Brevet FR3131015A1 — publié le 20230623

L’invention concerne un dispositif (10) de modulation en phase d’un faisceau lumineux comprenant : une matrice de cellules élémentaires, dénommées pixels, couplée à un circuit d’adressage desdits pixels, le dispositif comprenant en outre un ensemble d’électrodes dites latérales s’étendant selon une direction (Y) dite verticale perpendiculaire à ladite direction d’alignement (Xa) et configurées pour appliquer, pour chaque pixel et via au moins deux électrodes latérales, une tension dite d’accélération (Vacc) générant un champ électrique latéral (Era) sensiblement parallèle à ladite direction d’alignement, dans un sens permettant un retour accéléré des molécules de cristal liquide vers leur orientation de repos, ladite tension d’accélération étant configurée pour être appliquée lors d’une phase dénommée phase de relaxation accélérée, lorsque la tension d’activation n’est plus appliquée. Figure à publier : Figure 5 Dispositif de modulation de phase à cristal liquide DOMAINE DE L’INVENTION La présente invention concerne les dispositifs de modulation de phase à cristal et plus particulièrement des dispositifs de ce type présentant un temps de réponse amélioré. ETAT DE LA TECHNIQUE Les dispositifs à cristal liquide sont connus pour la réalisation d’afficheurs (LCD pour Liquid Crystal Display), qui modulent un faisceau lumineux en amplitude. Ces afficheurs ont une structure matricielle, et chaque cellule élémentaire de cristal liquide forme un pixel de l’afficheur. L’orientation des molécules de cristal liquide est modifiée par application d’un champ entre deux électrodes disposées de part et d’autre de la couche de cristal liquide, une électrode dite de pixel et une électrode transparente commune à tous les pixels. Chaque pixel est adressé via au moins un transistor de commande localisé sur le pixel et relié à l’électrode de pixel, et qui est relié à un circuit de commande afin d’appliquer au pixel la tension électrique désirée. On dénomme transistor de commande un transistor élémentaire qui est configuré pour appliquer la tension désirée au pixel. L’application de cette tension pour un pixel peut être réalisée via plusieurs transistors élémentaires. Une modification de l’orientation des molécules de cristal liquide induit une modification de la polarisation du faisceau incident, ce qui crée une modification de la transmission au travers d’un polariseur. Plusieurs structures de cristal liquide sont connues pour les afficheurs : Mode TN (Nématique Vrillé ou Twisted nematic), mode VA (Aligné Verticalement ou Vertically Aligned), mode IPS (Commutation Dans le Plan ou In Plane Switching). Les modulateurs à cristal liquide, connus sous le terme générique de SLM (Spatial Light Modulator), utilisés pour réaliser des afficheurs à vision directe (télévision, écran d’ordinateur) fonctionnent en transmission. Les deux électrodes sont alors transparentes, le transistor de commande ou TFT (Transistor en couches minces ou Thin Film transistor) est localisé dans un coin du pixel, et le circuit d’adressage est partiellement localisé sur les bords de l’afficheur, une partie du traitement pouvant être réalisée dans une unité de traitement extérieure. Pour des applications de projection on peut également utiliser des structures de cristal liquide fonctionnant en réflexion. Dans ce cas les pixels sont de plus petite taille et la couche de cristal liquide est déposée sur un substrat en silicium dans lequel est partiellement localisé le circuit d’adressage. L’électrode pixel est alors réfléchissante. On dénomme ce type d’afficheur LCOS (Liquid Crystal on Silicon). Les SLM, basés sur le contrôle électrique des propriétés optiques d’une couche de cristal liquide, typiquement nématiques, sont plus généralement adaptés pour modifier spatialement la phase, l’amplitude ou l’état de polarisation d’une onde lumineuse. Les modulateurs de phase trouvent des applications dans l’holographie, les correcteurs de front d’onde, la mise en forme d’impulsions laser…Ils peuvent fonctionner en transmission ou en réflexion (LCOS). Un modulateur de phase spatial à cristal liquide ou LC-SPM (Liquid Crystal - Spatial Phase Modulator) est ainsi un système électrooptique qui