Brevet FR3112984A1 — publié le 20220204

La présente invention concerne un procédé (100) de fabrication d’un système micro-fluidique (3) comportant au moins un microcanal (30) au sein d’une matrice (7), ledit procédé (100) comportant les étapes suivantes : remplissage d’un récipient (1) d’une résine photo-réticulable (4), impression tridimensionnelle d’une structure (5) en résine photo-réticulée par stéréo-lithographie à au moins deux photons, ladite structure (5) comportant au moins un micro-fil (51) en résine réticulée, ladite structure (5) prenant appui sur au moins une paroi (11) du récipient (1), retrait de la résine photo-réticulable (4) non polymérisée, remplissage du récipient (1) par un matériau précurseur (6) de sorte à englober la structure (5) en résine photo-réticulée, solidification du matériau précurseur (6) afin de former la matrice (7), et pyrolyse de la structure (5) en résine photo-réticulée. Figure d’abrégé : Fig. 1 Procédé de fabrication d’un système micro-fluidique par stéréo-lithographie multi-photonique La présente invention concerne le domaine de la fabrication d’un système micro-fluidique. Plus particulièrement, la présente invention concerne un procédé de fabrication d’un système micro-fluidique par stéréo-lithographie à au moins deux photons. La micro-fluidique est, à la fois, la science et la technologie de systèmes manipulant des fluides et dont au moins l'une des dimensions caractéristiques est de l'ordre du µm. La micro-fluidique peut se définir comme « la science et la technologie des systèmes qui manipulent de petits volumes de fluides (10 -9 à 10 -18 litres), en utilisant des canaux de la dimension de quelques dizaines de micromètres ». La micro-fluidique peut ainsi concerner une science et une technologie portant sur les écoulements de fluides simples ou complexes, mono- ou multiphasiques, dans des microsystèmes artificiels. Les applications de la micro-fluidique sont multiples. En général, manipuler à l'échelle du micromètre permet de travailler plus vite, dans un environnement plus propre et plus sûr, mais peut-être à un coût plus élevé. Véritables « microprocesseurs » pour la biologie et la transformation de la matière et de l’énergie, les systèmes micro-fluidiques permettent de remplacer des instruments ou des équipements encombrants et très coûteux ainsi que de réaliser des transformations inaccessibles aux systèmes classiques. Le nombre d'applications industrielles potentielles est considérable : en médecine, dans l'énergie, dans la chimie verte, la cosmétique, l'industrie agro-alimentaire et la biologie. Dans un contexte économique global particulièrement dégradé, l'intensification des procédés devient un atout pour l'industrie chimique en mal de compétitivité. L’intensification des procédés consiste, par le développement de méthodes, de techniques et d’appareils adaptés, à concevoir des procédés plus sélectifs, plus compacts et plus économiques dont la capacité de production est de plusieurs fois supérieure à celle d’un procédé conventionnel. En dehors de cet aspect production de connaissances dans le domaine de la transformation de la matière et de l’énergie, se développent des études de toxicologie utilisant la micro-fluidique sachant que le contexte réglementaire tant au niveau européen qu’international évolue rapidement. Des méthodes d’évaluation pertinentes sont nécessaires à l’acquisition rapide de possibles déterminants toxicologiques pour les substances en cours d’industrialisation (avec un grand nombre de produits dont il faut évaluer les propriétés physicochimiques, toxicologiques et éco-toxicologiques pour répondre aux exigences de ce règlement). Cette évolution doit s’accompagner d’un développement et d’un ajustement des méthodes actuelles qui ont souvent recours à l’expérimentation animale qu’il convient de limiter le plus possible. Des essais devraient pouvoir être réalisés pendant la phase de mise au point de nouvelles molécules, afin de diriger les essais exploratoires et de privilégier les molécules ayant un profil environnemental favorable. La mise au point de nouveaux procédés d’analyse des dangers et/ou de toxicologie peut se faire en développant des tests dans des outils fluidiques miniaturisés afin de bénéficier des capacités de criblage de ces outils. Certaines équipes de