, en particulier d’au moins 20 nm pour le niobium métallique. En outre, en raison de l’absorption non sélective de cette même couche, les coefficients de transmission lumineuse de tels vitrages sont nécessairement très faibles, généralement inférieurs à 30%. Finalement, au vu de telles caractéristiques, il n’apparait pas possible d’obtenir à partir de tels empilements des vitrages combinant des émissivités normales relativement basses, typiquement inférieures à 50%, et notamment de l’ordre de 40% ou même 35%, tout en conservant une transmission lumineuse suffisamment élevée, c’est à dire typiquement supérieure à 30%. Les caractéristiques lumineuses et en particulier la transmission lumineuse sont mesurées selon la présente invention selon les principes décrits dans la norme NF EN410 (2011). Dans d’autres publications, il a été proposé d’utiliser comme couche fonctionnelle un matériau à base de nitrure de titane (TiN), qui présente également des propriétés bas-émissives et sont moins sujettes à la corrosion que les couches à base d’argent. On peut notamment citer les publications DE102014114330, DE102013112990 ou encore JPH05124839. L’objet de la présente invention porte sur des vitrages d’isolation thermique et/ou de protection solaire incorporant des empilements comprenant de telles couches et vise plus particulièrement à améliorer les propriétés de celles-ci, et plus particulièrement les propriétés combinées de forte transmission lumineuse et de faible émissivité de tels vitrages. Le but de la présente invention est ainsi de fournir des articles verriers, en particuliers des vitrages comprenant un empilement de couches leur conférant une propriété d’isolation thermique et/ou de protection solaire telles que précédemment décrites, tout en présentant une transmission lumineuse T L typiquement supérieure à 30%, de préférence supérieure ou égale à 40%, ou même supérieure ou égale à 50%, et une émissivité normale ε n faible c'est-à-dire inférieure à 50%, voire inférieure à 45% ou même inférieure à 40%, ledit empilement étant durable dans le temps, notamment lorsqu’il est directement disposé sur une face du vitrage exposé vers l’intérieur ou même l’extérieur du bâtiment ou de l’habitacle, sans précaution particulière. Au sens de la présente invention, il est donc recherché des articles verriers présentant le plus grand rapport T L /ε n , c’est-à-dire une émissivité normale (ε n ) la plus faible possible avec une transmission lumineuse (T L ) la plus élevée possible. Un article verrier ou vitrage au sens de la présente invention laisse donc passer une majeure partie de lumière dans le domaine du visible tout en réfléchissant une part importante du rayonnement IR compris entre 5 et 50 microns, et notamment après un traitement thermique tel qu’une trempe, un bombage, un recuit etc... Ainsi, la présente invention permet l’obtention de vitrages antisolaires capables de subir un traitement thermique tel qu’une trempe, un bombage, un recuit, ou plus généralement un traitement thermique à des températures supérieures à 500°C, ledit traitement permettant notamment d’améliorer les propriétés optiques et énergétiques de ceux-ci, et notamment d’augmenter davantage leur rapport T L /ε n . Un article verrier ou vitrage selon l’invention permet également de sélectionner le rayonnement le traversant, en favorisant plutôt la transmission des ondes lumineuses, c'est-à-dire dont la longueur d’onde est comprise entre environ 380 et 780 nm et en limitant la traversée du rayonnement infrarouge, dont la longueur d’onde est supérieure à 780 nm. Selon l’invention, il devient ainsi possible de maintenir une forte illumination de la pièce ou de l’habitacle protégé par le vitrage, tout en minimisant la quantité de chaleur y entrant. Selon un autre aspect, le vitrage selon la présente invention présente également des propriétés d’isolation thermique grâce aux propriétés bas-émissives de la couche utilisée, permettant de limiter les échanges de chaleur entre l’intérieur et l’extérieur du bâtiment. Selon un autre avantage de la présente invention, les vitrages munis des empilements selon l’invention sont simples à produire, par rapport à d’autres vitrages connus à propriétés antisolaires, notamment ceux comprenant un empilement à base d’argent. En outre, ils