Brevet FR3140451A1 — publié le 20240405

Substrat optique à antennes intégrées et spectromètre le comprenant L’invention concerne un substrat optique (1) à guide d’ondes (2) intégré, au moins une antenne (330) étant formée dans le substrat optique (1), l’au moins une antenne étant formée par plusieurs nano-trous (341, 342, 343), au moins l’un des nano-trous (341, 342, 343) différant des autres nano-trous (341, 342, 343) par au moins l’un parmi son diamètre, et son espacement du guide d’ondes (2) selon la direction de hauteur du substrat optique (1) et son écartement à un nano-trou adjacent de la même antenne selon la direction longitudinale du substrat optique (1). L’invention concerne également un spectromètre (S) intégrant un tel substrat optique (1). Figure à publier avec l’abrégé : Figure 8 Substrat optique à antennes intégrées et spectromètre le comprenant La présente invention concerne le domaine de l’optique intégrée, et porte plus particulièrement sur un substrat optique à antennes intégrées et sur un spectromètre le comprenant. Dans le domaine de l’optique intégrée, lorsque l'on souhaite envoyer de la lumière guidée dans une structure guidée planaire, enterrée ou en surface d’un composant optique, vers un détecteur optique, notamment de type infrarouge (IR) ou caméra, à l’extérieur du composant optique, dans une direction proche de la normale à la surface du composant optique, la lumière va diverger naturellement depuis le point d'émission jusqu'au point de détection. Si plusieurs sources distinctes sont formées à la surface du composant optique, et que l'on souhaite associer chaque source à un pixel ou groupe de pixels différent du détecteur optique, le signal provenant de ces sources distinctes va s'étaler sur plusieurs pixels. Ceci induit une superposition sur un pixel (ou groupe de pixels) des signaux issus des différentes sources au niveau du détecteur optique, créant de la diaphonie et réduisant le rapport signal sur bruit. Cette large divergence angulaire est due aux points sources, considérés comme ponctuels et donc très divergents, et à la zone active dans les détecteurs optiques (notamment de type IR), qui peut être à plusieurs centaines de micromètres en dessous de la surface physique du détecteur optique. Une première solution pour surmonter ces inconvénients est d'espacer les points sources. Toutefois, la densité d'informations qui peut être traitée est ainsi réduite. Une autre solution est d’agir sur l'extraction de lumière du guide d'ondes vers le détecteur optique. On peut ainsi utiliser par exemple un réseau de Bragg (alternance physique de zones à fort/faible indice de réfraction) placé en surface dans le guide d’ondes. Plus l'interaction entre le mode guidé et le réseau de Bragg est importante, plus l'intensité du signal extraite sera grande. Ce principe est largement connu en optique intégrée. La plupart des solutions pour améliorer la directivité du flux rayonné sont ainsi basées sur des antennes bidimensionnelles de type réseaux de surface, par de la lithographie à faisceau d'électrons, un faisceau d'ions focalisé, ou de la polymérisation. Les publications suivantes divulguent de telles solutions : - Réseau de nanoantennes optiques YagiUda 3D, (3D optical YagiUda nanoantenna array), Dregely D. et al., Nat. Communications 2, 267 (2011), - Nanoantennes hybrides pour une amélioration d'émission directionnelle (Hybrid nanoantennas for directional emission enhancement), Usak, E. et al., Appl. Phys. Lett., 105, 221109 (2014), - Antennes diélectriques - une plateforme appropriée pour commander une émission dipolaire magnétique (Dielectric antennas - a suitable platform for controlling magnetic dipolar emission), Schmidt M. K. et al., Opt. Express 20, 13636-13650 (2012), - Routeur de longueurs d'ondes à antennes totalement diélectriques avec diffusion bidirectionnelle de la lumière visible (All-dielectric antenna wavelength router with bidirectionnal scattering of visible light), Li, J. et al., Nano Lett, 4396-4403 (2016), - Spectromètre électro-optique à transformée de Fourier à ondes stationnaires entièrement intégré en niobate de lithium (All Integrated Lithium Niobate Standing Wave Fourier Transform Electro-Optic Spectrometer), Loridat & al., Journal of Lightwave Technology, Volume: 36, Issue: 20, Oct.15 (2018). Il existe des solutions tridimensionnelles de type monoantenne, assimilables à des microlentilles en surface relativement complexes à mettre en œuvre, comme décrit dans "Lentilles nanophotoniques 3D hautement directives et large bande" (Broadband highly directive 3D nanophotonic lenses), Johlin, E. et al., Nature Communications 9 (2018), - Amélioration du diagramme de rayonnement vertical émis par des centres de diffusion à nanosillons multiples servant d'antenne pour les futurs spectromètres à transformée de Fourier en optique intégrée dans le proche IR (Improving the vertical radiation pattern issued from multiple nano-groove scattering centers