recherche proposent d’utiliser une approche micro-fluidique dans laquelle un micro-organisme à étudier est confiné au sein d’une goutte contenant la substance chimique qui est transportée dans une phase continue immiscible. Les gouttes engendrées dans les systèmes fluidiques peuvent circuler dans les canaux d’écoulement, mais également être stockées. Comme chaque goutte représente un test et qu’il est possible d’en générer plusieurs de composition identique ou variable, il devient alors possible d’accéder simultanément à un grand nombre d’informations. Cela permet par exemple d’avoir une puissance statistique importante pour une condition donnée ou de cribler en parallèle plusieurs compositions (cas des mélanges chimiques) et d’accélérer ainsi les phases d’acquisition de données. De même, en mécanique des fluides, il est désormais possible de créer des flux liquides sur mesure en plaçant de minuscules éléments tels que des piliers, supports et/ou obstacles à l'intérieur de canaux micro-fluidiques. En modifiant la vitesse d'écoulement, en multipliant le nombre de ces éléments, en faisant varier leur épaisseur, leur position et leur orientation, il est possible de produire un grand nombre de flux laminaires parfaitement contrôlés. Ces activités peuvent permettre, par exemple, de séparer les leucocytes (globules blancs) des autres cellules d'un échantillon sanguin, d'améliorer les mélanges dans les applications industrielles ou de réaliser plus rapidement des opérations de type « Laboratoire sur puce » telles que le séquençage de l’ADN ou la détection chimique. Ces secteurs d'activité représentent à terme des débouchés économiques très importants. Les techniques utilisées pour la micro-fluidique historiquement, la photolithographie dure, avec des matériaux employés comme le silicium et le verre, ou douce, avec l’utilisation de polymères, venant de l’industrie de la microélectronique, constituait la base de la fabrication pour la micro-fluidique. D’autres procédés de fabrications se sont développés (lamination, gaufrage au rouleau, impression 3D), et des matériaux nouveaux apparaissent (micro-fluidique papier, téflon, laques biodégradables). Dans les systèmes commercialisés, des plastiques tels que le polystyrène (PS) ou le poly méthacrylate de méthyle acrylique (PMMA) sont le plus souvent employés, et l’industrie utilise des procédés connus et robustes comme le moulage par injection, la soudure ultrasonique, etc. Cependant, de tels procédés de fabrications ne sont pas satisfaisants notamment d’un point de vue des coûts engendrés. En effet, dans le cadre d’une impression 3D d’un système micro-fluidique, plus la précision ou résolution demandée est importante, c’est-à-dire par exemple avec des voxels d’une taille de l’ordre du micromètre, plus le temps de production sera élevé. Un des buts de la présente invention est de remédier au moins partiellement aux inconvénients de l’art antérieur et de proposer un procédé de fabrication d’un système micro-fluidique amélioré. La présente invention concerne donc un procédé de fabrication d’un système micro-fluidique comportant au moins un microcanal au sein d’une matrice, ledit procédé comportant les étapes suivantes : remplissage d’un récipient d’une résine photo-réticulable, impression tridimensionnelle d’une structure en résine photo-réticulée par stéréo-lithographie à au moins deux photons, ladite structure comportant au moins un micro-fil en résine réticulée, ladite structure prenant appui sur au moins une paroi du récipient, retrait de la résine photo-réticulable non polymérisée lors de l’étape précédente, remplissage du récipient par un matériau précurseur solidifiable de sorte à englober la structure en résine photo-réticulée, solidification du matériau précurseur afin de former la matrice, et pyrolyse de la structure en résine photo-réticulée. Selon un aspect du procédé, le matériau précurseur est thermodurcissable et l’étape de solidification du matériau précurseur est une étape de traitement thermique à une température inférieure à la température de pyrolyse de la structure en résine photo-réticulée de sorte à solidifier le matériau précurseur. Selon un autre aspect du procédé, les étapes de solidification du matériau précurseur et de pyrolyse de la structure en résine photo-réticulée sont