Brevet FR3145600A1 — publié le 20240809

L’invention concerne une installation et un procédé de réfrigération cryogénique comprenant une enceinte (2) délimitant un volume étanche et abritant au moins deux plateaux (4, 5, 6, 7) conducteurs thermiques formant des étages thermiques, au moins un des plateaux (4, 5, 6, 7) étant relié à un écran (14, 15, 16, 17) thermique formant un volume d’isolation thermique, l’installation (1) comprenant un ensemble de plaque(s) (24, 25, 26, 27) support montées sur les plateaux (4, 5, 6, 7) et formant un support pour un ensemble de câble(s) (30) et/ou échantillons à refroidir, l’installation (1) comprenant un système de refroidissement à température cryogénique configuré pour refroidir au moins une partie des plateaux (4, 5, 6, 7) et/ou plaque(s) (24, 25, 26, 27) support, le système de refroidissement à température cryogénique comprenant un réfrigérateur (70) comprenant un fluide de cycle cryogénique et un circuit (20) de refroidissement assurant une circulation et une mise en échange thermique du fluide de cycle au niveau d’au moins une partie de la périphérie d’au moins une plaque (24, 25, 26, 27) support. Figure d’abrégé : Fig. 1 Installation et procédé de réfrigération L’invention concerne une installation et un procédé de réfrigération. L’invention concerne plus particulièrement une installation de réfrigération cryogénique comprenant une enceinte délimitant un volume étanche sous vide refermé par un couvercle, l’enceinte abritant au moins deux plateaux conducteurs thermiques répartis selon une direction de répartition dans l’enceinte et formant des étages thermiques, au moins un des plateaux étant relié à un écran thermique formant un volume d’isolation thermique, l’installation comprenant un ensemble de plaque(s) support montées sur les plateaux et formant un support pour un ensemble de câble(s) et/ou échantillons à refroidir, l’installation comprenant un système de refroidissement à température cryogénique configuré pour refroidir au moins une partie des plateaux et/ou plaque(s) support, le système de refroidissement à température cryogénique comprenant un réfrigérateur comprenant un fluide de cycle cryogénique. L’invention concerne un dispositif de réfrigération permettant de refroidir des éléments à une température cryogénique inférieure à 100K et notamment inférieure à 50K et/ou inférieure à 4K. En particulier, l’invention concerne les dispositifs de réfrigération qui permettent de refroidir à des températures très basses, de l’ordre du millikelvin (« réfrigération subKelvin »). Ces températures très basses sont classiquement obtenues via un réfrigérateur à dilution ou un refroidisseur cryogénique de type Joule Thomson à He4 ou à He3. Dans ces dispositifs, il est nécessaire d’apporter une puissance froide jusqu’à une température de par exemple 4K à un ou plusieurs étages de réfrigération. Une installation de ce type doit pouvoir être refroidie rapidement lors de sa mise en marche. De plus, la surface expérimentale disponible pour les échantillons ou câbles à refroidir doit être optimisée. Les réfrigérateurs à dilution ont besoin d’un apport de puissance froide à une température inférieure au moins jusqu’à 4.2K pour fonctionner. Cette puissance froide est fournie généralement à partir de tubes à gaz pulsé (réfrigérateurs à dilution « secs »), soit via un bain d’hélium liquide (réfrigérateurs à dilution « humides »). Dans les applications « Qbits » la puissance froide doit être augmentée. Augmenter le nombre de tubes à gaz pulsé limite la surface expérimentale disponible pour intégrer des Qbits. Ainsi, cette solution ne permet cependant pas de fournir une puissance froide très importante au niveau des échantillons à refroidir et génère en outre des vibrations. De plus, l’augmentation de la puissance à extraire peut être freinée par les résistances thermiques de contact des plateaux. Pour les réfrigérateurs à dilution de grandes puissances, un des besoins critiques est de pré-refroidir plusieurs milliers de câbles ou échantillons. Cette puissance froide peut être installée dans la partie centrale du plateau pour refroidir les échantillons ou câbles au bord du plateau. L’augmentation des distances entre un point froid ponctuel qui apporte la puissance froide (tube à gaz pulsé) et l’échantillon à refroidir