Brevet FR3122033A1 — publié le 20221021

PROCÉDÉ DE FABRICATION D’UN GROUPE DE MOTIFS INCLINÉS Un aspect de l’invention concerne un procédé de fabrication d’un groupe de motifs inclinés, les motifs étant disposés sur un substrat (10) et espacés les uns des autres, le procédé comprenant les étapes suivantes : former des tranches de motif, dites tranches de niveau inférieur (201), sur le substrat (10) ; former une couche de remplissage (202) en dehors des tranches de niveau inférieur (201) ; former (S13) des tranches de motif additionnelles, dites tranches de niveau supérieur (203), sur les tranches de niveau inférieur (201), chaque tranche de niveau supérieur (203) d’un motif (20) présentant un désalignement (d) par rapport à la tranche de niveau inférieur (201) dudit motif, de sorte que la tranche de niveau supérieur (203) repose en partie sur la couche de remplissage (202) ; libérer les motifs en gravant la couche de remplissage (202) sélectivement par rapport aux tranches de niveau inférieur (201) et aux tranches de niveau supérieur (203). Figure à publier avec l’abrégé : Figure 2C PROCÉDÉ DE FABRICATION D’UN GROUPE DE MOTIFS INCLINÉS La présente invention concerne un procédé de fabrication d’un groupe de motifs inclinés. Ce groupe de motifs inclinés peut former un réseau de diffraction appelé réseau incliné. ÉTAT DE LA TECHNIQUE Les réseaux inclinés (ou « slanted gratings » en anglais) sont des réseaux de diffraction comprenant chacun une pluralité de motifs (ou piliers) identiques dont les flancs sont inclinés. Ils sont utilisés dans les applications où une redirection efficace de la lumière est souhaitée. Un exemple d’application concerne les guides d’ondes dans les écrans montés sur tête, tels que ceux équipant les casques de réalité augmentée, réalité virtuelle ou réalité mixte. Les réseaux inclinés agissent comme réseaux de couplage optique en entrée et en sortie d’un guide d’ondes, pour diriger la lumière émise par un générateur d’images à l’intérieur du guide d’ondes et diriger la lumière en sortie du guide d’ondes vers l’œil de l’utilisateur. La représente différentes étapes d’un procédé de fabrication de réseau incliné selon l’art antérieur. Un substrat en silicium 10 est tout d’abord recouvert d’une couche de masque dur 11, typiquement en dioxyde de silicium (SiO2). La couche de masque dur 11 est ensuite structurée (par photolithographie puis gravure) pour former un masque dur 11’. Puis, le substrat 10 est gravé à travers les évidements du masque dur 11’ selon un direction principale de gravure inclinée par rapport à la normale au substrat 10. Des motifs 12 ayant des flancs 12a, 12b inclinés sont ainsi formés dans le substrat 10. Enfin, le masque dur 11’ est retiré de manière sélective par rapport au substrat 10. La technique utilisée pour graver le substrat 10 est la gravure par faisceau d’ions (ou IBE, pour « Ion Beam Etching » en anglais), aussi appelée usinage ionique. La gravure inclinée est obtenue dans un réacteur de gravure plasma, soit en modifiant l’inclinaison du substrat 10 par rapport à la direction de bombardement des ions, soit en modifiant l’angle d’incidence des ions au moyen d’une grille de polarisation. Cette dernière approche est décrite dans le document [« Fabrication of Slanted Cu Nanopillars with Uniform Arrays », Sung-Woon Cho et al., Nanomaterials and Nanotechnology, vol. 6:11, 2016]. La gravure par faisceau d’ions ne permet pas de former simultanément plusieurs réseaux de motifs ayant des angles d’inclinaison différents, mais un seul groupe de motifs identiques. Ce groupe de motifs s’étend sur une surface faible, typiquement inférieure à 25 cm 2 , en raison des limitations du réacteur de gravure plasma (absence d’homogénéité sur les substrats de grande taille). De manière plus générale, le nombre, la taille et l’agencement des motifs inclinés pouvant être obtenus facilement avec le procédé de la sont limités. Il existe donc un besoin de prévoir un procédé de fabrication d’un groupe de motifs qui soit plus souple d’utilisation et offre davantage de possibilités, par exemple celle de former simultanément plusieurs réseaux de motifs ayant des angles d’inclinaison différents ou celle