utilise une matrice de cristaux liquides commandée électriquement pour apporter, en tout point d’un faisceau incident, une modification locale de sa phase. Pour la modulation de phase un mode de réalisation préféré est une structure de cristal liquide 5 dite PAN (Parallel Aligned Nematic) également dénommée « de biréfringence électriquement contrôlée » (ECB pour « Electronically Controled Birefrinrgence »), dont un pixel est illustré pour le cas d’un LCOS (réflexion). Dans cette structure ECB les molécules de cristal liquide nématique sont parallèles entre elles au repos. Le substrat S1 est surmonté d’un empilement de couches de métallisation comprenant des pistes conductrices PM séparées par un matériau isolant MI. Dans un niveau supérieur de l’empilement d’interconnexion EI est définie une première électrode EL1 dite électrode de pixel, réfléchissante qui recouvre une grande partie du pixel (typiquement en aluminium ou en cuivre). En surface de l’empilement d’interconnexion est formé un empilement d’une première couche d’alignement CA1 (accroche et alignement des cristaux liquides), d’une couche de cristaux liquide CL, d’une deuxième couche d’alignement CA2 et d’une couche conductrice transparentes formant une deuxième électrode EL2 (typiquement en oxyde d’indium-étain ou ITO). Les couches CA1 et CA2 alignent le cristal liquide selon une direction Xa définie. Par exemple ces couches sont en polymère, typiquement du polyimide, présentant des stries parallèle en surface côté cristal liquide qui forcent son alignement. L’empilement comprend en outre à titre d’exemple une plaque supérieure S2 typiquement de verre. Les matériaux des diverses couches sont choisis pour éviter les réflexions parasites. Les éléments d’application de tension de commande sur les électrodes EL1 et EL2 ne sont pas décrits en détail, la réalisation de pistes et/ou vias d’accès aux électrodes EL1 et EL2 sont bien connus dans les techniques de circuit intégré. Le fonctionnement d’un LC-SPM en réflexion de type ECB est illustré . Il est constitué de deux parties, une partie CMOS comprenant le substrat en silicium intégrant au moins une partie de l’adressage et une cellule élémentaire de cristal liquide CE. En A0 les molécules sont au repos, c’est-à-dire sans tension appliqué entre EL1 et EL2, les molécules sont parallèles entre elles et parallèle au plan de la couche CL et du dispositif 5, orientées selon la direction Xa. En B0 l’application d’une tension entre EL1et EL2, dite tension d’activation, génère un champ électrique d’activation Ea qui modifie l’orientation des cristaux liquides. Cette phase d’adressage des cristaux liquides est dite d’activation. L’orientation des molécules est ajustée pixel par pixel, l’électrode EL1 étant définie indépendamment dans chacun des pixels. La biréfringence de la couche de cristal liquide est fonction de cette orientation, et donc le déphasage induit à l’onde incidente dépend de cette tension d’activation appliquée. Si la polarisation de la lumière incidente est parallèle à l’axe Xa, la tension appliquée est directement liée au déphasage de la lumière. Le retard maximum ΔΦ, engendré sur une lumière incidente de longueur d’onde λ par une couche de cristaux liquides d’épaisseur e et dont la différence d’indice de réfraction ordinaire n0 et extraordinaire ne s’écrit Δn (Δn = ne-n0), s’exprime par : ΔΦ = (2π/λ).Δn.e. Ainsi pour le dispositif 5 qui agit sur le faisceau lumineux réfléchi, après un aller-retour dans la couche de cristal liquide, le déphasage maximal engendré est donc 2.ΔΦ. La biréfringence Δn est une caractéristique des molécules de cristal liquide utilisées, et varie typiquement entre 0.1 et 0.3. Le choix l’épaisseur de la couche de cristal liquide permet donc d’avoir une liberté sur le choix des molécules de cristal liquide pour une modulation de phase du faisceau réfléchi. Ainsi pour un fonctionnement en ECB il convient que la lumière incidente soit polarisée de façon alignée avec l’orientation des cristaux liquide au repos. La courbe 19 illustre la tension d’activation Vact appliquée pendant la phase d’activation pour obtenir une orientation désirée des molécules. Pour accélérer le redressement des molécules une surtension 18 ou « overshoot » est appliqué en début de phase. La courbe 20 illustre la variation de l’angle d’inclinaison θ des molécules de cristal liquide, qui peuvent être représentés par des bâtonnets s’orientant suivant la direction du champ électrique, dans le plan (Xa, Z) du dispositif. Il faut un certain temps dénommé temps de réponse, pour que l’orientation de la molécule atteigne la valeur d’orientation désirée correspondant à la différence de phase souhaitée. Les molécules de cristal s’orientant suivant la direction du champ électrique indépendamment de sons sens, un champ alternatif carré est préférentiellement appliqué pour éviter les effets d’électrolyse. En C0 dans une phase dite de relaxation on cesse d’appliquer la tension d’activation, les molécules retournent vers leur positon de repos. On pourra ensuite appliquer à nouveau une tension d’activation correspondant à une nouvelle orientation désirée. La courbe 21 illustre le retour à la position de repos, caractérisé par un temps de relaxation. Cette phase de retour est purement mécanique, avec une vitesse de retour à la position initiale fonction de la viscosité du cristal liquide. On remarque que le temps de relaxation est important, et qu’il faudra donc attendre un certain temps avant de pouvoir rafraîchir le SPM, ce qui limite sa fréquence de fonctionnement. On peut en outre réaliser une modulation d’amplitude du faisceau incident en insérant un polariseur entre l’empilement d’interconnexion EI et la couche d’alignement CA1. Dans un mode particulier de LCOS décrit dans le document W02014/087099 un dispositif LC-SPM est hybridé avec une fonction de détection. La décrit ce dispositif 30 en perspective et la de profil. La structure est proche du LCOS de la avec la différence que l’électrode pixel EL1 présente une ouverture 58 qui laisse passer une partie du faisceau incident cohérent 32 (ayant subi des transformations avant d’arriver sur le dispositif 30), qui interfère avec un faisceau référence 36 issu d’une même source. Un photodétecteur PD est intégré dans le substrat silicium et disposé en regard de l’ouverture 58, et assure la fonction de détection. Ainsi une partie du faisceau incident est détectée par PD et l’autre partie est réfléchie par l’électrode EL1, et retraverse le cristal liquide formant le faisceau 44, dont on modifie la phase par commande du cristal liquide, tel qu’expliqué précédemment. On accède à la phase du faisceau 32 (mesure du front d’onde) par interférométrie avec le faisceau 36, en mesurant l’intensité résultant de l’interférence. L’objectif de ce dispositif est de réaliser une mesure de front d’onde du faisceau 32, puis de procéder à la mise en forme du faisceau réfléchi 44 (onde dite de « playback »), de manière dépendante des mesures de front d’onde effectuées. Un dispositif de traitement non représenté reçoit les informations du photodétecteur et défini, en fonction de l’information du front d’onde détectée par PD, la modulation de phase que le SPM doit appliquer. Chaque pixel assure simultanément la fonction de détection et la fonction de modulation en phase. Ce type de dispositif trouve des applications en optique adaptative, pour moduler en parallèles des canaux de communication optiques, en interférométrie… Néanmoins une limitation de la fréquence de fonctionnement de ce dispositif est liée à la lenteur de la relaxation, comme décrit plus haut. Un but de la présente invention est de remédier aux inconvénients précités en proposant un modulateur de phase à cristal liquide présentant une phase de relaxation accélérée. DESCRIPTION DE L’INVENTION La présente invention a pour objet un dispositif de modulation en phase d’un faisceau lumineux comprenant : une matrice de cellules élémentaires, dénommées pixels, couplée à un circuit d’adressage desdits pixels, chaque cellule élémentaire comprenant une couche de cristal liquide et, de part et d’autre de ladite couche de cristal liquide, au moins une première électrode dite électrode de pixel commandée par au moins un transistor de commande couplé audit circuit d’adressage, et une deuxième électrode transparente et commune à toutes les cellules, le cristal liquide étant composé de molécules ayant une orientation naturelle de repos dans un plan dudit