Brevet FR3114661A1 — publié le 20220401

L’invention concerne un dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux (1) comprenant : - un premier élément réflectif (4) plan, disposé de manière à réfléchir un faisceau lumineux entrant (2) en un faisceau lumineux réfléchi (5), s’étendant dans un premier plan (11), ledit faisceau lumineux entrant et ledit faisceau lumineux réfléchi définissant un plan d’incidence ; et - un deuxième élément réflectif (6) plan, disposé pour réfléchir ledit faisceau lumineux réfléchi en un faisceau lumineux sortant (3), s’étendant dans un deuxième plan (12) transverse au plan d’incidence ; ledit premier plan et ledit deuxième plan étant sécants selon une droite d’intersection (D) et formant entre eux un angle dièdre (BETA), ledit premier élément réflectif et ledit deuxième élément réflectif sont solidairement mobiles en rotation autour d’un axe de rotation (10) sensiblement confondu avec ladite droite d’intersection. Figure d’abrégé : figure 1. Dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux et spectromètre de diffusion inélastique comprenant un tel dispositif Domaine technique de l'invention La présente invention concerne de manière générale un système opto-mécanique pour ajuster l’angle d’incidence d’un faisceau lumineux sur un élément optique. Elle concerne plus particulièrement un dispositif opto-mécanique de déviation d’un faisceau lumineux. Un tel dispositif trouve notamment des applications le filtrage spectral à angle d’incidence variable, par exemple dans les appareils de spectrométrie Raman équipés de filtres interférentiels. Arrière-plan technologique Dans des systèmes de mesures optiques complexes, tels que des spectromètres, il est souvent utile d’ajuster l’angle d’incidence d’un faisceau lumineux sur un élément optique (tel qu’un filtre interférentiel) tout en préservant la direction et la position du faisceau réfléchi et/ou transmis. En effet, les performances d’un filtre interférentiel dépendent de l’angle d’incidence du faisceau. Cela signifie que leur réponse spectrale (par exemple la bande passante, les longueurs d’onde de coupure ou la transmission) varie notamment en fonction de l’angle d’incidence du faisceau lumineux sur le filtre interférentiel. En particulier, dans un spectromètre Raman, il est connu d’utiliser un filtre d’injection-réjection (par exemple de type interférentiel) qui peut être un filtre coupe-bande à largeur de bande spectrale très étroite et à flancs raides (aussi appelé « Notch filter » en anglais) ou un filtre passe-haut ou passe-bas (aussi appelé « Edge filter » en anglais). On utilise par exemple des filtres d’injection-rejection de type interférentiel dans un spectromètre Raman ou un microspectromètre Raman. Les filtres interférentiels Edge sont des filtres passe-haut ou passe-bas possédant une large bande de rejection et un flanc raide. Leur faible prix explique leur large utilisation dans les appareils de mesures optiques. Les filtres interférentiels Notch sont des filtres coupe-bande appréciés pour leurs flancs raides et leur bande de réjection étroite pouvant atteindre seulement quelques nanomètres de largeur à mi-hauteur. L’utilisation d’un filtre interférentiel Notch ou Edge dans un spectromètre Raman permet d’une part d’éclairer l’échantillon avec un faisceau laser filtré (donc fortement monochromatique) et d’autre part de réjecter du faisceau rétrodiffusé la réflexion et la diffusion Rayleigh qui ont la même longueur d’onde que le faisceau incident, tout en laissant passer la diffusion inélastique caractéristique de l’échantillon (dont la diffusion Raman) à des longueurs d’onde différentes de la longueur d’onde incidente. Un filtre Notch permet de mesurer les raies Stokes et anti-Stokes. Dans un filtre interférentiel Notch (utilisé en réflexion et en transmission), un faisceau rétrodiffusé dont la longueur d’onde est comprise dans la bande de réjection est réfléchi par le filtre alors que les autres longueurs d’onde le traversent. Ainsi, dans un spectromètre Raman, un filtre interférentiel Notch est d’abord utilisé en réflexion sur le faisceau laser incident pour réfléchir vers l’échantillon un faisceau laser fortement monochromatique autour de la longueur d’onde de référence du laser. Ensuite, le même filtre interférentiel Notch est utilisé en réflexion sur le faisceau rétrodiffusé pour réfléchir la réflexion et la diffusion Rayleigh à la même longueur d’onde que le faisceau laser incident et en transmission pour laisser passer la diffusion Raman, typiquement vers un analyseur de spectre. En spectrométrie et en particulier en spectrométrie Raman, il est souvent nécessaire de faire varier la longueur d’onde du laser en fonction de l’échantillon à étudier. Faire varier la longueur d’onde du laser peut servir à faire varier la ou les bandes spectrales détectées et obtenir un spectre Raman étendu spectralement et/ou un spectre Raman basse-fréquence (c’est-à-dire dans une bande spectrale très proche de la longueur d’onde du faisceau incident). Pour filtrer la réflexion et la diffusion Rayleigh à la même longueur d’onde que le laser, il est alors possible d’adapter la bande de réjection du filtre interférentiel en modifiant l’angle d’incidence du faisceau rétrodiffusé. Pour ce faire, un filtre interférentiel utilisé en réflexion et en transmission peut être monté sur un support lié à un actionneur mécanique (par exemple un moteur) permettant au support d’effectuer une rotation (dans le plan d’incidence), dont l’angle est déterminé en fonction de la longueur d’onde du