Brevet FR3110706A1 — publié le 20211126

L’invention concerne un dispositif de détection (10, 10A, 10B) pour système d’imagerie lidar cohérent comprenant un détecteur intégré (Det) comprenant une matrice de pixels (Pi,j) répartis sur N colonnes et M lignes et comprenant : -un guide optique dit guide référence (OGref) configuré pour recevoir un faisceau laser dit faisceau de référence, - N guides optiques (OGC(i)), dits guides colonnes couplés au guide référence, - chaque guide colonne étant couplé à M guides optiques (OGL(i,j)), dits guides ligne, les M guides lignes étant configurés pour acheminer une partie du faisceau de référence dans chaque pixel de la colonne, dit faisceau référence pixel (Lref(i,j)), -chaque pixel (Pi,j) du détecteur intégré comprenant : - une photodiode guidée (PhD(i,j)) couplée à un guide optique de détection (OGD(i,j)), - un réseau de diffraction, dit réseau pixel (Rpix(i,j)), configuré pour coupler une portion d’un faisceau illuminant le pixel vers la photodiode guidée, - un coupleur, dit coupleur pixel (Coup(i,j)), configuré pour coupler, dans le guide de détection, le faisceau couplé pixel et au moins une fraction (Lref’(i,j) du faisceau référence pixel, -un circuit électronique de lecture et de prétraitement. Figure 5 Dispositif de détection amélioré et système lidar associé DOMAINE DE L’INVENTION La présente invention concerne le domaine de l’imagerie par Lidar cohérent et plus particulièrement les détecteurs utilisés dans de tels systèmes. ETAT DE LA TECHNIQUE L’imagerie d’une scène par lidar cohérent tire parti de la nature de l’émission cohérente d’une source laser afin d’amplifier le signal utile réfléchi par la scène par un signal issu d’une voie de référence et cohérent avec le signal utile. Le principe d’un lidar cohérent est bien connu de l’état de la technique. Un lidar cohérent comprend une source cohérente, typiquement un laser, qui émet une onde lumineuse cohérente (domaine IR, visible ou UV proche), un dispositif d’émission qui permet d’illuminer un volume de l’espace, et un dispositif de réception, qui collecte une fraction de l’onde lumineuse rétrodiffusée par une cible T. Le décalage de fréquence Doppler de l’onde rétrodiffusée est fonction de la vitesse radiale v de la cible T : A la réception on effectue un mélange entre l’onde lumineuse rétrodiffusée reçue dénommée onde signal S de fréquence signal fs et une partie de l’onde émise qui n’est pas passée par la scène, dénommée onde LO pour « oscillateur local », et présente une fréquence d’oscillateur local fLO. L’interférence de ces deux ondes est détectée par un photodétecteur PD, et le signal électrique en sortie du détecteur présente un terme oscillant dénommé signal de battement Sb, en plus des termes proportionnels à la puissance reçue et à la puissance d’oscillateur local. Ce signal est numérisé et on en extrait une information de vitesse de la cible T. Dans un lidar cohérent à modulation de fréquence dit FMCW (« Frequency Modulated Continuous Wave ») schématisé sur la la fréquence optique de la source cohérente f est modulée typiquement par une rampe linéaire périodique. Les deux voies qui interfèrent sur le photo-détecteur produisent des battements dont la fréquence est proportionnelle au retard entre les deux voies, donc à la distance. Plus précisément, pour une rampe linéaire, la fréquence des oscillations est : avec B l’excursion de fréquence optique ou « chirp » pendant la durée T de la rampe, z la distance, c la vitesse de la lumière. On peut déduire la distance z du nombre N ( ) de périodes mesurées pendant la durée T: . La résolution en distance est . Il est également possible de mesurer par analyse spectrale par transformée de Fourier du signal de battements. Le signal d’interférence contient une composante continue généralement importante et inutile, qui est supprimée par un filtre électronique passe-haut si le photo-récepteur est une photodiode. Dans les montages fibrés, il est pratique d’utiliser un coupleur 3dB qui fournit, à partir des deux voies objet et référence en entrée, deux signaux de sortie en opposition de phase qui éclairent deux photodiodes en série (photodiodes balancées). Le circuit de détection permet de faire la différence des deux photo-courants, donc de supprimer le DC (mode commun) et de détecter la partie AC (signal de battement). La partie AC est généralement amplifiée en externe par un amplificateur trans-impédance (TIA) avant d’être traitée par une électronique externe, par exemple un oscilloscope, pour mesurer la fréquence. La technique lidar FMCW est une technique de mesure hétérodyne optique (c.a.d. qui met en jeu plusieurs fréquences optiques). La technique est très peu sensible à la lumière ambiante parasite comme par exemple la lumière du soleil. Pour faire une image complète de la scène, le lidar scanne séquentiellement la scène à l’aide d’un dispositif de balayage (image de type « rolling shutter »). En pratique, il est difficile d’accéder à une acquisition des images de distance à cadence vidéo (typiquement 50Hz) pour des images de haute résolution (par exemple VGA ou XGA) car le temps disponible pour la mesure de distance en chaque point est très court. Au lieu de faire des mesures point par point, la publication Aflatouni « Nano photonic coherent imager » (2015, Optics Express vol. 23 n°4, 5117), qui utilise également la technique FMCW, décrit un dispositif dans lequel toute la scène est illuminée simultanément par le faisceau laser qui a été rendu divergent, et la photo-détection est faite en parallèle pour l’ensemble de la scène. Dans cette publication (voir ), la source laser Las est modulée en fréquence par un modulateur Mod, la voie objet illumine l’objet à analyser O et une lentille L forme l’image de l’objet sur un imageur cohérent IC réalisé en optique intégrée, plus précisément sur une matrice de 4x4 réseaux de couplage optique Res. Chaque réseau Res envoie la lumière couplée vers une photodiode PD à couplage latéral située en dehors de l’image, via un guide d’onde (voir ). La voie de référence est directement envoyée sur les photodiodes par une fibre optique Fib et par un réseau de guides d’ondes et de jonctions Y. La conversion du photo-courant en tension est réalisée par un amplificateur trans-impédance TIA pour chacune des 16 photodiodes. Le filtrage électronique et le traitement des signaux sont effectués à l’extérieur de la puce dans un système électronique de détection SED. Cette technique de détection de toute la scène en parallèle est plus appropriée en principe pour augmenter la cadence d’acquisition des images de distance. Cependant, dans l’architecture de l’imageur décrit dans la publication Aflatouni, la configuration de l’imageur cohérent n’est pas facilement extensible à un grand nombre de pixels. Il faudrait 2N guides d’onde (N pour la voie référence et N pour la voie objet) pour N pixels, c.a.d. 2 millions de guides pour un imageur à 1000x1000 pixels, ce qui pose de gros problèmes de routage et de surface occupée. Pour augmenter artificiellement le nombre de pixels effectif de leur imageur, les auteurs recourent à la technique des prises de vue multiples avec translations mécaniques successives de l’imageur, ce qui n’est pas adapté à des scènes en mouvement. De plus l’architecture proposée est sensible à la granularité laser, dénommé speckle, générée par la rétrodiffusion de la lumière cohérente sur la scène. L’image de l’objet dans le plan du capteur est entachée de grains de speckle dont la taille latérale vaut statistiquement Φg = 2.