Brevet FR3117617A1 — publié le 20220617

Système (1000) de correction de surface d’onde comprenant : - un miroir déformable (200), avec deux premier bords (201, 202) parallèles entre eux, et avec deux seconds bords (203, 204) parallèles entre eux et orientés transverses relativement aux premiers bords ; et - au moins un actionneur (300), configuré pour appliquer au moins une force au miroir déformable ; dans lequel l’au moins un actionneur (300) est configuré pour appliquer des couples sur chacun des deux premiers bords et des deux seconds bords du miroir déformable. L’invention permet de déformer le miroir déformable selon une forme définie par au moins un cylindre, de manière simple et avec un minimum de déformations parasites. Figure pour l’abrégé : Figure 2A SYSTÈME DE CORRECTION DE SURFACE D’ONDE À BASE D’ACTIONNEURS DE COUPLE, ET PROCÉDÉ ASSOCIÉ. L’invention concerne le domaine de la correction de surface d’onde à l’aide d’un miroir déformable. Etat de la technique antérieure On connaît dans l’art antérieur différents systèmes de correction de surface d’onde comportant un miroir déformable et au moins un actionneur. En utilisation, un faisceau électromagnétique (par exemple un faisceau laser ou un faisceau de rayons X) est amené jusqu’au miroir déformable, sur lequel il se réfléchit. La forme du miroir déformable est contrôlée par l’au moins un actionneur, et déterminée de manière à compenser une partie au moins des défauts de surface d’onde du faisceau électromagnétique arrivant sur le miroir. L’invention concerne notamment un tel système de correction de surface d’onde, pour corriger des défauts de forme cylindrique. Un exemple d’un tel système est décrit dans le brevet européen EP 1 925 959. Dans cet exemple, le système de correction de surface d’onde comporte un miroir déformable de forme rectangulaire, avec un rapport élevé entre la dimension du grand bord et la dimension du petit bord du miroir. Le miroir déformable est encastré dans un bâti, au niveau de ses deux petits bords. Un actionneur applique un couple au niveau de l’un des petits bords du miroir. Une déformation principale ainsi générée au niveau du miroir déformable est définie par un cylindre de révolution, d’axe parallèle aux petits bords du miroir. Ce système est utilisé avec un faisceau électromagnétique de très petite section, arrivant en incidence rasante sur le miroir déformable. L’intersection entre le faisceau électromagnétique et le miroir s’étend donc très largement selon un axe parallèle au grand bord du miroir. La déformation du miroir permet ainsi de corriger un défaut cylindrique sur la surface d’onde du faisceau électromagnétique. Si l’on étudie plus finement le comportement du miroir déformable, on observe que l’application d’un couple sur un petit côté du miroir génère également une déformation parasite. Cette déformation parasite se traduit par un affaissement au niveau des grands bords du miroir. La montre le miroir déformable 10 selon une vue de face, avec l’empreinte 11 du faisceau électromagnétique arrivant en incidence rasante sur ce dernier. Au repos, le miroir déformable 10 s’étend dans un plan (OXY) d’un repère orthonormé (OXYZ), avec les petits côtés du miroir parallèles à l’axe (OY), et les grands côtés du miroir parallèles à l’axe (OX). Les figures 1B et 1C montrent le miroir déformable 10, lorsqu’il est déformé par l’application d’un couple comme décrit ci-dessus. La est une vue en coupe du miroir, dans un plan (OXZ). Elle montre la déformation principale du miroir déformable, selon un cylindre de révolution d’axe parallèle à l’axe (OY). La est une vue en coupe du miroir, dans un plan (OYZ). Elle montre la déformation parasite du miroir déformable, avec l’affaissement des grands bords 101, 102 du miroir. Afin d’éviter que la déformation parasite n’affecte le front d’onde du faisceau électromagnétique, il est nécessaire que ce dernier ne recouvre qu’une région centrale du miroir, à distance des grands bords 101, 102. Par conséquent, cette solution n’est pas adaptée à des faisceaux électromagnétiques de grande section, sauf à utiliser un miroir très encombrant. Un objectif de la présente invention est de proposer un système de correction de surface d’onde, permettant notamment de compenser des défauts de surface d’onde cylindriques, et adapté pour corriger une surface d’onde sur un faisceau électromagnétique de grande section. Présentation de l’invention Cet objectif est atteint avec un système de correction de surface d’onde comprenant : - un miroir déformable, avec deux premier bords parallèles entre eux, et avec deux seconds bords parallèles entre eux et orientés transverses relativement aux premiers bords ; et - au moins un actionneur, configuré pour appliquer au moins une force au miroir déformable. Selon l’invention, l’au moins un actionneur est configuré pour appliquer des couples sur chacun des deux premiers bords et des deux seconds bords du miroir déformable. Les premiers bords sont orientés transverses relativement aux seconds bords, par exemple, mais de manière non limitative, perpendiculaires. Dans l’art antérieur, lorsque que l’au moins un actionneur applique des couples sur chacun des deux premiers bords du miroir, celui-ci se déforme selon une déformation principale et une déformation parasite. La déformation principale est définie par un cylindre de révolution, d’axe parallèle aux premiers bords du miroir. Elle correspond à une déformation recherchée, pour compenser des défauts de surface d’onde sur un faisceau électromagnétique (notamment un faisceau laser ou un faisceau de rayons X). Cette déformation principale est cependant accompagnée d’une déformation parasite. Une idée à la base de l’invention consiste à réaliser que cette déformation parasite se rapproche d’une déformation cylindrique, selon un cylindre d’axe parallèle aux seconds bords du miroir. En combinant l’application de couples selon les deux premiers bords du cylindre et selon les deux seconds bords du cylindre, on peut donc corriger la déformation parasite. La valeur des couples à appliquer