Brevet FR3087268A1 — publié le 20200417

DISPOSITIF DE MESURE DES TAUX D'HUMIDITÉ ET TEMPÉRATURE AMBIANTS PAR OSCILLATEURS À MICRO-POUTRE L'invention concerne les dispositifs de mesure, et plus précisément la mesure du taux d'humidité et de la température de l'air ambiant. Dans certains domaines, comme par exemple celui des stations météorologiques grand public ou des véhicules, éventuellement automobiles, on a besoin de connaître le taux d'humidité (ou hygrométrie) et la température Io de l'air ambiant (ou extérieur). Par exemple, dans le cas d'un véhicule à moteur thermique on a besoin de connaître le taux d'humidité (ou hygrométrie) et la température de l'air ambiant pour déterminer la concentration d'oxyde d'azote (ou N0x) généré par le moteur thermique. Il est en effet rappelé que la concentration de NOX générée par un moteur thermique est fonction de 15 l'hygrométrie (ou taux d'humidité) absolue de l'air extérieur qui alimente le moteur thermique, du type (diésel ou essence) de ce dernier, du régime en cours de ce moteur thermique, du couple produit par ce dernier, et de réglages en cours (comme par exemple l'injection). L'hygrométrie (ou taux d'humidité) absolue est principalement fonction de l'hygrométrie relative (en %) de l'air 20 extérieur, de la température de l'air extérieur, et de la pression atmosphérique locale. Actuellement, on utilise un hygromètre (ou capteur d'hygrométrie) pour mesurer l'hygrométrie relative ambiante, et un thermomètre (ou sonde de température) pour mesurer la température ambiante. 25 Comme le sait l'homme de l'art, de nombreuses technologies différentes permettent de mesurer l'hygrométrie, tout comme de nombreuses technologies différentes permettent de mesurer la température. Cependant, il n'existe pas actuellement de dispositif de mesure tout intégré utilisant une même technologie pour mesurer sensiblement simultanément l'hygrométrie et la 30 température. Il en résulte que les dispositifs de mesure qui mesurent simultanément l'hygrométrie et la température sont relativement encombrants et/ou relativement onéreux, ce qui limite notablement leur champ d'application. 2 L'invention a notamment pour but d'améliorer la situation. Elle propose notamment à cet effet un dispositif de mesure comprenant : - un support sur lequel sont installés, d'une part, un premier oscillateur, 5 comprenant une première micro-poutre sensible à la température et excitée par deux électrodes à une première fréquence de résonance fr1, et délivrant un premier signal sl représentatif d'une première fréquence de vibration fvl de la première micro-poutre en présence d'un air ambiant, et, d'autre part, un second oscillateur, comprenant une seconde micro-poutre sensible au taux d'humidité et excitée par deux électrodes à une seconde fréquence de résonance fr2, et délivrant un second signal s2 représentatif d'une seconde fréquence de vibration fv2 de la seconde micro-poutre en présence de l'air ambiant, et - un calculateur déterminant une première valeur vl représentative d'une température de l'air ambiant en fonction du premier signal délivré si, et une seconde valeur v2 représentative d'un taux d'humidité de l'air ambiant en fonction du second signal s2 délivré et de cette première valeur vl. On dispose ainsi d'un dispositif de mesure tout intégré qui utilise avantageusement une même technologie, à savoir des oscillateurs à micro- poutre, pour mesurer, éventuellement simultanément, l'hygrométrie et la température. Le dispositif de mesure selon l'invention peut comporter d'autres caractéristiques qui peuvent être prises séparément ou en combinaison, et notamment : - la première micro-poutre peut être agencée de manière à avoir une première fréquence de vibration fvl fonction de la première fréquence de résonance fr1, connue pour une température de référence correspondant à une élasticité de référence et pour un taux d'humidité de référence, et de l'élasticité qu'elle présente en présence de l'air ambiant ; > la première fréquence de vibration -Rd peut être liée à la température T de l'air ambiant par une régression linéaire de type fvl = C*T + D, où C et D sont deux constantes appartenant à l'ensemble des réels et fonction de la 3 première micro-poutre ; - la première micro-poutre peut être logée dans un réceptacle clos, conducteur thermiquement et contenant un taux d'humidité de référence ; - il peut comprendre des moyens de