Brevet FR3139663A1 — publié le 20240315

Station de mesure (1) de la contamination en particules d’une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de plaquettes semi-conductrices, comportant un compteur de particules (5) et une interface (6) configurée pour s’accoupler à la coque (2) d’une enceinte de transport à la place de la porte (3), ladite interface (6) comportant un orifice de prélèvement (7) fluidiquement raccordé au compteur de particules (5), la station de mesure (1) comportant en outre un dispositif d’injection d’un gaz propre (15) comportant au moins une ligne d’injection (16) présentant au moins une buse d’injection (17) configurée pour être fluidiquement raccordée à un port de ventilation (4) de l’enceinte de transport accouplée à l’interface (6) pour injecter un gaz propre dans l’enceinte de transport, depuis l’extérieur de l’enceinte de transport, à travers le au moins un port de ventilation (4) de l’enceinte de transport. Figure 3 Station et procédé de mesure de la contamination en particules d’une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de plaquettes semi-conductrices La présente invention concerne une station de mesure de la contamination en particules d’une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de plaquettes semi-conductrices (« wafers » en anglais). L’invention concerne également un procédé de mesure correspondant. Dans l’industrie de fabrication de semi-conducteurs, des enceintes de transport notamment les enceintes standardisées de transport et de stockage de plaquettes à ouverture latérale de type FOUP (« Front Opening Unified Pod » en anglais), permettent de transporter les plaquettes de silicium d’un équipement à l’autre ou de stocker les plaquettes entre deux étapes de fabrication. Ces enceintes de transport sont formées de matériaux tels que le polycarbonate, qui peuvent dans certains cas concentrer les contaminants et en particulier des contaminants organiques, aminés ou acides. Or les plaquettes de silicium passent une grande partie de leur temps à l’intérieur de ces enceintes fermées. Il est donc essentiel de contrôler la contamination de ces contenants et notamment la contamination en particules. Pour déterminer lorsqu’une enceinte nécessite un nettoyage, on connaît du document WO2014083151, un dispositif de mesure comportant un détecteur de particules et une interface configurée pour s’accoupler à la coque d’une enceinte de transport à la place de la porte. Une tête de mesure de l’interface présentant un orifice de prélèvement raccordé au détecteur de particules et des buses d’injection, injecte un gaz de purge sur les parois de la coque depuis l’intérieur de l’enceinte afin de décrocher, prélever et compter les particules collées à ces parois. Ce dispositif permet de déterminer un niveau de contamination des surfaces internes des enceintes de transport dont les particules sont susceptibles de se décoller des parois et retomber sur les substrats contenus dans l’enceinte de transport lors de la manipulation de l’enceinte. On constate cependant qu’un autre élément de l’enceinte de transport est devenu important à surveiller. A l’origine, les ports de ventilation des enceintes de transport munis de filtres à particules étaient seulement nécessaires pour équilibrer la pression entre l’intérieur et l’extérieur des enceintes, notamment en vue d’éviter les mouvements d’air tels que l’entrée d’air de la salle blanche dans l’enceinte à l’ouverture de la porte, mais aussi pour éviter les dépressions dans l’enceinte pouvant créer des contraintes mécaniques qui peuvent constituer une source de contamination. Ces ports de ventilation sont cependant aujourd’hui utilisés comme orifices d’entrée pour de l’azote ou de l’air ultra-sec injecté dans l’enceinte pour en purger l’intérieur afin de limiter la présence de contaminants gazeux (AMC pour « Airbone Molecular Contamination » en anglais) et garantir ainsi un rendement de production suffisant. Certains de ces ports de ventilation se sont mêmes complexifiés avec l’adjonction de nombreux éléments en plus du filtre comme un clapet anti-retour, des diffuseurs…qui peuvent générer des particules et encrasser les filtres ou qui peuvent eux-mêmes être sources de fuites. Une conséquence de cela est qu’un filtre du port de ventilation défaillant ou impropre génère immédiatement un risque élevé de contamination des plaquettes de silicium contenues dans l’enceinte par entrainement par le gaz de purge injecté dans l’enceinte. La généralisation de la purge des enceintes de transport à travers les ports de ventilation entraine que les filtres à particules deviennent les sources principales de risque de contamination des