Brevet FR3085792A1 — publié le 20200313

La présente invention concerne une structure multicouche convenant tout particulièrement aux cellules photovoltaïques et notamment aux cellules à base de silicium comme notamment de type hétérojonction connue sous l'acronyme HET, aux cellules comportant des matériaux pérovskites ou encore les cellules tandems comprenant du silicium et un ou des matériaux pérovskites. Plus précisément, la présente invention se rapporte à l'étape de métallisation intervenant lors de la fabrication de ces cellules et au cours de laquelle est réalisé le dépôt d'un matériau conducteur métallique sur une couche d'oxyde transparent conducteur, typiquement une couche d'oxyde d'indium dopé à l'étain, dit encore ITO. Ce dépôt de matériau conducteur métallique, classiquement réalisé sous la forme d'un dépôt continu ou d'un réseau de fils, sur une couche d'oxyde transparent conducteur (TCO) constitue les contacts électriques au sein de dispositifs électroniques, par exemple des dispositifs photovoltaïques. Lorsqu'il est réalisé un dépôt à l'état de fils, en face avant des cellules, il convient de déposer une quantité de matière suffisante pour garantir une faible résistance de ligne et donc une collecte du courant optimale mais également de limiter la largeur de ces lignes ou encore fils pour prévenir des pertes de rendement par ombrage au niveau du dispositif Si ce compromis est aujourd'hui très bien maîtrisé, dans le cas d'un procédé par sérigraphie, il n'en est malheureusement pas de même pour le procédé jet d'encre. Compte-tenu des propriétés physico-chimiques des encres, notamment de très faible viscosité, et des spécificités de ce mode de dépôt, le plus souvent par projection de gouttes à des vitesses de plusieurs mètres par seconde, les propriétés du matériau support et notamment son énergie de surface jouent un rôle prépondérant dans l'étalement de l'encre qui est généralement difficile à maîtriser (e.g. largeurs importantes et comportements dispersés pour des substrats a priori identiques). Or, le procédé jet d'encre est particulièrement intéressant en raison à la fois de l'absence de contrainte mécanique (technique dite « sans contact ») et de la réduction des contraintes thermiques qu'il offre en comparaison de la sérigraphie. En effet, du fait de l'utilisation d'encres constituées d'objets de dimensions nanométriques (contrairement à la sérigraphie où les particules sont micrométriques) les traitements thermiques nécessaires à l'obtention de résistivités faibles sont nettement réduits. Ceci est donc tout particulièrement 2 intéressant à l'égard des dispositifs qui ne présentent pas une stabilité thermique très élevée comme par exemple les cellules à base de matériaux de type pérovskite Malheureusement, il est difficile, du fait des propriétés respectives de la majorité des encres d'argent connues et de la couche d'oxyde transparent conducteur, 5 TCO, de former par impression une couche en matériau conducteur sur le TCO de qualité suffisante. En conséquence, il demeure un besoin pour une structure fiable, présentant des propriétés électriques satisfaisantes et pouvant notamment être obtenue avec un procédé ne présentant pas les inconvénients évoqués précédemment et en particulier qui soit simple de 10 mise en oeuvre. La présente invention vise précisément à répondre à ce besoin. Ainsi la présente invention concerne une structure multicouche comportant un substrat photoélectrique, au moins une couche d'oxyde transparent conducteur, dénommée « TCO » et au moins une couche conductrice métallique dédiée à former une électrode 15 caractérisée en ce que ladite structure possède en outre au moins une couche d'interface au contact de ladite couche d'oxyde transparent conducteur et de ladite couche conductrice métallique, ladite couche d'interface étant une monocouche moléculaire autoassemblée, dite SAM. Dans le cadre de la présente invention, les inventeurs ont constaté qu'une 20 modification chimique spécifique de la face de la couche d'oxyde transparent conducteur dédiée à être au contact avec une couche conductrice métallique, permet d'en diminuer significativement l'énergie de surface et de maîtriser alors efficacement l'étalement de l'encre métallique appliquée consécutivement sur cette face ainsi modifiée, lors de sa métallisation par impression jet d'encre. 