Brevet FR3112217A1 — publié le 20220107

La présente invention concerne un scanner pourvu d’une pluralité de scanners élémentaires, et notamment deux scanners élémentaires, dits respectivement premier et deuxième scanner. En particulier, la premier scanner et le deuxième scanner sont agencés pour balayer, chacun avec un faisceau optique, respectivement, une première surface et une deuxième surface incluse dans la première surface et d’une étendue inférieure à cette dernière. Figure pour l’abrégé : Figure 1. SCANNER OPTIQUE La présente invention se rapporte au domaine des microsystèmes opto électromécaniques (« MOEMS » selon la terminologie Anglo-Saxonne). En particulier, la présente invention concerne un scanner optique pourvu d’au moins deux scanners élémentaires, dits, respectivement, premier scanner et deuxième scanner agencés pour balayer l’espace environnant du scanner optique chacun au moyen d’un faisceau extrait obtenu à partir d’un faisceau optique principal et selon une résolution optique différente. Notamment, le premier scanner et le deuxième scanner sont agencés pour balayer, au moyen des faisceaux extraits, une première surface et une deuxième surface, la deuxième surface étant d’une étendue inférieure à celle de la première surface et incluse dans la première surface. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE Les scanners ou les micro-scanners 2D sont des dispositifs permettant de balayer avec un faisceau lumineux une scène selon une voire deux dimensions. Ces scanners peuvent notamment être mis en œuvre dans des dispositifs de type LIDAR (« Light Detection And Ranging systems ») à des fins de détection ou d’imagerie. En pratique le balayage d’une surface ou d’un objet par un faisceau lumineux peut être réalisé au moyen d’un ou plusieurs micro-miroirs mobiles. A cet égard, la (extraite du document [1] cité à la fin de la description) illustre une première architecture possible d’un tel dispositif pourvu de deux micro-miroirs, dits respectivement premier micro-miroir 11 et deuxième micro-miroir 21, agencés pour pivoter autour, respectivement, d’un premier axe pivot X1X1’ et d’un deuxième axe pivot Y1Y1’ non parallèles. En particulier, ces deux micro-miroirs 11 et 21 sont agencés de sorte qu’un faisceau lumineux émis par une source lumineuse 31 soit réfléchi par le premier micro-miroir 11 en direction du deuxième micro-miroir 21 qui le réfléchit à son tour en direction par exemple d’un écran 41. La rotation de chacun des micro-miroirs 11 et 21 autour de leur axe pivot respectif permet ainsi d’effectuer un balayage d’une surface avec le faisceau lumineux par exemple à des fins d’imagerie ou de détection. Une telle architecture n’est cependant pas satisfaisante. En effet, cette dernière, du fait de la présence de deux micro-miroirs, est peu compacte. Par ailleurs, cette architecture requiert un alignement précis des deux micro-miroirs et est par voie de conséquence difficile à réaliser. Enfin, les micro-miroirs sont également susceptibles de subir un endommagement, notamment par un échauffement induit par le faisceau lumineux. Afin de pallier en partie ces problèmes, une deuxième architecture, illustrée à la (extraite du document [1] cité à la fin de la description), peut être envisagée. Cette dernière met en œuvre un unique micro-miroir 12 monté pivotant autour de deux axes pivot X2X2’ et Y2Y2’ non parallèles. L’oscillation de ce micro-miroir 1 2 autour de l’un et l’autre des deux axes pivots X 2 X 2 ’ et Y 2 Y 2 ’ permet ainsi de balayer la surface d’un écran 4 1 au moyen d’un faisceau lumineux issue d’une source lumineuse 3 2 et réfléchie par ledit micro-miroir 1 2 . Toutefois, cette deuxième architecture n’est pas non plus satisfaisante. En effet, à l’instar de la première architecture, le micro-miroir 1 2 est également susceptible de subir un échauffement induit par le faisceau lumineux. Par ailleurs, cette deuxième architecture est également sensible à l’alignement de la source lumineuse 3 2 et du micro-miroir 1 2 . L’alignement entre ces deux éléments est notamment sensible aux chocs subis par le dispositif mais également aux conditions de température et de pression imposées à ce dernier. En outre, les oscillations du micro-miroir autour de l’un et l’autre des deux axes pivots X 2 X 2 ’ et Y 2 Y 2 ’, induites par un actionneur, ne sont jamais découplées de sorte que des diaphonies (« Crosstalk » selon la terminologie Anglo-Saxonne) mécaniques sont susceptibles d’intervenir. De manière alternative aux architectures présentées ci-avant, des micro-scanners 2D à émetteur optique à commande de phase ou à réseau optique à commande de phase (« OPA » ou « Optical Phased Array » selon la terminologie Anglo-Saxonne) ont pu être proposés. Ces derniers peuvent comprendre une pluralité de sources optiques susceptibles d’émettre chacune un rayonnement lumineux. Chacune de ses sources optiques est par ailleurs associée à des moyens de modulation de phase destinés à déphaser les rayonnements optiques les uns par rapport aux autres de manière à faire varier l’angle de propagation du rayonnement combiné issu de l’ensemble des sources optiques. Selon une configuration avantageuse, les sources optiques peuvent être issues d’une même source principale. Ce principe de fonctionnement peut être extrapolé à une matrice 2D de sources optiques permettant un balayage d’un faisceau optique suivant deux directions différentes, par exemple perpendiculaires l’une par rapport à l’autre. Toutefois, ces dispositifs ne sont pas non plus satisfaisants. En effet, un tel dispositif reste contraint à une résolution optique qui lui est imposée par sa conception, et qui rend par conséquent ce dernier peu