Brevet FR3143844A1 — publié le 20240621

L’invention concerne un système d’insertion d’une barre (93) dans une fente d’un panier (9), tel qu’un panier (9) de logement de plaquettes d’un matériau semi-conducteur comportant la barre (93) pour le maintien des plaquettes dans le panier (9), et/ou d’extraction de cette barre (93) lorsqu’elle est logée dans la fente (94). Le système (1) comprend un dispositif d’entrainement (3) d’une extrémité de la barre (93) et comprend un support (4) définissant un chemin de guidage (5) dans un plan (P 1 ) et un pion (6) guidé dans le plan le long du chemin de guidage (5), un moyen d’accouplement (7) destiné à s’accoupler à une extrémité de la barre (93), et des moyens d’entraînement (8) configurés pour déplacer le pion (6) le long du chemin de guidage (5) et entraîner simultanément le moyen d’accouplement (7) en rotation. Figure pour l’abrégé : 1 SYSTEME ET PROCEDE D’INSERTION D’UNE BARRE DANS UNE FENTE D’UN PANIER L’invention concerne un système d’insertion d’une barre dans une fente d’un panier, tel qu’un panier de logement de plaquettes d’un matériau semi-conducteur, comportant la barre pour le maintien des plaquettes dans le panier, et/ou d’extraction de cette barre lorsqu’elle est logée dans la fente du panier. L’invention s’applique notamment à tout type de panier, mais trouve une application préférée dans les paniers de logement de plaquettes de matériau semi-conducteur, aussi désignées par le terme anglophone « wafers », telles que les plaquettes destinées à la fabrication de cellules photovoltaïques. ETAT DE LA TECHNIQUE Une plaquette de matériau semi-conducteur reçoit généralement plusieurs traitements mécaniques et chimiques pour la fabrication de composants microélectroniques, telles que les cellules photovoltaïques. La plaquette de matériau semi-conducteur est logée dans un panier, qui peut recevoir plusieurs plaquettes, pour son maintien en position lors des différents traitements. Un panier de structure connue comporte un élément de verrouillage, typiquement une barre, pour maintenir la plaquette de matériau semi-conducteur dans le panier. La barre est logée de manière amovible dans une fente du panier ; laquelle fente imposant, pour l’insertion et/ou l’extraction de la barre, un mouvement simultané de cette barre en translation et en rotation. Il existe un besoin pour automatiser le déplacement de la barre, notamment pour son insertion dans la fente et/ou son extraction depuis la fente, tout en ayant un système relativement simple, robuste et efficace. A cet égard, l’invention a pour objet un système d’insertion d’une barre dans une fente d’un panier, tel qu’un panier de logement de plaquettes d’un matériau semi-conducteur comportant la barre pour le maintien des plaquettes dans le panier, et/ou d’extraction de cette barre lorsqu’elle est logée dans la fente. Cette fente impose, pour l’insertion et/ou l’extraction de la barre, un déplacement de la barre et un mouvement simultané de cette barre, sur au moins une partie du déplacement, en rotation autour d’un axe de rotation parallèle à la barre, et de préférence correspondant à l’axe central longitudinal de cette barre, et en translation le long d’un chemin s’inscrivant dans un plan perpendiculaire à l’axe de rotation. Le système comprend un dispositif d’entraînement d’une extrémité de la barre. Le dispositif d’entrainement comporte un support définissant un chemin de guidage dans un plan et un pion guidé dans le plan le long du chemin de guidage. Le dispositif d’entrainement comporte également un moyen d’accouplement destiné à s’accoupler à une extrémité de la barre. Le moyen d’accouplement est solidaire en translation du pion et apte à effectuer une rotation autour d’un axe de rotation perpendiculaire au plan. Le dispositif d’entrainement comporte en outre des moyens d’entraînement configurés pour déplacer le pion le long du chemin de guidage et entraîner simultanément, sur au moins une partie du déplacement pour l’insertion et/ou l’extraction de la barre, le moyen d’accouplement en rotation. Grâce à l’invention, la barre peut être déplacée de manière automatisée selon un déplacement d’insertion et/ou d’extraction sur au moins une partie duquel la barre effectue un mouvement simultané de rotation autour d’un axe de rotation parallèle à la barre et en translation le long d’un chemin s’inscrivant dans un plan perpendiculaire à l’axe de rotation. En particulier, le moyen d’accouplement suit le déplacement du pion le long du chemin de guidage et déplace la barre selon le déplacement d’insertion et/ou d’extraction. Lorsqu’il est entraîné en rotation par les moyens d’entrainement, le moyen d’accouplement permet également d’entrainer la barre en rotation autour d’un axe de rotation perpendiculaire au plan dans lequel s’inscrit le chemin définissant le déplacement d’insertion et/ou d’extraction. La configuration des moyens d’entraînement permet ainsi au moyen d’accouplement – et donc à la barre lorsqu’elle est accouplée à ce moyen d’accouplement – d’effectuer, sur au moins une partie du déplacement pour l’insertion et/ou l’extraction de la barre, un mouvement simultané de translation et de rotation afin de pouvoir insérer ou extraire la barre. Des caractéristiques préférées particulièrement simples, commodes et économiques du système selon l’invention sont présentées ci-dessous. Le moyen d’accouplement peut être solidaire en rotation du pion. Par exemple, le moyen d’accouplement peut