Brevet FR3123980A1 — publié le 20221216

L’invention concerne une puce atomique (Ach) pour capteur à atomes ultrafroids, la puce atomique comprenant : -une première paire de guides d’ondes, -une deuxième paire de guides d’ondes les projections des guides selon X et des guides selon Y’ dans le plan XY formant à leur intersection un premier parallélogramme (P1) de centre O et présentant une première surface (S1), - un premier ruban (W1) conducteur et un deuxième ruban (W2) conducteur agencés de sorte que leur projection respective dans le plan XY forment à leur intersection un deuxième parallélogramme (P2) également de centre O et présentant une deuxième surface (S2), lesdits rubans étant adaptés à être traversés par des courants continus, - une intersection entre la première (S1) et la deuxième (S2) surface étant supérieure ou égale à 40% de la première surface (S1). Figure 4 Puce atomique à deux rubans conducteurs pour capteur inertiel à atomes ultrafoids et capteur associé DOMAINE DE L’INVENTION La présente invention concerne le domaine des capteurs inertiels à atomes ultrafroids. Plus particulièrement l’invention porte sur des puces et les capteurs associés permettant la mesure d’une vitesse angulaire selon un ou trois axes de mesure. ETAT DE LA TECHNIQUE Le document WO2017089489 décrit un capteur inertiel (gyroscope) à atomes ultrafroids sur puce utilisant des ondes de matière piégées décrivant des trajectoires fermées incluant une aire, dont la structure et le principe de fonctionnement sont rappelés ci-dessous. Les mesures de rotation sur ce type de dispositif sont effectuées en exploitant l’effet Sagnac. Le déphasage induit par effet Sagnac entre deux ondes de matière contrarotatives dans un référentiel tournant à la vitesse angulaire Ω, est donné par : (1) où A est l’aire inscrite dans les trajectoires atomiques, m la masse des atomes et ħ la constante de Planck réduite. On définit par atomes ultrafroids des atomes dont la température est inférieure à 400 nanokelvins, préférentiellement à 300 nanokelvins. La température d’atomes ultrafroids thermiques est, par exemple pour des atomes de Rubidium, comprise entre 50 et 400 nanokelvins et préférentiellement entre 100 et 300 nanokelvins. Le principe est de réaliser une trajectoire parcourue de manière contrapropagative par deux nuages d’atomes piégés magnétiquement. La réalisation et le déplacement du piège magnétique selon la trajectoire sont réalisés par des fils conducteurs et des guides microondes selon par exemple la topologie illustrée . La figure 1 illustre schématiquement une puce 1 à atomes ultrafroids 12 ainsi que la trajectoire 16 de deux nuages atomiques N1 et N2. Une partie de la surface de la puce 1 forme un plan de mesure 13. Un axe normal au plan de mesure 13 définit l’axe de mesure Z, selon lequel une mesure de rotation est réalisée par le gyromètre. La puce 1 comprend des moyens adaptés à générer un premier piège à atomes ultrafroids T1 et un deuxième piège à atomes ultrafroids T2, un piège permettant d’immobiliser un nuage d’atomes ultrafroids 12 dans un état interne différent de l’autre piège, à une distance prédéterminée h dudit plan de mesure 13. Par exemple le piège T1 comprend les atomes dans le niveau électronique ou état |a> (nuage N1) et le piège T2 comprend des atomes dans l’état |b> (nuage N2). Les niveaux |a> et |b> sont espacés d’une fréquence ω 0 /2π. Par exemple dans le cas du rubidium 87 il s’agit des deux niveaux hyperfins |F=1,m- F =-1> et |F=2,m- F =1>, espacés d’environ 6,8 GHz. Ces moyens permettent également de déplacer les nuages selon la trajectoire 16 localisée dans un plan parallèle au plan de mesure 13, à une hauteur h de ce plan, tel qu’illustré . Ces moyens sont constitués de guides d’onde et de fils conducteurs tels que décrits ci-dessous. Les moyens comprennent un premier guide d’onde CPW1 et un deuxième guide d’onde CPW2 adaptés à la propagation de micro-ondes à des pulsations ω a et ω b . Les guides d’onde sont parallèles et disposés symétriquement par rapport à un axe Y du plan de mesure. Les deux guides d’ondes CPW1 et CPW2 sont connectés à au moins un générateur de tension ou de courant à fréquences micro-ondes. Par exemple chacun des guides d’onde est réalisé par le dépôt de trois fils conducteurs parallèles pour réaliser un guide d’onde coplanaire. Dans d’autres réalisations on peut utiliser d’autres types de guides d’onde, en particulier des guides d’onde dont la fabrication est compatible avec les techniques de microfabrication par dépôt ou par gravure. On peut, par exemple, réaliser une ligne à microruban. Les moyens comprennent également des fils conducteurs intégrés à la puce 1 et adaptés à être traversés par des courants continus. Les fils conducteurs sont répartis en un fil conducteur WIz selon un axe de symétrie Y perpendiculaire à X et compris dans le plan de mesure 13, et en une pluralité de n fils conducteurs Wldi, i indice variant de 1 à n, parallèles entre eux et parallèles à l’axe X, n étant au moins égal à 2. Dans l’exemple de la n=3, soit trois fils conducteurs WId1, WId2 et WId3. Les fils sont agencés de manière à définir n points de croisement Ci (croisement entre WIz et Wldi) localisés sur l’axe Y, ici 3 points de croisement C1, C2, C3. Chaque fil conducteur est relié à un ou plusieurs générateurs de courant et/ou de tension, eux-mêmes reliés à une unité de traitement comportant au moins un microprocesseur. Les générateurs de tension et/ou de courant permettent de piloter aussi bien des courants continus que des courants alternatifs dans les fils. En particulier, des courants continus sont pilotés dans les fils conducteurs. Dans le capteur, la puce à atomes 1 est placée dans une enceinte à vide entretenu, par exemple, à l’aide d’une pompe ionique et comportant préférentiellement un blindage magnétique. L’enceinte à vide comporte une source d’atomes ultrafroids. La source d’atomes ultrafroids est définie par : -un émetteur d’atomes ( dispenser en anglais), par exemple réalisé par un filament chauffant délivrant une vapeur de rubidium ; -un piège primaire à atomes (optique et/ou magnétique), permettant de pré-refroidir et de disposer un nuage d’atomes ultrafroids au voisinage de la puce, pour charger en atomes les pièges magnétiques T1 et T2 décrits ultérieurement. L’enceinte à vide comporte également une source de champ magnétique, extérieure à la puce 1. Elle permet d’imposer un champ magnétique homogène et stationnaire 20 sur une épaisseur au moins de l’ordre d’une hauteur h au-dessus du plan de mesure 13. Avantageusement, la direction du champ magnétique homogène est parallèle au plan de mesure. Sur la la trajectoire 16 en pointillés illustre la trajectoire des nuages d’atomes ultrafroids 12. Cette trajectoire fermée définit une aire notée A. Une distance h sépare le plan de la trajectoire 16 et le plan de mesure 13 de la puce. Préférentiellement h est compris entre 500 nm et 1 mm, et préférentiellement entre 5 µm et 500 µm. La illustre la géométrie des guides et fils de la puce atomique ainsi que les pièges T1 et T2. La génération et principe de fonctionnement de ces pièges sont décrits dans la publication de Ammar et al « Symmetric microwave potential for interferometry with thermal atoms on a chip » Phys. Rev. A91, 053623 (2015). L’agencement spécifique des fils conducteurs et des guides d’ondes, associé à la source de champ magnétique homogène, permet d’obtenir aisément deux pièges T1 et T2 tels qu’illustrés dans la partie a) de la . Chaque piège T1 et T2 présente une valeur