Brevet FR3101001A1 — publié le 20210326

Une station de nettoyage (2) d’une enceinte de transport (3) comporte un bras de robot articulé (10) portant au moins un injecteur (11) et une unité de commande (12) configurée pour commander le pilotage du bras de robot articulé (10) pour introduire le au moins un injecteur (11) dans l’enveloppe (4) rigide accouplée au port de chargement (8) dont la porte (6) a été préalablement ôtée, et pour déplacer le au moins un injecteur (11) en suivant une trajectoire prédéfinie afin de balayer l’intérieur de l’enveloppe (4) rigide avec le fluide de nettoyage. Figure d’abrégé : Figure 1 Station et procédé de nettoyage d’une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs La présente invention concerne une station de nettoyage d’une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs tels que des plaquettes semi-conductrices (« wafers » en anglais). L’invention concerne également un procédé de nettoyage correspondant. Les enceintes de transport déterminent un espace confiné sous pression atmosphérique, séparé de l'environnement extérieur pour le transport et le stockage d’un ou de plusieurs substrats. Dans l’industrie de fabrication de semi-conducteurs, ces enceintes permettent de transporter les substrats d’un équipement à l’autre ou de stocker les substrats entre deux étapes de fabrication. Ces enceintes de transport sont formées de matériaux plastiques tels que le polycarbonate, qui peuvent dans certains cas concentrer les contaminants et en particulier des contaminants organiques ou gazeux, notamment ceux relâchés par les substrats. Ces contaminations peuvent être très néfastes pour les substrats. On prévoit donc le nettoyage régulier des enceintes par lavage avec un liquide tel que l’eau pure. Ces étapes de nettoyage par voie humide nécessitent le séchage ultérieur des enceintes. Le séchage est généralement réalisé par rotation rapide de l’enceinte et/ou mise sous vide, éventuellement associé à un rayonnement infrarouge, ce qui peut être long et lourd à implémenter dans un processus industriel de fabrication de semi-conducteur. Pour réduire la contamination dans les enceintes, on a déjà imaginé de purger leur atmosphère intérieure avec un gaz comme par exemple décrit dans les documents EP2926370 ou EP2272083. Ces solutions de nettoyage présentent l’avantage de ne pas avoir besoin d’étape ultérieure de séchage. Le document EP2926370 propose l’utilisation d’une tête de mesure parallélépipédique munie de buses d’injection, la tête de mesure faisant saillie d’une interface qui s’accouple à l’enceinte à la place de la porte de l’enceinte. Cependant, malgré un soufflage par les buses au plus proche des parois internes et notamment sur chacune des cinq faces internes, la tête de mesure ne permet pas d’accéder à toutes les surfaces internes de l’enceinte. De fait, des zones mortes non nettoyées peuvent subsister à l’intérieur de l’enceinte. Le document EP2272083 propose l’utilisation d’une buse d’injection de gaz de purge disposée à une extrémité fixe ou mobile d’un tuyau de l’interface. Cette solution n’est cependant pas tout à fait satisfaisante car la mobilité de la buse est limitée à l’extrémité du tuyau saillant de l’interface, ne permettant pas non plus à la buse d’accéder à toutes les surfaces internes de l’enceinte. Un des buts de la présente invention est donc de proposer une station et un procédé de nettoyage qui puissent nettoyer toutes les surfaces internes de l’enceinte de transport atmosphérique. A cet effet, l’invention a pour objet une station de nettoyage d’une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs de type FOUP ou FOSB, ladite enceinte de transport comprenant une enveloppe rigide munie d’une ouverture frontale et une porte amovible permettant d’obturer l’ouverture frontale, la station de nettoyage comportant un port de chargement susceptible de s’accoupler à l’enveloppe rigide, caractérisée en ce que la station de nettoyage comporte en outre : - un bras de robot articulé portant au moins un injecteur, - une unité de commande configurée pour commander le pilotage du bras de robot articulé pour introduire le au moins un injecteur dans l’enveloppe rigide accouplée au port de chargement dont la porte a été préalablement ôtée, et pour déplacer le au moins un injecteur en suivant une trajectoire prédéfinie afin de balayer l’intérieur de l’enveloppe rigide avec un fluide de nettoyage. La station permet le nettoyage des contaminants organiques ou gazeux de l’enceinte de transport, notamment des particules et des espèces gazeuses provenant de la contamination moléculaire véhiculée par l’air (ou AMC pour « Airbone Molecular Contamination »). En outre, la station de nettoyage ne comporte pas de chambre dédiée. C’est l’enveloppe de l’enceinte de transport qui forme elle-même une chambre. Cette