Brevet FR3084518A1 — publié le 20200131

DISPOSITIF DE PRÉHENSION D'UNE STRUCTURE MONOCOUCHE OU MULTICOUCHE COMPORTANT UN ÉLÉMENT DE PRÉHENSION ROTATIF ET THERMIQUE DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE La présente invention se rapporte au domaine des dispositifs de préhension, ou encore appelés préhenseurs ou manipulateurs ou systèmes de manipulation, de substrats comprenant une ou plusieurs couches minces, notamment de structures semiconductrices monocouches ou multicouches, également dénommées « semiconductor wafers » en anglais, permettant notamment l'obtention de cellules photovoltaïques, et préférentiellement des cellules photovoltaïques dites « cristallines », c'est-à-dire qui sont à base de silicium monocristallin ou multicristallin, lorsque ces structures semiconductrices correspondent à des plaquettes de silicium. L'invention peut être mise en oeuvre pour de nombreuses applications qui impliquent la manipulation de structures monocouches ou multicouches, et particulièrement pour son utilisation sur des équipements de l'industrie photovoltaïque. L'invention propose ainsi un dispositif de préhension d'au moins une structure monocouche ou multicouche comportant un élément de préhension permettant la rotation et la régulation thermique de ladite au moins une structure, ainsi qu'un procédé de manipulation d'au moins une structure monouche ou multicouche au moyen d'un tel dispositif de préhension. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE Dans le domaine de la fabrication des cellules photovoltaïques, et en particulier des cellules photovoltaïques cristallines à base de silicium, il est nécessaire de pouvoir manipuler les plaquettes de silicium, habituellement appelées « wafers », à partir desquelles les cellules photovoltaïques sont obtenues. En particulier, des dépôts en face avant et en face arrière sur ces plaquettes ou « wafers » sont nécessaires pour les technologies photovoltaïques et semiconductrices. Les machines industrielles de dépôt sont souvent équipées de préhenseurs 2 et de courroies pour faire circuler les plaquettes, et également de roues pourvues de fentes pour réaliser le retournement des plaquettes. De nombreux préhenseurs spéciaux dans différentes formes et dimensions, et aux principes de fonctionnement variés, proposent une manipulation délicate des 5 plaquettes. Ainsi par exemple, la demande de brevet allemand DE 10 2011 051 755 Al et les demandes de brevet américain US 2002/0150456 Al et US 2003/0209014 Al enseignent des exemples de préhenseurs pour plaquettes de silicium. Toutefois, il existe encore des besoins d'amélioration des dispositifs de préhension de plaquettes existants. En particulier, il existe un besoin pour disposer d'un 10 préhenseur garantissant le maintien en température des produits manipulés. De plus, il existe également un besoin pour l'obtention d'un préhenseur rotatif permettant la réalisation de dépôts en face avant et en face arrière sur les plaquettes. EXPOSÉ DE L'INVENTION L'invention a pour but de remédier au moins partiellement aux besoins 15 mentionnés précédemment et aux inconvénients relatifs aux réalisations de l'art antérieur. L'invention a ainsi pour objet, selon l'un de ses aspects, un dispositif de préhension d'une structure (ou substrat) monocouche ou multicouche, semi-conductrice ou non, en particulier une structure semi-conductrice multicouche, notamment une 20 plaquette de silicium, notamment une plaquette de silicium permettant l'obtention de cellules photovoltaïques à base de silicium cristallin, caractérisé en ce qu'il comporte : - un corps principal, - un élément de préhension principal, solidarisé au moins en rotation au corps principal, notamment une deuxième partie du corps principal, la rotation étant possible 25 sur au moins un angle de plus ou moins 180°, soit environ 180°, notamment 180°, comprenant une face supérieure et une face inférieure, opposée à la face supérieure, l'élément de préhension principal comprenant des premiers moyens d'aspiration, configurés pour permettre la préhension d'une structure aussi bien sensiblement au contact de la face supérieure que sensiblement au contact de la face inférieure, et des 3 moyens de régulation thermique de ladite au moins une structure située sensiblement au contact de la face supérieure et/ou sensiblement au contact de la face inférieure. Par « sensiblement au contact », on entend qu'une infime distance peut séparer la structure de la face supérieure ou inférieure pour éviter un contact physique direct de l'élément de préhension principal avec la structure, susceptible de détérioration de celle-ci. Grâce à l'invention, il peut être possible de manipuler une plaquette de silicium (« wafer ») sur ses deux faces. Il est également possible de retourner la plaquette manipulée. De plus, l'invention permet une thermalisation sur les deux faces de la 10 plaquette avec une température différente. La conception d'un dispositif de préhension chauffant peut permettre le maintien en température des plaquettes manipulées, sachant que la thermique des plaquettes est un paramètre important qui influence principalement les réactions intervenant à leur surface. Il est ainsi possible de manipuler des plaquettes chaudes 15 sorties de chambres de dépôt. La perte thermique peut ainsi être limitée dans les étapes de transfert des plaquettes d'une chambre de dépôt à une autre. Le dispositif de préhension selon l'invention peut en outre comporter l'une ou plusieurs des caractéristiques suivantes prises isolément ou suivant toutes combinaisons techniques possibles. 