Brevet FR3136261A1 — publié le 20231208

Pompe à vide verticale L’invention concerne une pompe à vide (1) comportant un stator (2), deux rotors (6) configurés pour tourner autour d’un axe de rotation (A1, A2) respectif vertical, et présentant respectivement une extrémité (11) munie d’une cavité (19), au moins deux paliers (15) montés dans une cavité (19) respective, et au moins deux axes de support (21) d’un palier (15) respectif, solidaires du stator (2), et présentant chacun au moins une partie saillante dans l’une des cavités (19), les paliers étant respectivement agencés entre une partie saillante et une paroi délimitant l’une des cavités (19). Selon l’invention, la pompe à vide (1) comporte au moins un réservoir (20) dans le fond (19a) d’au moins une des cavités (19), en vis-à-vis et en-dessous du palier (15), configuré pour recevoir un lubrifiant liquide entraîné vers le palier (15) par une force centrifuge générée par la rotation du rotor (6). Figure pour l’abrégé : Fig. 2a Pompe à vide verticale La présente invention concerne une pompe à vide en particulier de type sèche, agencée verticalement. Les pompes à vide de type sèche comportent un ou plusieurs étages de pompage en série dans lesquels circule un gaz à pomper entre une aspiration et un refoulement. Parmi les pompes à vide connues, se distinguent des pompes à lobes rotatifs également connues sous le nom « Roots » avec deux lobes ou plus ou des pompes à bec, également connues sous le nom « Claw » ou encore des pompes à vis. Ces pompes à vide sont dites « sèches » car en fonctionnement, les rotors tournent à l’intérieur du stator sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator, ce qui permet de ne pas utiliser d’huile dans les étages de pompage. Les rotors sont supportés en rotation par des paliers qui peuvent être lubrifiés par de la graisse ou de l’huile. Dans le cas de pompes à vide agencées horizontalement, un disque brasseur d’huile peut être utilisé pour créer une atmosphère brouillée d’air et de lubrifiants dans un carter d’huile, facilitant la lubrification des paliers. Généralement, le carter d’huile est commun aux deux paliers correspondants à chacun des arbres d’une pompe à vide. Le brasseur d’huile est fixé sur un des arbres de rotor de la pompe à vide, une extrémité inférieure du brasseur plongeant dans l’huile liquide du carter. La rotation de l’arbre de rotor supportant le brasseur d’huile forme un brouillard d’huile, projetant des gouttelettes de lubrifiant sur les parois du carter qui ensuite ruissellent par gravité jusqu’aux composants à lubrifier. Les pompes à vide à architecture de pompage verticale nécessitent dans certaines configurations l’utilisation de paliers localisés près de leur aspiration. La lubrification par huile d’un élément tel qu’un palier monté sur un arbre de rotor vertical notamment près de l’aspiration est plus complexe que pour une architecture horizontale, du fait de la nécessité de prévoir une pompe à huile annexe. La pompe à huile est prévue pour forcer la remontée d’un lubrifiant liquide contenu dans un carter d’huile vers des éléments à lubrifier, tels que les paliers. La pompe à huile permet en outre de maintenir une lubrification constante malgré les possibles variations de pression dans le carter d’huile. Une autre difficulté des pompes à vide verticales est qu’il n’est plus possible d’utiliser efficacement des disques brasseurs d’huile. Un but de la présente invention est de proposer une pompe à vide améliorée permettant de résoudre au moins partiellement un ou plusieurs inconvénients précités de l’état de la technique, permettant une lubrification simplifiée et de manière constante d’un palier monté sur un arbre de rotor vertical de la pompe à vide. À cet effet, l’invention a pour objet une pompe à vide comportant un stator comportant au moins une chambre de pompage, deux rotors configurés pour tourner dans la chambre de pompage autour d’un axe de rotation respectif s’étendant selon une direction verticale, et présentant respectivement une extrémité munie d’une cavité, au moins deux paliers montés dans une cavité respective, et au moins deux axes de support d’un palier respectif, solidaires du stator, et présentant chacun au moins une partie saillante dans l’une des cavités, les paliers étant respectivement agencés entre la partie saillante de l’un des axes de support et une paroi délimitant l’une des cavités. Selon l’invention, la pompe à vide comporte au moins un réservoir situé dans le fond d’au moins une des cavités, en vis-à-vis et en-dessous du palier selon l’axe de rotation. Le réservoir est configuré pour recevoir un lubrifiant liquide destiné à être entraîné vers le palier par une force centrifuge générée par la rotation du rotor. La direction verticale correspond à la direction de la gravité lorsque la pompe à vide est posée au sol ou sur un châssis. Ainsi, lorsque le rotor tourne, le lubrifiant liquide est entraîné, par la force centrifuge, vers le haut, il remonte jusqu’au palier permettant la lubrification de ce dernier. À la fin de la rotation, le lubrifiant liquide retombe par la gravité dans le réservoir. Un tel réservoir permet donc une lubrification d’un palier vertical sans l’aide d’un dispositif annexe tel qu’une pompe à huile. La lubrification peut se faire de façon constante. La pompe à vide peut en outre comporter une ou plusieurs caractéristiques suivantes décrites ci-après, prises séparément ou en combinaison. Le lubrifiant liquide est