Brevet FR3132095A1 — publié le 20230728

Substrat transparent muni sur une de ses surfaces principales d’un empilement de couches minces, ledit empilement de couches est constitué des couches suivantes en partant du substrat: - un premier module diélectrique d’une ou plusieurs couches minces ; - une couche absorbante d’oxyde de tungstène ; - un deuxième module diélectrique d’une ou plusieurs couches minces ; dans lequel l’oxyde de tungstène comprend au moins un élément dopant sélectionné parmi les éléments chimiques du groupe 1 selon la nomenclature de l’IUPAC. Substrat transparent muni d’un empilement fonctionnel de couches minces L’invention à un substrat transparent muni d’un empilement de couches minces conférant des propriétés de « contrôle solaire ». Arrière-plan technique Des empilements fonctionnels de couches minces sont couramment utilisés pour procurer des fonctions d'isolation thermique et/ou de protection solaire aux vitrages équipant les bâtiments. Leur intérêt premier est qu’ils permettent de réduire l'effort de climatisation en évitant une surchauffe excessive (vitrages dits « de contrôle solaire ») et/ou en diminuant la quantité d'énergie dissipée vers l'extérieur (vitrages dits « bas émissifs »). Des fonctions de contrôle solaire sont recherchées pour les vitrages susceptibles d’être exposés à de forts taux d’ensoleillement. La capacité d’un vitrage à limiter la quantité d’énergie lumineuse transmise est définie par le facteur solaire, g, qui est le rapport de l’énergie totale transmise au travers de la surface vitrée ou du vitrage vers l’intérieur sur l’énergie solaire incidente. Plus la valeur du facteur solaire, g, est faible, meilleure est la protection contre le rayonnement solaire. Il est courant d’utiliser des vitrages « contrôle solaire » muni d’un empilement de couches minces dépourvu de couches fonctionnelles métalliques lorsque des propriétés de transparence aux radiofréquences sont recherchées. A la place des couches fonctionnelles métalliques, des couches fonctionnelles absorbantes du rayonnement infrarouge sont généralement utilisées. Elles peuvent être à base d’oxydes et/ou de nitrures. JP 2010180449 A [SUMITOMO METAL MINING CO [JP]] 19.08.2010 décrit une couche à base d’oxyde de tungstène déposée par pulvérisation cathodique à l’aide d’une cible d’oxyde de tungstène comprenant des éléments chimiques choisis par l’hydrogène, les alcalins, les alcalino-terreux et les terres rares. La couche présente une fonction de « contrôle solaire » grâce à sa forte absorption du rayonnement proche infrarouge. EP 3686312 A1 [SUMITOMO METAL MINING CO [JP]] 29.07.2020 décrit une couche à base d’oxyde de tungstène dopé au césium, et une méthode de dépôt d’une telle couche par pulvérisation cathodique. La couche présente une transparence aux ondes radio et une fonction de « contrôle solaire » grâce, notamment à sa forte absorption du rayonnement infrarouge. une représentation schématique d’un premier mode de réalisation du premier aspect de l’invention. est une représentation schématique d’un premier mode de réalisation d’un double vitrage selon le deuxième aspect de l’invention. est une représentation schématique d’un deuxième mode de réalisation d’un double vitrage selon le deuxième aspect de l’invention. est une représentation schématique d’un vitrage feuilleté selon le deuxième aspect de l’invention. est une représentation graphique de la transmission lumineuse et du facteur solaire pour plusieurs exemples de vitrage selon l’invention et trois contre-exemples. est une représentation graphique de la réflexion lumineuse en face intérieur et face extérieur pour plusieurs exemples de vitrage selon l’invention et trois contre-exemples. est une représentation graphique des paramètres de couleur a* et b* en transmission, en réflexion interne et en réflexion externe pour plusieurs exemples de vitrage selon l’invention et trois contre-exemples. est une représentation graphique de la transmission lumineuse et du facteur solaire pour plusieurs exemples de vitrage feuilleté selon l’invention et trois contre-exemples. est une représentation graphique de la réflexion lumineuse en face intérieur et face extérieur pour plusieurs exemples de vitrage feuilleté selon l’invention et trois contre-exemples. est une représentation graphique des paramètres de couleur a* et b* en transmission, en réflexion interne et en réflexion externe pour plusieurs exemples de vitrage feuilleté selon l’invention et trois contre-exemples. Description détaillée de modes de réalisation Il fait usage des définitions et conventions suivantes. Le terme « au-dessus », respectivement « en-dessous », qualifiant la position d’une couche ou d’un ensemble de couches et défini relativement à la position d’une autre couche ou d’un autre ensemble, signifie que ladite couche ou ledit ensemble de couches est plus proche, respectivement plus éloigné, du substrat. Ces deux termes, « au-dessus » et « en-dessous », ne signifient nullement que la couche ou l’ensemble de couches qu’ils qualifient et l’autre couche ou l’autre ensemble par rapport auquel ils sont définis soient en contact. Ils