Brevet FR3098215A1 — publié le 20210108

Description Titre de l'invention : VITRAGE A DOUBLE COUCHE DE TIN POUR CONTROLE SOLAIRE [0001] L'invention concerne les vitrages isolants dits de contrôle solaire, munis d'empilements de couches minces dits fonctionnels, c'est-à-dire agissant sur le rayonnement solaire et/ou thermique essentiellement par réflexion et/ou absorption du rayonnement infrarouge proche (solaire) ou lointain (thermique). L'application plus particulièrement visée par l'invention est en premier lieu le domaine du bâtiment, en tant que vitrage de contrôle solaire. Sans sortir du cadre de l'invention le présent vitrage peut également être utilisé dans les vitrages de véhicules, comme les verres latéraux, les toits-autos, les lunettes arrières. [0002] On entend par couche «fonctionnelle» ou encore «active», au sens de b présente demande, les couches de l'empilement qui confèrent à [empilement l'essentiel de ses propriétés d'isolation thermique. Le plus souvent les empilements en couches minces équipant le vitrage lui confèrent des propriétés sensiblement améliorées d'isolation très essentiellement par les propriétés intrinsèques desdites couches actives. Lesdites couches agissent sur le flux de rayonnement infrarouge thermique traversant ledit vitrage, par opposition aux autres couches, généralement en matériau diélectrique et ayant le plus souvent principalement pour fonction une protection chimique ou mécanique desdites couches fonctionnelles. Par matériau diélectrique, on entend un matériau dont la forme massive et dénuée d'impuretés présente une forte résistivité, notamment une résistivité initialement supérieure 1010 ohms.mètres (am). [0003] De tels vitrages munis d'empilements de couches minces agissent sur le rayonnement I R incident soit essentiellement par l'absorption dudit rayonnement par la ou les couches fonctionnelles, soit essentiellement par réflexion par ces mêmes couches. [0004] Ils sont regroupés sous la désignation de vitrage de contrôle solaire. Ils sont commer- cialisés et utilisés essentiellement : - soit pour assurer essentiellement une protection de l'habitation du rayonnement solaire ou de l'habitacle (automobile) et en éviter une surchauffe, de tels vitrages étant qualifiés dans le métier d'antisolaire, - soit essentiellement pour assurer une isolation thermique de l'habitation et éviter les déperditions de chaleur, ces vitrages étant qualifiés de vitrages isolants. [0005] Par antisolaire, on entend ainsi au sens de la présente invention la faculté du vitrage de limiter le flux énergétique, en particulier le rayonnement Infrarouge solaire (ms) le traversant depuis l'extérieur vers l'intérieur de l'habitation ou de l'habitacle. [0006] Par isolant thermique, on entend un vitrage muni d'au moins une couche fonc- 2 tionnelle lui conférant une déperdition énergétique diminuée, ladite couche présentant des propriétés de réflexion du rayonnement IR compris entre 5 et 50 micromètres. Les couches fonctionnelles utilisées dans cette fonction présentent un coefficient de réflexion du rayonnement IR élevé et sont dites bas-émissives (ou low-c selon le ternie anglais). [0007] Dans certains pays, les normes impliquent que les vitrages présentent des propriétés à la fois antisolaire et d'isolation thermique pour les vitrages de bâtiment. [0008] Une telle propriété est généralement mesurée par le facteur solaire, noté FS ou le plus souvent g dans la technique. [0009] De manière connue le facteur solaire g est égal au rapport de l'énergie traversant le vitrage (c'est-à-dire entrant dans le local) et de l'énergie solaire incidente. Plus particulièrement, il correspond à la somme du flux transmis directement à travers le vitrage et du flux absorbé par le vitrage (en y incluant les empilements de couches éventuellement présents à l'une de ses surfaces) puis éventuellement réémis vers l'intérieur (le local). [0010] Au sens de la présente invention, on considère qu'un facteur g de l'ordre de 30 à 35% remplit une telle fonction d'isolation. [0011] Les empilements les plus performants commercialisés à l'heure actuelle pour résoudre les problèmes précédents et déposés par les techniques de pulvérisation magnétron incorporent une couche métallique du type Argent