Brevet FR3149052A1 — publié le 20241129

Pompe à vide (1) turbomoléculaire comportant un dispositif d’isolation thermique (30) entourant une enveloppe périphérique (19) du stator (2) et comportant au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) enroulée autour de l’enveloppe périphérique (19) du stator (2) et une couche isolante externe (36) entourant la au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) et l’enveloppe périphérique (19) du stator (2), la au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) étant interposée entre l’enveloppe périphérique (19) du stator (2) et la couche isolante externe (36), la couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) et la couche isolante externe (36) étant respectivement maintenues enroulées par au moins un élément de retenue (35) respectif joignant leurs bordures d’extrémité respectives. Figure 1 Pompe à vide turbomoléculaire et kit d’isolation Domaine technique de l’invention La présente invention concerne une pompe à vide turbomoléculaire. La présente invention concerne également un kit d’isolation pour pompe à vide turbomoléculaire. Arrière-plan technique La génération d’un vide poussé dans une enceinte nécessite l'utilisation de pompes à vide turbomoléculaire composées d'un stator dans lequel un rotor est entraîné en rotation rapide, par exemple une rotation à plus de trente mille tours par minute. Dans les applications sous vide, en particulier dans l'industrie du semi-conducteur, panneaux photovoltaïques ou LED ou dans les procédés de dépôt de couches minces, les pompes à vide véhiculent divers types de gaz et substances évaporées qui peuvent, du fait de changements dans les conditions de pression ou de température ou de changements de nature des réactions chimiques, se déposer sur les surfaces internes de la pompe à vide. Ces dépôts peuvent entraîner une restriction de jeu entre le stator et le rotor pouvant provoquer un grippage du rotor, voire un crash de la pompe à vide. Il est connu de chauffer la pompe à vide pour prévenir la condensation de produits de réaction et ainsi limiter la formation de dépôts pour augmenter la durée de vie de la pompe à vide. Les pompes à vide chauffées comportent généralement une ceinture isolante cousue, sanglée autour du stator, permettant d’isoler thermiquement le corps de stator chauffé pour réduire les déperditions thermiques et pour protéger les personnes. Cependant, la réalisation de cette ceinture isolante est relativement coûteuse et ne permet pas une adaptation facile en fonction de la configuration de la pompe à vide, notamment pour adapter la forme de la ceinture à la position des vannes ou tuyaux du gaz de purge ou de circulation d’eau de refroidissement, ou à la position des passages de câbles électriques ou de l’orifice de refoulement de la pompe à vide, qui peuvent différer selon les applications de pompage. Un but de la présente invention est donc de proposer une pompe à vide turbomoléculaire résolvant au moins partiellement les inconvénients de l’état de la technique. A cet effet, l’invention a pour objet une pompe à vide turbomoléculaire comportant : - un stator, - un rotor configuré pour tourner dans le stator, - un dispositif de chauffage configuré pour chauffer le stator, - un dispositif d’isolation thermique entourant une enveloppe périphérique du stator. Le dispositif d’isolation thermique comporte : - au moins une couche isolante intercalaire enroulée autour de l’enveloppe périphérique du stator, et - une couche isolante externe entourant la au moins une couche isolante intercalaire et l’enveloppe périphérique du stator, la au moins une couche isolante intercalaire étant interposée entre l’enveloppe périphérique du stator et la couche isolante externe, la couche isolante intercalaire et la couche isolante externe étant respectivement maintenues enroulées par au moins un élément de retenue respectif joignant leurs bordures d’extrémité respectives. Le dispositif d’isolation thermique est ainsi facile à assembler et à adapter aux différentes options possibles de la pompe à vide par simple découpe dans des panneaux isolants à plats. On profite de la forme générale cylindrique de l’enveloppe périphérique du stator de la pompe à vide pour enrouler une ou plusieurs couches isolantes flexibles prédécoupées autour du corps du stator chauffé. Cette solution est peu coûteuse, inférieure au coût de la ceinture isolante cousue de l’art antérieur. De plus, le dispositif d’isolation thermique est modulable, car il permet d’adapter facilement le niveau d’isolation thermique à un besoin spécifique. Il est