simultanées. Selon un autre aspect du procédé, l’étape de solidification du matériau précurseur et l’étape de pyrolyse de la structure en résine photo-réticulée, la matrice est retirée du récipient. Selon un autre aspect du procédé, l’étape de remplissage du matériau précurseur est réalisée par écoulement progressif au sein du récipient contenant la structure en résine photo-réticulée. Selon un autre aspect du procédé, l’écoulement progressif du matériau précurseur est réalisé par gravité le long d’une paroi latérale interne du récipient. Selon un autre aspect du procédé, l’étape de remplissage du matériau précurseur est réalisée par injection du matériau précurseur par le fond du récipient. Selon un autre aspect du procédé, l’étape de remplissage du matériau précurseur comporte également une étape simultanée d’aspiration gazeuse au sein du récipient. Selon un autre aspect du procédé, le matériau précurseur est sous forme d’une solution liquide. Selon un autre aspect du procédé, le matériau précurseur est sous forme de particules en suspension dans un solvant, le procédé comportant une étape supplémentaire de sédimentation de sorte que les particules recouvrent la structure en résine polymérisée avant l’étape de traitement thermique. Selon un autre aspect du procédé, le matériau précurseur est sous forme d’une poudre. Selon un autre aspect du procédé, le matériau précurseur comporte en son sein un composé comprenant une fonction métallique. Selon un autre aspect du procédé, ledit procédé comporte une première étape intermédiaire de mouillage de la structure en résine photo-réticulée par une résine comportant des catalyseurs métalliques de sorte à former une couche fine recouvrant la structure, et une deuxième étape intermédiaire de solidification de ladite couche fine de résine. Selon un autre aspect du procédé, la structure en résine photo-réticulée comporte un réseau de micro-fils interconnectés et comportant un ou plusieurs points de convergence ou divergence desdits micro-fils, ledit réseau de micro-fils étant destiné à définir une empreinte pour former un circuit micro-fluidique au sein de la matrice. Selon un autre aspect du procédé, la structure en résine photo-réticulée comporte au moins un appendice reliant ladite structure à l’extérieur de la matrice, ledit appendice formant un évent d’évacuation des gaz lors de l’étape de traitement thermique de pyrolyse de la structure en résine photo-réticulée. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront clairement de la description qui en est faite ci-après, à titre indicatif et nullement limitatif, en référence aux dessins annexés, dans lesquels : La figure 1 est un organigramme des différentes étapes du procédé de fabrication selon l’invention, la figure 2 est une représentation schématique d’un récipient à l’issue de la deuxième étape du procédé de fabrication, la figure 3 est une représentation schématique d’un récipient à l’issue de la troisième étape du procédé de fabrication, la figure 4a est une représentation schématique d’un récipient à l’issue de la quatrième étape du procédé de fabrication, la figure 4b est une représentation schématique d’un récipient lors de la quatrième étape selon un premier mode de réalisation, la figure 4c est une représentation schématique d’un récipient lors de la quatrième étape selon un deuxième mode de réalisation, la figure 5a est une représentation schématique d’un récipient lors d’une cinquième étape du procédé de fabrication, la figure 5b est une représentation schématique d’une matrice lors d’une sixième étape du procédé de fabrication, la figure 6 illustre sur un tableau une liste non-exhaustive de monomères pouvant être utilisés dans une résine photo-réticulable, la figure 7 illustre sur un tableau une liste non-exhaustive de photo-amorceurs pouvant être utilisés dans une résine photo-réticulable. Sur les différentes figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence. Les réalisations suivantes sont des exemples. Dans la présente description, on peut indexer certains éléments ou paramètres, comme par exemple premier élément ou deuxième élément ainsi que premier paramètre et second paramètre ou encore premier critère et deuxième critère, etc. Dans ce cas, il s'agit d'un simple indexage pour différencier et dénommer des éléments ou