Brevet FR3149889A1 — publié le 20241220

L’invention concerne un procédé de production en continu de trifluorure de bore gazeux comprenant les étapes de : a) Fourniture d’une composition A comprenant du trifluorure de bore (BF 3 ) et éventuellement un ou plusieurs composés additionnels volatils F1 ; b) Dans un premier réacteur R1 introduction en continu : - d’une solution d’acide sulfurique et d’une solution B comprenant de l’oléum et des composés additionnels volatils F2 pour former une solution C ; - de la composition A ; pour former : - une phase liquide L1 comprenant l’oléum, l’acide sulfurique et le BF 3 et - une phase gazeuse G1 comprenant lesdits composés additionnels volatils F1 et F2 ; c) Elimination en continu de la phase gazeuse G1 comprenant lesdits composés additionnels volatils F1 et F2 , de préférence par dépression ; d) Introduction en continu de la phase liquide L1 dans un second réacteur R2 et introduction en continu dans le réacteur R2 d’une composition D1 d’eau ou d’une composition aqueuse de trifluorure de bore D2 ou une composition D3 comprenant du trifluorure de bore hydraté, dit hydrates de trifluorure de bore, les compositions D1 et D2 ne contenant aucun composé additionnel F1 pour produire une phase gazeuse E de trifluorure de bore et une phase liquide L2 . Pas de figure pour l’abrégé. Procédé de production de trifluorure de bore de haute pureté Domaine de l’invention La présente invention concerne un procédé de production de trifluorure de bore. En particulier, la présente invention concerne un procédé continu de production de trifluorure de bore de haute pureté. Arrière-plan technique Le trifluorure de bore (BF 3 ) est un gaz qui est principalement utilisé dans l’industrie comme catalyseur dans un grand nombre de réactions : polymérisation, estérification, alkylation, isomérisation ou pour l’implémentation des transistors de l’industrie électronique comme matière première à la fabrication des boranes BH 3 , B 2 H 6 , etc. Le trifluorure de bore gazeux et anhydre est généralement obtenu par réaction de l’acide fluorhydrique anhydre liquide avec l’acide borique dissout dans l’acide sulfurique et par ajout complémentaire d’oléum. Le trifluorure de bore gazeux est aussi obtenu par traitement à l’acide sulfurique ou sulfurique en mélange avec de l’oléum d’une solution aqueuse concentrée d’hydrate de BF 3 . Cependant, la présence d’impureté dans le trifluorure de bore gazeux et anhydre pose des problèmes pour certaines applications nécessitant un grade de haute pureté. Reents, Anal. Chem. 1986, 58, 2797-2800 décrit les impuretés qui sont généralement présentes dans le trifluorure de bore. On trouve notamment du BF 2 OH, HCl, HF, N 2 , O 2 , F 2 , CO 2 , ou encore SiF 4 . Certaines de ces impuretés sont générées au cours du processus de fabrication du BF 3 ou proviennent des matières premières utilisées ou de résidus de certaines de ces matières premières. Des teneurs dans les impuretés citées peuvent aller de quelques centaines de ppm à 1,5%. De telles teneurs ne sont pas acceptables dans le domaine de l’électronique. En effet, le trifluorure de bore est également utilisé dans des procédés de fabrication de microprocesseurs électroniques. Certains documents de l’art antérieur font apparaître des techniques de purification pour éliminer partiellement certaines de ces impuretés. On connait par JP59050018, un procédé de purification de BF 3 utilisant H 2 O 2 et de l’eau dans de l’acide sulfurique pour éliminer SO 2 et SO 3 . On connait également par US 3,625,651 et FR 2 003 557 un procédé d’élimination de l’anhydride sulfureux du BF 3 à l’aide de charbon actif à très basse température ; mais ce procédé tend à polluer le BF 3 gazeux avec de l’azote utilisé pour désorber la colonne de charbon actif saturée en SO 2 . On connait également du document EP 0 922 672 un procédé utilisant un traitement avec H 2 O 2 et un traitement à l’air pour purifier le BF 3 gazeux qui est recyclé dans de l’acide sulfurique par lavage du flux d’air et de BF 3 de sorte à recycler le tri fluorure de bore à la production de gaz BF 3 comprimé. Malgré ces procédés de purifications applicables au trifluorure de bore technique, il y a toujours un besoin pour un procédé de production de trifluorure de bore très pur permettant d’éliminer les impuretés volatiles telles que celles citées ci-dessus et notamment le SiF 4 ou le fluorure d’hydrogène. Par ailleurs, il y a également un besoin de fournir un tel procédé mettant en œuvre de l’oléum et permettant l’élimination du SO 2 présent dans l’oléum sans avoir recours à du charbon actif (le charbon actif étant responsable de la production de poussière). Il y a également un besoin pour un procédé efficace et simple à mettre en œuvre permettant d’obtenir du trifluorure de bore de haute pureté. Il y a également un besoin de fournir un tel procédé qui puisse s’adapter facilement sur les lignes de production de BF 3 technique déjà existantes. L’invention concerne en premier lieu un procédé de production en continu de trifluorure de bore gazeux comprenant les étapes de : a) Fourniture d’une composition A comprenant du trifluorure de bore (BF 3 ) et éventuellement un ou plusieurs composés additionnels volatils F1 ; b) Dans un premier réacteur R1 introduction en continu : - d’une solution d’acide sulfurique et d’une solution B comprenant de l’oléum et des composés additionnels volatils F2 pour former une solution C ; - de la composition A ; pour former : - une phase liquide L1 comprenant l’oléum, l’acide sulfurique et le BF 3 et - une phase gazeuse G1 comprenant lesdits composés additionnels volatils F1 et F2 ; c) Elimination en continu de la phase gazeuse G1 comprenant lesdits composés additionnels volatils F1 et F2 , de préférence par dépression ; d) Introduction en continu de la phase liquide L1 dans un second réacteur R2 et introduction en continu dans le réacteur R2 d’une composition D1 d’eau ou d’une composition aqueuse de trifluorure de bore D2 ou une composition D3 comprenant du trifluorure de bore hydraté, dit hydrates de trifluorure de bore, les compositions D1 , D2 et D3 ne contenant aucun composé additionnel F1 pour produire une phase gazeuse E de trifluorure de bore et une phase liquide L2 . Dans un mode de réalisation, ledit courant gazeux E est récupéré dans un container. De préférence, la teneur en trifluorure de bore dans ledit courant gazeux E est supérieure à 99,9% en volume sur base du volume total du courant gazeux E . Dans un mode de réalisation, ladite composition A est une composition de BF3 comprenant un ou plusieurs composés additionnels volatils F1 sélectionnés parmi le groupe consistant en H2O, N2, O2, CO2, SiF4, H2 et HCl. Dans un mode de réalisation, le trifluorure de bore de la composition A est du BF3 gazeux BF3,xH2O avec x = 0 éventuellement en mélange avec BF2OH, ou un hydrate de trifluorure de bore BF3,xH2O avec x variant entre 0,5 et 4 ou une solution aqueuse de trifluorure de bore BF3,xH2O avec x supérieur à 4 ou est issu de la réaction entre un composé de bore sélectionné parmi B(OH)3, B2O3 ou HBO2 et un composé fluoré sélectionné par HF ou HSO3F. De préférence, ladite solution D1 , D2 et D3 est dépourvue de N2, O2, CO2, SiF4, H2 et HCl. Depréférence, la solution C a un titre en acide sulfurique supérieur à 100% en poids, avantageusement supérieur à 101% en poids, de préférence supérieur à 102% en poids, plus préférentiellement supérieur à 103% en poids, en particulier supérieur à 104% en poids, plus particulièrement supérieur à 105% en poids, plus préférentiellement supérieur à 106% en poids, de préférence supérieur à 107% en poids, plus préférentiellement supérieur à 108% en poids, en particulier supérieur à 109% en poids, plus particulièrement supérieur à 110% en poids, de manière privilégiée supérieur à 111% en poids, de manière avantageusement privilégiée supérieur à 112% en poids, de manière préférentiellement privilégiée supérieur à 113% en poids, de manière plus préférentiellement privilégiée supérieur à 114% en poids. Dans un mode de réalisation, l’étape b) est généralement mise en œuvre à une température de 30°C à 120°C, de préférence de 45 à 120°C, de préférence de 70 à 120°C et encore plus préférentiellement de 80 à 110°C. De préférence, la concentration en oléum dans le réacteur R1 est supérieure à celle du réacteur R2 . Dans un mode de