Brevet FR3138733A1 — publié le 20240209

Boîtier de circuit intégré, comprenant au moins une puce électronique ayant une première face (F1) fixée sur une première face (F30 d’un substrat porteur (3) par une interface adhésive (2) comportant une couronne (20) contenant un premier matériau adhésif, fixée sur la périphérie de la première face de la puce électronique et délimitant un logement interne (21) contenant un deuxième matériau adhésif (22) différent du premier matériau (20). Figure pour l’abrégé : Fig 1 BOÎTIER DE CIRCUIT INTEGRE Des modes de mise en œuvre et de réalisation de la présente invention concernent le domaine de la microélectronique, notamment le domaine du conditionnement (« packaging » en anglais) des circuits intégrés, et plus particulièrement les boîtiers de circuits intégrés du type à fils de liaison soudés et matrice de billes de soudure, communément désignés par l’homme du métier sous l’acronyme anglosaxon WB-BGA (Wire Bonding-Ball Grid Array). Plus précisément, les boîtiers WB-BGA comportent un substrat support supportant sur une première face, typiquement la face supérieure, une puce électronique et des fils de liaison sont soudés entre des plages de contact (pads, en langue anglaise) de la face supérieure de la puce électronique et des plages de contact de cette première face du substrat support. Le substrat support comporte sur une deuxième face, typiquement une face inférieure, une matrice de billes de soudure destinée à être soudées sur un circuit imprimé possédant des plages d’accueil dédiées. La puce électronique est fixée sur la première face du substrat support par l’intermédiaire d’une colle. Or, lors de la fixation de la puce sur la première face du substrat support, une partie de la colle peut remonter le long des bords verticaux de la puce jusqu’à atteindre éventuellement les plages de contact destinées à recevoir les fils de liaison. Par ailleurs, cette partie débordante et remontante de colle présente une forme irrégulière. Tout ceci peut entraîner une contamination des plages de contact destinées à recevoir les fils de liaison ainsi que de fortes contraintes sur les couches diélectriques à faible constante diélectrique (low-k) contenues dans la puce. Pour remédier à ces inconvénients, il a été envisagé de réduire la quantité de colle mais ceci conduit à un recouvrement insuffisant de la face inférieure de la puce par la colle favorisant la création de crevasses. Il existe donc un besoin de remédier plus efficacement aux inconvénients mentionnés ci-dessus. Selon un aspect, il est proposé un boîtier de circuit intégré comprenant au moins une puce électronique ayant une première face, typiquement la face inférieure, fixée sur une première face, typiquement la face supérieure, d’un substrat porteur par une interface adhésive Cette interface adhésive comportant une couronne contenant un premier matériau adhésif et fixée sur la périphérie de la première face de la puce électronique et délimitant un logement interne contenant un deuxième matériau adhésif différent du premier matériau. Ainsi, au lieu d’utiliser une seule colle standard pour fixer la puce sur le substrat porteur, on utilise ici deux matériaux adhésifs différents. Un premier matériau forme une couronne permettant d’une part de bien contrôler l’épaisseur entre la puce et le substrat porteur, et d’autre part de loger un deuxième matériau adhésif qui du fait de la présence de cette couronne, ne va pas remonter sur les bords verticaux de la puce. Ces deux matériaux forment par ailleurs une interface adhésive permettant de fixer efficacement la puce sur le substrat porteur tout en minimisant le risque d’apparition de crevasses sous la puce, en particulier lorsque le deuxième matériau recouvre au moins entre 80% et 90% de la surface de la première face de la puce électronique. Le deuxième matériau peut être une colle telle qu’une colle classique, et le premier matériau formant ladite couronne, peut être un film adhésif ou un matériau de remplissage, connu par l’homme du métier sous la dénomination anglosaxonne de « underfill ». La couronne peut comporter au moins une ouverture latérale, ce qui permet dans certains cas de pouvoir évacuer une éventuelle surpression d’air lors du remplissage du logement interne par le deuxième matériau lors de la fabrication du boîtier. Selon un autre aspect, il est proposé un procédé de fabrication d’au moins un boîtier de circuit intégré, comprenant les étapes suivantes : Fixer sur la périphérie d’une première face d’une puce électronique une couronne contenant un premier matériau adhésif et délimitant un logement interne, Disposer un deuxième matériau adhésif différent du premier matériau dans ledit logement, la couronne de premier matériau et le deuxième matériau formant une interface adhésive, et Fixer ladite première face de la puce électronique sur une première face d’un substrat porteur par l’intermédiaire de l’interface adhésive. Selon un mode de mise en œuvre, les étapes a), b) et c) comprennent -une fourniture d’une plaquette semiconductrice (« wafer » en langue