Brevet FR3138424A1 — publié le 20240202

Procédé de purification d’une solution aqueuse comprenant du peroxyde d’hydrogène La présente invention est relative à un procédé de purification d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, comprenant au moins un traitement sur membrane d’osmose inverse et au moins un traitement d’électrodésionisation. L’invention concerne également un procédé de préparation d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, comprenant au moins une étape de synthèse d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, au moins un traitement sur membrane d’osmose inverse et au moins un traitement d’électrodésionisation de ladite solution. L’invention a aussi trait à une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène susceptible d’être obtenue par le procédé de purification ou le procédé de préparation, tels que définis précédemment. Procédé de purification d’une composition comprenant du peroxyde d’hydrogène La présente invention est relative à un procédé de purification d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, comprenant au moins un traitement sur membrane d’osmose inverse et au moins un traitement d’électrodésionisation. L’invention concerne également un procédé de préparation d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, comprenant au moins une étape de synthèse d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, au moins un traitement sur membrane d’osmose inverse et au moins un traitement d’électrodésionisation de ladite solution. L’invention a aussi trait à une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène susceptible d’être obtenue par le procédé de purification ou le procédé de préparation, tels que définis précédemment. L’invention a également pour objet l’utilisation de ladite solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, comme agent de nettoyage, dans le domaine de l’électronique. Les solutions aqueuses de peroxyde d’hydrogène (aussi appelées eau oxygénée) peuvent être utilisées dans des domaines techniques variés, par exemple dans le domaine du textile, le domaine agroalimentaire, en particulier pour désinfecter ou stériliser les matériaux d’emballage en contact avec les denrées alimentaires, ou encore dans le domaine de l’électronique. Dans le domaine de l’électronique, les solutions aqueuses de peroxyde d’hydrogène peuvent être utilisées au cours des phases de nettoyage et de gravure des plaquettes de semi-conducteurs. Pour ce faire, l’eau oxygénée employée doit présenter un degré de pureté élevé, c’est-à-dire des teneurs résiduelles en impuretés minérales, cations et anions, et en impuretés organiques suffisamment faibles. Cependant, les procédés généralement mis en œuvre dans la synthèse de l’eau oxygénée brute, par exemple un procédé anthraquinone, conduisent à la présence d’impuretés minérales, cations et anions, et d’impuretés organiques dans des teneurs significativement trop élevées pour des applications aussi exigeantes en termes de pureté que dans le domaine de l’électronique. En outre, le peroxyde d’hydrogène peut être contaminé par des impuretés métalliques, tels que le fer (Fe), le cuivre (Cu) ou le chrome (Cr), au cours de son transport et/ou de son stockage à cause de son caractère corrosif au contact des surfaces métalliques. Ainsi la présence des impuretés minérales et organiques, issues des procédés de synthèse, et des contaminants, issus du transport et/ou du stockage, peut impacter sur la qualité, la structure cristalline et la pureté des plaquettes de semi-conducteurs. Ainsi l’un des objectifs de la présente invention est de proposer un procédé de purification des solutions aqueuses de peroxyde d’hydrogène, capable de diminuer de manière significative les teneurs résiduelles en impuretés, notamment les impuretés minérales et organiques, afin de permettre l’utilisation de ces solutions dans des applications dans le domaine de l’électronique, en particulier au cours de la phase de nettoyage et/ou de gravure des plaquettes de semi-conducteurs. Autrement dit, l’un des buts de la présente invention est de réduire de manière significative, voire d’éliminer, les impuretés susceptibles d’être au moins issues d’un procédé de synthèse du peroxyde d’hydrogène et, éventuellement, de la corrosion de l’eau oxygénée avec des surfaces métalliques au cours de son transport et/ou son stockage. En particulier, l’un des buts de la présente invention est de réduire les impuretés minérales cationiques et anioniques, telles que les nitrates et le sodium, ainsi que les impuretés organiques, en particulier la teneur en carbone organique total (COT). La présente invention a donc notamment pour objet un procédé de purification d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, comprenant au moins un traitement sur membrane d’osmose inverse et au moins un traitement d’électrodésionisation ; la membrane étant choisie dans le groupe constitué par