Brevet FR3112174A1 — publié le 20220107

Pompe à vide (1) sèche dont une première demi-coquille (3) comporte au moins une gorge de joint (16) ménagée dans une surface d’assemblage (10) de demi-coquilles (3, 4) recevant un longeron (14b) d’un premier joint d’étanchéité (14), dont le fond présente au moins une surface d’interface (17) débouchant entre les demi-coquilles (3, 4) qui est conformée en « selle de cheval » pour former une transition douce pour le premier joint d’étanchéité (14). Figure d’abrégé : Figure 1 Pompe à vide sèche La présente invention concerne une pompe à vide sèche. Les pompes à vide de type sèche comportent un ou plusieurs étages de pompage en série dans lesquels circule un gaz à pomper. On distingue parmi les pompes à vide connues, celles à lobes rotatifs également connues sous le nom « Roots » ou celles à bec, également connues sous le nom « Claw ». Ces pompes à vide sont dites « sèches » car en fonctionnement, les rotors tournent à l’intérieur d’un stator sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator, ce qui permet de ne pas utiliser d’huile dans les étages de pompage. Toutefois, dans certaines applications de pompage, telles que dans les procédés de pompage utilisés dans l’industrie du semi-conducteur, des écrans plats (« Flat Panel Display » en anglais), du photovoltaïque et des procédés de revêtement (ou « coating » en anglais), les gaz utilisés peuvent nécessiter le maintien de la pompe à vide à des températures particulièrement élevées, telles que de l’ordre de 200°C. C’est le cas notamment lorsque les gaz employés sont corrosifs comme les gaz employés au cours des phases de nettoyage des chambres de procédés, ou lorsque ces gaz comprennent des vapeurs de résines par exemple. Ces températures élevées associées aux espèces chimiques agressives nécessitent l’emploi de matériaux élastomères de hautes performances de types FKM Haute Température ou encore FFKM Haute Température pour les joints d’étanchéité statique des parties statoriques des pompes. Également, le design du couple joint/gorge de joint doit être conçu de manière à tenir compte des exigences d’étanchéité à froid comme à chaud ainsi que des caractéristiques thermomécaniques intrinsèques de ces élastomères. Les pompes à vide multiétagées comportant une architecture en tranches, dans lesquelles les stators sont constitués de l’assemblage axial de plusieurs éléments de stator, répondent aisément à cette problématique en utilisant des joints toriques reçus dans des gorges de joint à sections rectangulaires, les joints étant comprimés axialement entre les éléments de stator. Les pompes à vide multiétagées ayant une architecture en demi-coquille sont quant à elles désavantagées. En effet, cette architecture nécessite l’utilisation soit de pâte d’étanchéité, soit de joints raboutés, soit encore de joints tridimensionnels ou d’une combinaison de ces réalisations. Or, avec l’utilisation de joints tridimensionnels, un effet « couteau » peut se produire sur les joints au niveau des débouchés des gorges de joint du fait des coefficients de dilatation très différents entre les matériaux élastomères et métalliques. Cet effet peut être exacerbé avec les températures de fonctionnement élevées des pompes à vide et peut conduire à la dégradation irréversible des joints d’étanchéité et, in fine, à la perte de l’étanchéité associée au retour à froid de la pompe à vide. Un but de la présente invention est de résoudre au moins partiellement un des inconvénients précités, notamment en améliorant l’étanchéité des pièces de stator des pompes à vide de structure en demi-coquilles. A cet effet, l’invention a pour objet une pompe à vide sèche comportant : - un stator comportant au moins une première et une deuxième demi-coquilles complémentaires et une première et une deuxième pièce d’extrémité, les demi-coquilles et les pièces d’extrémité s’assemblant entre elles pour former au moins une chambre de pompage d’un étage de pompage, - deux arbres de rotors configurés pour tourner dans le au moins un étage de pompage, - un premier joint d’étanchéité comprenant une première et une deuxième parties annulaires d’extrémité intercalées entre une pièce d’extrémité respective et les demi-coquilles