Brevet FR3119684A1 — publié le 20220812

La présente invention concerne un procédé et un système de mise en forme temporelle ou spatiale d’un faisceau laser au moyen d’un modulateur (23), l’intensité du faisceau pouvant être contrôlée au cours du temps par une commande contrôlant la transmission du modulateur (23) en un instant donné, la forme temporelle ou spatiale à obtenir étant définie par un profil de consigne, ledit système comportant un processeur (13) configuré pour utiliser des fonctions de transfert directe et inverse modélisant une relation entre la commande et le profil d’un faisceau laser de sortie, pour mettre en œuvre un processus d’asservissement comprenant les opérations suivantes : -déterminer une commande initiale en appliquant la fonction de transfert inverse sur le profil de consigne ; -déterminer un profil de simulation en appliquant la fonction de transfert directe sur la commande de l’itération précédente ; -calculer un écart entre le profil de consigne et un profil observé obtenu par un module d’acquisition (9) ; -appliquer ledit écart au profil de simulation pour obtenir un profil de simulation corrigé ; -calculer la commande courante en appliquant la fonction de transfert inverse sur le profil de simulation corrigé ; -commander le modulateur (23) au moyen de la commande courante , et -tester si un critère d’arrêt est vérifié. Fig. 1 MISE EN FORME TEMPORELLE OU SPATIALE D’UN FAISCEAU LASER La présente invention concerne le domaine de la mise en forme temporelle ou spatiale d’une impulsion ou faisceau laser. Etat de la technique antérieure La mise en forme temporelle ou spatiale d’un faisceau laser présente de nombreuses applications pratiques allant de la microlithographie à l’amplification de puissance et du stockage optique de données au traitement médical. De manière générale, la mise en forme spatiale d’un faisceau laser consiste à utiliser un modulateur spatial pour redistribuer le profil d’intensité et/ou de phase du faisceau dans un plan transversal, c’est-à-dire orthogonal à la direction de propagation de ce faisceau de manière à ce que celle-ci respecte une distribution spatiale prédéterminée, dite profil spatial de consigne. De même, la mise en forme temporelle d’un faisceau laser, et plus précisément d’une impulsion laser, consiste à utiliser un modulateur temporel pour modifier la forme temporelle d’une impulsion de manière à ce que celle-ci respecte une distribution temporelle prédéterminée, dite profil temporel de consigne. Différentes méthodes de mise en forme spatiale ou temporelle d’un faisceau laser sont connues de l’état de la technique. Ces méthodes sont en général basées sur des algorithmes d’asservissement d’une commande en entrée par observation du faisceau en sortie du laser. On définit généralement l’écart entre le profil du faisceau, tel qu’observé en sortie du modulateur et le profil de consigne. L’écart est représentatif de la convergence du profil de sortie vers le profil de consigne et par conséquent, la mise en forme revient à trouver la commande permettant de minimiser cet écart. En pratique, on procède par itérations successives et à chaque itération on mesure le profil observé en appliquant la commande calculée à l’étape précédente. Ces méthodes doivent souvent recourir à des algorithmes de recuit simulé ou bien à des algorithmes génétiques qui nécessitent un grand nombre d’évaluations de l’écart entre le faisceau observé et le profil de consigne. Ceci nécessite un grand nombre d’observations ce qui peut devenir problématique lorsque le nombre de tirs est limité. Un inconvénient important de ces méthodes de l’état de la technique est le fait qu’elles combinent difficilement rapidité et convergence, fiabilité et précision à cause de la non-linéarité du processus d’asservissement. Habituellement, deux méthodes sont utilisées. La première méthode consiste à réaliser une pondération importante de l’écart calculé. On observe alors une convergence lente du profil observé vers la forme de consigne comme illustré sur la Fig. 7. Plus particulièrement, cette figure montre la progression des amplitudes d’une pluralité de commandes itératives en fonction du temps. On observe que la commande varie très lentement à chaque itération. Cette convergence lente n’est pas compatible avec un nombre limité de tirs. La deuxième méthode consiste à réaliser une pondération faible de l’écart calculé. On observe alors une convergence par tâtonnement avec des grandes oscillations autour de la forme de consigne au grès des itérations due à la non-linéarité du processus d’asservissement. Ainsi, dans les deux cas, ce processus manque de fiabilité et/ou d’efficacité vis-à-vis de la performance du processus d’asservissement. En outre, ces méthodes calculent la commande en faisant l’hypothèse d’une invariance dans le temps de la réponse du modulateur. Cela suppose que l’on puisse associer la commande du modulateur à un instant d’observation de l’intensité du faisceau ou de l’impulsion. Cette association est imprécise sur les flancs de montée et de descente de l’impulsion, ce