Brevet FR3122419A1 — publié le 20221104

L’invention concerne le procédé de fabrication d’un système à couche démixée notamment de verre, par traitement thermique flash par irradiation. L’invention concerne aussi le système à couche démixée ainsi obtenu. Figure pour abrégé : Figure 3 PROCEDE DE FABRICATION D’UN SYSTEME A COUCHE DEMIXEE ET UN TEL SYSTEME A COUCHE DEMIXEE L’invention concerne un procédé de fabrication d’un système à couche démixée ainsi qu’un tel système à couche démixée. L’obtention de séparation de phase d’une couche mince donnant une nanotexturation de la surface de la couche de verre est connu de par la thèse de Doctorat de Jean-Thomas Fonné « Diffusion et séparation de phases dans des couches minces de silicates déposées par pulvérisation cathodique » Université Pierre et Marie Curie, 2017. Ce procédé d’obtention d’une couche de verre démixée comporte le dépôt par pulvérisation cathodique magnétron, d’une couche mince de SiO 2 -BaO–B 2 O 3 suivi d’un traitement thermique dans un four, typiquement entre 500°C et 1200°C de 5 minutes à plusieurs heures, pour obtenir la séparation de phase. L’invention vise un procédé de fabrication alternatif davantage compatible avec les exigences industrielles. L’invention vise aussi à élargir la gamme des produits possibles. L’invention propose à cet effet pour premier objet un procédé de fabrication d’un système à couche démixée comportant dans cet ordre : - la fourniture d’un substrat revêtu compotant un substrat (de préférence transparent, en particulier diélectrique, en particulier inorganique notamment mélange d’oxydes, de verre notamment d’oxydes ou encore organique notamment polymère) comportant au moins une première couche en un premier matériau (de préférence transparent en particulier qui est inorganique ou contenant une source d’un matériau inorganique), première couche en particulier d’épaisseur E0 d’au moins 10nm et de préférence d’au plus 500nm ou 300nm ou 200nm, notamment première couche obtenue par dépôt physique en phase vapeur (notamment pulvérisation cathodique) ou liquide (sol-gel etc) plutôt que par dépôt chimique en phase vapeur CVD, le premier matériau étant de préférence amorphe, notamment un mélange d’oxydes (en particulier verre), ou un mélange d’oxyde(s) et un métal, un mélange de chalcogénures (verre de chalcogénure) ou un alliage métallique, - un traitement thermique de la première couche (sur tout ou fraction de son épaisseur) conduisant à une séparation de phase de la première couche (sur tout ou fraction de son épaisseur), alors dite couche démixée (notamment séparation de phase liquide, en particulier si le premier matériau est un verre température atteinte dans la première couche étant au-dessus de la température de transition vitreuse). Le traitement thermique selon l’invention est obtenu par une irradiation du substrat revêtu par un faisceau (continu ou pulsé, faisceau pris au sens large) d’un rayonnement électromagnétique, en particulier de 250nm à 15µm, notamment laser (rayonnement émettant dans l’infrarouge, l’ultraviolet, ou le visible) ou lampe flash (dans l’infrarouge notamment) ou électronique (notamment premier matériau métal ou un alliage métallique) ou d’ions, pendant une durée d’au plus 1s mieux d’au plus 10ms ou 5ms, le substrat revêtu absorbant ledit faisceau ( ainsi, au moins un fraction d’épaisseur du substrat revêtu, incluant ou non le substrat lui-même, absorbant ledit faisceau). Le traitement thermique est de préférence postérieur à la formation de la première couche plutôt que lors de la formation de la première couche. Le fait de réaliser une couche mince démixée sur substrat par traitement flash plutôt qu’un substrat massif (« bulk ») démixé par traitement flash permet d’ajuster plus aisément la composition de la première couche apte à démixer. Le procédé de traitement flash par faisceau notamment laser offre un gain de productivité significatif vis à vis d’un traitement thermique conventionnel comme une trempe ( quelques minutes ou heures) usité dans une ligne industrielle. Le procédé de traitement par faisceau notamment laser est compatible avec des dimensions de substrats (vitrages etc) « grande taille » notamment de taille « jumbo » (6 mx 3 m) sortant des procédés par flottage. Le procédé de traitement par faisceau notamment laser est réalisable industriellement de manière fiable et reproductible, en gardant le contrôle sur le type de séparation de phase, en ajustant à façon les paramètres du procédé en fonction des besoins. De préférence le substrat n’est pas trempé et le traitement thermique n’est pas une trempe aussi on peut prévoir une étape de découpe à tout stade de la fabrication après le traitement thermique (avant ou apres élimination sélective d’une phase, ou après formation de réseau interconnecté ou de plots ou cavités ou particules dans cavités). La variation d’un ou de plusieurs paramètres du faisceau notamment laser ou lampe flash (notamment puissance, voire choix de longueur d’onde et/ou encore plan de focalisation pour le laser) permet en particulier d’explorer des gammes de séparation de phase (taille de (nano)structures notamment) beaucoup plus facilement qu’en faisant varier les paramètres durée, température des traitements thermiques classiques dans des fours. Ce traitement flash par faisceau notamment laser offre en outre la possibilité d’obtenir des structures inédites avec un recuit conventionnel, notamment en obtenant aisément des objets (gouttes/ cavités/plots) d’au plus 200nm ou moins, en particulier pour conserver la transparence. Le traitement thermique peut être localisé, créant un échauffement en surface de la première couche par exemple une irradiation par faisceau laser ou d’ions ou d’électrons, « faisceau » d’une lampe flash. Le traitement n’est pas en particulier un traitement thermique à haut température de tout l’ensemble constitué du substrat et d’une ou plusieurs couches; le substrat n’est donc pas traité thermiquement par ce traitement flash, comme dans le cas de bombage, de trempe. Ledit traitement thermique peut être notamment par irradiation à l’aide d’un rayonnement laser ou d’une lampe flash. De telles lampes se présentent généralement sous la forme de tubes en verre ou en quartz scellés et remplis d’un gaz rare, munis d’électrodes à leurs extrémités. Sous l’effet d’une impulsion électrique de courte durée, obtenue par décharge d’un condensateur, le gaz s’ionise et produit une lumière incohérente particulièrement intense. Le spectre d’émission comporte généralement au moins deux raies d’émission ; il s’agit de préférence d’un spectre continu présentant un maximum d’émission dans le proche ultraviolet et s’étendant jusqu’au proche infrarouge. La lampe est de préférence une lampe au xénon ou à l’argon, à l’hélium ou au krypton. Le spectre d’émission comprend de préférence plusieurs raies, notamment à des longueurs d’onde allant de 160 à 1000 nm. Le rayonnement peut être issu de plusieurs lampes disposées côte à côte, de manière à traiter simultanément une zone plus large. Toutes les lampes peuvent dans ce cas émettre des flashs de manière simultanée. La ou chaque lampe est de préférence disposée transversalement aux plus grands côtés du substrat revêtu. La ou chaque lampe possède une longueur de préférence d’au moins 1 m et même 3 m de manière à pouvoir traiter des substrats de grande taille. Selon un deuxième mode de réalisation préféré, le rayonnement électromagnétique est un rayonnement laser, notamment un rayonnement laser sous la forme d’au moins une ligne laser. Le rayonnement laser est de préférence généré par des modules comprenant une ou plusieurs sources laser ainsi que des optiques de mise en forme et de redirection. On peut venir créer un mouvement relatif entre le substrat revêtu et le dispositif qui est notamment un laser ou lampe flash. Généralement, le dispositif est fixe, et le substrat revêtu vient défiler au regard du dispositif de manière à traiter sa surface. La température du substrat (s’il n’absorbe pas le faisceau) peut être d’au plus 100°C, voire 50°C et même 30°C pendant le traitement thermique. Le substrat est de préférence une feuille de verre, de vitrocéramique, ou d’une matière organique polymérique. Il est de préférence transparent, incolore (il peut s’agir alors d’un verre clair ou extra-clair) ou coloré, par exemple en bleu, vert, gris ou bronze. Le verre est de préférence de type silico-sodo-calcique, mais il peut également être en verre de type borosilicate ou alumino-borosilicate, notamment pour les applications à haute température (portes de four, inserts de cheminée, vitrages anti-feu). Les matières organiques polymériques préférées sont le polycarbonate ou le polyméthacrylate de méthyle ou encore le polyéthylènetérephtalate (PET). Le substrat présente avantageusement au moins une dimension supérieure ou égale à 1 m, voire 2 m et même 3 m. L’épaisseur du substrat varie généralement entre 0,5 mm et 19 mm, de préférence entre 0,7 et 9 mm, notamment entre 1 et 8 mm, voire entre 4 et 6 mm. Le substrat peut être plan ou bombé, voire flexible. Le rayonnement laser ou lampe flash peut par exemple émettre dans l’infrarouge ou le visible. Si nécessaire, la puissance surfacique du faisceau notamment laser est supérieure à 20kW/cm², mieux à 30kW/cm². Le rayonnement laser est de préférence issu d’au moins un faisceau laser formant une ligne (appelée « ligne laser » dans la suite du texte) qui irradie simultanément toute ou partie de la largeur du substrat. Le faisceau laser en ligne peut notamment être obtenu à l’aide de systèmes de diodes laser de forte puissance associées à une optique de focalisation. Le substrat revêtu peut être mis en déplacement, notamment en défilement en translation en regard de la ligne laser fixe, généralement en dessous, mais éventuellement au-dessus de la ligne laser. Ce mode de réalisation est particulièrement appréciable pour un traitement en continu. Alternativement, le substrat peut être fixe et le laser peut être mobile. De préférence, la différence entre les vitesses respectives du substrat et du laser est supérieure ou égale à 1 mètre par minute, même 10 ou 15 mètres par minute, ce afin d’assurer une grande vitesse de traitement. Le laser peut également être mis en mouvement de manière à ajuster sa distance au substrat, ce qui peut être utile en particulier lorsque le substrat est bombé avant le dépôt de la première couche (de préférence déposée par voie liquide), mais pas seulement. Le dispositif de rayonnement laser pour ledit traitement thermique peut être intégré dans une ligne de dépôt de couches notamment, de la première couche (et une ou