Brevet FR3107575A1 — publié le 20210827

Pompe à vide (1) sèche comportant un joint d’étanchéité externe (16) élastique et au moins un joint d’étanchéité interne (17) élastique comprenant respectivement une première et une deuxième parties annulaires d’extrémité (161, 171, 162, 172) parallèles l’une à l’autre et intercalées entre une pièce d’extrémité (9, 10) respective et les demi-coquilles (7, 8) , et deux longerons (163, 173) raccordant les parties annulaires d’extrémité (161, 171, 162, 172) et qui leur sont perpendiculaires, les longerons (163, 173) étant intercalés entre des demi-coquilles (7, 8), le au moins un joint d’étanchéité interne (17) étant agencé à l’intérieur du joint d’étanchéité externe (16) de sorte que le au moins un joint d’étanchéité interne (17) et le joint d’étanchéité externe (16) forment au moins deux barrières d’étanchéité successives pour les gaz. Figure d’abrégé : Figure 1 Pompe à vide sèche La présente invention concerne une pompe à vide sèche. Les pompes à vide de type sèche comportent un ou plusieurs étages de pompage en série dans lesquels circule un gaz à pomper. On distingue parmi les pompes à vide connues, celles à lobes rotatifs également connues sous le nom « Roots » ou celles à bec, également connues sous le nom « Claw ». Ces pompes à vide sont dites « sèches » car en fonctionnement, les rotors tournent à l’intérieur d’un stator sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator, ce qui permet de ne pas utiliser d’huile dans les étages de pompage. On connait par exemple du document US6,572,351B2, une structure de pompe à vide ayant un stator en demi-coquilles assemblées selon une surface d'assemblage longitudinale généralement parallèle aux axes des rotors. La pompe à vide comporte un joint d’étanchéité monobloc ayant deux parties annulaires d’extrémité et deux longerons raccordant les parties annulaires d’extrémité et qui leur sont perpendiculaires. Les deux parties annulaires d’extrémité sont parallèles l’une à l’autre et chacune intercalée entre une pièce d’extrémité et les demi-coquilles. Les longerons sont intercalés entre les demi-coquilles. Ce joint d’étanchéité monobloc assure à la fois l’étanchéité entre les demi-coquilles et l’étanchéité entre les demi-coquilles et les pièces rapportées d’extrémité pour isoler les étages de compression par rapport à l’atmosphère extérieure. Toutefois, dans certains applications de pompage, telles que dans les procédés de pompage utilisés dans l’industrie du semi-conducteur, des écrans plats (« Flat Panel Display » en anglais), du photovoltaïque et des procédés de revêtement (ou « coating » en anglais), les gaz utilisés peuvent être corrosifs notamment les gaz employés au cours des phases de nettoyage des chambres de procédés. C’est le cas notamment des gaz NF 3 , ClF 3 , F 2 , Cl 2 . Ces gaz corrosifs peuvent endommager les joints d’étanchéité situés entre les demi-coquilles. Au-delà des pertes de performances du dispositif de pompage, la dégradation de cette étanchéité peut entrainer des problèmes de sécurité. D’une part, l’oxygène ou la vapeur d’eau de l’air environnant peut entrer dans les chambres de pompage et réagir avec les gaz convoyés, ce qui peut risquer notamment d’enflammer ou de faire exploser les gaz pompés. D’autre part, des gaz toxiques peuvent fuir des chambres de pompage de la pompe à vide vers l’atmosphère, notamment les étages de pompage de haute pression, ce qui présente un risque pour la sécurité des personnes. Pour éviter cela, les pompes à vide présentant une architecture en tranche, dans lesquelles les stators sont constitués de l’assemblage axial de plusieurs éléments de stator, comportent un joint d’étanchéité annulaire comprimé radialement entre les éléments de stator, doublé d’un joint Téflon ® reçu dans la même gorge du joint d’étanchéité annulaire. Le joint Téflon ® se présente sous la forme d’un bandeau de section parallélépipédique qui est écrasé entre les éléments de stator pour réaliser l’étanchéité. Le doublage du joint d’étanchéité annulaire par une barrière Téflon ® permet de sécuriser l’étanchéité à un cout relativement économique. Toutefois cette réalisation, qui convient bien aux pompes à l’architecture en tranches, ne peut pas simplement s’appliquer aux pompes ayant une architecture en demi-coquilles dont l’étanchéité est réalisée par le joint d’étanchéité monobloc décrit plus haut. En effet, on ne sait pas réaliser facilement des joints tridimensionnels en Téflon ® et une barrière Téflon ® réalisée en plusieurs parties qui se rejoindraient par écrasement ne serait pas une solution satisfaisante car l’étanchéité entre les différentes parties ne pourrait pas être garantie sans incursion de gaz du fait des petites surfaces en contact et des propriétés non élastiques du Téflon ®. Par ailleurs, dans le cas où la pièce d’extrémité comporte un nez s’assemblant