Brevet FR3123495A1 — publié le 20221202

L’invention concerne la conception d’un condensateur à nanofils inter-digités 3D. Les nanofils sont électrodéposés dans une membrane conventionnelle. L'électrodéposition est réalisée en utilisant un masque qui est également une membrane. La superposition des deux membranes permet la croissance de nanofils dans chaque canal constitué par liaison d’un pore de la membrane objet avec un pore de la membrane masque. Par le hasard, seul une partie des pores de la membrane objet forme des canaux avec des pores de la membrane masque. L'électrodéposition est arrêtée avant que les nanofils ne remplissent la membrane objet. Le masque est ensuite retiré. Un film d’or est ensuite pulvérisé sur la face, qui était libre, de la membrane objet. Une seconde électrodéposition est effectuée dans les pores qui étaient auparavant bloqués par le masque. Là encore, le dépôt est arrêté avant que les nanofils ne remplissent les pores. Un film d’or est enfin pulvérisé sur le côté qui était en contact avec le masque. Figure pour l’abrégé : Fig. 5 Procédé de fabrication d’un condensateur à nanofils interdigités dans une membrane nanoporeuse. La présente invention concerne la fabrication d’un condensateur à nanofils inter-digités 3D à partir d’une membrane nanoporeuse. Un condensateur est un composant passif qui comprend deux électrodes planes séparées par une couche isolante. Dans un condensateur à nanofils inter-digités 3D, la couche isolante est une membrane nanoporeuse. Des premiers nanofils connectés à une première électrode sont insérés dans la membrane sans jamais toucher la seconde électrode. Des seconds nanofils connectés à la seconde électrode sont également insérés dans la membrane en parallèle des premiers nanofils et sans jamais toucher la première électrode. Il existe trois types de condensateurs disponibles dans le commerce : 1- Condensateurs électrostatiques ou tout solide (SSC), 2- Condensateurs électrolytiques, 3- Condensateurs électrochimiques. Les types 2 et 3 peuvent avoir de grandes capacités mais utilisent un électrolyte liquide ou une pâte pour séparer les électrodes, de sorte que les applications sont limitées à 2-3 V et aux basses fréquences. De plus, les problèmes de fuite raccourcissent la durée de vie du condensateur. Des courants d'ondulation résultent du chauffage de l'électrolyte liquide. Les changements de température affectent leurs performances et les applications sous vide sont difficiles. Enfin, ils sont difficiles à miniaturiser. Les condensateurs sont les plus gros composants des circuits électroniques, ils sont donc souvent une limite à la miniaturisation. Des techniques de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) existent pour les condensateurs à nanofils, mais elles sont limitées aux petites zones et aux nanofils courts de dimension inférieure à 10 µm. Il existe actuellement deux techniques de réalisation de condensateurs à nanofils. Il s’agit de l'irradiation suivie d'une croissance de nanofils sur un côté d'une membrane puis une seconde irradiation suivie d'une seconde étape de croissance de nanofils. Elle prend du temps et conduit souvent à des courts-circuits et se limite aux membranes polymères. La seconde technique consiste à anodiser un côté d'une feuille d'aluminium et à faire croître des nanofils, puis à anodiser l'autre côté de la feuille et à faire croître des nanofils et prend également du temps et conduit à des courts-circuits. On connait le document Han et al. Sci. Adv. “Dielectric capacitors with three dimensional nanoscale interdigital for energy storage” 23 Octoder 2015, décrivant la fabrication d’un condensateur à nanotubes par des dépôts chimiques en phase vapeur (CVD). Cette technique de fabrication de condensateurs à nanofils interdigités est difficile à mettre en œuvre. L'anodisation en deux étapes suivie d'une gravure chimique peut créer un gabarit en oxyde d'aluminium anodique (AAO) pour la croissance de nanotubes de carbone interdigités (CNT). Cependant, la gravure chimique limite le gabarit AAO à environ 10 µm et seuls les nanotubes de carbone obtenus par CVD peuvent être utilisés. La présente invention a pour objet un nouveau procédé de fabrication simple et rapide de condensateur à nanofils. Un autre objet de l’invention est la fabrication d’un condensateur à nanofils ayant une capacité supérieure à