Brevet FR3123364A1 — publié le 20221202

La présente invention porte sur un substrat revêtu d’un revêtement constitué de d’atomes de molybdène (Mo), de souffre (S), de tantale (Ta) et d’oxygène (O) présents sous la forme d’un ou plusieurs composés choisis parmi les composés de formule (I): [Chem 16] MowSxTayOz (I) dans laquelle w est égal à 0 ou 1; x varie de 0 à 2; y varie de 0 à 1 et z varie de 0 à 3; ledit revêtement comprenant au moins 5% at. d’oxygène et ledit revêtement possédant une microstructure compacte dense. Substrat revêtu d’un revêtement lubrifiant La présente invention concerne un substrat revêtu d’un revêtement constitué d’atomes de molybdène (Mo), de souffre (S), de tantale (Ta) et d’oxygène (O) ayant de bonnes propriétés lubrifiantes dans une atmosphère sous vide et une atmosphère d’air et un procédé de fabrication dudit substrat revêtu. La présente invention est particulièrement adaptée à l’industrie spatiale, à l’industrie aéronautique, à la biotechnologie, à l’industrie chimique, à l’industrie médical et à l’industrie pharmaceutique. Il est connu d’utiliser des revêtements lubrifiants consistant en du disulfure de molybdène (MoS 2 ) pour lubrifier notamment des composants tels qu’un roulement, un palier, des engrenages ou des glissières, et des équipements tels que des instruments scientifiques, évoluant sur Terre et dans l’espace sous vide. Cependant, MoS 2 est très sensible à l’humidité ce qui engendre une usure accélérée et la casse prématurée des équipements et des composants en cas d’exposition et/ou de fonctionnement en atmosphères humides. Pour pallier à ces inconvénients, il est connu notamment lors du stockage d’équipements au sol ou lors de tests, par exemple permettant de vérifier qu’un satellite est opérationel, nommés « Assemblage, Intégration, Tests » (AIT), d’effectuer un nettoyage sous flux d’azote sec. Ces équipements sont en général disposés dans une enceinte fermée, notamment une salle propre. L’atmosphère initialement présente dans la salle propre est évacuée par un flux d’azote sec et remplacée par ce même flux d’azote sec de sorte que les conditions hygrométriques de l’enceinte deviennent acceptables. En effet, des règles contraigantes sont appliquées quant aux opérations AIT sur satellites équipés de mécanismes lubrifiés par un revêtement MoS 2 . Les normes des salles blanches impliquent un taux d’humidité relative inférieure à 50-55%. Ce taux est aujourd’hui difficilement régulable. Tout dépassement entraine l’arrêt immédiat des activités AIT ce qui engendre un coût et un retard de délai significatif. Cependant, le rinçage sous flux d’azote sec nécessite une main d’œuvre importante et doit être réalisé pendant un certain temps pour retomber à des conditions hygrométriques acceptables. Le temps d’inactivité notamment dans le domaine aéronautique pour les Assemblage, Intégration, Tests (AIT) des satellites est non-négligeable. Les règles associées à l’utilisation d’un revêtement lubrifiant constitué de MoS 2 sont coûteuses et complexes à mettre en place. Ces règles sont particulièrement contraignantes notamment pour les activités AIT. Il existe un besoin de proposer un revêtement permettant de lubrifier des composants et des équipements notamment lors des phases de tests et de stockage. La lubrification ainsi réalisée doit s’avérer résistante à la fois au sol lors d‘un fonctionnement à pression atmosphérique ainsi que sous vide, par exemple dans l’espace. Il existe ainsi un besoin de proposer un revêtement lubrifiant dont les propriétés restent intactes dans une atmopshère d’air et dans une atmosphère sous vide protégeant ainsi les composants et équipements de dysfonctionnements tels que ceux induits par l’usure et les fissures. Au cours des dernières décennies, de nombreux travaux ont été réalisés pour proposer un revêtement lubrifiant dont les propriétés ne sont pas affectées sous atmosphère d’air, c’est-à-dire un revêtement pouvant être utilisé sous atmosphère sous vide et sous atmosphère d’air. Cependant, certains revêtements lubrifiants proposés ne satisfont pas aux exigences d’une industrialisation ou