une membrane de type polyamide, cellulose, polypipérazine, polyacrylonitrile et polysulfone. Le procédé selon l’invention présente ainsi l’avantage de réduire de manière significative, voire d’éliminer, la teneur en impuretés organiques, en particulier la teneur en carbone organique total (COT), ainsi que la teneur en impuretés minérales cationiques et anioniques, dans des solutions aqueuses de peroxyde d’hydrogène. De préférence, le procédé selon l’invention conduit à minimiser, voire éliminer, la teneur en impuretés organiques, en particulier la teneur en carbone organique total (COT), et la teneur en impuretés minérales, notamment les métaux alcalino-terreux, en particulier le sodium, les ions cationiques choisis dans le groupe constitué par les ions métalliques, les ions alcalino-terreux différents du sodium, les ions alcalins et les ions non-métalliques, les ions anioniques choisis dans le groupe constitué par les chlorures, sulfates, phosphates et nitrates, ainsi que le silicium. De préférence, le procédé selon l’invention permet de minimiser, voire d’éliminer, la teneur en impuretés minérales choisies dans le groupe constitué par le sodium et les nitrates, les chlorures, les sulfates, les phosphates, le silicium, le fer et le chrome, en particulier les nitrates et le sodium, et les impuretés organiques, en particulier la teneur en carbone organique total (COT). Le procédé selon l’invention permet notamment de conduire à un taux d’élimination des impuretés mentionnées précédemment particulièrement avantageux, par exemple d’au moins 95%, notamment d’au moins 97%, voire même de près de 99%. Avantageusement, le procédé selon l’invention permet notamment de conduire à un taux d’élimination de près de 98% des nitrates présents dans une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène. Le procédé selon l’invention permet de conduire à des solutions aqueuses de peroxyde d’hydrogène ayant un degré de pureté très élevé leur permettant ainsi d’être utilisées dans des applications dans le domaine de l’électronique, par exemple au cours des phases de nettoyage et de gravure des plaquettes de semi-conducteurs. En d’autres termes, le procédé selon l’invention conduit à des grades de spécialité de l’eau oxygénée utilisés dans des applications électroniques. Ainsi le procédé selon l’invention renforce les conditions de pureté dans lesquelles les applications dans le domaine de l’électronique sont mises en œuvre, en particulier, les solutions aqueuses de peroxyde d’hydrogène obtenues par un procédé selon l’invention n’impactent pas sur la qualité, la structure cristalline et la pureté des plaquettes de semi-conducteurs. Autrement dit, les risques de contamination avec des impuretés, organiques et minérales, liés à l’utilisation de solutions aqueuses de peroxyde d’hydrogène sont minimisés grâce au procédé selon l’invention. Par ailleurs, le procédé selon l’invention permet avantageusement de réduire de manière satisfaisante, voire d’éliminer, les contaminants issus de la corrosion de l’eau oxygénée avec des surfaces métalliques au cours de son transport et/ou son stockage. L’eau oxygénée peut donc être transportée et stockée en sécurité dans des conditions standard sans que son degré de pureté ne soit impacté de manière irréversible pour des applications dans le domaine de l’électronique. L’invention a également pour objet un procédé de préparation d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, comprenant : au moins la production d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, de préférence par un procédé à l’anthraquinone, au moins un traitement sur membrane, tel que décrit précédemment, et au moins un traitement d’électrodésionisation de la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, tel que décrit précédemment. Ainsi le procédé de purification selon l’invention peut être avantageusement mis en œuvre à la suite d’un procédé visant à fabriquer une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène. En outre, l’invention concerne une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène susceptible d’être obtenue par un procédé de purification, tel que décrit précédemment, ou un procédé de préparation, tel que défini précédemment. Avantageusement, la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, obtenue ou purifiée, comporte une teneur en impuretés minérales, cationiques et anioniques, de préférence dans le groupe constitué par les nitrates, le sodium, le silicium le chrome et le fer, et une teneur en impuretés organiques, en particulier une teneur en carbone organique total, significativement réduites. De même, la présente invention concerne aussi l’utilisation d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène telle que décrite précédemment dans le domaine de l’électronique, de préférence comme agent de nettoyage. D’autres caractéristiques et avantages de l’invention apparaîtront plus clairement à la lecture de