Brevet FR3112780A1 — publié le 20220128

L’invention concerne un procédé de purification d’un polymère de fluorure de vinylidène comprenant au moins une impureté, comprenant les étapes suivantes : le lavage du polymère de fluorure de vinylidène avec un flux de fluide supercritique ; et l’extraction de fluide supercritique résiduel à partir du polymère de fluorure de vinylidène. L’invention concerne également un polymère de fluorure de vinylidène, une pièce de transport de fluide comprenant ou consistant en ce polymère, ainsi que l’utilisation de cette pièce de transport de fluide. Figure pour l’abrégé : pas de figure. Procédé de purification d’un polymère de fluorure de vinylidène Domaine de l’invention La présente invention concerne un procédé de purification d’un polymère de fluorure de vinylidène ainsi qu’un polymère de fluorure de vinylidène ayant une teneur réduite en impuretés. Arrière-plan technique Dans le domaine de l’électronique, les composants électroniques de type semi-conducteurs sont nettoyés avec de l’eau d’ultra haute pureté. Cette eau d’ultra haute pureté est généralement transportée par un système de distribution comprenant des tubes, vannes et coudes en polymère de fluorure de vinylidène. Pour ces applications, il existe des exigences très importantes en matière de pureté des polymères utilisés puisque les impuretés présentes dans les polymères peuvent être relarguées dans l’eau ultrapure. Cependant, lors de la fabrication du polymère, des impuretés telles que des ions, des métaux ou des molécules organiques de faibles poids moléculaire se trouvent piégées dans le polymère. Des procédés de purification de polymères fluorés utilisant un fluide supercritique sont connus. Par exemple, le document JP 2005-089524 décrit une méthode de purification d’une résine fluorée cristalline dans laquelle la résine fluorée est soumise à un lavage au dioxyde de carbone (CO 2 ) supercritique, en particulier pour extraire des impuretés fluorées de haut poids moléculaire. Le document US 2019/0338114 décrit un procédé de production d’un copolymère de fluorure de vinylidène et de tétrafluoroéthylène dans lequel le polymère préparé, après avoir été amidé, est mis en contact avec un fluide supercritique pour extraire de ce polymère un composant ayant une masse moléculaire comprise entre 202 et 903. Cependant, les procédés ci-dessus ne permettent pas une élimination suffisante des impuretés présentes dans les polymères de fluorure de vinylidène et peuvent entrainer une dégradation des propriétés mécaniques du polymère due à la présence de bulles dans le polymère, amenées par le traitement au CO 2 supercritique. Il existe donc un réel besoin d’un procédé de purification de polymères de fluorure de vinylidène permettant une élimination plus efficace des impuretés, et notamment des impuretés de faible poids moléculaire, telles que les ions ou les composés organiques volatiles (COV), et permettant de conserver (voire améliorer) les bonnes propriétés mécaniques et la couleur du polymère. L’invention concerne en premier lieu un procédé de purification d’un polymère de fluorure de vinylidène comprenant au moins une impureté, comprenant les étapes suivantes : le lavage du polymère de fluorure de vinylidène avec un flux de fluide supercritique ; l’extraction de fluide supercritique résiduel à partir du polymère de fluorure de vinylidène. Selon certains modes de réalisation, le polymère de fluorure de vinylidène est un homopolymère de polyfluorure de vinylidène ou un copolymère comprenant des motifs issus du fluorure de vinylidène et des motifs issus d’au moins un deuxième comonomère. Selon certains modes de réalisation, le fluide supercritique comprend du dioxyde de carbone supercritique. Selon certains modes de réalisation, le lavage du polymère de fluorure de vinylidène avec un flux de fluide supercritique est effectué dans un réacteur, de préférence un autoclave. Selon certains modes de réalisation, le lavage du polymère de fluorure de vinylidène avec un flux de fluide supercritique est effectué à une pression de 10 à 100 MPa, de préférence de 20 à 60 MPa ; et/ou à une température de 20 à 200°C, de préférence de 50 à 170°C. Selon certains modes de réalisation, la quantité de fluide supercritique utilisée pour le lavage du polymère de fluorure de vinylidène vaut de 1 à 30 kg par kg de polymère de fluorure de vinylidène et par heure, de préférence de 3 à 15 kg par kg de polymère de fluorure de vinylidène et par heure. Selon certains modes de réalisation, le fluide supercritique comprend un cosolvant polaire, de préférence choisi parmi l’eau et/ou l’éthanol. Selon certains modes de réalisation, l’extraction de fluide supercritique résiduel est effectuée par la mise en contact du polymère de fluorure de vinylidène après lavage avec un flux de gaz inerte et/ou