axialement avec les demi-coquilles, le montage d’une barrière Téflon ® qui n’est ni élastique, ni torique, autour du nez axial, n’est pas non plus une opération aisée. Egalement, l’assemblage dans la direction axiale des demi-coquilles avec les nez des pièces rapportées d’extrémité ne permet pas une compression efficace de la barrière Téflon ®. Un but de la présente invention est de résoudre au moins partiellement un des inconvénients précités. A cet effet, l’invention a pour objet une pompe à vide sèche comportant : - un stator comportant au moins une première et une deuxième demi-coquilles complémentaires et une première et une deuxième pièce d’extrémité, les demi-coquilles et les pièces d’extrémité s’assemblant entre elles par assemblage axial pour former au moins une chambre de pompage d’un étage de pompage, - deux arbres de rotors configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans le au moins un étage de pompage, caractérisée en ce que la pompe à vide comporte en outre : - un joint d’étanchéité externe élastique et au moins un joint d’étanchéité interne élastique comprenant respectivement : - une première et une deuxième parties annulaires d’extrémité parallèles l’une à l’autre et intercalées entre une pièce d’extrémité respective et les demi-coquilles, et - deux longerons raccordant les parties annulaires d’extrémité et qui leur sont perpendiculaires, les longerons étant intercalés entre les demi-coquilles, le au moins un joint d’étanchéité interne étant agencé à l’intérieur du joint d’étanchéité externe de sorte que le au moins un joint d’étanchéité interne et le joint d’étanchéité externe forment au moins deux barrières d’étanchéité successives pour les gaz. Le au moins un joint d’étanchéité interne est plus petit que le joint d’étanchéité externe pour pouvoir être agencé à l’intérieur, en agencement « gigogne ». On peut ainsi doubler, voire tripler, les joints d’étanchéité. Cette multiplication des barrières d’étanchéité permet d’assurer une bonne étanchéité aussi bien depuis l’extérieur vers l’intérieur qu’inversement, et permet l’utilisation de différents matériaux pour chaque joint d’étanchéité pouvant offrir des performances de résistance aux gaz corrosifs et/ou thermiques décroissantes avec l’éloignement des chambres de pompage. La pompe à vide peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prise seule ou en combinaison. Le joint d’étanchéité externe peut être monobloc. Le au moins un joint d’étanchéité interne peut être monobloc. Selon un autre exemple de réalisation, le joint d’étanchéité externe et/ou le joint d’étanchéité interne sont raboutés, c’est-à-dire formé(s) par la mise bout à bout de plusieurs parties élastiques de joint d’étanchéité. Le au moins un joint d’étanchéité interne peut être formé d’un matériau plus résistant que le matériau du joint d’étanchéité externe. Le joint d’étanchéité externe peut être en matériau élastomère fluoré. Le au moins un joint d’étanchéité interne peut être en matériau perfluoroélastomère. Selon un exemple de réalisation, les demi-coquilles et les pièces d’extrémité s’assemblent entre elles par assemblage axial d’un premier et deuxième nez axial et d’un premier et deuxième évidement axial complémentaires, les uns étant portés par les demi-coquilles, les autres par les pièces d’extrémité, les première et deuxième parties annulaires d’extrémité étant intercalées entre un nez axial et un évidement axial complémentaire respectifs. Une première et au moins une deuxième gorges annulaires périphériques peuvent être ménagées dans au moins un nez axial et/ou dans au moins un évidement axial pour recevoir les premières et deuxièmes parties annulaires d’extrémité du joint d’étanchéité externe et du au moins un joint d’étanchéité interne. Selon un autre exemple de réalisation, les demi-coquilles et les pièces d’extrémité s’assemblent entre elles sans la présence des nez et évidements axiaux complémentaires. Les pièces d’extrémité et/ou les demi-coquilles présentent par exemple des gorges annulaires ménagées dans les plans des pièces d’extrémité et les plans des tranches des demi-coquilles en vis-à-vis. Au moins deux gorges longitudinales peuvent être ménagées dans l’une et/ou l’autre des demi-coquilles dans une surface d’assemblage de part et d’autre des chambres de pompage, pour recevoir les longerons du joint d’étanchéité externe et du joint d’étanchéité interne. Au moins un conduit d’injection peut être ménagé dans une demi-coquille du stator et déboucher par au moins un orifice d’injection dans un espace interstitiel situé entre le au moins joint d’étanchéité interne et le joint d’étanchéité externe, la pompe à vide comportant un dispositif d’alimentation en gaz configuré pour injecter un gaz neutre dans le conduit d’injection. Cette circulation de gaz créé une troisième barrière d’étanchéité pour les gaz ainsi qu’une barrière