notamment possible d’augmenter le nombre de couches isolantes intercalaires superposées pour réduire les pertes thermiques, en particulier si l’encombrement le permet autour de la pompe à vide. Il est facile et peu coûteux d’adapter le dispositif d’isolation thermique en déplaçant/créant/supprimant des découpes dans les différentes couches isolantes intercalaires en fonction des options de la pompe à vide. Également, l’accès autour de la pompe à vide est simplifié pour les opérateurs de maintenance car le dispositif d’isolation thermique peut facilement être compressé à la main. Par ailleurs, ce dispositif d’isolation thermique forme un dispositif de protection mécanique pour la pompe à vide, utile notamment pour son transport. La pompe à vide peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prises seules ou en combinaison. Selon un exemple de réalisation, la au moins une couche isolante intercalaire et/ou la couche isolante externe comporte une mousse souple et une feuille aluminium recouvrant une face de la mousse souple. Le dispositif d’isolation thermique comporte par exemple au moins une première et une deuxième couches isolantes intercalaires superposées. Selon un exemple de réalisation, les bordures d’extrémité des couches isolantes intercalaires superposées adjacentes se rejoignent le long d’une ligne de fermeture respective dont les positionnements angulaires sont distincts. Les bordures d’extrémité d’au moins une couche isolante intercalaire peuvent présenter des formes complémentaires formant au moins un orifice dans une ligne de fermeture. Selon un exemple de réalisation, le stator comporte : - une partie statorique turbomoléculaire recevant au moins un étage d’ailettes du stator et dans laquelle un étage de pales du rotor est susceptible de tourner, et - une douille fixée à la partie statorique turbomoléculaire et dans laquelle une jupe cylindrique du rotor est susceptible de tourner. Le dispositif d’isolation thermique peut comporter au moins une couche isolante intercalaire entourant au moins une partie de la partie statorique turbomoléculaire et au moins une couche isolante intercalaire entourant au moins une partie de la douille. Le dispositif de chauffage est par exemple configuré pour chauffer la douille, par exemple à une température comprise entre 120°C et 200°C, telle que 150°C, par exemple au moyen d’une ou plusieurs cartouches chauffantes ou résistances électriques reçues dans le corps de la douille. La couche isolante externe entoure la au moins une couche isolante intercalaire et l’enveloppe périphérique du stator par exemple sur la hauteur de la douille et de la partie statorique turbomoléculaire. Le dispositif d’isolation thermique comporte par exemple un nombre de couches isolantes intercalaires agencées autour de la douille supérieur au nombre de couches isolantes intercalaires agencées autour de la partie statorique turbomoléculaire. L’épaisseur de la au moins une couche isolante intercalaire peut être comprise entre 5mm et 25mm, tel que 15mm. L’invention a aussi pour objet un kit d’isolation pour pompe à vide turbomoléculaire telle que décrite précédemment, la pompe à vide comportant un stator, un rotor configuré pour tourner dans le stator, un dispositif de chauffage configuré pour chauffer le stator. Le kit d’isolation comporte un dispositif d’isolation thermique destiné à entourer une enveloppe périphérique du stator, le dispositif d’isolation thermique comportant : - au moins une couche isolante intercalaire destinée à être enroulée autour de l’enveloppe périphérique du stator, et - une couche isolante externe destinée à entourer la au moins une couche isolante intercalaire et l’enveloppe périphérique du stator, la au moins une couche isolante intercalaire étant interposée entre l’enveloppe périphérique du stator et la couche isolante externe, la couche isolante intercalaire et la couche isolante externe étant respectivement destinées à être maintenues enroulées par au moins un élément de retenue respectif joignant leurs bordures d’extrémité respectives. Le kit d’isolation peut ainsi être vendu comme accessoire et/ou livré indépendamment de la pompe à vide turbomoléculaire. Il est par exemple prévu pour être agencé autour d’une pompe à vide déjà installée. Par ailleurs, il est ainsi possible pour une même référence de pompe à vide de disposer de différents kits d’isolation présentant par exemple chacun un nombre de couches isolantes intercalaires différent ou des couches isolantes intercalaires présentant des épaisseurs différentes, afin de répondre au mieux à l’encombrement