Brevet FR3128310A1 — publié le 20230421

Dispositif comprenant des espaceurs comportant une zone d’air localisée et procédés de fabrication associés Un aspect de l’invention concerne un dispositif semi-conducteur réalisé sur un substrat comprenant au moins une région active et une région non-active entourant au moins partiellement la région active, une pluralité d’empilements de grille, une partie de chaque empilement de grille de la pluralité d’empilements de grille étant sur la région active, chaque empilement de grille étant séparé des empilements de grille adjacents au moyen d’un espaceur par une distance égale à e, le dispositif étant tel que, pour chaque empilement de grille de la pluralité d’empilements de grille (EG), la partie d’empilement de grille située sur la région active a une hauteur h 2 , la partie du même empilement de grille située sur la région non-active a une hauteur h 1 et en ce que h 2 /e =a 2 et h 1 /e = a 1 lim où a 2 est un rapport d’aspect tel que, lors de la croissance du matériau espaceur formant les espaceurs, une zone d’air est dans ledit espaceur, et a 1 est un rapport d’aspect tel que, lors de la croissance du matériau espaceur formant les espaceurs, aucune zone d’air n’est dans ledit espaceur. Dispositif comprenant des espaceurs comportant une zone d’air localisée et procédés de fabrication associés DOMAINE TECHNIQUE DE L’INVENTION Le domaine technique de l’invention est celui des dispositifs semi-conducteurs, notamment pour les applications aux qubits de spin. La présente invention concerne dispositif comprenant des espaceurs comportant une zone d’air et en particulier un dispositif dans lequel les zones d’air sont localisées. La présente invention concerne également deux procédés de fabrication permettant d’obtenir un tel dispositif. ARRIERE-PLAN TECHNOLOGIQUE DE L’INVENTION Dans le domaine des dispositifs semi-conducteurs pour la réalisation de qubits de spin, il est connu d’utiliser une pluralité de grilles disposées les unes à la suite des autres de sorte à réaliser une pluralité de qubits de spins qu’il est ensuite possible de coupler entre eux en jouant sur les barrières de potentiel séparant deux qubits adjacents. La distance qui sépare en général les qubits impose une densité importante au niveau des grilles (typiquement un pas inférieur à 100 nm) de sorte qu’il existe un fort couplage entre les différentes grilles, en particulier au niveau de la région active du dispositif (le canal), c’est-à-dire la région dans laquelle vont être formés les qubits de spin. C’est d’autant plus vrai que, pour des raisons de fabrication, les matériaux utilisés pour réaliser les espaceurs ne sont pas des matériaux à faible permittivité (low-k en anglais) ce qui tend à renforcer le couplage entre les grilles adjacentes. Afin de diminuer le couplage, il est connu de réaliser des espaceurs comprenant une zone d’air. C’est par exemple ce que propose le document US 2015/00911089 A1 ou bien encore le document US 2014/0110798. Cependant, les procédés décrits dans ces documents sont relativement complexes à mettre en œuvre et ne permettent pas de localiser la zone de vie de chaque espaceur, cette dernière étant alors présente sur toute la longueur dudit espaceur. Il existe donc un besoin d’un procédé permettant de fabriquer facilement des espaceurs comprenant une zone d’air et qui permet en outre de localiser cette zone à une partie seulement de l’espaceur. L’invention offre une solution aux problèmes évoqués précédemment, en permettant d’obtenir facilement des zones d’air localisées en jouant sur l’aspect de forme entre la hauteur des empilements de grille et de la distance qui les sépare. Pour cela, un premier aspect de l’invention concerne un dispositif semi-conducteur réalisé sur un substrat comprenant au moins une région active et une région non-active entourant au moins partiellement la région active, une pluralité d’empilements de grille, une partie de chaque empilement de grille de la pluralité d’empilements de grille étant sur la région active et une partie desdits