réalisation, la composition L2 issue de R2 est en partie réintroduite dans R1 en tant que solution d’acide sulfurique. Description des figures représente schématiquement une installation pour la mise en œuvre du procédé de production de trifluorure de bore en continu selon un mode de réalisation particulier de la présente invention. Description détaillée L’invention est maintenant décrite plus en détail et de façon non limitative dans la description qui suit. La présente invention concerne un procédé de production en continu de trifluorure de bore gazeux comprenant les étapes de : a) Fourniture d’une composition A comprenant du trifluorure de bore (BF 3 ) et éventuellement un ou plusieurs composés additionnels volatils F1 ; b) Dans un premier réacteur R1 introduction en continu : - d’une solution d’acide sulfurique et d’une solution B comprenant de l’oléum et des composés additionnels volatils F2 pour former une solution C ; - de la composition A ; pour former : - une phase liquide L1 comprenant l’oléum, l’acide sulfurique et le BF 3 et - une phase gazeuse G1 comprenant lesdits composés additionnels volatils F1 et F2 ; c) Elimination en continu de la phase gazeuse G1 comprenant lesdits composés additionnels volatils F1 et F2, de préférence par dépression ; d) Introduction en continu de la phase liquide L1 dans un second réacteur R2 et introduction en continu dans le réacteur R2 d’une composition D1 d’eau ou d’une composition aqueuse de trifluorure de bore D2 ou une composition D3 comprenant du trifluorure de bore hydraté, dit hydrates de trifluorure de bore, les compositions D1 et D2 ne contenant aucun composé additionnel F1 pour produire une phase gazeuse E de trifluorure de bore et une phase liquide L2 . Le courant gazeux E de trifluorure de bore obtenu en sortie du réacteur R2 est ainsi de haute pureté. Selon un mode de réalisation préféré, ledit courant gazeux E est récupéré dans un container. Selon un mode de réalisation préféré, la teneur en trifluorure de bore dans ledit courant gazeux E est supérieure à 99,9% en volume sur base du volume total du courant gazeux E . Etape a) Le trifluorure de bore contenu dans la composition A peut avoir différentes provenances. Le trifluorure de bore peut être du BF 3 gazeux, BF 3 ,xH 2 O avec x = 0 impur ou de grade technique. Par exemple, le BF 3 gazeux contenu dans la composition A peut-être du BF 3 ayant une pureté inférieure ou égale à 99,5%, c’est-à-dire que la composition de BF 3 utilisée pour former la composition A comprend au plus 99,5% en poids de BF 3 sur base du poids total de ladite composition. Le BF 3 peut éventuellement être en mélange avec BF 2 OH. Le trifluorure de bore contenu dans la composition A peut-être un hydrate de trifluorure de bore, tel que le BF 3 ,xH 2 O avec x variant entre 0.05 et 4 de préférence entre 0,5 et 4. Le trifluorure de bore contenu dans la composition A peut être issu de la réaction entre un composé de bore sélectionné parmi B(OH) 3 , B 2 O 3 ou HBO 2 et un composé fluoré sélectionné parmi HF ou HSO 3 F. Le trifluorure de bore contenu dans la composition A peut-être une solution aqueuse de trifluorure de bore BF 3 ,xH 2 O avec x supérieur à 4. De façon particulièrement préférée, le trifluorure de bore de la composition A est un trihydrate de fluorure de bore (BF 3 .3H 2 O). Le trifluorure de bore (BF 3 ) 2 ,H 2 O, BF 3 ,H 2 O, BF 3 ,1,5H 2 O, BF 3 ,2H 2 O, BF 3 ,3H 2 O est un hydrate liquide. Le trifluorure de bore, BF 3 ,4H 2 O + 2H 2 O et BF 3 ,4H 2 O + 5 H 2 O est un hydrate liquide en solution aqueuse. Ainsi, la teneur en BF 3 dans ladite composition A peut être de quelques% ou davantage de préférence elle est comprise entre 30% et 99,5% en poids sur base du poids total de la composition A . De préférence, la teneur en BF 3 dans ladite composition A peut être de 45% à 99,5% en poids sur base du poids total de la composition A . Comme mentionné ci-dessus, ladite composition A comprend ou pas, outre le trifluorure de bore, un ou plusieurs composé(s) additionnel(s) volatil(s) F1 . Ledit un ou plusieurs composé(s) additionnel(s) volatil(s) F1 est (sont) de préférence sélectionné(s) parmi le groupe consistant en H 2 O, N 2 , O 2 , CO 2 , SiF 4 , H 2 et HCl. Il n’est pas exclu que la composition A comprenne des composés gazeux ayant une température d’ébullition en dessous de 0°C autres que ceux cités ci-avant. Dans un tel cas, ces composés (tels que argon ou hélium) se retrouveraient dans la phase gazeuse G1 . De préférence, la composition A comprend des composés volatils F1 . Dans le cas où la composition A ne comprendrait pas de composés volatils F1 alors cette composition A pourrait être une composition D2 ou D3 telle que décrite ci-dessous. De préférence, la teneur molaire totale en composés additionnels volatils F1 si présent dans A est supérieure à 0,1%, plus préférentiellement supérieure à 0,2%, en particulier supérieure à 0,3% sur base de la composition totale A . Ladite composition A peut donc comprendre un, deux, trois, quatre, cinq, six, sept, huit ou l’ensemble des composés additionnels volatils F1 tels que mentionnés ci-dessus. En particulier, si elle en contient, ladite composition A peut comprendre de 10 ppm à 70 % en poids, de préférence de 100 ppm à 55% en poids de H 2 O sur base du poids total de la composition totale A . La teneur en eau dans ladite composition A varie largement dans la gamme mentionnée ici en fonction du BF 3 utilisé pour former ladite composition A . Ainsi, si de l’hydrate de trifluorure de bore est utilisé pour former la composition A , la teneur massique en eau dans celle-ci sera plus particulièrement comprise entre 34% et 65% sur base du poids total de la composition A . Si un grade plus pur est utilisé pour former la composition A , par exemple du trifluorure de bore ayant une pureté entre 98% et 99,5%, alors la teneur massique en eau dans celle-ci sera plus particulièrement comprise entre 10 ppm et 1 %, de préférence compris entre 10 ppm et 1000 ppm sur base du poids total de la composition A . En particulier, si elle en contient, ladite composition A peut comprendre de 10 ppm à 5 %, de préférence de 100 ppm à 1% en mole de N 2 sur base de la composition totale. En particulier, si elle en contient, ladite composition A peut comprendre de 10 ppm à 1 % en mole, de préférence de 100 ppm à 0,5% en mole de O 2 sur base de la composition totale. En particulier, si elle en contient, ladite composition A peut comprendre de 10 ppm à 0,5 % en mole, de préférence de 10 ppm à 0,1% de CO 2 sur base de la composition totale. En particulier, si elle en contient, ladite composition A peut comprendre de 10 ppm à 0,5 % en mole, de préférence de 10 ppm à 0,1% en mole de SiF 4 sur base de la composition totale. En particulier, si elle en contient, ladite composition A peut comprendre de 10 ppm à 1 % en mole, de préférence de 10 ppm à 0,5% en mole, de H 2 sur base de la composition totale. En particulier, si elle en contient, ladite composition A peut comprendre de 10 ppm à 2 % en mole, de préférence de 10 ppm à 0,5% en mole de HCl sur base de la composition totale. Ainsi ladite composition A peut donc comprendre : 30% à 99,5% en poids de BF 3 , de préférence de 45% à 99,5% en poids sur base du poids total de la composition A ; et de 10 ppm à 70 % en poids, de préférence de 100 ppm à 55% en poids de H 2 O sur base du poids total de la composition totale A ; et/ou de 10 ppm à 5 %, de préférence de 100 ppm à 1% en mole de N 2 sur base de la composition totale ; et/ou de 10 ppm à 1 % en mole, de préférence de 100 ppm à 0,5% en mole de O 2 sur base de la composition totale ; et/ou de 10 ppm à 0,5 % en mole, de préférence de 10 ppm à 0,1% de CO 2 sur base de la composition totale ; et/ou de 10 ppm à 0,5 % en mole, de préférence de 10 ppm à 0,1% en mole de SiF 4 sur base de la composition totale ; et/ou de 10 ppm à 1 % en mole, de préférence de 10 ppm à 0,5% en mole, de H 2 sur base de la composition totale ; et/ou de 10 ppm à 2 % en mole, de préférence de 10 ppm à 0,5% en mole de HCl sur base de la composition totale. La teneur molaire totale en composés additionnels volatils F1 étant en particulier supérieure à 0,3%. Outre les composés mentionnés ci-dessus, ladite composition A peut également comprendre des composés tels que HF et BF 2 OH. Si elle en contient, ladite composition A peut comprendre de 10 ppm à 2% de BF 2 