fait face à des résistances thermiques significatives (conduction dans le plateau de grande taille et résistances de contact intermédiaires). Ceci est une raison de la perte d’efficacité thermique. Ainsi, l’augmentation de la puissance ne permet pas forcément un refroidissement efficace. Un but de la présente invention est de pallier tout ou partie des inconvénients de l’art antérieur relevés ci-dessus. A cette fin, l’installation selon l'invention, par ailleurs conforme à la définition générique qu’en donne le préambule ci-dessus, est essentiellement caractérisée en ce que le circuit de refroidissement assure une circulation et une mise en échange thermique du fluide de cycle au niveau d’au moins une partie de la périphérie d’au moins une plaque support. L’échange de chaleur est réalisé au plus près et de préférence via un contact avec la plaque support. La puissance froide est distribuée au niveau des plaques (sur le pourtour), par exemple à une distance comprise entre zéro et 50cm et de préférence zéro et 2cm de la plaque. La surface de contact peut être maximisée et la puissance de refroidissement est apportée au plus près du besoin. Ceci permet d’éviter les problèmes induits par plusieurs résistances de contact en série comme dans les solutions connues refroidissant le plateau. Une température plus froide (ou une puissance froide plus importante) est disponible au niveau des plaques support (ou une puissance froide plus importante). Le temps de mise en froid de ces plaques support est réduit. Par ailleurs, des modes de réalisation de l’invention peuvent comporter l'une ou plusieurs des caractéristiques suivantes : au moins une partie de l’ensemble des plaque(s) support sont montées au niveau de la bordure des plateaux respectifs, dans un plan situé au-dessus ou en-dessous du plateau concerné ou dans le plan du plateau concerné dans des logements respectifs ménagés dans le plateau, au moins une partie de l’ensemble des plaque(s) support sont montées de façon démontable relativement à leur plateau, l’installation comprend un ensemble d’échangeur(s) de chaleur en échange thermique à la fois avec le plateau et la plaque support associée, le circuit de refroidissement transitant dans le ou lesdits échangeurs de chaleur, l’installation comprend un ensemble d’échangeur(s) interposés entre le plateau et les plaques support associées, le circuit de refroidissement transitant dans lesdits échangeurs de chaleur, le circuit de refroidissement est en échange thermique avec un écran thermique associé à un plateau, directement dans le corps de l’écran thermique et/ou dans un ensemble d’échangeur(s) de chaleur en contact avec l’écran thermique, interposé(s) par exemple entre l’écran et le plateau, le circuit de refroidissement est en échange thermique avec au moins un plateau, directement dans le corps du plateau et/ou dans un ensemble d’échangeurs de chaleur en contact avec le plateau, au moins une partie de l’ensemble d’échangeurs de chaleur est démontable du plateau concerné conjointement avec les plaques support concernés ou indépendamment des plaques support concernés, le circuit de refroidissement réalise plusieurs passages distincts autour d’au moins une partie de la périphérie d’au moins une plaque support, le circuit de refroidissement assure une circulation et une mise en échange thermique du fluide de cycle en série avec au moins une partie de la périphérie de plusieurs plaques support d’un même plateau, le circuit de refroidissement assure une circulation et une mise en échange thermique du fluide de cycle en parallèle avec au moins une partie de la périphérie de plusieurs plaques support d’un même plateau, le circuit de refroidissement assure une circulation et une mise en échange thermique du fluide de cycle d’abord au niveau d’au moins une partie de la périphérie d’au moins une plaque support d’un premier plateau puis, séquentiellement, une circulation et une mise en échange thermique du fluide au niveau d’au moins une partie de la périphérie d’au moins une autre plaque support d’un second plateau, au moins une partie d’un bord périphérique de l’ensemble de plaque(s) support coïncide avec le bord du plateau concerné, le circuit de refroidissement transitant autour de la périphérie d’au moins une plaque support à l’exception du bord