Brevet FR3128309A1 — publié le 20230421

Insert pour d ispositif d’immersion de plaquettes Insert (100) pour dispositif d’immersion (1) de plaquettes (P) de matériau semi-conducteur, configuré pour pouvoir être inséré de manière amovible dans un dispositif d’immersion (1) de plaquettes, l’insert comportant des barres de maintien dentelées pour la réception de plaquettes (P). Figure pour l’abrégé : Fig. 1a Insert pour dispositif d’immersion de plaquettes La présente invention concerne l’immersion de plaquettes, notamment durant le processus de fabrication de cellules photovoltaïques. Classiquement, une cellule photovoltaïque comporte une plaquette, communément dénommée « wafer » en anglais, qui présente une forme de pavé droit de faible épaisseur. La plaquette est composée d’un matériau semi-conducteur, généralement du silicium. La fabrication d’une telle cellule photovoltaïque peut nécessiter l’immersion de la plaquette au cours du processus de fabrication dans un bain. En effet, il peut être par exemple nécessaire de plonger les plaquettes dans une solution chimique basique afin de graver leurs surfaces par voie chimique pour retirer la zone écrouie lors de leur découpage. Il peut s’agir d’un bain de KOH, par exemple à 80°C, selon la réaction suivante : Si + 2KOH + H 2 O -> K 2 SiO 4 + 2H 2 . Pendant cette phase d’immersion dans un bain de solution basique, il peut être nécessaire de maintenir les plaquettes dans la solution au moyen d’un dispositif d’immersion. En effet, lors de cette phase d’immersion, de l’hydrogène est dégagé, pouvant engendrer une réaction importante et une production de bulles de gaz, conduisant à une remontée des plaquettes à la surface du bain, les bulles de gaz se formant en surface de la plaquette. Ce phénomène est d’autant plus important lorsque, les plaquettes étant découpées, leur masse peut être réduite. Au cours du processus de fabrication d’une cellule photovoltaïque, et de manière plus générale, il peut être nécessaire de maintenir les plaquettes dans un dispositif d’immersion lors de différents procédés chimiques, afin de contrer d’autres phénomènes en présence tels que la poussée d’Archimède, plus ou moins importante en fonction de la densité du mélange, ou encore une recirculation de la solution chimique dans le bain venant générer des turbulences. Les systèmes d’immersion connus ont une taille standard dépendante de la taille standard des plaquettes à immerger. Les plaquettes y sont en général maintenues en sept points correspondant à sept barres de maintien, à savoir deux dans le fond, quatre latérales, avec deux de chaque côté, et une supérieure centrale. Afin d’accroitre la puissance des modules photovoltaïques et de pouvoir intégrer plus facilement les plaquettes photovoltaïques au sein de ces modules photovoltaïques, différents formats de plaquettes peuvent être utilisés. A cet effet, on peut découper les plaquettes de tailles standard en plusieurs morceaux, du sixième de plaquette à la demi-plaquette, ou en variante utiliser des plaquettes de taille plus grande, elles-mêmes découpées ou non en morceaux. Ainsi, la découpe des plaquettes en début de fabrication des cellules photovoltaïques peut se révéler avantageuse. Cependant, lorsque l’on découpe les plaquettes, ce qui a lieu en principe après l’ensemble du procédé de fabrication des plaquettes standard, la passivation de surface des zones découpées se trouve fortement dégradée. Des solutions de re-passivation des bords peuvent être mises en œuvre pour certaines technologies mais ces solutions ne sont pas toujours adaptées à d’autres technologies de plaquettes telles que la technologie de cellules photovoltaïques à base de silicium et de type hétérojonction. En outre, ces solutions de re-passivation des bords constituent une étape supplémentaire à réaliser et génèrent donc un coût additionnel au module final. Il est alors possible, pour éviter les soucis évoqués ci-dessus, de découper les plaquettes puis d’effectuer l’étape de traitement chimique permettant de graver les surfaces et ainsi retirer la zone écrouie Toutefois, lorsque l’on découpe les différentes plaquettes de formats standards en 2, 3, 4 ou 6 morceaux, on obtient une variété