laser. Cependant, modifier l’angle d’incidence d’un faisceau sur un élément réflectif modifie également l’angle de réflexion. Une modification de l’angle de réflexion nécessite d’adapter le trajet optique par exemple pour que le faisceau laser filtré soit toujours orienté vers l’échantillon et que le faisceau de diffusion inélastique, par exemple le faisceau Raman, soit toujours orienté vers l’analyseur de spectre. En microscopie Raman, on souhaite injecter le faisceau laser incident suivant l’axe de l’objectif du microscope et collecter le faisceau rétrodiffusé suivant ce même axe. Pour adapter le trajet optique, une solution consiste à monter un miroir auxiliaire sur une monture cinématique pour lui permettre d’effectuer un mouvement de translation (sensiblement le long du faisceau filtré) et un mouvement de rotation de façon à conserver la direction et la position du faisceau laser dans l’axe du microscope et pour conserver aussi la direction et la position du faisceau Raman rétrodiffusé par rapport à l’analyseur de spectre. A cet effet, les rotations du filtre interférentiel et du miroir et le déplacement latéral du miroir doivent être effectués de manière combinée avec une grande précision, ce qui nécessite une mécanique complexe et couteuse. De manière générale, il est souhaitable de réduire l’encombrement des spectromètres, par exemple en limitant le nombre de pièces mobiles et le nombres de moteurs ou d’actionneurs, tout en améliorant leurs performances de mesures. Présentation de l’invention Dans ce contexte, la présente invention propose un dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux comprenant : un premier élément réflectif plan s’étendant dans un premier plan, le premier élément réflectif étant disposé de manière à réfléchir un faisceau lumineux entrant en un faisceau lumineux réfléchi, ledit faisceau lumineux entrant et ledit faisceau lumineux réfléchi définissant un plan d’incidence ; et un deuxième élément réflectif plan s’étendant dans un deuxième plan transverse au plan d’incidence, le deuxième élément réflectif étant disposé pour réfléchir ledit faisceau lumineux réfléchi en un faisceau lumineux sortant ; ledit premier plan et ledit deuxième plan étant sécants selon une droite d’intersection et formant entre eux un angle dièdre prédéterminé en fonction d’un angle de déviation choisi, ledit premier élément réflectif et ledit deuxième élément réflectif étant solidairement mobiles en rotation autour d’un axe de rotation confondu avec ladite droite d’intersection, ledit axe de rotation étant transverse au plan d’incidence. Ainsi, grâce à la mobilité en rotation des éléments réflectifs, il est possible d’adapter l’angle d’incidence d’un faisceau lumineux sur le premier élément réflectif et le deuxième élément réflectif tout en assurant une direction et une position constante pour le faisceau lumineux sortant. Pour ce faire, le premier élément réflectif et le deuxième élément réflectif disposés en coin effectuent une rotation conjointe autour d’un axe de rotation confondu avec la droite d’intersection de leurs plans respectifs. Avec le dispositif optique de déviation, conserver la direction et la position du faisceau lumineux sortant ne nécessite pas de réglages particuliers tels que déplacer ou réorienter des miroirs auxiliaires. En effet, l’angle de sortie entre le faisceau sortant et le faisceau lumineux entrant est indépendant de l’angle de rotation des premier et deuxième éléments réflectifs autour de l’axe de rotation. De plus, la position du faisceau sortant est inchangée lorsque le dispositif effectue une rotation autour de l’axe de rotation. Selon un aspect particulier de l’invention, l’un au moins parmi ledit premier élément réflectif et ledit deuxième élément réflectif étant un filtre spectral. Le dispositif optique de déviation permet donc de modifier de l’angle d’incidence d’un faisceau lumineux sur le filtre spectral de façon simple sans se soucier de réaligner le faisceau sortant. Or le filtre spectral présente avantageusement des propriétés optiques (en réflexion et/ou en transmission) variables en fonction de l’angle d’incidence. Ajuster l’angle d’incidence d’un faisceau lumineux sur un élément optique réflectif tout en préservant la direction et la position du faisceau réfléchi peut aussi être utile dans les appareils de mesure de l’interaction lumière-matière. Par exemple, dans le cas de la résonance plasmon, l’angle d’incidence sur l’échantillon peut être ajusté tout en garantissant que le faisceau réfléchi soit toujours dirigé vers le détecteur, c’est-à-dire sans changer le point d’incidence du faisceau réfléchi sur la surface sensible du détecteur. Ceci permet, en autres, d’augmenter la précision de la mesure. Ainsi, il est possible d’adapter la réponse spectrale du filtre spectral, par exemple pour s’adapter à la longueur d’onde d’un faisceau laser incident, en effectuant un unique réglage : une rotation conjointe des deux éléments réflectifs. Après calibration, l’angle de rotation permet d’ajuster la réponse spectrale du filtre interférentiel à la longueur d’onde du laser. D’autres caractéristiques non limitatives et avantageuses du dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux conforme à l’invention, prises individuellement ou selon toutes les combinaisons techniquement possibles, sont les suivantes : - ledit premier élément réflectif est un miroir plan ; - ledit deuxième élément réflectif est un filtre plan par réflexion ; - ledit filtre est un filtre interférentiel du type coupe-bande, passe-haut, passe-bas ou passe-bande ; - ledit filtre interférentiel fonctionne en transmission et en réflexion ; - ledit premier élément réflectif et ledit deuxième élément réflectif sont fixés sur une plateforme commune qui est mobile en rotation autour dudit axe de rotation ; - ledit premier élément réflectif et/ou ledit deuxième élément réflectif, est adapté à se déplacer en translation dans ledit premier plan et/ou respectivement ledit deuxième plan ; - ledit premier élément réflectif et ledit deuxième élément réflectif sont adaptés à se déplacer de façon solidaire en translation dans le plan d’incidence, le long d’une bissectrice entre une direction du faisceau lumineux entrant et une direction du faisceau lumineux sortant ; - au moins l’un desdits premier élément réflectif et deuxième élément réflectif présente des propriétés de réflexion variables sur sa surface ; - l’angle dièdre est compris entre 20 degrés et 70 degrés. L’invention propose également un spectromètre optique à diffusion inélastique comprenant le dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux. Un tel spectromètre optique à diffusion inélastique trouve en particulier des applications en spectrométrie Raman. Avantageusement, le spectromètre optique peut être combiné à un microscope confocal. Un tel appareil trouve en particulier des applications en microspectrométrie Raman. Description détaillée de l’invention La description qui va suivre en regard des dessins annexés, donnés à titre d’exemples non limitatifs, fera bien comprendre en quoi consiste l’invention et comment elle peut être réalisée. L'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation illustrés sur les dessins. Par conséquent, il faut comprendre que, lorsque les caractéristiques mentionnées dans les revendications sont suivies de signes de référence, ces signes sont inclus uniquement dans le but d'améliorer l'intelligibilité des revendications et ne limitent aucunement la portée des revendications. Sur les dessins annexés : est une vue en coupe schématique d’un dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux selon l’invention ; est une vue en coupe schématique du dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux de la figure 1 représentant un réglage par rotation ; est une vue en coupe schématique du dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux de la figure 1 représentant un réglage par translation ; est une représentation schématique d’un spectromètre de diffusion inélastique, par exemple un spectromètre Raman, comprenant le dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux de la figure 1 ; est une représentation schématique d’un microspectromètre de diffusion inélastique, par exemple un microspectromètre Raman comprenant le dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux de la figure 1 ; est une vue en coupe schématique du dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux de la figure 1 représentant l’effet d’une calibration lors d’une rotation. On a représenté sur la figure 1 un repère orthonormé XYZ, le plan XY étant dans le plan de la figure 1 et l’axe Z étant orthogonal au plan de la figure 1. Comme le montre la figure 1, un dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux 1 comprend deux éléments réflectifs 4, 6 plans. Par la suite, le dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux 1 est simplement appelé dispositif optique de déviation 1. Ici, le premier élément réflectif 4 et/ou le deuxième élément réflectif 6 est un filtre spectral. Par exemple, dans un mode de réalisation décrit ultérieurement, uniquement le deuxième élément réflectif 6 est un filtre spectral, le premier élément réflectif 4 étant un miroir. Dans une variante non représentée, le deuxième élément réflectif peut être un miroir et le premier élément réflectif un filtre spectral. Selon une autre variante, le premier élément réflectif 4 et le deuxième élément réflectif 6 sont des miroirs. Selon encore une autre variante, le premier élément réflectif 4 est un miroir et le deuxième élément réflectif 6 est un échantillon ayant une surface plane réfléchissante, pour une mesure de résonance de plasmon de surface. Selon encore une autre variante, le deuxième élément réflectif 6 est un miroir et le premier élément réflectif 4 est un échantillon ayant une surface plane réfléchissante, pour une mesure de résonance de plasmon de surface. Les deux éléments réflectifs 4, 6 plans s’étendent selon une direction commune. Ici, la direction commune est la direction perpendiculaire au plan de la figure 1, parallèle à l’axe Z. En d’autres termes, les deux éléments réflectifs 4, 6 sont tous les deux orthogonaux à un plan d’incidence. Le plan d’incidence est défini par un faisceau lumineux incident, ici appelé faisceau lumineux entrant 2, et par la normale 7 au premier élément réflectif 4 à un point d’incidence P1 du faisceau lumineux entrant 2 sur le premier élément réflectif 4. Le plan d’incidence est ici confondu au plan de la figure 1. Comme le montre la figure 1, le premier élément réflectif 4 réfléchit le faisceau lumineux entrant 2 en un faisceau lumineux réfléchi 5. Par définition, le faisceau lumineux réfléchi 5 est aussi dans le plan d’incidence. Le faisceau lumineux réfléchi 5 est réfléchi par le deuxième élément réflectif 6 pour former le faisceau lumineux sortant 3. Ici, le deuxième élément réflectif 6 est disposé de telle sorte que sa normale 8 à un point d’incidence P2 du faisceau lumineux réfléchi 5 sur le deuxième élément réflectif 6 soit aussi dans le plan d’incidence. Par conséquent, le faisceau sortant 3 est aussi dans