Brevet FR3100919A1 — publié le 20210319

Dispositifs et procédés d’inspection pour des plateaux de précision à isolation antivibratoire On décrit des dispositifs et des procédés pour inspecter automatiquement des plateaux de précision utilisés pour l’isolation de vibrations. Une tête d’inspection comportant un dispositif de capture d’image et/ou un dispositif perturbateur peut être positionnée automatiquement à une pluralité d’emplacements sur un plateau de précision. La tête inspection peut en outre inclure un capteur de distance qui peut être utilisé pour déterminer la planéité d’une partie ou de la totalité d’une surface du plateau de précision. La tête d’inspection peut en outre inclure un dispositif de marquage pour marquer automatiquement des éléments non conformes formés sur le plateau de précision. Figure pour l'abrégé : Fig. 3 Dispositifs et procédés d’inspection pour des plateaux de précision à isolation antivibratoire R éférence à des demandes associées Cette demande revendique la priorité de la demande de brevet US provisoire, numéro 62/900397, intitulée “Inspection Apparatus and Methods for Precision Vibration-Isolation Tabletops”, déposée le 13 septembre 2019. CONTEXTE Domaine technique La technologie concerne des dispositifs et des procédés pour inspecter des plateaux qui sont utilisés dans des applications de précision à isolation antivibratoire. Les instruments de précision qui sont utilisés dans divers secteurs de la technologie (par exemple, la fabrication de circuits intégrés, la métrologie, l’inspection d’échantillons, divers secteurs de la microscopie, les instruments médicaux de précision, etc.) bénéficient d’une isolation vis-à-vis de sources ambiantes de bruit qui peuvent induire des mouvements non souhaités (par exemple, des vibrations, des impulsions, etc.) dans un instrument de précision. Une approche pour l’isolation des vibrations consiste à monter un instrument sur un plateau à isolation antivibratoire qui comporte des amortisseurs de mouvement passifs (par exemple, un système de suspension pneumatique et/ou de suspension à ressorts avec des composants amortisseurs de mouvement comme des amortisseurs passifs comportant un fluide ou un matériau visqueux). Dans certains cas, un instrument de précision peut nécessiter une isolation des vibrations provenant de sources externes à des niveaux pour lesquels les amortisseurs de mouvement passifs ne donnent pas une isolation suffisante des vibrations. Pour atteindre de telles performances, on peut utiliser un système actif d’isolation de vibrations entre un instrument de précision et une base qui supporte l’instrument et un système d’isolation de vibrations. Par exemple, on peut utiliser un système à rétroaction active pour commander des actionneurs dans le système d’isolation de vibrations pour s’opposer à des mouvements induits de l’extérieur dans l’instrument de précision. La personne du métier comprendra que les dessins décrits ici ont seulement un but illustratif. On doit comprendre que dans certains cas divers aspects des modes de réalisation peuvent être représentés exagérés ou agrandis pour faciliter la compréhension des modes de réalisation. Dans les dessins, des références similaires désignent généralement des éléments similaires, des fonctionnalités similaires et/ou des éléments structurellement similaires dans les diverses figures. Les dessins ne sont pas nécessairement représentés à l’échelle, l’accent étant plutôt mis sur l’illustration des principes expliqués. Les dessins ne visent en aucune façon à limiter la portée des présentes explications. la représente un exemple d’instrument supporté par un plateau de précision à isolation antivibratoire qui fait partie d’un système actif d’isolation de vibrations, selon certains modes de réalisation ; la représente un exemple de plateau de précision à isolation antivibratoire, selon certains modes de réalisation ; la représente un exemple de plateau de précision à isolation antivibratoire, selon certains modes de réalisation ; la représente, en vue de face, un exemple de tête d’inspection qui peut être utilisée pour inspecter un plateau de précision à isolation antivibratoire selon certains modes de réalisation ; la représente, en vue de dessus, un exemple de structure additionnelle d’un système d’inspection qui peut être utilisé pour inspecter un plateau de précision à isolation antivibratoire selon certains modes de réalisation ; la représente, en vue de dessus, un exemple de structure additionnelle d’un système d’inspection qui peut être utilisé pour inspecter un plateau de précision à isolation antivibratoire selon certains modes de réalisation ; la représente d’autres aspects d’un contrôleur, selon certains modes de réalisation ; et la illustre des actions qui peuvent être incluses dans des procédés d’inspection d’un