Brevet FR3094762A1 — publié le 20201009

Description Titre de l'invention : Pompe à vide de type sèche et installation de pompage [0001] La présente invention se rapporte à une pompe à vide de type sèche, telle qu'une pompe à vide primaire par exemple de type "Roots", une pompe à becs de type "Claw" ou une pompe à vis. L'invention se rapporte également à une installation de pompage comportant un sas (ou « loadlock » en anglais) relié à une pompe à vide. [0002] La puissance électrique nécessaire à la compression (les gaz est l'un (les paramètres important dans la consommation énergétique des pompes à vide. Cette puissance de compression est utilisée principalement dans les deux derniers étages de compression dans le cas d'une pompe à vide primaire tnultiétagée de type "Roots" ou "Claw". [0003] Les applications de pompage de sas en particulier sont relativement consommatrices d'énergie. Le sas est utilisé pour abaisser la pression autour d'un substrat avant son déchargement dans une chambre de traitement maintenue à basse pression afin d'éviter la présence dc toute impureté dans la chambre. Chaque chargement de substrats nécessite ainsi dc descendre puis de remonter alternativement la pression dans l'enceinte du sas. Après chaque descente en pression, la pression est maintenue abaissée dans le sas jusqu'au transfert du substrat dans la chambre de traitement. Ces phases d'attente (« ldle » en anglais) à basse pression peuvent être relativement longues et sont coutcuses en énergie. [0004] Pour réduire la consommation d'énergie électrique, une solution connue consiste à abaisser la pression dans le dernier étage de compression à l'aide d'un dispositif de pompage externe, par exemple au cours de ces phases d'attente du sas. [0005] Cc dispositif de pompage externe est par exemple un éjecteur, une pompe à membranes ou une pompe à palettes. [0006] Un inconvénient à cela est la nécessité d'utiliser deux dispositifs de pompage distincts, ce qui peut conduire à un système de pompage encombrant, compliqué à mettre en oeuvre, coutcux ou consommateur d'énergie électrique ou de gaz. [0007] Un des buts de la présente invention est de proposer une pompe à vide de type sèche permettant de résoudre au moins partiellement un des inconvénients de l'état de la technique. [0008] A cet effet, l'invention a pour objet une pompe à vide de type sèche comportant : [0009] - au moins un étage de pompage, [0010] - deux arbres rotatifs portant respectivement au moins un rotor s'étendant dans le au moins un étage de pompage, les rotors étant configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse pour entrainer un gaz à pomper entre une aspiration et un re- 2 feulement de la pompe à vide, caractérisée en ce que la pompe à vide comporte en outre : [0011] - un stator annexe traversé au moins par un des arbres, [0012] - une canalisation d'aspiration munie d'une vanne d'entrée pilotable, reliant une entrée du stator annexe à un étage de pompage communiquant avec le refoulement de la pompe à vide, et [0013] - au moins un rotor annexe porté par ledit arbre, ledit rotor annexe étant configure pour que sa rotation dans le stator annexe entraine un gaz à pomper entre l'entrée et une sortie du stator annexe pour abaisser la pression dans l'étage de pompage lorsque la vanne d'entrée pilotable est commandée en ouverture. [0014] On utilise ainsi la rotation des arbres entrainant les rotors de la pompe à vide pour également entraincr en rotation le au moins un rotor annexe afin d'abaisser la pression de l'étage de pompage de refoulement de la pompe à vide. La consommation électrique de la pompe à vide peut alors être réduite sans nécessiter de dispositif de pompage externe à la pompe à vide. [0015] Contrôler l'ouverture de la vanne d'entrée pilotable permet en outre d'abaisser la pression de l'étage de pompage de refoulement à des moments bien précis et pour des durées choisies. L'utilisation