25 Cette modification chimique comprend la formation d'une monocouche moléculaire autoassemblée, dite encore SAM, à savoir une couche dont l'épaisseur est d'une seule molécule. Cette molécule est immobilisée de façon ordonnée via une interaction chimique, notamment covalente et modifie de façon permanente les propriétés de surface de la couche TCO d'origine. 30 En particulier, cette monocouche moléculaire autoassemblée, SAM, est formée à partir d'au moins un composé de formule (I) suivante : 3 Ri-R2 (I) dans laquelle : - Ri est un motif apolaire et de préférence une chaîne hydrocarbonée aliphatique, aromatique, linéaire ou ramifiée notamment d'au moins trois atomes de 5 carbone. Par exemple, cette chaîne est une chaîne d'alcane linéaire C H n-211+1, où n est un nombre entier supérieur à trois et en particulier est un nombre entier variant de 3 à 34 et de préférence de 3 à 18. - R2 est un groupement apte à se lier directement en surface de la couche d'oxyde transparent conducteur et en particulier est choisi parmi les groupements COOH, 10 CHO, CH2OH, P(R3)3, PO(OH)2, NH2, SH ou Si(R3) avec R3 représentant un atome d'halogène notamment de fluor ou de chlore, un radical éther ou thioéther comprenant de 1 à 2 atomes. Le groupement R2 contrôle le greffage sur la couche ITO et le groupement Ri permet la modulation de l'énergie de surface. 15 Selon une variante de réalisation préférée, la couche SAM est formée à partir d'un silane. En particulier, la couche SAM est formée à partir d'un silane de formule générale (II) suivante R-Si (X)3 (II) 20 dans laquelle - R est une chaîne hydrocarbonée aliphatique, aromatique, linéaire ou ramifiée notamment d'au moins trois atomes de carbone, - X est un atome d'halogène notamment de chlore ou un radical éther ou thioéther en Ci à C2. 25 A titre illustratif des précurseurs de couche SAM convenant tout particulièrement à l'invention peuvent notamment être cités les triméthoxy(propyl)silane, triéthoxy(octyl)silane et tri m éthoxy(octadecyl)sil ane, tri m éthoxy(i sobutyl )silan e, triméthoxy(2-phényl)silane. 30 Avantageusement l'épaisseur de la couche SAM n'excède pas 5 nm et de préférence 3 nm. 4 Comme il ressort des exemples ci-après, le traitement chimique avec une couche SAM permet de réduire significativement l'énergie de surface du support dédié à supporter le réseau de fils métalliques et permet ainsi d'accéder à des dépôts métalliques conducteurs de taille plus réduite sans impacter les performances de l'empilement. 5 L'invention concerne encore un procédé de fabrication d'une structure multicouche comportant un substrat photoélectrique, au moins une couche d'oxyde transparent conducteur et au moins une couche conductrice métallique 25 dédiée à former une électrode, comportant au moins les étapes successives suivantes consistant à 10 a) disposer d'un substrat photoélectrique recouvert d'au moins une couche d'oxyde transparent conducteur, b) mettre en contact au moins la face externe de ladite couche d'oxyde transparent conducteur avec au moins des molécules aptes à former une monocouche moléculaire autoassemblée, SAM, dans des conditions propices à la formation de ladite 15 couche SAM en surface de ladite couche d'oxyde transparente, c) former des gouttelettes liquides d'au moins un matériau métallique conducteur et au contact de ladite couche SAM et d) sécher lesdites gouttelettes pour former au moins un fil métallique conducteur. 