Brevet FR3120121A1 — publié le 20220826

L’invention concerne de la mesure d’un capteur inertiel vibrant disposé sur un porteur et comprenant un résonateur s’étendant autour de deux axes x et y perpendiculaires entre eux définissant un repère capteur xy et comprenant : - une masse mobile vibrante comportant au moins deux parties configurées pour vibrer en opposition de phase selon une direction x’ définissant un repère onde x’y’, l’onde de vibration faisant un angle électrique θ par rapport à l’axe x ; - au moins une paire de transducteurs d’excitation et une paire de transducteurs de détection opérant selon les deux axes x ou y ; le procédé de correction s’appliquant lorsque le capteur est en fonctionnement avec une onde de vibration vibrant selon l’axe x’ et comprenant les étapes consistant, lorsque le porteur est sensiblement à l’arrêt, à : A commander une rotation électrique de l’onde de vibration selon une vitesse angulaire commandée Ωc, de telle manière que l’angle électrique θ balaie au moins une plage angulaire de kπ radians; puis B récupérer les valeurs angulaires mesurées Ωe par le capteur inertiel sur ladite plage angulaire, et déterminer la moyenne Ωem desdites valeurs angulaires mesurées ; puis C retrancher la vitesse angulaire commandée Ωc à ladite moyenne Ωem ; les étapes A à C étant réalisées pour au moins deux vitesses angulaires commandées différentes de manière à déterminer au moins deux moyennes des valeurs angulaires mesurées ; puis D déterminer : - l’erreur de facteur d’échelle électrique moyen FEem, et - la valeur angulaire réelle Ωv du porteur additionnée d’une valeur de dérive Dm du capteur, ladite détermination étant réalisée à partir des vitesses angulaires commandées Ωc et des moyennes Ωem des valeurs angulaires mesurées, selon la formule : . Figure pour l’abrégé : pas de figure Procédé de correction de la mesure d’un capteur inertiel angulaire vibrant DOMAINE TECHNIQUE DE L’INVENTION Le domaine de l’invention est celui des capteurs inertiels vibrants dans lesquels au moins deux masses sont mises en vibration, voire une seule masse comportant au moins deux parties, une masse ou une partie de masse étant apte à se déformer par rapport à l’autre. Sans que cela soit limitatif, l’invention concerne notamment des capteurs inertiels de type MEMs pouvant présenter une structure plane, par exemple des capteurs micro usinés dans une plaque de support. L’invention concerne un procédé de mesure angulaire (angle ou vitesse angulaire) et en particulier un procédé de correction d’une telle mesure. ETAT DE LA TECHNIQUE Les capteurs inertiels vibrants (ou à diapason) sont connus de l’homme de l’art. Un capteur inertiel vibrant comprend un résonateur, qui peut être axisymétrique, mais pas nécessairement, associé à des moyens de mise en vibration du résonateur et à des moyens de détection d'une orientation de la vibration (onde de vibration) par rapport à un repère du capteur. Ces moyens comprennent généralement au moins deux groupes d'actionneurs solidaires du boîtier du capteur et/ou du résonateur et au moins deux groupes de détecteurs également solidaires du boîtier et/ou du résonateur. Par souci de simplification, un capteur inertiel angulaire peut être désigné indifféremment dans l’ensemble de la présente description par « capteur inertiel » ou « capteur angulaire » voire « capteur ». Un tel capteur est disposé sur un porteur afin de mesurer les valeurs d’angle et/ou de vitesse angulaire dudit porteur. Le porteur peut être tout ou partie d’un avion, d’un bateau, d’un train, d’un camion, d’une voiture, d’un satellite ou de tout autre véhicule aérien, terrestre ou maritime. Il existe notamment des capteurs inertiel micro-usinés dans une plaque mince plane, permettant la mesure d’une position angulaire (gyroscope) ou d’une vitesse angulaire (gyromètres), qui sont notamment décrits dans le document EP2960625. On en rappelle ci-dessous les principales caractéristiques. La fabrication de ces capteurs micro-usinés dits encore capteurs « MEMS » (pour « Micro-Electro-Mechanical-Systems » en anglais) utilise des techniques de micro-usinage collectif, de gravure, dépôt de dopage, etc., semblables à celles qui sont utilisées pour la fabrication de circuits intégrés électroniques, permettant des faibles coûts de production. Les capteurs MEMS décrits dans la demande EP2960625 sont constitués de deux masses mobiles vibrantes M1 et M2 illustrées en disposées l’une autour de l’autre de manière concentrique et excitées en vibration en mode diapason dans le plan de la plaque (plan xy sur la ) via un ou plusieurs transducteurs d’excitation. Les deux masses sont suspendues à des points d’ancrage fixes A de la plaque par des ressorts de suspension RS (orthotropes). Les deux masses sont couplées entre elles par des éléments de raideurs RC. On vise généralement à obtenir