Brevet FR3136387A1 — publié le 20231215

DISPOSITIF COMPRENANT UN POLYMERE TRANSPARENT AVEC REVETEMENT HYDROPHILE, ET SON PROCEDE DE FABRICATION Un dispositif, comprenant une couche hydrophile sur une partie d'une surface intérieure d'un polymère transparent formant un corps ; la couche hydrophile comprenant une surface intérieure sulfonée du polymère transparent, une silice, un oxycarbure de silicium, un traitement au plasma O 2 du polymère transparent, ou une combinaison de ceux-ci. Le dispositif peut être un nébuliseur (10) ou une chambre de pulvérisation (20), par exemple utilisé(e) dans un dispositif à plasma à couplage inductif. Un procédé de fabrication du dispositif est également décrit. Figure pour l’abrégé : Fig. 1A DISPOSITIF COMPRENANT UN POLYMERE TRANSPARENT AVEC REVETEMENT HYDROPHILE, ET SON PROCEDE DE FABRICATION DOMAINE DE L’INVENTION La présente divulgation concerne de manière générale un dispositif comprenant une couche hydrophile sur une partie d'une surface intérieure d'un polymère transparent formant un corps ; dans lequel la couche hydrophile comprend une surface intérieure sulfonée du polymère transparent, une silice, un oxycarbure de silicium, un traitement au plasma O 2 du polymère transparent, ou une combinaison de ceux-ci. Le dispositif peut être un nébuliseur ou une chambre de pulvérisation, par exemple utilisé(e) dans un dispositif à plasma à couplage inductif. Un procédé de fabrication du dispositif est également décrit. ARRIÈRE-PLAN TECHNOLOGIQUE DE L’INVENTION Dans un système d'introduction d'échantillon de spectrométrie par émission optique à plasma à couplage inductif (ICP-OES) ou de spectrométrie de masse à plasma à couplage inductif (ICP-MS), un échantillon entre dans un nébuliseur et est décomposé en un aérosol fin par action pneumatique d’un écoulement de gaz dispersant l'échantillon liquide en minuscules gouttelettes. Cette pulvérisation nébulisée est amenée à s'écouler dans une chambre de pulvérisation avec un gaz inerte où les grosses et les petites gouttelettes sont séparées. Pour l'ICP, des gouttelettes monodispersées inférieures à 10 μm sont idéales, tandis que des gouttelettes plus grosses interfèrent avec la stabilité et l'intensité de signal. Pour cette raison, seules les plus petites gouttelettes sont autorisées à passer à travers la chambre de pulvérisation jusque dans le plasma, afin d'atomiser efficacement et finalement d'ioniser enfin les composants élémentaires de l'échantillon, en réalisant ainsi une analyse quantitative précise. En particulier, les gouttelettes sont triées par la conception de la chambre de pulvérisation et le tourbillon de l'écoulement de gaz, moyennant quoi des gouttelettes plus grandes entrent en collision avec les parois de chambre de pulvérisation au moyen de la force centrifuge, en laissant derrière les gouttelettes plus petites passer plus loin dans le plasma où elles seront ionisées par la température élevée et analysées pour leur composition élémentaire. Les gouttelettes plus grosses qui ont bombardé la surface de chambre de pulvérisation s'infiltrent le long des parois de chambre de pulvérisation et hors du trajet d'écoulement afin de ne pas interférer avec les gouttelettes de pulvérisation plus fines. Afin d’obtenir le drainage nécessaire pour éliminer les gouttelettes plus grosses de la surface de la chambre de pulvérisation, la surface elle-même doit être capable d'évacuer le solvant. Des solvants tels que de l'eau et des alcools sont drainés plus facilement si la surface de chambre de pulvérisation est de nature hydrophile. Le verre, qui est naturellement hydrophile, est généralement utilisé pour des chambres de pulvérisation, ce qui permet le drainage nécessaire. Le verre est également robuste par rapport à des acides qui sont utilisés pour l’ICP et est transparent, permettant à des utilisateurs de visualiser le drainage de la solution qui est entrée en collision avec les parois de chambre de pulvérisation. Avec une surface hydrophile comme le verre, le drainage est rapide, en raison du moindre temps nécessaire pour « laver » l'échantillon avant l’analyse suivante. Si la surface commence à être contaminée ou perd son hydrophilie, ces lavages ne sont pas suffisants pour éliminer les résidus d'échantillon et peuvent entraîner une analyse erronée ou des temps de lavage trop longs. Au fil du temps, les chambres de pulvérisation en verre doivent être nettoyées ou remplacées, ce qui peut devenir coûteux pour les utilisateurs. De plus, la production de chambres de pulvérisation en verre nécessite une mise en forme manuelle du verre par des techniciens du verre expérimentés. C'est coûteux (des centaines de dollars par pièce) et d’une conception un peu limitée. D'autres matériaux existants pour des chambres de pulvérisation, typiquement pour des applications spécialisées (par exemple, la résistance à l'acide fluorhydrique), comprennent les plastiques contenant un fluorocarbure, tels que les polymères perfluorés (par exemple, le perfluoroalcoxy alcane (PFA) ou le polytétrafluoroéthylène (PTFE)), et la PEEK en plastique inerte. Les polymères perfluorés sont généralement opaques, ce qui interdit l'observation visuelle de la pulvérisation et de l'introduction de la solution (ce qui est considéré comme important par les utilisateurs de l'ICP-OES). De plus, les polymères perfluorés sont hydrophobes, de sorte qu'un revêtement hydrophile coûteux doit être appliqué sur la surface intérieure pour éviter le perlage de liquide de la chambre de pulvérisation (qui peut interférer avec l'analyse et le drainage de la solution résiduelle). Une solution économique pour la fabrication d'une chambre de pulvérisation haute performance est souhaitée. La forme des chambres de pulvérisation en verre est limitée à une combinaison de parties préformées (moulées ou extrudées) plus des modifications manuelles mineures effectuées par moulage par soufflage de verre. Ce qu'il faut, c'est un appareil qui peut être fabriqué à moindre coût dans une variété de formes polyvalentes sans que ce soit laborieux ou coûteux. Les chambres de pulvérisation en verre se briseront lorsqu'elles tomberont d'une paillasse sur un sol. De plus, les chambres de pulvérisation en verre peuvent se fissurer dans des conditions d'utilisation et de nettoyage. Ce qu'il faut, c'est un dispositif présentant une résistance aux chocs raisonnable dans des conditions ambiantes d'utilisation. De plus, le dispositif doit être résistant aux fissures. RÉSUMÉ DE L'INVENTION Selon un aspect, l’invention concerne un dispositif, en particulier un dispositif jetable, comprenant une couche hydrophile sur une partie d'une surface intérieure d'un polymère transparent formant un corps; dans lequel la couche hydrophile comprend ou est : une surface intérieure sulfonée du polymère transparent, une silice, un oxycarbure de silicium, un traitement au plasma O 2 du polymère transparent, ou une combinaison de ceux-ci. Selon un mode de réalisation, le polymère transparent peut être du polystyrène, du polyéthylène téréphtalate avec modification au glycol, du polyéthylène téréphtalate ou un polymère d'oléfine cyclique. Selon un mode de réalisation, la couche hydrophile peut être : la surface intérieure sulfonée du polymère transparent, de la silice, de l'oxycarbure de silicium ou un traitement au plasma d'O 2 du polymère transparent. Selon un mode de réalisation, le dispositif peut être jetable. Selon un mode de réalisation, le dispositif peut être une chambre de pulvérisation ou un nébuliseur. Selon un autre aspect, l'invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif, comprenant les étapes consistant à : former le dispositif par fabrication au moule ou