dispositif et selon une direction d’alignement dite horizontale orienté selon une rangée de pixels dite horizontale, et en l’absence de tension entre l’au moins une électrode de pixel et la deuxième électrode, et une autre orientation en dehors dudit plan dudit dispositif en présence de tension entre l’au moins une électrode de pixel et la deuxième électrode, dénommée tension d’activation (Vact), ladite tension d’activation étant appliquée lors d’une phase d’activation des molécule de cristal liquide, le dispositif comprenant en outre un ensemble d’électrodes dites latérales s’étendant selon une direction dite verticale perpendiculaire à ladite direction d’alignement et configurées pour appliquer, pour chaque pixel et via au moins deux électrodes latérales, une tension dite d’accélération générant un champ électrique latéral sensiblement parallèle à ladite direction d’alignement, dans un sens permettant un retour accéléré des molécules de cristal liquide vers leur orientation de repos, ladite tension d’accélération étant configurée pour être appliquée lors d’une phase dénommée phase de relaxation accélérée, lorsque la tension d’activation n’est plus appliquée. Selon une variante les électrodes latérales sont des bandes fines disposées de part et d’autre de bandes plus larges formant la ou les électrodes de pixel et dans lequel la tension d’accélération est appliquée entre deux électrodes latérales adjacentes. Selon un mode de réalisation pendant la phase de relaxation accélérée, une électrode latérale sur deux est connectée à un premier potentiel et une électrode latérale sur deux est connectée à un deuxième potentiel, pour appliquer la tension d’accélération. Selon un mode de réalisation pixel comprend une seule électrode pixel et une seule électrode latérale. Selon un autre mode de réalisation chaque pixel comprend n électrodes pixel formant n bandes orientées selon la direction verticale et n électrodes latérales. Selon un mode de réalisation une électrode latérale est commune à une rangée verticale de pixels. Selon un mode de réalisation la ou les électrodes latérales d’un pixel sont propres à chaque pixel. Selon un mode de réalisation, pour chaque pixel, les électrodes latérales sont en outre configurées pour appliquer, en combinaison avec la deuxième électrode, la tension d’activation audit pixel pendant la phase d’activation. Selon un mode de réalisation le circuit d’adressage comprend, pour l’adressage d’un pixel, au moins cinq éléments de commutation dont au moins trois pour appliquer ladite tension d’activation, incluant l’au moins un transistor de commande, et au moins deux pour appliquer ladite tension d’accélération. Selon une deuxième variante, pour chaque pixel, les électrodes de pixel et les électrodes latérales sont confondues et dénommées électrodes élémentaires, les électrodes élémentaires présentant une forme de bande de dimensions sensiblement identiques et s’étendant selon la direction verticale, les électrodes élémentaires étant réparties en un premier et un deuxième groupe d’une bande sur deux, les électrodes élémentaires étant configurées pour appliquer, en combinaison avec la deuxième électrode, une même tension d’activation lors de la phase d’activation, le premier groupe d’électrodes élémentaires étant configuré pour appliquer une tension d’accélération lors d’une première séquence de la phase de relaxation accélérée, les bandes du deuxième groupe étant configurées en haute impédance ou à un potentiel de référence, le deuxième groupe étant configuré pour appliquer une tension d’accélération lors d’une deuxième séquence de la phase de relaxation accélérée, lebandes du premier groupe étant configurées en haute impédance ou à un potentiel de référence. Selon un mode de réalisation le nombre p d’électrodes élémentaires par pixel est un multiple de 4. Selon un mode de réalisation le circuit d’adressage comprend, pour l’adressage d’un pixel, au moins quatre éléments de commutation pour appliquer ladite tension d’activation, incluant l’au moins un transistor de commande, et au moins quatre éléments de commutation pour appliquer ladite tension d’accélération. Selon un mode de réalisation le dispositif fonctionne en réflexion et permet en outre