Brevet FR3093359A1 — publié le 20200904

Description Titre de l'invention : Microscope ionique à effet de champ tomo- graphique automatisé [0001] La présente invention concerne un procédé d'imagerie d'un matériau à l'échelle atomique et un microscope ionique à effet de champ. [0002] Le microscope ionique à effet de champ est un instrument inventé dans les années 1950. Cet instrument présente de bonnes performances pour observer les défauts structuraux de matériaux, mais il reste peu utilisé. Son principal inconvénient est la difficulté de contrôler les paramètres optimaux d'imagerie durant l'acquisition de milliers d'images d'un matériau. Il est alors difficile de repérer efficacement les objets d'intérêt au cours de l'analyse. La variation de la qualité des images empêche notamment une extraction et une reconstruction correcte de l'information tridimensionnelle. [0003] Traditionnellement, le matériau à analyser est préparé sous forme d'aiguille fine de faible rayon de courbure (inférieur à 200 nm) et placé dans une chambre à vide. Un gaz, dit gaz image, est introduit dans la chambre à vide et la pression ambiante de ce gaz, dans la chambre, est faible (inférieure à 0,1 Pa). Un potentiel continu intense (par exemple 20 l