acting as an antenna for future integrated optics Fourier transform spectrometers in the near IR), Morand & al., Opt Lett. 2019, Feb 1;44(3):542-545. Le réseau de Bragg selon l’état de la technique n’est cependant réalisé que de manière planaire, en surface. Il est alors seulement possible de contrôler la période ou le rapport cyclique des périodes pour contrôler le pouvoir d'extraction du réseau. Une autre possibilité de fabrication du réseau de Bragg est de réaliser des nano "trous" d'air (qui s’apparentent à des cylindres d’air) périodiquement espacés, dans le matériau constituant le composant. Une telle technique de formation de nano-trous est par exemple décrite dans les publications suivantes : - Usinage de nanocanaux à haut facteur de forme à l'aide de faisceaux de Bessel femtosecondes monocoup (High aspect ratio nanochannel machining using single shot femtosecond Bessel beams), Bhuyan & al., Appl. Phys. Lett. 97, 081102 (2010), - Nanostructuration à haut facteur de forme dans le volume de la silice fondue à l'aide de faisceaux laser ultrarapides de Bessel contrôlés par chirp (Single shot high aspect ratio bulk nanostructuring of fused silica using chirp controlled ultrafast laser Bessel beams), Bhuyan & al., Appl. Phys. Lett. 104, 0201107 (2014), - Dynamique spatio-temporelle dans la structuration à l'échelle nanométrique par laser ultrarapide de Bessel non diffractif dans le volume (Spatio-temporal dynamics in nondiffractive Bessel ultrafast laser nanoscale volume structuring), Velpula & al., Las. Photon Rev. 2, 230 (2016), - Spectro-interféromètre dans le proche infrarouge utilisant des guides d'ondes et des nano-diffuseurs intégrés, fabriqués par photo-inscription laser dans le GLS, (Near-infrared spectro-interferometer using femtosecond laser written GLS embedded waveguides and nano-scatterers), Martin & al., Optics Express, Vol. 25, Issue 7, pp. 8386-8397 (2017). Selon ces techniques, une procédure d’irradiation non diffractive est utilisée pour photo-inscrire des nano-trous dans le substrat optique comprenant un guide d’ondes en utilisant des faisceaux de Bessel focalisés qui génèrent localement dans le substrat optique une concentration d’énergie suffisante pour créer des micro-explosions unidimensionnelles localisées, le relâchement latéral de pression créant des cavités axialement uniformes unidimensionnelles, pour créer des nano-trous (parfois appelés nano-trous de Bessel) uniformes étendus. Il est possible selon cette technique d’utiliser deux lasers qui se font face avec le substrat optique au milieu, ou un seul laser visant le substrat. L'intérêt principal de l'inscription laser pour la fabrication de nano-trous allongés est qu’il est possible de couvrir une longueur d'échantillonnage de 1 cm, sans remplacement de masque, en un temps très court (quelques secondes). De plus, la position du trou peut être ajustée par rapport au guide d'ondes. La géométrie et la longueur des nano-trous peuvent être contrôlées “à volonté”, mais avec un compromis entre longueur et diamètre. La fabrication de nano-trous d'air par des techniques de photo-inscription laser permet par exemple de réaliser ce type de réseau planaire. De même que pour les antennes bidimensionnelles décrites plus haut, uniquement la période ou le rapport cyclique des périodes peuvent être modifiés pour contrôler le pouvoir d'extraction du réseau. La publication Spectro-interféromètre 3D 3T inscrit par laser : étude et optimisation de la nano-antenne inscrite par laser (Laser written 3D 3T spectro-interferometer : Study and optimisation of the laser written nano-antenna), Bonduelle & al., SPIE Astronomical Telescopes + Instrumentation, Dec 2020, France. pp.82, , décrit l’utilisation de nano-trous pour l’extraction du flux optique dans un guide d’ondes. La présente invention vise à optimiser l'extraction d'un flux optique confiné dans un guide d'ondes intégré dans un substrat optique afin de le diriger vers un détecteur situé en surface du substrat optique intégrant le guide d’ondes, en utilisant des nano-antennes tridimensionnelles de type nano-trous d’air formés par photo-inscription laser. Au contraire des technologies lithographiques classiques, qui sont des techniques surfaciques, il est en effet possible avec la photo-inscription laser décrite plus haut de réaliser un réseau de Bragg à n'importe quelle profondeur dans un substrat optique intégrant un guide d’ondes, permettant notamment de protéger les structures diffractantes ainsi que le guide d'ondes des effets de surface (rayures, poussières...). Il est également envisagé selon la présente invention de réaliser des nano-structures diffractantes par d’autres techniques, par exemple dans des résines déposées au-dessus du guide d'ondes : une résine photo-sensible est déposée sur un guide d’ondes en surface, puis est exposée avec un laser, par exemple un laser UV (plus simple que les lasers femto-secondes de la technique de photo-inscription laser), puis