fonctionnant essentiellement sur le mode de la réflexion d'une majeure partie du rayonnement IR (infrarouge) incident. Ces empilements sont ainsi utilisés principalement en tant que vitrages du type bas émissifs (ou low-e en anglais) pour l'isolation thermique des bâtiments. Ces couches sont cependant très sensibles à l'humidité et sont donc exclusivement utilisées dans des doubles vitrages, en face 2 ou 3 de celui-ci, pour être protégées de l'humidité. Les empilements selon l'invention ne comprennent pas de telles couches du type argent, ou encore du type or ou platine ou encore cuivre. D'une manière plus générale, les empilements selon l'invention ne contiennent pas de tels métaux précieux, ou alors en quantités très négligeables, notamment sous formes d'impuretés inévitables. [0012] D'une manière générale, toutes les caractéristiques lumineuses et thermiques présentées dans la présente description sont bien connues de l'homme du métier et peuvent être obtenues selon les principes et méthodes décrits dans les normes NF EN 410 (2011) et ISO 9050 (2003), se rapportant respectivement à la détermination des caractéristiques lumineuses et énergétiques des vitrages utilisés dans le verre pour la construction. [0013] Selon un autre aspect qui doit être pris en compte dans certaines applications, lorsqu'ils sont associés au substrat verrier utilisé (en particulier à un verre clair), les re- 3 vêtements doivent en outre également être esthétiquement plaisants, c'est-à-dire que le vitrage muni de son empilement doit présenter une colorimétrie, à la fois en transmission et en réflexion interne, suffisamment neutre pour ne pas incommoder les habitants du bâtiment ou les passagers du véhicule dans le système de colorimétrie CIE LAB (L*, a*, b*). En particulier, des valeurs du coefficient a* de ces deux paramètres doivent être le plus proche possible de 0 pour que la couleur soit considérée comme suffisamment neutre. En particulier, des valeurs trop importantes du coefficient a* en réflexion interne, c'est-à-dire du côté de l'empilement (noté a*,', dans la suite de la description), traduise une coloration intense du vitrage vu de l'intérieur du bâtiment et de l'habitacle et sont à proscrire. On cherchera préférentiellement, dans un tel but, à obtenir des articles verriers dans lesquels le paramètre em, est compris entre -10 et 10, de préférence entre -8 et 8, voire entre -5 et 5. En outre, il est recherché selon l'invention la mise au point d'articles verriers présentant une couleur relativement neutre en transmission, afin d'assurer un rendu correct des couleurs depuis l'extérieur vers l'intérieur du bâtiment. On cherchera préférentiellement, à encore, à obtenir des articles verriers dans lesquels le paramètre a*, est compris entre -10 et 10, voire entre - 5 et 5 et de préférence encore entre -5 et 0. [0014] Comme indiqués précédemment, les revêtements sont de façon classique déposés par des techniques de dépôt du type pulvérisation sous vide assistée par champ magnétique d'une cathode du matériau ou d'un précurseur du matériau à déposer, souvent appelée technique de pulvérisation magnétron dans le domaine. Une telle technique est aujourd'hui classiquement utilisée notamment lorsque le revêtement à déposer est constitué d'un empilement plus complexe de couches successives d'épaisseurs de quelques nanomètres ou quelques dizaines de nanomètres. [0015] Enfin, il est également recherché dans les technologies actuelles des empilements dont les couleurs en réflexion extérieure sont ajustables, c'est-à-dire des empilements qui permettent d'obtenir des vitrages dont la couleur en réflexion extérieure est différente, sur la base (le la même séquence de couches successives. Concrètement, il est recherché des empilements selon lesquels la modification des épaisseurs de ses différentes couches constitutives modifie la couleur rendue en vision extérieure, tout en conservant une couleur relativement neutre en transmission et en réflexion intérieure. En fonction des besoins et lors de la production de tels vitrages, il est alors possible de déposer en succession dans le dispositif magnétron différents empilements correspondants à différentes couleurs en réflexion sans avoir besoin de modifier