Brevet FR3084204A1 — publié le 20200124

TITRE PROCÉDÉ D'INTÉGRATION DE STRUCTURES DANS UN SUPPORT ET DISPOSITIF ASSOCIÉ DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE La présente invention concerne un procédé d'intégration de structures dans des cavités traversantes d'un support. En particulier, l'invention concerne l'intégration de puces destinées à effectuer des analyses chimiques et/ou biologiques, dans des veines fluidiques. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE Un procédé d'intégration de structures dans un support, connu de l'état de la technique, est décrit dans les documents [1] et [2] cités à la fin de la description. Le procédé d'intégration comprend notamment les étapes suivantes : a) fournir un support pourvu de deux faces principales dites, respectivement, face avant et face arrière, le support comprenant des cavités traversantes chacune délimitée par une paroi dite paroi traversante ; b) insérer dans chacune des cavités traversantes au moins une structure, l'au moins une structure étant pourvue de deux faces, dites respectivement, première face et seconde face et reliées par un contour, l'insertion de l'au moins une structure étant exécutée de sorte que la première face et la face avant soient coplanaires, les cavités traversantes et/ou les structures étant agencées pour laisser un espace périphérique et traversant autour desdites structures, ledit espace périphérique étant délimité par la paroi traversante et le contour ; c) remplir l'espace périphérique d'un matériau de scellement de manière à maintenir les structures au support. À l'issue de l'étape c), un capot peut être disposé en recouvrement de la première face de chacune des structures. Ce capot peut notamment comprendre des canaux d'entrée et de sortie de fluide, et forme, avec la première face, une veine 2 fluidique. Les canaux d'entrée et de sortie de fluide sont agencés pour faire circuler un ou plusieurs fluides destinés à une analyse au niveau de la première face de la structure. À cet égard, les structures peuvent comprendre, au niveau de leur première face, des capteurs, notamment des capteurs biologiques par exemple destinées au séquençage de l'ADN, ou encore des capteurs chimiques. Par ailleurs, afin d'assurer un écoulement de fluide couvrant l'intégralité de la première face, le capot présente généralement une étendue supérieure à ladite première face. Plus particulièrement, le capot est également en recouvrement, au niveau de la face avant, de l'espace périphérique. 10 De cet agencement résulte une exposition du matériau de scellement aux fluides susceptibles de circuler dans la veine fluidique. Ce procédé connu de l'état de la technique n'est donc pas satisfaisant. En effet, cette exposition du matériau de scellement peut conduire à des interactions avec lesdits fluides, et ainsi perturber leur analyse. 15 Par ailleurs, une diminution de la longueur d'extension radiale afin de réduire la surface d'interaction entre le fluide et le matériau de scellement ne peut être envisagée. En effet, le matériau de scellement présente généralement une viscosité importante, et une longueur d'extension radiale minimale est requise afin de permettre l'écoulement dudit matériau dans l'espace périphérique lors de l'étape c). 20 Un but de la présente invention est alors de proposer un dispositif pourvu de structures intégrées à un support ainsi qu'un procédé d'intégration de telles structures permettant de limiter les interactions entre le matériau de scellement et le fluide à analyser. Un autre but de la présente invention est de limiter la topologie de la 25 surface formée par le matériau de scellement entre les surfaces 110 et 210, en limitant le rétreint qui se produit pendant le durcissement du matériau de scellement. Un autre but de la présente invention est également de proposer un procédé d'intégration de structures permettant de conserver la coplanarité de la première face des structures avec la face avant du support. 3 EXPOSÉ DE L'INVENTION Les buts de l'invention sont, au moins en partie, atteints par un procédé d'intégration de structures dans un support, le procédé comprenant les étapes suivantes : a) fournir un support pourvu de deux faces principales dites, 5 respectivement, face avant et face arrière, le support comprenant des cavités traversantes délimitées chacune par une paroi dite paroi traversante ; b) insérer dans chacune des cavités traversantes au moins une structure, l'au moins une structure étant pourvue de deux faces, dites respectivement, première face et seconde face reliées par un contour, l'insertion de l'au moins une 10 structure étant exécutée de sorte que la première face et la face avant soient coplanaires, les cavités traversantes et/ou les structures étant agencées pour laisser, autour de chacune des structures, un espace périphérique et traversant délimité par la paroi traversante et le contour ; c) remplir l'espace périphérique d'un matériau de scellement de 15 manière à maintenir les structures au support ; le procédé étant remarquable en ce que l'espace périphérique présente une longueur d'extension radiale qui