Brevet FR3108898A1 — publié le 20211008

L’invention concerne notamment un procédé pour générer une agitation dans une microgoutte de fluide (3) dont le volume est de préférence supérieur à quelques dizaines de nanolitres, mettant en œuvre un dispositif actionneur (1) comprenant un résonateur du type à ondes de volumes à modes harmoniques élevés HBAR (5) présentant un facteur de qualité Q d’au moins 100 dans l’air et comportant un support (2) qui est sensiblement plat et revêtu d’une couche de matériau diélectrique (4). Le résonateur HBAR (5) est associé à un dispositif électronique modulable (12) apte à générer des ondes hautes fréquences. Le procédé prévoit le dépôt, sur ledit support (2), d’une microgoutte de fluide (3), la génération d’un signal sinusoïdal électrique (S) par commande du dispositif électronique modulable (12) à une fréquence choisie, ladite fréquence étant comprise entre 100 MHz et 4 GHz, et transformation du signal sinusoïdal électrique (S) présentant ladite fréquence choisie en ondes hautes fréquences acoustique (OA) par ledit résonateur HBAR (5). Figure pour l’abrégé : Fig. 1 PROCEDE POUR GENERER UN ECOULEMENT DANS UNE MICROGOUTTE ET DISPOSITIF POUR LA MISE EN ŒUVRE DU PROCEDE L’invention concerne le domaine de la manipulation et du traitement de fluides à l’échelle de gouttelettes, tels que la manipulation, le mélange et / ou la préparation d’échantillons en micro fluidique. L’invention concerne plus particulièrement un procédé qui permet de générer un écoulement dans une microgoutte de produit fluide, c’est-à-dire qui permet de générer un mouvement dans la microgoutte pour mélanger (ou plus généralement agiter) les particules contenues dans celle-ci. On comprendra par « microgoutte », « gouttelette » ou goutte « de petit volume » une goutte de fluide dont le volume est de l’ordre du microlitre ou de quelques microlitres. Le mot « fluide » désignera un liquide, une émulsion ou une solution colloïdale. L’invention permet d’intensifier les réactions chimiques et biochimiques et/ou de réaliser des micro-mélanges à l’intérieur d’une microgoutte. L’invention trouve une application particulière dans la manipulation de quantités infimes de fluide, en particulier en laboratoire dans le domaine de la biotechnologie, par exemple pour le séquençage nouvelle génération (NGS). Les fluides à manipuler peuvent être des substances pures ou des mélanges de substances. Il peut s’agir également de fluides comportant des microparticules en suspension qui doivent être soumis à un traitement ultérieur ciblé dans les domaines de l’analyse chimique, de la technologie médicale et de la biotechnologie. L’émergence de systèmes miniaturisés utilisant la technologie microsystème mécanique (MEMS) conventionnelle a été une étape importante dans le développement de dispositifs médicaux, de capteurs ou autres dispositifs micro-électroniques. Certaines applications nécessitent de mélanger de petites quantités de fluides entre elles (de l’ordre du microlitre ou de quelques microlitres) ou de déplacer, mélanger, des particules contenues dans une microgoutte de produit prélevé, par exemple. On sait aujourd’hui comment générer et manipuler, de façon parallélisée et automatisée, des gouttelettes dans des micro-canaux de dispositifs de laboratoire (par exemple du type laboratoires sur puce). On sait également effectuer des réactions biochimiques au sein de microgouttelettes. Ces techniques ont inspiré le développement de plates-formes polyvalentes pour de nombreuses applications allant du diagnostic moléculaire à la synthèse organique. Dans les dispositifs connus, la gouttelette fonctionne comme un site de réactions miniaturisé, avec un contrôle précis des conditions stœchiométriques. Cette approche permet la manipulation contrôlée de petits volumes des mélanges réactionnels et permet la séparation ou le mélange rapide de molécules d’échantillons complexes facilitant l’analyse. La possibilité de générer des gouttelettes à très haut débit (fréquence de 100kHz à quelques centaines de MHz) facilite les expériences précédemment rendues impossibles en raison de la contrainte pratique sur le nombre de réactions pouvant être effectuées en utilisant les technologies de paillasse traditionnelles. Cependant, un problème rencontré lors de la manipulation de petits volumes de fluide consiste à mélanger efficacement différents fluides ensemble : En raison du confinement, les écoulements dans une microgoutte sont essentiellement régis par les contraintes visqueuses et les forces de tension de surface de la microgoutte. Le mélange de gouttelettes peut ainsi être très limité dans les dispositifs micro-fluidiques (100 µL ou moins). Dans certains cas, il est souhaitable d’ajouter un petit volume de réactif à une gouttelette d’échantillon afin de faciliter son analyse sans le diluer de manière substantielle. Dans de tels cas, il est difficile de mélanger l’échantillon et le réactif car les écoulements dans la gouttelette d’échantillon sont trop faibles. Il existe donc un besoin pour une technique permettant de réaliser un mélange satisfaisant, c’est-à-dire un mélange où l’on ne serait plus en mesure de distinguer l’échantillon et le produit réactif. On connait du document DE 196 11 270 un appareil (micro mélangeur) comprenant une pompe de micro injection et plusieurs canaux d’entrée dans lesquels sont introduites les microgouttes de fluides à mélanger ou à traiter, ainsi qu’une ouverture de sortie de l’appareil par laquelle est éjectée une micro goutte de fluides mélangés. On connait également du document US 2002/0009015 un dispositif comprenant des micro-canaux dans chacun desquels une microgoutte à traiter peut-être placée. Un transducteur, placé à proximité de la microgoutte, permet de générer des ondes acoustiques favorisant un mouvement du fluide dans la gouttelette contenue dans un micro canal. Un tel dispositif ne permet pas de contrôler l’écoulement à l’intérieur de la gouttelette. On connaît également du document United States Patent Application 20120028293 un dispositif de mélange dans une petite quantité de fluide sous forme d’une goutte posée sur un substrat piézoélectrique, sur lequel des électrodes en peignes interdigités sont alimentées en tension à une fréquence de l’ordre de quelques MHz. Néanmoins, ce dispositif a deux limitations qui entrent en jeu : la limitation des dispositifs à des fréquences d’opération inférieures à 100 MHz, et la contrainte qu’il faille opérer avec un substrat piézoélectrique sur lequel des électrodes métalliques doivent être fabriquées par des dispositifs couteux. On connaît également du document United States Patent Application 20090206171 un dispositif de concentration, de resuspension et de mélange dans une petite quantité de fluide sous forme d’une goutte posée sur un substrat piézoélectrique, sur lequel des électrodes en peignes interdigités sont alimentées en tension à une fréquence de l’ordre de 10 à 1000 MHz. Par ailleurs, les dispositifs décrits dans de tels documents ne sont pas satisfaisants car soit ils sont trop complexes à mettre en œuvre, soit ils ne permettent pas de récupérer facilement la microgoutte traitée. L’invention a pour objet un procédé qui pallie les inconvénients cités ci-dessus et concerne à cet effet un procédé pour générer une agitation dans une microgoutte de fluide dont le volume est de préférence supérieur à quelques dizaines de nanolitres, mettant en œuvre un dispositif actionneur par ondes acoustiques, ledit dispositif actionneur comprenant un support sur lequel ladite microgoutte de fluide est déposée et prélevée , un résonateur apte à convertir un signal sinusoïdal électrique appliqué en ses bornes en ondes acoustiques. Conformément à l’invention, ledit procédé est remarquable en ce que le résonateur du dispositif actionneur mis en œuvre est de type à ondes de volumes à modes harmoniques élevés HBAR, le résonateur HBAR présentant un facteur de qualité Q d’au moins 100 dans l’air et comportant ledit support, ledit support étant sensiblement plat et revêtu d’une couche de matériau diélectrique, en ce que ledit résonateur est associé à un dispositif électronique modulable apte à générer lesdites ondes hautes fréquences, et en ce qu’il comporte les étapes suivantes : - dépôt sur ledit support d’une microgoutte de fluide, - génération d’un signal sinusoïdal électrique par commande du dispositif électronique, ledit signal sinusoïdal électrique généré présentant une fréquence choisie au moyen du dispositif électronique modulable, ladite fréquence étant comprise entre 100 MHz et 4 GHz, - transformation du signal sinusoïdal présentant ladite fréquence choisie en ondes hautes fréquences acoustique par ledit résonateur, les ondes hautes fréquences présentant une résonance propre