thermique. Cette barrière d’étanchéité permet notamment de préserver le joint d’étanchéité externe, en particulier s’il présente un matériau moins résistant à la corrosion, à l’abrasion et/ou aux fortes températures. Le conduit d’injection peut déboucher dans la zone de l’espace interstitiel située dans une surface d’assemblage des demi-coquilles, entre deux longerons. Le dispositif d’alimentation en gaz peut être configuré pour chauffer le gaz neutre. Le dispositif d’alimentation en gaz peut être configuré pour injecter le gaz neutre en surpression. Au moins un conduit d’aspiration peut être ménagé dans une demi-coquille du stator et déboucher dans un espace interstitiel situé entre le au moins joint d’étanchéité interne et le joint d’étanchéité externe, par au moins un orifice d’aspiration, le conduit d’aspiration mettant en communication l’espace interstitiel avec une chambre de pompage ou un canal inter-étage de la pompe à vide. Le conduit d’aspiration peut déboucher dans la zone de l’espace interstitiel située dans une surface d’assemblage des demi-coquilles, entre deux longerons. La pompe à vide peut comporter un capteur de pression configuré pour mesurer la pression dans un espace interstitiel situé entre le au moins joint d’étanchéité interne et le joint d’étanchéité externe. La mesure d’une variation de pression supérieure à un seuil peut être le révélateur de la présence d’une fuite et donc d’un défaut d’étanchéité. Cette information peut être utilisée par une unité de contrôle de la pompe à vide pour signaler le besoin de déclencher une maintenance. Les demi-coquilles du stator peuvent former au moins deux étages de pompage montés en série entre une aspiration et un refoulement de la pompe à vide. Le stator peut comporter au moins deux paires de demi-coquilles complémentaires, les joints d’étanchéité externe et interne élastiques comprenant respectivement au moins une partie annulaire intercalaire intercalée entre deux paires de demi-coquilles. Le stator peut comporter en outre au moins un étage de pompage monobloc monté en série du au moins un étage de pompage formé dans les au moins première et deuxième demi-coquilles. Présentation des dessins D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description suivante d'un mode de réalisation particulier de l’invention, mais nullement limitatif, ainsi que des dessins annexés sur lesquels : La figure 1 est une vue schématique éclatée d’éléments d’une pompe à vide sèche selon un premier exemple de réalisation. La figure 2 est une vue en perspective d’un exemple d’arbre de rotor de la pompe à vide de la figure 1. La figure 3 est une vue en perspective d’une demi-coquille assemblée à un joint d’étanchéité externe, à un joint d’étanchéité interne et à une pièce d’extrémité de la pompe à vide de la figure 1. La figure 4 est une vue de dessus d’éléments de la figure 3. La figure 5 est une vue en coupe longitudinale de la demi-coquille de la figure 4 vue de côté, et d’une vue agrandie d’un détail de la demi-coquille. La figure 6 est une vue en coupe transversale BB de la demi-coquille de la figure 4 vue de face, et d’une vue agrandie d’un détail de la demi-coquille. La figure 7 est une vue schématique éclatée d’éléments d’une pompe à vide sèche selon un deuxième exemple de réalisation. Sur ces Figures, les éléments identiques ou similaires portent les mêmes numéros de référence. Les Figures ont été simplifiées par soucis de clarté. Seuls les éléments nécessaires à la compréhension de l’invention sont représentés. Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations. On définit par pompe à vide primaire, une pompe à vide volumétrique, qui est configurée pour, à l’aide de deux arbres de rotors, aspirer, transférer, puis refouler le gaz à pomper à la pression atmosphérique. Les arbres de rotor sont entrainés en rotation par un moteur de la pompe à vide primaire. Une pompe à vide primaire peut être mise en route depuis la pression atmosphérique. On définit par pompe à vide de type Roots ou compresseur Roots (également appelé « Roots Blower » en anglais), une pompe à vide volumétrique configurée pour, à l’aide de rotors de type Roots, aspirer, transférer puis refouler le gaz à pomper. La pompe à vide de type Roots est montée en amont et en série d’une pompe à vide primaire. Les rotors sont portés par deux arbres entrainés en rotation par un moteur de la pompe à vide de type Roots. La pompe à vide Roots comporte de un à trois étages de pompage. On entend par « en amont », un élément qui est placé avant un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper. A contrario, on entend par « en aval », un élément placé après un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper. On définit la direction axiale comme la direction longitudinale de la pompe dans laquelle s’étendent les axes des arbres de rotor. La pompe à vide 1 sèche