sont résistants à l’humidité, à la rayure et aux attaques acides. En particulier, les vitrages selon l’invention présentent une longévité améliorée, dans le sens où leurs propriétés initiales d’isolation thermique ou solaire ne varient que très faiblement sous les agressions chimiques auxquelles ils sont soumis au cours de leur utilisation prévue. Ils peuvent ainsi être avantageusement utilisés en tant que vitrage simple (un seul substrat verrier), ou en vitrage multiple, par exemple double vitrage ou encore en vitrage laminé ou feuilleté ; l’empilement étant préférentiellement tourné vers la face interne du bâtiment ou de l’habitacle à protéger. Pour obtenir de tels articles verriers ou vitrages, les inventeurs ont mis en œuvre le procédé de fabrication suivant, objet de la présente invention. Ainsi, la présente invention se rapporte à un procédé de fabrication d’un article verrier comprenant au moins un substrat de verre sur lequel est déposé un empilement de couches, ledit empilement de couches comprenant la succession des couches suivantes, à partir de la surface dudit substrat de verre : - une première couche comprenant au moins un matériau diélectrique, - une seconde couche comprenant du nitrure de titane, - une troisième couche comprenant au moins un matériau diélectrique, ladite couche comprenant du nitrure de titane étant déposée par pulvérisation cathodique magnétron en régime d’impulsions de haute puissance (HiPIMS). Les inventeurs ont constaté de manière surprenante que l’utilisation de la pulvérisation cathodique magnétron en régime d’impulsions de haute puissance pour le dépôt de la seconde couche comprenant du nitrure de titane dans l’empilement spécifique décrit ci-dessus permettait l’obtention d’articles verriers présentant des rapports transmission lumineuse/émissivité normale « T L /ε n » élevés, avant et en particulier après traitement thermique, pour une large gamme d'épaisseurs de la couche comprenant du nitrure de titane et en particulier des rapports T L /ε n supérieurs à 2 pour une gamme d’épaisseurs allant notamment de 20 nm à 50 nm, de préférence de 22 nm à 42 nm, sans avoir besoin d'insérer la couche comprenant du nitrure de titane dans un empilement complexe et coûteux, autrement dit sans avoir besoin de couches supplémentaires, comme par exemple des couches comprenant de l’oxyde de silicium ou de l’oxyde d’indium et d’étain. De préférence, l’empilement de couches ne contient pas de couche comprenant de l’argent, du platine, de l’or ou du cuivre. De manière préférée, les trois couches de l’empilement sont déposées successivement et au contact les unes et des autres. De manière encore plus préférée, la première couche comprenant un matériau diélectrique est de préférence déposée directement sur le substrat de verre. Le substrat de verre sur lequel est déposé un empilement de couches, selon l’invention, est de préférence en verre clair. Sans sortir du cadre de l’invention, il peut également être envisagé de déposer l’empilement sur un substrat en verre teinté ou coloré dans sa masse. Par coloré dans sa masse, on entend que le substrat comprend dans sa composition de verre des éléments visant à lui conférer une coloration (c’est-à-dire différente de celle d’un verre dit « clair »), notamment des éléments tels que le cobalt, le fer, le sélénium, voire le chrome, qui peuvent également viser à en diminuer la transmission lumineuse. Le substrat de verre muni dudit empilement peut subir un traitement thermique après le dépôt dudit empilement, notamment il peut être trempé, recuit ou bombé. Dans un mode de réalisation préféré, l’empilement de couches ne comprend pas, au-dessus de la troisième couche diélectrique, une sur-couche comprenant au moins un matériau diélectrique présentant un indice de réfraction à 550 nm inférieur ou égal à 1,6, de préférence inférieur ou égale 1,5. Dans un autre mode de réalisation préféré, toutes les couches comprenant un matériau diélectrique présentent un indice de réfraction à 550 nm supérieur à 1,6, de préférence un indice de réfraction à 550 nm compris entre 1,8 et 2,5, et encore plus préférentiellement compris entre 1,9 et 2,4. Ainsi, avantageusement l’empilement de couches comprend en outre une sur-couche, placée au-dessus de la troisième couche diélectrique, qui comprend