Brevet FR3148535A1 — publié le 20241115

L’invention concerne un procédé de recyclage de déchets de découpe de lingots de silicium comprenant les étapes suivantes : a) la récupération d’une première boue, issue desdits déchets, formée par un mélange aqueux comprenant des particules de silicium et des espèces organiques, mais dépourvu de particules abrasives de type carbures ; la première boue présentant un pourcentage massique initial d’espèces organiques, b) le traitement chimique de la première boue de manière à diminuer le pourcentage massique initial d’espèces organiques et former une deuxième boue présentant un pourcentage massique résiduel d’espèces organiques compris entre 0,8% et 1,5% ; c) le séchage et une granulation associée de la deuxième boue, par chauffage sous vide et agitation, pour former des granules incluant les particules de silicium et les espèces organiques, lesdits granules ayant des dimensions dont une valeur moyenne est supérieure ou égale à 150 µm et un taux d’humidité inférieur ou égal à 2% ; d) l’introduction des granules dans une poche de coulée de silicium liquide, en sortie d’un four de réduction de silice, pour participer au refroidissement du silicium liquide jusqu’à une température de raffinage et/ou jusqu’à une température de coulée. Pas de figure PROCEDE DE RECYCLAGE DES DECHETS DE DECOUPE DES LINGOTS DE SILICIUM DOMAINE DE L’INVENTION La présente invention concerne la chaine de fabrication du silicium. Elle concerne en particulier un procédé de recyclage des déchets issus de la découpe des lingots de silicium (« kerfs ») par fils diamantés, qui prévoit de réintroduire le silicium traité dans la filière de fabrication de silicium métallurgique par refusion. ARRIÈRE PLAN TECHNOLOGIQUE DE L’INVENTION Les plaquettes de silicium, destinées à l’industrie du semi-conducteur ou du photovoltaïque, sont fabriquées à partir de lingots de silicium, en utilisant des procédés de découpe par fils métalliques avec ajout d’abrasifs de type carbures (« slurry sawing » selon la terminologie anglo-saxonne) ou par fils diamantés. La largeur des fils de découpe est de plus en plus faible, mais demeure proportionnelle à l’épaisseur des plaquettes découpées ; ces procédés de sciage génèrent donc encore une quantité importante de déchets de silicium : de l’ordre de 25 à 40% de la masse totale d’un lingot. La découpe est réalisée sous un flux continu de liquide de coupe permettant d’évacuer chaleur et copeaux. Le liquide est constitué d’eau et d’additifs tels que PEG (Polyéthylèneglycol), antimousse, tensioactifs. Les déchets de découpe se retrouvent sous forme de poudre très fine (micro ou nanoparticules de silicium dont la surface est oxydée), mélangée avec les additifs liquides, des contaminants métalliques, des espèces organiques ou inorganiques, et, dans le cas d’une découpe avec abrasifs, des particules abrasives (par exemple en SiC). Le document EP2712844A1 propose un procédé de recyclage de déchets de découpe de lingots de silicium comprenant des particules abrasives en SiC. Ce procédé comprend une étape de purification (utilisant des solutions acides ou basiques) desdits déchets, de manière à obtenir des particules de silicium purifiées et des particules contenant du carbone, ces dernières contenant moins de 0,25 ppm de bore et moins de 0,5 ppm de phosphore. Les particules sont ensuite agglomérées sous forme de pastilles (préférentiellement, ayant un diamètre moyen supérieur à 2 - 5mm), en utilisant un liant, par exemple un carbohydrate ou une résine. Le procédé comprend ensuite une étape consistant à utiliser lesdites pastilles comme matières réactives dans un procédé de réduction (enlèvement de l’oxygène) produisant du silicium. Rappelons qu’un procédé de réduction est habituellement opéré à partir de quartz (SiO2) qui réagit avec du carbure de silicium ou du carbone, à des températures autour de 2100°C, pour donner du silicium. Selon le document EP2712844, du SiO2, du SiC ou du carbone peuvent être ajoutés aux pastilles pour obtenir des proportions appropriées de matières réactives initiales dans le four de réduction, à très hautes températures. Le silicium liquide, obtenu en sortie du four de réduction, est ensuite recueilli dans des poches de coulée puis refroidi, pour former des blocs de silicium de qualité métallurgique. OBJET DE L’INVENTION La présente invention concerne un procédé de recyclage de déchets de découpe de lingots de silicium issus d’un sciage par fils diamantés, les déchets étant donc dépourvus de particules abrasives notamment de type carbures. Le procédé de