Brevet FR3103319A1 — publié le 20210521

Capteur (100) de motif thermique comportant une matrice de pixels (102), chaque pixel comprenant : - une première portion électriquement conductrice (106) disposée sur une face (105) d’un substrat (104) ; - une première portion de matériau pyroélectrique (108) telle que la première portion électriquement conductrice soit disposée entre la première portion de matériau pyroélectrique et le substrat ; - une deuxième portion électriquement conductrice (110) telle que la première portion de matériau pyroélectrique soit disposée entre les première et deuxième portions électriquement conductrices ; - une deuxième portion de matériau pyroélectrique (112) telle que la deuxième portion électriquement conductrice soit disposée entre les première et deuxième portions de matériau pyroélectrique ; - une troisième portion électriquement conductrice (114) telle que la deuxième portion de matériau pyroélectrique soit disposée entre les deuxième et troisième portions électriquement conductrices. Figure pour l’abrégé : figure 1. CAPTEUR DE MOTIF THERMIQUE COMPORTANT DEUX COUCHES DE MATERIAUX PYROELECTRIQUES L’invention se rapporte à un capteur de motif thermique exploitant les propriétés de pyroélectricité d’un matériau et formant avantageusement un capteur d’empreinte digitale. La détection d’empreinte digitale peut être réalisée par des capteurs dits « passifs » exploitant une différence de températures entre celle du doigt et celle du capteur, comme décrit dans les documents US 4 394 773, US 4 429 413 et US 6 289 114. Au niveau des crêtes de l’empreinte, la peau du doigt est en contact physique direct avec le capteur. Un transfert thermique entre la peau et la surface de contact du capteur s’effectue par conduction, ce qui conduit à une première variation temporelle de température. Au niveau des vallées de l’empreinte, la peau du doigt n’est pas en contact physique direct avec le capteur. Un transfert thermique entre la peau et la surface de contact du capteur s’effectue à travers l’air qui est plutôt un isolant thermique, ce qui conduit à une seconde variation temporelle de température, moins importante. La différence entre ces deux variations temporelles de température se traduit par une différence entre des signaux mesurés par les capacités pyroélectriques du capteur, selon qu’elles se trouvent sous une vallée ou sous une crête de l’empreinte. L’image de l’empreinte présente donc un contraste qui dépend de cette différence. Ces capteurs passifs ont pour inconvénient de réaliser une mesure qui dépend uniquement de la différence entre la température du doigt et la température du capteur. Ainsi, après quelques secondes de contact entre le doigt et le capteur, la température du doigt et la température de la surface de contact du capteur s’homogénéisent, et il n’est plus possible d’obtenir un contraste satisfaisant. Il peut également arriver que le niveau du signal obtenu soit nul lorsque le doigt et le capteur sont à la même température, ou encore que le contraste des images capturées varie, ce qui pose alors des problèmes lors du traitement ultérieur des images obtenues (par exemple, une inversion des températures entraîne une inversion de l’image obtenue). Un autre type de capteur, de type actif, offre une solution à ce problème grâce à l’ajout d’éléments chauffants sous la surface de contact du capteur. Un tel capteur est décrit par exemple dans la demande de brevet EP 2 385 486 A1. Les éléments chauffants dissipent une certaine quantité de chaleur dans chaque pixel du capteur et l’échauffement des pixels est mesuré au bout d’un certain temps. La variation de température obtenue au sein des pixels est donc importante au niveau des vallées de l’empreinte où la chaleur est peu transférée au doigt grâce à l’air présent entre les vallées et le capteur, et plus faible au niveau des crêtes de l’empreinte où la chaleur est transférée directement au doigt par conduction. Cela conduit à une température finale plus faible dans le cas d’un pixel en présence d’une crête de l’empreinte, où la chaleur est absorbée par la peau, par rapport à un pixel en présence d’une vallée de l’empreinte où la chaleur est plutôt conservée dans le pixel. Cela permet d’améliorer et de conserver au cours du temps, le contraste d’une image acquise à l’aide dudit capteur. Un capteur de motif thermique comporte des moyens de détection thermique qui peuvent être des éléments pyroélectriques, des diodes, des thermistances ou tout autre élément sensible à la température permettant de convertir une variation de température en une variation de potentiel ou de courant électrique. Plus particulièrement, un capteur de type pyroélectrique comporte une matrice de capacités pyroélectriques disposées sur un substrat. Chaque capacité pyroélectrique comporte une couche en matériau pyroélectrique disposée entre une électrode inférieure et une électrode supérieure. Une de ces deux électrodes est portée à un potentiel constant, et forme une électrode de référence. L’autre électrode collecte des charges pyroélectriques, générées par le matériau pyroélectrique en réponse à une variation de température. L’électrode supérieure est recouverte d’une couche de protection sur laquelle l’élément dont le motif thermique est mesuré, par exemple un doigt, est destiné à être disposé lors de la mesure. Dans le cas d’un capteur thermique actif, le capteur est également muni d’un élément chauffant. Cet élément chauffant est par exemple réalisé sous la forme d’un serpentin entourant partiellement les électrodes supérieures et permettant de chauffer latéralement les capacités pyroélectriques, au niveau des électrodes supérieures. Chaque capacité pyroélectrique forme un transducteur qui traduit une variation temporelle de température en un signal électrique tel qu’une différence de potentiels électriques. Lorsque le capteur doit avoir une surface importante et être réalisé avec un faible coût, il est avantageusement réalisé en technologie dite imprimée, ou par impression, moins onéreuse que la lithographie sur semi-conducteur. Différentes portions de matériaux formant les éléments des pixels du capteur peuvent dans ce cas être réalisées avec des encres suffisamment stables pour ne pas nécessiter d’encapsulation très performante. La réalisation d’au moins une partie des éléments du capteur est envisageable par impression sur des substrats souples, par exemple sur des substrats plastiques simples. Des défauts de fabrication du capteur peuvent toutefois dégrader les performances du capteur. Par exemple, des poussières s’interposant dans l’empilement de couches du capteur peuvent générer des courants de fuite entre les électrodes du capteur. Ces courants de fuite sont défavorables à une bonne polarisation du matériau pyroélectrique, et limitent également le chauffage du matériau pyroélectrique réalisé dans un capteur thermique actif, ce qui réduit la sensibilité du capteur. Un but de la présente invention est de proposer un capteur de motif thermique à capacités pyroélectriques présentant une meilleure robustesse vis-à-vis des éventuels défauts pouvant survenir au cours de la fabrication du capteur. Pour cela, la présente invention propose