n’excluent pas la présence d’autres couches intermédiaires entre ces deux couches. L’expression « en contact » est explicitement utilisée pour indiquer qu’aucune autre couche n’est disposée entre eux. Sans aucune précision ou qualificatif, le terme « épaisseur » utilisé pour une couche correspond à l’épaisseur physique, réel ou géométrique, e, de ladite couche. Elle est exprimée en nanomètres. L’expression « module diélectrique » désigne une ou plusieurs couches en contact les unes avec les autres formant un ensemble de couches globalement diélectrique, c’est-à-dire qu’il n’a pas les fonctions d’une couche fonctionnelle métallique. Si le module diélectrique comprend plusieurs couches, celles-ci peuvent elles-mêmes être diélectriques. L’épaisseur physique, réelle ou géométrique, d’un module diélectrique de couches, correspond à la somme des épaisseurs physiques, réelles ou géométriques, de chacune des couches qui le constituent. Dans la présente description, les expressions « une couche de » ou « une couche à base de », utilisées pour qualifier un matériau ou une couche quant à ce qu’il ou elle contient, sont utilisées de manière équivalente. Elles signifient que la fraction massique du constituant qu’il ou elle comprend est d’au moins 50%, en particulier au moins 70%, de préférence au moins 90%. En particulier, la présence d’éléments minoritaires ou dopants n’est pas exclue. Par le terme « transparent », utilisé pour qualifier un substrat, signifie que le substrat est de préférence incolore, non opaque et non translucide afin de minimiser l’absorption de la lumière et ainsi conserver une transmission lumineuse maximale dans le spectre électromagnétique visible. Par « transmission lumineuse », il est entendu la transmission lumineuse, notée TL, telle que définie et mesurée dans la section 4.2 de la norme EN 410. La transmission lumineuse, TL, dans le spectre visible, le facteur solaire, g, et la sélectivité, s, la réflexion interne, Rint, et la réflexion externe, Rext, dans le spectre visible, ainsi que leurs modes de mesure et/ou calcul sont définis dans les normes EN 410, ISO 9050 et ISO 10292. Dans le cas d’un vitrage feuilleté, par « facteur de transmission thermique », Ug, il est entendu le facteur de transmission thermique telle que définie selon les normes EN 673. Conformément à la nomenclature de l’IUPAC, le groupe 1 des éléments chimiques comprend l’hydrogène et les éléments alcalins, c’est-à-dire le lithium, le sodium, le potassium, le rubidium, le césium et le francium. Par les expressions « indice de réfraction optique » et de « coefficient d’extinction optique », il est entendu l’indice de réfraction optique, n, et de coefficient d’extinction optique, k, tels que définis dans le domaine technique, notamment selon le modèle de Forouhi & Bloomer décrit dans l’ouvrage Forouhi & Bloomer, Handbook of Optical Constants of Solids II, Palik, E.D. (ed.), Academic Press, 1991, Chapter 7. Selon un premier aspect de l’invention, en référence à la , il est fourni un substrat transparent 1000 muni sur une de ses surfaces principales d’un empilement 1001 de couches minces, ledit empilement 1001 de couches est constitué des couches suivantes en partant du substrat 1000 : - un premier module diélectrique 1002 d’une ou plusieurs couches minces ; - une couche absorbante 1003 d’oxyde de tungstène ; - un deuxième module diélectrique 1004 d’une ou plusieurs couches minces ; L’oxyde de tungstène comprend au moins un élément dopant sélectionné parmi les éléments chimiques du groupe 1 selon la nomenclature de l’IUPAC. La couche absorbante 1003 d’oxyde de tungstène est une couche absorbante du rayonnement infrarouge, de préférence absorbante du rayonnement infrarouge dont la longueur d’onde est supérieure à 780nm. De manière surprenante, une couche absorbante 1003 d’oxyde de tungstène comprenant un élément dopant choisi par les éléments du groupe 1 selon la nomenclature de l’IUPAC encapsulé entre deux modules diélectriques permet d’accroitre la sélectivité. L’empilement 1001 du substrat transparent 1000 selon le premier aspect de l’invention ne comprend pas de couches fonctionnelles métalliques. Selon certains modes particuliers de réalisation, la couche absorbante 1003 d’oxyde de tungstène peut comprendre l’élément dopant X ou les éléments dopants X1,X2,… dans des proportions telles que le rapport molaire, X/W dudit élément sur le tungstène, W, ou la somme des rapports molaires de chaque élément sur le tungstène (X1+X2+…)/W est comprise entre 0,01 et 1, de préférence entre 0,01 et 0,6, voire entre 0,02 et 0,3. Il a été constaté que ces valeurs de rapport molaire peuvent permettre d’obtenir des valeurs optimales de sélectivité tout en permettant de limiter la quantité d’éléments dopants utilisés, et donc de générer une économie sur l’exploitation des ressources minérales pour les éléments dopants, ainsi qu’une diminution des coûts de fabrication. Selon certains modes de réalisation, la couche absorbante 1003 d’oxyde de tungstène peut comprendre au moins un élément dopant sélectionné parmi l’hydrogène, le lithium, le sodium, le potassium et le césium. Parmi les