le plan d’incidence. Les trois faisceaux lumineux 2, 3, 5 forment le chemin optique dans le plan d’incidence. Comme le montre la figure 1, le premier élément réflectif 4 s’étend selon un premier plan 11. Le deuxième élément réflectif 6 s’étend selon un deuxième plan 12. Le premier plan 11 et le deuxième plan 12 sont sécants selon une droite d’intersection D (ils ne sont donc pas parallèles). Comme le montre la figure 1, le premier plan 11 et le deuxième plan 12 forment entre eux un angle dièdre prédéterminé noté BETA. La droite d’intersection D est parallèle à la direction commune. Ici, puisque les deux éléments réflectifs 4, 6 plans s’étendent selon la direction perpendiculaire au plan de la figure 1, la droite d’intersection D est également perpendiculaire au plan de la figure 1. Autrement dit, la droite D est parallèle à l’axe Z. Le premier élément réflectif 4 et le second élément réflectif 6 sont solidairement mobiles en rotation autour d’un axe de rotation 10. Cela signifie que si un des deux éléments réflectifs 4, 6 effectue une rotation autour de l’axe de rotation 10, l’autre élément réflectif 6, 4 effectue la même rotation autour de l’axe de rotation 10. En d’autres termes, le premier plan 11 et le deuxième plan 12 forment entre eux l’angle dièdre prédéterminé BETA quelle que soit la rotation des éléments réflectifs 4, 6 autour de l’axe de rotation 10. Comme le montre la figure 1, l’axe de rotation 10 est confondu avec la droite d’intersection D. Dans le présent document, on entend par axe confondu avec une droite, un axe et une droite formant un angle inférieur à 10 mrad et étant distants de moins de 0,02 mm dans le plan d’incidence. Des moyens de fixations permettent de lier les deux éléments réflectifs 4, 6 de façon à ce qu’ils soient solidairement mobiles en rotation autour d’un axe de rotation 10. On peut prévoir une pièce rigide, par exemple en métal, sur laquelle chaque élément réflectif 4, 6 est disposé. A titre d’exemple, le premier élément réflectif 4 et le deuxième élément réflectif 6 sont fixés sur une plateforme 14 commune qui est mobile en rotation autour de l’axe de rotation 10. Ici, la plateforme 14 s’étend principalement selon un plan parallèle au plan d’incidence. Cela signifie que sa dimension selon l’axe de rotation 10 est sensiblement inférieure à ses dimensions selon le plan perpendiculaire. Par exemple, la plateforme 14 a globalement une forme de disque, ou de partie d’un disque, dont le centre coïncide avec l’axe de rotation 10. En variante, cette pièce rigide pourrait par exemple être une plaque formant un V dont l’angle est égal à l’angle dièdre prédéterminé, chaque élément réflectif étant disposé sur un des deux bras de la pièce. Le fait que le premier élément réflectif 4 et le second élément réflectif 6 soient solidairement mobiles en rotation autour d’un axe de rotation 10 n’implique pas nécessairement que les éléments réflectifs 4, 6 soient fixes l’un par rapport à l’autre. On peut par exemple prévoir que chacun des éléments réflectifs 4, 6 soit mobile et/ou ajustable au moyen d’un système trait-point-plan, notamment pour ajuster les normales 7, 8 dans le plan d’incidence et/ou pour ajuster l’angle dièdre BETA à une valeur prédéterminée. Le faisceau lumineux entrant 2 est dans un plan orthogonal à la droite d’intersection D. Il est donc également dans un plan orthogonal à l’axe de rotation 10. Le faisceau lumineux entrant 2, le faisceau lumineux réfléchi 5 et le faisceau lumineux sortant 3 sont donc dans le plan d’incidence qui est orthogonal à la droite d’intersection D. Ici, le plan d’incidence est le plan de la figure 1. Le faisceau lumineux entrant 2 intersecte le faisceau lumineux sortant 3 en un point d’intersection O. Le faisceau lumineux entrant 2 et le faisceau lumineux sortant 3 forment un angle de déviation GAMMA. Le dispositif optique de déviation 1 dévie donc le faisceau lumineux entrant 2 d’un angle de déviation GAMMA. Les qualificatifs « entrant » et « sortant » ne limitent en aucun cas le dispositif optique de déviation 1 à un mode ou sens d’utilisation. D’après le principe du retour inverse de la lumière, le dispositif optique de déviation 1 fonctionne également avec un faisceau lumineux se propageant dans le sens inverse de celui présenté sur les figures. En particulier, le dispositif optique de déviation 1 est adapté pour recevoir un faisceau lumineux rétrodiffusé 13 suivant la même direction et en sens inverse du faisceau sortant 3. L’angle de déviation GAMMA dépend de l’angle dièdre prédéterminé BETA. Plus précisément, l’angle de déviation GAMMA dépend uniquement de l’angle dièdre prédéterminé BETA selon la formule : GAMMA = 2·π - 2·BETA (en radians). L’angle dièdre prédéterminé BETA est prédéterminé en fonction de la déviation choisie, c’est-à-dire l’angle de déviation GAMMA à atteindre. En pratique, l’angle dièdre prédéterminé BETA est donc choisi en fonction du montage optique dans lequel le dispositif optique de déviation 1 est utilisé. Par exemple, si on souhaite un angle de déviation GAMMA de +270 degrés, on dispose les éléments réflectifs 4, 6 pour qu’ils forment un angle dièdre BETA de +45 degrés. De préférence, les éléments réflectifs 4, 6 forment un angle dièdre BETA compris entre +22,5 degrés et +67,5 degrés de façon à obtenir un angle de déviation compris entre +225 degrés et +315 degrés. On peut aussi montrer qu’une rotation du dispositif optique de déviation 1 autour de l’axe de rotation 10, c’est-à-dire la rotation commune des deux éléments réflectifs 4, 6 autour de l’axe de rotation 10, ne modifie