Brevet FR3131369A1 — publié le 20230630

Procédé de calibrage d’un capteur angulaire inertiel micro-usiné et système de calibrage Le procédé de calibrage d’un capteur angulaire inertiel micro-usiné (2) comprenant un support, au moins une masse vibrante mobile par rapport au support, au moins un transducteur d’excitation d’un mouvement de vibration de la masse vibrante, au moins un transducteur de détection d’une vibration de la masse vibrante, et au moins un transducteur électrostatique apte à appliquer une raideur électrostatique ajustable à la masse vibrante, le procédé de calibrage comprenant les étapes de réception par le capteur angulaire d’une excitation vibratoire prédéterminée émise par un dispositif d’excitation (18) distinct du transducteur d’excitation ; de mesure par le transducteur de détection de la vibration de la masse vibrante, pour obtenir un signal de mesure (S m ) à partir de ladite mesure par le transducteur de détection ; de transformation ; de détermination, de réglage, et d’application de la raideur électrostatique. Figure pour l'abrégé : Figure 1 Procédé de calibrage d’un capteur angulaire inertiel micro-usiné et système de calibrage La présente invention concerne un procédé de calibrage d’un capteur angulaire inertiel micro-usiné. La présente invention concerne également un système de calibrage configuré pour calibrer un capteur angulaire inertiel micro-usiné. L’invention concerne le domaine des capteurs angulaires inertiels embarqués, notamment pour la navigation, le pilotage, le guidage ou la recherche de cap. Un tel capteur angulaire inertiel est configuré pour mesurer une position angulaire, généralement appelé gyroscope, ou pour mesurer une vitesse angulaire, généralement appelé gyromètre. De tels capteurs sont connus en soi, par exemple du document EP 2 960 625 A1 de la Demanderesse. Un tel capteur comprend des moyens d’excitation, de détection, et souvent d’équilibrage. Dans le capteur, les masses sont généralement excitées en vibration dans un plan formé par des axes X et Y. Ce plan est perpendiculaire à un axe Z qui forme un axe dit sensible du capteur. Lors d’une rotation du capteur autour de son axe sensible, une composition de la vibration des masses mobiles avec un vecteur de rotation angulaire engendre, par effet Coriolis, des forces qui mettent les masses mobiles en vibration naturelle perpendiculairement à la vibration d’excitation et à l’axe sensible. L’amplitude de cette vibration naturelle est proportionnelle à la vitesse de rotation du capteur et permet alors de déduire une valeur de la vitesse angulaire autour de l’axe sensible. Lorsqu’une masse d’un tel capteur présente un balourd causé par des tolérances de fabrication par exemple, la mesure est, dans certains cas, susceptible d’être perturbée et n’est donc pas entièrement correcte. Des solutions ont été proposées pour répondre à ce problème, par exemple un traitement par laser pour enlever de la matière. D’autres solutions visent l’ajout d’éléments additionnels à l’intérieur du capteur pour permettre une compensation du balourd par des moyens mécaniques. Encore d’autres solutions proposent une commande directe des moyens d’excitation. Cependant, une telle commande est difficile à mettre en œuvre, car elle dépend d’un grand nombre de paramètres, tels que la température, la pression, etc. Ces solutions peuvent ainsi encore être améliorées, car elles sont difficiles à mettre en œuvre et/ou ne permettent pas d’augmenter la fiabilité de la mesure du capteur angulaire inertiel de manière satisfaisante. Ainsi, un objet de la présente invention est d’obtenir un procédé de calibrage d’un capteur angulaire inertiel micro-usiné qui est simple à mettre en œuvre, tout en obtenant une précision de mesure satisfaisante du capteur. À cet effet, l’invention a pour objet un procédé de calibrage d’un capteur angulaire inertiel micro-usiné comprenant un support, au moins une masse vibrante mobile par rapport au support, au moins un transducteur d’excitation d’un mouvement de vibration de la masse vibrante, au moins un transducteur de détection d’une vibration de la masse vibrante, et au moins un transducteur électrostatique apte à appliquer une raideur électrostatique ajustable à la masse vibrante, le procédé de calibrage comprenant les étapes de : - réception par le capteur angulaire d’une excitation vibratoire prédéterminée émise par un dispositif d’excitation distinct du transducteur d’excitation ; - mesure par le transducteur de détection de la vibration de la masse vibrante, pour obtenir un signal de mesure à partir de ladite mesure par le transducteur de détection ; - transformation du signal de mesure sur une fenêtre temporelle prédéterminée dudit signal de mesure en une densité spectrale de puissance ; - détermination d’au moins une valeur, dite valeur de bruit, en fonction d’une partie de ladite densité spectrale de puissance comprenant une fréquence inférieure ou égale à une fréquence prédéterminée ; - réglage de la raideur électrostatique par une boucle de rétroaction recevant en entrée la valeur de bruit et fournissant en sortie un signal de commande au transducteur électrostatique comprenant la raideur électrostatique à appliquer à la masse vibrante minimisant la valeur de bruit, de préférence minimisant l’amplitude de la valeur de bruit ; - application de la raideur électrostatique par le transducteur électrostatique conformément au signal de commande. Le procédé de calibrage permet en effet un calibrage très simple et fiable du capteur angulaire inertiel, car le réglage par la boucle de rétroaction permet au moins de réduire, voire d’annuler, la sensibilité du capteur angulaire à des vibrations, notamment à des vibrations linéaires et acoustiques. Cela permet notamment de compenser un balourd de la ou des masses du capteur causant une telle sensibilité. Aussi, le calibrage selon le procédé de calibrage est particulièrement fiable puisque la valeur de bruit présente uniquement