Brevet FR3121962A1 — publié le 20221021

Pompe à vide (1 ; 100) comportant un dispositif d’injection de gaz (20) comportant au moins une canalisation (21) configurée pour être reliée à une source de gaz et pour injecter un flux de gaz dans la pompe à vide (1 ; 100) comprenant au moins un détecteur de présence du flux de gaz (22) comprenant au moins deux orifices calibrés (23, 24) montés en série dans la canalisation (21), et un capteur de pression (25) configuré pour mesurer une pression dans la canalisation (21), entre les orifices calibrés (23, 24), une unité de surveillance (26) reliée au capteur de pression (25) et configurée pour détecter un défaut de flux gaz en fonction de la mesure du capteur de pression (25). Figure d’abrégé : figure 1 Pompe à vide La présente invention concerne une pompe à vide comprenant un dispositif d’injection de gaz. Plus particulièrement, l’invention concerne un détecteur de présence du flux de gaz, tel qu’un gaz de purge. Dans certains procédés dans lesquels les pompes à vide sont utilisées, tels que les procédés de fabrication de semi-conducteurs ou LED, une couche de dépôt peut se former dans les pompes à vide. Ces dépôts peuvent entrainer une restriction de jeu entre le stator et le(s) rotor(s) pouvant provoquer un grippage du(es) rotor(s). Pour éviter cela, il est connu d’injecter un gaz de purge dans la pompe à vide. Le gaz de purge permet de protéger les parties sensibles des pompes primaires et des pompes turbo-moléculaires. Il participe aussi au refroidissement de la turbine des pompes turbo-moléculaires. En cas d’absence de purge, ou de débit trop faible, des dépôts peuvent apparaitre dans ces zones critiques et entrainer rapidement un défaut de fonctionnement. Il est donc indispensable de surveiller la présence du flux de purge. En pratique, le débit de purge est limité par la présence d’une conductance permettant de diminuer la pression entre l’arrivée du gaz de purge et son injection dans la pompe. Pour garantir la présence de ce flux de purge, il est possible de mesurer la pression d’admission du gaz neutre. On peut alors rapidement se rendre compte d’un défaut d’arrivée du gaz. Cependant, en cas de défaut au niveau de la conductance, du fait d’un encrassement de l’orifice par des poussières par exemple, une simple mesure de pression ne permet pas de détecter le défaut. En effet, la pression d’admission, en amont de l’orifice, reste sensiblement inchangée. De même, une mesure de la pression de sortie, après la conductance ne permet pas de donner un critère simple et robuste de présence de la purge. En effet, dans le cas d’une pompe à vide turbomoléculaire par exemple, la pression de sortie est imposée par la pompe primaire reliée au refoulement de la pompe à vide turbomoléculaire. En cas de purge trop faible, la pression de sortie n’est que très marginalement modifiée. Une autre solution consiste à équiper la pompe à vide d’un débitmètre pour mesurer la valeur du flux de purge injecté dans la pompe à vide. Toutefois, cela engendre un coût non négligeable et prend de la place. Il est également possible d’utiliser un capteur de pression différentielle, pour mesurer la différence de pression de part et d’autre de la conductance, ce qui permet d’estimer le débit à travers l’orifice dont on connait la valeur de conductance. Cependant, sa mise en œuvre est couteuse car deux connections étanches sont nécessaires pour relier chacune des bornes du capteur de pression différentielle au circuit de purge. De plus, comme pour la solution de mesure de la pression d’admission, la solution du capteur de pression différentielle ne permet pas d’identifier un défaut de purge en cas d’encrassement de l’orifice. Il est également connu du document US5443368 une pompe à vide turbomoléculaire dans laquelle on vérifie la présence du flux de gaz de purge en surveillant une augmentation du courant du moteur ou une augmentation de pression, dues à une augmentation de la charge de pompage induite par l’injection d’un gaz de purge. Cependant, outre la nécessité de prévoir une vanne de purge, ce mode de détection indirect suppose un arrêt temporaire préalable de la purge, ce qui ne peut pas être réalisé lorsque les gaz à pomper sont corrosifs. De plus, l’augmentation de la charge de pompage peut également être due à une augmentation du flux de gaz pompés. Il faut donc pouvoir s’assurer que la pompe à vide ne subit pas, en même temps que la mise en route de la purge, une variation du flux du gaz pompé. Cette vérification ne peut de plus pas être réalisée en autonomie par la pompe à vide car elle nécessite la connaissance des flux de gaz à pomper. Enfin, la variation du courant moteur est relativement faible (moins de 20% du courant à vide), ce qui limite la fiabilité de ce type de détection. Un des buts de la présente invention est de proposer une pompe à vide munie d’un détecteur de présence du flux de gaz ne présentant pas les inconvénients de l’état de la technique. A cet effet, l’invention a pour objet une pompe à vide comportant : - un stator, - au moins un rotor configuré pour tourner dans le stator, et - un dispositif d’injection de gaz comportant au moins une canalisation configurée pour être reliée à une source de gaz et pour injecter un flux de gaz dans la pompe à vide, caractérisée en ce que le dispositif d’injection de gaz comporte : - au moins un détecteur de présence du flux de gaz comprenant: - au moins deux orifices calibrés montés en série dans la canalisation, et - un capteur de pression configuré pour mesurer une pression dans la canalisation, entre les orifices calibrés, - une unité de surveillance reliée au capteur de pression et configurée pour détecter un défaut de flux de gaz en fonction de la mesure du capteur de pression. Plus précisément, le gaz injecté peut être un gaz de purge, comme un gaz neutre, préférentiellement de l’air ou de l’azote, mais peut aussi être un autre gaz neutre comme l’hélium ou l’argon. Le gaz peut également être de l’air ou un gaz pur ou un gaz de procédés comme le dioxygène ou