Brevet FR3091347A1 — publié le 20200703

Description Titre de l'invention : Procédé de caractérisation d'un échantillon par imagerie de phase Domaine technique [0001] Le domaine de l'invention est le domaine de l'imagerie de phase pour la caracté- risation d'un échantillon. L'invention convient notamment à la caractérisation de l'état de surface d'un échantillon. Il peut également s'agir de la caractérisation d'éléments ou de particules disposés dans un milieu Technique antérieure [0002] L'imagerie de phase est une technique couramment utilisée, en particulier pour ca- ractériser des échantillons transparents ou translucides. Dans ce type d'échantillon, en effet, le recours à des moyens d'imagerie classiques, par exemple le microscope en transmission, ne permet pas d'obtenir une observation satisfaisante, du fait de la transparence de l'échantillon. L'imagerie de phase permet ainsi d'obtenir une image de la phase d'une onde lumineuse complexe transmise par un échantillon. L'image de phase permet d'estimer des informations sur des échantillons transparents. Elle permet d'obtenir une image révélant un contraste caractéristique du déphasage de l'onde lumineuse, induit par l'échantillon. Il s'agit par exemple d'informations de nature morphologique (taille, surface) ou de nature optique (indice de réfraction). [0003] Des méthodes ont été mises en oeuvre, basées sur l'obtention d'une figure d'interférence entre un faisceau de référence, émis par une source de lumière généralement cohérente, et un faisceau émis par la même source de lumière et s'étant propagé à travers l'échantillon. Il s'agit de méthodes d'interférométrie, permettant d'obtenir une information de phase quantitative précise, mais au prix d'une instrumentation complexe. De plus, ce type de méthode présente un champ d'observation faible, ce qui suppose un balayage de l'échantillon. Le balayage augmente considérablement la durée de caractérisation. [0004] L'inventrice a conçu un dispositif simple, permettant une caractérisation d'un échantillon de surface importante, typiquement supérieure à 5 ou 10 mm2. sans nécessiter de balayage. L'invention permet également. une caractérisation précise d'échantillons faiblement déphasants, c'est-à-dire présentant un gradient de phase faible par rapport. au milieu extérieur dans lequel ils sont plongés. L'invention permet de quantifier le déphasage, pourtant faible, induit par ce type d'échantillon. Exposé de l'invention [0005] Un premier objet de l'invention est un procédé de caractérisation d'un échantillon, s'étendant selon un plan d'échantillon, le procédé comportant les étapes suivantes: 2 [0006] a. illumination de l'échantillon à l'aide d'une source de lumière, de telle sorte que sous l'effet de l'illumination, un capteur d'image est exposé à une onde lumineuse d'exposition transmise ou réfléchie par l'échantillon, se propageant parallèlement à un axe de propagation, le capteur d'image définissant un plan de détection; h. obtention de plusieurs images de l'échantillon à l'aide du capteur d'image, le capteur d'image étant associé à un système optique s'étendant entre le capteur d'image et l'échantillon, le système optique définissant un plan image et un plan objet, de telle sorte que lors de l'acquisition de plusieurs images : le plan objet est décalé par rapport au plan d'échantillon, selon une distance de défocalisation objet, et/ou le plan image est décalé par rapport à un plan de détection, d'une distance de défocalisation image; les distances de défocalisation objet ou les distances de &focalisation image respectivement associées à deux images différentes étant distinctes ; c. à partir de chaque image, calcul, en différentes coordonnées radiales, selon le plan de détection, d'une variation axiale de l'intensité de l'onde lumineuse d'exposition selon l'axe de propagation; d. à partir de la variation calculée lors de l'étape c), obtention d'une image de phase de l'oncle lumineuse d'exposition, l'image de phase représentant une cartographie d'un déphasage, induit par l'échantillon, de l'onde lumineuse d'exposition dans le plan de détection ; e. caractérisation de l'échantillon à partir de l'image de phase obtenue; [0007] le procédé étant caractérisé en ce que l'étape d) comporte une prise en compte d'un bruit affectant chaque image acquise lors de l'étape b). [0008] Lors de l'étape b), le nombre d'images acquises peut notamment être compris entre 2 et 10. [0009] Par cartographie d'un déphasage, il est entendu une cartographie d'une différence entre la phase de l'onde lumineuse d'exposition, détectée par le capteur d'image, et la phase d'une onde lumineuse d'exposition parvenant au capteur d'image en l'absence d'échantillon. [0010] Les distances de focalisation sont à considérer parallèlement à l'axe de propagation. [0011] Par bruit de l'image, il est entendu le bruit formé par les composants du dispositif d'observation, résultant en l'apparition de fluctuations statistiques sur chaque image acquise par le capteur d'image lors de l'étape b). La prise en compte du bruit permet de quantifier des faibles valeurs de déphasage. [0012] Le procédé peut comporter une acquisition d'une image de calibration par le capteur 3 d'image, le capteur d'image étant illuminé sans échantillon disposé entre ce dernier et la source de lumière, le bruit affectant chaque image acquise étant défini, en différentes coordonnées radiales du plan de détection, à partir de l'image de cal ibration. [0013] Selon un mode de réalisation, l'étape d) comporte, en chaque coordonnée radiale, les sous-étapes suivantes : [0014] di) détermination d'une fonction auxiliaire à partir de la variation axiale de l'intensité de l'onde lumineuse d'exposition ; [0015] di i) détermination de la phase, à partir d'un gradient de la fonction auxiliaire en ladite coordonnée radiale. [0016] La sous-étape di) peut comporter une résolution d'une équation de type [0017] [Math.1] Ait/ +v= f [0018] où : [0019] A est l'opérateur laplacien dans un plan perpendiculaire à l'axe dc pro- pagation Z; u est la fonction auxiliaire à estimer ; f est une fonction correspondant à la variation axiale de l'intensité de l'onde lumineuse d'exposition multipliée par le nombre d'onde de cette dernière ; est un terme de bruit ; [0020] La sous-étape di i) peut comporter une résolution d'une équation de type [0021] [Math.21 u +v f 100221 où : [0023] A est l'opérateur laplacien dans un plan perpendiculaire à faxe de pro- pagation