Brevet FR3063832A1 — publié le 20180914

DOMAINE TECHNIQUE DE L'INVENTION L'invention concerne le domaine de l'intégration tridimensionnelle de composants microélectroniques. L'invention concerne plus particulièrement un procédé d'auto-assemblage de composants microélectroniques. Elle trouve pour application particulièrement avantageuse la fabrication industrielle de circuits intégrés en trois dimensions (ou « three-dimensional integrated circuits (3D ICs) » selon la terminologie anglo-saxonne). En microélectronique, un circuit intégré en trois dimensions est un circuit intégré fabriqué par empilement de tranches (ou plaques) notamment en silicium (ou « wafers » selon la terminologie anglo-saxonne) et/ou de puces (ou « dies » selon la terminologie anglo-saxonne), le cas échéant fonctionnalisées, et en les interconnectant au moins en partie verticalement à l'aide de trous d'interconnexion réalisés à travers une tranche (ou « through-silicon vias (TSVs) » selon la terminologie anglo-saxonne). ÉTAT DE LA TECHNIQUE Dans le cadre de l'intégration 3D des composants microélectroniques, plusieurs approches ont été étudiées dont l'approche dite 'plaque à plaque', l'approche dite 'plaque à plaque séquentielle' et l'approche dite 'puce à plaque'. Selon l'approche 'plaque à plaque' (ou « Wafer-to-Wafer (W2W) » selon 20 la terminologie anglo-saxonne), des puces sont fabriquées sur deux ou plusieurs plaques à base de matériau semi-conducteur qui sont ensuite alignées, collées entre elles, et coupées en dés pour constituer au moins la base d'autant de circuits intégrés 3D. Cette approche permet d'hybrider de nombreuses puces en une seule fois, mais montre certaines limites. Tout 25 d'abord, elle présente un faible rendement qualitatif, du fait qu'il suffit qu'un composant électronique sur une plaque soit défectueux pour que l'empilement le comprenant soit également défectueux. Ensuite, elle ne permet d'hybrider que des composants microélectroniques de même taille. Par ailleurs, l'alignement obtenu est celui que permettent les équipements d'alignement ad 30 hoc (Cf. notamment l'article intitulé « Wafer-to-Wafer Alignment for ThreeDimensional Integration: A Review », de Sag Hwui Lee et al., publié dans la revue « Journal Of Microelectromechanical Systems », Vol. 20, No. 4, août 2011). 3063832 2 Selon l'approche 'plaque à plaque séquentielle', une plaque est fonctionnalisée avant qu'une couche de silicium y soit reportée par collage direct. Cette couche de silicium est ensuite elle-même fonctionnalisée et les deux étages sont alors connectés avec un alignement qui est celui atteignable 5 par la méthode de fonctionnalisation utilisée, à savoir la lithographie, c'est-à- dire un alignement précis à quelques dizaines de nanomètres près. Cependant, cette approche se heurte à la mise en place d'une technologie de fonctionnalisation à basse température pour fonctionnaliser l'étage de transistors supérieur, sans dégrader les transistors de l'étage inférieur (Cf. 10 notamment l'article intitulé « CoolCube Tm : A true 3DVLSI Alternative to Scaling », de J.-E. Michallet et al., publié en mars 2015, dans la revue « Resource Library, Technologies Features 1 »). L'approche 'puce à plaque' (ou « Die-to-Wafer » selon la terminologie anglo-saxonne) vise à utiliser les puces fonctionnelles d'une plaque et à les 15 reporter, après découpe, sur une plaque préalablement fonctionnalisée. Cette approche présente l'avantage de lever le problème de rendement qualitatif, du fait que chaque puce reportée peut être préalablement testée. En outre, cette approche rend possible une intégration hétérogène de composants microélectroniques. L'alignement des puces sur la plaque est généralement obtenu avec des machines robotisées permettant le prélèvement et le positionnement des puces pour leur assemblage mécanique. Plus particulièrement, chaque puce est positionnée individuellement et mécaniquement par un bras robotique sur la plaque fonctionnalisée. Ces machines sont par la suite appelées machines `pick-and-place' (selon la terminologie anglo-saxonne). Relativement aux approches 'plaque à plaque' et 'plaque à plaque séquentielle', l'approche 'puce à plaque' présente donc un intérêt majeur. Toutefois, il reste de nombreux points bloquants afin de la rendre viable industriellement. Notamment, le temps nécessaire pour assembler les circuits qui devient de plus en plus élevé à mesure que l'on souhaite atteindre un alignement de plus en plus précis. 3063832 3 En effet, en analysant les performances des machines `pick-and-place ', on constate qu'il devient de plus en plus complexe de concilier cadence et précision d'assemblage. Plus particulièrement, les machines `pick-and-place' actuellement présentes sur 5 le marché autorisent une précision d'alignement d'une valeur comprise entre 0,5 et 2 pm pour les plus performantes. Cependant, cette haute précision d'alignement s'obtient systématiquement au détriment de la cadence d'assemblage. A titre d'exemple, les machines les plus précises présentent au mieux une cadence d'assemblage de l'ordre de 60 puces par heure ce qui n'est 10 pas viable d'un point de vue industriel. A l'inverse, en relâchant la contrainte sur la précision d'alignement, il existe à l'heure d'aujourd'hui des machines capables d'assembler 100 000 puces par heure avec une précision d'alignement d'une valeur sensiblement égale à 40 pm. Toutefois, une telle précision d'alignement est insuffisante compte tenu 15 des fortes densités d'interconnexion (des millions par cm2) nécessaires aux composants actuels. L'approche 'puce à plaque' mettant en oeuvre des machines `pick-andplace' ne permet donc pas d'envisager une application industrielle à grande échelle. 20 Pour pallier ce problème de conciliation entre cadence et précision d'assemblage, des techniques d'auto-assemblage sont apparues. Pour la plupart, elles allient reconnaissance de forme ou affinité de surface dans un milieu liquide ou dans l'air. Dans ce contexte, le document de brevet FR 2 988 517 Al divulgue 25 une technique d'auto-assemblage d'une puce sur un support basée sur le confinement d'une goutte d'eau sur une surface hydrophile entourée d'une surface hydrophobe. Par phénomène naturel de minimisation des forces de tension superficielle, la goutte d'eau permet de forcer l'alignement de la puce sur la surface hydrophile, le collage de la puce se faisant par collage direct 30 après évaporation de l'eau. Cependant, pour confiner la goutte d'eau et obtenir un auto-alignement satisfaisant, il est nécessaire de disposer la puce sur un plot ou protubérance, d'une hauteur minimum de 3 pm, préalablement formée sur le support, afin d'obtenir un contraste de mouillabilité suffisant entre 3063832 4 surfaces hydrophile et hydrophobe par effet capillaire de canthotaxis. Cette protubérance est problématique car elle est difficilement intégrable notamment sur des plaques processées sur lesquelles des composants auraient été réalisés. 5 Un objet de la présente invention est de répondre, au moins en partie, aux limitations précédemment exposées. RÉSUMÉ DE L'INVENTION Pour atteindre cet objectif, selon un mode de réalisation, la présente invention prévoit un procédé d'auto-assemblage de composants 10 microélectroniques comprenant les étapes suivantes : Fournir un substrat dit d'auto-alignement comprenant au moins une protubérance présentant une face supérieure hydrophobe, Fournir au moins une puce présentant une première face et une deuxième face opposées entre elle, 15 - Fournir un substrat dit d'auto-assemblage, - Obtenir, par effet capillaire, l'auto-alignement de ladite au moins une puce, par sa première face, sur l'au moins une protubérance du substrat d'auto-alignement, typiquement selon une approche du type 'puce à plaque', puis - Obtenir l'assemblage de ladite au moins une puce sur le substrat d'auto- 20 assemblage, typiquement selon une approche du type 'plaque à plaque', par collage direct sur le substrat d'auto-assemblage de la deuxième face de ladite au moins une puce. Le procédé selon l'invention dissocie avantageusement l'auto-alignement et l'auto-assemblage des puces. L'auto-alignement est réalisé par 25 effet capillaire lors d'une étape antérieure selon une approche du type 'puce à plaque' et l'auto-assemblage est réalisé lors d'une étape ultérieure selon une approche du type 'plaque à plaque'. Le procédé permet l'auto-assemblage de puces sur un substrat ne présentant pas nécessairement de protubérances à sa surface et pallie ainsi le problème lié à l'intégration des protubérances sur un 30 substrat d'auto-assemblage processé. Un autre aspect de la présente invention concerne un procédé de fabrication d'au moins un composant microélectronique, tel qu'un circuit intégré 3063832 5 en trois dimensions, mettant en oeuvre le procédé d'auto-assemblage tel qu'introduit ci-dessus. Un autre aspect de la présente invention concerne un composant microélectronique, tel qu'un circuit intégré en trois dimensions, fabriqué selon 5 un procédé de fabrication mettant en oeuvre le procédé d'auto-assemblage tel qu'introduit ci-dessus. Par composant microélectronique, on entend tout type de dispositif réalisé avec des moyens de la microélectronique. Ces dispositifs englobent notamment en plus des dispositifs à finalité purement électronique, des 10 dispositifs micromécaniques ou électromécaniques (MEMS, NEMS...), ainsi que des dispositifs optiques ou optoélectroniques (MOEMS...). BRÈVE DESCRIPTION DES FIGURES Les buts, objets, ainsi que les caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront mieux de la description détaillée de modes de réalisation 15 de cette dernière qui sont illustrés par les dessins d'accompagnement suivants dans lesquels : Les FIGURES 1 à 4 sont des représentations schématiques de différentes étapes d'un procédé d'auto-assemblage selon un mode de réalisation de l'invention. 