coïncidant avec le bord du plateau, l’ensemble de plaque(s) et échangeurs de chaleur d’un plateau sont situés dans le même plan que le plateau concerné, l’ensemble de plaque(s) ou les échangeurs de chaleur correspondants d’un plateau sont situés dans le même plan que le plateau concerné, en configuration d’utilisation de l’installation, l’ensemble de plaque(s) et échangeurs de chaleur et le plateau concerné sont horizontaux, en configuration d’utilisation l’ensemble de plaque(s) et le plateau concerné sont horizontaux tandis que les échangeurs de chaleur correspondants sont verticaux, le circuit de refroidissement circulant dans lesdits échangeurs de chaleur transite dans les échangeurs de chaleur via des entrée(s) et sortie(s) débouchant sur la bordure des échangeurs de chaleur situées de façon adjacente à la bordure périphérique du plateau correspondant et/ou la partie centrale du plateau correspondant, au moins une partie des plateaux est composé d’un métal ou alliage conducteur thermique, par exemple de l’aluminium et/ou cuivre éventuellement recouvert d’or, au moins une partie des plaques support est composé d’un métal ou alliage conducteur thermique, par exemple de l’aluminium et/ou cuivre éventuellement recouvert d’or, au moins une partie des échangeurs de chaleur est composé d’un métal ou alliage conducteur thermique, par exemple de l’aluminium et/ou cuivre. L’invention concerne également un procédé de réfrigération utilisant une telle installation et comprenant une étape de stockage et/ou de production d’un fluide de cycle cryogénique liquide au niveau du réfrigérateur, une étape de circulation dudit fluide cryogénique et de en échange thermique de ce fluide au niveau d’au moins une partie de la périphérie d’au moins une plaque support, et, après échange(s) thermique(s), une étape de renvoi de ce fluide au niveau du réfrigérateur ou d’un récupérateur. Selon d’autres particularités possibles : L’invention peut concerner également tout dispositif ou procédé alternatif comprenant toute combinaison des caractéristiques ci-dessus ou ci-dessous dans le cadre des revendications. D’autres particularités et avantages apparaîtront à la lecture de la description ci-après, faite en référence aux figures dans lesquelles : Brève description des figures L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre donnée uniquement à titre d'exemple et faite en se référant aux dessins annexés dans lesquels : est une vue schématique et partielle, en coupe verticale, illustrant un premier exemple de réalisation d’une installation de réfrigération selon l’invention, est une vue schématique et partielle, en coupe verticale, illustrant un deuxième exemple de réalisation d’une installation de réfrigération selon l’invention, est une vue schématique et partielle, de dessus, d’un détail d’une telle installation illustrant un premier exemple de réalisation d’un plateau, est une vue schématique et partielle, de dessus, d’un détail d’une telle installation illustrant un deuxième exemple de réalisation d’un plateau, est une vue schématique et partielle, en coupe verticale, d’un détail d’un tel plateau dans une première variante de réalisation possible, est une vue schématique et partielle, en coupe verticale, d’un détail d’un tel plateau dans une seconde variante de réalisation possible, est une vue schématique et partielle, en coupe verticale, d’un détail d’un tel plateau dans une troisième variante de réalisation possible, est une vue schématique et partielle, en coupe verticale, d’un détail d’un tel plateau dans une quatrième variante de réalisation possible, est une vue schématique et partielle, en coupe verticale, d’un détail d’un tel plateau relié à un écran thermique dans un premier mode de réalisation possible, est une vue schématique et partielle, en coupe verticale, d’un détail d’un tel plateau relié à un écran thermique dans un second mode de réalisation possible, est une vue schématique et partielle, en coupe verticale, d’un détail d’un tel plateau relié à un écran thermique dans un troisième mode de réalisation possible, est une vue schématique et partielle, en coupe verticale, d’un détail d’un tel plateau relié à un écran thermique dans un quatrième mode de réalisation possible, est une vue schématique et partielle, en coupe verticale, d’un détail