de la figure 1 comporte un stator 2 formant au moins un étage de pompage, tel qu’au moins deux étages de pompage 3a-3f montés en série entre une aspiration 4 et un refoulement 5, tel qu’entre deux et dix étages de pompage (six dans l’exemple illustratif). La pompe à vide 1 peut être une pompe à vide primaire (figure 1) ou une pompe à vide de type Roots. La pompe à vide 1 comporte en outre deux arbres de rotors 6 (figure 2) configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans le au moins un étage de pompage 3a-3f de sorte que les rotors entrainent un gaz à pomper entre l’aspiration 4 et le refoulement 5. Les arbres de rotors 6 peuvent être monoblocs ou réalisés par assemblage de différents éléments rapportés. Les rotors présentent par exemple des lobes de profils identiques, par exemple de type « Roots » (Figure 2) ou de type « Claw » ou d’un autre principe similaire de pompe à vide volumétrique. Les arbres portant les rotors sont entrainés par un moteur (non représenté) situé par exemple à une extrémité de la pompe à vide 1, par exemple du côté du refoulement 5. Chaque étage de pompage 3a-3f du stator 2 est formé par une chambre de pompage recevant deux rotors conjugués, les chambres de pompage comprenant une entrée et une sortie respectives. Lors de la rotation, le gaz aspiré depuis l’entrée est emprisonné dans le volume engendré par les rotors et le stator 2, puis est entraîné par les rotors vers l’étage suivant. Les étages de pompage successifs 3a-3f sont raccordés en série les uns à la suite des autres par des canaux inter-étages (non représentés) respectifs raccordant la sortie de l'étage de pompage 3a-3e qui précède à l'entrée de l'étage de pompage 3b-3f qui suit. L’entrée du premier étage de pompage 3a communique avec l’aspiration 4 de la pompe à vide 1. La sortie du dernier étage de pompage 3f communique avec le refoulement 5. Les dimensions axiales des rotors et des chambres de pompage sont par exemple égales ou décroissantes avec les étages de pompage, l’étage de pompage 3a situé du côté de l’aspiration 4 recevant les rotors 6 de plus grande dimension axiale. Ces pompes à vide sont dites « sèches » car en fonctionnement, les rotors tournent à l’intérieur du stator 2 sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator 2, ce qui permet de ne pas utiliser d’huile dans les étages de pompage 3a-3f. Le stator 2 comporte au moins une première et une deuxième demi-coquilles 7, 8 complémentaires et une première et une deuxième pièce d’extrémité 9,10. L’architecture en demi-coquille permet de réduire le temps d’assemblage du fait du nombre d’interfaces à aligner qui est moins important. Cette architecture permet également de réduire les risques de cumul des défauts d’alignements. Le coût de la pompe à vide 1 peut donc être diminué et le montage facilité. Les demi-coquilles 7, 8 s’assemblent entre elles selon une surface d’assemblage 11 pour former au moins une chambre de pompage du au moins un étage de pompage 3a-3f. La au moins une chambre de compression et les canaux de transfert le cas échéant, sont en partie formées dans la première demi-coquille 7 et en partie dans la deuxième demi-coquille 8. La surface d’assemblage 11 est par exemple une surface d’assemblage plane, passant par exemple par un plan médian de la pompe à vide 1 sèche. La surface d’assemblage 11 plane contient par exemple les axes des arbres de rotors 6. Cette surface d’assemblage 11 plane peut être rigoureusement plane ou peut présenter par exemple des formes en relief complémentaires ou des gorges pour des longerons de joints d’étanchéité entre les demi-coquilles comme on le verra plus loin. Une première extrémité des demi-coquilles 7, 8 est fermée par une première pièce d’extrémité 9 et une deuxième extrémité des demi-coquilles 7, 8 est fermée par une deuxième pièce d’extrémité 10. Des orifices sont bien sûr ménagés dans les parois transversales 15 des demi-coquilles 7, 8 séparant les chambres de pompage le cas échéant, et dans les pièces d’extrémités 9, 10 pour le passage des arbres de rotors 6. Les demi-coquilles 7, 8 et les pièces d’extrémité 9, 10 s’assemblent entre elles par assemblage axial, par exemple par l’assemblage axial d’un premier et deuxième nez axial 12 et d’un premier et deuxième évidement axial 13 complémentaires, les uns étant portés par les demi-coquilles 7, 8, les autres étant portés par les pièces d’extrémité 9, 10. Dans l’exemple illustré sur les figures 1 à 6, le premier et le deuxième nez axiaux 12 sont formés dans une pièce d’extrémité 9, 10 respective. Le nez axial 12 fait saillie dans la direction axiale. Il présente par exemple une forme transversale oblongue qui correspond sensiblement à la forme des sections transversales des chambres de pompage des étages de pompage 3a-3f dans lesquelles sont formés les évidements axiaux 13 complémentaires. Le nez axial 12 présente par