20 De façon préférentielle, en plus d'être solidarisé en rotation au corps principal, l'élément de préhension principal peut également être solidarisé en translation au corps principal, notamment une deuxième partie du corps principal. L'élément de préhension principal peut comporter un premier bras de préhension latéral et un deuxième bras de préhension latérale, reliés entre eux et espacés 25 l'un de l'autre par le biais d'un bras central. Les premier et deuxième bras de préhension latéraux sont avantageusement espacées l'un de l'autre de sorte à définir un logement. De façon préférentielle encore, l'élément de préhension principal peut être solidarisé au corps principal, notamment une deuxième partie du corps principal, par le biais du bras central. Les bras de préhension latéraux et le bras central de l'élément de préhension principal peuvent définir sensiblement ensemble une forme de « U ». 4 Les premiers moyens d'aspiration peuvent comporter des conduits unitaires d'aspiration par effet Bernoulli. De façon avantageuse, l'élément de préhension principal comporte, sur la face supérieure et la face inférieure, des orifices au niveau de chacun des conduits unitaires. En outre, l'élément de préhension principal peut être monté en rotation sur un dispositif de rotation, notamment par le biais d'un arbre rotatif situé entre l'élément de préhension principal et le dispositif de rotation, le dispositif de rotation étant solidarisé au corps principal, notamment une deuxième partie du corps principal. Le dispositif de rotation peut être monté en translation sur le corps principal, notamment 10 une deuxième partie du corps principal, de sorte que l'élément de préhension principal est mobile en rotation et en translation relativement au corps principal, notamment relativement à une deuxième partie du corps principal. Avantageusement, le dispositif de rotation peut être pourvu d'un joint tournant pour permettre le passage d'air à destination des premiers moyens d'aspiration 15 et/ou le câblage à destination de premiers capteurs de détection. Le dispositif de rotation peut être monté en translation sur le corps principal par le biais d'une première liaison glissière formée entre le dispositif de rotation et le corps principal. Avantageusement, le corps principal peut comprendre une première partie, 20 s'étendant sensiblement selon un premier axe, solidarisée à une deuxième partie, s'étendant sensiblement selon un deuxième axe, les premier et deuxième axes étant sensiblement perpendiculaires entre eux. L'élément de préhension principal peut être solidarisé en translation et en rotation à la deuxième partie du corps principal. 25 Le dispositif de préhension peut en outre comporter un élément de préhension secondaire, solidarisé en translation à la première partie du corps principal, comprenant des deuxièmes moyens d'aspiration d'une structure, l'élément de préhension secondaire étant apte à être logé au moins partiellement dans un logement de l'élément de préhension principal. 5 La première partie et/ou la deuxième partie du corps principal peuvent présenter une forme sensiblement parallélépipédique. Elles peuvent être solidarisées entre elles de sorte à définir sensiblement, dans un plan formé par les premier et deuxième axes, une forme en « L ». La première partie et la deuxième partie du corps principal peuvent être formées par deux éléments distincts l'un de l'autre et assemblés ensemble, par exemple par collage, vissage, soudure, etc. Préférentiellement, la première partie et la deuxième partie du corps principal sont formées d'un seul tenant. L'élément de préhension secondaire peut comporter un bras de préhension 10 secondaire solidarisé en translation à la première partie du corps principal. En outre, de façon avantageuse, les premiers et/ou deuxièmes moyens d'aspiration sont des moyens d'aspiration par effet Bernoulli. Par ailleurs, l'élément de préhension secondaire peut être solidarisé en translation à la première partie du corps principal par le biais d'une deuxième liaison 15 glissière formée entre la première partie du corps principal et l'élément de préhension secondaire. L'élément de préhension secondaire peut comporter une face supérieure et une face inférieure, opposée à la face supérieure, les deuxièmes moyens