Brevet FR3122053A1 — publié le 20221021

L'invention concerne un dispositif piézo-hydraulique (100) comprenant au moins un circuit hydraulique comportant un fluide (1, 2) sous pression tel qu’un liquide, un premier piston (10) présentant une surface utile soumise à la pression du fluide du circuit hydraulique, le premier piston (10) étant relié à au moins un élément piézoélectrique (40) de sorte que la position du premier piston (10) varie en fonction d’une déformation mécanique de l’élément piézoélectrique (1), au moins un deuxième piston (20) présentant une surface utile soumise à la pression du fluide du circuit hydraulique, la surface utile du premier piston (10) étant strictement supérieure à la surface utile du deuxième piston (20) de sorte à transmettre un effort démultiplié pour déplacer une masse mobile (50). (Fig. 7) dispositif piézo-hydraulique pour démultiplier un effort à partir d’un élément piezoélectrique Domaine technique de l’invention L'invention concerne, de façon générale, le domaine technique des dispositifs piézoélectriques, notamment des actionneurs piézoélectriques, voire des capteurs piézoélectriques. L’invention se rapporte plus spécifiquement à un dispositif piézoélectrique, actionneur et/ou capteur, permettant une démultiplication d’un effort entre la déformation mécanique d’un élément piézoélectrique et le déplacement d’une masse. Un tel dispositif piézoélectrique peut notamment être utilisé comme actionneur dynamique pour assurer un contrôle de vibrations, en particulier pour équilibrer des arbres de machines tournantes nécessitant des niveaux d’efforts très importants. État de la technique antÉrieure La piézoélectricité est la propriété que possèdent certains matériaux de se polariser électriquement sous l’action d’une contrainte mécanique et réciproquement de se déformer lorsqu’on leur applique un champ électrique. Le premier est appelé effet piézoélectrique direct, le second effet piézoélectrique inverse. De manière plus générale, l’effet direct peut être mis à profit dans la réalisation de capteurs (capteur de pression…) tandis que l’effet inverse permet de réaliser des actionneurs de précision (injecteurs à commande piézoélectrique en automobile, …). La sensibilité d’un élément piézoélectrique est caractérisée par le déplacement obtenu sous une tension donnée. Les déplacements engendrés étant très faibles, de nombreuses configurations d’amplification mécaniques ont été développées, de manière à augmenter la course des actionneurs, sans trop nuire aux efforts qu’ils sont capables de fournir. Une majorité de configurations retenues met en jeu des articulations flexibles, obtenues par usinage en électroérosion, permettant d’atteindre des épaisseurs de matière très faibles. Ces articulations permettent des rotations à débattement limité mais sont sans jeu, ce qui est primordial pour ce type d’application où chaque micron à une incidence non négligeable sur la précision du dispositif. C’est par exemple le cas des solutions d’amortissement vibratoire développés par la société PYTHEAS Technology, ou également des solutions développées par la société CEDRAT Technologies (Actionneurs Piézoélectriques Amplifiés, APA ® ). Ces solutions utilisent la forme elliptique d’une coque pour à la fois précontraindre le matériau piézoélectrique, mais aussi amplifier les déplacements dans le petit axe de l’ellipse. Ces dispositifs existants utilisent généralement des mécanismes de démultiplication permettant une amplification relativement faible, par exemple d’un facteur compris entre 2 à 20. De tels actionneurs amplifiés ont ainsi généralement des courses comprises entre 0,1 et 1 mm. Les déplacements, et par voie de conséquence les accélérations, procurés par ce type de transducteurs restent donc faibles, ce qui nécessite l’utilisation de masses sismiques grandes pour atteindre des niveaux d’effort importants en basses fréquences pour équilibrer des systèmes vibratoires nécessitant des niveaux d’efforts très importants. Il en résulte que le compromis entre la compacité, la masse, les efforts développés et la consommation d’énergie restent peu favorable pour des actionneurs électrodynamiques de forte puissance. L’invention vise à remédier à tout ou partie des inconvénients de l’état de la technique en proposant notamment une solution permettant une démultiplication améliorée des efforts développés pour une consommation d’énergie acceptable voire réduite, dont la compacité est améliorée et dont la masse sismique utile peut être réduite. Pour ce faire est proposé selon un aspect de l'invention un dispositif piézo-hydraulique comprenant au moins un circuit hydraulique comportant un fluide sous pression tel qu’un liquide, un premier piston présentant une surface utile soumise à la pression du fluide du circuit hydraulique, le premier piston étant relié à au moins un élément piézoélectrique de sorte que la position du premier piston varie en fonction d’une déformation mécanique de l’élément piézoélectrique, au moins un deuxième piston présentant une surface utile soumise à la pression du fluide du circuit hydraulique, la surface utile du premier piston étant strictement supérieure à la surface utile du deuxième piston de sorte à transmettre un effort démultiplié pour déplacer une masse mobile. Grâce à une telle combinaison de caractéristiques, le dispositif piézo-hydraulique met en œuvre une démultiplication