celle proposée par des condensateurs de l’art antérieur. Un autre objet de l’invention est la fabrication d’un condensateur à nanofils peu onéreux, ayant une durée de vie supérieure à celle proposée par des condensateurs de l’art antérieur et apte à fonctionner à haute tension et hautes fréquences. On atteint au moins l’un des objectifs précités avec un procédé de fabrication d’un condensateur à nanofils inter-digités 3D à partir d’une première membrane nanoporeuse dite membrane objet, comprenant une face A, une face B et des pores traversant l’épaisseur de la membrane entre les deux faces A et B ; le procédé comprenant les étapes suivantes : - considération d’une deuxième membrane nanoporeuse dite membrane masque, comprenant une face C, une face D et des pores traversant l’épaisseur de la membrane entre les deux faces C et D, - réalisation d’une couche de métal sur la face C de la membrane masque, cette couche étant destinée à servir d’électrode, - disposition de la face A de la membrane objet sur la face D de la membrane masque de sorte qu’uniquement une première partie des pores de la membrane objet communiquent respectivement avec une première partie des pores de la membrane masque, - réalisation d’un premier dépôt électrochimique de nanofils, ces nanofils croissant depuis l’intérieur de la couche de métal de la face C, à travers la membrane masque puis à travers la membrane objet, - arrêt du dépôt électrochimique des nanofils croissant à l’intérieur de la membrane objet avant que ces nanofils n’atteignent la face B de la membrane objet, - séparation des deux membranes, - réalisation d’une couche de métal sur la face B de la membrane objet, cette couche étant destinée à servir d’électrode, - réalisation d’un deuxième dépôt électrochimique de nanofils, ces nanofils croissant depuis l’intérieur de la couche de métal de la face B, à travers une deuxième partie de pores libres de la membrane objet, - arrêt du dépôt électrochimique des nanofils croissant à l’intérieur de la membrane objet avant que ces nanofils n’atteignent la face A de la membrane objet, - réalisation d’une couche de métal sur la face A de la membrane objet, cette couche étant destinée à servir d’électrode. Le condensateur constitué selon l’invention est la membrane objet intégrant des nanofils interdigités et des électrodes sur les faces A et B. Avec le procédé selon l’invention, on peut utiliser des membranes nanoporeuses du commerce, ce qui facilite grandement la fabrication. Il n’est pas nécessaire de concevoir une membrane spécifique comme dans l’art antérieur avec un coût élevé et une durée de conception non négligeable. En effet, certaines membranes de l’art antérieur nécessitent l’utilisation d’une salle blanche ou d’une chambre à vide. De plus, une membrane de commerce permet la conception de condensateur de grande taille, notamment une grande surface des électrodes. La présente invention présente aussi l’avantage de pouvoir réaliser des nanofils longs car les membranes de commerce peuvent avoir une épaisseur de 100 µm. Dans chaque membrane objet ou masque, les pores sont par exemple des canaux sensiblement parallèles, isolés les uns des autres et s’ouvrent sur les faces planes opposées. La couche de métal est de préférence réalisée par pulvérisation et recouvre l’ensemble de la face pour ne pas laisser des pores libres. Lors de la disposition de la face A de la membrane objet sur la face D de la membrane masque, idéalement, la membrane objet est disposée sur la membrane masque, mais d’autres configurations peuvent être envisagées comme une membrane objet disposée en dessous de la membrane masque ou encore les deux membranes disposées côte à côte selon un axe horizontal. Ces différentes configurations sont réalisées en ayant toujours la face A au contact de la face D. L’électrodéposition est ensuite réalisée dans la configuration choisie. Les deux faces A et D en contact ne comprennent bien évidemment aucune couche de métal. Les membranes peuvent être identique ou pas, mais tous les pores de la membrane objet ne doivent pas communiquer avec des pores de la membrane masque. Par « communiquer », on entend un canal constitué par la connexion d’un pore de la membrane objet avec un pore de la membrane masque de sorte qu’un matériau peut être électrodéposé dans le canal. Avec la présente invention, le condensateur créé