d'aspiration étant au moins formés sur la face inférieure. De plus, l'élément de préhension secondaire 20 peut être apte à venir se loger au moins partiellement dans le logement de l'élément de préhension principal de sorte à assurer une sensible continuité de surface entre la face inférieure de l'élément de préhension secondaire et la face supérieure ou inférieure de l'élément de préhension principal. Par ailleurs, l'élément de préhension principal peut comporter au moins un 25 premier capteur de détection de la présence d'une structure, notamment sur au moins l'une des faces supérieure et inférieure, notamment encore sur chacune des faces supérieure et inférieure de l'élément de préhension principal. De plus, l'élément de préhension secondaire peut comporter au moins un deuxième capteur de détection de la présence d'une structure, notamment sur au moins 6 l'une des faces supérieure et inférieure, notamment encore sur chacune des faces supérieure et inférieure de l'élément de préhension secondaire. Le dispositif de préhension peut par ailleurs comporter des moyens de commande configurés pour assurer le fonctionnement des premiers moyens d'aspiration indépendamment sur la face supérieure et sur la face inférieure de l'élément de préhension principal. De plus, les moyens de régulation thermique peuvent comporter au moins une résistance électrique chauffante. Les moyens de régulation thermique peuvent en outre comporter, au niveau 10 de chacune des faces supérieure et inférieure de l'élément de préhension principal, un système à éléments thermoélectriques, notamment à éléments à effet Peltier, aptes à permettre l'obtention d'une température différente d'une structure par face de manipulation de l'élément de préhension principal. Par ailleurs, l'invention a encore pour objet, selon un autre de ses aspects, un 15 procédé de manipulation d'au moins une structure (ou substrat) monocouche ou multicouche, semi-conductrice ou non, en particulier une structure semi-conductrice multicouche, notamment une plaquette de silicium, notamment une plaquette de silicium permettant l'obtention de cellules photovoltaïques à base de silicium cristallin, au moyen d'un dispositif de préhension tel que défini précédemment, caractérisé en ce qu'il 20 comporte les étapes suivantes : - positionnement de l'élément de préhension principal relativement à une première structure, l'une des faces supérieure et inférieure de l'élément de préhension principal étant en vis-à-vis de la première structure, - activation des premiers moyens d'aspiration pour la préhension de la 25 première structure par ladite une des faces supérieure et inférieure, et activation des moyens de régulation thermique pour un maintien à une température prédéterminée de la première structure, - mise en rotation de l'élément de préhension principal sur un angle de plus ou moins 180°, soit environ 180°, notamment 180°. 7 Par ailleurs, le procédé peut également comporter les étapes ultérieures suivantes : - positionnement de l'élément de préhension principal relativement à une deuxième structure, l'autre des faces supérieure et inférieure de l'élément de préhension principal étant en vis-à-vis de la deuxième structure, - activation des premiers moyens d'aspiration pour la préhension de la deuxième structure par ladite autre des faces supérieure et inférieure, et activation des moyens de régulation thermique pour un maintien à une température prédéterminée de la deuxième structure. 10 De plus, le procédé peut comporter l'étape de maintien de la première structure et de la deuxième structure à des températures différentes. En outre, le procédé peut encore comporter les étapes ultérieures suivantes : - positionnement de l'élément de préhension secondaire relativement à la première structure dans le logement de l'élément de préhension principal, 15 - activation des deuxièmes moyens d'aspiration pour la préhension de la première structure, - arrêt de l'activation des premiers moyens d'aspiration et des moyens de régulation thermique de l'élément de préhension principal, - mise en translation de l'élément de préhension principal relativement à la 20 deuxième partie du corps principal de sorte à empêcher toute superposition de l'élément de préhension principal et de l'élément de préhension secondaire, - positionnement de la première structure portée par l'élément de préhension secondaire et arrêt de l'activation des deuxièmes moyens d'aspiration pour libérer la première structure. 25 Le dispositif de préhension et le procédé de manipulation selon l'invention peuvent comporter l'une quelconque des caractéristiques précédemment énoncées, prises isolément ou selon toutes combinaisons techniquement possibles avec d'autres caractéristiques. 