Brevet FR3112604A1 — publié le 20220121

La présente invention concerne un capteur capacitif comprenant une tête de mesure comprenant une pièce conductrice formant une électrode de mesure et présentant une surface, dite surface de détection, destinée à être positionnée en regard d’un objet à mesurer ou à détecter, et un premier élément diélectrique formé par un matériau diélectrique, entourant ladite électrode de mesure, un corps, formé d’un matériau métallique et positionné autour de la tête de mesure, ledit corps ayant une face arrière, dite première face arrière, positionnée à l’opposé de la surface de détection, ledit capteur capacitif est caractérisé en ce qu’il comprend en outre une pièce intermédiaire, en matériau métallique, placée entre la tête de mesure et le corps et ayant une face arrière, dite seconde face arrière, positionnée à l’opposé de la surface de détection, ladite pièce intermédiaire et ledit corps étant reliés par au moins une soudure s’étendant à partir de la première face arrière et/ou de la seconde face arrière selon une région, dite d’interface, comprise entre le corps et la pièce intermédiaire. L’invention concerne aussi des systèmes de détection capacitive et des machines tournante mettant en œuvre ce capteur capacitif. Figure d’abrégé : Figure 2. Capteur capacitif haute température La présente invention concerne un capteur capacitif destiné à être mis en œuvre sur des machines tournantes, telles que des réacteurs ou des turbomachines comme les turbines de générateur électrique. Elle concerne également des systèmes de détection capacitive mettant en œuvre de tels capteurs capacitifs et des machines tournantes munis de ces systèmes de détection capacitive. Le domaine de l'invention est plus particulièrement mais de manière non limitative celui des capteurs capacitifs destinés à être utilisés dans des environnements à haute température (> 600°C). État de la technique Un capteur capacitif peut être utilisé pour déterminer un jeu mécanique, une distance ou des temps de passage d’un objet en utilisant des mesures de capacité. Il comprend un corps et une électrode électriquement isolée du corps par un élément diélectrique, ou céramique. L’électrode et l’élément électriquement isolant forment une tête de mesure. Un objet conducteur, dont la distance ou la variation de distance est à déterminer, et l'électrode du capteur forment un condensateur dont la capacité est mesurée. Une distance ou une variation de distance est déduite de cette mesure de capacité. De tels capteurs peuvent, par exemple, être destinés à être mis en œuvre pour effectuer des mesures ou des contrôles dans des réacteurs ou des turbomachines. La position des aubes d’une machine par rapport à un châssis, des temps de passage de ces aubes ou des informations sur leur état vibratoire peuvent ainsi être obtenus. Les capteurs capacitifs doivent pouvoir opérer dans des environnements particulièrement exigeants, avec des conditions de température et de pression élevées (par exemple, supérieures à 800°C ou 1000°C avec plusieurs dizaines de bars), avec des vibrations mécaniques importantes et en présence de gaz corrosifs. Les températures élevées ont une influence directe sur les propriétés mécaniques et électriques des matériaux du capteur et sur leurs interfaces, notamment : les différences des coefficients d’expansion thermique et/ou d’élasticité génèrent des contraintes mécaniques dans les matériaux qui peuvent dégrader les performances des capteurs, leur fiabilité et leur durée de vie ; et les propriétés électriques des matériaux, telles que par exemple la permittivité diélectrique et la conductivité, peuvent être modifiées et dégradées. Il est donc nécessaire d’identifier des matériaux conducteurs et isolants ayant des propriétés électriques, mécaniques et physico-chimiques compatibles avec les conditions d’utilisation imposées. La technologie à mettre en œuvre pour l’assemblage d’un capteur capacitif doit permettre de réaliser entre les matériaux sélectionnés pour leur performance à haute température des liaisons durables et de grande qualité. Aussi, il est nécessaire que les matériaux assemblés soient le plus compatible possible en termes de coefficients d’expansion thermique et de ductilités. Des exigences particulières sont aussi attendues des liaisons pour l’assemblage des différentes parties formant le capteur capacitif. En plus de la difficulté de trouver des procédés d’assemblage adaptés, les liaisons réalisées doivent être fiable et pouvoir garantir une utilisation prolongée malgré les exigences imposées par des milieux d’opération corrosifs et des températures élevées. La tête du capteur capacitif (formé par l’électrode entourée de l’isolant électrique) est généralement placée au centre d’une structure métallique qui forme un corps pour le capteur. Ce corps permet de monter le capteur sur des supports fixes, notamment le châssis d’une machine. Différentes géométries de corps peuvent être utilisées pour un même type de tête de mesure selon les besoins des applications. Du fait de ses dimensions plus grandes que celles de la tête du capteur capacitif, le corps est généralement formé d’un matériau conducteur moins onéreux. La différence de matériau s’accompagne d’une augmentation de la différence des coefficients d’expansion thermique. Des techniques d’assemblage doivent être développées spécifiquement pour l’assemblage de la tête de mesure et du corps du capteur. Finalement, les capteurs doivent être conçus et fabriqués de façon à ce qu’une rupture inattendue d’une des liaisons entre les éléments formant le capteur