Brevet FR3130102A1 — publié le 20230609

Titre : Dispositif à onde acoustique de volume et procédé de réalisation d’un tel dispositif L’invention porte sur un dispositif (1) électro-acoustique comprenant, en empilement selon une direction (z), un substrat (10) à base de silicium, une première électrode (21), une couche piézoélectrique (30) à base d’une pérovskite prise parmi le niobate de lithium LiNbO3, le tantalate de lithium LiTaO3, ou un alliage Li(Nb,Ta)O3, sur la première électrode (21), une deuxième électrode (22) disposée sur la couche piézoélectrique (30). Avantageusement, la première électrode (21) est en un matériau réfractaire conducteur électrique à base de nitrure, tel que TiN, VN, TaN. L’invention porte également sur un procédé de réalisation d’un tel dispositif (1). Figure pour l’abrégé : Fig.1 Dispositif à onde acoustique de volume et procédé de réalisation d’un tel dispositif La présente invention concerne, en général, un dispositif à onde acoustique de volume, et plus particulièrement, un procédé de réalisation de la couche à base d’un matériau piézoélectrique formant le cœur de ce dispositif. ETAT DE LA TECHNIQUE Les résonateurs basés sur une structure de type « onde acoustique de volume» dite BAW (acronyme de « Bulk Acoustic Wave ») sont couramment utilisés pour réaliser des filtres RF. Le cœur des résonateurs BAW est composé d’un matériau piézoélectrique qui influence les propriétés finales du filtre. Le niobate de lithium (LiNbO3) est utilisé depuis plusieurs années en tant que matériau piézoélectrique. Ses propriétés intrinsèques, comme son coefficient de couplage piézoélectrique, pourrait permettre au filtre de résonner à haute fréquence, par exemple à des fréquences supérieures à 3,5 GHz, avec une bande passante pouvant aller jusqu’à 600MHz. Pour obtenir un filtre BAW présentant un coefficient de couplage élevé, typiquement jusqu’à 50%, la couche piézoélectrique à base de LiNbO3 doit notamment présenter une haute qualité cristalline et une stœchiométrie contrôlée. Le document « A. Reinhardt et al., Acoustic filters based on thin single crystal LiNbO3 films: Status and prospects Proc. – IEEE Ultrason. Symp. 2014, 773 » divulgue une solution basée sur un procédé de report connu sous la dénomination Smart-Cut TM permettant de fabriquer un filtre BAW comprenant une couche piézoélectrique à base de LiNbO3 sur substrat silicium. Une couche mince de LiNbO3 est prélevée d’un substrat donneur, typiquement à partir d’un substrat de LiNbO3 monocristallin, puis reportée vers un substrat receveur, typiquement un substrat de silicium. Cette solution met en œuvre de nombreuses étapes techniques et présente un coût significatif. Une autre solution consiste à synthétiser la couche piézoélectrique à base de LiNbO3 sur le substrat silicium, par l’intermédiaire d’une couche tampon. Le document « Growth of highly near-c-axis oriented ferroelectric LiNbO3 thin films on Si with a ZnO buffer layer, P. You et al., Appl. Phys. Lett. 2013, 102, 051914 » propose de former une couche tampon à base d’oxyde de zinc sur le substrat silicium, avant de former la couche à base de niobate de lithium sur cette couche tampon. La couche piézoélectrique à base de LiNbO3 ainsi synthétisée présente néanmoins une texturation. Elle n’est pas monocristalline. La couche tampon à base de ZnO n’est pas non plus totalement compatible avec une intégration au sein d’un dispositif fonctionnel, notamment avec certaines étapes de gravure telle qu’une gravure de l’électrode inférieure ou une gravure pour la formation de la cavité sous le ZnO. Des problèmes d’adhérence sont également observés. Il existe donc un besoin consistant à réaliser un dispositif électro-acoustique comprenant une couche piézoélectrique à base de niobate de lithium sur un substrat à base de silicium, qui présente une qualité améliorée, tout en limitant les coûts de réalisation. Un objectif de la présente invention est de répondre au moins en partie à ce besoin. Les autres objets, caractéristiques et avantages de la présente invention apparaîtront à l'examen de la description suivante et des dessins d'accompagnement. Il est entendu que d'autres avantages peuvent être incorporés. RESUME Pour atteindre cet objectif, selon un mode de réalisation on prévoit un procédé de réalisation d’un dispositif électro-acoustique comprenant une couche piézoélectrique, ledit procédé comprenant les étapes suivantes : Fournir un substrat à base de silicium, Former une première électrode sur le substrat, Former la couche piézoélectrique sur la