très importante de dimensions possibles, ce qui est problématique pour l’installation desdites plaquettes dans les dispositifs d’immersion disponibles. En effet, pour une dimension donnée de plaquette standard, il faudrait ainsi un dispositif d’immersion adapté pour chaque format de plaquette découpée en morceau. Une taille standard de plaquette peut par exemple aller d’un carré ou d’un quasi-carré de 156,75 mm de côté, dite taille M2, à un carré ou d’un quasi-carré de 210 mm de côté, dite taille M12. Par quasi-carré, on entend un carré dont les coins peuvent être coupés. Les dispositifs d’immersion pour plaquette standard entière permettent en effet de maintenir les plaquettes dans les bains contenant les solutions chimiques via une barre de maintien supérieure pour éviter qu’elles ne s’échappent. Si la plaquette est découpée, elle n'est alors plus maintenue correctement par la barre supérieure, et est susceptible de bouger dans le dispositif d’immersion et donc de s’échapper de celui-ci ou de se coller à aux plaquettes adjacentes, ce qui est préjudiciable au procédé. Il est donc nécessaire de pouvoir maintenir les morceaux de plaquettes dans le dispositif d’immersion de manière satisfaisante. Il existe donc un besoin pour améliorer les dispositifs d’immersion afin de permettre d’y maintenir des plaquettes de formats variés, par exemple dans le cas où une plaquette de taille standard a été découpée en plusieurs morceaux. La présente invention vise à répondre à ce besoin. L’invention a ainsi pour objet, selon l’un de ses aspects, un insert pour dispositif d’immersion de plaquettes « P » de matériau semi-conducteur, configuré pour pouvoir être inséré de manière amovible dans un dispositif d’immersion de plaquettes, l’insert comportant des barres de maintien dentelées pour la réception de plaquettes. Grâce à l’insert, le dispositif d’immersion peut être adapté pour accueillir des plaquettes d’une taille différente de celle prévue pour le dispositif d’immersion lui-même, sans l’insert. Ainsi, en utilisant un insert adapté à la taille des plaquettes à immerger, on peut conserver les dispositifs d’immersion et les équipements d’immersion existant. L’insert selon l’invention permet de rendre compatible les dispositifs d’immersion existants pour des tailles de plaquettes qui n’étaient pas définies auparavant dans les tailles standard. L’insert peut comporter des barres de maintien dentelées pour la réception de plaquettes dont la taille est différente de plaquettes pouvant être reçues directement dans le dispositif d’immersion. Par « plaquette », autrement dénommée « wafer » en anglais, on désigne un substrat ayant une forme de pavé droit de faible épaisseur, formé à partir d’un matériau semi-conducteur, généralement du silicium et/ou du germanium, et plus particulièrement du silicium cristallin. L’épaisseur de la plaquette peut être comprise entre 100 et 400 µm, par exemple de l’ordre de 180 µm. En outre, l’insert et le dispositif d’immersion permettent de s’adapter aux équipements industriels de chimie utilisés habituellement pour la fabrication des cellules photovoltaïques. Les premières étapes de fabrication des cellules comportent notamment une gravure de la zone écrouie suivie d’une texturation des surfaces puis d’un nettoyage de celles-ci. Insert L’insert peut comporter au moins deux flasques d’extrémité, des montants verticaux, des barres de maintien longitudinales et des barres de maintien transversales. L’insert peut comporter au moins deux flasques d’extrémité, au moins un à chaque extrémité longitudinale de l’insert. Dans un mode de réalisation, l’insert peut comporter deux flasques d’extrémités, un à chaque extrémité longitudinale de l’insert. Dans une variante de réalisation, l’insert peut comporter en outre un flasque central, permettant d’améliorer le maintien des barres de maintien longitudinales. Le flasque central peut être placé entre les deux flasques d’extrémité, sensiblement en leur milieu, notamment au milieu des barres de maintien longitudinales. Les flasques peuvent comporter deux encoches ménagées sur leur tranche supérieure et deux encoches ménagées sur leur tranche inférieure, ce qui permet le passage des barres de