Brevet FR3065536A1 — publié le 20181026

MIROIR DEFORMABLE A COURBURE VARIABLE ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN MIROIR ASSOCIE La présente invention concerne le domaine général des miroirs déformables utilisés dans les systèmes optiques adaptatifs, pour des applications aussi diverses que 5 l'astronomie, la médecine, notamment l'ophtalmologie, l'utilisation de lasers, la microscopie, la microélectronique, etc. La présente invention se rapporte plus particulièrement à un miroir déformable comportant d'une part une plaque possédant une face réfléchissante et une face cachée opposée et dont la forme présente un centre et des rayons, et d'autre part au 10 moins un actionneur destiné à exercer une force sur ladite face cachée pour déformer ladite plaque. La présente invention concerne également un procédé de fabrication d'un tel miroir. Il est connu d'employer des miroirs déformables afin de simuler ou de corriger des aberrations optiques, c'est-à-dire des irrégularités du front d'onde d'un faisceau 15 lumineux produisant par exemple un astigmatisme, en générant par exemple des concavités ou des convexités à la surface d'un tel miroir, notamment circulaire. De tels miroirs comprennent une plaque souple comportant une face réfléchissante et une face cachée opposée, ladite face cachée étant reliée à plusieurs actionneurs destinés à manoeuvrer localement ladite plaque en avance ou en retrait, et ainsi 20 modifier le chemin optique parcouru par les différents rayons constituant le faisceau lumineux se réfléchissant sur la face réfléchissante de ladite plaque. Il est ainsi possible de composer les déphasages à l'origine de la déformation du front d'onde. Cependant, de tels miroirs connus présentent l'inconvénient de nécessiter un grand nombre d'actionneurs, rendant de tels miroirs complexes à installer, et ce même pour 25 réaliser une déformation simple desdits miroirs comme la génération d'une courbure concave ou convexe, et entraînant un coût de fabrication important ainsi qu'une certaine fragilité, le dysfonctionnement d'un seul actionneur pouvant entrainer un défaut de déformation de ladite plaque déformable. De plus, les liaisons desdits nombreux 3065536 2 actionneurs avec ladite face cachée sont relativement complexes à réaliser et présentent une durée de vie limitée, augmentant encore les coûts, et entraînant des périodes d'immobilisation importantes pour réparer ces liaisons. Lesdites périodes d'immobilisation sont encore aggravées par le temps passé à changer un des multiples actionneurs qui tombe hors-service. Il est également connu d'utiliser des systèmes optiques comprenant un miroir déformable circulaire et un seul actionneur qui est de type aspiration/compression, à l'aide d'un fluide en contact avec une face cachée du miroir, ou mécanique, à l'aide d'une vis en contact avec ladite face cachée. Un tel miroir comprend une plaque déformable circulaire présentant un profil d'épaisseur particulier, ladite épaisseur diminuant du centre dudit miroir à sa périphérie de façon continue et axialenrient symétrique, selon une ou plusieurs formules mathématiques comprenant des facteurs tels que : le type d'actionneur et d'appui du miroir, le rayon dudit miroir circulaire, etc. Cependant, une telle configuration est difficile et complexe à mettre en oeuvre, ce type de système restant difficile à réaliser avec précision, en particulier ledit profil d'épaisseur particulier de ladite plaque. En effet, ladite formule mathématique dont celui-ci dépend est extrêmement complexe et comporte de nombreux facteurs, dont le type d'actionneur et la configuration générale d'appui, ainsi que le rayon dudit miroir circulaire, ce qui augmente le risque d'erreur lors de la fabrication d'un tel miroir. Il est difficile et coûteux de réaliser un miroir présentant ce profil d'épaisseur de plaque particulier selon une formule mathématique aussi spécifique, en réduisant l'épaisseur de ladite plaque de façon précise selon le rayon dudit miroir circulaire. Enfin, de tels systèmes optiques sont coûteux à réaliser, d'une part en raison du procédé de réalisation dudit profil d'épaisseur, et d'autre part en raison du taux de rebut des miroirs dont le profil d'épaisseur ne correspond pas tout à fait à la formule mathématique, les applications des miroirs déformables demandant généralement une grande précision de réalisation. Il est également connu d'utiliser des systèmes optiques comprenant une plaque déformable circulaire et un seul actionneur mécanique destiné à tirer ou pousser ladite 30 plaque en son centre pour la déformer, ladite plaque présentant une épaisseur qui 3065536 3 diminue de son centre vers son bord circulaire de façon axialement symétrique, échelonnée, et discontinue, à l'image des marches d'un escalier. Cependant, une telle configuration est difficile et complexe à mettre en oeuvre pour les mêmes raisons que celles précédemment citées. En effet, lesdites marches, taillées 5 dans l'épaisseur de ladite plaque, sont difficiles et coûteuse à réaliser, augmentant le taux de rebuts des miroirs dont une des marches n'a pas été réalisée précisément, par exemple une marche trop large ou trop épaisse. Les objets assignés à l'invention visent par conséquent à remédier aux différents inconvénients susmentionnés et à proposer un nouveau miroir déformable fiable, 10 compact, et dont la fabrication est peu coûteuse et peu complexe. Un autre objet assigné à l'invention vise à proposer un nouveau miroir déformable de structure simple et robuste. Un autre objet assigné à l'invention vise à proposer un nouveau miroir déformable dont la mise en place au sein d'un système optique est facile, rapide et bon marché. 15 Un autre objet assigné à l'invention vise à proposer un nouveau miroir déformable capable de focaliser ou de défocaliser un faisceau optique de façon précise et rapide. Un autre objet assigné à l'invention vise à proposer un nouveau miroir déformable facilement adaptable selon l'introduction ou à la correction de l'aberration optique que l'on cherche à obtenir. 20 Un autre objet assigné à l'invention vise à proposer un nouveau miroir déformable particulièrement adapté pour générer une courbure telle qu'une concavité ou une convexité. Enfin, un objet assigné à l'invention vise à proposer un nouveau miroir déformable qui ne nécessite qu'un nombre limité d'actionneur(s) pour être mis en oeuvre au sein d'un 25 système optique. 