disponible autour de la pompe à vide et/ou de réduire au mieux la consommation énergétique du chauffage de la pompe à vide. Brève description des figures D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description de l'invention, ainsi que des dessins annexés sur lesquels : La montre une vue schématique en coupe axiale d’un exemple de pompe à vide turbomoléculaire. La montre une vue en perspective d’une couche isolante externe du dispositif d’isolant thermique de la pompe à vide turbomoléculaire de la . La montre une autre vue en perspective de la couche isolante externe de la . La montre une vue en perspective des couches isolantes intercalaires superposées du dispositif d’isolant thermique de la pompe à vide turbomoléculaire de la . La montre les couches isolantes intercalaires de la vues à plat. Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence. Description détaillée Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations, sans s’écarter de la portée de l’invention, telle que définie par les revendications. On entend par « en amont », un élément qui est placé avant un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper. A contrario, on entend par « en aval », un élément placé après un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper. On définit la direction axiale de la pompe à vide 1 comme la direction parallèle à l’axe de rotation I-I de la pompe à vide 1. La illustre un exemple de réalisation d’une pompe à vide 1 turbomoléculaire. La pompe à vide 1 turbomoléculaire comporte un stator 2 dans lequel un rotor 3 est configuré pour tourner à grande vitesse en rotation axiale, par exemple une rotation à plus de trente mille tours par minute, de manière à entraîner des gaz à pomper dans un chemin d’écoulement des gaz interposé entre le stator 2 et le rotor 3. Dans l’exemple de réalisation de la , la pompe à vide 1 turbomoléculaire est dite hybride : elle comporte un étage turbomoléculaire 4 et un étage moléculaire 5 situé en aval de l’étage turbomoléculaire 4 dans la direction de circulation des gaz pompés (représentée par les flèches F1 sur la ). Les gaz pompés entrent par l’orifice d’aspiration 6, traversent d’abord l’étage turbomoléculaire 4, puis l’étage moléculaire 5, pour être ensuite évacués vers un orifice de refoulement 7 de la pompe à vide 1 turbomoléculaire. En fonctionnement, l’orifice de refoulement 7 est raccordé à un pompage primaire. Dans l’étage turbomoléculaire 4, le rotor 3 comporte au moins deux étages de pales 9 et le stator 2 comporte au moins un étage d’ailettes 10. Les étages de pales 9 et d’ailettes 10 se succèdent axialement le long de l’axe de rotation I-I du rotor 3 dans l’étage turbomoléculaire 4. Le rotor 3 comporte par exemple plus de quatre étages de pales 9, comme entre quatre et douze étages de pales 9 (sept dans l’exemple illustré sur la ). Chaque étage de pales 9 du rotor 3 comporte des pales inclinées qui partent en direction sensiblement radiale d’un moyeu 11 du rotor 3 fixé à un arbre d’entraînement 12 de la pompe à vide 1, par exemple par vissage. Les pales sont réparties régulièrement en périphérie du moyeu 11. Chaque étage d’ailettes 10 du stator 2 comporte une couronne de laquelle partent, en direction sensiblement radiale, des ailettes inclinées, réparties régulièrement sur le pourtour intérieur de la couronne. Les ailettes d’un étage d’ailettes 10 du stator 2 viennent s’engager entre les pales de deux étages de pales 9 du rotor 3 successifs. Les pales 9 du rotor 3 et les ailettes 10 du stator 2 sont inclinées pour guider les molécules de gaz pompés vers l’étage moléculaire 5. Le stator 2 comporte une partie statorique turbomoléculaire 20 recevant les au moins deux étages d’ailettes 10. Cette partie statorique turbomoléculaire 20 est ouverte à une extrémité sur l’orifice d’aspiration 6 de la pompe à vide 1. Elle peut comporter une bride annulaire d’entrée 8 entourant l’orifice d’aspiration 6 pour raccorder la pompe à vide 1 à une enceinte dont on souhaite abaisser la pression. Ici, dans l’étage moléculaire 5, le rotor 3 comporte en outre une jupe cylindrique 13, dite jupe Holweck, en aval des au moins deux étages de pales 9, formée par un cylindre lisse, qui tourne en regard d’une douille 22 du stator 2, dit stator Holweck, fixée à la partie statorique turbomoléculaire 20 et dans laquelle sont ménagées des rainures hélicoïdales 14. Les rainures hélicoïdales 14 sont agencées les unes au-dessus des autres. Il y a par exemple entre trois et dix rainures hélicoïdales 14, telle que six. Les rainures hélicoïdales 14 du stator 2 permettent de comprimer et guider les