un capteur de motif thermique comportant une matrice de pixels, chaque pixel comprenant au moins : - une première portion électriquement conductrice disposée sur une face d’un substrat ; - une première portion de matériau pyroélectrique telle que la première portion électriquement conductrice soit disposée entre la première portion de matériau pyroélectrique et le substrat ; - une deuxième portion électriquement conductrice telle que la première portion de matériau pyroélectrique soit disposée entre les première et deuxième portions électriquement conductrices ; - une deuxième portion de matériau pyroélectrique telle que la deuxième portion électriquement conductrice soit disposée entre les première et deuxième portions de matériau pyroélectrique ; - une troisième portion électriquement conductrice telle que la deuxième portion de matériau pyroélectrique soit disposée entre les deuxième et troisième portions électriquement conductrices. Chaque pixel du capteur comporte donc deux capacités pyroélectriques : l’une formée par les première et deuxième portions électriquement conductrices entre lesquelles est disposée la première portion de matériau pyroélectrique, et l’autre formée par les deuxième et troisièmes portions électriquement conductrices entre lesquelles est disposée la deuxième portion de matériau pyroélectrique. La lecture de l’information thermique capturée par chaque pixel peut donc être réalisée par l’une ou l’autre des deux capacités pyroélectriques. Dans un pixel, si l’une des deux capacités pyroélectriques est défaillante (par exemple une poussière présente entre deux portions de matériaux de l’une des deux capacités pyroélectriques), l’autre capacité pyroélectrique non défaillante du pixel peut être utilisée pour lire l’information thermique reçue par ce pixel. Les matériaux pyroélectriques utilisés sont également diélectriques. La matrice de pixels peut être formée par un empilement de couches comprenant au moins : - une première couche électriquement conductrice structurée disposée sur le substrat et formant les premières portions électriquement conductrices, - une première couche de matériau pyroélectrique disposée sur la première couche électriquement conductrice structurée, c’est-à-dire sur les parties de matériau électriquement conducteur de cette couche et dans les parties structurées de cette couche (entre les parties de matériau électriquement conducteur de cette couche), - une deuxième couche électriquement conductrice disposée sur la première couche de matériau pyroélectrique, - une deuxième couche de matériau pyroélectrique disposée sur la deuxième couche électriquement conductrice, - une troisième couche électriquement conductrice structurée disposée sur la deuxième couche de matériau pyroélectrique. Pour chaque capacité pyroélectrique, les première, deuxième et troisième portions électriquement conductrices et les première et deuxième portions de matériau pyroélectrique forment un empilement de ces éléments disposé sur le substrat. Dans chaque pixel, l’épaisseur de la première portion de matériau pyroélectrique peut être supérieure à celle de la deuxième portion de matériau pyroélectrique. Une telle configuration permet de limiter l’impact des poussières déposées sur les premières portions de matériau pyroélectrique ou sur d’autres éléments se trouvant sur les premières portions de matériau pyroélectrique lors de la réalisation du capteur. Le capteur peut être tel que, dans chaque pixel, des dipôles du matériau de l’une seulement des première et deuxième portions de matériau pyroélectrique sont orientés selon une direction définie par une polarisation initiale de ladite une des première et deuxième portions de matériau pyroélectrique. Dans ce cas, dans chaque pixel, l’autre des première et deuxième portions de matériau pyroélectrique non polarisé forme une capacité pyroélectrique de secours du pixel pouvant être activée lorsqu’une défaillance est détectée dans l’autre capacité pyroélectrique du pixel. En variante, dans chaque pixel, des dipôles des matériaux des première et deuxième portions de matériau pyroélectrique peuvent être orientés selon une même direction définie par une polarisation initiale des première et deuxième portions de matériau pyroélectrique. Selon une autre variante, dans chaque pixel, des dipôles des matériaux des première et deuxième portions de matériau pyroélectrique peuvent être orientés selon des directions différentes définies par des polarisations initiales des première et deuxième portions de matériau pyroélectrique. Avec un tel capteur, un faible courant de fuite, de l’ordre de 0,1 µA, peut être obtenu, et la sensibilité du capteur peut être améliorée d’environ 30 %. Les deuxièmes portions électriquement conductrices des pixels peuvent être formées par une couche électriquement conductrice commune à tous les pixels et reliée à la masse. Dans ce cas, cette couche électriquement conductrice sert de couche de blindage, notamment contre les décharges électrostatiques (ESD). Le capteur peut comporter en outre une couche de protection comprenant un matériau diélectrique et recouvrant les pixels, et telle que, dans chaque pixel, la troisième portion électriquement conductrice soit disposée entre la couche de protection et la deuxièmes portion de matériau pyroélectrique du pixel. Le capteur peut être tel que : - les premières portions électriquement conductrices des pixels sont formées par des premières bandes de matériau électriquement conducteur parallèles et espacées les unes des autres, chaque première bande de matériau électriquement conducteur formant les premières portions électriquement conductrices de tous les pixels d’une même ligne de la matrice de pixels, et - les troisièmes portions électriquement conductrices des pixels sont formées par des deuxièmes bandes de matériau électriquement conducteur parallèles et espacées les unes des autres et orientées perpendiculairement aux premières bandes de matériau électriquement conducteur, chaque deuxième bande de matériau électriquement conducteur formant les troisièmes portions électriquement conductrices de tous les pixels d’une même colonne de la matrice de pixels. Dans ce cas, le capteur peut être tel que : - les premières bandes de matériau électriquement conducteur forment des électrodes de lecture des pixels et les deuxièmes bandes de matériau électriquement conducteur forment des éléments chauffants des pixels, ou - les deuxièmes bandes de matériau électriquement conducteur forment des électrodes de lecture des pixels et les premières bandes de matériau électriquement conducteur forment des éléments chauffants des pixels. Le capteur peut être tel que : - le substrat comprend au moins un matériau plastique, et/ou - les premières et troisièmes portions électriquement conductrices comportent au moins l’un des matériaux suivants : argent, or, cuivre, nickel, carbone, graphène, polymère conducteur, et/ou - les deuxièmes portions électriquement conductrices comportent du PEDOT:PSS. De tels matériaux sont adaptés pour une réalisation au moins partielle du capteur de motif thermique par impression. Le capteur de motif thermique peut être un capteur d’empreinte digitale. L’invention