Brevet FR3127660A1 — publié le 20230331

L’invention porte sur un filtre (1) à ondes élastiques de surface et à cavités résonantes comprenant un substrat composite (S) formé d’un substrat de base (S3) et d’une couche supérieure piézoélectrique (S1) ; au moins un transducteur électroacoustique d’entrée (2a) et un transducteur électroacoustique de sortie (2b), disposés sur la couche supérieure, et au moins une structure réfléchissante interne, disposée entre le transducteur électroacoustique d’entrée (2a) et le transducteur électroacoustique de sortie (2b). Selon l’invention, la structure réfléchissante interne comprend une première structure (Pright) comprenant au moins un réseau réfléchissant (R1) présentant une première période et une deuxième structure (Pleft) comprenant au moins un réseau réfléchissant (R2) présentant une seconde période, la première période étant supérieure à la seconde période. Figure à publier avec l’abrégé : Fig. 2a FILTRE A ONDES ELASTIQUES DE SURFACE ET A CAVITES RESONANTES DOMAINE DE L’INVENTION La présente invention concerne un filtre à ondes élastiques de surface et à cavités résonantes. Un tel filtre trouve son application dans le domaine du traitement des signaux hautes fréquences, par exemple dans des applications de télécommunication. ARRIERE PLAN TECHNOLOGIQUE DE L’INVENTION En référence à la , et comme cela est par exemple connu de EP0608249, un tel filtre 1 comprend typiquement, agencés sur un substrat piézoélectrique, au moins deux transducteurs électroacoustiques 2a, 2b, respectivement d’entrée et de sortie. Les deux transducteurs définissent un trajet le long duquel des ondes élastiques de surface se propagent. Ils forment également les ports électriques d’entrée Pe et de sortie Ps du filtre 1. Le filtre 1 peut comprendre deux réseaux réfléchissants externes 3a, 3b (et préférentiellement uniquement réfléchissant), typiquement des miroirs de Bragg, disposés de part et d’autre du couple de transducteurs d’entrée 2a et de sortie 2b, selon l’axe X de propagation des ondes élastiques. Le filtre 1 comprend au moins un réseau réfléchissant interne 4, disposé entre les deux transducteurs 2a, 2b, sur le trajet X des ondes élastiques et qui peut être équidistant de ces deux transducteurs 2a, 2b. Ce au moins un réseau réfléchissant interne 4 présente un coefficient de transmission non nul. On définit de la sorte une pluralité de cavités résonantes C1, C2 le long du trajet de propagation des ondes, ces cavités résonantes formant autant de pôles du filtre 1. Le document WO2020021029 propose de nombreuses configurations avantageuses d’un tel filtre à onde élastique de surface et à cavités résonantes. Ces configurations sont toutes réalisées sur un substrat composite, c’est-à-dire un substrat formé d’un substrat de base (constituant un support mécanique) et d’une couche supérieure piézoélectrique. Les ondes élastiques se propagent dans la couche supérieure sous la forme d’ondes longitudinales et/ou de cisaillement. L’épaisseur de la couche supérieure est choisie pour être de l’ordre de grandeur de la longueur d’onde centrale du filtre ou inférieure à cette longueur d’onde. La propagation se réalise alors sans pertes de rayonnement dans le substrat de base. La structure très générale du filtre proposée par le document précité permet de synthétiser une grande variété de filtres passe-bande présentant une perte d’insertion faible ( 15dB) en dehors de cette bande. Il est bien connu (voir par exemple EP0608249) que la synthèse d’un filtre à onde élastique de surface et à cavités résonantes peut provoquer l’apparition de lobes secondaires dans la bande de réjection ou de transition du filtre. Ces lobes sont d’amplitudes d’autant plus élevées que l’on cherche à élargir la bande passante relative du filtre. Il serait donc souhaitable de disposer d’une structure de filtre qui puisse limiter l’amplitude des lobes présents dans la bande de réjection ou de transition. OBJET DE L’INVENTION Un but de l’invention est de proposer une structure de filtre permettant d’adresser ce souhait. Plus précisément, un but de l’invention est de proposer une structure de filtre réduisant l’amplitude a hauteur des lobes présents dans la bande de réjection ou de transition par rapport aux structures de filtres de l’état de la technique. BREVE DESCRIPTION DE L’INVENTION En vue de la réalisation de ce but, l’objet de l’invention propose un filtre à ondes élastiques de surface et à cavités résonantes comprenant : un substrat composite formé d’un substrat de base et d’une couche supérieure piézoélectrique ; au moins un transducteur électroacoustique d’entrée et un transducteur électroacoustique de sortie, disposés sur la couche supérieure ; au moins une structure réfléchissante interne, disposée entre le transducteur électroacoustique d’entrée et le transducteur électroacoustique de sortie. Selon l’invention, la structure réfléchissante interne du filtre comprend : une première structure comprenant au moins un réseau réfléchissant présentant une première période ; une deuxième structure comprenant au moins un réseau réfléchissant présentant une seconde période ; et la première période est supérieure à la seconde période ; Selon d’autres caractéristiques avantageuses et non limitatives de l’invention, prises seules ou selon toute combinaison techniquement réalisable : la première structure comprend une première pluralité de réseaux réfléchissants séparés les uns des autres d’une première distance, la deuxième structure comprend une deuxième pluralité de réseaux réfléchissants séparés les uns des autres d’une deuxième distance, et la première distance est inférieure à la deuxième distance ; la première structure est distante du transducteur électroacoustique d’entrée d’une première distance de séparation, la deuxième structure est distante du transducteur de sortie