du minimum V0 non nulle et identique, et une courbure identique, condition nécessaire pour que le capteur fonctionne. En effet, comme expliqué plus loin, lorsqu’un courant continu est appliqué sur au moins deux fils conducteurs d’un point de croisement, le minimum de potentiel est localisé à la verticale de ce point de croisement. Lorsqu’ensuite une puissance hyperfréquence est envoyée dans les guides d’onde, le minimum central se transforme en deux minima de part et d’autre du minimum initial dans la direction des guides d‘onde. Si le minimum initial n’est pas situé strictement à égal distance des deux guides d’ondes, les deux minima de potentiels créés n’auront pas rigoureusement la même valeur du minimum V0 et la même courbure. La partie c) de la illustre la disposition des fils conducteurs définissant le point de croisement initial C1 et des guides d’ondes (vue de dessus). La partie b) de la décrit la disposition correspondante des fils conducteurs et des guides d’onde imprimés sur une puce en vue de profil, en coupe selon le fil conducteur WId1 qui croise le fil conducteur WIz selon l’axe de symétrie Y. Les guides d’onde CPW1 et CPW2 sont des guides d’onde coplanaires situés sur un premier niveau N1. La couche 18 isolante permet avantageusement d’aplanir le plan de mesure. Le matériau de la couche d’isolant électrique peut être par exemple du dioxyde de silicium, du nitrure de silicium ou benzocyclobutène. Un matériau conducteur est utilisé pour la fabrication des fils conducteurs, par exemple de l’or, et est déposé sur un substrat 15, formant un deuxième niveau N2. Le substrat peut être par exemple en silicium, en nitrure d’aluminium ou en carbure de silicium. On voit sur la partie a) la séparation symétrique d’atomes ultrafroids, spécifique à l’état interne desdits atomes ultrafroids, et plus précisément les variations de potentiels en fonction de l’axe X de la puce 1. La courbe « a » en noir présente un puits de potentiel correspondant à l’association du champ magnétique homogène et du champ créé par deux fils conducteurs sécants, le fil WIz parcouru par le courant I Z et le fil WId1 parcouru par le courant Id1. Il résulte un puits de potentiel local formant un piège atomique T selon trois dimensions, un piège magnétique DC. Un nuage d’atomes ultrafroids peut y être piégé et refroidis. La courbe « b » en pointillés gris clair présente de manière schématique le potentiel créé par la transmission de micro-ondes à la fréquence ω b dans le guide d’onde CPW1. Le champ émis par le passage de micro-ondes à la fréquence ω b permet de modifier l’énergie des atomes ultrafroids et de déplacer les atomes d’états internes |b>. La courbe « e » en trait continu gris clair illustre le potentiel vu par les états internes |b> dus aux contributions des potentiels illustrés par la courbe « a » et par la courbe « b ». La courbe « e » présente un minimum local de potentiel permettant de piéger localement un nuage d’atomes ultrafroids d’états internes |b>. Ainsi le champ microonde émis à ωb dans CPW1 « pousse » les atomes dans l’état |b> du côté opposé au guide d’onde CPW1. De manière similaire, la courbe « d » en pointillés gris foncé présente de manière schématique le potentiel créé par la transmission de micro-ondes à la fréquence ω a dans le guide d’onde CPW2. Le champ émis par le passage de micro-ondes à la fréquence ω a permet de modifier l’énergie des atomes ultrafroids et de déplacer les atomes d’états internes |a>. La courbe « c » en trait continu gris foncé illustre le potentiel vu par les atomes d’états internes |a> dû aux contributions des potentiels illustrés par la courbe « a » et par la courbe « d ». La courbe « c » présente un minimum local d’énergie permettant de piéger localement un nuage d’atomes ultrafroids d’états internes |a>. Ainsi le champ microonde émis à ωa dans CPW2 « pousse » les atomes dans l’état |a> du côté opposé au guide d’onde CPW2. L’association d’un piège magnétique DC (créé par les courants continus dans les fils et le champ homogène 20) et d’un champ micro-onde créé ce qu’on appelle un piège « habillé ». On entend par « habillé » un piège crée au moins en partie par un champ oscillant micro-onde, radio-fréquence ou optique. Les changements des champs micro-ondes (puissance, fréquence et guide dans lequel ils se propagent) permettent de déplacer ce piège habillé et donc de déplacer les atomes. Le piège magnétique DC est représenté sur la par la courbe a. Le champ micro-onde à ωa est représenté sur la par la courbe d et le champ micro-onde à ωb est représenté sur la par la courbe b. Le piège habillé T1 (association des courbes a et d pour l’état |a> est représenté par la courbe c et le piège habillé T2 (association des courbes a et b) pour l’état |b> est représenté par la courbe e. Les nuages d’atomes ultrafroids d’états internes |a> et |b> peuvent être séparés et piégés de manière symétrique par rapport à l’axe de symétrie Y en imposant simultanément la propagation d’ondes de fréquence ω a dans CPW2 et ω b dans CPW1. Pour obtenir deux pièges dont les minima sont de même valeur V0 et dont les courbures sont de même valeur, il est important que le point de croisement C1 soit disposé à égal distance de CPW1 et CPW2, sur l’axe de symétrie Y. La illustre le principe de génération de la trajectoire 16. La partie a) de la présente schématiquement une séquence du déplacement de chacun des nuages d’atomes ultrafroids à des temps caractéristiques t 0 à t 8 . La partie b) illustre de manière complémentaire une séquence des différents courants appliqués aux fils conducteurs, des puissances appliquées aux guides d’onde et des fréquences imposées aux guides d’onde, pour les temps correspondant à ceux de la partie a). Dans la séquence présentée dans la , le courant I z , non présenté, circulant dans WIz est stationnaire, à une valeur constante. Dans la partie b) les valeurs des courants, des puissances et des fréquences sont arbitraires. L’ordonnée δ fréquence correspond à une variation de fréquence exprimée en unité arbitraire, autour d’une valeur moyenne de la fréquence. Les courants parcourant les fils conducteurs peuvent être compris entre 100 µA et 10 A, et les pulsations injectées dans les guides d’onde peuvent être comprises entre 6,6 GHz et 7 GHz dans le cas de l’utilisation d’atomes de rubidium. Dans une étape A0 , il y a une phase de préparation des atomes. On génère un nuage d’atomes ultrafroids 12, incluant des phases d’émission desdits atomes, de refroidissement desdits atomes, d’initialisation desdits atomes dans au moins un état interne |a> et de piégeage d’un nuage de dits atomes ultrafroids dans un minimum local de potentiel, à une distance h du plan de mesure (piège T, courbe « a » de la partie a)). La hauteur h est différente de 0 car le champ magnétique homogène 20 est non nul. Le piégeage s’effectue par passage de courants continus dans le fil WIz et dans un des fils WIdi, le point de croisement de ces deux fils définissant le point de départ (ici C1 avec WId1). On applique en même temps un champ magnétique de biais 20 parallèle au plan de la puce atomique qui se superpose au champ magnétique créé par les deux fils précédents. Le nuage d’atomes est alors piégé à la verticale de C1, intersection des fils Wlz et Wld1. Dans une étape B0 on initialise les états internes en superposant de manière cohérente lesdits atomes ultrafroids entre ledit état |a> et un état interne |b> par une première impulsion π/2. Cette impulsion peut être réalisée par un laser, une émission micro-ondes, ou