dégradée dans les endroits exposés, lesquels sont ensuite éliminés avec un solvant pour former également des nano-trous d'air. L’approche selon la présente invention utilisant la photo-inscription laser ou d’autres techniques équivalentes pour réaliser des nanoantennes (de diamètre typique de 100 nm) en trois dimensions est plus versatile que l’état de la technique. Le résultat est assimilable à des empilements tridimensionnels qui peuvent être réalisés par les outils Microlight 3D ® ou Nanoscribe ® dans des polymères, par absorption à deux photons par exemple. Les nanoantennes sont ainsi formées directement dans le matériau dans lequel se trouve le guide d'ondes, sans nécessiter une étape supplémentaire de dépôt de résine comme dans le cas de Microlight 3D ®. L’invention donne accès à un degré de liberté supplémentaire. En effet, les nano-trous peuvent être réalisés à des hauteurs différentes les uns par rapport aux autres. L'extraction du flux optique du guide d'ondes par ces antennes tridimensionnelles constituées de nano-trous peut donc être contrôlée par plusieurs paramètres : la période, le rapport cyclique avec le diamètre des nano-trous, le décalage, l’écartement ou la superposition de nano-trous périodiques en hauteur. Ceci a pour effet de réduire le cône angulaire d'émission, permettant de diriger le flux extrait du guide d’ondes vers un nombre très réduit de pixels d’un détecteur optique associé. La divergence est alors quasi nulle, indépendamment de la profondeur de la zone active dans le détecteur optique, et le signal peut être mesuré sans diaphonie. L’invention permet ainsi de contrôler la puissance extraite avec un réseau bidimensionnel pour un nombre de nano-trous donné en contrôlant la position verticale du réseau par rapport au guide d’ondes. La divergence angulaire du rayonnement diminue avec le nombre de nano-trous ou la longueur du réseau. La période des nano-trous est dans ce cas de préférence de λ/n, avec λ la longueur d'onde du signal et n l'indice de réfraction du substrat dans lequel sont formés le guide d’ondes et les nano-trous. Pour obtenir une forme plus homogène du rayonnement vertical, il peut être possible d'utiliser un réseau apodisé. Cette apodisation peut se faire de deux manières : soit par contrôle du diamètre des nano-trous, soit par décalage vertical de la position des nano-trous. Enfin lorsque la période des nano-trous est 2 à 3 fois supérieure à λ/n, il existe plusieurs ordres de Bragg rayonnés (c'est-à-dire plusieurs directions du rayonnement de la lumière en plus de la direction normale). Il est également possible de répartir horizontalement et verticalement les nano-trous pour réduire l'influence du rayonnement dans les directions différentes de celle de la verticale. L’invention peut ainsi permettre de développer un spectromètre optique compact, sans aucune pièce mobile, le détecteur étant collé au guide d'ondes collecteur de photons à caractériser, avec un réseau de Bragg pour seule optique de relais. La présente invention a donc pour objet un substrat optique à guide d’ondes intégré, le substrat optique ayant une direction longitudinale, une direction transversale et une direction de hauteur et étant constitué d’un matériau d’indice de réfraction n, le guide d’ondes étant formé dans le substrat optique selon la direction longitudinale du substrat optique, au moins une antenne étant formée dans le substrat optique décalée du guide d’ondes dans la direction de hauteur, l’au moins une antenne étant configurée pour diffracter, dans la direction de hauteur du substrat optique, une onde évanescente produite à la surface du guide d’ondes par une onde stationnaire générée par l’injection d’un signal optique de longueur d’onde λ dans le guide d’ondes, caractérisé par le fait que l’au moins une antenne est formée par plusieurs nano-trous formés selon la direction transversale du substrat optique, au moins l’un des nano-trous différant des autres nano-trous par au moins l’un parmi son diamètre, son espacement du guide d’ondes selon la direction de hauteur du substrat optique et son écartement à un nano-trou adjacent de la même antenne selon la direction longitudinale du substrat optique. La distribution des nano-trous dans la direction de hauteur et/ou leur apodisation permet d’améliorer l’extraction du flux issu du guide d’ondes vers l’extérieur du substrat. Selon un mode de réalisation, l’au moins une antenne comprend un nombre impair de nano-trous, de préférence entre trois et cinq nano-trous, de façon davantage préférée comprend cinq nano-trous. La largeur (évasement angulaire) et l’intensité du signal diffracté sont liées au nombre de nano-trous : plus il y a de trous, plus le signal est cohérent, avec un pic plus fin et moins de diaphonie. Ainsi, l'intensité du signal est proportionnelle au nombre de trous, la largeur de diffraction étant quant à elle inversement proportionnelle au nombre de trous. L’augmentation du nombre de trous