Brevet FR3148459A1 — publié le 20241108

Pompe à vide (1) sèche comportant : - une conduite d’évacuation (14) raccordant fluidiquement le carter de lubrifiant (2) au volume inter-joints (11) et - un dispositif de contrôle du gradient de pression (15) comportant un clapet anti-retour (18) agencé sur la conduite d’évacuation (13) pour autoriser le passage du gaz de purge du carter de lubrifiant (2) vers le volume inter-joints (11) lorsque la variation de pression amont-aval du clapet anti-retour (18) est supérieure à un seuil d’ouverture prédéterminé de sorte que la pression dans le carter de lubrifiant (2) soit supérieure à la pression dans le volume inter-joints (11). Figure 1 Pompe à vide Domaine technique de l’invention La présente invention concerne une pompe à vide. L’invention concerne plus particulièrement l’étanchéité entre la chambre de pompage et le(s) carter(s) de lubrifiant de la pompe à vide. Arrière-plan technique Les pompes à vide volumétriques comportent un ou plusieurs étages de pompage en série dans lesquels circule un gaz à pomper entre une aspiration et un refoulement. On distingue les pompes à vide primaire à lobes rotatifs également connues sous le nom « Roots » avec deux lobes ou plus ou celles à bec, également connues sous le nom « Claw » ou encore celles à vis. On connait également les pompes à vide de type compresseurs Roots (ou « Roots Blower » en anglais) qui sont utilisées en amont des pompes à vide primaire, pour augmenter la capacité de pompage en situation de fort flux. Ces pompes à vide sont dites « sèches » car en fonctionnement les rotors tournent à l’intérieur du stator sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator, ce qui permet de ne pas utiliser d’huile dans les étages de pompage. La rotation des rotors est synchronisée par des engrenages. Les rotors sont guidés en rotation par des roulements généralement situés de part et d’autre de la chambre de pompage. Ces engrenages et paliers sont lubrifiés par de l’huile ou de la graisse contenue dans des carters de lubrifiant qui sont isolés de la chambre de pompage par un moyen d’étanchéité au travers duquel les arbres sont toujours susceptibles de tourner. Les dispositifs d’étanchéité comprennent principalement des barrières physiques aux lubrifiants comme des joints à lèvres frottant, des disques éjecteurs, des purges de gaz et/ou des obstacles comme des labyrinthes et chicanes. Toutefois en fonctionnement, les pressions mises en œuvre dans les pompes à vide fluctuent de manière importante, en particulier dans les applications où un volume de gaz est cycliquement mis sous vide. Bien que l’atmosphère des carters de lubrifiant ne soit pas mise sous vide mais laissée à pression atmosphérique, celle-ci subit également dans une moindre mesure, les variations de pression ayant lieu dans la partie pompage. En effet les moyens d’étanchéité ne sont pas parfaitement étanches aux gaz puisqu’ils doivent permettre la rotation des arbres. De plus, le contact des joints à lèvres frottant sur les parties rotatives peut être dégradé, voire perdu au fil du temps, les rendant peu efficaces, sous l’action de leur échauffement propre ou de l’usure des lèvres liée à leurs mouvements, eux-mêmes générés par la variation des différentiels de pression. Il s’ensuit que des gaz pompés dans la chambre de pompage peuvent pénétrer dans les carters de lubrifiants. Ces gaz pompés peuvent comporter des espèces corrosives, des précurseurs ou bien encore des vapeurs de résines, dans les industries du semi-conducteur, des panneaux plats (« Flat Panel Display » en anglais), du solaire et du dépôt. Certaines applications, comme le « HARP » (pour High Aspect Ratio Process » en anglais), sont génératrices de sous-produits solides, en grandes quantités (poudres, pâtes, morceaux). Ces sous-produits peuvent réussir à pénétrer en grande quantité dans les carters de lubrifiant et dans des volumes morts des dispositifs d’étanchéité, notamment dans les chicanes ou labyrinthes, pour s’y accumuler et/ou y réagir. Cette contamination peut entrainer une dégradation prématurée des propriétés des lubrifiants ou une mauvaise lubrification des roulements, ce qui peut conduire à plus ou moins long terme à leur usure prématurée, voire leur casse, réduisant la durée de vie des pompes à vide. Ce phénomène est accéléré pour les applications