une mesure du front d’onde dudit faisceau incident, l’électrode de pixel au moins partiellement réfléchissante présente une ouverture (Op), le circuit d’adressage des pixels est au moins partiellement disposé à l’arrière de ladite matrice et intégré à un substrat, ledit substrat comprenant en outre une pluralité d’éléments de détection disposés en regard desdites ouvertures. Selon un autre aspect l’invention concerne un procédé d’adressage d’un dispositif de modulation en phase d’un faisceau lumineux, le dispositif d’adressage comprenant une matrice de cellules élémentaires, dénommées pixels, couplée à un circuit d’adressage desdits pixels, chaque cellule élémentaire comprenant une couche de cristal liquide et, de part et d’autre de ladite couche de cristal liquide, au moins une première électrode dite électrode de pixel commandée par un transistor de commande couplé audit circuit d’adressage, et une deuxième électrode transparente et commune à toutes les cellules, le cristal liquide étant composé de molécules ayant une orientation naturelle de repos dans un plan de ladite couche selon une direction d’alignement dite horizontale orienté selon une rangée de pixels dite horizontale, et en l’absence de tension entre l’électrode de pixel et la deuxième électrode, et une autre orientation en dehors dudit plan de ladite couche, en présence de tension entre l’électrode de pixel et la deuxième électrode, dénommée tension d’activation, le dispositif comprenant en outre un ensemble d’électrodes dites latérales s’étendant selon une direction dite verticale perpendiculaire à ladite direction d’alignement, le procédé comprenant : une phase d’activation dans laquelle, pour chaque pixel, on applique ladite tension d’activation, une phase de relaxation accélérée dans laquelle, pour chaque pixel, on applique via au moins deux électrodes latérales, une tension dite d’accélération générant un champ électrique latéral (Era) sensiblement parallèle à ladite direction d’alignement, [dans un sens] permettant un retour accéléré des molécules de cristal liquide vers leur orientation de repos, ladite tension d’accélération étant appliquée lorsque la tension d’activation n’est plus appliquée. Selon un mode de réalisation une électrode latérale est commune à une rangée verticale des pixels et: pendant la phase d’activation, les électrodes latérales sont connectées en haute impédance ou à un potentiel de référence, pendant la phase de relaxation accélérée, on applique la tension d’accélération via deux électrodes latérales adjacentes disposées de part et d’autre de l’au moins une électrode de pixel. Selon un mode de réalisation chaque pixel comprend au moins une électrode latérale propre à chaque pixel et: pendant la phase d’activation on applique la tension d’activation entre une électrode latérale et la deuxième électrode, pendant la phase de relaxation accélérée on applique la tension d’accélération via deux électrodes latérales adjacentes disposées de part et d’autre de l’au moins une électrode de pixel. Selon un mode de réalisation, pour chaque pixel, les électrodes de pixel et les électrodes latérales sont confondues et dénommées électrodes élémentaires, les électrodes élémentaires présentant une forme de bande de dimensions sensiblement identiques et s’étendant selon la direction verticale, les électrodes élémentaires étant réparties en un premier et un deuxième groupe d’une bande sur deux, et: pendant la phase d’activation on applique, via les électrodes élémentaires en combinaison avec la deuxième électrode, la tension d’activation, et la phase de relaxation accélérée comprend deux séquences : une première séquence dans laquelle on applique la tension d’accélération via le premier groupe d’électrodes élémentaires, les électrodes élémentaires du deuxième groupe étant connectées en haute impédance ou à un potentiel de référence, une deuxième séquence dans laquelle on applique la tension d’accélération via le deuxième groupe d’électrodes élémentaires, les électrodes élémentaires du premier groupe étant connectées en haute impédance ou à un potentiel de référence. La description suivante présente plusieurs exemples de réalisation du dispositif de l’invention : ces exemples sont non