20 Par ailleurs, l'invention concerne aussi un dispositif choisi parmi les cellules photovoltaïques silicium de type HET, les cellules pérovskites ou encore les cellules tandems silicium pérovskite le dispositif comportant une structure multicouche selon l'invention ou obtenue à partir d'un procédé selon l'invention. 25 D'autres caractéristiques, variantes et avantages de l'invention ressortiront mieux à la lecture de la description détaillée et des exemples qui vont suivre, donnés à titre illustratif et non limitatif, et à l'examen des figures annexées. - la figure 1 illustre, de manière schématique, la méthodologie de formation 30 d'une couche SAM selon l'invention. 5 - la figure 2 représente l'évolution de la taille des gouttes et de l'énergie de surface pour une couche SAKI formée à partir d'un silane dit C8 à une concentration molaire de 0,005M dans le chloroforme. - la figure 3 représente l'évolution de la taille des gouttes et de l'énergie de 5 surface pour une couche SAM formée à partir d'un silane dit C18 à une concentration molaire de 0,005M dans le chloroforme selon l'exemple 1, et - la figure 4 représente en coupe transversale un exemple d'empilement multicouche selon l'invention. Il convient de noter que pour des raisons de clarté, les différents éléments des 10 figures 4 sont représentés en échelle libre, leurs dimensions réelles et leurs proportions réelles n'étant pas respectées. Dans la suite du texte, les expressions « compris entre ... et ... », « allant de ... à ... » et « variant de ... à ... » sont équivalentes et entendent signifier que les bornes sont incluses, sauf mention contraire. 15 EMPILEMENT SELON L'INVENTION La figure 4 représente une structure multicouche 5 conforme à l'invention. Cette structure multicouche comporte un substrat 15, des couches d'oxyde transparent 20 conducteur 20a-b, des couches SAM 30a-b et des couches métallique 25a-b. Le substrat est photoélectrique, générant un courant électrique lorsqu'il est irradié par un rayonnement lumineux. Selon la variante illustrée sur la figure 4, l'empilement multicouche définit une cellule photovoltaïque à hétérojonction. Le substrat comporte un support 18 en silicium 25 cristallin, dénommé « c-Si », recouvert sur chacune de ses faces par une couche 19a-b en silicium amorphe hydrogéné, dénommée « a-Si:H ». Selon une autre variante, l'empilement multicouche peut définir une cellule photovoltaïque à base de matériaux de type perovskite hybride halogéné. Le substrat comporte alors une couche active semi-transparente en un matériau perovskite de formule 30 générale APbX3 où 6 A est un cation ou un mélange de cations notamment choisis parmi le cation méthylammonion (MA+) ; le cation formamidium (FA+) ; ce et Rb+, X est un halogène notamment choisi parmi I ; Br et Cl avec X pouvant 5 avoir des définitions distinctes dans le matériau APbX3. Selon encore une autre variante, l'empilement multicouche définit une cellule photovoltaïque de type tandem silicium-perovskite. Par exemple, le substrat comporte alors un premier ensemble comportant un support en c-Si recouvert sur chaque face par des couches en a-Si:H. Le premier ensemble est recouvert par un deuxième ensemble 10 multicouche comportant une couche active constituée d'un matériau de type perovskite. Le support peut, comme illustré, se présenter sous la forme d'une plaque cette forme n'étant toutefois pas restrictive. Il peut aussi se présenter sous la forme d'un film. Le ou les matériaux constitutifs du substrat peuvent être adaptés en fonction du dispositif électronique, par exemple une diode électroluminescente, dans lequel la 15 structure multicouche selon l'invention est intégrée et/ou des matériaux constituant la couche d'oxyde transparent conducteur et/ou la couche métallique. Les couches d'oxyde transparent conducteur 20a-b sont disposées sur les faces opposées du substrat. Chaque couche d'oxyde transparent conducteur est supportée par le 20 substrat 15. Elle présente une face inférieure 22a-b en contact avec le substrat et une face supérieure 28a-b opposée. Par ailleurs, les