Brevet FR3077678A1 — publié le 20190809

Procédé de détection d'une atteinte à l'intégrité d'un substrat semi-conducteur d'un circuit intégré depuis sa face arrière, et dispositif correspondant Des modes de réalisation et de mise en oeuvre de l'invention concernent les circuits intégrés, et plus particulièrement la détection d'une éventuelle attaque à l'intégrité du substrat d'un circuit intégré. Les circuits intégrés, en particulier ceux équipés de mémoires contenant des informations sensibles, doivent être autant que possible protégés contre les attaques, notamment les attaques visant à découvrir des données stockées. Parmi les attaques possibles pour extraire des données confidentielles d'une mémoire d'un circuit intégré, par exemple une mémoire protégée d'une carte à puce, on peut citer des attaques dites par injection de faute (DFA, ou « Differential Fault Analysis ») qui prévoient de perturber le fonctionnement et/ou le contenu de la mémoire, ou encore de modifier le fonctionnement logique du circuit, par exemple au moyen d'un rayonnement (laser, infrarouge, rayons X, etc.) émis à travers la face arrière de la puce. Ces attaques peuvent par exemple être effectuées au moyen d'une sonde ionique focalisée (FIB, « Focus Ion Beam » selon l'acronyme anglo-saxon usuel), utilisant un faisceau d'ions focalisé pour usiner ou déposer des matériaux à l'échelle nanométrique. L'efficacité de ces attaques augmente lorsque le substrat du circuit intégré est aminci par l'attaquant, depuis sa face arrière de façon à se rapprocher le plus possible des composants du circuit intégré, réalisés au niveau de sa face avant. Une étape liminaire d'un tel amincissement peut comprendre par exemple un polissage mécanique ou mécano-chimique depuis la face arrière. Il est donc particulièrement utile de chercher à protéger le circuit intégré contre une attaque à partir de la face arrière du substrat. 2 Il existe un besoin de pouvoir détecter une atteinte à l'intégrité du substrat depuis sa face arrière, permettant de protéger les circuits intégrés contre ce type d'attaques. Selon des modes de mise en oeuvre et de réalisation, il est 5 proposé de répondre à ce besoin avec une solution simple à mettre en oeuvre, garantissant une meilleure sécurité, et requérant une faible surface pour sa réalisation sur le substrat semiconducteur. Selon un aspect, il est proposé un procédé de détection d'une atteinte à l'intégrité d'un substrat semiconducteur d'un circuit intégré 10 protégé par un enrobage, le substrat comprenant une face avant et une face arrière, cette atteinte étant susceptible d'être effectuée depuis la face arrière du substrat, le procédé comprenant une détection d'une ouverture de l'enrobage en regard de la face arrière du substrat. Ainsi, la détection d'une ouverture de l'enrobage permet 15 avantageusement de déceler rapidement une attaque, dès son commencement. Selon un mode de mise en oeuvre, le procédé comprend une fixation d'une plaque électriquement conductrice à l'intérieur de l'enrobage, sur la face arrière, et ladite détection comprend une 20 détection d'un retrait d'au moins une partie de ladite plaque électriquement conductrice. Ainsi, une façon particulièrement simple de détecter une ouverture de l'enrobage prévoit l'utilisation d'une plaque à l'intérieur de l'enrobage et une détection d'un retrait au moins partiel de la 25 plaque. Selon un mode de mise en oeuvre, ladite détection comprend une première mesure d'une valeur résistive du substrat entre un ensemble de n prises de contact mutuellement électriquement couplées et réparties au niveau de la face avant, et la plaque électriquement 30 conductrice. Par « prise de contact » on entend des prises de contact substrat classiquement présentes dans les réalisations de circuits intégrés et par exemple dédiées à la polarisation du substrat. 