d’un tel plateau relié à un écran thermique dans un cinquième mode de réalisation possible. Description détaillée Sur toutes les figures, les mêmes références se rapportent aux mêmes éléments. Dans cette description détaillée, les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, cela ne signifie pas que les caractéristiques s’appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées et/ou interchangées pour fournir d’autres réalisations. L’installation 1 de réfrigération cryogénique illustrée à la comprend une enceinte 2 délimitant un volume refermé par un couvercle 3, par exemple en aluminium. De préférence, le volume est sous vide et abrite une pluralité de plateaux 4, 5, 6, 7 conducteurs thermiques répartis selon une direction de répartition dans l’enceinte 2 et formant des étages thermiques ayant par exemple des températures décroissantes (par exemple verticalement du haut vers le bas). Les plateaux peuvent être espacés les uns des autres via des supports 40, par exemple en matériau composite. Dans l’exemple illustré schématiquement, l’enceinte 2 abrite quatre plateaux 4, 5, 6, 7. Chaque plateau 4, 5, 6, 7 est relié à un écran 14, 15, 16, 17 thermique respectif formant un volume d’isolation thermique. Le plateau 4, 5, 6, 7 et l’écran 14, 15, 16, 17 correspondant englobe les plateaux et écrans suivants selon une direction de répartition. C’est-à-dire que les plateaux 4, 5, 6, 7 et écrans 14, 15, 16, 17 sont imbriqués à la façon de pièces « gigognes ». Par exemple, en configuration de fonctionnement, le couvercle 3 peut être à température ambiante (au moins pour sa face extérieure) et les quatre plateaux 4, 5, 6, 7 intérieurs sont refroidis à des températures décroissantes du haut vers le bas (par exemple respectivement à 90K, 50K, 10K et 3K). L’installation 1 comprend un ensemble de plaques 24, 25, 26, 27 support montées sur les plateaux 4, 5, 6, 7. Ces plaques 24, 25, 26, 27 forment un support pour un ensemble de câble(s) 30 ou d’échantillons à refroidir. Comme illustré, un faisceau de câbles 30 est monté sur l’ensemble de plaques 24, 25, 26, 27 support montées respectivement sur les différents plateaux 4, 5, 6, 7 (selon la direction de répartition). C’est-à-dire que les câbles 30 s’étendent verticalement vers le bas dans l’enceinte 2 et sont montées en échange thermique avec les plateaux 4, 5, 6, 7 de plus en plus froids. Ainsi, les plateaux 4, 5, 6, 7 conducteurs thermiques sont répartis selon la direction de répartition dans l’enceinte 2 et formant des étages thermiques. Au moins une partie des plateaux 4, 5, 6, 7 étant refroidis par le refroidisseur ou réfrigérateur 70 cryogénique à des températures déterminées respectives. L’installation 1 comprend à cet effet de préférence un ensemble de passages formés au travers du couvercle 3 et des plateaux 4, 5, 6, 7 pour le passage étanche de câble(s) et/ou d’appareillage(s) dans l’enceinte 2. Les plaques 24, 25, 26, 27 support des différents plateaux 4, 5, 6, 7 sont par exemple agencées en ligne et espacés selon une direction de répartition, par exemple une direction d’empilement qui est verticale en position de fonctionnement dans l’enceinte 2. L’installation 1 possède au moins un système de refroidissement à température cryogénique configuré pour refroidir au moins une partie des plateaux 4, 5, 6, 7 et/ou plaque(s) 24, 25, 26, 27 support. Ce système de refroidissement à température cryogénique comprend de préférence un réfrigérateur 70 comprenant un fluide de cycle cryogénique (par exemple à base d’hélium) et un circuit 20 de refroidissement assurant une circulation et une mise en échange thermique du fluide de cycle au niveau d’au moins une partie de la périphérie d’au moins une plaque 24, 25, 26, 27 support. Le circuit 20 de refroidissement peut en particulier comprendre un ensemble de conduite(s) d’amenée du fluide de cycle produit par le réfrigérateur vers les éléments à refroidir dans l’enceinte 2 et un ensemble de conduites de retour dudit fluide ayant refroidi ces éléments vers le réfrigérateur 70. C’est-à-dire que, au lieu de refroidir les plateaux 4, 5, 6, 7 par conduction uniquement par des tubes à gaz pulsé par exemple ou un bain d’hélium, l’installation 1 prévoit de transférer la puissance froide via un flux de fluide de cycle au plus près des plaques 24, 25, 26, 27 