paramètres ou critères proches, mais non identiques. Cette indexation n'implique pas une priorité d'un élément, paramètre ou critère par rapport à un autre et on peut aisément inter-changer de telles dénominations sans sortir du cadre de la présente description. La figure 1 montre un organigramme des différentes étapes d’un procédé 100 de fabrication d’un système micro-fluidique 3 comportant au moins un micro-canal 30 au sein d’une matrice 7 (visibles sur la figure 5b). Ce procédé 100 comporte une première étape 101 de remplissage d’un récipient 1 d’une résine photo-réticulable 4. Par récipient 1, on entend ici un contenant pouvant contenir la matrice et résister au diverses étapes du procédé 100 de fabrication. Ce récipient 1 peut ainsi être un réservoir adapté ou encore un réacteur. Cette résine photo-réticulable 4 peut plus particulièrement être un mélange d’un monomère acrylate ou époxy et d’un photo-initiateur ou photo-amorceur. Dans le cas d’une composition liquide, les monomères présents dans la résine photo-réticulable 4 sont des monomères couramment utilisés en impression 3D par photo-polymérisation multi-photonique. Ces monomères sont par exemple des monomères acryliques, plus spécifiquement acrylates. Une liste non exhaustive de monomères pouvant être utilisés dans la résine photo-réticulable 4 de l’invention est décrite dans la figure 6. De préférence, ces monomères sont des monomères multifonctionnels car le polymère tridimensionnel à l'échelle moléculaire est insoluble dans le monomère qui lui a donné naissance. Cela peut être un mélange de monomère di-fonctionnel avec un ou plusieurs monomères mono-fonctionnels ce qui forme des réticulations plus lâches. De façon préférentielle, les monomères sont choisis, seuls ou en combinaison, parmi les monomères suivants : poly-(éthylène glycol)-diacrylate, triéthylène glycol-diméthacrylate, pentaerythritol-tetracrylate, 1,6-hexanediol-diacrylate. Les photo-initiateurs ou photo-amorceurs contenus dans la résine photo-réticulable 4 doivent permettre d’amorcer la polymérisation à la longueur d’onde prédéterminée de photo-polymérisation. Il existe un grand nombre de photo-amorceurs adaptés selon les conditions opératoires et dont le choix peut être facilement déterminé par l’homme de métier. Les photo-amorceurs ci-après sont indiqués à titre d’exemple non limitatif de l’invention. Il s’agit typiquement de cétones aromatiques, par exemple la 2,2-30 dimethoxy-1,2-phenyl acétophénone (DMPA), commercialisé sous le nom Irgacure 651 (marque déposée), de l’éosine Y pour des photo-polymérisations dans le domaine du visible, ou des amorceurs thermiques comme le peroxyde de benzoyle pour des photo-polymérisations dans le domaine IR. Des photo-amorceurs particulièrement adaptés au procédé selon l’invention sont représentés dans la figure 7 et sont commercialisés sous les noms commerciaux (marques déposées) Darocure 1173 et 116, le Quantacure PDO, les Irgacure 184, 651 et 907 et le Trigonal 14. De façon préférentielle, l’amorceur photochimique radicalaire est la DMPA commercialisée sous le nom d’Irgacure 651 (marque déposée). Le procédé 100 comporte une deuxième étape 102, illustrée à la figure 2 d’impression tridimensionnelle d’une structure 5 en résine photo-réticulée par stéréo-lithographie à au moins deux photons. Cette structure 5 comporte au moins un micro-fil 51 en résine réticulée. L’au moins un micro-fil 51 peut notamment avoir un diamètre de quelques µm, par exemple d’au moins 5µm, permettant par la suite un écoulement laminaire au sein du système micro-fluidique 3. La structure 5 prend notamment appui sur au moins une paroi 11 du récipient 1. Dans l’exemple illustré à la figure 2, la structure 5 prend appui sur deux parois latérales opposées au sein du récipient 1. Il est cependant tout à fait possible d’imaginer d’autres configurations comme par exemple une structure 5 prenant appui sur le fond du récipient 1 ou prenant au moins deux points d’appui sur une même paroi latérale. La structure 5 en résine photo-réticulée peut, comme illustré à la figure 2, comporter un réseau de micro-fils 51 interconnectés et comportant un ou plusieurs points de convergence ou divergence desdits micro-fils 51. Le réseau de micro-fils 51 est notamment, destiné à définir une empreinte pour former un circuit micro-fluidique