en raison de la bande passante limitée du dispositif de mesure au regard de la fréquence d’échantillonnage de la commande du modulateur. De manière générale, que ce soit dans le cadre d’une mise en forme spatiale ou temporelle, les méthodes classiques permettant de calculer la commande présentent un manque de rapidité et de précision. En outre, elles présentent un manque de robustesse sur les flancs de montée et de descente des signaux, c’est-à-dire dans les zones du signal à fort gradient. Cela peut conduire à des inhomogénéités dans le faisceau (mise en forme spatiale) ou à l’apparition de trous et de pics dans l’impulsion (mise en forme temporelle). L’objet de la présente invention est de remédier aux inconvénients précités en proposant un procédé de mise en forme temporelle ou spatiale d’un faisceau laser qui présente une convergence rapide et directe sans tâtonnement tout en étant robuste, précise, ne présentant pas d’effets de bord dans les zones de signal à fort gradient et ne Présentation de l’invention La présente invention est définie par un système de mise en forme temporelle ou spatiale d’un faisceau laser au moyen d’un modulateur, l’intensité du faisceau pouvant être contrôlée au cours du temps par une commande contrôlant la transmission du modulateur en un instant donné, la forme temporelle ou spatiale à obtenir étant définie par un profil de consigne, ledit système comportant un processeur configuré pour utiliser des fonctions de transfert directe et inverse modélisant une relation entre la commande et le profil d’un faisceau laser de sortie, pour mettre en œuvre un processus d’asservissement comprenant les opérations suivantes : -déterminer une commande initiale en appliquant la fonction de transfert inverse sur le profil de consigne ; -déterminer un profil de simulation en appliquant la fonction de transfert directe sur la commande de l’itération précédente ; -calculer un écart entre le profil de consigne et un profil observé obtenu par un module d’acquisition ; -appliquer ledit écart au profil de simulation pour obtenir un profil de simulation corrigé ; -calculer la commande courante en appliquant la fonction de transfert inverse sur le profil de simulation corrigé ; -commander le modulateur au moyen de la commande courante , et -tester si un critère d’arrêt est vérifié. Ce système utilise une modélisation physique qui ne dépend que des caractéristiques des équipements. Il est donc indépendant de la forme souhaitée en sortie favorisant ainsi l’automatisation et la fiabilité. En outre, cette modélisation présente un meilleur point de départ pour les itérations et permet d’éviter une convergence par tâtonnement accélérant ainsi la convergence du profil de sortie vers la consigne. Le système permet alors, un gain sur le nombre de tirs nécessaires pour l’asservissement. A performance équivalente, ce système permet une convergence beaucoup plus rapide que l’état de la technique. Ainsi, avec un même nombre de tirs pour le processus d’asservissement, ce système peut atteindre des performances plus élevées. Avantageusement, le processeur est configuré pour calculer le profil de simulation corrigé en utilisant un coefficient d’amortissement dans l’application de l’écart sur le profil de simulation . Le coefficient de pondération permet de tenir compte d’une erreur dans la modélisation augmentant ainsi la fidélité du modèle et la robustesse du système. Avantageusement, le processeur est configuré pour calculer l’écart selon une technique de calcul des moments du profil observé par rapport à une base produit constituée par des produits de fonctions d’une base de fonctions de carré sommable. Ceci augmente la fiabilité et la robustesse de la mise en forme du faisceau laser. En effet, en combinant le calcul de l’écart par la technique des moments avec le fait que l’écart est répercuté sur la commande simulée et non sur la mesure réelle permet de s’affranchir totalement des défauts de mesures. Avantageusement, le système comporte au moins un module de pré-amplification du laser. Avantageusement, le système comporte un module d’acquisition comprenant une photodiode couplée à un oscilloscope, ledit module d’acquisition étant configuré pour acquérir un profil observé en sortie du modulateur temporel ou en sortie dudit au moins un module de pré-amplification. Avantageusement, le processeur est configuré pour considérer que le critère d’arrêt est satisfait lorsque l’écart est compris dans un intervalle de tolérance prédéterminé, ou à défaut lorsqu’un nombre d’itérations maximum prédéterminé soit atteint. L’invention concerne également un procédé de mise en forme temporelle d’une impulsion laser au moyen d’un modulateur temporel, l’intensité de l’impulsion pouvant être contrôlée au cours du temps par une commande contrôlant la transmission du modulateur temporel en un instant donné, la forme temporelle à obtenir étant définie par un profil de consigne, ledit procédé comportant : -la définition de fonctions de transfert directe et inverse modélisant une relation entre la commande et un profil de