d'une vanne d'entrée pilotable procure donc une grande souplesse d'action. [0016] La pompe à vide est donc compacte, simple à installer et à contrôler. [0017] La pompe à vide est par exemple une pompe à vide primaire configurée pour refouler les gaz à pression atmosphérique. Les rotors sont par exemple de type «Roots» ou Claw ». [0018] La sortie du stator annexe peut être mise en communication avec le refoulement de la pompe à vide par une canalisation de refoulement annexe munie d'une vanne de sortie pilotable. Avec une vanne de sortie pilotable, il est possible de conserver le au moins un rotor annexe sous vide lorsqu'il n'est pas utilisé pour abaisser la pression dans l'étage de refoulement. Le au moins un rotor annexe tourne sur lui-même sans nouvelle entrée de gaz, en ne consommant pas ou très peu d'énergie et sans perturbation du pompage dans le au moins un étage de pompage de la pompe à vide. [0019] La pompe à vide peut comporter une unité de pilotage configurée pour contrôler l'ouverture de la vanne d'entrée pilotable et/ou de la vanne de sortie pilotable, en fonction d'une mesure de la pression d'aspiration de la pompe à vide et/ou de la puissance consommée par la pompe à vide. [0020] Selon un autre exemple, une enceinte, tel qu'un sas, reliée à la pompe à vide comporte un moyen de contrôle de la vanne d'entrée pilotable et/ou de la vanne de sortie pilotable. Ce moyen contrôle l'ouverture de la vanne d'entrée pilotable et/ou de la vanne de sortie pilotable par exemple lorsque le sas est en phase d'attente, par 3 exemple sur des durées prédéfinies en début et en fin de phase d'attente. Les vannes pilotables peuvent aussi être commandées en fermeture par exemple dès que la puissance est descendue en dessous d'un seuil de puissance. [0021] Selon un premier exemple de réalisation, le stator annexe est traversé par les deux arbres, la pompe à vide comportant deux rotors annexes agencés dans le stator annexe portés par un arbre respectif, les rotors annexes étant configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse. Les rotors annexes sont par exemple de type Roots, à vis ou Claw. Dans ce mode de réalisation, le stator annexe est similaire à un étage de pompage sec supplémentaire. [0022] Selon un deuxième exemple de réalisation, le stator annexe est formé dans un carter d'huile de la pompe à vide, la pompe à vide comportant deux rotors annexes formés par une roue dentée respective d'un engrenage de synchronisation de la pompe à vide, l'engrenage de synchronisation formant une pompe à engrenages avec le stator annexe, l'engrenage de synchronisation étant en outre configure pour synchroniser la rotation des arbres. Dans ce mode de réalisation, on utilise l'engrenage de synchronisation déjà présent pour la synchronisation des arbres comme moyen de pompage supplémentaire lorsqu'il est nécessaire d'abaisser la pression dans l'étage de refoulement. [0023] Selon un troisième exemple de réalisation, le rotor annexe est un rotor de pompe à palettes formant une pompe à palettes avec le stator annexe reçu dans une chambre d'un carter d'huile de la pompe à vide. Dans ce mode de réalisation, la pompe à vide à pompe à palettes intégrée permet d'abaisser la pression dans l'étage de refoulement avec un très bon taux de compression. [0024] L'invention a aussi pour objet une installation de pompage comportant un sas ca- ractérisée en ce qu'elle comporte une pompe à vide de type sèche telle que décrite précédemment, reliée au sas pour descendre et monter alternativement en pression dans le sas. Présentation des dessins [0025] D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description d'un exemple illustratif mais non limitatif de la présente invention, ainsi que des dessins annexés sur lesquels : [0026] [fig.1] représente une vue schématique d'une installation de pompage. [0027] [fig.2] représente une vue schématique d'une pompe à vide primaire sèche de