et deux longerons raccordant les parties annulaires d’extrémité, les longerons étant intercalés entre les demi-coquilles, caractérisée en ce qu’une première demi-coquille comporte au moins une gorge de joint ménagée dans une surface d’assemblage des demi-coquilles recevant un longeron du premier joint d’étanchéité, dont le fond présente au moins une surface d’interface débouchant entre les demi-coquilles qui est conformée en « selle de cheval » pour former une transition douce pour le premier joint d’étanchéité. La forme « selle de cheval » est également appelée paraboloïde hyperbolique. La surface d’interface en selle de cheval est formée d’une succession d’arc de cercle (ou hyperboles) convexe dans le plan transversal formant une partie concave dans le plan longitudinal. Une zone de jonction pratiquement à angle droit entre la partie annulaire d’extrémité et le longeron du premier joint d’étanchéité est reçue dans la partie concave de la surface d’interface. La forme douce en selle de cheval, remplaçant l’arête vive de la section rectangulaire de la gorge de l’art antérieur, permet une mise en compression du premier joint d’étanchéité au niveau de la zone de jonction homogène et compatible avec les caractéristiques thermomécaniques du joint. La pompe à vide peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prise seule ou en combinaison. La deuxième demi-coquille peut présenter au moins une surface d’interface débouchant des demi-coquilles en vis-à-vis d’une surface d’interface de la première demi-coquille, qui est conformée en arrondi pour former une transition douce pour le premier joint d’étanchéité. La zone de jonction du premier joint d’étanchéité est alors également comprimée par la partie convexe de la surface d’interface. La forme douce en arrondi, remplaçant l’arête vive de la demi-coquille de l’art antérieur, permet une mise en compression du premier joint d’étanchéité homogène et compatible avec les caractéristiques thermomécaniques au niveau de la surface d’interface. Les demi-coquilles peuvent comporter au moins un demi-évidement respectif conformé pour coopérer avec un nez d’une pièce d’extrémité, la au moins une surface d’interface débouchant dans les demi-évidements. Deux surfaces d’interface conformées en arrondi peuvent être réalisées par contournage dans la continuité de l’usinage d’un demi-évidement de la deuxième demi-coquille. Les surfaces d’interface peuvent ainsi être conformées en arrondi dans la continuité du demi-évidement sans changement d’outil. Deux surfaces d’interface conformées en selle de cheval peuvent être réalisées par contournage dans la continuité de l’usinage d’une gorge de joint. Les surfaces d’interface peuvent ainsi être conformées en selle de cheval dans la continuité d’une gorge de joint sans changement d’outil. Le rayon de courbure de la section transversale de la surface d’interface conformée en selle de cheval et/ou le rayon de courbure de la surface d’interface conformée en arrondi, est par exemple supérieur ou égal à 2mm. Le rayon de courbure de la section transversale de la surface d’interface conformée en selle de cheval et/ou le rayon de courbure de la surface d’interface conformée en arrondi, est par exemple inférieur ou égal à 5mm. La pompe à vide peut comporter au moins un deuxième joint d’étanchéité comprenant : - une première et une deuxième parties annulaires d’extrémité intercalées entre une pièce d’extrémité respective et les demi-coquilles, et - deux longerons raccordant les parties annulaires d’extrémité, les longerons étant intercalés entre les demi-coquilles, le premier joint d’étanchéité étant agencé à l’intérieur du deuxième joint d’étanchéité de sorte que les premier et au moins un deuxième joints d’étanchéité forment au moins deux barrières d’étanchéité successives pour les gaz. La multiplication des barrières d’étanchéité permet d’assurer une bonne étanchéité aussi bien depuis l’extérieur vers l’intérieur qu’inversement et permet l’utilisation de différents matériaux pouvant offrir des performances de résistance aux gaz corrosifs et/ou thermiques décroissantes avec l’éloignement des chambres de pompage. En effet, on peut prévoir que le au moins un premier joint d’étanchéité à