3065 536 4 Les objets assignés à l'invention sont atteints à l'aide d'un miroir deformable comportant d'une part une plaque possédant une face réfléchissante et une face cachée opposée et dont la forme présente un centre et des rayons, et d'autre part au moins un actionneur destiné à exercer une force sur ladite face cachée pour déformer ladite 5 plaque, caractérisé en ce que ladite plaque comprend une pluralité de portions primaires et secondaires, lesdites portions secondaires étant interposées entre lesdites portions primaires, chacune desdites portions primaires s'étendant sensiblement localement le long et de part et d'autre d'un rayon respectif parmi lesdits rayons et présentant une raideur différente de celle(s) desdites portions secondaires qui lui sont 10 adjacentes. Les objets assignés à l'invention sont également atteints à l'aide d'un procédé de fabrication d'un miroir deformable, caractérisé en ce qu'il comporte : d'une part, au moins une étape de réalisation d'une plaque possédant une face réfléchissante et une face cachée opposée et dont la forme présente un centre et 15 des rayons, ladite plaque comprenant une pluralité de portions primaires et secondaires, lesdites portions secondaires étant interposées entre lesdites portions primaires, chacune desdites portions primaires s'étendant sensiblement localement le long et de part et d'autre d'un rayon respectif parmi lesdits rayons et présentant une raideur différente de celle(s) desdites portions secondaires qui 20 lui sont adjacentes, et d'autre part, au moins une étape de mise en place d'au moins un actionneur destiné à exercer une force sur ladite face cachée pour déformer ladite plaque. D'autres particularités et avantages de l'invention apparaîtront et ressortiront plus en détail à la lecture de la description faite ci-après, en référence aux dessins annexés, 25 donnés uniquement à titre d'exemples illustratifs et non limitatifs, dans lesquels : La figure 1 illustre, selon une vue en perspective, un miroir deformable selon un premier mode de réalisation de l'invention, ledit miroir étant vu du côté de sa face cachée. 3065536 5 La figure 2 illustre, selon une vue de face, la face cachée d'un miroir déformable selon un deuxième mode de réalisation de l'invention, avec une seule portion primaire représentée. - La figure 3 illustre, la face cachée d'un miroir déformable selon un troisième 5 mode de réalisation de l'invention, avec une seule portion primaire représentée. - La figure 4 illustre, selon une vue de face, la face cachée d'un miroir déformable selon un quatrième mode de réalisation de l'invention. - La figure 5 illustre, selon une vue de face, la face cachée d'un miroir déformable selon un cinquième mode de réalisation de l'invention, avec une seule portion 10 primaire représentée. L'invention concerne, selon un premier aspect, illustré aux figures 1 à 5, un miroir déformable 1. Le miroir 1 est en particulier destiné à être utilisé dans un système nécessitant l'emploi d'optique adaptative, par exemple un système d'observation astronomique ou un 15 système d'imagerie ophtalmologique. En particulier, le miroir 1 est destiné à introduire ou corriger une aberration optique dans un faisceau lumineux. Selon la présente invention, et comme représenté à la figure 1, le miroir 1 comporte une plaque 2 possédant une face réfléchissante 4 et une face cachée 5 opposée. De préférence, ladite face réfléchissante 4 est localement parallèle à ladite face cachée 5, 20 lesdites faces réfléchissante 4 et cachée 5 se trouvant sur des faces opposées l'une à l'autre de ladite plaque 2. Avantageusement, en l'absence d'influence extérieure, ladite plaque 2 est de forme générale sensiblement plane, ou légèrement bombée, c'est-à-dire convexe (ou légèrement concave, selon le point de vue), et comporte de préférence au moins un 25 bord 3 fini. Ladite convexité (ou concavité, selon le point de vue) de ladite plaque 2 est de préférence suffisamment faible, c'est-à-dire présentant un rayon de courbure relativement important par rapport aux dimensions de ladite plaque 2, pour que la 3065536 6 surface de ladite plaque 2 bombée soit assimilée, localement (c'est-à-dire sur une fraction de l'aire de ladite plaque 2), à une surface plane. De préférence, ladite plaque 2 est fabriquée à partir d'un matériau relativement souple, mais possédant tout de même une certaine tenue mécanique, de sorte qu'elle ne se 5 déforme que peu ou pas du tout tant qu'elle n'est pas soumise à un minimum de pression ou de traction extérieure. Avantageusement, ladite plaque est une plaque mince, déformable, qui se déforme en particulier sous l'action d'une force externe exercée à sa surface, notamment une force exercée par un actionneur. 10 Préférentiellement, ladite plaque 2 est principalement réalisée en silicium, en métal (par exemple en acier ou en aluminium), en alliage, en polymère(s), en matériau(x) composite(s), en céramique(s), ou en un assemblage de plusieurs matériaux différents, notamment parmi les matériaux susmentionnés. Avantageusement, ladite plaque 2, lorsqu'elle est soumise à une pression ou une 15 traction extérieure, par exemple une pression ou une traction centrale, se déforme de façon à générer, lorsque ladite plaque 2 est réalisée sensiblement plane, une convexité (ou concavité, selon le point de vue), ou bien, lorsque ladite plaque est réalisée sensiblement bombée ou convexe, de façon à accentuer une convexité (ou concave, selon le point de vue), ou bien encore à diminuer une convexité (ou concavité, selon le 20 point de vue). Par exemple, lorsque ladite plaque 2 est réalisée sensiblement bombée ou convexe (ou concave, selon le point de vue), une pression ou une traction extérieure suffisante et appliquée au(x) bon(s) endroit(s) de ladite plaque 2, peut rendre ladite plaque 2 sensiblement plane, tant que ladite pression ou traction est exercée. Selon la présente invention, et comme représenté aux figures, la forme de ladite 25 plaque 2 présente un centre C et des rayons r. De préférence, ledit centre C est un centre géométrique de ladite forme de ladite plaque 2, par exemple un centre de gravité et/ou un barycentre. 