au moins un matériau diélectrique choisi parmi le dioxyde de titane, le dioxyde de zirconium et leurs mélanges, le dioxyde d’étain, l’oxyde de zinc et leurs mélanges, et le nitrure de silicium, le nitrure d’aluminium, le nitrure de zirconium et leurs mélanges ; ladite sur-couche étant placée au-dessus de la troisième couche diélectrique. Par le terme « sur-couche », il est fait référence dans la présente demande à la position respective desdites couches par rapport à la ou les couches fonctionnelles dans l’empilement, ledit empilement étant supporté par le substrat de verre. En particulier, la surcouche est la couche la plus externe de l’empilement, tournée à l’opposé du substrat. Dans la présente demande, on entend par « couche diélectrique » : une couche comprenant au moins un matériau diélectrique. Le ou les matériaux diélectriques de la première couche et de la troisième couche sont de préférence un nitrure d’au moins un élément Si ou Al, en particulier le nitrure de silicium comprenant éventuellement au moins un élément choisi parmi Al, Zr, B ou le nitrure d’aluminium comprenant éventuellement au moins un élément choisi parmi Si, Zr, B, un oxyde d’étain, un oxyde mixte de zinc ou d’étain ou un oxyde de titane. Encore plus préférentiellement, le matériau diélectrique de la première couche et de la troisième couche est le nitrure de silicium comprenant éventuellement au moins un élément choisi parmi Al, Zr, B. La première couche comprenant au moins un matériau diélectrique, selon l’invention, peut présenter une épaisseur comprise entre 5 nm et 80 nm, de préférence une épaisseur comprise entre 10 nm et 70 nm, plus préférentiellement une épaisseur comprise entre 20 nm et 60 nm et la troisième couche comprenant au moins un matériau diélectrique peut présenter une épaisseur comprise entre 10 nm et 80 nm, de préférence une épaisseur comprise entre 15 nm et 70 nm, plus préférentiellement une épaisseur comprise entre 20 nm et 60 nm. Les couches comprenant au moins un matériau diélectrique, selon l’invention, peuvent être déposées par des techniques de dépôt du type pulvérisation sous vide assistée par champ magnétique d’une cathode du matériau ou d’un précurseur du matériau à déposer, souvent appelée technique de la pulvérisation cathodique magnétron dans le domaine. Une telle technique est aujourd’hui classiquement utilisée, notamment lorsque le revêtement à déposer est constitué d’un empilement de couches successives d’épaisseurs de quelques nanomètres ou quelques dizaines de nanomètres. Cette technique de dépôt de couches permet d’éviter les problèmes existants avec les autres techniques de dépôt (tel que le dépôt par CVD). La seconde couche de l’empilement selon l’invention comprenant du nitrure de titane, comprend de préférence au moins 50% poids de nitrure de titane, voire plus de 60% poids de nitrure de titane, ou même plus de 80% poids, ou même plus de 90% poids de nitrure de titane. De préférence, la couche comprenant du nitrure de titane est constituée essentiellement de nitrure de titane. Le nitrure de titane selon l’invention n’est pas nécessairement stœchiométrique (ratio atomique Ti/N de 1) mais peut être sur- ou sous-stœchiométrique. Selon un mode avantageux, le ratio N/Ti est compris entre 0,8 et 1,2, et encore plus avantageusement entre 0,9 et 1,1. De préférence, le nitrure de titane est dit « pur », autrement dit le nitrure de titane comprend moins de 5% molaire d’impuretés. La seconde couche comprenant du nitrure de titane est déposée, selon le procédé de l’invention, par pulvérisation cathodique magnétron en régime d’impulsions de haute puissance, couramment abrégée par « HiPIMS » de l’anglais « High Power Impulse Magnetron Sputtering ». Le HiPIMS est une technique de pulvérisation magnétron connue de l'homme du métier avec une alimentation modulée en impulsions pour la cathode magnétron qui est couramment utilisée pour améliorer les propriétés mécaniques (dureté, friction) de couches de TiN épaisses, de l’ordre du micron. Par conséquent, il n’était pas évident que son utilisation permette de baisser l’émissivité normale (ε n ) de couches de TiN minces (d’épaisseur inférieure ou égale à 60 nm), tout en assurant une transmission lumineuse élevée, comme cela est le cas dans la présente invention. En particulier, le