Brevet FR3068778A1 — publié le 20190111

CAPTEUR DE DEPLACEMENT AVEC MICRO-RÉSONATEUR EN ANNEAU SEGMENTÉ DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE L'invention concerne le domaine des micro-résonateurs à guide d'onde, et leur utilisation pour détecter, voire mesurer, une déformation du micro-résonateur ou un déplacement dans le champ proche de ce micro-résonateur. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE L'article « Optical racetrack resonator transduction of nanomechanical cantilevers », par V.T.K. Sauer & al., Nanotechnology, vol. 25 (2014), décrit la mesure du déplacement d'une nano-poutre, à proximité d'un micro-résonateur à guide d'onde. Le micro-résonateur à guide d'onde est constitué d'un guide d'onde courbé en forme d'anneau, nommé micro-résonateur en anneau. Le micro-résonateur en anneau ne comporte pas de gaine. C'est le milieu environnant qui fait office de gaine. Ce micro-résonateur est couplé à un guide d'onde d'injection et extraction, par couplage évanescent. Le couplage évanescent correspond à une interaction entre un mode guidé du guide d'onde d'injection et extraction, et un mode guidé du micro-résonateur, ce qui aboutit à un transfert d'énergie entre ces deux modes. Ce transfert d'énergie est maximal aux longueurs d'onde de résonance du micro-résonateur. Une longueur d'onde de résonance du micro-résonateur est une longueur d'onde pour laquelle le déphasage apporté par un tour dans l'anneau est un multiple de 2n. En fonctionnement, un faisceau lumineux, dit faisceau d'analyse, est envoyé en entrée du guide d'onde d'injection et extraction. Une partie du faisceau laser d'analyse 2 s'échappe vers le micro-résonateur, où elle effectue un ou plusieurs tours avant de revenir vers le guide d'onde d'injection et extraction. La partie du faisceau d'analyse transitant dans le micro-résonateur y subit des pertes optiques, dues notamment à l'absorption par le milieu environnant. 5 Une nano-poutre, mobile, est disposée dans le champ proche du micro-résonateur. Elle se rapproche ou s'éloigne du micro-résonateur, en fonction de conditions externes. La position de la nano-poutre définit localement la composition d'une gaine pour le micro-résonateur. Cette position influence donc la valeur de l'indice effectif Neff du mode guidé dans le micro-résonateur, et par conséquent les valeurs de longueur d'onde de 10 résonance À. Ces grandeurs, indice effectif Neff et longueurs d'onde de résonance À, sont en effet liées entre elles. Pour un chemin optique circulaire de rayon R dans le micro-résonateur, on a notamment : À N f f *27TR (1) 15 avec m un entier supérieur ou égal à l'unité. L'analyse d'une variation de la lumière, en sortie du guide d'onde d'injection et extraction, permet donc de détecter et mesurer une variation de la position de la na no-poutre, relativement au micro-résonateur en anneau. 20 L'influence de la nano-poutre sur les longueurs d'onde de résonance reste cependant assez restreinte, ce qui limite la sensibilité du capteur. Un objectif de la présente invention est de proposer un capteur optique comportant un micro-résonateur à guide d'onde, offrant une sensibilité améliorée à la détection d'un déplacement dans le champ proche de ce micro-résonateur. 25 EXPOSÉ DE L'INVENTION Cet objectif est atteint avec un capteur optique comportant : un dispositif optique, lequel comprend : 3 - un micro-résonateur à guide d'onde, agencé pour guider un faisceau lumineux selon un chemin optique en boucle fermée ; et - un guide d'onde d'injection et extraction, ou un guide d'onde d'injection et un guide d'onde d'extraction, couplé(s) optiquement au micro- 5 résonateur pour l'injection et l'extraction dudit faisceau lumineux ; - un photo-détecteur, disposé en sortie du guide d'onde d'injection et extraction, respectivement en sortie du guide d'onde d'extraction ; et - un dispositif d'analyse, recevant en entrée un signal fourni par le photo-détecteur, agencé pour comparer ce signal avec des données de référence, et pour en déduire 10 une information relative à un déplacement au sein du dispositif optique. Selon l'invention, le micro-résonateur est constitué d'une pluralité de guides d'onde élémentaires, espacés les uns des autres, et disposés les uns à la suite des autres selon un agencement en forme de boucle. 15 Ainsi, un élément mobile annexe tel qu'une nano-poutre, peut se déplacer à proximité du micro-résonateur, jusqu'à se trouver entre deux guides d'onde élémentaires. Lorsque l'élément mobile annexe se trouve entre deux guides d'onde élémentaires, il coupe le chemin optique du faisceau lumineux se propageant dans le micro-résonateur, ce qui se traduit par une forte augmentation des pertes aux longueurs d'onde de résonance 20 du micro-résonateur et/ou une forte modification de la phase dans le micro-résonateur. Ainsi, un déplacement de l'élément mobile entre deux positions, l'une située entre deux guides d'onde élémentaires du micro-résonateur, et l'autre pas, se traduit par une forte variation de la lumière en sortie du guide d'onde d'injection et extraction (respectivement en sortie du guide d'onde d'extraction). 25 La sensibilité à la détection de ce déplacement est donc fortement augmentée, en comparaison avec l'art antérieur où seule la partie évanescente d'une onde circulant dans le micro-résonateur est sensible à ce déplacement. La constitution du micro-résonateur en guides d'onde élémentaires espacés les uns des autres présente d'autres avantages, dont certains sont détaillés ci-après. 4 Un micro-résonateur à guide d'onde peut, notamment lorsqu'il est agencé suspendu, se contracter et s'étendre radialement. Ce mouvement est nommé « respiration du micro-résonateur ». L'article « A monolithic radiation-pressure driven, low phase noise silicon nitride opto- 5 mechanical oscillator », par Siddharth Tallur & al., Optics Express, Vol. 19, No. 24, décrit un micro-résonateur en anneau, selon l'art antérieur, ainsi que son mouvement de contraction et extension radiales. Ce mouvement modifie la longueur curviligne du micro-résonateur, ce qui se traduit par une modification de ses longueurs d'onde de résonance. 10 Avec un micro-résonateur selon l'invention, ce mouvement modifie également la longueur d'interstice entre deux guides d'onde élémentaires voisins, et donc l'indice effectif d'un mode guidé dans le micro-résonateur. Or, la longueur de résonance est fonction également de cet indice effectif. En comparaison avec l'art antérieur, la variation de longueur d'onde de résonance est donc 15 plus élevée, pour une même amplitude de mouvement radial. On augmente ainsi une sensibilité de détection, voire de mesure, de la déformation mécanique du micro-résonateur. Puisque le micro-résonateur est constitué de guides d'onde élémentaires distincts, il est possible de libérer le mouvement de certains d'entre eux, relativement aux autres. 20 Des contraintes mécaniques, qui dans l'art antérieur n'étaient pas capables de déformer le micro-résonateur, peuvent alors entraîner le déplacement d'un ou plusieurs guides d'onde élémentaires relativement aux autres. Ce déplacement se traduit par une variation d'un signal ayant transité par le micro-résonateur. On augmente ainsi la sensibilité du micro-résonateur aux contraintes mécaniques externes. 25 Le déplacement au sein du dispositif optique, mentionné ci-avant, désigne en particulier une déformation du micro-résonateur lui-même, et/ou le déplacement d'un élément mobile relativement au micro-résonateur. Le dispositif d'analyse peut notamment être agencé pour comparer un spectre en longueur d'onde, fourni par le photo-détecteur à un instant courant t1, et un spectre de référence. 