par exemple de l’huile ou comporte de l’huile. Le palier est de préférence monté dans une cavité à une extrémité supérieure du rotor selon l’axe de rotation. L’extrémité supérieure est agencée du côté d’une aspiration de la pompe à vide. Le réservoir peut être réalisé par usinage de l’extrémité du rotor. En variante, le réservoir peut être réalisé par une pièce rapportée insérée dans le fond de la cavité. Le réservoir peut présenter une forme choisie parmi une forme de cuvette, une forme de bol, une forme incurvée, une forme concave, une forme convexe, une forme de révolution autour de l’axe de rotation, une forme cylindrique autour de l’axe de rotation. Le réservoir est par exemple centré par rapport à l’axe de rotation. En particulier, le réservoir peut comporter une paroi de fond de forme choisie parmi une forme circulaire, une forme de disque, une forme incurvée, une forme présentant un dôme au centre d’au moins un creux annulaire, une forme ondulée, une forme courbe de sommet orienté vers l’axe de support, une forme courbe de sommet orienté à l’opposé de l’axe de support, une forme convexe, une forme concave, une forme plane. Le profil de la paroi de fond peut correspondre à l’équation d’une parabole. Selon un exemple, le réservoir peut comporter au moins une ailette s’étendant depuis une paroi périphérique du réservoir vers le centre du réservoir et en direction de l’axe de support. L’ailette peut présenter une forme s’affinant entre une base, située sur la paroi périphérique du réservoir, et une extrémité libre. Selon un autre exemple, le réservoir peut présenter une forme cylindrique autour de l’axe de rotation et comprendre une nervure hélicoïdale sur la surface interne de la paroi périphérique du réservoir. Selon encore un autre exemple, le réservoir peut présenter une forme cylindrique autour de l’axe de rotation et comprendre une rainure hélicoïdale sur la surface interne de la paroi périphérique du réservoir. Le réservoir peut comporter une paroi de fond plane et une surélévation par rapport à la paroi de fond plane. Un réservoir respectif peut être prévu dans le fond des deux cavités. Les réservoirs dans chaque cavité sont indépendants l’un de l’autre. La lubrification est ainsi assurée de manière indépendante pour les deux paliers. L’axe de support peut comprendre un canal de remplissage de lubrifiant liquide traversant débouchant dans le réservoir. La pompe à vide peut comprendre au moins un indicateur du niveau de lubrifiant liquide dans le réservoir. L’axe de support peut comprendre au moins une fenêtre de visualisation du niveau de lubrifiant liquide dans le réservoir, réalisée dans un matériau transparent ou translucide, et agencée au moins en partie en regard du réservoir. L’axe de support peut comprendre au moins un orifice traversant configuré pour le passage d’une sonde configurée pour plonger dans le réservoir de façon à mesurer le niveau de lubrifiant liquide dans le réservoir. L’axe de support peut comporter une sonde débouchant dans le réservoir et configurée pour mesurer le niveau de lubrifiant liquide dans le réservoir. L’axe de support peut être réalisé par un tenon fixé au stator. La pompe à vide est par exemple de type sèche. D’autres avantages et caractéristiques de l’invention apparaîtront plus clairement à la lecture de la description suivante donnée à titre d’exemple illustratif et non limitatif, et des dessins annexés parmi lesquels : montre une vue en coupe transversale d’une pompe à vide multi-étagée à architecture verticale selon un exemple de réalisation. est une vue agrandie d’une extrémité supérieure d’un rotor de la pompe à vide comprenant une cavité comprenant un réservoir selon un premier exemple de réalisation et recevant un axe de support d’un palier selon un premier mode de réalisation. est une vue similaire à la montrant un axe de support d’un palier selon un deuxième mode de réalisation. est une vue similaire à la montrant un axe de support d’un palier selon un troisième mode de réalisation. est une vue similaire à la montrant un réservoir selon un deuxième exemple de réalisation. est une vue similaire à la montrant un réservoir selon un troisième exemple de réalisation. est une vue similaire à la montrant un réservoir selon un quatrième exemple de réalisation. est une vue de dessus du réservoir de la . est une vue similaire à la montrant un réservoir selon un cinquième exemple de réalisation. est une vue similaire à la montrant un réservoir selon un sixième exemple de réalisation. Sur ces figures, les éléments identiques ou similaires portent les mêmes numéros de référence. Les figures ont été simplifiées par soucis de clarté. Seuls les éléments nécessaires à la compréhension de l’invention sont représentés. Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s’appliquent à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d’autres réalisations. Dans la description, on peut indexer certains éléments, par exemple premier élément ou deuxième élément. Dans ce cas, il s’agit d’un simple indexage pour différencier et dénommer des éléments proches mais non identiques. Cette indexation n’implique pas une priorité d’un élément par rapport à un autre et on peut aisément interchanger de telles dénominations sans sortir du cadre de la présente invention. Cette indexation n’implique pas non plus un ordre dans le temps. La illustre un exemple de réalisation d’une pompe à vide 1. La pompe à vide 1 est en particulier de type sèche. L’invention s’applique à tout type de pompe à vide sèche, monoétagée ou multiétagée, c’est-à-dire comportant un ou plusieurs étages. Cette pompe à vide 1 peut être une pompe à vide primaire pouvant être mise en route à pression atmosphérique. Une telle pompe à vide primaire est configurée pour aspirer, transférer, puis refouler les gaz pompés à pression atmosphérique. Cette pompe à vide 1 peut également être de type « Blower » en anglais ou compresseur Roots ou « Booster » en anglais, agencée en série et en amont d’une pompe vide primaire. La pompe à vide 1 comporte un stator 2. Le stator 2 comporte au moins une chambre de pompage 3. On définit par stator, l’ensemble des parties de stator ou statoriques assemblées entre elles et définissant notamment la/les chambres de pompage 3. Plus précisément, le stator 2 forme un ou plusieurs étages de pompage, entre une aspiration et un refoulement (non visibles sur les figures), et dans lesquels un gaz à pomper peut circuler. La pompe à vide 1 peut comporter plusieurs étages de pompage agencés en série. Chaque étage de pompage comprend une chambre de pompage 3. Les chambres de pompage 3 comprennent une entrée et une sortie respectives. L’entrée du premier étage de pompage, aussi nommé étage d’aspiration, est en communication fluidique avec l’aspiration de la pompe à vide 1. La sortie du dernier étage de pompage aussi nommé étage de refoulement est en communication fluidique avec le refoulement. La pompe à vide 1 comporte deux rotors 6 configurés pour tourner dans la chambre ou les chambres de pompage 3 du stator 2 autour d’un axe de rotation A1, A2 respectif. Les axes de rotation A1, A2 sont parallèles. La pompe à vide 1 est configurée pour être installée, c’est-à-dire par exemple posée au sol ou sur un châssis, avec les axes de rotation A1, A2 s’étendant selon une direction verticale. La direction verticale correspond à la direction de la gravité lorsque la pompe à vide est posée au sol ou sur un châssis. L’agencement vertical de la pompe à vide 1 permet de réduire de manière importante l’empreinte au sol. Dans la suite de la description, la direction axiale est parallèle aux axes de rotation A1, A2 et correspond à la direction verticale ou de gravité. La direction radiale est la direction perpendiculaire à la direction axiale. De même, les termes « au-dessus », « en dessous », « haut », « bas », « supérieur », « inférieur » sont définis dans la présente selon la direction verticale ou de gravité, par rapport à l’orientation de la pompe à vide 1 posée au sol ou sur un châssis. Les rotors 6 comportent un arbre de rotor respectif. Les rotors 6 peuvent présenter des profils conjugués pouvant être assemblés sur les arbres de rotor ou ils peuvent être réalisés d’une seule pièce avec les arbres de rotor (ils sont dits rotors monoblocs). Les rotors 6 présentent par exemple des lobes rotatifs de profils identiques, par exemple de type « Roots », par exemple droits ou présentant une torsion hélicoïdale (premier étage de pompage sur la ). En variante, il peut s’agir de lobes de type « Claw » ou encore de type à vis ou d’un autre principe similaire de pompe à vide. Les arbres de rotor sont destinés à être entraînés en rotation par au moins un moteur 9 de la pompe à vide 1, situé par exemple à une extrémité de la pompe à vide 1. Les arbres de rotor sont configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans les étages de pompage de sorte que les rotors entraînent un gaz à pomper entre l’aspiration et le refoulement. Lors de la rotation, le gaz aspiré depuis l’entrée est emprisonné dans l’espace libre compris dans une chambre de pompage 3, entre les rotors 6, et l’intérieur du stator 2, puis est entraîné par les rotors 6 vers l’étage suivant. Les étages de pompage successifs peuvent être raccordés en série les uns à la suite des autres par des canaux inter-étages respectifs raccordant la sortie de l’étage de pompage qui précède à l’entrée de l’étage de pompage suivant, et ainsi de suite jusqu’au refoulement de la pompe à vide 1. La pompe à vide 1 est dite « sèche » car en fonctionnement, les rotors 6 tournent à l’intérieur du stator 2 de la pompe à vide 1 sans contact mécanique entre eux ou avec le stator 2, ce qui permet de ne pas utiliser d’huile dans les chambres de pompage 3. Les rotors 6 comportent chacun une extrémité 11, aussi nommée extrémité supérieure, qui est agencée du côté de l’aspiration. Les rotors 6 comportent une autre extrémité 13, aussi nommée extrémité inférieure, qui est agencée du côté du refoulement. Les rotors 6, et plus précisément les arbres de rotor, sont guidés en rotation par au moins un palier 15 situé à une extrémité 11 de la pompe à vide 1. Les rotors 6 peuvent chacun être guidés en rotation par au moins deux paliers 15, 17, situés aux extrémités 11, 13, de la pompe à vide 1. À cet effet, les rotors 6 comportent à une extrémité 11, notamment l’extrémité supérieure, une cavité 19 dans laquelle est monté un palier 15. Un tel palier 15 monté à l’extrémité 11 supérieure d’un rotor 6, est désigné par la suite palier 15 supérieur. La cavité 19 peut présenter une forme générale qui est cylindrique ou sensiblement cylindrique d’axe correspondant à l’axe de rotation A1, A2. Cette cavité 19 peut être réalisée par un alésage. La cavité 19, mieux visible sur la , présente un fond de cavité 19a. Un réservoir 20 est situé dans le fond de cavité 19a d’au moins une, et de préférence, des deux cavités 19. Le réservoir 20 est configuré pour recevoir