présente une capacité telle que : C T = ε o ε r A/d + C M C T est la capacité totale (en Farads), ε o est la permittivité du vide (8,85 e -12 F / m), ε r est la permittivité relative du séparateur d'électrodes, A est la surface des électrodes, d est la distance entre les électrodes, et C M est une magnétocapacité des nanofils. Les nanofils inter-digités en 3D dans une membrane selon l’invention maximisent la surface (A) et minimisent la séparation des électrodes (d). L'autre variable est la permittivité relative du séparateur (ε r ). C'est le matériau de la membrane objet. Ainsi, la présente invention impacte toutes les variables d'un condensateur et ajoute une variable sous la forme de la magnétocapacité (C M ) des nanofils en parallèle avec la capacité normale. Selon une caractéristique avantageuse de l’invention, le dépôt électrochimique peut être réalisé en phase aqueuse. Selon un mode de réalisation avantageux de l’invention, les nanofils sont déposés à partir d’un ou une combinaison des matériaux suivants : cobalt, fer et nickel. Il s’agit de matériaux ferromagnétiques. Le couplage entre nanofils à base de matériau ferromagnétique tel que le cobalt augmente la permittivité relative ε r . En outre, l’utilisation de matériau ferromagnétique permet d’améliorer la magnétocapacité du fait du mouvement des parois magnétiques ou parois de domaine présentes dans un tel matériau. Une paroi magnétique est une zone de transition entre deux domaines d'aimantation différentes dans un matériau ferromagnétique. Les nanofils peuvent également être déposés à partir d’un ou une combinaison des matériaux suivants : cuivre, chrome, or, argent et zinc. Les nanofils peuvent également être déposés à partir d’un ou une combinaison des matériaux suivants : multicouches de cobalt et cuivre. Il s’agit de matériaux procurant une magnétorésistance géante. Les nanofils peuvent également être déposés à partir d’un ou une combinaison des matériaux suivants : nanoparticules magnétiques et composites à matrice métallique. Les nanofils peuvent également être déposés à partir d’un ou une combinaison des matériaux suivants : Bismuth, sélénium, Tellure et l’antimoine, Bi 2 Te 3 et Sb 2 Te 3 . Les nanofils peuvent également être déposés à partir d’un ou une combinaison des matériaux suivants : plomb et étain. Ces matériaux peuvent être utilisés pour la conception de condensateur supraconducteurs. Selon un mode de réalisation avantageux de l’invention, le deuxième dépôt électrochimique de nanofils peut être réalisé avec le même matériau ou un matériau différent que le premier dépôt électrochimique. Par même matériau on entend un matériau unique ou une combinaison de matériaux. Il peut ainsi être intéressant d’avoir des nanofils à base de cobalt reliés à la face A de la membrane objet et des nanofils à base de nickel ou fer reliés à la face B de la membrane objet. Selon un mode de mise en œuvre avantageux de l’invention, les membranes objet et masque peuvent être identiques, et lors de la disposition de la face A de la membrane objet sur la face D de la membrane masque, la membrane objet est posée décalée par rapport à la membrane masque de façon à créer un effet moiré entre les pores des deux membranes. On peut créer un motif de moiré en utilisant par exemple une membrane de masque avec des pores ordonnés et une membrane objet avec des pores ordonnés. Les canaux créés lorsque les deux membranes sont en contact permet de créer un super-réseau de nanofils. Les nanostructures à motifs moirés sont intéressantes en raison des champs magnétiques internes qu'elles génèrent. Des membranes bien ordonnées sont disponibles dans le commerce. A titre d’exemple, le décalage peut consister à réaliser une rotation par rapport à un axe perpendiculaire à la face A. Cette rotation peut être de 10 degrés ou n’importe quel autre angle de rotation. Avantageusement, la couche de métal, réalisée sur la face A et sur la face B, est constituée à partir de l’un des matériaux suivants : or, cuivre ou platine ou tout métal susceptible d'être déposé par dépôt physique. Selon un mode de mise en œuvre avantageux de l’invention, on peut disposer un premier aimant sur la face libre de la couche de métal côté face A et un deuxième aimant sur la face libre de la couche de métal côté face B. En d’autres termes, l’ensemble couche de métal face A-membrane objet-couche