Brevet FR3089748A1 — publié le 20200612

Description Titre de l'invention : Source de rayons X par interaction entre un faisceau laser et un matériau cible [0001] La présente invention concerne de manière générale le domaine des sources de rayons X. [0002] Elle concerne plus particulièrement une source de rayons X par interaction entre un faisceau laser et un matériau cible. [0003] Les sources de rayons X sont notamment utilisées dans des applications d'imagerie médicale. [0004] La plupart des sources de rayons X comportent un tube à rayons X dans lequel unc tension électrique est appliquée entre deux électrodes placées sous vide. [0005] Plus récemment sont apparues des sources de rayons X basées sur une interaction entre un faisceau laser impulsionnel intense et un matériau cible ou matériau de conversion métallique. Un faisceau laser impulsionnel focalisé sur la surface d'un matériau métallique de manière à atteindre une intensité supérieure à environ 10,6 W.cm-, peut être utilisé pour générer un rayonnement X. Dans ces conditions, la zone d'interaction entre le laser et le matériau cible devient un émetteur secondaire de rayons X. [0006] A chaque impulsion laser une partie de la cible solide est ablatée sur une surface ayant des dimensions de l'ordre de la tache focale. La cible est donc localement détruite à chaque tir laser. Un système de laser impulsionnel de forte puissance moyenne et de forte puissance crête considéré pour une source de rayons X a une cadence, ou fréquence de répétition, de l'ordre de quelques hertz (Hz) à 1041-1z. [0007] Une solution pour renouveler le matériau cible dans une source de rayons X laser consiste à déplacer la cible par rapport au faisceau laser de manière à déplacer la zone d'interaction sur la cible tout en maintenant fixe la zone d'émission des rayons X. Le déplacement de la cible est généralement continu avec une vitesse de déplacement adaptée en fonction de la cadence des tirs laser de manière à ce que les impacts des impulsions laser consécutives soient séparés spatialemcnt sur la cible. [0008] On connait en particulier une source de rayons X comprenant un disque épais de matériau cible. Un faisceau d'impulsions laser est focalisé sur une face du disque pour générer des rayons X en réflexion sur le disque. Le déplacement du disque suivant un mouvement combiné de rotation autour de son axe et de translation transversalement à son axe permet de déplacer la zone de focalisation du faisceau laser suivant une spirale sur la surface du disque cible. Toutefois, pour augmenter la durée de vie du disque-cible, il est nécessaire d'augmenter le diamètre du disque, ce qui entraîne une forte 2 augmentation du poids et de l'encombrement de la source de rayons X. [0009] Les sources de rayons X par interaction laser ont des propriétés relatives à la taille de la tache focale laser. De plus, les sources de rayons X par interaction laser permettent d'accorder le spectre de rayons X émis en fonction du matériau cible. Enfin, l'aspect impulsionnel de ces sources de rayons X ouvre la voie à des applications en laboratoire de recherche, par exemple pour des études dynamiques en physique des matériaux, en imagerie médicale ou encore dans le contrôle industriel non-destructif [0010] Toutefois, les sources de rayons X par interaction laser disponibles actuellement ne sont pas adaptées pour des applications industrielles ou des applications médicales en dehors de la recherche scientifique. [0011] Pour de telles applications, il est souhaitable de disposer d'une source de rayons X offrant une durée d'utilisation allongée, avant de remplacer le matériau cible, sans augmenter l'encombrement de la source. [0012] Il est souhaitable de proposer une source de rayons X de fabrication industrielle, d'utilisation aisée et de moindre coût. [0013] Afin de remédier aux inconvénients précités de l'état de la technique, la présente invention propose une source de rayons X par interaction entre un faisceau d'impulsions laser focalisé et un matériau cible. [0014] Plus particulièrement, on propose selon l'invention une source de rayons X comportant une cassette amovible comprenant une première bobine, une deuxième bobine et un ruban de matériau cible, des moyens d'entraînement de la première bobine et de la deuxième bobine adaptés pour enrouler une première partie du ruban autour de la première bobine tout en déroulant une deuxième partie du ruban de la deuxième bobine et vice versa, la cassette ayant une ouverture adaptée pour le passage d'une zone intermédiaire du ruban entre la première partie et la deuxième partie de ruban, et la source de rayons X comprenant une pièce d'appui et des moyens de tension adaptés pour appliquer une tension à la zone intermédiaire et à établir un contact entre la pièce d'appui et la zone intermédiaire du ruban, tout en autorisant un glissement de la zone intermédiaire du ruban sur la pièce d'appui lors de l'enroulement du ruban autour de la première bobine ou de la deuxième bobine, la zone intermédiaire du ruban de matériau cible en contact avec la pièce d'appui étant adaptée pour recevoir le faisceau d'impulsions laser focalisé et pour générer des rayons X. [0015] D'autres caractéristiques non limitatives et avantageuses de la source