Brevet FR3143762A1 — publié le 20240621

Procédé de détection d’une couche de dépôt et pompe à vide turbomoléculaire associée L’invention concerne un procédé de détection d’une couche de dépôt dans une pompe (1) à vide turbomoléculaire comprenant un stator (3), un rotor (5), et au moins un capteur de température (17). Le procédé comporte les étapes suivantes : le capteur de température (17) mesure et transmet une température représentative de la température du rotor (5) à l’unité de contrôle (19), l’unité de contrôle (19) calcule une dérivée de la température par rapport au temps et la compare à un seuil prédéfini, lorsque la valeur de ladite dérivée calculée est supérieure ou égale au seuil prédéfini, l’unité de contrôle (19) détecte un échauffement anormal représentatif d’une couche de dépôt et émet au moins un signal d’alerte et/ou de commande d’arrêt de ladite pompe (1). L’invention concerne une pompe à vide turbomoléculaire correspondante. Figure pour l’abrégé : Fig. 1 Procédé de détection d’une couche de dépôt et pompe à vide turbomoléculaire associée La présente invention concerne une pompe à vide turbomoléculaire. L’invention concerne en particulier un procédé de détection d’une couche de dépôt dans une telle pompe à vide turbomoléculaire. Arrière-plan technique La génération d’un vide poussé dans une enceinte nécessite l’utilisation de pompes à vide turbomoléculaires composées d’un stator dans lequel un rotor est entraîné en rotation rapide, par exemple une rotation à plus de trente mille tours par minute. Dans certains procédés dans lesquels les pompes à vide sont utilisées, tels que les procédés de fabrication de semi-conducteurs ou LED, une couche de dépôt peut se former dans les pompes à vide. La couche de dépôt peut échauffer le rotor par frottement, ce qui peut générer un fluage de ce dernier puis une fissure éventuelle. Il est connu de chauffer le stator et les canalisations pour éviter la condensation de produits de réaction dans les pompes. La limitation de température en-deçà des températures admissibles par le rotor permet de réduire la formation de dépôts dans la pompe sans toutefois l’empêcher totalement. Des maintenances régulières doivent donc être programmées pour nettoyer fréquemment la pompe à vide. Ces maintenances sont cependant contraires aux impératifs de cadence de production. On cherche par conséquent à surveiller la formation de dépôts dans les pompes à vide afin d’espacer le plus possible les intervalles entre les maintenances. Une des difficultés cependant est qu’il n’est pas possible d’observer l’intérieur des pompes à vide sans devoir les arrêter pour les démonter en tout ou partie. De plus, dans certaines applications, l’exposition de l’intérieur de la pompe à vide à l’air libre peut être dangereux. Plusieurs technologies de capteurs connues permettent de surveiller ces dépôts et leur croissance dans les pompes à vide. Dans le cas des pompes à vide turbomoléculaires, une méthode connue consiste à mesurer le courant du moteur ou les positions du rotor à lévitation magnétique afin de déterminer la présence éventuelle de sous-produits. L'évolution du courant du moteur ou des positions du rotor à lévitation magnétique peut fournir des informations sur la présence de dépôts. Cette stratégie peut cependant ne pas être suffisamment précise notamment parce que l’augmentation du courant est généralement détectée bien trop tard, seulement quelques secondes ou fractions de secondes avant le crash, ce qui peut ne pas permettre d’intervenir à temps. Un des buts de la présente invention est de proposer une alternative permettant de détecter rapidement la formation d’une couche de dépôt dans une pompe turbomoléculaire de façon à prévenir lorsqu’un nettoyage de la pompe turbomoléculaire est nécessaire. À cet effet, l’invention a pour objet un procédé de détection d’une couche de dépôt dans une pompe à vide turbomoléculaire comprenant un stator et un rotor configuré pour tourner dans le stator, et au moins un capteur de température agencé dans le stator de manière à mesurer une température. Il peut s’agir d’une température représentative de la température du rotor, et notamment de la température du rotor. L’au moins un capteur de température est configuré pour transmettre au moins une mesure de ladite température à une unité de contrôle de ladite pompe. Selon l’invention, ledit procédé comporte les étapes suivantes : l’au moins un capteur de température mesure ladite température et transmet la mesure de ladite température à l’unité de contrôle, à partir de mesures de ladite température transmises par l’au moins