par la mise sous vide du polymère de fluorure de vinylidène après lavage. Selon certains modes de réalisation, le gaz inerte est choisi dans le groupe constitué de l’air, du diazote, de l’hélium, de l’argon et des mélanges de ceux-ci. Selon certains modes de réalisation, le flux de gaz inerte est à une température de 20 à 140°C, de préférence de 70 à 120°C ; ou la mise sous vide est effectuée à une température de 10 à 100°C, de préférence de 20 à 80°C. Selon certains modes de réalisation, le lavage du polymère de fluorure de vinylidène avec un flux de fluide supercritique a lieu pendant une durée de 1 à 12 heures, de préférence de 3 à 10 heures ; et/ou l’extraction de fluide supercritique résiduel a lieu pendant une durée de 1 à 40 heures, de préférence de 5 à 30 heures. Selon certains modes de réalisation, l’au moins une impureté est choisie dans le groupe constitué des anions, en particulier les anions fluorure et/ou les anions carbonates, des composés organiques tels que des alcools, des acides carboxyliques et/ou des esters, et des mélanges de ceux-ci. Selon certains modes de réalisation, le polymère de fluorure de vinylidène lavé avec le flux de fluide supercritique est sous forme de granulés, de poudre ou d’une pièce moulée, de préférence sous forme de granulés. L’invention concerne également un polymère de fluorure de vinylidène présentant une teneur en composés organiques qui est inférieure ou égale à 1500 µg par m 2 de polymère et une teneur en anions fluorures inférieure ou égale à 500 µg par m 2 de polymère. Selon certains modes de réalisation, le polymère de fluorure de vinylidène ci-dessus est obtenu selon le procédé détaillé ci-dessus. Selon certains modes de réalisation, le polymère est sous forme de granulés. L’invention concerne également une pièce de transport de fluide comprenant ou consistant en le polymère de ci-dessus ou formée à partir des granulés ci-dessus. L’invention concerne également l’utilisation de la pièce ci-dessus pour le transport d’eau d’ultra haute pureté pour le nettoyage de composants électroniques. La présente invention permet de répondre au besoin exprimé ci-dessus. Elle fournit plus particulièrement un procédé de purification amélioré permettant l’obtention d’un polymère de fluorure de vinylidène présentant une excellente pureté par une élimination plus efficace des impuretés contenues dans le polymère, et en particulier des impuretés de faible poids moléculaire comme les ions ou les COV ou autres composés organiques de faible poids moléculaire. En outre le procédé de purification selon l’invention ne modifie pas la structure chimique du polymère purifié et n’entraine pas de dégradation de ses propriétés mécaniques ni de sa couleur. Cela est accompli grâce à la combinaison d’une étape de lavage du polymère de fluorure de vinylidène avec un fluide supercritique et d’une étape d’extraction de fluide supercritique résiduel à partir du polymère après l’étape de lavage. Le traitement du polymère avec le fluide supercritique permet l’élimination d’une partie des impuretés présentes dans le polymère et l’étape suivante d’extraction de fluide supercritique permet de désorber et d’éliminer le fluide supercritique resté piégé dans le polymère. De plus, le fluide supercritique désorbé pendant l’étape d’extraction entraine avec lui des impuretés organiques et ions, ce qui permet d’encore améliorer la pureté du polymère. Selon certains modes de réalisation, en particulier lorsque le fluide supercritique est du dioxyde de carbone supercritique, l’invention consiste en un procédé de purification respectueux de l’environnement, ne nécessitant pas l’utilisation de solvants nocifs pour l’environnement. De plus, la présente invention permet d’obtenir un polymère qui présente une teneur réduite en impuretés, notamment en composés organiques ainsi qu’en anions fluorure sans dégrader les propriétés mécaniques du polymère et sans affecter la couleur du polymère. Cela conduit à l’obtention d’un polymère de bonne qualité, présentant des bonnes propriétés mécaniques et ayant une pureté élevée permettant de limiter le relargage de ces impuretés lors de l’utilisation ultérieure de ce produit (par exemple lors de l’utilisation d’un tube ou conduit fabriqué par le polymère selon l’invention pour le transport de l’eau d’ultra haute pureté). Par « eau d’ultra haute pureté » on entend de l’eau ayant une teneur maximale en impuretés métalliques et anioniques de 0,1 parties par milliard (ppb) en poids, une teneur en carbone organique total (TOC) de 10 ppb en poids ou moins, une teneur en résidus non-volatiles de 0,1 parties par million (ppm) en poids ou moins, une résistivité de 18 MΩ.cm à 25°C ou plus, et une teneur en impuretés de silice réactive inférieure à 1 ppb, conformément à la norme semi F40. Description détaillée L’invention est