hydraulique qui permet des amplifications significativement plus importantes que celles obtenues par d’autres moyens mécaniques, ceci avec une grande compacité et donc un encombrement réduit. Par application du principe de Pascal, la démultiplication hydraulique résulte de l’utilisation des deux pistons au moins de sections ou surfaces utiles différentes immergées dans un même volume fluide incompressible, logé ici dans le circuit hydraulique. Le rapport de démultiplication est alors le rapport des sections ou surfaces utiles des premier et deuxième pistons. Selon un mode de réalisation, le circuit hydraulique peut comprendre une chambre hydraulique, voire de préférence être constitué d’une chambre hydraulique. Une telle caractéristique permet d’améliorer la compacité du dispositif piézo-hydraulique en simplifiant le circuit hydraulique à une simple chambre hydraulique. Selon un mode de réalisation, l’élément piézoélectrique est constitué d’un matériau piézoélectrique. Le matériau piézoélectrique est par exemple à base de titano-zirconates de plomb (PZT), de préférence constitué intégralement de titano-zirconates de plomb. La démultiplication peut être facilement augmentée pour un élément piézoélectrique donné en utilisant un premier piston de grande taille actionné par ledit élément piézoélectrique. On choisira de préférence un rapport de démultiplication strictement supérieur à 20, de préférence supérieur ou égale à 100, de préférence encore supérieur ou égale à 400. Selon un mode de réalisation, le premier piston forme un piston double effet, le premier piston comportant deux faces opposées, chacune des deux faces présentant une surface utile soumise à la pression d’un fluide contenu dans des chambres hydrauliques distinctes associées. Selon un mode de réalisation, le dispositif piézo-hydraulique comprend un troisième piston, le deuxième piston étant soumis à la pression du fluide contenu dans une première des deux chambres hydrauliques, le troisième piston étant soumis à la pression du fluide contenu dans une deuxième des deux chambres hydrauliques, opposée à la première par rapport au premier piston, les deuxième et troisième pistons étant de préférence mobiles suivant des axes parallèles, de préférence encore coaxiaux. Une telle configuration permet par exemple d’utiliser un effet de pousser- tirer, aussi appelé « push-pull » en jargon anglo-saxon, de sorte à permettre d’inverser les rôles du système moteur et de la masse mobile. Selon un mode de réalisation, les deuxième et troisième pistons sont solidaires l’un de l’autre, de préférence de sorte à former une enveloppe externe du dispositif piézo-hydraulique. En d’autres termes, les deuxièmes et troisièmes pistons sont fixes par rapport à une enveloppe externe du dispositif piézo-hydraulique. Cette enveloppe externe délimitée de préférence une enceinte close, dans laquelle la masse mobile est logée dans son espace intérieur. Selon un mode de réalisation, la masse mobile est solidaire du deuxième piston. Selon un mode de réalisation, la masse mobile forme un carter hydraulique délimitant les première et deuxième chambres hydrauliques. Dans cette configuration, où le carter hydraulique est logé dans l’espace intérieur délimité par l’enveloppe externe, la majeure partie de la masse est utilisée comme masse sismique et le système peut être utilisé plus facilement dans différentes positions. En outre, la masse sismique bénéficie d’un meilleur guidage grâce aux deuxième et troisième pistons. Selon un mode de réalisation, la masse mobile est immergée dans un fluide hydraulique, de préférence un fluide hydraulique diélectrique, contenu dans un espace intérieur de l’enveloppe externe du dispositif piézo-hydraulique, ladite enveloppe externe du dispositif piézo-hydraulique formant de préférence une cage de faraday. L’utilisation d’un fluide diélectrique présente notamment un avantage vis-à-vis de l’alimentation électrique des éléments piézo-électriques. Le fait que le système est intégralement baigné dans un fluide hydraulique, en particulier la masse mobile délimitant les première et deuxième chambres hydrauliques, incluant notamment le ou les élément(s) piézo-électrique(s) et les premier, deuxième et troisième pistons, est avantageux en ce que le fluide apporte une inertie thermique en même temps qu’un moyen de refroidir le système si nécessaire. Par ailleurs, la caractéristique selon laquelle l’enveloppe externe du dispositif piézo-hydraulique forme au moins en partie, en particulier constitue, une cage de faraday permet de limiter l’impact de la compatibilité électromagnétique du dispositif piézo-hydraulique. Selon un mode de réalisation, le dispositif piézo-hydraulique comprend des moyens de contrôle de pression du fluide sous pression du ou des circuit(s) hydraulique(s) permettant une communication fluidique entre le ou les circuit(s) hydraulique(s) et au moins une chambre de régulation, les moyens de contrôle de pression comprenant par exemple au moins un clapet. En effet, un problème technique qui doit être résolu est celui de l’étanchéité du système hydraulique et principalement l’étanchéité au niveau du ou des petits pistons, c’est-à-dire du deuxième et/ou troisième piston, qui sont les plus petits par rapport au premier piston relié à l’élément piézo-électrique. Ces pistons se trouvent en mouvement par rapport au carter hydraulique. Une manière de