un capteur de température, l’unité de contrôle calcule une dérivée de la température par rapport au temps, l’unité de contrôle compare la valeur de ladite dérivée calculée à un seuil prédéfini, lorsque la valeur de ladite dérivée calculée est supérieure ou égale au seuil prédéfini, l’unité de contrôle détecte un échauffement anormal représentatif d’une couche de dépôt et émet au moins un signal d’alerte et/ou au moins un signal de commande d’arrêt de ladite pompe. La couche de dépôt peut par exemple être formée sur le stator, notamment sur une partie du stator en regard d’une jupe cylindrique du rotor, telle qu’une jupe Holweck. Il peut s’agir notamment d’une partie basse du stator selon un axe de rotation du rotor, la partie haute étant située du côté d’un orifice d’aspiration de ladite pompe. Ledit procédé peut en outre comporter une ou plusieurs caractéristiques suivantes décrites ci-après, prises séparément ou en combinaison. Ladite pompe peut comporter des paliers magnétiques configurés pour guider en rotation le rotor autour de l’axe de rotation. L’unité de contrôle peut commander les paliers magnétiques pour désaxer l’axe de rotation pendant une durée prédéfinie selon au moins une direction perpendiculaire à l’axe de rotation ou selon une trajectoire circulaire. On entend par « désaxer », le fait de décaler/déplacer l’axe de rotation parallèlement à sa position initiale. La position initiale est centrale ou sensiblement centrale entre les paliers magnétiques. L’étape de mesure de température peut être mise en œuvre au moins lorsque l’axe de rotation est désaxé. À la fin de la commande de désaxage, l’unité de contrôle peut commander les paliers magnétiques de sorte que l’axe de rotation revienne à la position initiale, centrale ou sensiblement centrale entre les paliers magnétiques. Le signal d’alerte et/ou le signal de commande d’arrêt peut être généré au niveau de ladite pompe. L’unité de contrôle peut transmettre le signal d’alerte et/ou le signal de commande d’arrêt à au moins un équipement relié à ladite pompe. Ledit signal peut être numérique et/ou analogique. Ledit signal généré au niveau de ladite pompe peut être un signal visuel et/ou sonore. Le seuil prédéfini peut être inférieur ou égal à 2°C/min. Le seuil prédéfini peut notamment être compris entre 0,3°C/min et 2°C/min. Selon un mode de réalisation, le seuil prédéfini peut être fixe. À titre d’exemple, le seuil prédéfini fixe peut être 2°C/min. Selon un mode de réalisation, le seuil prédéfini peut être variable et fonction d’un courant moteur consommé par un moteur de ladite pompe configuré pour entraîner le rotor en rotation. Selon encore un autre mode de réalisation, le seuil prédéfini peut être fixe au moins lors d’une première itération du procédé, et le seuil prédéfini peut être variable lors d’au moins une itération suivante du procédé. Le seuil prédéfini fixe peut être supérieur au seuil prédéfini variable. Le seuil prédéfini variable peut être calculé selon la formule : , avec a correspondant à un premier coefficient, b correspondant à un deuxième coefficient, Imoteur correspondant au courant moteur, Imax correspondant à la valeur maximale du courant moteur. Ledit seuil variable peut être choisi dans au moins une plage de seuil prédéfinie. Le premier coefficient peut être égal à la borne minimale de la plage de seuil. Le deuxième coefficient peut être égal à la borne maximale de la plage de seuil moins le premier coefficient. Le seuil variable peut dépendre en outre d’au moins un critère parmi une nature des gaz pompés et/ou la température représentative de la température du rotor à l’instant où ladite dérivée est calculée. Le premier coefficient peut être diminué lorsque ladite température mesurée à l’instant où ladite dérivée est calculée, est supérieure ou égale à une température prédéterminée. L’invention concerne également une pompe à vide turbomoléculaire configurée pour mettre en œuvre au moins en partie le procédé de détection tel que défini précédemment. Ladite pompe comprend un stator, un rotor configuré pour tourner dans le stator, au moins un capteur de température agencé dans le stator, une unité de contrôle. L’au moins un capteur de température est configuré pour mesurer une température. Il peut s’agir d’une température représentative de la température du rotor, et notamment de la température du rotor. Ladite pompe peut être une pompe à paliers magnétiques. L’au moins un capteur de température est configuré pour transmettre la mesure de ladite température à l’unité de contrôle. L’unité de contrôle comprend au moins un élément de traitement