empilement de grille étant sur la région non active, chaque empilement de grille étant séparé d’au moins un empilement de grille adjacent, de préférence de chaque empilement de grille adjacent, au moyen d’un espaceur par une distance e, le dispositif étant caractérisé en ce que, pour chaque empilement de grille de la pluralité d’empilements de grille, la partie d’empilement de grille située sur la région active a une hauteur h 2 , la partie du même empilement de grille située sur la région non-active a une hauteur h 1 et en ce que h 2 /e = a 2 et h 1 /e = a 1 où a 2 est un rapport d’aspect tel que, lors de la croissance du matériau espaceur formant les espaceurs, une zone d’air est dans ledit espaceur, et a 1 est un rapport d’aspect tel que, lors de la croissance du matériau espaceur formant les espaceurs, aucune zone d’air n’est dans ledit espaceur. Grâce à l’invention, il est possible d’obtenir des espaceurs comprenant des zones d’air localisées au niveau de la région active du dispositif. De plus, comme le montrera la partie consacrée à la fabrication d’un tel dispositif, la réalisation de zones d’air (ou airgap en anglais) localisées est grandement facilitée par l’utilisation astucieuse du rapport d’aspect entre hauteur des empilements de grille et distance séparant lesdits empilements. Ces zones de vide permettent notamment de limiter les couplages capacitifs entre grilles lors du fonctionnement électriques. Elles doivent être à l’intérieur de l’espaceur (couvertes, et non découvertes) pour ne pas conduire à l’inclusion de métal lors de la formation des contacts/électrodes métalliques Outre les caractéristiques qui viennent d’être évoquées dans le paragraphe précédent, le dispositif selon un premier aspect de l’invention peut présenter une ou plusieurs caractéristiques complémentaires parmi les suivantes, considérées individuellement ou selon toutes les combinaisons techniquement possibles. Dans un mode de réalisation, la surface de la région active est située dans un premier plan et la surface de la région non-active est situé dans un deuxième plan, le premier plan étant située à une hauteur inférieure à celle du deuxième plan, la différence de hauteur Δh entre le premier plan et le deuxième plan étant égale à la différence entre la hauteur h 2 des empilements de grille sur la région active et la hauteur h 1 des empilements de grille sur la région non-active. Dans un mode de réalisation, les espaceurs sont formés par une couche de matériau espaceur ayant une épaisseur t supérieure ou égale 0.3×e, de préférence 0.4×e, voire 0.5×e. Dans un mode de réalisation, le matériau espaceur est le nitrure de silicium. Dans un mode de réalisation, le dispositif comprend une pluralité de régions actives. Dans un mode de réalisation, a 2 ≥ 1.5 et a 1 ≤ 1. Dans un mode de réalisation, la hauteur h 1 est comprise entre 30 et 50 nm, la hauteur h 2 est comprise entre 60 et 100 nm et/ou la distance e séparant deux empilements de grilles successifs est comprise entre 20 et 40 nm. Un deuxième aspect de l’invention concerne un procédé de fabrication d’un dispositif semiconducteur à partir d’un substrat comportant au moins une région active et une région non-active entourant au moins partiellement la région active, la surface de la région active étant située dans un premier plan et la surface de la région non-active étant située dans un deuxième plan, le premier plan étant située à une hauteur inférieure à celle du deuxième plan, le procédé comprenant : une étape de formation d’une pluralité d’empilement de grille parallèle les uns aux autres, chaque empilement de grille étant séparé du ou des empilements de grille les plus proches par une distance e ; une étape de dépôt d’une couche d’un matériau espaceur de sorte à former un espaceur entre chaque empilement de grille ; une étape de dépôt d’une couche d’un matériau diélectrique ; une étape de polissage-mécanochimique de sorte que, à l’issue de cette étape, la partie des empilements de grille située sur la région active a une hauteur h 2 ; la hauteur entre le premier