Brevet FR3137139A1 — publié le 20231229

Pompe à vide (1) sèche comportant au moins un conduit de purge (16) comportant deux canaux (17, 18) ménagés dans l’épaisseur d’une demi-paroi transversale inter-étage (9a) d’une demi-coquille (4), chaque canal (17, 18) débouchant d’une face frontale (19) de la demi-paroi transversale inter-étage (9a) par un orifice (20, 21) respectif dans l’espace intérieur d’un étage de pompage (T1-T6), et une rainure transversale (22) ménagée dans la demi-paroi transversale inter-étage (9a) au niveau d’une surface d’assemblage (13) des demi-coquilles (3, 4), les canaux (17, 18) étant réalisés par des conduits tubulaires formés entre un plan incliné (23) de la rainure transversale (22) et la face frontale (19). Figure 1 - Pompe à vide Domaine technique de l’invention La présente invention concerne une pompe à vide et plus particulièrement, un conduit de purge de ladite pompe à vide. Arrière-plan technique Les pompes à vide sèches comportent un ou plusieurs étages de pompage en série dans lesquels circule un gaz à pomper entre une aspiration et un refoulement. On distingue parmi les pompes à vide connues, celles à lobes rotatifs également connues sous le nom « Roots » ou celles à bec, également connues sous le nom « Claw ». Ces pompes à vide sont dites « sèches » car en fonctionnement, les rotors tournent à l’intérieur du stator sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator, ce qui permet de ne pas utiliser d’huile dans les étages de pompage. Certaines pompes à vide sont employées dans des procédés de fabrication de semi-conducteurs, écrans plats, panneaux photovoltaïques ou revêtements, notamment des procédés de dépôts de couches minces sous vide dits « HARP » (pour High Aspect Ratio Process en anglais) notamment de type CVD, PECVD, SACVD, ALD... Ces procédés alternent généralement des étapes de dépôt où des gaz de procédés, tels que des précurseurs ou des vapeurs de résines, sont introduits dans le réacteur pour le dépôt de couches minces, avec des étapes de nettoyage où des gaz actifs, telles que des espèces gazeuses corrosives, sont introduits dans le réacteur pour nettoyer les parois du réacteur. Les gaz utilisés pour les étapes de dépôt peuvent générer des sous-produits en grande quantité sous forme solide (poudres, pâtes, morceaux). Une accumulation importante des poudres sur les parties mobiles de la pompe à vide peut rapidement conduire à l’arrêt de la pompe par grippage mécanique. La réduction du taux de défaillance sur ces procédés générateurs de poudre est donc essentielle. Pour éviter que des sous-produits polymérisés polluent les dispositifs de pompage, il est connu d’utiliser des pièges dans les lignes de vide. Ces pièges séparent les sous-produits solides des gaz, par exemple par gravité ou force centrifuge ou encore par condensation ou thermolyse, et retiennent les sous-produits solides par accumulation. Un problème est que l’accumulation des poudres dans le piège augmente la probabilité de rencontre entre des espèces de nature chimique différente. Il en résulte que des réactions chimiques indésirables, telles que les réactions de polymérisation précédemment mentionnées, peuvent apparaitre et être favorisées. Également, les températures élevées de ces pièges, généralement comprises entre 140°C à 170°C, fournissent l’énergie d’activation favorisant l’apparition de ces réactions chimiques. Ces pièges doivent donc être nettoyés très régulièrement. Une autre solution consiste à adapter par conception la géométrie de la pompe à vide pour faciliter l’évacuation des poudres, par exemple en prévoyant des canaux de transfert entre étages de pompage plus larges ou une pompe à vide verticale. Il est également connu d’injecter un fluide de purge comme l'azote dans la pompe à vide pour diluer les gaz pompés et favoriser l’évacuation des poudres. Cette injection est en général réalisée en plusieurs points répartis le long des étages de pompage à travers des buses d’injection débouchant dans les canaux de transfert ou aux refoulements des étages de pompage. Ces injections peuvent néanmoins s’avérer