l’intérieur soit formé d’un matériau plus résistant, notamment à la corrosion, à l’abrasion et/ou aux températures élevées, que le matériau du deuxième joint d’étanchéité. Le matériau du deuxième joint d’étanchéité peut ainsi être plus économique que le matériau du premier joint d’étanchéité interne tout en étant acceptable en termes de sécurité. Le deuxième joint d’étanchéité est par exemple en matériau élastomère fluoré (FKM) et le premier joint d’étanchéité est par exemple en matériau perfluoroélastomère (FFKM). Toutes les surfaces d’interface des gorges de joint débouchant des demi-coquilles sont par exemple conformées en selle de cheval pour former une transition douce pour chaque joint d’étanchéité. Une surface d’interface peut être conformée en arrondi en vis-à-vis de plusieurs surface d’interface conformées en selle de cheval de la première demi-coquille. La pompe à vide peut comporter un dispositif de chauffage configuré pour chauffer le stator à une température supérieure à 150°C. Les demi-coquilles du stator forment par exemple au moins deux étages de pompage montés en série entre un orifice d’aspiration et un orifice de refoulement de la pompe à vide. Présentation des dessins D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description suivante d'un mode de réalisation particulier de l’invention, mais nullement limitatif, ainsi que des dessins annexés sur lesquels : La est une vue schématique éclatée d’éléments d’un exemple de pompe à vide sèche. La est une vue similaire de la pompe à vide de la , pivotée vers le haut. La est une vue d’un détail A agrandi d’un élément de la pompe à vide sèche de la . La est une vue d’un détail B agrandi d’un élément de la pompe à vide sèche de la . La est une vue des demi-coquilles assemblées de la pompe à vide des figures 1 et 3 au niveau des détails A et B. La est une vue d’une demi-coquille de la pompe à vide des figures 1 et 3 assemblée avec deux joints d’étanchéité. La est une vue d’une section transversale des éléments de la pompe à vide de la à l’état assemblé, la coupe étant réalisée au niveau d’un deuxième joint d’étanchéité monté sur le nez d’une pièce d’extrémité. La est une vue d’un détail C agrandi d’un élément de la pompe à vide de la . Sur ces figures, les éléments identiques ou similaires portent les mêmes numéros de référence. Seuls les éléments nécessaires à la compréhension de l’invention sont représentés. Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations. On définit par pompe à vide primaire, une pompe à vide volumétrique, qui est configurée pour, à l’aide de deux arbres de rotors, aspirer, transférer, puis refouler le gaz à pomper à la pression atmosphérique. Les arbres de rotor sont entrainés en rotation par un moteur de la pompe à vide primaire. Une pompe à vide primaire peut être mise en route depuis la pression atmosphérique. On définit par pompe à vide de type Roots ou compresseur Roots (également appelé « Roots Blower » en anglais), une pompe à vide volumétrique configurée pour, à l’aide de rotors de type Roots, aspirer, transférer puis refouler le gaz à pomper. La pompe à vide de type Roots est montée en amont et en série d’une pompe à vide primaire. Les rotors sont portés par deux arbres entrainés en rotation par un moteur de la pompe à vide de type Roots. La pompe à vide Roots comporte de un à trois étages de pompage. On entend par « en amont », un élément qui est placé avant un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper. A contrario, on entend par « en aval », un élément placé après un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper. On définit la direction axiale comme la direction longitudinale de la pompe dans laquelle s’étendent les axes des arbres de rotor. La direction transversale est la direction perpendiculaire à la direction axiale. Le plan transversal est le plan perpendiculaire au plan longitudinal. Les figures 1 et 2 illustrent un exemple de pompe à vide 1 sèche. La pompe à vide 1 comporte un stator 2 comportant au moins une première et une deuxième demi-coquilles 3, 4 complémentaires et une première et une deuxième pièce d’extrémité 5, 6. Les demi-coquilles 3, 4 et les pièces d’extrémité 5, 6 s’assemblent entre elles pour former au