OH, de préférence de 1000 ppm à 1% en mole sur base de la composition totale. Le BF 3 dans la composition A est de préférence du trihydrate de BF 3 . Le BF 3 dans la composition A contenant F1 peut être du trihydrate de BF 3 ou ses solutions aqueuses provenant de sous-produits du BF 3 gaz catalyseur utilisé dans des unités d’alkylation avec un catalyseur pour la fabrication d’huile de synthèse pour des applications pour lubrifier les moteurs thermiques. Etape b) L’étape b) du présent procédé consiste à introduire en continu, dans le réacteur R1 : - une solution d’acide sulfurique et une solution B comprenant de l’oléum et des composés additionnels volatils F2 pour former une composition C ; - la composition A . De préférence, la solution B est de l’oléum à une concentration de 1% à 65% en poids, plus préférentiellement de 10% à 65% en poids, en particulier de 40% à 65% en poids. L’oléum est un mélange de H 2 SO 4 et SO 3 sous la forme H 2 S 2 O 7 (réaction équilibrée). On exprime la teneur en SO 3 dans l'oléum en pourcentage de SO 3 ajouté ou en pourcentage de H 2 SO 4 équivalent si on ajoutait la quantité d'eau nécessaire (quantité d’eau nécessaire pour transformer la totalité du SO 3 en H 2 SO 4 ) : les concentrations usuelles sont l'oléum à 40 % en poids (correspondant à 109 % en poids H 2 SO 4 ) et l'oléum à 65 % en poids (correspondant à 114,6 % en poids H2SO4) ; H 2 S 2 O 7 pur est un solide fondant à 35 °C. Par exemple, de l’oléum à 65% correspond à 65 g de SO 3 pour 100 g et il faudrait rajouter pour neutraliser le SO 3 14,6 g d'eau soit 100 + 14,6 = 114,6, i.e. un acide sulfurique de titre de 114,6. La composition d’acide sulfurique introduite à l’étape b) peut être la composition L2 obtenue en sortie de réacteur R2 . De préférence, la solution C formée à l’étape b) a un titre en acide sulfurique supérieur à 100% en poids, avantageusement supérieur à 101% en poids, de préférence supérieur à 102% en poids, plus préférentiellement supérieur à 103% en poids, en particulier supérieur à 104% en poids, plus particulièrement supérieur à 105% en poids. Avantageusement, la solution C ainsi formée à un titre en acide sulfurique supérieur à 106% en poids, de préférence supérieur à 107% en poids, plus préférentiellement supérieur à 108% en poids, en particulier supérieur à 109% en poids, plus particulièrement supérieur à 110%, de manière privilégiée supérieur à 111% en poids, de manière avantageusement privilégiée supérieur à 112% en poids, de manière préférentiellement privilégiée supérieur à 113% en poids, de manière plus préférentiellement privilégiée supérieur à 114% en poids. De l’acide sulfurique de titre supérieur à 100% en poids correspond à de l’acide sulfurique anhydre (dépourvu d’eau) comprenant du SO 3 . En effet, le SO 3 présent dans l’acide sulfurique sera hydrolysé en H 2 SO 4 en présence d’eau et permettra à l’acide sulfurique de rester anhydre tant que du SO 3 sera présent dans celui-ci. Ladite solution B peut contenir également un ou plusieurs composés volatils F2 sélectionnés parmi le groupe consistant en SO 2 , SO 3 libre, CO 2 , N 2 et O 2 . Le terme SO 3 libre correspond à du SO 3 présent dans l’oléum mais qui est en équilibre avec H 2 S 2 O 7 en concentration très faible par rapport à celle de H 2 S 2 O 7 . En particulier, si elle en contient, ladite solution B peut comprendre de 10 ppm à 5 %, de préférence de 100 ppm à 1% en mole de N 2 sur base de la solution totale. En particulier, si elle en contient, ladite solution B peut comprendre de 10 ppm à 1 %, de préférence de 100 ppm à 0,5% en mole de O 2 sur base de la solution totale. En particulier, si elle en contient, ladite solution B peut comprendre de 10 ppm à 0,5 %, de préférence de 10 ppm à 0,1% en mole de CO 2 sur base de la solution totale. En particulier, si elle en contient, ladite solution B peut comprendre de 10 ppm à 1 %, de préférence de 10 ppm à 0,5% en mole de SO 2 sur base de la solution totale. En particulier, si elle en contient, ladite solution B peut comprendre de 10 ppm à 0,1 %, de préférence de 10 ppm à 0,25% en mole de SO 3 libre sur base de la solution totale. Ladite solution B peut contenir au moins un, deux, trois, quatre ou l’ensemble desdits un ou plusieurs composés additionnels volatils F2 . De préférence, ladite solution B comprend au moins SO 3 libre et SO 2 . En particulier, ladite solution B comprend l’ensemble des composés additionnels volatils F2 . Ainsi, de préférence, ladite solution B peut donc comprendre : de 10 ppm à 5 %, de préférence de 100 ppm à 1% en mole de N 2 sur base de la solution totale ; et/ou de 10 ppm à 1 % en mole, de préférence de 100 ppm à 0,5% en mole de O 2 sur base de la solution totale ; et/ou de 10 ppm à 0,5 % en mole, de préférence de 10 ppm à 0,1% de CO 2 sur base de la solution totale ; et/ou de 10 ppm à 1 % en mole, de préférence de 10 ppm à 0,5% en mole de SO 2 sur base de la solution totale ; de 10 ppm à 0,10 % en mole, de préférence de 10 ppm à 0,25% en mole, de SO 3 libre sur base de la solution totale. Après mélange de la solution B et de l’acide sulfurique, lesdits composés additionnels volatils F2 sont contenus dans ledit mélange C . Ledit mélange C peut contenir également un ou plusieurs composés volatils F2 sélectionnés parmi le groupe consistant en SO 2 , SO 3 libre, CO 2 , N 2 et O 2 . En particulier, si elle en contient, ledit mélange C peut comprendre de 10 ppm à 5 %, de préférence de 100 ppm à 1% en mole de N 2 sur base de la solution totale. En particulier, si elle en contient, ledit mélange C peut comprendre de 10 ppm à 1 %, de préférence de 100 ppm à 0,5% en mole de O 2 sur base de la solution totale. En particulier, si elle en contient, ledit mélange C peut comprendre de 10 ppm à 0,5 %, de préférence de 10 ppm à 0,1% en mole de CO 2 sur base de la solution totale. En particulier, si elle en contient, ledit mélange C peut comprendre de 10 ppm à 1 %, de préférence de 10 ppm à 0,5% en mole de SO 2 sur base de la solution totale. En particulier, si elle en contient, ledit mélange C peut comprendre de 10 ppm à 0,1 %, de préférence de 10 ppm à 0,25% en mole de SO 3 libre sur base de la solution totale. Ledit mélange C peut contenir au moins un, deux, trois, quatre ou l’ensemble desdits un ou plusieurs composés additionnels volatils F2 . De préférence, ledit mélange C comprend au moins SO 3 libre et SO 2 . En particulier, ledit mélange C comprend l’ensemble des composés additionnels volatils F2 . Ainsi, ledit mélange C a un titre en acide sulfurique supérieur à 100% en poids, avantageusement supérieur à 101% en poids, de préférence supérieur à 102% en poids, plus préférentiellement supérieur à 103% en poids, en particulier supérieur à 104% en poids, plus particulièrement supérieur à 105% en poids. Avantageusement, la solution C ainsi formée à un titre en acide sulfurique supérieur à 106% en poids, de préférence supérieur à 107% en poids, plus préférentiellement supérieur à 108% en poids, en particulier supérieur à 109% en poids, plus particulièrement supérieur à 110% en poids, de manière privilégiée supérieur à 111% en poids, de manière avantageusement privilégiée supérieur à 112% en poids, de manière préférentiellement privilégiée supérieur à 113% en poids, de manière plus préférentiellement privilégiée supérieur à 114% en poids et comprend: - de 10 ppm à 5 %, de préférence de 100 ppm à 1% en mole de N 2 sur base de la solution totale ; et/ou - de 10 ppm à 1 % en mole, de préférence de 100 ppm à 0,5% en mole de O 2 sur base de la solution totale ; et/ou - de 10 ppm à 0,5 % en mole, de préférence de 10 ppm à 0,1% de CO 2 sur base de la solution totale ; et/ou - de 10 ppm à 1 % en mole, de préférence de 10 ppm à 0,5% en mole de SO 2 sur base de la solution totale ; - de 10 ppm à 0,25 % en mole, de préférence de 10 ppm à 0,10% en mole, de SO 3 libre sur base de la solution totale. Le réacteur R1 peut contenir de l’air avant l’introduction des différents réactifs. Alternativement, ledit réacteur peut être mis sous vide avant l’introduction des réactifs pour éliminer l’oxygène ou l’azote présent. La réaction entre la composition A et la composition C forme une phase liquide L1 comprenant l’oléum, l’acide sulfurique et le BF 3 et une phase gazeuse G1 comprenant lesdits composés additionnels F1 et F2 . La réaction entre la composition A et la composition C forme notamment un