Brevet FR3142757A1 — publié le 20240607

Four de recuit thermique rapide à uniformité de chauffage améliorée La présente description concerne un four (70) de recuit thermique rapide pour le chauffage d'un objet (14) par un rayonnement électromagnétique. Le four comprend un réacteur (12) délimitant une chambre (18) et une première ouverture (40) communiquant avec la chambre. Le four comprend un écran (72) mobile entre une première position dans laquelle l’écran est interposé entre la première ouverture et la chambre et obture complètement la première ouverture et une deuxième position dans laquelle l’écran est escamoté dans un logement (73) du réacteur et libère la communication entre la première ouverture et la chambre. Figure pour l'abrégé : Figure 6 F our de recuit thermique rapide à uniformité de chauffage améliorée La présente description concerne de façon générale les fours à recuit thermique rapide, notamment les fours à recuit thermique comprenant des lampes à haute intensité séparées d'une chambre de traitement par un hublot transparent. Un four de recuit thermique rapide est un four permettant de porter un objet, notamment un substrat de silicium, à haute température, par exemple jusqu'à 1200 °C ou plus, dans un temps très court, en général quelques secondes. De telles montées en température sont obtenues par des lampes à haute intensité ou par chauffage laser. L'objet à traiter est disposé dans une chambre de traitement sous vide et est exposé au rayonnement émis par les lampes à haute intensité ou au rayonnement laser au travers d'un hublot transparent au rayonnement, notamment un hublot en quartz. Le four de recuit thermique comprend un système de pompage communiquant avec la chambre de traitement pour maintenir la chambre de traitement à la pression souhaitée. En outre, pour des applications nécessitant le maintien d'un vide poussé dans la chambre de traitement, également appelé ultra-vide ou UHV, par exemple à une pression inférieure à 10 -5 Pa, le four de recuit thermique peut comprendre un sas d'entrée/sortie communiquant avec la chambre de traitement par l'intermédiaire d'une vanne pour l'introduction et le retrait des objets à traiter. Il est généralement souhaitable que le chauffage de l'objet soit uniforme. Toutefois, les ouvertures débouchant dans la chambre de traitement et communiquant avec le système de pompage ou le sas d'entrée/sortie entraînent des pertes thermiques qui doivent être compensées par exemple par une répartition spécifique des lampes à haute intensité. Toutefois, une compensation parfaite reste difficile à obtenir de sorte que le chauffage de l'objet peut ne pas être uniforme. Un objet d'un mode de réalisation est de pallier tout ou partie des inconvénients des fours à recuit thermique rapide existants. Un autre objet d'un mode de réalisation est que le chauffage de l'objet à traiter est uniforme. Un autre objet d'un mode de réalisation est qu'un vide poussé, par exemple à une pression inférieure à 10 -5 Pa peut être maintenue dans la chambre de traitement. Un autre objet d'un mode de réalisation est que le montage du four de recuit thermique rapide est simple. Un autre objet d'un mode de réalisation est que le coût de fabrication du four de recuit thermique rapide est réduit. Un mode de réalisation prévoit un four de recuit thermique rapide pour le chauffage d'un objet par un rayonnement électromagnétique, comprenant un réacteur délimitant une chambre et une première ouverture communiquant avec la chambre, le four comprenant en outre un écran mobile entre une première position dans laquelle l’écran est interposé entre la première ouverture et la chambre et obture complètement la première ouverture et une deuxième position dans laquelle l’écran est escamoté dans un logement du réacteur et libère la communication entre la première ouverture et la chambre. Selon un mode de réalisation, le four comprend une deuxième ouverture communiquant avec la chambre. Dans la première position, l’écran est interposé entre la deuxième ouverture et la chambre et obture complètement la deuxième ouverture et, dans la deuxième