Brevet FR3124592A1 — publié le 20221230

L’invention concerne un système de mesure (10) de type MEMs et/ou NEMs comprenant : -un ensemble résonnant (ER) comprenant : une entrée (E) et une sortie (S), une pluralité de N résonateurs optiques Ri indicés i présentant chacun une longueur d’onde de résonance λr,i, au moins un guide d’onde (GO) auquel sont couplés les résonateurs optiques, au moins un élément (Ei, Eij) couplé à chaque résonateur Ri -un dispositif d’émission (DE) -un dispositif de modulation (DM) -un dispositif d’injection (DI) configuré pour superposer les N faisceaux lumineux pour former un faisceau d’entrée (Bin) et pour injecter le faisceau en entrée de l’ensemble résonant, -au moins un détecteur (Det) configuré pour détecter un faisceau lumineux issu du faisceau en sortie de l’ensemble résonnant (Bout) et générer un signal de sortie (Sout), -un dispositif de démodulation (DDM) comprenant au moins N modules de démodulation (11) de type détection synchrone. Figure à publier : figure 6 Système de mesure de type MEMS ou NEMS multicapteurs DOMAINE DE L’INVENTION La présente invention concerne le domaine des capteurs à base de MEMS ou NEMS, et plus particulièrement les capteurs utilisant un résonateur optique, par exemple couplé avec un autre élément typiquement mécanique, et la mise en réseaux de ces capteurs. ETAT DE LA TECHNIQUE Les capteurs à base de MEMS ou NEMS basés sur l’interaction d’une grandeur à mesurer avec un résonateur optique ont connu récemment un grand essor et sont de nature très variée. On entend par capteur MEMS ou NEMS tout capteur bénéficiant des techniques de microfabrication de la microélectronique. Un capteur de ce type comprend un résonateur optique RO, également dénommé cavité photonique, et un ou plusieurs guides d’ondes GO couplé(s) au résonateur optique, tel qu’illustré en . Le résonateur optique est caractérisé par au moins une longueur d’onde de résonance λr associée à une bande passante de résonance de largeur λr/Qopt (Qopt facteur de qualité de la cavité optique) tel qu’illustré en qui décrit l’énergie E stockée dans le résonateur en fonction de la longueur d’onde. Les propriétés de propagation des ondes EM dans le résonateur optique sont affectées par un mesurande u (grandeur physique à mesurer) ou un paramètre u dont la réponse dépend d’un mesurande d’intérêt z . Un faisceau lumineux de lecture Fin est injecté en entrée du capteur, et l’amplitude et/ou la phase du faisceau lumineux se propageant dans le ou les guide(s) d’onde couplé(s) au résonateur optique RO est perturbée par la grandeur u . La fonction de transmission ou de réflexion optique du capteur est ainsi modifiée, directement ou indirectement, par la grandeur physique à mesurer. Le faisceau Fout ressort par la sortie du capteur et est détecté par un photodétecteur, et on déduit du faisceau détecté une mesure de la grandeur u . Dans l’exemple de la le résonateur optique RO est un anneau dont l’indice effectif de propagation n eff( u ) dépend de u pour sa partie réelle et/ou imaginaire. La vitesse de propagation et/ou le taux de dissipation de l’onde lumineuse dans le résonateur optique dépendent ainsi de u . Par exemple pour un capteur destiné à identifier des objets biologiques, l’absorption d’un corps biologique ou autre à la surface du résonateur modifie son indice effectif de propagation et change la position de la longueur d’onde de résonance λr( u ), u étant la quantité absorbée. A partir de la quantité absorbée on détermine la nature du corps (mesurande z). Ainsi l’identification du corps absorbé est réalisée par la couche de fonctionnalisation qui sélectionne les particules à détecter. Pour donner un exemple de mesurande z dans ce cas de capteur, on peut établir une relation entre le paramètre u qui correspond à une quantité de matériau à détecter et le mesurande z qui peut être la concentration de ce matériau. Les deux sont reliés par un processus d’absorption désorption et peuvent être décrits par une équation d’équilibre biochimique. De manière plus générale la détection est assurée par la présence d’une couche de fonctionnalisation déposée à la surface ou à proximité (quelques centaines de nm au plus) du résonateur optique. Cette couche : -peut être identifiée comme l’élément associé au résonateur -entre dans la chaine de détection du capteur -peut être ou non spécifique à une espèce chimique ou biologique donnée. Dans ce cas, cette caractéristique de spécificité, croisée éventuellement avec une connaissance partielle de l’échantillon à analyser (On fait l’hypothèse que seuls les objets A, B, C et D constituent le mélange d’entrée et la couche absorbe essentiellement B), permet de réaliser l’identification de l’objet, -peut être constituée par un matériau biologique ou chimique ajouté au résonateur ou être intégré directement sur / dans le résonateur : la surface du résonateur ou l’intérieur du résonateur (matériau poreux). Selon un autre exemple, le capteur comprend un résonateur optique RO couplé avec un élément mécanique dont on mesure le déplacement. Ce type de capteur est dénommé capteur optomécanique. La illustre un tel capteur dans lequel l’élément mécanique est une poutre cantilever P fixée à une extrémité à un plot CP. Le faisceau de lecture est injecté dans le guide GO et récupéré en sortie de guide par un réseau de couplage GC (« grating coupler »). Le déplacement x de la poutre (paramètre u) dans le champ évanescent du résonateur optique perturbe l’indice effectif (variation du « gap » entre la poutre et l’anneau). A partir du déplacement x on mesure par exemple l’accélération d’un corps (mesurande z). Selon un autre exemple le résonateur optique est couplé avec un élément mécanique résonnant à une fréquence frm . Un exemple d’OMUS (« Optomechanical Ultrasound Sensor ») est décrit dans la publication Westerveld et al, « Sensitive, small, broadband and scalable optomechanical ultrasound sensor in silicon photonics », Nature Photonics Letters 2021 et illustré . L’élément mécanique résonant est une membrane Memb sur une fine couche de silicium Si slab, dont la vibration (résonance) est induite par une onde ultrasonore UltraS à mesurer lorsque la fréquence de l’onde est proche de la fréquence de résonance mécanique frm de la membrane. La membrane agit comme un filtre passe bande qui sélectionne les composantes spectrales de l’onde incidente au voisinage de sa fréquence de résonance. La membrane est disposée par-dessus un anneau RO également en silicium (couplé à un guide optique GO et disposé sur un substrat BOX) à une distance dénommée Gap (voir a et b). La teinte foncée montre l’intensité du champ électromagnétique au voisinage du résonateur optique, l’intensité est élevée dans la région entre la membrane et le résonateur. L’indice effectif du résonateur neff est modifié par la valeur du G ap (voir c). Lorsque la membrane vibre le déplacement x de la membrane fait varier le gap et donc l’indice effectif. L’onde UltraS modifie ainsi la valeur de la longueur d’onde de résonance du résonateur optique. Ce décalage en longueur d’onde de résonance est lu par un laser émettant un faisceau lumineux à une longueur d’onde λ0 située sur un flanc de la résonance du résonateur optique (c’est-à-dire compris dans la bande passante de résonance de RO), qui est injecté dans le guide d’onde. Le faisceau lumineux est détecté en sortie de guide par un photodétecteur PD. Le décalage se traduit par une variation de la transmission T du capteur (rapport des intensités) à la longueur d’onde λ0. Les trois courbes de d correspondent à différentes amplitudes de déflexion de la membrane. Chaque courbe correspond à une position de la membrane. Lors de la vibration de cette dernière, on passe d’une courbe à l’autre de manière périodique. Selon encore un autre exemple l’élément mécanique résonnant est confondu avec le résonateur optique, qui présente alors une résonance optique et une résonance mécanique. Tous les capteurs précités sont dits capteurs actifs, car ces capteurs utilisent l’énergie apportée par le mesurande pour réaliser la transduction, aucune excitation externe n’est appliquée au capteur: la force de l’onde ultrasonore active la membrane, la force inertielle met en mouvement la masse mobile, etc. Pour une autre classe de capteurs, dit passifs, ces capteurs subissent une modification d’un de leurs paramètres physiques. Par exemple, la fréquence de résonance du système mécanique ou son facteur de qualité, la résistance électrique d’une jauge de déformation, etc. Dans ce cas, il est nécessaire d’apporter une excitation extérieure (une polarisation) pour réaliser la lecture de ce paramètre. Ce moyen