Brevet FR3118650A1 — publié le 20220708

Etage de pompage (1) d’une pompe à vide (100) sèche comportant deux rotors (3, 4) présentant respectivement au moins deux lobes présentant une torsion hélicoïdale (α) autour d’un axe longitudinal (I-I), l’entrée (7) et la sortie (8) sont ménagées dans des surfaces périphériques cylindriques de la chambre de compression (5) au niveau des chevauchements des cavités cylindriques (5a, 5b), dans des côtés opposés d’un plan transversal médian (P) de la chambre de compression (5) et de part et d’autre d’un plan longitudinal (L) de la chambre de compression (5) défini par les axes (I-I) des rotors (3, 4). Figure d’abrégé : Figure 1 Etage de pompage et pompe à vide sèche La présente invention concerne un étage de pompage et une pompe à vide sèche qui, à l’aide de deux rotors configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans au moins un étage de pompage, aspire, transfère, puis refoule un gaz à pomper. Les pompes à vide sèches comportent un ou plusieurs étages de pompage en série dans lesquels circule un gaz à pomper. On distingue parmi les pompes à vide connues, celles à lobes rotatifs également connues sous le nom « Roots » ou celles à bec, également connues sous le nom « Claw » ou encore celles à vis. De telles pompes à vide comportent deux arbres parallèles portant un rotor respectif, configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans les étages de pompage. Ces pompes à vide sont dites « sèches » car en fonctionnement, les rotors tournent à l’intérieur d’une chambre de compression du stator sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator, ce qui permet de ne pas utiliser d’huile dans les étages de pompage. En utilisation, plusieurs contraintes s’exercent sur ces pompes à vide. Les pompes à vide sont fréquemment employées pour le pompage d’enceintes dans lesquelles ont lieu des procédés dits « à poudre » car mettant en œuvre des gaz générant de grandes quantités de sous-produits solides. C’est le cas par exemple de certains procédés de fabrication de semi-conducteurs. Des composés solides peuvent se déposer sur les surfaces internes des pompes à vide et former des agglomérats qui peuvent restreindre les dimensions de passage des gaz et conduire à des pertes de capacité de pompage. Par ailleurs, ces pompes à vides sont généralement disposées en position horizontale près des enceintes qu’elles mettent sous vide, ce qui peut présenter plusieurs inconvénients. D’une part, les composés solides des procédés à poudres ont tendance à stagner dans les parties basses des chambres de compression et d’autre part, cette configuration horizontale prend beaucoup de place au sol. Les pompes à vide subissent en outre de nombreuses contraintes mécaniques internes. Des efforts principalement radiaux s’exercent notamment sur les rotors de type Claw et Roots et des efforts axiaux s’exercent sur des rotors à vis du fait de la compression des gaz dans les chambres de compression, du fait de la différence de pression entre l’entrée et la sortie de la chambre de compression mais aussi du fait de la force de gravité pour les pompes à vide dont les axes de rotation s’inscrivent dans un plan horizontal. Ces efforts génèrent des fléchissements relativement importants des arbres des pompes. Le document EP2042739B1 propose une pompe à vide monoétagée destinée à être montée en amont d’une pompe à vide primaire. La pompe à vide monoétagée comporte une entrée située dans une première surface transversale d’extrémité du stator et les deux rotors présentent une torsion hélicoïdale d’un quart de tour, c’est-à-dire qu’ils tournent sur eux-mêmes de 90°. Cette pompe à vide peut être agencée verticalement, ce qui permet de réduire l’empreinte au sol. La disposition verticale participe également à l’évacuation des poudres par gravité. Par ailleurs, la forme en hélice des rotors implique que les efforts ne sont plus uniquement radiaux mais ont aussi une composante axiale. Ceci permet de limiter les phénomènes de flexion d’arbre. Un inconvénient de la réalisation décrite dans ce document est que les brides d’entrée et de sortie sont relativement volumineuses et peu optimisées pour les transferts de gaz. Un but de la présente invention est de proposer une pompe à vide résolvant au moins un des inconvénients décrits ci-dessus, notamment en proposant une pompe à vide plus compacte dans la dimension longitudinale. A cet effet, l’invention a pour objet un étage de pompage d’une pompe à vide sèche comportant : - un stator définissant au moins une chambre de compression dont la forme s’inscrit dans deux cavités cylindriques parallèles dont les axes respectifs définissent une direction longitudinale, les cavités cylindriques se chevauchant transversalement, - deux rotors configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans les cavités cylindriques pour entrainer un gaz à pomper entre une entrée et une sortie de la chambre de compression, les rotors présentant respectivement au moins deux lobes présentant une torsion hélicoïdale autour d’un axe longitudinal, caractérisé en ce que l’entrée et la sortie sont ménagées dans des surfaces périphériques