chauffage électrique chauffant la seconde s micro-poutre à une température de référence ; la seconde micro-poutre peut être agencée de manière à avoir une seconde fréquence de vibration fv2 fonction de la seconde fréquence de résonance fr2, connue pour un taux d'humidité de référence pour une température de référence, et d'une masse qu'elle porte en présence de l'air ambiant ; 10 la seconde fréquence de vibration fv2 peut être liée au taux d'humidité relatif hr de l'air ambiant par une régression linéaire de type fv2 = A*hr + B, où A et B sont deux constantes appartenant à l'ensemble des réels et fonction de la seconde micro-poutre ; - la seconde micro-poutre peut être logée dans un réceptacle maintenu à la 15 température de l'air ambiant et alimenté en air ambiant. L'invention propose également un véhicule, éventuellement de type automobile, et comprenant un dispositif de mesure du type de celui présenté ci-avant. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à 20 l'examen de la description détaillée ci-après, et des dessins annexés, sur lesquels : la figure 1 illustre schématiquement et fonctionnellement un exemple de réalisation d'un dispositif de mesure selon l'invention, - la figure 2 illustre schématiquement, dans une vue en perspective, un 25 exemple de réalisation d'une micro-poutre destinée à faire partie d'un premier oscillateur d'un dispositif de mesure selon l'invention, - la figure 3 illustre schématiquement, dans une vue du dessus, une variante de réalisation d'une partie du dispositif de mesure de la figure 1 comprenant les première et seconde micro-poutres implantées dans des réceptacles, 30 la figure 4 illustre schématiquement au sein d'un diagramme un exemple d'évolution de la fréquence de résonance d'une première micro-poutre d'un premier oscillateur d'un dispositif de mesure selon l'invention, en fonction de 4 la température (en °C), en présence d'un taux d'humidité relatif égal à 60%, et - la figure 5 illustre schématiquement au sein d'un diagramme un exemple d'évolution de la fréquence de résonance d'une seconde micro-poutre d'un 5 second oscillateur d'un dispositif de mesure selon l'invention, en fonction du taux d'humidité relatif (en %), en présence d'une température égale à 25°C. L'invention a notamment pour but de proposer un dispositif de mesure DM tout intégré, utilisant des oscillateurs Oj à micro-poutre MPj, réalisés dans une même technologie, pour mesurer, éventuellement simultanément, lo l'hygrométrie et la température de l'air ambiant. Dans ce qui suit, on considère, à titre d'exemple non limitatif, que le dispositif de mesure DM est destiné à équiper un véhicule automobile, comme par exemple une voiture. Mais l'invention n'est pas limitée à cette application. Elle concerne en effet tout équipement, appareil (y compris grand public), 15 installation (éventuellement industrielle), bâtiment, ou véhicule (terrestre, maritime (ou fluvial) ou aérien), par exemple, et plus généralement tout « système » ayant besoin de déterminer l'hygrométrie et la température de l'air ambiant. Ainsi, elle concerne également les stations météorologiques. On a schématiquement et fonctionnellement représenté sur la figure 1 20 un exemple de réalisation d'un dispositif de mesure DM selon l'invention. Comme illustré, un dispositif de mesure DM, selon l'invention, comprend un support SP, au moins deux oscillateurs Oj à micro-poutre MPj, et un calculateur CA. Les oscillateurs Oj sont installés fixement sur le support SP. A cet effet 25 ils sont préférentiellement réalisés sur le support SP par toute technique de micro-électronique connue de l'homme de l'art, comme par exemple une technique utilisée pour fabriquer des systèmes micro-électro-mécaniques (ou MEMS (« Micro ElectroMechanical System »)) ou de l'électronique imprimée (éventuellement définie par impression par jet d'encre ou sérigraphie, et colle 30 conductrice (déposée ou sérigraphiée)). Certaines micro-poutres peuvent être réalisées par sérigraphie et requièrent un chauffage à environ 900°C pendant plusieurs heures pour être frittées, ainsi qu'éventuellement une polarisation impliquant un chauffage à 280°C. Mais ils pourraient aussi être rapportés sur le 5 support SP, par exemple par collage ou vissage (ce qui suppose une étape de micro-usinage). Le support SP est par exemple réalisé en matériau semi-conducteur. Ainsi, il peut, par exemple, être réalisé en alumine