3 Ces prises de contact peuvent être réalisées par des implantations de régions surdopées, réparties sur la face avant du sub strat. La mesure résistive du substrat effectuée sur n prises de 5 contact correspond à une mesure de la valeur résistive équivalente de n résistances (chacune résultant de la résistivité du substrat) connectées en parallèle. Une valeur résistive nominale selon cette mesure décroît ainsi en 1/n. Par « valeur résistive nominale », on entend la valeur résistive 10 raisonnablement attendue lors d'une mesure effectuée sur une structure n'ayant pas subi d'atteinte à son intégrité. Le nombre n est avantageusement choisi de façon à ce que la valeur résistive nominale correspondante soit suffisamment faible pour détecter facilement une augmentation de la valeur résistive mesurée, 15 résultant par exemple d'un retrait de la plaque électriquement conductrice. L'homme du métier saura choisir le nombre n en fonction notamment de la nature du substrat et de ses dimensions. A titre indicatif, pour un substrat classique en silicium de 20 surface 1x1 mm2, on pourra prendre n de l'ordre de 500. Ainsi, cette mesure permet de détecter un retrait de la plaque électriquement conductrice. Cette mesure permet également de détecter un retrait d'une portion de la plaque électriquement conductrice. Selon un mode de mise en oeuvre, le procédé comprend en outre 25 une détection d'un amincissement du substrat à partir de la face arrière. Selon un mode de mise en oeuvre, la détection de l'amincissement comprend une deuxième mesure d'une valeur résistive du substrat entre un ensemble de m prises de contact, et la plaque 30 électriquement conductrice. Par exemple, dans un mode de mise en oeuvre dans lequel la détection de l'amincissement comprend la première et la deuxième mesure, m est avantageusement inférieur à n. 4 De même, l'homme du métier saura choisir le nombre m en fonction notamment de la nature du substrat et de ses dimensions. A titre indicatif, pour un substrat classique en silicium de surface 1x1 mm2, on pourra prendre m de l'ordre de 1 à n/10. 5 Selon un mode de mise en oeuvre, la détection comprend une troisième mesure d'une valeur résistive du substrat entre au moins deux prises de contact. Cette troisième mesure permet de détecter un amincissement avancé du substrat entre lesdites au moins deux prises de contact. 10 Selon un mode de mise en oeuvre, le procédé comprend une génération d'un signal d'alarme si ladite valeur résistive issue de la première mesure est supérieure à une première valeur résistive nominale dudit substrat. Par « signal d'alarme » on entend par exemple un signal 15 permettant de déclencher des moyens classiques de contre-mesures destinés à contrecarrer une telle attaque, voire de stopper le fonctionnement du circuit intégré. En d'autres termes, si la valeur résistive mesurée est supérieure à ladite première valeur résistive nominale du substrat, on détecte une 20 ouverture de l'enrobage en regard de la face arrière du substrat, et on génère un signal d'alarme. Selon un mode de mise en oeuvre, le procédé comprend une génération d'un signal d'alarme si ladite valeur résistive issue de la deuxième mesure est inférieure à une deuxième valeur résistive 25 nominale dudit substrat. Autrement dit, si la valeur résistive mesurée est inférieure à ladite deuxième valeur résistive nominale du substrat, on détecte un amincissement du substrat, et on génère un signal d'alarme. Selon un mode de mise en oeuvre, le procédé comprend une 30 génération d'un signal d'alarme si ladite valeur résistive issue de la troisième mesure est inférieure à une première troisième valeur résistive nominale du substrat ou supérieure à une deuxième troisième valeur résistive nominale du substrat. 5 La première troisième valeur résistive nominale peut correspondre à une borne basse d'un intervalle de troisièmes valeurs résistives nominales, et la deuxième troisième valeur résistive nominale peut correspondre à une borne haute de l'intervalle de 5 troisièmes valeurs résistives nominales. Ainsi, par exemple, si la valeur résistive issue de la troisième mesure est inférieure à la première troisième valeur résistive nominale, on peut détecter un court-circuit réalisé entre les deux prises de contact correspondant à la troisième mesure. 10 Et, par exemple, si la valeur résistive issue de la troisième mesure est supérieure à une deuxième troisième valeur résistive nominale, on peut détecter un circuit ouvert, entre les deux prises de contact correspondant à la troisième mesure. En effet, notamment en technique FIB, il est possible de 15 déposer des matériaux conducteurs afin de créer un court-circuit d'une prise de contact à une autre, ou de séparer électriquement deux prises de contact, par gravure du substrat depuis la face arrière jusqu'à, par exemple, une couche d'isolation ou le fond d'un caisson formés du côté de la face avant. 