être d’un même tenant avec le pion. Les moyens d’entraînement peuvent comporter un élément moteur configuré pour effectuer une rotation autour d’un axe de rotation fixe par rapport au support, un élément suiveur portant le pion et présentant une surface périphérique dont au moins une portion est configurée pour coopérer avec au moins une portion d’une surface périphérique de l’élément moteur de sorte que lorsque l’élément moteur tourne, l’élément suiveur est entraîné en rotation autour d’un autre axe de rotation par coopération de l’au moins une portion de sa surface périphérique avec l’au moins une portion de la surface périphérique de l’élément moteur, l’élément suiveur ou l’élément moteur étant configuré pour que, lorsque l’élément moteur tourne, la distance entre l’axe de rotation de l’élément moteur et l’axe de rotation de l’élément suiveur varie. Par exemple, l’élément moteur peut présenter une distance constante entre son axe de rotation et l’au moins une portion de sa surface périphérique, l’élément suiveur présentant une distance variable entre son axe de rotation et l’au moins une portion de sa surface périphérique, l’au moins une portion de la surface périphérique de l’élément suiveur étant convexe. A l’inverse, l’élément suiveur peut présenter une distance constante entre son axe de rotation et l’au moins une portion de sa surface périphérique tandis que l’élément moteur présente une distance variable entre son axe de rotation et l’au moins une portion de sa surface périphérique, l’au moins une portion de la surface périphérique de l’élément suiveur étant convexe. L’élément suiveur, ou l’élément moteur, peut présenter une forme globalement elliptique, le pion étant disposé en son centre. L’élément moteur, ou l’élément suiveur, peut présenter une section de forme globalement circulaire. L’élément moteur peut être entraîné en rotation par un moteur électrique. Alternativement, l’ensemble d’entraînement peut comporter un premier élément moteur entrainant en rotation un élément suiveur par l’intermédiaire d’une courroie, le premier élément moteur et l’élément suiveur étant respectivement configurés pour effectuer une rotation autour d’un axe de rotation fixe par rapport au support, et un ensemble moteur solidaire de la courroie et configuré pour entraîner le pion en rotation. Le premier élément moteur peut être entrainé en rotation par un premier moteur électrique, l’ensemble moteur comportant un deuxième moteur électrique configuré pour entrainer le pion en rotation. L’ensemble moteur peut comporter un élément convoyeur fixé sur la courroie et un moteur électrique configuré pour entraîner le pion en rotation par l’intermédiaire d’un arbre de transmission du moteur électrique, le pion étant raccordé mécaniquement à l’arbre de transmission, l’arbre de transmission étant supporté par l’élément convoyeur et monté mobile en rotation par rapport à cet élément convoyeur. Le chemin de guidage peut présenter une forme globalement curviligne. Le moyen d’accouplement peut comporter un logement de forme non circulaire, destiné à recevoir un tenon de la barre de forme complémentaire au logement. Le système d’insertion et/ou d’extraction peut comporter un bâti sur lequel sont montés mobiles en translation deux dispositifs d’entraînement d’une extrémité de la barre de sorte que les moyens d’accouplement des dispositifs d’entrainement sont en regard l’un de l’autre, et destinés à coopérer respectivement avec les deux extrémités opposées de la barre, les dispositifs d’entrainement étant aptes à se rapprocher ou à s’écarter l’un de l’autre selon une direction parallèle à l’axe de rotation des moyens d’accouplement. L’invention a également pour objet un procédé d’insertion ou d’extraction d’une barre à l’aide d’un système d’insertion et/ou d’extraction tel que décrit ci-dessus. Le procédé comprend une étape d’accouplement du moyen d’accouplement avec une extrémité de la barre, une étape de déplacement du pion le long du chemin de guidage par les moyens d’entraînement, et une étape d’entraînement du moyen d’accouplement en rotation par les moyens d’entraînement. L’entraînement du moyen d’accouplement en rotation est mis en œuvre simultanément au déplacement du pion, sur au moins une partie du déplacement pour l’insertion et/ou l’extraction de la barre. La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d’exemples de réalisation, en référence aux dessins annexés sur lesquels : La est une représentation schématique en perspective d’un système d’insertion et/ou d’extraction d’une barre selon un mode de réalisation l’invention et d’un panier comportant la barre à insérer et/ou extraire. La est une vue de profil du panier de la , avec la barre qui est logée dans une fente du panier. La représente la barre, prise de manière isolée, selon une vue de côté montrant une section d’extrémité de cette barre. La représente une fente du panier, pris de manière isolée, selon une vue schématique en perspective. La est une vue de détail montrant une extrémité de la barre accouplée avec un moyen d’accouplement du système d’insertion et/ou d’extraction de la . La est une représentation schématique partielle en perspective d’un dispositif d’entrainement du système d’insertion et/ou d’extraction selon le premier mode de réalisation de l’invention. La est similaire à celle de la , selon un autre angle de vue. La est une représentation schématique partielle en perspective d’un dispositif d’entrainement du système d’insertion et/ou d’extraction selon un deuxième mode de réalisation de l’invention. La est similaire à celle de la , selon un autre angle de vue ; et La illustre un procédé d’insertion et/ou d’extraction d’une barre avec le système d’insertion et/ou d’extraction selon l’invention. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Des parties identiques, similaires ou équivalentes des différentes figures portent les mêmes références numériques de façon à faciliter le passage d’une figure à l’autre. La représente un système d’insertion et/ou d’extraction 1 et un panier 9. Le panier 9 est ici un panier de logement de plaquettes d’un matériau semi-conducteur. Il comporte des panneaux latéraux 91 définissant chacun un plan, plusieurs barres fixes 92 et une barre amovible 93. Les barres fixes 92 sont fixées aux panneaux latéraux 91 à leurs extrémités, par exemple par emmanchement, vissage ou collage. Les barres 92 servent de support pour les plaquettes de matériau semi-conducteur. Elles peuvent par exemple comporter des dentures sur une partie de leur surface périphérique afin de pouvoir recevoir les plaquettes et les maintenir à distance des unes des autres. La barre amovible 93 empêche, lorsqu’elle est installée sur le panier 9, l’insertion des plaquettes en matériau semi-conducteur dans le panier 9 et/ou leur retrait depuis l’intérieur du panier 9. A l’inverse lorsque la barre amovible 93 n’est pas installée sur le panier 9, les plaquettes en matériau semi-conducteur peuvent être introduites à l’intérieur du panier 9 et/ou retirées du panier 9. Les plaquettes peuvent donc s’échapper du panier 9 au cours des étapes de traitement lorsque la barre amovible 93 n’est pas installée. Dans l’exemple représenté, la barre amovible 93 est installée sur le panier 9 et le système 1 est alors configuré pour extraire cette barre 93 du panier 9. Pour simplifier la description, il est fait référence par la suite seulement à un système d’extraction, à un procédé d’extraction et plus généralement à l’extraction de la barre 93 du panier 9. Bien entendu, il est tout à fait compréhensible pour un homme du métier que le système 1 et/ou le procédé s’appliquent aussi bien pour l’insertion que pour l’extraction dès lors que l’insertion est inversement identique à l’extraction. L’utilisation du terme « système d’extraction » ou « procédé d’extraction » dans la description n’est ainsi nullement limitative sur ce point. Le système d’extraction 1 comporte ici un bâti 2 et deux dispositifs d’entraînement 3 d’une extrémité de la barre 92 qui définissent entre eux un espace de réception du panier 9. En effet, les deux dispositifs d’entrainement 3 sont ici destinés à être disposés de part et d’autre du panier 9 comme l’illustre . Chaque dispositif d’entrainement 3 est monté mobile en translation par rapport au bâti 2. En particulier, les dispositifs d’entrainement 3 sont montés coulissant le long d’un axe défini par le bâti 2 de sorte à pouvoir se rapprocher ou à s’écarter l’un de l’autre. De préférence, le panier 9 est disposé dans l’espace de réception de sorte que l’axe longitudinal de la barre 93 est sensiblement parallèle à l’axe de déplacement des dispositifs d’entrainement 3 sur le bâti 2. Cela rend le système 1 adaptable à des paniers de différentes dimensions. Par exemple, le bâti 2 peut comporter une languette et chaque dispositif d’entraînement 3 comporte un support 4 sur lequel peut être ménagée une rainure coopérant avec la languette. La coopération de la languette et de la rainure autorise une liaison glissière entre le bâti 2 et chaque dispositif d’entrainement 3. Plus particulièrement, chaque support 4 a ici globalement une forme de T où au moins une partie de la barre horizontale comporte la rainure et la barre verticale comporte un chemin de guidage 5 dans un plan P 1 . Le panier 9 est de préférence disposé dans l’espace de réception de sorte que le plan défini par chaque panneau latéral 91 est parallèle au plan P 1 . Le chemin de guidage 5 est ici défini par une fente ménagée dans le support 4. La fente est traversante. Elle a une forme allongée et présente une section sensiblement constante sur toute sa longueur. Chaque dispositif d’entrainement 3 comporte, en plus du support 4, un pion 6, un moyen d’accouplement 7 et des moyens d’entrainement 8. Le pion 6 est guidé dans le plan P 1 le long du chemin de guidage 5. Il est apte à effectuer une rotation autour d’un axe de rotation perpendiculaire au plan P 1 . Dans l’exemple représenté, le pion 6 est inséré dans la fente et est apte à se déplacer le long de cette fente. Le pion 6 présente ici une forme globalement cylindrique, mieux visible à la , dont la section est sensiblement inférieure à la section de la fente définissant le chemin de guidage 5 pour permettre son déplacement en translation et en rotation à l’intérieur de cette fente. Le moyen d’accouplement 7 est solidaire en translation du pion 6. Lorsque le pion 6 est déplacé le long du chemin de guidage 5, le moyen d’accouplement 7 suit la même trajectoire que le pion 6. Il est également apte à effectuer une rotation autour d’un axe de rotation X perpendiculaire au plan P 1 . De fait, l’axe de rotation X du moyen d’accouplement 7 est mobile dans le plan P 1 , tout en restant perpendiculaire à ce dernier. Dans l’exemple représenté, le moyen d’accouplement 7 est solidaire en translation et en rotation du pion 6. Le moyen d’accouplement 7 peut être raccordé mécaniquement