Brevet FR3100087A1 — publié le 20210226

Description Titre de l'invention : DISPOSITIF ELECTROTHERMIQUE COMPRENANT UNE COUCHE DE PEDOT Domaine technique [0001] La présente invention se rapporte au domaine général des dispositifs de conversion d'énergie. [0002] L'invention concerne un dispositif électrotherrnique (actuateur électrotherrnique). [0003] L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un tel dispositif. [0004] L'invention trouve des applications dans différents domaines industriels. Technique antérieure [0005] Les actuateurs sont des dispositifs capables de convertir différents types d'énergie, tels que la lumière, le champ électrique, le champ magnétique, la pression pneumatique ou l'énergie thermique en énergie mécanique. [0006] Les actuateurs transformant un stimulus électrique en réponse mécanique ont été par- ticulièrement étudiés puisque ce fonctionnement est simple à mettre en oeuvre. En particulier, les actuateurs électrothermiques (aussi appelés actionneurs électrothermiques) comprennent un élément élecniquement conducteur et un ou plusieurs matériaux de coefficient d'expansion thermique différents. Lorsque l'élément électriquement conducteur est parcouru par un champ électrique, celui-ci dissipe de l'énergie par effet Joule, ce qui provoque la dilatation thermique du ou des matériaux actifs. [0007] Les actuateurs électrothermiques présentent de nombreux avantages par rapport aux autres actuateurs, notamment un faible poids, un procédé de fabrication ne mettant pas en oeuvre d'électrolyte, et leur fonctionnement nécessite une tension d'actionnement relativement faible. De plus, au cours de ces dernières années, l'utilisation de nanoobjets (nanotubes, graphène, nanofils) pour fabriquer les électrodes a permis de développer des actionneurs électrothermiques transparents. [0008] Par exemple, Zhu et al. (« Graphene-Based Bimorph Mieroactuators », Nano Lett. 2011, 11 (3), 977-981) ont fabriqué des actionneurs bimorphes graphène/époxy transparents. Le graphène se contracte lors de l'échauffement en raison d'un coefficient de dilatation thermique négatif, opposé au comportement normal des matériaux conventionnels. Cette réponse thermomécanique asymétrique conduit à un actionnement bimorphe important. [0009] Dans l'article de Chen et al. (« Transparent Actuawrs and Robots Based on Single- Layer Superaligned Carbon Nanotube Sheet and Polymer Composites", Nanoscale 2016, 8 (12), 6877-6883), l'actuateur électrothermique comprend une couche de nanotubes de carbone, une couche de polyéthylène téréphtalate (PET) et une couche de 2 polypropylène bi-axialement orientée (BOPP). Un rayon de courbure de 0,41cm-, a été obtenu. [0010] Yao et al. (« Eled rothermal Actuamrs Using Silver Nannwire T'enfers » Nanoscalc 2017, 9(11), 3797-3805) ont obtenu un rayon de courbure de 2,6cm-, à une tension de 4,5V avec un actionneur électrothermique comprenant des couches de PDMS et de polyimidc et une couche de nanofils d'argent. [0011] Cependant, même si ces dispositifs sont au moins partiellement transparents, la présence des nano-objcts conduit à la diffusion de la lumière, ce qui leur donne un effet flouté, qui peut être gênant pour certaines applications optoélectroniques, comme par exemple pour les écrans tactiles à retour haptiquc. Exposé de l'invention [0012] Un but de la présente invention est dc proposer un dispositif électrothermique transparent ct diffusant peu la lumière. [0013] Pour cela, la présente invention propose un dispositif électrothermique, tel qu'un actuateur électrothermique, muni d'un empilement comprenant : - une première couche en un premier matériau polymérique ayant un premier coefficient d'expansion thermique, - une deuxième couche en un deuxième matériau polymérique électriquement conducteur à base de poly(3,4-éthylènedioxythiophène) associé à un ou plusieurs contre-ions, de préférence, choisis parmi le poly(styrène sulfonate) (PSS), le toluène sulfonate, l'hydrogénosulfate, le tritlatc et le méthylsulfonate, - une troisième couche en un troisième matériau polymérique ayant un deuxième coefficient d'expansion thermique, le deuxième coefficient d'expansion thermique étant inférieur au premier coefficient d'expansion thermique. [0014] L'invention se distingue fondamentalement de l'art antérieur par la présence d'une couche transparente à base de poly(3,4 éthylènedioxythiophene) (PEDOT). Une telle couche à base de PEDOT diffuse peu la lumière contrairement aux dispositifs à