diminue de la face arrière vers la face avant. Selon un mode de mise en oeuvre, le matériau de scellement comprend un premier matériau de scellement et un second matériau de scellement, l'étape c) 20 comprend le remplissage par le premier matériau de scellement d'une section, dite première section, de l'espace périphérique, puis par le second matériau de scellement, avantageusement différent du premier matériau de scellement, d'une autre section, dite seconde section, de l'espace périphérique. Selon un mode de mise en oeuvre, la première section est une section 25 de l'espace périphérique pour laquelle la longueur d'extension radiale est inférieure à une longueur prédéterminée, et la seconde section est une section de l'espace périphérique pour laquelle la longueur d'extension radiale est supérieure à une longueur prédéterminée. 4 Selon un mode de mise en oeuvre, pour chacun des espaces périphériques, une couche comprenant le premier matériau de scellement est également formée sur la paroi traversante et le contour au niveau de la seconde section. Selon un mode de mise en oeuvre, le premier matériau de scellement comprend au moins un des matériaux choisi parmi : colle époxy chargé ou non en grains de silice, du polyuréthane, de l'élastomère, du silicone, de l'acrylique, du méthacrylate, du polypropylène, du parylène, un siloxane, du verre ou du métal. Selon un mode de mise en oeuvre, le second matériau de scellement comprend au moins un des matériaux choisi parmi : colle époxy chargée en grains de 10 silice, du polyuréthane, de l'élastomère, du silicone, de l'acrylique, du méthacrylate, du polypropylène ou du verre fusible. Selon un mode de mise en oeuvre, la longueur d'extension radiale varie de manière continue de la face arrière vers la face avant, avantageusement pour chacun des espaces périphériques, la paroi traversante présente une inclinaison convergente de 15 la face arrière vers la face avant et/ou le contour présente une inclinaison divergente de la face arrière vers la face avant. Selon un mode de mise en oeuvre, la longueur d'extension radiale au niveau de la première section est inférieure à 50 % de la longueur d'extension radiale au niveau de la face arrière. 20 Selon un mode de mise en oeuvre, la première section présente une longueur d'extension radiale constante, dite première longueur, la première longueur étant avantageusement inférieure à 25%, préférentiellement inférieure à 10%, à la longueur d'extension radiale au niveau de la face arrière. Selon un mode de mise en oeuvre, la seconde section présente une 25 longueur d'extension radiale constante, dite seconde longueur. Selon un mode de mise en oeuvre, pour chacune des cavités traversantes, la paroi traversante présente un épaulement. Selon un mode de mise en oeuvre, le contour de chacune des structures présente un épaulement. 5 Selon un mode de mise en oeuvre, la seconde section s'étend, à partir de la face arrière, sur une profondeur correspondant à au moins la moitié de l'épaisseur du support. Selon un mode de mise en oeuvre, la longueur d'extension radiale au niveau de la face avant est comprise entre 5 pm et 100 ktm. Selon un mode de mise en oeuvre, la structure comprend, sur sa première face, au moins un site réactionnel ou un capteur, le site réactionnel et le capteur étant avantageusement destinés à des applications biologiques ou chimiques. Selon un mode de mise en oeuvre, la structure (200) comprend, sur sa 10 première face un actuateur, l'actuateur étant avantageusement destiné à émettre un rayonnement d'une longueur d'onde prédéterminé. Selon un mode de mise en oeuvre, le premier matériau est choisi de sorte à ne pas adsorber les espèces chimiques ou biologiques destinées à interagir avec le site réactionnel ou le capteur. 15 Selon un mode de mise en oeuvre, le premier matériau choisi présente un niveau de fluorescence à la longueur d'onde prédéterminée inférieur à une valeur donnée. Selon un mode de mise en oeuvre, le second matériau de scellement présente un module d'Young compris dans un intervalle à +/- 20%, avantageusement +/- 20 15%, du module d'Young du support. Selon un mode de mise en oeuvre, chaque structure comprend une première structure et une seconde structure présentant chacune une face coplanaire avec la face avant. Selon un mode de mise en oeuvre, l'étape b) est précédée d'une étape 25 d'assemblage al) de la face avant du support avec une face temporaire d'un substrat temporaire. Selon un mode de mise en oeuvre, l'étape al) est exécutée au moyen d'une couche d'adhésion formée sur la face temporaire du substrat temporaire, la couche d'adhésion comprend en particulier au moins un des matériaux choisi parmi : une résine, un film adhésif laminé, un polymère photosensible. 