composé complexe entre le BF 3 et le SO 3 permettant avantageusement de conserver le BF 3 solubilisé dans l’oléum au contraire des composés volatils F1 et F2 (dont le SO 2 ) qui se retrouvent en phase gazeuse et peuvent être éliminés. La température et la pression ne sont pas des paramètres critiques pour la mise en œuvre de l’étape b). Cependant, l’étape b) est généralement mise en œuvre à une température de 30°C à 120°C, de préférence de 45 à 120°C, de préférence de 70 à 120°C et encore plus préférentiellement de 80 à 120°C. L’étape b) peut être mise en œuvre à pression atmosphérique. La phase liquide L1 est de préférence agitée pour favoriser le mélange entre A et C . Lorsque ladite composition A comprend HF et BF 2 OH, ces deux composés sont présents dans ladite phase liquide L1 lors de la mise en œuvre de l’étape b), avec notamment la transformation de HF en HSO 3 F. La solution C va permettre de complexer le BF 3 contenu dans la composition A avec le SO 3 . Il est donc nécessaire que la composition C comprenne une quantité suffisante de SO 3 pour complexer tout le BF 3 présent dans la composition A . De préférence, les débits des flux de la solution B , de l’acide sulfurique et de la composition A sont tels que l’oléum est en large excès par rapport au BF 3 . De préférence la quantité de SO 3 introduite est au moins 3 fois supérieur à la quantité de BF 3 gaz. Ainsi, si la composition A est une composition de BF 3 anhydre ou quasi-anhydre (moins de 1000 ppm d’eau à moins de 1% en masse d’eau par rapport à la masse de BF 3 ), la quantité de SO 3 est au moins 3 fois la quantité de BF 3 . La quantité de SO 3 augmente si le BF 3 de la composition A est un BF 3 hydraté de 1*((BF 3 )y.xH 2 O, avec x>0 et y généralement de 1), de préférence la quantité de SO 3 augmente proportionnellement à la quantité d’eau du BF 3 hydraté, de préférence selon l’équation : Ainsi à l’étape b) la quantité globale de SO 3 est de préférence égale à 3y+1*x, par exemple pour y=1 et pour x=3 de l’hydrate BF 3 ,3H 2 O, on a une quantité de SO 3 globale de = 3*1+1*3=6. De préférence, la quantité molaire totale d’oléum, pour le trihydrate de trifluorure de bore est le double de la quantité d’oléum nécessaire à complexer le BF3 contenu dans le trihydrate de triflorure de bore. Il est donc préférable d’introduire du SO 3 en quantité suffisante pour complexer tout le BF 3 contenu dans la composition A et supprimer toute l’eau contenue dans la composition A . De préférence, les flux en composition A , B et acide sulfurique sont tels que l’on s’approche du seuil de saturation de l’oléum par le BF 3 . La quantité de trifluorure de bore susceptible de se dissoudre dans la phase liquide L1 issue du mélange entre la composition A et le mélange C peut être calculée préalablement à la mise en œuvre du procédé. Il suffit, par exemple, de mélanger la composition A audit mélange C dans les mêmes proportions et dans les mêmes conditions opérationnelles jusqu’à la détection de trifluorure de bore gazeux partant alors avec les gaz F1 ou F2 . Cette détection gazeuse peut être mise en œuvre par Infrarouge à haute résolution pour SO2, SO3, CO2, CO, HCl, BF 3 selon les techniques usuelles dans le domaine technique ou par mesure avec un débitmètre d’une brusque élévation de débit dans le réacteur dû au dégagement de trifluorure de bore gazeux. Dans le cas où la quantité molaire totale de SO 3 ajoutée à l’étape b) ne serait pas suffisante pour complexer tout le BF 3 contenu dans la composition A , du BF 3 gaz pourrait se retrouver dans la phase gaz G1. De préférence, ce BF3 gaz contenu dans la phase gaz G1 pourrait être récupéré par exemple dans une colonne d’acide sulfurique à 98 ou 100% en poids et pourrait être recyclé dans le procédé notamment à l’étape a) et/ou à l’étape d), de préférence à l’étape d). Selon un mode de réalisation préféré, lorsque le trifluorure de bore de la composition A est du BF 3 gazeux éventuellement en mélange avec BF 2 OH, on introduit 100% en poids de la quantité de BF 3 contenue dans la composition A susceptible de se dissoudre dans le mélange C dans les conditions de mise en œuvre de l’étape b). Ceci est particulièrement mis en œuvre lorsque le trifluorure de bore contenu dans la composition A n’est pas du trifluorure de bore gazeux, plus particulièrement lorsque le trifluorure de bore est un hydrate (liquide éventuellement en solution aqueuse). En effet, une partie de l’oléum réagira avec l’eau provenant du trifluorure de bore. Par exemple, à l’étape b) avec (BF 3 ) 2 ,H 2 O, une quantité globale de SO 3 = 3y+1*x dans lequel y= 2 et x= 1 , on aurait une quantité de SO 3 totale de = 3*( 2 )+1*( 1) =7 soit une introduction d’oléum supplémentaire à la complexation de BF3, pour détruire le nouvel apport d’eau de l’hydrate qui est de 1/7=0,14=14% en mole pour détruire l’eau. Les 86% molaire d’oléum ayant déjà été ajouté pour complexé le BF3, cet excès complémentaire de 14% molaire permet d’arriver à la quantité maximale et optimale d’oléum à introduire. Selon un autre mode de réalisation, lorsque le trifluorure de bore de la composition A est du (BF 3 ) 2 ,H 2 O, on introduit 14% molaire d’excès d’oléum à la quantité complémentaire d’oléum à 86% molaire déjà utilisée pour complexer le BF 3 déjà contenu dans la composition A susceptible de se dissoudre dans le mélange C dans les conditions de mise en œuvre de l’étape b). Selon un autre mode de réalisation, lorsque le trifluorure de bore de la composition A est du BF 3 ,H 2 O, on introduit 25% molaire d’excès d’oléum à la quantité complémentaire d’oléum à 75% molaire déjà utilisée pour complexer BF 3 déjà contenu dans la composition A susceptible de se dissoudre dans le mélange C dans les conditions de mise en œuvre de l’étape b). Selon un autre mode de réalisation, lorsque le trifluorure de bore de la composition A est du BF 3 ,1,5H 2 O, on introduit 33% molaire d’excès d’oléum à la quantité complémentaire d’oléum à 67% molaire déjà utilisée pour complexer BF 3 contenu dans la composition A susceptible de se dissoudre dans le mélange C dans les conditions de mise en œuvre de l’étape b). Selon un autre mode de réalisation, lorsque le trifluorure de bore de la composition A est du BF 3 ,2H 2 O, on introduit 40% molaire d’excès d’oléum à la quantité complémentaire d’oléum à 60% molaire déjà utilisée pour complexer BF 3 contenu dans la composition A susceptible de se dissoudre dans le mélange C dans les conditions de mise en œuvre de l’étape b). Selon un autre mode de réalisation, lorsque le trifluorure de bore de la composition A est du BF 3 ,3H 2 O, on introduit 50% molaire d’excès d’oléum à la quantité complémentaire d’oléum à 50% molaire déjà utilisée pour complexer BF 3 contenu dans la composition A susceptible de se dissoudre dans le mélange C dans les conditions de mise en œuvre de l’étape b). Selon un autre mode de réalisation, lorsque le trifluorure de bore de la composition A est du BF 3 ,4H 2 O + 2H 2 O, on introduit 67% molaire d’excès d’oléum à la quantité complémentaire d’oléum à 33 % molaire déjà utilisée pour complexer BF 3 contenu dans la composition A susceptible de se dissoudre dans le mélange C dans les conditions de mise en œuvre de l’étape b). Selon un autre mode de réalisation, lorsque le trifluorure de bore de la composition A est du BF 3 ,4H 2 O + 5H 2 O, on introduit 75% molaire d’excès d’oléum à la quantité complémentaire d’oléum à 25% molaire déjà utilisée pour complexer BF 3 contenu dans la composition A susceptible de se dissoudre dans le mélange C dans les conditions de mise en œuvre de l’étape b). L’étape b) permet de solubiliser une quantité importante de trifluorure de bore dans la phase liquide L1 . Il a été démontré par la présente invention que l’ajout de la composition A dans le mélange C permettait de solubiliser plus de BF 3 dans la phase liquide L1 que dans de l’acide sulfurique seul. Par exemple, à une température comprise entre 70°C et 120°C, la solubilité du BF 3 dans l’acide sulfurique est entre 0,9% et 1,7% en poids par rapport au poids de la solution. En mettant en œuvre le présent procédé, et particulièrement en mettant en œuvre l’étape b), la solubilité du trifluorure de bore dans la phase liquide L1 est supérieure à 4% en poids par rapport au poids de la solution, de préférence supérieure à 4,5% en poids par rapport au poids de la solution. Ceci