d’autres couches notamment d’absorption du faisceau), par exemple une ligne de dépôt par pulvérisation cathodique assistée par champ magnétique (procédé magnétron), ou une ligne de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), notamment assistée par plasma (PECVD), sous vide ou sous pression atmosphérique (APPECVD). La séparation de phase peut-ainsi être directement obtenue en ligne industrielle à la sortie du bâti de dépôt notamment de pulvérisation (coater) de la première couche (et d’autres couches) grâce au procédé flash notamment laser de traitement thermique et non plus à un post traitement thermique type trempe chez un transformateur. Avec un tel traitement flash le refroidissement est quasi instantané. L’irradiation par faisceau laser ou lampe flash est ainsi de préférence réalisée pendant le défilement du substrat revêtu notamment défilement (horizontal) en translation, notamment sur un convoyeur (à rouleaux, bandes, à plateaux en translation), en particulier avec un faisceau formant une ligne laser. Le convoyeur permet de contrôler et réguler la vitesse du déplacement. En particulier la vitesse de défilement est de préférence d’au moins 1m/min et mieux d’au moins 10m/min. Notamment le faisceau laser (focalisé au niveau du plan d’une couche d’absorption par exemple) est sous forme d’une ligne laser irradiant simultanément toute ou partie de la largeur du substrat revêtu défilant de préférence toute la largeur. Et en particulier on ajuste la puissance surfacique du faisceau et/ou la vitesse de défilement en fonction de l’absorption du substrat revêtu ; de l’épaisseur et/ou de la composition de la couche et/ou en fonction de la morphologie souhaitée de la couche démixée. Le traitement thermique est adapté en fonction de la capacité d’absorption du substrat revêtu : substrat revêtu peu absorbant : puissance élevée et/ou vitesse faible substrat revêtu très absorbante : puissance basse et/ou vitesse élevée. Le traitement (puissance et/ou vitesse) est adapté pour fournier suffisamment d’énergie pour obtenir la démixtion, tout en évitant la délamination de la première couche. Par ailleurs on peut ajuster finement puissance et/ou vitesse pour obtenir la taille, la morphologie des structures souhaitées. Plus l’échauffement est élevé (température atteinte dans la première couche élevée) plus la taille des structures est élevée. La séparation de phase peut être une fraction de la première couche si l’épaisseur de la couche est trop importante notamment lorsque l’échauffement créée par le faisceau reste en surface. Le choix de la composition de la première couche et donc la forme du dôme de démixtion peut permettre de fixer : - la gamme de températures permettant la séparation de phase (et de déterminer le faisceau nécessaire avec une éventuelle couche d’absorption) - la morphologie finale obtenue (gouttelettes, plots ou réseau interconnecté, et la taille des structures), et donc de l’optimiser pour le traitement flash par faisceau notamment laser et/ou pour obtenir les structures désirées. L’épaisseur de la première couche peut également être optimisée pour contrôler la taille des structures obtenues après le traitement flash par faisceau notamment laser en plus de la composition et des paramètres faisceau (et vitesse de défilement). L’invention est applicable à tout verre (de préférence d’oxydes) donnant lieu à de la séparation de phase (silicate, borate, borosilicate de NaO, de CaO, de BaO (SiO 2 -B 2 O 3 -BaO), etc…). Pour obtenir la démixtion optimale par traitement flash laser, il est préféré un premier matériau de composition dont la température de transition vitreuse Tg qui n’est pas trop élevée. On préfère un premier matériau de Tg Le procédé peut comprendre alors la formation de la première couche incluant : - un dépôt par voie liquide, tel que sol-gel, par exemple par spray - ou encore physique en phase vapeur (PVD) tel que pulvérisation magnétron avec radiofréquence optionnelle ou évaporation, notamment à partir d’une cible céramique ou d’oxyde(s) ou encore à partir de cible d’alliage métallique éventuellement (si besoin) en pulvérisation réactive (oxygène avec gaz rare tel que l’argon) - voire chimique en phase vapeur (CVD). Le premier matériau apte à démixer est choisi parmi : un diélectrique tel qu’un verre de chalcogénure, un mélange d’un premier oxyde et d’au moins un deuxième oxyde ou d’un métal ou encore un alliage métallique. Le premier matériau apte à démixer est par exemple un verre silicate, borate ou borosilicate, en particulier avec un formateur de réseau et au moins un modificateur de réseau notamment choisi parmi : un oxyde d’alcalin; d’alcalinoterreux, un oxyde d’élément des colonnes 4 et 12, notamment borosilicate de sodium . La méthode de dépôt du verre, d’oxydes en couche mince peut être un dépôt magnétron radiofréquence ou avec une cible céramique dopée pour dépôt en mode continu, ou dépôt par voie liquide / sol-gel par exemple. Afin de d´eposer des couches minces de verre par d´dépôts PVD, on peut ´élaborer au préalable des verres massifs qui sont mis en forme pour obtenir des cibles c´eramiques. Un exemple de dépôt réactif avec une cible métallique est une cible Si-Ba pour obtenir une couche SiO 2 -BaO. Le premier matériau apte à démixer comporte de préférence : - un mélange d’un premier oxyde et d’au moins un deuxième oxyde ou d’un « cluster » métallique ou silicium, - un verre de chalcogénure. - un métal (avec plusieurs phases) ou un alliage métallique. La deuxième phase peut être dans une première phase à base de silice Le premier matériau apte à démixer peut être un verre de chalcogénure ou de préférence silicate, borate ou borosilicate, en particulier avec un formateur de réseau (silicium et/ou bore) et au moins un modificateur de réseau notamment choisi parmi un oxyde d’alcalin RO, d’alcalinoterreux R 2 O, un oxyde d’élément des colonnes 4 et 12 (en particulier ZnO et TiO2). Un exemple de premier matériau apte à démixer peut être un verre (de préférence silicate, borate ou borosilicate) en particulier SiO 2 -BaO-B 2 O 3 , SiO 2 -Na 2 O- B 2 O 3, ou SiO 2 -CaO-B 2 O 3 . La démixtion dans un verre a lieu lorsqu’il subit le traitement thermique en dessous de la température critique de démixtion tout en permettant la mobilité atomique, qu’elle soit de nature diffusive ou hydrodynamique. Pour les verres silicates, borates ou borosilicates, on préfère éviter (ou de teneur pondérale à moins de 1% du poids total) l’oxyde de plomb, de cadmium, de mercure. On préfère éviter (ou de teneur pondérale à moins de 1% du poids total) les oxydes de métaux de transition de la colonne 5 à 11 de la classification périodique des éléments. Le verre notamment silicate, borate ou borosilicate peut comprendre des dopants (terres rares) ou toute autre élément qui ne nuisent pas à la démixtion. Un exemple de système Na 2 O-B 2 O 3 -SiO 2 (NBS) est décrit dans le « Handbook of Sol Gel Science and technlogy Second edition volume » de Lisa Kelin et autres, Springer, dans le « chapitre borosilicate by sol gel method » pages 621 à 665. Comme source de Na 2 O on peut utiliser de l’acétate de sodium en solution. Le procédé peut comprendre la formation de la première couche qui est un revêtement d’oxydes ou de verre d’oxyde(s) (notamment silicate, borate ou borosilicate) sur le substrat par exemple par voie sol gel, à partir de précurseurs d’un oxyde ou de plusieurs oxydes (notamment de silice et/ou d’oxyde de bore), et aussi d’oxyde d’alcalin RO, d’alcalinoterreux R 2 O, d’élément des colonnes 4 et 12) ou avec toute autre source d’oxydes (sels, poudre, acide..). On utilise notamment comme précurseur des organométalliques. La silice peut être obtenue à l’aide de silane, de tétraéthoxysilane (TEOS), ou encore d’hexamethyldisiloxane (HDMSO), en utilisant éventuellement un accélérateur tel que le triéthylphosphate. Comme précurseur pour le bore on peut choisir de l’acide borique. Dans une première configuration, le premier matériau (sur substrat de préférence en verre notamment flotté) est en verre silicate. La teneur pondérale en silice (SiO 2 ) est d’au moins 20 ou 40% du poids total et même d’au moins 50%, 55%, 65% et même au plus 80%. La teneur en B 2 O 3 est nulle ou inférieure à la teneur en silice, et de préférence de moins de 20%. La teneur pondérale en B 2 O 3 + SiO 2 peut être d’au moins 40%, 55%,65% et même au plus 95%, 80%. Dans une deuxième configuration, le premier matériau (sur substrat de préférence en verre notamment flotté ou polymère) est en verre borate. La teneur pondérale en B 2 O 3 est d’au moins 20% ou 40% du poids total et même d’au moins 50%, 55%,65% et même au plus 90%, 80%. La teneur pondérale en silice est nulle ou inférieure à la teneur en B 2 O 3 , et de préférence d’au plus 20%. Dans une troisième configuration, le premier matériau (sur substrat de préférence en verre notamment flotté) est en verre borosilicate. La teneur pondérale en B 2 O 3 est d’au moins 20% du poids total et même d’au moins 40%, 55%,65% et même au plus 95%, 80%. La teneur pondérale en silice est d’au moins 20% du poids total et même d’au moins 40%, 55%, 65% et même au plus 95%, 80%. La teneur pondérale en B 2 O 3 +SiO 2 peut être d’au moins 40%, 55%, 65% et même au plus 95%, 80%. Et pour la première ou deuxième ou troisième configuration, la composition chimique de la première couche (sur substrat de préférence en verre notamment flotté ou polymère) peut comprendre (ou être constituée de) d’au moins un oxyde de l’un au moins des oxydes de métaux alcalins et alcalino-terreux suivants (par exemple au plus 3 ou 2 desdits oxydes), variant dans les limites pondérales (en poids du verre) ci-après définies : K 2 O : 0-25% Rb 2 O : 0-15% Na 2 O : 0-20% Li 2 O : 0-20% Cs 2 O : 0-20% BaO : 0-45% SrO : 0-40% MgO : 0-30% CaO : 0-15% PbO : 0-40% - et même on peut ajouter ou substituer l’un ou les oxydes (de préférence au plus 3 en tout) suivants: - Al 2 O 3 : 0-35% - ZnO : 0-50% - ou encore TiO 2 . Pour les première, ou deuxième ou troisième compositions précitée, on préfère éviter (ou de teneur pondérale à moins de 1% du poids total) l’oxyde de plomb, de cadmium, de mercure. On préfère éviter (ou de teneur pondérale à moins de 1% du poids total) les oxydes de métaux de transition de la colonne 5 à 11 de la classification périodique des éléments. En particulier cette composition peut ne pas comporter pas de plomb, de mercure, de cadmuim (et de la colonne 5 à 11) ni même d’autres constituants ou à moins de 1% en poids. L’une des compositions précitées peut comprendre des dopants (terres rares ) ou toute autre élément qui ne nuisent pas à la démixtion. Pour une première