par construction une raideur selon x égale à une raideur selon y et une raideur de couplage entre x et y nulle. Le mode de vibration utile correspond à une vibration linéaire des deux masses en opposition de phase. Plus généralement, il peut s’agir de plus de deux masses mobiles, par exemple de quatre masses mobiles, ou à l’inverse d’une seule masse comportant au moins deux parties, l’une étant apte à se déformer par rapport à l’autre, par exemple sur un micro gyromètre résonnant hémisphérique (µGRH). La structure décrite dans la demande EP2960625 forme un système résonnant (dit « résonateur ») à deux masses couplées entre elles par l’accélération de Coriolis. Lorsque le capteur tourne autour de l’axe z perpendiculaire au plan xy, l’axe z étant dénommé « axe sensible », la composition de la vibration forcée avec le vecteur de rotation angulaire engendre, par effet Coriolis, des forces qui mettent les masses mobiles en vibration naturelle perpendiculairement à la vibration d’excitation et à l’axe sensible ; l’amplitude de la vibration naturelle est proportionnelle à la vitesse de rotation. L'électronique associée au capteur calcule l'amplitude de la vibration naturelle selon la direction orthogonale à la direction d'excitation quelle que soit celle-ci (connue par hypothèse). Le capteur peut fonctionner en mode gyromètre : la direction d’excitation est maintenue fixe en modifiant l'excitation, et par conséquent l’axe perpendiculaire à cette vibration est maintenue fixe par rapport au boîtier du capteur et l'information de sortie est alors une image de l'énergie nécessaire qu'il faut appliquer aux transducteurs d'excitation pour maintenir fixe la direction de vibration naturelle malgré les mouvements du boîtier. La mesure de cette énergie (ou « contre force ») donne accès à la vitesse angulaire Ω du capteur. Le capteur peut aussi fonctionner en mode gyroscope : la direction de la vibration d’excitation est laissée libre et est détectée pour donner l'orientation angulaire du capteur par rapport à un repère inertiel, qui peut être également et simplement nommée « angle ». On peut également déduire la vitesse angulaire du capteur en dérivant la mesure d’angle. L’ensemble de la structure du résonateur décrite dans la demande EP2960625 est axisymétrique autour des deux axes x et y définissant un repère capteur tel qu’illustré en . On entend par axisymétrique que la structure est symétrique par rapport à x et symétrique par rapport à y. Mais il faut comprendre que cette définition peut couvrir toutes les dissymétries mineures possibles. Comme décrit ci-dessous, ces axes constituent les directions principales des actionneurs et détecteurs, qui opèrent selon ces deux axes. Pour exciter le mode de vibration utile dans une direction donnée quelconque du plan, on décompose le signal d'excitation en deux composantes d'amplitudes respectives ajustées. Comme illustré en , les deux composantes d'amplitudes peuvent être appliquées respectivement au transducteur d'excitation Ex agissant selon la direction x et au transducteur d'excitation Ey agissant selon la direction y, les deux transducteurs d’excitation étant associés à au moins une masse mobile (masse interne M1 sur la ). On applique donc à ces transducteurs des forces d’excitation pour générer et entretenir l’onde de vibration: ils sont aptes à entretenir la vibration forcée via une commande d’amplitude Ca (lutter contre l’amortissement du capteur) et selon n’importe quelle direction du plan xy, via une commande de précession Cp (faire tourner l’onde). On dénomme axe x’ l’axe de vibration de l’onde. Cet axe définit un repère x’y’, avec y’ perpendiculaire à x’ dans le plan du capteur (pour rappel, les axes principaux du capteur sont x et y). L’axe x’ fait avec l’axe x un angle θ dénommé « angle électrique » et le repère x’y’ est dénommé « repère onde ». Ceci est illustré en . Les forces d’excitation FX et FY appliquées suivant l’axe x et l’axe y du capteur sont issues de commandes Cr, Ca, Cq et Cp calculées dans le repère onde par des asservissements connus de l’homme de l’art, à partir de la démodulation des signaux détectés relatifs au déplacement de la vibration. A partir des mesures du mouvement de l’onde X et Y réalisés dans le repère xy, on applique une rotation pour passer dans le repère onde x’y’, puis les commandes sont déterminées (via une démodulation de signaux détectés) et on réapplique une rotation inverse pour repasser dans le repère capteur xy, dans lequel sont appliquées les forces d’excitation. Les commandes sont déterminées de sorte que le déplacement de la masse, c’est-à-dire l’onde de vibration du capteur, prenne une forme voulue. Généralement la forme souhaitée de l’onde est un déplacement linéaire oscillant dans la direction x’ par rapport au repère xy du capteur. Mais l’onde est généralement de