de métal face B, est pris en sandwich entre deux aimants. L'application d'un champ magnétique à partir des aimants dans le condensateur permet d’augmenter encore plus la permittivité relative ε r . Cela permet d’améliorer la réponse en courant suite à une excitation en tension. Les deux aimants peuvent posséder la même puissance ou des puissances différentes. De façon générale, les membranes selon l’invention sont des membranes poreuses. Avantageusement, la membrane objet peut être un oxyde d'aluminium anodique (AAO) ou un oxyde de titane TiO 2 anodique. La membrane masque peut être une membrane en polycarbonate ou un autre type de membrane poreuse. Les deux membranes peuvent être identiques, en oxyde d'aluminium anodique, en TiO 2 anodique ou en polycarbonate par exemple. Avec un oxyde d'aluminium anodique (AAO), l’alumine (Al 2 O 3 ) permet d’obtenir une permittivité relative ε r d’environ 9 et le TiO 2 permittivité relative ε r d’environ 30. Selon une caractéristique avantageuse de l’invention, la membrane objet peut présenter une épaisseur de 60µm et des pores ayant un diamètre compris entre 50 et 400nm, par exemple 100nm. Les pores de la membrane masque peuvent présenter un diamètre de 10nm à 400nm. Tous les pores d’une même membrane ont sensiblement le même diamètre. De préférence, la membrane masque peut présenter une épaisseur inférieure ou égale à l’épaisseur de la membrane objet. Avantageusement, les nanofils peuvent présenter une longueur supérieure à 10µm. Selon une caractéristique avantageuse de l’invention, les nanofils reliés à la face A et les nanofils reliés à la face B peuvent se recouvrer sur une distance supérieure à 10µm. Il peut s’agit d’une distance moyenne, minimale ou maximale, entre l’ensemble des nanofils. La présente invention permet de concevoir des condensateurs à nanofils interdigités 3D pour par exemple des applications suivantes : • Convertisseur de puissance AC-DC (cellules solaires), • Filtres de bruit haute fréquence, • Aérospatiale, • Téléviseurs, voitures, téléphones portables, etc. • Éclairage à diodes électroluminescentes (LED), • mémoire RAM pour ordinateur. D’autres avantages et caractéristiques de l’invention apparaîtront à l’examen de la description détaillée d’un mode de mise en œuvre nullement limitatif, et des dessins annexés, sur lesquels : : La est une vue schématique d’une membrane selon l’invention, : La est une vue schématique du positionnement d’une membrane objet sur une membrane masque selon l’invention, : La est une vue schématique d’un premier dépôt électrochimique selon l’invention, : La est une vue schématique d’un deuxième dépôt électrochimique uniquement sur la membrane objet selon l’invention, : La est une vue schématique d’un condensateur fabriqué selon l’invention, : La est une vue schématique d’un condensateur selon l’invention pris en sandwich entre deux aimants, : La est une vue schématique illustrant le positionnement des pores de la membrane objet par rapport aux pores de la membrane masque lorsque les deux membranes sont superposées, : La est une vue schématique illustrant le positionnement selon le motif moiré des pores de la membrane objet par rapport aux pores de la membrane masque lorsque les deux membranes sont superposées, : La illustre une courbe de courant de réduction en fonction du temps permettant de voir la progression de l’électrodéposition dans un canal comprenant un pore de la membrane objet et un pore de la membrane masque, : La illustre une courbe de courant en fonction du temps permettant de voir l’influence du champ magnétique sur le courant dans des phases de variations brutales de la tension. Les modes de réalisation qui seront décrits dans la suite ne sont nullement limitatifs; on pourra notamment mettre en œuvre des variantes de l’invention ne comprenant qu’une sélection de caractéristiques décrites par la suite isolées des autres caractéristiques décrites, si cette sélection de caractéristiques est suffisante pour conférer un avantage technique ou pour différencier l’invention par rapport à l’état de la technique antérieur. Cette sélection comprend au moins une caractéristique de préférence fonctionnelle sans détails structurels, ou avec seulement une partie des détails structurels si cette partie uniquement est suffisante pour conférer un avantage technique ou pour différencier l’invention par