Brevet FR3083333A1 — publié le 20200103

FILTRE SPECTRAL COMPRENANT AU MOINS DEUX STRUCTURES DE FABRY-PEROT COUPLEES La présente invention concerne un filtre spectral qui comprend au moins deux structures de Fabry-Pérot couplées. Les structures de Fabry-Pérot sont très connues et très utilisées pour de nombreuses applications, notamment des applications de filtrage optique. Chaque structure de Fabry-Pérot comporte deux portions de surfaces réfléchissantes qui sont situées en vis-à-vis et parallèles, et dont l'une au moins est partiellement transmissive. La structure présente alors une résonance lorsqu'elle reçoit un rayonnement électromagnétique incident dont la longueur d'onde est variable. Cette résonance apparaît lorsque qu'une onde stationnaire qui est entretenue par le rayonnement incident à l'intérieur de la structure de Fabry-Pérot, entre ses deux portions de surfaces réfléchissantes, présente une amplitude maximale. Selon un type connu de structures de Fabry-Pérot, chaque structure est constituée par une tranchée qui est formée à partir d'une face plane d'un support métallique, par exemple en or. La direction de profondeur de la tranchée est perpendiculaire à la face du support, et la tranchée possède un profil de section rectangulaire, dans un plan perpendiculaire à la face du support, avec un fond de tranchée qui est plan et parallèle à la face du support. Alors le prolongement de la face du support à travers l'ouverture de la tranchée, et le fond de la tranchée, constituent les deux portions de surfaces réfléchissantes d'une telle structure de Fabry-Pérot. L'onde stationnaire qui est entretenue par le rayonnement incident à l'intérieur de la structure de FabryPérot est constituée de composantes d'onde qui se propagent dans la tranchée perpendiculairement à la face du support, à partir du niveau de la face du support en direction du fond de la tranchée et dans le sens inverse. La longueur d'onde de résonance est déterminée par la profondeur de la tranchée, et le facteur de qualité de cette résonance dépend notamment de la largeur de la tranchée. - 2 - L'article intitulé «High-quality-factor double Fabry-Perot plasmonic nanoresonator», de B. Fix et al., Optics Letters, Vol. 42, No. 24, pp. 5062-5065, et publié le 15 décembre 2017, décrit de disposer deux structures de FabryPérot en forme de tranchées respectives à proximité l'une de l'autre dans la 5 face d'un support commun. Il divulgue qu'une nouvelle résonance apparaît, qui peut être appelée résonance de couplage, et qui est distincte des résonances individuelles de chacune des deux structures de Fabry-Pérot. Notamment, la longueur d'onde de résonance de la résonance de couplage, appelée longueur d'onde de résonance de couplage dans la suite, est différente des longueurs 10 d'onde de résonance des résonances individuelles, appelées longueurs d'onde de résonances individuelles. Pour cela, les deux structures de Fabry-Pérot doivent être différentes, de sorte que leurs longueurs d'onde de résonances individuelles soient différentes. Alors, le facteur de qualité qui est associé à la résonance de couplage peut être supérieur, voire très supérieur, aux facteurs 15 de qualité des résonances individuelles des structures de Fabry-Pérot. Ce gain en termes de facteur de qualité peut être avantageux pour de nombreuses applications, notamment des applications de filtrage optique. Autrement dit, plusieurs structures de Fabry-Pérot appartenant à un même groupe sont portées conjointement par la face du support. Chaque 20 structure de Fabry-Pérot comprend deux portions de surfaces réfléchissantes qui sont disposées en vis-à-vis, parallèles l'une à l'autre, et séparées l'une de l'autre à l'intérieur de cette structure par un milieu diélectrique. Chacune des structures de Fabry-Pérot du groupe est dimensionnée de sorte qu'une composante d'onde de rayonnement électromagnétique puisse se propager 25 entre les deux portions de surfaces réfléchissantes de cette structure, de l'une à l'autre, et de sorte qu'une onde stationnaire résulte des réflexions multiples de la composante d'onde qui se produisent en alternance au niveau des deux portions de surfaces réfléchissantes. Une résonance individuelle de chaque structure de Fabry-Pérot correspond alors à un maximum d'amplitude de l'onde stationnaire à l'intérieur de cette structure lorsque varie une longueur d'onde d'un rayonnement électromagnétique qui est incident sur le support. En outre, l'une au moins des portions de surfaces réfléchissantes de chaque structure de Fabry-Pérot du groupe est séparée d'au moins une des - 3 - portions de surfaces réfléchissantes de chaque autre structure du même groupe par un espace intermédiaire, parallèlement à la face du support. En outre encore, au moins un paramètre qui détermine la résonance individuelle de chaque structure de Fabry-Pérot du groupe, séparément de 5 chaque autre structure de Fabry-Pérot, possède des valeurs qui sont différentes entre au moins deux des structures du même groupe. Ainsi, ces au moins deux structures ont des valeurs respectives de longueur d'onde de résonance individuelle, effectives pour le rayonnement électromagnétique incident sur le support, qui sont différentes. Simultanément, ces au moins deux 10 structures de Fabry-Pérot possèdent des valeurs respectives d'un facteur de qualité de résonance individuelle telles que, sur un axe de longueur d'onde du rayonnement incident, les intervalles suivants de résonances individuelles : [A1-(1-3/Q) ; A,; (1+3/Q;)], aient un recouvrement deux-à-deux, où i est un nombre entier qui identifie chaque structure de Fabry-Pérot à l'intérieur du 15 groupe, et À,-; et Qi sont respectivement les valeurs de longueur d'onde de résonance et de facteur de qualité de la résonance individuelle de la structure de Fabry-Pérot i. Dans ces conditions, un couplage entre deux des structures de FabryPérot du même groupe, dont les valeurs de longueur d'onde de résonance 20 individuelle sont différentes, est produit par l'espace intermédiaire qui existe entre ces deux structures. Possiblement, un matériau qui est présent dans cet espace intermédiaire peut aussi contribuer au couplage. Une condition supplémentaire pour que le couplage soit efficace, est qu'une distance de séparation entre les deux structures de Fabry-Pérot ainsi couplées, qui est 25 déterminée par leur espace intermédiaire parallèlement à la face du support, soit inférieure à une valeur de longueur d'onde de résonance relative au couplage, dite longueur d'onde de résonance de couplage, et effective pour le rayonnement électromagnétique qui est incident sur le filtre. Cette résonance de couplage résulte d'une interférence entre au moins trois ondes parmi 30 lesquelles : - 4 - - une première onde qui provient d'une réflexion du rayonnement incident sur la face du support, ou d'une transmission du rayonnement incident à travers le support ; - une deuxième onde qui émerge d'une première des structures de Fabry- 5 Pérot du groupe, et qui résulte d'une superposition de plusieurs composantes d'onde parmi lesquelles au moins une a effectué au moins un aller-retour à l'intérieur d'une seconde des structures de Fabry-Pérot du même groupe, couplée avec la première structure ; et - une troisième onde qui émerge de la seconde des structures de Fabry- -Io Pérot du groupe, et qui résulte d'une autre superposition de plusieurs autres composantes d'onde parmi lesquelles au moins une a effectué au moins un aller-retour à l'intérieur de la première des structures de Fabry-Pérot du groupe. Le support qui est ainsi muni de structures de Fabry-Pérot, dont 15 certaines sont couplées entre elles de la façon qui vient d'être décrite, possède un spectre de réflexion qui présente un minimum. Ce minimum peut être étroit, si bien que le support peut constituer un filtre spectral dont la sélectivité est améliorée par rapport aux résonances individuelles respectives des structures de Fabry-Pérot. Cette amélioration de la sélectivité du filtrage résulte du 20 couplage qui existe entre certaines des structures de Fabry-Pérot. Dans le cas de l'article de B. Fix cité plus haut, le groupe contient deux structures de Fabry-Pérot couplées, chacune de la forme d'une tranchée, et le paramètre qui détermine la longueur d'onde de résonance individuelle de chaque structure de Fabry-Pérot, séparément l'autre structure de Fabry-Pérot, 25 est la profondeur de tranchée. La valeur de la longueur d'onde de résonance de couplage est aussi déterminée par