position, l’écran est escamoté dans le logement et libère la communication entre la deuxième ouverture et la chambre. Selon un mode de réalisation, l'écran a une forme annulaire. Selon un mode de réalisation, le four comprend au moins deux unités de déplacement de l’écran, chaque unité de déplacement comprenant un tube ayant une première extrémité fixée à l'écran et une deuxième extrémité fixée à un raccord, un actionneur adapté à déplacer le raccord, et un soufflet métallique autour du tube reliant le raccord au réacteur. Selon un mode de réalisation, l’écran comprend une cavité communiquant avec les tubes, le four comprenant des moyens de mise en circulation d’un liquide de refroidissement dans les tubes et la cavité. Selon un mode de réalisation, chaque unité de déplacement comprend, en outre, un embout creux fixé à la deuxième extrémité du tube et comprend une portion externe filetée, le raccord de l'unité de déplacement étant traversé par un orifice comprenant une portion filetée coopérant avec la portion externe filetée de l'embout. Selon un mode de réalisation, chaque unité de déplacement comprend, en outre, un premier joint métallique entre l'embout et le raccord. Selon un mode de réalisation, chaque unité de déplacement comprend, en outre, une première bride fixée à une première extrémité du soufflet métallique, une deuxième bride fixée au réacteur et fixée à la première bride et un deuxième joint métallique entre la première bride et la deuxième bride. Selon un mode de réalisation, chaque unité de déplacement comprend, en outre, une troisième bride fixée à une deuxième extrémité du soufflet métallique et fixée au raccord, et un troisième joint métallique entre la troisième bride et le raccord. Selon un mode de réalisation, le réacteur comprend une première pièce, une deuxième pièce au contact direct de la première pièce, et un hublot transparent audit rayonnement, pris en sandwich entre la première pièce et la deuxième pièce. Selon un mode de réalisation, le four comprend des lampes à haute intensité en regard du hublot et un support desdites lampes à haute intensité fixé à la deuxième pièce. Selon un mode de réalisation, le four comprend des moyens pour maintenir la chambre à une pression comprise entre 10 -5 Pa et 10 -8 Pa. Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la est une vue en coupe latérale, partielle et très schématique, illustrant le fonctionnement d'un four de recuit thermique rapide ; la est une vue en coupe latérale d'un exemple plus détaillé de four de recuit thermique ; la est une vue en coupe de dessus du four de la ; la est une vue en coupe latérale d'un autre exemple plus détaillé de four de recuit thermique dans une première configuration de fonctionnement du four ; la est une vue analogue à la dans une deuxième configuration de fonctionnement du four ; la est une vue en coupe latérale d'un mode de réalisation d’un four de recuit thermique dans une première configuration de fonctionnement du four ; la est une vue analogue à la dans une deuxième configuration de fonctionnement du four ; la est une vue en coupe de dessus du four de la ; la est une vue en coupe latérale éclatée d’une partie du four de la ; et la est une vue en perspective d’une partie du four de la . De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références dans les différentes figures. En particulier, les éléments structurels et/ou fonctionnels communs aux différents modes de réalisation peuvent présenter les mêmes références et peuvent disposer de propriétés structurelles, dimensionnelles et matérielles identiques. Par souci de clarté, seuls les étapes et éléments utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés. Sauf précision contraire, les expressions "environ", "approximativement", "sensiblement", et "de l'ordre de" signifient à 10 % près, de préférence à 5 % près. Sauf précision contraire, les adjectifs numéraux ordinaux, tels que "premier", "deuxième", etc., sont utilisés seulement pour distinguer des éléments entre eux. En particulier, ces adjectifs ne limitent pas les modes de réalisation décrits à un ordre particulier de ces