Brevet FR3080945A1 — publié le 20191108

ELECTROLYTES POUR DISPOSITIFS ELECTROCHIMIQUES EN COUCHES MINCES Domaine technique de l'invention L'invention concerne le domaine de l'électrochimie, et plus particulièrement les systèmes électrochimiques en couches minces. Elle concerne plus précisément les électrolytes en couches minces utilisables dans des systèmes électrochimiques tels que des batteries à haute puissance (notamment des batteries à ions de lithium) ou des supercondensateurs. L'invention concerne plus particulièrement un électrolyte comprenant une couche inorganique poreuse imprégnée d'une phase porteuse d'ions de lithium et un procédé de préparation d'un tel électrolyte en couche mince. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un dispositif électrochimique comprenant au moins un tel électrolyte, et les dispositifs ainsi obtenus. État de la technique Une batterie à ions de lithium est un composant électrochimique qui permet de stocker de l'énergie électrique. De manière générale, elle est composée d'une ou plusieurs cellules élémentaires, et chaque cellule comprend deux électrodes à polarité opposée et un électrolyte. Divers types d'électrolytes peuvent être employés dans des batteries secondaires à ions de lithium. Une cellule peut comprendre deux électrodes séparées par une membrane poreuse polymérique (appelés aussi « séparateur ») imprégnée d'un électrolyte liquide contenant un sel de lithium. A titre d'exemple, la demande de brevet JP 2002-042792 décrit un procédé de dépôt par électrophorèse d'un électrolyte solide sur une électrode d'une batterie. Les électrolytes visés sont essentiellement des membranes polymériques tels que l'oxyde de polyéthylène, le polyacrylonitrile, le poly(fluorure de vinylidène) dont les pores sont imprégnés par un sel de lithium tel que le LiPF6. Selon l'enseignement de ce document, la taille des particules déposées par électrophorèse doit être inférieure de préférence à 1 pm, et la couche formée a de préférence une épaisseur inférieure à 10 pm. Dans un tel système, l'électrolyte liquide migre à la fois dans les porosités contenues dans la membrane et vers les électrodes et assure ainsi la conduction ionique entre les électrodes. Dans le but de réaliser des batteries en couches minces de forte puissance et de réduire la résistance au transport des ions de lithium entre les deux électrodes, on a cherché à augmenter la porosité de la membrane polymérique. Cependant l'accroissement de la porosité des matrices polymériques facilite la précipitation de dendrites de lithium métallique dans les pores de la membrane polymérique pendant les cycles de charge et 2 de décharge de la batterie. Ces dendrites sont à l'origine de courts-circuits internes au sein de la cellule pouvant induire un risque d'emballement thermique de la batterie. On sait que ces membranes polymériques imprégnées d'un électrolyte liquide présentent une plus faible conductivité ionique que l'électrolyte liquide utilisé. Afin de faciliter la 5 conduction ionique entre les électrodes et l'électrolyte, des membranes polymériques de faible épaisseur ont été employées. Cependant, ces membranes polymériques sont mécaniquement fragiles et peuvent voir leurs propriétés d'isolation électrique altérées sous l'effet de forts champs électriques comme c'est le cas dans les batteries chargées avec des films d'électrolytes de très fine épaisseur, ou sous l'effet de sollicitations 10 mécaniques et vibratoires. Ces membranes polymériques ont tendance à se briser lors des cycles de charge et de décharge, provoquant le détachement de particules d'anode et de cathode, induisant des pertes d'isolation électriques provoquant des courts-circuits entre les deux électrodes positive et négative, pouvant conduire au claquage diélectrique. Ce phénomène est d'ailleurs accentué dans des batteries utilisant des électrodes 15 poreuses. Pour améliorer la résistance mécanique, Ohara a proposé, notamment dans la demande de brevet EP 1049188 Al et le brevet EP 1 424 743 Bi, d'utiliser des électrolytes composés d'une membrane polymérique contenant des particules vitrocéramiques conductrices des ions de lithium. 20 Par ailleurs, il est connu de Maunel et al. (Polymer 47 (2006) p.5952-5964) que l'ajout de charges céramiques dans la matrice polymère permet d'améliorer les propriétés morphologiques et électrochimiques des électrolytes polymériques ; ces charges céramiques peuvent être actives (tels que Li2N, LiA1203), dans quel cas elles participent au processus de transport des ions de lithium, ou être passives (tels que A1203, Si02, 25 MgO), dans quel cas elles ne participent pas au processus de transport des ions de lithium. La taille des particules et les caractéristiques des charges céramiques influent sur les propriétés électrochimiques des électrolytes, voir Zhang et al., « Flexible and ionconducting membrane electrolytes for solid-state lithium batteries : Dispersions of gamet nanoparticles in insulating POE » , NanoEnergy, 28 (2016) p.447-454. Toutefois, ces 30 membranes sont relativement fragiles et se brisent facilement sous l'effet de contraintes mécaniques induites lors de l'assemblage des batteries. La présente invention cherche à remédier au moins en partie aux inconvénients de l'art antérieur évoqués ci-dessus. 35 Plus précisément, le problème que la présente invention cherche à résoudre est de proposer des électrolytes ayant une conductivité ionique élevée, une structure mécanique 3 stable, une bonne stabilité thermique, une durée de vie importante, et qui ne posent pas de problème de sécurité. Un autre problème que la présente invention cherche à résoudre est de fournir un procédé de fabrication d'un tel électrolyte en couche mince qui soit simple, sûr, rapide, 5 facile à mettre en oeuvre, facile à industrialiser et peu coûteux. Un autre objectif de l'invention est de proposer des électrolytes pour des batteries capables de fonctionner de manière fiable et sans risque d'incendie. Un autre problème est de fournir un électrolyte qui ne comporte pas de liant organique, car un tel liant peut, en cas de court-circuit interne de la batterie, provoquer et nourrir un 10 incendie. Un autre but de l'invention est de fournir une batterie de structure rigide ayant une forte densité de puissance capable de résister mécaniquement aux chocs et aux vibrations. Un autre but de l'invention est de fournir un procédé de fabrication d'un dispositif électronique, électrique ou électrotechnique tel qu'une batterie, un condensateur, un 15 supercondensateur comprenant un électrolyte selon l'invention. Un autre objectif de l'invention est de proposer des dispositifs tels que des batteries, des cellules de batteries à ions de lithium, des condensateurs, des supercondensateurs présentant une fiabilité accrue et possédant une durée de vie élevée et pouvant être encapsulés par des revêtements déposés par la technique du dépôt de couches 20 atomiques (ALD, Atomic Layer Deposition), à température élevée et sous pression réduite. Encore un autre but de l'invention est de proposer des dispositifs tels que des batteries, des cellules de batteries à ions de lithium, des condensateurs, des supercondensateurs, 25 capables de stocker une forte densité d'énergie, de restituer cette énergie avec une très forte densité de puissance (notamment dans les condensateurs ou supercondensateurs), de résister à des températures élevées, d'avoir une durée de vie élevée et pouvant être encapsulés par des revêtements déposés par ALD à température élevée et sous pression réduite. 