les profondeurs des tranchées, mais en plus par la distance de séparation qui existe entre ces tranchées. Or il est particulièrement difficile de maîtriser suffisamment la réalisation de telles tranchées qui sont proches l'une de l'autre, pour obtenir une valeur précise qui 30 est désirée pour la longueur d'onde de résonance de couplage. En outre, les cloisons entre tranchées voisines peuvent devenir fragiles lorsque les tranchées sont très proches. Le filtre qui est alors obtenu peut être - 5 - particulièrement sensible à des rayures accidentelles. A partir de cette situation, un but de la présente invention consiste à fournir un nouveau filtre qui comprend au moins un groupe de structures de Fabry-Pérot dont certaines sont couplées, et qui puisse être fabriqué 5 simplement et à bas coût. Un but additionnel peut être qu'un tel filtre présente une résistance supérieure, notamment contre des rayures. Pour atteindre l'un au moins de ces buts ou d'autres, un premier aspect de l'invention propose un filtre à plusieurs structures de Fabry-Pérot couplées o tel que décrit ci-dessus, mais dans lequel chaque structure de Fabry-Pérot comprend deux portions de surfaces métalliques qui sont parallèles à la face du substrat. Chaque structure de Fabry-Pérot comprend en outre un volume interne qui est limité entre ces deux portions de surfaces métalliques perpendiculairement à la face du substrat, et limité parallèlement à la face du 15 substrat entre des bords opposés de l'une au moins des deux portions de surfaces métalliques de la structure. Ces deux bords opposés déterminent les positions des portions de surfaces réfléchissantes de la structure de FabryPérot, de sorte que les composantes d'onde qui contribuent à la résonance de couplage se propagent parallèlement à la face du support à l'intérieur de 20 chacune des structures de Fabry-Pérot couplées. Un filtre conforme à l'invention peut donc être dépourvu de tranchées qui s'étendent en profondeur dans le support du filtre, si bien que sa fabrication ne nécessite pas de graver profondément ce support. En particulier, un filtre qui est conforme à l'invention peut être fabriqué en ne mettant en oeuvre que 25 des étapes de dépôt de matériaux, possiblement à travers des masques appropriés, et éventuellement des étapes de gravure des matériaux qui ont été déposés. Ce filtre peut ainsi avoir un prix de revient qui est réduit, par rapport à un filtre tel que connu de l'art antérieur à base de structures de Fabry-Pérot en forme de tranchées. 30 En particulier, un filtre qui est conforme à l'invention ne présente pas de cloisons de séparation entre des tranchées voisines, si bien qu'il possède une résistance supérieure contre des rayures involontaires. - 6 - Dans divers modes de réalisation de l'invention, le paramètre qui détermine la résonance individuelle de chaque structure de Fabry-Pérot du groupe, séparément de chaque autre structure de Fabry-Pérot de ce groupe, et qui possède des valeurs qui sont différentes entre deux des structures du 5 groupe qui sont couplées l'une avec l'autre, peut être l'un des suivants : - une largeur du volume interne de chaque structure, mesurée parallèlement à la face du support entre les portions de surfaces réfléchissantes de cette structure, - un indice de réfraction du milieu diélectrique dans le volume interne de 10 chaque structure, - un taux de remplissage et/ou une composition du milieu diélectrique dans le volume interne de chaque structure, - un coefficient d'absorption du rayonnement électromagnétique par chaque structure, 15 - ou une combinaison de plusieurs des paramètres précédents De tels modes de différenciation entre les structures de Fabry-Pérot qui sont couplées peuvent être mis en oeuvre facilement, sans augmenter significativement la complexité de fabrication ni le prix de revient du filtre. Au sein du filtre, le groupe de structures de Fabry-Pérot peut ne 20 comprendre que deux structures de Fabry-Pérot qui sont couplées l'une avec l'autre. Alternativement, il peut comprendre trois structures de Fabry-Pérot qui sont couplées entre elles par paires, produisant ainsi deux ou trois résonances de couplage, notamment selon leurs valeurs respectives de longueur d'onde de résonance individuelle. De façon générale, le groupe peut comprendre un 25 nombre quelconque de structures de Fabry-Pérot, supérieur ou égal à deux structures, produisant autant de résonances de couplage qu'il existe de paires différentes de structures de Fabry-Pérot qui sont couplées l'une avec l'autre à l'intérieur du groupe. Avantageusement, chaque structure de Fabry-Pérot du groupe, 30 notamment une épaisseur du volume interne entre les deux portions de surfaces métalliques de cette structure, mesurée perpendiculairement à la face - 7 - du support, peut être conçue pour que la valeur du facteur de qualité de résonance individuelle de cette structure soit inférieure à 20. Simultanément, le groupe de structures de Fabry-Pérot, notamment l'espace intermédiaire entre deux des structures de ce groupe qui sont couplées, peut être conçu pour 5 qu'un facteur de qualité qui est associé à la résonance de couplage soit supérieur à 20, préférablement supérieur à 70, voire supérieur à 150. De cette façon, le filtre peut avoir une sélectivité élevée, ou très élevée, produite par l'une au moins des résonances de couplage. Dans des modes de réalisation avantageux, notamment des modes de 10 réalisation qui sont faciles à mettre en oeuvre, le milieu diélectrique dans le volume interne de chaque structure de Fabry-Pérot peut être constitué par une portion respective d'une couche à faces parallèles et épaisseur uniforme, cette couche étant identique pour toutes les structures du groupe et constituée d'un matériau diélectrique solide. 15 Possiblement, un motif qui comprend les structures de Fabry-Pérot du groupe, telles que séparées par chaque espace intermédiaire entre deux de ces structures à l'intérieur du groupe, peut être répété de multiples fois sur la face du support. Alors, pour des réalisations de l'invention à motif unidimensionnel, l'une 20 au moins des portions de surfaces métalliques de chacune des structures de Fabry-Pérot peut être une face d'un ruban métallique respectif. Dans ce cas, le motif qui comprend les structures de Fabry-Pérot du groupe peut être répété de multiples fois, de préférence périodiquement, selon une direction de répétition qui est parallèle à la face du support, sous forme de rubans métalliques 25 séparés et parallèles. Alternativement, pour des réalisations de l'invention à motif bidimensionnel, l'une au moins des portions de surfaces métalliques de chaque structure de Fabry-Pérot peut posséder une forme carrée, rectangulaire, circulaire, elliptique, en croix ou en équerre, parallèlement à la face du support. 30 Dans un tel autre cas, le motif qui comprend le groupe des structures de Fabry- Pérot peut être répété de multiples fois selon deux directions de répétition qui sont distinctes et parallèles à la face du support, de préférence - 8 - périodiquement, et de préférence les deux directions de répétition étant perpendiculaires entre elles. Possiblement pour de telles réalisations de l'invention à motif bidimensionnel, le motif peut comprendre quatre structures de Fabry-Pérot qui sont disposées en matrice 2 x 2 selon les deux directions 5 de répétition, formant ainsi six paires de structures de Fabry-Pérot. Chaque paire est associée à un espace intermédiaire entre deux des structures du motif autre que l'espace intermédiaire de chaque autre paire de structures dans le motif, et certains au moins des espaces intermédiaires produisent un couplage entre les structures de la paire correspondante. 10 De façon générale, un filtre spectral qui est conforme à l'invention peut être adapté pour être utilisé en réflexion. Dans ce cas, les première, deuxième et troisième ondes sont produites par le filtre d'un côté du support par lequel le rayonnement incident arrive sur le filtre. Alternativement, d'autres filtres spectraux conformes à l'invention peuvent être adaptés pour être utilisés en 15 transmission. Le perfectionnement qui est proposé maintenant peut être adapté pour obtenir un filtre à coupure raide et/ou à fenêtre de sélection spectrale qui est élargie. Pour cela, le filtre peut comprendre en outre au moins un résonateur de Fabry-Pérot qui présente une résonance individuelle supplémentaire, 20 effective pour le rayonnement incident en plus de chaque résonance de couplage. Le résonateur de Fabry-Pérot ainsi ajouté peut être conçu pour que sa valeur de longueur d'onde de résonance individuelle soit décalée par rapport à au moins une valeur de longueur d'onde de résonance de couplage du groupe des structures de Fabry-Pérot, et que cette valeur de longueur 25 d'onde de résonance de couplage soit à l'intérieur de l'intervalle suivant de résonance individuelle du résonateur de Fabry-Pérot : [À,D.