cylindriques de la chambre de compression au niveau des chevauchements des cavités cylindriques, dans des côtés opposés d’un plan transversal médian de la chambre de compression et de part et d’autre d’un plan longitudinal de la chambre de compression défini par les axes des rotors. Les compressions des gaz sont lissées sur une rotation liée à l’angle de torsion hélicoïdale au lieu d’être brutales comme dans une configuration à lobes droits. Ceci engendre une pulsation contenue au refoulement de la pompe à vide et dans les canaux de transfert. En effet, lorsque les rotors tournent, les poches de gaz sont transmises de l’entrée à la sortie avec une fréquence f*N (avec f la fréquence de rotation et N le nombre de lobes des rotors), ce qui engendre une pulsation au refoulement. La torsion hélicoïdale des rotors permet de « lisser » ces pulsations. Les efforts sont donc mieux répartis et d’intensité inférieure car la durée de transfert des gaz est allongée. Également, la forme en hélice des rotors améliore l’entrainement des poudres vers la sortie en reproduisant la fonction d’entrainement des vis extrudeuses comme on peut le voir dans le domaine du transport des granulés ou poudres. La pompe à vide est ainsi plus robuste dans le temps, d’une part mécaniquement, car les efforts de fléchissement d’arbre sont moindres et d’autre part fonctionnellement, puisque la capacité de pompage des poudres est améliorée. L’entrée et la sortie ménagées dans les surfaces périphériques cylindriques de la chambre de compression permettent de plus d’obtenir un remplissage plus important et une expulsion plus rapide des volumes de gaz à transférer sans casser les étanchéités entre les rotors et le stator. L’étage de pompage peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prise seule ou en combinaison. Selon un exemple de réalisation, l’entrée et la sortie sont également ouvertes sur les parois transversales d’extrémité de la chambre de compression. L’entrée et la sortie sont ainsi à la fois ouvertes radialement et axialement, ce qui facilite le raccordement de l’étage de pompage aux canalisations ou autre étages de pompage agencés axialement en amont ou en aval de l’étage de pompage du fait qu’aucun coude n’est nécessaire. Selon un exemple de réalisation, l’entrée s’inscrit dans une forme triangulaire isocèle, telle qu’une forme trapézoïdale isocèle, dans une section longitudinale de l’étage de pompage, pour aligner une première et une deuxième arête latérale de l’entrée avec une génératrice d’extrémité d’un lobe d’un rotor respectif lors de la rotation des rotors. Une entrée s’inscrivant dans une forme triangulaire isocèle, telle qu’une forme trapézoïdale isocèle, permet d’obtenir un remplissage plus important des volumes de gaz à transférer sans casser les étanchéités entre les rotors et le stator. Le coefficient de remplissage est alors optimal. Selon un exemple de réalisation, la sortie s’inscrit dans une forme triangulaire isocèle, telle qu’une forme trapézoïdale isocèle, dans une section longitudinale de l’étage de pompage, pour aligner une première et une deuxième arête latérale de la sortie avec une génératrice d’extrémité d’un lobe d’un rotor respectif lors de la rotation des rotors. Une sortie présentant une base de forme triangulaire isocèle, telle qu’une forme trapézoïdale isocèle, permet d’expulser plus rapidement le volume de gaz à pomper, sans casser les étanchéités entre les rotors et le stator. Les angles aigus de la base de la forme triangulaire ou trapézoïdale isocèle, sont par exemple respectivement compris entre 50° et 80°. La longueur des arêtes latérales de l’entrée et/ou de la sortie s’étend par exemple depuis une première paroi transversale d’extrémité de la chambre de compression jusqu’à plus du tiers de la longueur d’une génératrice d’extrémité d’un lobe d’un rotor. Les longueurs des arêtes latérales de l’entrée sont par exemple égales aux longueurs des arêtes latérales de la sortie. Les cylindres des cavités cylindriques peuvent être tronquées par des becs longitudinaux d’extrémité plane, la chambre de compression présentant deux becs longitudinaux dans des surfaces opposées. Ces troncage des cavités cylindriques par des becs longitudinaux permet d’éviter les impacts des rotors sur les crêtes à l’intersection des deux diamètres des cavités cylindriques. L’angle de torsion hélicoïdale entre les deux surfaces d’extrémité transversales des rotors est par exemple compris entre 5° et 85°, tel qu’entre 65° et 85°, et plus particulièrement entre 70° et 80°. Les rotors présentent par exemple une section transversale de type Roots bilobé (le nombre de lobes par rotor est égal à deux). Au moins un canal de transfert en communication avec la sortie peut être ménagé dans le stator à côté de la chambre de compression par exemple pour relier la sortie à une entrée d’un étage de pompage additionnel. Les canaux de transfert intégrés dans le stator de part et d’autre de la chambre de compression permettent de réduire l’épaisseur de chacun des canaux de transfert par rapport à un seul canal. L’étage de pompage peut comporter un dispositif de recirculation des gaz comprenant : - un conduit