des basses fréquences relatives à la présence d’un balourd de la ou des masses du capteur lors de la réception de l’excitation vibratoire prédéterminée. Aussi, du fait que le capteur reçoit une excitation vibratoire prédéterminée émise par un dispositif d’excitation qui est distinct du transducteur d’excitation, la mise en œuvre du procédé de calibration est particulièrement simple, car il suffit de positionner le capteur angulaire par exemple dans une zone prédéfinie pour recevoir cette excitation pour le calibrage, notamment en l’absence d’ajout d’éléments de compensation à l’intérieur du capteur. Suivant d’autres aspects avantageux de l’invention, le procédé de calibrage comprend une ou plusieurs des caractéristiques suivantes, prise(s) isolément ou suivant toutes les combinaisons techniquement possibles : - le capteur angulaire comprend au moins deux masses vibrantes mobiles par rapport au support, et mobiles l’une par rapport à l’autre, suspendues par des ressorts de suspension à des points d’ancrage fixes du support et couplées entre elles par des ressorts de couplage pour vibrer en opposition de phase, le capteur angulaire comprenant, respectivement pour chaque masse vibrante, au moins un transducteur d’excitation, et au moins un transducteur de détection, l’étape de mesure comprenant la mesure de la vibration de chaque masse vibrante par le transducteur de détection respectif, le signal de mesure étant obtenu à partir de la mesure de la vibration de chaque masse vibrante ; - le capteur angulaire comprend au moins un transducteur électrostatique respectivement pour chaque masse vibrante ; et l’étape de réglage comprend la fourniture, à chaque transducteur électrostatique, du signal de commande pour appliquer la raideur électrostatique respective à chaque masse vibrante minimisant la valeur de bruit ; - le signal de commande comprend, pour chaque masse vibrante, une raideur électrostatique différente l’une par rapport à l’autre pour tenir compte d’un balourd des masses vibrantes ; - l’une des masses vibrantes est appelée masse externe, et l’autre des masses vibrantes est appelée masse interne ; et, lors de l’étape de réglage, la boucle de rétroaction fournit le signal de commande comprenant des raideurs électrostatiques générant une force déterminée comme suit : , où : est une somme de raideurs électrostatiques à appliquer sur la masse interne, est une somme de raideurs électrostatiques à appliquer sur la masse externe, est un déplacement de la masse interne, et est un déplacement de la masse externe ; - ladite force annule des forces dites perturbantes suivantes : et , où est la masse de la masse interne, est la masse de la masse externe, est l’accélération de la masse interne, est l’accélération de la masse externe, est une somme de raideurs desdits ressorts de suspension reliant la masse interne au support, et est une somme de raideurs desdits ressorts de suspension reliant la masse externe au support ; - l’étape de mesure comprend la mesure par le ou chaque transducteur de détection de la vibration de la ou chaque masse vibrante selon un premier axe dans un plan du support, et la mesure, pour la ou chaque masse vibrante, par un transducteur additionnel de détection de la vibration de la ou chaque masse vibrante selon un deuxième axe perpendiculaire au premier axe et compris dans ledit plan ; - le signal de commande comprend la raideur électrostatique à appliquer selon le premier axe par le ou chaque transducteur électrostatique, pour la ou chaque masse vibrante, le signal de commande comprenant en outre la raideur électrostatique à appliquer selon le deuxième axe par un transducteur électrostatique additionnel, pour la ou chaque masse vibrante ; - l’étape d’application comprend l’application de la raideur électrostatique respective par le ou chaque transducteur électrostatique selon le premier axe, et par le ou chaque transducteur électrostatique additionnel selon le deuxième axe, conformément au signal de commande ; - le procédé de calibrage comprend au moins une répétition des étapes réception, de mesure, de transformation, de détermination, de réglage, d’application ; - lors de la répétition, le signal de commande comprend une raideur électrostatique à appliquer selon une direction, dans le plan du support, distincte du premier axe et du deuxième axe ; - le signal de commande comprend en outre une raideur électrostatique à appliquer par un transducteur électrostatique de compensation d’un biais en quadrature, le biais en quadrature correspondant à un couplage de raideur des ressorts de suspension selon le premier axe et le deuxième axe ; - le dispositif d’excitation comprend au moins élément parmi un haut-parleur, un élément piézoélectrique et un pot vibrant ; - la valeur de bruit est égale à une moyenne arithmétique d’une pluralité de valeurs de la densité spectrale de puissance à des fréquences inférieures ou égales à 0,1 Hz. L’invention a également pour objet un système de calibrage configuré pour calibrer un capteur angulaire inertiel micro-usiné comprenant un support, au moins une masse vibrante mobile par rapport au support, au moins un transducteur d’excitation d’un mouvement de vibration de la masse vibrante, au moins un transducteur de détection d’une vibration de la masse vibrante, et au moins un transducteur électrostatique apte à appliquer une raideur électrostatique ajustable à la masse vibrante, le système de calibrage comprenant un dispositif d’excitation configuré pour émettre une excitation vibratoire prédéterminée au capteur angulaire inertiel, et le système de calibrage comprenant en outre un dispositif de calcul comprenant : - un module de réception configuré pour recevoir un signal de mesure obtenu à partir d’une mesure de la vibration de la masse vibrante par le transducteur de détection ; - un module de transformation configuré pour transformer le signal de mesure sur une fenêtre temporelle prédéterminée dudit signal de mesure