(1-10/Q0) Àro-(1+10/Qo)], où Aro et Qo sont respectivement les valeurs de longueur d'onde de résonance et de facteur de qualité pour la résonance individuelle du résonateur de Fabry-Pérot. Ainsi, un profil de réponse spectrale du filtre, en 30 fonction de la longueur d'onde du rayonnement incident, résulte d'une superposition d'au moins la résonance individuelle de chaque résonateur de Fabry-Pérot avec chaque résonance de couplage de chaque groupe de structures de Fabry-Pérot. Ce profil peut alors posséder une transition plus - 9 - raide entre un domaine spectral de coupure et un domaine spectral de fenêtre, par rapport à un filtre de référence qui comporterait le(s) même(s) résonateur(s) de Fabry-Pérot mais qui serait dépourvu des structures de FabryPérot couplées. Eventuellement, la superposition peut aussi comprendre des 5 contributions des résonances individuelles des structures de Fabry-Pérot de chaque groupe. Avantageusement, pour de tels filtres à superposition de résonances, chaque résonateur de Fabry-Pérot, notamment une épaisseur d'un volume interne de ce résonateur, mesurée perpendiculairement à une direction d'onde 10 stationnaire se produisant dans ce volume interne, peut être conçu pour que la valeur de facteur de qualité de la résonance individuelle de ce résonateur soit inférieure à 30. Simultanément, la valeur du facteur de qualité qui est associé à la longueur d'onde de résonance de couplage située dans l'intervalle [À,0-(1- 10/Q0) ; À[0 -(1+10/Q0)] peut être supérieure à 30. De cette façon, la résonance 15 de couplage modifie localement le profil spectral qui est produit par la résonance individuelle du résonateur de Fabry-Pérot. Il est ainsi possible d'élaborer, à la demande et précisément, un filtre dont le profil de réponse spectrale corresponde à un cahier des charges imposé. Possiblement, le résonateur de Fabry-Pérot peut être empilé sur l'une 20 des structures de Fabry-Pérot du groupe, selon une direction d'empilement qui est perpendiculaire à la face du support. De tels modes de réalisation de l'invention sont encore faciles à fabriquer, et peuvent permettre de réduire une réflexion résiduelle du filtre dans sa fenêtre de sélection spectrale. Avantageusement, une portion de couche métallique peut être commune au 25 résonateur de Fabry-Pérot et à la structure de Fabry-Pérot sur laquelle il est empilé. Cette portion de couche métallique commune constitue alors l'une des portions de surfaces métalliques de la structure de Fabry-Pérot concernée. Enfin, un second aspect de l'invention concerne un procédé de filtrage spectral d'un rayonnement électromagnétique, qui est mis en oeuvre en 30 utilisant au moins un filtre spectral conforme au premier aspect de l'invention. Pour cela, le rayonnement à filtrer doit avoir des valeurs de longueur d'onde qui sont plus grandes que l'espace intermédiaire, mesuré parallèlement à la face -10- du support, qui existe entre deux structures de Fabry-Pérot du filtre qui sont couplées l'une avec l'autre. Un tel procédé peut être mis en oeuvre pour une application qui est sélectionnée parmi une acquisition d'image monochromatique ou 5 multispectrale, une analyse spectroscopique, et une émission sélective de rayonnement produite par un chauffage du filtre. D'autres particularités et avantages de la présente invention apparaîtront dans la description ci-après d'exemples de réalisation non limitatifs, en référence aux dessins annexés, dans lesquels : 10 - les figures 1 a et 1 b sont des vues en section transversale de deux types de structures de Fabry-Pérot telles que connues avant la présente invention ; - la figure 2a est une vue en section transversale d'un premier mode de réalisation de l'invention, à deux structures de Fabry-Pérot par groupe ; 15 - la figure 2b est un diagramme de réflectivité obtenu pour le mode de réalisation de l'invention de la figure 2a ; - la figure 3 est un diagramme montrant des variations de facteurs de qualité pour une résonance individuelle et une résonance de couplage de structures de Fabry-Pérot ; 20 - les figures 4a et 4b correspondent aux figures 2a et 2b, respectivement, pour un deuxième mode de réalisation de l'invention, à trois structures de Fabry-Pérot par groupe ; - la figure 5 est une vue en perspective d'un troisième mode de réalisation de l'invention, à quatre structures de Fabry-Pérot par groupe ; 25 - la figure 6a est un diagramme de sélectivité spectrale pour un filtre qui est conforme à un perfectionnement de l'invention ; et - la figure 6b est une vue en section transversale du filtre de la figure 6a Pour raison de clarté, les dimensions des éléments qui sont représentés dans ces figures ne correspondent ni à des dimensions réelles ni à 30 des rapports de dimensions réels. En outre, des références identiques qui sont indiquées dans des figures différentes désignent des éléments identiques ou qui ont des fonctions identiques. On rappelle d'abord les rôles de plusieurs éléments et paramètres d'une structure de Fabry-Pérot en référence à la figure la. Conformément à 5 cette figure, une structure de Fabry-Pérot de type connu consiste en une tranchée T à profil de section rectangulaire, qui est formée dans un substrat 10 formant support. La tranchée T s'étend à partir d'une face plane S du substrat 10. Le substrat 10 est en matériau métallique, par exemple en or. La tranchée T est limitée latéralement par deux portions de surfaces métalliques opposées, 10 M1 et M2, qui relient un fond de la tranchée, noté R1, à une portion de surface R2 superposée à l'ouverture de la tranchée T dans la face S. Le volume interne de la tranchée T est ainsi limité par les portions de surfaces métalliques M1 et M2 selon une direction parallèle à la face S, et simultanément par les portions de surfaces R1 et R2 selon la direction perpendiculaire à la face S. Il est rempli 15 par un milieu diélectrique, par exemple de l'air ou un matériau solide tel que de la silice (SiO2). De façon connue, lorsqu'une onde de rayonnement électromagnétique 01 est incidente sur la face S, une onde OR est produite en réflexion, dont l'intensité dépend de l'amplitude d'une onde stationnaire qui apparaît dans la tranchée T. Cette onde stationnaire est la superposition de 20 deux composantes d'onde 01 et 02 qui se propagent en sens contraires à l'intérieur de la tranchée T, et qui sont réfléchies alternativement par les portions de surfaces R1 et R2. En outre, l'onde stationnaire est couplée à l'onde incidente 01 et à l'onde réfléchie OR à travers la portion de surface R2. Pour ce type de structures de Fabry-Pérot, la portion de surface R1 n'a qu'une 25 fonction de miroir, et la portion de surface R2 possède les deux fonctions de miroir partiellement réfléchissant et de transmission partielle entre le volume interne de la tranchée T et l'extérieur. De façon connue, la longueur d'onde de résonance d'une telle structure de Fabry-Pérot est principalement déterminée par la longueur du trajet de l'onde stationnaire dans le volume interne de la 30 tranchée T, selon la formule À. 2.nerr. h, où nerf est l'indice de réfraction effectif du milieu diélectrique dans tranchée T, et h est la profondeur de cette tranchée. Le facteur de qualité de cette structure de Fabry-Pérot dépend du taux d'occupation de la portion de surface R2 dans la face S. Autrement dit, il -12- dépend de la largeur w de la tranchée T. La figure 1 b montre un autre type connu de structure de Fabry-Pérot, qui peut être réalisé sur la face plane S du substrat 10, faisant encore fonction de support. La structure comprend maintenant un empilement, sur la face S, 5 d'une couche d'un milieu diélectrique 11 et d'une portion métallique 12. Par exemple, la couche 11 peut être en carbure de silicium (SiC) ou en silice (Si02). Elle est à faces parallèles de sorte que la portion métallique 12 ait une face M2 qui est tournée vers le substrat 10. La structure de Fabry-Pérot est alors constituée par la portion métallique 12, par la partie de la couche 11 qui 10 est recouverte par la portion 12, et par la portion de la face S qui est au