ou en silicium. s Le premier oscillateur 01 (j = 1) comprend une première micro-poutre MP1 sensible à la température, à la place d'un traditionnel quartz. La première micro-poutre MP1 est excitée par deux électrodes El k (k = 1 ou 2) à une première fréquence de résonance fr1. Pour ce faire, on utilise deux capacités Cli et C12 couplées respectivement aux deux électrodes El k, comme c'est le o cas dans un oscillateur à quartz. Un exemple de première micro-poutre MP1 est illustré non limitativement sur la figure 2. Dans cet exemple, un plot PP, par exemple en titano zirconate de plomb (ou PZT), est solidarisé fixement sur le support SP, une électrode inférieure En est solidarisée fixement sur le plot PP, une 15 première micro-poutre MP1 (ici de forme générale rectangulaire) est partiellement suspendue au-dessus du support SP en ayant une partie solidarisée fixement sur la partie de l'électrode inférieure El 1 qui est solidarisée fixement sur le plot PP, et une électrode supérieure E12 est solidarisée fixement sur la première micro-poutre MP1. Par exemple, les électrodes inférieure El 1 20 et supérieure E12 peuvent être réalisées en or ou en argent/palladium. Le premier oscillateur 01 délivre sur une sortie un premier signal si qui est représentatif d'une première fréquence de vibration fvl de la première micro-poutre MP1 en présence de l'air ambiant (c'est-à-dire l'air qui environne cette dernière (MP1)). 25 Par exemple, et comme illustré non limitativement sur la figure 1, le premier oscillateur 01 peut comporter un amplificateur inverseur Ali ayant ses deux bornes couplées respectivement aux deux électrodes El k. Également par exemple, et comme illustré non limitativement sur la figure 1, ce premier oscillateur 01 peut aussi comprendre, en aval de l'amplificateur inverseur All, 30 un amplificateur séparateur ou tampon (ou encore « buffer ») AS1 chargé de réaliser une adaptation d'impédance entre l'amplificateur inverseur All et le calculateur CA afin qu'une modification des caractéristiques électriques de l'un n'affecte pas l'autre. Ainsi, l'amplificateur inverseur All permet d'isoler les 6 moyens d'oscillation de l'amplificateur séparateur AS1 afin que l'impédance de sortie ne perturbe pas la fréquence d'oscillation de l'amplificateur séparateur AS1. Un tel premier oscillateur 01 est connu de l'homme de l'art sous le nom 5 d'oscillateur de PIERCE. Son amplificateur inverseur Al1 a pour rôle de fournir un déphasage de 180° et ainsi un signal opposé au signal d'entrée ce qui provoque les oscillations. Les capacités C11 et C12 permettent de régler précisément la fréquence d'oscillation du premier oscillateur 01. Elles sont communément appelées capacités de charge. 10 Le second oscillateur 02 (j = 2) comprend une seconde micro-poutre MP2 sensible au taux d'humidité, à la place d'un traditionnel quartz. La seconde micro-poutre MP2 est excitée par deux électrodes E2k (k = 1 ou 2) à une seconde fréquence de résonance fr2. Pour ce faire, on utilise deux capacités C21 et C22 couplées respectivement aux deux électrodes E2k. 15 Cette seconde micro-poutre MP2 peut être similaire à celle qui est illustrée non limitativement sur la figure 2, et donc similaire à la première micro-poutre MP1. Mais elle pourrait être différente de la première micro-poutre MP1 (au moins pour ce qui concerne la forme). Le second oscillateur 02 délivre sur une sortie un second signal s2 qui 20 est représentatif d'une seconde fréquence de vibration fv2 de la seconde micro- poutre MP2 en présence de l'air ambiant. Le fonctionnement de ce second oscillateur 02 est identique à celui du premier oscillateur 01. Il peut comprendre à cet effet, comme illustré non limitativement sur la figure 1, un amplificateur inverseur Al2 ayant ses deux 25 bornes couplées respectivement aux deux électrodes E2k. Egalement par exemple, et comme illustré non limitativement sur la figure 1, ce second oscillateur 02 peut aussi comprendre, en aval de l'amplificateur inverseur Al2, un amplificateur séparateur AS2 chargé de réaliser une adaptation d'impédance entre l'amplificateur inverseur Al2 et le calculateur CA afin qu'une modification 33 des caractéristiques électriques de l'un n'affecte pas l'autre. Le calculateur CA est agencé de manière à déterminer une première valeur v1 représentative d'une température de l'air ambiant en fonction du premier signal délivré st et une seconde valeur v2 représentative d'un taux 7 d'humidité de l'air ambiant en fonction du second signal s2 délivré et de cette première valeur v1 déterminée. Le dispositif de mesure DM constitue ainsi un équipement tout intégré sur son support SP, réalisé au moyen d'une même technologie d'oscillateur à 5 micro-poutre, qui permet avantageusement de mesurer, éventuellement simultanément, l'hygrométrie et la température de l'air ambiant. Il en résulte une réduction de son encombrement et de son coût qui facilite son intégration dans de nombreux appareils (y compris grands publics), équipements, installations (éventuellement industrielles), bâtiments, et véhicules. 