capacitif ne puisse pas engendrer une protrusion ou un détachement d’une des pièces puis sa chute dans la chambre de la turbomachine. Un but de la présente invention est de pallier ces inconvénients. Un but de la présente invention est de proposer un capteur capacitif compatible avec une utilisation prolongée dans des conditions de température et de pression exigeantes et de présence de gaz corrosifs. Il est encore un but de la présente invention de proposer un capteur capacitif assemblé de façon fiable empêchant le détachement des pièces qui le forment. Au moins un de ces buts est atteint avec un capteur capacitif, destiné à être mis en œuvre sur une machine tournante, comprenant : une tête de mesure comprenant une pièce conductrice formant une électrode de mesure et présentant une surface, dite surface de détection, destinée à être positionnée en regard d’un objet à mesurer ou à détecter, et un premier élément diélectrique formé par un matériau diélectrique, entourant ladite électrode de mesure ; un corps, formé d’un matériau électriquement conducteur ou métallique et positionné autour de la tête de mesure, ledit corps ayant une face arrière, dite première face arrière, positionnée à l’opposé de la surface de détection ; lequel capteur comprend en outre une pièce intermédiaire, en matériau métallique, placée entre la tête de mesure et le corps et ayant une face arrière, dite seconde face arrière, positionnée à l’opposé de la surface de détection, ladite pièce intermédiaire et ledit corps étant reliés par au moins une soudure s’étendant à partir de la première face arrière et/ou de la seconde face arrière selon une région, dite d’interface, comprise entre le corps et la pièce intermédiaire. Le capteur capacitif de l’invention est adapté à une utilisation pour la mesure d’objets en mouvement dans une chambre présentant des températures élevées et contenant des gaz corrosifs. Particulièrement, il est adapté, ou destiné, à la mesure des positions d’aubes en rotation dans des machines, en particulier dans des environnements avec des températures au-delà de 600°C, ou même au-delà de 800°C, ou même au-delà de 1000°C, ou même au-delà de 1500°C. De façon nullement limitative, de telles machines peuvent être des turbomachines, telles que des turbines à combustion en général ou des turbines à gaz en particulier, des génératrices telles que des turbopompes ou des turbocompresseurs, des turboréacteurs, des turbopropulseurs ou des turbomoteurs. La pièce intermédiaire permet d’être liée d’un côté à la tête de mesure et de l’autre au corps du capteur. Cette pièce est sélectionnée de façon à pouvoir être assemblée avec le corps par une soudure. Dans la disposition de l’invention, celle-ci est réalisée à l’arrière du capteur, c’est-à-dire sur la section du capteur la plus éloignée de la zone de haute température d’une chambre de combustion et la moins exposée à des gaz. Dans cette configuration, la soudure est donc plus fiable car moins exposée aux dégradations générées par l’environnement faisant face au capteur capacitif. Suivant des modes de réalisation, la soudure peut s’étendre autour de la pièce intermédiaire de façon continue. Une soudure continue permet ainsi de sceller l’espace entre le corps du capteur et la tête de mesure. Les gaz circulant dans la chambre de la machine tournante ne peuvent ainsi pas se propager à l’arrière du capteur et détériorer les éléments placés à l’arrière du capteur. Ces éléments peuvent être un câble de transmission avec sa gaine, des brasures ou d’autres pièces formant le capteur. La soudure peut être réalisée par laser ou par faisceau d’électrons. La soudure peut s’étendre entre la pièce intermédiaire et le corps sur une profondeur supérieure à 0,1mm. Plus préférentiellement, la soudure peut s’étendre sur une profondeur supérieure à 0,3mm. De façon encore plus préférentielle, la soudure peut s’étendre sur une profondeur supérieure à 0,5mm. Suivant des modes de réalisation, la région d’interface peut comprendre une région, dite d’appui, s’étendant sous la première face arrière ou sous la seconde face arrière. La région d’interface peut être agencée de sorte que la pièce intermédiaire est retenue par le corps dans le sens opposé à celui allant vers la surface de mesure. Le corps du capteur et la pièce intermédiaire peuvent être agencés de façon à ce que le corps retienne la pièce intermédiaire pour prévenir sa chute ou sa protrusion en direction de la surface de détection, et dans la machine tournante le cas échéant. Le corps est fixé sur la machine (sur le châssis) soit directement, soit par l’intermédiaire d’une autre pièce. Comme ces éléments n’interviennent pas directement sur les performances électriques du capteur capacitif, il est plus facile de sélectionner le choix des matériaux qui les composent et leurs moyens de fixation. Le corps ainsi fixé sur le châssis peut représenter un support pour les autres pièces formant le capteur capacitif et notamment la pièce intermédiaire. Ainsi, celle-ci peut être usinée de façon à pouvoir être retenue par une partie du corps qui aura été usiné selon une forme complémentaire. Le corps peut ainsi former une marche, ou un épaulement, formant la région d’appui sur laquelle la pièce intermédiaire pourra venir s’appuyer. Cette région d’appui permet de prévenir la chute de la pièce intermédiaire ou sa protrusion vers la chambre de la machine tournante. Suivant des modes de réalisation, la soudure peut s’étendre dans la région d’interface entre la première face arrière et/ou de la seconde face arrière, et la région d’appui. En plus de prévenir la chute