Brevet FR3108981A1 — publié le 20211008

Station de mesure (1) de la contamination moléculaire véhiculée par l’air comportant : - au moins un analyseur de gaz (2), - au moins deux vannes d’isolation pilotables (V1-V64) raccordées en parallèle à l’entrée du au moins un analyseur de gaz (2), - une pompe de conditionnement (3), - au moins deux orifices calibrés (C1-C64) raccordés en parallèle à l’entrée de la pompe de conditionnement (3), - au moins un distributeur (4) configuré pour mettre en communication chaque vanne d’isolation pilotable (V1-V64) avec d’une part, une ligne de prélèvement (L1-L64) et d’autre part, un orifice calibré (C1-C64), et - une unité de contrôle (6) reliée aux vannes d’isolation pilotables (V1-V64) et configurée pour commander l’ouverture ou la fermeture des vannes d’isolation pilotables (V1-V64) afin de pouvoir mettre en communication le au moins un analyseur de gaz (2) avec au moins une ligne de prélèvement (L1-L64). Figure d’abrégé : Figure 2 Station et procédé de mesure de la contamination moléculaire véhiculée par l’air La présente invention se rapporte à une station de mesure de la contamination moléculaire véhiculée par l’air, destinée en particulier à la surveillance des concentrations en contamination moléculaire dans l’atmosphère des salles blanches, telles que les salles blanches d’usines de fabrication de semi-conducteurs. La présente invention se rapporte également à un procédé de mesure de la contamination moléculaire véhiculée par l’air au moyen d’une telle station. Dans l'industrie de fabrication de semi-conducteurs, les substrats, tels que les plaquettes de semi-conducteurs (ou « wafer » en anglais) ou les photomasques, doivent être protégés de la contamination moléculaire véhiculée par l’air (ou AMC pour « Airbone Molecular Contamination » en anglais) afin d’éviter que celle-ci n’endommage les puces ou circuits électroniques des substrats. Pour cela, les substrats sont contenus dans des boîtes de transport et de stockage atmosphérique, permettant de transporter les substrats d'un équipement à l'autre ou de les stocker entre deux étapes de fabrication. Par ailleurs, les boites de transport et les équipements sont agencés à l’intérieur de salles blanches dans lesquelles le niveau de particules est minimisé et la température, l’humidité et la pression sont maintenus à des niveaux précis. Dans les salles blanches, les espèces gazeuses véhiculées par l’air peuvent avoir différentes sources et différentes natures, on trouve par exemple des acides, des bases, des éléments condensables, des éléments dopants. Ces molécules peuvent provenir de l’air intérieur de l’usine de fabrication de semi-conducteurs ou peuvent être relâchées notamment par les plaquettes semi-conductrices ayant subi des opérations préalables de fabrication. Des analyseurs de gaz présents dans les salles blanches permettent d’évaluer la concentration des espèces gazeuses véhiculées par l’air en temps réel, notamment celle de l’humidité et de quelques acides. Les concentrations mesurées sont parfois très faibles, telles que de l’ordre du ppm ou du ppb. Ces analyseurs de gaz mesurant l’atmosphère gazeuse les environnants, il est donc nécessaire de prévoir un analyseur de gaz dans chaque zone à tester de la salle blanche. Il existe un besoin d’augmenter le nombre d’espèces gazeuses mesurées et le nombre de zones de test afin de réduire les risques de contamination des substrats. Cependant, la multiplication des analyseurs par zone et la multiplication de ces zones à tester rend cette solution rapidement très couteuse. Pour réduire les coûts, on a proposé une unité de mesure regroupant différents analyseurs. L’unité est munie de plusieurs ports d’entrée adressant chacun une zone de test particulière de la salle blanche. Les salles blanches pouvant atteindre des dimensions importantes et le nombre de zones de test étant lui aussi en augmentation, il s’avère nécessaire d’utiliser un nombre conséquent de lignes de prélèvement, les longueurs de ces lignes atteignant le plus souvent plusieurs dizaines de mètres. Ce long parcours du gaz pour atteindre la cellule de mesure de l’analyseur prend du temps, ce qui implique un retard dans l’information. Il faut en effet « remplacer » tout le volume contenu dans la ligne de prélèvement par le gaz à mesurer au moins une fois, ce gaz pouvant en outre facilement se coller aux parois de la ligne par adsorption, en particulier pour les espèces gazeuses à mesurer dites polaires. Il peut alors être difficile d’obtenir une mesure réellement