droit de la portion 12. Cette portion de la face S est notée M1, car elle possède le même rôle dans la structure de Fabry-Pérot de la figure 1 b que la portion de surface métallique M1 dans la structure de Fabry-Pérot de la figure la. La face de la portion métallique 12 qui est tournée vers le substrat 10 est notée M2, 15 aussi par analogie avec la figure la. Les deux portions de surfaces qui sont issues des bords opposés B1 et B2 de la portion métallique 12, et qui sont perpendiculaires à la face S, ont des fonctions de miroirs semi-réfléchissants vis-à-vis de composantes d'onde qui se propagent parallèlement à la face S entre les portions de surfaces métalliques M1 et M2, pour former une onde 20 stationnaire. Encore par analogie avec la figure 1 a, ces composantes d'onde sont notées 01 et 02, mais elles se propagent parallèlement à la face S du substrat 10 dans le cas de la figure lb, contrairement à la figure la. Par analogie toujours, les deux portions de surfaces qui réfléchissent les composantes d'onde 01 et 02, et qui sont issues des bords B1 et B2, sont 25 encore notées R1 et R2 et appelées portions de surfaces réfléchissantes. Les composantes d'onde 01 et 02 qui forment l'onde stationnaire se propagent dans la partie de la couche 11 qui est recouverte par la portion métallique 12. Cette partie de la couche 11 constitue le volume interne de la structure de Fabry-Pérot de la figure 1 b, noté V. La longueur d'onde de résonance d'une 30 telle structure de Fabry-Pérot est encore principalement déterminée par la longueur du trajet de l'onde stationnaire dans le volume interne de la structure, correspondant maintenant à la formule À 2.neffrw, où nef, est encore l'indice de réfraction effectif du milieu diélectrique dans le volume interne, mais w -13- désigne maintenant la largeur de ce volume interne parallèlement à la face S, selon la direction de propagation des composantes d'onde 01 et 02 qui forment l'onde stationnaire. Les portions de surface R1 et R2 couplent maintenant ensemble l'onde stationnaire à l'onde incidente 01 et à l'onde 5 réfléchie OR. Il n'est pas nécessaire que la couche 11 se prolonge au-delà des portions de surfaces réfléchissantes R1 et R2, de chaque côté du volume interne V de la structure de Fabry-Pérot. Elle peut être remplacée, à l'extérieur de ce volume interne V, par de l'air ou tout autre matériau diélectrique. Le facteur de qualité de la résonance d'une telle structure de Fabry-Pérot, 10 conforme à la figure 1b, dépend de l'épaisseur h de la couche 11, c'est-à-dire de l'épaisseur du volume interne V mesurée perpendiculairement à la face S, et du (des) milieu(x) qui est (sont) présent(s) à proximité des surfaces réfléchissantes R1 et R2 à l'extérieur du volume interne V. L'invention concerne la constitution d'un filtre spectral à partir de 15 plusieurs structures de Fabry-Pérot qui sont conformes chacune à la figure 1 b. Des premiers modes de réalisation de l'invention peuvent comprendre un groupe de deux structures de Fabry-Pérot, désignées par 1 et 2 dans la figure 2a, et qui sont portées par le même support métallique 10, pouvant être en or, argent, aluminium, etc. Les deux structures 1 et 2 sont juxtaposées selon 20 une direction D, qui est parallèle à la face S du support 10 et à la direction de largeur du volume interne V de chaque structure. Chaque structure 1 (respectivement 2) comprend une portion métallique 121 (resp. 122), qui est située sur la couche de matériau diélectrique 11, celle-ci pouvant encore être en siliciure de carbone et continue sur toute la face S du support 10. Toutefois, 25 cette continuité de la couche 11 n'est pas indispensable, et il peut être avantageux pour des modes alternatifs de réalisation de l'invention, de modifier la composition de la couche 11 dans certaines zones de la face S, notamment dans le volume interne V de l'une au moins des deux structures 1 et 2, ou dans l'espace qui est intermédiaire entre ces structures. Chacune des structures 30 Fabry-Pérot 1 et 2 étant conforme à la figure 1b, les références R1, R2, M1, M2, B1 et B2 de la figure 1 b s'appliquent identiquement pour chaque structure 1 et 2 de la figure 2a. En outre, les notations suivantes concernent séparément l'une ou l'autre des deux structures 1 et 2 : -14- : la longueur d'onde de résonance individuelle de la structure de Fabry-Pérot 1, 01 : le facteur de qualité de la résonance individuelle de la structure de Fabry-Pérot 1, 5 Wi la largeur de la portion métallique 121 selon la direction D, nem : l'indice de réfraction effectif du milieu diélectrique dans le volume interne V de la structure de Fabry-Pérot 1, occupé par la couche 11 dans l'exemple considéré, : la longueur d'onde de résonance individuelle de la structure de 10 Fabry-Pérot 2, Q2 : le facteur de qualité de la résonance individuelle de la structure de Fabry-Pérot 2, w : la largeur de la portion métallique 122 selon la direction D, neff2 l'indice de réfraction effectif du milieu diélectrique dans le volume 15 interne V de la structure de Fabry-Pérot 2, occupé par la couche 11 dans l'exemple considéré, et d1_2 : la distance de séparation entre les deux structures de Fabry-Pérot 1 et 2, mesurée selon la direction D entre les portions métalliques 121 et 122. 20 Dans ces conditions : À 1 2-neff1.w1 et À,-2 2.neff2.w2. 01 et Q2 sont déterminés notamment par l'épaisseur h de la couche 11, et par son matériau à proximité des surfaces réfléchissantes R1 et R2 de chaque structure 1, 2. L'épaisseur de chaque portion métallique 121, 122 peut être 50 nm (nanomètre) par exemple, et l'épaisseur de la couche 11 de matériau diélectrique peut être 25 280 nm par exemple, ces épaisseurs étant mesurées perpendiculairement à la face S. Pour des modes de réalisation de l'invention à motif unidimensionnel, les portions métalliques 121 et 122 peuvent être des rubans qui s'étendent perpendiculairement au plan de la figure 2a, et le groupe des deux structures 30 de Fabry-Pérot 1 et 2, avec les parties associées de la couche 11 ou des -15- milieux diélectriques utilisés, peut former un motif qui est répété périodiquement selon la direction D. On décrit dans la suite une résonance de couplage que produit ce motif isolément, mais l'Homme du métier comprendra que des couplages supplémentaires peuvent apparaître entre deux structures 5 de Fabry-Pérot qui sont voisines sur la face S tout en appartenant à des répétitions différentes du motif. Les trois conditions suivantes sont nécessaires pour l'apparition de la résonance de couplage : : une différence entre les longueurs d'onde des résonances 10 individuelles des deux structures de Fabry-Pérot 1 et 2 peut résulter de deux valeurs différentes qui sont utilisées pour les largeurs de rubans w1 et w2. Par exemple : w1 = 400 nm et w2 = 495 nm. Alternativement ou en combinaison, deux valeurs différentes peuvent être utilisées pour l'indice de réfraction effectif de la couche 11 dans les volumes internes 15 V respectifs des structures 1 et 2 : nen # nefj2. Une telle différence d'indice de réfraction peut être obtenue par des compositions, dopages ou taux de remplissage de la couche 11 qui sont différents entre les deux structures 1 et 2. Alternativement ou en combinaison encore, une valeur de coefficient d'absorption propre à chaque structure de Fabry- 20 Pérot peut être utilisée pour varier sa longueur d'onde de résonance individuelle ; les deux intervalles de longueur d'onde : [À,-1.(1-3/Q1) ; Àrdl +Mi)] qui comprend la longueur d'onde de résonance individuelle de la structure 1, et [À2.(1-3/02) ; À2.