de rayons X conforme à l'invention, prises individuellement ou selon toutes les combinaisons techniquement possibles, sont les suivantes : [0016] - les moyens de tension comprennent au moins un rouleau de guidage fixe ou mobile en translation et/ou en rotation, disposé transversalement à une face du ruban dans la zone intermédiaire, ledit au moins un rouleau de guidage étant inclus dans la cassette ; 3 [0017] - les moyens de tension comprennent un chariot mobile par rapport à la cassette, le chariot comprenant la pièce d'appui et au moins deux rouleaux de guidage ; [0018] - la source de rayons X comprend un système de détection adapté pour détecter une extrémité de la deuxième partie du ruhan provenant de la deuxième bobine et/ou de la première partie du ruban provenant de la première hohine ; [0019] - les moyens d'entraînement de la première bobine et de la deuxième hohine com- prennent un premier moteur couplé mécaniquement à l'axe de la première hohine et un deuxième moteur couplé mécaniquement à l'axe de la deuxième hohine ; [0020] - la source de rayons X comprend un système électronique adapté pour asservir en vitesse l'un parmi les premier et deuxième moteur et pour asservir en couple l'autre parmi les premier et deuxième moteur ; [0021] - la source de rayons X comprend des moyens de déplacement latéral de la cassette par rapport au faisceau d'impulsions laser transversalement à une direction de défilement de la zone intermédiaire du ruhan ; [0022] - le ruhan comporte au moins un matériau métallique ; [0023] - le ruhan comporte au moins deux bandes, par exemple parallèles, de matériaux cible différents. [0024] L'invention propose également une cassette pour source de rayons X comprenant une première bobine, une deuxième hohine et un ruban de matériau cible, le ruban ayant une extrémité fixée sur la première bobine et une autre extrémité fixée sur la deuxième bobine, la cassette étant adaptée pour recevoir des moyens d'entraînement de la première bobine et de la deuxième bobine adaptés pour enrouler une première partie du ruban autour de la première bobine tout en déroulant une deuxième partie du ruban de la deuxième bobine et vice versa, et la cassette comprenant au moins une ouverture adaptée pour le passage d'une zone intermédiaire du ruban entre la première partie et la deuxième partie de ruban, la cassette étant adaptée pour que des moyens de tension appliquent une tension à la zone intermédiaire du ruban lorsque la zone intermédiaire est en contact avec une pièce d'appui, et la zone intermédiaire du ruban de matériau cible étant adaptée pour recevoir un faisceau d'impulsions laser focalisé et pour générer des rayons X. [0025] Bien entendu, les différentes caractéristiques, variantes et formes de réalisation de l'invention peuvent être associées les unes avec les autres selon diverses combinaisons dans la mesure où elles ne sont pas incompatibles ou exclusives les unes des autres. [0026] La description qui va suivre en regard des dessins annexés, donnés à titre d'exemples non limitatifs, fera bien comprendre en quoi consiste l'invention et comment elle peut être réalisée. [0027] De plus, diverses autres caractéristiques de l'invention ressortent de la description annexée effectuée en référence aux dessins qui illustrent des formes, non limitatives, de réalisation de l'invention et où : [fig.1] représente schématiquement une source de rayons X par interaction laser selon un premier mode de réalisation, [fig.2] illustre schématiquement les déplacements relatifs entre un ruban de matériau cible et un faisceau laser impulsionnel dans la zone d'interaction, [fig.3] représente schématiquement une cassette comprenant un ruban de matériau cible pour interaction avec un faisceau laser selon le premier mode de réalisation, [fig.4] représente schématiquement une cassette comprenant un ruban de matériau cible selon un deuxième mode de réalisation, [fig.5] représente schématiquement en vue de côté une source de rayons X selon le deuxième mode de réalisation dans une configuration au repos, [fig.6] représente schématiquement en vue de côté la source de rayons X selon le deuxième mode de réalisation dans une configuration de mise sous tension du ruban, [fig.7] représente schématiquement en vue de côté la source de rayons X selon le deuxième mode de réalisation, le ruban cible étant en position pour interagir avec un faisceau d'impulsions laser, [fig.8] représente schématiquement une vue en perspective de la source de rayons X selon le deuxième mode de réalisation en configuration d'interaction entre un faisceau d'impulsions laser et le ruban cible. [0028] Il est à noter que sur ces figures les éléments structurels et/ou fonctionnels communs aux différentes variantes peuvent présenter les mêmes références. [0029] Dans le présent document, on considère une source laser adaptée pour générer un faisceau laser impulsionnel ayant des impulsions de durée comprise entre 10 fs et 100 ps, de préférence entre 20 fs et 10 ps et de manière encore plus préférentielle entre 100 fs et 5 ps. L'énergie par impulsion est comprise en 1 mJ et 10 J et de manière préférentielle entre 20mJ et 1J. La puissance laser est comprise entre 10W et 10kW et de manière préférentielle entre 100W et 