Brevet FR3087942A1 — publié le 20200501

Description Titre de l'invention Dispositif d'affichage électroluminescent mufti- couleurs et procédé de fabrication d'un tel dispositif Domaine technique [0001 La présente description concerne de façon générale les dispos tifs électrolumi- nescents à base de matériaux semiconducteurs et leurs procédés de fabrication. Elle vise plus particulièrement la réalisation d'un dispositif d'affichage électroluminescent multi-couleurs, c'est-à-dire comportant une plural].té de pixels parmi lesquels des pixels de types différents sont respectivement adaptés à émettre de la lumière dans des gammes de longueurs d'ondes différentes. Technique antérieure [000211 Un dispositif d'affichage électroluminescent comprend classiquement une pluralité de pixels, chaque. pixel étant commandable individuellement pour convertir un signal électrique en un rayonnement lumineux. Plus particulièrement, chaque pixel comprend une cellule électroluminescente comportant un empilement d'une première couche semiconductrice. dopée d'un premier type de conductivité, d'une couche active, et d'une deuxième couche semiconductrice dopée du deuxième type de conductivité. En fonctionnement, un courant électrique est appliqué entre les première et deuxième couches semiconductrices de la cellule. Sous l'effet de ce courant, la couche active émet un rayonnement lumineux dans une gamme de longueurs d'ondes qui dépend essentiellement de sa composition. Chaque pixel peut de plus comprendre un circuit de contrôle, comprenant par exemple un ou plusieurs transistors, permettant de contrôler l'intensité du courant appliqué à la cellule électroluminescente du pixel, et par conséquent l'intensité du rayonnement lumineux émis par le pixel. 10003i Pour permettre l'affichage d'images muid-couleurs, il convient que le dispositif d'affichage comprenne plusieurs pixels de types différents adaptés à émettre respectivement dans des gammes de longueurs d'ondes différentes. [00041 Pour réaliser un dispositif d'affichage mufti-couleurs, une possibilité est de reporter sur un même substrat des pixels réalisés séparément à base de matériaux semiconducteurs différents. La fixation et l'alignement des pixels sur le substrat de report peuvent toutefois être délicats à réaliser. En particulier, cette technique n'est pas adaptée à la réalisation de dispositifs d'affichage ayant un pas inter-pi xels faible, par exemple inférieur à 10 um. [00051 Une autre possibilité est de réaliser im dispositif d'affichage dans lequel les cellules électroluminescentes des pixels émettent toutes dans la même gamme de longueurs d'ondes, les cellules électroluminescentes de certains pixels étant revêtues d'une couche de conversion de couleurs, par exemple une couche incorporant des boîtes quantiques ou des nano-phosphores, adaptée à convertir le rayonnement lumineux émis par la cellule électroluminescente en un rayonnement lumineux dans une autre gamme de longueurs d'ondes. Le dépôt. localisé de couches de conversion de couleurs peut toutefois être difficile à réaliser, notamment sur des pixels de petites dimensions. De plus, la tenue dans le temps des matériaux de conversion de couleurs est généralement relativement limitée. [0006] Une autre possibilité est de réaliser successivement les cellules électroluminescentes des pixels de types différents, lors de séquences d'épitaxie localisée distinctes, eu modifiant à chaque séquence la composition des couches déposées de façon à obtenir des pixels à émission directe dans des gammes de longueurs d'ondes distinctes. Un inconvénient de cette. méthode réside toutefois dans son coût élevé, lié à la mise en oeuvre de plusieurs séquences d'épitaxie successives pour réaliser successivement les cellules électroluminescentes des différents types de pixels. Résumé de l'invention [0007; Il existe un besoin pour un dispositif d'affichage électroluminescent multi-couleurs et pour un procédé de fabrication d'un tel dispositif, palliant tout ou partie des inconvénients des solutions connues. [00081 Ainsi, un mode de réalisation prévoit un dispositif électroluminescent comportant des premier, deuxième et troisième pixels adaptés à émettre respectivement dans des première, deuxième et