représentative de la concentration des espèces gazeuses dans la zone de test à moins d’attendre un temps très long à chaque changement de zone de test. Une solution consiste à aspirer simultanément dans toutes les lignes de prélèvement. Le gaz est ainsi constamment aspiré dans toutes les lignes de prélèvement au moyen d’une évacuation commune. Cependant, les lignes de prélèvement pouvant être très longues, elles peuvent adsorber puis relâcher ultérieurement une partie des espèces gazeuses convoyées. La mesure est alors en partie le reflet d’une mesure précédente, ce qui peut compliquer l’interprétation à donner aux résultats et les décisions à prendre en cas de dépassements de seuils. Le document WO2019/228844 décrit une station de mesure dans laquelle une électrovanne de prélèvement est agencée sur chaque ligne de prélèvement, deux électrovannes de conditionnement sont agencées en dérivation de l’entrée d’une pompe de conditionnement et deux électrovannes de mesure sont agencées en dérivation de l’entrée d’un analyseur de gaz. Cette configuration permet de mettre en communication au moins une ligne de prélèvement dont la mesure est programmée consécutivement à une ligne de prélèvement en cours de mesure par l’analyseur de gaz, avec la pompe de conditionnement. Un débit de pompage maximum peut ainsi être utilisé pour le conditionnement qui peut être réalisé en temps masqué. Un dégazage de la ligne juste avant qu’elle ne soit mesurée peut cependant s’avérer insuffisant pour supprimer totalement l’effet mémoire de la ligne dans certaines applications, notamment lorsque les espèces gazeuses à surveiller sont particulièrement adhérentes aux parois, comme c’est le cas pour certains acides comme HF, ou comme l’ammoniac NH 3 . Un des buts de la présente invention est de proposer une station et un procédé de mesure qui résolvent au moins partiellement un des inconvénients précités. A cet effet, l'invention a pour objet une station de mesure de la contamination moléculaire véhiculée par l’air comportant : - au moins un analyseur de gaz, - au moins deux vannes d’isolation pilotables raccordées en parallèle à l’entrée du au moins un analyseur de gaz, - une pompe de conditionnement, caractérisée en ce que la station de mesure comporte en outre : - au moins deux orifices calibrés raccordés en parallèle à l’entrée de la pompe de conditionnement, - au moins un distributeur configuré pour mettre en communication chaque vanne d’isolation pilotable avec d’une part, une ligne de prélèvement et d’autre part, un orifice calibré, et - une unité de contrôle reliée aux vannes d’isolation pilotables et configurée pour commander l’ouverture ou la fermeture des vannes d’isolation pilotables afin de pouvoir mettre en communication le au moins un analyseur de gaz avec au moins une ligne de prélèvement. En fonctionnement, la pompe de conditionnement pompe en continu dans toutes les lignes de prélèvement simultanément, à travers les orifices calibrés, y compris la ligne de conditionnement dans laquelle une mesure est réalisée. Toutes les lignes de prélèvement peuvent ainsi être soumises à un pompage continu, ce qui assure d’une part, un conditionnement efficace, et d’autre part, que les lignes soient toujours prêtes pour la réalisation d’une mesure, ce qui permet d’optimiser la cadence de la station de mesure. Les orifices calibrés sont des pièces mécaniques simples, ils sont peu couteux comparé à des vannes. De plus, ils ne nécessitent pas de mises au point ou de réglages préalables, ni de maintenances particulières, ce qui permet de limiter les couts de main d’œuvre et le temps d’installation. La station de mesure est donc simple à mettre en œuvre et il n’y a pas de risques de dérives dans le temps des réglages. Il est en outre possible de changer une ligne de prélèvement, notamment sa longueur, sans avoir besoin de réaliser de nouveaux réglages, et sans que cela nuise aux mesures dans les autres lignes de conditionnement. La station de mesure peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prises seules ou en combinaison. La station de mesure est par exemple configurée pour garantir un l’écoulement des gaz en régime critique dans la section la plus étroite des orifices calibrés. Le régime critique est atteint lorsque la pression aval de l’orifice calibré est telle que le rapport de la pression aval sur la pression amont est inférieure ou égale à une valeur critique, la vitesse du gaz (à la pression aval) dans la section la plus étroite de l'orifice calibré étant alors égale à la