en une densité spectrale de puissance ; - un module de détermination configuré pour déterminer au moins une valeur, dite valeur de bruit, en fonction d’une partie de ladite densité spectrale de puissance comprenant une fréquence inférieure ou égale à une fréquence prédéterminée ; - une boucle de rétroaction configurée pour régler la raideur électrostatique, la boucle de rétroaction étant configurée pour recevoir en entrée la valeur de bruit et pour fournir en sortie un signal de commande au transducteur électrostatique comprenant la raideur électrostatique à appliquer à la masse vibrante minimisant la valeur de bruit, de préférence minimisant l’amplitude de la valeur de bruit, et - un module d’émission configuré pour émettre le signal de commande au capteur angulaire inertiel pour appliquer la raideur électrostatique par le transducteur électrostatique conformément au signal de commande. Ces caractéristiques et avantages de l’invention apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d’exemple non limitatif, et faite en référence aux dessins annexés, sur lesquels : - la est une vue schématique d’un ensemble comprenant un capteur angulaire inertiel et un système de calibrage selon l’invention ; - la est une vue schématique d’un exemple du capteur angulaire inertiel de la ; - la est une vue schématique d’un autre exemple du capteur angulaire inertiel de la ; et - la est un ordinogramme d’un procédé de calibrage mis en œuvre par le système de calibrage de la . Sur la , un ensemble 1 comprend un capteur angulaire inertiel micro-usiné 2 et un système de calibrage 4 configuré pour calibrer le capteur angulaire 2. Par la suite, le capteur angulaire inertiel micro-usiné 2 est appelé capteur angulaire 2. Le capteur angulaire 2 est par exemple un gyromètre configuré pour mesurer une vitesse angulaire. En variante ou en complément, le capteur angulaire 2 est un gyroscope pour mesurer une position angulaire. Le capteur angulaire 2 est un capteur micro-usiné, et forme ainsi un microsystème électromécanique, également défini par son sigle MEMS (de l’anglais « Microelectromechanical systems »). Le capteur angulaire 2 est en particulier un capteur destiné à être embarqué dans un véhicule, non représenté, par exemple dans un aéronef, un drone ou un navire. Le capteur angulaire 2 est par exemple destiné à être embarqué dans une centrale de navigation, de pilotage ou de guidage du véhicule. Le capteur angulaire 2 est en particulier un gyromètre de type diapason, notamment un gyromètre de type diapason à deux masses vibrantes. Par « masse vibrante », il est entendu que la masse est apte à effectuer des oscillations, par exemple entrainées par des moyens décrits plus loin, et par effet Coriolis lors d’une rotation du capteur angulaire 2. En référence aux exemples des figures 2 et 3, le capteur angulaire 2 comprend un support 6 s’étendant dans un plan du support 6, selon un premier axe X et un deuxième axe Y perpendiculaire au premier axe X. Le capteur angulaire 2 comprend au moins une masse vibrante 8, 10, de préférence deux masses vibrantes 8, 10 disposées l’une autour de l’autre, pour former une masse appelée masse interne 8 et une masse appelée masse externe 10. Les masses vibrantes 8, 10 sont mobiles par rapport au support 6, et mobiles l’une par rapport à l’autre. Des centres de gravité 0 des masses vibrantes 8, 10 sont notamment confondus au repos. Le capteur angulaire 2 comprend des ressorts de suspension 12, par exemple quatre pour chaque masse vibrante 8, 10, suspendant chaque masse vibrante 8, 10 à un point d’ancrage 14 respectif qui est fixe par rapport au support 6. Le capteur angulaire 2 comprend en outre des ressorts de couplage 16, par exemple quatre lorsque le capteur angulaire 2 comprend deux masses 8, 10, couplant les masses vibrantes 8, 10 entre elles pour permettre une vibration des masses 8, 10 en opposition de phase. L’exemple du capteur angulaire 2 de la diffère de l’exemple de la en ce que, sur la , les ressorts de suspension 12 de la masse externe 10 sont orientés vers la masse interne 8 et fixés aux mêmes points d’ancrage 14 que les ressorts de suspension 12 correspondants de la masse interne 8. Le capteur angulaire 2 comprend en outre, visible en particulier sur la , au moins un transducteur d’excitation Ex, Ey d’un mouvement de vibration de la masse vibrante 8, 10, au moins un transducteur de détection Dx, Dy d’une vibration de la masse vibrante 8, 10, et au moins un transducteur électrostatique Tx, Ty apte à appliquer une raideur électrostatique ajustable à la masse vibrante 8, 10. Le fait que la raideur statique est « ajustable » indique que le transducteur électrostatique Tx, Ty est apte à modifier la raideur électrostatique. Le capteur angulaire 2 comprend de préférence en outre au moins un transducteur électrostatique de compensation d’un biais en quadrature Q+, Q- configuré pour compenser un biais en quadrature. Le biais en quadrature correspond à un couplage d’une raideur des ressorts de suspension 12 selon le premier axe X et le deuxième axe Y. Pour plus de visibilité, les transducteurs Ex, Ey, Dx, Dy, Tx, Ty, Q+ et Q- ne sont pas représentés sur la . De préférence, le capteur angulaire 2 selon l’exemple de la comprend les mêmes transducteurs que ceux de l’exemple de la . Un exemple de la disposition des transducteurs Ex, Ey, Dx, Dy, Tx, Ty, Q+ et Q- est décrit dans ce qui suit, en référence à la . Le capteur angulaire 2 comprend par exemple un transducteur d’excitation Ex configuré pour exciter la masse interne 8 selon le premier axe X, et un transducteur d’excitation Ey configuré pour exciter la masse interne 8 selon le deuxième axe Y notamment lors d’une opération du capteur angulaire 2 par exemple pour obtenir une vitesse angulaire. Le capteur angulaire 2 comprend par exemple deux transducteurs de détection Dx configurés pour détecter la vibration de la masse interne 8 selon le premier axe X, et deux transducteurs de détection Dy pour une telle