Brevet FR3142541A1 — publié le 20240531

Capteur angulaire inertiel micro-usiné Capteur angulaire inertiel micro-usiné comprenant un support (6) présentant un premier axe dans un plan de support et un second axe perpendiculaire au premier axe et compris dans ledit plan de support, le capteur angulaire comprenant en outre au moins une masse vibrante (8) mobile par rapport au support (6), le capteur angulaire (2) comprenant au moins un transducteur de réglage électrostatique (Q+) configuré pour appliquer une raideur électrostatique ajustable à la masse vibrante (8), le ou chaque transducteur de réglage électrostatique (Q+) comprenant au moins deux rangées de dents (20A, 20B) formant une paire de peignes, le capteur angulaire comprenant en outre au moins une structure intermédiaire (18) allongée selon au moins une direction d’extension (26), la structure intermédiaire (18) faisant saillie d’un bord de fixation (28, 30) de la masse vibrante (8) ou du support (6), et portant l’une des rangées de dents. Figure pour l'abrégé : Figure 2 Capteur angulaire inertiel micro-usiné La présente invention concerne un capteur angulaire inertiel micro-usiné. L’invention concerne le domaine des capteurs angulaires inertiels destinés à être embarqués. De tels capteurs sont par exemple utilisés pour la navigation, le pilotage, le guidage ou la recherche de cap. Les capteurs angulaires inertiels sont configurés pour mesurer une position angulaire, et généralement appelés gyroscope dans ce cas. Selon un autre cas, les capteurs angulaires sont configurés pour mesurer une vitesse angulaire, auquel cas ils sont appelés gyromètre. Des capteurs angulaires inertiels, qui sont micro-usinés, également appelés capteurs inertiels MEMS, sont connus en soi, par exemple du document EP 2 960 625 A1. Un tel capteur comprend généralement une ou plusieurs masses qui sont excitées en vibration dans un plan formé par des axes X et Y perpendiculaires l’un par rapport à l’autre. Ce plan est perpendiculaire à un axe Z qui forme un axe dit sensible du capteur. Lors d’une rotation du capteur autour de son axe sensible, une combinaison de la vibration du ou des masses mobiles avec un vecteur de rotation angulaire engendre, par effet Coriolis, des forces qui mettent les masses mobiles en vibration naturelle perpendiculairement à la vibration d’excitation et à l’axe sensible. L’amplitude de cette vibration naturelle est proportionnelle à la vitesse de rotation du capteur, et permet alors de déduire une valeur de la vitesse angulaire autour de l’axe sensible. Les capteurs angulaires inertiels présentent par exemple des écarts mécaniques dus aux tolérances de fabrication. Pour améliorer la précision de la mesure de tels capteurs, il est possible de prévoir des actionneurs de réglage pour compenser ou équilibrer ces écarts mécaniques, par exemple des écarts de masse ou de forme du capteur ou de certaines parties du capteur. Selon un exemple, des écarts ou défauts mécaniques du capteur micro-usiné introduisent un biais en quadrature. Le biais en quadrature correspond à un couplage de raideurs agissant sur une masse vibrante du capteur micro-usiné selon deux axes perpendiculaires. Pour compenser ce biais en quadrature, il convient de prévoir un ou plusieurs transducteur(s) électrostatique(s), qui appliquent une force compensant le biais en quadrature. Toutefois, de tels transducteurs de réglage prennent souvent beaucoup d’espace sur la surface du capteur micro-usiné. Aussi, une augmentation de la force applicable par ces transducteurs électrostatiques implique souvent une augmentation de la taille de ces transducteurs. Compte tenu d’une surface limitée du capteur angulaire inertiel micro-usiné, il est alors difficile de prévoir des transducteurs électrostatiques, notamment pour compenser le biais en quadrature, présentant une force applicable élevée pour une compensation. Un but de la présente invention est de pallier les inconvénients précités. Ainsi, un objet de la présente invention est d’obtenir un capteur angulaire inertiel micro-usiné qui permet d’obtenir une compensation d’écarts mécaniques, même en présence d’un biais fort, tout en présentant une taille réduite. À cet effet, l’invention a pour objet un capteur angulaire inertiel micro-usiné comprenant un