30 Objets de l'invention Selon l'invention le problème est résolu par l'utilisation d'au moins un électrolyte en couche mince dans un dispositif électrochimique tel qu'une batterie à ions de lithium, ledit électrolyte comprenant une couche inorganique poreuse ayant un réseau interconnecté 35 de pores ouverts imprégnés d'une phase porteuse d'ions de lithium. De préférence, la 4 couche inorganique poreuse présente une structure mésoporeuse dont la porosité est supérieure à 25 % en volume, de préférence supérieure à 30 % en volume. Avantageusement, les pores ouverts de ladite couche inorganique poreuse présentent un diamètre moyen D50 inférieur à 100 nm, de préférence inférieur à 80 nm, 5 préférentiellement compris entre 2 nm et 80 nm, et encore plus préférentiellement compris entre 2 nm et 50 nm, et un volume supérieur à 25 % du volume total dudit électrolyte en couche mince, et de préférence supérieur à 30 %. Avantageusement, les pores ouverts de ladite couche inorganique poreuse présentent un volume compris entre 30 % et 50 % du volume total dudit électrolyte en couche mince. 10 De préférence, ladite couche inorganique poreuse est exempte de liant organique. Avantageusement, l'épaisseur de l'électrolyte en couche mince est inférieure à 10 pm et de préférence comprise entre 2,5 et 4,5 pm. Avantageusement, ladite couche inorganique poreuse comprend un matériau isolant électroniquement, de préférence choisi parmi l'A1203, Si02, Zr02, et/ou un matériau 15 sélectionné dans le groupe formé par : O les grenats de formule Lid Alx A2y(T04), où - A1 représente un cation de degré d'oxydation +II, de préférence Ca, Mg, Sr, Ba, Fe, Mn, Zn, Y, Gd; et où - A2 représente un cation de degré d'oxydation +III, de préférence Al, Fe, Cr, 20 Ga, Ti, La; et où - (T04) représente un anion dans lequel T est un atome de degré d'oxydation +IV, situé au centre d'un tétraèdre formé par les atomes d'oxygène, et dans lequel T04 représente avantageusement l'anion silicate ou zirconate, sachant que tout ou partie des éléments T d'un degré d'oxydation +IV 25 peuvent être remplacés par des atomes d'un degré d'oxydation +III ou +V, tels que Al, Fe, As, V, Nb, In, Ta; - sachant que : d est compris entre 2 et 10, préférentiellement entre 3 et 9, et encore plus préférentiellement entre 4 et 8 ; x est être compris entre 2,6 et 3,4 (de préférence entre 2,8 et 3,2) ; y est compris entre 1,7 et 2,3 (de 30 préférence entre 1,9 et 2,1) et z est compris entre 2,9 et 3,1; o les grenats, de préférence choisi parmi : le Li7La3Zr2012; le Li6La2BaTa2012 ; le Li5,5La3Nb1,75In0 25012 ; le Li5La3M2012 avec M = Nb ou Ta ou un mélange des deux composés ; le Li7_xBaxLa3_xM2012 avec 0)(1 et M = Nb ou Ta ou un mélange des deux composés ; le Li7_xLa3Zr2_xMx012 avec 0)(2 et M = Al, Ga ou 35 Ta ou un mélange de deux ou trois de ces composés ; O les phosphates lithiés, de préférence choisi parmi : les phosphates lithiés de type NaSICON, le Li3PO4 ; le LiP03; le Li3A10,4Sc1e(PO4)3 appelés « LASP » ; le 5 Li3(Sc2_xMx)(PO4)3 avec M=A1 ou Y et 0 x 1 ; le Li1+xMx(Sc)2,(PO4)3 avec M = Al, Y, Ga ou un mélange des trois composés et 0 x 0,8 ; le Li1+xMx(Ga1yScy)2_x(PO4)3 avec 0 x 0,8; 0 y 1 et M= Al ou Y ou un mélange des deux composés; le Li1+xMx(Ga)2_x(PO4)3 avec M = Al, Y ou un mélange des 5 deux composés et 0 x 0,8 ; le Li1+xAIxTi2_x(PO4)3 avec 0 x 1 appelés « LATP »; ou le Li1+xAlxGe2_x(PO4)3 avec 0 x 1 appelés « LAGP » ; ou le Lii+x+zMx(Gei_yTiy)2,SizP3_z012 avec 0x 0, b>0, a-FLK2, 0 0, b>0, a-FLK2, 0 =0 et 2>y>0), Li4Ti5012, SnB0,6P0,402,9 et Ti02. 10 Sur les électrodes denses, poreuses, de préférence mésoporeuses, revêtues ou non d'une couche d'un matériau isolant électroniquement, de préférence conducteur ionique par ALD, on peut réaliser un électrolyte selon l'invention. 15 Afin d'obtenir une batterie de forte densité d'énergie et de forte densité de puissance, cette batterie contient avantageusement une couche d'anode et une couche de cathode poreuses, de préférence mésoporeuses, et un électrolyte selon l'invention. Avantageusement, les couches d'anodes et de cathode, revêtues ou non d'une couche 20 par ALD d'un matériau isolant électroniquement, de préférence conducteur ionique, puis recouvertes d'une couche inorganique poreuse sont pressées à chaud pour favoriser l'assemblage de la cellule sans induire de frittage. Les dépôts restent poreux et peuvent être imprégnés ultérieurement par une solution électrolytique en évitant tout risque de court-circuit ultérieur. 25 Avantageusement, une batterie comprenant au moins une électrode poreuse, de préférence mésoporeuse et un électrolyte selon l'invention présente des performances accrues, notamment une forte densité de puissance. Nous décrivons ci-dessous un exemple de fabrication d'une batterie à ions de lithium selon l'invention comprenant au moins une électrode poreuse, de préférence 30 mésoporeuse. Ce procédé comprend les étapes de : (1) Approvisionnement d'une suspension colloïdale comportant des nanoparticules d'au moins un matériau de cathode de diamètre primaire moyen D50 inférieur ou égal à 50 nm ; (2) Approvisionnement d'une suspension colloïdale comportant des 35 nanoparticules d'au moins un matériau d'anode de diamètre primaire moyen D50 inférieur ou égal à 50 nm ; 27 (3) Approvisionnement d'au moins deux substrats conducteurs plats, de préférence métalliques, lesdits substrats conducteurs pouvant servir comme collecteurs de courant de la batterie, (4) Dépôt d'au moins une couche mince de cathode, respectivement d'anode, 5 de préférence par dip-coating ou par électrophorèse, préférentiellement par électrodéposition galvanostatique par courants pulsés, à partir de ladite suspension de nanoparticules de matériau obtenu à l'étape (1), respectivement à l'étape (2), sur ledit substrat obtenu à l'étape (3), (5) Séchage de la couche ainsi obtenue à l'étape (4), 10 (6) Optionnellement, déposition par ALD d'une couche d'un matériau isolant électroniquement sur la surface de la couche de cathode, et/ou d'anode obtenue à l'étape (5), (7) Déposition par électrophorèse ou par dip-coating d'une couche inorganique poreuse à partir d'une suspension colloïdale comprenant des agrégats de 15 nanoparticules d'au moins un matériau inorganique, sur la couche de cathode, et/ou d'anode obtenue à l'étape 5) ou à l'étape 6), pour obtenir une première et/ou une deuxième structure intermédiaire, (8) Séchage de la couche ainsi obtenue à l'étape (7), de préférence sous un flux d'air, 20 (9) Réalisation d'un empilement à partir de ladite première et/ou deuxième structure intermédiaire pour obtenir un empilement de type « substrat / anode / couche inorganique poreuse / cathode / substrat »: - soit en déposant une couche d'anode sur ladite première structure intermédiaire, 25 - soit en déposant une couche de cathode sur ladite deuxième structure intermédiaire, - soit en superposant ladite première structure intermédiaire et ladite deuxième structure intermédiaire de manière à ce que les deux couches de couches inorganiques poreuses soient posées l'une sur 30 l'autre, (10) Pressage à chaud de l'empilement obtenu à l'étape (9), (11) Imprégnation de la structure obtenue à l'étape (10) par une phase porteuse d'ions de lithium conduisant à l'obtention d'une structure imprégnée, de préférence une cellule. 