troisième gammes de longueurs d'ondes, dans lequel - le premier pixel comprend une cellule électroluminescente bidimensionnelle comprenant un empilement vertical d'une première couche semiconductrice dopée d'un premier type de conductivité, d'une couche active, et dune deuxième couche semiconductrice dopée du deuxième type de conductivité ; chacun des deuxième et troisième pixels comprend une cellule électroluminescente tridimensionnelle comprenant une pluralité de nanostructures de mémes dimensions régulièrement réparties sur la surface du pixel, chaque nanostructure comportant un coeur semiconducteur pyramidal dopé du premier type de conductivité, une couche active revêtant les parois latérales du coeur, et une couche semiconductrice dopée du deuxième type. de conductivité revêtant la couche active ; et - les nanostructures des deuxième et troisième pixels ont des dimensions différentes et/ou un espacement différent. [0009; Selon un mode de réalisation, dans chacun des premier, deuxième et troisième pixels, la couche active comprend une alternance de couches semiconductrices d'un premier matériau et de couches semiconductrices d'un deuxième matériau définissant des puits quantiques multiples. [ )010] Selon un mode de réalisation, dans chacun des premier, deuxième et troisième et s, le premier matériau est de l'InGaN et le deuxième matériau est du GaN ou de l'InGaN ayant une concentration d'indium inférieure à celle du premier matériau. [0011] Selon un mode de réalisation, la première couche semiconductrice du premier pixel et les coeurs semiconducteurs des deuxième et troisième pixels sont en GaN dopé de type N ou en iriGaN dopé de type N. [0012] Selon un mode de réalisation, la deuxième couche semiconductrice du premier pixel et les couches semiconductrices dopées du deuxième type de conductivité des deuxième et troisième pixels sont en GaN dopé de type Pou en TnGaN dopé de type P. [0013] Selon un mode de réalisation, le dispositif comporte une couche semiconductrice de base sensiblement plane dont une face est revêtue dune couche diélectrique de masquage sensiblement plane, la couche de masquage comportant, en regard du premier pixel, une unique ouverture délimitant latéralement la première couche semiconductrice du premier pixel, et, en regard de chacun des deuxième et troisième pixels, une pluralité d'ouvertures délimitant latéralement les coeurs semiconducteurs des deuxième et troisième pixels, la première couche semiconductrice du premier pixel et les coeurs semiconducteurs des deuxième et troisième pixels étant disposés sur et en contact avec ladite face de la couche semiconductrice de base, dans lesdites ouvertures. [0014] Un autre mode de réalisation prévoit un procédé de fabrication d'un dispositif tel que défini ci-dessus, dans lequel la première couche semiconductrice du premier pixel et les coeurs semiconducteurs des deuxième et troisième pixels sont formés simultanément lors d'une même étape d'épitaxie. [001511 Selon un mode de réalisation, la première couche semiconductrice du premier pixel et les coeurs semiconducteurs des deuxième et troisième pixels sont formés par épitaxie localisée sur une face d'une couche semiconductrice de base revêtue d'une couche diélectrique de masquage. [0016] Selon un mode de réalisation, la couche iectrique de masquage comprend, en regard de chacun des deuxième et troisième pixels, une pluralité d'ouvertures régulièrement réparties sur toute la surface de la cellule électroluminescente du pixel. [0017] Selon un mode de réalisation, les ouvertures sont formées par gravure de la couche diélectrique de masquage en vis-à-vis de pores d'un film de porosité contrôlée réalisé à base de copolymères à blocs. [0018] Selon un mode de réalisation, les couches actives des premier, deuxième troisième pixels sont formées simultanément lors d'une même étape d'épitaxie. [0019] Selon un mode de réalisation, les conditions de croissance épitaxiale lors de la formation des couches actives des premier, deuxième et troisième pixels sont les suivantes : - température de croissance comprise ?20°C +I- 30°C vitesse de croissance de 0,12 unilh +/- 0,007 peuh rapport. de flux Indium/Gallium compris entre 2 et ; - nippon semiconducteurs V/111 