support présentant un premier axe dans un plan de support et un second axe perpendiculaire au premier axe et compris dans ledit plan de support, le capteur angulaire comprenant en outre au moins une masse vibrante mobile par rapport au support, au moins un transducteur d’excitation configuré pour générer un mouvement de vibration de la masse vibrante, et au moins un transducteur de détection d’une vibration de la masse vibrante. Le capteur angulaire comprend au moins un transducteur de réglage électrostatique configuré pour appliquer une raideur électrostatique ajustable à la masse vibrante, le ou chaque transducteur de réglage électrostatique comprenant au moins deux rangées de dents formant une paire de peignes. Le capteur angulaire comprend en outre au moins une structure intermédiaire allongée selon au moins une direction d’extension, la structure intermédiaire faisant saillie d’un bord de fixation de la masse vibrante ou du support, et portant l’une des rangées de dents. Le capteur angulaire comprenant au moins une structure intermédiaire allongée permet d’augmenter la surface, ou la longueur de bord disponible pour agencer des rangées de dents au sein du capteur, sans augmenter la surface totale requise par le ou les transducteur(s) de réglage électrostatique. En effet, au lieu d’un agencement des rangées de dents du ou des transducteur(s) par exemple directement sur un bord de fixation de la masse vibrante ou du support, les rangées de dent sont portées par la structure intermédiaire allongée, qui présente une surface augmentée pour la fixation de ces rangées de dents. Ainsi, grâce au capteur angulaire selon l’invention, des rangées de dents présentant notamment un nombre de dents élevé sont agencées sur la structure intermédiaire allongée. Par conséquent, la force applicable par le transducteur de réglage est augmentée, sans augmenter la surface occupée par ce transducteur. Suivant d’autres aspects avantageux de l’invention, le capteur angulaire comprend une ou plusieurs des caractéristiques suivantes, prise(s) isolément ou suivant toutes les combinaisons techniquement possibles : - chaque rangée de dents comprend une pluralité de dents s’étendant parallèlement l’une par rapport à l’autre, chaque dent de la rangée de dents portée par la structure intermédiaire faisant saillie de ladite structure intermédiaire, de préférence faisant saillie de ladite structure intermédiaire selon une direction perpendiculaire à la direction d’extension de la structure intermédiaire ; - le ou chaque transducteur de réglage est un transducteur électrostatique de compensation d’un biais en quadrature, configuré pour modifier la répartition de raideurs agissant sur la masse vibrante, le biais en quadrature correspondant à un couplage des raideurs agissant sur la masse vibrante selon le premier axe et le second axe ; - la direction d’extension de la ou chaque structure intermédiaire forme un angle avec le bord de fixation compris entre 45 et 90 degrés ; - l’angle est sensiblement égal à 90 degrés ; - le capteur angulaire comprend plusieurs structures intermédiaires parallèles l’une par rapport à l’autre ; - les deux rangées de dents comprennent une première rangée de dents solidaire de la masse vibrante et une seconde rangée de dents solidaire du support, la structure intermédiaire faisant saillie du bord de fixation de la masse vibrante, dit bord mobile, lorsqu’elle porte la première rangée de dents, la structure intermédiaire faisant saillie du bord de fixation du support, dit bord fixe, lorsqu’elle porte la seconde rangée de dents ; - le capteur angulaire comprend à la fois au moins une structure intermédiaire faisant saillie du bord mobile et portant la première rangée de dents, et au moins une structure intermédiaire faisant saillie du bord fixe et portant la seconde rangée de dents ; - la ou chaque structure intermédiaire comprend une pluralité de sections s’étendant selon des directions d’extension respectives dans un plan parallèle au plan de support ou confondu avec le plan de support ; - les directions d’extension de deux sections consécutives présentent un angle perpendiculaire l’une par rapport à l’autre ; - la ou chaque structure intermédiaire et au moins l’une desdites rangées de dents forment structure fractale, dans