flexible d’emploi. En particulier, ce dispositif ne permet pas de balayer une surface donnée, ou une zone de ladite surface, à différentes résolutions optiques, par exemple à des fins d’analyse. Par conséquent, un but de la présente invention est de proposer un dispositif de balayage lumineux qui présente une flexibilité en termes de résolution optique, et/ou d’étendue de surface balayée. Un autre but de la présente invention est de proposer un dispositif de balayage lumineux qui présente une compacité appréciable. Les buts de l’invention sont, au moins en partie, atteints par un scanner optique qui comprend : - une source optique apte à émettre un faisceau optique principal ; - au moins deux scanners élémentaires, dits, respectivement, premier et deuxième scanner, et qui comprennent respectivement : - une première et une deuxième poutre pourvues, respectivement, d’une première et d’une deuxième partie mobile d’une part, et d’une première et d’une deuxième partie fixe d’autre part ; - un premier et un deuxième actionneur agencés pour imposer une flexion ou une torsion, respectivement à la première et la deuxième partie mobile ; - un premier et un deuxième réseau optique à commande de phase disposés sur ou dans, respectivement, la première et la deuxième partie mobile et au niveau desquels le faisceau optique principal est extrait, en partie, sous forme, respectivement, d’un premier et d’un deuxième faisceau ; le premier et le deuxième scanner étant agencés pour balayer, selon une première et une deuxième direction, au moyen du premier et du deuxième faisceau, respectivement, une première et une deuxième surface, la deuxième surface étant d’une étendue inférieure à celle de la première surface et incluse dans la première surface. Selon un mode de mise en œuvre, la première et la deuxième poutre sont agencées de sorte que la flexion de l’une et l’autre de ces deux poutres permet, respectivement, au premier et au deuxième faisceau de balayer, respectivement, la première et la deuxième surface selon la première direction, selon, respectivement, une première et une deuxième gamme d’angles longitudinaux, la première gamme d’angles longitudinaux présentant une étendue supérieure à celle de la deuxième gamme d’angles longitudinaux. Selon un mode de mise en œuvre, la première et la deuxième partie mobile sont agencées pour se voir imposer une flexion, respectivement, d’une première et d’une deuxième amplitude, la deuxième amplitude étant strictement inférieure à la première amplitude. Selon un mode de mise en œuvre, la première partie mobile présente une épaisseur, dite première épaisseur, supérieure à l’épaisseur, dite deuxième épaisseur, de la deuxième partie mobile. Selon un mode de mise en œuvre, la première partie mobile présente une longueur, dite première longueur, inférieure à la longueur, dite deuxième longueur de la deuxième poutre. Selon un mode de mise en œuvre, la première partie mobile présente une fréquence de vibration à la résonance, dite première fréquence, supérieure à la fréquence de vibration à la résonance, dite deuxième fréquence, de la deuxième partie mobile. Selon un mode de mise en œuvre, le premier et le deuxième scanner comprennent respectivement, une première et une deuxième pluralité de guides d’ondes disposés sur ou dans, respectivement, la première et la deuxième partie mobile, chacune des pluralités de guides d’ondes étant destinée à diviser le faisceau optique principal en, respectivement, une première et deuxième pluralité de faisceaux optiques secondaires. Selon un mode de mise en œuvre, la première pluralité de guide d’ondes comprend un nombre de guides d’ondes inférieur à celui de la deuxième pluralité de guides d’ondes. Selon un mode de mise en œuvre, le premier et le deuxième réseau optique à commande de phase comprennent, respectivement, une première et une deuxième pluralité de déphaseurs optiques, chaque déphaseur optique de la première et de la deuxième pluralité de déphaseur optique étant couplé à un guide d’ondes, respectivement, de la première et de la deuxième pluralité de guides d’ondes, avantageusement, le deuxième réseau optique à commande de phase comprend un nombre de déphaseurs optique supérieur à celui du premier réseau optique à commande de phase. Selon un mode de mise en œuvre, chaque déphaseur optique comprend un réseau de diffraction couplé à des moyens de déphasage destinés à imposer un déphasage au faisceau optique secondaire issu du guide d’ondes auquel est optiquement couplé le déphaseur optique considéré. Selon un mode de mise en œuvre, le premier et le deuxième réseau à commande de phase sont agencés pour imposer un balayage, respectivement, de la première et de la deuxième surface, par respectivement le premier et le deuxième faisceau, selon la deuxième direction selon, respectivement, une première et une deuxième gamme d’angles latéraux, la première gamme d’angles latéraux présentant une étendue supérieure à celle de la deuxième gamme d’angles latéraux. Selon un mode de mise en œuvre, la première et la deuxième poutre comprennent chacune, d’une face avant vers une face arrière, une couche avant, une couche intermédiaire et une couche arrière. Selon un mode de mise en œuvre, la couche avant et la couche arrière comprennent chacune un matériau diélectrique, le matériau diélectrique comprend avantageusement du dioxyde de silicium. Selon un mode de mise en œuvre, le premier et le deuxième actionneur sont agencés de sorte que la flexion susceptible d’être imposée à l’une et l’autre de la première et de la deuxième partie mobile s’effectue selon un plan perpendiculaire à une face principale, respectivement, de la première et de la deuxième poutre. Selon