générant une agitation donnée dans la microgoutte. Ainsi réalisé, le procédé conforme à l’invention permet de générer des écoulements particuliers et que l’on peut choisir. En effet, le résonateur HBAR permet à l’utilisateur de choisir une fréquence parmi un panel de fréquences, contrairement aux résonateurs mis en œuvre dans les solutions actuelles : Ainsi, grâce à la solution conforme à l’invention, on peut ainsi choisir l’écoulement adapté à l’essence du fluide traité car chaque fréquence génère un écoulement particulier. Par ailleurs, il est possible de récupérer la microgoutte traitée assez aisément car la microgoutte ne présente que peu de contact avec le support du dispositif mis en œuvre dans le procédé conforme à l’invention : grâce à la présence de la couche de traitement de surface du résonateur HBAR, la microgoutte de fluide n’a que peu d’adhérence avec le support et peut être simplement prélevée après traitement. Le procédé conforme à l’invention peut également comprendre les caractéristiques suivantes prises séparément ou en combinaison : - le facteur de qualité Q du résonateur HBAR est de préférence sensiblement d’au moins 1000 dans l’air, - le dispositif actionneur peut être encapsulé dans ladite couche de matériau diélectrique, - ladite couche de matériau diélectrique peut être hydrophobe : On comprendra par « hydrophobe » la qualité d’un matériau à repousser un fluide comportant de l’eau, car il n’a pas la capacité de créer des liaisons hydrogène avec les molécules d’eau. Le caractère hydrophobe d’un matériau au regard d’un fluide comportant de l’eau se définit par un angle de contact caractéristique. Cet angle mesuré entre la surface du matériau hydrophobe et la tangente à la surface de la goutte de fluide au point de contact avec la surface du matériau est supérieur à 90° (mesuré par exemple avec un goniomètre KRUSS DSA100). Le caractère hydrophobe du support permet de récupérer facilement par capillarité la microgoutte de fluide après génération de l’agitation. Le caractère hydrophobe du support permet également de réduire la surface de contact entre la microgoutte à traiter et le support sur lequel elle repose, ce qui limite la montée en température de la microgoutte et son évaporation quand elle reçoit les ondes acoustiques hautes fréquences. Ainsi le caractère hydrophobe du support de la microgoutte à traiter pérennise la mise en œuvre du procédé selon l’invention. - ladite couche de matériau diélectrique peut comporter du polyparaxylylène, - ladite couche de matériau diélectrique peut présenter une épaisseur comprise entre sensiblement 100 nm et 40 µm, de préférence entre 2,5 µm et 10 µm, - la fréquence de signal sinusoïdal électrique généré par le dispositif électrique modulable peut être choisie avant le dépôt de ma microgoutte sur le support en mesurant le facteur de qualité Q dans l’air dudit dispositif actionneur obtenu en faisant varier la fréquence du signal sinusoïdal et en retenant la fréquence qui permet d’obtenir le facteur de qualité Q dans l’air le plus élevé, - la fréquence choisie peut être comprise entre 400 MHz et 1 GHz, - ladite microgoutte peut présenter un volume d’au moins sensiblement 1µL. L’invention concerne également un dispositif actionneur pour la mise en œuvre du procédé tel que défini ci-avant, comprenant un support sur lequel ladite microgoutte de fluide peut être déposée et prélevée, un résonateur apte à convertir un signal sinusoïdal électrique appliqué en ses bornes en ondes acoustiques, ledit résonateur étant conçu pour être associé à un dispositif électronique modulable apte à générer lesdites ondes hautes fréquences. Le dispositif actionneur est remarquable en ce que ledit résonateur est de type à ondes de volumes à modes harmoniques élevés HBAR et présente un facteur de qualité Q d’au moins 100 dans l’air et en ce que ledit résonateur comporte ledit support, ledit support étant sensiblement plat et revêtu d’une couche de matériau diélectrique. Le dispositif actionneur peut également comporter les caractéristiques suivantes, prises séparément ou en combinaison : - ledit résonateur HBAR peut présenter un facteur de qualité Q de préférence au moins sensiblement 1000 dans l’air, - le dispositif peut être encapsulé dans ladite couche de matériau diélectrique, - ladite couche de matériau diélectrique peut être hydrophobe, - ladite couche de matériau diélectrique