Brevet FR3105827A1 — publié le 20210702

L'invention est un dispositif et un procédé pour détecter un analyte dans un milieu. Une source de lumière d'excitation produit une onde lumineuse d'excitation, laquelle se propage vers le milieu en produisant un échauffement de ce dernier. Le dispositif comporte un transducteur pour détecter l'échauffement du milieu. Selon un mode de réalisation, le transducteur est un transducteur thermique, configuré pour détecter une variation de la température du milieu. Selon un autre mode de réalisation, le transducteur est un transducteur acoustique, configuré pour détecter une onde photoacoustique se propageant depuis le milieu. Quel que soit le mode de réalisation, le transducteur met en œuvre une membrane, sur laquelle est disposé un guide d'onde. Le guide d'onde comporte une cavité optique résonante. La transduction est réalisée en analysant une variation d'une longueur d'onde de résonance de la cavité optique. Figure 1A. Détecteur photoacoustique ou photothermique comportant un transducteur optique Le domaine technique de l'invention est la détection d'un analyte dans un milieu selon le principe de la détection photoacoustique ou la détection photothermique. ART ANTERIEUR La détection photoacoustique est basée sur la détection d'une onde acoustique générée sous l'effet de l'absorption, par un milieu analysé, d'une onde d'excitation électromagnétique, dite onde d'excitation, impulsionnelle ou modulée en amplitude. L'onde acoustique est formée suite à un échauffement de molécules absorbantes, présentes dans le milieu analysé, sous l'effet de l'absorption de l'onde d'excitation. L'échauffement entraîne une dilatation thermique modulée du milieu, cette dernière étant à l'origine de l'onde acoustique. La détection photoacoustique peut être spécifique à un analyte particulier, en ajustant la longueur d'onde de l'onde d'excitation à une longueur d'onde d'absorption de l'analyte. La détection photoacoustique a été ainsi été appliquée pour détecter des espèces gazeuses dans un gaz, ou pour détecter la présence de molécules particulières dans des tissus biologiques. La longueur d'onde de l'onde incidente se situe fréquemment dans le l'infra-rouge. La détection photoacoustique constitue alors une technique d'analyse non invasive, pouvant être mise en œuvre dans des milieux diffusants ou opaques. Des applications de détection photoacoustique à des tissus biologiques sont par exemple décrits dans les publications suivantes : Bauer AJ. "IR-spectroscopy for skin in vivo : Optimal skin sites and properties for non-invasive glucose measurement by photoacoustic and photothermal spectroscopy" ; Journal of biopohtonics 11 (2018) ; "Windowless ultrasound photoacoustic cell for in-vivo mid-IR spectroscopy of human epidermis : Low interference by changes of air pressure, temperature, and humidity caused by skin contact opens the possibility for a non-invasive monitoring of glucose in the interstitial fluid", Rev. Sci. Instrum. 84, 084901 (2013). Dans ces publications, on utilise une source de lumière laser impulsionnelle, activée selon une fréquence de plusieurs dizaines de kHz. L'objectif est d'estimer une concentration de glucose dans le fluide interstitiel corporel, à une profondeur comprise entre 10 µm et 50 µm sous la peau d'un utilisateur. On utilise pour cela un dispositif de détection photoacoustique placé contre la peau d'un utilisateur. On connaît également les principes de la détection photothermique, basée sur une détection d'une variation d'une température d'un milieu analysé, sous l'effet de l'absorption, par le milieu, d'une onde d'excitation électromagnétique impulsionnelle ou modulée en amplitude. La variation de température résulte de l'échauffement de molécules absorbantes, présentes dans le milieu analysé, sous l'effet de l'absorption de l'onde d'excitation. La modulation périodique de la température peut par exemple être détectée en estimant une variation de l'indice optique du milieu, sous l'effet de la variation de température. Cela est par exemple décrit dans EP3359949B1. Qu'il s'agisse de la détection photothermique ou de la détection photoacoustique, l'échantillon peut être un échantillon gazeux, l'objectif visé étant la détection de certaines espèces gazeuses ou de certaines particules, par considérées comme polluantes. Il peut également s'agir d'échantillons liquides ou solides, les applications pouvant concerner le domaine de l'industrie, par exemple l'agroalimentaire, ou le domaine de la santé, comme précédemment évoqué, Les inventeurs ont conçu un transducteur, pouvant être mis en œuvre soit pour des applications liées à la détection photoacoustique, soit pour des applications liées à la détection photothermique. Il permet d'obtenir des dispositifs dédiés à chaque application, présentant une sensibilité de détection élevée, et de conception simple. Un premier objet de l'invention est un dispositif de détection, destiné à être appliqué, par une face de contact, contre un milieu à analyser, le milieu analysé étant susceptible de comporter un analyte, absorbant la lumière selon au moins une longueur d'onde d'absorption, le dispositif comportant : une ouverture, ménagée dans la face de contact; une source de lumière d'excitation, configurée pour émettre une onde lumineuse d'excitation impulsionnelle ou modulée en amplitude, à une fréquence d'excitation, dans une bande spectrale d'excitation comportant la longueur d'onde d'absorption, le dispositif étant agencé de telle sorte que l'onde lumineuse d'excitation se propage à travers l'ouverture, vers le milieu analysé ; un transducteur, destiné à mesurer une réponse du milieu suite à une absorption, par l'analyte, d'une partie de l'onde lumineuse d'excitation ; le dispositif étant caractérisé en ce que le transducteur comporte : une membrane, supportant un guide d'onde; le guide d'onde comportant un premier réflecteur, et un deuxième réflecteur, chaque réflecteur réfléchissant la lumière dans une bande spectrale de réflexion; le premier réflecteur et le deuxième réflecteur étant espacés l'un de l'autre, pour former une cavité optique résonante, la cavité optique résonante définissant une longueur d'onde de résonance, dans la bande spectrale de réflexion ; de telle sorte que le guide d'onde : transmet la lumière à la longueur d'onde de résonance; réfléchit la lumière, dans la bande spectrale de réflexion, en dehors de la longueur d'onde de résonnance ; le transducteur comportant également: une source de lumière auxiliaire laser, configurée pour émettre une onde lumineuse auxiliaire, dans la bande spectrale de réflexion, dans le guide d'onde ; un photodétecteur, agencé pour détecter une onde lumineuse transmise par le guide d'onde à la longueur d'onde de résonance; un circuit d'asservissement, relié au photodétecteur, et configuré pour déterminer une modulation temporelle périodique de la longueur d'onde de résonance de la cavité optique résonante. Le dispositif peut comporter une unité de traitement, reliée au circuit d'asservissement, et configurée pour : estimer une amplitude de la modulation temporelle de la longueur d'onde de résonance; détecter la présence de l'analyte dans le milieu en fonction de l'amplitude estimée. L'unité de traitement peut être configurée pour estimer une concentration de l'analyte dans le milieu en fonction de l'amplitude estimée. Selon un mode de réalisation, dit photoacoustique, le dispositif comporte une cavité creuse, débouchant sur l'ouverture, le transducteur étant relié à la cavité creuse. Le transducteur est un transducteur acoustique, configuré pour détecter une amplitude d'une onde photoacoustique se propageant depuis l'ouverture, à travers la cavité creuse, de telle sorte que sous l'effet de l'illumination du milieu par l'onde lumineuse d'excitation, la membrane vibre selon la fréquence d'excitation, entraînant la modulation temporelle de la longueur d'onde de résonance, à une fréquence de modulation égale à la fréquence d'excitation. La membrane peut s'étendre parallèlement à la face de contact. La membrane peut délimiter une partie de la cavité creuse. Selon un mode de réalisation, dit photothermique, le