Z; u est la phase à estimer ; f est une fonction correspondant un gradient de la fonction auxiliaire, déterminée lors de la sous-étape di), divisée par une intensité d'une image acquise lors de l'étape b) ; est un terme de bruit. [0024] Selon un mode de réalisation, lors de la sous-étape di), on détermine une expression fréquentielle de la fonction auxiliaire à partir d'un ratio [0025] [Math.3] ( 2 Tr ) ( v 2 + ) + 2 i 2 v 2 S [0026] où : [0027] - F est une expression fréquentielle de la fonction dc la variation axiale de l'intensité de l'onde lumineuse d'exposition multipliée par le nombre d'onde; N/S est une estimation du rapport signal à bruit affectant ladite expression fréquentielle; y, et v' sont les fréquences spatiales selon deux axes X et Y du plan de détection ; [0028] Selon un mode de réalisation, lors de la sous-étape dii), on détermine une expression fréquenticlle de la phase, à partir d'un ratio [0029] [Math.4] (2irr)2(v, v 2) [0030] où : [0031] F est une expression fréquentielle du gradient dc la fonction auxiliaire, dé- terminée lors de la sous-étape di), divisée par une intensité d'une image acquise lors de l'étape h) ; N/S est une estimation du rapport signal à bruit dc ladite expression fréquentielle ; v, et vy sont les fréquences spatiales selon deux axes X et Y du plan dc détection. [0032] Selon un mode dc réalisation, [0033] la sous-étape di) comporte une estimation d'une densité spectrale de bruit, à partir d'une acquisition d'une image de calibration, par le capteur d'image, le capteur d'image étant illuminé sans échantillon disposé entre ce dernier et la source de lumière ; la sous-étape di) comporte une prise en compte d'une densité spectrale de puissance de la fonction auxiliaire ; la sous-étape dii) comporte une estimation d'une densité spectrale de bruit à partir de l'image de la fonction auxiliaire résultant de la sous-étape di); la sous-étape dii) comporte une mise en compte d'une densité spectrale de puissance de la phase. [0034] Lors des sous-étapes di) et dii), les densités spectrales de puissance respectivement prises en compte peuvent être déterminées en utilisant un échantillon de calibration, induisant un déphasage connu. Le procédé comporte alors un ajustement progressif des valeurs de chaque densité de puissance, de façon à obtenir respectivement une image de la fonction auxiliaire et une image de la phase correspondant à une image de la fonction auxiliaire et à une image de phase obtenues avec l'échantillon de calibration. [0035] Le procédé peut comporter l'une quelconque des caractéristiques suivantes, prises isolément ou selon les combinaisons techniquement réalisables : [0036] lors de l'étape a) la surface de l'échantillon illuminée est supérieure à 10 mrn2 ; lors de l'étape b), chaque image acquise représente une surface d'échantillon supérieure à 10 mm2; l'étape h) comporte une acquisition d'une image de l'échantillon selon une configuration focalisée, de telle sorte que le plan image du système optique correspond au plan de détection et que le plan objet du système optique correspond à un plan selon lequel s'étend l'échantillon ; l'échantillon est disposé entre la source de lumière et le capteur d'image, de telle sorte que l'onde lumineuse d'exposition est une onde lumineuse ayant traversé l'échantillon, de la source de lumière vers le capteur d'image ; l'échantillon est réfléchissant ou est disposé sur un support réfléchissant, de telle sorte que l'onde lumineuse d'exposition, est une onde lumineuse réfléchie par l'échantillon ou par le support réfléchissant; l'échantillon présente une surface structurée, et dans lequel la caractérisation de l'échantillon est une caractérisation de la structuration dc la surface de l'échantillon; l'échantillon comporte des particules, la caractérisation de l'échantillon étant une caractérisation des particules de l'échantillon. [0037] Un deuxième objet dc l'invention est un dispositif de caractérisation d'un échantillon comportant : [0038] une source de lumière; un support d'échantillon, configuré pour recevoir un échantillon ; un capteur d'image, associé à un système optique, pour former une image de l'échantillon, lorsqu'il est disposé sur le support d'échantillon, le système optique définissant un plan objet et un plan image, le dispositif étant tel que: [0039] - le capteur d'image peut être déplacé par rapport au plan image ; et/ou l'échantillon peut être déplacé pai- rapport au plan objet ; [0040] - une unité de traitement, configurée pour mettre en oeuvre les étapes c) et d) d'un procédé selon le premier objet de l'invention; à partir des images acquises par le capteur d'image. [0041] Le dispositif peut comporter: [0042] une première source de lumière, configurée pour illuminer l'échantillon, lorsqu'il est maintenu sur le support, de telle sorte que l'échantillon est disposé entre la source de lumière et le capteur d'image; une deuxième source de lumière, configurée pour illuminer l'échantillon, lorsqu'il est maintenu sur le support, de telle sorte que l'échantillon ou le support d'échantillon réfléchit la lumière vers le capteur d'image. 6 100431 Un deuxième objet de l'invention est un dispositif de caractérisation d'un échantillon comportant : [0044] une source de lumière ; [0045] un support d'échantillon, configure pour recevoir un échantillon ; un capteur d'image, associé à un système optique, pour former une image de l'échantillon, lorsqu'il est disposé sur le support d'échantillon, le système optique définissant un plan objet et un plan image, le capteur d'image pouvant être déplacé par rapport au plan image et/ou l'échantillon pouvant être déplacé par rapport au plan objet; [0046] - une unité de traitement, configurée pour mettre en oeuvre les étapes c) et d) d'un procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes à partir d'images acquises par le capteur d'image. [0047] D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la description qui va suivre de modes particuliers de réalisation de l'invention, donnés à titre d'exemples non limitatifs, et représentés sur les figures listées ci-dessous. [0048] Les termes entre crochets correspondent à des balises sémantiques imposées par l'INPI et ne sont pas considérer comme faisant partie du contenu de la demande. Brève description des dessins [0049] [fig.1A] La figure 1A représente un exemple de dispositif selon l'invention, fonc- tionnant selon une configuration en transmission. [0050] [fig.113] La