laquelle ladite rangée de dents est munie d’une rangée de dents secondaires, faisant saillie de dents de ladite rangée de dents ; - au moins la ou chaque structure intermédiaire et la rangée de dents portée par ladite structure intermédiaire sont formées en une seule pièce ; - le capteur angulaire comprend au moins deux masses vibrantes mobiles par rapport au support, et mobiles l’une par rapport à l’autre, suspendues par des ressorts de suspension à des points d’ancrage fixes du support et couplées entre elles par des ressorts de couplage pour vibrer en opposition de phase. Ces caractéristiques et avantages de l’invention apparaitront à la lecture de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d’exemple non limitatif, et faite en référence aux dessins annexés, sur lesquels : La est une vue schématique d’un exemple d’un capteur angulaire inertiel selon l’invention ; La est une vue schématique d’un exemple d’une partie du capteur angulaire de la comprenant des structures intermédiaires et des transducteurs de réglage selon l’invention ; La est une vue schématique analogue à la selon un autre exemple de l’invention ; La est une vue schématique analogue aux figures 2 et 3 selon un autre exemple de l’invention ; La est une vue schématique analogue aux figures 2 à 4 selon un autre exemple de l’invention. En référence à la , un capteur angulaire 2 comprend un support 6 s’étendant dans un plan de support, selon un premier axe X et un second axe Y perpendiculaire au premier axe. Par la suite, le capteur angulaire inertiel micro-usiné 2 est appelé capteur angulaire 2. Le capteur angulaire 2 est par exemple un gyromètre qui est configuré pour mesurer une vitesse angulaire. En variante ou en complément, le capteur angulaire 2 est un gyroscope pour mesurer une position angulaire. Le capteur angulaire 2 est un capteur micro-usiné, et forme ainsi un microsystème électromécanique, également défini par son sigle MEMS (de l’anglais « Micro-Electro-Mechanical Systems »). Le capteur angulaire 2 est en particulier un capteur destiné à être embarqué dans un véhicule, non représenté, par exemple dans un aéronef, un drone ou un navire. Le capteur angulaire 2 est par exemple destiné à être embarqué dans une centrale de navigation, de pilotage ou de guidage de véhicule. Le capteur angulaire comprend au moins une masse vibrante. En référence à la , le capteur angulaire 2 comprend par exemple deux masses vibrantes 8, 10, disposées notamment l’une autour de l’autre, pour former une masse appelée masse interne 8 et une masse appelée masse externe 10. En particulier, le capteur angulaire est un gyromètre de type diapason, notamment un gyromètre de type diapason à deux masses vibrantes. Par « masse vibrante », il est entendu que la ou chaque masse 8, 10 est apte à effectuer des oscillations, par exemple entrainées par des moyens décrits plus loin, et par effet Coriolis lors d’une rotation du capteur angulaire 2. Chaque masse vibrante 8, 10 est mobile par rapport au support 6. Dans le cas de deux masses vibrantes 8, 10, les masses vibrantes 8, 10 sont de préférence en outre mobiles l’une par rapport à l’autre. Des centres de gravité 0 des masses vibrantes 8, 10 sont notamment confondus au repos. Le capteur angulaire 2 comprend par exemple en outre des ressorts de suspension 12, par exemple quatre pour chaque masse vibrante 8, 10, suspendant chaque masse vibrante 8, 10 à un point d’ancrage 14 respectif qui est fixe par rapport au support 6. Le capteur angulaire 2 comprend en outre par exemple des ressorts de couplage 16, par exemple quatre lorsque le capteur angulaire comprend deux masses 8, 10, couplant les masses vibrantes 8, 10 entre elles pour permettre une vibration des masses 8, 10 en opposition de phase. En référence aux figures 2 à 5, le capteur angulaire 2 comprend au moins une structure intermédiaire 18 faisant saillie de la masse vibrante 8, 10 ou du support 6. Les exemples des figures 2 à 5 montrent des structures intermédiaires 18 faisant saillie de la masse vibrante 8 et des structures intermédiaires 18 faisant saille du support 6. En complément, non représenté, le capteur angulaire 2 comprend en outre des structures intermédiaires 18 faisant saillie de la masse vibrante 10. En référence à la , le capteur angulaire 2 