maintenant décrite plus en détail et de façon non limitative dans la description qui suit. Procédé de purification L’invention concerne un procédé de purification d’un polymère de fluorure de vinylidène. Par « polymère de fluorure de vinylidène », on entend tout polymère comprenant des motifs issus du fluorure de vinylidène (VDF). Le polymère peut être un homopolymère ou un copolymère, tel qu’un bipolymère (c’est-à-dire un polymère issu de la polymérisation de deux monomères), un terpolymère (c’est-à-dire un polymère issu de la polymérisation de trois monomères) ou un quaterpolymère (c’est-à-dire un polymère issu de la polymérisation de quatre monomères). Par « copolymère », on entend un polymère issu de la copolymérisation d’au moins deux monomères. Le polymère de fluorure de vinylidène peut être un homopolymère de polyfluorure de vinylidène (PVDF). Le polymère peut alternativement être un copolymère comprenant des motifs issus du fluorure de vinylidène et des motifs issus d’au moins un deuxième comonomère. Le deuxième comonomère peut être choisi dans le groupe constitué de l’hexafluoropropylène, du fluoroéthylène ou fluorure de vinyle, des chlorofluoroéthylènes (1-chloro-1-fluoroéthylène et 1-chloro-2-fluoroéthylène), du trifluoroéthylène, des chlorodifluoroéthylènes (notamment 1-chloro-2,2-difluoroethylène), du 1-bromo-2,2-difluoroethylène, du bromotrifluoroéthylène, du chlorotrifluoroéthylène, du tétrafluoroéthylène, des trifluoropropènes (notamment le 3,3,3-trifluoropropène), des tétrafluoropropènes (notamment le 2,3,3,3-tétrafluoropropène ou le 1,3,3,3-tétrafluoropropène), des chlorotrifluoropropènes (notamment le 2-chloro-3,3,3-trifluoropropène), des pentafluoropropènes (notamment le 1,1,3,3,3-pentafluoropropène ou le 1,2,3,3,3-pentafluoropropène), des perfluoroalkylvinyléthers de formule générale Rf-O-CF-CF2, Rf étant un groupement alkyle, de préférence en C1 à C4, et notamment le PPVE (perfluoropropylvinyléther) et le PMVE (perfluorométhylvinyléther) ainsi que des combinaisons de ceux-ci. Le copolymère de fluorure de vinylidène peut aussi ou alternativement comprendre des motifs issus de monomères non fluorés tels que l’éthylène, ou des monomères acryliques tels que les acides et polyacides acrylique et méthacrylique. Le copolymère peut consister en des motifs issus du fluorure de vinylidène et des motifs issus d’au moins un deuxième comonomère tels que mentionnés ci-dessus. Le polymère de fluorure de vinylidène peut être tout mélange de deux ou plus des polymères mentionnés ci-dessus. Le polymère de fluorure de vinylidène à purifier comprend au moins une impureté. L’au moins une impureté peut provenir du milieu et des conditions de polymérisation du polymère lors de sa fabrication. Dans des modes de réalisation, la ou les impuretés peuvent être des composés organiques, tels que des alcools, des aldéhydes, des acides carboxyliques et/ou des esters, et/ou des ions, en particulier des anions, de préférences des anions fluorure (F - ) et/ou des carbonates. De préférence les composés organiques de masse molaire inférieure à 400 g/mol, de préférence encore inférieure à 200 g/mol . La quantité d’impuretés composés organiques peut être déterminée par une mesure du carbone organique total (ou TOC pour « total organic carbon »). La quantité de composés organiques ainsi que celle des anions fluorures est ainsi déterminée en utilisant les normes suivantes. La préparation des échantillons est effectuée selon la norme semi F40-0699 (après une dizaine de lavages à l’eau ultra pure, 50 g de polymère est placé dans un pot contenant 250 mL d’eau ultra pure puis mis à l’étuve à 85°C durant 7 jours). Les composés organiques et anions fluorure présents dans l’eau de lavage sont ensuite analysés selon les méthodes ASTM D4327 concernant la mesure des anions fluorure, et ASTM D4779 et D5904 concernant la mesure des composés organiques. Un échantillon témoin dépourvu de polymère est employé pour calibration. Les valeurs obtenues sont ensuite converties en équivalent µg/m 2 selon la norme semi C69-1015. La mesure est de préférence effectuée sur du polymère sous forme de granulés, mais elle peut également être effectuée sur du polymère sous forme de poudre. Lorsque le polymère est sous forme de pièce (notamment moulée), il est possible de découper une ou plusieurs pièces en fragments avant de réaliser la mesure. En particulier, le polymère de fluorure de vinylidène à purifier peut comprendre une teneur en composés organiques supérieure ou égale à 20000 µg/m 2 , de préférence supérieure ou égale à 30000 µg/m 2 . En particulier, le polymère de fluorure de vinylidène à purifier peut comprendre une teneur en ion fluorure supérieure ou égale à 1500 µg/m 2 , de préférence supérieure ou égale à 5000 µg/m 2 . Le polymère de fluorure de vinylidène est, selon une première