éléments. La est une vue en coupe latérale, partielle et schématique, d'un exemple de four 10 à recuit thermique rapide. Le four 10 comprend une enceinte 12, également appelée réacteur, dans laquelle est placé l'objet 14 à traiter qui est disposé sur un reposoir 16. L'objet 14 à traiter est par exemple un substrat de silicium. Un gaz inerte peut être injecté dans la chambre de traitement 18 du réacteur 12 par un système d'injection 20. La chambre 18 du réacteur 12 peut être maintenue à basse pression grâce à un système de pompage 22. L'objet 14 à traiter est chauffé par le rayonnement émis par des lampes 24 à haute intensité maintenues par un support 30. Les lampes 24 à haute intensité sont par exemple des lampes infrarouges. Un hublot 26 ferme la chambre 18 du réacteur 12 tout en laissant passer le rayonnement IR émis par les lampes 24. Le support 30 est en outre adapté à renvoyer vers le hublot 26 le rayonnement IR émis par les lampes 24. Les parois du réacteur 12 sont refroidies notamment pour éviter de contaminer le substrat 14 et protéger les équipements de commande et/ou de mesure équipant le réacteur 12. La température du substrat 14 peut être contrôlée par un régulateur relié à un pyromètre 28. La est une vue en coupe latérale d'un exemple plus détaillé du four 10 de la . Le réacteur 12 est composé d'une première pièce 32, également appelée enceinte centrale par la suite, d'une deuxième pièce 34, également appelée bride supérieure par la suite, et d'une troisième pièce 36, également appelée sole par la suite. La bride supérieure 34 et la sole 36 sont chacune fixée à l'enceinte centrale 32 au moyen de fixations non représentées, par exemple des vis. De préférence, il n'y a pas de soudures entre l'enceinte centrale 32 et la bride supérieure 34 et entre l'enceinte centrale 32 et la sole 36. Le hublot 26 est interposé entre l'enceinte centrale 32 et la bride supérieure 34. Le support 30 repose sur la bride supérieure 34. L'enceinte centrale 32, la sole 36, et le hublot 26 délimite la chambre 18. La est une vue en coupe de dessus de l'enceinte centrale 32 dans un plan perpendiculaire au plan de coupe de la . En , l'objet 14 à traiter est également représenté en vue de dessus. L'enceinte centrale 32 comprend une première ouverture 38 traversante d'axe D, par exemple de section droite circulaire, une deuxième ouverture 40 débouchant dans la première ouverture 38, et une troisième ouverture 42 débouchant dans la première ouverture 38. L'axe D est par exemple un axe vertical, et est perpendiculaire au plan de coupe de la et contenu dans le plan de coupe de la . La deuxième ouverture 40 peut s'étendre selon une direction perpendiculaire à l'axe D et avoir une section droite rectangulaire. La troisième ouverture 42 peut s'étendre selon une direction perpendiculaire à l'axe D et avoir une section droite rectangulaire. La sole 36 forme le socle du réacteur 12 et comprend une portion circulaire 44 pénétrant dans la première ouverture 38 de la première pièce 32 et obturant la première ouverture 38 à une première extrémité tandis que le hublot 26 obture la première ouverture 38 à une deuxième extrémité, opposée à la première extrémité. La portion circulaire 44 comprend une face supérieure 46, par exemple plane, exposée dans la chambre 18. L'objet 14 à traiter est disposé dans la première ouverture 38 de l'enceinte centrale 32, le reposoir 16, non représenté sur les figures 2 et 3 étant disposé sur la face supérieure 46 de la sole 36. La sole 36 comprend une face inférieure 48 opposée à la face supérieure 46. Des équipements de commande et/ou de mesure du réacteur 12 peuvent être montés sur la face inférieure 48 de la sole 36. A titre d’exemple, une ouverture 49 traversant la sole 36 est représentée sur les figures 2 et 3 et peut recevoir le pyromètre 28 illustré en . Le four 10 comprend un sas d'entrée/sortie 50 raccordée à l'enceinte centrale 32 du réacteur 12 par l'intermédiaire d'une vanne 52 et communiquant avec la deuxième ouverture 40 lorsque la vanne 52 est ouverte. Le sas d'entrée/sortie 50 est utilisé pour l'introduction et le retrait de l'objet 14 à traiter