Brevet FR3119052A1 — publié le 20220722

Palier magnétique pour machine tournante et procédé d’alimentation associé. La présente invention concerne un palier magnétique (1, 1’) d’une machine tournante (100) comprenant un rotor (7), le palier magnétique (1) comprenant au moins une paire de bobines (5, 5’) pour assurer le positionnement du rotor (7) dans une direction donnée dans lequel la première bobine (5) et la deuxième bobine (5’) de la paire sont positionnées respectivement dans une première branche (B1) et une deuxième branche (B2) parallèles d’un circuit électrique d’alimentation (13) du palier magnétique (1), les deux branches (B1 et B2) étant reliées à une source de tension continue commune (V bus/2 ) et dans lequel la première branche (B1) comprend un premier régulateur de tension (RV1) associé à la première bobine (5) et la deuxième branche (B2) comprend un deuxième régulateur de tension (RV2) associé à la deuxième bobine (5’), le circuit électrique d’alimentation (13) comprenant également une unité de contrôle (11) du premier (RV1) et du deuxième (RV2) régulateurs de tension, ladite unité de contrôle (11) comprenant deux premières boucles de rétroaction configurées pour asservir le courant (Ib1, Ib2) circulant respectivement dans la première (5) et dans la deuxième (5’) bobines en fonction d’une position mesurée du rotor (7) et deux deuxièmes boucles de rétroaction configurées pour asservir la tension respectivement aux bornes de la première (5) et de la deuxième (5’) bobines en fonction des courants (Ib1, Ib2) dans la première (5) et dans la deuxième (5’) bobines. Palier magnétique pour machine tournante, procédé d’alimentation associé et machine tournante associée La présente invention concerne un palier magnétique d’une machine tournante, une machine tournante et un procédé d’alimentation d’un tel palier magnétique. Les machines tournantes à paliers magnétiques, notamment les pompes à vide turbomoléculaires de l’état de la technique, comportent un rotor tournant généralement à très haute vitesse dans un stator en étant supporté et guidé en sustentation par des paliers magnétiques. Ces paliers magnétiques comportent des bobines formant des électroaimants pour créer des champs magnétiques permettant de guider sans frottement le rotor de la machine tournante. Les bobines sont généralement disposées par paire au niveau d’un palier, de part et d’autre du rotor, une paire de bobines permettant de guider le rotor dans une direction donnée correspondant à la direction reliant les deux bobines de la paire. Un palier comprend généralement au moins deux paires de bobines disposées à 90° l’une de l’autre pour permettre de guider le rotor dans un plan radial. Une paire de bobines supplémentaire est généralement utilisée pour guider le rotor dans la direction axiale. Afin de maintenir le rotor en position, les courants circulant dans les bobines de la paire et définissant l’intensité des champs magnétiques créés sont asservis en fonction de la position du rotor. La position du rotor est par exemple mesurée par des capteurs dédiés situés au niveau des paliers, à proximité des bobines. La représente un schéma d’une paire de bobines 5, 5’ d’un palier magnétique et d’un exemple de réalisation du dispositif d’alimentation d’une bobine 5, 5’. Le dispositif d’alimentation comprend, pour chaque bobine 5, 5’, un demi-pont alimenté par une source de tension continue V et comprenant deux transistors T en série dont le point milieu est relié à une première borne de la bobine 5, 5’, les transistors T du demi-pont sont pilotés en opposition de phase avec un rapport de cyclique constant de 50 % . La deuxième borne de la bobine 5, 5’ est reliée d’une part à la source de tension continue V via une diode D et d’autre part à la masse via un transistor T0 commandé par une boucle de régulation BR configurée pour asservir le courant dans la bobine 5, 5’ en fonction de la position du rotor 7. Les consignes en courant pour la première 5 et la deuxième 5’ bobines de la paire sont la superposition d’un courant dit de repos I0 et d’un delta de courant Δi calculé en fonction de la position du rotor. Ce delta de courant Δi est ajouté dans l’une des bobines 5, 5’ et soustrait dans l’autre de