Brevet FR3129991A1 — publié le 20230609

L’invention se rapporte à une ligne de vide (1) comportant un dispositif (3) de pompage comprenant au moins une pompe à vide (4) primaire. Selon l’invention, la ligne de vide (1) comporte un système (5) d’injection d’éléments en suspension dans la ligne de vide (1) afin de former un aérosol dans la ligne de vide (1) pour utiliser au moins une partie des éléments en suspension dans l’aérosol pour absorber, par changement d’état, au moins une partie de la chaleur induite par compression ayant lieu dans la pompe à vide (4) primaire. Figure pour l’abrégé : figure 1 Ligne de vide, dispositif de pompage destiné à être raccordé à la ligne de vide et installation comportant la ligne de vide Domaine technique de l’invention La présente invention se rapporte à une ligne de vide, à un dispositif de pompage destiné à être raccordé à une telle la ligne de vide et à une installation comportant la ligne de vide. L’invention se rapporte également à un procédé de régulation thermique d’une pompe à vide primaire. Arrière-plan technique Dans l’industrie de fabrication du semi-conducteur, des écrans plats ou du photovoltaïque, les procédés de fabrication nécessitent des lignes de vide pour permettre notamment d’obtenir un vide dans les sas de chargement et/ou dans les chambres de procédé apte à réaliser les étapes de fabrication mais également l’évacuation des gaz utilisés dans les chambres de procédé. La ligne de vide doit ainsi comporter des pompes à vide destinées à créer un vide suffisant pour les procédés de fabrication. Plus précisément, dans le cas du raccordement à au moins une chambre de procédé (connue sous les termes anglais « process chamber »), la ligne de vide peut comprendre une pompe à vide secondaire connectée à au moins une chambre de procédé et communicant en série avec au moins une pompe à vide primaire permettant de refouler les gaz de la chambre de procédé à pression atmosphérique. Suivant la dangerosité des gaz aspirés dans la ligne de vide à la chambre de procédé, le refoulement de la pompe à vide primaire peut déboucher dans un dispositif de traitement configuré pour capturer et/ou détruire tout résidu gazeux provenant de la chambre de procédé. Dans le cas du raccordement à au moins un sas de chargement (connu sous les termes anglais « loadlock ») en amont d’au moins une chambre de procédé, la ligne de vide peut comprendre au moins une pompe à vide primaire permettant à chaque transfert de composant vers une chambre de procédé de refouler les gaz du sas de chargement à pression atmosphérique. Une pompe à vide primaire comporte généralement plusieurs étages de pompage en série, chaque étage de pompage comportant un couple de rotors tournant de manière synchronisée et en sens inverse dans un volume fermé délimité par un stator afin de pomper un fluide entre une entrée d’aspiration et une sortie de refoulement. Un jeu, c'est-à-dire un interstice, est présent entre les rotors et le stator de l’ordre de quelques dizaines à quelques centaines de micromètres afin de rendre possible le pompage. Une dilatation thermique différentielle entre les arbres et le stator peut avoir lieu pendant le fonctionnement des pompes à vide pouvant induire des grippages entre les rotors et le stator, c'est-à-dire une réduction du jeu entraînant le contact non souhaité entre au moins un des rotors et la surface interne du stator. Cela est d’autant plus possible quand les matériaux des arbres et des rotors sont de natures différentes. Ainsi, suivant les gaz pompés, l’architecture de la ligne de vide (comme, par exemple, plusieurs pompes à vide montées en série) et les changements de fonctionnement des pompes, il est souvent nécessaire d’adapter les pompes à vide primaire à l’installation afin de ne pas risquer leur grippage. Une solution pourrait être d’augmenter les jeux aux endroits critiques, c'est-à-dire là où a été observé un grippage entre au moins un des rotors et la surface interne du stator, afin que la dilatation différentielle n’entraîne pas le contact entre les rotors et la surface interne du stator de la pompe à vide primaire. Toutefois, cette solution dégrade l’efficacité de chaque étage de pompage dans lequel le jeu a été volontairement augmenté. Une autre solution est d’adapter le fonctionnement (température, vitesse de rotation des arbres, etc.) du dispositif de pompage aux moments critiques où peut être observé un grippage entre au moins un des rotors et la surface interne du stator, afin que la dilatation différentielle n’entraîne pas le contact entre les rotors et la surface interne du stator de la