résoudre ce problème est d’utiliser des techniques d’usinages de haute précision associée à des traitements de surfaces de grande dureté. Toutefois, un tel usinage est particulièrement onéreux. Une autre solution est de prendre en compte une fuite au niveau de la liaison et un système de remplissage tel que la chambre de régulation, dans les phases de dépression, contrôlé par exemple par au moins un clapet formant moyen de contrôle. Dans une configuration particulière, un soufflet étanche permet de délimiter une chambre de régulation et contenir ainsi du liquide avant son aspiration dans la cavité formée par la chambre associée dans les phases de dépression. Selon un mode de réalisation, les moyens de contrôle de pression sont configurés pour contrôler une communication fluidique entre chacune des première et deuxième chambres hydrauliques avec une chambre de régulation commune, la chambre de régulation étant contenue dans l’espace intérieur de l’enveloppe externe du dispositif piézo-hydraulique, entre la masse mobile et ladite enveloppe externe. Dans une telle configuration, où le système baigne dans le liquide hydraulique, l’espace délimité dans l’enveloppe externe du dispositif piézo-hydraulique, entre des parois de ladite enveloppe externe et le carter hydraulique, forme une chambre de régulation entourant le carter hydraulique. Le fluide peut également être maintenu en équilibre avec la pression atmosphérique si nécessaire. En plus des avantages précités, un tel dispositif piézo-hydraulique selon l’invention permet avec un actionneur unique d’envisager le contrôle actif de plusieurs phénomènes simultanément : par exemple équilibrage dynamique du vilebrequin pour un moteur 3 cylindres. Un tel dispositif piézo-hydraulique présente également un niveau de complexité faible et utilise des matériaux relativement économiques. Il permet en outre de réduire la masse et d’améliorer le rendement des dispositifs de réduction des vibrations, tels que ceux par exemple équipant un moteur. Selon un autre aspect de l’invention, celle-ci a trait à un véhicule, par exemple un véhicule automobile, comprenant au moins un dispositif piézo-hydraulique tel que décrit ci-avant. Selon un mode de réalisation, le véhicule comprend une pluralité de dispositifs piézo-hydrauliques tels que décrit ci-avant et des supports d’un moteur sur une structure fixe du véhicule, les supports du moteur étant équipés chacun d’au moins l’un des dispositifs piézo-hydrauliques de sorte à réduire les efforts dynamiques appliqués à la structure fixe du véhicule. Les dispositifs piézo-hydrauliques étant configurés chacun pour réduire localement les efforts dynamiques appliqués à la structure fixe du véhicule, le tout en présentant une masse et un encombrement réduits et pouvant engendrer des efforts suffisamment importants du fait de la démultiplication hydraulique, une telle application est particulièrement avantageuse. Selon un mode de réalisation, le véhicule est un véhicule électrique, le moteur du véhicule étant un moteur électrique. brÈve description des figures D’autres caractéristiques et avantages de l’invention ressortiront à la lecture de la description qui suit, en référence aux figures annexées, qui illustrent : : une vue schématique d’un dispositif piézo-hydraulique selon un mode de réalisation ; : une vue schématique d’un dispositif piézo-hydraulique selon un autre mode de réalisation ; : une vue schématique d’un dispositif piézo-hydraulique selon un autre mode de réalisation ; : une vue schématique d’un dispositif piézo-hydraulique selon un autre mode de réalisation ; : une vue schématique d’un dispositif piézo-hydraulique selon un autre mode de réalisation ; : une vue schématique d’un dispositif piézo-hydraulique selon un autre mode de réalisation ; : une vue schématique d’un dispositif piézo-hydraulique selon un autre mode de réalisation. Pour plus de clarté, les éléments identiques ou similaires sont repérés par des signes de référence identiques sur l’ensemble des figures. description DÉTAILLÉE d’un mode de rÉalisation La ( ) illustre une vue schématique d’un dispositif piézo-hydraulique 100 selon un mode de réalisation. En particulier, le dispositif piézo-hydraulique 100 comprend un circuit hydraulique 101 constituant ici une chambre hydraulique 101’ pour simplifier la structure. La chambre hydraulique 101’ est remplie d’un fluide 1 sous pression tel qu’un liquide, de préférence un liquide incompressible. Est considéré comme un fluide incompressible, un fluide dont le volume est considéré comme constant, quelle que soit la pression qu'il subit. Tout fluide étant en réalité sensible à la pression, on considérera approximativement en pratique que les effets de la compression peuvent être ignorés pour des fluides caractérisés par un nombre de Mach en dessous de 0,3. Le dispositif piézo-hydraulique 100 comprend un premier piston 10 présentant une surface utile 11 et s’étendant dans la chambre hydraulique 101’ de sorte que la surface utile 11 est soumise à la pression du fluide 1 contenu dans la chambre hydraulique 101’. Le premier piston 10 coulisse par rapport à la chambre hydraulique 101’ dont les parois qui la délimitent guident ledit premier piston 10 en translation. Les parois délimitant la chambre hydraulique 101’ forme un carter 60 hydraulique. Le premier piston 10 est relié à au moins un élément piézoélectrique 40 constitué ici d’un