de former un réseau de motifs de grande superficie. Selon l’invention, on tend à satisfaire ce besoin en prévoyant un procédé de fabrication d’un groupe de motifs inclinés, les motifs étant disposés sur un substrat et espacés les uns des autres, le procédé comprenant les étapes suivantes : former des tranches de motif, dites tranches de niveau inférieur, sur le substrat ; former une couche de remplissage en dehors des tranches de niveau inférieur ; former des tranches de motif additionnelles, dites tranches de niveau supérieur, sur les tranches de niveau inférieur, chaque tranche de niveau supérieur d’un motif présentant un désalignement par rapport à la tranche de niveau inférieur dudit motif, de sorte que la tranche de niveau supérieur repose en partie sur la couche de remplissage ; libérer les motifs en gravant la couche de remplissage sélectivement par rapport aux tranches de niveau inférieur et aux tranches de niveau supérieur. Ainsi, dans le procédé de fabrication selon l’invention, les motifs inclinés sont fabriqués simultanément en empilant des tranches de motifs, les tranches d’un même motif étant décalées l’une par rapport à l’autre pour conférer au motif son inclinaison. Un tel procédé est simple à mettre, autorise une multitude de configurations de groupe de motifs et permet de satisfaire le besoin de réseaux inclinés de grande superficie et/ou d’inclinaisons différentes. Dans un mode de mise en œuvre préférentiel, le procédé de fabrication comprend plusieurs itérations des étapes b) et c) avant l’étape de libération des motifs, les tranches de niveau supérieur formées lors d’une itération de l’étape b) devenant les tranches de niveau inférieur lors d’une itération suivante de l’étape b). Selon un développement de ce mode de mise en œuvre préférentiel, les tranches de niveau supérieur d’un même motif présentent le même désalignement. Selon un autre développement, le désalignement des tranches de niveau supérieur varie au sein d’un même motif. Le procédé de fabrication peut comprendre en outre, après l’étape de libération des motifs, une étape de lissage des flancs des motifs. Le lissage des flancs des motifs est de préférence obtenu par gravure isotrope des flancs des motifs. Avantageusement, le procédé de fabrication comprend en outre, avant l’étape de libération des motifs, la formation d’une couche de protection aux sommets des motifs. Le procédé de fabrication selon l’invention peut également présenter une ou plusieurs des caractéristiques ci-dessous, considérées individuellement ou selon toutes les combinaisons techniquement possibles : les tranches de motif d’un même niveau sont constituées d’un même matériau et présentent une même épaisseur ; les tranches de niveau inférieur et les tranches de niveau supérieur sont constituées d’un même matériau ; les tranches de niveau inférieur et les tranches de niveau supérieur présentent une même largeur ; les tranches d’un même motif présentent une même épaisseur ; les tranches d’un même motif présentent une épaisseur variable ; le désalignement des tranches de niveau supérieur est le même pour tous les motifs du groupe ; les motifs du groupe sont répartis en plusieurs sous-groupes, le désalignement des tranches de niveau supérieur étant le même pour tous les motifs d’un sous-groupe et différent entre les sous-groupes. L’invention et ses différentes applications seront mieux comprises à la lecture de la description qui suit et à l’examen des figures qui l’accompagnent. BRÈVE DESCRIPTION DES FIGURES D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront clairement de la description qui en est donnée ci-dessous, à titre indicatif et nullement limitatif, en référence aux figures suivantes. La représente un procédé de fabrication de réseau incliné selon l’art antérieur. Les figures 2A à 2D représentent schématiquement des étapes d’un procédé de fabrication d’un groupe de motifs selon l’invention. Les figures 3A et 3B représentent schématiquement la répétition des étapes des figures 2B-2C, avant d’accomplir l’étape de la . La montre un empilement de couches obtenu après que les étapes des figures 2B-2C aient été répétées plusieurs fois. La représente une étape