limitatifs de la portée de l’invention. Ces exemples de réalisation présentent à la fois les caractéristiques essentielles de l’invention ainsi que des caractéristiques additionnelles liées aux modes de réalisation considérés. L’invention sera mieux comprise et d’autres caractéristiques, buts et avantages de celle-ci apparaîtront au cours de la description détaillée qui va suivre et en regard des dessins annexés donnés à titre d’exemples non limitatifs et sur lesquels : La déjà citée illustre la structure d’un modulateur de phase à cristal liquide (LC-SPM) de type ECB. La déjà citée illustre le fonctionnement d’un modulateur de phase à cristal liquide de type ECB. La déjà citée illustre un dispositif LC-SPM hybridé avec une fonction de détection pour la mesure et le contrôle de front d’onde selon l’état de l’art, en perspective. La déjà citée illustre un dispositif LC-SPM hybridé avec une fonction de détection pour la mesure et le contrôle de front d’onde selon l’état de l’art, de profil. La illustre un dispositif de modulation de phase selon l’invention. La illustre les différentes étapes de l’adressage du dispositif selon l’invention. La illustre un premier mode de réalisation d’une première variante, avec une électrode pixel et une électrode latérale par pixel, et selon le premier mode d’implémentation. La illustre un deuxième mode de réalisation d’une première variante avec deux électrodes de pixel et deux électrodes latérales par pixel et selon le premier mode d’implémentation. La illustre un dispositif selon l’invention selon la première variante et avec une électrode de pixel et une électrode latérale par pixel, et selon le deuxième mode d’implémentation. La illustre un dispositif selon l’invention selon la première variante et avec deux électrodes de pixel et deux électrodes latérales par pixel, et selon le deuxième mode d’implémentation. La illustre un exemple de design d’un pixel pour l’application des potentiels aux électrodes selon les différentes phases La illustre un dispositif selon l’invention selon une deuxième variante dans laquelle pour chaque pixel les électrodes de pixel et les électrodes latérales sont confondues. La illustre la phase d’activation du dispositif selon la deuxième variante de l’invention. La illustre la phase de relaxation accélérée du dispositif selon la deuxième variante de l’invention. La illustre un exemple de réalisation de la deuxième variante avec 6 électrodes par pixel. La illustre un exemple de réalisation de la deuxième variante avec 8 électrodes par pixel. La illustre un premier exemple de design pour l’adressage d’un pixel pour le cas de 8 électrodes élémentaires. La illustre un deuxième exemple de design pour l’adressage d’un pixel pour le cas de 8 électrodes élémentaires. La décrit un mode de réalisation du dispositif selon la première variante de l’invention destiné à être intégré à un système de mesure et de contrôle de front d’onde tel que décrit figures 3 et 4. La décrit un mode de réalisation du dispositif selon la deuxième variante de l’invention destiné à être intégré à un système de mesure et de contrôle de front d’onde tel que décrit figures 3 et 4. Dispositif (10) de modulation en phase d’un faisceau lumineux comprenant : une matrice de cellules élémentaires, dénommées pixels, couplée à un circuit d’adressage desdits pixels, chaque cellule élémentaire comprenant une couche de cristal liquide (CL) et, de part et d’autre de ladite couche de cristal liquide, au moins une première électrode (ELP) dite électrode de pixel commandée par au moins un transistor de commande couplé audit circuit d’adressage, et une deuxième électrode (EL2) transparente et commune à toutes les cellules, le cristal liquide étant composé de molécules ayant une orientation naturelle de repos dans un plan dudit dispositif et selon une direction d’alignement (Xa) dite horizontale orienté selon une rangée de pixels dite horizontale, et en l’absence de tension entre l’au moins une électrode de pixel et la deuxième électrode, et une autre orientation en dehors dudit plan dudit dispositif en présence de tension entre l’au moins une électrode de pixel et la deuxième électrode, dénommée tension d’activation (Vact), ladite tension d’activation étant