HiPIMS consiste, à concentrer le courant en impulsions de haute intensité de quelques dizaines à quelques centaines de microsecondes, qui sont appliquées à la cathode à des fréquences comprises entre quelques Hz et plusieurs kHz. Le HiPIMS, selon l’invention, est réalisé de préférence avec les paramètres suivants: - une puissance de pic comprise entre 100 kW et 1500 kW, de préférence comprise entre 300 kW et 1000 kW, - une durée de l’impulsion comprise entre 10 µs et 1000 µs, de préférence entre 50 µs et 600 µs, - une fréquence de l’impulsion comprise entre 50 Hz et 2000 Hz, de préférence entre 70 Hz et 1000 Hz, un courant de pic compris entre 50 A et 1500 A, de préférence entre 200 A et 1000 A, et - un cycle de service inférieur à 15%, de préférence inférieur à 12%, et plus préférentiellement sur un cycle de service compris entre 2% et 10%. Dans la présente demande, on entend par « cycle de service » : le rapport entre la durée pendant laquelle la cathode est soumise à des impulsions de courant et la durée totale du procédé de dépôt de la couche de TiN. Par exemple, pour une durée d’une seconde avec des impulsions de 100 µs imposées à une fréquence de 200Hz, cela fait une durée totale d’impulsion de 10 -4 s × 200 = 0,02 s soit 2% une fois rapporté à une durée d’une seconde. Un cycle de service relativement faible selon l’invention permet des impulsions de haute intensité et donc une grande fraction d’atomes ionisés. Ainsi, le dépôt de la seconde couche comprenant du nitrure de titane peut être réalisé à l’aide d’une cible de Ti métallique qui est empoisonnée par un gaz réactif, tel que l’azote N 2 , dilué dans un gaz inerte, tel que l’argon Ar. Avantageusement, la seconde couche comprenant du nitrure de titane est déposée à une pression inférieure à 8.10 -3 mbar, de préférence inférieure à 5.10 -3 mbar, plus préférentiellement à une pression comprise entre 1.10 -3 mbar et 3.10 -3 mbar dans une enceinte sous vide. Cette faible pression permet d’obtenir un rapport T L /ε n , tel que défini précédemment, plus élevé. Par ailleurs, les inventeurs ont remarqué que le meilleur compromis pour avoir un T L /ε n élevé et une vitesse de dépôt de la couche comprenant du nitrure de titane optimum, était de maintenir un courant de pic compris entre 50 A et 1500 A, de préférence entre 200 A et 1000 A. En outre, afin de permettre une comparaison des paramètres utilisés à différentes échelles, une normalisation à la surface active de la cible (S) peut être effectuée. On appelle « surface active de la cible » dans la présente demande, la surface de la cible qui est effectivement pulvérisée pour assurer le dépôt de la couche comprenant du nitrure de titane, cette surface correspondant à 1/3 de la surface totale de la cible pour n’importe quels types de cibles, notamment pour une cible rotative ou une cible planaire. Ainsi, pour une cible industrielle de 3 mètres de long, en particulier sous la forme d’un tube (cathode rotative), cela se traduit par une surface de cible active S = 0,33 × diamètre de la cible × longueur de la cible, soit environ 1733 cm². Il en résulte une densité surfacique de courant de pic comprise entre 0,05 A/cm 2 et 2,0 A/cm 2 , de préférence entre 0,2 A/cm 2 et 1,0 A/cm 2 , et plus préférentiellement entre 0,3 A/cm 2 et 0,5 A/cm 2 . Les puissances de pic peuvent également être normalisées à la surface active de la cible pour obtenir des densités surfaciques. Ainsi, une densité surfacique de puissance de pic comprise entre 0,01 kW/cm 2 et 1,0 kW/cm 2 , de préférence entre 0,05 kW/cm 2 et 0,5 kW/cm 2 , et plus préférentiellement entre 0,1 kW/cm 2 et 0,3 kW/cm 2 , peut être atteinte. De préférence, l’épaisseur de la couche comprenant du nitrure de titane est comprise entre 7 nm et 60 nm, en particulier comprise entre 20 nm et 50 nm, et tout particulièrement comprise entre 22 nm et 42 nm. En effet, les inventeurs ont démontré qu’il était possible de diminuer l’émissivité d’un article verrier comprenant un empilement ayant une couche à base de nitrure de titane, tout en maintenant une transmission lumineuse élevée, sans augmenter de manière conséquente l’épaisseur de ladite couche comprenant du nitrure de titane, et ceci en déposant ladite couche comprenant du nitrure de titane par pulvérisation cathodique magnétron en