5 Le spectre de référence peut être un spectre en longueur d'onde, fourni par le photo-détecteur à un instant tO précédant l'instant t1. La comparaison de spectres, qui est alors mise en oeuvre par le dispositif d'analyse, peut comporter une comparaison de valeurs d'intensité, en des minima locaux de ces 5 spectres, et/ou une comparaison de valeurs de longueurs d'onde, associées à ces minima locaux. L'invention est basée sur l'interaction entre un déplacement mécanique et un phénomène optique de résonance. Le capteur optique selon l'invention forme donc un capteur opto-mécanique, à sensibilité améliorée. L'amélioration est liée à un couplage 10 opto-mécanique exacerbé entre le déplacement mécanique et le phénomène optique de résonance, ou en d'autres termes entre un oscillateur mécanique et un oscillateur optique. Le capteur optique selon l'invention offre une sensibilité accrue à la mesure de déplacements nanométriques. Le dispositif optique comprenant le micro-résonateur est décrit en détail, et protégé 15 en tant que tel, dans la demande de brevet FR 16 57222, déposée le 27 juillet 2016. Cette demande de brevet, en revanche, ne décrit pas un capteur optique comportant un dispositif d'analyse tel que décrit ci-dessus, et n'identifie pas les avantages spécifiques à une utilisation dudit dispositif optique pour obtenir une information relative à un déplacement. 20 Le capteur optique selon l'invention peut comprendre en outre un élément mobile annexe, adapté à se déplacer relativement au micro-résonateur de façon à traverser partiellement ou totalement un espace libre entre deux guides d'onde élémentaires voisins. Les guides d'onde élémentaires du micro-résonateur peuvent être suspendus au- 25 dessus d'un substrat, et autour d'un piédestal. De préférence, le piédestal présente une forme de cylindre, la base du cylindre présentant un diamètre compris entre 0,25 et 0,75 fois le diamètre du micro-résonateur. Selon un mode de réalisation avantageux, les guides d'onde élémentaires du micro-résonateur sont montés solidaires d'une plaque de support, elle-même en appui sur le 30 piédestal. 6 La plaque de support peut présenter une ou plusieurs tranchées, chacune de ces tranchées s'étendant depuis une région périphérique de la plaque de support, située entre deux guides d'onde élémentaires voisins, jusqu'à une région centrale de la plaque de support. 5 La plaque de support peut présenter au moins un couple de tranchées, chaque couple délimitant sur la plaque de support une zone dite, recevant un ou plusieurs guides d'onde élémentaires. La plaque de support peut présenter un unique couple de tranchées. En variante, la plaque de support peut présenter deux couples de tranchées, agencés 10 symétriques l'un de l'autre. Selon une autre variante, la plaque de support peut présenter une pluralité de tranchées délimitant ensemble une pluralité de zones isolées symétriques deux à deux. Selon un autre mode de réalisation avantageux, les guides d'onde élémentaires sont suspendus autour du piédestal, par l'intermédiaire de bras qui s'étendent dans un plan 15 parallèle au plan du micro-résonateur. Les guides d'onde élémentaires peuvent aussi être en appui sur un substrat, sans bras de levier. Les guides d'onde élémentaires du micro-résonateur sont avantageusement répartis de façon périodique les uns à la suite des autres, selon un pas régulier dit pas de répartition. 20 De préférence, le pas de répartition (P) est inférieur à : À 2nh avec À une longueur d'onde de résonance du micro-résonateur ; et nh l'indice de réfraction moyen des guides d'onde élémentaires. 25 BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés à titre purement indicatif et nullement limitatif, en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels : 7 - les figures 1A et 1B illustrent de manière schématique, un premier mode de réalisation d'un capteur optique selon l'invention, respectivement selon une vue de dessus et selon une vue en coupe ; - la figure 2 illustre des spectres de transmission obtenus à l'aide du capteur des 5 figures 1A et 1B ; - la figure 3 illustre de manière schématique une première variante du mode de réalisation des figures 1A et 1B ; - la figure 4 illustre de manière schématique une deuxième variante du mode de réalisation des figures 1A et 1B ; 10 - la figure 5 illustre de manière schématique un deuxième mode de réalisation d'un capteur optique selon l'invention ; - les figures 6A et 6B illustrent un comparatif de la variation de spectre de transmission obtenue à l'aide d'un capteur selon l'art antérieur, et à l'aide d'un capteur selon l'invention ; 15 - les figures 7A et 7B illustrent de manière schématique une première variante d'agencement suspendu du micro-résonateur selon l'invention ; - les figures 8A et 8B illustrent de manière schématique une deuxième variante d'agencement suspendu du micro-résonateur selon l'invention ; - les figures 9A à 9D illustrent différentes variantes du micro-résonateur d'un 20 troisième mode de réalisation d'un capteur optique selon l'invention ; - les figures 10A et 10B illustrent deux variantes d'une zone de couplage d'un guide d'onde d'injection et extraction selon l'invention ; et - la figure 11 illustre de manière schématique un procédé de fabrication d'un dispositif optique selon l'invention. 25 EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Les figures 1A et 1B illustrent un premier mode de réalisation d'un dispositif optique 100 et un capteur optique 1000 selon l'invention, respectivement selon une vue de dessus, dans le plan (x0y) d'un repère orthonormé, et selon une vue en coupe, dans le plan (yOz) 8 du même repère. A la figure 1A, on a représenté le plan de coupe AA' correspondant à la figure 18. Le dispositif optique 100 comprend : - un guide d'onde d'injection et extraction 110, configuré pour guider un faisceau 5 lumineux dit faisceau d'analyse ; et - un micro-résonateur à guide d'onde 120, configuré pour guider au moins une portion du faisceau d'analyse selon un chemin optique 123 en boucle fermée. Selon l'invention, le micro-résonateur à guide d'onde 120 est constitué d'une 10 pluralité de tronçons de guide d'onde, dits guides d'onde élémentaires 121. Les guides d'onde élémentaires 121 définissent ensemble le chemin optique 123 parcouru par la lumière dans le micro-résonateur, ici un chemin optique 123 circulaire (représenté en trait pointillé sur la figure 1A). En d'autres termes, ils sont agencés les uns à la suite des autres selon un agencement en forme d'anneau. 15 Les plusieurs guides d'onde élémentaires sont espacés les uns des autres. En d'autres termes, l'entrée d'un guide d'onde élémentaire n'est pas en contact physique direct avec la sortie d'un guide d'onde élémentaire voisin. Les guides d'onde élémentaires sont séparés deux à deux par un espace libre respectif 122. Chacun des guides d'onde élémentaires 121 est dépourvu de gaine, de sorte qu'en 20 fonctionnement, un milieu environnant autour du micro-résonateur 120 fait office de gaine. Chaque guide d'onde élémentaire 121 est avantageusement constitué d'un même et unique matériau (ou alliage). Ce matériau est le même pour tous les guides d'onde élémentaires 121. 25 Les guides d'onde élémentaires sont avantageusement en silicium ou en nitrure de silicium. Ils sont par exemple en silicium, pour guider un faisceau lumineux dans l'infrarouge (longueur d'onde supérieure à 1 um, en particulier comprise entre 1 um et 10 um). 9 En variante, les guides d'onde élémentaires 121 sont en nitrure, en particulier du nitrure de silicium (Si3N4), pour guider un faisceau lumineux dans le visible (longueur d'onde strictement inférieure à 1 um, en particulier comprise entre 0,4 um et 0,8 um). On peut considérer que le micro-résonateur 120 forme un micro-résonateur en 5 anneau segmenté, c'est-à-dire un micro-résonateur tel que décrit en introduction, dans lequel seuls certains tronçons du guide d'onde courbé sont conservés, et forment les guides d'onde élémentaires. Le micro-résonateur 120 est disposé à proximité du guide d'onde d'injection et extraction 110. 