gaz pompés vers un refoulement de la pompe à vide 1 ménagé dans la douille 22 et débouchant par l’orifice de refoulement 7. La partie statorique turbomoléculaire 20 et la douille 22 se succèdent axialement le long de l’axe de rotation I-I du rotor 3. La surface externe de la partie statorique turbomoléculaire 20 et de la douille 22 forme l’enveloppe périphérique 19 de la pompe à vide 1 et présente une forme générale cylindrique. Le rotor 3 comporte en outre un bol interne 15, coaxial à l’axe de rotation I-I, formé sous la jupe 13 et agencé en vis-à-vis d’une cloche 17 du stator 2, dont une embase est fixée à la douille 22, la cloche 17 saillant sous le rotor 3. En fonctionnement, le rotor 3 tourne dans le stator 2 sans contact entre le bol interne 15 et la cloche 17. Le rotor 3 peut être réalisé d’une seule pièce (monobloc) ou il peut être un assemblage de plusieurs pièces. Il est par exemple réalisé en matériau aluminium (ou alliage d’aluminium) et/ou en nickel. Il peut présenter un revêtement, tel que du nickel, notamment pour mieux résister à la corrosion. Il est par exemple réalisé en aluminium nickelé. Le rotor 3 est entraîné en rotation dans le stator 2 par un moteur 16 de la pompe à vide 1. Le moteur 16 est par exemple agencé dans la cloche 17 du stator 2, elle-même agencée sous le bol interne 15 du rotor 3, l’arbre d’entraînement 12 traversant la cloche 17 du stator 2. Le rotor 3 est guidé latéralement et axialement par des paliers 18 magnétiques ou mécaniques supportant l’arbre d’entraînement 12 du rotor 3, situés dans le stator 2. Il y a par exemple des premiers paliers 18 supportant et guidant une première extrémité de l’arbre d’entraînement 12 dans l’embase de la cloche 17 du stator 2 et des seconds paliers 18 supportant et guidant une deuxième extrémité de l’arbre d’entraînement 12 agencés au sommet de la cloche 17. D’autres composants électriques ou électroniques peuvent être reçus dans la cloche 17 du stator 2, comme des capteurs de position. La pompe à vide 1 comporte un dispositif de chauffage 21 configuré pour chauffer le corps du stator 2, en particulier la douille 22, par exemple à une température comprise entre 120°C et 200°C, telle que 150°C, par exemple au moyen d’une ou plusieurs cartouches chauffantes ou résistances électriques reçues dans le corps de la douille 22. La pompe à vide 1 comporte en outre un dispositif d’isolation thermique 30 entourant l’enveloppe périphérique 19 du stator 2. Le dispositif d’isolation thermique 30 comporte au moins une couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 enroulée autour de l’enveloppe périphérique 19 du stator 2 et une couche isolante externe 36 entourant la au moins une couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 et l’enveloppe périphérique 19 du stator 2, la au moins une couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 étant interposée entre l’enveloppe périphérique 19 du stator 2 et la couche isolante externe 36. La couche isolante externe 36 entoure la au moins une couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 et l’enveloppe périphérique 19 du stator 2 ici sur la hauteur (dans la direction axiale) de la douille 22 et de la partie statorique turbomoléculaire 20. La couche isolante externe 36 recouvre ainsi la partie chauffée de la pompe à vide 1 de haut en bas. La au moins une couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 et/ou la couche isolante externe 36 comportent par exemple respectivement une mousse souple et une feuille étanche et/ou réflectrice, tel qu’une feuille aluminium, recouvrant une face de la mousse souple. La mousse est par exemple en matériau synthétique alvéolaire, comme en polymère, tel qu’en polyéther. La mousse forme un bon isolant thermique et la feuille aluminium assure l’étanchéité de la mousse et forme un écran thermique. L’épaisseur de la au moins une couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 est par exemple comprise entre et 5mm et 25mm, tel que 15mm. L’épaisseur des différentes couches isolantes intercalaires 32, 33, 34 superposées peut être identique ou différente, notamment pour adapter le dispositif d’isolation thermique 30 au volume disponible. L’épaisseur de la au moins une couche isolante externe 36 peut être inférieure à l’épaisseur de la couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34, comme au moins deux fois inférieure. La couche isolante externe 36 peut être également formée d’une mousse souple et d’une feuille aluminium. Le dispositif d’isolation thermique 30 peut comporter une coque semi-rigide ou rigide entourant la couche isolante