Brevet FR3065040A1 — publié le 20181012

Groupe de pompage et utilisation La présente invention concerne un groupe de pompage comportant une pompe à vide primaire de type sèche multiétagée et une pompe à vide de type Roots biétagée, montée en série et en amont de la pompe à vide primaire. La présente invention concerne également une utilisation dudit groupe de pompage. Les pompes à vide primaire comportent plusieurs étages de pompage en série dans lesquels circule un gaz à pomper entre une aspiration et un refoulement. On distingue parmi les pompes à vide primaire connues, celles à lobes rotatifs également connues sous le nom « Roots » avec deux ou trois lobes ou celles à double bec, également connues sous le nom « Claw ». Les pompes à vide primaire comprennent deux rotors de profils identiques, tournant à l'intérieur d'un stator en sens opposé. Lors de la rotation, le gaz à pomper est emprisonné dans le volume engendré par les rotors et le stator, et est entraîné par les rotors vers l'étage suivant puis de proche en proche jusqu'au refoulement de la pompe à vide. Le fonctionnement s'effectue sans aucun contact mécanique entre les rotors et le stator, ce qui permet l'absence totale d'huile dans les étages de pompage. Nous obtenons ainsi un pompage dit sec. Pour augmenter les performances de pompage, en particulier le débit, on utilise généralement une pompe à vide de type Roots (connue sous le nom de « Roots Blower » en anglais) montée en série et en amont de la pompe à vide primaire. Le débit engendré par la pompe à vide Roots peut être de l'ordre de vingt fois le débit engendré par la pompe à vide primaire. Certaines applications, telles que les applications de production de couches minces dans l'industrie de fabrication du semi-conducteur ou « applications CVD » (pour « dépôt chimique en phase vapeur »), nécessitent des performances de pompage importantes, notamment pour des gammes de pression de travail comprises entre 53Pa et 266Pa, pour des flux pompés en continus compris entre 50Pa.m3.s-1 et 170Pa.m3.s-1. On cherche notamment à obtenir des débits de pompage maximums, de l'ordre de 3000m3/h dans cette plage de fonctionnement. Une solution pour essayer d'atteindre ces capacités de pompage consiste à utiliser une pompe à vide Roots ayant le débit engendré souhaité pour atteindre 3000m3/h montée en série avec une pompe à vide primaire multiétagée, de l'ordre de 300m3/h. Le débit engendré par la pompe à vide Roots peut ainsi être de l'ordre de dix 3065040 2 fois le débit engendré par la pompe à vide primaire multiétagée. On constate cependant une perte importante des performances de pompage de ce dispositif pour les pressions de la plage de fonctionnement des applications CVD ainsi qu'en pression limite. Par ailleurs, un tel dispositif de pompage est très consommateur d'énergie et on 5 cherche également à limiter la consommation électrique. Utiliser deux pompes à vide Roots en série et en amont d'une pompe à vide primaire multiétagée n'est pas non plus une solution satisfaisante. Un tel agencement serait en effet couteux, encombrant et l'utilisation de deux moteurs engendrerait des pertes mécaniques et donc une consommation électrique conséquente. 10 Un des buts de la présente invention est donc de proposer un groupe de pompage ayant de meilleures performances de pompage dans la plage de fonctionnement des applications CVD, ainsi qu'en pression limite, tout en ayant une consommation électrique minimale. A cet effet, l'invention a pour objet un groupe de pompage comportant : 15 une pompe à vide primaire de type sèche mutiétagée comportant au moins quatre étages de pompage montés en série, caractérisé en ce que le groupe de pompage comporte : une pompe à vide de type Roots biétagée comportant un premier et un deuxième étages de pompage montés en série, le deuxième étage de 20 pompage de la pompe à vide de type Roots biétagée étant monté en série et en amont d'un premier étage de pompage de la pompe à vide primaire dans le sens d'écoulement des gaz à pomper, le rapport du débit engendré par le premier étage de pompage de la pompe à vide de type Roots biétagée sur le débit engendré par le 25 deuxième étage de pompage de la pompe à vide de type Roots biétagée étant