un mode de mise en œuvre, le premier et le deuxième actionneur sont agencés de sorte que la torsion susceptible d’être imposée à l’une et l’autre de la première et de la deuxième partie mobile s’effectue autour d’un axe d’élongation, respectivement, de la première et de la deuxième poutre. Selon un mode de mise en œuvre, le premier et le deuxième l’actionneur comprennent chacun au moins un des moyens choisis parmi : des moyens des électrostatiques, des moyens magnétiques, des moyens piézoélectriques, des moyens thermiques. Selon un mode de mise en œuvre, ledit scanner optique comprend également un support sur une face principale duquel reposent, par la première et la deuxième partie fixe, la première et la deuxième poutre. D’autres caractéristiques et avantages apparaîtront dans la description qui va suivre d’un scanner optique selon l’invention, donnés à titre d’exemples non limitatifs, en référence aux dessins annexés dans lesquels : illustre une première architecture d’un dispositif de balayage lumineux connu de l’état de la technique, le dispositif comprend notamment deux micro-miroirs montés pivotant chacun autour d’un axe pivot différent et non parallèles ; illustre une deuxième architecture d’un dispositif de balayage lumineux connu de l’état de la technique, le dispositif comprend notamment un micro-miroir monté pivotant autour de deux axes pivot différents et non parallèles ; est une représentation schématique d’un exemple de mise en œuvre d’un scanner optique selon la présente invention selon une vue à l’aplomb de la face principale ; est une représentation schématique d’un scanner élémentaire, dit premier scanner, selon un plan de coupe perpendiculaire à la première face avant et comprenant le premier axe Y 1 Y 1 ’ selon la présente invention ; est une représentation schématique d’un scanner élémentaire, dit deuxième scanner, selon un plan de coupe perpendiculaire à la deuxième face avant et comprenant le deuxième axe Y 2 Y 2 ’ selon la présente invention ; est une représentation schématique d’une surface susceptible d’être balayée par un scanner élémentaire au moyen d’un faisceau extrait ; est une représentation partielle d’un scanner optique selon une vue à l’aplomb de la face avant et illustrant un agencement des guides d’ondes susceptibles d’être mis en œuvre dans le cadre de la présente invention ; est une illustration d’un déphaseur optique selon une première architecture susceptible d’être mis en œuvre dans le cadre de la présente invention ; est une illustration d’un déphaseur optique (issu du document [3] cité à la fin de la description) selon une deuxième architecture susceptible d’être mis en œuvre dans le cadre de la présente invention ; est une illustration de la première et de la deuxième surface susceptibles d’être balayées par, respectivement, le premier faisceau et le deuxième faisceau ; est une représentation schématique d’un scanner optique pourvu de deux paires de scanners élémentaire ; sont des représentations schématiques de différentes étapes susceptibles d’être mises en œuvre pour la réalisation de deux poutres d’épaisseurs différentes. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS La présente invention concerne un scanner pourvu d’une pluralité de scanners élémentaires, et notamment deux scanners élémentaires, dits respectivement premier et deuxième scanner. En particulier, le premier scanner et le deuxième scanner sont agencés pour balayer, chacun avec un faisceau optique, respectivement, une première surface et une deuxième surface incluse dans la première surface et d’une étendue inférieure à cette dernière. Ainsi la illustre de manière schématique un exemple de scanner optique 10 selon la présente invention. Le scanner 10 comprend notamment un support 20 fixe pourvu d’une face principale 21. Le support 20 peut notamment être obtenu à partir d’un substrat semi-conducteur, par exemple du silicium. Le scanner optique 10 comprend également au moins une source optique 50 apte à émettre un faisceau optique principal. Le faisceau optique principal est avantageusement quasi-monochromatique, voire monochromatique. La source optique 50 peut par exemple comprendre une source LASER. La longueur d’onde λ peut être comprise entre 400 nm et 2500 nm, par exemple être égale à 905 nm, ou égale à 1330 nm ou encore égale à 1550 nm. Le scanner optique 10 comprend également au moins deux scanners élémentaires 11 dits, respectivement, premier 11 1 et deuxième 11 2 scanners (figures 4a et 4b). Il apparaîtra de manière évidente à la lumière de la description qui suit que l’invention n’est pas limitée à deux scanners élémentaires. Le premier 11 1 et le deuxième 11 2 scanners comprennent chacun une poutre dite, respectivement, première poutre 30 1 et deuxième poutre 30 2 . Il est entendu, sans qu’il soit nécessaire de le préciser, qu’une poutre présente une forme allongée. Plus particulièrement, une poutre, selon la présente invention, s’étend, selon un axe d’élongation, entre deux extrémités dites, respectivement, extrémité fixe et extrémité libre. Plus précisément, la première poutre 30 1 s’étend, selon un premier axe Y 1 Y 1 ’, d’une première extrémité fixe 33 1 vers une deuxième extrémité fixe 34 1 . De manière équivalente, la deuxième poutre 30 2 s’étend, selon un deuxième axe Y 2 Y 2 ’, d’une deuxième extrémité fixe 33 2 vers une deuxième extrémité libre 34 2 . Par ailleurs, il est entendu qu’une poutre, selon la présente invention, est pourvue de deux faces parallèles entre elles et, dites face avant et face arrière. Plus précisément, la première poutre 30 1 comprend une première face avant 31 1 et une première face arrière 32 1 . De manière équivalente, la