directement au pion 6. Par exemple, le moyen d’accouplement 7 et le pion 6 peuvent être d’un seul tenant, ce qui simplifie le procédé de fabrication. Les moyens d’entraînement 8 sont configurés pour déplacer le pion 6 le long du chemin de guidage 5 et entraîner simultanément, sur au moins une partie du déplacement pour l’extraction de la barre 93, le moyen d’accouplement 7 en rotation. En effet, un tel mouvement est nécessaire pour extraire la barre 93 du panier 9. Comme l’illustre la , chaque panneau latéral 91 du panier 9 comporte une fente 94 dans laquelle est logée de manière amovible la barre 93. Cette fente 94 impose un déplacement de la barre 93 pour son extraction, et un mouvement simultané de cette barre 93, sur au moins une partie de ce déplacement, en rotation autour d’un axe de rotation parallèle à la barre 93 et en translation le long d’un chemin s’inscrivant dans un plan perpendiculaire à cet axe. L’axe de rotation correspond de préférence à l’axe central longitudinal de la barre 93. En particulier, la barre 93 est mobile dans la fente 94 entre une première position dans laquelle elle est maintenue en position dans la fente 94 et une deuxième position dans laquelle elle peut être extraite par un simple mouvement de translation. Pour passer de la première position à la deuxième position, la barre 93 doit effectuer simultanément un mouvement en rotation autour de son axe central longitudinal et en translation le long d’un chemin s’inscrivant à un plan perpendiculaire à l’axe central longitudinal de la barre 93. Cela permet notamment d’améliorer la sécurité de maintien de la barre 93 sur le panier 9. Dans l’exemple illustré à la , la barre 93 effectue simultanément, pour passer de la première position à la deuxième position, une rotation de 90° dans le sens antihoraire autour de son axe central longitudinal ainsi qu’une translation le long d’un chemin rectiligne s’inscrivant dans un plan perpendiculaire à l’axe de rotation. La barre 93 présente, au moins au niveau de ses extrémités, une section de forme allongée. Cette section a ici sensiblement une forme d’ovoïde. La représente la section d’extrémité de la barre 93, qui présente une hauteur H suivant la direction longitudinale de cette section et une largeur L dans une direction transversale à la direction longitudinale. La largeur L est inférieure à la hauteur H. Cette section d’extrémité de la barre 93 présente, aux extrémités respectives de son axe longitudinal, une première surface arrondie 931 et une deuxième surface arrondie 932. La première surface arrondie 931 a un rayon qui est inférieur à celui de la deuxième surface arrondie 932. La représente la fente 94 du panneau latéral comportant, dans le sens d’insertion de la barre 93, une portion d’ouverture 941, une portion amincie 942 et une portion de fond 943. La portion d’ouverture 941 est évasée, notamment afin de faciliter l’insertion de la barre 93. La fente 94 présente au niveau de la portion amincie 942 une largeur l qui est inférieure à la hauteur H de la section d’extrémité de la barre 93, et supérieure à sa largeur L. La portion de fond 943 est pourvue d’un premier logement 945 et d’un deuxième logement 946. Lorsque la barre 93 est dans la première position, la première surface arrondie 931 est reçue dans le premier logement 945 et la deuxième surface arrondie 932 est reçue dans le deuxième logement 946. Le premier logement 945 et le deuxième logement 946 sont disposés de sorte que, lorsque la barre 93 est dans la première position, l’axe longitudinal de la section d’extrémité de la barre 93 est sensiblement perpendiculaire à la trajectoire définie par le chemin. Comme le montre la , une extrémité de la barre 93 est accouplée à moyen d’accouplement 7 du système d’extraction 1. Le moyen d’accouplement 7 est solidaire en translation du dispositif d’entrainement 3. Le moyen d’accouplement 7 et la barre 93 sont configurés de sorte que, lorsqu’ils sont accouplés, la barre 93 est solidaire en rotation et en translation du moyen d’accouplement 7. Autrement dit, l’accouplement entre le moyen d’accouplement 7 et la barre 93 n’autorise aucun degré de liberté. Dans le présent exemple, la barre 93 comporte un tenon 95 à chacune de ses extrémités, lequel tenon 95 est configuré pour s’insérer au moins partiellement dans un logement 71 du moyen d’accouplement 7. Chaque tenon 95 saillie depuis une extrémité respective de la barre 93 et s’étend parallèlement à l’axe longitudinal de cette barre 93. Le tenon 95 s’étend sur une longueur lui permettant de dépasser du panier lorsque la barre 93 est logée dans la fente 94. De cette manière, le tenon 93 est accessible depuis l’extérieur du panier 9, et peut notamment s’insérer suffisamment dans le logement 71 du moyen d’accouplement 7. En particulier, le tenon 95 présente une section non-circulaire, par exemple rectangulaire comme illustré à la , et le logement 71 présente une section de forme complémentaire pour recevoir le tenon 95. En particulier, le logement 71 se présente ici sous la forme d’une encoche. Cette forme non circulaire permet notamment de solidariser à la fois en translation et en rotation la barre 94 avec le moyen d’accouplement 7. La section du logement 71 peut varier afin de s’adapter à différentes extrémités de la barre 93. Par exemple, le moyen d’accouplement 7 peut être interchangeable et choisi de sorte que son logement 71 correspond au type d’extrémité de la barre 93 à extraire. Chaque tenon 95 présente