l'installation de la Figure 1 selon un premier exemple de réalisation. [0028] [fig.3] représente une vue schématique d'une pompe à vide primaire sèche selon un deuxième exemple de réalisation. [0029] [fig.4] montre une vue schématique en coupe A-A de la pompe à vide de la Figure 3 au niveau d'un carter d'huile. [0030] [fig.5] représente une vue schématique d'une pompe à vide primaire sèche selon un troisième exemple de réalisation. [0031] [fig.6] montre une vue schématique en coupe A-A de la pompe à vide de la Figure 5 au niveau d'un carter d'huile. [0032] Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangécs pour fournir d'autres réalisations. [0033] On définit par pompe à vide primaire, une pompe à vide volumétrique, qui, à l'aide de deux rotors aspire, transfère puis refoule le gaz à pomper, à pression atmosphérique. [0034] [0035] La Figure 1 montre une installation de pompage 100 comportant un sas 101 et une pompe à vide 1 de type sèche reliée au sas 101 pour descendre et monter alternativement en pression dans le sas 101. Lc sas 101 est utilisé pour abaisser la pression autour d'un substrat avant son déchargement dans une chambre de traitement maintenue à basse pression afin d'éviter la présence de toute impureté dans la chambre de traitement. Le substrat est par exemple un écran plat d'affichage (« ou flat panel display » en anglais) ou un substrat photovoltaïque ou une plaquette de semiconducteurs (ou « wafer » en anglais) ou un photomasque de fabrication de semiconducteurs. [0036] La pompe à vide 1 est une pompe à vide primaire configurée pour refouler les gaz à pression atmosphérique. [0037] Comme on peut le voir sur la Figure 2, la pompe à vide 1 comporte au moins un étage de pompage 3a-3f et deux arbres 4 rotatifs. [0038] Les arbres 4 portent respectivement au moins un rotor 5 s'étendant dans le au moins un étage de pompage 3a-3f. [0039] Dans l'exemple illustratif, la pompe à vide 1 comporte plusieurs étages de pompage 3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f tels que six, montés en série entre une aspiration 7 et un refoulement 8 de la pompe à vide 1 et dans lesquels un gaz à pomper peut circuler. [0040] Chaque étage de pompage 3a-3f est formé par une chambre de compression recevant les rotors 5, les chambres comprenant une entrée et une sortie respectives. Les étages de pompage successifs 3a-3f sont raccordés en série les uns à la suite des autres par des canaux inter-étages respectifs raccordant la sortie de l'étage de pompage qui précède à l'entrée de l'étage qui suit. [0041] Dans une telle pompe multiétagée, le premier étage de pompage 3a dont l'entrée communique avec l'aspiration 7 de la pompe à vide 1 est aussi nommé « étage d'aspiration ». Le dernier étage de pompage 3f dont la sortie communique avec le refoulement 8 de la pompe à vide 1 est aussi nommé « étage de refoulement », la pression de refoulement étant généralement de l'ordre de la pression ambiante (ou atmosphérique). [0042] En fonctionnement, les rotors 5 tournent de façon synchronisée en sens inverse dans chaque étage pour entrainer un gaz à pomper entre l'aspiration 7 et le refoulement 8. Lors de la rotation, le gaz aspiré depuis l'entrée est emprisonné dans le volume engendré par les rotors 5 et le stator 9 de la pompe à vide 1, puis est entraîné par les rotors 5 vers l'étage suivant (le sens de circulation des gaz pompés est illustré par les flèches sur les Figures 1 et 2). [0043] Les rotors 5 présentent par exemple des lobes de profils identiques, par exemple de type « Roots », par exemple de section en forme de « huit » ou de « haricot », ou de type « Claw » ou sont de type à vis ou d'un autre principe similaire de pompe à vide volumétrique. [0044] Les arbres 4 portant les rotors 5 sont entraînés par un moteur M de la pompe à vide 1. Ils sont supportés par des roulements lubrifiés par un lubrifiant contenu dans au moins un carter d'huile 10 de la