Brevet FR3076954A1 — publié le 20190719

TITRE DISPOSITIF OPTIQUE DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE La présente invention concerne un dispositif optique pourvu d'un guide d'onde et d'un actionneur destiné à en modifier l'indice de réfraction. En particulier, la présente invention concerne un agencement de l'actionneur permettant d'exercer une contrainte plus importante sur le guide d'onde comparativement aux agencements connus de l'état de la technique. ART ANTÉRIEUR L'essor des technologies optiques ne fait aujourd'hui aucun doute. Ces dernières permettent de répondre à des demandes de dispositifs optiques de plus en plus performants, notamment des Imageurs ou des LIDAR (« Light Detection And Ranging systems »). De tels dispositifs sont généralement pourvus de guides d'onde destinés à guider des rayonnements lumineux vers une cible. En particulier, les rayonnements lumineux doivent balayer les surfaces des cibles afin de les détecter et/ou d'en reconstituer une image. Par exemple, un dispositif LIDAR peut être mis en oeuvre, par exemple à bord d'un véhicule autonome, pour imager une scène (en d'autres termes une zone) d'environ 38 x 10 m2. A cet égard, ces dispositifs comprennent également des moyens de déflexion des rayonnements lumineux afin d'induire un angle de balayage auxdits rayonnements lumineux. La détection du signal réfléchit permet alors de détecter la présence d'éventuels obstacles. La figure lest un schéma représentatif du fonctionnement d'un LIDAR 1 pour la détection d'un objet 2. 2 En particulier, le LIDAR 1 comprend une source de rayonnement lumineux 3, notamment un LASER, un ensemble opto-mécanique 4 destiné à induire un angle de balayage au rayonnement lumineux, et un détecteur 5 destiné à collecter le rayonnement lumineux réfléchit par l'objet 2. 5 Dans la pratique, les guides d'onde des dispositifs optiques sont formés selon des technologies issues des techniques de micro fabrication, et notamment mettent en oeuvre les technologies silicium. En particulier, les guides d'onde peuvent comprendre du nitrure de silicium. Dans pareil cas de figure, la déflexion d'un rayonnement lumineux peut 10 faire appel à différentes solutions techniques. Ainsi, pour assurer la déflexion d'un rayonnement lumineux guidé par un tel guide d'onde, il a été proposé, dans le document [1] cité à la fin de la description, de mettre en oeuvre un effet thermo-optique via une résistance chauffante intégrée à proximité du guide d'onde. 15 L'échauffement d'un guide d'onde par la résistance chauffante permet d'induire une variation de l'indice de réfraction du guide d'onde, et ainsi générer un déphasage du rayonnement lumineux guidé par ledit guide d'onde. Cependant, cette solution technique, dès lors qu'elle induit une consommation d'énergie importante, n'est pas satisfaisante. 20 De manière alternative, des diodes PIN (décrites dans le document [2] cité à la fin de la description), destinées à injecter des porteurs libres dans le ou les guides d'onde afin d'en modifier l'indice de réfraction ont également été considérées. Toutefois, le coût associé à la fabrication de diodes PIN est trop important pour rendre cette alternative compatible avec les requis de l'industrie 25 photonique. Toujours de manière alternative, et tel que représenté à la figure 2, un miroir de déflexion 11 du rayonnement lumineux émis par un laser 12 peut être mis en oeuvre. 3 Cependant, l'intégration d'un tel miroir est difficile sur le plan technologique et représente également un coût qui n'est pas compatible avec les requis de l'industrie photonique. Par conséquent, cette alternative n'est pas non plus satisfaisante. 