plus généralement par une méthode émettant des ondes à une fréquence de transition adaptée. Les courants I Z et I d1 sont imposés respectivement aux fils conducteurs WIz et WId1. Les deux états internes |a> et |b> sont superposés de manière cohérente et spatialement à l’aplomb du point de croisement C1. Cela correspond à l’instant t0, pour lequel les deux nuages sont dans un même piège T. La fonction d’onde est alors : (2) Dans une étape C0 on sépare spatialement un nuage d’atomes d’état interne |a> dans un piège T1 d’un nuage d’atomes d’état interne |b> dans un autre piège T2 et on déplace les pièges en sens opposé suivant une trajectoire fermée 16 contenue dans un plan perpendiculaire à l’axe de mesure Z. Le nuage d’atomes d’états internes |a> est symbolisé par un disque de texture foncée et le nuage d’atomes d’états internes |b> est symbolisé par un disque de texture plus claire. Cette étape est réalisée à partir de t 0 jusqu’à t 8 . Entre t 0 et t 1 la puissance micro-ondes injectée dans les guides d’onde CPW1 et CPW2, passe progressivement de 0 à sa valeur maximale. Une pulsation ω a est envoyée dans le guide d’onde CPW1 et une pulsation ω b est envoyée dans le guide d’onde CPW2, ce qui permet de séparer les deux nuages d’états internes différents de part et d’autre de l’axe de symétrie Y, d’une distance d, jusqu’aux positions schématisées dans t 1 Le piège T à atomes ultrafroids décrit précédemment à l’instant t 0 est alors transformé en deux pièges T1 et T2 à atomes ultrafroids, chaque piège permettant d’immobiliser un nuage d’atomes ultrafroids d’états internes différents de l’autre piège (en l’occurrence d’états internes |a> dans l’un des pièges, par exemple T1, et d’états internes |b> dans l’autre piège T2, comme décrit dans la partie a) de la . Un point de croisement Ci correspond au croisement du fil WIz avec le fil WIdi. Entre t 1 et t 2 le courant I d1 est progressivement coupé et I d2 est progressivement porté à sa valeur maximale (l’intervalle de temps séparant t 1 et t 2 est typiquement de l’ordre de 10 ms et peut être compris entre 0,1 ms et 100 ms : les deux pièges T1 et T2 sont déplacés vers la droite jusqu’aux positions schématisées dans t 2 Entre t 2 et t 3 le courant I d2 est progressivement coupé et I d3 est progressivement porté à sa valeur maximale : les deux pièges sont déplacés vers la droite jusqu’aux positions schématisées dans t 3 Entre t 3 et t 4 la puissance micro-onde est progressivement coupée : les deux pièges sont ramenés au même endroit de la puce, schématisé dans t 4 A t 4 les pulsations des deux guides micro-ondes sont modifiées : la pulsation ω b est imposée dans CPW1 et la pulsation ω a est imposée dans CPW2. Entre t 4 et t 5 la puissance dans les deux guides d’onde passe progressivement de 0 à sa valeur maximale : les pièges sont séparés dans la direction verticale comme schématisé dans la figure t 5 Entre t 5 et t 6 le courant I d3 est progressivement coupé et I d2 est progressivement porté à sa valeur maximale : les deux pièges T1 et T2 sont déplacés vers la gauche jusqu’aux positions schématisées dans t 6 Entre t 6 et t 7 le courant I d2 est progressivement coupé et I d1 est progressivement porté à sa valeur maximale : les deux pièges sont déplacés vers la gauche jusqu’aux positions schématisées dans t 7 Cette opération peut être répétée plusieurs fois avec d’autres premiers fils conducteurs pour augmenter l’aire incluse dans la trajectoire 16. Entre t 7 et t 8 la puissance micro-onde dans les guides d’onde est progressivement coupée. Les deux pièges T1 et T2 se déplacent jusqu’à fusionner en un seul piège se situant au point de départ schématisé en t 0 On applique ainsi des courants continus aux deux fils correspondant au point de croisement initial C1, et au cours du temps on applique successivement ces courants aux différents points de croisements Ci situés sur l’axe de symétrie, en appliquant simultanément une puissance microonde sur les guides d’ondes. Pendant l’étape C0 les courants continus appliqués aux différents fils WIdi varient continûment (augmentation et diminution) entre 0 et une valeur maximale Idimax (normalisée à 1 sur la ), tandis que le champ magnétique 20 et le courant I z restent constants pendant la séquence. Dans toute la séquence A0 , B0 et C0 les deux pièges T1 et T2 restent à l’altitude h. Les deux pièges T1 et T2 se déplacent dans le sens « d’allumage » des points de croisement : du point de croissement C1 vers le point de croisement Cn. Le retour s’effectue en inversant les fréquences microonde et en allument les courants continus successivement dans les fils correspondants aux différents points de croissement en les parcourant de Cn vers C1. On fait ainsi parcourir aux pièges la trajectoire fermée 16. La trajectoire fermée 16 des atomes contient alors une aire A, la fonction d’onde atomique est donc : (3) Avec : (4) Ω z est la vitesse de rotation angulaire suivant l’axe Z et ω 0 la pulsation correspondante à l’énergie de la transition électronique entre |a> et |b>. Dans une étape D0 on recombine les états internes |a> et |b> en appliquant aux atomes ultrafroids une deuxième impulsion π/2 qui transfert la différence de phase sur les populations des deux niveaux atomiques : (5) (6) où est la pulsation de l’impulsion . Les impulsions peuvent être envoyées aux atomes via les guides micro-ondes ou via un émetteur microonde séparé. Puis on mesure le nombre d’atomes dans un état interne choisi parmi au moins |a> et |b>. Cette mesure peut être effectuée par exemple par absorption laser en sondant la résonance entre la pulsation propre à un état interne et celle du laser. Enfin dans une étape E0 on déterminer la phase Sagnac des atomes ultrafroids et on calcule la vitesse de rotation du capteur selon l’axe Z. La mesure d’au moins une population d’atomes dans un des états |a> ou |b> permet de déterminer la phase Sagnac, par exemple pour l’état interne |a> en considérant l’équation (5), puis la vitesse de rotation Ω z avec l’équation (1). On dénomme « phase de libre évolution » la partie de la séquence d’interférométrie se situant entre les deux impulsions π/2 soit l’étape C0. On peut faire parcourir aux pièges cette trajectoire N fois avant de mesurer la phase Sagnac et ainsi mesurer une phase qui sera potentiellement N fois plus élevée. Ainsi la mesure s’effectue en déplaçant le minimum du champ magnétique contenant les deux pièges habillés (piège crée au moins en partie par le champ oscillant micro-onde) en variant les courants DC d’une certaine façon dans la matrice de fils présents sur la puce (allumage progressif et extinction progressive des fils DC en croix), de sorte que la plus grande aire possible soit obtenue. Afin de mettre en œuvre le procédé décrit plus haut le capteur à atomes ultrafroids permettant une mesure de vitesse de rotation Ω z comprend : -une puce atomique 1 telle que décrite précédemment, avec les guides d’onde et les fils conducteurs, -une source d’atomes pour générer le nuage d’atomes ultrafroids près du plan de mesure 13 de la puce atomique, -un générateur du champ magnétique homogène 20 -au moins un processeur, au moins un générateur de tension ou de courant continu adapté à commander des courants électriques dans les fils conducteurs et au moins un générateur de tension ou de courant micro-ondes connecté aux guides d’ondes, -un système de détection d’intensité optique adapté à mesurer au moins une population d’atomes ultrafroids dans un état interne, cette mesure permettant la détermination de la phase Sagnac et