enceintes de transport. Les solutions actuelles permettant de contrôler la contamination particulaire des enceintes de transport ne sont cependant pas adaptées pour déterminer le niveau de contamination des filtres des ports de ventilation. En effet, l’utilisation d’eau ultrapropre pour décoller les particules afin de les compter par un compteur liquide de particules pour en déterminer la concentration ne permet pas d’obtenir des cadences de test élevées et surtout ne permet pas de contrôler la concentration en particules des filtres. L’injection d’air propre dans l’enceinte de transport pour décoller et compter les particules comme décrit dans le document WO2014083151 ne permet pas non plus de contrôler spécifiquement les filtres des enceintes. Une autre méthode de mesure consiste à utiliser une plaquette de silicium de test préalablement mesurée en particules par un équipement de mesure de particules dédié aux plaquettes. On place la plaquette de test mesurée dans l’enceinte de transport que l’on accouple à une station de purge pour injecter un gaz de purge à travers les ports de l’enceinte. Puis, on retire la plaquette de silicium de test de l’enceinte pour compter les particules déposées sur la plaquette par l’équipement de mesure et on compare le résultat avec la mesure initiale. Cette méthode de mesure est relativement fastidieuse et couteuse et ne permet pas d’obtenir un rendement compatible avec un contrôle automatisé de la production. De plus, les équipements de mesure de particules des plaquettes ne sont pas toujours disponibles car les tests de qualification des équipements de procédé pour la production sont prioritaires. Un des buts de la présente invention est donc de proposer une station et un procédé de mesure correspondant, permettant de mesurer un niveau de contamination en particules des filtres de particules des ports de ventilation d’enceintes de transport atmosphériques par une mesure en temps réel, réalisée directement dans l’usine de fabrication. A cet effet, l’invention a pour objet une station de mesure de la contamination en particules d’une enceinte de transport, notamment de type FOUP, pour le convoyage et le stockage atmosphérique de plaquettes semi-conductrices, ladite enceinte de transport comprenant une coque et une porte amovible pouvant fermer la coque, la coque présentant au moins un port de ventilation muni d’un filtre à particules, tel que d’un à quatre ports de ventilation, la station de mesure comportant un compteur de particules et une interface configurée pour s’accoupler à la coque à la place de la porte, ladite interface comportant un orifice de prélèvement fluidiquement raccordé au compteur de particules. La station de mesure comporte en outre un dispositif d’injection d’un gaz propre comportant au moins une ligne d’injection présentant au moins une buse d’injection configurée pour être fluidiquement raccordée à un port de ventilation de l’enceinte de transport accouplée à l’interface pour injecter un gaz propre dans l’enceinte de transport, depuis l’extérieur de l’enceinte de transport, à travers le au moins un port de ventilation de l’enceinte de transport. Le fait d’injecter un gaz propre dans un port de ventilation permet de simuler les conditions à risque en production relatives la purge d’une enceinte de transport via le(s) port(s) de ventilation. Si un filtre à particules du port de ventilation pose un problème de contamination particulaire alors il peut être détecté par mesure par le compteur à particules dont le prélèvement est réalisé à l’intérieur de l’enceinte de transport via l’orifice de prélèvement. Les conditions du test sont les mêmes que celles d’utilisation en production. Le comptage des particules en temps réel permet en outre de ne pas réduire les cadences de production. La station peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prises seules ou en combinaison. L’orifice de prélèvement est par exemple agencé dans une tête de mesure faisant saillie d’une base de l’interface. La station de mesure peut comporter une pompe à vide agencée en aval du compteur de particules dans la direction de pompage des gaz. Le compteur de particules est par exemple de type aérosol. Il est par exemple optique. Le flux de pompage de la pompe à vide est par exemple 30 l/min (1,8 m 3 /h ou 0,0005 m 3 /s). Pour accoupler l’enceinte de transport à la station de mesure et ôter sa porte, la station de mesure peut comporter une chambre recevant l’interface et présentant un accès latéral et un port de chargement agencé sous l’accès. Le port de chargement est susceptible de s’accoupler d’une part à la coque et d’autre part à la porte de l’enceinte de transport pour