détection selon le deuxième axe Y. Le capteur angulaire 2 comprend en outre un transducteur électrostatique Tx apte à appliquer la raideur électrostatique ajustable à la masse interne 8 selon le premier axe X, et un transducteur électrostatique Ty correspondant pour le deuxième axe Y, également appelé transducteur électrostatique additionnel. La capteur angulaire 2 comprend par exemple deux transducteurs électrostatiques de compensation Q+ configurés pour compenser un biais en quadrature positif, et deux transducteurs électrostatiques de compensation Q- configurés pour compenser un biais en quadrature négatif. Sur la , les transducteurs Ex, Ey, Dx, Dy, Tx, Ty, Q+ et Q- sont représentés uniquement pour la masse interne 8. De préférence, le capteur angulaire 2 comprend en outre au moins un, de préférence chaque transducteur Ex, Ey, Dx, Dy, Tx, Ty, Q+ et Q- également pour la masse externe 10. Par exemple, chaque transducteur Ex, Ey, Dx, Dy, Tx, Ty, Q+ et Q- est tel que décrit dans EP 2 960 625 A1. Chaque transducteur Ex, Ey, Dx, Dy, Tx, Ty, Q+ et Q- est notamment un transducteur comprenant des peignes interdigités. Ces peignes interdigités comportent un peigne mobile solidaire de la masse interne 8, notamment fixe par rapport à la masse interne 8, et un peigne solidaire du support 6, et notamment fixe par rapport au support 6. Chaque transducteur Ex, Ey, Dx, Dy, Tx, Ty, Q+ et Q- est configuré soit pour appliquer une force à la masse interne 8, en fonction d’une tension reçue, soit pour détecter un mouvement de la masse interne 8 en mesurant des variations de charge entre les peignes fixes et mobile. Le système de calibrage 4 comprend un dispositif d’excitation 18 configuré pour émettre une excitation vibratoire prédéterminée au capteur angulaire 2, et un dispositif de calcul 20. Le dispositif d’excitation 18 comprend par exemple un haut-parleur, un élément piézoélectrique et/ou un pot vibrant. Le dispositif d’excitation 18 est par exemple configuré pour émettre au capteur angulaire 2 une excitation vibratoire d’une gamme de fréquences centrée autour d’une fréquence de résonance du dispositif d’excitation 18, par exemple d’une gamme de fréquences égale à +/-2kHz par rapport à la fréquence de résonance. La fréquence de résonance du dispositif d’excitation 18 est une fréquence prédéterminée. Par exemple, le dispositif d’excitation 18 est intégré dans un banc de calibrage, non représenté, permettant de positionner le capteur angulaire 2 à une position prédéterminée pour le calibrage par la réception de l’excitation vibratoire. Selon un autre exemple, le dispositif d’excitation 18 est fixé au capteur angulaire 2, par exemple en étant disposé ensemble avec le capteur angulaire 2 dans un même boîtier. Cela permet par exemple un auto-calibrage du capteur angulaire 2. Le dispositif de calcul 20 comprend un module de réception 22, un module de transformation 24, un module de détermination 25, une boucle de rétroaction 26 et un module d’émission 28. Le module de réception 22, le module de transformation 24, le module de détermination 25, la boucle de rétroaction 26 et le module d’émission 28 sont chacun par exemple intégrés dans au moins un calculateur. Dans ce cas, chacun des éléments parmi le module de réception 22, le module de transformation 24, le module de détermination 25, la boucle de rétroaction 26 et le module d’émission 28 se présente au moins partiellement sous la forme d’un logiciel exécutable par un processeur et stocké dans une mémoire du calculateur. En variante ou en complément, chacun des éléments parmi le module de réception 22, le module de transformation 24, le module de détermination 25, la boucle de rétroaction 26 et le module d’émission 28 est intégré, au moins partiellement, dans un dispositif physique, tel que par exemple un circuit logique programmable, tel qu’un FPGA (de l’anglais « Field Programmable Gate Array »), ou encore sous la forme d’un circuit intégré dédié, tel qu’un ASIC (de l’anglais « Application Specific Integrated Circuit »). Le module de réception 22 est configuré pour recevoir un signal de mesure S m obtenu à partir d’une mesure de la vibration de la masse vibrante 8, 10 par chaque transducteur de détection Dx, Dy. Le module de transformation 24 est configuré pour transformer le signal de mesure S m sur une fenêtre temporelle prédéterminée de ce signal de mesure S m en une densité spectrale de puissance. Le module de détermination 25 est configuré pour déterminer au moins une valeur, dite valeur de bruit V, en fonction d’une partie de la densité spectrale de puissance comprenant une fréquence inférieure ou égale à une fréquence prédéterminée. La fréquence prédéterminée est par exemple égale à 0.1 Hz. La boucle de rétroaction 26 est configurée pour régler la raideur électrostatique à appliquer par chaque transducteur électrostatique Tx, Ty à la masse vibrante 8, 10. La boucle de rétroaction 26 est configurée pour recevoir en entrée la valeur de bruit V et pour fournir en sortie un signal de commande S c au transducteur électrostatique Tx, Ty comprenant la raideur électrostatique à appliquer à la masse vibrante 8, 10 minimisant la valeur de bruit V. De préférence, la boucle de rétroaction 26 est configuré pour fournir en sortie le signal de commande S c minimisant l’amplitude de la valeur de bruit V. Le module d’émission 28 est configuré pour émettre le signal de commande S c au capteur angulaire 2 pour appliquer la raideur électrostatique par chaque transducteur électrostatique Tx, Ty conformément au signal de commande S c . Un procédé de calibrage 100 du capteur angulaire 2 est maintenant décrit, en référence à la montrant un ordinogramme de ce procédé. Le procédé de calibrage 100 comprend une étape de réception 110, une étape de mesure 120, une étape de transformation 130, une étape de détermination 135, une étape de réglage 140 et une étape d’application 150. Lors de l’étape de réception 110, le capteur angulaire 2 reçoit l’excitation