5kW. Enfin la longueur d'onde du laser est de préférence comprise entre 800 et 1200nm. Dans la suite du document, on utilise de manière synonyme les termes de faisceau laser, faisceau d'impulsions laser et faisceau laser impulsionnel. Le faisceau laser impulsionnel est focalisé de manière à atteindre une intensité supérieure à environ 10'6 W.cm 2 pour générer un rayonnement X par interaction entre le laser et un matériau cible. [0030] Sur les figures 1 à 8, des signes de référence identiques désignent des éléments analogues ou similaires. [0031] Sur la figure 1, on a représenté une source de rayons X 100 comprenant une cassette 10. La cassette 10 contient un ruban 15 déroulant de matériau cible. La cassette 10 est disposée dans un boitier 60. Le boitier 60 est de préférence une enceinte à vide. Un système de pompage permet de placer le boitier et la cassette sous vide primaire ou se- condairc. Le boiticr 60 est fabriqué de préférence en matériau de blindage par exemple en plomb ou en tungstène adapté pour absorber les rayons X. Le boitier 60 comporte une première ouverture 61 munit d'un hublot adapté pour recevoir un faisceau d'impulsions laser 40. Un système optique 41, par exemple à lentille, focalise le faisceau d'impulsions laser 40 à travers le hublot dans une zone d'interaction sur une face avant du ruban 15 de matériau cible. Le boitier 60 comporte une deuxième ouverture 62 munie d'un autre hublot adapté pour le passage d'un faisceau 50 de rayons X émis par la face arrière du ruban 15. [0032] Le matériau du ruban cible peut être constitué en métal ou alliage métallique brut ou déposé sur un substrat. Le matériau du ruban cible est de préférence choisi parmi du cuivre, molybdène, argent, tantale ou du tungstène ou un alliage métallique comprenant au moins un de ces matériaux. [0033] Selon les lois de la physique d'interaction laser-matière, l'émission de rayons X est isotrope si les effets de réabsorption dans la cible sont négligeables. L'épaisseur du ruban de matériau cible est choisie suffisamment fine pour que son absorption dans la gamme d'intérêt du spectre de rayons X soit faible. L'épaisseur du ruban est généralement comprise entre 10 micromètres et 200 micromètres (pm), par exemple de 50 pm et dépend du matériau utilisé. La largeur du ruban est généralement comprise entre 1 mm et 10 cm. La longueur du ruban est généralement comprise entre 10 m et 500 m, par exemple de 150 ni. [0034] La cassette de ruban 15 de matériau cible permet de faire défiler le ruban transver- salement au faisceau laser. Un moteur entraîne le défilement du ruban. Dans ce premier mode de réalisation, l'angle d'incidence du faisceau laser 40 sur le ruban 15 est compris entre 10 degrés et 60 degrés de préférence de 45 degrés. [0035] Le ruban 15 est disposé en contact avec une pièce d'appui 21, aussi appelée pièce d'usure, disposée précisément dans la zone d'interaction avec le faisceau d'impulsions laser 40. La pièce d'appui 21 détermine ainsi précisément la position de la face avant du ruban par rapport à la zone de focalisation du faisceau d'impulsions laser 40, suivant l'axe optique du faisceau d'impulsions laser. La pièce d'appui 21 peut prendre la forme d'un galet roulant ou d'un palier de glissement. Pour un faisceau laser de type gaussien, l'étendue de la zone de focalisation du faisceau laser 40 transversalement à l'axe optique du faisceau laser est comprise entre 1 pm et 50 pm. [0036] Simultanément avec les impulsions laser, un système d'entrainement déroule le ruban tout en le maintenant sous tension contre la pièce d'appui 21. [0037] Cette action peut être réalisée dans les deux sens de déroulement du ruban. Le ruban peut également être décalé pour réaliser des trous sur une ligne parallèle. [0038] Lorsque le ruban d'une cassette est entièrement consommé, le boitier 60 est mis à l'air, la cassette 10 est extraite du boitier 60. Une nouvelle cassette est introduite avant 6 de faire à nouveau le vide dans le boiticr 60. [0039] De façon avantageuse, l'enceinte à vide comporte plusieurs cassettes et des moyens automatiques pour remplacer la cassette dans la zone d'interaction avec le faisceau laser. A titre d'exemple, ces différentes cassettes peuvent contenir chacune un ruban de matériau différent, chaque matériau étant adapté pour émettre dans une partie spécifique du spectre de rayons X. Par exemple, une cassette contient un ruban de cuivre et une autre cassette un ruban de molybdène ou encore de tungstène. [0040] Le déroulement du ruban en contact avec la pièce d'appui permet de déterminer pré- cisément la position de la face avant du ruban par rapport à la zone de focalisation du faisceau laser. Cc positionnement précis limite les vibrations du ruban dans la zone de focalisation. L'amplitude des vibrations du ruban est limitée de préférence dans la longueur Rayleigh de focalisation, de préférence à environ 20 p.m dans la direction OX dans la zone de focalisation. La cassette combinée à la pièce d'appui évite une défocalisation du faisceau laser par rapport au ruban et limite ainsi les instabilités d'émission de la source de rayons X. [0041] Le ruban défile suivant une direction OZ dans un repère orthonormé (OX, OY, OZ), la direction latérale étant la direction OY. Dans cc