sortie ; -la détermination d’une commande initiale par l’application de la fonction de transfert inverse sur le profil de consigne ; ladite commande initiale étant représentative d’un point de départ d’une pluralité d’itérations successives, chaque itération comprenant : -une étape d’acquisition d’un profil observé représentatif d’une intensité de sortie ; -une étape de calcul d’un rapport entre le profil de consigne et le profil observé ; -une étape de détermination d’un profil de simulation en appliquant la fonction de transfert directe sur la commande précédente ; -une étape de détermination d’un profil de simulation corrigé en appliquant ledit rapport sur le profil de simulation ; -une étape de détermination de la commande courante en appliquant la fonction de transfert inverse sur ledit profil de simulation corrigé ; et -une étape de commande du modulateur temporel au moyen de la commande courante ; les itérations se poursuivant jusqu’à ce qu’un critère d’arrêt prédéterminé soit satisfait. Avantageusement, l’étape de calcul de l’écart comporte un calcul des moments du profil observé par rapport à une base produit, la base produit étant constituée par des produits de fonctions d’une base de fonctions de carré sommable sur au moins un intervalle de temps contenant le support du profil de consigne, les spectres desdites fonctions étant bornés par une valeur maximale prédéterminée de fréquence. Avantageusement, le modulateur temporel comporte un interféromètre de type Mach-Zehnder. L’invention concerne aussi un procédé de mise en forme spatiale d’un faisceau laser au moyen d’un modulateur spatial, la transmission du modulateur spatial en un instant donné pouvant être contrôlée par une commande, la forme spatiale du faisceau à obtenir étant définie par un profil de consigne dans un plan transversal à la direction du faisceau, ledit procédé comportant : -la définition de fonctions de transfert directe et inverse modélisant une relation entre la commande et un profil de sortie ; -la détermination d’une commande initiale par l’application de la fonction de transfert inverse sur le profil de consigne ; ladite commande initiale étant représentative d’un point de départ d’une pluralité d’itérations successives, chaque itération comprenant : - une étape d’acquisition d’un profil observé représentatif de l’image de sortie du faisceau dans ledit plan transversal ; -une étape de calcul d’un rapport entre le profil de consigne et le profil observé ; -une étape de détermination d’un profil de simulation en appliquant la fonction de transfert directe sur la commande précédente ; -une étape de détermination d’un profil de simulation corrigé en appliquant ledit rapport sur le profil de simulation ; -une étape de détermination de la commande courante en appliquant la fonction de transfert inverse sur ledit profil de simulation corrigé ; et -une étape de commande du modulateur temporel au moyen de la commande courante ; les itérations se poursuivant jusqu’à ce qu’un critère d’arrêt prédéterminé soit satisfait. Avantageusement, après acquisition de l’image du faisceau dans le plan transversal, cette image est corrigée par un dévers, centrage et grandissement avant l’obtention du profil du faisceau observé . Avantageusement, le modulateur spatial comporte une valve optique comportant une pluralité de pixels contrôlables en transmission au moyen de la commande. D’autres caractéristiques et avantages de l’invention apparaîtront à la lecture d’un mode de réalisation préférentiel de l’invention, décrit en référence aux figures jointes parmi lesquelles : représente de manière schématique un système de mise en forme temporelle ou spatiale d’un faisceau laser, selon un mode de réalisation de l’invention ; représente sous forme d’ordinogramme un procédé de mise en forme temporelle ou spatiale d’un faisceau laser selon un mode de réalisation de l’invention ; représente sous forme d’ordinogramme un procédé de mise en forme temporelle d’une impulsion laser selon un autre mode de réalisation de l’invention ; et montrent des résultats sur un exemple de mise en forme temporelle selon le mode de réalisation de la ; représente sous forme d’ordinogramme un procédé de mise en forme spatiale d’un faisceau laser selon encore un autre mode de réalisation de l’invention ; représente de manière schématique un modulateur spatiale utilisé dans le mode de réalisation de la ; et montre des résultats sur la progression des amplitudes d’une pluralité de commandes itératives, selon l’état de la technique. Le concept à la base de l’invention est d’utiliser un modèle physique basé sur les caractéristiques du modulateur dans le processus d’asservissement permettant d’accélérer la convergence et de s’affranchir des défauts de mesure. La représente de manière schématique un système de mise en forme temporelle ou spatiale d’un faisceau laser, selon un mode de réalisation de l’invention. Ce système 1 comporte une source de laser 3 et un dispositif de contrôle 5 comprenant un module de traitement électro-optique 7, un module d’acquisition 9 et un système