un lubrifiant liquide, tel que de l’huile. Le réservoir 20 est donc situé en vis-à-vis et en-dessous du palier 15 supérieur selon l’axe de rotation A1, A2 . Un tel réservoir 20 est décrit plus en détail par la suite. En fonctionnement, le lubrifiant liquide est destiné à être entraîné vers le palier 15 supérieur par une force centrifuge générée par la rotation des rotors 6. Plus précisément, le moteur 9 entraîne les rotors 6 en rotation dans les chambres de pompage 3 et lorsque les rotors 6 tournent, le lubrifiant liquide présent dans le réservoir 20 est entraîné par la force centrifuge radialement et du fait de la forme cylindrique de la cavité il est dévié vers le haut. Autrement dit le lubrifiant liquide remonte au niveau du palier 15 supérieur au-dessus du réservoir 20, permettant la lubrification de ce dernier. Le lubrifiant liquide retombe ensuite par la gravité dans le réservoir 20. Un tel réservoir 20 permet donc une lubrification d’un palier vertical sans l’aide d’un dispositif annexe tel qu’une pompe à huile. La lubrification peut se faire de façon constante. La cavité 19 peut comprendre également une paroi circonférentielle 19b. La paroi circonférentielle 19b s’étend depuis le fond de cavité 19a vers le haut, en référence à l’orientation de la pompe à vide 1 une fois installée, telle qu’illustrée sur la . Selon un exemple de réalisation, la paroi circonférentielle 19b comprend un épaulement 19c qui peut être destiné à former une butée, notamment une butée inférieure, contre laquelle le palier 15 supérieur est en appui. En particulier, une cavité 19 peut être prévue à l’extrémité, notamment l’extrémité supérieure 11, de chacun des deux rotors 6. Les deux cavités 19 sont indépendantes l’une de l’autre. Plus précisément, les réservoirs 20, dans les fonds de cavités 19a, sont indépendants l’un de l’autre et ne communiquent pas entre eux. Autrement dit, le lubrifiant liquide n’est pas transvasé d’un réservoir 20 à un autre. La pompe à vide 1 intègre ainsi au moins deux réservoirs 20 distincts dans les rotors 6 respectifs. La pompe à vide 1 comporte un axe 21 de support du palier 15 supérieur solidaire du stator 2. Le stator 2 peut comporter un axe 21 de support pour chaque palier 15 supérieur guidant en rotation un rotor 6. L’axe 21 de support peut s’étendre parallèlement à l’axe de rotation A1, A2, à la direction verticale. L’axe 21 de support peut être réalisé par une pièce distincte du stator 2 et fixée au stator 2. Il s’agit par exemple d’un tenon qui peut s’étendre verticalement. En variante, il peut s’agir d’un axe réalisé d’un seul tenant avec le stator 2. L’axe 21 de support présente au moins une partie agencée en saillie dans la cavité 19. Le palier 15 supérieur est agencé autour de la partie saillante de l’axe 21 de support, et contre la paroi circonférentielle 19b de la cavité 19. De façon générale, l’axe 21 de support peut être de forme cylindrique ou au moins en partie cylindrique. Des variantes de réalisation de l’axe 21 de support sont précisées par la suite. Une bague de frottement 23, destinée à faciliter le frottement d’un joint d’étanchéité frottant, tel qu’à lèvres, comme décrit par la suite, peut être agencée autour de la partie saillante de l’axe 21 de support. Il peut s’agir d’une bague de frottement 23 fixe, solidaire de l’axe 21 de support. La bague de frottement 23 peut être interposée entre le palier 15 supérieur et l’épaulement 21b de l’axe 21 de support selon l’axe de rotation A1, A2. Le palier 15 supérieur peut comporter au moins un roulement. Selon un exemple de réalisation, le palier 15 à roulement comprend une bague interne 15a solidaire de l’axe 21 de support et une bague externe 15b solidaire en rotation du rotor 6. Entre la bague interne 15a et la bague externe 15b cheminent des éléments rotatifs, tels que des billes de roulement 15c, assurant la rotation de la bague externe 15b par rapport à la bague interne 15a. De façon alternative, le palier 15 supérieur peut être lisse. Il est également envisageable que le palier 15 soit au moins en partie formé par le rotor 6 et/ou l’axe 21 de support. De plus, un revêtement peut être prévu sur le rotor 6 et/ou l’axe 21 de support, pour limiter les frictions. En variante ou en complément, le lubrifiant liquide tel que de l’huile peut assurer un fonctionnement en palier hydrodynamique. Les rotors 6 peuvent comporter à l’autre extrémité 13, l’extrémité inférieure, un palier 17, aussi désigné palier 17 inférieur. Les paliers 17 inférieurs, non décrits plus en détail par la suite, peuvent être similaires ou non aux paliers 15 supérieurs. La pompe à vide 1 comporte avantageusement au moins un joint d’étanchéité 25 agencé au-dessus du palier 15 supérieur selon l’axe de rotation A1, A2. Ce joint d’étanchéité 25 peut être interposé entre d’une part la paroi circonférentielle 19b de la cavité 19 et d’autre part la bague de frottement 23 ou en variante l’axe 21 de support. Le joint d’étanchéité 25 peut être un joint avec contact de type garniture mécanique. En variante, il peut s’agir d’un joint d’étanchéité 25 dit frottant tel qu’un joint à lèvres. Selon un exemple, le joint d’étanchéité 25 est monté solidaire en rotation du rotor 6, plus précisément de l’arbre de rotor. Dans le cas d’un joint d’étanchéité 25 frottant, il est configuré pour frotter, lors de la rotation du rotor 6, sur l’axe 21 de support ou la bague de frottement 23 solidaire de l’axe 21 de support. Selon un autre exemple (non représenté), le