concerne également un procédé de réalisation d’un capteur de motif thermique comportant une matrice de pixels, comprenant la mise en œuvre des étapes suivantes : - réalisation de premières portions électriquement conductrices sur une face d’un substrat, chaque pixel comprenant l’une des premières portions électriquement conductrices ; - réalisation d’une première couche de matériau pyroélectrique sur les premières portions électriquement conductrices, formant dans chaque pixel une première portion de matériau pyroélectrique telle que la première portion électriquement conductrice du pixel soit disposée entre la première portion de matériau pyroélectrique du pixel et le substrat ; - réalisation d’une couche électriquement conductrice sur la première couche de matériau pyroélectrique, formant dans chaque pixel une deuxième portion électriquement conductrice telle que la première portion de matériau pyroélectrique du pixel soit disposée entre les première et deuxième portions électriquement conductrices du pixel ; - réalisation d’une deuxième couche de matériau pyroélectrique sur la couche électriquement conductrice, formant dans chaque pixel une deuxième portion de matériau pyroélectrique telle que la deuxième portion électriquement conductrice du pixel soit disposée entre les première et deuxième portions de matériau pyroélectrique du pixel ; - réalisation de troisièmes portions électriquement conductrices sur la deuxième couche de matériau pyroélectrique, chaque pixel comprenant l’une des troisièmes portions électriquement conductrices telle que la deuxième portion de matériau pyroélectrique du pixel soit disposée entre les deuxième et troisième portions électriquement conductrices du pixel. Le procédé peut comporter en outre, après la réalisation des troisièmes portions électriquement conductrices, la mise en œuvre d’une polarisation initiale du matériau de l’une seulement des première et deuxième couches de matériau pyroélectrique comportant l’application d’une tension électrique continue entre la couche électriquement conductrice et les premières portions électriquement conductrices ou entre la couche électriquement conductrice et les troisièmes portions électriquement conductrices. En variante, le procédé peut comporter en outre, après la réalisation des troisièmes portions électriquement conductrices, la mise en œuvre d’une polarisation initiale des matériaux des première et deuxième couches de matériau pyroélectrique comportant l’application de tensions électriques continues entre la couche électriquement conductrice et les premières portions électriquement conductrices et entre la couche électriquement conductrice et les troisièmes portions électriquement conductrices. Le procédé peut comporter en outre, après la réalisation des troisièmes portions électriquement conductrices, la réalisation d’une couche de protection comprenant un matériau diélectrique et recouvrant les pixels, et telle que, dans chaque pixel, la troisième portion électriquement conductrice soit disposée entre la couche de protection et la deuxième portion de matériau pyroélectrique du pixel. Le procédé peut être tel que : - les premières portions électriquement conductrices des pixels sont réalisées sous la forme de premières bandes de matériau électriquement conducteur parallèles et espacées les unes des autres, chaque première bande de matériau électriquement conducteur formant les premières portions électriquement conductrices de tous les pixels d’une même ligne de la matrice de pixels, et - les troisièmes portions électriquement conductrices des pixels sont réalisées sous la forme de deuxièmes bandes de matériau électriquement conducteur parallèles et espacées les unes des autres et orientées perpendiculairement aux premières bandes de matériau électriquement conducteur, chaque deuxième bande de matériau électriquement conducteur formant les troisièmes portions électriquement conductrices de tous les pixels d’une même colonne de la matrice de pixels. La réalisation des premières portions électriquement conductrices et/ou la réalisation de la première couche de matériau pyroélectrique et/ou la réalisation de la couche électriquement conductrice et/ou la réalisation de la deuxième couche de matériau pyroélectrique et/ou la réalisation des troisièmes portions électriquement conductrices peuvent comporter la mise en œuvre de dépôts par impression. Un dépôt par impression correspond par exemple à la réalisation d’un dépôt de matériau par au moins l’une des techniques suivantes : sérigraphie, héliogravure, jet d’encre, flexographie, ou encore gravure offset. Les éléments décrits dans cette demande pour la détection d’empreinte digitale s’appliquent également à la détection d’un motif thermique autre qu’une empreinte digitale, l’élément dont le motif thermique à détecter étant disposé sur le capteur lors de la mesure. La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d’exemples de réalisation donnés à titre purement indicatif et nullement limitatif en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels : et représentent un capteur de motif thermique, objet de la présente invention, selon un mode de réalisation particulier. Des parties identiques, similaires ou équivalentes des différentes figures décrites ci-après portent les mêmes références numériques de façon à faciliter le passage d’une figure à l’autre. Les différentes parties représentées sur les figures ne le sont pas nécessairement selon une échelle uniforme, pour rendre les figures plus lisibles. Les différentes possibilités (variantes et modes de réalisation) doivent être comprises comme n’étant pas exclusives les unes des autres et peuvent se combiner entre elles. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Un capteur de motif thermique 100 est décrit ci-dessous en lien avec les figures 1 et 2 qui représentent des vues en coupe d’une partie du capteur 100 selon un mode de réalisation particulier. La figure 1 correspond à une vue en coupe du capteur 100 selon un axe AA visible sur la figure 2, et la figure 2 correspond à une vue de dessus du capteur 100. Le capteur 100 comporte une matrice de pixels 102 réalisée sur un substrat 104, et plus particulièrement sur une première face 105 du substrat 104. Le substrat 104 est ici un substrat souple à base de matériau plastique, comprenant par exemple du polyimide et/ou du PEN (poly(naphtalate d'éthylène)) et/ou du PET (poly(téréphtalate d'éthylène)), sur lequel les différents éléments du capteur 100 (capacités pyroélectriques dans le cas présent) sont réalisés en technologie imprimée. En variante, il est possible que le substrat 102 ne corresponde pas à un substrat souple à base de matériau plastique, mais corresponde à un substrat rigide tel qu’utilisé classiquement dans la filière microélectronique, comme par exemple un substrat semi-conducteur (silicium, germanium, etc.) ou un substrat de verre ou bien un substrat de saphir. L’épaisseur du substrat 104 (dimension selon l’axe Z représenté sur les figures 1 et 2) est par exemple égale à environ 125 µm ou plus généralement comprise entre environ 50 µm et 250 µm. Les pixels 102 du capteur 100 sont disposés en formant une matrice de plusieurs lignes