3065536 7 Préférentiellement, chacun desdits rayons r est un segment dont une première extrémité se confond avec ledit centre C, et une seconde extrémité est un point d'extrémité périphérique P, c'est-à-dire un point d'un bord 3 de ladite plaque 2. Avantageusement, et comme illustré aux figures, ladite forme de ladite plaque 2 est 5 sensiblement circulaire ou elliptique. Dans le cas d'une plaque 2 de forme circulaire, lesdits segments sont tous sensiblement de même longueur, ladite plaque 2 présentant la forme d'un disque, et le bord 3 de ladite plaque 2 décrivant un cercle. Alternativement, ladite forme de ladite plaque 2 est triangulaire, rectangulaire, carrée, trapézoïdale, ou tout autre géométrie ou polygone approprié. 10 De préférence, lorsque ladite plaque 2 est légèrement bombée (concave ou convexe selon le point de vue), ladite forme de ladite plaque 2 est assimilée aux caractéristiques susmentionnées lorsque ladite plaque 2 bombée est mise à plat. De préférence, ladite face réfléchissante 4 présente une surface sensiblement lisse, destinée à réfléchir un faisceau lumineux, et à introduire une aberration optique ou la 15 corriger quand ledit miroir 1 est activement déformé. Ladite face cachée 5 est préférentiellement destinée à subir des pressions ou des tractions permettant de déformer ladite plaque 2 de façon appropriée, c'est-à-dire d'une façon satisfaisante pour que le miroir 1 remplisse son rôle dans un système d'optique adaptative. 20 Ladite plaque 2 présente ainsi avantageusement une forme plate ou légèrement bombée, présentant deux faces réfléchissante 4 cachée 5 qui sont opposées l'une à l'autre et qui sont séparées par l'épaisseur de ladite plaque 2, ladite épaisseur préférentiellement étant relativement faible par rapport aux dimensions d'extension desdites faces 4, 5 de ladite plaque 2. 25 Lesdites faces réfléchissantes 4 et cachée 5 de ladite plaque 2 sont préférentiellement d'une seule pièce avec ladite plaque 2, par exemple usinées dans un même matériau. 3065536 8 Alternativement, ladite plaque 2 est constituée de plusieurs parties de plaque rapportées ou collées les unes avec les autres, l'une des parties de plaque 2 comprenant par exemple la face réfléchissante 4, et une autre des parties de plaque 2 comprenant par exemple la face cachée 5. 5 Selon la présente invention, le miroir déformable 1 comporte également au moins un actionneur (non représenté) destiné à exercer une force sur ladite face cachée 5 pour déformer ladite plaque 2. En d'autres termes, ledit miroir déformable 1 comprend au moins un actionneur, conçu pour exercer une pression ou une traction sur ladite plaque 2 du côté de ladite face cachée 5, de façon à déformer ladite plaque 2 10 efficacement pour introduire ou corriger une aberration optique d'un faisceau lumineux réfléchit par ladite face réfléchissante 4, plus précisément en déformant localement la courbure de ladite plaque 2 (et donc plus généralement la courbure du miroir ou plus exactement la courbure de sa face réfléchissante 4). Cela a pour effet que ladite courbure varie, au moins localement, en fonction de la force exercée par ledit 15 actionneur sur ladite face cachée 5. Avantageusement, ledit actionneur est conçu pour appliquer ladite force audit centre C. De préférence, ladite force s'exerce selon une direction sensiblement perpendiculaire localement à ladite surface réfléchissante 4. Préférentiellement, le miroir déformable 1 comprend en outre un support fixe sur lequel 20 ladite plaque 2 est en appui périphérique, ledit support fixe étant de préférence lié à un bâti. Alternativement, ledit miroir déformable 1 comprend des actionneurs périphériques (seuls ou en combinaison avec ledit support fixe) sur lesquels ladite plaque 2 est en appui périphérique. 25 Avantageusement, ledit ou lesdits actionneurs peuvent être de tout type (piézoélectrique, magnétique, en deux parties, mécanique, à vis, etc.), dont ceux qui sont connus de l'homme du métier. Par exemple, ledit actionneur est relié à ladite face cachée 5 via un point de colle, et transmet une force de traction ou de pression 3065536 9 localement à la surface de ladite face cachée 5 pour déformer ladite plaque 2, ladite force étant de préférence sensiblement localement transversale à ladite face réfléchissante 4. Avantageusement, ladite plaque 2 comporte au moins un bord 3 qui est soit attaché à 5 audit support fixe, soit lui-même relié à un ou plusieurs actionneurs, ou une combinaison des deux (c'est-à-dire que certaines parties dudit bord 3 sont reliées à des actionneurs, tandis que d'autres parties dudit bord 3 sont reliées audit support fixe). Les figures 1 à 5 illustrent la face cachée 5 d'un miroir déformable 1 en l'absence desdits actionneurs et dudit bâti. 10 De préférence, ledit miroir 1 ne comprend qu'un seul actionneur ou un nombre limité d'actionneurs, par exemple un, deux ou trois, pour remplir sa fonction d'optique adaptative, c'est-à-dire introduire ou corriger une aberration optique dans un faisceau lumineux. Par exemple, ladite face cachée 5 est destinée à être soumise à la traction et/ou la 15 pression d'un actionneur ou ensemble d'actionneurs, de préférence un unique actionneur central ou un ensemble d'actionneurs centraux, c'est-à-dire un seul actionneur ou un ensemble d'actionneurs exerçant une force sur ladite plaque 2 dans une zone concentrée sur et/ou autour dudit centre C. Selon un autre exemple, ladite face cachée 5 est destinée à être soumise à la pression 20 et/ou la traction d'un actionneur de type pression/dépression de fluide, ladite pression ou dépression étant générée au sein dudit support pour créer respectivement, du côté de la face réfléchissante, une convexité ou une concavité de ladite plaque 2. Selon encore un autre exemple, ladite face cachée est destinée à être soumise à une pluralité d'actionneurs répartis uniformément sur la face cachée 5, c'est-à-dire reliés à 25 ladite face cachée 5 de façon régulière, la densité de liaisons actionneurs/face cachée 5 étant à peu près égale sur toute ladite face cachée 5. Selon la présente invention, ladite plaque 2 comprend une pluralité de portions primaires 6 et secondaires 7, lesdites portions secondaires 7 étant interposées entre 3065536 10 lesdites portions primaires 6. En d'autres termes, ladite plaque 2 est divisée en une alternance de portions primaires 6 et secondaires 7. Avantageusement, chacune desdites portions primaires 6 est bordée par au moins deux portions secondaires 7, et inversement, chacune desdites portions secondaires 7 est bordée par au moins deux 5 portions primaires 6. De préférence, lesdites portions primaires 6 et secondaires 7 occupent au moins une partie de l'aire de ladite face cachée 5, et plus préférentiellement, elles