configuré pour : calculer, à partir de mesures de ladite température transmises par l’au moins un capteur de température, une dérivée de la température par rapport au temps, comparer la valeur de ladite dérivée calculée à un seuil prédéfini, et lorsque la valeur de ladite dérivée calculée est supérieure ou égale au seuil prédéfini, détecter un échauffement anormal représentatif d’une couche de dépôt et émettre au moins un signal d’alerte et/ou au moins un signal de commande d’arrêt de ladite pompe. Le capteur de température peut être choisi parmi un capteur infra-rouge, un capteur magnétothermique, une sonde à coefficient de température positif. L’unité de contrôle peut être agencée en totalité ou en partie, interne ou externe, à un carter de ladite pompe. D’autres avantages et caractéristiques de l’invention apparaîtront plus clairement à la lecture de la description suivante donnée à titre d’exemple illustratif et non limitatif, et des dessins annexés parmi lesquels : montre une vue en coupe axiale d’une pompe à vide turbomoléculaire selon un exemple de réalisation. est un graphe représentant l’évolution en fonction du temps de la température du rotor et de la dérivée de la température par rapport au temps. Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence. Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s’appliquent uniquement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d’autres réalisations. Dans la description, on peut indexer certains éléments, par exemple premier élément ou deuxième élément. Dans ce cas, il s’agit d’un simple indexage pour différencier et dénommer des éléments proches mais non identiques. Cette indexation n’implique pas une priorité d’un élément par rapport à un autre et on peut aisément interchanger de telles dénominations sans sortir du cadre de la présente invention. Cette indexation n’implique pas non plus un ordre dans le temps. Description détaillée Pompe à vide turbomoléculaire La illustre un exemple de réalisation d’une pompe à vide 1 turbomoléculaire. Cette pompe à vide 1 turbomoléculaire est désignée par la suite pompe 1. Selon un mode de réalisation, la pompe 1 peut être une pompe à lévitation magnétique (pompe Maglev). La pompe 1 comporte un stator 3 dans lequel un rotor 5 est configuré pour tourner autour d’un axe de rotation I-I. La rotation est à grande vitesse par exemple à plus de trente mille tours par minute. En fonctionnement, les gaz pompés entrent par un orifice d’aspiration 7, traversent des étages de la pompe 1, pour être ensuite évacués vers un orifice de refoulement 9 de la pompe 1. L’orifice de refoulement 9 peut être destiné à être raccordé à un pompage primaire. Le rotor 5 peut comporter un bol interne 11 centré autour de l’axe de rotation I-I et présentant au moins une surface agencée en vis-à-vis d’une cloche 13 du stator 3. Selon l’exemple représenté, la cloche 13 est située sous le bol interne 11 selon l’axe de rotation I-I et l’orientation de la pompe 1 telle que représentée sur la . En fonctionnement, le rotor 5 tourne dans le stator 3 sans contact entre le bol interne 11 et la cloche 13. Le rotor 5 peut comporter en outre une jupe par exemple cylindrique, notamment une jupe Holweck 14. La jupe Holweck 14 peut être formée par un cylindre lisse. En fonctionnement, la jupe cylindrique ou jupe Holweck 14 peut tourner en regard de rainures par exemple hélicoïdales du stator 3. Les rainures hélicoïdales du stator 3 permettent de comprimer et guider les gaz pompés vers l’orifice de refoulement 9. Sous le rotor 5, le bol interne 11 agencé en vis-à-vis de la cloche 13 du stator 2 est alors également formé par l’intérieur de la jupe cylindrique ou jupe Holweck 14. Le rotor 5 peut être fixé à un arbre d’entrainement 15 entraîné en rotation dans le stator 3 par un moteur interne de la pompe 1. L’arbre d’entrainement 15 traverse par exemple la cloche 13 du stator 3. Le rotor 5 peut être guidé latéralement et axialement par des paliers 16 magnétiques ou mécaniques supportant l’arbre d’entrainement 15 du rotor 5, et situés dans le stator 3. Dans le cas d’une pompe à lévitation magnétique (pompe Maglev), des paliers 16 magnétiques peuvent guider le rotor 5 en rotation. Ces paliers 16 magnétiques permettent de contrôler la position de l’axe de rotation I-I du rotor 5. Il est par exemple possible de maintenir l’axe de rotation I-I au centre ou sensiblement au centre des paliers 16 magnétiques. Il est également possible de désaxer l’axe de rotation I-I dans une direction donnée, par exemple en modifiant une consigne de position d’asservissement de l’axe de rotation I-I. En se