6 Selon un mode de mise en oeuvre, l'étape c) est suivie d'une étape d) de démontage du substrat temporaire correspondant au retrait de ce dernier. Selon un mode de mise en oeuvre, les cavités traversantes sont formées par gravure sèche ou par gravure humide. L'invention concerne également un dispositif susceptible d'être obtenu par le procédé selon la présente invention, le dispositif comprenant : a) un support pourvu de deux faces principales dites, respectivement, face avant et face arrière, le support comprenant une cavité traversante délimitée par une paroi dite paroi traversante ; 10 b) au moins une structure, l'au moins une structure étant pourvue de deux faces, dites respectivement, première face et seconde face reliées par un contour (230), l'au moins une structure étant logée dans la cavité traversante et de sorte que la première face et la face avant soient coplanaires, la cavité traversante et/ou l'au moins une structure étant agencées pour laisser, autour de la structure, un espace périphérique 15 et traversant délimité par la paroi traversante et le contour; l'espace périphérique étant rempli d'un matériau de scellement de manière à maintenir les structures au support ; le dispositif étant remarquable en ce que l'espace périphérique présente une longueur d'extension radiale qui diminue de la face arrière vers la face 20 avant. Selon un mode de mise en oeuvre, le matériau de scellement comprend un premier matériau de scellement et un second matériau de scellement, le premier matériau de scellement comblant une section, dite première section, de l'espace périphérique, et le second matériau de scellement, avantageusement différent du 25 premier matériau de scellement, comblant une autre section, dite seconde section, de l'espace périphérique. Selon un mode de mise en oeuvre, la première section est une section de l'espace périphérique pour laquelle la longueur d'extension radiale est inférieure à une longueur prédéterminée, et la seconde section est une section de l'espace périphérique 7 pour laquelle la longueur d'extension radiale est supérieure à une longueur prédéterminée. Selon un mode de mise en oeuvre, une couche comprenant le premier matériau de scellement est également formée sur la paroi traversante et le contour au niveau de la seconde section. Selon un mode de mise en oeuvre, le premier matériau de scellement comprend au moins un des matériaux choisi parmi : colle époxy chargé ou non en grains de silice, du polyuréthane, de l'élastomère, du silicone, de l'acrylique, du méthacrylate, du polypropylène, du parylène, du siloxane, du verre ou du métal. 10 Selon un mode de mise en oeuvre, le second matériau de scellement comprend au moins un des matériaux choisi parmi : colle époxy chargée en grains de silice, du polyuréthane, de l'élastomère, du silicone, de l'acrylique, du méthacrylate, du polypropylène ou du verre fusible. Selon un mode de mise en oeuvre, la longueur d'extension radiale varie 15 de manière continue de la face arrière vers la face avant, avantageusement la paroi traversante présente une inclinaison convergente de la face arrière vers la face avant et/ou le contour présente une inclinaison divergente de la face arrière vers la face avant. Selon un mode de mise en oeuvre, la longueur d'extension radiale au niveau de la première section est inférieure à 50 % de la longueur d'extension radiale au 20 niveau de la face arrière. Selon un mode de mise en oeuvre, la première section présente une longueur d'extension radiale constante, dite première longueur, la première longueur étant avantageusement inférieure à 25%, préférentiellement inférieure à 10%, à la longueur d'extension radiale au niveau de la face arrière. 25 Selon un mode de mise en oeuvre, la seconde section présente une longueur d'extension radiale constante, dite second longueur. Selon un mode de mise en oeuvre, la paroi traversante présente un épaulement. Selon un mode de mise en oeuvre, le contour présente un épaulement. 8 Selon un mode de mise en oeuvre, la seconde section s'étend, à partir de la face arrière, sur une profondeur correspondant à au moins la moitié de l'épaisseur du support. Selon un mode de mise en oeuvre, la longueur d'extension radiale au niveau de la face avant est comprise entre 5 pm et 100 ktm. Selon un mode de mise en oeuvre, le second matériau de scellement présente un module d'Young compris dans un intervalle à +/- 20%, avantageusement +/15%, du module d'Young du support. Selon un mode de mise en oeuvre, la structure comprend une première 10 structure et une seconde structure présentant chacune une face coplanaire avec la face avant du support. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS D'autres caractéristiques et avantages apparaîtront dans la description qui va suivre du procédé d'intégration de structures selon l'invention, donnés à titre 15 d'exemples non limitatifs, en référence aux dessins annexés dans lesquels : - les figures la à 1f sont des représentations schématiques des différentes étapes du procédé d'intégration de structures selon la présente invention ; - la figure 2 est une représentation schématique selon un plan de coupe du support selon une direction orthogonale à ses faces principales d'un premier 20 exemple de mise en oeuvre de la présente invention, la figure 2 représente notamment une structure insérée dans une cavité traversante ; - les figures 3a et 3b sont des représentations schématiques selon un plan de coupe du support selon une direction orthogonale à ses faces principales d'un second exemple de mise en oeuvre de la présente invention, les figures 3a et 3b 25 représentent notamment une structure insérée dans une cavité traversante. 