forme elliptique, sensiblement plate selon la direction perpendiculaire à la direction x’ (en d’autres termes le petit axe de l’ellipse est très faible relativement au grand axe, lequel grand axe correspond à la direction donnée). La commande Cr correspond aux forces de raideur pour contrôler la fréquence propre du résonateur. Comme la phase est reliée à l’intégrale de la fréquence, Cr contrôle donc la phase de l’onde. La commande Ca correspond aux forces d’amplitude pour compenser l'effet des forces d'amortissement du capteur et maintenir constante l'amplitude de la vibration : elle permet donc de contrôler l’amplitude de l’onde. La commande Cp correspond aux forces de précession qui permettent de contrôler la vitesse angulaire de l’onde. Dans le cas d'un capteur fonctionnant en mode gyromètre, une commande de précession Cp est appliquée de sorte à asservir l'orientation de la vibration (ou angle électrique) à une valeur de consigne constante. La commande Cq correspond aux forces de quadrature pour contrôler la quadrature de l’onde, c’est-à-dire garantir la linéarité de l’onde ou, quand l’onde souhaitée n’est pas linéaire, elle est généralement elliptique, Cq permet de contrôler le petit axe de l’ellipse. On détecte les mouvements de l’onde résultante en combinant l'information recueillie par au moins une paire de transducteurs de détection Dx, Dy récupérant la position de la masse dans sa course dans le repère capteur xy et associés à au moins une masse mobile (M1 sur la ). Dans la , sont représentées deux paires de transducteurs de détection Dx, Dy. Selon une variante connue et avantageuse, on peut réaliser des transducteurs sur les deux masses M1 et M2 (non représenté). La et cette variante constituent des exemples d’agencement non limitatifs, beaucoup d’autres types d’agencement sont possibles, avec la contrainte de réaliser un système axisymétrique. Le capteur ainsi formé d’un résonateur Res associé aux transducteurs d’excitation E et de détection D est relié à une unité de traitement UT, comme illustré en . FX et FY sont les forces d’excitation appliquées suivant l’axe x et l’axe y du capteur, X et Y sont les mesures du mouvement de l’onde dans le repère du capteur xy. L’onde de vibration OV vibre selon x’ avec un angle électrique θ. L’unité de traitement UT procède aux différents calculs pour les asservissements et génère, pour les corrections, l’ensemble des commandes/forces précitées Cr, Ca, Cq et Cp aux différents transducteurs. Dans l’unité de traitement UT, les mouvements détectés X et Y sont d’abord transformés dans le repère onde x’y’ par une rotation selon θ puis les commandes d’excitation sont déterminées dans le repère onde par des asservissements sous la forme de tensions électriques U’x et U’y avec, par exemple : Les transducteurs sont préférentiellement réalisés par des électrodes en peigne interdigités à variation d’entrefer. Il y a un peigne fixe dont les dents sont solidaires d'une masse fixe de la plaque usinée et un peigne mobile dont les dents, interdigitées avec les dents du peigne fixe, sont solidaires de la masse mobile associée au transducteur considéré. L'excitation consiste à appliquer une force d’excitation via une tension alternative entre le peigne mobile et le peigne fixe, à la fréquence de vibration souhaitée (fréquence de résonance mécanique de la masse mobile suspendue, typiquement de l’ordre de quelques KHz). Le mouvement engendré est perpendiculaire aux dents du peigne. La détection consiste à appliquer une tension de polarisation entre le peigne fixe et le peigne mobile et à observer les variations de charge qui résultent des variations de capacité entre le peigne fixe et le peigne mobile dues aux variations d'espacement entre les dents du peigne fixe et du peigne mobile. Le mouvement mesuré est le mouvement perpendiculaire aux dents du peigne. Alternativement, dans une autre configuration, on peut mesurer le mouvement longitudinal aux dents des peignes. Sous l'effet des défauts de réalisation, les mesures fournies par ces capteurs inertiels vibrants axisymétriques présentent des défauts de mesure ou « dérives » (défaut d’estimation de la vitesse angulaire en mode gyromètre ou de l'angle en mode gyroscope), et ont pour effet de dégrader le niveau de précision des valeurs ainsi mesurées, et ce, qu'ils soient utilisés en mode gyroscope ou en mode gyromètre. Il est connu que la dérive du capteur varie en fonction de l’angle électrique θ. Il est également connu qu’un capteur inertiel vibrant axisymétrique possède, après calibration des défauts électroniques et d’équilibrage, une dérive moyenne (qui est définie comme étant la dérive obtenue en faisant la moyenne des dérives obtenues pour différents angles électriques uniformément répartis) très faible, typiquement entre dix et cent fois plus faible que la dérive maximale