sensiblement ledit dispositif (en particulier les cibles utilisées pour le dépôt de chaque couche). Le passage d'une production d'un vitrage à une autre peut ainsi se faire par simple réglage des conditions de la pulvérisation pour l'ajustement des différentes épaisseurs. [0016] La demande de brevet W02018/129135 décrit un empilement de couches comprenant successivement la séquence de couches suivante : S13N/TiN/Si3N4/T1N/Si3 N4. Il est indiqué dans cette publication qu'une telle séquence, dans laquelle les couches fonctionnelles en TIN sont encapsulées par des couches de diélectriques à base de nitrure de silicium, permet d'obtenir un empilement dont la couleur est sensiblement neutre coté verre (extérieur). [0017] La mise au point de nouveaux empilements est rendue nécessaire pour certaines ap- plications et notamment pour résoudre les problèmes et objectifs précédemment décrits. [0018] Tl est notamment recherché actuellement des vitrages procurant un confort visuel amélioré, aussi bien dans le domaine de la construction (comme vitrage de bâtiment) que dans celui de l'automobile (comme vitrage latéral, vitrage de lunette arrière ou encore comme toit vitré). L'un des objets de la présente invention pour répondre à une telle demande et de fournir des articles verriers isolants thermiques dont les couleurs sont relativement neutres en transmission et en réflexion intérieure et dont la couleur en réflexion extérieure peut être facilement ajustée lors de leur production. [0019] Selon les résultats obtenus par la société déposante, les problèmes précédents ont été résolus par des articles verriers tels que décrits maintenant: [0020] Un article verrier à propriétés antisolaires selon l'invention comprend au moins un substrat verrier muni d'un empilement de couches, dans lequel l'empilement comprend successivement depuis la surface dudit substrat: [0021] - une première couche TN, comprenant du nitrure de titane et de préférence à base de nitrure de titane, d'épaisseur comprise entre 1 nanomètres et 50 nanomètres, de préférence entre 1 et 30 nanomètres, de préférence encore entre 2 et 25 nm, [0022] - un premier module M, constitué par une couche à base d'un matériau diélectrique d'épaisseur e , ou par un ensemble de couches à base de matériaux diélectriques d'épaisseur cumulée e , comprise entre 1 et 100 nm, - une seconde couche TN, comprenant du nitrure de titane et de préférence à base de nitrure de titane, d'épaisseur comprise entre 1 nanomètres et 50 nanomètres, de préférence entre 5 et 40 nanomètres, de préférence encore entre 10 et 40 nm, - un second module M2 constitué par une couche à base d'un matériau diélectrique d'épaisseur e , ou par un ensemble de couches à base de matériaux diélectriques d'épaisseur cumulée e 2 comprise entre 1 et 120 nm, [0023] et dans lequel ladite couche TNI est directement au contact de la surface du substrat. [0024] Selon des modes de réalisations préférés de la présente invention, qui peuvent bien évidemment être combinés le cas échéant entre eux : [0025] Au sein de l'empilement, le premier module MI est au contact de la première couche TNI et de la seconde couche TN-, Au sein de l'empilement, le second module M2 est au contact de la seconde couche TN, Le ou les modules MI. Mn sont à base de matériaux choisis parmi un nitrure de silicium, un nitrure d'aluminium, un oxyde d'étain, un oxyde mixte de zinc et d'étain, un oxyde de silicium, un oxyde de titane, un oxynitrurc de silicium, M, et M2 sont des couches uniques. M, et Mn comprennent du nitrure de silicium. M, et Mn sont à base de nitrure de silicium. L'empilement est constitué par la séquence de couches suivante, à partir de la surface du substrat : couche à base de nitrure de titane/ couche à base de nitrure de silicium/ couche à base de nitrure de titane/ couche à base de nitrure de silicium/ éventuellement au moins une couche de protection de préférence choisie parmi les oxydes de titane, de zirconium ou un mélange de titane et de zirconium. L'épaisseur e du premier module MI est comprise entre 15 mn et 100 nanomètres, homes comprises. L'épaisseur e 2 du second module M2 est comprise entre 10 nrn et 100 nanomètres, homes comprises. L'épaisseur de la couche TN2 est supérieure à l'épaisseur