introduit des contraintes sur la répétabilité. Un compromis entre la cohérence du signal et la répétabilité est atteint avec autour de cinq nano-trous par antenne. L’au moins une antenne peut être formée entre le guide d’ondes et le détecteur, auquel cas l’au moins une antenne diffracte l’onde évanescente à l’opposé du guide d’ondes, ou l’au moins une antenne peut être formée à l’opposé du détecteur par rapport au guide d’ondes, auquel cas l’au moins une antenne diffracte l’onde évanescente vers le guide d’ondes et le détecteur. L’onde stationnaire formée dans le guide d’ondes par l’injection d’un signal optique de longueur d’onde λ peut être obtenue soit par réflexion en bout de guide d’ondes grâce à un miroir, soit par injection de deux sources de part et d'autre du guide d’ondes (donc injection par la gauche et par la droite du guide d’ondes simultanément), ce qui demande une division au préalable du flux optique de la source pour faire une répartition 50/50 puis une séparation des trajets optiques pour injecter par les deux entrées opposées du guide d’ondes. Selon un mode de réalisation, les nano-trous ont des diamètres décroissant de façon symétrique d’un nano-trou central de l’antenne vers les nano-trous d’extrémité. Un diamètre de nano-trous variable (apodisation) au sein d’une même antenne permet d’ajuster l’enveloppe du signal diffracté. Par exemple, un trou plus large au centre de l’antenne permet de réduire les lobes secondaires du signal diffracté par l’antenne pour améliorer la qualité d’extraction du signal diffracté vers l’extérieur du substrat optique, permettant par exemple de passer d’un signal diffracté ayant la forme d’un sinus cardinal à une forme de gaussienne. Selon un mode de réalisation, les nano-trous sont dans des plans parallèles selon la direction de hauteur du substrat optique. Selon un mode de réalisation, les nano-trous ont une disposition en V, le nano-trou central constituant la pointe du V étant en regard du guide d’ondes et les autres nano-trous étant disposés symétriquement selon chaque branche du V dans des plans perpendiculaires à la direction de hauteur du substrat optique s’éloignant du guide d’ondes selon que les nano-trous qu’ils contiennent se rapprochent des extrémités des branches du V, l’écartement espaçant deux nano-trous adjacents en projection dans un plan perpendiculaire à la direction de hauteur du substrat optique étant égal à λ/n ou à un multiple entier de λ/n. Au sein d’une même antenne, l’écartement séparant chaque couple de nano-trous adjacents peut être le même, mais l’invention n’est pas limitée à cet égard, les écartements au sein d’une même antenne pouvant différer pour autant que chaque écartement espaçant deux nano-trous adjacents en projection dans un plan perpendiculaire à la direction de hauteur du substrat optique est égal à λ/n ou à un multiple entier de λ/n. Selon un mode de réalisation, l’au moins une antenne comprend cinq nano-trous ayant une disposition en W et disposés dans deux plans parallèles entre eux et perpendiculaires à la direction de hauteur du substrat optique, un premier plan comprenant le nano-trou central et les deux nano-trous d’extrémité, la distance entre chaque nano-trou d’extrémité et le nano-trou central selon la direction longitudinale du substrat optique dans le premier plan étant égale à une distance caractéristique égale à λ/n ou à un multiple entier de λ/n, un second plan disposé entre le guide d’ondes et le premier plan comprenant les deux autres nano-trous espacés d’une distance égale à la distance caractéristique selon la direction longitudinale du substrat optique, le premier plan et le second plan étant distants de la moitié de la distance caractéristique selon la direction de hauteur du substrat optique. La distance caractéristique est, de préférence, égale à λ/n, mais peut également prendre la valeur d’un multiple entier de λ/n. Selon un mode de réalisation, le substrat optique comprend plusieurs antennes formées d’un même côté du guide d’ondes dans la direction de hauteur et constituant un réseau d’antennes, le réseau d’antennes étant configuré pour diffracter une ou plusieurs longueurs d’onde. Les différentes antennes formées dans le substrat optique peuvent ainsi soit être formées, dans la direction de hauteur du substrat optique, entre le guide d’ondes et le détecteur, soit à l’opposé du détecteur par rapport au guide d’ondes, le guide d’ondes étant alors entre les antennes et le détecteur. La présente invention a également pour objet un spectromètre comprenant une source de lumière, un substrat optique tel que défini ci-dessus et un détecteur, le substrat ayant deux faces planes parallèles opposées selon la direction de hauteur du substrat optique, la source de lumière étant configurée pour injecter de la lumière dans le guide d’ondes du substrat optique, le détecteur étant disposé en regard de la face plane du substrat vers laquelle la lumière diffractée par l’au moins