déplacer la porte dans la chambre et mettre l’intérieur de la coque en communication avec l’intérieur de la chambre. Le dispositif d’injection d’un gaz propre comporte par exemple autant de buses d’injection qu’il y a de ports de ventilation sur l’enceinte de transport. Selon un autre exemple, le dispositif d’injection d’un gaz propre comporte au moins un bouchon configuré pour obturer un port de ventilation, par exemple de sorte que tous les ports de ventilation soient en prise avec une buse d’injection ou un bouchon. Alternativement, certains ports de ventilation peuvent être laissés libres. La au moins une buse d’injection comporte par exemple un dispositif d’étanchéité permettant un raccord étanche avec le port de ventilation. Le dispositif d’injection d’un gaz propre peut comporter un actionneur configuré pour pousser la(es) buse(s) d’injection ou le(s) bouchon(s) le cas échéant, contre un port de ventilation respectif. Le dispositif d’injection d’un gaz propre peut comporter au moins un capteur de pression configuré pour mesurer la pression dans une ligne d’injection. Le dispositif d’injection d’un gaz propre peut également comporter au moins un dispositif de contrôle du débit, permettant l’injection contrôlée de différents flux de gaz, par exemple dans la gamme 30 l/min (0.0005 m 3 /s) -100 l/min (0.00167 m 3 /s), tel que 50 l/min (0.00083 m 3 /s) en moyenne et jusqu’à 100 l/min (0.00167 m 3 /s), dans une ligne d’injection. Il y a par exemple un capteur de pression et un dispositif de contrôle du débit par ligne d’injection. L’invention a aussi pour objet un procédé de mesure de la contamination en particules d’une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de plaquettes semi-conductrices, mis en œuvre dans une station de mesure telle que décrite précédemment, dans lequel on injecte un gaz propre dans l’enceinte de transport, depuis l’extérieur de l’enceinte de transport, à travers le au moins un port de ventilation de l’enceinte de transport, et on compte les particules d’un échantillon gazeux prélevé par l’orifice de prélèvement de l’interface au cours de l’injection. Le procédé de mesure peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prises seules ou en combinaison. Selon un exemple de réalisation, le débit de gaz propre injecté par la au moins une buse d’injection est supérieur au débit de gaz prélevé. Par exemple, le débit de gaz propre injecté dans la au moins une buse d’injection est supérieur à 6 l/min (0,0001 m 3 /s), tel que supérieur à 30 l/min (1,8 m 3 /h ou 0,0005 m 3 /s), tel que supérieur à 50 l/min (3 m 3 /h ou 0,000833333 m 3 /s), comme 80 l/min (4,8 m 3 /h ou 0,00133333 m 3 /s). Le fait d’injecter un débit de gaz propre élevé, supérieur au débit de gaz prélevé, et supérieur à celui habituellement utilisé pour la purge des enceintes de transport dans les conditions de production, permet de contraindre légèrement plus les enceintes de transport qu’au cours des opérations de purge. Le décollage des particules du filtre à particules pour le comptage est favorisé. Le gaz propre est par exemple de l’azote ou de l’air comprimé de qualité Classe 1/1/1 de la Norme ISO 8573-1 : Classe Particules solides Point de rosée Teneur en huile en mg/m 3 Nombre maximum de particules par m 3 0,1 à 0,5µm 0,5 à 1µm 1 à 5µm 1 100 1 0 -70°C 0,01 2 100000 1000 10 -40°C 0,1 3 - 10000 500 -20°C 1 4 - - 1000 +3°C 5 5 - - 20000 +7°C - 6 - - - +10°C - Selon un exemple de réalisation, pour la mesure de la contamination en particules d’une enceinte de transport ayant plusieurs ports de ventilation, on injecte simultanément dans tous les ports de ventilation de l’enceinte de transport et on compte le nombre de particules au cours de cette injection. Cette méthode permet de définir un niveau global de propreté des filtres à particules de l’enceinte de transport. Selon un autre exemple de réalisation, pour la mesure de la contamination en particules d’une enceinte de transport ayant plusieurs ports de ventilation, on injecte séquentiellement dans les ports de ventilation, soit port par port à tour de rôle, soit par couple de deux ports à la fois ou plus, et on compte le nombre de particules au cours de chaque injection. Le séquençage permet de localiser le filtre problématique. Selon un exemple de réalisation, on identifie un défaut d’un port de ventilation, notamment dont le nombre de particules compté est anormalement élevé, afin de savoir en particulier si cela est dû à un défaut du filtre à particules, en mesurant la pression dans la ligne d’injection via le capteur de pression au cours d’une injection, et en la comparant avec une valeur de référence, par exemple obtenue dans la ligne d’injection sans