dispositif est tel que : la membrane du transducteur forme la face de contact du dispositif, destinée à être appliquée au contact du milieu ; l'ouverture s'étend à travers la membrane; le transducteur est un transducteur thermique, de telle sorte que sous l'effet de l'illumination du milieu par l'onde lumineuse d'excitation, la température de la membrane suit une variation temporelle périodique, entraînant la modulation temporelle périodique de la longueur d'onde de résonance. Quel que soit le mode de réalisation, au moins un réflecteur, ou chaque réflecteur, est un miroir de Bragg, formé par une modulation périodique d'un indice de réfraction le long du guide d'onde. Quel que soit le mode de réalisation, le circuit d'asservissement comporte une boucle d'asservissement, reliée à la source de lumière auxiliaire, et configurée pour asservir la longueur d'onde de l'onde lumineuse émise par la source de lumière auxiliaire sur la longueur d'onde de résonance de la cavité optique résonante. Le circuit d'asservissement peut notamment mettre en œuvre un asservissement de type Pound-Drever-Hall. Quel que soit le mode de réalisation, le dispositif peut être tel que : le premier réflecteur est un premier miroir de Bragg ; le deuxième réflecteur est un deuxième miroir de Bragg ; le premier miroir de Bragg et le deuxième miroir de Bragg forment un même miroir de Bragg comportant un défaut, le premier miroir de Bragg et le deuxième miroir de Bragg correspondant aux parties du miroir de Bragg s'étendant respectivement de part et d'autre du défaut. Dans le mode de réalisation photoacoustique, le dispositif peut être tel que : la membrane présente, sous l'effet de la vibration, au moins un ventre de vibration l'amplitude de vibration étant maximale au niveau de chaque ventre de vibration ; le guide d'onde s'étend au niveau d'au moins un ventre de vibration. Quel que soit le mode de réalisation, le guide d'onde peut être formé directement sur la membrane. Le premier réflecteur et le deuxième réflecteur peuvent être obtenus par inscription du guide d'onde par un faisceau laser, de façon à obtenir une modulation périodique de l'indice de réfraction dans le guide d'onde. Quel que soit le mode de réalisation, le guide d'onde peut être une fibre optique microstructurée déposée sur la membrane. Un deuxième objet de l'invention est un procédé de détection d'un analyte dans un milieu, l'analyte absorbant la lumière selon au moins une longueur d'onde d'absorption, le procédé comportant les étapes suivantes : application d'un dispositif selon le premier objet de l'invention contre le milieu, de telle sorte que la face de contact du dispositif soit maintenue contre le milieu ; activation de la source de lumière d'excitation, la source de lumière d'excitation émettant une onde lumineuse d'excitation, impulsionnelle ou modulée en amplitude, selon une fréquence d'excitation, dans une longueur d'onde correspondant à une longueur d'onde d'absorption de l'analyte ; détermination, par le circuit d'asservissement, d'une modulation périodique d'une longueur d'onde de résonance du guide d'onde du transducteur, à une fréquence de modulation correspondant à la fréquence d'excitation, la longueur d'onde de résonance correspondant à un pic de transmission du guide d'onde ; en fonction de la modulation périodique déterminée par le circuit d'asservissement, détection de la présence de l'analyte dans le milieu. Le dispositif peut être tel que décrit en lien avec le mode de réalisation photoacoustique. Le procédé peut alors comporter : suite à l'étape b), un échauffement périodique du milieu, selon la fréquence d'excitation, entraînant une émission d'une onde photoacoustique, se propageant à travers la cavité creuse, sous l'effet de laquelle la membrane du transducteur vibre à la fréquence d'excitation, de telle sorte que la fréquence de résonance du guide d'onde du transducteur est modulée selon une fréquence de modulation égale à la fréquence d'excitation ; lors de l'étape d) : une estimation d'une amplitude de la modulation périodique de la longueur d'onde de résonnance, à la fréquence de modulation; une détection de la présence d'analyte en fonction de l'amplitude estimée. Le dispositif peut être tel que décrit en lien avec le mode de réalisation photothermique. Le procédé peut alors comporter : suite à l'étape b), un échauffement périodique du milieu, selon la fréquence d'excitation, entraînant un échauffement périodique de la membrane à la fréquence d'excitation, de telle sorte que la fréquence de résonance du guide d'ondedu transducteur est modulée selon une fréquence de modulation correspondant à la fréquence d'excitation; lors de l'étape d) : une estimation d'une amplitude de la modulation périodique de la longueur d'onde de résonnance à la fréquence de modulation; une détection de la présence d'analyte en fonction de l'amplitude estimée. Quel que soit le mode de réalisation, l'étape d) peut également comporter une estimation d'une concentration de l'analyte dans le milieu analysé. Un troisième objet de l'invention est un procédé de fabrication d'un dispositif selon le premier objet de l'invention, le guide d'onde étant formé directement sur la membrane, le procédé comportant : dépôt d'une couche mince d'un premier matériau sur une membrane, de façon à former un guide d'onde ; inscription du guide d'onde par un faisceau laser femtoseconde, de façon à obtenir une modulation périodique d'un indice de réfraction du guide d'onde. L'invention sera mieux comprise à la lecture de l'exposé des exemples de réalisation présentés, dans la suite de la description, en lien avec les figures listées ci-dessous. FIGURES Les figures 1A à 1E schématisent les principaux composants d'un dispositif selon un mode de réalisation, dit mode de réalisation photoacoustique. La figure 2A montre une fibre optique microstructurée, formant un miroir de Bragg. La figure 2B représente une bande spectrale de réflexion de la fibre optique schématisée sur la figure 2A. La figure 2C montre une fibre optique microstructurée, formant une cavité optique résonante basée sur deux miroirs de Bragg espacés l'un de l'autre. La figure 2D représente une bande spectrale de réflexion de la fibre optique schématisée sur la figure 2C. La figure 3A montre un guide d'onde, comportant une cavité optique résonante, non déformé. La figure 3B montre un guide d'onde, comportant une cavité optique résonante, déformé. La figure 3C montre un guide d'onde dont la déformation n'est pas homogène. La figure 3D montre une évolution de la bande spectrale de réflexion d'un guide d'onde, tel que représenté sur la figure 3C, sous l'effet de déformations. La figure 3E représente une amplitude de déformation d'une membrane, le long d'un diamètre de cette dernière. La figure 3F montre un positionnement optimal d'un guide d'onde, compte tenu de la déformation représentée sur la figure 3D. La figure 4A schématise un circuit mettant en œuvre un asservissement de la longueur d'onde de la source de lumière auxiliaire selon la méthode de verrouillage en longueur d'onde. La figure 4B montre l'évolution d'une fonction d'erreur obtenue par une méthode de verrouillage en longueur d'onde. La figure 5A illustre un décalage de la longueur d'onde de résonance d'une cavité optique résonante, sous l'effet d'une vibration de la membrane. La figure 5B montre une modulation temporelle de la longueur d'onde de résonnance optique. La figure 5C schématise une estimation de l'amplitude de vibration d'une membrane à partir de la modulation temporelle de la longueur d'onde de résonance. Les figures 6A à 6D montrent les principales étapes d'un procédé de fabrication permettant de former un guide d'onde microstructuré au contact d'une membrane. La figure 7A montre les principales étapes d'un procédé de détection mettant en œuvre le dispositif selon le mode de réalisation photoacoustique. La figure 7B montre les principales étapes d'un procédé de détection mettant en œuvre le dispositif selon le mode de réalisation photothermique. Les figures 8A à 8C schématisent les principaux composants d'un dispositif selon un mode de réalisation, dit mode de réalisation photothermique. EXPOSE