une première extrémité raccordée à la barre 93 et une deuxième extrémité qui est libre et opposée à la première extrémité. La section du tenon 95 au niveau de la deuxième extrémité présente des dimensions inférieures à celle au niveau de la première extrémité. Cela permet de faciliter le guidage lors de l’accouplement entre la barre 93 et le moyen d’accouplement 7. Le logement 71 peut alternativement ou en complément être élargi du côté de son ouverture. Les figures 6a, 6b et 7a, 7b montrent respectivement le dispositif d’entrainement pris de façon isolée selon un premier mode de réalisation et selon un deuxième mode de réalisation. En référence au premier mode de réalisation illustré aux figures 6a et 6b, les moyens d’entraînement 8 comportent un élément moteur 81 et un élément suiveur 84. L’élément moteur 81 est configuré pour effectuer une rotation autour d’un premier axe de rotation X 1 qui est fixe par rapport au support 4. L’axe de rotation X 1 de l’élément moteur 81 est de préférence perpendiculaire au plan P 1 . L’élément moteur 81 est raccordé mécaniquement à un moteur électrique 83 configuré pour entraîner l’élément moteur 81 en rotation autour de l’axe de rotation X 1 . Le moteur électrique 83 est également fixe par rapport au support 4. Dans l’exemple représenté, l’élément moteur 81 est une roue de section globalement circulaire avec une surface périphérique 82 configurée pour coopérer avec l’élément suiveur 84. L’élément moteur 81 comporte ici une surface périphérique 82 dentée. Du fait de la section circulaire de l’élément moteur 81, la distance entre sa surface périphérique 82 et son axe de rotation X 1 est sensiblement constante. L’élément moteur 81 peut bien entendu être un secteur de la roue décrite ci-dessus. Dans ce cas, seule la portion circulaire de la surface périphérique de ce secteur est configurée pour coopérer avec l’élément suiveur. L’élément suiveur 84 est configuré pour entraîner, à l’aide de l’élément moteur 81, le pion 6 en rotation et en translation le long du chemin de guidage 5. L’élément suiveur 84 porte alors le pion 6. En d’autres termes, le pion 6 est solidaire en rotation et en translation de l’élément suiveur 84. L’élément suiveur 84 est configuré pour tourner autour d’un axe de rotation X 2 ( ) qui est perpendiculaire au plan P 1 dans lequel s’étend le chemin de guidage 5, et ici parallèle à l’axe de rotation X 1 . L’élément suiveur 84 comporte deux faces externes opposées et raccordées entre elles par une surface périphérique 85. Le pion 6 saille depuis l’une des faces externes et s’étend perpendiculairement à au plan défini par cette face. Le pion 6 est ici centré sur l’axe de rotation X 2 de l’élément suiveur 84. De préférence, les axes de rotation X, X 1 et X 2 sont parallèles. La surface périphérique 85 de l’élément suiveur 84 est configurée pour coopérer avec la surface périphérique 82 de l’élément moteur 81. Dans le présent mode de réalisation, la surface périphérique 85 de l’élément suiveur 84 est dentée et la denture est choisie de sorte à pouvoir s’engrener avec celle de l’élément moteur 81. La denture est ici droite mais peut également être hélicoïdale ou bien à chevrons. Dans l’exemple représenté, l’élément moteur 81 et l’élément suiveur 84 forment ainsi un engrenage à axes parallèles. L’élément moteur et l’élément suiveur peuvent également former un engrenage à axes concourants. Dans ce cas, l’élément moteur et l’élément suiveur présentent une forme conique, et l’élément moteur tourne autour d’un axe de rotation parallèle au plan dans lequel s’étend le chemin de guidage. L’élément moteur 81 est situé du côté d’une extrémité du chemin de guidage 5, et de préférence du côté de l’extrémité la plus basse lorsque le dispositif est en position de fonctionnement, comme représenté sur les figures 6a et 6b. Cela permet à l’élément suiveur 84 de rester au contact de l’élément moteur 81 sous l’effet de la gravité. D’autres moyens, par exemple un ressort de rappel ou tout autre système de rappel élastique, peuvent être envisagés pour garantir le maintien de l’élément suiveur 84 au contact de l’élément moteur 81. L’élément suiveur 84 est ici configuré pour que, lorsque l’élément moteur 81 tourne autour de l’axe de rotation X 1 , la distance entre l’axe de rotation X 1 de l’élément moteur 81 et l’axe de rotation X 2 de l’élément suiveur 84 varie. Dans le présent mode de réalisation, l’élément suiveur 84 est une roue de section globalement elliptique. En particulier, la surface périphérique 85 de l’élément suiveur 84 est convexe et présente une distance variable entre son axe de rotation X 2 et sa surface périphérique 85. L’élément suiveur 84 peut bien entendu être un secteur de la roue décrite ci-dessus. Dans ce cas, seule la portion dans laquelle la surface périphérique est convexe et la distance entre l’axe de rotation et la surface périphérique varie est configurée pour coopérer avec l’élément suiveur. Lorsque l’élément moteur 81 entraine en rotation l’élément suiveur 84, la distance entre l’axe de rotation X 2 de l’élément suiveur 84 et le point de contact des surfaces périphériques respectives de l’élément moteur 81 et de l’élément suiveur 84 varie. La distance entre l’axe de rotation X 1 qui est fixe par rapport au support 4, et X 2 varie également et entraine un déplacement du pion 6 le long du chemin de guidage 5. En particulier, le pion 6 est entrainé simultanément en translation le long du chemin de guidage 5 et en rotation