Brevet FR3085078A1 — publié le 20200221

DOMAINE TECHNIQUE GENERAL L'invention concerne un procédé de fabrication d'un capteur de motif thermique, par exemple un capteur d'empreintes digitales dit « actif », réalisant une détection thermique active ou passive et comprenant, de préférence, une matrice active ou passive de pixels. L'invention concerne plus particulièrement la fabrication de la matrice de pixels. ETAT DE LA TECHNIQUE Un capteur d'empreintes digitales comporte des moyens de détection thermique. Ces moyens de détection thermique peuvent correspondre à des éléments pyroélectriques, des diodes, des thermistances ou tout autre élément sensible à la température permettant de convertir une variation de température en une variation de potentiel ou de courant électrique. On connaît des documents US 6 091 837, EP 2 385 486 Al et WO 2018/020176 des capteurs d'empreintes digitales dits « actifs » réalisant une détection thermique active et comprenant une matrice passive de pixels. La figure 1 illustre une vue en coupe la structure d'un tel capteur qui comprend, notamment, les couches ci-dessous déposées les unes après les autres au-dessus d'un support S0. Un tel support SO (par exemple un substrat) est en PET ou PEN ou PI, ou encore de type Cl U (ABF, FR4, ...) ou encore en verre. La première couche 10 est constituée par un motif en matériau conducteur électrique (Au, Ag, Al, Cu) comportant des colonnes M1 métalliques et une ligne de masse (non représentée). La deuxième couche 20 est constituée d'un matériau pyroélectrique composé d'un copolymère de PVDF (en anglais, « PolyVinyliDeneFluoride » pour Polyfluorure de Vinydilène) et de Trfe (trifluoroethylène) qui recouvre les lignes Ml. La troisième couche 30 est en matériau conducteur électrique et supporte une quatrième couche 40 en matériau diélectrique elle-même supportant une cinquième couche 50 comportant des lignes en matériau conducteur électrique, de préférence métallique, qui vont être chauffées. Enfin une sixième couche 60 de protection recouvre l'ensemble. 2 Chaque pixel est formé par une capacité pyroélectrique elle-même formée de deux électrodes conductrices électriquement et thermiquement (mais dans une moindre mesure afin d'éviter un éventuel court-circuit thermique latéral) (première et troisième couches 10, 30) entre lesquelles une portion de matériau pyroélectrique est 5 disposée, et un élément chauffant (couche 50). Cet élément chauffant dissipe une certaine quantité de chaleur dans le pixel, et l'échauffement du pixel est mesuré au bout d'un certain temps d'acquisition, appelé temps d'intégration, en présence du doigt sur le capteur. Cela permet de distinguer, au niveau de chaque pixel, la présence d'une crête ou d'une vallée de l'empreinte détectée suivant que la chaleur 10 est absorbée par la peau (pixel en présence d'une crête de l'empreinte) ou conservée dans le pixel (pixel en présence d'une vallée de l'empreinte). Cela conduit à une température finale plus faible dans le cas d'un pixel en présence d'une crête, où la chaleur est absorbée par la peau, par rapport à un pixel en présence d'une vallée. De manière classique un tel capteur peut être fabriqué au moyen de diverses 15 techniques d'impression ou par des méthodes soustractives comme la photolithographie notamment pour ce qui est de l'obtention de la matrice passive de pixels. Toutes les techniques d'impression ne permettent pas d'accéder à ce dispositif avec le même coût. Aussi, il existe un besoin de pouvoir mettre en oeuvre des techniques de dépôt par voie liquide (en anglais, « slot die ») qui sont peu coûteuses 20 pour fabriquer un tel capteur. PRESENTATION DE L'INVENTION Un but de l'invention est de proposer une matrice de pixels d'un capteur de motif 25 thermique, qui est un motif tridimensionnel (3D), pouvant être obtenue au moyen d'un procédé à rouleau (en anglais « roll to roll ») ou feuille à feuilles (en anglais, « sheet to sheet ») combiné à des techniques d'impression / dépôt des couches qui