Brevet FR3087504A1 — publié le 20200424

Procédé de contrôle de la température d'une pompe à vide, pompe à vide et installation associées La présente invention concerne un procédé de contrôle de la température d'une pompe à vide de type sèche. L'invention concerne également une pompe à vide de type sèche comprenant des moyens de mise en oeuvre dudit procédé de contrôle. L'invention concerne aussi une installation comprenant ladite pompe à vide. Les pompes à vide primaire de type sèche comportent plusieurs étages de pompage en série dans lesquels circule un gaz à pomper entre une aspiration et un refoulement. On distingue parmi les pompes à vide primaire connues, celles à lobes rotatifs également connues sous le nom « Roots » avec deux lobes ou plus ou celles à bec, également connues sous le nom « Claw » ou encore celles à vis. On connait également des pompes à vide de type compresseurs Roots (ou « Roots Blower » en anglais) à un ou deux étages qui sont utilisées en amont des pompes à vide primaire, pour augmenter la capacité de pompage en situation de très fort flux. Ces pompes à vide sont dites « sèches » car en fonctionnement, les rotors tournent à l'intérieur du stator sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator, ce qui permet de ne pas utiliser d'huile dans l'étage de pompage. De plus en plus d'applications requièrent de pouvoir faire varier les flux de gaz à pomper de manière importante et rapide, entre d'une part, des étapes de procédé pour lesquelles la pompe à vide doit cycler des flux de gaz importants, tel que de l'ordre de plusieurs slm (pour « standard litre par minute » en anglais) ou plusieurs dizaines de slm, et d'autre part, des étapes d'attente (ou « idle » en anglais) pour laquelle la pompe à vide est en fonctionnement dit de « pression de vide limite », le flux de gaz à pomper étant nul ou très faible. Le pompage de flux forts de gaz entraine un échauffement important de la pompe à vide du fait de la compression. Cette élévation de la température permet d'éviter la condensation ou la solidification en poudre d'espèces gazeuses polluantes à l'intérieur de la pompe à vide. Cependant, il est nécessaire de refroidir les paliers des pompes à vide pour éviter tout dysfonctionnement. En outre dans certaines applications, la température du stator doit être contrôlée de manière à ne pas dépasser un maximum prédéfini au-delà duquel les espèces gazeuses pompées pourraient s'agglomérer dans la pompe et provoquer son grippage. 2 Le refroidissement du stator est généralement réalisé par circulation d'eau à température ambiante dans des circuits refroidisseurs en contact thermique avec le stator. Toutefois dans les situations décrites précédemment pour lesquelles le flux de 5 gaz à pomper chute brutalement, la pompe à vide alors sans échauffement propre, peut refroidir tout aussi brusquement. Le stator en contact avec les circuits refroidisseurs voit alors sa température chuter tandis que les rotors qui ne sont pas directement refroidis, restent chauds. Cette différence de température entre les rotors et le stator peut être accentuée 10 par le fait que le point de mesure de la température permettant de contrôler les circuits refroidisseurs n'est pas forcément situé à un endroit propice permettant de déceler un changement rapide de température dû à un changement de charge de pompage. La température mesurée peut ainsi être surestimée et entrainer la poursuite de la commande du refroidissement du stator bien qu'au niveau des paliers par exemple, la 15 température a déjà chuté de manière importante. Le temps de réaction nécessaire pour effectivement constater une baisse de température du stator peut être relativement long, ce qui peut entrainer l'aggravation de l'écart entre les températures. Cet écart de température peut provoquer une perte de jeu entre le stator et les rotors du fait des différents comportements thermomécaniques, et notamment une 20 perte du jeu axial car les circuits refroidisseurs sont généralement agencés à chaque extrémité axiale de la pompe à vide au niveau des paliers, ainsi qu'une diminution de l'entraxe du fait de la rétraction des supports des arbres. Ces pertes de jeu peuvent conduire au grippage de la pompe ou à des touches entre rotors. Un des buts de la présente invention est de proposer une pompe à vide de type 25 sèche et un procédé de contrôle de la température de la pompe à vide permettant de résoudre au moins un des inconvénients précités, notamment en limitant les pertes de jeu et le grippage. A