défauts. L’écart entre la pression mesurée et la valeur de référence peut être significatif d’un défaut du port de ventilation. Une pression mesurée plus basse que la valeur de référence peut être révélateur d’un endommagement du filtre à particules du port de ventilation ou d’un élément fuyard dans le dispositif d’injection d’un gaz propre. Une pression mesurée plus élevée que la valeur de référence peut être révélateur d’un dysfonctionnement d’un clapet du port de ventilation. D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description d’un exemple illustratif mais non limitatif de la présente invention, ainsi que des dessins annexés sur lesquels : La représente une vue en perspective d’une station de mesure de la contamination en particules accouplée à une enceinte de transport. La représente une vue agrandie de la coque de l’enceinte de transport accouplée à la station de mesure. La est une vue schématique d’éléments du dispositif d’injection d’un gaz propre de la station de mesure et d’une enceinte de transport (vue de dessous). La montre un exemple de port de ventilation à l’état assemblé et en éclaté d’une enceinte de transport. La est une vue schématique de la station de mesure et d’une enceinte de transport. La est une vue similaire et successive à la , le port de chargement de la station de mesure s’accouplant à la porte de l’enceinte de transport. La est une vue similaire et successive à la , la porte de port de chargement et la porte de l’enceinte étant déportées hors de l’accès à une chambre de la station de mesure. La est une vue similaire et successive à la , l’interface étant accouplée à la coque de l’enceinte de transport. La est un graphique de la pression mesurée en fonction du temps au cours d’une injection, dans une ligne d’injection du dispositif d’injection d’un gaz propre ayant un défaut (traits continus) et dans la ligne d’injection sans défauts (traits pointillés). Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence. Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations. On a représenté sur la , une station de mesure 1 de la contamination en particules d’une enceinte de transport et de stockage de plaquettes à ouverture latérale de type FOUP (« Front Opening Unified Pod » en anglais). Ces enceintes de transport présentent une atmosphère intérieure confinée sous pression atmosphérique d'air ou d'azote, c’est-à-dire une pression sensiblement équivalente à celle de l’environnement d'utilisation de la salle blanche, mais séparée de celle-ci. Comme on peut le voir sur les figures 2 et 5a, les enceintes de transport comportent une coque 2 et une porte 3 amovible pouvant fermer la coque 2, la porte 3 étant dimensionnée pour permettre l'introduction et l'extraction des plaquettes dans l’enceinte. La coque 2 et la porte 3 sont formées de matériaux tels que le polycarbonate. Les parois internes latérales, de fond et la porte 3 sont munies de fentes (ou « slot » en anglais) pour soutenir les plaquettes. L’enceinte est relativement étanche, mais le niveau d’étanchéité est tel que de légères fuites peuvent se produire à travers un joint d’étanchéité agencé entre la coque 2 et la porte 3. La coque 2 des enceintes de transport de type FOUP comporte au moins un port de ventilation 4, tel que d’un à quatre ports de ventilation 4, chacun muni d’un filtre à particules 4a empêchant l’entrée de particules à l’intérieur de l’enceinte de transport (figures 3 et 4). Les ports de ventilation 4 sont ménagés dans le fond de la coque 2 et permettent notamment d’équilibrer la pression entre l’intérieur et l’extérieur de l’enceinte de transport afin d’éviter les mouvements d’air à l’ouverture de porte. Les ports de ventilation 4 peuvent être seulement formés par un orifice pourvu d’un filtre à particules 4a, le flux de gaz pouvant entrer et sortir simultanément et indifféremment dans chaque port de ventilation 4 de l’enceinte. D’autres ports de ventilation 4 peuvent comporter un clapet anti-retour 4b, entrant ou sortant, agencé dans un orifice respectif, en amont ou en aval du filtre à particules 4a. Les clapets anti-retour sortant s’ouvrent en cas de surplus gazeux à l’intérieur de l’enceinte de transport par rapport à la pression atmosphérique extérieure et les clapets anti-retour entrant à l’inverse, s’ouvrent en cas de dépression à l’intérieur de l’enceinte. Les ports de ventilation 4 peuvent également comporter d’autres éléments, tels que des joints, un élément de support 4c, un diffuseur 4d ou une rondelle entretoise 4e (« grommet » en anglais). Comme représenté sur la , la station de mesure 1 comporte un compteur de particules 5 et une interface 6 configurée pour s’accoupler à la coque 2 