Brevet FR3131398A1 — publié le 20230630

Procédé de fabrication d'un filtre coloré La présente description concerne un procédé de fabrication d'un filtre coloré, comprenant les étapes successives suivantes : a) réaliser des ouvertures (111) dans une première couche (103) revêtant une première face (101T) d'un substrat (101), la première couche étant adaptée à transmettre de la lumière dans une première gamme de longueurs d'ondes ; b) revêtir la première couche (103) d'une deuxième couche (113) adaptée à transmettre de la lumière dans une deuxième gamme de longueurs d'ondes, différente de la première gamme de longueurs d'ondes ; c) insoler la deuxième couche (113) depuis une deuxième face (101B) du substrat (101) opposée à la première face (101T), en utilisant la première couche (103) comme masque ; et d) éliminer des parties de la deuxième couche (113) masquées par la première couche (103) lors de l'étape c). Figure pour l'abrégé : Fig. 1D Procédé de fabrication d'un filtre coloré La présente description concerne de façon générale les dispositifs d'acquisition d'images. La présente description concerne plus particulièrement les dispositifs d'acquisition d'empreintes digitales, également appelés capteurs d'empreintes digitales. On connaît des capteurs d'empreintes digitales permettant, par exemple, de sécuriser un accès à des données stockées dans une mémoire d'un téléphone mobile, d'autoriser une personne à pénétrer à l'intérieur d'un bâtiment ou d'un local, de procéder à des contrôles d'identité, etc. De tels capteurs peuvent faire l'objet de tentatives de fraude, par exemple en utilisant une reproduction bidimensionnelle (par exemple une photocopie) ou tridimensionnelle (par exemple une reconstitution artificielle réalisée en silicone ou en latex) d'un doigt d'un utilisateur, visant à tromper le capteur d'empreintes digitales. Il existe un besoin de renforcer la sécurité des dispositifs d'acquisition d'empreintes digitales actuels et d'améliorer les procédés de fabrication de tels dispositifs. Un mode de réalisation pallie tout ou partie des inconvénients des dispositifs d'acquisition d'empreintes digitales connus et de leurs procédés de fabrication. Un mode de réalisation prévoit un procédé de fabrication d'un filtre coloré, comprenant les étapes successives suivantes : a) réaliser des ouvertures dans une première couche revêtant une première face d'un substrat, la première couche étant adaptée à transmettre de la lumière dans une première gamme de longueurs d'ondes ; b) revêtir la première couche d'une deuxième couche adaptée à transmettre de la lumière dans une deuxième gamme de longueurs d'ondes, différente de la première gamme de longueurs d'ondes ; c) insoler la deuxième couche depuis une deuxième face du substrat opposée à la première face, en utilisant la première couche comme masque ; et d) éliminer des parties de la deuxième couche masquées par la première couche lors de l'étape c). Selon un mode de réalisation, à l'étape c), la deuxième couche est en outre insolée à travers un premier masque situé du côté de la deuxième face du substrat et couvrant certaines des ouvertures de la première couche. Selon un mode de réalisation, le procédé comprend en outre, après l'étape d), les étapes successives suivantes : e) déposer, du côté de la première face du substrat, une troisième couche adaptée à transmettre de la lumière dans une troisième gamme de longueurs d'ondes, différente des première et deuxième gammes de longueurs d'ondes ; f) insoler la troisième couche depuis la deuxième face du substrat, en utilisant les première et deuxième couches comme masque ; et g) éliminer des parties de la troisième couche masquées par les première et deuxième couches lors de l'étape f). Selon un mode de réalisation, à l'étape f), la troisième couche est en outre insolée à travers un deuxième masque situé du côté de la deuxième face du substrat et couvrant certaines des ouvertures masquées par le premier masque. Selon un mode de réalisation, le procédé comprend en outre, après l'étape g), les étapes suivantes : h) déposer, du côté de la première face du substrat, une quatrième couche adaptée à transmettre un rayonnement dans une quatrième gamme de longueurs d'ondes, différente des première, deuxième et troisième gammes de longueurs d'ondes ; i) insoler la quatrième couche depuis la deuxième face du substrat, en utilisant les première, deuxième et troisième couches comme masque ; et j) éliminer des parties de la quatrième couche masquées par les première, deuxième et troisième couches lors de l'étape i). Selon un mode de réalisation, les première, deuxième et troisième gammes de longueurs d'ondes sont situées dans le visible et la quatrième gamme de longueurs d'ondes est située dans l'infrarouge. Selon un mode de réalisation, le premier masque comporte des ouvertures présentant des dimensions latérales supérieures à celles des ouvertures de la première couche. Selon un mode de réalisation, à l'étape a), les ouvertures sont réalisées par insolation de la première couche à travers un troisième masque situé du côté de la première face du substrat puis élimination de parties non insolées de la première couche. Selon un mode de réalisation, le troisième masque est préalablement formé par insolation, à travers un quatrième masque, d'une cinquième couche revêtant une face d'un autre substrat puis élimination de parties non insolées de la cinquième couche. Selon un mode de réalisation, les première et cinquième couches sont en un même matériau. Selon un mode de réalisation, le troisième masque comprend un substrat revêtu de plots métalliques disjoints. Un mode de réalisation prévoit un procédé de réalisation d'un capteur d'empreintes digitales, comprenant une étape de report, sur une matrice de photodétecteurs organiques, du filtre coloré obtenu par le procédé tel que décrit précédemment. Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : ; ; ; ; ; les figures 1A, 1B, 1C, 1D et 1E sont des vues en perspective, schématiques et partielles, illustrant des étapes successives d'un exemple d'un procédé de fabrication d'un filtre coloré selon un mode de réalisation ; ; ; ; ; les figures 2A, 2B, 2C et 2D sont des vues en perspective, schématiques et partielles, illustrant des étapes successives d'un exemple d'un procédé de fabrication d'un filtre coloré selon un autre mode de réalisation ; la est une vue en perspective, schématique et partielle, illustrant une structure obtenue à l'issue d'un exemple d'un procédé de fabrication d'un filtre coloré selon encore un autre mode de réalisation ; ; ; ; les figures 4A, 4B et 4C sont des vues en perspective, schématiques et partielles, illustrant des étapes successives d'un exemple d'un procédé de fabrication d'un masque pour la réalisation de filtres colorés ; et la est une vue en perspective, schématique et partielle, illustrant un exemple de capteur d'empreintes digitales comportant un filtre coloré. Procédé de fabrication d'un filtre coloré (100 ; 200 ; 300), comprenant les étapes successives suivantes : a) réaliser des ouvertures (111) dans une première couche (103) revêtant une première face (101T) d'un substrat (101), la première couche étant adaptée à transmettre de la lumière dans une première gamme de longueurs d'ondes ; b) revêtir la première couche (103) d'une deuxième couche (113) adaptée à transmettre de la lumière dans une deuxième gamme de longueurs d'ondes, différente de la première gamme de longueurs d'ondes ; c) insoler la deuxième couche (113) depuis une deuxième face (101B) du substrat (101) opposée à la première face (101T), en utilisant la première couche (103) comme masque ; et d) éliminer des parties de la deuxième couche (113) masquées par la première couche (103) lors de l'étape c). Procédé selon la revendication 1, dans lequel, à l'étape c), la deuxième couche (113) est en outre insolée à travers un premier masque (201) situé du côté de la deuxième face (101B) du substrat (101) et couvrant certaines des ouvertures (111) de la première couche (103). Procédé selon la revendication 2, comprenant en outre, après l'étape d), les étapes successives suivantes : e) déposer, du côté de la première face (101T) du substrat (101), une troisième couche (207) adaptée à transmettre de la lumière dans une troisième gamme de longueurs d'ondes, différente des première et deuxième gammes de longueurs d'ondes ; f) insoler la troisième couche (207) depuis la deuxième face (101B) du substrat (101), en utilisant les première et deuxième couches (103, 113) comme masque ; et g) éliminer des parties de la troisième couche (207) masquées par les première et deuxième couches (103, 113) lors de l'étape f). Procédé selon la revendication 3, dans lequel, à l'étape f), la troisième couche (207) est en outre insolée à travers un deuxième masque situé du côté de la deuxième face (101B) du substrat (101) et couvrant certaines des ouvertures (111) masquées par le premier masque (201). Procédé selon la revendication 4, comprenant en outre, après l'étape g), les étapes suivantes : h) déposer, du côté de la première face (101T) du substrat (101), une quatrième couche (303) adaptée à transmettre un rayonnement dans une quatrième gamme de longueurs d'ondes, différente des première, deuxième et troisième gammes de longueurs d'ondes ; i) insoler la quatrième couche (303) depuis la deuxième face (101B) du substrat (101), en utilisant les première, deuxième et troisième couches (103, 113, 207) comme masque ; et j) éliminer des parties de la quatrième couche (303) masquées par les première, deuxième et troisième couches (103, 113, 207) lors de l'étape i). Procédé selon la revendication 5, dans lequel les première, deuxième et troisième gammes de longueurs d'ondes sont situées dans le visible et la quatrième gamme de longueurs d'ondes est située dans l'infrarouge. Procédé selon l'une quelconque des revendications 2 à 6, dans lequel le premier masque (201) comporte des ouvertures (203) présentant des dimensions latérales supérieures à celles des ouvertures (111) de la première couche (103). Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel, à l'étape a), les ouvertures (111) sont réalisées par insolation de la première couche (103) à travers un troisième masque (105) situé du côté de la première face (101T) du substrat (101) puis élimination de parties non insolées de la première couche (103). Procédé selon la revendication 8, dans lequel le troisième masque (105) est préalablement formé par insolation, à travers un quatrième masque (403), d'une cinquième couche (401) revêtant une face d'un autre substrat (107) puis élimination de parties non insolées de la cinquième couche. Procédé selon la revendication 9, dans lequel les première et cinquième couches (103, 401) sont en un même matériau. Procédé selon la revendication 8, dans lequel le troisième masque (105) comprend un substrat revêtu de plots (109) métalliques disjoints. Procédé de réalisation d'un capteur d'empreintes digitales (500), comprenant une étape de report, sur une matrice de photodétecteurs organiques (501), du filtre coloré (100 ; 200 ; 300) obtenu par le procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 11.