de pompage cycliques où les vidages et remplissages successifs des carters de lubrifiant favorisent ces transferts de gaz et donc la contamination des lubrifiants. Un but de la présente invention est donc de proposer une pompe à vide de type sèche résolvant au moins partiellement les inconvénients de l’état de la technique. A cet effet, l’invention a pour objet une pompe à vide sèche comportant : - un carter de lubrifiant, - une chambre de pompage comportant au moins un étage de pompage, - deux arbres rotatifs configurés pour entrainer en rotation des rotors dans la chambre de pompage, les arbres étant guidés en rotation dans des paliers lubrifiés par un lubrifiant contenu dans le carter de lubrifiant, - au moins un premier et un deuxième joints annulaires à lèvres agencés en série le long de chaque arbre, interposés entre le carter de lubrifiant et la chambre de pompage, les lèvres des joints annulaires d’étanchéité étant orientées dans le même sens et de manière qu’une pression dans l’étage de pompage de la chambre de pompage jouxtant les deuxièmes joints annulaires à lèvres, supérieure à la pression dans un volume inter-joints situé entre les premiers et les deuxièmes joints annulaires d’étanchéité à lèvres, plaque les lèvres sur l’arbre, - une conduite d’injection de gaz fluidiquement raccordée au carter de lubrifiant, - un dispositif de mise en surpression agencé dans la conduite d’injection de gaz, caractérisée en ce que la pompe à vide comporte en outre : - une conduite d’évacuation raccordant fluidiquement le carter de lubrifiant au volume inter-joints et - un dispositif de contrôle du gradient de pression comportant un clapet anti-retour agencé sur la conduite d’évacuation pour autoriser le passage du gaz de purge du carter de lubrifiant vers le volume inter-joints lorsque la variation de pression amont-aval du clapet anti-retour est supérieure à un seuil prédéterminé de sorte que la pression dans le carter de lubrifiant soit supérieure à la pression dans le volume inter-joints. Le débit d’alimentation en gaz de purge et le dispositif de mise en surpression dans le carter de lubrifiant d’une part et le débit d’évacuation du gaz à travers les fuites des premiers joints annulaires à lèvres côté carter et la conduite d’évacuation via le dispositif de contrôle du gradient de pression d’autre part, permettent d’assurer que le carter de lubrifiant soit continuellement en surpression par rapport au volume inter-joints, c’est-à-dire que la pression dans le carter de lubrifiant soit supérieure à celle du volume inter-joints, et que le gaz s’échappe en continu du volume inter-joints sous les lèvres des deuxièmes joints annulaires à lèvres vers la chambre de pompage. La chambre de pompage permet ainsi d’abaisser la pression dans le volume inter-joints par aspiration à travers les fuites des deuxièmes joints annulaires à lèvres. Un avantage à cette configuration est que le pompage du volume inter-joints est réalisé par un étage de pompage de la chambre de pompage, c’est-à-dire directement par la pompe à vide elle-même. Lorsque les premiers joints annulaires à lèvres s’usent (côté carter de lubrifiant en premier), le gaz commence à passer sous les lèvres de ces premiers joints annulaires à lèvres pour rejoindre le volume inter-joints, en plus de continuer de s’échapper par le clapet anti-retour. La proportion de flux gazeux s’échappant par le clapet anti-retour diminue mais on continue d’assurer le sens du flux allant du carter de lubrifiant vers la chambre de pompage du fait de la pressurisation maintenue dans le carter de lubrifiant et on s’assure ainsi qu’il n’y ait pas d’entrée de particules, poudres ou autres contaminants pompés, dans le carter de lubrifiant. Plus les lèvres des premiers joints annulaires s’usent et plus le flux de gaz de purge peut s’échapper sous les lèvres. Plus le débit de gaz passant sous les lèvres augmente, et plus le débit de gaz s’échappant par le clapet anti-retour diminue. Le débit évacué du volume inter-joints par la conduite d’évacuation s’adapte ainsi de manière automatique à l’usure des premiers joints annulaires à lèvres. Un autre effet obtenu à la suite de l’augmentation du flux gazeux sous les lèvres des premiers joins annulaires à lèvres est que cela permet également de limiter l’endommagement de ces premiers joints annulaires à lèvres