cet effet, l'invention a pour objet un procédé de contrôle de la température d'une pompe à vide de type sèche soumise à des charges de pompage variables, la 30 pompe à vide comportant : un stator, au moins un étage de pompage, 3 deux arbres s'étendant dans le au moins un étage de pompage et portant respectivement au moins un rotor, les rotors étant configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans le stator pour entrainer un gaz à pomper depuis une aspiration de la pompe à vide vers un refoulement, 5 au moins un élément refroidisseur couplé au stator, au moins un capteur de température configuré pour prendre une mesure de la température du stator, et une unité de contrôle configurée pour contrôler la température du stator au moyen du au moins un élément refroidisseur et du au moins un capteur de 10 température, dans lequel on contrôle la température de la pompe à vide au moyen du au moins un élément refroidisseur couplé au stator en fonction d'une consigne de température et d'une mesure de la température du stator, caractérisé en ce qu'on surveille si la valeur d'un paramètre représentatif de la 15 charge de pompage choisi parmi un courant consommé ou une puissance consommée par la pompe à vide est inférieure à un seuil de charge et, si la valeur du paramètre représentatif de la charge de pompage est inférieure au seuil de charge alors on augmente la consigne de température. Le changement de consigne de température permet ainsi de couper au plus tôt le 20 refroidissement du stator par l'élément refroidisseur, laissant le stator se réchauffer à proximité de l'élément refroidisseur. L'augmentation de la consigne de température au cours d'étapes de faible charge de pompage permet de garder le stator aussi chaud qu'au cours des étapes de forte charge, ce qui permet de limiter les risques de grippage ou de touches entre rotors. 25 Cette température qui est maintenue élevée au cours d'étapes de faible charge permet en outre d'éviter la création de zones froides où les espèces condensables polluantes pourraient se solidifier ou se condenser. Le déclenchement de changement de consigne de température réalisée par surveillance de la charge de pompage permet de plus d'être très réactif 30 Cette surveillance peut en outre être réalisée à partir des informations déjà disponibles par les capteurs de la pompe à vide, en intégrant le comportement thermique de la pompe à vide dans la détermination du contrôle de la température, sans nécessiter l'ajout de capteurs de température supplémentaires, sans informations 4 du procédé ayant lieu dans l'enceinte et sans changer le positionnement du au moins un capteur de température ou la structure des éléments refroidisseurs. Le procédé de contrôle de la température peut en outre comporter une ou plusieurs caractéristiques décrite ci-après, prise seule ou en combinaison. 5 Selon un exemple de réalisation, la consigne de température est augmentée au moins pour le contrôle de la température au moyen d'un élément refroidisseur couplé à un étage de pompage dit de basse pression de la pompe à vide. Selon un exemple de réalisation, après augmentation de la consigne de température, on surveille si la valeur du paramètre représentatif de la charge de 10 pompage est supérieure au seuil de charge et, si la valeur du paramètre représentatif de la charge de pompage est supérieure au seuil de charge alors on conserve une consigne de température augmentée pendant une durée supplémentaire prédéfinie. La durée supplémentaire prédéfinie est par exemple supérieure à dix minutes. L'augmentation de la consigne de température est par exemple supérieure à 15 3°C. L'augmentation de la consigne de température est par exemple inférieure à 20°C. L'invention a aussi pour objet une pompe à vide de type sèche comportant : un stator, 20 au moins un étage de pompage, deux arbres s'étendant dans le au moins un étage de pompage et portant respectivement au moins un rotor, les rotors étant configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans le stator pour entrainer un gaz à pomper depuis une aspiration de la pompe à vide vers un refoulement, 25 au moins un élément refroidisseur couplé au stator, au moins un capteur de température configuré pour prendre une mesure de la température du stator, et une unité de contrôle configurée pour contrôler la température du stator au moyen du au moins un élément refroidisseur et du au moins un capteur de 30 température, caractérisée en ce que l'unité de contrôle est configurée pour mettre en oeuvre un procédé de contrôle de la température tel que décrit précédemment. 