enveloppe peut être nettoyée sans être déplacée, alors qu’elle reste accouplée au port de chargement. Le bras de robot articulé est programmable. Il peut se déplacer avec précision, ce qui permet de suivre la forme spécifique de l’intérieur de l’enveloppe de l’enceinte de transport. Il peut en outre se déplacer avec rapidité, ce qui permet de réduire le temps de traitement par enceinte de transport. Il peut de plus se déplacer avec répétabilité et donc avec un meilleur contrôle du processus de nettoyage. La distance entre le au moins injecteur et l’enveloppe est maîtrisée, ce qui permet de nettoyer l’enceinte de façon reproductible d’une enceinte de transport à l’autre. La station de nettoyage peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prise seule ou en combinaison. Le bras de robot articulé comporte par exemple au moins trois axes. Un bras de robot articulé présentant trois axes au moins offre une très grande flexibilité de déplacement et d’orientation du au moins un injecteur vis-à-vis de l’intérieur de l’enveloppe rigide de l’enceinte de transport dans toutes les directions en 3D tout en maitrisant la distance entre le au moins un injecteur et l’enveloppe. Le bras de robot articulé porte par exemple au moins deux injecteurs, tel qu’entre deux et dix injecteurs, par exemple au moins quatre injecteurs agencés dans un même plan. Utiliser plusieurs injecteurs permet d’augmenter la surface balayée au cours d’un passage du bras de robot articulé, ce qui permet de réduire la durée du nettoyage. Le bras du robot articulé peut comporter au moins un capteur. La station de nettoyage peut comporter un moyen de nettoyage de l’extrémité du bras du robot articulé. La station de nettoyage peut comporter un moyen d’actionnement de porte configuré pour déplacer la porte à l’écart de l’enveloppe, la station de nettoyage comportant en outre au moins un injecteur additionnel orienté vers l’emplacement de la porte pour injecter un fluide de nettoyage sur la porte de l’enceinte de transport. La station de nettoyage peut comporter un moyen d’actionnement de porte configuré pour déplacer la porte à l’écart de l’enveloppe, le bras de robot articulé étant configuré pour pouvoir déplacer le au moins injecteur face à la porte en suivant une trajectoire prédéfinie supplémentaire afin de balayer le côté intérieur de la porte avec le fluide de nettoyage. Le bras de robot articulé peut être configuré pour saisir la porte et la diriger face à un injecteur additionnel de fluide de nettoyage. La station de nettoyage peut comporter une unité de filtrage à flux laminaire pour placer le bras de robot articulé sous flux laminaire d’air filtré. La station de nettoyage peut comporter une unité de chauffage configurée pour chauffer des parois internes de l’enceinte de transport. Le fluide de nettoyage est par exemple un gaz neutre et sec ou un mélange d’un gaz de purge et de vapeur d’eau ou un mélange de gaz de purge et de liquide. La station de nettoyage peut comporter un dispositif de génération d’un rideau de gaz de purge, tel que de l’azote sec, comportant une pluralité d’injecteurs de gaz de purge agencés en ligne configurés pour former un rideau de gaz au niveau de l’ouverture frontale de l’enveloppe. Le rideau de gaz permet de réduire la communication fluidique entre l’intérieur et l’extérieur de l’enceinte de transport. L’invention a aussi pour objet un module de nettoyage caractérisé en ce qu’il comporte au moins deux stations de nettoyage telles que décrites précédemment, les stations de nettoyage comportant des moyens d’accouplement complémentaires configurés pour accoupler les stations de nettoyage les unes aux autres. L’invention a encore pour objet un procédé de nettoyage mis en œuvre dans une station de nettoyage telle que décrite précédemment, caractérisé en ce que : - on accouple l’enveloppe rigide de l’enceinte de transport au port de chargement, - on commande le pilotage du bras de robot articulé pour introduire le au moins un injecteur dans l’enveloppe rigide et pour déplacer le au moins un injecteur en suivant une trajectoire prédéfinie afin de balayer l’intérieur de l’enveloppe rigide avec le fluide de nettoyage. Le procédé de nettoyage peut en outre comporter une ou plusieurs caractéristiques qui sont décrites ci-après, prises seules ou en combinaison. La trajectoire prédéfinie du bras de robot articulé peut être programmée par apprentissage, en faisant mémoriser au bras de robot articulé des coordonnées cartésiennes successives de l’enveloppe. Selon un autre exemple, la trajectoire prédéfinie du bras de robot articulé est programmée à partir d’un modèle d’enveloppe préenregistré. La trajectoire prédéfinie est par exemple associée à une recette d’injection du fluide de nettoyage, la recette définissant au moins un paramètre parmi : - une vitesse de