régime d’impulsions de haute puissance (HiPIMS). Dans un autre mode de réalisation de l’invention, l’empilement de couches de l’article verrier incorpore en outre au-dessus de la troisième couche comprenant au moins un matériau diélectrique une quatrième couche comprenant du nitrure de titane, et de préférence une cinquième couche comprenant un matériau diélectrique. Dans ce mode de réalisation, la quatrième couche comprenant du nitrure de titane peut être déposée ou non par HiPIMS. Les couches fonctionnelles selon l’invention comprennent donc du nitrure de titane et de préférence elles sont constituées essentiellement de nitrure de titane. Dans un mode de réalisation plus avantageux, l’empilement de couches de l’article verrier comprend une seule et unique couche fonctionnelle comprenant du nitrure de titane. La présente demande a également pour objet un article verrier susceptible d’être obtenu par le procédé tel que décrit ci-dessus, ledit article verrier comprenant au moins un substrat de verre sur lequel est déposé un empilement de couches, et ledit empilement de couches comprenant la succession des couches suivantes, à partir de la surface dudit substrat de verre : - une première couche comprenant au moins un matériau diélectrique, - une seconde couche comprenant du nitrure de titane déposée par HiPIMS, et - une troisième couche comprenant au moins un matériau diélectrique. Selon une première variante de l’invention, l’épaisseur de la seconde couche comprenant du nitrure de titane de l’article verrier est comprise entre 7 et 10 nm et le rapport transmission lumineuse/émissivité normale (T L /ε n ) dudit article verrier est compris entre 1,30 et 1,70. Selon une deuxième variante, l’épaisseur de la seconde couche comprenant du nitrure de titane de l’article verrier est comprise entre 10 et 15 nm et le rapport transmission lumineuse/émissivité normale dudit article verrier est compris entre 1,40 et 2,10. Selon une troisième variante, l’épaisseur de la seconde couche comprenant du nitrure de titane de l’article verrier est comprise entre 15 et 22 nm et le rapport transmission lumineuse/émissivité normale dudit article verrier est compris entre 1,70 et 2,90. Selon une quatrième variante, l’épaisseur de la seconde couche comprenant du nitrure de titane de l’article verrier est comprise entre 22 et 40 nm et le rapport transmission lumineuse/émissivité normale dudit article verrier est compris entre 2,20 et 3,30. Les articles verriers obtenus par le procédé tel que décrit précédemment présentent un rapport T L /ε n élevé et ont par conséquent comme avantage de laisser passer une majeure partie de lumière dans le domaine du visible (dont la longueur d’onde est comprise entre environ 380 nm et 780 nm) tout en réfléchissant une part importante du rayonnement IR compris entre 5 et 50 microns, et notamment après un traitement thermique. En particulier, les articles verriers selon l’invention sont durables dans le temps, dans le sens où leurs propriétés initiales, notamment leurs propriétés d’isolation thermique ou solaire ne varient que très faiblement sous les agressions chimiques, telle que la corrosion, ou sous les agressions mécaniques auxquelles ils sont soumis au cours de leur utilisation prévue. Ils peuvent ainsi être avantageusement utilisés en tant que vitrage simple ou monolithique (un seul substrat de verre), ou en vitrage multiple, par exemple double vitrage ou encore en vitrage laminé ou feuilleté. Selon une première alternative, l’article verrier est un vitrage ne comprenant qu’un seul substrat de verre (dit vitrage simple ou monolithique) et l’empilement de couches est disposé sur la face interne du substrat de verre, face dirigée vers l’intérieur du bâtiment ou du véhicule (nommée communément « face 2 »). Selon une seconde alternative, ledit article est un vitrage feuilleté constitué par un ensemble d’au moins deux substrats verriers liés entre eux par un feuillet thermoplastique, notamment de polyvinyl butyral (PVB), ledit vitrage étant muni d’un empilement de couches tel que décrit précédemment. Dans ce cas, l’empilement est de préférence déposé sur la face intérieure du vitrage feuilleté, c’est en dire en face 4 du vitrage, les faces étant numérotées conventionnellement de 1 à 4 depuis l’extérieur vers l’intérieur du