pas l’orientation et la position du faisceau lumineux sortant 3. En effet, le déplacement conjoint des deux éléments réflectifs 4, 6 lors de la rotation induit des variations d’angle d’incidence opposées sur les deux éléments réflectifs 4, 6. Ces variations se compensent, ce qui conserve l’orientation et la position du faisceau lumineux sortant 3. En d’autres termes, le point d’intersection O et l’angle de déviation GAMMA sont invariants par rotation du dispositif optique de déviation 1 autour de l’axe de rotation 10. Contrairement aux systèmes de l’art antérieur, il n’y a pas de décalage latéral (c’est-à-dire dans le plan d’incidence) du faisceau sortant 3. Bien entendu, ce résultat est valable dans la mesure où le chemin optique n’est pas obstrué par une partie du dispositif optique de déviation 1 (par exemple par les éléments réflectifs 4, 6 ou par leurs moyens de fixation). Les figures 1 et 2 illustrent ce résultat d’invariance de l’orientation et de la position du faisceau lumineux sortant 3 par rotation. La figure 2 représente le dispositif optique de déviation 1 de la figure 1 ayant subi une rotation d’un angle ALPHA dans le sens trigonométrique autour de l’axe de rotation 10. L’orientation du faisceau lumineux entrant 2 par rapport à l’axe de rotation 10 est identique sur les figures 1 et 2. Sur la figure 2, le faisceau lumineux entrant 2 est incident sur le premier élément réflectif 4 au point d’incidence P3. Le faisceau lumineux réfléchi 5 est incident sur le deuxième élément réflectif 6 au point d’incidence P4. Le point P3 est décalé par rapport au point P1 dans le plan d’incidence sur le premier élément réflectif 4. De même, le point P4 est décalé par rapport au point P2 dans le plan d’incidence sur le deuxième élément réflectif 6. Toutefois, comme le montrent bien les figures 1 et 2, l’orientation et la position du faisceau lumineux sortant 3 sont conservées lors de la rotation d’un angle ALPHA. Ici, pour visualiser l’effet de la rotation et simplifier la compréhension du mécanisme, le dispositif optique de déviation 1 subit sur les figures une rotation d’un angle ALPHA d’une vingtaine de degrés. En pratique, la rotation d’un angle ALPHA est inférieure à 5 degrés et de préférence inférieure à 2 degrés. Sur la figure 2, le premier plan 11 et le deuxième plan 12 forment entre eux l’angle dièdre prédéterminé BETA. Pour faciliter la lecture, les positions du premier plan 11, du deuxième plan 12 et du faisceau lumineux réfléchi 5 avant la rotation sont représentées en pointillés. La rotation des éléments réflectifs 4, 6 qui a lieu entre les figures 1 et 2 a pour conséquences : - de modifier le point d’incidence (de P1 à P3) et l’angle d’incidence du faisceau lumineux entrant 2 sur le premier élément réflectif 4 ; - de modifier le point d’incidence (de P2 à P4) et l’angle d’incidence du faisceau lumineux réfléchi 5 sur le deuxième élément réflectif 6. La rotation des éléments réflectifs 4, 6 qui a lieu entre les figures 1 et 2 a également pour conséquences : - d’augmenter la distance de parcours du faisceau lumineux entrant 2 puisqu’il parcourt la distance de P1 à P3 ; - de modifier l’orientation du faisceau lumineux réfléchi 5 ; - de raccourcir la distance de parcours du faisceau lumineux sortant 3 puisqu’il ne parcourt pas la distance de P2 à P4, tout en conservant son orientation et sa position. Pour un faisceau entrant 2 ayant une position et une orientation déterminées, le dispositif optique de déviation 1 peut donc être utilisé pour modifier l’angle d’incidence d’un faisceau lumineux sur un élément réflectif 4, 6 tout en conservant l’orientation et la position du faisceau sortant 3. Pour modifier l’angle d’incidence sur un des élément réflectifs 4, 6, on applique au dispositif optique de déviation 1 une rotation autour de l’axe de rotation 10. Ici, l’angle d’incidence THETA2 du faisceau lumineux réfléchi 5 sur le deuxième élément réflectif 6 après une rotation d’un angle ALPHA dans le sens trigonométrique autour de l’axe de rotation 10 (figure 2) est relié à l’angle d’incidence THETA1 du faisceau lumineux réfléchi 5 sur le deuxième élément réflectif 6 avant la rotation (figure 1) par la formule : THETA2 = THETA1 + ALPHA. L’angle THETA2 varie donc linéairement en fonction de l’angle ALPHA et avec le même signe que l’angle ALPHA. Pour modifier l’angle d’incidence du faisceau lumineux réfléchi 5 sur le deuxième élément réflectif 6 de 1 degré, il suffit d’appliquer une rotation de 1 degré au dispositif optique de déviation 1 dans la direction souhaitée. Il est ainsi possible d’ajuster aisément l’angle d’incidence du faisceau lumineux réfléchi 4 sur le deuxième élément réflectif 6, par exemple dans une gamme de ± 5 degrés autour d’un angle d’incidence moyen, tout en conservant l’angle d’incidence THETA2 positif et inférieur à 90 degrés. Un actionneur à commande électronique et/ou numérique peut être utilisé pour contrôler la rotation du dispositif optique de déviation 1 avec une résolution permettant une précision angulaire de l’ordre de 0,1 degrés ou 0,01 degrés. Par ailleurs, la rotation modifie aussi l’angle d’incidence du faisceau lumineux entrant 2 sur le premier élément réflectif 4. L’angle de déviation GAMMA lui ne varie pas. Toutefois, l’angle d’incidence du faisceau lumineux entrant 2 sur le premier élément réflectif 4 varie en sens opposé de l’angle de rotation ALPHA. Un tel dispositif trouve en particulier une application dans la mesure de résonance de plasmons de surface, où il est souhaitable de faire varier l’angle d’incidence sur une surface