Brevet FR3114437A1 — publié le 20220325

Dispositif de maintien de plaquette, ensemble de traitement de plaquettes et procédé de traitement de plaquettes associés L’invention concerne un dispositif de maintien de plaquette comprenant au moins un support configuré pour recevoir une plaquette, et comprenant au moins un module de maintien de la plaquette sur le support. Le module de maintien comprend un organe de maintien (150) mobile entre une position de maintien, dans laquelle l’organe de maintien (150) est configuré pour solidariser la plaquette au support, et une position de libération autorisant un déplacement relatif de la plaquette par rapport au support. Le module de maintien comprend un organe de rappel (152) pour maintenir par défaut l’organe de maintien (150) en position de maintien. Le module de maintien est configuré de sorte que le passage de la position de maintien à la position de libération est induit par l’application d’un champ magnétique d’attraction de l’organe de maintien (150). Figure pour l’abrégé : Fig.4 Dispositif de maintien de plaquette, ensemble de traitement de plaquette et procédé de traitement de plaquette associés La présente invention concerne le domaine du photovoltaïque. Elle trouve pour application particulièrement avantageuse le domaine des appareils pour la manufacture et/ou le traitement de plaquettes généralement à base de matériaux semi-conducteurs, communément désignés par le terme anglais équivalent « wafer ». ETAT DE LA TECHNIQUE Dans le contexte des salles blanches pour la réalisation de panneaux photovoltaïques à base d’un substrat semi-conducteur, les wafers ou plaquettes sont principalement manipulé(e)s et/ou stocké(e)s grâce à des containers spéciaux, conçus pour éviter l’endommagement de ces plaquettes lors des transferts entre équipements. Un endommagement d’une plaquette peut en effet entrainer une détérioration d’une ou de plusieurs cellules photovoltaïques, induisant une baisse des performances du panneau photovoltaïque. Il existe des containers destinés notamment à assurer le transport de plaquette entre équipements. Ces containers se présentent généralement sous la forme de caisse de transport, comprenant une pluralité de supports empilés selon une direction d’empilement, et configurés pour recevoir chacun une plaquette. Il est notamment connu du document WO 2008106913 A2, un boîtier de maintien de plaquette comprenant une pluralité de supports empilés, chaque support étant configuré pour recevoir une plaquette en translation le long d’un guide de chargement. Afin de limiter le mouvement des plaquettes, le boîtier comprend un volet de sécurité sous la forme d’une bascule en rotation sur le boîtier, présentant une position ouverte et une position fermée. Dans sa position fermée, le volet de sécurité est configuré pour empêcher la translation de la plaquette hors du boitier, en venant en butée à l’extrémité du guide de chaque support du boîtier. Ce boîtier de maintien s’avère en pratique limité pour éviter l’endommagement des plaquettes. En effet, lorsque le volet de sécurité est fermé, la plaquette conserve des degrés de liberté de mouvement dans son support. Des frottements, voire des chocs peuvent survenir entre la plaquette et les parois du support. Un objet de la présente invention est donc de proposer une solution visant à améliorer le maintien de plaquette, par exemple lors de sa manipulation et/ou son transport. Les autres objets, caractéristiques et avantages de la présente invention apparaîtront à l'examen de la description suivante et des dessins d'accompagnement. Il est entendu que d'autres avantages peuvent être incorporés. RESUME Pour atteindre cet objectif, selon un premier aspect on prévoit un dispositif de maintien d’au moins une plaquette, et de préférence d’une pluralité de plaquettes, comprenant au moins un support, l’au moins un support étant configuré pour recevoir une plaquette, et comprenant au moins un module de maintien de la plaquette sur le support. Avantageusement, le module de maintien comprend un organe de maintien mobile entre : une position de maintien, dans laquelle l’organe de maintien est configuré pour exercer une force d’appui sur la plaquette, de façon à la solidariser au support, et une position de libération, distincte de la position de maintien, autorisant un déplacement relatif au moins en translation de la plaquette par rapport au support. Le module de maintien comprend un organe de rappel configuré de façon à exercer une force de rappel pour maintenir par défaut l’organe de maintien dans sa position de maintien. En outre, le module de maintien est configuré de sorte que le passage de la position de maintien à la position de libération de l’organe de maintien est induit, en opposition à la force de rappel exercée par l’organe de rappel, par l’application d’un champ magnétique d’attraction de l’organe de maintien. Dans la position de maintien, l’organe de maintien solidarisant la plaquette au support, la plaquette est immobilisée dans le support. Plus particulièrement, l’organe de maintien peut exercer une force d’appui sur la plaquette de façon à la maintenir en appui sur le support. La plaquette peut ainsi être prise en étau entre l’organe de maintien et le support. Un mouvement de la plaquette hors de son support est ainsi empêché. Un éventuel mouvement de la plaquette dans son support est en outre empêché lorsque l’organe de maintien est dans la position de maintien. D’éventuels frottements ou chocs de la plaquette avec les parois du support sont minimisés, voire évités. Le maintien de la plaquette est donc amélioré par rapport aux solutions existantes. Le passage de la position de maintien à la position de libération de l’organe de maintien étant induit par l’application d’un champ magnétique, ce passage peut être induit sans manipulation directe d’un opérateur sur le boîtier, minimisant ainsi le risque d’endommagement des plaquettes. En effet, en alternative à un module de maintien actionné par un champ magnétique, on aurait pu prévoir que le module de maintien soit actionnable mécaniquement par un opérateur ou une machine, le module de maintien comprenant des moyens d’immobilisation déformables élastiquement, par exemple actionnés lors d’une fermeture d’un élément du dispositif de maintien, tel qu’un couvercle. Grâce au recours à un champ magnétique, le risque d’un actionnement accidentel du module de maintien est réduit, notamment lors du transport du dispositif de maintien, par exemple suite à une mauvaise manipulation ou à un choc accidentel. En outre, l’organe de maintien étant par défaut dans sa position de maintien, la plaquette est ainsi immobilisée par défaut sur le support dès que l’application du champ magnétique ne suffit plus à contrer la force de rappel exercée par l’organe de rappel. Le passage de l’organe de maintien de sa position de libération à sa position de maintien est ainsi fiabilisé, puisqu’il ne dépend pas d’une action à part entière effectuée par un opérateur ou une machine. Il peut notamment être induit par un simple éloignement à la source du champ magnétique. Le dispositif de maintien permet donc un maintien amélioré, notamment par la minimisation d’éventuels chocs dans le support, et fiabilisé des plaquettes. Un deuxième aspect concerne un ensemble