base de nano-objets (graphène, nanotubes de carbone, etc). [0015] De plus, les couches à base de PEDOT présentent une conductivité électrique suffisante pour permettre un chauffage efficace par effet Joule tout en restant transparente et tout en adhérant à des matériaux possédant des coefficients d'expansion thermique très différents. [0016] L'utilisation de couches polymériques pour former l'empilement permet d'avoir un empilement avec des couches d'indices optiques proches. [0017] L'empilement obtenu est transparent, c'est-à-dire qu'il présente une transmittance totale supérieure à 70%. [0018] Avantageusement, la deuxième couche présente une conductivité électrique su- 3 péricure à 500 S cm-let de préférence supérieure à 1000 S cm-1. [0019] Selon une première variante de réalisation avantageuse, l'empilement comprend suc- cessivement la deuxième couche, la première couche puis la troisième couche. [0020] Selon une deuxième variante de réalisation avantageuse, l'empilement comprend successivement la deuxième couche, la troisième couche et la première couche. [0021] Avantageusement, le coefficient d'expansion thermique de la première couche est supérieur à 200.10-6K-1 et le coefficient d'expansion thermique de la troisième couche est inférieur à 100 10-6 K-1. [0022] Avantageusement, le premier matériau polymérique est choisi parmi un polysiloxanc, tel que le polydiméthylsiloxane (PDMS) et les copolymères à blocs styreniques, comme par exemple le polystyrène-b-poly(éthylène-butylène)-b-polystyrène. [0023] Avantageusement, le troisième matériau polyrnérique est choisi parmi un poly- carbonate, un poly(rnéthacrylate de méthyle), l'acrylonitrile butadiène styrène, un polyimidc, le polyéthylène naphthalate et le polyéthylène téréphtalatc. [0024] Avantageusement, l'empilement a une transmittancc supérieure à 70%. [0025] Avantageusement, l'empilement est recouvert par une couche d'encapsulation. [0026] Le dispositif électrothermique selon l'invention présente de nombreux avantages : [0027] - il diffuse très peu la lumière par rapport aux dispositifs électrothermiques de l'art antérieur, [0028] - il est très souple puisqu'il est formé de matériaux polymères, [0029] - il nécessite de faibles tensions d'adressage pour pouvoir fonctionner. [0030] L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un dispositif électro- thermique tel que défini précédemment, comprenant les étapes suivantes : [0031] - déposer, sur l'une de la première couche ou de la troisième couche, une solution contenant un solvant et le deuxième matériau dissous ou les précurseurs du deuxième matériau et un initiateur de polymérisation, [0032] - évaporer le solvant, et éventuellement polymériser les précurseurs du deuxième matériau, de manière à former la deuxième couche en deuxième matériau, [0033] - déposer l'autre de la première couche ou de la troisième couche, de manière à former un empilement avec la première couche, la deuxième couche et la troisième couche. [0034] Avantageusement, la couche à base de PEDOT peut être déposée par des techniques d'impression à faible coût et à faible température (typiquement inférieures à 100°C3) comme par exemple par sérigraphie, dépôt jet d'encre, spray, nébulisation, flexogravure, héliogravure, trempage, enduction ou par des techniques de dépôt par filière à fente (« slot die »). [0035] Le procédé de fabrication d'un tel dispositif électrothermique est simple à mettre en oeuvre et peu coûteux. 100361 D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront du complément de description qui suit. [0037] Il va de soi que ce complément de description n'est donné qu'à titre d'illustration de l'objet de l'invention et ne doit en aucun cas être interprété comme une limitation de cet objet. Brève description des dessins [0038] La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés à titre purement indicatif et nullement limitatif en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels : [0039] rfie.1A1 [0040] [fig.113] [0041] [fig.1C] représentent, schématiquement, et en trois dimensions, des empilements pour un dispositif électrothermique, selon différents modes de réalisation particuliers de l'invention, [0042] [fig.2] représente de manière schématique et en trois dimensions un dispositif élec- trothermique selon un mode de réalisation particulier de l'invention. [0043] Les différentes parties représentées sur les figures ne le sont pas nécessairement selon une échelle uniforme, pour rendre