λ.f# avec f# = f/D où f est la focale de l’objectif d’imagerie et D le diamètre de sa pupille de sortie. Les battements dus à l’interférence entre la voie de référence et la voie objet affectée par le speckle sont de même fréquence mais déphasés aléatoirement entre des grains de speckle voisins. Si les pixels (c’est-à-dire les réseaux récupérant la lumière) présentent une dimension apix supérieure à celle des grains de speckle Φg, tel qu’illustré en à gauche, l’amplitude des oscillations résultantes est atténuée et peut devenir non détectable. Compte tenu de la taille des réseaux de diffraction indiquée (17x17µm) et la longueur d’onde de 1.55µm, il faudrait un grand nombre d’ouverture (f# > 6) pour avoir des grains de speckle plus gros que les pixels. Cependant, une telle optique peu ouverte n’est pas favorable à la détection d’objets peu réfléchissants ou situés à des distances importantes, qui vont donner des flux de photons rétro-diffusés très faibles ; cela implique en contrepartie d’utiliser une source laser plus puissante donc à plus forte consommation électrique ou risquant de dépasser les limites de la sécurité oculaire. Ainsi pour une optique ouverte permettant la capture d’un plus grand nombre de photons la taille des grains de speckle à la longueur d’onde de sécurité oculaire 1.55µm est typiquement inférieure à celle de la surface collectrice de lumière d’un pixel, ce qui pose des problèmes de détection. Un but de la présente invention est de remédier aux inconvénients précités en proposant un détecteur intégré pour lidar cohérent compatible d’un grand nombre de pixels et de grains de speckle de petite taille. DESCRIPTION DE L’INVENTION La présente invention a pour objet un dispositif de détection pour système d’imagerie lidar cohérent comprenant un détecteur intégré comprenant une matrice de pixels répartis sur N colonnes et M lignes et comprenant : -un guide optique dit guide référence configuré pour recevoir un faisceau laser dit faisceau de référence, - N guides optiques, dits guides colonnes couplés au guide référence, et adaptés pour acheminer une partie du faisceau de référence dans les N colonnes du détecteur, - chaque guide colonne étant couplé à M guides optiques, dits guides ligne, respectivement associés aux M pixels des M lignes du détecteur de ladite colonne, les M guides lignes étant configurés pour acheminer une partie du faisceau de référence dans chaque pixel de la colonne, dit faisceau référence pixel, -chaque pixel du détecteur intégré comprenant : - une photodiode guidée couplée à un guide optique de détection, - un réseau de diffraction, dit réseau pixel, configuré pour coupler une portion d’un faisceau illuminant le pixel, dénommée faisceau couplé pixel, vers la photodiode guidée, - un coupleur, dit coupleur pixel, configuré pour coupler, dans le guide de détection, le faisceau couplé pixel et au moins une fraction du faisceau référence pixel, la photodiode guidée étant ainsi configurée pour recevoir ledit faisceau couplé pixel et au moins ladite fraction du faisceau référence pixel, -un circuit électronique de lecture et de prétraitement d’un signal détecté par la photodiode, le prétraitement comprenant une amplification et un filtrage. Selon un mode de réalisation le dispositif de détection comprend en outre au moins un circuit électronique de traitement configuré pour calculer, pour chaque pixel, une fréquence d’un battement entre le faisceau référence pixel et le faisceau couplé pixel. Selon une option chaque pixel comprend son propre circuit électronique de traitement (CE(i,j)) adapté pour calculer la fréquence de battement associée au pixel. Selon une autre option chaque colonne est connectée à un circuit électronique de traitement configuré pour calculer la fréquence de battement associée à chaque pixel de la colonne. Selon un mode de réalisation le couplage entre le guide de référence et les N guides colonnes, ainsi que le couplage entre chaque guide colonne et les M guides lignes associés, est de type évanescent. Selon une variante le dispositif de détection selon l’invention comprend en outre : -une matrice d’éléments de déviation transmissifs, un élément de déviation étant associé à un pixel ou un groupe de pixels et configuré pour être orientable individuellement par un signal électrique de manière à dévier le ou les faisceaux illuminant le ou les pixels, -chaque pixel ou groupe de pixel comprenant en outre une boucle d’asservissement associée à l’élément de déviation et configurée pour actionner l’élément de déviation de manière à maximiser un rapport signal sur bruit (SNR) du signal détecté généré par la photodiode guidée. Préférentiellement l’élément de déviation est choisi parmi un prisme, un polyèdre, une calotte sphérique, un élément optique diffractif. Selon un mode de réalisation une distance entre la matrice d’éléments de déviation et le détecteur intégré est comprise entre une à dix fois une dimension latérale de l’élément de déviation. Selon une autre variante le dispositif de détection comprend en outre une matrice de microlentilles associée à la matrice de pixel, une microlentille étant configurée pour focaliser le faisceau illuminant le pixel associé sur le réseau pixel. Selon une première variante du dispositif de détection selon l’invention : -le réseau pixel et le coupleur pixel sont deux composants différents, -le guide ligne est connecté au coupleur pixel, -chaque pixel comprenant en outre un guide d’onde pixel couplé en amont au réseau pixel et en aval au coupleur pixel et configuré pour acheminer le faisceau couplé pixel vers le coupleur pixel. Selon un mode de réalisation le coupleur pixel est une jonction Y. Selon une deuxième variante du dispositif de détection selon l’invention : -le réseau pixel est également le coupleur pixel, -le réseau pixel est couplé en amont au guide ligne et en aval au guide de détection, de manière à acheminer ladite fraction du faisceau de référence pixel dans le guide de détection, -le réseau pixel étant en outre configuré pour coupler vers l’espace libre, dans au moins une direction inverse à celle du faisceau illuminant le pixel, une autre fraction du faisceau de référence pixel dénommée faisceau objet pixel. Selon un autre aspect l’invention concerne un système d’imagerie lidar cohérent. Selon une première variante le lidar comprend : -un dispositif de détection selon la première variante, -une source laser configurée pour émettre un rayonnement laser présentant une fréquence optique modulée temporellement, -un dispositif séparateur adapté pour séparer spatialement le rayonnement laser en un faisceau dit faisceau de référence et en un faisceau dit faisceau objet dirigé vers une scène à observer, -un dispositif de couplage configuré pour coupler le faisceau de référence au détecteur intégré, - un système optique d’imagerie réalisant une image de la scène en focalisant un faisceau réfléchi par la scène sur le dispositif de détection, - une unité de traitement reliée au détecteur intégré et à la source laser comprenant le cas échéant un circuit électronique de traitement, lorsque celui-ci n’est pas localisé sur le détecteur intégré, le circuit électronique de traitement étant configuré pour déterminer une fréquence de battement entre le faisceau référence pixel et le faisceau couplé pixel, calculée pour chaque pixel, l’unité