inférieur à six, et le rapport du débit engendré par le deuxième étage de pompage de la pompe à vide de type Roots biétagée sur le débit engendré du premier étage de pompage de la pompe à vide primaire de type sèche 30 multiétagée étant inférieur à six. Avec une telle architecture et un tel dimensionnement du groupe de pompage, on obtient des performances de pompage maximales dans la gamme de 3065040 3 fonctionnement souhaitée, pour des pressions comprises entre 53Pa et 266Pa avec des flux pouvant être pompés en continu jusqu'à 170 Pa.m3.s-1. Egalement, les performances de pompage en vide limite sont satisfaisantes et inférieures à 0,1Pa. 5 En outre, la consommation électrique est minimale, que ce soit en vide limite ou dans la plage de fonctionnement souhaitée des applications CVD. Selon une ou plusieurs caractéristiques du groupe de pompage, prise seule ou en combinaison : le débit engendré par le premier étage de pompage de la pompe à vide 10 de type Roots biétagée est supérieur ou égal à 3000m3/h, tel que compris entre 3500m3/h et 5000m3/h, le débit engendré par le deuxième étage de pompage de la pompe à vide de type Roots biétagée est supérieur ou égal à 500m3/h, tel que compris entre 500m3/h et 1000m3/h, 15 le rapport du- débit engendré par le premier étage de pompage de la pompe à vide de type Roots biétagée sur le débit engendré par le deuxième étage de pompage de la pompe à vide de type Roots biétagée est inférieur à 5,5, tel que compris entre 4,5 et 5,5, le rapport du débit engendré par le deuxième étage de pompage de la 20 pompe à vide de type Roots biétagée sur le débit engendré du premier étage de pompage de la pompe à vide primaire de type sèche multiétagée est inférieur ou égal à cinq, le débit engendré par le premier étage de pompage de la pompe à vide primaire est supérieur ou égal à 100m3/h, tel que compris entre 100m3/h 25 et 400m3/h, le rapport du débit engendré par le premier étage de pompage de ladite pompe à vide primaire sur le débit engendré par le second étage de pompage de ladite pompe à vide primaire est inférieur ou égal à trois, le rapport du débit engendré par le premier étage de pompage de la 30 pompe à vide Roots sur le débit engendré par le troisième étage de pompage de la pompe à vide primaire est inférieur ou égal à cent vingt, 3065040 4 le rapport du débit engendré par le dernier étage de pompage de la pompe à vide primaire sur le débit engendré par l'avant-dernier étage de pompage de la pompe à vide primaire est inférieur ou égal à deux, la pompe à vide primaire comporte au moins cinq étages de pompage 5 montés en série, le groupe de pompage comporte en outre une canalisation raccordant l'aspiration de la pompe à vide de type Roots biétagée à l'entrée du deuxième étage de pompage de la pompe à vide de type Roots biétagée, la canalisation comportant un module de décharge (également appelé 10 « by-pass » en anglais) configuré pour s'ouvrir dès que la différence de pression entre l'aspiration et le refoulement du premier étage de pompage dépasse une valeur prédéfinie. L'invention a aussi pour objet une utilisation du groupe de pompage tel que décrit précédemment pour le pompage d'une enceinte d'une installation de fabrication de 15 semi-conducteurs, dans laquelle le groupe de pompage est utilisé pour le contrôle de pression à l'intérieur de l'enceinte à des valeurs comprises entre 53Pa et 266Pa et pour des flux de gaz pompés dans l'enceinte compris entre 50Pa.m3.s-1 et 170Pa.m3.s- 20 D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description suivante, donnée à titre d'exemple, sans caractère limitatif, en regard des dessins annexés sur lesquels: la figure 1 montre une vue schématique d'un groupe de pompage, la figure 2 montre un exemple de réalisation d'une pompe à vide primaire 25 où seuls les éléments nécessaires au fonctionnement sont représentés, la figure 3 montre une vue schématique d'une pompe à vide de type Roots biétagée; sur cette figure, on a représenté des sections transversales d'étages de pompage l'une à côté de l'autre pour une meilleure compréhension, 30 la figure 4 est un graphique montrant des courbes de vitesses de pompage (en m3/h) pour un groupe de pompage selon l'invention et pour des dispositifs de pompage de l'état de la technique en fonction de la pression (en Torr), 3065040 5 la figure 5 est un graphique montrant des courbes de flux de gaz pompés (en « slm » pour « standard litre per minute » en anglais, 1slm = 1,68875Pa.m3.s-1) en fonction de la pression (en Torr) pour le groupe de pompage et les dispositifs de pompage de la figure 4, et 5 la figure 6 montre un exemple d'utilisation du groupe de pompage. Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence. Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques 10 s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations. On définit par « débit engendré », la cylindrée correspondante au volume engendré entre les rotors et le stator de la pompe à vide multipliée par le nombre de 15 tours par seconde. On définit par « pression limite », la pression minimale obtenue pour un dispositif de pompage en l'absence de flux de gaz pompé. On définit par pompe à vide primaire de type sèche, une pompe à vide volumétrique, qui, à l'aide de deux rotors aspire, transfère puis refoule le gaz à pomper 20 à la pression atmosphérique. Les rotors sont entrainés en rotation par un moteur de la pompe à vide primaire. On définit par pompe à vide de type Roots, (également appelée « Blower » en anglais), une pompe à vide volumétrique, qui, à l'aide de rotors de type Roots aspire, transfère puis refoule le gaz à pomper. La pompe à vide de type Roots est montée en 25 amont et en série d'une pompe à vide primaire. Les rotors de type Roots sont entrainés en rotation par un moteur de la pompe à vide de type Roots. On entend par « en amont », un élément qui est placé avant un autre par rapport au sens de circulation du gaz. A contrario, on entend par « en aval », un élément placé après un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper, l'élément situé en 30 amont étant à une pression plus basse que l'élément situé en aval, à une pression plus élevée. La figure 1 montre une vue schématique d'un groupe de pompage 1. 3065040 6 Le groupe de pompage 1 est par exemple utilisé dans une installation 100 de l'industrie de fabrication du semi-conducteur (figure 6). Le groupe de pompage 1 est par exemple raccordé à une enceinte 101 destinée à la production de couches minces ou applications CVD (« dépôt chimique en phase vapeur »), pour laquelle la plage de 5 fonctionnement comprend des pressions comprises entre 53Pa et 266Pa et des flux de gaz pompés dans l'enceinte 101, généralement compris entre 50Pa.m3.s-1 et 170Pa. m3. s-1. Le groupe de pompage 1 comporte une pompe à vide primaire 2 de type sèche multiétagée et une pompe à vide de type Roots 3 biétagée (ou « double stage blower » 10 en anglais), montée en série et en amont de la pompe à vide primaire 2. La pompe à vide primaire 2 représentée comprend cinq étages de pompage T1, T2, T3, T4, T5 montés en série entre une aspiration 4 et un refoulement 5 de la pompe à vide primaire 2 et dans lesquels un gaz à pomper peut circuler. Chaque étage de pompage T1-T5 comprend une entrée et une sortie 15 respectives. Les étages de pompage successifs T1-T5 sont raccordés en série les uns à la suite des autres par des canaux inter-étages 6 respectifs raccordant la sortie (ou le refoulement) de l'étage de pompage qui précède à l'entrée (ou l'aspiration) de l'étage qui suit (voir figure 2). Les canaux inter-étages 6 sont par exemple agencés latéralement dans le corps 8 de la pompe à vide 2, de part et d'autre d'un logement 20 central 9 recevant les rotors 10. L'entrée du premier étage de pompage T1 communique avec l'aspiration 4 de la pompe à vide 2 et la sortie du dernier étage de pompage T5 communique avec le refoulement 5 de la pompe à vide 2. Les stators des étages de pompage T1-T5 forment un corps 8 de la pompe à vide 2. La pompe à vide primaire 2 comporte deux rotors 10 à lobes rotatifs s'étendant 25 dans les étages de pompage T1- T5. Les arbres des rotors 10 sont entraînés du côté de l'étage de refoulement T5 par un moteur M1 de la pompe à vide primaire 2 (figure 1). Les rotors 10 présentent des lobes de profils identiques. Les rotors représentés sont de type « Roots » (section en forme de « huit » ou de « haricot »). Bien entendu, 30 l'invention s'applique également à d'autres types de pompes à vide primaire multi- étagées de type sèche, telles que de type « Claw » ou de type à spirale ou à vis ou d'un autre principe similaire de pompe à vide volumétrique. 