la description, de la figure et des exemples qui suivent. Dans ce qui va suivre, et à moins d’une autre indication, les bornes d’un domaine de valeurs sont comprises dans ce domaine, notamment dans les expressions « compris entre…et… » et « allant de… à… ». L’expression « au moins un » est équivalente à l’expression « un ou plusieurs » et peut être substitué. Procédé de purification de la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène La solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, destinée à être traitée par le procédé selon l’invention, comprend de préférence une teneur en peroxyde d’hydrogène allant de 30 à 70% en poids, de préférence allant de 30 à 60% en poids, et encore plus préférentiellement allant de 45 à 60% en poids, par rapport au total de la solution aqueuse. Comme indiqué précédemment, le procédé de purification selon l’invention comprend au moins un traitement sur membrane d’osmose inverse et au moins un traitement d’électrodésionisation ; la membrane étant choisie dans le groupe constitué par une membrane de type polyamide, cellulose, polypipérazine, polyacrylonitrile et polysulfone. En d’autres termes, le procédé selon l’invention comprend la mise en œuvre d’une ou plusieurs étapes de purification d’une méthode de séparation membranaire d’osmose inverse, combinée(s) à une ou plusieurs étapes de purification d’une méthode d’électrodésionisation. Le procédé selon l’invention permet de réduire, voire éliminer, la teneur en impuretés organiques, et la teneur en impuretés minérales cationiques et anioniques. La teneur en impuretés organiques est en particulier la teneur en carbone organique total (COT). La teneur en carbone organique total (COT) peut être analysée avec une méthode standard, notamment avec un analyseur de COT. Les impuretés minérales sont en particulier choisies dans le groupe constitué par le sodium, les ions métalliques, les ions alcalino-terreux différents du sodium, les ions non métalliques, les chlorures, les sulfates, les phosphates et les nitrates, ainsi que le silicium, de préférence choisies dans le groupe constitué par les nitrates et le sodium. La teneur en impuretés cationiques peut être analysée par exemple par spectrométrie de masse à plasma à couplage inductif. La teneur en impuretés anioniques peut être analysée par exemple par chromatographie ionique (chromatographie par échange d’ions). Comme indiqué précédemment, les impuretés minérales, cationiques et anioniques, ainsi que les impuretés organiques peuvent provenir du procédé d’obtention de la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, de préférence d’un procédé anthraquinone. Conformément à la présente invention, le traitement sur membrane d’osmose inverse et le traitement d’électrodéionisation sont des traitements distincts et peuvent être mis en œuvre séquentiellement dans un ordre différent. A titre d’exemple, la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène peut être purifiée par au moins un, de préférence un ou deux, traitement sur membrane d’osmose inverse, puis par au moins un traitement d’électrodéionisation. En variante, la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène peut être purifiée par au moins un traitement d’électrodésionisation puis par au moins un, de préférence un ou deux, traitement sur membrane d’osmose inverse. De préférence, le procédé de purification comprend successivement au moins un, de préférence un ou deux, traitement sur membrane d’osmose inverse et au moins un traitement d’électrodésionisation, de la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène. Autrement dit, le procédé selon l’invention comprend, de préférence, successivement : au moins un traitement sur membrane d’osmose inverse d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène; la membrane étant choisie dans le groupe constitué par une membrane de type polyamide, cellulose, polypipérazine, polyacrylonitrile et polysulfone au moins un traitement d’électrodésionisation du perméat, issu du ou des traitements sur membrane. Le traitement sur membrane d’osmose inverse et le traitement d’électrodésionisation peuvent être avantageusement mis en œuvre à une température inférieure à 20°C, de préférence à une température inférieure à 15°C. Traitement sur membrane Le procédé de purification selon l’invention comprend un ou plusieurs traitements sur membrane de la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, de préférence un ou deux traitements sur membrane. Le traitement sur membrane est un traitement sur membrane d’osmose inverse. De préférence, le procédé de purification selon l’invention comprend un ou plusieurs traitements sur membrane d’osmose inverse de la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, plus préférentiellement un ou deux traitements sur membrane d’osmose inverse. La membrane d’osmose inverse est choisie dans le groupe constitué par une membrane de type