(1+3102)] qui comprend la longueur d'onde de 25 résonance individuelle de la structure 2, ont un recouvrement. Autrement dit, ils ne sont pas disjoints. Cette condition peut être satisfaite en sélectionnant les valeurs de An et À,2 pour qu'elles soient suffisamment proches, ou en sélectionnant les paramètres structuraux du motif, notamment l'épaisseur h de la couche 11, pour que les 30 valeurs de Qj et Q2 soient suffisamment faibles ; et la distance de séparation d1_2 entre les deux structures 1 et 2 est suffisamment faible, notamment inférieure à la longueur d'onde de -16- résonance de couplage comme expliqué en détail plus loin. d1_2 correspond à la largeur de l'espace intermédiaire 11_2 qui sépare les structures 1 et 2, tel que représenté sur la figure 2a. Dans la figure 2a, C1_2 désigne le couplage qui est ainsi produit entre 5 les structures de Fabry-Pérot 1 et 2. Alors dans ces conditions, deux ondes supplémentaires sont issues de l'onde 01 qui est incidente sur l'ensemble des deux structures 1 et 2, en plus de l'onde qui résulte de la réflexion de l'onde 01 sur la face S du support 10 : - une première onde supplémentaire, notée OR1, qui émerge de la structure de Fabry-Pérot 1, et qui résulte d'une superposition de plusieurs composantes d'onde dont au moins une a effectué un aller-retour à l'intérieur de la structure de Fabry-Pérot 2. Autrement dit, l'amplitude de l'onde supplémentaire OR1 dépend du couplage entre le volume interne V de la structure 1 et l'espace libre dont provient l'onde 15 incidente 01. En outre, au moins une composante de cette onde supplémentaire OR1 s'est propagée dans le volume interne V de la structure 2, en y effectuant au moins un aller-retour parallèlement à la direction D, puis a traversé l'espace intermédiaire 11_2 à partir de la structure 2 jusqu'à la structure 1, avant d'être retransmise dans 20 l'espace libre par la structure 1. Des composantes d'onde additionnelles, qui peuvent participer en outre à constituer l'onde supplémentaire OR1, peuvent avoir effectué des combinaisons quelconques d'allers-retours successifs dans les volumes internes V des deux structures 1 et 2, avec des traversées de l'espace 25 intermédiaire 11_2 à chaque passage entre un aller-retour dans le volume interne V de l'une des structures 1 ou 2 et un aller-retour dans le volume interne V de l'autre structure, avant d'être retransmises chacune dans l'espace libre par la structure 1 ; et - une seconde onde supplémentaire, notée OR2, qui émerge de la 30 structure de Fabry-Pérot 2, et qui résulte d'une superposition de plusieurs autres composantes d'onde dont au moins une a effectué un aller-retour à l'intérieur de la structure de Fabry-Pérot 1. Autrement dit, -17- l'amplitude de l'onde supplémentaire OR2 dépend du couplage entre le volume interne V de la structure 2 et l'espace libre dont provient l'onde incidente 01. En outre, au moins une composante de l'onde supplémentaire OR2 s'est propagée dans le volume interne V de la 5 structure 1, en y effectuant au moins un aller-retour parallèlement à la direction D, puis a traversé l'espace intermédiaire 11_2 à partir de la structure 1 jusqu'à la structure 2, avant d'être retransmise dans l'espace libre par la structure 2. De même que pour l'onde supplémentaire OR1, d'autres composantes d'onde additionnelles, qui 10 peuvent participer en outre à constituer l'onde supplémentaire OR2, peuvent avoir effectué des combinaisons quelconques d'allers-retours dans les volumes internes V des deux structures 1 et 2, avec des traversées de l'espace intermédiaire 11_2 à chaque passage entre un aller-retour dans le volume interne V de l'une des structures 1 ou 2 et 15 un aller-retour dans le volume interne V de l'autre structure, avant d'être retransmises chacune dans l'espace libre par la structure 2. Les deux ondes supplémentaires OR1 et OR2 sont dues au couplage C1_2 entre les structures de Fabry-Pérot 1 et 2. Alors, pour une valeur particulière de la longueur d'onde de l'onde 01, l'onde qui résulte de la réflexion 20 de l'onde 01 sur la face S du support 10, la première onde supplémentaire OR1 et la seconde onde supplémentaire OR2 forment une interférence constructive qui participe à constituer l'onde réfléchie OR. Le diagramme de la figure 2b compare des courbes de réflectivité spectrale mesurées respectivement pour un premier support 10 muni des structures de Fabry-Pérot 1 uniquement 25 (courbe notée FP1 et correspondant à w1 = 400 nm), un deuxième support 10 muni des structures de Fabry-Pérot 2 uniquement (courbe notée FP2 et correspondant à w2 = 495 nm), et un troisième support 10 muni des structures de Fabry-Pérot 1 et 2 alternées (courbe notée FP1-2 et correspondant à la figure 2a). La valeur d'angle d'incidence utilisée dans les trois cas est 10° 30 (degré), égale à la valeur d'angle de réflexion de l'onde OR, et l'onde incidente 01 est polarisée rectilignement avec son champ magnétique parallèle à la direction longitudinale des rubans qui constituent les portions métalliques 121 et 122. Dans les trois cas, le support 10 est en or avec une épaisseur de -18- 200 nm, les portions métalliques sont aussi en or avec des épaisseurs de 50 nm, et la couche 11 est continue et uniforme en siliciure de carbone avec une épaisseur de 280 nm. Les valeurs de w1 et w2 sont celles données plus haut, et les distances de séparation inter-rubans sont égales à 437 nm dans les 5 trois cas. Dans ces conditions, la résonance individuelle des structures de Fabry-Pérot 1 possède les caractéristiques suivantes : 4,65 pm (micromètre) et une valeur minimale de réflectivité spectrale supérieure à 0,80 (cf. courbe FP1), et la résonance individuelle des structures de Fabry-Pérot 2 possède les autres caractéristiques : À,2 5,25 pm et une valeur minimale de 10 réflectivité spectrale qui est aussi supérieure ou égale à 0,80 (cf. courbe FP2). La résonance supplémentaire, qui est apportée par le couplage entre les structures 1 et 2, apparaît lorsque la longueur d'onde de l'onde incidente 01 possède la valeur de 4,23 pm (cf. courbe FP1-2). Il s'agit de la longueur d'onde de résonance de couplage, qui est notée À Le minimum associé pour la 15 réflectivité spectrale est d'environ 0,13, correspondant à une valeur de 22 pour le facteur de qualité Q1_2 qui est associé à la résonance de couplage. Le support 10 de la figure 2a, avec les structures 1 et 2, forme alors un filtre spectral qui est efficace en réflexion. Pour ce premier exemple, la valeur du pas spatial de reproduction du motif formé par les deux structures de Fabry- 20 Pérot 1 et 2 est 1770 nm. De façon générale, pour que le couplage entre les deux structures de Fabry-Pérot 1 et 2 soit suffisant pour produire la résonance de couplage, la distance de séparation d1_2 doit être inférieure à la valeur de la longueur d'onde de résonance de couplage À Dans le cas présent, d1_2 est environ égale à 25 437 nm. A toutes valeurs et compositions identiques en dehors des largeurs w1, w2 et de la distance de séparation d1_2, la longueur d'onde de résonance de couplage À .41-2 devient égale à 4,61 pm lorsque w1 = 495 nm, w2 = 600 nm et d1_2 = 337 nm. La valeur minimale de réflectivité est alors d'environ 0,21, 30 obtenue lorsque la longueur d'onde de l'onde incidente 01 est égale à À Ainsi, une sélection appropriée des valeurs de largeur des rubans métalliques permet d'ajuster la longueur d'onde de résonance de couplage à une valeur désirée. -19- Le diagramme de la figure 3 montre les variations du facteur de qualité 01.2 de la résonance de couplage (courbe en trait continu) qui résultent de modifications de l'épaisseur h de la couche 11, par rapport au mode de réalisation des figures 2a et 2b. Au-delà de la valeur d'épaisseur de 0,18 pm 5 environ pour la couche 11, la valeur du facteur de qualité 01-2 de la résonance de couplage augmente continûment, en atteignant 250 environ pour la valeur de 800 nm pour l'épaisseur h de la couche 11. Ainsi, une sélection appropriée de l'épaisseur h de la couche 11 permet d'ajuster la largeur et la profondeur du minimum de réflectivité spectrale qui est associé à la résonance de couplage. 10 A titre de comparaison, le diagramme de la figure 3 montre aussi la variation du facteur de qualité 01 de la résonance individuelle d'une seule structure de Fabry-Pérot, lorsque l'épaisseur h de la couche 11 varie et lorsque la largeur w du ruban qui forme la portion métallique 12 est constante et égale à 495 nm (courbe en trait interrompu). Le facteur de qualité 01 de la résonance 15 individuelle est une fonction décroissante de l'épaisseur h de la couche 11, alors que le facteur de qualité 01.2 de la résonance de couplage est une fonction croissante de cette épaisseur h. Dans le mode de réalisation de la figure 4a, chaque groupe de structures de Fabry-Pérot comprend trois structures, notées 1, 2 et 3. Les 20 portions métalliques respectives de ces trois structures de Fabry-Pérot, en forme de rubans parallèles dont la direction longitudinale commune est encore perpendiculaire au plan de la figure, sont référencées 121, 122 et 123. Leurs valeurs respectives de largeur sont w1 = 405 nm, w2 = 500 nm et w3 = 600 nm, avec le pas spatial de répétition du motif formé par les trois structures de 25 Fabry-Pérot 1, 2 et 3 qui est égal à 2540 nm. d1_2 est la distance de séparation entre les structures 1 et 2 à travers l'espace intermédiaire 11_2, par exemple égale à environ 300 nm, et d2_3 est la distance