informatique 11. Ce dernier comprend de manière habituelle un processeur 13, des mémoires 15 et des unités 17 d’entrée et de sortie. Le module d’acquisition 9 comporte un appareil de mesure électro-optique par exemple, une photodiode 19 couplée à un oscilloscope 21 à mémoire. Le module de traitement électro-optique 7 comporte un modulateur 23 qui peut être un modulateur temporel ou un modulateur spatial selon l’application souhaitée. La transmission de l’impulsion laser par le modulateur 23 est contrôlable par une commande C générée par le processeur 13. En outre, le module de traitement électro-optique 7 peut comporter un ou plusieurs modules de pré-amplification 25 du laser dont deux sont illustrés à titre d’exemple. Le module d’acquisition 9 est destiné à acquérir la mesure de l’intensité de l’impulsion ou du faisceau à la sortie du modulateur 23 ou éventuellement à la sortie du ou des module(s) de pré-amplification 25. La mise en forme temporelle ou spatiale de l’impulsion ou faisceau laser est réalisée par un processus d’asservissement de la commande en entrée par l’observation du profil d’intensité du faisceau à la sortie. Ce processus est itéré en modifiant la commande en entrée pour que l’observation en sortie converge vers la forme souhaitée, dite profil de consigne. On note le profil d’intensité de l’impulsion, tel qu’observé en sortie, et le profil de consigne ( est représenté dans l’oscilloscope 21 et est représenté dans les mémoires 15). On cherche à comparer ou mesurer l’écart entre le profil de l’impulsion observé et le profil de consigne . Cet écart peut être défini par une mesure de distance entre les deux profils et ou par une toute autre mesure qui permet de comparer les deux écarts entre eux. Avantageusement, l’écart ou la comparaison entre les deux profils et peut être défini par leur rapport : La mise en forme temporelle ou spatiale revient alors à trouver la commande permettant de minimiser l’écart entre ces deux profils, c’est-à-dire, à faire converger le rapport vers 1. Conformément à l’invention, on modélise le module de traitement électro-optique 7 ou seulement le modulateur 23 (temporel ou spatial) par un modèle physique 27 (représenté dans le processeur 13) reliant une entrée représentative d’une commande C et une sortie représentative d’un profil de sortie de simulation A du faisceau ou impulsion laser (i.e. le profil transmis). Le modèle physique 27 est avantageusement défini par une fonction de transfert décrivant la relation entre la commande et le profil de sortie de simulation A. Le processeur 13 est configuré pour utiliser les fonctions de transfert directe et inverse pour mettre en œuvre un processus d’asservissement faisant varier la commande C pour que le profil de sortie réel tend rapidement vers le profil de consigne . La représente sous forme d’ordinogramme un procédé de mise en forme temporelle ou spatiale d’un faisceau laser selon un mode de réalisation de l’invention. On utilise pour ce procédé le système déjà illustré en , le modulateur 23 temporel ou spatial étant illuminé par le faisceau issu de la source laser 3 à mettre en forme temporellement ou spatialement. A l’étape E10, on définit le profil de consigne souhaité ainsi que la fonction de transfert directe et la fonction de transfert inverse . Ces éléments , et sont enregistrés dans une mémoire du système informatique. La fonction de transfert simule la réponse de l’action de la commande sur le modulateur 23. Elle dépend des paramètres et caractéristiques du modulateur 23 et éventuellement, du ou des module(s) de pré-amplification 25 au cas où le faisceau laser est mesuré au(x) sortie(s) de ce(s) dernier(s). A l’étape E20, le processeur 13 est configuré pour déterminer une commande initiale en utilisant la fonction de transfert inverse . Avantageusement, le processeur calcule la commande initiale en appliquant la fonction de transfert inverse au profil de consigne : Cette commande initiale fournit un point de départ optimal pour réaliser des itérations successives et rapides. A l’étape E30, le processeur est configuré pour initialiser un compteur d’itérations j=1. On entre ensuite dans une boucle itérative (étapes E30- E100) dans laquelle la commande est construite de proche en proche de manière à obtenir le profil de consigne. A l’étape E40 le module d’acquisition 9 est configuré pour acquérir le profil observé à la sortie. Le profil observé correspond à l’intensité du faisceau à la sortie du modulateur 23 ou en variante, à la sortie du ou des module(s) de pré-amplification 25. A l’étape E50, le processeur 13 est configuré pour calculer un écart entre le profil de consigne et le profil observé . Comme indiqué plus haut, cet écart peut être défini par le rapport entre les deux profils. Avantageusement, l’écart est calculé en utilisant la technique des moments décrite dans la demande de brevet FR3094252 de la demanderesse. La technique des moments permet de s’affranchir du bruit de mesures et de divers effets parasites comme les effets de bord. A l’étape E60, le processeur 13 est configuré pour