Brevet FR3132947A1 — publié le 20230825

La présente description a pour objet un procédé d’analyse de la qualité de surface d’une lame (100) comprenant : l’émission d’un premier faisceau lumineux (221) incident sur une première face (A) de ladite lame; la réception par des moyens d’analyse de front d’onde (240) d’un premier faisceau de réflexion (222a) résultant de la réflexion du premier faisceau par la première face et d’un deuxième faisceau de réflexion (222b) résultant d’une réflexion par une deuxième face (B) de la lame afin de générer au moins un premier signal de mesure caractéristique d’une combinaison des fronts d’onde des premier et deuxième faisceaux de réflexion ; la réception par les moyens d’analyse de front d’onde d’un faisceau de transmission résultant d’une transmission de la lame par un deuxième faisceau lumineux afin de générer un deuxième signal de mesure; le calcul, à partir des premier et deuxième signaux de mesure d’un premier signal et d’un deuxième signal représentatifs d’une déformation de la première face et de la deuxième face respectivement. Fig. 7 Systèmes et procédés d’analyse de la qualité de surface d’une lame à faces parallèles La présente description concerne des systèmes et procédés d’analyse de la qualité de surface d’une lame à faces parallèles et concerne plus particulièrement l’analyse des déformations des surfaces d’une telle lame. Etat de la technique La topographie de surfaces de matériaux à faces parallèles, appelés simplement « lames » dans la présente description, présente un intérêt dans de nombreux domaines, ces matériaux pouvant être, par exemple, des substrats en verre pour les disques durs d’ordinateurs, des photo-masques et plaquettes de silicium (ou « wafers ») dans l’industrie des semi-conducteurs, des écrans plats et verres d’affichage pour les dispositifs mobiles, des hublots, des optiques de télescopes à rayons X, des filtres optiques, des lames dichroïques, des dômes de protection, etc. Il est en effet important de pouvoir étudier et quantifier d’éventuelles déformations des surfaces de telles lames, ces déformations pouvant générer des biais dans les systèmes les mettant en œuvre. Des méthodes optiques sans contact sont connues pour l’analyse de la qualité de surface d’une lame. Une difficulté rencontrée dans la plupart des méthodes dans l’analyse de la qualité de surface d’une face de la lame est la contribution de la réflexion par l’autre face (face arrière), notamment dans le cas de lames transparentes dans la bande spectrale de la source optique utilisée pour la mesure. Différentes méthodes de métrologie pour analyser la qualité de surface de matériaux minces et transparents permettant de s’affranchir de l’effet de la réflexion sur la face arrière, sont décrites par exemple dans l’article de revue « Metrology of thin transparent optics using Shack-Hartmann wavefront sensing » de Craig R. Forest et al. [Réf. 1]. Il est connu notamment d’appliquer un revêtement avec un indice adapté en face arrière pour supprimer la réflexion par la face arrière ou d’appliquer un revêtement très réflectif sur la face avant, mais ces procédés nécessitent des opérations d’application de revêtements et de nettoyage et peuvent introduire eux-mêmes des déformations de surface. Des méthodes d’interférométrie à décalage de phase sont également décrites dans [Réf. 1] dans lesquelles on utilise une source de lumière blanche ou à faible cohérence pour éviter des interférences parasites dues aux réflexions sur les deux faces de la lame. Ces méthodes, utilisant par exemple des interféromètres de Michelson, sont complexes à mettre en œuvre et limitées à des lames dont les déformations sont bien inférieures à l’épaisseur. Comme expliqué dans [Réf. 1], il est également possible d’envisager des méthodes d’interférométrie à décalage de phase utilisant des sources laser accordables en fréquence. Par exemple, des mesures d’interférences peuvent être faites sur trois surfaces (une surface de référence, la face avant et la face arrière de la lame) séquentiellement à deux longueurs d’onde différentes, puis de nouvelles mesures d’interférences sont effectuées toujours aux deux longueurs d’onde mais en retournant la lame de telle sorte que la face arrière fasse face à la surface de référence. Il est alors possible de séparer mathématiquement les contributions des interférences des surfaces planes et parallèles du matériau et notamment la contribution résultant de l’interférence entre la face avant et la surface de référence. Cependant, cette méthode nécessite une manipulation de l’échantillon, qui a besoin d’être retourné afin d’effectuer les deux séries de mesure, ce qui peut être gênant avec des matériaux fragiles et facilement déformables. Plus généralement, des méthodes sont connues qui utilisent des sources à variation de fréquence et dans lesquelles une analyse de Fourier du spectre de signal d’interférence permet d’extraire les profils des différentes faces. Toutes ces méthodes nécessitent de nombreuses acquisitions ce qui les rend très sensibles à l’environnement, notamment aux vibrations. La [Réf. 1] décrit également des méthodes permettant la séparation spatiale des réflexions de la face avant et de la face arrière, ce qui permet de bloquer les réflexions de la face arrière au moyen d’un obturateur. Il s’agit par exemple de méthodes interférométriques à éclairage oblique ou sphérique (ou « grazing incidence interferomet ry »). Ces méthodes sont cependant très