de la couche TNI. L'épaisseur de la couche TNI est supérieure à l'épaisseur de la couche TN2 Dans l'article verrier : [0026] - l'épaisseur de la couche TN, est comprise entre 5 et 25 nm, de préférence entre 10 et 20 nm, l'épaisseur e , du module M, est comprise entre 20 et 45 nm, de préférence entre 25 et 40 nm, l'épaisseur de la couche TN2est comprise entre 5 et 30 nm, de préférence entre 10 et 20 nm, l'épaisseur e , du module M2 est comprise entre 5 et 30 nm, de préférence entre 5 et 20 nm. Dans l'article verrier: l'épaisseur de la couche TN, est comprise entre 5 et 25 nm, de préférence entre 10 et 20 nm, l'épaisseur e , du module M, est comprise entre 40 et 65 nm, de préférence entre 45 et 60 nm, l'épaisseur de la couche TN, est comprise entre 5 et 30 nm, de préférence entre 10 et 20 nm, l'épaisseur e 2 du module M, est comprise entre 70 et 110 nm, de préférence entre 80 et 100 nm. 6 Dans l'article verrier : l'épaisseur de la couche TN, est comprise entre 10 et 30 nm, de préférence entre 10 et 25 nm, l'épaisseur e , du module M, est comprise entre 40 et 65 nm, de préférence entre 45 et 60 nm, l'épaisseur de la couche TN2est comprise entre 10 et 30 nm, de préférence entre 15 et 25 nm, l'épaisseur e2 du module M2 est comprise entre 20 et 45 nm, de préférence entre 25 et 40 nm. [0027] - L'épaisseur cumulée TN, + TN, des première couche à base de nitrure de titane et seconde couche à base de nitrure de titane est inférieure à 60 nm, de préférence est inférieure à 55 nm et de préférence encore est comprise entre 25 et 45 nm. [0028] - Le revêtement ne contient pas de couche à caractère métallique, en particulier à base &d'argent ou d'or ou de cuivre. [0029] - Le substrat verrier sur lequel est déposé l'empilement est en verre clair. Sans sortir du cadre de l'invention, il peut également être envisagé de déposer l'empilement sur un substrat en verre teinté. [0030] - L'article verrier comprend deux substrats verriers assemblés par un feuillet thermo- plastique, notamment en polyvinylbutyral PVB, au moins un desdits substrats étant muni dudit empilement de couches, ledit empilement étant disposé de préférence sur une face d'un substrat tournée vers l'intérieur dudit vitrage, ou encore au contact du feuillet thermoplastique. [0031] - L'article verrier précédent, comprend un premier substrat verrier, de préférence coloré dans sa masse, lié à un deuxième substrat par un feuillet thermoplastique intermédiaire, notamment en PVB, ledit deuxième substrat étant en vent clair et muni dudit empilement de couches disposé de préférence sur sa face exposée vers l'extérieur dudit article. Par coloré dans sa masse, on entend que le substrat comprend dans sa composition de verre des éléments visant à lui conférer une coloration (i.e. différente de celle d'une verre dit « clair »), notamment des éléments tels que le cobalt, le fer, le sélénium, voire le chrome, qui peuvent également viser à en diminuer la transmission lumineuse. [0032] - Dans l'article venier comprenant deux substrats verriers: [0033] l'épaisseur de la couche TN, est comprise entre 10 et 30 nm, de préférence entre 15 et 25 nm, l'épaisseur e du module M, est comprise entre 10 et 35 nm, de préférence entre 15 et 25 nm, l'épaisseur de la couche TN, est comprise entre 5 et 30 nm, de préférence entre 10 et 20 nm, 7 l'épaisseur e 2du module M2 est comprise entre 50 et 90 nm, de préférence entre 60 et 80 nm. Dans l'article verrier comprenant deux substrats verriers: l'épaisseur de la couche TN, est comprise entre 1 et 20 nm, de préférence entre 1 et 10 nm, de préférence encore entre 2 et 8 nm, l'épaisseur e , du module M, est comprise entre 50 et 80 nm, de préférence entre 55 et 75 nm, l'épaisseur de la couche TN2est comprise entre 20 et 50 nm, de préférence entre 25 et 45 nm, l'épaisseur e 2du module M2 est comprise entre 40 et 80 nm, de préférence entre 55 et 75 nm. Dans l'article verrier comprenant deux substrats verriers: l'épaisseur de la couche TN, est comprise entre 10 et 40 nm, de préférence entre 15 et 25 nm, l'épaisseur e , du module M, est comprise entre 60 et 100 nm, de préférence entre 75 et 95 nm, l'épaisseur de la couche TN2est comprise entre 10 et 30 nm, de préférence entre 15 et 25 nm, l'épaisseur e 2 du module M2 est