matériau piézoélectrique. Le matériau piézoélectrique est ici constitué de titano-zirconates de plomb (« PZT »). Le dispositif piézo-hydraulique 100 utilise ainsi l’effet piézoélectrique : en appliquant une tension électrique au matériau piézoélectrique, on engendre une déformation mécanique dudit matériau piézoélectrique. Le premier piston 10 est relié à l’élément piézoélectrique 40 de sorte que la position du premier piston 10 varie en fonction d’une déformation mécanique de l’élément piézoélectrique 40 au moins axialement suivant un axe de déplacement A40 principal de référence. L’élément piézoélectrique 40 assure donc une fonction d’actionneur du dispositif piézo-hydraulique 100. Dans le mode de réalisation de la ( ), le premier piston 10 est constitué par l’élément piézoélectrique 40 lui-même, ledit élément piézoélectrique 40 étant immergé dans le fluide 1 contenu dans la chambre hydraulique 101’. Le dispositif piézo-hydraulique 100 comprend en outre un deuxième piston 20 présentant une surface utile 21 soumise à la pression du même fluide 1 du circuit hydraulique 101, à savoir de la même chambre hydraulique 101’. Le deuxième piston 20 coulisse par rapport à la chambre hydraulique 101’ dont les parois qui la délimitent guident ledit deuxième piston 20 en translation. De préférence, le deuxième piston 20 coulisse par rapport à la même chambre hydraulique 101’ d’un côté opposé au premier piston 10 par rapport à la chambre hydraulique 101’. Le carter 60 hydraulique guide donc les premier et deuxième pistons 10, 20 de sorte qu’ils sont mobiles en translation chacun suivant un axe A1 et A2, respectivement. Les axes A1 et A2 de translation des premier et deuxième pistons 10, 20 sont ici parallèles, et même coaxiaux, et également parallèles et coaxiaux à l’axe de déplacement A40 de de l’élément piézoélectrique 40. Le deuxième piston 20 comprend donc une tige coulissante par rapport à la chambre hydraulique 101’, dont une extrémité proximale est mouillée dans le liquide 1 contenu dans la chambre hydraulique 101’, l’extrémité proximale portant la surface utile 21, et une extrémité distale, opposée à l’extrémité proximale, solidaire d’une masse mobile 50, ici située à l’extérieur du carter 60 hydraulique. Ainsi, lors du fonctionnement du dispositif piézo-hydraulique 100, comme actionneur par exemple, l’application d’une tension électrique au matériau piézoélectrique 40 engendre une déformation mécanique dudit matériau piézoélectrique au moins suivant son axe A40, lequel fait varier en translation la position du premier piston 10 par rapport à la chambre hydraulique 101’ suivant son axe A1, qui fait varier en conséquence la pression interne du liquide dans la chambre hydraulique 101’, le liquide 1 transmettant intégralement la variation de pression produite au deuxième piston 20 qui translate également suivant son axe de translation A2. Dans le cadre de l’invention, la surface utile du premier piston 10 est choisie strictement supérieure à la surface utile du deuxième piston 20 de sorte à transmettre un effort démultiplié pour déplacer une masse mobile 50. Ainsi, le fluide 1 permet de multiplier une force pressante qui s'exerce sur lui par le premier piston 10 en la transmettant au deuxième piston 20. Le dispositif piézo-hydraulique 100 met en œuvre une démultiplication hydraulique qui permet des amplifications significativement plus importantes que celles obtenues par d’autres moyens mécaniques. La démultiplication hydraulique résulte de l’utilisation des premier et deuxième pistons 10, 20, de sections différentes immergés dans un même volume fluide 1 incompressible contenu dans la chambre hydraulique 101’. Le rapport de démultiplication est alors le rapport des sections ou surfaces utiles des deux pistons, à savoir les premier et deuxième pistons 10, 20. Sur la ( ), le rapport de démultiplication obtenu est de l’ordre de 10. La pression dans le fluide hydraulique est la force exercée divisée par la section du petit piston. La démultiplication peut encore être augmentée pour une quantité de matériau piézoélectrique donnée en utilisant un premier piston 10 de grande taille actionnée par l’élément piézoélectrique 40 comme illustré sur la ( ) où le rapport de démultiplication obtenu est de l’ordre de 400. Le dispositif piézo-hydraulique 100 de la ( ) diffère essentiellement de celui de la ( ) en ce que le premier piston 10 est distinct de l’élément piézoélectrique 40, le premier piston 10 formant une interface mécanique entre le fluide 1 incompressible contenu dans la chambre hydraulique 101’ d’un côté, et l’élément piézoélectrique 40 d’un autre côté opposé et accolé au premier piston 10 de sorte que la déformation mécanique de l’élément piézoélectrique 40 dans un sens ou dans l’autre engendre le déplacement du premier piston 10 dans un sens ou dans l’autre respectivement, en coulissant par rapport à la chambre hydraulique 101’. Plus précisément, le premier piston 10 est monté coulissant dans la chambre hydraulique 101’ de forme complémentaire, guidé par le carter hydraulique 60. Le premier piston 10 comporte deux faces opposées 12, 13, l’une 12 des deux faces étant en contact direct avec le fluide 1 contenu dans la chambre hydraulique 101’ et soumise à la pression du fluide 1 contenu dans la chambre hydraulique 101’, l’autre des deux parois 13, opposée à la paroi 12, étant solidaire de l’élément piézoélectrique 40. Le carter 