moulage par injection d'un polymère transparent ; et modifier chimiquement une partie d'une surface intérieure du dispositif pour rendre la partie hydrophile. Selon un mode de réalisation, l'étape de modification chimique peut ne pas réduire la transparence du polymère transparent. Selon un mode de réalisation, l'étape de modification chimique peut comprendre une sulfonation de la partie de la surface intérieure du dispositif. Selon un mode de réalisation, la partie hydrophile du dispositif peut être durable par rapport à des solvants comprenant de l'eau régale (‘aqua regia’ en latin) à 20 %, d'acide chlorhydrique dilué, d'acide nitrique, ou des combinaisons de ceux-ci ; ou la partie hydrophile du dispositif peut être durable à température ambiante. Selon un mode de réalisation, l'étape de formation du dispositif peut comprendre en outre les étapes consistant à : mouler séparément deux moitiés du dispositif ; et joindre, en particulier après l'étape de modification chimique, les deux moitiés ensemble pour former le dispositif de polymère transparent. Selon un mode de réalisation, l'étape de modification chimique peut en outre comprendre l’étape consistant à immerger le dispositif formé de polymère transparent dans un bain d'acide sulfurique. Selon un mode de réalisation, l'étape de modification chimique peut comprendre une application d'acide sulfurique pendant une période de temps comprise dans une plage d'environ 1 minute à environ 1 heure, à une température comprise entre environ -5°C et inférieure à environ +80 °C. L'acide sulfurique peut avoir une concentration d'au moins 96 %. « -5°C » est une température négative de 5 degrés Celsius en-dessous de zéro degrés Celsius. « +80°C » est une température positive de 80 degrés Celsius au-dessus de zéro degrés Celsius. Des caractéristiques et avantages supplémentaires de divers modes de réalisation seront exposés, en partie, dans la description qui suit, et apparaîtront, en partie, à partir de la description, ou pourront être appris par la mise en pratique de divers modes de réalisation. Les buts et autres avantages de divers modes de réalisation seront réalisés et atteints au moyen des éléments et combinaisons indiqués particulièrement dans la présente description. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS Des caractéristiques de la présente divulgation sont illustrées à titre d'exemple et non limitées sur la ou les figures suivantes, dans lesquelles des références numériques similaires indiquent des éléments similaires, dans lesquelles : La illustre un dispositif selon un des aspects de l'invention ; La illustre un dispositif selon un des aspects de l'invention ; La illustre un dispositif selon un des aspects de l'invention ; La est un graphique illustrant l'hydrophilie de surface d'un polystyrène sulfoné par rapport à un dispositif sans revêtement hydrophile ; La est une image d'un coupon de polystyrène non traité dans une pseudo chambre de pulvérisation montrant le perlage d'un aérosol ; La est une image d'un coupon de polystyrène sulfoné qui ne montre pas le perlage d'un aérosol ; La est un graphique illustrant l'hydrophilie de surface d'un polystyrène sulfoné par comparaison à un dispositif sans revêtement hydrophile, et après lavage avec des solvants ; La est une image du coupon de polystyrène revêtu de silice par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) qui a été mis en contact avec de l’eau régale à 20 % dans une pseudo chambre de pulvérisation montrant le non-perlage d'une solution pulvérisée ; La est une image d'un coupon de polystyrène revêtu de silice par PECVD qui a été mis en contact avec du A-solv, avant une sonication, dans une pseudo chambre de pulvérisation montrant le non-perlage d'une solution pulvérisée ; La est une image d'un coupon de polystyrène non traité dans une pseudo chambre de pulvérisation montrant le perlage d'un aérosol ; La est un graphique illustrant l'hydrophilie de surface (mesurée par l'angle de contact statique avec l'eau) du polyéthylène téréphtalate revêtu de silice avec modification au glycol après lavage avec des solvants avant un nettoyage par ultrasons dans des solutions de nettoyage sur une période de temps ; La est une image de microscopie optique d'un coupon de polyéthylène téréphtalate glycol (PETG) revêtu de silice par PECVD mis en contact pendant 25 jours avec de l'eau régale à 20 %, avant une sonication dans du Triton X-100 à 5 % pendant 5 jours ; La est une image de microscopie optique d'un coupon de PETG revêtu de silice par PECVD mis en contact pendant 25 jours avec du A-solv, avant une sonication dans du Triton X-100 à 5 % pendant 5 jours ; La est un graphique illustrant l'hydrophilie de surface d'un polymère d'oléfine cyclique avec un traitement au plasma O 2 (juste traité) par rapport à un dispositif sans revêtement hydrophile, et après lavage avec des solvants ; La est une image d'un coupon d'oléfine cyclique non traité dans une pseudo chambre de pulvérisation montrant le perlage d'un aérosol ; et La est une image avec un coupon de traitement au plasma O 2 dans une pseudo chambre de pulvérisation qui ne montre pas le perlage d'un aérosol ; La est un graphique illustrant l'hydrophilie de surface du polyéthylène téréphtalate avec modification au glycol avec un traitement au plasma O 2 (juste traité) par rapport à un dispositif sans revêtement hydrophile, et après lavage avec des solvants ; La est une image d'un polyéthylène téréphtalate non traité avec un coupon de modification au glycol dans une pseudo chambre de pulvérisation montrant le perlage d'un aérosol ; La est une image avec un coupon de traitement au plasma O 2 dans une pseudo chambre de pulvérisation qui ne montre pas le perlage d'un aérosol ; et La est une image montrant des mesures d'angle de contact avec l'eau d'un film de silice sur une plaquette de silicium ; La est une image montrant des mesures d'angle de contact avec l'eau d'un film de silice sur une plaquette de silicium ; La est une image montrant des mesures d'angle de contact avec l'eau d'un film de silice sur une plaquette de silicium ; La est une image montrant des mesures d'angle de contact avec l'eau d'un film de silice sur une plaquette de silicium avec une exposition prolongée à l'ozone ; La est une image montrant des mesures d'angle de contact avec l'eau d'un film de silice sur une plaquette de silicium avec une exposition prolongée à l'ozone ; La est une image montrant des mesures d'angle de contact avec l'eau d'un film de silice sur une plaquette de silicium avec une exposition prolongée à l'ozone ; La est un graphique illustrant les résultats de sensibilité pour les chambres de pulvérisation de PET revêtu de silice (LE12) avant, étiquetées avec (1), et après, étiquetées avec (2), un nettoyage dans des solutions de Citranox à 5 % (LE12-1 et LE12-2) ou d'Extran MA02 à 5 % (LE12-3). Le LE12-4 n'a pas été nettoyé entre les expériences ; La est un graphique illustrant les résultats de précision pour les chambres de pulvérisation de PET revêtu de silice (LE12) avant, étiquetées avec (1), et après, étiquetées avec (2), le nettoyage dans des solutions de Citranox à 5 % (LE12-1 et LE12-2) ou d'Extran MA02 à 5 % (LE12-3). Le LE12-4 n'a pas été nettoyé entre les expériences ; La est un graphique illustrant les résultats de lavage pour les chambres de pulvérisation de PET revêtu de silice (LE12) avant, étiquetées avec (1), et après, étiquetées avec (2), un nettoyage dans des solutions de Citranox à 5 % (LE12-1 et LE12-2) ou d'Extran MA02 à 5% (LE12-3). Le LE12-4 n'a pas été nettoyé entre les expériences ; La : Analyse microscopique optique de coupons de PET revêtus de SiO 2 après exposition à une