10 Au niveau du micro-résonateur 120, le guide d'onde d'injection et extraction 110 s'étend selon une ligne droite, parallèle à une tangente au micro-résonateur. Le guide d'onde d'injection et extraction 110 s'étend à l'extérieur du micro-résonateur 120, sans forcément de contact physique direct avec celui-ci. Dans la suite, on illustre, mais de manière non limitative, un exemple dans lequel le 15 guide d'onde d'injection et extraction 110 est espacé du micro-résonateur 120. De préférence, le guide d'onde d'injection et extraction 110 est constitué, comme les guides d'onde élémentaires 121, d'un unique matériau (ou alliage), le milieu environnant faisant office de gaine. Cet unique matériau est avantageusement le même que celui constituant les guides d'onde élémentaires. 20 Dans l'exemple décrit en référence aux figures 1A et 1B, le guide d'onde d'injection et extraction est avantageusement formé non suspendu, mécaniquement stable relativement au micro-résonateur. Le micro-résonateur 120 et le guide d'onde d'injection et extraction 110 sont couplés optiquement l'un à l'autre par couplage évanescent. 25 En fonctionnement, le guide d'onde d'injection et extraction 110 reçoit en entrée un faisceau lumineux 111 dit faisceau d'analyse. Au moins une partie du faisceau d'analyse est transférée dans le micro-résonateur 120, par couplage évanescent. Cette partie du faisceau d'analyse est un signal à une longueur d'onde de résonance du micro-résonateur 120. Il peut s'agir de tout ou partie du 30 faisceau d'analyse. 10 Une longueur d'onde de résonance du micro-résonateur est une longueur d'onde pour laquelle le déphasage apporté par un tour dans le micro-résonateur est un multiple de 2n. Cette partie du faisceau d'analyse, transférée du guide d'onde d'injection et 5 extraction 110 vers le micro-résonateur 120, effectue plusieurs tours dans le micro- résonateur 120 avant de revenir dans le même guide d'onde d'injection et extraction 110. Toute la lumière ne revient pas dans le guide d'onde d'injection et extraction 110, du fait des pertes lors de la propagation dans le micro-résonateur 120. Ces pertes peuvent même être de 100%. 10 Comme représenté en figure 1B, tous les guides d'onde élémentaires 121, d'épaisseur h1, sont disposés ici sur un même support plan 140, d'épaisseur H. Les épaisseurs H et h1 sont mesurées selon l'axe (Oz), orthogonal au plan du micro-résonateur. A la figure 1B, mais de manière non limitative, l'épaisseur H est supérieure ou égale 15 à l'épaisseur h1. Le support plan 140 s'étend sous l'ensemble des guides d'onde élémentaires 121, entre ces guides d'onde élémentaires 121 et un substrat 172. Le support plan 140 est en contact physique direct, d'un côté avec chacun des guides d'onde élémentaires 121, et de l'autre avec ledit substrat 172. 20 Ainsi, le micro-résonateur 120 n'est pas suspendu au-dessus de ce substrat 172. En d'autres termes, les points d'appui d'un guide d'onde élémentaire 121 sur le substrat 172 sont alignés avec ledit guide d'onde élémentaire, le long de l'axe (Oz). Dit encore autrement, les guides d'onde élémentaire 121 sont en appui sur le substrat 172, sans bras de levier. 25 Les guides d'onde élémentaires sont donc mécaniquement stables, les uns relativement aux autres, et relativement au substrat 172. De nombreuses variantes d'un agencement du micro-résonateur 120 non suspendu au-dessus du substrat 172 peuvent être mises en oeuvre, par exemple sans le support plan intermédiaire 140. 11 Selon le premier mode de réalisation de l'invention, le dispositif optique 100 comprend en outre un élément mobile annexe 130, pouvant se déplacer relativement au micro-résonateur 120, de préférence selon un mouvement d'oscillation. A la figure 1B, on a représenté des guides d'onde élémentaires 121 de largeur réduite, 5 pour une meilleure illustration de l'élément mobile annexe 130. Néanmoins, les guides d'onde élémentaires 121 sont de préférence plus larges que hauts (dimension selon (Oz)). L'agencement mobile de l'élément 130 peut être réalisé par une fixation suspendue, une extrémité de l'élément 130 pouvant être laissée libre. L'élément mobile annexe 130 est situé dans le champ proche du micro-résonateur, 10 espacé de ce dernier d'une distance inférieure à quelques centaines de nanomètre, par exemple moins de 600 nm et même moins de 300 nm. L'une au moins des dimensions de l'élément mobile d'annexe est inférieure à 0,5 um, de préférence entre 10 nm et 300 nm. L'élément mobile annexe 130 est ici une nano-poutre, de largeur L1 comprise entre 15 100 nm et 200 nm, et de longueur L2 valant environ 1 um. Ici, l'épaisseur de la nano-poutre 130 (selon l'axe (Oz)) est inférieure à celle des guides d'onde élémentaires 121, sans que cet exemple soit limitatif. La nano-poutre est mobile entre deux positions extrêmes. Sur les figures 1A et 1B, la nano-poutre 130 est représentée deux fois, en chacune de ces deux positions extrêmes. 20 Le chemin 131 suivi par la nano-poutre, entre ces deux positions extrêmes, est représenté par une flèche en pointillés. Le chemin 131 s'étend ici dans un plan parallèle au plan du micro-résonateur 120. Il définit ici un rayon du micro-résonateur 120. Dans tout le texte, le plan du micro-résonateur est un plan recevant les faces 25 supérieures des guides d'onde élémentaires 121, parallèle au plan (Oxy). Dans une première desdites positions extrêmes, la nano-poutre 130 est orientée vers le centre du micro-résonateur, mais située entièrement à l'extérieur de celui-ci. Dans ce cas, les pertes optiques dans le micro-résonateur restent limitées. La nanopoutre n'interagit qu'avec la partie évanescente du faisceau circulant dans le micro- 30 résonateur, comme dans l'art antérieur. 12 Dans l'autre desdites positions extrêmes, la na no-poutre 130 a été translatée le long du chemin 131, et s'étend en partie dans un espace libre 122, entre deux guides d'onde élémentaires 121 voisins. Elle coupe alors le trajet du faisceau lumineux dans le micro-résonateur 120, ce qui 5 provoque de fortes pertes optiques (par fuites optiques dans la nano-poutre, par réflexions, diffraction, voire perturbation d'une condition sur le pas des guides d'onde élémentaires pouvant annuler une condition de guidage, etc.). Les pertes optiques augmentent avec un taux d'occupation, par la nano-poutre, d'un espace libre 122 entre deux guides d'onde élémentaires. 10 La nano-poutre peut se déplacer selon un mouvement d'oscillation, lors duquel elle entre et sort d'un espace libre 122, entre deux guides d'onde élémentaires 121 voisins. En suivant l'évolution au cours du temps, du spectre du faisceau lumineux 112 en sortie du guide d'onde d'injection et extraction 110, on peut détecter, avec une bonne sensibilité, un déplacement nanométrique de la nano-poutre relativement au micro- 15 résonateur 120 (par exemple un déplacement inférieur à 20 nm). Selon l'invention, le dispositif optique 100 fait partie d'un capteur optique 1000 comportant en outre : - un photo-détecteur 150, disposé en sortie du guide d'onde d'injection et extraction 110, du côté opposé à une extrémité d'entrée du faisceau d'analyse 111 20 dans le guide d'onde d'injection et extraction 110; et - un dispositif d'analyse 160, relié au photo-détecteur 150. Le photo-détecteur 150 comprend au moins une photodiode. Il peut comprendre en outre des moyens de dispersion spectrale tels qu'un prisme ou un réseau, ou un simple 25 filtre, pour répartir les différentes composantes spectrale d'un faisceau large spectre sur les différentes photodiodes d'une barrette de photodiodes. Il est agencé à l'une des extrémités du guide d'onde d'injection et extraction, pour recevoir le faisceau 112 émergeant du guide d'onde d'injection et extraction 110, et résultant du couplage entre le micro-résonateur 120 et le guide d'onde d'injection et 30 extraction 110. 