déplacement du au moins un injecteur, - un débit du fluide de nettoyage injecté par le au moins injecteur, - une durée d’injection à un emplacement donné, - une distance entre le au moins un injecteur et l’enveloppe rigide. La trajectoire et/ou la recette d’injection du fluide de nettoyage peut être sélectionnée en fonction d’informations de l’enceinte de transport, comme une mesure d’un niveau de contamination de l’enceinte de transport. Au cours du balayage de l’enveloppe rigide par le fluide de nettoyage, la trajectoire du au moins un injecteur peut comporter une étape de balayage étendu au cours de laquelle le au moins un injecteur parcourt l’intérieur de l’enveloppe rigide avec une vitesse de déplacement du au moins un injecteur et une distance entre le au moins un injecteur et l’enveloppe rigide constantes. La trajectoire peut comporter également au moins une étape de balayage localisé dans une zone morte au cours de laquelle la vitesse de déplacement du au moins un injecteur est ralentie et/ou la distance entre le au moins un injecteur et l’enveloppe est réduite. A l’issue du balayage de l’enveloppe rigide par le fluide de nettoyage, le procédé de nettoyage peut comporter une étape de reconditionnement de l’enceinte de transport au cours de laquelle on remplit l’enceinte de transport d’un gaz de purge, tel que de l’azote sec. D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description d’un exemple illustratif mais non limitatif de la présente invention, ainsi que des dessins annexés sur lesquels : La Figure 1 représente une vue en perspective d’un module de nettoyage comportant trois stations de nettoyage, chacune étant accouplée à une enceinte de transport respective. la Figure 2 représente une vue en perspective d’une station de nettoyage du module de nettoyage de la Figure 1. La Figure 3 montre une vue en perspective d’une enceinte de transport de la Figure 2, porte ouverte. La Figure 4 montre une vue agrandie d’un bras de robot articulé de la station de nettoyage de la Figure 2, en cours de déplacement du au moins injecteur face à la porte en suivant une trajectoire prédéfinie supplémentaire pour balayer le côté intérieur de la porte avec le fluide de nettoyage. La Figure 5 montre un organigramme d’un exemple de procédé de nettoyage mis en œuvre dans une station de nettoyage. Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence. Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations. La Figure 1 représente un exemple de module de nettoyage 1. Le module de nettoyage 1 comporte au moins deux stations de nettoyage 2, trois dans l’exemple illustré sur la Figure 1. Les stations de nettoyage 2 peuvent comporter des moyens d’accouplement complémentaires configurés pour accoupler les stations de nettoyage 2 les unes aux autres. Chaque station 2 permet le nettoyage d’une enceinte de transport 3 pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs de type FOUP pour l’acronyme anglais Front Opening Unified Pod ou FOSP pour l’acronyme anglais Front Opening Shipping Box. Ces enceintes de transport 3 sont des boîtiers en matériau plastique, tel qu’en polycarbonate, conçus pour contenir des substrats semi-conducteurs de 300mm, tels que des plaquettes de silicium, dans un environnement contrôlé et pour permettre le transfert de ces plaquettes entre des machines à des fins de traitement ou de mesure. Les enceintes FOSB sont utilisées pour convoyer les plaquettes hors des installations de fabrication. Comme on peut mieux le voir sur la Figure 3, une enceinte de transport 3 pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs de type FOUP ou FOSP comporte une enveloppe 4 rigide (ou coque) munie d’une ouverture frontale 5 et d’une porte 6 amovible permettant d’obturer l’ouverture frontale 5. L’ouverture frontale 5 est dimensionnée pour permettre l'introduction et l'extraction de substrats. Pour le nettoyage, les enceintes de transport 3 sont vidées de leurs substrats. En revenant à la figure 1, on voit que la station de nettoyage 2 comporte en outre une interface 7 munie d’un port de chargement 8 agencé sous un accès de la station de nettoyage 2. Le port de chargement 8 est susceptible de s’accoupler à l’enveloppe 4 rigide de l’enceinte de transport 3 de type FOUP ou FOSP en permettant sa réception et son positionnement. Le port de chargement 8 peut comporter un capteur de reconnaissance configuré pour identifier le modèle de l’enceinte de transport 3, notamment pour s’assurer qu’il est bien compatible avec la station de nettoyage 2 réceptionnant l’enceinte de transport 3. Le capteur de reconnaissance est par exemple une caméra dont le traitement d’images permet de lire le contenu d’une étiquette d’identification de l’enceinte de transport 3 ou permet de distinguer un modèle de poignée 9 de l’enceinte de transport 3, par exemple selon son