peut comporter du polyparaxylylène, - ladite couche de matériau diélectrique présente une épaisseur comprise entre sensiblement 100 nm et 40 µm, de préférence entre 2,5 µm et 10 µm. L’invention sera davantage comprise au regard d’un mode de réalisation qui va maintenant être présenté en faisant référence aux figures annexées parmi lesquelles : est une représentation schématique d’un dispositif conforme à l’invention, permettant la mise en œuvre du procédé conforme à l’invention, illustre une partie du dispositif conforme à l’invention, montré en perspective, montrant ainsi une première configuration du dispositif conforme à l’invention, illustre la partie du dispositif montrée en figure 2 associée à une autre partie du dispositif conforme à l’invention, montrées en perspective, montrant ainsi une seconde configuration du dispositif conforme à l’invention, est une photographie illustrant un exemple de première forme d’agitation obtenue grâce au procédé conforme à l’invention à 252MHz, est une photographie illustrant un exemple d’une seconde forme d’agitation obtenue grâce au procédé conforme à l’invention à 144 MHz ; est une photographie illustrant un autre exemple de forme d’agitation obtenue grâce au procédé conforme à l’invention à 425MHz ; est un schéma montrant l’évolution du coefficient de réflexion S11 (en dB) en fonction du volume de la microgoutte déposée sur la surface du support du dispositif actionneur conforme à la seconde configuration de l’invention, le support étant recouvert d’une couche de Parylène ; est un schéma illustrant le facteur de qualité obtenu avec le dispositif conforme à la seconde configuration de l’invention quand il n’y a aucune microgoutte sur le support et quand une microgoutte de 10 µL ou de 60 µL est positionnée sur le support du dispositif, à différentes fréquences ; et est un double schéma illustrant les mesures du coefficient de réflexion S11 et du coefficient de transmission S12 du résonateur HBAR, avec Parylène RP et sans Parylène R0 en fonction de la fréquence. La figure 1 montre un dispositif conforme à l’invention qui permet la mise en œuvre du procédé conforme à l’invention. Dans un premier temps, un dispositif conforme à l’invention va être décrit en faisant référence aux figures 1 et 2. Puis, il sera fait référence au procédé conforme à l’invention et aux résultats obtenus en faisant référence aux figures 3 à 8. La figure 1 montre un dispositif actionneur 1 permettant de générer une agitation dans une microgoutte de fluide. Dans les exemples décrits, les microgouttes présentent un volume variant de 10 µL à 60 µL : le volume des microgouttes auxquels s’appliquent le procédé est ainsi supérieur à quelques dizaines de nanolitres. Le dispositif actionneur permet de générer une agitation dans une microgoutte de fluide grâce à la génération d’ondes acoustiques. Le dispositif actionneur 1 comporte un support 2 sur lequel une microgoutte 3 est déposée. Le support 2 est sensiblement plat pour faciliter le dépôt et le retrait de la microgoutte avec une micropipette (micropipette non illustrée) ou co-intégré avec un système micro-fluidique. En effet, il est plus aisé de déposer et de reprendre une microgoutte sur un support plat que sur un support concave ou avec des parois latérales. Le support 2 comporte une couche de matériau diélectrique 4, hydrophobe : de cette façon, la microgoutte déposée sur le support ne s’étale pas dessus et peut être prélevée après agitations. Le contact entre la microgoutte 3 et le support est alors réduit. Plus exactement, la couche de matériau diélectrique 4 comporte du polyparaxylylène, plus connu sous le nom de Parylène. Le Parylène est un polymère qui se présente sous la forme d’un film déposé sur un support par une technique de dépôt sous vide, après évaporation et transformation de son précurseur. Le Parylène présente l’avantage d’être optiquement transparent et un isolant électrique. Il a également la particularité d’être déposé par dépôt chimique conforme et compatible avec la technologie des fabrications MEMS. Le Parylène est ici utilisé pour l’encapsulation d’un système microélectronique du type résonateur HBAR à mode couplé, ce qui permet de l’isoler, de le rendre étanche, de le protéger des moisissures et autres dégradations naturelles pouvant altérer ses performances. Le Parylène permet également de protéger un résonateur que comporte