60 hydraulique du dispositif piézo-hydraulique 100 délimite un espace intérieur à l’intérieur duquel le premier piston coulisse en séparant de façon étanche deux espaces, un premier espace contenant le fluide 1 et un second espace logeant l’élément piézoélectrique 40, l’élément piézoélectrique 40 étant disposé entre, de préférence interposé entre (voir la ( )), une paroi du carter 60 hydraulique et la paroi 13 du premier piston 10. Dans ce mode de réalisation l’axe central A40 de l’élément piézoélectrique 40 correspondant à son axe de déplacement principal et les axes A1, A2 de coulissement des premier et deuxième pistons 10, 20 sont également parallèles et coaxiaux. La ( ) illustre un schéma d’un dispositif piézo-hydraulique 100 selon un autre mode de réalisation. Ce mode de réalisation diffère essentiellement des précédents en ce qu’il comprend deux deuxièmes pistons, nommés deuxième piston 20 et troisième piston 30, chacun subissant la pression d’un fluide 1, 2, dans une des chambres hydrauliques 101’, 102’ distinctes associée. Dans une telle configuration, le deuxième piston 20 est soumis à la pression du fluide 1 contenu dans une première 101’ de deux chambres hydrauliques 101’, 102’ et le troisième piston 30 est soumis à la pression du fluide 2 contenu dans une deuxième 102’ des deux chambres hydrauliques 101’, 102’, opposée à la première 101’ par rapport au premier piston 10. Les deux chambres hydrauliques 101’, 102’ sont délimitées extérieurement par un carter hydraulique 60 présentant un espace intérieur. Le même carter hydraulique 60 formé monobloc délimité un espace intérieur logeant les deux chambres hydrauliques 101’, 102’. En effet, l’espace intérieur du carter hydraulique 60 est traversé par le premier piston 10 de sorte que le premier piston 10 divise l’espace intérieur du carter hydraulique 60 en deux sous-espaces, étanches l’un par rapport à l’autre, chacun des deux sous-espaces formant l’une des deux chambres hydrauliques 101’, 102’. Dans ce mode de réalisation, le premier piston 10 forme un piston double effet. Le premier piston 10 comporte deux faces opposées 12, 13, chacune des deux faces 12, 13 présentant une surface utile 11’, 11’’ soumise à la pression d’un fluide 1, 2 contenu dans l’une et l’autre des deux chambres hydrauliques distinctes 101’, 102’ associées. De cette manière le premier piston 10 peut travailler dans les deux directions suivant son axe de coulissement A1. Le premier piston 10 présente transversalement sur sa périphérie par rapport à son axe de coulissement A1, un bord périphérique disposé entre deux appuis intérieurs du carter hydraulique 60. Le bord périphérique du premier piston 10 est interposé entre deux éléments piézoélectriques 40, chacun des éléments piézoélectriques 40 étant eux-mêmes interposés entre, d’une part, une portion de l’une des deux faces 12, 13 du premier piston 10 localisée au niveau dudit bord et, d’autre part, l’un des deux appuis associés du carter hydraulique 60. De cette manière, les éléments piézoélectriques 40 permettent sous l’effet d’une tension de déplacer le premier piston 10 suivant son axe A1, dans un sens ou dans l’autre. Le carter hydraulique 60 délimitant les première et deuxième chambres hydrauliques 101’, 102’ constitue ici la masse mobile permettant d’être déplacée. En effet, le carter hydraulique 60 est logé dans un espace intérieur 105’ d’une enveloppe externe 105 du dispositif piézo-hydraulique 100. L’enveloppe 105 externe délimite une enceinte fermée. Les deuxième et troisième pistons 20, 30 sont solidaires de cette enveloppe externe 105 de sorte qu’ils sont fixes l’un par rapport à l’autre. De cette manière, l’enveloppe externe 105 forme un boîtier fermé alimenté par des fils électriques (non illustrés) qui traversent l’enveloppe externe 105 pour être connectés aux éléments piézoélectriques 40. Lorsque les éléments piézoélectriques 40 sont mis sous tension, le premier piston 10 est déplacé dans une direction ou dans l’autre suivant un axe de déplacement A1, ceci en fonction de la différence tension appliquée au différents éléments piézoélectriques 40. Le déplacement du premier piston 10 a pour incidence de faire translater la masse mobile 50 par rapport à l’enveloppe externe 105, laquelle est guidée par les deuxième et troisième pistons 20, 30 dont les axes de déplacement A2, A3 sont parallèles, et coaxiaux, à l’axe de déplacement du premier piston A1. Lorsque le dispositif piézo-hydraulique 100 est à l’équilibre, le carter hydraulique 60, soit également la masse mobile 50 ici, est centré dans l’espace intérieur 105’ de l’enveloppe 105 externe de sorte qu’un espace est délimité entre les parois délimitant l’enveloppe 105 externe et le carter hydraulique 60. Le dispositif piézo-hydraulique 100 est configuré de sorte que l’espace entre ces éléments est suffisant pour que le déplacement du carter hydraulique 60 constituant la masse mobile 50 ne vienne pas en contact contre les parois de l’enveloppe 105 externe durant son utilisation. Cet espace intérieur 105’ entre le carter hydraulique 60 et les parois délimitant l’enveloppe 105 est ici rempli d’air, mais il pourrait être rempli d’un autre gaz. Le dispositif piézo-hydraulique 100 présente une symétrie par rapport à un plan de référence P, orthogonal à l’axe de déplacement du premier piston 10. Ce plan de symétrie correspond au plan de symétrie du premier piston 10. En