13 Le dispositif d'analyse 160 comprend des moyens électroniques et/ou informatiques, notamment un processeur. Il reçoit en entrée un signal fourni par le photo-détecteur 150. Ce signal se présente avantageusement, mais de manière non limitative, sous la 5 forme d'un spectre en longueur d'onde du faisceau 112, émergeant du guide d'onde d'injection et extraction 110. Le dispositif d'analyse 160 comporte en particulier un comparateur, électronique ou informatique, pour comparer le signal fourni par le photo-détecteur 150 avec des données de référence, et pour en déduire une information Id relative à un déplacement au sein du 10 dispositif optique 100. L'information Id est fournie en sortie du dispositif d'analyse 160. Ici, le dispositif d'analyse 160 met en oeuvre en particulier une comparaison entre un premier spectre en longueur d'onde, fourni par le photo-détecteur 150 à un instant initial tO, et un second spectre en longueur d'onde, fourni par le photo-détecteur 150 à un instant 15 t1 ultérieur à tO. Le spectre en longueur d'onde, fourni à l'instant initial tO, forme alors les données de référence. La figure 2 illustre : - le spectre en longueur d'onde 20 (en trait plein), fourni par le photo-détecteur 150 à un instant initial tO, lorsque la nano-poutre 130 se trouve à l'extérieur d'un 20 espace libre entre deux guides d'onde élémentaires 121 voisins ; et - le spectre en longueur d'onde 21 (en trait pointillé), fourni par le photo-détecteur 150 à l'instant t1, lorsque la nano-poutre 130 traverse un tel espace libre. L'axe des abscisses est une longueur d'onde, en um. L'axe des ordonnées est un taux 25 de transmission d'une extrémité à l'autre du guide d'onde d'injection et extraction 110. Le micro-résonateur 120 est constitué de 500 guides élémentaires 121 en silicium, baignant dans de l'air. Le pas de répartition des guides élémentaires 121 est de 40 nm. Ils sont répartis selon un anneau de rayon médian égal à 5 um. Le guide d'onde d'injection et extraction présente une section de 500 nm sur 220 nm. L'interstice entre le guide d'onde 14 d'injection et extraction 110 et le micro-résonateur 120 est de 300 nm. La nano-poutre est un parallélépipède rectangle de dimensions 1000 nm x 220 nm x 30 nm. Les spectres 20 et 21 correspondent chacun au faisceau d'analyse, diminué des pertes dans le micro-résonateur 120. Ces pertes sont localisées aux longueurs d'onde de 5 résonance du micro-résonateur 120. Ces pertes forment des minima de transmission 201, 202... 20,, respectivement 211, 212... 21,, sur les spectres 20, respectivement 21. Comme attendu, les pertes sont bien plus élevées lorsque la nano-poutre 130 coupe le chemin optique du faisceau transitant dans le micro-résonateur. En particulier, le taux de transmission à la plus petite longueur d'onde de résonance est diminué d'environ 8%, 10 lorsque la nano-poutre 130 coupe le chemin optique du faisceau transitant dans le micro- résonateur. Ainsi, l'évolution au cours du temps du spectre du signal en sortie du guide d'onde d'injection et extraction, permet de détecter avec une très bonne sensibilité que la nanopoutre rentre ou sort d'un espace libre entre deux guides d'onde élémentaires voisins. 15 Il s'agit en particulier, ici, de suivre l'évolution en fonction du temps des valeurs d'intensité au niveau des minima de transmission. L'information, Id, relative à un déplacement au sein du dispositif optique 100, peut être constituée de la simple détection d'un déplacement supérieur à un seuil prédéterminé. 20 Selon une variante avantageuse, le dispositif d'analyse 160 utilise le résultat de la comparaison, ici une comparaison de spectres, pour calculer la valeur de ce déplacement (en unité de longueur). L'information, Id, comporte alors cette valeur de ce déplacement. Les calculs mis en oeuvre pour calculer ce déplacement ne seront pas décrits ici plus 25 avant, et ne présenteront pas de difficulté en soi pour l'homme du métier, spécialiste de l'utilisation des micro-résonateurs pour mesurer un déplacement. Chaque déplacement peut être considéré comme une somme de deux déplacements, un premier déplacement où la nano-poutre reste entièrement à l'extérieur du micro-résonateur, et un second déplacement où la nano-poutre traverse une portion de plus en 30 plus grande d'un espace libre entre deux guides d'onde élémentaires. 15 Le premier déplacement peut reprendre des calculs mis en oeuvre dans l'art antérieur. Le second déplacement implique des calculs originaux, basés sur des simulations ou sur un modèle théorique du micro-résonateur. De nombreuses variantes peuvent être mises en oeuvre, sans sortir du cadre de 5 l'invention. Par exemple, la nano-poutre 130 peut se déplacer selon un chemin vertical 331, orthogonal au plan du micro-résonateur 120, comme illustré en figure 3. Là-encore, la largeur des guides d'onde élémentaires n'est pas représentative, ces derniers étant de préférence plus larges que hauts. 10 D'autres chemins peuvent combiner des composantes selon (Oz) et selon (Oxy). Selon une variante non représentée, l'élément mobile annexe est une membrane. Selon une autre variante, le guide d'onde d'injection et extraction 110 est remplacé par un guide d'onde d'injection 110A, pour injecter le faisceau d'analyse 111 dans le micro-résonateur, et un guide d'onde d'extraction 110B distinct du guide d'onde d'extraction, 15 pour recevoir ce qu'il reste du faisceau d'analyse après transit dans le micro-résonateur 120. Cette variante est illustrée par le dispositif optique 100' et le capteur optique 1000' de la figure 4. A la figure 4, la nano-poutre n'est pas représentée. Dans ce cas, le faisceau d'analyse 111 peut être un faisceau monochromatique, à une 20 longueur d'onde de résonance du micro-résonateur 120, et le photo-détecteur 150 peut être constitué d'une simple photodiode, sensible à cette longueur d'onde. Ainsi, le signal fourni par le photo-détecteur 150, au dispositif d'analyse 160, n'est pas un spectre mais une valeur unique d'intensité lumineuse. La comparaison mise en oeuvre au sein du dispositif d'analyse est ensuite une 25 comparaison entre une valeur d'intensité mesurée à l'instant t1, et une valeur de référence. Ladite valeur de référence peut être constituée par une valeur d'intensité mesurée à un instant tO, précédent l'instant t1. Cette variante présente l'avantage que le photo-détecteur 150 ne reçoit que la longueur d'onde affectée par un déplacement. Il offre donc une sensibilité accrue à ce 16 déplacement, sous réserve que la longueur d'onde de résonance soit connue, et peu affectée par le déplacement. Selon une autre variante, le dispositif optique selon l'invention ne comporte pas d'élément mobile annexe, et on détecte le déplacement du guide d'onde d'injection et 5 extraction, respectivement du guide d'onde d'injection et/ou du guide d'onde d'extraction. Ledit guide d'onde est alors avantageusement agencé suspendu, en appui sur au moins deux piliers. Selon une autre variante, le dispositif optique selon l'invention comporte au contraire plusieurs éléments mobiles annexes tels que des nano-poutres. Ces plusieurs éléments se 10 déplacent ensemble, et ont ensemble une plus grande influence sur les variations de signal en sortie du guide d'onde d'injection et extraction. On augmente ainsi la sensibilité à une sollicitation à l'origine de ces déplacements. Selon une autre variante, le micro-résonateur est agencé suspendu, mais ses modes de vibration sont peu susceptibles de modifier le signal transitant dans le micro-résonateur. 15 Dans chacune des variantes de l'invention, les données de référence sont avantageusement des données précédemment mesurées par le photo-détecteur 150. Il peut également s'agir de données précédemment calculées, obtenues de manière entièrement théorique, ou à partir de mesures expérimentales compilées lors d'une étape préliminaire de calibration. 