d’une utilisation à grande échelle et comprennent parfois des éléments toxiques. Le brevet US6423419 divulgue un revêtement molybdène-soufre déposé sur un substrat et ayant une épaisseur d'au moins 200 nm et une structure sensiblement non colonnaire homogène sans pores, le revêtement ayant un matériau molybdène-soufre et ayant également au moins un autre métal supplémentaire sélectionné parmi : titane, zirconium, hafnium, tungstène, niobium, platine, vanadium, tantale, chrome, molybdène et or, incorporés jusqu'à 18% p/p. Ce revêtement a une dureté Vickers d'au moins 500 et est homogène amorphe. Le brevet US6423419 divulgue plusieurs revêtements molybdène-soufre dans lesquels le métal supplémentaire est le titane. Dans le brevet US6423419, le revêtement peut être déposé par pulvérisation cathodique magnétron ou par placage ionique par pulvérisation magnétron à champ fermé et déséquilibré, nommé en langue anglaise « Closed Field Unbalanced Magnetron Sputter Ion Plating » (CFUBMSIP). Lors du procédé de dépôt, la polarisation du substrat peut être alimentée en courant continu ou en langue anglaise « direct current » (DC), en radio fréquence ou « radio frequency » en langue anglaise (RF), en courant alernatif ou en langue anglaise « alternative current » (AC) ou courant continu pulsé (DC pulsé). Cependant, le revêtement divulgué dans US6423419 ne permet pas d’obtenir de bonnes propriétés de frottement sous vide. Par ailleurs, le procédé de dépôt priviligié dans ce document, à savoir CFUBMSIP, est complexe à mettre en œuvre, ne permet pas d’obtenir des revêtements ayant de bonnes propriétés lubrifiantes dans l’ensemble des environnements d’intérêts liés à l’invention. Le but de l’invention est de remédier aux inconvénients précités en proposant un revêtement permettant la lubrification des composants et des équipements évoluants sur Terre et dans l’espace, sous atmosphère d’air ou sous atmosphère sous vide dont les propriétés lubrifiantes restent intactes protégeant ainsi lesdits équipements ou composants. Par ailleurs, le but de l’invention est de proposer un procédé de fabrication de ce revêtement facile à mettre en œuvre et assurant audit revêtement de bonnes propriétés lubrificantes. L’invention a pour objet un substrat revêtu d’un revêtement constitué d’atomes de molybdène (Mo), de souffre (S), de tantale (Ta) et d’oxygène (O) présents sous la forme d’un ou plusieurs composés choisis parmi les composés de formule (I): [Chem 1] Mo w S x Ta y O z (I) dans laquelle w est égal à 0 ou 1; x varie de 0 à 2; y varie de 0 à 1 et z varie de 0 à 3; ledit revêtement comprenant au moins 5% at. d’oxygène et ledit revêtement possédant une microstructure compacte dense. Contrairement aux revêtements de l’art antérieur, le revêtement selon l’invention offre de bonnes propriétés lubrifiantes pour lubrifier le contact et protéger le substrat de l’usure, et ce tant sous une atmosphère d’air que sous une atmosphère sous vide. En effet, les inventeurs ont découvert que les composés de formule (I), le minimum d’oxygène tel que défini ci-dessus ainsi que la microstructure du revêtement permettent d’offrir au rêvetement une protection tant sous une atmosphère d’air que sous une atmosphère sous vide. En particulier, il semble que le molybdène et tantale participent aux propriétés lubrifiantes du revêtement. Par ailleurs, il semble également que contrairement à l’art antérieur dans lequel la présence d’oxygène est réduite au minimum afin d’éviter sa présence dans les revêtements, la présence d’oxygène en association avec le tantale dans le revêtement forme une barrière de protection contre l’air. La sensibilité du revêtement à l’air, en particulier à l’humidité, est significativement réduite ce qui permet d’assurer une usure lente et d’écarter le risque d’usure accélérée et la casse prématurée des composants et équipements. Ainsi, les régles liées aux activités AIT ne sont plus nécessaires. Dans la présente invention, le pourcentage atomique dont l’abbréviation est « %at. » est défini par rapport au nombre total d’atomes dans le revêtement. La microstructure compacte dense