aux premiers et aux seconds bords du miroir est déterminée en prenant en considération le fait que l’application d’un couple sur les deux premiers bords du miroir génère une déformation parasite selon un cylindre d’axe parallèle aux seconds bords du miroir, et que l’application d’un couple sur les deux seconds bords du miroir génère une déformation parasite selon un cylindre d’axe parallèle aux premiers bords du miroir. Ainsi, pour obtenir par exemple une déformation définie par un unique cylindre cible, d’axe parallèle aux premiers bords du miroir, on applique des couples sur les premiers bords du miroir de manière à obtenir une déformation correspondant au cylindre cible diminué d’un cylindre reliquat. Cette déformation génère une première déformation parasite, selon un cylindre parallèle aux seconds bords du miroir. Simultanément, on applique des couples sur les seconds bords du miroir, de manière à déformer le miroir selon un cylindre de correction qui compense ladite première déformation parasite. Ces couples appliqués aux seconds bords du miroir génèrent une seconde déformation parasite, selon un cylindre d’axe parallèle aux premiers bords du miroir. Les différents couples sont calculés de manière que cette seconde déformation parasite corresponde au cylindre reliquat. In fine, on obtient la déformation cylindrique recherchée. Pour faciliter la compréhension de l’invention, on a détaillé le cas dans lequel la déformation recherchée est définie par un unique cylindre, d’axe parallèle au premier bord du miroir. L’invention pourra cependant être appliquée dans toutes les situations où la déformation recherchée est définie par un cylindre d’axe parallèle au petit bord du miroir et/ou un cylindre d’axe parallèle au grand bord du miroir. La déformation recherchée peut notamment être définie par deux cylindres, d’axes parallèles respectivement au petit bord et au grand bord du miroir, de manière à corriger une aberration optique de type courbure de champ (cylindre partiellement imbriqués) ou astigmatisme (cylindre adjacents). L’invention permet ainsi d’augmenter un taux de surface utile sur le miroir déformable, c’est-à-dire un rapport entre l’aire d’une surface peu ou pas affectée par des déformations parasites du miroir déformable, et l’aire totale dudit miroir. On peut ainsi réaliser une correction de surface d’onde sur un faisceau électromagnétique de grande section, sans avoir recours à un miroir très encombrant. En outre, l’invention peut être utilisée avec un faisceau électromagnétique arrivant sur le miroir déformable avec un angle d’incidence quelconque, par exemple un angle compris entre 40° et 50° relativement à la normale audit miroir (normale définie en l’absence de déformation du miroir). Une solution évidente pour corriger les déformations parasites aurait consisté à placer une multitude d’actionneurs d’effort à l’arrière du miroir déformable. Cette solution est cependant bien plus coûteuse que la solution selon l’invention, nécessite un contrôle parfait des multiples actionneurs en face arrière, et encombre la face arrière du miroir. De préférence, l’au moins un actionneur comporte plusieurs éléments de support discrets, où chaque élément de support est configuré pour appliquer un couple sur une zone d’application respective située sur le miroir déformable, et où les éléments de support sont espacés les uns des autres et répartis le long de chacun des premiers bords du miroir déformable et le long de chacun des seconds bords du miroir déformable. De manière avantageuse, pour au moins un bord parmi les deux premiers bords et les deux seconds bords du miroir déformable, les éléments de support répartis le long dudit bord sont configurés pour appliquer tous, à chaque instant, un même couple au miroir déformable. De préférence, pour au moins un bord parmi les deux premiers bords et les deux seconds bords du miroir déformable, les éléments de support répartis le long dudit bord appartiennent à un même actionneur, où ledit actionneur comporte un arbre de rotation sur lequel sont montés plusieurs éléments de transmission, où chacun desdits éléments de transmission est apte à être entraîné en rotation par l’arbre de rotation, et où chacun desdits éléments de transmission comporte l’un respectif parmi les plusieurs éléments de supports répartis le long dudit bord. Le système selon l’invention peut comporter : - une première paire d’actionneurs, identiques entre eux, et configurés pour appliquer des couples respectifs en une pluralité de zones d’application, lesquelles sont réparties sur les deux premiers bords du miroir déformable ; et - une deuxième paire d’actionneurs, identiques entre eux, et configurés pour appliquer des couples respectifs en une pluralité de zones d’application, lesquelles sont réparties sur les deux seconds bords du miroir déformable. Le système selon l’invention comporte avantageusement : - une première unité de pilotage, configurée pour piloter les actionneurs de la première paire d’actionneurs de sorte qu’ils appliquent des couples identiques sur chacun des deux premiers bords ; et - une seconde unité de pilotage, configurée pour piloter les actionneurs de la deuxième paire d’actionneurs de sorte qu’ils appliquent des couples identiques sur chacun des deux seconds bords. De manière avantageuse, le système selon l’invention comporte au moins une unité de pilotage, configurée pour piloter l’au moins un actionneur, une mémoire, et un processeur relié à ladite mémoire et à l’unité de pilotage, et : - la mémoire stocke une première loi de comportement, définissant un lien entre une première consigne relative à au moins un couple appliqué sur les premiers bords du miroir déformable, une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle aux premiers bords du miroir, nommée première réponse principale, et une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle aux seconds bords du miroir, nommée première réponse parasite ; - la mémoire stocke en outre une seconde loi de comportement, définissant un lien entre une seconde consigne relative à