dudit capteur pour un angle électrique donné. Pour mesurer une vitesse angulaire ou un angle dont le défaut est la dérive moyenne, une solution est de faire tourner l’onde de vibration. Pour pouvoir faire tourner l’onde de vibration il faut envoyer une commande de rotation qui va se retrouver dans le signal de sortie. La suppression de cette commande de rotation (bien que connue) de la sortie du capteur n’est pas simple car ladite commande est déformée par la fonction de transfert du capteur entre la commande injectée et la commande se retrouvant sur le signal dudit capteur, et qu’il ne suffit donc pas simplement de retrancher la commande de rotation pour retrouver le signal utile. Par fonction de transfert du capteur, on entend la fonction qui a en entrée une vitesse angulaire injectée et en sortie la vitesse angulaire mesurée. De nombreux brevets exploitent la commande de rotation de l’onde et sa correction, par exemple dans le brevet US 6,598,455 B1 qui concerne un procédé d'étalonnage d'un gyroscope vibrant MEMS comprenant l'introduction d'un signal de rotation simulé dans le gyroscope, la détection du mouvement créé par le signal de rotation simulé et la combinaison d’un signal de correction du mouvement détecté avec le signal de rotation simulé. Plus précisément, des éléments électrostatiques déjà présents dans le gyroscope vibrant MEMS sont utilisés pour simuler les forces de Coriolis, et le signal de rotation simulé est ajouté au système de rééquilibrage de la force d’excitation en boucle fermée pour effectuer un test inertiel sur des gyroscopes vibrants MEMS, et ce, sans l'utilisation d'une table de rotation. Cependant, l’envoi d’un tel signal perturbe la mesure du capteur et génère des erreurs du fait du facteur d’échelle, et le brevet précité ne donne pas de moyens pour supprimer ces erreurs générées si on veut exploiter la méthode en temps réel et pas seulement lors d’une calibration. Par facteur d’échelle, on entend le rapport entre une vitesse angulaire (ou plus largement valeur angulaire) en entrée (injectée électriquement pour un facteur d’échelle électrique ou par rotation du capteur pour un facteur d’échelle mécanique) et la vitesse angulaire (ou plus largement valeur angulaire) mesurée en sortie, à laquelle le biais de mesure a été supprimé. Des solutions sont connues pour annuler l’erreur de facteur d’échelle, et réduire les erreurs générées par la solution précédemment décrite. La demande de brevet EP0392104 A1 par exemple décrit un capteur dans lequel l’axe sensible est tourné de 180° pour annuler l’erreur de facteur d’échelle. Dans d’autres demandes de brevet FR 2 937 414, FR 2 959 009 et FR 2 958 029, les solutions pour annuler l’erreur de facteur d’échelle qui correspondent à une combinaison des brevets US 6,598,455 B1 et EP0392104 A1 précédemment décrites et consistent à envoyer une commande de rotation de l’onde sur une valeur de consigne adaptée pour faire tourner l’onde dans un sens puis dans le sens inverse, avec un signal de commande à moyenne nulle sur une période de temps donnée (FR 2 937 414 et FR 2 958 029), et éventuellement en ajoutant une étape où la dérivée temporelle de la consigne est déduite de la commande (FR 2 958 029). Dans ces deux brevets FR 2 937 414 et FR 2 958 029, le problème est qu’il ne suffit pas de retrancher la commande introduite pour annuler les erreurs induites par ladite commande sur le capteur, car ladite commande de rotation est déformée par la fonction de transfert du capteur, comme expliqué plus avant. Ainsi, ces solutions induisent des nouvelles erreurs dans la mesure. En outre, dans la demande de brevet FR 2 959 009, il est prévu de supprimer ces nouvelles erreurs induites par la commande de rotation de l’onde, en utilisant un capteur externe de référence. Ainsi, on vient compenser l’erreur introduite par la commande à l’aide d’un capteur externe supplémentaire. Ainsi, les solutions proposées sont basées sur des commandes de rotation qui engendrent de nouvelles erreurs. On constate que faire tourner l’onde dans un sens en permanence permet de bénéficier de la dérive moyenne mais une nouvelle dérive engendrée par le facteur d’échelle apparait, et que faire tourner l’onde dans un sens puis dans le sens inverse induit des erreurs qu’on ne peut pas aisément retrancher du fait de la fonction de transfert du capteur. En outre, l’utilisation d’une mesure externe fournissant une valeur de sortie de référence génère un système plus gros, plus cher, qui consomme plus. L’invention vise à surmonter les inconvénients précités de l’art antérieur. Plus particulièrement elle vise à disposer d’une méthode de correction de la mesure d’un capteur inertiel, qui permette de réduire les erreurs de mesure et qui ne nécessite pas de capteur de référence supplémentaire. Un premier objet de l’invention permettant de remédier