dans la chambre 18, notamment pour des applications dans lesquelles un vide poussé, appelé ultra-vide, par exemple à une pression entre 10 -8 Pa et 10 -5 Pa, doit être maintenu dans la chambre 18. Le four 10 comprend en outre une conduite 53 raccordée à l'enceinte centrale 32 du réacteur 12 et communiquant avec la troisième ouverture 42. La conduite 53 est reliée au système de pompage, non représenté. Le four 10 comprend deux joints souples 54, 56, par exemple des joints en élastomère, un joint souple 54 entre le hublot 26 et l'enceinte centrale 32 et un joint souple 56 entre le hublot 26 et la bride supérieure 34. A titre de variante, les joints souples 54, 56 peuvent être des joints métalliques notamment pour des applications où un ultra-vide doit être maintenu dans la chambre 18. Le four 10 comprend en outre un joint souple 58, par exemple un joint en élastomère, entre l'enceinte centrale 32 et la sole 36. Les joints souples 54, 56, et 58 assurent l'étanchéité de la chambre 18. Il est généralement souhaitable que le chauffage dans la chambre 18 soit le plus uniforme possible. Toutefois, les ouvertures 40 et 42 forment des "puits de lumière" par lesquels s'échappent une partie du rayonnement électromagnétique fourni par les lampes 24, ce qui se traduit par des pertes de chaleur par ces ouvertures. Une inhomogénéité de température peut alors apparaître dans l'objet 14 lorsque le chauffage fourni par les lampes 24 est homogène. Il est possible de prévoir un chauffage inhomogène par les lampes 24, notamment pour obtenir une surchauffe au voisinage des ouvertures 40 et 42 et ainsi compenser les pertes thermiques dues aux ouvertures. Toutefois, il peut être difficile, sinon impossible, de compenser parfaitement ces pertes de sorte que l'obtention d'un chauffage homogène dans l'objet 14 chauffé peut ne pas être atteint. Les figures 4 et 5 sont des vues en coupe latérale d'un autre exemple de four de recuit thermique rapide 60. Le four 60 comprend l'ensemble des éléments du four 10 représenté sur les figures 2 et 3 à la différence que la sole 36 est mobile par rapport à l'enceinte centrale 32, en translation selon l'axe D entre une position basse ( ) et une position haute ( ) et à la différence que la hauteur de l'enceinte centrale 32, en partie supérieure, est augmentée par rapport à l'enceinte centrale illustrée en . En position basse, le four 60 est dans une configuration analogue à celle du four 10 représentée en et l'objet 14 à traiter peut être introduit et retiré dans la chambre 18 par l'ouverture 40. En position haute, la sole 36 a été déplacée par rapport à l'enceinte centrale 32 de façon à rapprocher la face supérieure 46 de la sole 36 par rapport au hublot 26. Les ouvertures 40 et 42 sont alors obturées par la sole 36. Un chauffage homogène de l'objet 14 peut alors être obtenu. Pour empêcher les échanges gazeux entre la chambre 18 et l'atmosphère extérieure en fonctionnement par la liaison mobile entre l'enceinte centrale 32 et la sole 36, le four 60 comprend une paroi déformable 62 reliant la sole 36 à l’enceinte centrale 32 autour de la sole 36. Il est souhaitable que la paroi déformable 62 ne soit pas en un matériau poreux dans le cas où un vide poussé est réalisé dans la chambre 18. Ceci empêche l'utilisation de matériau du type élastomère. La paroi déformable 62 peut correspondre à un soufflet métallique. Bien que le four 60 fonctionne de façon satisfaisante, il présente plusieurs inconvénients. Un inconvénient est que la force nécessaire pour déplacer la sole 36 est importante pour s'opposer au vide dans la chambre 18 et dans le volume 64 présent entre la paroi déformable 62 et la sole 36. Des actionneurs à forte poussée du type vérin électrique ou équivalent sont à utiliser pour réaliser ce déplacement. Un autre inconvénient est que la paroi déformable 62 entourant la sole 36 présente des dimensions importantes. Le coût de fabrication du four 60 est ainsi élevé. Un autre inconvénient est que l'instrumentation de la sole 36, qui est mobile, est plus complexe à réaliser que l'instrumentation d'une sole fixe. Les figures 6 et 7 sont des vues