vitrage. Selon une troisième alternative, ledit article est un double vitrage qui est constitué de deux panneaux de verre séparés par une lame de gaz, ledit empilement étant disposé de préférence sur au moins une face d’un des panneaux de verre tournés vers l’intérieur dudit double vitrage, autrement dit en « face 2 » ou « face 3 » du double vitrage. Selon une quatrième alternative, ledit article est un ensemble d’un vitrage composite constitué d’un vitrage feuilleté, tel que décrit précédemment, compris dans une structure du type double vitrage, tel que décrit précédemment. En outre, l’article verrier selon l’invention, comprend un empilement de couches capable de subir un traitement thermique tel qu’une trempe, un bombage, un recuit, ou plus généralement un traitement thermique à des températures comprises entre 600°C et 750°C, de préférence entre 650°C et 720°C, sans perte de ses propriétés optiques et thermiques. L’article verrier, selon l’invention, peut être ainsi trempé thermiquement et/ou bombé, après le dépôt de l’empilement selon l’invention. Par « épaisseur d’une couche », on entend au sens de la présente invention l’épaisseur géométrique réelle de la couche, telle qu’elle peut être mesurée notamment par les techniques classiques de microscopie électronique ou autre. Exemples L'invention et ses avantages sont décrits avec plus de détails, ci-après, au moyen des exemples non limitatifs ci-dessous selon l’invention. Dans tous les exemples et la description, à moins qu’autrement spécifié, les épaisseurs données sont géométriques. Dans les exemples suivants, plusieurs articles verriers, tels que des vitrages monolithiques, sont fabriqués en utilisant un substrat en verre silico-sodo-calcique clair d’une épaisseur de 4 mm de type Planiclear® (commercialisé par la société Saint-Gobain Glass France) sur lequel est déposé un empilement de couches, ledit empilement comprenant la succession des couches suivantes à partir dudit substrat de verre clair : - une première couche comprenant du nitrure de silicium, notée Si 3 N 4 , présentant une épaisseur supérieure à 35 nm, - une seconde couche comprenant du nitrure de titane, notée TiN, présentant respectivement différentes épaisseurs : soit 7 nm, 10 nm, 15 nm, 20 nm, 25 nm, 30 nm ou 40 nm, et - une troisième couche comprenant du nitrure de silicium, notée Si 3 N 4 , présentant une épaisseur supérieure à 35 nm. Ainsi chaque article verrier est formé d’un substrat de verre, sur lequel est déposé un empilement de couches comme suit : « Si 3 N 4 / TiN (épaisseur de 7nm, ou 10 nm, ou 15 nm, ou 20 nm, ou 25 nm, ou 30 nm, ou 40 nm) / Si 3 N 4 ». Il est à noter que dans les exemples suivants les épaisseurs des deux couches diélectriques Si 3 N 4 sont optimisées pour chaque empilement afin de maximiser la transmission lumineuse. Dans les exemples comparatifs (hors invention), la seconde couche comprenant du TiN dans chacun des empilements est déposée par pulvérisation magnétron conventionnel en régime continu (couramment abrégée par « DCMS », de l’anglais « Direct Current Magnetron Sputtering »). Dans les exemples selon l’invention, la seconde couche comprenant du TiN dans chacun des empilements est déposée par pulvérisation cathodique magnétron en régime d’impulsions de haute puissance, (couramment abrégée par « HiPIMS » de l’anglais « High Power Impulse Magnetron Sputtering » ). Toutes les couches selon les exemples sont donc déposées par pulvérisation cathodique assistée par champ magnétique (souvent appelé par magnétron), sur un substrat de verre. Les différentes couches successives sont déposées dans des compartiments dédiés successifs du dispositif de pulvérisation cathodique, chaque compartiment étant muni d’une cible métallique spécifique en Si ou Ti, dans des conditions choisies pour le dépôt de chaque couche spécifique de l’empilement. Plus précisément, pour chacun des empilements, la première et la troisième couche à base de nitrure de silicium sont déposées dans des compartiments du dispositif à partir d’une cible de silicium métallique (dopée avec 8% en poids d'aluminium), dans une atmosphère réactive contenant de l’argon et de l'azote (32% d’Ar et 68% de N 2 en volume), à une pression de dépôt de 2,66.10 -3 mbar. Ces couches en nitrure de silicium contiennent donc également