Brevet FR3086796A1 — publié le 20200403

B17284 - 18-GR4-0159 - DD19027 DESCRIPTION TITRE : Procédé de siliciuration Domaine technique [0001] La présente description concerne de façon générale les composants électroniques, et plus particulièrement, les procédés de fabrication d'un composant électronique. La présente description s'applique plus particulièrement à un procédé de siliciuration d'une couche semiconductrice. Technique antérieure [0002] Un siliciure est un intermétallique composé de silicium et d'un ou plusieurs éléments métalliques. Les siliciures sont, par exemple, utilisés pour la réalisation de contacts d'un composant électronique monolithique. [0003] Il serait souhaitable de pouvoir améliorer au moins en partie certains aspects des procédés de siliciuration connus. [0004] Résumé de l'invention [0005] Un mode de réalisation pallie tout ou partie des inconvénients des procédés de siliciuration connus. Un mode de réalisation prévoit un procédé de siliciuration comprenant une étape d'implantation d'atomes de Xénon dans une région semiconductrice. Selon un mode de réalisation, la concentration d'atomes de Xénon implantés dans la région semiconductrice est comprise entre lx10'13 et lx10'17 atomes/cm2. Selon un mode de réalisation, le procédé comprend en outre, après l'étape d'implantation, une étape de dépôt d'une couche métallique. 2 B17284 - 18-GR4-0159 - DD19027 Selon un mode de réalisation, une couche de siliciure est formée à partir de la région semiconductrice et de la couche métallique. Selon un mode de réalisation, la couche métallique est en un alliage de nickel et de platine. Selon un mode de réalisation, le procédé comprend en outre, après le dépôt de la couche métallique, le dépôt d'une couche d'encapsulation. Selon un mode de réalisation, la couche d'encapsulation est en un composé de titane et d'azote. Selon un mode de réalisation, le procédé comprend en outre, après l'étape de dépôt de la couche d'encapsulation, une première étape de recuit. Selon un mode de réalisation, le procédé comprend en outre, après la première étape de recuit, une étape de gravure. Selon un mode de réalisation, le procédé comprend en outre, après l'étape de gravure, une deuxième étape de recuit. Selon un mode de réalisation, la région semiconductrice est en silicium, en silicium-germanium, en silicium dopé, ou en silicium-germanium dopé. Selon un mode de réalisation, la région semiconductrice a une épaisseur comprise entre 5 et 25 nm. Un autre mode de réalisation prévoit un procédé de fabrication d'un transistor comprenant les étapes du procédé de siliciuration décrit précédemment. Encore un autre mode de réalisation prévoit un circuit électronique comportant une couche de siliciure comprenant des atomes de Xénon. 3 B17284 - 18-GR4-0159 - DD19027 Selon un mode de réalisation, la concentration d'atomes de Xénon dans la couche de siliciure est comprise entre 1x10'16 et 5x10^21 atomes/cm3. [0006] Brève description des dessins [0007] Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : [0008] [Fig. 1] la figure 1 représente une vue en coupe d'une étape d'un mode de réalisation d'un procédé de siliciuration ; [0009] [Fig. 2] la figure 2 représente une vue en coupe d'une autre étape du procédé de la figure 1 ; [0010] [Fig. 3] la figure 3 représente une vue en coupe d'une autre étape du procédé de la figure 1 ; et [0011] [Fig. 4] la figure autre étape du procédé de [0012] Description des modes de réalisation 4 représente une vue en la figure 1. coupe d'une [0013] De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références dans les différentes figures. En particulier, les éléments structurels et/ou fonctionnels communs aux différents modes de réalisation peuvent présenter les mêmes références et peuvent disposer de propriétés structurelles, dimensionnelles et matérielles identiques. [0014] Par souci de clarté, seuls les étapes et éléments utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés. [0015] Dans la description qui suit, lorsque l'on fait référence à des qualificatifs de position absolue, tels que les termes "avant", "arrière", "haut", "bas", "gauche", "droite", etc., ou relative, tels que les termes "dessus", "dessous", "supérieur", "inférieur", etc., ou à des 4 B17284 - 18-GR4-0159 - DD19027 qualificatifs d'orientation, tels que les termes "horizontal", "vertical", etc., il est fait référence sauf précision contraire à l'orientation des figures. [0016] Sauf précision contraire, les expressions "environ", "approximativement", "sensiblement", et "de l'ordre de" signifient à 10 % près, de préférence à 5 % près. [0017] Les figures 1 à 4 sont des vues en coupe illustrant des étapes d'un mode de réalisation d'un procédé de siliciuration d'une couche semiconductrice, et, plus particulièrement, l'application de ce procédé à la siliciuration de régions semiconductrices, dopées ou non, d'un composant électronique monolithique, par exemple un transistor 10 de type MOS (de l'acronyme MOSFET venant de l'anglais "Metal Oxyde Semiconductor Field