pompe à vide primaire. Cette autre solution peut consister, en cas de dépassement d’une température seuil du stator, à diminuer la vitesse de rotation des rotors jusqu’au passage à nouveau sous ladite température seuil. Toutefois, cette autre solution dégrade également l’efficacité de la pompe à vide primaire mais cette fois de tous les étages de pompage en même temps. L'invention a notamment pour but de fournir une ligne de vide qui puisse réguler en temps réel les phénomènes localisés d’augmentation de température dans au moins un étage de pompage d’au moins une pompe à vide primaire, c'est-à-dire sans avoir à augmenter le jeu entre les rotors et le stator et sans avoir à diminuer la vitesse de rotation des arbres des rotors, afin de maintenir l’efficacité et la fiabilité de la ligne de vide. À cet effet, l’invention se rapporte à une ligne de vide comportant un dispositif de pompage comprenant au moins une pompe à vide primaire, caractérisée en ce que la ligne de vide comporte un système d’injection d’éléments en suspension dans la ligne de vide afin de former un aérosol dans la ligne de vide pour utiliser au moins une partie des éléments en suspension dans l’aérosol pour absorber, par changement d’état, au moins une partie de la chaleur induite par compression ayant lieu dans la pompe à vide primaire. Avantageusement selon l'invention, l’aérosol est utilisé pour offrir une très grande surface spécifique d’échange des éléments en suspension. En effet, les tailles des particules d’éléments en suspension, telles que les gouttes ou les cristaux, et le débit d’injection permettent une réactivité de changement d’état compatible avec le temps de résidence (typiquement inférieur à cent millisecondes) dans chaque étage de pompage de la pompe à vide primaire. En outre, des éléments en suspension sont faciles à se mélanger dans les gaz pompés notamment de la chambre de procédé ce qui permet une homogénéité d’éléments en suspension dans les volumes internes du stator de la pompe à vide. L’invention permet d’utiliser avantageusement l’enthalpie de vaporisation, également appelée chaleur latente de vaporisation (passage de l’état liquide vers l’état gazeux), et, éventuellement, également celle de fusion (en cas de cristaux, passage de l’état solide vers l’état liquide puis de l’état liquide vers l’état gazeux) ou, alternativement, de sublimation (en cas de cristaux, passage de l’état solide directement vers l’état gazeux) des éléments en suspension afin d’absorber à température constante (dépendante de la pression dans l’étage de pompage concerné), par changement d’état, au moins une partie de la chaleur, voire, préférentiellement, toute chaleur induite par compression ayant lieu dans la pompe à vide primaire. En effet, de manière connue, un changement d'état s'effectue à pression et à température constantes. De fait, suivant la pression de l’étage de pompage de la pompe à vide primaire, la température de vaporisation (ou de fusion ou de sublimation) est connue en fonction du type des éléments en suspension dans l’aérosol (par exemple cent degrés Celsius pour l’eau à une atmosphère). Ainsi, les températures de vaporisation (ou de fusion ou de sublimation) étant inférieures aux températures observées dans une pompe à vide primaire habituellement, le gaz qui sera produit à partir des éléments en suspension ne sera pas une source de chaleur préjudiciable aux parties fonctionnelles de la pompe à vide primaire en comparaison de la chaleur très importante induite par la compression des gaz dans les étages 11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f de pompage. On comprend également que, tant que des éléments en suspension de l’aérosol qui n’ont pas changé d’état sont présents dans les étages de pompage, l’absorption d’énergie a lieu immédiatement à l’endroit où se produit une compression des gaz. L’absorption d’énergie est donc avantageusement automatique et localisée ce qui rend très facile la mise en œuvre de l’invention. De manière empirique, il a été observé que des compressions de gaz pouvaient se produire dans chaque étage de pompage. Les compressions des gaz sont fonction de l’architecture des pompes à vide, du flux de gaz pompé et des cycles de pression imposés par le fonctionnement de l’installation. Avantageusement selon l'invention, chaque pompe à vide primaire de la ligne de vide est donc davantage fiabilisée vis-à-vis des risques de grippage notamment lors des régimes transitoires (très hauts flux, flux très bas voire lors de flux nul) ce qui rend la ligne de vide plus robuste. Il est également immédiat que la compensation