couches d'oxyde transparent conducteur sont disposées chacune au contact d'une couche SAM 30a-b respective. Chaque couche d'oxyde transparent conducteur est ainsi prise en sandwich entre la couche SAM respective et le 25 substrat. Par ailleurs, les couches SAM et/ou les couches TCO peuvent être texturées de manière à augmenter la quantité de lumière pouvant être reçue par le substrat photoélectrique. Comme cela est illustré sur la figure 4, le contact avec le substrat s'effectue sur 30 l'ensemble de la face inférieure. Le contact avec la couche SAM s'effectue sur la face supérieure de la couche d'oxyde transparent conducteur, définissant ainsi une surface de contact 40a-b. 7 La couche d'oxyde transparent conducteur peut présenter une épaisseur comprise entre 50 nm et 1000 nm, en particulier entre 100 et 500 nm. La couche d'oxyde transparent conducteur peut être déposée sous la forme d'une couche unique, par exemple en oxyde d'Indium - Etain (ITO), en ZnO dopé 5 Aluminium (AZO), en ZnO dopé Etain (ZTO), ZnO dopé au Gallium (GZO), ZnO dopé Indium (IZO), ZnO dopé Indium et Gallium (IGZO). Cet oxyde peut également être déposé sous la forme de deux ou trois couches de matériaux différents, par exemple ITO/Ag/ITO, AZO/Ag/AZO, AZO/Au/AZO, AZO/Ag/ZnO, ou encore ZnO/Ag/ZnO. 10 De préférence, la couche d'oxyde transparent conducteur est en un matériau choisi parmi l'oxyde d'Indium dopé à l'Etain (communément dénommé ITO pour l'appellation anglaise « Indium Tin Oxide »), l'oxyde d'Indium dopé au Zinc (communément dénommé IZO pour l'appellation anglaise « Indium Zinc Oxide »), l'oxyde de Zinc, de préférence dopé, et leurs mélanges. 15 La monocouche moléculaire autoassemblée, SAM, est présente à l'interface et au contact de la couche d'oxyde transparent conducteur et du matériau métallique conducteur. Comme illustré en figure 1, dans l'état auto-assemblé, les molécules 38 s'alignent parallèlement les unes aux autres pour former une monocouche de molécules. En 20 particulier, les molécules sur les empilements les plus denses sont parallèles les unes vis-à- vis des autres mais déposées avec un angle d'inclinaison de tilt par rapport au substrat. En particulier, la couche SAM peut posséder une épaisseur inférieure à lOnm, de préférence inférieure à 5nm, plus préférentiellement inférieure à 3nm. Au regard de sa faible épaisseur, elle n'impacte pas les performances électriques de l'empilement. 25 La présence de molécule peut être détectée par des techniques telles que l'XPS (« X-Ray Photoelectron Spectrometry ») ou le ToF SIMS (« Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry »). En particulier, cette couche monomoléculaire auto-assemblée, SAM, est formée à partir d'au moins un composé de formule (I) suivante : 30 Ri-R2 (I) dans laquelle : 8 - Ri est un motif apolaire et de préférence une chaîne hydrocarbonée aliphatique, aromatique, linéaire ou ramifiée notamment d'au moins 3 atomes de carbone. Par exemple, cette chaîne est une chaîne d'alcane linéaire (C,,H2,,-1), où n est supérieur ou égal à 3. 5 - R2 est un motif apte à se lier directement en surface de la couche d'oxyde transparent conducteur et est en particulier choisi parmi les motifs thiol, disulfure, un acide dithioïque, dith iocarb am ate, silane, chlorosilane, dichlorosilane, trichlorosilane, alcoxysilane, dialcoxysilane, trialcoxysilane, acide hydroxyamique, phosphate, acide phosphonique, acide carboxylique acide hydroxamique, alcool, amine, sulfate, sulfonate et 10 sulfinate et de préférence parmi les groupements COOH, CHO, CH2OH, P(R3)3, NH2, SH ou Si(R3)3 avec R3 représentant un atome d'halogène notamment de fluor ou de chlore, un radical éther ou thioéther comprenant de 1 à 2 atomes. Comme énoncé précédemment, le groupement R2 contrôle le greffage sur l'ITO et le groupement Ri permet la modulation de l'énergie de surface. 