et plusieurs colonnes de pixels 102. Le pas des pixels 102 (distance entre les centres de deux pixels 102 voisins), dans le plan (X,Y) (c'est-à-dire un plan parallèle aux faces principales du substrat 104), est par exemple compris entre environ 50 µm et plusieurs centimètres. Dans le cas d’un capteur de résolution égale à 500 dpi (« dot per inch »), le pas des pixels 102 est égal à 50,8 µm. Sur la figure 2, les emplacements des pixels 102 sont représentés symboliquement par des hachures afin de faciliter la compréhension de cette figure. Chaque pixel 102 du capteur 100 comporte : - une première portion électriquement conductrice 106 disposée sur la face 105 du substrat 104 ; - une première portion de matériau pyroélectrique 108 disposée sur la première portion électriquement conductrice 106 ; - une deuxième portion électriquement conductrice 110 disposée sur la première portion de matériau pyroélectrique 108 ; - une deuxième portion de matériau pyroélectrique 112 disposée sur la deuxième portion électriquement conductrice 110 ; - une troisième portion électriquement conductrice 114 disposée sur la deuxième portion de matériau pyroélectrique 112. Dans le mode de réalisation particulier décrit ici, les premières portions électriquement conductrices 106 des pixels 102 sont formées par des premières bandes de matériau électriquement conducteur déposées sur la face 105 du substrat 104 et parallèles les unes aux autres. Chaque première bande de matériau électriquement conducteur forme les premières portions électriquement conductrices 106 de tous les pixels 102 d’une même ligne de la matrice de pixels 102. Les premières portions de matériau pyroélectrique 108 des pixels 102 sont formées par une première couche de matériau pyroélectrique déposée sur les premières bandes de matériau électriquement qui forment les premières portions électriquement conductrices 106 ainsi que sur les parties de la face 105 du substrat 105 non recouvertes par les premières bandes de matériau électriquement conducteur. Les deuxièmes portions électriquement conductrices 110 des pixels 102 sont formées par une couche de matériau électriquement conducteur déposée sur la première couche de matériau pyroélectrique qui forme les premières portions de matériau pyroélectrique 108. Les deuxièmes portions de matériau pyroélectrique 112 des pixels 102 sont formées par une deuxième couche de matériau pyroélectrique déposée sur la couche de matériau électriquement conducteur qui forme les deuxièmes portions électriquement conductrices 110. Les troisièmes portions électriquement conductrices 114 des pixels 102 sont formées par des deuxièmes bandes de matériau électriquement conducteur déposées sur la deuxième couche de matériau pyroélectrique, parallèles les unes aux autres et orientées perpendiculairement aux premières bandes de matériau électriquement conducteur. Chaque deuxième bande de matériau électriquement conducteur forme les troisièmes portions électriquement conductrices 114 de tous les pixels 102 d’une même colonne de la matrice de pixels 102. Le matériau pyroélectrique des premières et deuxièmes portions 108, 112 est ici un copolymère, avantageusement du poly(fluorure de vinylidène-trifluoroéthylène) ou P(VDF-TrFE), et/ou du PVDF (polyfluorure de vinylidène) qui ont pour avantage de présenter une très bonne isolation électrique et d’être très stables quel que soit l’environnement dans lequel se trouve le capteur 100 (environnement humide, etc.). En variante, les premières et deuxièmes portions de matériau pyroélectrique 108, 112 peuvent comporter une céramique telle que du PZT (titano-zirconate de plomb, ou « Lead Zirconate Titanate » en anglais) et/ou de l’AlN et/ou du BaTiO 3 et/ou du ZnO et/ou du SBN (oxyde de SrBaNb) et/ou du SBT (oxyde de SrBaTi) et/ou tout autre matériau pyroélectrique adapté pour former une capacité pyroélectrique. D’autres matériaux pyroélectriques sont possibles, à savoir tous ceux qui produisent des charges électriques en fonction d’un paramètre pyroélectrique. De plus, les matériaux pyroélectriques des premières et deuxièmes portions 108, 112 peuvent être différents l’un de l’autre ou similaires. L’épaisseur des premières portions de matériau pyroélectrique 108 (dimension selon l’axe Z représenté sur les figures 1 et 2) est par exemple égale à environ 3 µm, et par exemple comprise entre environ 2 et 10 µm. L’épaisseur des deuxièmes portions de matériau pyroélectrique est par exemple comprise entre environ 1 µm et 3 µm. Selon une configuration avantageuse, les premières et deuxièmes portions de matériau pyroélectrique 108, 112 comportent du P(VDF-TrFE), chacune des premières portions de matériau pyroélectrique 108 a une épaisseur égale à environ 3,5 µm, et chacune des deuxièmes portions de matériau pyroélectrique 112 a une épaisseur égale à environ 1,5 µm. Dans chaque pixel 102, les première et troisième portions électriquement conductrices 106, 114 comportent chacune au moins un matériau électriquement conducteur, par exemple de l’argent, de l’aluminium, du molybdène, de l’or, du cuivre, du nickel, du carbone, du graphène ou encore un polymère conducteur tel que du PEDOT:PSS (poly(3,4-éthylènedioxythiophène). L’épaisseur de chacune des première et troisième portions électriquement conductrices 106, 114 est par exemple comprise entre environ 0,01 µm et 1 µm, et par exemple égale à 100 nm, voire être plus importante et être comprise entre environ 0,01 µm et 3 µm. Selon une configuration avantageuse, les premières portions électriquement conductrices 106 comportent de l’aluminium et ont chacune une épaisseur égale à environ 170 nm, et les troisièmes portions électriquement conductrices 114 comportent du molybdène ou de l’aluminium et ont chacune une épaisseur égale à environ 70 nm. De plus, les premières et deuxièmes bandes de matériau électriquement conducteur formant les premières et troisièmes portions électriquement conductrices 106, 114 sont par exemple réalisées sous la forme de bandes ayant chacune une largeur (qui correspond, sur les figures 1 et 2, à la dimension selon l’axe X pour les premières portions électriquement conductrices 106, et à la dimension selon l’axe Y pour les troisièmes portions électriquement conductrices 114) égale à environ 40 µm et qui sont espacées d’une bande voisine d’une distance égale à environ 40 µm. Les deuxièmes portions électriquement conductrices 110 sont formées ici par une couche électriquement conductrice qui comporte avantageusement du PEDOT:PSS et dont l’épaisseur est avantageusement égale à environ 1 µm. Chaque pixel 102 comporte donc deux capacités pyroélectriques : l’une formée par les première et deuxième portions électriquement conductrices 106, 110 entre lesquelles est disposée la première portion de matériau pyroélectrique 108, et l’autre formée par les deuxième et troisième portions électriquement conductrices 110, 114 entre lesquelles est disposée la deuxième portion de matériau pyroélectrique 112. D’un point de vue électrique, l’empilement formé dans chaque pixel 102 peut être vu comme correspondant à deux condensateurs reliés en série l’un à l’autre. La lecture de l’information de chaque pixel 102 peut donc être réalisée par l’une ou l’autre