occupent la totalité de l'aire de ladite face cachée 5. Ainsi, chacune desdites portions primaires 6 et secondaire 7 présente avantageusement une aire inférieure à l'aire totale de ladite face cachée 5, et ladite pluralité de portions 10 primaires 6 et ladite pluralité de portions secondaires 7 présentent chacune une aire inférieure à l'aire totale de ladite face cachée 5. De préférence, ladite plaque 2 comprend autant de portions primaires 6 que de portions secondaires 7. Selon la présente invention, et comme illustré aux figures, chacune desdites portions 15 primaires 6 s'étend sensiblement localement le long et de part et d'autre d'un rayon respectif r' parmi lesdits rayons r. En d'autres termes, ladite portion primaire 6 présente une forme sensiblement allongée, qui suit au moins, sur une partie significative, un rayon respectif r' parmi lesdits rayons r de ladite plaque 2, ledit rayon respectif r' coupant avantageusement ladite portion primaire 6 en au moins deux parties 6a, 6b. 20 Dans ce qui suit, pour des raisons de clarté, on désignera « ladite » portion primaire 6, au singulier, comme se référant à la portion primaire 6, parmi lesdites portions primaires 6, qui est associée audit rayon respectif r' précité, chacune desdites autres portions primaires 6 étant associée à un rayon respectif r' différent (c'est-à-dire un rayon respectif r' différent par portion primaire 6, lesdits rayons respectifs r' étant de 25 préférence de même longueur), et présentant, avantageusement, les mêmes caractéristiques décrites ci-après que ladite portion primaire 6. Ainsi, les formulations « chacune desdites portions primaires 6 » et « ladite portion primaire 6 » sont par exemple équivalentes. Lesdites portions primaires 6 sont de préférence toutes semblables, excepté leur positionnement spatial. De préférence, et comme illustré aux figures, ledit rayon respectif r' coupe ladite portion primaire 6 en deux parties 6a, 6b, avantageusement d'aires sensiblement égales. Plus 3065536 11 préférentiellement encore, lesdites parties Sa, 6b sont sensiblement symétriques, ledit rayon respectif r' formant leur axe de symétrie. De préférence, et comme représenté aux figures, ledit rayon respectif r' est entièrement inscrit dans ladite portion primaire 6. Alternativement, seule une fraction dudit rayon 5 respectif r' est inscrite dans ladite portion primaire 6, ladite fraction dudit rayon respectif r' étant avantageusement continue, c'est-à-dire ne comprenant qu'un seul tronçon. Avantageusement, et comme illustré aux figures 1 et 4, lesdites portions primaires 6 sont angulairement uniformément réparties autour dudit centre C. En d'autres termes, 10 lesdites portions primaires 6 s'étendent préférentiellement chacune le long d'un rayon respectif r' différent, l'angle séparant deux rayons respectifs r' adjacents étant toujours sensiblement le même. Avantageusement, et comme illustré aux figures 1 et 4, ledit miroir déformable 1 comprend au moins huit portions primaires 6, de préférence au moins dix portions 15 primaires 6. Par exemple, et comme représenté aux figures 1 et 4, ledit miroir déformable 1 comprend huit portions primaires 6 et donc huit rayons respectifs r', chacun desdits huit rayons respectifs r' étant séparé du rayon respectif r' qui lui est adjacent par un angle d'environ 45 degrés. Selon la présente invention, et comme illustré aux figures, chacune desdites portions 20 primaires 6 présente une raideur différente de celle(s) desdites portions secondaires 7 qui lui sont adjacentes. En d'autres termes, ladite portion primaire 6 de ladite plaque 2 se déforme plus difficilement ou plus facilement que les portions secondaires 7 qui la bordent et qui sont de préférence au moins deux. Cela signifie que chaque portion primaire 6 présente une résistance à la déformation élastique différente de celle des 25 portions secondaires 7 adjacentes. En d'autres termes encore, ladite portion primaire 6 est une partie de ladite plaque 2 qui se déforme plus ou moins facilement, notamment en flexion, sous l'action dudit/desdits actionneur(s), qu'une autre partie de plaque 2 comprenant lesdites portions secondaires 7 adjacentes à ladite portion primaire 6. 3065 536 12 Avantageusement, chacune desdites portions secondaires 7 adjacentes à ladite portion primaire 6 présente une seule et même raideur. Préférentiellement, lesdites portions primaires 6 présentent toutes une même raideur primaire, et lesdites portions secondaires 7 présentent toute une même raideur 5 secondaire, lesdites raideurs primaire et secondaire étant sensiblement différentes l'une de l'autre. Selon une variante de réalisation de l'invention, et comme illustré à la figure 1, ladite portion primaire 6 présente une raideur supérieure à celle(s) desdites portions secondaires 7 qui lui sont adjacentes. 10 Selon une autre variante de réalisation de l'invention, et comme représenté à la figure 4, ladite portion primaire 6 présente une raideur inférieure à celle(s) desdites portions secondaires 7 qui lui sont adjacentes. De préférence, et comme représenté aux figures, ladite portion primaire 6 présente une surépaisseur ou une sous-épaisseur par rapport auxdites portions secondaires 7 qui lui 15 sont adjacentes. La figure 1 illustre ainsi un miroir déformable 1 dont une portion primaire 6 présente une surépaisseur, tandis que la figure 4 illustre un miroir déformable 1 dont une portion primaire 6 présente une sous-épaisseur. Les figures 2, 3 et 5 illustrent chacune un miroir déformable 1 dont la portion primaire 6 peut être soit en relief, présentant alors 20 une surépaisseur, soit en dépression, présentant alors une sous-épaisseur. De préférence, ladite surépaisseur ou sous-épaisseur de ladite portion primaire 6 lui confère une raideur respectivement supérieure ou inférieure auxdites portions secondaires 7 adjacentes à ladite portion primaire 6. Par exemple, la figure 1 illustre un miroir 1 dont la raideur supérieure de ladite portion primaire 6 par rapport à celle(s) 25 desdites portions secondaires 7 qui lui sont adjacentes est obtenue à l'aide de la surépaisseur de ladite portion primaire 6 par rapport auxdites portions secondaires 7 qui lui sont adjacentes. 