maintien longitudinales. En outre, les flasques peuvent comporter, à chacune des extrémités de leur tranche supérieure, une partie de suspension, pour la mise en place de l’insert dans le dispositif d’immersion de plaquettes et son calage sur des barres de maintien de celui-ci. Les parties de suspension peuvent être configurées pour permettre une mise en place amovible. L’insert peut être maintenu sur le dispositif seulement par l’effet de la gravité. En variante, l’insert peut être retenu verticalement par un dispositif de verrouillage préexistant, par exemple la barre amovible. Il peut être utile de retenir l’insert verticalement car le bullage sur les plaquettes peut soulever plaquettes et insert. L’insert peut comporter des barres de maintien longitudinales s’étendant perpendiculairement aux flasques. L’insert peut notamment comporter quatre barres de maintien longitudinales, lesquelles peuvent s’étendre parallèlement les unes aux autres. Les quatre barres de maintien longitudinales peuvent être perpendiculaires aux flasques. Il peut comporter deux barres de maintien longitudinales inférieures, qui sont configurées pour supporter les flasques d’extrémité. Il peut également comporter deux barres de maintien longitudinales supérieures, qui sont configurées pour reposer sur les flasques d’extrémité. Les barres de maintien longitudinales peuvent être dépourvues de dents de séparation des plaquettes. Les barres de maintien longitudinales peuvent comporter des encoches pour la réception des flasques. Les barres de maintien longitudinales inférieures peuvent comporter des trous borgnes pour la réception de barres de maintien transversales inférieures décrites ci-après. Chaque barre de maintien longitudinale inférieure peut comporter quatre trous borgnes, disposés du coté intérieur de l’insert, faisant face aux trous borgnes de l’autre barre de maintien longitudinale inférieure. Les barres de maintien longitudinales supérieures peuvent comporter des encoches pour la réception de barres de maintien transversales supérieures, décrites ci-après. Chaque barre de maintien longitudinale supérieure peut comporter deux encoches pour la réception de deux barres de maintien transversales supérieures. Les plaquettes peuvent être reçues parallèlement aux barres de maintien longitudinales. En particulier, l’insert peut permettre de recevoir les plaquettes autrement qu’uniquement perpendiculairement aux barres de maintien longitudinales. L’insert peut permettre de recevoir des plaquettes de taille plus grande que les plaquettes qui peuvent être reçues dans des dispositifs d’immersion standard. L’insert peut par exemple être configuré pour recevoir des plaquettes de format demi M12, c’est-à-dire de format M12 coupé en deux. Le dispositif d’immersion utilisé pour recevoir l’insert peut dans ce cas être initialement configuré pour recevoir des plaquettes de format M2. L’insert peut comporter des montants verticaux, disposés le long des flasques. L’insert peut notamment comporter huit montants verticaux, disposés par paires le long des flasques d’extrémité et du flasque central, notamment de chaque côté du flasque central et vers l’intérieur de l’insert pour chaque flasque d’extrémité. Les montants verticaux peuvent s’étendre parallèlement aux flasques et perpendiculairement aux barres de maintien longitudinales. Les montants verticaux peuvent comporter deux encoches, une à chaque extrémité supérieure et inférieure ce ceux-ci. Lesdites encoches peuvent être destinées à recevoir les barres de maintien longitudinales. Les encoches peuvent correspondre à des encoches ménagées dans les flasques d’extrémité et dans le flasque central, ce qui permet le passage des barres de maintien longitudinales et leur bonne tenue. L’insert peut comporter des barres de maintien transversales s’étendant parallèlement aux flasques. Les barres de maintien transversales peuvent notamment s’étendre parallèlement aux flasques et perpendiculairement aux barres de maintien longitudinales. Les barres de maintien transversales peuvent comporter des barres de maintien transversales inférieures, lesquelles peuvent être destinées à supporter les plaquettes, et/ou des barres de maintien