au moins un couple appliqué sur les seconds bords du miroir déformable, une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle aux seconds bords du miroir, nommée seconde réponse principale, et une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle aux premiers bords du miroir, nommée seconde réponse parasite ; - le processeur est configuré pour recevoir en entrée des données relatives à une déformation souhaitée du miroir déformable, pour déterminer, à partir desdites données et des première et seconde lois de comportement, une valeur de la première consigne et une valeur de la seconde consigne associées à des couples aptes ensemble à déformer le miroir déformable selon ladite déformation souhaitée, et pour transmettre lesdites valeurs de la première et seconde consignes à l’au moins une unité de pilotage. L’invention couvre également un procédé pour mettre en œuvre une correction de surface d’onde sur un faisceau électromagnétique, mis en œuvre dans un système selon l’invention, et qui comporte les étapes suivantes : - à partir d’une première loi de comportement, définissant un lien entre une première consigne relative à au moins un couple appliqué sur les premiers bords du miroir déformable, une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle aux premiers bords du miroir, nommée première réponse principale, et une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle aux seconds bords du miroir, nommée première réponse parasite, et à partir d’une seconde loi de comportement, définissant un lien entre une seconde consigne relative à au moins un couple appliqué sur seconds bords du miroir déformable, une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle aux seconds bords du miroir, nommée seconde réponse principale, et une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle aux premiers bords du miroir, nommée seconde réponse parasite, détermination d’une valeur de la première consigne et d’une valeur de la seconde consigne associées à des couples aptes ensemble à déformer le miroir déformable selon une déformation souhaitée ; et - pilotage de l’au moins un actionneur selon lesdites valeurs de la première et seconde consignes. De préférence, le procédé selon l’invention est mis en œuvre pour imposer au miroir déformable la forme d’un cylindre, où le cylindre présente un rayon R et est orienté selon un axe parallèle aux premiers ou aux seconds bords du miroir déformable, et comporte les étapes suivantes : - à partir de ladite première loi de comportement ou de ladite seconde loi de comportement, détermination d’une valeur de la première consigne et d’une valeur de la seconde consigne, associées à des couples aptes ensemble à imposer au miroir déformable ladite forme d’un cylindre ; et - pilotage de l’au moins un actionneur selon lesdites valeurs de la première et seconde consignes. Brève description des figures La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d’exemples de réalisation donnés à titre purement indicatif et nullement limitatif, en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels : illustre de façon schématique, selon une vue de face, un miroir déformable dans un système de correction de surface d’onde selon l’art antérieur ; , et illustrent le miroir de la selon deux vues en coupe respectives ; illustre de façon schématique, selon une vue de face, un système de correction de surface d’onde selon l’invention ; , et illustrent de façon schématique le miroir déformable dans le système de la , respectivement selon une vue de dessus et selon une vue de côté ; , , , illustrent différentes déformations du miroir, obtenues dans un système de correction de surface d’onde selon l’invention ; illustre de façon schématique, selon une vue de face, un système de correction de surface d’onde selon un premier mode de réalisation de l’invention ; illustre de façon schématique, selon une vue de détail en perspective, un système de correction de surface d’onde selon un deuxième mode de réalisation de l’invention ; et illustre de façon schématique, une vue de détail d’un système de correction de surface d’onde selon un troisième mode de réalisation de l’invention. Sur chacune des figures on a représenté les axes d’un repère orthonormé (OXYZ). Dans tout le texte, le terme « cylindre » désigne un cylindre droit de révolution. Dans tout le texte, un couple désigne un ensemble de forces appliquées à un solide dont la résultante est nulle, mais dont le moment total est non nul. En pratique, un couple tend seulement à mettre en rotation le système, c'est-à-dire qu'il provoque une variation de son moment cinétique, sans modifier le mouvement de son centre de gravité. On décrit pour commencer un système 1000 de correction de surface d’onde selon l’invention, illustré de manière schématique aux figures 2A, 2B et 2C. Le système 1000 de correction de surface d’onde est représenté en , selon une vue de face. Il comporte un miroir déformable 200 et des actionneurs 300. Le miroir déformable 200 désigne un composant optique planaire, avec une face hautement réfléchissante qui présente par exemple un coefficient de réflexion supérieur ou égal à 95% sur une plage de longueur d’onde prédéterminée. Lorsque le miroir déformable 200 est au repos, c’est-à-dire en l’absence de sollicitation externe sur ce dernier, la face hautement réfléchissante du miroir 200 s’étend dans un plan parallèle au plan (OXY). Le miroir 200 est dit déformable, car il est apte à se déformer élastiquement en réponse à au moins une sollicitation externe, ici par les actionneurs 300. Le miroir déformable 200 présente deux premiers bords 201, 202 parallèles entre eux, ici parallèles à l’axe (OX), et deux seconds bords 203, 204 parallèles entre eux, ici parallèles à l’axe (OY). Ici, mais de manière non limitative, la section du miroir déformable 200 dans un plan (OXY) a une forme de rectangle. Les actionneurs 300 sont configurés pour appliquer des couples sur les premiers bords 201, 202 du miroir déformable et sur les seconds bords 203, 204 du miroir déformable. La représente le miroir déformable 