plan et le deuxième plan étant égale Δh, la hauteur h 2 , la différence de hauteur Δh et la distance e séparant deux empilements de grille étant choisis de sorte que h 2 /e = a 2 et (h 2 -Δh)/e = a 1 où a 2 est un rapport d’aspect tel que, lors de la croissance du matériau espaceur formant les espaceurs, une zone d’air se forme au sein dudit espaceur, et a 1 est un rapport d’aspect tel que, lors de la croissance du matériau espaceur formant les espaceurs, aucune zone d’air ne se forme au sein dudit espaceur. Dans un mode de réalisation, l’étape de polissage mécanochimique comprend : une première sous-étape de polissage mécanochimique de sorte à niveler la couche de matériau diélectrique ; une deuxième sous-étape de polissage mécano-chimique de sorte que, à l’issue de cette sous-étape, la partie des empilements de grille située sur la région active a une hauteur h 2 . Un troisième aspect de l’invention concerne un procédé de fabrication d’un dispositif semiconducteur à partir d’un substrat comportant au moins une région active et une région non-active entourant au moins partiellement la région active, la surface de la région active étant située dans un premier plan et la surface de la région non-active étant située dans un deuxième plan, le premier plan étant située à une hauteur inférieure à celle du deuxième plan, le procédé comprenant : une étape de dépôt pleine plaque d’une couche d’empilement de grille ; une étape de polissage-mécanochimique de sorte que, à l’issue de cette étape, la couche d’empilement de grille située sur la région active a une épaisseur h 2 ; une étape de formation, à partir de la couche d’empilement de grille, d’une pluralité d’empilements de grille parallèles les uns aux autres, chaque empilement de grille étant séparé du ou des empilements de grille les plus proches par une distance e ; une étape de dépôt d’une couche d’un matériau espaceur de sorte à former un espaceur entre chaque empilement de grille ; la différence de hauteur entre le premier plan et le deuxième plan étant égale Δh, l’épaisseur h 2 , la différence de hauteur Δh et la distance e séparant deux empilements de grille étant choisis de sorte que h 2 /e = a 2 et (h 2 -Δh )/e = a 1 où a 2 est un rapport d’aspect tel que, lors de la croissance du matériau espaceur formant les espaceurs, une zone d’air se forme au sein dudit espaceur, et a 1 est un rapport d’aspect tel que, lors de la croissance du matériau espaceur formant les espaceurs, aucune zone d’air ne se forme au sein dudit espaceur. Outre les caractéristiques qui viennent d’être évoquées dans les paragraphes précédents, le procédé selon un deuxième ou un troisième aspect de l’invention peut présenter une ou plusieurs caractéristiques complémentaires parmi les suivantes, considérées individuellement ou selon toutes les combinaisons techniquement possibles. Dans un mode de réalisation, le matériau espaceur est le nitrure de silicium. Dans un mode de réalisation, une épaisseur t de matériau espaceur telle que t ≥ 0.3×e, de préférence t ≥ 0.4×e, voire t ≥ 0.5×e, est déposée lors de l’étape de dépôt d’une couche d’un matériau espaceur. Dans un mode de réalisation, a 2 ≥ 1.5 et a 1 ≤ 1. Dans un mode de réalisation, l’étape de dépôt du matériau espaceur est réalisé par un dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD pour Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition en anglais), un dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD pour Low-Pressure Chemical Vapor Deposition en anglais) ou un dépôt dépôt chimique en phase vapeur à pression sous-atmosphérique (SACVD pour Sub-Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition en anglais). L’invention et ses différentes applications seront mieux comprises à la lecture de la description qui suit et à l’examen des figures qui l’accompagnent. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES Les figures sont présentées à titre indicatif et nullement limitatif de l’invention. Les à illustre un dispositif semiconducteur selon l’invention. La montre la formation d’une zone d’air dans l’espaceur lorsque le facteur de forme de la structure est suffisamment élevé. La montre l’absence de formation d’une zone d’air dans l’espaceur lorsque le facteur de forme de la structure n’est pas suffisamment élevé. La montre une représentation graphique des aspects de formes permettant d’obtenir une zone d’air lors de la formation des espaceurs. La montre un logigramme d’un procédé de fabrication selon un deuxième aspect de l’invention. Les à montrent de manière schématique les étapes d’un procédé de fabrication selon un deuxième aspect de l’invention. La montre un logigramme d’un procédé de fabrication selon un troisième aspect de l’invention. Les à montrent de manière schématique les étapes d’un procédé de fabrication selon un troisième aspect de l’invention. Dispositif (DI) semi-conducteur réalisé sur un substrat comprenant au moins une région active (RA) et une région non-active (RN) entourant au moins partiellement la région active (RA), une pluralité d’empilements de grille (EG), une partie de chaque empilement de grille (EG) de la pluralité d’empilements de grille (EG) étant sur la région active (RA) et une partie desdits empilements étant sur la région non active (RN), chaque empilement de grille (EG) étant séparé d’au moins un des empilements de grille (EG) adjacents au moyen d’un espaceur (ES) par une distance égale à e, le dispositif (DI) étant caractérisé en ce que, pour chaque empilement de grille (EG) de la pluralité d’empilements de grille (EG), la partie d’empilement de grille (EG) située sur la région active (RA) a une hauteur h 2 , la partie du même empilement de grille (EG) située sur la région non-active (RN) a une hauteur h 1 et en ce que h 2 /e =a 2 et h 1 /e = a 1 où a 2 est un rapport d’aspect tel que, lors de la croissance du matériau espaceur formant les espaceurs (ES), une zone d’air est dans ledit espaceur (ES), et a 1 est un rapport d’aspect tel que, lors de la croissance du matériau espaceur formant les espaceurs (ES), aucune zone d’air n’est dans ledit espaceur (ES). Dispositif (DI) selon la revendication précédente dans lequel la surface de la région active (RA) est située dans un premier plan (P1) et la surface de la région non-active est situé dans un deuxième plan (P2), le premier plan (P1) étant située à une hauteur inférieure à celle du deuxième plan (P2), la différence de hauteur Δh entre le premier plan (P1) et le deuxième plan (P2) étant égale à la différence entre la hauteur h 2 des empilements de grille (EG) sur la région active (RA) et la hauteur h 1 des empilement de grille (EG) sur la région non-active (RN). Dispositif (DI) selon l’une des revendications précédentes dans lequel, les espaceurs (ES) sont formés par une couche de matériau espaceur ayant une épaisseur t supérieure ou égale 0.3×e. Dispositif (DI) selon l’une des revendications précédentes comprenant une pluralité de régions actives (RA). Dispositif (DI) selon l’une des revendications précédentes dans lequel a 2 ≥ 1.5 et a 1 ≤ 1. Dispositif (DI) selon l’une des revendications précédentes dans lequel la hauteur h 1 est comprise entre 30 et 50 nm, la hauteur h 2 est comprise entre 60 et 100 nm et/ou la distance e séparant deux empilements de grilles (EG) successifs est comprise entre 20 et 40 nm. Dispositif (DI) selon l’une des revendications précédentes dans lequel les espaceurs (ES) sont en nitrure. Procédé (100) de fabrication d’un dispositif (DI) semiconducteur à partir d’un substrat comportant au moins une région active (RA) et une région non-active (RN) entourant au moins partiellement la région active (RA), la surface de la région active (RA) est située dans un premier plan (P1) et la surface de la région non-active est située dans un deuxième plan (P2), le premier plan (P1) étant située à une hauteur inférieure à celle du deuxième plan (P2), le procédé comprenant : une étape (1E1) de formation d’une pluralité d’empilements de grille (EG) parallèle les uns aux autres, chaque empilement de grille (EG) étant séparé du ou des empilements (EG) de grille les plus proches par une