d’excitation est nécessaire pour certaines catégories de capteur. Par exemple l’élément mécanique résonnant est excité à une fréquence d’excitation externe fex comprise dans la bande de résonance mécanique BPm autour d’une fréquence de résonance mécanique frm . Le document EP3244169, ainsi que la publication Diao et al «Integrated on-chip nano-optmechanical systems» International Journal of High Speed Electronics and Systems ; vol 26, n° 1 & 2 (2017), décrivent l’exemple d’une poutre mise en résonance mécanique en étant actionnée à une fréquence d’excitation proche de sa résonance. Comme sur la , la poutre est localisée au voisinage du résonateur optique. La présence d’une masse additionnelle sur la poutre modifie la fréquence de résonance mécanique de celle-ci. Le signal de mesure produit par l’actionnement permet d’extraire les variations de fréquence de résonance δf grâce au déphasage induit par la réponse mécanique par rapport au signal d’actionnement. On réalise ainsi un capteur de masse gravimétrique. Dans un autre exemple de capteur passif, le résonateur optique et le résonateur mécanique sont confondus. Il s’agit par exemple d’un disque vibrant présentant à la fois une résonance optique et mécanique : par exemple un capteur fonctionnant en milieu liquide pour détecter des objets biologiques (virus, protéines, etc) qui se déposent sur ce disque. On mesure la masse additionnelle absorbée sur ces disques (on utilise une couche de fonctionnalisation ou non), qui permet de remonter à la concentration de l’espèce biologique. La masse alourdit le disque, ce qui modifie sa fréquence de résonance mécanique. Il s’agit selon un autre exemple d’un capteur de force atomique sous la forme d’un anneau muni d’une pointe mise en résonance, tel que décrit dans la publication de Allain et al « Optomechanical resonating probe for very high frequency sensing of atomic forces » Nanoscale, 2020, 12, 2939. Afin de multiplier les mesures et/ou d’augmenter la précision ou les fonctionnalités du capteur, il est intéressant de mettre ces capteurs actifs ou passifs en réseau. La mise en réseau de capteurs de masse gravimétrique présente un grand intérêt : -augmentation de la surface de capture de la masse (plus grande sensibilité de mesure), ou du nombre d’évènements détectés, -fonctionnalisations différentes pour sélectionner les espèces, -information de position des particules : par exemple dans une colonne de chromatographie, la position est une information importante pour localiser des espèces biologiques / chimiques et mesurer leurs quantités respectives, -redondance de l’information pour moyenner le signal et augmenter la résolution, -redondance des capteurs pour augmenter la robustesse du système. Au cours de l’utilisation, des composants peuvent se détériorer et ne plus fonctionner correctement. Ce peut être des problèmes d’encrassement malgré le rinçage du système, de la casse mécanique, etc. Le système est alors toujours apte à fonctionner, ce qui permet d’augmenter sa durée de vie. La mise en réseau de capteurs à ultrasons permet à chaque capteur de jouer le rôle de filtre en n’étant sensible qu’à sa gamme de fréquence. En outre on peut également extraire une information sur la direction de l’onde ultrasonore à travers le déphasage du signal entre les capteurs. Se pose alors le problème de la lecture de l’information associée à chaque capteur. Dans la publication Westerveld précitée la lecture d’un ensemble de capteurs en réseau s’effectue par multiplexage/démultiplexage en longueur d’onde, en associant une longueur d’onde à chaque capteur. Le principe est illustré . L’ensemble de capteurs est illustré par des résonateurs Ri dont l’indice effectif neff ( ui ) est modifié par un mesurande u (l’élément mécanique éventuellement présent n’est pas représenté), couplés à un même guide d’onde. Cette méthode mux/demux s’inspire d’une procédure standard de mélange/séparation de signaux pour les télécoms (WDM pour Wavelength Multiplexing Division en anglais ou multiplexage en longueur d’onde). Un multiplexeur MUX mélange les faisceaux émis par les lasers Las1, Las2 .., respectivement aux longueurs d’onde λ1, λ2 …. Les faisceaux mélangés sont transportés jusqu’au réseau de capteurs par une fibre optique OF1, et l’onde F in issue de la superposition des différents faisceaux est