à ces inconvénients est un procédé de correction de la mesure d’un capteur inertiel, ledit capteur inertiel étant disposé sur un porteur et comprenant un résonateur s’étendant autour de deux axes x et y perpendiculaires entre eux définissant un repère capteur xy et comprenant : - au moins une masse mobile vibrante, ladite au moins une masse mobile comportant au moins deux parties configurées pour vibrer en opposition de phase à une pulsation de vibration et selon une direction x’ définissant un repère onde x’y’, l’onde de vibration selon x’ faisant un angle électrique θ par rapport à l’axe x ; - une pluralité de transducteurs électrostatiques commandés par des tensions électriques et opérant selon les deux axes x ou y, lesdits transducteurs comprenant au moins : -- une paire de transducteurs de détection configurés pour détecter les mouvements de l’onde de vibration selon x et y ; et -- une paire de transducteurs d’excitation auxquels sont appliquées des forces d’excitation respectivement selon x et y, via une pluralité de commandes d’excitation déterminées par des asservissements à partir des mouvements détectés, configurés pour maintenir l’onde à une amplitude constante via une commande d’amplitude et, éventuellement, pour faire tourner ladite onde de vibration via une commande de précession ; le procédé de correction s’appliquant lorsque le capteur est en fonctionnement avec une onde de vibration vibrant selon l’axe x’ ; ledit procédé comprenant les étapes consistant, lorsque le porteur est sensiblement à l’arrêt, à : A commander une rotation électrique de l’onde de vibration selon une vitesse angulaire commandée Ωc, de telle manière que l’angle électrique θ balaie au moins une plage angulaire de kπ radians, k étant un entier supérieur ou égal à 1; puis B récupérer les valeurs angulaires mesurées Ωe par le capteur inertiel sur la plage angulaire de kπ radians de l’angle électrique θ pour la vitesse angulaire commandée Ωc, et déterminer la moyenne Ωem desdites valeurs angulaires mesurées sur ladite plage angulaire ; puis C retrancher la vitesse angulaire commandée Ωc à la moyenne Ωem des valeurs angulaires mesurées; les étapes A à C étant réalisées pour au moins deux vitesses angulaires commandées différentes de manière à déterminer au moins deux moyennes des valeurs angulaires mesurées ; puis D déterminer : - l’erreur de facteur d’échelle électrique moyen FEem, le facteur d’échelle électrique correspondant au rapport entre la valeur angulaire mesurée due à la commande de rotation électrique et la commande de rotation électrique, et - la valeur angulaire réelle Ωv du porteur additionnée d’une valeur de dérive Dm du capteur, ladite détermination étant réalisée à partir des vitesses angulaires commandées Ωc et des moyennes Ωem des valeurs angulaires mesurées, selon la formule : . La valeur angulaire mesurée par le capteur est définie comme étant soit une vitesse angulaire (en mode gyromètre) soit un angle (en mode gyroscope) du porteur. Elle peut être désignée par valeur angulaire « estimée ». De même, la valeur angulaire réelle du porteur est définie comme étant soit la vitesse angulaire réelle, soit l’angle réel dudit porteur. Par « moyenne », on entend une moyenne sur différents angles électriques répartis, de préférence uniformément, sur la plage angulaire de kπ radians. Par porteur « sensiblement à l’arrêt », on entend que le porteur a une dynamique nulle (par exemple le porteur est un avion à l’arrêt sans passagers et sans équipage à bord) ou une dynamique faible (par exemple le porteur est un avion à l’arrêt avec des passagers et/ou équipage à bord). En d’autres termes, une dynamique faible correspond à des mouvements de roulis et de tangage de l’ordre de quelques degrés et des mouvements de translation selon l’axe vertical pour que les accéléromètres horizontaux détectent la rotation, avec un cap considéré comme constant. Alternativement à un avion, il peut s’agir d’un bateau, d’un train, d’un camion, d’une voiture, d’un satellite ou tout véhicule aérien, terrestre ou maritime. La présente invention consiste à venir commander une rotation de l’onde de vibration lorsque la dynamique du porteur est nulle ou du moins faible, de manière à pouvoir supprimer les défauts engendrés sur le signal de mesure par la commande de rotation. Avec une commande de rotation alternative (rotation dans un sens et dans un autre) et à moyenne nulle, le défaut engendré par le changement de rotation est élevé et provient du fait que la bande passante du capteur n’est pas infinie. Au moment du changement de sens de la rotation, le capteur voit un échelon en entrée et l’erreur sur la mesure sera la partie haute fréquence de l’échelon non prise en compte dans la fonction de transfert du capteur. En d’autres termes, la rotation commandée a un spectre limité (comme tout signal