sensibles à l’alignement des composants. Outre les méthodes basées sur l’interférométrie, la [Réf. 1] introduit une méthode d’analyse de la qualité optique d’une face d’un matériau mince et transparent utilisant un analyseur de front d’onde Shack-Hartmann. Comme illustré sur la extraite de la [Réf. 1], un analyseur de front d’onde Shack-Hartmann comprend une matrice de microlentilles 20 et une matrice de détecteurs élémentaires 30. Si un front d’onde de référence, par exemple un front d’onde de référence plan, est incident sur la matrice de microlentilles 20, chaque microlentille (20i, 20j, …) intercepte et focalise une partie du front d’onde sans déflexion, ce qui résulte en un arrangement régulier des barycentres des taches de focalisation sur la matrice de détecteurs élémentaires 30. Si au contraire, comme cela est visible sur la , un front d’onde 10 est incident avec une déformation par rapport au front d’onde de référence plan, les microlentilles (20i, 20j, …) interceptent des parties (10i, 10j, …) du front d’onde qui présentent localement des pentes non nulles. Il s’ensuit un déplacement du barycentre des taches de focalisation sur la matrice de détecteurs élémentaires 30. A partir du signal de mesure ainsi déterminé et correspondant à une matrice bidimensionnelle des déplacements, on peut déterminer une matrice des pentes locales du front d’onde et en déduire une matrice des valeurs du front d’onde mesurées au niveau de chaque microlentille par rapport au front d’onde de référence, par exemple par intégration numérique des valeurs des pentes locales. Les déformations locales de la face que l’on analyse étant directement proportionnelles aux déformations locales du front d’onde, il est ainsi possible de déterminer les déformations à partir du signal de mesure du Shack Hartmann. Par rapport aux techniques d’interférométrie décrites ci-dessus, les méthodes de métrologie utilisant un analyseur de front d’onde Shack-Hartmann, et plus généralement un dispositif mettant en œuvre un analyseur de front d’onde qui réalise une analyse directe du front d’onde, permettent notamment d’utiliser des sources de lumière temporellement incohérentes ou à faible cohérence temporelle généralement moins chères que des lasers, la possibilité de travailler en environnement peu contrôlé et sont des solutions moins couteuses. Cependant, comme expliqué dans [Réf. 1], la réflexion sur la face arrière peut perturber la mesure de la qualité de surface de la face avant, notamment si l’on travaille avec des sources lumineuses comprenant des longueurs d’onde auxquelles le matériau est au moins partiellement transparent. Il est ainsi suggéré de mettre en place des filtres spectraux pour le filtrage de toute longueur d’onde dans le domaine de transparence du matériau ou d’utiliser des sources dont la longueur d’onde n’est pas transmise par le matériau de la lame à analyser. La demande de brevet publiée WO 2004/068088 [Réf. 2] décrit l’utilisation de deux analyseurs de front d’onde, en l’occurrence des interféromètres à décalage latéral (ou « Shearing interferometers »), pour des mesures à la fois en réflexion et en transmission de la lame dont on veut mesurer les défauts de surface. De tels interféromètres à décalage latéral permettent comme l’analyseur de front d’onde Shack-Hartmann une mesure directe du front d’onde : ils ne mettent pas en œuvre des interférences avec un faisceau de référence et sont sensibles à la dérivée première du front d’onde. La mesure en réflexion donne une information relative à la topologie d’une face et la mesure en transmission donne une information relative à la variation d’épaisseur de la lame. En combinant les deux mesures on peut retrouver des informations relatives à la topologie des deux faces de la lame. Cette méthode fonctionne bien mais la mise en œuvre est compliquée car la mesure en réflexion d’une face de la lame ne doit pas être perturbée par la réflexion par la deuxième face. Pour ce faire, il est proposé d’utiliser, pour cette mesure en réflexion, une longueur d’onde pour laquelle le matériau de la lame est opaque, c'est-à-dire absorbant. Cela oblige à choisir une longueur d’onde par exemple dans l’UV ou dans l’infrarouge lointain, ce qui nécessite des capteurs et des optiques spécifiques, entraînant des contraintes en termes de choix des matériaux et de coût. Un objet de la présente description est de proposer des systèmes et procédés d’analyse de la qualité de surface des deux faces d’une lame à faces parallèles utilisant des analyseurs de front d’onde qui permettent l’utilisation d’une ou plusieurs sources lumineuses à faible cohérence temporelle et qui ne présentent pas les contraintes des dispositifs et méthodes décrites dans la [Réf.2]. Dans la présente description, le terme « comprendre » signifie la même chose que « inclure » ou « contenir », et est inclusif ou ouvert et n’exclut pas d’autres éléments non décrits ou représentés. En outre, dans la présente description, le terme « environ » ou « sensiblement » est synonyme de (signifie la même chose que) une marge inférieure et/ou supérieure de 10%, par exemple 5%, de la valeur respective. Selon un premier aspect, la présente description concerne un procédé d’analyse de la qualité de surface d’une lame à faces parallèles, comprenant : - l’émission par au moins une première source lumineuse de moyens d’émission, d’au moins un premier faisceau lumineux à faible cohérence temporelle, ledit au moins un premier faisceau lumineux