autour de l’axe X 2 , lorsque l’élément moteur 81 tourne autour de l’axe X 1 . Le dispositif d’entrainement 3 du présent mode de réalisation est ainsi simple de conception puisqu’il ne comporte que deux éléments pour l’entrainement du pion selon un mouvement simultané de translation et de rotation. Un seul de ces éléments, à savoir l’élément moteur 81 est entrainé en rotation par un moteur électrique 83. De ce fait, le dispositif d’entrainement 3 est relativement fiable et les coûts de fabrication sont relativement faibles. Dans le deuxième mode de réalisation illustré aux figures 7a et 7b, seuls les moyens d’entrainement 108 diffèrent du dispositif d’entrainement 3 visible sur les figures 6a et 6b. Dans ce mode de réalisation, les moyens d’entraînement 108 comportent un premier élément moteur 81, un ensemble moteur 181, une courroie 182 et un élément suiveur 184. Le premier élément moteur 81 est configuré pour effectuer une rotation autour d’un premier axe de rotation X 1 qui est fixe par rapport au support 4. L’élément moteur 81 est similaire à celui du premier mode de réalisation. L’élément suiveur 184 est configuré pour effectuer une rotation autour d’un deuxième axe de rotation X 2 qui est fixe par rapport au support 4 et distinct du premier axe de rotation X 1 . De préférence, le premier axe de rotation X 1 et le deuxième axe de rotation X 2 sont parallèles. L’élément suiveur 184 est ici une roue de section globalement circulaire avec une surface périphérique 185 configurée pour coopérer avec la courroie 182. L’élément suiveur 184 comporte ici une surface périphérique 82 dentée. L’élément suiveur 184 est ici situé à une première extrémité du chemin de guidage 5 tandis que l’élément moteur 81 est situé à une deuxième extrémité opposée à la première extrémité. La courroie 182 est installée autour de l’élément moteur 81 et de l’élément suiveur 184 et s’étend parallèlement au plan P 1 entre les extrémités du chemin de guidage 5. L’ensemble moteur 181 comporte un élément convoyeur 183 ( ) et un deuxième moteur électrique 186. L’ensemble moteur 181 est solidaire de la courroie 182 et raccordé mécaniquement à cette courroie 182 par l’intermédiaire de l’élément convoyeur 183. Cet élément convoyeur 183 est fixé à la courroie 182, par exemple par vissage ou par tout autre moyen de fixation. Dans le cas où le chemin de guidage 5 n’est pas rectiligne, comme dans l’exemple illustré, la courroie 182 se déforme du fait de la trajectoire de l’élément convoyeur 183 imposée par le pion 6. Le deuxième moteur électrique 186 est configuré pour entraîner le pion 6 en rotation et comporte un arbre de transmission 187 qui est raccordé mécaniquement au pion 6. Il est monté libre en translation dans le dispositif d’entrainement 103. L’arbre de transmission 187 est supporté par l’élément convoyeur 183 de sorte que le déplacement de l’élément convoyeur 183 conduit au déplacement de l’ensemble moteur 181 et du pion 6. L’arbre de transmission 187 est monté mobile en rotation par rapport à l’élément convoyeur 183. L’élément convoyeur 183 permet donc à la fois de supporter l’arbre de transmission 187 tout en autorisant sa rotation. Ainsi, le premier moteur électrique 83 permet de déplacer en translation l’ensemble moteur 181 et le pion 6 le long du chemin de guidage 5 en faisant tourner l’élément moteur 81 qui entraine à son tour la courroie 182 et l’élément convoyeur 183. Le deuxième moteur électrique 186 permet d’entrainer le pion 6 en rotation. Cela permet notamment de déplacer le pion 6 selon un mouvement simultané de translation le long du chemin de guidage 5 et de rotation autour d’un axe perpendiculaire au plan P 1 dans lequel s’étend le chemin de guidage. Pour améliorer le guidage du deuxième moteur électrique 186 lors des mouvements de montée et/ou de descente, le système peut comporter des glissières le long desquelles est guidé le deuxième moteur électrique. Le dispositif d’entrainement 3 peut comporter une unité de contrôle raccordée électriquement au premier moteur électrique 83 et au deuxième moteur électrique 186 et configuré pour actionner simultanément, sur au moins une partie du déplacement pour l’extraction de la barre 93, le premier moteur électrique 83 et le deuxième moteur électrique 186. Par rapport au dispositif d’entrainement du premier mode de réalisation, ce dispositif d’entrainement 103 permet en outre de dissocier les mouvements de rotation et de translation, notamment lorsqu’un seul du premier moteur électrique 83 et du deuxième moteur électrique 186 est en fonctionnement. Le dispositif d’entrainement 103 peut être utilisé pour extraire des barres 93 qui ne nécessitent pas de mouvement simultané de translation et de rotation. La représente un procédé d’extraction 200 de la barre 93 à l’aide d’un système d’extraction 1 selon le premier mode de réalisation représenté aux figures 6a et 6b ou selon le deuxième mode de réalisation représenté aux figures 7a et 7b. Le procédé d’extraction 200 comprend une étape d’accouplement 201 du moyen d’accouplement 7 du système d’extraction 1 avec une extrémité de la barre 93. L’accouplement s’effectue par exemple en rapprochant les dispositifs d’entrainement 3, 103 l’un de l’autre jusqu’à ce que le tenon aux extrémités de la barre amovible soit inséré dans le logement des moyens d’accouplement. L’accouplement est réalisé de manière amovible et il est ainsi possible de désaccoupler la barre amovible et le moyen d’accouplement, notamment