8 BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS L'invention pourra être mieux comprise à la lecture de la description détaillée qui va suivre, d'un exemple de mise en oeuvre non limitatif de celle-ci, ainsi qu'à l'examen des figures, schématiques et partielles, du dessin annexé, sur lequel : 5 - la figure 1 représente, selon une vue éclatée, un exemple de dispositif de préhension conforme à l'invention, la figure 2 représente, selon une vue latérale, le dispositif de préhension de la figure 1, la figure 3 représente, selon une vue de face, le dispositif de préhension de 10 la figure 1, la figure 4 représente, selon une vue de dessous, le dispositif de préhension de la figure 1, - la figure 5 est une vue agrandie de la figure 4 sans la présence de l'élément de préhension secondaire, 15 - la figure 6 illustre le principe de rotation de l'élément de préhension principal du dispositif de préhension de la figure 1, - la figure 7 représente le dispositif de préhension de la figure 1 avec omission d'une des faces de l'élément de préhension principal pour visualiser les moyens de régulations thermique et les premiers moyens d'aspiration, 20 - les figures 8 à 20 illustrent treize étapes successives d'un procédé de manipulation d'une structure au moyen du dispositif de préhension de la figure 1, - la figure 21 est un schéma-blocs illustrant l'asservissement de la température d'une structure manipulée à l'aide du dispositif de préhension de la figure 1, - les figures 22 à 24 illustrent trois étapes successives d'un autre procédé de 25 manipulation d'une structure au moyen du dispositif de préhension de la figure 1, et - la figure 25 représente, en perspective, un exemple de machine en ligne comprenant une pluralité de dispositifs de préhension semblables à celui de la figure 1 pour la réalisation de plusieurs procédés sur une même structure en face avant et en face arrière. 9 Dans l'ensemble de ces figures, des références identiques peuvent désigner des éléments identiques ou analogues. De plus, les différentes parties représentées sur les figures ne le sont pas nécessairement selon une échelle uniforme, pour rendre les figures plus lisibles. 5 EXPOSÉ DÉTAILLÉ D'UN MODE DE RÉALISATION PARTICULIER En référence aux figures 1 à 7, on va maintenant décrire un exemple de réalisation d'un dispositif de préhension 1 conforme à l'invention. Il est à noter que, comme indiqué précédemment, le dispositif de préhension 1 est préférentiellement utilisé, mais non exclusivement, pour la manipulation de 10 structures 2 semi-conductrices monocouches ou multicouches de type « semiconductor wafers », et en particulier pour des plaquettes de silicium, notamment les plaquettes de silicium permettant l'obtention de cellules photovoltaïques à base de silicium cristallin, telles que les cellules photovoltaïque à hétérojonction ou à homojonction. Comme visible sur la figure 1 en vue éclatée, le dispositif de préhension 1 15 conforme à l'invention comporte un corps principal 3. Ce corps principal 3 comprend une première partie 3a et une deuxième partie 3b réalisées par exemple ici d'un seul tenant. La première partie 3a s'étend sensiblement selon un premier axe vertical Z et la deuxième partie 3b s'étend sensiblement selon un deuxième axe horizontal X, ces premier Z et deuxième X axes étant sensiblement perpendiculaires et s'étendant 20 respectivement selon les axes Z et X d'un repère cartésien XYZ représenté sur la figure 1. Dans cet exemple, la première partie 3a et la deuxième partie 3b présentent chacune une forme parallélépipédique. De plus, elles définissent ensemble, dans un plan XZ formé par les premier Z et deuxième X axes, une forme en « L ». Sur les faces extérieures de cette forme en « L » sont présentes des première 12 et deuxième 14 25 liaisons glissières telles que décrites par la suite. Par ailleurs, le dispositif de préhension 1 comporte un élément de préhension principal 4, qui est solidarisé en rotation et en translation à la deuxième partie 3b du corps principal 3. La rotation permise de l'élément de préhension principal 4 est d'au 10 moins un angle égal à +/- 180° de sorte à pouvoir inverser les faces supérieure 4a et inférieure 4b de l'élément de préhension principal 4. Comme visible sur la figure 2, l'élément de préhension principal 4 comporte ici un premier bras de préhension latéral 11a et un deuxième bras de préhension latérale 11b, reliés entre eux et espacés l'un de l'autre par le biais d'un bras central 11c. Ces premier 11a et deuxième 11b bras de préhension latéraux sont avantageusement espacées l'un de l'autre de sorte à définir un logement 9 dans lequel est apte à venir se placer l'élément de préhension secondaire 7 comme décrit par la suite. L'élément de préhension principal 4 est ainsi solidarisé à la deuxième partie 10 3b du corps principal 3 par le biais du bras central 11c. Comme visible sur l'ensemble des figures 1 à 7, les bras de préhension latéraux 11a, 11b et le bras central 11c de l'élément de préhension principal 4 définissent sensiblement ensemble une forme de « U ». L'élément de préhension principal 4 est monté en rotation