solution d’eau régale à 20 % et d'Extran MA02 à 5 %, Échantillon LE16-C11 avec 30 minutes de traitement à l'ozone avant le dépôt ALD de SiO 2 , 17 jours avec 4 cycles de nettoyage ; La : Analyse microscopique optique de coupons de PET revêtus de SiO 2 après exposition à une solution d’eau régale à 20 % et d'Extran MA02 à 5 %, Échantillon LE16-C11 à 47 jours avec 9 cycles de nettoyage ; La : Analyse microscopique optique de coupons de PET revêtus de SiO 2 après exposition à une solution d’eau régale à 20 % et d'Extran MA02 à 5 %, LE10-C1 sans traitement à l'ozone avant l’application en revêtement ALD, 17 jours avec 3 cycles de nettoyage ; La : Analyse microscopique optique de coupons de PET revêtus de SiO 2 après exposition à une solution d’eau régale à 20 % et d'Extran MA02 à 5 %, Échantillon # 11-C1 revêtu de SiO 2 par PECVD, exposé à de l’eau régale à 20 % pendant seulement 5 jours sans nettoyage ; La : Image d'une configuration de chambre de pulvérisation de PET revêtu de silice avec un perlage d'eau sur une surface intérieure de la chambre de pulvérisation ; La : Image d'une configuration de chambre de pulvérisation de PET revêtu de silice avec un perlage d'eau sur une surface intérieure de la chambre de pulvérisation ; La : Image d'une configuration de chambre de pulvérisation de PET revêtu de silice avec un perlage d'eau sur une surface intérieure de la chambre de pulvérisation ; La : Image d'une configuration de chambre de pulvérisation de PET revêtu de silice avec un perlage d'eau sur une surface intérieure de la chambre de pulvérisation ; La : Image d'une configuration de chambre de pulvérisation de PET revêtu de silice avec un perlage d'eau sur une surface intérieure de la chambre de pulvérisation. DESCRIPTION DÉTAILLÉE DE L’INVENTION Pour des raisons de simplicité et d'illustration, la présente divulgation est décrite en se référant principalement à un exemple de celle-ci. Dans la description détaillée qui suit, dans des buts d'explication, de nombreux détails spécifiques sont établis pour fournir une compréhension complète de la présente divulgation. Il apparaîtra cependant facilement que la présente divulgation peut être mise en pratique sans limitation à ces détails spécifiques. Dans d'autres cas, certains procédés et certaines structures n'ont pas été décrits en détail afin de ne pas obscurcir inutilement la présente divulgation. En outre, les éléments représentés sur les figures annexées peuvent comprendre des composants supplémentaires et certains des composants décrits dans ces figures peuvent être retirés et/ou modifiés sans sortir du cadre de la présente divulgation. De plus, les éléments représentés sur les figures peuvent ne pas être tracés à l'échelle et ainsi, les éléments peuvent avoir des tailles et/ou des configurations différentes de celles représentées sur les figures. Il faut comprendre que la description générale qui précède et la description détaillée qui suit ne sont que des exemples et des explications, et sont destinées à fournir une explication de divers modes de réalisation des présents enseignements. Dans ses modes de réalisation larges et variés, l'invention concerne un dispositif comprenant une couche hydrophile sur une partie d'une surface intérieure d'un polymère transparent formant un corps ; la couche hydrophile comprenant une surface intérieure sulfonée (ou modifiée chimiquement) du polymère transparent, une silice, un oxycarbure de silicium, un traitement au plasma O 2 du polymère transparent, ou une combinaison de ceux-ci. Le dispositif décrit ici peut être mis en forme et préparé de manière rentable. De cette manière, le dispositif peut être jetable et/ou réutilisable. Le dispositif peut être transparent ou presque transparent pour permettre la visualisation du contenu du dispositif et un processus de nébulisation de solution. De plus, le dispositif peut être durable par rapport à des solvants utilisés dans des procédés de plasma à couplage inductif afin d'augmenter la durée de vie du dispositif. Les solutions utilisées dans les processus de plasma à couplage inductif peuvent être empêchées de perler sur une surface intérieure du dispositif. En particulier, une couche hydrophile sur une partie de la surface intérieure du dispositif peut permettre aux gouttelettes de fluide de s'aplatir, de coalescer et/ou de s'écouler, en empêchant ainsi le perlage. En particulier, la couche hydrophile permet à la chambre de pulvérisation d'être hydrophile, de résister à un environnement à faible pH et/ou d'être fabriquée à partir de matières plastiques transparentes de manière plus économique. Le dispositif peut être un nébuliseur 10 (comme représenté sur la ), une chambre de pulvérisation 20 (telle que représentée sur les figures 1B et 1C), ou un récipient d'introduction d'échantillon associé. Selon un aspect, le dispositif peut être une chambre de pulvérisation 20 comprenant une largeur et une hauteur réduites dans une chambre supérieure. La réduction de taille de la chambre supérieure peut correspondre à un volume réduit dans la chambre supérieure, en réduisant ainsi la probabilité que des gouttelettes d'aérosol puissent être piégées dans la chambre supérieure. Le dispositif peut être une chambre de pulvérisation 20 comprenant un volume plus grand (environ 166 % d'une taille d'origine) dans une chambre inférieure, ce qui peut permettre à des gouttelettes d'aérosol plus grosses de s'éloigner d'un tube de collecte interne. La chambre de pulvérisation peut être une structure monolithique ou peut comprendre des parties pouvant être connectées séparées, telles qu'une première partie et une seconde partie. Un nébuliseur 10 peut comprendre des trajets concentriques et parallèles. Une chambre de pulvérisation 20 peut comprendre des types cyclonique (simple et double passe) et Scott. Le dispositif peut être un corps comprenant une ou plusieurs entrées et une ou plusieurs sorties. Le corps peut comprendre une surface extérieure et une surface intérieure. Le corps peut être formé d'un matériau transparent. Selon un aspect, le matériau transparent peut être n'importe quel matériau transparent dont la surface est ou peut être modifiée ou revêtue pour donner une couche hydrophile. Le matériau transparent peut être un polymère transparent. Des exemples non limitatifs de polymères transparents destinés à être utilisés dans le dispositif comprennent le polystyrène, le polyéthylène téréphtalate avec modification au glycol, le polyéthylène téréphtalate, les polymères d'oléfine cyclique, le polycarbonate et analogues. Des exemples disponibles dans le commerce d'un polymère d'oléfine cyclique comprennent ZEONOR ® 1020 et ZEONOR ® 790 de Zeon Corporation, au Japon. Le polymère transparent peut être du polystyrène. Le corps du dispositif peut être formé par traitement additif, comme par impression tridimensionnelle, ou des capacités de moulage par injection. Ces procédés de fabrication peuvent permettre une variété de modifications à un corps, telles qu'une chambre de pulvérisation, une conception, une forme et/ou une taille. Le dispositif, comprenant une surface intérieure de celui-ci, peut être formé du polymère transparent. Une partie de la surface intérieure du dispositif peut être modifiée, traitée en surface ou revêtue pour produire une couche hydrophile. Par « une partie », on entend au moins 1 % de la surface intérieure du dispositif, par exemple d'environ 5 % à environ 100 % ; par exemple d'environ 50 % à environ 99 % ; et à titre d'exemple encore, d'environ 75 % à environ 95 %, en incluant des sous-plages et des points d'extrémité situés entre. La couche hydrophile peut être n'importe quel revêtement, traitement de surface et/ou