Brevet FR3101941A1 — publié le 20210416

Titre : Procédé de fabrication d’un étalon de rugosité de contour L’invention concerne notamment un procédé de fabrication d’un étalon de rugosité de contour comprenant les étapes suivantes : définir (10) une densité spectrale de puissance souhaitée PSD souhaitée pour la rugosité d’un contour d’au moins un motif donné, fabriquer (20) au moins un motif de référence à partir d’un dessin de référence de l’au moins un motif donné et avec des conditions données de fabrication F référence , le dessin de référence présentant une rugosité nulle, effectuer une mesure (21) M référence , avec des conditions de mesure E référence , de la rugosité du motif de référence fabriqué, sur la base de la mesure M référence , calculer (22) la densité spectrale de puissance PSD référence de la rugosité du motif de référence fabriqué; calculer (30) une densité spectrale de puissance corrigée PSD corrigée telle que PSD corrigée = PSD souhaitée - PSD référence , définir (40) un dessin corrigé présentant une rugosité respectant la PSD corrigée , fabriquer (50) au moins un motif étalon à partir dudit dessin corrigé, et avec lesdites conditions données de fabrication F référence . Figure pour l’abrégé : Fig. 8 Procédé de fabrication d’un étalon de rugosité de contour La présente invention concerne le domaine de la fabrication d’étalons de rugosité. Elle trouve notamment pour application particulièrement avantageuse le domaine de la calibration des équipements de fabrication de dispositifs de taille micrométrique ou nanométrique. Elle trouve également pour application le test ou la comparaison des performances en termes de rugosité de techniques ou d’équipements servant à réaliser de tels dispositifs de taille micrométrique ou nanométrique. L’invention s’avère particulièrement avantageuse dans les domaines technologiques de la microélectronique, des micro et nanotechnologies ainsi que de la photonique. ÉTAT DE LA TECHNIQUE Dans de nombreux domaines technologiques, par exemple impliquant des motifs de taille micro ou nanométrique, la rugosité des contours des motifs est un paramètre important. Par exemple, dans le cas de la réalisation de lignes, le motif formé par chaque ligne présente des flancs dont la rugosité varie le long de la ligne. La figure 1 illustre en perspective un réseau de motifs 1, chaque motif 1 formant une ligne en trois dimensions (3D) présentant deux flancs 2. Dans ce type de réseau, on cherche à maîtriser plusieurs dimensions critiques, telle que la largeur (CD largeur ) d’une ligne, l’espace (CD espace ) entre deux lignes adjacentes ou le pas (Pitch) du réseau qui est lié aux deux dimensions précédentes. Ces dimensions critiques CD largeur , CD espace et Pitch sont illustrées en figure 2 qui est une vue du dessus du réseau illustré en figure 1, dans un cas idéal. Tout procédé induit de la rugosité de ligne plus généralement désignée rugosité de contour. Cette rugosité est un défaut de type aléatoire propre à chaque équipement, au procédé mis en œuvre et aux matériaux utilisés par exemple. Ainsi il n’est pas possible de déterminer un déplacement ou un changement de la taille de ligne à un endroit donné. La figure 3 est une vue du dessus du réseau illustré en figure 1 et qui illustre de manière schématique la rugosité de ligne, c’est-à-dire le changement de largeur de ligne ou localement de sa position, tout le long de celle-ci. Il existe un besoin général consistant à mieux contrôler la rugosité des lignes ou plus généralement la rugosité des contours réalisés. La mesure de rugosité le long d’un contour tel qu’une ligne de dimension micro ou nanométrique se fait généralement avec un microscope électronique à balayage (MEB). D’autres techniques existent pour réaliser de telles mesures. L’accumulation de mesures le long du contour mène à l’obtention d’une densité spectrale de puissance, habituellement désignée par le vocable anglais « Power Spectral Density ». Dans la suite de la description, une densité spectrale de puissance sera désignée par l’acronyme PSD. Dans le domaine de la mesure de rugosité, la PSD est une représentation statistique de l’importance de la rugosité pour chacune des fréquences spatiales analysées. La figure 4 illustre une PSD. L’axe des abscisses représente le nombre d’onde Kn qui est lié à la fréquence spatiale des rugosités. L’axe des ordonnées, correspondant à la puissance, exprime