Brevet FR3089022A1 — publié le 20200529

Description Titre de l'invention : Installation d'interféromètre et son procédé de réalisation Domaine de l'invention [0001] La présente invention se rapporte à une installation d'interféromètre et à son procédé de réalisation. Etat de la technique [0002] Les interféromètres Fabry-Pérot (interféromètre FPI) micromécaniques, utilisent ha- bituellement des piles de miroirs DBR (réflecteurs de Bragg ou réseaux de Bragg) comportant des couches en des matériaux à faible indice de réfraction et des matériaux à fort indice de réfraction. Cela permet de choisir l'épaisseur des couches de miroir pour que l'épaisseur optique des couches DBR corresponde respectivement à un quart de la longueur d'onde cible qui doit traverser l'installation d'interféromètre. A la différence de l'indice de réfraction entre les couches, la réflectance peut augmenter et cela également avec le nombre de paires de couches en un matériau à fort indice de réfraction et à faible indice de réfraction. C'est pourquoi on peut combiner des couches minces à fort indice de réfraction et des couches épaisses à faible indice de réfraction. Les couches à fort indice de réfraction peuvent assurer ainsi une meilleure stabilité mécanique aux miroirs de l'interféromètre FPI. Une réflectance élevée, en particulier également une largeur de bande spectrale élevée, parmi les matériaux à compatibilité de semi-conducteur, développe un système de miroirs en silicium et air avec une forte différence d'indice de réfraction. Pour les miroirs de type Si-air-DBR d'interféromètres FPI, on peut, suivant la plage des longueurs d'onde cibles, avoir des épaisseurs de couches Si pour les différentes couches de miroir, inférieures à 200 nm. Les applications spectrométriques nécessitent avantageusement de grandes ouvertures pour arriver à des rapports signal/bruit, importants. Il est souhaitable de trouver un compromis entre la robustesse mécanique (diamètre de l'ouverture) et la fonctionnalité optique (épaisseur des couches) ainsi que la possibilité de réalisation (nombre de paires de couches. [0003] Le document US 6 400 738 B1 décrit un dispositif d'interféromètre de Fabry-Pérot qui comprend des miroirs avec plusieurs couches ayant des indices de réfraction différents ; pour stabiliser vis-à-vis des vibrations mécaniques, on modifie la distance entre les miroirs. Exposé de l'invention [0004] La présente invention a pour objet une installation d'interféromètre comprenant un substrat ayant une zone optique pour le passage des rayons lumineux, une première 2 installation de miroir et une seconde installation de miroir, la première et la seconde installations de miroir étant parallèles et superposées au-dessus de la zone optique, en étant au moins mobiles par zone l'une par rapport à l'autre et au moins l'une des deux installations de miroir a au moins une première couche de miroir et parallèle à celle-ci, une seconde couche de miroir, la première ou la seconde couche de miroir ayant dans une zone de bord extérieure à la zone optique, une épaisseur de bord supérieure à l'épaisseur de l'autre couche de miroir. [0005] L'invention a également pour objet un procédé de réalisation d'une installation d'interféromètre comprenant les étapes suivantes consistant à : fournir un substrat ; appliquer une première couche sacrificielle sur le substrat, appliquer une première installation de miroirs sur la première couche sacrificielle, appliquer une seconde couche sacrificielle appliquer une seconde installation de miroir sur la seconde couche sacrificielle, la première et/ou la seconde installation de miroir étant parallèles et superposées au-dessus de la zone optique, en étant au moins mobiles par zone l'une par rapport à l'autre et au moins l'une des deux installations de miroir a au moins une première couche de miroir et parallèle à celle-ci une seconde couche de miroir, la première ou la seconde couche de miroir dans une zone de bord à l'extérieur de la zone optique ayant une épaisseur de bord supérieure à l'épaisseur de l'autre couche de miroir et enlever au moins la seconde couche sacrificielle au moins sur la zone optique. [0006] Avantages de l'invention [0007] Le concept de base de l'invention consiste à développer une installation