de traitement d’au moins une plaquette, et de préférence d’une pluralité de plaquettes, comprenant le dispositif de maintien selon le premier aspect et un dispositif d’actionnement magnétique de l’au moins un module de maintien configuré de façon à induire le passage de l’organe de maintien de sa position de maintien à sa position de libération. L’ensemble peut avantageusement être implémenté dans une ligne de manipulation de plaquettes, et/ou dans une ligne de fabrication de panneaux photovoltaïques, de sorte que le chargement et/ou le déchargement du dispositif de maintien soit automatisé. Le traitement de plaquettes est ainsi amélioré et fiabilisé. Selon un exemple, le dispositif d’actionnement magnétique comprend au moins un électroaimant apte à être placé en regard d’une partie de l’au moins un module de maintien. L’électroaimant peut plus particulièrement être situé en regard d’un organe de conduite de champ magnétique. Un troisième aspect concerne un procédé de traitement d’au moins une plaquette, et de préférence d’une pluralité de plaquettes, par un dispositif de maintien selon le premier aspect, comprenant successivement : une application d’un champ magnétique à l’au moins un module de maintien de sorte que l’organe de maintien passe de sa position de maintien à sa position de libération, une fourniture d’une plaquette au support, lorsque l’organe de maintien est dans sa position de libération, suite à la fourniture de la plaquette au support, un arrêt de l’application du champ magnétique de sorte qu’une force de rappel exercée par l’organe de rappel induise le passage de l’organe de maintien de sa position de libération à sa position de maintien, une application d’un champ magnétique au module de maintien de sorte que l’organe de maintien passe de sa position de maintien à sa position de libération, un enlèvement de la plaquette du support, lorsque l’organe de maintien est dans sa position de libération. Ainsi, le traitement des plaquettes est automatisable, par exemple dans une ligne de manipulation de plaquettes, et/ou dans une ligne de fabrication de panneaux photovoltaïque. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES Les buts, objets, ainsi que les caractéristiques et avantages de l’invention ressortiront mieux de la description détaillée d’un mode de réalisation de cette dernière qui est illustré par les dessins d’accompagnement suivants dans lesquels : La figure 1A représente une vue d’ensemble d’un dispositif de maintien de l’état de la technique. La figure 1B représente une vue de détail de la figure 1A. La figure 2 représente une vue d’ensemble du dispositif de maintien selon un exemple de réalisation de l’invention. La figure 3A représente une vue de détail de l’intérieur du dispositif de maintien illustré en figure 2. La figure 3B représente une vue de détail de l’extérieur du dispositif de maintien illustré en figure 2. La figure 4 représente une vue du module de maintien, selon un exemple de réalisation. La figure 5 représente une vue d’un ensemble de traitement de plaquette, selon un exemple de réalisation. Les figures 6A à 6C représentent des étapes de traitement de plaquette par le dispositif de maintien illustré en figure 2 ou de façon équivalente par l’ensemble de traitement illustré en figure 5. La figure 7 représente une vue d’un ensemble de traitement de plaquette, selon un autre exemple de réalisation. Les figures 8A à 8D représentent des étapes de traitement de plaquette par l’ensemble de traitement illustré en figure 7. Les dessins sont donnés à titre d'exemples et ne sont pas limitatifs de l’invention. Ils constituent des représentations schématiques de principe destinées à faciliter la compréhension de l’invention et ne sont pas nécessairement à l'échelle des applications pratiques. En particulier les dimensions relatives du module de maintien et/ou de sa longueur de course et du support ne sont pas nécessairement représentatives de la réalité. DESCRIPTION DÉTAILLÉE Avant d’entamer une revue détaillée de modes de réalisation de l’invention, sont énoncées ci-après des caractéristiques optionnelles qui peuvent éventuellement être utilisées en association ou alternativement : dans la position de maintien, l’organe de maintien est configuré pour maintenir la plaquette en appui sur le support. Ainsi, une portion de la plaquette est prise en étau entre l’organe de maintien et le support, le dispositif comprend une pluralité de supports. Chaque support peut alors comprendre au moins un, et de préférence au moins deux, et plus préférentiellement encore au moins quatre, modules de maintien. Selon un exemple, le ou les modules de maintien de différents supports sont actionnables indépendamment entre les différents supports. Ainsi, une plaquette peut être maintenue et/ou libérée indépendamment de la plaquette d’un autre support. Notamment, la plaquette peut être immobilisée dès sa réception dans le support. Il n’est ainsi pas nécessaire d’attendre le chargement de toutes les plaquettes dans le dispositif pour les maintenir. Le risque d’endommagement d’une plaquette est ainsi encore minimisé, l’au moins un support délimite un espace intérieur de réception de la plaquette, et un espace extérieur au support, le module de maintien est configuré de sorte que l’application du champ magnétique depuis l’espace extérieur induise le passage de l’organe de maintien de sa position de maintien à sa position de libération. Ainsi, le passage de la position de maintien à la position de libération est actionné à distance de l’espace de réception des plaquettes, le module de maintien comprend un organe de conduite du champ magnétique à base de ou fait d’un matériau ferromagnétique doux, et l’organe de maintien comprend une portion magnétique, l’organe de conduite du champ magnétique étant configuré pour attirer magnétiquement l’organe de maintien. L’organe de conduite de champ peut en outre être configuré pour recevoir le champ magnétique à distance, par exemple depuis l’espace extérieur, et attirer magnétiquement l’organe de maintien pour son passage à la position de libération. En outre, l’organe de conduite du champ magnétique étant à base ou fait d’un matériau ferromagnétique doux, une bonne réactivité du passage de l’organe de maintien entre sa position de maintien et sa position de libération est obtenue. Selon un exemple, l’organe de conduite du champ magnétique à base de ou fait de fer doux, l’au moins un support délimite un espace intérieur de réception de la plaquette et un espace extérieur au support, et l’organe de conduite du champ magnétique s’étend dans le support depuis l’espace extérieur jusqu’à l’aplomb de la portion magnétique de l’organe de maintien, une portion de l’organe de conduite est directement en regard de la portion magnétique de l’organe de maintien, l’organe de maintien est mobile entre l’une quelconque parmi sa position de maintien et sa position de libération et l’autre parmi sa position de maintien et sa position de libération, par au moins un mouvement de translation selon une direction sensiblement perpendiculaire à une surface de coopération du support avec la plaquette, l’organe de maintien présente une longueur de course, entre sa position de maintien et sa position de libération, supérieure à 50 µm et/ou inférieure à 200 