joint d’étanchéité 25 est monté solidaire du stator 2 ou d’une partie statorique telle que l’axe 21 de support. Dans le cas d’un joint d’étanchéité 25 frottant, il est configuré pour frotter sur le rotor 6 lors de sa rotation ou sur une partie rotorique telle qu’une bague de frottement solidaire du rotor 6. En variante, le joint d’étanchéité 25 peut être un joint dynamique sans contact, par exemple de type labyrinthe. Le joint d’étanchéité 25 au-dessus du palier 15 supérieur permet de protéger le lubrifiant liquide dans le réservoir 20, en évitant que des poudres ou autres particules ne parviennent jusqu’au réservoir 20. Le joint d’étanchéité 25 permet aussi d’éviter au maximum le passage du lubrifiant liquide dans la cellule de pompage. En variante ou en complément, une conduite d’injection d’un gaz de purge, tel que de l’azote, peut être ménagée dans le stator 2 de manière à déboucher dans la cavité 19 au-dessus du joint d’étanchéité 25. Cette conduite d’injection d’un gaz de purge (non représentée) est raccordée à une arrivée de gaz de purge. Elle peut par exemple être ménagée dans l’axe 21 de support. Ainsi, le gaz de purge peut être injecté dans la cavité 19 au-dessus du joint d’étanchéité 25 pour limiter l’entrée des particules solides, poudres, ou autres dans le réservoir 20. Un premier mode de réalisation de l’axe 21 de support est représenté sur la . Il présente un corps cylindrique agencé en saillie dans la cavité 19. Ce corps cylindrique forme donc la partie saillante de l’axe 21 de support. Le corps cylindrique présente une extrémité 21a libre en regard et au-dessus du fond de cavité 19a et du réservoir 20. L’axe 21 de support peut présenter un épaulement 21b réalisé sur la paroi latérale du corps cylindrique. Le corps cylindrique 21 peut présenter une partie supérieure au-dessus de l’épaulement 21b présentant un premier diamètre D1 et une partie inférieure en-dessous de l’épaulement 21b présentant un deuxième diamètre D2 inférieur au premier diamètre D1. C’est cette partie inférieure qui est agencée en regard et au-dessus du réservoir 20 et qui se termine par l’extrémité 21a libre. De plus, à l’opposé de l’extrémité 21a libre, l’axe 21 de support peut présenter un socle 21c de fixation au stator 2, lorsqu’il est réalisé par une pièce distincte du stator 2. Ce socle 21c peut éventuellement présenter un diamètre supérieur au premier diamètre D1. La bague de frottement 23 peut être agencée autour du corps cylindrique de l’axe 21 de support, et notamment de la partie inférieure du corps cylindrique. Elle peut être agencée axialement entre le palier 15 supérieur et l’épaulement 21b de l’axe 21 de support. Dans cet exemple, la bague de frottement 23 présente un diamètre interne égal ou légèrement supérieur au deuxième diamètre D2 du corps cylindrique et un diamètre externe de la bague de frottement 23 qui peut être égal au premier diamètre D1 du corps cylindrique. Le palier 15 supérieur peut être monté serré entre la paroi circonférentielle 19b de la cavité 19 et le corps cylindrique de l’axe 21 de support, selon la direction radiale. En particulier, dans le cas où le palier 15 supérieur est un palier à roulement comprenant une bague interne 15a et une bague externe 15b, la bague interne 15a peut être montée libre ou serrée sur l’axe 21 de support. De même, la bague externe 15b peut être montée libre ou serrée dans la cavité 19 ou alésage du rotor 6. Ainsi, différents agencements peuvent être envisagés. Selon un premier agencement, la bague interne 15a peut être montée serrée sur l’axe 21 de support, et la bague externe 15b peut être montée serrée dans la cavité 19. Selon un deuxième agencement, la bague interne 15a peut être montée libre sur l’axe 21 de support, et la bague externe 15b peut être montée serrée dans la cavité 19. Selon un troisième agencement, la bague interne 15a peut être montée serrée sur l’axe 21 de support, et la bague externe 15b peut être montée libre dans la cavité 19. Selon un quatrième agencement, la bague interne 15a peut être montée libre sur l’axe 21 de support, et la bague externe 15b peut être montée libre dans la cavité 19. De plus, le palier 15 supérieur peut être bloqué axialement entre d’une part l’épaulement 19c de la cavité 19 et d’autre part la bague de frottement 23 ou l’épaulement 21b de l’axe 21 de support. À titre d’exemple, dans le cas d’un palier à roulement, la bague interne peut présenter un diamètre interne égal ou sensiblement égal au deuxième diamètre D2 du corps cylindrique et la bague externe peut présenter un diamètre externe égal ou sensiblement égal au diamètre de la cavité 19 au-dessus de l’épaulement 19c. Un deuxième mode de réalisation de l’axe 21 de support, représenté sur la , diffère du mode de la , en ce que l’axe 21 de support comporte un canal 27 traversant qui débouche dans le réservoir 20. Ce canal 27 peut être utilisé pour remplir le réservoir 20 de lubrifiant liquide et est nommé par la suite canal 27 de remplissage. Le canal 27 de remplissage peut présenter une entrée 27a. Le canal 27 de remplissage s’étend par exemple depuis cette entrée 27a selon la direction verticale, le long de l’axe 21 de support, jusqu’à une sortie 27b au niveau de l’extrémité 21a libre du corps cylindrique de l’axe 21 de support en regard du réservoir 20. Il s’agit par exemple, d’un orifice traversant, par exemple central, ménagé dans l’axe 21 de support. Par ailleurs, la pompe à vide 1 peut comprendre au moins un indicateur du niveau