couche en verre, on peut citer des systèmes binaires Na 2 O – SiO 2 . Un exemple est décrit dans la publication de Utsuno et autres. intitulée « Phase separation of Na 2 O–SiO 2 films prepared by sputtering »journal of non crystalline solids (2004 337-340. Pour une première couche en verre, on peut citer des systèmes binaires SiO 2 -BaO. Un exemple est décrit dans la publication de Seward et autres intitulée « Development of Two-Phase Structure in Glasses », with special reference to the system BaO-SiO 2. » Journal of the American Ceramic Society, 1968, 51, pages 634 -643. Si on dépose à froid la première couche, il n’y pas séparation de phase, celle-ci est créée par le traitement thermique par irradiation flash. Pour une première couche en alliage métallique ce peut être un dépôt électrolytique. Dans une réalisation de l’invention, lors de l’irradiation la première couche qui est inorganique (ou contenant une source d’un matériau inorganique) notamment d’oxydes, de verre et/ou le substrat choisi inorganique (notamment oxydes, verre d’oxydes) absorbe ledit faisceau de préférence laser ou lampe flash. Et en particulier lors de l’irradiation la première couche d’oxydes (de verre d’oxydes) ou le substrat d’oxydes (de verre d’oxydes) absorbe ledit faisceau de préférence laser émettant dans l’ultraviolet à au plus 400nm ou émettant (dans l’infrarouge lointain) de 8 à 12µm, comme un laser CO 2 de longueur d’onde de 10 à 11µm. Un substrat en silicium peut absorber dans le visible ou le proche infrarouge par exemple 1µm. Dans une réalisation de l’invention, le substrat comportant au moins une couche dite couche d’absorption distincte de la première couche (distincte de la couche démixée après traitement thermique), qui est une sous couche sous la première couche (de préférence sur la même face principale du substrat, première couche en contact ou non avec la couche d’absorption) ou une surcouche (éventuellement en contact avec l’atmosphère) sur la première couche. Et la couche d’absorption absorbe le faisceau de préférence laser (ou lampe flash) notamment à une longueur d’onde de 400nm à 2000nm, même de 900nm à 1100nm et de préférence de 950 à 1050nm. En particulier avant le traitement thermique (avant le dépôt de la première couche si couche d’absorption forme une sous couche sur la même face du substrat) le procédé comprend le dépôt notamment par dépôt physique en phase vapeur ou par voie liquide de la couche d’absorption. Le faisceau laser est de préférence focalisé sur la couche d’absorption, le substrat absorbant ou la première couche absorbant. L’absorption est définie comme étant égale à la valeur de 100% auxquelles sont soustraites la transmission et la réflexion (spectrale et diffuse) de la couche d’absorption. Elle peut de manière connue être déduite de mesures réalisées à l’aide d’un spectrophotomètre muni d’une sphère intégrante. La couche d’absorption absorbe de préférence au moins 20% ou 50% ou 80% du faisceau (notamment rayonnement électromagnétique) utilisé lors du traitement thermique. Une partie de l’énergie est ainsi absorbée par la couche d’absorption et transférée à la première couche, par diffusion thermique. La couche d’absorption transmet de préférence moins de 80%, voire moins de 50% ou même moins de 20% du faisceau (du rayonnement). De préférence, la couche d’absorption est sur la même face principale du substrat que la première couche. Le faisceau notamment laser peut être côté première couche ou côté opposé. On peut réaliser une irradiation côté première couche et côté opposé (avec deux faisceaux pour irradiations simultanées ou successives ou avec un faisceau avec irradiations successives). Pour favoriser l’échauffement de la première couche, la distance (de surface à surface) entre la couche d’absorption et la première couche est de préférence d’au plus 200nm. La première couche et/ou la couche d’absorption, ainsi qu’éventuellement l’ensemble des couches déposées sur ou sous première couche, sont typiquement des couches minces, au sens où leur épaisseur est généralement de 0,5 nm à 10 µm, plus généralement de 1 nm à 1 µm et même d’au plus 200nm ou 50nm. La première couche (et même la couche d’absorption éventuelle) couvre de préférence au moins 50% ou 90% ou 100% de la surface du substrat. La couche d’absorption peut couvrir la même surface que la première couche. On peut souhaiter une uniformité des structures recherchées ou différentes structures d’une zone à l’autre du substrat revêtu. On peut couvrir le substrat d’une ou plusieurs premières couches aptes à démixer (en premiers matériaux identiques ou distinctes et/ ou d’épaisseur identiques ou distinctes) adjacentes, disjoints ou non. On peut utiliser une ou plusieurs couches d’absorption adjacentes, disjointes ou non Le dispositif (laser ligne de préférence) peut irradier une ou certaines zones de la première couche grâce à un système de masquage de la première couche ou de mise en forme du faisceau. La couche d’absorption peut être inorganique, notamment qui contient un métal, qui est un métal ou un mélange de métaux, un oxyde et/ou nitrure d’un ou plusieurs métaux, ou être une couche à base organique. Dans le cas d’une couche d’absorption déposée par pulvérisation, on préfère que l’épaisseur soit d’au plus 50nm ou 30nm et mieux d’au moins 0,5 nm (en fonction de la puissance du faisceau notamment). Dans le cas d’une couche d’absorption déposée par voie liquide, en particulier une surcouche, notamment couche à base organique, notamment de carbone, l’épaisseur peut être d’au moins 0,5µm, et même micronique et d’au plus de 20µm ou 10µm. La couche d’absorption peut ainsi contenir un élément absorbant qui est un élément métallique choisi parmi le germanium, le titane, l’argent, le tungstène, le niobium, l’indium, l’étain, le cuivre, le molybdène, le zinc, le zirconium, le silicium, le vanadium, l’aluminium, le nickel, le chrome, le fer et l’or, ou la couche d’absorption est à base d’au moins un métal choisi parmi le germanium, le molybdène, le titane, le zinc, le zirconium, l’argent, l’indium, l’étain, le nickel, le chrome, le niobium, le vanadium, le tungstène, le cuivre, le fer, le silicium, l’or. La couche d’absorption peut être une couche d’oxyde et/ou de nitrure d’au moins un métal précité. De préférence, la couche d’absorption peut être d’épaisseur d’au plus 50nm ou 30nm et mieux d’au moins 0,5 nm (en fonction de la puissance notamment) et à base : - de zinc ou d’étain, ou à base de zinc et d’étain - de Ni, de Cr, ou à base de NiCr - de germanium, - d’indium ou à base d’un mélange d’indium et d’un autre métal, notamment à base d’indium et d’étain InSn - de titane - d’argent. Par « couche à base de … » au sens de la présente invention, il faut comprendre que la couche comprend à plus de 50 % atomique le matériau mentionné. Au sens de l’invention, le fait que la couche d’absorption ou toute autre couche (premier couche etc) , obtenue par pulvérisation, est constituée d’un ou plusieurs éléments (métal etc) signifie que ce ou ces éléments représentent de 98 à 100 % en poids de la cible utilisée pour déposer la couche (et donc de la couche ainsi déposée) ; il n’est pas exclu que la couche puisse comporter un ou plusieurs éléments métalliques, comme par exemple de l’aluminium et/ou de l’antimoine, comme dopant pour améliorer la conduction de la cible, ou comme impureté. Apres traitement la couche d’absorption métallique peut être au moins partiellement oxydée. On peut citer le ZnOx (éliminable par solution acide) and GeOx (éliminable par voie liquide), le SnZnOx, le TiOx. L’oxydation conduit à une perte partielle de l’absorption pendant l’irradiation. Dans une configuration, la couche d’absorption étant une surcouche, le procédé comprend le retrait de la couche d’absorption par voie liquide (immersion, jet, utilisation d’une machine à laver) et/ou action mécanique (chiffonnage, immersion et ultrasons, brossage avec ou sans liquide), ou même par traitement thermique additionnel, éventuellement retrait par voie liquide (immersion, jet, utilisation d’une machine à laver) à l’aide d’une couche sacrificielle éliminable par voie liquide (immersion, jet, utilisation d’une machine à laver) présente entre la première couche et la couche d’absorption. En particulier le procédé comprend le dépôt physique en phase vapeur (pulvérisation notamment) de la couche sacrificielle et/ou de la couche d’absorption ou dépôt par voie liquide. De préférence la durée du retrait (élimination) de la couche d’absorption est de préférence d’au plus 10 min ou 5 min ou 1min et même à température d’au plus 50°C (si par voie liquide) ou même à température ambiante. On peut utiliser de l’eau notamment des ionisée entre 20°C et 50°C. La couche d’absorption peut être éliminable par voie liquide en particulier soluble ou dispersible dans des solvants aqueux ou alcooliques, notamment c’est une couche d’un métal tel que zinc, magnésium, de germanium, ou molybdène qui s’oxyde lors du traitement thermique, ou un oxyde sous stœchiométrique d’un métal tel que zinc, magnésium, de germanium, ou molybdène qui s’oxyde lors du traitement thermique. Pour être aisément soluble ou dispersible, cette couche (notamment surcouche) de préférence est suffisamment fine pour s’oxyder sur toute l’épaisseur. Aussi on préfère une épaisseur d’au plus 10nm ou 5nm ou 3nm. La couche d’absorption peut être éliminable par voie liquide en particulier soluble ou dispersible dans des solvants aqueux ou alcooliques (de préférence soluble dans l’eau), et peut être une couche à base organique notamment un agent absorbant le rayonnement qui est par exemple un colorant ou un pigment. L’agent absorbant le rayonnement (notamment au moins 50% en poids) est dispersé dans une matrice organique de préférence à base de polymère soluble dans l’eau par exemple à base de polymère acrylate. L’agent absorbant le rayonnement est choisi de préférence parmi les particules de carbone, notamment les particules de noir de carbone, de graphite, de graphène, de nanotubes de carbone, ou les mélanges de ceux-ci. Des pigments absorbant le rayonnement infrarouge sont notamment du noir de carbone, du noir de fumée, de l’oxyde de fer ou de chrome, des spinelles de chrome (par exemple FeCr 2 O 4 , MgCr 2 O 4 , ZnCr 2 O 4 ) ou encore des sels d’ytterbium. Des pigments absorbant le rayonnement ultraviolet sont notamment choisis parmi les sels métalliques, l’oxyde ou le sulfure de de cérium. Des colorants absorbant le rayonnement infrarouge sont notamment choisis parmi la cyanine, les complexes métalliques (Ni, Fe, Pt, Pd…) à ligand dithiolène, les complexes organométalliques de l’ytterbium. Des