représente une augmentation conséquente démontrant l’efficacité du présent procédé pour stocker le BF 3 dans la phase liquide L1 tant que l’étape d) n’est pas mise en œuvre. En outre, lors de la mise en œuvre de l’étape b), il a été observé la formation de HSO 3 F dans la phase liquide L1 par infrarouge de Raman. La formation de SO3 libre d’un oléum traditionnel s’en trouve ainsi fortement diminuée par cette dissolution importante de BF3 dans L1 . La phase liquide L1 obtenue à l’étape b) présente de préférence un titre en acide sulfurique supérieur à 100% en poids et inférieur à celui de la composition C . De préférence, le titre en acide sulfurique de L1 est compris entre 103% et 108% en poids de préférence exprimée en teneur en SO3 comprise entre 13 et 36% en poids par rapport au poids total de la phase liquide L1 . De préférence, le titre de l’acide sulfurique L1 dans R1 est toujours supérieur au titre de l’acide sulfurique L2 contenu dans R2 Etape c) Dans le présent procédé, l’étape c) permet d’éliminer lesdits un ou plusieurs composés additionnels volatils F1 et F2 tels que définis ci-dessus et contenus dans ladite phase gazeuse G1 . Ainsi, le trifluorure de bore contenu dans la phase liquide L1 est séparé des composés additionnels volatils F1 et F2 . Les composés HF et BF 2 OH restent également dans la phase liquide L1 au cours de cette étape c) mais seront séparés du trifluorure de bore gazeux lors de l’étape suivante e), comme expliqué ci-après. L’étape c) est mise en œuvre de sorte à soutirer la phase gazeuse G1 en continu. En particulier de façon particulièrement ciblée, cette étape c) permet d’éliminer le dioxyde de soufre (SO 2 ) sans utiliser de charbon actif qui a l’inconvénient de se dégrader par attrition et l’inconvénient d’ajouter de l’azote dans le gaz de BF 3 à cause de leur régénération en présence d’azote. De manière surprenante, l’entièreté du SO 2 présent initialement dans la composition A est éliminé grâce à la mise en œuvre de l’étape c). Dans un mode de réalisation, l’étape c) peut être réalisée en combinaison avec l’étape b) c’est-à-dire que le réacteur R1 est sous vide permettant une élimination en continu de la phase gazeuse G1 . Cela peut se faire par toute méthode connue de l’homme du métier permettant de soutirer la phase gazeuse G1 et d’introduire la phase L1 dans le réacteur R2 . Par exemple, le réacteur R1 peut être surmonté d’un réfrigérant condenseur relié à une pompe à vide permettant d’évacuer le flux gazeux G1 de R1 . De préférence, la pression P1 à appliquer pour la mise en œuvre de l’étape c) est inférieure à la pression atmosphérique. De préférence la pression P1 est choisie de sorte à permettre l’élimination de la phase gazeuse G1 tout en évitant l’évaporation de la phase liquide L1 contenant notamment le composé complexe de trifluorure de bore, l’acide sulfurique, l’HF et BF 2 OH. Ainsi, la pression P1 pour la mise en œuvre de l’étape c) est de préférence comprise entre la pression de vapeur de l’acide sulfurique à la température de mise en œuvre de l’étape b) et la pression de mise en œuvre de l’étape b). De préférence, la pression P1 pour la mise en œuvre de l’étape c) est comprise entre la pression de vapeur de l’acide sulfurique à la température de mise en œuvre de l’étape b) et la pression atmosphérique. La pression de vapeur de l’acide sulfurique est déterminée préalablement en fonction de la température à laquelle l’étape b) est mise en œuvre. Il peut être utile, dans ce mode de réalisation, de compenser les éventuelles pertes de SO 3 sous forme gazeuse par un débit plus important en oléum. L’homme du métier sera capable de modifier les flux afin de compenser les éventuelles pertes de SO 3 sous forme gazeuse. En effet, de préférence, on essaye d’éviter des excès d’oléum très supérieur à ceux définit ci-dessus dans R1 pour éviter des pertes de rendement en SO3 partant dans la phase gazeuse G1 et perdu pour assurer sa fonction de complexation du BF3 et de destruction de l’eau transformée en acide sulfurique dans R1 et perdu lorsque L1 arriverait dans R2 pour neutraliser l’eau qui arriverait dans R2 avec l’ajout de D1, D2 et D3 . Toutefois un léger excès est possible, pour éviter de perdre du BF3, de préférence le léger excès est tel que le titre en acide sulfurique reste supérieur à 100% en poids. Selon un mode de réalisation préféré, et afin d’optimiser l’élimination des composés additionnels volatils F1 et F2 , la phase liquide L1 peut subir une recirculation du pied du réacteur au couvercle du réacteur. Ainsi la phase liquide L1 est transportée du pied du réacteur vers le couvercle par une boucle de recirculation de façon à parfaire l’élimination des composés additionnels volatils F1 et F2 par l’arrosage pulvérisé de la phase liquide L1 dans le ciel du réacteur, soumis à la pression P1 définie ci-dessus. Comme indiqué ci-dessus, la pression est très faible. Dans un autre mode de réalisation, l’étape c) est distincte de l’étape b). Dans ce cas, une enceinte sous vide est introduite entre le réacteur R1 et le réacteur R2 . Cette enceinte sous vide permet la séparation en continu du flux gazeux G1 et de la phase liquide L1 provenant du réacteur R1 . Dans ce mode de réalisation, l’enceinte sous vide est à une température comprise entre 60°C et 110°C, de préférence comprise entre 70°C et 90°C. La pression P1 dans l’enceinte sous vide est choisie de sorte à permettre l’élimination de la phase gazeuse G1 tout en évitant l’évaporation de la phase liquide L1 contenant notamment le trifluorure de bore, l’acide sulfurique, l’oléum, HF et BF 2 OH. Ainsi, la pression P1 pour la mise en œuvre de l’étape c) dans une enceinte sous vide est de préférence comprise entre la pression de vapeur de l’acide sulfurique à la température de l’enceinte sous vide et la pression de mise en œuvre de l’étape b). De préférence, la pression P1 pour la mise en œuvre de l’étape c) dans une enceinte sous vide est comprise entre la pression de vapeur de l’acide sulfurique à la température de mise en œuvre de l’étape b) et la pression atmosphérique. La pression de vapeur de l’acide sulfurique est déterminée préalablement en fonction de la température à laquelle l’étape b) est mise en œuvre. Etape d) Selon le présent procédé, l’étape d) consiste en l’ajout, en continu, dans le réacteur R2 , de la phase liquide L1 provenant du réacteur R1 ou le cas échéant de l’enceinte sous vide elle-même alimentée par R1 , et d’une solution d’une composition D1 d’eau ou d’une composition aqueuse de trifluorure de bore D2 ou une composition D3 comprenant du trifluorure de bore hydraté, dit hydrates de trifluorure de bore pour produire un courant gazeux E de trifluorure de bore et une phase liquide L2 . Cette étape permet une hydrolyse de l’excès d’oléum compris dans la phase liquide L1 par la solution D1, D2 ou D3. De préférence, la solution mise en œuvre à l’étape d) est la solution D2 ou D3 , de préférence D3 , car ces solutions vont permettre, par le BF 3 qu’elles contiennent, d’augmenter encore le rendement en BF3 du procédé de l’invention. De façon particulièrement avantageuse, les solutions D2 et D3 sont dégazées avant utilisation afin de ne pas introduire des impuretés dans le réacteur R2. Selon un mode de réalisation préféré, ladite solution D2 ou D3 est dégazée sous vide à température modérée de 40 à 70°C dans un processus amont indépendant et préalablement à la mise en œuvre de l’étape d). Selon un mode de réalisation préféré, ladite solution D2 ou D3 est un hydrate de trifluorure de bore BF 3 ,xH 2 O avec x de 0,5 à 4, plus particulièrement obtenu selon le procédé décrit dans la demande de brevet WO 2013/050690. Ainsi et avantageusement, ladite solution D2 ou D3 contient une teneur massique de moins de 5 ppm dans chacun des composés additionnels volatils suivants : N 2 , O 2 , CO 2 , SiF 4 , HCl, H 2 . De préférence, ladite solution D est dépourvue de composés additionnels volatils N 2 , O 2 , CO 2 , SiF 4 , HCl, H 2 . Ceci permet de ne pas contaminer le courant gazeux E de trifluorure de bore de haute pureté. L’ajout de la solution D1 à la phase liquide L1 permet avantageusement de libérer le trifluorure de bore dissout dans celle-ci, sous forme de gaz de BF3 tout en maintenant les composés HF et BF 2 OH dans ladite phase liquide L2 . L’ajout de la solution D2 ou D3 à la phase liquide L1 permet avantageusement