latérales, lesquelles peuvent être destinées à caler les plaquettes en position, et/ou des barres de maintien transversales supérieures, lesquelles peuvent être destinées également au calage des plaquettes. Les barres de maintien transversales inférieures peuvent être dentelées. Les barres de maintien transversales inférieures peuvent comporter des rainures annulaires destinées à recevoir les plaquettes, séparées par des dents annulaires de séparation des plaquettes. L’insert peut comporter dans un mode de réalisation quatre barres de maintien transversales inférieures, réparties entre les deux barres de maintien longitudinales inférieures. Elles peuvent être insérées chacune dans deux trous borgnes par leurs extrémités libres, à savoir dans un trou borgne de chacune des deux barres de maintien longitudinales inférieures. Les barres de maintien latérales peuvent être dentelées. Elles peuvent comporter des dents de séparation des plaquettes, notamment sur une de leur face orientée vers l’intérieur de l’insert. Elles peuvent comporter une face opposée lisse ou sensiblement lisse. Cette face opposée peut être plaquée contre les montants verticaux précités. L’insert peut comporter dans un mode de réalisation huit barres de maintien latérales, réparties sur les différents montants verticaux, perpendiculairement à ceux-ci. Elles peuvent être fixées chacune à deux montants verticaux par leurs extrémités libres, à savoir à un montant vertical de chacun côté. L’insert peut ainsi comporter huit barres de maintien latérales, disposées par paires le long des flasques d’extrémité et du flasque central, notamment de chaque côté du flasque central et vers l’intérieur de l’insert pour chaque flasque d’extrémité. Les barres de maintien transversales supérieures peuvent être dentelées. Elles peuvent comporter des rainures annulaires destinées à caler les plaquettes, séparées par des dents annulaires de séparation des plaquettes. L’insert peut comporter dans un mode de réalisation deux barres de maintien transversales supérieures, disposées entre les deux barres de maintien longitudinales supérieures. Elles peuvent être insérées chacune dans deux encoches des barres de maintien transversales supérieures par leurs extrémités libres, à savoir dans une encoche de chacune des deux barres de maintien longitudinales supérieures. Les barres de maintien transversales supérieures peuvent comporter des extrémités libres de forme ovale en section transversale. La forme ovale des extrémités libres des barres de maintien transversales supérieures permet leur fixation aisée et leur verrouillage rapide dans les encoches des barres de maintien longitudinales supérieures. Les barres de maintien longitudinales et les barres de maintien transversales peuvent être démontables. En particulier, l’insert peut à tout instant être démonté et remonté. La position des différentes barres peut être modifiée. Ainsi, l’insert est configurable et démontable en fonction des besoins. Ainsi, n’importe quelle pièce de l’insert, notamment parmi les flasques, les montants verticaux, les barres de maintien longitudinales et les barres de maintien transversales, peut être remplacée aisément, notamment en cas de détérioration ou en cas de nécessité d’adaptation à un nouveau format de paquettes. Le passage à un autre format peut être simple et rapide. La position des barres de maintien longitudinales peut être réglable lors du montage de l’insert par rapport aux flasques d’extrémité. La position des barres de maintien transversales peut être réglable lors du montage de l’insert par rapport aux barres de maintien longitudinales. Les dents de séparation ménagent entre elles des fentes de réception des plaquettes. Chaque fente est destinée à recevoir une plaquette, afin d’éviter tout contact entre deux plaquettes différentes. Les dents disposées en rangée de dents permettent de bien séparer chaque plaquette de la ou des plaquettes adjacentes, afin d’éviter tout contact entre les plaquettes, et de bien favoriser la circulation du fluide dans lequel peuvent être immergées les plaquettes dans le dispositif d’immersion selon l’invention. La largeur d’une dent peut correspondre à l’écartement entre deux