d'interféromètre qui se distingue par un système de miroirs plus robuste mécaniquement tout en conservant les propriétés optiques avantageuses. Les systèmes de miroirs de telles installations d'interféromètre se distinguent par leur robustesse vis-à-vis des influences extérieures, telles que l'action de forces, tout en pouvant se réaliser en construction micromécanique et convenir pour des applications et des produits spécifiques. [0008] Selon l'invention, l'installation d'interféromètre comprend un substrat ayant une zone optique conçue pour laisser passer les rayons lumineux ; une première installation de miroir et une seconde installation de miroir ; la première et la seconde installation de miroir sont parallèles et superposées sur la zone optique ; ces installations de miroir sont mobiles l'une pal- rapport à l'autre, au moins par des zones, et au moins l'une des deux installations de miroir a une première couche de miroir et parallèle à celle-ci une seconde couche de miroir. La première et la seconde couche de miroir ont une épaisseur de bord dans la zone de leur bord à l'extérieur de la zone optique qui est plus grande que l'épaisseur du restant de la couche de miroir. [0009] Grâce à leur meilleure stabilité mécanique, de telles installations de miroir ont l'avantage d'être insensibles aux chocs et aux chutes (test de chute) de l'installation 3 d'interféromètre. L'installation d'interféromètre peut se réaliser en technique micromécanique ou comme microspectromètre. Les installations de miroir sont pratiquement parallèles l'une à l'autre ou plan-parallèles superposées. La première et la seconde couches de miroir sont réalisées dans les mêmes matériaux ou des matériaux différents. La zone de bord se situe à l'extérieur de la zone optique. [0010] Selon un développement préférentiel de l'installation d'interféromètre, la zone médiane au-dessus de la zone optique dc la première et/ou dc la seconde couche de miroir a une épaisseur optique médiane égale à un multiple impair du quart de longueur d'onde de la longueur d'onde dc transmission de la première et dc la seconde installation de miroir. Ici et dans la suite de la description l'épaisseur est avantageusement l'épaisseur optique, c'est-à-dire le produit de l'indice de réfraction par l'épaisseur réelle de la couche. [0011] La longueur d'onde dc transmission est la longueur d'onde cible qui doit traverser l' installation d' interféromètre. [0012] Selon un développement préférentiel de l'installation d'interféromètre, la seconde couche de miroir est à l'opposé de la zone optique (non tournée vers la zone optique) et la première couche de miroir se trouve dans l'une des directions de miroir entre la seconde couche dc miroir dc cette installation de miroir et le substrat. [0013] La seconde couche dc miroir peut notamment être à l'opposé de l'intervalle de ré- sonateur entre les installations de miroir. [0014] Selon une forme de réalisation préférentielle de l'installation d'interféromètre, la première et la seconde installations de miroir sont encastrées par leur zone de bord dans une zone de couche intermédiaire. [0015] Selon une forme de réalisation préférentielle de l'installation d'interféromètre, la seconde couche de miroir présente dans la zone optique, au moins en partie, une épaisseur optique supérieure à l'épaisseur de l'autre couche de miroir. [0016] Selon une forme de réalisation préférentielle de l'installation d'interféromètre, la première et/ou la seconde couche de miroir ont une surépaisseur au moins par zones. [0017] Selon une forme de réalisation préférentielle de l'installation d'interféromètre, l'épaisseur optique de la première couche de miroir dans sa zone médiane et l'épaisseur optique médiane de la seconde couche de miroir correspondent à un multiple impair d'un quart de longueur d'onde de la longueur d'onde de transmission de la première et de la seconde installation de miroir. [0018] Selon une forme de réalisation préférentielle de l'installation d'interféromètre, la somme de l'épaisseur optique de la première couche de miroir dans la zone médiane et de l'épaisseur optique médiane de la seconde couche de miroir correspondent à un multiple impair d'un quart de longueur d'onde de la longueur d'onde de transmission de la première et de la seconde installation de miroir. 