une antenne est dirigée. L’injection de lumière peut se faire à l’aide d’une fibre optique collée au substrat, en face du guide d’ondes, ou bien à l’aide de microlentilles collées sur le guide d’ondes, ou encore en focalisant le faisceau provenant de la source de lumière avec des objectifs de microscope ou tout assemblage de lentilles optiques approprié. Selon un mode de réalisation, des réservoirs de fluide sont formés à la surface du substrat optique, sur la face du substrat optique en regard du détecteur, afin de permettre une analyse par spectrométrie de la lumière diffractée par l’au moins une antenne et passant à travers les réservoirs. Selon un mode de réalisation, un circuit microfluidique est formé entre la face du substrat optique en regard du détecteur et le détecteur, afin de permettre une analyse par spectrométrie de la lumière diffractée par l’au moins une antenne et passant à travers le circuit microfluidique. Pour mieux illustrer l’objet de la présente invention, des modes de réalisation, donnés à titre illustratif et non limitatif, vont maintenant être décrits en référence aux dessins annexés. Sur ces dessins : est une vue en coupe d’un substrat optique intégrant un guide d’ondes selon l’état antérieur de la technique ; est une vue schématique d’une antenne selon l’état antérieur de la technique ; est une vue analogue à la d’une antenne selon un premier mode de réalisation de la présente invention ; est une courbe illustrant les différences de performance entre une antenne selon l’état antérieur de la technique et une antenne selon le premier mode de réalisation ; est une vue analogue à la d’une antenne selon un deuxième mode de réalisation de la présente invention ; est une vue analogue à la d’une antenne selon un troisième mode de réalisation de la présente invention ; est une courbe illustrant les différences de performances entre une antenne selon l’état antérieur de la technique et une antenne selon le troisième mode de réalisation de l’invention ; et est une représentation schématique d’un spectromètre selon l’invention intégrant une antenne selon un quatrième mode de réalisation de l’invention. Si l’on se réfère à la , on peut voir que l’on a représenté un substrat optique 1 avec guide d’ondes intégré selon l’état antérieur de la technique. Sur la , la direction longitudinale du substrat optique 1 est la direction de gauche à droite de la , la direction de hauteur est la direction de haut en bas de la et la direction transversale est la direction perpendiculaire au plan de la . Le substrat optique 1 est un matériau d’indice de réfraction n, et comprend un guide d’ondes intégré 2 formé selon la direction longitudinale du substrat optique 1. Les ondes entrent dans le guide d’ondes intégré 2 par la gauche de la et sont réfléchies par un miroir 2a formé à l’extrémité droite du guide d’ondes intégré 2, pour former à l'intérieur du guide d’ondes intégré 2 une onde stationnaire avec l’onde propagative et contrapropagative générée par le miroir 2a, l'onde évanescente issue de cette onde stationnaire étant diffractée en direction d’une antenne 3 formée de plusieurs nano-trous 4 (cinq nano-trous 4 sur la espacés de λ/n, λ étant la longueur d’onde du signal optique injecté dans le guide d’ondes 2) en forme de tubes qui s’étendent selon la direction transversale du substrat optique 1. L’antenne 3 échantillonne un point de l’onde propagative en convertissant la partie évanescente de l'onde propagative en interaction avec les nano-trous 4 en une onde rayonnée verticale pour extraire verticalement une partie de l'onde propagative, le même comportement étant obtenu pour l'onde contrapropagative. Les ondes ainsi diffractées par l’antenne 3 sont extraites vers un détecteur 5 sur la partie supérieure duquel est formée une couche de capteurs optiques 6. La somme des deux ondes rayonnées sur la couche de capteurs optiques 6 permet de générer une interférence qui sera dans ce cas contrastée. A titre d’exemple non limitatif, le détecteur peut être en InP, la couche de capteurs optiques 6 en partie supérieure étant un réseau de pixels IngaAs. Il est à noter qu’il y a sur la un espace d’air entre le substrat optique 1 et le détecteur 5, mais qu’un tel espace d’air n’est pas nécessairement obligatoire, le détecteur 5 pouvant être collé à la surface du substrat optique 1. En outre, une couche antireflet peut être prévue sur la face du détecteur 5 en regard du substrat optique 1. La représente plus schématiquement l’antenne 3 de la , uniquement représentée par rapport au guide d’ondes 2 avec le substrat optique 1 et le détecteur 5 de la omis pour plus de lisibilité du dessin, composée de cinq nano-trous 4, disposés dans un même plan dans la direction de hauteur du substrat optique, les nano-trous 4 de l’antenne 3 ayant les mêmes dimensions, et diffusant l’onde évanescente issue de l’onde optique incidente E, en partie gauche du guide d’ondes intégré 2 et se déplaçant dans celui-ci