pompe à vide 1 et ils sont synchronisés au moyen d'un engrenage de synchronisation 6 également lubrifié. Un moyen d'étanchéité au travers duquel les arbres 4 sont toujours susceptibles de tourner, isole le carter d'huile 10 de la partie de pompage sec. [0045] Selon un exemple de réalisation, la pompe à vide 1 comporte une canalisation de re- foulement principale 11, raccordant la sortie du dernier étage de pompage 3f au refoulement 8. Un clapet antiretour 12 peut être agencé dans la canalisation de refoulement principale 11 pour empêcher le retour des gaz pompés dans la pompe à vide 1. [0046] La pompe à vide 1 comporte en outre un stator annexe 13, une canalisation d'aspiration 14 munie d'une vanne d'entrée pilotable 15 et au moins un rotor annexe 16 agencé dans le stator annexe 13. [0047] Le stator annexe 13 comporte une entrée 17 et une sortie 18. Il est traversé au moins par un des arbres 4. [0048] La canalisation d'aspiration 14 relie l'entrée 17 du stator annexe 13 à l'étage de pompage 3f communiquant avec le refoulement 8 de la pompe à vide 1, par exemple au niveau de l'entrée de l'étage de pompage 3f. Cet étage est le dernier étage dans le sens d'écoulement des gaz pompés dans le cas d'une pompe à vide 1 multiétagée ou est formé par les derniers pas de vis dans le sens d'écoulement des gaz pompés dans le cas d'une pompe à vide monoétagée à vis. [0049] Le au moins un rotor annexe 16 est porté par l'arbre 4 traversant le stator annexe 13. Il est configuré pour que sa rotation dans le stator annexe 13 entraine un gaz à pomper 6 entre l'entrée 17 et la sortie 18 du stator annexe 13 pour abaisser la pression dans l'étage de pompage 3f communiquant avec le refoulement 8 lorsque la vanne d'entrée pilotable 15 est commandée en ouverture. [0050] On utilise ainsi la rotation des arbres 4 entrainant les rotors 5 de la pompe à vide 1 pour également entrainer en rotation le au moins un rotor annexe 16 afin d'abaisser la pression de l'étage de pompage 3f de refoulement de la pompe à vide 1. La consommation électrique de la pompe à vide 1 peut alors être réduite sans nécessiter de dispositif de pompage externe à la pompe à vide 1. [0051] La pompe à vide 1 est compacte, simple à installer et à contrôler. [0052] La vanne d'entrée pilotable 15 est par exemple une vanne pneumatique ou une élec- trovanne telle qu'électromagnétique ou piézoélectrique, notamment pilotable en tout ou rien : elle est soit ouverte, soit fermée. [0053] Pour commander la vanne d'entrée pilotable 15, la pompe à vide 1 peut comporter une unité de pilotage 19 comprenant un ou plusieurs contrôleurs ou microcontrôleurs ou processeurs et une mémoire. [0054] L'unité de pilotage 19 est par exemple configurée pour contrôler l'ouverture de la vanne d'entrée pilotable 15 en fonction d'une mesure de la pression d'aspiration de la pompe à vide 1 et/ou de la puissance consommée par la pompe à vide 1. [0055] Pour cela, l'unité de pilotage 19 surveille un franchissement de seuil de pression et/ ou de puissance, par exemple lorsque la pression d'aspiration de la pompe à vide 1 franchit un seuil bas de pression et/ou lorsque la puissance (ou courant) du moteur M dépasse un seuil de puissance pendant une durée prédéterminée. Cette situation correspond généralement à une phase d'attente du sas 101 à basse pression, la pompe à vide 1 étant en situation de pompage en vide limite (sans injection de gaz) ou en situation de pompage à basse pression d'un faible flux de purge. [0056] Selon un autre exemple, le sas 101 comporte un moyen de contrôle 102 de la vanne d'entrée pilotable 15, pouvant contrôler directement la vanne d'entrée pilotable 15 ou pouvant être relié à l'unité de contrôle 19 de la pompe à vide 1 pour contrôler la vanne d'entrée pilotable 15. [0057] Le moyen de contrôle 102 contrôle l'ouverture de la vanne d'entrée pilotable 15 par exemple lorsque le sas 101 est en phase d'attente. Le moyen de contrôle 