Brevet FR3123760A1 — publié le 20221209

Dispositif électronique à transistors La présente description concerne un dispositif électronique (300) comportant une région semiconductrice (312) située sur une couche (304) en nitrure de gallium, deux électrodes (314L, 314R), situées de part et d’autre et isolées de la région semiconductrice, les électrodes pénétrant partiellement dans la couche en nitrure de gallium et deux transistors MOS latéraux (T1, T2) formés dans et sur la région semiconductrice. Figure pour l'abrégé : Fig. 3 Dispositif électronique à transistors La présente description concerne de façon générale les dispositifs électroniques. La présente description concerne plus particulièrement les transistors à haute mobilité électronique (« High-Electron-Mobility Transistor » - HEMT, en anglais), ou transistors HEMT, et notamment les transistors HEMT normalement bloqués à base de nitrure de gallium (GaN) et les procédés de réalisation de tels transistors. Des transistors HEMT normalement bloqués à base de nitrure de gallium sont couramment utilisés par exemple dans des applications de conversion d’énergie électrique, pour des puissances typiquement comprises entre quelques milliwatts et plusieurs dizaines de watts. Il existe différents types de transistors HEMT normalement bloqués, notamment des transistors HEMT à grille isolée de type métal-isolant-semiconducteur (« Metal-Insulator-Semiconductor » - MIS, en anglais), ou transistors MIS-HEMT. De tels transistors présentent généralement une faible tension de seuil et une forte résistance à l’état passant, ce qui nuit à leurs performances. Il existe un besoin d’améliorer les transistors à haute mobilité électronique normalement bloqués à base de nitrure de gallium existants. Un mode de réalisation pallie tout ou partie des inconvénients des transistors à haute mobilité électronique normalement bloqués à base de nitrure de gallium existants. Un mode de réalisation prévoit un dispositif électronique comportant : – une région semiconductrice située sur une couche en nitrure de gallium ; – deux électrodes, situées de part et d’autre et isolées de la région semiconductrice, les électrodes pénétrant partiellement dans la couche en nitrure de gallium ; et – deux transistors MOS latéraux formés dans et sur la région semiconductrice. Selon un mode de réalisation, chaque transistor est configuré pour commander le passage d’un courant électrique entre l’une desdites électrodes et une ou plusieurs deuxièmes électrodes portées par la région semiconductrice. Selon un mode de réalisation, chaque transistor comprend une région de grille située à l’aplomb d’une région de canal comprise entre des régions de source et de drain formées dans la région semiconductrice. Selon un mode de réalisation, les régions de source des transistors sont dopées d’un premier type de conductivité et séparées par un puits formé dans la région semiconductrice et dopé d’un deuxième type de conductivité, opposé au premier type de conductivité. Selon un mode de réalisation, la région de drain de chaque transistor est reliée, par l’intermédiaire d’un gaz d’électrons bidimensionnel, à l’une desdites électrodes. Selon un mode de réalisation, le dispositif comporte en outre une ou plusieurs régions conductrices contactant les régions de drain des transistors et pénétrant partiellement dans la couche en nitrure de gallium. Selon un mode de réalisation, le dispositif comporte exactement deux régions conductrices revêtant des flancs opposés de la région semiconductrice situés en regard desdites électrodes et une seule deuxième électrode située entre les transistors. Selon un mode de réalisation, le dispositif comporte exactement deux régions conductrices comprenant des vias conducteurs situés de part et d’autre de la région semiconductrice et une seule deuxième électrode située entre les transistors. Selon un mode de réalisation, le dispositif comporte une seule région conductrice comprenant un via conducteur traversant la région semiconductrice et exactement deux deuxièmes électrodes situées de part et d’autre des transistors. Selon un mode de réalisation, la région semiconductrice pénètre partiellement à l’intérieur de la couche en nitrure de gallium. Selon un mode de réalisation, une partie inférieure de la région semiconductrice est isolée de la couche en nitrure de gallium. Selon un mode de réalisation, les premières électrodes sont destinées à être portées à un même potentiel. Selon un mode de réalisation, la région semiconductrice est en un matériau différent de celui de la couche en nitrure de gallium, de préférence en silicium ou en carbure de silicium. Un mode de réalisation prévoit un procédé de réalisation d’un dispositif tel que décrit, le procédé comprenant les étapes suivantes : a) former une tranchée à l’intérieur de la couche en nitrure de gallium ; b) former les premières électrodes de part et d’autre de la tranchée ; c) remplir la tranchée par la région semiconductrice ; et d) former les transistors MOS. Selon un mode de réalisation, le procédé comprend en outre, après l’étape d), l’étape de former la ou les deuxièmes électrodes. Selon un mode de réalisation, la ou les régions conductrices sont formées à l’étape b). Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation et modes de mise en œuvre particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la est une vue en coupe, schématique et partielle, d’un exemple de transistor ; la est un schéma électrique équivalent au transistor de la ; la est une vue en coupe, schématique et partielle, d’un dispositif électronique selon un premier mode de réalisation ; la est un schéma électrique équivalent au dispositif électronique de la ; la est une vue en coupe, schématique et partielle, d’un dispositif électronique selon un deuxième mode de réalisation ; la est une vue en coupe, schématique et partielle, d’un dispositif électronique selon un troisième mode de réalisation ; la est une vue en coupe, schématique et partielle, d’un dispositif électronique selon un quatrième mode de réalisation ; la est une vue en coupe, schématique et partielle, illustrant une étape d’un mode de mise en œuvre d’un procédé de réalisation du dispositif électronique de la ; la est une vue en coupe, schématique et partielle, illustrant une étape ultérieure du mode de mise en œuvre du procédé de réalisation du dispositif électronique de la ; la est une vue en coupe, schématique et partielle, illustrant encore une étape ultérieure du mode de mise en œuvre du procédé de réalisation du dispositif électronique de la ; la est une vue en coupe, schématique et partielle, illustrant encore une étape ultérieure du mode de mise en œuvre du procédé de réalisation du dispositif électronique de la ; la est une vue en coupe, schématique et partielle, illustrant encore une étape ultérieure du mode de mise en œuvre du procédé de réalisation du dispositif électronique de la ; la est une vue en coupe, schématique et partielle, illustrant encore une étape ultérieure du mode de mise en œuvre du procédé de réalisation du dispositif électronique de la ; la est une vue en coupe, schématique et partielle, illustrant encore une étape ultérieure du mode de mise en œuvre du procédé de réalisation du dispositif électronique de la ; et la est une vue en coupe, schématique et partielle, illustrant encore une étape ultérieure du mode de mise en œuvre du procédé de réalisation du dispositif électronique de la . Dispositif électronique (300 ; 500 ; 600 ; 700) comportant : – une région semiconductrice (312) située sur une couche (304) en nitrure de gallium ; – deux électrodes (314L, 314R), situées de part et d’autre et isolées de la région semiconductrice, les électrodes pénétrant partiellement dans la couche en nitrure de gallium ; et – deux transistors MOS latéraux (T1, T2) formés dans et sur la région semiconductrice. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel chaque transistor (T1, T2) est configuré pour commander le passage d’un courant électrique entre l’une desdites électrodes (314L, 314R) et une ou plusieurs deuxièmes électrodes (314C ; 702L, 702R) portées par la région semiconductrice (312). Dispositif selon la revendication 1 ou 2, dans lequel chaque transistor (T1, T2) comprend une région de grille (318G) située à l’aplomb d’une région de canal (318C) comprise entre des régions de source (318S) et de drain (318D) formées dans la région semiconductrice (312). Dispositif selon la revendication 3, dans lequel les régions de source (318S) des transistors (T1, T2) sont dopées d’un premier type de conductivité et séparées par un puits (324) formé dans la région semiconductrice (312) et dopé d’un deuxième type de conductivité, opposé au premier type de conductivité. Dispositif selon l’une quelconque des revendications 2 à 4, dans lequel la région de drain (318D) de chaque transistor (T1, T2) est reliée, par l’intermédiaire d’un gaz d’électrons bidimensionnel (2DEG), à l’une desdites électrodes (314L, 314R). Dispositif selon la revendication 5, comportant en outre une ou plusieurs régions conductrices (316L, 316R ; 704) contactant les régions de drain (318D) des transistors (T1, T2) et pénétrant partiellement dans la couche (304) en nitrure de gallium. Dispositif selon la revendication 6, comportant exactement deux régions conductrices (316L, 316R) revêtant des flancs opposés (312L, 312R) de la région semiconductrice (312) situés en regard desdites électrodes (314L, 314R) et une seule deuxième électrode (314C) située entre les transistors (T1, T2). Dispositif selon la revendication 6, comportant exactement deux régions conductrices (316L, 316R) comprenant des vias conducteurs (502L, 502R) situés de part et d’autre de la région semiconductrice (312) et une seule deuxième électrode (314C) située entre les transistors (T1, T2). Dispositif selon la revendication 6, comportant une seule région conductrice (704) comprenant un via conducteur (706) traversant la région semiconductrice (312) et exactement deux deuxièmes électrodes (702L, 702R) situées de part et d’autre des transistors (T1, T2). Dispositif selon l’une quelconque des revendications 1 à 9, dans lequel la région semiconductrice (312) pénètre partiellement à l’intérieur de la couche (304) en nitrure de gallium. Dispositif selon l’une quelconque des revendications 1 à 9, dans lequel une partie inférieure (312B) de la région semiconductrice (312) est isolée de la couche (304) en nitrure de gallium. Dispositif selon l’une quelconque des revendications 1 à 11, dans lequel les premières électrodes (314L, 314R) sont destinées à être portées à un même potentiel. Dispositif selon l’une quelconque des revendications 1 à 12, dans lequel la région semiconductrice (312) est en un matériau différent de celui de la couche en nitrure de gallium (304), de préférence en silicium ou en carbure de silicium. Procédé de réalisation d’un dispositif (300 ; 500 ; 600 ; 700) selon l’une quelconque des revendications 1 à 13, le procédé comprenant les étapes suivantes : a) former une tranchée (902) à l’intérieur de la couche (304) en nitrure de gallium ; b) former les premières électrodes (314L, 314R) de part et d’autre de la tranchée ; c) remplir la tranchée par la région semiconductrice (312) ; et d) former les transistors MOS (T1, T2). Procédé selon la revendication 14 de réalisation d’un dispositif selon la revendication 2, comprenant en outre, après l’étape d), l’étape de former la ou les deuxièmes électrodes (314C ; 702L, 702R). Procédé selon la revendication 14 de réalisation d’un dispositif selon la revendication 6, dans lequel la ou les régions conductrices (316L, 316R ; 704) sont formées à l’étape b).