5 La pompe à vide de type sèche peut être une pompe à vide primaire multiétagée, c'est à dire comportant au moins deux étages de pompage montés en série. La pompe à vide peut également être une pompe à vide de type compresseur Roots comportant un ou deux étages de pompage montés en série. 5 Selon un exemple de réalisation, la pompe à vide de type sèche comporte deux éléments refroidisseurs couplés au stator, un élément refroidisseur étant agencé à chaque extrémité axiale de la pompe à vide. La présente invention a aussi pour objet une installation comprenant une enceinte caractérisée en ce qu'elle comporte une pompe à vide de type sèche telle que 10 décrite précédemment, reliée à l'enceinte pour son pompage. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description suivante, donnée à titre d'exemple, sans caractère limitatif, en regard des dessins annexés sur lesquels: 15 La Figure 1 montre une vue schématique d'une installation selon l'invention. La Figure 2 montre une vue schématique partielle et partiellement en coupe d'une pompe à vide de l'installation de la Figure 1, à l'état désassemblée, où seuls les éléments nécessaires au fonctionnement sont représentés. La Figure 3 est une vue schématique montrant différentes étapes d'un procédé 20 de contrôle de la température de la pompe à vide de la Figure 2. La Figure 4 est un graphique montrant un exemple de courbes obtenues en fonction du temps (minutes) pour : - la puissance consommée (en Watt, ordonnée de droite) par la pompe à vide de la Figure 2 (courbe A), 25 - la température du stator (en °C, ordonnée de gauche) mesurée par un capteur de température de la pompe à vide (courbe B), et - la température du stator mesurée à titre indicatif par deux capteurs de température de test fixés au centre d'un élément refroidisseur de la pompe à vide (courbes C et D). 30 Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence. Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques 6 s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations. 5 La Figure 1 représente un premier exemple d'une installation 1 comportant une pompe à vide 2 de type sèche et une enceinte 3 à laquelle la pompe à vide 2 est raccordée par exemple via une vanne 4, pour le pompage de l'enceinte 3. Des flux de gaz importants, de l'ordre de plusieurs slm ou plusieurs dizaines de slm, peuvent être introduits dans l'enceinte 3, par exemple de manière cyclique, au 10 cours d'étapes dites « de procédé » P1, P2 (Figure 3). Ces étapes de procédé P1, P2 peuvent précéder et suivre des étapes dites « d'attente I » (ou « idle » en anglais) au cours desquelles les flux de gaz introduits sont faibles ou nuls. Au cours des étapes d'attente I, la pompe à vide 2 est en fonctionnement dit de « pression de vide limite » sur des durées supérieures à plusieurs minutes, par exemple pour permettre un 15 nettoyage de l'enceinte 3. La succession de ces étapes intervient par exemple lors de procédés de fabrication de semi-conducteurs, tels que des procédés dits « HarpXT ». Comme on peut mieux le voir sur les Figures 1 et 2, la pompe à vide 2 comporte un stator 5, au moins un étage de pompage T1-T5, deux arbres 6, 7 s'étendant dans le au moins un étage de pompage T1-T5 et portant respectivement au moins un rotor 8, 20 au moins un élément refroidisseur 11a, 11 b couplé au stator 5, au moins un capteur de température 12a, 12b configuré pour prendre une mesure de la température du stator 5 et une unité de contrôle 13 configurée pour contrôler la température du stator 5 au moyen du au moins un élément refroidisseur 11a, 11b et du au moins un capteur de température 12a, 12b. 25 Les rotors 8 sont configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans le stator 5 pour entrainer un gaz à pomper G depuis une aspiration 9 de la pompe à vide 2 vers un refoulement 10 de la pompe 2. Les rotors 8 présentent par exemple des lobes de profils identiques, tels que de type « Roots » (section transversale en forme de « huit » ou de « haricot ») ou de type 30 « Claw ». Selon un autre exemple, les rotors de pompage 8 sont de type « à vis ». La pompe à vide 2 comporte par exemple au moins deux étages de pompage, tel que cinq étages de pompage. Chaque étage de pompage Tl-T5 comprend une entrée et une sortie respectives. Les étages de pompage successifs Tl-T5 sont raccordés en 7 série les uns à la suite des autres par des canaux inter-étages 14 respectifs raccordant la sortie (ou le refoulement) de l'étage de pompage qui précède à l'entrée (ou l'aspiration) de l'étage qui suit. Lors de la rotation, le gaz aspiré depuis l'entrée est emprisonné dans le volume 5 engendré par les rotors 8, puis est entraîné par les rotors 8 vers le refoulement 10 (le sens de circulation des gaz est illustré par les flèches G sur les Figures 1 et 2). La pompe à vide 2 est notamment dite « sèche » car en fonctionnement, les rotors 8 tournent à l'intérieur du stator 5 sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator 5, ce qui permet de ne pas utiliser d'huile dans les étages de pompage T1 -T5. 