thermique en temps réel et localisée évitent d’avoir à adapter les architecture et paramétrage de chaque pompe à vide primaire en fonction de l’installation à laquelle elles appartiennent et/ou le type de fabrication ayant lieu dans la chambre de procédé. On en déduit une possibilité de réduire le nombre de références différentes du même type de pompe à vide primaire, c'est-à-dire une standardisation de production, permettant des coûts de production moins élevés. L’invention peut également comporter l’une ou plusieurs des caractéristiques optionnelles suivantes, prises seules ou en combinaison. Le système d’injection peut comporter un dispositif de génération d’éléments en suspension. Un aérosol peut être formé par le dispositif de génération en mélangeant les éléments en suspension produits dans un gaz porteur tel que de l’air, un combustible ou un gaz inerte puis injecté dans la ligne de vide, ou les éléments en suspension produits par le dispositif de génération sont injectés dans la ligne de vide et se mélangent dans le gaz ou le mélange de gaz aspiré dans la ligne de vide en formant l’aérosol. Un tel dispositif de génération peut ainsi être un nébuliseur du type pneumatique, du type ultrasonore, du type à tamis ou encore du type à pulvérisation. Les éléments en suspension peuvent comporter de l’eau (H2O) et/ou un alcool et/ou du dioxyde de carbone (CO2) et/ou tout autre composé capable de changer d’état aux conditions thermodynamiques de la pompe à vide primaire. Dans le cas de l’eau, il est préféré une eau déminéralisée, également appelée désionisée, ou une eau distillée afin d’éviter que des particules présentes dans l’eau ne bouchent le conduit d’injection vers la ligne de vide. Il est préféré d’utiliser les eaux pures déjà présentes dans les installations pour semi-conducteurs comportant typiquement une résistivité comprise entre quatorze et dix-huit mégaohms-centimètre (MΩ∙cm) à vingt-cinq degrés Celsius (certaines eaux très pures sont vendues à une résistivité de 18,2 MΩ∙cm). L’eau est préférée car son enthalpie de vaporisation est très élevée (autour de deux mille cinq cents kilojoules par kilogramme (kJ∙kg -1 ) ce qui permet d’absorber beaucoup d’énergie à chaque changement d’état. Dans le cas du dioxyde de carbone (CO2), il est préféré d’utiliser la forme liquide ou solide (neige carbonique). La neige carbonique peut par exemple être obtenue par détente à pression atmosphérique à une température inférieure à -78,5 C. Les éléments en suspension peuvent comporter en outre un tensioactif et/ou des nanoparticules et/ou des microparticules afin de calibrer la taille des éléments en suspension. En effet, un tensioactif va permettre aux gouttes de l’aérosol de pouvoir se diviser selon des tailles plus petites (notamment pour l’eau qui possède une tension superficielle très élevée de soixante-douze millinewtons par mètre (mN∙m -1 ) à vingt degrés Celsius) alors que les nanoparticules (de dimension la plus grande comprise entre au moins un nanomètre et moins de mille nanomètres) et/ou les microparticules (de dimension la plus grande comprise entre au moins un micromètre et moins de mille micromètres) vont permettre de former une multiplicité de substrats de base à l’agglomération d’éléments sous forme liquide et/ou solide dans l’aérosol propre à éviter que trop d’éléments entre eux s’agglomèrent à partir d’une même base (effet boule de neige). Le système d’injection peut comporter en outre un dispositif de régulation thermique afin d’injecter les éléments en suspension dans la ligne de vide à une température prédéterminée. Ainsi, le dispositif de régulation thermique peut permettre d’amener l’aérosol à une température inférieure de quelques degrés Celsius en-dessous de la température d’ébullition (ou de fusion) à une atmosphère des éléments en suspension utilisés pour absorber, par changement d’état, au moins une partie de la chaleur induite par compression des gaz afin d’injecter les éléments en suspension dans la ligne de vide à des conditions proches de leur évaporation (ou fusion) pour permettre une réactivité accrue de l’absorption par vaporisation (ou fusion ou sublimation) des éléments en suspension, c'est-à-dire notamment maximiser la dynamique du changement d’état recherché. Selon une autre stratégie, il peut être envisagé d’utiliser le dispositif de régulation thermique afin d’injecter l’aérosol dans la ligne de vide à une autre température choisie. Le système d’injection peut être configuré pour former l’aérosol en amont de la pompe à vide primaire. En effet, l’absorption d’énergie étant avantageusement selon l'invention