selon l’invention correspond à la Zone I du diagramme de Thornthon. En d’autres termes, elle comprend des colonnes s’amincissant vers le haut avec des sommets en forme de dômes. De préférence, la présente invention a pour objet un substrat tel que défini précédemment présentant les caractéristiques décrites dans les modes de réalisation suivants, prises seules ou en combinaison. Dans une forme de réalisation, le revêtement comprend plus de 5%, avantageusement au moins 6% et de préférence au moins 10% et de préférence au moins 20% at. d’oxygène. De préférence, le revêtement comprend moins de 35% at. d’oxygène. Dans cette forme de réalisation, la sensibilité du revêtement vis-à-vis de l’humidité est significativement réduite. Dans une forme de réalisation, le revêtement comprend plus de 18% p/p de Ta. De préférence, le revêtement comprend au moins 18,5%p/p, avantageusement au moins 19%p/p et par exemple entre 19 et 30% p/p de Ta. Par exemple, le revêtement comprend entre 19 et 25% p/p de Ta. Dans cette forme de réalisation, la sensibilité du revêtement vis-à-vis de l’humidité dans tout type d’environnement est encore réduite et les propriétés lubrifiantes qui empêchent le frottement et l’usure du revêtement sont améliorées. Dans une forme de réalisation, dans la formule (I), x est égal à 0, 1, 2 ou est un nombre non-entier compris entre 0 et 2; y est égal à 0, 1 ou est un nombre non entier compris entre 0 et 1 ; et z est égal à 0, 1, 2, 3 ou est un nombre non-entier compris entre 0 et 3. Dans une forme de réalisation, dans la formule (I), au moins 2 coefficients stœchiométriques choisis parmi w, x, y et z sont différents de 0. Dans une forme de réalisation, les composés de formule (I) comprenant du Mo sont choisis parmi : [Chem 2] MoS 2 Ta y O z [Chem 3] MoS x Ta y O z et [Chem 4] MoSTa y O Dans cette forme de réalisation, les propriétés lubrifiantes sont améliorées et le revêtement est moins sensible à l’air. Dans une forme de réalisation, moins de 60 % at. des composés de formule (I) comprenant du Mo ont pour formule : [Chem 5] MoS 2 Ta y O z Dans une forme de réalisation, les composés comprenant du Ta ont pour formule (I) : [Chem 6] Mo w S x TaO z Dans une forme de réalisation, les composés de formule (I) comprenant du Ta ont pour formule (I) : [Chem 7] Mo w S 2 TaO z Dans cette forme de réalisation, les propriétés lubrifiantes sont améliorées et le revêtement est moins sensible à l’air. Dans une forme de réalisation, au moins 19% en p/p des composés de formule (I) comprenant du Ta ont pour formule : [Chem 8] Mo w S x TaO z Dans une forme de réalisation, les composés de formule (I) comprenant du Ta comprennent du Ta non-métallique. En d’autres termes, les composés de formule (I) comprenant du Ta ne comprennent pas de Ta 0 métallique. Contrairement aux revêtements de l’art antérieur dans lesquels le Ta est généralement sous forme métallique, il semble que la présence de Ta sous forme non métallique permet de stabiliser le revêtement en le rendant moins sensible chimiquement à un environnement humide, de maximiser les performances lubrifiantes en minimisant sa réactivité vis-à-vis du corps frottant, en le liant préférentiellement au souffre (S) et à l’oxygène (O) sous forme notamment de sulfure de Tantale (S x Ta y ), d’oxysulfure de Tantale et d’oxyde de Tantale (S x TaO z ). Dans une forme de réalisation, le revêtement est déposé directement sur le substrat. En d’autres termes, aucune couche intermédiaire n’est déposée entre le substrat et le revêtement. En effet, il semble que le revêtement adhère au substrat sans qu’il soit nécessaire d’ajouter une couche par exemple métallique qui favorise l’adhésion du revêtement sur le substrat. Dans une forme de réalisation, une couche intermédiaire est déposée sur le substrat. Dans cette forme de réalisation, le substrat est revêtu d’une couche intermédiaire, ladite couche intermédiaire étant directement revêtu par un revêtement selon l’invention. Dans cette forme de réalisation, selon la nature du substrat, la couche intermédiaire peut être présente pour améliorer l’adhésion du revêtement sur le substrat. Dans