DE MODES DE REALISATION PARTICULIERS Les figures 1A à 1E illustrent un premier mode de réalisation dit photoacoustique, d'un dispositif 1 selon l'invention. Le dispositif 1 est configuré pour être appliqué contre un milieu 2 à analyser. Le dispositif comporte une source de lumière d'excitation 10, configurée pour émettre une onde lumineuse d'excitation 11 se propageant jusqu'au milieu 2 à analyser. La source de lumière 10 est impulsionnelle ou modulée en amplitude, selon une fréquence d'excitation . L'onde lumineuse 11 est émise dans une bande spectrale d'excitation Δλ 11 comportant une longueur d'onde d'absorption λ 4 d'un analyte 4 présent dans le milieu. Un objectif du dispositif 1 est de détecter la présence de l'analyte 4 et éventuellement d'en estimer une concentration. La bande spectrale d'excitation s'étend de préférence dans le visible ou dans l'infra-rouge, par exemple entre des longueurs d'onde de 3 µm et de 15 µm. De préférence, la bande spectrale d'excitation Δλ 11 est suffisamment étroite, de façon que le dispositif 1 soit spécifique à un seul analyte. Par exemple, la largeur de la bande spectrale d'émission est de l'ordre de 1 cm -1 . Lorsque l'analyte est le glucose, la bande spectrale d'émission est centrée sur une longueur d'onde d'absorption du glucose, par exemple 1034 cm -1 . La source de lumière d'excitation 10 peut notamment être une source laser impulsionnelle, par exemple un laser accordable en longueur d'onde de type QCL (Quantum Cascade Laser). La bande spectrale d'émission Δλ est alors située dans l'infra-rouge. L'analyte 4 peut être une molécule présente dans le milieu analysé. Lorsque le milieu est un tissu biologique, il peut s'agir de glucose présent dans un fluide corporel du tissu biologique . Comme évoqué en lien avec l'art antérieur, l'analyte peut être une molécule gazeuse, le milieu étant un gaz. Il peut par exemple s'agir d'une molécule de gaz considérée comme polluante. Le milieu peut également être un liquide, l'analyte étant une molécule potentiellement présente dans le liquide. Le dispositif 1 comporte une face de contact 3, destinée à être appliquée contre le milieu 2 à analyser, au contact de ce dernier. La face de contact 3 est conçue pour se conformer au milieu 2 contre laquelle elle est destinée à être appliquée. Elle est par exemple plane. Le dispositif 1 comporte une enceinte 17, s'étendant à partir de la face de contact 3, et délimitant une cavité creuse 16. La cavité creuse 16 comporte une ouverture 13, ménagée dans la face de contact 3, de façon à déboucher sur le milieu 2. La source de lumière d'excitation 10 est configurée de telle sorte que l'onde lumineuse d'excitation 11, se propage jusqu'au milieu 2 à travers la cavité creuse 16, ainsi qu'à travers l'ouverture 13. Sous l'effet de la présence d'un analyte 4 dans le milieu 2, une onde photoacoustique 6 est formée. L'onde photoacoustique 6 est une onde acoustique formée à partir d'un échauffement périodique du milieu par l'onde lumineuse incidente 11, cette dernière étant modulée en amplitude à la fréquence d'excitation . Une partie de l'onde photoacoustique 6 se propage à travers la cavité creuse 16 de façon à être détectée par un transducteur 15. Dans le mode de réalisation photoacoustique, le transducteur 15 est un transducteur acoustique. Sa fonction est de mesurer une amplitude et/ou fréquence de l'onde photoacoustique 6. Plus précisément, dans l'application visée, le transducteur 15 permet une estimation d'une amplitude de l'onde photoacoustique 6 à la fréquence d'excitation de l'onde lumineuse d'excitation. Le transducteur 15 comporte une membrane 18 souple, configuré pour vibrer lorsqu'elle est exposée à l'onde photoacoustique 6. La membrane 18 s'étend de préférence parallèlement un plan radial P XY. Le diamètre de la membrane, ou sa plus grande diagonale, est compris entre 1 mm et 10 mm. L'épaisseur de la membrane, parallèlement à un axe transversal Z, perpendiculaire au plan radial, est de préférence comprise entre 10 µm et 500 µm, et de préférence entre 10 µm et 100 µm. L'épaisseur de la membrane est de préférence comprise entre 1/10 et 1/200 du rayon de la membrane (ou de sa demi-diagonale la plus grande). La source de lumière d'excitation 10 est configurée de telle sorte que l'onde lumineuse d'excitation 11, se propage jusqu'au milieu 2 à travers à travers la cavité creuse 16. Dans l'exemple représenté sur la figure 1A, l'onde lumineuse d'excitation 11 se propage à travers une ouverture secondaire 19 pratiquée à travers la membrane 18. L'ouverture secondaire 19 pratiquée dans la membrane peut également permettre d'établir un équilibre de la pression de part et d'autre de la membrane 18, à basse fréquence. Cela permet d'éviter une éventuelle déformation de la membrane 18 sous l'effet d'une variation de la pression basse fréquence de part et d'autre de la membrane 18. Par variation de pression basse fréquence, on entend une différence de pression se produisant à une fréquence inférieure à une plage de fonctionnement fréquentielle de la membrane. Le diamètre de l'ouverture secondaire 19 est par exemple inférieur au dixième du diamètre de la membrane. Il est par exemple de l'ordre de 10 µm ou 20 µm. La transducteur 15 comporte un guide d'onde 20 qui s'étend sur la membrane 18, au contact de cette dernière et parallèlement à cette dernière. Le guide d'onde s'étend entre une entrée 20 i et une sortie 20 o . Le guide d'onde est élaboré à partir d'un premier matériau 21 d'un premier indice de réfraction n 1 . Le guide d'onde 20 peut être une fibre optique, auquel cas le premier matériau est le cœur de la fibre optique. Il peut également s'agir d'un guide d'onde formé à partir du dépôt d'une couche mince du premier matériau 21, par exemple SiON (oxynitrutre de Silicium), ce qui correspond à l'exemple représenté sur les figures 1A à 1E. Le guide d'onde est délimité par un matériau de confinement 23, dont l'indice de réfraction est inférieur à l'indice de réfraction n 3 du premier matériau n 1 . Lorsque le guide d'onde 20 est une fibre optique, le matériau de confinement 23 est la gaine de la fibre optique. Le guide d'onde 20 est avantageusement formé à partir d'une couche mince du premier matériau 21, le matériau de confinement 23 peut simplement être l'air entourant le premier matériau. L'épaisseur du guide d'onde, selon l'axe transversal Z, est de préférence inférieure à 10 µm ou à 5 µm. Le procédé de formation d'un tel guide d'onde est décrit en lien avec les figures 6A à 6D. Le fait de former un guide d'onde directement sur la membrane permet d'éviter une étape de collage de la fibre optique sur la membrane. Un autre avantage, par rapport à l'utilisation d'une fibre optique, est que cela permet d'obtenir un guide d'onde moins rigide. Quelle que soit la configuration retenue, l'indice de réfraction n 3 du matériau de confinement 23 est inférieur à l'indice de réfraction n 1 du premier matériau 21. Lorsque le premier matériau 21 est directement déposé sur la membrane 18, il est préférable que l'indice de réfraction n 1 du premier matériau 21 soit supérieur à l'indice optique du matériau formant la membrane 18. Un exemple de guide d'onde 20 est détaillé sur la figure 1B. Dans cet exemple, le premier matériau 21 est déposé sur la membrane 18. Le guide d'onde comporte des portions d'un deuxième matériau 22, d'un deuxième indice de réfraction n 2 , périodiquement réparties le long du guide d'onde 20. Le deuxième indice de réfraction n 2 est différent du premier indice de réfraction n 1 . Il peut être supérieur au premier indice de réfraction n 1 . La variation relative entre le premier indice de réfraction et le deuxième indice de réfraction peut varier entre 0.01% (10 -4 ) à 0.1% (10 -3 ). Le long de l'axe défini par le guide d'onde, l'indice de réfraction est périodiquement modulé, entre n 1 et n 2 , de façon à former un miroir de Bragg dans une bande spectrale de réflexion Δλ 20 . La structure d'un miroir de Bragg est connue de l'homme du métier. Il s'agit d'une structure selon laquelle l'indice de réfraction varie périodiquement, de telle sorte que le long de l'axe selon lequel se propage la lumière, le miroir est