20 La FIGURE 5 est un ordinogramme de différentes étapes du procédé d'auto-assemblage selon un mode de réalisation de l'invention. La FIGURE 6 est une représentation schématique d'un substrat d'auto-alignement selon un mode de réalisation de l'invention. Les FIGURES 7 et 8 sont des représentations schématiques de différentes 25 étapes d'un procédé selon un mode de réalisation de l'invention. Les FIGURES 9 et 10 sont des représentations schématiques de deux variantes du procédé selon un mode de réalisation de l'invention. Les dessins sont donnés à titre d'exemples et ne sont pas limitatifs de l'invention. Ils constituent des représentations schématiques de principe 30 destinées à faciliter la compréhension de l'invention et ne sont pas nécessairement à l'échelle des applications pratiques. En particulier, les épaisseurs relatives des différentes couches et films ne sont pas représentatives de la réalité. 3063832 6 DESCRIPTION DÉTAILLÉE DE L'INVENTION Avant d'entamer une revue détaillée de modes de réalisation de l'invention, sont énoncées ci-après des caractéristiques optionnelles qui peuvent éventuellement être utilisées en association ou alternativement : 5 - Avantageusement pour gagner en précision d'alignement, et notamment pour atteindre une précision d'alignement inférieure au micron, l'au moins une puce pourra présenter une première face en protubérance, c'est-à-dire que la première face sera de dimension réduite par rapport à la taille de la puce, la puce présentant un décroché ou mésa en bordure de sa première 10 face. Ce mésa permet d'améliorer significativement le contraste de mouillabilité entre la première face et les flancs de la puce, permettant une meilleure localisation de la goutte et donc un alignement plus précis ; - Le substrat d'auto-alignement comportant une face avant structurée par ladite au moins une protubérance, fournir le substrat d'auto-alignement peut 15 comprendre l'étape suivante : traiter la face avant du substrat d'auto- alignement pour rendre hydrophobe, voire superhydrophobe : o au moins la face supérieure de ladite au moins une protubérance, o le cas échéant, au moins la face supérieure et des flancs de ladite au moins une protubérance, 20 o potentiellement toute la face avant du substrat d'auto-alignement. Le procédé selon l'invention permet ainsi de s'assurer que l'énergie de collage direct entre chaque puce et la face supérieure de la protubérance correspondante est faible, et notamment plus faible qu'une énergie de collage entre chaque puce et une surface non rendue hydrophobe. Plus 25 particulièrement, traiter la face avant du substrat d'auto-alignement peut comprendre au moins l'une parmi les étapes suivantes : o ladite au moins une protubérance étant à base de silicium, traiter au moins sa face supérieure avec de l'acide fluorhydrique, en solution aqueuse, par exemple à une concentration de 1 % en acide 30 fluorhydrique, ou sous forme vapeur, o déposer une couche d'un polymère fluoré, de préférence fluorocarboné, au moins sur la face supérieure de ladite au moins une protubérance, par exemple par exposition à un plasma formé à 3063832 7 partir d'octafluorobutène, d'héxafluoroéthane, de tétrafluorure de carbone 20 et/ou de trifluorométhane, o déposer une couche de polydiméthylsiloxane (ou PDMS) au moins sur la face supérieure de ladite au moins une protubérance, 5 o déposer une couche de SiOC au moins sur la face supérieure de ladite au moins une protubérance, par exemple par dépôt chimique en phase vapeur (ou CVD pour « Chemical Vapor Deposition » selon la terminologie anglo-saxonne) assisté par plasma en utilisant un gaz comprenant du silicium, un gaz contenant de l'oxygène et un gaz 10 comprenant du carbone, o le substrat d'auto-alignement étant à base de silicium (Si), graver le substrat d'auto-alignement par plasma de manière à obtenir du silicium noir au moins sur la face supérieure de ladite au moins une protubérance, et 15 o le substrat d'auto-alignement étant à base de silicium (Si), graver le substrat d'auto-alignement par plasma de manière à obtenir du silicium noir et déposer une couche d'un polymère fluoré, de préférence fluorocarboné, au moins sur la face supérieure de ladite au moins une protubérance. 20 De nombreuses méthodes pour rendre hydrophobe, voire superhydrophobe, une surface sont donc avantageusement envisageables ici ; - Obtenir l'auto-alignement d'une puce sur une protubérance du substrat d'auto-alignement peut comprendre au moins les étapes successives 25 suivantes : o déposer une goutte d'un liquide comprenant par exemple de l'eau sur l'une parmi la face supérieure de la protubérance et la première face de la puce, la goutte ayant de préférence un volume compris entre 0,5 et 2 pL, encore plus préférentiellement comprise entre 0,8 et 30 1,2 pL, o amener la puce sur la protubérance de sorte à ce que la goutte soit disposée entre la puce et la protubérance et obtenir ainsi l'auto-alignement de la puce sur la protubérance par effet capillaire, et 3063832 8 o faire évaporer la goutte de sorte à obtenir le collage direct de la puce, par sa première face, sur la face supérieure de la protubérance. Le procédé selon l'invention permet ainsi d'obtenir un auto-alignement micrométrique pour 90 % des puces sur le substrat d'auto-alignement, 5 soit un auto-alignement à haut rendement à la fois qualitatif et quantitatif ; - Obtenir l'auto-alignement d'une puce sur une protubérance du substrat d'auto-alignement peut comprendre, lorsqu'une puce est non alignée suite à l'évaporation de la goutte, au moins les étapes successives suivantes : 10 o éloigner la puce non alignée de la protubérance, o nettoyer au moins l'une parmi la face supérieure de ladite protubérance depuis laquelle la puce a été éloignée et la première face de la puce, et o ramener la puce par sa première face sur ladite protubérance de 15 sorte à obtenir l'alignement et le collage de la puce sur ladite protubérance. Le procédé selon l'invention permet ainsi de corriger les éventuelles erreurs d'alignement observées pour tendre à atteindre l'alignement de 100 % des puces. Lorsque les puces sont d'ores et déjà majoritairement alignées avec 20 une précision micrométrique, l'utilisation d'une machine `pick-and-place' à haute précision peut être industriellement envisageable pour corriger l'alignement des autres puces ; Au moins lorsque plusieurs puces sont d'épaisseurs sensiblement différentes entre elles, fournir le substrat d'auto-alignement peut comprendre 25 au moins l'étape suivante : déposer une couche d'un polymère compressible, par exemple une couche de polydiméthylsiloxane (ou PDMS), au moins sous une des protubérances, de sorte à pouvoir absorber par compression les différences d'épaisseur entre puces, notamment lors de l'obtention de l'assemblage des puces sur le substrat d'auto-assemblage. 