35 28 Avantageusement, lesdits agrégats de nanoparticules d'au moins un matériau inorganique présentent un diamètre moyen compris entre 80 nm et 300 nm, de préférence entre 100 nm et 200 nm. Une fois l'assemblage d'un empilement constitutif d'une batterie par pressage à chaud 5 terminé, il peut être imprégné d'une phase porteuse d'ions de lithium. Cette phase peut être une solution formée par un sel de lithium dissout dans un solvant organique ou un mélange de solvants organiques, et/ou dissout dans un polymère contenant au moins un sel de lithium, et/ou dissout dans un liquide ionique (i.e. un sel de lithium fondu) contenant au moins un sel de lithium. Cette phase peut également être une solution formée à partir 10 d'un mélange de ces composants. Les électrodes poreuses, de préférence mésoporeuses sont capables d'absorber une phase liquide par simple capillarité lorsque le diamètre moyen D50 des pores se situe entre 2 nm et 80 nm, de préférence entre 2 nm et 50 nm, préférentiellement entre 6 nm et 30 nm, préférentiellement entre 8 nm et 20 nm. Cet effet tout à fait inattendu et est particulièrement favorisé avec la diminution du diamètre de 15 pores de ces électrodes. Avantageusement, les pores de l'électrode poreuse, de préférence mésoporeuse, sont imprégnés par un électrolyte, de préférence une phase porteuse d'ions de lithium telle qu'un liquide ionique contenant des sels de lithium, possiblement dilué dans un solvant organique ou un mélange de solvants organiques contenant un sel de lithium pouvant être 20 différent de celui dissous dans le liquide ionique. On obtient ainsi une cellule batterie à ions de lithium de très forte densité de puissance. 7. Imprégnation des couches inorganiques poreuses 25 Comme indiqué dans la section précédente, une fois le dépôt d'une couche inorganique poreuse et son traitement, par exemple lors de l'assemblage d'un empilement constitutif d'une batterie par pressage à chaud, terminé, il peut être imprégné d'une phase porteuse d'ions de lithium. Cette phase peut être une solution formée par un sel de lithium dissout dans un solvant organique ou un mélange de solvants organiques, et/ou dissout dans un 30 polymère contenant au moins un sel de lithium, et/ou dissout dans un liquide ionique (i.e. un sel de lithium fondu) contenant au moins un sel de lithium. Cette phase peut également être une solution formée à partir d'un mélange de ces composants. Les inventeurs ont trouvé que les couches inorganiques poreuses selon l'invention sont capables d'absorber une phase liquide par simple capillarité. Cet effet tout à fait inattendu 35 est spécifique aux dépôts de couches inorganiques poreuses selon l'invention ; il est particulièrement favorisé lorsque le diamètre moyen D50 des mésopores se situe entre 29 2 nm et 80 nm, de préférence entre 2 nm et 50 nm, préférentiellement entre 6 nm et 30 nm, et encore plus préférentiellement entre 8 nm et 20 nm. Dans un mode de réalisation avantageux de l'invention, la couche inorganique poreuse présente une porosité, et de préférence une porosité mésoporeuse, supérieure à 30%, 5 des pores de diamètre moyen D50 inférieur à 50 nm, et un diamètre primaire de particules inférieur à 30 nm. Son épaisseur est avantageusement inférieure à 10 pm, et préférentiellement compris entre 2,5 pm et 4,5 pm, de manière à réduire l'épaisseur finale de la batterie sans amoindrir ses propriétés. Elle est exempte de liant. Ses pores sont imprégnés par une solution électrolytique, tel qu'un liquide ionique contenant des sels de 10 lithium, possiblement dilué dans un solvant organique ou un mélange de solvants organiques contenant un sel de lithium pouvant être différents de celui dissous dans le liquide ionique. Dans un mode de réalisation particulièrement avantageux la porosité, de préférence mésoporeuse, est comprise entre 35% et 50%, et encore plus préférentiellement entre 40 15 % et 50 %. Le liquide « nanoconfiné » ou « nanopiégé » dans les porosités, et en particulier dans les mésoporosités, ne peut plus ressortir. Il est lié par un phénomène appelé ici « absorption dans la structure mésoporeuse » (qui ne semble pas avoir été décrit dans la littérature 20 dans le contexte des batteries à ions de lithium) et il ne peut plus sortir même lorsque la cellule est mise sous vide. La batterie est alors considérée comme quasi-solide. 8. Encapsulation La batterie doit ensuite être encapsulée par une méthode appropriée pour assurer sa 25 protection vis-à-vis de l'atmosphère. Le système d'encapsulation comprend au moins une couche, et représente de préférence un empilement de plusieurs couches. Si le système d'encapsulation est composé d'une seule couche, elle doit être déposée par, ALD ou être en parylène et/ou en polyimide. Ces couches d'encapsulation doivent être stables chimiquement, résister aux fortes températures et être imperméables à l'atmosphère 30 (couche barrières). On peut utiliser une des méthodes décrites dans les demandes de brevet VVO 2017/115032, VVO 2016/001584, W02016/001588 ou VVO 2014/131997. Avantageusement, la première couche est une couche polymérique, de préférence à base de parylène et/ou de polyimide. Elle peut être déposée sous vide, par une technique de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Cette première couche d'encapsulation est 35 avantageusement obtenue à partir de la condensation de monomères gazeux déposés par dépôt chimique en phase vapeur (CVD) sur les surfaces, ce qui permet d'avoir un 30 recouvrement conformai et uniforme de l'ensemble des surfaces accessibles de l'objet. Elle permet de suivre les variations de volume de la batterie lors de son fonctionnement et facilite la découpe propre des batteries de par ses propriétés élastiques. L'épaisseur de cette première couche d'encapsulation est comprise entre 2 pm et 10 pm, de préférence 5 comprise entre 2 pm et 5 pm et encore plus préférentiellement d'environ 3 pm. Elle permet de recouvrir l'ensemble des surfaces accessibles de l'empilement, de fermer l'ensemble des pores de ces surfaces accessibles et d'uniformiser la nature chimique du substrat. L'encapsulation peut ainsi être réalisée directement sur les empilements, le revêtement pouvant pénétrer dans l'ensemble des cavités disponibles. 