deuxième poutre 30 2 comprend une deuxième face avant 31 2 et une deuxième face arrière 32 2 . Une poutre peut présenter une épaisseur comprise entre 1 µm et plusieurs centaines de µm, une longueur comprise entre 100 µm et plusieurs millimètres, et une largeur comprise entre 10µm et plusieurs millimètres. Il est entendu, sans qu’il soit nécessaire de le préciser, que l’épaisseur de la poutre est définie comme la distance séparant la face avant et la face arrière, que sa longueur est sa dimension mesurée selon la direction définie par l’axe d’élongation et que sa largeur est sa dimension mesurée selon une direction perpendiculaire à celle définie par l’axe d’élongation et l’épaisseur de ladite poutre. Le premier axe Y 1 Y 1 ’ et le deuxième axe Y 2 Y 2 ’, sont avantageusement parallèles. La première 30 1 et la deuxième poutre 30 2 comprennent chacune une partie mobile 36, dite, respectivement, première partie mobile 36 1 et deuxième partie mobile 36 2 , ainsi qu’une partie fixe, dite, respectivement, première partie fixe 35 1 et deuxième partie fixe 35 2 . La première 30 1 et la deuxième poutre 30 2 sont notamment solidaires du support 20 par leur partie fixe 35 1 et 35 2 . En particulier, les parties fixes 35 1 et 35 2 reposent sur la face principale 21. Par « partie mobile », on entend une partie de poutre susceptible de subir une déformation par flexion. Par exemple, la partie mobile peut subir une flexion selon une direction d’un plan comprenant l’axe d’élongation et perpendiculaire à la face avant. Chacune des deux poutres 30 1 et 30 2 peut comprendre, respectivement, un premier empilement et un deuxième empilement. A cet égard, le premier empilement peut comprendre, de la première face avant 31 1 vers la première face arrière 32 1 , une première couche avant 30 a1 , une première couche intermédiaire 30 b1 , et une première couche arrière 30 c1 . De manière équivalente, le deuxième empilement peut comprendre, de la deuxième face avant 31 2 vers la deuxième face arrière 32 2 , une deuxième couche avant 30 a 2 , une deuxième couche intermédiaire 30 b 2 , et une deuxième couche arrière 30 c 2 . La première couche avant 30 a1 , la première couche arrière 30 c1 , la deuxième couche avant 30 a 2 , et la deuxième couche arrière 30 c 2 peuvent chacune comprendre un matériau diélectrique. Le matériau diélectrique comprend avantageusement du dioxyde de silicium. La première couche intermédiaire 30 b 1 et la deuxième couche intermédiaire 30 b 2 , comprennent avantageusement du silicium poly cristallin. Le premier 11 1 et le deuxième 11 2 scanners comprennent chacun un actionneur, dits, respectivement un premier actionneur 40 1 et deuxième actionneur 40 2 . Chacun de ces actionneurs 40 1 et 40 2 est notamment agencé pour imposer une flexion ou une torsion, respectivement, à la première partie mobile 36 1 et à la deuxième partie mobile 36 2 . Il est entendu que la flexion d’une partie mobile susceptible d’être imposée par un actionneur, correspond à une déformation ou incurvation de ladite partie mobile selon un plan, dit plan de flexion, perpendiculaire à la face avant de la poutre, et qui comprend son axe d’élongation. De manière équivalente, une torsion d’une partie mobile correspond à une déformation de ladite partie mobile autour de son axe d’élongation. Ainsi, le plan de flexion de la première poutre 30 1 est perpendiculaire à la première face avant 31 1 et comprend le premier axe Y 1 Y 1 ’. De manière équivalente, le plan de flexion de la deuxième poutre 30 2 est perpendiculaire à la deuxième face avant 31 2 et comprend le deuxième axe Y 2 Y 2 ’. Un actionneur selon la présente invention peut comprendre au moins un des moyens choisis parmi : des moyens des électrostatiques, des moyens magnétiques, des moyens piézoélectriques, des moyens thermiques. L’invention n’est toutefois pas limitée à ces seuls moyens. L’actionneur peut être commandé par des moyens de commande, par exemple des moyens de commande électronique, notamment équipés d’un micro-processeur ou d’un calculateur. Ces moyens de commande peuvent notamment être adaptés pour faire vibrer la poutre en flexion. Ces moyens de commande peuvent en particulier imposer une vibration à la poutre en flexion ou en torsion. Cette vibration peut notamment présenter une fréquence égale à la fréquence de résonnance de la poutre. L’actionneur peut notamment comprendre une couche de matériau piézoélectrique intercalée entre deux électrodes destinées à imposer une tension électrique non-nulle de part et d’autre de ladite couche de matériau piézoélectrique. Dans l’exemple représenté à la , le premier actionneur 401 comprend une première couche de matériau piézoélectrique 40b1 intercalée entre une première électrode avant 40a1 et une première électrode arrière 40c1. De manière équivalente, dans l’exemple représenté à la , le deuxième actionneur 402, comprend une deuxième couche de matériau piézoélectrique 40b2 intercalée entre une deuxième électrode avant 40a2 et une deuxième électrode arrière 40c2. Par ailleurs, le premier actionneur 40 1 et le deuxième actionneur 40 2 sont chacun pourvus, respectivement, de premiers contacts C a1 et C b 1 d’une part, et de deux contacts C a 2 et C b 2 d’autre part, et au niveau desquels une tension d’alimentation peut être appliquée. Cette tension d’alimentation peut notamment être appliquée avec les moyens de commande. Sous l’action de cette tension électrique, la couche de matériau piézoélectrique se contracte, et entraîne avec elle la partie mobile de la poutre en flexion. La direction de fléchissement de la couche de matériau piézoélectrique peut dépendre du signe de la tension électrique imposée par les électrodes, notamment