soient peu coûteuses. A cet effet, l'invention propose selon un premier aspect un procédé de 30 fabrication d'une matrice de pixels d'un capteur de motif thermique, le procédé comprenant les étapes de : fourniture d'un substrat ; formation d'une première couche en matériau électriquement conducteur, comprenant : 3 o un dépôt de pistes électriquement conductrices s'étendant selon une première direction d'allongement ; o un dépôt de pattes de connexion, s'étendant depuis les pistes, selon une deuxième direction d'allongement, différente de la première direction d'allongement, 5 et en se dirigeant vers un premier bord du substrat, dit bord de sortie ; o un dépôt d'une bande de masse destinée à former la masse du capteur ; formation d'une deuxième couche en matériau pyroélectrique recouvrant les pistes et laissant libre au moins une partie des pattes de connexion ; formation d'une troisième couche en matériau électriquement conducteur 10 déposée à cheval entre la couche de matériau pyroélectrique et la bande de masse sans recouvrir la partie libre des pattes de connexion ; formation d'une quatrième couche en matériau diélectrique en contact avec la troisième couche et s'étendant de manière à recouvrir les pistes de la première couche ; 15 dépôt d'une cinquième couche comprenant des pistes électriquement conductrices chauffantes lesdites pistes électriquement conductrices chauffantes s'étendant depuis la bande de masse vers le premier bord du substrat de manière à recouvrir les pistes de la première couche ; dépôt d'une sixième couche de protection ; 20 procédé de fabrication dans lequel le dépôt de la deuxième couche et/ou le dépôt de la troisième couche et/ou le dépôt de la quatrième couche et/ou le dépôt de la sixième couche est mis en oeuvre par dépôt par voie liquide au moyen d'une filière à fente. 25 Les avantages de l'invention sont multiples. L'agencement des différentes couches de la matrice de pixels permet de mettre en oeuvre des techniques simples et peu coûteuses pour fabriquer lesdites couches. En effet, les couches constituées d'au moins une bande de largeur 30 préférentiellement supérieure ou égale à 5 mm peuvent être déposées par voie liquide au moyen d'une technique mettant en oeuvre une filière en forme de fente au travers de laquelle le matériau à déposer est amené sur la surface sous forme d'encre. En anglais, cette technique est connue sous le terme « slot die » ou « slit coating ». Cette 4 technique est très adaptée lorsqu'il s'agit de déposer des bandes continues ou de longues bandes. L'invention est avantageusement complétée par les caractéristiques suivantes, 5 prises seules ou en une quelconque de leurs combinaisons techniquement possibles : - les couches sont formées successivement de la manière suivante : formation de la première couche, formation de la deuxième couche, formation de la troisième couche, formation de la quatrième couche, formation de la cinquième couche, 10 formation de la sixième couche ; - les couches sont formées successivement de la manière suivante : formation de la cinquième couche, formation de la quatrième couche, formation de la première couche, formation de la deuxième couche, formation de la troisième couche, formation de la sixième couche ; 15 - la première couche comprend en outre une bande de polarisation connectée à des colonnes du motif métallique de la première couche ; - les pistes de la première couche forment un serpentin, les pistes étant connectées deux à deux au moyen de bandelettes métalliques ; - la première couche comprend en outre des pavés métalliques destinés à être 20 dans le prolongement des pistes électriquement conductrices chauffantes de la cinquième couche ; - les pistes et les pattes de connexions de la première couche forment une pluralité de L imbriqués les uns dans les autres ; - à l'issue du procédé, les pattes de connexions sont toutes en-dessous des 25 pistes électriquement conductrices chauffantes de la cinquième couche ; - les pistes et les pattes de connexion de la première couche forment une alternance de L et de L retournés ; - l'étape de formation de la troisième couche est mise en oeuvre de sorte à ménager un espace selon la deuxième direction d'allongement le long duquel la 30 deuxième couche en matériau pyroélectrique reste apparente ; - au cours de l'étape de formation de la deuxième couche, on réalise une juxtaposition de plusieurs bandes de matériau pyroélectrique afin de réaliser plusieurs matrices de pixels en parallèle. 