102 peut être un signal, par exemple issu d'un commutateur électrique, ou peut être un code numérique. [0058] La commande en ouverture de la vanne d'entrée pilotable 15 peut être limitée dans le temps, c'est-à-dire pour une durée prédéfinie, par exemple inférieure à cinq minutes. La commande en ouverture de la vanne d'entrée pilotable 15 peut être déclenchée en début et en fin de phase d'attente. La vanne d'entrée pilotable 15 peut aussi être commandée en fermeture par exemple dès que la puissance est descendue en dessous 7 du seuil de puissance. [0059] Contrôler l'ouverture de la vanne d'entrée pilotable 15 permet d'abaisser la pression de l'étage de pompage 3f de refoulement à des moments bien précis et pour des durées choisies. L'utilisation d'une vanne d'entrée pilotablc 15 procure donc une grande souplesse d'action. [0060] Selon un exemple de réalisation, la sortie 18 du stator annexe 13 est mise en commu- nication avec le refoulement 8 de la pompe à vide 1 par une canalisation de refoulement annexe 20 munie d'une vanne de sortie pilotable 21. [0061] La sortie de la canalisation de refoulement annexe 20 est par exemple reliée au re- foulement 8 de la pompe à vide 1 en aval du clapet antiretour 12 de la canalisation de refoulement principale 11 dans le sens d'écoulement des gaz pompés. Les sorties des canalisations de refoulement principale 11 et annexe 20 sont indépendantes. [0062] Le pilotage de la vanne de sortie pilotable 21 est lié au pilotage de la vanne d'entrée pilotable 15 : les deux vannes 15, 21 sont pilotées en ouverture et fermeture en même temps, par les mêmes moyens, avec éventuellement un petit décalage permettant de fermer la vanne de sortie 21 juste après la vanne d'entrée 15 ou d'ouvrir la vanne de sortie 21 juste avant la vanne d'entrée 15 afin d'évacuer le volume du stator annexe 13 avant de l'isoler. [0063] L'ouverture de la vanne de sortie pilotable 21 peut ainsi être contrôlée par l'unité de pilotage 19 par exemple en fonction d'une mesure de la pression d'aspiration de la pompe à vide 1 et/ou de la puissance consommée par la pompe à vide 1 ou par le moyen de contrôle 102 du sas 101 par exemple lorsque le sas 101 est en phase d'attente. [0064] On peut ainsi conserver le au moins un rotor annexe 16 sous vide lorsqu'il n'est pas utilisé pour abaisser la pression dans l'étage de refoulement. Le au moins un rotor annexe 16 tourne sur lui-même sans nouvelle entrée de gaz, en ne consommant pas ou très peu d'énergie et sans perturbation du pompage dans les étages de pompage 3a-3f de la pompe à vide 1. [0065] Selon un premier exemple de réalisation représenté sur la Figure 2, la pompe à vide 1 comporte deux rotors annexes 16 agencés dans le stator annexe 13. Les rotors annexes 16 sont portés par un arbre 4 respectif, les deux arbres 4 de la pompe à vide 1 traversant le stator annexe 13. Les rotors annexes 16 sont configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse pour entrainer un gaz à pomper entre l'entrée 17 et la sortie 18 du stator annexe 13. [0066] Les rotors annexes 16 sont par exemple de type Roots, à vis ou Claw. [0067] Le stator annexe 13 présente par exemple des dimensions similaires ou inférieures aux dimensions du stator 9 de l'étage de pompage 3f de refoulement de la pompe à vide 1. Il est par exemple moins épais que le stator 9 de l'étage de refoulement ou les 8 arhres 4 peuvent présenter un diamètre plus important dans le stator annexe 13. [0068] Le stator annexe 13 est par exemple agence à l'extrémité des étages de pompage 3a-3f, par exemple à côté de l'étage de pompage 3f de refoulement, en étant par exemple interposé entre le carter d'huile 10 et l'étage de pompage 3f. Le stator annexe 13 peut aussi être interposé entre deux étages de pompage 3a-3f successifs, par exemple entre le dernier et l'avant dernier étage de pompage 3e, 3f. [0069] Dans ce mode de réalisation, le stator annexe 13 est similaire à un