physique qui n’a pas une énergie infinie). Si une partie du spectre est en dehors de la bande passante du capteur, il ne sera pas détecté par le capteur et donc si on retranche en sortie la commande de rotation injectée (on doit l’enlever car ce n’est pas une rotation physique du porteur), il restera une erreur liée au fait que le capteur n’a détecté qu’une partie de la rotation commandée. Selon l’invention, on ne commande pas une rotation alternative à moyenne nulle. Avec une commande envoyée non alternative, correspondant au mode de réalisation préféré de l’invention, on aura une erreur au moment de l’arrêt de la commande de rotation ou si on commande des vitesses de rotation différentes. L’origine de l’erreur est la même que pour une commande de rotation alternative à moyenne nulle, comme décrit ci-dessus. Il est possible d’introduire la commande dans un modèle de fonction de transfert connu du gyromètre, cependant cette représentation mathématique peut ne pas être suffisamment précise (en tout cas pas suffisamment pour obtenir les ordres de grandeur de précision voulus de l’ordre de quelques dizaines de µrad), aussi l’invention consiste à évaluer les conséquences de cette fonction de transfert à travers une commande de type connue lors d’une phase de navigation où les mouvements du porteur sont connus de façon à retrancher cette erreur lors de la navigation. Le procédé de correction selon l'invention peut en outre comporter l'une ou plusieurs des caractéristiques suivantes prises isolément ou suivant toutes combinaisons techniques possibles. Selon un mode de réalisation, le procédé de correction comprend une étape complémentaire consistant, lorsque le porteur est sensiblement à l’arrêt, à : E déterminer la dérive périodique D(θ) du capteur en fonction de l’angle électrique θ et l’erreur de facteur d’échelle électrique périodique FEe(θ) en fonction de l’angle électrique θ, à partir de valeurs angulaires mesurées Ωe pendant au moins un tour ou une fraction de tour au cours d’une rotation électrique à une vitesse angulaire commandée Ωc, selon la formule : Selon un mode de réalisation, le procédé de correction comprend une étape complémentaire consistant, le porteur n’étant pas nécessairement à l’arrêt, à : F déterminer la valeur angulaire réelle Ωv du porteur additionnée d’une valeur de dérive Dm du capteur, en supprimant la dérive périodique D(θ) et l’erreur de facteur d’échelle électrique périodique FEe(θ) déterminés à l’étape E . Selon un mode de réalisation, dans lequel le porteur a une dynamique nulle, la valeur angulaire réelle Ωv est égale à une projection Ωtp dans le repère xy du capteur de la rotation terrestre, considérée constante. Selon un mode de réalisation, dans lequel le porteur a une dynamique faible mais non nulle, ladite valeur angulaire réelle Ωv est égale à une projection Ωtp dans le repère xy du capteur de la rotation terrestre considérée constante, les variations de vitesse angulaire déterminées par au moins un accéléromètre sur le porteur étant soustraites. De préférence, les variations de vitesse angulaires sont déterminées par au moins deux accéléromètres, et le cap est considéré fixe en moyenne. Selon un mode de réalisation, la commande de rotation est appliquée dans un sens selon la plage angulaire de kπ radians puis dans le sens inverse selon la plage angulaire de kπ radians. Alternativement, selon un mode de réalisation préféré, la commande de rotation est appliquée toujours dans le même sens. Selon un mode de réalisation, le procédé de correction comprend une étape complémentaire consistant, le porteur n’étant pas nécessairement à l’arrêt, à : G corriger le facteur d’échelle électrique moyen FEem par la variation ΔFEem de l’erreur de facteur d’échelle électrique moyen entre une dynamique forte et la dynamique faible ou nulle, ladite variation ΔFEem étant déterminée en séparant spectralement la commande de vitesse angulaire de l’onde Ωc de la valeur angulaire réelle Ωv. Un deuxième objet de l’invention est un capteur angulaire inertiel, ledit capteur inertiel étant disposé sur un porteur et comprenant un résonateur s’étendant autour de deux axes x et y perpendiculaires entre eux définissant un repère capteur xy et comprenant : - au moins une masse mobile vibrante, ladite au moins une masse mobile comportant au moins deux parties configurées pour vibrer en opposition de phase à une pulsation de vibration et selon une direction x’ définissant un repère onde x’y’, l’onde de vibration selon x’ faisant un angle électrique θ par rapport à l’axe x ; - une pluralité de transducteurs électrostatiques commandés par des tensions électriques et opérant selon les deux axes x ou y, dont au moins, sur au moins une des deux masses : -- une paire de transducteurs de détection configurés pour détecter les mouvements de l’onde de vibration selon x