rapport à l’état de la technique antérieur. En particulier toutes les variantes et tous les modes de réalisation décrits sont prévus pour être combinés entre eux dans toutes les combinaisons où rien ne s’y oppose sur le plan technique. Bien que l’invention n’y soit pas limitée, on va maintenant décrire la fabrication d’un condensateur à nanofils interdigités 3D dans une membrane filtrante. Les nanofils peuvent être déposés par électrodéposition à partir de différents types de matériaux parmi lesquels : • Cuivre, Chrome, Or, Argent et Zinc, • Cobalt, fer et nickel (ferromagnétique), • multicouches de cobalt/cuivre (GMR) • nanoparticules magnétiques et composites à matrice métallique • oxyde de zinc (ZnO) (semi-conducteur) • Bismuth, sélénium, tellure, Bi 2 Te 3 et Sb 2 Te 3 (isolants thermoélectriques, isolants topologiques) • Plomb et étain (supraconducteurs) En l’occurrence, dans l’exemple décrit, les nanofils sont obtenus à partir de cobalt. Mais il est possible d’envisager deux types différents de nanofils. Par exemple, des nanofils de cobalt peuvent être déposés d'un côté de la membrane nanoporeuse et des nanofils de cuivre ou de nickel ou de fer de l'autre. Les nanofils composites formés de nanoparticules métalliques présentent un intérêt car l'interface entre le métal et les nanoparticules est une source de capacité. Le procédé selon l’invention permet d’optimiser la capacité du condensateur ainsi fabriqué car l’invention agit sur la plupart des paramètres de caractérisation du condensateur : C T = ε o ε r A/d + C M C T – capacité totale (Farads), ε o – permittivité du vide (8.85 e -12 F/m), ε r – permittivité relative du séparateur entre les électrodes, A – l’aire de la surface des électrodes, d – distance entre les électrodes, C M – magnetocapacité des nanofils ferromagnétiques. Sur la on distingue une membrane 1 constituée d’un substrat en forme de disque dans lequel sont réalisés des pores 2 dans l’épaisseur. Les pores sont des canaux perpendiculaires et débouchent sur les deux faces du disque. Les pores sont parallèles et isolés les uns des autres. Les figures 2 à 5 concernent différentes étapes de fabrication du condensateur selon l’invention. Sur la , on distingue une membrane 3 de commerce tel un oxyde d'aluminium anodique (AAO) du type décrit sur la . La membrane 3, dite membrane objet, présente une épaisseur de 60 µm, un diamètre de pores de 100 nm et comporte environ 10e 10 pores/cm 2 . Schématiquement, les différents pores 31 à 35 sont répartis de manière aléatoire. Pour faciliter la compréhension, la face supérieure de la membrane 3 sur la est référencée face B alors que la face inférieur est la face A. Selon l’invention, on considère une seconde membrane 4, dite membrane masque, également du type tel que décrit sur la . La membrane masque 4 est par exemple conçue à base de polycarbonate et présente différents pores 41 à 45 répartis de manière aléatoire. Pour faciliter la compréhension, la face supérieure de la membrane masque 4 sur la est référencée face D alors que la face inférieur est la face C. Selon l’invention, la membrane objet 3 est posée sur la membrane masque 4, face A de la membrane objet 3 en contact avec la face D de la membrane masque 4. On a pris soin de réaliser au préalable une pulvérisation d’une couche d’or 5 sur toute la surface de la face C de la membrane masque 4. L’ensemble des pores 41 à 45 sont recouvertes sur la face C. D’une façon générale, les membranes comprennent plusieurs milliers de pores. Ainsi, le hasard fait que la superposition des deux membranes objet et masque permet d’obtenir dans certains cas un recouvrement partiel ou total des pores d’une membrane par rapport à l’autre. Par exemple, sur la , les pores 31 et 41 se recouvrent partiellement de sorte qu’ils communiquent. Un canal est donc constitué entre ces deux pores. Des particules peuvent transiter depuis l’extérieur, au-dessus de la membrane objet 3 sur la , jusqu’au fond du canal 31-41 ainsi formé, et se poser sur la face interne de la couche d’or 5. Les pores 33 et 43 se recouvre totalement de sorte qu’un canal 33-43 permet un passage uniforme jusqu’à la paroi interne de la couche d’or 5. Sur la , on distingue des pores de deux membranes différentes superposée l’une sur l’autre. Il s’agit d’un exemple dans lequel les pores de la membrane objet présente un diamètre deux fois supérieur