30 Cette particularité du procédé selon l'invention illustre le fait qu'il permet de réaliser une hybridation hétérogène en termes d'épaisseurs des puces ; - ladite au moins une protubérance présente une épaisseur de préférence supérieure à 1 pm, encore plus préférentiellement supérieure à 8 pm. 3063832 9 L'épaisseur des protubérances n'a pas réellement de valeur limite supérieure. Toutefois, il peut être préféré que l'épaisseur des protubérances ne dépasse pas 80 pm ; Fournir ladite au moins une puce peut comprendre une étape de 5 singularisation de la puce par découpe d'un substrat donneur par exemple par découpe au laser ou à la scie à fil diamanté ou par découpe plasma (ou « plasma dicing » selon la terminologie anglo-saxonne). Dans ce cas, les deux faces de la puce auront la même dimension. La découpe au laser ou à la scie va permettre d'obtenir une précision d'alignement de l'ordre, voire 10 égale, ou supérieure à 3 pm. La découpe plasma permet d'obtenir une précision d'alignement inférieure à 3 pm, voire inférieure à 1 pm. Il est possible également pour obtenir une précision inférieure à 3 pm, voire inférieure à 1 pm, de procéder à une lithographie suivie d'une gravure du substrat donneur pour définir précisément la première face de la puce. Si le 15 substrat donneur est mince cette étape peut suffire à singulariser la puce. Si le substrat est plus épais on pourra avoir recours à une étape ultérieure de découpe au laser ou à la scie pour singulariser la puce. Dans ce dernier cas, la deuxième face de la puce sera légèrement en retrait par rapport à la puce. Chaque puce est ainsi avantageusement fournie en définissant 20 parfaitement la première face de la puce par laquelle elle est destinée à être auto-alignée sur une protubérance du substrat d'auto-alignement ; - En alternative ou en complément à la caractéristique précédente, fournir ladite au moins une puce peut comprendre au moins les étapes successives suivantes : 25 o Eventuellement définir les flancs de la première face de la puce par gravure d'un substrat donneur sur une profondeur supérieure à 1 pm et inférieure à 100 pm, o Singulariser ladite au moins une puce en gravant le substrat donneur, de préférence sur une profondeur sensiblement égale à 100 pm, par 30 exemple par photolithographie, et o Découper ladite au moins une puce depuis le substrat donneur, par exemple par découpe au laser ou à la scie à fil diamanté ; 3063832 10 - Fournir ladite au moins une puce peut comprendre l'étape suivante : traiter la puce de manière à la fonctionnaliser, notamment sur au moins l'une parmi une deuxième face, une première face et une première face amincie de la puce. Cette particularité du procédé selon l'invention illustre le fait qu'il 5 permet de réaliser une hybridation hétérogène en termes de fonctionnalités des puces ; Fournir ladite au moins une puce peut en outre comprendre l'étape suivante : préparer la puce de sorte que sa première face présente un angle de contact supérieur ou égal à 20° (hydrophobe ou peu hydrophile), la 10 première face étant celle par laquelle la puce est destinée à être auto- alignée sur une protubérance. Avantageusement, la deuxième face de la puce pourra être rendue hydrophile, la deuxième face étant celle par laquelle la puce est destinée à être assemblée sur le substrat d'auto-assemblage, afin d'obtenir une forte énergie de collage entre cette face et le 15 substrat d'auto-assemblage. Les étapes consistant à fournir ladite au moins une puce et à fournir le substrat d'auto-alignement peuvent être réalisées de sorte que la face supérieure de chaque protubérance et la puce destinée à être auto-alignée sur cette protubérance soient sensiblement de mêmes dimensions ; 20 - Selon un mode de réalisation, la deuxième face de la puce présente une surface supérieure à la première face de la puce ; - Selon un mode de réalisation, la puce présente une protubérance par laquelle elle est destinée à être fixée à la protubérance correspondante du substrat d'auto-alignement, cette protubérance de la première face de la 25 puce présentant une surface inférieure à la surface de la deuxième face de la puce ; - Selon un mode de réalisation, la protubérance de la première face de la puce présente une surface égale ou sensiblement égale à celle de la protubérance correspondante du substrat d'auto-alignement. Cela permet 30 de faciliter l'auto-centrage de la puce sur la protubérance correspondante du substrat d'auto-alignement. Alternativement, la protubérance de la première face de la puce présente une surface inférieure à celle de la protubérance correspondante du substrat d'auto-alignement ; 3063832 11 - Fournir un substrat d'auto-assemblage peut comprendre des étapes technologiques de manière à le fonctionnaliser, ces étapes technologiques comprenant par exemple au moins l'une parmi les étapes suivantes : o générer une couche d'un matériau diélectrique au moins sur une 5 partie de la face du substrat d'auto-assemblage sur laquelle une ou ladite au moins une puce est destinée à être assemblée, par oxydation de surface et/ou dépôt, o générer une couche d'un matériau conducteur au moins sur une partie de la face du substrat d'auto-assemblage sur laquelle une puce 10 est destinée à être assemblée, de sorte à former le cas échéant des pistes conductrices d'interconnexions notamment en cuivre, et o générer des trous d'interconnexion dans une partie au moins de l'épaisseur du substrat d'auto-assemblage, et notamment par la face du substrat d'auto-assemblage sur laquelle une puce est destinée à 15 être assemblée. Le substrat d'auto-assemblage peut ainsi être un substrat plus particulièrement destiné à faire in fine fonctionnellement partie de composants microélectroniques fabriqués par mise en oeuvre du procédé selon l'invention ; 20 - Obtenir l'assemblage de ladite au moins une puce sur le substrat d'auto-assemblage peut comprendre au moins les étapes successives suivantes : o reporter, par une de ses faces, le substrat d'auto-assemblage sur la deuxième face de chaque puce, le cas échéant ce report étant réalisé en utilisant un équipement d'alignement dit 'plaque à plaque' avec ou 25 sans repérage, o coller, par collage direct, le substrat d'auto-assemblage sur la deuxième face de chaque puce et recuire l'ensemble, de sorte que l'énergie de collage entre chaque puce et le substrat d'auto-assemblage soit supérieure à l'énergie de collage entre chaque puce 30 et le substrat d'auto-alignement, et o séparer les substrats d'auto-alignement et d'auto-assemblage entre eux de sorte à décoller chaque puce depuis le substrat d'auto- 3063832 12 alignement et obtenir le report de chaque puce sur le substrat d'auto-assemblage. Le procédé permet ainsi l'assemblage de nombreuses puces selon une approche du type 'plaque à plaque', notamment sans nécessité la mise en 5 oeuvre d'un substrat de transfert entre un substrat donneur et un substrat receveur ; on notera que le substrat d'auto-alignement pourra facilement être réutilisé, éventuellement après une nouvelle préparation de surface ; - Le procédé peut comprendre en outre, après avoir obtenu l'assemblage d'au moins une première puce sur le substrat d'auto-assemblage, au moins les 10 étapes suivantes : o fournir un second substrat d'auto-alignement comprenant au moins une protubérance présentant une face supérieure hydrophobe, ladite au moins une protubérance du second substrat d'auto-alignement ayant le cas échéant une épaisseur supérieure à l'épaisseur de ladite 15 au moins une protubérance du substrat d'auto-alignement préalablement fourni, o fournir au moins une seconde puce présentant une première face et une deuxième face opposées entre elles et ayant une épaisseur significativement différente de l'épaisseur de ladite au moins une 20 puce préalablement fournie, o obtenir, par effet capillaire, l'auto-alignement de ladite au moins une seconde puce, par sa première face, sur l'au moins une protubérance du second substrat d'auto-alignement, typiquement selon une approche du type 'puce à plaque', puis 25 o obtenir l'assemblage de ladite au moins une seconde puce sur le substrat d'auto-assemblage, typiquement selon une approche du type 'plaque à plaque', par exemple en un emplacement du substrat d'auto-assemblage différent de l'emplacement de ladite au moins une première puce, par collage direct sur le substrat d'auto-assemblage 30 de la deuxième face de ladite au moins une seconde puce. Cette particularité du procédé selon l'invention illustre le fait qu'il permet de réaliser une hybridation hétérogène en termes de tailles variées et d'emplacements d'intégration des puces. 3063832 13 L'usage de l'article indéfini" un " ou " une " pour un élément ou une étape n'exclut pas, sauf mention contraire, la présence d'une pluralité de tels éléments ou étapes. Il est précisé que dans le cadre de la présente invention, le terme 5 « sur », « surmonte », « recouvre » ou « sous-jacent » ou leurs équivalents ne signifient pas forcément « au contact de ». Ainsi par exemple, le dépôt d'une première couche sur une deuxième couche, ne signifie pas obligatoirement que les deux couches sont directement au contact l'une de l'autre, mais cela signifie que la première couche recouvre au moins partiellement la deuxième couche 10 soit en étant directement à son contact, soit en étant séparée d'elle par au moins une autre couche ou au moins un autre élément. On entend par « puce » (ou « die » selon la terminologie anglo-saxonne) un morceau, généralement de la forme d'un parallélépipède rectangle, d'une matrice à base d'un matériau semi-conducteur, sur lequel un 15 circuit intégré électronique est destiné à être, ou a été, fabriqué. Les puces sont obtenues par découpe de tranches de la matrice à base de matériau semiconducteur sur lesquelles sont destinés à être, ou ont été, reproduits, souvent à l'identique, un ou même plusieurs circuits électroniques par une succession de différentes étapes notamment des étapes technologiques telles que des étapes 20 de photolithogravure, d'implants ioniques, de dépôt de couches minces, etc. On entend par « hybridation (électronique) » l'assemblage de deux composants électroniques, tels que deux puces, en vue d'obtenir une fonction combinée ou un assemblage plus dense. On entend par « auto-assemblage » la qualité d'une technique 25 d'assemblage dans laquelle, lorsqu'on