manière à asservir la position du rotor. Cependant, un tel montage peut présenter des inconvénients. En effet, les tensions en créneau appliquées aux bornes des bobines tendent à créer des ondulations de courant (« current ripple » en anglais) qui peuvent induire des pertes et des vibrations du rotor ce qui peut être néfaste notamment lorsque la machine tournante est une pompe à vide utilisée pour le pompage de chambres où ont lieu des procédés de gravure nanométrique requérant une grande précision et un environnement très stable. De plus, les variations de tension importantes et rapides au niveau des bobines et de leurs câbles d’alimentation peuvent provoquer un rayonnement électromagnétique et induire des perturbations, notamment envers les capteurs de position du rotor situés à proximité des bobines si des dispositions complexes et coûteuses de blindage électromagnétique ne sont pas prises. Il convient donc de trouver une solution permettant de surmonter au moins partiellement les inconvénients de l’état de la technique et permettant de réduire les vibrations du rotor et de réduire le rayonnement électromagnétique des bobines et de leurs câbles d’alimentation. A cet effet, l’invention a pour objet un palier magnétique d’une machine tournante comprenant un rotor, le palier magnétique comprenant au moins une paire de bobines pour assurer le positionnement du rotor dans une direction donnée, dans lequel la première bobine et la deuxième bobine de la paire sont positionnées respectivement dans une première branche et une deuxième branche parallèles d’un circuit électrique d’alimentation du palier magnétique, les deux branches étant reliées à une source de tension continue commune et dans lequel la première branche comprend un premier régulateur de tension associé à la première bobine et la deuxième branche comprend un deuxième régulateur de tension associé à la deuxième bobine, le circuit électrique d’alimentation comprenant également une unité de contrôle du premier et du deuxième régulateurs de tension, ladite unité de contrôle comprenant deux premières boucles de rétroaction configurées pour asservir le courant circulant respectivement dans la première et dans la deuxième bobines en fonction d’une position mesurée du rotor et deux deuxièmes boucles de rétroaction configurées pour asservir la tension respectivement aux bornes de la première et de la deuxième bobines en fonction des courants dans la première et dans la deuxième bobines. Les premières et les deuxièmes boucles sont imbriquées et permettent d’ajuster la tension aux bornes des bobines pour que le courant suive au mieux la valeur de consigne. L’utilisation de premières boucles de rétroaction configurées pour asservir le courant circulant dans les bobines en fonction de la position du rotor et de deuxièmes boucles de rétroaction configurées pour asservir la tension aux bornes des bobines en fonction du courant dans les bobines permet d’appliquer une tension continue dans les bobines tout en assurant le maintien position du rotor ce qui permet de réduire les vibrations produites par l’alimentation du palier magnétique et de réduire le rayonnement électromagnétique des câbles d’alimentation des bobines du palier. Selon un autre aspect de la présente invention, les premières et deuxièmes boucles de rétroaction de l’unité de contrôle comprennent: - une première unité de traitement configurée pour déterminer une première consigne de courant à appliquer aux bobines d’une paire en fonction de la position mesurée du rotor et, pour la première bobine et la deuxième bobine de la paire: - une deuxième unité de traitement configurée pour comparer la consigne de courant déterminée par la première unité de traitement avec le courant circulant dans la bobine associée et pour déterminer une consigne de tension en fonction du résultat de la comparaison des courants, -une troisième unité de traitement configurée pour comparer la consigne de tension fournie par la deuxième unité de traitement et la tension aux bornes de la bobine et pour déterminer une deuxième consigne de courant en fonction du résultat de la comparaison des tensions, -une quatrième unité de traitement configurée pour réguler le courant dans le régulateur