exemple une forme pleine. Les évidements axiaux 13 sont ménagés par exemple dans la chambre de pompage du premier étage de pompage 3a et dans la chambre de pompage du dernier étage de pompage 3f. La pompe à vide 1 comporte en outre un joint d’étanchéité externe 16 et au moins un joint d’étanchéité interne 17. Ces joints 16, 17 sont tridimensionnels et peuvent être d’une seule pièce, c’est-à-dire monoblocs. Selon un autre exemple de réalisation, le joint d’étanchéité externe 16 et/ou le joint d’étanchéité interne 17 sont raboutés, c’est-à-dire formé(s) par la mise bout à bout de plusieurs parties élastiques de(s) joint(s) d’étanchéité 16, 17. Ils sont élastiques, notamment du fait qu’ils comportent des matériaux élastomères. Ils sont par exemple obtenus par moulage par presse ou par injection. Les joints d’étanchéité externe et interne 16, 17 présentent par exemple une section transversale sensiblement circulaire à l’état non comprimé. Le joint d’étanchéité externe 16 et le joint d’étanchéité interne 17 comprennent respectivement une première et une deuxième parties annulaires d’extrémité 161, 162, 171, 172 parallèles l’une à l’autre, et deux longerons 163, 173 raccordant les parties annulaires d’extrémité 161, 162, 171, 172 et qui leur sont perpendiculaires. Les parties annulaires d’extrémité 161, 171, 162, 172 présentent des formes classiques de boucle. Elles sont intercalées entre une pièce d’extrémité 9, 10 et les demi-coquilles 7, 8 respectives, tel qu’entre un nez axial 12 et un évidement axial 13 complémentaire respectifs. Par exemple, les premières parties annulaires d’extrémité 161, 171 sont intercalées entre le nez axial 12 de la première pièce d’extrémité 9 et l’évidement axial 13 de la chambre de pompage du dernier étage de pompage 3f, à une première extrémité axiale des demi-coquilles 7, 8. Les deuxièmes parties annulaires d’extrémité 162, 172 sont intercalées entre le nez axial 12 de la deuxième pièce d’extrémité 10 et l’évidement axial 13 de la chambre de pompage du premier étage de pompage 3a, à une deuxième extrémité axiale des demi-coquilles 7, 8. Cette forme circulaire et la propriété élastique des parties annulaires d’extrémité 161, 171, 162, 172 permettent de les monter / démonter facilement sur un nez axial 12 respectif. Les longerons 163, 173 du joint d’étanchéité externe 16 et du au moins un joint d’étanchéité interne 17 sont intercalés entre les demi-coquilles 7, 8, au niveau de la surface d’assemblage 11. Il y a ainsi deux longerons 163, 173 s’étendant parallèlement l’un à l’autre dans la direction axiale, de part et d’autre des chambres de pompage. Le au moins un joint d’étanchéité interne 17 est agencé à l’intérieur du joint d’étanchéité externe 16 de sorte que le au moins un joint d’étanchéité interne 17 et le joint d’étanchéité externe 16 forment au moins deux barrières d’étanchéité successives pour les gaz. Le au moins un joint d’étanchéité interne 17 est plus petit que le joint d’étanchéité externe 16 pour pouvoir être agencé à l’intérieur, en agencement « gigogne ». On peut ainsi doubler les joints d’étanchéité. Cette multiplication des barrières d’étanchéité permet d’assurer une bonne étanchéité aussi bien depuis l’extérieur vers l’intérieur qu’inversement et permet l’utilisation de différents matériaux pouvant offrir des performances de résistance aux gaz corrosifs et/ou thermiques décroissantes avec l’éloignement des chambres de pompage. En effet, on peut prévoir que le au moins un joint d’étanchéité interne 17 soit formé d’un matériau plus résistant, notamment à la corrosion, à l’abrasion et/ou aux températures élevées, que le matériau du joint d’étanchéité externe 16. Le matériau du joint d’étanchéité externe 16 peut ainsi être plus économique que le matériau du joint d’étanchéité interne 17 tout en étant acceptable en termes de sécurité. Le joint d’étanchéité externe 16 est par exemple en matériau élastomère fluoré (FKM) et le au moins un joint d’étanchéité interne 17 est par exemple en matériau perfluoroélastomère (FFKM). On peut en outre tripler, voire plus, les joints d’étanchéité, la pompe à vide 1 comportant alors au moins deux joints d’étanchéité interne 17, au moins un premier joint d’étanchéité interne étant agencé à l’intérieur d’au moins un deuxième joint d’étanchéité interne. Egalement, le au moins un premier joint d’étanchéité interne 17 peut être formé d’un matériau plus résistant, notamment à la corrosion, à l’abrasion et/ou aux températures élevées, que le matériau du au moins un deuxième joint d’étanchéité interne 17. Une première gorge annulaire périphérique 18a et au moins une deuxième gorge annulaire périphérique 18b peuvent être ménagées dans au moins un nez axial 12 (figure 5) et/ou dans au moins un évidement axial 13 pour recevoir les premières parties annulaires d’extrémité 161, 171 du joint d’étanchéité externe 16 et du au moins un