place des éléments à assembler dans des conditions particulières, ces éléments s'assemblent spontanément pour former une structure. On entend par « auto-alignement » l'action par laquelle, lorsqu'on place des éléments à aligner dans des conditions particulières, ces éléments 30 s'alignent spontanément. On entend par « hydrophobe » la propriété d'une surface d'un matériau solide sur laquelle une goutte d'eau forme, lorsqu'elle est en équilibre avec l'air 3063832 14 ambiant, un angle de contact supérieur ou égal à 200, de préférence supérieur à 60°, encore plus préférentiellement supérieur à 65°. On entend par « hydrophile » la propriété d'une surface d'un matériau solide sur laquelle une goutte d'eau forme, lorsqu'elle est en équilibre avec l'air 5 ambiant, un angle de contact inférieur à 10°, de préférence inférieur à 50, et encore plus préférentiellement sensiblement égal à 2°. Dans la description qui suit, les épaisseurs de substrat, de film, de couche, de puce ou de protubérance sont généralement mesurées selon une direction perpendiculaire au plan d'extension principale du substrat, du film, de 10 la couche, de la puce ou de la protubérance. On entend par un substrat, un film, une couche, une puce ou une protubérance « à base » d'un matériau A, un substrat, un film, une couche, une puce ou une protubérance comprenant ce matériau A et éventuellement d'autres matériaux, par exemple des éléments dopants. 15 Le terme « revêtement » correspond à une couche qui est formée, en particulier par modification de la couche sous-jacente ou par un dépôt sur cette couche sous-jacente. Le mot « diélectrique » qualifie un matériau dont la conductivité électrique est suffisamment faible dans l'application donnée pour servir 20 d'isolant. On entend par « collage direct » un collage sans apport de matière adhésive (de type colle ou polymère notamment) qui consiste en la mise en contact de surfaces relativement lisses (d'une rugosité typiquement inférieure à 5 A), par exemple réalisé à température ambiante et sous atmosphère ambiant, 25 afin de créer une adhérence entre elles. Selon un mode de réalisation, le collage direct de deux composants signifie que le collage est obtenu par les liens chimiques qui s'établissent entre les deux surfaces mises en contact. Les deux surfaces présentent des rugosités suffisamment faibles pour que les forces de Van der Waals assurent, 30 de préférence à elles seules, un maintien des deux composants entre eux. Le collage direct est en outre obtenu sans nécessiter l'application d'une pression importante sur-la structure à assembler. Une légère pression pourra simplement être appliquée pour initier le collage. 3063832 15 Le collage direct implique ou non une couche intermédiaire de collage (par exemple une couche d'oxyde de silicium). Ainsi, l'interface de collage entre deux substrats peut comprendre une couche intermédiaire. Chaque surface destinée à être reportée par collage direct peut être 5 préparée pour un collage direct de qualité. Le niveau de rugosité requis pourra être obtenu par un dépôt adapté ou après une étape de polissage mécano-chimique. En fonction de la surface, on utilisera un nettoyage type SC1 et SC2, un plasma 02 ou UV/ozone (surface avec oxyde), une préparation He/H pour des surfaces cuivre ou cuivre/oxyde, avec éventuellement un nettoyage par 10 rouleau-brosse dit 'scrubber', ainsi qu'un séchage. On entend par « énergie de collage » entre deux éléments l'énergie nécessaire pour réaliser la séparation de ces deux éléments. En référence à la figure 5, le procédé d'auto-assemblage 100 de composants microélectroniques comprend au moins les étapes suivantes: 15 Fournir 101 un substrat dit d'auto-alignement 1 comprenant au moins une protubérance 11, - Fournir 102 au moins une puce 2, - Fournir 103 un substrat dit d'auto-assemblage 3, Obtenir 104 l'auto-alignement de chaque 2 sur une protubérance 11 20 correspondante du substrat d'auto-alignement 1, puis - Obtenir 105 l'assemblage de chaque puce 2 sur le substrat d'auto-assemblage 3. Le procédé 100 selon l'invention vise à être mis en oeuvre de façon industrielle. Dans cette perspective, il peut être préféré de fournir 101 un 25 substrat d'auto-alignement 1 comprenant une face avant 10 structurée par une pluralité de protubérances 11 et de fournir 102 une pluralité de puces 2, chaque puce 2 étant destinée à être auto-alignée sur une protubérance 11 correspondante. Selon certaines caractéristiques préférentielles du procédé 100: 30 - les protubérances 11 peuvent présenter une face supérieure 111 hydrophobe, voire superhydrophobe, on munie d'un revêtement 13 hydrophobe, voire superhydrophobe, et/ou 3063832 16 - l'obtention 104 de l'auto-alignement de chaque puce 2 sur une protubérance 11 est obtenue par effet capillaire, c'est-à-dire sous l'effet des forces de rappel d'une goutte interposée entre la puce 2 et la protubérance 11, et/ou - l'obtention 105 de l'assemblage des puces 2 sur le substrat d'auto- 5 assemblage 31 peut être réalisée par collage direct. Notamment en référence à la figure 1, on forme une pluralité de protubérances 11 à la surface d'un substrat initial. Par exemple, les protubérances peuvent être formées par photolithographie, autrement dit par une méthode de gravure industrielle parfaitement maitrisée et permettant 10 l'obtention de substrats d'auto-alignement 1 à la fois variés et spécifiques en termes d'emplacements et de dimensionnements des protubérances 11. Cette méthode permet également de définir avec précision la forme, l'épaisseur et les dimensions transversales des protubérances 11. Toutefois, l'invention n'est pas limitée à cette méthode de formation des protubérances 11. En effet, selon un 15 autre exemple, les protubérances 11 peuvent être formées individuellement, par exemple par découpe d'un substrat de base, puis reportées sur le substrat initial qui forme alors la base du substrat d'auto-alignement 1 ; ce report comprend alors le collage des protubérances 11, par exemple par collage polymérique sur une face avant du substrat initial. Ce collage doit présenter une 20 énergie supérieure à l'énergie de collage qui sera obtenue entre la puce 2 et la protubérance 11 si on souhaite pouvoir séparer ultérieurement la puce 2 et la protubérance 11 au niveau de leur interface de collage. L'intérêt de cette technique est de permettre d'interposer, entre le substrat initial et les protubérances 11, une couche tampon souple, par exemple à base d'un 25 polymère compressible, qui pourrait absorber lors du collage ultérieur des différences de hauteurs entre certaines protubérances et/ou certaines puces 2. En référence à la figure 1, les protubérances 11 présentent de préférence sensiblement la forme d'un parallélépipède. Plus particulièrement, chaque protubérance 11 présente des flancs 112 et une face supérieure 111 de 30 préférence sensiblement plane. De préférence, chaque protubérance est formée de sorte que sa face supérieure 111 soit sensiblement de mêmes dimensions que la puce 2 destinée à être auto-alignée sur cette protubérance 11. Notamment afin de bénéficier de l'effet capillaire de canthotaxis, sur lequel 3063832 17 nous reviendrons plus bas, chaque protubérance 11 présente de préférence une épaisseur supérieure à 1 pm, de préférence comprise entre 8 pm et 80 pm. On peut traiter 1011 le substrat d'auto-alignement au niveau de sa face avant 10 pour la rendre hydrophobe, voire superhydrophobe, et/ou générer un 5 revêtement 13 hydrophobe, voire superhydrophobe, au moins au niveau des faces supérieures 111 des protubérances 11. Comme illustré sur la figure 1, toute la face avant 10 du substrat d'auto-alignement 1 peut être rendue (super)hydrophobe. Le procédé 100 selon cette particularité permet de s'assurer que l'énergie de collage direct entre chaque puce 2 et la face 10 supérieure 111 de la protubérance 11 correspondante est faible, notamment plus faible qu'une énergie de collage entre chaque puce 2 et une surface non rendue hydrophobe, et en particulier bien plus faible qu'une énergie de fracture du substrat d'auto-alignement 1. En outre, lorsque l'auto-alignement des puces 2 sur le substrat d'auto-alignement 1 est obtenu par effet capillaire, comme cela 15 sera décrit en détails plus bas, la (super)hydrophobie de la face supérieure 111 des protubérances 11 permet d'atteindre un confinement satisfaisant de la goutte 4 de liquide et un auto-alignement micrométrique pour environ 90 % des puces 2, soit un auto-alignement à haut rendement à la fois qualitatif et quantitatif. 