réfléchissante d’un échantillon, tout en conservant la position et la direction du faisceau après réflexion. A cet effet, on utilise un dispositif de déviation de faisceau lumineux tel que décrit ci-dessus dans lequel le premier élément réflectif 4 est un miroir et le deuxième élément réflectif 6 est un échantillon ayant une surface plane réfléchissante (ou inversement). De manière générale, le dispositif optique de déviation 1 peut être utilisé dans tous les appareils optiques où il est nécessaire de faire varier l’angle d’incidence d’un faisceau lumineux 2, 5 sur un filtre spectral fonctionnant en réflexion tout en conservant l’orientation et la position d’un faisceau lumineux sortant 3. Le dispositif optique de déviation 1 est particulièrement adapté aux appareils de spectrométrie de diffusion inélastique, sans se limiter à ceux-ci, notamment pour la spectrométrie Raman, mais aussi pour la spectrométrie de fluorescence ou la spectrométrie de diffusion de Brillouin. Par exemple, on peut prévoir que le premier élément réflectif 4 soit un miroir plan. On peut aussi prévoir que le deuxième élément réflectif 6 soit un filtre spectral plan par réflexion et transmission. Le deuxième élément réflectif 6 peut par exemple être un filtre interférentiel de type coupe-bande, passe-bande, passe-haut ou passe-bas. Le deuxième élément réflectif 6 peut donc correspondre aux filtres Notch ou Edge présentés en introduction qui sont utilisés en spectrométrie Raman. Comme le montre la figure 4, le dispositif optique peut être utilisé dans le cadre de la spectrométrie Raman. La figure 4 représente schématiquement le trajet d’un faisceau lumineux dans un spectromètre Raman 100 comprenant le dispositif optique de déviation 1. Ici, une source laser 101 produit le faisceau lumineux entrant 2. Le dispositif optique de déviation 1 réfléchit et filtre, vers l’échantillon 102, le faisceau lumineux entrant 2 pour former un faisceau lumineux sortant 3 filtré fortement monochromatique. Pour cela, le premier élément réflectif 4 est un miroir plan et le deuxième élément réflectif 6 est un filtre interférentiel. Sur le trajet optique du faisceau laser incident, le filtre interférentiel est utilisé en réflexion. L’échantillon 102 génère le faisceau rétrodiffusé 13 se propageant dans la même direction que le faisceau lumineux sortant 3 et en sens opposé. Le filtre interférentiel, utilisé en transmission, transmet la diffusion Raman, par exemple vers l’analyseur de spectre 103 et réfléchit la réflexion et la diffusion Rayleigh qui sont à la même longueur d’onde que le faisceau laser. Le dispositif optique de déviation 1 est simplement intercalé sur le trajet optique entre la source laser 101 et l’échantillon 102 et d’autre part, entre l’échantillon 102 et l’analyseur de spectre 103. Le dispositif optique de déviation 1 présente un encombrement réduit comparé à une monture cinématique de l’art antérieur combinant une rotation et une translation. Comme le montre la figure 5, le dispositif optique peut également être utilisé dans le cadre de la microspectrométrie Raman et notamment la microscopie Raman confocale. La figure 5 représente schématiquement le trajet d’un faisceau lumineux dans un microspectromètre Raman 200 comprenant le dispositif optique de déviation 1. Ici, une source laser 101 produit le faisceau lumineux entrant 2. Le faisceau lumineux entrant 2 passe par un premier diaphragme 201. Le dispositif optique de déviation 1 dévie, vers l’échantillon 101, le faisceau lumineux entrant 2 en un faisceau lumineux sortant 3 filtré fortement monochromatique. Pour cela, le premier élément réflectif 4 est un miroir plan et le deuxième élément réflectif 6 est un filtre interférentiel. Sur le trajet optique du faisceau laser incident, le filtre interférentiel est utilisé en réflexion. Un objectif de microscope 202 focalise le faisceau sortant 3 dans une partie de l’échantillon 102 appelée section optique. De façon avantageuse, en microscopie confocale, l’objectif de microscope 202 est disposé de manière à former une image du premier diaphragme 201 limitée spatialement dans la section optique, de façon à obtenir une mesure résolue spatialement le long de l’axe du faisceau lumineux. La partie éclairée de l’échantillon 101 génère le faisceau rétrodiffusé 13 se propageant dans la même direction que le faisceau lumineux sortant 3 et en sens opposé. Sur le trajet optique du faisceau rétrodiffusé, le filtre interférentiel, est utilisé à la fois en transmission, pour transmettre la diffusion Raman vers l’analyseur de spectre 103 en passant par un deuxième diaphragme 203 et en réflexion pour séparer la réflexion et la diffusion Rayleigh qui sont à la même longueur d’onde que le faisceau laser. Le deuxième diaphragme 203 est disposé de manière à ce que l’objectif de microscope 202 forme une image de la section optique éclairée dans l’échantillon sur le deuxième diaphragme 203. Dans ce contexte, le dispositif optique de déviation 1 peut servir à ajuster la réponse spectrale du filtre interférentiel par exemple pour répondre à une variation de la longueur d’onde du faisceau laser éclairant l’échantillon 101, cela tout en conservant l’orientation et la position du faisceau sortant 3 et donc du faisceau rétrodiffusé 13, sans modifier la position du premier diaphragme 201 ni du deuxième diaphragme 203. Le dispositif optique de déviation 1 est simplement inséré sur l’axe optique du microscope confocal. Il permet de modifier l’angle d’incidence sur un élément optique réflectif 4, 6 sans modifier l’axe optique du microscope. Ainsi, dans