Brevet FR3094558A1 — publié le 20201002

Description Titre de l'invention : Dispositif de spectroscopie de perte et de gain d'énergie stimulés ou hors équilibre Domaine technique [0001] La présente invention concerne un dispositif de spectroscopie de perte et de gain d'énergie stimulés ou hors équilibre. [0002] Le domaine de l'invention est le domaine de la spectroscopie de perte et de gain d'énergie stimulés ou hors équilibre. Etat de la technique antérieure [0003] On connaît des dispositifs permettant de réaliser une spectroscopie de perte et de gain d'énergie stimulés d'électrons (sEELS et sEEGS) ou une spectroscopie de perte d'énergie hors équilibre (EELS hors équilibre) fonctionnant avec un microscope électronique en transmission (TEM) ou bien en transmission à balayage (STEM). L'ensemble de ces solutions reposent sur l'utilisation d'une source d'électrons pulsée, dans laquelle l'émission des électrons est stimulée par des impulsions laser de photons, et synchronisée avec des impulsions laser focalisées sur l'échantillon d'intérêt. [0004] Ces dispositifs sont fonctionnels mais posent différents problèmes, notamment : de résolution spectrale car cette dernière est limitée par la physique des photons intervenant sur la source d'électron, de flexibilité d'utilisation et d'adaptation à des microscopes existants, et de coût. [0005] En effet, il est actuellement difficile et très onéreux d'obtenir une source d'électrons pulsée à forte brillance et/ou haute résolution spectrale. Il est également difficile et onéreux d'adapter de telles sources sur des microscopes existants. De plus, l'utilisation d'une source d'électrons pulsée dans ces dispositifs les rend en général inadaptés pour d'autres applications de sorte que ces dispositifs sont dédiés à la spectroscopie sEELS/ sEEGS ou EELS hors équilibre, et ne permettent pas de réaliser d'autres types d'imagerie en parallèle. Il est alors nécessaire de prévoir une autre source d'électrons en remplacement. ou en plus de la source d'électrons pulsée. [0006] Un but de l'invention est de remédier aux inconvénients précités. [0007] Un autre but de l'invention est de proposer un dispositif de spectroscopie de perte et de gain d'énergie stimulés, ou hors équilibre, moins couteux, et moins complexe. [0008] Un autre but de l'invention est de proposer un dispositif de spectroscopie de perte et de gain d'énergie stimulés, ou hors équilibre, facilement adaptable sur un microscope existant. [0009] Un autre but de l'invention est de proposer un dispositif de spectroscopie de perte et 2 de gain d'énergie stimulés, ou hors équilibre, ne nécessitant pas une source d'électrons conçue spécifiquement pour cette application. [0010] Un autre but de l'invention est de proposer un dispositif de spectroscopie de perte et de gain d'énergie stimulés, ou hors équilibre, utilisant une source d'électrons standard, et pouvant être utilisée pour d'autres applications. [0011] Un autre but de l'invention est de proposer un dispositif de spectroscopie de perte et de gain d'énergie stimulés ou hors équilibre permettant d'obtenir une résolution temporelle améliorée, typiquement inférieure à la durée d'une impulsion de laser. [0012] Un autre but de l'invention est de proposer un dispositif et un procédé capables de réaliser de telles mesures et ayant une résolution temporelle et spectrale optimales tout en étant peu coûteux. Exposé de l'invention [0013] L'invention permet d'atteindre au moins un des buts précités par un dispositif de spectroscopie comprenant : - une source d'électrons agencée pour émettre un flux d'électrons vers un échantillon, - une source de photons pulsée émettant des impulsions de photons vers ledit échantillon, - au moins un spectromètre pour disperser énergétiquement un flux d'électrons provenant de l'échantillon, et - au moins un détecteur d'électrons. [0014] Lc dispositif de spectroscopie selon l'invention comprend en outre au moins un dé- flecteur, entre la source d'électrons et l'au moins un détecteur d'électrons, dont l'action est synchronisée avec ladite source de photons pulsée pour autoriser ou interdire le passage d'électrons émis par ladite source d'électrons, vers ledit détecteur d'électrons. [0015] Ainsi, le déflecteur, étant synchronisé avec la source de photons, permet de laisser passer des électrons qui vont atteindre, ou qui ont atteint l'échantillon en même temps que les