Brevet FR3120261A1 — publié le 20220902

L’invention porte sur un détecteur thermique (1) d’un rayonnement électromagnétique, comportant : un substrat de lecture (10) ; une membrane suspendue (20) au-dessus du substrat de lecture, comportant : un transducteur thermométrique (23), et une charge résistive (25) formée d’une piste qui s’étend longitudinalement en forme de boucle continue fermée ; une antenne de collection (16), située à distance de la membrane suspendue (20), et couplée à la charge résistive (25), comportant une piste de couplage (16.1), située à la perpendiculaire de la charge résistive (25) et s’étendant longitudinalement en forme de boucle continue ouverte, autorisant ainsi un couplage inductif entre la piste de couplage (16.1) et la charge résistive (25). Figure pour l’abrégé : Fig.1A Détecteur thermique d’un rayonnement électromagnétique comportant une antenne et une charge résistive couplées de manière inductive Le domaine de l’invention est celui des détecteurs thermiques à antenne adaptés à détecter un rayonnement électromagnétique, en particulier un rayonnement térahertz dont la gamme de fréquences peut être comprise entre 0.3 et 3THz (longueur d’onde comprise entre 0.1 et 1mm). L’invention s’applique notamment aux domaines de la sécurité, du contrôle non destructif, et de l’imagerie biomédicale. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE Les détecteurs thermiques à antenne sont particulièrement adaptés à détecter un rayonnement électromagnétique térahertz. Ils peuvent ainsi comporter une antenne de collection du rayonnement électromagnétique couplée à une charge résistive. L’antenne de collection peut reposer sur un substrat de lecture, et la charge résistive peut être disposée dans une membrane suspendue au-dessus du substrat de lecture et thermiquement isolée de celui-ci. La membrane suspendue comporte également un transducteur thermométrique, par exemple un matériau thermistance, disposé en contact thermique avec la charge résistive. Le document EP2246677A1 décrit un exemple d’un tel détecteur thermique à antenne. Il comporte ici deux antennes papillon croisées adaptées à collecter le rayonnement électromagnétique à détecter. Une première antenne papillon est située hors de la membrane suspendue, et est couplée à la charge résistive de manière capacitive par l’intermédiaire ici d’ailettes métalliques disposées dans la membrane suspendue. La deuxième antenne papillon est disposée dans la membrane suspendue, et est couplée à la charge résistive de manière résistive. Cependant, la membrane suspendue comporte alors des parties métalliques de grandes dimensions, i.e. la deuxième antenne papillon mais également les ailettes métalliques qui assurent le couplage capacitif avec la première antenne papillon, ce qui impacte négativement les performances du détecteur thermique en termes de constante de temps thermique, du fait de la capacité thermique élevée de la membrane suspendue. L’invention a pour objectif de remédier au moins en partie aux inconvénients de l’art antérieur, et plus particulièrement de proposer un détecteur thermique à antenne adapté à détecter un rayonnement électromagnétique, en particulier un rayonnement térahertz, qui présente des performances améliorées, notamment en termes de constante de temps thermique. Un autre objectif de l’invention est de proposer un tel détecteur thermique dont la membrane suspendue présente une tenue mécanique et une fiabilité améliorées, et dont le procédé de fabrication est simplifié. Pour cela, l’objet de l’invention est un détecteur thermique d’un rayonnement électromagnétique, comportant : un substrat de lecture, comportant un circuit de lecture ; une membrane suspendue au-dessus et isolée thermiquement du substrat de lecture, comportant : un transducteur thermométrique, connecté électriquement au circuit de lecture ; et une charge résistive, en contact thermique avec le transducteur thermométrique, adaptée à convertir en puissance calorifique de la puissance électromagnétique reçue d’une antenne de collection ; l’antenne de collection, adaptée à collecter le rayonnement électromagnétique à détecter, située à distance de la membrane suspendue, et couplée à la charge résistive pour lui transmettre une puissance électromagnétique. Selon l’invention, la charge résistive est formée d’une piste qui s’étend longitudinalement en forme de boucle continue fermée. De plus, l’antenne de collection comporte une piste dite de couplage, située à la perpendiculaire de la charge résistive et s’étendant longitudinalement en forme de boucle continue ouverte, autorisant ainsi un couplage inductif entre la piste de couplage et la charge résistive. Certains aspects préférés mais non limitatifs de ce détecteur thermique sont les suivants. La charge résistive peut comporter au moins une portion résistive présentant une résistance de couche supérieure ou égale à 1 Ω/carré. La portion résistive de la charge résistive peut présenter une résistance de couche comprise entre 1 Ω/carré et 10 Ω/carré. La charge résistive peut être une piste continûment résistive formée par la portion résistive seule. En variante, elle peut être une piste localement résistive formée d’au moins la portion résistive, et