de lubrifiant liquide dans le réservoir 20. Un tel indicateur peut être intégré dans l’axe 21 de support. Pour ce faire, l’axe 21 de support comprend par exemple au moins une fenêtre ou hublot 29 de visualisation du niveau de lubrifiant liquide dans le réservoir 20. Cette fenêtre 29 de visualisation est avantageusement réalisée dans un matériau transparent ou translucide, et est agencée au moins en partie en regard du réservoir 20. La fenêtre 29 de visualisation est par exemple réalisée dans un couvercle ou bouchon pour fermer le canal 27 de remplissage, qui est réalisé au moins en partie, voire entièrement, transparent ou translucide. En variante ou en complément, un capteur ou une sonde peut être destinée à plonger dans le réservoir 20 de façon à mesurer le niveau de lubrifiant liquide dans le réservoir 20. Différentes technologies peuvent être utilisées pour mesurer le niveau de lubrifiant liquide dans le réservoir 20. À titre d’exemple non limitatif, il peut s’agir d’une technologie capacitive, ou en variante ultrasonique avec ou sans contact de la sonde avec le lubrifiant liquide. Dans l’exemple de la , l’axe 21 de support porte une telle sonde 22. La sonde 22 peut par exemple passer à travers le canal 27 de remplissage visible sur la , ou un autre orifice traversant de l’axe 21 de support débouchant dans le réservoir 20. La sonde 22 peut être prévue suffisamment longue pour plonger dans le réservoir 20 de façon à être immergée dans le lubrifiant liquide. Cette sonde 22 permet d’indiquer le niveau de lubrifiant liquide lorsque le rotor 6 est statique mais également lorsqu’il tourne et que le lubrifiant liquide est projeté par la force centrifuge vers le palier 15 supérieur. Le réservoir 20 de lubrifiant liquide est décrit plus en détail ci-après, en référence aux figures 1 à 8. Le réservoir 20 peut être directement usiné dans le rotor 6. En variante, le réservoir 20 peut être réalisé par une pièce rapportée insérée dans le fond 19a de la cavité 19. La capacité de stockage du réservoir 20 est définie en fonction de la quantité de lubrifiant liquide qu’il doit recevoir selon l’application. En outre, le réservoir 20 peut présenter différentes formes, différents profils, afin d’optimiser le volume et le débit de lubrifiant liquide projeté sur le palier 15 supérieur notamment en fonction de la vitesse de rotation. En théorie, et notamment lorsque la forme du réservoir 20 n’influe pas sur l’écoulement de surface, par exemple lorsqu’il s’agit d’un disque ou d’une autre forme plane, les forces d’inertie peuvent donner une forme parabolique au lubrifiant liquide, tel que de l’huile, en rotation. L’équation du mouvement du lubrifiant liquide est dans ce cas l’équation d’une trajectoire parabolique : , avec h correspondant à la hauteur de la trajectoire, r correspondant à la distance au centre de rotation, h 0 correspondant à la hauteur de départ, Ω correspondant à la vitesse de rotation, g correspondant à la pesanteur. La hauteur h est directement proportionnelle au carré de la vitesse de rotation Ω, au carré de la distance au centre de rotation r et est inversement proportionnelle à l’accélération de pesanteur g. La densité ou la viscosité du lubrifiant liquide n’affectent pas ou peu la courbure de la parabole. Le réservoir 20 est de préférence centré autour de l’axe de rotation A1, A2. Le réservoir 20 peut présenter une forme de cuvette, une forme de bol, une forme incurvée, une forme concave, une forme convexe, une forme de révolution autour de l’axe de rotation A1, A2, une forme cylindrique autour de l’axe de rotation A1, A2. Comme mieux visible sur les figures 2a à 8, le réservoir 20 peut comporter une paroi de fond 20a s’étendant en regard du palier 15 supérieur et une paroi périphérique 20b qui s’étend depuis la paroi de fond 20a vers le haut. La paroi de fond 20a peut s’étendre radialement par rapport à l’axe de rotation A1, A2. La paroi périphérique 20b peut s’étendre axialement. À titre d’exemple, la paroi de fond 20a peut présenter une forme choisie parmi une forme circulaire ou sensiblement circulaire, une forme de disque, une forme plane, sensiblement plane, ou strictement plane, une forme incurvée, une forme présentant un dôme au centre d’au moins un creux annulaire, une forme ondulée, une forme courbe de sommet orienté vers l’axe 21 de support, une forme courbe de sommet orienté à l’opposé de l’axe 21 de support, une forme convexe, une forme concave. Le profil de la paroi de fond 20a peut correspondre à l’équation d’une parabole. En alternative ou en complément, une ou plusieurs structures peuvent être prévues dans le fond du réservoir 20 et/ou sur la paroi périphérique 20b. De façon non exhaustive, de telles structures peuvent être des perturbateurs, des ailettes, des nervures, des canaux, au moins une surélévation ou surépaisseur, au moins une déformation, ou toute autre structure ou forme permettant par exemple d’optimiser le débit de lubrification du palier 15 supérieur. Différents exemples de réalisation du réservoir 20 sont décrits plus en détail ci-après. Ces différents exemples peuvent s’appliquer quel que soit le mode de réalisation de l’axe 21 de support. Selon un premier exemple de réalisation du réservoir 20 représenté sur les figures 2a à 3, celui-ci présente une forme de cuvette centrée autour de l’axe de rotation A1, A2, avec une paroi de fond 20a concave, c'est-à-dire formant un creux. Ainsi, la paroi de fond 20a présente une forme courbe dont le sommet est