des deux capacités pyroélectriques qui forme des moyens de mesure, ou de détection, thermique présents dans chaque pixel 102. Dans le mode de réalisation particulier décrit ici, la couche électriquement conductrice formant les deuxièmes portions électriquement conductrices 110 est reliée à un potentiel électrique de référence, par exemple la masse. Dans chaque pixel 102, l’une des première et troisième portions électriquement conductrices 106, 114, est destinée à recevoir et lire les charges électriques générées lors de la mesure du motif thermique par le capteur 100, et l’autre des première et troisième portions électriquement conductrices 106, 114 sert à chauffer par effet Joule la ligne ou la colonne de pixels 102 qui sont lus. Les portions électriquement conductrices servant d’électrodes de lecture sont reliées à un circuit de lecture non représenté sur les figures 1 et 2. Ainsi, lorsque les premières portions électriquement conductrices 106 des pixels 102 servent d’électrodes de lecture des pixels 102, les charges électriques sont générées par les premières portions de matériau pyroélectrique 108. Dans ce cas, les deuxièmes portions de matériau pyroélectrique 112 servent d’isolation électrique entre les deuxièmes et troisièmes portions électriquement conductrices 110, 114 et les charges électriques éventuellement générées par les deuxièmes portions de matériau pyroélectrique 112 ne sont pas lues. Par contre, lorsque, dans au moins une partie des pixels 102, la troisième portion électriquement conductrice 114 sert d’électrode de lecture et la première portion électriquement conductrice 106 sert d’élément chauffant, les charges électriques lues sont celles générées par les deuxièmes portions de matériau pyroélectrique 112 de ces pixels 102, et les premières portions de matériau pyroélectrique 108 de ces pixels 102 ne servent qu’à isoler électriquement les premières portions électriquement conductrices 106 vis-à-vis des deuxièmes portions électriquement conductrices 110, les charges électriques éventuellement générées par ces premières portions de matériau pyroélectrique 108 ne sont pas lues. La couche électriquement conductrice formant les deuxièmes portions électriquement conductrices 110 et qui est reliée à la masse sert de couche de blindage et permet de protéger le capteur 100 notamment vis-à-vis des décharges électrostatiques. Le capteur 100 comporte également une couche de protection 116 comprenant un matériau diélectrique et recouvrant les pixels 102. De manière avantageuse, la couche de protection 116 comporte au moins un matériau polymère de type acrylique ou époxy ou siloxane, et avantageusement du pentaerythritol tetraacrylate et du pentaerythritol triacrylate de monomères tri et tetra-fonctionnels. Le matériau de la couche de protection 116 peut être réticulable et présenter des liaisons covalentes entre les atomes de ce matériau. De manière générale, la couche de protection 116 peut comporter au moins un matériau polymère organique et/ou au moins un matériau inorganique de type sol-gel et/ou du SOG (« Spin-On-Glass ») et/ou un matériau céramique de type sol-gel (un matériau organométallique qui, après recuit, crée un réseau semblable à un réseau obtenu par réticulation). Le SOG peut correspondre au matériau obtenu après un recuit d’une solution liquide contenant du siloxane ou du silicate dans un solvant tel qu’un alcool. Un matériau de type sol-gel peut être obtenu à partir de précurseurs organométalliques tels que de l’alcoxyde métallique de silicium ou de titane, se trouvant dans des solutions organiques, permettant d’obtenir du SiO 2 ou du TiO 2 . Le matériau polymère organique réticulable peut correspondre à l’un des matériaux suivants : époxy, polyuréthane, acrylique, et/ou le SOG peut correspondre à l’un des matériaux suivants : PMMSQ, MSQ, polyquinoxaline, et/ou le matériau inorganique de type sol-gel peut comporter au moins l’un des composés suivants : Al 2 O 3 , TiO 2 , WO 3 , SiO 2 , ZrO 2 . Il est également possible que la couche de protection 116 corresponde à une couche laminée de PET ou de tout autre matériau adapté à la réalisation de cette couche 116. D’autres matériaux sont envisageables pour cette couche 116, comme par exemple du polyimide, du PVDF et/ou ses copolymères, du PMMA, etc. Le ou les matériaux utilisés ainsi que l’épaisseur de la couche 116 sont choisis pour obtenir un bon transfert de la chaleur depuis une face avant 118 du capteur 100 vers les capacités pyroélectriques des pixels 102. Ainsi, la couche de protection 116 est réalisée telle qu’elle ne soit ni trop thermiquement résistive (car la chaleur ne la traverserait pas), ni trop thermiquement conductrice (car la chaleur partirait dans ce cas sur les côtés, vers les autres pixels, provoquant de la diathermie au sein du capteur 100), ni trop épaisse (pour avoir un transfert de chaleur s’opérant depuis la face avant 118 du capteur 100 vers les capacités pyroélectriques), ni trop fine (l’épaisseur de la couche 116 doit tout de même être suffisante pour que son rôle de protection soit rempli). L’épaisseur de la couche de protection 116 peut être comprise entre environ 1 micron et environ 10 µm, et est par exemple comprise entre environ 3 µm et 5 µm, par exemple égale à environ 5 µm. La face supérieure 118 de la couche de protection 116 correspond à la surface sur laquelle se trouve l’élément dont le motif thermique est destiné à être détecté, par exemple un doigt dont l’empreinte est destinée à être détectée. Lorsque les matériaux pyroélectriques des premières portions 108 et/ou des deuxièmes portions 110 sont des matériaux ferroélectriques, ces matériaux sont soumis, une fois pour toute la durée de vie des capacités pyroélectriques, à une étape de polarisation initiale consistante à les soumettre à un champ électrique important permettant d’orienter les dipôles de ces matériaux, pour que ces matériaux acquièrent leurs propriétés pyroélectriques (et aussi piézoélectriques). Un tel champ électrique est par exemple compris entre environ 80 et 120 volts par micron d’épaisseur du matériau pyroélectrique lorsque le matériau pyroélectrique correspond à du PVDF ou un copolymère de P(VDF-TrFe). Les molécules à l’intérieur du matériau pyroélectrique s’orientent, et restent orientées ainsi, même lorsque le matériau pyroélectrique n’est plus soumis à ce champ électrique. Le matériau pyroélectrique des premières portions 108 peut être ainsi polarisé en appliquant une telle tension de polarisation aux bornes des premières et deuxièmes portions électriquement conductrices 106, 110, et celui des deuxièmes portions 112 peut être polarisé en appliquant une telle tension de polarisation aux bornes des deuxièmes et troisièmes portions électriquement conductrices 110, 114. Cette polarisation initiale par tension continue peut se faire à une température ambiante ou à chaud (jusqu’à environ 100°C). Lorsque la polarisation initiale est réalisée à une température ambiante, il est possible d’appliquer une tension continue jusqu’à environ 120 V/µm (c’est-à-dire 120 V par micron d’épaisseur de matériau pyroélectrique) pendant une durée par exemple comprise entre quelques secondes et quelques minutes. Lorsque la