10 II est rappelé ici que grâce au nanoconfinement de la phase conductrice porteuse d'ions de lithium dans les porosités de l'électrolyte selon l'invention et/ou des électrodes, la batterie peut subir des traitements sous vide. Dans un mode de réalisation on dépose une première couche de parylène, tel qu'une couche de parylène C, de parylène D, une couche de parylène N (n° CAS: 1633-22-3) ou 15 une couche comprenant un mélange de parylène C, D et/ou N. Le parylène (appelé aussi polyparaxylylène ou poly(p-xylylène)) est un matériau diélectrique, transparent, semi cristallin qui présente une grande stabilité thermodynamique, une excellente résistance aux solvants ainsi qu'une très faible perméabilité. Cette couche de parylène protège les éléments sensibles de la batterie de leur 20 environnement. Cette protection est accrue lorsque cette première couche d'encapsulation est réalisée à partir de parylène N. Dans un autre mode de réalisation, on dépose une première couche à base de polyimide. Cette couche de polyimide protège les éléments sensibles de la batterie de leur environnement. 25 Dans un autre mode de réalisation avantageux, la première couche d'encapsulation est constituée d'une première couche de polyimide, de préférence d'environ 1 pm d'épaisseur sur laquelle est déposée une seconde couche de parylène, de préférence d'environ 2 pm d'épaisseur. Cette protection est accrue lorsque cette seconde couche de parylène, de préférence d'environ 2 pm d'épaisseur est réalisée à partir de parylène N. La couche de 30 polyimide associée à la couche de parylène améliore la protection des éléments sensibles de la batterie de leur environnement. Toutefois, les inventeurs ont observé que cette première couche, lorsqu'elle est à base de parylène, ne présente pas une stabilité suffisante en présence d'oxygène. Lorsque cette première couche est à base de polyimide, elle ne présente pas une étanchéité suffisante, 35 notamment en présence d'eau. Pour ces raisons on dépose une deuxième couche qui enrobe la première couche. Avantageusement, une deuxième couche composée d'une matière électriquement isolante peut être déposée par une technique de dépôt conformai, telle que le dépôt de 31 couches atomiques (ALD) sur la première couche. Ainsi on obtient un recouvrement conformai de l'ensemble des surfaces accessibles de l'empilement recouvert d'une couche de parylène et/ou de polyimide ; cette deuxième couche est de préférence une couche inorganique. La croissance de la couche déposée par ALD est influencée par la 5 nature du substrat. Une couche déposée par ALD sur un substrat présentant différentes zones de natures chimiques différentes aura une croissance inhomogène, pouvant engendrer une perte d'intégrité de cette deuxième couche de protection. Cette deuxième couche déposée sur la première couche de parylène et/ou de polyimide protège la première couche de parylène et/ou de polyimide contre l'air et améliore la durée de vie de 10 la batterie encapsulée. Les techniques de dépôt par ALD sont particulièrement bien adaptées pour recouvrir des surfaces présentant une forte rugosité de manière totalement étanche et conforme. Elles permettent de réaliser des couches conformales, exemptes de défauts, tels que des trous (couches dits « pinhole free », exempts de trous) et représentent de très bonnes 15 barrières. Leur coefficient VVVTR est extrêmement faible. Le coefficient VVVTR (water vapor transmission rate) permet d'évaluer la perméance à la vapeur d'eau du système d'encapsulation. Plus le coefficient VVVTR est faible plus le système d'encapsulation est étanche. A titre d'exemple, une couche d'A1203 de 100 nm d'épaisseur déposée par ALD présente une perméation à la vapeur d'eau de 0,00034 g/m2.d. La deuxième couche peut 20 être en matériau céramique, en matériau vitreux ou en matériau vitrocéramique, par exemple sous forme d'oxyde, de type A1203, de nitrure, de phosphates, d'oxynitrure, ou de siloxane. Cette deuxième couche d'encapsulation présente une épaisseur inférieure à 200 nm, de préférence comprise entre 5 nm et 200 nm, plus préférentiellement comprise entre 10 nm et 100 nm et encore plus préférentiellement de l'ordre d'une cinquantaine de 25 nanomètres. Cette seconde couche déposée par ALD permet d'une part, d'assurer l'étanchéité de la structure, i.e. d'empêcher la migration de l'eau à l'intérieur de la structure et d'autre part de protéger la première couche de parylène et/ou de polyimide de l'atmosphère afin d'éviter sa dégradation. 30 Toutefois, ces couches déposées par ALD sont très fragiles mécaniquement et nécessitent une surface d'appui rigide pour assurer leur rôle protecteur. Le dépôt d'une couche fragile sur une surface souple conduirait à la formation de fissures, engendrant une perte d'intégrité de cette couche de protection. 35 Dans un mode de réalisation, une troisième couche d'encapsulation est déposée sur la deuxième couche d'encapsulation pour augmenter la protection des cellules batteries de leur environnement externe. Typiquement, cette troisième couche est en polymère, par 32 exemple en silicone (déposé par exemple par imprégnation ou par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma à partir d'hexaméthyldisiloxane (HM DSO, n° CAS : 10746-O)), ou en résine epoxy, ou en parylène, ou en polyimide. En outre, le système d'encapsulation peut comprendre une succession alternée de 5 couches de parylène et/ou de polyimide, de préférence d'environ 3 pm d'épaisseur, et de couches composées d'une matière électriquement isolante telles que des couches inorganiques déposées de manière conformale par ALD comme décrit précédemment pour créer un système d'encapsulation multi-couches. Afin d'améliorer les performances de l'encapsulation, le système d'encapsulation peut avantageusement comprendre une 10 première couche de parylène et/ou de polyimide, de préférence d'environ 3 pm d'épaisseur, une deuxième couche composée d'une matière électriquement isolante, de préférence une couche inorganique, déposée de manière conformale par ALD sur la première couche, une troisième couche de parylène et/ou de polyimide, de préférence d'environ 3 pm d'épaisseur déposée sur la deuxième couche et une quatrième couche 15 composée d'une matière électriquement isolante déposée de manière conformale par ALD sur la troisième couche. Avantageusement, une dernière couche d'encapsulation est déposée sur cette succession alternée de couches de parylène et/ou de polyimide, de préférence d'environ 3 pm d'épaisseur et de couches inorganiques déposées de manière conformale par ALD, 20 pour augmenter la protection des cellules batteries de leur environnement externe et les protéger contre l'endommagement mécanique. Cette dernière couche d'encapsulation présente une épaisseur d'environ 10-15 pm. Typiquement, cette dernière couche est en polymère, par exemple en silicone (déposé par exemple par trempage ou par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma à partir d'hexaméthyldisiloxane (HMDSO)), 25 ou en résine epoxy, ou en parylène, ou en polyimide. Par exemple, on peut déposer par injection d'une couche de silicone (épaisseur typique environ 15 pm) pour protéger la batterie contre l'endommagement mécanique. Ces matériaux résistent à des températures élevées et la batterie peut ainsi être assemblée aisément par soudure sur des cartes électroniques sans apparition d'une transition vitreuse. Avantageusement, 30 l'encapsulation de la batterie est réalisée sur quatre des six faces de l'empilement. Les couches d'encapsulation entourent la périphérie de l'empilement, le reste de la protection contre l'atmosphère étant assuré par les couches obtenues par les terminaisons. Après l'étape d'encapsulation de la batterie, des terminaisons sont ajoutées pour établir 35 les contacts électriques nécessaires au bon fonctionnement de la batterie. 