photons ou avec un délai ajustablc. [0016] Par conséquent, il est possible d'utiliser, dans le dispositif selon l'invention, une source d'électrons qui n'est pas pulsée comme dans les dispositifs de l'état de la technique, et en particulier une source d'électrons continue, ce qui permet un gain de coût et de simplicité par rapport aux dispositifs mettant en oeuvre une source d'électrons pulsée. [0017] Ainsi, dans le dispositif selon l'invention, la résolution temporelle ne dépend plus de la source de photons, et en particulier de la durée d'une impulsion délivrée par la source de photons, mais de la durée pendant laquelle le déflecteur laisse passer les électrons vers le détecteur. Or, cette durée peut être choisie de l'ordre ou plus petite 3 que la durée de l'impulsion, ce qui permet d'obtenir une résolution temporelle accrue par rapport à l'utilisation du même système sans déflecteur. [0018] Les performances d'un microscope électronique, par exemple en ternies de brillance, résolution spatiale, résolution spectrale, sont '11dr-riment déterminées par celle de sa source d'électron. Dans l'invention décrite ici, la source n'étant pas modifiée ni affectée par une impulsion laser, contrairement aux dispositifs de l'état de la technique, les performances du microscope ne sont pas dégradées. En particulier, la résolution spectrale est grandement améliorée, ne dépendant plus de l'interaction entre photons/ électrons au niveau de la source d'électrons. [0019] De plus, le dispositif selon l'invention peut mettre en oeuvre toute source d'électrons utilisée de manière classique, par exemple dans les microscopes électroniques, et ne nécessite pas l'utilisation d'une source d'électrons pulsée, d'architecture complexe et de coût élevé. Ainsi, le dispositif selon l'invention est moins coûteux, moins complexe, et plus flexible en termes d'utilisation et d'application. [0020] Notamment, le dispositif selon l'invention peut être utilisé de pair avec d'autres types d'imagerie qui étaient auparavant inadaptés et inutilisables avec une source d'électrons pulsée. [0021] Avantageusement, le dispositif selon l'invention peut comprendre une optique élec- tronique permettant de guider et/ou façonner le faisceau d'électrons le long de son parcours. [0022] De manière non limitative, l'optique électronique peut comprendre une lentille élec- tronique. [0023] Avantageusement, le dispositif selon l'invention peut comprendre une optique photonique permettant de guider et/ou façonner le faisceau de photon le long de son parcours. [0024] De manière non limitative, l'optique photonique peut comprendre une lentille photonique. [0025] De préférence, la source d'électrons peut être agencée pour émettre un flux d'électrons continu. On parle alors de source d'électrons continue. [0026] Ainsi, le dispositif selon l'invention peut être réalisé en utilisant des sources existantes et communément utilisées dans ce domaine, et en particulier dans les microscopes actuels. [0027] En particulier, le dispositif selon l'invention peut être construit en utilisant la source d'un microscope existant, et plus particulièrement en partant d'un microscope existant et en le complétant par les composants manquants. [0028] Dans un mode de réalisation nullement limitatif, le dispositif selon l'invention peut comprendre au moins un déflecteur, dit déflecteur amont, positionné entre l'échantillon et la source d'électrons. [0029] En particulier, dans cc mode de réalisation, le déflecteur amont permet d'autoriser ou d'interdire le passage d'électrons, en amont de l'échantillon, avant que les électrons atteignent l'échantillon. [0030] La position du déflecteur dans ce mode de réalisation permet de contrôler le flux d'électrons qui vient exciter l'échantillon, et donc potentiellement de limiter la quantité d'électrons incidents sur l'échantillon. Cela permet de mieux préserver l'échantillon des dégâts d'irradiation électroniques. [0031] Alternativement ou en plus, le dispositif selon l'invention peut comprendre au moins un déflecteur, dit déflecteur aval, positionné entre l'échantillon et le détecteur d'électrons. [0032] Le déflecteur aval permet de sélectionner des électrons qui proviennent de l'échantillon, notamment des électrons qui ont rencontrés le flux de photons dans l'échantillon. [0033] Si de plus le déflecteur est placé après les moyens d'imageries ou de spectroscopie autre