particulier, l’enveloppe 105, le carter hydraulique 60, soit également la masse mobile 50, et le premier piston 10 sont symétriques par rapport au plan de référence P. Le troisième piston 30 correspond à une symétrie du deuxième piston par rapport à ce plan de référence P. Une telle configuration symétrique du dispositif piézo-hydraulique 100 par rapport à un tel plan de symétrie P et utilisant un premier piston 10 à double effet permet de bénéficier d’un effet de pousser-tirer, aussi appelé « push-pull », de sorte à permettre d’inverser les rôles du système moteur et de la masse mobile 50 sismique tout en rendant le système clôt. Dans cette configuration, la majeure partie de la masse est utilisée comme masse sismique et le dispositif piézo-hydraulique 100 peut être utilisé plus facilement dans différentes positions lorsqu’il est intégré par exemple dans un système à équilibrer. En outre, la masse sismique 50 bénéficie d’un meilleur guidage. Un problème technique qui pourrait être rencontré est celui de l’étanchéité du système hydraulique, c’est-à-dire des circuits hydrauliques 101, 102, notamment des chambres hydrauliques 101’, 102’. En effet, suivant les pressions mises en jeu, l’étanchéité au niveau du ou des petits piston(s) qui se trouve en mouvement par rapport au carter hydraulique 60, c’est-à-dire des deuxième et troisième pistons 20, 30. Une manière de résoudre ce problème est d’utiliser des techniques d’usinages de haute précision associée à des traitements de surfaces de grande dureté. Une autre solution envisageable est de munir le dispositif piézo-hydraulique 100 de moyens de contrôle 110 de pression du fluide 1, 2 du ou des circuits hydrauliques 101, 102 permettant une communication fluidique entre le ou les circuits hydrauliques 101, 102 et au moins une chambre de régulation 103. Un exemple de réalisation est illustré sur la ( ) qui diffère du mode de réalisation illustré sur la ( ) essentiellement en ce que le dispositif piézo-hydraulique 100 comprend un soufflet étanche dans l’espace intérieur 105’ entre le carter hydraulique 60 et les parois délimitant l’enveloppe 105 localisé au niveau de la liaison de coulissement de chacun des deuxième et troisième pistons 20, 30. Ces deux soufflets sont remplis du même fluide 1, 2 que celui de la chambre hydraulique 101’, 102’ associée. Les espaces intérieurs de ces soufflets forment des chambres de régulation 103. Par ailleurs, les moyens de contrôle de pression 110 comprennent un clapet 111 placé dans un canal de liaison situé entre chaque chambre de régulation 103 et chambre hydraulique 101’, 102’ associée. Une variante de réalisation est également illustrée sur la ( ). Ce mode de réalisation de la ( ) diffère essentiellement de celui de la ( ) en ce que le carter hydraulique 60 formant la masse mobile 50 est immergé dans un fluide 3. En d’autres termes, l’espace intérieur 105’ entre le carter hydraulique 60 et les parois délimitant l’enveloppe 105 est ici rempli du fluide 3 formant une chambre de régulation 103, et non plus d’un gaz. Une telle configuration permet de s’abstenir de l’utilisation de soufflets. Les moyens de contrôle 110 de pression permettent de contrôler une communication fluidique entre chacune des première et deuxième chambres hydrauliques 101’, 102’ avec la chambre de régulation 103 qui est commune à chacune des chambres hydrauliques 101’, 102’. Ainsi, le carter hydraulique 60 baigne dans le fluide 3 hydraulique, maintenu en équilibre avec la pression atmosphérique si nécessaire. On choisira de préférence un fluide 3 hydraulique contenu dans l’espace intérieur 105’ de l’enveloppe externe 105 qui est diélectrique. De préférence, les fluides 1, 2, 3 sont constitués d’un fluide de même nature. On pourra également configurer l’enveloppe externe 105 du dispositif piézo-hydraulique 100 de sorte à ce qu’elle forme une cage de faraday afin de limiter l’impact de la compatibilité électromagnétique du dispositif piézo-hydraulique 100. La [( ]) illustre un schéma d’un dispositif piézo-hydraulique 100 selon un autre mode de réalisation. Ce mode de réalisation diffère essentiellement de celui de la [( ]) en ce que l’élément piézoélectrique 40 est également noyé dans un fluide. Le premier piston 10 forme une interface mécanique entre le fluide 1 incompressible contenu dans la chambre hydraulique 101’ d’un côté, et l’élément piézoélectrique 40 d’un autre côté opposé et interposé entre ledit premier piston 10 et une paroi du carter hydraulique 60. La déformation mécanique de l’élément piézoélectrique 40 dans un sens ou dans l’autre engendre le déplacement du premier piston 10 dans un sens ou dans l’autre respectivement, en coulissant par rapport à la chambre hydraulique 101’. Le deuxième piston 20 coulisse par rapport à la même chambre hydraulique 101’, de préférence d’un même côté que premier piston 10 par rapport à la chambre hydraulique 101’. Le deuxième piston 20 est guidé en translation à la fois par une des parois du carter hydraulique 60 et par le premier piston 10 lui-même. Les premier et deuxième pistons 10, 20 sont mobiles en translation chacun suivant un axe A1 et A2, respectivement, les axes A1 et A2 de translation des premier et deuxième pistons 10, 20 étant coaxiaux. Le premier piston 10 comporte deux faces opposées 12, 13, l’une 12 des deux faces étant en contact direct avec le fluide 1 contenu dans la chambre hydraulique 101’ et soumise à la