le dispositif actionneur (qui sera décrit ci-après) d’un volume réactionnel et inversement. Il assure enfin la transmission d’ondes acoustiques qui sont à l’origine de la génération de l’agitation (ou écoulement) dans la microgoutte. Le dispositif comporte ainsi également un résonateur 5 assurant la génération d’ondes acoustiques. Plus précisément, le résonateur 5 est un résonateur de type à ondes de volumes à modes harmoniques élevés HBAR (pour High overtone Bulk Acoustic Resonator) : ce résonateur est capable de convertir un signal sinusoïdal S électrique appliqué en ses bornes 51 et 52 en ondes acoustiques OA. Une partie du résonateur HBAR 5 est illustrée plus précisément en figure 2. Cette figure 2 illustre une première configuration du dispositif conforme à l’invention. Cette partie du résonateur comporte un transducteur piézoélectrique présentant un facteur de qualité d’au moins 1000 dans l’air et il est réalisé avec les éléments suivants : Une première couche 6 d’un matériaux piézoélectrique (Quartz, LiNBO3, GaAs, LiTaO3, etc…) ou non piézoelectrique (exemple : Silicium,Saphir, Verre etc..), Une seconde couche 7 de matériaux piezoélectriques (LiNBO3, ZnO, ALN etc…), Deux couches conductrices formant une seule couche 8, qui réalise une électrode prise en sandwich entre les couches 6 et 7, Deux électrodes 9 et une masse sont disposées sur la seconde couche 7 (double port), Et une plaque PCB 10 (circuit imprimé). Les électrodes 9 sont liées à la plaque PCB 10 (circuit imprimé) via des liaisons 11 conductrices (ou connecteurs). L’ensemble des éléments du résonateur HBAR 5 situé au- dessus de la plaque PCB présente une largeur de sensiblement 2 mm et une longueur de sensiblement 2 mm. La surface active, qui réalise le support 2 sur laquelle une microgoutte de fluide peut être posée, est équivalente à 1mm². Elle peut être également inférieure. La surface active peut être dimensionné en fonction du volume de liquide et / ou du système micro-fluidique. La taille des électrodes est dimensionnée de manière à adapter en impédance électrique à 50 Ohm et elle dépend également de la bande fréquence. Il est à noter que plus la surface d’électrode est importante, plus il existe des risques de perdre en facteur de qualité. Le facteur de qualité dépend de l’état de surface, du parallélisme de surface. Toutefois, la surface de travail peut être adaptée en fonction de volume de la microgoutte. Suivant un premier mode de réalisation, les électrodes et la masse sont liées à la plaque PCB 10 (circuit imprimé) via les liaisons 11 conductrices comme montré en figure 2. Ce mode de réalisation d’un dispositif conforme à l‘invention permet de fonctionner en un port (mesure en réflexion) et/ ou deux ports (mesure en Transmission). La microgoutte est alors déposée sur l’électrode en aluminium (formant le support 2). Le mode de réalisation d’un autre dispositif conforme à l’invention, montré en figure 3, permet de fonctionner avec un et / ou deux ports : suivant ce mode de réalisation, la partie du résonateur HBAR 5 est retournée pour être fixée (au moyen de billes conductrices 53) sur la plaque PCB 10 présentant deux ports 54 et 55. Ce mode de réalisation permet donc un fonctionnement en un /et ou deux ports, ce qui permet notamment de réaliser des mesures en réflexion et/ ou en transmission. Plus exactement, le port 54 (ou le port 55) permet de déterminer le coefficient de réflexion du résonateur et les ports 54 et 55 permettent de déterminer le coefficient de transmission du résonateur. Avec ce type de dispositif, l’électrode 8 située entre la couche piézoélectrique et le substrat peut être utilisée soit à un potentiel de référence soit de rester à un potentiel flottant. Ce type de dispositif est certes plus complexe à réaliser (car il nécessite des étapes supplémentaires), mais il permet de décupler le facteur de qualité. Dans le cadre de ce mode de réalisation, première configuration, la microgoutte est placée sur la partie constitué de la couche piézoélectrique 7 et de la couche de matériau diélectrique hydrophobe 4. Dans le cadre de la seconde configuration montrée en figure 3, la microgoutte est placée sur la partie constituée de quartz 6 recouverte de la couche diélectrique 4 (matériau hydrophobe), c’est-à-dire au-dessus de la partie supérieure de l’ensemble illustré sur la figure 3. L’avantage de mettre en œuvre deux