d’au moins une portion conductrice présentant une résistance de couche inférieure à 1 Ω/carré. La charge résistive et la piste de couplage peuvent être espacées l’une de l’autre suivant un axe orthogonal au substrat de lecture d’au plus 5 µm. L’antenne de collection peut comporter une partie latérale de collection, raccordée à la piste de couplage et s’étendant à partir de celle-ci dans une zone non surplombée par la membrane suspendue. La partie latérale de collection peut comporter au moins deux motifs distincts, raccordés chacun à la piste de couplage, et adaptés à collecter le rayonnement électromagnétique à détecter selon des polarisations orthogonales entre elles. Les deux motifs peuvent être raccordés, l’un au niveau d’une extrémité longitudinale de la piste de couplage, et l’autre au niveau de l’extrémité longitudinale opposée. Le détecteur thermique peut comporter une couche diélectrique reposant sur le substrat de lecture, l’antenne de collection reposant sur la couche diélectrique, la membrane suspendue étant espacée de l’antenne de collection par des piliers d’ancrage réalisés en au moins un matériau électriquement conducteur. L’antenne de collection peut être assemblée à un support s’étendant au-dessus et à distance de la membrane suspendue. La piste de couplage et la partie latérale de collection peuvent s’étendre sur le support de manière coplanaire. La partie latérale de collection peut s’étendre sur le support, et la piste de couplage peut être espacée du support en direction de la membrane suspendue et être raccordée à la partie latérale de collection par des piliers de maintien. Le détecteur thermique peut comporter une première antenne de collection reposant sur une couche diélectrique reposant sur le substrat de lecture, et une deuxième antenne de collection assemblée à un support s’étendant au-dessus et à distance de la membrane suspendue, les deux antennes de collection étant couplées à la charge résistive par couplage inductif. Le détecteur thermique peut être adapté à détecter un rayonnement électromagnétique térahertz dont la gamme spectrale est comprise entre 0.3 et 3THz. Le substrat de lecture peut être réalisé à base de silicium. D'autres aspects, buts, avantages et caractéristiques de l’invention apparaîtront mieux à la lecture de la description détaillée suivante de formes de réalisation préférées de celle-ci, donnée à titre d'exemple non limitatif, et faite en référence aux dessins annexés sur lesquels : les figures 1A à 1C sont des vues schématiques et partielles d’un détecteur thermique selon un mode de réalisation, respectivement en perspective ( ), en perspective et en éclaté ( ), et en coupe transversale ( ) ; les figures 2A et 2B sont des vues de dessus, schématiques et partielles, de la piste de couplage de l’antenne de collection et de la charge résistive, selon deux variantes de réalisation, dans lesquelles la charge résistive est une piste continûment résistive ( ) ou est une piste localement résistive formée de portions résistives reliées entre elles par des portions conductrices ( ) ; la est une vue en perspective, schématique et partielle, d’une piste de couplage de l’antenne de collection et de la charge résistive selon une variante de réalisation, et la illustre un schéma électrique équivalent ; les figures 4A à 4C sont des vues de dessus, schématiques et partielles, d’une antenne de couplage selon différentes variantes de réalisation ; les figures 5A à 5C sont des vues schématiques et partielles, en coupe transversale, d’un détecteur thermique selon différentes variantes de réalisation dans lesquelles une antenne de couplage est située à distance et au-dessus de la membrane suspendue. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Sur les figures et dans la suite de la description, les mêmes références représentent les éléments identiques ou similaires. De plus, les différents éléments ne sont pas représentés à l’échelle de manière à privilégier la clarté des figures. Par ailleurs, les différents modes de réalisation et variantes ne sont pas exclusifs les uns des autres et peuvent être combinés entre eux. Sauf indication contraire, les termes « sensiblement », « environ », « de l’ordre de » signifient à 10% près, et de préférence à 5% près. Par ailleurs, les termes « compris entre … et … » et équivalents signifient que les bornes sont incluses, sauf mention contraire. L’invention porte d’une manière générale sur un détecteur thermique à antenne (et sur une matrice de détecteurs thermiques) adapté à détecter un rayonnement électromagnétique, en particulier dans la gamme térahertz dont la longueur d’onde est comprise entre 0.1mm et 1mm environ (gamme spectrale comprise entre 0.3 et 3THz environ). Il peut également être adapté à détecter un rayonnement infrarouge, par exemple dans la gamme LWIR ( Long Wavelength Infrared , en anglais) dont la longueur d’onde est comprise entre 8µm et 14µm environ. Le détecteur thermique est du type des détecteurs thermiques à antenne, c’est-à-dire qu’il comporte une antenne de collection adaptée à collecter le rayonnement électromagnétique à détecter. Il comporte également une charge résistive disposée dans une membrane suspendue, la charge résistive étant