Brevet FR3107904A1 — publié le 20210910

Procédé et dispositif de traitement d’une surface de cavité accélératrice par implantation ionique L’invention se rapporte à une technique de traitement de surface d’une ou plusieurs cavité(s) accélératrice(s) (C) d’un module accélérateur (M). Cette technique repose sur l’utilisation d’un faisceau de particules pour opérer un balayage au moins partiel de la surface interne (S) de la ou des cavités accélératrices. Une telle technique offre une solution de traitement plus adaptée aux cavités accélératrices, avec une meilleure maîtrise des paramètres d’implantation. Figure d’abrégé: Figure 1 Procédé et dispositif de traitement d’une surface de cavité accélératrice par implantation ionique L’invention se situe dans le domaine du traitement de surface de matériaux. Plus particulièrement, l’invention porte sur une technique de traitement d’une surface interne de cavité, telles que celles utilisées par exemple dans les accélérateurs de particules, communément appelées cavités accélératrices ou cavités résonantes. Art antérieur On s'attache plus particulièrement dans la suite de ce document à décrire la problématique existant dans le domaine des accélérateurs de particules supraconducteurs, à laquelle ont été confrontés les inventeurs de la présente demande de brevet. L’invention ne se limite bien sûr pas à ce domaine particulier d'application, mais présente un intérêt pour toute technique de traitement de surface devant faire face à une problématique proche ou similaire. Les accélérateurs de particules sont des dispositifs destinés à l’accélération, à haute énergie, de particules élémentaires. Parmi les différents dispositifs existants certains sont dotés d’un ou de plusieurs modules accélérateurs se présentant sous la forme d’une succession de cavités accélératrices à radiofréquences («RF») dans chacune desquelles les particules sont accélérées grâce à un champ électromagnétique appliqué à celle-ci. La forme et les dimensions des cavités accélératrices sont variables d’un accélérateur à l’autre, et dépendent de différents facteurs. Ces cavités accélératrices RF peuvent être faites de différents matériaux métalliques ou alliages, les plus communément utilisés étant le cuivre et le niobium (de symbole chimique Nb). Le niobium est un matériau supraconducteur qui permet d’obtenir d’excellentes performances à très basses températures (typiquement inférieures à 2°K). Dans de telles cavités, la supraconductivité permet de réduire la résistance surfacique des parois internes de celles-ci. Le phénomène est donc est un phénomène localisé au niveau des premières couches nanométriques du niobium. Afin d’améliorer les performances de résonance des cavités accélératrices, il a été démontré par ailleurs qu’un traitement de surface par dopage en azote des parois en niobium était possible, notamment pour augmenter le facteur de qualité de ces cavités. Un tel traitement reste néanmoins une opération délicate à mettre en œuvre, du fait notamment de la forme et des dimensions des cavités accélératrices, et de l’accès difficile à certaines régions internes de celles-ci. Un procédé de traitement connu repose sur une technique de dopage par infusion d’azote des cavités en niobium. Ce procédé consiste en un traitement thermique haute température des cavités en niobium (typiquement compris entre 600 et 1000 °C) dans une enceinte de traitement saturée en azote gazeux. Un tel procédé permet de modifier les propriétés physico-chimiques de la structure superficielle et interne de la cavité de sorte que le facteur de qualité en soit amélioré. Toutefois, il s’agit d’un procédé chronophage et énergivore. De plus, la concentration en azote ainsi que la profondeur d’azote infusées dans les parois des cavités restent difficilement contrôlables avec ce type de procédé. Enfin, il nécessite l’utilisation d’enceintes de traitement de tailles relativement importantes, dépendant des dimensions et de la géométrie particulière des cavités accélératrices. Enfin, avec ce procédé, il est nécessaire de réaliser une étape de polissage électro-chimique de l’intérieur des cavités pour retirer la couche de nitrure de niobium formée en surface sur plusieurs microns d’épaisseur (de l’ordre de 5 à 10 µm). En effet, le traitement haute température conduit à la formation d’une couche de nitrure de niobium qui a pour effet de dégrader les propriétés supraconductrices et augmenter fortement la résistance surfacique des cavités. Ce traitement de polissage électro-chimique permet également de retrouver une rugosité acceptable pour l’obtention des propriétés voulues. Il existe donc un réel besoin de fournir une technique de traitement de surface qui soit techniquement plus adaptée aux cavités accélératrices, offrant notamment une meilleure maîtrise des paramètres de dopage en vue d’une plus grande efficacité de traitement. Dans un mode de réalisation particulier de l’invention, il est proposé un procédé de traitement de surface d’au moins une cavité accélératrice d’un module accélérateur, le procédé comprenant une étape d’utilisation d’un faisceau de particules pour traiter, par implantation de particules, une surface interne de ladite au moins une cavité. On entend par «une surface interne» toute ou partie de la surface interne de ladite au moins une cavité. En d’autres termes, l’utilisation du faisceau de particules selon l’invention est mise en œuvre pour traiter au moins partiellement la surface interne de ladite au moins cavité. Ainsi, la présente invention propose une alternative aux techniques de l’art antérieur, consistant à soumettre la surface interne d’une ou plusieurs cavités accélératrices à un faisceau de particules, pour réaliser un traitement de surface par implantation de particules. Cette nouvelle approche offre la possibilité de réaliser un traitement de surface de cavités accélératrices à basses températures (c’est-à-dire de l’ordre de la température ambiante), un tel traitement pouvant être réalisé de manière sélective ou non. Cette nouvelle approche permet en outre, contrairement au procédé de l’art antérieur précité (dopage par infusion), une meilleure maîtrise des paramètres d’implantation, en particulier une meilleure maîtrise de la profondeur et de la concentration d’implantation. Selon un aspect particulier de l’invention, l’étape d’utilisation comprend une étape de balayage de la surface interne par déplacement du faisceau de particules par rapport à ladite surface interne ou inversement. Ainsi, il est possible de réaliser un traitement de surface qui est efficace et qualitatif. La mise en en œuvre d’un balayage d’un faisceau de particules permet notamment un accès facilité à certaines parties internes de la cavité difficiles d’accès. Ainsi, contrairement à l’art antérieur, l’invention offre un procédé qui s’adapte plus aisément aux dimensions et formes des cavités accélératrices à traiter. Par ailleurs, l’utilisation d’un faisceau de particules permet de recourir à une quantité de particules plus faible que dans le cas d’un dopage par infusion selon l’art antérieur. En outre, l’avantage d’un traitement basse température permet d’éviter, ou de réduire à tout le moins, la formation en surface de composés chimiques néfastes aux propriétés des cavités. Ceci permet de s’affranchir d’une étape de polissage électro-chimique, comme c’est le cas avec le procédé de l’état de l’art précité. De fait, l’invention offre une solution