µm, de préférence supérieure à 80 et/ou inférieure à 130 µm. Cette longueur de course est ainsi particulièrement adaptée au passage d’une plaquette entre le support et l’organe de maintien. l’au moins un support délimitant un espace intérieur de réception de la plaquette, le support comprend deux guides de chargement : sensiblement parallèles l’un à l’autre, disposés de part et d’autre de l’espace intérieur de réception de la plaquette, et configurés pour former une surface de coopération du support avec la plaquette, de façon à guider au moins en translation la plaquette dans le support, l’organe de maintien est configuré de façon à, dans la position de maintien, maintenir en appui la plaquette sur au moins un guide de chargement, un support comprend au moins deux modules de maintien, et de préférence quatre modules de maintien. Le maintien de la plaquette dans le support est ainsi encore amélioré, le dispositif comprend au moins un module de maintien disposé sur chaque guide de chargement, et de préférence deux modules de maintien disposés sur chaque guide de chargement, au moins un guide de chargement comprend une ouverture entourant au moins partiellement l’organe de maintien dans sa position de maintien et dans sa position de libération, et configurée pour autoriser un mouvement en translation entre l’une quelconque parmi sa position de maintien et sa position de libération et l’autre parmi sa position de maintien et sa position de libération, selon une direction sensiblement perpendiculaire à une surface de coopération du support avec la plaquette, l’organe de rappel comprend au moins l’un parmi un ressort hélicoïdal ou une rondelle élastique, le dispositif comprend une pluralité de supports, empilés selon une direction d’empilement, le dispositif comprend une pluralité de supports disposés radialement autour d’un arbre mobile en rotation. Dans la suite de la description, le terme « sur » ne signifie pas nécessairement « directement sur ». Ainsi, lorsque l’on indique qu’une pièce ou qu’un organe A est en appui « sur » une pièce ou un organe B, cela ne signifie pas que les pièces ou organes A et B soient nécessairement en contact direct avec l’autre. Ces pièces ou organes A et B peuvent être soit en contact direct soit être en appui l’une sur l’autre par l’intermédiaire d’une ou plusieurs autres pièces. Il en est de même pour d’autres expressions telles que par exemple l’expression « A agit sur B » qui peut signifier « A agit directement sur B » ou « A agit sur B par l’intermédiaire d’une ou plusieurs autres pièces». Dans la présente demande de brevet, le terme mobile correspond à un mouvement de rotation ou à un mouvement de translation ou encore à une combinaison de mouvements, par exemple la combinaison d’une rotation et d’une translation. Dans la présente demande de brevet, lorsque l’on indique que deux pièces sont distinctes, cela signifie que ces pièces sont séparées. Elles peuvent être : positionnées à distances l’une de l’autre, et/ou mobiles l’une par rapport à l’autre et/ou solidaires l’une de l’autre en étant fixées par des éléments rapportés, cette fixation étant démontable ou non. Une pièce unitaire monobloc ne peut donc pas être constituée de deux pièces distinctes. Dans la présente demande de brevet, le terme « solidaire » utilisé pour qualifier la liaison entre deux pièces signifie que les deux pièces sont liées/fixées l’une par rapport à l’autre, selon tous les degrés de liberté, sauf s’il est explicitement spécifié différemment. Par exemple, s’il est indiqué que deux pièces sont solidaires en translation selon une direction x, cela signifie que les pièces peuvent être mobiles l’une par rapport à l’autre, possiblement selon plusieurs degrés de liberté, à l’exclusion de la liberté en translation selon la direction x. Autrement dit, si on déplace une pièce selon la direction x, l’autre pièce effectue le même déplacement. Dans la description détaillée qui suit, il pourra être fait usage de termes tels que « horizontal », « vertical », « longitudinal », « transversal », « supérieur », « inférieur », « haut », « bas », « avant », « arrière », « intérieur », « extérieur ». Ces termes doivent être interprétés de façon relative en relation avec la position normale du dispositif de maintien, et la direction normale de chargement des plaquettes dans le dispositif de maintien. Par exemple, la notion de « horizontal » correspond à un plan d’extension principale d’une surface de la plaquette dans un support du dispositif de maintien. On utilisera également un repère dont la direction longitudinale ou arrière/avant correspond à l’axe x, la direction transversale ou droite/gauche correspond à l’axe y et la direction verticale ou bas/haut correspond à l’axe z. On entend par un élément « à base » d’un matériau A, un élément comprenant ce matériau A, et comprenant éventuellement d’autres matériaux. On entend par un paramètre « sensiblement égal/supérieur/inférieur à » une valeur donnée, que ce paramètre est égal/supérieur/inférieur à la valeur donnée, à plus ou moins 10 % près, voire à plus ou moins 5 % près, de cette valeur. Un dispositif de maintien de plaquette selon un exemple de l’état de la technique est tout d’abord décrit en référence aux figures 1A et 1B. De façon générale, un dispositif de maintien 1’ de l’état de la technique comprend une pluralité de supports 10’, chaque support 10’ étant configuré pour recevoir une plaquette 3, et de préférence une unique plaquette 3. Selon l’exemple illustré par les figures 1A et 1B, le dispositif de maintien 1’ peut se présenter sous la forme d’une caisse de transport de plaquette 3. Le dispositif de maintien 1’ peut comprendre deux parois latérales 11’, s’étendant dans un plan (x, z), une paroi supérieure 12’ et une paroi inférieure 13’, la paroi supérieure et la paroi inférieure s’étendant dans un plan horizontal (x, y). La paroi inférieure 13’ peut comprendre une ouverture 130’, décrite plus en détail ultérieurement. Le fond 14’ du dispositif de maintien peut être formé par une ou plusieurs butées 140’ s’étendant depuis la paroi inférieure 13’ jusqu’à la paroi supérieure 12’, selon une direction verticale z. Les supports 10’ peuvent être empilés les uns sur les autres selon la direction d’empilement verticale z. Les supports 10’ peuvent former les parois latérales 11’ du dispositif de maintien 1’. Les supports 10’ peuvent délimiter un espace de réception 4 de la plaquette 3, cet espace étant intérieur au dispositif 1’, et un espace extérieur 5. Pour recevoir la plaquette 3, et comme illustré dans la figure 1B, chaque support 10’ comprend généralement au moins deux guides de chargement 100’. Chaque guide de chargement 100’ peut être configuré pour former une surface de coopération du support 10’ avec la plaquette 3, de façon à guider en translation la plaquette 3 dans le support 10’. Selon l’exemple illustré, le guide de chargement 100’ peut être formé par la paroi latérale 11’ et une projection 1000’ s’étendant dans un plan horizontal (x, y) dans l’espace de réception 4 de la plaquette 3. De façon générale, la projection 100’ s’étend selon la direction x sur sensiblement toute la longueur de la paroi latérale 11’. La plaquette 3 peut ainsi être guidée lors de son chargement en translation dans le support 10’, selon la direction