Brevet FR3116310A1 — publié le 20220520

Pompe à vide turbomoléculaire et procédé de fabrication d’un rotor Pompe à vide (1) turbomoléculaire configurée pour entrainer des gaz à pomper d’un orifice d’aspiration (6) vers un orifice de refoulement (7), la pompe à vide (1) turbomoléculaire dans laquelle la surface du bol interne (15) du rotor (3) agencée en vis-à-vis de la cloche (17) du stator (2) susceptible d’être refroidie présente une émissivité plus élevée que la surface du rotor (3) en communication avec les gaz pompés et/ou la surface de la cloche (17) du stator (2) susceptible d’être refroidie agencée en vis-à-vis du bol interne (15) du rotor (3) présente une émissivité plus élevée que la surface du rotor (3) en communication avec les gaz pompés. Figure d’abrégé : figure 1 Pompe à vide turbomoléculaire et procédé de fabrication d’un rotor La présente invention concerne une pompe à vide turbomoléculaire. La présente invention concerne également un procédé de fabrication d’un rotor de pompe à vide turbomoléculaire. La génération d’un vide poussé dans une enceinte nécessite l'utilisation de pompes à vide turbomoléculaires composées d'un stator dans lequel un rotor est entraîné en rotation rapide, par exemple une rotation à plus de quatre-vingt-dix mille tours par minute. Dans certains procédés dans lesquels les pompes à vide turbomoléculaire sont utilisées, tels que les procédés de fabrication de semi-conducteurs ou LED, une couche de dépôt peut se former dans la pompe à vide. Ce dépôt peut entrainer une restriction de jeu entre le stator et le rotor pouvant provoquer un grippage du rotor. La couche de dépôt vient en effet échauffer le rotor par frottement, ce qui peut générer un fluage de ce dernier puis une fissure éventuelle. Il est connu de chauffer le stator pour éviter la condensation de produits de réaction dans la pompe. Cependant, on veille à ce que la température du rotor ne dépasse pas un certain seuil haut afin de préserver sa tenue mécanique. En effet, la résistance mécanique aux forces centrifuges du rotor diminue lorsque la température augmente, notamment au-delà de 150°C pour l’aluminium. L’augmentation de température de fonctionnement de la pompe à vide implique également de limiter le flux de gaz maximum pompé pour conserver une température du rotor compatible avec ses caractéristiques de fonctionnement car plus le flux de gaz à pomper est important et plus la pompe à vide s’échauffe. Ces contraintes sur la température de fonctionnement et sur le flux de gaz maximum sont cependant contradictoires avec les attentes de production. On cherche en effet à augmenter le plus possible la température de chauffage pour limiter la formation de dépôt et ainsi augmenter la durée de vie des pompes. Dans le même temps, on cherche à augmenter au maximum les flux de gaz pompés pour augmenter les cadences de production, et en particulier les flux de gaz lourds, tel que l’argon. Les gaz lourds présentent cependant l’inconvénient de provoquer un échauffement encore plus important du rotor. En effet, l’évacuation de la chaleur du rotor est réalisée d’une part, par le transfert aux molécules (convection) et d’autre part, par rayonnement infrarouge. Toutefois, dans le cas de pompage de gaz lourds, les échanges de chaleur par convection sont très réduits. Par ailleurs, les gaz de procédés pouvant être très agressifs, il peut être nécessaire de protéger le rotor en le revêtant d’une couche protectrice, tel qu’un nickelage. Le revêtement nickel présente cependant une émissivité en infra-rouge très basse, de l’ordre de 0,2. Cette faible émissivité limite fortement les échanges de chaleur du rotor avec son environnement, ce qui restreint par conséquence le flux maximal de gaz pouvant être pompé. Un des buts de la présente invention est de proposer une pompe à vide turbomoléculaire résolvant au moins partiellement un inconvénient de l’état de la technique. A cet effet, l’invention a pour objet une pompe à vide turbomoléculaire configurée pour entrainer des gaz à pomper d’un orifice d’aspiration vers un orifice de refoulement, la pompe à vide turbomoléculaire comportant : - un stator comportant au moins un étage d’ailettes et une cloche configurée pour pouvoir être refroidie, - un rotor configuré pour tourner dans le stator et comportant au moins deux étages de pales, les étages de pales et les étages d’ailettes se succédant axialement le long d’un axe de rotation du rotor et un bol interne coaxial à l’axe de rotation, agencé en vis-à-vis de la cloche du stator, - un dispositif de purge configuré pour injecter un flux de gaz de purge dans l’interstice situé entre la cloche du stator et le bol interne du rotor, caractérisée en ce que la surface du bol interne du rotor agencée en vis-à-vis de la cloche du stator susceptible d’être refroidie présente une émissivité plus élevée que la surface du rotor en communication avec les gaz pompés, au moins sur une portion de la surface du bol interne, et/ou la surface de la cloche du stator susceptible d’être refroidie agencée en vis-à-vis du bol