étape, mis en contact avec un fluide supercritique afin de laver le polymère de fluorure de vinylidène avec le fluide supercritique. Le polymère de fluorure de vinylidène est de préférence sous forme solide lors de cette première étape. Il peut être sous toute forme adaptée, telle que sous forme de granulés, ou sous forme de poudre, ou sous forme de pièce moulée, par exemple sous sa forme finale, et notamment sous forme de tubes ou tuyaux. De préférence, le polymère est sous forme de granulés, ce qui permet une mise en œuvre plus facile de la première étape. Le polymère est soumis à un flux de fluide supercritique. En d’autres termes, le polymère est balayé par le fluide supercritique. Le flux de fluide supercritique permet l’extraction d’au moins une partie des impuretés du polymère. On récupère donc, après la mise en contact du fluide supercritique avec le polymère un flux de fluide supercritique chargé en impuretés. De préférence, pendant toute cette première étape de mise en contact du polymère avec le fluide supercritique, le flux de fluide supercritique est apporté de manière continue au polymère et le flux de fluide supercritique chargé en impuretés, après être entré en contact avec le polymère, est soutiré de manière continue. De manière avantageuse, l’étape de mise en contact du polymère avec le fluide supercritique est mise en œuvre dans un réacteur. De préférence, le réacteur est un autoclave. De manière particulièrement préférée, le polymère, de préférence sous forme de granulés, est disposé dans le réacteur. Le réacteur comprend de préférence une entrée pour le flux de fluide supercritique et une sortie pour le flux de fluide supercritique chargé en impuretés, le flux de fluide supercritique circulant de l’entrée à la sortie, l’entrée et la sortie du flux de fluide supercritique étant séparées par le lit de polymère de fluorure de vinylidène. Le fluide supercritique comprend un fluide supercritique dérivé d’un gaz inerte. De manière particulièrement préférée, le fluide supercritique comprend du dioxyde de carbone supercritique. Alternativement, ou en addition, le fluide supercritique peut comprendre du diazote supercritique et/ou de l’argon supercritique . De manière avantageuse, le fluide supercritique comprend au moins 80 % en poids de dioxyde de carbone, de préférence au moins 85 % en poids, de préférence encore au moins 90 % en poids, en particulier au moins 95 % en poids, ou au moins 98 % en poids, de dioxyde de carbone. Dans des modes de réalisation, le fluide supercritique consiste en du dioxyde de carbone supercritique. Le fluide supercritique peut comprendre au moins un cosolvant polaire. Le cosolvant polaire peut être choisi dans le groupe constitué de l’eau, de solvants organiques de la famille des alcools tels que l’éthanol, le propanol ou autre, et de leur mélange. De préférence, le colsovant polaire est compris dans le fluide supercritique en une quantité inférieure ou égale à 20 % en poids, de préférence inférieure ou égale à 15 % en poids, par exemple en une quantité de 5 à 15 % en poids, de préférence de 8 à 12 % en poids. La présence d’un cosolvant polaire dans le fluide supercritique peut permettre d’améliorer la purification en augmentant le spectre des impuretés extraites par le fluide supercritique. Dans cette étape, la quantité de fluide supercritique est avantageusement de 1 à 30 kg, de préférence de 3 à 15 kg, par kg de polymère de fluorure de vinylidène et par heure. En particulier, la quantité de fluide supercritique peut être de 1 à 3 kg, ou de 3 à 5 kg, ou de 5 à 8 kg, ou de 8 à 10 kg, ou de 10 à 12 kg, ou de 12 à 15, kg ou de 15 à 18 kg, ou de 18 à 20 kg, ou de 20 à 22 kg, ou de 22 à 25 kg, ou de 25 à 28 kg, ou de 28 à 30 kg. De préférence, l’étape de mise en contact du polymère de fluorure de vinylidène avec le fluide supercritique est effectuée à une pression de 10 à 100 MPa, de préférence de 20 à 60 MPa, de préférence encore de 20 à 50 MPa. Dans des modes de réalisation, la pression pour l’étape de mise en contact du polymère de fluorure de vinylidène avec le fluide supercritique est de 10 à 20 MPa, de 20 MPa à 30 MPa, de 30 MPa à 40 MPa, ou de 40 à 50 MPa, ou de 50 à 60 MPa, ou de 60 MPa, ou de 60 à 70 MPa, ou de 70 à 80 MPa, ou de 80 à 90 MPa, ou de 90 à 100 MPa. De préférence, l’étape de mise en contact du polymère de fluorure de vinylidène avec le fluide supercritique est effectuée à une température de 20 à 200°C, de préférence de 50 à 170°C. Dans des modes de réalisation, la température pour l’étape de mise en contact du polymère de fluorure de vinylidène avec le fluide supercritique vaut de 20 à 30°C, ou de 30 à 40°C, ou de 40 à 50°C, ou de 50 à 60°C, ou de 60 à 70°C, ou de 70 à 80°C, ou de 80 à 90°C, ou de 90 à 100°C, ou de 100 à 110°C, ou de 110 à 120°C, ou de 120 à 130°C, ou de 130 à 140°C, ou