Brevet FR3119506A1 — publié le 20220805

Dispositif de production d’un plasma, configuré pour générer un plasma à partir d’un gaz de réaction, dans lequel le dispositif de production d’un plasma comprend un générateur à micro-onde (10) fonctionnant à une fréquence source donnée comprise dans une plage de fréquence des micro-ondes et un guide d’ondes (12) couplé au générateur à micro-onde (10) et configuré pour guider une onde d’excitation. Le dispositif comprend également un tube diélectrique (14) s’étendant longitudinalement selon un axe d’extension (60), le tube diélectrique (14) étant configuré pour recevoir le plasma, tel que le tube diélectrique (14) traverse de part en part le guide d’ondes (12) ; et une unité d’injection de gaz de réaction configuré pour introduire le gaz de réaction dans le tube diélectrique (14). Enfin, le dispositif de production d’un plasma comprend en outre une unité d’allumage de plasma. Figure de l’abrégé : Figure 1 Dispositif de production d’un plasma comprenant une unité d’allumage de plasma La présente invention se rapporte au domaine des dispositifs de production d’un plasma comprenant une unité d’allumage et plus spécifiquement à un dispositif de production d’un plasma à pression atmosphérique. L’unité d’allumage permettant d’allumer le plasma de manière électromagnétique et donc non électrique. De manière connue, le document US 2011/0234102 décrit un appareil d'allumage d’un plasma à pression atmosphérique et un procédé d'allumage d’un plasma à pression atmosphérique utilisant ledit appareil. Plus particulièrement, le document US 2011/0234102 concerne un appareil d'allumage d’un plasma à pression atmosphérique qui peut effectuer l'allumage de manière non électrique, résolvant ainsi de nombreux problèmes causés par la haute tension (par exemple, alimentation électrique excessive et problème de sécurité), empêchant l'appareil d'allumage d'être physiquement endommagé en raison de la chaleur du plasma, et permettant d'utiliser de nouveaux types de matériaux métalliques. En d’autres termes, le document US 2011/01234102 propose la génération d’un plasma dans un tube diélectrique, le gaz de réaction étant introduit dans ledit tube diélectrique à travers un guide d'ondes et une micro-onde étant appliqué au guide d'ondes, dans lequel l'appareil d'allumage comprend une tige d'allumage configurée pour être placée à travers le tube diélectrique, la tige d'allumage émettant des thermo électrons lorsque les micro-ondes y sont appliquées dans le tube diélectrique. L'appareil d'allumage comprend un moyen de déplacement pour déplacer la tige d'allumage dans ou hors du tube diélectrique à travers le tube diélectrique. Toutefois, ces solutions ne donnent pas une entière satisfaction. En effet, la solution proposée dans le document US 2011/0234102 implique que la tige d’allumage, une fois dans le champ électrique micro-onde, permet de conduire ces micro-ondes vers l’actionneur pneumatique, la tige d’allumage étant un conducteur métallique. Une telle disposition entraine la dégradation de ladite tige d’allumage, et notamment des joints permettant son fonctionnement. La solution proposée, bien que permettant l’allumage d’un plasma, ne permet pas de le faire avec des puissances de micro-ondes relativement basses, et il est bien souvent nécessaire d’augmenter fortement la puissance desdites micro-ondes pour permettre l’allumage, ce qui participe d’autant plus à la dégradation des éléments d’allumage comme la tige d’allumage, qui va se pulvériser plus rapidement pendant le temps où elle est directement exposée au plasma, et les joints qui vont également se dégrader plus rapidement. La présente invention a pour but de résoudre tout ou partie des inconvénients mentionnés ci-dessus. A cet effet, la présente invention concerne un dispositif de production d’un plasma, configuré pour générer un plasma à partir d’un gaz de réaction, dans lequel le dispositif de production d’un plasma comprend : - un générateur à micro-onde fonctionnant à une fréquence source donnée comprise dans une plage de fréquence des micro-ondes ; - un guide d’ondes couplé au générateur à micro-onde et configuré pour guider une onde d’excitation ; - un tube diélectrique s’étendant longitudinalement selon un axe d’extension, le tube diélectrique étant configuré pour contenir le plasma, tel que le tube diélectrique traverse de part en part le guide d’ondes ; et - une unité d’injection de gaz de réaction configuré pour introduire le gaz de réaction dans le tube diélectrique ; le dispositif de production d’un plasma comprend en outre une unité d’allumage de plasma comprenant : - une électrode d’allumage comprenant une portion de corps proximale et une portion de corps distale, dans lequel la portion de corps distale comprend un organe de fixation ; - une