de traitement étant configurée pour déterminer une distance de points de la scène imagés sur les pixels du détecteur intégré, à partir de la fréquence de battement. Selon un mode de réalisation le dispositif séparateur, le dispositif de couplage et le détecteur intégré sont réalisés sur un même substrat, le dispositif séparateur comprenant un circuit optique intégré se subdivisant en une pluralité de guides d’onde comprenant chacun au moins un réseau de diffraction, dit réseau objet, les réseaux objets étant configurés pour découpler une partie du faisceau laser du plan du circuit optique intégré de manière à former le faisceau objet, et en au moins un guide d’onde dépourvu de réseau guidant le faisceau de référence jusqu’au détecteur, et constituant le dispositif de couplage. Selon une deuxième variante le lidar comprend : - un dispositif de détection selon la deuxième variante, - une source laser configurée pour émettre un rayonnement laser, présentant une fréquence optique (F L ) modulée temporellement, et couplé au détecteur intégré, le rayonnement laser couplé dans le détecteur intégré formant le faisceau de référence, - un système optique d’imagerie réalisant une image d’une scène à observer sur le détecteur intégré, une superposition des faisceau objet pixel issus des réseaux pixels et traversant le système optique d’imagerie formant un faisceau objet illuminant la scène, et un faisceau réfléchi par la scène et focalisé sur le détecteur intégré formant un faisceau d’illumination pour chaque pixel, le système d’imagerie comprenant en outre une unité de traitement reliée au détecteur intégré et à la source laser comprenant le cas échéant un circuit électronique de traitement, lorsque celui-ci n’est pas localisé sur le détecteur, le circuit électronique de traitement étant configuré pour déterminer une fréquence d’un battement entre le faisceau référence pixel et le faisceau couplé pixel, calculée pour chaque pixel, l’unité de traitement étant configurée pour déterminer une distance de points de la scène imagés sur les pixels du détecteur, à partir de la fréquence de battement. La description suivante présente plusieurs exemples de réalisation du dispositif de l’invention : ces exemples sont non limitatifs de la portée de l’invention. Ces exemples de réalisation présentent à la fois les caractéristiques essentielles de l’invention ainsi que des caractéristiques additionnelles liées aux modes de réalisation considérés. L’invention sera mieux comprise et d’autres caractéristiques, buts et avantages de celle-ci apparaîtront au cours de la description détaillée qui va suivre et en regard des dessins annexés donnés à titre d’exemples non limitatifs et sur lesquels : La déjà citée illustre le principe d’un lidar à modulation de fréquence FMCW. La déjà citée illustre une architecture FMCW partiellement intégrée selon l’état d el’art. La déjà citée illustre la recombinaison cohérente réalisée par le système décrit . La déjà citée illustre deux cas de géométrie du speckle par rapport à un pixel, la figure de gauche correspond à des grains de speckle inférieurs à la dimension du pixel et la figure de gauche correspond à des grains de speckle supérieurs à la dimension du pixel. La illustre le dispositif de détection pour système d’imagerie lidar cohérent selon l’invention. La illustre un mode de réalisation préféré du détecteur de type « back side » (BSI) selon l’invention. La illustre un mode de réalisation du détecteur de type « front side » (FSI). La illustre une première variante du dispositif de détection selon l’invention dans laquelle le réseau pixel et le coupleur pixel sont deux composants différents. La illustre une vue en coupe du réseau pixel de la première variante. La illustre une deuxième variante du dispositif de détection selon l’invention dans laquelle le réseau pixel forme également le coupleur pixel. La illustre une vue en coupe du réseau pixel de la deuxième variante. La illustre un mode de réalisation du dispositif de détection selon l’invention comprenant une matrice d’éléments de déviation. La illustre la manière dont la matrice d’éléments de déviation modifie la topographie du champ de speckle du faisceau d’illumination dans le plan du pixel. La illustre un élément de déviation présentant une forme de prisme. La illustre un élément de déviation présentant une forme de polyèdre en forme de toit. La illustre le dispositif de détection selon la première variante intégrant les éléments de déviation. La illustre le dispositif de détection selon la deuxième variante intégrant les éléments de déviation. La illustre une première variante de lidar selon un autre aspect de l’invention comprenant un dispositif de détection selon l’invention selon la première variante. La illustre un mode de réalisation de la première variante de lidar dans laquelle le dispositif séparateur, le dispositif de couplage et le détecteur intégré sont réalisés sur un même substrat. La illustre une deuxième variante de lidar selon un autre aspect de l’invention comprenant un dispositif de détection selon l’invention selon la deuxième variante. DESCRIPTION DETAILLEE DE L’INVENTION Le dispositif de détection 10 pour système d’imagerie lidar cohérent selon l’invention est schématisé . Il comprend un détecteur intégré Det comprenant une matrice de pixels P(i,j) répartis sur N colonnes (indice i) et M lignes (indice j). Le détecteur Det comprend un guide optique dit guide référence OGref configuré pour recevoir un faisceau laser dit faisceau de référence Lref. Il comprend également N guides optiques OGC(i), dits guides colonnes, couplés au guide référence OGref, et adaptés pour acheminer une partie du faisceau de référence dans les N colonnes du détecteur. Chaque guide colonne i est couplé à M guides optiques OGL(i,j), dits guides ligne, respectivement associés aux M pixels des M lignes (indicées j) du détecteur de la colonne i. Les M guides lignes sont configurés pour acheminer une partie du faisceau de référence dans chaque pixel de la colonne. La partie du faisceau de référence arrivant dans chaque pixel est dénommée faisceau référence pixel Lref(i,j). Préférentiellement le couplage entre le guide de référence OGref et les N guides colonnes, ainsi que le couplage entre chaque guide colonne et les M guides lignes associés, est de type évanescent. Pour la répartition dans les N colonnes le coefficient de couplage est préférentiellement prévu croissant entre la première et la dernière colonne pour assurer une intensité lumineuse similaire dans chaque colonne. Ceci est par exemple réalisé en augmentant progressivement la longueur de la zone de couplage dans le coupleur directionnel. Le même principe peut être répété sur chacune des colonnes pour alimenter les M guides associés aux M pixels en ligne situés le long de cette colonne. Lorsque le détecteur est intégré à un lidar, la scène à observer est imagée sur le détecteur avec un système d’imagerie conçu pour fournir une certaine qualité d’image sur le détecteur (minimisation des aberrations géométriques en rapport avec les caractéristiques du détecteur, telles que le nombre et la taille des pixels). Chaque pixel P(i,j) du détecteur intégré comprend une photodiode guidée PhD(i,j) couplée à un guide optique de détection OGD(i,j). Un pixel comprend également un réseau de diffraction, dit réseau pixel Rpix(i,j), configuré pour coupler une portion Lo,rc(i,j) du faisceau illuminant le pixel