joint d’étanchéité interne 17. Une première gorge annulaire périphérique 18a et au moins une deuxième gorge annulaire périphérique 18b peuvent être ménagées dans au moins un nez axial 12 (figure 5) et/ou dans au moins un évidement axial 13 pour recevoir les deuxièmes parties annulaires d’extrémité 162, 172 du joint d’étanchéité externe 16 et du au moins un joint d’étanchéité interne 17. Le nez axial 12 formé dans les pièces d’extrémité 9, 10 présente l’avantage que les gorges annulaires périphériques 18a, 18b sont d’un seul tenant, sans raccords entre les demi-coquilles et donc sans joint additionnel. Il est en outre plus aisé de réaliser des gorges annulaires périphériques 18a, 18b dans les nez axiaux 12. Le montage/démontage des parties annulaires d’extrémité 161, 162, 171, 172 dans les gorges annulaires périphériques 18a, 18b et leurs réalisations est donc plus simple pour des gorges annulaires périphériques ménagées dans des nez axiaux 12 formés dans les pièces d’extrémité 9, 10. Il y a ainsi par exemple deux gorges annulaires périphériques 18a, 18b décalées axialement dans le nez axial 12 de chacune des deux pièces d’extrémité 9, 10. Au moins deux gorges longitudinales 19a, 19b peuvent être ménagées dans l’une et/ou l’autre des demi-coquilles 7, 8 dans la surface d’assemblage 11, de part et d’autre des chambres de pompage, pour recevoir les longerons 163, 173 du joint d’étanchéité externe 16 et du joint d’étanchéité interne 17 (figure 6). Il y a par exemple quatre gorges longitudinales 19a, 19b recevant quatre longerons 163, 173 d’un joint d’étanchéité interne 17 et d’un joint d’étanchéité externe 16, deux gorges longitudinales 19a, 19b étant ménagées de part et d’autre des chambres de pompage. Chaque joint d’étanchéité externe et interne 16, 17 peut ainsi être reçu dans ses gorges annulaires périphériques 18a, 18b respectives et gorges longitudinales 19a, 19b respectives. En outre, on préfère ménager une seule gorge sur un côté du stator 2 avec une surface plane en regard, plutôt qu’une gorge de chaque côté. Cela facilite le montage/démontage et l’usinage. Une bonne étanchéité peut ainsi être obtenue par compression radiale des parties annulaires d’extrémité 161, 171, 162, 172 et des longerons 163, 173. L’espace interstitiel 22 situé entre le joint d’étanchéité externe 16 et le au moins joint d’étanchéité interne 17 définit un volume fermé de manière étanche. Selon un exemple de réalisation, au moins un conduit d’injection 20 est ménagé dans une demi-coquille 8 du stator 2 et débouche par au moins un orifice d’injection 21 dans l’espace interstitiel 22 (figure 6). Comme on peut mieux le voir sur les figures 3 et 4, le conduit d’injection 20 débouche par exemple dans la zone de l’espace interstitiel 22 située dans la surface d’assemblage 11, entre les deux longerons 163, 173. Il y a par exemple au moins deux conduits d’injection 20 ménagé dans une demi-coquille 8 et débouchant dans ladite zone, de chaque côté de la chambre de pompage de l’avant-dernier étage de pompage 3e. La pompe à vide 1 comporte en outre un dispositif d’alimentation en gaz 23 configuré pour injecter un gaz neutre dans le conduit d’injection 20 (figure 6). Un gaz neutre peut alors être injecté dans l’espace interstitiel 22 et circuler longitudinalement entre les longerons 163, 173 et autour des nez axiaux 12, entre les parties annulaires d’extrémité 161, 171, 162, 172. Cette circulation de gaz créé une troisième barrière d’étanchéité pour les gaz ainsi qu’une barrière thermique. Cette barrière d’étanchéité permet notamment de préserver le joint d’étanchéité externe 16 en particulier s’il présente un matériau moins résistant à la corrosion, à l’abrasion et/ou aux fortes températures. Le dispositif d’alimentation en gaz 23 peut être configuré pour injecter le gaz neutre en surpression, c’est-à-dire une pression supérieure à la pression atmosphérique. Le dispositif d’alimentation en gaz 23 peut également être configuré pour chauffer le gaz neutre. Il comporte par exemple un serpentin en contact thermique avec le stator 2, configuré pour chauffer le gaz neutre circulant dans le serpentin par échange thermique avec le stator 2. Le stator 2 est chauffé par la compression des gaz et/ou par son propre dispositif de contrôle en température. Au moins un conduit d’aspiration (non visible) débouchant dans l’espace interstitiel 22 par au moins un orifice d’aspiration 24, peut être ménagé dans une demi-coquille 7, 8 du stator 2. Le conduit d’aspiration met par exemple en communication l’espace interstitiel 22 avec une chambre de pompage ou un canal inter-étage de la pompe à vide 1, tel que le premier étage de pompage 3a. Les canaux de transfert sont par exemple ménagés sur les côtés des chambres de pompage, dans les demi-coquilles. La fonction de pompage de la pompe à vide 1 peut ainsi être utilisée soit seule pour mettre l’espace