interne du rotor présente une émissivité plus élevée que la surface du rotor en communication avec les gaz pompés, au moins sur une portion de la surface de la cloche du stator. En transfert radiatif, l’émissivité correspond au flux radiatif du rayonnement thermique émis par un élément de surface à température donnée, rapporté à la valeur de référence qu’est le flux émis par un corps noir à cette même température. Une majorité de la surface du bol interne, telle que toute la surface du bol interne à l’exception de surfaces de centrage, et/ou une majorité de la surface de la cloche du stator, telle que toute la surface de la cloche du stator à l’exception de surfaces de centrage, présente par exemple une émissivité plus élevée. La(es) surface(s) d’émissivité élevée(s) présente(nt) par exemple une émissivité supérieure ou égale à 0,4. La(es) surface(s) en communication avec les gaz pompés peuvent présenter une émissivité inférieure à 0,3. En particulier, la surface du rotor en communication avec les gaz pompés peut présenter un revêtement de protection contre la corrosion, tel qu’un nickelage. L’intérieur du rotor, et uniquement l’intérieur, présentant une surface de haute émissivité, permet de favoriser le refroidissement radiatif du rotor par évacuation de chaleur. La cloche du stator sous le rotor, présentant une surface de haute émissivité, permet de favoriser le refroidissement du rotor par rayonnement radiatif de la cloche qui est elle-même refroidie. Pour améliorer nettement les échanges thermiques, on peut privilégier des surfaces de fortes émissivité à la fois sur la partie mobile et sur la partie fixe dans la région qui ne communique pas directement avec les gaz pompés. La section de la conductance annulaire entre une extrémité du bol interne du rotor et la cloche du stator est par exemple inférieure ou égale à 12mm 2 /1,69.10 -3 Pa.m 3 /s de flux de gaz de purge injecté (12mm 2 /sccm) afin de limiter l’entrée des gaz pompés dans l’interstice situé entre la cloche du stator et le bol interne du rotor et afin de protéger la(es) surface(s) d’émissivité plus importante(s) situées entre le bol interne du rotor et la cloche du stator. Le débit de gaz de purge est par exemple inférieur ou égal à 0,0845 Pa.m 3 /s (ou 50 sccm). En fonctionnement, les échanges thermiques avec la cloche du stator sont favorisés sous le rotor du fait de(s) surface(s) d’émissivité élevée(s), ce qui permet d’améliorer le refroidissement radiatif du rotor. Ces surfaces d’émissivité élevées ne voient pas les gaz pompés potentiellement corrosifs car elles sont protégées d’une part, par le gaz de purge circulant dans l’interstice sous le rotor et d’autre part, par la conductance annulaire à l’extrémité du bol interne. Le gaz de purge et la conductance annulaire permettent de protéger les surfaces d’émissivité élevées du rotor et/ou du stator des agressions éventuelles des gaz pompés qui pourraient s’infiltrer sous le rotor. Ainsi, seules les surfaces protégées sont rendues hautement émissives de sorte que celles-ci ne rencontrent pas ou peu les gaz pompés potentiellement corrosifs. La pompe à vide turbomoléculaire peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prises seules ou en combinaison. La(es) surface(s) d’émissivité élevée(s) du bol interne du rotor et/ou de la cloche du stator est(sont) par exemple obtenue(s) par traitement de surface, tel que par anodisation ou sablage ou rainurage ou texturation, par exemple laser, ou traité à la soude. Le traitement de surface de l’aluminium par anodisation, traitement soude ou texturation laser présentent l’avantage de pouvoir obtenir des surfaces d’émissivité supérieures à 0,8 à un prix raisonnable. La(es) surface(s) d’émissivité élevée(s) du bol interne du rotor et/ou de la cloche du stator peut/peuvent être obtenue(s) par dépôt d’un revêtement, tel qu’un revêtement chimique déposé par plasma de type KEPLA-COAT® ou tel qu’un revêtement de type peinture sans solvants, tel qu’un revêtement polymère époxyde plus communément appelé « peinture époxy ». Préférentiellement, les surfaces peintes ou revêtues sont limitées aux surfaces parallèles à l’axe de rotation du rotor afin que la force centrifuge ne puisse pas arracher la peinture ou le revêtement, comme par exemple les surfaces cylindriques du bol interne notamment de la jupe Holweck. L’épaisseur du revêtement est par exemple comprise entre 30µm et 100µm. Le revêtement ou le traitement de surface présente par exemple un aspect mat et/ou sombre. Il est notamment possible de prévoir plusieurs couches de traitement de surface et/ou de revêtement pour augmenter l’émissivité du rotor et/ou du stator dans l’interstice. Le revêtement ou le traitement de surface est de préférence exempt de solvants. Les solvants sont en effet totalement à proscrire dans certaines applications de pompage et on préfère ne pas utiliser de solvants dans la pompe à vide pour éviter tout risque de rétrodiffusion dans les enceintes à pomper. Le dispositif de purge peut être configuré pour injecter un flux de gaz de purge au niveau