insuffisantes dans les cas où les procédés de fabrication, tels que ceux précédemment cités, sont fortement polluants et les sous-produits formés particulièrement adhérents. Des accumulations de sous-produits peuvent persister dans des zones d’engrènement entre les rotors où les jeux sont très faibles. En effet, on constate que les poudres sont entraînées et s’agglomèrent dans ces zones de rétrécissement des jeux et la compression réalisée au niveau de ces zones renforce la compacité de ces poudres les rendant encore plus dures et adhérentes. Le document EP1990543A1 propose un dispositif d’injection de fluide de purge permettant une purge plus efficace des rotors. Pour cela, un conduit de purge est ménagé dans l’épaisseur de la tranche de stator et débouche dans un étage de pompage. Ainsi ménagé dans le corps de stator, le fluide de purge peut être mis à la température du corps de pompe avant d’être injecté à l’intérieur de l’étage. Des rainures de guidage du fluide de purge peuvent être ménagées dans la face frontale de la tranche de stator pour nettoyer précisément et efficacement entre les rotors. L’injection localisée du fluide de purge permet le ciblage de l’injection dans ces zones, ce qui assure à la fois la dilution des contaminants et la dispersion par action mécanique des sous-produits solides et gazeux susceptibles de se déposer sur les rotors. Cependant, si cette solution convient bien pour des pompes à vide présentant une architecture en tranche, c’est-à-dire dans lesquelles les stators sont constitués de l’assemblage axial de plusieurs tranches de stator, cette solution est difficile à réaliser dans les parois inter-étage réalisées dans des stators de pompes à vide ayant une architecture en demi-coquilles. En effet, les stators demi-coquilles permettent de réaliser des parois inter-étage très fines, plus fines que celles des stators de structure en tranche, rendant l’usinage des conduits de purge difficile à réaliser. Un but de la présente invention est de proposer une pompe à vide résolvant au moins un des inconvénients décrits ci-dessus. A cet effet, l’invention a pour objet une pompe à vide sèche comportant : - un stator comportant au moins une première et une deuxième demi-coquilles complémentaires s’assemblant entre elles pour former au moins deux étages de pompage montés en série et séparés axialement entre eux par une paroi transversale inter-étage respective des demi-coquilles, - deux arbres de rotors s’étendant dans la direction axiale, configurés pour tourner dans les étages de pompage, caractérisée en ce qu’elle comporte au moins un conduit de purge comportant : - deux canaux ménagés dans l’épaisseur d’une demi-paroi transversale inter-étage d’une demi-coquille, chaque canal débouchant d’une face frontale de la demi-paroi transversale inter-étage par un orifice respectif dans l’espace intérieur d’un étage de pompage, et - une rainure transversale ménagée dans la demi-paroi transversale inter-étage au niveau d’une surface d’assemblage des demi-coquilles, les canaux étant réalisés par des conduits tubulaires formés entre un plan incliné de la rainure transversale et la face frontale. Les conduits de purge débouchant dans les étages de pompage depuis la face frontale faisant face aux rotors permet ainsi de nettoyer les profils des rotors au moyen d’une injection séquencée par la rotation des rotors, notamment dans les zones critiques entre rotors. L’injection peut en effet être localisée au niveau de la zone d’engrènement entre les profils de rotors où le volume est réduit. La rainure transversale ménagée dans la demi paroi transversale inter-étage permet l’accès à un outil pour la réalisation des canaux par perçage. Le perçage en biais de la demi-paroi transversale inter-étage est possible du fait que la rainure transversale présente un plan incliné, ce qui autorise la réalisation d’orifices débouchant dans la face frontale, en dessous de la surface d’assemblage, malgré la faible épaisseur des parois transversales inter-étages. La pompe à vide peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prises seules ou en combinaison. La