comprend en outre au moins un transducteur de détection Dx, Dy configuré pour détecter une vibration de la masse vibrante 8, 10. Chaque transducteur de détection Dx, Dy comprend par exemple au moins un peigne solidaire de la masse vibrante 8, 10 et au moins un peigne solidaire du support 6. Dans ce cas, chaque transducteur de détection Dx, Dy est ainsi configuré pour détecter la vibration en mesurant des variations de charge entre les peignes. Le capteur angulaire 2 comprend en outre au moins un transducteur d’excitation Ex, Ey configuré pour générer un mouvement de vibration de la masse vibrante 8, 10. Le capteur angulaire 2 comprend en outre au moins un transducteur de réglage électrostatique Tx, Ty, Q+, Q-. Dans l’exemple de la , seulement les transducteurs de détection Dx, Dy, les transducteurs d’excitation Ex, Ey et les transducteurs de réglage électrostatique Tx, Ty, Q+, Q- agencés sur la masse interne 8 sont représentés. De préférence, le capteur angulaire 2 comprend également des transducteurs de détection Dx, Dy, des transducteurs d’excitation Ex, Ey et/ou des transducteurs de réglage électrostatique Tx, Ty, Q+, Q- agencés sur la masse externe 10. Par exemple, chaque transducteur de réglage électrostatique Tx, Ty, Q+, Q- est configuré pour appliquer une raideur électrostatique ajustable à la masse vibrante 8, 10. Par « raideur électrostatique ajustable », il est entendu que le transducteur de réglage électrostatique correspondant est configuré pour appliquer une force à la masse vibrante 8, 10, par exemple en fonction d’une tension reçue. Selon un exemple, le capteur angulaire 2 comprend un premier type de transducteur électrostatique Tx, Ty et un second type de transducteur électrostatique Q+, Q-. Le premier type de transducteur de réglage électrostatique Tx, Ty est par exemple configuré pour appliquer une raideur électrostatique pour compenser un biais de fréquence d’un mode de vibration diapason selon le premier axe X et/ou selon le second axe Y. En particulier, le premier type de transducteur de réglage électrostatique Tx, Ty est configuré pour compenser une différence de fréquence de vibration entre des vibrations selon le premier axe X et le second axe Y. Un exemple du premier type de transducteur de réglage électrostatique Tx, Ty est visible sur la . Le premier type de transducteur de réglage électrostatique Tx, Ty comprend par exemple des dents interdigitées, qui sont en particulier soit allongées selon le premier axe X, soit allongées selon le second axe Y. Le second type de transducteur de réglage électrostatique Q+, Q- est en particulier configuré pour compenser un biais en quadrature. Le biais en quadrature correspond à un couplage d’une ou des raideur(s) agissant sur la masse vibrante 8, 10, et correspond notamment à un couplage des raideurs des ressorts de suspension 12 selon le premier axe X et le second axe Y. Par exemple, le biais en quadrature est dû à des écarts de fabrication des ressorts de suspension 12. Un exemple de fonctionnement du second type de transducteur de réglage électrostatique Q+, Q- est décrit dans le document EP 2 960 625 A1. En particulier, le second type de transducteur de réglage électrostatique Q+, Q- est configuré pour modifier la répartition de(s) raideur(s) agissant sur la masse vibrante 8, 10, notamment de façon à aligner des axes principaux de raideur dynamique sur le premier axe X et le second axe Y. En particulier, par ajustement de raideurs électrostatiques appliquées sur masse vibrante 8, 10, le second type de transducteur de réglage électrostatique Q+, Q- est configuré pour compenser le biais en quadrature, par exemple causé par des tolérances de fabrication du capteur angulaire 2. Le transducteur électrostatique Tx, Ty, Q+, Q- et un exemple de son agencement dans le capteur angulaire 2 sont décrits dans ce qui suit pour le transducteur électrostatique du second type Q+, Q-, appelé transducteur électrostatique Q+, Q- dans ce qui suit. Toutefois, l’homme du métier comprend que l’agencement du transducteur électrostatique Q+, Q- est applicable également au transducteur du premier type Tx, Ty en variante. Des exemples du transducteur de réglage électrostatique Q+, Q- sont représentés sur les figures 2 à 5 montrant des parties du capteur angulaire 2 