repère, les rayons X sont émis préférentiellement autour de la direction OX. Dans la zone d'interaction, le ruban est localement dans un plan YZ. [0042] La figure 2 illustre l'impact des impulsions d'un faisceau laser sur un ruban de matériau cible en fonction du déplacement du ruban. Chaque impulsion laser produit un trou 5 dans le ruban 15. Le système d'entrainement induit un déplacement longitudinal 33 du ruban dans le sens de la longueur du ruban dans la zone d'interaction. Le déplacement longitudinal 33 s'effectue généralement à une vitesse constante, par exemple de 10 cm/s. La cadence des tirs laser détermine la durée entre deux impulsions consécutives. On en déduit la distance D entre deux trous 5 dans le ruban 15. Le positionnement du ruban contre la pièce d'appui permet de maintenir le ruban dans la zone de focalisation du faisceau d'impulsions laser. Ainsi, les trous 5 ont tous à peu près les mêmes dimensions et la distance D entre trous reste aussi constante. Le positionnement précis des trous 5 sur le ruban 15 évite un chevauchement des trous 5 susceptible de fragiliser le ruban 15 et d'entrainer une rupture du ruban lorsqu'il est sous tension et/ou de faire interagir le laser avec une surface déjà ablatée. [0043] Selon une variante, la source de rayons X comporte en outre un actionneur adapté pour produire un déplacement latéral 34 du ruban. Ce déplacement permet d'utiliser une surface maximum du ruban, avant de changer de cassette. Par exemple, on utilise un déplacement longitudinal 33 pour faire défiler le ruban dans un sens d'une première extrémité à l'autre extrémité du ruban. Puis, on applique un déplacement latéral 34, par exemple de 100pm, et on fait défiler le ruban en sens inverse. Ainsi, les trous 5 formés 7 dans le sens aller sont décalés par rapport aux trous formés dans le sens retour. Selon la largeur du ruban 15 et les dimensions des trous 5, il est possible de faire deux aller-retours ou plus en utilisant le même ruban 15. Cette configuration permet d'allonger la durée d'utilisation d'une cassette. Selon une variante particulière, le ruban 15 est constitué de deux ou plusieurs bandes de matériaux différents disposées côte à côte dans le sens de la longueur du ruban. Ainsi, un déplacement latéral 34 permet de changer le matériau cible sans changer de cassette. L'utilisation de deux ou plusieurs matériaux cibles permet d'accorder le spectre de rayons X. Le ruban peut comporter plusieurs bandes de matériaux différents qui peuvent être disposés de plusieurs façons par exemple parallèles ou transverses. La bande peut être réalisée dans lc(s) matériau(x) métallique(s) choisi(s) ou fabriquée par dépôt d'une ou de plusieurs couches minces du ou des matériaux choisis sur un même substrat. [0044] La figure 3 représente en perspective et par transparence une cassette 10 selon un premier mode de réalisation. La cassette comporte un boitier de forme générale parallélépipédique rectangle. Les dimensions de la cassette sont d'environ 35 cm x 20 cm x 2 à 3 cm de préférence. [0045] La cassette 10 comporte une première bobine 11, une deuxième bobine 12 et un ruban 15 d'un ou plusieurs matériaux cibles. Une extrémité du ruban 15 est fixée sur la première bobine 11 et une autre extrémité du ruban 15 est fixée sur la deuxième bobine 12. La source de rayons X comprend un système de motorisation adapté pour entrainer l'enroulement du ruban autour de l'axe Ill de la première bobine 11 et simultanément le déroulement du ruban autour de l'axe 121 de la deuxième bobine 12. [0046] De façon avantageuse, la source de rayons X comporte un moteur couplé méca- niquement à chaque axe de bobine de la cassette. Les moteurs sont de préférence bidirectionnels. Un système électronique contrôle chaque moteur en couple et/ou en vitesse. Dans un exemple de réalisation, les moteurs sont disposés dans l'enceinte à vide et déportés pal- rapport à l'axe des bobines. En variante, les moteurs sont disposés à l'extérieur de l'enceinte à vide et couplés mécaniquement à l'axe des bobines. Selon une autre variante, la cassette 10 intègre un premier moteur dont l'arbre est sur l'axe de la première bobine 11 et de préférence un deuxième moteur dont l'arbre est sur l'axe de la deuxième bobine 12. [0047] La cassette 10 comporte aussi une ouverture 17 disposée sur un bord de la cassette et un système de guidage comprenant des galets de roulement 13, aussi appelés ici rouleaux de guidage. De façon particulièrement avantageuse, le système de guidage comporte en outre deux autres rouleaux de guidage 14, disposés de part et d'autre de l'ouverture 17 et mobiles en translation parallèlement à la direction OX. La face avant du ruban 15 est en contact avec les deux rouleaux de guidage 13 et les deux autres rouleaux de guidage 14. La combinaison des rouleaux de guidage 13 et 14 permet de 8 guider le ruban pendant le déplacement longitudinal du ruban à travers l'ouverture 17. Plus précisément, les rouleaux de guidage 14 sont montés mobiles en translation dans des ouvertures 16 orientées suivant la direction OX, autrement dit transversalement à la surface du ruban, cc qui permet de plaquer la face arrière du ruban contre la pièce d'appui 21 qui est fixée au bâti de la source de rayons X. Ainsi, les rouleaux