vitesse du son. Cette valeur critique est 0,53 dans l’air, étant considéré que le gaz majoritaire circulant dans les lignes de prélèvement est de l’air. Le débit à travers les orifices calibrés est alors sonique, ce qui rend quasiment impossible la rétrodiffusion de gaz à travers les orifices calibrés, et donc rend impossible les interférences entre les différentes lignes de prélèvement. Bien qu’il n’y ait pas de barrière mécanique (pas de vannes) entre les lignes de prélèvements, les dimensions-flux des orifices calibrés permettant l’écoulement en régime critique dans les orifices calibrés forment ainsi une « barrière fluidique » empêchent la cross-contamination entre les lignes de prélèvement et permettant un pompage équitablement réparti dans toutes les lignes de conditionnement. Les au moins deux orifices calibrés peuvent définir un flux de gaz en régime critique inférieur à 1,69 Pa.m 3 /s (1 slm). Les au moins deux orifices calibrés peuvent présenter une dimension inférieure à 6/10mm, tel qu’inférieure à 4/10mm. Le débit de la pompe de conditionnement est par exemple supérieur à 25,35 Pa.m 3 /s (15slm). La station de mesure peut comporter un nombre de lignes de prélèvement supérieur à deux, tel que supérieur ou égal à 16, tel que supérieur ou égal à 128. Le distributeur peut comporter un collecteur présentant un tronc commun raccordé à la pompe de conditionnement, au moins deux branches principales raccordées au tronc commun, aux moins deux branches secondaires raccordées aux branches principales, les branches secondaires portant un orifice calibré respectif, les orifices calibrés étant raccordés aux vannes d’isolation pilotables et aux lignes de prélèvement. La station de mesure peut comporter un capteur de pression interposé entre la pompe de conditionnement et les au moins deux orifices calibrés. L’unité de contrôle peut être configurée pour générer une alerte lorsque la pression mesurée par le capteur de pression est supérieure à 50000Pa (500mbars), voire 40000 (400mbars). Le capteur de pression permet de vérifier que la condition de pression en aval des orifices calibrés est bien remplie pour garantir l’écoulement en régime critique à travers les orifices calibrés. Les lignes de prélèvements et les vannes d’isolation pilotables peuvent présenter des surfaces internes en contact avec les gaz, réalisées dans des matériaux limitant l’adhérence des espèces gazeuses, tel qu’un ou plusieurs matériaux fluoropolymères. L’invention a aussi pour objet un procédé de mesure dans une station de mesure telle que décrite précédemment, caractérisé en ce que le au moins un analyseur de gaz est mis en communication avec une ligne de prélèvement à la fois, la pompe de conditionnement pompant en continu dans toutes les lignes de prélèvement simultanément. Présentation des dessins D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description suivante d'un mode de réalisation particulier de l’invention, mais nullement limitatif, ainsi que des dessins annexés sur lesquels : La figure 1 représente une vue schématique d’éléments d’une station de mesure de la contamination moléculaire véhiculée par l’air, vue depuis l’arrière. La figure 2 représente une vue schématique d’éléments de la station de mesure de la Figure 1, en particulier quatre lignes de prélèvement et un analyseur de gaz. La figure 3 montre un exemple de distributeur de la station de mesure de la figure 1. Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence. Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations. On entend par « en amont », un élément qui est placé avant un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper. A contrario, on entend par « en aval », un élément placé après un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper. La Figure 1 montre un exemple de station de mesure 1 de la contamination moléculaire véhiculée par l’air, destinée en particulier à la surveillance des concentrations en contamination moléculaire dans l’atmosphère des salles blanches, telles que les salles blanches d’usines de fabrication de semi-conducteurs. Comme mieux visible sur la figure 2, la station de mesure 1 comporte au moins un analyseur de gaz 2, au moins deux vannes d’isolation pilotables V1-V64 raccordées en parallèle à l’entrée du au moins un analyseur de gaz 2, une pompe de conditionnement 3, au moins deux orifices calibrés C1-C64 raccordés en parallèle à l’entrée de la pompe de conditionnement 3 et au moins un distributeur 4 configuré pour mettre en communication chaque vanne d’isolation