3065536 13 De préférence, un usinage de ladite plaque 2 est pratiqué du côté de ladite face cachée 5 pour former au moins partiellement ladite surépaisseur ou ladite sous-épaisseur. Ainsi, notamment dans le cas où l'on veut que ladite portion primaire 6 présente une surépaisseur, on procède par exemple à un usinage desdites portions 5 secondaires 7 adjacentes à ladite portion primaire 6. Au contraire, dans le cas où l'on veut que ladite portion primaire 6 présente une sous-épaisseur, on procède à un usinage de ladite portion primaire 6. De préférence, lorsque la portion primaire 6 est usinée, elle présente une raideur inférieure à celle(s) desdites portions secondaires 7 adjacentes à ladite portion primaire, et inversement, lorsque lesdites portions 10 secondaires 7 adjacentes à ladite portion primaire 6 sont usinées, ladite portion primaire 6 présente une raideur supérieure à celle(s) des portions secondaires 7 adjacentes à ladite portion primaire 6. Alternativement, ladite surépaisseur est formée au moins partiellement par une tranche deformable rapportée, par exemple collée, sur ladite plaque 2, formant ainsi ladite 15 portion primaire 6. Préférentiellement, ladite tranche est réalisée à partir du même matériau que celui du reste de la plaque 2. Alternativement, ladite tranche est réalisée à partir d'un matériau flexible différent de celui du reste de ladite plaque 2. De manière générale, ladite tranche (et en fait ladite surépaisseur) vient préférentiellement augmenter la raideur de ladite portion primaire 6. Par exemple, ladite surépaisseur est 20 formée par une tranche deformable rapportée sur ladite plaque 2, formant ainsi ladite portion primaire 6, et par un usinage des portions secondaires 7 qui lui sont adjacentes. Ladite surépaisseur ou ladite sous-épaisseur peut également être réalisée à l'aide de tout procédé approprié, par exemple une gravure sélective, un dépôt sélectif, etc., soit de ladite portion primaire 6, soit desdites portions secondaires 7 qui lui sont adjacentes. 25 Ladite surépaisseur ou ladite sous-épaisseur peut aussi être réalisée à l'aide d'une combinaison des procédés et moyens précités, par exemple le collage d'une tranche sur la portion primaire 6 suivi d'un usinage desdites portions secondaires 7 adjacentes à ladite portion primaire 6. Selon une alternative, et comme illustré aux figures 1 et 3, ladite portion primaire 6 30 présente une structure continue. En d'autres termes, ladite portion primaire 6 n'est pas formée de points épars isolés, mais préférentiellement présente plutôt une surface 3065536 14 sensiblement lisse et plate localement. Un exemple d'une telle structure continue est ainsi illustré aux figures 1 et 3, où de surcroît ladite portion primaire 6 présente avantageusement une forme générale de pétale, ledit pétale étant de préférence d'un seul tenant. 5 Selon une autre alternative illustrée par les modes de réalisation de l'invention des figures 2, 4 et 5, ladite portion primaire 6 présente une structure discrète. En d'autres termes, ladite portion primaire 6 présente une structure formée de points épars, isolés les uns des autres. Des exemples d'une telle structure discrète sont illustrés aux figures 4 et 5, où ladite 10 portion primaire 6 comporte un ensemble de cavités 9, 10 ou de saillies 11 pratiquées dans son épaisseur, de façon à conférer à ladite portion primaire (6) ladite raideur différente de celle(s) desdites portions secondaires (7) qui lui sont adjacentes. La figure 4 illustre notamment un miroir 1 dont la portion primaire 6 présente un ensemble de cavités 9 réparties régulièrement sur l'aire de ladite portion primaire 6, 15 lesdites cavités 9 diminuant la raideur de ladite portion primaire 6 par rapport auxdites portions secondaires 7 qui lui sont adjacentes. Lesdites cavités 9 de ladite portion primaire 6 lui confèrent un caractère discontinu ou discret, ainsi qu'une sous-épaisseur par rapport auxdites portions secondaires 7 adjacentes à ladite portion primaire 6. En pratique, la raideur de ladite portion primaire 6 du miroir 1 illustré à la figure 4 est 20 inférieure à celle(s) desdites portions secondaires 7 adjacentes à ladite portion primaire 6. La figure 5 illustre notamment un miroir 1 dont la portion primaire 6 présente un ensemble de cavités 10 ou de saillies 11 (les points noirs pouvant représenter les premières ou les secondes), réparties irrégulièrement sur l'aire de ladite portion 25 primaire 6, lesdites cavités 10 ou saillies 11 respectivement diminuant ou augmentant la raideur de ladite portion primaire 6 par rapport auxdites portions secondaires 7 qui lui sont adjacentes. La répartition avantageusement irrégulière desdites cavités 10 ou desdites saillies 11, qui sont par exemple plus densément réparties près dudit centre C que d'un bord 3 de ladite plaque 2, confère à ladite portion primaire 6 une raideur plus 30 proche de celle(s) desdites portions secondaires 7 qui lui sont adjacentes au niveau de 3065536 15 l'endroit où les cavités ou saillies 11 sont les moins densément réparties (c'est-à-dire ledit centre C ici), et inversement, cette répartition irrégulière confère à ladite portion primaire 6 une raideur plus éloignée de celle(s) desdites portions secondaires 7 qui lui sont adjacentes au niveau de l'endroit où les cavités 10 ou saillies 11 sont les plus 5 densément réparties (c'est-à-dire un bord 3 ici). Lesdites cavités 10 ou saillies 11 sont préférentiellement relativement petites, c'est-à-dire d'aire individuelle significativement inférieure par rapport à l'aire totale de ladite face cachée 5, de préférence au moins 10 fois plus faible, plus préférentiellement encore au moins 20 fois plus faible, encore plus préférentiellement au moins 50 fois plus faible. 