injectée dans le guide d’onde GO. En sortie du capteur l’onde F out est dirigée par une fibre optique OF2 vers un démultiplexeur DEMUX relié à des photodétecteurs PD1, PD2 … recueillant chacun un faisceau à une longueur d’onde déterminée. Cette méthode présente les inconvénients suivants : - besoin de composants optiques de multiplexage / démultiplexage, -la reconfiguration des longueurs d’onde du mux/demux n’est pas toujours possible: elle n’est pas adaptable facilement au système de capteurs à traiter (variabilité des longueurs d’onde de résonance à la fabrication), -les mux/demux offrent souvent un pas de longueur d’onde régulier, qui n’est pas toujours adapté pour des résonateurs optiques dont la variabilité des longueurs d’onde peut être du même ordre de grandeur (quelques nm) que le pas du mux/demux. Il peut être difficile d’optimiser le réseau du mux/demux avec les positions des résonateurs optiques. Toujours afin de multiplier les mesures il est possible de positionner plusieurs éléments par résonateur optique. Le document EP2866000 décrit un capteur de masse gravimétrique constitué d’un ensemble de quatre plateaux vibrants disposés par-dessus un anneau optique, formant quatre capteurs permettant de mesurer plus de masses de particules. Par extension il est possible de mettre plusieurs résonateurs optiques en réseaux, chaque résonateur optique étant associé à plusieurs éléments mécaniques. Chaque paire résonateur optique/élément associé forme alors un capteur. Mais se pose également le problème d’accès aux informations associées à chaque capteur. Un but de la présente invention est de remédier aux inconvénients précités en proposant un système de mesure comprenant plusieurs résonateurs optiques couplés à au moins un guide d’onde, et le cas échéant plusieurs éléments associés à un résonateur optique, le système de mesure permettant la récupération simultanée de l’information individuelle issue de chaque capteur élémentaire résonateur optique/élément, et donc d’accéder à toutes les valeurs mesurées par tous les capteurs. DESCRIPTION DE L’INVENTION La présente invention a pour objet un système de mesure de type MEMs et/ou NEMs comprenant : -un ensemble résonnant comprenant : --une entrée et une sortie, --une pluralité de N résonateurs optiques Ri indicés i présentant chacun une longueur d’onde de résonance λr,i, --au moins un guide d’onde auquel sont couplés les résonateurs optiques, --au moins un élément couplé à chaque résonateur Ri et configuré pour modifier une transmission ou une réflexion optique au voisinage de la résonance dudit résonateur optique, ladite modification étant fonction d’une grandeur physique à mesurer, -un dispositif d’émission configuré pour émettre une pluralité de N faisceaux lumineux présentant chacun une longueur d’onde d’émission λi comprise dans la bande de résonance du résonateur optique associé, -un dispositif de modulation configuré pour moduler chacun des faisceaux lumineux à une fréquence de modulation fmod(i), -un dispositif d’injection configuré pour superposer les N faisceaux lumineux pour former un faisceau d’entrée (Bin) et pour injecter le faisceau en entrée de l’ensemble résonant, -au moins un détecteur configuré pour détecter un faisceau lumineux issu du faisceau en sortie de l’ensemble résonnant (Bout) et générer un signal de sortie (Sout), -un dispositif de démodulation comprenant au moins N modules de démodulation de type détection synchrone, dénommé LIA, pour démoduler le signal de sortie, de manière à extraire des signaux caractéristiques associés à chaque élément, des valeurs mesurées de ladite grandeur physique étant déterminées à partir desdits signaux caractéristiques. Selon un mode de réalisation le dispositif de modulation est disposé en amont du dispositif d’injection, la superposition des N faisceaux lumineux modulés (Bmod(i)) formant le faisceau d’entrée. Selon un mode de réalisation le dispositif d’émission comprend N lasers et le dispositif de modulation comprend N modulateurs disposés respectivement sur les trajets optiques des N faisceaux lumineux émis par les N lasers, chaque modulateur étant configuré pour moduler le faisceau lumineux associé à la fréquence fmod(i). Selon un mode de réalisation les modulateurs sont des modulateurs électrooptiques. Selon un mode de réalisation le dispositif