le dihydrogène. L’unité de surveillance est par exemple configurée pour émettre une alerte lorsque la mesure de pression s’écarte de plus ou moins un pourcentage prédéterminé d’une mesure de pression nominale, ou lorsque la mesure de pression s’écarte d’un seuil haut et/ou d’un seuil bas. Par exemple, l’unité de surveillance est configurée pour comparer la mesure du capteur de pression avec une mesure de pression nominale, dite de fonctionnement normal, c’est-à-dire en l’absence de défaut, et pour détecter un défaut de flux de gaz lorsque la mesure du capteur de pression dépasse un pourcentage prédéterminé de cette mesure de pression nominale ou passe en dessous du pourcentage prédéterminé de cette mesure de pression nominale. Selon un autre exemple, l’unité de surveillance est configurée pour comparer la mesure de pression du capteur avec un seuil haut et/ou bas et pour détecter un défaut de flux de gaz lorsque la mesure de pression dépasse le seuil haut ou passe en dessous du seuil bas. L’unité de surveillance peut être configurée pour signaliser lorsqu’un défaut est détecté, par exemple en émettant une alerte visuelle, électronique, numérique ou sonore, pour informer l’utilisateur de la nécessité d’une intervention permettant de rétablir le flux de gaz. Si la pression mesurée entre les orifices calibrés est trop basse, c’est l’indication d’une absence d’injection de gaz à l’entrée de la canalisation par exemple du fait de la fermeture par erreur d’une vanne agencée sur la ligne de la source de gaz, ou de l’injection d’un débit de gaz trop faible, ou de l’obstruction de l’orifice calibré amont, agencé en entrée de la canalisation. Le seuil bas de pression est par exemple égal à 20% de la pression d’entrée du gaz, tel que 2.10 4 Pa. L’unité de surveillance est par exemple configurée pour détecter un défaut lorsque la pression mesurée par le capteur de pression est inférieure à 20% de la pression d’entrée du gaz. Selon un autre exemple, l’unité de surveillance est configurée pour détecter un défaut lorsque la pression mesurée par le capteur de pression est inférieure à 80% de la mesure de pression nominale. Si la pression mesurée entre les orifices calibrés est trop élevée, c’est l’indication d’une absence d’injection du gaz dans la pompe à vide ou de l’injection d’un débit de gaz trop faible, probablement due à l’obstruction de l’orifice calibré aval, agencé en sortie de la canalisation. Le détecteur de présence du flux de gaz permet donc également de détecter la présence de dépôts indésirables dans la pompe à vide du fait du bouchage de l’orifice calibré aval, ce qui est particulièrement intéressant lorsque la pompe à vide est utilisée pour le pompage d’espèces gazeuses polluantes susceptibles de se déposer dans la pompe à vide. Le seuil haut de pression est par exemple égal à 80% de la pression d’entrée du gaz, tel que 8.10 4 Pa. L’unité de surveillance est par exemple configurée pour détecter un défaut lorsque la pression mesurée par le capteur de pression est supérieure à 80% de la pression d’entrée du gaz. Selon un autre exemple, l’unité de surveillance est configurée pour détecter un défaut lorsque la pression mesurée par le capteur de pression est supérieure à 120% de la mesure de pression nominale. Dans tous les cas susceptibles de conduire à un défaut de flux de gaz : absence de flux de gaz à l’entrée de la canalisation ou obstruction de l’un ou l’autre des orifices calibrés, une variation anormale de la pression mesurée entre les orifices calibrés peut être détectée. Le détecteur de présence du flux de gaz peut n’utiliser qu’un seul capteur de pression par canalisation pour déterminer de manière fiable et robuste si un gaz est bien envoyé dans la pompe à vide. On économise ainsi l’emploi d’un deuxième capteur de pression et surtout, on évite de devoir réaliser un deuxième piquage étanche pour la mise en communication fluidique d’un deuxième capteur avec la pompe à vide. Le détecteur de présence du flux de gaz permet donc de savoir si l’arrivée du gaz, tel que de la purge, est bien présente et si les orifices calibrés ne sont pas bouchés, avec une solution peu encombrante et très économique. Le dispositif d’injection de gaz peut comporter plusieurs détecteurs de présence du flux de gaz, chaque détecteur de présence du flux de gaz étant associé à la surveillance du flux dans une canalisation respective du dispositif d’injection de gaz. Les conductances des orifices calibrés sont par exemple dimensionnées pour que la pression mesurée par le capteur de pression soit comprise entre 4.10 4 Pa et 6.10 4 Pa en l’absence de défaut. En effet, il existe des capteurs de pression bon marché et faciles à mettre en œuvre avec une plage de sensibilité située dans cette gamme de pression, comme par exemple des capteurs de pression de type piézo-électrique. Les orifices calibrés sont par exemple réalisés par des inserts en laiton percés. La longueur des inserts est généralement standardisée. La longueur standard est 3mm. L’unité de surveillance peut en outre être configurée pour déterminer une valeur du débit de gaz injecté à partir de la mesure du capteur de pression en l’absence de défauts de flux de gaz, et pour une pression en aval du détecteur de présence du flux de gaz suffisamment faible, par exemple inférieure à 200 Pa. La pression aval du détecteur de présence du flux de gaz est suffisamment faible notamment dans les pompes à vide turbo-moléculaires. L’unité de surveillance peut être configurée pour fournir la valeur du débit déterminée à une interface utilisateur de la pompe à vide. La mesure de la pression entre les orifices calibrés suffit alors à donner une valeur fiable du flux injecté. Selon une variante de réalisation, le dispositif d’injection de gaz comporte une vanne pilotable, pouvant être pilotée en fonction de la mesure du capteur de pression pour contrôler le débit dans la canalisation du détecteur de présence du flux de gaz, la vanne pilotable comportant un micro-actionneur configuré pour déplacer un élément d’obstruction d’un