au sein de la matrice 7 à l’issue du procédé 100 de fabrication. Les micro-fils 51 formeront plus particulièrement les canaux de circulation du circuit micro-fluidique tandis que les point de convergence ou de divergence formeront par exemple des chambres de réaction. L’utilisation de la stéréo-lithographie à au moins deux photons afin de réaliser l’impression tridimensionnelle permet d’avoir une résolution importante de la structure 5 lors de l’impression. L’utilisation de la stéréo-lithographie à au moins deux photons permet également d’éviter une fabrication couche par couche de la structure 5 qui serait chronophage. Cela permet ensuite, en suivant le procédé 100 de fabrication, d’avoir un système micro-fluidique 3 pouvant comporter des micro-canaux ayant une taille réduite, par exemple d’au moins 5µm jusqu’à par exemple 100µm. Lors d’une troisième étape 103, illustrée à la figure 3, la résine photo-réticulable 4 non polymérisée lors de la précédente étape 102 est retirée du récipient 1. Ce retrait de la résine photo-réticulable peut notamment être réalisé par lavage au moyen d’un solvant de type acétate de phényl-mercure, d’acétone, d’éthanol, etc. A l’issue de cette troisième étape 103, la structure 5 en résine réticulée est à nue au sein du récipient 1. Le procédé 100 de fabrication comporte ensuite une quatrième étape 104, illustrée à la figure 4a, de remplissage du récipient 1 par un matériau précurseur 6 solidifiable de sorte à englober la structure 5 en résine photo-réticulée. Le matériau précurseur 6 est plus particulièrement destiné à former la matrice 7. Selon un premier mode de réalisation de la quatrième étape 104, illustré à la figure 4b, le remplissage du récipient 1 par le matériau précurseur 6 peut être réalisé par écoulement progressif sous l’effet de la gravité au sein du récipient 1 contenant la structure 5 en résine photo-réticulée. Ce remplissage peut notamment être réalisé par gravité le long d’une paroi interne du récipient 1 pour limiter les risques de rupture et de déformation de la structure 5 en résine photo-réticulée. La vitesse et le débit d’écoulement du matériau précurseur 6 peuvent notamment être adaptés en fonction de la viscosité dudit matériau précurseur 6. En effet, plus la viscosité du matériau précurseur 6 est importante, plus la vitesse et le débit de remplissage doivent être faibles afin de limiter les risques de rupture, de déformation ou encore d’endommager la structure 5 en résine photo-réticulée. Selon un deuxième mode de réalisation de la quatrième étape 104, illustré à la figure 4c, le remplissage du récipient 1 par le matériau précurseur 6 peut être réalisé par injection du matériau précurseur 6 par le fond du récipient 1. Le fond du récipient 1 comporte alors une ouverture 12 par laquelle est injecté le matériau précurseur 6. Comme pour le premier mode de réalisation, la vitesse et le débit d’écoulement du matériau précurseur 6 peuvent être adaptés en fonction de la viscosité dudit matériau précurseur 6. Toujours selon ce deuxième mode de réalisation de la quatrième étape 104, une étape simultanée d’aspiration gazeuse au sein du récipient 1 peut être réalisée. Pour cela, une ouverture du récipient 1, généralement située au sommet du récipient 1, est connectée à un dispositif d’aspiration 13. Cette aspiration permet de faciliter l’injection du matériau précurseur 6 au sein du récipient 1. Lors de cette quatrième étape 104, le matériau précurseur 6 peut être sous forme d’une solution liquide. Le matériau précurseur 6 peut par exemple être sous forme de particules en suspension dans un solvant, par exemple de l’eau. Le procédé 100 peut alors comporter, à la suite de la quatrième étape 104, une étape supplémentaire 104’ de sédimentation de sorte que les particules solides recouvrent la structure 5 en résine polymérisée avant l’étape suivante qui est une étape de traitement thermique. Cette étape supplémentaire 104’ de sédimentation peut être accélérée par exemple par sonification par ultrasons. Selon une variante, lors de cette quatrième étape 104, le matériau précurseur 6 peut être sous forme d’une poudre. Le procédé 100 comporte ainsi une cinquième étape 105a, illustré à la figure 5a, de solidification du matériau précurseur 6 afin de former la matrice 7. Cette solidification du matériau