de lissage des flancs des motifs pouvant être accomplie après l’étape de la . La représente l’évolution du profil des flancs des motifs lors de l’étape de lissage des flancs. Les figures 7A à 7E représentent schématiquement un mode de mise en œuvre particulier du procédé de fabrication, permettant de limiter la réduction de hauteur lors l’étape de lissage des flancs des motifs. La montre deux sous-groupes de motifs susceptibles d’être obtenus grâce au procédé de fabrication selon l’invention, les deux sous-groupes de motifs ayant des angles d’inclinaison différents. La montre des motifs dont l’inclinaison varie, ces motifs pouvant être également obtenus grâce au procédé de fabrication selon l’invention. Pour plus de clarté, les éléments identiques ou similaires sont repérés par des signes de référence identiques sur l’ensemble des figures. DESCRIPTION DÉTAILLÉE Les figures 2A à 2D représentent en vue de coupe schématique des étapes S11 à S14 d’un procédé de fabrication d’un groupe de motifs inclinés sur un substrat 10. En référence à la , les motifs 20 sont des piliers qui reposent sur le substrat 10 et s’élèvent en suivant une direction inclinée par rapport à la normale au substrat 10. Les motifs (ou piliers) 20 sont espacés les uns des autres. Les motifs 20 présentent avantageusement un pas de répétition P (« pitch » en anglais) qui peut être compris entre 100 nm et 500 µm. Le groupe de motifs 20 peut constituer un réseau de diffraction appelé réseau incliné (ou « slanted gratings » en anglais). Chaque motif 20 comprend une base 21 coplanaire avec la surface du substrat 10 et un plan médian 22, orthogonal au plan de coupe des figures. Le plan médian 22 divise le motif 20 en deux parties sensiblement égales. Le plan médian 22 du motif forme avec sa base 21 un angle α appelé angle d’inclinaison du motif. L’angle d’inclinaison α des motifs 20 est de préférence supérieur ou égal à 45° et strictement inférieur à 90°, avantageusement compris entre 60° et 80° (bornes incluses). Chaque motif 20 comprend en outre deux flancs (ou surfaces latérales) 23 opposés. Les flancs 23 peuvent présenter un profil en marches d’escalier, comme représenté sur la , un profil ondulé ou un profil plat, comme décrit ultérieurement en relation avec les figures 5 et 6. Les flancs 23 peuvent être parallèles entre eux (ce qui est avantageux pour la formation d’un réseau incliné). De préférence, les motifs 20 ont globalement une forme parallélépipédique. Les deux autres flancs des motifs 20 (non visibles dans le plan de coupe de la ) sont alors également parallèles entre eux. Les motifs 20 sont fabriqués simultanément en empilant sur le substrat 10 des tranches de motif, aussi appelées briques. Chaque motif 20 comprend au moins deux tranches de motif disposées en contact l’une avec l’autre. Deux tranches consécutives d’un même motif sont décalées l’une par rapport à l’autre de sorte à conférer une inclinaison au motif 20. Les tranches de motif sont de préférence des portions de couche ayant la forme d’un parallélépipède, par exemple un parallélépipède rectangle. Le plan médian 22 d’un motif 20 passe par les centres de gravité des tranches composant ce motif. Les différentes tranches d’un même motif 20 peuvent être formées de matériaux différents. Toutefois, dans un mode de mise en œuvre particulier du procédé de fabrication, toutes les tranches d’un même motif sont constituées du même matériau. L’étape S11 de la consiste à former des premières tranches de motif 201, dites tranches de niveau inférieur, sur le substrat 10. Les tranches de niveau inférieur 201 sont espacées les unes des autres et appartiennent à des motifs 20 distincts. Elles sont avantageusement constituées d’un même matériau, par exemple un oxyde de silicium, et présentent une même épaisseur, notée e1 sur la . L’épaisseur e1 des tranches de niveau inférieur 201 est de préférence comprise entre 10 nm et 50 nm. Le substrat 10 est par exemple une plaquette de silicium. Les tranches de niveau inférieur 201 peuvent en outre présenter une largeur L1 identique, de préférence comprise entre 50 nm et 500 nm. La largeur d’une tranche est mesurée parallèlement au substrat 10 dans le plan de coupe