couplée thermiquement au transducteur thermométrique (i.e. en contact thermique). Dans le cadre de l’invention, la charge résistive est formée d’une piste s’étendant longitudinalement en forme de boucle continue fermée. De plus, l’antenne de collection, située à distance de la membrane suspendue, comporte une piste dite de couplage, située à la perpendiculaire de la charge résistive et s’étendant longitudinalement en forme de boucle continue ouverte, autorisant ainsi un couplage inductif entre la piste de couplage et la charge résistive. Par piste, on entend une couche mince en forme de bande, c’est-à-dire dont la longueur est supérieure à la largeur. La piste étant une couche mince, son épaisseur est inférieure à sa longueur et à sa largeur. La piste de la charge résistive s’étend longitudinalement en forme de boucle continue fermée, dans le sens où elle s’étend en étant fermée sur elle-même. En revanche, la piste de couplage de l’antenne de collection présente une forme de boucle continue ouverte dans le sens où elle n’est pas fermée sur elle-même : les charges électriques peuvent y circuler en faisant des allers-retours entre ses deux extrémités longitudinales opposées (courant électrique alternatif). Ainsi, par le fait que l’antenne de collection est située à distance de la membrane suspendue, et est couplée à la charge résistive de manière inductive, la membrane suspendue présente une capacité thermique réduite et donc une constante de temps thermique diminuée. Les performances du détecteur thermique sont donc améliorées. De plus, l’antenne de collection n’étant pas située dans la membrane suspendue, on améliore la tenue mécanique et la fiabilité de cette dernière, et on simplifie le procédé de fabrication du détecteur thermique. Notons ici que l’invention s’applique aux différents types de transducteurs thermométriques. Ainsi, le transducteur thermométrique, qui est un élément présentant une propriété électrique variant avec son échauffement, peut être un matériau thermistance réalisé par exemple en silicium amorphe ou à base d’oxyde de vanadium ou de titane, ou peut être une capacité formée par un matériau pyroélectrique ou ferroélectrique, une diode (jonction pn ou pin), voire un transistor à effet de champ et à structure métal - oxyde - semiconducteur (MOSFET). Les figures 1A à 1C sont des vues schématiques et partielles d’un détecteur thermique 1 à antenne selon un mode de réalisation, en perspective ( ), en perspective et en éclaté ( ) et en coupe transversale ( ). La est une vue selon une ligne de coupe permettant de mettre en évidence différents éléments du détecteur thermique 1. On définit ici et pour la suite de la description un repère direct tridimensionnel XYZ, où le plan XY est sensiblement parallèle au plan du substrat de lecture 10, l’axe Z étant orienté suivant une direction sensiblement orthogonale au plan du substrat de lecture 10 en direction de la membrane suspendue 20. Les termes « inférieur » et « supérieur » s’entendent comme étant relatifs à un positionnement croissant lorsqu’on s’éloigne du substrat de lecture 10 suivant la direction +Z. Le détecteur thermique 1 est ici adapté à détecter un rayonnement térahertz dont la longueur d’onde est comprise entre 0.1mm et 1mm environ. Il peut appartenir à une matrice de détecteurs thermiques identiques agencés mutuellement suivant un pas de l’ordre par exemple de 50µm. Est représenté ici uniquement l’un des pixels de détection de la matrice de détecteurs thermiques. Le détecteur thermique 1 comporte un substrat 10 avantageusement fonctionnalisé, dit substrat de lecture, réalisé dans cet exemple à base de silicium, comportant un circuit de lecture 12 permettant la commande et la lecture des détecteurs thermiques. Le circuit de lecture 12 se présente ici sous la forme d’un circuit intégré CMOS situé dans un substrat support. Il comporte des portions de lignes conductrices, par exemple métalliques, séparées les unes des autres par un matériau diélectrique, par exemple un matériau minéral à base de silicium tel qu’un oxyde de silicium SiO x , un nitrure de silicium SiN x , ou leurs alliages. Il peut également comporter des éléments électroniques actifs (non représentés), par exemple des diodes, transistors, ou des éléments électroniques passifs, par exemple des condensateurs, résistances…, connectés par des interconnexions électriques au détecteur thermique 1 d’une part, et à un plot de connexion (non représenté) d’autre part, ce dernier étant destiné à connecter le détecteur thermique 1 à un dispositif électronique externe. Le détecteur thermique 1 comporte un réflecteur 13, réalisé en au moins un matériau réfléchissant vis-à-vis du rayonnement térahertz à détecter. Il repose ici sur la face supérieure du substrat de lecture 10, mais peut être espacé de celle-ci d’une distance non nulle. En variante, il peut être formé d’une portion de la ligne conductrice du dernier niveau d’interconnexion électrique du circuit intégré CMOS, et donc être situé dans le substrat de lecture 10. Le substrat de lecture 10 et le réflecteur 13 sont ici recouverts par une couche diélectrique 14 réalisée en un matériau électriquement isolant, comme un oxyde de silicium. Cette couche diélectrique 14 est