pilotables V1-V64 avec d’une part, une ligne de prélèvement L1-L64 et d’autre part, un orifice calibré C1-C64. L’analyseur de gaz 2 permet de mesurer la concentration d’au moins une espèce gazeuse en temps réel, c’est-à-dire avec une durée de mesure inférieure à quelques secondes, voire quelques minutes, à de faibles concentrations inférieures au ppm ou au ppb. L’espèce gazeuse mesurée est par exemple un acide, comme l’acide fluorhydrique HF ou l’acide chlorhydrique HCl ou un solvant, tel que le PGMEA (propylène glycol methyl ether). Selon un autre exemple, l’espèce gazeuse est l’ammoniaque NH 3 . Le au moins un analyseur de gaz 2 comporte en outre une pompe interne pour le prélèvement d’échantillon gazeux. Un analyseur de gaz 2 peut être adapté pour la mesure d’une espèce gazeuse distincte ou d’un groupe d’espèces gazeuses distinctes. Il y a sept analyseurs de gaz dans l’exemple illustratif de la figure 1. L’extrémité de chaque ligne de prélèvement L1-L64 est destinée à déboucher dans une zone de test à pression ambiante, c’est-à-dire la pression atmosphérique. Les lignes de prélèvements L1- L4 relient la station de mesure 1 à des zones de test distinctes, par exemple dans un lieu distinct d’une salle blanche. Il y a au moins deux lignes de prélèvements L1-L64 débouchant dans deux lieux distincts. La station de mesure 1 peut comporter un nombre de lignes de prélèvement L1-L64 supérieur ou égal à 16, tel que supérieur ou égal à 128. Il y a 64 lignes de prélèvement L1-L64 dans l’exemple illustratif de la station de mesure 1 de la figure 1. La longueur des lignes de prélèvement L1- L4 peut varier entre les différentes zones de test à rallier et peut présenter quelques mètres ou plusieurs dizaines de mètres, telle que plus de 200 mètres. Comme visible sur la figure 2, la station de mesure 1 comporte en outre une unité de contrôle 6 reliée aux vannes d’isolation pilotables V1-V64 et configurée pour commander l’ouverture ou la fermeture des vannes d’isolation pilotable V1-V64 pour pouvoir mettre en communication le au moins un analyseur de gaz 2 avec au moins une ligne de prélèvement L1-L64. Les vannes d’isolation pilotables V1-V64 sont par exemple des électrovannes ou des vannes pneumatiques. Elles sont pilotables en tout ou rien (ouvertes ou fermées) par l’unité de contrôle 6. Les lignes de prélèvements L1-L64 et les vannes d’isolation pilotables V1-V64 peuvent présenter des surfaces internes en contact avec les gaz, réalisées dans des matériaux limitant l’adhérence des espèces gazeuses, tel qu’un ou plusieurs matériaux fluoropolymères, tel que le perfluoroalkoxy (également appelé PFA) ou le polytétrafluoroéthylène (également appelé PTFE). Le au moins un analyseur de gaz 2, la pompe de conditionnement 3 et le au moins un distributeur 4 sont par exemple montés dans un bâti 10 de la station de mesure 1, pouvant être raccordé à une armoire électrique (non représentée) portant par exemple l’unité de contrôle 6. Le bâti 10 peut également recevoir une ou plusieurs bouteilles de gaz 11 pour la calibration du au moins un analyseur de gaz 2. Selon un exemple de réalisation mieux visible sur la figure 3, le distributeur 4 comporte un collecteur 5 présentant un tronc commun 7, au moins deux branches principales 8 raccordées au tronc commun 7, ici huit, aux moins deux branches secondaires 9 raccordées aux branches principales 8, ici huit, les branches secondaires 9 portant un orifice calibré C1-C64 respectif. Le distributeur 4 est par exemple de structure rigide, tel qu’en acier inoxydable, chaque branche 8, 9 et le tronc 7 étant formés par des tubes droits, la section du tronc 7 étant supérieure à celle des branches principales 8, elles-mêmes de section supérieure à celle des branches secondaires 9. Il n’est pas nécessaire de prévoir des revêtements spéciaux limitant l’adhérence des espèces gazeuses dans le collecteur 4 du fait du pompage en continu par la pompe de conditionnement 3. Les orifices calibrés C1-C64 sont par exemple fixés aux branches secondaires 9 par vissage ou soudure. Les orifices calibrés C1-C64 sont raccordés coté amont, en parallèle aux lignes de prélèvement L1-L64 et aux vannes V1-V64 par des connecteurs pneumatiques 12 en « T ». La station de mesure 1 peut en outre comporter un capteur de pression 13 interposé entre la pompe de conditionnement 3 et les au moins deux orifices calibrés C1-C64, configuré pour mesurer la pression aval des orifices calibrés C1-C64. Ce capteur de pression 13 est par exemple agencé sur le tronc commun 7 du collecteur 5 (Figure 2). Le