automatique et localisée, l’injection peut être réalisée en amont des endroits critiques vis-à-vis du grippage des rotors avec le stator. L’absorption par les éléments en suspension se tiendra uniquement quand un apport d’énergie leur permettra de changer d’état dans le volume interne du stator de la pompe à vide primaire. Suivant la configuration du dispositif de pompage, le système d’injection peut former par exemple l’aérosol entre une pompe turbomoléculaire et une pompe à vide à lobes, ou compresseur roots, (connue sous les termes anglais « roots blower »), ou entre une pompe à vide à lobes, ou compresseur roots, et la pompe à vide primaire refoulant à pression atmosphérique. Cette introduction en amont est également préférée car elle permet une meilleure homogénéisation de l’aérosol (que le gaz porteur soit formé ou non uniquement par les gaz pompés) avant d’arriver aux endroits critiques vis-à-vis du grippage des rotors avec le stator. Alternativement ou additionnellement, le système d’injection peut être configuré pour former l’aérosol dans au moins un étage de pompage de la pompe à vide primaire. En effet, par exemple pour des considérations de réactivité vis-à-vis des gaz pompés ou pour éviter/limiter une remontée d’aérosol dans la chambre de procédé (ou dans le sas de chargement), il peut être préféré que l’introduction soit effectué dans la pompe à vide primaire. Typiquement, l’introduction peut avoir lieu dans un ou plusieurs étages de pompage directement (communication fluidique avec l’étage de pompage) ou préférentiellement indirectement (communication fluidique par une conduite entre deux étages de pompage). Pour éviter que les éléments en suspension et plus généralement que l’aérosol ne remonte vers la chambre de procédé ou vers le sas de chargement, par exemple à cause de phénomènes de rétrodiffusion (connue sous le terme anglais « backstreaming »), il est préféré d’introduire les éléments en suspension à l’entrée d’aspiration de la pompe à vide primaire, entre l’entrée d’aspiration de la pompe à vide primaire et l’entrée d’aspiration du dispositif de pompage ou dans la pompe à vide primaire. L’invention se rapporte également à un dispositif de pompage destiné à être raccordée à une ligne de vide telle que présentée plus haut et comprenant au moins une pompe à vide primaire, caractérisé en ce que le dispositif de pompage comporte un système d’injection configuré pour former au moins un aérosol en amont du dispositif de pompage ou dans le dispositif de pompage afin d’utiliser au moins une partie des éléments en suspension dans l’aérosol pour absorber, par changement d’état, au moins une partie de la chaleur induite par compression ayant lieu dans la pompe à vide primaire. On comprend ainsi, avantageusement selon l'invention, qu’un système d’injection supplémentaire ou que le système d’injection de la ligne de vide est intégré au dispositif de pompage ce qui permet facilement d’intégrer l’invention dans une installation à son montage ou en après-vente. L’installateur n’a plus qu’à raccorder de manière habituelle le dispositif de pompage au reste de la ligne de vide en bénéficiant des avantages de l’invention. L’invention se rapporte en outre à une installation comportant au moins une chambre de procédé raccordée à une ligne de vide telle que présentée plus haut dans laquelle le système d’injection comporte une unité de contrôle, caractérisée en ce que l’unité de contrôle du système d’injection est reliée à une unité de commande de la chambre de procédé afin de déterminer le type de gaz utilisé dans la chambre de procédé pour adapter le flux d’éléments en suspension injectés au type de gaz utilisé dans la chambre de procédé. Typiquement, par exemple, l’unité de contrôle peut ainsi être configurée pour arrêter le système d’injection quand l’unité de commande pilote une phase de nettoyage de la chambre de procédé. De plus, l’invention se rapporte à une installation comportant au moins un sas de chargement raccordé à une ligne de vide telle que présentée plus haut dans laquelle le système d’injection comporte une unité de contrôle, caractérisé e en ce que l’unité de contrôle du système d’injection est reliée à une unité de commande de la pompe à vide primaire afin de déterminer le moment où le sas de chargement est rempli pour adapter le flux d’éléments en suspension injectés aux variations de pression du sas de chargement. À chaque remplissage, le sas de chargement est rempli d’air à pression ambiante, ce qui augmente violemment la charge de la pompe à vide primaire. La connexion entre l’unité de contrôle et l’unité de commande