étage de pompage sec supplémentaire, uniquement utilisé de façon ponctuelle, lorsqu'il est nécessaire d'abaisser la pression dans l'étage de refoulement. [0070] Selon un deuxième exemple de réalisation représenté sur les Figures 3 et 4, la pompe à vide 1 comporte deux rotors annexes 16 agencés dans le stator annexe 22 qui sont formés par une roue dentée 31 respective de l'engrenage de synchronisation 6. [0071] Les roues dentées 31 de l'engrenage de synchronisation 6 sont portées par un arbre 4 respectif, les deux arbres 4 de la pompe à vide 1 traversant le stator annexe 22 qui est formé dans le carter d'huile 10. [0072] Les roues dentées 31 sont configurées pour synchroniser la rotation des arhres 4 et pour entrainer un gaz à pomper entre l'entrée 17 et la sortie 18 du stator annexe 22. Les roues dentées 31 de l'engrenage de synchronisation 6 forment ainsi une pompe à engrenages avec le stator annexe 22. [0073] Les pompes à engrenages utilisent le profil combiné des deux roues dentées 31 pour entrainer le gaz à pomper. En fonctionnement, le gaz à pomper se loge entre les dents de chacune des roues dentées 31 et le stator annexe 22. La rotation des roues dentées 31 en sens inverse entraine le gaz autour des roues dentées 31 par l'extérieur. [0074] Dans ce mode de réalisation, on utilise l'engrenage de synchronisation 6 déjà présent pour la synchronisation des arbres 4 comme moyen de pompage supplémentaire lorsqu'il est nécessaire d'abaisser la pression dans l'étage de refoulement. [0075] 11 est possible d'ajouter un piège à huile entre l'entrée 17 du stator annexe 22 et la vanne d'entrée pilotable 15 pour éviter la migration du lubrifiant dans la partie de pompage sec. [0076] Selon un troisième exemple de réalisation représenté sur les Figures 5 et 6, le rotor annexe 23 est un rotor de pompe à palettes (ou « rotary vane pump » en anglais). [0077] Le rotor annexe 23 forme une pompe à palettes avec le stator annexe 24 reçu dans une chambre 25 du carter d'huile 10 de la pompe à vide 1. [0078] De manière connue en soi, et comme on peut le voir sur l'exemple de la Figure 6, le rotor de pompe à palettes comporte deux palettes 26 coulissant dans une fente et reliées entre elles par un ressort qui les repousse l'une de l'autre. Le rotor de pompe à palettes tourne de manière excentrique dans un cylindre du stator annexe 24. Le stator annexe 24 est reçu dans un lubrifiant liquide 27, tel que de l'huile, contenu dans la chambre 25 9 du carter d'huile 10. L'entrée 17 du stator annexe 24 débouche de la chambre 25 en étant isolée du lubrifiant liquide 27. La sortie 18 du stator annexe 24 est munie d'une soupape 29 (ou clapet anti-retour) baignant dans le lubrifiant liquide 27. [0079] -Ici, le rotor de pompe à palettes est porté et entraîné en rotation par un arbre 4 de la pompe à vide 1 traversant le stator annexe 24. [0080] En fonctionnement, le volume défini par le rotor annexe 23 et le stator annexe 24 commence par augmenter pour aspirer les gaz à l'entrée 17. Le volume d'aspiration est maximum lorsque les palettes 26 sont en position verticale. Ce volume diminue ensuite avec la rotation des palettes 26, augmentant ainsi la pression du gaz emprisonné. Ce gaz est ensuite évacué vers la sortie 18. Le gaz s'échappe via la soupape 29 et remonte à travers le lubrifiant liquide 27 jusqu'à une sortie 30 de la chambre 25 reliée à la canalisation de refoulement annexe 20. [0081] La pompe à vide 1 à pompe à palettes intégrée permet d'abaisser la pression dans l'étage de refoulement avec un très bon taux de compression. [0082] -11 est possible d'ajouter un piège à huile entre l'entrée 17 du stator annexe 24 et la vanne d'entrée pilotable 15 pour éviter la migration du lubrifiant dans la partie de pompage sec. 10 REVENDICATIONS[Revendication 1] Pompe à vide (1) de type sèche comportant : - au moins un étage de pompage (3a, 3h, 3c, 3d, 3c, 3f), - deux arbres (4) rotatifs portant