une forme de réalisation, une couche intermédiaire est formée à l’interface entre le substrat et le revêtement ; ladite couche intermédiaire résulte de la combinaison du substrat et du revêtement lors du procédé de fabrication du substrat revêtu dudit revêtement. En effet, il semble que lors du procédé de fabrication, les composés du revêtement et le substrat se combinent de sorte à créer une couche intermédiaire favorisant l’adhésion du revêtement sur le substrat. Dans une forme de réalisation, le revêtement ne comprend pas de nitrure de bore cubique, de titane et/ou d’aluminium. Dans cette forme de réalisation, il semble qu’il y a un risque que ces composés réduisent les propriétés lubrifiantes du revêtement. Dans une forme de réalisation, le substrat est revêtu avec une unique couche de revêtement. En d’autres termes, le revêtement est monocouche. Dans cette forme de réalisation, les inventeurs ont découvert qu’il n’est pas nécessaire de déposer plus d’une couche de revêtement pour obtenir le revêtement selon l’invention. Dans une forme de réalisation, le revêtement est poreux. Dans cette forme de réalisation, le revêtement peut d’avantage stocker des molécules riches en oxygène permettant de faciliter la lubrification. Dans une forme de réalisation, la microstructure du revêtement est compacte dense et fibreuse. Dans une forme de réalisation, le revêtement comprend des impuretés inévitables résultant du procédé tels que le carbone, l’eau, de l’argon ou des molécules hydrocarbonées. Par exemple, le revêtement comprend une quantité inférieure à 0,2% p/p d’impuretés. Dans une forme de réalisation, le substrat est métallique ou non-métallique. Dans une forme de réalisation, le substrat métallique est choisi parmi : le fer et ses alliages, l’aluminium et ses alliages, le titane et ses alliages ou le cuivre et ses alliages. Dans une forme de réalisation, le substrat non-métallique est choisi parmi : le verre, le silicium, la céramique, le carbone, les composites comprenant du carbone ou un polymère. Dans une forme de réalisation, le revêtement a une épaisseur inférieure ou égale à 1,5µm. De préférence, le revêtement a une épaisseur inférieure ou égale à 1µm. L’invention a également pour objet un procédé de fabrication du substrat revêtu d’un revêtement selon l’invention, le procédé comprenant les étapes suivantes : La provision d’un substrat, La codéposition par pulvérisation cathodique magnétron d’une première cible comprenant du MoS 2 , ladite première cible étant alimentée en courant continu ou en courant de radiofréquence, et d’une deuxième cible comprenant du Ta, ladite deuxième cible étant alimentée en courant continu optionnellement pulsé, Dans lequel l’étape B) de codéposition est réalisée sous une atmosphère comprenant un gaz inerte et de l’oxygène. Le procédé selon l’invention est facile à mettre en œuvre. Par ailleurs, il ne nécessite pas d’être dans une atmosphère complétement inerte. En effet, la présence de l’oxygène est nécessaire pour obtenir le revêtement selon l’invention ayant de bonnes propriétés lubrifiantes qui restent intactes dans une atmosphère d’air et sous vide. Enfin, la codéposition par pulvérisation cathodique magnétron d’une première cible comprenant du MoS 2 , ladite première cible étant alimentée en courant continu ou en courant de radiofréquence, et d’une deuxième cible comprenant du Ta, ladite deuxième cible étant alimentée en courant continu optionnellement pulsé permet d’obtenir la microstructure, les composés de formule (I) et la présence d’oxygène dans le revêtement selon l’invention. Dans une forme de réalisation, lors de l’étape B), ladite première cible est alimentée en courant radiofréquence, et ladite deuxième cible est alimentée en courant continu pulsé. Dans cette forme de réalisation, il semble que les composés de formule (I) sont plus rapidement formés. Dans une forme de réalisation lors de l’étape B), le pourcentage d’oxygène dans l’atmosphère est compris entre 0,1 et 5% en volume. De préférence, le pourcentage d’oxygène dans l’atmosphère est compris entre 0,1 et 3% en volume. Il semble que ce