rainure transversale présente par exemple une section longitudinale en forme de « V ». La surface de la demi-paroi transversale inter-étage de l’autre demi-coquille au niveau de la surface d’assemblage peut être plane. Le conduit de purge comporte par exemple un conduit commun ménagé dans la demi-paroi transversale inter-étage débouchant au centre de la rainure transversale. Les orifices peuvent être ménagés sur un cercle défini par le balayage de l’extrémité radiale d’un rotor respectif. Les orifices peuvent être ménagés à une distance comprise entre 5mm et 15mm de la surface d’assemblage dans la direction perpendiculaire aux directions longitudinales et transversales. La longueur des canaux est par exemple comprise entre 6mm et 14mm, tel que 10mm. Le diamètre des canaux tubulaires est par exemple compris entre 1mm et 3mm, tel que 2mm. Les canaux débouchent par exemple de la face frontale de la demi-paroi transversale inter-étage de la demi-coquille portant les sorties des étages de pompage. Cette pompe à vide peut comporter plus de deux étages de pompage. Dans ce cas, les demi-coquilles peuvent présenter plusieurs demi-parois transversales inter-étage. Un conduit de purge peut être ménagé dans chaque demi-paroi transversale inter-étage. La surface d’assemblage passe par exemple par les axes de rotation des arbres de rotors. Brève description des figures D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description suivante d'un mode de réalisation particulier de l’invention, mais nullement limitatif, ainsi que des dessins annexés sur lesquels : La est une représentation très schématique d’un exemple de pompe à vide. La montre une vue en perspective d’une demi-coquille de la pompe à vide. La montre une autre vue en perspective de la demi-coquille de la . La montre une vue de face agrandie d’un détail d’une demi-paroi transversale inter-étage de la demi-coquille de la . La montre une vue de dessus agrandie d’une rainure transversale de la demi-paroi transversale inter-étage. La montre une vue agrandie selon un plan de coupe longitudinal d’un canal et d’une rainure transversale de la demi-paroi transversale inter-étage. La montre une vue partielle en coupe de la demi-coquille de la selon un plan de coupe longitudinal passant par les canaux des conduits de purge. La montre une vue en coupe transversale de la demi-coquille de la . La montre une vue partielle en coupe de la demi-coquille de la selon un plan de coupe longitudinal passant par les conduits communs des conduits de purge. La montre une vue schématique des rotors en perspective agencés devant la face frontale de la demi-paroi transversale inter-étage dans laquelle les orifices sont ménagés. La montre les rotors de la dans une position angulaire initiale. La montre les rotors de la dans une position angulaire successive à celle de la . La montre les rotors de la dans une position angulaire successive à celle de la . La montre les rotors de la dans une position angulaire successive à celle de la . Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence. Description détaillée Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations. On définit par pompe à vide primaire, une pompe à vide volumétrique, qui est configurée pour aspirer, transférer, puis refouler un gaz à pomper à pression atmosphérique ou au-delà. Les rotors de la pompe à vide primaire peuvent être de type Roots ou Claw. Les rotors sont portés par deux arbres entrainés en rotation par un moteur de la pompe à vide primaire. Une pompe à vide primaire est également configurée pour pouvoir être mise en route à pression atmosphérique. On définit par pompe à vide Roots (également appelé « Blower » en anglais ou compresseur Roots ou « Booster » en anglais), une pompe à vide volumétrique configurée pour, à l’aide de deux rotors Roots, aspirer, transférer puis refouler un gaz à pomper. La pompe à vide Roots est montée en amont et en série d’une pompe à vide primaire. Les rotors sont portés par deux arbres entrainés en rotation par un moteur de la pompe à vide Roots. On entend par « en amont », un élément qui est placé