côté carter. La pompe à vide peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prises seules ou en combinaison. Les premiers et deuxièmes joints annulaires à lèvres sont par exemple à simple lèvre. Le seuil d’ouverture du clapet anti-retour est par exemple supérieur à 40mbars (4000Pa), tel que compris entre 40mbars (4000Pa) et 100mbars (10000 Pa), tel que 75mbars (ou 7500Pa). Ce seuil permet que le clapet anti-retour s’ouvre avant que les gaz ne fuient par les premiers joints annulaires à lèvres lorsqu’ils sont neufs. Ainsi, lorsque les premiers joints annulaires à lèvres coté carter sont neufs, la majeure partie du flux de gaz de purge s’évacue via le clapet anti-retour. Le clapet anti-retour comporte par exemple un ressort sollicitant l’obturateur du clapet anti-retour en position de fermeture sur son siège. La conduite d’évacuation peut raccorder fluidiquement la conduite d’injection de gaz, entre le dispositif de mise en surpression et le carter de lubrifiant, au volume inter-joints. Le dispositif de contrôle du gradient de pression peut comporter un filtre à lubrifiant interposé entre le clapet anti-retour et le carter de lubrifiant. Le dispositif de mise en surpression peut comporter une restriction et un clapet anti-retour de pressurisation montés en série dans la conduite d’injection de gaz. Le seuil d’ouverture du clapet anti-retour de pressurisation est par exemple inférieur à 20mbars (ou 2000Pa), tel qu’inférieur ou égal à 10mbars (ou 1000Pa). Le clapet anti-retour de pressurisation est par exemple gravitaire. La pompe à vide peut comporter un boitier dans lequel sont ménagées au moins partiellement la conduite d’injection de gaz et la conduite d’évacuation, le boitier recevant le dispositif de mise en surpression, le clapet anti-retour et le filtre à lubrifiant. Brève description des figures D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description de l'invention, ainsi que des dessins annexés sur lesquels : La montre une vue schématique d’un exemple de pompe à vide. La montre une vue en coupe de côté d’éléments de la pompe à vide de la au niveau d’un volume inter-joints. La montre une vue en coupe de dessus des éléments de la . La montre une vue partielle en coupe de la pompe à vide de la au niveau d’un boitier. La montre un schéma du boitier de la et des éléments qu’il contient. La montre un graphique des pressions (en mbar) en fonction du temps (en secondes) pour la pression dans le carter de lubrifiant de la pompe à vide de la (courbe P1 en pointillés), dans le volume inter-joints (courbe P2 en traits pleins et fins) et dans la chambre de pompage (courbe P3 en traits pleins et épais). Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence. Description détaillée Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations, sans s’écarter de la portée de l’invention, telle que définie par les revendications. On entend par « en amont », un élément qui est placé avant un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper. A contrario, on entend par « en aval », un élément placé après un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper. L’invention s’applique à tout type de pompe à vide sèche, c’est-à-dire comportant un ou au moins deux étages de pompage, telle que comprenant un à dix étages de pompage. Cette pompe à vide peut être une pompe à vide primaire comportant une pluralité d’étages de pompage et configurée pour refouler les gaz pompés à pression atmosphérique ou une pompe à vide sèche, dite Roots ou compresseur Roots, d’un à trois étages de pompage qui en utilisation, est fluidiquement raccordée en série et en amont d’une pompe à vide primaire et dont la pression de refoulement est celle obtenue par la pompe à vide primaire. La montre un exemple de pompe à vide. La pompe à vide 1 comporte au moins un carter de lubrifiant 2, une chambre de pompage 3 comportant au moins un étage de pompage T1-T6, deux arbres 4 rotatifs (voir ) configurés pour entrainer en rotation des rotors 5 dans la chambre de pompage 3, et au moins un dispositif d’étanchéité 6 interposé entre le carter de lubrifiant 2 et la chambre de pompage 3. La pompe à vide 1 peut ne comporter qu’un seul ou plusieurs étages de pompage T1-T6, tel que six, montés en série entre l’entrée et la sortie de la pompe à vide 1. Chaque étage de pompage T1-T6 comprend une entrée et