d’au moins un palier supportant et guidant un arbre d’entrainement du rotor de sorte que le flux de gaz de purge traverse le au moins un palier avant de sortir de la cloche du stator. La pompe à vide turbomoléculaire peut comporter un capteur de présence du gaz de purge injecté par le dispositif de purge. La pompe à vide comporte par exemple un dispositif de refroidissement reçu dans le stator, dans la cloche ou en contact thermique avec la cloche, tel qu’un circuit hydraulique, pour refroidir la cloche du stator. Le dispositif de refroidissement permet par exemple de contrôler la température de la cloche à une température inférieure ou égale à 75°C, telle qu’à 70°C, par exemple par circulation d’eau à température ambiante. Avantageusement, la pompe à vide turbomoléculaire comporte un capteur de température configuré pour mesurer la température du rotor par rayonnement infra-rouge. Le capteur de température peut être placé sur la cloche du stator, en vis-à-vis de la surface d’émissivité élevée du bol interne. La pompe à vide turbomoléculaire peut comporter un dispositif de chauffage du stator, tel qu’une ceinture résistive chauffante, pour chauffer le stator à une température de consigne, par exemple supérieure à 80°C, telle que 130°C. Selon un exemple de réalisation, le rotor comporte une jupe Holweck en aval des au moins deux étages de pales, la jupe Holweck étant formée par un cylindre lisse configuré pour tourner en regard de rainures hélicoïdales du stator pour le pompage des gaz, le bol interne agencé en vis-à-vis de la cloche du stator étant également formé par l’intérieur de la jupe Holweck. Selon un autre exemple, la pompe à vide est uniquement turbomoléculaire: le rotor comporte au moins deux étages de pales mais pas de jupe Holweck. L’invention a aussi pour objet un procédé de fabrication d’un rotor de pompe à vide turbomoléculaire tel que décrit précédemment, dans lequel : - on réalise un traitement de surface du rotor pour obtenir une surface d’émissivité élevée du rotor, à l’exception de surfaces de centrage, ou, on dépose un revêtement sur le rotor pour obtenir une surface d’émissivité élevée du rotor, à l’exception de surfaces de centrage, puis - on nickèle la surface du rotor destinée à être en communication avec les gaz pompés, en masquant le bol interne du rotor. L’invention a aussi pour objet un procédé de fabrication d’un rotor de pompe à vide turbomoléculaire tel que décrit précédemment, dans lequel : - on réalise un traitement de surface d’une première partie du rotor comprenant le bol interne et la jupe Holweck pour obtenir une surface d’émissivité élevée de la première partie du rotor, ou, on dépose un revêtement sur une première partie du rotor comprenant le bol interne et la jupe Holweck pour obtenir une surface d’émissivité élevée de la première partie du rotor, puis - on nickèle la surface de la première partie du rotor destinée à être en communication avec les gaz pompés en masquant le bol interne, puis, on fixe la première partie du rotor avec une deuxième partie du rotor nickelée, comportant au moins deux étages de pales. L’invention a aussi pour objet un procédé de fabrication d’un rotor de pompe à vide turbomoléculaire tel que décrit précédemment, dans lequel on assemble, par exemple par vissage ou frettage, une pièce formant le bol interne de surface d’émissivité élevée avec un corps de rotor présentant d’une part, une forme concave complémentaire au bol interne et comportant d’autre part, au moins deux étages de pales. La pièce formant le bol interne de surface d’émissivité élevée est par exemple réalisée en aluminium anodisé. Présentation des dessins D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description suivante d'un mode de réalisation particulier de l’invention, mais nullement limitatif, ainsi que des dessins annexés sur lesquels : La montre une vue en coupe axiale d’une pompe à vide turbomoléculaire selon un premier exemple de réalisation. La montre une vue en coupe d’un autre exemple de réalisation d’un rotor de pompe à vide turbomoléculaire. La montre une vue en coupe d’un autre exemple de réalisation d’un rotor de pompe à vide turbomoléculaire. La montre une vue en coupe axiale d’une pompe à vide turbomoléculaire selon un autre exemple de réalisation. Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence. Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations. On entend par « en amont », un élément qui est placé avant un autre par rapport au sens de circulation du gaz. A contrario, on entend par « en aval », un élément placé après un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper. La illustre un premier exemple de réalisation d’une pompe à vide 1 turbomoléculaire. La pompe à vide 1 turbomoléculaire comporte un stator 2 dans lequel un rotor 3 est configuré pour tourner à grande vitesse en rotation axiale, par exemple une rotation à plus de quatre-vingt-dix mille tours par minute. Dans l’exemple de réalisation de la , la pompe à vide 1 turbomoléculaire est dite hybride : elle comporte un étage turbomoléculaire 4 et un étage moléculaire 5 situé en aval de l’étage turbomoléculaire 4 dans la direction de circulation des gaz pompés (représentée par les flèches F1 sur la ). Les gaz pompés entrent par l’orifice d’aspiration 6, traversent d’abord l’étage turbomoléculaire 4, puis l’étage moléculaire 5, pour être ensuite évacués vers un orifice de refoulement 7 de la pompe à vide 1 turbomoléculaire. En fonctionnement, l’orifice de refoulement 7 est raccordé à un pompage primaire. Une bride annulaire d’entrée 8 entoure par exemple l’orifice d’aspiration 6 pour raccorder la pompe à vide 1 à une enceinte dont on souhaite abaisser la pression. Dans l’étage turbomoléculaire 4, le rotor 3 comporte au moins deux étages de pales 9 et le stator 2 comporte au moins un étage d’ailettes 10. Les étages de pales 9 et d’ailettes 10 se succèdent axialement le long de l’axe de rotation I-I du rotor 3 dans l’étage turbomoléculaire 4. Le rotor 3 comporte par exemple plus de quatre étages de pales 9, comme par exemple entre quatre et douze étages de pales 9 (sept dans l’exemple illustré sur la ). Chaque étage de pales 9 du rotor 3 comporte des pales inclinées qui partent en direction sensiblement radiale d’un moyeu 11 du rotor 3 fixé à un arbre d’entrainement 12 de la pompe à vide 1, par exemple par vissage. Les pales sont réparties régulièrement en périphérie du moyeu 11. Chaque étage d’ailettes 10 du stator 2 comporte une couronne de laquelle partent, en direction sensiblement radiale, des ailettes inclinées, réparties régulièrement sur le pourtour intérieur de la couronne. Les ailettes d’un étage d’ailettes 10 du stator 2 viennent s’engager entre les pales de deux étages de pales 9 du rotor 3 successifs. Les pales 9 du rotor 3 et les ailettes 10 du stator 2 sont inclinées pour guider les molécules de gaz pompés vers l’étage moléculaire 5. Le rotor 3 comporte en outre un bol interne 15, coaxial à l’axe de rotation I-I et agencé en vis-à-vis d’une cloche 17 du stator 2. En fonctionnement, le rotor 3 tourne dans le stator 2 sans contact entre le bol interne 15 et la cloche 17. Ici, dans l’étage moléculaire 5, le rotor 3 comporte en outre une jupe Holweck 13 en aval des au moins deux étages de pales 9, formée par un cylindre lisse, qui tourne en regard de rainures hélicoïdales 14 du stator 2. Les rainures hélicoïdales 14 du stator 2 permettent de comprimer et guider les gaz pompés vers l’orifice de refoulement 7. Sous le rotor 3, le bol interne 15 agencé en vis-à-vis de la cloche 17 du stator 2 est alors également formé par l’intérieur de la jupe Holweck 13. Le rotor 3 peut être réalisé d’une seule pièce (monobloc) ou il peut être un assemblage de plusieurs pièces. Il est par exemple réalisé en matériau aluminium et/ou en nickel. Il est fixé à un arbre d’entrainement 12, par exemple par vissage, entraîné en rotation dans le stator 2 par un moteur 16 interne de la pompe à vide 1. Le moteur 16 est par exemple agencé dans la cloche 17 du stator 2, elle-même agencée sous le bol interne 15 du rotor 3, l’arbre d’entrainement 12 traversant la cloche 17 du stator 2. Le rotor 3 est guidé latéralement et axialement par des paliers 18a, 18b magnétiques ou mécaniques supportant l’arbre d’entrainement 12 du rotor 3, situés dans le stator 2. Il y a par exemple des premiers paliers 18a supportant et guidant une première extrémité de l’arbre d’entrainement 12 dans une embase de la cloche 17 du stator 2 et des seconds paliers 18b supportant et guidant une deuxième extrémité de l’arbre d’entrainement 12 agencés au sommet de la cloche 17. D’autres composants électriques ou électroniques peuvent être reçus dans la cloche 17 du stator 2, comme par exemple des capteurs de position ou capteur de présence de flux de purge comme on le verra plus loin. La cloche 17 est configurée pour pouvoir être refroidie afin de pouvoir refroidir continuellement les éléments qu’elle contient comme notamment les paliers 18a, 18b, le moteur 16 et autres composants électriques ou électroniques afin de permettre leurs fonctionnements. Pour cela, la pompe à vide 1 comporte par exemple un dispositif de refroidissement 19 reçu dans le stator 2, dans la cloche 17 ou en contact thermique avec la cloche 17, tel qu’un circuit hydraulique. Le dispositif de refroidissement 19 permet par exemple de contrôler la température de la cloche 17 à une température inférieure ou égale à 75°C, telle qu’à 70°C, par exemple par circulation d’eau à température ambiante. La pompe à vide 1 comporte en outre un dispositif de purge 20 configuré pour injecter un gaz de purge dans l’interstice situé entre la cloche 17 du stator 2 et le bol interne 15 du rotor 3. Le gaz de purge est préférentiellement de l’air ou de l’azote, mais peut aussi être un autre gaz neutre comme l’hélium ou l’argon. Le débit de gaz de purge est faible. Il est par exemple inférieur ou égal à 0,0845 Pa.m 3 /s (ou 50 sccm). La pompe à vide 1 peut comporter un capteur de présence du gaz de purge injecté par le dispositif de purge 20. Le dispositif de purge 20 est par exemple configuré pour injecter un gaz de