référant également à la , la pompe 1 peut comporter au moins un capteur de température 17. Le capteur de température 17 est agencé de manière à mesurer au moins une température T°. Il peut s’agir de la température du rotor 5 ou d’une température représentative de la température du rotor 5. Le capteur de température 17 peut éventuellement mesurer une température du stator 3 et/ou d’au moins un autre élément de la pompe 1. À titre d’exemple, il peut s’agir d’un capteur infra-rouge, ou d’un capteur magnétothermique, ou encore d’une sonde à coefficient de température positif. Le capteur de température 17 peut être agencé dans le stator 3. Il peut notamment être agencé dans une partie basse de la pompe 1 selon l’orientation de la , plus précisément : vers le refoulement des gaz où les pressions sont les plus élevées et donc les risques de dépôt les plus importants. Selon un exemple de réalisation particulier, le capteur de température 17 peut être agencé au niveau de la cloche 13 du stator 3 en vis-à-vis du bol interne 11 du rotor 5. En particulier, le capteur de température 17 peut être agencé, par exemple dans une partie basse du stator 3, de manière à mesurer une température représentative de la température de la partie basse de la jupe Holweck 14. Un seul capteur de température 17 est représenté dans l’exemple de la et décrit dans la suite. Bien entendu, plusieurs capteurs de température peuvent être prévus pour mesure la température T° du rotor 5. Le capteur de température 17 peut transmettre une ou plusieurs mesures de température T° à une unité de contrôle 19. Le capteur de température 17 peut être un capteur déjà présent dans la pompe 1 et dont les mesures de température transmises à l’unité de contrôle 19 sont notamment utilisées pour contrôler la température de la pompe 1 via des éléments chauffants par exemple résistifs ou radiatifs tels qu’une ceinture chauffante ou une cartouche chauffante. Il peut aussi s’agir d’un capteur de température dont les mesures de température sont utilisées pour calculer un fluage du rotor. L’unité de contrôle 19 peut être agencée en totalité ou en partie, interne ou externe, à un carter de la pompe 1. Dans l’exemple illustré, l’unité de contrôle 19 est reçue à l’intérieur du stator 3 de la pompe 1. Cet agencement n’est pas limitatif. L’unité de contrôle 19 peut recevoir la ou les mesures de température T° transmises par le capteur de température 17. L’unité de contrôle 19 peut calculer, à partir de mesures de température T° transmises par le capteur de température 17, une dérivée de la température par rapport au temps . La dérivée de la température par rapport au temps permet de déduire une puissance thermique du rotor 5. En particulier, la dérivée de la température par rapport au temps multipliée par une inertie thermique du rotor 5 correspond à la puissance thermique du rotor 5. Lorsqu’une couche de dépôt se forme dans la pompe à vide 1, cette couche de dépôt peut échauffer le rotor 5 par friction. Ainsi, en cas de friction, la puissance thermique est en dehors d’une plage de fonctionnement normal. Plus précisément, la puissance thermique dépasse une limite prédéfinie. Ceci se traduit par la dérivée de la température par rapport au temps dépassant un seuil s, s(Imoteur) prédéfini. L’unité de contrôle 19 peut comparer la valeur de la dérivée calculée au seuil s, s(Imoteur) prédéfini. Lorsque la valeur de la dérivée calculée est supérieure ou égale au seuil s, s(Imoteur) prédéfini, l’unité de contrôle 19 peut détecter un échauffement anormal représentatif d’une couche de dépôt. La dérivée permettant de déterminer l’ampleur de la variation de la température en fonction du temps, le calcul de la dérivée permet ainsi de détecter un tel échauffement rapidement et de façon claire. Par le calcul de la dérivée, les variations de température sont amplifiées et détectables de manière plus franche. L’unité de contrôle 19 peut émettre au moins un signal d’alerte et/ou au moins un signal de commande d’arrêt de la pompe 1. L’unité de contrôle 19 peut comprendre un ou plusieurs éléments de traitement permettant de réaliser une ou plusieurs des actions de réception, calcul, comparaison, détection, et émission décrites ci-dessus. Il peut s’agir d’un ordinateur, d’un processeur, d’un microcontrôleur, ou toute autre unité permettant de réaliser ces opérations. L’unité de contrôle 19 peut commander les paliers 16 magnétiques pour maintenir l’axe de rotation I-I au centre ou sensiblement au centre des paliers 16 magnétiques. L’unité de contrôle 19 peut également contrôler les paliers 16 magnétiques pour désaxer l’axe