de la vitesse de rotation Ω z . Ce capteur décrit ci-dessus et dans le document WO2017089489 permet uniquement, à partir d’une trajectoire comprise dans un plan parallèle au plan de mesure 13, une mesure de vitesse de rotation selon l’axe Z perpendiculaire au plan de la puce. Pour pouvoir mesurer la vitesse de rotation selon les trois axes, il est nécessaire de disposer de 3 capteurs de ce type, ce qui est couteux, encombrant et complexe à réaliser, particulièrement pour le positionnement respectif des trois axes (le réglage de leur orthogonalité), ce réglage présentant une dérive temporelle qui diminue la précision de l’ensemble. De plus la mesure de Ωz nécessite une puce avec plusieurs fils conducteurs parallèles WIdi. La présence de ces multiples fils, auxquels on applique successivement différentes tension continues, complexifie la puce et la séquence de séparation/déplacement des pièges. Un but de la présente invention est de remédier aux inconvénients précités en proposant une puce atomique simplifiée et des capteurs basés sur cette puce, capables de réaliser une mesure de vitesse de rotation selon l’axe Z, mais également une mesure de vitesse de rotation selon trois axes perpendiculaires X, Y et Z. Par ailleurs une variante de puce et capteur associé présente une sensibilité accrue. DESCRIPTION DE L’INVENTION Selon un premier aspect la présente invention a pour objet une puce atomique pour capteur à atomes ultrafroids, comportant un plan de mesure XY repéré par un axe X et un axe Y orthogonaux, ledit plan de mesure étant normal à un axe Z, la puce atomique comprenant : -une première paire de guides d’ondes constituée d’un premier et un deuxième guide d’ondes coplanaires, parallèles entre eux et disposés symétriquement de part et d’autre d’un axe dont la projection dans le plan XY est selon l’axe X, dénommés guides selon X, -une deuxième paire de guides d’ondes constituée d’un premier et un deuxième guide d’ondes coplanaires parallèles entre eux et disposés symétriquement de part et d’autre d’un axe dont la projection dans le plan XY est selon un axe Y’ différent de l’axe X, dénommés guides selon Y’, les guides selon X étant isolés électriquement des guides selon Y’, les projections des guides selon X et des guides selon Y’ dans le plan XY formant à leur intersection un premier parallélogramme de centre O et présentant une première surface, - un premier ruban conducteur et un deuxième ruban conducteur agencés de sorte que leur projection respective dans le plan XY forment à leur intersection un deuxième parallélogramme également de centre O et présentant une deuxième surface, lesdits rubans étant adaptés à être traversés par des courants continus, - une intersection entre la première et la deuxième surface étant supérieure ou égale à 40% de la première surface. Selon un mode de réalisation le premier et le deuxième ruban sont respectivement orientés selon une première et une deuxième diagonale dudit premier parallélogramme. Selon un mode de réalisation le premier et le deuxième ruban sont perpendiculaires entre eux. Selon un mode de réalisation la deuxième paire de guides d’onde est perpendiculaire à ladite première paire de guides d’onde, l’axe Y’ étant alors confondu avec l’axe Y. Selon un mode de réalisation les rubans sont perpendiculaires entre eux et lesdites paires de guide d’onde sont perpendiculaires entre elles et orientées à 45° desdits rubans. Selon une variante la puce selon l’invention comprend en outre : -au moins une paire additionnelle de guides selon X plus éloignés de l’axe X que la première paire, et -au moins une paire additionnelle de guides selon Y’ plus éloignés de l’axe Y’ que la deuxième paire. Selon un autre aspect l’invention concerne un capteur à atomes ultrafroids permettant une mesure de vitesse de rotation selon au moins l’axe Z comprenant : -une puce atomique selon l’invention placée dans une enceinte à vide, -une source d’atomes agencée pour générer un nuage d’atomes ultrafroids près dudit plan XY de ladite puce atomique, lesdits atomes ultrafoids présentant, lors de la phase d’initialisation de la mise en œuvre du capteur, une superposition d’états internes |a> et |b> -un générateur d’un champ magnétique homogène, -au moins un processeur, au moins un générateur de tension ou de courant continu connectés audits rubans et au moins un générateur de tension ou de courant micro-ondes connecté audits guides d’ondes, -lesdits guides d’ondes et lesdits rubans étant configurés, lors de la mise en œuvre du capteur, pour : -modifier l’énergie desdits atomes ultrafroids de manière à créer un minima de potentiel pour les atomes ultrafroids dans l’état interne |a> et un minima de potentiel pour les atomes ultrafroids dans l’état interne |b>, formant ainsi un premier (T1) et deuxième (T2) pièges à atomes ultrafroids, un piège permettant d’immobiliser un nuage d’atomes ultrafroids (12) dans un état interne différent de l’autre piège, à une distance maîtrisée dudit plan de mesure, et -séparer spatialement les deux pièges et déplacer lesdits pièges suivant au moins une première trajectoire fermée comprise dans un plan perpendiculaire à Z, et parcourue dans un sens par les atomes ultrafroids du premier piège et dans le sens opposé par les atomes ultrafroids du deuxième piège, -le capteur comprenant en outre un système de détection d’intensité optique adapté à mesurer au moins une population de dits atomes ultrafroids dans un dit état interne. Selon un mode de réalisation dans le capteur à atomes ultrafroids selon l’invention, lors de la séquence de séparation et de déplacement desdits pièges : - les guides selon X de la première paire sont parcourus simultanément par des signaux microondes de pulsations ωa ou ωb, à certains instants dénommés premier ensemble d’instants, - au moins un des guides selon Y’ de la deuxième paire est parcouru par un signal microonde formé de la superposition d’un signal microonde à une pulsation ωa’ et d’un signal microonde de pulsation ωb’, à certains instants dénommés deuxième ensemble d’instants présentant des instants en commun avec le premier ensemble d’instants, -les rubans étant chacun traversé d’un courant constant pendant la séparation, le déplacement et la recombinaison desdits pièges, -le cas échéant les guides selon X de ladite au moins une paire additionnelle sont également parcourus simultanément par des signaux microondes de pulsations ωa ou ωb, à certains instants différents du premier ensemble d’instants. Selon un mode de réalisation dans le capteur à atomes ultrafroids selon l’invention, lors de la séquence de séparation et de déplacement desdits pièges: - les guides selon Y’ de la deuxième paire sont parcourus simultanément par des signaux microondes de pulsations ωa’ ou ωb’, à certains instants dénommés premier ensemble d’instants, - au moins un des guides selon X de la première paire est parcouru par un signal microonde formé de la superposition d’un signal microonde à une pulsation ωa et d’un signal microonde de pulsation ωb, à certains instants dénommés deuxième ensemble d’instants présentant des instants en commun avec le premier ensemble d’instants, - les premier et deuxième rubans étant chacun traversé d’un courant constant pendant la séparation, le déplacement et la recombinaison des dits pièges, - le cas échéant les guides selon Y’ de l’au moins une paire additionnelle sont également parcourus simultanément par des signaux microondes de pulsations ωa’ ou ωb’, à certains instants différents du premier ensemble d’instants. Selon un