ménagé dans le stator, reliant l’entrée à la sortie, et - un clapet sollicité en fermeture d’un passage du conduit, le clapet étant configuré pour s’ouvrir dès que la différence de pression entre l’entrée et la sortie dépasse un seuil prédéfini. Le dispositif de recirculation des gaz intégré dans le stator permet de faire recirculer les gaz dans l’étage de pompage en cas de surpression pour éviter d’engorger l’étage de pompage suivant. L’invention a aussi pour objet une pompe à vide comportant un étage de pompage tel que décrit précédemment. Les rotors peuvent être montés en porte-à-faux. La pompe à vide peut être configurée pour que les axes des rotors soient verticaux lorsqu’elle est posée au sol. L’agencement vertical de la pompe à vide permet notamment de réduire de manière importante l’empreinte au sol. La pompe à vide peut comporter au moins un étage de pompage additionnel monté en série et en aval de l’étage de pompage et une partie d’entrainement mécanique commune à l’étage de pompage et à l’étage(s) de pompage additionnel(s). La pompe à vide peut être disposée verticalement au sol avec les axes des rotors verticaux, l’étage de pompage étant situé en haut et la partie d’entrainement mécanique en bas. La pompe à vide peut être configurée pour être raccordée en série et en amont d’une pompe à vide primaire. La pompe à vide peut être configurée pour refouler les gaz pompés à pression atmosphérique. Présentation des dessins D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description suivante d'un mode de réalisation particulier de l’invention, mais nullement limitatif, ainsi que des dessins annexés sur lesquels : La est une vue partielle et en perspective d’éléments d’un étage de pompage d’une pompe à vide sèche. La est une vue analogue à la sur laquelle on a retiré un flasque d’extrémité du stator. La montre une vue en coupe des éléments de l’étage de pompage de la selon un plan de coupe longitudinal passant par l’entrée de la chambre de compression. La montre une autre vue en coupe des éléments de l’étage de pompage de la retournés de 180°, selon un plan de coupe longitudinal passant par la sortie de la chambre de compression. La est une vue en perspective d’une enveloppe du stator de l’étage de pompage de la . La montre un autre angle de vue de l’enveloppe du stator de la . La est une vue en perspective des rotors de l’étage de pompage de la . La est une vue de face d’un rotor de la . La est un schéma d’une vue de face des cavités cylindriques du stator de la . La est une vue de face d’éléments de l’étage de pompage de la sur laquelle on a représenté un seul des deux rotors, le rotor étant orienté dans une position angulaire initiale. La est une vue de l’arrière des éléments de la . La est une vue analogue à la , le rotor ayant pivoté de 10° dans le sens antihoraire par rapport à la position angulaire initiale de la . La est une vue de l’arrière des éléments de la . La est une vue analogue à la , le rotor ayant pivoté de 35° dans le sens antihoraire par rapport à la position angulaire initiale de la . La est une vue de l’arrière des éléments de la . La est une vue analogue à la , le rotor ayant pivoté de 45° dans le sens antihoraire par rapport à la position angulaire initiale de la . La est une vue de l’arrière des éléments de la . La montre un exemple de réalisation d’une pompe à vide. Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations. On entend par « en amont », un élément qui est placé avant un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper. A contrario, on entend par « en aval », un élément placé après un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper. L’invention s’applique à tout type de pompe à vide sèche, monoétagée ou multiétagée, c’est-à-dire comportant un ou plusieurs étages, telle que comprenant un à neuf étages de pompage. Cette pompe à vide peut être une pompe à vide primaire multiétagée configurée pour refouler les gaz pompés à pression atmosphérique ( ) ou une pompe à vide sèche de un à trois étages de pompage qui en utilisation, est raccordée en amont d’une pompe à vide primaire et dont la pression de refoulement est celle obtenue par la pompe à vide primaire. La pompe à vide sèche comporte au moins un étage de pompage 1 comprenant un stator 2 et deux rotors 3, 4. Elle comporte également de manière connue en soi une partie d’entrainement mécanique comprenant un moteur d’entrainement des rotors, des engrenages de synchronisation des rotors et des paliers supportant les arbres des rotors. Les figures 1 et 2 montrent la partie de pompage sec de l’étage de pompage 1 dans laquelle circulent les gaz, la pompe à vide comprenant en outre des moyens d’étanchéité permettant la rotation des arbres dans la partie de pompage sec tout en limitant les transferts de lubrifiant entre la partie d’entrainement mécanique et la partie de pompage sec. On voit sur les figures 1 et 2 que le stator 2 peut être formé de plusieurs éléments de stator 2a, 2b. Il comporte par exemple au moins un flasque d’extrémité 2a et une enveloppe 2b. Mieux visible sur les figures 3 à 6, le stator 2 définit au moins une chambre de compression 5 dont la forme s’inscrit