sur un dispositif de rotation 10 par le biais d'un arbre rotatif 13, par exemple visible sur la figure 2 ou 4, situé 15 entre l'élément de préhension principal 4 et le dispositif de rotation 10. Ce dispositif de rotation 10 est lui-même solidarisé à la deuxième partie 3b du corps principal 3 par montage en translation sur cette deuxième partie 3b de sorte que l'élément de préhension principal 4 est mobile en rotation et en translation relativement à la deuxième partie 3b du corps principal 3. Le montage en translation du dispositif de 20 rotation 10 sur la deuxième partie 3b du corps principal 3 est effectué par le biais d'une première liaison glissière 12, par exemple visible sur la figure 4, formée entre le dispositif de rotation 10 et la deuxième partie 3b du corps principal 3. Ainsi, comme schématisé sur la figure 6 par la flèche R, l'élément de préhension principal 4 est apte à être entraîné en rotation autour du deuxième axe X 25 horizontal. De façon avantageuse, le dispositif de rotation 10 est en outre pourvu d'un joint tournant pour permettre le passage d'air à destination des premiers moyens d'aspiration 5 et/ou le câblage à destination de premiers capteurs de détection 16 tels que décrits par la suite. En outre, comme visible par exemple sur les figures 1 et 7, l'élément de 30 préhension principal 4 comporte des premiers moyens d'aspiration 5 configurés pour 11 permettre la préhension de la structure 2 aussi bien sensiblement au contact de la face supérieure 4a que sensiblement au contact de la face inférieure 4b de l'élément de préhension principal 4. Autrement dit, la structure 2 peut être manipulée par le biais de la face supérieure 4a ou de la face inférieure 4b. Ces premiers moyens d'aspiration 5 peuvent comprendre des conduits unitaires d'aspiration par effet Bernoulli, comme visible sur la figure 1. Alors l'élément de préhension principal 4 comporte en outre, sur la face supérieure 4a et la face inférieure 4b, des orifices 18 au niveau de chacun des conduits unitaires 5. De plus, l'élément de préhension principal 4 comporte également des moyens 10 de régulation thermique 6 de la structure 2 située sensiblement au contact de la face supérieure 4a et/ou sensiblement au contact de la face inférieure 4b. Ces moyens de régulation thermique 6 peuvent notamment permettre le maintien en température des structures manipulées. Ces moyens de régulation thermique 6 comportent ici trois résistances électriques chauffantes. Ils peuvent de plus comporter, au niveau de chacune 15 des faces supérieure 4a et inférieure 4b de l'élément de préhension principal 4, un système à éléments thermoélectriques, notamment à éléments à effet Peltier, aptes à permettre l'obtention d'une température différente d'une structure 2 par face de manipulation de l'élément de préhension principal 4. Par ailleurs, le dispositif de préhension 1 comporte également un élément de 20 préhension secondaire 7, solidarisé en translation à la première partie 3a du corps principal 3. Plus précisément, l'élément de préhension secondaire 7 comporte un bras de préhension secondaire 15 qui est solidarisé en translation à la première partie 3a du corps principal 3 par le biais d'une deuxième liaison glissière 14 formée entre la première partie 3a du corps principal 3 et l'élément de préhension secondaire 7, comme visible sur la 25 figure 3 par exemple. Cet élément de préhension secondaire 7 comporte également des deuxièmes moyens d'aspiration 8 de la structure 2. Tout comme pour les premiers moyens d'aspiration 5, ces deuxièmes moyens d'aspiration 8 peuvent être des moyens d'aspiration par effet Bernoulli. 12 Avantageusement, et comme par exemple visible sur la figure 2, l'élément de préhension secondaire 7 est apte à être logé en partie dans un logement 9 de l'élément de préhension principal 4. Plus précisément, l'élément de préhension secondaire 7 comporte une face supérieure 7a et une face inférieure 7b, opposée à la face supérieure 7a, visibles sur la figure 1, et les deuxièmes moyens d'aspiration 8 sont formés sur la face inférieure 7b. De plus, l'élément de préhension secondaire 7 est apte à venir se loger en partie dans le logement 9 de l'élément de préhension principal 4 de sorte à assurer une sensible continuité de surface entre la face inférieure 7b de l'élément de préhension secondaire 7 et la face supérieure 4a ou inférieure 4b de l'élément de préhension 10 principal 4. Par ailleurs, l'élément de préhension principal 4 comporte un premier capteur de détection 16 de la présence d'une structure 2, visible par exemple sur la figure 2, sur chacune des faces supérieure 4a et inférieure 4b de l'élément de préhension principal 4. De même, l'élément de préhension secondaire 7 comporte un deuxième 15 capteur de détection 17, visible par exemple sur la figure 2, de la présence d'une structure 2, sur chacune des faces supérieure 7a et inférieure 7b de l'élément de préhension secondaire 7. Ces premier 16 et deuxième 17 capteurs de détection permettent aux éléments de préhension principal 4 et secondaire 7 d'être actionnés une fois la présence 20 d'une structure 2 détectée. En outre, le dispositif de préhension 1 peut avantageusement comporter des moyens de commande, notamment au niveau du corps principal 3, configurés pour assurer le fonctionnement des premiers moyens d'aspiration 5 de façon indépendante entre les faces supérieure 4a et inférieure 4b de l'élément de préhension principal 4. 