de 140 à 150°C, ou de 150 à 160°C, ou de 160 à 170°C, ou de 170 à 180°C, ou de 180 à 190°C, ou de 190 à 200°C. L’étape de mise en contact du polymère de fluorure de vinylidène avec le flux de fluide supercritique a de préférence une durée de 1 à 12 h, plus préférentiellement de 3 à 10 h, c’est-à-dire que le polymère de fluorure de vinylidène est balayé par le flux de fluide supercritique pendant cette durée. Dans des modes de réalisation, la durée de cette étape est de 1 à 2 h, ou de 2 à 3 h, ou de 3 à 4 h, ou de 4 à 5 h, ou de 5 à 6 h, ou de 6 à 7 h, ou de 7 à 8 h, ou de 8 à 9 h, ou de 9 à 10 h, ou de 10 à 11 h, ou de 11 à 12 h. Le flux de fluide supercritique chargé en impuretés, collecté après sa mise en contact avec le polymère de fluorure de vinylidène, peut subir un traitement pour séparer les impuretés du fluide supercritique, de manière à obtenir un fluide supercritique purifié. Un tel traitement peut être une purification sur charbon actif ou tamis moléculaire, un barbotage dans de l’eau suivi de séchage, une décompression suivie de séparation gaz/liquide ou une combinaison de plusieurs de ces méthodes. Le fluide supercritique purifié peut être recyclé, au moins en partie, de préférence en totalité, en tant que flux de fluide supercritique pour être mis en contact avec le polymère de fluorure de vinylidène. Le flux de fluide supercritique apporté au polymère de fluorure de vinylidène peut être du fluide supercritique purifié (recyclé) en totalité, ou en partie (le fluide supercritique purifié pouvant par exemple être mélangé à du fluide supercritique non-recyclé (appelé aussi « fluide supercritique neuf » dans le présent texte)). La fourniture du flux de fluide supercritique au polymère peut donc être faite en boucle ouverte (c’est-à-dire qu’un flux de fluide supercritique neuf est apporté au polymère) ou en boucle fermée (c’est-à-dire que le flux de fluide supercritique chargé en impuretés est au moins en partie purifié et au moins en partie recyclé pour être de nouveau apporté au polymère). A la suite de cette étape de mise en contact du polymère de fluorure de vinylidène avec un flux de fluide supercritique, on récupère un polymère de fluorure de vinylidène appauvri en impuretés. Le polymère de fluorure de vinylidène lavé et ainsi appauvri en impuretés est soumis à une deuxième étape de « dévolatilisation » ou autrement dit une étape d’extraction de fluide supercritique résiduel à partir du polymère de fluorure de vinylidène après lavage. Selon certains modes de réalisation, cette étape d’extraction peut être effectuée par la mise en contact du polymère de fluorure de vinylidène après lavage, avec un flux de gaz inerte. Ce gaz peut être choisi parmi l’air, du diazote, de l’hélium, de l’argon ainsi que des mélanges de ceux-ci. Selon certains modes de réalisation, le flux de gaz inerte peut être à une température de 20 à 140°C, et de préférence de 70 à 120°C. Cette température peut être par exemple de 20 à 30°C ; ou de 30 à 40°C ; ou de 40 à 50°C ; ou de 50 à 60°C ; ou de 60 à 70°C ; ou de 70 à 80°C ; ou de 80 à 90°C ; ou de 90 à 100°C ; ou de 100 à 110°C ; ou de 110 à 120°C ; ou de 120 à 130°C ; ou de 130 à 140°C. Dans le cas où l’étape d’extraction est effectuée par la mise en contact du polymère de fluorure de vinylidène après lavage, avec un flux de gaz inerte, cette étape peut être effectuée à une pression de 1 à 2 bars absolus, et de préférence encore de 1 à 1,5 bars absolus. Alternativement, cette étape d’extraction peut être effectuée par la mise sous vide du polymère de fluorure de vinylidène après lavage. Dans ce cas, la mise sous vide peut être effectuée à une température de 10 à 100°C, de préférence de 20 à 80°C. Cette mise sous vide peut par exemple être effectuée à température ambiante. Dans le cas où l’étape d’extraction est effectuée par la mise sous vide du polymère de fluorure de vinylidène après lavage, cette étape peut être effectuée à une pression de -0,9 à -0,01 bar relatif. L’étape d’extraction de fluide supercritique résiduel à partir du polymère de fluorure de vinylidène lavé peut avoir lieu pendant une durée de 1 à 40 h, de préférence de 5 à 30 h. Selon certains modes de réalisation, cette étape peut être effectuée dans le même réacteur (par exemple le même autoclave) utilisé pour la première étape. Selon d’autres modes de réalisation, cette étape peut être effectuée dans un réacteur différent de celui utilisé pour la première étape. A la fin de cette étape, on récupère un polymère de fluorure de vinylidène présentant une teneur encore diminuée en impuretés. Comme détaillé précédemment, cette impureté peut être choisie dans le groupe constitué des anions, en particulier les anions fluorure et/ou les anions carbonates, des composés organiques tels que des alcools, des acides carboxyliques et/ou des esters, et