ou la protrusion de la pièce intermédiaire, la région d’appui permet de contrôler l’étendue et la qualité de la soudure. La région d’appui impose un point d’arrêt pour la soudure qui s’étend verticalement à partir d’au moins une des faces arrière. La longueur de la soudure est ainsi contrôlée en partie par la forme et les dimensions du corps et de la pièce intermédiaire et pas seulement par le procédé de fabrication de la soudure. L’uniformité de la soudure peut aussi être mieux contrôlée le long de l’interface entre les pièces à lier. Une plus grande homogénéité de la composition des matériaux formant la région travaillée peut aussi être obtenue permettant de garantir une meilleure fiabilité de la liaison. Suivant des modes de réalisation, l’électrode de mesure peut être une pièce solide de platine ou d’un alliage comprenant majoritairement du platine. L’électrode de mesure peut aussi être une pièce solide comprenant un des composants suivants : rhodium (Rh), iridium (Ir), aluminium (Al), or (Au). Suivant des modes de réalisation, le premier élément diélectrique peut être une pièce solide de céramique de type alumine. Suivant des modes de réalisation, la pièce intermédiaire peut être formée du même matériau que l’électrode de mesure. Les matériaux formant l’électrode et le premier élément diélectrique peuvent être sélectionnés pour leur tenue à haute température et leurs coefficients d’expansion thermique compatibles. Ces pièces sont assemblées, de préférence, par un procédé de brasure. L’utilisation d’une pièce intermédiaire formée du même matériau que l’électrode permet de maintenir la compatibilité des coefficients d’expansion thermique et de maintenir la même qualité de brasure utilisée pour la liaison entre l’électrode de mesure et le premier élément diélectrique. Suivant des modes de réalisation, le corps peut être formé d’un alliage à base de nickel. Ces alliages présentent une bonne résistance à l’oxydation et à la corrosion et sont adaptés aux conditions mises en jeu dans des réacteurs ou des turbines à énergie. Un alliage de nickel alumino-formeur ou un alliage à base de nickel et chrome peuvent notamment être utilisés. Suivant des modes de réalisation, la tête de mesure peut comprendre en outre : une pièce conductrice formant une électrode de garde et entourant le premier élément diélectrique, et un second élément diélectrique entourant ladite électrode de garde. Ce mode de réalisation de l’invention est adapté à la fabrication de capteurs dits triaxiaux. Dans cette configuration, la pièce conductrice peut être polarisée au même potentiel électrique que celui de l’électrode de mesure. Cela permet de réduire, notamment, les courants de fuite entre l’électrode de mesure et l’environnement en minimisant l’influence de capacités parasites. Suivant un autre aspect de l’invention, il est proposé un système de détection capacitive comprenant le capteur capacitif selon l’invention et une électronique de détection capacitive. Le capteur capacitif peut être relié à l’électronique de détection capacitive par un câble de transfert, de préférence coaxial ou triaxial. L’électronique de détection peut être configurée pour polariser l’électrode de mesure à un potentiel alternatif, dit de travail, différent d’un potentiel de masse (M) de la machine à une fréquence de travail, et détecter un signal (Vs) relatif à la capacité (Ceo), dite électrode-objet, vue par l’électrode de mesure en présence d’un objet tel qu’une aube. Pour cela, l’électronique de détection peut par exemple comprendre un circuit électronique permettant de détecter le courant généré au niveau de l’électrode de mesure à la fréquence de travail, tel qu’un amplificateur de transimpédance ou de charge. L’électronique de détection peut en outre comprendre un oscillateur fournissant le potentiel de travail. Suivant un autre aspect de l’invention, il est proposé une machine tournante comprenant le système de détection capacitive de l’invention, avec au moins un capteur capacitif positionné de sorte à mesurer des aubes de ladite machine tournante. De telles machines tournantes peuvent être ou comprendre des génératrices (par exemple des turbopompes ou des turbocompresseurs), des turbomachines (telles que des turbines à gaz) ou des réacteurs (tels que des turboréacteurs). Le système de détection capacitive peut permettre d’obtenir des informations de distance ou de jeu mécanique des aubes par rapport au capteur. Il peut également permettre d’obtenir des informations sur des temps de passage des aubes devant le capteur, avec en particulier des informations sur leur vitesse et/ou leur état vibratoire respectif. Description des figures et modes de réalisation D’autres avantages et particularités de l’invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée de mises en œuvre et de modes de réalisation nullement limitatifs, et des dessins annexés suivants : la FIGURE 1 illustre une représentation schématique d’un capteur capacitif ; la FIGURE 2 illustre un exemple de capteur capacitif selon l'invention ; les FIGURES 3(a), 3(b), 3(c), 3(d) représentent différents exemples de mis en œuvre du capteur selon l’invention ; la FIGURE 4 représente schématiquement un détail d’une région du capteur capacitif de l’invention ; la FIGURE 5 illustre un autre exemple d’un capteur capacitif selon l'invention ; la FIGURE 6 illustre un exemple de système de détection capacitive mettant en œuvre un capteur capacitif selon l'invention ; et la FIGURE 7 illustre un exemple d’une machine munie d’un système de détection capacitive selon l’invention. Il est bien entendu que les