étant incident sur ladite lame, ladite lame étant au moins partiellement transparente à au moins une longueur d’onde dudit premier faisceau lumineux incident ; - la réception par au moins un premier analyseur de front d’onde de moyens d’analyse de front d’onde, d’au moins un premier faisceau de réflexion et un deuxième faisceau de réflexion, ledit premier faisceau de réflexion résultant de la réflexion dudit au moins un premier faisceau lumineux par une première face de la lame et ledit deuxième faisceau de réflexion résultant d’une première transmission de la lame par ledit premier faisceau lumineux puis d’une réflexion par une deuxième face de la lame suivi d’une deuxième transmission de la lame, afin de générer au moins un premier signal de mesure caractéristique d’une combinaison des fronts d’onde desdits premier et deuxième faisceaux de réflexion ; - la réception par lesdits moyens d’analyse de front d’onde, d’au moins un premier faisceau de transmission résultant d’au moins une première transmission de la lame par un deuxième faisceau lumineux émis par lesdits moyens d’émission, afin de générer un deuxième signal de mesure caractéristique du front d’onde dudit faisceau de transmission; - le calcul, à partir dudit au moins un premier signal de mesure et dudit deuxième signal de mesure, d’au moins un premier signal représentatif d’une déformation de ladite première face de la lame par rapport à une première surface de référence et d’au moins un deuxième signal représentatif d’une déformation de la deuxième face de la lame par rapport à une deuxième surface de référence. Dans la présente description, on appelle « lame à faces parallèles » un élément optique avec une première face et une deuxième face, la distance entre les deux faces, mesurée selon un axe perpendiculaire aux faces, étant sensiblement constante sur l’ensemble de l’élément optique, c’est-à-dire présentant une variation d’épaisseur inférieure à +/- 10%. Une lame à faces parallèles peut être plane, auquel cas un angle entre lesdites faces est inférieure à environ 5 minutes d’arc. D’autres formes de lames à faces parallèles peuvent être considérées dans la présente description, par exemple des lames courbes comme par exemple des dômes de protection. Dans la présente description, un faisceau lumineux à faible cohérence temporelle est un faisceau lumineux dont la cohérence temporelle est suffisamment faible pour s’affranchir d’éventuels effets d’interférences entre les faisceaux de réflexion sur les faces de la lame, de tels effets d’interférence pouvant gêner la mesure. Pour ce faire, il est avantageux en pratique que la longueur de cohérence temporelle du premier faisceau lumineux soit inférieure à environ deux fois l’épaisseur optique de la lame à faces parallèles que l’on cherche à analyser, l’épaisseur optique de la lame étant la multiplication de l’épaisseur de la lame par l’indice de réfraction moyen du matériau dont est formée celle-ci. La cohérence temporelle du premier faisceau lumineux est inférieure ou égale à environ 100 μm, avantageusement inférieure ou égale à environ 10 μm. Ainsi, par exemple, avec un premier faisceau lumineux dont la cohérence temporelle est inférieure ou égale à environ 10 μm, on pourra analyser les surfaces de lames très fines, c’est-à-dire de quelques dizaines de microns d’épaisseur. Il est à noter que la longueur de cohérence temporelle du premier faisceau lumineux engendre une épaisseur minimale pour les lames à analyser mais n’engendre pas de limitation supérieure. Avec la même source lumineuse dont la cohérence temporelle est inférieure ou égale à environ 10 µm par exemple, il sera possible d’analyser également des lames de plusieurs dizaines de centimètres d’épaisseur. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, ledit au moins un premier faisceau lumineux et ledit deuxième faisceaux lumineux sont spatialement cohérents. Dans le cas de l’utilisation d’un analyseur de front d’onde Shack-Hartmann par exemple, les premier et deuxième faisceaux lumineux présentent une cohérence spatiale suffisante pour que les faisceaux de réflexion ou de transmission résultants, incidents sur la matrice de microlentilles, génèrent des taches de focalisation dont la taille est inférieure à la taille de la microlentille qui la génère. De façon générale, il est connu que la précision des analyseurs de front d’onde diminue lorsque la cohérence spatiale de la source qui génère les faisceaux lumineux diminue elle aussi, c'est-à-dire que la taille angulaire de la source augmente. De ce fait, la cohérence spatiale des faisceaux lumineux doit être suffisante pour permettre une mesure au moyen de l’analyseur avec une précision compatible avec les besoins de l’application. Par exemple, comme expliqué précédemment, pour les capteurs de type Shack Hartmann, il est connu que la précision de la mesure est peu impactée si la taille angulaire de la source d’émission des faisceaux lumineux ramenée dans l’espace de l’analyseur est inférieure à l’angle de diffraction d’une microlentille. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, ladite au moins une première source lumineuse pour l’émission dudit au moins un premier faisceau lumineux à faible cohérence temporelle est une source choisie parmi : une lampe à incandescence, une diode électroluminescente ou LED (acronyme de « Light Emitting Diode »), une diode super luminescente ou SLED (acronyme de « Super Luminscent Diode »), qui peut être fibrée dans un fibre mono mode, une diode laser utilisée sous son seuil de génération de l’effet laser, qui peut être fibrée dans une fibre mono mode. Dans la présente description, la lame est dite au moins partiellement transparente à au moins une longueur d’onde d’un faisceau qui la traverse, lorsque la transmission dudit faisceau, à ladite longueur d’onde, est au moins égale à 10%, avantageusement au moins égale à 30%. Dans la présente description, contrairement aux procédés décrits dans l’état de l’art, par exemple le procédé décrit dans [Réf. 2], on s’assure ainsi que le premier faisceau lumineux incident sur la lame à analyser est au moins partiellement transmis par la lame, ce qui permet d’analyser les fronts d’onde combinés des faisceaux réfléchis par la première face et par la deuxième face de la lame grâce audit au moins un premier analyseur de front d’onde des moyens d’analyse de front d’onde. Dans la présente description, on appelle « front d’onde » d’un faisceau lumineux une surface d'égale phase de l’onde électromagnétique qui constitue ledit faisceau. Ainsi, si l’on illumine par exemple une surface plane d’une lame sans défaut avec une onde de référence plane, le front d’onde du faisceau réfléchi est également plan. Si la surface présente des déformations locales par rapport à une surface de référence plane, le front d’onde du faisceau réfléchi est déformé par rapport au front d’onde de référence plan. Dans la présente description, une analyse d’un front d’onde est ainsi une mesure des déformations dudit front d’onde par rapport à un front d’onde de référence, par exemple mais non nécessairement, un front d’onde plan. Par exemple, dans le cas d’analyse d’une lame courbe, le front d’onde de référence pourrait être un front d’onde sphérique. Ainsi, dans la présente description, le premier signal de mesure, le deuxième signal de mesure et les signaux caractéristiques des déformations des première et deuxième surfaces de la lame sont des signaux matriciels, c’est à dire composés de matrices bidimensionnelles de valeurs. Dans la présente description, on appelle « analyseur de front d’onde » un dispositif permettant une mesure directe du front d’onde d’un faisceau à analyser, par opposition à des techniques interférométriques utilisant l’interférence du faisceau à analyser avec un faisceau de référence. Un tel dispositif permet, en général, la détermination des pentes locales du front d’onde (c'est-à-dire les dérivées premières du front d’onde) et sont généralement basées sur une analyse de la variation de l’angle du trajet de rayons lumineux à l’aide d’un senseur de front d’onde comprenant un ensemble d’un ou plusieurs éléments optiques et un détecteur généralement bidimensionnel. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, ledit au moins un premier analyseur de front d’onde des moyens d’analyse du front d’onde est choisi parmi : un analyseur de front d’onde Hartmann et Shack Hartmann, tel que décrit par exemple dans [Réf. 3], un interféromètre par décalage latéral, tel que décrit par exemple dans [Réf. 4], un déflectomètre par image de moiré, tel que décrit par exemple dans [Réf. 5], un dispositif basé sur la méthode de Schlieren, tel que décrit par exemple dans [Réf. 6]. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, ledit au moins un premier faisceau lumineux est incident sur ladite lame de façon sensiblement perpendiculaire à ladite lame. Bien qu’il soit possible de concevoir des agencements dans lesquels le premier faisceau lumineux est incident sur la lame avec une inclinaison par rapport à la normale, une incidence sensiblement normale est préférée car elle simplifie le montage optique et permet de ne pas introduire de décalage latéral entre le premier faisceau de réflexion et le deuxième faisceau de réflexion, notamment dans le cas de lames épaisses. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, ledit deuxième faisceau lumineux est incident sur ladite première face de la lame et le procédé comprend en outre, pour la génération du deuxième signal de mesure : - le positionnement d’un miroir de référence, agencé de façon sensiblement perpendiculaire audit deuxième faisceau lumineux; et dans lequel - ledit premier faisceau de transmission résulte d’une première transmission de la lame par ledit deuxième faisceau lumineux , d’une réflexion par le miroir de référence et d’une deuxième transmission de la lame par le faisceau réfléchi par le miroir de référence ; et - ledit premier faisceau de transmission est reçu par ledit premier analyseur de front d’onde des moyens d’analyse de front d’onde. Le procédé ainsi décrit peut être mis en œuvre avec un seul analyseur de front d’onde et une seule source d’émission lumineuse, le premier faisceau lumineux et le deuxième faisceau lumineux pouvant être émis par la même source lumineuse. Le miroir de référence pourra être plan dans le cas où l’on cherche à analyser une lame plane à faces parallèles ou courbe, par exemple sphérique, dans le cas où l’on cherche à analyse une lame avec une courbure non nulle. Selon des exemples de réalisation, le miroir de référence peut être agencé de façon amovible. Dans d’autres exemples de réalisation, il peut être occultable, par exemple au moyen d’un cache ou il peut être orientable, par exemple au moyen d’une rotation motorisée ou non, de façon à ce que le faisceau réfléchi par ce dernier ne soit pas reçu par les moyens d’analyse de front d’onde. Dans les deux cas, cela permet d’obtenir le premier signal de mesure caractéristique d’une combinaison des fronts d’onde desdits premier et deuxième faisceaux de réflexion, dans le cas où le miroir n’est pas présent ou est occulté, ou est tourné, et d’obtenir le deuxième signal de mesure caractéristique du front d’onde dudit faisceau de transmission lorsque le miroir de référence est présent et non occulté ou non tourné. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation : - ledit deuxième faisceau lumineux est incident sur ladite première face de la lame ; - ledit premier faisceau de transmission résulte d’une première transmission de la lame par ledit deuxième faisceau lumineux ; et - ledit premier faisceau de transmission est reçu par un deuxième analyseur de front d’onde des moyens d’analyse de front d’onde, distinct du premier analyseur de front d’onde. Le procédé ainsi décrit est mis en œuvre avec des moyens d’analyse de front d’onde comprenant deux analyseurs de front d’onde distincts, qui peuvent être de nature identique ou différente. Ledit premier et deuxième faisceau lumineux pouvant être émis simultanément par la même source lumineuse, il permet d’obtenir simultanément le premier signal de mesure caractéristique d’une combinaison des fronts d’onde desdits premier et deuxième faisceaux de réflexion et le deuxième signal de mesure caractéristique du front d’onde dudit faisceau de transmission, sans manipulation d’un miroir de référence. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation : - ledit deuxième faisceau lumineux est émis par une deuxième source lumineuse des moyens d’émission distincte de la première source, et est incident sur ladite deuxième face de la lame ; - ledit premier faisceau de transmission résulte d’une première transmission de la lame par ledit deuxième faisceau lumineux ; et - ledit premier faisceau de transmission est reçu par ledit premier analyseur de front d’onde des moyens d’analyse de mesure. Le procédé ainsi décrit est mis en œuvre avec des moyens d’émission comprenant deux sources d’émission distinctes, les sources d’émission pouvant être de nature identique ou différente. Il permet d’obtenir le premier signal de mesure caractéristique d’une combinaison des fronts d’onde desdits premier et deuxième faisceaux de réflexion et le deuxième signal de mesure caractéristique du front d’onde dudit faisceau de transmission, sans manipulation d’un miroir de référence. Ainsi, dans le cas de sources d’émission de nature différente, selon un ou plusieurs exemples de réalisation, ledit premier faisceau lumineux émis par ladite première source lumineuse et ledit deuxième faisceau lumineux émis par ladite deuxième source lumineuse comprennent une longueur d’onde et/ou une polarisation différente. Le procédé peut alors comprendre en outre : - la réception par un deuxième analyseur de front d’onde des moyens d’analyse de front d’onde, distinct du premier analyseur de front d’onde, d’un deuxième faisceau de transmission résultant d’une première transmission de la lame par ledit premier faisceau lumineux; afin de générer un troisième signal de mesure caractéristique du front d’onde dudit deuxième faisceau de transmission ; et - une comparaison dudit deuxième signal de mesure caractéristique du front d’onde dudit premier faisceau de transmission et dudit troisième signal de mesure caractéristique du front d’onde dudit deuxième faisceau de transmission afin de générer un signal caractéristique des variations de l’indice de réfraction au sein de la lame. Selon un deuxième aspect, la présente description concerne des systèmes d’analyse de la qualité de surface d’une lame à faces parallèles pour la mise en œuvre des procédés d’analyse selon le premier aspect. Ainsi, le système selon le deuxième aspect comprend : - au moins un premier support configuré pour recevoir la lame à analyser; - des moyens d’émission comprenant au moins une première source lumineuse pour l’émission d’au moins un premier faisceau lumineux à faible cohérence temporelle, et présentant au moins une longueur d’onde à laquelle ladite lame est au moins partiellement transparente, lesdits moyens d’émission étant configurés pour qu’en opération, ledit au moins un premier faisceau lumineux soit incident sur ladite lame; - des moyens d’analyse de front d’onde comprenant au moins un premier analyseur de front d’onde et configurés, en opération, pour : - recevoir, sur une surface d’analyse dudit premier analyseur de front d’onde, au moins un premier faisceau de réflexion et un deuxième faisceau de réflexion, ledit premier faisceau de réflexion résultant de la réflexion dudit au moins un premier faisceau lumineux par une première face de la lame et ledit deuxième faisceau de réflexion résultant d’une première transmission de la lame par ledit premier faisceau lumineux puis d’une réflexion par une deuxième face de la lame suivi d’une seconde transmission de la lame, afin de générer un premier signal de mesure caractéristique d’une combinaison des fronts d’onde desdits premier et deuxième faisceaux de réflexion ; - recevoir, par lesdits moyens d’analyse de front d’onde, au moins un premier faisceau de transmission résultant d’au moins une première transmission de la lame par un deuxième faisceau lumineux émis par lesdits moyens d’émission, afin de générer un deuxième signal de mesure caractéristique du front d’onde dudit faisceau de transmission ; - une unité de traitement configurée pour calculer, à partir dudit premier signal de mesure et dudit deuxième signal de mesure, au moins un premier signal représentatif d’une déformation de ladite première face de la lame par rapport à une première surface de référence et au moins un deuxième signal représentatif d’une déformation de la deuxième face de la lame par rapport à une deuxième surface de référence. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, lesdits moyens d’émission sont configurés pour qu’en opération, ledit au moins un premier faisceau soit incident sur ladite lame de façon sensiblement perpendiculaire à ladite lame. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, ladite surface d’analyse dudit premier analyseur de front d’onde est conjuguée optiquement avec la lame à analyser. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, le système comprend en outre: - un deuxième support configuré pour recevoir un miroir de référence, le miroir de référence en opération étant agencé de façon sensiblement perpendiculaire audit deuxième faisceau lumineux; et dans lequel, en opération: - ledit premier faisceau de transmission résulte d’une première transmission de la lame par ledit au moins un deuxième faisceau lumineux, d’une réflexion par le miroir de référence et d’une deuxième transmission de la lame par le faisceau réfléchi par le miroir de référence ; et - lesdits premier et deuxième faisceaux de réflexion et ledit premier faisceau de transmission sont reçus par ledit premier analyseur de front d’onde des moyens d’analyse de front d’onde. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, les moyens d’analyse de front d’onde comprennent un deuxième analyseur de front d’onde, distinct du premier analyseur de front d’onde, et : - lesdits moyens d’émission sont configurés pour qu’en opération, ledit deuxième faisceau lumineux soit incident sur ladite première face de la lame, ledit premier faisceau de transmission résultant d’une première transmission de la lame par ledit deuxième faisceau lumineux; - lesdits moyens d’analyse de front d’onde sont configurés pour qu’en opération, ledit premier faisceau de transmission est reçu par ledit deuxième analyseur de front d’onde des moyens d’analyse de front d’onde. Selon un ou plusieurs exemples de réalisation, ledit premier analyseur de front d’onde et/ou ledit deuxième analyseur de front d’onde des moyens d’analyse du front d’onde est choisi parmi : un analyseur de front d’onde Hartmann et Shack Hartmann, tel que décrit par exemple dans [Réf. 3], un interféromètre par décalage latéral, tel que décrit par exemple dans [Réf. 4], un déflectomètre par image de moiré, tel que décrit par exemple dans [Réf. 5], un dispositif basé sur la méthode de Schlieren, tel que décrit par exemple dans [Réf. 6]. Brève description des figures D’autres avantages et caractéristiques de l’invention apparaîtront à la lecture de la description, illustrée par les figures suivantes : , déjà décrite, un schéma illustrant le principe d’un analyseur de type Shack Hartmann selon l’état de l’art. , un schéma illustrant une première étape d’un exemple de procédé d’analyse de la qualité de surface d’une lame selon la présente description, au moyen d’un premier exemple d’un système d’analyse de la qualité de surface d’une lame selon la présente description. , un schéma illustrant une deuxième étape d’un exemple de procédé d’analyse de la qualité de surface d’une lame selon la présente description, au moyen du système d’analyse de la qualité de surface d’une lame illustré sur la . , un schéma illustrant la mesure d’un signal caractéristique d’une combinaison des fronts d’onde des premier et deuxième faisceaux de réflexion avec un analyseur de type Shack-Hartmann, dans une étape d’un procédé d’analyse de la qualité de surface d’une lame selon la présente description. , un schéma illustrant plus en détails la mesure illustrée sur la . , un schéma illustrant un exemple de déformation subie par un front d’onde plan réfléchi par une première face d’une lame, lorsque la première face présente un défaut de surface par rapport à une surface de référence plane. , un schéma illustrant un exemple de déformation subie par un front d’onde plan transmis une première fois par la lame illustrée sur la puis réfléchie par la deuxième face de la lame puis transmis une seconde fois par la lame, lorsque la deuxième face présente un défaut de surface. , un schéma illustrant un exemple de déformation subie par un front d’onde plan transmis par la lame illustrée sur la puis réfléchie par un miroir de référence et transmis à nouveau par la lame. , un schéma illustrant une première étape d’un exemple de procédé d’analyse de la qualité de surface d’une lame selon la présente description, au moyen d’un deuxième exemple d’un système d’analyse de la qualité de surface d’une lame selon la présente description, adapté pour l’analyse d’une lame à courbure non nulle. , un schéma illustrant une deuxième étape d’un exemple de procédé d’analyse de la qualité de surface d’une lame selon la présente description, au moyen du système d’analyse de la qualité de surface d’une lame illustré sur la . , un schéma illustrant des étapes d’un exemple de procédé d’analyse de la qualité de surface d’une lame selon la présente description, au moyen d’un troisième exemple d’un système d’analyse de la qualité de surface d’une lame selon la présente description. , un schéma illustrant des étapes d’un exemple de procédé d’analyse de la qualité de surface d’une lame selon la présente description, au moyen d’un quatrième