Brevet FR3126049A1 — publié le 20230210

Dispositif pour combiner plusieurs faisceaux lumineux Dispositif (1) pour combiner plusieurs faisceaux lumineux, le dispositif comprenant plusieurs guides d’onde d’entrée (21, 22, 23) creux, au moins un par faisceau lumineux, ainsi qu’un guide d’onde de sortie (40) creux commun aux différents faisceaux lumineux, chaque guide d’onde d’entrée ayant une ouverture d’entrée (24, 26, 28) pour l’entrée du faisceau lumineux correspondant, et, à l’opposé, une ouverture de sortie (25, 27, 29) par laquelle il débouche dans le guide d’onde de sortie, le guide d’onde de sortie, ainsi que chaque guide d’onde d’entrée étant délimité latéralement par une ou des surfaces métalliques réfléchissantes (46, 47, 48, 49), et dans lequel une portion ( 42) au moins du guide d’onde de sortie (40) est évasée et s’élargit en direction d’une ouverture de sortie (45) du guide d’onde de sortie. Figure à publier avec l’abrégé : Figure 2 Dispositif pour combiner plusieurs faisceaux lumineux Le domaine technique est celui des dispositifs pour combiner ensemble plusieurs faisceaux lumineux afin d’obtenir un même faisceau lumineux global, en particulier dans le domaine de l’infrarouge moyen. ARRIERE-PLAN TECHNOLOGIQUE Combiner plusieurs faisceaux lumineux ensemble revient à les superposer au moins en partie les uns avec les autres, par exemple pour qu’ils éclairent ensemble une même zone donnée (qui peut être une zone à imager, à caractériser, ou à traiter). Pour cela, il faut rapprocher les faisceaux les uns des autres d’un point de vue latéral (i.e. : en termes de position latérale) et, si possible, rapprocher aussi leurs directions de propagation respectives. Combiner ainsi plusieurs faisceaux permet par exemple d’augmenter la puissance totale avec laquelle on éclaire la zone en question, ou de disposer d’une forme de redondance entre plusieurs sources lumineuses (pour améliorer la fiabilité d’un dispositif). Mais cela permet surtout de combiner des faisceaux lumineux issus de sources ayant des spectres d’émission différents, par exemple des sources lasers ayant des longueurs d’onde d’émission différentes. Le faisceau lumineux global ainsi obtenu couvre alors une large gamme de longueurs d’onde tout en ayant une brillance élevée. Une telle combinaison de faisceaux est particulièrement utile dans le domaine de l’infrarouge proche et moyen (longueur d’onde dans le vide comprise entre 1 et 15 microns, par exemple). En effet, ce domaine de longueurs d’onde est particulièrement propice à la détection de composés chimiques, avec de nombreuses applications dans le domaine médical, dans le domaine de l’agronomie ou dans celui de la défense et de la sécurité. Plusieurs longueurs d’onde différentes de l’infrarouge moyen permettent ainsi de détecter plusieurs composés différents. Pour combiner plusieurs faisceaux lumineux, une solution consiste à employer un élément dispersif tel qu’un réseau de diffraction. Mais un tel système, avec propagation libre des faisceaux, est généralement assez encombrant (notamment parce qu’une collimation préalable des faisceaux est nécessaire), et donc peu adapté a priori à un dispositif portatif ou intégré. Une autre solution consiste à employer des guides d’onde sur silicium fabriqués par des techniques issues de la micro-électronique. Il peut s’agir par exemple de guides en Germanium, avec une gaine en alliage de Silicium et de Germanium. Le guidage de la lumière y est alors réalisé par réflexion totale interne. Dans un tel système, pour combiner plusieurs faisceaux, on peut utiliser un dispositif où plusieurs guides se rejoignent, en général dans une zone qui forme un étranglement (une sorte d’entonnoir), pour se raccorder en entrée d’un guide d’onde de sortie unique, commun aux différents faisceaux. Un tel dispositif a l’avantage de pouvoir être miniaturisé. Mais il n’est pas très intéressant du point de vue des pertes, car environ la moitié de la puissance est perdue à chaque jonction entre deux guides. De plus, les dimensions latérales des guides sont particulièrement petites (généralement de l’ordre de 10 microns au plus) et rendent l’injection dans ces guides difficile car elles nécessitent un alignement très précis des sources par rapport aux guides (précision de l’ordre de 100 