comprise entre 30 et 60 nm, de préférence entre 35 et 55 nm. [0034] De préférence, les couches de nitrure de titane selon l'invention sont à base de nitrure de titane ou de préférence encore sont constituées essentiellement de nitrure de titane. [0035] Une couche à base de nitrure de titane comprend par exemple au moins 50% poids de nitrure de titane, voire plus de 60% poids de nitrure de titane, ou même plus de 80% poids, ou même plus de 90% poids de nitrure de titane. [0036] Le nitrure de titane selon l'invention n'est pas nécessairement stoechiométrique (ratio atomique Ti/N de 1) mais peut être sur- ou sous-stoechiométrique. Selon un mode avantageux, le ratio N/Ti est compris entre 1 et 1,2. Egalement, le nitrure de titane selon l'invention peut comprendre une quantité mineure d'oxygène, par exemple entre 1 et 10% molaire d'oxygène, notamment entre 1 et 5% molaire d'oxygène. [0037] Selon un mode particulièrement préféré, les couches en nitrure de titane selon l'invention répondent à la formule générale TiN,R, dans laquelle 1,00 REVENDICATIONS[Revendication 1] Article verrier à propriétés antisolaires comprenant au moins un substrat verrier muni d'un empilement de couches, dans lequel l'empilement comprend successivement depuis la surface dudit substrat: - une première couche TN, comprenant du nitrure de titane et de préférence à base de nitrure de titane, d'épaisseur comprise entre 1 nanomètres et 50 nanomètres, de préférence entre 1 et 30 nanomètres, de préférence encore entre 2 et 25 nm, - un premier module M, constitué par une couche à base d'un matériau diélectrique d'épaisseur e , ou par un ensemble de couches à base de matériaux diélectriques d'épaisseur cumulée e , commise entre 1 et 100 nm, - une seconde couche TN2comprenant du nitrure de titane et de préférence à base de nitrure de titane, d'épaisseur comprise entre 1 nanomètres et 50 nanomètres, de préférence entre 5 et 40 nanomètres, de préférence encore entre 10 et 40 nm, - un second module M2 constitué par une couche à base d'un matériau diélectrique d'épaisseur e 2 ou par un ensemble de couches à base de matériaux diélectriques d'épaisseur cumulée e 2 commise entre 1 et 120 nm, et dans lequel ladite couche TN, est directement au contact de la surface du substrat. [Revendication 2] Article verrier selon la revendication 1, dans lequel, au sein de l'empilement, le premier module MI est au contact de la première couche TN, et de la seconde couche TN,. [Revendication 3] Article verrier selon l'une des revendications précédentes, dans lequel, au sein de l'empilement, le second module M, est au contact de la seconde couche TN,. [Revendication 4] Article verrier selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le ou les modules M1, M, sont à base de matériaux choisis parmi un nitrure de silicium, un nitrure d'aluminium, un oxyde d'étain, un oxyde mixte de zinc et d'étain, un oxyde de silicium, un oxyde de titane, un oxynitrure de silicium. [Revendication 5] Article verrier selon l'une des revendications précédentes, dans lequel MI et M2 sont des couches uniques. [Revendication 6] Article verrier selon l'une des revendications précédentes, dans lequel MI et M2 comprennent du nitrure de silicium. 14 [Revendication 7] [Revendication 8] [Revendication 9] [Revendication 10] [Revendication 11] [Revendication 12] [Revendication 13] [Revendication 14] Article verrier selon l'une des revendications précédentes, dans lequel MI et M, sont à base de nitrure de silicium. Article verrier selon l'une des revendications précédentes, dans lequel l'empilement est constitué par la séquence de couches suivante, à partir de la surface du substrat : couche à base de nitrure de titane/ couche à base de nitrure de silicium/ couche à base de nitrure de titane/ couche à base de nitrure de silicium/ éventuellement une couche de protection notamment choisie parmi les oxydes de titane, de zirconium ou un mélange de titane et de zirconium. Article verrier selon l'une des revendications précédentes, dans lequel l'épaisseur de la couche TN2 est supérieure à l'épaisseur de la couche TNI. Article verrier selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel l'épaisseur de la couche TN, est supérieure à l'épaisseur de la couche TN, Article