Effect Transistor"). Le transistor 10 peut être indifféremment un transistor MOS de type N ou de type P, ainsi le type de conductivité de ses régions ne sera pas détaillé par la suite. [0018] A l'étape de la figure 1, le transistor 10 est, dans cet exemple, formé dans et sur une portion d'une structure de type silicium sur isolant (de l'anglais "Silicon On Insulator" (SOI)). La structure SOI comprend un substrat semiconducteur 11, par exemple en silicium, sur lequel repose une couche isolante 13, par exemple en oxyde de silicium, sur laquelle repose une couche semiconductrice 15, par exemple en silicium. La portion de la structure SOI est délimitée latéralement par des murs isolants 16, de préférence réalisés en oxyde de silicium. [0019] Le transistor 10 comprend : une région de source 17 (côté gauche en figures 1 à 4) ; une grille isolée comprenant une couche semiconductrice 19, ou région de grille 19, et une couche d'isolant de grille 20 ; et une région de drain 21 (côté droit en figures 1 à 4). B17284 - 18-GR4-0159 - DD19027 [0020] Les régions 17, 19, et 21 sont formées sur la couche semiconductrice 15. La grille est isolée des régions de source 17 et de drain 21 par l'intermédiaire d'espaceurs isolants 23. [0021] A titre d'exemple, les régions 17, 21 sont en silicium ou en silicium-germanium. La grille 19 est par exemple en silicium polycristallin. Les régions 17 et 21 peuvent être dopées avec, par exemple, des atomes de bore, de carbone, d'azote, de phosphore, etc, en fonction, par exemple, du type de conductivité désiré. [0022] A l'étape de la figure 1, la structure est en outre nettoyée, par exemple, par un procédé de gravure humide et/ou un procédé de gravure plasma. [0023] On prévoit de former une couche de siliciure, à partir des surfaces des différentes régions du transistor 10, plus particulièrement à partir des régions 17, 19 et 21. Cette couche de siliciure favorisera la formation de contacts sur ces régions. [0024] A l'étape de la figure 2, on réalise une pré-amorphisation des régions 17, 19, et 21 en leur implantant des atomes de Xénon. Plus particulièrement, les atomes de Xénon sont implantés à partir de la face supérieure des régions 17, 19 et 21, et sur une épaisseur d. Les portions des régions 17, 19 et 21 dans lesquelles on a implantés des atomes de Xénon seront désignées par la suite par la référence 27. [0025] A titre d'exemple, la dose en atomes de Xénon implantés dans les portions 27 est comprise entre lx10'13 et 1x10'17 atomes/cm2. L'épaisseur d est, par exemple, comprise entre 5 et 25 nm, par exemple de l'ordre de 18 nm. [0026] A l'étape de la figure 3, une couche métallique 29 est déposée, par exemple de façon conforme, sur la face supérieure 6 B17284 - 18-GR4-0159 - DD19027 de la structure de la figure 2. La couche 29 est par exemple déposée par un procédé de dépôt en phase vapeur, par exemple par PVD (de l'anglais "Physical Vapour Deposition" - Dépôt physique en phase vapeur). [0027] Selon un mode de réalisation, la couche métallique est en un alliage de nickel et de platine. A titre d'exemple, l'alliage comprend une proportion de platine comprise entre 0 et 15 1, par exemple de l'ordre de 10 %. La couche 29 a une épaisseur par exemple comprise entre 4 et 20 nm, par exemple de l'ordre de 10 nm. [0028] A l'étape de la figure 3, une couche d'encapsulation 31 est, en outre, déposée, par exemple de façon conforme, sur la face supérieure de la couche métallique 29. La couche 31 est par exemple déposée par un procédé de dépôt en phase vapeur, par exemple par PVD (de l'anglais "Physical Vapour Deposition" - Dépôt physique en phase vapeur). [0029] Selon un mode de réalisation, la couche 31 est en un composé de titane et d'azote, par exemple du nitrure de titane. La couche 31 a une épaisseur par exemple comprise entre 5 et 15 nm, par exemple de l'ordre de 10 nm. [0030] A l'étape de la figure 3, un premier recuit thermique rapide (ou RTA de l'anglais "Rapid Thermal Annealing") est, ensuite, réalisé sur la structure. Ce recuit permet de diffuser des atomes de la couche métallique 29 dans toute l'épaisseur d des portions 27 pour former une première couche de siliciure. Ce recuit permet, en outre, la diffusion d'atomes des portions 27 dans la couche métallique 29. Selon un mode de réalisation, ce recuit permet de former une première couche de siliciure riche en nickel. [0031] Le premier recuit a une durée, par exemple, comprise entre 5 secondes et 5 minutes, de préférence entre 10 et 60 secondes, par exemple de l'ordre de 20 secondes. Le recuit 7 B17284 - 18-GR4-0159 - DD19027 est effectué à une température comprise entre 150 et 300 °C, de préférence entre 180 et 280 °C, par exemple de l'ordre de 230 °C. [0032] A l'étape de la figure 4, les couches 29 et 31 sont retirées par exemple par un procédé de gravure sélective. Plus particulièrement, la gravure sélective permet de retirer la totalité de la couche d'encapsulation et la portion de la couche métallique qui n'a pas réagi avec le silicium pour former une couche de