Brevet FR3118648A1 — publié le 20220708

Pompe à vide (1) sèche comportant un stator (2) et deux rotors (5) reçus dans au moins une chambre de compression (3) du stator (2), les rotors (5) étant configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse pour entraîner un gaz à pomper entre une aspiration (4) et un refoulement de la pompe à vide (1), le corps (9) du stator (2) et/ou les corps (10) des rotors (5) étant réalisés en fonte grise, la paroi interne du corps (9) du stator (2) d’au moins une chambre de compression (3) et/ou les parois des corps (10) des rotors (5) étant revêtus d’un revêtement à base de nickel (11), le revêtement à base de nickel étant obtenu par : - une première étape d’amorçage du dépôt du revêtement à base de nickel (11) par électrodéposition sur la paroi interne du corps (9) du stator (2) et/ou les parois des corps (10) des rotors (5), suivi d’ - une deuxième étape de dépôt du revêtement à base de nickel (11) par nickelage chimique sur la paroi interne du corps (9) du stator (2) et/ou les parois des corps (10) des rotors (5). Figure d’abrégé : fig 3 Pompe à vide sèche et procédé de fabrication L’invention concerne une pompe à vide sèche, telle qu’une pompe à vide de type « Roots » ou « Claw » ou encore de type à spirale ou à vis ou d’un autre principe similaire. L’invention concerne aussi un procédé de fabrication d’une telle pompe à vide. Les pompes à vide sèches peuvent être utilisées pour évacuer des gaz corrosifs ou des particules particulièrement agressives, tels que des gaz de type halogéné ou des particules abrasives, provenant notamment de sous-produits de réactions de certains procédés de fabrication. Des couches de corrosion peuvent se former à la surface des pièces des pompes à vide. Si ces couches de corrosion sont adhérentes, les jeux de fonctionnement peuvent diminuer et il y a un risque de grippage des pompes à vide. Si ces couches de corrosion sont volatiles ou pulvérulentes, il y a alors une perte de matière et donc les jeux de fonctionnement peuvent augmenter. Les performances des pompes à vide vont alors diminuer. Pour remédier à ce problème, il est connu de déposer un revêtement à base de nickel sur les pièces amenées à être au contact de ces gaz corrosifs ou de ces particules. Ce revêtement à base de nickel est généralement réalisé par nickelage chimique de ces pièces. Néanmoins, pour des pièces réalisées en fonte grise, c’est-à-dire comportant du graphite, les affleurements de graphite à la surface des pièces peuvent entraîner des variations d’épaisseur du revêtement. En effet, le dépôt par nickelage chimique sur une surface en graphite est plus difficile à amorcer par rapport à une surface en fonte. Pour des revêtements dits de couches minces, par exemple d’une épaisseur inférieure à 40 µm, cela peut ainsi conduire à des épaisseurs localement trop faibles du revêtement. Ces amincissements peuvent notamment augmenter les risques d’écaillement ou d’arrachage du revêtement, pouvant compromettre le bon fonctionnement de la pompe à vide. Un des buts de la présente invention est de remédier au moins partiellement aux inconvénients de l’art antérieur et de proposer une pompe à vide comportant des pièces en fonte grise avec un revêtement à base de nickel amélioré ainsi que son procédé de fabrication. La présente invention concerne donc une pompe à vide sèche comportant un stator et deux rotors reçus dans au moins une chambre de compression du stator, les rotors étant configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse pour entraîner un gaz à pomper entre une aspiration et un refoulement de la pompe à vide, le corps du stator et/ou les corps des rotors étant réalisés en fonte grise, la paroi interne du corps du stator d’au moins une chambre de compression et/ou les parois des corps des rotors étant revêtus d’un revêtement à base de nickel, le revêtement à base de nickel étant obtenu par : - une première étape d’amorçage du dépôt du revêtement à base de nickel par électrodéposition sur la paroi interne du corps du stator et/ou les parois des corps des rotors, suivi d’ - une deuxième