modes de réalisation qui seront décrits dans la suite ne sont nullement limitatifs. On pourra notamment imaginer des variantes de l’invention ne comprenant qu’une sélection de caractéristiques décrites par la suite isolées des autres caractéristiques décrites, si cette sélection de caractéristiques est suffisante pour conférer un avantage technique ou pour différencier l’invention par rapport à l’état de la technique antérieure. Cette sélection comprend au moins une caractéristique de préférence fonctionnelle sans détails structurels, ou avec seulement une partie des détails structurels si cette partie uniquement est suffisante pour conférer un avantage technique ou pour différencier l’invention par rapport à l’état de la technique antérieure. En particulier, toutes les variantes et tous les modes de réalisation décrits sont combinables entre eux si rien ne s’oppose à cette combinaison sur le plan technique. Sur les figures, les éléments communs à plusieurs figures conservent la même référence. En référence à la FIGURE 1, les éléments principaux constituant un capteur capacitif 100 sont décrits. Celui-ci comprend une électrode de mesure 102 s’étendant depuis la face avant 104 du capteur le long de son axe de symétrie 106. L’électrode de mesure 102 est entourée d’un élément diélectrique 108. A l’arrière du capteur capacitif 100, l’électrode de mesure 102 est connectée à un câble 110 de transfert d’un signal mesuré par l’électrode de mesure 102 vers un système de traitement du signal (non représenté). Le câble 110 peut aussi avoir pour fonction de polariser l’électrode de mesure 102 à un potentiel électrique. Selon l’exemple de la Figure 1, le capteur capacitif est de type axisymétrique, selon une disposition coaxiale. L’ensemble électrode de mesure 102 – élément diélectrique 108, aussi appelé tête de mesure du capteur, est fixé dans un corps 112, qui peut être relié à une masse électrique. De manière non limitative, les têtes de mesure peuvent avoir un diamètre de l’ordre du millimètre jusqu’à plusieurs centimètres. Le capteur 100, ainsi constitué peut être, par exemple, inséré dans une paroi d’une turbomachine pour mesurer le passage d’aubes en rotation, et notamment leur distance ou leur jeu mécanique, leur temps de passage et/ou leur état vibratoire respectif, par mesure du couplage capacitif entre ces aubes et l’électrode de mesure 102. Cependant, la configuration du capteur capacitif 100 tel que représenté sur la Figure 1 n’est pas nécessairement adaptée à une utilisation en milieu corrosif sous des températures et des pressions élevées, et impliquant des vibrations mécaniques élevées. En effet, il est nécessaire que les liaisons mises en œuvre durant l’assemblage des pièces le constituant restent fiables au cours du temps et que les pièces ne se détachent pas. La FIGURE 2 représente une illustration schématique d’un exemple de capteur capacitif selon l’invention. Le capteur capacitif 200 comprend une tête de mesure 202, constituée d’une électrode 204 s’étendant depuis la face avant 206, et d’un élément diélectrique 208. Il comprend également un corps métallique 210. Dans l’exemple présenté et non limitatif, ces éléments sont concentriques et présentent un axe de symétrie par rapport à l’axe 212. Préférentiellement, l’élément diélectrique 208 est en l’alumine, c’est-à-dire en oxyde d’aluminium, et l’électrode 204 est en platine (Pt). Ces matériaux ont les avantages de posséder des ductilités et des coefficients d’expansions thermiques compatibles pour des températures même au-delà de 1500°C. Le platine présente une température de fusion de 1768°C, ce qui en fait un matériau adapté aux exigences des applications visées. Le platine présente également une grande résistance à la corrosion et à l’oxydation. L’alumine est un matériau isolant qui maintient des caractéristiques diélectriques sur un spectre étendu de température. Une technique d’assemblage connue de ces matériaux est le brasage. Des exemples de brasures 214a entre l’électrode 204 et le diélectrique 208 sont illustrés sur la Figure 2. Afin de maintenir, même à haute température, les propriétés électriques de l’alumine, une composition de plus en plus maitrisée de celle-ci est nécessaire car la chaleur a tendance à augmenter la diffusion des espèces étrangères, ce qui est susceptible d’influencer le comportement diélectrique et la conductivité. Le matériau conducteur formant le corps 210 est de préférence un alliage de nickel alumino-formeur. Ces matériaux sont particulièrement bien adaptés aux conditions mises en jeu dans des réacteurs ou des turbines à énergie car ils présentent une bonne résistance à l’oxydation et à la corrosion. Ils ont cependant un coefficient d’expansion qui est plus élevé que celui de l’alumine formant le diélectrique 208. Cette différence de coefficient d’expansion thermique, ajoutée aux besoins de grande pureté de l’alumine, rendent l’assemblage difficile. Une pièce conductrice intermédiaire 216 est placée entre l’alumine 208 et le corps métallique 210 du capteur capacitif afin de faciliter la réalisation de la liaison entre le corps du capteur 210 et la tête de mesure 202. Cette pièce est préférentiellement fabriquée en Platine. A l’interface formée par les deux matériaux métalliques 210 et 216 une soudure 218 est réalisée et forme un mélange constitué des deux matériaux. Ainsi, la température limite d’opération de cette soudure est celle des matériaux la formant, et non pas celle d’un matériau additionnel, par exemple, nécessaire à la formation d’une brasure. Préférentiellement, la pièce de Platine intermédiaire 216 est liée