des figures 2A-2D. Les tranches de niveau inférieur 201 sont avantageusement formées en déposant une couche d’un premier matériau (ex. SiO 2 ) sur le substrat 10, puis en structurant la couche du premier matériau, par exemple par photolithographie et gravure sélective par rapport au substrat 10 (ex. Si). Puis, à l’étape S12 de la , une couche de remplissage 202 est formée sur le substrat 10 en dehors des tranches de niveau inférieur 201. La couche de remplissage 202 est constituée d’un deuxième matériau dit sacrificiel, car celui-ci est choisi pour être gravé sélectivement par rapport au(x) matériau(x) des tranches de motif précédemment déposées (tranches de niveau inférieur 201 ; étape S11) et les tranches de motif qui seront déposées ultérieurement. Le matériau sacrificiel est par exemple du silicium amorphe. Le matériau sacrificiel remplit, au moins partiellement, des espaces situés entre les tranches de niveau inférieur 201 et des espaces situés de part et d’autre des tranches de niveau inférieur 201. A l’issue de l’étape S12, la couche de remplissage 202 forme avantageusement une surface plane avec les tranches de niveau inférieur 201. Autrement dit, la face supérieure de la couche de remplissage 202 se situe au niveau de la face supérieure des tranches de niveau inférieur 201. Pour obtenir une telle configuration, l’étape S12 de formation de la couche de remplissage 202 peut comprendre les sous-étapes suivantes : déposer sur le substrat 10 une couche de matériau sacrificiel d’épaisseur supérieure à l’épaisseur e1 des tranches de niveau inférieur 201, de sorte à recouvrir entièrement les tranches de niveau inférieur 201 et à former une surépaisseur ; et amincir la couche de matériau sacrificiel jusqu’à une épaisseur égale à l’épaisseur e1 des tranches de niveau inférieur 201, par exemple par polissage mécano-chimique (CMP), éliminant ainsi la surépaisseur. A l’étape suivante S13 représentée par la , des tranches de motif additionnelles 203, appelées tranches de niveau supérieur, sont formées sur les tranches de niveau inférieur 201. A l’instar des tranches de niveau inférieur 201, les tranches de niveau supérieur 203 sont espacées les unes des autres et appartiennent à des motifs 20 distincts. Elles sont avantageusement constituées d’un même matériau, par exemple un oxyde de silicium, et présentent une même épaisseur, notée e2 sur la . L’épaisseur e2 des tranches de niveau supérieur 203 est de préférence comprise entre 10 nm et 50 nm. Les tranches de niveau supérieur 203 peuvent en outre présenter une même largeur L2, de préférence comprise entre 50 nm et 500 nm. L’étape S13 est accomplie de sorte que chaque tranche de niveau supérieur 203 présente un désalignement d par rapport à la tranche de niveau inférieur 201 appartenant au même motif. En d’autres termes, au moins un bord de la tranche de niveau supérieur 203 (celui de droite dans l’exemple de la ) est décalé latéralement d’une distance d par rapport au bord correspondant de la tranche de niveau inférieur 201. Ainsi, chaque tranche de niveau supérieur 203 repose en partie sur la couche de remplissage 202. Plus particulièrement, le désalignement d est défini comme la distance de recouvrement de la tranche de niveau supérieur 203 avec la couche de remplissage 202 sous-jacente. Il est inférieur à la distance séparant deux tranches de niveau inférieur 201 consécutives. Avantageusement, toutes les tranches de niveau supérieur 203 formées simultanément lors de l’étape S13 présentent le même désalignement d (sens et amplitude du décalage). Le désalignement d des tranches de niveau supérieur 203 par rapport aux tranches de niveau inférieur 201 est de préférence compris entre 2 nm et 500 nm. Il peut être contrôlé grâce à des marques (ou motifs) d’alignement 30 formées à la surface du substrat 10 (cf. ). Plus précisément, ces marques d’alignement 30 servent à positionner le masque de photolithographie utilisé lors de la formation des tranches de niveau supérieur 203. De préférence, aucun des bords des tranches de niveau supérieur 203 (visibles dans le plan de coupe de la ) ne coïncide (c’est-à-dire n’est aligné) avec les bords des tranches de niveau inférieur 201, comme