supérieur à 5000 ; e - pression de l'ordre de 400 mbar. [0020] Selon un mode de réalisation, la deuxième couche semiconductrice du premier et les couches semiconductrices des deuxième et troisième pixels sont formées simultanément lors d'une même étape dépitaxie. Brève description des dessins [0021] Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif relation avec les figures jointes parmi lesquelles : [0022] [fig. e 1 est une vue de dessus représentant de façon schématique et partielle une étape d'un procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage électroluminescent selon un mode de réalisation ; [0023] If ig.2] la figure 2 est une vue en coupe de la structure de la figure [0024] [fig,3] la figure 3 est une vue en coupe représentant de façon schématique et partielle une autre étape d'un procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage électroluminescent selon un mode de réalisation ; [00251 [fig.4] la figure 4 est une vue en coupe représentant de façon schématique et partielle une autre étape d'un procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage électroluminescent selon un mode de réalisation ; [0026; [fig.5] gure 5 est une vue en coupe représentant de. façon schématique et partielle une autre étape d'un procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage électroluminescent selon un mode de réalisation ; [00271 [fig.6] la figure 6 est une vue en. coupe. représentant de façcnn schématique partielle une autre étape d'un procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage électroluminescent selon un mode de réalisation ; et [0028] lfig.71 ,ure 7 est une vue en coupe représentant de. façon schématique et partielle une autre étape d'un procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage électroluminescent selon un mode de réalisation. Description des modes de réalisation [00291 De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes r érences dans les différentes figures. En particulier, les éléments structurels et/ou fonctionnels communs aux différents modes de réalisation peuvent présenter les mêmes références et peuvent disposer de propriétés structurelles, dimensionnelles et matérielles identiques, [00301 Par souci de clarté, seuls les étapes et éléments utiles la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés. En particulier, on s'intéresse ici plus spécifiquement à la réalisation des cellules électroluminescentes des pixels d'un dispositif d'affichage électroluminescent multi-couleurs. La réalisation des circuits de contrôle des pixels et d'éventuelles structures d'isolation entre les cellules électroluminescentes des pixels n'a pas été détaillée, la réalisation de ces éléments étant à la portée de l'homme du métier. [0031[ Dans la description qui suit, lorsque l'on fait férence à des qualificatifs de position absolue, tels que les termes "avant", "arrière" "haut", "bas", "gauche", "droite", etc., ou relative, tels que les termes "dessus", "dessous", "supérieur", "inférieur", etc., ou à des qualificatifs d'orientation, tels que les termes "horizontal", "vertical", etc., il est fait référence sauf précision contraire à l'orientation des vues en coupe des figures, étant entendu que, en pratique, les dispositifs décrits peuvent être orientés différemment. [0032] Sauf précision contraire, les expressions "environ", "approximativement", "sen- siblement", et "de l'ordre de" signifient à 10 % près, de préférence à 5 92 près. [ )033] Les figures I à 7 représentent des étapes successives d'un exemple d'un procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage électroluminescent multi-couleurs selon un mode de réalisation. [0034] On considère ici, à tif c d'exemple la réalisation d'un dispositif d'affichage comportant trois types de pixels a ents, adaptés à émettre respectivement dans trois gammes de longueurs d'ondes distinctes. Plus particulièrement, on cherche dans cet exemple à réaliser un dispositif d'affichage comportant un ou plusieurs pixels d'un premier type, appelés pixels bleus, adaptés à émettre majoritairement de la lumière. bleue, par exemple dans une gamme de longueurs d'ondes comprise entre 400 et 490 nm, un ou plusieurs pixels d'un deuxième type, appelés pixels verts, adaptés à