unité de fixation en matériau diélectrique configuré pour recevoir l’organe de fixation de l’électrode d’allumage ; et - une unité de déplacement configurée pour recevoir l’unité de fixation et déplacer ensemble ladite unité de fixation et l’électrode d’allumage d’une première position dans laquelle l’électrode d’allumage est à l’extérieur du guide d’ondes à une deuxième position dans laquelle au moins une partie de la portion de corps proximale de l’électrode d’allumage est disposée dans le tube diélectrique et dans le guide d’ondes ; dans lequel l’électrode d’allumage est configurée pour générer un champ électrique à partir de l’onde d’excitation et permettre l’allumage du plasma lorsque ladite électrode d’allumage est dans la deuxième position. Selon un avantage, le dispositif de production d’un plasma est apte à fonctionner à pression atmosphérique et à une pression plus haute. Selon un mode de réalisation, dans la deuxième position, l’électrode d’allumage est insérée via une extrémité d’insertion dans le tube diélectrique jusqu’au guide d’ondes. Au sens de la présente invention, la plage de fréquence des micro-ondes comprend l’ensemble des fréquences entre 300 MHz et 30 GHz. Selon un mode de réalisation préférentiel, la fréquence de l’onde d’excitation est sensiblement égale à l’une des fréquences suivantes : 896 MHz, 915 MHz et 2,45 GHz. Une telle disposition, et plus particulièrement une unité de fixation en matériau diélectrique configurée pour recevoir l’électrode d’allumage permet de ne pas transmettre l’onde d’excitation et ainsi de couper les micro-ondes, ce qui permet de protéger l’unité de déplacement de ladite onde d’excitation. En d’autres termes, l’unité de fixation est interposée entre l’électrode d’allumage et l’unité de déplacement et évite donc la surchauffe et les dégradations de ladite unité de déplacement. Selon un mode de réalisation, l’électrode d’allumage va entrer en résonance avec l’onde d’excitation et ainsi créer un champ électrique de forte intensité. Selon un mode de réalisation, le champ électrique généré grâce à l’électrode d’allumage afin de permettre l’allumage du plasma est au moins égal au champ électrique de claquage du gaz de réaction. Selon un mode de réalisation, l’électrode d’allumage est en tungstène. Selon un mode de réalisation, l’unité de déplacement est un vérin, tel qu’un vérin pneumatique par exemple. Selon un mode de réalisation, le guide d’ondes comprend deux orifices de réception en regard l’un de l’autre, les orifices de réception étant destinés à recevoir le tube diélectrique traversant de part en part ledit guide d’ondes par les orifices de réception. Selon un mode de réalisation, le guide d’ondes comprend un orifice d’entrée configuré pour recevoir l’onde d’excitation. Selon un mode de réalisation, l’unité de déplacement est configurée pour se déplacer selon un axe de déplacement sensiblement confondu avec l’axe d’extension. Au sens de la présente invention, sensiblement confondu signifie exactement confondu ou confondu à 10% près. Selon un mode de réalisation, l’axe d’extension passe par le centre du tube diélectrique. Selon un mode de réalisation, l’unité de déplacement est configurée pour que dans la première position, l’électrode d’allumage soit à l’extérieur du tube diélectrique. Une telle disposition permet de protéger l’unité de déplacement desdites micro-ondes plus efficacement. Une telle disposition est particulièrement avantageuse à basse pression, en effet, le plasma peut remplir totalement le tube diélectrique dans certains cas, et les micro-ondes remontent alors plus haut grâce au plasma. Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation est de forme oblongue selon l’axe d’extension. Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation présente une section transversale circulaire pleine. Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation est de forme cylindrique selon l’axe d’extension. Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation est d’une longueur, selon l’axe d’extension, sensiblement égale ou supérieure à 1.3 ∅ et préférablement sensiblement égale ou supérieure à 1.5 ∅, ∅ étant le diamètre extérieur du tube diélectrique. Au sens de la présente invention, sensiblement égale signifie parfaitement égale ou égale à 10% près. Une telle disposition permet d’obtenir une unité de fixation d’une longueur suffisante pour permettre au tube diélectrique d’être guide à la coupure des micro-ondes. Cela permet de protéger efficacement l’unité de déplacement desdites micro-ondes. Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation est en céramique technique. Une telle disposition permet d’obtenir une unité de fixation coupant efficacement les micro-ondes et ainsi protégeant efficacement l’unité de déplacement desdites micro-ondes. Selon un mode de réalisation privilégié, l’unité de fixation a une permittivité inférieure à 5. Selon un mode de réalisation privilégié, l’unité de fixation a une permittivité inférieure à 10. Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation est en alumine. Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation est en alumine chargée. Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation comprend du PTFE. Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation est en PTFE ou en PTFE chargé ayant une permittivité respective d’environ 2,1 et 3. Une telle disposition permet d’obtenir une unité de fixation ayant une bonne tenue mécanique. Selon un mode de réalisation, la portion de corps proximale de l’électrode d’allumage a une section transversale inférieure à la section transversale de la portion de corps distale de l’électrode d’allumage. Une telle disposition permet d’obtenir un maximum de champ électrique à l’extrémité de la portion de corps proximale opposée à la portion de corps distale. En effet, la section transversale de la portion de corps distale étant plus importante que la section transversale de la portion de corps proximal, cela va créer un « effet de pointe » et ainsi concentrer localement le champ électrique. Une telle disposition permet de faciliter l’allumage du plasma. Une telle disposition permet également d’obtenir une électrode d’allumage avec une meilleure résistance mécanique. Selon un mode de réalisation, la portion de corps proximale s’étend à partir de la portion de corps distale. Selon un mode de réalisation, l’électrode d’allumage s’étend longitudinalement selon l’axe d’extension. Selon un mode de réalisation, l’électrode d’allumage a une longueur électrique selon l’axe d’extension sensiblement égale à la moitié d’une longueur d’onde source correspondant à la célérité divisée par la fréquence source. Selon un mode de réalisation, l’électrode d’allumage et une cheminée métallique entourant le tube diélectrique forment un guide coaxial. La longueur d’onde de l’onde d’excitation guidée dans le guide coaxial est sensiblement égale à la longueur d’onde de l’onde d’excitation dans le vide. Au sens de la présente invention, la longueur électrique correspond à la longueur électrique de résonnance, telle que décrite plus en détail ci-dessous. A titre d’exemple, si l’électrode d’allumage est totalement insérée dans une unité de fixation ayant une permittivité de 1, soit égale à la permittivité du vide ou de l’air, alors la longueur de résonnance de l’électrode d’allumage est égale à la demi-longueur d’onde de l’onde d’excitation dans le guide d’ondes, soit la demi-longueur dans le vide si le guide d’ondes forme un guide coaxial. En effet, la longueur d’onde dans un matériau est inversement proportionnelle à la racine de la permittivité dudit matériau. Ainsi, à titre d’exemple, pour une permittivité de 9 la longueur d’onde est 3 fois moindre. Si la longueur totale de l’électrode d’allumage est de 41 mm dont 10mm dans l’unité de fixation telle que ladite unité de fixation a une permittivité de 9, cela représente une longueur électrique équivalente de résonance dans le vide de : 31 + 10 x 9^1/2 = 61 mm soit exactement la demi-longueur d’onde dans le vide d’une onde ayant pour fréquence 2,45 GHz. Selon un mode de réalisation, la longueur électrique de l’électrode d’allumage est comprise entre 37 % et 50 % de la longueur d’onde de l’onde source dans le vide. Ainsi, si l’onde source a une fréquence de 2,45 GHz, alors l’électrode d’allumage a une longueur comprise entre 45 et 61mm. Si l’électrode d’allumage enserre l’unité de fixation, alors la longueur électrique de l’électrode d’allumage est comprise entre 37 % et 50 % de la longueur d’onde de l’onde source dans le vide. Ainsi, si l’onde source a une fréquence de 2,45 GHz, alors l’électrode d’allumage a une longueur comprise entre 45 et 61 mm, en fonction de la forme de l’électrode d’allumage ainsi que du matériau et de la forme de l’unité de fixation. Ainsi, si l’unité de fixation est en alumine, la longueur sera plus faible (par exemple 47 mm) que si l’unité de fixation est en PTFE (par exemple 51 mm) pour conserver la résonance. En effet, plus le matériau de l’unité de fixation a une forte permittivité, et/ou plus l’unité de fixation a une surface de contact importante avec l’électrode d’allumage, et plus la longueur de résonance de l’électrode d‘allumage est réduite. La longueur de résonance de l’électrode d‘allumage est réduite à proximité d’un matériau diélectrique ayant une permittivité supérieure à celle du vide. Une telle disposition permet d’obtenir un champ électrique ayant une intensité suffisante pour permettre le claquage du gaz tout en limitant l’intensité de l’onde d’excitation, ce qui permet à la fois d’être économe en énergie et de préserver le dispositif de production d’un plasma. Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation est d’une longueur sensiblement égale à la moitié de la longueur d’onde source. Selon un mode de réalisation, la portion de corps proximale de l’électrode d’allumage comprend une extrémité effilée. Une telle disposition permet de d’obtenir un maximum de champ au niveau de la portion de corps proximale de l’électrode d’allumage. Selon un mode de réalisation, l’extrémité effilée est opposée à la portion de corps distale. Selon un mode de réalisation, au moins une partie de la portion de corps proximale de l’électrode d’allumage est située sensiblement au niveau d’un axe central du guide d’onde lorsque l’électrode d’allumage est dans la deuxième position. Une telle disposition permet d’obtenir champ électrique ayant une forte intensité. Selon un mode de réalisation, le guide d’onde est couplé à un plan réflecteur configuré pour générer une onde stationnaire à partir de l’onde d’excitation. Selon un mode de réalisation, le tube diélectrique est disposé entre le plan réflecteur et l’orifice d’entrée. Selon un mode de réalisation, le plan réflecteur est mobile et forme ainsi un piston de court-circuit. Une telle disposition permet d’adapter l’impédance en modifiant artificiellement la taille dudit guide d’ondes et en réfléchissant au moins une partie de l’onde d’excitation. Cela permet à l’onde d’excitation de pénétrer dans le plasma. Une telle disposition permet de déplacer le plan réflecteur mobile dans le guide d’onde et ainsi permettre le court-circuit de l’onde d’excitation sur une plage de fréquence large. Selon un mode de réalisation, le plan réflecteur est situé à une distance sensiblement égale à λe/4 + n×λe/2 d’au moins une partie de l’électrode d’allumage lorsque l’électrode d’allumage est dans la deuxième position, avec λe.la longueur d’onde de l’onde d’excitation guidée dans le guide d’onde. Une telle disposition permet d’obtenir un champ électrique ayant une forte intensité et ainsi faciliter l’allumage. Selon un mode de réalisation, une fois le plasma allumé, celui-ci devient conducteur, l’unité de déplacement déplace alors ensemble l’unité de fixation et l’électrode d’allumage dans une position intermédiaire dans laquelle l’électrode d’allumage n’est pas en contact avec le plasma. Le plan réflecteur est également déplacé afin de maximiser le couplage. Selon un mode de réalisation, n est un entier naturel. Selon un mode de réalisation, l’électrode d’allumage présente une longueur électrique donnée telle que la portion de corps proximale de l’électrode d’allumage s’étend sur une longueur électrique au moins égale à une longueur électrique de la portion de corps distale de l’électrode d’allumage. Selon un mode de réalisation, la portion de corps proximale de l’électrode d’allumage s’étend sur une longueur électrique égale à 3/5 de la longueur électrique totale de l’électrode d’allumage. Les différents aspects définis ci-dessus non incompatibles peuvent être combinés. L’invention sera encore mieux comprise à l’aide de la description détaillée qui est exposée ci-dessous en regard des dessins annexés dans lesquels : représente une vue schématique d’un dispositif de production d’un plasma, dans une position permettant l’allumage du plasma, conformément à la présente invention ; représente une vue d’un dispositif de production d’un plasma dans une position permettant l’allumage du plasma, conformément à la présente invention ; représente une vue d’un dispositif de production d’un plasma dans laquelle un dispositif d’allumage est dans une première position ; et représente une vue d’un dispositif de production d’un plasma dans laquelle un dispositif d’allumage est dans une deuxième position. [Description en référence aux figures] Les figures illustrent un dispositif de production d’un plasma apte à fonctionner à basse pression, pression atmosphérique ou haute pression et configuré pour générer un plasma à partir d’un gaz de réaction. Au sens de la présente invention, une basse pression est une pression comprise entre un dixième de la pression atmosphérique et la pression atmosphérique. Au sens de la présente invention, une haute pression est une pression comprise entre la pression atmosphérique et cinq fois la pression atmosphérique. Selon un mode de réalisation préféré, le dispositif de production d’un plasma est utilisé à pression atmosphérique. Le dispositif de production d’un plasma comprend un générateur à micro-onde 10 fonctionnant à une fréquence source donnée comprise dans une plage de fréquence des micro-ondes. Au sens de la présente invention, la plage de fréquence des micro-ondes comprend l’ensemble des fréquences entre 300 MHz et 30 GHz. Selon un mode de réalisation préférentiel, la fréquence de