distance e ; une étape (1E2) de dépôt d’une couche d’un matériau espaceur de sorte à former un espaceur (ES) entre chaque empilement de grille ; une étape (1E3) de dépôt d’une couche d’un matériau diélectrique (OX) ; une étape (1E4) de polissage-mécanochimique de sorte que, à l’issue de cette étape (1E4), la partie des empilements de grille (EG) située sur la région active (RA) a une hauteur h 2 et la partie des empilements de grille (EG) située sur la région non active (RN) a une hauteur h 1 ; la hauteur entre le premier plan (P1) et le deuxième plan (P2) étant égale Δh, la hauteur h 2 , la différence de hauteur Δh et la distance e séparant deux empilements de grille (EG) étant choisis de sorte que h 2 /e = a 2 et (h 2 -Δh )/e = a 1 où a 2 est un rapport d’aspect tel que, lors de la croissance du matériau espaceur formant les espaceurs (ES), une zone d’air se forme au sein dudit espaceur (ES), et a 1 est un rapport d’aspect tel que, lors de la croissance du matériau espaceur formant les espaceurs (ES), aucune zone d’air ne se forme au sein dudit espaceur (ES). Procédé selon la revendication précédente dans lequel l’étape (1E4) de polissage mécanochimique comprend : une première sous-étape de polissage mécanochimique de sorte à niveler la couche de matériau diélectrique (OX) ; une deuxième sous-étape de polissage mécano-chimique de sorte que, à l’issue de cette sous-étape, la partie des empilements de grille (EG) située sur la région active (RA) a une hauteur h 2 . Procédé (200) de fabrication d’un dispositif (DI) semiconducteur à partir d’un substrat comportant au moins une région active (RA) et une région non-active (RN) entourant au moins partiellement la région active (RA), la surface de la région active (RA) est située dans un premier plan (P1) et la surface de la région non-active est situé dans un deuxième plan (P2), le premier plan (P1) étant située à une hauteur inférieure à celle du deuxième plan (P2), le procédé comprenant : une étape (2E1) de dépôt pleine plaque d’une couche d’empilement de grille (EG) ; une étape (2E2) de polissage-mécanochimique de sorte que à l’issue de cette étape (2E2), la couche d’empilements de grille (EG) située sur la région active (RA) a une épaisseur h 2 et la couche d’empilement de grille (EG) située sur la région non active (RN) a une épaisseur h 1 ; une étape (2E3) de formation, à partir de la couche d’empilement de grille, d’une pluralité d’empilements de grille (EG) parallèles les uns aux autres, chaque empilement de grille (EG) étant séparé du ou des empilements de grille (EG) les plus proches par une distance e ; une étape (2E4) de dépôt d’une couche d’un matériau espaceur de sorte à former un espaceur (ES) entre chaque empilement de grille (EG) ; la différence de hauteur entre le premier plan (P1) et le deuxième plan (P2) étant égale Δh, l’épaisseur h 2 , la différence de hauteur Δh et la distance e séparant deux empilements de grille (EG) étant choisis de sorte que h 2 /e = a 2 et h 1 = (h 2 -Δh )/e = a 1 où a 2 est un rapport d’aspect tel que, lors de la croissance du matériau espaceur formant les espaceurs (ES), une zone d’air se forme au sein dudit espaceur (ES), et a 1 est un rapport d’aspect tel que, lors de la croissance du matériau espaceur formant les espaceurs (ES), aucune zone d’air ne se forme au sein dudit espaceur (ES). Procédé (100, 200) selon l’une des deux revendications précédentes dans lequel le matériau espaceur est le nitrure de silicium. Procédé (100, 200) selon l’une des trois revendications précédentes dans lequel une épaisseur t de matériau espaceur telle que t ≥ 0.3×e est déposée lors de l’étape de dépôt d’une couche d’un matériau espaceur. Procédé selon l’une des cinq revendications précédentes dans lequel a 2 ≥ 1.5 et a 1 ≤ 1. Procédé selon l’une des six revendications précédentes dans lequel l’étape de dépôt du matériau espaceur est réalisé par un dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma, un dépôt chimique en phase vapeur à basse pression ou un dépôt chimique en phase vapeur à pression sous-atmosphérique.