d’une enceinte de transport accouplée à la station de mesure 1, à la place de la porte 3. L’interface 6 comporte un orifice de prélèvement 7 fluidiquement raccordé au compteur de particules 5 via une ligne de prélèvement. L’orifice de prélèvement 7 est par exemple agencé dans une tête de mesure 8 faisant saillie d’une base de l’interface 6 mais dans ce cas, les enceintes de transport sont vidées de leurs substrats au moment de la réalisation d’une mesure. La station de mesure 1 peut également comporter une pompe à vide 19 agencée en aval du compteur de particules 5 dans la direction de pompage des gaz. L’échantillon de gaz est prélevé dans le volume de mesure de la coque 2 accouplée à l’interface 6 par aspiration par l’orifice de prélèvement 7. La quantité de particules contenues dans l’échantillon de gaz prélevé est déterminée par le compteur de particules 5. Le compteur de particules 5 est par exemple de type aérosol, c'est-à-dire qu’il permet de communiquer une information quantitative des particules en suspension dans un environnement gazeux. Il est par exemple optique, tel que basé sur la technologie laser. Le flux de pompage de la pompe à vide 19 est par exemple 30 l/min (1,8 m 3 /h ou 0,0005 m 3 /s). Pour accoupler l’enceinte de transport à la station de mesure 1 et ôter sa porte 3, la station de mesure 1 peut comporter une chambre 9 notamment à environnement contrôlé, la chambre recevant notamment l’interface 6. La chambre 9 est par exemple de type salle blanche et à pression atmosphérique. Elle est par exemple certifiée Iso 3, conformément à la norme ISO 146644-1, dite de « mini-environnement ». Pour cela, la chambre 9 peut comporter une unité de filtrage à flux laminaire 10. Selon un exemple de réalisation, la chambre 9 comporte un accès 11 latéral et un port de chargement 12 (« ou load port » en anglais) agencé sous l’accès 11. Le port de chargement 12 est susceptible de s’accoupler d’une part à la coque 2 et d’autre part à la porte 3 de l’enceinte de transport pour déplacer la porte 3 dans la chambre 9 et mettre l’intérieur de la coque 2 en communication avec l’intérieur de la chambre 9. Pour cela, le port de chargement 12 comporte un plateau 13 permettant la réception et le positionnement d’une enceinte de transport. Le plateau 13 peut comporter un capteur de présence adapté pour contrôler que le modèle d’enceinte de transport soit bien celui qui est compatible avec la station de mesure 1 réceptionnant l’enceinte. En outre, pour s’accoupler à la coque 2, le plateau 13 du port de chargement 12 comporte un moyen d’arrimage pour d’une part, clamper la coque 2 et d’autre part, l’avancer en translation contre l’accès 11 de la chambre 9 (flèche D1 sur la ). Selon un autre exemple non représenté, le port de chargement 12 comporte des moyens de déplacement configurés pour déplacer le moyen d’arrimage du port de chargement 12 vers l’enceinte. Le port de chargement 12 comporte également une porte de port de chargement 14. La porte de port de chargement 14 présente les sensiblement les mêmes dimensions que la porte 3 de l’enceinte de transport. La porte de port de chargement 14 permet notamment de fermer l’accès 11 de la chambre 9 en l’absence d’enceinte de transport. Elle comporte en outre des moyens d’actionnement de verrou pour verrouiller et déverrouiller des organes de verrouillage de la porte 3. Les organes de verrouillage de la porte 3, connus en soi, comprennent par exemple des loquets, portés par la porte 3, actionnés en coulissement radial ou latéral et s’engageant dans la coque 2 de l’enceinte de transport lorsque l’enceinte de transport est fermée. Une fois les organes de verrouillage déverrouillés, les moyens d’actionnement de verrou solidarisent de manière réversible la porte 3 à la porte de port de chargement 14. L’ensemble des portes 3,14 peut alors être déplacé d’un seul bloc hors de la zone frontale de l’accès 11, dans la chambre 9 via un mécanisme d’actionnement de la porte de port de chargement 14. L’interface 6 peut alors s’accoupler à la coque 2 à la place de la porte 3 et mettre en communication fluidique l’orifice de prélèvement 7 raccordé au compteur de particules 5 avec le volume intérieur de la coque 2. La coque 2 et l’interface 6 forment alors une « enceinte de transport ». La station de mesure 1 comporte en outre un dispositif d’injection d’un gaz propre 15 comportant au moins une ligne d’injection 16. La ligne d’injection 16 présente au moins une buse d’injection 17 configurée pour être fluidiquement raccordée à un port de ventilation 4 de l’enceinte de transport accouplée à l’interface 6 pour injecter un gaz propre dans l’enceinte de transport, depuis l’extérieur de l’enceinte