avant un autre par rapport au sens d’écoulement des gaz pompés. A contrario, on entend par « en aval », un élément placé après un autre par rapport au sens d’écoulement des gaz pompés. Les flèches F sur la montrent le sens d’écoulement des gaz pompés. On définit la direction axiale L comme la direction longitudinale de la pompe à vide dans laquelle s’étendent les arbres de rotor. La direction transversale T est la direction perpendiculaire à la direction axiale L. Le plan transversal (T, V) est le plan perpendiculaire au plan longitudinal (L, T). L’invention s’applique à tout type de pompe à vide sèche, c’est-à-dire comportant deux ou plus de deux étages de pompage, telle que comprenant deux à dix étages de pompage. Cette pompe à vide peut être une pompe à vide primaire comportant une pluralité d’étages de pompage et configurée pour refouler les gaz pompés à pression atmosphérique ou une pompe à vide, dite Roots ou compresseur Roots, de deux à trois étages de pompage qui en utilisation, est raccordée en série et en amont d’une pompe à vide primaire et dont la pression de refoulement est celle obtenue par la pompe à vide primaire. La montre un schéma d’une telle pompe à vide 1. La pompe à vide 1 comporte un stator 2 comportant au moins une première et une deuxième demi-coquilles 3, 4 complémentaires s’assemblant entre elles. Le stator 2 peut également comporter une première et une deuxième pièce d’extrémité 5, 6 s’assemblant aux extrémités axiales des demi-coquilles 3, 4. Les demi-coquilles 3, 4 du stator 2 forment au moins deux étages de pompage T1-T6 montés en série entre un orifice d’aspiration 7 et un orifice de refoulement 8 de la pompe à vide 1, tel qu’entre deux et dix étages de pompage (six dans l’exemple illustratif). Les étages de pompage T1-T6 sont séparés axialement entre eux par une paroi transversale inter-étage 9 respective des demi-coquilles 3, 4. La pompe à vide 1 comporte également deux arbres de rotors 10 configurés pour tourner dans les étages de pompage T1-T6 de sorte que les rotors 10 entrainent un gaz à pomper entre l’orifice aspiration 7 et l’orifice de refoulement 8 ( ). Les rotors présentent par exemple des lobes de profils identiques, par exemple de type « Roots » à deux lobes ou plus (trois sur la ) ou de type « Claw » ou d’un autre principe similaire de pompe à vide volumétrique. Les arbres portant les rotors sont entrainés par un moteur M situé par exemple à côté de l’étage de refoulement T6 à une extrémité axiale de la pompe à vide 1. Chaque étage de pompage reçoit deux rotors 10 conjugués, les étages de pompage comprenant une entrée et une sortie respectives. Lorsque les arbres de rotors 10 tournent en sens opposés autour de leur axe de rotation respectif, le gaz aspiré depuis l’entrée est emprisonné dans le volume engendré par les rotors 10 et le stator 2, puis est entraîné par les rotors 10 vers l’étage suivant. Les étages de pompage successifs T1-T6 sont raccordés en série les uns à la suite des autres par des canaux de transfert 12 respectifs raccordant la sortie de l'étage de pompage qui précède à l'entrée de l'étage de pompage qui suit. Il y a par exemple deux canaux de transfert 12 pour raccorder une sortie d’un étage de pompage à l’entrée de l’étage de pompage suivant, les canaux de transfert 12 étant agencés de part et d’autre de l’étage de pompage. Les ouvertures des demi-canaux de transfert 12 sont visibles sur la demi-coquille 4 de la . Il s’agit de la demi-coquille 4 dans laquelle sont ménagées les sorties des étages de pompage T1-T6, ici désignée par deuxième demi-coquille. L’entrée du premier étage de pompage T1 communique avec l’orifice d’aspiration 7. La sortie du dernier étage de pompage T6 communique avec l’orifice de refoulement 8. Une canalisation 11 reliant la sortie du dernier étage de pompage T6 et l’orifice de refoulement 8 de la pompe à vide 1 est par exemple formée dans le corps de la demi-coquille 4 sous les étages de pompage T1-T6. Les dimensions axiales des rotors et des chambres de pompage (et donc les débits engendrés), sont par exemple égales ou décroissantes avec les étages de