5 Enfin, une dernière solution technique, représentée à la figure 3 et décrite dans les documents [3] et [4] cités à la fin de la description, a également été envisagée. Cette dernière solution est basée sur l'application d'une contrainte dans le guide d'onde via un actionneur piézoélectrique, afin d'en modifier l'indice de 10 réfraction. Cette solution technique, bien qu'intéressante, ne permet d'atteindre que de relativement faibles contraintes dans le guide d'onde. Un but de la présente invention est alors de proposer un dispositif optique pourvu d'un guide d'onde et d'un actionneur permettant d'exercer de plus fortes 15 contraintes dans le guide d'onde et par voie de conséquences de plus fortes variations d'indice de réfraction. EXPOSÉ DE L'INVENTION Le but de la présente invention est, au moins en partie, atteint par un dispositif optique comprenant : 20 - un guide d'onde comprenant un coeur s'étendant selon un premier axe de symétrie XX', et encapsulé dans une couche gaine pourvue de deux faces principales essentiellement parallèles dites, respectivement, face avant et face arrière, - un actionneur d'une largeur L' disposé sur la face avant, chevauchant au moins en partie le coeur, et s'étendant selon un second axe de symétrie YY' 25 essentiellement parallèle au premier axe de symétrie XX', dès lors qu'il est soumis à un champ électrique, est destiné à imposer une contrainte mécanique au niveau du coeur afin d'en modifier l'indice de réfraction le second axe de symétrie YY' est décalé latéralement selon un décalage, dit décalage latéral, par rapport à un plan de symétrie du guide d'onde comprenant le 4 premier axe de symétrie et perpendiculaire aux faces principales de la couche gaine, et en ce que le décalage latéral est compris entre 15 % et 50% de la largeur La. Selon un mode de mise en oeuvre, le rapport entre la largeur La et la largeur du coeur est compris entre 8 et 100, avantageusement entre 15 et 100, encore 5 plus avantageusement entre 30 et 100. Selon un mode de mise en oeuvre, la largeur La est comprise entre 5 iim et 60 iim, avantageusement entre 10 iim et 60 iim, encore plus avantageusement entre 20 iim et 60 iim. Selon un mode de mise en oeuvre, l'actionneur comprend un premier 10 matériau disposé entre deux électrodes destinées à soumettre ledit actionneur au champ électrique, le premier matériau comprenant un matériau piézoélectrique ou un matériau ferroélectrique ou un matériau électrostrictif. Selon un mode de mise en oeuvre, le premier matériau comprend au moins des éléments choisi parmi : Titano-Zirconate de Plomb, nitrure d'aluminium, oxyde 15 de zinc, poly(fluorure de vinylidène), niobiate de lithium (LNO pour LiNb03), BaTiO3, PBTiO3. Selon un mode de mise en oeuvre, le guide d'onde présente une épaisseur comprise entre 1 iim et 31.J.m. Selon un mode de mise en oeuvre, la couche gaine comprend du dioxyde 20 de silicium. Selon un mode de mise en oeuvre, le coeur comprend du nitrure de silicium. Selon un mode de mise en oeuvre, le guide d'onde repose par sa face arrière sur un substrat support, avantageusement le substrat support comprend du 25 silicium. L'invention concerne également un détecteur optique mettant en oeuvre au moins un dispositif optique selon la présente invention. 5 BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS D'autres caractéristiques et avantages apparaîtront dans la description qui va suivre d'un dispositif optique selon l'invention, donnés à titre d'exemples non limitatifs, en référence aux dessins annexés dans lesquels : 5 - la figure 1 est un schéma représentatif du fonctionnement d'un LIDAR pour la détection d'un objet ; - la figure 2 est un schéma représentatif de la mise en oeuvre d'un miroir pour la déflexion d'un rayonnement lumineux selon des techniques connues de l'homme du métier ; 10 - la figure 3 est un schéma représentatif de la mise en oeuvre d'un actionneur piézoélectrique pour la génération d'une contrainte au niveau d'un guide d'onde afin d'en modifier l'indice de réfraction selon des techniques connues de l'homme du métier ; - la figure 4 est une vue en coupe du dispositif optique selon l'invention, 15 selon un plan de coupe perpendiculaire aux faces avant et arrière de la couche gaine ; - la figure 5 est une représentation graphique de la contrainte mécanique (axe verticale, contrainte de Von Mises en Mpa,) en fonction du décalage latéral D (axe horizontale, en um) obtenue par simulation par élément finis ; - les figures 6a à 6c sont une représentation schématique des 20 différentes étapes d'un procédé adapté à la formation du dispositif optique selon la présente invention. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS L'invention décrite de manière détaillée ci-dessous concerne un dispositif optique qui comprend un guide d'onde sur lequel est formé un actionneur. Ledit 25 actionneur, dès lors qu'il est soumis à un champ électrique, est destiné à imposer une contrainte mécanique au niveau du coeur afin d'en modifier l'indice de réfraction. Notamment, l'actionneur est décalé latéralement, selon un décalage dit décalage latéral compris dans une gamme prédéfinie. En particulier, le décalage latéral 6 permet d'amplifier de manière inattendue le niveau de contrainte imposé au coeur du guide d'onde. A la figure 4, on peut voir un exemple de dispositif optique 100 selon la présente invention. 5 Notamment, le dispositif optique 100 comprend un guide d'onde 200. Le guide d'onde 200 comprend en particulier un coeur 210 encapsulé dans une couche gaine 220. Par « encapsulé », on entend compris dans le volume de la couche gaine 220. 10 Il est entendu, au sens de la présente invention, que le coeur 210 présente un indice de réfraction nc supérieur à l'indice de réfraction ng de la couche gaine 220, et correspond au milieu dans lequel le rayonnement lumineux guidé par le guide d'onde 200 est confiné. La couche gaine 220 comprend deux faces principales essentiellement 15 parallèles dites, respectivement, face avant 220a et face arrière 220b. Par ailleurs, le coeur 210 s'étend selon un premier axe de symétrie XX' (le premier axe de symétrie XX' est perpendiculaire au plan de la figure 4). Par « s'étendre selon une axe de symétrie », on entend un élément qui présente généralement une forme allongée. 20 Le guide d'onde 200 peut présenter une épaisseur comprise entre 1 um et 3 um. Il est entendu que l'épaisseur du guide d'onde 200 correspond à la distance entre les faces principales 220a et 220b. Notamment, l'épaisseur du guide d'onde 200 est associée à l'épaisseur de la couche gaine 220. 25 Le guide d'onde 200 peut reposer sur un substrat support 300, notamment un substrat support fait d'un matériau semi-conducteur, en particulier en silicium. La couche gaine 220 peut comprendre du dioxyde de silicium. Le coeur 210 peut comprendre du nitrure de silicium. Le coeur 210 peut présenter une largeur comprise entre 100nm et 211m. 7 Par « largeur du guide d'onde », on entend une dimension perpendiculaire au premier axe de symétrie et dans un plan perpendiculaire à l'une ou l'autre des deux faces principales. Le dispositif optique 100 comprend également un actionneur 400, 5 disposé sur l'une ou l'autre des faces avant 220a et arrière 220b, qui chevauche au moins en partie le coeur 210. Par « chevauche au moins en partie le coeur », on entend un actionneur en regard, au moins en partie, du coeur. L'actionneur 400 s'étend selon un second axe de symétrie YY' (le second 10 axe de symétrie est perpendiculaire au plan de la figure 4) essentiellement parallèle au premier axe de symétrie XX'. L'actionneur 400 présente une largeur La. Il est entendu, sans qu'il soit nécessaire de le préciser, que la largeur La de l'actionneur 400 est mesurée selon une direction perpendiculaire au second axe de 15 symétrie et dans un plan parallèle à la face sur laquelle il repose. L'actionneur 400, dès lors qu'il est soumis à une tension électrique, est destiné à imposer une contrainte mécanique au niveau du coeur afin d'en modifier l'indice de réfraction. Selon la présente invention, le second axe de symétrie YY' est décalé 20 latéralement selon un décalage, dit décalage latéral D, par rapport à un plan de symétrie P du guide d'onde 200 comprenant le premier axe de symétrie et perpendiculaire aux faces principales de la couche gaine 220. Plus particulièrement, le décalage latéral D est compris entre 15 % et 50% de la largeur La. 25 Les inventeurs ont remarqué que pour cette gamme de décalage relatif, la contrainte mécanique subie par le guide d'onde, et en particulier le coeur 210, était bien supérieure à celle observée dans le cas d'un actionneur 400 pour lequel le décalage est nul. A titre d'exemple, la figure 5 est une représentation graphique, simulée 30 par une méthode par éléments finis, de l'évolution de la contrainte mécanique imposée à 8 un coeur 210. Pour cette simulation, le coeur 210, fait de nitrure de silicium, est enterré à une profondeur de 1 um sous la face avant 220a de la couche gaine, et présente une épaisseur et une largeur, respectivement, de