première électrode, Former une deuxième électrode sur la couche piézoélectrique. Avantageusement, la formation de la couche piézoélectrique se fait par épitaxie, sur ladite première électrode, d’un matériau du type ABO3, O étant l’oxygène, A étant au moins un premier élément chimique pris parmi le sodium (Na), le potassium (K), le baryum (Ba), le lithium (Li), le plomb (Pb), et B étant au moins un deuxième élément chimique pris parmi le zirconium (Zr), le titane (Ti), le niobium (Nb), le tantale (Ta). Avantageusement, la première électrode est choisie en un matériau réfractaire conducteur électrique à base de nitrure, tel que TiN, VN, ZrN, TaN, HfN, NbN, ou un alliage desdits matériaux. De façon préférée, le matériau ABO3 de la couche piézoélectrique est pris parmi le niobate de lithium LiNbO3, le tantalate de lithium LiTaO3, ou un alliage Li(Nb,Ta)O3. Dans le cadre du développement de la présente invention, certaines conditions pour la croissance par épitaxie de la couche piézoélectrique ont été déterminées. La première électrode doit de préférence présenter au moins certaines des propriétés suivantes : Avoir une structure cristalline et/ou un paramètre de maille compatible avec un substrat à base de silicium. Cela permet par exemple d’épitaxier la première électrode sur le substrat. Avoir une structure cristalline et/ou un paramètre de maille proche ou compatible avec le niobate de lithium ou le tantalate de lithium. Cela permet d’épitaxier la couche piézoélectrique sur la première électrode, qui forme ainsi une couche de nucléation. Avoir un coefficient de dilatation thermique proche du niobate de lithium ou du tantalate de lithium. Cela permet de limiter l’apparition de fissures due aux variations de températures lors de la formation de la couche piézoélectrique. Etre électriquement conductrice. Pouvoir bloquer la diffusion des atomes de Li dans le Si. Cela permet d’éviter une perte de stœchiométrie d’une couche piézoélectrique à base de niobate de lithium ou de tantalate de lithium, dite couche LN/LT. Confiner une onde acoustique, notamment en vue de garantir de hautes performances pour les dispositifs électro-acoustiques. Un préjugé technique de l’état de la technique est que la couche de nucléation doit nécessairement être à base d’oxyde afin d’éviter une perte de stœchiométrie de la couche LN/LT due à une diffusion de l’oxygène depuis la couche LN/LT vers la couche de nucléation. Au contraire, pour répondre à ce cahier des charges, la première électrode formant la couche de nucléation est choisie selon la présente invention en un matériau réfractaire conducteur électrique à base de nitrure. Ce matériau est typiquement un nitrure réfractaire de transition à base d’un métal de transition, par exemple TiN, VN, ZrN, TaN, HfN, NbN, ou leurs alliages. Dans le cadre du développement de la présente invention, il a en effet été observé qu’une telle couche de nucléation permet, de manière parfaitement inattendue, l’épitaxie de la couche LN/LT dans de bonnes conditions. De façon surprenante, il a été également observé qu’une telle couche de nucléation permet de bloquer à la fois la diffusion d’oxygène et la diffusion du lithium vers le substrat à base de silicium. Il en résulte que la couche LN/LT épitaxiée sur une telle couche de nucléation conserve la stœchiométrie requise. Par ailleurs, les différentes structures cristallines et les paramètres de maille des nitrures réfractaires de transition sont parfaitement compatibles avec celles et ceux des matériaux LN/LT et du silicium. Une telle couche de nucléation peut donc avantageusement être épitaxiée sur un substrat à base de silicium, puis permettre l’épitaxie de la couche LN/LT. Par ailleurs, les nitrures réfractaires de transition sont conducteurs et peuvent donc être utilisés comme première électrode d’un filtre BAW. Si ces matériaux sont épitaxiés sur silicium, ils peuvent présenter des valeurs de résistivités de l’ordre de 15µOhm.cm, ce qui est parfaitement compatible avec la fabrication d’un filtre BAW. Par ailleurs, les nitrures réfractaires de transition sont résistants aux conditions de croissance du LiNbO3, en particulier la température élevée requise pour la croissance du LiNbO3, qui peut être de l’ordre 1000°C. Par ailleurs, les nitrures réfractaires de transition sont suffisamment durs pour protéger la surface du silicium lors de la croissance  du LiNbO3. Ils protègent par exemple le silicium du plasma et de l’impact des ions utilisés dans la mise en œuvre d’une technique de dépôt physique en phase vapeur PVD