configurations, est qu’il permet de manipuler des liquides quel que soit leur nature (ex : des liquides à faible et/ ou forte constante diélectrique). L’avantage de mettre en œuvre un résonateur HBAR est qu’il permet de transformer des ondes à plusieurs fréquences allant de 100MHz à 4 GHz, contrairement à d’autres formes de transducteurs qui ne sont opérationnels qu’à une fréquence unique Autrement dit, en utilisant le résonateur HBAR 5, il est possible de choisir la fréquence des ondes reçues et transformées en ondes acoustiques pour générer une agitation dans la microgoutte, ce choix n’étant pas possible avec les autres transducteurs. Cette capacité à opérer à fréquence élevée, permet une dissipation optimale de l’énergie acoustique. En effet, d’après R. T. Beyer, Nonlinear Acoustics (Acoustical Society of America, New York, 1997), la longueur de dissipation dans l’eau pure de l’onde acoustique générée est de 4 mm à 100 MHz et de 40 microns à 1 GHz. Ainsi, dans la gamme de fréquence du dispositif HBAR, cette longueur d’atténuation est du même ordre ou inférieure à la taille typique d’une goutte, permettant un transfert d’énergie optimal entre l’onde et le fluide. Comme indiqué précédemment, les ondes acoustiques sont émises via le résonateur HBAR à partir d’ondes hautes fréquences qui lui sont transmises via un dispositif électronique modulable 12. Ce dispositif de transmission est représenté symboliquement en figure 1 en partie inférieure du dispositif. Bien que cela n’ait pas été représenté sur la figure 2 (pour une raison de facilité de lecture de la figure) le résonateur 5 est recouvert entièrement d’une couche de Parylène présentant une épaisseur pouvant être comprise entre 100 nm et 15 µm. De préférence, l’épaisseur de la couche de Parylène 4 est comprise entre 2,5 µm et 10 µm. L’épaisseur de la couche de Parylène a des conséquences sur la valeur du facteur de qualité du dispositif conforme à l’invention : elle est ainsi déterminée en conséquence des performances attendues du dispositif conforme à l’invention réalisé. La figure 9 met en relation les conséquences de la présence d’une couche de Parylène ou non sur le résonateur HBAR 5 sur le coefficient de réflexion S11 et le coefficient de transmission S12 du résonateur HBAR : Le tracé R0 est celui obtenu pour le résonateur HBAR 5 sans couche de Parylène alors que le tracé RP est celui obtenu pour le résonateur HBAR 5 recouvert de Parylène. Des résonances multiples ont été mesurées dans une bande très large qui correspond aux valeurs des coefficients de réflexion et de transmission mesurées du résonateur HBAR 5 dans une gamme de fréquences allant de 100 KHz à 900 MHz. Le résonateur HBAR 5 revêtu de Parylène (RP) présente un signal électrique plus faible que celui non revêtu de Parylène (R0). Conformément à l’invention, on remarque que le résonateur 5 ainsi conçu et recouvert d’une couche de Parylène présente un facteur de qualité dans l’air d’au moins 500 (voir figure 8) : les points indiqués par la référence « 0 » sur le schéma indiquent un facteur de qualité d’au moins 1200 pour des fréquences appliquées allant de 490 à 550 MHz. De préférence, le résonateur HBAR présente un facteur de qualité de 2000 dans l’air. Ainsi, si l’on se réfère au schéma de la figure 8, le résonateur HBAR recouvert de Parylène sera de préférence mis en œuvre à une fréquence comprise entre 510 et 540 MHz (voir les facteurs qualités dépassant 2500 dans l’air pour les résonateurs référencés « 0 » - résonateurs dont les facteurs qualités sont testés sans microgoutte sur le support). Il va maintenant être fait référence au procédé de mise en œuvre du dispositif décrit ci-avant, conforme à l’invention. Comme il a été expliqué, le procédé vise à générer une agitation dans une microgoutte pour assurer le mélange des particules dans la microgoutte sans contact ni pression sur la microgoutte. Dans un premier temps, il convient de déterminer la fréquence du signal sinusoïdal choisi pour créer l’agitation. Pour ce faire, la taille de la microgoutte dans laquelle sera créé l’agitation peut avoir son importance : en effet, suivant la taille de la microgoutte, le facteur de qualité du résonateur HBAR 5 est également modifié. La figure 7 montre que les microgouttes M1 dont le volume est sensiblement de 60 µL font varier le facteur de qualité du résonateur HBAR 5 de façon différente en comparaison