l’amplitude et la redondance de chacune des fréquences ou nombre d’onde. La PSD de la figure 4 été obtenue après extraction du bord de six lignes sur une image issue d’un microscope électronique à balayage, l’image présentant une longueur de 2µm (10 -6 mètres) avec une taille de pixel de 0.8nm (10 - 9 mètres). La taille de pixel étant ici le pas entre chaque prise de mesure ou la résolution d’amplitude de variations détectables. L’obtention d’une PSD est connue de l’homme du métier. Pour obtenir des points de mesure d’un contour et calculer une PSD à partir de ce dernier on pourra par exemple se référer à la publication suivante : Bunday, B. D., Bishop, M., Villarrubia, J. S. and Vladar, A. E., “CD-SEM measurement line-edge roughness test patterns for 193-nm lithography,” Microlithogr. 2003, 674–688, International Society for Optics and Photonics (2003). Comme indiqué ci-dessus, la rugosité de ligne est un défaut de type aléatoire et il n’est pas possible de déterminer un déplacement ou un changement de la taille d’une ligne exactement à un endroit donnée du contour. Cependant la PSD est le reflet statistique des fluctuations du bord du contour. Il est aujourd’hui possible de créer des dessins de rugosité à partir d’un modèle mathématique de PSD. Un exemple de dessin est illustré en figure 5. L’équation ci-dessous est un exemple d’un tel modèle mathématique, qui a été décrit dans la publication Reche, J., Besacier, M., Gergaud, P. and Blancquaert, Y., “Manufacturing of roughness standard samples based on ACF/PSD model programming,” 34th Eur. Mask Lithogr. Conf., U. F. Behringer and J. Finders, Eds., 50, SPIE, Grenoble, France (2018) mentionnée ci-dessus. Cette équation est une PSD obtenue sur la base de la fonction d’autocorrélation avec trois paramètres : α le facteur de rugosité, ξ la longueur de corrélation, σ la déviation standard et où N est le nombre de points, Δy l’écart entre les points et kn le nombre d’onde. Lorsque le dessin défini à partir d’une PSD est reproduit réellement, par exemple par lithographie, la rugosité finale obtenue sur ce motif réel n’est pas celle du dessin souhaité. Cela est notamment dû au fait que le procédé a inévitablement une rugosité naturelle, i.e., la rugosité induite par le procédé sans ajout de rugosité programmée. La figure 6 illustre cette problématique. Comme illustré sur cette figure 6, après avoir défini une PSD souhaitée (étape 10), on définit un dessin correspondant à cette PSD souhaitée (étape 11), c’est-à-dire un dessin dont le bord du contour présente une fluctuation qui respecte la distribution induite par la PSD. On fabrique ensuite les motifs sur la base de ce dessin souhaité (étape 12). Ensuite, on mesure M1 la rugosité des motifs fabriqués (étape 13). Du fait de la rugosité naturelle liée au procédé de fabrication, la rugosité des motifs fabriqués est différente de la rugosité souhaitée. Il s’ensuit que la PSD calculée sur la base des mesures M1 de rugosité effectuée sur les motifs fabriqués est différente de la PSD souhaitée (étape 14). Un objectif de la présente invention est donc de proposer une solution permettant de limiter, voire de supprimer, au moins certains des inconvénients des solutions connues. En particulier, un objectif de l’invention serait de parvenir à fabriquer un étalon de rugosité présentant des caractéristiques prédéterminées en termes de rugosité. Un autre objectif de la présente invention serait de proposer une méthode permettant de tester ou de comparer les performances en termes de rugosité avec une plus grande simplicité et/ou une plus grande fiabilité. Les autres objets, caractéristiques et avantages de la présente invention apparaîtront à l'examen de la description suivante et des dessins d'accompagnement. Il est entendu que d'autres avantages peuvent être incorporés. RÉSUMÉ Pour atteindre cet objectif, selon un mode de réalisation on prévoit un procédé de fabrication d’un étalon de rugosité de contour comprenant les étapes suivantes : définir une densité spectrale de puissance souhaitée PSD souhaitée pour la rugosité d’un contour ; fabriquer au moins un motif de référence à partir d’un dessin de référence de l’au moins un motif donné, le dessin de référence présentant une rugosité nulle ; effectuer une mesure M référence de la rugosité du motif de référence fabriqué ; sur la base de la mesure M référence , calculer (22) la densité spectrale