orifice calibré. Selon une variante de réalisation, le dispositif d’injection de gaz comporte deux détecteurs de présence du flux de gaz agencés en série le long de la canalisation. Le premier détecteur de présence du flux de gaz amont permet de discriminer les deux types de défaut pouvant être détectés par le deuxième détecteur de présence du flux de gaz aval. Selon une variante de réalisation, le détecteur de présence du flux de gaz comprend au moins deux orifices calibrés aval montés en parallèle, les orifices calibrés aval étant montés en série d’un orifice amont dans la direction d’écoulement du gaz. Cet agencement permet d’avoir un seul orifice calibré amont et un seul capteur de pression en commun de plusieurs orifices calibrés aval, ce qui permet de réduire les coûts, ce qui est particulièrement intéressant dans le cas d’une injection de gaz dans les étages de pompage d’une pompe à vide sèche primaire multiétagée. Selon une variante de réalisation, le détecteur de présence du flux de gaz comprend au moins deux orifices calibrés amont montés en parallèle, les orifices calibrés amont étant montés en série d’un orifice calibré aval dans la direction d’écoulement du gaz injecté. Cet agencement permet d’injecter au moins deux gaz différents en un même point d’injection de la pompe à vide. Selon un premier exemple de réalisation, la pompe à vide est une pompe à vide turbomoléculaire, le stator comportant au moins un étage d’ailettes et le rotor comportant au moins deux étages de pales, les étages de pales et les étages d’ailettes se succédant axialement le long d’un axe de rotation du rotor. Dans ce cas, le diamètre de la section de passage des orifices calibrés est par exemple compris entre 0,08mm et 0,3mm. Selon un deuxième exemple de réalisation, la pompe à vide est une pompe à vide sèche, le stator comportant au moins un étage de pompage, la pompe à vide comportant deux rotors configurés pour tourner dans le au moins un étage de pompage. Dans ce cas, le diamètre de la section de passage des orifices calibrés peut être compris entre 0,2mm et 0,9mm. Selon une variante de réalisation d’une pompe à vide sèche, le détecteur de présence du flux de gaz comprend également un capteur de pression auxiliaire configuré pour mesurer une pression en aval des orifices calibrés. L’unité de surveillance est également reliée au capteur de pression auxiliaire et est configurée pour déterminer une mesure de débit en fonction des mesures du capteur de pression et du capteur de pression auxiliaire. Contrairement à l’art antérieur de mesure de débit utilisant un seul orifice calibré et deux capteurs de pression, la présence de deux orifices calibrés rend le système plus robuste aux risques d’obstruction de l’orifice calibré situé entre le capteur de pression et le capteur de pression auxiliaire. En effet, il faudrait alors que deux anomalies arrivent de manière parfaitement synchrone (diminution de la pression amont et obstruction de l’orifice calibré aval, ou obstruction synchrone des deux orifices calibrés) pour que le détecteur de présence du flux de gaz ne puisse pas détecter une diminution du gaz. Présentation des dessins D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description suivante d'un mode de réalisation particulier de l’invention, mais nullement limitatif, ainsi que des dessins annexés sur lesquels : La montre une vue en coupe axiale d’une pompe à vide turbomoléculaire selon l’invention. La montre une vue agrandie d’un détecteur de présence du flux de gaz de la pompe à vide de la . La montre une variante de réalisation du dispositif d’injection de gaz de la pompe à vide turbomoléculaire de la avec une vanne pilotable, schématisée en position de fermeture sur la , ainsi qu’un graphique montrant la mesure du capteur de pression en fonction du temps. La montre des vues analogues à la pour la vanne pilotable en position d’ouverture. La montre une autre variante de réalisation du dispositif d’injection de gaz de la pompe à vide turbomoléculaire de la . La montre une autre variante de réalisation du détecteur de présence du flux de gaz de la pompe à vide turbomoléculaire de la . La montre une vue schématique d’une pompe à vide sèche selon l’invention. La montre une variante de réalisation du détecteur de présence du flux de gaz de la pompe à vide sèche de la . La montre une vue schématique d’une pompe à vide sèche selon un autre mode de réalisation. Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence. Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations. On entend par « en amont », un élément qui est placé avant un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper (F1) ou par rapport à la direction d’écoulement du gaz injecté, tel qu’un gaz de purge (F2). A contrario, on entend par « en aval », un élément placé après un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper (F1) ou par rapport à la direction d’écoulement du gaz injecté, tel qu’un gaz de purge (F2). La illustre un exemple de pompe à vide 1 turbomoléculaire. La pompe à vide 1 turbomoléculaire comporte un stator 2 dans lequel un rotor 3 est configuré pour tourner à grande vitesse en rotation axiale, par exemple une rotation à plus de quatre-vingt-dix mille tours par minute. Dans l’exemple de la , la pompe à vide 1 turbomoléculaire est dite hybride : elle comporte un étage turbomoléculaire 4 et un étage moléculaire 5 situé en aval de l’étage turbomoléculaire 4 dans la direction de circulation des gaz pompés (représentée par les flèches F1 sur la ). Les gaz pompés entrent par l’orifice d’aspiration 6, traversent d’abord l’étage turbomoléculaire 4, puis l’étage moléculaire 5, pour être ensuite évacués vers un orifice de refoulement 7 de la pompe à vide 1 turbomoléculaire. L’orifice de refoulement 7 de la pompe à vide 1 turbomoléculaire est raccordé à un pompage primaire. Une bride annulaire d’entrée 8 entoure par exemple l’orifice d’aspiration 6 pour raccorder la pompe à vide 1 à une enceinte dont on souhaite abaisser la pression. Dans l’étage turbomoléculaire 4, le