aux microgouttes M2 dont le volume est sensiblement de 10µL. La référence 0 indique que la mesure a été faite sans microgoutte. Pour la mise en œuvre du dispositif, on teste ainsi le dispositif, préalablement à sa mise en œuvre avec une microgoutte, à différentes fréquences en modulant (en faisant varier) les ondes hautes fréquences envoyées au résonateur HBAR 5 par le dispositif électronique modulable. On mesure en parallèle les facteurs qualité obtenus à ces différentes fréquences. La fréquence retenue (ou choisie) pour la mise en œuvre du dispositif est la fréquence qui permet d’obtenir le meilleur facteur de qualité, c’est-à-dire le facteur de qualité le plus élevé. On dépose une microgoutte de fluide sur le support 2 avec une micropipette. Le volume de la microgoutte de fluide est donc, par exemple, de 10 µL pou M2 et de 60 µL pour M1. Puis, on commande le dispositif électronique modulable pour qu’il génère un signal sinusoïdal électrique à la fréquence choisie. Ce signal est transmis au résonateur HBAR 5 qui le transforme en ondes acoustiques haute fréquence. Les ondes acoustiques hautes fréquences présentent alors une résonance propre à générer une agitation dans la microgoutte. La figure 4 est une photographie d’une agitation obtenue dans une microgoutte 3 de 60µL avec une fréquence de 252 MHz (5 dBm) : on note que la résonance provoque dans la microgoutte deux espaces d’agitation 13 et 14 de formes différentes, sensiblement au centre de la microgoutte 3. En modifiant la fréquence choisie grâce au dispositif électronique modulable 12, on peut obtenir des formes d’agitations différentes. Par exemple, la figure 5 est une photographie illustrant une autre forme d’agitation dans la microgoutte 3 de 60µL, obtenu en modifiant la fréquence choisie émise par le dispositif électronique 12 à 144 MHz (5 dBm) : deux agitations tournoyantes 15 et 16 se forment en partant sensiblement d’un plan médian de la microgoutte vers les bords internes de la microgoutte 3. Une autre forme d’agitation est montrée sur la photographie de la figure 6 : Elle est obtenue à la fréquence de 425 MHz (5 dBm). De nombreuses volutes 17 des particules tournoyantes se sont ici formées dans toute la microgoutte 3 de 60µL. On comprend de la description qui précède comment le dispositif conforme à l’invention et sa mise en œuvre suivant le procédé conforme à l’invention permettent de générer et de combiner plusieurs agitations dans des microgouttes de fluide sans avoir à manipuler les microgouttes entre elles. Il devra être toutefois compris que les exemples donnés ci-dessous ne sont pas limitatifs pour l’invention : notamment, le dispositif pourrait être mis en œuvre avec des volumes de microgouttes différents et le procédé pourrait être mis en œuvre à des gammes de fréquences différentes de celles présentées sur les schémas. Un tel dispositif conforme à l’invention permet le mélange optimal de fluide avec un ou plusieurs réactifs, sans utiliser de mélangeur externe en contact avec l’environnement du liquide. De plus, l’invention favorise une bonne conductivité thermique (utilisation des substrats en Quartz-Silicium), de faible puissance injectée (environ 1 mW à 1 W) et des gradients de température dans le système mixte minimisés. Il est à noter que le dispositif peut être réalisé suivant des dimensions telles qu’il est peu encombrant : en effet, alors que les résonateurs connus du type SAW (fonctionnant à 434 MHz) sont réalisables sur un substrat de Quartz occupant une surface d’environ 6 à 10 mm², le résonateur HBAR 5 du dispositif conforme à l’invention ne nécessite qu’un dixième de cette surface à la même fréquence. Enfin, si l’on observe un facteur de qualité moins important pour le résonateur HBAR, il est possible d’augmenter la puissance du signal. Il existe toutefois dans ce cas de mise en œuvre un risque d’augmentation de température (occasionnée par l’augmentation de puissance) qui peut occasionner l’évaporation de la microgoutte dans le temps. Procédé pour générer une agitation dans une microgoutte de fluide (3) dont le volume est de préférence supérieur à quelques dizaine de nanolitres, mettant en œuvre un dispositif actionneur (1) par ondes acoustiques , ledit dispositif actionneur (1) comprenant un support (2) sur lequel ladite microgoutte de fluide (3) est déposée et prélevée , un résonateur apte à convertir un signal sinusoïdal