Brevet FR3130786A1 — publié le 20230623

L’invention concerne un microcapteur (210) comprenant une première (211) et une deuxième (212) électrodes, chaque électrode comprenant une pluralité de pistes parallèles (222), chaque piste comprenant une extrémité connectée et une extrémité libre, chaque piste s’étendant depuis une barrette (223), ladite barrette connectant les pistes par leurs extrémités connectées, les pistes des deux électrodes étant décalées et en symétrie miroir de sorte que lesdites pistes des deux électrodes soient interdigitées et comprennent entre chaque paire de pistes interdigitées une assemblée de nanoparticules dans un ligand, caractérisé en ce que chaque piste (222) comprend au moins un changement de direction dans son extension depuis la barrette (223). Figure 2 Micro-capteur à électrodes interdigitées L’invention concerne un microcapteur mettant en œuvre une ou plusieurs assemblées de nanoparticules connectées électriquement à des électrodes interdigitées. L’invention appartient au domaine des microcapteurs ultrasensibles aptes à mesurer une grandeur physique, notamment une force ou une pression sur une surface fonctionnalisée, notamment, mais non exclusivement, sur une surface tactile transparente telle qu’un écran de tablette ou de téléphone intelligent. Le document WO2014/016429 décrit une surface tactile transparente pourvue d’une pluralité de micro-jauges, aptes à mesurer une pression appliquée sur ladite surface et déposées selon une matrice sur ladite surface. Chacune des micro-jauges comprend une première et une deuxième électrode en forme de peigne, chaque peigne comprenant une pluralité de dents rectilignes connectées en une de leurs extrémités par une barrette, lesdites électrodes étant juxtaposées en symétrie miroir, de sorte que les dents de chaque peigne soient interdigitées entre les dents de l’autre peigne. Des assemblées de nanoparticules conductrices ou semi-conductrices dans un ligand isolant sont intercalées entre chaque paire de dents, l’une des dents de la paire appartenant à la première électrode et l’autre à la deuxième électrode. Chaque ensemble comprenant une dent de chaque électrode et une assemblée de nanoparticules, constitue une micro-jauge de déformation ou de contrainte, de sorte que si chaque électrode en peigne comprend N dents, le capteur résultant comprend 2N-1 micro-jauges. Ce type de capteur est notamment réalisé et déposé sur une surface par des techniques de lithographie douce. La multiplication des dents de peigne permet avantageusement, pour un capteur couvrant une surface donnée, de réduire la résistance électrique dudit capteur en comparaison d’un capteur mettant en œuvre une assemblée de nanoparticules de même surface mais n’utilisant que deux électrodes, une à chaque extrémité de l’assemblée de nanoparticule. La montre un exemple d’application d’un capteur de ce type autour d’un « puits de lumière » (101) réalisant sur une surface tactile un bouton renvoyant un retour lumineux, par exemple un pictogramme, sur la zone ou l’action (appui) est réalisée. Selon cet exemple de réalisation, deux capteurs (111, 112), montés en série et comportant des électrodes en peigne interdigitées, sont placées de part et d’autre dudit puits de lumière (101). Chaque électrode de chaque capteur comprend une pluralité de pistes (122) rectilignes, les pistes d’une même électrode étant connectées entre elles à une de leurs extrémités par des barrettes (123). Sur une vue de détail, des assemblées de nanoparticules (130) sont placées entre chaque paire de pistes interdigitées (122 1 , 122 2 ). Cette solution technique est fonctionnelle mais engendre une perte de sensibilité du fait de la mise en série des deux capteurs, et surtout sa réponse vis-à-vis d’une action de toucher est différente si la pression de toucher est appliquée au centre, dans le puits de lumière (101), sur un des capteurs, ou sur les côtés, sachant que la zone d’appui varie d’un utilisateur à l’autre et même pour un même utilisateur. De plus, le type de capteur utilisé, compte tenu de la position des assemblées de nanoparticules (130) est plus sensible aux sollicitations (190) perpendiculaires aux électrodes (122 1 , 122 2 ) Aussi si une action quelconque est déclenchée en réponse à l’atteinte d’un seuil de pression mesuré par un tel dispositif, il est nécessaire de tenir compte de ces différences de résultat selon la localisation du toucher, ce qui est susceptible de conduire à une certaine perte de fiabilité. L’invention vise à résoudre les insuffisances exposées ci-avant et concerne à cette fin un microcapteur comprenant une première et une deuxième électrode, chaque électrode comprenant une pluralité de pistes parallèles, chaque piste comprenant une extrémité connectée et une extrémité libre, chaque piste s’étendant depuis une barrette, ladite barrette connectant les pistes par leurs extrémités connectées, les pistes des deux électrodes étant décalées et en symétrie miroir de sorte que lesdites pistes des deux électrodes soient interdigitées et comprennent entre chaque paire de pistes interdigitées une assemblée de nanoparticules dans un ligand, dans lequel chaque piste comprend au moins un changement de direction dans son extension depuis la barrette. Ainsi, le capteur est adaptable à tout type de contour. L’invention est avantageusement mise en œuvre selon les modes de réalisation et