15 Selon une variante de réalisation préférée, la couche SAM est formée à partir d'un silane. En particulier, la couche SAM est formée à partir d'un silane de formule générale (11) suivante 20 (X)3 (II) dans laquelle Ri une chaîne hydrocarbonée aliphatique, aromatique, linéaire ou ramifiée notamment telle que définie en formule (I) et X est un atome d'halogène notamment de chlore ou un radical éther ou 25 thioéther en Ci à C2. Plus particulièrement, la couche SAM est formée à partir d'un silane de formule générale (III) suivante Ri-Si (OX')3 (III) 30 avec Ri étant tel que défini en formule (I) ou (II) et X' étant un radical hydrocarboné linéaire ou ramifié, de préférence saturé, en Ci à C34. 9 A titre illustratif des silanes convenant pour la formation d'une couche SAM peuvent notamment être cités les triméthoxy(propyl)silane, triéthoxy(octyl)silane,triméthoxy(octadécyl)silane, triméthoxy(i sobutyl)silane et triméthoxy(2-phényl)silane. Comme illustré en figure 1, les molécules formant la couche SAM sont immobilisées de façon ordonnée à la couche conductrice transparente via une interaction chimique, notamment covalente, et modifient de façon permanente les propriétés de surface dudit substrat. Avantageusement, la couche SAM possède une énergie de surface inférieure à 10 l'énergie de surface de la couche d'oxyde transparent conducteur, TCO, et de préférence inférieure à 100 mJ/cm2, de préférence inférieure à 50 mJ/cm2 et en particulier inférieure à 40 mJ/cm2. Cette énergie de surface peut notamment être évaluée selon la méthode décrite dans les exemples qui suivent. En particulier, et comme illustré en exemple 1, il est constaté une diminution 15 très importante de l'énergie de surface de la face la couche d'oxyde transparent conducteur après sa fonctionnalisation avec la couche SAM. Cette diminution est d'au moins 50% par rapport à la valeur de l'énergie de surface constatée avant traitement selon l'invention. Cette diminution s'avère particulièrement bénéfique lors de la mise en contact de la couche SAM avec les gouttelettes du matériau conducteur métallique qui sont 20 déposées sur sa surface pour former le ou les dépôts conducteurs métalliques dédié(s) à former une électrode. Il est ainsi noté une diminution significative du diamètre moyen des gouttes qui évolue de la même façon que l'énergie de surface. Il s'avère ainsi possible de réduire la largeur de l'impression de l'ordre de 20% tout en conservant des propriétés électriques équivalentes. 25 Des exemples de métaux adaptés à la réalisation de la couche métallique sont l'argent (Ag), l'aluminium (Al), l'or (Au), le cuivre (Cu), le nickel (Ni), le platine (Pt), le tungstène (W), le titane (Ti) et le chrome (Cr) et les alliages ou les mélanges d'au moins deux de ces métaux. De préférence, le métal est choisi parmi l'argent (Ag), l'or (Au), le cuivre (Cu), et les alliages ou les mélanges d'au moins deux de ces métaux et mieux est 30 1' argent. Un exemple de structure multicouche adaptée à la réalisation des électrodes est une structure multicouche d'AZO et d'argent. 10 Lorsque la couche métallique est organisée sous la forme d'au moins un fil et de préférence sous la forme d'un réseau de fils, ces fils sont en un métal choisi parmi l'argent (Ag), l'or (Au), le cuivre (Cu), le platine (Pt), le palladium (Pd), le nickel (Ni), le cobalt (Co), le rhodium (Rh), l'iridium (Ir), le ruthénium (Ru), et le fer (Fe), de préférence choisis parmi Ag, Au et Cu, plus préférablement choisi parmi Ag et Au. La couche métallique, en particulier lorsqu'elle est en argent, présente une épaisseur comprise entre 50 nm et 2000 nm, de préférence entre 100 nm et 1000 nm. Selon un mode de réalisation préféré, la couche métallique se présente sous la forme d'au moins une ligne, et de préférence de plusieurs lignes, en argent de préférence 10 formés par impression par jet d'encre en surface de la couche SAM. PROCEDE DE PREPARATION D'UN EMPILEMENT SELON L'INVENTION L'invention concerne également un procédé de fabrication d'une structure 15 multicouche conforme à l'invention