électrique appliqué en ses bornes en ondes acoustiques, ledit procédé étant caractérisé en ce que le résonateur du dispositif actionneur (1) mis en œuvre est de type à ondes de volumes à modes harmoniques élevés HBAR (5) , le résonateur HBAR (5) présentant un facteur de qualité Q d’au moins 100 dans l’air et comportant ledit support (2), ledit support (2) étant sensiblement plat et revêtu d’une couche de matériau diélectrique (4), en ce que ledit résonateur HBAR (5) est associé à un dispositif électronique modulable (12) apte à générer des ondes hautes fréquences, et en ce qu’il comporte les étapes suivantes: - dépôt sur ledit support (2) d’une microgoutte de fluide (3), - génération d’un signal sinusoïdal électrique (S) par commande du dispositif électronique modulable (12), ledit signal sinusoïdal électrique généré (S) présentant une fréquence choisie au moyen du dispositif électronique modulable, ladite fréquence étant comprise entre 100 MHz et 4 GHz, - transformation du signal sinusoïdal électrique (S) présentant ladite fréquence choisie en ondes hautes fréquences acoustique (OA) par ledit résonateur HBAR (5), les ondes hautes fréquences acoustiques (OA) présentant une résonance propre générant une agitation donnée dans la microgoutte de fluide (3). Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le facteur qualité Q du résonateur HBAR (5) est sensiblement d’au moins 1000 dans l’air. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le dispositif actionneur (1) est encapsulé dans ladite couche de matériau diélectrique (4). Procédé selon la revendication 1, 2 ou 3, caractérisé en ce que ladite couche de matériau diélectrique (4) est hydrophobe. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que ladite couche de matériau diélectrique (4) comporte du polyparaxylylène. Procédé selon la revendication l’une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que ladite couche de matériau diélectrique (4) présente une épaisseur comprise entre sensiblement 100 nm et 40 µm, de préférence entre 2,5 µm et 10 µm. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la fréquence de signal sinusoïdal électrique (S) généré par le dispositif électrique modulable (12) est choisie avant le dépôt de la microgoutte de fluide (3) sur le support (2) en mesurant le facteur de qualité Q dans l’air dudit dispositif actionneur (1) obtenu en faisant varier la fréquence du signal sinusoïdal électrique (S) et en retenant la fréquence qui permet d’obtenir le facteur de qualité Q dans l’air le plus élevé. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la fréquence choisie est comprise entre 400 MHz et 1 GHz. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ladite microgoutte de fluide (3) présente un volume d’au moins 1 µL. Dispositif actionneur (1) par onde acoustique, pour la mise en œuvre du procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, comprenant un support (2) sur lequel ladite microgoutte de fluide (3) peut être déposée et prélevée, un résonateur apte à convertir un signal sinusoïdal électrique (S) appliqué en ses bornes en ondes acoustiques (OA), ledit résonateur étant conçu pour être associé à un dispositif électronique modulable (12) apte à générer des ondes hautes fréquences , caractérisé en ce que ledit résonateur est de type à ondes de volumes à modes harmoniques élevés HBAR (5) et présente un facteur de qualité Q d’au moins 100 dans l’air et en ce que ledit résonateur HBAR (5) comporte ledit support (2), ledit support (2) étant sensiblement plat et revêtu d’une couche de matériau diélectrique (4). Dispositif actionneur selon la revendication 10, caractérisé en ce que ledit résonateur HBAR (5) présente un facteur de qualité Q de sensiblement de 1000 dans l’air. Dispositif actionneur selon la revendication 10 ou 11, caractérisé en ce qu’il est encapsulé dans ladite couche de matériau diélectrique (4). Dispositif selon la revendication 10, 11 ou 12, caractérisé en ce que ladite couche de matériau diélectrique (4) est hydrophobe. Dispositif selon la revendication 10, 11 ou 12, caractérisé en ce que ladite couche de matériau diélectrique (4) comporte du polyparaxylylène. Dispositif selon l’une quelconque des revendications 10 à 14, caractérisé en ce que ladite couche de matériau diélectrique (4) présente une épaisseur comprise entre sensiblement 100 nm et 40 µm, de préférence entre 2,5 µm et 10 µm.