étape de dépôt du revêtement à base de nickel par nickelage chimique sur la paroi interne du corps du stator et/ou les parois des corps des rotors. Le fait que le revêtement à base de nickel soit réalisé selon ces deux étapes, permet que le revêtement à base de nickel soit d’une épaisseur totale uniforme et ce malgré la présence d’affleurements de graphite à la surface des corps des pièces en fonte. La pompe à vide sèche peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prises seules ou en combinaison : - le revêtement à base de nickel comporte également du phosphore, - la proportion en masse du phosphore par rapport au nickel est comprise entre 9 et 14 % , - l’épaisseur totale du revêtement à base de nickel est comprise entre 1µm et 40µm, - la fonte grise est une fonte à graphite sphéroïdale, - la fonte grise est une fonte à graphite lamellaire. L’invention a aussi pour objet un procédé de fabrication d’une pompe à vide sèche comportant un stator et deux rotors reçus dans au moins une chambre de compression du stator, les corps des rotors étant réalisés en fonte grise, ledit procédé de fabrication comportant : - une première étape d’amorçage par électrodéposition de nickel sur les parois des corps des rotors, et - une deuxième étape de nickelage chimique sur les parois des corps des rotors. L’invention a aussi pour objet un procédé de fabrication d’une pompe à vide sèche comportant un stator et deux rotors reçus dans au moins une chambre de compression du stator, les rotors étant configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse pour entraîner un gaz à pomper entre une aspiration et un refoulement de la pompe à vide, le corps du stator étant réalisé en fonte grise, ledit procédé de fabrication comportant : - une première étape d’amorçage par électrodéposition de nickel sur la paroi interne du corps du stator, et - une deuxième étape de nickelage chimique sur la paroi interne du corps du stator. Ces procédés de fabrication peuvent comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prise seule ou en combinaison : - la première étape d’amorçage par électrodéposition et la deuxième étape de nickelage chimique sont réalisées dans un même bain d’une solution comportant des ions nickel, - la solution comportant des ions nickel comporte également du phosphore, - la proportion en masse du phosphore par rapport au nickel est comprise entre 9 et 14 % , - la première étape d’amorçage par électrodéposition est réalisée de sorte que l’épaisseur du revêtement à base de nickel déposé lors de cette première étape soit inférieure à 2µm, - la première étape d’amorçage par électrodéposition est réalisée pendant une durée comprise entre 2min et 4min avec une densité de courant comprise entre -5mA/cm² et -50mA/cm², - la deuxième étape est réalisée jusqu’à ce que l’épaisseur totale du revêtement à base de nickel à l’issue de cette deuxième étape soit comprise entre 1µm et 40µm, - la fonte grise est une fonte à graphite sphéroïdale, - la fonte grise est une fonte à graphite lamellaire. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description suivante, donnée à titre d'exemple, sans caractère limitatif, en regard des dessins annexés sur lesquels: La représente une vue très schématique d’éléments d’une pompe à vide sèche, dont seuls les trois quarts du stator du premier étage de pompage sont représentés. La montre une vue très schématique en coupe transversale d’un étage de pompage de la pompe à vide de la . La montre une représentation schématique d’une pièce en fonte grise en coupe avec un revêtement à base de nickel selon l’invention. La montre une photographie au microscope électronique d’une pièce en fonte grise en coupe avec un revêtement à base de nickel selon l’art antérieur. La montre une photographie au microscope électronique d’une pièce en fonte grise en coupe avec un revêtement à base de nickel selon l’invention. Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence. Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations. Pour faciliter la compréhension, seuls les éléments nécessaires au fonctionnement de la pompe ont été représentés. L’invention s’applique à tout type de pompe à vide 1 sèche comportant un ou plusieurs étages, telle qu’une pompe à vide de type « Roots », une pompe à vide à double bec ou « Claw » ou de type à spirale ou à vis ou d’un autre principe similaire, notamment utilisées dans certains procédés de fabrication, comme la fabrication des circuits intégrés, les cellules solaires photovoltaïques, les écrans plats d’affichage (Flat Panel Display en Anglais), les diodes electro-luminescentes pour l’éclairage (Light Emitting Diode en Anglais), ces procédés comportant des étapes nécessitant d'évacuer des gaz réactifs corrosifs de chambres de procédé, l’entrée de la pompe à vide étant raccordée à la chambre de procédé et la sortie étant raccordée à des dispositifs de traitement de gaz, avant rejet des gaz traités dans l'atmosphère. La représente un exemple de réalisation d’une pompe à vide 1 sèche, telle qu’une pompe à vide 1 primaire configurée pour refouler les gaz pompés à pression atmosphérique. La pompe à vide 1 comporte un stator 2 (ou corps de pompe) formant au moins un étage de pompage 1a-1e. La pompe à vide 1 comporte par exemple au moins deux étages de pompage 1a-1e montés en série entre une aspiration 4 et un refoulement de la pompe à vide 1 et dans lesquels un gaz à pomper peut circuler (le sens de circulation des gaz pompés est illustré par les flèches G sur la ). L’étage de pompage 1a communiquant avec l’aspiration 4 de la pompe à vide 1 est l’étage de plus basse pression et l’étage de pompage 1e communiquant avec le refoulement est l’étage de plus haute pression. Dans l’exemple illustratif, la pompe à vide 1 comporte cinq étages de pompage 1a-1e. Chaque étage de pompage 1a-1e définit une chambre de compression 3 du stator 2 recevant deux rotors 5 de la pompe à vide 1, les chambres 3 comprenant une entrée 6 et une sortie 7 respectives ( ). Les chambres de compression 3 des étages de pompage 1a-1e successifs sont raccordés en série les unes à la suite des autres par au moins un canal inter-étage 8 respectif raccordant la sortie 7 de l'étage de pompage qui précède à l'entrée 6 de l'étage qui suit. Les canaux inter-étages 8 sont par exemple ménagés dans le corps 9 du stator 2, par exemple à côté de la chambre de compression 3. Il y a par exemple deux canaux inter-étages 8 par étage de pompage, raccordés en parallèle entre la sortie 7 et l’entrée 6 et agencés de part et d’autre de la chambre de compression 3. Les rotors 5 présentent par exemple des lobes de profils identiques, par exemple de type « Roots » ou de type « Claw » ou sont de type à vis ou d’un autre principe similaire de pompe à vide volumétrique. Les rotors 5 sont configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans les étages de pompage 1a-1e ( ). Lors de la rotation, le gaz aspiré depuis l’entrée 6 est emprisonné dans le volume engendré par les rotors 5 et la chambre de compression 3 du stator 2 de l’étage de pompage, puis est comprimé et entraîné par les rotors 5 vers l’étage suivant. Les rotors 5 sont entraînés en rotation par au moins un moteur de la pompe à vide 1 situé par exemple à une extrémité. La pompe à vide 1 est dite « sèche » car en fonctionnement, les rotors 5 tournent à l’intérieur du stator 2 sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator 2, ce qui permet l’absence d’huile dans les chambres de compression 3. Le corps 9 du stator 2 et/ou les corps 10 des rotors 5 sont réalisés en fonte grise. La fonte grise correspond à une famille de fonte dont le carbone se trouve sous forme de graphite. Plus particulièrement, la fonte grise peut ici être de la fonte à graphite sphéroïdale (fonte GS) ou encore de la fonte à graphite lamellaire (fonte GL). Au cours du procédé de fabrication d’une pompe à vide 1, on dépose un revêtement à base de nickel 11 au moins sur les pièces réalisées en fonte grise, c’est-à-dire sur la paroi interne du corps 9 du stator 2 d’au moins une chambre de compression 3 et/ou les parois des corps 10 des rotors 5. Ce revêtement à base de nickel 11 est visible plus en détail à la . Ce revêtement à base de