5 L'invention se rapporte selon un deuxième aspect à une matrice de pixels d'un capteur de motif thermique fabriquée par un procédé tel que défini ci-avant. L'invention concerne selon un troisième aspect un capteur de motif thermique comprenant une matrice de pixels telle que définie ci-avant, la matrice étant 5 typiquement passive ou active. PRESENTATION DES FIGURES D'autres caractéristiques, buts et avantages de l'invention ressortiront de la 10 description qui suit, qui est purement illustrative et non limitative, et qui doit être lue en regard des dessins annexés sur lesquels, outre la figure 1 déjà discutée : la figure 2a illustre une vue de dessus d'une matrice de pixels selon un premier mode de réalisation de l'invention ; - la figure 2b illustre une vue de côté en coupe de la matrice de la figure 2a ; 15 les figures 3a à 8b illustrent le dépôt des couches successives au cours d'un procédé de fabrication d'une matrice de pixels selon l'invention. - la figure 9 illustre une vue de dessus d'une matrice de pixels selon un deuxième mode de réalisation ; la figure 10 illustre une vue de dessus d'une matrice de pixels selon un mode 20 de réalisation complémentaire au premier mode de réalisation ; - la figure 11 illustre une vue dessus d'une matrice de pixels selon un mode de réalisation complémentaire au premier mode de réalisation ; - la figure 12 illustre une vue de dessus d'une matrice de pixels selon un mode de réalisation complémentaire au premier mode de réalisation ou au second 25 mode de réalisation ; - la figure 13 illustre une vue de dessus d'une matrice de pixels selon un mode complémentaire mode de réalisation de la figure 12. Sur l'ensemble des figures les éléments similaires portent des références identiques. 30 DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION 6 La figure 2a illustre une vue de dessus d'une matrice d'un capteur thermique selon un mode de réalisation de l'invention et la figure 2b illustre une vue de côté d'une coupe A-A du motif de la figure 2a. Sur cette figure, on voit un motif complet Mi et le début du motif suivant Mi+1, 5 les deux étant séparés sur la figure par un trait épais en pointillés (il s'agit en fait d'une ligne imaginaire de découpe selon laquelle à l'issue de toutes les étapes de fabrication la matrice sera découpée selon cette ligne). En effet, selon un mode de réalisation préféré, et dans ce qui suit, on se place dans le cas d'une impression à rouleaux (en anglais « roll to roll ») selon laquelle un 10 rouleau comprenant un flux continu de supports est déroulé pour être amené à plusieurs étages d'impression. L'intérêt de l'impression à rouleau est qu'elle est plus rapide qu'une impression support par support et évite les opérations de manipulation pour amener un support d'un étage d'impression à un autre étage d'impression. En outre, l'impression à rouleaux permet de manipuler des supports très 15 minces. En effet la manipulation support par support exige une certaine rigidité alors qu'en rouleau, la tension du rouleau rend des supports très minces manipulables. On comprendra que plusieurs matrices peuvent êtres obtenues sur la largeur d'un seul rouleau, la largeur étant mesurée selon une direction sensiblement perpendiculaire à une direction de déroulement du rouleau. Le rouleau de support 20 doit alors présenter une largeur suffisante pour réaliser une juxtaposition de plusieurs bandes. Bien entendu, on comprend que la matrice peut être obtenue au moyen d'un procédé d'impression ou de dépôt par voie liquide en mode feuille à feuille. En outre, on va décrire ci-après la fabrication d'une matrice. 