10 On notera que le premier signal s1 peut être directement la première fréquence de vibration fv1. Mais cela n'est pas obligatoire. Il peut en effet s'agir d'un signal analogique ou numérique à partir duquel peut être déduite la première fréquence de vibration fv1. De même, le second signal s2 peut être directement la seconde fréquence de vibration fv2. Mais cela n'est pas 15 obligatoire. Il peut en effet s'agir d'un signal analogique ou numérique à partir duquel peut être déduite la seconde fréquence de vibration fv2. De préférence le calculateur CAL détermine des première fv1 et seconde fv2 fréquences de vibration car elles sont plus robustes au bruit. On notera également que la seconde valeur v2 peut être représentative 20 d'un taux d'humidité relatif. Mais il pourrait aussi s'agir d'un taux d'humidité absolu. Par exemple, la première micro-poutre MP1 peut être agencée de manière à avoir une première fréquence de vibration fv1 fonction de la première fréquence de résonance fr1 qui est connue pour une température de référence 25 correspondant à une élasticité de référence et pour un taux d'humidité de référence, et de l'élasticité qu'elle présente en présence de l'air ambiant. La variation de la première fréquence de résonance fr1 (qui donne la première fréquence de vibration fv1) est due principalement à la variation de masse, et parfois à la variation de rigidité (ou élasticité), ainsi qu'éventuellement à d'autres 30 phénomènes. En d'autres termes, la première micro-poutre MP1 est définie de manière à présenter une grande sensibilité à la température ambiante. Par exemple, le taux d'humidité de référence peut être égal à 60% et la température de référence peut être égale à 25°C. 8 Il est rappelé que la première fréquence de résonance fr1 dans le mode longitudinal 3-1 (sens de la longueur, dans le plan) est donnée pour une i (21-1)z Ph+2Pihr Ell+2Eihr harmonique i par l'équation fo = E N, où E et El sont les ' modules de Young de premier et second matériaux (respectivement en PZT et 5 en or) de la première micro-poutre MP1 et des deux électrodes El k, p et pl sont les masses volumiques des deux matériaux précités, h et hl sont les épaisseurs des deux matériaux précités, L est la longueur libérée de la première micro-poutre MP1, le facteur 2 correspond à la présence des deux électrodes El k, et i=1 est la première fréquence de résonance fondamentale (que l'on regarde 10 quasi exclusivement car elle offre des facteurs de qualité et pics mieux isolés). Par exemple, la première fréquence de vibration fvl peut être liée à la température T de l'air ambiant par une seconde régression linéaire de type fv1 = C*T + D, où C et D sont deux constantes appartenant à l'ensemble des réels et fonction de la première micro-poutre MP1. 15 Un exemple d'évolution linéaire de la première fréquence de résonance fr1 d'une première micro-poutre PM1 d'un premier oscillateur 01 en fonction de la température (en °C), en présence d'un taux d'humidité relatif égal à 60%, est illustré non limitativement dans le diagramme de la figure 4. Afin que le taux d'humidité de l'air ambiant influence de façon 20 minimale la première fréquence de vibration fv1, la première micro-poutre MP1 peut, comme illustré non limitativement sur la figure 1, être logée dans un premier réceptacle RC1 qui est clos et conducteur thermiquement, et qui contient un taux d'humidité de référence. On comprendra que dans ce cas l'humidité ambiante n'influence pas la première micro-poutre MP1, et que la 25 température ambiante chauffe l'air qui est contenu dans le premier réceptacle RC1 via au moins sa paroi conductrice thermiquement. Il est cependant préférable de tenir compte de l'inertie thermique. Par exemple, le taux d'humidité de référence peut être égal