émettre majoritairement de. la lumière verte, par exemple dans une gamme de longueurs d'ondes comprise entre 490 et 570 mn, et un ou plusieurs pixels d'un troisième type, appelés pixels rouges, adaptés à émettre majoritairement de la lumière rouge, par exemple dans une gamme de longueurs d'ondes comprise entre 570 et 710 mn. Sur les figures I à 7, un unique pixel bleu B, un unique pixel. vert G et un unique pixel rouge R sont représentés, étant entendu que, en pratique, le dispositif d'affichage peut comporter plusieurs pixels de chaque type, les pixels d'un même type étant identiques ou similaires aux dispersions de fabrication près. [00351 Dans cet exemple, dans chaque pixel, la couche active de la cellule électrolumi- nescente du pixel comprend des moyens de confinement correspondant à des puits quantiques multiples. Plus particulièrement, la couche active comprend une alternance de couches semiconductrices d'un premier matériau et de couches semiconductrices d'un deuxième matériau, chaque couche du premier matériau étant prise en sandwich entre deux couches du deuxième matériau, le premier matériau ayant une bande interdite plus étroite que celle du deuxième matériau. [ )036] A titre d'exemple, chacun des premier et deuxième matériaux comprend tnajori- tairement un composé III-V comprenant au moins un premier élément du groupe BI, un deuxième élément du groupe V, et, éventuellement, un troisième élément, par exemple un élément du groupe 111 autre que le premier élément. [0037] Des exemples d'éléments du groupe Ili comprennent le gallium ("Cia), ) ou aluminium (Al). Des exemples d'éléments du groupe V comprennent l'azote, le phosphore ou l'arsenic. Des exemples de composés binaires et ternaires sont le CiaN, l'AIN, 17nN, l'TnGaN, l'AlGaN oc l'AlIntiaN. De façon générale, les éléments dans le composé III-V peuvent être combinés avec différentes fractions molaires. [0038] Dans un mode de réalisation préféré, le premier matériau est de l'InGaN et le deuxième matériau est du GaN ou de l'InGaN ayant une concentration d'indium inférieure à celle du premier matériau. [00391 Selon un aspect d'un mode de réalisation, on prévoit de réaliser simultanément les cellules électroluminescentes des trois types de pixels, lors d'une même séquence d'étapes d'épitaxie. [00401 Pour cela, on joue sur la géométrie des cellules électmluminescentes des différents pixels pour, lors d'une même étape de croissance epitaxiale, obtenir des concentrations d'indium différentes dans les couches actives des pixels de types différents, et ainsi obtenir des longueurs d'ondes d'émission différentes par les cellules électroluminescentes des pixels de types différents. [00411 Plus particulièrement, dans l'exemple décrit en relation avec les figures 1 à 7, les cellules électroluminescentes des pixels bleus B du dispositif sont des cellules bidimensionnelles, constituées chacune d:un empilement de couches semiconductrices sensiblement planes s'étendant de façon continue sur toute la surface de la cellule. Les cellules électroluminescentes des pixels verts G et rouges R du dispositif sont quant à elles des cellules tridimensionnelles, comprenant chacune une pluralité de nanostructures pyramidales identiques ou similaires, régulièrement réparties sur la surface de la cellule, chaque nanostructure comportant un coeur semiconducteur en forme de pyramide, la couche active de la cellule étant rormée sur les races latérales du coeur semiconduteur de chaque nanostructrure. Dans cet exemple, les cellules électrolumi- nescentes des pixels verts différent des cellules électroluminescentes des pixels rouges essentiellement par les dimensions et/ou l'espacement de leurs nanostructures pyramidales respectives. Plus particulièrement, dans cet exemple, les nanostructures pyramidales des pixels rouges ont des dimensions inférieures à celles des nanostructures pyramidales des pixels verts, et le pas inter-pyramides, c'est-à-dire la distance centre à centre entre deux nanostructures pyramidales voisines, est plus faible dans les pixels rouges que dans les pixels verts. [0042] Les figures 1 (vue de dessus) et 2 (vue en coupe selon le plan 2-2 de la figure 1) re- présentent une structure de départ comportant un substrat