x, et reposer en contact sur la surface de coopération formée par la projection 1000’. Dans le plan horizontal (x, y), le support 10’ présente de façon générale une longueur et une largeur supérieures à la longueur et à la largeur de la plaquette 3 dans ce plan. Un jeu est ainsi créé entre le support 10’ et la plaquette 3, pour éviter un endommagement et/ou un blocage de la plaquette 3 lors de son chargement ou de son déchargement dans le support 10’. Typiquement, une plaquette peut présenter une largeur et une longueur comprises entre 50 mm et 300 mm, de préférence entre 100 mm et 300 mm, par exemple une longueur d’environ 300 mm selon la direction x, une largeur d’environ 300 mm selon la direction y, et une épaisseur d’environ 50 à 80 µm. Selon un exemple, la plaquette peut être une plaquette d’un format parmi les suivants : M2 PSQ, M2 full square (pouvant être traduit de l’anglais par carré plein), M2+ PSQ, M2++ PSQ, M2++ full square, M4 PSQ, M6, M12. Comme illustré en figure 1B par les doubles flèches, le jeu entre le support 10’ et la plaquette 3 fait que la plaquette 3 conserve des degrés de liberté de mouvement dans son support 10’. Des frottements, voire des chocs peuvent survenir entre la plaquette 3 et les parois du support 10’, par exemple avec les bords du guide de chargement 100’. Le dispositif de maintien 1 selon un exemple de réalisation est maintenant décrit en référence à la figure 2. Le dispositif de maintien 1 comprend au moins un support 10. Dans la suite, on considère à titre non limitatif que le dispositif de maintien 1 comprend une pluralité de supports 10. Les supports 10 peuvent être identiques entre eux. Chaque support 10 est configuré pour recevoir une plaquette 3, et de préférence une unique plaquette 3. Le dispositif de maintien1 comprend en outre au moins un module de maintien 15 de la plaquette 3 sur le support 10. Le module de maintien 15 est configuré de façon à présenter une configuration de libération, dans laquelle un déplacement relatif au moins en translation de la plaquette 3 par rapport au support 10 est autorisé, et une configuration de maintien, dans laquelle le module de maintien est configuré de façon à solidariser la plaquette 3 avec son support 10. Dans la position de maintien, la plaquette 3 est ainsi immobilisée par rapport au support 10, ce qui prévient son déplacement dans le support 10, et donc prévient d’éventuels frottements, voire des chocs entre la plaquette 3 et le support 10’, malgré un éventuel jeu entre le support 10 et la plaquette 3. Pour cela, et comme illustré en figure 3A, le module de maintien 15 comprend un organe de maintien 150 et un organe de rappel 152. L’organe de maintien 150 est mobile entre une position de maintien et une position de libération. Dans la position de maintien, l’organe de maintien 150 est configuré pour exercer une force d’appui sur la plaquette 3. Plus particulièrement, dans la position de maintien, l’organe de maintien 150 est destiné à maintenir la plaquette 3 en appui sur une surface de coopération entre la plaquette 3 et le support 10. Ainsi, une portion de la plaquette 3 peut être prise en étau entre l’organe de maintien 150 et le support 10. Par exemple, la norme de la force de maintien peut être supérieure à 0,5 N et/ou inférieure à 5 N. Dans la position de maintien, l’organe de maintien 150 est à une première distance de la surface de coopération entre la plaquette 3 et le support 10. Dans la position de libération, l’organe de maintien 150 est à une deuxième distance de la surface de coopération entre la plaquette 3 et le support 10, la deuxième distance étant supérieure à la première distance. Selon un exemple, la longueur de course de l’organe de maintien 150, entre sa position de maintien et sa position de libération, est supérieure à 50 µm et/ou inférieure à 200 µm, de préférence supérieure à 80 et/ou inférieure à 130 µm. L’organe de rappel 152 est configuré de façon à exercer une force de rappel pour maintenir par défaut l’organe de maintien 150 dans sa position de maintien. L’organe de rappel 152 peut exercer une force de rappel sur l’organe de maintien 150 dans sa position de maintien et dans sa position de libération, et dans une position intermédiaire à ces positions. Pour cela, l’organe de rappel 152 peut être en appui d’une part sur le support 10 et d’autre part sur une partie de l’organe de maintien 150. Lorsque l’organe de maintien 150 est dans sa position de maintien, l’organe de rappel 152 peut être plus déployé que lorsque l’organe de maintien 150 est dans sa position de libération. L’organe de rappel peut par exemple être un ressort, par exemple un ressort hélicoïdal, ou une rondelle élastique, par exemple une rondelle de type Belleville. En outre, le module de maintien 15 est configuré de sorte que le passage de la position de maintien à la position de libération de l’organe de maintien 150 est induit, en opposition à la force de rappel exercée par l’organe de rappel 152, par l’application d’un champ magnétique B d’attraction de l’organe de maintien 150. Ainsi, la cinématique de fonctionnement du dispositif de maintien 1, et donc le procédé de traitement de plaquette 3 associé, peut comprendre les étapes suivantes. Un champ magnétique B d’attraction de l’organe de maintien 150 peut être appliqué au module de maintien 15 de sorte que l’organe de maintien 150 passe de sa position de maintien à sa position de libération. L’organe de maintien 150 étant dans sa position de libération, une plaquette 3 peut être chargée dans le support 10, par exemple par translation selon la direction x. Une fois la plaquette 3 chargée dans le support 10, l’application du champ magnétique B peut être stoppée. L’organe de rappel 152 exerçant une force de rappel sur l’organe de maintien 150, l’organe de maintien 150 passe de sa position de libération à sa position de maintien, solidarisant ainsi la plaquette 3 à son support 10. Plusieurs plaquettes 3 peuvent être chargées chacune sur un support 10, simultanément ou de façon successive, comme détaillé ultérieurement pour des exemples particuliers de réalisation. Le dispositif de maintien 10 peut ensuite être manipulé, par exemple transporté à un autre équipement, tout en assurant l’intégrité des plaquettes 3 maintenues. Pour décharger les plaquettes 3, un champ magnétique d’attraction de l’organe de maintien 150 peut être appliqué au module de maintien 15, de sorte que l’organe de maintien 150 passe de sa position de maintien à sa position de libération. La plaquette 3 peut alors être enlevée du support 10, par exemple par translation selon la direction x. Pour actionner le module de maintien 15, un ensemble 2 de traitement de plaquette peut comprendre le dispositif de maintien et un dispositif d’actionnement magnétique 20. le dispositif d’actionnement magnétique peut comprendre au moins un moyen de génération d’un champ magnétique, configuré de façon à induire le passage de l’organe de maintien 150 de sa position de maintien à sa position de libération. Selon un exemple illustré en figure 2, chaque support 10 du dispositif de maintien 1 peut délimiter un espace de réception 4 de la plaquette 3, cet espace étant intérieur au dispositif de maintien 1, et un espace extérieur 5. Le support 10 peut comprendre au moins un guide de chargement 