un peu d’aluminium, et sont notées Si 3 N 4 par commodité. Puis, pour chacun des empilements, la seconde couche à base de nitrure de titane est déposée dans d’autres compartiments du dispositif à partir d’une cible de titane pur métallique dans une atmosphère réactive contenant de l'azote et de l’argon. Les conditions de dépôt de cette couche comprenant du nitrure de titane sont résumées dans le tableau 1, selon que ladite couche est déposée par pulvérisation magnétron conventionnel en régime continu (DCMS) (selon les exemples comparatifs), ou par pulvérisation cathodique magnétron en régime d’impulsions de haute puissance, (HiPIMS) (selon les exemples selon l’invention). A-Mesure des caractéristiques des articles verriers qui sont des vitrages monolithiques Les caractéristiques thermiques et optiques des vitrages avant et après traitement thermique ont été mesurées selon les principes et normes suivants : 1°) Propriétés optiques : Les mesures sont effectuées conformément à la norme NF EN410 (2011) citée précédemment. Plus précisément, la transmission lumineuse T L est mesurée entre 380 et 780 nm selon l’illuminant D 65 2°) Propriétés thermiques : L’émissivité à incidence normale ε n a été mesurée selon la norme ISO 10292 (1994) ou la norme NF EN 12898 (2019) mentionnées précédemment. B-Résultats Les résultats obtenus pour les vitrages monolithiques selon les exemples décrits précédemment sont regroupés dans le tableau 2 qui suit : Les résultats reportés dans ce tableau montrent que chacun des vitrages, obtenus selon l’invention, c’est-à-dire pour lesquels la couche comprenant du nitrure de titane est déposée par HiPIMS chacun desdits vitrages présente un rapport T L /ε n plus élevé en comparaison des vitrages pour lesquels la couche comprenant du nitrure de titane est déposée par DCMS. En particulier, on peut remarquer qu’un rapport T L /ε n égal ou supérieur à 2 est obtenu pour les vitrages dont la couche comprenant du nitrure de titane déposée par HiPIMS présente une épaisseur allant de 20 nm à 40 nm. Tous les vitrages ci-dessus sont ensuite soumis à un traitement thermique à 650°C pendant 10 minutes. Les résultats obtenus sont regroupés dans le tableau 3 qui suit : Ces essais ont montré de la même manière un rapport T L /ε n plus élevé pour les vitrages, obtenus selon l’invention, c’est-à-dire pour lesquels la couche comprenant du nitrure de titane a été déposée par HiPIMS, comparé au rapport T L /ε n des vitrages pour lesquels la couche comprenant du nitrure de titane a été déposée par DCMS. Procédé de fabrication d’un article verrier comprenant au moins un substrat de verre sur lequel est déposé un empilement de couches, ledit empilement de couches comprenant la succession des couches suivantes, à partir de la surface dudit substrat de verre : - une première couche comprenant au moins un matériau diélectrique, - une seconde couche comprenant du nitrure de titane, - une troisième couche comprenant au moins un matériau diélectrique, ladite couche comprenant du nitrure de titane étant déposée par pulvérisation cathodique magnétron en régime d’impulsions de haute puissance (HiPIMS). Procédé de fabrication d’un article verrier selon la revendication 1, dans lequel l’empilement de couches ne comprend pas une sur-couche comprenant au moins un matériau diélectrique présentant un indice de réfraction à 550 nm inférieur ou égal à 1,6 ; ladite sur-couche étant placée au-dessus de la troisième couche diélectrique. Procédé de fabrication d’un article verrier selon la revendication 1, dans lequel toutes les couches comprenant un matériau diélectrique présentent un indice de réfraction à 550 nm supérieur à 1,6. Procédé de fabrication d’un article verrier selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l’empilement de couches comprend en outre une sur-couche comprenant au moins un matériau diélectrique choisi parmi le dioxyde de titane, le dioxyde de zirconium et leurs mélanges, le dioxyde d’étain, l’oxyde de zinc et leurs mélanges, et le nitrure de silicium, le nitrure d’aluminium, le nitrure de zirconium et leurs mélanges ; ladite surcouche étant placée au-dessus de la troisième couche diélectrique. Procédé de fabrication d’un article verrier selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la seconde couche comprenant