des mélanges de ceux-ci. Ainsi, le procédé selon l’invention (plus particulièrement la combinaison d’une étape de lavage du polymère de fluorure de vinylidène avec un flux de fluide supercritique et d’une étape d’extraction de fluide supercritique résiduel à partir du polymère de fluorure de vinylidène lavé) permet de réduire la teneur en impuretés dans le polymère purifié. Plus particulièrement, le procédé selon l’invention permet de réduire la teneur en composés organiques à une valeur supérieure ou égale à 90%, et de préférence supérieure ou égale à 95%. Par exemple cette teneur peut être réduite de 90 à 92% ; ou de 92 à 94% ; ou de 94 à 96% ; ou de 96 à 98% ; ou supérieur à 98%. De plus, le procédé selon l’invention permet de réduire la teneur en anions fluorure de 50 à 95 % (par rapport au polymère avant purification), et de préférence de 65 à 90 %. Par exemple cette teneur peut être de 50 à 55 % ; ou de 55 à 60 % ; ou de 60 à 65 % ; ou de 65 à 70 % ; ou de 70 à 75 % ; ou de 75 à 80 % ; ou de 80 à 85 % ; ou de 85 à 90 % ; ou de 90 à 95 % Les teneurs en composés organiques ainsi qu’en anions fluorure sont évaluées comme détaillé ci-dessus. Polymère de fluorure de vinylidène purifié Comme décrit précédemment dans la description, le polymère obtenu par le procédé détaillé ci-dessus, présente une teneur en impuretés (telles que décrites ci-dessus) réduite par rapport au polymère avant purification. Plus particulièrement, le polymère de fluorure de vinylidène selon l’invention présente une teneur en composés organiques inférieure ou égale à 1500 µg par m 2 de polymère. Par exemple, cette teneur peut être inférieure ou égale à 1500 µg par m 2 de polymère, ou inférieure ou égale à 1400 µg par m 2 de polymère, ou inférieure ou égale à 1300 µg par m 2 de polymère, inférieure ou égale à 1200 µg par m 2 de polymère, ou inférieure ou égale à 1100 µg par m 2 de polymère, ou inférieure ou égale à 1000 µg par m 2 de polymère, ou inférieure ou égale à 900 µg par m 2 de polymère, ou inférieure ou égale à 800 µg par m 2 de polymère, ou inférieure ou égale à 700 µg par m 2 de polymère, ou inférieure ou égale à 600 µg par m 2 de polymère, ou inférieure ou égale à 500 µg par m 2 de polymère. Dans certains modes de réalisation, le polymère présente une teneur en composés organiques allant de 10 à 1500 µg par m 2 de polymère, notamment de 100 à 1200 µg par m 2 de polymère, par exemple de 200 à 1000 µg par m 2 de polymère. De plus, le polymère de fluorure de vinylidène selon l’invention présente une teneur en anions fluorure inférieure ou égale à 500 µg par m 2 de polymère. Par exemple cette teneur peut être inférieure ou égale à 500 µg par m 2 de polymère, ou inférieure ou égale à 450 µg par m 2 de polymère, ou inférieure ou égale à 400 µg par m 2 de polymère, inférieure ou égale à 350 µg par m 2 de polymère, ou inférieure ou égale à 300 µg par m 2 de polymère, ou inférieure ou égale à 250 µg par m 2 de polymère, ou inférieure ou égale à 200 µg par m 2 de polymère, ou inférieure ou égale à 150 µg par m 2 de polymère, ou inférieure ou égale à 100 µg par m 2 de polymère. Dans certains modes de réalisation, le polymère présente une teneur en anions fluorure allant de 10 à 500 µg par m 2 de polymère, notamment de 20 à 200 µg par m 2 de polymère, par exemple de 30 à 100 µg par m 2 de polymère. Les teneurs en composés organiques, ainsi qu’en anions fluorure sont mesurées en utilisant la méthode décrite ci-dessus. Ainsi, le polymère selon l’invention présente une teneur en impuretés réduite (sans dégradation de ses propriétés mécaniques), ce qui permet de limiter le relargage des impuretés ultérieurement, c’est-à-dire lors de l’utilisation du produit. Les propriétés mécaniques incluent par exemple la température de dégradation thermique, la température de fusion, la température de cristallisation, la perte de poids à haute température (par exemple 270°C), l’indice de cristallinité, la résistance à la traction, l’allongement à la rupture et l’allongement au rendement. Selon certains modes de réalisation, la couleur du polymère purifié n’est pas affectée par le procédé de purification selon l’invention ce qui est traduit par un indice de jaune (ou « yellow index ») du polymère purifié inférieur à l’indice de jaune du polymère à purifier, voire est améliorée. Selon des modes de réalisation préférés, l’indice de jaune du polymère purifié est inférieur d’au moins 1, par rapport à l’indice de jaune du polymère à purifier. Cet indice est mesuré en utilisant la méthode NF EN ISO/CIE 11664-4 Juillet 2019. Le polymère selon l’invention peut être utilisé notamment pour fabriquer des pièces, notamment tubes, vannes ou coudes, pour le transport d’eau de très haute pureté pour le nettoyage de composants électroniques (comme des composés semi-conducteurs). Alternativement, le polymère