200, selon une vue de dessus, dans un plan parallèle au plan (OXZ). Des flèches 210 symbolisent le couple appliqué aux deux seconds bords 203, 204 du miroir déformable. De manière similaire, la représente le miroir déformable 200, selon une vue de côté, dans un plan parallèle au plan (OYZ). Des flèches 220 symbolisent le couple appliqué aux deux premiers bords 201, 202 du miroir déformable. En utilisation, des couples sont appliqués au miroir déformable 200, par les actionneurs 300, de manière à obtenir une déformation souhaitée du miroir déformable 200. Pour déterminer les couples à appliquer au miroir déformable 200, il est avantageux de mettre en œuvre une étape préliminaire de calibration du système 1000 de correction de surface d’onde, afin de déterminer les deux lois de comportement décrites ci-après. • une première loi de comportement, qui définit un lien entre les grandeurs suivantes : - une première consigne, relative à au moins un couple appliqué par les actionneurs 300 sur les premiers bords 201, 202 du miroir déformable ; - une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle auxdits premiers bords 201, 202, obtenue en réponse à l’application dudit couple sur les premiers bords 201, 202 du miroir déformable, et nommée première réponse principale ; et - une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle aux seconds bords 203, 203, obtenue en réponse à l’application dudit couple sur les premiers bords 201, 202 du miroir déformable, et nommée première réponse parasite. • une seconde loi de comportement, qui définit un lien entre les grandeurs suivantes : - une seconde consigne, relative à au moins un couple appliqué par les actionneurs 300 sur seconds bords 203, 204 du miroir déformable ; - une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle auxdits seconds bords 203, 204, obtenue en réponse à l’application dudit couple sur les seconds bords 203, 204 du miroir déformable, et nommée seconde réponse principale ; et - une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle aux premiers bords 201, 202, obtenue en réponse à l’application dudit couple sur les seconds bords 203, 204 du miroir déformable, et nommée seconde réponse parasite. A partir de ces deux lois de comportement, il est alors possible de déterminer une valeur de la première consigne et une valeur de la seconde consigne, associées à des couples aptes ensemble à déformer le miroir déformable selon une déformation souhaitée. La valeur de la première (respectivement seconde) consigne désigne avantageusement une unique valeur de couple, correspond au couple appliqué en chacun des points d’application de l’au moins un actionneur sur les premiers (respectivement seconds) bords du miroir déformable. En variante, la valeur de la première (respectivement seconde) consigne désigne un jeu de plusieurs valeurs de couple, correspondant aux couples respectifs appliqués en chacun des points d’application de l’au moins un actionneur sur les premiers (respectivement seconds) bords du miroir déformable. La déformation souhaitée peut être définie par le rayon R1 d’un premier cylindre, orienté selon un axe parallèle aux premiers bords du miroir déformable, et par le rayon R2 d’un second cylindre, orienté selon un axe parallèle aux seconds bords du miroir déformable. Des simulations avec un miroir déformable de dimensions 650x510mm 2 ont montré que l’on peut obtenir un défaut de forme résiduel d’amplitude inférieure ou égale à 0,05 µm, sur une surface du miroir, dite surface utile, de dimensions 505x370 mm 2 , et avec un faisceau de section 357x370 mm 2 arrivant à incidence de 45° sur le miroir déformable. Les figures 3A à 3D illustrent différents exemples de déformation du miroir déformable 200, obtenues dans un système tel qu’illustré en . La illustre le cas dans lequel la déformation du miroir est définie par un cylindre d’axe parallèle à l’axe (OY). Cette déformation est définie par des rayons R1 et R2 tels que définis ci-dessus, avec R1 égal à l’infini. La illustre le cas dans lequel la déformation du miroir est définie par un cylindre d’axe parallèle à l’axe (OX). Cette déformation est définie par des rayons R1 et R2 tels que définis ci-dessus, avec R2 égal à l’infini. La illustre le cas dans lequel la déformation du miroir est définie par la combinaison d’un cylindre d’axe parallèle à l’axe (OY) et d’un cylindre d’axe parallèle à l’axe (OX), avec les deux cylindres imbriqués. Le miroir déformable présente alors une forme concave, par exemple sphérique, apte à corriger une aberration optique de type courbure. Cette déformation est définie par des valeurs finies des rayons R1 et R2 tels que définis ci-dessus. La illustre le cas dans lequel la déformation du miroir est définie par la combinaison d’un cylindre d’axe parallèle à l’axe (OY) et d’un cylindre d’axe parallèle à l’axe (OX), avec les deux cylindres adjacents et non imbriqués. Le miroir déformable présente alors une forme apte à corriger une aberration optique de type astigmatisme. Cette déformation est définie par des valeurs finies des rayons R1 et R2 tels que définis ci-dessus. En tout état de cause, selon l’invention, les rayons R1 et R2 sont indépendants l’un de l’autre. La illustre de façon schématique, selon une vue de face, un système de correction de surface d’onde 4000 selon un premier mode de réalisation de l’invention. Dans ce mode de réalisation, le miroir déformable 200 est relié à quatre actionneurs 301, 302, 303, 304. L’actionneur 301 est dédié à l’application de couples au niveau du bord supérieur 201 du miroir déformable. Il comporte ici quatre éléments de support 311, 321, 331, 341, configurés chacun pour appliquer un couple sur une zone d’application respective 211, 221, 231, 241 appartenant au miroir déformable. Les éléments de support 311, 321, 331, 341 s’étendent espacés les uns des autres, le long du bord supérieur 201 du miroir déformable 200. De manière similaire, les zones d’application respective 211, 221, 231, 241 s’étendent espacées les unes des autres, le long du bord supérieur 201 du miroir déformable 