mode de réalisation le capteur à atomes ultrafroids (20) permet en outre une mesure de vitesse de rotation selon les axes X et Y’. Dans ce capteur les guides d’ondes et les rubans sont en outre configurés, -pour déplacer lesdits pièges suivant une deuxième trajectoire fermée comprise dans un plan perpendiculaire à X, lors de la mesure de la vitesse de rotation selon l’axe X, -pour déplacer lesdits pièges suivant une troisième trajectoire fermée comprise dans un plan perpendiculaire à Y’, lors de la mesure de la vitesse de rotation selon l’axe Y’, -lesdites trajectoires fermées étant parcourues dans un sens par les atomes ultrafroids du premier piège et dans le sens opposé par les atomes ultrafroids du deuxième piège, les deuxième et troisième trajectoires comprenant chacune au moins une première portion localisée à une première hauteur du plan XY et une deuxième portion localisée à une deuxième hauteur strictement supérieure à la première hauteur. Selon un mode de réalisation du capteur selon l’invention, lors de la mise en œuvre de la mesure de la vitesse de rotation selon l’axe X par génération de la deuxième trajectoire fermée, - les guides selon X de la première paire sont parcourus simultanément par des signaux microondes de pulsations ωa ou ωb, à certains instants dénommé troisième ensemble d’instants, -les guides selon Y’ de la deuxième paire sont simultanément parcourus par un signal microonde formé de la superposition d’un signal microonde à une pulsation ωa’ et d’un signal microonde de pulsation ωb’ pour opérer un passage de la première hauteur à la deuxième hauteur, à certains instants dénommé quatrième ensemble d’instant présentant des instants en commun avec le troisième ensemble d’instants, -les premier et deuxième rubans sont chacun traversé d’un courant constant pendant la séparation, le déplacement et la recombinaison des dits pièges, -le cas échéant les guides selon X de ladite au moins une paire additionnelle sont également sont également parcourus simultanément par des signaux microondes de pulsations ωa ou ωb, à certains instants différents du troisième ensemble d’instants. Selon un mode de réalisation du capteur selon l’invention, lors de la mise en œuvre de la mesure de la vitesse de rotation selon l’axe Y’ par génération de la troisième trajectoire fermée, - les guides selon Y’ de la deuxième paire sont parcourus simultanément par des signaux microondes de pulsations ωa’ ou ωb’, à certains instants dénommé troisième ensemble d’instants, -les guides d’ondes selon X de la première paire sont simultanément parcourus par un signal microonde formé de la superposition d’un signal microonde à une pulsation ωa et d’un signal microonde de pulsation ωb pour opérer un passage de la première hauteur à la deuxième hauteur, à certains instants dénommé quatrième ensemble d’instant présentant des instants en commun avec le troisième ensemble d’instants, -les premier et deuxième rubans sont chacun traversé d’un courant constant pendant la séparation, le déplacement et la recombinaison des dits pièges, -le cas échéant les guides selon Y’ de ladite au moins une paire additionnelle sont également sont également parcourus simultanément par des signaux microondes de pulsations ωa’ ou ωb’, à certains instants différents du troisième ensemble d’instants. Selon un autre aspect l’invention concerne une puce atomique matricielle selon comprenant : -un premier ensemble de N premiers rubans conducteurs indicés n et un deuxième ensemble de M deuxième rubans conducteurs indicés m perpendiculaires entre eux et formant respectivement des N lignes et des M colonnes d’une matrice, les rubans du premier ensemble étant isolés électriquement des rubans du deuxième ensemble, on définit des axes Xk indicés k selon des premières diagonales de la matrice et des axes Yl indicés l selon des deuxièmes diagonales perpendiculaires aux première diagonales, la puce matricielle comprenant également des premières paires de guides d’onde selon chaque axe Xk et des deuxièmes paires de guides d’onde selon chaque axe Yl, chaque pixel de la matrice formant une puce élémentaire. Selon un mode de réalisation la puce atomique matricielle selon l’invention comprend en outre : -pour chaque axe Xk, au moins une paire additionnelle de guides selon Xk plus éloignés de l’axe Xk que la première paire, -pour chaque axe Yl, au moins une paire additionnelle de guides selon Yl plus éloignés de l’axe Yl que la deuxième paire. L’invention concerne également un capteur à atomes ultrafroids comprenant : -une puce atomique matricielle selon l’invention, -une source d’atomes agencée pour générer un nuage d’atomes ultrafroids près dudit plan XY de ladite puce atomique, -un générateur d’un champ magnétique homogène, -au moins un processeur, au moins un générateur de tension ou de courant continu adapté à commander des courants électriques dans lesdits rubans et au moins un générateur de tension ou de courant micro-ondes connecté audits guides d’ondes, - un système de détection d’intensité optique, le capteur étant adapté pour mesurer, selon les besoins et de manière reconfigurable, au moins une accélération et/ ou une vitesse de rotation selon une direction correspondant à celle des axes Xk et/ou des axes Yl, et/ou une vitesse de rotation selon l’axe Z, à partir desdites puces élémentaires. Selon un dernier aspect l’invention concerne un procédé de mesure d’une vitesse de rotation autour d’au moins un axe dénommé axe de mesure, par un capteur à atomes ultrafroids comprenant une puce atomique, ladite puce atomique étant placée dans une enceinte à vide et comportant un plan de mesure XY repéré par un axe X et un axe Y orthogonaux, ledit plan de mesure étant normal à un axe Z, la puce atomique comprenant : -une première paire de guides d’ondes constituée d’un premier et un deuxième guide d’ondes coplanaires, parallèles entre eux et disposés symétriquement de part et d’autre d’un axe dont la projection dans le plan XY est selon l’axe X, dénommés guides selon X, -une deuxième paire de guides d’ondes constituée d’un premier et un deuxième guide d’ondes coplanaires parallèles entre eux et disposés symétriquement de part et d’autre d’un axe dont la projection dans le plan XY est selon un axe Y’, dénommés guides selon Y’, les guides selon X étant isolés électriquement des guides selon Y’, les projections des guides selon X et des guides selon Y’ dans le plan XY formant à leur intersection un premier parallélogramme de centre O et présentant une première surface, - un premier ruban conducteur et un deuxième ruban conducteur agencés de sorte que leur projection respective dans le plan XY forment à leur intersection un deuxième parallélogramme également de centre O et présentant une deuxième surface, lesdits rubans étant adaptés à être traversés par des courants continus, - une intersection entre la première et la deuxième surface étant supérieure ou égale à 40% de la première surface, le procédé comprenant, pour la mesure de la vitesse de rotation selon Z, les étapes consistant à : A Générer un nuage de dits atomes ultrafroids, incluant des phases d’émission desdits atomes, de refroidissement desdits atomes, d’initialisation desdits atomes dans au moins un état interne |a> et de piégeage d’un nuage de dits atomes ultrafroids dans un minimum local de potentiel, ledit piégeage s’effectuant par passage de courants continus dans le premier et le deuxième ruban, B Initialiser les états internes en superposant de manière cohérente lesdits atomes ultrafroids entre ledit état |a> et