20 Le dispositif optique selon l'invention peut être placé à l'intérieur d'une cavité hermétique mise sous vide. Il peut également être placé au sein d'un cryostat, pour limiter le bruit thermique brownien de déplacement. Il est cependant, de préférence, soumis à la pression atmosphérique. Le capteur optique selon l'invention peut comporter la source lumineuse adaptée à 25 l'émission du faisceau d'analyse 111. Selon une variante non représentée, les guides d'onde élémentaires peuvent présenter une forme de parallélépipède rectangle. Le pas de répartition des guides d'onde élémentaires 121 étant réduit, de préférence inférieur à 2 um, le chemin optique de la lumière guidée dans le micro-résonateur 120 peut être assimilé à un chemin circulaire. 30 17 On détaille dans la suite des règles avantageuses de dimensionnement du dispositif optique selon l'invention. On se réfèrera à la figure 1A pour illustration des grandeurs mentionnées. Le micro-résonateur, ici en forme d'anneau, présente avantageusement un rayon 5 externe inférieur ou égal à 10 um, en particulier inférieur ou égal à 5 um. De préférence, tous les guides d'onde élémentaires présentent la même forme et les mêmes dimensions. La forme d'un guide d'onde élémentaire 121 est ici une portion d'un cylindre droit à base annulaire, cette portion étant délimitée par deux plans 124 recevant la génératrice du cylindre et définissant ensemble un angle a. 10 Chaque guide d'onde élémentaire 121 est caractérisé par une hauteur, une largeur w et une longueur 1 (ici 1 est une longueur curviligne, mesurée au centre du guide d'onde élémentaire). Les différents guides d'onde élémentaires 121 sont répartis de façon périodique les uns à la suite des autres, selon un pas régulier P, dit pas de répartition. 15 Ici, le pas P désigne une longueur curviligne, correspondant à la longueur curviligne d'un guide d'onde élémentaire 121 et d'un espace libre 122. Il s'agit en d'autres termes de la longueur curviligne d'une portion du chemin optique 123, suivi par la lumière au centre d'un guide d'onde élémentaire 121 et dans l'espace libre 122 adjacent. Afin que la structure en guides d'onde élémentaires indépendants n'affecte pas le 20 faisceau lumineux guidé dans le micro-résonateur, le pas P est inférieur à la longueur d'onde centrale de ce faisceau lumineux. A cette échelle, la lumière n'est sensible qu'a un indice de réfraction moyen entre l'indice des guides d'onde élémentaires 121 et l'indice dans les espaces libres 122, et n'est pas diffractée. En d'autres termes, le coeur du micro-résonateur 120 se comporte comme 25 un matériau d'indice de réfraction moyen : Timoy = -p rth + (2) avec : 18 / la longueur curviligne d'un guide d'onde élémentaire ; P le pas de répartition des guides d'onde élémentaires ; nh l'indice de réfraction moyen dans un guide d'onde élémentaire ; et nh l'indice de réfraction moyen entre deux guides d'onde élémentaires, c'est-à-dire l'indice 5 de réfraction moyen du milieu entourant les guides d'onde élémentaires (ce milieu pouvant inclure un élément mobile annexe tel que décrit ci-avant). L'indice de réfraction moyen nmoy constitue un indice optique équivalent du micro-résonateur selon l'invention. 10 De préférence, le pas P vérifie en particulier : P W (6) avec : w la largeur d'un guide d'onde élémentaire 121, mesurée dans un plan orthogonal au 5 chemin optique 123 parcouru par la lumière dans le micro-résonateur 120; et W la largeur du guide d'onde d'injection et extraction 110, mesurée dans un plan orthogonal au chemin optique parcouru par la lumière dans le guide d'onde d'injection et extraction 110. En pratique, chaque guide d'onde élémentaire 121 présente de préférence une 10 section rectangulaire de hauteur hi_ et de largeur w, dans des plans orthogonaux au chemin optique 123 parcouru par la lumière dans le micro-résonateur 120. De la même façon, le guide d'onde d'injection et extraction 110 présente avantageusement une section rectangulaire de hauteur h1 = h2 et de largeur W, dans des plans orthogonaux au chemin optique parcouru par la lumière dans le guide d'onde d'injection et extraction 110. 15 L'équation (6) est notamment vérifiée lorsque le guide d'onde d'injection et extraction 110 est constitué du même matériau que les guides d'onde élémentaires 121, et présente donc le même indice de réfraction. Les largeurs w et W permettant de vérifier la condition ci-dessus sur les indices effectifs des modes guidés, peuvent être calculées avec précision en utilisant des outils de 20 simulation électromagnétique connus de l'homme de l'art. Ces outils de simulation peuvent être utilisés pour ajuster les différents paramètres du dispositif optique selon l'invention, de façon à vérifier ladite condition. Ces paramètres sont notamment des paramètres géométriques (pas de répartition P, longueur curviligne 1 d'un guide d'onde élémentaire), et des valeurs d'indice de réfraction (indices de réfraction du guide d'onde 25 d'injection et extraction et indice de réfraction des guides d'onde élémentaires). En particulier, on peut déterminer une valeur optimale du rapport entre les largeurs w et W. Le rapport de la largeur w divisée par la largeur W est sensiblement égal à 2, avantageusement compris entre 1,9 et 2,1, et même entre 1,8 et 2,2. 21 De préférence, le rapport entre la longueur curviligne 1 d'un guide d'onde élémentaire et le pas de répartition P est sensiblement égal à 0,5. En particulier, ce rapport est avantageusement compris entre 0,4 et 0,6, voire entre 0,45 et 0,55, voire exactement égal à 0,5. 5 En d'autres termes, les espaces libres présentent environ la même longueur curviligne que les guides d'onde élémentaires, ce qui correspond au meilleur compromis technologique puisque ni les guides d'onde élémentaires ni les espaces libres n'ont à présenter de dimensions trop réduites. De préférence, on a à la fois un rapport d'environ 0,5 entre la longueur curviligne 1 et 10 le pas P, et un rapport de la largeur w divisée par la largeur W sensiblement égal à 2. La figure 5 illustre de manière schématique, un deuxième mode de réalisation d'un dispositif optique 500 et un capteur optique 5000 selon l'invention. Ce deuxième mode de réalisation ne sera décrit que pour ses différences 15 relativement au premier mode de réalisation décrit ci-dessus. Ici, le micro-résonateur 520 est agencé suspendu au-dessus d'un substrat, en appui sur un pilier central, ou piédestal, 570. En d'autres termes, les points d'appui des guides d'onde élémentaires sur le substrat sont situés sous le piédestal 570. Dit encore autrement, les guides d'onde élémentaires sont en appui sur le substrat par l'intermédiaire d'un bras 20 de levier. Ici, le dispositif optique 500 ne comporte pas d'élément mobile annexe. Le déplacement détecté à l'aide de l'invention est alors un déplacement des guides d'onde élémentaires les uns relativement aux autres. L'agencement suspendu libère en particulier un mouvement de contraction et 25 extension radiales du micro-résonateur 520, correspondant à des modes de respiration du micro-résonateur. A des fins d'illustration, on a représenté simultanément, en figure 5, le micro-résonateur 520 dans une position de contraction radiale (rayon R1 du micro-résonateur), et dans une position d'extension radiale (rayon R2>R1 du micro-résonateur). 22 Comme dans l'art antérieur, le mouvement de contraction et extension radiales modifie la longueur curviligne L du chemin optique d'un faisceau lumineux faisant un tour dans le micro-résonateur, ce qui modifie les longueurs d'onde de résonance du micro- résonateur puisque ces deux grandeurs sont liées par : À, = NeffL 5 (7) avec : Ne ff l'indice effectif du mode guidé dans le micro-résonateur ; et m un entier supérieur ou égal à l'unité (voir également équation (1)). 