33 Pour réaliser les terminaisons, l'empilement encapsulé est découpé suivant des plans de coupe permettant d'obtenir des composants de batterie unitaires, avec la mise à nue sur chacun des plans de coupe des connexions anodiques et cathodiques de la batterie, de sorte que le système d'encapsulation revêt quatre des six faces de ladite batterie, de 5 préférence de manière continue, afin que le système puisse être assemblé sans soudure, les deux autres faces de la batterie étant revêtues ultérieurement par les terminaisons. De préférence, les connexions anodiques et les connexions cathodiques se trouvent sur les côtés opposés de l'empilement. Sur et autour de ces connexions est déposé un système de terminaison. Les connexions peuvent être métallisées à l'aide de techniques de dépôt 10 plasma connu de l'homme du métier, de préférence par ALD et / ou par immersion dans une résine époxy conductrice (chargée à l'argent) et / ou un bain d'étain en fusion. De préférence, les terminaisons sont constituées d'un empilement de couches comprenant successivement une première couche mince de recouvrement électroniquement conductrice, de préférence métallique, déposée par ALD, une deuxième couche en résine 15 époxy chargée en argent déposée sur la première couche et une troisième couche à base d'étain déposée sur la deuxième couche. La première couche conductrice déposée par ALD sert à protéger la section de la batterie de l'humidité. Cette première couche conductrice déposée par ALD est optionnelle. Elle permet d'augmenter la durée de vie calendaire de la batterie en réduisant le VVVTR au niveau de la terminaison. Cette 20 première couche mince de recouvrement peut notamment être métallique ou à base de nitrure métallique. La seconde couche en résine époxy chargée en argent, permet de procurer de la « souplesse » à la connectique sans rompre le contact électrique lorsque le circuit électrique est soumis à des contraintes thermiques et/ou vibratoires. La troisième couche de métallisation à base d'étain sert à assurer la soudabilité de la 25 batterie. Dans un autre mode de réalisation, cette troisième couche peut être composée de deux couches de matériaux différents. Une première couche venant au contact de la couche en résine époxy chargée en argent. Cette couche est en nickel et est réalisée par dépôt électrolytique. La couche de nickel sert de barrière thermique et protège le reste du 30 composant de la diffusion pendant les étapes d'assemblage par refusion. La dernière couche, déposée sur la couche de nickel est également une couche de métallisation, préférentiellement en étain pour rendre l'interface compatible des assemblages par refusion. Cette couche d'étain peut être déposée soit par trempage dans un bain d'étain fondu soit par électrodéposition ; ces techniques sont connues en tant que telles. 35 Pour certains assemblages sur des pistes en cuivre par microcâblage, il peut être nécessaire d'avoir une dernière couche de métallisation en cuivre. Une telle couche peut être réalisée par électrodéposition à la place de l'étain. 34 Dans un autre mode de réalisation, les terminaisons peuvent être constituées d'un empilement de couches comprenant successivement une couche en résine époxy chargée en argent et une deuxième couche à base d'étain ou de nickel déposée sur la première couche. 5 Dans un autre mode de réalisation, les terminaisons peuvent être constituées d'un empilement de couches comprenant successivement une couche en résine époxy chargée en argent, une deuxième couche à base de nickel déposée sur la première couche et une troisième couche à base d'étain ou de cuivre. Les terminaisons permettent de reprendre les connections électriques alternativement 10 positives et négatives sur chacune des extrémités de la batterie. Ces terminaisons permettent de réaliser les connections électriques en parallèle entre les différents éléments de batterie. Pour cela, seule les connections cathodiques sortent sur une extrémité, et les connections anodiques sont disponibles sur les autres extrémités. 15 Exemples Exemple 1 : Réalisation d'une couche d'électrolyte mésoporeux à base de Li3PO4 déposée sur une couche de cathode 20 a. Réalisation d'une suspension de nanoparticules de Li3PO4 Deux solutions ont été préparées : 11,44 g de CH3000Li, 2H20 ont été dissous dans 112 ml d'eau, puis 56 ml d'eau ont été ajoutés sous vive agitation au milieu afin d'obtenir une solution A. 4,0584g de H3PO4 ont été dilués dans 105,6 ml d'eau, puis 45,6 ml d'éthanol ont été 25 ajoutés à cette solution afin d'obtenir une seconde solution appelée ci-après solution B. La solution B a ensuite été ajoutée, sous vive agitation, à la solution A. La solution obtenue, parfaitement limpide après disparition des bulles formées au cours du mélange, a été ajoutée à 1,2 litres d'acétone sous action d'un homogénéiseur de type UltraturraxTM afin d'homogénéiser le milieu. On a immédiatement observé une 30 précipitation blanche en suspension dans la phase liquide. Le milieu réactionnel a été homogénéisé pendant 5 minutes puis a été maintenu 10 minutes sous agitation magnétique. On a laissé décanter pendant 1 à 2 heures. Le surnageant a été écarté puis la suspension restante a été centrifugée 10 minutes à 6000 rpm. Ensuite on a ajouté 300 ml d'eau pour remettre le précipité en suspension (utilisation 35 d'une sonotrode, agitation magnétique). Sous vive agitation, on a ajouté 125 ml d'une solution de tripolyphosphate de sodium à 100g/I à la suspension colloïdale ainsi obtenue. La suspension est ainsi devenue plus stable. La suspension a ensuite été soniquée à 35 l'aide d'une sonotrode. La suspension a ensuite été centrifugée 15 minutes à 8000 rpm. Le culot a ensuite été redispersé dans 150 ml d'eau. Puis la suspension obtenue a de nouveau été centrifugée 15 minutes à 8000 rpm et les culots obtenus redispersés dans 300 ml d'éthanol afin d'obtenir une suspension apte à la réalisation d'un dépôt 5 électrophorétique. Des agglomérats d'environ 100 nm constitués de particules primaires de Li3PO4 de 10 nm ont ainsi été obtenus en suspension dans l'éthanol. b. Réalisation d'une couche