9 EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS La présente invention concerne un procédé d'intégration de structures dans un support, et notamment du scellement, avec un matériau de scellement, desdites structures dans des cavités traversantes formées dans le support. 5 Le scellement des structures implique en particulier une mise en forme d'un espace de scellement, dit espace périphérique, ménagé entre le contour des structures et la paroi délimitant les cavités traversantes. Notamment, l'espace périphérique selon l'invention présente une longueur d'extension radiale qui diminue de la face arrière vers la face avant du support de manière à limiter l'exposition du matériau 10 de scellement au niveau de la face avant du support. Ainsi, aux figures la-1f, 2, 3a et 3b, on peut voir des exemples de mise en oeuvre du procédé d'intégration de structures dans un support. En particulier le procédé selon la présente invention comprend les étapes suivantes : 15 a) fournir un support 100 pourvu de deux faces principales dites, respectivement, face avant 110 et face arrière 120. Le support 100 comprend notamment des cavités traversantes 130 délimitées chacune par une paroi dite paroi traversante 140 (figure la). b) insérer dans chacune des cavités traversantes 140 au moins une 20 structure 200. L'au moins une structure 200 est, à cet égard, pourvue de deux faces, dites respectivement, première face 210 et seconde face 220, reliées par un contour 230. L'insertion de l'au moins une structure 200 est exécutée de sorte que la première face 210 et la face avant 110 soient coplanaires. Par ailleurs, les cavités traversantes 130 et/ou les structures 200 sont agencées pour laisser, autour de chacune des structures, un 25 espace périphérique 300 et traversant délimité par la paroi traversante 140 et le contour 230 (figures lc, 2, 3a et 3b). c) remplir l'espace périphérique 300 d'un matériau de scellement de manière à maintenir les structures 200 au support 100 (figure 1d). 10 Selon la présente invention, l'espace périphérique 300 présente une longueur d'extension radiale qui diminue de la face arrière 120 vers la face avant 110 (figures 2, 3a et 3b). En d'autres termes, un rétrécissement de l'espace périphérique 300 est observé de la face arrière 120 vers la face avant 110 (figures 2, 3a et 3b). Par « longueur d'extension radiale », on entend la distance entre la paroi traversante 140 et le contour 230 délimitant l'espace périphérique. Par ailleurs, il est entendu que, pour chaque cavité traversante 130, l'espace périphérique 300 contourne la structure, logée dans la dite cavité, dans son 10 entièreté. Le support 100 fourni à l'étape a) peut comprendre tout type de matériaux, et notamment comprendre au moins un des matériaux choisis parmi : du silicium, du verre, du polymère ou du plastique, du nitrure d'aluminium ou une céramique. 15 Le support 100 peut également comprendre un circuit imprimé (« Printed Circuit Board » ou « PCB » selon la terminologie anglo-saxonne). Le support 100 peut également comprendre une couche de passivation. Par exemple, la couche de passivation d'un support en silicium peut comprendre de l'oxyde de silicium, déposé ou obtenu par oxydation thermique, ou encore du nitrure de 20 silicium. Par « cavité traversante », on entend une cavité débouchant sur l'une et l'autre des faces avant 110 et arrière 120 du support 100. Les cavités traversantes 130 peuvent être formées par des techniques de micro fabrication connues de l'homme du métier, et peuvent plus particulièrement 25 impliquer des étapes de photo lithographie, de formation de masque dur, et de gravure liquide ou sèche. Les cavités traversantes 130 peuvent, de manière alternative être formées par des techniques de sablage, d'usinage laser ou mécanique. Ces techniques soustractives sont avantageusement mises en oeuvre dans du silicium, du verre ou un 30 polymère. 11 De manière alternative, le support 100 pourvu de la cavité traversante 130 peut être fabriqué par fabrication additive (impression 3D, injection), par exemple lorsqu'un polymère est considéré. Le support 100 peut également présenter une épaisseur comprise entre 5 200 [lm et 1000 avantageusement entre 300 pm et 800 pm, en particulier égale à 725 pm. L'étape b) comprend l'insertion de structures 200 dans les cavités traversantes 130. L'insertion des structures 200 dans lesdites cavités est notamment 10 adaptée pour, qu'à l'issue de l'étape b), la première face 210 des structures 200 soit coplanaire avec la face avant 110. L'alignement des structures 200 dans les cavités traversantes peut notamment faire intervenir des motifs d'alignement formés sur la face arrière 120 ou sur une face temporaire 410 d'un substrat temporaire 400 qui sera décrit dans la suite de la 15 description. Cet agencement est particulièrement avantageux, notamment dans le cadre d'applications fluidiques ou micro fluidiques, puisqu'il permet de limiter les perturbations