10 Ledit mouvement de contraction et extension modifie également la distance entre le micro-résonateur et le guide d'onde d'injection et extraction, et donc un taux de couplage optique entre ces deux éléments. Il modifie également le confinement de la lumière dans le micro-résonateur. En outre, du fait de la constitution du micro-résonateur 520 en une pluralité de guides 15 d'onde élémentaires 521, ce mouvement se traduit également par un rapprochement puis un éloignement des guides d'onde élémentaires les uns par rapport aux autres (sans changement de dimension significatif pour les guides d'onde élémentaires). Le rapport entre la longueur 1 d'un guide d'onde élémentaire (constante) et le pas de répartition P desdits guides d'onde (modifié) est donc modifié. 20 Cela se traduit par une variation de l'indice de réfraction moyen nmoy du micro- résonateur (voir équation (2)), et donc de l'indice effectif Ne ff du mode guidé dans le microrésonateu r. Cette variation de l'indice effectif Ne ff participe également à modifier les longueurs d'onde de résonance du micro-résonateur. La variation de longueur de résonance, liée au 25 mouvement de contraction et extension radiales, est donc augmentée. La variation de longueur d'onde de résonance est détectée par le dispositif d'analyse 560, qui peut en déduire une amplitude de contraction et extension radiale du microrésonateu r. 23 Les figures 6A et 6B illustrent un comparatif de la variation de spectre de transmission obtenue à l'aide d'un capteur selon l'art antérieur (figure 6A), et à l'aide d'un capteur selon l'invention (figure 6B). Sur les deux figures, l'axe des abscisses est une longueur d'onde, en um. L'axe des 5 ordonnées est un taux de transmission d'une extrémité à l'autre du guide d'onde d'injection et extraction. A la figure 6A, les spectres 60A et 61A correspondent chacun à un faisceau d'analyse, diminué des pertes dans un micro-résonateur selon l'art antérieur. Le spectre 60A est associé à une position d'extension dudit micro-résonateur. Le 10 spectre 61A est associé à une position de contraction dudit micro-résonateur. La variation correspondante de longueur d'onde de résonance, 8)A, est de 7,7 nm. A la figure 6B, les spectres 60B et 61B correspondent chacun à un faisceau d'analyse, diminué des pertes dans un micro-résonateur selon l'invention. Le micro-résonateur associé à la figure 6B ne diffère de celui associé à la figure 6A 15 qu'en ce qu'il est constitué de plusieurs guides d'onde élémentaires espacés les uns des autres. Dans les deux cas, la position de contraction du micro-résonateur correspond à un rayon moyen de 5,00 um, et la position d'extension correspond à un rayon moyen de 5,05 um (le rayon moyen étant la moyenne du rayon interne et du rayon externe du micro-résonateur). 20 Le spectre 60B est associé à une position d'extension dudit micro-résonateur. Le spectre 61B est associé à une position de contraction dudit micro-résonateur. La variation correspondante de longueur d'onde de résonance, 8ÀB, est de 9,1 nm, soit une amélioration de 18% de la sensibilité aux modes de respiration du micro-résonateur. 25 Les figures 7A et 7B illustrent de manière schématique, une première variante d'agencement suspendu du micro-résonateur selon l'invention, respectivement selon une vue de dessus dans un plan horizontal, et selon une vue en coupe dans un plan vertical. On a représenté en figure 7A le plan de coupe BB', correspondant à la vue de la figure 7B. Là-encore, la largeur des guides d'onde élémentaires est sous dimensionnée. 24 Le micro-résonateur 720 est agencé suspendu au-dessus d'un substrat 772, en appui sur un piédestal 770. Le piédestal 770 est centré sur le centre géométrique du micro-résonateur 720. Le piédestal 770 présente de préférence une forme de cylindre, dont la base présente 5 un diamètre D1 compris entre 0,25 et 0,75 fois le diamètre moyen D2 du micro-résonateur (moyenne du diamètre interne et du diamètre externe), de préférence entre 0,25 et 0,5 fois ce diamètre D2. Le piédestal est de préférence, mais de manière non limitative, un cylindre de révolution. Il peut également s'agir d'un cylindre à base non circulaire, par exemple à base 10 ovale. Le diamètre D1 est alors la plus grande largeur de la base du cylindre. Les guides d'onde élémentaires 721 composant le guide d'onde élémentaire sont tous montés solidaires d'une même plaque de support 771. Ils s'étendent ici adjacents à ladite plaque de support 771, le long d'une bordure périphérique de celle-ci. 15 En pratique, l'ensemble constitué des guides d'onde élémentaires 721 et de la plaque de support 771 peut être formé par gravure d'une unique couche de matériau, de sorte qu'il n'existe physiquement pas d'interface entre un guide d'onde élémentaire 721 et la plaque de support 771. Selon une variante non représentée, les guides d'onde élémentaires sont situés sur 20 le dessus de la plaque de support 771. La plaque de support 771 présente une épaisseur réduite, au moins trois fois inférieure à l'épaisseur des guides d'onde élémentaires, voire au moins dix fois inférieure, de sorte qu'elle n'influence pas le guidage optique dans le micro-résonateur. Elle s'étend selon un plan parallèle au plan du micro-résonateur. 25 De préférence, elle ne dépasse pas en dehors d'une zone délimitée par les guides d'onde élémentaires. Elle présente ici une forme de disque plein. En variante, elle peut présenter d'autres formes, par exemple une forme d'anneau, suspendu autour du piédestal par l'intermédiaire de bras internes. 30 25 Les figures 8A et 8B illustrent une deuxième variante d'agencement suspendu du micro-résonateur selon l'invention, respectivement selon une vue de dessus dans un plan horizontal, et selon une vue en coupe dans un plan vertical. On a représenté en figure 8A le plan de coupe CC', correspondant à la vue de la figure 5 8B. Là-encore, la largeur des guides d'onde élémentaires est sous dimensionnée. A la figure 8A, on a représenté un nombre plus réduit de guides d'onde élémentaires par simple souci de lisibilité des figures, sans que cela ne préfigure d'aucune limitation relative à cette variante. Selon cette variante, les guides d'onde élémentaires sont maintenus suspendus 10 autour du piédestal 870 par l'intermédiaire de bras qui s'étendent parallèles au plan du micro-résonateur. En particulier, les faces supérieures des bras s'étendent dans un plan parallèle au plan du micro-résonateur. Les bras comprennent ici des bras dits périphériques, 875, qui s'étendent chacun entre un guide d'onde élémentaire 821 et le guide d'onde élémentaire voisin, et des bras 15 dits internes, 876, qui s'étendent chacun entre un guide d'onde élémentaire 821 et le piédestal 870. Ici, les bras, en particulier les bras périphériques, 875, présentent chacun une largeur LB bien inférieure à celle des guides d'onde élémentaires, par exemple au moins 3 fois inférieure, et même au moins 4 fois ou 5 fois inférieure. 20 Dans l'exemple représenté en figure 8A, tous les guides d'onde élémentaire 821 sont reliés deux à deux par des bras périphériques 875, et quatre bras internes 876 s'étendent en croix et se rejoignent au-dessus du piédestal 870. Ici, les bras 875 et 876 sont formés avec les guides d'onde élémentaires dans une même couche, et présentent la même épaisseur h1 que ces derniers (voir figure 8B). 25 Les figures 9A à 9D illustrent différentes variantes d'un micro-résonateur dans un troisième mode de réalisation d'un dispositif optique et un capteur optique selon l'invention. 