du nitrure de titane présente une épaisseur comprise entre 7 nm et 60 nm, en particulier une épaisseur comprise entre 20 nm et 50 nm, et tout particulièrement comprise entre 22 nm et 42 nm. Procédé de fabrication d’un article verrier selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le ou les matériaux diélectriques de la première couche et de la troisième couche sont un nitrure d’au moins un élément Si ou Al, en particulier le nitrure de silicium comprenant éventuellement au moins un élément choisi parmi Al, Zr, B ou le nitrure d’aluminium comprenant éventuellement au moins un élément choisi parmi Si, Zr, B, un oxyde d’étain, un oxyde mixte de zinc ou d’étain ou un oxyde de titane. Procédé de fabrication d’un article verrier selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la première couche comprenant au moins un matériau diélectrique présente une épaisseur comprise entre 5 nm et 80 nm et la troisième couche comprenant au moins un matériau diélectrique présente une épaisseur comprise entre 10 nm et 80 nm. Procédé de fabrication d’un article verrier selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la seconde couche comprenant du nitrure de titane est déposée à une pression inférieure à 8.10 -3 mbar, de préférence inférieure à 5.10 -3 mbar, dans une enceinte sous vide. Procédé de fabrication d’un article verrier selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l’empilement de couches incorpore en outre au-dessus de la troisième couche comprenant au moins un matériau diélectrique une quatrième couche comprenant du nitrure de titane, et de préférence une cinquième couche comprenant au moins un matériau diélectrique. Procédé de fabrication d’un article verrier selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la pulvérisation cathodique magnétron en régime d’impulsions de haute puissance (HiPIMS) est caractérisé par un cycle de service inférieur à 15%, de préférence inférieur à 12%, et plus préférentiellement compris entre 2% et 10%. Procédé de fabrication d’un article verrier selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la pulvérisation cathodique magnétron en régime d’impulsions de haute puissance (HiPIMS) est réalisée avec une densité surfacique de courant de pic comprise entre 0,05 A/cm 2 et 2,0 A/cm 2 , de préférence entre 0,2 A/cm 2 et 1,0 A/cm 2 , et plus préférentiellement entre 0,3 A/cm 2 et 0,5 A/cm 2 . Procédé de fabrication d’un article verrier selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la pulvérisation cathodique magnétron en régime d’impulsions de haute puissance (HiPIMS) est réalisée avec une densité surfacique de puissance de pic comprise entre 0,01 kW/cm 2 et 1,0 kW/cm 2 , de préférence entre 0,05 kW/cm 2 et 0,5 kW/cm 2 , et plus préférentiellement entre 0,1 kW/cm 2 et 0,3 kW/cm 2 . Article verrier obtenu par le procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 12 comprenant au moins un substrat de verre sur lequel est déposé un empilement de couches, ledit empilement de couches comprenant la succession des couches suivantes, à partir de la surface dudit substrat de verre : - une première couche comprenant au moins un matériau diélectrique, - une seconde couche comprenant du nitrure de titane, et - une troisième couche comprenant au moins un matériau diélectrique. Article verrier selon la revendication 13, dans lequel l’épaisseur de la seconde couche comprenant du nitrure de titane est comprise entre 7 et 10 nm et dans lequel le rapport transmission lumineuse/émissivité normale est compris entre 1,30 et 1,70. Article verrier selon la revendication 13, dans lequel l’épaisseur de la seconde couche comprenant du nitrure de titane est comprise entre 10 et 15 nm et dans lequel le rapport transmission lumineuse/émissivité normale est compris entre 1,40 et 2,10. Article verrier selon la revendication 13, dans lequel l’épaisseur de la seconde couche comprenant du nitrure de titane est comprise entre 15 et 22 nm et dans lequel le rapport transmission lumineuse/émissivité normale est compris entre 1,70 et 2,90. Article verrier selon la revendication 13, dans lequel l’épaisseur de la seconde couche comprenant du nitrure de titane est comprise entre 22 et 42 nm et dans lequel le rapport transmission lumineuse/émissivité normale est compris entre 2,20 et 3,30.