que les spectroscopies de perte et de gain d'électron, celui-ci ne perturbe pas ces derniers ce qui permet d'utiliser ce moyens d'imagerie et de spectroscopie de la même manière que lors d'une utilisation classique. Dans ce cas en effet, les propriétés du faisceau d'électrons ne sont pas dégradées lors de sa propagation entre la source d'électrons et le déflecteur. Cela permet de conserver les propriétés physiques du faisceau d'électrons, en particulier la brillance et la résolution spectrale, jusqu'aux moyens d'imageries ou de spectroscopie autres que la spectroscopie de perte ou de gain. [0034] De manière particulièrement avantageuse, le déflecteur aval peut influer sur la direction non dispersive du flux d'électrons (i.e. la direction orthogonale à la direction de dispersion du spectromètre) de manière à réaliser un balayage ligne par ligne sur un détecteur d'électrons. Dans ce cas, les propriétés du faisceau d'électron, en particulier la brillance et la résolution spectrale ne sont pas affectées, permettant en particulier l'obtention de spectres de perte et de gain d'énergie ne souffrant pas de perte de résolution spectrale. [0035] De plus, un spectre d'énergie peut être enregistré sur chaque ligne du détecteur balayé. Dans ce cas, la résolution temporelle est très largement améliorée. A titre d'exemple non limitatif, pour un temps de passage du faisceau d'électron sur le détecteur placé après le spectromètre de 100 ns (i.e. temps total d'exposition du détecteur par le flux d'électrons, ce qui peut aussi correspondre à la durée totale d'ouverture du déflecteur), cela permet d'atteindre typiquement une résolution de 100 ns divisée par le nombre de lignes du détecteur balayé, soit par exemple un spectre résolu à 1 ns pour 100 lignes. [0036] Avantageusement, au moins un déflecteur, par exemple un déflecteur amont, peut être couplé à un masque pour obturer un ou plusieurs électrons passant à travers l'échantillon lorsque ledit échantillon n'est pas éclairé par la source de photons. [0037] Le masque peut être avantageusement un diaphragme, ou une fente dont la largeur est disposée le long de la direction de déflection. [0038] Alternativement ou en combinaison, le détecteur d'électron peut consister en une série de sous-détecteurs agencés perpendiculairement à la direction de déflection et pouvant être lus indépendamment. [0039] Chaque sous-détecteur peut donc être illuminé sur une période plus courte que le temps de passage du faisceau sur le masque, et la lecture indépendante des différents sous-détecteurs peut augmenter la résolution temporelle du dispositif [0040] Le dispositif selon l'invention peut comprendre plusieurs déflecteurs. [0041] Dans ce cas, le dispositif selon peut s'adapter à différentes configurations d'utilisation, ou différentes applications, sans avoir à modifier la source de photons et/ ou la source d'électrons et tout en conservant les qualités, spectrale et temporelle, de ces éléments. [0042] En particulier, le dispositif selon l'invention peut comprendre : au moins un déflecteur amont ; et au moins un déflecteur aval. [0043] Un tel dispositif permet de sélectionner de manière plus rigoureuse et plus précise, des électrons atteignant le détecteur. [0044] Le déflecteur amont et le déflecteur aval peuvent être identiques. Ainsi, le dispositif selon l'invention est robuste, en cas de dysfonctionnement d'un des déflecteurs tout en fournissant les mêmes performances. [0045] Alternativement, le déflecteur amont peut présenter une durée d'ouverture plus grande que la durée d'ouverture du déflecteur aval. [0046] Par « durée d'ouverture », on entend la période durant laquelle le déflecteur est dans un état qui laisse passer les électrons vers l'échantillon de sorte que les électrons atteignent ledit échantillon. Autrement dit, c'est le temps pendant lequel le faisceau d'électrons est autorisé à circuler ce qui correspond à un « état passant » du déflecteur. [0047] Dans ce cas, le déflecteur amont peut autoriser la propagation des électrons pendant une durée supérieure à celle du déflecteur aval. [0048] Ainsi, le déflecteur aval a pour fonction de sélectionner les électrons qui vont atteindre le détecteur d'électrons et le déflecteur amont a pour fonction de limiter la durée pendant laquelle l'échantillon est éclairé par le flux d'électrons. [0049] Ainsi, le déflecteur amont permet de limiter la durée