pourcentage d’oxygène dans l’atmosphère permet d’obtenir le minimum d’oxygène présent dans le revêtement selon l’invention. Dans une forme de réalisation, lors de l’étape B), le substrat est chauffé à une température comprise 20 et 350°C. De préférence, lors de l’étape B), le substrat est chauffé à une température comprise entre 50 et 150°C. dans cette forme de réalisation, il semble que la formation des composés de formule (I) est favorisée. Dans une forme de réalisation, lors de l’étape B), une tension de polarisation comprise entre -150 et 10V est appliquée au substrat. Dans une forme de réalisation, lors de l’étape B), la codéposition est réalisée sous une pression comprise entre 2.10 -3 mbar et 5.10 -2 mbar. Exemples : tests du coefficient de frottement Des substrats d’acier de grade AISI 440C ont été revêtus par des revêtements ayant une épaisseur de 1µm déposés par pulvérisation cathodique magnétique. Le premier revêtement est constitué de MoS 2 et est obtenu par la procédé Microslide mis au point par VILAB AG. Ce revêtement est notamment utilisé dans la publication: Hartwig H., Engelhardt W., Schmidt R. (1995), Mechanism Qualification for Soho Sumer, Results and Lessons Learned. Proc. 6th Eur. Sp. Mech. Tribol. Symp., Zürich, Switzerland. Le deuxième revêtement est constitué de MoS 2 et de carbure de tungstène (WC). Ce revêtement est notamment utilisé dans la publication: J.I. Onate, M. Brizuela, J.L. Viviente, A. García-Luis, I. Braceras, D. Gonzalez, I. Garmendia (2007), MoSx lubricant coatings produced by PVD technologies, Trans. IMF., vol.85, pp. 75–81. Le troisième revêtement dont le nom commercial est « MoST™ coatings » est constitué de MoS 2 et de Titane. Le quatrième revêtement est le revêtement selon l’invention. Les substrats d’acier ont été disposés sur un support rotatif de sorte à tourner pendant le dépôt du revêtement. Le pourcentage d’oxygène dans l’atmosphère était de 0.5% en volume. Le substrat a été chauffé à une température de 25°C. La tension appliquée au substrat était de 0 V. La pression était de 5.10 -3 mbar. Ces substrats revêtus ont ensuite été soumis au test de frottement sur tribomètre pion-plan, nommé « pin-on-plate tribometer » en langue anglaise, avec une cinématique linéaire alternative. Dans ce test, une bille est maintenue rigidement et mise en contact avec le substrat sous un effort orienté perpendiculairement au substrat revêtu. Le substrat revêtu est mis en mouvement linéaire et effectue des aller/retour autour de sa position centrale, induisant ainsi du glissement pur entre la bille et le revêtement. La pression hertzienne maximum dans le contact était au plus de 1GPa. La vitesse de glissement était de 10mm/s, La bille a effectué 1000 cycles aller-retour sur les différents substrats revêtus. Une bille neuve est utilisée pour chaque essai. Dans un premier temps, le test de la bille a été réalisé sous une atmosphère sous vide ayant une pression de 1.10 -7 mbar. Le tableau ci-dessous regroupe les résultats des tests du coefficient de frottement. N° Revêtements Dépôt Nombre de cycles 1 ère Cible 2 ème Cible 0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 Coefficient de frottement 1 MoS 2 , O% microstruture dense compacte fibreuse MoS 2 - 0.02 0.02 0.03 0.03 0.03 0.03 0.03 0.03 0.03 0.03 0.03 2 MoS 2 + WC, O% MoS 2 WC 0.15 0.05 0.05 0.06 0.06 0.06 0.06 0.06 0.06 0.06 0.06 3 MoS 2 + Ti, O% microstruture dense compacte MoS 2 Ti 0.03 0.02 0.02 0.12 0.42 >0.5 >0.5 >0.5 >0.5 >0.5 >0.5 4* MoS 0,5 Ta 0,75 O 0,75 (I) O = 30%at. microstruture dense compacte MoS 2 : RF Ta : DC pulsé 0.1 0.06 0.06 0.06 0.06 0.07 0.08 0.08 0.09 0.09 0.1 * : selon l’invention Les résultats montrent que le revêtement 4 selon l’invention a un coefficient de frottement bien inférieure au revêtement 3. Par ailleurs, les revêtements 1, 2 et 4 ont des coefficients de frottement similaires. Dans un second temps, les substrats revêtus ont ensuite été soumis au test de frottement pion-plan, avec une cinématique linéaire alternative, sous une atmosphère d’air humide puis une atmosphère sous vide ayant une pression de 1.10 -7 mbar. 150 cycles