d'un écoulement fluidique au niveau de la première face 210. Il peut également permettre de limiter l'interaction du matériau de scellement avec les fluides 20 ou des espèces d'intérêt véhiculées par les fluides (par exemple adsorption de protéines). Cet agencement peut aussi limiter ou supprimer la topologie pouvant advenir lors du durcissement du matériau de scellement. L'étape b) peut être précédée d'une étape d'assemblage de la face avant 110 du support 100 avec une face, dite face temporaire 410, d'un substrat 25 temporaire 400 (figure lb). Il est entendu que cet assemblage est temporaire, et que l'adhésion entre la face temporaire 410, la face avant 110 et la première face 210, ainsi que la surface en contact du matériau de scellement, est détachable. À cet égard, l'assemblage peut être obtenu par adhésion moléculaire, 30 ou par l'intermédiaire d'une couche d'adhésion formée sur la face temporaire 410. 12 La couche d'adhésion peut notamment comprendre une résine, un film adhésif laminé, un polymère photosensible. Le substrat temporaire 400 peut comprendre au moins un des matériaux choisi parmi : silicium, verre, quartz, alumine, plastique. De manière alternative, le substrat temporaire 400, au sens de la présente invention, peut être un film adhésif. La mise en oeuvre du substrat temporaire 400 permet, lors de l'insertion des structures 200 dans les cavités traversantes 130, d'assurer la coplanarité des premières faces 210 avec la face avant 110. 10 Toutefois, l'invention ne doit pas être limitée à la mise en oeuvre d'une étape d'assemblage avec le substrat temporaire. L'étape b) est alors suivie de l'étape c) de scellement des structures 200 au support 100. L'étape c) comprend notamment le remplissage de l'espace périphérique 300 par le matériau de scellement de manière à maintenir les structures 200 au support 15 100. Le remplissage peut avantageusement comprendre une étape d'injection du matériau de scellement. Le remplissage peut être exécuté en une ou plusieurs étapes. Par exemple, le matériau de scellement peut comprendre un premier 20 matériau de scellement et un second matériau de scellement. En particulier, le premier matériau de scellement peut remplir la section la plus étroite, nommée ci-après première section 300a, de l'espace périphérique 300. De manière équivalente, le second matériau de scellement peut remplir la section la plus large, nommée ci-après seconde section 300b, de l'espace périphérique 25 300. Le remplissage de l'espace périphérique par le matériau de scellement peut n'être que partiel. Par exemple, seule la première section 300a peut être remplie par le matériau de remplissage. Toujours à titre d'exemple, le remplissage de l'espace périphérique 300 par le matériau de remplissage peut être inférieur à 50%, ou encore 30 inférieur à 30%. 13 La première section 300a est une section de l'espace périphérique pour laquelle la longueur d'extension radiale est inférieure à une longueur prédéterminée, et la seconde section est une section de l'espace périphérique 300 pour laquelle la longueur d'extension radiale est supérieure à ladite longueur prédéterminée. La longueur prédéterminée est dépendante de la nature du second matériau de scellement, et notamment de sa viscosité. Plus particulièrement, plus la viscosité du second matériau de scellement est élevée plus l'espace nécessaire à l'écoulement du second matériau est important, et par voie de conséquence plus la longueur prédéterminée est importante. 10 Par exemple, la seconde section peut s'étendre, à partir de la face arrière 120, sur une profondeur correspondant à au moins la moitié de l'épaisseur du support 100. La longueur d'extension radiale au niveau de la face avant 110 peut être comprise entre 5µm et 100 km. 15 Le remplissage de la première section par le premier matériau de scellement peut être exécuté à l'aide d'une seringue, par jet de matière, par laminage sous vide ou encore par dépôt chimique en phase vapeur de parylène. Le remplissage de la seconde section par le premier ou le deuxième matériau de scellement peut être exécuté à l'aide d'une seringue, par jet de matière, par 20 laminage sous vide, par injection ou encore par moulage. Lors de l'exécution de l'étape c), pour chacun des espaces périphériques, une couche 500 comprenant le premier matériau de scellement peut également être formée sur la paroi traversante 140 et le contour 230 au niveau de la seconde section 300b (figure 3c). La couche peut notamment présenter une épaisseur 25 inférieure à 10 km. De manière avantageuse, le premier matériau de scellement comprend au moins un des matériaux choisi parmi : colle époxy chargé ou non en grains de silice, du polyuréthane, du parylène, un siloxane, de l'élastomère, du silicone, de l'acrylique, du méthacrylate, du polypropylène, du verre ou du métal. Ces matériaux peuvent être 30 judicieusement choisis pour leur faible réactivité chimique ou leur faible fluorescence. 