lorsque ladite couche comprend un matériau piézoélectrique non ferroélectrique. L’amplitude de fléchissement, quant à elle, peut dépendre de nombreux paramètres parmi lesquelles on peut citer : la raideur de la poutre, l’amplitude de la tension imposée par les électrodes, l’épaisseur de la couche de matériau piézoélectrique. De manière avantageuse, il est possible de faire vibrer la poutre, et plus particulièrement à sa fréquence de résonnance afin de conférer au scanner un meilleur facteur de qualité, et bénéficier du facteur de qualité mécanique pour amplifier le mouvement. À cet égard, la fréquence de résonance d’une poutre de longueur L, de largueur b, d’épaisseur h et de densité ρ et de module d’Young E suit à la relation suivante : [Math 1] Ainsi, la fréquence de résonance augmente avec l’épaisseur et diminue lorsque sa longueur augmente. Cette diminution en fonction de l’épaisseur suit néanmoins une loi au carré et est donc plus marquée lorsqu’il s’agit de modifier la longueur. En d’autres termes, la fréquence de résonance de la poutre peut être ajustée par son épaisseur et sa longueur. La couche de matériau piézoélectrique peut comprendre au moins l’un des matériaux choisis parmi : PZT (Titano-Zirconate de Plomb) ou AlN (nitrure d’aluminium). D’autres matériaux piézoélectriques sont envisageables. Le premier 111 et le deuxième 112 scanners peuvent également comprendre chacun une pluralité de guides d’ondes, dite, respectivement, première 60i1 et deuxième 60i2 pluralité de guides d’ondes disposés sur ou dans, respectivement, la première 361 et la deuxième 362 partie mobile (figure 6). Les guides d’ondes illustrés à la figure 6 sont disposés parallèlement à l’axe d’élongation, et de sorte que le rapport entre leur espacement (en µm) et la longueur d’onde (en nm) soit compris entre 0,5 et 10. Les guides d’ondes peuvent par exemple être d’une longueur comprise entre une centaine de microns et une dizaine de millimètres, et être espacés les uns des autres d’une distance comprise entre une centaine de microns et une dizaine de millimètres. Chacune des pluralités de guides d’ondes 60 i et 60 i2 est notamment destinée à diviser le faisceau optique principal en, respectivement, une première et deuxième pluralité de faisceaux optiques secondaires. Le couplage de la source optique 50 avec les guides d’ondes peut être exécuté avec des moyens de couplage 51 (figures 3, 4a et 4b) et notamment avec une ou plusieurs fibres optiques. Un scanner élémentaire selon la présente invention comprend également un réseau optique à commande de phase disposé dans ou sur la partie mobile du scanner élémentaire à partir duquel le faisceau optique principal émis pour la source optique 50 est extrait en partie sous forme d’un faisceau extrait. Le réseau à commande de phase peut être piloté par les moyens de commande. Ainsi, selon l’exemple décrit dans la présente invention, le réseau optique à commande de phase du premier scanner 111, dit premier réseau à commande de phase 701 ( ) est agencé pour permettre l’extraction du faisceau optique principal sous forme d’un premier faisceau, tandis le réseau optique à commande de phase du deuxième scanner 112, dit deuxième réseau optique à commande de phase 702 ( ), est agencé pour permettre l’extraction du faisceau optique principal sous forme d’un deuxième faisceau. Le premier réseau optique à commande de phase 70 1 et le deuxième réseau optique à commande de phase 70 2 comprennent chacun une pluralité de déphaseurs, dite, respectivement, première pluralité de déphaseurs 70 i1 et deuxième pluralité de déphaseurs 70 i2 . Chaque déphaseur de la première et de la deuxième pluralité de déphaseurs optiques est avantageusement couplé à un guide d’ondes, respectivement, de la première et de la deuxième pluralité de guides d’ondes. De manière avantageuse, chaque déphaseur optique 70 i1 et 70 i 2 comprend un réseau de diffraction couplé à des moyens de déphasage destinés à imposer un déphasage au faisceau optique secondaire issu du guide d’ondes auquel est optiquement couplé le déphaseur optique considéré. La est une illustration d’un déphaseur optique selon une première architecture susceptible d’être mise en œuvre dans le cadre de la présente invention. En particulier, le réseau de diffraction est formé de plots alignés dans le prolongement du guide d’ondes, tandis que les moyens de déphasage peuvent comprendre un élément chauffant disposé à l’aplomb du guide d’ondes et destinés à chauffer localement ce dernier afin de moduler son indice de réfraction. La est une illustration d’un déphaseur optique selon une deuxième architecture susceptible d’être mise en œuvre dans le cadre de la présente invention. En particulier, le réseau de diffraction est formé d’arcs pleins alignés, tandis que les moyens de déphasage peuvent comprendre un élément chauffant destiné à chauffer localement le guide d’ondes 60i afin de moduler son indice de réfraction. De manière avantageuse, les guides d’ondes et/ou les réseaux de diffraction peuvent comprendre du nitrure de silicium. Les déphaseurs optiques peuvent être agencés en ligne perpendiculairement à l’axe d’élongation de la poutre. De manière alternative, les déphaseurs optiques peuvent être agencés de manière matricielle. Par « agencé de manière matricielle », on entend agencés selon N lignes et M colonnes. Selon cette troisième architecture, un scanner élémentaire peut ainsi balayer l’espace selon deux angles de propagation. Un scanner élémentaire, tel que décrit ci-avant, en fonctionnement, est ainsi apte à balayer une surface S au moyen du faisceau extrait. La surface S est représentée sous forme d’un rectangle à la . Toutefois, cette dernière peut