support (comme détaillé ci-après) et en particulier de préférence au contact des plaques 24, 25, 26, 27. De préférence, le fluide de cycle contient ou est constitué d’hélium. Le fluide de cycle peut être refroidi dans un état supercritique ou superfluide avant d’être mis en échange thermique avec des plaques. Cette circulation d’un débit d'hélium supercritique au plus près des plaques permet de distribuer très efficacement la puissance froide à l’endroit où elle est nécessaire. Par exemple, le réfrigérateur 70 est monté au travers du couvercle 3 et possède une première extrémité située à l’extérieur de l’enceinte 2 et une seconde extrémité située dans l’enceinte 2. Le réfrigérateur 70 est configuré pour fournir du froid au niveau de sa seconde extrémité, Le réfrigérateur 70 est par exemple du type utilisant une source froide de fluide de cycle liquéfié tel que de l’hélium ou de l’azote. La puissance froide du réfrigérateur est stockée et/ou produite au niveau de sa première extrémité et cette puissance froide est transférée vers les plateau via un flux du fluide de cycle transférant de la puissance froide de la première extrémité vers la seconde extrémité du réfrigérateur. Après échange thermique avec la ou les plaques, le fluide de cycle est renvoyé pour recommencer le cycle (compression…). Le réfrigérateur 70 comprend par exemple un circuit de cycle configuré pour soumettre le fluide de cycle à un cycle thermodynamique amenant le fluide de cycle à au moins une extrémité froide du circuit de cycle à une température cryogénique déterminée. Le circuit de fluide de cycle comportant un mécanisme 9 de compression du fluide de cycle (compresseur(s)), au moins un organe de refroidissement du fluide de cycle (échangeur(s) de chaleur), un mécanisme de détente 19 du fluide de cycle (vanne(s) et/ou turbine(s)) et au moins un organe de réchauffage (échangeur(s) de chaleur) du fluide de cycle détendu. Le réchauffage et le refroidissement peut être assuré en partie au moins par un ou des échangeur(s) de chaleur à contre-courant pour refroidir et réchauffer simultanément deux parties du circuit de cycle. Le réfrigérateur 70 utilise par exemple un fluide de cycle comprenant au moins l’un parmi : de l’hélium, de l’hydrogène, de l’azote de l’argon. L’installation comprenant un ensemble de conduite(s) d’amenée d’au moins une partie du fluide du circuit de cycle vers les plaques à refroidir formant le circuit 20 de refroidissement. Comme illustré aux et , tout ou parties des plaques 24, 25, 26, 27 support peuvent être située au niveau de la bordure de leur plateau 4 5, 6, 7 respectif. Par exemples, les plaques 24, 25, 26, 27 support portant les câbles sont montées de façon démontable sur les plateaux 4 5, 6, 7 (emboîtement, vissage…). Les plaques 24, 25, 26, 27 support avec câbles 30 et échangeurs 21 de chaleur peuvent être montés dans l’enceinte 2 via un même passage dans le couvercle 3, par exemple via une même bride du couvercle 3. L’échange de chaleur entre le flux de fluide de cycle froid (de préférence dans un état supercritique) et les plaques 24, 25, 26, 27 peut être réalisé via un ensemble d’échangeur(s) 21 de chaleur en échange thermique à la fois avec le plateau 4, 5, 6, 7 et la plaque 24, 25, 26, 27 support concernés. Par exemple, le circuit 20 de refroidissement transite dans le ou lesdits échangeurs 21 de chaleur. Par exemple, des échangeurs 21 de chaleur sont interposés entre le plateau 4, 5, 6, 7 et les plaques 24, 25, 26, 27 support. Les échangeurs 21 de chaleur peuvent être montés sur les plateaux/plaques pour échanger la chaleur par conduction et contact. Dans l’exemple de la , l’échangeur 21 est situé dans le même plan que la plaque 24, 25, 26, 27 et le plateau 4, 5, 6, 7. Par exemple, la plaque 24, 25, 26, 27 est encastrée (entourée) dans son échangeur 21 qui est lui-même encastré dans un logement du plateau 4, 5, 6, 7. Dans cette configuration la plaque 24, 25, 26, 27 n’est pas en appui directement sur le plateau 4, 5, 6, 7 (mais via l’échangeur 21 de chaleur) Comme visible à la , une partie d’un bord périphérique de la plaque 24, 25, 26, 27 support peut coïncider avec le bord du plateau 4, 5, 6, 7 concerné. Le circuit 20 de refroidissement (l’échangeur 21) de chaleur transite autour de la périphérie de la plaque 24, 25, 26, 27 support à