25 En référence maintenant aux figures 8 à 20, on va décrire un principe de fonctionnement du dispositif de préhension 1 conforme à l'invention décrit précédemment. La séquence de fonctionnement du dispositif de préhension 1 conforme à l'invention relativement à une structure 2 peut être la suivante : dans une première étape 30 illustrée sur la figure 8, un plateau 20 avec une structure 2 arrive à proximité du dispositif 13 de préhension 1 et celui-ci se positionne relativement à la structure 2, les capteurs de détection 16 et 17 permettant d'ajuster le positionnement du dispositif de préhension 1 relativement à la structure 2. Dans une étape suivante illustrée à la figure 9, le bras 15 de l'élément de préhension secondaire 7 coulisse vers le bas au niveau de la deuxième liaison glissière 14 pour venir positionner les éléments de préhension principal 4 et secondaire 7 sur la structure 2. Les premiers moyens d'aspiration 5 sont alors activés pour permettre la préhension de la structure 2. Au cours de l'étape illustrée par la figure 10, l'élément de préhension 10 secondaire 7 remonte le long du premier axe vertical Z, la structure 2 étant alors au contact seul de l'élément de préhension principal 4. L'étape suivante illustrée sur la figure 11 permet la remontée de l'ensemble du dispositif de préhension 1 par rapport au plateau 20, la structure 2 étant prise par le dispositif de préhension 1. 15 Une rotation de l'élément de préhension principal 4 est alors effectuée, comme illustré par la figure 12, de sorte que la face de l'élément de préhension principal 4 dépourvue de la structure 2 se retrouve en vis-à-vis du plateau 20. L'étape suivante illustrée par la figure 13 permet de visualiser la structure 2 retournée lors de l'étape précédente et le positionnement de l'élément de préhension 20 principal 4 relativement au plateau 20. Lors de l'étape illustrée par la figure 14, l'élément de préhension secondaire 7 est redescendu vers le bas selon le premier axe vertical Z par coulissement du bras de préhension secondaire 15 dans la deuxième liaison glissière 14, puis une activation des deuxièmes moyens d'aspiration 8 de l'élément de préhension secondaire 7 est effectuée 25 pour pouvoir manipuler la structure 2. Alors, l'élément de préhension secondaire 7, sur lequel est prise la structure 2, est monté d'une faible hauteur, de l'ordre de quelques millimètres, au cours de l'étape illustrée par la figure 15 pour l'éloigner de l'élément de préhension principal 4. 14 Au cours de l'étape illustrée par la figure 16, l'élément de préhension principal 4 est éjecté vers l'arrière, par translation le long de la première liaison glissière 12 afin de ne plus être superposé à la structure 2. L'étape illustrée par la figure 17 permet alors la descente du bras de 5 préhension secondaire 15 le long de la première partie 3a du corps principal 3 selon le premier axe Z de sorte à venir placer la structure 2 au contact du plateau 20. Une fois positionnée sur le plateau 20, comme illustrée par la figure 18, les deuxièmes moyens d'aspiration 8 sont désactivés de sorte à pouvoir relâcher la structure 2. 10 La figure 19 illustre alors le repositionnement de l'élément de préhension principal 4 au contact de l'élément de préhension secondaire 7. Enfin, au cours de l'étape illustrée par la figure 20, l'élément de préhension secondaire 7 est remonté de sorte à se dégager totalement de la structure 2. La séquence de retournement de la structure 2 est ainsi achevée. 15 Tout au cours de cette séquence, les moyens de régulation thermique 6 peuvent permettre un maintien en température souhaitée de la structure 2. Ainsi, la figure 21 permet de visualiser le principe d'asservissement de la température de la structure 2, dans lequel TcoNs correspond à une température de consigne donnée, T correspond à la température de la structure, TcAp correspond à la captation de 20 température et AT correspond au différentiel de température après mesure. En référence à présent aux figures 22 à 24, un autre principe de fonctionnement du dispositif de préhension 1 conforme à l'invention est décrit. Ainsi, le dispositif de préhension 1 peut être utilisé en double face, à savoir permettre la préhension d'une première structure 2 sur une des faces 4a, 4b de l'élément 25 de préhension principal 4 et la préhension d'une deuxième structure 2' sur l'autre des faces 4a, 4b de l'élément de préhension principal 4. Dans cette