cela est représenté sur la . Ainsi, les deux flancs 23 de chaque motif sont inclinés. Plusieurs caractéristiques optionnelles peuvent être adoptées, individuellement ou selon toutes les combinaisons techniquement possibles, afin de simplifier le procédé de fabrication : les tranches de niveau supérieur 203 sont formées de la même manière que les tranches de niveau inférieur 201, de préférence par photolithographie et gravure (avec arrêt de la gravure sur la couche de remplissage 202) ; le matériau des tranches de niveau supérieur 203 est identique à celui des tranches de niveau inférieur 201 ; l’épaisseur e2 des tranches de niveau supérieur 203 est égale à l’épaisseur e1 des tranches de niveau inférieur 201 ; la largeur L2 des tranches de niveau supérieur 203 est égale à la largeur L1 des tranches de niveau inférieur 201. En particulier, une largeur L2 des tranches de niveau supérieur 203 égale à la largeur L1 des tranches de niveau inférieur 201 permet d’utiliser un seul masque de photolithographie pour former à la fois les tranches de niveau inférieur 201 et les tranches de niveau supérieur 203. Le désalignement d des tranches de niveau supérieur 203 est alors le même de chaque côté des motifs 20. De manière optionnelle, le procédé de fabrication peut comporter ensuite une nouvelle étape de nivellement, consistant à déposer une nouvelle couche de remplissage 202’ en dehors des tranches de niveau supérieur 203 (cf. ). Cette étape est de préférence accomplie de la même façon que l’étape S12. Enfin, à l’étape S14 de la , les motifs 20 sont libérés en gravant la couche de remplissage 202 (ou les couches de remplissage 202-202’) sélectivement par rapport aux tranches de niveau inférieur 201 et aux tranches de niveau supérieur 203 et, de préférence, par rapport au substrat 10. La gravure de la couche de remplissage 202 peut être une gravure sèche ou une gravure humique. La gravure est par exemple accomplie dans une solution aqueuse d'hydroxyde de potassium (KOH) lorsque le matériau sacrificiel de la couche de remplissage 202 est du silicium amorphe. De préférence, la couche de remplissage 202 est entièrement éliminée lors de l’étape S14. Le procédé de fabrication décrit ci-dessus en relation avec les figures 2A-2D est un procédé planaire, car les motifs sont construits couche après couche (ou niveau après niveau). Il présente l’avantage d’être homogène sur toute la surface du substrat, y compris pour les substrats de grande taille (plaquette de 300 mm de diamètre et plus). Il est en outre simple à mettre en œuvre, car il fait appel à des techniques maîtrisées de l’industrie microélectronique (dépôt, photolithographie, gravure, CMP…). Une particularité des motifs 20 représentés sur la est que les flancs 23 des motifs présentent un profil en marches d’escalier, et donc une rugosité importante (d’autant plus importante que l’épaisseur des tranches est élevée). Il peut être néanmoins considéré que les flancs 23 présentent une inclinaison moyenne. L’angle d’inclinaison moyen de chacun des flancs 23 d’un motif est égal à l’angle d’inclinaison α de son plan médian 22, lorsque la largeur L2 des tranches de niveau supérieur 203 est égale à la largeur L1 des tranches de niveau inférieur 201. Alternativement, l’angle d’inclinaison moyen d’un flanc 23 est inférieur ou supérieur à l’angle d’inclinaison α de son plan médian 22 (suivant qu’il s’agisse d’un flanc gauche ou d’un flanc droit), lorsque la largeur L2 des tranches de niveau supérieur 203 est inférieure ou supérieure à la largeur L1 des tranches de niveau inférieur 201. Dans un mode de mise en œuvre préférentiel illustré par les figures 3A, 3B et 4, le procédé de fabrication comprend plusieurs itérations des étapes S12 et S13 avant l’étape S14 de libération des motifs 20, afin de réaliser des motifs plus hauts et/ou des motifs dont les flancs 23 sont moins rugueux (en diminuant l’épaisseur des tranches). Les tranches de niveau supérieur 203 formées lors d’une itération de l’étape S13 deviennent alors les tranches de niveau inférieur lors d’une itération suivante de l’étape S13. Les figures 3A et 3B représentent, toujours en vue de coupe, l’empilement de couches obtenu