orienté à l’opposé de l’axe 21 de support. La profondeur ou hauteur de creux est choisie en fonction de la capacité de stockage voulue. De plus, la paroi périphérique 20b s’étend depuis la paroi de fond 20a vers le haut, selon l’axe de rotation A1, A2, en direction du palier 15 supérieur. La paroi périphérique 20b du réservoir 20 présente une surface interne, qui est plane ou sensiblement plane. Les surfaces internes de la paroi de fond 20a et de la paroi périphérique 20b sont celles qui délimitent l’intérieur du réservoir 20. Un deuxième exemple de réalisation du réservoir 20 est représenté sur la . Seules les différences par rapport au premier exemple de réalisation sont précisées ci-après. Le réservoir 20 présente une forme globale qui est cylindrique autour de l’axe de rotation A1, A2, avec une paroi de fond 20a présentant un dôme central, au centre d’au moins un creux annulaire. Dans l’exemple illustré, la paroi de fond 20a ondulée présente un dôme, dont le sommet est orienté vers l’axe 21 de support, au centre d’un creux annulaire. Un troisième exemple de réalisation représenté sur la diffère des exemples de réalisation précédents, en ce que toute la paroi de fond 20a présente une forme convexe, c'est-à-dire une forme courbe dont le sommet est orienté vers l’axe 21 de support. Selon encore un quatrième exemple de réalisation représenté sur les figures 6a et 6b, le réservoir 20 diffère des exemples précédents, en ce qu’il présente une forme globale qui est cylindrique autour de l’axe de rotation A1, A2, avec une paroi de fond 20a s’étendant radialement sans présenter de courbe ou ondulation. La paroi de fond 20a présente une surface interne plane ou sensiblement plane. La surface interne de la paroi de fond 20a est la surface en regard du palier 15 supérieur. Elle est également en regard de la partie saillante de l’axe 21 de support, telle que l’extrémité 21a libre du corps cylindrique dans l’exemple illustré. De plus, selon ce quatrième exemple, le réservoir 20 comporte au moins une structure telle qu’une ailette 31 sur la paroi périphérique 20b. Plus précisément, une telle ailette 31 s’étend depuis la paroi périphérique 20b, par exemple depuis une partie basse de la paroi périphérique 20b, vers l’intérieur du réservoir 21 notamment vers le centre du réservoir 20, et également en direction de l’axe 21 de support. Une telle ailette 21 est orientée vers le haut. L’ailette 31 peut présenter une forme s’affinant entre une base 31a située sur la paroi périphérique 20b du réservoir 20 et une extrémité 31b libre. La forme d’une telle ailette 31 peut par exemple être triangulaire ou sensiblement triangulaire. L’ailette peut présenter, entre sa base 31a et son extrémité 31b, une longueur inférieure au rayon de la paroi de fond 20a, lorsque celle-ci est de forme circulaire ou de disque ou présente un contour de forme circulaire. Le réservoir 20 peut comprendre plusieurs ailettes 31. Dans l’exemple de la , quatre ailettes 31 sont représentées. Ces ailettes 31 peuvent être espacées entre elles d’un angle régulier. Dans l’exemple illustré, les quatre ailettes 31 sont régulièrement réparties sur la circonférence de la paroi périphérique 20b du réservoir 20. Les ailettes 31 peuvent être agencées à un même niveau selon l’axe de rotation A1, A2. De plus, les ailettes 31 peuvent être agencées de façon symétrique par rapport à l’axe de rotation A1, A2. La montre un cinquième exemple de réalisation qui diffère de l’exemple des figures 6a et 6b, en ce que le réservoir 20 ne comporte plus d’ailettes mais présente une nervure hélicoïdale 33 sur la surface interne de la paroi périphérique 20b. L’axe de la nervure hélicoïdale 33 est l’axe de rotation A1, A2. Selon une alternative (non représentée), le réservoir 20 peut présenter une rainure, par exemple hélicoïdale, au lieu d’une nervure hélicoïdale 33. L’axe de la rainure hélicoïdale peut être l’axe de rotation A1, A2. Cette rainure s’étend sur la surface interne de la paroi périphérique 20b. La rainure peut être formée par exemple par extrusion. Un sixième exemple de réalisation du réservoir 20 est représenté sur la et diffère des exemples de réalisation des figures 6a à 7, en ce que le réservoir 20 comporte une surélévation 35 selon l’axe de rotation A1, A2, par rapport à la paroi de fond 20a qui est plane ou sensiblement plane. Elle est par exemple de forme parallélépipédique. Cette surélévation 35 peut être ménagée de façon centrale sur la paroi de fond 20a. Le réservoir 20 ou plus précisément la paroi périphérique 20b peut s’étendre axialement sur une première hauteur H1 et la surélévation 35 peut s’étendre axialement sur une deuxième hauteur h2 qui est inférieure à la première hauteur H1. Également, cette surélévation 35 peut présenter une dimension radiale par exemple inférieure ou égale au diamètre du corps cylindrique de l’axe 21 de support. Dans l’exemple illustré, la surface interne de la paroi périphérique 20b ne présente plus de structure telle que des ailettes ou une nervure. Ainsi, le réservoir 20 selon l’un ou l’autre des exemples de réalisation, est directement intégré dans le rotor 6 monté verticalement, sans augmenter l’encombrement de la pompe à vide 1. Le réservoir 20 est de préférence agencé au niveau de l’extrémité supérieure 11 du rotor 6 du côté de l’aspiration. Un réservoir 20 peut être prévu pour chaque rotor 6 et les différents réservoirs 20 sont indépendants l’un de l’autre. Lors de la rotation des rotors 6, le lubrifiant