séquence, l'élément de préhension secondaire 7 peut ainsi être démonté ou éjecté, c'est-à-dire remonté au plus haut sur la première partie 3a du corps principal 3 en éloignement de l'élément de préhension principal 4. Cette utilisation peut 15 alors permettre avantageusement une diminution du temps de cycle de chargement d'un plateau 20. Ainsi, selon l'étape illustrée sur la figure 22, l'élément de préhension principal 4 permet la préhension d'une première structure 2. Puis, l'étape suivante illustrée par la figure 23 permet le retournement de l'élément de préhension principal 4, comme décrit précédemment, de sorte à ce qu'il présente sa face dépourvue de structure 2 au plateau 20. Alors, lors de l'étape illustrée par la figure 24, une deuxième structure 2' peut être saisie et manipulée par l'autre face de l'élément de préhension principal 4. 10 Il est à noter qu'il est possible d'intégrer, sur chaque face 4a, 4b de l'élément de préhension principal 4, un système à éléments à effets thermoélectriques, en particulier à effet Peltier, de sorte à avoir une température différente par face de manipulation. Par exemple, une face peut être chauffée pour une thermalisation de la structure 2 avant dépose sur le plateau 20, et une face peut être refroidie pour une 15 reprise de la structure 2 après dépôt d'un procédé de traitement de celle-ci. La figure 25 permet par ailleurs d'illustrer la possibilité d'utiliser une pluralité de dispositifs de préhension 1 conformes à l'invention dans une machine en ligne 30 à budget thermique demandant plusieurs procédés de traitement sur une même structure 2 en face avant et en face arrière. 20 Bien entendu, l'invention n'est pas limitée à l'exemple de réalisation qui vient d'être décrit. Diverses modifications peuvent y être apportées par l'homme REVENDICATIONS1. Dispositif de préhension (1) d'au moins une structure (2) monocouche ou multicouche, caractérisé en ce qu'il comporte : - un corps principal (3), - un élément de préhension principal (4), solidarisé au moins en rotation au corps principal (3), la rotation étant possible sur au moins un angle de plus ou moins 180°, comprenant une face supérieure (4a) et une face inférieure (4b), opposée à la face supérieure (4a), l'élément de préhension principal (4) comprenant des premiers moyens 10 d'aspiration (5), configurés pour permettre la préhension d'une structure (2) aussi bien sensiblement au contact de la face supérieure (4a) que sensiblement au contact de la face inférieure (4b), et des moyens de régulation thermique (6) de ladite au moins une structure (2) située sensiblement au contact de la face supérieure (4a) et/ou sensiblement au contact de la face inférieure (4b). 15 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément de préhension principal (4) est monté en rotation sur un dispositif de rotation (10), notamment par le biais d'un arbre rotatif (13) situé entre l'élément de préhension principal (4) et le dispositif de rotation (10), le dispositif de rotation (10) étant solidarisé 20 au corps principal (3), et en ce que le dispositif de rotation (10) est monté en translation sur le corps principal (3) de sorte que l'élément de préhension principal (4) est mobile en rotation et en translation relativement au corps principal (3). 3. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que le dispositif 25 de rotation (10) est monté en translation sur le corps principal (3) par le biais d'une première liaison glissière (12) formée entre le dispositif de rotation (10) et le corps principal (3). 4. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en 30 ce que le corps principal (3) comprend une première partie (3a), s'étendant sensiblement 17 selon un premier axe (Z), solidarisée à une deuxième partie (3b), s'étendant sensiblement selon un deuxième axe (X), les premier (Z) et deuxième (X) axes étant sensiblement perpendiculaires entre eux, en ce que l'élément de préhension principal (4) est solidarisé en translation et en rotation à la deuxième partie (3b) du corps principal (3), et en ce que le dispositif de préhension (1) comporte en outre un élément de préhension secondaire (7), solidarisé en translation à la première partie (3a) du corps principal (3), comprenant des deuxièmes moyens d'aspiration (8) d'une structure (2), l'élément de préhension secondaire (7) étant apte à être logé au moins partiellement dans un logement (9) de l'élément de préhension principal (4). 10 5. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que l'élément de préhension secondaire (7) est solidarisé en translation à la première partie (3a) du corps principal (3) par le biais d'une deuxième liaison glissière (14) formée entre la première partie (3a) du corps principal (3) et l'élément de préhension secondaire (7). 