pour la croissance  du LiNbO3. Les nitrures réfractaires de transition peuvent également présenter des valeurs de rigidité et d’impédance acoustique intéressantes pour confiner davantage les ondes acoustiques dans la couche piézoélectrique. La présente invention propose ainsi une solution permettant de former un dispositif électro-acoustique sur un substrat à base de silicium – sans étape de report – par l’intermédiaire de la première électrode à base d’un nitrure réfractaire de transition, jouant le rôle de couche de nucléation. Grâce à une telle couche de nucléation en un matériau réfractaire conducteur électrique à base de nitrure, la couche piézoélectrique LN/LT est stœchiométrique et de haute qualité cristalline. La couche piézoélectrique présente ainsi les propriétés requises pour une application de type filtre BAW haute fréquence. Selon un autre aspect de l’invention, on prévoit un dispositif électro-acoustique, notamment un dispositif à onde acoustique de volume (BAW), comprenant, en empilement selon une direction verticale : un substrat à base de silicium, une première électrode sur ledit substrat, une couche piézoélectrique sur ladite première électrode, ladite couche piézoélectrique étant à base d’un matériau du type ABO3, O étant l’oxygène, A étant au moins un premier élément chimique pris parmi le sodium (Na), le potassium (K), le baryum (Ba), le lithium (Li), le plomb (Pb), et B étant au moins un deuxième élément chimique pris parmi le zirconium (Zr), le titane (Ti), le niobium (Nb), le tantale (Ta), une deuxième électrode disposée sur la couche piézoélectrique. Avantageusement, la première électrode du dispositif BAW est en un matériau réfractaire conducteur électrique à base de nitrure. De façon préférée, la couche piézoélectrique est à base de niobate de lithium LiNbO3, ou de tantalate de lithium LiTaO3, ou d’un alliage Li(Nb,Ta)O3. Les avantages mentionnés ci-dessus s’appliquent mutatis mutandis . Un tel dispositif est en outre directement intégrable en technologie silicium. Il peut être facilement co-intégré avec d’autres dispositifs microélectroniques ou optoélectroniques ou encore avec des microsystèmes (opto-) électromécaniques (MEMS ou MOEMS, acronymes respectifs de « Microelectromechanical systems » et « Microoptoelectromechanical systems »). BREVE DESCRIPTION DES FIGURES Les buts, objets, ainsi que les caractéristiques et avantages de l’invention ressortiront mieux de la description détaillée de modes de réalisation de cette dernière qui sont illustrés par les dessins d’accompagnement suivants dans lesquels : La illustre en coupe transverse un dispositif électro-acoustique de type BAW selon un mode de réalisation la présente invention. La illustre en coupe transverse un dispositif électro-acoustique de type BAW FBAR selon un mode de réalisation la présente invention. La illustre en coupe transverse un dispositif électro-acoustique de type BAW SMR selon un mode de réalisation la présente invention. La illustre en coupe transverse un dispositif électro-acoustique de type BAW SMR selon un autre mode de réalisation la présente invention. Les figures 4A à 4E illustrent des étapes d’un procédé de fabrication d’un dispositif électro-acoustique de type BAW FBAR selon un mode de réalisation la présente invention. Les dessins sont donnés à titre d'exemples et ne sont pas limitatifs de l’invention. Ils constituent des représentations schématiques de principe destinées à faciliter la compréhension de l’invention et ne sont pas nécessairement à l'échelle des applications pratiques. En particulier, sur les schémas de principe, les épaisseurs des différentes couches et portions, et les dimensions des motifs ne sont pas représentatives de la réalité. Procédé de réalisation d’un dispositif électro-acoustique (1) comprenant une couche piézoélectrique (30), ledit procédé comprenant les étapes suivantes : Fournir un substrat (10) à base de silicium, Former sur le substrat (10) une première électrode (21), Former la couche piézoélectrique (30) sur la première électrode (21), Former sur la couche piézoélectrique (30) une deuxième électrode (22), Le procédé étant caractérisé en ce que la première électrode (21) est choisie en un matériau réfractaire conducteur électrique à base de nitrure et en ce que la formation de la couche piézoélectrique (30) se fait par épitaxie, sur ladite première électrode (21), d’un matériau du type ABO3, O étant l’oxygène, A étant au moins un premier élément chimique pris parmi le sodium (Na), le potassium (K), le baryum (Ba), le lithium (Li), le plomb (Pb), et B étant au moins un deuxième élément chimique pris parmi le zirconium (Zr), le titane (Ti), le niobium (Nb), le tantale (Ta). Procédé selon la revendication précédente dans lequel le matériau réfractaire conducteur électrique à base de nitrure est pris parmi les nitrures réfractaires de transition à base d’un métal de transition. Procédé selon la revendication précédente dans lequel le matériau réfractaire conducteur électrique à base de nitrure est pris parmi TiN, VN, ZrN, TaN, HfN, NbN, ou leurs alliages. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes dans lequel le dispositif électro-acoustique (1) est un filtre à ondes acoustiques de volume du type à membrane suspendue, ledit procédé comprenant en outre, après formation par épitaxie de la couche piézoélectrique (30), une gravure du substrat (10) à base de silicium sous la première électrode (21) portant la couche piézoélectrique (30), de façon à former une cavité (40). Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 3 dans lequel le dispositif électro-acoustique (1) est un filtre à ondes acoustiques de volume guidées sur réflecteur de Bragg, ledit procédé comprenant en outre, avant formation de la première électrode (21), une formation d’un empilement (50) de couches (51, 52) présentant alternativement des impédances acoustiques fortes et faibles. Procédé selon la revendication précédente dans lequel les couches de faible impédance (52) sont à base de TiN ou de VN, et les couches de forte impédance (51) sont à base de HfN ou de TaN. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes dans lequel la formation de la première électrode (21) et la formation de la couche piézoélectrique (30) sont effectuées par ablation laser pulsée successivement au sein d’un même réacteur sans remise à l’air entre lesdites formations. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes dans lequel le substrat (10) est à base de silicium orienté selon (111), la première électrode (21) est à base de nitrure de titane TiN orienté selon (111), et la couche piézoélectrique (30) est orientée selon (0001). Dispositif (1) électro-acoustique comprenant, en empilement selon une direction dite verticale (z), un substrat (10) à base de silicium, une première électrode (21) sur ledit substrat (10), une couche piézoélectrique (30) sur ladite première électrode (21), ladite couche piézoélectrique (30) étant à base d’un matériau du type ABO3, O étant l’oxygène, A étant au moins un premier élément chimique pris parmi le sodium (Na), le potassium (K), le baryum (Ba), le lithium (Li), le plomb (Pb), et B étant au moins un deuxième élément chimique pris parmi le zirconium (Zr), le titane (Ti), le niobium (Nb), le tantale (Ta), une deuxième électrode (22) disposée sur la couche piézoélectrique (30), le dispositif (1) étant caractérisé en ce que la première électrode (21) est en un matériau réfractaire conducteur électrique à base de nitrure. Dispositif (1) selon la revendication précédente dans lequel le matériau réfractaire conducteur électrique à base de nitrure est pris parmi les nitrures réfractaires de transition à base d’un métal de transition, par exemple TiN, VN, ZrN, TaN, HfN, NbN, ou leurs alliages. Dispositif (1) selon l’une quelconque des revendications 9 à 10, dans lequel le dispositif électro-acoustique (1) est un filtre à ondes acoustiques de volume du type à membrane suspendue, comprenant une cavité (40) sous la première électrode (21) portant la couche piézoélectrique (30). Dispositif (1) selon l’une quelconque des revendications 9 à 10, dans lequel le dispositif électro-acoustique est un filtre à ondes acoustiques de volume guidées sur un réflecteur de Bragg, comprenant, entre le substrat (10) et la première électrode (21), un empilement (50) de couches (51, 52) présentant alternativement des impédances acoustiques fortes et faibles. Dispositif (1) selon la revendication précédente dans lequel les couches (52) de faible impédance sont à base de TiN ou de VN, et les couches (51) de forte impédance sont à base de HfN ou de TaN. Dispositif (1) selon l’une quelconque des deux revendications précédentes, dans lequel les première et deuxième électrodes (21, 22) sont contactées au niveau d’une face avant (101) du dispositif (1). Dispositif (1) selon l’une quelconque des revendications 12 ou 13, dans lequel la première électrode (21) est contactée au niveau d’une face arrière (100) du dispositif (1), et dans lequel la deuxième électrode (22) est contactée au niveau d’une face avant (101) du dispositif (1).