et comportant les étapes successives suivantes consistant à a) disposer d'un substrat photoélectrique recouvert d'au moins une couche d'oxyde transparent conducteur, b) mettre en contact au moins la face externe de ladite couche d'oxyde 20 transparent conducteur avec au moins des molécules aptes à former une monocouche moléculaire autoassemblée, SAM, dans des conditions propices à la formation de ladite couche SAM en surface de ladite couche d'oxyde transparente, c) former des gouttelettes liquides d'au moins un matériau métallique conducteur et au contact de ladite couche SAM et 25 d) sécher lesdites gouttelettes pour former au moins une ligne métallique conductrice. Selon un mode réalisation préféré, l'étape b) est réalisée par trempage/immersion, de préférence par trempage de la face à traiter de la couche d'oxyde transparent conducteur avec les molécules auto-assemblables. 30 Cette imprégnation peut être réalisée par trempage de la face à traiter dans un milieu liquide contenant les molécules auto-assemblables et en prolongeant ce trempage suffisamment longtemps pour accroître la densité et l'homogénéité des molécules 11 transférées sur la face devant servir de support à la couche de matériau conducteur métallique. Cette imprégnation peut être également réalisée par pulvérisation sur la face à traiter de la couche d'oxyde transparent conducteur d'un milieu liquide contenant les 5 molécules auto- assemblables. Ces molécules auto-assemblables sont avantageusement de formules générales (I), (II) ou (III) telles que définies ci-dessus. De préférence, la concentration molaire de molécules auto-assemblables dans la solution est compris 0.0005 et 0.1M et de préférence entre 0.001 et 0.01M. 10 Comme illustré en exemple 1, une couche SAM formée à l'issue de l'étape b) possède avantageusement une énergie de surface dont la valeur est significativement inférieure à celle possédée par la couche d'oxyde transparent conducteur d'origine. Cette diminution est particulièrement bénéfique pour former à l'issue des étapes c) et d) des lignes métalliques de taille réduite. 15 En d'autres termes, la couche SAM module la mouillabilité de la couche active en diminuant son hydrophilie. Le matériau métallique conducteur est appliqué à l'état de gouttelettes liquides d'une solution le contenant. 20 En particulier, la solution comprend le matériau formant la couche métallique en dispersion dans un solvant. Pour le cas où le matériau formant la couche métallique est en argent, le solvant peut être un alcool ou un glycol, et de préférence est choisi parmi l'éthanediol, le propanediol, le glycérol, le butanol, l'isopropanol, l'éthanol et leurs mélanges. 25 De préférence, cette solution possède entre 5 et 50% en masse, de préférence entre 10 et 40% en poids en matériau conducteur métallique. La solution est avantageusement déposée par impression par jet d'encre, notamment sous la forme de gouttes, en surface de la couche d'oxyde transparent conducteur. De préférence, la distance entre deux gouttes successives est choisie de telle 30 sorte que les gouttes coalescent entre elles pour former une ligne continue. On parle de « coalescence » des gouttes lorsque les gouttes déposées côte à côte, en s'étalant, se 12 réunissent du fait notamment de la tension superficielle des gouttes et éventuellement de leur mobilité sur le substrat sur lequel elles sont déposées. La couche métallique peut être déposée en effectuant une unique ou plusieurs séquences successives d'opérations d'impression par jet d'encre et de séchage de sous- 5 couches et surcouches. L'impression peut notamment être réalisée à l'aide d'une Imprimante Dimatix DMP 2600. L'opération d'impression, notamment par jet d'encre, est ensuite suivie d'une opération de séchage des gouttelettes. Cette étape de séchage est de préférence réalisée 10 entre 0,5 minute et 10 minutes et à une température comprise entre 120 °C et 200 °C. Dans le cas où le substrat est en verre, la température de séchage de la solution peut être supérieure à 150 °C, tout en restant inférieure à 300 °C. Ainsi, le solvant est évaporé de la couche liquide et la couche métallique est formée. Les lignes obtenues à l'issu du séchage des gouttelettes peuvent posséder une 15 largeur variant de 20 à 100 jtm et notamment de 20 à 50 !lm. Selon une autre variante de réalisation, la face à traiter de la couche d'oxyde transparent conducteur, subit préalablement à l'étape b), un traitement de surface UV-ozone. 