20 Selon un autre aspect, il est proposé un circuit intégré, comprenant un substrat semi-conducteur protégé par un enrobage, ayant une face arrière et une face avant, et des moyens de détection d'une atteinte à l'intégrité dudit substrat susceptible d'être effectuée depuis sa face arrière, configurés pour détecter une ouverture de 25 l'enrobage en regard de la face arrière du substrat. Selon un mode de réalisation, les moyens de détection comprennent une plaque électriquement conductrice fixée sur la face arrière du substrat, à l'intérieur de l'enrobage, et un bloc de détection configuré pour détecter un retrait d'au moins une partie de ladite 30 plaque électriquement conductrice. Selon un mode de réalisation, les moyens de détection comprennent des prises de contact mutuellement électriquement couplées réparties au niveau de la face avant du substrat, et le bloc de détection est configuré pour effectuer une première mesure d'une 6 valeur résistive du substrat entre n prises de contact et la plaque électriquement conductrice. Selon un mode de réalisation, le bloc de détection est en outre configuré pour détecter un amincissement du substrat à partir de la 5 face arrière. Selon un mode de réalisation, pour détecter un amincissement du substrat à partir de la face arrière, le bloc de détection est configuré pour effectuer une deuxième mesure d'une valeur résistive du substrat entre un ensemble de m prises de contact, et la plaque 10 électriquement conductrice. Selon un mode de réalisation, pour détecter un amincissement du substrat à partir de la face arrière, le bloc de détection est configuré pour effectuer une troisième mesure d'une valeur résistive du substrat entre au moins deux prises de contact. 15 Selon un mode de réalisation, le bloc de détection est configuré pour générer un signal d'alarme si ladite valeur résistive issue de la première mesure est supérieure à une première valeur résistive nominale du substrat. Selon un mode de réalisation, le bloc de détection est configuré 20 pour générer un signal d'alarme si ladite valeur résistive issue de la deuxième mesure est inférieure à une deuxième valeur résistive nominale du substrat. Selon un mode de réalisation, le bloc de détection est configuré pour générer un signal d'alarme si ladite valeur résistive issue de la 25 troisième mesure est inférieure à une première troisième valeur résistive nominale du substrat ou supérieure à une deuxième troisième valeur résistive nominale du substrat. Il est également proposé un appareil électronique, tel qu'une carte à puce, comprenant un circuit intégré tel que décrit 30 précédemment. D'autres avantages et caractéristiques de l' invention apparaîtront à l'examen de la description détaillée de modes de mise en oeuvre et de réalisation de l'invention, nullement limitatifs, et des dessins annexés sur lesquels : 7 - la figure 1 représente une vue en coupe d'un circuit intégré équipant une carte à puce ; - les figures 2 à 8 illustrent schématiquement différents modes de mise en oeuvre et de réalisation de l'invention. 5 La figure 1 représente un exemple de circuit intégré IC équipant une carte à puce CP. Une carte à puce CP typique est illustrée schématiquement sur le haut de la figure 1. Le circuit intégré IC est assemblé dans le corps de carte CB de la carte à puce CP, sous des contacts MC. Une coupe de 10 cet assemblage est représentée sur le bas de la figure 1. Le circuit intégré IC comprend classiquement un substrat semiconducteur surmonté par une partie d'interconnexion (BEOL : Back End Of Lines). Le circuit intégré IC est recouvert d'une plaque électriquement 15 conductrice PC2. Cette plaque est collée sur la face arrière FR dudit substrat par une couche conductrice adhésive CA et le rattache à une face d'un socle en résine RES. Le socle en résine RES supporte sur sa face opposée des contacts MC dédiés à assurer les connexions du circuit intégré IC avec 20 un terminal tel qu'un lecteur de cartes. Le circuit intégré IC est encapsulé dans une couche d'encapsulation isolante Encap. La couche d'encapsulation isolante Encap est elle-même encapsulée dans un corps de carte CB. 25 Les connexions entre les contacts MC et le circuit intégré IC sont réalisées au moyen de fils BW, dans une configuration typique de puce retournée (« Flip chip » selon le vocable anglosaxon usuel), les fils BW étant soudés d'une part auxdits contacts MC, et d'autre part à des plots de contact (« pads » en langue anglaise) formés sur le dernier 30 niveau de métallisation de la partie d'interconnexion. L'ensemble formé par la plaque