de séparation entre les structures 2 et 3 à travers l'espace intermédiaire 12_3, par exemple aussi égale à 300 nm. C1_2 désigne le couplage qui en résulte entre les structures de Fabry- 30 Pérot 1 et 2, et C2_3 celui entre les structures de Fabry-Pérot 2 et 3. Le diagramme de la figure 4b montre les courbes de réflectivité spectrale qui ont été mesurées respectivement pour un premier support 10 muni de structures de Fabry-Pérot 1 uniquement (courbe notée FP1 et - 20 - correspondant à w1 = 405 nm), un deuxième support 10 muni de structures de Fabry-Pérot 2 uniquement (courbe notée FP2 et correspondant à w2 = 500 nm), un troisième support 10 muni de structures de Fabry-Pérot 3 uniquement (courbe notée FP3 et correspondant à w3 = 600 nm), et le support 5 10 muni des structures de Fabry-Pérot 1, 2 et 3 alternées (courbe notée et FP1-2-3 correspondant à la figure 4a). Les conditions d'incidence et de polarisation de l'onde incidente 01 sont les mêmes que celles pour le diagramme de la figure 2b. Les valeurs de longueur d'onde de résonance individuelle sont À,-1 4,5 pm pour la structure 1 (cf. courbe FP1), À,2 5,2 pm 10 pour la structure 2 (cf. courbe FP2), et À,3,t, 6,0 pm pour la structure 3 (cf. courbe FP3), avec des valeurs minimales de réflectivité qui sont toutes supérieures à 0,80 pour ces trois résonances individuelles. Le filtre de la figure 4a dont le motif est formé par le groupe des trois structures de Fabry-Pérot 1, 2 et 3, présente alors deux résonances de couplage (cf. courbe FP1-2-3) : une 15 première résonance de couplage pour la valeur de longueur d'onde Ar1 -2 4,43 pm, associée à une première valeur Q1_2 de facteur de qualité égale à 15, et une seconde résonance de couplage pour la valeur de longueur d'onde À2-3 ^ 5,12 pm, associée à une seconde valeur Q2_3 de facteur de qualité égale à 11. La première résonance de couplage, correspondant à À -r1 -2 et Q1-2, 20 provient du couplage C1_2 entre les rubans 1 et 2 à travers l'espace intermédiaire 11_2, et la seconde résonance de couplage, correspondant à À2_3 et Q2_3, provient du couplage C2_3 entre les rubans 2 et 3 à travers l'espace intermédiaire 12_3. Les structures 1 et 3, même lorsqu'elles sont voisines en appartenant à des motifs successifs, ne sont pas couplées entre elles du fait de 25 leurs valeurs de longueur d'onde de résonance individuelle qui sont trop éloignées l'une de l'autre. La figure 5 montre un autre mode de réalisation de l'invention, à deux directions de variation du motif qui sont notées D1 et D2. Par exemple, un groupe de quatre structures de Fabry-Pérot 1-4, qui sont agencées en matrice 30 2 x 2 parallèlement aux directions D1 et D2, peut être utilisé en tant que motif qui est reproduit périodiquement selon ces deux directions. Chaque structure de Fabry-Pérot 1-4 peut être identifiée par une portion de couche métallique respective 121-124, qui est agencée sur la couche de matériau diélectrique 11, -21 - elle-même sur la face S du support métallique 10. Deux au moins des structures de Fabry-Pérot 1-4 sont différentes, par exemple par les dimensions des portions de couche métallique 121-124. A titre d'exemple mais de façon non limitative, chaque portion de couche métallique 121-124 peut être un carré 5 dont la longueur de côté est sélectionnée parmi les valeurs 640 nm, 680 nm, 780 nm et 840 nm, pour un pas de reproduction du motif selon les directions D1 et D2 qui peut être égal à 2200 nm. Les espaces intermédiaires entre structures de Fabry-Pérot qui voisines sont 11_2 entre les structures 1 et 2, 12_3 entre les structures 2 et 3, 13_4 entre les structures 3 et 4, et 14_1 entre les structures 4 et 10 1. Alors, la modification des longueurs des côtés des portions 121-124 et des largeurs des espaces intermédiaires entre celles-ci permet d'ajuster les valeurs des longueurs d'onde de résonances de couplage, ainsi que les valeurs de facteurs de qualité et de minima de réflectivité spectrale qui leurs sont associées. De façon générale, une résonance de couplage est associée 15 séparément à chaque paire de structures de Fabry-Pérot du motif. Toutefois, lorsque deux de ces structures de Fabry-Pérot ont des valeurs de longueur d'onde de résonance individuelle qui sont trop éloignées l'une de l'autre, ces deux structures ne sont pas couplées entre elles. Il est notamment possible de répartir les quatre structures de Fabry-Pérot dans la matrice 2 x 2 du motif, de 20 sorte que deux structures qui sont sur une même diagonale dans la matrice 2 x 2 ne soient pas couplées entre elles pour cette raison. Dans encore d'autres modes de réalisation de l'invention, qui peuvent aussi posséder une répartition des structures de Fabry-Pérot en matrice 2 x 2 à l'intérieur d'un motif bidimensionnel, les portions de couche métallique 121-124 25 peuvent avoir des formes rectangulaires, circulaires, elliptiques, en croix, en équerre, etc..., parallèlement à la face S, selon la différence de réponse qui est souhaitée pour le filtre entre deux polarisations orthogonales effectives pour l'onde incidente Cl. L'Homme du métier sait sélectionner ces formes en fonction de la sélectivité qui est désirée pour le filtre par rapport à la 30 polarisation de l'onde incidente Cl. De même, à partir de la présente description, il saura prendre en compte l'effet des distances de séparation entre structures de Fabry-Pérot sur la sélectivité du filtre par rapport à la polarisation de l'onde 01. En outre, la composition et le matériau de la couche - 22 - 11 dans les espaces intermédiaires 11_2, 12_3, 13_4 et 14_1 peuvent être variés pour ajuster le couplage entre deux structures de Fabry-Pérot voisines. De façon générale, l'Homme du métier comprendra à la lumière des modes de réalisation de l'invention qui viennent d'être décrits, qu'un filtre 5 conforme à l'invention peut être formé par répétition d'un motif quelconque de plusieurs structures de Fabry-Pérot, sans limitation quant au nombre de structures qui forment le motif, ni leur disposition dans ce motif. La condition est que deux au moins de ces structures de Fabry-Pérot soient couplées en ayant des constitutions qui sont conformes à la figure 1 b. Le nombre important de degrés de liberté qui en résulte permet de concevoir à la demande un filtre dont le profil de réponse spectrale correspond à un cahier des charges quelconque. On décrit maintenant une façon empirique de concevoir un filtre conforme à l'invention, dont le profil de réponse spectrale comporte une 15 transition maîtrisée entre un domaine spectral de coupure et un domaine spectral de fenêtre. Pour cela, le filtre peut être une association entre au moins un résonateur de Fabry-Pérot, et au moins un groupe de plusieurs structures de Fabry-Pérot couplées tel que décrit précédemment. On entend alors par résonateur de Fabry-Pérot une structure additionnelle de Fabry-Pérot qui est 20 utilisée au sein du filtre pour sa résonance individuelle, par opposition aux structures de Fabry-Pérot couplées qui sont utilisées pour leur(s) résonance(s) de couplage. En général, le profil spectral de la résonance individuelle du résonateur de Fabry-Pérot est plus large, sur un axe de longueur d'onde, que le profil spectral de la résonance de couplage de deux structures de Fabry- 25 Pérot qui sont couplées selon l'invention. Or le profil spectral du filtre résulte d'une combinaison additive des absorptions énergétiques que provoquent toutes les résonances - individuelles ou de couplage. Alors, en ajustant les paramètres respectifs des structures de Fabry-Pérot couplées et du résonateur de Fabry-Pérot, il est possible de superposer, sur l'axe de longueur d'onde de 30 l'onde incidente 01, au moins une résonance de couplage avec un côté de la résonance individuelle du résonateur de Fabry-Pérot. Autrement dit, la valeur de la longueur d'onde de la résonance de couplage, notée À -ri -2, peut être différente de Àro mais à l'intérieur de l'intervalle [43.