plateau d’isolation de vibrations. Les aspects, modes de réalisation et caractéristiques de la présente description seront mieux compris avec la description suivante lue en relation avec les dessins joints. Système d’inspection d’isolation de vibrations comprenant : une tête d’inspection comportant une matrice de capture d’image et un dispositif perturbateur qui communique de l’énergie mécanique à un équipement d’isolation de vibrations ; et un contrôleur de système agencé pour contrôler le mouvement de la tête d’inspection. Système d’inspection d’isolation de vibrations selon la revendication 1, dans lequel la tête d’inspection comprend en outre un capteur de distance agencé pour déterminer une distance entre une surface d’un plateau de précision et un emplacement sur la tête d’inspection. Système d’inspection d’isolation de vibrations selon la revendication 1, dans lequel la tête d’inspection comprend en outre un dispositif de marquage agencé pour appliquer un marquage sur une surface d’un plateau de précision. Système d’inspection d’isolation de vibrations selon l’une quelconque des revendications 1 à 3, comprenant en outre un dispositif de positionnement agencé pour positionner la tête d’inspection à une pluralité d’emplacements sur un plateau de précision. Système d’inspection d’isolation de vibrations selon la revendication 4, dans lequel le dispositif de positionnement comprend un bras robotisé. Système d’inspection d’isolation de vibrations selon l’une quelconque des revendications 1 à 3, comprenant en outre un dispositif pour produire un plan de référence optique sur une surface d’un plateau de précision. Système d’inspection d’isolation de vibrations selon l’une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel le contrôleur de système est agencé pour lire un fichier de conception et déterminer des emplacements d’éléments usinés sur une surface d’un plateau de précision à inspecter. Système d’inspection d’isolation de vibrations selon l’une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel le contrôleur de système est agencé pour produire des données indiquant une planéité d’une surface supérieure d’un plateau de précision. Système d’inspection d’isolation de vibrations selon l’une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel le contrôleur de système est agencé pour produire des données indiquant des caractéristiques d’amortissement de vibrations au niveau d’une pluralité d’emplacements sur une surface supérieure d’un plateau de précision. Procédé d’inspection d’un plateau de précision, le procédé comprenant : positionner automatiquement une tête d’inspection à un premier emplacement sur un plateau de précision ; obtenir une image d’une partie d’une surface du plateau de précision ; appliquer automatiquement une impulsion à la surface à l’aide d’un marteau d’impact ; et recevoir des informations de capteur indiquant un effet de l’impulsion sur la surface. Procédé selon la revendication 10, comprenant en outre : mesurer une pluralité de distances entre la surface et la tête d’inspection à une pluralité d’emplacements sur le plateau de précision ; et déterminer une planéité de la surface sur la base de la pluralité de distances. Procédé selon la revendication 11, comprenant en outre la fourniture d’informations concernant la planéité de la surface à un utilisateur. Procédé selon la revendication 10, comprenant en outre, à une pluralité d’emplacements : appliquer automatiquement une impulsion à la surface à l’aide du marteau d’impact ; recevoir des informations de capteur indiquant un effet de l’impulsion sur la surface ; et fournir à un utilisateur des informations concernant des caractéristiques d’amortissement de vibrations au niveau de la pluralité d’emplacements. Procédé selon l’une quelconque des revendications 10 à 13, comprenant en outre le déploiement d’un capteur de vibrations à partir de la tête d’inspection sur la surface. Procédé selon l’une quelconque des revendications 10 à 13, comprenant en outre l’application d’un marquage sur la partie de la surface sur la base d’une image d’un élément de montage dans la partie de la surface. Procédé selon l’une quelconque des revendications 10 à 13, comprenant en outre la lecture d’un fichier de conception pour déterminer un emplacement où il faut positionner la tête d’inspection, le fichier de conception comprenant des informations concernant des éléments de montage formés dans la surface. Procédé selon l’une quelconque des revendications 10 à 13, comprenant en outre la détermination d’une précision d’un emplacement d’un élément de montage dans la surface sur la base de l’image. Procédé selon la revendication 17, comprenant en outre la fourniture à un utilisateur d’informations concernant la précision de l’emplacement d’un ou plusieurs éléments de montage dans la surface.