inorganique poreuse selon l'invention à base d'une 10 suspension de nanoparticules de Li3PO4 i. Réalisation d'une cathode mésoporeuse à base de LiCo02 On a préparé une suspension de nanoparticules cristallines de LiCo02 par synthèse hydrothermale. Pour 100 ml de suspension, le mélange réactionnel a été réalisé par ajout 15 de 20 ml d'une solution aqueuse à 0,5M de nitrate de cobalt hexahydraté additionnés sous agitation dans 20 ml d'une solution à 3M d'hydroxyde de lithium monohydraté suivi d'une addition goutte à goutte de 20 ml d'H202 à 50%. Le mélange réactionnel a été placé dans un autoclave à 200°C pendant 1 heure ; la pression dans l'autoclave atteignait environ 15 bars. 20 On an obtenu un précipité noir en suspension dans le solvant. Ce précipité a été soumis à une succession d'étapes de centrifugation - redispersion dans l'eau, jusqu'à obtenir une suspension avec une conductivité d'environ 200 pS/cm et un potentiel zêta de -30mV. La taille des particules primaires était de l'ordre de 10 nm à 20 nm et les agrégats avaient une taille comprise entre 100 nm et 200 nm. Le produit a été caractérisé par diffraction 25 aux rayons X et microscopie électronique. On a déposé ces agrégats par électrophorèse sur des feuillards en acier inoxydables d'une épaisseur de 5 pm, en milieu aqueux, en appliquant des courants pulsés de 0,6 A en pointe et 0,2 A en moyenne ; la tension appliquée était de l'ordre de 4 à 6 V pendant 400 s. On a ainsi obtenu un dépôt d'environ 4 pm d'épaisseur. Il a été consolidé à 600°C 30 pendant 1 h dans l'air afin de souder les nanoparticules entre elles, d'améliorer l'adhérence au substrat et de parfaire la recristallisation du LiCo02. ii. Réalisation d'une anode mésoporeuse à base de Li4Ti5012 On a préparé une suspension de nanoparticules de Li4Ti5012 par synthèse glycothermale : 35 190 ml de 1,4-butanediol ont été versés dans un bécher, et 4,25 g d'acétate de lithium a été ajouté sous agitation. La solution a été maintenue sous agitation jusqu'à ce que 36 l'acétate soit complément dissous. 16,9 g de butoxyde de titane ont été prélevés sous atmosphère inerte et introduit dans la solution d'acétate. La solution a ensuite été agitée pendant quelques minutes avant d'être transférée dans un autoclave préalablement remplie de 60 ml supplémentaires de butanediol. L'autoclave a ensuite été fermé et purgé 5 à l'azote pendant au moins 10 minutes. L'autoclave a ensuite été chauffé jusqu'à 300 °C à une vitesse de 3 °C/min et maintenue à cette température pendant 2 heures, sous agitation. A la fin, on a laissé refroidir, toujours sous agitation. On a obtenu un précipité blanc en suspension dans le solvant. Ce précipité a été soumis à une succession d'étapes de centrifugation - redispersion dans l'éthanol pour obtenir une 10 suspension colloïdale pure, avec une faible conductivité ionique. Elle comportait des agrégats d'environ 150 nm constitués de particules primaires de 10 nm. Le potentiel zeta était de l'ordre de -45 mV. Le produit a été caractérisé par diffraction aux rayons X et microscopie électronique. La figure 2(a) montre un diffractogramme, la figure 2(b) un cliché obtenu par microscopie électronique à transmission de particules primaires. 15 On a déposé ces agrégats par électrophorèse sur des feuillards en acier inoxydables d'une épaisseur de 5 pm, en milieu aqueux, en appliquant des courants pulsés de 0,6 A en pointe et 0,2 A en moyenne ; la tension appliquée était de l'ordre de 3 à 5 V pendant 500 s. On a ainsi obtenu un dépôt d'environ 4 pm d'épaisseur. Il a été consolidé par un recuit RTA à 40 % de puissance pendant 1 s sous azote afin de souder les nanoparticules 20 entre elles, d'améliorer l'adhérence au substrat et de parfaire la recristallisation du Li4Ti5012. iii. Réalisation sur les couches d'anode et de cathode précédemment élaborées d'une couche inorganique poreuse à partir de la suspension de 25 nanoparticules de Li3PO4 précédemment décrite dans la partie a) Des couches minces poreuses de Li3PO4 ont ensuite été déposées par électrophorèse sur la surface des anode et cathode précédemment élaborées en appliquant un champ électrique de 20V/cm à la suspension de nanoparticules de Li3PO4 précédemment obtenue, pendant 90 secondes pour obtenir une couche d'une épaisseur d'environ 1,5 30 pm. Cette couche a été séchée à l'air à 120°C afin d'éliminer toute trace de résidus organiques, et ensuite elle a été calcinée à 350°C pendant une heure à l'air. Exemple 2 : Réalisation d'une cellule électrochimique Après avoir déposé 1,5 pm de Li3PO4 poreux sur chacune des électrodes (LiCo02 et 35 Li4Ti5012) précédemment élaborées, les deux sous-systèmes ont été empilés de manière 37 à ce que les films de Li3PO4 soient en contact. Cet empilement a ensuite été pressé à chaud sous vide. Pour ce faire, l'empilement a été placé sous une pression de 1,5 MPa puis séché sous vide pendant 30 minutes à 10-3 bar. Les plateaux de la presse ont ensuite été chauffés à 5 450 °C avec une vitesse de 4 °C/secondes. A 450 °C, l'empilement a ensuite été thermo- comprimé sous une pression de 45 MPa pendant 1 minute, puis le système a été refroidi à température ambiante. Une fois l'assemblage réalisé, un système rigide, multicouche constitué d'une ou de plusieurs cellules batteries assemblées a été obtenu. 10 Cet assemblage a ensuite été imprégné dans une solution électrolytique comprenant du PYR14TFSI et du LiTFSI à 0,7 M. Le liquide ionique rentre instantanément par capillarité dans les porosités. Le système a été maintenu en immersion pendant 1 minute, puis la surface de l'empilement REVENDICATIONS1. Electrolyte en couche mince dans un dispositif électrochimique tel qu'une batterie à ions de lithium, ledit électrolyte comprenant une couche inorganique poreuse imprégnée d'une phase porteuse d'ions de lithium, caractérisé en ce que ladite couche inorganique poreuse présente un réseau interconnecté de pores ouverts. 2. Electrolyte en couche mince selon la revendication 1, caractérisé en ce que les pores ouverts de ladite couche inorganique poreuse présentent un diamètre moyen D50 inférieur à 100 nm, de préférence inférieur à 80 nm, préférentiellement compris entre 2 nm et 80 nm, et encore plus préférentiellement compris entre 2 nm et 50 nm, et un volume supérieur à 25 % du volume total dudit électrolyte en couche mince, et de préférence supérieur à 30 %. 3. Electrolyte en couche mince selon la revendication 1 ou la revendication 2, caractérisé en ce que les pores ouverts de ladite couche inorganique poreuse présentent un volume compris entre 30 % et 50 % du volume total dudit électrolyte en couche mince. 4. Electrolyte en couche mince selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que ladite couche inorganique poreuse est exempte de liant organique. 