en coupe latérale d'un mode de réalisation de four de recuit thermique rapide 70. Le four 70 comprend l'ensemble des éléments du four 10 représenté sur les figures 2 et 3 et comprend en outre un écran 72 mobile par rapport à l'enceinte centrale 32 et par rapport à la sole 36, en translation selon l'axe D, entre une position basse ( ) et une position haute ( ). L'écran 72 comprend une paroi 74 orientée vers l'axe D. Selon un mode de réalisation, l'écran 72 correspond à un anneau d'axe D et la paroi 74 correspond à une paroi cylindrique d'axe D. En position basse, l'écran 72 est situé dans un logement 73 délimité par l'enceinte centrale 32 et la sole 36. En particulier, lorsque l'écran 72 est escamoté dans le logement 73, il libère complètement le passage entre la deuxième ouverture 40 et la première ouverture 38 et entre la troisième ouverture 42 et la première ouverture 38. Le four 70 est alors dans une configuration analogue à celle du four 10 représentée en et l'objet 14 à traiter peut être introduit et retiré dans la chambre 18 par la deuxième ouverture 40, notamment par l'utilisation d'un sas d'entrée/sortie non représenté sur les figures 6 et 7. En position haute, l'écran 72 a été déplacé par rapport à l'enceinte centrale 32 et par rapport à la sole 36 de façon à être rapproché du hublot 26. Les ouvertures 40 et 42 sont alors obturées, préférence en totalité, par l'écran 72. En position haute, l'écran 72 délimite un interstice avec l'enceinte centrale 32 en dehors des ouvertures 40 et 42. Un chauffage homogène de l'objet 14 peut alors être obtenu. Dans le mode de réalisation dans lequel l'écran 72 a une forme annulaire d'axe D, la partie de la chambre 18 correspondant au volume intérieur délimité par de l'écran 72 lorsque l'écran 72 est en position haute, et dans laquelle est situé l'objet 14 à traiter, présente de façon avantageuse une symétrie de révolution d'axe D. Ceci facilite la réalisation d'un chauffage uniforme de l'objet à traiter 14. La est une vue en coupe de dessus de l'enceinte centrale 32 dans un plan perpendiculaire à l'axe D. En , l'objet 14 à traiter est également représenté en vue de dessus. Le logement 73 recevant l'écran 72 en position basse a une forme annulaire sensiblement complémentaire de la forme annulaire de l'écran 72. Selon un mode de réalisation, l'écran 72 comprend une cavité interne 78 dans laquelle un liquide de refroidissement, par exemple de l'eau, est mis en circulation. Le four 70 comprend un système 80 de déplacement de l'écran 72. Le système de déplacement 80 comprend deux unités de déplacement 82 et 84. Selon un mode de réalisation, le système de déplacement 80 permet en outre la mise en circulation du fluide de refroidissement dans la cavité interne 78 de l'écran 72. La est une vue en perspective d'un mode de réalisation du système de déplacement 80 et de l'écran 72. La est une vue en coupe latérale éclatée d'un mode de réalisation de l'unité de déplacement 82. L'unité de déplacement 84 peut avoir la même structure que l'unité de déplacement 82. L'écran 72 et une partie de la sole 32 sont également représentés en coupe sur la . Selon un mode de réalisation, l'unité de déplacement 82 comprend : – un tube 86 dont une première extrémité est fixée à l'écran 72, par exemple par soudure ; - un embout 88 creux fixé à une deuxième extrémité du tube 86, par exemple par soudure, et comprenant une portion externe filetée 90 ; - un raccord 92, traversé par un orifice 96 comprenant une portion filetée 98 coopérant avec la portion externe filetée 90 de l'embout 88 ; - un actionneur 94, par exemple un vérin pneumatique, non représenté sur les figures 6, 7, et 10 et représenté partiellement sur la , le raccord 92 étant fixé à une partie mobile de l’actionneur 94 ; - un joint souple 99, de préférence un joint métallique 99, entre l'extrémité de l'embout 88 et le raccord 92 ; - un soufflet métallique 100 cylindrique entourant le tube 86 et délimitant avec le tube 86 un volume 102 ; - une bride 104 fixée à première extrémité du soufflet 100, par exemple par soudure ; - une bride 106 fixée à la sole 36, par exemple par soudure