figure 1B représente un exemple de dispositif selon l'invention, fonc- tionnant selon une configuration en réflexion. [0051] [fig.lg La figure 1C est un exemple d'échantillon convenant à une observation selon la configuration en transmission. [0052] [fig.1 D] La figure ID est un exemple d'échantillon convenant à une observation selon la configuration en réflexion. [0053] [fig.IEJ La figure 1E est un autre exemple d'échantillon convenant à une observation selon la configuration en réflexion. [0054] [fig.2A] La figure 2A montre les principales étapes d'un procédé pour obtenir une image dc phase. [0055] [fig.2B] La figure 2B illustre une acquisition d'images défocalisées. [0056] [fig.3A] La figure 3A montre un premier échantillon de test, disposé pour être ca- ractérisé selon une configuration en transmission. [0057] [fig.3B] La figure 3B montre un résultat d'une caractérisation de la topographie d'une surface de l'échantillon représenté sur la figure 3A. [0058] [fig.4A] La figure 4A montre le premier échantillon de test, disposé pour être ca- ractérisé selon une configuration en réflexion. 7 100591 Ifig.4B I La figure 4B montre les résultats respectifs d'une caractérisation de la to- pographie d'une surface de l'échantillon de test représenté sur la figure 4A, selon la configuration de transmission et selon la configuration de réflexion, La partie du premier échantillon de test caractérisée sur la figure 4B est différente de celle caractérisée sur la figure 3B. [0060] [fig.5A] La figure 5A est une image représentative d'un bruit de fond généré par un capteur d'image. [0061] [fig.513] La figure 5B montre une image de phase reconstruite selon un premier en- chaincment d'étapes. [0062] [fig.5C] La figure 5C montre une image de phase reconstruite selon une variante préférée. [0063] [fig.6A] La figure 6A montre un deuxième échantillon modélisé. [0064] [fig.613] La figure 6B montre une image de phase du deuxième échantillon re- construite selon un premier enchainement d'étapes. [0065] [fig.6C] La figure 6C montre une image de phase du deuxième échantillon re- construite selon une variante préférée. [0066] [fig.7A] La figure 7A est une mire de phase. [0067] [fig.713] La figure 7B montre des profils d'images de phase de la mire respectivement obtenues en mettant en oeuvre un dispositif commercial de référence, reconnu comme quantitatif, ainsi qu'en mettant en oeuvre un procédé selon l'invention. EXPOSE DE MODES DE REALISATION PARTICULIERS [0068] Les figures lA et 1B représentent un dispositif 1 permettant une mise en oeuvre de l'invention. La figure 1A correspond à une configuration dite en transmission, tandis que la figure 1B correspond à une configuration en réflexion. [0069] Le dispositif 1 comporte une première source de lumière 11 ainsi qu'une deuxième source de lumière 11'. Selon la configuration en transmission, la première source de lumière 11 émet une onde lumineuse incidente 12, laquelle est mise en forme par une lentille de mise en forme 13, de façon à atteindre un échantillon 10 sous la forme d'ondes planes. La source de lumière, couplée à la lentille de mise en forme, permet d'illuminer une surface importante de l'échantillon, typiquement supérieure à 5 mm2 ou 10 mm2 L'échantillon 10 est transparent ou translucide. Sous l'effet de l'illumination par l'onde lumineuse incidente 12, une onde lumineuse 14, dite onde lumineuse d'exposition, se propage en aval de l'échantillon, jusqu'à un capteur d'image 20. L'onde lumineuse d'exposition 14 se propage parallèlement à un axe de propagation Z. L'onde lumineuse d'exposition 14 est focalisée par un système optique 16. Le système optique définit un axe optique parallèle à l'axe de propagation Z. Dans l'exemple représenté, le système optique 16 comporte un objectif 161 optiquement couplé à une lentille de tube 162. Une telle configuration permet de disposer des composants optiques entre 8 l'objectif 16, et la lentille de tube 162 sans que ces derniers n'entraînent des aberrations. Le dispositif comporte une lame semi-réfléchissante 15, disposée entre l'objectif 161 et la lentille de tube 162. Dans la configuration en transmission, la lame semi-réfléchissante 15 transmet l'onde d'exposition 14 vers le capteur d'image 20. Selon la configuration en transmission, l'onde lumineuse incidente 12 et l'onde lumineuse d'exposition 14 se propagent, respectivement en amont et en aval de l'échantillon, parallèlement à l'axe de propagation Z, et dans un même sens. [0070] La première source de lumière 11 peut être une diode électroluminescente, une source blanche ou éventuellement une source laser, sachant qu'une source laser est susceptible d'entraîner la formation de speckle, ce qui n'est pas souhaité. Il peut s'agir d'une source de lumière formant un éclairage de Kôlhler. Il est préférable que l'onde lumineuse incidente 12 atteigne l'échantillon 10 en formant des ondes planes ou considérées comme telles. Il est préférable que la première source de lumière et/ou la deuxième source de lumière émette une onde lumineuse incidente dans une bande spectrale étroite, par exemple inférieure à 100 nm, et de préférence inférieure à 50 nm voire 10 nm. Plus la bande spectrale est étroite, meilleure est la précision de la quantification. [0071] Dans la configuration en transmission, l'échantillon est transparent ou translucide, de façon à permettre une transmission d'une partie de l'onde incidente 12 pour former l'onde lumineuse d'exposition 14. Il est maintenu par un support 9 permettant une propagation de l'onde lumineuse incidente 12 à travers l'échantillon. [0072] L'invention peut adresser différents types d'échantillons. L'échantillon peut être solide ou visqueux. Il peut par exemple s'agir d'un composant en verre ou réalisé selon un matériau minéral ou organique convenant à la fabrication de composants optiques. Il peut s'agir d'un composant microfluidique, présentant des canaux ménagés sur un support en matériau organique ou minéral transparent ou translucide. Les canaux sont destinés à être remplis par un liquide durant l'utilisation du composant rnicrotluidique. Il peut également s'agir d'un élément comportant des canaux ou des cavités, et destiné à être disposé sur un dispositif électromécanique de type MEMS ou NEMS, (Micro ElectroMechanical System - Nano ElectroMechanical System). Lorsque l'échantillon est solide ou visqueux, la caractérisation de l'échantillon peut être un contrôle de son état de surface, ou un contrôle de la topographie d'une de ses surfaces. Plus précisément, l'échantillon 10 peut comporter une surface lOs structurée, comme représenté sur les figures 1C, ID et IE. Par surface structurée, on entend une surface présentant une structuration, que l'on souhaite contrôler. La structuration peut résulter d'opérations de microfabrication, par exemple des étapes de gravures réalisées au niveau de la surface 10s. L'invention s'applique principalement à des surfaces d'échantillon lOs structurées selon une profondeur micrométrique ou millimétrique. 