respectivement au moins un rotor (5) s'étendant dans le au moins un étage dc pompage (3a, 3h, 3c, 3d, 3c, 3f), les rotors (5) étant configurés pour tourner dc façon synchronisée en sens inverse pour cntraincr un gaz à pomper entre une aspiration (7) et un refoulement (8) de la pompe à vide (1), caractérisée en ce que la pompe à vide (1) comporte en outre : - un stator annexe (13 ; 22 ; 24) traversé au moins par un des arbres (4), - une canalisation d'aspiration (14) munie d'une vanne d'entrée pilotable (15), reliant une entrée (17) du stator annexe (13 ; 22 ; 24) à un étage de pompage (3f) communiquant avec le refoulement (8) de la pompe à vide (1), et - au moins un rotor annexe (16 ; 23) porté par ledit arbre (4), ledit rotor annexe (16 ; 23) étant configuré pour que sa rotation dans le stator annexe (13 ; 22 ; 24) entraine un gaz à pomper entre l'entrée (17) et une sortie (18) du stator annexe (13 ; 22 ; 24) pour abaisser la pression dans l'étage de pompage (30 lorsque la vanne d'entrée pilotable (15) est commandée en ouverture. [Revendication 2] Pompe à vide (1) selon la revendication 1, caractérisée en ce que le stator annexe (13) est traversé par les deux arbres (4), la pompe à vide (1) comportant deux rotors annexes (16) agencés dans le stator annexe (13) portés par un arbre (4) respectif, les rotors annexes (16) étant configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse. [Revendication 3] Pompe à vide (1) selon la revendication 2, caractérisée en ce que les rotors annexes (16) sont de type Roots. [Revendication 4] Pompe à vide (1) selon la revendication 1, caractérisée en ce que le stator annexe (22) est formé dans un carter d'huile (10) de la pompe à vicie (1), la pompe à vicie (1) comportant deux rotors annexes formés par une roue dentée (31) respective d'un engrenage de synchronisation (6) de la pompe à vicie (1), l'engrenage de synchronisation (6) formant une pompe à engrenages avec le stator annexe (22), l'engrenage de synchronisation (6) étant en outre configuré pour synchroniser la rotation des arbres (4). [Revendication 5] Pompe à vide (1) selon la revendication 1, caractérisée en ce que le rotor annexe (23) est un rotor de pompe à palettes formant une pompe à 11 [Revendication 6] [Revendication 7] [Revendication 8] [Revendication 9] [Revendication 10] [Revendication 11] palettes avec le stator annexe (24) reçu dans une chambre (25) d'un carter d'huile (10) de la pompe à vide (1). Pompe à vide (1) selon rune des revendications précédentes, caractérisée en cc que la sortie (18) du stator annexe (13 ; 22 ; 24) est mise en communication avec le refoulement (8) de la pompe à vide (1) par une canalisation de refoulement annexe (20) munie d'une vanne de sortie pilotablc (21). Pompe à vide (1) selon rune des revendications précédentes, caractérisée en cc que c'est une pompe à vide (1) primaire configurée pour refouler les gaz à pression atmosphérique. Pompe à vide (1) selon rune des revendications précédentes, caractérisée en cc qu'elle comporte une unité de pilotage (19) configurée pour contrôler l'ouverture de la vanne d'entrée pilotable (15) en fonction d'une mesure de la pression d'aspiration de la pompe à vide (1) et/ou de la puissance consommée par la pompe à vide (1). Pompe à vide (1) selon rune des revendications précédentes, caractérisée en cc que les rotors (5) sont de type « Roots » ou « Claw ». Installation de pompage (100) comportant un sas (101) caractérisée en ce qu'elle comporte une pompe à vide (1) de type sèche selon l'une des revendications précédentes reliée au sas (101) pour descendre et monter alternativement en pression dans le sas (101). Installation de pompage (100) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que le sas (101) comporte un moyen de contrôle (102) de la vanne d'entrée pilotable (15) pour contrôler l'ouverture de la vanne d'entrée pilotable (15) lorsque le sas (101) est en phase d'attente.