de croissance 101, par exemple en saphir (A1,03), en carbure de silicium (S iC) ou en silicium (Si), et, sur la face supérieure du substrat 101, une couche de nitrure de gallium (GaN) 103 dopée de type N. La couche 103 est par exemple formée par épitaxie sur la face supérieure du substrat 101. Une couche tampon (non représentée) peut éventuellement faire interface entre la face supérieure du substrat 101 et la couche 103, Dans cet exemple, la couche 103 s'étend de façon continue sur toute la surface du dispositif d'affichage. L'épaisseur de la couche 103 est par exemple sensiblement uniforme sur toute la surface du dispositif. [0043] Les figures 1 et 2 illustrent plus particulièrement une étape de formation d'un masque 105 sur la face supérieure de la couche 103. Le masque 105 est par exemple en un matériau diélectrique, par exemple en nitrure de silicium (par exemple SUN-4). Le masque 105 comprend, en regard de chaque pixel du dispositif, une ou plusieurs ouvertures traversantes 107 débouchant sur la face supérieure de la couche 103, définissant la forme de la future cellule électroluminescente du pixel. Plus particulièrement, dans cet exemple, le masque 105 comprend : en regard du pixel bleu B, une unique ouverture 107, par exemple de forme carrée ou rectangulaire (en vue de dessus), s'étendant sur sensiblement toute la surface de la future cellule électroluminescente du pixel ; - en regard du pixel vert G, une pluralité d'ouvertures 107 identiques ou similaires, par exemple de forme circulaire (en vue de dessus), régulièrement réparties sur toute la surface de la future cellule électroluminescente du pixel ; et - eu regard du pixel rouge R, une pluralité d'ouvertures 107 identiques ou similaires, par exemple de forme circulaire (en vue de dessus), régulièrement réparties sur toute la surface de la future cellule électroluminescente du pixel. [0044] A titre d'exemple, les ouvertures 107 formées en vis-à-vis du pixel vert G, respec- tivement du pixel rouge R, sont, en vue de dessus, agencées en matrice selon des rangées et des colonnes. A titre d'exemple, les cellules électroluminescentes des pixels B, G et R ont, vues de dessus, la. même forme générale, par exemple une foi me carrée ou rectangulaire, et les mêmes dimensions latérales, Les modes de réalisation décrits ne se limitent toutefois pas à ce cas particulier. [0045] A titre d'exemple, les dimensions latérales de l'ouverture 107 formée en regard du pixel B sont comprises entre 1 et 2.0 pin, de préférence entre 5 et 10 prn. À titre d'exemple, chacune des ouvertures 107 formées en regard du pixel G a une dimension latérale (largeur ou diamètre) comprise entre 100 et 300 nm, de préférence de l'ordre de 200 nm, et le pas (distance centre à centre) entre ouvertures 107 voisines en regard du pixel G est compris entre 1 et 3 urn, par exemple de l'ordre 2 mn. À titre d'exemple, chacune des ouvertures 107 formées en regard du pixel R a une dimension latérale comprise entre 10 et 100 nm, de préférence entre 20 et 50 nm, et le pas entre ouvettures 107 voisines en regard du pixel R est compris entre 100 nm et 1 mn, de préférence entre 200 nm et 500 nm. L'épaisseur du masque 105 est par exemple comprise entre 10 et 100 nm, de préférence entre. 20 et 40 nm. [0046] Les ouvertures 107 sont par exemple formées par photolithographie,ou encore par li- thographie par faisceau d'électrons. Pour définir des ouvertures 107 de très petites dimensions, notamment en regard du pixel R, une solution alternative à la photolithographie ou à la lithographie par faisceau d'électrons consiste à déposer un film de porosité contrôlée à hase de copolymères à blocs sur la face supérieure du masque 105, puis à graver le masque 105 en regard des pores du film de copolymères pour former les ouvertures 107. Un exemple de mise en oeuvre d'un tel procédé est par exemple décrit dans l'article intitulé "Density Multiplication and Improved Lithography by Directed Block Copolymer Assembly" de Ricardo Ruiz al (Science 15 Aug 2008: Vol. 321, Issue 5891, pp. 936-939). [00471 Les figures 3 à 7 illustrent diverses étapes de dépôt postérieures à la formation du masque 105. Par souci de clarté, on a représenté sur ces figures seulement une partie du pixel