(1-10/03) Àro-(1+10/Qo)], - 23 - où Arp et Qo sont respectivement les valeurs de longueur d'onde de résonance et de facteur de qualité pour la résonance individuelle du résonateur de FabryPérot. Les structures couplées permettent ainsi de modifier localement le profil spectral du résonateur de Fabry-Pérot, lorsque le facteur de qualité de la 5 résonance de couplage est supérieur, voire très supérieur, au facteur de qualité du résonateur de Fabry-Pérot. A titre d'illustration, le diagramme de la figure 6a montre la réponse spectrale en réflexion d'un tel filtre qui combine un résonateur de Fabry-Pérot et trois structures de Fabry-Pérot couplées conformément à la figure 4a. Dans cet exemple, la longueur d'onde de 10 résonance individuelle À,0 du résonateur de Fabry-Pérot est égale à environ 3,39 pm, avec la valeur de 20 pour le facteur de qualité 00 correspondant, la première longueur d'onde de résonance de couplage À -r1 -2 est égale à environ 3,26 pm, avec la valeur de 60 pour le facteur de qualité 01_2 correspondant, et la seconde longueur d'onde de résonance de couplage Àr23 est égale à environ 15 3,50 pm, aussi avec la valeur de 60 pour le facteur de qualité 02_3 correspondant. La figure 6b montre le motif d'un tel filtre. Ce motif comprend une partie du support 10, une partie de la couche 11 et les structures de Fabry-Pérot 1-3 de la figure 4a, avec leurs portions métalliques respectives 121, 122 et 123. Il 20 comprend en outre au moins un résonateur de Fabry-Pérot additionnel, qui peut être empilé sur l'une des structures 1-3, par exemple sur la structure 2. Ce résonateur additionnel est désigné par la référence RO, et peut être avantageusement aussi du type décrit en référence à la figure 1 b. Dans ce cas, il peut être constitué par un ruban de matériau diélectrique supplémentaire 110 25 qui est disposé sur la portion de couche métallique 122, et par une portion de couche métallique supplémentaire 120 qui est disposée sur ce ruban de matériau diélectrique 110. La portion métallique 122 est ainsi partagée entre ce résonateur de Fabry-Pérot RO et la structure de Fabry-Pérot 2. Le ruban 110 peut encore être en siliciure de carbone, et la portion 120 peut encore être en 30 or. La direction horizontale de la figure 6b comporte un axe de dimension spatiale, noté x, pour repérer les largeurs des rubans qui forment les portions 121, 122, 123 et 120, ainsi que les distances de séparation entre ceux-ci. La direction verticale de la figure 6b comporte un autre axe de dimension spatiale, - 24 - noté z, pour repérer les épaisseurs de la couche 11, des portions 121, 122, 123 et 12o, ainsi que du ruban de matériau diélectrique supplémentaire 110. Ce motif est répété périodiquement selon la direction D sur la face S du support 10, recouverte par la couche 11, pour former le filtre. Pour le mode de 5 réalisation de la figure 6a, l'épaisseur ho du ruban de matériau diélectrique supplémentaire 110 est d'environ 80 nm, et la largeur de la portion de couche métallique 120 selon la direction D est d'environ 450 nm. L'Homme du métier comprendra alors qu'un profil spectral de filtrage qui est plus élaboré que celui de la figure 6a, notamment un profil spectral de 10 filtrage qui possède une forme quasi-rectangulaire, peut être obtenu selon l'invention en utilisant un motif de structures de Fabry-Pérot à plus de trois structures. Un tel filtre peut avoir de multiples applications, notamment en imagerie et en spectroscopie, selon des modes de mise en oeuvre qui sont bien 15 connus de l'Homme du métier. Une application supplémentaire peut être une émission thermique sélective de rayonnement électromagnétique. Pour cela, le filtre peut être chauffé, ou appliqué sur un bloc de matériau qui est chauffé. Alors, une émission de rayonnement électromagnétique se produit, dont le spectre est 20 limité à l'intérieur de la (des) fenêtre(s) de sélection spectrale du filtre, et dont l'intensité d'émission dépend de la température du filtre. Enfin, il est entendu que l'invention peut être mise en oeuvre en modifiant de nombreux aspects secondaires des modes de réalisation qui ont été décrits en détail ci-dessus. En particulier, ces modes de réalisation décrits 25 ont été conçus pour des fonctions de filtrage qui sont efficaces en réflexion. Il est possible d'appliquer l'invention à des modes de réalisation adaptés pour produire des fonctions de filtrage qui sont efficaces en transmission. Enfin, toutes les valeurs numériques qui ont été citées ne l'ont été qu'à titre d'illustration, et peuvent être modifiées en fonction de l'application REVENDICATIONS1. Filtre spectral comprenant au moins un groupe de plusieurs structures de Fabry-Pérot (1, 2) qui sont portées conjointement par une face (S) d'un support (10) du filtre, chaque structure de Fabry-Pérot comprenant deux portions de surfaces réfléchissantes (R1, R2) qui sont disposées en vis-à- vis, parallèles l'une à l'autre, et séparées l'une de l'autre à l'intérieur de la structure par un milieu diélectrique, chacune des structures de Fabry-Pérot (1, 2) du groupe étant dimensionnée de sorte qu'une composante d'onde de rayonnement électromagnétique puisse se propager entre les deux portions de surfaces réfléchissantes (R1, R2) de ladite structure, de l'une à l'autre, et de sorte qu'une onde stationnaire résulte de réflexions multiples de la composante d'onde qui se produisent en alternance au niveau des deux portions de surfaces réfléchissantes, et une résonance individuelle de ladite structure de Fabry-Pérot correspondant à un maximum d'amplitude de ladite onde stationnaire à l'intérieur de ladite structure lorsqu'une longueur d'onde d'un rayonnement électromagnétique qui est incident sur le filtre varie, l'une au moins des portions de surfaces réfléchissantes (R1, R2) de chaque structure de Fabry-Pérot (1, 2) du groupe étant séparée d'au moins une des portions de surfaces réfléchissantes de chaque autre structure par un espace intermédiaire (11-2) parallèlement à la face (S) du support (10), dans lequel au moins un paramètre qui détermine la résonance individuelle de chaque structure de Fabry-Pérot (1, 2), séparément de chaque autre structure de Fabry-Pérot, possède des valeurs qui sont différentes entre au moins deux des structures du même groupe, de sorte que lesdites au moins deux structures du groupe ait des valeurs respectives de longueur d'onde de résonance individuelle, effectives pour le rayonnement électromagnétique incident sur le filtre, qui sont différentes, et lesdites au moins deux structures aux valeurs différentes de longueur d'onde de résonance individuelle possédant des valeurs respectives d'un facteur de qualité de résonance individuelle telles que, sur un axe de longueur d'onde du rayonnement incident, - 26 - les intervalles suivants de résonances individuelles : [4.(1-3/01) ; Àri-(1+3/C);)], aient des recouvrements deux-à-deux, où i est un nombre entier qui identifie chaque structure de Fabry-Pérot à l'intérieur du groupe, et Àri et Q1 sont respectivement les valeurs de longueur d'onde de résonance et de facteur de 5 qualité de la résonance individuelle de la structure de Fabry-Pérot et dans lequel un couplage entre deux des structures de Fabry-Pérot (1, 2) du même groupe, dont les valeurs de longueur d'onde de résonance individuelle sont différentes, est produit par l'espace intermédiaire (11-2) existant entre lesdites deux structures, possiblement aussi par un matériau présent dans ledit 10 espace intermédiaire, une distance de séparation (di_2) entre les deux structures de Fabry-pérot ainsi couplées, déterminée par ledit espace intermédiaire et mesurée parallèlement à la face (S) du support (10), étant inférieure à une valeur de longueur d'onde de résonance relative au couplage, dite longueur d'onde de résonance de couplage, qui est effective pour le 15 rayonnement électromagnétique incident sur le filtre, et qui résulte d'une interférence entre au moins trois ondes parmi lesquelles : - une première onde qui provient d'une réflexion du rayonnement incident sur la face (S) du support (10), ou d'une transmission du rayonnement incident à travers le support ; 20 - une deuxième onde qui émerge d'une première (1) des structures de Fabry-Pérot du groupe, et qui résulte d'une superposition de plusieurs composantes d'onde parmi lesquelles au moins une desdites composantes d'onde a effectué au moins un aller-retour à l'intérieur d'une seconde (2) des structures de Fabry-Pérot dudit groupe, couplée 25 avec ladite première structure ; et - une troisième onde qui émerge de ladite seconde (2) des structures de Fabry-Pérot du groupe, et qui résulte d'une autre superposition de plusieurs autres composantes d'onde parmi lesquelles au moins une desdites autres composantes d'onde a effectué au moins un aller- 30 retour à l'intérieur de ladite première (1) des structures de Fabry-Pérot dudit groupe, - 27 - le filtre étant caractérisé en ce que chaque structure de Fabry-Pérot (1, 2) du groupe comprend deux portions de surfaces métalliques (M1, M2) qui sont parallèles à la face (S) du substrat (10), et un volume interne (V) qui est limité entre lesdites deux portions de surfaces métalliques perpendiculairement à la 5 face du substrat, et limité parallèlement à la face du substrat entre des bords (B1, B2) opposés d'une au moins desdites deux portions de surfaces métalliques de la structure, lesdits deux bords opposés déterminant des positions des portions de surfaces réfléchissantes (R1, R2) de la structure de Fabry-Pérot, de sorte que les composantes d'onde qui contribuent à la 10 résonance de couplage se propagent parallèlement à la face du support à l'intérieur de chacune des structures de Fabry-Pérot couplées du groupe. 