l’exception du bord coïncidant avec le bord du plateau. Par exemple, les entrée/sortie du circuit 20 de refroidissement sont situées au niveau de cette bordure de la plaque et du plateau. Dans l’exemple de la , la plaque 24, 25, 26, 27 est située au-dessus du plateau 4, 5, 6, 7, et l’échangeur 21 est interposé verticalement entre ces derniers. Par exemple, l’échangeur 21 de chaleur a une structure verticale (qui s’étend perpendiculairement au plan du plateau. Cette configuration permet de limiter l’encombrement de l’échangeur sur le plateau 4, 5, 6, 7 tout en assurant un refroidissement optimal. L’exemple de la se distingue de celui de la en ce que l’échangeur 21 de chaleur a une structure horizontale (qui s’étend parallèlement au plan du plateau 4, 5, 6, 7). De plus, comme illustré, le circuit 20 de refroidissement peut réaliser plusieurs passages distincts (aller/retour) dans l’échangeur 21 de chaleur autour d’au moins une partie de la périphérie d’au moins une plaque 24, 25, 26, 27 support. Dans l’exemple de la , la plaque 24, 25, 26, 27 est située dans le plan du plateau 4, 5, 6, 7 (dans un logement prévu à cet effet), et l’échangeur 21 est interposé sur ces dernières (selon la direction verticale). Par exemple, l’échangeur 21 de chaleur a une structure plane ou horizontale. De préférence, l’échangeur 21 de chaleur assure un refroidissement de la plaque 4, 5, 6, 7 par conduction thermique, via un contact avec la plaque, notamment au niveau d’au moins une partie de sa périphérie. Bien entendu, d’autres modes de réalisation peuvent être envisagés. Ainsi, le circuit 20 de refroidissement peut être agencé pour être en échange thermique avec l’écran 14, 15, 16, 17 thermique associé à un plateau 4, 5, 6, 7, par exemple entre la plateau (ou plaque) et l’écran 14, 15, 16, 17 thermique comme illustré à la . Comme illustré à la , le circuit 20 de refroidissement peut transiter directement dans le corps de l’écran 14, 15, 16, 17 thermique à proximité de la plaque ou plateau. Dans l’exemple de la , l’échangeur 21 de chaleur contenant le circuit 20 de refroidissement est disposé sur la surface périphérique extérieure de l’écran 14, 15, 16, 17 thermique à proximité de la périphérie du plateau ou plaque. Dans l’exemple de la , le circuit 20 de refroidissement peut transiter directement dans le corps du plateau 4, 5, 6, 7 Dans l’exemple de la , un ou des échangeurs 21 de chaleur contenant le circuit 20 de refroidissement sont disposés sur la surface supérieure et/ou inférieure du plateau et/ou de la plaque et éventuellement en contact également avec l’écran 14, 15, 16, 17 thermique. Comme illustré à la , le circuit 20 de refroidissement peut être configuré pour assurer un refroidissement en série des plaques 24 d’un même plateau 4, 5, 6. C’est à-dire que le circuit de refroidissement réalise une circulation et une mise en échange thermique du fluide de cycle avec les plaques 24 les unes après les autres (dans cet exemple via des échangeurs 21 de chaleurs respectifs). C’est-à-dire que le circuit 20 de refroidissement refroidit une première plaque 24 du plateau, puis ensuite une seconde, une troisième etc.. avant d’être évacué (vers un autre plateau ou vers le réfrigérateur 70). Le circuit 20 de refroidissement peut alors définir un chemin périphérique sur le tour du plateau 4. En variante représentée à la le circuit 20 de refroidissement se distribue en parallèle pour refroidir simultanément les différentes plaques 24 du plateau 4 avec des flux distincts. De même, le circuit 20 de refroidissement peut assurer un refroidissement en parallèle et/ou en série des différents plateaux 4, 5, 6, 7 et plaques 24, 25, 26, 27 correspondantes. Ainsi, le circuit 20 de refroidissement peut assurer un échange thermique du fluide de cycle d’abord au niveau d’au moins une partie de la périphérie d’au moins une plaque support d’un premier plateau 7 puis, séquentiellement, une circulation et une mise en échange thermique du fluide au niveau d’au moins une partie de la périphérie d’au moins une autre plaque 6 support d’un second plateau et ainsi de suite. Dans l’exemple de la le circuit 20 de refroidissement vient refroidir d’abord les plaques 27 /plateau 7 les plus froids (les plus intérieurs selon la direction de répartition puis ce flux vient ensuite refroidir les plaques 