moins une chambre de pompage d’un étage de pompage T1-T6. Les demi-coquilles 3, 4 du stator 2 forment par exemple au moins deux étages de pompage T1-T6 montés en série entre un orifice d’aspiration 7 et un orifice de refoulement 8 de la pompe à vide 1, tel qu’entre deux et dix étages de pompage (six dans l’exemple illustratif). La pompe à vide 1 peut être une pompe à vide primaire ( ) ou une pompe à vide de type Roots. La pompe à vide 1 comporte également deux arbres de rotors (non représentés) configurés pour tourner dans le au moins un étage de pompage T1-T6 de sorte que les rotors entrainent un gaz à pomper entre l’orifice aspiration 7 et l’orifice de refoulement 8. Les rotors présentent par exemple des lobes de profils identiques, par exemple de type « Roots » ou de type « Claw » ou d’un autre principe similaire de pompe à vide volumétrique. Les arbres portant les rotors sont entrainés par un moteur (non représenté) situé par exemple à une extrémité de la pompe à vide 1. Chaque chambre de pompage reçoit deux rotors conjugués, les chambres de pompage comprenant une entrée et une sortie respectives. Lors de la rotation, le gaz aspiré depuis l’entrée est emprisonné dans le volume engendré par les rotors et le stator 2, puis est entraîné par les rotors vers l’étage suivant. Les étages de pompage successifs T1-T6 sont raccordés en série les uns à la suite des autres par des canaux inter-étages 9 respectifs raccordant la sortie de l'étage de pompage qui précède à l'entrée de l'étage de pompage qui suit. L’entrée du premier étage de pompage T1 communique avec l’orifice d’aspiration 7. La sortie du dernier étage de pompage T6 communique avec l’orifice de refoulement 8. Les dimensions axiales des rotors et des chambres de pompage (et donc les débits engendrés), sont par exemple égales ou décroissantes avec les étages de pompage, l’étage de pompage T1 situé du côté de l’orifice d’aspiration 7 recevant les rotors de plus grande dimension axiale et présentant le plus grand débit engendré. Ces pompes à vide sont dites « sèches » car en fonctionnement, les rotors tournent à l’intérieur du stator 2 sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator 2, ce qui permet de ne pas utiliser d’huile dans les étages de pompage. La pompe à vide 1 peut comporter un dispositif de chauffage 11 configuré pour chauffer le stator 2 à une température supérieure à 150°C ( ). Les demi-coquilles 3, 4 s’assemblent entre elles selon une surface d’assemblage 10. La au moins une chambre de compression et les canaux de transfert 9 le cas échéant, sont en partie formés dans la première demi-coquille 3 et en partie dans la deuxième demi-coquille 4. La surface d’assemblage 10 est par exemple une surface d’assemblage plane, passant par exemple par un plan médian de la pompe à vide 1 sèche. La surface d’assemblage 10 plane contient par exemple les axes des arbres de rotors. Une première extrémité des demi-coquilles 3, 4 est fermée par la première pièce d’extrémité 5 et une deuxième extrémité des demi-coquilles 3, 4 est fermée par la deuxième pièce d’extrémité 6. Des orifices sont bien sûr ménagés dans les parois transversales des demi-coquilles 3, 4 séparant les chambres de pompage le cas échéant, et dans les pièces d’extrémités 9, 10 pour le passage des arbres de rotors. Les demi-coquilles 3, 4 et les pièces d’extrémité 5, 6 s’assemblent entre elles par assemblage, par exemple par l’assemblage complémentaire de nez 12 portés par les pièces d’extrémité 5, 6 et d’évidements ménagés aux extrémités des demi-coquilles 3, 4. Le nez 12 fait saillie dans la direction axiale. Il présente par exemple une forme transversale oblongue, par exemple pleine. Les demi-évidements 13 sont ménagés par exemple dans la chambre de pompage du premier étage de pompage T1 et dans la chambre de pompage du dernier étage de pompage T6. La pompe à vide 1 comporte en outre un premier joint d’étanchéité 14. Ce joint 14 est tridimensionnel et peut être d’une seule pièce, c’est-à-dire monobloc, ou rabouté, c’est-à-dire formé par la mise bout à bout de plusieurs parties élastiques de joint d’étanchéité. Le premier joint d’étanchéité 14 comprend une première et une deuxième parties annulaires d’extrémité 14a intercalées