pompage, l’étage de pompage T1 situé du côté de l’orifice d’aspiration 7 recevant les rotors de plus grande dimension axiale et présentant le plus grand débit engendré. Ces pompes à vide sont dites « sèches » car en fonctionnement, les rotors tournent à l’intérieur du stator 2 sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator 2, ce qui permet de ne pas utiliser d’huile dans les étages de pompage. Les demi-coquilles 3, 4 s’assemblent entre elles selon une surface d’assemblage 13. Les étages de pompage T1-T6, les parois transversales inter-étages 9 et les canaux de transfert 12 sont en partie formés dans la première demi-coquille 3 et en partie dans la deuxième demi-coquille 4. Autrement dit, plus particulièrement, une paroi transversale inter-étage 9 est formée par l’assemblage de deux demi-paroi transversales inter-étage 9a, 9b. La surface d’assemblage 13 passe par exemple par un plan longitudinal médian de la pompe à vide 1 sèche qui contient par exemple les axes de rotation I-I des arbres de rotors 10. Des gorges d’étanchéité 14 peuvent être ménagées dans les demi-coquilles 3, 4 au niveau de la surface d’assemblage 13 pour recevoir des joints d’étanchéité (non représentés). Une première extrémité des demi-coquilles 3, 4 est fermée par la première pièce d’extrémité 5 et une deuxième extrémité des demi-coquilles 3, 4 est fermée par la deuxième pièce d’extrémité 6. Des trous 15 sont bien sûr ménagés dans les parois transversales inter-étage 9 des demi-coquilles 3, 4 séparant les étages de pompage T1-T6, et dans les pièces d’extrémités 5, 6 pour le passage des arbres de rotors 10. La pompe à vide 1 comporte en outre au moins un conduit de purge 16 configuré pour injecter un gaz de purge comme de l’azote. Le conduit de purge 16 comporte deux canaux 17, 18 ménagés dans l’épaisseur d’une demi-paroi transversale inter-étage 9a d’une demi-coquille 4 ( ). Chaque canal 17, 18 débouche d’une face frontale 19 de la demi-paroi transversale inter-étage 9a par un orifice 20, 21 respectif dans l’espace intérieur d’un étage de pompage T1-T6 (figures 3 et 4), en partie délimité par la demi-paroi transversale inter-étage 9a. La face frontale 9 de la demi-paroi transversale inter-étage 9a agencée entre les étages de pompage N et N+1 est celle délimitant l’étage de pompage N. Autrement dit, les canaux sont orientés de manière à déboucher vers l’arrière, dans le sens contraire de celui d’écoulement des gaz pompés. Ces orifices 20, 21 sont avantageusement ménagés sur un cercle C défini par le balayage de l’extrémité radiale d’un rotor 10 respectif ( ), le centre du cercle C étant l’axe de rotation I-I du rotor 10. Les orifices 20, 21 sont par exemple ménagés à une distance d comprise entre 5mm et 15mm de la surface d’assemblage 13 dans la direction (V) perpendiculaire aux directions longitudinales (L) et transversales (T). Cette distance d est liée à la forme des rotors 10, elle est adaptée pour que l’injection du gaz de purge débouche au refoulement de la zone d’engrènement des rotors 10. Mieux visible sur les figures 5 et 6, le conduit de purge 16 comporte une rainure transversale 22 ménagée dans la demi-paroi transversale inter-étage 9a au niveau de la surface d’assemblage 13 des demi-coquilles 3, 4. La surface de la demi-paroi transversale inter-étage 9b de l’autre demi-coquille 3 au niveau de la surface d’assemblage 13 peut être plane. Les canaux 17, 18 sont réalisés par des conduits tubulaires (droits) formés entre un plan incliné 23 de la rainure transversale 22 et la face frontale 19 (figures 6 et 7). Le plan 23 est incliné, par exemple sur toute la rainure 22, par rapport au plan longitudinal (L, T) de la surface d’assemblage 13 séparant les demi-coquilles 3, 4 par exemple d’un angle compris entre 30 et 60°, tel que 45°. La rainure transversale 22 présente par exemple une section longitudinale en forme de « V », une branche du « V » formant le plan incliné 23 du côté de l’étage de pompage dans lequel débouchent les canaux 17, 18 (figures 6 et 7). Cette forme en V est simple à usiner. La rainure transversale 22 ménagée dans la demi-paroi transversale