recyclage prévoit un traitement et une mise en forme desdits déchets en vue de les réintroduire dans la filière de fabrication de silicium métallurgique, par refusion dans la poche de coulée d’un four de production de silicium métallurgique. BREVE DESCRIPTION DE L’INVENTION La présente invention concerne un procédé de recyclage de déchets de découpe de lingots de silicium comprenant les étapes suivantes : a) la récupération d’une première boue, issue desdits déchets, formée par un mélange aqueux comprenant des particules de silicium et des espèces organiques, mais dépourvu de particules abrasives de type carbures ; la première boue présentant un pourcentage massique initial d’espèces organiques défini par rapport à la masse de matière solide contenue dans la première boue, b) le traitement chimique de la première boue de manière à diminuer le pourcentage massique initial d’espèces organiques et former une deuxième boue présentant un pourcentage massique résiduel d’espèces organiques compris entre 0,8% et 2% par rapport à la masse de matière solide contenue dans la deuxième boue ; c) le séchage et une granulation associée de la deuxième boue, par chauffage sous vide et agitation, pour former des granules incluant les particules de silicium et les espèces organiques, lesdits granules ayant des dimensions dont une valeur moyenne est supérieure ou égale à 150 μm et un taux d’humidité inférieur ou égal à 2% ; d) l’introduction des granules dans une poche de coulée de silicium liquide, en sortie d’un four de réduction de silice, pour participer au refroidissement du silicium liquide jusqu’à une température de raffinage et/ou jusqu’à une température de coulée. Selon des caractéristiques avantageuses de l’invention, prises seules ou selon toute combinaison réalisable : le pourcentage massique initial d’espèces organiques est compris entre 3% et 6%, typiquement de l’ordre de 4% ; le pourcentage massique résiduel d’espèces organiques est de 1,3% +/- 0,2% ; l’étape c) est réalisée à une température comprise entre 40°C et 100°C ; la dimension moyenne des granules est d’environ 0,8mm ; le taux d’humidité des granules est de 1,5% +/- 0,2% ; la proportion massique des granules introduite dans la poche de coulée est comprise entre 1% et 5% ; le traitement chimique de l’étape b) est opéré avec une solution diluée de peroxyde d’hydrogène ; le traitement chimique de l’étape b) est opéré avec une solution diluée d’un peroxyde minéral ; l’étape b) comprend au moins un lavage, deux, voire trois lavages successifs à l’eau pure, après le traitement chimique, pour l’obtention de la deuxième boue. DESCRIPTION DETAILLEE DE L’INVENTION L’invention concerne un procédé de recyclage de déchets issus de la découpe de lingots de silicium par fils diamantés. Le silicium contenu dans ces déchets se retrouve sous la forme d’une poudre très fine (nanoparticules de silicium au moins partiellement oxydées en surface), mélangée avec des additifs liquides, des contaminants métalliques et des espèces organiques ou inorganiques. Ces déchets contiennent essentiellement de la matière liquide, le pourcentage massique de silicium (qui constitue la majorité de la matière solide) est compris entre 2% et 10%. La première étape a) du procédé consiste en la récupération d’une première boue, issue desdits déchets, formée par un mélange aqueux comprenant notamment les nanoparticules de silicium (également appelées particules de silicium par la suite) et des espèces organiques, et bien sûr dépourvu de particules abrasives de type carbures (notamment SiC). L’appellation « boue » est utilisée pour qualifier une substance comprenant typiquement plus de 40% (pourcentage massique) de matière solide (constituée majoritairement des nanoparticules de silicium), mélangée dans une solution aqueuse. La première boue pourra être obtenue, à partir des déchets de découpe, par une méthode connue de séparation solide / liquide choisie parmi la filtration (par exemple filtration sous vide, « vacuum filtration ») ou la filtration tangentielle, la sédimentation, la centrifugation ou encore la séparation cyclonique. Avantageusement, à l’étape a), la première boue comporte environ 50% de matière solide et 50% de matière liquide. Le terme « environ » signifie ici que la valeur du pourcentage massique est à +/-10% (absolu : c’est-à-dire qu’un pourcentage massique d’environ 50% pourra varier entre 40% et 60%), voire à +/- 5% (absolu). Généralement, la distribution en taille des particules de silicium contenues dans la première boue est comprise entre environ 10nm et 5µm, typiquement