comprenant les transducteurs électrostatiques Q+, Q-. Chaque transducteur électrostatique Q+, Q- comprend au moins deux rangées de dents 20A, 20B formant une paire de peignes, notamment une paire de peignes interdigités. Chaque rangée de dents 20A, 20B comprend, et est de préférence formée par, une pluralité des dents 22A, 22B s’étendant parallèlement l’une par rapport à l’autre. Par « peignes interdigités », il est en particulier entendu que les dents 22A, 22B sont parallèles l’une par rapport à l’autre, de manière à appliquer ou recevoir respectivement une force électrostatique. Au moins l’une des rangées de dents 20A, 20B est portée par la structure intermédiaire 18 correspondante du capteur angulaire 2. Chaque dent 22A de la rangée de dents 20A forme en particulier une paire de dents avec une dent correspondante 22B de la rangée de dents 20B. Les dents 22A, 22B de chaque paire de dents sont agencées sensiblement parallèlement l’une par rapport à l’autre, et notamment à une distance inférieure à une distance minimale à d’autres dents 22A, 22B. En particulier, les dents 22A, 22B de chaque paire de dents sont configurés pour appliquer une force électrostatique l’une par rapport à l’autre. Par exemple, les deux rangées de dents 20A, 20B comprennent une première rangée de dents 20A solidaire de la masse vibrante 8, 10, et une seconde rangée de dents 20B solidaire du support 6. Par exemple, en référence aux figures 2 et 3, les dents 22A sont solidaires de la masse vibrante 8, 10, et les dents 22B sont solidaires du support 6, et sont portées par les structures intermédiaires correspondantes 18. La montre un exemple d’une partie du capteur angulaire 2 comprenant les structures intermédiaires 18 portant les rangées de dents 20A, 20B d’un transducteur électrostatique Q+ formant un transducteur électrostatique de compensation d’un biais en quadrature positif. Par « biais en quadrature positif », il est en particulier entendu que le couplage des raideurs agissant sur la masse vibrante 8, 10 est une valeur positive. De préférence, par « biais en quadrature positif », il est entendu qu’un mouvement de la masse vibrante 8, 10 suivant le second axe Y engendre une force, suivant le premier axe X, proportionnelle et de même signe que le mouvement suivant le second axe Y. La montre un exemple d’une partie du capteur angulaire 2 comprenant les structures intermédiaires 18 portant les rangées de dents 20A, 20B d’un transducteur électrostatique Q- formant un transducteur électrostatique de compensation d’un biais en quadrature négatif. Par « biais en quadrature négatif », il est en particulier entendu que le couplage des raideurs agissant sur la masse vibrante 8, 10 est une valeur négative. De préférence, par « biais en quadrature négatif », il est entendu qu’un mouvement de la masse vibrante 8, 10 suivant le second axe Y engendre une force, suivant le premier axe X, proportionnelle et de signe opposé au mouvement suivant le second axe Y. Dans ce qui suit, la structure intermédiaire 18 est décrite plus en détail, en référence aux figures 2 à 5. De préférence, le capteur angulaire 2 comprend plusieurs structures intermédiaires 18 agencées parallèlement l’une par rapport à l’autre. En variante, le capteur angulaire 2 comprend une seule structure intermédiaire 18. Chaque structure intermédiaire 18 est allongée selon au moins une direction d’extension 26 respective. Par « allongée selon au moins une direction d’extension 26 respective », il est entendu en particulier que la structure intermédiaire 18 présente une forme géométrique ayant une largeur perpendiculaire à la direction d’extension 26 strictement inférieure à une longueur de la structure intermédiaire 18 selon la direction d’extension 26. Par exemple, la largeur est strictement inférieure à la moitié de la longueur, de préférence strictement inférieure à un tiers de la longueur. En particulier, chaque structure intermédiaire 18 présente une forme rectangulaire s’étendant selon la direction d’extension 26, dont notamment des bords parallèles à la direction d’extension 26 présentent une longueur strictement supérieure à des bords perpendiculaires à la direction d’extension 26. Chaque structure intermédiaire 18 fait saillie d’un bord de fixation 28 de la masse vibrante 8,10 ou d’un