en écartant les dispositifs d’entrainement 3 l’un de l’autre. Le procédé d’extraction 200 comporte ensuite une étape de déplacement 202 du pion le long du chemin de guidage dans le plan P 1 par les moyens d’entraînement et une étape d’entraînement 203 du moyen d’accouplement en rotation autour d’un axe de rotation X perpendiculaire au plan P 1 par les moyens d’entraînement. L’étape d’entrainement 203 est mis en œuvre simultanément avec l’étape de déplacement 202 sur au moins une partie du déplacement afin d’extraire la barre amovible. Grâce au système d’extraction de la barre amovible, le traitement des plaquettes de matériau semi-conducteur peut être facilité et accéléré. En particulier, l’extraction de la barre peut être totalement automatisée. Il en est bien entendu de même pour l’insertion, ce qui permet en outre d’améliorer le positionnement de la barre et donc la sécurisation du maintien des plaquettes. En particulier, le système d’extraction permet d’automatiser un mouvement complexe, tout en étant relativement simple, fiable et économique. En outre, il est possible d’effectuer un mouvement réversible, à savoir l’insertion et l’extraction de la barre, avec un seul et même système. Bien entendu, diverses modifications peuvent être apportées par l’homme du métier à l’invention qui vient d’être décrite sans sortir du cadre de l’exposé de l’invention. En particulier, le système d’extraction peut ne comporter qu’un seul dispositif d’entrainement. Le dispositif d’entrainement peut comporter une languette et le bâti peut comporter la rainure. La forme du chemin de guidage peut varier. En variante, le chemin de guidage peut avoir une forme rectiligne, ou bien une forme avec des portions rectilignes et curvilignes. En variante, le moyen d’accouplement peut comporter le tenon et la barre peut comporter logement destiné à recevoir le tenon. En variante, le moyen d’accouplement peut être déporté par rapport au pion par l’intermédiaire d’une pièce de raccord. Dans une variante du premier mode de réalisation, la surface périphérique de l’élément moteur est convexe et la distance entre son axe de rotation et sa surface périphérique est variable, tandis que l’élément suiveur présente une distance constante entre son axe de rotation et sa surface périphérique. En particulier, l’élément moteur peut avoir une forme de roue de section globalement elliptique tandis que l’élément suiveur peut avoir une forme de roue de section globalement circulaire. La section globalement elliptique de la roue peut varier. En variante, la roue peut notamment avoir une section ovale, oblongue et tout autre forme présentant une portion dans laquelle la surface périphérique est convexe et la distance entre l’axe de rotation et la surface périphérique est variable. NOMENCLATURE EN REFERENCE AUX FIGURES 1 : système d’extraction et/ou d’insertion 2 : bâti 3 : dispositif d’entrainement 4 : support 5 : chemin de guidage 6 : pion 7 : moyen d’accouplement 8, 108 : moyens d’entrainement 9 : panier 71 : logement 81 : élément moteur 82 : surface périphérique de l’élément moteur 83 : moteur électrique 84, 184 : élément suiveur 85, 185 : surface périphérique de l’élément suiveur 91 : panneau latéral 92 : barre fixe 93 : barre amovible 94 : fente 95 : tenon 181 : ensemble moteur 182 : courroie 183 : élément convoyeur 186 : deuxième moteur électrique 187 : arbre de transmission 200 : procédé d’insertion et/ou d’extraction 201 : accouplement du moyen d’accouplement et de la barre 202 : déplacement du pion le long du chemin de guidage 203 : entraînement du moyen d’accouplement en rotation 931 : première surface arrondie 932 : deuxième surface arrondie 941 : portion d’ouverture 942 : portion amincie 943 : portion de fond 945 : premier logement de la fente 946 : deuxième logement de la fente P 1 : plan du chemin de guidage X : axe de rotation du moyen d’accouplement X 1 : axe de rotation de l’élément moteur X 2 : axe de rotation de l’élément suiveur Système d’insertion d’une barre (93) dans une fente (94) d’un panier (9), tel qu’un panier (9) de logement de plaquettes d’un matériau semi-conducteur comportant la barre (93) pour le maintien des plaquettes dans le panier (9), et/ou d’extraction de cette barre (93) lorsqu’elle est logée dans la fente (94), cette fente (94) imposant, pour l’insertion et/ou l’extraction de la barre (93), un déplacement de la barre (93) et un mouvement simultané de cette barre (93), sur au moins une partie du déplacement, en rotation autour d’un axe de rotation parallèle à la barre (93), et de préférence correspondant à l’axe central longitudinal de cette barre (93), et en translation le long d’un chemin s’inscrivant dans un plan perpendiculaire à l’axe de rotation, le système comprenant un dispositif d’entrainement (3) d’une extrémité de la barre (93), le dispositif comportant : -un support (4) définissant un chemin de guidage (5) dans un plan (P 1 ) et un pion (6) guidé dans le plan (P 1 ) le long du chemin de guidage (5), -un moyen d’accouplement (7) destiné à s’accoupler à une extrémité de la barre (93), le moyen d’accouplement (7) étant solidaire en translation du pion (6) et apte à effectuer une rotation autour d’un axe de rotation perpendiculaire au plan (P 1 ), et -des moyens d’entraînement (8) configurés pour déplacer le pion (6) le long du chemin de guidage (5) et entraîner simultanément, sur au moins une partie du déplacement pour l’insertion et/ou l’extraction de la barre (93), le moyen