centrée sur 0,6µm. La première boue présente un pourcentage initial d’espèces organiques, typiquement compris entre 3% et 6%, par exemple de l’ordre de 4%. Notons qu’il est question, dans le contexte de cette description, de pourcentages massiques d’espèces organiques, définis par rapport à la masse de matière solide contenue dans la boue. Ces espèces organiques viennent essentiellement des additifs tels que PEG (Polyéthylèneglycol), antimousse, tensioactifs, introduits dans le liquide de découpe et dont on connaît précisément le volume chargé à chaque opération de découpe, et donc dans chaque volume de déchets récupéré. Le procédé de recyclage comprend ensuite une étape b) incluant un traitement chimique de la première boue, qui vise à diminuer le pourcentage massique initial d’espèces organiques et à former une deuxième boue présentant un pourcentage massique résiduel d’espèces organiques compris entre 0,8% et 2%, ce pourcentage étant défini par rapport à la masse de matière solide contenue dans la deuxième boue. Préférentiellement, le pourcentage massique résiduel d’espèces organiques est de 1,3% +/- 0,2%. Avantageusement, le traitement chimique est opéré avec une solution diluée de peroxyde d’hydrogène (H2O2) ou d’un peroxyde minéral, par exemple à base de potassium (K), sodium (Na), calcium (Ca), magnésium (Mg), etc. Par solution diluée, on entend une solution constituée de peroxyde et d’eau pure (eau déionisée ou eau ultra-pure, présentant respectivement une résistivité de quelques centaines de kohms.cm et une résistivité supérieure à 18,2 Mohms.cm). La solution diluée pourra présenter une concentration massique comprise entre 1% et 35% de peroxyde, le pourcentage complémentaire étant de l’eau. La solution diluée est ajoutée à la première boue formant ainsi un premier mélange. Notons qu’aucun autre produit acide n’est ajouté pour former le premier mélange. Le premier mélange est donc constitué de la première boue, d’un peroxyde (d’hydrogène ou minéral) et d’eau. Les proportions respectives de solution diluée et de première boue dans le premier mélange vont dépendre de la concentration en peroxyde et du type de peroxyde. A titre d’exemple, pour une concentration de peroxyde d’hydrogène de 35%, le premier mélange comprend préférentiellement un volume de solution diluée pour un volume de première boue ; pour une concentration de peroxyde d’hydrogène de 10%, le premier mélange comprend préférentiellement trois volumes de solution diluée pour un volume de première boue. Selon un autre exemple, pour une concentration de peroxyde de potassium de 6,7% de K 2 S 2 0 8 par rapport à la masse de matière solide de la première boue, le premier mélange comprend préférentiellement un volume de solution diluée pour un volume de première boue. Le traitement chimique peut être opéré en agitant le premier mélange, de manière à homogénéiser la répartition de la solution diluée au milieu des nanoparticules de silicium et autres espèces organiques ou contaminants métalliques de la première boue. Les particules de silicium de la première boue comportent majoritairement une couche d’oxyde de silicium sur leur surface ; par ailleurs, elles sont totalement ou partiellement « couvertes » par des couches formées de longues chaines d’espèces organiques. Les espèces organiques sont d’ailleurs majoritairement fixées à la surface des nanoparticules dans la première boue. Le peroxyde d’hydrogène ou autre peroxyde minéral, par une réaction d’oxydation des espèces organiques, va induire la segmentation des longues chaines organiques ce qui favorise leur détachement de la surface des particules de silicium. Avantageusement, le premier mélange comporte environ 5% à 10% de matière solide et un pourcentage complémentaire de matière liquide (en pourcentage massique) : cette consistance liquide favorise la mise en suspension des nanoparticules de silicium, des espèces organiques et des contaminants métalliques, dans le premier mélange. L’agitation du premier mélange permet alors d’homogénéiser la répartition des nanoparticules de silicium et autres espèces en suspension dans le premier mélange ; l’agitation permet également d’augmenter l’efficacité de la réaction d’oxydation segmentant les chaines organiques. Le traitement chimique peut être opéré à une température comprise entre 20°C et 95°C, pendant une durée allant de 10 min à 5 h. A l’issue du traitement chimique, le premier mélange aqueux comprend des particules en suspension homogène, parmi lesquelles les nanoparticules de silicium, des espèces organiques partiellement sous