rotor 3 comporte au moins deux étages de pales 9 et le stator 2 comporte au moins un étage d’ailettes 10. Les étages de pales 9 et d’ailettes 10 se succèdent axialement le long de l’axe de rotation I-I du rotor 3 dans l’étage turbomoléculaire 4. Le rotor 3 comporte par exemple plus de quatre étages de pales 9, comme par exemple entre quatre et douze étages de pales 9. Chaque étage de pales 9 du rotor 3 comporte des pales inclinées qui partent en direction sensiblement radiale d’un moyeu 11 du rotor 3 fixé à un arbre d’entrainement 12 de la pompe à vide 1, par exemple par vissage. Les pales sont réparties régulièrement en périphérie du moyeu 11. Chaque étage d’ailettes 10 du stator 2 comporte une couronne de laquelle partent, en direction sensiblement radiale, des ailettes inclinées, réparties régulièrement sur le pourtour intérieur de la couronne. Les ailettes d’un étage d’ailettes 10 du stator 2 viennent s’engager entre les pales de deux étages de pales 9 du rotor 3 successifs. Les pales 9 du rotor 3 et les ailettes 10 du stator 2 sont inclinées pour guider les molécules de gaz pompés vers l’étage moléculaire 5. Dans l’exemple illustré, le rotor 3 comporte en outre un bol interne 15, coaxial à l’axe de rotation I-I et agencé en vis-à-vis d’une cloche 17 du stator 2. En fonctionnement, le rotor 3 tourne dans le stator 2 sans contact entre le bol interne 15 et la cloche 17. Ici, dans l’étage moléculaire 5, le rotor 3 comporte en outre une jupe Holweck 13 en aval des au moins deux étages de pales 9, formée par un cylindre lisse, qui tourne en regard de rainures hélicoïdales 14 du stator 2. Les rainures hélicoïdales 14 du stator 2 permettent de comprimer et guider les gaz pompés vers l’orifice de refoulement 7. Le rotor 3 est configuré pour être entraîné en rotation dans le stator 2 par un moteur 16 interne de la pompe à vide 1. Le moteur 16 est par exemple agencé dans la cloche 17 du stator 2, elle-même agencée sous le bol interne 15 du rotor 3, l’arbre d’entrainement 12 traversant la cloche 17 du stator 2. Le rotor 3 est guidé latéralement et axialement par des paliers 18, 19 magnétiques et/ou mécaniques supportant l’arbre d’entrainement 12 du rotor 3, situés dans le stator 2. La cloche 17 peut être configurée pour pouvoir être refroidie afin de pouvoir refroidir continuellement les éléments qu’elle contient comme notamment les paliers 18, le moteur 16 et autres composants électriques ou électroniques afin de permettre leurs fonctionnements. La pompe à vide 1 comporte également un dispositif d’injection de gaz 20 configuré pour injecter un gaz dans la pompe à vide 1, dans un volume sous vide, notamment dans le chemin d’écoulement des gaz pompés. Le gaz injecté peut être un gaz de purge comme un gaz neutre, préférentiellement de l’air ou de l’azote, mais peut aussi être un autre gaz neutre comme l’hélium ou l’argon. Le gaz peut également être de l’air ou un gaz pur ou un gaz de procédés comme le dioxygène ou le dihydrogène. Le dispositif d’injection de gaz 20 comporte au moins une canalisation 21, au moins un détecteur de présence du flux de gaz 22 et une unité de surveillance 26. La canalisation 21 est configurée pour être reliée (ou autrement dit, mise en communication fluidique) à une source de gaz, par exemple via un raccord de sortie de la pompe à vide 1. La source de gaz assure la délivrance d’un gaz, tel qu’un gaz de purge, dans la canalisation 21, notamment à l’aide d’un détendeur, généralement à une pression d’entrée supérieure ou égale à 1000mbar (10 5 Pa). La canalisation 21 débouche dans la pompe à vide 1, ici dans une cavité de refoulement 27 du stator 2 recevant une extrémité de l’arbre 12 entrainant en rotation le rotor 3. Le gaz injecté remonte le long de l’arbre 12 en traversant les paliers 18, 19, le moteur 16 et sort de la cloche 17 du stator 2 pour circuler entre la cloche 17 et le bol interne 15, sous la jupe Holweck 13, jusqu’au refoulement 8 (Flèches F2 sur la ). Le flux de gaz injecté permet de refroidir le moteur 16 et permet de balayer les éléments de pivoterie de la pompe à vide 1 turbomoléculaire, en particulier les paliers 18, 19, la connectique électrique et les soudures. Le balayage de ces éléments par le gaz, tel qu’un gaz de purge, permet de les protéger des gaz pompés potentiellement agressifs. Mieux visible sur la , le détecteur de présence du flux de gaz 22 comporte au moins deux orifices calibrés 23, 24 (également appelés « restrictions » ou « gicleurs » ou parfois « conductances ») montés en série dans la canalisation 21. Les orifices calibrés 23, 24 définissent une conductance (résistance au passage du flux) permettant de limiter le débit de gaz. On définit généralement un orifice calibré comme un orifice de diamètre compris entre 0,08mm et 1mm, avec une tolérance sur la surface inférieure à 10% (5% sur le diamètre). Le détecteur de présence du flux de gaz 22 comporte également un capteur de pression 25, configuré pour mesurer une pression dans la canalisation 21, entre les orifices calibrés 23, 24. L’unité de surveillance 26 est reliée (ou autrement dit connectée) au capteur de pression 25. Elle comporte par exemple un contrôleur ou microcontrôleur ou microprocesseur. Elle est configurée pour détecter un défaut de flux de gaz en fonction de la mesure du capteur de pression 25. Plus précisément, l’unité de surveillance 26 est par exemple configurée pour émettre une alerte suite à la détection d’un défaut de flux de gaz lorsque la mesure de pression s’écarte de plus ou moins un pourcentage prédéterminé d’une mesure de pression nominale ou lorsque la mesure de pression s’écarte d’un seuil haut et/ou d’un seuil bas. Par exemple, l’unité de surveillance 26 est configurée pour comparer la mesure du capteur de pression avec une mesure de pression nominale, dite de fonctionnement normal, c’est-à-dire en l’absence de défaut, et pour détecter un défaut de flux de gaz lorsque la mesure du capteur de pression dépasse un pourcentage prédéterminé de cette mesure de pression nominale ou passe en dessous du pourcentage