à l’élément diélectrique 208 par une brasure 214b. A haute température, les propriétés électriques de l’alumine se modifiant, et notamment sa conductivité augmentant, il peut en résulter que la pièce d’alumine 208 et la brasure 214b forment une connexion électrique entre l’électrode 204 et la pièce intermédiaire conductrice 216. L’électrode 204 n’est alors plus isolée électriquement, notamment du corps 210, typiquement polarisé au potentiel de masse, et les performances du capteur capacitif 200 sont dégradées. Dans une mise en œuvre préférentielle de l’invention, l’influence de ce phénomène peut être réduit en augmentant l’épaisseur (le diamètre) de la pièce de diélectrique 208. Cependant, cette approche induit une augmentation de la taille globale du capteur capacitif qui est, en général, imposée par les besoins de l’application. Une approche alternative est de garder l’épaisseur de l’alumine relativement fine au niveau de la face avant et plus grande ailleurs. Pour ce faire, l’électrode présente une surface avant large, imposée par les besoins des mesures, et une partie arrière avec un diamètre plus petit. Comme illustré sur la Figure 2, l’électrode 204 a la forme d’un clou à tête plate. Pour maintenir une conductivité faible, les brasures entre l’électrode et la pièce diélectrique et entre la pièce diélectrique et la pièce conductrice intermédiaire sont faites à partir des faces arrière du capteur, c’est-à-dire là où l’épaisseur de diélectrique est importante. Sur la face avant, l’absence de brasure permet de garder une interface d’air entre l’élément diélectrique et les différentes pièces conductrices. Cette interface permet de contribuer à maintenir la constante diélectrique et la conductivité entre l’électrode 204 et la pièce intermédiaire 208 adaptées aux contraintes de performance du capteur. La position des brasures 214a, 214b réalisées à l’arrière du capteur présentent aussi l’avantage d’être moins exposées aux températures et au gaz corrosifs. Ceci permet de réduire leur oxydation et la vitesse de dégradation. En plus de pouvoir maintenir des performances à haute température et de résister à la corrosion, le capteur capacitif 200, tel qu’illustré sur la Figure 2 est aussi adapté pour prévenir le détachement ou la protrusion, vers l’intérieur de la machine, des pièces le formant. Le corps 210, qui est destiné à être fixé sur une paroi de la machine, est conçu pour avoir une marche ou un épaulement 220 prévu pour former une région d’appui et retenir la pièce conductrice 216, de sorte à prévenir le glissement de celle-ci en direction de la face avant 206. Préférentiellement, la pièce conductrice 216 est prévue pour contenir au moins deux marches ou épaulements. Une première marche est prévue pour former une région d’appui et venir s’appuyer sur la marche 220 du corps 210 et une seconde marche 222 est prévue pour former une autre région d’appui et maintenir la pièce de diélectrique 208. Bien entendu, les régions d’appui peuvent être perpendiculaires à l’axe du capteur comme illustré, ou comprendre des surfaces inclinées, tel que par exemple de forme conique. Chaque élément formant le capteur capacitif peut ainsi être retenu par un autre élément de sorte qu’il ne puisse pas glisser vers l’intérieur de la machine, à l’exception de l’électrode 204. Pour résoudre cette situation, le capteur capacitif 200 de l’invention comprend une pièce supplémentaire d’attachement 224. Celle-ci est représentée sur la Figure 2 par une rondelle qui est glissée le long de l’électrode du côté de la face arrière. La pièce d’attachement 224 est assemblée sur l’électrode pour y être solidaire. Ses dimensions sont ajustées pour qu’elle puisse s’appuyer sur une des autres pièces du capteur soit à l’assemblage du capteur ou soit au cas où l’électrode 204 se détacherait du reste du capteur. La pièce d’attachement 224 permet ainsi de retenir l’électrode 204 et éviter sa chute ou sa protrusion dans la machine. Préférentiellement, la pièce supplémentaire 224 est prévue pour s’étendre en regard de la pièce d’alumine 208 et buter contre celle-ci. La FIGURE 3(a) illustre un mode de réalisation dans lequel la liaison entre la pièce d’attachement 224 et l’électrode 204 est réalisée grâce à une soudure 301. L’utilisation d’une soudure est rendue possible grâce à l’utilisation d’une pièce d’attachement 224 métallique. La soudure 301 est positionnée en arrière du capteur ce qui réduit son exposition aux températures élevées et aux risques de corrosion, permettant ainsi d’augmenter sa fiabilité. Afin de faciliter l’illustration et de faire apparaître la soudure, la pièce d’attachement 224 est dessinée en transparence. La FIGURE 3(b) illustre un autre mode de réalisation de la liaison entre la pièce d’attachement 224 et l’électrode 204. Dans ce cas, au moins une partie de la section 302 représentant la partie en arrière de l’électrode 204 est filetée. Un filetage est aussi réalisé sur la pièce d’attachement 224, ce qui lui permet d’être vissée sur la section filetée de l’électrode 204. Le filetage est représenté par l’élément 304 sur la Figure 3(b). Afin de faciliter l’illustration et de faire apparaître la partie filetée, la pièce d’attachement 224 est dessinée en transparence. Une soudure (non représentée sur la Figure 3(b)) peut être réalisée afin de renforcer la liaison en créant un point d’arrêt, par exemple, entre la pièce d’attachement 224 et l’électrode 204. La FIGURE 3(c) et la Figure 3(d) illustrent un autre mode de réalisation de l’assemblage de la pièce d’attachement 224 et de l’électrode 204. Un système d’attachement en baïonnette