les figures plus lisibles. [0044] Les différentes possibilités (variantes et modes de réalisation) doivent être comprises comme n'étant pas exclusives les unes des autres et peuvent se combiner entre elles. [0045] En outre, dans la description ci-après, des termes qui dépendent de l'orientation, tels que « dessus », «dessous », etc. d'une structure s'appliquent en considérant que la structure est orientée dc la façon illustrée sur les figures. [0046] EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS [0047] Par la suite, l'invention va être particulièrement décrite pour un actuateur électro- thermique. [0048] On se réfère aux figures 1A 1B, 1C et 2, l'actuateur électrothermique comporte un empilement comprenant : - une première couche 10 de matériau polytnérique présentant un fort coefficient d'expansion thermique, - une deuxième couche 20 à base de PEDOT, - une troisième couche 30 de matériau polymérique présentant un faible coefficient d'expansion thermique. [0049] De préférence, l'empilement est constitué de la première couche 10, de la deuxième couche 20 et de la troisième couche 30. Autrement dit, il s'agit d'un hicouche. [0050] L'ordre des couches dans l'empilement est, avantageusement, celui précédemment cité et représenté sur la figure 1A. Selon une autre variante de réalisation, l'empilement comprend successivement la deuxième couche 20, la première couche 10 et la troisième couche 30 (figure 1B). Selon une autre variante de réalisation, l'empilement comprend successivement, la deuxième couche 20, la troisième couche 30 et la première couche 10 (figure 1C). [0051] La première couche 10 est en un matériau présentant un fort coefficient d'expansion thermique, c'est-à-dire supérieur à 200.10-6K 1. De préférence, le matériau de la première couche 10 est un matériau polymère (élastomère). De préférence, le matériau de la première couche est un polysiloxanc (silicone). De préférence, elle est en polydiméthylsiloxane (PDMS). Il peut également s'agir d'un élastomère thermoplastique à base de copolymères blocs styreniques comme, par exemple, le polystyrèneb-poly(éthylène-butylène)-b-polystyrène (SEBS). La première couche 10 aune épaisseur comprise entre 100 nm et 1 cm, de préférence entre 100 pm et lmm, et de façon avantageuse entre de 200 pm et 500pm. La première couche 10 présente, avantageusement, une transmittance supérieure à 70% et de préférence supérieure à >90%. [0052] La deuxième couche 20 est en un matériau à base de PEDOT (poly(3,4-ethylenedioxythiophene associé à un ou plusieurs contre-ions, tel que le poly(styrène sulfonate) (PSS), le toluène sulfonatc aussi appelé tosylate (Tos), le Triflate (Te, l'hydrogénosulfate ou le méthylsulfonatc (Ms). Avantageusement, la deuxième couche 20 présente une conductivité électrique supérieure à 500 S cm ' et de préférence supérieure à 1000 S cm'. La deuxième couche 20 présente, avantageusement, une résistance surfacique 80%. [0053] La troisième couche 30 est en un matériau polymérique présentant un faible co- efficient d'expansion thermique, c'est-à-dire inférieur à 100 10 6 K '. De préférence, on choisira le polymère parmi un polycarbonate, un poly(méthacrylate de méthyle) (PMMA), l'acrylonitrile butadiène styrène (ABS), un polyimide (PI), comme par exemple un film commercialisé sous le nom KaptonC), un polyéthylène naphthalate aussi appelé poly(naphtalate d'éthylène) (PEN) ou un polyéthylène téréphtalate aussi appelé poly(téréphtalate d'éthylène) (PET). La troisième couche 30 a une épaisseur comprise entre 1 pm et 125 pm et de préférence entre 1 pm et 25 pm. Cette couche peut être plane ou courbe. Elle a, avantageusement, une transmittance supérieure à 70% et de préférence supérieure à 90%. [0054] Le matériau de la première couche 10 et le matériau de la troisième couche 30 présentent des coefficients de dilatation thermique différents, celui de la troisième couche 30 étant inférieur à celui de la première couche 10. [0055] L'empilement est transparent : la transmittance totale du dispositif est supérieure à 6 70%, et de préférence supérieur à 80%. Le dispositif final a une épaisseur, dc préférence, comprise entre 2pm et 2cm et de préférence encore entre 100 pm et 500 [0056] Comme représenté sur la figure 2, l'actuateur comprend également des électrodes 40 de reprise de contact pour appliquer une tension d'adressage allant, avantageusement, de 0 à 48V. Les électrodes sont, par exemple, en cuivre, argent, indium, étain, matériaux carbonés tels