et fixée à la bride 104, par exemple par des vis, seules des ouvertures filetées 108 recevant des vis étant représentées sur les figures 6, 7, et 9 ; - un joint souple 110, de préférence un joint métallique 110, entre la bride 104 et la bride 106 ; - une bride 112 fixée à la deuxième extrémité du soufflet 100, la bride 112 étant en outre fixée au raccord 92, par exemple par des vis, seules des ouvertures filetées 114 recevant des vis étant représentées sur les figures 6, 7, et 9 ; et - un joint souple 116, de préférence un joint métallique 116, entre la bride 112 et le raccord 92. La sole 36 comprend deux ouvertures 120 et 122 pour le passage des tubes 86 des unités de déplacement 82 et 84. Les ouvertures 120 et 122 débouchent dans le logement 73 à une extrémité et débouchent sur la face inférieure 48 de la sole 36 à l’extrémité opposée. La bride 106 de l’unité de déplacement 82 est fixée à la face inférieure 48 de la sole 36 au niveau de l’ouverture 120 et la bride 106 de l’unité de déplacement 84 est fixée à la face inférieure 48 de la sole 36 au niveau de l’ouverture 122. Le four 70 comprend un système, non représenté de mise en circulation d'un liquide de refroidissement, par exemple de l'eau, dans la cavité 78 de l'écran 72. Le système de mise en circulation du liquide de refroidissement peut être relié aux orifices 96 des embouts 92 des unités de déplacement 82 et 84, injecte le liquide de refroidissement dans l'écran 72 par le tube 86 de l'unité de déplacement 82 et récupère le liquide de refroidissement depuis l'écran 72 par le tube 86 de l'unité de déplacement 84. L’enceinte centrale 32, la sole 36, et l'écran 72 peuvent être réalisée en acier inoxydable. Les dimensions de l’enceinte centrale 32, de la sole 36, et de l'écran 72 dépendent des applications visées. A titre d'exemple, le diamètre de l’ouverture 38 et le diamètre de la face 74 de l'écran 72 sont chacun compris entre 150 mm et 440 mm. La distance entre le hublot 26 et la face supérieure 46 de la sole 32 est comprise entre 30 mm et 60 mm. Selon un mode de réalisation, l’enceinte centrale 32 comprend au moins une cavité interne 124 dans laquelle un liquide de refroidissement, par exemple de l'eau, est mis en circulation. Selon un mode de réalisation, la bride supérieure 34 comprend au moins une cavité interne 126 dans laquelle un liquide de refroidissement, par exemple de l'eau, est mis en circulation. Selon un mode de réalisation, la sole 36 comprend au moins une cavité interne 128 dans laquelle un liquide de refroidissement, par exemple de l'eau, est mis en circulation. Selon un mode de réalisation, le joint souple 99 ne comprend pas de matériaux susceptibles de dégazer. Selon un mode de réalisation, le joint souple 99 ne comprend pas de polymères. Selon un mode de réalisation, le joint souple 99 est un joint annulaire métallique. Selon un mode de réalisation, le joint souple 110 ne comprend pas de matériaux poreux. Selon un mode de réalisation, le joint souple 110 ne comprend pas de polymères. Selon un mode de réalisation, le joint souple 110 est un joint annulaire métallique. Selon un mode de réalisation, le joint souple 116 ne comprend pas de matériaux poreux. Selon un mode de réalisation, le joint souple 116 ne comprend pas de polymères. Selon un mode de réalisation, le joint souple 116 est un joint annulaire métallique. La présence des joints métalliques 99, 110, et 116 permet d'atteindre de façon avantageuse un niveau de vide poussé dans la chambre 18d, par exemple à une pression entre 10 -5 Pa et 10 -8 Pa. Les petites dimensions des deux soufflets métalliques 100 font que les volumes 102 sont réduits. La force nécessaire pour déplacer l'écran 72 est donc réduite par rapport au four 60 illustré sur les figures 4 et 5. Des actionneurs 94 à coût réduit peuvent être utilisés. En outre, la sole 36 du four 70 reste fixe en fonctionnement par rapport à la sole 36 du four 60 illustré sur les figures 4 et 5. Ceci facilite la pose d'équipements sur la sole 36. Divers modes de réalisation et variantes ont été décrits. L’homme de l’art comprendra que certaines caractéristiques de ces divers