vibratoire prédéterminée émise par le dispositif d’excitation 18 qui est distinct du transducteur d’excitation Ex, Ey. Chaque masse vibrante 8, 10 est soumise à des différentes forces lors de l’étape de réception 110. Un exemple est décrit ci-après. Chaque masse vibrante 8, 10 est soumise à des forces de rappel par les ressorts de suspension 12 reliant chaque masse vibrante 8, 10 au support 6. Les ressorts de suspension 12 engendrent une somme de raideurs Ki appliquées à la masse interne 8 et une somme de raideurs Ke appliquées à la masse externe 10. La somme des raideurs Ki appliquées sur la masse interne 8 par les ressorts de suspension 12 de la masse interne 8 est par exemple définie comme suit : , où est la raideur selon le premier axe X générée par les ressorts de suspension 12 reliant la masse interne 8 au support 6 ; est la raideur selon le deuxième axe Y générée par les ressorts de suspension 12 reliant la masse interne 8 au support 6 ; représente la raideur en quadrature formant un couplage entre le premier axe X et deuxième axe Y. La somme des raideurs Ke appliquées sur la masse externe 10 est définie de manière équivalente, avec l’indice e au lieu de i : . On définit en outre : comme étant le déplacement de la masse interne 8, et comme celui de la masse externe 10. Chaque masse vibrante 8, 10 est en outre soumise à des forces générées par les transducteurs électrostatiques Tx, Ty. Les transducteurs électrostatiques Tx, Ty engendrent une somme de raideurs Kti appliquées à la masse interne 8 et une somme de raideurs Kte appliquées à la masse externe 10. La somme des raideurs Kti appliquées sur la masse interne 8 est par exemple définie comme suit : , où est la raideur selon le premier axe X générée par le ou chaque transducteur électrostatique Tx selon l’axe X ; est la raideur selon le premier axe X générée par le ou chaque transducteur électrostatique Ty selon l’axe Y. La somme des raideurs Kte appliquées sur la masse externe 10 est définie de manière équivalente avec l’indice e au lieu de l’indice i. La masse interne 8 est par exemple soumise à une force oscillante qui est définie comme suit : , où est la masse de la masse interne 8 ; est l’accélération de la masse interne 8. De même, la masse externe 10 présente par exemple une force oscillante qui est définie comme suit : , où est la masse de la masse externe 10 ; est l’accélération de la masse externe 10. L’homme du métier comprendra que ces définitions des forces oscillantes sont des définitions simplifiées, ne tenant pas compte de certaines forces, par exemple des forces de couplages entre la masse interne et externe 8, 10, des forces de Coriolis, des écarts de force d’excitation appliquées à chaque masse. A partir des premiers termes et des équations de force oscillante pour chaque masse 8, 10, on a : . Cette équation présente notamment une accélération en phase , accélération moyenne des deux masses 8, 10, associée à la différence de masse et une accélération en opposition de phase , associée à la masse moyenne . On considère maintenant les deuxièmes termes et des équations de force oscillante pour chaque masse 8, 10. Ces termes sont relatifs aux forces engendrées par les ressorts de suspension 12 reliant la masse interne 8 et externe 10 au support 6. Le mouvement décrit ci-après est entrainé par le dispositif d’excitation 18. On a : Soit : . Lors de l’étape de réception 110, le mouvement de la masse interne et externe 8, 10 présente notamment deux forces perturbantes et , liées à une différence des masses 8, 10 et à une différence des sommes des raideurs des ressorts de suspension 12. Ces forces perturbantes sont notamment réduites, de préférence annulées, par la boucle de rétroaction 26 lors de l’étape de réglage 140, décrite plus loin. Lors de l’étape de mesure 120, le ou chaque transducteur de détection Dx, Dy mesure la vibration de la masse vibrante 8, 10, pour obtenir le signal de mesure S m à partir de la mesure par le ou chaque transducteur de détection Dx, Dy. Le signal de mesure S m est en particulier un signal fourni en sortie du capteur angulaire 2, par exemple une vitesse angulaire ou une position angulaire. Par exemple, le capteur angulaire 2 détermine, en fonction de l’amplitude de la vibration de la masse vibrante 8, 10, une vitesse angulaire correspondant au signal de mesure S m . Par exemple, lorsque le capteur angulaire 2 est un gyroscope, le signal de mesure S m est une mesure de la direction de la vibration de la masse vibrante 8, 10, dans le plan du support 6, mesurée par les transducteurs de détection Dx, Dy. A titre d’exemple, chaque transducteur de détection Dx, Dy mesure l’amplitude de la vibration selon l’axe correspondante X et Y, et le capteur angulaire 2 obtient le signal de mesure S m à partir de ces mesures. Lorsque le capteur angulaire 2 est un gyromètre, le signal de mesure S m est par exemple proportionnel à des forces d’excitation appliquées par le ou chaque transducteur d’excitation Ex, Ey. Le capteur angulaire 2 détermine ces forces d’excitation notamment en fonction de la mesure de la vibration de la masse vibrante 8, 10 par le ou chaque transducteur de détection Dx, Dy. Par exemple, l’étape de mesure 120 comprend la mesure par le transducteur de détection Dx de la vibration de la masse interne 8 selon le premier axe X, et la mesure par transducteur de détection Dy, également appelé transducteur additionnel de détection, de la vibration de la masse interne 8 selon le deuxième axe Y. Selon un exemple, l’étape de mesure 120 comprend des mesures selon une direction quelconque dans le plan du support 6, notamment différente de l’axe X ou Y. Notamment, cette vibration correspond au déplacement dénommé ci-dessus et éventuellement ses dérivées de premier et/ou second ordre(s). De préférence, l’étape de mesure 120 comprend en outre la mesure de la vibration de la masse externe 10 selon le premier axe X et le deuxième axe Y par les transducteurs de détection correspondants, non