de guidage 14 appliquent une tension sur la partie intermédiaire du ruban en contact avec la pièce d'appui. La pièce d'appui 21 n'est pas fixée à la cassette 10. La position de la pièce d'appui 21 reste indépendante de la position de la cassette 10. [0048] Dans l'exemple illustré en figure 3, la pièce d'appui 21 comporte une ouverture conique 22 de section circulaire ayant un sommet tronqué de diamètre compris entre 100 pm et 1 mm, dc préférence entre 100 pm et 200 pm. L'ouverture conique 22 de la pièce d'appui 21 est transparente aux rayons X. La surface de contact de la pièce d'appui est généralement plane ou en portion de cylindre convexe. [0049] Le positionnement de la cassette 10 dans la source de rayons X peut être réalisé au dixième de mm ou au mm près. Toutefois, le système dc guidage du ruban contre la pièce d'appui 21 permet d'obtenir une précision de positionnement de la zone intermédiaire du ruban avec une incertitude inférieure à 20 pm le long de l'axe optique du faisceau laser par rapport à la zone de focalisation du faisceau laser. [0050] Le ou les moteurs permettent le défilement du ruban à une vitesse adaptée en fonction de la cadence de tir du laser pour assurer le renouvellement continu du matériau cible tout en exploitant une surface optimale du ruban cible. Chaque tir laser ablate une surface en forme de disque ou d'ellipse en fonction de l'angle d'incidence entre la normale à la face avant du ruban et l'axe optique du faisceau laser incident. Dans la direction Z, la tache focale ablate une surface sur une hauteur d'environ 5 gn. La cadence du laser est généralement comprise entre 100 Hz et 1 kHz. La vitesse du défilement est ajustée entre environ 10 rnmis et 1000 mmis de manière à ce que la distance D entre deux surfaces ablatées consécutives soit comprise entre 0,1 mm et 1 mm Par exemple, la longueur du ruban est de 150 m, on peut effectuer 3x10' trous espacés de 1x0,5 mm, ce qui correspond à une durée d'utilisation en continu de 300 s pour une cadence de tir laser de 1 kHz. En déplaçant latéralement le ruban il est possible de faire une autre ligne et d'augmenter la durée de vie du ruban. [0051] Dans une autre variante non illustrée, la cassette 10, la pièce d'appui et le ruban sont disposés dans un volume étanche sous vide. Dans cette variante, le volume étanche comporte un hublot d'entrée pour le faisceau laser, un système optique de focalisation et un hublot de sortie pour le faisceau de rayons X. Plus précisément, l'ensemble formé de la cassette, du ruban, de la pièce d'appui, du système optique de focalisation et de la fenêtre de sortie des rayons X est disposé dans un même boitier sous vide statique. Cet ensemble est remplacé en entier lorsque le ruban est consommé. Dans ce cas, les 9 moteurs d'entraincment sont disposés à l'extérieur du boîtier et sont couplés mécaniquement avec le boitier sans casser le vide. Une telle cassette peut âtre manipulée à l'air ambiant et remplacée sans opération de mise à l'air puis de pompage d'une enceinte à vide. [0052] Les figures 4 à 8 illustrent un deuxième mode de réalisation d'une cassette 10 et d'une source de rayons X intégrant cette cassette. [0053] La figure 4 montre la cassette selon le deuxième mode de réalisation vue de l'extérieur. La cassette a une forme générale parallélépipédique et comporte une large ouverture rectangulaire 16 qui donne accès à la zone intermédiaire du ruban située entre la première partie du ruban enroulée autour de l'axe 111 de la première bobine 11 et la deuxième partie du ruban enroulée autour de l'axe 121 de la deuxième bobine 12. Les dimensions de la cassette 10 sont d'environ 35x20x3 cm. Les dimensions de l'ouverture rectangulaire 16 sont d'environ 8x4x3 cm. La face avant 151 du ruban est disposée face à l'ouverture 16 de la cassette, la face arrière 152 du ruban étant opposée à la face avant 151. [0054] La figure 5 montre une vue de côté d'une cassette dans une source de rayons X selon le deuxième mode de réalisation lors du chargement de la cassette dans la source de rayons X. La source de rayons X comporte un bâti, comprenant une plaque support 63 et une plateformc 64 sur laquelle sont fixées deux équerres 65. Un système de guidage linéaire 26 avec vis sans fin et deux axes de guidage parallèles est monté entre les deux équerres. Un chariot 20 est monté mobile en translation au moyen du système de guidage linéaire 26 et d'un actionneur 25 comprenant un petit moteur entrainant une courroie dans l'exemple de la figure 5. L'ensemble de la source de rayons X sur la plaque support 63 est placé dans une enceinte à vide. [0055] Un système de motorisation comportant par exemple deux moteurs 31, 32 est fixé sur une des équerres 65. La cassette 10 est mise en place de manière à ce que l'arbre du moteur 31 soit couplé avec l'axe Ill de la première bobine 11 et l'arbre du moteur 32 soit couplé avec l'axe de la deuxième bobine 12. [0056] La source de rayons X comporte aussi une monture 42 par exemple de type trait- point-plan. La monture 42 est fixée au bâti de la source de rayons X. Un système optique 41 par exemple à lentille est disposé dans la monture 42. La monture est ajustée de manière à focaliser précisément le faisceau d'impulsions laser 40 sur la face avant du