interstitiel 22 sous vide, soit en complémentarité de l’injection d’un gaz neutre pour faire circuler le gaz neutre dans l’espace interstitiel 22. L’espace interstitiel 22 en dépression ou en circulation de gaz peut également permettre de réaliser une troisième barrière d’étanchéité pour les gaz. Le conduit d’aspiration débouche par exemple dans la zone de l’espace interstitiel 22 située dans la surface d’assemblage 11, entre les deux longerons 163, 173. Il y a par exemple au moins deux conduits d’aspiration ménagé dans une demi-coquille 8 et débouchant dans ladite zone, de chaque côté de la chambre de pompage du premier étage de pompage 3a. La pompe à vide 1 peut en outre comporter un capteur de pression 25 configuré pour mesurer la pression dans l’espace interstitiel 22. Le capteur de pression 25 est par exemple raccordé au conduit d’injection 20 (figure 6). La mesure d’une variation de pression supérieure à un seuil peut être le révélateur de la présence d’une fuite et donc d’un défaut d’étanchéité. Cette information peut être utilisée par une unité de contrôle de la pompe à vide 1 pour signaler le besoin de déclencher une maintenance. La Figure 7 montre un deuxième exemple de réalisation de la pompe à vide 1. Dans cet exemple, le stator 2 comporte au moins deux paires de demi-coquilles 7, 8, 70, 80, 700, 800 complémentaires (trois dans l’exemple illustratif). Par exemple, deux demi-coquilles 7, 8 forment deux étages de pompage 3a, 3b, deux demi-coquilles 70, 80 forment deux autres étages de pompage 3c, 3d et deux demi-coquilles 700, 800 forment deux autres étages de pompage 3e, 3f, les étages de pompage 3a-3f étant montés en série entre l’aspiration 4 et le refoulement 5 de la pompe à vide 1. Les joints d’étanchéité externe 16 et interne 17 élastiques comprennent respectivement au moins une partie annulaire intercalaire 164, 174, 165, 175 intercalée entre deux paires de demi-coquilles 7, 8. Les parties annulaires intercalaires 164, 174, 165, 175 sont parallèles aux parties annulaires d’extrémité 161,171,162,172 et raccordées aux deux longerons 163, 173 et leur sont perpendiculaires. Comme les parties annulaires d’extrémité 161, 171, 162, 172, les parties annulaires intercalaires 164, 174, 165, 175 présentent des formes classiques de boucle et peuvent être intercalées entre un nez axial 12 et un évidement axial 13 complémentaire respectifs. Par exemple, les premières parties annulaires intercalaires 164, 174 sont intercalées entre les deux paires de demi-coquilles 7, 8, 70, 80 et les deuxièmes parties annulaires intercalaires 165, 175, sont intercalées entre les deux paires de demi-coquilles 70, 80, 700, 800. Un nez axial 12 est par exemple porté par une paire de demi-coquilles 70, 80 à une première extrémité et un évidement axial 13 est par exemple ménagé dans une chambre de pompage de la paire de demi-coquilles 70, 80, à une deuxième extrémité. Par ailleurs, et bien que non représenté sur les figures, la pompe à vide 1 peut aussi comporter au moins un étage de pompage monobloc, monté en série, en amont ou en aval, du au moins un étage de pompage 3a-3f formé dans les au moins première et deuxième demi-coquilles 7, 8. Egalement, selon un autre exemple de réalisation, les demi-coquilles 7, 8 et les pièces d’extrémité 9, 10 peuvent s’assembler entre elles sans la présence des nez et évidements axiaux complémentaires. Les pièces d’extrémité 9, 10 et/ou les demi-coquilles 7, 8 présentent par exemple des gorges annulaires ménagées dans les plans des pièces d’extrémité et les plans des tranches des demi-coquilles 7, 8 en vis-à-vis. Pompe à vide (1) sèche comportant : - un stator (2) comportant au moins une première et une deuxième demi-coquilles (7, 8) complémentaires et une première et une deuxième pièce d’extrémité (9, 10), les demi-coquilles (7, 8) et les pièces d’extrémité (9, 10) s’assemblant entre elles par assemblage axial pour former au moins une chambre de pompage d’un étage de pompage (3a-3f), - deux arbres de rotors (6) configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans le au moins un étage de pompage, caractérisée en ce que la pompe à vide (1) comporte en outre : - un joint d’étanchéité externe (16) élastique et au moins un joint d’étanchéité interne (17) élastique comprenant respectivement : - une première et une deuxième parties annulaires d’extrémité (161, 171, 162, 172) parallèles l’une à l’autre et intercalées entre une pièce d’extrémité (9, 10) respective et les demi-coquilles (7, 8), et - deux longerons (163, 173) raccordant les parties annulaires d’extrémité (161, 171, 162, 172) et qui leur sont perpendiculaires, les longerons (163, 173) étant intercalés entre les demi-coquilles (7, 8), le au moins un joint d’étanchéité interne (17) étant agencé à l’intérieur du joint d’étanchéité externe (16) de sorte que le au moins un joint d’étanchéité interne (17) et le joint d’étanchéité externe (16) forment au moins deux barrières d’étanchéité successives pour les gaz. Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que le joint d’étanchéité externe (16) est monobloc. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le au moins un joint d’étanchéité interne (17) est monobloc. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le au moins un joint d’étanchéité interne (17) est formé d’un matériau plus résistant que le matériau du joint d’étanchéité externe (16). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le joint d’étanchéité externe (16) est en matériau élastomère fluoré et le au moins un joint d’étanchéité interne (17) est en matériau perfluoroélastomère. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les demi-coquilles (7, 8) et les pièces d’extrémité (9, 10) s’assemblent entre elles par assemblage axial d’un premier et deuxième nez axial (12) et d’un premier et deuxième évidement axial (13) complémentaires, les uns étant portés par les demi-coquilles (7, 8), les autres par les pièces d’extrémité (9, 10), les première et deuxième parties annulaires d’extrémité (161, 171, 162, 172) étant intercalées entre un nez axial (12) et un évidement axial (13) complémentaire respectifs. Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que : - une première et au moins une deuxième gorges annulaires périphériques (18a, 18b) sont ménagées dans au moins un nez axial (12) et/ou dans au moins un évidement axial (13) pour recevoir les premières et deuxièmes parties annulaires d’extrémité (161, 171, 162, 172) du joint d’étanchéité externe (16) et du au moins un joint d’étanchéité interne (17), - au moins deux gorges longitudinales (19a, 19b) sont ménagées dans l’une et/ou l’autre des demi-coquilles (7, 8) dans une surface d’assemblage (11) de part et d’autre des chambres de pompage, pour recevoir les longerons (163, 173) du joint d’étanchéité externe (16) et du joint d’étanchéité interne (17). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’au moins un conduit d’injection (20) est ménagé dans une demi-coquille (7, 8) du stator (2) et débouche par au moins un orifice d’injection (21) dans un espace interstitiel (22) situé entre le au moins joint d’étanchéité interne (17) et le joint d’étanchéité externe (16), la pompe à vide (1) comportant un dispositif d’alimentation en gaz (23) configuré pour injecter un gaz neutre dans le conduit d’injection (20). Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que le conduit d’injection (20) débouche dans la zone de l’espace interstitiel (22) située dans une surface d’assemblage (11) des demi-coquilles (7, 8), entre deux longerons (163, 173). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 8 ou 9, caractérisée en ce que le dispositif d’alimentation en gaz (23) est configuré pour chauffer le gaz neutre. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 8 à 10, caractérisée en ce que le dispositif d’alimentation en gaz (23) est configuré pour injecter le gaz neutre en surpression. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 1 à 10, caractérisée en ce qu’au moins un conduit d’aspiration est ménagé dans une demi-coquille (7, 8) du stator (2) et débouche dans un espace interstitiel (22) situé entre le au moins joint d’étanchéité interne (17) et le joint d’étanchéité externe (16), par au moins un orifice d’aspiration (24), le conduit d’aspiration (24) mettant en communication l’espace interstitiel (22) avec une chambre de pompage ou un canal inter-étage de la pompe à vide (1). Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que le conduit d’aspiration (24) débouche dans la zone de l’espace interstitiel (22) située dans une surface d’assemblage (11) des demi-coquilles (7, 8), entre deux longerons (163, 173). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte un capteur de pression (25) configuré pour mesurer la pression dans un espace interstitiel (22) situé entre le au moins joint d’étanchéité interne (17) et le joint d’étanchéité externe (16). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les demi-coquilles (7, 8) du stator (2) forment au moins deux étages de pompage (3a-3f) montés en série entre une aspiration (4) et un refoulement (5) de la pompe à vide (1). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le stator (2) comporte au moins deux paires de demi-coquilles (7, 8, 70, 80, 700, 800) complémentaires, les joints d’étanchéité externe (16) et interne (17) élastiques comprenant respectivement au moins une partie annulaire intercalaire (164, 165, 174, 175) intercalée entre deux paires de demi-coquilles (7, 8, 70, 80, 700, 800). Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le stator (2) comporte en outre au moins un étage de pompage monobloc monté en série du au moins un étage de pompage (3a-3f) formé dans les au moins première et deuxième demi-coquilles (7, 8).