et y ; et -- une paire de transducteurs d’excitation auxquels sont appliquées des forces d’excitation respectivement selon x et y, via une pluralité de commandes d’excitation déterminées par des asservissements à partir des mouvements détectés, configurés pour maintenir l’onde à une amplitude constante via une commande d’amplitude et, le cas échéant, pour faire tourner ladite onde de vibration via une commande de précession ; le capteur angulaire inertiel comprenant en outre : - une unité de commande et/ou de traitement adaptée pour mettre en œuvre les étapes du procédé de correction selon le premier objet de l’invention. Selon un mode de réalisation, le capteur inertiel est axisymétrique. Selon un mode de réalisation, le capteur inertiel comprend au moins deux masses mobiles vibrantes formant les au moins deux parties configurées pour vibrer en opposition de phase l’une par rapport à l’autre, une masse mobile pouvant être disposée autour d’une autre masse mobile. Le procédé de correction et le capteur inertiel selon l'invention peuvent comporter l'une quelconque des caractéristiques précédemment énoncées, prises isolément ou selon toutes combinaisons techniquement possibles avec d'autres caractéristiques. La description suivante présente plusieurs exemples de réalisation du dispositif de l’invention : ces exemples sont non limitatifs de la portée de l’invention. Ces exemples de réalisation présentent à la fois les caractéristiques essentielles de l’invention ainsi que des caractéristiques additionnelles liées aux modes de réalisation considérés. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES D’autres caractéristiques, détails et avantages de l’invention ressortiront à la lecture de la description faite en référence aux figures annexées donnés à titre d’exemple et qui représentent, respectivement : La déjà citée illustre le résonateur axisymétrique d’un capteur inertiel MEMS selon l’état de l’art, constitué de deux masses mobiles vibrantes disposées l’une autour de l’autre. La déjà citée illustre la structure d’un capteur inertiel MEMS selon l’état de l’art avec un résonateur axisymétrique autour de deux axes x et y définissant un repère capteur. La déjà citée illustre le fonctionnement d’un capteur inertiel selon l’état de l’art. La illustre un procédé de correction selon l’invention. Dans l'ensemble de ces figures, des références identiques peuvent désigner des éléments identiques ou analogues. De plus, les différentes parties représentées sur les figures ne le sont pas nécessairement selon une échelle uniforme, pour rendre les figures plus lisibles. Procédé de correction (100) de la mesure d’un capteur inertiel vibrant (10), ledit capteur inertiel étant disposé sur un porteur et comprenant un résonateur (Res) s’étendant autour de deux axes x et y perpendiculaires entre eux définissant un repère capteur xy et comprenant : - au moins une masse mobile vibrante (M1), ladite au moins une masse mobile comportant au moins deux parties configurées pour vibrer en opposition de phase à une pulsation de vibration (ω) et selon une direction x’ définissant un repère onde x’y’, l’onde de vibration (OV) selon x’ faisant un angle électrique θ par rapport à l’axe x ; - une pluralité de transducteurs électrostatiques commandés par des tensions électriques et opérant selon les deux axes x ou y, lesdits transducteurs comprenant au moins : -- une paire de transducteurs de détection (Dx, Dy) configurés pour détecter les mouvements de l’onde de vibration selon x et y ; -- une paire de transducteurs d’excitation (Ex, Ey) auxquels sont appliquées des forces d’excitation respectivement selon x et y, via une pluralité de commandes d’excitation déterminées par des asservissements à partir des mouvements détectés, configurés pour maintenir l’onde à une amplitude constante via une commande d’amplitude (Ca) et, éventuellement, pour faire tourner ladite onde de vibration via une commande de précession (Cp) ; le procédé de correction s’appliquant lorsque le capteur est en fonctionnement avec une onde de vibration (OV) vibrant selon l’axe x’ ; ledit procédé comprenant les étapes consistant, lorsque le porteur est sensiblement à l’arrêt, à : A commander une rotation électrique de l’onde de vibration (OV) selon une vitesse angulaire commandée Ωc, de telle manière que l’angle électrique θ balaie au moins une plage angulaire de kπ radians, k étant un entier supérieur ou égal à 1; puis B récupérer les valeurs angulaires mesurées Ωe par le capteur inertiel (10) sur la plage angulaire de kπ radians de l’angle électrique θ pour la vitesse angulaire commandée Ωc, et déterminer la moyenne Ωem des valeurs angulaires mesurées sur ladite plage angulaire ; puis C retrancher la vitesse angulaire commandée Ωc à la moyenne Ωem des valeurs angulaires mesurées; les étapes A à C étant réalisées pour au