variantes exposés ci-après, lesquels sont à considérer individuellement ou selon toute combinaison techniquement opérante. Selon un mode de réalisation avantageux, la pluralité de pistes de chaque électrode comprend des pistes s’étendant depuis la barrette dans des directions opposées. Ce mode de réalisation permet une couverture plus dense de la surface de mesure. Selon un mode de réalisation, les pistes suivent un contour autour d’une forme centrale. Ce mode de réalisation est notamment adapté à l’installation d’un tel capteur autour d’un puits de lumière. Avantageusement, les pistes s’étendent depuis la barrette selon une trajectoire angulaire couvrant 270°. Ce mode de réalisation permet de réaliser un capteur ponctuel présentant une uniformité de sensibilité selon toutes les directions dans le plan du capteur. Selon un mode de réalisation avantageux, les électrodes sont constituées d’oxyde d’indium dopé à l’étain ITO et les assemblées de nanoparticules sont constituées d’ITO dans un ligand à base d’acide phosphonique. Ce mode de réalisation permet de réaliser un microcapteur transparent. L’invention concerne également une surface tactile comprenant un substrat comportant une zone sensible au toucher laquelle zone comprend un microcapteur selon l’invention déposé sur ledit substrat. Selon un mode de réalisation la zone sensible au toucher comprend un puits de lumière et le microcapteur est disposé autour du puits de lumière. Selon une première variante le substrat est constitué d’un poly(téréphtalate) d'éthylène. Ce mode de réalisation permet de créer une surface tactile souple. Selon une deuxième variante, le substrat est constitué de dioxyde de silicium, ce mode de réalisation permet la réalisation d’une surface tactile rigide. Selon une troisième variante, le substrat est constitué d’un polyimide en film mince. Ce mode de réalisation permet de réaliser une surface tactile ultra-souple apte à être rapporté et à s’adapter à la forme de toute surface en toute matière. L’invention est mise en œuvre selon les modes de réalisations préférés exposés ci-après, nullement limitatifs, et en référence aux figures 1 à X dans lesquelles : relative à l’art antérieur, représente en vue de dessus un exemple de réalisation d’un capteur autour d’un puits de lumière ; montre en vue de dessus un exemple de réalisation d’un capteur selon l’invention, installé autour d’un puits de lumière rectangulaire ; représente en vue de dessus un exemple de réalisation d’un microcapteur circulaire selon l’invention, les deux pistes représentées séparément puis imbriquées l’une dans l’autre telles qu’elles se présentent sur le capteur ; est un exemple de réalisation en vue de dessus, montrant le principe de conception des pistes d’un capteur selon l’invention, les deux pistes représentées séparément puis imbriquées l’une dans l’autre telles qu’elles se présentent sur le capteur ; montre selon une vue en perspective et en éclaté un exemple de réalisation d'une surface tactile intégrant un microcapteur selon l’invention montre les différentes configurations utilisées pour la réalisation d’un essai. Microcapteur (210, 310, 410) comprenant une première (211, 311, 411) et une deuxième (212, 312, 412) électrodes, chaque électrode comprenant une pluralité de pistes parallèles (222, 322, 422), chaque piste comprenant une extrémité connectée et une extrémité libre, chaque piste s’étendant depuis une barrette (223, 323, 423), ladite barrette connectant les pistes par leurs extrémités connectées, les pistes des deux électrodes étant décalées et en symétrie miroir de sorte que lesdites pistes des deux électrodes soient interdigitées et comprennent entre chaque paire de pistes interdigitées une assemblée de nanoparticules (430) dans un ligand, caractérisé en ce que chaque piste (222, 322, 422) comprend au moins un changement de direction dans son extension depuis la barrette (223, 323, 423). Microcapteur selon la revendication 1, dans lequel la pluralité de pistes de chaque électrode comprend des pistes (222, 322) s’étendant depuis la barrette dans des directions opposées. Microcapteur (210) selon la revendication 1, dans lequel les pistes (222) suivent un contour autour d’une forme centrale (201). Microcapteur selon la revendication 1, dans lequel les pistes (222, 322, 422) s’étendent depuis la barrette selon une trajectoire angulaire couvrant 270°. Microcapteur selon la revendication 1, dans lequel les électrodes (211, 212, 311, 312, 411. 412) sont constituées d’oxyde d’indium dopé à l’étain ITO et les assemblées de nanoparticules sont constituées d’ITO dans un ligand à base d’acide phosphonique. Surface tactile (501, 601, 602, 611, 612) comprenant un substrat (500) comportant une zone sensible au toucher caractérisée en ce que ladite zone comprend un microcapteur selon la revendication 1 déposé sur le substrat (500). Surface tactile (612) selon la revendication 6, dans laquelle la zone sensible au toucher comprend un puits de lumière, le microcapteur étant disposé autour du puits de lumière. Surface tactile selon la revendication 6, dans laquelle le substrat (500) est constitué d’un poly(téréphtalate) d'éthylène. Surface tactile selon la revendication 6, dans laquelle le substrat (500) est constitué de dioxyde de silicium. Surface tactile selon la revendication 6, dans laquelle le substrat (500) est constitué d’un polyimide en film mince.