100191 Selon l'invention, le procédé de réalisation d'une installation d'interféromètre consiste à utiliser un substrat et à appliquer sur celui-ci une première couche sacrificielle, puis à appliquer sur celle-ci une première installation de miroir puis une seconde couche sacrificielle sur laquelle on place une seconde installation de miroir. La première et/ou la seconde installation de miroir sont parallèles entre elles et sont superposées à la zone optique ; ces installations de miroir sont au moins par zone, mobiles l'une par rapport à l'autre. Au moins l'une des deux installations de miroirs comprend au moins une première couche de miroir et en parallèle à celle-ci, une seconde couche de miroir. La première et. la seconde couche de miroir ont dans leur zone de bord, au-delà de la zone optique, une épaisseur de bord supérieure à l'épaisseur de l'autre couche de miroir ; puis on élimine au moins la seconde couche sacrificielle au moins au-dessus de la zone optique. [0020] Le procédé a les avantages et les caractéristiques déjà présentés par l'installation d'interféromètre et réciproquement. [0021] Selon une forme de réalisation préférentielle du procédé, dans la zone médiane au- dessus de la zone optique, on réalise la première et/ou la seconde couche de miroir avec une épaisseur médiane qui correspond optiquement à un multiple impair d'un quart de longueur d'onde de la longueur d'onde de transmission de la première et de la seconde installation de miroir. [0022] La couche de miroirs d'épaisseur augmentée ou qui est plus épaisse peut être plus épaisse optiquement que l'autre couche de miroir selon un multiple de la demi-longueur d'onde. La première couche de miroirs aura, par exemple, une épaisseur égale à X/4 et la couche de miroir d'épaisseur augmentée, aura une épaisseur égale à (2n+1) `),./4, n étant un nombre entier. [0023] Selon une forme de réalisation préférentielle du procédé, la couche de miroir est renforcée en épaisseur par une couche en surépaisseur clans la zone du bord. [0024] La couche en surépaisseur peut être réalisée avec le même matériau ou un autre matériau que la couche de miroir que l'on peut renforcer en épaisseur. [0025] Selon une forme de réalisation préférentielle du procédé, on renforce l'épaisseur de la seconde couche de miroir dans la zone médiane de façon que dans cette zone médiane, l'épaisseur optique de la première couche de miroir dans la zone médiane et l'épaisseur optique médiane de la seconde couche de miroir correspondent respectivement à un multiple impair d'un quart de longueur d'onde, de l'onde de transmission de la première et de la seconde installation de miroir. Présentation des dessins [0026] La présente invention sera décrite ci-après, de manière plus détaillée à l'aide d'un exemple d'une installation d'interféromètre et de son procédé de réalisation re- présentée dans les dessins annexés dans lesquels : [0027] [fig.1] est une vue de côté schématique d'une installation d'interféromètre selon un exemple de réalisation de la présente invention, [0028] [fig.2] vue de côté schématique d'une installation d'interféromètre selon un autre exemple de réalisation de la présente invention, [0029] [fig.3a] [0030] [fig.3b] vue de côté dessus schématique d'une installation d'interféromètre selon un autre exemple de réalisation de la présente invention, [0031] [fig.4] courbes montrant la réflectance des longueurs d'ondes de différentes confi- gurations de miroirs de l'installation d'interféromètre, [0032] [fig.5] schéma par blocs d'un procédé de réalisation d'une installation d'interféromètre selon un exemple de réalisation de l'invention. [0033] Dans les différentes figures on utilisera les mêmes références pour des éléments identiques ou de même fonction. [0034] Description du mode de réalisation de l'invention [0035] La figure 1 est une vue de côté schématique d'une installation d'interféromètre selon un exemple de réalisation de la présente invention. [0036] L'installation d'interféromètre 1 comprend un substrat 2 avec une zone optique OB conçue pour le passage de rayons lumineux, une première installation de miroir SP1 et une seconde installation de miroir SP2 ; la première et la seconde installations de