déterminer un profil de simulation au moyen de la fonction de transfert directe . Plus particulièrement, le processeur applique la fonction de transfert directe sur la commande précédente , c’est-à-dire la commande calculée à l’itération précédente. Ainsi, le profil de simulation s’exprime de la manière suivante : Par exemple, à la première itération j=1, la commande précédente est la commande initiale , et par conséquent, le premier profil de simulation est comme attendu, confondu avec le profil de consigne : A l’étape E70, le processeur 13 est configuré pour appliquer l’écart calculé à l’étape E50, au profil de simulation pour obtenir un profil de simulation corrigé . Ce dernier corrige le profil de simulation par un facteur dépendant de l’écart . Ainsi, l’écart est appliqué non directement sur la commande mais sur le profil de simulation simulé par la commande. Avantageusement, l’application de l’écart au profil de simulation est réalisée avec un coefficient d’amortissement ou de pondération prenant en compte l’effet d’une erreur dans le modèle physique 27 tel que décrit par la fonction de transfert. Ainsi, le profil de simulation corrigé peut être définit en fonction de l’écart , du profil de simulation et d’un coefficient d’amortissement , de la manière suivante : L’effet d’amortissement peut être non-linéaire ou linéaire selon l’application souhaitée. A titre d’exemple non-limitatif, le profil de simulation corrigé peut être définit par une formule de la forme suivante : Cette formule montre que l’écart est affecté d’un coefficient d’amortissement dont la valeur est comprise entre 0 et 1. Dans ce cas, plus le modèle physique 27 est fidèle, plus la valeur d’amortissement peut être augmentée. En particulier, le modèle physique 27 est considéré fidèle à partir d’une valeur supérieur à environ 0,6. A noter que ce modèle physique 27 ne dépend que des caractéristiques des éléments constituant le modulateur 23 et éventuellement les modules de pré-amplification 25. Il est donc indépendant de la forme temporelle ou spatiale souhaitée en sortie ce qui favorise l’automatisation et la fiabilité du procédé. A l’étape E80, le processeur 13 est configuré pour déterminer la commande courante en appliquant la fonction de transfert inverse sur le profil de simulation corrigé calculée à l’étape précédente. Ainsi, la commande courante s’exprime de la manière suivante : A l’étape E90, le processeur 13 est configuré pour commander le modulateur 23 temporel ou spatiale au moyen de la commande courante déterminée à l’étape précédente. Les itérations se poursuivant jusqu’à ce qu’un critère d’arrêt prédéterminé soit satisfait. En effet, à l’étape E100, le processeur 13 est configuré pour tester si un critère d’arrêt est vérifié. Si ce n’est pas le cas on retourne à l’étape E40. En revanche si c’est le cas, le procédé de mise en forme temporelle se termine en E110. Le critère d’arrêt peut être une condition sur l’écart (i.e. le rapport) pour qu’il soit compris dans un intervalle de tolérance prédéterminé autour de la valeur 1, ou à défaut qu’un nombre d’itérations maximum j=N prédéterminé soit atteint. La représente sous forme d’ordinogramme un procédé de mise en forme temporelle d’une impulsion laser selon un mode de réalisation de l’invention. On utilise pour ce procédé le système déjà illustré en Fig. 1, dans lequel le modulateur est un modulateur temporel comprenant un interféromètre optique de type Mach-Zehnder. On note le profil d’intensité de l’impulsion, tel qu’observé en sortie, et le profil de consigne. On cherche à comparer le profil de l’impulsion observé et le profil de consigne en mesurant leur rapport . A l’étape E210, le profil de consigne souhaité ainsi que les fonctions de transfert directe et inverse sont enregistrés dans l’une des mémoires 17 du système informatique 11. La fonction de transfert dépend des paramètres et caractéristiques du modulateur 23 temporel et simule la réponse de l’action de la commande sur le modulateur temporel. A titre d’exemple, une réponse simulée de la fonction de transfert d’un interféromètre de type Mach-Zehnder pour une commande à un instant donné , peut être de la forme suivante : où est un coefficient de proportionnalité tel que, le terme représente la tension appliquée au modulateur 23 temporel et est un paramètre scalaire caractéristique du modulateur temporel. Selon l’exemple ci-dessus, la commande obtenue en appliquant la fonction de transfert inverse sur la réponse simulée est : On notera qu’éventuellement, la fonction de transfert comportera également les caractéristiques du ou des module(s) de pré-amplification 25 au cas où l’impulsion est mesurée au(x) sortie(s) de ce(s) dernier(s). A l’étape E220, le processeur 13 est configuré pour déterminer une commande initiale en utilisant la fonction de transfert inverse . La commande initiale est calculée en appliquant la fonction de transfert inverse au profil de consigne : A l’étape E230, le processeur 13 est configuré pour initialiser un compteur d’itérations j=1. A l’étape E240 le module d’acquisition 9 est configuré