ruban. [0057] Au repos, le ruban 15 est tendu, par exemple au moyen de rouleaux de guidage 13 à travers l'ouverture 16 de la cassette 10. Sur la figure 5, le ruban 15 est tendu parallèlement à l'axe OZ à travers l'ouverture 16 de la cassette 10. Comme illustré sur la figure 8, la cassette 10 comporte par exemple des rouleaux de guidage 13. Au repos, les rouleaux de guidage 13 sont disposés de façon à maintenir le ruban 15 dans un plan fixe à travers l'ouverture 16. De façon avantageuse, la cassette comporte un système de détection 19 d'extrémité de ruban à proximité de chaque bobine. [0058] La source de rayons X comporte ici un chariot 20 mobile en translation le long de deux axes parallèles. Le système de guidage linéaire 26 est par exemple constitué de deux rails de guidage linéaires ou d'une vis sans fin et d'un rail de guidage linéaire. Le chariot 20 supporte une pièce d'appui 21 et deux rouleaux de guidage 24 disposés de part et d'autre de la pièce d'appui 21. Le chariot 20, la pièce d'appui 21 et les deux rouleaux de guidage 24 sont mécaniquement solidaires. [0059] De façon avantageuse, la pièce d'appui 21 comporte une ouverture conique de section circulaire et de sommet tronqué dont l'ouverture au sommet a un diamètre compris entre 50 pm et 5 mm et de préférence entre 100 à 200 pin, l'ouverture au sommet étant disposée ici du côté du faisceau laser incident. [0060] Lorsqu'on charge (ou décharge) la cassette dans la source de rayons X, le chariot 20 est placé à une extrémité du système de guidage linéaire 26, de manière à ce que la pièce d'appui 21 et les deux rouleaux de guidage 24 soient situés dans l'ouverture 16 de la cassette entre la face avant 151 du ruban et le boiticr de la cassette, sans contact avec le ruban, comme illustré sur la figure 5. [0061] La figure 6 illustre une étape intermédiaire de mise en place du ruban dans la source de rayons X. Sur cette figure 6, l'actionneur 25 entrainc la rotation d'une vis sans fin du système de guidage linéaire 26, qui entraine le déplacement du chariot 20 avec la pièce d'appui 21 et les deux rouleaux de guidage 24 parallèlement à l'axe OX en direction de l'autre extrémité du système de guidage linéaire 26. Du fait de ce déplacement, la face avant 151 du ruban est mise en contact avec la pièce d'appui 21 et les deux rouleaux de guidage 24. Le déplacement du chariot 20 entraine ensuite un déroulement d'une partie du ruban enroulée autour de la première bobine 11 et d'une autre partie du ruban enroulée autour de la deuxième bobine 12. Le ruban est alors tendu entre les rouleaux de guidage 24 et la pièce d'appui 21. La surface de la pièce d'appui en contact avec le ruban peut être plane, en portion de sphère ou de cylindre ou encore en forme de dièdre. Afin de limiter les frottements, la surface de contact entre le ruban et la pièce d'appui est la plus petite possible, par exemple de 100 pmx 3 cm. [0062] La figure 7 représente le ruban de matériau cible en position de fonctionnement dans la source de rayons X selon le deuxième mode de réalisation. Sur cette figure 7, le système de guidage linéaire 26 est en butée à l'extrémité des axes de guidage la plus éloignée de la cassette. La face avant 151 du ruban reste en contact simultanément avec la pièce d'appui 21 et les deux rouleaux de guidage 24 en dehors de l'ouverture 16 de la cassette. Le ruban 15 formant un angle au sommet supérieur à 45 degrés entre les deux rouleaux de guidage 24 et la pièce d'appui 21. [0063] Les rouleaux de guidage 23, 24 permettent de conserver le même angle du ruban sur 11 la pièce d'appui 21, quelle que soit la portion de ruban utilisée en début ou fin du ruban. [0064] Dans cette position, la pièce d'appui se trouve dans la zone de focalisation du faisceau laser 40. Plus précisément, la face avant du ruban en projection face à l'ouverture 22 dans la pièce d'appui est située dans la zone de focalisation du faisceau laser 40. Le système optique 41 est ajusté de manière à focaliser précisément le faisceau laser 40 sur la face avant du ruban. [0065] De façon avantageuse, comme illustré sur les figures 5 à 7, un système d'imagerie forme l'image des trous réalisés sur le ruban métallique lorsque celui-ci se trouve dans la zone de focalisation du faisceau laser 40. Le système d'imagerie comporte par exemple une autre source lumineuse émettant un faisceau d'éclairage 45 et un système optique 46 adapté pour former une image de la zone de focalisation du faisceau laser sur un détecteur d'image, par exemple une caméra de visualisation. Un tel système d'imagerie permet de contrôler la position du faisceau laser par rapport au ruban en position de fonctionnement. [0066] Cc système de source à cassette amovible combiné à une pièce d'appui permet d'obtenir une grande précision de positionnement du faisceau laser focalisé par rapport au ruban cible et de réduire fortement les vibrations dans le ruban. [0067] De plus, la cassette permet de fournir une quantité importante de matériau cible dans un volume très compact. La cassette est amovible et constitue un consommable pour la source de rayons X. Le remplacement de la cassette de matériau cible est aisé. [0068] En fonctionnement, comme illustré sur la figure 8, la face avant du ruban est en appui contre