entre une pièce d’extrémité 5, 6 respective et les demi-coquilles 3, 4 et deux longerons 14b raccordant les parties annulaires d’extrémité 14a, les longerons 14b étant intercalés entre les demi-coquilles 3, 4. Le premier joint d’étanchéité 14 est élastique, notamment du fait qu’il comporte un matériau élastomère. Il est par exemple obtenu par moulage par presse ou par injection. Le premier joint d’étanchéité 14 présente par exemple une section transversale sensiblement circulaire à l’état non comprimé. Au moins une gorge annulaire 19 peut être ménagée dans au moins un nez 12 (figures 1 et 2) et/ou dans au moins un évidement pour recevoir une partie annulaire d’extrémité 14a d’un joint d’étanchéité 14. Une première demi-coquille 3, celle du bas dans l’exemple illustratif, comporte au moins une gorge de joint 16 ménagée dans la surface d’assemblage 10 des demi-coquilles 3, 4. La gorge de joint 16 reçoit un longeron 14b du premier joint d’étanchéité 14. Il y a par exemple deux gorges de joint 16 ménagées dans la surface d’assemblage 10 de la première demi-coquille 3 de part et d’autre de la au moins une chambre de compression pour recevoir un longeron 14b respectif du premier joint d’étanchéité 14. Comme on peut mieux le voir sur les figures 3 et 5, le fond de la gorge de joint 16 présente au moins une surface d’interface 17 débouchant des demi-coquilles 3, 4 qui est conformée en « selle de cheval » pour former une transition douce pour le premier joint d’étanchéité 14. La forme « selle de cheval » est également appelée paraboloïde hyperbolique. La surface d’interface 17 est formée d’une succession d’arc de cercle (ou hyperboles) convexe dans le plan transversal formant une partie concave dans le plan longitudinal. Le rayon de courbure R1 de la section transversale de la surface d’interface 17 est par exemple supérieur ou égal à 2mm et/ou inférieur ou égal à 5mm, tel que 2,65mm (figures 7 et 8). Dans l’exemple illustratif, les surfaces d’interface 17 débouchent dans les évidements, formés par les assemblages des demi-évidements 13. La surface d’interface 17 forme une transition douce entre le fond de la gorge de joint 16 et ici la face du demi-évidement 13. Une zone de jonction pratiquement à angle droit entre la partie annulaire d’extrémité 14a et le longeron 14b du premier joint d’étanchéité 14 est reçue dans la partie concave de la surface d’interface 17 ( ). La forme douce en selle de cheval, remplaçant l’arête vive de la section rectangulaire de la gorge de l’art antérieur, permet une mise en compression du premier joint d’étanchéité 14 au niveau de la zone de jonction, homogène et compatible avec les caractéristiques thermomécaniques du joint. Deux surfaces d’interface 17 conformées en selle de cheval peuvent être réalisées par contournage dans la continuité de l’usinage d’une gorge de joint 16. L’outil au diamètre de la gorge de joint 16 usine alors d’abord une première surface d’interface 17 à une extrémité de la gorge de joint 16, puis la gorge de joint 16, puis la deuxième surface d’interface 17 à l’autre extrémité de la gorge de joint 16. Les surfaces d’interface 17 peuvent ainsi être conformées en selle de cheval dans la continuité d’une gorge de joint 16 sans changement d’outil. Comme on peut le voir sur les figures 4 et 5, la deuxième demi-coquille 4 peut présenter au moins une surface d’interface 18 débouchant des demi-coquilles 3, 4 en vis-à-vis d’une surface d’interface 17 de la première demi-coquille 3, qui est conformée en arrondi pour former une transition douce pour le premier joint d’étanchéité 14. Le rayon de courbure R2 de la surface d’interface 18 conformée en arrondi est par exemple supérieur ou égal à 2mm et/ou inférieur ou égal à 5mm, tel que 2,65mm (figures 7 et 8). La zone de jonction du premier joint d’étanchéité 14 est alors également comprimée par la partie convexe de la surface d’interface 18 ( ). La forme douce en arrondi, remplaçant l’arête vive de la demi-coquille de l’art antérieur, permet une mise en compression du premier joint d’étanchéité 14 homogène et compatible avec les caractéristiques thermomécaniques au niveau de la surface d’interface 18. Deux surfaces d’interface 18 conformées en arrondi peuvent être réalisées