2. Filtre spectral selon la revendication 1, dans lequel le paramètre qui détermine la résonance individuelle de chaque structure de Fabry-Pérot (1, 2) du groupe, séparément de chaque autre structure de Fabry-Pérot dudit groupe, 15 et qui possède des valeurs qui sont différentes entre deux des structures qui sont couplées l'une avec l'autre, est l'un des paramètres suivants ou une combinaison de plusieurs d'entre eux : - une largueur (wi, w2) du volume interne (V) de chaque structure (1, 2), telle que mesurée parallèlement à la face (S) du support (10) entre les 20 portions de surfaces réfléchissantes (R1, R2) de ladite structure, - un indice de réfraction du milieu diélectrique dans le volume interne (V) de chaque structure (1, 2), - un taux de remplissage et/ou une composition du milieu diélectrique dans le volume interne (V) de chaque structure (1, 2), et 25 - un coefficient d'absorption du rayonnement électromagnétique par chaque structure (1, 2). 3. Filtre spectral selon la revendication 1 ou 2, dans lequel chaque structure de Fabry-Pérot (1, 2) du groupe, notamment une épaisseur (h) du volume interne (V) entre les deux portions de surfaces métalliques (M1, M2) de 30 ladite structure, mesurée perpendiculairement à la face (S) du support (10), est - 28 - conçue pour que la valeur du facteur de qualité de résonance individuelle de ladite structure soit inférieure à 20, et dans lequel le groupe de structures de Fabry-Pérot (1, 2), notamment l'espace intermédiaire (11-2) entre deux des structures dudit groupe qui sont 5 couplées, est conçu pour qu'un facteur de qualité qui est associé à la résonance de couplage soit supérieur à 20, préférablement supérieur à 70, voire supérieur à 150. 4. Filtre spectral selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel pour chaque structure de Fabry-Pérot (1, 2) du 10 groupe, le milieu diélectrique dans le volume interne (V) de ladite structure est constitué par une portion respective d'une couche (11) à faces parallèles et épaisseur uniforme d'un matériau diélectrique solide, ladite couche étant identique pour toutes les structures du groupe. 5. Filtre spectral selon l'une quelconque des revendications 15 précédentes, dans lequel un motif qui comprend les structures de Fabry-Pérot (1, 2) du groupe, telles que séparées par chaque espace intermédiaire (11_2) entre deux desdites structures à l'intérieur du groupe, est répété de multiples fois sur la face (S) du support (10). 6. Filtre spectral selon la revendication 5, dans lequel une au moins 20 des portions de surfaces métalliques (M1, M2) de chacune des structures de Fabry-Pérot (1, 2) est une face d'un ruban métallique respectif, et dans lequel le motif qui comprend le groupe des structures de Fabry-Pérot est répété de multiples fois, de préférence périodiquement, selon une direction de répétition (D) qui est parallèle à la face (S) du support (10), sous forme de rubans 25 métalliques séparés et parallèles. 7. Filtre spectral selon la revendication 5, dans lequel une au moins des portions de surfaces métalliques (M1, M2) de chaque structure de FabryPérot (1, 2) possède une forme carrée, rectangulaire, circulaire, elliptique, en croix ou en équerre, parallèlement à la face (S) du support (10), et le motif 30 comprenant les structures de Fabry-Pérot du groupe est répété de multiples fois selon deux directions de répétition (Di, D2) qui sont distinctes et parallèles - 29 - à la face du support, de préférence périodiquement, et de préférence les deux directions de répétition étant perpendiculaires entre elles. 8. Filtre spectral selon la revendication 7, dans lequel le motif comprend quatre structures de Fabry-Pérot (1-4) qui sont disposées en matrice 5 2 x 2 selon les deux directions de répétition (Di, D2), formant ainsi six paires de structures de Fabry-Pérot, chaque paire étant associée à un espace intermédiaire (11_2, 12_3, 13_4, 144 entre les deux structures de ladite paire autre que l'espace intermédiaire de chaque autre paire de structures dans le motif, et certains au moins des espaces intermédiaires produisant un couplage entre les 10 structures de la paire correspondante. 9. Filtre spectral selon l'une quelconque des revendications précédentes, adapté pour être utilisé en réflexion, dans lequel les première, deuxième et troisième ondes sont produites par le filtre d'un côté du support (10) par lequel le rayonnement incident arrive sur ledit filtre. 15 10. Filtre spectral selon l'une quelconque des revendications précédentes, comprenant en outre au moins un résonateur de Fabry-Pérot (RO) qui présente une résonance individuelle supplémentaire, effective pour le rayonnement incident en plus de chaque résonance de couplage, le résonateur de Fabry-Pérot étant conçu pour que la valeur de longueur d'onde de 20 résonance individuelle dudit résonateur soit décalée par rapport à au moins une valeur de longueur d'onde de résonance de couplage du groupe des structures de Fabry-Pérot (1-3), et que ladite valeur de longueur d'onde de résonance de couplage soit à l'intérieur de l'intervalle suivant de résonance individuelle du résonateur de Fabry-Pérot : [km (1-10/Q0) ; &ID-0 +10/Qon, où Ara 25 et 00 sont respectivement les valeurs de longueur d'onde de résonance et de facteur de qualité pour la résonance individuelle du résonateur de Fabry-Pérot, de sorte qu'un profil de réponse spectrale du filtre, en fonction de la longueur d'onde du rayonnement incident, résulte d'une superposition d'au moins la résonance individuelle de chaque résonateur de Fabry-Pérot (RO) avec chaque 30 résonance de couplage de chaque groupe de structures de Fabry-Pérot (1-3), et ait une transition plus raide entre un domaine spectral de coupure et un - 30 - domaine spectral de fenêtre, par rapport à un filtre de référence qui comporte ledit au moins un résonateur de Fabry-Pérot mais qui est dépourvu des structures de Fabry-Pérot couplées. 11. Filtre spectral selon la revendication 10, dans lequel chaque 5 résonateur de Fabry-Pérot (RO), notamment une épaisseur (ho) d'un volume interne dudit résonateur, mesurée perpendiculairement à une direction d'onde stationnaire se produisant dans ledit volume interne du résonateur, est conçu pour que la valeur de facteur de qualité de la résonance individuelle dudit résonateur soit inférieure à 30, 10 et dans lequel le facteur de qualité qui est associé à la longueur d'onde de résonance de couplage située dans l'intervalle [A,-o-(1-10/Qo) ; i'rO- (1 +10/Q0)] est supérieur à 30. 12. Filtre spectral selon la revendication 10 ou 11, dans lequel le résonateur de Fabry-Pérot (RO) est empilé sur l'une des structures de Fabry- 15 Pérot (1-3) du groupe, selon une direction d'empilement qui est perpendiculaire à la face (S) du support (10). 13. Filtre spectral selon la revendication 12, dans lequel une portion de couche métallique (122) est commune au résonateur de Fabry-Pérot (RO) et à la structure de Fabry-Pérot (2) du groupe sur laquelle est empilé ledit 20 résonateur de Fabry-Pérot, ladite portion de couche métallique constituant l'une des portions de surfaces métalliques de ladite structure de Fabry-Pérot. 14. Procédé de filtrage spectral d'un rayonnement électromagnétique, mis en oeuvre en utilisant au moins un filtre spectral qui est conforme à l'une quelconque des revendications précédentes, le rayonnement à filtrer ayant des 25 valeurs de longueur d'onde qui sont plus grandes que l'espace intermédiaire (11-2), mesuré parallèlement à la face (S) du support (10), qui existe entre deux structures de Fabry-Pérot (1, 2) du filtre qui sont couplées l'une avec l'autre, le procédé étant mis en oeuvre pour une application qui est sélectionnée parmi une acquisition d'image monochromatique ou multispectrale, une analyse -31 - spectroscopique, et une émission sélective de rayonnement produite par un chauffage du filtre.