prédéterminé de cette mesure de pression nominale. Selon un autre exemple, l’unité de surveillance 26 est configurée pour comparer la mesure de pression du capteur 25 avec un seuil haut et/ou bas et pour détecter un défaut de flux de gaz lorsque la mesure de pression dépasse le seuil haut ou passe en dessous du seuil bas. Le seuil bas de pression est par exemple égal à 20% de la pression d’entrée du gaz, tel que 2.10 4 Pa. Le seuil haut de pression est par exemple égal à 80% de la pression d’entrée du gaz, tel que 8.10 4 Pa. Le pourcentage prédéterminé de la mesure de pression nominale est par exemple 20%. L’unité de surveillance 26 peut être configurée pour signaliser lorsqu’un défaut est détecté, par exemple en émettant une alerte visuelle, électronique, numérique ou sonore, pour informer l’utilisateur de la nécessité d’une intervention permettant de rétablir le flux de gaz. Si la pression mesurée entre les orifices calibrés 23, 24 est trop basse, c’est l’indication d’une absence d’injection de gaz à l’entrée de la canalisation 21 par exemple du fait de la fermeture par erreur d’une vanne agencée sur la ligne de la source de gaz, ou de l’injection d’un débit de gaz trop faible, ou de l’obstruction de l’orifice calibré 23 amont, agencé en entrée de la canalisation 21. L’unité de surveillance 26 est par exemple configurée pour détecter un défaut lorsque la pression mesurée par le capteur de pression 25 est inférieure à 20% de la pression d’entrée du gaz ou est inférieure à 80% de la mesure de pression nominale. Si la pression mesurée entre les orifices calibrés 23, 24 est trop élevée, c’est l’indication d’une absence d’injection du gaz dans la pompe à vide 1 ou de l’injection d’un débit de gaz trop faible, probablement due à l’obstruction de l’orifice calibré 24 aval, agencé en sortie de la canalisation 21. L’unité de surveillance 26 est par exemple configurée pour détecter un défaut lorsque la pression mesurée par le capteur de pression 25 est supérieure à 80% de la pression d’entrée du gaz ou est supérieure à 120% de la mesure de pression nominale. Dans tous les cas susceptibles de conduire à un défaut de flux de gaz : absence de flux de gaz à l’entrée de la canalisation 21 ou obstruction de l’un ou l’autre des orifices calibrés, une variation anormale de la pression mesurée entre les orifices calibrés 23, 24 peut être détectée. Le détecteur de présence du flux de gaz 22 peut n’utiliser qu’un seul capteur de pression 25 par canalisation 21 pour déterminer de manière fiable et robuste si un gaz est bien envoyé dans la pompe à vide 1. On économise ainsi l’emploi d’un deuxième capteur de pression et surtout, on évite de devoir réaliser un deuxième piquage étanche pour la mise en communication fluidique d’un deuxième capteur avec la pompe à vide 1. Le détecteur de présence du flux de gaz 22 permet donc de savoir si l’arrivée du gaz, tel que la purge, est bien présente et si les orifices calibrés 23, 24 ne sont pas bouchés, avec une solution peu encombrante et très économique. La section de passage de chacun des orifices calibrés 23, 24, tel que le diamètre, est par exemple comprise entre 0,08mm et 0,3mm. Les conductances des orifices calibrés 23, 24 peuvent être les mêmes entre elles ou elles peuvent être différentes. Un orifice calibré de diamètre 0,08mm permet d’obtenir un débit de 50 sccm (« standard cubic centimeter per minute » en anglais), soit 50 cm 3 de gaz à 1bar par minute (ou 0,0845 Pa.m 3 /s). Un orifice calibré de diamètre 0,3mm permet d’obtenir un débit de 600 sccm, soit 600 cm 3 de gaz à 1bar par minute (ou 1,014 Pa.m 3 /s). Les orifices calibrés 23, 24 ayant une section de passage comprise entre 0,08mm et 0,3mm permettent de limiter le débit de gaz entre 50sccm (0,0845 Pa.m 3 /s) et 600sccm (1,014 Pa.m 3 /s). Les orifices calibrés 23, 24 sont par exemple réalisés par des inserts en laiton percés. La longueur des inserts est généralement standardisée. La longueur standard est 3mm. La pression de sortie du gaz en aval des orifices calibrés 23, 24 (c’est-à-dire après le passage des orifices calibrés 23, 24 dans la direction d’écoulement du gaz injecté selon les flèches F2 sur la ) est généralement comprise entre 0,5mbar (50Pa) et 5mbar (500Pa) pour une pompe à vide 1 turbomoléculaire. La pression de sortie est donc négligeable par rapport à la pression d’entrée du détecteur de présence du flux de gaz 22 de sorte que la mesure de pression peut être un bon indicateur du débit. En effet, on peut considérer que le débit est égal au produit de la conductance et de la différence de pression de part et d’autre de la conductance (Pi mesurée par le capteur de pression – Ps la pression de sortie) de sorte que la mesure de pression est proportionnelle au débit lorsque Ps est négligeable. L’unité de surveillance 26 peut alors être configurée pour déterminer une valeur du débit de gaz injecté à partir de la mesure de pression, en l’absence de défauts et pour une pression en aval du détecteur de présence du flux de gaz suffisamment faible (par exemple inférieure à 200 Pa). L’unité de surveillance 26 peut également fournir la valeur du débit déterminée à une interface utilisateur de la pompe à vide 1. La plage de sensibilité maximum du capteur de pression 25 se situe de préférence autour de la pression attendue entre les orifices calibrés 23, 24, qui dépend de la pression d’entrée et de sortie du gaz dans la canalisation 21 et des valeurs des conductances des orifices calibrés 23, 24. Si les conductances des deux orifices calibrés 23, 24 sont les mêmes entre elles alors la pression attendue entre les deux orifices calibrés 23, 24 est égale à la moyenne entre la pression d’entrée et la pression de sortie. Dans le cas d’une pompe à vide 1 turbomoléculaire, la pression de sortie est négligeable par rapport à la pression d’entrée de sorte que la pression attendue se situe autour de la moitié de la pression d’entrée, soit par exemple autour de 500 mbar (5.10 4 Pa). Si les conductances des deux orifices calibrés 23, 24 sont différentes, on peut approximer