bord de fixation 30 du support 6. En particulier, chaque structure intermédiaire 18 fait saillie du bord de fixation 28, 30 correspondant dans un plan d’extension. Le plan d’extension est parallèle au plan de support ou est confondu avec le plan de support. Chaque bord de fixation 28, 30 s’étend en particulier dans le plan d’extension. Par exemple, la direction d’extension 26 de la structure intermédiaire 18 forme un angle avec le bord de fixation 28, 30 compris entre 45° et 90°. De préférence, l’angle est sensiblement égal à 90°, c’est-à-dire la structure intermédiaire 18 fait saillie du bord de fixation 28, 30 respectif selon une direction perpendiculaire audit bord 28, 30, dans le plan d’extension. Chaque structure intermédiaire 18 porte l’une des rangées de dents 20A, 20B. En référence aux figures 2 et 3, chaque dent 22A de la rangée de dents 20A forme en particulier une paire de dents respective avec une dent correspondante 22B de la rangée de dents 20B. Dans l’exemple de la , en suivant la direction d’extension 26 de chaque structure intermédiaire 18 faisant saillie du support 6, chaque paire de dents comprend d’abord la dent 22B portée par cette structure intermédiaire 18, puis la dent 22A portée par la structure intermédiaire 18 correspondante faisant saillie de la masse vibrante 8. Dans l’exemple de la , l’agencement des dents 22A, 22B de chaque paire de dents est inversé. Cet ordre d’agencement des dents 22A, 22B de chaque paire dents permet notamment de compenser le biais en quadrature correspondant, à savoir le biais en quadrature positif en ce qui concerne l’exemple de la , et le biais en quadrature négatif en ce qui concerne l’exemple de la . Par exemple, chaque dent 22A, 22B fait saillie de la structure intermédiaire 18 correspondante selon une direction perpendiculaire à la direction d’extension 26 de cette structure intermédiaire 18. Par exemple, chaque dent 22A, 22B s’étend selon une direction parallèle au bord de fixation 28, 30, duquel la structure intermédiaire 18 fait saillie. En particulier, chaque dent 22A, 22B fait saillie de l’un des bords de la structure intermédiaire 18 correspondante, qui sont parallèles à la direction d’extension 26 de cette structure intermédiaire 18. De préférence, la structure intermédiaire 18 fait saillie du bord de fixation 28 de la masse vibrante 8, 10, dit bord mobile, lorsqu’elle porte la première rangée de dents 20A. En particulier, cette structure intermédiaire 18 relie ainsi la première rangée de dents 20A à la masse vibrante 8, 10. De préférence encore, la structure intermédiaire 18 fait saillie du bord de fixation 30 du support 6, dite bord fixe, lorsqu’elle porte la seconde rangée de dents 20B. En particulier, cette structure intermédiaire 18 relie ainsi la seconde rangée de dents 20B au support 6. Selon un exemple, le capteur angulaire 2 comprend une ou plusieurs structures intermédiaires 18 faisant saillie du bord mobile et portant la première rangée de dents 20A, et comprend en outre une ou plusieurs structures intermédiaires 18 faisant saillie du bord fixe et portant la seconde rangée de dents 20B. En référence aux figures 2 et 3, le capteur angulaire 2 comprend par exemple plusieurs structures intermédiaires 2 faisant saillie de sections différentes, notamment perpendiculaires et/ou parallèles l’une par rapport à l’autre, du bord de fixation 30 du support 6 et/ou plusieurs structures intermédiaires 2 faisant saillie de sections différentes, par exemple perpendiculaires et/ou parallèles l’une par rapport à l’autre, du bord de fixation 28 de la masse vibrante 8, 10 correspondante. En référence aux figures 4 et 5, la ou chaque structure intermédiaire 18 comprend par exemple une pluralité de sections S1, S2, S3, S4, S5, et optionnellement S6, S7. Dans ce cas, chaque section S1 à S7 s’étend selon une direction d’extension respective 26, dans le plan d’extension. En particulier, les directions d’extension 26 de deux sections S1 à S7 consécutives, en suivant les directions d’extension 26 correspondantes, présentent un angle perpendiculaire l’une par rapport à l’autre. Par exemple, en référence à la , les directions d’extension 26 des sections S1 à S7 de la ou chaque structure intermédiaire 18 présentent les angles suivants entre elles, en suivant les