respectivement après une deuxième itération de l’étape S12 et une deuxième itération de l’étape S13. En référence à la , une nouvelle couche de remplissage 202’ est formée sur la couche remplissage 202 déposée précédemment, en dehors des tranches de niveau supérieur 203 précédemment déposées (devenues les nouvelles tranches de niveau inférieur). De préférence, la nouvelle couche de remplissage 202’ est formée de la même façon que la précédente couche de remplissage 202 (comme décrit en relation avec la ). Le matériau sacrificiel de la couche de remplissage 202 peut varier d’une itération à l’autre de l’étape S12, tant que les différents matériaux utilisés peuvent être gravés sélectivement par rapport au(x) matériau(x) des tranches de motifs 201-203. En référence à la , de nouvelles tranches de niveau supérieur 203’ sont formées sur les tranches de niveau supérieur 203 précédemment déposées. L’épaisseur e2 et/ou le désalignement d des tranches de niveau supérieur 203 par rapport aux tranches de niveau (immédiatement) inférieur peuvent varier d’une itération à l’autre de l’étape S13. Enfin, la montre à titre d’exemple l’empilement de couches obtenu après quatre itérations de l’étape S12 et quatre itération de l’étape S13 (et avant l’étape S14 de libération des motifs 20). Dans cet exemple, l’épaisseur e2 et le désalignement d des tranches de niveau supérieur 203/203’ déposées successivement sont constants. La représente une étape supplémentaire S15 du procédé de fabrication consistant à lisser (ou aplanir) la surface des flancs 23 des motifs 20, afin de réduire leur rugosité de surface. Cette étape S15, facultative, est accomplie après l’étape S14 de libération des motifs 20, de préférence par gravure isotrope (gravure chimique sèche ou humide). En variante ou en complément de la gravure isotrope, le lissage des flancs peut être effectué par recuit thermique, notamment lorsque le matériau des motifs 20 est le silicium (le matériau sacrificiel pouvant être alors un oxyde de silicium). Lorsque le groupe de motifs inclinés 20 est utilisé en tant que réseau de diffraction, le lissage des flancs 23 permet d’améliorer le facteur de transmission optique du réseau, en supprimant les hautes fréquences dite de « rugosité » qui auraient pour conséquence de générer de la diffusion parasite. Supprimer ces hautes fréquences spatiales permet d’augmenter l’efficacité optique du réseau et de renvoyer plus de lumière dans la direction voulue en limitant les pertes. Néanmoins, on estime que la rugosité de surface des flancs 23 est sans incidence sur les performances optiques du réseau dès lors que la longueur d’onde du rayonnement est supérieure à 10 fois la rugosité de surface, exprimée en valeur moyenne quadratique. La est un graphique représentant l’évolution du profil d’un flanc 23 de motif 20, au fur et à mesure que la gravure isotrope progresse. Le profil situé le plus à gauche sur le graphique est le profil initial du flanc 23 (c.-à-d. avant gravure isotrope), en forme d’escalier. Les profils à droite du profil initial sont des exemples de profils, plus ou moins ondulés, susceptibles d’être obtenus à l’issue de la gravure isotrope. Plus la gravure est longue et/ou réactive, plus les flancs 23 des motifs 20 deviennent lisses. La chimie de la gravure (qui fixe la vitesse de gravure) et le temps de gravure sont déterminés en fonction du profil de flanc recherché. La montre également que le lissage des flancs par gravure isotrope a pour effet de réduire la largeur (en abscisses) et la hauteur (en ordonnées) des motifs 20. Le nombre et les dimensions des tranches de motif (201, 203, 203’) déposées successivement sur le substrat 10 sont avantageusement déterminées en prenant en compte la réduction de largeur et de hauteur subie lors de l’étape S15 de lissage des flancs, de sorte que les motifs 20 aient les dimensions souhaitées à l’issue de cette étape S15. Dans un mode de mise en œuvre particulier du procédé de fabrication, une couche de protection est formée aux sommets des motifs 20, autrement dit sur les tranches de niveau supérieur 203 déposées en dernier, afin de ralentir ou empêcher la réduction de hauteur des motifs lors de l’étape S15 