colorants absorbant le rayonnement ultraviolet sont notamment choisis parmi la rhodamine, la phtalocyanine, la coumarine, la fluorescéine. La couche d’absorption à base organique peut être déposée par diverses techniques connues, telles que le dépôt par enduction, par pulvérisation, au rouleau, au rideau etc…Il est entendu que dans le cas d’une couche à base organique éliminable par voie liquide, certains de ses constituants tels que les pigments peuvent rester insolubles dans le solvant sans nuire pour autant à l’élimination totale de ladite couche. Sous la surcouche d’absorption notamment métallique ou d’oxydes et/ou nitrures métalliques, la couche sacrificielle de préférence soluble dans l’eau peut être d’épaisseur de 0,5 à 50nm notamment : - couche d’un oxyde de zinc ou magnésium, ou à base de molybdène ou d’oxyde de molybdène MoOx, d’un oxyde de germanium GeOx, (déposable par pulvérisation) - choisie par les halogénures métalliques et les sulfates métalliques, les matériaux du groupe I ou VII, ainsi en particulier Al 2 (SO 4 ) 3 ou NaCl ou LiF ou NaI ou CsI (qui sont solubles dans l’eau et déposable par pulvérisation). Par ailleurs, la séparation de phase est connue dans les alliages, l’article intitulé « phase separation in metallic glasses » de DH Kim et autres, Progress in Materials Science (2013), pages 1103-1172, édition Elservier liste différentes compositions de verres métalliques donnant lieu à de la démixtion à l’échelle nanométrique. Selon l’invention, avantageusement : la séparation de phase est par nucléation croissance comportant une première phase, de préférence amorphe, et au moins une deuxième phase comportant éventuellement des gouttes disjointes, de préférence amorphe, - ou la séparation de phase est par décomposition spinodale formant par exemple un réseau interconnecté. Une application est d’obtenir par ce procédé une couche démixée qui a la fonction anti-reflet pour une gamme de produits dont le substrat est un verre non-trempé. Bien sur après le traitement thermique les gouttes sont solides tout comme la première phase. En particulier, la couche démixée comporte une première phase et une deuxième phase sous forme des gouttes disjointes (solides après le traitement thermique), de préférence amorphe, par exemple nanogouttes disjointes de largeur nanométrique d’au plus 300nm, le procédé selon l’invention comporte une élimination sélective de phase de la couche démixée par exemple par voie liquide notamment solution acide, l’élimination sélective conduisant à : - la texturation de surface de la couche démixée, la surface ainsi texturée étant pourvue d’une pluralité de cavités disjointes de largeur W0 (notamment submillimétrique, par exemple nanométrique), en particulier par élimination de la deuxième phase - la formation d’une pluralité de plots disjoints de largeur W0 (notamment submillimétrique, par exemple nanométrique), par élimination de la première phase, notamment plots répartis de manière irrégulière, apériodique. Ladite élimination sélective est de préférence par voie liquide, notamment attaque chimique, dissolution, ou par voie sèche, notamment par gravure plasma. Dans le cas d’une couche de verre, on privilégie une attaque acide, une gravure plasma fluoré. La durée de l’élimination peut être de préférence d’au plus une journée, une heure ou même 30, 10, 5 minutes. Les nanogouttes sont typiquement de forme circulaire (en surface) ou ovale. La taille des (nano)gouttes ou (nano)plots va être dictée par : - le traitement thermique - la composition du premier matériau apte à démixer (notamment l’écart de composition entre les première et deuxième phases) - l’épaisseur du premier matériau apte à démixer (si en couche mince) - le contrˆole de l’environnement qui agit sur l’´etat de surface du premier matériau. En particulier, les (nano)cavités ou (nano)plots n’occupent pas une position régulière avec un pas constant mais sont réparties de manière apériodique. Les plots disjoints peuvent être de largeur W0 nanométrique (de préférence prise à la surface de la nanocavité, au niveau haut), sont en particulier de hauteur H0 nanométrique (de préférence à partir du point le plus bas de la nanocavité), et même de longueur L0 nanométrique. Les gouttes (notamment nanogouttes) peuvent être débouchantes en surface et/ou les gouttes (notamment nanogouttes) sont immergées dans la couche démixée, le procédé comprenant alors une étape de retrait partiel de la couche démixée apte à rendre débouchantes les nanogouttes immergées (éventuellement l’étape d’élimination de la phase est une prolongation dudit retrait partiel). On rappelle qu’il existe différents domaines de séparation de phases : -domaine de d´ecomposition spinodale -domaine de d´ecomposition par nucl´eation croissance ou binodal. Pour illustrer le cas d’un mélange binaire, le dôme apte à démixer délimite la région thermodynamiquement stable (mélange miscible) des régions d’immmiscibilité. A l’intérieur de ce dôme on trouve trois régions, l’une au centre appelée spinodale, les deux autres sur les bords appelées binodal. Aux premiers instants, la d´ecomposition spinodale donne des morphologies interconnect´ees alors qu’un syst`eme dont les phases se s´eparent par un m´ecanisme de nucl´eation-croissance adopte g´en´eralement une morphologie en gouttes. La densité de nanogouttes peut directement dépendre de la forme du dôme de démixtion qui caractérise le premier matériau. La séparation de phase peut être plus précisément: -a) par nucléation croissance conduisant directement à la coexistence d’au moins une première phase (notamment amorphe et/ou de verre, d’oxydes) et une deuxième phase (notamment amorphe et/ou de verre, d’oxydes), simple à réaliser, -b) ou encore la séparation de phase dite primaire (à T0> T1) conduit par nucléation croissance à la coexistence d’au moins une première phase (notamment amorphe et/ou de verre, d’oxydes) et une deuxième phase (notamment amorphe et/ou de verre, d’oxydes) et une séparation de phase dite secondaire (à T1) conduit à la coexistence d’une troisième phase (notamment amorphe et/ou de verre, d’oxydes) et quatrième phase (notamment amorphe et/ou de verre, d’oxydes) issue de l’une des première ou deuxième phases, la troisième phase étant ladite phase avec les gouttes. -c) la séparation de phase est par décomposition spinodale formant un réseau interconnecté (instable) éventuellement suivie d’une fragmentation dudit réseau pour former ladite structure lors du traitement thermique. En effet une structure finale en gouttes classiquement due à de la nucléation croissance peut aussi être observée par décomposition spinodale après fragmentation d’une des phases. Ceci peut être dû au fort ratio de viscosité entre les deux phases démixées. Par exemple pour un verre, une phase riche en modificateur de réseau (par exemple le baryum) étant plus fluide, elle est plus cisaillée que la phase riche en formateur de réseau (telle que la silice) ce qui conduit à la fragmentation de la structure bi-continue et formation de nanogouttes. Dans le cas d’un mélange d’au moins trois oxydes pour la première couche, on peut avoir une première phase qui est un mélange d’oxyde ou un seul oxyde et/ou une deuxième phase qui est un mélange d’oxyde ou un seul oxyde. Dans une configuration, la texturation de surface de la couche démixée conduit aux cavités qui sont des nanocavités, la largeur W0 étant nanométrique, et le procédé comporte ensuite - la formation, par dépôt sur la couche démixée texturée, d’une deuxième couche au moins coalescente et de préférence au moins percolante en un deuxième matériau inorganique d’épaisseur E1 nanométrique, de préférence d’au plus 150nm et d’au plus 50nm en particulier de 6 ou 10nm à 50nm - la formation, à partir d’un démouillage dudit deuxième matériau, notamment solide ou même liquide (comme un verre à une température supérieure à Tg), d’une multitude de nanoparticules disjointes dans lesdites nanocavités, les nanoparticules étant de largeur W1 nanométrique. Le procédé de traitement par faisceau notamment laser est réalisable industriellement de manière fiable et reproductible, en gardant le contrôle de la taille des structures (et même de la distribution de tailles), de la densité surfacique de structures, en ajustant à façon les paramètres process en fonction des besoins. Les nanocavités disjointes (et tridimensionnelles) de largeur W0 nanométrique (de préférence prise à la surface de la nanocavité, au niveau haut), sont en particulier de hauteur H0 nanométrique (de préférence à partir du point le plus bas de la nanocavité), et même de longueur L0 nanométrique. Les nanocavités sont en particulier avec un rapport de forme W0/L0 d’au moins 0,6, 0,8 ou 0,9. Les nanoparticules disjointes (tridimensionnelles) sont de largeur W1 nanométrique (avec une distribution de largeurs la plus étroite possible si nécessaire) notamment de hauteur H1 nanométrique en particulier avec un rapport W1/H1 allant de 0,5 à 3 et même de 1 à 2, largeur W1 par exemple déterminée en vue de dessus à la normale, notamment circulaire ou de type circulaire, les nanoparticules étant dans lesdites nanocavités, éventuellement sous affleurant, affleurant ou émergeant desdites nanocavités, en particulier une ou plusieurs nanoparticules par nanocavité. Il est connu de réaliser des nanoparticules métalliques directement en surface grâce au démouillage à l’état solide de l’argent.Dans l’article intitulé “Periodic Arrays of Diamond-Shaped Silver Nanoparticles : from scalable fabrication by template assisted Solid State Dewetting to Tunable Optical Properties” de Jacquet et autres, Adv Funct Mater. 