de tension associé en fonction de la deuxième consigne de courant fournie par la troisième unité de traitement. Selon un autre aspect de la présente invention, le premier régulateur de tension et/ou le deuxième régulateur de tension sont des circuits élévateurs de tension dont l’entrée est reliée à la bobine associée. Selon un autre aspect de la présente invention, le premier régulateur de tension et/ou le deuxième régulateur de tension sont des circuits abaisseurs de tension dont la sortie est reliée à la bobine associée. Selon un autre aspect de la présente invention, le premier régulateur de tension est un circuit élévateur de tension dont l’entrée est reliée à la première bobine et le deuxième régulateur de tension est un circuit abaisseur de tension dont la sortie est reliée à la bobine associée. Selon un autre aspect de la présente invention, le palier magnétique comprend également au moins un capteur de position inductif configuré pour mesurer une position du rotor dans une direction donnée. Selon un autre aspect de la présente invention, les composants du circuit d’alimentation électrique sont disposés sur une carte électronique distante des bobines et reliée aux bobines via des câbles électriques d’alimentation. La présente invention concerne également une machine tournante comprenant un premier et un deuxième paliers magnétiques tel que décrit précédemment dans lequel la machine tournante comprend cinq paires de bobines, une première et une deuxième paires de bobines disposées au niveau du premier palier magnétique selon une première et une deuxième directions radiales perpendiculaires, une troisième et une quatrième paires de bobines disposées au niveau du deuxième palier magnétique selon une première et une deuxième directions radiales perpendiculaires et une cinquième paire de bobines selon une direction axiale du rotor. Selon un autre aspect de la présente invention, la machine tournante est une pompe à vide turbomoléculaire. La présente invention concerne également un procédé d’alimentation d’un palier magnétique d’une machine tournante comprenant un rotor, le palier magnétique comprenant au moins une paire de bobines, lesdites bobines de la paire étant disposées de part et d’autre du rotor et étant alimentées par une source de tension continue commune et dans lequel on asservit d’une part le courant dans la première et dans la deuxième bobines de la paire en fonction d’une position mesurée du rotor pour maintenir le rotor centré par rapport à la première et à la deuxième bobines et d’autre part la tension respectivement aux bornes de la première et de la deuxième bobines de la paire en fonction des courants dans la première et dans la deuxième bobines. D’autres caractéristiques et avantages de l’invention apparaîtront plus clairement à la lecture de la description suivante, donnée à titre d’exemple illustratif et non limitatif, et des dessins annexés parmi lesquels : représente une vue schématique d’une alimentation d’un palier selon l’état de la technique ; représente une vue schématique en perspective d’un palier magnétique ; représente une vue schématique d’un circuit d’alimentation d’une paire de bobines d’un palier magnétique selon une première variante ; représente une vue schématique d’un circuit d’alimentation d’une paire de bobines d’un palier magnétique selon une deuxième variante ; représente une vue schématique d’une machine tournante comprenant deux paliers magnétiques ; Dans ces figures, les éléments identiques portent les mêmes références. Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s’appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d’autres réalisations. La présente invention concerne un palier magnétique d’une machine tournante. La machine tournante est par exemple une pompe à vide et notamment une pompe à vide turbomoléculaire qui peut notamment être utilisée dans les chambres de procédés lors de la fabrication de semi-conducteurs. La représente un schéma d’un exemple de réalisation d’un palier magnétique 1 d’une telle machine tournante. Le palier magnétique 1 comprend un électroaimant 3 comprenant par exemple deux paires de bobines 5, 5’ réparties autour d’un rotor 7 de la machine tournante. L’électroaimant 3 