être sous forme de telles pièces avant la mise en œuvre du procédé de l’invention permettant de le purifier. Exemples Les exemples suivants illustrent l'invention sans la limiter. Exemple 1 Dans un premier temps une comparaison est effectuée entre le procédé selon l’invention et un procédé étant dépourvu d’étape d’extraction de fluide supercritique résiduel. Pour cela, dans un réacteur de type autoclave un homo polymère de fluorure de vinylidène sous forme de granulés a été lavé avec un flux de dioxyde de carbone supercritique à une pression de 500 bars, à une température de 140°C, et avec un ratio quantité CO 2 / quantité de polymère/h égal à 15. La teneur du polymère à purifier en composés organiques est de 22536 µg/m 2 . Après cette étape, la teneur en composés organiques du polymère après lavage a été mesurée à 4341 µg/ m 2 comme décrit dans la description. On constate que la teneur en composés organiques a été réduite de 81%. Ensuite, le polymère obtenu après lavage subit une étape d’extraction de dioxyde de carbone résiduel par soufflage d’air filtré à 95°C pendant 20 heures. Après cette étape la teneur en composés organiques du polymère après lavage est mesurée à 980 µg/m 2 comme décrit dans la description. On constate que la teneur en composés organiques a été réduite de 96%. Par conséquent, le procédé selon l’invention et plus particulièrement la combinaison d’une étape de lavage du polymère de fluorure de vinylidène avec du dioxyde de carbone et d’une étape d’extraction de dioxyde de carbone résiduel à partir du polymère après l’étape de lavage, permet de réduire considérablement la teneur en composés organiques par rapport à un procédé dépourvu d’étape d’extraction. Exemple 2 Dans cet exemple, trois échantillons de polymère (A, B, C) ont été purifiés selon le procédé selon l’invention. Ces trois échantillons sont issus de lots de production différents issus d’une même recette et présentant des teneurs variables en composés organiques. La teneur en composés organiques et en anions fluorure a été mesurée pour chaque échantillon. Pour cela, dans un réacteur autoclave un homo polymère de fluorure de vinylidène sous forme de granulés a été lavé avec un flux de dioxyde de carbone supercritique à une pression de 300 bars, à une température de 130°C, et avec un ratio quantité CO 2 / quantité de polymère/h égal à 15. Les teneurs en composés organiques et en anions fluorure ont été mesurées comme détaillé dans la description et les résultats sont illustrés dans le tableau ci-dessous. A B C Valeurs avant traitement Teneur en composés organiques (par µg/m 2 de polymère) 22536 13361 16813 Teneur en anions fluorure (par µg/m 2 de polymère) 3876 3952 4131 Valeurs après traitement Teneur en composés organiques (par µg/m 2 de polymère) 1374 1001 813 Teneur en anions fluorure (par µg/m 2 de polymère) 374 362 438 On constate ainsi que les trois échantillons de polymère après traitement présentent une teneur en composés organiques inférieure à 1500 µg par m 2 de polymère et une teneur en anions fluorure inférieure à 500 µg par m 2 de polymère, ce qui permet de conclure que les polymères purifiés selon le procédé selon l’invention ont une pureté élevée et peuvent être utilisés sans risque de relargage ultérieur des impuretés. Exemple 3 Dans cet exemple, l’indice de jaune de ces trois échantillons (A, B, C) a été mesurée avant et après purification selon le procédé selon l’invention. La méthode utilisée pour mesurer l’indice de jaune est la NF EN ISO/CIE 11664-4 de juillet 2019 Les résultats sont illustrés dans le tableau ci-dessous. Echantillon A B C Indice de jaune avant purification 7,3 5,4 2,8 Indice de jaune après purification 6 3,7 1,7 On constate que la purification du polymère selon l’invention n’affecte pas négativement la couleur du polymère obtenu. Plus particulièrement, on constate qu’après purification, le polymère purifié présente un indice de jaune réduit par rapport au polymère avant purification, ce qui permet de conclure que la couleur du polymère purifié est améliorée. Exemple 4 Dans cet exemple, les propriétés mécaniques d’un échantillon de polymère sous forme de granulés ont été comparés avant et après purification (échantillons D-avant purification et E-après purification) selon le procédé de la présente invention décrit dans l’exemple 2. Les propriétés mécaniques suivantes ont été étudiées : Stabilité thermique mesurée par TGA (analyse thermogravimétrique), selon la norme ISO 11358-1: Echantillon Température de début de dégradation Perte au cours d’une isotherme de 1 heure à 270°C D 433,2 0,1 E 431,7 0,1 Cristallinité anisotherme mesurée par DSC (calorimétrie différentielle à balayage), selon la norme ISO 11357-3 : Echantillon 1 ère chauffe Refroidissement 2eme chauffe T g (°C) T f (°C) Enthalpie (J/g) T c (°C) Enthalpie (J/g) T g (°C) Tf (°C) Enthalpie (J/g) D -41,3 168,5 55 138.0 59 -41,7 166,4 61 E -41,4 170,9 68 138.2 58 -43,5 165,4 60 Cinétique de cristallisation mesurée par DSC (calorimétrie différentielle à balayage) selon la norme ISO 11357-3 : Echantillon Temps de demi-cristallisation à 152°C Après 20 min à 220°C Après 20 min à 270°C D 11,7 22,2 E 11,6 22,0 En se basant sur les tableaux ci-dessus, on constate que les propriétés mécaniques du polymère ne sont pas négativement influencées par le procédé de purification selon l’invention. Ainsi, le procédé selon l’invention permet d’obtenir un polymère purifié en maintenant des bonnes propriétés mécaniques du polymère. Procédé de purification d’un polymère de fluorure de vinylidène comprenant au moins une impureté, comprenant les étapes suivantes : le lavage du polymère de fluorure de vinylidène avec un flux de fluide supercritique ; l’extraction de fluide supercritique résiduel à partir du polymère de fluorure de vinylidène. Procédé de purification selon la revendication 1, dans lequel le polymère de fluorure de vinylidène est un homopolymère de polyfluorure de vinylidène ou un copolymère comprenant des motifs issus du fluorure de vinylidène et des motifs issus d’au moins un deuxième comonomère. Procédé de purification selon la revendication 1 ou 2, dans lequel le fluide supercritique comprend du dioxyde de carbone supercritique. Procédé de purification selon l’une des revendications 1 à 3, dans lequel le lavage du polymère de fluorure de vinylidène avec un flux de fluide supercritique est effectué dans un réacteur, de préférence un autoclave. Procédé de purification selon l’une des revendications 1 à 4, dans lequel le lavage du polymère de fluorure de vinylidène avec un flux de fluide supercritique est effectué à une pression de 10 à 100 MPa, de préférence de 20 à 60 MPa ; et/ou à une température de 20 à 200°C, de préférence de 50 à 170°C. Procédé de purification selon l’une des revendications 1 à 5, dans lequel la quantité de fluide supercritique utilisée pour le lavage du polymère de fluorure de vinylidène vaut de 1 à 30 kg par kg de polymère de fluorure de vinylidène et par heure, de préférence de 3 à 15 kg par kg de polymère de fluorure de vinylidène et par heure. Procédé de purification selon l’une des revendications 1 à 6, dans lequel le fluide supercritique comprend un cosolvant polaire, de préférence choisi parmi l’eau et/ou l’éthanol. Procédé de purification selon l’une des revendications 1 à 7, dans lequel l’extraction de fluide supercritique résiduel est effectuée par la mise en contact du polymère de fluorure de vinylidène après lavage avec un flux de gaz inerte et/ou par la mise sous vide du polymère de fluorure de vinylidène après lavage. Procédé de purification selon la revendication 8, dans lequel le gaz inerte est choisi dans le groupe constitué de l’air, du diazote, de l’hélium, de l’argon et des mélanges de ceux-ci. Procédé de purification selon la revendication 8 ou 9, dans lequel le flux de gaz inerte est à une température de 20 à 140°C, de préférence de 70 à 120°C ; ou la mise sous vide est effectuée à une température de 10 à 100°C, de préférence de 20 à 80°C. Procédé de purification selon l’une des revendications 1 à 10, dans lequel le lavage du polymère de fluorure de vinylidène avec un flux de fluide supercritique a lieu pendant une durée de 1 à 12 heures, de préférence de 3 à 10 heures ; et/ou l’extraction de fluide supercritique résiduel a lieu pendant une durée de 1 à 40 heures, de préférence de 5 à 30 heures. Procédé de purification selon l’une des revendications 1 à 11, dans lequel l’au moins une impureté est choisie dans le groupe constitué des anions, en particulier les anions fluorure et/ou les anions carbonates, des composés organiques tels que des alcools, des acides carboxyliques et/ou des esters, et des mélanges de ceux-ci. Procédé de purification selon l’une des revendications 1 à 12, dans lequel le polymère de fluorure de vinylidène lavé avec le flux de fluide supercritique est sous forme de granulés, de poudre ou d’une pièce moulée, de préférence sous forme de granulés. Polymère de fluorure de vinylidène présentant une teneur en composés organiques qui est inférieure ou égale à 1500 µg par m 2 de polymère et une teneur en anions fluorures inférieure ou égale à 500 µg par m 2 de polymère. Polymère de fluorure de vinylidène selon la revendication 14 obtenu selon le procédé selon l’une des revendications 1 à 13. Polymère selon la revendication 14 ou 15, étant sous forme de granulés. Pièce de transport de fluide comprenant ou consistant en le polymère de l’une des revendications 14 ou 15 ou formée à partir des granulés selon la revendication 16. Utilisation de la pièce de la revendication 17 pour le transport d’eau d’ultra haute pureté pour le nettoyage de composants électroniques.