de traitement simple et peu coûteuse à mettre en œuvre. Selon une caractéristique particulière, l’étape de balayage est précédée des étapes suivantes: introduction dans ladite au moins une cavité, via un orifice du module accélérateur, d’une tête de balayage électrique et/ou magnétique de la surface interne; génération sous vide du faisceau de particules en direction des tête de balayage introduits dans ladite au moins une cavité; ladite étape de balayage étant mise en œuvre par activation des tête de balayage. Ainsi, l’invention prévoit la possibilité d’effectuer un balayage électrique, magnétique ou électromagnétique de la surface interne, par simple activation d’une tête de balayage préalablement introduite dans la cavité. Le balayage est réalisé autour d’un premier axe de balayage. Selon un aspect complémentaire de l’invention, l’étape de balayage comprend une étape d’entrainement en rotation de ladite au moins une cavité par rapport à la tête de balayage ou inversement. L’entrainement en rotation est réalisé autour d’un deuxième axe de balayage. Ainsi, l’invention prévoit la possibilité d’effectuer en outre un balayage mécanique de la surface interne, par simple rotation de la cavité par rapport à la tête de balayage ou inversement. De manière alternative ou complémentaire, l’étape de balayage comprend une étape d’entrainement en translation de la tête de balayage par rapport à ladite au moins une cavité ou inversement. L’entrainement en translation est réalisé le long du deuxième axe de balayage précité. Ainsi, l’invention prévoit une autre manière de balayer mécaniquement la surface interne d’une cavité. Les étapes d’entrainement en rotation et en translation peuvent être effectuées successivement ou simultanément en fonction de la configuration de balayage souhaitée. Selon un aspect particulier de l’invention, les particules du faisceau sont des particules sélectionnées parmi les espèces appartenant au groupe comprenant: une espèce atomique, une espèce moléculaire, une espèce ionique, une espèce moléculaire et ionique, une espèce à base d’au moins une particule élémentaire. Le procédé selon l’invention est donc compatible avec différents types de particules à implanter, le choix dépendant du matériau des parois internes de la cavité traitée ainsi que la nature du traitement de surface souhaitée. Selon un aspect particulier de l’invention, les particules du faisceau sont des ions sélectionnés parmi les éléments appartenant au groupe comprenant: l’azote (N), l’hélium (He), le titane (Ti), l’argon (Ar), l’oxygène (O), le fer (Fe), l’aluminium (Al), le néon (Ne), le krypton (Kr), le xénon (Xe), le bore (B), le carbone (C), le fluor (F), le silicium (Si), le phosphore (P), le soufre (S). Le procédé selon l’invention est donc compatible avec des ions de natures différentes. Cette liste d’éléments n’est pas nécessairement exhaustive. Le choix dépend du matériau de la cavité traitée ainsi que la nature du traitement de surface souhaitée. Selon une caractéristique particulièrement avantageuse, la surface interne de ladite au moins une cavité étant en niobium (Nb), le faisceau de particules utilisé est un faisceau d’ions d’azote à charge unique ou à charges multiples. L’utilisation d’un tel faisceau permet d’améliorer le facteur de qualité de résonnance des cavités en niobium ainsi traitées. L’invention porte également sur les produits obtenus directement du procédé et leur utilisation subséquente notamment dans un accélérateur de particules. Ainsi, selon un autre mode de réalisation particulier, il est proposé une cavité accélératrice d’un module accélérateur obtenu par le procédé de traitement précité dans l’un quelconque de ses différents modes de réalisation. Il convient de noter à cet égard qu’un tel procédé de traitement intervient généralement dans un processus plus global de fabrication de cavité(s) accélératrice(s) pour accélérateur de particules. Dans un autre mode de réalisation de l'invention, il est proposé un produit programme d'ordinateur qui comprend des instructions de code de programme pour la mise en œuvre du procédé précité (dans l’un quelconque de ses différents modes de réalisation), lorsque ledit programme est exécuté sur un ordinateur. Dans un autre mode de réalisation de l'invention, il est proposé un médium de stockage lisible par ordinateur et non transitoire, stockant un programme d’ordinateur comprenant un jeu d’instructions exécutables par un ordinateur pour mettre en œuvre le procédé précité (dans l’un quelconque de ses différents modes de réalisation). Dans un autre mode de réalisation de l'invention, il est proposé un dispositif de traitement de surface d’au moins une cavité accélératrice d’un module accélérateur, comprenant des moyens de balayage d’une surface interne de ladite moins une cavité au moyen d’un faisceau de particules. Ainsi, la présente invention propose une alternative aux dispositifs de traitement de surface de l’art antérieur, qui est plus efficace et plus simple à mettre en œuvre. Le principe général de l’invention, dans ce mode de réalisation, consiste à soumettre la surface interne d’une ou plusieurs cavité(s) accélératrice(s) à un balayage de faisceau de particules pour y réaliser un traitement de surface par implantation de particules. Cette nouvelle approche permet de réaliser un traitement basse température, qui peut être sélectif (par exemple en effectuant un balayage d’une portion de surface interne de la cavité) ou non-sélectif (par exemple en effectuant un balayage de la totalité de la surface interne). Enfin, comparé contrairement à l’art antérieur précité, l’utilisation d’un faisceau de particules offre une meilleure maîtrise des paramètres d’implantation, en particulier la profondeur et la concentration de particules implantées. De manière complémentaire, le dispositif comprenden outre : des moyens d’introduction dans ladite au moins une cavité d’une tête de balayage électrique et/ou magnétique de la surface interne, lesditsmoyens d’introduction et la tête de balayage étant configurés pour être insérables dans ladite au moins une cavité; des moyens de génération sous vide du faisceau de particulesen direction de la tête de balayage ; lesdits moyens de balayage comprenant la tête de balayage. Plus particulièrement, la tête de balayage comprend un déflecteur de faisceau apte à dévier le faisceau généré vers la surface interne et une ouverture de sortie de faisceau agencée par rapport au déflecteur de faisceau de façon à laisser passer le faisceau dévié en direction de la surface interne. De cette façon, par application d’une simple force électrique et/ou magnétique, le faisceau de particules est dévié de sa trajectoire au sein même de la cavité à des fins de traitement de surface. L’invention prévoit en effet la possibilité d’effectuer un balayage purement électrique, magnétique ou électromagnétique autour d’un premier axe de balayage, pour traiter la surface interne de la cavité. De manière complémentaire, les moyens de balayage comprennent des moyens d’entrainement en rotation de ladite au moins une cavité par rapport à la tête de balayage ou inversement. Ainsi, de façon astucieuse, un balayage purement mécanique ou bien hybride de type électrique-mécanique ou magnétique-mécanique, peut être réalisé pour traiter la surface interne de la cavité. De manière complémentaire ou alternative, lesdits moyens de balayage comprennent des moyens d’entrainement en translation