3065040 7 Les rotors 10 sont angulairement décalés et entrainés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans le logement central 9 de chaque étage T1-T5. Lors de la rotation, le gaz aspiré depuis l'entrée est emprisonné dans le volume engendré par les rotors 10 et le stator, puis est entraîné par les rotors vers l'étage suivant (le 5 sens de circulation des gaz est illustré par les flèches G sur les figures 1 et 2). La pompe à vide primaire 2 est dite « sèche » car en fonctionnement, les rotors 10 tournent à l'intérieur du stator sans aucun contact mécanique avec le stator, ce qui permet l'absence totale d'huile dans les étages de pompage T1-T5. Les étages de pompage T1-T5 présentent un volume engendré, c'est-à-dire un 10 volume de gaz pompé, décroissant (ou égal) avec les étages de pompage, le premier étage de pompage T1 présentant le débit engendré le plus élevé et le dernier étage de pompage T5 présentant le débit engendré le plus faible. La pression de refoulement de la pompe à vide primaire 2 est la pression atmosphérique. La pompe à vide primaire 2 comporte en outre un clapet anti-retour en 15 sortie du dernier étage de pompage T5, au niveau du refoulement 5, pour éviter le retour des gaz pompés dans la pompe à vide 2. Une pompe à vide 3 de type Roots biétagée est illustrée de manière schématique sur la figure 3. La pompe à vide 3 de type Roots est, comme la pompe à vide primaire 2, une 20 pompe à vide volumétrique, qui, à l'aide de rotors aspire, transfère puis refoule le gaz à pomper. La pompe à vide 3 de type Roots biétagée comporte un premier et un deuxième étages de pompage B1, B2 montés en série entre une aspiration 11 et un refoulement 12 et dans lesquels un gaz à pomper peut circuler. 25 Chaque étage de pompage B1-B2 comprend une entrée et une sortie respectives, l'entrée 16 (ou aspiration) du deuxième étage de pompage B2 étant raccordée à la sortie (ou refoulement) du premier étage de pompage B1 par un canal inter-étage 13. L'entrée du premier étage de pompage B1 communique avec l'aspiration 11 du groupe de pompage 1 et la sortie du deuxième étage de pompage B2 30 (le refoulement 12) est raccordée à l'aspiration 4 de la pompe à vide primaire 2. La pompe à vide 3 de type Roots comporte deux rotors 14 à lobes rotatifs s'étendant dans les étages de pompage B1-B2. Les arbres des rotors 14 sont entraînés par un moteur M2 de la pompe à vide 3 de type Roots (figure 1). 3065040 8 Les rotors 14 présentent des lobes de profils identiques de type « Roots ». Les rotors 14 sont angulairement décalés et entrainés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans le logement central définissant les chambres de chaque étage B1-B2. Lors de la rotation, le gaz aspiré depuis l'entrée est emprisonné 5 dans le volume engendré par les rotors et le stator puis est entraîné par les rotors vers l'étage suivant (le sens de circulation des gaz est illustré par les flèches G sur les figures 1 et 3). La pompe à vide 3 de type Roots est dite « sèche » car en fonctionnement, les rotors tournent à l'intérieur du stator sans aucun contact mécanique avec le stator, ce 10 qui permet l'absence totale d'huile dans les étages de pompage B1-B2. La pompe à vide 3 de type Roots se différencie principalement de la pompe à vide primaire 2 par des dimensions plus grandes d'étages de pompage B1-B2 du fait des capacités de pompage plus importantes, par des tolérances de jeux plus grandes et par le fait que la pompe à vide 3 de type Roots ne refoule pas à la pression 15 atmosphérique mais doit être utilisée en montage série en amont d'une pompe à vide primaire. Le groupe de pompage 1 comporte en outre une canalisation 15 raccordant l'aspiration 11 de la pompe à vide 3 de type Roots à l'entrée 16 du deuxième étage de pompage B2 de la pompe à vide 3 de type Roots. 