par contournage dans la continuité de l’usinage d’un demi-évidement 13 de la deuxième demi-coquille 4. L’outil usine alors d’abord une première surface d’interface 18 à une extrémité du demi-évidement 13, puis le demi-évidement 13, puis la deuxième surface d’interface 18 à l’autre extrémité du demi-évidement 13. Les surfaces d’interface 18 peuvent ainsi être conformées en arrondi dans la continuité du demi-évidement 13 sans changement d’outil. Les surfaces d’interfaces 17, 18 permettent de réduire les risques de coupures du premier joint d’étanchéité 14 du fait des différences de comportements thermomécaniques, ce qui permet de limiter les risques de pertes d’étanchéité et permet d’augmenter les durées entre deux maintenances. La pompe à vide 1 peut en outre comporter deux joints d’étanchéité 14, 15. Comme le premier joint d’étanchéité 14, le deuxième joint d’étanchéité 15 est tridimensionnel et peut être d’une seule pièce, c’est-à-dire monobloc, ou rabouté. Il comprend une première et une deuxième parties annulaires d’extrémité 15a intercalées entre une pièce d’extrémité 5, 6 respective et les demi-coquilles 3, 4, et deux longerons 15b raccordant les parties annulaires d’extrémité 15a, les longerons 15b étant intercalés entre les demi-coquilles 3, 4. Le premier joint d’étanchéité 14 est agencé à l’intérieur du deuxième joint d’étanchéité 15 de sorte que le premier et le au moins un deuxième joint d’étanchéité 14, 15 forment au moins deux barrières d’étanchéité successives pour les gaz. Les parties annulaires d’extrémité 14a, 15a sont parallèles les unes aux autres et perpendiculaires aux longerons 14b, 15b. Les premières parties annulaires d’extrémité 14a, 15a sont par exemple intercalées entre le nez 12 de la première pièce d’extrémité 5 et l’évidement de la chambre de pompage du premier étage de pompage T1, à une première extrémité axiale des demi-coquilles 3, 4. Les deuxièmes parties annulaires d’extrémité 14a, 15a sont intercalées entre le nez 12 de la deuxième pièce d’extrémité 6 et l’évidement de la chambre de pompage du dernier étage de pompage T6, à une deuxième extrémité axiale des demi-coquilles 3, 4. Il y a ainsi par exemple deux gorges annulaires 19 décalées axialement dans le nez 12 de chacune des deux pièces d’extrémité 5, 6. La multiplication des barrières d’étanchéité permet d’assurer une bonne étanchéité aussi bien depuis l’extérieur vers l’intérieur qu’inversement et permet l’utilisation de différents matériaux pouvant offrir des performances de résistance aux gaz corrosifs et/ou thermiques décroissantes avec l’éloignement des chambres de pompage. En effet, on peut prévoir que le au moins un premier joint d’étanchéité 14 à l’intérieur soit formé d’un matériau plus résistant, notamment à la corrosion, à l’abrasion et/ou aux températures élevées, que le matériau du deuxième joint d’étanchéité 15. Le matériau du deuxième joint d’étanchéité 15 peut ainsi être plus économique que le matériau du premier joint d’étanchéité interne 14 tout en étant acceptable en termes de sécurité. Le deuxième joint d’étanchéité 15 est par exemple en matériau élastomère fluoré (FKM) et le premier joint d’étanchéité 14 est par exemple en matériau perfluoroélastomère (FFKM). Toutes les surfaces d’interface 17 des gorges de joint 16 débouchant des demi-coquilles 3, 4, ici quatre, sont par exemple conformées en selle de cheval pour former une transition douce pour chaque joint d’étanchéité 14, 15. Une surface d’interface 18 peut être conformée en arrondi en vis-à-vis de plusieurs surface d’interface 17 conformées en selle de cheval de la première demi-coquille 3 pour former une transition douce pour chaque joint d’étanchéité 14, 15, ici deux. Bien que les figures illustrent une pompe à vide 1 pour laquelle les pièces d’extrémité sont munies de nez 12 et les demi-coquilles 3, 4 d’évidements complémentaires, l’invention s’applique également à une pompe à vide sans nez ni évidements. Dans ce cas, les surfaces d’interfaces conformées en selle de cheval et/ou en arrondi débouchent des faces transversales des extrémités des demi-coquilles 3, 4. Le ou les joint(s) d’étanchéité 14, 15 sont alors comprimés entre les faces des pièces d’extrémité et les faces transversales des