de la tête de balayage par rapport à ladite au moins une cavité ou inversement. Ainsi, l’invention prévoit également la possibilité d’effectuer un balayage seul ou en combinaison avec les moyens d’entrainement en rotation précités. Selon une configuration particulière, le module accélérateur comprenant une pluralité de cavités accélératrices successives, les moyens d’entrainement en translation sont configurés pour introduire successivement la tête de balayage pour opérer un balayage de la surface interne de chacune des cavités de ladite pluralité. Il est ainsi possible de traiter la surface interne de plusieurs cavités successivement dans le temps avec une seule tête de balayage. Selon une variante de réalisation, le module accélérateur comprenant une pluralité de cavités accélératrices successives, les moyens d’introduction comprennent une pluralité de têtes de balayage distinctes disposées successivement le long desdits moyens d’introduction, chaque tête de balayage étant configurée de façon à opérer un balayage de la surface interne d’une cavité différente de ladite pluralité. Cette variante est particulièrement intéressante puisqu’elle permet d’effectuer un traitement de plusieurs cavités sans avoir à réaliser une translation de la tête de balayage au cours du traitement multi-cavité. Une telle configuration est donc plus simple à mettre en œuvre et permet de réduire la durée du traitement. De plus, par comparaison avec la configuration particulière précitée, pour un module accélérateur de même longueur, elle permet d’avoir recours à des moyens d’introduction de longueur réduite de moitié. A noter la double fonction des moyens d’entrainement en translation selon l’invention: le positionnement de la tête de balayage dans au moins une cavité accélératrice et, le cas échéant, la participation au balayage de la surface interne de celle-ci selon le premier axe de balayage. Selon une caractéristique particulière, le dispositif est configuré pour former avec le module accélérateur une enceinte apte à être mise sous vide. De cette façon, le dispositif et le module accélérateur forme un système comprenant une enceinte de traitement pouvant être mise sous atmosphère contrôlé. Ainsi, contrairement à l’art antérieur précité où le module accélérateur est placé dans une enceinte de traitement dédiée, le dispositif selon l’invention tire profit du module accélérateur (quel que soit le nombre de cavités) pour former une enceinte de traitement, et donc offrir un dispositif à encombrement réduit. La mise sous vide de l’enceinte facilite l’utilisation du faisceau de particules généré par les moyens de génération. D’une façon plus générale, le dispositif de traitement selon l’invention comprend des moyens de mise en œuvre des étapes qu’il effectue dans le procédé de traitement tel que décrit précédemment, dans l’un quelconque de ses différents modes de réalisation. Figures D’autres caractéristiques et avantages de l’invention apparaîtront plus clairement à la lecture de la description suivante, donnée à titre d’exemple illustratif et non limitatif, et des dessins annexés, parmi lesquels: présente un synoptique simplifié d’un dispositif de traitement selon un mode de réalisation particulier de l’invention; représente un organigramme générique d’un mode de réalisation particulier du procédé selon l’invention ; illustre le fonctionnement du dispositif représenté sur la figure 1 pour un traitement multi-cavité; illustre une variante de réalisation du dispositif représenté sur la figure 3 conforme à l’invention; et illustrent, de façon schématique, un premier exemple de tête de balayage selon l’invention; et illustrent, de façon schématique, un deuxième exemple de tête de balayage selon l’invention; présente un schéma simplifié de la structure d’une unité de commande mettant en œuvre le procédé selon un mode de réalisation particulier de l’invention. Description détaillée de l’invention Sur les figures du présent document, les éléments identiques sont désignés par une même référence numérique. Le principe général de l’invention repose sur une utilisation d’un faisceau de particules pour traiter la surface interne d’une ou plusieurs cavité(s) accélératrice(s) d’un module accélérateur. Une telle approche permet de réaliser un traitement de surface efficace, particulièrement bien adapté à ce type de cavité. On s’attache plus particulièrement dans la suite de ce document à décrire l’invention dans le cas d’une structure accélératrice supraconductrice linéaire. Bien entendu, il s’agit là d’un exemple d’application particulier, pouvant aisément être adapté à de nombreuses autres applications, sans sortir du cadre de l’invention. Traitement « mono-cavité » La figure 1 présente, de façon schématique, le principe de fonctionnement d’un dispositif de traitement D1, selon un mode de réalisation particulier de l’invention. Dans ce mode de réalisation particulier, le dispositif D1 est configuré pour traiter la surface interne S d’une cavité accélératrice C par implantation ionique. Ce traitement de surface vise à augmenter les performances de résonance de la cavité accélératrice. Le module accélérateur M représenté sur cette figure à titre d’exemple ne comporte qu’une seule cavité accélératrice. La surface S de la cavité accélératrice C est constituée de niobium (de symbole Nb), un matériau supraconducteur fréquemment utilisé dans la fabrication des modules accélérateurs. Le faisceau de particules utilisé ici est un faisceau d’ions à base d’azote. Le dispositif D1 et le module accélérateur M forment un système de traitement selon l’invention, représenté ici dans un système de référence X, Y, Z. La cavité C présente une symétrie de révolution autour d’un axe longitudinal X. Cet axe est matérialisé par le trait pointillé X sur la figure. Orthogonalement à cet axe longitudinal X, la cavité C s’étend radialement dans le plan YZ, mais de façon progressive le long de l’axe longitudinal X, définissant une forme générale sensiblement torique. La cavité C comprend un orifice d’entrée O1 et un orifice de sortie O2, à section circulaire, tous deux centrés sur l’axe longitudinal X. Afin de rendre le traitement de surface plus efficace et moins coûteux notamment en énergie, le dispositif selon l’invention dispose de moyens de balayage configurés pour opérer un balayage contrôlé de la surface interne S de la cavité C au moyen d’un faisceau d’ions. Le balayage s’effectue par déplacement du faisceau d’ions par rapport à la surface interne S ou inversement, par déplacement de la surface interne S par rapport au faisceau d’ions. Les moyens de balayage présentés par la suite sont de différentes natures. Ils peuvent être actionnés seuls ou en combinaison, de manière séquentielle ou simultanée, en fonction de la configuration de balayage visée. Le principe d’utilisation du faisceau d’ions est décrit en détails plus loin, en relation avec la figure 2. Dans ce mode de réalisation particulier, le dispositif D1 comprend: des moyens de génération 10 d’un faisceau d’ions, par exemple une source à résonance cyclotronique électronique (ou source RCE) configurée pour générer un faisceau d’ions d’azote mono-chargé (de symbole N + ) ; une tête de balayage magnétique 30, apte à opérer un balayage de la surface interne S par déviation du faisceau d’ions vers la surface interne S au moyen d’une force magnétique appliquée sur ce faisceau; des moyens d’introduction 20 de la tête de