anglaise), -un amincissement de la plaquette d’une première épaisseur à partir d’une face initiale de cette plaquette de façon à obtenir une plaquette amincie ayant une première face, -une formation sur la première face de la plaquette amincie, d’une couche du premier matériau, -des gravures locales de la couche de premier matériau de façon à former des couronnes locales, -une formation dans la plaquette de puces électroniques respectivement en contact sur leur périphérie avec les couronnes locales correspondantes, -une individualisation des puces électroniques équipées sur leur première face des couronnes locales correspondantes formant respectivement des logements internes, -une disposition dans chaque logement interne du deuxième matériau adhésif, et -une fixation de chaque puce sur un substrat porteur respectif par l’intermédiaire de l’interface adhésive correspondante. Comme indiqué ci-avant, le deuxième matériau peut être une colle et le premier matériau peut être un film adhésif ou un matériau de remplissage. Selon un mode de mise en œuvre, dans l’étape b), on dispose un deuxième matériau adhésif dans ledit logement de sorte que le deuxième matériau recouvre au moins entre 80% et 90% de la surface de la première face de la puce électronique. Selon un mode de mise en œuvre, le procédé peut comprendre en outre une formation d’au moins une ouverture latérale dans la couronne. D’autres avantages et caractéristiques de l’invention apparaîtront à l’examen de la description détaillée de modes de réalisation et de mise en œuvre, nullement limitatifs, et des dessins annexés sur lesquels :  ; ; ; ; ; ; ; et ; illustrent schématiquement des modes de mise en œuvre et de réalisation de l’invention. Sur la , la référence BT désigne un boîtier de circuit intégré. Ce boîtier comprend un substrat porteur 3 comportant une première face ou face supérieure F30 et une deuxième face ou face inférieure F31. La face inférieure F31 est destinée à supporter une matrice de billes de soudure (non représentée ici à des fins de simplification) destinées à être soudées sur une carte de circuit imprimé. La première face ou face supérieure, F30 du substrat porteur supporte une puce électronique 1 dont une première face, ou face inférieure, F1 est fixée sur la première face F30 du substrat porteur par l’intermédiaire d’une interface adhésive 2. La puce 1 comporte également une deuxième face, ou face supérieure, F2 sur des plages de contact de laquelle sont soudés des fils de liaison WB reliant ces plages de contact à des plages de contact situées sur la première face F30 du substrat porteur 30. L’interface adhésive 2 a une épaisseur e, par exemple comprise entre 30 microns et 50 microns. Comme illustré sur la et également sur la qui est une coupe selon la ligne II-II de la , cette interface adhésive comporte une couronne 20 contenant un premier matériau adhésif. Cette couronne 20 est fixée sur la périphérie de la première face F1 de la puce électronique. Elle définit un logement interne 21 contenant un deuxième matériau adhésif 22. Le premier matériau adhésif 20 et le deuxième matériau adhésif 22 sont des matériaux différents. Par exemple, le premier matériau adhésif 20 peut être un film diélectrique tel que le film commercialisé par la société japonaise Ajinomoto sous l’acronyme ABF (Ajinomoto Build-up Film). En variante, ce premier matériau 20 peut être un matériau de remplissage connu par l’homme du métier sous l’acronyme anglosaxon « underfill ». Le deuxième matériau 22 contenu dans le logement interne 21, peut être une colle classique qui recouvre de préférence au moins 80 à 90% de la surface de la première face F1 de la puce électronique. La couronne 20 permet de contrôler efficacement la valeur de l’épaisseur e séparant la première face F1 de la puce de la première face F30 du substrat porteur. En outre, cette couronne emprisonne la colle 22 et évite sa remontée le long des bords verticaux de la puce lors de la réalisation du boîtier. En outre, le volume de colle choisi de façon à ce que la colle recouvre au moins 80 à 90% de la première face F1 de la puce permet, en combinaison avec la couronne adhésive 20, d’obtenir une bonne adhésion de la puce sur le substrat tout en minimisant le risque d’apparition de crevasses sous la puce. Par ailleurs, comme illustré sur la , la couronne 2 peut comprendre une ouverture latérale 200 qui permet le cas échéant, l’évacuation d’une surpression d’air lors de l’opération de fixation de la puce sur le substrat. On se réfère maintenant plus particulièrement aux figures 3 à 8 pour illustrer un mode de mise en œuvre d’un procédé de réalisation du boîtier BT. Dans l’étape ST30 de la , on fournit une plaquette semiconductrice ou « wafer », WF0 ayant une épaisseur initiale e0 et une face initiale inférieure F0. Puis, dans l’étape ST31 de la , on amincit, de façon classique et connue en soi, la plaquette WF0 depuis la face initiale F0 sur une épaisseur e1 de sorte que la différence e0 – e1 corresponde à l’épaisseur souhaitée des puces qui seront réalisées dans cette plaquette. On