l’onde d’excitation est sensiblement égale à l’une des fréquences suivantes : 896 MHz, 915 MHz et 2,45 GHz. Le dispositif de production d’un plasma comprend un guide d’ondes 12 couplé au générateur à micro-onde 10 et configuré pour guider une onde d’excitation. Selon un mode de réalisation, le guide d’ondes 12 comprend deux orifices de réception en regard l’un de l’autre, les orifices de réception étant destinés à recevoir un tube diélectrique 14 traversant de part en part ledit guide d’ondes 12 par les orifices de réception. Selon un mode de réalisation, le guide d’ondes 12 comprend un orifice d’entrée configuré pour recevoir l’onde d’excitation. Le dispositif comprend également le tube diélectrique 14 s’étendant longitudinalement selon un axe d’extension 60 passant par le centre du tube diélectrique. Le tube diélectrique 14 est configuré pour recevoir le plasma, tel que le tube diélectrique 14 traverse de part en part le guide d’ondes 12. Le dispositif comprend une unité d’injection de gaz de réaction configuré pour introduire le gaz de réaction dans le tube diélectrique 14. Le dispositif de production d’un plasma comprend en outre une unité d’allumage de plasma comprenant une électrode d’allumage 22 en tungstène s’étendant longitudinalement selon l’axe d’extension 60. L’électrode d’allumage 22 comprend une portion de corps proximale 221 et une portion de corps distale 222, dans lequel la portion de corps distale 222 comprend un organe de fixation 223. L’électrode d’allumage 22 est configurée pour générer un champ électrique à partir de l’onde d’excitation et permet ainsi l’allumage du plasma. Selon un mode de réalisation, la portion de corps proximale 221 s’étend à partir de la portion de corps distale 222. Selon un mode de réalisation, la portion de corps proximale 221 de l’électrode d’allumage 22 a une section transversale inférieure à la section transversale de la portion de corps distale 222 de l’électrode d’allumage 22. Une telle disposition permet d’obtenir un maximum de champ électrique à l’extrémité de la portion de corps proximale 221 opposée à la portion de corps distale 222. En effet, la section transversale de la portion de corps proximale 221 étant plus faible que la section transversale de la portion de corps distal 222, cela va créer un « effet de pointe » et ainsi concentrer localement le champ électrique. Une telle disposition permet de faciliter l’allumage du plasma. Une telle disposition permet également d’obtenir une électrode d’allumage avec une meilleure résistance mécanique. Selon un mode de réalisation, l’électrode d’allumage 22 a une longueur électrique selon l’axe d’extension 60 sensiblement égale à la moitié d’une longueur d’onde source correspondant à la célérité divisée par la fréquence source. Au sens de la présente invention, la longueur électrique correspond à la longueur électrique de résonance, telle que décrite plus en détail ci-dessous. A titre d’exemple, si l’électrode d’allumage 22 est totalement insérée dans une unité de fixation ayant une permittivité de 1, soit égale à la permittivité du vide ou de l’air, alors la longueur de résonance de l’électrode d’allumage 22 est égale à la demi-longueur d’onde de l’onde d’excitation dans le guide d’ondes 12, soit la demi-longueur dans le vide si le guide d’ondes 12 forme un guide coaxial. En effet, la longueur d’onde dans un matériau est inversement proportionnelle à la racine de la permittivité dudit matériau. Ainsi, à titre d’exemple, pour une permittivité de 9 la longueur d’onde est 3 fois moindre. Si la longueur totale de l’électrode d’allumage est de 41 mm dont 10 mm dans l’unité de fixation telle que ladite unité de fixation a une permittivité de 9, cela représente une longueur électrique équivalente de résonance dans le vide de : 31 + 10 x 9^1/2 = 61 mm soit exactement la demi-longueur d’onde dans le vide d’une onde ayant pour fréquence 2,45 GHz. Une telle disposition permet d’obtenir un champ électrique ayant une intensité suffisante pour permettre le claquage du gaz tout en limitant l’intensité de l’onde d’excitation, ce qui permet à la fois d’être économe en énergie et de protéger le dispositif de production d’un plasma. Selon un mode de réalisation avantageux, la longueur électrique de l’électrode d’allumage 22 est comprise entre 37 % et 50 % de la longueur d’onde de l’onde source dans le vide. Ainsi, si l’onde source a une fréquence de 2,45 GHz, alors l’électrode d’allumage a une longueur comprise entre 45 et 61mm. Si l’électrode d’allumage enserre l’unité de fixation, tel que représenté sur les figures 3 et 4, alors la longueur électrique de l’électrode d’allumage est comprise entre 37 % et 50 % de la longueur d’onde de l’onde source dans le vide. Ainsi, si l’onde source a une fréquence de 2,45 GHz, alors l’électrode d’allumage a