polyamide, cellulose, polypipérazine, polyacrylonitrile et polysulfone, plus préférentiellement la membrane d’osmose inverse est une membrane de type polyamide. La membrane de type polyamide présente avantageusement une meilleure résistance chimique au peroxyde d’hydrogène et aux impuretés présentes dans la solution de peroxyde d’hydrogène. De préférence, le traitement sur membrane est mis en œuvre à une température inférieure à 30°C, plus préférentiellement inférieure à 20°C. De préférence, le traitement sur membrane est mis en œuvre à une température supérieure à 0°C, plus préférentiellement supérieure à 5°C. De préférence, le traitement sur membrane est mis en œuvre à une pression allant de 10 à 70 bar, plus préférentiellement allant de 20 à 40 bar. De préférence, le flux de perméation au cours du traitement sur membrane peut varier de 10 à 200 L/h.m 2 , de préférence de 30 à 120 L/h.m 2 . De préférence, le facteur de concentration volumique (FCV), correspondant au rapport entre le débit d’alimentation de la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène et le débit de concentrât (i.e. le flux d’eau rejeté au cours du traitement de séparation), varie de 1,1 à 15, plus préférentiellement de 2 à 10. Traitement d’électrodésionisation De préférence, le procédé selon l’invention comprend un traitement d’électrodésionisation d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène. De préférence, le traitement d’électrodésionisation est mis en œuvre au moyen d’un module d’électrodésionisation comprenant une anode (1), une cathode (2), un compartiment de purification (3), disposé entre deux compartiments de concentration (4) et (5), dont les parois sont pourvues d’une première membrane échangeuse d’anions (6) et une première membrane échangeuse de cations (7). Le traitement d’électrodésionisation peut être mis en œuvre avec un module d’électrodésionisation dont un mode de réalisation est décrit dans la . De préférence, le traitement d’électrodésionisation est mis en œuvre à une température inférieure à 20°C, plus préférentiellement inférieure à 15°C. De préférence, le débit d’alimentation du module d’électrodésionisation varie en fonction de la capacité du module. De préférence, le débit du concentrât en sortie du module d’électrodésionisation varie en fonction de la capacité du module. Comme indiqué précédemment, la représente un mode de réalisation particulier du module d’électrodésionisation. Sur la , le module d’électrodésionisation EDI comprend une anode (1), et une cathode (2), de sorte que, lors de l’application d’une source de courant continu, un champ électrique est appliqué à travers l’ensemble des composants du module entre l’anode (1) et la cathode (2). Entre l’anode (1) et la cathode (2), le module d’électrodésionisation comprend en outre un compartiment de purification (3), dans lequel la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène (14) circule selon un sens vertical dans la direction indiquée dans la . Le compartiment de purification (3), situé centralement au sein du module, est disposé entre deux compartiments adjacents, appelés compartiments de concentration (4) et (5). En d’autres termes, les compartiments de concentration (4) et (5) sont situés de part et d’autre du compartiment de purification (3). Le compartiment de purification est disposé entre une première membrane échangeuse d’anions (6) et une première membrane échangeuse de cations (7). La membrane échangeuse d’anions (6) est contigüe au compartiment de concentration (12) et la membrane échangeuse de cations (7) est contigüe au compartiment de concentration (13). Conformément à cette configuration, seuls les ions contenus dans la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène peuvent passer à travers ces membranes (6) et (7), la partie liquide restant bloquée dans le compartiment de purification (3). Le module d’électrodésionisation EDI comprend en outre une deuxième membrane échangeuse d’anions (8) disposée entre le second compartiment de concentration (5) et la cathode (2). La deuxième membrane échangeuse d’anions (8) est agencée de manière à être en contact avec la paroi du second compartiment de concentration (5). De cette manière, le second compartiment de concentration (5) est disposé entre la première membrane échangeuse de cations (7) et la deuxième membrane échangeuse d’anions (8) de sorte que les parois du second compartiment de concentration (5) sont contigües à la première membrane (8) et la seconde membrane (7). Le module d’électrodésionisation EDI comprend en outre une deuxième membrane échangeuse de cations (9) disposée entre le premier compartiment de concentration (4) et l’anode (1). La deuxième membrane échangeuse de cations (9) est agencée de manière à être en contact avec la paroi du premier compartiment de concentration (4). De cette manière, le premier compartiment de concentration (4) est disposé entre la première membrane échangeuse d’anions (6) et la