inter-étage 9a permet l’accès à un outil pour la réalisation des canaux 17, 18 par perçage. Le perçage en biais de la demi-paroi transversale inter-étage 9a est possible du fait que la rainure transversale 22 présente un plan incliné 23, ce qui autorise la réalisation d’orifices 20, 21 débouchant dans la face frontale 19, en dessous de la surface d’assemblage 13, malgré la faible épaisseur des parois transversales inter-étages 9. La longueur des canaux 17, 18, entre le plan incliné 23 et la face frontale 19, est par exemple comprise entre 6mm et 14mm, tel que 10mm. Le diamètre des canaux 17, 18 tubulaires est par exemple compris entre 1mm et 3mm, tel que 2mm. Les canaux 17, 18 débouchent par exemple de la face frontale 19 de la demi-paroi transversale inter-étage 9a de la demi-coquille 4 portant les sorties des étages de pompage T1-T6, ici désignée par deuxième demi-coquille. Le gaz de purge est ainsi injecté du côté où la pression des gaz, et donc le risque de formation de dépôts, est le plus élevé. Comme mieux visible sur la vue en coupe de la , le conduit de purge 16 comporte par exemple un conduit commun 24 ménagé dans la demi-paroi transversale inter-étage 9a, communiquant avec la rainure transversale 22. Le conduit commun 24 débouche par exemple au centre de la rainure transversale 22. Dans l’exemple illustratif, le conduit commun 24 est réalisé par une première et une seconde conduites 24a, 24b droites communiquant entre elles. La première conduite 24a s’étend ici perpendiculairement à la surface d’assemblage 13, ce qui permet sa réalisation simple par usinage à partir de la surface d’assemblage 13. La seconde conduite 24b s’étend ici perpendiculairement à une surface extérieure, ici plane, de la demi-coquille 4 de sorte à pouvoir également être facilement réalisée par usinage à partir de la surface extérieure du stator 2. On obtient ainsi par exemple un conduit commun 24 coudé s’étendant entre la rainure transversale 22 ménagée au niveau de la surface d’assemblage 13 et une surface extérieure du stator 2, par exemple située sur un côté de la pompe à vide 1. Il y a par exemple un conduit de purge 16 ménagé dans l’épaisseur de la dernière demi-paroi transversale inter-étage 9a de la pompe à vide 1 dans le sens d’écoulement des gaz pompés F, les canaux 17, 18 débouchant dans l’espace intérieur du dernier étage de pompage T6. Le dernier étage de pompage T6 est celui où la pression des gaz est la plus élevée. Selon un exemple de réalisation, les demi-coquilles 3, 4 présentent plusieurs demi-paroi transversale inter-étage 9a (cinq dans l’exemple illustratif) et un conduit de purge 16 est ménagé dans chaque demi-paroi transversale inter-étage 9a. Tous les conduits communs 24 s’étendent ainsi par exemple dans une demi-paroi transversale inter-étage 9a, respective, dans un plan vertical ( ), et débouchent latéralement du stator 2 par un orifice de sortie 25 respectif ( ). Ces orifices de sortie 25 sont reliés par un distributeur externe (non représenté) à une source de gaz de purge. En fonctionnement, le gaz de purge est distribué dans les conduits de purge 16 de chaque étage de pompage T1-T6, d’abord dans les conduits communs 24, puis dans les rainures transversales 22, puis les canaux 16 et 17 et débouchent des parois frontales 9 dans l’espace intérieur des étages de pompage T1-T6. On a représenté la rotation des rotors 10 dans un étage de pompage sur un angle de rotation total d’environ 120° de manière schématisée sur les figures successives 11a à 11d, la montrant ces rotors 10 en perspective devant la face frontale 19 de la demi-paroi transversale inter-étage 9a dans laquelle les orifices 20, 21 sont ménagés. Entre la et la , on voit que le gaz de purge injecté par le premier orifice 20 lèche le pourtour d’un premier rotor 10 tandis que le deuxième orifice 21 est obturé par le deuxième rotor 10. Tout le gaz injecté dans le conduit de purge 16 est donc principalement évacué par le premier orifice 20 non bouché, sur les bords du premier rotor 10. Puis, alors que la rotation des rotors 10 se poursuit ( puis ), c’est au tour du premier orifice 