10 Lin autre exemple d'une telle structure discrète est notamment illustré à la figure 2, où ladite portion primaire 6 présente également une forme générale de pétale, ladite forme de ladite portion primaire étant divisée en plusieurs languettes 8 allongées et courbées, présentant une largeur (qui reste constante ou qui varie) et une longueur, distinctes et écartées les unes des autres, sauf à leurs extrémités respectives où elles se rejoignent, 15 lesdites extrémités étant ici d'une part ledit centre C et d'autre part à un point d'extrémité périphérique P de ladite plaque 2. En pratique, lesdites languettes 8 sont préférentiellement des surépaisseurs ou des sous-épaisseurs pratiquées dans ladite plaque 2 du côté de sa face cachée. Selon un autre exemple de réalisation, lesdites portions primaires 6 sont formées par 20 des portions de ladite plaque 2 qui ont subi une altération des propriétés physiques du ou des matériau(x) constituant ladite plaque 2 pour en modifier ainsi la raideur. Selon encore un autre exemple de réalisation (non illustré aux figures), chaque portion primaire (6) est formée en un ou plusieurs premier(s) matériau(x) tandis que chaque portion secondaire (7) est formée en un ou plusieurs deuxième(s) matériau(x), lesdits 25 premier(s) et deuxième(s) matériaux étant de raideurs différentes. La différence de raideur est donc obtenue dans ce cas par la mise en oeuvre de matériaux différents pour former les portions primaires 6 et secondaires 7, de sorte que la plaque 2 présente un caractère composite. De préférence, et comme illustré aux figures, ladite portion primaire 6 présente 30 également une dimension L qui est localement sensiblement transversale audit rayon 3065536 16 respectif r' et parallèle à ladite face réfléchissante 4 et qui varie le long dudit rayon respectif r'. En d'autres termes, ladite portion primaire 6, qui s'étend sensiblement localement le long dudit rayon r` et présente ainsi une longueur inférieure ou égale audit rayon respectif r', présente également une largeur qui est localement sensiblement 5 perpendiculaire à ladite longueur, qui s'étend sur la plaque 2, qui est localement perpendiculaire à la direction d'extension locale de l'épaisseur de ladite plaque 2, et qui varie. Les termes « localement » et « local » peuvent ici s'entendre afin de considérer les dimensions d'un point de vue circonscrit ou approché, c'est-à-dire afin d'approximer une plaque 2 sensiblement localement plate quand ledit miroir déformable 1 est 10 légèrement bombé (concave ou convexe). En pratique, la portion primaire 6 modifie de façon significative et différenciée la rigidité ou raideur radiale de ladite plaque 2, qu'il est plus difficile ou plus facile de déformer selon son rayon respectif r` ; en d'autres termes, de déformer une partie de ladite plaque 2 de façon en rapprochant ou en éloignant, à l'aide d'un actionneur, une partie de ladite plaque 2 comprenant un segment de rayon 15 respectif r' d'une autre partie de ladite plaque 2 comprenant le reste du rayon respectif r'. Alternativement, ladite dimension L reste sensiblement constante tout le long dudit rayon respectif r'. De préférence, et comme illustré aux figures, ladite dimension transversale L croît, en 20 partant dudit centre C, vers l'extérieur, le long dudit rayon respectif r', jusqu'à un point primaire A situé sur ledit rayon respectif r' et à distance dudit centre C. Alternativement, ladite dimension transversale L décroît, en partant dudit centre C, vers l'extérieur, le long dudit rayon respectif r', jusqu'à un point tertiaire situé sur ledit rayon respectif r' et à distance dudit centre C. 25 Avantageusement, la distance entre ledit centre C et ledit point primaire A (ou alternativement ledit point tertiaire) représente, comme illustré aux figures 1 à 3, au moins 30%, de préférence au moins 50%, ou comme représenté aux figures 4 et 5, encore plus préférentiellement au moins 80%, ou encore plus préférentiellement la totalité de la longueur dudit rayon respectif r'. Ce dernier exemple peut 30 avantageusement se comprendre comme une croissance (ou alternativement une 3065536 17 décroissance), de préférence continue, de ladite dimension transversale L du centre C jusqu'à un bord 3 de ladite plaque 2 (ou alternativement, un bord 3 ou un point d'extrémité périphérique dudit rayon respectif r'), notamment dans le cas d'une plaque 2 de forme circulaire ou elliptique. 5 Selon une alternative, et notamment lorsque ladite dimension transversale L ne fait que croître, de façon continue, dudit centre C, vers l'extérieur, tout le long dudit rayon respectif r', ladite portion primaire 6 est formée par un secteur circulaire respectif de ladite plaque 2. Préférentiellement, et comme illustré aux figures 1 à 3, ladite dimension transversale L 10 croît, en partant d'un point d'extrémité périphérique P dudit rayon respectif r' et/ou d'un bord 3 de ladite plaque 2 vers ledit centre C (c'est-à-dire vers l'intérieur de ladite plaque 2), le long dudit rayon respectif r', jusqu'à un point secondaire B situé sur ledit rayon respectif r' et à distance dudit point d'extrémité périphérique P et/ou dudit bord 3. Préférentiellement, et comme illustré aux figures 1 à 3, la distance entre ledit point 15 d'extrémité périphérique P et/ou ledit bord 3 et ledit point secondaire B représente au moins 30%, plus préférentiellement au moins 50% de la longueur dudit rayon respectif r'. Alternativement, ladite dimension transversale L décroît, en partant d'un bord 3 de ladite plaque 2, vers ledit centre C, le long dudit rayon respectif r', jusqu'à un point 20 quaternaire D situé sur ledit rayon respectif r` et à distance dudit bord 3. Selon un exemple particulier, et comme illustré aux figures 4 et 5, le point quaternaire D est confondu avec ledit centre C, ladite dimension transversale L décroissant dudit bord 3 jusqu'au centre C le long dudit rayon respectif r' ; cela revient au cas où ladite dimension transversale L croît, en partant dudit centre C, jusqu'à un bord 3 de ladite 25 plaque 2. De préférence, ledit bord 3 est sécant avec ledit rayon respectif r'. Plus préférentiellement encore, ledit bord 3 est coupé en deux parties de même longueurs, et symétriques, par ledit rayon respectif r'. 3065 536 18 Selon une variante de réalisation de l'invention, et comme illustré aux figures 1 à 3, ledit point primaire A et ledit point secondaire B sont confondus. Selon une autre variante de l'invention, non illustrée, ledit point primaire A et ledit point secondaire B ne sont pas confondus. Avantageusement, ladite dimension 5 transversale L, le long dudit rayon respectif r', reste sensiblement constante entre lesdits points primaire A et secondaire B. Ainsi, dans les deux dernières variantes susmentionnées, et, quel que soit le sens, ladite dimension transversale L croît puis décroît le long dudit rayon respectif r', en partant d'une extrémité dudit rayon respectif r' à l'autre (par exemple ledit centre C et un 10 point d'extrémité périphérique P). Selon une encore une autre variante de réalisation de l'invention, non illustrée, ledit point tertiaire et ledit point quaternaire D sont confondus. Selon encore une autre variante de l'invention, non illustrée, ledit point tertiaire et ledit point quaternaire D ne sont pas confondus. 