5. Electrolyte en couche mince selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que son épaisseur est inférieure à 10 pm et de préférence comprise entre 2,5 et 4,5 pm. 6. Electrolyte en couche mince selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que ladite couche inorganique poreuse comprend un matériau isolant électroniquement, de préférence choisi parmi l'Al203, Si02, Zr02, et/ou un matériau sélectionné dans le groupe formé par; 0 les grenats de formule Lid A1' A2y(T04), où * A1 représente un cation de degré d'oxydation +II, de préférence Ca, Mg, Sr, Ba, Fe, Mn, Zn, Y, Gd; et où 39 A2 représente un cation de degré d'oxydation +III, de préférence Al, Fe, Cr, Ga, Ti, La; et où - (T04) représente un anion dans lequel T est un atome de degré d'oxydation +IV, situé au centre d'un tétraèdre formé par les atomes d'oxygène, et dans 5 lequel T04 représente avantageusement l'anion silicate ou zirconate, sachant que tout ou partie des éléments T d'un degré d'oxydation +1V peuvent être remplacés par des atomes d'un degré d'oxydation +III ou +V, tels que AI, Fe, As, V, Nb, In, Ta; - sachant que : d est compris entre 2 et 10, préférentiellement entre 3 et 9, et 10 encore plus préférentiellement entre 4 et 8 ; x est être compris entre 2,6 et 3,4 (de préférence entre 2,8 et 3,2) ; y est compris entre 1,7 et 2,3 (de préférence entre 1,9 et 2,1) et z est compris entre 2,9 et 3,1; o les grenats, de préférence choisi parmi : le Li7La3Zr2012; le Li6La2BaTa2012 ; le Li5,5La3Nb1,751n0.25012 ; le Li5La3M2012 avec M = Nb ou Ta ou un mélange des 15 deux composés ; le Li7,BaxLaM2012 avec 05)(51 et M = Nb ou Ta ou un mélange des deux composés ; le Li7,La3Zr2.'Mx012 avec 05x2 et M = Al, Ga ou Ta ou un mélange de deux ou trois de ces composés ; o les phosphates lithiés, de préférence choisi parmi : les phosphates lithiés de type NaSICON, le Li3PO4 ; le LiP03; le Li3A10,4Sc1,6(PO4)3 appelés « LASP » ; le 20 Li3(Sc2-xMx)(PO4)3 avec M=AI ou Y et 0 5 X 5 1 ; le Li1+xMx(Sc)2-x(PO4)3 avec M -=. Al, Y, Ga ou un mélange des trois composés et 0 x 5 0,8 ; le Lii.,Mx(Ga1. ySC)2-x(PO4)3 avec 0 É x 5 0,8; 0 5 y 5. 1 et M= Al ou Y ou un mélange des deux composés; le Li1.xMx(Ga)2-x(PO4)3 avec M = Al, Y ou un mélange des deux composés et 0 5. X 5 0,8 ; le Lii+xAIxTi2.x(PO4)3 avec 0 x 1 appelés 25 « LATP »; ou le Li1+xAlxGe2_x(PO4)3 avec 0 É x 1 appelés « LAGP » ; ou le Lii+x+,1V1x(GeilTiy)2.xSizP3-z012 avec 05)(50,8 et 05y51,0 et 05z50,6 et M= AI, Ga ou Y ou un mélange de deux ou trois de ces composés ; le Li3.y(Sc2-xMx)gfP3- y012 avec M =AI et/ou Y et Q = Si et/ou Se, 0 x 5 0,8 et 0 5 y É 1 ; ou le Lil.x.,.yMxSc2_xQyP3_y012 avec M = AI, Y, Ga ou un mélange des trois composés et 30 Q = Si et/ou Se, 0 5. X 5 0,8 et 0 y É 1 ; ou le Lii+x+y+,Mx(Gai_ySc02-xQzP3-z012 avec 0 x 5 0,8 , 0 5 y 5 1 ,0 z 0,6 avec M = Al ou Y ou un mélange des deux composés et Q= Si et/ou Se ; ou Li1+xM3xM2.xP3012 avec 0 x 1 et M3= Cr et/ou V, M = Sc, Sn, Zr, Hf, Se ou Si, ou un mélange de ces composés ; o les borates lithiés, de préférence choisi parmi : le Li3(Sc2,Mx)(B03)3 avec M=AI 35 ou Y et 0 x 1 ; le Li1i-xMx(Sc)2-x(B03)3 avec M = Al, Y, Ga ou un mélange des trois composés et 0 NySz avec 2x+3y+2z = 5 = w ou les composés Li,,,,P0xNySz avec 3,2 x 3,8, 0,13 y 0,4, 0 z 0,2 , 2,9 w 3,3 ou les composés sous forme de 10 LitPxAlyOuNvS avec 5x+3y=5, 2u+3v+2w=5+t, 0,84k)K0,94, 0,1Uv0,46, ; o les matériaux à base d'oxynitrures de lithium de phosphore ou de bore, appelés respectivement « LiPON » et « LIBON », pouvant également contenir du silicium, du soufre, du zirconium, de l'aluminium, ou une combinaison 15 d'aluminium, bore, soufre et/ou silicium, et du bore pour les matériaux à base d'oxynitrures de lithium de phosphore ; o les composé lithiés à base d'oxynitrure de lithium, de phosphore et de silicium appelés « LiSiPON », et en particulier le Lii.gSi P NI - -0.28- 1.0-1.1-1.0 o les oxynitrures de lithium de types LiBON, LiBSO, LiSiPON, LiSON, thio- 20 LiSiCON, LiPONB (ou B, P et S représentent respectivement le bore, le phosphore et le soufre); o les oxynitrures de lithium de type LiBSO tels que (1-x)LiB02 - xLi2SO4 avec 0,4 x 0,8; o les oxydes lithiés, de préférence choisis parmi le Li7La3Zr2012 ou le 25 Li5,La3(Zr',A2)012 avec A=Sc, Y, Al, Ga et 1,4 x 2 ou le Li0,35La0,55TiO3 ou le Li3xLa2/3-0103 avec 0 x 0,16 (LLT0); o les silicates, de préférence choisis parmi Li2Si205, Li2SiO3, Li2Si206, LiAlSiO4, Li4SiO4, LiAlSi206 ; o les électrolytes solides de type anti-perovskite choisis parmi : Li30A avec A un 30 halogénure ou un mélange d'halogénures, de préférence au moins un des éléments choisi parmi F, Cl, Br, I ou un mélange de deux ou trois ou quatre de ces éléments ; Li(3-x)Mx/20A avec 0 7. Electrolyte en couche mince selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, 10 caractérisé en ce que lesdits pores sont imprégnés par une phase porteuse d'ions de lithium, telle qu'un solvant organique ou un mélange de solvants dans lequel est dissout au moins un sel de lithium, et/ou un polymère contenant au moins un sel de lithium, et/ou un liquide ionique ou un mélange de liquides ioniques, possiblement dilué(s) 15 avec un solvant approprié, contenant au moins un sel de lithium. 8. Procédé de fabrication d'un électrolyte en couche mince déposée sur une électrode, ladite couche étant de préférence exempte de liant organique et présentant de préférence une porosité, de préférence mésoporeuse, supérieure à 20 30% en volume, et encore plus préférentiellement comprise entre 30 % et 50% en volume, et ladite couche présentant des pores de diamètre moyen D50 inférieur à 100 nm, de préférence inférieur à 80 nm et préférentiellement inférieur à 50 nm, ledit procédé étant caractérisé en ce que : (a) on approvisionne une suspension colloïdale comprenant des agrégats de 25 nanoparticules d'au moins un matériau inorganique, lesdits agrégats présentant un diamètre moyen compris entre 80 nm et 300 nm (de préférence entre 100 nm à 200 nm), (b) on approvisionne une électrode, (c) on dépose sur ladite électrode une couche inorganique poreuse par 30 électrophorèse ou par dip-coating, à partir d'une suspension de particules de matériau inorganique obtenue à l'étape (a) ; (d) on sèche ladite couche inorganique poreuse, de préférence sous un flux d'air pour obtenir une couche inorganique poreuse ; (e) on traite ladite couche inorganique poreuse par compression mécanique 35 et/ou traitement thermique, (f) on imprègne ladite couche inorganique poreuse obtenue à l'étape (e) par une phase porteuse d'ions de lithium. 