100, et de préférence deux guides de chargement 100 disposés de part et d’autre de l’espace de réception 4 de plaquette 3. Les deux guides de chargement 100 peuvent être symétriques l’un de autre suivant un plan transversal médian du plan de chargement (x, y) de la plaquette 3. Chaque guide de chargement 100 peut être configuré pour former une surface de coopération du support 10 avec la plaquette 3, de façon à guider en translation la plaquette 3 dans le support 10. Selon l’exemple illustré par les figures 3A et 3B, le guide de chargement 100 peut être formé par une face interne 11a d’une paroi latérale 11 verticale et au moins une projection 1000 s’étendant dans un plan horizontal (x, y) dans l’espace de réception 4 de la plaquette 3. La projection 100 peut s’étendre selon la direction x sur sensiblement toute la longueur de la paroi latérale 11. Comme illustré par la figure 3A, la projection 100 peut présenter une face supérieure 1000a, une face inférieure 1000b et une face latérale 1000c. La face supérieure 1000a peut plus particulièrement former la surface de coopération de la plaquette 3 avec le support 10. Lorsque l’organe de maintien 150 est dans sa position de maintien, en l’absence d’une plaquette 3, l’organe de maintien peut être directement en appui sur la surface de coopération de la plaquette 3 avec le support 10. L’organe de maintien 150 peut être mobile entre sa position de maintien et sa position de libération par au moins un mouvement de translation selon une direction sensiblement perpendiculaire à la surface de coopération du support 10 avec la plaquette 3. L’organe de maintien 150 peut plus particulièrement être mobile en translation selon la direction verticale z. Selon un exemple, au moins deux modules de maintien 15 sont disposés sur chaque support 10. Deux modules de maintien 15 permettent de solidariser la plaquette 3 au support au niveau de deux zones, ce qui améliore encore le maintien de la plaquette. De préférence, au moins un module de maintien 15 est disposé de part et d’autre de la plaquette 3, selon la direction y. De préférence, quatre modules de maintien 15 sont disposés sur chaque support 10, et plus particulièrement deux modules de maintien 15 par guide de chargement 100. Les modules de maintien 15 sont de préférence identiques entre eux. Les modules de maintien 15 peuvent être disposés de façon identique entre différents supports 10. Lorsque les supports 10 sont empilés selon une direction d’empilement, par exemple la direction verticale z, les modules de maintien 15 peuvent être alignés selon une direction parallèle à cette direction. Le module de maintien 15 peut être configuré de sorte que l’application du champ magnétique depuis l’espace extérieur 5 induise le passage de l’organe de maintien 150 sa position de maintien à sa position de libération. Ainsi, le passage de la position de maintien à la position de libération est actionné à distance de l’espace de réception 4 des plaquettes 4. Le risque que l’actionnement du module de maintien 15 entraine un endommagement des plaquettes est ainsi minimisé, voire évité. Pour cela, le module de maintien 15 peut être accessible depuis l’espace extérieur 5. Selon un exemple non illustré, on peut prévoir que le support 10 comprenne une ouverture reliant l’espace extérieur 5 à l’organe de maintien 150. Cette ouverture peut ainsi permettre le passage d’un dispositif d’actionnement magnétique 20, comprenant un aimant pour exercer un champ magnétique d’attraction sur l’organe de maintien 150. Selon l’exemple illustré par les figures 3B et 4, le module de maintien comprend un organe de conduite 151 du champ magnétique B configuré pour attirer magnétiquement l’organe de maintien 150. Pour cela, l’organe de conduite 151 du champ magnétique peut être configuré recevoir un champ magnétique B et pour transmettre le champ magnétique B à l’organe de maintien 150. L’organe de conduite 151 du champ magnétique peut s’étendre dans le support 10 depuis l’espace extérieur 5, par exemple depuis la face externe 11b de la paroi latérale 11 du support 10, jusqu’à être en regard d’une partie de l’organe de maintien 150. Afin d’être attiré par le champ magnétique B appliqué, l’organe de maintien 150 comprend une portion magnétique 1502, susceptible d’être attirée par un champ magnétique. Cette portion magnétique 1502 peut par exemple comprendre un aimant permanent. Ainsi, comme illustré dans la figure 4, lors de l’application d’un champ magnétique B sur l’organe de conduite 151, l’organe de conduite 151 transmet de champ magnétique B jusqu’à une partie de l’organe de conduite 151 en regard de la portion magnétique 1502 de l’organe de maintien. Plus particulièrement, le champ magnétique B est configuré pour présenter une magnétisation inverse de celui de la portion magnétique 1502 de l’organe de maintien 150. L’organe de maintien 150 est alors attiré vers l’organe de conduite 151 selon le mouvement M 1 . L’organe de maintien peut par exemple être attiré jusqu’à être en contact avec l’organe de conduite 151 ou, selon un autre exemple, jusqu’à ce que la force de rappel exercée par l’organe de rappel 152 soit égale à la force d’attraction induite par le champ magnétique B. Selon un exemple, l’organe de conduite 151 du champ peut s’étendre jusqu’à l’aplomb de l’organe de maintien 150. Le support 10 peut en outre être configuré de sorte qu’une portion de l’organe de conduite 151 est directement en regard de la portion magnétique 1502 de l’organe de maintien 150. On comprend alors que l’organe de maintien 150 peut alors être mobile entre sa position de maintien et sa position de libération selon la direction verticale z, perpendiculairement à la surface de coopération 1000a du support avec la plaquette. L’organe de conduite 151 du champ magnétique est maintenant décrit en détail en référence à la figure 4. L’organe de conduite 151 peut comprendre une première portion 1510 s’étendant principalement dans le plan horizontal (x, y), et présentant une face inférieure 1510a et une face supérieure 1510b. La face inférieure 1510a peut être en regard de l’organe de maintien 150. L’organe de conduite 151 peut comprendre une deuxième portion 1511 présentant une face interne 1511a et une face externe 1511b. La face externe 1511b peut être en regard de l’espace extérieur 5. La face externe 1511b peut par exemple être sensiblement alignée avec la face externe 11b de la paroi latérale 11 du support 10. Le champ magnétique B peut ainsi être appliqué à l’organe de conduite 151 par sa face externe 1511b, sans risquer d’accrochage de l’organe de conduite 151 lors d’une manipulation du dispositif de maintien 1. L’organe de conduite 151 du champ magnétique peut être à base ou fait d’au moins un matériau ferromagnétique doux. Un matériau ferromagnétique doux est capable de s'aimanter lorsqu'il est soumis à un champ magnétique appliqué. En l’absence d’un champ magnétique, le matériau ferromagnétique doux peut présenter une faible aimantation rémanente. De préférence, en l’absence du champ magnétique, l’aimantation rémanente du matériau ferromagnétique induit une force d’attraction inférieure à la force de rappel exercée par l’organe de rappel 152. Plus préférentiellement, l’aimantation rémanente du matériau ferromagnétique doux est nulle en l’absence du