dans deux cavités cylindriques 5a, 5b parallèles. Les axes respectifs des cavités 5a, 5b définissent une direction longitudinale. La direction transversale est la direction perpendiculaire à la direction longitudinale. Les cavités cylindriques 5a, 5b se chevauchent transversalement. Les cylindres des cavités cylindriques 5a, 5b peuvent être tronquées par des becs longitudinaux 6 d’extrémité plane formant une extrémité longitudinale saillante entre les deux cavités 5a, 5b, la chambre de compression 5 présentant deux becs longitudinaux 6 dans des surfaces opposées. Ces troncages des cavités cylindriques 5a 5b par les becs longitudinaux 6 permet d’éviter les impacts des rotors sur les crêtes à l’intersection des deux diamètres des cavités cylindriques 5a, 5b. La chambre de compression 5 est ainsi délimitée par les deux surfaces périphériques cylindriques qui sont les surfaces internes des cavités cylindriques 5a, 5b, formée ici par l’enveloppe 2b, ainsi que par deux parois transversales d’extrémité, dont l’une est formée ici par le flasque d’extrémité 2a. La chambre de compression 5 présente en outre une entrée 7 par lequel pénètrent les gaz à pomper et une sortie 8 par lequel sortent les gaz pompés. Les rotors 3, 4 sont configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans les cavités cylindriques 5a, 5b pour entrainer un gaz à pomper entre l’entrée 7 et la sortie 8 de la chambre de compression 5. Les rotors 3, 4 tournent chacun dans une cavité cylindrique 5a, 5b respective. Les axes I-I des rotors 3, 4 sont parallèles entre eux et s’étendent dans la direction longitudinale des cavités cylindriques 5a, 5b. En fonctionnement, les rotors 3, 4 sont entraînés en rotation par le moteur de la pompe à vide par exemple monté sur l’un des rotors 3, 4. Les rotors 3, 4 peuvent être montés en porte-à-faux, c’est-à-dire que les arbres traversant les rotors 3, 4 sont soutenus par les paliers situés d’un seul côté du stator 2. Il n’y a par exemple aucun moyen de guidage de l’autre côté. La pompe à vide est par exemple configurée pour que les axes I-I des rotors 3, 4 soient verticaux lorsqu’elle est posée au sol. L’agencement vertical de la pompe à vide permet de réduire de manière importante l’empreinte au sol. Cette disposition verticale facilite aussi la disposition de la pompe à vide au plus proche des équipements, ce qui permet de réduire les pertes de conductance notamment. Cette configuration verticale facilite aussi le pompage des poudres qui tombent vers la sortie par gravité. De plus, l’effort de flexion d’arbre engendré par la force de gravité est réduit. Également, la rétention d’huile dans le carter d’huile située au bas de la pompe à vide est plus facile à refroidir et le démontage des rotors et stator est plus facile à réaliser au cours des maintenances. Deux rotors 3, 4 sont illustrés sur les figures 7 et 8. Les rotors 3, 4 présentent respectivement au moins deux lobes. Ils sont par exemple bilobés, c’est-à-dire que la section transversale des rotors 3, 4 est de type Roots classique, c’est-à-dire comprenant deux lobes opposés dont le contour est sensiblement en forme de « 8 » ( ). Ils peuvent également être trilobés ou comporter quatre, cinq lobes ou plus, angulairement régulièrement répartis. Les lobes des rotors 3, 4 présentent un angle de torsion hélicoïdale α autour d’un axe longitudinal I qui est aussi l’axe de rotation du rotor. Les torsions hélicoïdales des lobes des rotors 3, 4 sont conjuguées, en particulier elles sont de sens opposé, et elles sont complémentaires aux surfaces périphériques cylindriques et parois transversales d’extrémité de la chambre de compression 5 pour que la rotation des rotors 3, 4 dans la chambre de compression 5 transfère les gaz de l’entrée 7 vers la sortie 8 de manière étanche. La pompe à vide est dite « sèche » car en fonctionnement, les rotors 3, 4 tournent à l’intérieur du stator 2 sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator 2, mais via de très faibles jeux, ce qui permet l’absence d’huile dans la chambre de compression 5. Les rotors 3, 4 présentent également deux surfaces d’extrémité transversales 9 parallèles. L’angle de torsion hélicoïdale α maximum des lobes des rotors 3, 4 peut être défini par la formule 360 – (2*γ) - 360/N en considérant que le temps d’isolement du volume 17 de gaz emprisonné par les lobes des rotors 3, 4 est nul, avec des cavités cylindriques 5a, 5b sans troncage par les becs longitudinaux et avec N, le nombre de lobes du rotor et γ la valeur de l’angle dans la chambre de compression 5 défini par la formule cos γ = a/b où a est la valeur d’un demi-entraxe et b est le rayon d’une cavité cylindrique 5a, 5b (voir ). En considérant par exemple un entraxe de 98mm et un diamètre de la cavité cylindrique 5a, 5b de 145mm pour des rotors 3, 4 à deux lobes, on obtient un angle de torsion hélicoïdale α maximum de 85,44°. Selon un autre exemple considérant un entraxe de 76mm et un diamètre des cavités cylindriques 5a, 5b de 145mm pour des rotors 3, 4 à deux lobes, on obtient un angle de torsion hélicoïdale α maximum de 81,02°. Lorsque les cavités cylindriques 5a, 5b sont tronquées, l’angle de torsion