de transport, à travers le port de ventilation 4 de l’enceinte de transport. La buse d’injection 17 fait par exemple saillie du plateau 13 à un emplacement du plateau 13 permettant qu’une fois la coque 2 arrimée à l’interface 6, la buse d’injection 17 soit positionnée face à un port de ventilation 4 de l’enceinte de transport. La buse d’injection 17 est par exemple configurée pour s’engager dans un orifice du port de ventilation 4 de l’enceinte de transport. Le dispositif d’injection d’un gaz propre 15 comporte par exemple autant de buses d’injection 17 qu’il y a de ports de ventilation 4 sur l’enceinte de transport. Selon un autre exemple, le dispositif d’injection d’un gaz propre 15 comporte au moins un bouchon configuré pour obturer un port de ventilation 4, par exemple de sorte que tous les ports de ventilation 4 soient en prise avec une buse d’injection 17 ou un bouchon. Alternativement, certains ports de ventilation 4 peuvent être laissés libres. Les buses d’injection 17 comportent par exemple des dispositifs d’étanchéité respectifs permettant un raccord étanche avec le port de ventilation 4. Le dispositif d’étanchéité est par exemple en matériau élastique, tel qu’en silicone. C’est par exemple une ventouse, un joint torique ou un joint à lèvres ou un soufflet, entourant l’orifice de la buse d’injection 17. Selon un autre exemple, le dispositif d’étanchéité est en matériau rigide, tel qu’en matériau PEEK, l’étanchéité pouvant être obtenue par compression du dispositif d’étanchéité. Le dispositif d’injection d’un gaz propre 15 peut comporter un actionneur configuré pour pousser la(es) buse(s) d’injection 17 ou le(s) bouchon(s) le cas échéant, contre un port de ventilation 4 respectif. La(es) ligne(s) d’injection 16 reliant les buses d’injection 17 sont raccordées à une(des) amenée(s) de gaz 18, comme des sorties de gaz disponibles sur site (aussi appelées « facilities » en anglais). La(es) ligne(s) d’injection 16 peuvent en outre être pourvues de filtres à particules 20 pour filtrer d’éventuelles particules polluantes du gaz propre injecté ( ). Le gaz propre est par exemple de l’azote ou de l’air pur et sec ou ultra-sec. Le débit d’injection du gaz propre dans chaque buse d’injection 17 est par exemple compris entre 6 l/min (0,0001 m 3 /s) et 30 l/min (1,8 m 3 /h ou 0,0005 m 3 /s). Le dispositif d’injection d’un gaz propre 15 peut également comporter au moins un capteur de pression 21 configuré pour mesurer la pression dans une ligne d’injection 16 ( ). On peut alors identifier un défaut du port de ventilation 4, tel qu’un défaut du filtre à particules 4a, en mesurant la pression dans la ligne d’injection 16 et en la comparant avec une valeur de référence. Le dispositif d’injection d’un gaz propre 15 peut également comporter au moins un dispositif de contrôle du débit 22, permettant l’injection contrôlée de différents flux de gaz, par exemple dans la gamme 30 l/min (0.0005 m 3 /s) -100 l/min (0.00167 m 3 /s), tel que 50 l/min (0.00083 m 3 /s) en moyenne et jusqu’à 100 l/min (0.00167 m 3 /s),, dans une ligne d’injection 16. Il y a par exemple un capteur de pression 21 et un dispositif de contrôle du débit 22 par ligne d’injection 16. Le capteur de pression 21 est agencé en aval du dispositif de contrôle du débit 22 et du filtre à particules 20 dans le sens d’écoulement du gaz propre dans la ligne d’injection 16. Il est en outre avantageusement agencé au plus proche du port de ventilation 4 pour améliorer la sensibilité de mesure. Les moyens de contrôle du modèle d’enceinte de transport, les moyens d’actionnement de verrou, les mécanismes d’actionnement de porte du port de chargement 14 et le dispositif d’injection d’un gaz propre 15 peuvent être pilotés par une unité de traitement 23 de la station de mesure 1, telle qu’un ordinateur ou contrôleur. L’unité de traitement 23 peut être raccordée à une interface utilisateur 24, comprenant par exemple notamment un écran et un clavier visibles sur la . Également, la station de mesure 1 comporte par exemple une armoire électrique 25 permettant l’alimentation et le logement de toute ou partie des composants électriques de la station. L’armoire électrique 25 est avantageusement déportée latéralement de la chambre 9, de manière à être à l’écart du flux laminaire d’air filtré, évitant ainsi la contamination de la chambre 9 par les différents composants logés dans l’armoire électrique 25. Le procédé de mesure de la contamination en particules d’une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de plaquettes semi-conductrices mis en œuvre dans la station de mesure 1 comporte les étapes décrites ci-après. En position de repos de la station de mesure 1, l’interface 