facultative, mais permet d’adapter la hauteur d’une cavité quart d’onde formée entre le réflecteur 13 et l’antenne de collection 16. Son épaisseur est ici sensiblement égale à λ/4n où λ est une longueur d’onde de référence du rayonnement térahertz à détecter et où n est l’indice de réfraction de la couche diélectrique 14. Le détecteur thermique 1 comporte des piliers de connexion 15, réalisés en un matériau électriquement conducteur, qui traversent la couche diélectrique 14 et assurent la connexion électrique entre des piliers d’ancrage 17 et le circuit de lecture 12. Le détecteur thermique 1 comporte une antenne de collection 16 adaptée à collecter le rayonnement térahertz à détecter. Elle est située à distance de la membrane suspendue 20 et est couplée à la charge résistive 25 par couplage inductif. Dans cet exemple, l’antenne de détection repose sur le substrat de lecture 10, ici sur la couche diélectrique 14, mais d’autres configurations sont possibles comme décrit plus loin. Elle est espacée du réflecteur 13 d’une distance permettant d’optimiser son absorption du rayonnement térahertz à détecter. L’antenne de détection est réalisée en un matériau métallique de faible résistivité électrique afin de limiter les pertes par effet Joule, et présente de préférence une résistance de couche inférieure ou égale à 1 Ω/carré et une épaisseur comprise par exemple entre 200 et 400nm. Elle peut être réalisée en aluminium, en cuivre et en leurs alliages, entre autres. L’antenne de collection 16 est formée d’une piste centrale 16.1 dite de couplage, adaptée à assurer le couplage inductif avec la charge résistive 25, et une partie latérale 16.2 dite de collection adaptée à absorber une partie importante du rayonnement térahertz incident. La piste de couplage 16.1 et la partie latérale de collection 16.2 sont réalisées d’un seul tenant (i.e. de manière continue, sans discontinuité de matière entre elles), et ici en un même matériau métallique de faible résistivité électrique. La piste de couplage 16.1 est située à la perpendiculaire de la piste de la charge résistive 25 (s’étend longitudinalement dans le plan XY en forme de boucle continue ouverte) et s’étend longitudinalement dans le plan XY en forme de boucle continue ouverte (anneau ouvert). Elle présente donc une forme, dans le plan XY, qui est corrélée à celle de la charge résistive 25, de sorte que la circulation des charges électriques dans la piste de couplage 16.1 et celle dans la piste de la charge résistive 25 soient sensiblement parallèles entre elles, améliorant ainsi le coefficient de couplage entre les deux pistes 16.1, 25. La piste de couplage 16.1 et la piste de la charge résistive 25 peuvent présenter une forme, dans le plan XY, circulaire, ovale ou polygonale (ici rectangulaire). La piste de couplage 16.1 est donc une bande, c’est-à-dire une couche mince dont la longueur est supérieure à sa largeur, qui est continue dans la mesure où elle n’est pas formée de sections distinctes avec une discontinuité de matière entre ces sections. La piste de couplage 16.1 s’étend en forme, dans le plan XY, de boucle ouverte, dans le sens où elle n’est pas fermée sur elle-même : les charges électriques peuvent y circuler en faisant des allers-retours entre ses deux extrémités opposées (courant électrique alternatif). Elle s’étend sur toute sa longueur à la perpendiculaire de la charge résistive 25. Sa largeur peut être supérieure, sensiblement égale, ou inférieure à celle de la piste de la charge résistive 25. Par ailleurs, elle présente une longueur, dans une zone centrale située à la perpendiculaire de la membrane suspendue 20, qui est au moins égale à 50% mais évidemment inférieure à 100% de la longueur de la piste de la charge résistive 25 (puisque la piste de couplage 16.1 est en forme de boucle ouverte). La partie latérale de collection 16.2 est adaptée à optimiser la collection du rayonnement térahertz à détecter. De plus, elle est raccordée continûment à la piste de couplage 16.1. Ainsi, pour maximiser la collection du rayonnement incident, elle s’étend dans le plan XY à partir de la piste de couplage 16.1 sur une surface du pixel de détection qui n’est pas surplombée par la membrane suspendue 20. Elle comporte au moins deux motifs similaires ou identiques adaptés à optimiser la collection du rayonnement incident à détecter, par exemple selon les différentes composantes de sa polarisation. Ces motifs sont avantageusement raccordés l’un au niveau d’une extrémité longitudinale de la piste de couplage, et l’autre au niveau de l’extrémité longitudinale opposée. Comme l’illustre en détail la , la partie latérale de collection 16.2 est formée de quatre motifs de type papillon disposés deux à deux de manière symétrique de part et d’autre de la piste de couplage 16.1. Les motifs sont distincts entre eux de manière à ne pas court-circuiter le courant électrique circulant dans la piste de couplage 16.1. Dans cet exemple, les motifs papillons présentent une forme globale triangulaire dans le plan XY, dont la largeur augmente à mesure que l’on s’éloigne de la piste de couplage 16.1. Ainsi, une large surface des motifs papillons est située dans une zone non surplombée par la membrane suspendue 20, améliorant ainsi