2019, 190119, p1-14, des nanoparticules d’argent sont obtenues par démouillage d’argent sur une couche de silice sol gel texturée par nanoimpression, La nanostructuration de surface par séparation de phase offre de multiples avantages par rapport à la structuration de surface par nanoimpression de l’art antérieur. La nanotexturation par séparation de phase donne une nanostructure avec des nanocavités de l’ordre de la dizaine à quelques centaines de nanomètres. Cela permet de contrôler la taille des nanoparticules obtenues par démouillage qui se placent préférentiellement dans les nanocavités. La taille des nanocavités est ajustable (en ajustant le traitement thermique / et même en jouant sur l’épaisseur de la première couche). La taille des nanoparticules va dépendre de la taille des nanocavités et du démouillage (choix du deuxième matériau, épaisseur du deuxième matériau). Notamment on peut obtenir une distribution de taille de nanoparticules inférieure à ce qui est obtenu par démouillage sur substrat plat (toute chose égale par ailleurs). L’invention permet en particulier d’obtenir des nanoparticules aux tailles modulables comprises entre 10 et 200 nanomètres (pouvant être utilisées en surface ou recouvertes), avec un procédé dont toutes les étapes sont réalisables à grande échelle. L’intérêt de contrôler le diamètre des particules dans cette gamme de tailles est notamment de ne pas diffuser la lumière tout en modulant l’absorption plasmonique des particules. Le deuxième matériau est donc choisi apte à démouiller sur la couche démixée ou sur une autre couche et de préférence pouvant générer des objets plasmoniques. La séparation de phase permet de générer en particulier des tailles de nanocavités (ou nanoplots) entre 10 et 300nm et même d’au plus 200nm ou 150nm. On choisit T2 suffisamment bas pour ne pas déformer les nanocavités ou déformer le premier matériau et le substrat. Par exemple pour un verre flotté T2 est d’au plus 500°C ou 650°C.Plus généralement pour un verre flotté de Tg donné, on peut choisir Tg+100°C pour une durée par exemple d’au plus 15 ou 5 minutes, ou Tg+150°C pour une durée d’au plus 5min. La taille des nanocavités peut permettre de rester transparent dans le visible et même dans l’infrarouge (proche infrarouge ou même lointain). On peut moduler la taille et l’arrangement des nanocavités. Les nanocavités ont par exemple une périmètre circulaire ou quasi circulaire en surface. La surface texturée peut être d’au moins 20m². La surface texturée peut être tout ou partie (au moins 50%, 60%, 80%) de la surface totale par exemple d’un PLF. Le taux de couverture des nanocavités peut être d’au plus 60%, 50% ou 40% et d’au moins 5%, 10% à 15%, de préférence de 15% à 40%. Le taux de remplissage des nanocavités par les nanoparticules peut être d’au moins 40%, 60%, 80%. Au moins 40%, 60%, 80% des nanocavités peuvent contenir chacune une unique nanoparticule dudit deuxième matériau (avec une épaisseur déposée suffisante de matériau apte à démouiller par exemple). De préférence le démouillage est à l’état solide et d’un ou plusieurs métaux. Le démouillage est réalisé par exemple dans un four, notamment sous une atmosphère contrôlée (gaz neutre, atmosphère oxydante). Par exemple le matériau apte à démouiller est un matériau disposant d’une faible énergie d’adhésion avec le verre (ou surface sous-jacente), de préférence inférieure à 0,8 J/m 2 , voire même inférieure ou égal à 0,4 J/m 2) . Ainsi, il peut s’agir par exemple : - d’un métal, utilisé seul ou en mélange, tel que de l’argent (d’énergie d’adhésion de 0,35 J/m 2) , de l’or, de l’étain, le cuivre, l’aluminium ou même le Ni,ou Pt, Ge, Fe, un alliage or-argent, un argent dopé, un germanium dopé manganèse - ou plus largement par exemple d’un matériau inorganique tel que AgCl, MgF 2 , verre de chalcogénure. Le démouillage peut être à l’état liquide notamment un diélectrique comme le verre de chalcogénure comme par exemple décrit dans l’article intitulé « Self assembly of nanostructured metasurfaces via templates fluid instabilites »,Nature nanotechnology, vol 14 april 2019 pages 320-327. Les métasurfaces diélectriques en verre sont peu absorbantes, et présentant un haut indice de réfraction, ce qui permet de moduler la propagation de la lumière de manière efficace. Le démouillage peut être solide notamment un métal ou alliage métallique. Le dépôt pour former la deuxième couche peut être : - un dépôt par voie liquide, tel qu’une argenture pour de l’argent - ou encore physique en phase vapeur (PVD) tel que pulvérisation magnétron avec radiofréquence optionnel ou évaporation, notamment à partir d’une cible céramique ou d’oxyde(s) ou encore à partir de cible d’alliage métallique en pulvérisation réactive (oxygène avec gaz rare tel qu’argon) -ou encore chimique en phase vapeur (CVD) - dépôt électrolytique En outre, le dépôt pour former la deuxième couche peut être directement sur ladite couche démixée, (le deuxième matériau étant directement en contact avec ladite couche démixée), les nanoparticules sont alors dans les nanocavités en contact avec la couche démixée, de préférence une par nanocavité. Ou le procédé comporte après ladite élimination et avant le dépôt du deuxième matériau la formation d’une autre couche, par dépôt sur ladite surface nanotexturée, en un autre matériau de préférence diélectrique distinct dudit premier matériau de la couche démixée, le démouillage étant sur ladite autre couche. L’autre couche peut avoir une affinité distincte dudit premier matériau et/ou une fonctionnalité distincte notamment apte à modifier l’environnement des nanoparticules, en particulier l’indice de réfraction (donc la réponse plasmonique). L’autre couche peut aussi changer les propriétés de cristallinité et mouillage. De préférence l’autre matériau (essentiellement) est inorganique et même transparent, (oxy et/ou nitrure de métal, silicium, ou verre par exemple de composition différence du verre avec les nanocavités). L’autre couche est par exemple d’épaisseur E2 nanométrique inférieure à H0 remplissant ainsi partiellement lesdites nanocavités. Par exemple E2 est d’au plus 20nm. Les nanocavités ainsi revêtues de l’autre couche (au fond des nanocavités, tout ou partie des parois) restant de préférence de largeur nanométrique (mesuré à la surface) de préférence d’au plus 300nm ou 200nm, notamment les nanoparticules dans les nanocavités étant en contact avec l’autre couche. Par exemple : - E2 est d’au plus H0/5 et même d’au plus H0/10. - et/ou de préférence H0 (est d’au plus 300nm, 200nm; 150nm, 50nm; 100nm et d’au moins 10nm. Le deuxième matériau est une couche directement déposée sur le premier matériau ou sur une autre couche si l’on veut modifier les conditions de démouillage ou encore apporter une fonctionnalité au produit final par exemple peut être une couche barrière aux alcalins etc. Le dépôt de l’autre couche peut être conforme notamment dépôt physique en phase vapeur, comme la pulvérisation magnétron. La première couche (la couche démixée) est de préférence en verre, l’autre matériau est une couche d’oxyde, ou de nitrure ou d’oxynitrure, cristallisé ou amorphe, notamment ZnO, TiN. Cette autre couche notamment oxyde cristallisé ou amorphe peut être : ZnO (oxyde cristallisé) modifiant énergie surface et la couche du deuxième matériau est coalescente à plus faible épaisseur TiN (amorphe) connu pour changer le mouillage de l’argent notamment Cette autre couche peut avoir une fonctionnalité optique, pour ajuster une réponse optique. Cette autre couche peut être diélectrique. Pour changer les propriétés et/ou aussi protéger les nanoparticules, le procédé peut comprendre le dépôt d’une surcouche de préférence inorganique sur les nanoparticules (en contact avec l’autre matériau ou le premier matériau) notamment le dépôt est conforme, en particulier un dépôt physique en phase vapeur tel que la pulvérisation magnétron ou voie liquide. On peut utiliser toutes les couches précitées pour l’autre matériau. En particulier ce peut être en matériau identique ou similaire audit autre matériau. De préférence le matériau de surcouche (essentiellement) est inorganique et même transparent, (oxy et/ou nitrure de métal, silicium, ou verre par exemple de composition différence du verre avec les nanocavités). Cette surcouche notamment oxyde cristallisé ou amorphe peut être : ZnO (oxyde cristallisé) TiN (amorphe) connu pour changer le mouillage de l’argent notamment. Cette surcouche peut être diélectrique. Cette autre couche peut avoir une fonctionnalité optique, pour ajuster une réponse optique, en particulier en un matériau identique (chimiquement et/ou optiquement) ou similaire audit autre matériau pour encapsulation complète. Le démouillage peut conduire également à des particules sur la surface entre les nanocavités, majoritairement plus grosses que les nanoparticules dans les nanocavités de taille nanométrique et de préférence (si nécessaire) le procédé comprend le retrait de tout ou partie des nanoparticules entre les nanocavités par action mécanique tel que brossage, chiffonnage… L’invention vise aussi un système à couche démixée obtenu via le procédé décrit précédemment comportant : le substrat revêtu de la couche démixée (en contact ou non, notamment si sous couche d’absorption) qui comprend une première phase et une deuxième phase sous forme des gouttes disjointes ou comporte une première phase et une deuxième phase qui forment un réseau interconnecté. La couche démixée a une surface libre ou est sous une surcouche. L’invention vise aussi un système à couche démixée obtenu via le procédé décrit précédemment comportant le substrat revêtu de la couche démixée (en contact ou non du substrat, notamment si sous couche d’absorption) qui comprend une première phase, la couche démixée présente la texturation de surface comportant un ensemble de plots (nanoplots par exemple) ou de cavités (nanocavités par exemple) ou la couche démixée comportant un réseau interconnecté. La couche démixée a une surface libre ou est sous une surcouche. Comme déjà décrit, la couche démixée, notamment transparente, peut être un oxyde ou un mélange d’oxydes (deux ou plus), notamment en verre, silicate, borate, borosilicate ou un mélange d’oxyde(s) et un métal ou en verre chalcogénure, et de préférence le substrat est transparent notamment verrier ou polymère. Comme déjà décrit, le système à couche démixée selon l’invention peut comporter la couche d’absorption, en sous couche de la couche démixée ou en surcouche de la couche démixée, qui est à base d’au moins un métal, couche métallique éventuellement partiellement oxydée ou qui est une couche d’oxyde et/ou de nitrure d’un ou plusieurs métaux, le ou les métaux étant de préférence choisis parmi le germanium, le molybdène, le titane, le zinc, le magnésium, le zirconium, l’argent, l’indium, l’étain, le nickel, le chrome, le niobium, le vanadium, le tungstène, le cuivre, le fer, le silicium, l’or, le mélange zinc et étain, indium et étain, nickel et chrome. Comme déjà décrit, le système à couche démixée selon l’invention peut comporter la couche d’absorption, de préférence qui est une surcouche sur la couche démixée, la couche d’absorption est à base organique comportant un agent absorbant le rayonnement, notamment à base de particules de carbone ou de colorant. Comme déjà décrit, le système à couche démixée selon l’invention peut comporter la couche d’absorption sur la couche sacrificielle (couche d’absorption par exemple en contact avec la couche sacrificielle), couche sacrificielle sur la couche démixée (couche sacrificielle par exemple en contact avec la couche démixée); la couche sacrificielle est