9 Selon la configuration en transmission, l'échantillon 10 peut s'étendre comme cela a été représenté sur la figure 1C. Sur la figure 1C, la flèche illustre le sens de propagation de la lumière. L'onde lumineuse incidente 12 traverse l'échantillon et forme ainsi l'onde lumineuse d'exposition 14. [0073] Mais l'invention ne se limite pas au contrôle de l'état de surface d'échantillons solides. Elle peut être appliquée sur des échantillons comportant des éléments ou des particules, en particulier transparents ou translucides. L'invention permet d'obtenir une représentation exploitables desdits éléments ou particules, de façon à permettre leur caractérisation. Le terme caractérisation correspond à : [0074] une obtention dune image permettant d'observer les éléments ou particules, ce qui permet de les visualiser ; une détermination d'une taille ou d'une forme des éléments ou particules ; une détermination d'un paramètre optique des éléments ou particules, en par- ticulier l'indice de réfraction ou l'épaisseur optique, cette dernière cor- respondant à un produit de l'épaisseur par l'indice de réfraction ; une identification des éléments ou particules ; une classification des éléments ou particules selon des classes prédéterminées. [0075] Le terme particule désigne par exemple des particules biologiques, par exemple des cellules ou microorganismes. Il peut également désigner des gouttelettes d'une émulsion, ou des microbilles utilisées dans certains protocoles biologiques. Il peut également désigner des bulles d'air ou d'un autre gaz baignant dans un milieu liquide ou solide. Généralement, la dimension des particules est micrométrique ou millimétrique. Cela signifie que les particules sont inscrites dans un disque ou une sphère dont le rayon est inférieur ou égal à quelques microns, typiquement 10 pm ou 100 gn ou quelques millimètres, par exemple 1 ou 2 mm [0076] L'échantillon 10 peut être déplacé, et en particulier translaté selon l'axe Z. Dans l'exemple représenté sur les figures 1A et 1B, une platine 25 permet le déplacement de l'échantillon selon l'axe Z. De façon complémentaire ou alternative, le capteur d'image 20 peut être translaté selon l'axe Z. [0077] Le capteur d'image 20 peut être un capteur pixelisé de type CCD ou CMOS. Les pixels définissent un plan de détection P. Le plan de détection P est de préférence orthogonal à l'axe de propagation Z. De préférence, l'échantillon 10 s'étend parallèlement au plan de détection. Ainsi, l'échantillon définit un plan d'échantillon, selon lequel s'étend l'échantillon. Le plan de l'échantillon est de préférence parallèle au plan de détection. [0078] La figure 1B correspond à la configuration en réflexion. Selon cette configuration, la deuxième source de lumière 11' émet une onde lumineuse incidente 12', laquelle est mise en forme par une lentille de mise en forme 13', de façon à atteindre un échantillon 10 sous la forme d'ondes planes. L'onde lumineuse incidente 12' est émise par la deuxième source de lumière 11' et se propage tout d'abord selon un axe de propagation X, orthogonal de l'axe de propagation Z précédemment décrit. La lame semiréfléchissante 15 est agencée pour réfléchir l'onde lumineuse incidente 12' de telle sorte que cette dernière se propage parallèlement à l'axe Z en aval de la lame semiréfléchissante, jusqu'à l'échantillon 10. Le terme aval se comprend en considérant le sens de la propagation de la lumière. Au niveau de l'échantillon 10, l'onde lumineuse incidente 12' est réfléchie pour former une onde lumineuse d'exposition 14', se propageant parallèlement à l'axe de propagation Z mais selon un sens opposé à l'onde lumineuse incidente 12'. L'onde lumineuse d'exposition 14' se propage alors jusqu'au capteur d'image 20, en étant focalisée par le système optique 16. Selon cc mode de réalisation, l'onde lumineuse incidente 12' est réfléchie au niveau de l'échantillon 10. Par "au niveau de l'échantillon", on entend que la réflexion est produite soit sous l'effet de l'échantillon, cc dernier étant réfléchissant (cf. figure 1D), soit sous l'effet d'un support 9 réfléchissant maintenant l'échantillon (cf. figure 1E). [0079] Lorsque l'échantillon est réfléchissant, il peut s'agir d'un substrat réfléchissant, par exemple un substrat métallique ou semi-conducteur. L'échantillon peut également être transparent ou translucide, et déposé sur un support d'échantillon 9 réfléchissant, comme représenté sur la figure 1E. Dans ce cas, l'échantillon peut être du même type que ceux cités en lien avec la configuration en transmission. L'onde lumineuse incidente 12' se propage à travers l'échantillon avant d'être réfléchie par le support d'échantillon 9. Sur la figure 1E, le support d'échantillon est un miroir. [0080] La deuxième source de lumière 11' peut présenter des caractéristiques similaires à la première source de lumière 11.11 peut s'agir une diode électroluminescente, une source blanche ou une source laser, en prenant en compte les réserves précédemment exprimées quant à la formation de speckle. Il peut s'agir d'une source de lumière formant un éclairage de Kôlhler. Il est préférable que l'onde lumineuse incidente 12' atteigne l'échantillon 10 en formant des ondes planes ou considérées comme telles. [0081] La première source de lumière 11 peut être distincte de la deuxième source de lumière 11'. De façon alternative, la première source de lumière est confondue avec la deuxième source de lumière. Un mécanisme de déplacement assure alors une commutation de la source de lumière, entre les positions respectivement décrites sur les figures 1A et 1B. [0082] Selon un mode de réalisation, l'échantillon comporte une source lumineuse, disposée face à des extrémités proximales de deux fibres optiques, chaque fibre optique s'étendant entre une extrémité proximale et une extrémité distale. La première source de lumière et la deuxième source de lumière sont formées par les extrémités distales respectives de chaque fibre optique. 