appliquée lors d’une phase d’activation des molécule de cristal liquide, le dispositif comprenant en outre un ensemble d’électrodes dites latérales s’étendant selon une direction (Y) dite verticale perpendiculaire à ladite direction d’alignement (Xa) et configurées pour appliquer, pour chaque pixel et via au moins deux électrodes latérales, une tension dite d’accélération (Vacc) générant un champ électrique latéral (Era) sensiblement parallèle à ladite direction d’alignement, dans un sens permettant un retour accéléré des molécules de cristal liquide vers leur orientation de repos, ladite tension d’accélération étant configurée pour être appliquée lors d’une phase dénommée phase de relaxation accélérée, lorsque la tension d’activation n’est plus appliquée. Dispositif selon la revendication précédente dans lequel les électrodes latérales sont des bandes fines disposées de part et d’autre de bandes plus larges formant la ou les électrodes de pixel et dans lequel la tension d’accélération est appliquée entre deux électrodes latérales adjacentes (ELl(i), ELl(i+1)). Dispositif selon la revendication précédente dans lequel, pendant la phase de relaxation accélérée, une électrode latérale sur deux est connectée à un premier potentiel (Va) et une électrode latérale sur deux est connectée à un deuxième potentiel (Vb), pour appliquer la tension d’accélération. Dispositif selon l’une des revendications 2 ou 3 dans lequel chaque pixel comprend une seule électrode pixel et une seule électrode latérale. Dispositif selon l’une des revendications 2 ou 3 dans lequel chaque pixel comprend n électrodes pixel formant n bandes orientées selon la direction verticale et n électrodes latérales. Dispositif selon l’une des revendications précédentes dans lequel une électrode latérale est commune à une rangée verticale de pixels. Dispositif selon l’une des revendications 1 à 5 dans lequel la ou les électrodes latérales d’un pixel sont propres à chaque pixel. Dispositif selon la revendication précédente dans lequel pour chaque pixel, les électrodes latérales sont en outre configurées pour appliquer, en combinaison avec la deuxième électrode, la tension d’activation audit pixel pendant la phase d’activation. Dispositif selon la revendication précédente dans lequel le circuit d’adressage comprend, pour l’adressage d’un pixel, au moins cinq éléments de commutation dont au moins trois (10, 11, 13) pour appliquer ladite tension d’activation, incluant l’au moins un transistor de commande, et au moins deux (12,14) pour appliquer ladite tension d’accélération. Dispositif selon la revendication 1 dans lequel, pour chaque pixel, les électrodes de pixel et les électrodes latérales sont confondues et dénommées électrodes élémentaires, lesdites électrodes élémentaires présentant une forme de bande de dimensions sensiblement identiques et s’étendant selon la direction verticale, lesdites électrodes élémentaires étant réparties en un premier et un deuxième groupe d’une bande sur deux, lesdites électrodes élémentaires étant configurées pour appliquer, en combinaison avec la deuxième électrode, une même tension d’activation lors de la phase d’activation, le premier groupe d’électrodes élémentaires étant configuré pour appliquer une tension d’accélération lors d’une première séquence de la phase de relaxation accélérée, les bandes du deuxième groupe étant configurées en haute impédance ou à un potentiel de référence, le deuxième groupe étant configuré pour appliquer une tension d’accélération lors d’une deuxième séquence de la phase de relaxation accélérée, les bandes du premier groupe étant configurées en haute impédance ou à un potentiel de référence. Dispositif selon la revendication 10 dans lequel le nombre p d’électrodes élémentaires par pixel est un multiple de 4. Dispositif selon l’une des revendications 10 ou 11 dans lequel le circuit d’adressage comprend, pour l’adressage d’un pixel, au moins quatre éléments de commutation pour appliquer ladite tension d’activation, incluant l’au moins un transistor de commande, et au moins quatre éléments de commutation pour appliquer ladite tension d’accélération. Dispositif selon l’une des revendications précédentes fonctionnant en réflexion et permettant en outre