comprend par exemple un entrefer 4 sur lequel sont disposées les bobines 5, 5’. Une première paire de bobines 5, 5’ est disposée dans une première direction représentée par un axe X1 et une deuxième paire de bobines 5, 5’ est disposée dans une deuxième direction représentée par un axe X2, la première et la deuxième direction étant perpendiculaires l’une par rapport à l’autre et perpendiculaires par rapport à l’axe X3 de rotation du rotor. Ainsi, en contrôlant l’intensité du courant dans les deux paires de bobines 5, 5’, il est possible de maintenir le rotor 7 dans une position radiale voulue. Le palier magnétique 1 comprend également un capteur de position 9 du rotor 7, par exemple un capteur inductif qui permet de déterminer la position du rotor 7 (en pratique une pluralité de capteurs de position (disposés par exemple au niveau des deux paliers) sont utilisés pour déterminer la position du rotor 7). Le palier magnétique 1 comprend également une unité de contrôle 11 configurée pour permettre d’asservir le courant dans les deux paires de bobines 5, 5’ en fonction de la mesure fournie par le capteur de position 9 (en pratique les capteurs de position 9). La représente schématiquement une machine tournante 100 qui comprend deux paliers magnétiques 1 et 1’ disposés respectivement à une première et une deuxième extrémités du rotor 7. Le rotor 7 est entouré par un stator 6 configuré pour entraîner le rotor 7 en rotation. Chaque palier magnétique 1 comprend une première paire de bobines 5, 5’ selon un axe X1, une deuxième paire de bobines 5, 5’ selon un axe X2 perpendiculaire à l’axe X1 et une paire supplémentaire de bobines 5, 5’ est utilisée pour contrôler la position du rotor 7 dans sa direction axiale (c’est-à-dire selon l’axe X3). Des capteurs de position 9, au nombre de cinq, sont disposés au niveau des paliers magnétiques 1 et 1’, par exemple deux capteurs de position 9 suivant deux directions perpendiculaires à chaque palier magnétique 1, 1’ pour mesurer les déplacements radiaux du rotor 7 et un capteur de position 9 supplémentaire pour mesurer la position radiale du rotor 7. La position du rotor 7 peut ainsi être déterminée par des moyens de traitement tel qu’un microprocesseur ou un microcontrôleur de l’unité de traitement 11 à partir des mesures de l’ensemble des capteurs de position 9 et cette position mesurée peu alors être utilisée pour déterminer le consigne de courant à appliquer aux bobines 5, 5’. Alternativement, un nombre différent de paires de bobines peut être utilisé, par exemple un nombre de paires supérieur à deux pour chaque palier 1, 1’. Un nombre différent de capteurs de position 9 peut également être utilisé. La représente un exemple de réalisation d’un circuit électrique 13 d’alimentation d’un palier magnétique 1 associé à une paire de bobines 5, 5’. Un circuit électrique 13 similaire peut ainsi être associé à chaque paire de bobines 5,5’ de la machine tournante. Le circuit électrique 13 peut comprendre un circuit imprimé ou carte électronique comprenant notamment l’unité de contrôle 11, le circuit imprimé étant relié aux paires de bobines 5, 5’ et au capteur de position 9 via des câbles électriques. Le circuit électrique 13 comprend une source de tension continue Vbus/2 qui peut être une source de tension dérivée d’une source de tension continue Vbus de la machine tournante 100. Le circuit électrique 13 comprend également deux branches B1 et B2 parallèles et reliées à une première extrémité à la source de tension continue commune Vbus/2 et à la deuxième extrémité à une source de tension continue Vbus . La première branche B1 comprend la première bobine 5 de la paire dans laquelle circule un courant Ib1 et un premier régulateur de tension RV1 associé à la première bobine 5. La deuxième branche B2 comprend la deuxième bobine 5’ de la paire dans laquelle circule un courant Ib2 et un deuxième régulateur de tension RV2 associé à la deuxième bobine 5’. Dans l’exemple de la , les régulateurs de tension sont des circuits élévateurs de tension (aussi appelé convertisseur de type Boost en anglais) dont l’entrée est reliée à la bobine associée 5, 5’. Le circuit élévateur de tension correspondant au premier régulateur de tension RV1 comprend un condensateur