de libérer le trifluorure de bore dissout dans D2 et D3 en plus de celui dissout dans L1, sous forme de gaz de BF3 tout en maintenant les composés HF et BF 2 OH dans ladite phase liquide L2 . Le présent procédé permet donc par la mise en œuvre des étapes c) et d) d’éliminer de nombreuses impuretés initialement présentes dans la composition A et dans la composition d’oléum. Le présent procédé présente l’avantage de pouvoir être facilement mis en œuvre. L’analyse de courant gazeux E montre l’absence de HF et BF 2 OH dans ledit courant. Ainsi, l’étape d) permet de produire un trifluorure de bore de haute pureté. Selon un mode de réalisation préféré, la teneur en trifluorure de bore dans ledit courant gazeux E est supérieure à 99,9% en volume, en particulier supérieure à 99,99% en volume sur base du volume total du courant gazeux E . De préférence, ledit courant E est dépourvu de HF et de BF 2 OH. Ledit courant gazeux E est soutiré du ciel du réacteur R2 pour être récupéré par exemple dans un container. Selon un mode de réalisation préféré, ladite solution D2 ou D3 est un hydrate de trifluorure de bore BF 3 ,xH 2 O avec x de 0,5 à 4 ou une solution de trifluorure de bore avec x supérieur à 4 ou de l’eau, de préférence l’hydrate de trifluorure de bore est de formule BF 3 ,xH 2 O avec x de 2,5 à 3,1 de préférence entre 2,9 et 3,1, de préférence entre 3 et 3,1. De préférence, la concentration en oléum lors de l’étape d) est inférieure à celle de l’étape b). Selon un mode de réalisation préféré, à l’étape d), ladite solution D1, D2 ou D3 est ajoutée, dans R2 , à la phase liquide L1 conduisant à la phase liquide L2 tant que celle-ci demeure au-dessus d’un titre en acide sulfurique supérieur à 100% en poids. Le titre en acide sulfurique peut être suivi en ligne à l’aide d’un appareillage de spectroscopie infrarouge de Raman selon les techniques usuelles selon lesquelles pour un titre supérieur à 100% il n’y a plus de bandes HSO4- à 1043cm-1. Le titre en acide sulfurique est notamment suivi par la mesure d’une bande d’intensité à 835 cm -1 qui diminue au cours de la mise en œuvre de l’étape d). Cette bande correspond au composé HSO 3 F qui s’est formé au cours de l’étape b) et qui est consommé au cours de l’étape d) et qui est caractéristique d’un milieu sulfurique de titre forcément supérieur à 100% en poids en titre d’acide sulfurique car HSO3F, molécule non ionisée, non dissociée électroniquement en cation et anion ne peut pas se fabriquer facilement dans un acide sulfurique de titre inférieur à 100% en poids. Cette mesure peut être complétée par la mesure de pics à 913 cm -1 et 1162 cm -1 dont l’intensité augmente au cours de la mise en œuvre de l’étape d) en évitant d’aller en milieu acide sulfurique inférieur à 100% en poids caractérisé par l’apparition d’une bande typique du HSO 4 - située à 1043 cm -1 . De préférence, la solution D1 , D2 ou D3 est ajoutée de manière à maintenir dans la phase liquide L2 au moins 0,5% en poids de SO3 par rapport au poids de la solution L2 , de préférence 1%, encore plus préférentiellement au plus 2%. Selon un mode de réalisation particulier, préalablement à l’ajout de ladite solution D1, D2 ou D3 à la phase liquide L1 , de l’acide fluorosulfonique HSO 3 F peut être ajouté à la phase liquide L1 arrivant dans R2 ou directement dans le réacteur R2 . L’acide fluorosulfonique agit comme un agent séquestrant du BF 2 OH. Ainsi, l’ajout de l’acide fluorosulfonique permet de favoriser le maintien du BF 2 OH dans la phase liquide L1 au cours de l’étape d) et d’améliorer la séparation entre le trifluorure de bore et le BF 2 OH. Selon un mode de réalisation préféré, l’étape d) est mise en œuvre à une température comprise entre 30°C et 120°C, de préférence entre 45 et 120°C, plus préférentiellement entre 70°C et 120°C, en particulier entre 80°C et 120°C plus préférentiellement entre 80 et 110°C. De préférence, la pression du réacteur R2 est proche de la pression atmosphérique, de préférence légèrement supérieure à la pression atmosphérique, par exemple comprise entre 1,0 et 1,3 bars. De préférence, les flux de L1 et de la solution D1, D2 ou D3 dans le réacteur R2 sont tels que le ratio en mole de la quantité totale de SO 3 ajouté dans le procédé par L1 par rapport à la quantité d’eau totale ajoutée au procédé par A , et par D1 , ou D2 ou D3 est inférieure au ratio molaire H 2 O/SO 3 de 1, de préférence compris entre 0,95 et 0,99. Selon un mode de réalisation préféré, la teneur en trifluorure de bore dans le courant gazeux E est supérieure à 99,9% en volume, en particulier supérieure à 99,99% en volume, sur base du volume total du courant gazeux E . La phase liquide L2 peut être traitée pour éliminer l’HF présent alors sous forme de HSO 3 F à haut point d’ébullition ou le BF 2 OH pour former une composition comprenant principalement de l’acide sulfurique et peu d’oléum , de préférence titre en acide sulfurique proche de 100% en poids, de préférence entre 100 et 102% en poids (entre 0,5% et 9% en poids de SO3 dissout par rapport au poids de la phase liquide L2 ) encore de plus de préférence entre 100,1 et 100,5% en poids (entre 0,5 et 2% en poids de SO3 dissout par rapport au poids de la phase liquide L2 ). La phase liquide obtenue peut être au moins partiellement recyclée au réacteur R1 comme flux d’acide sulfurique ou être utilisée dans d’autres applications après hydrolyse avec de l’eau puis strippé à l’air du bore et du fluor qu’il contient pour former de l’acide sulfurique 98% ou 94 % en poids, deux grades commerciaux très demandés (voir par exemple le brevet EP0115719). La représente schématiquement une installation selon un mode de réalisation particulier de la présente invention. Le présent procédé permet de séparer des gaz comme l’azote et l’oxygène du trifluorure de bore beaucoup plus facilement que des procédés de distillation cryogénique et cela à moindre coût et aussi d’éliminer les oxydes de soufre, notamment le dioxyde de soufre SO2, sans utiliser de charbon actif qui a l’inconvénient de libérer de fines particules de charbon dans les colonnes d’adsorption à cause des forces d’attritions exercées sur les grains de charbon. Les fines particules ainsi présentes dans les lignes de production polluent le récipient de stockage contenant le BF3 gazeux. De plus, la mise en œuvre du présent procédé évite la présence d’hydrate de BF 3 , de BF 2 OH et ou d’HF dans le BF 3 gaz en s’assurant d’avoir un titre en acide sulfurique supérieur à 100% en poids dans le deuxième réacteur. De plus, le procédé permet d’éliminer, de par sa conception, d’éventuelles traces d’autres polluants gazeux moins fréquent comme le dioxyde de carbone CO 2 , ou fréquent comme le tétrafluorure de silicium non souhaités dans les trifluorure de bore à destination des industries de dopages du silicium électronique. Installation La présente demande concerne également une installation pour la mise en œuvre du procédé de l’invention. Cette installation comprend : - un premier réacteur (R1) 1 et un second réacteur (R2) 2 et un système de pompe péristaltique ou gravitaire par jambe barométrique servant à transporter la phase liquide entre R1 et R2 en assurant une fonction de clapet antiretour de phase liquide vis-à-vis de R2 vers R1 pour éviter la remontée de la phase liquide de R2 de préférence proche de la pression atmosphérique ou supérieure vers R1 placé lui de préférence sous dépression atmosphérique; - le premier réacteur 1 est équipé : - d’un dispositif d’alimentation en continu 3 permettant l’alimentation en composition A - d’un dispositif d’alimentation en continu 4 permettant l’alimentation en composition B - d’un dispositif d’alimentation en continu 5 permettant l’alimentation en acide sulfurique ou d’un dispositif d’alimentation 6 permettant l’alimentation du réacteur 1 avec la composition L2 sortant du réacteur 2 ; - d’un couvercle étanche muni d’un réfrigérant/condenseur 7 relié à une pompe à vide 8 permettant de soutirer en continu la phase gaz G1 comprenant les composés volatils F1 et F2 ; - d’une surverse permettant d’alimenter le réacteur 2 avec la composition L1 sortant du réacteur 1 via le dispositif d’alimentation 9 ; - le deuxième réacteur 2 est équipé : - d’un dispositif d’alimentation en continu 9 permettant d’alimenter le réacteur 2 avec la composition L1 sortant de la surverse du réacteur 1 ; - d’un