26/plateau 6 précédents (à l’inverse de la direction de répartition) et ainsi de suite pour ensuite retourner plus chaud vers le cycle du réfrigérateur pour y être refroidi à nouveau. Bien entendu, et comme représenté à la un ou des plateaux/plaques peuvent être refroidis via des circuit 20 de refroidissements dédiés (en parallèle). Par exemple, un flux de fluide de cycle très froids est guidé pour refroidir le plateau 7/les plaques 27 les plus froids avant de retourner directement vers le cycle du réfrigérateur 70 tandis que les autres plateaux 6, 5, 4/plaques 26, 25, 24 sont refroidis (en parallèle ou en série) par un ou des flux distincts provenant du réfrigérateur 70 (par exemple des flux relativement moins froids). Par exemple, le circuit de cycle du réfrigérateur 70 est configuré pour soumettre le fluide de cycle à un cycle thermodynamique amenant le fluide de cycle à plusieurs températures froides distinctes au niveau respectivement de plusieurs extrémités du circuit de cycle. Ainsi, plusieurs flux distincts du fluide de cycle auxdites températures froides distinctes peuvent être mis en échange thermique avec respectivement le plaques supports de plateaux distincts via des conduites distinctes respectives (boucles de circulations distinctes). Le fluide de cycle est par exemple configuré pour amener le fluide de cycle à au moins une température froide parmi : 80K environ, entre 20 et 70K, entre 2K et5K et/ou dans un état supercritique. L’installation 1 peut comprendre en outre dans l’enceinte 2, connecté par exemple au plateau 4 le plus froid, un réfrigérateur sub-kelvin, par exemple un réfrigérateur à dilution ou un réfrigérateur JT (Joule-Thomson), en échange thermique avec ce plateau 7 pour atteindre des températures plus basses que 4K, notamment plus basses que 1K, et en particulier autour du milliKelvin. Un tel réfrigérateur à dilution utilise classiquement un mélange d’hélium 3 et d’hélium 4 dans un circuit de travail comprenant un bouilleur, une chambre de mélange et un organe de mise en circulation du flux d’hélium. Le refroidissement est obtenu au niveau de la chambre de mélange à partir de l'enthalpie de mélange lorsque l'hélium-3 est dilué dans l'hélium 4. En variante ou en combinaison, la puissance froide pourrait être produite dans une autre installation/dispositif (autre entité physique) et transférée à cette première extrémité, par exemple par un fluide caloporteur ou tout autre organe de transfert thermique. Ainsi, la puissance froide (ou source froide) est produite ou stockée en dehors de l’enceinte 2. L’invention n’est pas limitée à ces modes de réalisation et d’autres configurations pour les plateaux/plaques sont possibles. Par exemple, les plateaux 4, 5, 6, 7 et plaques 24, 25, 26, 27 pourraient être thermalisés à une température décroissante du bas vers le haut, ou encore ils pourraient être agencés selon une direction horizontale et être thermalisés à des températures décroissantes de la gauche vers la droite ou inversement ou selon une autre répartition. Installation de réfrigération cryogénique comprenant une enceinte (2) délimitant un volume étanche sous vide refermé par un couvercle (3), l’enceinte (2) abritant au moins deux plateaux (4, 5, 6, 7) conducteurs thermiques répartis selon une direction de répartition dans l’enceinte (2) et formant des étages thermiques, au moins un des plateaux (4, 5, 6, 7) étant relié à un écran (14, 15, 16, 17) thermique formant un volume d’isolation thermique, l’installation (1) comprenant un ensemble de plaque(s) (24, 25, 26, 27) support montées sur les plateaux (4, 5, 6, 7) et formant un support pour un ensemble de câble(s) (30) et/ou échantillons à refroidir, l’installation (1) comprenant un système de refroidissement à température cryogénique configuré pour refroidir au moins une partie des plateaux (4, 5, 6, 7) et/ou plaque(s) (24, 25, 26, 27) support, le système de refroidissement à température cryogénique comprenant un réfrigérateur (70) comprenant un fluide de cycle cryogénique et un circuit (20) de refroidissement assurant une circulation et une mise en échange thermique du fluide de cycle au niveau d’au moins une partie de la périphérie d’au moins une plaque (24, 25, 26, 27) support. Installation selon la revendication 1, caractérisée en ce qu’au moins une partie