champ magnétique. Ainsi, lorsque l’application du champ magnétique est interrompue, l’aimantation de l’organe de conduite 151 est fortement diminuée, voire annulée. La force de rappel exercée par l’organe de rappel 152 peut ainsi induire automatiquement le retour de l’organe de maintien 150 dans sa position de maintien. Selon un exemple, l’organe de conduite 151 du champ magnétique est à base ou fait de fer doux. Le fer doux s'aimante facilement et perd rapidement son aimantation une fois qu'il n'est plus soumis à un champ magnétique. Ainsi, la réactivité du module de maintien 15 est améliorée pour le passage de l’organe de maintien 150 de l’une à l’autre de ses positions de maintien et de libération. L’organe de maintien 150 est maintenant décrit en détail en référence à la figure 4. L’organe de maintien 150 peut être formé de trois portions. L’organe de maintien 150 peut comprendre une portion de maintien 1500 destinée à être en contact avec la plaquette 3. La portion de maintien 1500 peut présenter une face inférieure formant une surface de contact 1500a avec la plaquette 3. La surface de contact 1500a peut être ponctuelle. De préférence, la surface de contact 1500a est non-ponctuelle, par exemple d’une forme en deux dimensions, par exemple circulaire, carré ou rectangulaire. Un contact ponctuel avec la plaquette peut en effet créer par microcontact des défauts dans la plaquette 3, telle que des microfissures. Lorsque la surface de contact 1500a est non-ponctuelle, le risque d’endommagement des plaquettes 3 est encore réduit. L’organe de maintien 150 peut en outre comprendre une portion de guidage 1501 configurée pour coopérer avec le support 10 de sorte que l’organe de maintien 150 soit guidé en translation par le support 10 selon la direction verticale z, lors de son passage de l’une à l’autre de ses positions de maintien et de libération. La portion de guidage 1501 peut présenter une section horizontale de dimensions inférieures aux dimensions d’une section horizontale de la portion de maintien 1500. À l’interface entre la portion de maintien 1500 et la portion de guidage 1501, l’organe de maintien 150 peut ainsi présenter une collerette 1500b. L’organe de rappel 152 peut être disposé en appui sur la collerette 1500b. La portion de guidage 1501 peut être disposée entre la portion de maintien 1500 et la portion magnétique 1502 de l’organe de maintien 150. La portion magnétique 1502 s’étend de préférence dans un plan parallèle au plan d’extension de la première portion 1510 de l’organe de conduite 151, afin de favoriser l’attraction de l’organe de maintien 150 par l’organe de conduite 151 du champ magnétique B. Au moins la surface de maintien 1500a, et de préférence la portion de maintien 1500, et plus préférentiellement encore la portion de maintien 1500 et la portion de guidage 1501, peuvent être à base d’un matériau plastique. Le matériau plastique peut plus particulièrement être du polyétheréthercétone, communément désigné par l’acronyme PEEK, du terme anglais polyetheretherketone . Le PEEK est avantageusement un polymère facilement mis en forme par moulage, et suffisamment rigide pour ne pas se déformer lors de l’actionnement du module de maintien 15. En outre, il a été mis en évidence lors du développement de l’invention que le PEEK limite, voire évite, l’endommagement des plaquettes lorsque la surface de maintien 1500a est en contact avec une plaquette 3. Il n’est ainsi pas nécessaire d’ajouter à la portion de maintien 1500 une portion de contact destinée à former la surface de contact 1500a avec la plaquette 3.On peut néanmoins prévoir d’ajouter une portion de contact destinée à être à l’interface entre la portion de maintien 1500 et la plaquette 3, pour former la surface de contact 1500a. Le guide de chargement 100 peut être comprendre une projection 1000 inférieure et une projection 1000 supérieure. Notons qu’un même support 10 peut comprendre la projection 1000 inférieure et la projection 1000 supérieure, comme illustré par la figure 8A, ou bien une seule de ces projections, l’autre projection 1000 pouvant être apportée par un deuxième support 10 distinct, par exemple empilé sur le premier support 10, comme illustré par les figures 2 et 6A. Afin de guider l’organe de maintien 150 en selon la direction verticale z, la projection 1000 supérieure peut présenter une ouverture 1001 au niveau de sa face inférieure 1000b. L’ouverture 1001 peut s’étendre selon la direction verticale z. L’ouverture 1001 peut entourer au moins partiellement l’organe de maintien 150, et plus particulièrement la portion de guidage 1501, dans sa position de maintien et dans sa position de libération. L’ouverture 1001 peut présenter une section horizontale de forme complémentaire de celle de l’organe de maintien 150, et plus particulièrement de la portion de guidage 1501. L’organe de maintien 150 peut être au moins partiellement maintenu dans le support 10 quelle que soit sa position. Ainsi, l’organe de maintien 150 peut être guidé par le support 10 quelle que soit sa position. Pour cela, la longueur de l’organe de maintien 150 peut être supérieure à la distance séparant deux projections 1000 successives de part et d’autre du guide de chargement 100, selon la direction verticale z. Comme illustré par les figures 6A et 8B, la première portion 1510 de l’organe de conduite 151 du champ magnétique peut s’étendre horizontalement jusqu’à l’ouverture 1001.Lla première portion 1510 de l’organe de conduite 151 du champ magnétique peut plus particulièrement s’étendre dans une projection 1000, et être disposée entre sa face supérieure 1000a et sa face inférieure 1000b. Selon un exemple, la face inférieure 1510b de l’organe de conduite 151 du champ magnétique forme un fond de l’ouverture 1001. L’organe de rappel 152 peut s’étendre de la collerette 1500b de la portion de maintien jusqu’au fond de l’ouverture 1001. De préférence, et comme illustré par les figures 6C et 8B, l’organe de rappel 152 s’étend de la collerette 1500b de la portion de maintien 1500 jusqu’à la face inférieure 1000b de la projection 1000 supérieure, afin de maximiser la force de rappel pouvant être exercée. Un exemple de réalisation plus particulier est maintenant décrit en référence aux figures 2 et 5 à 6C. Selon cet exemple, le dispositif de maintien 1 peut être sous la forme d’une caisse de transport. De façon similaire à l’état de la technique décrit précédemment, et comme illustré par exemple par la figure 2, le dispositif de maintien 1 peut comprendre deux parois latérales 11, s’étendant dans un plan (x, z), une paroi supérieure 12 et une paroi inférieure 13, la paroi supérieure et la paroi inférieure s’étendant dans un plan horizontal (x, y). La paroi inférieure peut comprendre une ouverture 130. Le fond 14 du dispositif de maintien peut être formé par une ou plusieurs butées 140 s’étendant depuis la paroi inférieure 13 jusqu’à la paroi supérieure 12, selon une direction d’empilement z. Les supports 1’ peuvent être empilés les uns sur les autres selon la direction d’empilement z. Les supports 10 peuvent former les parois latérales 11’ du dispositif de maintien 1’. Comme illustré par les figures 2 et 6A, chaque support 10 peut être en forme de « L ». Chaque support 10 peut comprendre une seule projection 1000. Les supports 10 étant