une sortie respectives. Lorsque la pompe à vide 1 comporte plusieurs étages de pompage, les étages de pompage successifs sont raccordés fluidiquement en série les uns à la suite des autres par des canaux inter-étages respectifs raccordant fluidiquement la sortie de l'étage de pompage qui précède à l'entrée de l'étage qui suit. Les débits de pompage des étages de pompage T1-T6 sont décroissants ou égaux avec leur position entre l’entrée et la sortie de la pompe à vide, le débit engendré par le premier étage de pompage T1 à plus basse pression correspondant au débit de pompage le plus grand. Les arbres 4 entrainent des rotors 5 en rotation dans les étages de pompage T1-T6 de la chambre de pompage 3 pour entrainer un gaz à pomper de l’entrée à la sortie de la pompe à vide 1. Les arbres 4 sont entrainés en rotation par au moins un moteur M de la pompe à vide 1. Lors de la rotation, le gaz aspiré depuis l’entrée est emprisonné dans le volume engendré par les rotors 5 et le stator, puis est entraîné par les rotors 5 vers l’étage suivant. Les rotors 5 de la pompe à vide 1 présentent par exemple des lobes de profils identiques, par exemple de type « Roots » (section en forme de « huit » ou de « haricot ») ou de type trilobes ou de type « Claw » ou sont de type à vis ou d’un autre principe similaire de pompe à vide volumétrique. Les arbres 4 sont guidés en rotation dans des paliers lubrifiés par un lubrifiant contenu dans le carter de lubrifiant 2. Le lubrifiant, tel que de l’huile ou de la graisse, permet de lubrifier notamment les roulements 7 des paliers et/ou les engrenages de synchronisation 8 des arbres 4. La pompe à vide 1 est dite « sèche » car en fonctionnement les rotors 5 tournent à l’intérieur du stator sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator, ce qui permet de ne pas utiliser d’huile dans la chambre de pompage 3. La pompe à vide 1 comporte par exemple deux carters de lubrifiant 2 agencés de part et d’autre de la chambre de pompage 3, un dispositif d’étanchéité 6 aux lubrifiants étant interposé entre le carter de lubrifiant 2 et un étage de pompage T1, T6 au niveau de chaque passage d’arbre de part et d’autre des étages de pompage T1, T6. Le dispositif d’étanchéité 6 comporte au moins un premier joint annulaire à lèvres 9 et un deuxième joint annulaire à lèvres 10 agencés en série le long de chaque arbre 4. Il y a donc au moins deux premiers joints annulaires à lèvres 9 et deux deuxièmes joints annulaires à lèvres 10 ( ). Les premiers joints annulaires à lèvres 9 sont interposés entre le carter de lubrifiant 2 et les deuxièmes joints annulaires à lèvres 10. Les deuxièmes joints annulaires à lèvres 10 sont interposés entre les premiers joints annulaires à lèvres 9 et la chambre de pompage 3. Les premiers et deuxième joints annulaires 9, 10 sont par exemple à simple lèvre (1 seule lèvre). Les lèvres des joints annulaires d’étanchéité 9, 10 peuvent frotter sur les bagues de frottement montées sur les arbres 4. Mieux visible sur la , les lèvres des joints annulaires 9, 10 sont orientées dans le même sens et de manière qu’une pression dans l’étage de pompage T1, T6 de la chambre de pompage 3 jouxtant les deuxièmes joints annulaires à lèvres 10, supérieure à la pression dans le volume inter-joints 11 situé entre les premiers et les deuxièmes joints annulaires d’étanchéité à lèvres 9, 10, plaque les lèvres sur l’arbre 4. Inversement, les lèvres des joints annulaires 9, 10 ont tendance à se soulever et ainsi à « fuir » lorsque la pression dans le volume inter-joints 11 est supérieur à celui de la chambre de pompage 3. Les étages de pompage T1, T6 jouxtant les premiers et deuxièmes joints à lèvres 9, 10 sont ici le premier et le dernier étage de pompage. Le dispositif d’étanchéité 6 peut également comporter un joint « dynamique », c’est-à-dire non frottant, tel qu’un joint à segments, un joint labyrinthe ou une chicane ou un « mur » de gaz. Le dispositif d’étanchéité 6 peut également comporter un disque-déflecteur présentant une forme générale de disque monté solidairement en rotation sur l’arbre 4. Le dispositif d’étanchéité 6 crée une conductance très faible autour des arbres 4 rotatifs, ce qui permet de limiter fortement le passage des fluides lubrifiants depuis le carter 2 vers les étages de pompage secs et vice-versa tout en permettant aux arbres 4 de tourner. La