formé par une alternance de portions de deux indices différents, l'épaisseur optique de chaque portion étant de λ B /4n i , où λ B est une longueur d'onde centrale de la bande spectrale de réflexion Δλ 20 et n i est l'indice de réfraction du matériau considéré (n i = n 1 ou n i = n 2 ). Plus le contraste d'indice de réfraction est faible, plus le nombre de périodes est élevé. La bande spectrale de réflexion Δλ 20 est centrée sur une longueur d'onde de résonance . Cette dernière est telle que : où est un indice effectif du réseau, tel que est la période spatiale du réseau, c'est-à-dire la longueur de deux portions 21 et 22 successives selon l'axe du guide d'onde. Le guide d'onde 20 est tel que le miroir de Bragg, formé par l'alternance des portions 21 et 22, comporte un défaut. Par défaut, on entend une rupture localisée de la périodicité de la modulation d'indice de réfraction. Le défaut correspond par exemple à un espace continu 25, formé par un même matériau, par exemple le premier matériau 21, le long d'une période ou le long de plusieurs périodes successives. Au niveau du défaut, le guide d'onde comporte un même matériau, s'étendant selon une distance le long de l'axe du guide d'onde 20. Lorsque la distance d est telle que , où est un entier naturel positif, une cavité optique résonante 26 de type Fabry-Perot est formée, définissant une longueur d'onde de résonance . Lorsque le défaut s'étendant sur une seule période , Lorsque , d'autres longueurs d'onde de résonance peuvent apparaître, dans la bande spectrale de réflexion Δλ 20 , les longueurs d'onde de résonance étant différentes de la longueur d'onde de Bragg . Dans un tel cas, on retient de préférence la longueur d'onde de résonance à laquelle le pic de résonance est le plus fin. Ainsi, le défaut permet de séparer, dans le guide d'onde 20, un premier miroir de Bragg 24 1 et un deuxième miroir de Bragg 24 2 . L'ensemble formé par le premier miroir de Bragg 24 1 , le deuxième miroir de Bragg 24 2 , et l'espace 25 entre les miroirs de Bragg forme la cavité résonante 26. Le guide d'onde 20 est alors structuré pour : réfléchir la lumière dans la bande spectrale de réflexion Δλ 20 des miroirs de Bragg 24 1 , 24 2 , en dehors de la longueur d'onde de résonance ; transmettre la lumière dans la longueur d'onde de résonance de la cavité résonante 26. Le transducteur 15 comporte également une source de lumière auxiliaire 30, en particulier une diode laser, agencée pour émettre une onde lumineuse auxiliaire 32 vers l'entrée 20 i du guide d'onde 20. L'onde lumineuse auxiliaire 32 est émise dans une bande spectrale d'émission Δλ 3 2 , centrée sur une longueur d'onde d'émission λ 3 2 . La bande spectrale d'émission Δλ 3 2 est de préférence incluse dans la bande spectrale de réflexion Δλ 20 . De préférence, la largeur de la bande spectrale d'émission Δλ 3 2 est plus étroite que celle de la bande spectrale de réflexion Δλ 20 . Par exemple, la largeur de la bande spectrale d'émission Δλ 3 2 peut être de 1 nm, voire inférieure à 500 pm ou à 100 pm. Par largeur de la bande spectrale d'émission Δλ 3 2 , on entend une largeur à mi-hauteur de la bande spectrale d'émission. La source de lumière auxiliaire 30 est de préférence un laser continu. Il peut par exemple s'agir d'une diode laser de type DFB (acronyme de Distributed Feedback), de puissance 1 mW, émettant à la longueur d'onde de 1.55 µm, de largeur spectrale de l'ordre du pm. Ce type de diode laser est d'usage courant dans le domaine des télecommunications. Le transducteur 15 comporte un photodétecteur 36, de préférence un photodétecteur rapide, de type photodiode. Le photodétecteur présente une bande spectrale de détection Δλ 3 6 qui comprend la bande spectrale de réflexion Δλ 20 . Le transducteur 15 comporte un circuit d'asservissement 41, configuré pour suivre une modulation temporelle de la longueur d'onde de résonance de la cavité résonante 26. Un tel circuit est décrit par la suite, en lien avec les figures 4A et 4B. Le circuit d'asservissement 41 permet un asservissement de la source de lumière auxiliaire 30, de telle sorte que la longueur d'onde d'émission λ 3 2 de l'onde lumineuse auxiliaire 32 émise par la source de lumière auxiliaire corresponde à la longueur d'onde de résonnance de la cavité résonnante 26. Le dispositif comporte ou est relié à une unité de traitement 42, configurée pour calculer une fréquence ou une amplitude de la modulation temporelle déterminée par le circuit d'asservissement 41. L'unité de traitement 42 est par exemple conçue ou programmée pour estimer une amplitude de modulation de la longueur d'onde de résonance, à une fréquence , correspondant à la fréquence d'excitation de l'onde lumineuse d'excitation 11. Le fonctionnement de l'unité de traitement 42 est décrit plus en détail en lien avec les figures 5A à 5C. Le dispositif comporte un capot 48, délimitant un volume arrière, le volume arrière correspondant au volume s'étendant entre la membrane 18 et le capot 48. D'une façon générale, le guide d'onde 20 comporte une cavité résonante 26, formée à partir d'un premier réflecteur 24 1 et d'un deuxième réflecteur 24 2 , ces derniers étant obtenus par microstructuration du guide d'onde 20. Dans les exemples donnés dans cette description, le premier réflecteur 24 1 et le deuxième réflecteur 24 2 sont des miroirs de Bragg, mais d'autres types de microstructures sont envisageables. Un point important de l'invention, explicité par la suite, repose sur le fait que : lorsque la source de lumière auxiliaire 30 est activée, et émet une onde lumineuse 32 dont la longueur d'onde d'émission λ 32 n'est pas accordée avec la longueur d'onde de résonance du guide d'onde 20 (ou plus précisément de la cavité résonante 26), le guide d'onde 20 réfléchit une onde réfléchie 32' ; lorsque la source de lumière auxiliaire 30 est activée, et émet une onde lumineuse 32 dont la longueur d'onde d'émission λ 32 correspond à la longueur d'onde de résonance de la cavité résonante 26, le guide d'onde 20 transmet une onde transmise 34 vers le photodétecteur 36. Plus la longueur d'onde d'émission λ 32 est proche de la longueur d'onde de résonance λ r , plus l'intensité de l'onde transmise 34 est importante. L'invention est basée sur le fait qu'en étant exposée à une onde acoustique 6, de fréquence acoustique , la membrane 18 vibre selon une amplitude de vibration à la fréquence de l'onde photoacoustique 6. Il en résulte une déformation périodique du guide d'onde 20, sous l'effet de laquelle la longueur d'onde de résonance suit une modulation temporelle périodique . L'amplitude de la modulation temporelle de la longueur d'onde de résonance dépend de l'amplitude de vibration de la membrane, cette dernière étant proportionnelle à l'amplitude acoustique La fréquence de la modulation temporelle correspond à la fréquence acoustique , qui correspond également à la fréquence d'excitation . En calculant l'amplitude de la modulation à la fréquence , le dispositif permet de détecter la présence de l'analyte dans le milieu, et éventuellement d'en estimer une concentration, comme décrit en lien avec les figures 5A à 5C. La figure 1C montre une vue de certains éléments décrits en lien avec la figure 1A, dans le plan radial P XY . Dans cet exemple, la membrane 18 prend une forme de disque de faible épaisseur, l'épaisseur étant le centième du rayon. La figure 1D est une vue 3D représentant la position de la membrane 18 et du guide d'onde 20 par rapport au milieu analysé 2. La figure 1E montre un exemple de dispositif dans lequel la source de lumière d'excitation 10 est associée à un réflecteur 14. L'onde lumineuse d'excitation 11 est émise parallèlement au plan radial P XY , puis est réfléchie, par le réflecteur 14, vers l'ouverture 13, de façon à se propager vers le milieu 2. La source de lumière auxiliaire 30 et le photodétecteur 36 sont alignés par rapport au guide d'onde 20. De façon alternative, la source de lumière auxiliaire 30 et/ou le photodétecteur 36 peuvent être couplés au guide d'onde 20 par un cristal photonique. Selon une variante, la membrane 18 du transducteur 15 est reliée à la cavité 16 par un canal acoustique, ce dernier transmettant une partie