20 De même, antérieurement, à l'étape a), la couche d'oxyde transparent conducteur peut avoir été formée au préalable par dépôt physique en phase vapeur (I'VD en anglais) ou par dépôt chimique en phase vapeur (CVD en anglais). Ces techniques sont bien connues de l'homme du métier, qui sait choisir un substrat adapté, par exemple tel que décrit précédemment, pour réaliser un tel dépôt. 25 DISPOSITIF L'invention concerne également un dispositif comportant une structure multicouche selon l'invention ou obtenue à partir d'un procédé selon l'invention. En particulier, ce dispositif est choisi parmi les cellules silicium de type HET, 30 cellules pérovskites ou encore les cellules tandems silicium pérovskite. Notamment, le dispositif peut être une cellule photovoltaïque pérovskite. 13 Bien entendu, l'invention n'est pas limitée aux modules spécifiques décrits ci-dessus, et d'autres applications de la structure multicouche selon l'invention peuvent être envisagées. 5 L'invention va maintenant être décrite au moyen des exemples suivants, donnés à titre illustratif et non limitatif de l'invention. Méthodes et matériels . L'empilement est le suivant: Substrat PET / couche d'oxyde transparent conducteur 10 (TCO) : oxyde d'indium dopé à l'étain (1TO) d'épaisseur de 300 nm / couche d'argent. Sauf mention contraire, l'ensemble des impressions a été réalisée avec une encre argent de DuPont (Référence PE410) à 40% en masse d'argent (diamètre des particules REVENDICATIONSI. Structure multicouche (5) comportant un substrat (15) photoélectrique, au moins une couche d'oxyde transparent conducteur (20a-b) et au moins une couche conductrice métallique (25a-b) dédiée à former une électrode caractérisée en ce que ladite structure possède en outre au moins une couche d'interface (30a-b) au contact de ladite couche d'oxyde transparent conducteur et de ladite couche conductrice métallique, ladite couche d'interface étant une monocouche moléculaire autoassemblée, dite SAM. 2. Structure multicouche selon la revendication I, dans laquelle ladite couche SAM, est formée à partir d'au moins un composé de formule (I) suivante R;-R2 (I) dans laquelle - RI est un motif apolaire et de préférence une chaîne hydrocarbonée aliphatique,aromatique, linéaire ou ramifiée notamment d'au moins trois atonies de carbone, et - R2 est un groupement apte à se lier directement en surface de la couche d'oxyde transparent conducteur et en particulier est choisi parmi les groupements cotir', 010, oton, po(or),, Nu2, SUI ou 51(R3)3 avec R représentant tin atonie d'halogène notamment de fluor ou de chlore. un radical éther ou thioéther comprenant de I à 2 atomes. 3 Structure multicouche selon la revendication I ou aquelle ladite couche SAM est formée à partir d'un silane de formule générale (II) suivante R-Si (1T) dans laquelle - R est une chaîne hydrocarbonée aliphatique, aromatique,linéaire ou ramifiée notamment d'au moins trois atomes de carbone, - X est un atome d'halogène notamment de chlore ou un radical éther ou thioéther en Clà C2. 