C1 disposé entre un point d’entrée e1 du premier régulateur de tension RV1 et la masse, une inductance L1 disposée en série avec une diode D1 entre le point d’entrée e1 et un point de sortie s1 du premier régulateur de tension RV1 et un transistor T1 disposé entre la masse et un point milieu m1 disposé entre l’inductance L1 et la diode D1. Le contrôle de l’ouverture et de la fermeture du transistor T1 permet de contrôler le courant Ib1 circulant dans la première bobine 5 de la paire. De la même manière, le circuit élévateur de tension correspondant au deuxième régulateur de tension RV2 comprend un condensateur C2 disposé entre un point d’entrée e2 du deuxième régulateur de tension RV2 et la masse, une inductance L2 disposée en série avec une diode D2 entre le point d’entrée e2 et un point de sortie s2 du deuxième régulateur de tension RV2 et un transistor T2 disposé entre la masse et un point milieu m2 disposé entre l’inductance L2 et la diode D2. Le contrôle de l’ouverture et de la fermeture du transistor T2 permet de contrôler le courant circulant dans la deuxième bobine 5’ de la paire. Les points de sortie s1 et s2 sont par exemple reliés à la source de tension continue V bus . D’autres types de régulateurs de tension peuvent être utilisés comme par exemple des circuits abaisseurs de tension (aussi appelé convertisseur de type Buck en anglais) ou tout autre type de régulateurs de tension permettant de contrôler le courant circulant dans une bobine associée 5, 5’. Le circuit électrique d’alimentation 13 comprend également une unité de contrôle 11 du premier et du deuxième régulateurs de tension RV1 et RV2. L’unité de contrôle 11 comprend deux premières boucles de rétroaction configurées pour asservir le courant circulant respectivement dans la première bobine 5 et dans la deuxième bobine 5’ en fonction d’une position mesurée du rotor 7 donnée par au moins un capteur de position 9. Ces premières boucles de rétroaction comprennent une première unité de traitement 15 configurée pour déterminer une première consigne de courant Ci1, Ci2 à appliquer aux bobines 5, 5’ d’une paire en fonction de la position mesurée du rotor 7. La première unité de traitement 15 est configurée pour déterminer un delta de courant Δi correspondant à une correction à ajouter à une valeur de courant prédéfinie I0 pour fournir une première consigne de courant Ci1 associée à la première bobine 5 et à retrancher à la valeur de courant prédéfinie I0 pour fournir une deuxième consigne de courant Ci2 associée à la deuxième bobine 5’ de manière à obtenir la position voulue du rotor (généralement une position centrée entre la première 5 et la deuxième 5’ bobines de la paire). Le signe du delta de courant Δi définit donc dans quelle direction l’axe du rotor 7 est tiré, vers le palier dans lequel passe le plus de courant, les bobines 5, 5’ du palier ne pouvant que « tirer » vers eux le rotor 7 qui est non aimanté. La force résultante sur le rotor 7 est donc la composition de deux forces opposées en direction, l’une proportionnelle à (I0 + Δi) 2 et l’autre à (I0- Δi) 2 , ce qui a pour effet de linéariser la force appliquée à la variation de courant Δi et à I0. La valeur de courant prédéfinie I0 est constante au cours du temps. Les premières boucles de rétroaction comprennent également des deuxièmes unités de traitement 17, 17’ configurées pour comparer respectivement la première consigne de courant Ci1 avec la valeur mesurée du courant circulant dans la première bobine 5 et la deuxième consigne de courant Ci2 avec la valeur mesurée du courant circulant dans la deuxième bobine 5’. Les deuxièmes unités de traitement 17, 17’ sont également configurées pour déterminer une consigne de tension Cv1, Cv2 en fonction du résultat de la comparaison entre la première consigne de courant Ci1, Ci2 et la valeur mesurée du courant circulant dans la bobine associée 5, 5’. L’unité de contrôle 11 comprend également deux deuxièmes boucles de rétroaction imbriquées dans les premières boucles de rétroaction et configurées pour asservir la tension respectivement aux bornes de la première 5 et de la deuxième 5’ bobines en fonction des courants Ib1, Ib2 dans la première 5 et dans la deuxième 5’ bobines. Ces deuxièmes