25 Toutefois,comme indiqué ci-avant, plusieurs matrices peuvent être obtenues en parallèle sur la largeur du support, conditionnellement à la largeur des rouleaux sur lesquels est enroulé le support. En relation avec les figures 2a et 2b, la matrice comprend un empilement de plusieurs couches 100, 200, 300, 400, 500, 600 sur un support S tel qu'un substrat. 30 Cet empilement n'est pas limitatif comme on le verra par la suite. Le support S présente un premier bord s1, un deuxième bord s2 et une surface s3 supérieure rectangulaire ayant une largeur selon un axe X et une longueur selon un axe Y. 7 Le support S est par exemple en verre ou en matériau semiconducteur (tel que du Si). En outre, le support S présente une épaisseur comprise entre 25 et 200 microns, typiquement 50 à 125 microns. De préférence, et afin d'être compatible avec un procédé d'impression ou de 5 dépôt par voie liquide par rouleau, le support S est un matériau souple par exemple à base de PI (polyimide) ou de PEN (polytéthylène naphtalate) ou de PET (polyéthylène téréphtalate). Sur ce support S plusieurs couches sont déposées, typiquement par des techniques de dépôt en voie liquide qui seront décrites plus loin. 10 Une première couche 100 comprend un motif conducteur électrique (voir les figures 3a et 3b), le motif métallique conducteur électrique comprenant - Des pistes formant des colonnes c1, c2, 0128 de la matrice de pixels et qui constituent l'électrode inférieure. Ces pistes sont parallèles entre elles selon une première direction d'allongement (selon l'axe Y). Typiquement la matrice 15 comprend 128 pistes. - Des pattes pi, p2, p128 de connexion, s'étendant depuis les pistes, selon une deuxième direction d'allongement (selon l'axe X), et en se dirigeant vers un premier bord du substrat S dit bord de sortie (c'est à-dire le bord par lequel les connexions/soudures seront effectuées). 20 - une bande m de masse parallèle aux pistes et s'étendant le long d'un second bord opposé au premier bord (selon l'axe Y) ; Le motif conducteur électrique est en matériau métallique, typiquement de l'or, ou un métal moins précieux (Argent, Aluminium ou Cuivre, etc.). L'épaisseur du motif métallique est comprise entre 50 et 200 nm. 25 A noter que la figure 2b est une coupe selon l'axe AA de sorte que les pattes de connexions ne sont pas visibles. Cette première couche est avantageusement déposée au moyen d'une impression par offset ou par gravure ou héliogravure ou bien encore par lithographie ou structuration laser. On remarquera que sont déposées des bandes de largeur 30 constante. La technique par offset consiste en ce qu'un cylindre vient déposer le métal sur un second cylindre qui passe sur le support S. Bien entendu le diamètre du rouleau doit être correctement agencé pour faire des motifs réguliers. Cette technique d'impression présente l'avantage d'imprimer des motifs précis. 8 Une deuxième couche 200 (voir les figures 4a et 4b), comprenant, de préférence une bande 221 rectangulaire, en matériau pyroélectrique recouvrant les pistes ci, c2, ci28 et laissant libre au moins une partie des pattes pi, p2, p128 de connexion. 5 Un matériau pyroélectrique est par exemple du P(VDF-TrFE) ou du PVDF. D'autres variantes peuvent être envisagées pour le choix du matériau dès lors qu'il est adapté pour former une capacité pyroélectrique. Comme visible sur la figure 4a, la bande 221 est de largeur constante (rectangulaire sur la figure 4a) et recouvre les pistes ci, c2, ci28 mais pas l'intégralité 10 des pattes pl, p2, p128 de connexion qui sont laissées apparentes pour pouvoir effectuer des connexions/soudures. De même la bande 221 en matériau pyroélectrique ne recouvre pas (même partiellement) la bande m de masse. Ainsi, éventuellement il y a un espace entre la bande 221 en matériau pyroélectrique et la bande m rectangulaire de masse. 