20 La canalisation 15 comporte un module de décharge 17, tel qu'un clapet ou une vanne pilotée, configuré pour s'ouvrir dès que la différence de pression entre l'aspiration 11 et le refoulement du premier étage de pompage B1 dépasse une valeur prédéfinie, comprise par exemple entre 5.103 Pa et 3.104 Pa. L'ouverture du module de décharge 17 permet de faire recirculer le surplus du 25 flux gazeux du refoulement du premier étage de pompage B1 vers l'aspiration 11 de la pompe à vide 3 de type Roots. Cette recirculation intervient au moment de la descente en pression de l'enceinte 101 depuis la pression atmosphérique, du fait du fort flux gazeux au démarrage du pompage. On évite ainsi qu'une importante pression soit générée au refoulement du premier étage de pompage B1 qui pourrait provoquer une 30 consommation électrique très importante, un échauffement excessif et un risque de dysfonctionnement. Le rapport du débit engendré par le premier étage de pompage B1 de la pompe à vide 3 de type Roots sur le débit engendré par le deuxième étage de pompage B2 de 3065040 9 la pompe à vide 3 de type Roots est inférieur à six, tel que inférieur à 5,5, tel que compris entre 4,5 et 5,5. Le débit engendré par le premier étage de pompage B1 de la pompe à vide 3 de type Roots biétagée est par exemple supérieur ou égal à 3000m3/h, tel que compris 5 entre 3500m3/h et 5000m3/h. Le débit engendré par le deuxième étage de pompage B2 de la pompe à vide 3 de type Roots biétagée est par exemple supérieur ou égal à 500m3/h, tel que compris entre 500m3/h et 1000m3/h. Le débit engendré du premier étage de pompage B1 de la pompe à vide 3 de 10 type Roots est par exemple de l'ordre de 4459m3/h. Le débit engendré par le deuxième étage de pompage B2 de la pompe à vide 3 de type Roots est par exemple de l'ordre de 876m3/h. Le rapport du débit engendré par le premier étage de pompage B1 sur le débit engendré par le deuxième étage de pompage B2 est ainsi de l'ordre de 5,1. 15 En outre, le rapport du débit engendré par le deuxième étage de pompage B2 de la pompe à vide 3 de type Roots sur le débit engendré du premier étage de pompage T1 de la pompe à vide primaire 2 est inférieur à six, tel que inférieur ou égal à cinq. Le débit engendré par le premier étage de pompage T1 de la pompe à vide primaire 2 est par exemple supérieur ou égal à 100m3/h, tel que compris entre 100m3/h 20 et 400m3/h. Le premier étage de pompage T1 de la pompe à vide primaire 2 présente par exemple un débit engendré de l'ordre de 187m3/h. Le rapport du débit engendré par le deuxième étage de pompage B2 sur le débit engendré du premier étage de pompage T1 est ainsi égal de l'ordre de 4,7. 25 Le rapport du débit engendré par le premier étage de pompage T1 de la pompe à vide primaire 2 sur le débit engendré par le second étage de pompage T2 de la pompe à vide primaire 2 est par exemple inférieur ou égal à trois. Le deuxième étage de pompage T2 présente par exemple un débit engendré de l'ordre de 93m3/h. Le rapport du débit engendré par le premier étage de pompage T1 30 sur le débit engendré par le second étage de pompage T2 est ainsi sensiblement égal à deux. Le rapport du débit engendré par le premier étage de pompage B1 de la pompe à vide 3 de type Roots biétagée sur le débit engendré par le troisième étage de 3065040 10 pompage T3 de la pompe à vide primaire 2 est par exemple inférieur ou égal à cent vingt. Les au moins deux derniers étages de pompage T4, T5, T6 de la pompe à vide primaire 2 peuvent avoir des mêmes valeurs de débits engendrés. Le rapport du débit engendré par le dernier étage de pompage T5 de la pompe à 5 vide primaire 2 sur le débit engendré par l'avant-dernier étage de pompage T4 de la pompe à vide primaire 2 est par exemple inférieur ou égal à deux. Les trois derniers étage de pompage T3, T4 et T5 présentent par exemple un débit engendré de l'ordre de 44m3/h. Le rapport du débit engendré par le premier étage de pompage B1 de la pompe à vide secondaire 3 de type Roots biétagée sur le débit 10 engendré par le troisième étage de pompage T3 de la pompe à vide primaire 2 est ainsi de l'ordre de 101,3. Le rapport du débit engendré par le dernier étage de pompage T5 de la pompe à vide primaire 2 sur le débit engendré par l'avant-dernier étage de pompage T4 de la pompe à vide primaire 2 est ainsi ici égal à un. Les derniers étages de pompage T4, T5, T6 de la pompe à vide primaire 2 de 15 mêmes valeurs de débits engendrés permet de simplifier la fabrication et diminue les coûts. Ce dimensionnement du groupe de pompage 1 permet d'optimiser les performances de pompage qui sont optimales dans la plage de fonctionnement des procédés CVD. Egalement, les performances de pompage en vide limite sont 20 satisfaisantes. En outre, la consommation électrique est minimale, que ce soit en vide limite ou pour les pressions de fonctionnement. Ceci peut être mieux compris en visualisant les graphiques des figures 4 et 5 qui montrent des performances de pompage obtenues pour un groupe de pompage 1 selon l'invention et pour des dispositifs de pompage de l'état de la technique. 