polarisation initiale est réalisée à chaud, par exemple à une température d’environ 90°C, une tension continue par exemple comprise entre environ 50 et 80 V/µm peut être appliquée pendant une durée par exemple comprise entre environ 1 min et 5 min. La température est ensuite abaissée jusqu’à atteindre la température ambiante, puis le champ électrique appliqué sur le matériau pyroélectrique, via la tension continue appliquée, est stoppé. Un telle polarisation initiale permet par exemple à du PVDF d’avoir un coefficient pyroélectrique compris entre environ 30 et 45 µC/(m².K). Une telle polarisation initiale peut être réalisée sur les premières et deuxièmes portions de matériau pyroélectrique 108, 112 avant la première utilisation du capteur 100. Dans ce cas, les deux capacités pyroélectriques de chaque pixel 102 sont fonctionnelles. Cette polarisation initiale peut être identique pour les premières et deuxièmes portions de matériau pyroélectrique 108, 112, orientant ainsi les dipôles des matériaux des premières et deuxièmes portions de matériau pyroélectrique 108, 112 selon une même direction, ou être différente pour que les dipôles des matériaux des premières et deuxièmes portions de matériau pyroélectrique 108, 112 soient orientés selon des directions différentes. Cette orientation différente des dipôles des matériaux des premières et deuxièmes portions de matériau pyroélectrique 108, 112 est obtenue en appliquant des tensions de polarisation de signes différents sur ces matériaux. En variante, il est possible que, dans chaque pixel 102, seule l’une des première et deuxième portions de matériau pyroélectrique 108, 112 subisse une telle polarisation initiale avant la première utilisation du capteur 100. Dans ce cas, les portions de matériau pyroélectrique qui n’ont pas subies cette polarisation initiale forment des éléments pyroélectriques de secours pouvant être activés ultérieurement en cas de dégradation des capacités pyroélectriques fonctionnelles des pixels 102, c’est-à-dire des capacités pyroélectriques formées par les portions de matériau pyroélectrique auxquelles une polarisation initiale a été appliquée avant la première utilisation du capteur 100. Dans le mode de réalisation particulier décrit ci-dessus, les deuxièmes portions électriquement conductrices 110 sont formées par une couche continue de matériau électriquement conducteur, et les troisièmes portions électriquement conductrices 114 sont formées par les deuxièmes bandes électriquement conductrices parallèles et espacées les unes des autres. En variante, il est possible que les structures des deuxièmes et troisièmes portions électriquement conductrices 110, 114 soient inversées, c’est-à-dire que les troisièmes portions électriquement conductrices 114 soient formées par une couche continue de matériau électriquement conducteur, et que les deuxièmes portions électriquement conductrices 110 soient formées par les deuxièmes bandes électriquement conductrices telles que précédemment décrites. Dans cette variante, la génération des charges électriques est alors assurée par les premières portions de matériau pyroélectrique 108, et la deuxième couche de matériau pyroélectrique formant les deuxièmes portions pyroélectriques 112 sert de couche d’isolation électrique entre les deuxièmes portions électriquement conductrices 110 et la couche conductrice qui forme les troisièmes portions 114 et qui sert de couche de blindage électromagnétique. De manière avantageuse, le capteur 100 correspond à un capteur réalisé en technologie dite imprimée, c’est-à-dire dans lequel au moins une partie des différents éléments présents sur le substrat 104 sont déposés par la mise en œuvre de techniques d’impression : sérigraphie, héliogravure, jet d’encre, flexographie, ou encore gravure offset, et faisant appel à des encres compatibles avec ces techniques de dépôt. Un exemple de procédé de fabrication du capteur de motif thermique 100 est décrit ci-dessous. Le capteur 100 est réalisé à partir du substrat 104. Le matériau du substrat 104 (verre, semi-conducteur, plastique, etc.) est choisi selon la technologie avec laquelle les différents éléments du capteur 100 sont réalisés. Le substrat 104 est tout d’abord nettoyé afin d’éliminer les résidus organiques présents sur celui-ci. Le type de nettoyage mis en œuvre est fonction du matériau du substrat 104. Une deuxième étape consiste à former, sur la face avant 105 du substrat 104, les première portions électriquement conductrices 106, par exemple par impression d’une encre électriquement conductrice (par exemple sérigraphie, pulvérisation (« spray » en anglais) ou par jet d’encre). En variante, les premières portions électriquement conductrices 106 peuvent être formées par un dépôt d’une première couche électriquement conductrice, par exemple métallique, à partir de laquelle ces premières portions 106 sont réalisées par photolithographie et gravure de cette première couche électriquement conductrice. Par exemple, pour la réalisation de premières portions électriquement conductrices 106 comportant de l’aluminium, ces premières portions 106 sont formées en réalisant un dépôt d’une couche d’aluminium ayant une épaisseur par exemple égale à environ 170 nm, cette couche étant ensuite soumise à une photolithographie puis gravée pour former les premières portions électriquement conductrices 106. Le matériau pyroélectrique destiné à former les premières portions 108 est ensuite déposé, par exemple par impression, sous la forme d’une première couche recouvrant les premières portions électriquement conductrices 106 et les parties de la face 105 du substrat 104 non recouvertes par les premières portions électriquement conductrices 106. La couche électriquement conductrice destinée à former les deuxièmes portions électriquement conductrices 110 est ensuite déposée sur la première couche de matériau pyroélectrique précédemment déposée. Le matériau pyroélectrique destiné à former les deuxièmes portions 112 est ensuite déposé, par exemple par impression, sous la forme d’une deuxième couche recouvrant la couche électriquement conductrice précédemment déposée. Les troisièmes portions électriquement conductrices 114 sont ensuite déposées, par exemple par impression, comme précédemment décrit pour les premières portions électriquement conductrices 106. La couche de protection 116 est ensuite formée sur les pixels 102, et plus particulièrement déposée sur les troisièmes portions électriquement conductrices 114 ainsi que des parties de la deuxième couche pyroélectrique (formant les deuxièmes portions 112) non recouvertes par les troisièmes portions électriquement conductrices 114. Lorsque le matériau diélectrique de la couche de protection 116 est réticulable, correspondant par exemple à un polymère, ce matériau est déposé puis réticulé, par exemple par recuit(s), afin de former la couche de protection 116. Le dépôt mis en œuvre correspond par exemple à un dépôt par enduction centrifuge, ou « spin coating ». Deux types de procédés chimiques peuvent être mis en œuvre pour réticuler et durcir le ou les matériaux formant la couche de protection 116 : la réticulation thermique et la photo-réticulation. La réticulation thermique a pour