capteur de pression 13 permet de vérifier le bon fonctionnement de la station de mesure 1, et notamment que la pression aval soit suffisamment basse pour permettre un écoulement en régime critique à travers les orifices calibrés C1-C64. En effet, la station de mesure 1 peut être configurée pour que l’écoulement des gaz soit en régime critique (ou "sonique" ("choked flow" dans la littérature anglo-saxonne) dans la section la plus étroite de l'orifice calibré C1-C64. Le régime critique est atteint lorsque la pression aval de l’orifice calibré C1-C64 est telle que le rapport de la pression aval sur la pression amont est inférieure ou égale à une valeur critique, la vitesse du gaz (à la pression aval) dans la section la plus étroite de l'orifice calibré étant alors égale à la vitesse du son. Cette valeur critique est 0,53 dans l’air, étant considéré que le gaz majoritaire circulant dans les lignes de prélèvement est de l’air. Le débit à travers les orifices calibrés C1-C64 est alors sonique, ce qui rend quasiment impossible la rétrodiffusion de gaz à travers les orifices calibrés C1-C64, et donc rend impossible les interférences entre les différentes lignes de prélèvement L1-L64. Bien qu’il n’y ait pas de barrière mécanique (pas de vannes) entre les lignes de prélèvements, L1-L64, les dimensions-flux des orifices calibrés C1-C64 permettant l’écoulement en régime critique dans les orifices calibrés C1-C64 forment ainsi une « barrière fluidique » empêchent la cross-contamination entre les lignes de prélèvement L1-L64 et permettant un pompage équitablement réparti dans toutes les lignes de conditionnement L1-L64. Le débit à travers les orifices calibrés C1-C64 en régime critique est par exemple inférieur à 1,69 Pa.m 3 /s (1 slm), tel qu’inférieur à 1,352 Pa.m 3 /s (0,8 slm). Ce flux est par exemple de 1,1323 Pa.m 3 /s (0,67 slm). Les au moins deux orifices calibrés C1-C64 présentent par exemple une dimension (la section la plus étroite) inférieure à 6/10mm, tel qu’inférieure à 4/10mm. Les orifices calibrés C1-C64 présentent par exemple une dimension égale à 0,28mm. Les orifices calibrés C1-C64 de la station de mesure 1 peuvent ou non présenter une même section. Ce sont par exemple des cristaux (ou autres pièces) percés. La capacité de pompage de la pompe de conditionnement 3 est définie pour être supérieure au produit du débit des orifices calibrés C1-C64 par le nombre d’orifices calibrés (ou de lignes de prélèvements L1-L64). Elle est également choisie en fonction du taux de renouvellement souhaité dans les lignes de conditionnement L1-L64. Le débit de la pompe de conditionnement 3 est par exemple supérieur à 25,35 Pa.m 3 /s (15slm). Le débit de la pompe de conditionnement 3 est supérieur à 64*0,67slm dans l’exemple illustratif. On peut surveiller que la pression soit suffisamment basse au niveau de la pompe de conditionnement 3 pour garantir le régime critique au niveau des orifices calibrés C1-C64. Pour cela par exemple, l’unité de contrôle 6 est configurée pour générer une alerte lorsque la pression mesurée par le capteur de pression 13 dépasse 50000Pa (500mbars), voire 40000Pa. Ces valeurs de flux de gaz en régime critique déterminés par la dimension de la section la plus étroite des orifices calibrés C1-C64, de la capacité de pompage de la pompe de conditionnement 3 et du nombre de ligne de prélèvement L1-L64 à conditionner, permettent d’obtenir un taux de renouvellement minimum acceptable dans les lignes de prélèvement et de rendre négligeables les différences entre les lignes de prélèvement L1-L64 de sorte que toutes les lignes de prélèvement L1-L64 puissent se répartir équitablement le flux de pompage et qu’aucune ligne ne soit moins bien dégazée qu’une autre même si elle est beaucoup plus courte. En fonctionnement, l’analyseur de gaz 2 est mis en communication avec une ligne à la fois, l’unité de contrôle 5 commandant un séquençage des mesures en ouvrant une seule vanne d’isolation pilotable V1-V64 à la fois et à tour de rôle. La pompe de conditionnement 3 pompe en continu dans toutes les lignes de prélèvement L1-L64 simultanément, à travers les orifices calibrés C1-C64, y compris la ligne de conditionnement L1-L64 dans laquelle une mesure est réalisée. Toutes les lignes de prélèvement L1-L64 peuvent ainsi être soumises à un pompage continu, ce qui assure d’une part, un conditionnement efficace, et d’autre part, que les lignes soient toujours prêtes pour la réalisation d’une mesure, ce qui permet d’optimiser la cadence de la station de mesure 1. Les orifices