de préférence une couche à base d’un oxyde de zinc ou de magnésium, ou à base de molybdène ou d’oxyde de molybdène MoOx, d’un oxyde de germanium GeOx, ou choisie par les halogénures métalliques et les sulfates métalliques, les matériaux du groupe I ou VII, ainsi en particulier Al 2 (SO 4 ) 3 ou NaCl ou LiF. L’invention vise aussi un système à couche démixée obtenu via le procédé décrit précédemment comportant dans cet ordre sur le substrat (notammet sur une même face principale: - l’éventuelle couche d’absorption - la couche démixée inorganique qui est nanotexturée en surface avec une surface dotée de nanocavités de largeur W0 d’au plus 300nm et de préférence d’au moins 10 nm, - des nanoparticules (en un matériau donné dit deuxième matériau de préférence plasmonique, notamment inorganique et/ou diélectrique, en particulier métallique ou oxyde), notamment de forme sphéroïdale, dans les nanocavités, les nanoparticules étant de largeur W1 de préférence d’au plus 300nm ou 200nm ou 150nm et de préférence d’au moins 10 nm ou 20nm, en particulier au moins 50% ou même au moins 80% des nanoparticules dans les nanocavités présentent une largeur d’au plus 300nm et même d’au plus 200nm. On peut prévoir en outre l’une ou moins des caractéristiques suivantes : - le taux d’occupation des nanoparticules dans les nanocavités est de préférence d’au moins 40% ou même d’au moins 80%, - au moins 80%, ou 90% des nanocavités remplies comprennent une seule nanoparticule, - au moins 50% ou même 80% ou 90% ou 100% des nanocavités présentent une largeur d’au plus 300nm et même d’au plus 200nm ou 150nm et de préférence d’au moins 20nm - au moins 50% ou même au moins 80% ou 90% des nanoparticules dans les nanocavités présentent une largeur (ou un diamètre) d’au plus 300nm et même d’au plus 200nm ou 150nm et même d’au moins 10nm ou 20nm, - le profil de distribution (en nombre) de la largeur des nanocavités est une courbe (en cloche) comportant un sommet correspondant à une valeur D0 d’au plus 300nm ou même d’au plus 200nm ou 150nm ou 100nm et d’au moins 10nm ou 20nm et notamment avec une largeur à mi hauteur d’au plus 50nm - le profil de distribution (en nombre) du diamètre des nanoparticules dans les nanocavités est une courbe comportant un sommet principal (le plus haut si plusieurs sommets ou sommet unique, notamment en forme de cloche) correspondant à une valeur D1 d’au plus 300nm ou même d’au plus 200nm ou 150nm ou 100nm et d’au moins 10 ou 20nm la première couche est en verre notamment démixé, en revêtement sur un support ou massif. - les particules sont plasmoniques. - les nanocavités sont réparties de manière apériodique. - la distance entre deux nanocavités voisines en moyenne est d’au moins 0,5W0 ou d’au moins W0. - au moins 50% ou 80% des nanoparticules ont une largeur W1 comprise entre la largeur moyenne ±30% voire ±20% voire ±15% - la surface de la couche démixée de préférence en verre, est couverte par une autre couche remplissant partiellement lesdites nanocavités, les nanoparticules sont dans les nanocavités en contact avec l’autre matériau, l’autre matériau est de préférence une couche d’oxyde, ou de nitrure ou d’oxynitrure, d’au moins un métal de silicium, notamment une couche cristallisée ou amorphe, notamment une couche ZnO, TiN. - les nanoparticules sont couvertes d’une couche diélectrique (inorganique) notamment épaisseur suffisamment faible pour être conforme (pour onduler), par exemple une couche d’oxyde, ou de nitrure ou d’oxynitrure, d’au moins un métal de silicium notamment SiN, SiO, TiOx. Certains modes de réalisations avantageux mais non limitatifs de la présente invention sont décrits ci-après, qui peuvent bien entendu être combinés entres eux le cas échéant. La schématise les différentes étapes de fabrication d’un système à couche démixée dans un premier mode de réalisation de l’invention. La représente schématiquement pour un mélange binaire le dôme de démixtion, séparant la région où le mélange de deux liquides est miscible de la région d’immiscibilité. A l’intérieur de ce dôme on trouve 3 régions (a) et (c) les domaines de nucléation croissance, binodal, et (b) le domaine de décomposition spinodale. La est une image de microscopie électronique à balayage MEB de la surface d’un système à couche démixée. La schématise les différentes étapes de fabrication d’un système à couche démixée dans un deuxième mode de réalisation de l’invention. La schématise les différentes étapes de fabrication d’un système à couche démixée dans un troisième mode de réalisation de l’invention. La schématise les différentes étapes de fabrication d’un système à couche démixée dans un quatrième mode de réalisation de l’invention. La schématise les différentes étapes de fabrication d’un système à couche démixée dans un cinquième mode de réalisation de l’invention. Les , , , , , sont des images MEB de la surface de systèmes à couche démixée. La schématise les différentes étapes de fabrication d’un système à couche démixée nanostructurée porteuse d’un ensemble de nanoparticules dans des nanocavités. La est une image par microscopie à force atomique AFM d’une surface d’une couche démixée nanostructurée avec des nanocavités dans un exemple de référence de la Demanderesse. La est une image MEB d’une surface d’une couche démixée nanostructurée selon l’invention avec des nanocavités et porteuse de nanoparticules dans et en dehors des nanocavités dans un exemple de référence de la Demanderesse. La schématise les différentes étapes de fabrication d’un système à couche démixée dans un premier mode de réalisation de l’invention. Une étape préliminaire est la fourniture ou la fabrication d’un substrat revêtu 100 par dépôt notamment pulvérisation ou voie liquide sur un substrat 10 porteur d’un empilement de couches comportant :une première couche en un premier matériau 1 notamment amorphe dont la composition permet une séparation de phase, surmontée d’une couche sacrificielle 2 éliminable par voie liquide (par exemple soluble par solvant de préférence aqueux, par immersion, par utilisation d’une machine à laver avec brosse) et d’une surcouche d’absorption 3 absorbant un rayonnement de préférence électromagnétique. On dénombre ensuite 3 étapes : L’étape 1) consiste en un traitement thermique flash à moins de 1s par un rayonnement de préférence ligne laser un substrat revêtu 100a comportant l’empilement avec la couche démixée 1’ avec une première phase 11 et une deuxième phase 12 avec des (nano)gouttes sous la couche sacrificielle et la surcouche. On fait par exemple défiler le substrat revêtu à au moins 1m par min (via un convoyeur d’une ligne industrielle par exemple avec un bâti de dépôt par pulvérisation pour les couches 1 et/ou 2 et/ou 3) sous une ligne laser de largeur par exemple suffisante pour balayer la largeur du substrat revêtu et de puissance surfacique donnée en W/mm avec la ligne laser orientée perpendiculairement à la surface de la surcouche 3 et en direction de cette surcouche 3. On dispose la ligne laser au-dessus de l’empilement et on oriente le laser en direction de l’empilement. L’étape 2) consiste en le retrait par voie liquide de la couche sacrificielle 2 et de la surcouche 3 pour obtenir un substrat revêtu 100b comportant le substrat 10 avec la couche démixée 1’ de surface libre. Dans une machine à laver de l'eau vient sur le substrat revêtu qui est à l'horizontal ou vertical et une ou plusieurs brosses viennent frotter le substrat revêtu. L’étape 3) facultative consiste en l’élimination sélective de la première phase par exemple par attaque acide pour obtenir un substrat revêtu 100c comportant un substrat 10 porteur de la deuxième phase et qui forme alors un réseau de plots 12’ par exemple répoarties irrégulièrement. La première phase peut être la phase principale. La représente schématiquement pour un mélange binaire le dôme de démixtion (à une température critique donnée Tc), séparant la région où le mélange de deux liquides est miscible de la région d’immiscibilité. A l’intérieur de ce dôme on trouve 3 régions (a) et (c) les domaines de nucléation croissance, binodal, et (b) le domaine de décomposition spinodale A T1 température atteinte dans la première couche on repère par exemple les première et deuxième phases M1 et M2 dans les régions a) et c). La est une image MEB en vue de face d’un système à couche démixée 100b comportant une première phase 11 et une seconde phase 12 sous forme de nanogouttes disjointes dans un exemple 1. Pour ce faire la première couche a été déposée sur un verre float silicosodocalcique (verre Planiclear de la société Demanderesse) par pulvérisation magnétron (radio-fréquence) à partir d’une cible céramique pour former une couche mince de verre de composition SiO 2 -BaO-B 2 O 3 (35,5%-14,5%-50% en poids d’oxyde). L’épaisseur de la première couche (donc de la couche démixée ensuite) est de 200nm. La couche sacrificielle est une couche d’oxyde de germanium de 20nm déposée par pulvérisation magnétron en mode courant continu à partir d’une cible de germanium sous atmosphère réactive argon oxygène et la couche d’absorption déposée par pulvérisation magnétron en mode courant continu est une couche de nickel chrome de 6nm à partir d’une cible métallique. Ces couches sacrificielle et d’absorption ont été éliminées par de l’eau desionisée à 45°C pendant quelques minutes. Le traitement flash (une fraction de seconde) a été réalisé avec une vitesse de défilement de 3m/min et une puissance surfacique de 17 kW/cm² à une longueur d’onde de 1µm environ. Apr`es traitement thermique, le système s’est s´éparé en deux phases : la deuxième phase (nanogouttes) est riche en silice, soit en formateur de r´eseau et la première phase riche en baryum, soit en modificateur de r´eseau. La première phase est donc moins polym´eris´ee et il est possible de l’enlever préférentiellement par traitement acide. Par exemple on utilise une solution H 2 O / HNO 3 (68%) / HF (40%)] diluée dans l’eau désionisée pendant quelques minutes. La méthode de dépôt du verre en couche mince peut changer, par exemple avec une cible céramique dopée pour dépôt en mode courant continu. Alternativement on choisit une couche de verre de SiO 2 -CaO-B 2 O 3 ou encore SiO 2 -Na 2 O-B 2 O 3 . La schématise les différentes étapes de fabrication d’un système à couche démixée dans un deuxième mode de réalisation de l’invention. Une étape préliminaire est la fourniture ou la fabrication d’un substrat revêtu 200 par dépôt notamment pulvérisation ou voie liquide sur un substrat 10 porteur d’un empilement de couches comportant :une première couche en un premier matériau 1 notamment amorphe dont la composition permet