boucles de rétroaction comprennent des troisièmes unités de traitement 19, 19’ configurées pour respectivement comparer les consignes de tension Cv1, Cv2 fournie par les deuxièmes unités de traitement 17, 17’ et la tension aux bornes des bobines 5, 5’ (en pratique la tension mesurée au niveau de l’entrée e1, e2 du circuit élévateur de tension (ou de la sortie s2’ dans le cas d’un circuit abaisseur de tension) qui reflète la tension aux bornes de la bobine 5, 5’ associée) et pour déterminer une deuxième consigne de courant Cii1, Cii2 en fonction du résultat de la comparaison entre la consigne de tension Cv1, Cv2 et la tensions aux bornes de la bobine 5, 5’. L’unité de contrôle 11 comprend également des quatrièmes unités de traitement 21, 21’ configurées pour réguler respectivement le courant dans le premier régulateur de tension RV1 en fonction de la deuxième consigne de courant Cii1 fournie par la troisième unité de traitement 19 et le courant dans le deuxième régulateur de tension RV2 en fonction de la deuxième consigne de courant Cii2 fournie par la troisième unité de traitement 19’. Pour cela les quatrièmes unités de traitement 21, 21’ comparent le courant circulant au niveau des transistors T1, T2 (et correspondant au courant circulant dans les inductances L1, L2 lorsque les transistors T1, T2 sont fermés) avec la deuxième consigne de courant Cii1, Cii2. La première 15, les deuxièmes 17, 17’, troisièmes 19, 19’ et quatrièmes 21, 21’ unités de traitement sont par exemple réalisées par programmation d’un microcontrôleur de l’unité de contrôle 11. Les deuxièmes boucles de rétroaction sont donc imbriquées dans les premières boucles de rétroaction pour permettre à la fois d’asservir la positon du rotor 7 par rapport aux bobines 5 et 5’ et la tension aux bornes des bobines 5 et 5’. La tension aux bornes des bobines 5, 5’ est donc une tension continue dont la valeur peut varier entre -V bus/2 (lorsque la tension au niveau de l’entrée e1, e2 du régulateurs de tension associé RV1, RV2 vaut V bus (en considérant les composants idéaux et en négligeant les pertes)) et V bus/2 (lorsque la tension au niveau de l’entrée e1, e2 du régulateurs de tension associé RV1, RV2 vaut 0 (en considérant les composants idéaux et en négligeant les pertes)) Ainsi, l’absence d’alimentation découpée (tension en créneaux) des bobines 5, 5’ comme dans le cas de l’art antérieur décrit sur la et l’utilisation de boucles de rétroaction imbriquées pour réguler à la fois la valeur du courant dans la première bobine 5 et la deuxième bobine 5’ et la valeur de la tension aux bornes de la première bobine 5 et de la deuxième bobine 5’ permettent de réduire, voire de supprimer, les ondulations de courant au niveau des bobines 5, 5’ dues notamment au découpage de la tension d’alimentation. Cela induit une diminution, voire une suppression des vibrations aux fréquences proches de la fréquence de découpage de sorte que la machine tournante 100 produit moins de vibrations et perturbe donc moins son environnement et les éventuels dispositifs de précision situés à proximité de la machine tournante. De plus, l’absence d’ondulations de courant dans les bobines 5, 5’ permet de ne pas être limité dans le choix des valeurs d’inductances de ces bobines 5, 5’ pour faire face à ces ondulations de courant et donc de pouvoir utiliser des valeurs d’inductance plus faibles pour les inductances des bobines 5, 5’. Par ailleurs, l’absence de variations brusques de tension au cours du temps dans les bobines 5, 5’ permet de limiter fortement, voire de supprimer le rayonnement électromagnétique des bobines 5, 5’ et des câbles électriques qui relient les bobines 5, 5’ et l’unité de contrôle 11. Cette absence de rayonnement électromagnétique permet d’éviter notamment de perturber les capteurs inductifs de position 9 situés à proximité des bobines 5, 5’. La représente une variante de réalisation qui se différencie de l’exemple précédent par le fait qu’ici, la deuxième branche B2’ comprend un deuxième régulateur de tension RV2’ correspondant à un circuit abaisseur de tension (aussi appelé convertisseur de type Buck en anglais) dont le point d’entrée e2’ est relié au point de sortie s1 du premier régulateur de tension RV1 et dont le