modification de surface qui peut rendre hydrophile ou sensiblement hydrophile une partie de la surface intérieure du polymère transparent. Par exemple, la couche hydrophile peut inhiber la formation de perles de liquide sur la partie de la surface intérieure du polymère transparent. Des exemples non limitatifs d'une couche hydrophile comprennent une surface intérieure sulfonée (fractions carboxylées, aminées, hydroxylées ou autres fractions chimiques qui peuvent conférer un caractère hydrophile) du polymère transparent, une silice, un oxycarbure de silicium, un traitement au plasma O 2 du polymère transparent, ou une combinaison de ceux-ci. Selon un aspect, le polymère transparent peut être un polystyrène. Le polystyrène peut être modifié chimiquement comme indiqué ci-dessous pour donner une couche hydrophile, qui est une surface intérieure sulfonée du polymère transparent. Dans un autre aspect, le dispositif peut être formé d'un polymère transparent, tel que du polyéthylène téréphtalate avec modification au glycol ou du polyéthylène téréphtalate. Une couche hydrophile de silice ou d'oxycarbure de silicium peut être déposée sur une partie d'une surface intérieure du polymère transparent à l'aide de procédés de dépôt classiques, tels que le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD). Par exemple, une charge gazeuse d'oxygène:hexaméthyldisiloxane (HDMSO) de 3:1, à titre d'exemple supplémentaire, de 12:1, peut être appliquée sur la partie de la surface intérieure. Selon un autre aspect, le dispositif peut être formé d'un polymère transparent, tel qu'un polymère d'oléfine cyclique. Une partie d'une surface intérieure du polymère transparent peut être modifiée en surface à l'aide d'un traitement au plasma O 2 pour produire une couche hydrophile sur la partie de la surface intérieure. Le traitement par plasma O 2 peut être effectué à 500 W pendant 5 minutes à 400 mTorr d'oxygène. Le dispositif peut être une chambre de pulvérisation comprenant du polyéthylène glycol. Une partie d'une surface intérieure de la chambre de pulvérisation peut comprendre une couche hydrophile de silice. La couche hydrophile de silice peut être formée en utilisant un dépôt de couche atomique. Un premier précurseur, tel qu'une source de silicium, peut être utilisé pour réagir à une surface intérieure du corps du dispositif afin de former une monocouche. Un second précurseur, tel qu'une source d'oxygène, peut être dosé de manière à réagir avec la monocouche pour former une monocouche unique ayant complètement réagi, qui est un cycle complet. Le cycle peut être répété plusieurs fois pour commander une épaisseur d'une couche hydrophile formée de multiples monocouches ayant complètement réagi. La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif, comprenant la formation du dispositif par fabrication au moule ou moulage par injection d'un polymère transparent ; et la modification chimique d'une partie d'une surface intérieure du dispositif pour rendre la partie hydrophile. L'étape de formation du dispositif peut en outre comprendre le moulage séparé de deux moitiés du dispositif ; et la jonction des deux moitiés ensemble pour former le dispositif de polymère transparent. L'étape de modification chimique peut comprendre en outre l'immersion du dispositif formé de polymère transparent dans un bain d'acide sulfurique. Selon un autre aspect, un procédé de fabrication d'un dispositif peut comprendre la formation du dispositif par fabrication au moule ou moulage par injection d'un polymère transparent ; et la modification chimique d'une partie d'une surface du dispositif pour rendre la partie hydrophile. L'étape de formation du dispositif peut en outre comprendre le moulage séparé de deux moitiés du dispositif. L'étape de modification chimique peut comprendre en outre l'immersion du dispositif formé de polymère transparent dans un bain d'acide sulfurique. Le procédé peut comprendre, après l'étape de modification chimique, la jonction des deux moitiés ensemble pour former le dispositif. En ce qui concerne les étapes de procédé de modification chimique décrites ci-dessus, l'étape de modification chimique peut comprendre l'application d'acide sulfurique pendant une période de temps dans la plage d'environ 1 minute à environ 1 heure, à une température dans la plage d'environ -5°C à moins d'environ 80°C. L'acide sulfurique peut avoir une concentration d'au moins 96 %. L'acide sulfurique peut être un acide sulfurique fumant H 2 SO 4 avec d'environ 0,01 % à environ 20 % de SO 3 libre. De cette manière, l'étape de modification chimique peut comprendre une sulfonation de la partie de la surface intérieure du dispositif. La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif, comprenant la formation du dispositif par fabrication au moule ou moulage par injection d'un polymère transparent ; et la modification chimique d'une partie d'une surface intérieure du dispositif pour rendre la partie hydrophile. L'étape de formation du dispositif peut en outre comprendre le moulage séparé de deux moitiés du dispositif. L'étape de modification chimique peut en outre comprendre le dépôt chimique en phase vapeur de silice ou d'oxycarbure de silicium assisté par plasma des deux moitiés moulées du dispositif ; et l'immersion des deux moitiés moulées revêtues du dispositif dans une solution pour la stabilité chimique de l'hydrophilie de surface. Le procédé peut consister, après l'étape de modification chimique, à assembler les deux moitiés pour former le dispositif de polymère transparent revêtu. Un procédé de fabrication d'un dispositif est décrit ici, comprenant la formation du dispositif par fabrication au moule ou moulage par injection d'un polymère transparent ; et la modification chimique d'une partie d'une surface du dispositif pour rendre la partie hydrophile. L'étape de formation du dispositif peut en outre comprendre le moulage séparé de deux moitiés du dispositif. L'étape de modification chimique peut en outre comprendre de la silice ou de l'oxycarbure de silicium avec dépôt en phase vapeur par voie chimique et assisté par plasma des deux moitiés moulées du dispositif. Le procédé peut comprendre, après l'étape de modification chimique, une jonction des deux moitiés pour former le dispositif de polymère transparent revêtu. Le dispositif comprenant le polymère transparent revêtu peut être immergé dans une solution pour la stabilité chimique de l'hydrophilie de surface. Un procédé de fabrication d'un dispositif est décrit ici, comprenant la formation du dispositif par fabrication au moule ou moulage par injection d'un polymère transparent ; et la modification chimique d'une partie d'une surface du dispositif pour rendre la partie hydrophile. L'étape de formation du dispositif peut en outre comprendre le moulage séparé de deux moitiés du dispositif. L'étape de modification chimique peut en outre comprendre un traitement au plasma O 2 des deux moitiés moulées du dispositif ; et l'immersion des deux moitiés moulées revêtues du dispositif dans une solution, telle que de l'acide nitrique, ou une solution de nettoyage. Le procédé peut consister, après l'étape de modification chimique, une jonction des deux moitiés pour former le dispositif de polymère transparent revêtu. Un procédé de fabrication d'un dispositif est décrit ici, comprenant la formation du dispositif par fabrication au moule ou moulage par injection d'un polymère transparent ; et la modification chimique d'une partie d'une surface du dispositif pour rendre la partie hydrophile. L'étape de formation du dispositif peut en outre comprendre le moulage séparé de deux moitiés du dispositif. L'étape de modification chimique peut comprendre en