6 est agencée dans la chambre 9 dont l’accès 11 est fermée par la porte de port de chargement 14 ( ). Puis, lorsqu’un opérateur ou un robot place une enceinte de transport sur le plateau 13 du port de chargement 12, le port de chargement 12 positionne et contrôle le modèle d’enceinte de transport, puis clampe la coque 2 de l’enceinte et l’avance contre l’accès 11 de la chambre 9 (flèche D1 sur la ). Les moyens d’actionnement de verrou de la porte de port de chargement 14 déverrouillent alors les organes de verrouillage de la porte 3 et solidarisent la porte 3 à la porte de port de chargement 14 ( ). L’ensemble des portes 3-14 est alors déplacé dans la chambre 9 à l’écart de l’accès 11 (flèche D2 sur la ) mettant le volume intérieur de la coque 2 en communication avec le volume intérieur de la chambre 9. Puis, l’interface 6 est déplacée en direction de la coque 2 et s’accouple à la coque 2 à la place de la porte 3. A l’état accouplé, la tête de mesure 8 est immobilisée dans le volume de mesure définit par l’interface 6 et la coque 2 accouplée. Puis, on injecte un gaz propre dans l’enceinte de transport, depuis l’extérieur de l’enceinte de transport, à travers le(s) port(s) de ventilation 4 de l’enceinte de transport, et on compte les particules (en temps réel/ simultanément) d’un échantillon gazeux prélevé par l’orifice de prélèvement 7 de l’interface 6 au cours de l’injection. L’échantillon gazeux est prélevé dans le volume de mesure par aspiration par la ligne de prélèvement. La quantité de particules contenues dans l’échantillon de gaz prélevé est déterminée en continu par le compteur de particules 5. Le fait d’injecter un gaz propre dans un port de ventilation 4 permet de simuler les conditions à risque en production relatives la purge d’une enceinte de transport via le port de ventilation 4. Si un filtre à particules 4a du port de ventilation 4 pose un problème de contamination particulaire alors il peut être détecté par mesure du compteur à particules 5 dont le prélèvement est réalisé à l’intérieur de l’enceinte de transport. Les conditions du test sont les mêmes que celles d’utilisation en production. Le comptage des particules en temps réel permet en outre de ne pas réduire les cadences de production. Selon un exemple de réalisation, le débit de gaz propre injecté par la au moins une buse d’injection 17 est supérieur au débit de gaz prélevé. Par exemple, le débit de gaz propre injecté dans la au moins une buse d’injection 17 est supérieur à 6 l/min (0,0001 m 3 /s), tel que supérieur à 30 l/min (1,8 m 3 /h ou 0,0005 m 3 /s), tel que supérieur à 50 l/min (3 m 3 /h ou 0,000833333), comme 80 l/min (4,8 m 3 /h ou 0,00133333 m 3 /s). Le fait d’injecter un débit de gaz propre supérieur au débit de gaz prélevé et à celui habituellement utilisé pour la purge des enceintes de transport dans les conditions de production, permet de contraindre légèrement plus les enceintes de transport qu’au cours des opérations de purge. Le décollage des particules du filtre à particules 4a pour le comptage est favorisé. La durée d’injection est par exemple d’une minute par buse d’injection 17. Selon un exemple de réalisation, on injecte simultanément dans tous les ports de ventilation 4 de l’enceinte de transport et on compte le nombre de particules au cours de cette injection. Cette méthode permet de définir un niveau global de propreté des filtres à particules 4a de l’enceinte de transport. Selon un autre exemple de réalisation, on injecte séquentiellement dans les ports de ventilation 4, soit port par port à tour de rôle, soit par couple de deux ports à la fois ou plus, et on compte le nombre de particules au cours de chaque injection. Le séquençage permet de localiser le port de ventilation 4problématique. Selon un exemple de réalisation, on identifie un défaut d’un port de ventilation 4, notamment dont le nombre de particules compté est anormalement élevé afin de savoir en particulier s’il est dû à un défaut du filtre à particules 4a, en mesurant la pression dans la ligne d’injection 16 via le capteur de pression 21 au cours d’une injection, et en la comparant avec une valeur de référence, obtenue par exemple dans la ligne d’injection 16 sans défauts déterminée lors de la mise au point ou par calcul. L’écart entre la pression mesurée et la valeur de référence peut être significatif d’un défaut du port de ventilation 4. Une pression mesurée plus basse que la valeur de référence, par exemple inférieure à 20% de la valeur de référence, peut être révélateur d’un endommagement du filtre à particules 4a du port de ventilation 4 ou d’un élément fuyard dans le dispositif d’injection d’un gaz propre 15. Une pression mesurée plus