miroir SPI ; SP2 sont parallèles et superposées au-dessus de la zone optique OB ; ces installations sont mobiles l'une par rapport à l'autre, au moins par zone, et au moins l'une des deux installations de miroir SRI, SP2 comporte au moins une première couche de miroir SpSa et, parallèles à celle-ci, une seconde couche de miroir SpSb. La première et la seconde couches de miroir SpSa ; SpSb ont dans la zone de leur bord RB à l'extérieur de la zone optique OB, une épaisseur de bord DR supérieure à l'épaisseur Dl de l'autre couche de miroir SpSa. [0037] L'augmentation de l'épaisseur de bord DR assure une meilleure robustesse mécanique aux installations de miroir SPI, SP2. Les couches à fort indice de réfraction seront avantageusement plus fortes mécaniquement et auront un module mécanique plus élevé et le cas échéant une contrainte de rupture, critique plus élevée que les couches à indice de réfraction plus faible ; cela est, par exemple, le cas de miroirs silicium-air ; le silicium constitue alors le milieu à fort indice de réfraction. Ainsi, pour une même augmentation de la robustesse, il est avantageux d'avoir des couches à fort indice de réfraction qui sont rendues plus épaisses dans l'installation de miroir que les couches ou la couche à faible indice de réfraction. [0038] Les installations de miroir et/ou les couches de miroir d'une installation d'interféromètre peuvent être couplées l'une à l'autre du point de vue fluidique par un 6 gaz résiduel dans l'intervalle formant le résonateur, c'est-à-dire l'intervalle entre les couches de miroir. Si dans les deux installations de miroir SPI, SP2, l'une des couches de miroir SpSa, SpSb est plus épaisse, les deux installations de miroir sont ainsi mieux protégées car le renforcement de l'une des installations de miroir par le couplage par ressort pneumatique se répercute automatiquement sur l'autre installation de miroir et la renforce mécaniquement vis-à-vis des sollicitations extérieures ; cela peut jouer un rôle spécialement vis-à-vis de stimuli rapides, par exemple, en cas de chutes. Cela peut résulter du fait que l'effet de ressort à gaz produit par un gaz résiduel joue un rôle important sur des échelles de temps courtes. Ainsi, on peut emprisonner un film de gaz entre les deux installations de miroir et grâce au rapport d'aspect élevé, il présente une très forte résistance fluidique. [0039] Si l'on renforce l'épaisseur d'une couche de miroir à l'opposé de l'intervalle formant le résonateur (intervalle optique) dans une pile de miroirs (installation de miroir) ou si cela est réalisé directement (optiquement K/4) alors l'effet protecteur est particulièrement efficace car pour la robustesse, la sollicitation en traction qui se produit, par exemple, le pliage cisaillement dans la zone de bord RB (dans le cas d'un encastrement) est décisif ou a un effet limitatif. Plus la couche d'épaisseur est épaisse à cet endroit et plus élevée sera la tenue à la traction, par exemple, la rupture par pliage cisaillement. [0040] La zone médiane MB s'étend avantageusement dans toute la zone comprise entre les zones de bord RB. Les installations de miroir SPI, SP2 et en particulier les couches de miroir peuvent également comporter une succession de plusieurs couches, par exemple, une alternance de couches à fort indice de réfraction et de couches à faible indice de réfraction et à la place d'une couche à faible indice de réfraction, on peut également avoir un gaz ou le vide. De telles installations de miroir peuvent être réalisées sous la forme de miroirs diélectriques de Bragg. Les installations de miroir SPI et SP2 peuvent être écartées d'une première distance dI2 qui varie du fait de la mobilité d'au moins l'une des installations de miroir. De plus, les installations de miroir SPI et SP2 peuvent avoir respectivement l'une ou les deux, une zone optique OB dégagée par un procédé de gravure et qui peut être actionnée. La zone de bord RB comporte avantageusement un renforcement en épaisseur, quelconque, par exemple, avec une couche en surépaisseur AS car celle-ci est au-delà de la zone optique OB et n'a pas à intervenir dans les propriétés de transmission optique. Le renforcement en épaisseur de la zone de bord sert avantageusement uniquement à assurer la stabilité mécanique de l'installation de miroir SPI et/ou SP2. La robustesse mécanique augmente avec l'épaisseur des couches de miroir, par exemple, pour résister à des cas de sur sollicitations. L'augmentation de l'épaisseur de la couche réduit les tensions mécaniques internes de l'installation de miroir. 