l'ouverture conique 22 de la pièce d'appui. Le moteur 31 entraine la rotation de la première bobine 11 sur son axe 111, ce qui entraîne le défilement du ruban suivant l'axe OZ, vers le haut ou vers le bas, par glissement sur la pièce d'appui 21. De même, le moteur 32 entraine la rotation de la deuxième bobine 12 sur son axe 112, ce qui entraîne le défilement du ruban suivant l'axe OZ, vers le haut ou vers le bas, par glissement sur la pièce d'appui 21. De façon avantageuse, le ou les moteur(s) 31, 32 sont pilotés à distance. Les moteurs 31, 32 tournent dans le même sens lors du défilement du ruban. Les moteurs 31, 32 sont adaptés pour tourner en sens inverse pour inverses le sens de défilement du ruban. Les moteurs 31, 32 sont de préférence contrôlés en couple et en vitesse. Plus précisément, le moteur 31 est contrôlé en vitesse et le moteur 32 contrôlé en couple, et vice versa. Par exemple, la source comporte un détecteur 18 en appui sur un rouleau de guidage 13 au voisinage de la deuxième bobine 12. Ce détecteur 18 permet de mesurer la vitesse de défilement du ruban. Ce système de contrôle permet de déterminer à la fois la vitesse de défilement du ruban et la tension du ruban dans la zone intermédiaire entre la première bobine et la deuxième bobine. Le système de contrôle électronique permet aussi de détecter automatiquement 12 la fin du ruban. Dc façon alternative, la cassette comporte un ou plusieurs détecteurs optiques ou mécaniques 19 adaptés pour détecter une marque de fin sur le ruban. [0069] La source de rayons X peut aussi comporter un détecteur de température. Lorsque la source de rayons X est placée dans l'enceinte à vide, les moteurs ne sont pas refroidis par convection. Dc façon avantageuse, les moteurs sont déportés hors de l'enceinte à vide. [0070] Le faisceau laser étant focalisé précisément dans l'ouverture 22 de la pièce d'appui 21, la face arrière du ruban 15 émet un rayonnement X. Cette disposition permet de positionner la source de rayons X au plus près de l'objet à étudier, par exemple pour former une image en rayons X. [0071] Dans les exemples illustrés sur les figures 5 à 8, le faisceau laser 40 est disposé sur un côté dc la cassette et le faisceau d'imagerie de l'autre côté. De façon particulièrement avantageuse, le faisceau laser 40 et le faisceau d'imagerie sont disposés du même côté dc la cassette, par exemple celui du faisceau laser 40. Cette disposition permet un accès à la cassette pour le chargement et déchargement. De plus, cette disposition permet de réduire l'encombrement de la source dc rayons X. [0072] Dc façon avantageuse, la source de rayons X comporte des moyens d'ajustement fin de la position de la zone dc focalisation du faisceau laser 40 au sommet de l'ouverture 22 de la pièce d'appui. [0073] Dc façon optionnelle, la source comporte un actionneur 35 de précision micro- métrique adapté pour déplacer latéralement la cassette par rapport à la pièce d'appui 21 et la zone de focalisation du faisceau laser. Comme indiqué plus haut, l'actionneur 35 peut être utilisé lorsqu'on atteint une extrémité de ruban, pour utiliser une autre partie du ruban en défilant en sens inverse. L'actionneur 35 peut aussi être utilisé pour placer une bande de ruban en un autre matériau cible dans la zone de focalisation du faisceau laser afin d'accorder le spectre de rayons X émis [0074] Sur la figure 8, on a représenté une vue en coupe de la cassette lors du fonc- tionnement de la source de rayons X avec un faisceau laser 40 focalisé sur la face avant 151 du ruban 15. Comme indiqué plus haut, le faisceau laser 40 et le faisceau d'imagerie 45 sont toutefois de préférence disposés sur un même côté de manière à laisser libre le côté de la source où se trouve la cassette. [0075] La figure 8 représente aussi le système pour décaler latéralement le ruban 15 par rapport au faisceau laser 40. La plateforme 64 repose sur quatre supports 37 montés mobiles en translation sur deux rails de guidage linéaires 36. Les deux rails de guidage linéaires 36 sont fixés sur la plaque support 63 et orientés parallèlement à l'axe OY. La position du faisceau laser 40 reste fixe par rapport à la plaque support 63. Une vis micrométrique 35 motorisée est montée entre une équen-e 38 fixée à la plaque support 63 et une autre équerre fixée à la plateforme 64. Lorsque la vis micrométrique 35 tourne, 13 elle cntraine le déplacement de l'ensemble de la plateforme 64 le long des rails de guidage 36, tandis que la plaque support 63 et le faisceau laser 40 reste fixe. Ainsi, la plateforme cntraine le déplacement de la cassette et du ruhan le long de l'axe OY. Lors de cc déplacement latéral, le ruhan reste dans un plan YZ fixe dans la zone de focalisation du faisceau laser. Ainsi, le faisceau laser peut être focalisé successivement sur différentes zones du ruban disposées latéralement. [0076] Le déplacement de la vis micrométrique peut être synchronisé avec la détection de fin du ruban, de manière à appliquer un décalage latéral prédéterminé au ruban et à inverser simultanément le sens de rotation des deux moteurs 31, 32 pour faire défiler le même ruhan en sens inverse et avec le décalage latéral prédéterminé. En fonction de la largeur du ruban, et des dimensions des trous dans le ruhan, le décalage et l'inversion du sens de défilement du ruban peut être effectué une ou plusieurs fois. [0077] La source de rayons X de la présente divulgation permet d'envisager de nouvelles ap- plications à l'imagerie médicale, par exemple à la mammographie. Une telle source de rayons X trouve d'autres applications dans le contrôle industriel non destructif, dans la cristallographie et toute autre application utilisant des rayons X. [0078] Bien entendu, diverses autres modifications peuvent être apportées à l'invention dans le cadre des revendications annexées. 