nm, selon les trois directions de l’espace, ce qui est très contraignant), d’autant que les sources laser qui émettent dans l’infrarouge moyen sont souvent des sources à base de semi-conducteurs à zone active très petite, pour lesquelles la divergence des faisceaux émis est très grande, en sortie de la source. Pour combiner ces faisceaux, on peut aussi employer un élément dispersif tel qu’un réseau de diffraction, en particulier un réseau de type réseau concave plan (ou CPG pour « Concave Planar Grating » en anglais) réalisé sur le substrat qui support les guides, ou en utilisant un réseau à base de guides d’ondes intégrés du type « Arrayed Wave Guide Grating ». Mais une telle solution n’est utilisable que si les faisceaux ont des longueurs d’onde différentes, et même nettement différentes les unes des autres. Une fois le dispositif réalisé, il est difficile voire impossible de modifier les longueurs d’onde en question. De plus, un tel dispositif nécessite là encore des précisions d’alignement élevées. Encore une autre solution pour combiner plusieurs faisceaux lumineux dans le domaine de l’infrarouge moyen, basée sur des guides d’onde métalliques creux fraisés sur la face supérieure d’un bloc d’aluminium, a été proposée dans l’article suivant : « iBEAM : substrate-integrated hollow waveguides for efficient laser beam combining » par Julian Haas et al., Optics Express, vol. 27, no. 16, 2019, pp. 23059-23066. Le bloc d’aluminium en question mesure environ 5 cm par 5 cm de côté, pour 2 cm d’épaisseur. Le dispositif comprend 7 guides d’onde d’entrée, chacun pourvu en entrée d’un connecteur de type F-SMA pour connecter une fibre optique. Ces guides ont chacun une section approximativement carrée de 2 mm de côté. Ils se rejoignent au niveau d’une zone de jonction globalement convergente (voir la .a de cet article) qui se termine par un guide d’onde de sortie commun aux différents faisceaux lumineux. Le port de sortie de ce dispositif est équipé d’une pièce enforme d’entonnoir, en aluminium poli, qui permet un passage, depuis le guide d’onde de sortie de section carrée de 2 mm de côté, à une fibre optique de sortie ayant un cœur de 0,8 mm de diamètre. Ce dispositif est robuste, et adapté pour combiner, dans une même fibre optique de sortie, plusieurs faisceaux lumineux transportés initialement dans différentes fibres optiques d’entrée. Mais ce combineur à guides creux, conçu pour fonctionner avec des fibres optiques connectées en entrées et en sortie, délivre en sortie un faisceau lumineux qui n’est généralement pas adapté pour éclairer directement une scène ou un échantillon à caractériser (par exemple une petite partie de la peau d’un individu, une portion d’une feuille d’un végétal ou une partie d’un matériau à analyser). En effet, en sortie de la pièce en forme d’entonnoir mentionnée plus haut, le faisceau lumineux global est de petite section (juste en sortie de l’entonnoir) et probablement fortement divergent. De plus, le passage des fibres optiques aux guides métalliques creux s’accompagne d’une perte de puissance optique (d’environ 6 dB) en sortie du dispositif. Ce dispositif présente d’ailleurs une transmission qui est globalement faible dans l’infrarouge moyen, avec des pertes de 10 dB à la traversée du dispositif, pour chaque faisceau lumineux. RESUME Dans ce contexte, on propose un dispositif pour combiner plusieurs faisceaux lumineux, le dispositif comprenant plusieurs guides d’onde d’entrée creux, au moins un par faisceau lumineux, ainsi qu’un guide d’onde de sortie creux commun aux différents faisceaux lumineux, chaque guide d’onde d’entrée ayant une ouverture d’entrée pour l’entrée du faisceau lumineux correspondant, et, à l’opposé, une ouverture de sortie par laquelle il débouche dans le guide d’onde de sortie, le guide d’onde de sortie, ainsi que chaque guide d’onde d’entrée étant délimité latéralement par une ou des surfaces métalliques réfléchissantes, et dans lequel une portion au moins du guide d’onde de sortie est évasée et s’élargit en direction d’une ouverture de sortie du guide d’onde de sortie. Autrement formulé, une portion au moins du guide d’onde de sortie, par exemple sa portion terminale, est évasée et s’élargit dans le sens de propagation des faisceaux lumineux. En pratique, les faisceaux