d’émission et le dispositif de modulation forment un même dispositif comprenant N lasers modulés en intensité. Selon un mode de réalisation un module de démodulation LIA comprend un oscillateur de référence à une fréquence de démodulation et une première chaine de démodulation comprenant un mélangeur et un filtre passe bas. Préférentiellement un module de démodulation LIA comprend une deuxième chaine de démodulation en quadrature avec la première chaine. Selon un mode de réalisation le résonateur optique est choisi parmi : un disque, un guide rebouclé sur lui-même, un cristal photonique. Selon une première variante un seul élément est associé à chaque résonateur optique et le dispositif de démodulation comprend N modules de démodulation LIA configurés pour opérer N démodulations auxdites fréquences de modulation fmod(i). Selon un mode de réalisation au moins un élément Eij est résonnant et présente une fréquence caractéristique fc(i,j) comprise dans une bande de résonance de l’élément résonant Eij, j étant l’indice de l’élément associé au résonateur Ri. Selon un mode de réalisation un seul élément est associé à chaque résonateur optique et le dispositif de démodulation comprend N modules de démodulations LIA configurés pour opérer respectivement N démodulations aux fréquences fmod(i) +/- fc(i) lorsque fc(i) existe et aux fréquences fmod(i) sinon. Selon un mode de réalisation un seul élément est associé à chaque résonateur optique et le dispositif de démodulation comprend un premier étage de N modules de démodulations LIA (11) configurés pour opérer respectivement N démodulations aux fréquences fmod(i), et un deuxième étage comprenant soit des filtres spectraux configurés pour opérer, pour chaque canal i pour lequel la fréquence fc(i) existe, un filtrage spectral autour de fc(i) pour extraire le signal caractéristique associé, soit des démodulateurs LIA aux fréquences fc(i). Selon un mode de réalisation l’élément est confondu avec le résonateur optique. Selon une deuxième variante au moins un résonateur optique comprend une pluralité d’éléments associés Eij comprenant des éléments résonants, un résonateur Ri comprenant Mi éléments associés, l’ensemble résonnant comprenant un total de M éléments. Selon un mode de réalisation le dispositif de démodulation comprend M modules de démodulation LIA configurés pour opérer respectivement M démodulation aux fréquences fmod(i) +/- fc(i,j) lorsque fc(i,j) existe et aux fréquences fmod(i) sinon. Selon un mode de réalisation le dispositif de démodulation comprend un premier étage comprenant N modules de démodulation LIA configurés pour opérer respectivement N démodulation aux fréquences fmod(i) et comprend, pour chaque canal i pour lequel au moins une fréquence caractéristique existe, un deuxième étage comprenant des modules de démodulation LIA (11) aux fréquences caractéristiques fc(i,j). Selon un mode de réalisation le dispositif de démodulation comprend un premier étage comprenant N modules de démodulation LIA configurés pour opérer respectivement N démodulation aux fréquences fmod(i) et comprend, pour chaque canal i pour lequel au moins une fréquence caractéristique existe, un deuxième étage comprenant des filtres spectraux (BPF) configurés pour opérer un filtrage spectrale autour de la fréquence caractéristique fc(i,j). Selon un mode de réalisation la fréquence caractéristique est une fréquence de vibration naturelle induite par la grandeur physique à mesurer. Selon un mode de réalisation la fréquence caractéristique est une fréquence d’excitation externe dudit élément. Selon un autre aspect l’invention concerne un procédé de mesure d’une grandeur physique (u) comprenant les étapes consistant à : A émettre une pluralité de N faisceaux lumineux présentant chacun une longueur d’onde d’émission λi, B moduler chacun des faisceaux lumineux à une fréquence de modulation fmod(i), C superposer les N faisceaux lumineux pour former un faisceau d’entrée et pour injecter le faisceau en entrée d’un l’ensemble résonant, l’ensemble résonnant comprenant : - une entrée et une sortie, -une pluralité de N résonateurs optiques Ri indicés i présentant chacun une longueur d’onde de résonance λr,i, la longueur d’onde λi étant comprise dans la bande de résonance du résonateur optique Ri associé, -au moins un guide d’onde (GO) auquel sont