un état interne |b> différent de |a> par une première impulsion ; C Séparer spatialement un nuage de dits atomes de dit état interne |a> dans un piège d’un nuage de dits atomes de dit état interne |b> dans un autre piège, et déplacer lesdits pièges en sens opposé suivant une trajectoire fermée contenue dans un plan perpendiculaire à l’axe de mesure et initialisée à partir du point O: - en appliquant une tension ou un courant à fréquences micro-ondes prédéterminées auxdits guides d’ondes selon une séquence prédéterminée, -et en appliquant une valeur constante de tension ou de courant continu aux premier et deuxième rubans, D Recombiner lesdits états internes |a> et |b> en appliquant auxdits atomes ultrafroids une deuxième impulsion puis mesurer le nombre d’atomes dans un état interne choisi parmi au moins |a> et |b> ; E Déterminer la phase Sagnac desdits atomes ultrafroids et calculer la vitesse de rotation dudit capteur selon ledit axe de mesure. Selon un mode de réalisation, dans le procédé de mesure selon l’invention, pour la mesure d’une vitesse de rotation autour de l’axe Z, pendant l’étape C la séquence inclut l’application à certains instants d’un signal microonde formé de la superposition d’un signal microonde à une pulsation ωa et d’un signal microonde de pulsation ωb, à un des guides selon X de la première paire, ou l’application d’un signal microonde formé de la superposition d’un signal microonde à une pulsation ωa’ et d’un signal microonde de pulsation ωb’, à un des guides selon Y’ de la deuxième paire. Selon un mode de réalisation du procédé de mesure selon l’invention, pour la mesure d’une vitesse de rotation autour de l’axe X ou de l’axe Y’, pendant l’étape C la séquence inclut : -pour la mesure de la vitesse de rotation autour de l’axe X, l’application à certains instants d’un signal microonde formé de la superposition d’un signal microonde à une pulsation ωa et d’un signal microonde de pulsation ωb, simultanément aux deux guides selon X de la première paire, -pour la mesure de la vitesse de rotation autour de l’axe Y’, l’application à certains instants d’un signal microonde formé de la superposition d’un signal microonde à une pulsation ωa’ et d’un signal microonde de pulsation ωb’, simultanément aux deux guides selon Y’ de la deuxième paire. La description suivante présente plusieurs exemples de réalisation du dispositif de l’invention: ces exemples sont non limitatifs de la portée de l’invention. Ces exemples de réalisation présentent à la fois les caractéristiques essentielles de l’invention ainsi que des caractéristiques additionnelles liées aux modes de réalisation considérés. L’invention sera mieux comprise et d’autres caractéristiques, buts et avantages de celle-ci apparaîtront au cours de la description détaillée qui va suivre et en regard des dessins annexés donnés à titre d’exemples non limitatifs et sur lesquels : La déjà citée illustre un exemple de topologie des fils conducteurs et des guides microondes et de trajectoire des deux nuages d’atomes. La déjà citée illustre la géométrie des guides et fils de la puce atomique ainsi que les pièges T1 et T2. La déjà citée illustre le principe de génération de la trajectoire des nuages d’atomes sur la puce atomique. La illustre une puce atomique selon l’invention. La illustre un exemple de trajectoire fermée TX parcourue par les nuages atomiques pour une mesure d’une vitesse de rotation selon l’axe X, la trajectoire se situant dans un plan perpendiculaire à l’axe X. La décrit la séquence de déplacement des nuages atomiques pour l’obtention de la trajectoire TX. La illustre le chronogramme décrivant les intensités appliquées aux rubans conducteurs et les puissances et fréquences appliquées aux guides d’ondes en fonction du temps pour obtenir la séquence de déplacement de la . La décrit un mode de réalisation de la puce atomique selon l’invention dans lequel les rubans W1 et W2 sont à l’aplomb des points de croisement des guides d’ondes. La décrit un mode de réalisation préféré dans lequel les rubans sont perpendiculaires entre eux, les paires de guide d’onde sont perpendiculaires entre elles et sont orientées à 45° des rubans. La illustre un premier exemple de première trajectoire TZ par déplacement des deux nuages piégés. La illustre le chronogramme associé aux déplacements des nuages de la . La illustre un exemple de trajectoire TZ selon une option du premier exemple. La illustre un deuxième exemple de première trajectoire TZ par déplacement des deux nuages piégés. La illustre le chronogramme associé aux déplacements des nuages de la . La illustre un capteur à atomes ultrafroids selon l’invention permettant une mesure de vitesse de rotation selon au moins l’axe Z. La illustre un exemple de réalisation d’une trajectoire TX avec une puce selon l’invention. La illustre le chronogramme associé aux déplacements des nuages de la . La illustre un exemple de réalisation d’une trajectoire TY avec une puce selon l’invention. La illustre le chronogramme associé aux déplacements des nuages de la . La illustre un exemple des déplacements des nuages pour la mesure de l’accélération selon X a X . La illustre le chronogramme associé aux déplacements des nuages de la . La illustre une première variante de puce selon l’invention. La illustre un premier exemple des déplacements des nuages pour la réalisation d’une trajectoire TZ avec une puce selon la première variante. La illustre le chronogramme associé aux déplacements des nuages de la . La illustre un deuxième exemple des déplacements des nuages pour la réalisation d’une trajectoire TZ avec une puce selon la première variante. La illustre le chronogramme associé aux déplacements des nuages de la . La illustre un exemple des déplacements des nuages pour la réalisation d’une trajectoire TX avec une puce selon la première variante. La illustre le chronogramme associé aux déplacements des nuages de la . La illustre un exemple des déplacements des nuages pour la réalisation d’une trajectoire TY avec une puce selon la première variante. La illustre le chronogramme associé aux déplacements des nuages de la . La illustre une puce atomique matricielle selon l’invention. Puce atomique (Ach) pour capteur à atomes ultrafroids, comportant un plan de mesure XY repéré par un axe X et un axe Y orthogonaux, ledit plan de mesure étant normal à un axe Z, la puce atomique comprenant : -une première paire de guides d’ondes constituée d’un premier et un deuxième guide d’ondes coplanaires (CPWX1, CPWX2), parallèles entre eux et disposés symétriquement de part et d’autre d’un axe dont la projection dans le plan XY est selon l’axe X, dénommés guides selon X, -une deuxième paire de guides d’ondes constituée d’un premier et un deuxième guide d’ondes coplanaires (CPWY’1, CPWY’2) parallèles entre eux et disposés symétriquement de part et d’autre d’un axe dont la projection dans le plan XY est selon un axe Y’ différent de l’axe X, dénommés guides selon Y’, les guides selon X étant isolés électriquement des guides selon Y’, les projections des guides selon X et des guides selon Y’ dans le plan XY formant à leur intersection un premier parallélogramme (P1) de centre O et présentant une première surface (S1), - un premier ruban (W1) conducteur et un deuxième ruban (W2) conducteur agencés de sorte que leur projection respective dans le plan XY forment à leur intersection un deuxième parallélogramme (P2) également de centre O et présentant une deuxième surface (S2), lesdits rubans étant adaptés à être traversés par des courants