point de sortie s2’ est relié à la deuxième bobine 5’. Le circuit abaisseur de tension correspondant au deuxième régulateur de tension RV2’ comprend un transistor T2’ et une inductance L2’ disposés en série entre l’entrée e2’ et la sortie s2’. Le circuit abaisseur de tension comprend également une diode D2’ disposée entre la masse et un point milieu m2’ disposé entre le transistor T2’ et l’inductance L2’ et un condensateur C2’ disposé entre la masse et le point de sortie s2’. Le contrôle de l’ouverture et de la fermeture du transistor T2’ permet de contrôler le courant circulant dans la deuxième bobine 5’ de la paire. Les autres éléments du circuit électrique d’alimentation 13 restent identiques à la variante de réalisation précédente, décrite à partir de la . Dans ce mode de réalisation, le sens du courant dans la deuxième branche B2’ et notamment dans la deuxième bobine 5’ est opposé au sens du courant dans la deuxième branche B2 de la variante de réalisation de la . Cela permet de réduire fortement le courant Ivb fourni par la source de tension continue Vbus/2. Le courant Ivb est en effet sensiblement égal à 2*Δi. Cela peut être particulièrement intéressant si la même source de tension continue Vbus/2 est utilisée pour alimenter l’ensemble des paires de bobines 5, 5’ de la machine tournante 100. Ainsi, les différentes variantes du circuit d’alimentation 13 d’une paire de bobines 5, 5’ décrites précédemment peuvent être dupliquées pour permettre l’alimentation de l‘ensemble des paires de bobines 5, 5’ de la machine tournante 100 et ainsi contrôler la position du rotor 7 de manière précise et en limitant les vibrations produites. La présente invention concerne également une machine tournante 100, notamment une pompe à vide turbomoléculaire, à paliers magnétiques 1, 1’ comprenant au moins un circuit d’alimentation 13 tel que décrit précédemment. Les différentes unités de contrôle 11 des différents circuits d’alimentation 13 associés aux différentes paires de bobines 5, 5’ peuvent être disposées sur une unique carte électronique. La présente invention concerne également un procédé d’alimentation d’un palier magnétique 1 tel que décrit précédemment dans lequel on asservit d’une part le courant dans la première et dans la deuxième bobines d’une paire en fonction d’une position mesurée du rotor 7 pour maintenir le rotor 7 centré par rapport à la première bobine 5 et à la deuxième bobine 5’ et d’autre part la tension respectivement aux bornes de la première bobine 5 et de la deuxième bobine 5’ de la paire en fonction des courants Ib1, Ib2 dans la première bobine 5 et et dans la deuxième bobine 5’ de manière à limiter les vibrations engendrées par l’alimentation du palier magnétique 1. Palier magnétique (1, 1’) d’une machine tournante (100) comprenant un rotor (7), le palier magnétique (1) comprenant au moins une paire de bobines (5, 5’) pour assurer le positionnement du rotor (7) dans une direction donnée, dans lequel la première bobine (5) et la deuxième bobine (5’) de la paire sont positionnées respectivement dans une première branche (B1) et une deuxième branche (B2) parallèles d’un circuit électrique d’alimentation (13) du palier magnétique (1), les deux branches (B1, B2) étant reliées à une source de tension continue commune (V bus/2 ) et dans lequel la première branche (B1) comprend un premier régulateur de tension (RV1) associé à la première bobine (5) et la deuxième branche (B2) comprend un deuxième régulateur de tension (RV2) associé à la deuxième bobine (5’), le circuit électrique d’alimentation (13) comprenant également une unité de contrôle (11) du premier (RV1) et du deuxième (RV2) régulateurs de tension, ladite unité de contrôle (11) comprenant deux premières boucles de rétroaction configurées pour asservir le courant (Ib1, Ib2) circulant respectivement dans la première (5) et dans la deuxième (5’) bobines en fonction d’une position mesurée du rotor (7) et deux deuxièmes boucles de rétroaction configurées pour asservir la tension respectivement aux bornes de la première (5) et de la deuxième (5’) bobines en fonction des courants (Ib1, Ib2) dans la première (5) et dans la deuxième (5’) bobines. Palier magnétique (1, 1’) selon la revendication 1 dans lequel