4. Structure multicouche selon la revendicationprécédente, dans laquelle 30 ledit silane est choisi parmi les trimethoxy(propypsilane, triéthoxy(octyl)silarie,triméthoxy(octadecyl)silane, tri m éthoxy(i sobutyl)silane et triméthoxy(2-phênyl)si 17 5. Structure multicouche selon l'une quelconque des revendications précédentes dans laquelle ladite couche SAM possède une énergie de surface inférieure l'énergie de surface de la couche d'oxyde transparent conducteur, TCO et de préférence inférieure à. 100 milcm2, de préférence inférieure à 50 necm2, en particulier inférieure à 5 40 in,l/cm2 6. Structure multicouche selon l'une quelconque des revendications précédentes dans laquelle ladite couche SAM possède une épaisseur inférieure à 5 mn et de préférence inférieure à 3 mn. 7. Stnicture multicouche selon l'une quelconque des receni.rcatrons 10 précédentes, dans laquelle le substrat (15) comporte un support (18) en silicium cristallin, dénommé « c-Si », recouvert sur chacune de ses faces par une couche (19a-b) en silicium amorphe hydrogénée, dénommée « a-S1:11 8. Structure multicouche selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle la couche d'oxyde transparent conducteur est en un matériau 15 choisi parmi l'oxyde d'indium dopé à l'Étain, l'oxyde d'Indium dopé au Zinc, l'oxyde de Zinc, de préférence dopé, et leurs mélanges. 9. Structure multicouche selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle le matériau conducteur métallique est déposé sous la forme d'une couche continue ou de maniere localisée et de préférence sous la forme d'au moins 20 un fd et de préférence d'un réseau de Cils métalliques. 10. Structure multicouche selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle le matériau conducteur métallique est choisi parmi l'argent (Ag), l'or (Au), le cuivre (Cu), et les alliages ou les mélanges d'au moins deux de ces métaux et de préférence est l'argent. 25 11. Structure multicouche selon 1'.une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle le matériau conducteur métallique est présent sous la forme d'au moins une ligne et de préférence plusieurs lignes en argent formé par impression par jet d'encre en surface de la couche S.AN4. 12. Procédé de fabrication d'une structure multicouche (5) comportant un substrat (15) photoélectrique, au moins une couche d'oxyde transparent conducteur, (20a- b) et au moins une couche conductrice métallique (25a-b) dédiée à former une électrode comportant les étapes successives suivantes consistant à : 18 a) disposer d'un substrat photoélectrique recouvert d'au moins une couche d'oxyde transparent conducteur, b) mettre en contact au moins la face externe de ladite couche d'oxyde transparent conducteur avec au moins des molécules aptes à former une monocouche 5 moléculaire autoassemblée, SAM, en surface de ladite couche d'oxyde transparente dans des conditions propices à la formation de ladite couche SAM, c) former des gouttelettes liquides d'au moins un matériau métallique conducteur au contact de ladite couche SAM et d) sécher lesdites gouttelettes pour former au moins un fil métallique 10 conducteur. 13 Procédé selon la revendication précédente, dans lequel l'étape b) e réalisée par trempage de ladite face externe de ladite couche d'oxyde transparent t conducteur à traiter dans un milieu liquide contenant les molécules auto- assemblables. 14. Procédé selon l'une quelconque des revendications 12 à 13 dans lequel 15 lesdites molécules auto-assemblabl es sont telles que définies en revendications 2 ou 3. 15. Procédé selon l'une quelconque des revendications 12 à 14 dans lequel le matériau métallique conducteur est appliqué à l'état de gouttelettes liquides d'une solution le contenant. selon la revendication précédente dans lequel la solution est 20 déposée par impression parjet d'encre. 17. Procédé selon l'une quelconque des revendications 12 à 16 dans lequel l'étape de séchage est réalisée entre 0,5 minute et 10 minutes et à une température comprise entre 120°C et 200°C. 18. Dispositif comportant une structure multicouche selon l'une quelconque 25 des revendications 1 à 1 1 ou obtenue à partir d'un procédé selon l'une quelconque des revendications 12 à 17. 19. Dispositif selon la revendication précédente choisi parmi les cellules s.ilicium de type HET, cellules pérovskites ou encore les cellules tandems silicium përovskite.