couplés les résonateurs optiques, -au moins un élément positionné au voisinage de chaque résonateur Ri D modifier une transmission ou une réflexion optique au voisinage de la résonnance de chaque résonateur optique, ladite modification étant fonction de la grandeur physique à mesurer, E détecter un faisceau lumineux en sortie de l’ensemble résonnant et générer un signal de sortie, F démoduler de manière synchrone le signal de sortie, à partir d’au moins N modules de démodulation de type détection synchrone, de manière à extraire des signaux caractéristiques associés à chaque élément, des valeurs mesurées de ladite grandeur physique étant déterminées à partir desdits signaux caractéristiques. La description suivante présente plusieurs exemples de réalisation du dispositif de l’invention : ces exemples sont non limitatifs de la portée de l’invention. Ces exemples de réalisation présentent à la fois les caractéristiques essentielles de l’invention ainsi que des caractéristiques additionnelles liées aux modes de réalisation considérés. L’invention sera mieux comprise et d’autres caractéristiques, buts et avantages de celle-ci apparaîtront au cours de la description détaillée qui va suivre et en regard des dessins annexés donnés à titre d’exemples non limitatifs et sur lesquels : La déjà citée illustre un exemple de capteur basé sur la modification de l’indice effectif d’un résonateur optique. La déjà citée illustre les paramètres de la résonance d’un résonateur optique. La déjà citée illustre un exemple de capteur comprenant un élément mécanique couplé au résonateur optique. La déjà citée illustre un exemple de capteur comprenant une membrane vibrante couplée à un résonateur optique. La déjà citée illustre la méthode de multiplexage/démultiplexage en longueur d’onde connue de l’homme de l’art. La illustre un système de mesure selon l’invention. La illustre un agencement en parallèle des résonateurs optiques. La illustre un mode de réalisation dans lequel le dispositif d’émission et le dispositif de modulation forment un même dispositif comprenant N lasers modulés en fréquence. La illustre un mode de réalisation dans lequel le dispositif de modulation est disposé en aval de la sortie de l’ensemble ER, avant le détecteur. La illustre un mode de réalisation dans lequel la modulation d’intensité est réalisée par un interféromètre Mach Zender. La illustre un mode de réalisation dans lequel un module de démodulation cohérente comprend deux voies en quadrature. La illustre une première variante d’ensemble résonant dans laquelle un seul élément Ei est associé à chaque résonateur optique d’ensemble résonant, et une première architecture de démodulation à un étage. La illustre l’exemple d’un ensemble résonant comprenant 3 disques constituant à la fois le résonateur optique et le résonateur mécanique. La illustre la première variante d’ensemble résonant dans laquelle certains éléments sont résonants avec des fréquences caractéristiques, et une deuxième architecture de démodulation, dite à deux étages. La illustre une deuxième variante d’ensemble résonant dans laquelle au moins un résonateur optique comprend une pluralité d’éléments associés Eij résonants, et illustre une architecture de démodulation à un étage dans laquelle le dispositif de démodulation comprend M modules de démodulation LIA configurés pour opérer respectivement M démodulation aux fréquences fmod(i) +/- fc(i,j) lorsque fc(i,j) existe, et aux fréquences fmod(i) sinon. La illustre la deuxième variante d’ensemble résonant et une architecture à un étage, pour un cas mixte avec N=3 : R1 comprend 3 éléments résonants E11, E12, et E13 ; R2 comprend un seul élément résonant E21 ; R3 comprend un élément non résonant E31. La illustre la deuxième variante d’ensemble résonant et une architecture à deux étages. Le dispositif de démodulation DDM comprend un premier étage comprenant N modules de démodulation LIA configurés pour opérer respectivement N démodulation aux fréquences fmod(i) et comprend, pour chaque canal i pour lequel au moins une fréquence caractéristique existe, un deuxième étage de modules de démodulation LIA aux fréquences caractéristiques fc(i,j) (lorsqu’elles existent) ou de filtres spectraux BPF configurés pour opérer un filtrage spectral autour de la fréquence caractéristique fc(i,j). Un filtre passe