les premières et deuxièmes boucles de rétroaction de l’unité de contrôle (11) comprennent : - une première unité de traitement (15) configurée pour déterminer une première consigne de courant (Ci1, Ci2) à appliquer aux bobines (5, 5’) d’une paire en fonction de la position mesurée du rotor (7) et, pour la première bobine (5) et la deuxième bobine (5’) de la paire : - une deuxième unité de traitement (17, 17’) configurée pour comparer la consigne de courant (Ci1, Ci2) déterminée par la première unité de traitement (15) avec le courant (Ib1, Ib2) circulant dans la bobine (5, 5’) associée et pour déterminer une consigne de tension (Cv1, Cv2) en fonction du résultat de la comparaison des courants, -une troisième unité de traitement (19, 19’) configurée pour comparer la consigne de tension (Cv1, Cv2) fournie par la deuxième unité de traitement (17, 17’) et la tension aux bornes de la bobine et pour déterminer une deuxième consigne de courant (Cii1, Cii2) en fonction du résultat de la comparaison des tensions , -une quatrième unité de traitement (21, 21’) configurée pour réguler le courant dans le régulateur de tension associé (RV1, RV2) en fonction de la deuxième consigne de courant (Cii1, Cii2) fournie par la troisième unité de traitement (19, 19’). Palier magnétique (1, 1’) selon l’une des revendications précédentes dans lequel le premier régulateur de tension (RV1) et/ou le deuxième régulateur de tension (RV2) sont des circuits élévateurs de tension dont l’entrée est reliée à la bobine associée (5, 5’). Palier magnétique (1, 1’) selon l’une des revendications 1 ou 2 dans lequel le premier régulateur de tension (RV1) et/ou le deuxième régulateur de tension (RV2’) sont des circuits abaisseur de tension dont la sortie est reliée à la bobine associée (5, 5’). Palier magnétique (1, 1’) selon l’une des revendications 1 ou 2 dans lequel le premier régulateur de tension (RV1) est un circuit élévateur de tension dont l’entrée (e1) est reliée à la première bobine (5) et le deuxième régulateur de tension (RV2’) est un circuit abaisseur de tension dont la sortie (S2’) est reliée à la bobine associée (5’). Palier magnétique (1) selon l’une des revendications précédentes comprenant également au moins un capteur de position (9) inductif configuré pour mesurer une position du rotor (7) dans une direction donnée. Palier magnétique (1, 1’) selon l’une des revendications précédentes dans lequel les composants du circuit d’alimentation électrique (13) sont disposés sur une carte électronique distante des bobines (5, 5’) et reliée aux bobines (5, 5’) via des câbles électriques d’alimentation. Machine tournante (100) comprenant un premier (1) et un deuxième (1’) paliers magnétiques selon l’une des revendications précédentes dans lequel la machine tournante (100) comprend cinq paires de bobines (5, 5’), une première et une deuxième paires de bobines (5, 5’) disposées au niveau du premier palier magnétique (1) selon une première et une deuxième directions radiales perpendiculaires (X1 et X2), une troisième et une quatrième paires de bobines (5, 5’) disposées au niveau du deuxième palier magnétique (1) selon une première et une deuxième directions radiales perpendiculaires et une cinquième paire de bobines (5, 5’) selon une direction axiale (X3) du rotor (7). Machine tournante (100) selon la revendication précédente dans laquelle la machine tournante (100) est une pompe à vide turbomoléculaire. Procédé d’alimentation d’un palier magnétique (1, 1’) d’une machine tournante (100) comprenant un rotor (7), le palier magnétique (1, 1’) comprenant au moins une paire de bobines (5, 5’), lesdites bobines (5, 5’) de la paire étant disposées de part et d’autre du rotor (7) et étant alimentées par une source de tension continue commune (V bus/2 ) et dans lequel on asservit d’une part le courant dans la première (5) et dans la deuxième (5’) bobines de la paireen fonction d’une position mesurée du rotor (7) pour maintenir le rotor (7) centré par rapport à la première (5) et à la deuxième (5’) bobines et d’autre part la tension respectivement aux bornes de la première (5) et de la deuxième (5’) bobines de la paire en fonction des courants (Ib1, Ib2) dans la première (5) et dans la deuxième (5’) bobines.