pompe à vide 1 comporte en outre une conduite d’injection de gaz 12 fluidiquement raccordée au carter de lubrifiant 2, un dispositif de mise en surpression 13 agencé dans la conduite d’injection de gaz 12, une conduite d’évacuation 14 raccordant fluidiquement le carter de lubrifiant 2 au volume inter-joints 11 et un dispositif de contrôle du gradient de pression 15. Le gaz de purge injecté est par exemple de l’azote. La conduite d’injection de gaz 12 débouche dans le volume interne du carter de lubrifiant 2 dans une zone d’injection topologiquement située de manière à limiter autant que possible le mélange brouillard d’huile et gaz de purge afin d’en limiter l’emport. L’entrée de la conduite d’injection de gaz 12 est destinée à être fluidiquement raccordée à une alimentation de gaz de purge. Le dispositif de mise en surpression 13 permet qu’un faible flux de gaz de purge puisse entrer facilement et rapidement dans le carter de lubrifiant 2. Le débit d’injection maximum du gaz de purge est par exemple 3,2 slm (ou 5,4 Pa.m 3 /s) pour un carter de lubrifiant 2 situé à côté du dernier étage de pompage T6 d’une pompe à vide multiétagée ou de 0,5 slm (ou 0,8 Pa.m 3 /s) pour le carter de lubrifiant 2 situé du côté du premier étage de pompage d’une pompe à vide multiétagée ou pour une pompe à vide de type compresseur Roots. Ces faibles flux permettent également que l’entrée du gaz de purge dans le carter de lubrifiant 2 ne brasse pas les lubrifiants et ne les entraine pas vers la chambre de pompage 3. Selon un exemple de réalisation, le dispositif de mise en surpression 13 comporte une restriction 16, c’est-à-dire un orifice de faible conductance (également appelé orifice calibré ou gicleur) et un clapet anti-retour de pressurisation 17 montés en série dans la conduite d’injection de gaz 12. Le clapet anti-retour de pressurisation 17 est interposé entre la restriction 16 et le carter de lubrifiant 2. La restriction 16 permet de limiter un débit d’injection maximum de gaz de purge. Le clapet anti-retour de pressurisation 17 permet d’éviter que le gaz provenant du carter de lubrifiant 2 pénètre dans la conduite d’injection de gaz 12. Inversement, il est possible d’alimenter le carter de lubrifiant 2 en gaz de purge par ouverture du clapet 17 lorsque la différence de pression entre la conduite d’injection de gaz 12 et le carter de lubrifiant 2 est supérieure à un seuil de tarage du clapet anti-retour de pressurisation 17, c’est à dire lorsque la pression est trop basse dans le carter de lubrifiant 2. Le clapet anti-retour de pressurisation 17 est taré pour autoriser le passage des gaz allant vers le carter de lubrifiant 2 lorsque la variation de pression amont-aval du clapet 17 est supérieure à un seuil d’ouverture prédéterminé. Ce seuil d’ouverture est faible, il est par exemple de l’ordre de quelques mbars, tel qu’inférieur à 20mbars (ou 2000Pa), tel qu’inférieur ou égal à 10mbars (ou 1000Pa). Le clapet anti-retour de pressurisation 17 est par exemple gravitaire, l’obturateur, par exemple une bille, une ogive ou autre, étant retenu en position de fermeture sur son siège par gravité. La restriction 16 et le clapet anti-retour de pressurisation 17 permettent ainsi un contrôle mécanique du flux de gaz injecté, simple à mettre en œuvre et peu couteux. Alternativement, le dispositif de mise en surpression 13 comporte un contrôleur de flux ou débitmètre (ou « mass flow controller » en anglais). Le débit d’alimentation en gaz de purge dans la conduite d’injection de gaz 12 et le dispositif de mise en surpression 13 d’une part et le débit d’évacuation du gaz de purge à travers les fuites des premiers joints annulaires à lèvres 9 et la conduite d’évacuation 14 via le dispositif de contrôle du gradient de pression 15 d’autre part, permettent d’assurer que le carter de lubrifiant 2 soit continuellement en surpression par rapport au volume inter-joints 11, c’est-à-dire que la pression dans le carter de lubrifiant 2 soit supérieure à celle du volume inter-joints 11. On peut ainsi pressuriser le carter de lubrifiant 2 avec un gaz propre. La conduite d’évacuation 14 raccorde fluidiquement par exemple la conduite d’injection de gaz 12, entre le dispositif de mise en surpression 13 et le carter de lubrifiant 2, au volume inter-joints 11. Le dispositif de contrôle du gradient de pression 15 