le cas où le premier élément réflectif 4 est un miroir plan et le deuxième élément réflectif 6 est un filtre interférentiel, le dispositif optique de déviation 1 peut par exemple permettre d’ajuster la ou les longueurs d’onde de coupure λc du filtre interférentiel en changeant l’angle d’incidence du faisceau lumineux réfléchi 5. Avec THETA l’angle d’incidence sur le deuxième élément réflectif 6 et n l’indice de réfraction effectif du filtre interférentiel, la longueur d’onde de coupure λc peut être donnée par la formule : où λc(0) représente la longueur d’onde de coupure de conception du filtre interférentiel, c’est-à-dire la longueur d’onde de coupure en incidence normale. Ici, l’angle d’incidence de conception du filtre interférentiel, par exemple représenté sur la figure 1 par l’angle d’incidence THETA1 du faisceau lumineux réfléchi 5 sur le deuxième élément réflectif 6, est de préférence compris entre 0 et 10 degrés. L’angle d’incidence de conception du filtre interférentiel est l’angle d’incidence pour lequel le filtre a été conçu. Il est possible qu’un des éléments réflectifs 4, 6 ou les deux, présente des propriétés de réflexion variables sur sa surface. Un filtre interférentiel peut par exemple présenter une réponse spectrale qui varie spatialement sur sa surface. Comme les points d’incidence P1, P2, P3, P4 des faisceaux lumineux 2, 5 sur les éléments réflectifs 4, 6 varient spatialement lors de la rotation, il peut être utile, notamment dans le cas où les propriétés de réflexion d’un élément réflectif 4, 6 sont variables sur sa surface, de déplacer le ou les éléments réflectifs 4, 6 pour conserver le ou les points d’incidence lors de la rotation d’un angle ALPHA. Pour cela, on peut prévoir, lorsque le dispositif optique est actionné en rotation autour de l’axe de rotation 10, que le premier élément réflectif 4 et/ou le deuxième élément réflectif 6 soient adaptés à se déplacer en translation dans le premier plan 11 et/ou respectivement dans le deuxième plan 12. Par exemple, ils peuvent être chacun motorisés par un moteur permettant une translation dans leur plan respectif 11, 12 suivant le plan d’incidence. Avoir des éléments réflectifs 4, 6 mobiles en translation dans leurs plans respectifs 11, 12 permet aussi de réduire la taille des éléments réflectifs 4, 6 et donc leur coût. En effet, déplacer l’élément réflectif 4, 6 permet de s’assurer que le point d’incidence P1, P2, P3, P4 d’un faisceau lumineux ne se déplace pas hors de la surface de l’élément réflectif 4, 6 lors d’une rotation d’un angle ALPHA. On peut également prévoir que le premier élément réflectif 4 et le deuxième élément réflectif 6 soient adaptés à se déplacer en translation dans le plan d’incidence, le long de la bissectrice 9 entre une direction du faisceau lumineux entrant 2 et une direction du faisceau lumineux sortant 3. Sur la figure 3, cette bissectrice 9 est la bissectrice de l’angle formé par le faisceau entrant 2 et le faisceau sortant 3 et qui est situé à l’opposé de l’angle dièdre BETA par rapport au point d’intersection O. Ici, la direction d’un faisceau lumineux est définie par son parcours de propagation. La figure 3 représente le dispositif optique de déviation 1 de la figure 1 où les éléments réflectifs 4, 6 ont été translatés suivant la bissectrice 9 par rapport à l’axe de rotation 10. Pour faciliter la lecture, les positions des éléments réflectifs 4, 6, de leur plan respectif 11, 12 et du faisceau lumineux réfléchi 5 avant la translation sont représentées en pointillés. L’orientation du faisceau lumineux entrant 2 par rapport à l’axe de rotation 10 est identique sur les figures 1 et 3. Le faisceau lumineux entrant 2 est incident sur le premier élément réflectif 4 au point d’incidence P5. Le faisceau lumineux réfléchi 5 est incident sur le deuxième élément réflectif 6 au point d’incidence P6. Comme le montre la figure 3, l’orientation et la position du faisceau lumineux sortant 3 sont conservées lors de la translation, le long de la bissectrice 9. Cette translation le long de la bissectrice 9 permet d’ajuster la position de la droite d’intersection D, notamment par rapport à l’axe de rotation 10. En effet, lorsque les éléments réflectifs 4, 6 sont translatés la droite d’intersection D est décalée le long de la bissectrice 9 dans la direction de la translation. Ce réglage peut avantageusement constituer une étape de calibration du dispositif optique de déviation 1 pour s’assurer que la droite d’intersection D soit confondue avec l’axe de rotation 10. Pour ce faire, les deux éléments réflectifs 4, 6, peuvent être montés sur une plaque reliée à la plateforme 14 par un rail de guidage parallèle à la bissectrice 9. De façon remarquable, le fait que l’axe de rotation 10 et la droite d’intersection D ne soient pas strictement confondus n’a que très peu d’influence, lors de la rotation du dispositif optique de déviation 1, sur la position du faisceau lumineux sortant 3. La robustesse du dispositif optique de déviation 1, par rapport à sa calibration, le rend simple à intégrer dans un système optique, par exemple dans un spectromètre. La figure 6 illustre, de manière volontairement exagérée, un déplacement latéral, noté E, du faisceau lumineux sortant 3 lors d’une rotation du dispositif optique de déviation 1 dans le sens horaire. Les positions des éléments réflectifs 4, 6, des faisceaux lumineux 2, 5, 3 et de la droite d’intersection D avant rotation sont représentées par des traits pointillés. L’erreur d’axe H représente la distance entre l’axe de rotation 10 et la droite d’intersection