11 [0083] Ainsi, le dispositif 1 permet d'examiner un échantillon : [0084] soit transparent, selon la configuration en transmission (figure 1A) et la dis- position représentée sur la figure 1C; soit réfléchissant, selon la configuration en réflexion (figure 1B) et selon la disposition représentée sur la figure 1D ou la disposition représentée sur la figure 1E. [0085] Lorsqu'une onde lumineuse se propage à travers l'échantillon, ou est réfléchie parce dernier, et que l'échantillon présente une surface lOs structurée, le trajet optique suivi par l'onde lumineuse est affecté par la structuration de la surface l'échantillon. En effet, l'onde lumineuse subit une différence de trajets optiques en fonction de la position parallèlement au plan de détection P. Un objectif de l'invention est alors de caractériser la topographie de la surface lOs de l'échantillon. [0086] Selon la configuration en transmission, si n désigne l'indice de réfraction de l'échantillon, et k désigne le nombre d'onde de l'onde lumineuse incidente 12, l'onde lumineuse d'exposition 14, résultant de la propagation de l'onde lumineuse incidente 12 à travers l'échantillon, subit un déphasage (Kr) tel que : [0087] [Math.5] (r) = k x (r) (1) [0088] où [0089] r désigne une coordonnée dans un plan parallèle au plan de détection P ; cl(r) correspond au trajet optique dans l'échantillon. [0090] Comme décrit auparavant le déphasage q9(r) correspond, à la coordonnée r à une différence entre : [0091] la phase de l'onde lumineuse d'exposition 14, détectée par le capteur d'image 20 après avoir été réfléchie par l'échantillon 10 ou après s'être propagée à travers l'échantillon 10; la phase d'une onde lumineuse d'exposition qui serait détectée par le capteur d'image sans échantillon disposé entre la source de lumière et le capteur d'image 20. [0092] Selon la configuration en transmission, le trajet optique correspond à l'épaisseur e(r) d'échantillon traversée à la coordonnée r, multipliée par le saut d'indice de réfraction entre le milieu ambiant, dans lequel est disposé l'échantillon, et l'échantillon. Ainsi, [0093] [Math.6] d ( r ) e (r ) n (1') [0094] Où An correspond à la variation d'indice de réfraction entre l'échantillon et le milieu ambiant. [0095] Si le milieu ambiant est de l'air : An = n-I, n étant l'indice de réfraction de 12 l'échantillon. [0096] Selon la configuration en réflexion, le trajet optique est égal à 2 fois l'épaisseur d'échantillon traversée. Aussi, selon en réflexion : [0097] [Math.7] d (r)- 2e (r) ain (1') [0098] Ainsi, le déphasage de l'onde d'exposition 14, détectée par le capteur d'image 20, est directement proportionnel à l'épaisseur dc Lorsque la surface lOs de l'échantillon présente une structuration, cela se traduit par une variation locale de l'épaisseur de l'échantillon. Par conséquent, la détermination d'une image dc phase 1,, représentant une cartographie de la valeur du déphasage en différentes coordonnées r, permet d'obtenir une cartographie dc l'épaisseur de l'échantillon, moyennant la connaissance dc l'indice de réfraction, et donc dc caractériser la morphologie de la surface lOs de l'échantillon. L'image dc phase 1, permet ainsi de caractériser une topographie dc la surface de l'échantillon. [0099] Le capteur d'image 20 est relié à une unité dc traitement 22, par exemple un micro- processeur, couplée à une mémoire 24 comportant des instructions pour une mise en oeuvre d'opérations de calcul décrites par la suite. [0100] On cherche notamment, à partir de plusieurs images acquises par le capteur d'image, à estimer une image de phase 1,1, représentant le déphasage cp(r) de l'onde lumineuse d'exposition en différentes coordonnées r selon le plan dc détection P. A partir de chaque valeur du déphasage cp(r), on peut estimer un trajet optique d( r) dans l'échantillon selon l'expression : [0101] [Math.8] ça (r)= k x d (r ) (2) [0102] L'obtention de d( r) permet de remonter à la topographie de la surface de l'échantillon observé. [0103] Le système optique 16 définit un plan objet P' et un plan image Pi. Le plan objet P' et le plan image P, sont conjugués par le système optique 16. Lorsque l'échantillon s'étend selon le plan objet P' et que le plan de détection P correspond au plan image P,, le capteur d'image 20 permet de former une image nette I' de l'échantillon. [0104] Il est possible d'obtenir une image dc la phase de l'onde lumineuse d'exposition 14 en acquérant différentes images défocalisées I, dc l'échantillon, chaque image &focalisée étant acquise en décalant le plan dc l'échantillon par rapport au plan objet P' selon une distance de défocalisation objet et/ou en décalant le plan de détection P par rapport plan image P, selon une distance de défocalisation image. [0105] Sur les figures lA et 1B, on a représenté en pointillés différents plans P71, P/2, P /1, P / 2 dans lesquels l'échantillon est déplacé de façon à permettre l'acquisition d'images dé- 13 focalisées. Les plans PLI, P72,P2,1,P_72 sont respectivement décalés du plan objet Po selon des distances de défocalisations objet zI, 7n, -z' -z2. Chaque distance de défocalisation est dc préférence comprise entre 20 pm et 1 mm. Le décalage des plans de dé-focalisation peut être effectué selon des incréments réguliers de z = 50 pm par exemple. L'incrément tiz correspond à l'écart entre deux distances de défocalisation successives. [0106] Dans les exemples représentés sur les figures lA et 1B, la défocalisation est effectuée en déplaçant l'échantillon par rapport au plan objet du système optique 16, tandis que le plan de détection du capteur d'image s'étend selon le plan image P. De façon complémentaire ou alternative, le capteur d'image 20 peut être déplacé de telle sorte que le plan de détection P est décalé par rapport au plan image P. [0107] La figure 2A représente les principales étapes d'un procédé permettant d'obtenir une image J, de phase de l'onde lumineuse d'exposition 14. L'image de phase correspond à une distribution spatiale du déphasage induit par l'échantillon, au niveau du plan de détection. Autrement dit, I , (r) =99(r). [0108] A titre d'exemple, on se base selon la configuration de transmission, sachant que le procédé peut être mis en oeuvre selon la configuration de réflexion. [0109] Etape 100: illumination de l'échantillon à l'aide de la première source de lumière (cf. figure 1A) (ou à l'aide de la deuxième source de lumière selon la configuration