15 A titre d'exemple, l'épaisseur de la deuxième couche 200 (matériau pyroélectrique) est comprise entre 1 et 10 microns de préférence de 2 à 5 microns et encore plus préférentiellement de 3 microns. Cette deuxième couche 200 est avantageusement déposée par voie liquide au moyen d'une filière à fente (« slot die ») réalisant une bande continue dans la 20 direction de déroulement du rouleau, ou en réalisant de longues bandes dans le cas d'un mode feuille à feuille, ou encore une juxtaposition de plusieurs bandes lorsque plusieurs matrices sont fabriquées en parallèle. De préférence, au cours de l'étape de dépôt les bandes s'étendent entre chaque ligne de découpe, la forme rectangulaire étant obtenue après découpe de la matrice. 25 Optionnellement, la couche de matériau pyroélectrique peut être déposée en deux (ou plus) passes, ou deux couches successives pour faciliter et obtenir un dépôt plus homogène, surtout lorsque l'épaisseur finale devient importante, par exemple 5 microns. Une troisième couche 300 (voir les figures 5a et 5b) comprenant une bande 30 331 de largeur constante en matériau conducteur électrique à cheval entre la bande 221 en matériau pyroélectrique de la deuxième couche et la bande m de masse sans recouvrir complètement la partie libre des pattes de connexions de la première couche. Cette troisième couche est avantageusement déposée par voie liquide au moyen d'une filière à fente (« slot die ») réalisant une bande continue dans la direction 9 de déroulement du rouleau ou en réalisant de longues bandes dans le cas d'un mode feuille à feuille ou encore une juxtaposition de plusieurs bandes lorsque plusieurs matrices sont fabriquées en parallèle. De préférence, au cours de l'étape de dépôt les bandes s'étendent entre chaque ligne de découpe, la forme rectangulaire étant 5 obtenue après découpe de la matrice. Cette troisième couche 300 constitue une électrode supérieure pour la matrice du capteur et est typiquement en PEDOT:PSS ou en encre conductrice à base d'argent. Comme visible la figure 5a, la bande 331 de la troisième couche 300 est connectée à la bande m de masse. Là encore les pattes i n r, p2, ,- n 128 de connexions 10 sont laissées apparentes. De préférence, une partie de la bande rectangulaire 221 en matériau pyroélectrique est laissée apparente le long du premier bord S1 du support S à l'issue du dépôt de la bande 331 en matériau conducteur électrique. On ménage un espace selon la deuxième direction d'allongement X le long duquel la bande 221 en matériau 15 pyroélectrique reste apparente. A titre d'exemple, l'épaisseur de la troisième couche est comprise entre 100 et 2000 nanomètres, de préférence inférieure à 1000 nanomètres et plus précisément autour de 400 nm. Une quatrième couche 400 (voir les figures 6a et 6b) comprenant une bande 20 441 de largeur constante en matériau diélectrique en contact avec la bande 221 en matériau pyroélectrique de la deuxième couche 200 et la bande 331 en matériau métallique de la troisième couche 300. La bande 441 rectangulaire en matériau diélectrique est en contact avec la troisième couche 300 et s'étend de manière à recouvrir les pistes de la première 25 couche 100. Cette quatrième couche 400 est avantageusement déposée par dépôt par voie liquide au moyen d'une filière à fente (« slot die ») en réalisant une bande continue dans la direction de déroulement du rouleau ou en réalisant de longues bandes dans le cas d'un mode feuille à feuille ou encore une juxtaposition de 30 plusieurs bandes lorsque plusieurs matricés sont fabriquées en parallèle. De préférence, au cours de l'étape de dépôt les bandes s'étendent entre chaque ligne de découpe, la forme rectangulaire étant obtenue après découpe de la matrice. Une cinquième couche 500 (voir les figures 7a et 7b) comprenant des pistes W1, w2, W128 électriquement conductrices de chauffage disposées s'étendant depuis 10 la bande de masse de la première couche vers le premier bord du support S de manière à recouvrir les pistes de la première couche. Ces pistes constituent les lignes de la