niveau de gris ou sa forme. Egalement, la station de nettoyage 2 peut comporter un capteur de présence permettant de vérifier, une fois l’enceinte de transport 3 ouverte, que l’enveloppe 4 rigide est bien vidée de ses substrats. La station de nettoyage 2 comporte en outre un bras de robot articulé 10 portant au moins un injecteur 11 (Figure 4) et une unité de commande 12 configurée pour commander le pilotage du bras de robot articulé 10 (Figure 1). Le bras de robot articulé 10 porte par exemple au moins deux injecteurs11, tel qu’entre deux et dix injecteurs 11, par exemple au moins quatre injecteurs 11 agencés dans un même plan, par exemple alignés ou agencés en quinconce. Utiliser plusieurs injecteurs 11 permet d’augmenter la surface balayée au cours d’un passage du bras de robot articulé 10, ce qui permet de réduire la durée du nettoyage. Les injecteurs 11 sont raccordés à des systèmes d’amenée de gaz et/ou de liquide. Le fluide de nettoyage est par exemple un gaz neutre et sec, par exemple de l’azote ou de l’air propre et sec dit CDA pour « Clean Dry Air » en anglais. Les injecteurs 11 sont en outre pourvus de filtres à particules pour filtrer d’éventuelles particules polluantes du gaz injecté. Il est également possible d’injecter un mélange gazeux humide, notamment pour garantir le nettoyage de certains composés chimiques potentiellement présents en surface de l’enceinte de transport 3, tel que de l’acide fluorhydrique. Le fluide de nettoyage comporte alors un mélange d’un gaz de purge, tel que de l’azote sec ou de l’air sec, et de vapeur d’eau. Le gaz de nettoyage peut également comporter un mélange de gaz de purge et de liquide. Le liquide, tel que de l’eau liquide, est par exemple injecté en faible proportion dans le mélange pour pouvoir être complétement évaporé à la fin de procédé de nettoyage 100. Le débit de gaz des injecteurs 11 est par exemple supérieur à 40 l/min, tel que compris entre 50 l/min et 60 l/min par injecteur 11, le débit diminuant avec l’augmentation du nombre d’injecteurs 11. Le diamètre d’un injecteur 11 est par exemple compris entre 0,8mm et 1,6mm. La pression d’alimentation en gaz de purge est par exemple de 4bars. Le bras de robot articulé 10 est par exemple un bras de robot trois axes ou plus, c’est-à-dire comportant au moins trois axes de rotation. Un bras de robot articulé 10 présentant au moins trois axes au moins offre une très grande flexibilité de déplacement et d’orientation du au moins un injecteur 11 vis-à-vis de l’intérieur de l’enveloppe 4 rigide de l’enceinte de transport 3 dans toutes les directions en 3D tout en maitrisant la distance entre le au moins un injecteur 11 et l’enveloppe 4. Le bras de robot articulé 10 est par exemple motorisé ou utilise des vérins pneumatiques. Il est programmable. Il peut se déplacer avec précision, ce qui permet de suivre la forme spécifique de l’intérieur de l’enveloppe 4 de l’enceinte de transport 3. Il peut en outre se déplacer avec rapidité, ce qui permet de réduire le temps de traitement par enceinte de transport 3. Il peut de plus se déplacer avec répétabilité et donc avec un meilleur contrôle du processus de nettoyage. L’unité de commande 12 est configurée pour commander le pilotage du bras de robot articulé 10 pour introduire le au moins un injecteur 11 dans l’enveloppe 4 rigide accouplée au port de chargement 8 dont la porte 6 a été préalablement ôtée et pour déplacer le au moins injecteur 11 en suivant une trajectoire prédéfinie afin de balayer l’intérieur de l’enveloppe 4 rigide avec un fluide de nettoyage. La trajectoire prédéfinie est par exemple le mouvement reproduisant la forme générale interne de l’enceinte de transport 3, permettant le balayage de toute la surface interne de l’enveloppe 4 de l’enceinte de transport 3. Les mouvements du bras de robot articulé 10 définissants la trajectoire prédéfinie peuvent être programmés par apprentissage. Cette méthode permet de créer les trajectoires en faisant mémoriser au bras de robot articulé 10 des coordonnées cartésiennes successives de l’enveloppe 4. Cette étape d’apprentissage peut être réalisée en sortie d’usine. Une autre méthode permet de programmer la trajectoire à partir d’un modèle d’enveloppe 4 préenregistré. Ce modèle d’enveloppe 4 préenregistré est par exemple un modèle CAO de l’enveloppe 4. Selon un autre exemple, le modèle d’enveloppe 4 préenregistré est obtenu à l’aide d’un capteur du bras de robot articulé 10, tel qu’un capteur optique comme une caméra ou tel qu’un palpeur ou un capteur de proximité ou un capteur sonique. Le capteur du bras de robot articulé 10 peut en outre former le capteur de reconnaissance configuré pour identifier le modèle d’enceinte de transport 3, par exemple en palpant quatre points de l’enveloppe 4. La station de nettoyage 2 peut en outre comporter un moyen d’actionnement