éléments du groupe 1, ces éléments particuliers peuvent permettre d’obtenir des valeurs avantageuses de sélectivité, c’est-à-dire des valeurs plus élevées. Selon des modes particulièrement préférés, la couche absorbante 1003 d’oxyde de tungstène peut comprendre le césium comme élément dopant, et le rapport molaire du césium sur le tungstène est compris entre 0,01 et 1, de préférence entre 0,05 et 0,4. Ces modes de réalisation permettent d’obtenir les meilleures performances quant à l’augmentation de la sélectivité, la préservation de couleurs et à l’économie sur les coûts. Selon certains modes de réalisation, l’épaisseur de la couche absorbante 1003 d’oxyde de tungstène peut être comprise entre 6 et 450 nm, de préférence entre 20 et 250 nm, voire entre 40 et 200 nm. Le substrat transparent 1000 peut être de préférence plan. Il peut être de nature organique ou inorganique, rigide ou flexible. En particulier, il peut être un verre minéral, par exemple un verre silico-sodo-calcique. Des exemples de substrats organiques pouvant être avantageusement utilisés pour la mise en œuvre de l’invention peuvent être les matériaux polymères tels que les polyéthylènes, les polyesters, les polyacrylates, les polycarbonates, les polyuréthanes, les polyamides. Ces polymères peuvent être des polymères fluorés. Des exemples de substrats minéraux pouvant être avantageusement mis en œuvre dans l’invention peuvent être les feuilles de verre minéral ou vitrocéramique. Le verre peut être de préférence un verre de type silico-sodo-calcique, borosilicate, aluminosilicate ou encore alumino-boro-silicate. Selon un mode préféré de réalisation de l’invention, le substrat transparent 1000 est une feuille de verre minéral silico-sodo-calcique. Selon certains modes de réalisation, le premier module diélectrique 1002 et/ou le deuxième module diélectrique 1004 peuvent comprendre une ou plusieurs couches à base de nitrure et/ou d’oxyde, de préférence à base d’oxyde de zinc et d’étain, d’oxyde de zinc, d’oxyde de titane, d’oxyde de zirconium, de nitrure d’aluminium, de nitrure silicium et de zirconium ou nitrure de silicium éventuellement dopé par l’aluminium, le zirconium et/ou le bore. Selon des modes avantageux de réalisation, le premier module diélectrique 1002 et/ou le deuxième module diélectrique 1004 sont constitués d’une ou plusieurs couches à base de nitrure. Selon des exemples de modes de réalisation, la ou les couches à base de nitrure du premier module diélectrique 1002 et/ou le deuxième module diélectrique 1004 sont choisies parmi le nitrure d’aluminium, le nitrure de silicium, le nitrure de titane, le nitrure de niobium, le nitrure silicium et de zirconium, le nitrure de silicium dopé par l’aluminium, le zirconium et/ou le bore. Lorsque la ou les couches du premier module diélectrique 1002 et du deuxième mode diélectrique 1004 sont à base de nitrure, elles permettent d’encapsuler la couche absorbante à base d’oxyde de tungstène. Cette encapsulation permet une double protection de la couche absorbante 1003 à base d’oxyde de tungstène. D’une part, elle prévient d’une éventuelle contamination par des éléments susceptibles de diffuser dans l’empilement 1001 depuis le substrat 1000, tels que notamment des ions alcalins ou l’oxygène dans le cas de substrat en verre minéral lord. D’autre part, elle permet de limiter, en particulier pendant une étape de traitement thermique de type recuit, la diffusion de l’oxygène dans l’empilement 1001 vers la couche absorbante 1003 à base d’oxyde de tungstène depuis l’atmosphère et/ou le substrat. Grâce à l’encapsulation, la composition chimique et le degré d’oxydation de la couche absorbante 1003 d’oxyde de tungstène varient peu avec le temps, ou s’ils varient, cette variation est favorable pour la sélectivité. D’autre part, lorsque l’empilement est soumis à un traitement thermique de recuit, l’encapsulation permet d’assurer un niveau correct de sélectivité. A l’usage, le substrat 1000 selon le premier aspect de l’invention est plus durable, en particulier ses performances sont préservées sur le long terme. Un deuxième aspect de l’invention concerne un vitrage, en particulier simple, double ou triple vitrage, et un vitrage feuilleté, comprenant un substrat transparent selon le premier aspect de l’invention. Selon un deuxième aspect de l’invention, il est fourni un simple ou double vitrage comprenant un substrat selon le premier aspect de l’invention. Un simple vitrage, ou vitrage monolithique, comprend un seul substrat, en particulier une feuille de verre minéral. Lorsque le substrat selon l’invention est utilisé comme vitrage monolithique, l’empilement fonctionnel de couches minces est de préférence déposé sur la face du substrat orientée vers l’intérieur de la pièce du bâtiment sur les murs de laquelle le vitrage est installé. Dans une telle configuration, il peut être avantageux de protéger la première couche et éventuellement l’empilement de couches minces contre les dégradations physiques ou chimiques à l’aide d’un moyen approprié. Un vitrage multiple comprend au moins deux substrats, en particulier des feuilles de verre minéral, parallèles