vise à permettre de détecter ces variations de charge. En effet, il a été observé que des caractéristiques de la pompe à vide primaire peuvent permettre d’interpréter les variations de fonctionnement du sas de chargement. On comprend que le dispositif de pompage peut donc être autonome pour adapter le pilotage du système d’injection, c'est-à-dire ne pas nécessairement être connecté à l’unité de commande du sas de chargement. Typiquement, par exemple, l’unité de contrôle peut être configurée pour introduire un débit d’éléments en suspension dans la ligne de vide proportionnel à la puissance électrique consommée par le moteur de la pompe à vide primaire fournie par l’unité de commande et/ou un débit d’éléments en suspension dans la ligne de vide proportionnel à la pression en amont de la pompe à vide primaire fournie par un capteur de pression relié à l’unité de commande et/ou un débit d’éléments en suspension prédéterminé dans la ligne de vide pendant une durée prédéterminée. Enfin, l’invention se rapporte à un procédé de régulation thermique d’une pompe à vide primaire, caractérisé en ce que le procédé comporte au moins une étape d’injection d’éléments en suspension dans un flux pompé par la pompe à vide primaire afin de former un aérosol dans la ligne de vide pour utiliser au moins une partie des éléments en suspension dans l’aérosol pour absorber, par changement d’état, au moins une partie de la chaleur induite par compression ayant lieu dans la pompe à vide primaire. Brève description des figures D’autres particularités et avantages de l’invention ressortiront clairement de la description qui en est faite ci-après, à titre indicatif et nullement limitatif, en référence aux dessins annexés, dans lesquels : la est une vue schématique d’un exemple d’installation selon l'invention ; la est une vue schématique d’un exemple de pompe à vide primaire selon l'invention ; la est un graphe d’un premier exemple de pilotage du système d’injection selon l'invention en fonction de la puissance électrique consommée par le moteur de la pompe à vide primaire ; la est un dispositif de pompage permettant de mettre en œuvre le premier exemple de pilotage du système d’injection selon l'invention ; la est un graphe d’un deuxième exemple de pilotage du système d’injection selon l'invention en fonction de la puissance électrique consommée par le moteur de la pompe à vide primaire ; la est un dispositif de pompage permettant de mettre en œuvre le deuxième exemple de pilotage du système d’injection selon l'invention ; la est un graphe d’un troisième exemple de pilotage du système d’injection selon l'invention en fonction de la puissance électrique consommée par le moteur de la pompe à vide primaire ; la est un dispositif de pompage permettant de mettre en œuvre le troisième exemple de pilotage du système d’injection selon l'invention ; la est un graphe d’un quatrième exemple de pilotage du système d’injection selon l'invention en fonction de la pression en amont de la pompe à vide primaire ; la est un dispositif de pompage permettant de mettre en œuvre le quatrième exemple de pilotage du système d’injection selon l'invention ; la est un graphe d’un cinquième exemple de pilotage du système d’injection selon l'invention en fonction de plusieurs paramètres de la pompe à vide primaire ; la est un dispositif de pompage permettant de mettre en œuvre le cinquième exemple de pilotage du système d’injection selon l'invention. Ligne de vide (1) comportant un dispositif (3) de pompage comprenant au moins une pompe à vide (4) primaire, caractérisée en ce que la ligne de vide (1) comporte un système (5) d’injection d’éléments en suspension dans la ligne de vide (1) afin de former un aérosol dans la ligne de vide (1) pour utiliser au moins une partie des éléments en suspension dans l’aérosol pour absorber, par changement d’état, au moins une partie de la chaleur induite par compression ayant lieu dans la pompe à vide (4) primaire. Ligne de vide (1) selon la revendication précédente, dans laquelle le système (5) d’injection comporte un dispositif (15) de génération d’éléments en suspension. Ligne de vide (1) selon la revendication précédente, dans laquelle les éléments en suspension comportent de l’eau et/ou un alcool et/ou du dioxyde de carbone. Ligne de vide (1) selon la revendication précédente, dans laquelle les éléments en suspension comportent en outre un tensioactif afin de calibrer la taille des éléments en suspension. Ligne de vide (1) selon la revendication 3 ou 4, dans laquelle les éléments en suspension comportent en outre des nanoparticules et/ou des microparticules