25 La courbe A est une courbe de la vitesse de pompage en fonction de la pression obtenue pour un dispositif de pompage de l'art antérieur comportant une pompe à vide Roots monoétagée présentant un débit engendré estimé de 4459 m3/h montée en série et en amont d'une pompe à vide primaire de débit engendré estimé à 510m3/h. Ce dispositif de pompage permet d'atteindre une vitesse de pompage de l'ordre 30 de 3000m3/h pour des pressions comprises entre 13Pa et 26 Pa (ou 0,1Torr et 0,2Torr). Cependant, au-delà de 53Pa (ou 0,4Torr), les performances se dégradent très nettement, si bien que dans la plage de fonctionnement souhaitée (Pf sur les graphiques des figures 4 et 5), les performances du dispositif de pompage sont 3065040 11 insuffisantes. Egalement, la vitesse de pompage pour des pressions inférieures à 13Pa (ou 0,1Torr), (en vide limite) est moins bonne. En outre, la consommation électrique en pression limite est de l'ordre de 3.3kW, ce qui est important. La courbe B montre les performances de pompage en fonction de la pression 5 obtenues pour un dispositif de pompage de l'art antérieur comportant une pompe à vide Roots monoétagée d'un débit engendré estimé à 4459m3/h montée en série et en amont d'une pompe à vide primaire de débit engendré estimé à 260m3/h. On voit que les performances de pompage en pression limite sont meilleures que pour le dispositif de pompage de la courbe A. Toutefois, la vitesse de pompage 10 n'atteint pas les performances souhaitées de 3000m3/h dans la plage de fonctionnement Pf. La courbe C montre les performances de pompage en fonction de pression obtenues pour un dispositif de pompage de l'art antérieur comportant une pompe à vide Roots d'un débit engendré estimé de 4459m3/h montée en série et en amont 15 d'une pompe à vide primaire d'un débit engendré estimé de 510m3/h. Le dimensionnement du dernier étage de pompage de la pompe à vide primaire du dispositif de pompage de la courbe C d'un débit engendré estimé de l'ordre de 109 m3/h est très supérieur à celui du dispositif de pompage de la courbe A d'un débit engendré estimé de l'ordre de 58m3/h. 20 On constate que les performances sont sensiblement meilleures que pour le dispositif de pompage de la courbe B dans la plage de fonctionnement Pf. Néanmoins, la vitesse de pompage n'atteint pas 3000m3/h, décroit dans la plage de fonctionnement et la consommation électrique en pression limite est beaucoup trop élevée (de l'ordre de 5.7kVV) du fait du surdimensionnement du dernier étage de pompage de la pompe à 25 vide primaire. Egalement, les performances de pompage sont insuffisantes en pression limite. La courbe D montre les performances de pompage en fonction de la pression obtenue pour un groupe de pompage 1 selon l'invention dont le débit engendré du premier étage de pompage B1 de la pompe à vide 3 de type Roots est de l'ordre de 30 4459m3/h, le débit engendré par le deuxième étage de pompage B2 de la pompe à vide 3 de type Roots est de l'ordre de 876m3/h, le premier étage de pompage T1 de la pompe à vide primaire 2 présente un débit engendré de l'ordre de 187m3/h, le deuxième étage de pompage T2 de la pompe à vide primaire 2 présente un débit 3065040 12 engendré de l'ordre de 93m3/h et les trois derniers étage de pompage T3, T4 et T5 de la pompe à vide primaire 2 présentent un débit engendré de l'ordre de 44m3/h. On constate que les performances de pompage sont maximales, de l'ordre de 3000m3/h, dans la plage de fonctionnement souhaitée Pf. 5 Les performances de pompage en vide limite sont également satisfaisantes. En outre, le niveau de consommation électrique est satisfaisant. Il est inférieur à 