une séparation de phase, surmontée d’une couche sacrificielle 2 éliminable par voie liquide (par exemple soluble par solvant de préférence aqueux, par immersion, par utilisation d’une machine à laver avec brosse) et d’une surcouche d’absorption 3 d’un rayonnement de préférence électromagnétique On dénombre ensuite trois étapes. L’étape 1) consiste en un recuit flash à moins de 1s par un rayonnement de préférence ligne laser pour obtenir un substrat revêtu 200a comportant l’empilement avec la couche démixée 1’ avec une première phase 13 et une deuxième phase 14 avec des (nano)gouttes, couche démixée sous la couche sacrificielle 2 et la surcouche 3. La première phase peut être la phase principale. On fait par exemple défiler le substrat revêtu à au moins 1m par min (via un convoyeur d’une ligne industrielle par exemple avec un bâti de dépôt par pulvérisation pour les couches 1 et/ou 2 et/ou 3) sous une ligne laser de largeur par exemple suffisante pour balayer la largeur du substrat revêtu et de puissance surfacique donnée avec la ligne laser orientée perpendiculairement à la surface de la surcouche 3 et en direction de cette surcouche 3. On dispose la ligne laser au-dessus de l’empilement et on oriente le laser en direction de l’empilement. L’étape 2) consiste en le retrait par voie liquide de la couche sacrificielle 2 et de la surcouche 3 pour obtenir un substrat revêtu 200b comportant le substrat 10 avec la couche démixée 1’ de surface libre. L’étape 3) facultative consiste en l’élimination sélective de la deuxième phase par exemple par attaque acide pour obtenir un substrat revêtu 200c comportant un substrat 10 comportant la couche démixée structurée 1’ qui comporte la première phase 13 avec en surface un réseau de (nano)cavités 15 par exemple réparties irrégulièrement et de forme sensiblement ovale ou ronde. La schématise les différentes étapes de fabrication d’un système à couche démixée dans un troisième mode de réalisation de l’invention. Une étape préliminaire est la fourniture ou la fabrication d’un substrat revêtu 300 par dépôt notamment pulvérisation ou voie liquide sur un substrat 3’ porteur d’un empilement de couches comportant :une première couche en un premier matériau 1 notamment amorphe dont la composition permet une séparation de phase, Le substrat 3’ est apte à absorber un rayonnement de préférence électromagnétique. On dénombre ensuite deux étapes. L’étape 1) consiste en un recuit flash à moins de 1s par un rayonnement de préférence ligne laser pour obtenir un substrat revêtu 300a comportant le substrat 3’ avec la couche démixée 1’ avec une première phase 11 et une deuxième phase 12 avec des (nano)gouttes sur la surface libre. La première phase peut être la phase principale. On fait par exemple défiler le substrat revêtu à au moins 1m par min (via un convoyeur d’une ligne industrielle par exemple avec un bâti de dépôt par pulvérisation pour la couche 1) sous une ligne laser de largeur par exemple suffisante pour balayer la largeur du substrat revêtu et de puissance surfacique donnée avec la ligne laser orientée perpendiculairement à la surface de la couche 1 et en direction de cette couche 1. On dispose la ligne laser au-dessus de la couche 1 et on oriente le laser en direction de la couche 1. L’étape 2) facultative consiste en l’élimination sélective de la première phase par exemple par attaque acide pour obtenir un substrat revêtu 300b comportant le substrat 3’ porteur de la deuxième phase et qui forme alors un réseau de plots 12’ par exemple répartis irrégulièrement. La schématise les différentes étapes de fabrication d’un système à couche démixée dans un quatrième mode de réalisation de l’invention. Une étape préliminaire est la fourniture ou la fabrication d’un substrat revêtu 400 par dépôt notamment pulvérisation ou voie liquide sur un substrat 10 porteur d’un empilement de couches comportant : une sous couche d’absorption 4 d’un rayonnement de préférence électromagnétique couverte par une première couche en un premier matériau 1 notamment amorphe dont la composition permet une séparation de phase. On dénombre ensuite deux étapes. L’étape 1) consiste en un recuit flash à moins de 1s par un rayonnement de préférence ligne laser pour obtenir un substrat revêtu 400a comportant le substrat avec la souscouche 4 et la couche démixée 1’ avec une première phase 11 et une deuxième phase 12 avec des (nano)gouttes. La première phase peut être la phase principale. On fait par exemple défiler le substrat revêtu à au moins 1m par min (via un convoyeur d’une ligne industrielle par exemple avec un bâti de dépôt par pulvérisation pour les couches 1 et/ou 4) sous une ligne laser de largeur par exemple suffisante pour balayer la largeur du substrat revêtu et de puissance surfacique donnée avec la ligne laser orientée perpendiculairement à la surface de la couche 1 et en direction de cette couche 1. On dispose la ligne laser au-dessus de cette couche 1 et on oriente le laser en direction de cette couche 1. L’étape 2) facultative consiste en l’élimination sélective de la première phase par exemple par attaque acide pour obtenir un substrat revêtu 400b comportant le substrat 10 porteur de la sous couche 4 et de la deuxième phase qui forme alors un réseau de plots 12’ par exemple répartis irrégulièrement. La schématise les différentes étapes de fabrication d’un système à couche démixée dans un cinquième mode de réalisation de l’invention. Une étape préliminaire est la fourniture ou la fabrication d’un substrat revêtu 500 par dépôt notamment pulvérisation ou voie liquide sur un substrat 10 porteur d’une première couche 30 en un premier matériau notamment amorphe dont la composition permet une séparation de phase, première couche apte à d’absorber un rayonnement de préférence électromagnétique. On dénombre ensuite deux étapes : L’étape 1) consiste en un recuit flash à moins de 1s par un rayonnement de préférence ligne laser pour obtenir un substrat revêtu 500a comportant la couche démixée 1’ avec une première phase 11 et une deuxième phase 12 avec des (nano)gouttes. La première phase peut être la phase principale. On fait par exemple défiler le substrat revêtu à au moins 1m par min (via un convoyeur d’une ligne industrielle par exemple avec un bâti de dépôt par pulvérisation pour la couche 30) sous une ligne laser de largeur par exemple suffisante pour balayer la largeur du substrat revêtu et de puissance surfacique donnée avec la ligne laser orientée perpendiculairement à la surface de la couche 30 et en direction de cette couche 30. On dispose la ligne laser au-dessus de la couche 30 et on oriente le laser en direction de la couche 30. L’étape 2) facultative consiste en l’élimination sélective de la première phase par exemple par attaque acide pour obtenir un substrat revêtu 500b comportant le substrat 10, la couche 30 avec la deuxième phase qui forme alors un réseau de plots 12’ par exemple réparties irrégulièrement. Les figures 8 à 13 sont six images MEB de la surface de six systèmes à couche démixée 301a; 302a, 303a,304a, 305a, 306a comportant une première phase éliminable 11 et une seconde phase 12 sous forme de nanogouttes disjointes dans des exemples numérotés de 1’ à 6’. Pour ce faire la première couche apte à démixer a été déposée sur un substrat de silicium de 250µm par pulvérisation magnétron (radio-fréquence) à partir d’une cible céramique pour former une couche mince de verre de composition SiO 2 -BaO-B 2 O 3 (35,5%-14,5%-50% en poids d’oxyde. L’épaisseur de la première couche (donc de la couche démixée) est de 100nm. Le traitement flash (une fraction de seconde) a été réalisé avec une vitesse de défilement et une puissance surfacique donnée à une longueur d’onde de 1µm environ. Les données des exemples 1’ à 6’ ainsi que de l’exemple 1 sont consignés (à des fins comparatives) dans le tableau 1 suivant. Le diamètre moyen équivalent estimé des gouttes (en surface), l’écart type, et la densité des gouttes sont calculés par traitement d’images. Exemple 1 1’ 2’ 3’ 4’ 5’ 6’ Puissance surfacique (kW / cm²) 17 17 17 17 0,9 3 17 Vitesse de défilement (m/min) 3 7 6 5 4 4 4 Diamètre moyen équivalent des gouttes (nm) +/- écart type (nm) 165 +/- 60 60 +/- 30 200 +/- 70 360 +/- 140 110 +/- 45 260 +/- 75 430 +/- 160 Densité de gouttes (nombre de gouttes/µm²) 6 2,6 10 4,5 3,3 3,3 4 Ces résultats montrent qu’il est possible de faire varier très fortement les structures obtenues par séparation de phase et notamment leur taille voire leur forme uniquement en jouant sur les paramètres du laser. Plus la vitesse de défilement du laser ligne est lente, et donc la température atteinte dans la première couche élevée, plus les structures obtenues ont de grandes tailles. On peut obtenir des gouttelettes de diamètre moyen équivalent inférieure à 100 nm pour la vitesse de traitement laser la plus rapide à partir de laquelle de la séparation de phase est observée (7 m.min -1 ), jusqu’à des gouttelettes de diamètre moyen équivalent de l’ordre de 500 nm pour la vitesse de traitement la plus lente (4 m.min -1 ). La schématise les différentes étapes de fabrication d’un système à couche démixée nanostructurée porteuse d’un ensemble de nanoparticules dans des nanocavités. Une étape préliminaire déjà décrite dans les réalisations précédentes est la fabrication d’un substrat revêtu 600a par dépôt notamment pulvérisation ou voie liquide sur un substrat 10 porteur d’une première couche en un premier matériau notamment amorphe dont la composition permet une séparation de phase et éventuellement une couche d’absorption en sous couche ou en surcouche (sous-jacente à une éventuelle couche sacrificielle entre la première couche et la surcouche). Une étape suivante déjà décrite dans les réalisations précédentes consiste en un recuit flash à moins de 1s par un rayonnement de préférence ligne laser pour obtenir un substrat revêtu 600b comportant la couche démixée 1’ avec une première phase 16 et une deuxième phase 114 avec des (nano)gouttes. La première phase peut être la phase principale. On fait par exemple défiler le substrat revêtu à au moins 1m par min (via un convoyeur d’une ligne industrielle par exemple avec un bâti de dépôt par pulvérisation pour les couches) sous une ligne laser de largeur par exemple suffisante pour balayer la largeur du substrat revêtu et de puissance surfacique donnée avec la ligne laser orientée perpendiculairement à la surface libre du substrat revêtu et en direction du substrat revêtu. On dispose la ligne laser au-dessus du substrat revêtu et on oriente le laser en direction du substrat revêtu. L’étape 1) consiste ensuite en l’élimination sélective de la deuxième