électriquement conductrice PC2, la couche conductrice adhésive CA et la résine RES, forme un enrobage du circuit intégré IC. 8 Cela n'exclut pas la possibilité d'utiliser d'autres enrobages connus dans le domaine des circuits intégrés, par exemple adaptés à une autre application qu'une carte à puce. La figure 2 représente un exemple de mode de réalisation du 5 circuit intégré IC. Le circuit intégré IC comporte un substrat semiconducteur ayant une face avant FV, une face arrière FR et des prises de contact PCi, avec i E { 1 0; 11; 12; 13}, réparties au niveau de la face avant FV. Typiquement, le substrat semiconducteur inclut des caissons 10 semiconducteurs CS électriquement isolés du reste du substrat, par exemple par une structure du type triple caisson (« triple well » selon le vocable anglosaxon usuel) classique et connue en soi. Dans cet exemple, le circuit intégré comprend un bloc de détection DIS connecté à la plaque électriquement conductrice PC2 et 15 aux prises de contact PCi. Le bloc de détection DIS permet de mesurer la valeur résistive du substrat entre r prises de contact PCi, r étant défini en fonction du type de mesure à effectuer, et la plaque électriquement conductrice PC2. Dans la suite notamment en relation avec les figures 3 et 4, le 20 nombre r prendra une valeur n lors d'une première mesure, et prendra une autre valeur m lors d'une deuxième mesure. Le bloc de détection DIS permet également d'effectuer une troisième mesure de la valeur résistive du substrat entre uniquement des prises de contact PCi. 25 Par exemple, le bloc de détection DIS comporte un circuit de mesure MES configuré pour effectuer les mesures desdites valeurs résistives du substrat. Le circuit de mesure, de structure classique, peut délivrer une grandeur physique représentative de la valeur résistive du substrat, par exemple une tension si l'on fait circuler un 30 courant de valeur connue dans le substrat entre les prises de contact et la plaque ou bien un courant si l'on applique une tension de valeur connue entre les prises de contact et la plaque. 9 Le bloc de détection DIS comprend par ailleurs deux circuits de comparaison 10, 11 permettant de comparer la valeur résistive du substrat mesurée, à une valeur résistive nominale du substrat. Ici et dans la suite, on entend par « valeur résistive nominale », 5 la valeur résistive raisonnablement attendue lors d'une mesure effectuée sur une structure n'ayant pas subi d'atteinte à son intégrité. Différentes valeurs résistives nominales seront respectivement associées à différentes mesures. Les circuits de comparaison 10, 11 sont décrits dans la suite, 10 en relation avec les figures 6, 7 et 8. La figure 3 représente le circuit intégré IC après avoir subi une ouverture de l'enrobage en regard de la face arrière FR. Plus précisément, la plaque électriquement conductrice PC2 décrite précédemment en relation avec les figures 1 et 2 a été retirée, 15 découvrant ainsi la face arrière FR du substrat. Dans cet état, le bloc de détection DIS va effectuer la première mesure de la valeur résistive R1 entre n prises de contact correspondant à une mesure de la valeur résistive équivalente de n résistances connectées en parallèle, et une borne normalement reliée à 20 la plaque électriquement conductrice PC2. Le retrait de la plaque électriquement conductrice PC2 conduit à une forte augmentation de la résistance du substrat. Le nombre n est avantageusement choisi de façon à ce que la valeur résistive nominale correspondant à la première mesure soit 25 suffisamment faible pour détecter facilement une augmentation de la valeur résistive mesurée. Dans cet exemple, un retrait de la plaque électriquement conductrice PC2 conduit à une valeur résistive mesurée très élevée. La valeur résistive R1 du substrat issue de la première mesure 30 est alors envoyée dans le circuit de comparaison 10 configuré pour comparer la valeur résistive R1 du substrat issue de la première mesure avec une première valeur résistive nominale du substrat REFH. Si la valeur résistive R1 du substrat issue de la première mesure est supérieure à la première valeur résistive nominale REFH, le bloc de 10 détection a détecté un retrait d'au moins une partie de ladite plaque électriquement conductrice PC2. La figure 4 représente le circuit intégré IC après un amincissement du substrat et remise de la plaque électriquement 5 conductrice PC2. Par exemple, pour extraire des données confidentielles d'une mémoire d'un circuit intégré, un attaquant a besoin d'amincir le substrat afin de se rapprocher le plus possible des composants du circuit intégré, réalisés au niveau de sa face avant. 