en réflexion). [0110] Etape 110 : acquisition d'images I. de l'échantillon, l'échantillon étant translaté selon l'axe optique Z entre l'acquisition de deux images successives. Au moins deux images I , sont acquises selon une configuration défocalisée, respectivement selon deux distances de défocalisation différentes. Il est préférable d'acquérir des images en disposant l'échantillon de part et d'autre du plan objet P, du système optique comme représenté sur la figure 2B, mais cela n'est pas nécessaire. Il est par exemple conseillé d'acquérir trois images Io, I. et I, en disposant l'échantillon 10 respectivement dans le plan objet Po, ainsi qu'à une distance +Z et -Z de ce dernier. L'image L, acquise lorsque le plan selon lequel s'étend l'échantillon correspond au plan objet Po, est une image nette de l'échantillon. Selon cette configuration, le plan de l'échantillon est conjugué du plan de détection. [0111] De façon alternative, l'échantillon 10 est maintenu dans le plan objet Po et le capteur d'image 20 est déplacé par rapport au plan image P' de préférence de part et d'autre de ce dernier. [0112] Un objectif de cette étape étant d'obtenir une dérivée axiale des images au niveau du plan de mise au point, il est nécessaire de disposer d'au moins deux images de part et d'autre du plan de mise au point du système optique. L'échantillon 10 est donc disposé de part et d'autre du plan objet Po du système optique 16. Alternativement, le capteur 14 d'image 20 est disposé de part et d'autre du plan image Pi du système optique 16. [0113] Etape 120 : détermination d'une variation axiale de l'intensité de l'onde lumineuse d'exposition 14. [0114] A partir des images acquises, on détermine une dérivée axiale de l'intensité de l'onde lumineuse d'exposition 14 au niveau du plan objet Po. 11 s'agit de calculer une fonction dérivée [0115] 3I 101161 à partir des images acquises dans l'étape 110. 101171 Lorsqu'on dispose (l'images lz et 1 z acquises de part et d'autre d'une image focalisée 1 0, la variation axiale peut être déterminée selon : 101181 1Math.91 ro(r) lz( ) -I-z(r) (3) z - 26z [0119] Selon un mode de réalisation préféré, on dispose de 5 images respectivement acquises selon les distances zl, z2, zo, -z1, -z2, comme précédemment décrit. Dans ce cas, on peut obtenir al ' I dz (r) [0120] selon l'expression : [0121] [Math.10] 13(r) 4 ( (r) -I-zi(r)) i 2(r) I-z 2 (r ) (4) 2z ' 3 k 2z1 3k 2z2 101221 Etape 130 : Calcul d'une image de phase. 101231 A partir de la dérivée axiale al 'I az calculée lors de l'étape 120 en différentes co- ordonnées radiales r, il est possible de calculer une image phase 1, en mettant en oeuvre une équation de transport d'intensité, cette dernière reliant, en différentes coordonnées r, le gradient de la phase à la dérivée axiale de l'intensité, selon l'expression suivante : 101241 1Math.111 V Uo(r)V (Kr)] .= D10(r) (5) -k az [0125] V désignant l'opérateur gradient selon un plan perpendiculaire à l'axe de propagation Z. Io(r) est obtenu par l'acquisition d'une image focalisée de l'échantillon ; [0126] al 01 az est obtenu par l'étape 120; k représente le nombre d'onde. Pour déterminer k, on peut prendre la longueur d'onde correspondant à l'intensité maximale dans la bande spectrale considérée (maximum d'intensité spectrale). [0127] L'équation (5) est connue de l'homme du métier et usuellement appelée équation de transport d'intensité. Elle relie une cartographie spatiale de la phase de l'onde lumineuse d'exposition 14 à la dérivée axiale de son intensité. Le recours à une telle équation a par exemple été décrit dans la publication Waller L.A "Computational phase imaging based on intensity transport", PhD thcsis, Massachusscts Institute of Technology, 2010. Elle est également décrite dans la publication Bostan E. "Phase retrieval by using transport of intensity cquation and differential interference contrast microscopy", ICIP 2014, pp 3939-3943. [0128] L'équation de transport d'intensité peut être résolue en deux étapes, en introduisant une fonction auxiliaire (tp, comme décrit dans la publication Tcague R "Deterministic phase retrieval : a Greens function solution", JOSA, vol. 73, nn 11. pp 1434-1441, 1983. La fonction auxiliaire ip est telle que : [0129] [Math.12] Aqi= Io V k CP (6) [0130] L'expression (5) peut alors s'écrire: [0131] [Math.13] A r) - al(r) [01321 Et k ° (7) 101331 IMath.141 Dz A L (I)(r) =iiottli,() (8) [0134] où A k est l'opérateur laplacien dans un plan perpendiculaire à faxe de propagation Z. [0135] Les expressions (7) et (8) sont de type : [0136] [Math.15] A J_ = f (9) p137] oùf est une fonction mesurée ou calculée et u est la fonction que l'on cherche à obtenir. O138] Une solution d'une telle équation est : O139] [Math.16] U(v, (2iTr)(v2Vic)+E ( 17 - [0140] Où: [0141] U est la transformée de Fourier de la fonction u que l'on cherche à déterminer, ou plus généralement une expression fréquentielle de la fonction u; F est la transformée de Fourier de la fonctionf; H est la transformée de Fourier de l'opérateur laplacien ; c est un scalaire, permettant d'éviter que le dénominateur de l'expression (10) 16 soit égal à 0. Il peut par exemple âtre choisi égal à 10-s ; y, et v' sont les fréquences spatiales selon deux axes X et Y formant un repère orthonormé du plan de détection P. [0142] L'étape 130 est décomposée en deux sous-étapes 131 et 132. La sous-étape 131 vise à déterminer une image de la fonction auxiliaire Ity à partir de la dérivée axiale dl0 I a, L'image de la fonction auxiliaire L) comporte les valeurs de v (r) en différentes coordonnées r. [0143] La sous étape 132 vise à déterminer l'image de la phase tt, à partir de l'image de la fonction auxiliaire T.. L'image de phase hp comporte les valeurs de p (r) en différentes coordonnées r. [0144] L'expression (10) est utilisée : [0145] une première fois, au cours de la sous-étape 131, pour déterminer la fonction auxiliaire rtp en différentes coordonnées r. Au cours de cette sous étape, on résout l'équation (9) avec : [0146] [Math.17] a /0 r = w ; f - k az 101471 La résolution est effectuée en mettant en oeuvre l'équation (10) dans laquelle : 101481 1Math.181 F =TF (f)- TF (-kaiz°) (n) [0149] où désigne l'opérateur transformée de Fourier, ou, de façon plus générale, une ex- pression fréquentielle clef, et [0150] [Math.19] = TF(u) T F ( tp ) (12) [0151] une deuxième fois, au cours de la sous-étape 132, pour déterminer le déphasage cp en différentes coordonnées r. Au cours de cette sous étape, on résout l'équation (9) avec: [0152] [Math.20] v _Lw [0153] La résolution est effectuée en mettant en oeuvre l'équation (10) clans laquelle : [0154] [Math.21] F =TF (V ri ) (11 ); [0155] [Math.22] = TF (u)=TF (9) (12); 101561 Suite à la sous-étape 132, on détermine la phase de l'onde lumineuse d'exposition 14 17 en chaque coordonnée r par : [0157] [Math.23] U (r) ( 13 ) 101581 On dispose alors une image I, représentative de la phase de fonde lumineuse d'exposition 14. 