d'éclairement de l'échantillon par le faisceau d'électrons et permet donc de limiter l'endommagement de l'échantillon. [0050] Le déflecteur aval, quant à lui, permet de sélectionner les électrons qui vont atteindre 6 le détecteur. [0051] Avantageusement, les déflecteurs aval et amont peuvent être synchronisés de sorte que la période d'ouverture du déflecteur aval est entièrement comprise dans la période d'ouverture du déflecteur amont. Autrement dit, pendant que le déflecteur aval laisse passer les électrons, alors le déflecteur amont laisse aussi passer des électrons. A l'inverse, lorsque le déflecteur amont laisse passer les électrons, le déflecteur aval ne laisse pas forcément passer les électrons. [0052] Bien entendu, dans tous les cas, chaque déflecteur est préférentiellement synchronisé avec la source de photons. [0053] De préférence, au moins un déflecteur peut être un déflecteur magnétique, électro- statique, photo-déclenché ou une cavité radiofréquence. Autrement dit, il est possible d'utiliser une grande variété de déflecteurs sans avoir de conséquence sur le fonctionnement du dispositif. [0054] Le dispositif selon l'invention peut comprendre exactement un unique déflecteur. [0055] L'unique déflecteur peut être un déflecteur amont, ou un déflecteur aval. [0056] Le dispositif selon l'invention peut comprendre exactement deux déflecteurs : un dé- flecteur amont et un déflecteur aval. [0057] Comme indiqué plus haut, le dispositif selon l'invention comprend au moins un détecteur d'électrons. [0058] Ce détecteur peut être positionné après le spectromètre. [0059] Le détecteur permet d'enregistrer et d'exploiter les résultats du spectromètre. [0060] Le dispositif selon l'invention peut comprendre au moins un détecteur série. [0061] Par « détecteur série », on entend un détecteur permettant d'acquérir un spectre de façon séquentielle (énergie par énergie) dans le temps. [0062] L'au moins un détecteur série peut être couplé à une fente, par exemple une fente rectangulaire, positionnée avant l'au moins un détecteur série. [0063] L'au moins un détecteur série peut être formé par un unique détecteur ou par une série de plusieurs détecteurs. [0064] Alternativement ou en plus, le dispositif selon l'invention peut comprendre au moins un détecteur parallèle. [0065] Par « détecteur parallèle », on entend un détecteur agencé pour détecter l'ensemble du spectre en une exposition. [0066] L'au moins un détecteur parallèle peut être formé par un unique détecteur ou par une série de plusieurs détecteurs. [0067] Dans un mode de réalisation, le dispositif selon l'invention peut comprendre plusieurs détecteurs, en particulier positionnés en aval du spectromètre. [0068] Dans ce cas, une optique électronique, par exemple un déflecteur statique ou un prisme magnétique peut être positionné en amont desdits détecteurs. Cette optique 7 électronique peut être agencée pour acheminer le flux d'électrons vers l'un desdits détecteurs à la fois. [0069] Au moins un des détecteurs peut être positionné pour recevoir un flux d'électrons non dévié par le moyen de séparation à la sortie du spectromètre et au moins un des détecteurs peut être positionné pour recevoir un flux d'électrons détourné par le moyen de séparation. [0070] Un tel dispositif permet de détecter et d'enregistrer de manière simultanée plusieurs caractéristiques du faisceau d'électrons en sortie du spectromètre, en fonction des détecteurs utilisés. [0071] Le dispositif selon l'invention peut comprendre exactement deux détecteurs. [0072] Le dispositif selon l'invention peut comprendre, une électronique de synchronisation, agencée pour synchroniser l'au moins un déflecteur avec la source de photons. [0073] L'électronique de synchronisation peut être, ou comprendre, par exemple un micro- contrôleur, un circuit logique programmable, une puce électronique, un calculateur, des lignes à retard ou tout composant électronique, ou encore une carte électronique, prévu(e) ou programmé(c) pour réaliser les fonctions décrites. [0074] L'électronique de synchronisation peut commander, ou synchroniser, la source de photons et le, ou chaque, déflecteur, par un ou des signaux déclenchant, de manière simultanée : l'émission d'une impulsion de photons par la source de photons ; et le passage dans un état passant, ou un état ouvert, du ou des déflecteurs. [0075] Alternativement, au moins un déflecteur peut