20 De nombreuses méthodes de génération d'une (super)hydrophobie sont envisageables qui permettent d'atteindre autant de niveau d'hydrophobie ou de superhydrophobie pour une adaptabilité au cas par cas du procédé selon l'invention. Parmi ces méthodes, l'on peut citer celles comprenant l'une au moins des étapes suivantes : 25 lorsque la protubérance est en silicium, traiter au moins la face supérieure 111 de cette protubérance 11 avec de l'acide fluorhydrique, soit en solution aqueuse, par exemple à une concentration de 1 % en acide fluorhydrique soit sous forme vapeur, déposer une couche d'un polymère fluoré, de préférence fluorocarboné, au 30 moins sur la face supérieure 111 de la protubérance 11, par exemple par exposition à un plasma formé à partir d'octafluorobutène, d'héxafluoroéthane, de tétrafluorure de carbone 20 et/ou de trifluorométhane, 3063832 18 - déposer une couche de polydiméthylsiloxane (ou PDMS), au moins sur la face supérieure 111 de la protubérance 11, - déposer une couche de SiOC au moins sur la face supérieure 111 de la protubérance 11, par exemple par dépôt chimique en phase vapeur (ou 5 CVD) assisté par plasma en utilisant un gaz comprenant du silicium, un gaz contenant de l'oxygène et un gaz comprenant du carbone, - lorsque le substrat d'auto-alignement 1 est à base de silicium Si, graver le substrat d'auto-alignement 1 par plasma de manière à obtenir du silicium noir au moins sur la face supérieure 111 de la protubérance 11, et 10 éventuellement déposer ensuite une couche d'un polymère fluoré, de préférence fluorocarboné au moins sur la face supérieure 111 de la protubérance 11. Nous allons maintenant décrire plus en détail l'étape 102 de fourniture d'au moins une puce 2. 15 Comme indiqué plus haut, une puce 2 s'entend ici d'un morceau, généralement de la forme d'un parallélépipède rectangle, d'une matrice à base d'un matériau semi-conducteur, tel que le silicium, ou d'un empilement de couches sur lequel un circuit intégré électronique est destiné à être, ou a été, fabriqué. Plus particulièrement, chaque puce 2 présente une première face 20 20 et une deuxième face 22 de préférence sensiblement planes ; ses dimensions transversales, allant par exemple de quelques millimètres et à quelques dizaines de millimètres, sont supérieures, d'au moins un ordre de grandeur, à son épaisseur de sorte que chaque puce 2 présente un facteur de forme significatif lui conférant notamment une capacité d'auto-alignement par effet 25 capillaire comme cela est décrit dans l'article de J. Berthier et al., intitulé « Self- alignment of silicon chips on wafers : A capillary approach », publié dans « Journal of Applied Physics » de 2010, vol. 108. Chaque puce 2 peut être formée de sorte que sa première face 20, souvent identique à sa deuxième face 22, soit sensiblement de mêmes dimensions que la face supérieure 111 de la 30 protubérance 11 sur laquelle elle est destinée à être auto-alignée. Avantageusement, la première face 20 sera en protubérance de sorte à améliorer l'alignement obtenue par auto-assemblage. 3063832 19 En outre, les puces 2 peuvent être traitées de manière à être fonctionnalisées. Cette fonctionnalisation peut être réalisée sur au moins l'une parmi la deuxième face 22 et la première face 20 de chaque puce 2. Ainsi, il apparaît que le procédé d'auto-assemblage selon l'invention peut permettre de 5 réaliser une hybridation hétérogène en termes de fonctionnalités des puces 2. Par ailleurs, en référence aux figures 2 et 3, la fourniture 102 des puces 2 peut comprendre au moins l'étape suivante : préparation de la première face 20 de chaque puce 2 pour générer une surface présentant un angle de contact supérieur ou égal à 20° (hydrophobe ou peu hydrophile). Au contraire, on 10 préparera avantageusement la deuxième face 22 pour la rendre hydrophile afin d'obtenir une forte énergie de collage entre cette deuxième face 22 et le substrat d'auto-assemblage 3 après recuit (typiquement comprise entre 1 et 4 J/m2), et notamment supérieure à l'énergie de collage entre la première face 20 et le substrat d'auto-alignement 1. La préparation de surface de la deuxième 15 face 22 de chaque puce 2 pourra comprendre le dépôt d'un revêtement de surface adapté, par exemple le dépôt d'une couche d'oxyde. En variante ou en complément, la préparation de surface de la deuxième face 22 de chaque puce 2 pourra alors comprendre une oxydation de surface. On pourra également moduler l'énergie de collage en jouant sur la rugosité des surfaces à coller. 20 Cette puce pourra être amincie si besoin à différents moments, et notamment avant alignement sur le substrat d'auto-alignement 1 ou après assemblage sur le substrat d'auto-alignement 1 si l'énergie d'assemblage le permet ou encore après report sur le substrat d'auto-assemblage 3. Nous décrivons ci-après, en référence aux figures 1, 2 et 5, comment 25 obtenir 104, par effet capillaire, l'auto-alignement des puces 2 sur les protubérances 11 du substrat d'auto-alignement 1 selon un mode de réalisation de l'invention. Pour ce faire, l'étape 104 peut comprendre au moins les étapes successives suivantes : 30 Déposer 1041 une goutte 4 d'un liquide sur la face supérieure 111 de la protubérance 11, comme cela est représenté schématiquement sur trois protubérances du substrat d'auto-alignement 1 illustré sur la figure 1, 3063832 20 - Amener 1042 chaque puce 2 sur une protubérance 11 correspondante du substrat d'auto-alignement 1, de sorte à ce que la goutte 4 soit disposée entre la puce 2 et la protubérance 11 et obtenir ainsi l'auto-alignement de la puce 2 sur la protubérance 11, et 5 - Faire évaporer 1043 la goutte 4, de sorte à obtenir le collage direct de chaque puce 2, par sa première face 20, sur la face supérieure 111 de la protubérance, comme cela est représenté schématiquement sur la figure 2. Comme décrit précédemment, la face supérieure 111 de chaque protubérance 11 peut avoir été rendue hydrophobe préalablement au dépôt 10 1041 de la goutte 4, et ce notamment afin d'assurer un bon confinement de la goutte 4 sur la protubérance 11. Egalement, comme décrit précédemment, la première face 20 de chaque puce 2 peut avoir été rendue hydrophile préalablement à son amenée 1042 sur la protubérance 11 correspondante, notamment pour obtenir un meilleur alignement de la puce 2 sur la 15 protubérance 11. Le liquide de chaque goutte 4 peut comprendre de l'eau, le cas échéant mélangée à de l'acide fluorhydrique, ce dernier restant en faible concentration (typiquement inférieure au pourcent). L'eau s'impose ici comme principal constituant du liquide de chaque goutte 4, du fait qu'elle est d'usage courant, 20 mais d'autres liquides de préférence à forte tension de surface pourraient également être utilisés. Chaque goutte 4 a de préférence un volume compris entre 0,5 et 2 pL, encore plus préférentiellement comprise entre 0,8 et 1,2 pL. En dessous de ces valeurs de volume, le dépôt de la puce 2 sur la protubérance 11 risque de 25 résulter en un contact direct entre la puce 2 et la protubérance 11, ce contact direct étant de fait un point d'accroche susceptible de gêner l'alignement de la puce 2 sur la protubérance 11. Au-dessus de ces valeurs de volume, la goutte 4 pourrait ne plus être confinée sur la protubérance 11 et déborder, mais surtout le temps d'évaporation de la goutte 4 deviendrait important, notamment dans la 30 perspective d'une mise en oeuvre industrielle du procédé selon l'invention. Il est à noter que le volume de la goutte 4 dépend proportionnellement de la surface de la face supérieure 111 de la protubérance 11. Les gammes de valeurs 3063832 21 susmentionnées sont particulièrement adaptées à une face supérieure 111 d'une surface de 0,5 cm x 0,5 cm à 1 cm x 1 cm. La goutte 4 est telle, et est déposée de telle façon, qu'elle forme de préférence un angle de contact supérieur à 600, de préférence supérieur à 65°, 5 avec la face supérieure 111 de la protubérance 11, dans des conditions normales de température et de pression. Lorsque la première face 20 de la puce 2 est en protubérance, on obtient ainsi un contraste de mouillabilité de l'ordre de 150°, le mésa en bordure de face introduisant un angle supplémentaire de 90° garantissant l'auto-alignement précis des puces 2. 10 Qu'un revêtement 13 hydrophobe, voire superhydrophobe, soit généré sur la face supérieure 111 de chaque protubérance 11 permet certes d'augmenter avantageusement la valeur de cet angle de contact, mais permet surtout de réduire l'énergie de collage direct entre chaque puce 2 et la face supérieure 111 de chaque protubérance. 