la collection du rayonnement incident à détecter. D’autres formes globales sont possibles dont certaines sont détaillées par la suite. Le détecteur thermique 1 comporte une membrane thermométrique 20, suspendue au-dessus du substrat de lecture 10 et ici de la couche diélectrique 14 par des piliers d’ancrage 17, et isolée de celui-ci par des bras d’isolation thermique 18. Les piliers d’ancrage 17 et les bras d’isolation thermique 18 assurent également la connexion électrique de la portion thermistance 23 au circuit de lecture 12 (ici via les piliers de connexion 15). Les piliers d’ancrage 17 sont réalisés en au moins un matériau électriquement conducteur, et sont connectés électriquement aux piliers de connexion 15 sous-jacents (et s’étendent ici à la verticale de ces derniers). Les bras d’isolation thermique 18 comportent une couche réalisée en au moins un matériau électriquement conducteur, qui s’étend des piliers d’ancrage 17 jusqu’à la membrane suspendue 20, et forme une électrode de polarisation de la portion thermistance 23. La membrane suspendue 20 comporte un transducteur thermométrique, ici une portion thermistance 23, connecté électriquement au circuit de lecture 12 par les électrodes de polarisation 22. Il repose sur une couche inférieure diélectrique 21 et est au contact des électrodes de polarisation 22. Il est recouvert par une couche intermédiaire diélectrique 24. La charge résistive 25 repose ici sur la couche intermédiaire diélectrique 24, et est revêtue par une couche supérieure de protection 26. D’autres agencements de ces éléments sont bien entendu possibles. La charge résistive 25 est adaptée à dissiper de la chaleur par effet Joule lorsqu’elle est parcourue par un courant électrique. Elle est agencée dans la membrane suspendue 20 de manière à être en contact thermique avec la portion thermistance 23 (couplage thermique), de sorte que la chaleur dissipée par effet Joule conduise à une augmentation de la température de la portion thermistance 23. Elle est ici espacée et électriquement isolée de la portion thermistance 23 par la couche intermédiaire diélectrique 24, qui peut être réalisée par exemple en un oxyde ou nitrure de silicium et peut présenter une épaisseur par exemple de l’ordre de 10nm environ. Cependant, d’autres agencements de la charge résistive 25 vis-à-vis de la portion thermistance 23 sont possibles. Elle peut ainsi être située sous la portion thermistance 23. La charge résistive 25 est une piste qui s’étend dans le plan XY en forme de boucle continue fermée. Elle s’étend donc longitudinalement en étant refermée sur elle-même. Elle est située à la verticale de la piste de couplage 16.1 de l’antenne de collection 16 de manière à optimiser le coefficient de couplage entre les deux pistes 16.1, 25. La charge résistive 25 comporte au moins une portion résistive présentant une résistance de couche supérieure ou égale à 1 Ω/carré, et de préférence comprise entre 1 Ω/carré et 10 Ω/carré de manière à optimiser le couplage inductif et donc la dissipation par effet Joule. Dans une configuration dite continue ( ), la charge résistive 25 est une piste continûment résistive formée par la portion résistive seule. La charge résistive 25 présente alors, sur toute sa longueur, la résistance de couche avantageusement comprise entre 1 Ω/carré et 10 Ω/carré. Dans une configuration dite localisée ( ), la charge résistive 25 comporte au moins la portion résistive 25.1 dont la résistance de couche est avantageusement comprise entre 1 Ω/carré et 10 Ω/carré et au moins une portion conductrice 25.2 dont la résistance de couche est inférieure à 1 Ω/carré. La portion résistive de la charge résistive 25 peut être réalisée par exemple en niobium, voire en titane, en nitrure de titane, voire en leurs alliages. Elle présente une épaisseur par exemple comprise entre 20nm et 200nm environ, voire moins en fonction du matériau. Par ailleurs, la charge résistive 25 est espacée de la piste de couplage 16.1 suivant l’axe Z d’une distance d’au plus 5µm. Notons que la charge résistive 25 présente une résistance de couche bien inférieure à celle des électrodes 22. Ainsi, la résistance de couche de la charge résistive 25 est de préférence de l’ordre de 1 à 10 Ω/carré pour optimiser le couplage inductif, alors que celle des électrodes 22 peut être de l’ordre de 200 Ω/carré de manière à limiter la conduction thermique. Les figures 2A et 2B sont des vues de dessus, schématiques et partielles, de la charge résistive 25 et de la piste de couplage 16.1 de l’antenne de collection 16, selon deux variantes de réalisation. Dans l’exemple de la , la charge résistive 25 présente une configuration dite continue (piste continûment résistive), dans la mesure où la piste est réalisée, sur toute sa longueur, en au moins un métal de haute résistivité électrique (résistance de couche supérieure ou égale à 1 Ω/carré). Par ailleurs, dans cet exemple, elle s’étend dans le plan XY en boucle continue fermée qui présente une forme rectangulaire. La piste de couplage 16.1 présente ici une largeur supérieure à celle de la piste de couplage 16.1 et s’étend sur toute sa longueur à la perpendiculaire de la piste de la charge résistive 25. Dans l’exemple de la , la charge résistive 