B, correspondant à un agrandissement de la zone 109B de la figure 2, une partie du pixel G, correspondant à un agrandissement de la zone 109G de la figure 2, et une partie du pixel R, correspondant à un agrandissement de la zone 1.09R de la figure [0048] La figure 3 illustre une étape de dépôt, par épitaxie, d'un matériau semiconducteur dopé (le type N sur la face supérieure de la structure des figures 1 et 2. Lors de cette étape, la croissance épitaxiale s'opère à partir de la face supérieure de la couche 103, au fond des ouvertures 1.07. Le dépôt est donc localisé en vis-à-vis des ouvertures 107 du masque 105. Le matériau déposé est par exemple du GaN dopé de type N ou de l'InGaN dopé de type N. L'épitaxie est réalisée de manière simultanée dans tous les pixels du dispositif- L'épitaxie est par exemple effectuée par MOCVD (de l'anglais "1 talOrganic Chemical Vapor Deposition" épitaxie en phase vapeur aux organométalliques). 10049] Dans le pixel B, du fait des dimensions relativement relatrvernent importantes de l'ouverture 107., 9 la croissance est sensiblement uniforme, cc qui conduit à la formation d'une couche 111E sensiblement plane s'étendant sur toute la surface de l'ouverture 107, Dans le pixel G, respectivement dans le pixel R, du fait des dimensions réduites des ouvertures 107, on obtient, en vis-à-vis de. chaque ouverture 107, une nanostructure pyramidale 111G, respectivement 111 R, correspondant au coeur d'une structure pyramidale élémentaire de la future cellule électroluminescente du pixel. Les structures 111G, 1118 ont par exemple la forme de pyramides hexagonales. Dans le cas où la couche 103 est en GaN, la face supérieure de la couche 103 correspond de préférence à la face de polarité gallium de la couche 103, de façon à favoriser une croissance pyramidale en vis-à-vis des ouvertures 107 des pixels G et R. [0050; A titre d'exemple, à l'issue de l'étape de croissance de la figure 3, la couche 111B a une épaisseur comprise entre 10 et 100 nm, et chacune des pyramides i 11 G et 111R a une hauteur sensiblement égale, par exemple égale à 30% près, à la largeur de ouverture 107 en vis-à-vis de laquelle elle est formée. [0051] La figure 4 illustre une étape de dépôt, par épitaxie, d'une couche. 113 d'un matériau semiconducteur dopé de type N sur la face supérieure de la structure. de la figure 3. Lors de cette étape, la croissance épitaxiale s'opère à partir de la face supérieure de la couche 111B dans le pixel B, et à partir des faces latérales des pyramides 111G et 1118 dans les pixels G et R. Le dépôt est donc localisé en vis-à-vis de la couche 111B et des structures pyramidales 111G, 11.IR de la structure de la figure 3. Lépitaxie est réalisée de manière simultanée dans tous les pixels du dispositif. L'épitaxie est par exemple réalisée par MOCVD. Le matériau déposé est par exemple du GaN dopé de type N ou de l'InGaN dopé de type N. A titre (l'exemple, le matériau déposé est le même que lors de l'étape de la figure 3, mais un arrêt de croissance est prévu entre l'étape de la figure 3 et l'étape de la figure 4. L'épaisseur de la couche 113 déposée lors de cette étape est par exemple sensiblement la même dans tous les pixels du dispositif, par exemple comprise entre 50 et 250 mn, par exemple de l'ordre de 100 nm. La couche 1.1.3 forme une couche tampon, et constitue notamment une coquille autour des pyramides 1.1.1G, 1111R, en vue d'une étape ultérieure de dépôt des couches actives des cellules électroluminescentes des pixels. [00521 La figure 5 illustre une étape de dépôt, par é pitaxie, d'une couche active 115 dans les pixels B, G et R du dispositif. Lors de cette étape, la croissance épitaxiale s'opère à partir de la face supérieure de la couche 113 dans le pixel B, et à partir des faces latérales des coquilles pyramidales formées par la couche 113 dans les pixels G et R. Le dépôt est donc localisé en vis-à-vis de la couche plane 113 dans le pixel B, et en vis-à-vis des coquilles pyramidales formées par la couche 113 dans les pixets Ci et R. L'épitaxie est réalisée de manière simultanée dans tous les pixels du dispositif. L'épitaxie est par exemple réalisée par MOCVD. Lors de cette étape, on dépose une al- 10 ternance de couches semiconductrices d'un