exemple d’un système d’analyse de la qualité de surface d’une lame selon la présente description. , un schéma illustrant des étapes d’un exemple de procédé d’analyse de la qualité de surface d’une lame selon la présente description, au moyen d’un cinquième exemple d’un système d’analyse de la qualité de surface d’une lame selon la présente description. , des images expérimentales représentant des matrices de déformations des faces d’une lame, les images étant obtenues avec un système tel qu’illustré sur les et . , un schéma illustrant une première étape d’un exemple de procédé d’analyse de la qualité de surface d’une lame selon la présente description, au moyen d’un sixième exemple d’un système d’analyse de la qualité de surface d’une lame selon la présente description, adapté pour une incidence du premier faisceau lumineux sur la lame avec un angle d’inclinaison. , un schéma illustrant une deuxième étape d’un exemple de procédé d’analyse de la qualité de surface d’une lame selon la présente description, au moyen du système d’analyse de la qualité de surface d’une lame illustré sur la . , un schéma illustrant des limites dans la mise en œuvre d’un procédé d’analyse de la qualité de surface d’une lame au moyen du système d’analyse de la qualité de surface d’une lame illustré sur la . Procédé d’analyse de la qualité de surface d’une lame à faces parallèles (100), comprenant : - l’émission par au moins une première source lumineuse (210, 210a) de moyens d’émission, d’au moins un premier faisceau lumineux (221) à faible cohérence temporelle, ledit au moins un premier faisceau lumineux étant incident sur une première face (A) de ladite lame, ladite lame étant au moins partiellement transparente à au moins une longueur d’onde dudit premier faisceau lumineux; - la réception par au moins un premier analyseur de front d’onde (240, 240a) de moyens d’analyse de front d’onde, d’au moins un premier faisceau de réflexion (222a) et un deuxième faisceau de réflexion (222b), ledit premier faisceau de réflexion résultant de la réflexion dudit au moins un premier faisceau lumineux par ladite première face (A) de la lame et ledit deuxième faisceau de réflexion résultant d’une première transmission de la lame par ledit premier faisceau lumineux, puis d’une réflexion par une deuxième face (B) de la lame suivi d’une deuxième transmission de la lame, afin de générer au moins un premier signal de mesure caractéristique d’une combinaison des fronts d’onde desdits premier et deuxième faisceaux de réflexion ; - la réception par lesdits moyens d’analyse de front d’onde, d’au moins un premier faisceau de transmission (223, 223a) résultant d’au moins une première transmission de la lame par un deuxième faisceau lumineux émis par lesdits moyens d’émission, afin de générer un deuxième signal de mesure caractéristique du front d’onde dudit faisceau de transmission ; - le calcul, à partir dudit au moins un premier signal de mesure et dudit deuxième signal de mesure, d’au moins un premier signal représentatif d’une déformation de ladite première face de la lame par rapport à une première surface de référence et d’au moins un deuxième signal représentatif d’une déformation de la deuxième face de la lame par rapport à une deuxième surface de référence. Procédé selon la revendication 1, dans lequel ledit au moins un premier faisceau lumineux est incident sur ladite lame de façon sensiblement perpendiculaire à ladite lame. Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 ou 2, dans lequel : - ledit deuxième faisceau lumineux est incident sur ladite première face (A) de la lame et le procédé comprend en outre, pour la génération du deuxième signal de mesure : - le positionnement d’un miroir de référence, agencé de façon sensiblement perpendiculaire audit deuxième faisceau lumineux; et dans lequel - ledit premier faisceau de transmission (223) résulte d’une première transmission de lame par ledit deuxième faisceau lumineux , d’une réflexion par le miroir de référence et d’une deuxième transmission de la lame par le faisceau réfléchi par le miroir de référence ; et - lesdits premier et deuxième faisceaux de réflexion et ledit premier faisceau de transmission sont reçus par ledit premier analyseur de front d’onde (240) des moyens d’analyse de front d’onde. Procédé selon la revendication 3, dans lequel le premier faisceau lumineux et le deuxième faisceau lumineux sont émis par ladite première source lumineuse. Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 ou 2, dans lequel : - ledit deuxième faisceau lumineux est incident sur ladite première face (A) de la lame ; - ledit premier faisceau de transmission (223, 223a) résulte d’une première transmission de la lame par ledit deuxième faisceau lumineux ; et - ledit premier faisceau de transmission est reçu par un deuxième analyseur de front d’onde (240b) des moyens d’analyse de front d’onde, distinct dudit premier analyseur de front d’onde. Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 ou 2, dans lequel : - ledit deuxième faisceau lumineux (221b) est émis par une deuxième source lumineuse des moyens d’émission, distincte de la première source lumineuse, et est incident sur ladite deuxième face (B) de la lame ; - ledit premier faisceau de transmission (223b) résulte d’une première transmission de la lame par ledit deuxième faisceau lumineux; et - ledit premier faisceau de transmission est reçu par ledit premier analyseur de front d’onde (240) des moyens d’analyse de mesure. Procédé selon la revendication 6, dans lequel : - ledit premier faisceau lumineux émis par ladite première source lumineuse et ledit deuxième faisceau lumineux émis par ladite deuxième source lumineuse comprennent une longueur d’onde et/ou une polarisation différente ; le procédé comprenant en outre : - la réception par un deuxième analyseur de front d’onde (240b) des moyens d’analyse de front d’onde, distinct dudit premier analyseur de front d’onde, d’un deuxième faisceau de transmission (223a) résultant d’une première transmission de la lame par ledit premier faisceau incident; afin de générer un troisième signal de mesure caractéristique du front d’onde dudit deuxième faisceau de transmission ; et - une comparaison dudit deuxième signal de mesure caractéristique du front d’onde dudit premier faisceau de transmission et dudit troisième signal de mesure caractéristique du front d’onde dudit deuxième faisceau de transmission afin de générer un signal caractéristique des variations de l’indice de réfraction au sein de la lame. Système d’analyse de la qualité de surface d’une lame à faces parallèles, le système comprenant : - au moins un premier support configuré pour recevoir la lame à analyser; - des moyens d’émission comprenant au moins une première source lumineuse pour l’émission d’au moins un premier faisceau lumineux à faible cohérence temporelle, et présentant au moins une longueur d’onde à laquelle ladite lame est au moins partiellement transparente, lesdits moyens d’émission étant configurés pour qu’en opération, ledit au moins un premier faisceau lumineux soit incident sur ladite lame; - des moyens d’analyse de front d’onde comprenant au moins un premier analyseur de front d’onde (240, 240a) et configurés, en opération, pour : - recevoir, sur une surface d’analyse dudit premier analyseur de front d’onde, au moins un premier faisceau de réflexion (222a) et un deuxième faisceau de réflexion (222b), ledit premier faisceau de réflexion résultant de la réflexion dudit au moins un premier faisceau lumineux par une première face (A) de la lame et ledit deuxième faisceau de réflexion résultant d’une première transmission de la lame par ledit premier faisceau lumineux puis d’une réflexion par une deuxième face (B) de la lame suivi d’une seconde transmission de la lame , afin de générer un premier signal de mesure caractéristique d’une combinaison des fronts d’onde desdits premier et deuxième faisceaux de réflexion ; - recevoir, par lesdits moyens d’analyse de front d’onde, au moins un premier faisceau de transmission (223, 223a) résultant d’au moins une première transmission par la lame d’un deuxième faisceau lumineux émis par lesdits moyens d’émission, afin de générer un deuxième signal de mesure caractéristique du front d’onde dudit faisceau de transmission ; - une unité de traitement (260) configurée pour calculer, à partir dudit premier signal de mesure et dudit deuxième signal de mesure, au moins un premier signal représentatif d’une déformation de ladite première face de la lame par rapport à une première surface de référence et au moins un deuxième signal représentatif d’une déformation de la deuxième face de la lame par rapport à une deuxième surface de référence. Système d’analyse selon la revendication 8, dans lequel lesdits moyens d’émission sont configurés pour qu’en opération, ledit au moins un premier faisceau lumineux soit incident sur ladite lame de façon sensiblement perpendiculaire à ladite lame. Système selon l’une quelconque des revendications 8 ou 9, dans lequel ladite surface d’analyse dudit premier analyseur de front d’onde est sensiblement conjugué optiquement avec la lame à analyser. Système d’analyse selon l’une quelconque des revendications 8 à 10, comprenant en outre: - un deuxième support configuré pour recevoir un miroir de référence, le miroir de référence en opération étant agencé de façon sensiblement perpendiculaire audit deuxième faisceau lumineux; et dans lequel, en opération: - ledit premier faisceau de transmission (223) résulte d’une première transmission dudit au moins un premier faisceau incident par la lame, d’une réflexion par le miroir de référence et d’une deuxième transmission par la lame du faisceau réfléchi par le miroir de référence ; et - lesdits premier et deuxième faisceaux de réflexion et ledit premier faisceau de transmission sont reçus par ledit premier analyseur de front d’onde (240) des moyens d’analyse de front d’onde. Système d’analyse selon l’une quelconque des revendications 8 à 10, dans lequel les moyens d’analyse de front d’onde comprennent un deuxième analyseur de front d’onde, distinct du premier analyseur de front d’onde, et : - lesdits moyens d’émission sont configurés pour qu’en opération, ledit deuxième faisceau lumineux soit incident sur ladite première face de la lame, ledit premier faisceau de transmission résultant d’une première transmission de la lame par ledit deuxième faisceau lumineux; - lesdits moyens d’analyse de front d’onde sont configurés pour qu’en opération, ledit premier faisceau de transmission est reçu par ledit deuxième analyseur de front d’onde des moyens d’analyse de front d’onde. Système selon l’une quelconque des revendications 8 à 12, dans lequel ledit au moins un premier analyseur de front d’onde est choisi parmi : un analyseur de front d’onde Hartmann et Shack Hartmann, un interféromètre par décalage latéral, un déflectomètre par image de moiré, un dispositif basé sur la méthode de Schlieren.