Brevet FR3126539A1 — publié le 20230303

Selon un mode de réalisation, un condensateur inclut un substrat conducteur CS présentant une première surface principale et une seconde surface principale, la première surface principale incluant une pluralité de premières sous-régions A1a et A1b, chacune des premières sous-régions A1a et A1b étant dotée d’une pluralité de premiers évidements TR1a et TR1b ou de premières projections W1Ma et W1Mb présentant chacune une forme s’étendant dans une direction et agencés dans une direction de largeur de celle-ci, et une ou plusieurs des premières sous-régions A1a et une ou plusieurs autres des premières sous-régions A1b étant différentes les unes des autres dans une direction de longueur des premiers évidements ou des premières projections ; une couche conductrice recouvrant des parois latérales et des surfaces inférieures des premiers évidements ou des parois latérales et des surfaces supérieures des premières projections ; et une couche diélectrique intercalée entre le substrat conducteur et la couche conductrice. Figure 1 Condensateur Les modes de réalisation décrits ici se rapportent généralement à un condensateur. Avec la réduction et le perfectionnement des équipements de communication, il est souhaité que les condensateurs à monter dessus soient plus petits et plus minces. En tant que structure pour obtenir la réduction et diminuer l’épaisseur du condensateur tout en maintenant la densité de capacité, il existe un condensateur à tranchées (en anglais « trench capacitor ») dans lequel des tranchées sont formées sur un substrat pour augmenter l’aire superficielle. L’invention concerne un condensateur comprenant : - un substrat conducteur présentant une première surface principale et une seconde surface principale, la première surface principale incluant une pluralité de premières sous-régions, chacune des premières sous-régions étant dotée d’une pluralité de premiers évidements ou de premières projections présentant chacun une forme s’étendant dans une direction et agencés dans une direction de largeur de celles-ci, et une ou plusieurs des premières sous-régions et une ou plusieurs des premières sous-régions étant différentes les unes des autres dans une direction de longueur des premiers évidements ou premières saillies ; - une couche conductrice recouvrant des parois latérales et des surfaces inférieures des premiers évidements ou des parois latérales et des surfaces supérieures des premières projections ; et - une couche diélectrique intercalée entre le substrat conducteur et la couche conductrice. Dans un mode particulier de réalisation, une ou plusieurs des premières sous-régions et les une ou plusieurs autres des autres premières sous-régions sont agencées selon un motif en damier. Dans un mode particulier de réalisation, une ou plusieurs des premières sous-régions sont dotées d’une pluralité de tranchées en tant que premiers évidements. Dans un mode particulier de réalisation, une pluralité de parties de paroi sont prévues en tant que premières projections dans une ou plusieurs des premières sous-régions. Dans un mode particulier de réalisation : - une ou plusieurs des premières sous-régions sont dotées d’une pluralité de tranchées en tant que premiers évidements, les tranchées formant une pluralité de rangées agencées dans une direction de largeur et constituées chacune par deux ou plusieurs tranchées agencées dans la direction de longueur dans chacune des une ou plusieurs premières sous-régions dotées des tranchées, ou - une ou plusieurs des premières sous-régions sont dotées d’une pluralité de parties de paroi en tant que premières projections, les parties de paroi adjacentes dans une direction de largeur étant reliées les unes aux autres dans chacune des une ou plusieurs des premières sous-régions dotées des parties de paroi. Dans un mode particulier de réalisation, la seconde surface principale comprend une pluralité de secondes sous-régions, chacune des secondes sous-régions est dotée d’une pluralité de seconds évidements ou de secondes projections présentant chacun une forme s’étendant dans une direction et agencés dans une direction de largeur de celles-ci, une ou plusieurs des secondes sous-régions et une ou plusieurs autres des secondes sous-régions sont différentes les unes des autres dans une direction de longueur des seconds évidements ou des secondes projections, et la couche conductrice recouvre en outre des parois latérales et des surfaces inférieures des seconds évidements ou des parois latérales et des surfaces supérieures des secondes projections. Dans un mode particulier de réalisation, une ou plusieurs des secondes sous-régions et une ou plusieurs autres des secondes sous-régions sont agencées selon un motif en damier. Dans un mode particulier de réalisation, la direction de longueur des premiers évidements ou des premières projections dans chacune des premières sous-régions est orthogonale à la direction de longueur des seconds évidements ou des premières projections dans les