101591 Etape 140: caractérisation de l'échantillon. 101601 A partir de l'image de phase 1,, l'échantillon, et plus précisément, la topographie de la surface lOs de l'échantillon, peut être caractérisée, en mettant en oeuvre l'équation (1). D'autres types de caractérisation sont envisageables, comme décrit par la suite. 101611 Les étapes 120 à 140 montrent qu'à partir d'une dérivée axiale de l'intensité de l'onde lumineuse d'exposition, l'utilisation de l'équation de transport d'intensité permet une reconstruction de la phase de l'onde lumineuse, à partir de laquelle la caractérisation de l'échantillon peut être effectuée. 101621 Cependant, pour des échantillons faiblement déphasants, le procédé tel que pré- cédemment décrit présente certaines limites. H est en particulier sensible au bruit affectant les images acquises. La reconstruction précédemment décrite propage ce bruit, par le biais de la résolution de l'équation de transport d'intensité. La propagation du bruit peut affecter significativement la reconstruction de l'image de phase, en générant des artefacts. Les artefacts peuvent prévaloir par rapport au déphasage réel induit par l'objet, en particulier lorsque le déphasage est faible. Il en résulte une détermination erronée de l'image de phase. Par échantillons faiblement déphasants, on entend un échantillon comportant des éléments déphasants dont les dimensions sont faibles (s'étendant par exemple selon moins de 100 pixels) et/ou présentant un faible contraste d'indice de réfraction par rapport au milieu ambiant. [0163] Pour cc type d'échantillon, il est proposé une variante, selon laquelle on adapte la ré- solution de l'équation de transport d'intensité, en prenant en compte, lors de l'étape 130, le bruit d'acquisition des images defocalisées de l'échantillon. Plus précisément, il s'agit d'estimer un rapport signal sur bruit affectant les grandeurs reconstruites, et de prendre en compte le rapport signal sur bruit ainsi estimé lors de la résolution de l'équation de transport d'intensité. [0164] Pour cela, l'expression (9) est remplacée par : [0165] [Math.24] Aiu +v= f (9 ') [0166] Où s'est une fonction bidimensionnelle représentant le bruit. [0167] Le problème revient à déterminer une fonction g, de telle sorte que : [0168] [Math.25] û =g'f 18 [0169] (14) ; [0170] , où [0171] û est une estimation de u minimisant l'erreur quadratique moyenne Ilu-û112. [0172] Le filtre de Wiener permet d'obtenir une estimation de g satisfaisant à (14). La transformée de Fourier G de la fonction g est telle que : [Math.26] H S G - 25 H + N (15) [0173] où S est la densité spectrale de puissance de u et N est la densité spectrale de puissance de y. [0174] Dc l'expression (15), on peut déduire que : [0175] [Math.27] 1 ( G - H N H H 2 S [0176] Il vient : [0177] [Math.28] U = F.G = (2in- )" (I) x2 ( 2) ± V v . (217-r) (v ), 4- v2) S [0178] On note que le ratio N/S correspond à l'inverse du rapport signal sur bruit S/N [0179] Au cours de la sous-étape 131, on résout l'équation (9') avec : [0180] [Math.29] k ro(r ) u= tp ;f- az O1 81] La résolution est effectuée en mettant en oeuvre l'expression (17) dans laquelle : O182] [Math.30] F TF( f) TF ( - kaaiz()) (18) [0183] où désigne l'opérateur transformée de Fourier (ou plus généralement une expression fréquentielle) de la fonction f; [0184] [Math.311 U = TF (12 ) = TF ((p ) (19) ; [0185] 11 est nécessaire de prendre en compte les densités spectrales de puissance de bruit N et de signal S. [0186] Pour déterminer la densité spectrale de puissance de bruit N, la sous-étape 131 19 comporte une prise en compte d'une image de calibration b sans échantillon disposé entre la source de lumière utilisée (11 ou 11') et le capteur d'image 20. En supposant que le bruit d'acquisition est uniforme et de moyenne nulle (i-c bruit blanc), la densité spectrale de puissance du bruit N est telle que : [0187] [Math.32] N _ L -k t" 2 26 z b (2 [0188] où [0189] ob est la variance de l'image de calibration / L x et L y sont les dimensions de l'image, en nombre de pixels, selon les axes X et Y précédemment définis. [0190] L'acquisition de l'image de calibration / b fait l'objet d'une étape 90, préalable à l'étape 130. 101911 La sous-étape 131 comporte également une prise en compte d'une densité spectrale de puissance S de la fonction auxiliaire W. La valeur de S peut être déterminée à priori, par exemple en calibrant le dispositif à l'aide d'un échantillon de calibration induisant un déphasage connu. Ainsi, l'image de phase /4. de l'échantillon de calibration est connue. 101921 La calibration consiste à prendre en compte différentes valeurs de densité spectrale de puissance S,, de la fonction auxiliaire v, de façon à sélectionner la valeur permettant, après reconstruction, d'obtenir une image de la fonction auxiliaire cohérente avec l'image 1, de la fonction auxiliaire correspondant à l'échantillon de calibration. 101931 Au cours de la sous-étape 132 on résout l'équation (9') avec : 101941 1Math.331 ; f - fetil [0195] v correspond à la fonction auxiliaire déterminée lors de la sous-étape 131, L'expression (17) est utilisée une pour déterminer la phase 9, avec : [0196] [Math.34] F TF(f) =TF (V Ti tjj ( 8' ); 0 101971 1Math.351 U TF(7.1)- TF ( ) (19); [0198] Il est nécessaire de prendre en compte les densités spectrales de puissance de bruit N et du signal S. [0199] La densité spectrale de puissance de bruit N est déterminée en calculant l'écart-type d'une partie de l'image de la fonction auxiliaire I résultant de la sous-étape 131. La partie de l'image sélectionnée correspond à une zone de bruit de l'image i, . La sous-étape 132 comporte également une prise en compte d'une densité spectrale de puissance Scp de la phase (p. La valeur de Scp peut être déterminée à priori, par exemple en calibrant le dispositif à l'aide d'un échantillon de cal ibration générant un déphasage connu. [0200] La calibration consiste à prendre en compte différentes valeurs