liquide dans chaque réservoir 20 est entraîné par la force centrifuge et remonte jusqu’aux paliers 15 notamment supérieurs puis retombe dans le réservoir 20 correspondant. Les paliers 15 supérieurs peuvent être lubrifiés avec un débit permanent, sans nécessiter d’élément externe telle qu’une pompe à huile pour faire circuler le lubrifiant liquide. Les réservoirs 20 peuvent présenter des formes spécifiques selon les pompes à vide pour centrifuger le lubrifiant liquide de manière adaptée au débit nécessaire à la lubrification du palier 15 supérieur. L’axe 21 de support tel qu’un tenon peut permettre, notamment grâce à un trou traversant, le remplissage du réservoir 20 et/ou le passage d’une sonde de niveau de lubrifiant liquide. L’axe 21 de support peut également intégrer une fenêtre 29 pour la visualisation du niveau de lubrifiant liquide ou une sonde de niveau de lubrifiant liquide. L’intégration des réservoirs 20 dans les rotors 6 avec des joints d’étanchéité 25 associés permet en outre de limiter les migrations de lubrifiant liquide dans la pompe à vide 1 et/ou le dépôt de particules dans le réservoir. Ces réservoirs 20 présentent de plus petits volumes qu’un carter d’huile de l’état de la technique. Ces réservoirs 20 petits et indépendants l’un de l’autre, permettent de faciliter les équilibrages de pression au-dessus du bain de lubrifiant. Cette construction permet donc de rester très compact, de minimiser la quantité de lubrifiant liquide nécessaire, de rendre indépendants les réservoirs 20 et de lubrifier les paliers 15 au débit souhaité, sans dispositif annexe tel qu’une pompe à huile. Pompe à vide (1) comportant : un stator (2) comportant au moins une chambre de pompage (3), deux rotors (6) configurés pour tourner dans la chambre de pompage (3) autour d’un axe de rotation (A1, A2) respectif s’étendant selon une direction verticale, et présentant respectivement une extrémité (11) munie d’une cavité (19), au moins deux paliers (15) montés dans une cavité (19) respective, et au moins deux axes de support (21) d’un palier (15) respectif, solidaires du stator (2), et présentant chacun au moins une partie saillante dans l’une des cavités (19), les paliers étant respectivement agencés entre la partie saillante de l’un des axes de support (21) et une paroi délimitant l’une des cavités (19), caractérisée en ce qu’ elle comporte au moins un réservoir (20) situé dans le fond (19a) d’au moins une des cavités (19), en vis-à-vis et en-dessous du palier (15) selon l’axe de rotation (A1, A2), et en ce que le réservoir (20) est configuré pour recevoir un lubrifiant liquide destiné à être entraîné vers le palier (15) par une force centrifuge générée par la rotation du rotor (6). Pompe à vide (1) selon la revendication 1, dans laquelle le réservoir (20) est réalisé par usinage de l’extrémité (11) du rotor (6). Pompe à vide (1) selon la revendication 1, dans laquelle le réservoir (20) est réalisé par une pièce rapportée insérée dans le fond (19a) de la cavité (19). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, dans laquelle le réservoir (20) comporte une paroi de fond (20a) de forme choisie parmi une forme circulaire, une forme de disque, une forme incurvée, une forme présentant un dôme au centre d’au moins un creux annulaire, une forme ondulée, une forme courbe de sommet orienté vers l’axe de support, une forme courbe de sommet orienté à l’opposé de l’axe de support, une forme convexe, une forme concave, une forme plane. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, dans laquelle le réservoir (20) comporte au moins une ailette (31) s’étendant depuis une paroi périphérique (20b) du réservoir (20) vers le centre du réservoir et en direction de l’axe de support (21). Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, dans laquelle l’ailette (31) présente une forme s’affinant entre une base (31a) située sur la paroi périphérique (20b) du réservoir (20) et une extrémité libre (31b). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 1 à 4, dans laquelle le réservoir (20) présente une forme cylindrique autour de l’axe de rotation (A1, A2) et comprend une nervure hélicoïdale (33) ou une rainure hélicoïdale sur la surface interne d’une paroi périphérique (20b) du réservoir (20). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, dans laquelle le réservoir (20) comporte une paroi de fond (20a) plane et une surélévation (35) par rapport à la paroi de fond (20a) plane. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, dans laquelle l’axe de support (21) comprend un canal (27) de remplissage de lubrifiant liquide traversant, débouchant dans le réservoir (20). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, dans laquelle l’axe de support (21) comprend au moins une fenêtre de visualisation (29) du niveau de lubrifiant liquide dans le réservoir (20), réalisée dans un matériau transparent ou translucide, et agencée au moins en partie en regard du réservoir (20). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 1 à 10, dans laquelle l’axe de support (21) comprend au moins un orifice traversant configuré pour le passage d’une sonde configurée pour plonger dans le réservoir de façon à mesurer le niveau de lubrifiant liquide dans le réservoir (20). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 1 à 10, dans laquelle l’axe de support (21) comporte une sonde débouchant dans le réservoir (20) et configurée pour mesurer le niveau de lubrifiant liquide dans le réservoir (20).