10 Un tel amincissement peut comprendre par exemple un polissage mécano-chimique depuis la face arrière, et/ou un usinage par exemple via une sonde ionique focalisée FIB. Après l'amincissement, l'attaquant peut déposer une plaque électriquement conductrice PC2 sur la face arrière FR. 15 L'amincissement du substrat semiconducteur conduit à une diminution de la valeur résistive du substrat entre des prises de contact PCi, et la plaque électriquement conductrice PC2. Pour détecter un amincissement, on réalise la deuxième mesure de la valeur résistive R2 du substrat entre m prises de contact 20 correspondant à une mesure de la valeur résistive équivalente de m résistances connectées en parallèle, et la plaque électriquement conductrice PC2. Une valeur résistive nominale selon cette mesure décroît ainsi en 1/m. La deuxième mesure est semblable à la première mesure, à ceci 25 près que le nombre m est avantageusement choisi de façon à ce que la valeur résistive nominale correspondante soit suffisamment grande pour détecter facilement une diminution de la valeur résistive mesurée. La répartition géométrique des m prises de contact sur la face avant du substrat est choisie de façon avantageuse pour effectuer une 30 telle mesure. Par exemple, la mesure peut être effectuée globalement dans le substrat, ou séquentiellement dans des régions locales du sub strat. La valeur résistive R2 du substrat issue de la deuxième mesure est envoyée dans un circuit de comparaison 11 configuré pour 11 comparer la valeur résistive R2 du substrat issue de la deuxième mesure avec une deuxième valeur résistive nominale du substrat REFB. Si la valeur résistive R2 du substrat issue de la deuxième mesure est inférieure à ladite deuxième valeur résistive nominale 5 REFB, un amincissement du substrat est détecté par le bloc de détection. La figure 5 illustre schématiquement le circuit intégré IC après plusieurs opérations d'amincissement al et a2 conduisant respectivement à des épaisseurs de substrat dl et d2. 10 Si on amincit le substrat pour s'approcher au plus près d'une région d'intérêt des circuits formés dans les caissons CS, il est probable que l'opération d'amincissement atteigne, au moins sur une partie du substrat, une région d'isolation telle que le fond d'un caisson CS ou même une région d'isolation latérale du type tranchée 15 d'isolation peu profonde STI (« Shallow Trench Isolation »), ou oxyde local (LOCOS pour « LOCal Oxydation of Silicon » selon le terme usuel anglosaxon). Dans ce cas, deux prises de contact peuvent se retrouver électriquement isolées l'une de l'autre, ou bien reliées par un chemin 20 résistif via le reste du substrat plus long que dans une configuration inaltérée, et alors la valeur résistive R3 du substrat issue de la troisième mesure entre des prises de contact PCi augmente fortement. Cela correspond par abus de langage à un circuit-ouvert. On peut être amené à réaliser une connexion électrique, dite 25 court-circuit, entre deux prises de contact PCi, en déposant, par exemple, un matériau électriquement conducteur entre les deux prises de contact. La valeur résistive R3 issue de la troisième mesure est envoyée dans les circuits de comparaison 10 et 11 dans les deux cas d'atteinte à 30 l'intégrité du substrat, c'est-à-dire, la réalisation d'un circuit-ouvert ou d'un court-circuit. Si la valeur résistive R3 du substrat issue de la troisième mesure est supérieure à une valeur résistive nominale correspondante 12 dudit substrat REFH2, le circuit de comparaison 10 génère un signal d' alarme. Si la valeur résistive R3 du substrat issue de la troisième mesure est inférieure à une autre valeur résistive nominale 5 correspondante dudit substrat REFB2, le circuit de comparaison 11 génère un signal d'alarme. La figure 6 illustre schématiquement le premier circuit de comparaison 10 pour mettre en oeuvre la première détection d'une atteinte à l'intégrité du substrat en relation avec la première mesure, 10 décrite précédemment en relation avec la figure 3. Après avoir réalisé la première mesure, la valeur résistive mesurée R1 est envoyée sur une entrée non-inverseuse d'un comparateur COM1. Une entrée inverseuse prend en entrée une première valeur 15 résistive nominale REFH du substrat. Le comparateur COM1 compare les deux valeurs reçues en entrée sur ses deux bornes et génère un signal d'alarme ALR si la valeur résistive R1 issue de la première mesure est supérieure à la première valeur résistive nominale REFH du substrat. 