200. L’actionneur 302 est dédié à l’application de couples au niveau du bord inférieur 202 du miroir déformable. Ici, l’actionneur 302 est le symétrique de l’actionneur 301, relativement à un plan parallèle au plan (OXZ). L’actionneur 302 comporte donc quatre éléments de support, qui s’étendent espacés les uns des autres le long du bord inférieur 202. Ces quatre éléments de support sont configurés chacun pour appliquer un couple sur une zone d’application respective appartenant au miroir déformable. L’actionneur 303 est dédié à l’application de couples au niveau du bord latéral gauche 203 du miroir déformable. Il comporte ici deux éléments de support 313, 323, configurés chacun pour appliquer un couple sur une zone d’application respective 213, 223 appartenant au miroir déformable. Les éléments de support 313, 323 s’étendent espacés les uns des autres, le long du bord 203 du miroir déformable 200. De manière similaire, les zones d’application respective 213, 223 s’étendent donc espacées les unes des autres, le long du bord 203 du miroir déformable 200. L’actionneur 304 est dédié à l’application de couples au niveau du bord latéral droit 204 du miroir déformable. Ici, l’actionneur 304 est le symétrique de l’actionneur 303, relativement à un plan parallèle au plan (OYZ). L’actionneur 304 comporte donc deux éléments de support, qui s’étendent espacés les uns des autres le long du bord 204. Ces deux éléments de support sont configurés chacun pour appliquer un couple sur une zone d’application respective appartenant au miroir déformable. L’application de couples sur le miroir déformable, au niveau de zones d’application discrètes espacées les unes des autres, permet d’éviter tout risque d’endommagement du miroir déformable, en laissant ce dernier libre de se mettre en forme entre les zones d’application discrètes. De préférence, les coins du miroir sont libres de toute zone d’application de couple. Au niveau de chacun des bords du miroir déformable, les positions des éléments de support (et donc des zones d’application d’un couple) sont avantageusement optimisées de manière à minimiser un résidu de déformation parasite. On a représenté également à la d’autres éléments, optionnels, d’un système de correction de surface d’onde selon l’invention. Ces éléments comportent au moins une unité de pilotage 500, pour piloter les actionneurs 301 à 304, une mémoire 600, et un processeur 700 relié à ladite mémoire et à l’unité de pilotage. L’au moins une unité de pilotage 500 est constituée ici par deux unités de pilotage 501, 502, configurées respectivement pour piloter les actionneurs 301, 302 et pour piloter les actionneurs 303, 304. Chaque unité de pilotage peut comprendre des moyens électroniques et des moyens informatiques et/ou logiciels. Il s’agit typiquement d’un circuit électronique numérique ou analogique, de préférence dédié, associé à un microprocesseur et/ou un ordinateur. De préférence, l’unité de pilotage 501 est configurée pour piloter les actionneurs 301 et 302 de sorte qu’ils appliquent des couples identiques sur les deux premiers bords 201, 202 du miroir déformable. Ainsi, deux éléments de support appartenant respectivement à l’actionneur 301 et à l’actionneur 302, et alignés ensemble le long d’un axe parallèle à l’axe (OY), appliquent un même couple sur le miroir déformable. De manière similaire, l’unité de pilotage 502 est avantageusement configurée pour piloter les actionneurs 303 et 304 de sorte qu’ils appliquent des couples identiques sur les deux seconds bords 203, 204 du miroir déformable. Ainsi, deux éléments de support appartenant respectivement à l’actionneur 303 et à l’actionneur 304, et alignés ensemble le long d’un axe parallèle à l’axe (OX), appliquent un même couple sur le miroir déformable. La mémoire 600 stocke ici la première loi de comportement et la deuxième loi de comportement telles que définies ci-dessus. Le processeur 700 est relié à la mémoire 600 et à l’au moins une unité de pilotage 500, constituée ici par les deux unités de pilotage 501 et 502. Il est configuré pour : - recevoir en entrée des données relatives à une déformation souhaitée du miroir déformable 200, ces données pouvant être formées par la valeur du rayon R1 d’un premier cylindre, orienté selon un axe parallèle aux premiers bords du miroir déformable 200, et par la valeur du rayon R2 d’un second cylindre, orienté selon un axe parallèle aux seconds bords du miroir déformable 200 ; puis - déterminer, à partir desdites données relatives à une déformation souhaitée du miroir déformable 200, et à l’aide des première et deuxième lois de comportement stockées dans la mémoire 600, une valeur de la première consigne et une valeur de la seconde consigne, associées à des couples aptes ensemble à déformer le miroir déformable selon la déformation souhaitée ; puis - transmettre à l’unité de pilotage 501 la valeur de la première consigne de sorte que, en réponse, l’unité de pilotage 501 pilote les actionneurs 301, 302 pour qu’ils appliquent aux premiers bords du miroir des couples définis par cette valeur de la première consigne, et pour transmettre à l’unité de pilotage 502 la valeur de la seconde consigne de sorte que, en réponse, l’unité de pilotage 502 pilote les actionneurs 303, 304 pour qu’ils appliquent aux seconds bords du miroir des couples définis par cette valeur de la seconde consigne. L’entrée du processeur 700, où arrivent les données relatives à une déformation souhaitée du miroir déformable 200, peut comprendre une interface homme machine. En complément ou en variante, l’entrée du processeur 700 peut être reliée à un calculateur appartenant à une boucle de rétroaction (non représentée en ), la boucle de rétroaction comprenant classiquement : - un moyen de mesure, pour mesurer une déformation de front d’onde d’un faisceau électromagnétique réfléchi sur le miroir déformable 200 ; - un comparateur, pour calculer une différence entre une déformation cible et une déformation mesurée fournie par ledit moyen de mesure ; et - un calculateur, pour déterminer, à partir de la différence calculée