comporte un clapet anti-retour 18 agencé dans la conduite d’évacuation 14. Le clapet anti-retour 18 est taré pour autoriser le passage du gaz de purge du carter de lubrifiant 2 vers le volume inter-joints 11 lorsque la variation de pression amont-aval du clapet anti-retour 18 est supérieure à un seuil d’ouverture prédéterminé de sorte que la pression dans le carter de lubrifiant 2 soit supérieure à la pression dans le volume inter-joints 11. Le clapet anti-retour 18 permet également d’éviter que des gaz de la chambre de pompage 3 pénètrent dans le carter de lubrifiant 2. Le seuil d’ouverture du clapet anti-retour 18 est par exemple supérieur à 40mbars (4000Pa), tel que compris entre 40mbars (4000Pa) et 100mbars (10000 Pa), tel que 75mbars (ou 7500Pa). Ce seuil permet que le clapet anti-retour 18 s’ouvre avant que les gaz ne fuient par les premiers joints annulaires à lèvres 9 neufs. Ainsi, lorsque les premiers joints annulaires à lèvres 9 coté carter sont neufs, la majeure partie du flux de gaz de purge s’évacue via le clapet anti-retour 18. Pour faciliter la mise en œuvre du seuil prédéterminé, le clapet anti-retour 18 comporte par exemple un ressort 19, par exemple de compression, sollicitant l’obturateur du clapet anti-retour 18, par exemple une bille, une ogive ou autre, en position de fermeture sur son siège. Le dispositif de contrôle du gradient de pression 15 peut comporter un filtre à lubrifiants 20 interposé entre le clapet anti-retour 18 et le carter de lubrifiant 2, pour piéger les microgouttelettes du brouillard d’huile éventuelles allant du carter de lubrifiant 2 dans le volume inter-joints 11 via le clapet anti-retour 18. Le filtre à lubrifiants 20, tel qu’un filtre en acier inoxydable fritté, permet de séparer l’huile ou autre lubrifiant du gaz pour ne pas vider le carter 2 de son lubrifiant. Lorsque la conduite d’évacuation 14 est raccordée fluidiquement à la conduite d’injection de gaz 12 entre le dispositif de mise en surpression 13 et le carter de lubrifiant 2, le filtre à lubrifiants 20 peut être agencé sur la conduite d’injection de gaz 12, entre l’intersection avec la conduite d’évacuation 14 et le carter de lubrifiant 2. Selon un exemple de réalisation visible sur les figures 4A et 4B, la pompe à vide 1 comporte un boitier 21 fixé au stator de la pompe à vide 1 et dans lequel sont ménagées au moins partiellement la conduite d’injection de gaz 12 et la conduite d’évacuation 14, le boitier 21 recevant le dispositif de mise en surpression 13 (notamment le clapet anti-retour de pressurisation 17 et la restriction 16), le clapet anti-retour 18, et le cas échéant, le ressort 19 sollicitant le clapet anti-retour 18 en position de fermeture et/ou le filtre à lubrifiants 20. L’entrée de la conduite d’injection de gaz 12 peut présenter un raccord 22 externe au boitier 21 pour le raccord fluidique de la conduite 12 à une source d’alimentation en gaz de purge. Selon un autre exemple, les éléments du boitier 21 sont agencés dans le corps du stator 2 de la pompe à vide 1. En fonctionnement, lorsque les joints annulaires à lèvres 9, 10 sont neufs, les lèvres plaquent les arbres 4. En situation d’équilibre, la pression étant plus élevée dans le carter de lubrifiant 2, le gaz s’échappe en continu du carter de lubrifiant 2 par le clapet anti-retour 18 dans le volume inter-joints 11 et du volume inter-joints 11 sous les lèvres des deuxièmes joints annulaires à lèvres 10 vers la chambre de pompage 3. La chambre de pompage 3 permet ainsi d’abaisser la pression dans le volume inter-joints 11 par aspiration à travers les fuites des deuxièmes joints annulaires à lèvres 10. Un avantage est que le pompage du volume inter-joints 11 est réalisé par un étage de pompage T1, T6 de la chambre de pompage 3, c’est-à-dire directement par la pompe à vide 1 elle-même. Lorsque les premiers joints annulaires à lèvres 9 s’usent (côté carter de lubrifiant 2 en premier), le gaz commence à passer sous les lèvres de ces premiers joints annulaires 9 pour rejoindre le volume inter-joints 11, en plus de continuer de s’échapper par le clapet anti-retour 18. La proportion de flux gazeux s’échappant par le clapet anti-retour 18 diminue mais on continue d’assurer le sens du flux allant du carter de lubrifiant 2 vers la chambre de pompage 3 du fait de la pressurisation toujours maintenue dans le carter de