séparées par une lame de gaz isolant. La plupart des vitrages multiples sont des doubles ou triples vitrages, c’est-à-dire qu’ils comprennent respectivement deux ou trois vitrages. Lorsque le substrat selon l’invention est utilisé comme élément d’un vitrage multiple, l’empilement fonctionnel de couches minces est de préférence déposé sur la face de la feuille de verre orientée vers l’intérieur en contact avec le gaz isolant. Cette disposition a pour avantage de protéger l’empilement des dégradations chimiques ou physiques de l’environnement extérieur. Selon des modes préférés de réalisation, en référence aux et , le vitrage est un double vitrage 2000, 3000 comprenant un substrat transparent 1000 selon l’un des quelconques modes de réalisation décrits précédemment de sorte que l’empilement fonctionnel 1001 de couches est situé face deux et/ou en face trois dudit vitrage 9000, 10000. Sur la figure, (E) correspond à l’extérieur du local où le vitrage est installé, et (I) à l’intérieur du local. Selon un premier mode de réalisation, en référence à la , le vitrage 2000 comprend une première feuille de verre transparent 1000 avec une surface interne 1000a et une surface externe 1000b, une deuxième feuille de verre transparent 2001 avec une surface interne et une surface externe, une lame de gaz isolant 2002, un espaceur 2003 et un joint de scellement 2004. La feuille de verre 1000 comprend, sur et en contact de sa surface intérieure 1000b en contact avec le gaz de la lame de gaz isolant 9002, un empilement fonctionnel 1001 selon le premier aspect de l’invention. L’ensemble fonctionnel 1001 est, de préférence, disposé de sorte que sa surface externe qui est opposée à celle 1000b de la feuille de verre transparent 1000 est orientée vers l’intérieur (I) du local, par exemple un bâtiment, dans lequel le vitrage est utilisé. Autrement dit, l’empilement fonctionnel 1001 est disposé en face 2 du vitrage en partant de l’extérieure (E). Selon un autre mode de réalisation, en référence à la , le vitrage est un double vitrage 3000 comprenant une première feuille de verre transparent 1000 avec une surface interne 1000a et une surface externe 1001b, une deuxième feuille de verre transparent 3001 avec une surface interne et une surface externe, une lame de gaz isolant 3004, un espaceur 3003 et un joint de scellement 3004. La feuille de verre 1000 comprend, sur et en contact de sa surface intérieure 1000a en contact avec le gaz de la lame de gaz isolant 9004, un empilement fonctionnel 1001 selon le premier aspect de l’invention. L’ensemble fonctionnel 1001 est, de préférence, disposé de sorte que sa surface externe qui est opposée à celle 1000a de la feuille de verre transparent 1000 est orientée vers l’extérieur (E) du local. Autrement dit, l’empilement fonctionnel (1001) est disposé en face 3 du vitrage en partant de l’extérieure (E). En référence à la , il est également fourni un vitrage feuilleté 4000 comprenant un premier substrat transparent 1000 selon le premier aspect de l’invention, un intercalaire de feuilletage 4001 et un deuxième substrat transparent 4002, tel que le premier substrat transparent 1000 et le deuxième substrat transparent 4002 sont en contact adhésif avec l’intercalaire de feuilletage 4001 et l’empilement 1001 de couches minces du premier substrat transparent 1000 est en contact avec l’intercalaire de feuilletage 4001. L’intercalaire de feuilletage 4001 peut être constitué d'une ou plusieurs couches de matériau thermoplastique. Des exemples de matériau thermoplastique sont le polyuréthane, le polycarbonate, le polyvynilbutyral (PVB), le polyméthacrylate de méthyle (PMMA), l’éthylène vinyl acétate (EA) ou une résine ionomère. L'intercalaire de feuilletage 4001 peut être sous la forme d'un film multicouche. Il peut également posséder des fonctionnalités particulières telles que, par exemple, des propriétés acoustiques ou encore anti-UV. Typiquement, l'intercalaire de feuilletage 4001 comprend au moins une couche de PVB. Son épaisseur est comprise entre 50 µm et 4mm. En général, elle est inférieure à 1mm. Les procédés de dépôts de couches minces sur des substrats, notamment des substrats verriers, sont des procédés bien connus dans l'industrie. A titre d’exemple, le dépôt d’un empilement de couches minces sur un substrat verrier, est réalisé par les dépôts successifs de chaque couche mince dudit empilement en faisant passer le substrat en verre à travers une succession de cellules de dépôt adaptées pour déposer une couche mince donnée. Les cellules de dépôt peuvent utiliser des méthodes de dépôt telles que la pulvérisation assistée par champ magnétique (également appelée pulvérisation magnétron), le dépôt assisté par faisceau d'ions (IBAD), l'évaporation, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD), le dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD), etc. Le procédé de dépôts par pulvérisation assistée par champ magnétique sont particulièrement utilisés. Les conditions de dépôt de couches sont largement documentées dans la littérature, par exemple dans les demandes de brevet WO2012/093238 A1 et WO2017/00602 A1. Selon un