hélicoïdal α est inférieur à l’angle de torsion hélicoïdal maximum et plus particulièrement inférieur à 90°. Il est par exemple compris entre 5° et 85°, tel qu’entre 65° et 85°, et plus particulièrement entre 70° et 80° ( ). Chaque rotor 3, 4, présente des génératrices d’extrémité 15, 16 qui sont formées par les lignes hélicoïdales situées aux sommets respectifs des lobes. Les rotors 3, 4 bilobés présentent ainsi une première et une deuxième génératrices d’extrémité 15, 16 ( ). Les compressions des gaz sont ainsi lissées sur une rotation liée à l’angle de la torsion hélicoïdale au lieu d’être brutales comme dans une configuration à lobes droits. Ceci engendre une pulsation contenue au refoulement de la pompe à vide et dans les canaux de transfert. En effet, lorsque les rotors 3, 4 tournent, les volumes 17 de gaz emprisonnés par les lobes des rotors sont transmis de l’entrée 7 à la sortie 8 avec une fréquence f*N (avec f la fréquence de rotation et N le nombre de lobes des rotors), ce qui engendre une pulsation au refoulement. La torsion hélicoïdale des rotors 3, 4 permet ainsi de « lisser » ces pulsations. Les efforts sont donc mieux répartis et d’intensité inférieure car la durée de transfert des gaz est allongée. Également, la forme en hélice des rotors 3, 4 améliore l’entrainement des poudres vers la sortie 8 en reproduisant la fonction d’entrainement des vis extrudeuses comme on peut le voir dans le domaine du transport des granulés ou poudres. La pompe à vide est ainsi plus robuste dans le temps, d’une part mécaniquement, car les efforts de fléchissement d’arbre sont moindres et d’autre part fonctionnellement, puisque la capacité de pompage des poudres est améliorée. L’entrée 7 et la sortie 8 sont ménagées dans les surfaces périphériques cylindriques de la chambre de compression 5 au niveau des chevauchements des cavités cylindriques 5a, 5b (figures 2 à 6). Selon un exemple de réalisation, l’entrée 7 et la sortie 8 sont également ouvertes sur les parois transversales d’extrémité de la chambre de compression 5. Plus précisément, les parois transversales d’extrémité de la chambre de compression 5 délimitent respectivement une arête transversale 22 de l’entrée 7 et une arête transversale 23 de la sortie 8 (figures 3 et 4). L’entrée 7 et la sortie 8 sont ainsi à la fois ouvertes radialement et axialement, ce qui facilite le raccordement de l’étage de pompage 1 aux canalisations ou autre étages de pompage agencés axialement en amont ou en aval de l’étage de pompage 1 du fait qu’aucun coude n’est nécessaire. L’entrée 7 et la sortie 8 sont en outre ménagées respectivement dans des côtés opposés d’un plan transversal P (ou plan vertical en référence à la position de l’étage de pompage 1 sur la ) médian de la chambre de compression 5, de part et d’autre d’un plan longitudinal L (ou plan horizontal en référence à la position de l’étage de pompage 1 sur la ) de la chambre de compression 5. Le plan longitudinal L de la chambre de compression 5 est défini par les axes I-I des rotors 3, 4. Il est médian et perpendiculaire au plan transversal P. Selon un exemple de réalisation, l’entrée 7 et/ou la sortie 8 s’inscrit dans une forme triangulaire isocèle dans une section longitudinale de l’étage de pompage 1 (ou section horizontale en référence à la position de l’étage de pompage 1 sur les figures 3 et 4). Pour faciliter la réalisation de l’entrée 7 et/ou la sortie 8, on peut tronquer le triangle de sorte que l’entrée 7 et/ou la sortie 8, s’inscrive dans une forme trapézoïdale isocèle dans la section longitudinale de l’étage de pompage 1. L’entrée 7 et/ou la sortie 8 s’inscrivant dans une forme trapézoïdale permet d’aligner une première et une deuxième arête latérale 10, 11, 12, 13 de l’entrée 7 et/ou de la sortie 8 avec une génératrice d’extrémité 15, 16 d’un lobe d’un rotor 3, 4 lors de la rotation des rotors 3, 4 ( ). Plus précisément, l’entrée 7 et/ou la sortie 8 présente au moins une première arête latérale 10, 12 formant un premier angle aigu β du trapèze et une deuxième arête latérale 11, 13 formant un deuxième angle aigu β du trapèze (figures 3 et 4). Les angles aigus β sont par exemple respectivement compris entre 50° et 80°. La longueur des arêtes latérales 10, 11, 12, 13 s’étend par exemple depuis la première paroi transversale d’extrémité de la chambre de compression 5 jusqu’au tiers ou plus de la longueur de la première ou deuxième génératrice d’extrémité 15, 16. Les longueurs des première et deuxième arêtes latérales 10, 11 de l’entrée 7 sont par exemple égales aux longueurs des première et deuxième arêtes latérales 12, 13 de la sortie 8. En fonctionnement, la première arête latérale 10 de l’entrée 7 de forme trapézoïdale s’aligne avec une génératrice d’extrémité 15, 16 d’un lobe d’un premier rotor 3 pour emprisonner un volume 17 de gaz à pomper de manière étanche entre le stator 2 et le premier rotor 3 dans une plage angulaire prédéterminée du premier rotor 3 . La deuxième arête latérale 11 s’aligne avec une génératrice d’extrémité 15, 16 d’un lobe d’un deuxième rotor 4 pour emprisonner un volume 17 de gaz à pomper de manière étanche entre le stator 2 et le deuxième rotor 4 dans