une longueur comprise entre 45 et 61 mm, en fonction de la forme de l’électrode d’allumage ainsi que du matériau et de la forme de l’unité de fixation. Ainsi, si l’unité de fixation 24 est en alumine, la longueur sera plus faible (par exemple 47 mm) que si l’unité de fixation 24 est en PTFE (par exemple 51 mm) pour conserver la résonance. En effet, plus le matériau de l’unité de fixation 24 a une forte permittivité, et/ou plus l’unité de fixation a une surface de contact importante avec l’électrode d’allumage 22, et plus la longueur de résonance de l’électrode d‘allumage 22 est réduite. La longueur de résonance de l’électrode d‘allumage 22 est réduite à proximité d’un matériau diélectrique ayant une permittivité supérieure à celle du vide. L’électrode d’allumage 22 présente une longueur électrique donnée telle que la portion de corps proximale 221 de l’électrode d’allumage 22 s’étend sur une longueur électrique au moins égale à une longueur électrique de la portion de corps distale 222 de l’électrode d’allumage 22. Plus particulièrement, la portion de corps proximale 221 de l’électrode d’allumage 22 s’étend sur une longueur électrique égale à 3/5 de la longueur électrique totale de l’électrode d’allumage 22. Selon un mode de réalisation, l’électrode d’allumage 22 et une cheminée 27 configurée pour envelopper le tube diélectrique 14 forment un guide coaxial. La longueur d’onde de l’onde d’excitation guidée dans le guide coaxial est sensiblement égale à la longueur d’onde de l’onde d’excitation dans le vide. La cheminée 27 est au moins partiellement métallique. Une telle disposition permet à la cheminée 27 de jouer un rôle de blindage, c’est-à-dire d’empêcher les fuites de micro-ondes. Selon un mode de réalisation, la cheminée 27 comprend un joint de maintien annulaire 28 entourant au moins partiellement le tube diélectrique 14. Le joint de maintien annulaire 28 étant configuré pour maintenir le tube diélectrique 14 en position et également d’assurer une étanchéité entre l’atmosphère et celle intérieure au tube. Selon un mode de réalisation, le joint de maintien annulaire 28 est transparent aux micro-ondes. Une telle disposition permet d’obtenir un joint de maintien annulaire 28 présentant une plus faible dégradation dans le temps. Selon un mode de réalisation, la cheminée 27 comprend une gorge annulaire de refroidissement 30 configurée recevoir un fluide de refroidissement. Selon un mode de réalisation, la gorge annulaire de refroidissement 30 est configurée pour permettre le refroidissement du joint de maintien 28. Selon un mode de réalisation avantageux, la portion de corps proximale 221 de l’électrode d’allumage 22 comprend une extrémité effilée opposée à la portion de corps distale 222. Une telle disposition permet de d’obtenir un maximum de champ au niveau de la portion de corps proximale 221 de l’électrode d’allumage. Tel qu’illustré à la , au moins une partie de la portion de corps proximale 221 de l’électrode d’allumage 22 est située sensiblement au niveau d’un axe central 70 du guide d’onde 12 lorsque l’électrode d’allumage 22 est dans la deuxième position. Une telle disposition permet d’obtenir champ électrique ayant une forte intensité. L’unité d’allumage comprend une unité de fixation 24 en matériau diélectrique configuré pour recevoir l’organe de fixation 223 de l’électrode d’allumage 22. Une unité de fixation 24 en matériau diélectrique configurée pour recevoir l’électrode d’allumage 22 permet de ne pas transmettre l’onde d’excitation et ainsi de couper les micro-ondes, ce qui permet de protéger une unité de déplacement 26, décrite ci-dessous, de ladite onde d’excitation. En d’autres termes, l’unité de fixation 24 est interposée entre l’électrode d’allumage 22 et l’unité de déplacement 26 et évite donc la surchauffe et les dégradations de ladite unité de déplacement 26. Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation 24 est d’une longueur sensiblement égale à la moitié de la longueur d’onde source. L’unité de fixation 24 est d’une longueur, selon l’axe d’extension 60, sensiblement égale ou supérieure à 1.3 ∅ et préférablement sensiblement égale ou supérieure à 1.5 ∅, ∅ étant le diamètre extérieur du tube diélectrique 14. Au sens de la présente invention, sensiblement égale signifie parfaitement égale ou égale à 10% près. Une telle disposition permet d’obtenir une unité de fixation 24 d’une longueur suffisante pour permettre à la cheminée métallique 27 d’être guide à la coupure des micro-ondes. Cela permet de protéger plus efficacement l’unité de déplacement 26 desdites micro-ondes. Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation 24 est en céramique technique ayant une permittivité inférieure à 10 telle que l’alumine ou préférablement à 5, ce qui permet d’obtenir une unité de fixation 24 coupant plus efficacement les micro-ondes et ainsi protégeant efficacement l’unité de déplacement 26 desdites micro-ondes. En effet, plus la permittivité est faible et plus l’unité de fixation 24 coupe efficacement les micro-ondes. Selon un mode de réalisation avantageux, l’unité de fixation 24 est en PTFE ou en PTFE chargé ayant une permittivité respective d’environ 2,1 et 3. Une telle disposition permet d’obtenir une unité de fixation 24 ayant une bonne tenue thermique. L’unité de déplacement 26 est configurée pour recevoir l’unité de fixation 24 et déplacer ensemble ladite unité de fixation 24 et l’électrode d’allumage 22 d’une première position représentée à la dans laquelle l’électrode d’allumage 22 est à l’extérieur du guide d’ondes 12 à une deuxième position représentée à la dans laquelle au moins une partie de la portion de corps proximale 221 de l’électrode d’allumage 22 est disposée dans le tube diélectrique 14 et dans le guide d’ondes 12. De cette manière, lorsque ladite électrode d’allumage 22 est dans la deuxième position, l’allumage du plasma est facilité. Une fois le plasma allumé, celui-ci devient conducteur, l’unité de déplacement 26 déplace alors ensemble l’unité de fixation 24 et l’électrode d’allumage 22 dans une position intermédiaire dans laquelle l’électrode d’allumage n’est pas en contact avec le plasma. Le plan réflecteur est également déplacé afin de maximiser le couplage. Selon un mode de réalisation, l’unité de déplacement 26 est configurée pour que dans la première position, l’électrode d’allumage 22 soit à l’extérieur du tube diélectrique 14. Une telle disposition permet de protéger l’unité de déplacement 26 desdites micro-ondes plus efficacement. Selon un mode de réalisation, dans la deuxième position, l’électrode d’allumage 22 est insérée via une extrémité d’insertion dans le tube diélectrique 14 jusqu’au guide d’ondes 22. Une telle disposition permet à l’électrode d’allumage 22 d‘entrer en résonance avec l’onde d’excitation et ainsi créer un champ électrique de forte intensité. Selon un mode de réalisation, le champ électrique généré par l’électrode d’allumage afin de permettre l’allumage du plasma est au moins égal au champ électrique de claquage du gaz de réaction. Selon un mode de réalisation, l’unité de déplacement est un vérin, tel qu’un vérin pneumatique par exemple. Selon un mode de réalisation, l’unité de déplacement est configurée pour se déplacer selon un axe de déplacement sensiblement confondu avec l’axe d’extension. Au sens de la présente invention, sensiblement confondu signifie exactement confondu ou confondu à 10% près. Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation 24 est de forme oblongue selon l’axe d’extension 60 et présente une section transversale circulaire pleine. Le guide d’onde 12 est couplé à un plan réflecteur 16 mobile configuré pour générer une onde stationnaire à partir de l’onde d’excitation, formant ainsi un piston de court-circuit. Le tube diélectrique 14 est disposé entre le plan réflecteur 16 et l’orifice d’entrée. Une telle disposition permet de modifier artificiellement la taille du guide d’ondes 12 et de maximiser le champ électrique à la position de l’électrode d’allumage 22 afin de faciliter l’allumage du plasma en réfléchissant au moins une partie de l’onde d’excitation. Une fois le plasma allumé, la position du plan réflecteur 16 est modifiée afin d’adapter l’impédance. Une telle disposition permet de maximiser la puissance déposée dans le plasma. Avant l’allumage du plasma, le plan réflecteur 16 est situé à une distance sensiblement égale à λe/4 + n×λe/2 d’au moins une partie de l’électrode d’allumage 22 lorsque l’électrode d’allumage 22 est dans la deuxième position, avec λe.la longueur d’onde de l’onde d’excitation guidée dans le guide d’onde 14, avec n un entier naturel. Une telle disposition permet d’obtenir un champ électrique ayant une forte intensité et ainsi faciliter l’allumage. Bien entendu, l’invention n’est pas limitée aux modes de réalisation représentés et décrits ci-avant, mais en couvre au contraire toutes les variantes. Dispositif de production d’un plasma, configuré pour générer un plasma à partir d’un gaz de réaction, dans lequel le dispositif de production d’un plasma comprend : - un générateur à micro-onde (10) fonctionnant à une fréquence source donnée comprise dans une plage de fréquence des micro-ondes ; - un guide d’ondes (12) couplé au générateur à micro-onde (10) et configuré pour guider une onde d’excitation ; - un tube diélectrique (14) s’étendant longitudinalement selon un axe d’extension (60), le tube diélectrique (14) étant configuré pour recevoir le plasma, tel que le tube diélectrique (14) traverse de part en part le guide d’ondes (12) ; - une cheminée (27), configurée pour envelopper le tube diélectrique (14) de