de lissage des flancs. Les figures 7A-7E illustrent des étapes de ce mode de mise en œuvre particulier du procédé de fabrication. En référence à la , une couche de protection 204 est déposée sur la couche de matériau 203’’ destinée à former les tranches de niveau supérieur 203 lors d’une opération S131 de la dernière itération de l’étape S13 (ou de la seule étape S13). La couche de protection 204 est constituée d’un matériau présentant une résistance à la gravure de libération des motifs 20 (étape S14) et à la gravure isotrope de lissage des flancs (étape S15). Par exemple, dans le cas de motifs 20 en oxyde de silicium et d’une couche de remplissage 202 en silicium amorphe, la couche de protection peut être en un nitrure de silicium (ex. Si3N4). Puis, au cours d’une opération S132 de la même étape S13, illustrée par la , la couche de protection 204 est structurée en même temps que les tranches de niveau supérieur 203, autrement dit en utilisant le même masque de gravure. Ainsi, la couche de protection 204 est auto-alignée sur le sommet des motifs 20. Le procédé de fabrication se poursuit de la façon décrite précédemment, en relation avec les figures 2D et 5. En S14 (cf. ), les motifs 20 (« coiffés » de la couche de protection 204) sont libérés en gravant la (ou les) couche(s) de remplissage 202. Puis, en S15, les flancs 23 des motifs 20 sont lissés par gravure isotrope (cf. ). Enfin, le procédé de fabrication peut comprendre une étape S16 de retrait de la couche de protection 204, par gravure (sèche ou humide) sélective par rapport aux motifs 20 et, de préférence, par rapport au substrat 10. Par exemple, une couche de protection 204 en nitrure de silicium peut être gravée sélectivement par rapport à l’oxyde de silicium des motifs 20 et au silicium du substrat 10 dans un bain d’acide phosphorique (H 3 PO 4 ). Dans un mode de mise en œuvre du procédé de fabrication représenté par les figures 2D, 4 et 7E, tous les motifs 20 du groupe sont identiques et présentent la même inclinaison. Ils sont en outre espacés régulièrement. Le groupe de motifs constitue alors un seul réseau incliné. Par ailleurs, l’inclinaison de chaque motif 20 est constante, car l’épaisseur des tranches et le désalignement d sont constants. Dans une variante de mise en œuvre du procédé de fabrication illustrée par la , les motifs 20 du groupe sont répartis en plusieurs sous-groupes 80A-80B. Au sein de chaque sous-groupe, les motifs 20 sont identiques, espacés régulièrement et présentent la même inclinaison. En revanche, l’angle d’inclinaison α diffère entre les sous-groupes (par exemple, deux sous-groupes de motifs : α1 et α2, avec α1 > α2). Plusieurs réseaux inclinés peuvent être ainsi fabriqués simultanément. Une telle configuration peut être obtenue en choisissant des désalignements d différents entre les sous-groupes de motifs. En plus d’être simple à mettre en œuvre et applicable à des substrats de grande taille (en raison de son caractère « planaire »), le procédé de fabrication selon l’invention autorise un grand nombre de configurations de réseau de motifs. Les motifs 20 peuvent avoir un seul flanc incliné et un flanc droit (c.-à-d. perpendiculaire au substrat 10) ou deux flancs opposés et inclinés, selon le même angle d’inclinaison (moyen) ou selon des angles d’inclinaison (moyens) différents. Lorsque les flancs ne sont pas parallèles entre eux, on parlera de motifs ou structures aux formes non binaires, organisées en réseau ou non. Au même titre que l’inclinaison, les dimensions et/ou le pas de répétition des motifs 20 peuvent varier entre les sous-groupes de motifs. Par exemple, pour obtenir des motifs de hauteurs différentes, une solution consiste à ne pas former de nouvelles tranches de niveau supérieur 203’ pour certains motifs (en modifiant donc le masque de gravure). La couche de remplissage se substitue alors aux tranches de motif manquantes, avant qu’elle ne soit retirée sélectivement lors de l’étape S14 de libération de motifs. Comme illustré par la , une partie au moins des motifs 20 du groupe peuvent présenter une inclinaison variable au sein même du motif, autrement dit un angle d’inclinaison α qui varie sur la hauteur du motif (par