de rotation I-I dans une direction donnée en modifiant la consigne de position d’asservissement de l’axe de rotation I-I. Un tel contrôle peut être avantageux notamment dans le cas d’une pompe à lévitation magnétique (pompe Maglev), La pompe 1 est configurée pour mettre en œuvre au moins en partie un procédé de détection d’une couche de dépôt dans la pompe 1. Procédé de détection d’une couche de dépôt Le procédé de détection d’une couche de dépôt comporte les étapes décrites ci-après. Le capteur de température 17 peut mesurer la température T° du rotor 5 et transmettre la mesure ou les mesures de température T° à l’unité de contrôle 19. La courbe C1, en traits pleins sur la , montre un exemple d’évolution de la température T° du rotor 5 en fonction du temps t. Les mesures de température T° peuvent être transmises par le capteur de température 17 à l’unité de contrôle 19. La température T° du rotor 5 peut être mesurée de façon continue, lors du fonctionnement de la pompe 1. De manière alternative, la température T° du rotor 5 peut être mesurée de façon périodique, pendant des périodes dites, de contrôle. Il peut s’agir de périodes de contrôle prédéfinies et planifiées. En variante, une période de contrôle peut être initiée à la demande de l’utilisateur. Les périodes de contrôle sont avantageusement planifiées ou choisies par l’utilisateur lorsqu’il n’y a pas de flux gazeux. De telles périodes de contrôle sont notamment avantageuses dans le cas d’une pompe 1 sur paliers 16 magnétiques. Pendant ces périodes de contrôle, au moins une commande de désaxage de l’axe de rotation I-I du rotor 5 peut être envoyée aux paliers 16 magnétiques par l’unité de contrôle 19. Selon un mode de réalisation, le procédé peut comprendre au moins une étape préalable pour vérifier si au moins une condition est remplie avant de commander un désaxage. Il peut s’agir notamment d’une condition de température. En particulier, de façon non limitative, il peut être vérifié si la température T° du rotor 5 est stabilisée ou décroissante. La température T° du rotor 5 peut être considérée stabilisée si elle ne fluctue pas, et en particulier n’augmente pas d’un quantième de degré prédéfini sur une période déterminée. À titre d’exemple illustratif, la température T° du rotor 5 peut être considérée stabilisée si elle n’augmente pas de plus de 0,1° au cours des dix dernières minutes. D’autres conditions peuvent être vérifiées en variante ou en complément de la température T° du rotor 5 stabilisée ou décroissante, pour autoriser la commande de désaxage. Le désaxage de l’axe de rotation I-I du rotor 5 peut combler, par exemple, un jeu entre la jupe cylindrique du rotor 5 (telle qu’une jupe Holweck 14) et un dépôt éventuel sur le stator 3, notamment une partie du stator 3 en regard de la jupe cylindrique (jupe Holweck) 14. Il y aura alors une friction sur la jupe 14 du rotor 5 et un échauffement local peut se produire. La commande de désaxage peut être effectuée dans une seule direction donnée, cette direction étant perpendiculaire à l’axe de rotation I-I. En variante, la commande de désaxage peut être effectuée dans plusieurs directions, ou suivant une trajectoire circulaire. Lorsque l’axe de rotation I-I est désaxé, le capteur de température 17 peut mesurer la température T° du rotor 5 et transmettre la mesure ou les mesures de température T° à l’unité de contrôle 19. La durée de la commande de désaxage est prédéfinie et doit être suffisante pour permettre une mesure d’une évolution de la température T° du rotor 5, par exemple entre trois secondes et une minute, voire dix minutes, par direction. Une fois la commande de désaxage finie, l’unité de contrôle 19 peut commander les paliers 16 magnétiques de sorte que l’axe de rotation I-I revienne à sa position centrale ou sensiblement centrale. Le jeu mécanique est recréé, et la friction disparait. Il est ainsi possible de détecter un dépôt excessif dans la pompe 1 sans attendre que la friction continue impose un arrêt d’urgence de la pompe 1. Une simple maintenance de nettoyage de la pompe 1 doit simplement être programmée rapidement. Que la température T° du rotor 5 soit mesurée en continu ou pendant une période de contrôle, le procédé comporte les étapes suivantes. À partir de mesures de température T° reçues du capteur de température 17, l’unité de contrôle 19 peut calculer une dérivée de la température par rapport au temps . La courbe C2, en traits discontinus sur la figure 2, montre l’évolution de la dérivée de la température par rapport au temps en fonction du temps t. Selon un exemple de réalisation, la dérivée de la