selon la flèche représentée dans le guide d’ondes 2 de la gauche vers la droite, vers le détecteur (non représenté sur la ). La est une vue analogue à la d’une antenne 30 selon un premier mode de réalisation de l’invention, dans lequel les nano-trous 41, 42, 43 sont disposés en V, avec la pointe du V constituée par le nano-trou 41 le plus proche du guide d’ondes intégré 2 et les autres nano-trous 42, 43 s’étendant symétriquement dans la direction de hauteur du substrat optique 1 vers le détecteur (également non représenté sur la ). Comme représenté sur la , l’antenne 30 comprend cinq nano-trous 41, 42, 43, le premier nano-trou 41 constituant comme indiqué la pointe du V à une première hauteur par rapport au guide d’ondes optique 2, deux nano-trous 42 dans un même plan situé à une seconde hauteur par rapport au guide d’ondes optique 2 supérieure à la première hauteur, et deux nano-trous 43 dans un même plan situé à une troisième hauteur par rapport au guide d’ondes optique 2 supérieure à la deuxième hauteur et constituant les extrémités des branches du V formé par l’antenne 30. Deux nano-trous adjacents 41, 42, 43 sur la sont espacés de 2λ/n dans la direction longitudinale et de 2λ/n dans la direction de hauteur. L’invention n’est toutefois pas limitée à cet égard. Ainsi, si on souhaite pour des contraintes de taille faire plus grand, si la séparation latérale entre deux trous du même plan est K*λ/n, avec K un entier naturel, alors la séparation verticale devra être K*2λ/n. La montre la différence de performances de l’antenne 3 de la et de l’antenne 30 de la , en représentant la forme des rayonnements obtenus au-dessus de chaque antenne (longueur d’onde en abscisses et intensité en ordonnées), la courbe en trait plein représentant les performances de l’antenne 3 de la et la courbe en trait discontinu représentant les performances de l’antenne 30 de la . La montre ainsi une amélioration du cône d’extraction et une réduction des pics secondaires, donc une meilleure performance de l’antenne 30 en termes de diminution de diaphonie entre pixels voisins d’un détecteur placé en regard de l’antenne. La est une vue analogue à la d’une antenne 130 selon un deuxième mode de réalisation de l’invention, dans lequel les nano-trous 141, 142, 143 sont configurés en W, avec deux nano-trous 142 dans un premier plan, et trois nano-trous 141, 143 dans un second plan parallèle au premier plan et plus éloigné du guide d’ondes 2 que le premier plan, les nano-trous 141, 142, 143 dans chaque plan étant espacés de λ/n, les deux plans étant espacés de λ/(2n), chaque nano-trou 142 du premier plan étant disposé au centre, en projection orthogonale sur le guide d’ondes 2, de deux nano-trous 141, 143 du second plan. Comme précédemment, l’invention n’est toutefois pas limitée à cet égard. Ainsi, si on souhaite pour des contraintes de taille faire plus grand, si la séparation latérale entre deux trous du même plan est K*λ/n, avec K un entier naturel, alors la séparation verticale devra être K*2λ/n. La est une vue analogue à la d’une antenne 230 selon un troisième mode de réalisation de l’invention, dans lequel les nano-trous 241, 242, 243 sont disposés dans un même plan à une certaine distance du guide d’ondes 2 dans la direction de hauteur du substrat La différence entre les nano-trous 241, 242, 243 dans l’antenne 230 de ce troisième mode de réalisation vient de l’apodisation : les nano-trous 241, 242, 243 ont différents diamètres, le nano-trou central 241 ayant le plus grand diamètre, les deux nano-trous adjacents 242 ont un diamètre inférieur à celui du nano-trou central 241 et les deux nano-trous d’extrémité 243 ont un diamètre encore inférieur à celui des nano-trous 242. L’effet de l’apodisation est représenté en , représentant la forme des rayonnements obtenus au-dessus de chaque antenne (longueur d’onde en abscisses et intensité en ordonnées). En particulier, la courbe en pointillés représente une antenne 3 selon la et la courbe gris clair représente une antenne 230 selon le troisième mode de réalisation de la . L’apodisation permet une réduction importante des pics secondaires, diminuant encore une fois l’effet de diaphonie sur les pixels voisins d’un détecteur placé en regard de l’antenne. La montre également l’effet d’amélioration du cône d’extraction en fonction du nombre croissant de nano-trous dans l’antenne (1 nano-trou correspond à la courbe en trait plein avec un cône d’extraction très aplati, 3 nano-trous correspond à la courbe en trait discontinu avec un cône d’extraction plus prononcé, le meilleur cône d’extraction étant obtenu avec cinq nano-trous (courbe en pointillés), les cinq trous apodisés ayant un cône d’extraction moins prononcé mais des lobes secondaires plus atténués que l’antenne avec 5 trous sans apodisation). Bien que l’antenne 3 soit représentée sur les Figures des différents modes de réalisation entre le guide d’ondes 2 et le détecteur 3, l’antenne 3 pourrait également être formée