lubrifiant 2 et on s’assure ainsi qu’il n’y ait pas d’entrée de particules, poudres ou autres contaminants pompés, dans le carter de lubrifiant 2. Plus les lèvres des premiers joints annulaires à lèvres 9 s’usent et plus le flux de gaz de purge peut s’échapper sous les lèvres. Plus le débit de gaz passant sous les lèvres augmente, et plus le débit de gaz s’échappant par le clapet anti-retour 18 diminue. Le dispositif de contrôle du gradient de pression 15 et le fait que la pression dans le carter de lubrifiant 2 soit supérieure à la pression dans le volume inter-joints 11 permet donc d’adapter le débit évacué du volume inter-joints 11 par la conduite d’évacuation 14 en fonction de l’usure des premiers joints annulaires à lèvres 9. Un autre effet obtenu du fait que le flux de gaz s’échappant par le clapet anti-retour 18 diminue suite à l’augmentation du flux gazeux sous les lèvres des premiers joins annulaires à lèvres 9 est qu’on limite l’endommagement de ces premiers joints annulaires à lèvres 9. Les avantages de la présente invention peuvent être mieux compris en référence au graphique de la montrant des courbes de pression dans le carter de lubrifiant (courbe P1) à côté du dernier étage de pompage T6 d’une pompe à vide 1 multiétagée, dans le volume inter-joints (courbe P2) et dans le dernier étage de pompage T6 de la chambre de pompage (courbe P3) au niveau des deuxièmes joints annulaires à lèvres 10. En situation d’équilibre et ici alors que les joints annulaires à lèvres 9 sont neufs (très étanches), la pression dans le carter de lubrifiants P1 est de l’ordre de 1180 mbars (ou 118000Pa) et la pression dans le volume inter-joints P2 est de l’ordre de 1080 mbars (ou 108000Pa). L’écart de 100mbars (ou 10000Pa) entre les deux valeurs résulte de la valeur de tarage du clapet anti-retour de pressurisation 17 de l’ordre de 75mbars (7500 Pa) et des différentes conductances. La pression dans la chambre de pompage P3 est une valeur moyenne entre les pressions d’aspiration et de refoulement dans l’étage de pompage T6. Cette valeur moyenne est ici en situation d’équilibre, de l’ordre de 760 mbars (ou 76000Pa). La pression dans le carter de lubrifiant P1 est ainsi supérieure à la pression dans le volume inter-joints P2, elle-même supérieure à la pression dans le dernier étage de pompage P3. Le gaz s’échappe en continu du carter de lubrifiant 2 par le clapet anti-retour 18 vers le volume inter-joints 11 et du volume inter-joints 11 sous les lèvres des deuxièmes joints annulaires à lèvres 10 vers la chambre de pompage 3. A l’ouverture t1 d’une vanne d’isolation agencée en amont de la pompe à vide 1 dans le sens d’écoulement des gaz pompés pour la mise sous vide d’une enceinte (ou équivalent) fluidiquement raccordée à l’entrée de la pompe à vide 1, l’entrée brutale des gaz pompés dans la pompe à vide 1 engendre une montée de pression dans le dernier étage de pompage (courbe P3). La pression dans l’étage de pompage T6 devient alors presqu’immédiatement supérieure à la pression dans le volume inter-joints P2, ce qui tend à fermer les deuxièmes joints d’étanchéité à lèvres 10. Cette isolation entraine la montée en pression dans le carter de lubrifiant P1 et dans volume inter-joints P2 car le dispositif de mise en surpression 13 continue l’injection de gaz de purge dans le carter de lubrifiant 2 et par voie de conséquence, dans le volume inter-joints 11. Puis, une fois le volume de l’enceinte vidé, la pression redescend dans le dernier étage de pompage P3 et passe en-dessous de la pression du volume inter-joints P2 (au temps t2). On retombe alors dans la situation où la pression dans le carter de lubrifiant P1 est supérieure à la pression dans le volume inter-joints P2, elle-même supérieure à la pression dans le dernier étage de pompage P3. Le gaz s’échappe alors du carter de lubrifiant 2 par le clapet anti-retour 18 vers le volume inter-joints 11 et du volume inter-joints 11 sous les lèvres des deuxièmes joints annulaires à lèvres 10 vers la chambre de pompage 3, de sorte que les pressions dans le carter de lubrifiant P1 et dans le volume inter-joints P2 redescendent. La montée en pression dans le carter de lubrifiant 2 et dans volume inter-joints 11 entrainée par la fermeture des deuxièmes joints annulaires d’étanchéité 10 et par l’injection continue par le dispositif de mise en surpression 