de puissance PSD référence de la rugosité du motif de référence fabriqué calculer une densité spectrale de puissance corrigée PSD corrigée telle que PSD corrigée = PSD souhaitée - PSD référence ; définir un dessin corrigé présentant une rugosité respectant la PSD corrigée . Il est alors possible de fabriquer au moins un motif étalon à partir dudit dessin corrigé, c’est-à-dire en prenant pour consigne ce dessin corrigé, et avec lesdites conditions données de fabrication F référence . Ainsi, la rugosité naturelle induite par les conditions de fabrication sont prises en compte en amont, lors de la création du dessin qui va servir à fabriquer l’étalon. La rugosité finale de l’étalon fabriqué correspond alors à la rugosité souhaitée. Plus précisément, on observe que pour l’étalon fabriqué la distribution de la fluctuation des bords du contour en fonction des fréquences spatiales correspond à la PSD souhaitée. Ainsi, l’invention permet de fabriquer des motifs dont la rugosité correspond à la PSD souhaitée. Par ailleurs, afin d’effectuer le calibrage ou le test d’un équipement de mesure, il suffit que cet équipement mesure le motif étalon dont la rugosité est connue. L’invention permet de simplifier et de réduire la durée des procédés de calibrage ou de tests par rapport aux solutions connues qui nécessitent la mesure à la fois des motifs de référence et des motifs fabriqués sur la base de la PSD souhaitée. En outre, l’invention présente également comme avantage significatif d’être plus fiable que les solutions connues. En effet, avec les solutions connues, les tests de capacité de résolution des équipements de mesure sont souvent faussés. En effet, avec la solution de l’art antérieur décrite ci-dessus et illustrée en figure 7, l’équipement de mesure de rugosité doit effectuer la mesure M1 qui dépend de la rugosité du dessin souhaité additionnée de la rugosité naturelle. Or, la sensibilité d’un équipement en termes de rugosité n’est pas forcément linéaire. Ainsi, il peut-être plus simple de détecter la rugosité « A » additionnée d’une rugosité « B » que la rugosité « A » mesurée seule. Avec la solution illustrée en figures 7, l’équipement mesure uniquement les rugosités A+B sans jamais mesurer la rugosité A seule. Cela conduit à fausser le test de la capacité de résolution de l’équipement de mesure sur la rugosité A. Au contraire, l’invention permet de fabriquer un motif étalon présentant la rugosité A. L’équipement mesurera cette rugosité A. Le test de capacité ne sera donc pas faussé. De manière facultative, le procédé peut en outre présenter au moins l’une quelconque des caractéristiques suivantes : Selon un exemple, la PSD souhaitée est définie de sorte que pour chaque fréquence ou nombre d’onde de la PSD souhaitée : PSD souhaitée ≥ PSD référence . Selon un exemple, le procédé comprend également une étape de fabrication du motif de référence à partir d’un dessin de référence d’un motif donné est effectuée avec des conditions données de fabrication F référence . Selon un exemple, le procédé comprend également une étape de mesure M référence de la rugosité du motif de référence est effectuée avec des conditions de mesure E référence . Selon un exemple, le contour est une ligne droite ou une pluralité de lignes droites. Selon un exemple, la PSD exprime ou conditionne la rugosité de largeur de ligne (Line Width Roughness - LWR). Selon un exemple, la PSD exprime ou conditionne la rugosité de bord de ligne (Line Edge Roughness – LER). Selon un exemple, l’au moins un motif forme un réseau de lignes parallèles. Selon un exemple, le contour est une ligne courbe. Selon un exemple, le contour est une ligne courbe entièrement fermée ou dont une partie seulement est fermée. Selon un exemple, l’au moins un motif forme par exemple au moins l’un parmi un trou, un plot et un pylône. Selon un mode de réalisation, le procédé comprend en outre l’étape suivante: Effectuer une mesure M1, avec des conditions de mesure E1 différentes des conditions de mesure de E référence , de la rugosité du motif étalon fabriqué. Selon un exemple, la mesure M1 de la rugosité du motif étalon fabriqué est effectuée avec des conditions de mesure E1 qui différent des conditions de mesure de E référence par au moins l’un des paramètres suivants : équipement de mesure utilisé, fréquence d’échantillonnage, longueur mesurée ou longueur spatiale de la mesure (taille le long de