afin de calibrer la taille des éléments en suspension. Ligne de vide (1) selon l’une des revendications précédentes, dans laquelle le système (5) d’injection comporte en outre un dispositif (14) de régulation thermique afin d’injecter les éléments en suspension dans la ligne de vide (1) à une température prédéterminée. Ligne de vide (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle le système (5) d’injection est configuré pour former l’aérosol en amont de la pompe à vide (4) primaire. Ligne de vide (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle le système (5) d’injection est configuré pour former l’aérosol dans au moins un étage (11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f) de pompage de la pompe à vide (4) primaire. Dispositif (3) de pompage destiné à être raccordé à une ligne de vide (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes et comprenant au moins une pompe à vide (4) primaire, caractérisé en ce que le dispositif (3) de pompage comporte un système (5) d’injection configuré pour former au moins un aérosol en amont du dispositif (3) de pompage afin d’utiliser au moins une partie des éléments en suspension dans l’aérosol pour absorber, par changement d’état, au moins une partie de la chaleur induite par compression ayant lieu dans la pompe à vide (4) primaire. Dispositif (3) de pompage destiné à être raccordé à une ligne de vide (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 8 et comprenant au moins une pompe à vide (4) primaire, caractérisé en ce que le dispositif (3) de pompage comporte un système (5) d’injection configuré pour former au moins un aérosol dans le dispositif (3) de pompage afin d’utiliser au moins une partie des éléments en suspension dans l’aérosol pour absorber, par changement d’état, au moins une partie de la chaleur induite par compression ayant lieu dans la pompe à vide (4) primaire. Installation (21) comportant au moins une chambre (17) de procédé raccordée à une ligne de vide (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 8 dans laquelle le système (5) d’injection comporte une unité (13) de contrôle, caractérisée en ce que l’unité (13) de contrôle du système (5) d’injection est reliée à une unité (18) de commande de la chambre (17) de procédé afin de déterminer le type de gaz utilisé dans la chambre (17) de procédé pour adapter le flux d’éléments en suspension injectés au type de gaz utilisé dans la chambre (17) de procédé. Installation (21) selon la revendication précédente, dans laquelle l’unité (13) de contrôle est configurée pour arrêter le système (5) d’injection quand l’unité (18) de commande pilote une phase de nettoyage de la chambre (17) de procédé. Installation (21) comportant au moins un sas (25) de chargement raccordé à une ligne de vide (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 8 dans laquelle le système (5) d’injection comporte une unité (13) de contrôle, caractérisé e en ce que l’unité (13) de contrôle du système (5) d’injection est reliée à une unité (23) de commande de la pompe à vide (4) primaire afin de déterminer le moment où le sas (25) de chargement est rempli pour adapter le flux d’éléments en suspension injectés aux variations de pression du sas (25) de chargement. Installation (21) selon la revendication précédente, dans laquelle l’unité (13) de contrôle est configurée pour introduire un débit d’éléments en suspension dans la ligne de vide (1) proportionnel à la puissance électrique consommée par le moteur (22) de la pompe à vide (4) primaire fournie par l’unité (23) de commande. Installation (21) selon la revendication 13 ou 14, dans laquelle l’unité (13) de contrôle est configurée pour introduire un débit d’éléments en suspension dans la ligne de vide (1) proportionnel à la pression en amont de la pompe à vide (4) primaire fournie par un capteur (28) de pression relié à l’unité (23) de commande. Installation (21) selon l'une quelconque des revendications 13 à 15, dans laquelle l’unité (13) de contrôle est configurée pour introduire un débit d’éléments en suspension prédéterminé dans la ligne de vide (1) pendant une durée prédéterminée. Procédé de régulation thermique d’une pompe à vide (4) primaire, caractérisé en ce que le procédé comporte au moins une étape d’injection d’éléments en suspension dans un flux pompé par la pompe à vide (4) primaire afin de former un aérosol dans la ligne de vide (1) pour utiliser au moins une partie des éléments en suspension dans l’aérosol pour absorber, par changement d’état, au moins une partie de la chaleur induite par compression ayant lieu dans la pompe à vide (4) primaire.