de l’ensemble des plaque(s) (24, 25, 26, 27) support sont montées au niveau de la bordure des plateaux (4, 5, 6, 7) respectifs, dans un plan situé au-dessus ou en-dessous du plateau (4, 5, 6, 7) concerné ou dans le plan du plateau (4, 5, 6, 7) concerné dans des logements respectifs ménagés dans le plateau. Installation selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce qu’au moins une partie de l’ensemble des plaque(s) (24, 25, 26, 27) support sont montées de façon démontable relativement à leur plateau (4, 5, 6, 7). Installation selon l’une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisée en ce qu’elle comprend un ensemble d’échangeur(s) (21) de chaleur en échange thermique à la fois avec le plateau (4, 5, 6, 7) et la plaque (24, 25, 26, 27) support associée, le circuit (20) de refroidissement transitant dans le ou lesdits échangeurs (21) de chaleur. Installation selon l’une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisée en ce qu’elle comprend un ensemble d’échangeur(s) (21) interposés entre le plateau (4, 5, 6, 7) et les plaques (24, 25, 26, 27) support associées, le circuit (20) de refroidissement transitant dans lesdits échangeurs (21) de chaleur. Installation selon l’une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisée en ce que le circuit (20) de refroidissement est en échange thermique avec un écran (14, 15, 16, 17) thermique associé à un plateau (4, 5, 6, 7), directement dans le corps de l’écran thermique et/ou dans un ensemble d’échangeur(s) (21) de chaleur en contact avec l’écran thermique, interposé(s) par exemple entre l’écran (14, 15, 16, 17) et le plateau (4, 5, 6, 7). Installation selon l’une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisée en ce que le circuit (20) de refroidissement est en échange thermique avec au moins un plateau (4, 5, 6, 7), directement dans le corps du plateau (4, 5, 6, 7) et/ou dans un ensemble d’échangeurs (21) de chaleur en contact avec le plateau (4, 5, 6, 7). Installation selon l’une quelconque des revendications 4 à 7, caractérisée en ce qu’au moins une partie de l’ensemble d’échangeurs (21) de chaleur est démontable du plateau (4, 5, 6, 7) concerné conjointement avec les plaques (24, 25, 26, 27) support concernés ou indépendamment des plaques (24, 25, 26, 27) support concernés. Installation selon l’une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisée en ce que le circuit (20) de refroidissement réalise plusieurs passages distincts autour d’au moins une partie de la périphérie d’au moins une plaque (24, 25, 26, 27) support. Installation selon l’une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisée en ce que le circuit (20) de refroidissement assure une circulation et une mise en échange thermique du fluide de cycle en série avec au moins une partie de la périphérie de plusieurs plaques (24, 25, 26, 27) support d’un même plateau (4, 5, 6, 7). Installation selon l’une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisée en ce que le circuit (20) de refroidissement assure une circulation et une mise en échange thermique du fluide de cycle en parallèle avec au moins une partie de la périphérie de plusieurs plaques (24, 25, 26, 27) support d’un même plateau (4, 5, 6, 7). Installation selon l’une quelconque des revendications 1 à 11, caractérisée en ce que le circuit (20) de refroidissement assure une circulation et une mise en échange thermique du fluide de cycle d’abord au niveau d’au moins une partie de la périphérie d’au moins une plaque (24, 25, 26, 27) support d’un premier plateau (4, 5, 6, 7) puis, séquentiellement, une circulation et une mise en échange thermique du fluide au niveau d’au moins une partie de la périphérie d’au moins une autre plaque (24, 25, 26, 27) support d’un second plateau (4, 5, 6, 7). Procédé de réfrigération utilisant une installation selon l’une quelconque des revendications 1 à 12, comprenant une étape de stockage et/ou de production d’un fluide de cycle cryogénique liquide au niveau du réfrigérateur (70), une étape de circulation dudit fluide cryogénique et de en échange thermique de ce fluide au niveau d’au moins une partie de la périphérie d’au moins une plaque (24, 25, 26, 27) support, et, après échange(s) thermique(s), une étape de renvoi de ce fluide au niveau du réfrigérateur (70) ou d’un récupérateur.