lumineux qui entrent dans le dispositif sont généralement fortement divergents (par exemple parce qu’ils sortent directement de diodes laser). Or, les inventeurs ont constaté que la portion évasée du guide d’onde de sortie, qui s’élargit en direction de la sortie du dispositif (au lieu de se rétrécir), permet de réduire nettement la divergence de ces faisceaux lumineux individuels. Une telle portion évasée a ainsi un effet partiellement comparable à celui d’un miroir convergent. Par ailleurs, il s’avère qu’un tel guide d’onde de sortie, qui s’élargit en direction de la sortie, rapproche les directions de propagation respectives de ces différents faisceaux lumineux à combiner. A titre de comparaison, avec un guide d’onde de sortie à bords parallèles, les différentes réflexions spéculaires sur les bords du guide ne permettent en fait pas de rapprocher les directions de propagation respectives des différents faisceaux lumineux, qui restent alors écartées les unes des autres d’un point de vue angulaire. Employer un tel guide d’onde de sortie, qui s’élargit dans le sens de propagation des faisceaux lumineux, permet donc d’obtenir en sortie un faisceau lumineux global, regroupant l’ensemble des faisceaux lumineux d’entrée, qui a une divergence d’ensemble réduite. Cette portion évasée permet en outre d’obtenir une puissance par unité de surface élevée, et relativement homogène sur l’ensemble du faisceau. Le dispositif qui vient d’être présenté peut comprendre aussi un miroir convergent sur lequel se réfléchissent les faisceaux lumineux, une fois sortis du guide d’onde de sortie. Ce miroir convergent réduit encore la divergence du faisceau lumineux global en question. Les inventeurs ont d’ailleurs constaté qu’un tel miroir, associé au guide d’onde de sortie à partie évasée , permet de combiner les différents faisceaux lumineux en question en obtenant au final un éclairage intense et homogène d’une zone à éclairer (voir les figures 5 à 8). Pour éclairer un échantillon ou un milieu à caractériser, le faisceau lumineux global produit ainsi s’avère d’ailleurs nettement plus adapté que celui qui serait obtenu avec un miroir convergent mais sans la partie évasée du guide d’onde de sortie (voir les figures 9 à 12), et cela même en optimisant les caractéristiques du miroir convergent en question. Cette association du miroir convergent et du guide d’onde de sortie à portion évasée permet en particulier d’obtenir une puissance lumineuse par unité surface homogène sur toute une zone à éclairer, en sortie du dispositif, et cela pour chacun des faisceaux lumineux individuels d’entrée (c’est-à-dire en présence de l’un seulement des faisceaux lumineux, puis en présence d’un autre de ces faisceaux seulement, et ainsi de suite). De plus, la puissance lumineuse transportée par l’un ou l’autre de ces faisceaux lumineux est localisée majoritairement à l’intérieur de cette zone à éclairer. Les caractéristiques du miroir convergent sont en général déterminées en fonction des caractéristiques du guide d’onde de sortie à portion évasée auquel ce miroir est associé (pour obtenir une coopération optimale entre ces deux éléments). Quoiqu’il en soit, ce dispositif de combinaison, à guide d’onde de sortie à portion évasée, permet une combinaison efficace de plusieurs faisceaux lumineux. Cet agencement particulier permet par ailleurs d’améliorer la compacité du dispositif : à partir de plusieurs sources différentes, qui peuvent être non collimatées, on obtient directement un faisceau lumineux global, qui combine les faisceaux lumineux d’entrée et qui est semi-collimaté, et cela sans avoir à recourir à d’autres composants optiques. Il est intéressant de produire un tel faisceau, collimaté, ou tout au moins semi-collimaté, car cela permet d’éclairer un échantillon à caractériser avec des rayons qui ont quasiment tous la même incidence, et donc la même profondeur de pénétration caractéristique dans cet échantillon (en tout cas pour un échantillon homogène). Cela permet ainsi de sonder une épaisseur de l’échantillon (par exemple une épaisseur de tissu biologique) bien contrôlée De plus, on limite ainsi les pertes optiques que pourrait entraîner un couplage dans une fibre optique de sortie, ou à partir de fibres optiques d’entrée. On pourra noter d’ailleurs