que la pression Pi mesurée par le capteur de pression 25 entre les deux orifices calibrés 23, 24 soit de l’ordre de : Pi = Pe x C2 / (C1+C2) avec Pe, la pression d’entrée dans la canalisation 21, la pression de sortie étant négligée, C1, la conductance de l’orifice calibré 23 à l’entrée de la canalisation 21, et C2, la conductance de l’orifice calibré 24 à la sortie de la canalisation 21. On peut avantageusement prévoir de dimensionner les conductances C1, C2 des orifices calibrés 23, 24 de manière que la pression mesurée par le capteur de pression 25 soit comprise entre 400mbar (4.10 4 Pa) et 600mbar (6.10 4 Pa) en l’absence de défaut. En effet, il existe des capteurs de pression bon marché et faciles à mettre en œuvre avec une plage de sensibilité située dans cette gamme de pression, comme par exemple des capteurs de pression de type piézo-électrique. Les figures 3a et 3b montrent une première variante de réalisation du dispositif d’injection de gaz 20. Dans cette variante, le dispositif d’injection de gaz 20 comporte une vanne 30 pilotable, pouvant être pilotée en fonction de la mesure du capteur de pression 25 pour contrôler le débit dans la canalisation 21 du détecteur 22. L’actionnement de la vanne 30 pilotable peut être asservi à une consigne de flux de gaz, la consigne pouvant varier en fonction des besoins des pompes à vide. La vanne 30 pilotable comporte par exemple un micro-actionneur configuré pour déplacer un élément d’obstruction 31 pouvant fermer l’orifice calibré 23 amont. Selon un exemple de réalisation, l’action d’obstruction de la vanne 30 pilotable est proportionnelle. Le débit du gaz peut alors être contrôlé par le degré d’ouverture de l’élément d’obstruction 31. L’asservissement peut être par exemple de type Proportionnel Intégral, ce qui permet de limiter l’erreur entre la consigne et la mesure et permet de s’affranchir des variations de pression d’entrée du gaz. Selon un autre exemple de réalisation tel qu’illustré par les figures 3a et 3b, la vanne 30 est pilotable en tout ou rien. Le débit du gaz peut être contrôlé par la succession des ouvertures et fermetures de l’élément d’obstruction 31, obstruant totalement l’orifice de sortie 32 ( ) ou le libérant totalement ( ). Dans ce cas, l’asservissement de la vanne 30 pilotable peut être de type fourchette, avec un seuil de pression haute S1 entrainant la fermeture de l’orifice de sortie 32 et une baisse de la pression ( ), et un seuil de pression basse S2 entrainant l’ouverture de l’orifice de sortie 32 et une remontée de la pression ( ). Ce type d’asservissement permet de s’affranchir des variations de pression d’entrée du gaz. La constante de temps du système à asservir est égal au volume situé entre les orifices calibrés 23, 24 divisé par le débit nominal de l’orifice calibré 24 aval. Plus le volume est grand et plus les variations de valeur de gaz sont lentes et faibles. Par ailleurs, le micro-actionneur et le capteur de pression 25 peuvent être montés sur une même carte électronique pour réduire les coûts et faciliter la mise en œuvre. Typiquement, le micro-actionneur peut être un électro-aimant linéaire configuré pour déplacer l’élément d’obstruction 31 devant l’orifice calibré 23 amont. Il est par exemple de type « push pull » en anglais, c’est-à-dire pouvant avancer avec un courant positif et reculer avec un courant négatif. La illustre une deuxième variante de réalisation du dispositif d’injection de gaz 20. Dans cet exemple, le dispositif d’injection de gaz 20 comporte deux détecteurs de présence du flux de gaz 22 agencés en série le long de la canalisation 21. Le premier détecteur de présence du flux de gaz 22 en amont permet de discriminer les deux types de défaut pouvant être détectés par le deuxième détecteur 22 en aval. En effet, la détection d’un défaut par le deuxième détecteur 22 du fait d’une pression mesurée entre les orifices calibrés 23, 24 trop basse, est l’indication soit d’une absence d’injection de gaz à l’entrée de la canalisation 21 soit de l’obstruction de l’orifice calibré 23 amont, agencé en entrée de la canalisation 21. Si le premier détecteur 22 amont détecte un défaut du fait d’une pression trop basse alors l’unité de surveillance 26 peut conclure que le défaut du second détecteur 22 aval est dû à une absence d’injection de gaz à l’entrée de la canalisation 21. En revanche, si le premier détecteur 22 amont détecte un défaut du fait d’une pression trop élevée alors l’unité de surveillance 26 peut conclure que le défaut du second détecteur 22 aval est dû à l’obstruction de l’orifice calibré 23 amont du détecteur 22 aval. La montre une autre variante de réalisation du détecteur de présence du flux de gaz 22. Dans cet exemple, le détecteur de présence du flux de gaz 22 comprend au moins deux orifices calibrés 23 amont montés en parallèle, les orifices calibrés 23 amont étant montés en série d’un orifice calibré 24 aval dans la direction d’écoulement du gaz injecté F2. Les conductances des orifices calibrés 23 amont peuvent être les mêmes entre elles ou elles peuvent être différentes. Le capteur de pression 25 est agencé sur une branche de la canalisation 21 commune aux orifices calibrés 23 amont, pour pouvoir mesurer une pression entre les orifices calibrés 23, 24 amont et aval. Cet agencement permet par exemple d’injecter au moins deux gaz différents en un même point d’injection de la pompe à vide 1. La illustre un autre exemple pour lequel le dispositif d’injection de gaz 20 est agencé dans une pompe à vide 100 volumétrique sèche. Une pompe à vide volumétrique est configurée pour, à l’aide de deux rotors 3, aspirer, comprimer, transférer, puis refouler le gaz à pomper à la pression atmosphérique. C’est par exemple une pompe à vide secondaire Roots ou une pompe à vide primaire multiétagée pouvant refouler les gaz pompés à pression atmosphérique. La pompe à vide 100 comporte un stator 2 (ou corps de pompe) comprenant au moins un étage de pompage T1-T5, comme par exemple au moins deux étages de pompage T1-T5 montés en série, tel qu’entre deux