être piloté directement par la source de photons. [0076] Au moins un détecteur d'électrons peut être à exposition pilotable. [0077] Dans ce cas, l'électronique de synchronisation peut en outre être agencée pour piloter ledit au moins un détecteur d'électrons pilotable, et en particulier pour synchroniser l'au moins un détecteur d'électrons pilotable avec la source de photons et/ou avec le, ou chaque, déflecteur. [0078] Dans ce cas, l'électronique de synchronisation est agencée de manière à ce que les détecteurs enregistrent seulement un signal utile, c'est-à-dire un pendant une période de recouvrement temporelle lors de laquelle le faisceau d'électrons et l'impulsion de photons atteignent l'échantillon simultanément. [0079] Alternativement, F au moins un déflecteur pilotable peut être piloté directement par la source de photons. [0080] De préférence, le dispositif selon l'invention peut être utilisé pour effectuer une mesure spectroscopique de perte et de gain d'énergie stimulés ou hors équilibre. [0081] De préférence, la source de photons peut être une source laser. [0082] La source de photons peut émettre des impulsions de durée comprise entre 30 nano- 8 secondes (ns) et 10 femto secondes (fs) et de cadence pouvant être comprise entre 1 kilohertz (kHz) et 1 gigahertz (Ghz). [0083] De préférence, la source de photons peut être accordable en longueur d'onde. [0084] Les gammes optiques d'émission de la source de photons peuvent aller du Téra Hertz (Thz) à l'ultra-violet, et les ondes émises peuvent être polarisées et/ou structurées. [0085] De manière non limitative, la source de photon pulsée peut être formée par n'importe quel type de source : soit une source de photons pulsée ou soit une source de photons pulsée obtenue par construction, telle que par exemple par association de : une source continue de photons, telle qu'une diode laser, un laser continu, etc. ; avec un dispositif, en particulier commandable, pour laisser passer ou interdire les photons émis par la source de photons continue, tel que par exemple un déflecteur, ou un diaphragme typiquement électro-acoustique, ou encore une roue tournante autorisant ou bloquant le passage des photons. [0086] Le dispositif selon l'invention peut comprendre un support d'échantillon déplaçable. [0087] Ainsi, il est typiquement possible de pouvoir balayer l'ensemble de l'échantillon et/ ou de pouvoir positionner l'échantillon à une position désirée. [0088] Le dispositif selon l'invention peut en outre comprendre au moins une lentille po- sitionnée après la source de photons prévue pour focaliser les impulsions de photons sur l'échantillon. Description détaillée des figures [0089] D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à l'examen de la description détaillée d'exemples nullement limitatifs, et des dessins annexés sur lesquels : les FIGURES 1 à 5 sont des représentations schématiques de différentes exemples de réalisation non limitatifs d'un dispositif de spectroscopie selon l'invention ; et la FIGURE 6 est un exemple de résultat de mesure nullement limitatif obtenu par un dispositif selon l'invention. [0090] Il est bien entendu que les modes de réalisation qui seront décrits dans la suite ne sont nullement limitatifs. On pourra notamment imaginer des variantes de l'invention ne comprenant qu'une sélection de caractéristiques décrites par la suite isolées des autres caractéristiques décrites, si cette sélection de caractéristiques est suffisante pour conférer un avantage technique ou pour différencier l'invention par rapport à l'état de la technique antérieure. Cette sélection comprend au moins une caractéristique de préférence fonctionnelle sans détail structurel, ou avec seulement une partie des détails structurels si cette partie uniquement est suffisante pour conférer un avantage 9 technique ou pour différencier l'invention par rapport à l'état de la technique antérieure. [0091] En particulier toutes les variantes et tous les modes de réalisation décrits sont com- binables entre eux si rien ne s'oppose à cette combinaison sur le plan technique. [0092] Sur les figures, les éléments communs à plusieurs figures conservent la même référence. [0093] La FIGURE 1 est une représentation schématique d'un exemple de réalisation d'un dispositif de spectroscopie selon l'invention. [0094] Le dispositif 100 est utilisé pour effectuer une spectroscopie de perte et de gain