outre un traitement au plasma O 2 des deux moitiés moulées du dispositif. Le procédé peut comprendre, après l'étape de modification chimique, une jonction des deux moitiés pour former le dispositif de polymère transparent revêtu. Le dispositif comprenant le polymère transparent revêtu peut être immergé dans une solution, telle que de l'acide nitrique ou une solution de nettoyage. Un procédé de fabrication d'un dispositif peut également comprendre les étapes consistant à : former un dispositif par traitement additif ou moulage par injection d'un polymère transparent ; et fournir une couche hydrophile sur une partie d'une surface intérieure du dispositif. La fourniture de la couche hydrophile peut comprendre la réaction d'un premier précurseur, tel qu'une source de silicium, sur la partie de la surface intérieure du dispositif pour former une monocouche ; et la réaction d'un second précurseur, tel qu'une source d'oxygène, sur la monocouche pour former une monocouche ayant entièrement réagi en un cycle. Le procédé peut comprendre la répétition du cycle une ou plusieurs fois pour commander une épaisseur de la couche hydrophile. En ce qui concerne les procédés de fabrication du dispositif décrits ci-dessus, il convient de noter que l'étape de modification chimique d'une partie d'une surface intérieure du polymère transparent ne réduit pas la transparence du polymère transparent. En outre, la partie hydrophobe (telle qu'une couche hydrophile) du dispositif peut être durable à température ambiante (par exemple, dans la plage d'environ 10°C à environ 35°C, et dans un autre exemple dans la plage d'environ 15°C à environ 30°C, y compris des sous-plages, et des points d'extrémité dans celles-ci). L’homme du métier comprendra que la durabilité peut être déterminée comme représenté sur la . Par exemple, en plus des solvants, la partie hydrophile du dispositif doit conserver une hydrophilie substantielle par rapport à un stockage sous atmosphère ambiante. (Pour l'hydrophilie traitée au plasma, le stockage sous atmosphère ambiante peut tuer plus d'hydrophilie que de l'eau régale à 20 %). Par exemple, la partie hydrophile du dispositif peut être durable par rapport à des solvants comprenant de l'eau régale à 20 %, de l'acide chlorhydrique dilué, de l'acide nitrique ou des combinaisons de ceux-ci. EXEMPLES Exemple 1 – L'hydrophilie de surface d'un dispositif comprenant du polystyrène sulfoné, fraîchement préparé (Nouvel Échantillon 1) et conservé à température ambiante pendant 12 semaines (12 semaines d'air), est représentée sur la . L'angle de contact avec l'eau a été analysé sur un analyseur de forme de goutte KRÜSS DSA100W. La surface d'intérêt a été élevée pour recevoir une gouttelette de 2,6 µL d'eau désionisée à partir de la pointe de l'aiguille de seringue. Une photo a été prise par l'instrument, et à partir de l'image, l'angle de contact entre la goutte d'eau et la surface a été analysé par le logiciel KRÜSS ADVANCE. L'aspect et la masse de l'échantillon n'ont pas changé au cours du temps de stockage. Le coupon a fourni une surface plate pour caractériser l'étendue ou la profondeur de toute modification de surface et était représentatif du revêtement sur les surfaces intérieures du dispositif, comme un nébuliseur ou une chambre de pulvérisation. Exemple 2 – Les performances d'un polymère transparent (polystyrène) non traité (gauche) et modifié chimiquement (droite) ont été testées dans une pseudo chambre de pulvérisation. Comme représenté sur la , l'application d'un aérosol fin a provoqué un perlage sur le polymère transparent non traité, tandis que le polymère transparent modifié chimiquement (sulfonation), comme représenté sur la , a présenté une hydrophilie de surface suffisante pour mouiller complètement la surface et inhiber toute formation de perles d'eau. Exemple 3 – L'hydrophilie de surface du polystyrène sulfoné, fraîchement préparé (Nouvel Échantillon 2) a été stockée avec un contact continu d'eau régale à 20% pendant une durée allant jusqu'à 14 jours, comme représenté sur la . L'apparence et la masse de l'échantillon n'ont pas changé au fil du temps. Exemple comparatif 1 – Un revêtement de silice de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) présentait une hydrophilie insuffisante, ce qui a conduit à un perlage d'une solution pulvérisée dans le dispositif et présentant un angle de contact avec l'eau statique d'environ 45°à environ 65°. Si un oxycarbure de silicium était ciblé, le problème d'hydrophobicité était pire (par exemple, présentant un angle de contact d'eau statique d'environ 60° à environ 110°). Exemple 4 – Un dispositif contenant un polymère transparent avec une silice (ou un oxycarbure de silicium) activée à haute hydrophilie surfacique. Du plasma utilisant un outil de PECVD de plasma en kilohertz avec une charge gazeuse d'hexaméthyldisiloxane:O 2 = 3:1 a été utilisé. Le revêtement a été caractérisé par spectroscopie photoélectronique aux rayons X (XPS) avec ~1-2 %, ~32 % de Si, ~65 % de O. La surface ( Le dispositif présentait un angle de contact avec l'eau statique de 60° à 70° après le dépôt PECVD de la silice. Il a ensuite été immergé dans une solution contenant une « solution RBS-25 » à 2 % disponible dans le commerce dans de l'eau désionisée (20-30 minutes) pour activer l'hydrophilie avant un rinçage à l'eau désionisée. L'appareil a été caractérisé par un angle de contact statique avec l'eau d'environ15°. La caractérisation XPS a montré peu de changement sur la composition élémentaire de la surface par le traitement de solution de RBS. De plus, le polymère transparent revêtu de silice (ou d'oxycarbure de silicium) PECVD était durable par rapport à un contact continu avec de l'eau régale à 20 %. En particulier, un coupon revêtu a été mis en contact avec du solvant ICP-OES pendant 25 jours. Les figures 5A-C illustrent ce qui suit : 5A est de l’eau régale à 20 %, 5B est du A-solv (kérosène), avant une sonication dans du Triton X-100 à 5 %pendant 5 jours (test d'eau pulvérisée), et 5C est un exemple de perlage d'eau sur une surface en plastique sans traitement. Comme montré, le polymère transparent avec la couche hydrophile était durable par rapport à contact continu avec du A-solv et de l'eau régale à 20 %. En outre, le A-solv a augmenté l'angle de contact avec l’eau statique à ~56° (comme représenté sur la ) même avec un rinçage poussé à l'hexane. La pulvérisation d'eau sur la surface a conduit à un film d'eau continu plutôt qu'à un perlage, ce qui a été caractérisé par un angle de contact statique de la gouttelette retirée avec l'eau de ~14°. L'hydrophilie perdue par contact avec A-solv n'a pas affecté la propriété de non perlage, et l'hydrophilie perdue a été restaurée par sonication dans une solution de « Extran MA02 » disponible dans le commerce à 5 % pendant 30 minutes ou de Triton X-100 à 2 % pendant 3 heures. Exemple 5 – Des chambres de pulvérisation ICP-OES sont souvent nettoyées avec une solution de nettoyage agressive (fortement alcaline et/ou oxydante) sous sonication. Beaucoup de plastiques revêtus d'oxyde inorganique échouent dans cette condition. Le polymère transparent revêtu a été conservé pendant des dizaines de cycles de nettoyage selon des procédés de nettoyage sans ou avec faible gravure. Un coupon de polymère transparent revêtu de silice par PECVD (polyéthylène téréphtalate avec modification au glycol - PETG) a été mis en contact avec un solvant ICP-OES avant une sonication dans des solutions de nettoyage de chambre de pulvérisation. Le nombre de cycles de nettoyage équivalents a été calculé par la durabilité divisée par le temps nécessaire pour effacer l'effet hydrophobe du contact de A-solv (30 minutes