que des nanotubes dc carbone (CNT) ou du graphène par exemple, et/ou en polymères électriquement conducteurs. Les électrodes 40 présentent une résistance surfacique inférieure à 10 Q/E. Ces électrodes 40 sont destinées à être reliées à un générateur de tension. [0057] L'empilement peut être recouvert par une couche d'encapsulation, non représentée, aussi appelée couche de protection. La couche d'encapsulation peut avoir différentes propriétés, notamment choisies parmi des propriétés anti-rayure, antireflet, imperméable à l'eau, imperméable à l'oxygène, conductrice/isolante thermique, et/ou polarisante. [0058] Le procédé de fabrication d'un tel dispositif électrotherrnique va maintenant être décrit. [0059] La deuxième couche 20 à base de PEDOT peut être déposée sur la première couche ou sur la troisième couche 30, jouant alors le rôle de substrat, c'est-à-dire que l'empilement est fabriqué à partir de cette couche. [0060] Selon une première variante de réalisation, le procédé comprend les étapes suivantes : a) Fourniture de la première couche 10, b) formation des contacts électriques 40, c) dépôt de la deuxième couche 20 à base de PEDOT, (I) dépôt de la troisième couche 30, e) éventuellement, dépôt de la couche (l'encapsulation. [0061] Selon une deuxième variante de réalisation, le procédé comprend les étapes suivantes : a') Fourniture de la troisième couche 30, b') formation des contacts électriques 40, c') dépôt de la deuxième couche 20 à base de PEDOT, d') dépôt de la première couche 10, e') éventuellement, dépôt de la couche d'encapsulation. [0062] La couche, fournie à l'étape a) ou a'), peut être soumise à un traitement de surface. Par exemple pour la rendre plus hydrophile, on peut réaliser un traitement plasma ou un traitement par voie liquide en milieu oxydant. Elle peut être activée par UV/Ozone, plasma 02 ou en l'immergeant dans une solution oxydante comme la solution piranha 7 (acide sulfurique/U202 avec un rapport volumique 3/1) pendant 10 min. [0063] Lors de l'étape b) ou 1,'), les contacts électriques 40 sont formés. Ils peuvent être formés avant ou après l'impression de la couche mince à base de PEDOT. Ils sont avantageusement métalliques. Ils sont, par exemple, formés à partir d'une encre conductrice (de préférence à base d'argent) ou de fils/rubans/films métalliques. [0064] Lors de l'étape c) ou c'), la deuxième couche 20 de polymère conducteur est formée. Elle peut être obtenue selon différentes variantes de réalisation. [0065] Selon une première variante de réalisation, la deuxième couche 20 est formée en déposant une solution contenant le deuxième matériau dissous dans un solvant, et faisant évaporer le solvant. Le solvant est, avantageusement, de l'eau ou un solvant hydroalcoolique (avantageusement un mélange eau + alcool(s) ayant au plus 4 atomes de carbone en toutes proportions). [0066] Selon cc mode de réalisation, on choisira, avantageusement, le PEDOT:PSS (poly(3,4-éthylènedioxythiophène) : poly(styrène sulfonate)). [0067] La solution contenant le deuxième matériau dissous peut être déposée par toute technique de dépôt en phase liquide. A titre illustratif et non limitatif, il peut s'agir d'une méthode de dépôt par trempage, de dépôt à la tournette (« spin coating »), de nébulisation, de dépôt par flux (« flow coating »), de jet d'encre, de dépôt avec une filière à fente (« slot die ») ou par sérigraphie. [0068] Après dépôt, la couche 20 est séchée. [0069] La couche 20 séchée peut ensuite être trempée dans un solvant organique pour la laver. Le solvant est, par exemple, la NMP, le DMF, le DMSO, ou un alcool tel que l'éthylène glycol ou l'isopropanol. Puis la couche est à nouveau séchée. [0070] Alternativement, le solvant organique peut être introduit dans la solution à déposer contenant le PEDOT dissous. Le volume de solvant, dans la solution, va de 0,1% à 20%. Une seule étape de séchage est alors nécessaire. [0071] Il est possible de réaliser plusieurs dépôts successifs pour obtenir une deuxième couche 20 en deuxième matériau plus épaisse. Entre chaque dépôt, on réalisera, avantageusement, une étape de séchage et de lavage (par exemple avec un alcool, préférentiellement le méthanol). [0072] Selon une deuxième variante de réalisation, la deuxième couche 20 est formée en déposant une solution contenant un solvant, les précurseurs du deuxième matériau et un initiateur de polymérisation, puis en faisant évaporer le solvant et polymériser les précurseurs. Le solvant est, avantageusement, de l'eau. [0073] Par précurseur du deuxième matériau, on entend des monomères et/ou des oligomères et/ou des pré-polymères menant à la formation du PEDOT. Notamment, il peut s'agir du monomère EDOT, du monomère PRODOT (Propylènedioxythiophène) et/ou du monomère EDOS (3-4-éthylènedioxyselenophène). 