d'énergie stimulés ou hors équilibre. [0095] Le dispositif 100 comprend : une source d'électrons 102 agencée pour émettre un flux d'électrons vers un échantillon 104, une source de photons 106 pulsée émettant des impulsions de photons vers ledit échantillon 104, un spectromètre 108 pour discriminer énergétiquement un flux d'électrons provenant de l'échantillon 104, et un détecteur d'électrons 112 [0096] Le dispositif de spectroscopie 100 comprend en outre un déflecteur 110, entre la source d'électrons 102 et le détecteur d'électrons 112, synchronisé avec la source de photons pulsée 106 pour autoriser ou interdire le passage d'électrons émis par ladite source d'électrons 102 vers le détecteur d'électrons 112. [0097] Ainsi, dans le dispositif 100, le déflecteur 110 laisse passer des électrons qui vont atteindre l'échantillon 104 en même temps que les photons. [0098] Les électrons provenant de l'échantillon 104 vers le détecteur 112 sont donc des électrons qui ont été excités par les impulsions de photons provenant de la source de photons 106. [0099] La source d'électrons 102 est une source d'électrons 102 qui émet un flux d'électrons continu. La source d'électrons 102 est par exemple une source à émission thermique, Schottky ou une source à effet de champ froid. [0100] La source de photons 106 du dispositif 100 est typiquement un laser accordable en longueur d'onde, ou un laser de longueur d'onde fixe émettant dans le domaine du visible. [0101] Suivant un exemple non-limitatif, la source de photons 106 émet des impulsions laser d'une durée d'impulsion Dp, typiquement de 30 ns, à une cadence de 20 kHz . [0102] Le déflecteur 110 est positionné entre l'échantillon 104 et la source d'électrons 102. En particulier, dans l'exemple représenté sur la FIGURE 1, le déflecteur 110 est positionné à la sortie de la source d'électrons 102, juste après la source d'électrons 102. Autrement dit, le déflecteur amont 110 se trouve entre la source d'électrons 102 et l'échantillon 104. [0103] Par la suite, et de manière nullement limitatif, le déflecteur 110 sera désigné « déflecteur amont ». [0104] Suivant un exemple de réalisation non limitatif, le déflecteur amont 110 est un dé- flecteur électrostatique. [0105] Le déflecteur amont 110 autorise ou non l'excitation ou non de l'échantillon 104 par le flux d'électrons. En particulier, le déflecteur amont 110 autorise le passage du flux d'électrons sortant de la source d'électrons 102 vers l'échantillon 104, pendant une durée D','1, dite durée d'ouverture, et interdit le passage d'électrons vers l'échantillon 104 en dehors de cette durée d'ouverture D','1. [0106] Le déflecteur amont 110 positionné en amont de l'échantillon 104 permet d'obtenir un flux d'électrons incident sur l'échantillon 104 pulsé à partir du flux d'électrons continu émis par la source 102, la durée de l'impulsion du flux d'électrons étant égale à la durée d'ouverture Dc,n, du déflecteur 110. [0107] Le dispositif 100 comprend une optique photonique visant à transporter et/ou focaliser les photons sur l'échantillon. Dans le cas de la FIGURE 1, l'optique photonique comprend une lentille 116 positionnée entre la source de photon 106 et l'échantillon 104 pour focaliser les impulsions de photons sur l'échantillon 104. [0108] Le dispositif 100 comprend une optique électronique visant à transporter et/ou focaliser les électrons sur l'échantillon. Dans le cas de la FIGURE 1, l'optique électronique comprend une lentille 114, par exemple une lentille magnétique, positionnée entre la source d'électrons 102, après le déflecteur 110, et l'échantillon 104 pour focaliser le flux d'électrons sur l'échantillon 104. [0109] L'échantillon 104 est disposé sur un porte échantillon 118 mobile, ce qui permet de faciliter les réglages du dispositif 100 et aussi de pouvoir balayer l'ensemble de l'échantillon 104. [0110] L'échantillon 104 est positionné de manière à recevoir à la fois le flux d'électrons et les impulsions de la source de photons 106. [0111] Le spectromètre 108 est positionné après l'échantillon 104, dans le sens de cir- culation du flux d'électrons, c'est-à-dire de la source d'électrons 102 vers l'échantillon 104. Le spectromètre 108 est notamment agencé pour disperser énergétiquement le flux d'électrons ayant interagi avec l'échantillon 104 en même temps que les impulsions de photons. [0112] Le spectromètre 108 est par exemple un