15 L'amenée 1042 de chaque puce 2 sur la protubérance 11 correspondante peut être réalisée par mise en oeuvre d'une machine `pick-andplace' avec une précision d'alignement d'une valeur supérieure à 10 pm, de préférence supérieure à 20 pm. En effet, dans la perspective de l'industrialisation du procédé selon l'invention, il est avantageusement 20 envisageable d'utiliser une machine `pick-and-place' à faible précision et à grande cadence pour réaliser cette étape d'amenée 1042. La précision micrométrique de l'alignement de chaque puce 2 est obtenue par effet capillaire de façon liée au phénomène naturel de minimisation des forces de tension superficielle, de sorte que l'utilisation de la machine `pick-and-place' puisse 25 consister uniquement à amener chaque puce dans une position approximative propre à permettre l'observation subséquente de ce phénomène. Le collage direct de la puce 2 auto-alignée sur la protubérance 11 est obtenue spontanément une fois la goutte 4 évaporée. L'étape consistant à faire évaporer 1043 la goutte 4 est 30 avantageusement réalisée par évaporation naturelle. Le procédé 100 selon l'invention permet ainsi d'obtenir l'auto-alignement micrométrique d'environ 90 % des puces 2 sur le substrat d'auto- 3063832 22 alignement 1, soit un auto-alignement à haut rendement à la fois qualitatif et quantitatif. En outre, le procédé 100 selon l'invention permet encore de corriger les éventuelles erreurs d'alignement observées pour tendre à atteindre l'alignement 5 de 100 % des puces 2. En effet, selon le procédé de l'invention, obtenir 104 l'auto-alignement de chaque puce 2 sur la protubérance 11 correspondante peut comprendre, lorsqu'une puce 2 est non alignée suite à l'évaporation 1043 de la goutte 4, au moins les étapes successives suivantes : - éloigner, voire décoller, la puce 2 non alignée, 10 - nettoyer la face supérieure 111 de la protubérance 11 depuis laquelle la puce 2 a été éloignée, voire décollée, et - ramener, voire recoller, la puce 2, par sa première face 20, sur la protubérance 11 dont la face supérieure 111 a été nettoyée, de sorte à obtenir l'alignement de la puce 2 sur la protubérance 11. 15 Le décollement de la puce 2 non alignée est d'autant plus aisé que l'énergie de collage direct entre la puce 2 et la protubérance 11 est rendue faible par le revêtement 13 hydrophobe. Le nettoyage de la face supérieure d'une protubérance 11 est d'autant plus aisé que la protubérance est déjà singularisée sur le substrat d'auto-20 alignement 1 du fait de sa projection en épaisseur par rapport au reste de la face avant 10 du substrat d'auto-alignement 1. Lorsque les puces 2 sont d'ores et déjà majoritairement alignées avec une précision micrométrique, par exemple en utilisant une méthode d'auto-alignement par effet capillaire, l'utilisation d'une machine `pick-and-place' à 25 haute précision peut être industriellement envisageable pour corriger l'alignement des autres puces 2, et notamment pour recoller la puce 2 sur la protubérance 11. Nous décrivons ci-après, en référence aux figures 3, 4 et 5, comment obtenir 105 l'assemblage des puces 2 sur le substrat d'auto-assemblage 3 30 selon un mode de réalisation de l'invention. Pour ce faire, l'étape 105 peut comprendre au moins les étapes successives suivantes : 3063832 23 - Reporter 1051, par une 30 de ses faces, le substrat d'auto-assemblage 3 sur une deuxième face 22 de chaque puce 2, - Coller 1052, par collage direct, de préférence hydrophile, le substrat d'auto- assemblage 3 sur la deuxième face 22 de chaque puce 2 et recuire 5 l'ensemble, de sorte que l'énergie de collage entre chaque puce 2 et le substrat d'auto-assemblage 3 soit supérieure à l'énergie de collage entre chaque puce 2 et le substrat d'auto-alignement 1, et - Séparer 1053 les substrats d'auto-alignement 1 et d'auto-assemblage 2 entre eux de sorte à décoller les puces 2 depuis le substrat d'auto- 10 alignement 1 et obtenir le report des puces 2 sur le substrat d'auto- assemblage 3. Le report 1051 du substrat d'auto-assemblage 3 sur les faces avant 22 des puces 2 peut être est réalisé en utilisant un équipement d'alignement dit plaque à plaque, avec ou sans repérage. Des repères sont représentés sur les 15 figures 3 et 4 par des croix. Comme illustré sur les figures 2 à 4, les faces avant 22 des puces 2 auto-alignées sont de préférence comprises dans un même plan, de sorte à permettre à une face 30 sensiblement plane du substrat d'auto-assemblage 3 de venir contacter les faces avant 22 des puces 2 auto-alignées en leur entier 20 et de façon simultanée. Toutefois, comme discuté plus bas, le procédé 100 selon l'invention n'est pas limité à cette préférence. Le procédé 100 selon l'invention permet ainsi l'assemblage de nombreuses puces 2 selon une approche du type 'plaque à plaque', notamment sans nécessité la mise en oeuvre d'un substrat de transfert entre un substrat 25 donneur et un substrat receveur. En outre, le substrat d'auto-assemblage 3 peut être fonctionnalisé, notamment préalablement à son report 1051, de sorte à assurer des fonctions notamment d'interconnexions entre puces de composants microélectroniques 2D ou 3D. 30 En effet, la fourniture 103 du substrat d'auto-assemblage 3 peut comprendre des étapes technologiques de manière à fonctionnaliser le substrat d'auto-assemblage 3. Ces étapes technologiques peuvent comprendre par exemple au moins l'une parmi les étapes suivantes : 3063832 24 - générer une couche d'un matériau diélectrique au moins sur une partie d'une face 30 du substrat d'auto-assemblage 3 sur laquelle les puces 2 sont destinées à être assemblées, - générer une couche d'un matériau conducteur au moins sur une partie d'une 5 face 30 du substrat d'auto-assemblage 3 sur laquelle les puces 2 sont destinées à être assemblées, et - générer des trous d'interconnexion dans une partie au moins de l'épaisseur du substrat d'auto-assemblage 3, et notamment par la face 30 du substrat d'auto-assemblage 3 sur laquelle les puces 2 sont destinées à être 10 assemblées. La génération de la couche de matériau diélectrique peut comprendre une oxydation de surface, notamment lorsque le substrat d'auto-assemblage 3 est à base de silicium, ou un dépôt, par exemple d'un oxyde à base du matériau semi-conducteur constituant le substrat d'auto-assemblage 3. 15 La couche de matériau diélectrique et la couche de matériau conducteur peuvent être générées de sorte à former des pistes conductrices d'interconnexions notamment en cuivre, comme cela est décrit notamment dans l'article de S. Mermoz, intitulé « High density chip-to-wafer integration using self-assembly : on the performances of directly interconnected structures made 20 by direct copper/oxyde bonding », publié dans le cadre de la conférence « Electronics Packaging Technology » de 2013. Le procédé 100 selon l'invention permet ainsi l'interconnexion des puces 2 entre elles par leur seul assemblage. Le substrat d'auto-assemblage 3 pouvant en outre comprendre lui-même un ou plusieurs étages de puces 2, et 25 notamment de transistors, le procédé 100 selon l'invention permet la fabrication d'un ou plusieurs étages supplémentaires de composants microélectroniques sans affecter l'intégrité des composants microélectroniques des étages sous-jacents, notamment du fait que le procédé 100 selon l'invention n'implique potentiellement aucun traitement thermique à haute température et/ou aucune 30 immersion dans des environnements potentiellement néfastes. Au vu des figures 7 et 8, il apparaît que le procédé 100 selon l'invention permet de réaliser une hybridation hétérogène, non seulement en termes d'empilements et de fonctionnalités des puces 2 comme cela a déjà été discuté 3063832 25 plus haut, mais également en termes de tailles variées et d'emplacements d'intégration des puces 2 sur le substrat d'auto-assemblage 3. En effet, en référence aux figures 7 et 8, le procédé 100 selon l'invention peut en outre comprendre une certaine répétition d'étapes pouvant 5 mener à ce type d'intégration complexe. Plus particulièrement, le procédé 100 selon l'invention peut comprendre en outre après avoir obtenu 105 l'auto-assemblage d'une première pluralité de puces 2 sur le substrat d'auto-assemblage 3, au moins les étapes suivantes : - Fournir un second substrat d'auto-alignement 5 comprenant une pluralité de 10 protubérances 51 présentant une face supérieure 511 munie d'un revêtement 13 au moins hydrophobe, Fournir une seconde pluralité de puces 6, - Obtenir 104, par effet capillaire, et typiquement selon une approche du type 'puce à plaque', l'auto-alignement de chaque puce 6 de la seconde pluralité 15 de puces 6 sur une protubérance 51 correspondante du second substrat d'auto-alignement 5, puis - Obtenir 105, par collage direct, et typiquement selon une approche du type 'plaque à plaque', l'assemblage de la seconde pluralité de puces 6 sur le substrat d'auto-assemblage 3. 20 Chaque protubérance 51 a le cas échéant une épaisseur supérieure à l'épaisseur de chaque protubérance 11 structurant la face avant 10 du substrat d'auto-alignement 1 préalablement fourni 101. Cela permet de coller les puces 6 de la seconde pluralité en un emplacement du substrat d'auto-assemblage 3 différent de l'emplacement des puces 2 de la première pluralité, sans contacter 25 les puces 2 déjà assemblées sur le substrat d'auto-assemblage 3. Les puces 6 de la seconde pluralité ont potentiellement une épaisseur significativement différente de l'épaisseur des puces 2 de la première pluralité. Du fait qu'il est préférable que les faces avant des puces 2, 6 auto-alignées soient sensiblement comprises dans un même plan, de sorte à permettre à une 30 face 30 sensiblement plane du substrat d'auto-assemblage 3 de venir contacter les faces avant des puces 2, 6 auto-alignées en leur entier et de façon simultanée, l'on comprend que l'intégration de puces 2, 6 présentant des épaisseurs significativement différentes entre elles via l'utilisation d'un même 3063832 26 substrat d'auto-alignement induit la nécessité de former, sur ce substrat d'auto-alignement, des protubérances d'épaisseurs différentes propres à absorber les différences d'épaisseurs entre puces 2, 6, ce qui compliquerait la fourniture 101 du substrat d'auto-alignement. Le procédé selon cette dernière particularité 5 permet donc de simplifier l'assemblage de puces 2, 6 d'épaisseurs significativement différentes entre elles en prévoyant la fourniture d'une pluralité de substrats d'auto-alignement dont chaque substrat est propre à une classe de puces d'épaisseurs sensiblement identiques entre elles et/ou à un rang d'intégration de puces. 