de porte configuré pour déplacer la porte 6 à l’écart de l’enveloppe 4 accouplée au port de chargement 8. Le moyen d’actionnement de porte comporte par exemple un actionneur linéaire 17 motorisé pour déplacer la porte 6 selon une translation linéaire par exemple horizontale (Figure 4). Selon un autre exemple de réalisation, le bras de robot articulé 10 est configuré pour former le moyen d’actionnement de porte en permettant de déplacer la porte 6 à l’écart de l’enveloppe 4 de l’enceinte de transport 3, dans un emplacement dédié de la station de nettoyage 2. Le moyen d’actionnement de porte peut en outre être configuré pour verrouiller et déverrouiller des organes de verrouillage de la porte 6. Les organes de verrouillage de la porte, connus en soi, comprennent par exemple des loquets, portés par la porte 6, actionnés en coulissement radial ou latéral et s’engageant dans l’enveloppe 4 rigide de l’enceinte de transport 3 lorsque l’enceinte de transport 3 est fermée. Une fois les organes de verrouillage déverrouillés, le moyen d’actionnement de porte solidarise de manière réversible la porte 6. La porte 6 peut alors être déportée hors de l’ouverture frontale 5, par exemple à l’opposé. En outre, la station de nettoyage 2 peut comporter un moyen de nettoyage de l’extrémité 13 du bras du robot articulé 10, telle qu’une douchette de gaz, agencé dans une zone dédiée de la station de nettoyage 2. Plusieurs solutions sont en outre possible pour nettoyer la porte 6 de l’enceinte de transport 3. Selon un premier exemple, la station de nettoyage 2 comporte au moins un injecteur additionnel orienté vers l’emplacement de la porte 6 pour injecter un fluide de nettoyage sur la porte 6 de l’enceinte de transport 3. On peut ainsi nettoyer la porte 6 de l’enceinte de transport 3 en temps masqué. Selon un autre exemple, le bras de robot articulé 10 est configuré pour pouvoir déplacer le au moins injecteur 11 face à la porte 6 en suivant une trajectoire prédéfinie supplémentaire afin de balayer le côté intérieur de la porte avec le fluide de nettoyage (voir Figure 4). Selon encore un autre exemple, le bras de robot articulé 10 est configuré pour saisir la porte 6 et la diriger face à un injecteur additionnel de fluide de nettoyage. Par ailleurs, pour améliorer le décrochage des contaminants et/ou pour améliorer le dégazage des espèces gazeuses provenant de la contamination moléculaire véhiculée par l’air et/ou pour accélérer l’évaporation des mélanges gazeux humides ou liquides injectés par le au moins injecteur 11, la station de nettoyage 2 peut comporter une unité de chauffage configurée pour chauffer des parois internes de l’enceinte de transport 3, tel qu’une lampe infrarouge. De plus, dans le cas où le fluide de nettoyage est un gaz sec, l’unité de chauffage peut être configurée pour chauffer le fluide de nettoyage. La station de nettoyage 2 peut en outre comporter un collecteur de particules pour faciliter l’évacuation des particules contaminantes et/ou un compteur de particules et /ou un analyseur d’espèces gazeuses provenant de la contamination moléculaire véhiculée par l’air, pour vérifier l’état de propreté de l’enceinte de transport 3, avant et/ou après nettoyage. Le collecteur de particules est par exemple disposé sous le plancher de la station de nettoyage 2 ou il peut être porté par le bras de robot articulé 10. La station de nettoyage 2 peut comporter un dispositif de génération d’un rideau de gaz de purge 18, tel que de l’azote sec, comportant une pluralité d’injecteurs de gaz de purge agencés en ligne configurés pour former un rideau de gaz au niveau de l’ouverture frontale 5 de l’enveloppe 4. Le rideau de gaz permet de réduire la communication fluidique entre l’intérieur et l’extérieur de l’enceinte de transport 3. Le dispositif de génération d’un rideau de gaz de purge est par exemple agencé au niveau du port de chargement 8 (Figure 2). La station de nettoyage 2 peut en outre comporter une unité de filtrage à flux laminaire 14 pour placer le bras de robot articulé 10 sous flux laminaire d’air filtré (Figures 1 et 2). L’unité de filtrage à flux laminaire 14 comporte des filtres à air pour filtrer les particules en provenance de l’air extérieur qui pénètrent dans la station de nettoyage 2. L’unité de filtrage à flux laminaire 14 comporte également des moyens diffuseurs de flux pour diffuser l’air filtré en un flux laminaire, par exemple depuis le haut de la station de nettoyage 2 vers le bas. L’unité de filtrage à flux laminaire 14 permet ainsi de limiter l’introduction d’éventuelles particules générées par la circulation de l’air ou par les composants en mouvements dans la station de nettoyage 2 et pour maîtriser leur évacuation. L’unité de commande 12 de la station de nettoyage 2 qui commande l’interface 7, le bras de robot articulé 10, l’injection