10 Dans cet exemple de réalisation, la pompe à vide 2 de type sèche est une pompe à vide primaire multiétagée. Une pompe à vide primaire est une pompe à vide volumétrique, qui, à l'aide de deux rotors aspire, transfère puis refoule le gaz à pomper à la pression atmosphérique. Selon un autre exemple, la pompe à vide 2 est de type compresseur Roots et comprend un ou deux étages de pompage. Les pompes à vide 15 de type compresseur Roots sont montées en série et en amont d'une pompe à vide primaire. Selon un exemple de réalisation, l'élément refroidisseur 11a, 11b comporte un circuit hydraulique 16 pour permettre une circulation d'eau, par exemple à température ambiante (Figure 2). 20 Le circuit hydraulique 16 est par exemple intégré dans le stator 5. Il présente par exemple une forme en « U » entourant les paliers des arbres 6, 7 pour les refroidir. L'élément refroidisseur 11a, 11b comporte en outre par exemple une vanne 17 pilotable pour autoriser ou couper la circulation d'eau (régulation dite « tout ou rien »). La pompe à vide 2 comporte par exemple deux éléments refroidisseurs 11a, 11b 25 couplés au stator 5, un élément refroidisseur 11a, 11b étant agencé à chaque extrémité axiale de la pompe à vide 2 (Figure 2). Un élément refroidisseur 11a est couplé à un étage de pompage T1 dit de basse pression, dont l'entrée communique avec l'aspiration 9 de la pompe 2. Un élément refroidisseur 11b est couplé à un étage de pompage T5 dit de haute pression, dont la sortie communique avec le refoulement 30 10 de la pompe 2. La pompe à vide 2 comporte par exemple deux capteurs de température 12a, 12b agencés sur le stator 5 et espacés l'un de l'autre. Un capteur de température 12a est par exemple associé à l'élément refroidisseur 11a situé côté aspiration 9. Le 8 capteur de température 12a est par exemple monté sur le stator 5 au niveau de l'étage de pompage T1 de basse pression (côté aspiration 9). Un capteur de température 12b est par exemple associé à l'élément refroidisseur 11b situé côté refoulement 10. Le capteur de température 12b est par exemple monté sur le stator 5 au niveau de l'étage 5 de pompage T5 de haute pression (côté refoulement 10). Les capteurs de température 12a, 12b sont par exemple situés sur le stator 5 à un point milieu entre les deux arbres 6, 7, alignés sur une droite parallèle aux axes des arbres 6, 7 (Figure 1). L'unité de contrôle 13 comporte un ou plusieurs contrôleurs ou microcontrôleurs 10 ou processeurs et une mémoire pour exécuter des suites d'instructions de programmes mettant en oeuvre un procédé de contrôle de la température 100 de la pompe à vide 2 dans lequel on contrôle la température de la pompe à vide 2 soumise à des charges de pompage variables au moyen dudit au moins un élément refroidisseur 11a, 11b couplé au stator 5, en fonction d'une consigne de température et d'une mesure de la 15 température du stator 5. Pour cela, l'unité de contrôle 13 est reliée à au moins un capteur de température 12a, 12b pour recevoir une mesure de la température du stator 5 et est reliée à au moins un élément refroidisseur 11a, 11b, par exemple pour piloter l'ouverture/fermeture de la vanne 17 du circuit hydraulique 16 associée. Le contrôle de 20 température peut être réalisé indépendamment sur chaque élément refroidisseur 11a, 11b en fonction d'une consigne de température propre et d'une mesure de température propre associée. En fonctionnement, la pompe à vide 2 est soumise à des charges de pompage variables, pouvant varier entre des flux de gaz forts ou faibles. 25 L'unité de contrôle 13 surveille si la valeur d'un paramètre représentatif de la charge de pompage est inférieure à un seuil de charge S (étape de diagnostic 101, Figure 3). Le paramètre représentatif de la charge de pompage est par exemple le courant consommé par la pompe à vide 2 ou la puissance consommée par la pompe à vide 2. 