élevée que la valeur de référence peut être révélateur d’un dysfonctionnement d’un clapet 4b du port de ventilation 4. En effet, lors de l’injection du gaz propre par la buse d’injection 17 dans le port de ventilation 4, le filtre à particules 4a « freine » le gaz propre, ce qui se traduit par une augmentation de pression stabilisée en régime stable d’injection. Si le filtre à particules 4a est abimé, mal positionné ou absent, alors cette pression se stabilise à une valeur plus faible. Ceci est illustré par le graphique de la montrant la pression en fonction du temps mesurée au cours d’une injection débutant à t0 dans une ligne d’injection 16 ayant un défaut (traits continus) et dans la ligne d’injection 16 sans défauts (traits pointillés). On constate sur ce graphique que la pression mesurée dans la ligne d’injection 16 est bien inférieure à la valeur de référence de la ligne d’injection 16 sans défaut, au moins 20% plus basse, ici presque 50% plus faible, ce qui peut être caractéristique d’un défaut du filtre à particules 4a du port de ventilation 4. Lorsque les mesures sont terminées, l’interface 6 est écartée de la coque 2 et l’enceinte de transport est refermée et libérée pour être envoyée soit au nettoyage, soit pour poursuivre l’opération de convoyage ou de stockage, selon son état de propreté. Station de mesure (1) de la contamination en particules d’une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de plaquettes semi-conductrices, ladite enceinte de transport comprenant une coque (2) et une porte (3) amovible pouvant fermer la coque (2), la coque (2) présentant au moins un port de ventilation (4) muni d’un filtre à particules (4a), la station de mesure (1) comportant un compteur de particules (5) et une interface (6) configurée pour s’accoupler à la coque (2) à la place de la porte (3), ladite interface (6) comportant un orifice de prélèvement (7) fluidiquement raccordé au compteur de particules (5), caractérisée en ce que la station de mesure (1) comporte en outre un dispositif d’injection d’un gaz propre (15) comportant au moins une ligne d’injection (16) présentant au moins une buse d’injection (17) configurée pour être fluidiquement raccordée à un port de ventilation (4) de l’enceinte de transport accouplée à l’interface (6) pour injecter un gaz propre dans l’enceinte de transport, depuis l’extérieur de l’enceinte de transport, à travers le au moins un port de ventilation (4) de l’enceinte de transport. Station de mesure (1) selon la revendication 1, caractérisée en ce que le dispositif d’injection d’un gaz propre (15) comporte au moins un capteur de pression (21) configuré pour mesurer la pression dans une ligne d’injection (16). Procédé de mesure de la contamination en particules d’une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de plaquettes semi-conductrices, mis en œuvre dans une station de mesure (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu’on injecte un gaz propre dans l’enceinte de transport, depuis l’extérieur de l’enceinte de transport, à travers le au moins un port de ventilation (4) de l’enceinte de transport, et on compte les particules d’un échantillon gazeux prélevé par l’orifice de prélèvement (7) de l’interface (6) au cours de l’injection. Procédé de mesure selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le débit de gaz propre injecté par la au moins une buse d’injection (17) est supérieur au débit de gaz prélevé. Procédé de mesure selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le débit de gaz propre injecté dans la au moins une buse d’injection (17) est supérieur à 0,0001 m 3 /s, tel que supérieur à 0, 0005 m 3 /s. Procédé de mesure selon l’une des revendications 3 à 5, caractérisé en ce que le gaz propre est de l’azote ou de l’air pur et sec. Procédé de mesure selon l’une des revendications 3 à 6, pour la mesure de la contamination en particules d’une enceinte de transport ayant plusieurs ports de ventilation (4), caractérisé en ce qu’on injecte simultanément dans tous les ports de ventilation (4) de l’enceinte de transport et on compte le nombre de particules au cours de cette injection. Procédé de mesure selon l’une des revendications 3 à 6, pour la mesure de la contamination en particules d’une enceinte de transport ayant plusieurs ports de ventilation (4), caractérisé en ce qu’on injecte séquentiellement dans les ports de ventilation (4) et on compte le nombre de particules au cours de chaque injection. Procédé de mesure selon l’une des revendications 3 à 8, caractérisé en ce qu’on identifie un défaut du port de ventilation (4) en mesurant la pression dans la ligne d’injection (16) et en la comparant avec une valeur de référence.