l'ordre de 300 nm et de l'ordre de 600 nm. L'actionnaire 400 est fait de PZT et présente une largeur de l'ordre 5 de 30 um. Sur la figure 5, il est alors observé, pour des décalages compris entre 5 um et 20 um de part et d'autre du plan de symétrie P (zones A et B repérées sur la figure 5), une contrainte mécanique bien supérieure à celle obtenue pour un décalage latérale D nul. Cet effet, inattendu et surtout contre intuitif, permet alors d'induire une variation de 10 l'indice de réfraction du coeur 210 pour de relativement faibles tensions électriques au niveau de l'actionneur. De manière particulièrement avantageuse, le rapport entre la largeur L, et la largeur du coeur peut être compris entre 8 et 100, avantageusement entre 15 et 100, encore plus avantageusement entre 30 et 100. 15 Toujours de manière avantageuse, la largeur L, peut être comprise entre 5 um et 60 um, avantageusement entre 10 um et 60 um, encore plus avantageusement entre 20 um et 60 um. Enfin, l'actionneur 400 peut comprendre un premier matériau 410 disposé entre deux électrodes 420a et 420b destinées à soumettre le champ électrique 20 audit actionneur 400. En particulier, le premier matériau 410 peut être fait d'un matériau piézoélectrique ou d'un matériau ferroélectrique ou d'un matériau électrostrictif. Notamment, le premier matériau peut comprendre au moins des éléments choisi parmi : Titano-Zirconate de Plomb, nitrure d'aluminium, oxyde de zinc, poly(fluorure de vinylidène), le niobiate de lithium (LNO pour LiNb03), le BaTiO3, le 25 PbTiO3. L'invention concerne également un détecteur optique mettant en oeuvre au moins un dispositif optique 100. La fabrication du dispositif 100 peut être exécutée par des techniques de micro fabrication connues de l'homme du métier. 9 A cet égard, les figures 6a à 6c sont une représentation schématique des différentes étapes d'un procédé adapté à la formation du dispositif optique 100 selon la présente invention. Le procédé comprend une étape a) de formation du guide d'onde 200 5 (figure 6a). Cette étape a) peut notamment comprendre des étapes élémentaires de formation de couches d'oxyde de silicium, de nitrure de silicium, ainsi que des étapes polissage mécano-chimique, des étapes élémentaires de gravure ou encore des étapes élémentaires de définition de motif par photolithographie. En particulier, les étapes élémentaires relatives à l'étape a) peuvent 10 comprendre les étapes successives suivantes : - Formation d'une couche de Si02 de 2 11m; - Formation d'une couche de Si3N4 de 300 nm ; - Définition du coeur du guide d'onde par la combinaison d'une étape de photolithographie et d'une étape de gravure ; 15 - Formation d'une couche Si02 de 1 um d'épaisseur. - Polissage de la couche de Si02 pour la planariser Le procédé comprend également une étape b) (figure 6b) de formation de l'actionneur 400 sur la face avant 220a. Cette étape b) peut notamment comprendre des étapes élémentaires de formation de couches métalliques (par exemple du Pt et/ou 20 du Ru), une étape élémentaire de formation d'une couche du premier matériau (notamment du PZT), ainsi que des étapes élémentaires de gravure ou encore des étapes élémentaires de définition de motifs par photolithographie. En particulier, les étapes élémentaires relatives à l'étape b) peuvent comprendre les étapes successives suivantes : 25 - Formation d'une couche de dioxyde de titane de 20 nm suivie de la formation d'une couche de platine de 100 nm sur le guide d'onde formé à l'étape a) ; - Formation d'une couche de PZT de 2 11m; - Formation d'une empilement de Ruthénium et de platine, ou d'une 30 simple couche de platine de 100 nm ; 10 - Définition de l'actionneur par la combinaison d'étapes de photolithographie et de gravures, ladite définition permettant notamment de délimiter les électrodes destinées à imposer le champ électrique à l'actionneur. 5 Enfin, le procédé peut comprendre une étape c) de passivation et de prise de contacts du dispositif optique 100. Notamment, l'étape c) peut comprendre une étape élémentaire de formation d'une couche de passivation 500, par exemple une couche d'oxyde de silicium de 300 nm, en recouvrement du dispositif optique 100. 