forme de chaines segmentées (d’autres espèces organiques pouvant encore être fixées à la surface de nanoparticules) et des contaminants métalliques. Une séquence de séparation solide / liquide du premier mélange est opérée pour obtenir d’une part une deuxième boue et d’autre part un liquide chargé en espèces organiques et contaminants métalliques. La deuxième boue est composée d’au moins 40% de matière solide. Le liquide est évacué et traité en tant qu’effluent liquide. A cette étape, un traitement supplémentaire avec de la soude peut optionnellement être effectué, pour obtenir un pH supérieur ou égal à dix, ce qui permet d’éliminer l’essentiel d’une pollution potentielle par l’aluminium (souvent utilisé pour collecter le liquide de découpe). L’étape b) peut éventuellement comprendre au moins un lavage, voire deux ou trois lavages successifs à l’eau pure, de la première boue ou d’une boue intermédiaire obtenue avant la séquence finale de séparation solide/liquide aboutissant à la formation de la deuxième boue. La quantité résiduelle d’espèces organiques est fonction du traitement chimique (dilution du peroxyde, temps et autres conditions d’application du traitement à la première boue) et du taux de dilution en eau des lavages successifs. En effet, ces lavages vont être susceptibles d’entrainer une plus ou moins grande quantité d’espèces organiques, présentes en suspension dans la portion liquide du premier mélange. La quantité résiduelle d’espèces organiques peut être évaluée et contrôlée par des bilans basés sur la mesure du carbone organique total (COT) ou sur des techniques de type LECO par IGA (« Inductively gas analysis »). Le (ou les) lavage(s) sont suivis par une séparation solide / liquide pour obtenir une boue comprenant au moins 40% de matière solide. La (ou les) séparations solide / liquide de l’étape b) peuvent être opérées par des techniques connues telles que la sédimentation, la centrifugation, la séparation cyclonique, la filtration, ou autre. Même si l’élimination d’une partie des espèces organiques de la première boue par l’utilisation d’une solution diluée de peroxyde a été particulièrement décrite, cette élimination peut être réalisée par d’autres techniques connues de l’état de la technique, comme une extraction par un solvant, ledit solvant pouvant notamment être choisi parmi le toluène, le dichlorométhane, l’alcool et l’acétone. Notons que le procédé selon l’invention ne requiert pas que l’étape b) comprenne un traitement chimique mettant en œuvre une solution acide pour purifier les particules de silicium de la première boue. Dans le procédé selon l’invention, il n’est pas nécessaire que tous les contaminants métalliques présents dans la première boue soient spécifiquement retirés. Une partie d’entre eux est éliminée au cours de l’étape b), en même temps que la portion d’espèces organiques excédentaire, mais il est acceptable qu’une partie résiduelle de contaminants métalliques demeurent dans la deuxième boue. Le procédé de recyclage comprend une étape c) ultérieure, correspondant au séchage de la deuxième boue. Les paramètres de ce séchage combinés à la présence d’espèces organiques (respectant le pourcentage massique résiduel choisi) dans la deuxième boue induisent une granulation des particules solides de ladite boue. Le séchage / granulation s’effectue par chauffage sous vide et sous agitation, pour former des granules incluant les nanoparticules de silicium et les espèces organiques résiduelles. Effectuer cette étape sous vide (de l’ordre de 20 - 80 mbar) évite le phénomène d’évaporation lequel disperse les particules et défavorise l’agglomération. Le chauffage est opéré dans la gamme de températures 40°C - 100°C. Le chauffage et l’agitation conduisent à mettre les particules de silicium en contact avec les espèces organiques, ces dernières formant un liant et provoquant une agglomération des particules sous forme de granules. L’étape de séchage / granulation peut être réalisée dans un sécheur sous vide tel que par exemple le modèle Pan Dryer proposé par la société De Dietrich pour d’autres applications. A titre d’exemple, l’étape de séchage / granulation peut être réalisée sur un équipement de type Pan Dryer dans les conditions ci-après : Surface de chauffe (fond et parois de la cuve de l’équipement) : environ 1,25m 2 , dont fond chauffé 0,17m², Après introduction de la deuxième boue dans la cuve, réduction de la pression (passage sous vide) jusqu’à une pression de 70mbar dans l’équipement, Chauffage de la cuve à 80°C, Température initiale de la deuxième boue : environ 48°C ; taux d’humidité initial de la deuxième boue : environ 50%, Conduite de l’agitateur et de l’émotteur pour obtenir la granulométrie souhaitée des granules ; Température finale des granules : environ 65°C ; taux d’humidité final de la poudre de granules : environ 1,5%. L’ajustement de la pression, de la température de chauffe, de la montée en température, du temps, des paramètres d’agitation, combiné à la teneur résiduelle en espèces organiques dans la deuxième boue, autorise la formation de granules ayant majoritairement des dimensions supérieures à 70 μm et un taux d’humidité inférieur ou égal à 2%. Avantageusement, le taux d’humidité de la poudre de granules est de 1,5% +/- 0,2%. Le taux d’humidité peut être mesuré sur un échantillon prélevé de granules, par pesée différentielle avant et après chauffage par lampe infra-rouge. Les granules vont présenter, globalement, une forme polyédrique ou sphérique ; la dimension ou taille d’un granule peut être définie comme son « diamètre équivalent de Sauter ». Le « diamètre équivalent de Sauter » est le diamètre de la sphère qui se comporterait de manière identique lors d’une mesure granulométrique par une technique définie. On pourra notamment citer, à titre d’exemple, une technique de mesure par diffraction laser de type Malvern. Dans le cadre de la présente invention, on souhaite obtenir une poudre de granules dont la distribution en taille se présente sensiblement sous la forme d’une gaussienne ; le maximum de la gaussienne est typiquement centré sur une dimension moyenne des granules supérieure ou égale à 150 µm, assurant une absence ou une très faible proportion de granules de taille inférieure ou égale à 70 µm. Cette exigence vient du fait que la présence de granules de taille inférieure à 70 µm dans une poudre majoritairement composée de silicium amène un risque en termes d’explosivité de ladite poudre. Avantageusement, le maximum de la distribution gaussienne en taille des granules est centré sur une dimension moyenne d’environ 0,8mm. En général, la dimension moyenne des granules (moyenne des dimensions de l’ensemble des granules) est comprise entre 150 µm et 1mm. Pour conserver son taux d’humidité inférieur ou égal à 2%, la poudre de granules est conditionnée et stockée sous atmosphère d’azote, à l’issue de l’étape c). Le procédé comprend ensuite une étape d) correspondant à l’introduction des granules dans une poche de coulée de silicium liquide, en sortie d’un four de réduction de silice, pour participer au refroidissement du silicium liquide jusqu’à une température de raffinage (visant à diminuer les taux d’aluminium et de calcium contenus dans le silicium liquide brut) et/ou jusqu’à une température de coulée. Le silicium liquide, issu de la réaction de réduction de la silice, arrive dans la poche de coulée à une température d’environ 1700°C. En général, il passe ensuite par une température de raffinage, aux environs de 1550°C, puis par une température de coulée, aux environs de 1480°C, avant d’être coulé en lingots. La poudre de granules issue de l’étape c), ajoutée dans la poche de coulée, permet de refroidir le silicium liquide pour atteindre l’une et/ou l’autre de ces températures. La proportion massique de granules introduite dans la poche de coulée est préférentiellement comprise entre 1% et 5%. Par proportion massique, on entend le rapport entre la masse des granules incorporés et la masse de silicium liquide dans la poche de coulée. Le taux d’humidité des granules visé à l’étape c) prend ici toute son importance : en effet, la décomposition de l’eau à la température du silicium liquide de la poche de coulée peut conduire à une explosion (hydrogène) si la quantité d’eau excède quelques %. Comme énoncé précédemment, il n’est pas critique qu’une quantité résiduelle de contaminants métalliques subsistent dans les granules car les déchets de découpe par fils diamantés contiennent des teneurs en contaminants métalliques de 10 fois à 100 fois plus faibles que les teneurs dans la poche de coulée. De plus, même si les particules de silicium composant les granules comportent de l’oxyde de silicium (couvrant tout ou partie de la surface desdites particules), cet oxyde sera fondu lors de l’introduction de la poudre dans la poche de coulée, du fait de la température élevée (environ 1700°C) et de la présence d’un laitier (« slag ») de SiO 2 /Al 2 O 3 /CaO. Le procédé selon l’invention permet ainsi de recycler le silicium contenu dans les déchets issus de la découpe de lingots par fils diamantés, en mettant en œuvre un nombre réduit d’étapes. On rappelle