deuxième membrane échangeuse de cations (9) de sorte que les parois du premier compartiment de concentration (4) sont contigües à la première membrane (6) et la seconde membrane (9). Le compartiment de purification (3) est en outre garni d’un lit de résines pourvu d’un mélange de résines échangeuses d’ions anioniques (11) et de résines échangeuses d’ions cationiques (10) De telles résines sont régénérées de manière électrochimique. Ainsi lors de la circulation de la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène (14), les résines échangeuses d’ions anioniques (11) peuvent adsorber les cations présents dans la solution, par exemple les ions sodium, calcium, aluminium et/ou l’ion hydrogène, et les déplacer vers la première membrane échangeuse de cations (7), sous l’influence du champ électrique appliqué, de manière à les acheminer dans le second compartiment de concentration (5). Une fois dans le second compartiment de concentration (5), les cations ne peuvent pas atteindre la cathode (2), car ils sont bloqués par la deuxième membrane échangeuse d’anions (8) contigüe à la paroi du second compartiment de concentration (5). De manière similaire, les résines échangeuses d’ions cationiques (10) peuvent adsorber les anions présents dans la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, par exemple les ions chlorure, nitrates, sulfates et phosphates, et les déplacer vers la première membrane échangeuse d’anions (6), sous l’influence du champ électrique appliqué, de manière à les acheminer dans le premier compartiment de concentration (4). Une fois dans le premier compartiment de concentration (4), les anions ne peuvent pas atteindre l’anode (1), car ils sont bloqués par la deuxième membrane échangeuse de cations (9) contigüe à la paroi du premier compartiment de concentration (4). De cette façon, la présence des cations et anions au sein de la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, circulant dans le compartiment de purification, est continuellement réduite pour être transférés dans les compartiments adjacents de concentration (4) et (5). Parallèlement, de l’eau peut être introduite dans chacun des compartiments de concentration (4) et (5) de manière à éliminer respectivement les espèces anioniques et les espèces cationiques des compartiments de concentration. Ainsi le diluât obtenu suite au traitement d’électrodésionisation provient du compartiment de purification (3) du module d’électrodésionisation, et le concentrât provient des compartiments de concentration (4) et (5). En particulier, le premier concentrât et le second concentrât peuvent être évacués respectivement à travers la sortie de chacun des compartiments de concentration (4) et (5). De préférence, les débits d’alimentation dans les compartiments de dilution et de concentration peuvent être équivalents ou présenter un ratio de 5/10, de préférence 3/10, plus préférentiellement 1/10 pour les flux concentrât/diluât. De préférence, le compartiment de purification (3) du module d’électrodésionisation est alimenté par le perméat issu du traitement sur membrane, i.e. la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène ayant déjà été purifiée par un ou plusieurs traitements sur membrane d’osmose inverse, de préférence un ou deux traitements sur membrane d’osmose inverse. De préférence, la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, après purification par le procédé selon l’invention, comprend une teneur en nitrates inférieure à 3 ppm, de préférence inférieure à 2 ppm, encore préférentiellement inférieure à 1 ppm. Avantageusement, la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, après purification par le procédé selon l’invention, comprend une teneur en nitrate inférieure à 0,5 ppm, mieux encore inférieure à 0,3 ppm. De préférence, la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, après purification par le procédé selon l’invention, comprend une teneur en impuretés organiques, en particulier une teneur en carbone organique total (COT) inférieure à 6 ppm, une teneur en nitrate inférieure à 0,3 ppm et une teneur en sodium inférieure à 400 ppb, et éventuellement une teneur en chrome inférieure à 0,5 ppb et une teneur en fer inférieure à 2 ppb. Plus préférentiellement, la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, après purification par le procédé selon l’invention, comprend une teneur en impuretés organiques, en particulier une teneur en carbone organique total (COT) inférieure à 5ppm, une teneur en nitrate inférieure à 0,3 ppm et une teneur en sodium inférieure à 200 ppb, et éventuellement une teneur en chrome inférieure à 0,5 ppb et une teneur en fer inférieure à 2 ppb. Ainsi le procédé selon l’invention permet l’obtention d’un degré de pureté élevé d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène et est particulièrement efficace sur les impuretés en nitrates. Procédé d’obtention d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène La présente invention concerne également un procédé de préparation d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, comprenant : au moins la production d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, de préférence par un procédé à l’anthraquinone, au moins un traitement sur membrane d’osmose inverse et au moins un traitement d’électrodésionisation de la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, tels que décrits précédemment ; la membrane étant choisie dans le groupe constitué par une membrane de type polyamide, cellulose, polypipérazine, polyacrylonitrile et polysulfone. Le procédé conduit ainsi à une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène ayant un degré de pureté amélioré. Conformément à la présente invention, l’étape de production conduit à une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène brute. La solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène produite avant purification peut comprendre une teneur en peroxyde d’hydrogène allant de 30 à 70% en poids, de préférence allant de 30 à 60% en poids, et encore plus préférentiellement allant de 45 à 60% en poids, par rapport au total de la solution aqueuse. De préférence, le procédé de préparation comprend en outre, avant de mettre en œuvre le procédé de purification selon l’invention, une ou plusieurs étapes de purification choisies dans le groupe constitué par une extraction liquide-liquide, un traitement sur résine d’adsorption et une distillation. Solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène L’invention a également pour objet une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène susceptible d’être obtenue par un procédé de purification, tel que décrit précédemment, ou un procédé de fabrication, tel que défini précédemment. De préférence, la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène comprend une teneur en nitrate inférieure à 3 ppm, de préférence une teneur en nitrate inférieure à 2 ppm, plus préférentiellement une teneur en nitrate inférieure à 1 ppm. Avantageusement, la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène comprend une teneur en nitrate inférieure à 3 ppm, de préférence inférieure à 2 ppm, plus préférentiellement inférieure à 1 ppm. La solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène comprend préférentiellement une teneur en impuretés organiques, en particulier une teneur en carbone organique total (COT) inférieure à 6 ppm, une teneur en nitrate inférieure à 0,3 ppm et une teneur en sodium inférieure à 400 ppb, et éventuellement une teneur en chrome inférieure à 0,5 ppb et une teneur en fer inférieure à 2 ppb. De préférence, la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène comprend préférentiellement une teneur en impuretés organiques, en particulier une teneur en carbone organique total (COT) inférieure à 5 ppm, une teneur en nitrate inférieure à 0,3 ppm et une teneur en sodium inférieure à 200 ppb, et éventuellement une teneur en chrome inférieure à 0,5 ppb et une teneur en fer inférieure à 0,5 ppb. Par ailleurs, la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène est avantageusement utilisée, dans le domaine de l’électronique, de préférence comme agent de nettoyage, de préférence pour le nettoyage des plaquettes de semi-conducteurs. Utilisation La présente invention a également trait à l’utilisation d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, telle que décrite précédemment, dans le domaine de l’électronique, de préférence comme agent de nettoyage. De préférence, la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène est utilisée comme agent de nettoyage des plaquettes de semi-conducteurs. Les exemples suivants servent à illustrer l’invention sans toutefois présenter un caractère limitatif. EXEMPLES Exemple 1 De l’eau oxygénée brute à 60% en poids dans l’eau, issue d’un procédé à l’anthraquinone est soumise à une filtration sur membranes. La séparation membranaire est réalisée à l’aide de membranes d’osmose inverse en polyamide, à une température de 15°C et une pression de 30 bar. Le facteur de concentration volumique (FCV) appliqué est de 8. Le perméat ainsi obtenu est ensuite soumis à un traitement d’électrodésionisation, à une température de 15°C, mis en œuvre avec un module d’électrodésionisation. Le module d’électrodésionisation, notamment tel que décrit dans la , est utilisé avec un débit d’alimentation de diluât de 3 L/h et un débit de concentrât de 1 L/h. Le dosage des éléments indiqués dans le tableau ci-après conduit aux résultats suivants : Méthode de purification COT (ppm) NO 3 - (ppm) Na (ppb) Cr (ppb) Fe (ppb) Si (ppm) Solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène après procédé d’obtention et avant purification (produit brut) 276 17,4 25000 142 583 133 Diluât issu de l’électrodésionisation 7 149 2 Taux d’élimination (%) 97,5 98,3 99,4 99,4 99,7 99,6 Les résultats montrent que le procédé selon l’invention permet de