premier matériau, par exemple de l'InGaN, et de couches semicondutrices d'un deuxième matériau ayant une bande interdite plus large que celle du premier matériau, par exemple du GaN ou de. l'InGaN ayant une concentration d'indium inférieure à celle du premier matériau, de façon à former un empilement de puits quantiques, par exemple un empilement de 1 à 10 puits quantiques. A titre d'exemple, l'épaisseur totale de la couche active 115 est comprise entre 10 et 100 mn. Les conditions de croissance épitaxiale de la couche active 115 sont par exemple comme suit - température de croissance comprise de 720°C +1- 30°C ; vitesse de croissance de 0,12 jun/h +/- 0,007 pm/h - rapport de flux Tn/Cia compris entre 2 et 5 ; - rapport WH supérieur à 5000 et de préférence. de 10000 ou ; - pression de l'ordre de 400 mbar ou plus ; et épaisseur de puits comprise entre 2 et 3 nui. [0053] L'épaisseur de la couche active 115 est par exemple sensiblement la même dans tous les pixels du dispositif, Toutefois, du fait des différences de géométrie de la surface de croissance entre les pixels B, G et R, la concentration d'indium dans chaque couche d'InGaN de la couche active 115 est différente dans les pixels B, G et R (et ce malgré des conditions d'épitaxie identiques pour l'ensemble des couches actives des pixels B, G et R, puisque réalisées simultanément en une seule étape). On notera en particulier que les pyramides présentent des plans semi-polaires favorables à l'incorporation d'indium. Plus particulièrement, on obtient une concentration d'indium moins importante dans le pixel B que dans le pixel G, et moins importante dans le pixel G que dans le pixel R. Ceci permet d'obtenir des gammes de longueurs d'ondes d'émission différentes dans les pixels B, G et R. et, plus particulièrement, dans cet exemple, une émission majoritairement dans le bleu dans le pixel B, une émission majoritairement dans le vert dans le pixel G, et une émission majoritairement dans le rouge dans le pixel R. [0054] La figure 6 illustre une étape de dépôt, par épitaxie, dans chaque pixel, d'une couche 117 d'un matériau semiconducteur dopé de type P sur la face supérieure de la couche active 115. La couche 117 est déposée de manière simultanée dans tous les pixels du dispositif. La couche 11.7 s'étend par exemple de façon continue sur toute la surface de la cellule électroluminescente du pixel. La couche 117 est par exemple déposée par MOCVD. La couche active 117 est par exemple déposée sur une épaisseur suf- -muent importante pour Cornier, sur chacun des pixels G et R, une couche coalescée s'étendant sur toute la surface de la cellule électroluminescente du pixel. Le matériau déposé est par exemple du GaN dopé de type Pou de l'lnGaN dopé de type P. L'épaisseur de la couche 117 est par exemple comprise entre 50 et 250 mn, par 11 exemple de l'ordre de 100 nm. [0055] Bien que non représentée sur les figures, une barrière à électrons peut être déposée entre la couche active 115 et la couche de type P 117. Dc plus, des espaceurs, par exemple en un matériau semiconducteur non intentionnellement dopé, peuvent être déposés à la hase des nanostructures pyramidales des pixels G et R, par exemple entre la couche de type N 113 et la couche active 115, et/ou entre la couche active 115 et la couche de type P 117. [0056] La figure 7 illustre une étape de dépôt, dans chaque pixel, d'une couche conductrice 119 sur et en contact avec la face supérieure de la couche de type P 117. La couche 119 est déposée de manière simultanée dans tous les pixels du dispositif. A titre d'exemple, dans chaque pixel, la couche 119 s'étend de façon continue sur toute la surface de la cellule électroluminescente du pixel. La couche 119 est par exemple déposée par une méthode de dépôt conforme de façon à présenter une épaisseur sensiblement constante sur toute la surface de la cellule électroluminescente. La couche 119 permet notamment, dans chacun des pixels G et R du dispositif, de prendre un contact collectif sur la couche de type P 117 dans toutes les pyramides du pixel. Dans chacun des pixels G et R, un contact collectif peut par ailleurs être pris sur la couche de type N 113 dans toutes les pyramides du pixel, par l'intermédiaire de la couche 103 et