plaquettes consécutives. La largeur d’une dent peut par exemple être choisie dans la liste suivante, qui n’est pas limitative : 4,76 mm, par exemple pour des plaquettes de taille M2, ou 6,3 mm, par exemple pour des plaquettes de taille M12. La largeur d’une dent peut dépendre du format des plaquettes. Cette largeur peut ainsi conditionner le nombre de plaquettes pour une même longueur de dispositif d’immersion. L’écartement entre deux dents consécutives peut par exemple être choisi dans la liste suivante, qui n’est pas limitative : 4,76 mm, par exemple pour des plaquettes de taille M2, ou 6,3 mm, par exemple pour des plaquettes de taille M12. La largeur d’une dent peut dépendre de la largeur initiale des plaquettes. En effet, si les plaquettes sont plus larges, leur déformation peut être plus importante, et il y a donc plus de risques de collage de celle-ci lors des traitements chimiques. Les dents peuvent avoir une longueur d’environ 10 mm. L’insert peut être fabriqué par fabrication additive. En particulier, chacune des pièces qui le compose, à savoir notamment les flasques, les montants verticaux, les barres de maintien longitudinales et les barres de maintien transversales, peut être fabriquée par fabrication additive. Les montants verticaux et/ou les barres de maintien, notamment les barres de maintien longitudinales et les barres de maintien transversales, peuvent comporter une âme entourée d’un revêtement, l’âme étant notamment en acier inoxydable. Le revêtement permet d’éviter toute contamination métallique. Aucune surface métallique peut n’être exposée à l’extérieur. Ce revêtement peut être réalisée dans un matériau polymère. Dans un mode de réalisation, ce revêtement est réalisé en PVDF chargé avec une charge de fibres de carbone. Le matériau peut être choisi de manière à être compatible avec les bains chimiques de traitement des surfaces : PVDF, PFA, PTFE compatible base et acides forts ainsi qu’oxydants forts type O3, cette liste n’étant pas limitative. Les flasques peuvent comporter du PVDF. Les flasques d’extrémité peuvent comporter du PVDF et/ou le flasque central peut comporter du PVDF. Dans un mode de réalisation, les flasques d’extrémité et/ou le flasque central sont entièrement réalisés en PVDF. L’insert peut être configuré pour recevoir une pluralité de rangées de plaquettes, notamment deux, trois ou quatre, par exemple deux ou trois. L’insert selon l’invention peut notamment être configuré pour recevoir plus d’une rangée de plaquettes. Il peut par exemple en recevoir deux, voire plus, par exemple trois ou quatre. L’insert peut également être configuré pour recevoir une unique rangée de plaquettes, mais des plaquettes de taille inférieure ou supérieure à la taille standard. Les plaquettes peuvent résulter du découpage de plaquettes de taille standard. Par exemple, les plaquettes peuvent résulter du découpage en 2, en 3, en 4, ou en 6 d’une plaquette de taille standard. Une plaquette de taille standard peut être carrée ou sensiblement carrée. Elle peut avoir un côté de longueur choisie dans la liste suivante, en millimètres (mm) : 210, 200, 192, 166, 161,7, 158,75, 156,75, cette liste n’étant pas limitative. Compte tenu de l’espace nécessaire à l’insert dans le dispositif d’immersion, l’insert peut être configuré pour recevoir une plaquette coupée en deux, deux plaquettes coupées en trois, trois plaquettes coupées en quatre ou quatre plaquettes coupées en six, par exemple. Les plaquettes résultant du découpage de plaquettes de taille standard sont de forme rectangulaire ou quasi-rectangulaire. Elles peuvent avoir une dimension correspondant à la longueur du côté de la plaquette de taille standard initiale, listée ci-dessus, et une autre dimension choisie dans la liste suivante, en millimètres (mm) : 210/2, 210/3, 210/4, 210/6, 200/0, 200/2, 200/4, 200/6, 192/2, 192/3, 192/4, 192/6, 166/2, 166/3, 166/4, 166/6, 161,7/2, 161,7/3, 161,7/4, 161,7/6, 158,75/2, 158,75/3, 158,75/4, 158,75/6, 156,75/2, 156,75/3, 156,75/4, 156,75/6, cette liste n’étant pas limitative. Une rangée de plaquettes dans l’insert peut comporter entre 10 et 500 plaquettes, par exemple entre 15 et 200 plaquettes, notamment 20, 50, 75 ou 100 plaquettes. Avant