par le comparateur, une déformation du miroir déformable 200 apte à réduire cette différence en valeur absolue. Cette déformation forme les données relatives à une déformation souhaitée du miroir déformable 200. La illustre une vue de détail en perspective d’un système de correction de surface d’onde selon un deuxième mode de réalisation de l’invention. La montre en particulier un actionneur 501 pour appliquer des couples respectifs en une pluralité de zones d’applications réparties le long du bord supérieur 201 du miroir déformable 200. L’actionneur 501 comporte ici un arbre de rotation 551, apte à être mis en rotation sur lui-même, autour de son axe d’allongement. Cet axe d’allongement s’étend sensiblement parallèle à l’axe (OX), à plus ou moins 5° d’angle près. L’actionneur 501 comporte en outre une pluralité d’éléments de transmission 552, chacun apte à être entraîné en rotation par l’arbre de rotation 551. Les éléments de transmission 552 sont répartis le long de l’arbre de rotation 551, espacées les uns des autre. Les éléments de transmission permettent, chacun, de transmettre des forces depuis l’arbre de rotation jusqu’à une zone d’application respective appartenant au miroir déformable 200, de manière à appliquer un couple sur ladite zone d’application. Chacun des éléments de transmission 552 comporte donc un élément de support respectif, configuré pour appliquer un couple sur une zone d’application respective appartenant au miroir déformable. De préférence, tous les éléments de transmission 552 montés sur l’arbre de rotation 551 sont identiques entre eux. En fonctionnement, une rotation de l’arbre de transmission 551 entraîne ainsi l’application de couples identiques au niveau de chacune des zones d’application sur le miroir déformable. A la , on a également représenté un bloc moteur 561, apte à entraîner en rotation l’arbre de rotation 551. Le bloc moteur reçoit un moteur électrique équipé d’un réducteur pour piloter angulairement la rotation de l’arbre de rotation correspondant. La montre également une paire d’éléments de maintien 571. Chaque élément de maintien 571 relie le miroir déformable et une extrémité respective de l’arbre de rotation 551. Les éléments de maintien 571 présentent au moins un élément déformable, pour soutenir le miroir déformable 200 tout en autorisant sa déformation. La mise en forme du miroir 200, par les éléments de transmission 552, est ainsi indépendante de son maintien. On réalise ainsi un maintien isostatique, l’application de la mise en forme étant découplée du maintien. De préférence, des actionneurs similaires sont montés sur le bord inférieur, et sur les bords latéraux gauche et droit du miroir déformable, avec une symétrie planaire entre les actionneurs montés sur les bords supérieur et inférieur du miroir déformable, ainsi qu’une symétrie planaire entre les actionneurs montés sur les bords latéraux gauche et droit du miroir déformable. La illustre, selon une vue de face, un exemple d’un élément de transmission 652 tel que ceux illustrés schématiquement en . L’élément de transmission 652 comporte ici : - un balancier 610, constitué ici d’une noix centrale 611 et de deux ailes 612A, 612B qui s’étendent de part et d’autre de la noix centrale 611 ; - deux supports 620A, 620B, encadrant ensemble une zone 20 destinée à recevoir une région située sur un bord du miroir déformable; et - deux éléments de compensation 630A, 630B, reliant chacun l’une des ailes 612A, 612B et l’un des supports 620A, 620B. De préférence, l’élément de transmission 652 présente une symétrie planaire, relativement à un plan passant par la noix centrale 611 et parallèle au plan (OXY). La noix centrale 611 comporte une ouverture centrale en forme de cylindre de révolution, d’axe parallèle à l’axe (OX) en l’absence de contrainte mécanique sur la noix centrale. La noix centrale 611 est adaptée à enserrer un arbre de rotation tel que décrit en référence à la . Chaque élément de compensation 630A, 630B est configuré pour absorber des efforts parasites et/ou des couples parasites, et pour transmettre des efforts orientés parallèles à l’axe (OY). Ainsi, lorsque l’élément de transmission 652 est entraîné en rotation par l’arbre de transmission, il applique sur le miroir déformable, via les deux supports 620A, 620B, deux forces opposées orientées selon l’axe (OY). Ces deux forces définissent ensemble un couple. Chaque élément de compensation 630A, 630B comporte un ou plusieurs éléments mécaniquement déformables. De préférence, chaque élément de compensation 630A, 630B comporte une première paire de deux lames souples. Ces lames souples s’étendent chacune, au repos, dans un plan parallèle au plan (OXY). Par « au repos », on entend « en l’absence de sollicitation externe sur la lame ». Cette première paire de deux lames souples permet notamment d’absorber tout ou partie d’un effort parasite orienté selon l’axe (OZ). De préférence, chaque élément de compensation 630A, 630B comporte en outre une seconde paire de deux lames souples. Ces lames souples s’étendent chacune, au repos, dans un plan parallèle au plan (OYZ). Cette seconde paire de deux lames souples permet notamment d’absorber tout ou partie d’un effort parasite orienté selon l’axe (OX). Les supports 620A, 620B forment ensemble un élément de support tel que mentionné ci-dessus, pour appliquer un couple sur une zone d’application respective appartenant au miroir déformable. De manière avantageuse, les supports 620A, 620B ne sont pas fixés directement sur le miroir déformable. Ils sont de préférence fixés de manière amovible à un élément d’appui intermédiaire (par exemple de type étrier), lui-même fixé directement sur le miroir déformable. Un tel agencement facilite le remplacement et la maintenance des éléments de transmission. Un actionneur mécanique, comportant un tel élément de transmission monté sur un arbre de rotation, permet d’appliquer un couple dont l’intensité ne dépend pas de déformations du miroir ni de mouvements relatifs entre le miroir et les éléments de transmission. Cet actionneur forme ainsi un