15 Pour cette dernière variante, ladite dimension transversale L, le long dudit rayon respectif r`, reste par exemple sensiblement constante entre lesdits points tertiaire et quaternaire D. Ainsi, dans les deux dernières variantes susmentionnées, ladite dimension transversale L décroît puis croît le long dudit rayon respectif r', en partant d'une extrémité dudit rayon 20 respectif r' à l'autre (par exemple ledit centre C et un point d'extrémité périphérique P), et ce, quel que soit le sens. De préférence, ladite dimension transversale L, considérée en un point F dudit rayon respectif r', satisfait à l'équation : L=-L0*N2*In(N2), où N est le rapport entre, d'une part, la distance CF entre ledit centre C et ledit point F, et, d'autre part, la longueur totale 25 dudit rayon respectif r', Lo étant une constante ajustée en fonction du nombre de portions primaires 6 pour que celles-ci ne se chevauchent pas. 3065536 19 Tout combinaison des différentes variantes et exemples susmentionnés est bien évidemment possible, au regard de ce qu'il semble pertinent pour l'homme du métier désirant réaliser un miroir deformable approprié. De préférence, et comme illustré à la figure 3, le miroir 1 comprend également, du côté 5 de la face cachée 5 de la plaque 2, notamment lorsque celle-ci est de forme circulaire ou elliptique, une ou plusieurs zones de ladite plaque 2 qui sont en forme d'anneau 12 et qui présentent une raideur différente de celle(s) desdites portions primaires 6 et/ou de celle(s) desdites portions secondaires 7, le(s)dit(s) anneau(x) 12 ayant pour centre ledit centre C. De préférence, et comme illustré à la figure 3, le(s)dit(s) anneau(x) 10 est/sont réalisé(s) dans ou rapporté(s) sur l'épaisseur de la plaque 2, et sont des surépaisseurs ou sous-épaisseurs par rapport auxdites portions primaires 6 et/ou secondaires 7. Plus préférentiellement, lesdits anneaux 12 sont sécants avec ladite portion primaire 6. En pratique, ils modifient peu la rigidité ou raideur radiale, mais ils permettent de réduire les erreurs de forme desdites portions primaires 6 ou les modes 15 de résonnance entre lesdites portions primaires 6. L'invention concerne, selon un autre aspect, un procédé de fabrication d'un miroir deformable 1. Ledit procédé est préférentiellement mis en oeuvre pour fabriquer le miroir deformable 1 décrit ci-dessus, mais peut également être mis en oeuvre pour réaliser d'autres miroirs, sans que l'on sorte du cadre de l'invention. La description qui 20 précède concernant le miroir deformable 1 est donc valable, mutatis mutandis, pour le procédé selon l'invention. Selon l'invention, ledit procédé comporte : d'une part, au moins une étape de réalisation d'une plaque 2 possédant une face réfléchissante 4 et une face cachée 5 opposée et dont la forme présente un 25 centre C et des rayons r, ladite plaque 2 comprenant une pluralité de portions primaires 6 et secondaires 7, lesdites portions secondaires 7 étant interposées entre lesdites portions primaires 6, chacune desdites portions primaires 6 s'étendant sensiblement localement le long et de part et d'autre d'un rayon respectif r' parmi lesdits rayons r et présentant une raideur différente de celle(s) 30 desdites portions secondaires 7 qui lui sont adjacentes, et 3065 536 20 - d'autre part, au moins une étape de mise en place d'au moins un actionneur destiné à exercer une force sur ladite face cachée 5 pour déformer ladite plaque 2. De préférence, lors de ladite étape de réalisation de ladite plaque 2, on réalise lesdites 5 portions primaires 6 de sorte qu'elles présentent chacune une dimension L qui est localement sensiblement transversale audit rayon respectif r' et parallèle à ladite face réfléchissante 4, et qui varie le long dudit rayon respectif r'. Alternativement, on réalise ladite portion primaire 6 de sorte que ladite dimension transversale L reste constante tout le long dudit rayon respectif r'. REVENDICATIONS1. Miroir deformable (1) comportant d'une part une plaque (2) possédant une face réfléchissante (4) et une face cachée (5) opposée et dont la forme présente un centre (C) et des rayons (r), et d'autre part au moins un actionneur destiné à exercer une force sur ladite face cachée (5) pour déformer ladite plaque (2), caractérisé en ce que ladite plaque (2) comprend une pluralité de portions primaires (6) et secondaires (7), lesdites portions secondaires (7) étant interposées entre lesdites portions primaires (6), chacune desdites portions primaires (6) s'étendant sensiblement localement le long et de part et d'autre d'un rayon respectif (C) parmi lesdits rayons (r) et présentant une raideur différente de celle(s) desdites portions secondaires (7) qui lui sont adjacentes. 2. Miroir deformable (1) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que ladite forme de ladite plaque (2) est sensiblement circulaire ou elliptique. 3. Miroir deformable (1) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que ladite portion primaire (6) présente une dimension (L) qui est localement sensiblement transversale audit rayon respectif (r') et parallèle à ladite face réfléchissante (4) et qui varie le long dudit rayon respectif (r'). 4. Miroir deformable (1) selon la revendication 3, caractérisé en ce que ladite dimension transversale (L) croît, en partant dudit centre (C), vers l'extérieur, le long dudit rayon respectif (r), jusqu'à un point primaire (A) situé sur ledit rayon respectif (r') et à distance dudit centre (C). 5. Miroir deformable (1) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la distance entre ledit centre (C) et ledit point primaire (A) représente au moins 30%, de préférence au moins 50%, encore plus préférentiellement au moins 80%, ou encore plus préférentiellement la totalité de la longueur dudit rayon respectif (r'). 6. Miroir deformable (1) selon l'une quelconque des revendications 3 à 5, caractérisé en ce que ladite dimension transversale (L) croît, en partant d'un 3065536 22 point d'extrémité périphérique (P) dudit rayon respectif (r') et/ou d'un bord (3) de ladite plaque (2) vers ledit centre (C), le long dudit rayon respectif (r'), jusqu'à un point secondaire (B) situé sur ledit rayon respectif (r') et à distance dudit point d'extrémité périphérique (P) et/ou dudit bord (3). 5 7. Miroir déformable (1) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la distance entre ledit point d'extrémité périphérique (P) et/ou ledit bord (3) et ledit point secondaire (B) représente au moins 30%, plus préférentiellement au moins 50% de la longueur dudit rayon respectif (il. 8. Miroir déformable (1) selon les revendications 4 ou 5 et 6 ou 7, caractérisé en ce 10 que ledit point primaire (A) et ledit point secondaire (B) sont confondus. 