dans le substrat optique 1 sous le guide d’ondes 2, à savoir à l’opposé du détecteur 5 par rapport au guide d’ondes 2, sans s’écarter du cadre de la présente invention. Il est également bien entendu que l’invention n’est pas limitée, dans ses différents modes de réalisation, en ce qui concerne la génération de l’onde stationnaire et que l’onde stationnaire pourrait être créée dans le guide d’ondes 2 par tout autre moyen, en l’absence du miroir 2a à l’extrémité du guide d’ondes 2 opposée à l’extrémité d’injection du signal optique, par exemple par injection de deux sources optiques de part et d'autre du guide d’ondes 2 (donc injection par la gauche et par la droite du guide d’ondes 2 simultanément), avec une division préalable du flux optique de la source pour obtenir une répartition 50/50 sur les deux sources, puis séparation des trajets optiques pour injecter les signaux issus des deux sources optiques créées par les deux entrées opposées du guide d’ondes 2. Si l’on se réfère maintenant à la , on peut voir que l’on y a représenté un spectromètre S selon la présente invention. Comme pour la , le spectromètre S selon la présente invention comprend un substrat optique 1 avec un guide d’ondes intégré 2, ayant un miroir 2a à son extrémité opposée à l’extrémité d’entrée de l’onde optique, une source optique 7 et un dispositif de traitement de signal 8. Une antenne 330 selon un quatrième mode de réalisation est formée dans le substrat optique 1, au-dessus du guide d’ondes 2 dans la direction de hauteur du substrat optique 1, l’antenne 330 étant une combinaison des premier et troisième modes de réalisation, à savoir constituée de cinq nano-trous 341, 342, 343, formés en V comme dans le premier mode de réalisation et apodisés comme dans le troisième mode de réalisation, le nano-trou central 341 étant le nano-trou qui constitue la base du V et de plus grand diamètre, les autres nano-trous, respectivement 342 et 343, étant disposés au-dessus et ayant des diamètres plus petits au fur et à mesure que l’on s’éloigne du guide d’ondes 2. Le signal optique émis par la source optique 7 dans le guide d’ondes 2 génère, par circulation dans le guide d’ondes 2, une onde évanescente dirigée par l’antenne 330 vers le détecteur 5, et en particulier vers le réseau de pixels schématisé par la couche 6 en partie supérieure du détecteur 5, les signaux résultants étant envoyés vers le dispositif de traitement de signal 8. Le dispositif de traitement de signal 8 peut être un microprocesseur, un microcontrôleur, un processeur, un processeur de signaux numériques (DSP), une matrice prédiffusée programmable (FPGA), un composant à application spécifique (ASIC), voire un ordinateur disposant des logiciels permettant de traiter et d’analyser les signaux émis par les pixels de la couche 6. Ainsi, une onde optique injectée dans le guide d’ondes 2 par la source optique 7 forme une onde évanescente diffractée par l’antenne 330 pour être captée par les pixels 6 puis traitée par le dispositif de traitement de signal 8 pour former le spectromètre optique S. En variante, des canaux de circulation d’un fluide 9 peuvent être formés en surface du substrat optique 1 et reliés à un dispositif de mise en circulation de fluide (non représenté sur la ) pour faire circuler dans les canaux 9 un fluide à analyser par le spectromètre S selon l’invention, par analyse de l’influence du fluide sur l’onde optique captée par les pixels 6 du détecteur 5. Il est bien entendu que l’antenne selon l’invention a été représentée schématiquement sur les Figures, mais que ses dimensions ne sont pas obligatoirement à l’échelle, tant par rapport aux dimensions du substrat optique 1 que du guide d’ondes 2. Egalement, il est envisagé selon l’invention qu’il puisse y avoir plus ou moins de nano-trous par antenne, plusieurs antennes par substrat optique/spectromètre pour capter différentes longueurs d’ondes, et des configurations d’antennes différentes, pour autant qu’au moins l’un parmi le diamètre, l’espacement du guide d’ondes selon la direction de hauteur du substrat optique et l’écartement entre deux nano-trous adjacents varie pour les nano-trous d’une même antenne. – Substrat optique (1) à guide d’ondes (2) intégré, le substrat optique (1) ayant une direction longitudinale, une direction transversale et une direction de hauteur et étant constitué d’un matériau d’indice de réfraction n, le guide d’ondes (2) étant formé dans le substrat optique (1) selon la direction longitudinale du substrat optique (1), au moins une antenne (30 ; 130 ; 230 ; 330) étant formée dans le substrat optique (1) décalée du guide d’ondes (2) dans la direction de hauteur, l’au moins une antenne (30 ; 130 ; 230 ; 330) étant configurée pour diffracter, dans la direction de hauteur du substrat optique (1), une onde évanescente produite à la surface du guide d’ondes (2) par une onde stationnaire générée par l’injection d’un signal optique de longueur d’onde λ dans le guide