D. Le déplacement latéral E représente la distance entre la position du faisceau lumineux sortant 3 avant rotation et la position du faisceau lumineux sortant 3 après rotation. Dans l’exemple représentée sur la figure 6, le dispositif optique de déviation 1 subit une rotation de telle sorte que l’angle d’incidence du faisceau lumineux réfléchi 5 sur le deuxième élément réflectif 6 varie de +8 degrés. L’angle d’incidence varie de THETA0 à THETA selon la formule THETA = THETA0 + 8 degrés. Dans cette exemple l’erreur d’axe H est fixée à 1 mm. L’erreur d’axe H est fixée à une valeur volontairement élevée pour montrer la robustesse du dispositif optique de déviation 1. Avec une telle erreur d’axe H, pour un angle dièdre BETA de 45° et pour une rotation de +8 degrés, le déplacement latéral E du faisceau lumineux sortant est de : 0,112 mm pour un angle d’incidence initial THETA0 de 3 degrés ; 0 mm pour un angle d’incidence initial THETA0 de 8 degrés ; et 0,090 mm pour un angle d’incidence initial THETA0 de 12 degrés. Encore en exemple, toujours pour une erreur d’axe H de 1 mm, pour un angle dièdre BETA cette fois-ci de 50° et pour une rotation de +8 degrés, le déplacement latéral E du faisceau lumineux sortant est de : 0,123 mm pour un angle d’incidence initial THETA0 de 3 degrés ; 0 mm pour un angle d’incidence initial THETA0 de 8 degrés ; et 0,099 mm pour un angle d’incidence initial THETA0 de 12 degrés. En pratique, pour des faisceaux lumineux au diamètre de quelques millimètres ces déplacement latéraux E mesurés sont donc négligeables, et ceci même dans le cas d’une erreur d’axe H grande. En effet, il est aisé, lors de la calibration, de réduire l’erreur d’axe H bien en dessous du millimètre. De préférence, la calibration est achevée lorsque la droite d’intersection D est confondue avec l’axe de rotation 10 comme évoqué précédemment. Dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux (1) caractérisé en ce qu’il comprend : - un premier élément réflectif (4) plan s’étendant dans un premier plan (11), le premier élément réflectif (4) étant disposé de manière à réfléchir un faisceau lumineux entrant (2) en un faisceau lumineux réfléchi (5), ledit faisceau lumineux entrant (2) et ledit faisceau lumineux réfléchi (5) définissant un plan d’incidence ; et - un deuxième élément réflectif (6) plan s’étendant dans un deuxième plan (12) transverse au plan d’incidence, le deuxième élément réflectif (6) étant disposé pour réfléchir ledit faisceau lumineux réfléchi (5) en un faisceau lumineux sortant (3) ; ledit premier plan (11) et ledit deuxième plan (12) étant sécants selon une droite d’intersection (D) et formant entre eux un angle dièdre (BETA), ledit premier élément réflectif (4) et ledit deuxième élément réflectif (6) étant solidairement mobiles en rotation autour d’un axe de rotation (10) confondu avec ladite droite d’intersection (D), ledit axe de rotation (10) étant transverse au plan d’incidence. Dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux (1) selon la revendication 1, dans lequel l’un au moins parmi ledit premier élément réflectif (4) et ledit deuxième élément réflectif (6) est un filtre spectral. Dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux (1) selon l’une des revendications 1 à 2, dans lequel ledit premier élément réflectif (4) est un miroir plan. Dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux (1) selon la revendication 1 ou 3, dans lequel ledit deuxième élément réflectif (6) est un filtre plan par réflexion. Dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux (1) selon la revendication 4, dans lequel ledit filtre est un filtre interférentiel du type coupe-bande, passe-bande, passe-haut ou passe-bas. Dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux (1) selon la revendication 5, dans lequel ledit filtre interférentiel fonctionne en transmission et en réflexion. Dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux (1) selon l’une des revendications 1 à 6, dans lequel ledit premier élément réflectif (4) et ledit deuxième élément réflectif (6) sont fixés sur une plateforme (14) commune qui est mobile en rotation autour dudit axe de rotation (10). Dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux (1) selon l’une des revendications 1 à 7, dans lequel ledit premier élément réflectif (4) et/ou ledit deuxième élément réflectif (6), est adapté à se déplacer en translation dans ledit premier plan (11) et/ou respectivement ledit deuxième plan (12). Dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux (1) selon l’une des revendications 1 à 8, dans lequel ledit premier élément réflectif (4) et ledit deuxième élément réflectif (6) est adapté à se déplacer de façon solidaire en translation dans le plan d’incidence, le long d’une bissectrice (9) entre une direction du faisceau lumineux entrant (2) et une direction du faisceau lumineux sortant (3) . Dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux (1) selon l’une des revendications 1 à 9, dans lequel au moins l’un desdits premier élément réflectif (4) et deuxième élément réflectif (6) présente des propriétés de réflexion variables sur sa surface. Dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux (1) selon l’une des revendications 1 à 10, dans lequel l’angle dièdre (BETA) est compris entre 20 degrés et 70 degrés. Spectromètre optique (100) à diffusion inélastique comprenant un dispositif optique de déviation d’un faisceau lumineux (1) selon l’une des revendications 1 à 11. Spectromètre optique (100) selon la revendication 12 combiné à un microscope confocal.