est utilisé. Une rainure longitudinale 306 est creusé le long d’une partie de la tige 302 de l’électrode de mesure 204. La pièce d’attachement 224 (représentée en transparence sur la Figure 3c) contient un ergot 308 qui peut glisser le long de la rainure longitudinale et venir s’insérer dans une encoche ou une rainure transversale faite sur la tige 302. Une soudure (non représentée) peut être réalisée pour renforcer la liaison entre la pièce d’attachement 224 et l’électrode 204. Nous revenons maintenant à la FIGURE 2 et à la description de la soudure 218 mise en œuvre pour relier l’élément métallique 216 et le corps 210. Dans un exemple de mise en œuvre, plusieurs soudures 218 peuvent être réparties le long de l’interface en des points discrets. De façon préférentielle, la soudure 218 est continue tout le long de l’interface. Cela permet ainsi d’obtenir une étanchéité afin d’éviter, par exemple, que de l’humidité ou des gaz n’entrent dans le câble de liaison et ne dégrade celui-ci ainsi que d’autres éléments à l’arrière du capteur. Le corps 210 dépend de la configuration imposée par l’utilisateur de la turbomachine. Typiquement, celui-ci peut s’étendre sur des longueurs allant du centimètre à plusieurs décimètres. La pièce intermédiaire 216 est préférentiellement maintenue à des dimensions relativement petites (typiquement d’environ 0,5mm d’épaisseur entre le corps et l’élément diélectrique). Cela permet de réduire les contraintes mécaniques sur la liaison et maintenir les dimensions du capteur petites. La soudure 218 est faite à l’arrière du capteur capacitif. C’est-à-dire qu’elle est réalisée à partir des surfaces du corps 210 et de la pièce de matériau conducteur 216 opposées à la face avant 206 se trouvant en regard de l’objet à mesurer. La position de la soudure à l’arrière du capteur permet de maintenir celle-ci éloignée des températures élevées et des gaz circulant dans la chambre de la machine, la rendant ainsi plus fiable car, notamment, moins sujette à des dégradations dues à des problèmes d’oxydation et de corrosion. De préférence la soudure liant le corps du capteur à l’élément métallique est réalisée par procédé Laser. L’utilisation d’un gaz neutre (Azote, mélange Aron/Hélium) permet de réduire le risque de présence d’oxygène dans la soudure. Ceci permet de limiter les risques de corrosion entre autres ou de fragilité mécanique de la soudure à cause de bulles d’oxygène emprisonnées pendant la fabrication. Un autre exemple de réalisation de la soudure est l’utilisation d’un faisceau d’électron. Un avantage de cette technique est que la soudure se fait sous vide donc avec une présence d’oxygène très réduite. Selon une configuration préférée de l’invention, les surfaces arrières du corps 210 et de l’élément métallique 216 sont alignés selon un même plan pour former un plateau. Cette configuration particulière est celle illustrée par la Figure 2. Elle permet d’avoir un faisceau laser (ou d’électrons) perpendiculaire à la surface et pouvant être aligné par rapport aux parois à souder pour pouvoir mieux contrôler la qualité de la soudure. Une autre configuration avantageuse de l’invention consiste à tirer avantage de la pièce intermédiaire 216 qui est munie d’au moins une marche/épaulement afin de pouvoir venir s’appuyer sur une marche/épaulement 220 du corps 210, selon des surfaces d’appui. Cette disposition est représentée par la Figure 4a et la Figure 4b qui présentent une vue de détail de la zone 226 illustrée sur la Figure 2. Cette zone est la région d’interface entre le corps 210 et l’élément métallique 216 formant la marche ou l’épaulement 220. L’épaulement 220 est formée par les deux segments d’interface 402 et 404 indiquées sur la FIGURE 4a. Le premier segment 402 représente une zone accueillant la soudure 218 s’étendant des faces arrière du corps 210 et de l’élément conducteur 216 jusqu’au segment d’interface 404 s’étendant sous la pièce intermédiaire 216. Le segment d’interface 404, qui forme la région ou le surface d’appui, permet également de former un point d’arrêt pour la soudure 218, l’épaulement du corps 210 arrêtant la région d’interface. La qualité de la soudure 218 est ainsi maîtrisée grâce au contrôle de sa profondeur. En effet, la section de la soudure la plus profonde (celle qui est la plus éloignée de la source d’énergie) est la plus difficilement contrôlable et donc potentiellement la moins fiable. C’est aussi la section qui est la plus proche des régions pouvant présenter des températures élevées et contenir des gaz corrosifs, et donc susceptible de se dégrader le plus rapidement. La présence de la discontinuité formée par l’angle entre le segment 402 et le segment 404 permet d’assurer une meilleure répétabilité de la qualité globale de la soudure, et en particulier de sa section inférieure. L’arrêt de la soudure étant imposé par le corps 210. Additionnellement, les dimensions de l’épaulement permettent un contrôle de la longueur d’interface de liaison. Une longueur préférentielle pour garantir une opération fiable à des températures supérieures à 1200°C est de 0,1 mm, plus préférentiellement de 0,3 mm et encore plus préférentiellement de 0,5mm. Ces valeurs d’épaisseur permettent à la fois de garantir une liaison suffisante entre le corps 210 et la pièce intermédiaire 216 et de réduire le coût des matériaux. De retour à la FIGURE 2, une brasure 214a, entre l’électrode 204 et l’élément diélectrique 208, et/ou une brasure 214b entre l’élément diélectrique 208 et la pièce de Platine 216 sont illustrées. Celles-ci sont réalisées grâce à un matériau d’apport. De préférence, comme