de densité spectrale de puissance S de l'image de phase k, de façon à sélectionner la valeur permettant d'obtenir, après reconstruction, une image de phase cohérente avec l'image de phase k correspondant à l'échantillon de calibration. [0201] La méthode exposée ci-dessus a été mise en oeuvre, en transmission, avec un premier échantillon de test. Cet échantillon était en verre. Il présentait une surface lOs structurée comme représenté sur la figure 3A. L'échantillon s'étendait selon une épaisseur de 2 mm. On a utilisé un système optique 16 tel que représenté sur la figure 1A, dont le grandissement est de 1 : 1. Cela permet d'obtenir un champ d'observation étendu, dont la surface correspond à la surface utile du capteur d'image, soit 30 mm2. La surface lOs présentait des creux, formant des défauts de surface, dont la profondeur, perpendiculairement à la surface de l'échantillon, était comprise entre 5 et 20 pm. Chaque creux correspond à un élément déphasant. Ces creux peuvent correspondre à la réalisation d'un microcanal s'étendant parallèlement à la surface de l'échantillon. La figure 3B montre un profil de l'épaisseur optique correspondant à un creux, mesuré par une méthode de référence (caméra SID4Bio - Phasics) - courbe b - ainsi qu'un profil reconstruit en appliquant la méthode décrite ci-avant (courbe a). On observe que le profil résultant de la méthode correspond à une bonne caractérisation de la surface de l'échantillon. Sur la figure 3B, les axes des abscisses et des ordonnées correspondent respectivement à des microns et à des nanomètres. L'axe des abscisses correspond à une direction X représentée sur la figure 3A, tandis que l'axe des ordonnées correspond à une différence d'épaisseur optique. [0202] La méthode exposée ci-dessus a été mise en oeuvre, en réflexion, avec le premier échantillon de test, comme représenté sur la figure 4A. L'échantillon de test a été caractérisé selon la configuration en transmission, de façon similaire à la configuration représentée sur la figure 3A. L'échantillon de test a été retourné et disposé sur un support réfléchissant 9. On a utilisé un système optique 16 tel que représenté sur la figure 1B, dont le grandissement est de 1 : 10. Cela permet d'obtenir un champ d'observation égal à 0.56 mm2 La figure 4B montre le profil de l'épaisseur optique d'un creux obtenu selon la configuration en transmission (courbe b), et le profil du même creux obtenu selon la configuration en réflexion (courbe a). Les deux profils sont cohérents. Sur la figure 4B, les axes des abscisses et des ordonnées correspondent respectivement à des microns. L'axe des abscisses correspond à une direction X re- 21 présentée sur la figure 4A, tandis que l'axe des ordonnées correspond à une différence d'épaisseur optique. [0203] On a testé la méthode décrite ci-avant, selon une configuration en transmission, en simulant une acquisition d'images sans objet entre la source de lumière 11 et le capteur d'image 20. La figure 5A montre une image simulée. La figure 5B montre une image de phase résultant d'une mise en oeuvre de l'algorithme ci-dessus, basée sur l'équation (10), sans prise en compte du bruit affectant les images acquises. La figure 5C montre une image de phase résultant d'une mise en oeuvre de l'algorithme ci-dessus, basée sur l'équation 17, en prenant en compte le bruit affectant les images acquises. [0204] On observe que la figure 5C est homogène et nulle, ce qui est attendu en l'absence d'objet, tandis que la figure 5B est affectée d'un bruit important. La variante exposée ci-dessus, permettant une prise en compte du bruit, s'avère donc nettement plus précise et quantitative. [0205] Dans un autre essai, on a simulé une reconstruction d'une image de phase, comportant 2000 x 2000 pixels, dont un détail est représenté sur la figure 6A. Le détail comporte des objets de phase homogènes prenant la forme de disques de diamètre 8 pixels. Un bruit de Poisson, supposé correspondre au bruit du capteur d'image, a été pris en compte dans les simulations. On a simulé une reconstruction de l'image de phase sans prise en compte du bruit (cf. figure 6B), et en prenant en compte le bruit (cf. figure 6C). On observe que sans prise en compte du bruit, l'image de phase reconstruite n'est pas exploitable. En revanche, la prise en compte du bruit permet d'obtenir une image de phase réaliste. [0206] On a mis en oeuvre la méthode prenant en compte le bruit des images acquises sur une mire de phase USAF (United States Air Force). On a utilisé la configuration en transmission (cf. figure 1A). Pour cela, on a effectué des images défocalisées de la mire selon des distances de défocalisation respectivement égales à - 200 pm, -150 pm, -100 pm, -50 pm, 0 pm (image nette) , + 50 pin, +100 pin, +150 pm et + 200 pm. Le fait d'acquérir un grand nombre d'images défocalisées, de part et d'autre du plan de mise au point (0 pm), permet d'améliorer la précision avec laquelle la dérivée axiale de l'intensité al 0/ az est calculée. On a comparé l'image de phase reconstruite avec une image obtenue en utilisant un dispositif commercial (référence SlD4Bio - société Phasics). [0207] La figure 7A correspond à l'image de phase reconstruite en mettant en oeuvre l'invention. La figure 7B montre des profils d'images de phase respectivement obtenu avec l'image de phase reconstruite en mettant en oeuvre l'invention (courbe en pointillés) et l'image de phase reconstruite à l'aide du dispositif commercial de référence (courbe en trait plein). L'axe des ordonnées correspond à une différence de trajet optique, exprimée en nm, cette grandeur représentant le déphasage. L'axe des abscisses correspond à la ligne selon laquelle est réalisée les profils, l'unité étant le pm. [0208] Bien que décrite en lien avec une caractérisation de l'état de surface d'un échantillon transparent, l'invention peut être mise en oeuvre à d'autres fins, par exemple une caractérisation d'éléments ou de particules disposées dans un échantillon. Il peut par exemple s'agir de particules sanguines, par exemple des globules blancs ou des plaquettes, ou des microorganismes. L'invention peut alors trouver des applications dans le domaine de la santé ou de l'agroalimentaire. Lorsque l'échantillon est transparent, l'invention peut être mise en oeuvre en transmission (cf. figure 1A) ou en réflexion (figure 1B), la configuration en réflexion supposant le recours à un support d'échantillon réfléchissant.. 23 [Revendication 1]