modes de réalisation et variantes pourraient être combinées, et d’autres variantes apparaîtront à l’homme de l’art. Pour des applications dans lesquelles un vide moins poussé, par exemple à une pression supérieure à 10 -5 Pa, doit maintenu dans la chambre 18, les joints 99, 110, et 116 peuvent être en élastomère. Enfin, la mise en oeuvre pratique des modes de réalisation et variantes décrits est à la portée de l’homme du métier à partir des indications fonctionnelles données ci-dessus. Four (70) de recuit thermique rapide pour le chauffage d'un objet (14) par un rayonnement électromagnétique (IR), comprenant un réacteur (12) délimitant une chambre (18) et une première ouverture (40) communiquant avec la chambre, le four comprenant en outre un écran (72) mobile entre une première position dans laquelle l’écran est interposé entre la première ouverture et la chambre et obture complètement la première ouverture et une deuxième position dans laquelle l’écran est escamoté dans un logement (73) du réacteur et libère la communication entre la première ouverture et la chambre. Four selon la revendication 1, comprenant une deuxième ouverture (42) communiquant avec la chambre (18), dans lequel, dans la première position, l’écran (72) est interposé entre la deuxième ouverture et la chambre et obture complètement la deuxième ouverture et dans lequel, dans la deuxième position, l’écran est escamoté dans le logement (73) et libère la communication entre la deuxième ouverture et la chambre. Four selon la revendication 1 ou 2, dans lequel l'écran a une forme annulaire. Four selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, comprenant au moins deux unités de déplacement (82, 84) de l’écran (72), chaque unité de déplacement comprenant un tube (86) ayant une première extrémité fixée à l'écran (72) et une deuxième extrémité fixée à un raccord (92), un actionneur (94) adapté à déplacer le raccord, et un soufflet métallique (100) autour du tube reliant le raccord au réacteur. Four selon la revendication 4, dans lequel l’écran (72) comprend une cavité (78) communiquant avec les tubes (86), le four comprenant des moyens de mise en circulation d’un liquide de refroidissement dans les tubes et la cavité. Four selon la revendication 4 ou 5, dans lequel chaque unité de déplacement (82, 84) comprend, en outre, un embout (88) creux fixé à la deuxième extrémité du tube (86) et comprenant une portion externe filetée (90), le raccord (92) de l'unité de déplacement étant traversé par un orifice (96) comprenant une portion filetée (98) coopérant avec la portion externe filetée (90) de l'embout (88). Four selon la revendication 6, dans lequel chaque unité de déplacement (82, 84) comprend, en outre, un premier joint métallique (99) entre l'embout (88) et le raccord (92). Four selon l'une quelconque des revendications 4 à 7, dans lequel chaque unité de déplacement (82, 84) comprend, en outre, une première bride (104) fixée à une première extrémité du soufflet métallique (100), une deuxième bride (106) fixée au réacteur (12) et fixée à la première bride (104) et un deuxième joint métallique (110) entre la première bride et la deuxième bride. Four selon l'une quelconque des revendications 4 à 8, dans lequel chaque unité de déplacement (82, 84) comprend, en outre, une troisième bride (112) fixée à une deuxième extrémité du soufflet métallique (100) et fixée au raccord (92), et un troisième joint métallique (116) entre la troisième bride et le raccord. Four selon l'une quelconque des revendications 4 à 9, dans lequel le réacteur (12) comprend une première pièce (32), une deuxième pièce (34) au contact direct de la première pièce, et un hublot (26) transparent audit rayonnement, pris en sandwich entre la première pièce et la deuxième pièce. Four selon la revendication 10, comprenant des lampes à haute intensité (24) en regard du hublot (26) et un support (60) desdites lampes à haute intensité fixé à la deuxième pièce (34). Four selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, comprenant des moyens pour maintenir la chambre (18) à une pression comprise entre 10 -5 Pa et 10 -8 Pa.