bas est utilisé pour les capteurs sans fréquence caractéristique. La illustre l’ensemble résonnant mixte de la et une architecture de démodulation à deux étages. On a 3 démodulateurs LIA pour le premier étage, et pour le deuxième étage : canal 1 : soit 3 démodulateurs LIA à fc11, fc12, fc13, soit trois filtres spectraux centrés sur ces fréquences ; canal 2 : un filtre spectral à fc21 ; canal 3 : aucun deuxième étage (un filtre passe bas est optionnel). La illustre un mode de réalisation du système de mesure selon l’invention, dans lequel le système de mesure est combiné avec un dispositif de multiplexage / démultiplexage en longueur d’onde. Système de mesure (10) de type MEMs et/ou NEMs comprenant : -un ensemble résonnant (ER) comprenant : une entrée (E) et une sortie (S), une pluralité de N résonateurs optiques Ri indicés i présentant chacun une longueur d’onde de résonance λr,i, au moins un guide d’onde (GO) auquel sont couplés les résonateurs optiques, au moins un élément (Ei, Eij) couplé à chaque résonateur Ri et configuré pour modifier une transmission ou une réflexion optique au voisinage de la résonance dudit résonateur optique, ladite modification étant fonction d’une grandeur physique (u) à mesurer, -un dispositif d’émission (DE) configuré pour émettre une pluralité de N faisceaux lumineux présentant chacun une longueur d’onde d’émission λi comprise dans la bande de résonance du résonateur optique associé, -un dispositif de modulation (DM) configuré pour moduler chacun des faisceaux lumineux à une fréquence de modulation fmod(i), -un dispositif d’injection (DI) configuré pour superposer les N faisceaux lumineux pour former un faisceau d’entrée (Bin) et pour injecter le faisceau en entrée de l’ensemble résonant, -au moins un détecteur (Det) configuré pour détecter un faisceau lumineux issu du faisceau en sortie de l’ensemble résonnant (Bout) et générer un signal de sortie (Sout), -un dispositif de démodulation (DDM) comprenant au moins N modules de démodulation (11) de type détection synchrone, dénommé LIA, pour démoduler le signal de sortie, de manière à extraire des signaux caractéristiques (Sdemod(i,j)) associés à chaque élément, des valeurs mesurées (uij, zij) de ladite grandeur physique étant déterminées à partir desdits signaux caractéristiques. Système de mesure selon la revendication précédente dans lequel le dispositif de modulation est disposé en amont du dispositif d’injection, la superposition des N faisceaux lumineux modulés (Bmod(i)) formant le faisceau d’entrée. Système de mesure selon la revendication précédente dans lequel le dispositif d’émission comprend N lasers et le dispositif de modulation comprend N modulateurs disposés respectivement sur les trajets optiques des N faisceaux lumineux émis par les N lasers, chaque modulateur étant configuré pour moduler le faisceau lumineux associé à la fréquence fmod(i). Système de mesure selon la revendication précédente dans lequel les modulateurs sont des modulateurs électrooptiques. Système de mesure selon la revendication 2 dans lequel le dispositif d’émission et le dispositif de modulation forment un même dispositif comprenant N lasers modulés en intensité. Système de mesure selon l’une des revendications précédentes dans lequel un module de démodulation LIA comprend un oscillateur de référence à une fréquence de démodulation et une première chaine de démodulation comprenant un mélangeur et un filtre passe bas. Système de mesure selon l’une des revendications précédentes dans lequel un module de démodulation LIA comprend une deuxième chaine de démodulation en quadrature avec la première chaine. Système selon l’une des revendications précédentes dans lequel le résonateur optique est choisi parmi : un disque, un guide rebouclé sur lui-même, un cristal photonique. Système de mesure selon l’une des revendications précédentes dans lequel un seul élément (Ei) est associé à chaque résonateur optique et dans lequel le dispositif de démodulation comprend N modules de démodulation LIA configurés pour opérer N démodulations auxdites fréquences de modulation fmod(i). Système de mesure selon l’une des revendications 1 à 8 dans lequel au moins un élément Eij est résonnant et présente une fréquence caractéristique fc(i,j) comprise dans une bande de résonance de l’élément résonant Eij, j étant l’indice