d’ondes (2), caractérisé par le fait que l’au moins une antenne (30 ; 130 ; 230 ; 330) est formée par plusieurs nano-trous (41, 42, 43 ; 141, 142, 143 ; 241, 242, 243 ; 341, 342, 343) formés selon la direction transversale du substrat optique (1), au moins l’un des nano-trous (41, 42, 43 ; 141, 142, 143 ; 241, 242, 243 ; 341, 342, 343) différant des autres nano-trous (41, 42, 43 ; 141, 142, 143 ; 241, 242, 243 ; 341, 342, 343) par au moins l’un parmi son diamètre, son espacement du guide d’ondes (2) selon la direction de hauteur du substrat optique (1) et son écartement à un nano-trou adjacent de la même antenne selon la direction longitudinale du substrat optique (1). – Substrat optique (1) selon la revendication 1, caractérisé par le fait que l’au moins une antenne (30 ; 130 ; 230 ; 330) comprend un nombre impair de nano-trous, de préférence entre trois et cinq nano-trous, de façon davantage préférée comprend cinq nano-trous. – Substrat optique (1) selon la revendication 2, caractérisé le fait les nano-trous (141, 142, 143 ; 341, 342, 343) ont des diamètres décroissant de façon symétrique d’un nano-trou central (141 ; 341) de l’antenne (130 ; 330) vers les nano-trous d’extrémité (142, 143 ; 342, 343). – Substrat optique (1) selon l’une des revendications 1 à 3, caractérisé par le fait que les nano-trous (41, 42, 43 ; 141, 142, 143 ; 341, 342, 343) sont dans des plans parallèles selon la direction de hauteur du substrat optique (1). – Substrat optique (1) selon la revendication 4 prise en dépendance de la revendication 2 ou de la revendication 3, caractérisé par le fait que les nano-trous (41, 42, 43 ; 341, 342, 343) ont une disposition en V, le nano-trou (41 ; 341) central constituant la pointe du V étant en regard du guide d’ondes (2) et les autres nano-trous (42, 43 ; 342, 343) étant disposés symétriquement selon chaque branche du V dans des plans perpendiculaires à la direction de hauteur du substrat optique (1) s’éloignant du guide d’ondes (2) selon que les nano-trous (42, 43 ; 342, 343) qu’ils contiennent se rapprochent des extrémités des branches du V, l’écartement espaçant deux nano-trous adjacents en projection dans un plan perpendiculaire à la direction de hauteur du substrat optique (2) étant égal à λ/n ou à un multiple entier de λ/n. – Substrat optique (1) selon la revendication 4 prise en dépendance de la revendication 2 ou de la revendication 3, caractérisé par le fait que l’au moins une antenne (130) comprend cinq nano-trous (141, 142, 143) ayant une disposition en W et disposés dans deux plans parallèles entre eux et perpendiculaires à la direction de hauteur du substrat optique (1), un premier plan comprenant le nano-trou central (141) et les deux nano-trous d’extrémité (143), la distance entre chaque nano-trou d’extrémité (143) et le nano-trou central (141) selon la direction longitudinale du substrat optique (1) dans le premier plan étant égale à une distance caractéristique égale à λ/n ou à un multiple entier de λ/n, un second plan disposé entre le guide d’ondes (2) et le premier plan comprenant les deux autres nano-trous (142) espacés d’une distance égale à la distance caractéristique selon la direction longitudinale du substrat optique (1), le premier plan et le second plan étant distants de la moitié de la distance caractéristique selon la direction de hauteur du substrat optique (1). – Substrat optique (1) selon l’une des revendications 1 à 6, caractérisé par le fait qu’il comprend plusieurs antennes formées d’un même côté du guide d’ondes (2) dans la direction de hauteur et constituant un réseau d’antennes, le réseau d’antennes étant configuré pour diffracter une ou plusieurs longueurs d’onde. – Spectromètre (S) comprenant une source de lumière (7), un substrat optique (1) selon l’une des revendications 1 à 7 et un détecteur (5), le substrat optique (1) ayant deux faces planes parallèles opposées selon la direction de hauteur du substrat optique (1), la source de lumière (7) étant configurée pour injecter de la lumière dans le guide d’ondes (2) du substrat optique (1), le détecteur (5) étant disposé en regard de la face plane du substrat optique (1) vers laquelle la lumière diffractée par l’au moins une antenne (30 ; 130 ; 230 ; 330) est dirigée. – Spectromètre (S) selon la revendication 8, caractérisé par le fait que des réservoirs de fluide (9) sont formés à la surface du substrat optique (1), sur la face du substrat optique (1) en regard du détecteur (5), afin de permettre une analyse par spectrométrie de la lumière diffractée par l’au moins une antenne (330) et passant à travers les réservoirs (9). – Spectromètre (S) selon l’une des revendications 8 ou 9, caractérisé par le fait qu’un circuit microfluidique est formé entre la face du substrat optique (1) en regard du détecteur (5) et le détecteur (5), afin de permettre une analyse par spectrométrie de la lumière diffractée par l’au moins une antenne (330) et passant à travers le circuit microfluidique.