une plage angulaire prédéterminée du deuxième rotor 4 . Une entrée 7 s’inscrivant dans une forme triangulaire isocèle, telle qu’une forme trapézoïdale isocèle, permet d’obtenir un remplissage plus important des volumes 17 de gaz à transférer sans casser les étanchéités entre les rotors 3, 4 et le stator 2. Le coefficient de remplissage est alors optimal. Du côté de la sortie 8, en fonctionnement, la première arête latérale 12 de la sortie 8 de forme trapézoïdale s’aligne avec une génératrice d’extrémité 15, 16 du lobe du premier rotor 3 pour libérer le volume 17 de gaz à pomper . La deuxième arête latérale 13 s’aligne avec une génératrice d’extrémité 15, 16 du lobe d’un deuxième rotor 4 pour libérer un volume 17 de gaz à pomper . Une sortie 8 présentant une base de forme triangulaire isocèle, telle qu’une forme trapézoïdale isocèle, permet d’expulser plus rapidement le volume 17 de gaz à pomper, sans casser les étanchéités entre les rotors 3, 4 et le stator 2. Ceci pourra mieux être compris en référence à l’exemple illustré sur les figures 10a à 13b qui montre différentes positions angulaires successives du premier rotor 3 vues de face (figures 10a, 11a, 12a, 13a) et vues depuis l’arrière (figures 10b, 11b, 12b, 13b) au cours du pompage. Le premier rotor 3 présente un pas d’hélice orienté dans le sens horaire quand on se place face aux rotors 3, 4 horizontaux avec l’entrée 7 en partie supérieure ( ). Le premier rotor 3 tourne dans le sens antihoraire. On voit sur la que le premier rotor 3 a presque fini d’emprisonner le volume 17 entre le premier rotor 3 et le stator 2 en face avant au niveau de la première génératrice d’extrémité 15 du premier lobe. Ce volume 17 est par ailleurs fermé de manière étanche dans la cavité cylindrique 5a de la chambre de compression 5 au niveau de la deuxième génératrice d’extrémité 16 du deuxième lobe. Ce même volume 17 s’étend dans l’espace entre les deux rotors 3, 4 en face arrière au niveau de la première génératrice d’extrémité 15 du premier lobe tandis qu’il est fermé de manière étanche au niveau de la deuxième génératrice d’extrémité 16 du deuxième lobe ( ). Le gaz à pomper peut donc continuer à entrer dans le volume 17 contrairement à une entrée qui s’inscrirait dans une forme rectangulaire dans le plan longitudinal. Sur les figures 11a et 11b, le premier rotor 3 a pivoté de 10° dans le sens de rotation antihoraire par rapport aux figures 10a et 10b. On voit sur la que la première arête latérale 10 de l’entrée 7 est alignée avec la première génératrice d’extrémité 15 du premier lobe du premier rotor 3. Le volume 17 est maintenant étanchéifié en face avant au niveau des deux génératrices d’extrémité 15, 16 du premier rotor 3. En revanche, ce même volume 17 n’est toujours pas emprisonné avec le stator 2 en face arrière au niveau de la première génératrice d’extrémité 15 du premier lobe ( ). Sur les figures 12a et 12b, le premier rotor 3 a pivoté de 35° dans le sens de rotation antihoraire par rapport aux figures 10a et 10b. Le volume 17 est maintenant emprisonné de manière étanche entre le stator 2 et le premier rotor 3 par les deux génératrices d’extrémité 15 et 16 par rapport à l’entrée 7 et la sortie 8 (que ce soit vue de face ou vue de l’arrière). Le volume 17 peut donc être déplacé de l’entrée 7 vers la sortie 8. Sur les figures 13a et 13b, le premier rotor 3 a pivoté de 45° dans le sens de rotation antihoraire par rapport aux figures 10a et 10b. On voit sur la que le même volume 17 est toujours emprisonné avec le stator 2 de manière étanche en face arrière et qu’il commence à communiquer avec un espace inter-rotors 3, 4 au niveau de la deuxième génératrice d’extrémité 16 du deuxième lobe qui s’est écartée du bec longitudinal 6 ( ). Dès que la première arête latérale 12 de la sortie 8 a passé l’alignement avec la deuxième génératrice d’extrémité 16 du lobe du premier rotor 3, alors le gaz à pomper pourra être expulsé vers la sortie 8. Le gaz à pomper peut donc sortir plus tôt qu’avec une sortie s’inscrivant dans une forme rectangulaire dans le plan longitudinal. Le volume 17 est emprisonné de manière étanche sur les figures 12a et 12b sur une plage angulaire du premier rotor 3 de 10° environ (ou 10°+/- 5°). A chaque tour, chaque rotor 3, 4 à deux lobes déplace ainsi deux volumes de gaz. On optimise ainsi le remplissage et l’expulsion des quatre volumes 17 de gaz transférés par les deux rotors 3, 4. Par ailleurs, on peut prévoir qu’au moins un canal de transfert 14 en communication avec la sortie 8 soit ménagé dans le stator 2 à côté de la chambre de compression 5 de l’étage de pompage 1 par exemple pour relier la sortie 8 situé d’un côté de l’étage de pompage 1 à une entrée d’un étage de pompage additionnel situé du côté opposé. Il y a par exemple deux canaux de transfert 14 ménagés respectivement de part et d’autre de la chambre de compression 5 (figures 4 et 5). Les canaux de transfert 14 présentent une forme d’arc de cercle, sensiblement semi-circulaires, entourant partiellement une cavité cylindrique 5a, 5b. L’étage de pompage 1 peut en outre comporter un dispositif de recirculation des gaz comprenant un conduit 20 ménagé dans le stator 