balayage 30 au sein de la cavité C ; un guide de raccordement et de mise sous vide 40 ; un organe de fermeture absorbant 50disposé en sortie de cavité ; une unité de commande 80 configurée pour piloter les moyens 10, 20, 30 et 40 précités. Dans l’exemple représenté ici, les moyens de balayage sont assurés de manière magnétique grâce à la tête de balayage 30 comprise dans les moyens d’introduction 20. Une telle tête de balayage est composée, par exemple, d’une ouverture de sortie de faisceau et d’un dipôle magnétique disposé au voisinage de ladite ouverture, comme illustré sur les figures 5A et 5B. Les moyens d’introduction 20 présentent ici sous la forme d’une tige allongée, centrée sur et s’étendant le long de l’axe longitudinal X. La tige 20 est conçue de manière à suffisamment rigide pour permettre le portage de la tête de balayage 30 au centre de la cavité C sans subir de déformation mécanique. La tige 20 est, de plus, dimensionnée de façon à permettre son insertion et celle de la tête de balayage 30 au sein de la cavité C, à travers les orifices O1-O2. Selon un aspect particulier, la tige 20 doit être conformée pour ne pas interférer avec le faisceau d’ions incident Fi émis par la source 10. Par exemple, une tige de forme tubulaire, centrée sur et s’étendant le long l’axe longitudinal X, convient parfaitement pour laisser passer le faisceau d’ions en son centre le long l’axe longitudinal X. De plus amples détails sur l’implémentation de la tête de balayage magnétique 30 sont donnés plus loin en relation avec les figures 5a et 5b. Le guide de raccordement 40 est un élément de forme tubulaire, centré sur et s’étendant le long de l’axe longitudinal X. Il est raccordé de manière étanche, d’une part, à la source 10, et d’autre part à l’orifice d’entrée O1 de la cavité C au moyen d’une bride de raccordement annulaire R1. Le guide 40 est également muni d’un organe de support T monté de manière fixe sur la paroi interne du guide et agencé pour porter la tige d’introduction 20 de façon à ce qu’elle soit disposée dans l’axe longitudinal X. De manière complémentaire, l’organe de support T dont est muni le guide 40 peut jouer le rôle translateur de la tige d’introduction 20 le long de l’axe longitudinal X. Enfin, une pompe à vide (non représentée sur la figure) est reliée au guide 40 par un organe étanche (également non représenté), afin de mettre le système sous atmosphère contrôlée. L’organe de fermeture absorbant 50se présente sous une forme d’un tube fermé à l’une de ses extrémités par un fond absorbant, l’autre extrémité étant adaptée pour être raccordée, de façon étanche, à l’orifice de sortie O2 au moyen d’une bride de raccordement annulaire R2. Le fond absorbant comprend au moins une couche d’un matériau choisi pour ses propriétés d’absorption de rayonnements ionisants (autrement dit, un matériau choisi pour son pouvoir d’arrêt aux ions d’azote dans le présent cas), en vue de stopper pour les ions résiduels ou non utilisés au cours du traitement). Ainsi, l’organe 50assure la fonction d’absorption d’ions, mais également la fonction de fermeture étanche de l’orifice de sortie O2. Selon une configuration particulièrement avantageuse, les éléments référencés 10, 40, O1, C, O2 et 50 sont des éléments modulaires configurés de manière à former une enceinte de traitement étanche, apte à être mise sous vide. En effet, afin d’améliorer les performances d’implantation ionique, il est préférable disposer d’une enceinte de traitement sous vide contrôlé. Ce vide permet d’empêcher l’interception du faisceau d’ions avec des gaz résiduels et d’éviter la contamination, par ces mêmes gaz, de la surface à traiter au cours du processus d’implantation. Le faisceau d’ions ainsi généré est plus stable, augmentant de fait la précision d’implantation. La mise sous vide de l’enceinte est obtenue classiquement au moyen de la pompe à vide reliée au guide 40. Ainsi, contrairement à l’art antérieur, il n’est plus nécessaire de prévoir une enceinte de traitement à part entière, dimensionnée pour accueillir le module accélérateur, puisque le dispositif selon l’invention permet de tirer profit du module accélérateur M lui-même pour former une enceinte en atmosphère contrôlée. Ainsi, grâce à l’invention, il est possible de disposer d’un dispositif de traitement à encombrant réduit. On a vu plus haut que, dans l’exemple représenté à la figure 1, les moyens de balayage sont assurés par la tête de balayage magnétique 30 (nommée par la suite «premiers moyens de balayage»). De manière complémentaire, les moyens de balayage selon l’invention sont également assurés par des moyens d’entrainement en rotation, autour de l’axe longitudinal X, de la cavité C par rapport à la tête de balayage magnétique 30. Ces moyens d’entrainement sont de nature mécanique et sont nommés par la suite «deuxièmes moyens de balayage». Ils sont représentés ici par les brides annulaires rotatives R1 et R2, disposées en sortie des orifices d’entrée et de sortie O1 et O2, respectivement. Elles sont conçues, plus particulièrement, pour permettre la rotation de la cavité C par rapport au guide de raccordement 40 d’une part (assurée par la bride rotative R1) et par rapport à l’organe de fermeture 50 d’autre part (assurée par la bride rotative R2). L’axe de rotation de la cavité C est confondu avec l’axe longitudinal X. Chaque bride rotative R1-R2 est par ailleurs munie d’une partie de joint, de forme annulaire par exemple, permettant de garantir un raccordement étanche au vide avec chacun des éléments auxquels elle est raccordée. On présente maintenant, en relation avec la figure 2 , les principales étapes du procédé selon un mode de réalisation particulier de l’invention. Le procédé est mis en œuvre en partie par une unité de commande dont le principe est décrit en détail plus loin en relation avec la figure 7. Cette unité de commande est configurée de façon à piloter la source d’ions 10, les premier (30) et deuxième (R1-R2) moyens de balayage 30, ainsi que la pompe à vide. Le pilotage de ces différents éléments par l’unité de commande est réalisé au moyen de commandes de pilotage. Le dispositif D1 est tout d’abord monté par assemblage des éléments modulaires suivants: la source 10 avec le guide de raccordement 40, le guide de raccordement 40 avec l’orifice d’entrée O1 via la bride R1, l’organe de fermeture absorbant 50 avec l’orifice de sortie via la bride R2. La tige d’introduction 20 portant la tête magnétique 30 est introduite dans la cavité C via l’orifice O1 de sorte qu’elle soit disposée au centre de la cavité C, comme représenté sur la figure 1. Cette étape d’introduction, référencée 100 sur la figure 2, est réalisée manuellement au moment de l’assemblage des différents éléments modulaires. Au moins une structure de support d’un élément modulaire peut être utilisée pour rendre ledit élément modulaire mobile et pour faciliter l’assemblage des éléments modulaires. De manière complémentaire ou alternative, la tête magnétique 30 peut être introduite dans la cavité C de manière automatisée avec l’aide d’un automate programmable ou avec des moyens d’entrainement en translation motorisés de la tige 20 le long de longitudinal X. Cette fonction est réalisée par le translateur T dans le présent exemple. Dans ce cas, l’unité de commande doit être configurée pour piloter en outre le translateur T. Bien entendu, il est également envisageable, à titre d’alternative, de procéder à l’introduction de la