précurseur 6 peut être réalisé selon différentes techniques. Le matériau précurseur 6 peut notamment être thermodurcissable. Ainsi, l’étape de solidification du matériau précurseur 6 peut être une étape de traitement thermique à une température inférieure à la température de pyrolyse de la structure 5 en résine photo-réticulée de sorte à solidifier le matériau précurseur 6. Lors de cette cinquième étape 105a, seul le matériau précurseur 6 subit une solidification et forme la matrice 7. Le procédé 100 comporte enfin une sixième étape 105b, illustrée à la figure 5b, de pyrolyse de la structure 5 en résine photo-réticulée. Par pyrolyse, on entend une dégradation induite thermiquement du matériau polymère permettant sa transformation en des matériaux/molécules fluides facilement séparables de la structure 5 en résine photo-réticulée. Cette sixième étape 105b correspond plus particulièrement à un traitement à une température supérieure ou égale à la température de pyrolyse de la structure 5 en résine photo-réticulée. Cette température de pyrolyse est généralement bien supérieure à la température de solidification du matériau précurseur 6 thermodurcissable de la cinquième étape 105a. Lors de cette sixième étape 105a, seule la structure 5 en résine photo-réticulée subit une pyrolyse thermique de sorte que l’empreinte de la structure 5 en résine photo-réticulée reste au sein de la matrice 7 et forme le système micro-fluidique 3. Les cinquième 105a et sixième 105b étapes sont de préférence réalisées successivement. De préférence, entre la cinquième 105a et la sixième 105b étape, la matrice 7 est retirée du récipient 1 alors qu’elle comporte encore la structure 5 en résine photo-réticulée. Cela permet par exemple que, lors de la pyrolyse de ladite structure 5 en résine photo-réticulée, les gaz produits soient évacués au niveau des points où la structure 5 en résine photo-réticulée était en appui sur le récipient 1. Il est néanmoins tout à fait possible d’imaginer que la cinquième 105a et la sixième 105b soient réalisée simultanément lors d’une étape unique 105. Cela est particulièrement possible par exemple lorsque ces deux étapes correspondent toutes deux à des traitements thermiques. Il est alors possible d’imaginer une étape unique 105 de traitement thermique avec par exemple une montée progressive de la température pour atteindre la température de pyrolyse de la structure 5. Afin de faciliter également l’évacuation de ces gaz lors de la pyrolyse de la structure 5 en résine photo-réticulée, ladite structure 5 peut comporter au moins un appendice (non représenté) reliant ladite structure 5 à l’extérieur de la matrice 6. Cet appendice, de préférence de forme conique, forme un évent d’évacuation des gaz lors de l’étape de traitement thermique de pyrolyse de la structure 5 en résine photo-réticulée. Le matériau précurseur 6 utilisé lors de la quatrième étape 104 peut être un polymère organo-minéral, par exemple de la famille des siloxanes comme par exemple le Poly-diméthyle-siloxane (PDMS). Le matériau précurseur 6 peut également être une résine acrylique chargée par exemple en poudre céramique. Le matériau précurseur 6 peut également être une barbotine. Le matériau précurseur 6 peut comporter en son sein un composé comprenant une fonction métallique. Le matériau précurseur 6 peut ainsi être également une résine acrylique chargée en poudre métallique ou une résine organométallique. Le matériau précurseur 6 peut également être une barbotine comportant en son sein un composé comprenant une fonction métallique, par exemple des oxydes métalliques. Dans le cas où le matériau précurseur 6 est une résine acrylique chargée par exemple en poudre minérale comme une céramique ou en poudre métallique, la polymérisation de la résine est produite par voie thermique avec des amorceurs comme le peroxyde de benzoyle ou encore l’azo-bis-iso-butyro-nitrile (AIBN). Afin de solidifier le matériau précurseur 6 lorsque ce dernier est thermodurcissable, les paramètres de température et de durée de la cinquième étape 105a sont dépendants de la nature du matériau précurseur 6. Par exemple, un traitement thermique à une température de 80°C à 100°C permet de solidifier une résine acrylique chargée en poudre d’alumine avec un amorceur tel que l’azo-bis-iso-butyro-nitrile (AIBN). De