2, par exemple dans l’enveloppe 2b du stator ( ). Le conduit 20 relie l’entrée 7 de la chambre de compression 5 à la sortie 8. La sortie 8 communique ici avec une entrée d’un étage de pompage additionnel via les canaux de transfert 14 ( ). Par conséquent, le conduit 20 peut être ménagé dans la direction longitudinale, sur un même côté du stator 2, derrière l’entrée 7. Le dispositif de recirculation des gaz comporte également un clapet 21, présentant par exemple une forme de disque ( ). Le clapet 21 est sollicité en fermeture d’un passage du conduit 20. Le dispositif de recirculation peut également comporter un ressort sollicitant le clapet 21 en position de fermeture. Le clapet 21 est configuré pour s’ouvrir dès que la différence de pression entre l’entrée 7 et la sortie 8 de l’étage de pompage 1 dépasse un seuil prédéfini. L’ouverture du clapet 21 permet de faire recirculer les gaz à pomper dans le même étage de pompage 1 en cas de pompage de fort flux gazeux. Le seuil est prédéfini notamment selon le ratio des débits engendrés et selon les réglages de sécurité mécanique. La pompe à vide peut être monoétagée, le stator 2 définissant une unique chambre de compression 5. La pompe à vide est alors raccordée en série et en amont d’une pompe à vide primaire indépendante. Selon un autre exemple, la pompe à vide peut présenter deux ou trois étages de pompage et être configurée pour être raccordée en série et en amont d’une pompe à vide primaire indépendante. Selon un autre exemple, la pompe à vide 100 comporte au moins un étage de pompage additionnel 18 monté en série et en aval de l’étage de pompage 1, le au moins un étage de pompage additionnel 18 comprenant des rotors entrainés en rotation par le même moteur d’entrainement des rotors 3, 4 de l’étage de pompage 1, la partie d’entrainement mécanique 24 de la pompe à vide 100 étant commune à l’étage de pompage 1 et à l’(aux) étage(s) de pompage additionnel (s) 18. Sur l’exemple illustré sur la , la pompe à vide 100 comporte entre trois et neuf étages de pompage additionnels 18, tels que six étages de pompage additionnels, formant un ensemble de pompage primaire car le dernier étage de pompage additionnel 18 est configuré pour refouler les gaz pompés à pression atmosphérique. L’étage de pompage 1 et les étages de pompage additionnels 18 sont montés en série entre l’orifice d’aspiration 19 et un orifice de refoulement 25 de la pompe à vide 100. Les rotors de l’étage de l’étage de pompage 1 et des étages de pompage additionnels 18 peuvent être montés en porte-à-faux. La pompe à vide 100 peut être disposée verticalement, l’étage de pompage 1 étant situé en haut et la partie d’entrainement mécanique 24 en bas, c’est-à-dire posée au sol et supportant les étages de pompage 1, 18. Chaque étage de pompage additionnel 18 définit une chambre de compression recevant deux rotors conjugués de la pompe à vide 100, les chambres comprenant une entrée et une sortie respectives. Les rotors sont par exemple de type Roots bilobés droits ou sont des rotors trilobés droits. Lors de la rotation, le gaz aspiré depuis l’entrée est emprisonné dans le volume engendré par les rotors et la chambre de compression de l’étage de pompage additionnel 18, puis est comprimé et entraîné vers la sortie et vers l’étage suivant. Les chambres de compression des étages de pompage 1, 18 successifs sont raccordés en série les unes à la suite des autres par au moins un canal inter-étage respectif raccordant la sortie de la chambre de compression de l'étage de pompage qui précède à l'entrée de la chambre de compression de l'étage qui suit. Les canaux inter-étages sont par exemple ménagés dans le corps du stator, par exemple à côté des chambres de compression. Il y a par exemple deux canaux inter-étages par étage de pompage, raccordés en parallèle entre la sortie et l’entrée de la chambre de compression, agencés de part et d’autre de la chambre de compression. L’étage de pompage 1 et les étages de pompage additionnels 18 présentent un volume engendré, c'est-à-dire un volume de gaz pompé, décroissant (ou égal) avec les étages de pompage, l’étage de pompage 1 présentant le débit engendré le plus élevé et le dernier étage de pompage additionnel 18 présentant le débit engendré le plus faible. Les canaux de transfert 14 intégrés dans le stator 2 de part et d’autre de la chambre de compression 5 et le dispositif de recirculation des gaz intégré dans le stator 2 de l’étage de pompage 1 sont particulièrement adapté pour une pompe à vide biétagée ou pour une pompe à vide 100 primaire combinant l’étage de pompage 1 avec des étages de pompage additionnels 18. Etage de pompage (1) d’une pompe à vide (100) sèche comportant : - un stator (2) définissant au moins une chambre de compression (5) dont la forme s’inscrit dans deux cavités cylindriques (5a, 5b) parallèles dont les axes respectifs définissent une direction longitudinale, les cavités cylindriques (5a, 5b) se chevauchant transversalement, - deux rotors (3, 4) configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans les cavités cylindriques (5a, 5b) pour entrainer un gaz à pomper entre une entrée (7) et une sortie (8) de la chambre