tige, et donc de la tête de balayage, via l’orifice de sortie, le principe ci-dessus s’appliquant de manière identique. On procède ensuite, à l’étape 200 , à la mise sous vide de l’enceinte de traitement en activant la pompe à vide qui est reliée au guide de raccordement 40. Lorsque la pression régnant dans l’enceinte de traitement est de l’ordre de 10 - 5 à 10 -8 mbar, on considère que le vide est atteint dans l’enceinte et on procède à l’étape suivante. Bien qu’il soit préférable de mettre sous vide l’enceinte de traitement pour améliorer les conditions d’implantation ionique selon l’invention, on pourrait très bien envisager un mode de réalisation «dégradé» dans lequel l’enceinte de traitement est hors vide (c’est-à-dire à la pression atmosphérique). A l’étape 300 , on active la source 10 de façon à ce qu’elle produise sous vide un faisceau d’ions à base d’azote monochargés ou multichargés en direction de la tête de guidage 30, via le guide de raccordement 40. Typiquement, le faisceau d’ions est à section circulaire et présente un diamètre prédéterminé, compris typiquement entre 0,5 et 200 mm. Le diamètre du faisceau est choisi notamment en fonction de la taille de la cavité à traiter et de la vitesse de balayage désirée. Le faisceau d’ions est émis avec une tension d’accélération comprise entre 1kV et 500MV. Le débit du faisceau d’ions est adapté pour former une couche d’ions implantés d’épaisseur prédéfinie. Quant à la concentration surfacique d’ions implantés, elle dépend principalement de la vitesse de balayage du faisceau à la surface de la cavité. Plus la durée d’exposition au faisceau est longue et plus le nombre d’ions implantés par centimètre carré est important. Selon une mise en œuvre particulière, l’unité de commande peut tenir compte de la fluence à obtenir en surface de la cavité (exprimée en nombre d’ions/cm²) de sorte que le facteur de qualité conféré au final à la cavité traitée soit supérieur à 3.10 10 . Pour obtenir ces paramètres liés au faisceau d’ions, l’unité de commande charge depuis une mémoire de stockage le schéma de balayage qui a été préalablement défini pour procéder à un balayage de la surface interne de la cavité C. Ce schéma de balayage comprend typiquement une suite d’instructions permettant de définir les paramètres du faisceau à émettre ainsi que les paramètres de déplacement relatif du faisceau d’ions par rapport à la surface à traiter ou inversement Cette suite d’instructions, destinées à être exécutées par l’unité de commande, comprend donc un certain nombre de données relatives à la procédure balayage à mener par celui-ci. On peut citer par exemple la tension d’accélération du faisceau d’ions, l’intensité du faisceau d’ions, le diamètre du faisceau, la nature des d’ions à émettre, la séquence de balayage avec les moyens de balayage à activer, la vitesse de balayage, le pas de balayage, etc., sans que cette liste soit exhaustive. L’étape 400 repose sur l’utilisation du faisceau d’ions généré par la source 10 pour procéder à un balayage de la surface interne de la cavité C en vue d’en améliorer ses propriétés. Le balayage orchestré par l’unité de commande dépend du schéma de balayage qu’il exécute. Selon un mode de réalisation particulier, l’unité de commande procède à un balayage hybride magnétique-mécanique de la surface S. L’unité de commande envoie alors une séquence de commandes permettant d’activer les premiers et deuxièmes moyens de balayage, en fonction des instructions contenues dans le schéma de balayage. Ainsi, lorsque la tête magnétique 30 est activée (premiers moyens de balayage), c’est le faisceau d’ions qui est déplacé par rapport à la cavité C autour d’un premier axe de balayage (axe de rotation confondu avec l’axe Y de la cavité) pour balayer la surface S autour de cet axe. Cette étape est matérialisée par la flèche A sur la figure 1 et par l’encadré 400a sur la figure 2. Lorsque le couple de brides rotatives R1-R2 est activé (deuxième moyen de balayage), c’est la cavité C qui est déplacée par rapport au faisceau d’ions selon d’un deuxième axe de balayage (axe de rotation confondu avec l’axe X de la cavité) pour balayer la surface S autour de cet axe. Cette étape est matérialisée par la flèche B sur la figure 1 et par l’encadré 400b sur la figure 2. A noter que les premiers et deuxièmes moyens de balayage peuvent être activés de manière séquentielle ou simultanée pendant l’étape 400 du procédé. De manière alternative ou complémentaire, le translateur T assurant la translation de la tige d’introduction 20 par rapport au module M, peut être également activé pour participer au balayage de la surface interne de la cavité C, en tant que troisième moyen de balayage. Dans ce cas, c’est le faisceau d’ions qui est déplacé par rapport à la cavité C le long d’un troisième axe de balayage (axe de translation confondu avec l’axe longitudinal X). Cette étape, optionnelle, est matérialisée par la flèche C sur la figure 1 et par l’encadré 400c sur la figure 2. Ces troisièmes moyens de balayage peuvent être mis en œuvre de manière séquentielle ou simultanée avec les premiers et/ou deuxièmes moyens de balayage pendant l’étape 400 du procédé. Le schéma de balayage décrit ici comprend un cycle de balayage adapté pour traiter la totalité de la surface interne de la cavité C par implantation ionique (on parle alors de traitement exhaustif). Il s’agit bien entendu d’un exemple de réalisation particulier, de nombreux autres schémas de balayage pouvant être envisagés en fonction des besoins définis par l’utilisateur. Afin de garantir une homogénéité de traitement, un schéma de balayage à plusieurs cycles de balayage peut être envisagé par exemple. Afin de réaliser un traitement local de la cavité, un cycle de balayage conforme au principe ci-dessus mais ciblé uniquement sur une portion ou une pluralité de portions distinctes de la surface interne, peut également être envisagé (on parle alors de traitement sélectif). Enfin, l’utilisation d’un faisceau d’ions selon l’invention offre la possibilité d’une implantation d’ions à des profondeurs et des concentrations pouvant être constantes en tout point de la surface traitée ou variables en fonction des besoins. En effet, il a été démontré que ces deux paramètres d’implantation dépendent de l’énergie d’implantation du faisceau d’ions. Or l’énergie d’implantation dépend elle-même de deux facteurs notamment: la distance parcourue par le faisceau d’ions depuis la source jusqu’au point d’impact sur la surface, d’une part, et d’autre part, l’angle d’incidence du faisceau d’ions par rapport à la surface au point d’impact du faisceau sur la surface. Ces deux facteurs pouvant être amener à varier au cours du traitement, les paramètres d’implantation précités peuvent s’en trouver impactés. Pour compenser ce défaut, que ce soit le module M ou le faisceau qui est déplacé, la vitesse de déplacement relative de ces deux éléments au cours du traitement peut être modulée afin de modifier la quantité d’ions implantés au niveau de la surface S en tenant compte de l’un au moins des deux facteurs précités. Ainsi, selon une mise en œuvre particulière, le schéma de balayage définit une vitesse de balayage qui est constante. De manière alternative, le schéma de balayage définit une vitesse de balayage qui est variable pour tenir compte de la géométrie de la cavité traiter. Ceci a pour effet d’homogénéiser l’implantation d’ions sur l’ensemble de la surface à traiter. Selon