actionneur astatique. Un tel actionneur permet également que les caractéristiques du couple appliqué au miroir déformable soient insensibles aux déformations et mouvements relatifs entre le miroir et son support, lequel supporte également l’actionneur mécanique (voir éléments de maintien 571, illustrés en ). Un tel actionneur permet en outre de conserver le couple appliqué sur le miroir déformable, même en l’absence d’alimentation électrique dudit actionneur. Un tel actionneur est donc particulièrement adapté à la correction quasi-statique d’une forme définie, par exemple la correction d’un défaut apporté par une déformation d’un hublot dans un système optique. L’invention offre ainsi une solution pour corriger des défauts de phase d’un faisceau électromagnétique, en appliquant des couples sur quatre côtés d’un miroir déformable. L’invention met ainsi en œuvre des moyens simples, sans recours à des variations d’épaisseur du miroir déformable ni à des raidisseurs. Le miroir déformable est avantageusement maintenu de façon isostatique, avec les couples appliqués au miroir indépendamment du maintien de ce dernier. Les couples sont avantageusement appliqués de façon discrète, par exemple via des étriers, sur des zones d’application respectives situées sur le miroir déformable. Sur chaque bord du miroir déformable, le nombre de zones d’applications est compris de préférence entre deux et dix, plus préférentiellement entre deux et quatre. De préférence, le couple appliqué est identique sur chacune des zones d’application d’un même bord du miroir. Avantageusement, un unique actionneur est utilisé pour appliquer les couples sur un même bord du miroir déformable. Au niveau du miroir déformable, deux côtés opposés reçoivent de préférence une même répartition de couples. L’invention permet d’appliquer une déformation définie par un ou deux cylindre(s) et qui soit la plus pure possible, c’est-à-dire avec un minimum de déformations parasites. La déformation est appliquée via la tranche du miroir, ce qui permet laisser libre l’arrière du miroir. L’idée à la base de l’invention est particulièrement originale en ce qu’elle ne cherche pas directement à minimiser des déformations parasites associées à une déformation en cylindre. Ces déformations sont acceptées, et compensées via une déformation adaptée selon un second cylindre d’axe transverse. L’acceptation de défauts parasites en forme de cylindre permet en outre de concentrer des efforts d’optimisation sur la compensation d’autres défauts de forme de surface d’onde, notamment les aberrations optiques hors courbure et astigmatisme. On peut ainsi gagner un ordre de grandeur sur les défauts résiduels. L’invention n’est pas limitée aux exemples décrits ci-dessus, et couvre de nombreuses autres variantes, notamment en termes de dimensions, de nombres d’éléments de support le long de chaque bord du miroir, etc. Les figures 5 et 6 illustrent des exemples particulièrement avantageux d’actionneurs de couple pouvant être utilisés dans un système selon l’invention. Pour autant, l’invention n’est pas limitée à un système comportant de tels actionneurs. Selon des variantes non représentées, par exemple, chaque bord du miroir déformable est relié à une pluralité d’actionneurs de couple tous indépendants les uns des autres. L’invention n’est pas non plus limitée à un système dans lequel le miroir déformable est de forme rectangulaire, tant que ce dernier présente deux premiers bords parallèles entre eux et deux seconds bords parallèles entre eux. Le miroir déformable peut par exemple être de forme rectangulaire, carrée, trapézoïdale, hexagonale, en losange, etc. L’invention n’est pas non plus limitée à un système dans lequel les couples sont appliqués sur des bords de miroir perpendiculaires entre eux, pour générer des déformations selon des cylindres d’axes perpendiculaires entre eux. L’invention couvre également un système dans lequel les couples sont appliqués sur des bords de miroir transverses, pour générer des déformations selon des cylindres d’axes transverses, inclinés entre eux d’un angle quelconque. L’invention trouve une application avantageuse dans le domaine de la correction de surface d’onde sur des lasers de puissance, et dans le domaine de l’optique adaptative. Elle permet notamment de compenser une déformation de front d’onde générée par la déformation d’un hublot transparent, où la déformation de hublot est due à une différence de pression entre des milieux situés de part et d’autre du hublot. L’invention permet de générer des formes simples au niveau du miroir déformable, à l’aide d’un faible nombre d’actionneurs. Elle permet de compenser une déformation cylindrique, ou une déformation de type courbure ou astigmatisme, avec un minimum de déformation parasite. Système (1000 ; 4000) de correction de surface d’onde comprenant : - un miroir déformable (200), avec deux premier bords (201, 202) parallèles entre eux, et avec deux seconds bords (203, 204) parallèles entre eux et orientés transverses relativement aux premiers bords ; et - au moins un actionneur (300 ; 301, 302, 303, 304 ; 501), configuré pour appliquer au moins une force au miroir déformable ; caractérisé en ce que l’au moins un actionneur (300 ; 301, 302, 303, 304 ; 501) est configuré pour appliquer des couples sur chacun des deux premiers bords et des deux seconds bords du miroir déformable. Système (4000) selon la revendication 1, caractérisé en ce que l’au moins un actionneur (301, 302, 303, 304 ; 501) comporte plusieurs éléments de support (311, 321, 331, 341 ; 313, 323) discrets, où chaque élément de support est configuré pour appliquer un couple sur une zone d’application respective (211, 221, 231, 241 ; 213, 223) située sur le miroir déformable, et où les éléments de support (311, 321, 331, 341 ; 313, 323) sont espacés les uns des autres et répartis le long de chacun des premiers bords du miroir déformable (201, 202) et le long de chacun des seconds bords (203, 204) du miroir déformable. Système (4000) selon la revendication 2, caractérisé en ce que, pour au moins un bord (201 ; 202 ; 203 ; 204) parmi les deux premiers bords et les deux seconds bords du miroir déformable, les éléments de support (311, 321, 331, 341 ; 313, 323) répartis le long dudit bord sont configurés pour appliquer tous, à chaque instant, un même couple au miroir déformable (200). Système (4000) selon la revendication 2 ou 3, caractérisé en ce que, pour au moins un bord (201 ; 202 ; 203 ; 204) parmi les deux premiers bords et les deux seconds bords du miroir déformable, les éléments de support répartis le long dudit bord appartiennent à un même actionneur (501), où ledit actionneur comporte un arbre de rotation (551) sur lequel sont montés plusieurs éléments de transmission (552 ; 652), où chacun desdits éléments de transmission (552 ; 652) est apte à être entraîné en rotation par l’arbre de rotation, et où chacun desdits éléments de transmission (552 ; 652) comporte l’un respectif parmi les plusieurs éléments de supports répartis le long dudit bord. Système (4000) selon l’une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu’il comporte : - une première paire d’actionneurs (301, 302), identiques entre eux, et configurés pour appliquer des couples respectifs en une pluralité de zones d’application (211, 221, 231, 241), lesquelles sont réparties sur les deux premiers bords (201, 202) du miroir déformable ; et - une deuxième paire d’actionneurs (303, 304), identiques entre eux, et configurés pour appliquer des couples respectifs en une pluralité de zones d’application (213, 223), lesquelles sont réparties sur les deux seconds bords (203, 204) du miroir déformable. Système (4000) selon la revendication 5, caractérisé en ce qu’il comporte : - une première unité de pilotage (501), configurée pour piloter les actionneurs (301, 302) de la première paire d’actionneurs de sorte qu’ils appliquent des couples identiques sur chacun des deux premiers bords (201, 202) ; et - une seconde unité de pilotage (502), configurée pour piloter les actionneurs (303, 304) de la deuxième paire d’actionneurs de sorte qu’ils appliquent des couples identiques sur chacun des deux seconds bords (203, 204). Système (4000) selon l’une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu’il comporte au moins une unité de pilotage (500), configurée pour piloter l’au moins un actionneur (301, 302, 303, 304), une mémoire (600), et un processeur (700) relié à ladite mémoire et à l’unité de pilotage, et en ce que : - la mémoire (600) stocke une première loi de comportement, définissant un lien entre une première consigne relative à au moins un couple appliqué sur les premiers bords (201, 202) du miroir déformable, une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle aux premiers bords du miroir, nommée première réponse principale, et une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle aux seconds bords du miroir, nommée première réponse parasite ; - la mémoire (600) stocke en outre une seconde loi de comportement, définissant un lien entre une seconde consigne relative à au moins un couple appliqué sur les seconds bords du miroir (203, 204) déformable, une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle aux seconds bords du miroir, nommée seconde réponse principale, et une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle aux premiers bords du miroir, nommée seconde réponse parasite ; - le processeur (700) est configuré pour recevoir en entrée des données relatives à une déformation souhaitée du miroir déformable (200), pour déterminer, à partir desdites données et des première et seconde lois de comportement, une valeur de la première consigne et une valeur de la seconde consigne associées à des couples aptes ensemble à déformer le miroir déformable selon ladite déformation souhaitée, et pour transmettre lesdites valeurs de la première et seconde consignes à l’au moins une unité de pilotage (500). Procédé pour mettre en œuvre une correction de surface d’onde sur un faisceau électromagnétique, mis en œuvre dans un système (1000 ; 4000) selon l’une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce qu’il comporte les étapes suivantes : - à partir d’une première loi de comportement, définissant un lien entre une première consigne relative à au moins un couple appliqué sur les premiers bords (201, 202) du miroir déformable, une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle aux premiers bords du miroir, nommée première réponse principale, et une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle aux seconds bords du miroir, nommée première réponse parasite, et à partir d’une seconde loi de comportement, définissant un lien entre une seconde consigne relative à au moins un couple appliqué sur seconds bords (203, 204) du miroir déformable, une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle aux seconds bords du miroir, nommée seconde réponse principale, et une déformation du miroir déformable selon un cylindre d’axe parallèle aux premiers bords du miroir, nommée seconde réponse parasite, détermination d’une valeur de la première consigne et d’une valeur de la seconde consigne associées à des couples aptes ensemble à déformer le miroir déformable (200) selon une déformation souhaitée ; et - pilotage de l’au moins un actionneur (300 ; 301, 302, 303, 304 ; 501) selon lesdites valeurs de la première et seconde consignes. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce qu’il est mis en œuvre pour imposer au miroir déformable (200) la forme d’un cylindre, où le cylindre présente un rayon R et est orienté selon un axe parallèle aux premiers (201, 202) ou aux seconds bords (203, 204) du miroir déformable, et en ce qu’il comporte les étapes suivantes : - à partir de ladite première loi de comportement ou de ladite seconde loi de comportement, détermination d’une valeur de la première consigne et d’une valeur de la seconde consigne, associées à des couples aptes ensemble à imposer au miroir déformable (200) ladite forme d’un cylindre ; et - pilotage de l’au moins un actionneur (300 ; 301, 302, 303, 304 ; 501) selon lesdites valeurs de la première et seconde consignes.