sorte à maintenir en position ledit tube diélectrique (14) ; et - une unité d’injection de gaz de réaction configuré pour introduire le gaz de réaction dans le tube diélectrique (14) ; le dispositif de production d’un plasma comprend en outre une unité d’allumage de plasma comprenant : - une électrode d’allumage (22) comprenant une portion de corps proximale (221) et une portion de corps distale (222), dans lequel la portion de corps distale (222) comprend un organe de fixation (223) ; - une unité de fixation (24) en matériau diélectrique configuré pour recevoir l’organe de fixation (223) de l’électrode d’allumage (22) ; et - une unité de déplacement (26) configurée pour recevoir l’unité de fixation (24) et déplacer ensemble ladite unité de fixation (24) et l’électrode d’allumage (22) d’une première position dans laquelle l’électrode d’allumage (22) est à l’extérieur du guide d’ondes (12) à une deuxième position dans laquelle au moins une partie de la portion de corps proximale (221) de l’électrode d’allumage (22) est disposée dans le tube diélectrique (14) et dans le guide d’ondes (12) ; dans lequel l’électrode d’allumage (22) est configurée pour générer un champ électrique à partir de l’onde d’excitation et permettre l’allumage du plasma lorsque ladite électrode d’allumage (22) est dans la deuxième position. Dispositif de production d’un plasma selon la revendication 1, dans lequel l’unité de déplacement (26) est configurée pour que dans la première position, l’électrode d’allumage (22) soit à l’extérieur du tube diélectrique (14). Dispositif de production d’un plasma selon l’une quelconque des revendications 1 ou 2, dans lequel l’unité de fixation (24) est de forme cylindrique selon l’axe d’extension (60). Dispositif de production d’un plasma selon l’une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel l’unité de fixation (24) est d’une longueur, selon l’axe d’extension (60), sensiblement égale ou supérieure à 1.3 ∅ et préférablement sensiblement égale ou supérieure à 1.5 ∅, ∅étant le diamètre extérieur du tube diélectrique (14). Dispositif de production d’un plasma selon l’une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel l’unité de fixation (24) est en céramique technique. Dispositif de production d’un plasma selon l’une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel l’unité de fixation (24) comprend du PTFE. Dispositif de production d’un plasma selon l’une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel la portion de corps proximale (221) de l’électrode d’allumage (22) a une section transversale inférieure à la section transversale de la portion de corps distale (222) de l’électrode d’allumage (22). Dispositif de production d’un plasma selon l’une quelconque des revendication 1 à 7, dans lequel l’électrode d’allumage (22) s’étend longitudinalement selon l’axe d’extension (60). Dispositif de production d’un plasma selon l’une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel l’électrode d’allumage (22) a une longueur électrique selon l’axe d’extension (60) sensiblement égale à la moitié d’une longueur d’onde source correspondant à la célérité divisée par la fréquence source. Dispositif de production d’un plasma selon l’une quelconque des revendications 1 à 9, dans lequel la portion de corps proximale (221) de l’électrode d’allumage (22) comprend une extrémité effilée. Dispositif de production d’un plasma selon l’une quelconque des revendications 1 à 10, dans lequel au moins une partie de la portion de corps proximale (221) de l’électrode d’allumage (22) est située sensiblement au niveau d’un axe central (70) du guide d’onde (12) lorsque l’électrode d’allumage (22) est dans la deuxième position. Dispositif de production d’un plasma selon l’une quelconque des revendications 1 à 11, dans lequel le guide d’onde (12) est couplé à un plan réflecteur (16) configuré pour générer une onde stationnaire à partir de l’onde d’excitation. Dispositif de production d’un plasma selon la revendication 12, dans lequel le plan réflecteur (16) est mobile. Dispositif de production d’un plasma selon l’une quelconque des revendications 12 ou 13, dans lequel le plan réflecteur (16) est situé à une distance sensiblement égale à d’au moins une partie de l’électrode d’allumage (22) lorsque l’électrode d’allumage (22) est dans la deuxième position, avec λ e .la longueur d’onde de l’onde d’excitation guidée dans le guide d’onde (14). Dispositif de production d’un plasma selon l’une quelconque des revendications 1 à 14, dans lequel l’électrode d’allumage (22) présente une longueur électrique donnée telle que la portion de corps proximale (221) de l’électrode d’allumage (22) s’étend sur une longueur électrique au moins égale à une longueur électrique de la portion de corps distale (222) de l’électrode d’allumage (22).