troisième aspect de l’invention, il est fourni un procédé de fabrication d’un substrat transparent selon le premier aspect de l’invention, tel que la couche absorbante d’oxyde de tungstène est déposée par une méthode de pulvérisation cathodique magnétron à l’aide d’une cible en oxyde de tungstène dopé à l’aide d’un élément chimique choisi parmi les éléments chimiques du groupe 1 selon la nomenclature de l’IUPAC. La cible en oxyde de tungstène peut notamment contenir un ou plusieurs éléments dopants dans les proportions telles que décrites pour la couche d’oxyde de tungstène dopé dans certains modes de réalisation du premier aspect de l’invention. La couche absorbante d’oxyde de tungstène peut être déposée par pulvérisation cathodique à l’aide de la cible susmentionnée sous une atmosphère de dépôt composée de 60 à 100 % d’argon et 0 à 40 % de dioxygène, de préférence de 70 à 85% d’argon et de 15 à 30% de dioxygène. La couche absorbante d’oxyde de tungstène peut être déposée sous une pression comprise entre 1 à 15mTorr, de préférence de 3 à 10mTorr. De préférence, le dépôt peut être réalisé à froid, c’est-à-dire à une température inférieure à 100°C, notamment comprise entre 20°C et 60°C, pour le substrat. Le dépôt peut également être réalisée à chaud, notamment à une température comprise entre 100°C et 400°C. Selon des modes particuliers de réalisation, le substrat 1000, après dépôt de l’empilement 1001, peut subir un traitement thermique de recuit. La température de recuit peut être comprise entre 450°C et 800°C, en particulier entre 550°C et 750°C, voire entre 600°C et 700°C. La durée de recuit peut être entre 5min et 30min, en particulier entre 5min et 20min, voire entre 5min et 10min. Tous les modes de réalisation décrits, qu’ils concernent le premier ou deuxième aspect de l’invention, peuvent être combinés entre eux sans modification ou adaptation particulière. Dans l’éventualité où des incompatibilités techniques apparaitraient lors de la mise œuvre d’une de ces combinaisons, il est à la portée de l’homme du métier de pouvoir les résoudre à l’aide de ses connaissances sans que cela ne requiert des efforts indus, notamment par la mise en œuvre d’un programme de recherche. Exemples Les caractéristiques et avantages de la présente invention sont illustrés par les exemples non limitatifs décrits ci-après. Les caractéristiques et avantages de l’invention sont illustrés par les exemples et contre-exemples décrits ci-après. Vingt-trois exemples, E1 – E23, conformément à l’invention sont décrits dans les tableaux 1, 2, 3 et 4 qui indiquent la composition et l’épaisseur exprimée en nanomètres des différentes couches. Les nombres dans les deux premières colonnes correspondent aux références des figures. La couche, notée CWO, d’oxyde de tungstène dopé au césium. Le rapport molaire du césium sur le tungstène dans la couche est d’environ 0,05-0,06. Tab. 1 E1 E2 E3 E4 E5 E6 1004 SiN 83 103 43 140 42 41 TiN NiCr 1,8 NbN 0,7 SiN 29 7 1003 CWO 49 368 67 64 67 45 1002 SiN 62 58 TiN NiCr 0,4 NbN 0,5 SiN 39 83 109 47 51 1000 verre 6mm 6mm 6mm 6mm 6mm 6mm Tab. 2 E7 E8 E9 E10 E11 E12 1004 SiN 44 60 67 74 71 41 TiN 3,4 NiCr NbN SiN 107 SiZrN27 44 108 SiZrN17 50 88 1003 CWO 64 69 47 51 59 64 1002 SiZrN27 97 121 SiZrN17 107 128 SiN 69 7 TiN 2,1 NiCr NbN 0,9 0,7 SiN 104 176 5 5 47 33 1000 verre 6mm 6mm 6mm 6mm 6mm 6mm Tab. 3 E13 E14 E15 E16 E17 E18 1004 SiN 118 104 45 18 28 27 TiN 13,2 10,2 NiCr NbN 5,2 SiN 17 29 29 SiZrN27 SiZrN17 1003 CWO 121 89 54 19 43 51 1002 SiZrN27 SiZrN17 SiN 27 5 38 TiN 18 2 NiCr NbN 1,8 SiN 89 56 41 16 60 11 1000 verre 6mm 6mm 6mm 6mm 6mm 6mm Tab. 4 E19 E20 E21 E22 1004 SiN 105 146 15 15 TiN 21 NiCr NbN 7,5 SiN 55 64 SiZrN27 SiZrN17 1003 CWO 199 92 40 53 1002 SiZrN27 SiZrN17 SiN 103 TiN NiCr NbN 10 SiN 24 67 44 36 1000 verre 6mm 6mm 6mm 6mm Trois contre-exemples, CE1 – CE3 sont décrits dans le tableau 5 qui indique la composition et l’épaisseur exprimée en nanomètres des différentes couches. Tab. 5 CE1 CE2 CE3 1004 SiN 41 34 28 TiN NiCr NbN 2,1 5,6 SiN SiZrN27 SiZrN17 1003 CWO 1002 SiZrN27 SiZrN17 SiN TiN NiCr NbN 10,4 SiN 5 8 5 1000 verre 6mm 6mm 6mm Le premier module diélectrique 1002 et le deuxième module diélectrique 1004 des exemples E1, E2, E13 et E19 comprennent uniquement des couches à base de nitrure de silicium avec différentes épaisseurs. Le premier module diélectrique 1002 et/ou le deuxième module diélectrique 1004 des exemples E3 à E6, E14 à E15 et E21 comprennent, outre des couches à base de nitrure de silicium, une couche de nitrure de niobium et/ou de nitrure mixte de nickel de chrome. Le premier module diélectrique 1002 et/ou le deuxième module diélectrique 1004 des exemples des exemples E8 à E12 comprennent, outre des couches à base de nitrure de silicium, une couche de nitrure de niobium et/ou de nitrure mixte de silicium et de zirconium. Le nitrure mixte de silicium et de zirconium noté SiZrN17 contient 17 at.% de zirconium, et le nitrure mixte de silicium et de zirconium noté SiZrN27 en contient 27at.