de l'onde photoacoustique 6 vers la membrane 18. La figure 2A illustre un mode de réalisation selon lequel guide d'onde 20 est une fibre optique microstructrée, à l'intérieur de laquelle est formé un réseau de Bragg. Ce type de microstructuration, dans une fibre optique, est usuellement désigné par le terme "Fiber Bragg Grating". La fibre optique comporte un premier matériau 21 composant le cœur et un matériau de confinement 23 formant la gaine. Dans le cœur de la fibre optique sont formées des inclusions ou cavités d'un deuxième matériau 22, dont l'indice de réfraction est différent de celui du premier matériau. La figure 2B montre un spectre de réflexion de la fibre optique ainsi microstructurée. Le spectre de réflexion correspond à une intensité réfléchie normalisée par l'intensité d'illumination (axe des ordonnées) en fonction de la longueur d'onde (axe des abscisses – unité nm). La réflexion est maximale dans la bande spectrale de réflexion Δλ 20 . Ainsi, lorsqu'un tel guide d'onde est illuminé par une onde lumineuse 32, dans la bande spectrale de réflexion Δλ 20, il réfléchit une onde lumineuse 32', dans toute la bande spectrale de réflexion Δλ 20 . La figure 2C illustre une fibre optique similaire, dans lequel deux miroirs de Bragg 24 1 et 24 2 sont séparés par un espace 25 rempli du premier matériau 21, comme décrit en lien avec la figure 1B. Lorsque la longueur de l'espace 25 correspond à fois une longueur d'onde de résonance, comprise dans la bande spectrale de réflexion, la fibre optique comporte une cavité résonante 26. La figure 2D montre un spectre de réflexion de la fibre optique ainsi microstructurée. La réflexion est maximale selon la bande spectrale de réflexion Δλ 20 , à l'exception de la longueur d'onde de résonance . Ainsi, lorsqu'un tel guide d'onde est illuminé par une onde lumineuse 32, émise par la source de lumière auxiliaire 30, dans la bande spectrale de réflexion Δλ 20, il réfléchit une onde lumineuse 32', si la longueur d'onde λ 32 est différente de la longueur d'onde de résonance, et transmet une onde lumineuse 34, dite onde lumineuse transmise, lorsque la longueur d'onde λ 32 se situe dans le pic de résonnance. Les figures 2C et 2D sont issues de modélisations, calculées par un logiciel de calcul de type Matlab (marque déposée – Mathworks), en considérant une structuration s'étendant selon une longueur de 3 mm, le contraste d'indice entre les premier et deuxième matériaux étant de 10 -3 , la période de chaque miroir de Bragg étant de 0,5 µm environ. Ainsi, chaque miroir de Bragg comporte un nombre de périodes égal à 3000. Les figures 3A à 3C illustrent la variation de la longueur d'onde de résonance résultant d'une déformation d'un guide d'onde 20 tel que décrit sur les figures 1B ou 2C. Les figures 3A et 3B montrent le guide d'onde 20 respectivement non déformé et déformé. Sous l'effet de la déformation, la période spatiale de la modulation d'indice varie de Λ à Λ' = Λ + dΛ. L'application de l'expression (1) résulte en un décalage dλ B de la longueur d'onde de Bragg λ B , autour de laquelle s'étend la bande spectrale de réflexion Δλ. Le décalage dλ B est tel que : , où : correspond à la déformation, exprimée en µε (microstrain), correspondant à 10 -4 %. La déformation est une variation normalisée de la longueur, de telle sorte que: est l'opérateur multiplication. L'expression (3) a été obtenue en considérant que lorsque la membrane 18 est constituée de SiO 2 , et le saut d'indice entre le premier matériau et le deuxième matériau est de 10 -3 . Elle se base sur une déformation homogène de chaque miroir de Bragg, comme représenté sur la figure 3B. D'après l'expression (3), pour une déformation de 1 microstrain, le décalage dλ B de la longueur d'onde de Bragg λ B est de 1.2 pm. Sur la figure 3C, on a représenté une déformation non uniforme du guide d'onde 20, certaines portions des miroirs de Bragg étant moins déformées que d'autres. La figure 3D est une modélisation montrant l'évolution du spectre de réflexion d'un miroir de Bragg, dans une configuration telle que décrite en lien avec la figure 3C. Les courbes a, b et c correspondent respectivement à une absence de déformation, à une déformation de 0 à 10 microstrain ainsi qu'une déformation comprise entre 4 à 6 microstrain. Le décalage spectral est faible, inférieur à 10 pm. Les courbes b et c correspondent à une même déformation moyenne du guide d'onde, égale à 5 microstrain. Le décalage des longueurs d'onde de résonance entre ces deux configurations est dû à la variation de déformation le long de l'axe du guide d'onde, respectivement dans la plage 0-10 microstrain et 4-6 microstrain. Plus la déformation est homogène, plus le décalage spectral de la longueur d'onde de résonance, sous l'effet de la déformation, est important. De préférence, le guide d'onde 20 s'étend sur les parties de la membrane 18 soumises à une déformation la plus importante. La membrane 18 comporte un ou plusieurs ventres de vibration, au niveau duquel ou desquels l'amplitude de vibration est maximale. Chaque ventre peut être déterminé par modélisation et/ou expérimentalement. De préférence, le guide d'onde 20 s'étend sur au moins un ventre de vibration de la membrane. Cela maximise la déformation du guide d'onde 20, ce qui augmente d'autant plus le décalage spectral résultant de la déformation. On obtient ainsi une meilleure sensibilité. Les inventeurs ont modélisé une déformation d'une membrane 18, telle que schématisée sur les figures 1A et 1D. La membrane modélisée était en SiO 2 , de rayon 1 mm et d'épaisseur 10 µm, soumise à une pression de 1 Pa. La déformation de la membrane, le long d'un de ses diamètres, est représentée sur la figure 3E, l'axe des abscisses correspondant à la distance par rapport au centre de la membrane (en mm) et l'axe des ordonnées correspondant à la déformation, en microstrain. La cavité résonante 26 est de préférence disposée au niveau de l'amplitude maximale de déformation, c'est-à-dire au centre de la membrane 18. La simulation illustrée sur la figure 3E montre qu'avec cette membrane, l'application d'une pression de 1 Pa induit une déformation de quelques 10 -2 microstrain. Sur la figure 3E, la déformation de la membrane est négative dans la partie centrale 2 c et positive dans la partie périphérique 2 p . La cavité résonante 26 est avantageusement placée sur une portion de la membrane 2 dans laquelle sous l'effet de la vibration de la membrane, la déformation est de même signe, qu'il s'agisse d'une compression ou d'une dilatation. Sur la figure 3F, on a schématisé un guide d'onde 20 dont la cavité résonante 26 est positionnée sur la partie centrale 2 c de la membrane 2, de part et d'autre du centre de la membrane, selon une distance de ±0.5 mm par rapport au centre. Sous l'effet de la vibration de la membrane, la déformation est alternativement négative (ε Les figures 4A et 4B schématisent le fonctionnement du circuit d'asservissement 41, dont la fonction est d'asservir la longueur d'onde λ 3 2 à la longueur d'onde de résonance λ r de la cavité résonante 26 formée dans le guide 20. Le circuit d'asservissement 41 effectue un verrouillage de la longueur d'onde λ 3 2 par rapport à la longueur d'onde de résonance λ r . Le verrouillage en longueur d'onde est usuellement désigné par le terme anglosaxon "top of fringe locking".Il s'agit d'un circuit de type Pound-Drever-Hall, un tel circuit étant par exemple décrit dans la publication Chow J.H."Phase-sensitive interrogation of fiber Bragg grating resonators for sensing applications", J. Light. Technol., vol. 23, n°5, p. 1881-1889, May 2005, ou encore dans la publication Black E. "An introduction to Pound-Drever-Hall laser frequency stabilization", Am. J. Phys. 69 (1), January 2001. Le circuit d'asservissement 41 comporte un modulateur 41 1 , pour moduler la longueur d'onde λ 32 de l'onde lumineuse auxiliaire 32 émise par la source de lumière auxiliaire 30, selon une fréquence de modulation pouvant varier de 10 kHz à plusieurs centaines de MHz. La fréquence de modulation de la longueur d'onde d'émission λ 32 est largement supérieure à la fréquence acoustique maximale adressée par le dispositif. Elle peut