26 Selon ce troisième mode de réalisation, le micro-résonateur est agencé suspendu au-dessus du piédestal, grâce à une plaque de support du type de celle décrite en référence aux figures 7A et 7B. Par souci de clarté, les figures 9A à 9D ne représentent que le micro-résonateur, selon 5 une vue de dessus. Selon ce troisième mode de réalisation, la plaque de support est traversée selon son épaisseur par des tranchées 925, ou rainures, ou fentes. Chaque tranchée 925 s'étend depuis un bord externe de la plaque de support, jusqu'à une région centrale de la plaque, et passe entre deux guides d'onde élémentaires voisins 10 921. Ici, les tranchées s'étendent chacune jusqu'au piédestal. De préférence, chaque tranchée 925 traverse la plaque de support selon toute son épaisseur, formant une ouverture traversante dans ladite plaque. Chaque tranchée 925 s'étend ici selon un rayon du micro-résonateur en anneau. 15 A la figure 9A, la plaque de support 971A comporte deux tranchées 925. Ces deux tranchées délimitent latéralement, sur la plaque de support 971, une zone dite isolée 9711A. La zone isolée 9711A reçoit ici un unique guide d'onde élémentaire 921, nommé guide d'onde isolé, dont le mouvement relativement aux autres guides d'onde 20 élémentaires est libéré. En particulier, le guide d'onde isolé peut se déplacer horizontalement dans le plan du micro-résonateur 920A, selon un mouvement de rotation autour d'un axe parallèle à (Oz). Il peut également se déplacer verticalement, passant au-dessus puis en-dessous du plan du micro-résonateur, selon un mouvement de rotation autour d'un axe situé dans le 25 plan (x0y) Il peut également se déplacer selon un mouvement de rotation autour de l'axe médian de la zone isolée 9711A, cet axe étant situé également dans le plan (x0y). Chacune de ces rotations se traduit par une augmentation des pertes aux longueurs d'onde de résonance du micro-résonateur, ou par un décalage de la longueur d'onde de 30 résonance, la condition de guidage pouvant même être perdue lorsque le déplacement du 27 guide d'onde isolé ne permet plus de vérifier la condition sur le pas P donnée à l'équation (3). Cette augmentation des pertes est détectée par le dispositif d'analyse, qui peut en déduire une amplitude du mouvement du guide d'onde isolé. 5 On réalise ainsi un micro-résonateur, et donc un dispositif et un capteur optiques selon l'invention, sensibles à une plus grande variété de sollicitations externes, en comparaison avec l'art antérieur. Le micro-résonateur 920B de la figure 9B ne diffère de celui de la figure 9A qu'en ce que la zone isolée 9711B reçoit plusieurs guides d'onde élémentaires voisins 921. 10 Le micro-résonateur 920C de la figure 9C ne diffère de celui de la figure 9A qu'en ce que la plaque de support 971C comporte deux zones isolées 9711C, chacune étant délimitée latéralement par un couple de deux tranchées. Chaque zone isolée 9711C reçoit ici un unique guide d'onde élémentaire. Les deux couples de tranchées sont agencés ici symétriques l'un de l'autre, selon une 15 symétrie planaire relativement à un plan orthogonal au plan du micro-résonateur. Le micro-résonateur 920D de la figure 9D ne diffère de celui de la figure 9A qu'en ce que la plaque de support 971D comporte une pluralité de tranchées définissant une pluralité de zones isolées 9711D. Les zones isolées 9711D sont symétriques deux à deux, selon des symétries planaires relativement à un plan respectif, orthogonal au plan du 20 micro-résonateur 920D. Chaque zone isolée 9711D reçoit ici plusieurs guides d'onde élémentaires. De nombreuses autres variantes peuvent être mises en oeuvre sans sortir du cadre de l'invention, comportant plus ou moins de tranchées, présentant ou non des symétries, etc. 25 La répartition des tranchées permet de privilégier l'un ou l'autre mouvement des guides d'onde élémentaires. De nombreuses autres variantes peuvent être mises en oeuvre, pour découper la plaque de support de manière à isoler différents guides d'onde élémentaires, voisins ou non. 28 On peut également libérer le mouvement d'un ou plusieurs guides d'onde élémentaires, dans un agencement suspendu tels que décrit en référence aux figures 8A et 8B, par exemple par suppression de certains bras périphériques. 5 Les figures 10A et 10B illustrent deux variantes d'une zone de couplage d'un guide d'onde d'injection et extraction selon l'invention. Ladite zone de couplage se trouve à proximité du micro-résonateur, là où se produit le couplage évanescent entre le guide d'onde d'injection et extraction et le micro-résonateur. Afin de favoriser ce couplage, on peut améliorer l'accord de phase entre les 10 modes respectifs propagés dans le guide d'onde d'injection et extraction et dans le micro- résonateu r. L'accord de phase est respecté, lorsque les indices effectifs respectifs du guide d'onde d'injection et extraction et du micro-résonateur, sont identiques. On décrit ci-dessous deux solutions pour obtenir cet égalité des indices effectifs. 15 A la figure 10A, la largeur du guide d'onde d'injection et extraction 1010A diminue progressivement puis augmente de nouveau, au fur et à mesure que l'on se rapproche, puis s'éloigne du micro-résonateur 1020. Le guide d'onde d'injection et extraction 1010A comporte alors une zone 10101 de largeur réduite, adjacente au micro-résonateur, deux zones 10102 de couplage adiabatique 20 (tapers), de largeur décroissante, respectivement croissante, et deux zones 10103 de plus grande largeur, de part et d'autre de la zone 10101. En variante, on peut favoriser le couplage à l'aide d'un guide d'onde d'injection et extraction 1010B dont la forme varie progressivement jusqu'à se rapprocher de la forme segmentée du micro-résonateur (voir figure 10B). 25 Le guide d'onde d'injection et extraction 1010B est segmenté, dans une région adjacente au micro-résonateur. La transition de guide droit à guide segmenté se fait à l'aide d'une zone centrale 10104 (taper), pleine, dont la largeur décroît en se rapprochant du micro-résonateur. La forme du guide d'onde d'injection et extraction 1010B est délimitée par une 30 enveloppe externe dont la largeur augmente en se rapprochant du micro-résonateur. 29 A l'intérieur de cette enveloppe externe, des segments, 10105, sont répartis selon un pas périodique de part et d'autre de la zone centrale 10104. Les segments 10105 s'étendent chacun depuis la zone centrale 10104 jusqu'à l'enveloppe externe. Au niveau du micro-résonateur, le guide d'onde d'injection et extraction 1010B ne comporte plus que 5 des segments 10105, qui s'étendent chacun d'un bord à l'autre de l'enveloppe externe. Le pas de répartition des segments 10105 est sensiblement égal au pas de répartition des guides d'onde élémentaires du micro-résonateur. Les différents modes de réalisation décrits ci-dessus peuvent être combinés ensemble. Par exemple, on peut combiner l'agencement suspendu du micro-résonateur et 10 la détection d'un déplacement d'un élément mobile annexes. Ces modes de réalisation comprennent à chaque fois un micro-résonateur couplé à un oscillateur mécanique, ou formant lui-même un oscillateur mécanique. Dans le premier cas, le micro-résonateur est figé, et un élément annexe se déplace dans son champ proche, l'élément annexe pouvant être un guide d'onde d'injection et/ou extraction. 15 L'invention n'est pas limitée aux exemples décrits ci-dessus, et on pourra réaliser de nombreuses variantes sans sortir du cadre de l'invention. Par exemple, les guides d'onde élémentaires peuvent ne pas être agencés selon une forme d'anneau, mais selon une autre forme de boucle fermée. Le dispositif optique selon l'invention peut également comprendre une pluralité de 20 micro-résonateurs selon l'invention, couplés optiquement entre eux par un couplage évanescent. Le capteur optique selon l'invention permet de détecter et mesurer des déplacements nanométriques (par exemple moins de 20 nm), au sein du micro-résonateur ou dans son champ proche. 