10 Quelle que soit la méthode utilisée pour former les protubérances 11, il peut être préférable, voire nécessaire, au moins lorsque plusieurs puces 2 sont d'épaisseurs sensiblement différentes entre elles, que la fourniture 101 du substrat d'auto-alignement 1 comprenne en outre au moins l'étape suivante : déposer une couche 12 à base d'un polymère compressible, par exemple une 15 couche de polydiméthylsiloxane (ou PDMS), sous les protubérances 11. Un substrat d'auto-alignement 1 selon cette première variante est illustré sur la figure 6. La couche 12 permet avantageusement d'absorber par compression les légères différences d'épaisseur entre puces 2, notamment pour obtenir 105 l'auto-assemblage des puces 2 sur un substrat d'auto-assemblage 3 présentant 20 une face 30 sensiblement plane. Il est ainsi possible, malgré le fait que plusieurs puces 2 soient d'épaisseurs sensiblement différentes entre elles, de mettre en oeuvre efficacement le procédé 100 selon l'invention en formant, sur un même substrat d'auto-alignement, des protubérances ayant toutes la même épaisseur ; de telles protubérances étant plus aisées à former. Toutefois, 25 comme introduit précédemment, des protubérances de différents dimensionnements en épaisseur et/ou transversalement peuvent également être formées notamment pour adapter les dimensions en épaisseur et/ou transversales des puces destinées à y être auto-alignées. Une adaptation des dimensions des puces 2 et des protubérances 11 selon cette seconde variante 30 représente un coût supplémentaire qui peut être contrebalancé par la potentielle réutilisation du substrat d'auto-alignement pour permettre l'auto-alignement d'autres pluralités de puces 2 et leur report sur d'éventuels autres substrats d'auto-assemblage. 3063832 27 Quelle que soit la variante choisie, ce choix étant potentiellement lié aux puces 2 (à leur nature, leurs dimensions, ou leur fonction), et donc aux composants microélectroniques, à auto-assembler 100, le procédé vise notamment à permettre que les puces 2 une fois auto-alignées sur le substrat 5 d'auto-alignement 1 présentent des faces avant 22 qui s'inscrivent sensiblement dans un même plan. De la sorte, il sera possible de reporter 1051 simultanément, par leurs faces avant 22, toutes les puces 2 auto-alignées sur une face 30 avantageusement plane du substrat d'auto-assemblage 3, comme représenté sur les figures 3 et 7. 10 Le procédé selon l'invention dissocie avantageusement l'alignement et l'assemblage des puces 2, 6. L'alignement est réalisé lors d'une étape antérieure selon une approche du type 'puce à plaque' et l'assemblage est réalisé lors d'une étape ultérieure selon une approche du type 'plaque à plaque'. Un haut rendement qualitatif est ainsi potentiellement obtenu, puisque 15 les puces 2, 6 peuvent être testées individuellement préalablement à leur auto-alignement. Par rapport à la méthode d'auto-assemblage par effet capillaire décrite dans le document de brevet FR 2 988 517 A1, le procédé permet l'auto-assemblage de puces sur un substrat ne présentant pas nécessairement de protubérances sur le substrat final d'assemblage, et pallie ainsi le problème lié 20 à l'intégration des protubérances sur de tels substrats. Pour autant, le procédé autorise l'obtention de l'auto-alignement des puces 2, 6 sur un substrat par effet capillaire. Le procédé selon l'invention permet ainsi d'obtenir l'assemblage simultané de nombreuses puces 2, 6 sur un substrat, le cas échéant fonctionnalisé, et autorise l'utilisation d'une méthode d'auto-alignement précise 25 et prometteuse en vue d'une industrialisation des procédés de fabrication de circuits intégrés en trois dimensions. L'invention n'est pas limitée aux modes de réalisations précédemment décrits et s'étend à tous les modes de réalisation couverts par les revendications. 30 Par exemple, la goutte 4 peut être déposée sur chaque puce 2, et plus particulièrement sur la première face 20 de chaque puce 2, plutôt que sur chaque protubérance 11 du substrat d'auto-alignement 1. 3063832 28 Par exemple, le substrat d'auto-alignement 1 peut être une plaque type `chuck' électrostatique pour renforcer le collage des puces 2 auto-alignées sur les protubérances 11 et pouvoir relâcher ce renforcement de collage pour obtenir 105 l'auto-assemblage des puces 2 sur le substrat d'auto-assemblage 5 3. En effet, grâce à ce type de plaque, une fois alignées les puces 2 peuvent être maintenues par une charge au décollement, cette charge peut être annulée et les puces 2 peuvent être relâchées. De la même façon, on pourrait avoir recours à un chuck d'aspiration sous vide. On prévoira dans ce cas que le substrat d'auto-alignement dispose, au niveau des protubérances 11, de trous 10 traversants permettant l'aspiration des puces 2 sur les protubérances 11. Le substrat d'auto-alignement 1 et le substrat d'auto-assemblage 3 sont décrits dans les exemples ci-dessus comme étant à base de silicium, mais d'autres matériaux sont envisageables tels que du verre, du carbure de silicium (SiC), de l'arséniure de gallium (GaAs), etc. 15 En référence aux figures 9 et 10, deux variantes du procédé 100 selon un mode de réalisation de l'invention sont discutées ci-dessous. Selon chacune de ces deux variantes, la puce 2 présente, comme déjà évoqué plus haut, une première face 20 en protubérance 23. Ainsi, la surface de la deuxième face 22 de la puce 2 est sensiblement supérieure à la surface 20 de la protubérance 23 de sa première face 20. Dans l'exemple illustré sur la figure 9, la surface de la protubérance 23 de la première face 20 est sensiblement inférieure à la surface de la protubérance 11 du substrat d'auto-alignement 1. Dans l'exemple illustré sur la figure 10, la surface de la protubérance 23 de la première face 20 est 25 sensiblement égale à la surface de la protubérance 11 du substrat d'auto-alignement 1. Néanmoins, dans les deux variantes illustrées, il peut être considéré que la protubérance 23 de la première face 20 et la deuxième face 22 sont sensiblement de mêmes dimensions que la face supérieure 111 de la protubérance 11. Par exemple, la surface de la protubérance 23 est comprise 30 entre 60 et 99 %, de préférence entre 85 et 95 %, de la surface de la deuxième face 22 de la puce 2. Ainsi, l'effet capillaire permettant d'obtenir 104 l'auto-alignement de la puce 2 sur la protubérance 11 peut être considéré observé quelle que soit la variante adoptée parmi les variantes illustrées sur les figures 3063832 29 9 et 10. La première face 20 en protubérance 23 améliore avantageusement l'auto-alignement obtenu 104. REVENDICATIONS1. Procédé d'auto-assemblage (100) de composants microélectroniques comprenant les étapes suivantes: - Fournir (101) un substrat dit d'auto-alignement (1) comprenant au moins une protubérance (11) présentant une face supérieure (111) munie d'un revêtement (13) au moins hydrophobe, - Fournir (102) au moins une puce (2) présentant une première face (20) et une deuxième face (22), - Fournir (103) un substrat dit d'auto-assemblage (3), - Obtenir (104), par effet capillaire, l'auto-alignement de ladite au moins une puce (2), par sa première face (20), sur l'au moins une protubérance (11) du substrat d'auto-alignement (1), puis - Obtenir (105) l'assemblage de ladite au moins une puce (2) sur le substrat d'auto-assemblage (3), par collage direct sur le substrat d'auto-assemblage (3) de la deuxième face (22) de ladite au moins une puce (2). 2. Procédé (100) selon la revendication précédente, dans lequel l'au moins une puce (2) présente une première face (20) en protubérance. 3. Procédé (100) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel, le substrat d'auto-alignement (1) comportant une face avant (10) structurée par ladite au moins une protubérance (11), fournir (101) le substrat d'auto-alignement (1) comprend l'étape suivante : traiter (1011) la face avant (10) du substrat d'auto-alignement (1) pour rendre hydrophobe, voire superhydrophobe : au moins la face supérieure (111) de ladite au moins une protubérance (11), - le cas échéant au moins la face supérieure (111) et des flancs (112) de ladite au moins une protubérance (11), - potentiellement toute la face avant (10) du substrat d'auto-alignement (1). 