des coeurs 111R, 111G. La couche 119 est par exemple en un matériau conducteur transparent, par exemple en oxyde d'indium-étain (1TO). A titre de variante, si le substrat 101 est transparent, le dispositif d'affichage peut être destiné à émettre de la lumière par sa face inférieure, auquel cas la couche 119 peut être réalisée en un matériau conducteur opaque, par exemple un métal, de préférence un métal réfléchissant. Dans une autre variante, dans le cas où le dispositif d'affichage est destiné à émettre de la lumière par sa face supérieure, et dans le cas où la couche de type P 115 est une couche continue s'étendant sur toute la surface du pixel, la couche conductrice 119 peut être réalisée en un matériau conducteur opaque, par exemple un métal, et revêtir une partie seulement de la surface du pixel, par exemple moins de la moitié de la surface du pixel. [0057] On a décrit ci-dessus, en relation avec les figures 1 à 7, un exemple d'un procédé de fabrication d'un ensemble monolithique de cellules électroluminescentes comprenant des cellules de types différents adaptées à émettre de la lumière dans des gammes de longueurs d'ondes différentes. [0058] Pour réaliser un dispositif d'amchage complet, il conviendra de connecter à chaque cellule électroluminescente un circuit de contrôle élémentaire, par exemple à base de transistors MOS, permettant de réguler de façon individuelle le courant circulant dans la cellule, et par conséquent l'intensité lumineuse émise par la cellule. La réalisation de tels circuits de contrôle ne sera pas détaillée ici. A titre d'exemple, on pourra prévoir d'hybrider à une matrice de cellules électroluminescentes réalisée par le procédé des figures I à 7, par exemple par collage direct, un circuit intégré formé dans et sur un substrat de silicium, par exemple en technologie CMOS, cc circuit intégré comportant une matrice correspondante de circuits de contrôle élémentaire connectées respectivement aux différentes cellules électroluminescentes. [0059] Un avantage du procédé décrit en relation avec les figures 1 à 7 est qu'il permet de réaliser simultanément, lors d'une même séquence d'étapes d'épitaxie et en utilisant un unique masque 105, au moins trois types de cellules électroluminescentes adaptées à émettre respectivement dans trois bandes de longueurs d'ondes distinctes. [0060] Divers modes de réalisation et variantes ont été décrits. L'homme de l'art comprendra que certaines caractéristiques de ces divers modes de réalisation et variantes pourraient être combinées, et d'autres variantes apparaitront à l'homme de l'art. En particulier, bien que l'on ait décrit ci-dessus un exemple préférentiel de réalisation permettant de réaliser simultanément trois types de cellules électroluminescentes émettant respectivement dans le bleu, dans le vert et dans le rouge, les modes de réalisation décrits ne se limitent pas à ce cas particulier. En particulier, en jouant sur les dimensions et/ou sur l'espacement des nanostructures pyramidales et/ou sur les compositions des matériaux de la couche active 115, on pourra réaliser des cellules électroluminescentes émettant dans d'autres bandes de longueurs d'ondes que celles mentionnées ci-dessus. De plus, on a démit ci-dessus un exemple de réalisation comportant une cellule électroluminescente bidimensionnelle (pixel B) et deux cellules électroluminescentes tridimensionnelles distinctes (pixels G et R). A titre de variante, le nombre de cellules électroluminescentes tridimensionnelles distinctes peut être supérieur à 2 de façon à réaliser un dispositif d'affichage comportant au moins quatre types de pixels distincts émettant respectivement dans des bandes de longueurs d'ondes distinctes. [00611 Par ailleurs, pour les contraintes et le risque d'arcure du substrat 101 lors de la mise en oeuvre des différentes étapes (le dépôt du procédé décrit ci-dessus, des tranchées (non représentées) délimitant les différents pixels du dispositif peuvent être gravées dans la couche semiconductrice 103, par exemple sur toute la hauteur de la couche 103, avant la formation du masque 105. [00621 Par ailleurs, on notera que tous les types de conductivité des couches semicon- ductrices décrites ci-dessus peuvent être inversés. 13