même, les paramètres de température et de durée de la sixième étape 105b, permettant la pyrolyse de la structure 5 en résine photo-réticulée dépendent de la nature de la résine photo-réticulable 4. Par exemple, certaines résines photo-réticulables disponibles dans le commerce et utilisées pour réaliser de l’impression par stéréo-lithographie à au moins deux photons sont pyrolysées à une température comprise entre 400°C et 900°C. Lors de cette sixième étape 105b de pyrolyse, la matrice 7 peut également se transformer sous l’effet du traitement thermique. Par exemple, le Poly-diméthyle-siloxane (PDMS) peut former une céramique de carbure de silicium lors d’un traitement thermique de l’ordre de 800°C. Pour d’autres résines, ce traitement thermique lors de la sixième étape 105b permet un déliantage et un frittage par exemple dans le cas d’une résine chargée. Lorsque le matériau précurseur 6 comporte en son sein un composé comprenant une fonction métallique, le traitement thermique lors de la sixième étape 105b permet également d’effectuer un frittage de ces composés métalliques. Cela est particulièrement intéressant notamment si ces composés métalliques ont des propriétés catalytiques. Les parois internes du système micro-fluidique 3 bénéficient ainsi de ces propriétés catalytiques. Selon une variante, le procédé 100 de fabrication peut comporter, une première étape intermédiaire 107a dans laquelle la structure 5 en résine photo-réticulée est mouillée par une résine comportant des catalyseurs métalliques, par exemple des ions métalliques ayant des propriétés catalytiques. Ce mouillage permet de former une couche fine de résine comportant catalyseurs métalliques recouvrant la structure 5 du fait des forces de capillarité et de la tension de surface. Ce mouillage est suivi alors par une deuxième étape intermédiaire 107b de solidification de la résine comportant des catalyseurs métalliques. Cette résine peut être par exemple thermodurcissable ou bien encore solidifiable par ultra-violets par exemple. Ces étapes intermédiaires 107a et 107b sont réalisées préalablement à la quatrième étape 104 de remplissage du récipient 1 par le matériau précurseur 6. A l’issue de ces étapes intermédiaires 107a et 107b, la structure 5 sera recouverte d’une fine couche de résine solidifiée comportant des catalyseurs avantageusement métalliques. Il est possible alors d’utiliser lors de la quatrième étape 104 de remplissage du récipient 1 un matériau précurseur 6 comportant des charges moins coûteuses comme l’alumine. En effet, des charges métalliques catalytiques sont généralement réalisées avec des métaux rares et coûteux tels que le platine. Ainsi, on voit bien que le procédé 100 permet la fabrication rapide et avec une grande résolution ou précision d’un système micro-fluidique 3. En effet, l’impression tridimensionnelle par stéréo-lithographie à au moins deux photons permet cette grande résolution ou précision. Le temps utilisé pour cette impression tridimensionnelle se limite à l’impression de la structure 5 en résine photo-réticulée qui est de taille réduite. Le temps d’impression est donc grandement réduit par rapport à une impression complète de la matrice 7 avec en creux une structure formant le système micro-fluidique 3. La structure 5 en résine photo-réticulée est ainsi utilisée comme moule sacrificiel pour la fabrication du système micro-fluidique 3. De plus, du fait que les résines photo-réticulables 4 utilisées pour l’impression tridimensionnelle sont onéreuses, le fait d’en utiliser une plus faible quantité pour réaliser uniquement la structure 5 rend le procédé 100 de fabrication économique. Le procédé 100 de fabrication permet également un choix plus vaste pour le matériau précurseur 6 formant la matrice 7. Cela permet ainsi également de choisir ce matériau précurseur 6 selon les besoins spécifiques de l’utilisation future du système micro-fluidique 3. Procédé (100) de fabrication d’un système micro-fluidique (3) comportant au moins un microcanal (30) au sein d’une matrice (7), ledit procédé (100) comportant les étapes suivantes : remplissage d’un récipient (1) d’une résine photo-réticulable (4), impression tridimensionnelle d’une structure (5) en résine photo-réticulée par stéréo-lithographie à au moins deux photons, ladite structure (5) comportant