matrice de pixels. Les pistes w,, w2, W128de chauffage sont connectées à la bande de masse et 5 ne vont pas au-delà des pattes pi, pi28 de connexion. En outre, les pistes w1, w2, wi28 électriquement conductrices de chauffage sont connectées à l'électrode supérieure constituée par la troisième couche 300 ou à la bande de masse m. On note que dans le cas où la quatrième couche 400 déborde de la bande 331 de la troisième couche 300 le contact électrique est toujours assuré puisque les deux couches sont reliées à 10 la même bande de masse. A titre d'exemple, les pistes électriquement conductrices de chauffage sont en matériau métallique, typiquement de l'or, ou un métal moins cher (Argent, Aluminium ou Cuivre, etc.). L'épaisseur des bandes métalliques de chauffage est comprise entre 20 et 2000 nm, typiquement 500 à 1000 nm. Le choix du métal est peu important, 15 l'essentiel étant d'avoir une résistance contrôlée. Cette cinquième couche 500 est avantageusement déposée au moyen d'une impression par offset ou par héliogravure ou par dépôt sous vide de metal (PVD) associé à un moyen de photolithographie ou de structuration laser. Une sixième couche 600 (voir les figures 8a et 8b) comprenant une bande 20 661 de largeur constante de protection s'étendant selon l'axe X depuis la bande m de masse vers le premier bord s1 du support S. La bande 661 rectangulaire de protection est telle qu'elle laisse apparente les pattes de connexion et les extrémités des pistes de chauffage w. L'épaisseur de la bande rectangulaire de protection doit être optimisée pour 25 protéger les couches au-dessous tout en laissant passer la chaleur. Par exemple, l'épaisseur de la sixième couche est comprise entre 2 et 10 microns. Cette sixième couche 600 est avantageusement déposée par voie liquide au moyen d'une filière à fente (« slot die » en réalisant une bande continue dans la 30 direction de déroulement du rouleau ou en réalisant de longues bandes dans le cas d'un mode feuille à feuille ou encore une juxtaposition de plusieurs bandes lorsque plusieurs matrices sont fabriquées en parallèle. De préférence, au cours de l'étape de dépôt les bandes s'étendent entre chaque ligne de découpe, la forme rectangulaire étant obtenue après découpe du motif. 11 En outre, cette sixième couche 600 est avantageusement en matériau : DYMAX 0C3021, DYMAX 0C4122, PHC XH100, UVHC7300, UVL3. La figure 9 illustre une matrice selon un deuxième mode de réalisation. Ce deuxième mode de réalisation diffère du premier mode de réalisation par 5 les dispositions des pattes pl, p128 de connexion de la première couche 100. En particulier, les pistes et les pattes de connexion de la première couche forment une alternance de L et de L retournés de telle sorte que les pattes de connexions sont pour une partie au-dessus des pistes électriquement conductrices de chauffage de la cinquième couche et au-dessous des pistes électriquement 10 conductrices de chauffage selon une direction Y du support S. En relation avec la figure 10 et de manière complémentaire au premier mode de réalisation, on peut prévoir que la première couche comprend en outre une bande POL de polarisation connectée aux pistes ci, c128. Cette bande POL de polarisation est dans ce cas imprimée entre deux matrices de pixels Mi, Mi+1. 15 En effet, pour que le matériau pyroélectrique acquière ses propriétés pyroélectriques il faut le polariser une bonne fois pour toute en le soumettant un champ électrique d'environ 100 à 120 volts par micron d'épaisseur du matériau pyroélectrique, par exemple 350 volts pour 3 microns. C'est par l'intermédiaire des pistes de la première couche que le matériau pyroélectrique de la deuxième couche 20 120 directement au-dessus des colonnes de la première couche 110 va être polarisé. En outre, on prévoit dans ce mode de réalisation de la figure 10 des pistes de la première couche plus grandes que celles prévues dans le premier mode de réalisation, ceci pour permettre de connecter toutes les pistes. Une fois le matériau