Brevet FR3127071A1 — publié le 20230317

Conformément à un mode de réalisation, un procédé de gravure comprend la gravure d'une surface faite en un semi-conducteur et ayant une couche de catalyseur (3) formée sur la surface, au moyen d'un agent de gravure (5) en contact avec la surface. La couche de catalyseur (3) contient un métal noble. L'agent de gravure (5) contient un oxydant, un agent corrosif, et un agent polymère azoté. Figure 1 Procédé de gravure Domaine Les modes de réalisation décrits ici concernent d'une façon générale un procédé de gravure. Arrière-plan La gravure est connue comme un procédé de formation d'un trou ou d'une rainure dans une galette de semi-conducteur. En tant que procédé de gravure, on connaît la gravure chimique assistée par un métal (MacEtch). Le procédé MacEtch est par exemple un procédé de gravure d'un substrat semi-conducteur utilisant un métal noble en tant que catalyseur. Comme une galette de semi-conducteur est dotée d'une tranchée ayant un rapport d'aspect élevé, une immersion de la galette de semi-conducteur dans une solution MacEtch pendant une longue période engendre un défaut de traitement sous la forme de micropores sur une surface de paroi à l'extrémité supérieure de la tranchée. En résultat, des problèmes tels qu'un affaissement de la tranchée dû à une diminution de la résistance, et la difficulté à former un film diélectrique sur la tranchée, peuvent survenir. la est un diagramme schématique montrant une étape dans un procédé d'un mode de réalisation. La est une vue schématique agrandie de la section A représentée sur la . La est un diagramme montrant la relation entre le pH et le potentiel zêta de l'oxyde de Si. La est une micrographie électronique à balayage montrant une section transversale d'une tranchée formée par le procédé du mode de réalisation. La est une micrographie électronique à balayage montrant une section transversale du voisinage d'une extrémité supérieure de la tranchée formée par le procédé du mode de réalisation. La est une micrographie électronique à balayage montrant une section transversale d'une tranchée formée par un procédé d'un exemple comparatif. La est une micrographie électronique à balayage montrant une section transversale du voisinage d'une extrémité supérieure de la tranchée formée par le procédé de l'exemple comparatif. Procédé de gravure comprenant : la gravure d'une surface faite en un semi-conducteur et ayant une couche de catalyseur formée sur la surface, au moyen d'un agent de gravure en contact avec la surface, la couche de catalyseur contenant un métal noble, dans lequel l'agent de gravure contient un oxydant, un agent corrosif, et un agent polymère azoté. Procédé de gravure selon la revendication 1, dans lequel l'agent polymère azoté est un tensioactif azoté. Procédé de gravure selon la revendication 1, dans lequel l'agent polymère azoté est un tensioactif non-ionique azoté et/ou un tensioactif cationique azoté. Procédé de gravure selon la revendication 1, dans lequel l'agent polymère azoté est au moins l'un choisi dans le groupe constitué par la polyéthylène-imine, l'éthylènediamine, la diéthylènetriamine, la triéthylènetétramine, la tétraéthylènepentamine, la pentaéthylènehexamine, une alkyamine polyoxyéthylénée, un octylphényléther polyoxyéthyléné et l'éthylènediaminetétrakis(propoxylate-bloc-éthoxylate)tétrol. Procédé de gravure selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel le semi-conducteur comprend du silicium. Procédé de gravure selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel le métal noble comprend de l'or. Procédé de gravure selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel la couche de catalyseur contenant un métal noble est poreuse. Procédé de gravure selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel la couche de catalyseur contenant un métal noble est formée au moyen d'un placage par déplacement. Procédé de gravure selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel l'oxydant est le peroxyde d'hydrogène, et l'agent corrosif est le fluorure d'hydrogène.