14 [Revendication 1] [Revendication 2] [Revendication 3] [Revendication 4] [Revendication 5] REVENDICATIONSSource de rayons X (100) par interaction entre un faisceau d'impulsions laser (40) focalisé et un matériau cible, caractérisée en ce que la source de rayons X (100) comporte une cassette ( 10) amovible comprenant une première bobine (11), une deuxième bobine (12) et un ruban (15) de matériau cible, des moyens d'entraînement (31, 32) de la première bobine (11) et de la deuxième bobine ( 1 2) adaptés pour enrouler une première partie du ruban autour de la première bobine ( 1 1) tout en déroulant une deuxième partie du ruban de la deuxième bobine (12) et vice versa, la cassette (10) ayant une ouverture (16, 17) adaptée pour le passage d'une zone intermédiaire du ruban entre la première partie et la deuxième partie de ruban, et la source de rayons X (100) comprenant une pièce d'appui (21) et des moyens de tension (14, 24) adaptés pour appliquer une tension à la zone intermédiaire et à établir un contact entre la pièce d'appui (21) et la zone intermédiaire du ruban, tout en autorisant un glissement de la zone intermédiaire du ruban (15) sur la pièce d'appui (21) lors de l'enroulement du ruban autour de la première bobine (11) ou de la deuxième bobine (12), la zone intermédiaire du ruban de matériau cible en contact avec la pièce d'appui (21) étant adaptée pour recevoir le faisceau d'impulsions laser (40) focalisé et pour générer des rayons X (50). Source de rayons X (100) selon la revendication 1 dans laquelle les moyens de tension (14, 24) comprennent au moins un rouleau de guidage (14) fixe ou mobile en rotation et/ou en rotation, disposé transversalement à une face du ruban dans la zone intermédiaire, ledit au moins un rouleau de guidage (14) étant inclus dans la cassette (10). Source de rayons X (100) selon la revendication 1 dans laquelle les moyens de tension (14, 24) comprennent un chariot (20) mobile par rapport à la cassette (10), le chariot (20) comprenant la pièce d'appui (21) et au moins deux rouleaux de guidage (24). Source de rayons X (100) selon l'une des revendications 1 à 3 comprenant un système de détection (19) adapté pour détecter une extrémité de la deuxième partie du ruban provenant de la deuxième bobine (12) et/ou de la première partie du ruban provenant de la première bobine (11). Source de rayons X (100) selon l'une des revendications 1 à 4 dans laquelle les moyens d'entraînement (31, 32) de la première bobine (11) 15 et de la deuxième bobine (12) comprennent un premier moteur (31) couplé mécaniquement à l'axe (111) de la première bobine (11) et un deuxième moteur (32) couplé mécaniquement à l'axe (121) de la deuxième bobine (12). [Revendication 6] Source de rayons X (100) selon la revendication 5 comprenant un système électronique adapté pour asservir en vitesse l'un parmi les premier et deuxième moteur (31, 32) et pour asservir en couple l'autre parmi les premier et deuxième moteur (31, 32). [Revendication 7] Source de rayons X (100) selon l'une des revendications 1 à 6 comprenant des moyens de déplacement latéral (35, 36, 37, 38, 39) de la cassette (10) par rapport au faisceau d'impulsions laser (40) transversalement à une direction de défilement de la zone intermédiaire du ruban. [Revendication 8] Source de rayons X (100) selon l'une des revendications 1 à 7 dans laquelle le ruban (15) comporte au moins un matériau métallique. [Revendication 9] Source de rayons X (100) selon l'une des revendications 1 à 8 dans laquelle le ruban (15) comporte au moins deux matériaux cible différents. [Revendication 10] Cassette (10) pour source de rayons X comprenant une première bobine (11), une deuxième bobine (12) et un ruban (15) de matériau cible, le ruban (15) ayant une extrémité fixée sur la première bobine (11) et une autre extrémité fixée sur la deuxième bobine (12), la cassette (10) étant adaptée pour recevoir des moyens d'entraînement (31, 32) de la première bobine (11) et de la deuxième bobine (12) adaptés pour enrouler une première partie du ruban autour de la première bobine (11) tout en déroulant une deuxième partie du ruban de la deuxième bobine (12) et vice versa, et la cassette (10) comprenant au moins une ouverture (16, 17) adaptée pour le passage d'une zone intermédiaire du ruban entre la première partie et la deuxième partie de ruban, la cassette (10) étant adaptée pour que des moyens de tension (14, 24) appliquent une tension à la zone intermédiaire du ruban lorsque la zone intermédiaire est en contact avec une pièce d'appui (21), et la zone intermédiaire du ruban de matériau cible étant adaptée pour recevoir un faisceau d'impulsions laser (40) focalisé et pour générer des rayons X.