que dans un tel dispositif de combinaison, à guides d’onde métalliques creux, les pertes par injections peuvent être très faibles, et les pertes par courbure éventuelle des guides quasiment absentes (contrairement à des guides en matériau diélectrique). Les réflexions sur les surfaces métalliques qui délimitent les guides peuvent en revanche entraîner des pertes par absorption, pertes qui restent néanmoins modérées puisque de nombreux métaux ont une réflectivité élevée, en particulier dans l’infrarouge. Enfin, un tel dispositif a une tenue au flux élevée, généralement supérieure à celle de guides d’onde en matériaux diélectriques. Les guides d’onde d’entrée et de sortie peuvent être délimités chacun, latéralement, par une seule surface réfléchissante lorsqu’il s’agit de guides d’onde cylindriques, par exemple. Chaque guide peut aussi être délimité latéralement par plusieurs surfaces réfléchissantes distinctes, lorsque ce guide a une section carrée ou rectangulaire par exemple (auquel cas il est délimité par quatre surfaces latérales réfléchissantes). Dans l’ensemble de ce document, le terme « section » désigne une coupe du guide d’onde considérée, selon un plan de coupe perpendiculaire à l’axe du guide (ou plus généralement, perpendiculaire à une ligne moyenne le long de laquelle s’étend le guide ; en d’autres termes, il s’agit d’une section droite). Quoiqu'il en soit, le terme « section » désigne une coupe du guide d’onde considéré, et non un tronçon de ce guide. Par ailleurs, les guides d’onde d’entrée (ou de sortie), seront désignés indifféremment par l’expression « guide d’onde d’entrée » ou par l’expression « guide d’entrée ». Outre les caractéristiques mentionnées ci-dessus, le dispositif qui vient d’être présenté peut présenter une ou plusieurs des caractéristiques optionnelles suivantes, considérées individuellement ou selon toutes les combinaisons techniquement envisageables : ladite portion évasée a une ouverture angulaire moyenne supérieure à 20 degrés ; ladite ouverture angulaire est comprise entre 20 degrés et 100 degrés (ce qui correspond par exemple à plus ou moins 10 degrés, et, respectivement, plus ou moins 50 degrés de part et d’autre d’un axe du guide d’onde de sortie, sur lequel est centré ce guide) ; pour des angles de raccordement des guides d’onde d’entrée sur le guide d’onde sortie compris typiquement entre 10 et 50 degrés, de telles valeurs d’ouverture angulaire s’avèrent bien adaptées pour obtenir en sortie un faisceau lumineux global pseudo-collimaté, dans lequel on aura rapproché les unes des autres les directions de propagation des faisceaux lumineux individuels, initiaux ; ladite ouverture angulaire moyenne est l’ouverture angulaire moyenne que présente cette portion évasée dans un plan contenant l’axe du guide d’onde de sortie (ou dans un plan contenant une ligne moyenne le long de laquelle s’étend le guide d’onde de sortie) ; ladite ouverture angulaire est égale à l’angle moyen entre deux des surfaces métalliques réfléchissantes, qui délimitent latéralement le guide d’onde de sortie au niveau de ladite portion évasée, ces deux surfaces étant situées respectivement de part et d’autre du guide (ladite moyenne étant une moyenne le long de ladite portion évasée) ; ladite ouverture angulaire est égale à l’angle entre deux surfaces métalliques réfléchissantes planes qui délimitent latéralement le guide d’onde de sortie au niveau de ladite portion évasée, ces deux surfaces étant situées respectivement de part et d’autre du guide ; l’ouverture de sortie du guide d’onde de sortie a une aire au moins supérieure au double, voire au triple de l’aire d’une section d’entrée de ladite portion évasée ; les guides d’onde d’entrée et le guide d’onde de sortie s’étendent parallèlement à un même plan ; autrement formulé, le guide d’onde de sortie et chaque guide d’onde d’entrée s’étend le long d’une ligne moyenne, sur laquelle il est centré, ces différentes lignes moyennes étant situées dans un même plan, ou, tout au moins, s’étendant parallèlement à un plan donné qui est le même pour les différents guides ; le guide d’onde de sortie et les guides d’onde d’entrée peuvent par exemple être centrés respectivement sur différents axes, qui sont chacun parallèles à ce même plan, ou même situés dans ce même