la ligne), vitesse de mesure, nombre de contours mesurés. Selon un exemple, le procédé comprend en outre l’étape suivante : sur la base de la mesure M1, calculer la densité spectrale de puissance PSD test 1 de la rugosité du motif étalon fabriqué ; comparer PSD test1 et PSD souhaitée . Selon un autre mode de réalisation, le procédé comprend en outre les étapes suivantes : fabriquer au moins un motif test à partir dudit dessin corrigé (c’est-à-dire en prenant pour consigne ce dessin corrigé) et avec des conditions de fabrication F2 différentes des conditions de fabrication F référence ; effectuer une mesure M2, avec les conditions de mesure E référence , dela rugosité du motif test fabriqué avec les conditions de fabrication F2 : sur la base de la mesure M2, calculer la densité spectrale de puissance PSD test2 de la rugosité du motif test fabriqué avec les conditions de fabrication F2 ; comparer PSD test2 et PSD souhaitée . Un autre aspect concerne un procédé de test des performances des conditions de mesure de rugosité d’un contour d’un motif. Ce procédé comprend les étapes suivantes : fabriquer un étalon de rugosité de contour en effectuant les étapes suivantes : définir une densité spectrale de puissance souhaitée PSD souhaitée pour la rugosité du contour de l’au moins un motif donné, fabriquer au moins un motif de référence à partir d’un dessin de référence de l’au motif donné et avec des conditions données de fabrication F référence , le dessin de référence présentant une rugosité nulle, effectuer une mesure M référence , avec des conditions de mesure E référence , de la rugosité du motif de référence fabriqué, sur la base de la mesure M référence , calculer la densité spectrale de puissance PSD référence de la rugosité du motif de référence fabriqué ; calculer une densité spectrale de puissance corrigée PSD corrigée telle que PSD corrigée = PSD souhaitée - PSD référence , définir un dessin corrigé présentant une rugosité respectant la PSD corrigée , fabriquer au moins un motif étalon à partir dudit dessin corrigé et avec lesdites conditions données de fabrication F référence , effectuer une mesure M1, avec des conditions de mesure E1 différentes de E référence , la rugosité du motif étalon fabriqué, sur la base de la mesure M1, calculer la densité spectrale de puissance PSD test1 de la rugosité du motif étalon fabriqué. Cette comparaison permet de tester les performances en termes de mesure des conditions E1 ou de comparer ces performances à celles des conditions de mesure E référence . Par exemple, dans le but de tester la précision d’un équipement de mesure EM1, les conditions E1 se basent sur l’équipement de mesure EM référence différent de l’équipement de mesure EM1 utilisé dans les conditions de mesure E référence . De même, on peut modifier la fréquence d’échantillonnage de mesure entre les conditions E1 et E référence afin d’estimer le gain ou la perte de précision en fonction de la variation de la fréquence d’échantillonnage. Il est ainsi possible de sélectionner les conditions de mesure les plus pertinentes. Par ailleurs, il est également possible de calibrer un équipement de mesure donnée pour l’amener à une performance souhaitée, par exemple identique à d’autres équipements. Selon un mode de réalisation l’équation ci-dessous est utilisée pour calculer la PSD : Dans cette équation, α est le facteur de rugosité, ξ est la longueur de corrélation, σ est la déviation standard, N est le nombre de points, Δy est l’écart entre les points et kn est le nombre d’onde. De manière facultative, ce procédé de test des performances des conditions de mesure de rugosité d’un contour d’un motif peut présenter au moins l’une quelconque des caractéristiques suivantes prises séparément ou en combinaison : Selon un exemple, le procédé comprend en outre une étape consistant à comparer PSD test1 et PSD souhaitée et de préférence à calculer Δ = PSD test1 - PSD souhaitée . Selon un exemple, on effectue au moins une fois la séquence suivante d’étapes : effectuer une mesure M1’, avec des conditions de mesure E2’ différentes de E2 et E1, de la rugosité du motif étalon fabriqué, sur la base de la mesure M1’, calculer la densité spectrale de puissance PSD test1 ‘ de la rugosité du motif étalon fabriqué, comparer PSD test1‘ et PSD souhaitée . Ainsi, en adaptant les conditions de mesure puis en réitérant cette séquence d’étapes, jusqu’à obtenir Δ = PSD test 1’ - PSD souhaitée = 0 ou Δ ≤ Seuil prédéterminé, il est possible de calibrer un équipement de mesure ou plus généralement des conditions de mesure. Un autre aspect concerne un procédé de fabrication des performances des conditions de fabrication d’un motif. Ce procédé comprend les étapes suivantes : fabriquer un étalon de rugosité de contour en effectuant les étapes suivantes : définir une densité spectrale de puissance souhaitée PSD souhaitée pour la rugosité d’un contour d’au moins un motif donné, fabriquer au moins un motif de référence à partir d’un dessin de référence de l’au motif donné et avec des conditions données de fabrication F référence , le dessin de référence présentant une rugosité nulle, effectuer une mesure M référence , avec des conditions de mesure E référence , de la rugosité du motif de référence fabriqué, sur la base de la mesure M référence , calculer la densité spectrale de puissance PSD référence de la rugosité du motif de référence fabriqué ; calculer une densité spectrale de puissance corrigée PSD corrigée telle que PSD corrigée = PSD souhaitée - PSD référence , définir un dessin corrigé présentant une rugosité respectant la PSD corrigée , fabriquer au moins un motif étalon à partir dudit dessin corrigé et avec lesdites conditions données de fabrication F référence , fabriquer au moins un motif test à partir dudit dessin corrigé et avec des conditions de fabrication F2 différentes des conditions données de fabrication F référence , effectuer une mesure M2, avec les conditions de mesure E référence , dela rugosité du motif test fabriqué avec les conditions de fabrication F2, sur la base de la mesure M2, calculer la densité spectrale de puissance PSD test2 de la rugosité du motif test fabriqué avec les conditions de fabrication F2, comparer PSD test2 et PSD souhaitée . Cela permet de tester, comparer ou calibrer des conditions de fabrication. Par exemple, il est alors également possible de modifier les conditions F2 afin d’amener un équipement de fabrication à générer la rugosité correspondant à une PSD souhaitée . De manière particulièrement avantageuse, cela permet également d’homogénéiser les paramètres de rugosité induits par un parc d’équipements. Typiquement, si un premier équipement d’un parc d’équipements induit une rugosité inférieure aux autres équipements du même parc, il est possible de ramener ce premier équipement au niveau du reste du parc. Ainsi, les dispositifs et motifs produits par l’ensemble des équipements du parc présenteront les mêmes paramètres en termes de rugosité. On peut ainsi réaliser des rugosités de ligne fonctionnelles. Dans ce cas, la rugosité peut, par exemple, permettre de changer l’énergie de surface et donc les forces de liaison à l’interface entre deux pièces en contact. De manière facultative, ce procédé de test des performances des conditions de fabrication d’un motif peut présenter au moins l’une quelconque des caractéristiques suivantes prises séparément ou en combinaison : Selon un exemple, les conditions de fabrication F2 diffèrent des conditions de fabrication F référence par au moins l’un des paramètres suivants : équipement de fabrication utilisé, paramétrage d’un équipement donné, matériaux composants le motif, solution de gravure utilisée. On peut également effectuer une étape consistant à comparer PSD test 2 et PSD souhaitée et à calculer Δ = PSD test 2 - PSD souhaitée . Selon un exemple, on effectue au moins une fois la séquence suivante d’étapes : modifier les conditions de fabrication F2’ telles que F2 et F2’ soient différentes puis, effectuer une mesure M2’, avec les conditions de mesure E référence , de la rugosité du motif test fabriqué, sur la base de la mesure M2’, calculer la densité spectrale de puissance PSD test2’ de la rugosité du motif test fabriqué, comparer PSD test2‘ et PSD souhaitée . Un autre aspect concerne un produit programme d’ordinateur, de préférence enregistré sur un support non transitoire, comprenant des instructions, qui lorsqu’elles sont effectuées par au moins l’un parmi un processeur et un ordinateur, font que l’au moins un parmi le processeur et l’ordinateur exécute au moins les étapes suivantes du procédé selon l’invention : définir une densité spectrale de puissance souhaitée PSD souhaitée pour la rugosité du contour d’au moins un motif donné, sur la base de la mesure M référence , calculer la densité spectrale