correspondre à la surface d’un objet, et plus particulièrement la surface d’un objet à 3 dimensions. En particulier, le balayage de ladite surface peut être exécuté selon une première direction AA’ et selon une deuxième direction BB’ ( ), qui peuvent avantageusement être perpendiculaires entre elles. Le balayage de la surface S selon la première direction AA’ est notamment assuré par la flexion de la poutre formant le scanner élémentaire. Plus particulièrement, lorsque la poutre est au repos, le faisceau extrait, dit faisceau au repos, est émis selon une direction, dite direction au repos (dite première direction au repos Z 1 Z 1 ’ pour le premier scanner et deuxième direction au repos Z 2 Z 2 ’ pour le deuxième scanner). La position au repos peut notamment être perpendiculaire à la face avant de la poutre au repos. Dès lors qu’une flexion est imposée à la poutre, le faisceau extrait subit alors une déflexion, selon un angle , dit angle longitudinal, par rapport à la direction au repos et dans le plan de flexion du scanner élémentaire considéré. Dépendamment de la structure de la poutre, cet angle longitudinal peut varier dans une gamme d’angles longitudinaux Δφ imposée par les paramètres physiques et géométriques de la poutre. Ainsi, plus la gamme d’angles longitudinaux Δφ est réduite, plus l’étendue de la surface S selon la première direction AA’ diminue. Le balayage de la surface S selon la deuxième direction BB’ est assuré par le réseau optique à commande de phase du scanner élémentaire. Notamment dès lors qu’il est mis en œuvre, le réseau optique à commande de phase impose une déflexion au faisceau extrait, selon un angle θ, dit angle latéral, par rapport à la direction au repos et dans un plan, dit plan latéral, perpendiculaire au plan de flexion et qui comprend la direction au repos. Dépendamment de la structure du réseau optique à commande de phase, cet angle latéral, peut varier dans une gamme d’angles latéraux imposée par les paramètres physiques et géométriques du réseau optique à commande de phase. Ainsi, plus la gamme d’angles latéraux est réduite, plus l’étendue de la surface S selon la deuxième direction BB’ diminue. La mise en œuvre d’une déflexion du faisceau extrait selon l’une et l’autre de la gamme d’angles longitudinaux et de la gamme d’angles latéraux permet ainsi de balayer toute la surface S. Ainsi, le premier scanner 11 1 est agencé pour balayer une première surface S1 selon l’une et l’autre de la première gamme d’angles longitudinaux et de la deuxième gamme d’angles latéraux , tandis que le deuxième scanner 11 2 est agencé pour balayer une deuxième surface S2 selon l’une et l’autre de la deuxième gamme d’angles longitudinaux et de la deuxième gamme d’angles latéraux . Cette variation de balayage d’angles longitudinaux peut être modulée par la polarisation appliquée sur le matériau piézoélectrique En particulier, et selon la présente invention, la deuxième surface S2 est d’une étendue inférieure à celle de la première surface S1 et est incluse dans la première surface S1 ( ). En d’autres termes, le deuxième scanner 112 est agencé pour balayer une section de la surface balayée par le premier scanner 111. Cet agencement permet ainsi balayer une surface, par exemple à des fin d’imagerie avec différents niveaux de résolution, sans toutefois affecter la compacité du scanner optique 10. Selon un premier mode de mise en œuvre, le premier scanner 11 1 et le deuxième scanner 11 2 sont agencés de sorte que la deuxième gamme d’angles longitudinaux soit plus restreinte que la première gamme d’angles longitudinaux . Selon une première variante de ce premier mode de mise en œuvre, cette limitation peut notamment être imposée par une polarisation différente des poutres. A cet égard, et tel que précisé dans le document [2] cité à la fin de la description, plus le champ de polarisation électrique imposé à la couche de matériau piézoélectrique (par exemple une couche de PZT) est élevé, plus la flexion de l’ensemble formé par ladite couche et la poutre est importante. Cette flexion est dépendante non seulement des propriétés mécaniques et géométrique de la poutre mais également du champ de polarisation électrique imposé à la couche de matériau piézoélectrique. Selon une deuxième variante de ce premier mode de mise en œuvre, cette limitation peut notamment être imposée par des poutres de longueurs différentes dans le cadre d’un fonctionnement à la fréquence de résonance. En effet, l’amplitude de fléchissement d’une poutre, pour une charge donnée, est directement proportionnelle à la puissance quatre de sa longueur et inversement proportionnelle au produit de son épaisseur par son moment d’inertie. En d’autres termes, l’amplitude de fléchissement d’une poutre croit avec sa longueur et/ou lorsque son épaisseur diminue. Ainsi, selon cette deuxième variante, la première poutre présente avantageusement une longueur, dite première longueur L1, inférieure à la longueur, dite deuxième longueur L2, de la deuxième poutre. Selon une troisième variante alternative ou complémentaire à l’une et/ou l’autre de la première et de la deuxième variante, la première poutre présente avantageusement une épaisseur, dite épaisseur E1, supérieure à l’épaisseur, dite deuxième épaisseur E2, de la deuxième poutre. En effet, tel qu’indiqué précédemment, l’amplitude de fléchissement d’une poutre, pour une charge donnée, croit lorsque son épaisseur diminue. Par conséquent, pour une charge donnée, l’amplitude de fléchissement de la première poutre est inférieure celle de la deuxième poutre. Les considérations d’épaisseur et de longueur de poutre ont également une influence sur leur fréquence de résonnance. En effet, la