avantage d’être l'un des moyens les plus efficaces pour polymériser les films durs. En effet, l'énergie d'activation de l'amorceur se présente sous forme de chaleur. Le procédé consiste donc à chauffer un mélange amorceur/polymère à une température à laquelle l’amorceur se décompose et enclenche la réticulation du système. La photo-réticulation est l'une des voies les plus rapides et les plus économiques pour polymériser des résines. Elle permet de transformer un matériau liquide en un matériau dur faiblement ou fortement réticulé. L'activation photochimique se fait généralement par une irradiation dans le domaine UV après l’ajout d’un photo-amorceur aux monomères. Les espèces réactives du photo-amorceur générées par l'irradiation vont réagir avec le monomère multifonctionnel. A la suite de l'activation du photo-amorceur, et en fonction des espèces actives générées, deux types de photo-réticulation peuvent être définis : - une photo-réticulation radicalaire quand les espèces actives générées sont des radicaux libres capables de réagir avec le monomère de base. Cela concerne par exemple les monomères ayant des doubles liaisons ou un cycle pouvant s'ouvrir par réaction avec un radical actif, comme notamment les acrylates, les méthacrylates, les polyesters insaturés et les polymères téléchéliques possédant des structures polyuréthane, polyester, polyéther, époxy ou polysiloxane. - une photo-réticulation cationique quand les espèces actives générées ont des cations possédant des temps de vie suffisamment longs pour permettre la formation de produits de masse molaire élevée. Les monomères adaptés pour ce type de polymérisation sont par exemple les époxydes et les éthers vinyliques. Lorsque le ou les matériaux pyroélectriques utilisés pour former les portions 108 et 112 correspondent à un ou des matériaux ferroélectriques, une polarisation initiale telle que précédemment décrite est réalisée avant la première utilisation du capteur 100 pour conférer les propriétés pyroélectriques à ces portions. Il est possible soit de polariser les matériaux formant les portions 108, 112 avant la première utilisation du capteur 100, soit de polariser uniquement les portions 108 ou 112 qui sont destinées à générer les charges électriques, les portions non polarisées servant dans ce cas d’éléments de secours qui seront polarisés ultérieurement en cas de défaillance des portions pyroélectriques initialement polarisées. Dans les différents exemples décrits précédemment, le capteur de motif thermique 100 est utilisé en tant que détecteur d’empreinte digitale. Toutefois, le capteur 100 peut être utilisé pour former un capteur d’empreinte palmaire, notamment lorsque le capteur 100 a des dimensions importantes et est réalisé par impression sur un substrat souple. Le capteur 100 peut également être adapté pour réaliser une détection de motifs thermiques autres que des empreintes digitales, du fait que chaque pixel 102 du capteur 100 lit la capacité calorifique placée au-dessus de lui et cela quelle que soit la nature du motif thermique. Le capteur 100 est particulièrement adapté à une réalisation telle que la distance entre la surface supérieure 118 du capteur 100 et les deuxièmes portions de matériau pyroélectrique 112 soit plus grande que la distance entre deux pixels 102 voisins. Il est préférable que la distance entre la surface supérieure 118 du capteur 100 et les deuxièmes portions de matériau pyroélectrique 112 ne soit pas inférieure à environ 10 fois le pitch (distance entre deux pixels 102 voisins) des pixels 102. Par exemple, pour un capteur 100 dont le pitch est compris entre environ 50 microns et 80 microns, il est préférable que la distance entre la surface supérieure 118 du capteur 100 et les deuxièmes portions de matériau pyroélectrique 112 soit supérieure à environ 10 µm. De plus, le capteur de motif thermique 100 peut également servir à la réalisation d’un imageur infrarouge non refroidi. Les pixels 102 du capteur 100 sont dans ce cas intégrés sur un circuit intégré de type CCD ou CMOS collectant les charges électriques générées par le capteur 100. Un tel imageur comporte en outre une lentille infrarouge filtrant la lumière arrivant sur le capteur 100. Afin que le capteur 100 puisse être soumis à une différence de températures (nécessaire compte tenu de la mesure réalisée par les capacités pyroélectriques), l’imageur comporte un dispositif permettant successivement de bloquer la lumière infrarouge arrivant sur le capteur 100 puis de laisser passer cette lumière. Un tel dispositif peut correspondre à un « chopper », c’est-à-dire une roue munie d’un trou et tournant devant le capteur 100. Un élément absorbeur peut être ajouté sur le matériau pyroélectrique afin d’améliorer l’absorption du rayonnement infrarouge reçu. Capteur (100) de motif thermique comportant une matrice de pixels (102), chaque pixel (102) comprenant au moins : - une première portion électriquement conductrice (106) disposée sur une face (105) d’un substrat (104) ; - une première portion de matériau pyroélectrique (108) telle que la première portion électriquement conductrice (106) soit disposée entre la première portion de matériau pyroélectrique (108) et le substrat (104) ; - une deuxième portion électriquement conductrice (110) telle que la première portion de matériau pyroélectrique (108) soit disposée entre les première et deuxième portions électriquement conductrices (106, 110) ; - une deuxième portion de matériau pyroélectrique (112) telle que la deuxième portion électriquement conductrice (110) soit disposée entre les première et deuxième portions de matériau pyroélectrique (108, 112) ; - une troisième portion électriquement conductrice (114) telle que la deuxième portion de matériau pyroélectrique (112) soit disposée entre les deuxième et troisième portions électriquement conductrices (110, 114). Capteur (100) selon la revendication 1, dans lequel, dans chaque pixel (102), l’épaisseur de la première portion de matériau pyroélectrique (108) est supérieure à celle de la deuxième portion de matériau pyroélectrique (112). Capteur (100) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel, dans chaque pixel (102) : - des dipôles du matériau de l’une seulement des première et deuxième portions de matériau pyroélectrique (108, 112) sont orientés selon une direction définie par une polarisation initiale de ladite une des première et deuxième portions de matériau pyroélectrique (108, 112), ou - des dipôles des matériaux des première et deuxième portions de matériau pyroélectrique (108, 112) sont orientés selon une même direction définie par une polarisation initiale des première et deuxième portions de matériau pyroélectrique (108, 112), ou - des dipôles des matériaux des première et deuxième portions de matériau pyroélectrique (108, 112) sont orientés selon des directions différentes définies par des polarisations initiales des première et deuxième portions de matériau pyroélectrique (108, 112). Capteur (100) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel les deuxièmes portions électriquement conductrices (110) des pixels (102) sont formées par une couche électriquement conductrice commune à tous les pixels (102) et reliée à la