illustré sur la FIGURE 2, les brasures sont réalisées sur les surfaces arrière du capteur. Ces brasures peuvent toutefois aussi être réalisées à partir des faces avant. Tout comme la soudure, la brasure peut être continue le long de l’interface des matériaux connectés afin d’assurer une isolation entre l’avant et l’arrière du capteur. Dans un exemple particulier de mise en œuvre, le corps du capteur 210 peut être constitué de plusieurs parties distinctes. Une première partie est connectée à la tête de mesure selon la mise en œuvre de l’invention. Cette partie est suffisamment petite pour pouvoir être manipulée et connectée avec une difficulté réduite à la tête de mesure. Une seconde partie constituant le corps du capteur est ensuite connectée à la première avec des moyens de liaison connus. La réalisation de cette liaison est facilitée par le fait qu’elle peut être réalisée sur des matériaux similaires ou identiques et parce qu’elle peut être positionnée à une distance éloignée des zones exposées à des températures élevées. Cette approche est bien adaptée pour la réalisation des soudures à partir des faces arrière du capteur capacitif. La FIGURE 5 est une représentation schématique d’un autre exemple de réalisation non limitatif d’un capteur capacitif selon l’invention et représentant une structure triaxiale. Cette configuration est utilisée dans l’objectif de réduire les courants de fuites entre l’électrode de mesure et les éléments conducteurs de son environnement par des capacités parasites. Selon ce mode de réalisation, comme précédemment, le capteur capacitif 500 comprend une l’électrode de mesure 204 qui s’étend depuis la face avant 206 du capteur le long de son axe de symétrie 212. L’électrode de mesure 204 est entourée d’un premier élément diélectrique 208. A l’arrière du capteur 500, l’électrode de mesure 204 est connectée à un câble 502 de transfert d’un signal mesuré par l’électrode 204 vers un système de traitement du signal (non représenté). Le câble 502 peut aussi être utilisé pour amener un signal de polarisation à l’électrode de mesure 204. Le capteur capacitif 500 comprend, une pièce intermédiaire 510 en matériau électriquement conducteur. Dans ce mode de réalisation, cette pièce intermédiaire 510 est utilisée comme une électrode de garde, agencée autour du premier élément diélectrique 208. Dans ce mode de réalisation, la pièce intermédiaire 510 peut être polarisée au même potentiel électrique que celui de l’électrode de mesure 204. Ce potentiel est en général appelé potentiel de garde. Cette pièce intermédiaire 510 est ainsi utilisée pour maintenir une différence de potentiel quasiment nulle entre elle et l’électrode, ce qui permet de réduire l’influence de capacités parasites. A l’arrière du capteur 500, l’électrode de garde constituée par la pièce intermédiaire 510 est également connectée au câble 502 de transfert du signal, de sorte à être polarisée au même potentiel que celui de l’électrode 204. Le capteur capacitif 500 comprend ensuite un deuxième élément diélectrique 208’, agencé autour de l’électrode de garde. L’ensemble électrode 204 – premier élément diélectrique 208 – électrode de garde 510 – deuxième élément diélectrique 208’, formant la tête de mesure 504 du capteur, est fixé dans un corps de capteur 506, qui peut être relié à une masse électrique. Une pièce de matériau conducteur 508 est placée entre la tête de mesure du capteur 504 et le corps métallique 506 afin de pouvoir réaliser une soudure 218 selon les mises en œuvre préférentielles de l’invention. Les liaisons respectives entre les éléments 204, 208, 510, 208’ et 508 peuvent être réalisées, par exemple, par des brasures 214a-d. Ces brasures peuvent être réalisées par accès selon les faces avant ou selon les faces arrière du capteur. La Figure 5 représente une configuration pour laquelle toutes les brasures sont réalisées par accès selon les faces arrière. Les éléments 208, 208’, 510, 508 et 506 sont prévus pour présenter des marches ou épaulements permettant de soutenir l’élément qu’il entoure de façon similaire décrite plus haut et ce afin de prévenir une potentielle chute ou une protrusion d’un élément dans la machine. La chute ou la protrusion de l’électrode de mesure 204 est prévenue par une pièce d’attachement 224. La FIGURE 6 illustre un exemple de système de détection capacitive mettant en œuvre le capteur capacitif de l'invention. Le capteur capacitif 200 est relié à une électronique de détection capacitive 602 par un câble de transfert 110, de préférence coaxial ou triaxial. L’électronique de détection est configurée pour polariser l’électrode de mesure 204 à un potentiel alternatif, dit de travail, différent d’un potentiel de masse (M) de la machine à une fréquence de travail, et détecter un signal (Vs) relatif à la capacité (Ceo), dite électrode-objet, vue par l’électrode de mesure 204. Suivant un exemple de réalisation, l’électronique de détection 204 peut comprendre un circuit électronique permettant de détecter le courant généré au niveau de l’électrode de mesure à la fréquence de travail, tel qu’un amplificateur de transimpédance ou de charge. Cet amplificateur de transimpédance peut notamment comprendre un amplificateur opérationnel (AO), ou un circuit réalisant un amplificateur opérationnel, avec une capacité en contre-réaction. Dans cette configuration, la sortie de l’AO fournit une tension V s dont l’amplitude est fonction de la capacité, dite capacité électrode-objet, vue par l’électrode de mesure reliée à la première entrée de l’AO. La sortie de l’AO peut être reliée, directement ou indirectement, à