purge au niveau d’au moins un palier 18a, 18b situé dans le stator 2, supportant et guidant l’arbre d’entrainement 12 du rotor 3 de sorte que le flux de gaz de purge traverse le au moins un palier 18a, 18b avant de sortir de la cloche 17 du stator 2 et de circuler dans l’interstice. Plus précisément selon un exemple de réalisation, le dispositif de purge 20 comporte un conduit 21 pour amener un gaz de purge dans une cavité recevant les premiers paliers 18a supportant et guidant la première extrémité de l’arbre d’entrainement 12. En outre, la section de la conductance annulaire c entre une extrémité du rotor 3, ici une extrémité annulaire de la jupe Holweck 13, et la cloche 17 du stator 2 est inférieure ou égale à 12mm 2 /sccm de flux de gaz de purge injecté ou, en unité internationale 12mm 2 /1,69.10 -3 Pa.m 3 /s de flux de gaz de purge injecté, afin de limiter l’entrée des gaz pompés dans l’interstice situé entre la cloche 17 du stator 2 et le bol interne 15 du rotor 3 et comme on le verra plus loin, afin de protéger la(es) surface(s) d’émissivité plus importante(s) situées entre le bol interne 15 du rotor 3 et la cloche 17 du stator 2. Sccm est une unité de débit de gaz (standard centimètre cube par minute, à 101500Pa ; 1sccm = 1.69.10 -3 Pa. m 3 /s en unités internationales). Par exemple, si le débit de purge est de 50sccm (0,0845 Pa.m 3 /s), la section de la conductance doit être inférieure ou égale à 600mm 2 . De même, si la section de conductance est de 300mm 2 , le flux de gaz de purge injecté doit être supérieur ou égal à 25sccm (42,25.10 -3 Pa.m 3 /s). Le flux de gaz de purge et la conductance annulaire associée permettent en outre de protéger les éléments de pivoterie de la pompe à vide 1 turbomoléculaire, en particulier la connectique électrique, les soudures et les paliers 18a, 18b, des gaz pompés potentiellement agressifs en formant une barrière limitant l’entrée des gaz pompés sous le rotor 3. En fonctionnement et comme on l’a schématisé sur l’exemple de la , le gaz de purge traverse ces premiers paliers 18a, remonte le long de l’arbre d’entrainement 12 et traverse les seconds paliers 18b supportant et guidant la deuxième extrémité de l’arbre d’entrainement 12 pour sortir de la cloche 17 du stator 2 et circuler dans l’interstice situé entre la cloche 17 et le bol interne 15, puis sous la jupe Holweck 13, pour traverser la conductance annulaire c entre le rotor 3 et le stator 2 et rejoindre les gaz pompés au refoulement de la pompe à vide 1 (flèches F2 sur la ). La pompe à vide 1 turbomoléculaire peut comporter un dispositif de chauffage 22 du stator 2, tel qu’une ceinture résistive chauffante, pour chauffer le stator 2 à une température de consigne, par exemple supérieure à 80°C, telle que 130°C. La surface du bol interne 15 du rotor 3 agencée en vis-à-vis de la cloche 17 du stator 2 susceptible d’être refroidie, présente une émissivité plus élevée que la surface du rotor 3 en communication avec les gaz pompés, au moins sur une portion de la surface du bol interne 15. En alternative ou en complément, la surface de la cloche 17 du stator 2 susceptible d’être refroidie agencée en vis-à-vis du bol interne 15 du rotor 3 présente une émissivité plus élevée que la surface du rotor 3 en communication avec les gaz pompés, au moins sur une portion de la surface de la cloche 17 du stator 2. Une majorité de la surface du bol interne 15, telle que toute la surface du bol interne 15 à l’exception de surfaces de centrage, et/ou une majorité de la surface de la cloche 17 du stator 2, telle que toute la surface de la cloche 17 du stator 2 à l’exception de surfaces de centrage, présente par exemple une émissivité plus élevée. La(es) surface(s) d’émissivité élevée présente(nt) par exemple une émissivité supérieure ou égale à 0,4, telle que supérieure ou égale à 0,8. La(es) surface(s) en communication avec les gaz pompés présente(nt) par exemple une émissivité inférieure à 0,3, telle qu’une émissivité de 0,2, notamment pour un rotor 3 en aluminium, en nickel ou revêtu de nickel. L’intérieur du rotor 3, et uniquement l’intérieur, présentant une surface de haute émissivité, permet de favoriser le refroidissement radiatif du rotor 3 par évacuation de chaleur. La cloche 17 du stator 2 sous le rotor 3, présentant une surface de haute émissivité, permet de favoriser le refroidissement du rotor 3 par rayonnement radiatif de la cloche 17 qui est elle-même refroidie. On a schématisé le flux thermique par les flèches F3 sur la . Pour améliorer nettement les échanges thermiques, on peut privilégier des surfaces de fortes émissivité à la fois sur la partie mobile (bol interne 15) et sur la partie fixe (cloche 17) dans la région qui ne communique pas directement avec les gaz pompés. La surface du rotor 3 en communication avec les gaz pompés, ou autrement dit la surface externe du rotor 3, peut présenter une faible émissivité. En particulier, cette surface du rotor 3 en communication avec les gaz pompés peut présenter un revêtement de protection contre la corrosion, tel qu’un