externe 36, telle qu’une pièce en plastique, par exemple cintrée sur la couche isolante externe 36. Chaque couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 et la couche isolante externe 36 sont respectivement maintenues enroulées par au moins un élément de retenue 35 respectif, et de préférence plusieurs, ici quatre, joignant les bordures d’extrémité respectives entre elles le long d’une ligne de fermeture 31a, 32a, 33a, 34a, 36a (visible pour la couche isolante externe 36 sur la ). Les éléments de retenue 35 sont par exemple des bandes adhésives ou des rubans auto-agrippant fixés sur les feuilles aluminium. Les différentes couches isolantes 31, 32, 33, 34, 36 peuvent donc maintenues entre elles indépendamment les unes des autres. La couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 et la couche isolante externe sont par exemple enroulées sur un tour respectif autour de l’enveloppe périphérique 19 du stator 2 ( ). Alternativement, au moins une couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 fait au moins deux fois le tour de l’enveloppe périphérique 19 avant que les bordures d’extrémité de la couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 soient maintenues entre elles par au moins un élément de retenue 35, de sorte que le deuxième tour de la couche isolante intermédiaire 31, 32, 33, 34 se superpose au premier tour de la couche isolante intermédiaire 31, 32, 33, 34. La pompe à vide 1 comporte par exemple une seule couche isolante intercalaire faisant plusieurs fois le tour de l’enveloppe périphérique 19, tel qu’entre deux et quatre fois, avant d’être fixée par les éléments de retenue 35. Les bordures d’extrémité des couches isolantes intercalaires 31, 32, 33, 34 et de la couche isolante externe 36 se rejoignent le long d’une ligne de fermeture 31a, 32a, 33a, 34a, 36a respective sauf à l’endroit d’orifices respectifs éventuellement formés par ces bordures. Les bordures d’extrémité présentent des formes complémentaires formant des orifices et/ou des lignes de fermeture 31a, 32a, 33a, 34a, 36a droites, courbes, en créneau, zig-zag ou autre, formées par exemple par la juxtaposition bout à bout des bordures d’extrémité. Selon un autre exemple, les bordures d’extrémité peuvent présenter des formes complémentaires formant des lignes de fermeture par emboitement, par exemple via un assemblage à tenon et mortaise, à queue d‘aronde, à languette ou autre. Les positionnements angulaires des lignes de fermeture 32a, 33a, 34a des couches isolantes intercalaires 32, 33, 34 superposées peuvent être distincts. Autrement dit, on peut prévoir que les lignes de fermeture 32a, 33a, 34a de deux couches isolantes intercalaires 32, 33, 34 adjacentes radialement ne se superposent pas. La non-superposition des lignes de fermeture 32a, 33a, 34a permet d’éviter les points faibles thermiques. Les couches isolantes intercalaires 32, 33, 34 superposées peuvent être en contact entre elles, avec l’enveloppe périphérique 19 et avec la couche isolante externe 36. Le nombre de couches isolantes intercalaires 31, 32, 33, 34 n’est pas limitatif. Le dispositif d’isolation thermique 30 comporte par exemple au moins une première et une deuxième couches isolantes intercalaires superposées 32, 33. Les bordures d’extrémité de la première couche isolante 32 peuvent se rejoindre le long d’une ligne de fermeture 32a dont le positionnement angulaire est distinct (différent) de la ligne de fermeture 33a joignant les bordures d’extrémité de la deuxième couche isolante intercalaire 33. Les lignes de fermeture 32a, 33a de la première et de la deuxième couche isolante intercalaire 32, 33 sont par exemple diamétralement opposées ( ). Le dispositif d’isolation thermique 30 peut comporter au moins trois couches isolantes intercalaires superposées 32, 33, 34, une première couche isolante intercalaire 32 enroulée autour de l’enveloppe périphérique 19, ici autour de la douille 22, une deuxième couche isolante intercalaire 33 enroulée autour et sur la première couche isolante intercalaire 32 et une troisième couche isolante intercalaire 34 enroulée autour et sur la deuxième couche isolante intercalaire 32 (figures 1, 3 et 4). Etant donné que les couches isolantes intercalaires 32, 33, 34 sont superposées, la longueur à plat de la deuxième couche isolante intercalaire 33 est plus grande que celle de la première couche isolante intercalaire 32, la longueur à plat de la troisième couche isolante intercalaire 34 est plus grande que celle de la deuxième couche isolante intercalaire 33, et ainsi de suite ( ). Les bordures d’extrémité de la première couche