traitement chimique, la masse d’une plaquette non découpée peut être comprise entre 5 et 20 g, étant comprise entre 7 et 14 g par exemple pour une largeur de 156 mm, mieux entre 9 et 11 g. L’épaisseur de la plaquette peut être comprise entre 140 et 250 µm, étant par exemple de 160 µm. Dispositif L’invention a encore pour objet, indépendamment ou en combinaison avec ce qui précède, un dispositif d’immersion de plaquettes, comportant un insert tel que défini plus haut. Conformément à l’invention, on peut introduire l’insert dans un dispositif d’immersion existant, ce qui permet d’adapter la taille des plaquettes qui y sont reçues à des formats non standard. On peut choisir la configuration de l’insert en fonction de la taille des plaquettes à recevoir. Le dispositif peut être un dispositif d’immersion standard conçu pour des plaquettes d’un format de taille standard, par exemple un format de plaquettes de type M2, c’est-à-dire de plaquettes de 156,75 mm de côté. Il permet, à partir d’un dispositif d’immersion standard disponible commercialement, d’avoir un unique dispositif d’immersion permettant d’accueillir des quarts, tiers ou demi-plaquettes pour chaque format de plaquette standard. Un dispositif d’immersion a par exemple une longueur fixe permettant de loger 100 plaquettes pour un format de type M2 ou par exemple 80 plaquettes de format de type M12. Une taille standard est par exemple choisie dans la liste suivante, qui n’est pas limitative : de forme carrée ou sensiblement carrée, avec un côté de longueur choisie dans la liste suivante, en millimètres (mm) : 210 (dit M12), 200 (dit M10), 192 (dit M9), 166 (dit M6), 161,7 (dit M4), 158,75 (dit G1), 156,75 (dit M12), cette liste n’étant pas limitative. Le dispositif d’immersion de plaquettes P peut comporter deux flasques d’extrémité portant des barres de maintien des plaquettes. Les barres de maintien du dispositif d’immersion peuvent être dentelées, pouvant comporter chacune une unique rangée de dents de séparation des plaquettes ou deux rangées opposées de dents de séparation des plaquettes. Les flasques d’extrémité du dispositif d’immersion peuvent être de forme rectangulaire ou carrée. Ils peuvent avoir une largeur choisie dans la liste suivante, en millimètres (mm) : 260, 250, 242, 216, 211,7, 208,75, 206,75, cette liste n’étant pas limitative. Ils peuvent avoir une hauteur choisie dans la liste suivante, en millimètres (mm) : 260, 250, 242, 216, 211,7, 208,75, 206,75, cette liste n’étant pas limitative. Dans un exemple de réalisation, la hauteur d’un flasque d’extrémité peut par exemple être de l’ordre de 206 mm. Il peut avoir une largeur de l’ordre de 206 mm. Les flasques d’extrémité peuvent être configurés pour permettre leur préhension automatique au moyen d’un robot de chargement et de déchargement. La longueur du dispositif peut par exemple être environ de 274 mm, par exemple pour une capacité de 50 plaquettes de tailles voisines de M2 et pour une épaisseur de l’ordre de 180 μm pour une rangée, ou de 554 mm, par exemple pour une capacité de 100 plaquettes de tailles voisines de M2 et pour une épaisseur de l’ordre de 180 μm. Le dispositif peut être intégré dans une ligne de fabrication de cellules photovoltaïques. Procédé d’immersion L’invention a encore pour objet, indépendamment ou en combinaison avec ce qui précède, un procédé d’immersion de plaquettes de matériau semi-conducteur, notamment de silicium et/ou de germanium, dans lequel on place une ou plusieurs rangées de plaquettes dans un insert tel que défini ci-dessus, et on dispose l’insert dans un dispositif d’immersion, notamment tel que défini plus haut. Les deux étapes peuvent être effectuées dans cet ordre ou dans l’ordre inverse. L’invention pourra être mieux comprise à la lecture de la description détaillée qui va suivre, d’exemples de réalisation non limitatifs de celle-ci, et à l’examen du dessin annexé, sur lequel : La est une vue en perspective, schématique et partielle, d’un dispositif d’immersion conforme à l’invention. La est une vue en perspective, schématique et partielle, du dispositif d’immersion de la . La est une vue en perspective, schématique et partielle, de l’insert du dispositif d’immersion