représentés. Notamment, cette vibration correspond au déplacement dénommé ci-dessus, et éventuellement ses dérivées de premier et/ou second ordre(s). Dans le cas de deux masses, à savoir la masse interne 8 et la masse externe 10, l’étape de mesure 120 comprend en particulier la mesure d’un mouvement de chaque masse 8, 10 selon le premier axe X, et selon le deuxième axe Y. Par exemple, le capteur angulaire 2 détermine le signal de mesure S m à partir de la différence du mouvement, notamment en opposition de phase, entre la masse interne 8 et la masse externe 10 selon le premier axe X, et la différence du mouvement entre ces masses 8, 10 selon le deuxième axe Y. Selon un exemple, le capteur angulaire 2 détermine une direction résultante de la vibration de chaque masse vibrante 8, 10, dans le plan du support 6, à partir des mesures des transducteurs de détection Dx et Dy, pour obtenir le signal de mesure S m . Lors de l’étape de transformation 130, le module de transformation 24 transforme le signal de mesure S m sur une fenêtre temporelle prédéterminée de ce signal de mesure S m en une densité spectrale de puissance. La densité spectrale de puissance est notamment la densité spectrale de puissance du signal de mesure S m . Le module de transformation 24 obtient la densité spectrale de puissance par exemple par application de la méthode du périodogramme sur le signal de mesure S m . La densité spectrale de puissance présente la répartition en fréquence de la puissance du signal de mesure S m selon les fréquences de ce signal. Par exemple, la densité spectrale de puissance présente l’unité : , où °/s est la vitesse de rotation obtenu par mesure par le capteur angulaire 2 en degrés par seconde ; et Hz est la fréquence en Hertz. Lors de l’étape de détermination 135, le module de détermination 25 détermine la valeur de bruit V, en fonction d’une partie de la densité spectrale de puissance comprenant une fréquence inférieure ou égale à la fréquence prédéterminée, par exemple 0,1 Hz. Par exemple, le module de détermination 25 détermine la moyenne arithmétique de chaque valeur de la densité spectrale de puissance inférieure ou égale à la fréquence prédéterminée pour obtenir la valeur de bruit V. Selon un autre exemple, le module de détermination 25 détermine une variance d’Allan pour obtenir la valeur de bruit V. Selon un exemple, le module de détermination 25 détermine une pluralité de valeurs de bruit V, correspondant par exemple à des directions différentes de mesure dans le plan du support 6. Lors de l’étape de réglage 140, la boucle de rétroaction 26 règle la raideur électrostatique à appliquer sur chaque masse 8, 10. Par « une raideur électrostatique », il est entendu une raideur qui est constante pendant une durée prédéterminée et qui est appliquée à la masse vibrante 8, 10, notamment constante pendant une durée supérieure de plusieurs ordres de grandeur par rapport à une période d’oscillation de l’excitation vibratoire prédéterminée générée par le dispositif d’excitation 18. Selon un exemple, la raideur électrostatique dépend d’une direction dans le plan du support 6 formé par les axes X et Y et/ou d’une température du capteur angulaire 2. La boucle de rétroaction 26 reçoit en entrée la valeur de bruit V et fournit en sortie le signal de commande S c à chaque transducteur électrostatique Tx, Ty comprenant la raideur électrostatique à appliquer à la masse vibrante 8, 10 respective, minimisant la valeur de bruit V. De préférence, la boucle de rétroaction 26 minimise l’amplitude de la valeur de bruit V en fournissant le signal de commande S c . La boucle de rétroaction 26 met notamment en œuvre une rétroaction négative qui tend à réduire la valeur de bruit V. Par exemple, le signal de commande S c comprend une raideur électrostatique différente l’une par rapport à l’autre pour chaque masse vibrante 8, 10 pour tenir compte d’un balourd des masses vibrantes 8, 10, de préférence une raideur différente selon l’axe X par rapport à l’axe Y. Dans l’exemple d’un capteur angulaire 2 comprenant les deux masses vibrantes 8, 10, le balourd correspond à la différence de masse entre les masses vibrantes 8 et 10. Le signal de commande S c comprend par exemple la raideur électrostatique à appliquer selon l’axe X par le transducteur électrostatique Tx, et la raideur électrostatique à appliquer selon l’axe Y par le Ty transducteur électrostatique additionnel, pour chaque masse vibrante 8, 10. Par exemple, le signal de commande S c comprend en outre une raideur électrostatique à appliquer par chaque transducteur électrostatique de compensation du biais en quadrature Q+, Q-. Par exemple, la boucle de rétroaction 26 fournit le signal de commande S c comprenant des raideurs électrostatiques générant une force déterminée comme suit : . En particulier, cette force déterminée minimise, et de préférence annule, les forces perturbantes suivantes : et . Lors de l’étape d’application 150, le transducteur électrostatique Tx, Ty applique la raideur électrostatique conformément au signal de commande S c . En particulier, le transducteur électrostatique Tx applique la raideur électrostatique respective selon l’axe X, et le transducteur électrostatique Ty selon l’axe Y, conformément au signal de commande S c . Les transducteurs électrostatiques Tx, Ty annulent notamment les termes diagonaux des forces perturbantes, en appliquant les raideurs suivantes : . Par exemple, chaque transducteur électrostatique de compensation Q+, Q- applique la raideur électrostatique respective conformément au signal de commande S c . Les transducteurs électrostatiques de compensation Q+, Q- annulent notamment les termes non-diagonaux des forces perturbantes. Par exemple, le procédé de calibrage 100 est répété plusieurs fois, comme notamment illustré par la flèche R sur la . Par exemple, lors de la répétition du procédé de calibrage 100, le dispositif d’excitation 18 émet en permanence une excitation vibratoire prédéterminée