et troisième couches isolantes intercalaires 32, 34 peuvent se rejoindre le long d’une ligne de fermeture 32a, 34a respective dont le positionnement angulaire est distinct (différent) de la ligne de fermeture 33a joignant les bordures d’extrémité de la deuxième couche isolante intercalaire 33. Les lignes de fermeture 32a, 34a de la première et troisième couche isolante intercalaire 32, 34 sont par exemple diamétralement opposées à la ligne de fermeture 33a de la deuxième couche isolante intercalaire 33 ( ). Les bordures d’extrémité d’au moins une couche isolante intercalaire 32, 34 peuvent présenter des formes complémentaires formant au moins un orifice 37, par exemple circulaire, dans une ligne de fermeture 32a, 34a ( ). Un orifice 37 correspondant est ménagé dans la deuxième couche isolante intercalaire 33, par exemple en son milieu pour ne pas superposer les lignes de fermetures 32a, 33a, 34a des couches isolantes intercalaires 32, 33, 34 adjacentes. Un orifice correspondant 40 peut également être ménagé dans la couche isolante externe 36 (figures 2A, 2B). Cet orifice 37 peut permettre le passage de l’orifice de refoulement 7 formé dans la douille 2. D’autres dégagements 38, 39 peuvent ainsi être réalisés par simple découpe dans les différentes couches isolantes intercalaires 32, 33, 34 superposées et dans la couche isolante externe 36 pour permettre par exemple le passage de vannes, tuyaux ou câbles (figures 3 et 4). Les couches isolantes intercalaires 31, 32, 33, 34 peuvent en outre couvrir des zones séparées en hauteur et le nombre de couches isolantes intercalaires 31, 32, 33, 34 peut varier le long de l’enveloppe périphérique 19 du stator 2. Le dispositif d’isolation thermique 30 comporte par exemple au moins une couche isolante intercalaire 31 entourant une partie de la partie statorique turbomoléculaire 20 et au moins une couche isolante intercalaire 32, 33, 34 entourant une partie de la douille 22. Le nombre de couches isolantes intercalaires 32, 33, 34, agencées autour de la douille 22, ici trois, peut être supérieur au nombre de couches isolantes intercalaires 31 agencées autour de la partie statorique turbomoléculaire 20, ici une seule. Un espace plus faible peut être laissé au niveau de la fixation entre la partie statorique turbomoléculaire 20 et la douille 22, cette zone pouvant être dépourvue de couche isolante intercalaire entre l’enveloppe périphérique 19 et la couche isolante externe 36. Les couches isolantes intercalaires 31, 32, 33, 34 peuvent être bloquées axialement par au moins une butée axiale 22a, 20a, par exemple annulaire, par exemple fixée ou formée dans le stator 2, par exemple dans la douille 22 et/ou la partie statorique turbomoléculaire 20 ( ). Alternativement, les couches isolantes intercalaires 31, 32, 33, 34 peuvent être fixées au stator 2 par des éléments de fixation réalisés en matériau non conducteur thermique, tel que des vis ou tiges en plastique. La couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 et/ou la couche isolante externe 36 sont ainsi faciles à assembler et à adapter aux différentes options possibles de la pompe à vide 1 par simple découpe dans des panneaux isolants à plats. On profite de la forme générale cylindrique de l’enveloppe périphérique 19 du stator 2 de la pompe à vide 1 pour enrouler une ou plusieurs de ces couches isolantes flexibles prédécoupées autour du corps du stator 2 chauffé. Cette solution est peu coûteuse, inférieure au coût de la ceinture isolante cousue de l’art antérieur. De plus, le dispositif d’isolation thermique 30 est modulable, car il permet d’adapter facilement le niveau d’isolation thermique à un besoin spécifique. Il est notamment possible d’augmenter le nombre de couches isolantes intercalaires superposées pour réduire les pertes thermiques, en particulier si l’encombrement le permet autour de la pompe à vide 1. Il est facile et peu coûteux d’adapter le dispositif d’isolation thermique en déplaçant/créant/supprimant des découpes dans les différentes couches isolantes intercalaires en fonction des options de la pompe à vide 1. Également, l’accès autour de la pompe à vide 1 est simplifié pour les opérateurs de maintenance car le dispositif d’isolation thermique 30 peut facilement être compressé à la main. Par ailleurs, ce dispositif d’isolation thermique 30 forme un dispositif de protection mécanique pour la pompe à vide 1, utile notamment pour son transport. Pompe à vide (1) turbomoléculaire comportant : - un stator (2), - un rotor (3) configuré pour tourner dans le stator (2), - un dispositif de chauffage (21) configuré pour