prisme magnétique 108. [0113] Le détecteur d'électrons 112 est positionné après le spectromètre 108. [0114] Le détecteur d'électrons 112 peut être un détecteur série ou un détecteur parallèle. [0115] Dans un exemple non limitatif, le détecteur 112 peut être un unique détecteur ou une 11 série de détecteurs. [0116] Dans le cas de la FIGURE 1, le détecteur 112 est un détecteur série détectant séquen- tiellement dans le temps l'intensité perdue ou gagnée par les électrons. [0117] Le détecteur 112 comprend en outre, une fente rectangulaire (non illustrée sur la FIGURE 1), positionnée en amont du détecteur 112. [0118] Le détecteur d'électrons 112 est agencé pour capter un ou plusieurs électrons ayant interagi avec l'échantillon 104. Le détecteur d'électrons 112 permet notamment d'enregistrer le signal mesuré par le spectromètre 108 et de pouvoir l'exploiter par la suite. [0119] De plus, le détecteur d'électrons 112 peut être un détecteur à exposition pilotable. [0120] Par exemple, la durée d'ouverture D011 du déflecteur amont 110 peut être supérieure à la durée de l'impulsion de photons. Dans cc cas, la résolution temporelle obtenue sera supérieure à la durée de l'impulsion de photon délivrée par la source de photon 106. [0121] Alternativement, la durée d'ouverture Don, du déflecteur amont 110 peut être égale ou supérieure à la durée de l'impulsion de photons afin d'obtenir une résolution temporelle égale ou inférieure à la durée de l'impulsion de photons. [0122] La FIGURE 2 est une représentation schématique d'un autre exemple de réalisation d'un dispositif de spectroscopie selon l'invention. [0123] Le dispositif 200 de la FIGURE 2 comprend tous les éléments du dispositif 100 de la FIGURE 1, sauf le déflecteur amont 110. Ainsi, l'échantillon 104 reçoit le flux d'électrons continu émis par la source d'électrons 102. La lentille 114 est placée après la sortie de la source d'électrons 102 pour focaliser le flux d'électrons sur l'échantillon 104. [0124] A la différence du dispositif 100 de la FIGURE 1, le dispositif 200 comprend un dé- flecteur 202, appelé déflecteur aval 202 dans la suite, positionné après l'échantillon 104, c'est-à-dire entre l'échantillon 104 et le détecteur 112, par exemple en sortie du spectromètre 108 comme représenté sur la FIGURE 2. [0125] Le déflecteur aval 202 permet de sélectionner des électrons provenant de l'échantillon 104 et donc des électrons qui ont déjà interagi avec l'échantillon 104, en particulier en même temps que les impulsions de photons. En particulier, le déflecteur aval 202 autorise le passage, vers le détecteur 112, des électrons provenant de l'échantillon 104, pendant une durée D012, dite durée d'ouverture, et interdit le passage des électrons provenant de l'échantillon 104 en dehors de cette durée d'ouverture D0,12. [0126] Par exemple, la durée d'ouverture D0O, du déflecteur aval 202 peut être supérieure à la durée de l'impulsion de photons. Dans ce cas, la résolution temporelle obtenue sera inférieure à la durée de l'impulsion de photon délivré par la source de photon 106. [0127] Alternativement, la durée d'ouverture Do n2 du déflecteur aval 202 peut être égale à la durée de l'impulsion de photons afin d'obtenir une résolution temporelle égale à la 12 durée de l'impulsion de photons. [0128] Avantageusement, la direction de déflection du déflecteur peut être placée perpendi- culairement à la direction de dispersion du spectromètre. Dans ce cas, si le détecteur suivant le spectromètre est constitué d'une série de sous-détecteurs linéaires placés les uns après les autres dans la direction de déflection, la résolution temporelle peut être largement augmentée en lisant séparément les différents détecteurs. [0129] De manière préférentielle, le déflecteur 202 influe sur la direction non dispersive du flux d'électrons (i.e. orthogonale à la direction de dispersion du spectromètre) de manière à réaliser un balayage ligne par ligne sur le détecteur 112. Ainsi un spectre est enregistré sur chaque ligne du détecteur 112 balayée. Dans ce cas, la résolution temporelle est améliorée. A titre d'exemple non limitatif, pour un temps de radiation de 100 ns temps total d'exposition du détecteur par le flux d'électrons, cc qui correspond aussi dans cet exemple à la durée d'ouverture du déflecteur), cela permet d'atteindre typiquement une résolution de 100 ns divisée par le nombre de lignes du détecteur