Lo,r(i,j) (provenant de la scène via le système optique d’imagerie), dénommée faisceau couplé pixel, vers la photodiode guidée PhD(i,j). Le réseau pixel est par exemple un réseau gravé en surface d’un guide d’onde. Un pixel comprend également un coupleur, dit coupleur pixel Coup(i,j), configuré pour coupler, dans le guide de détection OGD(i,j), le faisceau couplé pixel Lo,rc(i,j) et au moins une fraction Lref’(i,j) du faisceau référence pixel Lref(i,j). Avec cette configuration la photodiode guidée PhD(i,j) est ainsi configurée pour recevoir le faisceau couplé pixel Lo,rc(i,j) et au moins lad fraction Lref’(i,j) du faisceau référence pixel Lref(i,j). La lumière est couplée dans la photodiode selon une méthode classique, par un couplage en bout (« butt coupling » en anglais) ou par un couplage évanescent. Les deux faisceaux reçus par la photodiode interfèrent comme expliqué plus haut. Enfin un pixel comprend un circuit électronique CEpt de lecture et de prétraitement du signal détecté par la photodiode, le prétraitement comprenant une amplification et un filtrage. Un pixel de détecteur est ainsi composé de composants optiques intégrés (guides, réseau, coupleur) et électroniques intégrés (photodiode). Le caractère matriciel et intégré du détecteur Det selon l’invention le rend compatible d’un grand nombre de pixels permettant de réaliser une image lidar à haute résolution. En effet le fait que chaque pixel comprenne sa photodiode permet de considérablement diminuer les problèmes de routage de faisceaux et d’encombrement par de multiples guides d’onde, contrairement à l’architecture de Aflatouni. Le mélange hétérodyne s’effectue ici dans chaque pixel. La photodiode est réalisée dans un substrat semi-conducteur, tel que du silicium, du germanium, un semiconducteur III-V tel que l’AsGa, InGaAs… Le réseau pixel est typiquement une structure périodique gravée dans un guide d’onde. Selon une variante préférée le détecteur Det selon l’invention comprend également au moins un circuit électronique de traitement configuré pour calculer, pour chaque pixel, la fréquence de battement F(i,j) entre le faisceau référence pixel et le faisceau couplé pixel. Le détecteur intègre ici l’électronique de traitement, ce qui réduit les flux de données du détecteur matriciel vers un processeur externe, et permet de ne sortir du détecteur que les données de distance. Selon un mode de réalisation préféré de cette variante chaque pixel comprend son propre circuit électronique de traitement CE(i,j) adapté pour calculer la fréquence de battement associée au pixel. Tout le traitement est ainsi réalisé localement sur le pixel, traitement dit « global shutter », ce qui implique un fort niveau d’intégration au niveau de chaque pixel et un pixel d’une dimension suffisante. Selon un autre mode de réalisation le traitement s’effectue par colonne, traitement de type « rolling shutter ». Pour cela chaque colonne est connectée à un circuit électronique de traitement CC(i) configuré pour calculer la fréquence de battement associée à chaque pixel de la colonne. La lecture s’effectue ligne par ligne pour tous les pixels d’une ligne (ce qui correspond à un pixel par colonne) en déroulant sur toutes les lignes successivement. Une telle architecteure limite les contraintes d’intégration dans le pixel, permettant d’en diminuer la taille, tout en réalisant le traitement en local sur la périphérie du détecteur. Dans cette variante seul le post traitement d’image est réalisé dans une unité extérieure. Selon une autre variante la fréquence de battement pour chaque pixel est calculée dans une unité externe. Le réseau pixel présente préférentiellement une petite surface, par exemple pour une forme rectangulaire et carrée, une dimension d’un côté de quelques µm, inférieure à 10 µm. Cela permet au réseau d’avoir une acceptance angulaire relativement importante, compatible avec la plage angulaire de la lumière en provenance du système d’imagerie typiquement relativement ouvert pour récupérer un maximum de lumière. Un réseau de faible dimension permet également d’être plus proche d’une situation dans laquelle le grain de speckle de la lumière incidente sur le pixel est du même ordre de grandeur que le réseau, permettant de collecter, dans un pixel, de la lumière issue d’un seul grain. Typiquement pour une longueur d’onde de 1.55 µm et une ouverture numérique du système optique d’imagerie de 3, le grain de speckle présente statistiquement une dimension d’environ 10 µm. La matrice de photodiodes intégrées PhD est réalisée dans et/ou sur un substrat semiconducteur Sub sur lequel sont disposées des couches d’interconnexions IL qui sont des couches diélectriques isolantes dans lesquelles sont formées pistes et vias métalliques (interconnexions IM). Les figures 6A et 6B illustres deux exemples de structures de détecteur Det selon l’invention. Les détecteurs des figures 6A et 6B comprennent également une matrice de microlentilles ML, optionnelle. Une microlentille ML est associée à un pixel du détecteur et focalise le faisceau qui illumine le pixel associé sur le réseau Rpix : toute la lumière incidente sur le pixel est redirigée vers le réseau. Ces microlentilles sont classiquement réalisées par fluage d’une couche de résine. La illustre un exemple de structure du détecteur Det, basée sur la structure d’imageurs dite « front side illumination » (FSI). Les composants optiques (guides d’ondes, réseaux, photo-diodes guidées) sont typiquement formés par les techniques de micro-électronique connues pour la réalisation de circuits intégrés pour la photonique sur silicium. Dans cet exemple les guides d’onde et réseaux sont réalisés par gravure de la fine couche de silicium SOI (dite silicium sur isolant, « Silicon on Insulator » en anglais) située sur la couche d’oxyde enterrée BOX (pour « Buried Oxide » en anglais) déposée sur le substrat SUB. Un tel substrat comprenant une couche BOX et une couche SOI est dénommé substrat SOI. Les composants sont planarisés par dépôt d’un oxyde de remplissage 6 et polissage mécano-chimique. Les photodiodes guidées utilisent des étapes additionnelles connues comme la croissance épitaxiale du matériau absorbant (exemple : Germanium) sur le silicium SOI, l’implantation des zones p et n, l’encapsulation diélectrique et la formation des contacts électriques. Dans cette configuration FSI l’illumination s’effectue par la face avant i.e. la face du substrat Sub où sont situées les interconnexions métalliques. Tous les circuits électroniques (constitués de transistors, filtres, etc) nécessaires au fonctionnement du détecteur peuvent être formés à la surface du semi-conducteur(dans et/ou sur la couche de silicium SOI): circuit de pilotage et de lecture des photodiodes CEpt, circuit de traitement du signal pour la mesure de fréquence des battements CE/CC. La illustre un exemple de structure du détecteur Det, basée sur la structure d’imageurs dite « back side » (BSI). On réalise un tel détecteur BSI par collage de l’ensemble substrat SOI/ couche IL sur un ensemble substrat support Sub’/couche IL’ dans lequel on peut inclure des circuits CMOS (l’imageur est alors dit « 3D stacked ») tels que les circuits de traitement CE/CC (localisés dans les pixels ou en périphérie). Le substrat SOI est ensuite aminci typiquement jusqu’à disparition du substrat Sub (et optionnellement de la BOX). Une couche d’oxyde 5 peut ensuite être ajoutée en fin de process pour jouer le rôle de « piédestal », afin d’assurer bonne distance focale entre la microlentille et le réseau. Dans cette configuration connue en micro-électronique, la lumière est incidente du côté ex substrat Sub (aminci) opposé aux interconnexions métalliques. Le stacking 3D permet de décontraindre le design électronique en déportant le circuit de traitement du signal dans le substrat support. Une partie plus importante de la surface du pixel est disponible pour le circuit de lecture. Contrairement aux architectures classiques FSI et BSI qui utilisent des photodiodes non guidées, dans les deux architectures selon l’invention ci-dessus la lumière se propage essentiellement dans le plan du substrat. Le pixel du détecteur Det selon l’invention peut présenter deux architectures différentes. Une première variante du dispositif de détection 10A est illustrée . Dans cette première variante le réseau pixel Rpix et le coupleur pixel Coup sont deux composants différents et le guide ligne OGL est connecté au coupleur pixel Coup. Un guide d’onde pixel OGpix est couplé en amont au réseau pixel Rpix et en aval au coupleur pixel Coup et achemine le faisceau couplé pixel Lor,c vers le coupleur pixel Coup. Dans cette variante l’intégralité du faisceau référence pixel Lref(i,j) est dirigée vers le coupleur Coup. La illustre une vue en coupe du réseau pixel Rpix typiquement gravé dans le guide d’onde OGpix. Le réseau pixel dirige une partie Lo,rc(i,j) du faisceau éclairant le pixel Lo,r(i,j) dans le guide d’onde OGpix(i,j). Préférentiellement le coupleur pixel Coup est une jonction Y. Ainsi les voies objet (Lo,rc(i,j)) et référence (Lref(i,j), chacune portée par leur guide d’onde, respectivement OGpix(i,j) et OGL (i,j), sont ensuite combinées via une jonction Y (Coup(i,j), et envoyées via OGD(i,j) sur la photodiode guidé PhD(i,j). Pouvoir optimiser Une deuxième variante du dispositif de détection 10B est illustrée . Dans cette première variante le réseau pixel Rpix est également le coupleur pixel Coup, c’est-à-dire qu’il remplit les deux fonctions, couplage de la lumière d’illumination Lo,r dans le pixel et couplage avec le faisceau de référence. Le réseau pixel Rpix(i,j) est couplé en amont au guide ligne OGL(i,j) et en aval au guide de détection OGD(i,j), de manière à acheminer la fraction Lref’(i,j) du faisceau de référence pixel Lref(i,j) dans le guide de détection. En outre le réseau pixel est également configuré pour coupler vers l’espace libre, dans au moins une direction inverse à celle du faisceau illuminant le pixel (provenant de la scène), une autre fraction du faisceau de référence pixel, dénommée faisceau objet pixel Lo(i,j). Cette architecture permet, via le réseau pixel Rpix, une double utilisation du faisceau de référence pixel Lref(i,j) lors de l’intégration du détecteur dans un Lidar, comme illustré . La 1) illustre une première fonction de couplage de l’onde Lo,r(i,j) dans le guide d’onde OGD(i,j) et de superposition de l’onde couplée Lo,rc(i,j) avec la fraction Lref’(i,j) du faisceau référence pixel Lref(i,j). La 2) illustre une deuxième fonction d’illumination : une autre fraction du faisceau référence pixel Lref(i,j) n’est pas envoyée vers la photodiode mais envoyée dans l’espace libre par le réseau pixel pour former le faisceau objet pixel Lo(i,j). L’onde issue de la superposition de tous les faisceaux objet pixel traverse le système d’imagerie et illumine la scène à observer. L’architecture du lidar comprenant le détecteur Det selon cette deuxième variante 10B est simplifiée, le détecteur étant utilisé à la fois pour l’illumination de la scène et la détection de la lumière rétrodiffusée par celle-ci, à partir d’un unique faisceau cohérent généré par le laser et injecté dans le détecteur. Pour pouvoir remplir cette double fonction le réseau diffractif doit avoir une acceptance angulaire élevée, compatible à la fois avec la plage angulaire de la lumière en provenance de l’optique d’imagerie et avec l’angle d’incidence du faisceau de référence. A titre d’exemple, l’acceptance angulaire du réseau est de l’ordre de où dc est la largeur du réseau. Pour correspondre à la plage angulaire de la lumière issue de l’optique d’imagerie (N=nombre d’ouverture), la taille du réseau doit être telle que : , soit : dc Selon un mode de réalisation compatible des deux variantes décrites ci-dessus le dispositif de détection 10 selon l’invention comprend également une matrice de microlentilles pour focaliser la lumière dans le pixel : une microlentille est associée à un pixel et est configurée pour focaliser le faisceau illuminant le pixel associé (ou au moins une partie de ce faisceau) sur le réseau pixel. Ces matrices sont réalisées selon les méthodes connues de la micro-électronique comme le fluage d’une résine ou la photo-lithographie en niveaux de gris. Selon un autre mode de réalisation le dispositif de détection 10 selon l’invention comprend une matrice d’éléments de déviation DE transmissifs transparents à la longueur d’onde d’utilisation. Un élément de déviation DE est associé à un pixel ou un groupe de pixels et configuré pour être orientable individuellement par un signal électrique de manière à dévier le ou les faisceaux illuminant le ou les pixels. La illustre ce mode de réalisation pour le cas, non limitatif, où on a un élément DE par pixel. La fonction de ces éléments est d’améliorer la détection de la lumière par les réseaux Rpix. Pour cela chaque pixel ou groupe de pixel comprend en outre une boucle d’asservissement SL associée à l’élément de déviation DE et configurée pour actionner l’élément de déviation de manière à maximiser un rapport signal sur bruit SNR du signal détecté généré par la photodiode guidée. L’élément DE est d’épaisseur non constante, orientable selon un axe ou selon deux axes, ce ou ces axe(s) de rotation étant perpendiculaires au plan de détecteur. Is est préférentiellement choisi parmi un prisme (rotation selon un axe), un polyèdre, une calotte sphérique (voir la illustrant ces trois formes), un élément optique diffractif. Dans un lidar le faisceau issu de la scène et incident sur la matrice d’éléments de déviation est un champ de speckle dit subjectif car il s’agit du speckle formé dans l’image d’une scène par un système optique d’imagerie. La taille caractéristique latérale des grains de speckle est , du même ordre de grandeur que la tache d’Airy ou tache de diffraction du système optique, en négligeant les aberrations géométriques du système optique. La matrice d’éléments de déviation DE modifie globalement la topographie du champ de speckle du faisceau d’illumination dans le plan du pixel, et notamment la répartition des grains de speckle SG, tel qu’illustré . On note Φg son diamètre moyen de la section d’un grain de speckle dans le plan du pixel, qui reste du même ordre de grandeur qu’en amont de la matrice des éléments de déviation, on a (voir plus haut) : Φg = 2.