8 [0074] La solution peut comprendre en outre des précurseurs d'un polymère additionnel. Il peut s'agir d'un polymère de type PEU, par exemple un polymère comprenant des unités de base de type polyéthylène glycol et polypropylène glycol, et en particulier on préfèrera les copolymères linéaires diblocs ou triblocs à base de polyéthylène glycol (PEU) et de polypropylène glycol (PPG), tel que PEU-PPG-PEU. [0075] Le solvant peut être un solvant organique, notamment un alcool. De préférence, on choisira un monoalcool ayant de 1 à 5 atonies de carbone. [0076] La solution peut également comprendre un solvant additionnel de type amine ou DMF ou NMP ou EU ou DMSO. Le solvant additionnel peut représenter jusqu'à 20% massique du mélange de solvant. [0077] L'initiateur de polymérisation est une espèce permettant la polymérisation de l'EDOT, par exemple du triflatc de fer (i.e. complexe tris-(trifluorométhanesulfonate) de krill). [0078] La solution est déposée sur la surface à recouvrir, par exemple par toute technique de dépôt de solution, par exemple, par dépôt à la tournette (« spin coating »), trempage, déposition par nébulisation, sérigraphie, flexographie. [0079] Une étape de séchage est ensuite réalisée. Par exemple, le dispositif peut être chauffé jusqu'à 150°C, de préférence à une température allant de 40°C à 80°C. Cette étape peut être réalisée sous atmosphère ambiante ou sous atmosphère contrôlée. [0080] Avantageusement, après séchage, on rince la couche 20 polymérisée avec un solvant hydroxylé (typiquement de l'éthanol ou (lu méthanol) puis on la sèche. [0081] Le cycle de dépôt/séchage/lavage peut être réalisé plusieurs fois pour obtenir une deuxième couche 20 plus épaisse. [0082] Après la formation de la deuxième couche 20, on forme la dernière couche de l'empilement. [0083] Lors de l'étape cl), la troisième couche 30 en troisième matériau, par exemple en PEN, PET ou PI, est laminée avec l'ensemble formé de la première couche, avantageusement en PDMS, et de la deuxième couche. [0084] Lors de l'étape d'), la première couche 10 en premier matériau, par exemple, en PDMS, est déposée par dépôt à la tournette. [0085] Un adhésif optiquement transparent peut être utilisé pour renforcer la tenue mécanique. On choisira, par exemple, les adhésifs commercialisés sous la référence tesa0 6959. [0086] Une ou plusieurs couches de l'empilement peuvent être structurées, pour donner des caractéristiques de déformation particulière. [0087] Les motifs de la structuration peuvent être fabriqués de façon soustractive en déposant une couche sur l'ensemble de la surface de la couche sous-jacente (dépôt dit pleine plaque) et en enlevant la matière en dehors des zones visées. 9 [0088] Selon une variante avantageuse, les motifs sont obtenus de façon additive, en déposant le matériau localement (i.e. sur les zones d'intérêt). [0089] Avec un tel procédé, il est possible de fabriquer des actuateurs électrothermiques transparents de petites ou de grandes surfaces, notamment de quelques mm2 à plusieurs m2. La couche jouant le rôle de substrat peut être plane ou non plane. [0090] La couche de protection peut être déposée avant ou après la formation des électrodes de reprise de contact pour les architectures 2,r1Ie couche/3,r1Ie couche/1° couche et 2,rue couche/1,,, couche/3,m, couche. [0091] Exemple illustratif et non limitatif d'un mode de réalisation [0092] Dans cet exemple, un procédé de fabrication d'un actuateur PDMS/ PEDOT/polyimide est décrit. [0093] Sur un substrat 10 en PDMS de 25 pin d'épaisseur, on réalise des reprises de contact de 150nm en or par pulvérisation cathodique. [0094] L'élaboration des électrodes 40 est réalisée par dépôt par spray d'une solution de PEDOT:PSS PH1000 diluée à 25% dans l'isopropanol sur le substrat chauffé à 80°C. L'appareil est un spray commercialisé sous le nom Sonotek. [0095] Avant le dépôt de la couche 20 de PEDOT, le substrat est activé par traitement plasma O. avec les paramètres suivants : 100 sccm (pour « Standard Cubic Centimeters per Minute »), 120W, 90s. [0096] Après dépôt de la couche en PEDOT, un recuit à 90°C est réalisé pendant 10 min sur plaque chauffante. Puis l'ensemble