10 L'étape élémentaire de prise de contacts est, quant à elle, destinée à former des contacts électriques 600a et 600b au niveau des électrodes formées à l'étape b). L'étape élémentaire de prise de contact peut alors comprendre les étapes successives suivantes : 15 - Ouverture de contact au niveau de la couche de passivation de manière à accéder aux électrodes ; - Formation d'un empilement de titane et d'or de 500 nm, et délimitation des contacts par une combinaison d'une étape de photolithographie avec une étape de gravure. 20 Le dispositif optique selon la présente invention, et susceptible d'être obtenu par le procédé de fabrication précédemment décrit, permet ainsi de résoudre le problème technique proposé dans l'état de la technique. Notamment, la disposition relative de l'actionneur par rapport au coeur du guide d'onde permet d'exercer de plus fortes contraintes dans ledit guide d'onde et 25 par voie de conséquences de plus fortes variations d'indice de réfraction. RÉFÉRENCES [1] Acoleyen et al., "Two-Dimensional Dispersive Off-Chip Beam Scanner Fabricated on Silicon-On-insulator, IEEE Photonics Technology Letters 23, no. 17 (September 2011): 30 1270-1272; 11 [2] Abiri Behrooz et al., "Electronic Two-Dimensional Beam Steering for Integrated Optical Phased Arrays" M2K.7. OSA, 2014; [3] US 5383048; [4] Hosseini, « Stress-optic modulator in TriPlex platform using a piezoelectric lead 5 zirconate titanate (PZT) thin film », Optics express 14018, 01/06/2015. REVENDICATIONS1. Dispositif optique (100) comprenant : - un guide d'onde (200) comprenant un coeur (210) s'étendant selon un premier axe de symétrie XX', et encapsulé dans une couche gaine (220) pourvue de deux faces principales essentiellement parallèles dites, respectivement, face avant (220a) et face arrière (220b), - un actionneur (400) d'une largeur L' disposé sur la face avant, chevauchant au moins en partie le coeur (210), et s'étendant selon un second axe de symétrie YY' essentiellement parallèle au premier axe de symétrie XX', ledit actionneur (400), dès lors qu'il est soumis à un champ électrique, est destiné à imposer une contrainte mécanique au niveau du coeur (210) afin d'en modifier l'indice de réfraction, le dispositif étant caractérisé en ce que le second axe de symétrie YY' est décalé latéralement selon un décalage, dit décalage latéral D, par rapport à un plan de symétrie du guide d'onde (200) comprenant le premier axe de symétrie et perpendiculaire aux faces principales de la couche gaine (220), et en ce que le décalage latéral D est compris entre 15 % et 50% de la largeur La. 2. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel le rapport entre la largeur La et la largeur du coeur (210) est compris entre 8 et 100, avantageusement entre 15 et 100, encore plus avantageusement entre 30 et 100. 3. Dispositif selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la largeur La est comprise entre 5 um et 60 um, avantageusement entre 10 um et 60 um, encore plus avantageusement entre 20 um et 60 um. 4. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel l'actionneur (400) comprend un premier matériau disposé entre deux électrodes destinées à soumettre ledit actionneur (400) au champ électrique, le premier matériau comprenant un matériau piézoélectrique ou un matériau ferroélectrique ou un matériau électrostrictif. 13 5. Dispositif selon la revendication 4, dans lequel le premier matériau comprend au moins des éléments choisi parmi : Titano-Zirconate de Plomb, nitrure d'aluminium, oxyde de zinc, poly(fluorure de vinylidène), le niobiate de lithium (LNO pour 5 LiNb03), le BaTiO3, le PbTiO3. 6. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel le guide d'onde (200) présente une épaisseur comprise entre 1 um et 3u.m. 10 7. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel la couche gaine (220) comprend du dioxyde de silicium. 8. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel le coeur (210) comprend du nitrure de silicium. 15 9. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel le guide d'onde (200) repose par sa face arrière (220b) sur un substrat support, avantageusement le substrat support comprend du silicium. 20 10. Détecteur optique mettant en oeuvre au moins un dispositif optique (100) selon l'une des revendications 1 à 9.