pour acquérir le profil observé à la sortie. Le profil observé représente l’intensité du faisceau à la sortie du modulateur 23 temporelle ou en variante, à la sortie du ou des module(s) de pré-amplification 25. A l’étape E250, le processeur 13 est configuré pour calculer le rapport (i.e. l’écart) entre le profil de consigne et le profil observé : Avantageusement, ce rapport est calculé en utilisant la technique des moments. Le principe du calcul des moments consiste à exprimer le rapport sous une forme faible : où est un signal temporel quelconque et où la sommation est effectuée sur un intervalle de temps contenant le support du profil de consigne . On définit une base produit constituée par des produits de fonctions de carré sommable sur au moins un intervalle de temps contenant le support du profil de consigne. Les spectres de ces fonctions sont bornés par une valeur maximale prédéterminée de fréquence. Ensuite, on calcule des moments du profil observé par rapport à la base produit. On notera que cette technique est expliquée en détail dans la demande de brevet FR3094252. A l’étape E260, le processeur 13 est configuré pour simuler un profil de simulation en réponse à la commande. Plus particulièrement, le processeur 13 applique la fonction de transfert directe sur la commande précédente , de la manière suivante : A l’étape E270, le processeur 13 est configuré pour déterminer un profil de simulation corrigé en appliquant le rapport sur le profil de simulation . Avantageusement, le processeur 13 applique le rapport sur le profil de simulation en utilisant un coefficient d’amortissement de manière linéaire ou non-linéaire selon l’application souhaitée. A titre d’exemple non-limitatif, le processeur 13 applique au profil de simulation , le rapport affecté du coefficient d’amortissement pour obtenir le profil de simulation corrigé , selon la formule suivante : A l’étape E280, le processeur 13 est configuré pour déterminer la commande courante en appliquant la fonction de transfert inverse sur le profil de simulation corrigé , selon la formule suivante : A l’étape E290, le processeur 13 est configuré pour commander le modulateur 23 temporel au moyen de la commande courante . A l’étape E300, le processeur 13 est configuré pour tester si un critère d’arrêt (similaire à l’étape E100 de la ) est atteint. Si ce n’est pas le cas on retourne à l’étape E240. En revanche si c’est le cas, le procédé de mise en forme temporelle se termine en E310. Les Figs. 4A et 4B montrent des résultats sur un exemple de mise en forme temporelle selon le procédé de la . Plus particulièrement, la illustre l’amplitude des commandes normalisées selon deux itérations en fonction du temps. La illustre les amplitudes normalisées en fonction du temps du profil de consigne, des profils de simulation et profils observés inférés par les commandes correspondantes de la . L’impulsion de forme carrée B0 représente le profil de consigne . La courbe C1 représente la commande à la première itération qui a généré le premier profil observé représenté par la courbe B1. La courbe D1 représente le profil de simulation corrigé . On notera que ce profil de simulation corrigé a été corrigé par l’écart obtenu lors de la première itération selon l’équation de l’étape E270 avec un coefficient de pondération égal à 0,7. Le profil de simulation corrigé permet d’obtenir la commande de la deuxième itération représentée par la courbe C2. Finalement, la deuxième commande génère le deuxième profil observé représenté par la courbe B2 qui est pratiquement confondu avec le profil de consigne B0. Cet exemple montre que le procédé selon l’invention a rapidement (au bout de deux itérations) fait converger le profil observé B2 vers le profil de consigne B0. La représente sous forme d’ordinogramme un procédé de mise en forme spatiale d’un faisceau laser selon un autre mode de réalisation de l’invention. On utilise pour ce procédé le système déjà illustré en Fig. 1, dans lequel le modulateur est un modulateur spatial 123 illustré sur la Fig. 6. Le modulateur spatial 123 comprend par exemple, une valve optique présentant une pluralité de pixels 124 pour contrôler la transmission du faisceau dans le plan transversal . Comme dans les modes de réalisation précédents, ce procédé consiste à illuminer le modulateur spatial 123 par un faisceau laser. Les pixels 124 du modulateur spatial 123 sont contrôlables au moyen d’une commande matricielle de sorte que chaque pixel 124 peut être contrôlé individuellement de manière à pouvoir obtenir en sortie le profil de consigne désiré. La commande donne les tensions à appliquer aux différents pixels 124 du modulateur spatial 123. On note le profil d’intensité du faisceau, tel qu’observé, et le profil de consigne. On cherche à mesurer le rapport entre le profil de l’impulsion observé et le profil de consigne . A l’étape E510, le profil de consigne souhaité ainsi que les fonctions de transfert directe et inverse sont enregistrés dans l’une des mémoires 17 du système informatique. La fonction de transfert dépend des paramètres et