température par rapport au temps peut être calculée à des fréquences différentes, selon plusieurs bases de temps. Par exemple, la dérivée peut être calculée toutes les millisecondes, toutes les secondes, toutes les dix secondes, ou autre fréquence. Une moyenne de plusieurs dérivées calculées à différentes fréquences / bases de temps, peut être calculée. Dans la suite de la description, la valeur de la dérivée calculée se réfère à une dérivée de la température par rapport au temps calculée à un instant t ou à une moyenne de plusieurs dérivées. L’unité de contrôle 19 peut ensuite comparer la valeur de la dérivée calculée à un seuil prédéfini s, s(Imoteur). Le seuil s, s(Imoteur) peut être fixe ou en variante être variable. Il peut aussi être envisagé que le seuil prédéfini s soit fixe au moins lors d’une première itération du procédé, puis le seuil prédéfini s(Imoteur) peut être variable lors d’au moins une itération suivante du procédé. Dans ce cas, le seuil prédéfini s fixe est de préférence supérieur au seuil prédéfini s(Imoteur) variable. À titre d’exemple, le seuil s, s(Imoteur) peut être inférieur ou égal à 2°C/min. En particulier, lorsque le seuil s est fixe il peut être de 2°C/min. Lorsque le seuil s(Imoteur) est variable, la plage envisageable peut être variable. Par exemple le seuil variable s(Imoteur) peut être compris entre 0,3°C/min et 2°C/min. Lorsque le seuil s(Imoteur) est variable, il peut être fonction au moins d’un courant moteur. Il s’agit du courant consommé par le moteur de la pompe 1 entraînant en rotation le rotor 5. Le seuil prédéfini s(Imoteur) variable peut être calculé selon la formule (1) suivante : (1) . Dans cette formule, a correspond à un premier coefficient, b correspond à un deuxième coefficient, Imoteur correspond au courant moteur, Imax correspond à la valeur maximale du courant moteur. Le courant moteur est par exemple compris entre 0A et 10A. Le premier coefficient a peut correspondre à la valeur minimale de seuil envisageable, c'est-à-dire à la borne minimale de la plage de seuil. Selon l’exemple de plage précédent [0,3°C-2°C], la borne minimale étant 0,3°C, le premier coefficient a peut être égal à 0,3. Le deuxième coefficient b peut être choisi en fonction du premier coefficient a choisi et de sorte que lorsque le courant moteur Imoteur est à la valeur maximale Imax, la valeur du seuil s(Imax) soit maximale, c'est-à-dire égale à la borne maximale de la plage de seuil. Ainsi, lorsque le courant moteur Imoteur est à la valeur maximale Imax, la formule (1) devient : (1) . Le deuxième coefficient b peut alors se calculer selon la formule (2) suivante : (2) Ainsi, le deuxième coefficient b correspond à la borne maximale de la plage de seuil auquel on ôte le premier coefficient a. Selon l’exemple de plage précédent [0,3°C-2°C], la borne maximale est 2°C/min, et pour une valeur du premier coefficient a de 0,3, le deuxième coefficient b est égal à 1,7. Le seuil variable s(Imoteur) peut dépendre en outre d’un ou plusieurs autres critères. Il peut s’agir par exemple d’une nature des gaz pompés et/ou de la température T° du rotor 5 / représentative de la température du rotor 5, à l’instant t où la dérivée est calculée. En particulier, le premier coefficient a peut être augmenté ou diminué. L’incrémentation ou décrémentation du premier coefficient a peut être de l’ordre du dixième. Par exemple, plus la température du rotor 5 est haute plus le seuil s(Imoteur) peut baisser et/ou au moins le premier coefficient a peut être diminué. Notamment, au moins le premier coefficient a peut être réduit lorsque la température T° du rotor 5 / représentative de la température du rotor 5 mesurée à l’instant t où la dérivée est calculée augmente ou atteint une température prédéterminée. À l’inverse, le premier coefficient a peut être augmenté lorsque la température T° du rotor 5 du rotor 5 / représentative de la température du rotor 5, mesurée à l’instant t où la dérivée est calculée diminue ou passe en dessous de la température prédéterminée. Le deuxième coefficient b peut éventuellement également être modifié selon la température du rotor 5. À titre d’exemple illustratif et non limitatif, pour une température T° du rotor 5 à l’instant t où la dérivée est calculée inférieure à 130°C, par exemple de 100°C, le premier coefficient a peut être 0,3 comme précédemment développé. Selon un autre exemple, pour une température T° du rotor 5 à l’instant t où la dérivée est calculée égale ou supérieure à 130°C, le premier coefficient a peut être diminué par exemple à 0,2. En variante ou en complément de la prise en compte de la température