du fluide de nettoyage dans le au moins un injecteur 11, peut être raccordée à une interface utilisateur 15, comprenant par exemple notamment un écran et un clavier visibles sur la Figure 1. La station de nettoyage 2 peut également comporter une armoire électrique 16 permettant l’alimentation et le logement de toute ou partie des composants électriques de la station de nettoyage 2. L’armoire électrique 16 est avantageusement déportée à l’écart de l’unité de filtrage à flux laminaire 14, évitant ainsi la contamination du bras de robot articulé 10 par les différents composants logés dans l’armoire électrique 16. L’unité de commande 12, l’interface utilisateur 15 et l’armoire électrique 16 peuvent être communs à plusieurs stations de nettoyage 2 (Figure 1). Nous allons maintenant décrire un exemple de procédé de nettoyage 100 mis en œuvre dans une station de nettoyage 2 (Figure 5). On accouple l’enveloppe 4 rigide de l’enceinte de transport 3 au port de chargement 8. Pour cela, un opérateur ou un robot place l’enceinte de transport 3 sur le port de chargement 8. Le port de chargement 8 positionne et contrôle le modèle d’enceinte de transport 3, puis clampe l’enveloppe 4 rigide de l’enceinte de transport 3 et l’avance contre l’accès de la station de nettoyage 2. Puis, le moyen d’actionnement de porte déverrouille la porte 6 et la déplace à l’écart de l’enveloppe 4. Puis, on commande le pilotage du bras de robot articulé 10 pour introduire le au moins un injecteur 11 dans l’enveloppe 4 rigide et pour déplacer le au moins un injecteur 11 en suivant une trajectoire prédéfinie afin de balayer l’intérieur de l’enveloppe 4 rigide avec le fluide de nettoyage (étape de nettoyage 101). La trajectoire prédéfinie est par exemple le mouvement reproduisant la forme générale interne de l’enceinte de transport 3, permettant le balayage de toute la surface interne de l’enveloppe 4 de l’enceinte de transport 3. Le bras de robot articulé 10 peut être commandé pour que la distance entre le au moins un injecteur 11 et l’enveloppe 4 rigide accouplée soit inférieure ou égale à vingt millimètres, telle que 15mm +/-5mm. La trajectoire prédéfinie peut être associée à une recette d’injection de fluide de nettoyage, la recette définissant au moins un paramètre parmi : - une vitesse de déplacement du au moins un injecteur 11, - un débit de fluide de nettoyage injecté par le au moins injecteur 11, - une durée d’injection à un emplacement donné, - une distance entre le au moins un injecteur 11 et l’enveloppe 4 rigide. La trajectoire et/ou la recette d’injection du fluide de nettoyage peut être sélectionnée en fonction d’informations de l’enceinte de transport 3, comme une mesure d’un niveau de contamination de l’enceinte de transport 3 ou comme la provenance de l’enceinte de transport 3. La provenance de l’enceinte 3 est par exemple identifiée au moyen du capteur de reconnaissance du port de chargement 8 de l’interface 7 ou du capteur du bras de robot articulé 10. On peut par exemple allonger des durées d’injection du fluide de nettoyage pour les enceintes de transport 3 ayant convoyé et stocké des substrats provenant d’étapes de fabrication particulièrement polluantes. La mesure du niveau de contamination de l’enceinte de transport 3 est par exemple réalisée préalablement et/ou réalisée par un compteur de particules de la station de nettoyage 2 par exemple agencé en sortie du collecteur de particules et/ou par un analyseur d’espèces gazeuses. Le débit de fluide de nettoyage est par exemple augmenté ou pulsé dans le cas de mesures de particules élevées ou dans le cas de mesures de contamination gazeuses élevées. Selon un exemple de réalisation, au cours du balayage de l’enveloppe 4 rigide par le fluide de nettoyage (étape de nettoyage 101), la trajectoire du au moins un injecteur 11 peut comporter une étape de balayage étendu 101a au cours de laquelle le au moins un injecteur 11 parcourt l’intérieur de l’enveloppe 4 rigide avec une vitesse de déplacement du au moins un injecteur 11 et une distance entre le au moins un injecteur 11 et l’enveloppe 4 rigide, constantes. On qualifie par exemple de « distance constante » une variation de distance entre le au moins un injecteur 11 et l’enveloppe 4 rigide autour d’une distance moyenne inférieure à 20%. La distance moyenne est par exemple de 15mm +/-5mm. On qualifie par exemple de « vitesse constante » une variation de vitesse entre le au moins un injecteur 11 et l’enveloppe 4 rigide autour d’une vitesse moyenne inférieure à 20%. La vitesse moyenne (en translation) est par exemple de 10cm/s +/- 5cm/s. La trajectoire peut comporter également au moins une étape de balayage localisé 101b dans une zone morte au cours de laquelle la vitesse de déplacement du au moins un injecteur 11 est ralentie et/ou la distance entre le au moins un injecteur 