de compression (5), les rotors (3, 4) présentant respectivement au moins deux lobes présentant une torsion hélicoïdale (α) autour d’un axe longitudinal (I-I), caractérisé en ce que l’entrée (7) et la sortie (8) sont ménagées dans des surfaces périphériques cylindriques de la chambre de compression (5) au niveau des chevauchements des cavités cylindriques (5a, 5b), dans des côtés opposés d’un plan transversal médian (P) de la chambre de compression (5) et de part et d’autre d’un plan longitudinal (L) de la chambre de compression (5) défini par les axes (I-I) des rotors (3, 4). Etage de pompage (1) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que l’entrée (7) et la sortie (8) sont également ouvertes sur les parois transversales d’extrémité de la chambre de compression (5). Etage de pompage (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l’entrée (7) s’inscrit dans une forme triangulaire isocèle, telle qu’une forme trapézoïdale isocèle, dans une section longitudinale de l’étage de pompage (1), pour aligner une première et une deuxième arête latérale (10, 11) de l’entrée (7) avec une génératrice d’extrémité (15, 16) d’un lobe d’un rotor (3, 4) respectif lors de la rotation des rotors (3, 4). Etage de pompage (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la sortie (8) s’inscrit dans une forme triangulaire isocèle, telle qu’une forme trapézoïdale isocèle, dans une section longitudinale de l’étage de pompage (1), pour aligner une première et une deuxième arête latérale (12, 13) de la sortie (8) avec une génératrice d’extrémité (15, 16) d’un lobe d’un rotor (3, 4) respectif lors de la rotation des rotors (3, 4). Etage de pompage (1) selon l’une des revendications 3 ou 4, caractérisé en ce que les angles aigus (β) de la base de la forme triangulaire ou trapézoïdale isocèle, sont respectivement compris entre 50° et 80°. Etage de pompage (1) selon l’une des revendications 3 à 5, caractérisé en ce que la longueur des arêtes latérales (10, 11, 12, 13) de l’entrée (7) et/ou de la sortie (8) s’étend depuis une première paroi transversale d’extrémité de la chambre de compression (5) jusqu’à plus du tiers de la longueur d’une génératrice d’extrémité d’un lobe d’un rotor (3, 4). Etage de pompage (1) selon l’une des revendications précédentes, prises avec les revendications 2 et 3, caractérisé en ce que les longueurs des arêtes latérales (10, 11) de l’entrée (7) sont égales aux longueurs des arêtes latérales (12, 13) de la sortie (8). Etage de pompage (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les cylindres des cavités cylindriques (5a, 5b) sont tronquées par des becs longitudinaux (6) d’extrémité plane, la chambre de compression (5) présentant deux becs longitudinaux (6) dans des surfaces opposées. Etage de pompage (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l’angle de torsion hélicoïdale (α) entre les deux surfaces d’extrémité transversales (9) des rotors (3, 4) est compris entre 5° et 85°, telle qu’entre 65° et 85°, et plus particulièrement entre 70° et 80°. Etage de pompage (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les rotors (3, 4) présentent une section transversale de type Roots bilobé. Etage de pompage (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu’au moins un canal de transfert (14) en communication avec la sortie (8) est ménagé dans le stator (2) à côté de la chambre de compression (5). Etage de pompage (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu’il comporte un dispositif de recirculation des gaz comprenant : - un conduit (20) ménagé dans le stator (2), reliant l’entrée (7) à la sortie (8), et - un clapet (21) sollicité en fermeture d’un passage du conduit (20), le clapet (21) étant configuré pour s’ouvrir dès que la différence de pression entre l’entrée (7) et la sortie (8) dépasse un seuil prédéfini. Pompe à vide (100) caractérisée en ce qu’elle comporte un étage de pompage (1) selon l’une des revendications précédentes. Pompe à vide (100) selon la revendication 13, caractérisée en ce que les rotors (3, 4) sont montés en porte-à-faux. Pompe à vide (100) selon l’une des revendications 13 ou 14, caractérisée en ce que la pompe à vide (100) est configurée pour que les axes des rotors (3, 4) soient verticaux lorsqu’elle est posée au sol. Pompe à vide (100) selon l’une des revendications 13 à 15, caractérisée en ce qu’elle comporte au moins un étage de pompage additionnel (18) monté en série et en aval de l’étage de pompage (1) et une partie d’entrainement mécanique (24) commune à l’étage de pompage (1) et à l’étage(s) de pompage additionnel(s)(18). Pompe à vide (100) selon la revendication précédente, caractérisée en ce qu’elle est disposée verticalement au sol avec les axes des rotors (3, 4) verticaux, l’étage de pompage (1) étant situé en haut et la partie d’entrainement mécanique (24) en bas. Pompe à vide (100) selon l’une des revendications 13 à 17, caractérisée en ce qu’elle est configurée pour être raccordée en série et en amont d’une pompe à vide primaire. Pompe à vide (100) selon l’une des revendications 13 à 17, caractérisée en ce qu’elle est configurée pour refouler les gaz pompés à pression atmosphérique.