7 [0041] Une telle installation d'interféromètre 1 constitue un filtre de Fabry-Perot et peut se réaliser en technique micromécanique. [0042] L'augmentation de l'épaisseur du bord est en relation avec le restant de l'épaisseur du miroir de la même installation de miroir. Le choix de la couche de miroir SpSa, SpSh qui doit être renforcée en épaisseur est quelconque. De manière particulièrement avantageuse, toutefois, on renforce en épaisseur la couche de miroir qui est à l'opposé de l'intervalle formant le résonateur entre les deux installations de miroir. À la figure 1, pour cela, la première installation de miroir SP1 a sa couche de miroir inférieure (première couche) SpSa avec une surépaisscur DR dans la zone de bord RB ; dans la seconde installation de miroir SP2 qui est au-dessus de la première installation de miroir SPI, la couche de miroir supérieure (seconde couche) SpSh a une surépaisseur DR dans la zone de bord RB. Ces zones peuvent être égales ou différentes selon la stabilité mécanique nécessaire localement. [0043] La zone intermédiaire ZB subsiste avantageusement comme zone de bord RB après enlèvement de la première et de la seconde couche sacrificielle 01 et 02 dans la zone médiane MB et permettre l'encastrement des installations de miroir. Dans le mode de réalisation de la figure 1, les zones médianes MB des installations de miroir SPI et SP2 ainsi que leur couche de miroir SpSa, SpSh (ici il s'agit des deux installations de miroir de même forme, mais qui peuvent également être différentes) ont des couches de miroir renforcées en épaisseur telle qu'une épaisseur médiane DM qui correspond, par exemple, du point de vue optique, à un quart de longueur d'onde à transmettre. Les installations de miroir peuvent être raccordées électriquement pour être actionnées par des contacts extérieurs K. Dans l'une ou les deux installations de miroir, on peut prévoir des écarteurs AN qui maintiennent écartées la première et la seconde couche de miroir. [0044] La zone optique OB peut être un évidement réalisé dans le substrat 2. Si le substrat lui-même est transparent, on peut supprimer l'évidement du substrat. [0045] Les installations de miroir peuvent être fixées et avantageusement encastrées dans la zone de bord RB de la couche intermédiaire ZB. [0046] La figure 2 est une vue de côté schématique d'une installation d'interféromètre selon un autre exemple de réalisation de la présente invention. [0047] La forme de réalisation de l'installation d'interféromètre 1 de la figure 2 diffère seulement de celle de la figure 1 en ce que la seconde installation de miroir (installation supérieure) SP2 a également une surépaisseur AS ou une épaisseur augmentée dans la zone médiane MB. Avantageusement, l'épaisseur médiane DM est choisie pour que les propriétés de transmissions optiques des deux installations de miroir soient modifiées ou ne soient pas modifiées dans leur coopération. Un tel choix déterminé de l'épaisseur médiane DM est, par exemple, une épaisseur égale à un multiple impair d'un quart de la longueur d'onde de transmission de la première et/ou 8 de la seconde installation de miroir ; on peut tenir compte des propriétés de transmission de l'une ou des deux installations de miroir pour plusieurs longueurs d'onde. Dans une installation de miroir telle que l'installation SP2, la première couche de miroir SpSa est tournée vers l'intervalle de résonateur et optiqucment l'épaisseur médiane DM correspond à un quart de la longueur d'onde de transmission. La seconde couche de miroir SpSh n'est pas tournée vers l'intervalle de résonateur et son épaisseur optique médiane DM correspond, par exemple à trois quarts ou à cinq quarts de la longueur d'onde de transmission. L'intervalle de résonateur entre les deux installations de miroir SP1, SP2 correspond à une première distance d12, par exemple égale à (2n+1)" X/2, relation dans laquelle n est un nombre entier et 2\. est la longueur d'onde de transmission. [0048] Les