25 présente une configuration dite localisée (piste localement résistive), dans la mesure où elle comporte au moins une portion résistive, ici quatre portions résistives 25.1, réalisée en au moins un métal de haute résistivité électrique (résistance de couche supérieure ou égale à 1 Ω/carré et de préférence comprise entre 1 et 10 Ω/carré), par exemple du TiN d’une épaisseur de 7 à 20nm, et des portions conductrices 25.2 réalisées en au moins un métal de faible résistivité électrique (résistance de couche inférieure à 1 Ω/carré), par exemple de l’aluminium, qui relient entre elles les portions résistives 25.1. Ainsi, la piste de la charge résistive 25 présente effectivement une forme de boucle continue fermée. Par ailleurs, dans cet exemple, les pistes 16.1, 25 s’étendent dans le plan XY en forme d’ovale. Ainsi, en fonctionnement, le rayonnement électromagnétique à détecter est collecté par l’antenne de collection 16 et en particulier par la partie latérale de collection 16.2 raccordée à la piste de couplage 16.1. Le courant électrique alternatif induit dans la piste de couplage 16.1 génère un champ magnétique orienté de manière orthogonale au plan XY. Par couplage inductif, ce champ magnétique génère un courant électrique dans la piste en forme de boucle fermée de la charge résistive 25. Cette puissance électromagnétique reçue par la charge résistive 25 est alors convertie en puissance calorifique qui est transmise par dissipation par effet Joule à la portion thermistance 23 et provoque ainsi son échauffement. Notons que le couplage entre la piste de couplage 16.1 et la charge résistive 25 est ici de type inductif du fait de l’agencement relatif et de la forme de ces dernières, mais cela n’exclue pas qu’il puisse également comporter une contribution capacitive. Un tel détecteur thermique 1 présente alors des performances améliorées par rapport à celles d’un détecteur thermique 1 à antenne et couplage capacitif. En effet, la membrane suspendue 20 ne comporte pas de parties métalliques de grande surface (ailettes de couplage capacitif, antenne d’absorption… comme décrit dans le document de l’art antérieur mentionné précédemment), ce qui réduit sa capacité thermique, et donc améliore la constante de temps thermique du détecteur thermique 1 selon l’invention. De plus, dans la mesure où il n’est pas nécessaire de réaliser des parties métalliques de grande surface dans la membrane suspendue 20, le procédé de fabrication est simplifié. Enfin, la membrane suspendue 20 présente une meilleure tenue mécanique puisque sa masse est réduite et qu’il n’y a pas de parties en saillie dans le plan XY. Par ailleurs, le détecteur thermique 1 présente une sensibilité améliorée à taille de pixel identique, dans la mesure où l’antenne de collection 16 peut résonner à une plus grande longueur d’onde que dans les détecteurs thermiques à antenne de l’art antérieur (notamment EP2246677A1 et US6329655B1). Ceci est en effet obtenu par la piste de couplage 16.1 en forme de boucle ouverte qui assure le raccord entre les motifs de la partie latérale de couplage 16.2, ces motifs étant avantageusement raccordés à la piste 16.1 au niveau de ses extrémités longitudinales opposées. La distance maximale de parcours des charges électriques entre les deux extrémités les plus éloignées de l’antenne de collection 16 est augmentée. Le détecteur thermique peut alors ici détecter des rayonnements sub-térahertz, par exemple à 750GHz ou à 500GHz. A titre d’exemple, le détecteur thermique 1 illustré sur la appartient à un pixel d’une matrice de détection, qui présente une dimension latérale de 50µm environ. La couche diélectrique 14 peut être un oxyde de silicium d’une épaisseur de 11µm environ. La membrane suspendue 20 peut être espacée de l’antenne de collection 16 d’une distance de 1 à 3µm environ, typiquement de l’ordre du dixième de la plus grande dimension de la piste de la charge résistive 25. Dans cet exemple, cette dernière présente une forme rectangulaire de côté 28×20µm. La simulation de ce détecteur thermique 1 par un logiciel de simulation tel que Ansys® HFSS montre que le taux d’absorption est de l’ordre de 26% pour un rayonnement électromagnétique incident à 540GHz en polarisation linéaire orientée suivant une diagonale du pixel de détection. De plus, un tel détecteur thermique 1 à antenne selon l’invention peut présenter des performances telles qu’une importante proportion de la puissance électromagnétique collectée par l’antenne de collection 16 est convertie en puissance calorifique par la charge résistive 25 et dissipée dans le transducteur thermométrique 23. A ce titre, la est une vue en perspective, schématique et partielle, d’une piste de la charge résistive 25 en configuration continue (piste continûment résistive) située à la verticale d’une piste de couplage 16.1 de l’antenne de collection 16. La illustre un schéma électrique équivalent à ces deux pistes 16.1, 25 couplées de manière inductive. Dans cet exemple, les deux pistes 16.1, 25 forment des boucles continues carrées dans le plan XY, de dimensions externes 20µm×20µm, d’une largeur de 2µm et d’une épaisseur de 350nm, espacées l’une de l’autre suivant l’axe Z de 2µm. La piste de couplage 16.1 est ouverte et est