exemple, α3 puis α4 avec α3 Des motifs inclinés 20 de forme évasée peuvent être obtenus en faisant varier (de façon monotone) la largeur L2 des tranches de niveau supérieur 203-203’ déposées successivement. Enfin, avec un tel procédé de fabrication, il est possible d’obtenir un groupe de motifs inclinés dans lequel tous les motifs sont différents (en termes de dimensions et/ou d’inclinaison). Il est également possible de fabriquer un groupe de motifs inclinés tel que décrit précédemment et, simultanément (grâce aux mêmes étapes de procédé), un groupe de motifs dans lequel les tranches de niveau supérieur reposent entièrement sur les tranches de niveau inférieur (pas de superposition entre les tranches de niveau supérieur et la couche de remplissage), par exemple des motifs en forme de pyramide. Procédé de fabrication d’un groupe de motifs (20) inclinés, les motifs étant disposés sur un substrat (10) et espacés les uns des autres, le procédé comprenant les étapes suivantes : former (S11) des tranches de motif, dites tranches de niveau inférieur (201), sur le substrat (10) ; former (S12) une couche de remplissage (202) en dehors des tranches de niveau inférieur (201) ; former (S13) des tranches de motif additionnelles, dites tranches de niveau supérieur (203), sur les tranches de niveau inférieur (201), chaque tranche de niveau supérieur (203) d’un motif (20) présentant un désalignement (d) par rapport à la tranche de niveau inférieur (201) dudit motif, de sorte que la tranche de niveau supérieur (203) repose en partie sur la couche de remplissage (202) ; libérer (S14) les motifs (20) en gravant la couche de remplissage (202) sélectivement par rapport aux tranches de niveau inférieur (201) et aux tranches de niveau supérieur (203). Procédé selon la revendication 1, dans lequel les tranches de motif (201, 203) d’un même niveau sont constituées d’un même matériau et présentent une même épaisseur. Procédé selon l’une des revendications 1 et 2, dans lequel les tranches de niveau inférieur (201) et les tranches de niveau supérieur (203) sont constituées d’un même matériau. Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel les tranches de niveau inférieur (201) et les tranches de niveau supérieur (203) présentent une même largeur (L1, L2). Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 4, comprenant plusieurs itérations des étapes b) et c) avant l’étape (S14) de libération des motifs (20), les tranches de niveau supérieur (203) formées lors d’une itération de l’étape b) devenant les tranches de niveau inférieur (201) lors d’une itération suivante de l’étape b). Procédé selon la revendication 5, dans lequel les tranches de niveau supérieur (203, 203’) d’un même motif (20) présentent le même désalignement (d). Procédé selon la revendication 5 dans lequel le désalignement (d) des tranches de niveau supérieur (203, 203’) varie au sein d’un même motif (20). Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 7, comprenant en outre, après l’étape (S14) de libération des motifs (20), une étape (S15) de lissage des flancs (23) des motifs (20). Procédé selon la revendication 8, dans lequel le lissage des flancs (23) des motifs (20) est obtenu par gravure isotrope des flancs des motifs (20). Procédé selon la revendication 9, comprenant en outre, avant l’étape (S14) de libération des motifs (20), la formation d’une couche de protection (204) aux sommets des motifs. Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 10, dans lequel les tranches (201, 203) d’un même motif (20) présentent une même épaisseur. Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 10, dans lequel les tranches (201, 203) d’un même motif présentent une épaisseur variable. Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 12, dans lequel le désalignement (d) des tranches de niveau supérieur (203) est le même pour tous les motifs (20) du groupe. Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 12, dans lequel les motifs du groupe sont répartis en plusieurs sous-groupes (80A, 80B), le désalignement (d) des tranches de niveau supérieur (203) étant le même pour tous les motifs (20) d’un sous-groupe et différent entre les sous-groupes (201, 203).