couches de miroir peuvent être à fort indice de réfraction ; elles ont avanta- geusement un indice de réfraction supérieur à celui de l'air, du vide ou d'une matière intermédiaire qui se trouve dans l'intervalle entre les deux couches de miroir d'une installation de miroirs. Les deux couches de miroir et l'intervalle peuvent avoir une épaisseur optique ou hauteur égale à ?J4, 5X14 ou des multiples supérieurs. [0049] En tenant compte des propriétés optiques des installations de miroir pour des réa- lisations plus épaisses de l'une ou de plusieurs couches de miroir, on évite de limiter la plage optique utile ou les caractéristiques optiques. [0050] On aura la plus grande robustesse (sollicitation mécanique) avec des couches de miroir plus épaisses sur toute leur surface ; mais on peut également renforcer l'épaisseur seulement de la zone de bord RB qui offre déjà une plus grande robustesse car à cet endroit, dans la zone transitoire, entre la zone encastrée et la zone libre, on rencontre les contraintes mécaniques les plus fortes telles que, par exemple, la rupture par pliage. [0051] Si la zone médiane MB est mécaniquement plus rigide (renforcée en épaisseur) que la zone de bord RB et/ou la zone d'encastrement, on aura un meilleur parallélisme plan ce qui se traduit par une résolution plus élevée de l'installation d'interféromètre. [0052] De façon avantageuse, les couches de miroir à l'opposé de l'intervalle de résonateur (couche non tournée vers cet intervalle) des deux installations de miroir peuvent avoir une épaisseur plus grande, c'est-à-dire avoir un renforcement en épaisseur ce qui permet d'avoir une structure ayant une symétrie optique. [0053] On peut réduire la largeur de bande (dépendant de la longueur d'onde, comme cela apparaît à la figure 4) de la réflectance d'une installation de miroir, par exemple d'un miroir DBR par des couches de miroir dites « couche 714 », permet par l'adjonction de couches 3214 ou avec des multiples plus grands du quart de la longueur d'onde de transmission, selon la figure 4, les longueurs d'onde élevées et basses donnent une moindre réflectance pour les couches de miroir épaisses que les couches plus minces. 9 C'est pourquoi il peut être nécessaire de trouver un compromis entre la robustesse assurée par des épaisseurs importantes des couches et les propriétés optiques. La réflectance est le rapport entre la quantité de lumière réfléchie par un corps éclairé et l'intensité de la source lumineuse ou celle du rayonnement incident. [0054] La figure 3a, h est une vue de dessus schématique d'une installation d'interféromètre correspondant à un exemple de réalisation de la présente invention. [0055] La figure 3a est une vue dessus d'une seconde installation de miroir SP2. La seconde couche de miroir SpSh de la seconde installation dc miroir SP2, non tournée vers l'intervalle de résonateur, peut se trouver au-dessus de la première couche dc miroir selon la figure 2. La disposition de la figure 3a diffère ainsi de la figure 2 en ce que la seconde couche dc miroir SpSb, dans la zone médiane MB, n'est renforcée qu'en partie par la rapport à l'épaisseur 214. Le renforcement partiel en épaisseur peut se faire selon le motif présenté à la figure 3a ; ce motif se compose de bras radiaux et d'un cercle central au-dessus de la zone médiane MB et de la zone optique OB. Une telle forme avec un renforcement local en épaisseur de la seconde couche de miroir SpSh assure une plus grande stabilité mécanique tout en tenant compte des propriétés de transmissions optiques. La structure radiale peut être combinée à la zone de bord RB qui a également une épaisseur augmentée et est ancrée dans la zone intermédiaire ZB. Sous la ligne en traits interrompus, entre la zone de bord et la zone intermédiaire ZB, on a dégagé radialemcnt vers l'intérieur, la première et la seconde couche de miroir SpSa, SpSb. [0056] La figure 3b est une vue de dessus analogue à celle de la figure 3a. Toutefois, la seconde couche de miroir SpSb a une autre forme de renforcement en épaisseur, notamment une forme de surface fermée. La seconde couche de miroir a une épaisseur optique médiane qui est, par exemple, égale à trois quarts de la longueur d'onde de transmission couvrant complètement la zone optique OB. La