secondes sous-régions disposés en un emplacement correspondant à la première sous-région. La est une vue de dessus d’un condensateur selon un premier mode de réalisation ; La est une vue en coupe transversale prise le long d’une ligne II-II du condensateur montré à la ; La est une vue de dessus d’un substrat conducteur inclus dans le condensateur montré aux et 2 ; La FIG. 4 est une vue en coupe transversale montrant un traitement dans la fabrication du condensateur montré aux et 2 ; La FIG. 5 est une vue en coupe transversale montrant un autre traitement dans la fabrication du condensateur montré aux et 2 ; La est une vue en coupe transversale montrant une structure obtenue par les traitements aux FIG. 4 et 5 ; La est une vue en perspective d’un substrat conducteur inclus dans un condensateur selon une première modification ; La est une vue en perspective d’un substrat conducteur inclus dans un condensateur selon une deuxième modification ; La est une vue en perspective d’un substrat conducteur inclus dans un condensateur selon une troisième modification ; La est une vue de dessus montrant un exemple de relation entre un agencement de sous-régions et un agencement de tranchées ; La est une vue de dessus montrant un autre exemple de relation entre un agencement de sous-régions et un agencement de tranchées ; La est une vue en coupe transversale d’un condensateur selon un second mode de réalisation ; et La est une vue de dessus d’un substrat conducteur inclus dans le condensateur montré à la . 1. Condensateur (1) comprenant : un substrat conducteur (CS) présentant une première surface principale (S1) et une seconde surface principale (S2), la première surface principale (S1) incluant une pluralité de premières sous-régions (A1a, A1b), chacune des premières sous-régions étant dotée d’une pluralité de premiers évidements (TR1a, TR1b) ou de premières projections (W M 1a, W M 1b) présentant chacun une forme s’étendant dans une direction et agencés dans une direction de largeur de celles-ci, et une ou plusieurs des premières sous-régions et une ou plusieurs des premières sous-régions étant différentes les unes des autres dans une direction de longueur des premiers évidements ; une couche conductrice (20b) recouvrant des parois latérales et des surfaces inférieures des premiers évidements ou des parois latérales et des surfaces supérieures des premières projections ; et une couche diélectrique (30) intercalée entre le substrat conducteur et la couche conductrice, caractérisé en ce que la seconde surface principale comprend une pluralité de secondes sous-régions (A2a, A2b), chacune des secondes sous-régions est dotée d’une pluralité de seconds évidements ou de secondes projections (TR2a, TR2b) présentant chacun une forme s’étendant dans une direction et agencés dans une direction de largeur de celles-ci, une ou plusieurs des secondes sous-régions et une ou plusieurs autres des secondes sous-régions sont différentes les unes des autres dans une direction de longueur des seconds évidements ou des secondes projections, et la couche conductrice recouvre en outre des parois latérales et des surfaces inférieures des seconds évidements ou des parois latérales et des surfaces supérieures des secondes projections ; et la direction de longueur des premiers évidements dans chacune des premières sous-régions est orthogonale à la direction de longueur des seconds évidements dans les secondes sous-régions disposés en un emplacement correspondant à la première sous-région. Condensateur selon la revendication 1, dans lequel les une ou plusieurs des premières sous-régions et les une ou plusieurs autres des autres premières sous-régions sont agencées selon un motif en damier. Condensateur selon la revendication 1 ou 2, dans lequel une ou plusieurs des premières sous-régions sont dotées d’une pluralité de tranchées en tant que premiers évidements. Condensateur selon l’une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel une pluralité de parties de paroi sont prévues en tant que premières projections dans une ou plusieurs des premières sous-régions. Condensateur selon la revendication 1 ou 2, dans lequel une ou plusieurs des premières sous-régions sont dotées d’une pluralité de tranchées en tant que premiers évidements, les tranchées formant une pluralité de rangées agencées dans une direction de largeur et constituées chacune par deux ou plusieurs tranchées agencées dans la direction de longueur dans chacune des une ou plusieurs premières sous-régions dotées des tranchées, ou une ou plusieurs des premières sous-régions sont dotées d’une pluralité de parties de paroi en tant que premières projections, les parties de paroi adjacentes dans une direction de largeur étant reliées les unes aux autres dans chacune des une ou plusieurs des premières sous-régions dotées des parties de paroi. Condensateur selon la revendication 1, dans lequel les une ou plusieurs des secondes sous-régions et les une ou plusieurs autres des secondes sous-régions sont agencées selon un motif en damier.