plan ; le dispositif comprend en outre un miroir de renvoi disposé de manière à réfléchir les faisceaux lumineux qui sortent du guide d’onde de sortie dans une direction moyenne inclinée par rapport audit plan ; l’angle entre ladite direction moyenne est ledit plan est compris par exemple entre 40 et 90 degrés ; le miroir de renvoi est le miroir convergent lui-même ; en d’autre termes, le miroir de renvoi et le miroir convergent peuvent être un seul et même miroir, à la fois convergent et incliné ; le miroir de renvoi est disposé en vis-à-vis de l’ouverture de sortie du guide d’onde de sortie ; Le dispositif comprend une embase avec une surface supérieure, et un capot avec une surface inférieure qui est en contact avec la surface supérieure de l’embase, l’embase comprenant sur sa surface supérieure plusieurs rainures, chaque guide d’onde d’entrée étant formé, au moins en partie, par l’une desdites rainures ; autrement formulé, chaque guide d’onde d’entrée est constitué au moins en partie par l’une de ces rainures ; l’embase et/ou le capot est une pièce monolithique, d’un seul tenant (cela améliore la stabilité et la compacité du dispositif) ; Le dispositif comprend plusieurs sources lumineuses destinées à émettre lesdits faisceaux lumineux, chaque source lumineuse étant positionnée de manière à ce que le faisceau lumineux émis par cette source entre dans l’un des guides d’onde d’entrée du dispositif ; lesdites sources sont solidaires des guides d’onde d’entrée ; pour au moins certaines desdites sources, le faisceau lumineux émis par la source considérée entre directement dans le guide d’onde d’entrée correspondant, sans composant optique intermédiaire entre la source et l’ouverture d’entrée de ce guide d’onde ; pour au moins certaines desdites sources, le dispositif comprend un ou plusieurs composants optiques intermédiaires situés sur le trajet du faisceau lumineux émis par la source considérée, entre cette source et l’ouverture d’entrée du guide d’onde d’entrée correspondant ; pour au moins certaines desdites sources, le faisceau lumineux émis par la source considérée a une longueur d’onde moyenne (longueur d’onde dans le vide) comprise entre 1 et 15 microns ; le dispositif comprend au moins un miroir d’entrée, pour réfléchir le faisceau lumineux émis par l’une desdites sources vers l’ouverture d’entrée du guide d’onde d’entrée correspondant, une direction normale à ce miroir étant inclinée par rapport audit plan (lorsque le miroir d’entrée n’est pas un miroir plan, ladite direction normale est la direction qui, en moyenne, est perpendiculaire à ce miroir – moyenne sur la portion éclairée du miroir) ; au moins certains des guides d’onde d’entrée ont une section dont la largeur ou le diamètre est compris entre 0,1 et 1,5 mm, voire entre 0,1 et 0,7 mm ; en entrée des guides d’onde d’entrée, les faisceaux lumineux émis par lesdites sources ont chacun une ouverture angulaire supérieure à 20 degrés, voire supérieure à 40 degrés ; après réflexion sur ledit miroir convergent, lesdits faisceaux lumineux sortent du dispositif sans rencontrer d’autre composant optique, à l’exception d’un éventuel filtre plan et/ou d’une éventuelle fenêtre de sortie plane traversée par ces faisceaux lumineux pour sortir du dispositif. La présente technologie et ses différentes applications seront mieux comprises à la lecture de la description qui suit et à l’examen des figures qui l’accompagnent. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES Les figures sont présentées à titre indicatif et nullement limitatif. La représente schématiquement un premier mode de réalisation d’un dispositif de combinaison de faisceaux mettant en œuvre la présente technologie, vu en perspective. La représente schématiquement un combineur de faisceaux du dispositif de la , vu en perspective et par transparence. La est identique à la , mais fait apparaître un certain nombre de cotes. La montre plus en détail un miroir de sortie du dispositif de la , en perspective. La représente schématiquement, en perspective, des rayons lumineux se propageant dans le dispositif de la , ces rayons étant tracés par simulation numérique. Les figures 6, 7 et 8, obtenues par simulation numérique, montrent l’irradiance obtenue dans une zone à éclairer donnée, en sortie du