au diamètre des pores de la membrane masque. Dans cet exemple de la figure en vue de dessus, on voit clairement une situation S1 où le pore de la membrane masque est complètement recouvert par le pore de la membrane objet, et une situation S2 où les deux pores se recouvrent partiellement. Dans ces deux cas, les deux pores communiquent et un canal est formé entre les deux pores. Dans tous les autres cas il n’y a pas de communication comme pour les pores 32, 34 et 35 de la . Un autre exemple est décrit sur la dans le cas par exemple de membranes objet et masque ordonnées. Il peut s’agit de membranes identiques. La disposition de l’une sur l’autre est réalisée d’abord pour une superposition alignant les pores, puis par une rotation de 10 degrés de façon à créer un motif moiré comme représenté sur la . Sur la , on réalise un dépôt électrochimique de nanofils à base de cobalt, la couche d’or 5 servant d’électrode. Pour le dépôt électrochimique, on établit un courant entre une anode et la couche d’or 5 servant de cathode pour recevoir des ions contenus dans un bain électrolyte. Les ions passent à travers les canaux 31-41 et 33-43 et viennent se poser sur la surface interne de la couche d’or 5. Le dépôt à l’intérieur des canaux crée des nanofils. La croissance des nanofils est contrôlée en fonction du temps. Les nanofils 6 et 7 croissent depuis la couche d’or 5 jusqu’à l’intérieur des pores respectivement 31 et 33 de la membrane objet 3 en remplissant complètement les pores respectivement 41 et 43 de la membrane masque 4. Le dépôt électrochimique est interrompu avant que les nanofils n’atteignent la face B comme on le voit sur la . Sur la , on sépare les deux membranes et ne conserve que la membrane objet 3 avec les nanofils 6 et 7. On pulvérise d’abord une couche d’or 11 sur la face B de façon à recouvrir tous les pores. Cette étape de pulvérisation de la couche d’or peut être réalisée avant ou bien après avoir détaché les deux membranes. Ensuite, on réalise un second dépôt électrochimique de nanofils à base de cobalt ou d’un autre matériau. A ce stade, le dépôt s’effectue depuis la paroi interne de la couche d’or 11 et uniquement dans les pores vides 32, 34 et 35. En effet ces pores permettent à des ions d’atteindre la couche d’or 11. Des nanofils 8, 9 et 10 se forment à l’intérieur des pores. Le dépôt électrochimique est interrompu avant que les nanofils 8 à 10 n’atteignent la face A. Sur la , on pulvérise de nouveau de l’or de façon à former une couche d’or 12. Le condensateur selon l’invention est ainsi fabriqué. La membrane objet 3 est prise en sandwich entre les deux couches d’or 11 et 12 servant d’électrodes au condensateur final. Certains pores de la membrane objet 3 contiennent des nanofils en contact avec la couche d’or 11. Les autres pores de la membrane objet 3 contiennent des nanofils en contact avec la couche d’or 12. Aucun pore ne contient un nanofil en contact avec les deux couches d’or 11 et 12. Le condensateur selon l’invention est équivalent à une batterie. On peut envisager constituer une batterie magnétique en prenant en sandwich le condensateur à nanofils de cobalt inter-digités 3D entre deux aimants comme représenté sur la . Les aimants mesurent un centimètre de diamètre sur un millimètre d'épaisseur. Les nanofils inter-digités en 3D dans une membrane maximisent la surface (A) et minimisent la séparation des électrodes (d). La permittivité relative du séparateur (ε r ) est en fait la permittivité relative du matériau constitutif de la membrane. Pour l'alumine (Al 2 O 3 ), la permittivité relative est environ égale à 9. Le couplage entre nanofils de cobalt augmente ε r et l'application d'un champ magnétique externe permet encore d’augmenter ε r . Ainsi, la présente invention s'attaque à toutes les variables d'un condensateur et ajoute une variable sous la forme de la magnétocapacité (C M ) des nanofils de cobalt ferromagnétique en parallèle de la capacité normale. Ces nanofils présentent de nombreux domaines magnétiques, c’est-à-dire que chaque nanofil comporte des zones dans lesquels les champs magnétiques internes ont des orientations diverses. Lorsqu'un champ magnétique externe est appliqué au moyen des aimants par exemple, les domaines magnétiques des nanofils s'alignent avec le champ externe et la constante diélectrique de l'alumine (Al 2 O 3 ) est augmentée. Lorsque le