30 L'unité de contrôle 13 calcule par exemple une moyenne du courant ou de la puissance consommée sur une durée égale ou supérieure à la durée d'un cycle d'une étape de procédé Pl, P2. Pour cela, l'unité de contrôle 13 est par exemple reliée à une sortie d'un variateur de vitesse du moteur de la pompe à vide 2. 9 Si, et tant que, la valeur du paramètre représentatif de la charge de pompage est supérieure au seuil de charge S alors on considère qu'une étape de procédé Pl, P2 a lieu dans l'enceinte 3. Dans ce cas, l'unité de contrôle 13 contrôle la température de la pompe à vide 2 5 pour atteindre la consigne de température au moyen des éléments refroidisseurs 11a, 11 b, par exemple en fermant les vannes 17 pour couper la circulation d'eau lorsque la mesure de température est inférieure à la consigne de température et en ouvrant les vannes 17 pour autoriser la circulation d'eau lorsque la mesure de la température est égale ou supérieure à la consigne de température (étape de régulation de procédé 10 102). La consigne de température est par exemple supérieure à 70°C. Si, et tant que, la valeur du paramètre représentatif de la charge de pompage est inférieure au seuil de charge S, alors on considère qu'une étape d'attente I a lieu dans l'enceinte 3. Dans ce cas, l'unité de contrôle 13 augmente la consigne de température 15 pour le contrôle de la température de la pompe à vide 2 au moyen d'au moins un élément refroidisseur 11 a (étape de régulation en attente 103). La consigne de température peut être augmentée pour le contrôle de la température au moyen des deux éléments refroidisseurs 11a, 11b ou d'un seul mais de préférence, au moins au moyen de l'élément refroidisseur 11a couplé à l'étage de 20 pompage T1 de basse pression, qui est plus difficile à réguler en température du fait des moins bonnes capacités d'échanges thermiques entre les rotors 8 et le stator 5 à basse pression. L'augmentation de la consigne de température correspond par exemple à au moins 3% de la consigne de température, comme par exemple à plus de 3°C. 25 L'augmentation de la consigne de température correspond par exemple à au plus 20% de la consigne de température, comme par exemple à moins de 20°C. L'augmentation de la consigne de température est par exemple de l'ordre de 6% de la consigne de température, tel que 5°C. L'unité de contrôle 13 contrôle la température de la pompe à vide 2 pour 30 atteindre la consigne de température augmentée comme réalisé au cours de l'étape de procédé Pl, P2, au moyen des éléments refroidisseurs 11a, 11b, par exemple en actionnant les vannes 17 de circulation d'eau. 10 Lorsque le paramètre représentatif de la charge de pompage a augmenté au-delà du seuil de charge S, on considère qu'une nouvelle étape de procédé P1, P2 a lieu dans l'enceinte 3. On peut alors prévoir de conserver une consigne de température augmentée 5 pendant une durée supplémentaire prédéfinie (étape de reconditionnement 104) avant de rebasculer la consigne de température augmentée à la consigne de température initiale. La durée supplémentaire est prédéfinie, ce qui permet de s'affranchir de la nécessité d'un capteur. Elle est par exemple supérieure à 10 minutes, tel que 15 10 minutes. Cette étape de reconditionnement 104 permet de laisser le temps au stator 5 de s'échauffer du fait de plus haute charge de pompage de l'étape de procédé P1, P2. Cela permet d'éviter de générer un nouvel écart des températures entre les rotors 8 et le stator 5 au moment du retour à la consigne de température initiale. Ceci peut être mieux compris en visualisant le graphique de la Figure 4 montrant 15 un exemple d'une courbe de puissance consommée par la pompe à vide 2 soumise à une charge de pompage (courbe A), une courbe de la température du stator 5 mesurée par le capteur de température 12a à proximité de l'étage de pompage T1 de basse pression (courbe B) et deux courbes de la température du stator 5 mesurées à titre indicatif pour la compréhension de l'invention, au centre de l'élément refroidisseur lla 20 couplé au stator 5 de l'étage de pompage T1 de basse pression (courbes C et D). Au cours des deux premières heures, un flux de gaz de 80slm (135,12 Pa.m3/s) est introduit de manière cyclique dans l'enceinte 3. Le flux de gaz alterne ainsi entre 80slm pendant 5 minutes et Oslm pendant 3 minutes. La puissance consommée, représentative de la charge de pompage, varie en conséquence en créneaux entre 500 25 et 2000W (courbe A), au-dessus d'un seuil de charge par exemple de 600W sur une durée supérieure 3 minutes (durée égale à une phase sans flux d'étape de procédé). L'unité de contrôle 13 contrôle la température de la pompe à vide 2 pour atteindre une consigne de température de 83°C au moyen des éléments refroidisseurs 11a, 11b (étape de régulation de procédé 102). On voit que la température du stator 5 30 mesurée par le capteur de température 12a fluctue ainsi entre 81°C et 86°C autour de la température de consigne du fait du mode de régulation tout ou rien (courbe B). On voit également que la température mesurée au centre de l'élément refroidisseur 11a (à titre indicatif), fluctue entre 84 et 87°C (courbes C et D). 