fréquence de résonnance d’une poutre est proportionnelle à son épaisseur et inversement proportionnelle au carré de sa longueur. En d’autres termes, dans le cadre de la deuxième variante, la première poutre présente également une fréquence de résonnance supérieure à celle de la deuxième poutre. De manière équivalente, et dans le cadre de la troisième variante, la première poutre présente une fréquence de résonnance supérieure à celle de la deuxième poutre. Ainsi, le scanner optique selon la présente invention permet de balayer la première surface, avec le premier scanner, à une fréquence relativement élevée par exemple pour détecter rapidement une zone d’intérêt et destinée à être balayée cette fois avec le deuxième scanner. Le balayage avec le deuxième scanner est alors exécuté à plus forte résolution afin de révéler les détails au sein de la zone d’intérêt passés inaperçus lors du premier balayage. Cette résolution peut notamment être ajustée par le nombre et/ou la densité de guides d’onde, et/ou le dispositif d’extraction de la lumière de chaque guide d’onde. Selon un deuxième mode de mise en œuvre, complémentaire ou alternatif au premier mode de mise en œuvre, le premier et le deuxième réseau à commande de phase sont agencés de sorte que la première gamme d’angles latéraux présente une étendue supérieure à celle de la deuxième gamme d’angles latéraux. Toujours selon ce deuxième mode de mise en œuvre, le deuxième réseau à commande de phase présente une résolution supérieure à celle du premier réseau à commande de phase. Ce résultat peut notamment être atteint en formant un deuxième réseau à commande de phase qui comprend un plus grand nombre (ou une plus grande densité) de déphaseurs optiques que le premier réseau à commande de phase. Le scanner optique n’est pas limité à deux scanners élémentaires et peut en comprendre un nombre supérieur. Par exemple, la représente de manière schématique un scanner optique pourvu de quatre scanners élémentaires, formant deux paires de scanners élémentaires. Chacune des deux paires comprend un premier scanner et un deuxième scanner tel que décrit ci-avant. Le scanner optique selon la présente invention permet ainsi de répondre aux problématiques relatives à la résolution du balayage tout en conservant la compacité dudit scanner. Par ailleurs, ce scanner optique, qui ne met pas en œuvre de micro-miroirs, ne nécessite pas d’alignement et reste simple à mettre en œuvre. En outre, en dépit de leurs différences, les poutres des différents scanners élémentaires peuvent avantageusement être formées de manière collective. A cet égard, les figures 11 à 16, représentent des étapes de fabrication d’une première poutre et d’une deuxième poutre d’épaisseurs différentes et susceptibles d’être mises en œuvre dans le cadre d’un procédé de fabrication d’un scanner optique. Le procédé comprend une étape a) de formation d’une couche d’oxyde de silicium 110 par oxydation thermique d’un substrat de silicium 100. Cette étape a) est alors suivie d’une étape b) qui comprend une séquence de photolithographie/gravure destinée à délimiter la deuxième poutre 30 2 . Le reliquat de la couche 110 à l’issue de l’étape b) forme la deuxième couche arrière 30 c2 de la deuxième poutre. L’ensemble est ensuite recouvert d’une couche de poly silicium 120 qui est éventuellement aplanie. Une étape c) de formation de la première couche arrière 30 c1 est ensuite exécutée. Cette étape peut notamment impliquer, dans l’ordre, le dépôt d’une couche d’oxyde de silicium, et une séquence de photolithographie/gravure afin de délimiter dans ladite couche d’oxyde de silicium la première couche arrière 30 c1 . Une étape d) de formation d’une autre couche de silicium poly cristallin est exécutée. Cette autre couche vient en recouvrement de la couche de silicium poly cristallin et de la première couche arrière 30 c1 . La première couche avant 30 a 1 et la deuxième couche avant 30 a2 sont ensuite formées lors de l’exécution d’une étape e). Cette étape peut impliquer la formation d’une couche d’oxyde de silicium suivie d’une séquence de photolithographie/gravure. Une étape f) de gravure peut ensuite être réalisée afin de libérer la première poutre 30 1 et la deuxième poutre 30 2 qui présentent chacune une épaisseur différente. Le scanner 10 selon la présente invention peut avantageusement être mis en œuvre dans un projecteur d’images de taille réduite (par exemple un pico-projecteur) dans un équipement électronique mobile, et plus particulièrement, un téléphone portable, une montre connectée, dans des équipements de projection intra rétinienne (pour la réalité augmentée). La scanner peut également être mis en œuvre dans le cadre d’application 3D, et notamment d’imagerie 3D. Le scanner 10 peut également former la partie active d’un LIDAR, et par exemple être mis en œuvre dans un véhicule autonome. RÉFÉRENCES [1] Sven Holmstrom et al., “MEMS laser scanners : a review”, Journal of Microelectromechanical Systems · April 2014, DOI: 10.1109/JMEMS.2013.2295470; [2] Section 13.5.3 de l’ouvrage « Integration of Ferroelectric and Piezoelectric Thin Films » de Defay; [3] Jie Sun et al., « Large-scale nanophotonic phased array », Nature, 11727, vol 493, 195-199, January 2013. Scanner optique (10) qui comprend : - une source optique apte à émettre un faisceau optique principal ; - au moins deux scanners élémentaires, dits, respectivement, premier (11 1 ) et deuxième (11 2 ) scanner, et qui comprennent respectivement : - une première (30 1 ) et une deuxième (30 2 ) poutre pourvues, respectivement, d’une première (36 1 ) et d’une deuxième (36 2 ) partie mobile d’une part, et d’une première (35 1 ) et d’une deuxième (35 2 ) partie