qu’avec la diminution de la taille des particules de silicium dans les “kerfs” (de micrométrique à nanométrique), liée aux progrès des technologies de découpe (réduction du diamètre du fil), le recyclage de ces particules très fines peut se heurter à plusieurs difficultés : l'enrobage des particules de silicium par des espèces organiques contenus dans le liquide de coupe, que la plupart des procédés de l’état de la technique tente d’éliminer en totalité, l'extrême finesse des particules qui conduit à une surface spécifique élevée de la poudre correspondante, qui induit leur explosivité, la couverture de la surface des particules par un oxyde de silicium dont la température de fusion est plus élevée que la température de fusion du silicium lui-même (1420°C) ; les procédés de l’état de la technique traitent par conséquent à l’acide les particules pour éliminer cette couverture. Le procédé selon l’invention tire avantage de la composition de la première boue issue des déchets de découpe par fils diamantés et l’ajuste de manière à favoriser la mise en forme de granules, riches en silicium. Il définit en outre des caractéristiques de la poudre de granules particulièrement adaptées à une refusion de ladite poudre dans une poche de coulée de silicium liquide, en sortie d’un four de réduction de silice, permettant, en plus du recyclage du silicium, de gérer les séquences de refroidissement du silicium liquide de manière totalement sécurisée et sans consommation de matières premières extraites. L’invention n’est pas limitée aux modes et exemples de réalisation décrits et on peut y apporter des variantes de réalisation sans sortir du cadre de l’invention telle que définie par les revendications. Procédé de recyclage de déchets de découpe de lingots de silicium comprenant les étapes suivantes : a) la récupération d’une première boue, issue desdits déchets, formée par un mélange aqueux comprenant des particules de silicium et des espèces organiques, mais dépourvu de particules abrasives de type carbures ; la première boue présentant un pourcentage massique initial d’espèces organiques défini par rapport à la masse de matière solide contenue dans la première boue, b) le traitement chimique de la première boue de manière à diminuer le pourcentage massique initial d’espèces organiques et à former une deuxième boue présentant un pourcentage massique résiduel d’espèces organiques compris entre 0,8% et 2% par rapport à la masse de matière solide contenue dans la deuxième boue ; c) le séchage et une granulation associée de la deuxième boue, par chauffage sous vide et agitation, pour former des granules incluant les particules de silicium et les espèces organiques, lesdits granules ayant des dimensions dont une valeur moyenne est supérieure ou égale à 150 µm et un taux d’humidité inférieur ou égal à 2% ; d) l’introduction des granules dans une poche de coulée de silicium liquide, en sortie d’un four de réduction de silice, pour participer au refroidissement du silicium liquide jusqu’à une température de raffinage et/ou jusqu’à une température de coulée. Procédé de recyclage selon la revendication précédente, dans lequel le pourcentage massique initial d’espèces organiques est compris entre 3% et 6%, typiquement de l’ordre de 4%. Procédé de recyclage selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le pourcentage massique résiduel d’espèces organiques est de 1,3% +/- 0,2%. Procédé de recyclage selon l’une des revendications précédentes, dans lequel l’étape c) est réalisée à une température comprise entre 40°C et 100°C. Procédé de recyclage selon l’une des revendications précédentes, dans lequel la dimension moyenne des granules est d’environ 0,8mm. Procédé de recyclage selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le taux d’humidité des granules est de 1,5% +/- 0,2%. Procédé de recyclage selon l’une des revendications précédentes, dans lequel la proportion massique des granules introduite dans la poche de coulée est comprise entre 1% et 5%. Procédé de recyclage selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le traitement chimique de l’étape b) est opéré avec une solution diluée de peroxyde d’hydrogène. Procédé de recyclage selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le traitement chimique de l’étape b) est opéré avec une solution diluée d’un peroxyde minéral. Procédé de recyclage selon la revendication précédente, dans lequel l’étape b) comprend au moins un lavage, deux, voire trois lavages successifs à l’eau pure, après le traitement chimique, pour l’obtention de la deuxième boue.