et dix étages de pompage (cinq dans l’exemple illustratif). Les rotors 3 agencés dans le stator 2 tournent de façon synchronisée en sens inverse dans le au moins un étage de pompage T1-T5 pour entrainer un gaz à pomper entre l’orifice d’aspiration 6 et l’orifice de refoulement 7 (direction de pompage des gaz schématisée par des flèches F1). Chaque étage de pompage T1-T5 est formé par une chambre de pompage recevant deux rotors 3 conjugués, les chambres de pompage comprenant une entrée et une sortie respectives. Lors de la rotation, le gaz aspiré depuis l’entrée est emprisonné dans le volume engendré par les rotors 3 et le stator 2, puis est entraîné par les rotors 2 vers l’étage suivant. Les étages de pompage successifs T1-T5 sont raccordés en série les uns à la suite des autres par des canaux inter-étages respectifs raccordant la sortie de l'étage de pompage qui précède à l'entrée de l'étage de pompage qui suit. L’entrée du premier étage de pompage T1 communique avec l’orifice d’aspiration 6. Les dimensions axiales des rotors et des chambres de pompage sont par exemple égales ou décroissantes avec les étages de pompage, l’étage de pompage T1 situé du côté de l’orifice d’aspiration 6 recevant les rotors de plus grande dimension axiale et engendrant le plus grand débit de pompage. Les rotors présentent par exemple des lobes de profils identiques, par exemple de type « Roots » à deux lobes ou plus ou de type « Claw » ou de type à vis ou d’un autre principe similaire de pompe à vide volumétrique. Les rotors 3 sont entrainés par un moteur 16 situé à une extrémité de la pompe à vide 1. Ces pompes à vide sont dites « sèches » car en fonctionnement, les rotors 3 tournent à l’intérieur du stator 2 sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator 2, ce qui permet de ne pas utiliser d’huile dans les étages de pompage T1-T5. Le dispositif d’injection de gaz 20 de la pompe à vide 100 comporte au moins une canalisation 21 configurée pour être reliée à une source de gaz et pour injecter un flux de gaz dans la pompe à vide 100 (Flèches F2 sur la ). Dans l’exemple illustratif, le dispositif d’injection de gaz 20 comporte plusieurs canalisations 21, une canalisation 21 étant configurée pour injecter un gaz dans un étage de pompage T2-T5, par exemple dans tous les étages T2-T5 à l’exception du premier étage de pompage T1. Au moins une canalisation 21 du dispositif d’injection de gaz 20 peut être configurée pour injecter un gaz dans un palier 28 de la pompe à vide 100, par exemple dans le palier 28 situé à proximité du premier étage de pompage T1. Le flux de gaz injecté dans la pompe à vide 100 permet de protéger les paliers, les étages de pompage T1-T5 et les canaux inter-étages, des gaz pompés potentiellement agressifs. Le dispositif d’injection de gaz 20 comporte au moins un détecteur de présence du flux de gaz 22, ici cinq détecteurs de présence du flux de gaz 22, chaque détecteur de présence du flux de gaz 22 étant associé à la surveillance du flux de gaz dans une canalisation 21 respective. Chaque détecteur de présence du flux de gaz 22 comporte deux orifices calibrés 23, 24 configurés pour être montés en série dans une canalisation 21 respective et un capteur de pression 25 configuré pour mesurer une pression dans ladite canalisation 21, entre les deux orifices calibrés 23, 24. L’unité de surveillance 26 est par exemple commune à tous les détecteurs de présence du flux de gaz 22 du dispositif d’injection de gaz 20. Dans le cas d’une pompe à vide 100 volumétrique, la section de passage des orifices calibrés 23, 24, tel que le diamètre, est par exemple comprise entre 0,2mm et 0,9mm. Les conductances des deux orifices calibrés 23, 24 peuvent être les mêmes entre elles ou elles peuvent être différentes. Un orifice calibré de diamètre 0,2mm permet d’obtenir un débit de 300 sccm (« standard cubic centimeter per minute » en anglais), soit 300 cm 3 de gaz à 1bar par minute (ou 0,507 Pa.m 3 /s). Un orifice calibré de diamètre 0,9mm permet d’obtenir un débit de 1200 sccm, soit 1200 cm 3 de gaz à 1bar par minute (ou 2,028 Pa.m 3 /s). Les orifices calibrés 23, 24 ayant une section de passage comprise entre 0,2mm et 0,9mm permettent de limiter le débit de gaz entre 300sccm (0,507 Pa.m 3 /s) et 1200sccm (2,028 Pa.m 3 /s). La pression de sortie du gaz en aval des deux orifices calibrés 23, 24 (c’est-à-dire après le passage des orifices calibrés 23, 24 dans la direction d’écoulement du gaz injecté selon les flèches F2 sur la ) est généralement inférieure à 100 mBar (104 Pa) de sorte qu’elle peut également être négligée pour la détermination de la sensibilité des capteurs de pression 25. Les autres caractéristiques de ce deuxième exemple de réalisation peuvent être similaires à celles du premier exemple de réalisation. La montre une variante de réalisation du détecteur de présence du flux de gaz 22 agencé dans une pompe à vide sèche 100. Dans cette variante, le détecteur de présence du flux de gaz 22 comprend également un capteur de pression auxiliaire 29 configuré pour mesurer une pression en aval des orifices calibrés 23, 24. L’unité de surveillance 26 est également reliée au capteur de pression auxiliaire 29 et est configurée pour déterminer une mesure de débit en fonction des mesures du capteur de pression 25 et du capteur de pression auxiliaire 29. En effet, en considérant la formule simplifiée au premier ordre, le débit est égal au produit de la conductance et de la différence de pression de part et d’autre de la conductance (Pi mesurée par le capteur de pression – Ps la pression de sortie). Contrairement à l’art antérieur de mesure de débit utilisant un seul orifice calibré et deux capteurs de pression, la présence de deux orifices calibrés rend le système plus robuste aux risques d’obstruction de l’orifice calibré 24 situé entre le capteur de pression 25 et le capteur de pression auxiliaire 29. En effet, il faudrait alors que deux anomalies arrivent de manière parfaitement synchrone (diminution de la pression amont et obstruction de l’orifice calibré 24 