empilés, le guide de chargement 100 peut être formé par une projection inférieure 1000 et une projection supérieure 1000 d’un support distinct 10, ces projections étant superposées selon la direction d’empilement z. La figure 5 illustre un exemple d’un ensemble 2 de traitement de plaquette 3. Le dispositif de maintien 1 peut être configuré pour coopérer avec un dispositif élévateur 25 configuré pour déplacer verticalement le dispositif de maintien 1 selon une direction verticale, comme illustré par la double flèche M A en figure 5. Le dispositif de maintien 1 peut être déplacé verticalement de façon à venir mettre en contact, au niveau de l’ouverture 130, une courroie configurée pour entrainer la plaquette 3 de façon à la charger dans ou l’enlever de son support 10, par exemple selon un mouvement de translation selon la direction x, comme illustré par la double flèche M B . L’ensemble 2 de traitement de plaquette peut comprendre le dispositif d’actionnement magnétique 20, disposé sur un bâti 21. Le bâti 21 peut comprendre deux projections 210, chaque projection s’étendant, à l’extérieur du dispositif de maintien 1, le long d’une paroi latérale 11 du dispositif de maintien. Le dispositif d’actionnement 20 peut comprendre un moyen de génération d’un champ magnétique par module de maintien 15, tel qu’un électroaimant 200. Dans la suite, on considère à titre non limitatif que le moyen de génération d’un champ magnétique, est un électroaimant 200. Chaque électroaimant 200 peut être apte à être placé en regard d’une partie d’un module de maintien 15. Selon un exemple, chaque électroaimant 200 peut être disposé sur une projection 210 de façon à être disposé en regard du module de maintien 15, et plus particulièrement de la face externe 1511b de la deuxième portion 1511 de l’organe de conduite 151 du champ magnétique. Selon cet exemple, l’ensemble 2 de traitement de plaquette peut être actionné étape par étape de la façon suivante. Comme illustré en figure 6A, lors de l’application d’un champ magnétique, l’organe de maintien 150 peut être attiré par l’organe de conduite 151 du champ magnétique, et passe de sa position de maintien à sa position de libération en coulissant en translation dans l’ouverture 1001 de la projection 1000 supérieure. Comme illustré en figure 6B, une plaquette peut être chargée en translation selon la direction x dans le support 10, selon le mouvement illustré par la flèche M2, en coopérant avec la face supérieure 1000a de la projection inférieure 1000. Comme illustré en figure 6C, lorsque l’application du champ magnétique est arrêtée, l’organe de maintien 150 peut passer dans sa position de maintien grâce à la force de rappel F exercée par l’organe de rappel 152 entre la face inférieure 1000b de la projection 1000 supérieure et la portion de maintien 1500, selon le mouvement illustré par la flèche M3. Le dispositif de maintien 1 peut ensuite être déplacé verticalement par le dispositif élévateur 25 de façon à aligner le dispositif d’actionnement magnétique 20 avec le module de maintien 15 d’un support 10 distinct, par exemple du support inférieur, afin de poursuivre le chargement des plaquettes 3 dans le dispositif de maintien 1. Un autre exemple de réalisation particulier est maintenant décrit en référence aux figures 7 à 8D. Selon cet exemple, l’ensemble 2 de traitement de plaquette 3 peut être sous la forme d’une roue de retournement de plaquette 3. Dans la suite, on détaille les différences structurelles de cet exemple par rapport à l’ensemble comprenant une caisse de transport. La roue à retournement peut comprendre une pluralité de supports 10 disposés radialement autour d’un arbre 23 mobile en rotation autour d’une direction y, perpendiculaire à la direction de chargement x des plaquettes 3. La roue à retournement peut comprendre un bâti 21 comprenant deux projections 210, chaque projection s’étendant de part et d’autre de l’arbre 23 selon la direction x. Le dispositif d’actionnement 20 peut être configuré pour actionner le module de maintien 15 d’un support 10 disposé dans un plan horizontal (x, y) en avant et d’un support 10 disposé dans un plan horizontal (x, y) en arrière de l’arbre 23. Pour cela, le dispositif d’actionnement 20 peut comprendre des électroaimants 200 disposés de façon symétrique par rapport à l’axe de rotation de l’arbre 23. le dispositif d’actionnement 20 peut comprendre deux paires d’électroaimants 200 par module de maintien 15 d’un support 10, un électroaimant 200 d’une paire étant disposé sur une portion avant d’une projection 210, et l’autre électroaimant 200 de la même paire étant disposé sur une portion arrière de la projection 210. Comme illustré par les figures 7 et 8A, chaque support 10 peut être en forme de « U ». Chaque support 10 peut comprendre deux projections 1000, une projection supérieure et une projection inférieure délimitant verticalement le guide de chargement 100. Selon cet exemple, l’ensemble 2 de traitement de plaquette 3 peut être actionné étape par étape de la façon suivante. Comme illustré en figure 8A, sans l’application d’un champ magnétique, l’organe de maintien 150 est par défaut dans sa position de maintien. Comme illustré en figure 8B, lors de l’application d’un champ magnétique B, l’organe de maintien 150 est attiré par l’organe de conduite 151 du champ magnétique B, et passe de sa position de maintien à sa position de libération en coulissant en translation dans l’ouverture 1001 de la projection 1000 supérieure. Comme illustré en figure 8C, une plaquette peut être chargée en translation selon la direction x dans le support 10, selon le mouvement illustré par la flèche M2, en coopérant avec la face supérieure 1000a de la projection inférieure 1000. Lorsque l’application du champ magnétique est arrêtée, l’organe de maintien 150 peut passer dans sa position de maintien. Le support 10 peut ensuite être entrainé en rotation par l’arbre 23 selon le mouvement illustré par la flèche M4 illustrée en figure 8C. Lors de la rotation du support 10, la plaquette 3 est ainsi solidaire du support 10 pour limiter, voire éviter, son endommagement. Suite à une rotation sur un intervalle angulaire, par exemple de 180 °C, l’organe de maintien 150 peut être actionné par le dispositif d’actionnement magnétique 20 et passer dans sa position de libération. La plaquette 3 peut alors être récupérée selon le mouvement illustré par la flèche M5. La plaquette 3 peut ainsi être retournée de façon fiable et sans endommagement. Au vu de la description qui précède, il apparaît clairement que l’invention propose un dispositif de maintien, un ensemble de traitement de plaquette et un procédé de traitement de plaquette permettant d’améliorer le maintien de plaquette, par exemple lors de sa manipulation et/ou son transport. L’invention n’est pas limitée aux modes de réalisations précédemment décrits et s’étend à tous les modes de réalisation couverts par les revendications. LISTE DES REFERENCES NUMERIQUES 1, 1’ Dispositif de maintien 10, 10’ Support 100, 100’ Guide de chargement 1000, 1000’ Projection 1000a Face supérieure 1000b Face inférieure 1000c Face interne 1001 Ouverture 11, 11’ Paroi latérale 11a Face interne 11b Face externe 12, 12’ Paroi supérieure 13, 13’ Paroi inférieure 130, 130’ Ouverture 130a Bordure 14, 14’ Fond 140, 140’ Butée 15 Module de maintien 150 Organe de maintien 1500 Portion de maintien 1500a Surface de maintien 1500b Collerette 1501 Portion de guidage 1502 Portion magnétique 151 Organe de conduite de champ 1510 Première portion 1510a Face supérieure 1510b Face inférieure 1511 Deuxième portion 1511a Face extérieure 1511b Face interne 152 Organe de rappel 2 Ensemble 20 Dispositif d’actionnement magnétique 200 Électroaimant 21 Bâti 210 Projection 23 Arbre 25 Dispositif élévateur 3 Plaquette 4 Espace intérieur 5 Espace extérieur Dispositif de maintien (1) d’au moins une plaquette (3) comprenant au moins un support (10), l’au moins un support (10) étant configuré pour recevoir une plaquette (3), et comprenant au moins un module de maintien (15) de la plaquette (3) sur le support (10), caractérisé en ce que : le module de maintien (15) comprend un organe de maintien (150) mobile entre : une position de maintien, dans laquelle l’organe de maintien (150) est configuré pour exercer une force d’appui sur la plaquette (3), de façon à la solidariser au support (10), et une position de libération, distincte de la position de maintien, autorisant un déplacement relatif au moins en translation de la plaquette (3) par rapport au support (10), le module de maintien (15) comprend un organe de rappel (152) configuré de façon à exercer une force de rappel pour maintenir par défaut l’organe de maintien (150) dans sa position de maintien, le module de maintien (15) est configuré de sorte que le passage de la position de maintien à la position de libération de l’organe de maintien (150) est induit, en opposition à la force de rappel exercée par l’organe de rappel (152), par l’application d’un champ magnétique d’attraction de l’organe de maintien (150). Dispositif (1) selon la revendication précédente, dans lequel l’au moins un support délimite un espace intérieur (4) de réception de la plaquette (3), et un espace extérieur (5) au support (10), et dans lequel le module de maintien (15) est configuré de sorte que l’application du champ magnétique depuis l’espace extérieur (5) induise le passage de l’organe de maintien (150) de sa position de maintien à sa position de libération. Dispositif (1) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le module de maintien (15) comprend un organe de conduite (151) du champ magnétique à base d’un matériau ferromagnétique doux, et l’organe de maintien (150) comprend une portion magnétique (1502), l’organe de conduite (151) du champ magnétique étant configuré pour attirer magnétiquement l’organe de maintien (150). Dispositif (1) selon la revendication précédente, dans lequel, l’au moins un support (10) délimite un espace intérieur (4) de réception de la plaquette et un espace extérieur (5) au support, et dans lequel l’organe de conduite (151) du champ magnétique s’étend dans le support (10) depuis l’espace extérieur (5) jusqu’à l’aplomb de la portion magnétique (1502) de l’organe de maintien (150). Dispositif (1) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l’organe de maintien (150) est mobile entre l’une quelconque parmi sa position de maintien et sa position de libération et l’autre parmi sa position de maintien et sa position de libération, par au moins un mouvement de translation selon une direction sensiblement perpendiculaire à une surface de coopération du support (10) avec la plaquette (3). Dispositif (1) selon la revendication précédente, dans lequel l’organe de maintien (150) présente une longueur de course, entre sa position de maintien et sa position de libération, supérieure à 50 µm et/ou inférieure à 200 µm, de préférence supérieure à 80 et/ou inférieure à 130 µm. Dispositif (1) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel, l’au moins un support (10) délimitant un espace intérieur (4) de réception de la plaquette (3) : le support (10) comprend deux guides de chargement (100) : sensiblement parallèles l’un à l’autre, disposés de part et d’autre de l’espace intérieur (4) de réception de la plaquette (3), et configurés pour former une surface de coopération du support (10) avec la plaquette (3), de façon à guider au moins en translation la plaquette (3) dans le support (10), l’organe de maintien (150) est configuré de façon à, dans la position de maintien, maintenir en appui la plaquette (3) sur au moins un guide de chargement (100). Dispositif (1) selon la revendication précédente, comprenant au moins un module de maintien (15) disposé sur chaque guide de chargement (100), et de préférence deux modules de maintien (15) disposés sur chaque guide de chargement (100). Dispositif (1) selon l’une quelconque des deux revendications précédentes, dans lequel au moins un guide de chargement (100) comprend une ouverture (1001) entourant au moins partiellement l’organe de maintien (150) dans sa position de maintien et dans sa position de libération, et configurée pour autoriser un mouvement en translation entre l’une quelconque parmi sa position de maintien et sa position de libération et l’autre parmi sa position de maintien et sa position de libération, selon une direction sensiblement perpendiculaire à une surface de coopération du support (10) avec la plaquette (3). Dispositif (1) selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l’organe de rappel (152) comprend au moins l’un parmi un ressort hélicoïdal ou une rondelle élastique. Dispositif (1) selon l’une quelconque des revendications précédentes, comprenant une pluralité de supports (10), empilés selon une direction d’empilement. Dispositif (1) selon l’une quelconque des revendications 1 à 10, comprenant une pluralité de supports (10) disposés radialement autour d’un arbre (23) mobile en rotation. Ensemble (2) de traitement d’au moins une plaquette (3) comprenant le dispositif de maintien (1) selon l’une quelconque des revendications précédentes et un dispositif d’actionnement magnétique (20) de l’au moins un module de maintien (15) configuré de façon à induire le passage de l’organe de maintien (150) de sa position de maintien à sa position de libération. Ensemble (2) selon la revendication précédente, dans lequel le dispositif d’actionnement magnétique (20) comprend au moins un électroaimant (200) apte à être placé en regard d’une partie de l’au moins un module de maintien (15). Procédé de traitement d’au moins une plaquette par un dispositif de maintien (1) selon l’une quelconque des revendications 1 à 12, comprenant successivement: une application d’un champ magnétique à l’au moins un module de maintien (15) de sorte que l’organe de maintien (150) passe de sa position de maintien à sa position de libération, une fourniture d’une plaquette (3) au support (10), lorsque l’organe de maintien (150) est dans sa position de libération, suite à la fourniture de la plaquette (3) au support (10), un arrêt de l’application du champ magnétique de sorte qu’une force de rappel exercée par l’organe de rappel (152) induise le passage de l’organe de maintien (150) de sa position de libération à sa position de maintien, une application d’un champ magnétique au module de maintien (15) de sorte que l’organe de maintien (150) passe de sa position de maintien à sa position de libération, un enlèvement de la plaquette (3) du support (10), lorsque l’organe de maintien (150) est dans sa position de libération.