20 Ainsi, si on détecte un retrait de la plaque électriquement conductrice, le signal d'alarme ALR sera généré. Le signal d'alarme ALR permet par exemple de déclencher des moyens classiques de contre-mesures destinés à contrecarrer l'attaque réalisée sur le substrat. 25 La figure 7 illustre schématiquement le deuxième circuit de comparaison 11 pour mettre en oeuvre la deuxième détection d'une atteinte à l'intégrité du substrat en relation avec la deuxième mesure, décrite précédemment en relation avec la figure 4. La valeur résistive mesurée R2 issue de la deuxième mesure est 30 envoyée sur une entrée inverseuse d'un comparateur COM2. Une entrée non-inverseuse prend en entrée une deuxième valeur résistive nominale REFB du substrat. Le comparateur COM2 compare les deux valeurs reçues en entrée sur ses deux bornes et génère un signal d'alarme ALR si la 13 valeur résistive R2 issue de la deuxième mesure est inférieure à la valeur résistive nominale REFB du substrat. Ainsi, si on détecte un amincissement du substrat, le signal d'alarme ALR sera généré. 5 De même, le signal d'alarme ALR permet par exemple de déclencher des moyens classiques de contre-mesures destinés contrecarrer l'attaque réalisée sur le substrat. La figure 8 illustre schématiquement les deux blocs de comparaison 10 et 11 relativement à la troisième mesure. 10 Après la réalisation de la troisième mesure, la valeur résistive mesurée R3 est envoyée sur l'entrée non-inverseuse premier comparateur COM1, et sur l'entrée inverseuse d'un deuxième comparateur COM2. L'entrée inverseuse du comparateur COM1 reçoit une troisième 15 valeur résistive nominale REFH2 du substrat. L'entrée non-inverseuse du deuxième comparateur COM2 reçoit une autre troisième valeur résistive nominale REFB du substrat. Le premier comparateur COM1 compare les deux valeurs reçues en entrée sur ses deux bornes et génère un signal d'alarme ALR si la 20 valeur résistive R3 issue de la troisième mesure est supérieure à la valeur résistive nominale REFH2 du substrat. Ainsi, si on a un circuit ouvert, le signal d'alarme ALR sera généré. Le deuxième comparateur COM2 compare les deux valeurs 25 reçues en entrée sur ses deux bornes et génère un signal d'alarme ALR si la valeur résistive R3 issue de la troisième mesure est inférieure à la valeur résistive nominale REFB2 du substrat. Ainsi, si on a un court-circuit, le signal d'alarme ALR est généré. 30 De même, le signal d'alarme ALR permet par exemple de déclencher des moyens classiques de contre-mesures destinés contrecarrer l'attaque réalisée sur le substrat. Par ailleurs, l'invention n'est pas limitée à ces modes de réalisation mais en embrasse toutes les variantes, par exemple des 14 combinaisons non-décrites de prises de contact peuvent être utilisées pour mettre en oeuvre les première, deuxième ou troisième mesures, ainsi que l'utilisation REVENDICATIONS1. Procédé de détection d'une atteinte à l'intégrité d'un substrat semi-conducteur (P) d'un circuit intégré (CI) protégé par un enrobage, le substrat comprenant une face avant (FV) et une face arrière (FR), cette atteinte étant susceptible d'être effectuée depuis la face arrière (FR) du substrat, le procédé comprenant une détection d'une ouverture de l'enrobage en regard de la face arrière du substrat. 2. Procédé selon la revendication 1, comprenant une fixation d'une plaque électriquement conductrice à l'intérieur de l'enrobage, sur la face arrière, dans lequel ladite détection comprend une détection d'un retrait d'au moins une partie de ladite plaque électriquement conductrice. 3. Procédé selon l'une des revendications 1 ou 2, dans lequel ladite détection comprend une première mesure d'une valeur résistive (R1) du substrat entre un ensemble de n prises de contact (PC1i) mutuellement électriquement couplées et réparties au niveau de la face avant, et la plaque électriquement conductrice (PC2). 4. Procédé selon l'une des revendications précédentes, comprenant en outre une détection d'un amincissement du substrat à partir de la face arrière (FR). 5. Procédé selon la revendication 4, dans lequel la détection de l'amincissement comprend une deuxième mesure d'une valeur résistive (R2) du substrat entre un ensemble de m prises de contact (PC1), et la plaque électriquement conductrice (PC2). 