par exemple être supérieure à 10 fois la fréquence acoustique maximale adressée par le dispositif. L'intensité de l'onde lumineuse 34, émergeant du guide d'onde 20 et détectée par le photodétecteur 36, est transmise au circuit d'asservissement 41, ce dernier mesurant une fonction traduisant une variation l'intensité détectée par le photodétecteur 36 par rapport à la modulation en longueur d'onde. En fonction du signe de la fonction , un signal d'erreur est adressé à la source de lumière, de façon à augmenter ou diminuer la longueur d'onde d'émission λ 3 2 . Par exemple, lorsque l'évolution de l'intensité détectée par rapport à une augmentation de la longueur d'onde est négative, la longueur d'onde d'émission est progressivement diminuée. Lorsque l'évolution de l'intensité détectée par rapport à une augmentation en longueur d'onde est positive, la longueur d'onde d'émission est augmentée. Lorsque l'évolution de l'intensité détectée par rapport à la modulation est proche de zéro, la longueur d'onde d'émission correspond à la longueur d'onde de résonance du guide d'onde. Le circuit d'asservissement 41 utilise le fait que : lorsque λ 3 2 r , une augmentation de la longueur d'onde λ 32 résulte en une augmentation de l'intensité de l'onde transmise 34. Inversement, une diminution de la longueur d'onde λ 3 2 résulte en une diminution de l'intensité de l'onde transmise 34 ; lorsque λ 32 > λ r , une augmentation de la longueur d'onde λ 32 résulte en une diminution de l'intensité de l'onde transmise 34. Inversement, une diminution de la longueur d'onde λ 32 résulte en une augmentation de l'intensité de l'onde transmise 34. Ainsi, en effectuant une faible modulation de la longueur d'onde λ 32 de l'onde lumineuse auxiliaire 32, et en observant l'effet de la modulation sur l'intensité de l'onde lumineuse transmise 34, la source de lumière auxiliaire 30 peut être asservie, de façon que la longueur d'onde λ 3 2 de l'onde lumineuse auxiliaire 32 suive la longueur d'onde de résonance λ r du guide d'onde 20. Le suivi de la longueur d'onde de résonnance par verrouillage de la longueur d'onde permet d'obtenir un suivi de la longueur d'onde de résonance avec une sensibilité en longueur d'onde de l'ordre de 10 -6 pm lorsque la fréquence acoustique est supérieure à 10 kHz, ou de de l'ordre de 10 -3 pm lorsque la fréquence acoustique est inférieure à 1 kHz. Compte tenu de l'expression (3), il est estimé que cela permet une estimation de la déformation de la membrane de l'ordre de quelques picostrain, soit l'équivalent de quelques mPa en se basant sur une membrane formée de SiO 2 . La méthode de Pound-Drever-Hall est donc adaptée, compte tenu des faibles décalages spectraux de la cavité résonante 26, ces derniers pouvant être de l'ordre de quelques pm. Le suivi de la longueur d'onde de résonnance par verrouillage de la longueur d'onde permet également d'être insensible à des fluctuations de longueur d'onde de résonance de la cavité 26 sous l'effet de la variation de paramètres environnementaux, de type variation de température ou d'humidité. Les figures 5A à 5C illustrent le lien entre la variation temporelle périodique λ r (t) de la longueur d'onde de résonance λ r , lorsque la membrane 18 vibre sous l'effet d'une onde photoacoustique 6, et l'amplitude de l'onde acoustique. Du fait de l'asservissement effectué par le circuit d'asservissement 41, la variation temporelle périodique de la longueur d'onde d'émission λ 32 (t) est considérée comme correspondant à la modulation temporelle de la longueur d'onde de résonnance λ r (t) induite par la vibration de la membrane. Sur la figure 5A, on a schématisé un spectre de l'onde lumineuse transmise 34, et un décalage spectral dλ r sous l'effet de la déformation du guide d'onde 20. La figure 5B montre la modulation temporelle de la longueur d'onde de résonance λ r résultant de la déformation du guide d'onde 20, la modulation étant périodique et de fréquence correspondant à la fréquence acoustique . Le circuit d'asservissement 41, en asservissant la longueur d'onde λ 32 à la longueur d'onde de résonance, permet de déterminer une telle modulation. Cette modulation est transmise à l'unité de traitement 42, cette dernière calculant une amplitude de modulation de la longueur d'onde de résonance. A partir de cette dernière, l'unité de traitement 42 estime l'amplitude de vibration de la membrane, qui correspond à la fréquence acoustique de l'onde photoacoustique 6. A partir de l'amplitude de vibration de la membrane, à la fréquence acoustique , on peut déterminer une présence de l'analyte 4 dans le milieu, ou estimer une concentration de l'analyte 4 dans le milieu. L'estimation d'une concentration de l'analyte 4 dans le milieu peut supposer une calibration préalable, de façon à établir un lien : entre la concentration de l'analyte et l'amplitude de vibration de la membrane ; ou entre la concentration de l'analyte et l'amplitude de modulation de la longueur d'onde de résonance. On observe que la détermination de l'amplitude acoustique ne suppose pas forcément une détermination de la valeur de la longueur d'onde de résonance, mais une détermination précise de l'amplitude de modulation Les figures 6A à 6D illustrent les principales étapes permettant de former un guide d'onde 20, non fibré, sur une membrane 18. On dispose d'un substrat 100, par exemple en Si, sur lequel on a déposé une première couche 101, par exemple en SiO 2 (indice 1.44), d'épaisseur 4 µm, et une deuxième couche 102, par exemple en SiON (oxynitrure de silicium – indice 1.60), d'épaisseur 1 µm. Cf. figure 6A. Le procédé comporte : une gravure de la deuxième couche 102, par photolithographie, de façon à former le guide d'onde 20. Cf. figure 6B. Dans cet exemple, SiON correspond au premier matériau 21 du guide d'onde. une gravure en face arrière du substrat 100, de façon à libérer une partie de la première couche 101, cette dernière formant la membrane 18 suspendue. Cette étape permet également de former l'enceinte 17, délimitant la cavité creuse 16. Cf. figure 6C. une insolation, usuellement désignée par le terme inscription, point par point, du guide d'onde 20 par impulsions laser femtoseconde, de façon à former des cavités d'un deuxième matériau 22. Cf. figure 6D. Sous l'effet de l'insolation au laser, le SiON subit une variation locale d'indice. Le SiON insolé correspond alors à un deuxième matériau 22, dont l'indice de réfraction n 2 est différent de celui du SiON non insolé. En effet, l'insolation génère des microbulles, ce qui induit une variation de l'indice de réfraction. Il en résulte une modulation de l'indice de réfraction de guide d'onde 20, selon l'axe de propagation de la lumière, à l'intérieur du guide d'onde. La durée de chaque impulsion est par exemple égale à 100 fs, à la longueur d'onde de 800 nm, l'énergie de chaque impulsion étant de 30 nJ. La fréquence d'impulsion peut être comprise entre quelques Hz et 200 kHz. Une autre technique d'insolation est la photoinscription UV, décrite dans la publication Chow J.H."Phase-sensitive interrogation of fiberBragg grating resonators for sensing applications", J. Light. Technol., vol. 23, n°5, p. 1881-1889, May 2005. La photoinscription UV permet par exemple la microstructuration de fibres optiques. Lors de l'insolation, la modulation de l'indice de réfraction est relativement faible, de l'ordre de 10 -3 . Cependant, l'inscription par laser femtoseconde permet la réalisation de miroirs de Bragg s'étendant selon des longueurs courtes, par exemple de l'ordre du mm. Ce type d'insolation permet d'obtenir une cavité résonante 26 de grande finesse, la largeur du pic de résonance étant inférieure à quelques dizaines de pm, voire inférieure à 10 pm, et pouvant être de l'ordre ou inférieure à 5 pm. Il est possible d'augmenter la longueur selon laquelle s'étend chaque miroir de Bragg. Il en résulte une finesse du pic de résonance encore accrue. Ainsi, lorsqu'on utilise le premier mode de réalisation photoacoustique, on peut détecter la présence d'un analyte, voire estimer sa concentration, dans un milieu analysé, en mettant en œuvre les étapes suivantes, représentées sur la figure 7A : Etape 110 : application