2,5kVV en pression limite. REVENDICATIONS1 Groupe de pompage (1) comportant : une pompe à vide primaire (2) de type sèche mutiétagée comportant au moins quatre étages de pompage (T1, T2, T3, T4, T5) montés en série, caractérisé en ce que le groupe de pompage (1) comporte : une pompe à vide (3) de type Roots biétagée comportant un premier et un deuxième étages de pompage (B1, B2) montés en série, le deuxième étage de pompage (B2) de la pompe à vide (3) de type Roots biétagée étant monté en série et en amont d'un premier étage de pompage (T1) de ladite pompe à vide primaire (2) dans le sens d'écoulement des gaz à pomper, le rapport du débit engendré par le premier étage de pompage (B1) de la pompe à vide (3) de type Roots biétagée sur le débit engendré par le deuxième étage de pompage (B2) de la pompe à vide (3) de type Roots biétagée (3) étant inférieur à six, et le rapport du débit engendré par le deuxième étage de pompage (B2) de la pompe à vide (3) de type Roots biétagée sur le débit engendré du premier étage de pompage (T1) de ladite pompe à vide primaire (2) étant inférieur à six. 2. Groupe de pompage (1) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le débit engendré par le premier étage de pompage (B1) de la pompe à vide (3) de type Roots biétagée est supérieur ou égal à 3000m3/h, tel que compris entre 3500m3/h et 5000m3/h. 3. Groupe de pompage (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le débit engendré par le deuxième étage de pompage (B2) de la pompe à vide (3) de type Roots biétagée est supérieur ou égal à 500m3/h, tel que compris entre 500m3/h et 1000m3/h. 4. Groupe de pompage (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le rapport du débit engendré par le premier étage de pompage (B1) de la pompe à vide (3) de type Roots biétagée sur le débit engendré par le deuxième étage de pompage (B2) de la pompe à vide (3) de type Roots biétagée est inférieur à 5,5. 3065040 14 5. Groupe de pompage (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le rapport du débit engendré par le deuxième étage de pompage (B2) de la pompe à vide (3) de type Roots biétagée sur le débit engendré du premier étage de pompage (T1) de la pompe à vide primaire (2) est inférieur ou égal à cinq. 5 6. Groupe de pompage (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le débit engendré par le premier étage de pompage (T1) de la pompe à vide primaire (2) est supérieur ou égal à 100m3/h, tel que compris entre 100m3/h et 400m3/h. 7. Groupe de pompage (1) selon l'une des revendications précédentes, 10 caractérisé en ce que le rapport du débit engendré par le premier étage de pompage (T1) de la pompe à vide primaire (2) sur le débit engendré par le second étage de pompage (T2) de la pompe à vide primaire (2) est inférieur ou égal à trois. 8. Groupe de pompage (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le rapport du débit engendré par le premier étage de pompage 15 (B1) de la pompe à vide (3) de type Roots biétagée sur le débit engendré par le troisième étage de pompage (T3) de la pompe à vide primaire (2) est inférieur ou égal à cent vingt. 9. Groupe de pompage (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la pompe à vide primaire (2) comporte au moins cinq étages de 20 pompage (T1, T2, T3, T4, T5) montés en série. 10. Groupe de pompage (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte en outre une canalisation (15) raccordant l'aspiration (11) de la pompe à vide (3) de type Roots biétagée à l'entrée (16) du deuxième étage de pompage (B2) de la pompe à vide (3) de type Roots biétagée, la canalisation (15) 25 comportant un module de décharge (17) configuré pour s'ouvrir dès que la différence de pression entre l'aspiration (11) et le refoulement du premier étage de pompage (B1) dépasse une valeur prédéfinie. 11. Utilisation d'un groupe de pompage (1) selon l'une des revendications précédentes pour le pompage d'une enceinte (101) d'une installation (100) de 30 fabrication de semi-conducteurs, dans laquelle le groupe de pompage (1) est utilisé pour le contrôle de pression à l'intérieur de l'enceinte (101) à des valeurs comprises entre 53Pa et 266Pa et pour des flux de gaz pompés dans l'enceinte (101) compris entre 50Pa.m3.s-1 et 170Pa.m3.s-1.