directions d’extension 26 de la structure intermédiaire 18 faisant saillie du bord de fixation 30 du support 6 : un angle égal à 90° dans le sens antihoraire entre les sections S1 et S2, deux angles de 90° dans le sens horaire entre les sections S2 et S3 ainsi que S3 et S4, deux angles de 90° dans le sens antihoraire entre les sections S4 et S5 ainsi que S5 et S6, et un angle de 90° dans le sens horaire entre les sections S6 et S7. Selon un exemple, en référence à la , les directions d’extension 26 de deux sections consécutives S1 à S5 présentent un angle de 90° entre elles dans le sens antihoraire. En particulier, la ou chaque structure intermédiaire 18 présente une forme sensiblement en forme d’escargot. Selon un exemple non représenté, la ou chaque structure intermédiaire 18 et l’une des rangées de dents 20A, 20B forment une structure fractale. Par exemple, l’une des rangées de dents 20A, 20B est munie d’une rangée de dents secondaire, non visible sur les figures. La rangée de dents secondaire fait saillie des dents 22A, 22B de la rangée de dents 20A, 20B muni de cette rangée de dents secondaire. Ainsi, les dents 22A, 22B forment la structure intermédiaire pour la rangée de dents secondaire. De préférence, la rangée de dents secondaire comprend des dents secondaires faisant saillie des dents 22A, 22B selon une direction secondaire perpendiculaire par rapport à une direction d’extension des dents 22A, 22B. La direction secondaire est notamment parallèle à la direction d’extension 26 de la structure intermédiaire 18 portant les dents 22A, 22B. De préférence, la structure intermédiaire 18 et la rangée de dents 20A, 20B, qui est portée par la structure intermédiaire 18 sont formées en une seule pièce. Par exemple, lorsque la structure intermédiaire 18 fait saillie du bord de fixation 28 de la masse vibrante 8, 10, la masse vibrante 8, 10, la structure intermédiaire 18, et les dents 22A portées par cette structure intermédiaire 18 sont formées en une seule pièce. Dans un exemple selon lequel la structure intermédiaire 18 est fixée sur le bord de fixation 30 du support 6, le support 6, la structure intermédiaire 18, et les dents 22B sont formés en une seule pièce. Par exemple, des éléments formés en une seule pièce sont des éléments obtenus par gravure ou par usinage. Selon un exemple, au moins un élément parmi les éléments suivants, de préférence l’ensemble des éléments suivants, comprend du silicium ou consiste de silicium : le support 6, la structure intermédiaire 18, la masse vibrante 8, 10, les dents 22A, 22B de chaque rangée de dents 20A, 20B. On conçoit que le capteur 2 selon l’invention présente un grand nombre d’avantages. En particulier, le capteur 2 selon l’invention comprenant la ou les structure(s) intermédiaire(s) 18 permet d’augmenter l’espace disponible pour l’agencement d’un nombre élevé de dents 22A, 22B de chaque rangée de dents 20A, 20B portée par la structure intermédiaire 18 correspondante. En effet, parmi un grand nombre de variables et modifications envisageables du capteur 2 pour augmenter la raideur électrostatique applicable par le transducteur de réglage électrostatique Tx, Ty, Q+, Q- concerné, le fait d’augmenter le nombre de dents en les agençant sur la ou les structures intermédiaire(s) 18 permet de compenser les écarts mécaniques de manière fiable et efficace. A titre d’exemple, cela permet de compenser les écarts mécaniques sans augmenter une tension électrique du transducteur. Capteur angulaire inertiel micro-usiné (2) comprenant un support (6) présentant un premier axe (X) dans un plan de support et un second axe (Y) perpendiculaire au premier axe (X) et compris dans ledit plan de support, le capteur angulaire (2) comprenant en outre au moins une masse vibrante (8, 10) mobile par rapport au support (6), au moins un transducteur d’excitation (Ex, Ey) configuré pour générer un mouvement de vibration de la masse vibrante (8, 10), et au moins un transducteur de détection (Dx, Dy) d’une vibration de la masse vibrante (8, 10), le capteur angulaire (2) comprenant au moins un transducteur de réglage électrostatique (Tx, Ty, Q+, Q-) configuré pour appliquer une raideur électrostatique ajustable à la masse vibrante (8, 10), le ou chaque transducteur de réglage électrostatique (Tx, Ty, Q+, Q-) comprenant au moins deux rangées de dents (20A, 20B) formant une paire de peignes, dans lequel le capteur angulaire (2) comprend en outre au moins une structure intermédiaire (18) allongée selon au moins une direction d’extension (26), la structure intermédiaire (18) faisant saillie d’un bord de fixation (28, 30) de la masse vibrante (8, 10) ou du support (6), et portant l’une des rangées de dents (20A, 20B). Capteur angulaire (2) selon la revendication 1, dans lequel chaque rangée de dents (20A, 20B) comprend une pluralité de dents (22A, 22B) s’étendant parallèlement l’une par rapport à l’autre, chaque dent (22A, 22B) de la rangée de dents (20A, 20B) portée par la structure intermédiaire (18) faisant saillie de ladite structure intermédiaire (18), de préférence faisant saillie de ladite structure intermédiaire (18) selon une direction perpendiculaire à la direction d’extension (26) de la structure intermédiaire (18). Capteur angulaire (2) selon la revendication 1 ou la revendication 2, dans lequel le ou chaque transducteur de réglage (Q+, Q-) est un transducteur électrostatique de compensation (Q+, Q-) d’un biais en quadrature, configuré pour modifier la répartition de raideurs agissant sur la masse vibrante (8, 10), le biais en quadrature correspondant à un couplage des raideurs agissant sur la masse vibrante (8, 10) selon le premier axe (X) et le second axe (Y). Capteur angulaire (2) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la direction d’extension (26) de la ou chaque structure intermédiaire (18) forme un angle avec le bord de fixation compris entre 45 et 90 degrés, l’angle étant de préférence sensiblement égal à 90 degrés. Capteur angulaire (2) selon l’une quelconque des revendications précédentes, comprenant plusieurs structures intermédiaires (18) parallèles l’une par rapport à l’autre. Capteur angulaire (2) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les deux rangées de dents (20A, 20B) comprennent une première rangée de dents (20A) solidaire de la masse vibrante (8, 10) et une seconde rangée de dents (20B) solidaire du support (6) ; dans lequel la structure intermédiaire (18) fait saillie du bord de fixation (28) de la masse vibrante (8, 10), dit bord mobile, lorsqu’elle porte la première rangée de dents (20A) ; dans lequel la structure intermédiaire (18) fait saillie du bord de fixation (30) du support (6), dit bord fixe, lorsqu’elle porte la seconde rangée de dents (20B). Capteur angulaire (2) selon la revendication 6 prise en combinaison avec la revendication 5, comprenant à la fois au moins une structure intermédiaire (18) faisant saillie du bord mobile et portant la première rangée de dents (20A), et au moins une structure intermédiaire (18) faisant saillie du bord fixe et portant la seconde rangée de dents (20B). Capteur angulaire (2) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la ou chaque structure intermédiaire (18) comprend une pluralité de sections (S1, S2, S3, S4, S5, S6, S7) s’étendant selon des directions d’extension respectives (26) dans un plan parallèle au plan de support ou confondu avec le plan de support, les directions d’extension (26) de deux sections (S1, S2, S3, S4, S5, S6, S7) consécutives présentant de préférence un angle perpendiculaire l’une par rapport à l’autre. Capteur angulaire (2) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la ou chaque structure intermédiaire (18) et au moins l’une desdites rangées de dents (20A, 20B) forment structure fractale, dans laquelle ladite rangée de dents (20A, 20B) est munie d’une rangée de dents secondaires, faisant saillie de dents (22A, 22B) de ladite rangée de dents (20A, 20B). Capteur angulaire (2) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel au moins la ou chaque structure intermédiaire (18) et la rangée de dents (20A, 20B) portée par ladite structure intermédiaire (18) sont formées en une seule pièce. Capteur angulaire (2) selon l’une quelconque des revendications précédentes, comprenant au moins deux masses vibrantes (8, 10) mobiles par rapport au support (6), et mobiles l’une par rapport à l’autre, suspendues par des ressorts de suspension (12) à des points d’ancrage (14) fixes du support (6) et couplées entre elles par des ressorts de couplage (16) pour vibrer en opposition de phase.