nickelage. La(es) surface(s) d’émissivité élevée(s) du bol interne 15 du rotor 3 et/ou de la cloche 17 du stator 2 est(sont) par exemple obtenue(s) par traitement de surface, tel que par anodisation ou sablage ou rainurage ou texturation, par exemple laser, ou traité à la soude pour être noircie. Le traitement de surface de l’aluminium par anodisation, traitement soude ou texturation laser présentent l’avantage de pouvoir obtenir des surfaces d’émissivité supérieures à 0,8 à un prix raisonnable. En alternative ou en complément, la(es) surface(s) d’émissivité élevée(s) du bol interne 15 du rotor 3 et/ou de la cloche 17 du stator 2 est(sont) obtenue(s) par dépôt d’un revêtement, tel qu’un revêtement chimique déposé par plasma de type KEPLA-COAT® ou tel qu’un revêtement de type peinture sans solvants, tel qu’un revêtement polymère époxyde plus communément appelé « peinture époxy ». Préférentiellement, les surfaces peintes ou revêtues sont limitées aux surfaces parallèles à l’axe de rotation I-I du rotor 3 afin que la force centrifuge ne puisse pas arracher la peinture ou le revêtement, comme par exemple les surfaces cylindriques du bol interne 15, notamment de la jupe Holweck 13. L’épaisseur du revêtement est par exemple comprise entre 30µm et 100µm. Le revêtement ou traitement de surface peut présenter un aspect de préférence mat et/ou sombre, tel que noir ou nuance de noir. Il est notamment possible de prévoir plusieurs couches de traitement de surface et/ou de revêtement pour augmenter l’émissivité du rotor 3 et/ou du stator 2 dans l’interstice. Le revêtement ou le traitement de surface est de préférence exempt de solvants. Les solvants sont en effet totalement à proscrire dans certaines applications de pompage et on préfère ne pas utiliser de solvants dans la pompe à vide 1 pour éviter tout risque de rétrodiffusion dans les enceintes à pomper. Selon un premier exemple de réalisation du rotor 3, on commence par réaliser un traitement de surface du rotor 3 pour obtenir une surface d’émissivité élevée du rotor 3, à l’exception de surfaces de centrage, ou, on dépose un revêtement sur le rotor 3 pour obtenir une surface d’émissivité élevée du rotor 3, à l’exception de surfaces de centrage. Les surfaces de centrage permettent de centrer le rotor 3 avec l’arbre d’entrainement 12 sur l’axe de rotation I-I et nécessitent donc une précision de réalisation plus importante. Puis dans un deuxième temps, on nickèle la surface du rotor 3 destinée à être en communication avec les gaz pompés, en masquant le bol interne 15 du rotor 3. Selon un deuxième exemple de réalisation du rotor 3, on réalise un traitement de surface d’une première partie 3a du rotor 3 comprenant le bol interne 15 et la jupe Holweck 13 pour obtenir une surface d’émissivité élevée de la première partie du rotor 3, ou, on dépose un revêtement sur une première partie du rotor 3 comprenant le bol interne 15 et la jupe Holweck 13 pour obtenir une surface d’émissivité élevée de la première partie du rotor 3 ( ). Puis on nickèle la surface de la première partie du rotor 3 destinée à être en communication avec les gaz pompés en masquant le bol interne 15. Puis, on fixe, par exemple par vissage, la première partie 3a du rotor 3 avec une deuxième partie 3b du rotor 3 nickelée, comportant au moins deux étages de pales 9. Selon un troisième exemple de réalisation, on assemble, par exemple par vissage ou frettage, une pièce formant le bol interne 15 de surface d’émissivité élevée avec un corps de rotor 23 présentant d’une part, une forme concave complémentaire au bol interne 15 pour l’assemblage du bol interne 15 et comportant d’autre part, au moins deux étages de pales 9 ( ). La pièce formant le bol interne 15 de surface d’émissivité élevée est par exemple réalisée en aluminium anodisé. En fonctionnement, les échanges thermiques avec la cloche 17 du stator 2 sont favorisés sous le rotor 3 du fait de(s) surface(s) d’émissivité élevée(s), ce qui permet d’améliorer le refroidissement radiatif du rotor 3. Ces surfaces d’émissivité élevées ne voient pas les gaz pompés potentiellement corrosifs car elles sont protégées d’une part, par le gaz de purge circulant dans l’interstice sous le rotor 3 et d’autre part, par la conductance annulaire à l’extrémité du bol interne 15. Le gaz de purge et la conductance annulaire permettent de protéger les surfaces d’émissivité élevées du rotor 3 et/ou du stator 2 des agressions éventuelles des gaz pompés qui pourraient s’infiltrer sous le rotor 3. Ainsi, seules les surfaces protégées sont rendues hautement émissives de sorte que celles-ci ne rencontrent pas ou peu les gaz pompés potentiellement corrosifs. Le gain en termes de cout est important car le flux de purge et la faible conductance permettent la réalisation de surface d’émissivité élevées réalisées de manière relativement simple et donc peu couteuse. On constate par exemple que le refroidissement radiatif du rotor 3 favorisé par les surfaces de haute émissivité du rotor 3 et du stator 2 sous le rotor 3, combiné à un flux de gaz de purge entre le rotor 3 et le stator 