continus, - une intersection entre la première (S1) et la deuxième (S2) surface étant supérieure ou égale à 40% de la première surface (S1). Puce atomique selon la revendication précédente dans laquelle le premier et le deuxième ruban sont respectivement orientés selon une première (D1) et une deuxième (D2) diagonale dudit premier parallélogramme. Puce atomique selon l’une des revendications précédentes dans laquelle le premier (W1) et le deuxième (W2) ruban sont perpendiculaires entre eux. Puce atomique selon l’une des revendications précédentes dans laquelle ladite deuxième paire de guides d’onde est perpendiculaire à ladite première paire de guides d’onde, l’axe Y’ étant alors confondu avec l’axe Y. Puce atomique selon l’une des revendications précédentes dans laquelle lesdits rubans sont perpendiculaires entre eux et lesdites paires de guide d’onde sont perpendiculaires entre elles et orientées à 45° desdits rubans. Puce atomique (Ach) pour capteur à atomes ultrafroids selon l’une des revendications précédentes comprenant : -au moins une paire additionnelle de guides selon X plus éloignés de l’axe X que la première paire, et -au moins une paire additionnelle de guides selon Y’ plus éloignés de l’axe Y’ que la deuxième paire. Capteur à atomes ultrafroids (20) permettant une mesure de vitesse de rotation (Ωz) selon au moins l’axe Z comprenant : -une puce atomique (ACh) selon l’une des revendications 1 à 6 placée dans une enceinte à vide, -une source d’atomes (S) agencée pour générer un nuage (12) d’atomes ultrafroids près dudit plan XY de ladite puce atomique, lesdits atomes ultrafoids présentant, lors de la phase d’initialisation de la mise en œuvre du capteur, une superposition d’états internes |a> et |b> -un générateur (GB) d’un champ magnétique homogène (B0), -au moins un processeur (UT), au moins un générateur de tension ou de courant continu (GDC) connectés audits rubans et au moins un générateur de tension ou de courant micro-ondes (GMW) connecté audits guides d’ondes, -lesdits guides d’ondes et lesdits rubans étant configurés, lors de la mise en œuvre du capteur, pour : -modifier l’énergie desdits atomes ultrafroids de manière à créer un minima de potentiel pour les atomes ultrafroids dans l’état interne |a> et un minima de potentiel pour les atomes ultrafroids dans l’état interne |b>, formant ainsi un premier (T1) et deuxième (T2) pièges à atomes ultrafroids, un piège permettant d’immobiliser un nuage d’atomes ultrafroids (12) dans un état interne différent de l’autre piège, à une distance maîtrisée dudit plan de mesure, et -séparer spatialement les deux pièges et déplacer lesdits pièges (T1, T2) suivant au moins une première trajectoire fermée (TZ) comprise dans un plan perpendiculaire à Z, et parcourue dans un sens par les atomes ultrafroids du premier piège et dans le sens opposé par les atomes ultrafroids du deuxième piège, -le capteur comprenant en outre un système de détection d’intensité optique (SDET) adapté à mesurer au moins une population de dits atomes ultrafroids dans un dit état interne. Capteur à atomes ultrafroids selon la revendication précédente dans lequel, lors de la séquence de séparation et de déplacement desdits pièges : - les guides selon X de la première paire sont parcourus simultanément par des signaux microondes de pulsations ωa ou ωb, à certains instants dénommés premier ensemble d’instants, - au moins un des guides selon Y’ de la deuxième paire est parcouru par un signal microonde formé de la superposition d’un signal microonde à une pulsation ωa’ et d’un signal microonde de pulsation ωb’, à certains instants dénommés deuxième ensemble d’instants présentant des instants en commun avec le premier ensemble d’instants, -les rubans étant chacun traversé d’un courant constant pendant la séparation, le déplacement et la recombinaison desdits pièges, -le cas échéant les guides selon X de ladite au moins une paire additionnelle sont également parcourus simultanément par des signaux microondes de pulsations ωa ou ωb, à certains instants différents du premier ensemble d’instants. Capteur à atomes ultrafroids selon la revendication 7 dans lequel, lors de la séquence de séparation et de déplacement desdits pièges: - les guides selon Y’ de la deuxième paire sont parcourus simultanément par des signaux microondes de pulsations ωa’ ou ωb’, à certains instants dénommés premier ensemble d’instants, - au moins un des guides selon X de la première paire est parcouru par un signal microonde formé de la superposition d’un signal microonde à une pulsation ωa et d’un signal microonde de pulsation ωb, à certains instants dénommés deuxième ensemble d’instants présentant des instants en commun avec le premier ensemble d’instants, - les premier et deuxième rubans étant chacun traversé d’un courant constant pendant la séparation, le déplacement et la recombinaison des dits pièges, - le cas échéant les guides selon Y’ de l’au moins une paire additionnelle sont également parcourus simultanément par des signaux microondes de pulsations ωa’ ou ωb’, à certains instants différents du premier ensemble d’instants. Capteur à atomes ultrafroids (20) selon l’une des revendications 7 à 9 permettant en outre une mesure de vitesse de rotation selon les axes X et Y’, dans lequel lesdits guides d’ondes et lesdits rubans sont en outre configurés, -pour déplacer lesdits pièges (T1, T2) suivant une deuxième trajectoire fermée (TX) comprise dans un plan perpendiculaire à X, lors de la mesure de la vitesse de rotation (Ωx) selon l’axe X, -pour déplacer lesdits pièges (T1, T2) suivant une troisième trajectoire fermée (TY’) comprise dans un plan perpendiculaire à Y’, lors de la mesure de la vitesse de rotation (Ωy’) selon l’axe Y’, -lesdites trajectoires fermées étant parcourues dans un sens par les atomes ultrafroids du premier piège et dans le sens opposé par les atomes ultrafroids du deuxième piège, les deuxième et troisième trajectoires comprenant chacune au moins une première portion localisée à une première hauteur (h1) du plan XY et une deuxième portion localisée à une deuxième hauteur (h2) strictement supérieure à la première hauteur. Capteur selon la revendication précédente dans lequel, lors de la mise en œuvre de la mesure de la vitesse de rotation (Ωx) selon l’axe X par génération de la deuxième trajectoire fermée (TX), - les guides selon X de la première paire sont parcourus simultanément par des signaux microondes de pulsations ωa ou ωb, à certains instants dénommé troisième ensemble d’instants, -les guides selon Y’ de la deuxième paire sont simultanément parcourus par un signal microonde formé de la superposition d’un signal microonde à une pulsation ωa’ et d’un signal microonde de pulsation ωb’ pour opérer un passage de la première hauteur à la deuxième hauteur, à certains instants dénommé quatrième ensemble d’instant présentant des instants en commun avec le troisième ensemble d’instants, -les premier et deuxième rubans sont chacun traversé d’un courant constant pendant la séparation, le déplacement et la recombinaison des dits pièges, -le cas échéant les guides selon X de ladite au moins une paire additionnelle sont également parcourus simultanément par des signaux microondes de pulsations ωa ou ωb, à certains instants différents du troisième ensemble d’instants. Capteur selon la revendication 10 dans lequel, lors de la mise en œuvre de la mesure de la vitesse de rotation (Ωy’) selon l’axe Y’ par génération de la troisième trajectoire fermée (TY’), - les guides selon Y’ de la deuxième paire sont parcourus