%. Le premier module diélectrique 1002 et/ou le deuxième module diélectrique 1004 des exemples des exemples E16 à E18 et E22 comprennent, outre des couches à base de nitrure de silicium, une couche de nitrure de titane. Le contre-exemple CE1 correspond aux exemples E1 à E12, le contre-exemple CE2 aux exemples E13 à E18, et le contre-exemple CE3 aux exemples E19 à E23. Les empilements de couches minces des exemples E1 – E23 et des contre-exemples CE1 – CE3 ont été déposés par pulvérisation cathodique assistée par un champ magnétique (procédé magnétron) dont les caractéristiques sont largement documentées dans la littérature, par exemple dans les demandes de brevet WO2012/093238 et WO2017/00602. Le substrat 1000 est un verre minéral silico-sodo-calcique de 4 mm d’épaisseur. Après dépôt, les substrats ont fait l’objet d’un traitement thermique à 650°C pendant 10 min sous air. La nature des cibles utilisées et les conditions de dépôts des exemples E1 à E23 et des contre-exemples CE1 – CE3 sont regroupées dans le tableau 6. Tab. 6 Cible Pression (µbar) Ar (sccm) O2 (sccm) N2 (sccm) Power (W) SiN Si :Al 5 7 0 14 2000 SiZr27N Si:Zr 27 at. % 2 15 0 15 1000 SiZr17N Si:Zr 17 at. % 2 15 0 18 1000 NbN Nb 2 40 0 10 500 TiN Ti 2 32 0 15 2500 NiCr NiCr : Cr 20 wt.% 2 20 0 0 500 CWO CWO : Cs/W 0,3-0,4 4-10 30-40 2-10 0 1300 Le facteur solaire, g, la sélectivité, s, la transmission lumineuse, TL, la réflexion lumineuse en face intérieure, Rint, et en face extérieure, Rext, ainsi que la couleur en transmission, en face intérieure et en face extérieure, ont été mesurés pour chaque substrat des exemples E1 à E17 et des contre-exemples CE1 à CE4 assemblé dans un simple vitrage. Par l’expression « couleur », utilisée pour qualifier un substrat transparent muni d’un empilement, il est entendu la couleur telle que définie dans l’espace chromatique L*a*b* CIE 1976 selon la norme ISO 11664, notamment avec un illuminant D65 et un champ visuel de 2° ou 10° pour l’observateur de référence. Elle est mesurée conformément à ladite norme. La transmission lumineuse dans le spectre visible, TL, le facteur solaire, g, et la sélectivité, s, et la réflexion interne, Rint, et la réflexion externe, Rext, dans le spectre visible sont définis, mesurés et calculés en conformité avec les normes EN 410, ISO 9050 et/ou ISO 10292. Le facteur de transmission thermique, Ug, est défini, mesuré et calculé en conformité avec la norme EN 673. Les mesures de facteur solaire, de sélectivité, de transmission lumineuse, de réflexion interne et de réflexion externe, et d’émissivité sont regroupées dans le tableau 7 Les mesures des paramètres de couleur a* et b*, en transmission (a*T, b*T), en réflexion externe (a*Rext, b*Rext) et en réflexion interne (a*Rint, b*Rint) sont regroupées dans le tableau 8. Tab. 7 g s Tl Rint Rext Ug E1 65,5 1,08 70,5 11,8 16,6 5,7 E2 54,2 1,29 70 12,9 15,2 5,7 E3 61,1 1,15 70 9,7 7,2 5,7 E4 59,3 1,13 67 7,7 9,3 5,7 E5 61,1 1,15 70 9,7 7,3 5,7 E6 64,2 1,09 70 8,6 5,5 5,7 E7 60 1,17 70 9,3 6,8 5,7 E8 56 1,2 67,4 10,9 7,3 5,7 E9 62,6 1,12 70 9,8 12,4 5,7 E10 61,8 1,13 70 10,4 10,3 5,7 E11 58,5 1,2 70 8,8 8,1 5,7 E12 57,2 1,21 69,1 9 8,5 5,7 E13 48,5 1,08 52,2 12,3 16 5,7 E14 50,1 1,04 52,2 7,9 14,4 5,7 E15 51,9 1 52 11,4 4,2 5,7 E16 43,4 1,18 51,1 19 6,8 4,3 E17 47 1,1 51,9 8,1 5,9 4,9 E18 46,5 1,12 52 6,2 6,7 4,9 E19 40,8 1 40,6 8,7 17,4 5,9 E20 38,8 0,95 37 11,8 13,1 5,9 E21 45,4 0,82 37,4 7,2 18 5,9 E22 35,7 1,05 37,4 7 18 4,3 CE1 68,5 0,98 67,1 19 15,3 5.7 CE2 56,4 0,92 52 17,1 13,3 5.7 CE3 44,9 0,82 37 18,4 17,4 5.9 Tab. 8 a*T b*T a*Rext b*Rext a*Rint b*Rint E1 -0,4 0,9 -4 -13,1 -7,9 -10 E2 -4 -3,2 -4,8 -12,6 -3,4 -9,7 E3 -3,6 -1,8 -2 -5,7 -4 -10 E4 -3,6 -2,8 -6 -8,9 2 -10 E5 -3,5 -1,8 -0,9 -6,3 -4 -10 E6 -2,1 -1,2 -1,6 -8,8 2 -10 E7 -3,8 -0,7 -6 -5,9 -4 -10 E8 -3,8 -1,6 -5,4 -0,8 2 -10 E9 -4 -0,5 -6 -13 -2,7 -7,6 E10 -4 -4 -6 -4,9 0,7 -4,7 E11 -4 2 -6 -1,6 -4 -9,7 E12 -4 0,3 -6 -5,9 -3,8 -9,6 E13 -7 -6,5 -6 -10,7 -4 -8,4 E14 -4,2 -5,4 -6 -10,6 -4 -10,4 E15 -2,1 -4 -4,7 -12,9 2 -10 E16 -3,4 -0,9 -6 -13 -0,9 -9 E17 -3,1 -4 -6 -4,6 -4 -10 E18 -4 -2 -6 -13 -0,1 -9,9 E19 -8,9 -11,7 -6,6 -14,2 -2,9 -5,3 E20 -1,2 -4,1 -6 0 -4 -1,1 E21 -1,9 -5,1 -4,8 -7,1 2,1 -6,1 E22 -4,8 -4,7 1 -7,8 0,7 -10 CE1 -1 0,6 -2,4 -7,8 -0,7 -4,4 CE2 -1,5 -2,2 -1,7 -9,6 0,9 2 CE3 -1,6 -4,4 -0,5 -7,3 1,9 10 Le tableau 7 montre que les niveaux d’émissivité des exemples sont plus faibles, sinon équivalents, à ceux des contre-exemples. Les valeurs de transmission lumineuse, TL et de facteur solaire, g, sont représentées sur la pour les exemples E1 à E12 (cercles pleins), E13 à E18 (carrés pleins), et E19 à E22 (triangles pleins, et les contre-exemples respectifs CE1 (cercle vide), CE2 (carré vide) et CE3 (triangle vide). Sur ce graphique sont également représentés les seuils de sélectivité, s = 0,8, s = 1,0 et s = 1,2 comme guides pour les yeux. La montre que, pour une transmission lumineuse équivalente, les exemples présentent des valeurs de sélectivité plus élevées que les contre-exemples respectifs. Le gain de sélectivité peut s’élever à 0,3, voire 0,4 points. Les valeurs de réflexion externe et de réflexion interne sont représentées sur la pour les exemples E1 à E12 (cercles pleins), E13 à E18 (carrés pleins), et E19 à E22 (triangles pleins, et les contre-exemples respectifs CE1 (cercle vide), CE2 (carré vide) et CE3 (triangle vide). La montre que les exemples selon l’invention présentent des niveaux de réflexion en face interne et en face externe inférieures sinon équivalents inférieurs à ceux des contre-exemples pour des valeurs de transmission lumineuse comparables. En d'autres termes, l’invention permet également de réduire la réflexion lumineuse, notamment en face interne, tout en préservant en conservant le même niveau de transmission lumineuse. Les valeurs des paramètres de couleur a*, b* sont représentées sur la pour les exemples E1 à E22 (figurés pleins) et les contre-exemples CE1 à CE 3 (figurés vides). Les paramètres de couleur en transmission a*T, b*T sont représentés par des cercles, les paramètres en réflexion en face extérieur a*Rext, b*Rext sont représentés par des triangles, et les paramètres en réflexion en face intérieur a*Rint, b*Rint sont représentés par des carrés. En transmission, les exemples selon l’invention ont un paramètre de couleur b* plus faible que les contre-exemples. En réflexion face externe, les exemples selon l’invention ont un paramètre de couleur b*Rext plus faible que les contre-exemples. En réflexion face interne, les exemples selon l’invention ont des paramètres de couleur a*Rint et b*Rint plus faibles que les contre-exemples. Les empilements 1001 des exemples E1, E2, E3, E9 et E11 du contre-exemple CE1ont également été utilisés pour former des vitrages feuilletés, notés respectivement VFE1, VFE2, VFE3, VFE9, VFE11 et VFCE1. Les revêtements fonctionnels 1001 ont été déposés dans les mêmes conditions que précédemment sur des feuilles 1000 de verre minéral silico-sodo-calcique de 4 mm d’épaisseur. Juste après dépôt, les revêtements fonctionnels ont fait l’objet d’un traitement thermique à 650°C pendant 10 min Une fois le dépôt et le traitement thermique terminés, chacune des feuilles de verre 1000 munie d’un revêtement fonctionnel 1001 est laminée avec un intercalaire de feuilletage 2001 en PVB d’une épaisseur de 0,38mm et une deuxième feuille de verre 2002 en verre minéral silico-sodo-calcique d’une épaisseur de 4mm afin de former un vitrage feuilleté selon le schéma de la . Le facteur solaire, g, la sélectivité, s, la transmission lumineuse, Tl, la réflexion lumineuse en face intérieure, Rint, et en face extérieure, Rext, ainsi que la couleur en transmission, en face intérieure et en face extérieure, ont été mesurés pour chaque substrat des exemples VFE1, VFE2, VFE3, VFE9, VFE11 et le contre-exemples VFCE1 assemblé dans un vitrage feuilleté. Par l’expression « couleur », utilisée pour qualifier un vitrage feuilleté muni d’un empilement, il est entendu la couleur telle que définie dans l’espace chromatique L*a*b* CIE 1976 selon la norme ISO 11664, notamment avec un illuminant D65 et un champ visuel de 2° ou 10° pour l’observateur de référence. Elle est mesurée conformément à ladite norme. La transmission lumineuse dans le spectre visible, TL, le facteur solaire, g, et la sélectivité, s, et la réflexion interne, Rint, et la réflexion externe, Rext, dans le spectre visible sont définis, mesurés et calculés en conformité avec les normes EN 410, ISO 9050 et/ou ISO 10292. Le facteur de transmission thermique, Ug, est défini, mesuré et calculé en conformité avec la norme EN 673. Les mesures de facteur solaire, de sélectivité, de transmission lumineuse, de réflexion interne et de réflexion externe, et d’émissivité sont regroupées dans le tableau 9 Les mesures des paramètres de couleur a* et b*, en transmission (a*T, b*T), en réflexion externe (a*Rext, b*Rext) et en réflexion interne (a*Rint, b*Rint) sont regroupées dans le tableau 10. Tab. 9 g s Tl Rint Rext Ug VFE1 56 1,21 67,5 7,7 7,3 5,6 VFE2 54,2 1,31 71,2 11,8 11,7 5,6 VFE3 56 1,21 67,6 7,7 7,4 5,6 VFE9 58,8 1,19 70 10,2 9,9 5,6 VFE11 57,9 1,21 70 8,7 8,6 5,6 VFCE1 65,2 1,03 67,1 13 8,4 5,6 Tab. 10 a*T b*T a*Rext b*Rext a*Rint b*Rint VFE1 -4 -3,9 -6 -6 -3,4 -7,4 VFE2 -4,4 -3,6 -4,6 -10,1 -4,7 -10 VFE3 -4 -3,8 -6 -6,1 -3,3 -7,5 VFE9 -4 1,3 -6 -6,1 -4 -6,7 VFE11 -4 -0,6 -6 -5,3 -4 -3,5 VFCE1 -1,7 0 -1 -4,9 -0,6 -2,4 Le tableau 9 montre que les niveaux d’émissivité des exemples sont plus faibles, sinon équivalents, à ceux des contre-exemples. Les valeurs de transmission lumineuse, TL et de facteur solaire, g, sont représentées sur la pour les exemples VFE1, VFE2, VFE3, VFE9, VFE11 (cercles pleins) et le contre-exemple VFCE1 (cercle vide). Sur ce graphique sont également représentés les seuils de sélectivité, s = 1,0 et s = 1,2 comme guides pour les yeux. La montre que, pour une transmission lumineuse équivalente, les exemples présentent des valeurs de sélectivité plus élevées que les contre-exemples respectifs. Le gain de sélectivité peut s’élever à 0,2 points. Les valeurs de de réflexion externe et de réflexion interne sont représentées sur la pour les VFE1, VFE2, VFE3, VFE9, VFE11 (cercles pleins) et le contre-exemple VFCE1 (cercle vide). La montre que les exemples selon l’invention présentent des niveaux de réflexion en face interne et en face externe inférieures sinon équivalents