caractéristiques du modulateur spatial 123 et éventuellement du ou des module(s) de pré-amplification 25 et simule la réponse de l’action de la commande sur ces éléments. On considère que la fonction de transfert se réduit à une transmission spatiale matricielle . Une réponse simulée de la fonction de transfert est alors de la forme suivante : La détermination expérimentale ou empirique de la transmission spatiale matricielle est connue et peut être facilement déterminée par l’homme du métier selon les caractéristiques et paramètres des éléments utilisés. Par ailleurs, la fonction de transfert inverse s’écrit alors : A l’étape E520, le processeur 13 est configuré pour déterminer une commande initiale en appliquant la fonction de transfert inverse au profil de consigne : A l’étape E530, le processeur 13 est configuré pour initialiser un compteur d’itérations j=1. A l’étape E540 le module d’acquisition 9 est configuré pour acquérir l’image du faisceau dans le plan transversal à la sortie du modulateur spatial 123 ou à la sortie du ou des module(s) de pré-amplification 25. Avantageusement, après acquisition de l’image du faisceau dans le plan transversal, cette image est corrigée de manière connue par un dévers, centrage et grandissement avant l’obtention du profil du faisceau observé . A l’étape E550, le processeur 13 est configuré pour calculer le rapport entre le profil de consigne et le profil observé : Avantageusement, ce rapport est calculé en utilisant la technique des moments selon la méthode expliquée dans la demande de brevet FR3094252. Ici le rapport est exprimé sous une forme faible de la manière suivante : où est un signal spatial quelconque dans le plan transversal. Les moments sont calculés par rapport à une base produit constituée par des produits de fonctions de carré sommable sur au moins une zone du plan contenant le support du profil de consigne . Les spectres de ces fonctions selon deux axes du plan sont bornés par des valeurs maximales prédéterminées de fréquences spatiales. A l’étape E560, le processeur 13 est configuré pour calculer un profil de simulation en appliquant la fonction de transfert directe sur la commande précédente , de la manière suivante : A l’étape E570, le processeur 13 est configuré pour déterminer un profil de simulation corrigé en appliquant le rapport sur le profil de simulation . Avantageusement, le processeur 13 applique le rapport sur le profil de simulation en utilisant un coefficient d’amortissement . A titre d’exemple non-limitatif, le processeur 13 applique au profil de simulation , le rapport affecté du coefficient d’amortissement pour obtenir le profil de simulation corrigé , selon la formule suivante : A l’étape E580, le processeur 13 est configuré pour déterminer la commande courante en appliquant la fonction de transfert inverse sur le profil de simulation corrigé , selon la formule suivante : A l’étape E590, le processeur 13 est configuré pour commander le modulateur spatial 123 au moyen de la commande courante . A l’étape E600, le processeur 13 est configuré pour tester si un critère d’arrêt est atteint. Si ce n’est pas le cas on retourne à l’étape E540. En revanche si c’est le cas, le procédé de mise en forme temporelle se termine en E610. Le critère d’arrêt est par exemple satisfait lorsque les valeurs du rapport prises aux points où se trouvent les pixels contrôlables en transmission sont toutes comprises dans un intervalle de tolérance autour de la valeur 1 ou à défaut qu’un nombre d’itérations maximum j=N prédéterminé soit atteint. Système de mise en forme temporelle ou spatiale d’un faisceau laser au moyen d’un modulateur (23), l’intensité du faisceau pouvant être contrôlée au cours du temps par une commande contrôlant la transmission du modulateur (23) en un instant donné, la forme temporelle ou spatiale à obtenir étant définie par un profil de consigne, ledit système comportant un processeur (13) configuré pour utiliser des fonctions de transfert directe et inverse modélisant une relation entre la commande et le profil d’un faisceau laser de sortie, pour mettre en œuvre un processus d’asservissement comprenant les opérations suivantes : -déterminer une commande initiale en appliquant la fonction de transfert inverse sur le profil de consigne ; -déterminer un profil de simulation en appliquant la fonction de transfert directe sur la commande de l’itération précédente ; -calculer un écart entre le profil de consigne et un profil observé obtenu par un module d’acquisition (9) ; -appliquer ledit écart au profil de simulation pour obtenir un profil de simulation corrigé ; -calculer la commande courante en appliquant la fonction de transfert inverse sur le profil de simulation corrigé ; -commander le modulateur (23) au moyen de la commande courante , et -tester si un critère d’arrêt est vérifié. Système selon la revendication 1, caractérisé en ce que le processeur (13) est configuré pour calculer le profil de simulation corrigé en utilisant un coefficient d’amortissement dans l’application de l’écart sur le profil de simulation . Système selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le processeur (13) est configuré pour calculer l’écart selon une technique de calcul des moments du profil observé par rapport à une base produit constituée par des produits de fonctions d’une base de fonctions de carré sommable. Système selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu’il comporte au moins un module de pré-amplification (25) du laser. Système selon la revendication 4, caractérisé en ce qu’il comporte un module d’acquisition (9) comprenant une photodiode (19) couplée à un oscilloscope (21), ledit module d’acquisition (9) étant configuré pour acquérir un profil observé en sortie du modulateur (23) temporel ou en sortie dudit au moins un module de pré-amplification (25). Système selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le processeur (13) est configuré pour considérer que le critère d’arrêt est satisfait lorsque l’écart est compris dans un intervalle de tolérance prédéterminé, ou à défaut lorsqu’un nombre d’itérations maximum prédéterminé soit atteint. Procédé de mise en forme temporelle d’une impulsion laser au moyen d’un modulateur (23) temporel, l’intensité de l’impulsion pouvant être contrôlée au cours du temps par une commande contrôlant la transmission du modulateur (23) temporel en un instant donné, la forme temporelle à obtenir étant définie par un profil de consigne, ledit procédé comportant : -la définition de fonctions de transfert directe et inverse modélisant une relation entre la commande et un profil de sortie ; -la détermination d’une commande initiale par l’application de la fonction de transfert inverse sur le profil de consigne ; ladite commande initiale étant représentative d’un point de départ d’une pluralité d’itérations successives, chaque itération comprenant : -une étape d’acquisition d’un profil observé représentatif d’une intensité de sortie ; -une étape de calcul d’un rapport entre le profil de consigne et le profil observé ; -une étape de détermination d’un profil de simulation en appliquant la fonction de transfert directe sur la commande précédente ; -une étape de détermination d’un profil de simulation corrigé en appliquant ledit rapport sur le profil de simulation ; -une étape de détermination de la commande courante en appliquant la fonction de transfert inverse sur ledit profil de simulation corrigé ; et -une étape de commande du modulateur temporel au moyen de la commande courante ; les itérations se poursuivant jusqu’à ce qu’un critère d’arrêt prédéterminé soit satisfait. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que l’étape de calcul de l’écart comporte un calcul des moments du profil observé par rapport à une base produit, la base produit étant constituée par des produits de fonctions d’une base de fonctions de carré sommable sur au moins un intervalle de temps contenant le support du profil de consigne, les spectres desdites fonctions étant bornés par une valeur maximale prédéterminée de fréquence. Procédé selon la revendication 7 ou 8, caractérisé en ce que le modulateur (23) temporel comporte un interféromètre de type Mach-Zehnder. Procédé de mise en forme spatiale d’un faisceau laser au moyen d’un modulateur spatial (123), la transmission du modulateur spatial en un instant donné pouvant être contrôlée par une commande, la forme spatiale du faisceau à obtenir étant définie par un profil de consigne dans un plan transversal à la direction du faisceau, ledit procédé comportant : -la définition de fonctions de transfert directe et inverse modélisant une relation entre la commande et un profil de sortie ; -la détermination d’une commande initiale par l’application de la fonction de transfert inverse sur le profil de consigne ; ladite commande initiale étant représentative d’un point de départ d’une pluralité d’itérations successives, chaque itération comprenant : - une étape d’acquisition d’un profil observé représentatif de l’image de sortie du faisceau dans ledit plan transversal ; -une étape de calcul d’un rapport entre le profil de consigne et le profil observé ; -une étape de détermination d’un profil de simulation en appliquant la fonction de transfert directe sur la commande précédente ; -une étape de détermination d’un profil de simulation corrigé en appliquant ledit rapport sur le profil de simulation ; -une étape de détermination de la commande courante en appliquant la fonction de transfert inverse sur ledit profil de simulation corrigé ; et -une étape de commande du modulateur temporel au moyen de la commande courante ; les itérations se poursuivant jusqu’à ce qu’un critère d’arrêt prédéterminé soit satisfait. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce qu’après acquisition de l’image du faisceau dans le plan transversal, cette image est corrigée par un dévers, centrage et grandissement avant l’obtention du profil du faisceau observé . Procédé selon la revendication 10 ou 11, caractérisé en ce que le modulateur spatial (123) comporte une valve optique comportant une pluralité de pixels (124) contrôlables en transmission au moyen de la commande.