λ.f# Lorsqu’on modifie l’orientation d’un élément de déviation, on modifie également la répartition des grains de speckle dans le plan du pixel et donc la disposition des grains par rapport au réseau Rpix permettant de coupler la lumière incidente vers un guide d’onde. On cherche à centrer un grain de speckle sur le réseau. L’actionnement des éléments de déviation vise à augmenter le signal hétérodyne détecté par la photodiode PhD. Cette modification du champ de speckle est généralement complexe et difficile à décrire de façon analytique parce que les éléments de déviation opèrent en régime diffractif, c’est à dire que les effets de diffraction liés à leur taille latérale individuelle relativement réduite et à leur organisation en réseau matriciel ne sont pas négligeables. En pratique, on modifie en aveugle le champ de speckle local à la surface du pixel. On ne connait ni la répartition initiale ni la répartition finale du speckle à la surface du pixel. On part du signal AC initial délivré par le photo-détecteur, correspondant au signal de battement du lidar (composante variable du signal détecté). On modifie l’orientation de l’élément de déviation dans un sens : si le signal AC augmente, on continue, et s’il diminue, on l’oriente dans l’autre sens. On recherche un optimum du signal AC, en suivant un algorithme d’optimisation dans un problème à 1 ou 2 dimensions suivant que le nombre d’axes de rotation de l’élément de rotation est 1 ou 2. On peut aboutir à un maximum local, ou absolu, mais en tous cas supérieur à la valeur initiale du signal AC. Si le signal AC est initialement nul ou quasiment nul, on scanne l’espace disponible jusqu’à obtenir un signal. Le signal AC d’oscillations détecté par chaque photodiode sert donc de signal d’asservissement pour l’actionnement de l’élément de déviation: c’est ce signal AC qui est maximisé en actionnant l’élément de déviation. En maximisant le signal AC on maximise le rapport signal sur bruit détecté, c’est-à-dire que l’on améliore le rendement hétérodyne en limitant l’impact du speckle. Lorsqu’un élément de déviation est associé à un groupe de n x m pixels, l’asservissement s’effectue à partir des n x m signaux détectés par les photodiodes des pixels du groupe, et l’algorithme d’optimisation a n x m entrées. La déviation de l’élément DE correspond alors à un compromis entre les différents pixels du groupe. L’utilisation d’éléments de déviation est particulièrement adaptée lorsque la dimension des grains de speckle est inférieure à celle du pixel, jusqu’à une dimension de l’ordre de grandeur de celle du réseau Rpix (dc), voire légèrement inférieure. Le réseau Rpix étant de petite taille (dc de quelques microns à une dizaine de microns), cette situation correspond à celle d’une optique d’imagerie relativement ouverte, qui est l’option préférée pour capter un maximum de lumière provenant de la scène. A titre d’exemple, pour λ= 1.55 µm et f# = 3 on a Φg 10 µm La limite est qu’il ne faut pas qu’il y ait plusieurs grains sur la surface du réseau. L’élément de déviation se présente en vue de dessus sous la forme d’une planche d’épaisseur non constante pouvant pivoter autour d’au moins un axe horizontal RA, et maintenue sur les côtés par deux bras latéraux 2 selon une direction perpendiculaire à cet axe de rotation, tel qu’illustré pour un prisme (un axe de rotation) et pour un polyèdre en forme de toit. Les bras sont reliés à un cadre fixe et rigide 3 sur la périphérie du pixel. Dans le cas de deux axes de rotation, on a deux cadres dont l’un peut pivoter par rapport à l’autre ( ). Préférentiellement l’actionnement est électrostatique et utilise un jeu d’électrodes. Chaque élément de déviation comprend au moins deux électrodes E’1, E’2 en regard respectivement d’au moins deux électrodes E1, E2 disposées à la surface du détecteur, l’actionnement de l’élément de déviation s’opérant de manière électrostatique par application de tensions électriques aux électrodes, et selon au moins un axe de rotation parallèle au plan du détecteur. Les électrodes E1 et E2 (et le cas échéant deux électrodes de plus) sont localisées à la surface du pixel en regard des électrodes de l’élément de déviation. Les électrodes E’1, E’2 (et le cas échéant E’3, E’4 voir ) de l’élément de déviation sont localisées soit sur sa surface supérieure, soit à l’intérieur. Les électrodes sur le pixel peuvent être au même potentiel, et celles de l’élément de déviation à des potentiels différents, ou l’inverse. L’application des tensions différentes permet de produire des champs électrostatiques de direction verticale et d’attirer les différentes électrodes entre elles. Les composants électroniques permettant de réaliser l’asservissement de la tension des électrodes peuvent être situés dans le CMOS au même niveau que l’électronique de lecture du pixel, ou d’un pixel du groupe (lorsqu’il y a un élément de déviation pour un groupe de pixels). Préférentiellement la distance entre la matrice d’éléments de déviation et le détecteur intégré est comprise entre une à dix fois la dimension latérale de l’élément de déviation. La illustre le dispositif de détection 10 selon la première variante intégrant ces éléments de déviation DE et la illustre le dispositif de détection 10 selon la deuxième variante. Dans la première variante seul les faisceaux d’illumination des pixels Lo,r(i,j) (provenant de la scène) traversent les éléments DE, tandis que dans la deuxième variante, la fraction Lo(i,j) issue du détecteur et se dirigeant vers la scène traverse également les éléments DE en sens inverse. Selon un autre aspect l’invention concerne un système d’imagerie lidar cohérent intégrant un dispositif de détection selon l’invention. Une première variante de lidar cohérent 20 est illustrée figure 14 et comprend un dispositif de détection selon la première variante (réseau et coupleur étant deux composants différents). Le lidar comprend en outre une source laser SL configurée pour émettre un rayonnement laser L présentant une fréquence optique FL modulée temporellement. La source laser est configurée pour qu’une longueur de cohérence de la source soit deux fois supérieure, préférentiellement 10 fois supérieure à une distance prédéterminée maximale zmax entre l’objet le plus éloigné de la scène et le lidar. En effet il est nécessaire que la longueur de cohérence lc de la source soit supérieure à la différence de chemin optique entre la voie objet et la voie de référence afin de réaliser une détection cohérente. Typiquement la longueur d’onde de fonctionnement λ est comprise entre 0.8 µm et 10 µm. Les longueurs d’onde télécom entre 1.3 et 1.55µm, et notamment 1.55µm (à sécurité oculaire) présentent un intérêt particulier. La source laser est par exemple un laser à émission par la tranche (EEL pour edge emitting laser en anglais), ou une diode laser à cavité verticale émettant par la surface (VCSEL pour vertical-cavity surface-emitting laser en anglais), ou un laser à cascade quantique (QCL). Les lasers EEL ou VCSEL sont préférentiellement utilisés pour une émission laser à une longueur d’onde inférieure à 3 alors que les QCLs sont préférentiellement utilisés pour une émission laser à une longueur d’onde supérieure à 3 . Le lidar cohérent 20 comprend également un dispositif séparateur LS adapté pour séparer spatialement le rayonnement laser L en un faisceau dit faisceau de référence Lref et en un faisceau dit faisceau objet Lo dirigé vers la scène à observer Obj et un dispositif de couplage CD configuré pour coupler le faisceau de référence au détecteur intégré. Par exemple CD est une fibre optique. Le lidar comprend également un système optique d’imagerie Im réalisant une image de la scène en focalisant le faisceau réfléchi par la scène Lo,r sur le dispositif de détection 10. L’optique Im présente une ouverture numérique f# adaptée pour que la dimension de grain de speckle Φg soit compatible avec la dimension (moyenne) du réseau de diffraction dc comme expliqué plus haut. Un cas optimal est lorsque la surface du réseau est inférieure à celle d’un grain de speckle. Mais comme il a été vu plus haut on souhaite une optique ouverte et donc on peut aller jusqu’à : 2.