15 6. Dispositif selon la revendication 4 ou 5, caractérisé en ce que l'élément de préhension secondaire (7) comporte une face supérieure (7a) et une face inférieure (7b), opposée à la face supérieure (7a), les deuxièmes moyens d'aspiration (8) étant au moins formés sur la face inférieure (7b), et en ce que l'élément de préhension 20 secondaire (7) est apte à venir se loger au moins partiellement dans le logement (9) de l'élément de préhension principal (4) de sorte à assurer une sensible continuité de surface entre la face inférieure (7b) de l'élément de préhension secondaire (7) et la face supérieure (4a) ou inférieure (4b) de l'élément de préhension principal (4). 25 7. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'élément de préhension principal (4) comporte au moins un premier capteur de détection (16) de la présence d'une structure (2), notamment sur au moins l'une des faces supérieure (4a) et inférieure (4b), notamment encore sur chacune des faces supérieure (4a) et inférieure (4b) de l'élément de préhension principal (4). 30 18 8. Dispositif selon l'une des revendications 4 à 7, caractérisé en ce que l'élément de préhension secondaire (7) comporte au moins un deuxième capteur de détection (17) de la présence d'une structure (2), notamment sur au moins l'une des faces supérieure (7a) et inférieure (7b), notamment encore sur chacune des faces supérieure (7a) et inférieure (7b) de l'élément de préhension secondaire (7). 9. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens de commande configurés pour assurer le fonctionnement des premiers moyens d'aspiration (5) indépendamment sur la face 10 supérieure (4a) et sur la face inférieure (4b) de l'élément de préhension principal (4). 10. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens de régulation thermique (6) comportent au moins une résistance électrique chauffante. 15 11. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens de régulation thermique (6) comportent, au niveau de chacune des faces supérieure (4a) et inférieure (4b) de l'élément de préhension principal (4), un système à éléments thermoélectriques, notamment à éléments à effet Peltier, 20 aptes à permettre l'obtention d'une température différente d'une structure (2) par face de manipulation de l'élément de préhension principal (4). 12. Procédé de manipulation d'au moins une structure monouche ou multicouche (2) au moyen d'un dispositif de préhension (1) selon l'une quelconque des 25 revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes : - positionnement de l'élément de préhension principal (4) relativement à une première structure (2), l'une des faces supérieure (4a) et inférieure (4b) de l'élément de préhension principal (4) étant en vis-à-vis de la première structure (2), - activation des premiers moyens d'aspiration (5) pour la préhension de 30 la première structure (2) par ladite une des faces supérieure (4a) et inférieure (4b), et 19 activation des moyens de régulation thermique (6) pour un maintien à une température prédéterminée de la première structure (2), - mise en rotation de l'élément de préhension principal (4) sur un angle de plus ou moins 180°. 13. Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce qu'il comporte en outre les étapes ultérieures suivantes : - positionnement de l'élément de préhension principal (4) relativement à une deuxième structure (2'), l'autre des faces supérieure (4a) et inférieure (4b) de 10 l'élément de préhension principal (4) étant en vis-à-vis de la deuxième structure (2'), - activation des premiers moyens d'aspiration (5) pour la préhension de la deuxième structure (2') par ladite autre des faces supérieure (4a) et inférieure (4b), et activation des moyens de régulation thermique (6) pour un maintien à une température prédéterminée de la deuxième structure (2'). 15 14. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce qu'il comporte l'étape de maintien de la première structure (2) et de la deuxième structure (2') à des températures différentes. 20 15. Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce qu'il est mis en oeuvre au moyen d'un dispositif de préhension (1) selon l'une quelconque des revendications 4 à 11 et en ce qu'il comporte les étapes ultérieures suivantes : - positionnement de l'élément de préhension secondaire (7) relativement à la première structure (2) dans le logement (9) de l'élément de préhension 25 principal (4), - activation des deuxièmes moyens d'aspiration (8) pour la préhension de la première structure (2), - arrêt de l'activation des premiers moyens d'aspiration (5) et des moyens de régulation thermique (6) de l'élément de préhension principal (4), 20 - mise en translation de l'élément de préhension principal (4) relativement à la deuxième partie (3b) du corps principal (3) de sorte à empêcher toute superposition de l'élément de préhension principal (4) et de l'élément de préhension secondaire (7), - positionnement de la première structure (2) portée par l'élément de préhension secondaire (7) et arrêt de l'activation des deuxièmes moyens d'aspiration (8) pour libérer la première structure (2).