calibrés C1-C64 sont des pièces mécaniques simples, ils sont peu couteux comparé à des vannes. De plus, ils ne nécessitent pas de mises au point ou de réglages préalables, ni de maintenances particulières, ce qui permet de limiter les couts de main d’œuvre et le temps d’installation. La station de mesure 1 est donc simple à mettre en œuvre et il n’y a pas de risques de dérives dans le temps des réglages. Il est en outre possible de changer une ligne de prélèvement, notamment sa longueur, sans avoir besoin de réaliser de nouveaux réglages, et sans que cela nuise aux mesures dans les autres lignes de conditionnement L1-L64 étant donné la non-possibilité de rétrodiffusion dans les orifices calibrés C1-C64 en régime critique. Station de mesure (1) de la contamination moléculaire véhiculée par l’air comportant : - au moins un analyseur de gaz (2), - au moins deux vannes d’isolation pilotables (V1-V64) raccordées en parallèle à l’entrée du au moins un analyseur de gaz (2), - une pompe de conditionnement (3), caractérisée en ce que la station de mesure (1) comporte en outre : - au moins deux orifices calibrés (C1-C64) raccordés en parallèle à l’entrée de la pompe de conditionnement (3), - au moins un distributeur (4) configuré pour mettre en communication chaque vanne d’isolation pilotable (V1-V64) avec d’une part, une ligne de prélèvement (L1-L64) et d’autre part, un orifice calibré (C1-C64), et - une unité de contrôle (6) reliée aux vannes d’isolation pilotables (V1-V64) et configurée pour commander l’ouverture ou la fermeture des vannes d’isolation pilotables (V1-V64) afin de pouvoir mettre en communication le au moins un analyseur de gaz (2) avec au moins une ligne de prélèvement (L1-L64). Station de mesure (1) selon la revendication 1, caractérisée en ce qu’elle est configurée pour garantir un écoulement des gaz en régime critique dans la section la plus étroite des orifices calibrés (C1-C64). Station de mesure (1) selon la revendication 2, caractérisée en ce qu’elle est configurée pour garantir un écoulement des gaz en régime critique pour lequel le rapport de la pression aval sur la pression amont est inférieur ou égal à 0,53 dans la section la plus étroite des orifices calibrés (C1-C64). Station de mesure (1) selon l’une des revendications 2 ou 3, caractérisée en ce que les au moins deux orifices calibrés (C1-C64) définissent un flux de gaz en régime critique inférieur à 1,69 Pa.m 3 /s. Station de mesure (1) selon l’une des revendications 2 à 4, caractérisée en ce que les au moins deux orifices calibrés (C1-C64) présentent une dimension inférieure à 6/10mm, tel qu’inférieure à 4/10mm. Station de mesure (1) selon l’une des revendications 2 à 5, caractérisée en ce que le débit de la pompe de conditionnement (3) est supérieur à 25,35 Pa.m 3 /s. Station de mesure (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte un nombre de lignes de prélèvement (L1-L64) supérieur à deux, tel que supérieur ou égal à 16, tel que supérieur ou égal à 128. Station de mesure (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le distributeur (4) comporte un collecteur (5) présentant un tronc commun (7) raccordé à la pompe de conditionnement (3), au moins deux branches principales (8) raccordées au tronc commun (7), aux moins deux branches secondaires (9) raccordées aux branches principales (8), les branches secondaires (9) portant un orifice calibré (C1-C64) respectif, les orifices calibrés (C1-C64) étant raccordés aux vannes d’isolation pilotables (V1-V64) et aux lignes de prélèvement (L1-L64). Station de mesure (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte un capteur de pression (13) interposé entre la pompe de conditionnement (3) et les au moins deux orifices calibrés (C1-C64), l’unité de contrôle (6) étant configurée pour générer une alerte lorsque la pression mesurée par le capteur de pression (13) est supérieure à 50000Pa. Station de mesure (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les lignes de prélèvements (L1-L64) et les vannes d’isolation pilotables (V1-V64) présentent des surfaces internes en contact avec les gaz, réalisées dans des matériaux limitant l’adhérence des espèces gazeuses, tel qu’un ou plusieurs matériaux fluoropolymères. Procédé de mesure dans une station de mesure (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le au moins un analyseur de gaz (2) est mis en communication avec une ligne de prélèvement (L1-L64) à la fois, la pompe de conditionnement (3) pompant en continu dans toutes les lignes de prélèvement (L1-L64) simultanément.