pyroélectrique polarisé la zone comportant la bande de 25 polarisation est découpée. Toujours pour des questions de polarisation, en relation avec la figure 11, en variante, on prévoit que les pistes c1, c2 de la première couche forment un serpentin, les pistes étant connectés au moyen de bandelettes b métalliques dans des zones qui sont destinés à être découpées, une zone étant située entre deux matrices de 30 pixels Mi, M-0 et l'autre zone, au-delà du bord de sortie (voir la ligne de découpe verticale à gauche sur la figure 12). On note que c'est dans cette zone que la bande de polarisation est imprimée. Grâce à cette disposition de la figure 11, on peut alors contrôler l'ensemble des pistes avec une seule mesure de résistance et seulement deux pointes (au lieu 12 de 128 + 1 dans la figure 10 (et impossible dans le premier mode de réalisation puisque l'autre côté ne sort pas). En relation avec la figure 12, de manière complémentaire au premier mode de réalisation ou au second mode de réalisation, on prévoit que les pistes 5 électriquement conductrices de chauffage se terminent au niveau du bord de sortie par des pavés conducteurs électriques wv, w2, w128. Les pavés conducteurs électriques sont du même matériau que celui utilisé pour la première couche et réalisés en même temps que celle-ci. Ainsi les lignes et les colonnes de la matrice sortent par le bord de sortie selon un seul et même métal ce qui facilite les connexions 10 ultérieures. De plus la quatrième couche 400 peut être entièrement recouverte par la cinquième couche 500 pour la protéger. Ceci est particulièrement favorable dans le cas d'une couche en Argent pour prévenir sa sulfuration. De tels pavés sont très avantageux lorsqu'il s'agira de connecter les lignes et les colonnes de la matrice à une puce 700 en silicium comme illustré sur la figure 13. 15 La puce 700 est montée en flip-chip (puce retournée) c'est-à-dire la tête en bas avec ses plots de contact vers le bas en face des zones métalliques sortant par le bord de sortie. Selon un premier mode de fabrication, le procédé de fabrication de la matrice comprend dont les étapes suivantes mises en oeuvre successivement : 20 - dépôt El de la première couche comprenant le dépôt des pistes, le dépôt des pattes de connexion et le dépôt de la bande de masse ; - dépôt E2 de la deuxième couche ; - dépôt E3 de la troisième couche ; - dépôt E4 de la quatrième couche ; 25 - dépôt E5 de la cinquième couche ; - dépôt E6 de la sixième couche. Selon une deuxième de fabrication, le procédé de fabrication de la matrice comprend dont les étapes suivantes mises en oeuvre successivement : - dépôt E5 de la cinquième couche ; 30 - dépôt E4 de la quatrième couche ; dépôt El de la première couche comprenant le dépôt des pistes, le dépôt des pattes de connexion et le dépôt de la bande de masse ; - dépôt E2 de la deuxième couche ; - dépôt E3 de la troisième couche ; 13 - dépôt E6 de la sixième couche. La matrice ainsi décrite présente donc l'avantage d'être obtenue au moyen d'une technique d'impression à rouleaux comprenant plusieurs étages de dépôt par voie liquide « slot die ». 5 En outre, le fait de prévoir les pattes de connexion sur un des côtés du support S permet d'imprimer en flux continu des matrices de pixels sur un support S qui chemine d'étage REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication d'une matrice de pixels d'un capteur de motif thermique, le procédé comprenant les étapes suivantes : - fourniture d'un substrat (S) ; - formation (El) d'une première couche (100) en matériau électriquement conducteur, comprenant : o un dépôt de pistes électriquement conductrices s'étendant selon une première direction d'allongement ; o un dépôt de pattes de connexion, s'étendant depuis les pistes, selon une deuxième direction d'allongement, différente de la première direction d'allongement, et en se dirigeant vers un premier bord du substrat (S), dit bord de sortie ; o un dépôt d'une bande de masse destinée à former la masse du