aller-retour de frottement sous l’atmosphère d’air humide puis 850 cycles aller-retour de frottement sous l’atmosphère sous vide ont été effecutés. Le tableau ci-dessous regroupe les résultats des tests du coefficient de frottement. N° Revêtements Nombre de cycles 0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 Coefficient de frottement 1 MoS 2 , O% microstruture dense compacte fibreuse 0.12 0.17 0.06 0.06 0.06 0.06 0.06 0.07 0.08 0.08 0.08 2 MoS 2 + WC, O% 0.32 0.16 0.07 0.3 - - - - - - - 3 MoS 2 + Ti, O% microstruture dense compacte 0.06 0.12 0.04 0.04 0.12 0.45 >0.5 >0.5 >0.5 >0.5 >0.5 4* MoS 0,5 Ta 0,75 O 0,75 (I) O = 30%at. microstruture dense compacte 0.09 0.13 0.04 0.04 0.03 0.03 0.03 0.03 0.04 0.04 0.04 * : selon l’invention Les résultats montrent que le revêtement 4 selon l’invention a un coefficient de frottement bien inférieur aux revêtements 1, 2 et 3. Ainsi, le revêtement selon l’invention offre de bonnes propriétés lubrifiantes sous une atmosphère d’air humide ou une atmosphère sous vide. Par ailleurs, le revêtement selon l’invention maintient ses bonnes propriétés lubrifiantes suite au passage d’une atmosphère d’air humide, à pression atmosphérique, à une atmosphère sous ultravide. Ainsi, tout dégradation prématurée du comportement lubrifiant est inhibée lors d’un changement d’atmosphère. Substrat revêtu d’un revêtement constitué d’atomes de molybdène (Mo), de souffre (S), de tantale (Ta) et d’oxygène (O) présents sous la forme d’un ou plusieurs composés choisis parmi les composés de formule (I): [Chem 9] Mo w S x Ta y O z (I) dans laquelle w est égal à 0 ou 1; x varie de 0 à 2; y varie de 0 à 1 et z varie de 0 à 3; ledit revêtement comprenant au moins 5% at. d’oxygène et ledit revêtement possédant une microstructure compacte dense. Substrat selon la revendication 1, dans lequel dans la formule (I), x est égal à 0, 1, 2 ou est un nombre non-etier compris entre 0 et 2; y est égal à 0, 1 ou est un nombre non entier compris entre 0 et 1 ; et z est égal à 0, 1, 2, 3 ou est un nombre non-entier compris entre 0 et 3. Substrat selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel dans la formule (I), au moins 2 coefficients stœchiométriques choisis parmi w, x, y et z sont différents de 0. Substrat selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le revêtement comprend plus de 18% p/p de Ta. Substrat selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les composés de formule (I) comprenant du Mo sont choisis parmi : [Chem 10] MoS 2 Ta y O z [Chem 11] MoS x Ta y O z et [Chem 12] MoSTa y O Substrat selon la revendication précédente, dans lequel moins de 60 % at. des composés de formule (I) comprenant du Mo ont pour formule : [Chem 13] MoS 2 Ta y O z Substrat selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les composés comprenant du Ta ont pour formule (I) : [Chem 14] Mo w S x TaO z Substrat selon la revendication précédente, dans lequel au moins 19% p/p des composés de formule (I) comprenant du Ta ont pour formule : [Chem 15] Mo w S x TaO z Substrat selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les composés de formule (I) comprenant du Ta comprennent du Ta non-métallique. Procédé de fabrication du substrat revêtu d’un revêtement selon l’une quelconque des revendications précédentes, le procédé comprenant les étapes suivantes : La provision d’un substrat, La codéposition par pulvérisation cathodique magnétron d’une première cible comprenant du MoS 2 , ladite première cible étant alimentée en courant continu ou en courant de radiofréquence, et d’une deuxième cible comprenant du Ta, ladite deuxième cible étant alimentée en courant continu optionnellement pulsé, Dans lequel l’étape B) de codéposition est réalisée sous une atmosphère comprenant un gaz inerte et de l’oxygène. Procédé de fabrication selon la revendication précédente, dans lequel lors de l’étape B), le pourcentage d’oxygène dans l’atmosphère est compris entre 0,1 et 5% en volume. Procédé de fabrication selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel lors de l’étape B), le substrat est chauffé à une température comprise entre 20°C et 350°C.