moins deux vitesses angulaires commandées différentes de manière à déterminer au moins deux moyennes des valeurs angulaires mesurées ; puis D déterminer : - l’erreur de facteur d’échelle électrique moyen FEem, le facteur d’échelle électrique correspondant au rapport entre la valeur angulaire mesurée due à la commande de rotation électrique, et - la valeur angulaire réelle Ωv du porteur additionnée d’une valeur de dérive Dm du capteur, ladite détermination étant réalisée à partir des vitesses angulaires commandées Ωc et des moyennes Ωem des valeurs angulaires mesurées, selon la formule : . Procédé de correction (100) selon la revendication 1, comprenant une étape complémentaire consistant, lorsque le porteur est sensiblement à l’arrêt, à : E déterminer la dérive périodique D(θ) du capteur en fonction de l’angle électrique θ et l’erreur de facteur d’échelle électrique périodique FEe(θ) en fonction de l’angle électrique θ, à partir de valeurs angulaires mesurées Ωe pendant au moins un tour ou une fraction de tour au cours d’une rotation électrique à une vitesse angulaire commandée Ωc, selon la formule : Procédé de correction (100) selon la revendication 2, comprenant une étape complémentaire consistant, le porteur n’étant pas nécessairement à l’arrêt, à : F déterminer la valeur angulaire réelle Ωv du porteur additionnée d’une valeur de dérive Dm du capteur, en supprimant la dérive périodique D(θ) et l’erreur de facteur d’échelle électrique périodique FEe(θ) déterminés à l’étape E . Procédé de correction (100) selon l’une des revendications 1 à 3, le porteur ayant une dynamique nulle, ladite valeur angulaire réelle Ωv étant égale à une projection Ωtp dans le repère xy du capteur de la rotation terrestre, considérée constante. Procédé de correction (100) selon l’une des revendications 1 à 3, le porteur ayant une dynamique faible mais non nulle, ladite valeur angulaire réelle Ωv étant égale à une projection Ωtp dans le repère xy du capteur de la rotation terrestre considérée constante, les variations de vitesse angulaire déterminées par au moins un accéléromètre sur le porteur étant soustraites, les variations de vitesse angulaire étant de préférence déterminées par au moins deux accéléromètres et en considérant un cap fixe en moyenne. Procédé de correction (100) selon l’une des revendications 1 à 5, la commande de rotation étant appliquée toujours dans le même sens. Procédé de correction (100) selon l’une des revendications 1 à 6, comprenant une étape complémentaire consistant, le porteur n’étant pas nécessairement à l’arrêt, à : G corriger le facteur d’échelle électrique moyen FEem par la variation ΔFEem de l’erreur de facteur d’échelle électrique moyen FEem entre la dynamique forte et la dynamique faible ou nulle, ladite variation ΔFEem étant déterminée en séparant spectralement la commande de vitesse angulaire de l’onde Ωc de la valeur angulaire réelle Ωv. Capteur angulaire inertiel (10), ledit capteur inertiel étant disposé sur un porteur et comprenant un résonateur (Res) s’étendant autour de deux axes x et y perpendiculaires entre eux définissant un repère capteur xy et comprenant : - au moins une masse mobile vibrante (M1) ladite au moins une masse mobile comportant au moins deux parties configurées pour vibrer en opposition de phase à une pulsation de vibration (ω) et selon une direction x’ définissant un repère onde x’y’, l’onde de vibration (OV) selon x’ faisant un angle électrique θ par rapport à l’axe x ; - une pluralité de transducteurs électrostatiques commandés par des tensions électriques et opérant selon les deux axes x ou y, dont au moins, sur au moins une des deux masses : -- une paire de transducteurs de détection (Dx, Dy) configurés pour détecter les mouvements de l’onde de vibration selon x et y ; -- une paire de transducteurs d’excitation (Ex, Ey) auxquels sont appliquées des forces d’excitation respectivement selon x et y, via une pluralité de commandes d’excitation déterminées par des asservissements à partir des mouvements détectés, configurés pour maintenir l’onde à une amplitude constante via une commande d’amplitude (Ca) et, le cas échéant, pour faire tourner ladite onde de vibration via une commande de précession (Cp) ; le capteur angulaire inertiel comprenant en outre : - une unité de commande et/ou de traitement adaptée pour mettre en œuvre les étapes du procédé de correction (100) selon l’une des revendications 1 à 7. Capteur angulaire inertiel (10) selon la revendication 8, ledit capteur inertiel étant axisymétrique. Capteur angulaire inertiel (10) selon la revendication 8 ou la revendication 9, comprenant au moins deux masses mobiles vibrantes (M1, M2) formant les au moins deux parties configurées pour vibrer en opposition de phase l’une par rapport à l’autre, une masse mobile pouvant être disposée autour d’une autre masse mobile.