T° du rotor 5, il est également envisageable d’adapter le seuil variable s(Imoteur), et notamment au moins le premier coefficient a, en fonction de la nature gaz pompés. Plus précisément, un gaz dit léger est très conducteur et permet d’améliorer le refroidissement du rotor 5, dans ce cas, le seuil variable s(Imoteur) ou le premier coefficient a peut être abaissé, par exemple d’un dixième. Les gaz dits légers sont des gaz plus légers que l’air, comme par exemple, l’hélium (symbole He), l’hydrogène (symbole H). Au contraire, dans le cas d’un gaz dit lourd, le seuil variable s(Imoteur) ou le premier coefficient a peut être augmenté, par exemple d’un dixième. Les gaz dits lourds sont des gaz plus lourds que l’air, comme par exemple le bromure d’hydrogène (symbole HBr). Par ailleurs, en fonction des résultats de comparaison de la valeur de la dérivée calculée au seuil prédéfini s, s(Imoteur), l’unité de contrôle 19 peut détecter ou non un échauffement du rotor 5. Notamment lorsque la valeur de la dérivée calculée est supérieure ou égale au seuil prédéfini s, s(Imoteur), l’unité de contrôle 19 peut détecter un échauffement anormal représentatif d’une couche de dépôt. Lorsqu’un tel échauffement est détecté lors d’un contrôle en continu, l’unité de contrôle 19 peut émettre au moins un signal d’alerte et/ou au moins un signal de commande d’arrêt de la pompe 1. Alternativement, si la détection est effectuée lors d’une période de contrôle, avec un désaxage de l’axe de rotation I-I, l’unité de contrôle 19 peut émettre un signal d’alerte, n’impliquant pas d’arrêt immédiat, mais seulement une demande de maintenance rapide. Le signal d’alerte (ou de demande de maintenance rapide) et/ou de commande d’arrêt peut être numérique et/ou analogique. Le signal d’alerte (ou de demande de maintenance rapide) et/ou de commande d’arrêt peut être généré au niveau de la pompe 1 par l’unité de contrôle 19. Il peut s’agir d’un signal visuel et/ou sonore. L’unité de contrôle 19 peut aussi transmettre le signal d’alerte (ou de demande de maintenance rapide) et/ou le signal de commande d’arrêt à au moins un équipement relié à l’unité de contrôle 19 de la pompe 1. Il peut s’agir d’un équipement communément appelé « tool » en anglais, et configuré pour gérer une chambre à laquelle la pompe 1 est fluidiquement raccordée pour le pompage des gaz. L’équipement peut alors décider de commander l’arrêt de la pompe 1 et éventuellement de prendre toutes les mesures nécessaires pour préserver l’équipement, comme de couper les gaz injectés dans la chambre et fermer les vannes d’isolation entre la chambre et la pompe 1. Selon un autre exemple, l’unité de contrôle 19 peut aussi transmettre le signal d’alerte (ou de demande de maintenance rapide) et/ou de commande d’arrêt à une unité centrale de surveillance reliée à plusieurs pompes 1 ou à plusieurs équipements. Ainsi, en surveillant l’évolution de la température T° du rotor 5 et plus précisément la dérivée de la température en fonction du temps , il est possible de détecter de façon simple l’apparition d’une couche de dépôt lorsque cette dérivée atteint le seuil prédéfini fixe s, ou variable s(Imoteur). De plus, lorsque le capteur de température 17 est déjà utilisé pour une régulation de température de la pompe 1, il n’est pas nécessaire de rajouter un autre capteur de température pour cette fonction. L’utilisateur peut ainsi être alerté qu’un nettoyage de la pompe 1 est nécessaire et/ou la pompe 1 peut être arrêtée et la chambre isolée afin de permettre le nettoyage de la pompe 1. Procédé de détection d’une couche de dépôt dans une pompe (1) à vide turbomoléculaire comprenant un stator (3) et un rotor (5) configuré pour tourner dans le stator (3), et au moins un capteur de température (17) agencé dans le stator (3) de manière à mesurer une température (T°) représentative de la température du rotor (5) et configuré pour transmettre au moins une mesure de température à une unité de contrôle (19) de ladite pompe (1), caractérisé en ce que le procédé comporte les étapes suivantes : l’au moins un capteur de température (17) mesure ladite température (T°) et transmet la mesure de ladite température (T°) à l’unité de contrôle (19), à partir de mesures de ladite température (T°) transmises par l’au moins un capteur de température (17), l’unité de contrôle (19) calcule une dérivée de la température par rapport au temps ( ), l’unité de contrôle (19) compare la valeur de ladite dérivée ( ) calculée à un seuil prédéfini (s, s(Imoteur)), lorsque la valeur de ladite dérivée ( ) calculée est supérieure ou égale au seuil prédéfini (s, s(Imoteur)), l’unité de contrôle (19) détecte un échauffement anormal représentatif d’une couche de dépôt et émet au moins un signal d’alerte et/ou au moins un signal de commande d’arrêt de ladite pompe (1). Procédé de détection selon la revendication précédente dans lequel ladite pompe (1) comporte des paliers (16) magnétiques configurés pour guider en rotation le rotor (5) autour d’un axe de rotation (I-I), et dans lequel l’unité de contrôle (19) commande les paliers (16) magnétiques pour désaxer l’axe de rotation (I-I) pendant une durée prédéfinie selon au moins une direction perpendiculaire à l’axe de rotation (I-I), et l’étape de mesure de température est mise en œuvre au moins lorsque l’axe de rotation (I-I) est désaxé. Procédé de détection selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le signal d’alerte et/ou le signal de commande d’arrêt est généré au niveau de ladite pompe (1) et/ou l’unité de contrôle (19) transmet le signal d’alerte et/ou le signal de commande d’arrêt à au moins un équipement relié à ladite pompe (1). Procédé de détection selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le seuil prédéfini (s, s(Imoteur)) est inférieur ou égal à 2°C/min, notamment compris entre 0,3°C/min et 2°C/min. Procédé de détection selon l’une des revendications 1 à 4, dans lequel le seuil prédéfini (s) est fixe. Procédé de détection selon l’une des revendications 1 à 4, dans lequel le seuil prédéfini (s(Imoteur)) est variable et fonction d’un courant moteur consommé par un moteur de ladite pompe (1) configuré pour entraîner le rotor (5) en rotation. Procédé de détection l’une des revendications 1 à 4, dans lequel le seuil prédéfini (s) est fixe au moins lors d’une première itération du procédé, et le seuil prédéfini (s(Imoteur)) est variable lors d’au moins une itération suivante du procédé, le seuil prédéfini (s) fixe étant supérieur au seuil prédéfini variable (s(Imoteur)). Procédé de détection selon l’une des revendications 6 ou 7, dans lequel le seuil prédéfini (s(Imoteur)) variable est calculé selon la formule : avec a correspondant à un premier coefficient, b correspondant à un deuxième coefficient, Imoteur correspondant au courant moteur, Imax correspondant à la valeur maximale du courant moteur. Procédé de détection selon la revendication précédente, dans lequel : ledit seuil (s(Imoteur)) variable est choisi dans au moins une plage de seuil prédéfinie, et dans lequel le premier coefficient (a) est égal à la borne minimale de la plage de seuil, et le deuxième coefficient (b) est égal à la borne maximale de la plage de seuil moins le premier coefficient (a). Procédé de détection selon l’une des revendications 6 à 9, dans lequel le seuil variable s(Imoteur) dépend en outre d’au moins un critère parmi une nature des gaz pompés et/ou la température (T°) représentative de la température du rotor (5) à l’instant (t) où ladite dérivée ( ) est calculée. Procédé de détection selon les revendications 9 et 10, dans lequel le premier coefficient (a) est diminué lorsque ladite température (T°) mesurée à l’instant (t) où ladite dérivée ( ) est calculée, est supérieure ou égale à une température prédéterminée. Pompe (1) à vide turbomoléculaire configurée pour mettre en œuvre au moins en partie le procédé de détection selon l’une des revendications précédentes, ladite pompe (1) comprenant : un stator (3), un rotor (5) configuré pour tourner dans le stator (3), au moins un capteur de température (17) agencé dans le stator (3) et configuré pour mesurer une température (T°) représentative de la température du rotor (5), une unité de contrôle (19), l’au moins un capteur de température (17) étant configuré pour transmettre la mesure de ladite température (T°) à l’unité de contrôle (19), et l’unité de contrôle (19) comprenant au moins un élément de traitement configuré pour : calculer, à partir de mesures de ladite température (T°) transmises par l’au moins un capteur de température (17), une dérivée de la température par rapport au temps ( ), comparer la valeur de ladite dérivée ( ) calculée à un seuil prédéfini (s, s(Imoteur)), et lorsque la valeur de ladite dérivée ( ) calculée est supérieure ou égale au seuil prédéfini (s, s(Imoteur)), détecter un échauffement anormal représentatif d’une couche de dépôt et émettre au moins un signal d’alerte et/ou au moins un signal de commande d’arrêt de ladite pompe (1). Pompe (1) à vide turbomoléculaire selon la revendication précédente, dans laquelle le capteur de température (17) est choisi parmi un capteur infra-rouge, un capteur magnétothermique, une sonde à coefficient de température positif.