de puissance PSD référence de la rugosité du motif de référence fabriqué; calculer une densité spectrale de puissance corrigée PSD corrigée telle que PSD corrigée = PSD souhaitée - PSD référence , définir un dessin corrigé présentant une rugosité respectant la PSD corrigée , fournir le dessin corrigé à un équipement de fabrication. Un autre aspect concerne un équipement de fabrication de motifs de taille micrométrique ou nanométrique, configuré pour effectuer les étapes suivantes : optionnellement, recevoir les caractéristiques géométriques d’un contour d’au moins un motif donné, recevoir les informations relatives à une densité spectrale de puissance souhaitée PSD souhaitée pour la rugosité d’un contour d’au moins un motif donné, fabriquer au moins un motif de référence à partir d’un dessin de référence de l’au motif donné, le dessin de référence présentant une rugosité nulle et avec des conditions données de fabrication, effectuer une mesure M référence , avec des conditions de mesure E1, de la rugosité du motif de référence fabriqué, sur la base de la mesure M référence , calculer la densité spectrale de puissance PSD référence de la rugosité du motif de référence fabriqué; calculer une densité spectrale de puissance corrigée PSD corrigée telle que PSD corrigée = PSD souhaitée - PSD référence , définir un dessin corrigé présentant une rugosité respectant la PSD corrigée , fabriquer au moins un motif étalon à partir dudit dessin corrigé et avec lesdites conditions données de fabrication F référence . BRÈVE DESCRIPTION DES FIGURES Les buts, objets, ainsi que les caractéristiques et avantages de l’invention ressortiront mieux de la description détaillée d’un mode de réalisation de cette dernière qui est illustré par les dessins d’accompagnement suivants dans lesquels : La figure 1 représente de manière schématique et en perspective un réseau de motifs, ici de lignes droites. La figure 2 représente en vue du dessus le réseau de la figure 1 dans un cas idéal, c’est-à-dire sans rugosité de ligne. La figure 3 représente de manière schématique, en vue du dessus le réseau de la figure 1, avec une rugosité de ligne non nulle. La figure 4 est une illustration d’un exemple de densité spectrale de puissance (PSD) pour une rugosité de ligne. La figure 5 est un exemple de dessin d’un motif présentant une rugosité, ce dessin respectant la distribution induite par une PSD. La figure 6 illustre les étapes d’une première méthode connue pour réaliser des motifs. La figure 7 illustre les étapes d’une deuxième méthode connue pour réaliser des motifs. La figure 8 illustre les étapes principales d’un exemple de procédé selon l’invention. Les figures 9A à 9C illustrent sous forme de PSD quelques étapes d’un exemple de procédé selon l’invention. La figure 10 est un graphe illustrant une PSD souhaitée et une PSD effectivement obtenue en mettant en œuvre un procédé selon l’invention. Les dessins sont donnés à titre d'exemples et ne sont pas limitatifs de l’invention. Ils constituent des représentations schématiques de principe destinées à faciliter la compréhension de l’invention et ne sont pas nécessairement à l'échelle des applications pratiques. En particulier les dimensions respectives des motifs et des rugosités illustrées ne sont pas représentatives de la réalité. Procédé de fabrication d’un étalon de rugosité de contour comprenant les étapes suivantes : définir (10) une densité spectrale de puissance souhaitée PSD souhaitée d’une rugosité d’un contour, fabriquer (20) un motif de référence à partir d’un dessin de référence d’un motif donné, le dessin de référence présentant une rugosité nulle, effectuer une mesure (21) M référence de la rugosité du motif de référence, Sur la base de la mesure M référence , calculer (22) la densité spectrale de puissance PSD référence de la rugosité du motif de référence fabriqué; calculer (30) une densité spectrale de puissance corrigée PSD corrigée telle que PSD corrigée = PSD souhaitée - PSD référence , définir (40) un dessin corrigé présentant une rugosité respectant la PSD corrigée , fabriquer (50) un motif étalon à partir dudit dessin corrigé, et avec lesdites conditions données de fabrication F référence . Procédé selon la revendication précédente dans lequel la PSD souhaitée est définie de sorte que pour chaque fréquence ou nombre d’onde de la PSD souhaitée : PSD souhaitée ≥ PSD référence . Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes dans lequel le contour comprend au moins l’une parmi : une ligne droite, l’au moins un motif donné formant par exemple un réseau de lignes parallèles, une ligne courbe, et de préférence une ligne courbe dont une partie au moins est fermée l’au moins un motif donné formant par exemple au moins l’un parmi un trou, un plot et un pylône. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes dans lequel : l’étape de fabrication (20) du motif de référence à partir d’un dessin de référence d’un motif donné est effectuée avec des conditions données de fabrication F référence , l’étape de mesure (21) M référence de la rugosité du motif de référence est effectuée avec des conditions de mesure E référence . Procédé selon la revendication 4 comprenant en outre l’étape suivante : effectuer une mesure M1 (80), avec des conditions de mesure E1 différentes des conditions de mesure de E référence , de la rugosité du motif étalon fabriqué, et dans lequel les conditions de mesure E1 diffèrent des conditions de mesure de E référence de préférence par au moins l’un des paramètres suivants : équipement de mesure utilisé, fréquence d’échantillonnage, longueur mesurée, vitesse de mesure, nombre de contours mesurés. Procédé selon la revendication précédente comprenant en outre l’étape suivante : sur la base de la mesure M1, calculer la densité spectrale de puissance PSD test 1 de la rugosité du motif étalon fabriqué, comparer PSD test 1 et PSD souhaitée . Procédé selon la revendication 4 comprenant en outre les étapes suivantes : fabriquer au moins un motif test à partir dudit dessin corrigé c’est-à-dire en prenant pour consigne ce dessin corrigé et avec des conditions de fabrication F2 différentes des conditions de fabrication F référence , effectuer une mesure M2, avec les conditions de mesure E référence de la rugosité du motif test fabriqué avec les conditions de fabrication F2, sur la base de la mesure M2, calculer la densité spectrale de puissance PSD test2 de la rugosité du motif test fabriqué avec les conditions de fabrication F2, comparer PSD test 2 et PSD souhaitée . Procédé de test des performances des conditions de mesure de rugosité de contour d’un motif comprenant les étapes suivantes : fabriquer un étalon de rugosité de contour en effectuant les étapes suivantes : définir (10) une densité spectrale de puissance souhaitée PSD souhaitée pour la rugosité d’un contour d’au moins un motif donné, fabriquer (20) au moins un motif de référence à partir d’un dessin de référence de l’au motif donné et avec des conditions données de fabrication F référence , le dessin de référence présentant une rugosité nulle, effectuer une mesure (21) M référence de la rugosité du motif de référence fabriqué avec des conditions de mesure E référence , sur la base de la mesure M référence , calculer (22) la densité spectrale de puissance PSD référence de la rugosité du motif de référence fabriqué ; calculer (30) une densité spectrale de puissance corrigée PSD corrigée telle que PSD corrigée = PSD souhaitée - PSD référence , définir (40) un dessin corrigé présentant une rugosité respectant la PSD corrigée , fabriquer (50) au moins un motif étalon à partir dudit dessin corrigé et avec lesdites conditions données de fabrication F référence , effectuer une mesure (80) M1, avec des conditions de mesure E1 différentes de E référence , de la rugosité du motif étalon fabriqué, sur la base de la mesure M1, calculer (90) la densité spectrale de puissance PSD test 1 de la rugosité du motif étalon fabriqué. Procédé selon la revendication précédente comprenant en outre une étape consistant à comparer PSD test 1 et PSD souhaitée et de préférence à calculer Δ = PSD test 1 - PSD souhaitée . Procédé selon la revendication précédente dans lequel on effectue au moins une fois la séquence suivante d’étapes : effectuer une mesure (80) M1’, avec des conditions de mesure E2’ différentes de E2 et E1, de la rugosité du motif étalon fabriqué, sur la base de la mesure M1’, calculer la densité spectrale de puissance PSD test 1 ‘ de la rugosité du motif étalon fabriqué, comparer PSD test 1 ‘ et PSD souhaitée . Procédé de test des performances des conditions de fabrication d’un motif présentant un contour, le procédé comprenant les étapes suivantes : fabriquer un étalon de rugosité de contour en effectuant les étapes suivantes : à partir des caractéristiques