extrémités des demi-coquilles 3, 4. Pompe à vide (1) sèche comportant : - un stator (2) comportant au moins une première et une deuxième demi-coquilles (3, 4) complémentaires et une première et une deuxième pièce d’extrémité (5, 6), les demi-coquilles (3, 4) et les pièces d’extrémité (5, 6) s’assemblant entre elles pour former au moins une chambre de pompage d’un étage de pompage (T1-T6), - deux arbres de rotors configurés pour tourner dans le au moins un étage de pompage (T1-T6), - un premier joint d’étanchéité (14) comprenant : - une première et une deuxième parties annulaires d’extrémité (14a) intercalées entre une pièce d’extrémité (5, 6) respective et les demi-coquilles (3, 4), et - deux longerons (14b) raccordant les parties annulaires d’extrémité (14a), les longerons (14b) étant intercalés entre les demi-coquilles (3, 4), caractérisée en ce qu’une première demi-coquille (3) comporte au moins une gorge de joint (16) ménagée dans une surface d’assemblage (10) des demi-coquilles (3, 4) recevant un longeron (14b) du premier joint d’étanchéité (14), dont le fond présente au moins une surface d’interface (17) débouchant entre les demi-coquilles (3, 4) qui est conformée en « selle de cheval » pour former une transition douce pour le premier joint d’étanchéité (14). Pompe à vide (1) selon la revendication 1, caractérisée en ce que la deuxième demi-coquille (4) présente au moins une surface d’interface (18) débouchant des demi-coquilles (3, 4) en vis-à-vis d’une surface d’interface (17) de la première demi-coquille (3), qui est conformée en arrondi pour former une transition douce pour le premier joint d’étanchéité (14). Pompe à vide (1) selon la revendication 2, caractérisé en ce que le rayon de courbure (R2) de la surface d’interface (18) conformée en arrondi, est supérieur ou égal à 2mm. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 2 ou 3, caractérisée en ce que le rayon de courbure (R2) de la surface d’interface (18) conformée en arrondi, est inférieur ou égal à 5mm. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les demi-coquilles (3, 4) comportent au moins un demi-évidement (13) respectif conformé pour coopérer avec un nez (12) d’une pièce d’extrémité (5, 6), la au moins une surface d’interface (17, 18) débouchant dans les demi-évidements (13). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 2 à 4 et 5, caractérisée en ce que deux surfaces d’interface (18) conformées en arrondi sont réalisées par contournage dans la continuité de l’usinage d’un demi-évidement (13) de la deuxième demi-coquille (4). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que deux surfaces d’interface (17) conformées en selle de cheval sont réalisées par contournage dans la continuité de l’usinage d’une gorge de joint (16). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le rayon de courbure (R1) de la section transversale de la surface d’interface (17) conformée en selle de cheval est supérieur ou égal à 2mm. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le rayon de courbure (R1) de la section transversale de la surface d’interface (17) conformée en selle de cheval est inférieur ou égal à 5mm. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte au moins un deuxième joint d’étanchéité (15) comprenant : - une première et une deuxième parties annulaires d’extrémité (15a) intercalées entre une pièce d’extrémité (5, 6) respective et les demi-coquilles (3, 4), et - deux longerons (15b) raccordant les parties annulaires d’extrémité (15a), les longerons (15b) étant intercalés entre les demi-coquilles (3, 4), le premier joint d’étanchéité (14) étant agencé à l’intérieur du deuxième joint d’étanchéité (15) de sorte que les premier et au moins un deuxième joints d’étanchéité (14, 15) forment au moins deux barrières d’étanchéité successives pour les gaz. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte un dispositif de chauffage (11) configuré pour chauffer le stator (2) à une température supérieure à 150°C. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les demi-coquilles (3, 4) du stator (2) forment au moins deux étages de pompage (T1-T6) montés en série entre un orifice d’aspiration (7) et un orifice de refoulement (8) de la pompe à vide (1).