une autre alternative, le schéma de balayage définit une vitesse de balayage qui est fonction d’un profil de concentration ou de profondeur d’implantation prédéfini pour une cavité donnée. Cette mise en œuvre est particulièrement avantageuse en ce qu’elle permet de réaliser des profils d’implantation ioniques précis, difficiles à obtenir avec la technique de dopage de l’art antérieur. A l’issue de l’étape 400, on procède à l’arrêt de la pompe à vide afin de remettre l’enceinte sous pression atmosphérique. On obtient ainsi une cavité accélératrice à facteur de qualité augmenté. Notons que, suivant les applications envisagées et notamment la forme et les dimensions des cavités accélératrices à traiter, la forme et les dimensions des éléments constitutifs du dispositif selon l’invention ne sont pas limitées à l’exemple de réalisation discuté ci-dessus. Par exemple les éléments tels que la tige d’introduction, le guide de raccordement, les brides annulaires et l’absorbeur peuvent revêtir différentes formes, et présenter des dimensions adaptées au module accélérateur à traiter. Le faisceau d’ions est émis ici par une source à résonance cyclotronique électronique. Ce type de source est utilisée communément pour produire des ions mono-chargés ou multichargés, c'est-à-dire des atomes d’une espèce chimique donnée auxquels on a arraché un ou plusieurs électrons. Cet exemple n’est pas limitatif et d’autres types de sources capables de générer un faisceau de particules à haute énergie peuvent être utilisées dans le cadre de l’invention, comme par exemple une source à décharge, à ionisation, à thermo-ionisation ou à plasma, sans pour autant être exhaustif. Il est préférable par ailleurs que la source soit équipée pour recevoir un vide poussé, voire ultra-poussée, pour garantir la formation d’un faisceau de particules de forme souhaitée (excepté pour la source à plasma). On notera également la possibilité d’utiliser, non pas une source d’ions dédiée au traitement de surface comme illustré dans l’exemple ci-dessus, mais la source d’origine de l’accélérateur de particules pour lequel les cavités sont à traiter. En effet, ladite source d’origine étant initialement configurée pour produire à haute énergie des particules le long de l’axe longitudinal du module d’accélération, il peut être avantageux d’utiliser cette source d’origine en tant que moyens de génération d’un faisceau selon l’invention pour traiter la surface interne des cavités de ce module. Enfin, notons que le module accélérateur M illustré ici ne comporte qu’une seule cavité accélératrice. Le nombre de cavités accélératrices représenté ici est volontairement limité, dans un premier temps, à titre de descriptif purement pédagogique. Bien entendu, il est possible d’effectuer un traitement de surface conforme à l’invention avec un nombre plus important de cavités accélératrices, comme illustré ci-après en relation avec les figures 3 et 4. Traitement « multi-cavité » On décrit ci-après, en relation avec la figure 3 , le principe de fonctionnement d’un dispositif de traitement multi-cavité, selon un mode de réalisation particulier de l’invention. A la différence de la figure 1, le module accélérateur M’ est constitué d’un ensemble de dix cavités accélératrices successives, référencées C 1 -C 10 . Chacune de ces cavités est principalement composée de niobium, comme pour la cavité C décrite ci-dessus. Le module accélérateur M’ comprend un orifice d’entrée O1’ et un orifice de sortie O2’ centrés sur l’axe X. Quant au dispositif de traitement, il comprend une tige d’introduction 20’ et un guide de raccordement 40’ de dimensions adaptées aux dimensions du module multi-cavité M’. En effet, ces deux éléments doivent présenter chacun une longueur adaptée pour que la tête de balayage 30 puisse être introduite dans chacune des cavités du module M’, depuis la cavité C 1 jusqu’à la cavité C 10 , par translation de la tige d’introduction 20’ le long de l’axe longitudinal X. Dans cette configuration particulière, l’organe de support T qui est fixé dans le guide de raccordement 40’ joue le rôle de translateur de la tige d’introduction 20 le long de l’axe longitudinal X, rendant ainsi la tige d’introduction 20 mobile en translation par rapport au module accélérateur M’. Ainsi, pour opérer un balayage de la surface de chacune des cavités C 1 -C 10 du module M’ à l’aide du faisceau d’ions selon l’invention, l’organe de support T est configuré pour introduire de manière successive la tête de balayage 30 dans chacune des cavités C 1 -C 10 du module M’. Le déplacement par translation de la tige 20, et donc de la tête de balayage 30, le long de l’axe longitudinal X est matérialisé par la flèche D sur la figure. Prenons l’exemple des cavités C 1 -C 10 traitées successivement suivant l’ordre numérique de ces cavités 1 à 10. L’unité de commande procède tout d’abord à l’exécution des étapes 100 à 400 précitées (conformément au principe ci-dessus appliqué pour la cavité C) pour traiter la cavité C 1 du module M’. Ainsi, après avoir introduit la tête de balayage 30 au centre de la cavité C 1 , l’unité de commande opère à un balayage de la surface interne de cette cavité C 1 au moyen du faisceau d’ions d’azote émis par la source 10. Puis, une fois la phase de balayage terminée pour la cavité C 1 , l’unité de commande réitère les étapes 100 à 400 précitées pour traiter la cavité C 2 du module M’. Ainsi, après avoir introduit la tête de balayage 30 au centre de la cavité C 2 , l’unité de commande opère à un balayage de la surface interne de cette cavité C 1 au moyen du faisceau d’ions d’azote émis par la source 10. Et ainsi de suite jusqu’à la cavité C 10 du module M’. Sur la figure 3, c’est la cavité C 10 qui est en cours de traitement. Grâce à cette configuration particulière, il est possible de traiter la surface interne de plusieurs cavités successivement dans le temps avec une simple tête de balayage. Cette configuration peut être particulièrement intéressante pour un nombre limité de cavités à traiter. La figure 4 illustre une variante du dispositif de traitement représenté sur la figure 3, conforme à l’invention. A la différence de la figure 3, le dispositif est doté d’une tige d’introduction 20’’ multi-tête de balayage. Plus précisément, cette tige d’introduction 20’’ comprend un ensemble de dix têtes de balayage, référencées 30 1 à 30 10 , disposées successivement le long de la tige balayage de sorte que, lorsque la tige 20’’ est introduite dans le module M’, chaque tête de balayage est placée au centre d’une cavité différente du module M’, pour un traitement de la surface interne de cette cavité au moyen d’u faisceau d’ions émis par la source 10. Ainsi, les têtes de balayage 30 1 à 30 10 sont dédiées au traitement respectivement des cavités 30 1 à 30 10 du module M’. Par ailleurs, à la différence de la figure 3, les deuxième moyens de balayage sont assurés, non plus par le couple de brides rotatives R1 et R2 assurant l’entrainement en rotation du module M’ autour de l’axe longitudinal X par rapport à la tige d’introduction, mais par un moteur de positionnement pas-à-pas P coopérant avec la tige d’introduction 20’’ de façon à entrainer en rotation la tige d’introduction 20’’ autour de l’axe longitudinal X par rapport au module M’. Cette alternative est particulièrement intéressante à mettre en œuvre lorsque le module accélérateur constitue une pièce volumineuse à traiter, évitant ainsi d’avoir