du dispositif 1 sur le milieu, de telle sorte que la face de contact soit maintenue contre le milieu ; Etape 120 : activation de la source de lumière d'excitation 10, la source de lumière d'excitation émettant une onde lumineuse d'excitation 11, impulsionnelle ou modulée en amplitude, selon une fréquence d'excitation , dans une longueur d'onde correspondant à une longueur d'onde d'absorption λ 4 de l'analyte ; Etape 130 : sous l'effet de l'illumination du milieu par l'onde lumineuse d'excitation, émission d'une onde photoacoustique 6, se propageant à travers la cavité creuse 16, suite à quoi la membrane du transducteur vibre à la fréquence d'excitation , de telle sorte que la fréquence de résonance λ r du guide d'onde 20 du transducteur est modulée périodiquement selon une fréquence de modulation égale à la fréquence d'excitation Etape 140 : détermination, par le circuit d'asservissement 41, d'une modulation temporelle d'une longueur d'onde de résonance λ r du guide d'onde 20, à la fréquence d'excitation , la longueur d'onde de résonance correspondant à un pic de transmission du guide d'onde ; Etape 150 : en fonction de la modulation temporelle déterminée par le circuit d'asservissement, calcul d'une amplitude de modulation de la longueur d'onde de résonance à une fréquence dépendant de la fréquence d'excitation, et notamment à une fréquence deux fois supérieure à la fréquence d'excitation ; Etape 160 : détection de la présence de l'analyte dans le milieu et/ou estimation d'une concentration d'analyte en fonction de l'amplitude de modulation. La détection de la présence d'analyte ou l'estimation de la concentration peut être effectuée en prenant en compte une calibration, effectuée en mettant en œuvre un échantillon de calibration, représentatif du milieu 2, comportant une quantité d'analyte connue. Les figures 8A à 8C illustrent un deuxième mode de réalisation dit photothermique, d'un dispositif 1' selon l'invention. Le dispositif 1' est configuré pour être appliqué contre un milieu 2 à analyser. Le dispositif 1' comporte des composants tels que décrits en lien avec le premier mode de réalisation. Une différence est que la membrane 18 forme la paroi d'appui 3, à travers laquelle une ouverture 13 est ménagée. Le dispositif 1' comporte une source de lumière d'excitation 10, émettant une onde lumineuse d'excitation 11. Il s'agit d'une source laser impulsionnelle, la fréquence d'impulsion étant par exemple comprise entre 10 Hz et 500 Hz, par exemple 100 Hz. L'onde lumineuse d'excitation 11 se propage jusqu'au milieu 2. Selon ce mode de réalisation, la source de lumière d'excitation est configurée de telle sorte que l'onde lumineuse d'excitation 11, se propage jusqu'au milieu 2 à travers à travers l'ouverture 13 pratiquée à travers la membrane 18. Sous l'effet de la présence d'un analyte 4 dans le milieu, une partie de l'onde d'excitation est absorbée. Il en résulte un échauffement 5 du milieu 4. Lorsque l'analyte est présent dans une partie superficielle du milieu, l'échauffement du milieu 5 se propage, par diffusion thermique, jusqu'à la membrane 18 formant la face de contact. Par partie superficielle du milieu, on entend une partie comprise entre la face de contact et une profondeur allant jusqu'à 2 ou 3 fois la profondeur de pénétration thermique du matériau formant le milieu analysé. La membrane 18 est présente de préférence une conductivité thermique, de telle sorte que la température de la membrane puisse être considérée comme suivant les évolutions de la température du milieu 2, éventuellement à un décalage temporel près. La membrane est suffisamment fine pour présenter une telle conductivité thermique. Selon ce mode de réalisation, le transducteur 15 est un transducteur thermique : sa fonction est de détecter, et de préférence de quantifier, une modulation périodique de la température de la membrane sous l'effet de l'excitation périodique du milieu 2 par l'onde lumineuse d'excitation 11. Le transducteur 15 comporte une source de lumière auxiliaire 30, un guide d'onde 20, un photodétecteur 36 et un circuit d'asservissement 41 tels que décrits en lien avec le mode de réalisation photoacoustique. Sous l'effet d'un échauffement de la membrane 18, la température du guide d'onde 20 varie. Il en résulte une variation de la longueur d'onde de résonance λr, notamment du fait de la variation des indices de réfraction des matériaux 21, 22 composant le guide d'onde. La variation de la longueur d'onde de résonance sous l'effet de la température peut être explicitée par l'expression : correspond à la température. Lorsque la longueur d'onde λ 32 de la source auxiliaire 32 est égale à 1.55 µm, la sensibilité du transducteur peut être estimée à 11 pm/°C. Lorsqu'on met en oeuvre le mode de réalisation photothermique on peut détecter la présence d'un analyte, voire estimer sa concentration, dans un milieu analysé, en mettant en œuvre les étapes suivantes, représentées sur la figure 7B. Etape 110 : application du dispositif 1 sur le milieu, de telle sorte que la face de contact, en l'occurrence la membrane, soit maintenue contre le milieu ; Etape 120 activation de la source de lumière d'excitation 10, la source de lumière d'excitation émettant une onde lumineuse d'excitation 11, à une fréquence d'excitation dans une longueur d'onde correspondant à une longueur d'onde d'absorption λ 4 de l'analyte ; Etape 135 : sous l'effet de l'illumination du milieu par l'onde lumineuse d'excitation, échauffement périodique du milieu 2, se propageant, par diffusion thermique, jusqu'à la membrane 18 ; de telle sorte que la fréquence de résonance λ r du guide d'onde 20 du transducteur est modulée périodiquement selon une fréquence de modulation égale à la fréquence d'excitation Etape 140 : détermination, par le circuit d'asservissement 41, d'une modulation temporelle d'une longueur d'onde de résonance λ r du guide d'onde 20, à la fréquence d'excitation , la longueur d'onde de résonance correspondant à un pic de transmission du guide d'onde, la modulation ; Etape 155 : en fonction de la variation temporelle déterminée par le circuit d'asservissement, calcul d'une amplitude de variation de la longueur d'onde de résonance Etape 165 : détection de la présence de l'analyte dans le milieu et/ou estimation d'une concentration d'analyte en fonction de la variation. La détection de la présence d'analyte ou l'estimation de la concentration peut être effectuée en prenant en compte une calibration, effectuée en mettant en œuvre un échantillon de calibration, représentatif du milieu 2, comportant une quantité d'analyte connue. L'invention pourra être mise en œuvre sur des échantillons gazeux, liquides ou solides, dans des applications de détection d'analyte dans les domaines de l'environnement, de l'industrie, par exemple l'industrie agroalimentaire, ou le domaine biomédical. Dispositif de détection (1, 1'), destiné à être appliqué, par une face de contact (3), contre un milieu à analyser (2), le milieu analysé étant susceptible de comporter un analyte (4), absorbant la lumière selon au moins une longueur d'onde d'absorption, le dispositif comportant : une ouverture (13), ménagée dans la face de contact (3) ; une source de lumière d'excitation (10), configurée pour émettre une onde lumineuse d'excitation (11) impulsionnelle ou modulée en amplitude, à une fréquence d'excitation ( ), dans une bande spectrale d'excitation (Δλ 11 ) comportant la longueur d'onde d'absorption, le dispositif étant agencé de telle sorte que l'onde lumineuse d'excitation (11) se propage à travers l'ouverture (13), vers le milieu analysé ; un transducteur (15), destiné à mesurer une réponse du milieu suite à une absorption, par l'analyte, d'une partie de l'onde lumineuse d'excitation (11) ; le dispositif étant caractérisé en ce que le transducteur (15) comporte : une membrane (18), supportant un guide d'onde (20) ; le guide d'onde comportant un premier réflecteur (24 1 ), et un deuxième réflecteur (24 2 ), chaque réflecteur réfléchissant la lumière dans une bande spectrale de réflexion (Δλ 20 ), le premier réflecteur et le deuxième réflecteur étant espacés l'un de l'autre, pour former une cavité optique