14 Toujours de manière avantageuse, le second matériau de scellement peut comprendre au moins une des familles de matériaux choisie parmi : colle époxy chargée en grains de silice, du polyuréthane, de l'élastomère, du silicone, de l'acrylique, du méthacrylate, du polypropylène et du verre fusible. S Le second matériau de scellement peut présenter un module d'Young compris dans un intervalle de +1- 20%, avantageusement +/- 15 %, autour du module d'Young du support 100. Le second matériau de scellement peut présenter un coefficient d'expansion thermique (« CTE ») compris dans un intervalle de +/- 20%, avantageusement 10 +1- 15 %, autour du CTE du support 100. L'étape de remplissage de l'espace périphérique par le matériau de scellement peut avantageusement être suivie d'une étape, dite de durcissement, destinée à faire sécher ledit matériau. L'étape de durcissement peut par exemple impliquer un traitement thermique. 15 Si la mise en oeuvre du substrat temporaire 400 est considérée, l'étape c) est alors suivie d'une étape de démontage dudit substrat 400 (figures le et 1f). Le démontage du substrat temporaire 400 dépendra du type d'assemblage entre la face avant 110 et la face temporaire 410. En particulier, le démontage peut impliquer une contrainte mécanique 20 ou thermique, un pelage, une gravure chimique ou encore une étape d'insolation de la couche d'adhésion. La configuration de l'espace périphérique 300, et notamment son rétrécissement, permet de limiter l'exposition du matériau de scellement au niveau de la face avant, notamment l'exposition aux fluides dans le domaine des applications 25 fluidiques. Par ailleurs, l'ouverture plus importante de l'espace périphérique 300 au niveau de la face arrière 120 permet de considérer un matériau de scellement présentant une viscosité importante. 15 Selon un premier exemple de mise oeuvre illustré à la figure 2, la longueur d'extension radiale peut varier de manière continue, et notamment linéairement, de la face arrière 120 vers la face avant 110. Notamment, selon ce premier exemple, la paroi traversante 140 peut présenter une inclinaison convergente de la face arrière vers la face avant et/ou le contour peut présenter une inclinaison divergente de la face arrière vers la face avant. Par « inclinaison convergente de la face arrière vers la face avant », on entend par exemple un tronc de cône ou de pyramide. Par « inclinaison divergente de la face arrière vers la face avant », on 10 entend un tronc de cône ou de pyramide inversé. Une paroi traversante 140 présentant une inclinaison convergente peut par exemple être obtenue en formant les cavités traversantes par gravure chimique en phase liquide, par exemple avec une solution de TMAH ou de KOH. En particulier, selon ce premier exemple, la longueur d'extension radiale 15 au niveau de la première section 300a est inférieure à 50 % de la longueur d'extension radial au niveau de la face arrière 120. Selon un second exemple de mise en oeuvre, la première section 300a présente une longueur d'extension radiale constante, dite première longueur (figures 3a et 3b). 20 En particulier, la première longueur peut avantageusement être inférieure à 25%, préférentiellement inférieure à 10%, à la longueur d'extension radiale au niveau de la face arrière 120. De manière complémentaire, la seconde section 300b présente une longueur d'extension radiale constante, dite seconde longueur, supérieure à la première 25 longueur. Cette configuration peut par exemple être traduite par la présence d'un épaulement au niveau de la paroi traversante 140. De manière complémentaire ou alternative, le contour de chacune des structures présente un épaulement. 16 L'invention n'est toutefois pas limitée à ces deux exemples de réalisation. Notamment seule une section parmi la première section 300a et la seconde section 300b peut présenter une longueur d'extension radiale constante, tandis que l'autre section présente une longueur d'extension variable. Toujours dans le cadre de la présente invention, l'un et/ou l'autre du contour 230 et de la paroi traversante 140 peut présenter une pluralité d'épaulements. La structure 200 peut comprendre, sur sa première face 210, un capteur. Le capteur peut être par exemple un capteur destiné à exécuter des 10 analyses chimiques d'un fluide circulant au niveau de la première face 210. De manière alternative, le capteur peut être un capteur biologique, par exemple appliqué au séquençage des gènes. De manière avantageuse, le premier matériau peut être choisi de manière à ne pas adsorber les espèces chimiques ou biologiques destinées à interagir 15 avec le capteur. De manière alternative ou complémentaire, la structure 200 peut comprendre, sur sa première face au moins un site réactionnel, par exemple un site réactionnel destiné à exécuter des analyses biologiques ou chimiques d'un fluide circulant au niveau de la première face 210. 20 De manière avantageuse, le premier matériau peut être choisi de manière à ne pas adsorber les espèces chimiques ou biologiques destinées à interagir avec le site réactionnel. Toujours de manière alternative ou complémentaire, la structure 200 peut comprendre, sur sa première face 210, un actuateur, et notamment un actuateur 25 destiné à émettre un rayonnement d'une longueur d'onde prédéterminé. La longueur d'onde prédéterminée est par exemple une longueur d'onde comprise entre 400 nm et 780 nm. Le premier matériau choisi peut alors présenter un niveau de fluorescence à la longueur d'onde prédéterminée inférieur à une valeur donnée. 17 Quel que soit le mode de réalisation considéré le premier matériau choisi est inerte vis-à-vis de l'application visée. Par « inerte », on entend un premier matériau qui interagira de manière limitée avec un fluide circulant au niveau de la première face du capteur ou avec des espèces d'intérêt circulant dans ledit fluide. Pour des applications dans le domaine de la biologie, et notamment le séquençage de l'ADN, un premier matériau non fluorescent sera particulièrement avantageux. Toujours à titre d'exemple, pour des applications dans le domaine de la 10 chimie, le premier matériau sera choisi de manière à ne pas réagir chimiquement avec les fluides destinés à être analysés par le capteur. De manière complémentaire, chaque structure peut comprendre une première structure et une seconde structure présentant chacune une face coplanaire avec la face avant. Par exemple, la première structure peut comprendre un imager CMOS 15 et la seconde structure une source d'excitation lumineuse du type VCSEL. À l'issu du procédé selon la présente invention, un capot peut être disposé en recouvrement de la première face de chacune des structures. Ce capot peut notamment comprendre des canaux d'entrée et de sortie de fluide, et forme, avec la première face, une veine fluidique. Les canaux d'entrée et de sortie de fluide sont 20 agencés pour faire circuler un ou plusieurs fluides destinés à être analysés au niveau de la première face de la structure. La présente invention est avantageusement mise en o=uvre pour des applications micro fluidiques destinées à l'analyse chimique, biochimique, ou encore biologique de fluides. 25 RÉFÉRENCES CITEES [1] WO 2008/155231 [2] REVENDICATIONS1. Procédé d'intégration de structures (200) dans un support (100), le procédé comprenant les étapes suivantes : S a) fournir un support (100) pourvu de deux faces principales dites, respectivement, face avant (110) et face arrière (120), le support (100) comprenant des cavités traversantes (130) délimitées chacune par une paroi dite paroi traversante (140) ; b) insérer dans chacune des cavités traversantes (130) au moins une structure (200), l'au moins une structure (200) étant pourvue de deux faces, dites 10 respectivement, première face (210) et seconde face (220) reliées par un contour (230), l'insertion de l'au moins une structure (200) étant exécutée de sorte que la première face (210) et la face avant (110) soient coplanaires, les cavités traversantes (130) et/ou les structures (200) étant agencées pour laisser, autour de chacune des structures (200), un espace périphérique (300) et traversant délimité par la paroi traversante (140) et le 15 contour (230) ; c) remplir l'espace périphérique (300) d'un matériau de scellement de manière à maintenir les structures (200) au support (100) ; le procédé étant caractérisé en ce que l'espace périphérique (300) présente une longueur d'extension radiale qui diminue de la face arrière (120) vers la face 20 avant (110). 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel le matériau de scellement comprend un premier matériau de scellement et un second matériau de scellement, l'étape c) comprend le remplissage par le premier matériau de scellement 25 d'une section, dite première section (300a), de l'espace périphérique (300), puis par le second matériau de scellement, avantageusement différent du premier matériau de scellement, d'une autre section, dite seconde section (300b), de l'espace périphérique (300). S 64887 GR-G 19 3. Procédé selon la revendication 2, dans lequel la première section (300a) est une section de l'espace périphérique (300) pour laquelle la longueur d'extension radiale est inférieure à une longueur prédéterminée, et la seconde section (300h) est une section de l'espace périphérique (300) pour laquelle la longueur S d'extension radiale est supérieure à la longueur prédéterminée. 4. Procédé selon la revendication 2 ou 3, dans lequel, pour chacun des espaces périphériques (300), une couche (500) comprenant le premier matériau de scellement est également formée sur la paroi traversante (140) et le contour (230) au 10 niveau de la seconde section (300b). 5, Procédé selon l'une des revendications 2 à 4, dans lequel le premier latériau de scellement comprend au moins un des matériaux dioisi parmi colle époxy chargé ou non en grains de silice, du polyuréthane, du parylène, un siloxane, de 15 l'élastomère, du silicone, de l'acrylique, du méthacrylate, du polypropylène, du verre ou du métal. 6. Procédé selon l'une des revendications 2 à 5, dans lequel le second matériau de scellement comprend au moins un des matériaux choisi parmi : colle 20 époxy chargée en grains de silice, du polyuréthane, de l'élastomère, du silicone, de l'acrylique, du méthacrylate, du polypropylène et du verre fusible. 