de l’élément associé au résonateur Ri. Système de mesure selon la revendication 10 dans lequel un seul élément (Ei) est associé à chaque résonateur optique et dans lequel le dispositif de démodulation comprend N modules de démodulations LIA configurés pour opérer respectivement N démodulations aux fréquences fmod(i) +/- fc(i) lorsque fc(i) existe et aux fréquences fmod(i) sinon. Système de mesure selon la revendication 10 dans lequel un seul élément (Ei) est associé à chaque résonateur optique et dans lequel le dispositif de démodulation comprend un premier étage de N modules de démodulations LIA (11) configurés pour opérer respectivement N démodulations aux fréquences fmod(i), et un deuxième étage comprenant soit des filtres spectraux (BPF) configurés pour opérer, pour chaque canal i pour lequel la fréquence fc(i) existe, un filtrage spectral autour de fc(i) pour extraire le signal caractéristique associé, soit des démodulateurs LIA aux fréquences fc(i). Système de mesure selon la revendication précédente dans lequel l’élément est confondu avec le résonateur optique. Système de mesure selon la revendication 10 dans lequel au moins un résonateur optique comprend une pluralité d’éléments associés Eij comprenant des éléments résonants, un résonateur Ri comprenant Mi éléments associés, l’ensemble résonnant (ER) comprenant un total de M éléments. Système selon la revendication précédente dans lequel le dispositif de démodulation comprend M modules de démodulation LIA configurés pour opérer respectivement M démodulation aux fréquences fmod(i) +/- fc(i,j) lorsque fc(i,j) existe et aux fréquences fmod(i) sinon. Système de mesure selon la revendication 14 dans lequel le dispositif de démodulation comprend un premier étage comprenant N modules de démodulation LIA configurés pour opérer respectivement N démodulation aux fréquences fmod(i) et comprend, pour chaque canal i pour lequel au moins une fréquence caractéristique existe, un deuxième étage comprenant des modules de démodulation LIA (11) aux fréquences caractéristiques fc(i,j). Système de mesure selon la revendication 14 dans lequel le dispositif de démodulation comprend un premier étage comprenant N modules de démodulation LIA configurés pour opérer respectivement N démodulation aux fréquences fmod(i) et comprend, pour chaque canal i pour lequel au moins une fréquence caractéristique existe, un deuxième étage comprenant des filtres spectraux (BPF) configurés pour opérer un filtrage spectrale autour de la fréquence caractéristique fc(i,j). Système de mesure selon l’une des revendications 10 à 17 dans lequel la fréquence caractéristique est une fréquence de vibration naturelle induite par la grandeur physique à mesurer. Système de mesure selon l’une des revendications 10 à 17 dans lequel la fréquence caractéristique est une fréquence d’excitation externe dudit élément. Procédé de mesure d’une grandeur physique (u) comprenant les étapes consistant à : A émettre une pluralité de N faisceaux lumineux présentant chacun une longueur d’onde d’émission λi, B moduler chacun des faisceaux lumineux à une fréquence de modulation fmod(i), C superposer les N faisceaux lumineux pour former un faisceau d’entrée (Bin) et pour injecter le faisceau en entrée d’un l’ensemble résonant, l’ensemble résonnant (ER) comprenant : - une entrée (E) et une sortie (S), -une pluralité de N résonateurs optiques Ri indicés i présentant chacun une longueur d’onde de résonance λr,i, la longueur d’onde λi étant comprise dans la bande de résonance du résonateur optique Ri associé, -au moins un guide d’onde (GO) auquel sont couplés les résonateurs optiques, -au moins un élément (Ei, Eij) positionné au voisinage de chaque résonateur Ri D modifier une transmission ou une réflexion optique au voisinage de la résonnance de chaque résonateur optique, ladite modification étant fonction de la grandeur physique (u) à mesurer, E détecter un faisceau lumineux en sortie de l’ensemble résonnant et générer un signal de sortie, F démoduler de manière synchrone le signal de sortie, à partir d’au moins N modules de démodulation de type détection synchrone, de manière à extraire des signaux caractéristiques (Sdemod(i,j)) associés à chaque élément, des valeurs mesurées (uij) de ladite grandeur physique étant déterminées à partir desdits signaux caractéristiques.