résonante (26), la cavité optique résonante définissant une longueur d'onde de résonance (λ r ), dans la bande spectrale de réflexion ; de telle sorte que le guide d'onde : transmet la lumière à la longueur d'onde de résonance (λ r ); réfléchit la lumière, dans la bande spectrale de réflexion (Δλ 20 ), en dehors de la longueur d'onde de résonnance ; le transducteur comportant également: une source de lumière auxiliaire (30) laser, configurée pour émettre une onde lumineuse auxiliaire (32), dans la bande spectrale de réflexion (Δλ 20 ), dans le guide d'onde ; un photodétecteur (36), agencé pour détecter une onde lumineuse transmise (34) par le guide d'onde à la longueur d'onde de résonance (λ r ); un circuit d'asservissement (41), relié au photodétecteur (36), et configuré pour déterminer une modulation temporelle périodique (λ r (t)) de la longueur d'onde de résonance de la cavité optique résonante (26). Dispositif selon la revendication 1, comportant une unité de traitement (42), reliée au circuit d'asservissement, et configurée pour : estimer une amplitude ( ) de la modulation temporelle de la longueur d'onde de résonance (λ r ); détecter la présence de l'analyte dans le milieu (2) en fonction de l'amplitude estimée. Dispositif selon la revendication 2, dans lequel l'unité de traitement est configurée pour estimer une concentration de l'analyte dans le milieu (2) en fonction de l'amplitude ( ) estimée. Dispositif (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, comportant une cavité creuse (16), débouchant sur l'ouverture (13), le transducteur étant relié à la cavité creuse, et dans lequel le transducteur (15) est un transducteur acoustique, configuré pour détecter une amplitude d'une onde photoacoustique (6), se propageant depuis l'ouverture, à travers la cavité creuse, de telle sorte que sous l'effet de l'illumination du milieu par l'onde lumineuse d'excitation (11), la membrane (18) vibre selon la fréquence d'excitation ( ), entraînant la modulation temporelle de la longueur d'onde de résonance ( ), à une fréquence de modulation ( ) égale à la fréquence d'excitation. Dispositif selon la revendication 4, dans lequel la membrane (18) s'étend parallèlement à la face de contact (3). Dispositif selon l'une quelconque des revendications 4 ou 5 dans lequel la membrane délimite une partie de la cavité creuse (16). Dispositif (1') selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel la membrane (18) du transducteur (15) forme la face de contact (3) du dispositif, destinée à être appliquée au contact du milieu (2), l'ouverture (13) s'étend à travers la membrane (20) ; le transducteur (15) est un transducteur thermique, de telle sorte que sous l'effet de l'illumination du milieu par l'onde lumineuse d'excitation (11), la température de la membrane suit une variation temporelle périodique, entraînant la modulation temporelle périodique de la longueur d'onde de résonance (λ r ). Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel au moins un réflecteur, ou chaque réflecteur, est un miroir de Bragg, formé par une modulation périodique d'un indice de réfraction le long du guide d'onde. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le circuit d'asservissement (41) comporte une boucle d'asservissement, reliée à la source de lumière auxiliaire (30), et configurée pour asservir la longueur d'onde (λ 32 ) de l'onde lumineuse (32) émise par la source de lumière auxiliaire (30) sur la longueur d'onde de résonance (λ r ) de la cavité optique résonante (26). Dispositif selon la revendication 9, dans lequel le circuit d'asservissement (41) met en œuvre un asservissement de type Pound-Drever-Hall. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel : le premier réflecteur (24 1 ) est un premier miroir de Bragg ; le deuxième réflecteur (24 2 ) est un deuxième miroir de Bragg ; le premier miroir de Bragg et le deuxième miroir de Bragg forment un même miroir de Bragg comportant un défaut (25), le premier miroir de Bragg et le deuxième miroir de Bragg correspondant aux parties du miroir de Bragg s'étendant respectivement de part et d'autre du défaut. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel : la membrane (18) présente, sous l'effet de la vibration, au moins un ventre de vibration l'amplitude de vibration étant maximale au niveau de chaque ventre de vibration ; le guide d'onde (20) s'étend au niveau d'au moins un ventre de vibration. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le guide d'onde (20) est formé directement sur la membrane. Dispositif selon la revendication 13, dans lequel le premier réflecteur et le deuxième réflecteur sont obtenus par incription du guide d'onde par un faisceau laser, de façon à obtenir une modulation périodique de l'indice de réfraction dans le guide d'onde. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le guide d'onde (20) est une fibre optique microstructurée déposée sur la membrane. Procédé de détection d'un analyte (4) dans un milieu (2), l'analyte (4) absorbant la lumière selon au moins une longueur d'onde d'absorption, le procédé comportant les étapes suivantes : application d'un dispositif (1, 1') selon l'une quelconque des revendications précédentes contre le milieu (2), de telle sorte que la face de contact (3) du dispositif soit maintenue contre le milieu ; activation de la source de lumière d'excitation (10), la source de lumière d'excitation émettant une onde lumineuse d'excitation (11), impulsionnelle ou modulée en amplitude, selon une fréquence d'excitation ( ), dans une longueur d'onde correspondant à une longueur d'onde d'absorption de l'analyte ; détermination, par le circuit d'asservissement (41), d'une modulation périodique d'une longueur d'onde de résonance (λ r ) du guide d'onde (20) du transducteur (15), à une fréquence de modulation correspondant à la fréquence d'excitation, la longueur d'onde de résonance correspondant à un pic de transmission du guide d'onde ; en fonction de la modulation périodique déterminée par le circuit d'asservissement, détection de la présence de l'analyte dans le milieu. Procédé selon la revendication 16, dans lequel le dispositif est un dispositif (1) selon l'une quelconque des revendications 4 à 6, le procédé comportant : suite à l'étape b), un échauffement périodique du milieu (2), selon la fréquence d'excitation ( ), entraînant une émission d'une onde photoacoustique (6), se propageant à travers la cavité creuse (16), sous l'effet de laquelle la membrane (18) du transducteur (15) vibre à la fréquence d'excitation ( ), de telle sorte que la fréquence de résonance (λ r ) du guide d'onde (20) du transducteur est modulée selon une fréquence de modulation ( ) égale à la fréquence d'excitation ( ) ; lors de l'étape d) : une estimation d'une amplitude ( ) de la modulation périodique de la longueur d'onde de résonnance, à la fréquence de modulation ( ); une détection de la présence d'analyte en fonction de l'amplitude estimée. Procédé selon la revendication 16, dans lequel le dispositif est un dispositif (1') selon la revendication 7, le procédé comportant : suite à l'étape b), un échauffement périodique du milieu (2), selon la fréquence d'excitation, entraînant un échauffement périodique (5) de la membrane (18) à la fréquence d'excitation ( ), de telle sorte que la fréquence de résonance (λ r ) du guide d'onde (20) du transducteur est modulée selon une fréquence de modulation ( ) correspondant à la fréquence d'excitation; lors de l'étape d) : une estimation d'une amplitude de la modulation périodique de la longueur d'onde de résonnance à la fréquence de modulation; une détection de la présence d'analyte en fonction de l'amplitude estimée. Procédé selon l'une quelconque des revendications 16 à 18, dans lequel l'étape d) comporte également une estimation d'une concentration de l'analyte dans le milieu analysé. Procédé de fabrication d'un dispositif selon la revendication 13, comportant : dépôt d'une couche mince d'un premier matériau sur une membrane, de façon à former un guide d'onde ; inscription du guide d'onde par un faisceau laser femtoseconde, de façon à obtenir une modulation périodique d'un indice de réfraction du guide d'onde.