inférieurs à ceux des contre-exemples pour des valeurs de transmission lumineuse comparables. En d'autres termes, l’invention permet également de réduire la réflexion lumineuse, notamment en face interne, tout en préservant en conservant le même niveau de transmission lumineuse. Les valeurs des paramètres de couleur a*, b* sont représentées sur la pour les exemples VFE1, VFE2, VFE3, VFE9, VFE11 (figurés pleins) et le contre-exemple VFCE1 (figuré vide). Les paramètres de couleur en transmission a*T, b*T sont représentés par des cercles, les paramètres en réflexion en face extérieur a*Rext, b*Rext sont représentés par des triangles, et les paramètres en réflexion en face intérieur a*Rint, b*Rint sont représentés par des carrés. En transmission, les exemples selon l’invention ont un paramètre de couleur b* plus faible que le contre-exemple. En réflexion face externe, les exemples selon l’invention ont un paramètre de couleur b*Rext plus faible que le contre-exemple. En réflexion face interne, les exemples selon l’invention ont des paramètres de couleur a*Rint et b*Rint plus faibles que le contre-exemple. Substrat transparent (1000) muni sur une de ses surfaces principales d’un empilement (1001) de couches minces, ledit empilement (1001) de couches est constitué des couches suivantes en partant du substrat (1000) : - un premier module diélectrique (1002) d’une ou plusieurs couches minces ; - une couche absorbante (1003) d’oxyde de tungstène ; - un deuxième module diélectrique (1004) d’une ou plusieurs couches minces ; dans lequel l’oxyde de tungstène comprend au moins un élément dopant sélectionné parmi les éléments chimiques du groupe 1 selon la nomenclature de l’IUPAC. Substrat (1000) selon la revendication 1, tel que la couche absorbante (1003) d’oxyde de tungstène comprend l’élément dopant ou plusieurs éléments dopants dans des proportions telles que le rapport molaire dudit élément sur le tungstène ou la somme des rapports molaires de chaque élément sur le tungstène est compris entre 0,01 et 1, de préférence entre 0,01 et 0,6, voire entre 0,02 et 0,3. Substrat (1000) selon l’une quelconque des revendications 1 à 2, tel que la couche absorbante (1003) d’oxyde de tungstène comprend au moins un élément dopant sélectionné parmi l’hydrogène, le lithium, le sodium, le potassium et le césium. Substrat (1000) selon la revendication 3, tel que la couche absorbante (1003) d’oxyde de tungstène comprend le césium comme élément dopant, et le rapport molaire du césium sur le tungstène est compris entre 0,01 et 1, de préférence entre 0,05 et 0,4. Substrat (1000) selon l’une quelconque des revendications 1 à 4, tel que l’épaisseur de la couche absorbante (1003) d’oxyde de tungstène est comprise entre 6 et 450 nm, de préférence entre 20 et 250 nm, voire entre 40 et 200 nm. Substrat (1000) selon l’une quelconque des revendications 1 à 5, tel que le premier module diélectrique (1002) et/ou le deuxième module diélectrique (1004) sont constitués d’une ou plusieurs couches à base de nitrure. Substrat (1000) selon la revendication 6, tel que la ou les couches à base de nitrure du premier module diélectrique (1002) et/ou le deuxième module diélectrique (1004) sont choisies parmi le nitrure d’aluminium, le nitrure de silicium, le nitrure de titane, le nitrure de niobium, le nitrure silicium et de zirconium, le nitrure de silicium dopé par l’aluminium, le zirconium et/ou le bore. Simple ou double vitrage comprenant un substrat transparent selon l'une quelconque des revendications 1 à 7. Verre feuilleté (4000) comprenant un premier substrat transparent (1000) selon l’une quelconque des revendications 1 à 9, un intercalaire (4001) de feuilletage et un deuxième substrat transparent (4002), tel que le premier substrat transparent (1000) et le deuxième substrats transparent (4002) sont en contact adhésif avec l’intercalaire (4001) de feuilletage et l’empilement (1001) de couches minces du premier substrat transparent (1000) est en contact avec l’intercalaire (4001) de feuilletage. Procédé de fabrication d’un substrat transparent (1000) selon l’une quelconque de revendications 1 à 7, tel que la couche absorbante (1003) d’oxyde de tungstène est déposée par une méthode de pulvérisation cathodique magnétron à l’aide d’une cible en oxyde de tungstène dopé l’aide d’un élément chimique choisi parmi les éléments chimiques du groupe 1 selon la nomenclature de l’IUPAC. Procédé de fabrication selon la revendication 10, tel que la couche absorbante (1003) d’oxyde de tungstène est déposée à une température de substrat inférieure à 100°C, de préférence comprise entre 20 et 60°C. Procédé de fabrication selon l’une quelconque des revendications 10 à 11, tel que la couche absorbante (1003) à base d’oxyde de tungstène est déposée dans une atmosphère de dépôt composée de 60 à 100 % d’argon et 0 à 40 % de dioxygène, de préférence de 70 à 85% d’argon et de 15 à 30% de dioxygène. Procédé de fabrication selon l’une quelconque des revendications 10 à 12, tel que la couche absorbante (1003) d’oxyde de tungstène est déposée à une pression comprise entre 1 et 15 mTorr, de préférence entre 3 et 10 mTorr.