recours à des moyens d’entrainement en rotation du module lourds, encombrement et coûteux. Les figures 5a et 5b illustrent le principe de fonctionnement d’une tête de balayage magnétique selon l’invention. Ces deux figures représentent des vues grossies et détaillées d’une portion de la tige d’introduction 20. La tête de balayage 30 comprend un déflecteur de faisceau magnétique 30a et une ouverture de passage de faisceau 30b. Le déflecteur présenté ici est dipôle magnétique réalisé à partir d’une paire d’enroulements de fils électriques 30a1-30a2 (aussi couramment appelés «bobines») aptes à recevoir un courant électrique prédéterminée. Cette paire de bobines 30a1-30a2 est disposée en surface externe de la tige 20. Le premier enroulement de fils 30a1 constitue le pôle Nord du dipôle magnétique et le second enroulement de fils 30a2 constitue le pôle Sud du dipôle magnétique. L’ouverture 30b est une ouverture traversante ménagée dans la tige d’introduction 200 perpendiculairement à l’axe traversant de la paire d’enroulements de fils 30a1 - 30a2, de façon à laisser passer le faisceau d’ions dévié par le déflecteur 30b, en direction de la surface interne de la cavité à traiter. Le déflecteur magnétique 30a et l’ouverture de passage 30b sont configurés de manière à ce que, en fonction du courant électrique circulant dans le déflecteur magnétique 30a, le faisceau incident Fi provenant de la source 10 soit dévié de sa trajectoire initiale (faisceau dévié Fd ), pour être dirigé, via l’ouverture 30b, vers la surface interne de la cavité selon un angle de déviation α. Cet angle de déviation est défini par les axes du faisceau incident Fi (axe confondu avec l’axe longitudinal X) et du faisceau dévié Fd , et dépend de la force magnétique appliquée par le déflecteur 30a sur le faisceau d’ions. Plus l’intensité du courant électrique traversant le déflecteur est forte, et plus le faisceau d’ions est défléchi de sa trajectoire initiale. L’intensité du courant électrique traversant la paire d’enroulements est contrôlée par l’unité de commande en fonction du schéma de balayage qu’il exécute. On privilégiera une surface d’occupation de chaque bobine 30a1-30a2 supérieure à la surface d’occupation de l’ouverture 30b, afin de garantir un contrôle efficace et fiable du fonctionnement de la tête de balayage 30. Le déflecteur magnétique représenté ici est un exemple purement illustratif, et d’autres types de déflecteur magnétique peuvent être envisagés sans sortir du cadre de l’invention. Par exemple, un déflecteur à base d’un ou plusieurs aimant(s) permanent(s) ou électro-aimant(s), ou encore un circuit magnétique plus complexe apte à réaliser la fonction précitée peut très bien convenir. Les figures 6a et 6b illustrent le principe de fonctionnement d’une tête de balayage électrique selon l’invention. La figure 6b est une vue en coupe suivant l’axe A-A représenté sur la figure 6a. Cette dernière est une vue agrandie d’une portion d’une tige d’introduction 300 conforme à l’invention. A la différence des figures 5a et 5b décrites ci-dessus, la tête de balayage 30’ représentée ici est de nature électrique. La tête de balayage 30’ comprend un déflecteur de faisceau électrique 30a’ et une ouverture de passage de faisceau 30b’. Le déflecteur électrique 30a’ est constitué d’une plaque électriquement conductrice s’étendant le long de l’axe longitudinal X et apte à dévier le faisceau d’ions, lorsqu’elle est soumise à une tension électrique prédéterminée. Cette plaque est montée de manière fixe en surface interne de la tige 30 via au moins un moyen de support électriquement isolant. L’ouverture 30b’ est une ouverture non-traversante ménagée dans la tige d’introduction 300 placée en regard de ladite plaque, de façon à laisser passer le faisceau d’ions dévié par le déflecteur 30b’, en direction de la surface interne de la cavité à traiter. La plaque électrique 30a’ et l’ouverture de passage 30b’ sont configurés de manière à ce que, en fonction de la tension électrique appliquée à la plaque 30a’, le faisceau incident Fi provenant de la source 10 soit dévié de sa trajectoire initiale (faisceau dévié Fd ), pour être dirigé, via l’ouverture 30b’, vers la surface interne de la cavité selon un angle de déviation β. Ainsi, à la différence d la configuration précédente, c’est la présence d’un champ électrique sur le faisceau incident qui permet à celui-ci d’être dévié en direction de la surface à implanter. Le principe de variabilité de l’angle de déviation β est identique à celui décrit ci-dessus avec l’angle de déviation α (en relation avec les figures 5a et 5b) mais pour avec un champ électrique. Le niveau de tension électrique appliqué à la plaque conductrice est contrôlé par l’unité de commande en fonction du schéma de balayage qu’il exécute. Comme précédemment, on privilégiera une surface d’occupation de la plaque électrique supérieure à la surface d’occupation de l’ouverture, afin de garantir un contrôle efficace et fiable du fonctionnement de la tête de balayage 30’. Le déflecteur électrique représenté ici est un exemple purement illustratif, et d’autres types de déflecteur de nature électrique peuvent être envisagés sans sortir du cadre de l’invention. Par exemple, une simple paire d’électrodes métalliques, un élément électrostatique ou encore un circuit électrique plus complexe apte à réaliser la fonction précitée peut très bien convenir. Ainsi, au vu de la description ci-dessus, divers éléments ayant pour fonction de dévier ou défléchir de sa trajectoire initiale un faisceau d’ions (et plus généralement un faisceau de particules chargées), sont envisageables. La description ci-dessus s’est attachée à décrire l’invention en se basant sur l’utilisation d’un faisceau d’ions d’azote monochargés. Or cet exemple n’est pas limitatif et l’invention peut s’appliquer dans tous les cas où un faisceau de particules permettant une implantation de particules en surface de cavité peut être utilisé. De manière plus générale, les particules du faisceau sont des particules qui peuvent être sélectionnées parmi les espèces suivante: une espèce atomique, une espèce moléculaire, une espèce ionique (comme décrit plus haut), une espèce moléculaire et ionique, une espèce à base d’au moins une particule élémentaire, ou une combinaison d’au moins deux de ces espèces. L’invention est donc compatible avec différents types de particules à implanter. Le choix de la ou des particule(s) à utiliser dépend du matériau à traiter à la surface de la cavité et de la nature du traitement désirée. Enfin, selon un aspect particulier de l’invention, les particules du faisceau sont des ions sélectionnés parmi les éléments suivants: l’azote (de symbole N, comme décrit plus haut), l’hélium (He), le titane (Ti), l’argon (Ar), l’oxygène (O), le fer (Fe), l’aluminium (Al), le néon (Ne), le krypton (Kr), le xénon (Xe), le bore (B), le carbone (C), le fluor (F), le silicium (Si), le phosphore (P), le soufre (S) ou une combinaison d’au moins deux de ces éléments. Le choix parmi ces éléments dépend du matériau à traiter en surface de la cavité et de la nature du traitement de surface décidée. Dans l’hypothèse où la source d’ions du dispositif est une source à ions multiples, un filtre extracteur (par exemple capable d’extraire au moins un type d’ions spécifique parmi plusieurs types de la liste ci-dessus) peut être couplé à, ou compris dans, la source d’ions 10 pour produire le type d’ions souhaité. Dans ce