9. Miroir déformable (1) selon les revendications 4 ou 5 et 6 ou 7, caractérisé en ce que ledit point primaire (A) et ledit point secondaire (B) ne sont pas confondus. 10. Miroir déformable (1) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que ladite dimension transversale (L), le long dudit rayon respectif (r'), reste 15 sensiblement constante entre lesdits points primaire (A) et secondaire (B). 11. Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications 3 à 10, caractérisé en ce que ladite dimension transversale (L) croît puis décroît le long dudit rayon respectif (r'). 12. Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, 20 caractérisé en ce que ladite portion primaire (6) présente une forme générale de pétale. 13. Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ladite portion primaire (6) présente une raideur supérieure à celle(s) desdites portions secondaires (7) qui lui sont adjacentes. 25 14.Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ladite portion primaire (6) présente une raideur inférieure à celle(s) desdites portions secondaires (7) qui lui sont adjacentes. 306 5 5 36 23 15. Miroir deformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que chacune desdites portions secondaires (7) adjacentes à ladite portion primaire (6) présente une seule et même raideur. 16. Miroir deformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, 5 caractérisé en ce que lesdites portions primaires (6) sont angulairement uniformément réparties autour dudit centre (C). 17. Miroir deformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend au moins huit portions primaires (6), de préférence au moins dix portions primaires (6). 10 18. Miroir deformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ladite portion primaire (6) présente une structure continue. 19. Miroir deformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ladite portion primaire (6) présente une surépaisseur ou une sous-épaisseur par rapport auxdites portions secondaires (7) qui lui sont 15 adjacentes. 20. Miroir deformable (1) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que ladite surépaisseur est formée au moins partiellement par une tranche deformable rapportée, par exemple collée, sur ladite plaque (2), formant ainsi ladite portion primaire (6). 20 21. Miroir deformable (1) selon la revendication 19 ou 20, caractérisé en ce qu'un usinage de ladite plaque (2) est pratiqué du côte de ladite face cachée (5) pour former au moins partiellement ladite surépaisseur ou ladite sous-épaisseur. 22. Miroir deformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes à l'exception de la revendication 18, caractérisé en ce que ladite portion 25 primaire (6) présente une structure discrète. 23. Miroir deformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes à l'exception de la revendication 18, caractérisé en ce que ladite portion 306 5 5 36 24 primaire (6) comporte un ensemble de cavités 9, 10 ou de saillies 11 pratiquées dans son épaisseur, de façon à conférer à ladite portion primaire (6) ladite raideur différente de celle(s) desdites portions secondaires (7) qui lui sont adjacentes. 5 24. Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que lesdites portions primaires (6) sont formées par des portions de ladite plaque (2) qui ont subi une altération des propriétés physiques du ou des matériau(x) constituant ladite plaque (2) pour en modifier ainsi la raideur. 10 25. Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédente, caractérisé en ce que chaque portion primaire (6) est formée en un ou plusieurs premier(s) matériau(x) tandis que chaque portion secondaire (7) est formée en un ou plusieurs deuxième(s) matériau(x), lesdits premier(s) et deuxième(s) matériaux étant de raideurs différentes. 15 26. Miroir déformable (1) selon la revendication (2) et l'une quelconque des revendications 1 à 5 et 13 à 25, caractérisé en ce que ladite portion primaire (6) est formée par un secteur circulaire respectif de ladite plaque (2). 27. Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un support fixe sur lequel ladite 20 plaque (2) est en appui périphérique. 28.Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit actionneur est conçu pour appliquer ladite force audit centre (C). 29. Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, 25 caractérisé en ce que ladite force s'exerce selon une direction sensiblement perpendiculaire localement à ladite surface réfléchissante (4). 30. Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ladite dimension transversale (L), considérée en un 306 5 5 36 25 point (F) dudit rayon respectif (r'), satisfait à l'équation : L=-Lo*N2*In(N2), où N est le rapport entre, d'une part, la distance CF entre ledit centre (C) et ledit point (F), et, d'autre part, la longueur totale dudit rayon respectif (r'), Lo étant une constante ajustée en fonction du nombre de portions primaires (6) pour que 5 celles-ci ne se chevauchent pas. 31. Procédé de fabrication d'un miroir déformable (1), caractérisé en ce qu'il comporte : - d'une part, au moins une étape de réalisation d'une plaque (2) possédant une face réfléchissante (4) et une face cachée (5) opposée et dont la forme 10 présente un centre (C) et des rayons (r), ladite plaque (2) comprenant une pluralité de portions primaires (6) et secondaires (7), lesdites portions secondaires (7) étant interposées entre lesdites portions primaires (6), chacune desdites portions primaires (6) s'étendant sensiblement localement le long et de part et d'autre d'un rayon respectif (r') parmi lesdits rayons (r) et 15 présentant une raideur différente de celle(s) desdites portions secondaires (7) qui lui sont adjacentes, et d'autre part, au moins une étape de mise en place d'au moins un actionneur destiné à exercer une force sur ladite face cachée (5) pour déformer ladite plaque (2). 20 32.Procédé de fabrication d'un miroir déformable (1) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que, lors de ladite étape de réalisation de ladite plaque (2), on réalise lesdites portions primaires (6) de sorte qu'elles présentent chacune une dimension (L) qui est localement sensiblement transversale audit rayon respectif (r') et parallèle à ladite face réfléchissante (4), et qui varie le long 25 dudit rayon respectif (r').