42 9. Procédé de fabrication d'un électrolyte en couche mince déposée sur une électrode, ladite couche étant de préférence exempte de liant organique et présentant de préférence une porosité, de préférence mésoporeuse, supérieure à 5 30% en volume, et encore plus préférentiellement comprise entre 30 % et 50% en volume, et ladite couche présentant des pores de diamètre moyen D50 inférieur à 100 nm' de préférence inférieur à 80 nm, préférentiellement compris inférieur à 50 nm, ledit procédé étant caractérisé en ce que : (al) on approvisionne une suspension colloïdale comportant des 10 nanoparticules d'au moins un matériau inorganique P de diamètre primaire moyen D50 inférieur ou égal à 50 nm ; (a2) on déstabilise les nanoparticules présentes dans la dite suspension colloïdale de manière à former des agrégats de particules de diamètre moyen compris entre 80 nm et 300 nm, de préférence entre 100 nm et 15 200 nm, ladite déstabilisation se faisant de préférence par ajout d'un agent déstabilisant tel qu'un sel, de préférence du LiOH (b) on approvisionne une électrode; (c) on dépose sur ladite électrode une couche inorganique poreuse par électrophorèse ou par dip-coating, à partir de ladite suspension 20 colloïdale comprenant les agrégats de particules d'au moins un matériau inorganique obtenus à l'étape (a2) ; (d) on sèche la couche inorganique poreuse, de préférence sous un flux d'air pour obtenir une couche inorganique poreuse; (e) on traite ladite couche inorganique poreuse par compression mécanique 25 et/ou traitement thermique, (f) on imprègne ladite couche inorganique poreuse obtenue à l'étape (e) par une phase porteuse d'ions de lithium. 10. Procédé selon les revendications 8 ou 9, dans lequel la couche inorganique 30 poreuse obtenue à l'étape (c) a une épaisseur inférieure à 10 pm, de préférence inférieure à 8 pm, et encore plus préférentiellement comprise entre 1 pm et 6 pm. 11. Procédé selon l'une quelconque des revendications 8 à 10, dans lequel la couche inorganique poreuse obtenue à l'étape (d) a une épaisseur inférieure à 10 pm, de 35 préférence comprise entre 2,5 pm et 4,5 pm. 43 12. Procédé selon l'une quelconques des revendications 8 à 11, dans lequel le diamètre primaire desdites nanoparticules est compris entre 10 nm et 50 nm, de préférence entre 10 nm et 30 nm. 5 13. Procédé selon l'une quelconque des revendications 8 à 12, dans lequel le diamètre moyen des pores est compris entre 2 nm et 50 nm, de préférence compris entre 6 nm et 30 nm et encore plus préférentiellement entre 8 nm et 20 nm. 14. Procédé selon l'une quelconque des revendications 8 à 13, dans lequel l'électrode 10 est une électrode dense ou une électrode poreuse, de préférence une électrode mésopore use. 15. Utilisation d'un procédé selon l'une quelconque des revendications 8 à 14 pour la fabrication d'électrolytes en couche mince, dans des dispositifs électroniques, électriques ou électrotechniques, et de préférence dans des dispositifs 15 sélectionnés dans le groupe formé par : les batteries, les condensateurs, les supercondensateurs, les capacités, les résistances, les inductances, les transistors. 16. Procédé de fabrication d'une batterie en couches minces, mettant en oeuvre le procédé selon l'une des revendications 8 à 14 et comprenant les étapes de : 20 -1- approvisionnement d'au moins deux substrats conducteurs, préalablement recouvert d'une couche d'un matériau pouvant servir comme anode et respectivement comme cathode (« couche d'anode » respectivement « couche de cathode »), -2- approvisionnement d'une suspension colloïdale comprenant des 25 agrégats de nanoparticules d'au moins un matériau inorganique, lesdits agrégats présentant un diamètre moyen compris entre 80 nm et 300 nm (de préférence entre 100 nm à 200 nm), -3- Déposition d'une couche inorganique poreuse par électrophorèse ou par dip-coating, à partir d'une suspension de particules agrégées de 30 matériau inorganique obtenue à l'étape -2- sur la couche de cathode, respectivement d'anode obtenue à l'étape -1-, -4- Séchage de la couche ainsi obtenue à l'étape -3-, de préférence sous un flux d'air, -5- Empilement des couches de cathode et d'anode décalé 35 latéralement, 44 -6- Traitement de l'empilement des couches d'anode et de cathode obtenues à l'étape -5- par compression mécanique et/ou traitement thermique de manière à juxtaposer les couches inorganiques poreuses présentes sur les couches d'anode et de cathode, 5 -7- Imprégnation de la structure obtenue à l'étape -6- par une phase porteuse d'ions de lithium conduisant à l'obtention d'une batterie. 17. Procédé selon la revendication 16, dans lequel la cathode est une électrode dense ou une électrode dense revêtue par ALD d'une couche isolante électroniquement, de préférence d'une couche isolante électroniquement et 10 conductrice ionique, ou une électrode poreuse, ou une électrode poreuse revêtue par ALD d'une couche isolante électroniquement, de préférence d'une couche isolante électroniquement et conductrice ionique, 15 ou, de préférence, une électrode mésoporeuse, ou une électrode mésoporeuse revêtue par ALD d'une couche isolante électroniquement, de préférence d'une couche isolante électonriquement et conductrice ionique, et/ou dans lequel l'anode est une électrode dense 20 ou une électrode dense revêtue par ALD d'une couche isolante électroniquement, de préférence d'une couche isolante électroniquement et conductrice ionique, ou une électrode poreuse, ou une électrode poreuse revêtue par ALD d'une couche isolante 25 électroniquement, de préférence d'une couche isolante électroniquement et conductrice ionique, ou, de préférence, une électrode mésoporeuse, ou une électrode mésoporeuse revêtue par ALD d'une couche isolante électroniquement, de préférence d'une couche isolante électroniquement et 30 conductrice ionique. 18. Procédé selon l'une quelconque des revendications 16 à 17, dans lequel après l'étape -7- on dépose successivement, de manière alternée, sur la batterie : 35 - au moins une première couche de parylène et/ou polyimide sur ladite batterie, - au moins une deuxième couche composée d'une matière électriquement isolante par ALD (Atomic Layer Deposition) sur ladite première couche de parylène et/ou polyimide, - et sur la succession alternée d'au moins une première et d'au 5 moins une deuxième couche est déposée une couche permettant de protéger la batterie contre l'endommagement mécanique de la batterie, de préférence en silicone, en résine époxy ou en parylène, ou en polyimide formant ainsi, un système d'encapsulation de la batterie, 10 on découpe selon deux plans de coupe, la batterie ainsi encapsulée pour mettre à nue sur chacun des plans de coupes des connexions anodiques et cathodiques de la batterie, de sorte que le système d'encapsulation revêt quatre des six faces de ladite batterie, de préférence de manière continue, on dépose successivement, sur et autour, de ces connexions anodiques et 15 cathodiques : - une première couche électroniquement conductrice, de préférence métallique, optionnelle, de préférence déposée par ALD, - une seconde couche à base de résine époxy chargée à l'argent, déposée sur la première couche électroniquement conductrice, et 20 - une troisième couche à base de nickel, déposée sur la deuxième couche, et - une quatrième couche à base d'étain ou de cuivre, déposée sur la troisième couche. 25 19. Procédé selon la revendication 18, dans lequel les connexions anodiques et cathodiques se trouvent sur les côtés opposés de l'empilement. 20. Dispositif électrochimique comprenant au moins une couche mince d'électrolyte selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, de préférence une batterie à ions 30 de lithium ou un supercondensateur.