simultanément par des signaux microondes de pulsations ωa’ ou ωb’, à certains instants dénommé troisième ensemble d’instants, -les guides d’ondes selon X de la première paire sont simultanément parcourus par un signal microonde formé de la superposition d’un signal microonde à une pulsation ωa et d’un signal microonde de pulsation ωb pour opérer un passage de la première hauteur à la deuxième hauteur, à certains instants dénommé quatrième ensemble d’instant présentant des instants en commun avec le troisième ensemble d’instants, -les premier et deuxième rubans sont chacun traversé d’un courant constant pendant la séparation, le déplacement et la recombinaison des dits pièges, -le cas échéant les guides selon Y’ de ladite au moins une paire additionnelle sont également parcourus simultanément par des signaux microondes de pulsations ωa’ ou ωb’, à certains instants différents du troisième ensemble d’instants. Puce atomique matricielle (AchM) selon l’une des revendications 1 à 6 comprenant : -un premier ensemble de N premiers rubans conducteurs (W1n) indicés n et un deuxième ensemble de M deuxième rubans conducteurs (W2m) indicés m perpendiculaires entre eux et formant respectivement des N lignes et des M colonnes d’une matrice, les rubans du premier ensemble étant isolés électriquement des rubans du deuxième ensemble, on définit des axes Xk indicés k selon des premières diagonales (Dk) de la matrice et des axes Yl indicés l selon des deuxièmes diagonales (D’l) perpendiculaires aux première diagonales, la puce matricielle comprenant également des premières paires de guides d’onde selon chaque axe Xk et des deuxièmes paires de guides d’onde selon chaque axe Yl, chaque pixel de la matrice formant une puce élémentaire (Ach(n,m)). Puce atomique matricielle selon la revendication précédente comprenant en outre : -pour chaque axe Xk, au moins une paire additionnelle de guides selon Xk plus éloignés de l’axe Xk que la première paire, -pour chaque axe Yl, au moins une paire additionnelle de guides selon Yl plus éloignés de l’axe Yl que la deuxième paire. Capteur à atomes ultrafroids comprenant : -une puce atomique matricielle selon l’une des revendications 13 ou 14, -une source d’atomes (S) agencée pour générer un nuage (12) d’atomes ultrafroids près dudit plan XY de ladite puce atomique, -un générateur (GB) d’un champ magnétique homogène (B0), -au moins un processeur (UT), au moins un générateur de tension ou de courant continu (GDC) adapté à commander des courants électriques dans lesdits rubans et au moins un générateur de tension ou de courant micro-ondes (GMW) connecté audits guides d’ondes, - un système de détection d’intensité optique (SDET), le capteur étant adapté pour mesurer, selon les besoins et de manière reconfigurable, au moins une accélération (ax, ay) et/ ou une vitesse de rotation (Ωx, Ωy, Ωz) selon une direction correspondant à celle des axes Xk et/ou des axes Yl, et/ou une vitesse de rotation (Ωz) selon l’axe Z, à partir desdites puces élémentaires. Procédé de mesure d’une vitesse de rotation autour d’au moins un axe dénommé axe de mesure, par un capteur à atomes ultrafroids comprenant une puce atomique, ladite puce atomique étant placée dans une enceinte à vide et comportant un plan de mesure XY repéré par un axe X et un axe Y orthogonaux, ledit plan de mesure étant normal à un axe Z, la puce atomique comprenant : -une première paire de guides d’ondes constituée d’un premier et un deuxième guide d’ondes coplanaires (CPWX1, CPWX2), parallèles entre eux et disposés symétriquement de part et d’autre d’un axe dont la projection dans le plan XY est selon l’axe X, dénommés guides selon X, -une deuxième paire de guides d’ondes constituée d’un premier et un deuxième guide d’ondes coplanaires (CPWY’1, CPWY’2) parallèles entre eux et disposés symétriquement de part et d’autre d’un axe dont la projection dans le plan XY est selon un axe Y’, dénommés guides selon Y’, les guides selon X étant isolés électriquement des guides selon Y’, les projections des guides selon X et des guides selon Y’ dans le plan XY formant à leur intersection un premier parallélogramme (P1) de centre O et présentant une première surface (S1), - un premier ruban (W1) conducteur et un deuxième ruban (W2) conducteur agencés de sorte que leur projection respective dans le plan XY forment à leur intersection un deuxième parallélogramme (P2) également de centre O et présentant une deuxième surface (S2), lesdits rubans étant adaptés à être traversés par des courants continus, - une intersection entre la première et la deuxième surface étant supérieure ou égale à 40% de la première surface (S1), le procédé comprenant, pour la mesure de la vitesse de rotation selon Z, les étapes consistant à : A Générer un nuage de dits atomes ultrafroids (12), incluant des phases d’émission desdits atomes, de refroidissement desdits atomes, d’initialisation desdits atomes dans au moins un état interne |a> et de piégeage d’un nuage de dits atomes ultrafroids dans un minimum local de potentiel, ledit piégeage s’effectuant par passage de courants continus dans le premier et le deuxième ruban, B Initialiser des états internes en superposant de manière cohérente lesdits atomes ultrafroids entre ledit état |a> et un étant interne |b> différent de |a> par une première impulsion ; C Séparer spatialement un nuage de dits atomes de dit état interne |a> dans un piège (T1) d’un nuage de dits atomes de dit état interne |b> dans un autre piège (T2), et déplacer lesdits pièges en sens opposé suivant une trajectoire fermée contenue dans un plan perpendiculaire à l’axe de mesure et initialisée à partir du point O: - en appliquant une tension ou un courant à fréquences micro-ondes prédéterminées auxdits guides d’ondes selon une séquence prédéterminée, -et en appliquant une valeur constante de tension ou de courant continu aux premier et deuxième rubans, D Recombiner lesdits états internes |a> et |b> en appliquant auxdits atomes ultrafroids une deuxième impulsion puis mesurer le nombre d’atomes dans un état interne choisi parmi au moins |a> et |b> ; E Déterminer la phase Sagnac desdits atomes ultrafroids et calculer la vitesse de rotation dudit capteur selon ledit axe de mesure. Procédé de mesure selon la revendication précédente, pour la mesure d’une vitesse de rotation autour de l’axe Z, dans lequel pendant l’étape C ladite séquence inclut l’application à certains instants d’un signal microonde formé de la superposition d’un signal microonde à une pulsation ωa et d’un signal microonde de pulsation ωb, à un des guides selon X de la première paire, ou l’application d’un signal microonde formé de la superposition d’un signal microonde à une pulsation ωa’ et d’un signal microonde de pulsation ωb’, à un des guides selon Y’ de la deuxième paire. Procédé de mesure selon la revendication 16, pour la mesure d’une vitesse de rotation autour de l’axe X ou de l’axe Y’, dans lequel pendant l’étape C ladite séquence inclut : -pour la mesure de la vitesse de rotation autour de l’axe X, l’application à certains instants d’un signal microonde formé de la superposition d’un signal microonde à une pulsation ωa et d’un signal microonde de pulsation ωb, simultanément aux deux guides selon X de la première paire, -pour la mesure de la vitesse de rotation autour de l’axe Y’, l’application à certains instants d’un signal microonde formé de la superposition d’un signal microonde à une pulsation ωa’ et d’un signal microonde de pulsation ωb’, simultanément aux deux guides selon Y’ de la deuxième paire.