11 Puis, la puissance consommée passe au-dessous du seuil de charge S. L'unité de contrôle 13 en conclut qu'une étape d'attente I a lieu dans l'enceinte 3. L'unité de contrôle 13 augmente alors la consigne de température de 5°C (étape de régulation en attente 103) et contrôle la température de la pompe à vide 2 à 88°C au moyen de 5 l'élément refroidisseur 11a de l'étage de pompage T1 de basse pression et à 83°C ou 88°C au moyen de l'élément refroidisseur 11b de l'étage de pompage T5 de haute pression. On constate que la température du stator 5 mesurée par le capteur de température 12a associé à l'élément refroidisseur lla fait un saut d'environ 5°C pour 10 fluctuer entre 86°C et 90°C (courbe B). On voit également que la température mesurée au centre de l'élément refroidisseur 11a augmente rapidement du fait de l'augmentation de la consigne de température puis diminue du fait de la réduction de la charge de pompage jusqu'à tendre vers une stabilisation à une température proche de celle de l'étape de procédé 15 P1 (courbes C et D). Le changement de consigne de température permet ainsi de couper au plus tôt le refroidissement du stator 5 par l'élément refroidisseur 11a, laissant le stator 5 se réchauffer à proximité de l'élément refroidisseur 11a. Malgré la baisse de température, la température du stator 5 mesurée au niveau de l'élément refroidisseur lla n'a pas, 20 ou peu, diminué en dessous de la température de l'étape de procédé Pl. L'écart de température entre le stator 5 et les rotors 8 est donc sensiblement le même au cours de l'étape de procédé P1 qu'au cours de l'étape d'attente I étant donné que les rotors 8 restent chauds. Puis la puissance consommée augmente au-delà du seuil de charge S (courbe 25 A), indiquant qu'une nouvelle étape de procédé P2 a lieu dans l'enceinte 3. La consigne de température reste augmentée à 88°C pendant 15 minutes (étape de reconditionnement 104) : on constate une remontée des températures du stator 5 au niveau de l'élément refroidisseur 11a avec l'échauffement de la pompe à vide 2 (courbes C et D). 30 Après l'écoulement de la durée supplémentaire prédéfinie, les températures au centre de l'élément refroidisseur 11a étant sensiblement revenues aux valeurs précédentes de l'étape de procédé Pl, l'unité de contrôle 13 décrémente la consigne de température qui retourne à 83°C (étape de régulation de procédé 102). Les 12 températures au centre de l'élément refroidisseur 11a diminuent de la différence de consigne de température, puis remontent lentement avec la valeur de la consigne à 83°C. Au cours de l'étape d'attente I et de l'étape de procédé P2 qui suit, la température est restée au-dessus de 83°C au niveau du stator 5 près de l'élément 5 refroidisseur 11a. L'augmentation de la consigne de température au cours de l'étape d'attente I de faible charge de pompage permet de garder le stator 5 aussi chaud au centre de l'élément refroidisseur 11a qu'au cours des étapes de procédé P1, P2, ce qui permet de limiter les risques de grippage ou de touches entre rotors 8 au cours de l'étape 10 d'attente I liés aux différences de dilatation thermique entre les rotors 8 et le stator 5. Cette température qui est maintenue élevée au cours de l'étape d'attente I permet en outre d'éviter la création de zones froides où les espèces condensables polluantes pourraient se solidifier ou se condenser. Le déclenchement de changement de consigne de température réalisée par 15 surveillance de la charge de pompage permet de plus d'être très réactif. Cette surveillance peut en outre être réalisée à partir des informations déjà disponibles par les capteurs de la pompe à vide 2, en intégrant le comportement thermique de la pompe à vide 2 dans la détermination du contrôle de la température, sans nécessiter l'ajout de capteurs de température supplémentaires, sans informations 20 du procédé ayant lieu dans l'enceinte 3 et sans changer le positionnement du au moins un capteur de température 12a, 