2, permettent d’augmenter le flux de gaz lourds pompés de 20% à 30% pour une cloche 17 refroidie à 70°C. A titre d’exemple et pour mieux comprendre l’invention, si on nomme : - P rs , la puissance thermique rayonnée du rotor 3 vers le stator 2, - T r , la température du rotor 3 (en K), - T s , la température de la cloche 17 du stator 2 (en K), - ε r , l’émissivité du bol interne 15 du rotor 3, - ε s , l’émissivité de la cloche 17 du stator 2, - S sr , la surface en vis-à-vis entre le bol interne 15 du rotor 3 et la cloche 17 du stator 2, alors la puissance rayonnée par le rotor 3 vers le stator 2 vaut : P1 = S sr . ε r . σ . T r 4 avec σ = 5,67.10 -8 W.m -2 . K -4 la constante de Stefan-Boltzmann (constante d’émission des corps noirs), la puissance réfléchie par le stator 2 vaut : P2 = (1- ε s ) . P1 la puissance rayonnée par le stator 2 vers le rotor 3 vaut : P3 = S sr . ε s . σ . T s 4 la puissance réfléchie par le rotor 3 vaut : P4 = (1- ε r ) . P3 Par conséquent, la puissance thermique transmisse du rotor 3 vers le stator 2 est : P rs = P1 –P2 –P3 +P4 = S sr . ε r . ε s .σ .(T r 4 – T s 4 ) Ainsi si la surface S sr est égale à 500 cm 2 , l’émissivité du bol interne 15 du rotor 3 est 0,7, et celle de la cloche 17 est 0,8, si la température du rotor 3 est de 150°C et celle de la cloche 17 de 70°C alors le rotor 3 peut transmettre environ 28 W. En revanche, si l’émissivité de la cloche 17 n’est plus que de 0,2 alors la puissance transmisse n’est plus que de 7,2W. On comprend de ce qui vient d’être décrit que pour augmenter le flux de gaz pompés, on peut augmenter la puissance thermique pouvant être évacuée du rotor 3 par rayonnement en maximisant les surfaces S sr émissives en vis-à-vis sous le rotor 3, en refroidissant le plus possible le stator 2, en maximisant l’émissivité des surfaces du bol interne 15 du rotor 3 et en maximisant l’émissivité des surfaces de la cloche 17 du stator 2. La montre un deuxième exemple de réalisation pour lequel la pompe à vide 1 est uniquement turbomoléculaire: le rotor 3 comporte au moins deux étages de pales 9 mais pas de jupe Holweck. Dans cet exemple, la section de la conductance annulaire c est constante sur la majorité de la hauteur du bol interne 15. Comme précédemment, la surface du bol interne 15 du rotor 3 agencée en vis-à-vis de la cloche 17 du stator 2 susceptible d’être refroidie, présente une émissivité plus élevée que la surface du rotor 3 en communication avec les gaz pompés, au moins sur une portion de la surface du bol interne 15. En alternative ou en complément, la surface de la cloche 17 du stator 2 susceptible d’être refroidie agencée en vis-à-vis du bol interne 15 du rotor 3 présente une émissivité plus élevée que la surface du rotor 3 en communication avec les gaz pompés, au moins sur une portion de la surface de la cloche 17 du stator 2. En fonctionnement, comme dans l’exemple précédent, les échanges thermiques avec la cloche 17 du stator 2 sont favorisés sous le rotor 3 du fait de(s) surface(s) d’émissivité élevée(s), ce qui permet d’améliorer le refroidissement radiatif du rotor 3. Ces surfaces d’émissivité élevées ne voient pas les gaz pompés potentiellement corrosifs car elles sont protégées d’une part, par le gaz de purge circulant dans l’interstice sous le rotor 3 et d’autre part, par la conductance annulaire à l’extrémité du bol interne 15. Le gaz de purge et la conductance annulaire permettent de protéger les surfaces d’émissivité élevées du rotor 3 et/ou du stator 2 des agressions éventuelles des gaz pompés qui pourraient s’infiltrer sous le rotor 3. Ainsi, seules les surfaces protégées sont rendues hautement émissives de sorte que celles-ci ne rencontrent pas ou peu les gaz pompés potentiellement corrosifs. Pompe à vide (1) turbomoléculaire configurée pour entrainer des gaz à pomper d’un orifice d’aspiration (6) vers un orifice de refoulement (7), la pompe à vide (1) turbomoléculaire comportant : - un stator (2) comportant : - au moins un étage d’ailettes (10), et - une cloche (17) configurée pour pouvoir être refroidie, - un rotor (3) configuré pour tourner dans le stator (2) et comportant : - au moins deux étages de pales (9), les étages de pales (9) et les étages d’ailettes (10) se succédant axialement le long d’un axe de rotation (I-I) du rotor (3), - un bol interne (15) coaxial à l’axe de rotation (I-I), agencé en vis-à-vis de la cloche (17) du stator (2), - un dispositif de purge (20) configuré pour injecter un flux de gaz de purge dans l’interstice situé entre la cloche (17) du stator (2) et le bol interne (15) du rotor (3), caractérisée en ce que la surface du bol interne (15) du rotor (3) agencée en vis-à-vis de la cloche (17) du stator (2) susceptible d’être refroidie présente une émissivité plus élevée que la surface du rotor (3) en communication avec les gaz pompés, au moins sur une portion de la surface du bol interne (15), et/ou la surface de la cloche (17) du stator (2) susceptible d’être refroidie agencée en vis-à-vis du bol interne (15) du rotor (3) présente une émissivité plus élevée que la surface du rotor (3) en communication avec les gaz pompés, au moins sur une portion de la surface de la cloche (17) du stator (2). Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon la revendication précédente, caractérisée en ce que la section de la conductance annulaire (c) entre une extrémité du bol interne (15) du rotor (3) et la cloche (17) du stator (2) est inférieure ou égale à 12mm 2 /1,69.10 -3 Pa.m 3 /s de flux de gaz de purge injecté afin de limiter l’entrée des gaz pompés dans l’interstice situé entre la cloche (17) du stator (2) et le bol interne (15) du rotor (3) et afin de protéger la(es) surface(s) d’émissivité plus importante(s) situées entre le bol interne (15) du rotor (3) et la cloche (17) du stator (2). Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la surface du rotor (3) en communication avec les gaz pompés présente un revêtement de protection contre la corrosion, tel qu’un nickelage. Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la(es) surface(s) d’émissivité élevée(s) présente(nt) une émissivité supérieure ou égale à 0,4. Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la(es) surface(s) en communication avec les gaz pompés présente(nt) une émissivité inférieure à 0,3. Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la(es) surface(s) d’émissivité élevée(s) du bol interne (15) du rotor (3) et/ou de la cloche (17) du stator (2) est(sont) obtenue(s) par traitement de surface, tel que par anodisation ou sablage ou rainurage ou texturation, par exemple laser, ou traité à la soude. Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la(es) surface(s) d’émissivité élevée(s) du bol interne (15) du rotor (3) et/ou de la cloche (17) du stator (2) est(sont) obtenue(s) par dépôt d’un revêtement, tel que qu’un revêtement chimique déposé par plasma de type KEPLA-COAT® ou tel qu’un revêtement de type peinture sans solvants, tel qu’un revêtement polymère époxyde. Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications 6 ou 7, caractérisée en ce que le revêtement ou le traitement de surface présente un aspect mat et/ou sombre. Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications 6 à 8, caractérisée en ce que le revêtement ou le traitement de surface est exempt de solvants. Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le dispositif de purge (20) est configuré pour injecter un flux de gaz de purge au niveau d’au moins un palier (18a, 18b) supportant et guidant un arbre d’entrainement (12) du rotor (3) de sorte que le flux de gaz de purge traverse le au moins un palier (18a, 18b) avant de sortir de la cloche (17) du stator (2). Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte un capteur de présence du gaz de purge injecté par le dispositif de purge (20). Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte un dispositif de chauffage (22) du stator (2). Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le rotor (3) comporte une jupe Holweck (13) en aval des au moins deux étages de pales (9), la jupe Holweck (13) étant formée par un cylindre lisse configuré pour tourner en regard de rainures hélicoïdales (14) du stator (2) pour le pompage des gaz, le bol interne (15) agencé en vis-à-vis de la cloche (17) du stator (2) étant également formé par l’intérieur de la jupe Holweck (13). Procédé de fabrication d’un rotor (3) de pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes, dans lequel : - on réalise un traitement de surface du rotor (3) pour obtenir une surface d’émissivité élevée du rotor (3), à l’exception de surfaces de centrage, ou, on dépose un revêtement sur le rotor (3) pour obtenir une surface d’émissivité élevée du rotor (3), à l’exception de surfaces de centrage, puis - on nickèle la surface du rotor (3) destinée à être en communication avec les gaz pompés, en masquant le bol interne (15) du rotor (3). Procédé de fabrication d’un rotor (3) de pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications 1 à 12, prise avec la revendication 13, dans lequel : - on réalise un traitement de surface d’une première partie du rotor (3) comprenant le bol interne (15) et la jupe Holweck (13) pour obtenir une surface d’émissivité élevée de la première partie du rotor (3), ou, on dépose un revêtement sur une première partie du rotor (3) comprenant le bol interne (15) et la jupe Holweck (13) pour obtenir une surface d’émissivité élevée de la première partie du rotor (3), puis - on nickèle la surface de la première partie du rotor (3) destinée à être en communication avec les gaz pompés en masquant le bol interne (15), puis, on fixe la première partie du rotor (3) avec une deuxième partie du rotor (3) nickelée, comportant au moins deux étages de pales (9). Procédé de fabrication d’un rotor (3) de pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications 1 à 13, dans lequel on assemble une pièce formant le bol interne (15) de surface d’émissivité élevée avec un corps de rotor (23) présentant d’une part, une forme concave complémentaire au bol interne (15) et comportant d’autre part, au moins deux étages de pales (9).