connectée à un générateur d’un courant électrique alternatif équivalent à la collection d’un rayonnement électromagnétique à 750GHz, et la piste de la charge résistive 25 présente une résistance de couche de 5 Ω/carré. Le schéma électrique équivalent comporte deux circuits électriques comportant des bobines d’inductances propres L 1 , L 2 . Le circuit 1 correspond à la piste de couplage 16.1 et est connecté à un générateur électrique, et le circuit 2 est connectée à une charge résistive. Ce schéma électrique est simplifié et chaque circuit électrique peut être notamment complété par une résistance en série avec l’inductance et caractérisant sa résistance interne, et par une capacité connectée en parallèle avec la résistance et l’inductance. Les deux bobines sont couplées l’une à l’autre de manière inductive, ce couplage étant caractérisé par l’inductance mutuelle M et par un coefficient de couplage k tel que . Le modèle électrique équivalent s’écrit ici : On simule le comportement de ces deux pistes couplées l’une à l’autre de manière inductive au moyen d’un logiciel de simulation de champ électromagnétique, tel que le logiciel Ansys® HFSS. Dans le cas de l’injection d’un courant électrique alternatif au port 1 correspondant à une fréquence de 750GHz, le bilan de puissance indique que pour 100% de puissance délivrée au port 1, 58% de la puissance délivrée est réfléchie et 42% de la puissance délivrée est effectivement collectée. La puissance réfléchie provient d’un défaut de l’adaptation d’impédance du port 1 et pourra être réduite en optimisant l’impédance du port 1. Ensuite, 9% de la puissance délivrée est dissipée par effet Joule dans la piste de couplage 16.1 et 9% est également dissipée dans la piste résistive, et 24% est transmise au port 2 par couplage inductif et pourra être dissipée. Aussi, la puissance totale dissipée par effet Joule par la piste résistive est de 33% de la puissance initiale délivrée (9% + 24%). Il apparaît donc que le couplage inductif entre les deux pistes 16.1, 25 du détecteur thermique 1 permet de transmettre et de convertir une part importante de la puissance électromagnétique collectée par l’antenne de collection 16 d’un tel détecteur thermique 1. Des modes de réalisation particuliers viennent d’être décrits. Différentes variantes et modifications apparaîtront à l’homme du métier. Les figures 4A à 4C sont des vues de dessus, schématiques et partielles, d’une antenne de collection 16 d’un détecteur thermique 1 selon différentes variantes de réalisation. D’autres formes sont bien entendu possibles. Dans l’exemple de la , l’antenne de collection 16 comporte une piste de couplage 16.1 en forme de U, et une partie latérale de collection 16.2 formée de quatre motifs identiques. Chaque motif s’étend à partir d’un coin ou d’une extrémité de la piste de couplage 16.1, et présente une forme sensiblement triangulaire. Ainsi, des pistes s’étendent autour des piliers d’ancrage 17 et le long de la bordure du pixel de détection. Dans l’exemple de la , l’antenne de collection 16 comporte également une piste de couplage 16.1 en forme de U, et une partie latérale de collection formée de deux motifs identiques. Chaque motif s’étend à partir d’un coin ou d’une extrémité de la piste de couplage 16.1, et est formé d’une piste qui contourne un pilier d’ancrage et s’étend le long de plusieurs côtés du pixel de détection. Dans l’exemple de la , l’antenne de collection 16 comporte également une piste de couplage 16.1 présentant deux bandes orthogonales l’une à l’autre, et une partie latérale de collection 16.2 formée de deux pistes qui s’étendent chacune le long d’un côté du pixel de détection considéré, et le long de côté de pixels de détection adjacents. Les figures 5A à 5C sont des vues schématiques et partielles, en coupe transversale, d’un détecteur thermique 1 selon différentes variantes de réalisation, qui diffèrent entre elles par l’agencement de l’antenne de collection vis-à-vis du substrat de lecture 10. D’autres formes sont bien entendu possibles. Dans l’exemple de la , l’antenne de collection ne repose pas sur le substrat de lecture 10, mais est assemblée et maintenue au-dessus de la membrane suspendue 20 par un support 2 qui peut assurer également l’encapsulation du détecteur thermique 1 ou de la matrice de détecteurs thermiques dans une cavité sous vide ou à pression réduite. Dans cet exemple, l’antenne de collection 16 étant davantage éloignée du réflecteur 13 que dans le cas de la , la couche diélectrique 14 peut être omise. Ici, la piste de couplage 16.1 et la partie latérale de collection 16.2 s’étendent de manière coplanaire sur le support 2. Dans l’exemple de la , l’antenne de collection 16 est également assemblée à un support 2 qui la maintient au-dessus de la membrane absorbante. Elle comporte une partie latérale de collection 16.2 qui s’étend sur le support 2, et une piste de couplage 16.1 espacée du support 2 en direction de la membrane 20 et connectée à la partie latérale de collection 16.2 par des piliers de maintien 16.3 réalisés en un matériau métallique. Dans l’exemple de la , le détecteur thermique 1 comporte deux antennes de collection 16a, 16b, une antenne inférieure 16a qui repose sur le substrat de lecture 