pression du fluide 1 contenu dans la chambre hydraulique 101’, l’autre 13 des deux parois, opposée à la paroi 12, étant solidaire de l’élément piézoélectrique 40 et baignant également dans un fluide, en communication ou non avec le fluide 1 de la chambre hydraulique 101’. En effet, le carter 60 hydraulique délimite un espace intérieur à l’intérieur duquel le premier piston 10 coulisse en séparant deux espaces, un premier espace contenant le fluide 1 et un second espace logeant l’élément piézoélectrique 40 baignant dans le fluide, l’élément piézoélectrique 40 étant disposé entre, de préférence interposé entre, l’une des parois du carter 60 hydraulique et la paroi 13 du premier piston 10. Ce second espace rempli de fluide forme une chambre de régulation 103 pour prendre en compte au niveau de la liaison entre le deuxième piston 20 par rapport au premier piston 10 qu’il traverse. Une membrane 106 souple et élastique équipe une portion d’une paroi externe du dispositif piézo-hydraulique 100, notamment ici d’une portion de la paroi du carter hydraulique 60. La membrane 106 forme une interface entre la chambre de régulation 103 et l’extérieur du dispositif piézo-hydraulique 100, à savoir du carter hydraulique 60. Une telle membrane 106 souple permet de maintenir un équilibre avec la pression atmosphérique. La ( ) illustre un schéma d’un dispositif piézo-hydraulique 100 selon un autre mode de réalisation. Ce mode de réalisation est comparable à celui de la ( ) auquel a été ajouté une membrane 106 telle que décrite ci-avant, à savoir souple et élastique équipant une portion d’une paroi externe du dispositif piézo-hydraulique 100, en particulier ici d’une portion de l’enveloppe 105 externe, la membrane 106 formant une interface entre la chambre de régulation 103 délimitée entre l’enveloppe 105 et l’extérieur du carter hydraulique 60. Quel que soit le mode de réalisation, la membrane 106 peut être amovible pour assurer une vidange de la chambre de régulation 103, dans l’enveloppe externe 105 ou dans le carter hydraulique 60. En pratique on constate la possibilité de concevoir grâce à l’invention un dispositif piézo-hydraulique 100 présentant un rapport de démultiplication très important. De manière générale, le dispositif piézo-hydraulique 100 est configuré de sorte que rapport de démultiplication en le premier piston 10 et au moins le deuxième piston 20, et de préférence aussi avec le troisième piston 30, est strictement supérieur à 20, de préférence supérieur ou égale à 100, de préférence encore supérieur ou égale à 400. Lorsque le dispositif piézo-hydraulique 100 est utilisé pour actionner le déplacement de la masse mobile 50 à partir d’une tension électrique délivrée à l’élément piézoélectrique le dispositif piézo-hydraulique 100 forme alors un actionneur, dont l’intérêt est ici de pouvoir transmettre des efforts importants à partir d’un déplacement minime du premier piston ou piston actionneur. Les deuxième et troisième pistons 20, 30 sont des pistons d’entrainement de masse actionnés par le premier piston 10 actionneur. De préférence le premier piston relié à l’au moins un élément piézoélectrique est unique, ceci afin de simplifier la structure. Lorsque le dispositif piézo-hydraulique 100 est utilisé pour créer une tension électrique à partir d’un déplacement de la masse mobile, le dispositif piézo-hydraulique 100 forme alors un capteur. Grâce au rapport de démultiplication, il est possible de garantir des mesures de déplacement particulièrement fines. Une application possible se situe par exemple dans le domaine de l’équilibrage dynamique d’un vilebrequin d’un moteur automobile. À titre d’exemple, pour des applications de réduction de vibration d’un moteur à explosion de 200 kg à l’aide de deux actionneurs piézo-hydrauliques 100, chaque dispositif piézo-hydraulique 100 ou actionneur piézo-hydraulique 100 doit être capable d’appliquer des efforts susceptibles d’engendrer des déplacements du moteur de l’ordre de 100 µm à une fréquence de 20 Hz. L’effort nécessaire est de l’ordre de 150 N. En utilisant un rapport de démultiplication de 100 ce résultat pourra être obtenu avec une masse mobile 50 d’une masse de 1kg subissant des déplacements de 10 mm. Dans le cas où on utiliserait un premier piston 10 de diamètre 4 mm, la pression à l’intérieur du dispositif serait de 120 bars ce qui constitue un ordre de grandeur usuel pour un dispositif hydraulique. Le dispositif piézo-hydraulique 100 selon l’invention permet de créer des capteurs et des actionneurs de grande compacité et par conséquent de masse et d’encombrement très réduits. En particulier, cette compacité est possible grâce au principe de démultiplication hydraulique. De tels avantages sont particulièrement intéressants dans le domaine des véhicules électriques notamment où le poids et la consommation électrique sont des problématiques omniprésentes et en constante recherche de performances. Une application avantageuse de tels dispositifs piézo-hydrauliques 100 consiste à les intégrer dans des supports moteurs de véhicules électriques. Ainsi, en équipant chacun des supports moteur d’un ou plusieurs dispositifs piézo-hydrauliques 100 selon l’invention, ceux-ci peuvent réduire les efforts dynamiques appliqués à la carrosserie et engendrés par le moteur électrique. En effet, ces efforts dynamiques ont pour principale origine les interactions électromagnétiques au sein