chauffer le stator (2), - un dispositif d’isolation thermique (30) entourant une enveloppe périphérique (19) du stator (2), caractérisée en ce que le dispositif d’isolation thermique (30) comporte : - au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) enroulée autour de l’enveloppe périphérique (19) du stator (2), et - une couche isolante externe (36) entourant la au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) et l’enveloppe périphérique (19) du stator (2), la au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) étant interposée entre l’enveloppe périphérique (19) du stator (2) et la couche isolante externe (36), la couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) et la couche isolante externe (36) étant respectivement maintenues enroulées par au moins un élément de retenue (35) respectif joignant leurs bordures d’extrémité respectives. Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que la au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) et/ou la couche isolante externe (36) comporte une mousse souple et une feuille aluminium recouvrant une face de la mousse souple. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le dispositif d’isolation thermique (30) comporte au moins une première et une deuxième couches isolantes intercalaires (32, 33, 34) superposées. Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que les bordures d’extrémité des couches isolantes intercalaires (32, 33, 34) superposées adjacentes se rejoignent le long d’une ligne de fermeture (32a, 33a, 34a) respective dont les positionnements angulaires sont distincts. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 3 ou 4, caractérisée en ce que les bordures d’extrémité d’au moins une couche isolante intercalaire (32, 34) présentent des formes complémentaires formant au moins un orifice (37) dans une ligne de fermeture (32a, 34a). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le stator (2) comporte : - une partie statorique turbomoléculaire (20) recevant au moins un étage d’ailettes (10) du stator (2) et dans laquelle un étage de pales (9) du rotor (3) est susceptible de tourner, et - une douille (22) fixée à la partie statorique turbomoléculaire (20) et dans laquelle une jupe cylindrique (13) du rotor (3) est susceptible de tourner. Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que le dispositif d’isolation thermique (30) comporte au moins une couche isolante intercalaire (31) entourant au moins une partie de la partie statorique turbomoléculaire (20) et au moins une couche isolante intercalaire (32, 33, 34) entourant au moins une partie de la douille (22). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 6 ou 7, caractérisée en ce que la couche isolante externe (36) entoure la au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) et l’enveloppe périphérique (19) du stator (2) sur la hauteur de la douille (22) et de la partie statorique turbomoléculaire (20). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 7 ou 8, caractérisée en ce que le dispositif d’isolation thermique (30) comporte un nombre de couches isolantes intercalaires (32, 33, 34) agencées autour de la douille (22) supérieur au nombre de couches isolantes intercalaires (31) agencées autour de la partie statorique turbomoléculaire (20). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que l’épaisseur de la au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) est comprise entre 5mm et 25mm, tel que 15mm. Kit d’isolation pour pompe à vide (1) turbomoléculaire comportant un stator (2), un rotor (3) configuré pour tourner dans le stator (2), un dispositif de chauffage (21) configuré pour chauffer le stator (2), caractérisé en ce que le kit d’isolation comporte un dispositif d’isolation thermique (30) destiné à entourer une enveloppe périphérique (19) du stator (2), le dispositif d’isolation thermique (30) comportant : - au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) destinée à être enroulée autour de l’enveloppe périphérique (19) du stator (2), et - une couche isolante externe (36) destinée à entourer la au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) et l’enveloppe périphérique (19) du stator (2), la au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) étant interposée entre l’enveloppe périphérique (19) du stator (2) et la couche isolante externe (36), la couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) et la couche isolante externe (36) étant respectivement destinées à être maintenues enroulées par au moins un élément de retenue (35) respectif joignant leurs bordures d’extrémité respectives.