au moins un micro-fil (51) en résine réticulée, ladite structure (5) prenant appui sur au moins une paroi (11) du récipient (1), retrait de la résine photo-réticulable (4) non polymérisée lors de l’étape précédente, remplissage du récipient (1) par un matériau précurseur (6) solidifiable de sorte à englober la structure (5) en résine photo-réticulée, solidification du matériau précurseur (6) afin de former la matrice (7), et pyrolyse de la structure (5) en résine photo-réticulée. Procédé (100) de fabrication selon la revendication 1, caractérisé en ce que le matériau précurseur (6) est thermodurcissable et en ce que l’étape de solidification du matériau précurseur (6) est une étape de traitement thermique à une température inférieure à la température de pyrolyse de la structure (5) en résine photo-réticulée de sorte à solidifier le matériau précurseur (6). Procédé (100) de fabrication selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les étapes de solidification du matériau précurseur (6) et de pyrolyse de la structure (5) en résine photo-réticulée sont simultanées. Procédé (100) de fabrication selon l’une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu’entre l’étape de solidification t du matériau précurseur (6) et l’étape de pyrolyse de la structure (5) en résine photo-réticulée, la matrice (7) est retirée du récipient (1). Procédé (100) de fabrication selon l’une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que l’étape de remplissage du matériau précurseur (6) est réalisée par écoulement progressif au sein du récipient (1) contenant la structure (5) en résine photo-réticulée. Procédé (100) de fabrication selon la revendication précédente, caractérisé en ce que l’écoulement progressif du matériau précurseur (6) est réalisé par gravité le long d’une paroi latérale interne du récipient (1). Procédé (100) de fabrication selon l’une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que l’étape de remplissage du matériau précurseur (6) est réalisée par injection du matériau précurseur (6) par le fond du récipient (1). Procédé (100) de fabrication selon la revendication précédente, caractérisé en ce que l’étape de remplissage du matériau précurseur (6) comporte également une étape simultanée d’aspiration gazeuse au sein du récipient (1). Procédé (100) de fabrication selon l’une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que le matériau précurseur (6) est sous forme d’une solution liquide. Procédé (100) de fabrication selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le matériau précurseur (6) est sous forme de particules en suspension dans un solvant, le procédé (100) comportant une étape supplémentaire de sédimentation de sorte que les particules recouvrent la structure (5) en résine polymérisée avant l’étape de traitement thermique. Procédé (100) de fabrication selon l’une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que le matériau précurseur (6) est sous forme d’une poudre. Procédé (100) de fabrication selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le matériau précurseur (6) comporte en son sein un composé comprenant une fonction métallique. Procédé (100) de fabrication selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu’il comporte une première étape intermédiaire (107a) de mouillage de la structure (5) en résine photo-réticulée par une résine comportant des catalyseurs métalliques de sorte à former une couche fine recouvrant la structure (5), et une deuxième étape intermédiaire (107b) de solidification de ladite couche fine de résine. Procédé (100) de fabrication selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la structure (5) en résine photo-réticulée comporte un réseau de micro-fils (51) interconnectés et comportant un ou plusieurs points de convergence ou divergence desdits micro-fils (51), ledit réseau de micro-fils (51) étant destiné à définir une empreinte pour former un circuit micro-fluidique au sein de la matrice (7). Procédé (100) de fabrication selon l’une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la structure (5) en résine photo-réticulée comporte au moins un appendice reliant ladite structure (5) à l’extérieur de la matrice (7), ledit appendice formant un évent d’évacuation des gaz lors de l’étape pyrolyse de la structure (5) en résine photo-réticulée.