dispositif d’alimentation en continu 10 de la composition D1 , D2 ou D3 ; - d’une sortie 11 en ciel de réacteur permettant de récupérer le gaz BF3 ultrapur dans un récipient de stockage E à l’aide d’un compresseur 15 ; - d’une sortie 12 de surverse en milieu de réacteur permettant de récupérer la composition L2 d’oléum riche en acide sulfurique qui peut par l’intermédiaire d’une vanne 13 être en partie réintégré ou pas réintégré du tout au réacteur R1 via le dispositif d’alimentation 6 et alimenter un dispositif de stripping 14 permettant de traiter l’acide sulfurique chaud à l’air pour en éliminer le bore et le fluor nuisible à sa valorisation. Exemples Les exemples suivants illustrent l'invention sans la limiter. Exemple 1 (comparatif – addition d’oléum et de BF3 simultanée) Dans un réacteur d’une contenance de 1 litre, équipé d’un agitateur sur moteur et avec l’arbre d’agitateur passant un presse-étoupe et équipé des pales d’agitation en bout d’axe, il a été introduit en pied de cuve 510 g d’acide sulfurique à 99,8 % en poids dont 0,2% en poids d’eau. Le réacteur est muni d’un couvercle étanche relié à l’agitateur et à deux pompes péristaltiques, la première étant destinée à alimenter le réacteur avec un trihydrate de trifluorure de bore BF3,3 H2O titrant 55,7% en masse de BF3 (donc 44,3 % en poids en eau). La seconde pompe péristaltique est destinée à alimenter le réacteur avec de l’oléum contenant 65% en masse de trioxyde de soufre SO3. La sortie gaz du réacteur est équipée d’un flacon laveur mis sur balance, flacon raccordé à un tuyau souple en caoutchouc fluorés ou tube flexible en polymère de PFA. Le flacon laveur contient de la potasse qui peut ensuite être dosée pour en analyser le bore et le fluor pour faire redondance avec la masse pesée par absorption du BF3 gaz dans une solution basique. Les mesures par l’une ou l’autre des méthodes conduisent à des résultats concordants. Les méthodes d’analyses de l’hydrate de trifluorure de bore peuvent être effectuées par analyse chimique selon le protocole décrit dans Wassmer Journal of the American Chemical Society, 1951,73 :409-416 ou plus simplement déductible par une courbe de densité fonction de la teneur en BF3 de la solution aqueuse suffisent à s’assurer du titre massique en BF3 de l’hydrate de trifluorure de bore. Le réacteur a été alimenté par 175 g de trihydrate de BF3 avec 530 g d’oléum à 65% en masse de SO3 en 80 minutes, il s’est dégagé régulièrement et proportionnellement environ 90 g de BF3 gaz en 80 minutes par réglages simultanés d’un débit de trihydrate de trifluorure de bore de 175g/80 minutes soit 2,2 g BF3,3H2O/min avec un débit concomitant d’oléum de 530g en 80 minutes soit 6,62g SO3/min. La température du réacteur a été augmentée par chauffage avec la double enveloppe du réacteur de 85°C vers 105°C pour sortir davantage le BF3 gazeux dissout de l’acide sulfurique. Le rendement de production est de 86% en poids. Le BF3 gazeux récupéré a des teneurs en sous-produits de 550 ppm en SO2/SO3 (déterminée par une méthode d’analyse totale du soufre), 30 ppm en CO2 (mesuré par analyseur carbone organique et minéral sur Shimadzu TOC), 125 ppm en SiF4 (mesuré par dosage colorimétrique avec le molybdate d’ammonium réagissant avec la silice pour donner un complexe jaune dosé à la longueur d’onde UV/visible de 810 nm), 80 ppm en HF (mesuré par infrarouge haute résolution). La somme des teneurs massiques en N2, O2, CO2, SiF4 est de 0,07%. Du BF2OH est détecté par infrarouge de haute résolution démontrant sa présence par doublet de pics entre 1000 et 1100 cm-1. Le trifluorure de bore ainsi obtenu titre au mieux à 99,5 % en poids sans compter la présence importante de BF2OH qui diminue le titre en BF3 annoncé ci-dessus. Exemple 2 (selon la présente invention) Description de l’installation : L’installation comprend un premier réacteur ( R1 ) suivie d’une fiole à vide (permettant de capter la phase gaz G1 ) et un second réacteur ( R2 ). Les deux réacteurs ( R1 ) et ( R2) sont reliés entre eux, ( R1 ) débordera dans ( R2) en transitant par le cône d’Imhoff, tandis que ( R2) alimentera ( R1 ) avec une partie de la phase liquide L2 sortant de ( R2) . Pour assurer le non-retour du liquide L2 de ( R2) fonctionnant en dépression dans le cône d’’Imhoff placé à son amont, les circulations de phase liquide entre ( R1 ) et le cône d’Imhoff puis entre le cône d’Imhof et ( R2) sont assurés par des pompes péristaltiques qui transportent la phase liquide L2 avec une maitrise de débits assurés par la vitesse de rotation de la pompe et ayant une fonction de clapet antiretour de produits liquides non souhaités entre ( R1 ) et ( R2) et entre le cône d’Imhoff et ( R1 ) et/ou ( R2) ,fonction de clapet de non-retour assuré grâce à l’écrasement du tuyau par le galet tournant. Une pompe péristaltique retourne de la phase L2 de ( R2) vers ( R1 ) pour assurer le débit souhaitable d’oléum riche en acide sulfurique qu’il doit lui fournir. Les pompes à piston ont les mêmes effets que les pompes péristaltiques sur les fonctions de maitrises des débits ou d’effets de clapet antiretour. Procédé : On fabrique préalablement un mélange constitué de 530 g d’oléum à 65% en poids de SO3, 510 g d’acide sulfurique 100% en poids et 85g de BF3,3H2O à 55,7% en poids de BF3, puis on introduit ce milieu réactionnel stable dans le réacteur R1 jusqu’à ce qu’il commence juste à déborder par la tubulure latérale et on arrête alors immédiatement le remplissage pour ne pas prolonger son débordement dans R2 . Une fois le réacteur R1 chargé, le réacteur R2 est ensuite lui aussi chargé avec une composition C2 comprenant : % SO3 = 0,9 % en poids % H2SO4 = 98.3 % en poids % H2O = 0,0 % en poids %BF3 = 0,8 % en poids Jusqu’à ce qu’il commence lui aussi à déborder et on arrête alors aussi son remplissage. Cette composition C2 sera ensuite maintenue constante dans R2 suite au démarrage de l’expérimentation par les réactifs qui l’alimenteront de façon permanente. Les deux réacteurs sont reliés entre eux, R1 débordera dans R2 en transitant par le cône d’Imhoff, tandis que R2 alimentera R1 avec une partie de la phase liquide L2 sortant de R2 . Pour assurer le non-retour du liquide L2 de R2 proche de la pression atmosphérique dans le cône d’’Imhoff placé à son amont sous dépression, les circulations de phase liquide entre R1 et le cône d’Imhoff puis entre le cône d’Imhof et R2 sont assurés par des pompes péristaltique qui transportent la phase liquide L2 avec une maitrise de débits assurés par la vitesse de rotation de la pompe et ayant une fonction de clapet antiretour de produits liquides non souhaité entre R2 et R1 et entre le cône d’Imhoff et R1 et/ou R2, cela grâce à l’écrasement du tuyau par le galet tournant. Une pompe péristaltique retourne de la phase L2 de R2 vers R1 pour assurer le débit souhaitable d’oléum riche en acide sulfurique qu’il doit lui fournir. Les pompes à piston ont les mêmes effets que les pompes péristaltiques sur les fonctions de maitrises des débits ou d’effets clapet antiretour. Réacteur R1 : Le milieu réactionnel dans R1 est alors chauffé entre 104 et 107°C et maintenu à cette température. Le réacteur R2 mis en chauffe à la même température. On introduit alors ensuite et en continu dans R1 par des pompes péristaltiques : - 63,7g de BF3,3H2O par heure - 397,5 g d’oléum 65% en poids par heure - 382 g par heure de la composition L2 (oléum riche en acide sulfurique) issue du réacteur R2 . La composition L1 chargée en oléum, acide sulfurique et BF3 dissout dans l’oléum sort par la surverse du tube latéral du réacteur R1 à l’aide d’une pompe péristaltique au débit de surverse de 845 g/h et entre dans une fiole conique en forme de cône d’Imhoff dont le bas est équipé d’une pompe à piston vidant en permanence le produit qui arrive par le couvercle du cône par le dessus. Sur le couvercle étanche au vide arrive une tubulure provenant du 1 er réacteur et un réfrigérant fixé aussi au couvercle et refroidit à 1°C au-dessus duquel une pompe à vide élimine les gaz G1 tels que N2, CO2, CO, SO2, O2, SiF4, H2 et traces de BF3 gaz non retenues dans la phase liquide de L1 riche en oléum. La phase liquide ( L1 ) riche en oléum provenant du bas du cône d’Imhoff arrive par la pompe péristaltique dans un second réacteur R2 de volume et construction identique au premier réacteur R1 . ( L1 ) présente un titre en H2SO4 