11 et l’enveloppe 4 est réduite par rapport aux distances et vitesse de l’étape de balayage étendu 101a. La distance moyenne est par exemple divisée par deux et/ou la vitesse moyenne est multipliée par trois. La zone morte est par exemple située au niveau des ailettes de support des substrats ou dans les coins de l’enveloppe 4 ou au niveau des filtres des ports de purge de l’enveloppe 4. La au moins une étape de balayage localisé 101b est par exemple successive à l’étape de balayage étendu 101a (Figure 5). Les zones mortes peuvent être identifiées au cours de l’étape de balayage étendu 101a, notamment lorsque la station de nettoyage 2 comporte un compteur de particules ou un analyseur d’espèces gazeuses. La au moins une étape de balayage localisé 101b peut être simultanée à l’étape de balayage étendu 101. Ainsi par exemple, le au moins un injecteur 11 parcourt l’intérieur de l’enveloppe 4 rigide avec une vitesse de déplacement et une distance constantes, la vitesse de déplacement du au moins un injecteur 11 étant ralentie et/ou la distance entre le au moins un injecteur 11 et l’enveloppe 4 étant réduite au niveau des zones mortes. A l’issue du balayage de l’enveloppe 4 rigide par le fluide de nettoyage, le procédé de nettoyage 100 peut comporter une étape de reconditionnement 102 de l’enceinte de transport 3 au cours de laquelle on remplit l’enceinte de transport 3 avec un gaz de purge tel que de l’azote sec. Le remplissage en gaz de purge peut être réalisé via des ports d’injection de gaz de purge du port de chargement 8 configurés pour injecter un gaz de purge à travers des ports de purge de l’enveloppe 4 de l’enceinte de transport 3. L’étape de reconditionnement 102 peut être réalisée en temps masqué, pendant le nettoyage de la porte 6. Il est également possible de remplir l’enceinte 3 dont la porte 6 est ouverte par d’autres moyens, par exemple au moyen d’un port d’injection de gaz de purge situé en vis-à-vis de l’ouverture frontale 5 de l’enveloppe 4. Cette réalisation présente l’avantage de permettre le remplissage de l’enceinte de transport 3 en gaz de purge en temps masqué, pendant les quelques secondes nécessaires au nettoyage de la porte 6. Ainsi, on comprend que la station de nettoyage 2 permet le nettoyage des contaminants organiques ou gazeux de l’enceinte de transport 3. En outre, la station de nettoyage 2 ne comporte pas de chambre dédiée. C’est l’enveloppe 4 de l’enceinte de transport 3 qui forme elle-même une chambre. Cette enveloppe 4 peut être nettoyée sans être déplacée, alors qu’elle reste accouplée au port de chargement 8. La distance entre le au moins injecteur 11 et l’enveloppe 4 est maîtrisée, ce qui permet le nettoyage des enceintes de façon reproductible d’une enceinte de transport 3 à l’autre. Station de nettoyage (2) d’une enceinte de transport (3) pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs de type FOUP ou FOSB, ladite enceinte de transport (3) comprenant une enveloppe (4) rigide munie d’une ouverture frontale (5) et une porte (6) amovible permettant d’obturer l’ouverture frontale (5), la station de nettoyage (2) comportant un port de chargement (8) susceptible de s’accoupler à l’enveloppe (4) rigide, caractérisée en ce que la station de nettoyage (2) comporte en outre : - un bras de robot articulé (10) portant au moins un injecteur (11), - une unité de commande (12) configurée pour commander le pilotage du bras de robot articulé (10) pour introduire le au moins un injecteur (11) dans l’enveloppe (4) rigide accouplée au port de chargement (8) dont la porte (6) a été préalablement ôtée, et pour déplacer le au moins un injecteur (11) en suivant une trajectoire prédéfinie afin de balayer l’intérieur de l’enveloppe (4) rigide avec le fluide de nettoyage. Station de nettoyage (2) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que le bras de robot articulé (10) comporte au moins trois axes. Station de nettoyage (2) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le bras de robot articulé (10) porte au moins deux injecteurs (11), tel qu’entre deux et dix injecteurs (11), par exemple au moins quatre injecteurs (11) agencés dans un même plan. Station de nettoyage (2) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le bras du robot articulé (10) comporte au moins un capteur. Station de nettoyage (2) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte un moyen de nettoyage de l’extrémité (13) du bras du robot articulé (10). Station de nettoyage (2) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte un moyen d’actionnement de porte configuré pour déplacer la porte (6) à l’écart de l’enveloppe (4), la station de nettoyage (2) comportant en outre au moins un injecteur additionnel orienté vers l’emplacement de la porte (6) pour injecter un fluide de nettoyage sur la porte (6) de l’enceinte de transport (3). Station de nettoyage (2) selon l’une des revendications 1 à 5, caractérisée en ce qu’elle comporte un moyen d’actionnement de porte configuré pour déplacer la porte (6) à l’écart de l’enveloppe (4), le bras de robot articulé (10) étant configuré pour pouvoir déplacer le au moins injecteur (11) face à la porte en suivant une trajectoire prédéfinie supplémentaire afin de balayer le côté intérieur de la porte (6) avec le fluide de nettoyage. Station de nettoyage (2) selon l’une des revendications 1 à 5, caractérisée en ce que le bras de robot articulé (10) est configuré pour saisir la porte (6) et la diriger face à un injecteur additionnel de fluide de nettoyage. Station de nettoyage (2) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte une unité de filtrage à flux laminaire (14) pour placer le bras de robot articulé (10) sous flux laminaire d’air filtré. Station de nettoyage (2) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte une unité de chauffage configurée pour chauffer des parois internes de l’enceinte de transport (3). Station de nettoyage (2) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le fluide de nettoyage est un gaz neutre et sec ou un mélange d’un gaz de purge et de vapeur d’eau ou un mélange de gaz de purge et de liquide. Station de nettoyage (2) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte un dispositif de génération d’un rideau de gaz de purge (18) comportant une pluralité d’injecteurs de gaz de purge agencés en ligne configurés pour former un rideau de gaz au niveau de l’ouverture frontale (5) de l’enveloppe (4). Module de nettoyage (1) caractérisé en ce qu’il comporte au moins deux stations de nettoyage (2) selon l’une des revendications précédentes, les stations de nettoyage (2) comportant des moyens d’accouplement complémentaires configurés pour accoupler les stations de nettoyage (2) les unes aux autres. Procédé de nettoyage (100) mis en œuvre dans une station de nettoyage (2) selon l’une des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que : - on accouple l’enveloppe (4) rigide de l’enceinte de transport (3) au port de chargement (8), - on commande le pilotage du bras de robot articulé (10) pour introduire le au moins un injecteur (11) dans l’enveloppe (4) rigide et pour déplacer le au moins un injecteur (11) en suivant une trajectoire prédéfinie afin de balayer l’intérieur de l’enveloppe (4) rigide avec le fluide de nettoyage. Procédé de nettoyage (100) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la trajectoire prédéfinie du bras de robot articulé (10) est programmée par apprentissage, en faisant mémoriser au bras de robot articulé (10) des coordonnées cartésiennes successives de l’enveloppe (4) ou la trajectoire prédéfinie du bras de robot articulé (10) est programmée à partir d’un modèle d’enveloppe (4) préenregistré. Procédé de nettoyage (100) selon l’une des revendications 14 ou 15, caractérisé en ce que la trajectoire prédéfinie est associée à une recette d’injection de fluide de nettoyage, la recette définissant au moins un paramètre parmi : - une vitesse de déplacement du au moins un injecteur (11), - un débit de fluide de nettoyage injecté par le au moins injecteur (11), - une durée d’injection à un emplacement donné, - une distance entre le au moins un injecteur (11) et l’enveloppe (4) rigide. Procédé de nettoyage (100) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la trajectoire et/ou la recette d’injection de fluide de nettoyage est sélectionnée en fonction d’informations de l’enceinte de transport (3), comme une mesure d’un niveau de contamination de l’enceinte de transport (3). Procédé de nettoyage (100) selon l’une des revendications 14 à 17, caractérisé en ce qu’au cours du balayage de l’enveloppe (4) rigide par le fluide de nettoyage, la trajectoire du au moins un injecteur (11) comporte une étape de balayage étendu (101a) au cours de laquelle le au moins un injecteur (11) parcourt l’intérieur de l’enveloppe (4) rigide avec une vitesse de déplacement du au moins un injecteur (11) et une distance entre le au moins un injecteur (11) et l’enveloppe (4) rigide constantes. Procédé de nettoyage (100) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la trajectoire comporte également au moins une étape de balayage localisé (101b) dans une zone morte au cours de laquelle la vitesse de déplacement du au moins un injecteur (11) est ralentie et/ou la distance entre le au moins un injecteur (11) et l’enveloppe (4) est réduite. Procédé de nettoyage (100) selon l’une des revendications 14 à 19, caractérisé en ce qu’à l’issue du balayage de l’enveloppe (4) rigide par le fluide de nettoyage, le procédé de nettoyage (100) comporte une étape de reconditionnement (102) de l’enceinte de transport (3) au cours de laquelle on remplit l’enceinte de transport (3) d’un gaz de purge.