20 d’être obturé par le premier rotor 10 et au deuxième orifice 21 de permettre au gaz de purge injecté dans le conduit de purge 16 de lécher le pourtour du deuxième rotor 10. Puis les rotors 10 continuent de tourner pour revenir dans une position angulaire équivalente à la position angulaire initiale de la . Entre les positions angulaires illustrées sur les figures 11a à 11d, il y a des positions pour lesquelles les rotors 10 obstruent simultanément les deux orifices 20, 21. Le gaz de purge est alors forcé à sortir à l’arrière des rotors 10, entre les rotors 10 et les faces frontales 19, ce qui permet de nettoyer les rotors 10. Les conduits de purge 16 débouchant dans les étages de pompage T1-16 depuis la face frontale 9 faisant face aux rotors 10 permet ainsi de nettoyer les profils des rotors 10 au moyen d’une injection séquencée par la rotation des rotors 10, notamment dans les zones critiques entre rotors 10. L’injection peut en effet être localisée au niveau de la zone d’engrènement entre les profils de rotors 10 où le volume est réduit. Pompe à vide (1) sèche comportant : - un stator (2) comportant au moins une première et une deuxième demi-coquilles (3, 4) complémentaires s’assemblant entre elles pour former au moins deux étages de pompage (T1-T6) montés en série et séparés axialement entre eux par une paroi transversale inter-étage (9) respective des demi-coquilles (3, 4), - deux arbres de rotors (10) s’étendant dans la direction axiale, configurés pour tourner dans les étages de pompage (T1-T6), caractérisée en ce qu’elle comporte au moins un conduit de purge (16) comportant : - deux canaux (17, 18) ménagés dans l’épaisseur d’une demi-paroi transversale inter-étage (9a) d’une demi-coquille (4), chaque canal (17, 18) débouchant d’une face frontale (19) de la demi-paroi transversale inter-étage (9a) par un orifice (20, 21) respectif dans l’espace intérieur d’un étage de pompage (T1-T6), et - une rainure transversale (22) ménagée dans la demi-paroi transversale inter-étage (9a) au niveau d’une surface d’assemblage (13) des demi-coquilles (3, 4), les canaux (17, 18) étant réalisés par des conduits tubulaires formés entre un plan incliné (23) de la rainure transversale (22) et la face frontale (19). Pompe à vide (1) selon la revendication 1, caractérisée en ce que la rainure transversale (22) présente une section longitudinale en forme de « V ». Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la surface de la demi-paroi transversale inter-étage (9b) de l’autre demi-coquille (3) au niveau de la surface d’assemblage (13) est plane. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le conduit de purge (16) comporte un conduit commun (24) ménagé dans la demi-paroi transversale inter-étage (9a) débouchant au centre de la rainure transversale (22). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les orifices (20, 21) sont ménagés sur un cercle (C) défini par le balayage de l’extrémité radiale d’un rotor (10) respectif. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les orifices (20, 21) sont ménagés à une distance (d) comprise entre 5mm et 15mm de la surface d’assemblage (13) dans la direction (V) perpendiculaire aux directions longitudinales (L) et transversales (T). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la longueur des canaux (17, 18) est comprise entre 6mm et 14mm, tel que 10mm. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le diamètre des canaux (17, 18) tubulaires est compris entre 1mm et 3mm, tel que 2mm. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les canaux (17, 18) débouchent de la face frontale (19) de la demi-paroi transversale inter-étage (9a) de la demi-coquille (4) portant les sorties des étages de pompage (T1-T6). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les demi-coquilles (3, 4) présentent plusieurs demi-parois transversales inter-étage (9a), un conduit de purge (16) étant ménagé dans chaque demi-paroi transversale inter-étage (9a). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la surface d’assemblage (13) passe par les axes de rotation (I-I) des arbres de rotors (10).