une mesure du front d’onde dudit faisceau incident, dans lequel l’électrode de pixel au moins partiellement réfléchissante présente une ouverture (Op), le circuit d’adressage des pixels étant au moins partiellement disposé à l’arrière de ladite matrice et intégré à un substrat, ledit substrat comprenant en outre une pluralité d’éléments de détection (PD) disposés en regard desdites ouvertures. Procédé d’adressage d’un dispositif de modulation en phase d’un faisceau lumineux, le dispositif d’adressage comprenant une matrice de cellules élémentaires, dénommées pixels, couplée à un circuit d’adressage desdits pixels, chaque cellule élémentaire comprenant une couche de cristal liquide (CL) et, de part et d’autre de ladite couche de cristal liquide, au moins une première électrode (ELP) dite électrode de pixel commandée par un transistor de commande couplé audit circuit d’adressage, et une deuxième électrode (EL2) transparente et commune à toutes les cellules, le cristal liquide étant composé de molécules ayant une orientation naturelle de repos dans un plan de ladite couche selon une direction d’alignement (Xa) dite horizontale orienté selon une rangée de pixels dite horizontale, et en l’absence de tension entre l’électrode de pixel et la deuxième électrode, et une autre orientation en dehors dudit plan de ladite couche, en présence de tension entre l’électrode de pixel et la deuxième électrode, dénommée tension d’activation (Vact), le dispositif comprenant en outre un ensemble d’électrodes dites latérales s’étendant selon une direction (Y) dite verticale perpendiculaire à ladite direction d’alignement (Xa), le procédé comprenant : une phase d’activation dans laquelle, pour chaque pixel, on applique ladite tension d’activation, une phase de relaxation accélérée dans laquelle, pour chaque pixel, on applique via au moins deux électrodes latérales, une tension dite d’accélération (Vacc) générant un champ électrique latéral (Era) sensiblement parallèle à ladite direction d’alignement, dans un sens permettant un retour accéléré des molécules de cristal liquide vers leur orientation de repos, ladite tension d’accélération étant appliquée lorsque la tension d’activation n’est plus appliquée. Procédé selon la revendication précédente dans lequel une électrode latérale est commune à une rangée verticale des pixels et dans lequel : pendant la phase d’activation, les électrodes latérales sont connectées en haute impédance ou à un potentiel de référence, pendant la phase de relaxation accélérée, on applique la tension d’accélération via deux électrodes latérales adjacentes disposées de part et d’autre de l’au moins une électrode de pixel. Procédé selon la revendication 14 dans lequel chaque pixel comprend au moins une électrode latérale propre à chaque pixel et dans lequel : pendant la phase d’activation on applique la tension d’activation entre une électrode latérale et la deuxième électrode, pendant la phase de relaxation accélérée on applique la tension d’accélération via deux électrodes latérales adjacentes disposées de part et d’autre de l’au moins une électrode de pixel. Procédé selon la revendication 14 dans lequel, pour chaque pixel, les électrodes de pixel et les électrodes latérales sont confondues et dénommées électrodes élémentaires, lesdites électrodes élémentaires présentant une forme de bande de dimensions sensiblement identiques et s’étendant selon la direction verticale, lesdites électrodes élémentaires étant réparties en un premier et un deuxième groupe d’une bande sur deux, et dans lequel : pendant la phase d’activation on applique, via les électrodes élémentaires en combinaison avec la deuxième électrode, la tension d’activation, et la phase de relaxation accélérée comprend deux séquences : une première séquence dans laquelle on applique la tension d’accélération via le premier groupe d’électrodes élémentaires, les électrodes élémentaires du deuxième groupe étant connectées en haute impédance ou à un potentiel de référence, une deuxième séquence dans laquelle on applique la tension d’accélération via le deuxième groupe d’électrodes élémentaires, les électrodes élémentaires du premier groupe étant connectées en haute impédance ou à un potentiel de référence.