nickel 11 peut être déposé sur l’ensemble des étages de la pompe à vide 1 ou bien sur uniquement certains de ces étages par exemple les derniers étages de pompage. Le revêtement à base de nickel 11 peut également être déposé au sein des canaux inter-étages 8 ainsi que qu’au sein de la sortie 7 et de l’entrée 6. Le revêtement à base de nickel 11 peut être déposé à la fois sur la paroi interne du corps 9 du stator 2 d’au moins une chambre de compression 3 et sur les parois des corps 10 des rotors 5. Le revêtement à base de nickel 11 peut aussi être uniquement déposé sur le stator 2, les rotors 5 étant par exemple réalisés en acier inoxydable sur lequel un revêtement à base de nickel 11 n’est pas nécessaire. Le revêtement à base de nickel 11 peut également être uniquement déposé les parois des corps 10 des rotors 5. Un tel revêtement à base de nickel 11 permet d’éviter la formation de couches de corrosion dans la pompe à vide 1 et améliore la tenue de la pompe à vide 1 vis-à-vis des gaz corrosifs et contre l’abrasion. Du fait de cette protection contre la corrosion par le revêtement à base de nickel 11, il est également possible d’augmenter la température de régulation du corps 9 du stator 2 de la pompe à vide 1 sans risquer de favoriser la corrosion des pièces. Cette augmentation de la température de régulation permet d’éviter la condensation-solidification des sous-produits de réaction et donc réduit les risques de formation de dépôts d’espèces condensables susceptibles de gripper la pompe à vide 1. Le revêtement à base de nickel 11 est réalisé selon deux étapes. Une première étape est une étape d’amorçage d’un revêtement à base de nickel par électrodéposition sur la paroi interne du corps 9 du stator 2 et/ou les parois des corps 10 des rotors 5. Cette première étape permet la formation d’une couche d’amorçage 11a d’une épaisseur e1 (voir ). Cette première étape est suivie d’une deuxième étape de dépôt du revêtement à base de nickel 11 par nickelage chimique sur la paroi interne du corps 9 du stator 2 et/ou les parois des corps 10 des rotors 5. Cette deuxième étape permet, à partir de la couche d’amorçage 11a, de prolonger la croissance du revêtement à base de nickel 11 pour atteindre une épaisseur totale e. Le fait que le revêtement à base de nickel 11 soit réalisé selon ces deux étapes, permet que le revêtement à base de nickel 11 soit d’une épaisseur totale e uniforme et ce malgré la présence d’affleurements de graphite 110 à la surface des corps 10 des pièces en fonte grise. De préférence, le revêtement à base de nickel 11 comporte un additif pour renforcer ses propriétés. Le revêtement à base de nickel 11 peut notamment comporter du phosphore afin d’améliorer la résistance à la corrosion. La proportion de phosphore en masse par rapport au nickel au sein du revêtement à base de nickel 11 peut notamment être comprise entre 9 et 14%, de préférence entre 10 et 13%. Cette proportion de phosphore est appelée « haut phosphore » par opposition aux proportions dites « bas phosphore » comportant entre 2 et 5% en masse de phosphore ou « moyen phosphore » comportant entre 6 et 9% de phosphore. Le revêtement à base de nickel 11 peut également comporter d’autres additifs comme par exemple des particules de polytétrafluoroéthylène (PTFE), de nitrure de bore (BN), de carbure de silicium (SiC), de carbone diamant, de carbure de tungstène (WC), du sulfure de molybdène (MoS 2 ), d’alumine (Al 2 O 3 ) et/ou de dioxyde de titane (TiO 2 ). Cette proportion haute de phosphore permet d’améliorer la résistance à la corrosion du revêtement à base de nickel 11 par rapport à un revêtement simple de nickel ou un revêtement nickel moyen ou bas phosphore. On dépose par exemple le revêtement à base de nickel 11 sur toutes les parois de la pompe à vide 1 susceptibles d’être en contact avec le gaz à pomper, notamment sur les parois internes des chambres de compression 3 et sur les parois des canaux inter-étages 8 qui sont ménagés dans le corps 9 de stator 2. L’épaisseur totale e du revêtement à base de nickel 11 peut plus particulièrement être comprise entre 1µm et 