un démodulateur synchrone, qui peut faire partie, ou non, du dispositif de détection capacitive selon l’invention. L’électronique de détection 204 selon l’invention peut en outre comprendre un oscillateur fournissant le potentiel de travail, utilisé comme potentiel d’excitation de l’électrode de mesure 204. Un autre exemple de système de détection capacitive peut mettre en œuvre le capteur capacitif 500 relié à une électronique de détection capacitive 602 par un câble de transfert 502. L’électronique de détection peut être configurée, entre autres, pour polariser l’électrode de mesure 204 et l’électrode de garde 216 au potentiel de travail. La FIGURE 7 illustre un exemple d’une machine tournante 700 munie d’un système de détection capacitive 600 selon l’invention. De telles machines tournantes peuvent être des turbomachines, des génératrices ou des réacteurs, comprenant un châssis ou un carter 702 et des aubes 704 en rotation, comme schématisée par la flèche sur la figure, autour d’un axe. Au moins un capteur capacitif 200 (respectivement 500) est monté sur le châssis 702 de la machine tournante, la surface de détection 206 faisant face aux aubes de la machine. Le capteur capacitif 200 (respectivement 500) est relié à une électronique de détection 602 par un câble de transfert 110 (respectivement 502). Lors du passage d’une aube devant le capteur capacitif, un signal (Vs) relatif à la capacité établie entre l’électrode de mesure et l’aube 704 est ainsi détecté et traité par le système de détection capacitive 600. Bien sûr, l’invention n’est pas limitée aux exemples qui viennent d’être décrits et de nombreux aménagements peuvent être apportés à ces exemples sans sortir du cadre de l’invention. Capteur capacitif (200, 500), destiné à être mis en œuvre sur une machine tournante, comprenant : une tête de mesure (202, 504) comprenant une pièce conductrice formant une électrode de mesure (204) et présentant une surface, dite surface de détection (206), destinée à être positionnée en regard d’un objet à mesurer ou à détecter, et un premier élément diélectrique (208) formé par un matériau diélectrique, entourant ladite électrode de mesure (204); un corps (210, 506), formé d’un matériau électriquement conducteur et positionné autour de la tête de mesure (202, 504), ledit corps (210, 506) ayant une face arrière, dite première face arrière, positionnée à l’opposé de la surface de détection (206); caractérisé en ce qu’il comprend en outre une pièce intermédiaire (216,508), en matériau métallique, placée entre la tête de mesure (202,504) et le corps (210, 506) et ayant une face arrière, dite seconde face arrière, positionnée à l’opposé de la surface de détection (206), ladite pièce intermédiaire (216, 508) et ledit corps (210, 506) étant reliés par au moins une soudure (218) s’étendant à partir de la première face arrière et/ou de la seconde face arrière selon une région (226), dite d’interface, comprise entre le corps (210, 506) et la pièce intermédiaire (216, 508). Capteur capacitif (200, 500) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la soudure (218) s’étend autour de la pièce intermédiaire (216, 508) de façon continue. Capteur capacitif (200, 500) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la soudure (218) est réalisée par laser ou par faisceau d’électrons. Capteur capacitif (200, 500) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la soudure (218) s’étend entre la pièce intermédiaire (216, 508) et le corps (210, 506) sur une profondeur supérieure à 0,1mm. Capteur capacitif (200, 500) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la région d’interface (226) comprend une région, dite d’appui (404), s’étendant sous la première face arrière ou sous la seconde face arrière. Capteur capacitif (200, 500) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la région d’interface (226) est agencée de sorte que la pièce intermédiaire est retenue par le corps dans le sens opposé à celui allant vers la surface de mesure. Capteur capacitif (200, 500) selon l’une des revendications 5 ou 6, caractérisé en ce que la soudure s’étend dans la région d’interface entre la première face arrière et/ou de la seconde face arrière, et la région d’appui. Capteur capacitif (200, 500) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l’électrode de mesure (204) est une pièce solide de platine ou d’un alliage comprenant majoritairement du platine. Capteur capacitif (200, 500) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le premier élément diélectrique (208) est une pièce solide de céramique de type alumine. Capteur capacitif (200, 500) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la pièce intermédiaire (216,508) est formée du même matériau que l’électrode de mesure (204). Capteur capacitif (200, 500) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le corps (210,506) est formé d’un alliage à base de nickel. Capteur capacitif (500) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la tête de mesure (504) comprend en outre : une pièce conductrice (510) formant une électrode de garde et entourant le premier élément diélectrique (208), et, un second élément diélectrique (208’) entourant ladite électrode de garde. Système de détection capacitive (600), comprenant le capteur capacitif (200,500) de l’une des revendications précédentes et une électronique de détection capacitive (602). Machine tournante (700) comprenant le système de détection capacitive (600) de la revendication précédente, avec au moins un capteur capacitif (200, 500) positionné de sorte à mesurer des aubes de ladite machine tournante.