de la , contenant des plaquettes. La est une vue en perspective, schématique et partielle, de l’insert du dispositif d’immersion de la . La est une vue en perspective, schématique et partielle, de l’insert du dispositif d’immersion de la . La est une vue en perspective, schématique et partielle, des barres de maintien longitudinales de l’insert des figures 3a et 3b. La est une vue en perspective, schématique et partielle, d’un flasque d’extrémité de l’insert des figures 3a et 3b. La est une vue en perspective, schématique et partielle, du flasque central de l’insert des figures 3a et 3b. La est une vue en perspective, schématique et partielle, des barres de maintien transversales inférieures de l’insert des figures 3a et 3b. La est une vue en perspective, schématique et partielle, des montants verticaux de l’insert des figures 3a et 3b. La est une vue en perspective, schématique et partielle, des barres de maintien latérales de l’insert des figures 3a et 3b. La est une vue en perspective, schématique et partielle, des barres de maintien transversales supérieures de l’insert des figures 3a et 3b. Insert (100) pour dispositif d’immersion (1) de plaquettes (P) de matériau semi-conducteur, configuré pour pouvoir être inséré de manière amovible dans un dispositif d’immersion (1) de plaquettes, l’insert comportant des barres de maintien dentelées (140, 150, 160) pour la réception de plaquettes (P). Insert selon la revendication précédente, comportant au moins deux flasques d’extrémité (120), au moins un à chaque extrémité longitudinale de l’insert. Insert selon la revendication précédente, comportant des barres de maintien longitudinales (131, 132) s’étendant perpendiculairement aux flasques (120). Insert selon la revendication précédente, dans lequel les plaquettes (P) sont reçues parallèlement aux barres de maintien longitudinales (131, 132). Insert selon l’une des trois revendications précédentes, comportant des montants verticaux (170), disposés le long des flasques (120). Insert selon l’une des revendications 2 à 5, comportant des barres de maintien transversales (140, 150, 160) s’étendant parallèlement aux flasques. Insert selon la revendication précédente, les barres de maintien transversales (140, 150, 160) comportant des barres de maintien transversales inférieures (140), lesquelles peuvent être destinées à supporter les plaquettes, et/ou des barres de maintien latérales (150), lesquelles peuvent être destinées à caler les plaquettes en position, et/ou des barres de maintien transversales supérieures (160), lesquelles peuvent être destinées également au calage des plaquettes. Insert selon la revendication précédente, les barres de maintien transversales inférieures (140) comportant des rainures annulaires (142) destinées à recevoir les plaquettes (P), séparées par des dents (145) annulaires de séparation des plaquettes (P). Insert selon la revendication précédente, les barres de maintien transversales supérieures (160) comportant des extrémités libres (166) de forme ovale en section transversale. Insert selon l’une des trois revendications précédentes, les barres de maintien longitudinales (131, 132) et les barres de maintien transversales (140, 150, 160) étant démontables. Insert selon la revendication précédente, la position des barres de maintien longitudinales (131, 132) étant réglable lors du montage de l’insert par rapport aux flasques d’extrémité (120). Insert selon l’une quelconque des revendications précédentes, configuré pour recevoir une pluralité de rangées de plaquettes (P), notamment deux, trois ou quatre. Insert selon l’une quelconque des revendications précédentes, les montants verticaux (170) et/ou les barres de maintien (131, 132, 140, 150, 160), notamment les barres de maintien longitudinales (131, 132) et les barres de maintien transversales (140, 150, 160), comportant une âme entourée d’un revêtement, l’âme étant notamment en acier inoxydable. Dispositif d’immersion (1) de plaquettes (P), comportant un insert (100) selon l’une quelconque des revendications précédentes. Dispositif selon la revendication précédente, l’insert (100) reposant par gravité sur des barres de maintien (3) du dispositif d’immersion (1).