λ.f# ≥ dc/2 La limite est d’éviter que deux grains de speckle soient détectés par un même réseau. Le dispositif de détection 10 est placé approximativement dans le plan focal image du système optique d’imagerie. Selon un mode de réalisation, le système optique d’imagerie possède une focale largement inférieure à la distance typique entre la scène et le détecteur (dans ce cas la scène est considérée à l’infini du point de vue du système d’optique d’imagerie). Le système optique d’imagerie Im est un objectif comprenant un diaphragme d’ouverture Diaph définissant la pupille physique du système. Typiquement le système optique d’imagerie est formé d’une lentille ou une pluralité de lentilles, par exemple un triple Gauss. Le lidar cohérent 20 comprend en outre une unité de traitement UT reliée au détecteur intégré Det et à la source laser SL, et configurée pour déterminer une distance de points de la scène imagés sur les pixels du détecteur intégré, à partir de la fréquence de battement et à partir de la modulation de la fréquence optique du rayonnement laser. Elle peut également construire une image de distance instantanée de la scène. Par image de distance, on entend ici une cartographie de la distance des différents points de la scène observée correspondant chacun à un pixel différent. L’unité de traitement UT comprend également le circuit électronique de traitement permettant de calculer la fréquence de battement pour chaque pixel , lorsque celui-ci n’est pas localisé sur le détecteur intégré. Comparativement à un lidar FMCW de l’art antérieur, le lidar 20 selon l’invention permet d’effectuer une image instantanée où tous les points de la scène sont mesurés simultanément avec un début et une fin de mesure identiques pour tous les pixels, à condition que le détecteur Det le permette (fonctionnement en « global shutter » en anglais). Un fonctionnement en « rolling shutter » est également possible, l’acquisition d’une image s’effectue alors ligne par ligne, ce qui est plus lent mais permet la réalisation de pixels plus petits. En outre, le lidar 20 ne nécessite pas de moyens de « beam-steering » pour scanner la scène à cadence rapide. Pour un fonctionnement à cadence vidéo, la durée de la mesure peut aller jusqu’à typiquement 20ms, ce qui relâche les contraintes à la fois sur la rapidité de l’imageur et la modulation de la fréquence optique à fournir par la source. Ainsi, le lidar selon l’invention propose un système d’imagerie active de distance, de grande résolution spatiale (nombre de points dans l’image donné par le nombre de pixels), robuste par rapport à la lumière parasite ambiante, éventuellement de type « global shutter » et pouvant fonctionner à cadence vidéo. Par ailleurs le fait d’injecter directement le faisceau de référence dans le détecteur simplifie considérablement l’architecture du lidar par rapport aux lidars classiques. Selon un mode de réalisation illustré le dispositif séparateur LS, le dispositif de couplage CD et le détecteur intégré sont réalisés sur un même substrat Sub. Cela permet d’éviter les pertes de flux liées au transport et couplage du faisceau laser au détecteur. Le dispositif séparateur comprend un circuit optique intégré OC se subdivisant en une pluralité de guides d’onde comprenant chacun au moins un réseau de diffraction, dit réseau objet OG, les réseaux objets étant configurés pour découpler une partie du faisceau laser du plan du circuit optique intégré de manière à former le faisceau objet, et en au moins un guide d’onde dépourvu de réseau guidant le faisceau de référence jusqu’au détecteur, et constituant le dispositif de couplage. Il s’agit typiquement de OGref qui s’étend depuis le circuit OC jusqu’au détecteur. En option le lidar comprend également un système de projection pour projeter la lumière sur une zone prédéterminée de la scène à observer dont on va ensuite former l’image sur le détecteur, donc typiquement une zone rectangulaire. De préférence, le système optique de projection éclaire la scène selon un cône d’ouverture angulaire sensiblement égale à l’angle de champ du système optique d’imagerie (qui est déterminé par sa distance focale et la taille du détecteur). Ainsi, quelle que soit la distance de la scène, son image correspond à la taille du détecteur. Le système optique de projection est préférentiellement adapté pour éclairer la zone prédéterminée de la scène de façon uniforme pour assurer par la suite un éclairement et un rapport signal sur bruit uniforme sur le détecteur si la scène est lambertienne. En option le lidar comprend également un dispositif optique de mise en forme, par exemple un DOE (Diffractive Optical Element) constitué de motifs périodiques avec une période de l’ordre de la longueur d’onde du rayonnement laser, qui est agencé entre le circuit OC et la scène, afin de permettre d’améliorer l’uniformité de l’illumination. Une deuxième variante de lidar cohérent 30 est illustrée et comprend un dispositif de détection selon la deuxième variante (réseau formant également coupleur), de manière à réaliser une double fonction d’illumination et de couplage du rayonnement réfléchi par la scène dans le détecteur. La source laser SL, le système d’imagerie Im et l’unité de traitement présentent des caractéristiques similaires au lidar 20 précédent. Ce lidar 30 ne comprend pas de dispositif de séparation LS et le dispositif de couplage/transport CD (par fibre optique ou optique intégré) du rayonnement issu du laser vers le détecteur est optionnel, ce rayonnement pouvant être directement injecté dans le détecteur. Dans cette variante le système optique d’imagerie Im est traversé (sens détecteur vers scène) par les faisceaux objet pixel Lo(i,j) issus des réseaux pixels qui forment alors le faisceau objet Lo illuminant la scène. Le système Im est également traversé en sens inverse (sens scène vers détecteur) par le faisceau réfléchi par la scène Lo,r qui est focalisé sur le détecteur intégré pour former un faisceau d’illumination pour chaque pixel. Ce lidar 30 présente une architecture simplifiée par rapport à celle du lidar 20, la fonction d’illumination étant intégrée au détecteur. Un dimensionnement du système est donné à titre d’exemple : Taille de pixel : 20 µm Nombre de pixels : 320x240 (format QVGA) Taille de détecteur : 6.4x4.8mm FOV : 49x38° Focale : 7mm F# : 2 à 3 λ : 1.55µm Φg : 6 à 9µm Taille de réseau : 3 à 5µm Dispositif de détection (10, 10A, 10B) pour système d’imagerie lidar cohérent comprenant un détecteur intégré (Det) comprenant une matrice de pixels (Pi,j) répartis sur N colonnes et M lignes et comprenant : -un guide optique dit guide référence (OGref) configuré pour recevoir un faisceau laser dit faisceau de référence, - N guides optiques (OGC(i)), dits guides colonnes couplés au guide référence, et adaptés pour acheminer une partie du faisceau de référence dans les N colonnes du détecteur, - chaque guide colonne étant couplé à M guides optiques (OGL(i,j)), dits guides ligne, respectivement associés aux M pixels des M lignes du détecteur de ladite colonne, les M guides lignes étant configurés pour acheminer une partie du faisceau de référence dans chaque pixel de la colonne, dit faisceau référence pixel (Lref(i,j)), le couplage entre le guide de référence et les N guides