dispositif de la , lorsqu’une première, deuxième, et respectivement troisième source est en fonctionnement, les autres sources étant éteintes. La est similaire à la , mais dans le cas d’un guide d’onde de sortie sans portion évasée. Les figures 10, 11 et 12 sont similaires respectivement aux figures 6, 7 et 8 mais, là aussi, dans le cas d’un guide d’onde de sortie sans portion évasée La représente schématiquement un deuxième mode de réalisation d’un dispositif de combinaison de faisceaux mettant en œuvre la présente technologie, vu en perspective. La représente schématiquement un troisième mode de réalisation d’un dispositif de combinaison de faisceaux mettant en œuvre la présente technologie, vu en perspective. Dispositif (1 ; 2 ; 3) pour combiner plusieurs faisceaux lumineux (F1, F2, F3), le dispositif comprenant plusieurs guides d’onde d’entrée (21, 22, 23) creux, au moins un par faisceau lumineux, ainsi qu’un guide d’onde de sortie (40) creux commun aux différents faisceaux lumineux (F1, F2, F3), chaque guide d’onde d’entrée (21, 22, 23) ayant une ouverture d’entrée (24, 26, 28) pour l’entrée du faisceau lumineux (F1, F2, F3) correspondant, et, à l’opposé, une ouverture de sortie (25, 27, 29) par laquelle il débouche dans le guide d’onde de sortie (40), le guide d’onde de sortie (40), ainsi que chaque guide d’onde d’entrée (21, 22, 23) étant délimité latéralement par une ou des surfaces métalliques réfléchissantes (46, 47, 48, 49), caractérisé en ce qu’une portion (42) au moins du guide d’onde de sortie (40) est évasée et s’élargit en direction d’une ouverture de sortie (45) du guide d’onde de sortie (40). Dispositif (1) selon la revendication précédente, comprenant en outre un miroir convergent (9) sur lequel se réfléchissent lesdits faisceaux lumineux (F1, F2, F3), une fois sortis du guide d’onde de sortie (40). Dispositif (1 ; 2 ; 3) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel ladite portion évasée (42) a une ouverture angulaire (α) moyenne supérieure à 20 degrés. Dispositif (1 ; 2 ; 3) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel l’ouverture de sortie (45) du guide d’onde de sortie (40) a une aire au moins supérieure au double, voire au triple de l’aire d’une section d’entrée (44) de ladite portion évasée (42). Dispositif (1 ; 2 ; 3) selon l’une des revendications précédentes dans lequel les guides d’onde d’entrée (21, 22, 23) et le guide d’onde de sortie (40) s’étendent parallèlement à un même plan (P). Dispositif (1) selon la revendication , comprenant en outre un miroir de renvoi (9) disposé de manière à réfléchir les faisceaux lumineux qui sortent du guide d’onde de sortie (40) dans une direction moyenne (z R ) inclinée par rapport audit plan (P). Dispositif (1 ; 2 ; 3) selon l’une des revendications 5 ou , comprenant une embase (7) avec une surface supérieure (71), et un capot (8) avec une surface inférieure (82) qui est en contact avec la surface supérieure (71) de l’embase, l’embase (7) comprenant sur sa surface supérieure (71) plusieurs rainures, chaque guide d’onde d’entrée (21, 22, 23) étant formé, au moins en partie, par l’une desdites rainures. Dispositif (1 ; 2 ; 3) selon l’une des revendications précédentes, comprenant plusieurs sources lumineuses (11, 12, 13) destinées à émettre lesdits faisceau lumineux (F1, F2, F3), chaque source lumineuse étant positionnée de manière à ce que le faisceau lumineux (F1, F2, F3) émis par cette source (11, 12, 13) entre dans l’un des guides d’onde d’entrée (21, 22, 23) du dispositif, et dans lequel lesdites sources (11, 12, 13) sont solidaires des guides d’onde d’entrée (21, 22, 23). Dispositif (3) selon la revendication prise dans la dépendance de l’une des revendications 5 à 7, comprenant au moins un miroir d’entrée (51, 52, 53), pour réfléchir le faisceau lumineux (F1, F2, F3) émis par l’une desdites sources (11, 12, 13) vers l’ouverture d’entrée (24, 26, 28) du guide d’onde d’entrée (21, 22, 23) correspondant, une direction normale à ce miroir (51, 52, 53) étant inclinée par rapport audit plan (P). Dispositif (1 ; 2 ; 3) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel au moins certains des guides d’onde d’entrée (21, 22, 23) ont une section dont la largeur (w) ou le diamètre est compris entre 0,1 et 1,5 mm, voire entre 0,1 et 0,7 mm.