capteur 15 - formation (E2) d'une deuxième couche (200) en matériau pyroélectrique recouvrant les pistes et laissant libre au moins une partie des pattes de connexion ; - formation (E3) d'une troisième couche (300) en matériau électriquement 20 conducteur déposée à cheval entre la couche de matériau pyroélectrique et la bande de masse sans recouvrir la partie libre des pattes de connexion ; - formation (E4) d'une quatrième couche (400) en matériau diélectrique en contact avec la troisième couche et s'étendant de manière à recouvrir les pistes de la première couche ; 25 - dépôt (E5) d'une cinquième couche (500) comprenant des pistes électriquement conductrices chauffantes, lesdites pistes électriquement conductrices chauffantes s'étendant depuis la bande de masse vers le premier bord du substrat (S) de manière à recouvrir les pistes de la première couche ; 30 - dépôt (E6) d'une sixième couche (600) de protection , procédé de fabrication dans lequel le dépôt de la deuxième couche (200) et/ou le dépôt de la troisième couche et/ou le dépôt de la quatrième couche et/ou le dépôt de la sixième couche est mis en oeuvre par dépôt par voie liquide au moyen d'une filière à fente. 2. Procédé de fabrication selon la revendication 1, dans lequel les couches sont formées successivement de la manière suivante : formation de la première couche, formation de la deuxième couche, formation de la troisième couche, formation de la 5 quatrième couche, formation de la cinquième couche, formation de la sixième couche. 3. Procédé selon la revendication 1, dans lequel les couches sont formées successivement de la manière suivante : formation de la cinquième couche, formation de la quatrième couche, formation de la première couche, formation de la deuxième 10 couche, formation de la troisième couche, formation de la sixième couche. 4. Procédé de fabrication selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la première couche (100) comprend en outre une bande de polarisation connectée à des colonnes du motif métallique de la première couche. 15 5. Procédé de fabrication selon l'une des revendications précédentes, dans lequel les pistes de la première couche forment un serpentin, les pistes étant connectées deux à deux au moyen de bandelettes métalliques. 6. Procédé de fabrication selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la première couche comprend en outre des pavés métalliques destinés à être dans le prolongement des pistes électriquement conductrices chauffantes de la cinquième couche. 7. Procédé de fabrication selon l'une des revendications précédentes, dans lequel les pistes et les pattes de connexions de la première couche forment une pluralité de L imbriqués les uns dans les autres. 8. Procédé de fabrication selon l'une des revendications précédentes, à l'issue duquel les pattes de connexions sont toutes en-dessous des pistes électriquement conductrices chauffantes de la cinquième couche. 16 9. Procédé de fabrication selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel les pistes et les pattes de connexion de la première couche forment une alternance de L et de L retournés. 5 10. Procédé de fabrication selon l'une des revendications précédentes, dans lequel l'étape de formation (E3) de la troisième couche (300) est mise en oeuvre de sorte à ménager un espace selon la deuxième direction d'allongement le long duquel la deuxième couche (200) en matériau pyroélectrique reste apparente. 10 11. Procédé de fabrication selon l'une des revendications précédentes, dans lequel au cours de l'étape de formation (E2) de la deuxième couche (200), on réalise une juxtaposition de plusieurs bandes de matériau pyroélectrique afin de réaliser plusieurs matrices de pixels en parallèle. 15 12. Matrice de pixels d'un capteur de motif thermique fabriquée par un procédé selon l'une des revendications précédentes. 13. Capteur de motif thermique comprenant une matrice de pixels selon la revendication précédente, la matrice étant typiquement passive ou active. 20