6. Procédé selon l'une des revendications 4 ou 5, dans lequel la détection de l'amincissement comprend une troisième mesure d'une valeur résistive (R3) du substrat entre au moins deux prises de contact (PC10, PC11). 7. Procédé selon l'une des revendications précédentes prise en combinaison avec la revendication 3, comprenant une génération d'un signal d'alarme (ALR) si ladite valeur résistive (R1) issue de la première mesure est supérieure à une première valeur résistive nominale (REFH) dudit substrat. 16 8. Procédé selon l'une des revendications précédentes prise en combinaison avec la revendication 5, comprenant une génération d'un signal d'alarme (ALR) si ladite valeur résistive (R2) issue de la deuxième mesure est inférieure à une deuxième valeur résistive 5 nominale (REFB) dudit substrat. 9. Procédé selon l'une des revendications précédentes prise en combinaison avec la revendication 6, comprenant une génération d'un signal d'alarme (ALR) si ladite valeur résistive (R3) issue de la troisième mesure est inférieure à une première troisième valeur 10 résistive nominale (REFB) du substrat ou supérieure à une deuxième troisième valeur résistive nominale (REFH) du substrat. 10. Circuit intégré, comprenant un substrat semi-conducteur (P) protégé par un enrobage, ayant une face arrière (FR) et une face avant (FV), et des moyens de détection d'une atteinte à l'intégrité dudit 15 substrat (P) susceptible d'être effectuée depuis sa face arrière (FV), configurés pour détecter une ouverture de l'enrobage en regard de la face arrière du substrat. 11. Circuit intégré selon la revendication 10, dans lequel les moyens de détection comprennent une plaque électriquement 20 conductrice fixée sur la face arrière du substrat, à l'intérieur de l'enrobage, et un bloc de détection configuré pour détecter un retrait d'au moins une partie de ladite plaque électriquement conductrice. 12. Circuit intégré selon la revendication 11, dans lequel les moyens de détection comprennent des prises de contact mutuellement 25 électriquement couplées réparties au niveau de la face avant du substrat, et le bloc de détection est configuré pour effectuer une première mesure d'une valeur résistive (R1) du substrat entre n prises de contact (PC li) et la plaque électriquement conductrice (PC2). 13. Circuit intégré selon l'une des revendications 11 ou 12, 30 dans lequel le bloc de détection est en outre configuré pour détecter un amincissement du substrat à partir de la face arrière (FR). 14. Circuit intégré selon la revendication 13, dans lequel, pour détecter un amincissement du substrat à partir de la face arrière, le bloc de détection est configuré pour effectuer une deuxième mesure 17 d'une valeur résistive (R2) du substrat entre un ensemble de m prises de contact (PC1), et la plaque électriquement conductrice (PC2). 15. Circuit intégré selon l'une des revendications 13 ou 14, dans lequel, pour détecter un amincissement du substrat à partir de la 5 face arrière, le bloc de détection est configuré pour effectuer une troisième mesure d'une valeur résistive (R3) du substrat entre au moins deux prises de contact (PC10, PC11). 16. Circuit intégré selon l'une des revendications précédentes prise en combinaison avec la revendication 12, dans lequel le bloc de 10 détection est configuré pour générer un signal d'alarme (ALR) si ladite valeur résistive (R1) issue de la première mesure est supérieure à une première valeur résistive nominale (REFH) dudit substrat. 17. Circuit intégré selon l'une des revendications précédentes prise en combinaison avec la revendication 14, dans lequel le bloc de 15 détection est configuré pour générer un signal d'alarme (ALR) si ladite valeur résistive (R2) issue de la deuxième mesure est inférieure à une deuxième valeur résistive nominale (REFB) du substrat. 18. Circuit intégré selon l'une des revendications précédentes prise en combinaison avec la revendication 15, dans lequel le bloc de 20 détection est configuré pour générer un signal d'alarme (ALR) si ladite valeur résistive (R3) issue de la troisième mesure est inférieure à une première troisième valeur résistive nominale (REFB) du substrat ou supérieure à une deuxième troisième valeur résistive nominale (REFH) du substrat. 25 19. Appareil électronique, tel qu'une carte à puce (CP), comportant un circuit intégré (CI) selon l'une des revendications 10 à 18