12b ou la structure des éléments refroidisseurs 11a, REVENDICATIONS1. Procédé de contrôle de la température (100) d'une pompe à vide (2) de type sèche soumise à des charges de pompage variables, la pompe à vide (2) comportant : o un stator (5), o au moins un étage de pompage (T1-T5), o deux arbres (6, 7) s'étendant dans le au moins un étage de pompage (T1-T5) et portant respectivement au moins un rotor (8), les rotors (8) étant configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans le stator (5) pour entrainer un gaz à pomper (G) depuis une aspiration (9) de la pompe à vide (2) vers un refoulement (10), o au moins un élément refroidisseur (11a, 11b) couplé au stator (5), o au moins un capteur de température (12a, 12b) configuré pour prendre une mesure de la température du stator (5), et o une unité de contrôle (13) configurée pour contrôler la température du stator (5) au moyen du au moins un élément refroidisseur (11a, 11 b) et du au moins un capteur de température (12a, 12b), dans lequel on contrôle la température de la pompe à vide (2) au moyen du au moins un élément refroidisseur (11a, 11b) couplé au stator (5) en fonction d'une consigne de température et d'une mesure de la température du stator (5), caractérisé en ce qu'on surveille si la valeur d'un paramètre représentatif de la charge de pompage choisi parmi un courant consommé ou une puissance consommée par la pompe à vide (2) est inférieure à un seuil de charge (101) et, si la valeur du paramètre représentatif de la charge de pompage est inférieure au seuil de charge (S) alors on augmente la consigne de température (103). 2. Procédé de contrôle de la température (100) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la consigne de température est augmentée au moins pour le contrôle de la température au moyen d'un élément refroidisseur (11a) couplé à un étage de pompage (T1) dit de basse pression de la pompe à vide (2). 3. Procédé de contrôle de la température (100) selon l'une des revendications précédentes dans lequel, après augmentation de la consigne de température, 14 on surveille si la valeur du paramètre représentatif de la charge de pompage est supérieure au seuil de charge (S) et, si la valeur du paramètre représentatif de la charge de pompage est supérieure au seuil de charge (S) alors on conserve une consigne de température augmentée pendant une durée 5 supplémentaire prédéfinie (104). 4. Procédé de contrôle de la température (100) selon la revendication précédente, dans lequel la durée supplémentaire prédéfinie est supérieure à dix minutes. 5. Procédé de contrôle de la température (100) selon l'une des revendications précédentes, dans lequel l'augmentation de la consigne de température est 10 supérieure à 3°C. 6. Procédé de contrôle de la température (100) selon l'une des revendications précédentes, dans lequel l'augmentation de la consigne de température est inférieure à 20°C. 7. Pompe à vide (2) de type sèche comportant : 15 - un stator (5), au moins un étage de pompage (T1-T5), - deux arbres (6, 7) s'étendant dans le au moins un étage de pompage (T1-T5) et portant respectivement au moins un rotor (8), les rotors (8) étant configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans le 20 stator (5) pour entrainer un gaz à pomper (G) depuis une aspiration (9) de la pompe à vide (2) vers un refoulement (10), - au moins un élément refroidisseur (11a, 11b) couplé au stator (5), au moins un capteur de température (12a, 12b) configuré pour prendre une mesure de la température du stator (5), et 25 - une unité de contrôle (13) configurée pour contrôler la température du stator (5) au moyen du au moins un élément refroidisseur (11a, 11b) et du au moins un capteur de température (12a, 12b), caractérisée en ce que l'unité de contrôle (13) est configurée pour mettre en oeuvre un procédé de contrôle de la température (100) selon l'une des 30 revendications précédentes. 8. Pompe à vide (2) de type sèche selon la revendication précédente, caractérisée en ce que c'est une pompe à vide primaire. 15 9. Pompe à vide (2) de type sèche selon l'une des revendications 7 ou 8, caractérisée en ce qu'elle comporte deux éléments refroidisseurs (11a, 11b) couplés au stator (5), un élément refroidisseur (11a, 11b) étant agencé à chaque extrémité axiale de la pompe à vide (2). 5 10. Installation (1) comprenant une enceinte (3) caractérisée en ce qu'elle comporte une pompe à vide (2) de type sèche selon l'une des revendications 7 à 9, reliée à l'enceinte (3) pour le pompage de l'enceinte (3).