balayé, soit par exemple un spectre résolu à 1 ns. [0130] Dans le cas contraire, c'est-à-dire dans le cas où un spectre est enregistré sur l'ensemble du détecteur 112 pendant un temps de radiation de 100 ns, l'information extraite du détecteur 112 correspond à un spectre moyen enregistré sur 100 ns. [0131] Le déflecteur aval 202 peut être identique au déflecteur amont 110 du dispositif 100 de la FIGURE 1. En particulier, il est possible d'avoir D0n2=D0,,,. [0132] Alternativement, le déflecteur aval 202 peut être différent du déflecteur amont 110 du dispositif 100 de la FIGURE 1. En particulier, il est possible d'avoirD0,2 REVENDICATIONS[Revendication 1] Dispositif de spectroscopie (100;200;300;400;500) comprenant : - une source d'électrons (102) agencée pour émettre un flux d'électrons vers un échantillon (104), - une source de photons (106) pulsée émettant des impulsions de photons vers ledit échantillon (104), et - au moins un spectromètre (108) pour disperser encre& tiquement un flux d'électrons provenant de l'échantillon (104), et - au moins un détecteur d'électrons (1 12;402) ; caractérisé en ce que le dispositif (100;200;300;400;500) comprend en outre au moins un déflecteur (110;202), entre la source d'électrons (102) et au moins un détecteur d'électrons (112;402), synchronisé avec ladite source de photons pulsée (106) pour autoriser ou interdire le passage d'électrons émis par ladite source d'électrons (102), vers ledit détecteur d'électrons (112;402). [Revendication 2] Dispositif (100;200;300;400;500) selon la revendication 1, caractérisé en ce que la source d'électrons (102) est agencée pour émettre un flux d'électrons continu. [Revendication 3] Dispositif (100;300;400;500) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en cc qu'il comprend au moins un déflecteur (110), dit déflecteur amont (110), positionné entre l'échantillon (104) et la source d'électrons (102). [Revendication 4] Dispositif (200;300;400;500) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en cc qu'il comprend au moins un déflecteur (202), dit déflecteur aval (202), positionné entre l'échantillon et le détecteur d'électrons. [Revendication 5] Dispositif (300;400;500) selon les revendications 3 et 4, caractérisé en ce qu'il comprend : au moins un déflecteur amont (110), et au moins un déflecteur aval (202). [Revendication 6] Dispositif (300;400;500) selon la revendication 5, caractérisé en ce que le déflecteur amont (110) présente une durée d'ouverture plus grande que la durée d'ouverture du déflecteur aval (202). 18 [Revendication 7] Dispositif (100;200;300;400;500) selon l'une quelconque des reven- dications précédentes, caractérisé en cc qu'au moins un déflecteur (110 ; 202) est un déflecteur magnétique, électrostatique, photo-déclenché ou une cavité radiofréquence. [Revendication 8] Dispositif (400;500) selon la revendication précédente, caractérisé en ce qu'il comprend plusieurs détecteurs (112 ; 402), en particulier positionnés en aval du spectromètre (108). [Revendication 9] Dispositif (500) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend une électronique de synchronisation (502) agencée pour synchroniser l'au moins un déflecteur (110 ;202) avec la source de photons (106). [Revendication 10] Dispositif (100;200;300;400;500) selon l'une quelconque des reven- dications précédentes, caractérisé en ce qu'au moins un détecteur d'électrons (112;402) est à exposition pilotahle. [Revendication 11] Dispositif (500) selon les revendications 9 et 10, caractérisé en ce que l'électronique de synchronisation (502) est agencée pour synchroniser ledit au moins un détecteur d'électrons (112 ;402) pilotahle, et en particulier synchroniser l'au moins un détecteur d'électrons (112;402) pilotahle avec la source de photons (106) et/ou l'au moins un déflecteur (110;202). [Revendication 12] Dispositif (100;200;300;400;500) selon l'une quelconque des reven- dications précédentes, caractérisé en ce que la source de photons (106) est une source laser (106) pulsée. [Revendication 13] Dispositif (100;200;300;400;500) selon l'une quelconque des reven- dications précédentes, caractérisé en ce que la source de photons (106) est accordable en longueur d'onde. [Revendication 14] Dispositif (100;200;300;400;500) selon l'une quelconque des reven- dications précédentes, caractérisé en ce que le dispositif comprend un support d'échantillon déplaçable.