est immergé dans un bain d'éthylène glycol pendant 20 min [0097] Une étape de séchage sur plaque chauffante à 120 °C permet d'obtenir une couche d'épaisseur inférieure à 150 nm et de résistance surfacique inférieure à 100 Q /D. [0098] Finalement, une troisième couche 30 adhésive (type « scotch ») commercialisée sous la référence 3M 92, constituée d'un film de polyimide (Kapton0) de 25pm d'épaisseur et d'un adhésif transparent, est collé sur le dépôt de PEDOT. [0099] L'ensemble obtenu est représenté sur la figure 2. [0100] Lorsqu'une tension de 5V est appliquée, le dispositif se courbe à un rayon de courbure de 2,5 cm i. 10 REVENDICATIONS[Revendication 1] Dispositif électrothermique muni d'un empilement comprenant : - une première couche (10) en un premier matériau polymérique ayant un premier coefficient d'expansion thermique, - une deuxième couche (20) en un deuxième matériau polymérique électriquement conducteur à base de poly(3,4-éthylènedioxythiophène) associé à un ou plusieurs contre-ions, de préférence, choisis parmi le poly(styrène sulfonatc), le tosylate, l'hydrogénosulfate, le triflate et le méthylsulfonate, - une troisième couche (30) en un troisième matériau polymérique ayant un deuxième coefficient d'expansion thermique, le deuxième coefficient d'expansion thermique étant inférieur au premier coefficient d'expansion thermique. [Revendication 2] Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'empilement comprend successivement la deuxième couche (20), la première couche (10) puis la troisième couche (30). [Revendication 3] Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'empilement comprend successivement la deuxième couche (20), la troisième couche (30) et la première couche (10). [Revendication 4] Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le coefficient d'expansion thermique de la première couche (10) est supérieur à 200.10 6 K ' et en ce que le coefficient d'expansion thermique de la troisième couche (30) est inférieur à 100 10 6 K1. [Revendication 5] Dispositif selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que le premier matériau polymérique est choisi parmi un polysiloxane, tel que le polydiméthylsiloxane (PDMS) et les copolymères à blocs styrèniques, cornme par exemple le polystyrèneb-poly(éthylène-butylène)-b-polystyrène. [Revendication 6] Dispositif selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le troisième matériau polymérique est choisi parmi un polycarbonate, un poly(méthacrylate de méthyle), l'acrylonitrile butadiène styrène, un polyimide, le polyéthylène naphthalate et. le polyéthylène téréphtalate. [Revendication?] Dispositif selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la deuxième couche (20) présente une conductivité électrique supérieure à 500 S cm-1 et de préférence supérieure à 1000 S [Revendication 8] Dispositif selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que l'empilement a une transmittance supérieure à 70%. 11 [Revendication 9] [Revendication 10] Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'une couche d'encapsulation recouvre l'empilement. Procédé de fabrication d'un dispositif électrothermique tel que défini dans l'une quelconque des revendications 1 à 9, comprenant les étapes suivantes : - déposer, sur l'une d'une première couche (10) ou d'une troisième couche (30), une solution contenant un solvant et un deuxième matériau dissous ou les précurseurs du deuxième matériau et un initiateur de polymérisation, - évaporer le solvant, et éventuellement polymériser les précurseurs du deuxième matériau, de manière à former une deuxième couche (20) en un deuxième matériau, - déposer l'autre de la première couche (10) ou de la troisième couche (30), de manière à former un empilement comprenant la première couche (10), la deuxième couche (20) et la troisième couche (30), la première couche (10) étant en un premier matériau polymérique ayant un premier coefficient d'expansion thermique, la deuxième couche (20) étant en un deuxième matériau polymérique électriquement conducteur à base de poly(3,4-6thylènedioxythiophene) associé à un ou plusieurs contre-ions, de préférence, choisis parmi le poly(styrène sulfonate), le tosylate, l'hychogénosulfate, le trifiate et le méthylsulfonate. la troisième couche (30) étant en un troisième matériau polymérique ayant un deuxième coefficient d'expansion thermique, le deuxième coefficient d'expansion thermique étant inférieur au premier coefficient d'expansion thermique.