à 60%. Par exemple, et comme illustré sur la figure 3, le premier réceptacle 30 RC1 peut comprendre une entrée ER1, qui est alimentée en gaz ayant le taux d'humidité de référence (par exemple du diazote (N2)) et ayant préalablement circulé dans un premier échangeur de chaleur EC1 afin d'être sensiblement à 9 la température de l'air ambiant, et une sortie SR1, qui est couplée à une micro-pompe (non illustrée) chargée d'aspirer le gaz (par exemple selon un flux au plus égal à environ 100 ml/minute). Le premier réceptacle RC1 peut, par exemple, être une chambre 5 micro-fluidique en polydiméthylsiloxane (ou PDMS) ou en époxy. Par exemple, la seconde micro-poutre MP2 peut être agencée de manière à avoir une seconde fréquence de vibration fv2 fonction de la seconde fréquence de résonance fr2 qui est connue pour un taux d'humidité de référence (par exemple égal à 0%) pour une température de référence, et d'une masse io qu'elle porte en présence de l'air ambiant. C'est donc la variation de masse (entre une masse de référence et la masse portée à l'instant considéré) qui induit une variation de la seconde fréquence de résonance fr2 (pour donner la seconde fréquence de vibration fv2). En d'autres termes, la seconde micro-poutre MP2 est définie de manière à présenter une grande sensibilité à la masse 15 qu'elle supporte et donc au taux d'humidité ambiant. Par exemple, le taux d'humidité de référence peut être égal à 0% et la température de référence peut être égale à 25°C. La seconde fréquence de résonance fr2 peut, par exemple, être donnée pour une harmonique i par l'équation fd = (2i, -1)fol, où fol = 4L p est la 20 première harmonique de la seconde fréquence de résonance fr2 de la seconde micro-poutre MP2 à la température de référence, E est le module de Young, p est la masse volumique du matériau dans lequel est réalisée la seconde micro-poutre MP2, et L est la longueur libérée de la seconde micro-poutre MP2. Par exemple, la seconde fréquence de vibration fv2 peut être liée au 25 taux d'humidité relatif hr de l'air ambiant par une première régression linéaire de type fv1 = A*hr + B, où A et B sont deux constantes appartenant à l'ensemble des réels et fonction de la seconde micro-poutre MP2. On corrige ensuite en fonction de la température ambiante qui a été déterminée par le calculateur via la sortie du premier oscillateur 01. 30 Un exemple d'évolution linéaire de la seconde fréquence de résonance fr2 d'une seconde micro-poutre PM2 d'un second oscillateur 02 en fonction du taux d'humidité relatif (en %), en présence d'une température égale à 25°C, est 10 illustré non limitativement dans le diagramme de la figure 5. Afin que la température de l'air ambiant influence de façon minimale la seconde fréquence de vibration fv2, le dispositif de mesure DM peut comprendre des moyens de chauffage électrique chauffant la seconde micro- s poutre MP2 à une température de référence. Ces moyens de chauffage électrique (non représentés) peuvent, par exemple, être agencés sous la forme d'une résistance électrique intégrée et définie sous ou à côté de (éventuellement de part et d'autre) la seconde micro-poutre MP2. On peut également sérigraphier des microfours directement sous les micro-poutres ou sur le o support (ou substrat SP). En variante, et comme illustré sur la figure 3, la seconde micro-poutre MP2 peut être logée dans un second réceptacle RC2 qui est maintenu à la température ambiante et alimenté en air ambiant. Par exemple, et comme illustré sur la figure 3, le second réceptacle RC2 peut comprendre une entrée 15 ER2, qui est alimentée en air ambiant et ayant préalablement circulé dans un deuxième échangeur de chaleur EC2 afin d'être sensiblement à la température de l'air ambiant, et une sortie SR2, qui est couplée à une micro-pompe (non illustrée) chargée d'aspirer l'air ambiant (par exemple selon un flux au plus égal à environ 100 ml/minute). On notera que l'on peut prévoir une même micro- 23 pompe couplée aux deux sorties SR1 et SR2 des premier RC1 et second RC2 réceptacles. Le second réceptacle RC2 peut, par exemple, être une chambre micro-fluidique en PDMS ou en époxy. On notera également, comme illustré non limitativement sur la figure 3, 25 que l'on peut aussi prévoir un troisième échangeur de chaleur EC3 entre les premier EC1 et deuxième EC2 échangeurs de chaleur, afin d'homogénéiser encore mieux les températures dans les premier RC1 et second RC2 réceptacles. Ce troisième échangeur de chaleur EC3 peut, par exemple, être en aluminium. 