pour Extran MA02, 3 heures pour Triton X-100). Les résultats sont présentés dans le tableau 1 suivant. Les résultats ont indiqué qu'au moins des dizaines de cycles de nettoyage peuvent être effectués avant la défaillance de l'hydrophilie. Contact avec solvant Solution de nettoyage Durabilité (jours) Cycle de nettoyage équivalent Aucun Extran MA02 à 5 % >2 >96 Aucun Triton X-100 à 5 % >9 >72 A-solv, 25 jours Triton X-100 à 5 % >5 >40 Eau régale à 20 %, 25 jours Triton X-100 à 5 % >5 >40 La montre la mesure de l'angle de contact statique avec l'eau du coupon de PETG revêtu de silice par PECVD avec des solvants ICP-OES, avant une sonication dans des solutions de nettoyage de chambre de pulvérisation. Le nettoyage sonique induit des dommages sur la surface, le cas échéant, apparaissant comme une perte de revêtement dispersée (apparaissant comme plus légère sous microscopie optique (OM) après une période d'expérience de nettoyage) émergeant progressivement avec le temps de sonication, comme représenté sur les figures 7A-7B. La perte de revêtement n'a pas montré de préférence significative au niveau des défauts de surface du substrat (qui existaient avant l’application en revêtement, et apparaissaient sous forme de lignes noires sous OM) ou des rayures/fissures de revêtement (peu ont été observées, apparaissaient sous forme de zone plus lumineuse sous OM) existant avant le début du nettoyage, suggérant la robustesse de ce procédé de revêtement avec un substrat non parfait et des conditions de stockage/expédition/utilisation. Même avec la détérioration du revêtement induite par un nettoyage sonique prolongé et un angle de contact avec l'eau statique accru, avec « l'angle de contact avec l'eau statique de gouttelette retirée » étant de ~16°, l'eau pulvérisée sur la surface a toujours conduit à un film d'eau continu plutôt qu'à un perlage, comme représenté sur les figures 5A-B. Les figures 7A-B sont des images de microscopie optique du coupon de PETG revêtu de silice par PECVD avec des solvants ICP-OES, avant une sonication dans des solutions de nettoyage de chambre de pulvérisation. La est le coupon de PETG revêtu de silice par PECVD mis en contact pendant 25 jours avec 20% d'eau régale, suivi d'une sonication dans du Triton X-100 à 5 % pendant 5 jours. La est le coupon de PETG revêtu de silice par PECVD mis en contact pendant 25 jours avec du A-solv, avant une sonication dans du Triton X-100 à 5 % pendant 5 jours. Exemple A – Un traitement au plasma O 2 a été appliqué à l'aide d'un outil de PECVD en kilohertz avec une charge gazeuse d'oxygène:hexaméthyldisiloxane = 12:1 a été utilisé. Après 20 minutes dans une solution d'activation, une surface hydrophile est présente. Exemple 6 – Un traitement à 500 W, pendant 5 minutes à 400 mTorr d'oxygène a fourni des performances pour le traitement au plasma O 2 d'un polymère d'oléfine cyclique. Pour la stabilisation chimique de l'hydrophilie de surface, la surface a été immergée dans une solution de HNO 3 à 10 % pendant 1 à 2 heures à température ambiante, avant un rinçage à l'eau et un séchage à l'air. Un oxydant concentré (par exemple, acide nitrique à 70 %) ou plus fort (par exemple, persulfate d'ammonium à 5 %) n'a pas fourni de performances. Sans la stabilisation chimique, la surface est revenue à ses caractéristiques avant le traitement au plasma O 2 dans les 1 à 4 semaines de stockage dans l'air et les conditions ambiantes. Comme représenté sur la , l'hydrophilie de surface d'un polymère d'oléfine cyclique, fraîchement traité avec du plasma d'O 2 , a été mesurée, avant de l'acide nitrique aqueux à 10%, puis stockage sous air (température ambiante), ainsi qu'un contact continu avec de l'eau régale allant jusqu'à 12 semaines. Les données montrent que l'apparence et la masse de l'échantillon n'ont pas changé au cours du stockage ou du contact continu avec l'eau régale. Les performances du plasma non traité ( ) et du plasma O 2 traité avant 12 semaines de stockage à air ( ) d’un polymère d'oléfine cyclique dans une chambre de pseudo-pulvérisation ont été étudiées. Un fin brouillard a provoqué un perlage sur le coupon de polymère d'oléfine cyclique non traité, tandis que le coupon de polymère d'oléfine cyclique traité au plasma O 2 avait un revêtement hydrophile suffisant pour mouiller complètement la surface et inhiber toute formation de perles. La stabilisation chimique avec la solution d'acide nitrique a préservé le revêtement hydrophile par rapport à un stockage à l'air ambiant. Exemple 7 – Comme représenté sur la , l'hydrophilie de surface du polyéthylène téréphtalate avec modification au glycol, fraîchement préparé (plasma O 2 puis acide nitrique à 10 %) et stocké à l'air jusqu'à 8 semaines, et avec un contact d'eau régale à 20 % et de solvant A (kérosène) pendant 4 jours a été mesurée. L'aspect et la masse de l'échantillon n'ont pas changé au cours du stockage, du contact continu d’eau régale ou de A-solv. Les performances du plasma non traité ( ) et du plasma O 2 traité avant 8 semaines de stockage à air ( ), d’un polyéthylène téréphtalate modifié par du glycol dans une chambre de pseudo-pulvérisation ont été étudiées. Un fin brouillard a provoqué un perlage sur le polyéthylène téréphtalate non traité avec un coupon de modification au glycol, tandis que le polyéthylène téréphtalate traité au plasma O 2 avec un coupon de modification au glycol avait un revêtement hydrophile suffisant pour mouiller complètement la surface et inhiber toute formation de perles. La stabilisation chimique avec la solution d'acide nitrique a préservé le revêtement hydrophile par rapport à un stockage à l'air ambiant. Exemple 8 - La couche hydrophile de SiO 2 (c'est-à-dire un revêtement) a été réalisée par un procédé de dépôt en phase vapeur, tel que le dépôt en couche atomique (ALD). L’ALD est un procédé de dépôt en phase vapeur utilisé pour fabriquer des films minces dans un procédé de croissance séquentielle couche par couche. Pour l’ALD, les parties et les substrats sont d'abord mis sous vide et/ou dans une chambre d'atmosphère inerte. Pour réaliser une couche hydrophile de SiO 2 à l'aide d'un ALD, une 1ère vapeur précurseur a été exposée dans la chambre à vide avec les substrats à revêtir. Le premier précurseur de source de silicium, Orthrus , a été obtenu auprès d'Air Liquide. Ce précurseur a permis de réaliser un revêtement de SiO 2 à basse température, ce qui est bénéfique pour le revêtement de plastiques qui se déformeraient ou fondraient autrement dans les recettes d’ALD de SiO 2 qui nécessitent des températures plus élevées. Ce précurseur a été utilisé tel quel et chauffé dans une enveloppe chauffante à deux étages réglée à 50°C sur l'étage inférieur et à 55°C sur l'étage supérieur. Ce précurseur a réagi à la surface du substrat, mais pas lui-même, en formant ainsi une monocouche de précurseur qui était liée au substrat. Les vapeurs en excès ou n'ayant pas réagi ont été purgées avec un gaz inerte et un second précurseur a été dosé dans la chambre. Ce second précurseur, ou co-réactif, a été choisi pour réagir avec le premier précurseur déjà lié, mais pas avec lui-même. De l'ozone, O 3 , a été utilisé comme précurseur de source d'oxygène. L'ozone a été synthétisé à partir d'oxygène à l'aide d'un générateur d'ozone Savannah fixé à l'outil de chambre à vide d’ALD (Savannah S300, Veeco). La température de la chambre pendant l'ALD a été établie entre 50 et 70°C. Après exposition à l'ozone, les vapeurs en excès ou n'ayant pas réagi ont été purgées à partir de la chambre, ce qui a donné lieu à une seule monocouche ayant entièrement réagi sur toutes les surfaces à l'intérieur de la chambre à vide, en complétant ainsi un « cycle » complet d'ALD. Chaque cycle d'ALD a donné lieu à une nouvelle monocouche ayant réagi sur la surface du substrat et a été utilisée pour commander l'épaisseur de film déposée. Étant donné que l'ALD est un processus en phase vapeur avec des précurseurs séparés par des étapes de purge de gaz inerte, des films minces d'épaisseurs très égales (haute conformité) peuvent être transformés en tranchées très étroites, en alésages ou en autres caractéristiques de substrat compliquées, telles que les intérieurs des chambres de pulvérisation. Avant le dépôt de SiO 2 , les substrats de la chambre de pulvérisation en plastique ont été chargés dans la chambre d’ALD et ont permis un temps de pompage et de réchauffage de 1 à 5 heures pour éliminer l'humidité et le gaz à partir des échantillons de la chambre de pulvérisation. Après le chauffage, l'ozone a été impulsé dans la chambre pour activer la surface en plastique, en permettant aux précurseurs de SiO 2 d'adhérer chimiquement. Cela a été fait avec une impulsion d'ozone de 0,2 s (concentration ~ 100 mg/L) dans la chambre d’ALD non purgée et maintien pendant 5 minutes avant de purger avec du N 2 pendant 20 s. Cette séquence a été répétée 12 fois ou plus pour un total de 60 minutes de prétraitement à l'ozone du plastique. Après le prétraitement à l'ozone, le cycle d’ALD a commencé de la manière suivante : la première étape du cycle a consisté à envoyer une impulsion de 0,2 s du précurseur Orthrus dans la chambre à vide sans un quelconque pompage actif. Le précurseur est resté dans la chambre pour réagir pendant 90 secondes puis a été purgé avec un écoulement d'azote élevé et pompé pendant 65 secondes. Une fois la chambre purgée, de l'ozone (concentration de ~ 100 mg/L) a été dosé dans la chambre pendant 0,2 seconde sans pompage actif. L'ozone est resté dans la chambre pour réagir pendant 300 secondes et a été purgé avec un écoulement d'azote élevé et un pompage actif pendant 75 secondes. Cette séquence a été répétée pendant environ 225 cycles, ce qui a entraîné un dépôt de film de 50 à 55 nm sur les substrats, tel que mesuré par ellipsométrie sur des échantillons de plaquette de silicium. Il convient de noter que le long temps d'exposition à l'ozone a été utilisé pour maximiser la réaction de combustion de la surface en croissance, ce qui peut être difficile à ces températures relativement basses, en ayant pour résultat un meilleur film de SiO 2 . Une fois le dépôt de film de SiO 2 terminé, une étape finale d'activation à l’ozone a été effectuée pour s'assurer que le film de SiO 2 réagissait pleinement et maximisait l'hydrophilie du film final. Ceci a été fait en dosant de l'ozone pendant une impulsion de 0,2 seconde sans pompage actif, et maintien pendant 5 minutes. Après une purge de 20 secondes, ces étapes ont été répétées pendant 24 cycles ou plus, en totalisant 120 minutes ou plus d'exposition à l'ozone. La recette complète a pris environ 48 heures jusqu’à achèvement. Exemple 9 – Angle de contact avec l'eau de la silice Après le processus de dépôt, des substrats d'échantillon de silicium le long des chambres de pulvérisation pendant le dépôt ont été utilisés pour tester l'épaisseur de film déposée de SiO 2 en utilisant une ellipsométrie. Ces substrats ainsi que des coupons de plastique d'échantillon ont également été utilisés pour tester l'hydrophilie du film final en utilisant une mesure d'angle de contact avec l'eau (WCA), comme représenté sur les figures 12A-C. Dans les images, l'hydrophilie a été augmentée (diminution de WCA) avec des modifications de la recette d’ALD. Des temps d'exposition à l'ozone plus longs et la dose d'ozone prolongée de 120 minutes à la fin du dépôt ont permis au film final de devenir entièrement hydrophile. Les figures 13A-C montrent comment une exposition prolongée à l'ozone à la fin du dépôt a réduit le WCA. Exemple 10 – Résultats fonctionnels de la chambre de pulvérisation de PET revêtu de silice Des expériences préliminaires de chambres de pulvérisation de PET revêtu de SiO 2 avec ICP-OES ont montré que la sensibilité, la précision et les tests de lavage étaient à l'intérieur d'une métrique de passage lorsque les chambres de pulvérisation ont été nettoyées dans une solution de RBS-25 à 2 %. Les figures 14-16 montre les résultats des tests de sensibilité ( ), de précision ( ), et de lavage ( ) effectués dans 4 chambres de pulvérisation de PET revêtu de SiO 2 séparées et une chambre de pulvérisation cyclonique en verre. Les 4 chambres de pulvérisation de PET revêtu de SiO 2 étiquetées LE12-1 à LE12-4 ont été initialement testées après nettoyage des chambres de pulvérisation dans une solution de RBS-25 à 2 % pendant une minute, étiquetée (1). Après le test initial, les chambres de pulvérisation de PET revêtu de SiO 2 ont subi une étape de nettoyage séparée et ont été à nouveau testées. L'étape de nettoyage consistait à tremper la chambre de pulvérisation dans une solution de Citranox à 5 %(pour les échantillons LE12-1 et LE12-2) ou dans une solution d'Extran MA02 à 5 % (échantillon LE12-3) pendant 1 heure, puis à rincer avec de l'eau DI et à immerger à nouveau dans la solution de trempage pendant un total de 5 cycles. L’échantillon LE12-4 était un témoin qui n'a été nettoyé dans aucune solution. Après le nettoyage, les résultats des chambres de pulvérisation re-testées ont été étiquetés avec (2). Comme on le voit sur les graphiques, toutes les chambres de pulvérisation de PET revêtu de SiO 2 ont passé avec succès le test de sensibilité SRBR (rapport de fond signal/racine) à 100 %, et ont présenté un RSD (écart-type relatif) inférieur à 1 % dans le test de précision avant et après le nettoyage. De même, toutes les chambres de pulvérisation ont passé la métrique de 0,01 ppm pour un test de lavage. L'échantillon étiqueté GE était la chambre de pulvérisation cyclonique en verre utilisée comme référence. Comme on l'a noté, les expériences des figures 14-16 ont été réalisées avec des chambres de pulvérisation nettoyées au RBS-25, ce qui a aidé à nettoyer et à activer la surface revêtue de SiO 2 . Le RBS-25 contient du NaOH et du NaOCl, ce qui en fait une solution très basique (pH de 13,6) qui agit pour nettoyer et attaquer par gravue la surface de SiO 2 en la rendant hydrophile. En outre, cette solution peut également augmenter la quantité de groupes silanol de surface qui augmentent également l'hydrophilie. Les chambres de pulvérisation de PET revêtu de SiO 2 qui ont été testées sans le nettoyage à solution de RBS-25 n'ont pas fonctionné aussi bien que les chambres de pulvérisation nettoyées au RBS, telles que les tests de lavage. Exemple 11 – Essais de stabilité de la chambre de pulvérisation de PET revêtu de silice La durabilité des chambres de pulvérisation revêtues de SiO 2 par rapport à de l'acide fort (solvant ICP-OES) et à une solution de nettoyage est une mesure pour les utilisateurs. Deux tests distincts ont été développés pour évaluer l'adhérence, la fissuration et l'hydrophilie du revêtement de SiO 2 du film après exposition à des conditions acides similaires à l'environnement d’ICP-OES ainsi qu'à des solutions de nettoyage qui pourraient être utilisées pour réactiver les conditions de travail initiales des chambres de pulvérisation. Le test de durabilité a été effectué en utilisant des échantillons de coupon de PET qui étaient revêtus de SiO 2 par ALD à côté des chambres de pulvérisation de PET. Les coupons de PET ont permis une microscopie optique plus facile pour évaluer la stabilité du revêtement. Dans ces expériences, des coupons de PET ont été immergés dans une solution de HNO 3 à 5 % ou de l'eau régale à 20 % sous agitation légère. Les échantillons ont été agités dans la