d’accouplement (7) en rotation. Système d’insertion et/ou d’extraction selon la revendication 1, caractérisé en ce que le moyen d’accouplement (7) est solidaire en rotation du pion (6). Système d’insertion et/ou d’extraction selon la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens d’entraînement (8) comportent : un élément moteur (81) configuré pour effectuer une rotation autour d’un axe de rotation (X 1 ) fixe par rapport au support (4), un élément suiveur (84) portant le pion (6) et présentant une surface périphérique (85) dont au moins une portion est configurée pour coopérer avec au moins une portion d’une surface périphérique (82) de l’élément moteur (81) de sorte que lorsque l’élément moteur (81) tourne, l’élément suiveur (84) est entraîné en rotation autour d’un autre axe de rotation (X 2 ) par coopération de l’au moins une portion de sa surface périphérique (85) avec l’au moins une portion de la surface périphérique (82) de l’élément moteur (81), l’élément suiveur (84) ou l’élément moteur (81) étant configuré pour que, lorsque l’élément moteur (81) tourne, la distance entre l’axe de rotation (X 1 ) de l’élément moteur (81) et l’axe de rotation (X 2 ) de l’élément suiveur (84) varie. Système d’insertion et/ou d’extraction selon la revendication 3, caractérisé en ce que l’élément moteur (81) présente une distance constante entre son axe de rotation (X 1 ) et l’au moins une portion de sa surface périphérique (82), l’élément suiveur (84) présentant une distance variable entre son axe de rotation (X 2 ) et l’au moins une portion de sa surface périphérique (85), l’au moins une portion de la surface périphérique (85) de l’élément suiveur (84) étant convexe. Système d’insertion et/ou d’extraction selon l’une des revendications 3 ou 4, caractérisé en ce que l’élément suiveur (84) présente une forme globalement elliptique, le pion (6) étant disposé en son centre. Système d’insertion et/ou d’extraction selon l’une quelconque des revendications 3 à 5, caractérisé en ce que l’élément moteur (81) présente une section de forme globalement circulaire. Système d’insertion et/ou d’extraction selon l’une quelconque des revendications 3 à 6, caractérisé en ce que l’élément moteur (81) est entraîné en rotation par un moteur électrique (83). Système d’insertion et/ou d’extraction selon la revendication 2, caractérisé en ce que l’ensemble d’entraînement (3) comporte : un premier élément moteur (81) entrainant en rotation un élément suiveur (184) par l’intermédiaire d’une courroie (182), le premier élément moteur (81) et l’élément suiveur (184) étant respectivement configurés pour effectuer une rotation autour d’un axe de rotation (X 1 , X 2 ) fixe par rapport au support (4), et un ensemble moteur (181) solidaire de la courroie (182) et configuré pour entraîner le pion (6) en rotation. Système d’insertion et/ou d’extraction selon la revendication 8, caractérisé en ce que le premier élément moteur (81) est entrainé en rotation par un premier moteur électrique (83), l’ensemble moteur (181) comportant un deuxième moteur électrique (186) configuré pour entrainer le pion (6) en rotation. Système d’insertion et/ou d’extraction selon l’une des revendications 8 ou 9, caractérisé en ce que l’ensemble moteur (181) comporte : -un élément convoyeur (183) fixé sur la courroie (182) et un moteur électrique (186) configuré pour entraîner le pion (6) en rotation par l’intermédiaire d’un arbre de transmission (187) du moteur électrique (186), le pion (6) étant raccordé mécaniquement à l’arbre de transmission (187), l’arbre de transmission (187) étant supporté par l’élément convoyeur (183) et monté mobile en rotation par rapport à cet élément convoyeur. Système d’insertion et/ou d’extraction selon l’une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que le chemin de guidage (5) présente une forme globalement curviligne. Système d’insertion et/ou d’extraction selon l’une quelconque des revendications 1 à 11, caractérisé en ce que le moyen d’accouplement (7) comporte un logement (71) de forme non circulaire, destiné à recevoir un tenon (95) de la barre (93) de forme complémentaire au logement (71). Système d’insertion et/ou d’extraction selon l’une quelconque des revendications 1 à 12, caractérisé en ce qu’il comporte un bâti (2) sur lequel sont montés mobiles en translation deux dispositifs d’entraînement (3) d’une extrémité de la barre (93) de sorte que les moyens d’accouplement (7) des dispositifs d’entrainement (3) sont en regard l’un de l’autre, et destinés à coopérer respectivement avec les deux extrémités opposées de la barre (93), les dispositifs d’entrainement (3) étant aptes à se rapprocher ou à s’écarter l’un de l’autre selon une direction parallèle à l’axe de rotation (X) des moyens d’accouplement (7). Procédé d’insertion et/ou d’extraction d’une barre (93) à l’aide d’un système d’insertion et/ou d’extraction selon l’une quelconque des revendications précédentes, le procédé comprenant : -l’accouplement (201) du moyen d’accouplement (7) avec une extrémité de la barre (93), le déplacement (202) du pion (6) le long du chemin de guidage (5) par les moyens d’entraînement (8), et -l’entraînement (203) du moyen d’accouplement (7) en rotation par les moyens d’entraînement (8), l’entraînement (203) du moyen d’accouplement (7) en rotation étant mis en œuvre simultanément au déplacement (202) du pion (6), sur au moins une partie du déplacement pour l’insertion et/ou l’extraction de la barre (93).