masse. Capteur (100) selon l’une des revendications précédentes, comportant en outre une couche de protection (116) comprenant un matériau diélectrique et recouvrant les pixels (102), et telle que, dans chaque pixel (102), la troisième portion électriquement conductrice (114) soit disposée entre la couche de protection (116) et la deuxième portion de matériau pyroélectrique (112) du pixel (102). Capteur (100) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel : - les premières portions électriquement conductrices (106) des pixels (102) sont formées par des premières bandes de matériau électriquement conducteur parallèles et espacées les unes des autres, chaque première bande de matériau électriquement conducteur formant les premières portions électriquement conductrices (106) de tous les pixels (102) d’une même ligne de la matrice de pixels (102), et - les troisièmes portions électriquement conductrices (114) des pixels (102) sont formées par des deuxièmes bandes de matériau électriquement conducteur parallèles et espacées les unes des autres et orientées perpendiculairement aux premières bandes de matériau électriquement conducteur, chaque deuxième bande de matériau électriquement conducteur formant les troisièmes portions électriquement conductrices (114) de tous les pixels (102) d’une même colonne de la matrice de pixels (102). Capteur (100) selon la revendication 6, dans lequel : - les premières bandes de matériau électriquement conducteur forment des électrodes de lecture des pixels (102) et les deuxièmes bandes de matériau électriquement conducteur forment des éléments chauffants des pixels (102), ou - les deuxièmes bandes de matériau électriquement conducteur forment des électrodes de lecture des pixels (102) et les premières bandes de matériau électriquement conducteur forment des éléments chauffants des pixels (102). Capteur (100) selon l’une des revendications précédentes, dans lequel : - le substrat (104) comprend au moins un matériau plastique, et/ou - les premières et troisièmes portions électriquement conductrices (106, 114) comportent au moins l’un des matériaux suivants : argent, or, cuivre, nickel, carbone, graphène, polymère conducteur, et/ou - les deuxièmes portions électriquement conductrices (110) comportent du PEDOT:PSS. Capteur (100) de motif thermique selon l’une des revendications précédentes, dans lequel ledit capteur (100) de motif thermique est un capteur d’empreinte digitale. Procédé de réalisation d’un capteur (100) de motif thermique comportant une matrice de pixels (102), comprenant la mise en œuvre des étapes suivantes : - réalisation de premières portions électriquement conductrices (106) sur une face (105) d’un substrat (104), chaque pixel (102) comprenant l’une des premières portions électriquement conductrices (106) ; - réalisation d’une première couche de matériau pyroélectrique sur les premières portions électriquement conductrices (106), formant dans chaque pixel (102) une première portion de matériau pyroélectrique (108) telle que la première portion électriquement conductrice (106) du pixel (102) soit disposée entre la première portion de matériau pyroélectrique (108) du pixel (102) et le substrat (104) ; - réalisation d’une couche électriquement conductrice sur la première couche de matériau pyroélectrique, formant dans chaque pixel (102) une deuxième portion électriquement conductrice (110) telle que la première portion de matériau pyroélectrique (108) du pixel (102) soit disposée entre les première et deuxième portions électriquement conductrices (106, 110) du pixel (102) ; - réalisation d’une deuxième couche de matériau pyroélectrique sur la couche électriquement conductrice, formant dans chaque pixel (102) une deuxième portion de matériau pyroélectrique (112) telle que la deuxième portion électriquement conductrice (110) du pixel (102) soit disposée entre les première et deuxième portions de matériau pyroélectrique (108, 112) du pixel (102) ; - réalisation de troisièmes portions électriquement conductrices (114) sur la deuxième couche de matériau pyroélectrique, chaque pixel (102) comprenant l’une des troisièmes portions électriquement conductrices (114) telle que la deuxième portion de matériau pyroélectrique (112) du pixel (102) soit disposée entre les deuxième et troisième portions électriquement conductrices (110, 114) du pixel (102). Procédé selon la revendication 10, comportant en outre, après la réalisation des troisièmes portions électriquement conductrices (114) : - la mise en œuvre d’une polarisation initiale du matériau de l’une seulement des première et deuxième couches de matériau pyroélectrique comportant l’application d’une tension électrique continue entre la couche électriquement conductrice et les premières portions électriquement conductrices (106) ou entre la couche électriquement conductrice et les troisièmes portions électriquement conductrices (114), ou - la mise en œuvre d’une polarisation initiale des matériaux des première et deuxième couches de matériau pyroélectrique comportant l’application de tensions électriques continues entre la couche électriquement conductrice et les premières portions électriquement conductrices (106) et entre la couche électriquement conductrice et les troisièmes portions électriquement conductrices (114). Procédé selon l’une des revendications 10 ou 11, comportant en outre, après la réalisation des troisièmes portions électriquement conductrices (114), la réalisation d’une couche de protection (116) comprenant un matériau diélectrique et recouvrant les pixels (102), et telle que, dans chaque pixel (102), la troisième portion électriquement conductrice (114) soit disposée entre la couche de protection (116) et la deuxième portion de matériau pyroélectrique (112) du pixel (102). Procédé selon l’une des revendications 10 à 12, dans lequel : - les premières portions électriquement conductrices (106) des pixels (102) sont réalisées sous la forme de premières bandes de matériau électriquement conducteur parallèles et espacées les unes des autres, chaque première bande de matériau électriquement conducteur formant les premières portions électriquement conductrices (106) de tous les pixels (102) d’une même ligne de la matrice de pixels (102), et - les troisièmes portions électriquement conductrices (114) des pixels (102) sont réalisées sous la forme de deuxièmes bandes de matériau électriquement conducteur parallèles et espacées les unes des autres et orientées perpendiculairement aux premières bandes de matériau électriquement conducteur, chaque deuxième bande de matériau électriquement conducteur formant les troisièmes portions électriquement conductrices (114) de tous les pixels (102) d’une même colonne de la matrice de pixels (102). Procédé selon l’une des revendications 10 à 13, dans lequel la réalisation des premières portions électriquement conductrices (106) et/ou la réalisation de la première couche de matériau pyroélectrique et/ou la réalisation de la couche électriquement conductrice et/ou la réalisation de la deuxième couche de matériau pyroélectrique et/ou la réalisation des troisièmes portions électriquement conductrices (116) comportent la mise en œuvre de dépôts par impression.