réduire de manière significative les impuretés organiques et les impuretés minérales, notamment la teneur en carbone organique total (COT), les nitrates, le sodium, le silicium le chrome et le fer. Exemple 2 De l’eau oxygénée brute à 60% en poids dans l’eau, issue d’un procédé à l’anthraquinone est soumise à une filtration sur membranes. L’eau oxygénée est, dans un premier temps, purifiée par deux traitements sur une membrane d’osmose inverse en polyamide, à une température de 15°C et une pression de 30 bar. Le facteur de concentration volumique (FCV) au cours du premier traitement sur membrane est de 8 et le facteur de concentration volumique au cours du deuxième traitement sur membrane est de 5. Le perméat en provenance des deux traitements membranaires est alors purifié avec un traitement d’électrodésionisation, comme dans l’exemple 1, mais cette fois-ci avec un débit d’alimentation de diluât de 10 L/h et un débit de concentrât de 1 L/h. L’ensemble des traitements (deux traitements sur membrane et le traitement d’électrodésionisation) est mis en œuvre à une température de 15°C. Le dosage des éléments indiqués dans le tableau ci-après conduit aux résultats suivants : Méthode de purification COT (ppm) NO 3 - (ppm) Na (ppb) Cr (ppb) Fe (ppb) Si (ppm) Solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène après procédé d’obtention et avant purification (produit brut) 276 17,4 25000 142 583 133 Diluât issu de l’électrodésionisation 4 20 Taux d’élimination (%) 98,6 98,3 99,9 99,4 99,9 99,6 Les résultats montrent que le procédé selon l’invention permet de réduire de manière significative les impuretés organiques et les impuretés minérales, notamment la teneur en carbone organique total (COT), les nitrates, le sodium, le silicium le chrome et le fer. Procédé de purification d’une solution aqueuse contenant du peroxyde d’hydrogène, comprenant au moins un traitement sur membrane d’osmose inverse et au moins un traitement d’électrodésionisation ; la membrane étant choisie dans le groupe constitué par une membrane de type polyamide, cellulose, polypipérazine, polyacrylonitrile et polysulfone. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la membrane d’osmose inverse est une membrane de type polyamide. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le flux de perméation au cours du traitement sur membrane varie de 10 à 200 L/h.m2, de préférence de 30 à 120 L/h.m2. Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu’il comprend successivement au moins un traitement sur membrane d’osmose inverse et au moins un traitement d’électrodésionisation. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le facteur de concentration volumique varie de 1,1 à 15, plus préférentiellement de 2 à 10. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le traitement d’électrodésionisation est mis en œuvre au moyen d’un module d’électrodésionisation comprenant une anode (1), une cathode (2), un compartiment de purification (3), disposée entre deux compartiments de concentration (4) et (5), dont les parois sont pourvues d’une première membrane échangeuse d’anions (6) et une première membrane échangeuse de cations (7). Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le traitement sur membrane et le traitement d’électrodésionisation sont mis en œuvre à une température inférieure à 20°C, de préférence inférieure à 15°C. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu’il comprend un ou deux traitements sur membrane d’osmose inverse. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, après purification, comprend une teneur en nitrates inférieure à 3 ppm, de préférence inférieure à 2 ppm, plus préférentiellement inférieure à 1 ppm. Procédé de préparation d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, comprenant : au moins la production d’une solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, de préférence par un procédé à l’anthraquinone, au moins un traitement sur membrane, tel que défini selon l’une quelconque des revendications 1 à 5 et 8, et au moins un traitement d’électrodésionisation, tel que défini selon l’une quelconque des revendications 1, 6 et 7, de la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène. Solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène susceptible d’être obtenue par un procédé de purification, tel que défini selon l’une quelconque des revendications 1 à 9, ou un procédé de préparation tel que défini selon la revendication 10. Solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène selon la revendication 11, caractérisée en ce que la teneur en nitrates est inférieure à 3 ppm, de préférence inférieure à 2 ppm, plus préférentiellement inférieure à 1 ppm. Utilisation de la solution aqueuse de peroxyde d’hydrogène, telle que définie selon la revendication 11 ou 12, dans le domaine de l’électronique, de préférence comme agent de nettoyage, de préférence pour le nettoyage des plaquettes de semi-conducteurs.