30 On notera également que le calculateur CAL peut délivrer des première v1 et seconde v2 valeurs analogiques ou numériques, selon les besoins. On notera également que dans l'exemple illustré non limitativement sur la figure 1 le calculateur CAL est installé sur le support SP (et donc est 11 éventuellement de type intégré). Mais cela n'est pas obligatoire. Il pourrait en effet être extérieur au support et connecté aux sorties des premier 01 et second 02 oscillateurs. On notera également que le dispositif de mesure DM pourrait 5 éventuellement comprendre des troisième et quatrième oscillateurs à micro- poutre, réalisés dans la même technologie que les premier 01 et second 02 oscillateurs, afin d'effectuer des mesures différentielles. Le troisième oscillateur comprend alors une troisième micro-poutre sensible à la température et délivre un troisième signal comparé au premier signal s1, et le quatrième oscillateur o comprend une quatrième micro-poutre sensible au taux d'humidité REVENDICATIONS1. Dispositif de mesure (DM), caractérisé en ce qu'il comprend i) un support (SP) sur lequel sont installés a) un premier oscillateur (01), comprenant une première micro-poutre (MP1) sensible à la température et excitée par deux électrodes (El k) à une première fréquence de résonance fr1, et délivrant un premier signal s1 représentatif d'une première fréquence de vibration fv1 de ladite première micro-poutre (MP1) en présence d'un air ambiant, et b) un second oscillateur (02), comprenant une seconde micro-poutre (MP2) sensible au taux d'humidité et excitée par deux électrodes (E2k) à une seconde fréquence de résonance fr2, et délivrant un second signal s2 représentatif d'une seconde fréquence de vibration fv2 de ladite seconde micro-poutre (MP2) en présence dudit air ambiant, et ii) un calculateur (CA) déterminant une première valeur v1 représentative d'une température dudit air ambiant en fonction dudit premier signal délivré st et une seconde valeur v2 représentative d'un taux d'humidité dudit air ambiant en fonction dudit second signal s2 délivré et de cette première valeur (v1) déterminée. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite première micro-poutre (MP1) est agencée de manière à avoir une première fréquence de vibration fv1 fonction de ladite première fréquence de résonance fr1, connue pour une température de référence correspondant à une élasticité de référence et pour un taux d'humidité de référence, et de l'élasticité qu'elle présente en présence dudit air ambiant. 3. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que ladite première fréquence de vibration fv1 est liée à ladite température T de l'air ambiant par une régression linéaire de type fv1 = C*T + D, où C et D sont deux constantes appartenant à l'ensemble des réels et fonction de ladite première micro-poutre (MP1). 4. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que ladite première micro-poutre (MP1) est logée dans un réceptacle (RC1) clos, conducteur thermiquement et contenant un taux d'humidité de référence. 5. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens de chauffage électrique chauffant ladite seconde micro- 13 poutre (MP2) à une température de référence. 6. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que ladite seconde micro-poutre (MP2) est agencée de manière à avoir une seconde fréquence de vibration fv2 fonction de ladite seconde fréquence de résonance 5 fr2, connue pour un taux d'humidité de référence pour une température de référence, et d'une masse qu'elle porte en présence dudit air ambiant. 7. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que ladite seconde fréquence de vibration fv2 est liée au taux d'humidité relatif hr dudit air ambiant par une régression linéaire de type fv2 = A*hr + B, où A et B sont deux o constantes appartenant à l'ensemble des réels et fonction de ladite seconde micro-poutre (MP2). 8. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que ladite seconde micro-poutre (MP2) est logée dans un réceptacle (RC2) maintenu à ladite température de l'air ambiant et alimenté en air ambiant. 15 9. Véhicule, caractérisé en ce qu'il comprend un dispositif de mesure (DM) selon l'une des revendications précédentes. 10. Véhicule selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il est de type automobile.