obtient donc une plaquette amincie WF1 ayant une première face ou face inférieure F1. Puis, dans l’étape ST32 de la , on forme sur la première face F1 une couche C20 du premier matériau. Par exemple, dans le cas où le premier matériau est un film diélectrique, par exemple un film ABF, ce film, à l’origine mou, est déposé sur la première face F1 puis solidifié par recuit thermique à une température par exemple comprise entre 150°C et 200°C. Dans le cas où le premier matériau est un matériau de remplissage, celui-ci est déposé de façon liquide, par exemple à la tournette, puis solidifié également par un recuit thermique à une température comprise entre 150°C et 180°C pendant une à deux heures. Puis, dans l’étape ST33 de la , on effectue des gravures locales de la couche C20 du premier matériau de façon à former des couronnes locales 20, équipées éventuellement des ouvertures latérales. En variante, dans le cas de l’utilisation du matériau de remplissage, on peut appliquer sur la première face F1, des moules locaux ayant les formes des couronnes locales 20, injecter le matériau de remplissage dans les moules, solidifier le matériau injecté par cuisson comme mentionné ci-avant puis retirer les moules. Puis, dans l’étape ST34, on réalise, de façon classique et connue en soi, au sein de la plaquette semiconductrice WF1 équipée de ces couronnes locales, les différents circuits intégrés ou puces 1 que l’on individualise ensuite, classiquement par sciage, de façon à obtenir des puces électroniques 1 équipées sur leur première face F1 des couronnes correspondantes formant respectivement des logements internes 21. Puis, on remplit chaque logement interne avec le volume de colle adapté 22 et, comme illustré sur la , on procède, dans l’étape ST35, à la fixation, par compression, de la puce sur le substrat porteur 3 par l’intermédiaire de l’interface adhésive 2 qui au final présente l’épaisseur e mentionnée sur la . Boîtier de circuit intégré, comprenant au moins une puce électronique ayant une première face (F1) fixée sur une première face (F30 d’un substrat porteur (3) par une interface adhésive (2) comportant une couronne (20) contenant un premier matériau adhésif, fixée sur la périphérie de la première face de la puce électronique et délimitant un logement interne (21) contenant un deuxième matériau adhésif (22) différent du premier matériau (20). Boîtier selon la revendication 1, dans lequel le deuxième matériau (22) est une colle et le premier matériau (20) est un film adhésif ou un matériau de remplissage. Boîtier selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le deuxième matériau (22) recouvre au moins entre 80% et 90% de la surface de ladite première face de la puce électronique. Boîtier selon l’une des revendications précédentes, dans lequel la couronne comporte au moins une ouverture latérale (200). Procédé de fabrication d’au moins un boîtier de circuit intégré, comprenant les étapes suivantes : a) fixer sur la périphérie d’une première face (F1) d’une puce électronique, une couronne (20) contenant un premier matériau adhésif et délimitant un logement interne (21), b) disposer un deuxième matériau adhésif (22) différent du premier matériau dans ledit logement, la couronne de premier matériau et le deuxième matériau formant une interface adhésive (2), et c) fixer ladite première face de la puce électronique sur une première face d’un substrat porteur par l’intermédiaire de l’interface adhésive. Procédé selon la revendication 5, dans lequel les étapes a), b) et c) comprennent -une fourniture d’une plaquette semi-conductrice (WF0), -un amincissement de la plaquette (WF0) d’une première épaisseur (e1) à partir d’une face initiale de cette plaquette de façon à obtenir une plaquette amincie (WF1) ayant une première face (F1), -une formation sur la première face de la plaquette amincie, d’une couche (C20) du premier matériau, -des gravures locales de la couche du premier matériau de façon à former des couronnes locales (20), une formation dans la plaquette de puces électroniques (1) respectivement en contact sur leur périphérie avec les couronnes correspondantes, -une individualisation des puces électroniques équipées sur leur première face des couronnes correspondantes formant respectivement des logements internes (21), une disposition dans chaque logement interne du deuxième matériau adhésif (22), et -une fixation de chaque puce sur un substrat porteur correspondant par l’intermédiaire de l’interface adhésive correspondante. Procédé selon la revendication 5 ou 6, dans lequel le deuxième matériau (22) est une colle et le premier matériau (20) est un film adhésif ou un matériau de remplissage. Procédé selon l’une des revendications 5 à 7, dans lequel dans l’étape b) on dispose le deuxième matériau adhésif dans ledit logement de sorte que le deuxième matériau (22) recouvre au moins entre 80% et 90% de la surface de ladite première face de la puce électronique. Procédé selon l’une des revendications 5 à 8, comprenant en outre une formation d’au moins une ouverture latérale (200) dans la couronne.