colonnes, ainsi que le couplage entre chaque guide colonne et les M guides lignes associés, étant de type évanescent, -chaque pixel (Pi,j) du détecteur intégré comprenant : - une photodiode guidée (PhD(i,j)) couplée à un guide optique de détection (OGD(i,j)), - un réseau de diffraction, dit réseau pixel (Rpix(i,j)), configuré pour coupler une portion d’un faisceau illuminant le pixel, dénommée faisceau couplé pixel (Lo,rc(i,j)), vers la photodiode guidée, - un coupleur, dit coupleur pixel (Coup(i,j)), configuré pour coupler, dans le guide de détection, le faisceau couplé pixel et au moins une fraction (Lref’(i,j) du faisceau référence pixel, la photodiode guidée étant ainsi configurée pour recevoir ledit faisceau couplé pixel et au moins ladite fraction (Lref’(i,j) du faisceau référence pixel, -un circuit électronique de lecture et de prétraitement d’un signal détecté par la photodiode, le prétraitement comprenant une amplification et un filtrage. Dispositif de détection selon la revendication précédente comprenant en outre au moins un circuit électronique de traitement configuré pour calculer, pour chaque pixel, une fréquence (F(i,j)) d’un battement entre le faisceau référence pixel et le faisceau couplé pixel. Dispositif de détection selon la revendication précédente dans lequel chaque pixel comprend son propre circuit électronique de traitement (CE(i,j)) adapté pour calculer la fréquence de battement associée au pixel. Dispositif de détection selon la revendication 2 dans lequel chaque colonne est connectée à un circuit électronique de traitement (CC(i)) configuré pour calculer la fréquence de battement associée à chaque pixel de la colonne. Dispositif de détection selon l’une des revendications précédentes comprenant en outre : -une matrice d’éléments de déviation (DE) transmissifs, un élément de déviation étant associé à un pixel ou un groupe de pixels et configuré pour être orientable individuellement par un signal électrique de manière à dévier le ou les faisceaux illuminant le ou les pixels, -chaque pixel ou groupe de pixel comprenant en outre une boucle d’asservissement (SL) associée à l’élément de déviation et configurée pour actionner l’élément de déviation de manière à maximiser un rapport signal sur bruit (SNR) du signal détecté généré par la photodiode guidée. Dispositif de détection selon la revendication précédente dans lequel l’élément de déviation est choisi parmi un prisme, un polyèdre, une calotte sphérique, un élément optique diffractif. Dispositif de détection selon l’une des revendications 5 ou 6 dans lequel une distance entre la matrice d’éléments de déviation et le détecteur intégré est comprise entre une à dix fois une dimension latérale de l’élément de déviation. Dispositif de détection selon l’une des revendications 1 à 4 comprenant en outre une matrice de microlentilles associée à la matrice de pixel, une microlentille étant configurée pour focaliser le faisceau illuminant le pixel associé sur le réseau pixel. Dispositif de détection (10A) selon l’une des revendications précédentes dans lequel : -le réseau pixel et le coupleur pixel sont deux composants différents, -le guide ligne est connecté au coupleur pixel, -chaque pixel comprenant en outre un guide d’onde pixel (OGpix(i,j) couplé en amont au réseau pixel et en aval au coupleur pixel et configuré pour acheminer le faisceau couplé pixel vers le coupleur pixel. Dispositif de détection selon la revendication précédente dans lequel le coupleur pixel est une jonction Y. Dispositif de détection (10B) selon l’une des revendications 1 à 8 dans lequel : -le réseau pixel est également le coupleur pixel, -le réseau pixel est couplé en amont au guide ligne et en aval au guide de détection, de manière à acheminer ladite fraction du faisceau de référence pixel (Lref’(i,j)) dans le guide de détection, -le réseau pixel étant en outre configuré pour coupler vers l’espace libre, dans au moins une direction inverse à celle du faisceau illuminant le pixel, une autre fraction du faisceau de référence pixel dénommée faisceau objet pixel (Lo(i,j)). Système (20) d’imagerie lidar cohérent comprenant : -un dispositif de détection selon l’une des revendications 1 à 11, -une source laser (SL) configurée pour émettre un rayonnement laser (L) présentant une fréquence optique (F L ) modulée temporellement, -un dispositif séparateur (LS) adapté pour séparer spatialement le rayonnement laser (L) en un faisceau dit faisceau de référence (Lref) et en un faisceau dit faisceau objet (Lo) dirigé vers une scène à observer (Obj), -un dispositif de couplage (CD) configuré pour coupler le faisceau de référence au détecteur intégré, - un système optique d’imagerie (Im) réalisant une image de la scène en focalisant un faisceau réfléchi par la scène (Lo,r) sur le dispositif de détection (10), - une unité de traitement (UT) reliée au détecteur intégré et à la source laser comprenant le cas échéant un circuit électronique de traitement, lorsque celui-ci n’est pas localisé sur le détecteur intégré, le circuit électronique de traitement étant configuré pour déterminer une fréquence de battement entre le faisceau référence pixel et le faisceau couplé pixel, calculée pour chaque pixel, l’unité de traitement étant configurée pour déterminer une distance de points de la scène imagés sur les pixels du détecteur intégré, à partir de la fréquence de battement. Système selon la revendications précédente dans lequel le dispositif séparateur (LS), le dispositif de couplage (CD) et le détecteur intégré sont réalisés sur un même substrat (Sub), le dispositif séparateur comprenant un circuit optique intégré (OC) se subdivisant en une pluralité de guides d’onde comprenant chacun au moins un réseau de diffraction, dit réseau objet (OG), les réseaux objets étant configurés pour découpler une partie du faisceau laser du plan du circuit optique intégré de manière à former le faisceau objet, et en au moins un guide d’onde dépourvu de réseau guidant le faisceau de référence jusqu’au détecteur, et constituant le dispositif de couplage. Système (30) d’imagerie lidar cohérent comprenant : - un dispositif de détection selon la revendication 11, - une source laser (SL) configurée pour émettre un rayonnement laser (L), présentant une fréquence optique (F L ) modulée temporellement, et couplé au détecteur intégré, le rayonnement laser couplé dans le détecteur intégré formant le faisceau de référence, - un système optique d’imagerie (Im) réalisant une image d’une scène (Obj) à observer sur le détecteur intégré (Det), une superposition des faisceau objet pixel (Lo(i,j)) issus des réseaux pixels et traversant le système optique d’imagerie formant un faisceau objet (Lo) illuminant la scène, et un faisceau réfléchi par la scène (Lo,r) et focalisé sur le détecteur intégré formant un faisceau d’illumination pour chaque pixel, le système d’imagerie comprenant en outre une unité de traitement (UT) reliée au détecteur intégré et à la source laser comprenant le cas échéant un circuit électronique de traitement, lorsque celui-ci n’est pas localisé sur le détecteur, le circuit électronique de traitement étant configuré pour déterminer une fréquence (F(i,j)) d’un battement entre le faisceau référence pixel et le faisceau couplé pixel, calculée pour chaque pixel, l’unité de traitement étant configurée pour déterminer une distance de points de la scène imagés sur les pixels du détecteur, à partir de la fréquence de battement.