40µm. De préférence, le revêtement à base de nickel 11 correspond à une couche dite mince, c’est-à-dire que son épaisseur totale e est comprise entre 2µm et 10µm. Afin de limiter le temps de dépôt du revêtement à base de nickel 11 et donc le temps de fabrication, l’épaisseur totale e du revêtement à base de nickel 11 est de préférence de l’ordre de 5µm. Le procédé de fabrication de la pompe à vide 1 comporte ainsi une première étape d’amorçage par électrodéposition de nickel sur les parois des corps 10 des rotors 5 ainsi qu’une deuxième étape de nickelage chimique sur les parois de ces mêmes corps 10 des rotors 5. En alternative ou en complément, séparément ou bien simultanément, le procédé de fabrication comporte une première étape d’amorçage par électrodéposition de nickel sur la paroi interne d’au moins une chambre de compression du corps 9 du stator 2 et une deuxième étape de nickelage chimique sur la paroi interne de la même au moins une chambre de compression 3 du stator 2. La première étape d’amorçage permet le dépôt d’une couche d’amorce 11a (visible sur la ) de nickel à la surface des pièces. Le fait que cette première étape d’amorçage soit réalisée par électrodéposition permet que cette couche d’amorce 11a de nickel se dépose uniformément aussi bien sur la fonte que sur les affleurements de graphite. La deuxième étape de nickelage chimique permet ensuite le dépôt de nickel sur cette couche d’amorce 11a pour prolonger la croissance du revêtement par une deuxième couche 11b. Du fait que ce nickelage chimique soit réalisé sur la couche d’amorce 11a, le revêtement à base de nickel 11 est uniforme. En effet, les affleurements de graphite sur lesquels un nickelage chimique aurait eu du mal à débuter, sont ici recouverts par la couche d’amorce 11a. La première étape d’amorçage par électrodéposition peut être réalisée par polarisation cathodique du corps 9 du stator 2 et/ou des corps 10 des rotors 5 dans un bain d’une solution comportant des ions nickel. Cette première étape peut notamment être réalisée de sorte que l’épaisseur e1 du revêtement à base de nickel 11, correspondant à la couche d’amorce 11a, soit inférieure à 2µm. De préférence et afin de limiter les coûts de production, l’épaisseur e1 de cette couche d’amorce 11a peut être de l’ordre de 1µm. Cette première étape d’amorçage par électrodéposition peut ainsi être réalisée pendant une durée comprise entre 2min et 4min, de préférence de l’ordre 3min avec une densité de courant comprise entre -5mA/cm² et -50mA/cm², de préférence de l’ordre -15mA/m². La deuxième étape de nickelage chimique peut également être réalisée en plongeant le corps 9 du stator 2 et/ou des corps 10 des rotors 5 dans un bain d’une solution comportant des ions nickel. Cette deuxième étape peut notamment être réalisée jusqu’à ce que l’épaisseur totale e du revêtement à base de nickel 11 soit comprise entre 1µm et 40µm. De préférence, la deuxième étape est réalisée jusqu’à ce que le revêtement à base de nickel 11 corresponde à une couche dite mince, c’est-à-dire que son épaisseur totale e est comprise entre 2µm et 10µm. Afin de limiter la durée du procédé de fabrication, la deuxième étape peut être réalisée jusqu’à ce que l’épaisseur totale e du revêtement à base de nickel 11 soit de 5µm +/- 0,5µm. Plus particulièrement, la solution comportant des ions nickel du bain pour le nickelage chimique comporte des ions nickel ainsi que du phosphore. Le phosphore peut plus particulièrement être sous forme d’hypophosphite de sodium NaH 2 PO 2 . Ainsi le revêtement 11 formé lors de cette étape de nickelage chimique 11 comporte à la fois du nickel et du phosphore ce qui permet d’améliorer la résistance à la corrosion. La proportion de phosphore en masse par rapport au nickel au sein de la solution peut notamment être comprise entre 9 et 14%, de préférence entre 10 et 13%. Cette proportion de phosphore, est appelée « haut phosphore » par opposition aux proportions dites « bas phosphore » comportant entre 2 et 5% en masse de phosphore ou « moyen phosphore » comportant entre 6 et 9% de phosphore. La solution peut également