siliciure. Le procédé de gravure sélective est, par exemple, un procédé de gravure humide. [0033] A l'étape de la figure 4, un deuxième recuit est réalisé sur la structure. Ce deuxième recuit permet de finaliser la siliciuration des portions 27 qui deviennent alors une couche de siliciure portant la référence 33. [0034] Selon un mode de réalisation, le deuxième recuit est un recuit laser. Le recuit laser a une durée par exemple comprise entre quelques microsecondes et quelques millisecondes, de préférence inférieure à une milliseconde, par exemple de l'ordre d'une centaine de microsecondes. Le recuit laser est effectué à une température comprise entre 780 et 1000 °C, par exemple de l'ordre de 830 °C. [0035] Les inventeurs ont observé une augmentation de l'épaisseur de la couche de siliciure obtenue à partir d'une couche semiconductrice implantée d'atomes de Xénon et d'une couche métallique. En effet, à titre d'exemple, la couche de siliciure 33, obtenues à partir des portions 27, a une épaisseur par exemple comprise entre 15 et 20 nm, par exemple de l'ordre de 16 à 17 nm. Sans implantation d'atomes de Xénon, la couche de siliciure aurait une épaisseur de l'ordre de 11 à 12 nm. Plus généralement, l'implantation préalable d'atomes de Xénon permet aux atomes de la couche de métal de se diffuser plus profondément dans les régions semiconductrices 17, 19 et 21. Selon un mode de réalisation, les atomes de la couche de 8 B17284 - 18-GR4-0159 - DD19027 métal se diffusent sur une épaisseur sensiblement égale à l'épaisseur d sur laquelle les atomes de Xénon sont implantés. A titre d'exemple, la concentration d'atomes de Xénon dans la couche de siliciure 33 est comprise entre 1x10'16 et 5x10'21 atomes/cm3. [0036] Un avantage de former des couches de siliciure plus épaisses est que cela permet de former des contacts plus robustes aux fortes tensions. [0037] Un avantage de ce procédé est que, sur une même plaque de substrat, il peut permettre de former plusieurs couches de siliciure d'épaisseur différente. En effet, pour obtenir plusieurs épaisseurs de couches de siliciure il suffit de n'implanter des atomes de Xénon que dans certaines portions d'une couche semiconductrice, par exemple en masquant les autres portions de la couche semiconductrice. [0038] Divers modes de réalisation et variantes ont été décrits. L'homme de l'art comprendra que certaines caractéristiques de ces divers modes de réalisation et variantes pourraient être combinées, et d'autres variantes apparaîtront à l'homme de de siliciuration peut s'appliquer de siliciure. l'art. En particulier, le procédé décrit en relation avec les figures 1 à 4 à n'importe quelle utilisation d'une couche [0039] Enfin, la mise en oeuvre pratique des modes de réalisation et variantes décrits est à la portée de l'homme REVENDICATIONS1. Procédé de siliciuration comprenant une étape d'implantation d'atomes de Xénon dans une région semiconductrice (17, 19, 21). 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel la dose d'atomes de Xénon implantés dans la région semiconductrice (17, 19, 21) est comprise entre lx10'13 et 1x10'17 atomes/cm2. 3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, comprenant en outre, après l'étape d'implantation, une étape de dépôt d'une couche métallique (29). 4. Procédé selon la revendication 3, dans lequel une couche de siliciure est formée à partir de la région semiconductrice (17, 19, 21) et de la couche métallique (29). 5. Procédé selon la revendication 3 ou 4, dans lequel la couche métallique (29) est en un alliage de nickel et de platine. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 3 à 5, comprenant en outre, après le dépôt de la couche métallique (29), le dépôt d'une couche d'encapsulation (31). 7. Procédé selon la revendication 6, dans lequel la couche d'encapsulation (31) est en un composé de titane et d'azote. 8. Procédé selon la revendication 6 ou 7, comprenant en outre, après l'étape de dépôt de la couche d'encapsulation (31), une première étape de recuit. 9. Procédé selon la revendication 8, comprenant en outre, après la première étape de recuit, une étape de gravure. 10. Procédé selon la revendication 9, comprenant en outre, après l'étape de gravure, une deuxième étape de recuit. 10 B17284 - 18-GR4-0159 - DD19027 11. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, dans lequel la région semiconductrice (17, 19, 21) est en silicium, en silicium-germanium, en silicium dopé, ou en silicium-germanium dopé. 12. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, dans lequel la région semiconductrice (17, 19, 21) a une épaisseur comprise entre 5 et 25 nm. 13. Procédé de fabrication d'un transistor comprenant les étapes du procédé de siliciuration selon l'une quelconque des revendications 1 à 12. 14. Circuit électronique comportant une couche de siliciure (33) comprenant des atomes de Xénon. 15. Circuit selon la revendication 14, dans lequel la concentration d'atomes de Xénon dans la couche de siliciure (33) est comprise entre lx10'16 et 5x10'21 atomes/cm'.