du moteur ou encore les engrènements des différents étages de réduction et sont généralement de nature harmonique. Naturellement, l’invention est décrite dans ce qui précède à titre d’exemple. Il est entendu que l’homme du métier est à même de réaliser différentes variantes de réalisation de l’invention sans pour autant sortir du cadre de l’invention. Il est souligné que toutes les caractéristiques, telles qu’elles se dégagent pour un homme du métier à partir de la présente description, des dessins et des revendications attachées, même si concrètement elles n’ont été décrites qu’en relation avec d’autres caractéristiques déterminées, tant individuellement que dans des combinaisons quelconques, peuvent être combinées à d’autres caractéristiques ou groupes de caractéristiques divulguées ici, pour autant que cela n’a pas été expressément exclu ou que des circonstances techniques rendent de telles combinaisons impossibles ou dénuées de sens. Dispositif piézo-hydraulique (100) comprenant au moins un circuit hydraulique (101, 102) comportant un fluide (1, 2) sous pression tel qu’un liquide, un premier piston (10) présentant une surface utile (11) soumise à la pression du fluide du circuit hydraulique, le premier piston (10) étant relié à au moins un élément piézoélectrique (40) de sorte que la position du premier piston (10) varie en fonction d’une déformation mécanique de l’élément piézoélectrique (1), au moins un deuxième piston (20) présentant une surface utile (21) soumise à la pression du fluide du circuit hydraulique (101, 102), la surface utile du premier piston (10) étant strictement supérieure à la surface utile du deuxième piston (20) de sorte à transmettre un effort démultiplié pour déplacer une masse mobile (50). Dispositif piézo-hydraulique (100) selon la revendication 1, caractérisé en ce que le circuit hydraulique (101, 102) comprend une chambre hydraulique (101’, 102’), de préférence est constitué d’une chambre hydraulique (101’, 102’). Dispositif piézo-hydraulique (100) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le premier piston (10) forme un piston double effet, le premier piston (10) comportant deux faces opposées (12, 13), chacune des deux faces (12, 13) présentant une surface utile (11’, 11’’) soumise à la pression d’un fluide (1, 2) contenu dans des chambres hydrauliques distinctes (101’, 102’) associées. Dispositif piézo-hydraulique (100) selon la revendication 3, caractérisé en ce qu’il comprend un troisième piston (30), le deuxième piston (20) étant soumis à la pression du fluide (1) contenu dans une première (101’) des deux chambres hydrauliques (101’, 102’), le troisième piston (30) étant soumis à la pression du fluide (2) contenu dans une deuxième (102’) des deux chambres hydrauliques (101’, 102’), opposée à la première (101’) par rapport au premier piston (10), les deuxième et troisième piston (20 ; 30) étant de préférence mobiles suivant des axes parallèles, de préférence encore coaxiaux (A2, A3). Dispositif piézo-hydraulique (100) selon la revendication 4, caractérisé en ce que les deuxième et troisième pistons (20, 30) sont solidaires l’un de l’autre, de préférence de sorte à former une enveloppe externe (105) du dispositif piézo-hydraulique (100). Dispositif piézo-hydraulique (100) selon la revendication 4 ou 5, caractérisé en ce que la masse mobile (50) forme un carter hydraulique (60) délimitant les première et deuxième chambres hydrauliques (101’, 102’). Dispositif piézo-hydraulique (100) selon la revendication 6 dépendant au moins de la revendication 5, caractérisé en ce que la masse mobile (50) est immergée dans un fluide hydraulique (3), de préférence un fluide hydraulique diélectrique, contenu dans un espace intérieur (105’) de l’enveloppe externe (105) du dispositif piézo-hydraulique (100), ladite enveloppe externe (105) du dispositif piézo-hydraulique (100) formant de préférence une cage de faraday. Dispositif piézo-hydraulique (100) selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu’il comprend des moyens de contrôle (110) de pression du fluide (1, 2) sous pression du ou des circuit(s) hydraulique(s) (101, 102) permettant une communication fluidique entre le ou les circuit(s) hydraulique(s) (101, 102) et au moins une chambre de régulation (103), les moyens de contrôle de pression (110) comprenant par exemple au moins un clapet (111). Dispositif piézo-hydraulique (100) selon la revendication 8 dépendant au moins de la revendication 7, caractérisé en ce que les moyens de contrôle (110) de pression sont configurés pour contrôler une communication fluidique entre chacune des première et deuxième chambres hydrauliques (101’, 102’) avec une chambre de régulation (103) commune, la chambre de régulation (103) étant contenue dans l’espace intérieur (105’) de l’enveloppe externe (105) du dispositif piézo-hydraulique (100), entre la masse mobile (50) et ladite enveloppe externe (105). Véhicule, par exemple un véhicule automobile, caractérisé en ce qu’il comprend au moins un dispositif piézo-hydraulique (100) selon l’une quelconques des revendications précédentes, le véhicule comprenant de préférence des supports d’un moteur sur une structure fixe du véhicule, de préférence un moteur électrique, les supports du moteur étant équipés chacun d’au moins l’un des dispositifs piézo-hydrauliques de sorte à réduire les efforts dynamiques appliqués à la structure fixe du véhicule.