cas, l’unité de commande doit être configurée pour au préalable sélectionner, au moyen du filtre extracteur, la nature des ions à utiliser en fonction des instructions comprise dans le schéma de balayage. La figure 7 présente la structure simplifiée d’une unité de commande 70 mettant en œuvre le procédé de traitement selon l’invention (par exemple le mode de réalisation particulier décrit ci-dessus en relation avec les figures 1 et 2). Ce dispositif comprend une mémoire vive 73 (par exemple une mémoire RAM), une unité de traitement 71, équipée par exemple d'un processeur, et pilotée par un programme d'ordinateur stocké dans une mémoire morte 72 (par exemple une mémoire ROM ou un disque dur). A l’initialisation, les instructions de code du programme d'ordinateur sont par exemple chargées dans la mémoire vive 73 avant d'être exécutées par le processeur de l’unité de traitement 71. L’unité de traitement 71 reçoit en entrée un schéma de balayage prédéfinie 70E. Le processeur de l’unité de traitement 71 traite le schéma de balayage 70E et génère en sortie des commandes de pilotage (représentées par les flèches 70S) en fonction des instructions du programme stocké dans la mémoire 72. L’unité de traitement 71 délivre ainsi en sortie les commandes de pilotage nécessaire au pilotage des moyens de balayage (tel que décrit précédemment, dans l’un quelconque de ses différents modes de réalisation) de la surface interne de la ou des cavité(s) accélératrice(s) à traiter. Il convient de noter que cette figure 7 illustre seulement une manière particulière, parmi plusieurs possibles, de réaliser l’algorithme détaillé ci-dessus, en relation avec la figure 1. En effet, la technique de l’invention se réalise indifféremment : - sur une machine de calcul reprogrammable (un ordinateur PC, un processeur DSP ou un microcontrôleur) exécutant un programme comprenant une séquence d’instructions; ou - sur une machine de calcul dédiée (par exemple un ensemble de portes logiques comme un FPGA ou un ASIC, ou tout autre module matériel). Dans le cas où l’invention est implantée sur une machine de calcul reprogrammable, le programme correspondant (c'est-à-dire la séquence d’instructions) pourra être stocké dans un médium de stockage amovible (tel que par exemple une disquette, un CD-ROM ou un DVD-ROM) ou non, ce médium de stockage étant lisible partiellement ou totalement par un ordinateur ou un processeur. Procédé de traitement de surface d’au moins une cavité accélératrice (C) d’un module accélérateur (M), caractérisé en ce qu’il comprendune étape consistant à utiliser un faisceau de particules pour traiter, par implantation de particules, une surface interne (S) de ladite au moins une cavité. Procédé selon la revendication 1, dans lequel l’étape d’utilisation comprend une étape de balayage (400) de la surface interne par déplacement du faisceau de particules par rapport à ladite surface interne ou inversement. Procédé selon la revendication 2, dans lequel ladite étape de balayage (400) est précédée des étapes suivantes: introduction (100) dans ladite au moins une cavité, via un orifice du module accélérateur, une tête de balayage électrique et/ou magnétique (30) de la surface interne ; génération sous vide (200, 300) du faisceau de particules en direction de la tête de balayage (30) introduitedans ladite au moins une cavité ; ladite étape de balayage étant mise en œuvre par activation (400a) de la tête de balayage (30). Procédé selon la revendication 3, dans lequel l’étape de balayage comprend une étape d’entrainement en rotation (400b) de ladite au moins une cavité (C) par rapport à la tête de balayage (30) ou inversement. Procédé selon l’une quelconque des revendications 3 et 4, dans lequel l’étape de balayage comprend une étape d’entrainement en translation (400c) de la tête de balayage (30) par rapport à ladite au moins une cavité (C) ou inversement. Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel, la surface interne de ladite au moins une cavité étant en niobium (Nb), l’étape de génération du faisceau de particules comprend une étape de sélection d’un faisceau d’ions d’azote à charge unique ou à charges multiples. Cavité accélératrice (C) d’un module accélérateur (M), caractérisée en ce qu’elle est obtenue par un procédé de traitement défini selon l’une quelconque des revendications 1 à 6. Produit programme d’ordinateur téléchargeable depuis un réseau de communication et/ou stocké sur un support lisible par ordinateur et/ou exécutable par un microprocesseur, caractérisé en ce qu’il comprend des instructions de code de programme pour l’exécution d'un procédé de traitement selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, lorsqu’il est exécuté sur un ordinateur. Moyen de stockage lisible par ordinateur et non transitoire, stockant un produit programme d’ordinateur selon la revendication 8. Dispositif de traitement de surface d’au moins une cavité accélératrice (C) d’un module accélérateur (M), caractérisé en ce qu’il comprend des moyens de balayage d’une surface interne de ladite moins une cavité au moyen d’un faisceau de particules. Dispositif selon la revendication 10, comprenant: des moyens d’introduction (20), dans ladite au moins une cavité, d’une tête de balayage électrique et/ou magnétique (30) de la surface interne, lesmoyens d’introduction et la tête de balayage étant configurés pour être insérables dans ladite au moins une cavité; des moyens de génération (10) sous vide du faisceau de particules en direction de la tête de balayage (30) ; et dans lequel lesdits moyens de balayage comprennent la tête de balayage (30). Dispositif selon la revendication 11, dans lequel la tête de balayage (30) comprend un déflecteur de faisceau (30a) apte à dévier le faisceau généré vers la surface interne et une ouverture de sortie de faisceau (30b) agencée par rapport au déflecteur de faisceau de façon à laisser passer le faisceau dévié vers la surface interne. Dispositif selon l’une quelconque des revendications 11 et 12, dans lequel les moyens de balayage comprennent des moyens d’entrainement en rotation (R1- R2) de ladite au moins une cavité (C) par rapport à la tête de balayage (30) ou inversement. Dispositif selon l’une quelconque des revendications 11 à 13, dans lequel les moyens de balayage comprennent des moyens d’entrainement en translation (T) de la tête de balayage (30) par rapport à ladite au moins une cavité (C) ou inversement. Dispositif selon l’une quelconque des revendications 11 à 14, dans lequel, le module accélérateur comprenant une pluralité de cavités accélératrices (C 1 -C 10 ) successives, - les moyens d’entrainement en translation (T) sont configurés pour introduire successivement la tête de balayage (30) pour opérer un balayage de la surface interne de chacune des cavités de ladite pluralité. Dispositif selon l’une quelconque des revendications 11 à 15, dans lequel, le module accélérateur comprenant une pluralité de cavités accélératrices (C 1 -C 10 ) successives: - les moyens d’introduction (20) comprennent une pluralité de têtes de balayage (30 1 -30 10 ) disposées successivement le long desdits moyens d’introduction (20), chaque tête de balayage étant configurée de façon à opérer un balayage de la surface interne d’une cavité différente de ladite pluralité. Dispositif selon l’une quelconque des revendications 10 à 16, lequel est configuré pour former avec le module accélérateur une enceinte apte à être mise sous vide.