verrier selon l'une des revendications précédentes, dans lequel l'empilement ne contient pas de couche à base d'argent ou d'or. Article verrier selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le substrat verrier est en verre clair. Article verrier selon l'une des revendications précédentes, dans lequel : l'épaisseur de la couche TNiest comprise entre 5 et 25 nm, de préférence entre 10 et 20 nm, l'épaisseur e du module M1 est comprise entre 20 et 45 nm, de préférence entre 25 et 40 nm, l'épaisseur de la couche TN, est comprise entre 5 et 30 nm, de préférence entre 10 et 20 nm, l'épaisseur e 2 du module Mn est comprise entre 5 et 30 nm, de préférence entre 5 et 20 nm. Article verrier selon l'une des revendications 1 à 12, dans lequel : l'épaisseur de la couche TNiest comprise entre 5 et 25 nm, de préférence entre 10 et 20 nm, l'épaisseur e du module M1 est comprise entre 40 et 65 nm, de préférence entre 45 et 60 nm, l'épaisseur de la couche TN, est comprise entre 5 et 30 nm, de préférence entre 10 et 20 nm, l'épaisseur e 2 du module M2 est comprise entre 70 et 110 nm, 15 de préférence entre 80 et 100 nm. [Revendication 15] Article verrier selon l'une des revendications 1 à 12, dans lequel : l'épaisseur de la couche TNiest comprise entre 10 et 30 nm, de préférence entre 10 et 25 nm, l'épaisseur e f du module MI est comprise entre 40 et 65 nm, de préférence entre 45 et 60 nm, l'épaisseur de la couche TM, est comprise entre 10 et 30 nm, de préférence entre 15 et 25 nm, l'épaisseur e2 du module M2 est comprise entre 20 et 45 nm, de préférence entre 25 et 40 nm. [Revendication 16] [Revendication 17] Article verrier selon l'une des revendications précédentes, comprenant deux substrats verriers assemblés par un feuillet thermoplastique, notamment en PVB, au moins un desdits substrats étant muni dudit empilement de couches, ledit empilement étant disposé de préférence au contact du feuillet thermoplastique. Article verrier selon l'une des revendications 1 à 12, comprenant deux substrats verriers assemblés par un feuillet thermoplastique, notamment en PVB, au moins un desdits substrats étant muni dudit empilement de couches, ledit empilement étant disposé de préférence au contact du feuillet thermoplastique, dans lequel : l'épaisseur de la couche TNI est comprise entre 10 et 30 nm, de préférence entre 15 et 25 nm, l'épaisseur e idu module MI est comprise entre 10 et 35 nm, de préférence entre 15 et 25 nm, l'épaisseur de la couche TN2est comprise entre 5 et 30 nm, de préférence entre 10 et 20 nm, l'épaisseur e 2 du module M2 est comprise entre 50 et 90 nm, de préférence entre 60 et 80 nm. [Revendication 181 Article verrier selon l'une des revendications 1 à 9 et 11, comprenant deux substrats verriers assemblés par un feuillet thermoplastique, notamment en PVB, au moins un desdits substrats étant muni dudit empilement de couches, ledit empilement étant disposé de préférence au contact du feuillet thermoplastique, dans lequel : 16 l'épaisseur de la couche TNiest comprise entre 1 et 20 nm, de préférence entre 1 et 10 nm, de préférence encore entre 2 et 8 nm, l'épaisseur e f du module M'est comprise entre 50 et 80 nm, de préférence entre 55 et 75 nm, l'épaisseur de la couche TN, est comprise entre 20 et 50 nm, de préférence entre 25 et 45 nm, l'épaisseur e 2 du module M, est comprise entre 40 et 80 nm, de préférence entre 55 et 75 nm. [Revendication 19] Article verrier selon l'une des revendications 1 à 12, comprenant deux substrats verriers assemblés par un feuillet thermoplastique, notamment en PVB, au moins un desdits substrats étant muni dudit empilement de couches, ledit empilement étant disposé de préférence au contact du feuillet thermoplastique, dans lequel : l'épaisseur de la couche TNiest comprise entre 10 et 40 nm, de préférence entre 15 et 25 nm, l'épaisseur e du module MI est comprise entre 60 et 100 nm, de préférence entre 75 et 95 nm, l'épaisseur de la couche TN, est comprise entre 10 et 30 nm, de préférence entre 15 et 25 nm, l'épaisseur e 2 du module M, est comprise entre 30 et 60 nm, de préférence entre 35 et 55 nm. [Revendication 20] Article verrier selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le ou lesdits substrats verriers sont trempés ou bombés.