phase par exemple par attaque acide pour obtenir un substrat revêtu 600b comportant un substrat 10 comportant la couche démixée structurée 1’ qui comporte la première phase 16 avec en surface un réseau de (nano)cavités 15 par exemple réparties irrégulièrement et de forme sensiblement ovale ou ronde. L’étape 2) consiste en le dépôt de couche mince 40 en un deuxième matériau 40 apte à démouiller sur la surface nanostructurée pour obtenir un substrat revêtu 600c en un matériau 41 couvrant les nanocavités L’étape 3) consiste en le recuit pour démouillage dudit deuxième matériau 40, pour obtenir un substrat revêtu 600d comportant des nanoparticules 5 dans les nanocavités et des nanoparticules 5’ en dehors dans les nanocavités 15 de la première phase 16 L’étape 4) consiste en le retrait possible des nanoparticules qui ne sont pas dans les nanocavités par exemple par chiffonage. La est une image par AFM d’une surface nanostructurée avec des nanocavités 15 d’un système à couche démixée de référence fait par la Demanderesse. Pour ce faire, une première couche a été obtenue par dépôt par pulvérisation magnétron (radio-fréquence) à partir d’une cible céramique pour former une couche mince de verre de composition SiO 2 -BaO-B 2 O 3 (80%-10%-10% en poids d’oxyde ). L’épaisseur de la couche de verre sur silice amorphe est de 100nm. Un traitement thermique dans un four pendant 20 h a permis la séparation de phase Après traitement thermique, le système s’est séparé en deux phases :la première phase 16 riche en silice, soit en formateur de réseau et la deuxième phase riche en baryum, soit en modificateur de réseau. La deuxième phase est donc moins polymérisée et il est possible de l’enlever préférentiellement par traitement acide. Une dissolution par attaque acide (solution contenant 30 parts H 2 O / 1 part HNO 3 (68%) / 1,5 parts HF (40%) diluée dans de l’eau DI) pendant 3 min a permis d’obtenir la nanostructuration avec les nanocavités. Cet exemple de référence montre que pour avoir des grandes tailles de nanocavités le four implique des durées longues. La est une image MEB d’une surface nanostructurée avec des nanocavités et porteuse de nanoparticules 5 dans les nanocavités et de nanoparticules 5’ en dehors des nanocavités. Un dépôt magnétron d’argent de 15nm a été fait sur le substrat nanostruturé de la . Un recuit de 400°C à 2h en atmosphère ambiante permet le démouillage de l’argent Sur la surface de la couche de verre démixée et texturée, on observe donc deux populations de particules : des grandes particules situées sur le substrat et des petites particules situées `a l’intérieur des nanocavités. Il est possible de moduler la distribution en taille des particules en utilisant une surface texturée et ainsi d’obtenir de plus petites que sur surface plane. Le métal apte à démouiller est ici de l’argent, d’autres métaux sont possibles du cuivre, de l’or, de l’aluminium, ou même un diélectrique. La couche métallique apte à démouiller est déposée par magnétron mais une autre méthode d’obtention de couches minces comme l’évaporation peut être utilisée. Une couverture des nanoparticules par une couche mince additionnelle est envisageable. En utilisant le procédé de traitement thermique flash notamment laser ligne on peut simplifier la réalisation d’un tel produit. Procédé de fabrication d’un système à couche démixée (100a à 600e) comportant : - la fourniture d’un substrat revêtu (10, 1, 2, 3 ,4) comportant un substrat comprenant au moins une première couche (1, 1’, 30) en un premier matériau apte à démixer, - un traitement thermique de la première couche conduisant à une séparation de phase de la première couche, alors dite couche démixée caractérisé en ce que le traitement thermique est obtenu par une irradiation du substrat revêtu par un faisceau d’un rayonnement électromagnétique ou électronique ou d’ions, pendant une durée d’au plus 1s, le substrat revêtu absorbant ledit faisceau. Procédé de fabrication d’un système à couche démixée selon la revendication précédente caractérisé en ce que l’irradiation est réalisée pendant le défilement du substrat revêtu, notamment horizontal, en translation, en particulier avec un faisceau formant une ligne laser. Procédé de fabrication d’un système à couche démixée (300a, 500a) selon l’une des revendications précédentes caractérisé en ce que lors de l’irradiation, la première couche (30) qui est choisie inorganique et/ou le substrat (3’) qui est choisi inorganique absorbe ledit faisceau de préférence laser ou lampe flash, en particulier première couche d’oxydes ou substrat d’oxydes absorbant ledit faisceau émettant dans l’ultraviolet en particulier à au plus 400nm ou émettant de 8 à12µm. Procédé de fabrication d’un système à couche démixée (100a, 200a, 400a) selon l’une des revendications précédentes caractérisé en ce que le substrat revêtu comportant au moins une couche dite couche d’absorption (3, 4) distincte de la première couche, qui est une sous couche (4) sous la première couche ou une surcouche (3) sur la première couche, lors de l’irradiation, la couche d’absorption absorbe le faisceau de préférence laser notamment à une longueur d’onde de 400nm à 2000nm, et même de 900nm à 1100nm. Procédé de fabrication d’un système à couche démixée (100b, 200b) selon la revendication précédente caractérisé en ce que la couche d’absorption (3) étant la surcouche (3), le procédé comprend le retrait de la couche d’absorption de préférence éliminable par voie liquide et/ou par action mécanique, éventuellement retrait à l’aide d’une couche sacrificielle, entre la première couche et la couche d’absorption, éliminable par voie liquide. Procédé de fabrication d’un système à couche démixée (100b à 600b) selon l’une des revendications précédentes caractérisé en ce que la couche démixée (3) comportant une première phase (11, 16) et une deuxième phase (12, 14) sous forme des gouttes disjointes, le procédé comporte une élimination sélective de phase de la couche démixée (1, 1’), par exemple par voie liquide, l’élimination sélective conduisant à : - la texturation de surface de la couche démixée (1’), la surface ainsi texturée étant pourvue d’une pluralité de cavités (15) disjointes de largeur W0, en particulier par élimination de la deuxième phase (14) - ou la formation d’une pluralité de plots (12’) disjoints de largeur W0, par élimination de la première phase (11). Procédé de fabrication d’un système à couche démixée (600d, 600e) selon la revendication précédente caractérisé en ce que la texturation de surface de la couche démixée (1’) conduit aux cavités qui sont des nanocavités, la largeur W0 étant nanométrique, et le procédé comporte ensuite : - la formation, par dépôt sur la couche démixée nanotexturée (1’), d’une deuxième couche (40) au moins coalescente et de préférence au moins percolante en un deuxième matériau inorganique d’épaisseur E1 nanométrique, - la formation, à partir d’un démouillage dudit deuxième matériau, d’une multitude de nanoparticules (5,5’) disjointes dans lesdites nanocavités, les nanoparticules étant de largeur W1 nanométrique. Procédé de fabrication d’un système à couche démixée (600d, 600e) selon la revendication 7 caractérisé en ce que le démouillage est liquide notamment un verre de chalcogénure ou solide notamment un métal ou alliage métallique. Système à couche démixée (100a à 600a) obtenu par le procédé selon l’une des revendications 1 à 5 comportant le substrat revêtu de la couche démixée (1) comporte une première phase et une deuxième phase sous forme des gouttes disjointes ou comporte une première phase et une deuxième phase qui forment un réseau interconnecté. Système à couche démixée (100b à 600e) obtenu par le procédé selon l’une des revendications 6 à 8 comportant le substrat revêtu de la couche démixée (1’) comporte une première phase (11, 12), couche ayant une surface libre ou sous une surcouche, la couche démixée présente la texturation de surface comportant un ensemble de plots (12’) ou de cavités (15) ou la couche démixée comportant un réseau interconnecté. Système à couche démixée selon l’une des revendications 9 à 10 caractérisé en ce que la couche démixée (1’), notamment transparente, est un oxyde ou un mélange d’oxydes, notamment en verre, silicate, borate, borosilicate ou un mélange d’oxyde(s) et un métal ou en verre chalcogénure, et de préférence le substrat est transparent notamment verrier ou polymère. Système à couche démixée (100a) selon l’une des revendications 9 à 11 caractérisé en ce qu’il comporte une couche d’absorption, en sous couche de la couche démixée ou en surcouche de la couche démixée, qui est à base d’au moins un métal, couche métallique éventuellement partiellement oxydée ou qui est une couche d’oxyde et/ou de nitrure d’un ou plusieurs métaux, le ou les métaux étant de préférence choisis parmi le germanium, le molybdène, le titane, le zinc, le magnésium, le zirconium, l’argent, l’indium, l’étain, le nickel, le chrome, le niobium, le vanadium, le tungstène, le cuivre, le fer, le silicium, l’or, le mélange zinc et étain, indium et étain, nickel et chrome. Système à couche démixée (100a) selon l’une des revendications 9 à 11 caractérisé en ce qu’il comporte une couche d’absorption, de préférence qui est une surcouche sur la couche démixée, la couche d’absorption est à base organique comportant un agent absorbant le faisceau, notamment à base de pigments, ou de colorant, en particulier agent comportant des particules de carbone. Système à couche démixée (100a) selon l’une des revendications 9 à 11 caractérisé en ce qu’il comporte une couche d’absorption sur une couche sacrificielle, couche sacrificielle sur la couche démixée; la couche sacrificielle est de préférence une couche à base d’un oxyde de zinc ou de magnésium, ou à base de molybdène ou d’oxyde de molybdène MoOx, d’un oxyde de germanium GeOx, ou choisie par les halogénures métalliques et les sulfates métalliques, les matériaux du groupe I ou VII, en particulier Al 2 (SO 4 ) 3 ou NaCl ou LiF. Système à couche démixée (600d, 600e) selon l’une des revendications 10 à 13 caractérisé en ce qu’il comporte dans cet ordre sur le substrat : - l’éventuelle couche d’absorption - la couche démixée inorganique qui est nanotexturée en surface avec une surface dotée de nanocavités (15) de largeur W0 d’au plus 300nm et de préférence d’au moins 10 nm, - des nanoparticules (5) dans les nanocavités, les nanoparticules étant de largeur W1 de préférence d’au plus 300nm et de préférence d’au moins 10 nm, en particulier au moins 50% ou même au moins 80% des nanoparticules dans les nanocavités présentent une largeur d’au plus 300nm et même d’au plus 200nm.