25 Ces déplacements nanométriques peuvent être engendrés par une sollicitation telle qu'une accélération du repère recevant le dispositif optique selon l'invention, une rotation de ce repère, un déplacement d'une particule de masse non nulle (par exemple une particule tombant sur une nano-poutre telle que décrite ci-avant), un déplacement de photon, un déplacement d'atome, etc. 30 Le dispositif d'analyse peut être agencé pour convertir la mesure d'un tel déplacement, en une valeur d'accélération, ou de vitesse angulaire, ou de masse, ou de radiation électromagnétique, ou de déplacement d'atome, etc., pour former ainsi un capteur de type accéléromètre, ou gyromètre, ou capteur sensible à la masse tel qu'un 5 spectromètre de masse, ou capteur de pression de radiation, ou capteur pour une source de photons, etc. L'invention ne concerne pas le dispositif optique à micro-résonateur en tant que tel. La figure 11 illustre de manière schématique un exemple d'un procédé de fabrication 10 d'un dispositif optique selon l'invention. A gauche, le dispositif en cours de fabrication est représenté selon une vue en coupe. A droite, le dispositif en cours de fabrication est représenté selon une vue de dessus. Le procédé de fabrication utilise un empilement dit SOI (pour « Silicon On Insulator »), constitué des trois couches suivantes superposées : un substrat 101 (par exemple en 15 silicium), une couche intermédiaire 102 en dioxyde de silicium, et une couche supérieure 103 en silicium (point de départ 11). Au cours d'une première étape 12, on grave la couche supérieure 103 en silicium sur toute son épaisseur, ici pour former le guide d'onde d'injection et extraction 1110 et un disque cranté 104 en silicium. Chaque cran du disque cranté 104 correspond à un guide 20 d'onde élémentaire 1121 du micro-résonateur. Le procédé selon l'invention comprend ensuite une étape 13 de gravure du disque 104, sur une partie seulement de son épaisseur. Au cours de cette étape 13, on grave le disque 104 dans une région centrale de celui-ci, pour former le micro-résonateur 1120. La gravure conserve une faible épaisseur de la région centrale du disque 104, ce qui 25 permet d'assurer la tenue mécanique du micro-résonateur 1120, et en particulier de maintenir solidaires entre eux les guides d'onde élémentaires 1121 (cf. plaque de support décrite en référence aux figures 7A et 7B). Selon une variante non représentée, on grave, à l'étape 12, un disque plein (et non un disque cranté). A l'étape 13, on grave le disque plein sur une partie de son épaisseur, 31 dans une région centrale et dans des régions annulaires de celui-ci. Les guides d'onde élémentaires sont alors disposés sur un disque résiduel de faible épaisseur. Enfin, dans une étape 14, on grave la couche intermédiaire 102 sur toute son épaisseur pour former une cavité 105 sous le micro-résonateur 1120 et le guide d'onde 5 d'injection et extraction 1110. La gravure conserve, sous le micro-résonateur 1120, un piédestal 1170 pour maintenir le micro-résonateur 1120 suspendu au-dessus du substrat 101. Le piédestal 1170 est approximativement centré sur le centre du micro-résonateur 1120. La couche intermédiaire subsistant autour de la cavité 105 sert notamment au 10 maintien mécanique du guide d'onde d'injection et extraction 1110, en suspension au- dessus du substrat 101. La gravure est ici une gravure humide au temps. Chacune des gravures utilise de préférence un masque de gravure. Un élément mobile annexe peut, comme le guide d'onde d'injection et extraction, 15 être gravé dans la couche supérieure 103 en silicium. En variante, l'élément mobile annexe peut être constitué d'un matériau différent de celui des guides d'onde. Il s'agit par exemple d'un REVENDICATIONS1. Capteur optique (1000; 1000' ; 5000) comportant : - un dispositif optique (100; 100'; 500) comprenant un micro-résonateur à guide d'onde (120; 520; 720; 820; 920A; 920B ; 920C; 920D; 1020; 1120), agencé pour guider un faisceau lumineux selon un chemin optique en boucle fermée, et un guide d'onde d'injection et extraction (110; 1010A ; 1010B ; 1110), ou un guide d'onde d'injection (110A) et un guide d'onde d'extraction (110B), couplé(s) optiquement au micro-résonateur pour l'injection et l'extraction dudit faisceau lumineux ; - un photo-détecteur (150; 550), disposé en sortie du guide d'onde d'injection et extraction, respectivement en sortie du guide d'onde d'extraction ; et - un dispositif d'analyse (160; 560), recevant en entrée un signal fourni par le photo-détecteur, agencé pour comparer ce signal avec des données de référence, et pour en déduire une information relative à un déplacement au sein du dispositif optique (100; 100'; 500) ; caractérisé en ce que le micro-résonateur est constitué d'une pluralité de guides d'onde élémentaires (121; 521; 721; 821; 921; 1121) espacés les uns des autres, et disposés les uns à la suite des autres selon un agencement en forme de boucle. 2. Capteur optique (1000; 1000') selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un élément mobile annexe (130), adapté à se déplacer relativement au micro-résonateur de façon à traverser partiellement ou totalement un espace libre (122) entre deux guides d'onde élémentaires voisins. 3. Capteur optique (5000) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les guides d'onde élémentaires (521; 721; 821; 921; 1121) du micro-résonateur sont suspendus au-dessus d'un substrat (772; 872; 101), et autour d'un piédestal (570; 770; 870; 1170). 33 4. Capteur optique (5000) selon la revendication 3, caractérisé en ce que le piédestal (570; 770; 870; 1170) présente une forme de cylindre, la base du cylindre présentant un diamètre (D1) compris entre 0,25 et 0,75 fois le diamètre (D2) du micro-résonateur. 5 5. Capteur optique (5000) selon la revendication 3 ou 4, caractérisé en ce que les guides d'onde élémentaires (521; 721; 921; 1121) du micro-résonateur sont montés solidaires d'une plaque de support (771; 971A; 971B; 971C; 971D), elle-même en appui sur le piédestal. 10 6. Capteur optique selon la revendication 5, caractérisé en ce que la plaque de support présente une ou plusieurs tranchées (925), chacune de ces tranchées s'étendant depuis une région périphérique de la plaque de support, située entre deux guides d'onde élémentaires voisins, jusqu'à une région centrale de la plaque de support. 15 7. Capteur optique selon la revendication 6, caractérisé en ce que la plaque de support présente au moins un couple de tranchées (925), chaque couple délimitant sur la plaque de support une zone dite isolée (9711A; 9711B ; 9711C; 9711D), recevant un ou plusieurs guides d'onde élémentaires. 20 8. Capteur optique selon la revendication 7, caractérisé en ce que la plaque de support (971A; 971B) présente un unique couple de tranchées. 9. Capteur optique selon la revendication 7, caractérisé en ce que la plaque de support (971C) présente deux couples de tranchées, agencés symétriques l'un de l'autre. 25 10. Capteur optique selon la revendication 6, caractérisé en ce que la plaque de support (971D) présente une pluralité de tranchées délimitant ensemble une pluralité de zones isolées (9711D) symétriques deux à deux. 34 11. Capteur optique selon la revendication 3 ou 4, caractérisé en ce que les guides d'onde élémentaires (821) sont suspendus autour du piédestal (870), par l'intermédiaire de bras (875, 876) qui s'étendent dans un plan parallèle au plan du micro-résonateur. 5 12. Capteur optique (1000; 1000') selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les guides d'onde élémentaires (121) sont en appui sur un substrat (172), sans bras de levier. 13. Capteur optique (1000; 1000'; 5000) selon l'une quelconque des revendications 1 10 à 12, caractérisé en ce que les guides d'onde élémentaires (121; 521; 721; 821; 921; 1121) du micro-résonateur sont répartis de façon périodique les uns à la suite des autres, selon un pas régulier dit pas de répartition. 14. Capteur optique selon la revendication 13, caractérisé en ce que le pas de 15 répartition (P) est inférieur à : À 2nh avec À une longueur d'onde de résonance du micro-résonateur ; et nh l'indice de réfraction moyen des guides d'onde élémentaires.