solution pendant un nombre donné de jours, puis retirés et nettoyés pendant plus de 90 minutes dans des solutions d'Extran MA0 2 à 5 % ou de Citranox à 15 % avant une imagerie par microscopie optique. Les figures 17A-D sont les résultats de coupons ayant subi une agitation dans de l’eau régale à 20 % et des cycles de nettoyage dans une solution d'Extran MA02 à 5 %. Dans les images, les grandes rayures sombres proviennent du plastique et ne font pas partie du film. Sur les figures 17A et 17B, l'échantillon LE16-C11 ne montre que les profondes rayures sombres, indiquant que le film était toujours intact. Sur la , l'échantillon LE10-C1 montre cependant une fissuration microscopique sur toute la surface, indiquant que le film mince se fissurait et se délaminait potentiellement à partir de la surface en plastique. Le film de SiO 2 fabriqué pour l'échantillon LE10-C1 ne comprenait pas de prétraitement à l'ozone, ce qui a potentiellement conduit à une faible adhérence du film au plastique PET, le rendant plus vulnérable à la fissuration. L'échantillon LE16-C11 a eu 30 minutes de pré-exposition à l'ozone, ce qui peut activer la surface de PET en permettant une meilleure liaison chimique de la couche d'ALD de SiO 2 . Le film a été durable pendant 47 jours dans de l’eau régale à 20 %, dont 9 cycles, ce qui équivalait à environ une demi-année d'utilisation par le client (sur la base de 8 heures d'utilisation par jour ouvrable, nettoyage mensuel). Par rapport à la (fissure et délamination survenues après 5 jours de contact avec de l’eau régale à 20 % et avant tout nettoyage), le revêtement d’ALD avec prétraitement à l'ozone a présenté également une bien meilleure durabilité. Exemple 12 - Silice appliquée sur une surface intérieure de chambres de pulvérisation de PET Les chambres de pulvérisation de PET revêtu de SiO 2 ont été testées en utilisant les paramètres de pulvérisation d’ICP-OES en nébulisant du HNO 3 à 5 %(1,0 mL/min) dans la chambre de pulvérisation à partir d'une pompe péristaltique avec du N 2 domestique (0,7 L/min). La chambre de pulvérisation a été placée au fond d'un puit de drainage d'acide et de l'eau bleue de couleur alimentaire a été amenée à traverser pour une analyse visuelle des perles d'eau sur la surface intérieure de la chambre de pulvérisation. Pour des raisons de sécurité, la chambre de pulvérisation a été recouverte d'un bécher afin d’empêcher les gouttelettes nébulisées de s'échapper du puits, et le puits a été complètement recouvert d'un couvercle en acrylique transparent lorsqu'il n'était pas inspecté. En utilisant cette configuration de chambre de pulvérisation, des essais à long terme ont été effectués dans des conditions similaires à l'utilisation réelle. Après pulvérisation de HNO 3 pendant plusieurs jours à travers le nébuliseur et la configuration de chambre de pulvérisation de PET revêtu de SiO 2 , l'inspection visuelle des perles d'eau a été effectuée en passant temporairement à une solution d'eau de couleur bleue. Les résultats sont représentés sur les figures 18A-E. La ne montre pas de perlage visuel des gouttelettes d'eau bleue après 7 jours d'écoulement de HNO 3 et 2 cycles de nettoyage dans une solution de Citranox à 15 %. La même a été testée à nouveau après 10 jours en place dans des conditions d'air ambiant, et un léger perlage a commencé à apparaître sur la surface intérieure ( ). L'hydrophilie a été restaurée après nettoyage avec de l’Extran MA02 à 5 % ( ). L'hydrophilie a été maintenue pendant un total d'au moins 46 jours de pulvérisation de HNO 3 et 8 cycles de nettoyage de Citranox à 15 % (ce qui équivaut à environ six mois d'utilisation par le client) ( ). A titre de comparaison, une autre chambre de pulvérisation qui a perdu la majeure partie de son hydrophilie est représentée sur la , où de très grosses gouttelettes peuvent être vues. Des chambres de pulvérisation qui présentent un perlage important, comme représenté sur la , donnent généralement des résultats de sensibilité, de précision et de lavage diminués par rapport à celles avec une couche hydrophile. A partir de la description qui précède, l'homme du métier peut comprendre que les présents enseignements peuvent être mis en œuvre sous une variété de formes. Par conséquent, bien que ces enseignements aient été décrits en relation avec des modes de réalisation particuliers et des exemples de ceux-ci, la véritable portée des présents enseignements ne devrait pas être autant limitée. Divers changements et modifications peuvent être effectués sans sortir de la portée des présents enseignements. Cette divulgation de portée doit être interprétée au sens large. Il est prévu que cette divulgation décrive des équivalents, des moyens, des systèmes et des procédés permettant de réaliser les dispositifs, les activités et les actions mécaniques décrits ici. Pour chaque dispositif, article, procédé, moyen, élément mécanique ou mécanisme divulgué, il est prévu que cette divulgation englobe également dans sa divulgation et enseigne des équivalents, des moyens, des systèmes et des procédés pour mettre en pratique les nombreux aspects, mécanismes et dispositifs décrits ici. La description des présentes inventions dans leurs nombreux modes de réalisation n'est qu'un exemple de nature et, par conséquent, des variantes qui ne s'écartent pas de l'essentiel de l'invention sont destinées à être comprises dans la portée de l'invention. De telles variantes ne doivent pas être considérées comme s'écartant de l'esprit et de la portée de l'invention. Un dispositif (10, 20), en particulier un dispositif jetable, comprenant : une couche hydrophile sur une partie d'une surface intérieure d'un polymère transparent formant un corps ; dans lequel la couche hydrophile comprend ou est : une surface intérieure sulfonée du polymère transparent, une silice, un oxycarbure de silicium, une partie de la surface intérieure du polymère transparent qui a été modifiée en surface à l’aide d’un traitement au plasma O 2 , ou une combinaison de ceux-ci. Le dispositif (10, 20) selon la revendication 1, dans lequel le polymère transparent est du polystyrène, du polyéthylène téréphtalate avec modification au glycol, du polyéthylène téréphtalate ou un polymère d'oléfine cyclique. Le dispositif (10, 20) selon la revendication 1, dans lequel le dispositif est une chambre de pulvérisation (20) ou un nébuliseur (10). Un procédé de fabrication d'un dispositif, comprenant les étapes consistant à : former le dispositif par fabrication au moule ou moulage par injection d'un polymère transparent ; et modifier chimiquement une partie d'une surface intérieure du dispositif pour rendre la partie hydrophile. Le procédé selon la revendication 4, dans lequel l'étape de modification chimique comprend une sulfonation de la partie de la surface intérieure du dispositif. Le procédé selon la revendication 4, dans lequel l'étape de formation du dispositif comprend en outre les étapes consistant à, mouler séparément deux moitiés du dispositif ; et joindre, en particulier après l'étape de modification chimique, les deux moitiés ensemble pour former le dispositif de polymère transparent. Le procédé selon la revendication 4, dans lequel l'étape de modification chimique comprend en outre l’étape consistant à, immerger le dispositif formé de polymère transparent dans un bain d'acide sulfurique. Le procédé selon la revendication 4, dans lequel l'étape de modification chimique comprend une application d'acide sulfurique, en particulier d'un acide sulfurique présentant une concentration d'au moins 96 %, pendant une période de temps comprise dans une plage de 1 minute à 1 heure, à une température comprise entre -5°C et inférieure à +80 °C.