au capteur angulaire 2. Après une première exécution des étapes 110, 120, 130, 135, 140 et 150 et l’application de la raideur électrostatique conformément au signal de commande S c , la valeur de bruit V, et notamment son amplitude, est, lors d’une deuxième exécution, réduite par rapport à la première exécution. De préférence, le procédé de calibrage 100 est répété jusqu’à l’obtention d’une valeur prédéterminée de la valeur de bruit V. Selon un exemple, le procédé de calibrage 100 comprend au moins une répétition des étapes réception 110, de mesure 120, de transformation 130, de détermination 135, de réglage 140, d’application 150. Par exemple, le signal de commande S c comprend une raideur électrostatique à appliquer selon une direction, dans le plan du support 6, qui est distincte du premier axe X et du deuxième axe Y. Par exemple, le procédé de calibrage 100 comprend la mise en œuvre de plusieurs répétitions des étapes réception 110, de mesure 120, de transformation 130, de détermination 135, de réglage 140, d’application 150. Dans ce cas, lors d’une répétition donnée, le signal de commande S c comprend une raideur électrostatique à appliquer selon une première direction qui est distincte par rapport à une deuxième direction. La deuxième direction correspond notamment à la direction de la raideur électrostatique à appliquer lors d’une répétition précédente. La première et deuxième direction sont comprises dans le plan du support 6, et présentent par exemple un angle prédéterminé entre elles, tel que 10°. Bien entendu, d’autres modes de réalisation que ceux décrits ci-dessus peuvent être envisagés. Par exemple, le capteur angulaire 2 est un capteur différent de celui décrit ci-dessus. Par exemple, le capteur angulaire 2 comprend uniquement une masse vibrante ou plus que deux masses vibrantes. Le système de calibrage 4 et le procédé de calibrage 100 selon l’invention présentent un grand nombre d’avantages. En particulier, le système de calibrage 4 et le procédé de calibrage 100 permettent un calibrage du capteur angulaire 2 qui est simple à mettre en œuvre grâce à l’excitation par le dispositif d’excitation 18 qui est distinct du transducteur d’excitation Ex, Ey, et grâce au réglage à partir de la mesure en sortie du capteur angulaire 2. Aussi, le calibrage par le procédé selon l’invention permet d’obtenir une bonne précision de mesure du capteur angulaire 2, car le bruit basse fréquence de la mesure du capteur angulaire 2 est réduit par la rétroaction mise en œuvre par la boucle de rétroaction 26. Procédé de calibrage (100) d’un capteur angulaire inertiel micro-usiné (2) comprenant un support (6), au moins une masse vibrante (8, 10) mobile par rapport au support (6), au moins un transducteur d’excitation (Ex, Ey) d’un mouvement de vibration de la masse vibrante (8, 10), au moins un transducteur de détection (Dx, Dy) d’une vibration de la masse vibrante (8, 10), et au moins un transducteur électrostatique (Tx, Ty) apte à appliquer une raideur électrostatique ajustable à la masse vibrante (8, 10), le procédé de calibrage (100) comprenant les étapes de : - réception (110) par le capteur angulaire (2) d’une excitation vibratoire prédéterminée émise par un dispositif d’excitation (18) distinct du transducteur d’excitation (Ex, Ey) ; - mesure (120) par le transducteur de détection (Dx, Dy) de la vibration de la masse vibrante (8, 10), pour obtenir un signal de mesure (S m ) à partir de ladite mesure par le transducteur de détection (Dx, Dy) ; - transformation (130) du signal de mesure (S m ) sur une fenêtre temporelle prédéterminée dudit signal de mesure (S m ) en une densité spectrale de puissance ; - détermination (135) d’au moins une valeur, dite valeur de bruit (V), en fonction d’une partie de ladite densité spectrale de puissance comprenant une fréquence inférieure ou égale à une fréquence prédéterminée ; - réglage (140) de la raideur électrostatique par une boucle de rétroaction (26) recevant en entrée la valeur de bruit (V) et fournissant en sortie un signal de commande (S c ) au transducteur électrostatique (Tx, Ty) comprenant la raideur électrostatique à appliquer à la masse vibrante (8, 10) minimisant la valeur de bruit (V), de préférence minimisant l’amplitude de la valeur de bruit (V) ; - application (150) de la raideur électrostatique par le transducteur électrostatique (Tx, Ty) conformément au signal de commande (S c ). Procédé de calibrage selon la revendication 1, dans lequel le capteur angulaire (2) comprend au moins deux masses vibrantes (8, 10) mobiles par rapport au support (6), et mobiles l’une par rapport à l’autre, suspendues par des ressorts de suspension (12) à des points d’ancrage (14) fixes du support (6) et couplées entre elles par des ressorts de couplage (16) pour vibrer en opposition de phase, le capteur angulaire (2) comprenant, respectivement pour chaque masse vibrante (8, 10), au moins un transducteur d’excitation (Ex, Ey), et au moins un transducteur de détection (Dx, Dy) ; dans lequel l’étape de mesure (120) comprend la mesure de la vibration de chaque masse vibrante (8, 10) par le transducteur de détection (Dx, Dy) respectif, le signal de mesure (S m ) étant obtenu à partir de la mesure de la vibration de chaque masse vibrante (8, 10). Procédé de calibrage selon la revendication 2, dans lequel le capteur angulaire (2) comprend au moins un transducteur électrostatique (Tx, Ty) respectivement pour chaque masse vibrante (8, 10) ; et dans lequel l’étape de réglage (140) comprend la fourniture, à chaque transducteur électrostatique (Tx, Ty), du signal de commande (S c ) pour appliquer la raideur électrostatique respective à chaque masse vibrante (8, 10) minimisant la valeur de bruit (V). Procédé de calibrage selon la revendication 3, dans lequel le signal de commande (S c ) comprend, pour chaque masse vibrante (8, 10), une raideur électrostatique différente l’une par rapport à l’autre pour tenir compte d’un balourd des masses vibrantes (8, 10). Procédé de calibrage selon l’une quelconque des revendications 2 à 4, dans lequel l’une des masses vibrantes (8, 10) est appelée masse externe (10), et l’autre des masses vibrantes est appelée masse interne (8) ; et dans lequel, lors de l’étape de réglage (140), la boucle de rétroaction (26) fournit le signal de commande (S c ) comprenant des raideurs électrostatiques générant une force déterminée comme suit : , où : est une somme de raideurs électrostatiques à appliquer sur la masse interne (8), est une somme de raideurs électrostatiques à appliquer sur la masse externe (10), est un déplacement de la masse interne (8), et est un déplacement de la masse externe (10). Procédé de calibrage selon la revendication 5, dans lequel ladite force annule des forces dites perturbantes suivantes : et , où est la masse de la masse interne (8), est la masse de la masse externe (10), est l’accélération de la masse interne (8), est l’accélération de la masse externe (10), est une somme de raideurs desdits ressorts de suspension (12) reliant la masse interne (8) au support (6), et est une somme de raideurs desdits ressorts de suspension (12) reliant la masse externe (10) au support (6). Procédé de calibrage selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l’étape de mesure (120) comprend la mesure par le ou chaque transducteur de détection (Dx) de la vibration de la ou chaque masse vibrante (8, 10) selon un premier axe (X) dans un plan du support (6), et la mesure, pour la ou chaque masse vibrante (8, 10), par un transducteur additionnel de détection (Dy) de la vibration de la ou chaque masse vibrante (8, 10) selon un deuxième axe (Y) perpendiculaire au premier axe (X) et compris dans ledit plan. Procédé de calibrage selon la revendication 7, dans lequel le signal de commande (S c ) comprend la raideur électrostatique à appliquer selon le premier axe (X) par le ou chaque transducteur électrostatique (Tx), pour la ou chaque masse vibrante (8, 10), le signal de commande (S c ) comprenant en outre la raideur électrostatique à appliquer selon le deuxième axe (Y) par un transducteur électrostatique additionnel (Ty), pour la ou chaque masse vibrante (8, 10) ; et dans lequel l’étape d’application (150) comprend l’application de la raideur électrostatique respective par le ou chaque transducteur électrostatique (Tx) selon le premier axe (X), et par le ou chaque transducteur électrostatique additionnel (Ty) selon le deuxième axe (Y), conformément au signal de commande (S c ). Procédé de calibrage selon la revendication 8, comprenant au moins une répétition des étapes réception (110), de mesure (120), de transformation (130), de détermination (135), de réglage (140), d’application (150), dans lequel, lors de la répétition, le signal de commande (S c ) comprend une raideur électrostatique à appliquer selon une direction, dans le plan du support (6), distincte du premier axe (X) et du deuxième axe (Y). Procédé de calibrage selon l’une quelconque des revendications 7 à 9 prise en combinaison avec la revendication 2, dans lequel le signal de commande (S c ) comprend en outre une raideur électrostatique à appliquer par un transducteur électrostatique de compensation d’un biais en quadrature (Q+, Q-), le biais en quadrature correspondant à un couplage de raideur des ressorts de suspension (12) selon le premier axe (X) et le deuxième axe (Y). Procédé de calibrage selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le dispositif d’excitation (18) comprend au moins élément parmi un haut-parleur, un élément piézoélectrique et un pot vibrant. Procédé de calibrage selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la valeur de bruit (V) est égale à une moyenne arithmétique d’une pluralité de valeurs de la densité spectrale de puissance à des fréquences inférieures ou égales à 0,1 Hz. Système de calibrage (4) configuré pour calibrer un capteur angulaire inertiel micro-usiné (2) comprenant un support (6), au moins une masse vibrante (8, 10) mobile par rapport au support (6), au moins un transducteur d’excitation (Ex, Ey) d’un mouvement de vibration de la masse vibrante (8, 10), au moins un transducteur de détection (Dx, Dy) d’une vibration de la masse vibrante (8, 10), et au moins un transducteur électrostatique (Tx, Ty) apte à appliquer une raideur électrostatique ajustable à la masse vibrante (8, 10), le système de calibrage (4) comprenant un dispositif d’excitation (18) configuré pour émettre une excitation vibratoire prédéterminée au capteur angulaire inertiel (2), et le système de calibrage (4) comprenant en outre un dispositif de calcul (20) comprenant : - un module de réception (22) configuré pour recevoir un signal de mesure (S m ) obtenu à partir d’une mesure de la vibration de la masse vibrante (8, 10) par le transducteur de détection (Dx, Dy) ; - un module de transformation (24) configuré pour transformer le signal de mesure (S m ) sur une fenêtre temporelle prédéterminée dudit signal de mesure (S m ) en une densité spectrale de puissance ; - un module de détermination (25) configuré pour déterminer au moins une valeur, dite valeur de bruit (V), en fonction d’une partie de ladite densité spectrale de puissance comprenant une fréquence inférieure ou égale à une fréquence prédéterminée ; - une boucle de rétroaction (26) configurée pour régler la raideur électrostatique, la boucle de rétroaction (26) étant configurée pour recevoir en entrée la valeur de bruit (V) et pour fournir en sortie un signal de commande (S c ) au transducteur électrostatique (Tx, Ty) comprenant la raideur électrostatique à appliquer à la masse vibrante (8, 10) minimisant la valeur de bruit (V), de préférence minimisant l’amplitude de la valeur de bruit (V), et - un module d’émission (28) configuré pour émettre le signal de commande (S c ) au capteur angulaire inertiel (2) pour appliquer la raideur électrostatique par le transducteur électrostatique (Tx, Ty) conformément au signal de commande (S c ).