zone de bord RB a une épaisseur analogue ou égale à celle de la seconde couche de miroir dans la zone médiane ; dans l'intervalle, l'épaisseur appliquée peut être moindre, par exemple, égale à 214. Il est également possible que dans le cas de la figure 3a, la seconde couche de miroir SpSb présente radialement à l'intérieur de la zone de bord RB, une épaisseur optique égale à 2./4 et une épaisseur optique de 3X/4 ou plus. La zone de bord peut également être différente d'une forme ronde. [0057] La figure 4 montre les courbes de rétlectance en fonction de la longueur d'onde pour différentes configurations de miroir de l'installation d'interféromètre. [0058] On a, par exemple, la relation entre la rétlectance d'une installation de miroir avec deux couches de miroir à fort indice de réfraction telles que des couches en silicium et un intervalle d'air ou le vide entre les couches ; dans le ter cas, les deux couches de miroir ont une épaisseur optique égale à 214 ; dans le 2ème cas, la couche de miroir tournée du côté incident a une épaisseur optique égale à 3k/4 et l'autre, une épaisseur optique égale à X14 ; dans le 3ème cas, la couche de miroir non tournée vers le côté incident a une épaisseur optique égale à 32\4. Dans le 4ème cas, les deux couches de miroir ont une épaisseur optique égale à 3214 ; dans le 5ème cas, les deux couches de miroir et l'intervalle (air/vide) ont une épaisseur optique égale à 3714. Il apparait que la largeur de hande (en fonction des longueurs d'onde) de la réflectance du miroir simple diminue avec chaque couche augmentant de 3X14 la couche au niveau des bords de la plage de réflectance ; le choix de la couverture sur toute la surface d'une couche de miroir, nécessite un compromis entre la robustesse mécanique et la largeur de hande optique. [0059] Pour ce compromis, il faut examiner si la fonctionnalité optique et/ou la robustesse mécanique sont l'objectif principal, chacune de ces fonctionnalités ayant son importance. C'est pourquoi on limite l'augmentation de l'épaisseur à la zone de bord qui n'est pas concernée par la transmission optique et/ou on tient compte en plus de la condition limite optique et en choisissant le renforcement de l'épaisseur, la demi-longueur d'onde de l'onde de transmission (longueur d'onde centrale de l'installation de miroir ou des deux (par exemple, dans le cas de plus de deux installations de miroir 3714, 57,/4 ou plus). [0060] La figure 5 est un schéma par blocs d'un procédé de réalisation d'une installation d'interféromètre selon un exemple de réalisation de l'invention. [0061] Le procédé de réalisation d'une installation d'interféromètre consiste à fournir (S1) un substrat, à installer (S2) une première couche sacrificielle sur le substrat, à appliquer (S3) une première installation de miroir sur la première couche sacrificielle ; puis appliquer (S4) une seconde couche sacrificielle et sur celle-ci, appliquer (S5) une seconde installation de miroir ; la première et la seconde installations de miroir sont parallèles et sont superposées sur la zone optique ; ces deux installations de miroir sont mobiles l'une par rapport à l'autre au moins par zones et au moins l'une des deux installations de miroir comporte au moins une première couche de miroir et parallèlement à celle-ci, une seconde couche de miroir ; la première ou la seconde couche de miroir présente au moins dans la zone de bord, au-delà de la zone optique, une épaisseur de bord supérieure à l'épaisseur de l'autre couche de miroir ; enfin, enlever (S6) au moins la seconde couche sacrificielle au moins au-dessus de la zone optique. [0062] NOMENCLATURE DES ELEMENTS PRINCIPAUX [0063] 1 Installation d'interféromètre [0064] 2 Substrat [0065] AS Couche en surépaisseur [0066] DM Epaisseur optique médiane [0067] DR Epaisseur du bord 11 [0068] Dl Epaisscur de l'autre couche de miroirs [0069] MB Zone médiane [0070] OB Zone optique [0071] 01 Première couche sacrificielle [0072] 02 Seconde couche sacrificielle [0073] RB Zone de bord [0074] SP1 Installation de miroir [0075] SP2 Installation de miroir [0076] SpSa Première couche de miroir [0077] SpSh Seconde couche de miroir [0078] S1-S6 Etapcs du procédé de réalisation d'une installation d'interféromètre [0079] ZB Zone de couche intermédiaire 12