13 ont permis de réduire la durée (ici à 1,5 secondes) pour laquelle la pression dans la chambre de pompage 3 était plus importante que dans le volume inter-joints 11, où des particules ou contaminants peuvent être entrainés vers le carter de lubrifiant 2 et où les deuxièmes joints annulaires à lèvres 10 côté pompage s’usent. Bien que la illustre un dispositif de mise en surpression 13 et un dispositif de contrôle du gradient de pression 15 pour un seul des deux carters de lubrifiant 2, l’invention peut s’appliquer pour l’un ou l’autre des deux carters de lubrifiant 2 ou pour les deux carters de lubrifiant 2 de la pompe à vide 1. Pompe à vide (1) sèche comportant : - un carter de lubrifiant (2), - une chambre de pompage (3) comportant au moins un étage de pompage (T1-T6), - deux arbres (4) rotatifs configurés pour entrainer en rotation des rotors (5) dans la chambre de pompage (3), les arbres (4) étant guidés en rotation dans des paliers lubrifiés par un lubrifiant contenu dans le carter de lubrifiant (2), - au moins un premier et un deuxième joints annulaires à lèvres (9, 10) agencés en série le long de chaque arbre (4), interposés entre le carter de lubrifiant (2) et la chambre de pompage (3), les lèvres des joints annulaires d’étanchéité (9, 10) étant orientées dans le même sens et de manière qu’une pression dans l’étage de pompage (T1, T6) de la chambre de pompage (3) jouxtant les deuxièmes joints annulaires à lèvres (10), supérieure à la pression dans un volume inter-joints (11) situé entre les premiers et les deuxièmes joints annulaires d’étanchéité à lèvres (9, 10), plaque les lèvres sur l’arbre (4), - une conduite d’injection de gaz (12) fluidiquement raccordée au carter de lubrifiant (2), - un dispositif de mise en surpression (13) agencé dans la conduite d’injection de gaz (12), caractérisée en ce que la pompe à vide (1) comporte en outre : - une conduite d’évacuation (14) raccordant fluidiquement le carter de lubrifiant (2) au volume inter-joints (11) et - un dispositif de contrôle du gradient de pression (15) comportant un clapet anti-retour (18) agencé sur la conduite d’évacuation (13) pour autoriser le passage du gaz de purge du carter de lubrifiant (2) vers le volume inter-joints (11) lorsque la variation de pression amont-aval du clapet anti-retour (18) est supérieure à un seuil d’ouverture prédéterminé de sorte que la pression dans le carter de lubrifiant (2) soit supérieure à la pression dans le volume inter-joints (11). Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que les premiers et deuxième joints annulaires à lèvres (9, 10) sont à simple lèvre. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le clapet anti-retour (18) comporte un ressort (19) sollicitant l’obturateur du clapet anti-retour (18) en position de fermeture sur son siège. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le seuil d’ouverture du clapet anti-retour (18) est supérieur à 4000Pa, tel que compris entre 4000Pa et 10000 Pa. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la conduite d’évacuation (14) raccorde fluidiquement la conduite d’injection de gaz (12), entre le dispositif de mise en surpression (13) et le carter de lubrifiant (2), au volume inter-joints (11). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le dispositif de contrôle du gradient de pression (15) comporte un filtre à lubrifiant (20) interposé entre le clapet anti-retour (18) et le carter de lubrifiant (2). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le dispositif de mise en surpression (13) comporte une restriction (16) et un clapet anti-retour de pressurisation (17) montés en série dans la conduite d’injection de gaz (12). Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que le clapet anti-retour de pressurisation (17) est gravitaire. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 7 ou 8, caractérisée en ce que le seuil d’ouverture du clapet anti-retour de pressurisation (17) est inférieur à 2000Pa, tel qu’inférieur ou égal à 1000Pa. Pompe à vide (1) selon la revendication 6, caractérisée en ce qu’elle comporte un boitier (21) dans lequel sont ménagées au moins partiellement la conduite d’injection de gaz (12) et la conduite d’évacuation (14), le boitier (21) recevant le dispositif de mise en surpression (13), le clapet anti-retour (18) et le filtre à lubrifiant (20).