mesuré d’environ 103,8 % en poids par dosage acidimétrie par NaOH. Traitement sous vide dans le cône d’Imhoff : Le vide est fait dans ce cône d’Imhof en permanence conformément à l’étape d) du présent procédé à une température d’environ 1°C pour les gaz sortant en aval du réfrigérant en se tenant constamment à la pression de vapeur de l’acide sulfurique à 80°C dont les vapeurs sont refroidies à 1°C comme seuil de vide bas. Des gaz, tels que N2, CO2, CO, SO2, O2, SiF4 sont éliminés conduisant à purifier le BF3 dissout dans la phase liquide L1 de ces composés volatils F1 et F2 . La mise sous vide est en permanence effective pour traiter le faible débit d’alimentation venant du premier réacteur. Deuxième réacteur R2 : Un second réacteur double enveloppe identique à celui de R1 est équipé en outre d’une lentille plate en pyrex placée sur une paroi interne du réacteur et permettant une connexion à la fibre optique d’un analyseur d’infrarouge de Raman permettant de connaitre le titre en SO3 contenu dans le réacteur R2 grâce la mesure de la bande vers 720 cm-1. Le même système équipe R1 se sorte à maitriser en permanence le contenu des réacteurs R1 et R2 dans une zone dite de composition d’oléum ou il n’y a pas de présence d’eau possible dans le milieu réactionnel. Cet analyseur en ligne évite de déraper en zone d’acide sulfurique aqueux. Le réacteur R2 est ensuite alimenté en continu par la surverse de R1 ayant transité dans le cône d’Imhoff tiré au vide et alimenté aussi par un second débit de trihydrate de trifluorure de bore pur, c’est-à-dire préalablement dégazé par distillation sous vide à chaud. Le ratio molaire global (tenant compte des deux réacteurs) entre le SO3 de l’oléum mis en œuvre et l’eau du BF3,3H2O ajouté dans les 2 réacteurs est proche de 1. Dans R2 , du BF3 gaz se dégage de façon continue au débit de 67 g/h et une composition L2 d’oléum riche en acide sulfurique sort du réacteur R2 à raison de 838 g/h dans un dispositif de stockage d’acide sulfurique en vue de lui faire subir un traitement de purification pour le rendre valorisable dans d’autres applications. La purification consiste à stripper cet acide sulfurique chaud à l’air pour en éliminer le bore et le fluor nuisible à sa valorisation et en ajoutant en même temps de l’eau pour en descendre le titre en acide sulfurique vers 94% en poids. L’analyse du soufre total dans le BF3 gaz sortant de R2 indique moins de 1 ppm de soufre donc moins de 2 ppm de SO2. L’autre partie de cet oléum L2 riche en acide sulfurique est recyclé à raison de 382 g/h au réacteur R1 . Exemple 3 : Le procédé est mené de manière similaire à celui de l’exemple 2, sauf que le vide est réalisé sur le réacteur R1 en permanence avec un réfrigérant sur le couvercle de R1 relié à une pompe à vide en Téflon se sorte à faire refluer au réacteur R1 le peu de distillat qui voudrait quitter le réacteur. Le BF3 sous forme gazeuse produit dans le deuxième réacteur a été mis dans une bouteille de 1 litre à l’aide d’un mini compresseur électrique 12/220 Volts capable de remplir une bouteille de 1 litre en 1 heure résistante à 300 bars. Le gaz peut être analysé par infrarouge haute résolution à transformée de Fourrier et très long trajet optique pour vérifier l’absence de SIF4 à 1040 cm -1 , HCl et HF possédant une série de bandes IR en multiplets au-dessus de 3000 cm -1 , très caractéristiques là où le BF3 gaz n’a aucune absorption infrarouge gênantes pour les observer. Le spectre est totalement dépourvu des bandes IR caractéristiques de HCl et HF conduisant à la conclusion de l’absence de HF et de HCl gazeux. Par chromatographie sous hélium, avec un détecteur DID qui est un détecteur par décharge très haute tension dans l’hélium qui émet un rayonnement ultraviolet de très haute énergie, ionisant tout, sauf l’hélium, a conclu que le BF3 gaz sortant du réacteur R2 est exempt de H2, CO2, CO, N2 et O2. Le BF3 gazeux récupéré a une pureté de plus de 99,99%. Pureté essai exemple 2 =100-(0,1+0,05+0,05+0,05+0,2)/100000=99,999% sur ce tableau. Le BF3 gazeux récupéré est dépourvu de HCl, HF, SiF4 et BF2OH vérifié par absence d’absorption de bandes infrarouges sur appareil de haute résolution a long trajet optique de chez MIRAN technologie. Absence de bande infrarouge vers 1040 cm -1 pour SiF4 et pour BF2OH et de bandes 1100 à 1200 cm-1 pour SO2. Pas de multiplets caractéristiques pour HCl ou HF dans les zones supérieures à 3000 cm -1 pour HCl et supérieure à 4000 cm -1 pour HF. Le volume de gaz inertes mesuré sur un eudiomètre à eau est de zéro (non mesurable) pour le BF3 de l’exemple 2 ou de l’exemple 3. Procédé de production en continu de trifluorure de bore gazeux comprenant les étapes de : a) Fourniture d’une composition A comprenant du trifluorure de bore (BF 3 ) et éventuellement un ou plusieurs composés additionnels volatils F1 ; b) Dans un premier réacteur R1 introduction en continu : - d’une solution d’acide sulfurique et d’une solution B comprenant de l’oléum et des composés additionnels volatils F2 pour former une solution C ; - de la composition A ; pour former : - une phase liquide L1 comprenant l’oléum, l’acide sulfurique et le BF 3 et - une phase gazeuse G1 comprenant lesdits composés additionnels volatils F1 et F2 ; c) Elimination en continu de la phase gazeuse G1 comprenant lesdits composés additionnels volatils F1 et F2 , de préférence par dépression ; d) Introduction en continu de la phase liquide L1 dans un second réacteur R2 et introduction en continu dans le réacteur R2 d’une composition D1 d’eau ou d’une composition aqueuse de trifluorure de bore D2 ou une composition D3 comprenant du trifluorure de bore hydraté, dit hydrates de trifluorure de bore, les compositions D1 , D2 et D3 ne contenant aucun composé additionnel F1 pour produire une phase gazeuse E de trifluorure de bore et une phase liquide L2 . Procédé selon la revendication 1 caractérisé en ce que ledit courant gazeux E est récupéré dans un container. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que la teneur en trifluorure de bore dans ledit courant gazeux E est supérieure à 99,9% en volume sur base du volume total du courant gazeux E. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que ladite composition A est une composition de BF3 comprenant un ou plusieurs composés additionnels volatils F1 sélectionnés parmi le groupe consistant en H2O, N2, O2, CO2, SiF4, H2 et HCl. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que le trifluorure de bore de la composition A est du BF3 gazeux BF3,xH2O avec x = 0 éventuellement en mélange avec BF2OH, ou un hydrate de trifluorure de bore BF3,xH2O avec x variant entre 0,5 et 4 ou une solution aqueuse de trifluorure de bore BF3,xH2O avec x supérieur à 4 ou est issu de la réaction entre un composé de bore sélectionné parmi B(OH)3, B2O3 ou HBO2 et un composé fluoré sélectionné par HF ou HSO3F. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que ladite solution D1 , D2 et D3 est dépourvue de N2, O2, CO2, SiF4, H2 et HCl. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que la solution C a un titre en acide sulfurique supérieur à 100% en poids, avantageusement supérieur à 101% en poids, de préférence supérieur à 102% en poids, plus préférentiellement supérieur à 103% en poids, en particulier supérieur à 104% en poids, plus particulièrement supérieur à 105% en poids, plus préférentiellement supérieur à 106% en poids, de préférence supérieur à 107% en poids, plus préférentiellement supérieur à 108% en poids, en particulier supérieur à 109% en poids, plus particulièrement supérieur à 110% en poids, de manière privilégiée supérieur à 111% en poids, de manière avantageusement privilégiée supérieur à 112% en poids, de manière préférentiellement privilégiée supérieur à 113% en poids, de manière plus préférentiellement privilégiée supérieur à 114% en poids. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que l’étape b) est mise en œuvre à une température de 30°C à 120°C, de préférence de 45 à 120°C, de préférence de 70 à 120°C et encore plus préférentiellement de 80 à 110°C. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que la concentration en oléum dans le réacteur R1 est supérieure à celle du réacteur R2 . Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que la composition L2 issu de R2 est en partie réintroduite dans R1 en tant que solution d’acide sulfurique.