géométriques d’un contour d’au moins un motif donné, définir (10) une densité spectrale de puissance souhaitée PSD souhaitée pour la rugosité du contour de l’au moins un motif donné, fabriquer (20) au moins un motif de référence à partir d’un dessin de référence de l’au motif donné et avec des conditions données de fabrication F référence , le dessin de référence présentant une rugosité nulle, effectuer une mesure (21) M référence de la rugosité du motif de référence fabriqué avec des conditions de mesure E référence , sur la base de la mesure M référence , calculer (22) la densité spectrale de puissance PSD référence de la rugosité du motif de référence fabriqué ; calculer (30) une densité spectrale de puissance corrigée PSD corrigée telle que PSD corrigée = PSD souhaitée - PSD référence , définir (40) un dessin corrigé présentant une rugosité respectant la PSD corrigée , fabriquer (50) au moins un motif étalon à partir dudit dessin corrigé et avec lesdites conditions données de fabrication F référence , fabriquer au moins un motif test à partir dudit dessin corrigé et avec des conditions de fabrication F2 différentes des conditions données de fabrication F référence , effectuer une mesure M2, avec les conditions de mesure E référence , de la rugosité du motif test fabriqué avec les conditions de fabrication F2, sur la base de la mesure M2, calculer la densité spectrale de puissance PSD test2 de la rugosité du motif test fabriqué avec les conditions de fabrication F2, comparer PSD test2 et PSD souhaitée . Procédé selon la revendication précédente dans lequel les conditions de fabrication F2 différent des conditions de fabrication F référence par au moins l’un des paramètres suivants : équipement de fabrication utilisé, paramétrage de l’équipement utilisé le ou les matériaux composants le motif de référence et le motif test, solution de gravure utilisée. Procédé selon la revendication précédente dans lequel on effectue au moins une fois la séquence suivante d’étapes : modifier les conditions de fabrication F2’ telles que F2 et F2’ soient différentes puis, effectuer une mesure M2’, avec les conditions de mesure E référence , de la rugosité du motif test fabriqué, sur la base de la mesure M2’, calculer la densité spectrale de puissance PSD test2’ de la rugosité du motif test fabriqué, comparer PSD test2‘ et PSD souhaitée . Produit programme d’ordinateur, de préférence enregistré sur un support non transitoire, comprenant des instructions, qui lorsqu’elles sont effectuées par au moins l’un parmi un processeur et un ordinateur, font que l’au moins un parmi le processeur et l’ordinateur exécute au moins les étapes suivantes du procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes : définir une densité spectrale de puissance souhaitée PSD souhaitée pour la rugosité du contour d’au moins un motif donné (1), sur la base de la mesure M référence , calculer la densité spectrale de puissance PSD référence de la rugosité du motif de référence fabriqué; calculer une densité spectrale de puissance corrigée PSD corrigée telle que PSD corrigée = PSD souhaitée - PSD référence , définir un dessin corrigé présentant une rugosité respectant la PSD corrigée , fournir le dessin corrigé à un équipement de fabrication. Equipement de fabrication de motifs de taille micrométrique ou nanométrique, configuré pour effectuer les étapes suivantes : recevoir les caractéristiques géométriques d’un contour d’au moins un motif donné, recevoir les informations relatives à une densité spectrale de puissance souhaitée PSD souhaitée pour la rugosité du contour de l’au moins un motif donné, fabriquer au moins un motif de référence à partir d’un dessin de référence de l’au motif donné, le dessin de référence présentant une rugosité nulle et avec des conditions données de fabrication, effectuer une mesure M référence de la rugosité du motif de référence fabriqué avec des conditions de mesure E1, sur la base de la mesure M référence , calculer la densité spectrale de puissance PSD référence de la rugosité du motif de référence fabriqué; calculer une densité spectrale de puissance corrigée PSD corrigée telle que PSD corrigée = PSD souhaitée - PSD référence , définir un dessin corrigé présentant une rugosité respectant la PSD corrigée , fabriquer au moins un motif étalon à partir dudit dessin corrigé et avec lesdites conditions données de fabrication F référence .