champ externe est supprimé, les nanofils reviennent immédiatement à la configuration antiparallèle plus stable. La représente l’évolution dans le temps du courant établi dans un bain d’électrolyte pour un dépôt de nanofils à base de nickel par exemple. Dans l’exemple de la , la membrane masque est un polycarbonate (PC) de 6 µm d'épaisseur avec 50 nm de diamètre des pores et une densité de 5e10 8 pores/cm 2 . La membrane objet est de l’AAO avec une épaisseur de 60 µm, des pores de 100 nm de diamètre et une densité de pores de 1e10 10 /cm 2 . Au temps 0, le dépôt commence puis le courant baisse faiblement jusqu’à environ 700 s où il stagne légèrement. Cela correspond au fait que les nanofils ont atteint l'interface entre la membrane masque et la membrane objet. La chute brutale du courant de réduction négatif de 700 s à 950 s indique la croissance d'une couche de nickel entre la membrane masque et la membrane objet, à l’interface. De 950 s à 1800 s, la relative augmentation du courant signifie que les nanofils se développent dans la membrane objet. L'augmentation du courant de réduction de 1800 s à 2000 s indique que les nanofils ont atteint la surface de la membrane objet, face B, et commencent à se développer à la surface. Dans cet exemple, le but était de montrer la progression d’un dépôt électrochimique et son suivi dans le temps. On démontre ainsi la taille des nanofils peut être contrôle en gérant la durée de dépôt. Dans cet exemple, le dépôt électrochimique n’a pas été interrompu et les nanofils ont atteint la face B. La est une courbe montrant l’évolution du courant en fonction du temps dans un condensateur à nanofils interdigités pour différents niveaux de tensions appliquées. Les courants obtenus atteignent des micro-ampères, ce qui est 1000 fois supérieur à des courants dans un condensateur commercial conventionnel de 4µF. Le fait de placer un aimant à côté du condensateur à nanofils interdigités à base de cobalt selon l’invention permet d’augmenter la réponse impulsionnelle du courant mais cette réponse n'est pas immédiate. Placer un aimant à côté d’un condensateur commercial conventionnel n'a eu aucun effet sur la réponse en courant. La présente invention permet la conception d’un condensateur à nanofils inter-digités 3D qui constitue une batterie magnétique dont la capacité à stocker la charge, la capacité, est augmentée par un champ magnétique. Les nanofils sont électrodéposés dans une membrane conventionnelle. L'électrodéposition est réalisée en utilisant un masque qui est également une membrane. La superposition des deux membranes permet la croissance de nanofils dans chaque canal constitué par liaison d’un pore de la membrane objet avec un pore de la membrane masque. Par le hasard, seul une partie des pores de la membrane objet forme des canaux avec des pores de la membrane masque. L'électrodéposition est arrêtée avant que les nanofils ne remplissent la membrane objet. Le masque est ensuite retiré. Un film d’or est ensuite pulvérisé sur la face, qui était libre, de la membrane objet. Une seconde électrodéposition est effectuée dans les pores qui étaient auparavant bloqués par le masque. Là encore, le dépôt est arrêté avant que les nanofils ne remplissent les pores. Un film d’or est enfin pulvérisé sur le côté qui était en contact avec le masque. Bien sûr, l’invention n’est pas limitée aux exemples qui viennent d’être décrits et de nombreux aménagements peuvent être apportés à ces exemples sans sortir du cadre de l’invention. Procédé de fabrication d’un condensateur à nanofils inter-digités 3D à partir d’une première membrane nanoporeuse dite membrane objet, comprenant une face A, une face B et des pores traversant l’épaisseur de la membrane entre les deux faces A et B ; le procédé comprenant les étapes suivantes : - considération d’une deuxième membrane nanoporeuse dite membrane masque, comprenant une face C, une face D et des pores traversant l’épaisseur de la membrane entre les deux faces C et D, - réalisation d’une couche de métal sur la face C de la membrane masque, cette couche étant destinée à servir d’électrode, - disposition de la face A de la membrane objet sur la face D de la membrane masque de sorte qu’uniquement une première partie des pores de la membrane objet communiquent respectivement avec une première partie des pores de la membrane masque, - réalisation d’un