aval, ou obstruction synchrone des deux orifices calibrés 23, 24) pour que le détecteur de présence du flux de gaz 22 ne puisse pas détecter une diminution du gaz. La illustre un autre exemple de pompe à vide 100 volumétrique sèche. Dans cet exemple, un détecteur de présence du flux de gaz 22 comprend au moins deux orifices calibrés 24 aval montés en parallèle, ici quatre. Les conductances des orifices calibrés 24 aval peuvent être les mêmes entre elles ou elles peuvent être différentes. Dans le cas d’une pompe à vide primaire 100, chaque orifice calibré 24 peut être associé à un étage de pompage T1-T5 ou palier. Les orifices calibrés 24 aval sont montés en série d’un orifice amont 23 dans la direction d’écoulement du gaz. Le capteur de pression 25 est agencé sur une branche de la canalisation 21 commune aux orifices calibrés 24 aval en parallèle, pour pouvoir mesurer une pression entre les orifices calibrés 23, 24 amont et aval. Si un seul des différents orifices calibrés 24 est bouché alors la pression mesurée par le capteur de pression 25 est suffisamment élevée pour déclencher un défaut. Cet agencement permet d’avoir un seul orifice calibré 23 amont et un seul capteur de pression 25 en commun de plusieurs orifices calibrés 24 aval, ce qui permet de réduire les coûts, ce qui est particulièrement intéressant dans le cas d’une injection de gaz dans les étages de pompage T1-T5 d’une pompe à vide 100 sèche primaire multiétagée. Pompe à vide (1 ; 100) comportant : - un stator (2), - au moins un rotor (3) configuré pour tourner dans le stator (2), et - un dispositif d’injection de gaz (20) comportant au moins une canalisation (21) configurée pour être reliée à une source de gaz et pour injecter un flux de gaz dans la pompe à vide (1 ; 100), caractérisée en ce que le dispositif d’injection de gaz (20) comporte : - au moins un détecteur de présence du flux de gaz(22) comprenant au moins deux orifices calibrés (23, 24) montés en série dans la canalisation (21), et un capteur de pression (25) configuré pour mesurer une pression dans la canalisation (21), entre les orifices calibrés (23, 24), - une unité de surveillance (26) reliée au capteur de pression (25) et configurée pour détecter un défaut de flux de gaz en fonction de la mesure du capteur de pression (25). Pompe à vide (1 ; 100) selon la revendication 1, caractérisée en ce que l’unité de surveillance (26) est configurée pour émettre une alerte lorsque la mesure de pression s’écarte de plus ou moins un pourcentage prédéterminé d’une mesure de pression nominale ou pour émettre une alerte lorsque la mesure de pression s’écarte d’un seuil haut et/ou d’un seuil bas. Pompe à vide (1 ; 100) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les conductances des orifices calibrés (23, 24) sont dimensionnées pour que la pression mesurée par le capteur de pression (25) soit comprise entre 4.10 4 Pa et 6.10 4 Pa en l’absence de défaut. Pompe à vide (1 ; 100) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le dispositif d’injection de gaz (20) comporte une vanne (30) pilotable pouvant être pilotée en fonction de la mesure du capteur de pression (25) pour contrôler le débit dans la canalisation (21) du détecteur de présence du flux de gaz (22), la vanne (30) pilotable comportant un micro-actionneur configuré pour déplacer un élément d’obstruction (31) d’un orifice calibré (23). Pompe à vide (1 ; 100) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le dispositif d’injection de gaz (20) comporte deux détecteurs de présence du flux de gaz (22) agencés en série le long de la canalisation (21). Pompe à vide (1 ; 100) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le détecteur de présence du flux de gaz (22) comprend au moins deux orifices calibrés (24) aval montés en parallèle, les orifices calibrés (24) aval étant montés en série d’un orifice amont (23) dans la direction d’écoulement du gaz (F2). Pompe à vide (1 ; 100) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le détecteur de présence du flux de gaz (22) comprend au moins deux orifices calibrés (23) amont montés en parallèle, les orifices calibrés (23) amont étant montés en série d’un orifice calibré (24) aval dans la direction d’écoulement du gaz injecté (F2). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que c’est une pompe à vide turbomoléculaire, le stator (2) comportant au moins un étage d’ailettes (10) et le rotor (3) comportant au moins deux étages de pales (9), les étages de pales (9) et les étages d’ailettes (10) se succédant axialement le long d’un axe de rotation (I-I) du rotor (3). Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que le diamètre de la section de passage des orifices calibrés (23, 24) est compris entre 0,08mm et 0,3mm. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 8 ou 9, caractérisée en ce que l’unité de surveillance (26) est configurée pour déterminer une valeur du débit de gaz injecté à partir de la mesure du capteur de pression (25) en l’absence de défauts, et pour fournir la valeur du débit déterminée à une interface utilisateur de la pompe à vide (1). Pompe à vide (100) selon l’une des revendications 1 à 7, caractérisée en ce que c’est une pompe à vide sèche, le stator (2) comportant au moins un étage de pompage (T1-T5), la pompe à vide (100) comportant deux rotors (3) configurés pour tourner dans le au moins un étage de pompage (T1-T5). Pompe à vide (100) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que le diamètre de la section de passage des orifices calibrés (23, 24) est compris entre 0,2mm et 0,9mm. Pompe à vide (100) selon l’une des revendications 11 ou 12, caractérisée en ce que le détecteur de présence du flux de gaz (22) comprend un capteur de pression auxiliaire (29) configuré pour mesurer une pression en aval des orifices calibrés (23, 24), l’unité de surveillance (26) étant également reliée au capteur de pression auxiliaire (29) et configurée pour déterminer une mesure de débit en fonction des mesures du capteur de pression (25) et du capteur de pression auxiliaire (29).