10, sous la membrane suspendue 20, et une antenne supérieure 16b assemblée à un support 2 qui la maintient au-dessus de la membrane suspendue 20. Les deux antennes de collection 16a, 16b sont couplées de manière inductive à la charge résistive 25. Détecteur thermique (1) d’un rayonnement électromagnétique, comportant : un substrat de lecture (10), comportant un circuit de lecture (12) ; une membrane suspendue (20) au-dessus et isolée thermiquement du substrat de lecture (10), comportant : un transducteur thermométrique (23), connecté électriquement au circuit de lecture (12), une charge résistive (25), en contact thermique avec le transducteur thermométrique (23), adaptée à convertir en puissance calorifique de la puissance électromagnétique reçue d’une antenne de collection (16) ; l’antenne de collection (16), adaptée à collecter le rayonnement électromagnétique à détecter, située à distance de la membrane suspendue (20), et couplée à la charge résistive (25) pour lui transmettre une puissance électromagnétique ; caractérisé en ce que : la charge résistive (25) est formée d’une piste qui s’étend longitudinalement en forme de boucle continue fermée ; l’antenne de collection (16) comporte une piste dite de couplage (16.1), située à la perpendiculaire de la charge résistive (25) et s’étendant longitudinalement en forme de boucle continue ouverte, autorisant ainsi un couplage inductif entre la piste de couplage (16.1) et la charge résistive (25). Détecteur thermique (1) selon la revendication 1, dans lequel la charge résistive (25) comporte au moins une portion résistive présentant une résistance de couche supérieure ou égale à 1 Ω/carré. Détecteur thermique (1) selon la revendication 2, dans lequel ladite au moins une portion résistive de la charge résistive (25) présente une résistance de couche comprise entre 1 Ω/carré et 10 Ω/carré. Détecteur thermique (1) selon la revendication 2 ou 3, dans lequel la charge résistive (25) est une piste continûment résistive formée par la portion résistive seule, ou est une piste localement résistive formée de ladite au moins une portion résistive (25.1), et d’au moins une portion conductrice (25.2) présentant une résistance de couche inférieure à 1 Ω/carré. Détecteur thermique (1) selon l’une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel la charge résistive (25) et la piste de couplage (16.1) sont espacées l’une de l’autre suivant un axe orthogonal au substrat de lecture (10) d’au plus 5 µm. Détecteur thermique (1) selon l’une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel l’antenne de collection (16) comporte une partie latérale de collection (16.2), raccordée à la piste de couplage (16.1) et s’étendant à partir de celle-ci dans une zone non surplombée par la membrane suspendue (20). Détecteur thermique (1) selon la revendication 6, dans lequel la partie latérale de collection (16.2) comporte au moins deux motifs distincts, raccordés chacun à la piste de couplage, et adaptés à collecter le rayonnement électromagnétique à détecter selon des polarisations orthogonales entre elles. Détecteur thermique (1) selon la revendication 7, dans lequel les deux motifs sont raccordés, l’un au niveau d’une extrémité longitudinale de la piste de couplage, et l’autre au niveau de l’extrémité longitudinale opposée. Détecteur thermique (1) selon l’une quelconque des revendications 1 à 8, comportant une couche diélectrique (14) reposant sur le substrat de lecture (10), l’antenne de collection (16) reposant sur la couche diélectrique (14), la membrane suspendue (20) étant espacée de l’antenne de collection (16) par des piliers d’ancrage (17) réalisés en au moins un matériau électriquement conducteur. Détecteur thermique (1) selon l’une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel l’antenne de collection (16) est assemblée à un support (2) s’étendant au-dessus et à distance de la membrane suspendue (20). Détecteur thermique (1) selon la revendication 10, dans lequel la piste de couplage (16.1) et la partie latérale de collection (16.2) s’étendent sur le support (2) de manière coplanaire. Détecteur thermique (1) selon la revendication 10, dans lequel la partie latérale de collection (16.2) s’étend sur le support (2), et la piste de couplage (16.1) est espacée du support (2) en direction de la membrane suspendue (20) et est raccordée à la partie latérale de collection par des piliers de maintien (16.3). Détecteur thermique (1) selon l’une quelconque des revendications 1 à 12, comportant ladite antenne de collection (16a), dite première antenne de collection, reposant sur une couche diélectrique (14) reposant sur le substrat de lecture (10), et une deuxième antenne de collection (16b) assemblée à un support (2) s’étendant au-dessus et à distance de la membrane suspendue (20), les deux antennes de collection (16a, 16b) étant couplées à la charge résistive (25) par couplage inductif. Détecteur thermique (1) selon l’une quelconque des revendications 1 à 13, adapté à détecter un rayonnement électromagnétique térahertz dont la gamme spectrale est comprise entre 0.3 et 3THz. Détecteur thermique (1) selon l’une quelconque des revendications 1 à 14, dans lequel le substrat de lecture (10) est réalisé à base de silicium.