premier dépôt électrochimique de nanofils, ces nanofils croissant depuis l’intérieur de la couche de métal de la face C, à travers la membrane masque puis à travers la membrane objet, - arrêt du dépôt électrochimique des nanofils croissant à l’intérieur de la membrane objet avant que ces nanofils n’atteignent la face B de la membrane objet, - séparation des deux membranes, - réalisation d’une couche de métal sur la face B de la membrane objet, cette couche étant destinée à servir d’électrode, - réalisation d’un deuxième dépôt électrochimique de nanofils, ces nanofils croissant depuis l’intérieur de la couche de métal de la face B, à travers une deuxième partie de pores libres de la membrane objet, - arrêt du dépôt électrochimique des nanofils croissant à l’intérieur de la membrane objet avant que ces nanofils n’atteignent la face A de la membrane objet, - réalisation d’une couche de métal sur la face A de la membrane objet, cette couche étant destinée à servir d’électrode. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dépôt électrochimique est réalisé en phase aqueuse. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les nanofils sont déposés à partir d’un ou une combinaison des matériaux suivants : cobalt, fer et nickel. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les nanofils sont déposés à partir d’un ou une combinaison des matériaux suivants : cuivre, chrome, or, argent et zinc. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les nanofils sont déposés à partir d’un ou une combinaison des matériaux suivants : multicouches de cobalt/cuivre. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les nanofils sont déposés à partir d’un ou une combinaison des matériaux suivants : nanoparticules magnétiques et composites à matrice métallique. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les nanofils sont déposés à partir d’un ou une combinaison des matériaux suivants : Bismuth, sélénium, Tellure et l’antimoine, Bi 2 Te 3 et Sb 2 Te 3 . Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les nanofils sont déposés à partir d’un ou une combinaison des matériaux suivants : plomb et étain. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le deuxième dépôt électrochimique de nanofils est réalisé avec le même matériau ou un matériau différent que le premier dépôt électrochimique. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les membranes objet et masque sont identiques et lors de la disposition de la face A de la membrane objet sur la face D de la membrane masque, la membrane objet est posée décalée par rapport à la membrane masque de façon à créer un effet moiré entre les pores des deux membranes. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que le décalage consiste à réaliser une rotation par rapport à un axe perpendiculaire à la face A. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce que la rotation est égale 10 degrés. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la couche de métal est constituée à partir de l’un des matériaux suivants : or, cuivre ou platine. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu’il comprend une étape de disposition d’un premier aimant sur la face libre de la couche de métal côté face A et la disposition d’un deuxième aimant sur la face libre de la couche de métal côté face B. Procédé selon la revendication 14, caractérisé en ce que les deux aimants possèdent la même puissance ou des puissances différentes. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la membrane objet est un oxyde d'aluminium anodique (AAO) ou un oxyde de titane (TiO 2 ) anodique et la membrane masque est une membrane en polycarbonate. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la membrane objet présente une épaisseur de 60µm et des pores ayant un diamètre compris entre 50 et 400nm. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les pores de la membrane masque présentent un diamètre de 10 nm à 400nm. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la membrane masque présente une épaisseur inférieure ou égale à l’épaisseur de la membrane objet. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les nanofils présentent une longueur supérieure à 10µm. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les nanofils reliés à la face A et les nanofils reliés à la face B se recouvrent sur une distance supérieure à 10µm.