comporter d’autres additifs comme par exemple des particules de polytétrafluoroéthylène (PTFE), de nitrure de bore (BN), de carbure de silicium (SiC), de carbone diamant, de carbure de tungstène (WC), du sulfure de molybdène (MoS 2 ), d’alumine (Al 2 O 3 ) et/ou de dioxyde de titane (TiO 2 ). Afin d’éviter les manipulations des pièces ainsi que pour faciliter le procédé de fabrication, la première étape d’amorçage par électrodéposition et la deuxième étape de nickelage chimique peuvent être réalisées dans un même bain d’une solution comportant des ions nickel. Le passage de la première étape d’amorçage à la deuxième étape de nickelage chimique est alors réalisé simplement en coupant la polarisation des pièces. La solution comportant des ions nickel utilisée à la fois pour la première étape d’amorçage par électrodéposition et la deuxième étape de nickelage chimique peut ainsi comporter du phosphore. Lors de la première étape d’amorçage le phosphore se co-dépose avec le nickel pour former la couche d’amorçage 11a. Le fait de réaliser la première étape d’amorçage par électrodéposition et la deuxième étape de nickelage chimique dans le même bain permet ainsi d’avoir une continuité de la composition chimique entre la couche d’amorçage 11a et la couche obtenue lors de la deuxième étape de nickelage chimique. De préférence, les rotors 5 et les stators 2 sont traités avant montage. Ils peuvent être traités simultanément dans un même bain ou bien traités indépendamment les uns des autres. Les figures 4 et 5 montrent des coupes transversales d’une pièce en fonte grise, plus particulièrement en fonte à graphite sphéroïdale avec un revêtement à base de nickel 11. La de l’art antérieur montre plus particulièrement une coupe transversale au microscope électronique à balayage en électrons rétrodiffusés d’une fonte à graphite sphéroïdale comportant une matrice métallique 100 et des inclusions de graphite sphéroïdal 110. Un revêtement de NiP 11’ a été déposé à la surface de la fonte à graphite sphéroïdale par simple nickelage chimique pendant 30 min dans un bain Coventya ®. L’épaisseur e’ du revêtement de NiP 11’ après ces 30 min est de l’ordre de 9µm. On remarque alors à l’aplomb des affleurements de graphite sphéroïdal 110 des dépressions sur la couche de revêtement de NiP 11’. L’épaisseur e’ du revêtement de NiP 11’ n’est pas uniforme du fait que le dépôt chimique de NiP sur le graphique sphéroïdal 110 est plus difficile à s’amorcer que sur la matrice métallique 100. La montre également une coupe transversale au microscope électronique à balayage en électrons rétrodiffusés d’une fonte à graphite sphéroïdale comportant une matrice métallique 100 et des inclusions de graphite sphéroïdal 110 (grossi par rapport à la ). Le revêtement à base de nickel 11 a été ici déposé sur la surface de la fonte à graphite sphéroïdale selon un procédé selon l’invention, c’est-à-dire avec une première étape d’amorçage du dépôt du revêtement 11 par électrodéposition suivi d’une deuxième étape de nickelage chimique du revêtement 11. La première étape d’amorçage a été ici réalisée par polarisation à -0,850 V/ECS pendant une durée de 3 min de la pièce. La deuxième étape de nickelage chimique a été réalisée quant à elle pendant 2 min. La première et la deuxième étape ont toutes deux été réalisées dans un même bain Coventya ®. L’épaisseur e du revêtement 11 après ces 5 min au total de dépôt est de l’ordre de 2µm. On remarque alors que l’épaisseur e du revêtement 11 est uniforme. A l’aplomb des affleurements de graphite sphéroïdal 110, les dépressions sur la couche de revêtement de NiP 11 sont pratiquement invisibles ou sont absentes. Pompe à vide (1) sèche comportant un stator (2) et deux rotors (5) reçus dans au moins une chambre de compression (3) du stator (2), les rotors (5) étant configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse pour entraîner un gaz à pomper entre une aspiration (4) et un refoulement de la pompe à vide (1), le corps (9) du stator (2) et/ou les corps (10) des rotors (5) étant réalisés en fonte grise, la paroi interne du corps (9) du stator (2) d’au moins une chambre de compression (3) et/ou les parois des corps (10) des rotors (5) étant revêtus d’un revêtement à base de nickel (11), caractérisé en ce que le revêtement à base de nickel est obtenu par : - une première étape d’amorçage du dépôt du revêtement à base de nickel (11) par électrodéposition sur la paroi interne du corps (9) du stator (2) et/ou les parois des corps (10) des rotors (5), suivi d’ - une deuxième étape de dépôt du revêtement à base de nickel (11) par nickelage chimique sur la paroi interne du corps (9) du stator (2) et/ou les parois des corps (10) des rotors (5). Pompe à vide (1) selon la revendication 1, caractérisé en ce que le revêtement à base de nickel (11) comporte également du phosphore. Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la proportion en masse du phosphore par rapport au nickel est comprise entre 9 et 14 % . Pompe à vide (1) selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce l’épaisseur totale (e) du revêtement à base de nickel (11) est comprise entre 1µm et 40µm. Pompe à vide (1) selon l’une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que la fonte grise est une fonte à graphite sphéroïdale. Pompe à vide (1) selon l’une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que la fonte grise est une fonte à graphite lamellaire. Procédé de fabrication d’une pompe à vide (1) sèche comportant un stator (2) et deux rotors (5) reçus dans au moins une chambre de compression (3) du stator (2), les corps (10) des rotors (5) étant réalisés en fonte grise, ledit procédé de fabrication comportant : - une première étape d’amorçage par électrodéposition de nickel sur les parois des corps (10) des rotors (5), et - une deuxième étape de nickelage chimique sur les parois des corps (10) des rotors (5). Procédé de fabrication d’une pompe à vide (1) sèche comportant un stator (2) et deux rotors (5) reçus dans au moins une chambre de compression (3) du stator (2), les rotors (5) étant configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse pour entraîner un gaz à pomper entre une aspiration (4) et un refoulement de la pompe à vide (1), le corps (9) du stator (2) étant réalisé en fonte grise, ledit procédé de fabrication comportant : - une première étape d’amorçage par électrodéposition de nickel sur la paroi interne du corps (9) du stator (2), et - une deuxième étape de nickelage chimique sur la paroi interne du corps (9) du stator (2). Procédé de fabrication selon l’une quelconque des revendications 7 ou 8, caractérisé en ce que la première étape d’amorçage par électrodéposition et la deuxième étape de nickelage chimique sont réalisées dans un même bain d’une solution comportant des ions nickel. Procédé de fabrication selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la solution comportant des ions nickel comporte également du phosphore. Procédé de fabrication selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la proportion en masse du phosphore par rapport au nickel est comprise entre 9 et 14 % . Procédé de fabrication selon l’une quelconque des revendications 7 à 11, caractérisé en ce que la première étape d’amorçage par électrodéposition est réalisée de sorte que l’épaisseur du revêtement à base de nickel (11) déposé lors de cette première étape est inférieure à 2µm. Procédé de fabrication selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la première étape d’amorçage par électrodéposition est réalisée pendant une durée comprise entre 2min et 4min avec une densité de courant comprise entre -5mA/cm² et -50mA/cm². Procédé de fabrication selon l’une quelconque des revendications 7 à 13, caractérisé en ce que la deuxième étape est réalisée jusqu’à ce que l’épaisseur totale (e) du revêtement à base de nickel (11) à l’issue de cette deuxième étape soit comprise entre 1µm et 40µm Procédé de fabrication selon l’une quelconque des revendications 7 à 14, caractérisé en ce que la fonte grise est une fonte à graphite sphéroïdale. Procédé de fabrication selon l’une quelconque des revendications 7 à 14, caractérisé en ce que la fonte grise est une fonte à graphite lamellaire.