fixe d’autre part ; - un premier (40 1 ) et un deuxième (40 2 ) actionneur agencés pour imposer une flexion ou une torsion, respectivement à la première et la deuxième partie mobile ; - un premier (70 1 ) et un deuxième (70 2 ) réseau optique à commande de phase disposés sur ou dans, respectivement, la première et la deuxième partie mobile et au niveau desquels le faisceau optique principal est extrait, en partie, sous forme, respectivement, d’un premier et d’un deuxième faisceau ; le premier et le deuxième scanner étant agencés pour balayer, selon une première AA’ et une deuxième BB’ direction, au moyen du premier et du deuxième faisceau, respectivement, une première S1 et une deuxième S2 surface, la deuxième surface étant d’une étendue inférieure à celle de la première surface et incluse dans la première surface. Scanner optique selon la revendication 1, dans lequel la première et la deuxième poutre sont agencées de sorte que la flexion de l’une et l’autre de ces deux poutres permet, respectivement, au premier et au deuxième faisceau de balayer, respectivement, la première S1 et la deuxième S2 surface selon la première direction, selon, respectivement, une première et une deuxième gamme d’angles longitudinaux, la première gamme d’angles longitudinaux présentant une étendue supérieure à celle de la deuxième gamme d’angles longitudinaux. Scanner optique selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la première et la deuxième partie mobile sont agencées pour se voir imposer une flexion ou une torsion, respectivement, d’une première et d’une deuxième amplitude, la deuxième amplitude étant strictement inférieure à la première amplitude. Scanner optique selon l’une des revendications 1 à 3, dans lequel la première partie mobile présente une épaisseur, dite première épaisseur, supérieure à l’épaisseur, dite deuxième épaisseur, de la deuxième partie mobile. Scanner optique selon l’une des revendications 1 à 4, dans lequel la première partie mobile présente une longueur, dite première longueur, inférieure à la longueur, dite deuxième longueur de la deuxième poutre. Scanner optique selon l’une des revendications 1 à 5, dans lequel la première partie mobile présente une fréquence de vibration à la résonance, dite première fréquence, supérieure à la fréquence de vibration à la résonance, dite deuxième fréquence, de la deuxième partie mobile. Scanner optique selon l’une des revendications 1 à 6, dans lequel le premier et le deuxième scanner comprennent respectivement, une première et une deuxième pluralité de guides d’ondes disposés sur ou dans, respectivement, la première et la deuxième partie mobile, chacune des pluralités de guides d’ondes étant destinée à diviser le faisceau optique principal en, respectivement, une première et deuxième pluralité de faisceaux optiques secondaires. Scanner optique selon la revendication 7, dans lequel la première pluralité de guide d’ondes comprend un nombre de guides d’ondes inférieur à celui de la deuxième pluralité de guides d’ondes. Scanner optique selon la revendication 7 ou 8, dans lequel le premier et le deuxième réseau optique à commande de phase comprennent, respectivement, une première et une deuxième pluralité de déphaseurs optiques, chaque déphaseur optique de la première et de la deuxième pluralité de déphaseur optique étant couplé à un guide d’ondes, respectivement, de la première et de la deuxième pluralité de guides d’ondes, avantageusement, le deuxième réseau optique à commande de phase comprend un nombre de déphaseurs optique supérieur à celui du premier réseau optique à commande de phase. Scanner optique selon la revendication 9, dans lequel chaque déphaseur optique comprend un réseau de diffraction couplé à des moyens de déphasage destinés à imposer un déphasage au faisceau optique secondaire issu du guide d’ondes auquel est optiquement couplé le déphaseur optique considéré. Scanner optique selon l’une des revendications 1 à 10, dans lequel le premier et le deuxième réseau à commande de phase sont agencés pour imposer un balayage, respectivement, de la première et de la deuxième surface, par respectivement le premier et le deuxième faisceau, selon la deuxième direction selon, respectivement, une première et une deuxième gamme d’angles latéraux, la première gamme d’angles latéraux présentant une étendue supérieure à celle de la deuxième gamme d’angles latéraux. Scanner optique selon l’une des revendications 1 à 11, dans lequel la première et la deuxième poutre comprennent chacune, d’une face avant vers une face arrière, une couche avant, une couche intermédiaire et une couche arrière. Scanner optique selon la revendication 12, dans lequel la couche avant et la couche arrière comprennent chacune un matériau diélectrique, le matériau diélectrique comprend avantageusement du dioxyde de silicium. Scanner optique selon l’une des revendications 1 à 13, dans lequel le premier et le deuxième actionneur sont agencés de sorte que la flexion susceptible d’être imposée à l’une et l’autre de la première et de la deuxième partie mobile s’effectue selon un plan perpendiculaire à une face principale, respectivement, de la première et de la deuxième poutre. Scanner optique selon l’une des revendications 1 à 14, dans lequel le premier et le deuxième l’actionneur comprennent chacun au moins un des moyens choisis parmi : des moyens des électrostatiques, des moyens magnétiques, des moyens piézoélectriques, des moyens thermiques. Scanner optique selon l’une des revendications 1 à 15, dans lequel ledit scanner optique comprend également un support sur une face principale duquel reposent, par la première et la deuxième partie fixe, la première et la deuxième poutre.