d’une seconde distance de séparation, la première distance de séparation étant inférieure à la deuxième distance de séparation ; le filtre comprend en outre deux miroirs externes disposés de part et d’autre des transducteurs d’entrée et de sortie ; les réseaux réfléchissants et/ou les miroirs externes sont réalisés par des réseaux de doigts métalliques disposés sur/dans la couche supérieure du substrat composite ; les réseaux réfléchissants et/ou les miroirs externes sont réalisés par des réseaux de rainures gravées dans le substrat composite ; le substrat composite comprend au moins une couche disposée entre le substrat de base et la couche supérieure piézoélectrique ; le substrat de base présente une résistivité électrique supérieure à 1000 Ohm.cm ; l’épaisseur de la couche supérieure piézoélectrique est inférieure à 20 microns ; le transducteur électroacoustique d’entrée et le transducteur électroacoustique de sortie sont respectivement constitués de deux électrodes en peigne inter-digitées ; la distance séparant la première structure et la deuxième structure est égale à la moyenne arithmétique, à 10% près, de la première distance et la deuxième distance ; BREVE DESCRIPTION DES FIGURES D’autres caractéristiques et avantages de l’invention ressortiront de la description détaillée de l’invention qui va suivre en référence aux figures annexées sur lesquels : La représente un filtre à ondes élastique de surface et à cavités résonantes de l’état de la technique ; Les figures 2a et 2b représentent, en vue schématique de dessus et en coupe, un filtre à ondes élastiques de surface et à cavités résonantes conforme à l’invention ; La représente un filtre dont la structure est conforme à l’état de la technique ; La représente le module de la fonction de transfert d’un filtre selon un premier contre-exemple ; La représente la structure d’un filtre conforme à l’invention ; La représente le module de la fonction de transfert d’un filtre d’un premier exemple de mise en œuvre de l’invention ; La représente le module de la fonction de transfert d’un filtre selon un deuxième contre-exemple ; La représente le module de la fonction de transfert d’un filtre d’un deuxième exemple de mise en œuvre de l’invention. Filtre (1) à ondes élastiques de surface et à cavités résonantes comprenant : Un substrat composite (S) formé d’un substrat de base (S3) et d’une couche supérieure piézoélectrique (S1) ; au moins un transducteur électroacoustique d’entrée (2a) et un transducteur électroacoustique de sortie (2b), disposés sur la couche supérieure ; au moins une structure réfléchissante interne, disposée entre le transducteur électroacoustique d’entrée (2a) et le transducteur électroacoustique de sortie (2b) le filtre étant caractérisé en ce que la structure réfléchissante interne comprend : une première structure (Pright) comprenant au moins un réseau réfléchissant (R1) présentant une première période ; une deuxième structure (Pleft) comprenant au moins un réseau réfléchissant (R2) présentant une seconde période, la première période étant supérieure à la seconde période. Filtre (1) selon la revendication précédente dans lequel : la première structure (Pright) comprend une première pluralité de réseaux réfléchissants (R1) séparés les uns des autres d’une première distance (Rg) ; la deuxième structure (Pleft) comprend une deuxième pluralité de réseaux réfléchissants (R2) séparés les uns des autres d’une deuxième distance (Lg); la première distance (Rg) étant inférieure à la deuxième distance (Lg). Filtre (1) selon l’une des revendications précédentes dans lequel la première structure (Pright) est distante du transducteur électroacoustique d’entrée (2a) d’une première distance de séparation (Srg), la deuxième structure (Pleft) est distante du transducteur de sortie (2b) d’une seconde distance de séparation (Slg), la première distance de séparation (Srg) étant inférieure à la deuxième distance de séparation (Slg). Filtre (1) selon l’une des revendications précédentes comprenant en outre deux miroirs externes (3a, 3b) disposés de part et d’autre des transducteurs d’entrée (2a) et de sortie (2b). Filtre (1) selon l’une des revendications précédentes dans lequel les réseaux réfléchissants (R1, R2) et/ou les miroirs externes (3a, 3b) sont réalisés par des réseaux de doigts métalliques disposés sur/dans la couche supérieure du substrat composite (S). Filtre (1) selon l’une des revendications 1 à 4 dans lequel les réseaux réfléchissants (R1, R2) et/ou les miroirs externes (3a, 3b) sont réalisés par des réseaux de rainures gravées dans le substrat composite. Filtre (1) selon l’une des revendications précédentes dans lequel les réseaux réfléchissants (R1, R2) et/ou les miroirs externes (3a, 3b) sont réalisés par des réseaux de doigts diélectriques disposés en surface du substrat composite (S). Filtre (1) selon l’une des revendications précédentes dans lequel le substrat composite comprend au moins une couche (S2) disposée entre le substrat de base (S3) et la couche supérieure piézoélectrique (S1). Filtre (1) selon l’une des revendications précédentes dans lequel le substrat de base (S3) présente une résistivité électrique supérieure à 1000 Ohm.cm. Filtre (1) selon l’une des revendications précédentes dans lequel l’épaisseur de la couche supérieure (S3) piézoélectrique est inférieure à 20 microns. Filtre (1) selon l’une des revendications précédentes dans lequel le transducteur électroacoustique d’entrée (2a) et le transducteur électroacoustique de sortie (2b) sont respectivement constitués de deux électrodes en peigne interdigitées. Filtre (1) selon l’une des revendications précédentes dans lequel la distance (Pcg) séparant la première structure (Pright) et la deuxième structure (Pleft) est égale à la moyenne arithmétique, à 10% près, de la première distance (Rg) et la deuxième distance (Lg).