7. Procédé selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel la longueur d'extension radiale varie de manière continue de ia face arrière (120) vers la 25 face avant (110), avantageusement pour chacun cies espaces périphériques (300), la paroi traversante (140) présente une inclinaison convergente de la face arrière (120) vers la face avant (110) et/ou le contour (230) présente une inclinaison divergente de la face arrière (120) vers la face avant (110). S 64887 GR-G 20 8. Procédé selon les revendications 2 et 7, dans lequel la longueur d'extension radiale au niveau de la première section (300a) est inférieure à 50 % de la longueur d'extension radial au niveau de la face arrière (120). 9. Procédé selon l'une des revendications 2 à 6, dans lequel la première section (300a) présente une longueur d'extension radiale constante, dite première longueur, la première longueur étant avantageusement inférieure à 25%, préférentiellement inférieure à 10%, à la longueur d'extension radiale au niveau de la face arrière (120). 0. Procédé selon l'une des revendications 2 à 9, dans lequel la seconde section (300b) s'étend, à partir de la face arrière (120), sur une profondeur correspondant à au moins la moitié de l'épaisseur du support (100). 11. Procédé selon une des revendications 2 à 10, dans lequel la longueur d extension radiale au niveau de la face avant (110) est comprise entre 5 ktrn et 100 ti.m. 12. Procédé selon l'une des revendications 2 à 11, dans lequel le second matériau de scellement présente un module d'Young compris dans un intervalle à +1- 20%, avantageusement +7- 15%, du module d'Young du support (100). 13. Procédé selon l'une des revendications 1 à 12, dans lequel chaque structure (200) comprend une première structure (200) et une seconde structure (200) présentant chacune une face coplanaire_ avec la face avant (110). 14. Procédé selon l'une des revendications 1 à 13, dans lequel l'étape b) est précédée d'une étape d'assemblage al) de la face avant (110) du support (100) avec une face temporaire (410) d'un substrat temporaire (400). S 64887 GR-G 21 1 C. Dispositif comprenant : a) un support (100) pourvu de deux faces principales dites, respectivement, face avant (110) et face arrière (120), le support (100) comprenant une cavité traversante (130) délimitée par une paroi dite paroi traversante (140) ; S b) au moins une structure (200), l'au moins une structure (200) étant pourvue de deux faces, dites respectivement, première face (210) et seconde face (220) reliées par un contour (230), l'au moins une structure étant logée dans la cavité traversante (130) et de sorte que la première face (210) et la face avant (110) soient coplanaires, la cavité traversante (130) et/ou l'au moins une structure (200) étant 10 agencées pour laisser, autour de la structure (200), un espace périphérique (300) et traversant délimité par la paroi traversante (140) et le contour (230) l'espace périphérique étant rempli d'un matériau de scellement de manière à maintenir les structures (200) au support (100) ; le dispositif étant caractérisé en ce que l'espace périphérique (300) 15 présente une longueur d'extension radiale qui diminue de la face arrière (120) vers la face avant (110). 16. Dispositif selon la revendication 15, dans lequel le matériau de scellement comprend un premier matériau de scellement et un second matériau de 20 scellement, le premier matériau de scellement comblant une section, dite première section (300a), de l'espace périphérique (300), et le second matériau de scellement, avantageusement différent du premier matériau de scellement, comblant une autre section, dite seconde section (300b), de l'espace périphérique (300). 25 Dispositif selon la revendication 16, dans lequel la première section (300a) est une section de l'espace périphérique (300) pour laquelle la longueur d'extension radiale est inférieure à une longueur prédéterminée, et la seconde section (300b) est une section de l'espace périphérique (300) pour laquelle la longueur d'extension radiale est supérieure à une longueur prédéterminée. S 64887 GR-G 22 18. Dispositif selon la revendication 16 ou 17, dans lequel une couche (500) comprenant le premier matériau de scellement est également formée sur la paroi traversante (140) et le contour (230) au niveau de la seconde section (300b). 5 1q. Dispositif selon l'une. des revendications 16 à 18, dans lequel la longueur d'extension radiale varie de manière continue de la face arrière (120) vers la face avant (110), avantageusement la paroi traversante (140) présente une inclinaison convergente de la face arrière (120) vers la face avant (110) et/ou le contour (230) présente une inclinaison divergente de la face arrière (120) vers la face avant (110). 10 20. Dispositif selon l'une des revendications 16 à 18, dans lequel la première section (300a) présente une longueur d'extension radiale constante, dite première longueur, la première longueur étant avantageusement inférieure à 25%, préférentiellement inférieure à 10%, à la longueur d'extension radiale au niveau de la 15 face arrière (120). 21. Dispositif selon la revendication 20, dans lequel la seconde section (300b) présente une longueur d'extension radial constante, dite second longueur.