30 4. -Procédé (100) selon la revendication précédente, dans lequel traiter (1011) la face avant (10) du substrat d'auto-alignement (1) comprend au moins l'une parmi les étapes suivantes : 3063832 31 - ladite au moins une protubérance étant à base de silicium, traiter au moins sa face supérieure (111) avec de l'acide fluorhydrique, en solution aqueuse, par exemple à une concentration de 1 % en acide fluorhydrique, ou sous forme vapeur, 5 - déposer une couche d'un polymère fluoré, de préférence fluorocarboné, au moins sur la face supérieure (111) de ladite au moins une protubérance (11), par exemple par exposition à un plasma formé à partir d'octafluorobutène, d'héxafluoroéthane, de tétrafluorure de carbone 20 et/ou de trifluorométhane, 10 - déposer une couche de polydiméthylsiloxane (ou PDMS) au moins sur la face supérieure (111) de ladite au moins une protubérance (11), et - déposer une couche de SiOC au moins sur la face supérieure (111) de ladite au moins une protubérance (11), par exemple par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma en utilisant un gaz comprenant du silicium, 15 un gaz contenant de l'oxygène et un gaz comprenant du carbone. 5. Procédé (100) selon la revendication 3, dans lequel, lorsque le substrat d'auto-alignement (1) est à base de silicium (Si), traiter (1011) la face avant (10) du substrat d'auto-alignement (1) comprend au moins l'une parmi les étapes 20 suivantes : - graver le substrat d'auto-alignement (1) par plasma de manière à obtenir du silicium noir au moins sur la face supérieure (111) de ladite au moins une protubérance (11), et - déposer une couche d'un polymère fluoré, de préférence fluorocarboné, au 25 moins sur la face supérieure (111) de ladite au moins une protubérance (11), par exemple par exposition à un plasma formé à partir d'octafluorobutène, d'héxafluoroéthane, de tétrafluorure de carbone 20 et/ou de trifluorométhane. 6. Procédé (100) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel obtenir (104) l'auto-alignement de ladite au moins une puce (2) sur l'au moins une protubérance (11) du substrat d'auto-alignement (1) comprend au moins les étapes successives suivantes : 3063832 32 - Déposer (1041) une goutte (4) d'un liquide comprenant de l'eau sur l'une parmi la face supérieure (111) de la protubérance (11) et une première face (20) de la puce (2), la goutte (4) ayant de préférence un volume compris entre 0,5 et 2 pL, encore plus préférentiellement comprise entre 0,8 et 5 1,2 pL, Amener (1042) la puce (2) sur la protubérance (11) de sorte à ce que la goutte (4) soit disposée entre la puce (2) et la protubérance (11) et obtenir ainsi l'auto-alignement de la puce (2) sur la protubérance (11) par effet capillaire, et 10 - Faire évaporer (1043) la goutte (4) de sorte à obtenir le collage direct de la puce (2), par sa première face (20), sur la face supérieure (111) de la protubérance (11). 7. Procédé (100) selon la revendication précédente, dans lequel obtenir 15 (104) l'auto-alignement de ladite au moins une puce (2) sur l'au moins une protubérance (11) du substrat d'auto-alignement (1) comprend, lorsqu'une puce (2) est non alignée suite à l'évaporation (1043) de la goutte (4), au moins les étapes successives suivantes : - Eloigner la puce (2) non alignée depuis la protubérance, 20 Nettoyer au moins l'une parmi la face supérieure (111) de ladite protubérance (11) depuis laquelle la puce (2) a été éloignée et la première face (20) de la puce (2), et - Ramener la puce (2), par sa première face (20), sur ladite protubérance (11), de sorte à obtenir l'alignement et le collage direct de la puce (2) sur 25 ladite protubérance (11). 8. Procédé (100) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel, au moins lorsque plusieurs puces (2) sont d'épaisseurs sensiblement différentes entre elles, fournir (101) le substrat d'auto-alignement 30 (1) comprend l'étape suivante : déposer une couche (12) d'un polymère compressible, par exemple une couche de polydiméthylsiloxane, au moins sous une des protubérances (11), de sorte à pouvoir absorber par compression les différences d'épaisseur entre puces (2). 3063832 33 9. Procédé (100) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel ladite au moins une protubérance (11) présente une épaisseur de préférence supérieure à 1 pm, encore plus préférentiellement supérieure à 5 8 pm. 10. Procédé (100) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel fournir (102) ladite au moins une puce (2) comprend une étape de singularisation de la puce par découpe d'un substrat donneur par exemple par 10 découpe au laser ou à la scie à fil diamanté ou par découpe plasma. 11. Procédé (100) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel fournir (102) ladite au moins une puce (2) comprend au moins l'étape suivante : traiter ladite au moins une puce (2) de manière à la 15 fonctionnaliser. 12. Procédé (100) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel fournir (102) ladite au moins une puce (2) comprend au moins l'une des étapes suivantes : 20 - préparer la puce (2) de sorte que sa première face (20) soit hydrophobe, et présente par exemple un angle de contact supérieur ou égal à 20°, la première face (20) étant celle par laquelle la puce (2) est destinée à être auto-alignée sur l'au moins une protubérance (11), et - préparer la puce (2) de sorte que sa deuxième face (22) soit hydrophile, la 25 deuxième face (22) étant celle par laquelle la puce (2) est destinée à être assemblée sur le substrat d'auto-assemblage (3). 13. Procédé (100) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les étapes consistant à fournir (101) le substrat d'auto-alignement 30 (1) et à fournir (102) ladite au moins une puce (2) sont réalisées de sorte que la face supérieure (111) de chaque protubérance (11) et la puce (2) destinée à être auto-alignée sur cette protubérance (11) soient de mêmes dimensions. 3063832 34 14. Procédé (100) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel fournir (103) un substrat d'auto-assemblage (3) comprend des étapes technologiques de manière à le fonctionnaliser, ces étapes technologiques comprenant par exemple au moins l'une parmi les étapes 5 suivantes : - générer une couche d'un matériau diélectrique au moins sur une partie d'une face (30) du substrat d'auto-assemblage (3) sur laquelle ladite au moins une puce (2) est destinée à être assemblée, par oxydation de surface et/ou dépôt, 10 - générer une couche d'un matériau conducteur au moins sur une partie de la face (30) du substrat d'auto-assemblage (3) sur laquelle ladite au moins une puce (2) est destinée à être assemblée, et - générer des trous d'interconnexion dans une partie au moins de l'épaisseur du substrat d'auto-assemblage (3). 15 15. Procédé (100) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel obtenir (105) l'assemblage de ladite au moins une puce (2) sur le substrat d'auto-assemblage (3) comprend au moins les étapes successives suivantes : 20 Reporter (1051), par une (30) de ses faces, le substrat d'auto-assemblage (3) sur la deuxième face (22) de chaque puce (2), le cas échéant ce report (1051) étant réalisé en utilisant un équipement d'alignement dit 'plaque à plaque', Coller (1052), par collage direct, le substrat d'auto-assemblage (3) sur la 25 deuxième face (22) de chaque puce (2) et recuire l'ensemble, de sorte que l'énergie de collage entre chaque puce (2) et le substrat d'auto-assemblage (3) soit supérieure à l'énergie de collage entre chaque puce (2) et le substrat d'auto-alignement (1), et - Séparer (1053) les substrats d'auto-alignement (1) et d'auto-assemblage (2) 30 entre eux de sorte à décoller chaque puce (2) depuis le substrat d'auto- alignement (1) et obtenir le report de chaque puce (2) sur le substrat d'auto-assemblage (3). 3063832 16. Procédé (100) selon l'une quelconque des revendications précédentes, comprenant en outre, après avoir obtenu (105) l'assemblage d'au moins une première puce (2) sur le substrat d'auto-assemblage (3), au moins les étapes suivantes : 5 - Fournir un second substrat d'auto-alignement (5) comprenant au moins une protubérance (51) présentant une face supérieure (511) hydrophobe, ladite au moins une protubérance (51) du second substrat d'auto-alignement (5) ayant le cas échéant une épaisseur supérieure à l'épaisseur de ladite au moins une protubérance (11) du substrat d'auto-alignement (1) 10 préalablement fourni (101), - Fournir au moins une seconde puce (6) présentant une première face et une deuxième face opposée entre elles et ayant potentiellement une épaisseur significativement différente de l'épaisseur de ladite au moins une puce (2) préalablement fournie (102), 15 Obtenir, par effet capillaire, l'auto-alignement de ladite au moins une seconde puce (6), par sa première face, sur l'au moins une protubérance (51) du second substrat d'auto-alignement (5), puis - Obtenir l'assemblage de ladite au moins une seconde puce (6) sur le substrat d'auto-assemblage (3), par exemple en un emplacement du 20 substrat d'auto-assemblage (3) différent de l'emplacement de ladite au moins une première puce (2), par collage direct sur le substrat d'auto-assemblage (3) de ladite au moins une seconde puce (6).