Brevet FR3066816A1 — publié le 20181130

Dispositif optique de mesure de la courbure d'une surface réfléchissante Le domaine de l'invention est celui des dispositifs optiques de mesure de déformations de surfaces réfléchissantes. Ces dispositifs de mesures peuvent notamment être utilisés pour mesurer la déformation de plaquettes de semi-conducteur appelées également « wafer ». Le dispositif 5 de mesure selon l'invention permet le contrôle de la plaquette pendant les opérations de dépôts de couches de matériaux nécessaires à la réalisation de composants électroniques. Le dispositif de mesure permet également le contrôle après dépôt desdites plaquettes ou le suivi ou le contrôle ex-situ de n'importe quel type de traitement de matériaux engendrant une déformation 10 de la plaquette. Lorsque l'on réalise des opérations de dépôts sous vide de couches de matériaux sur une plaquette de semi-conducteur, par exemple, par épitaxie par jets moléculaires, des contraintes se développent dans la 15 couche déposée et induisent des contraintes mécaniques dans la plaquette. Généralement, les plaquettes ont des épaisseurs assez faibles, variant typiquement entre 100 microns et 700 microns. Sous l'effet des contraintes subies, elles peuvent se déformer de façons plus ou moins importantes. La connaissance de ces déformations renseigne donc sur l'importance, la 20 nature et la localisation des contraintes permettant de déterminer si le dépôt en cours se déroule correctement ou non et de remonter aux mécanismes atomistiques à l'origine de ces contraintes. Les plaquettes sont généralement réfléchissantes. Pour mesurer les déformations, on utilise cette propriété et les dispositifs de mesure utilisés 25 sont des dispositifs optiques. Tous ces dispositifs comportent une source de lumière de géométrie connue et un récepteur. La source de lumière et le récepteur sont disposés de sorte que, la lumière émise par la source soit observable par le récepteur au travers de la surface réfléchissante. Le récepteur perçoit donc l'image de la source au travers de la surface de la 30 plaquette. Si la plaquette est un miroir plan parfait, cette image n'est pas déformée, aux incertitudes du système de mesure près. Si la plaquette se 3066816 2 déforme sous l'action d'une contrainte, l'image de la source se déforme. La mesure de cette déformation permet de déterminer la déformation de la plaquette réfléchissante. Généralement, les sources sont de forme géométrique simple ou 5 sont constituées de points lumineux disposés selon une géométrie connue. La génération des points lumineux peut être réalisée, par exemple, par un faisceau laser se réfléchissant une pluralité de fois à l'intérieur d'une lame à faces planes et parallèles. La pluralité des faisceaux parallèles transmis constitue le motif d'éclairage. Le brevet US 5 912 738 intitulé « Measurement 10 of the curvature of a surface using parallel light beams » décrit un tel dispositif de mesure. Le brevet US 9 070 590 intitulé « Workpiece breakage prevention method and apparatus » décrit un autre type de dispositif de mesure dans une application différente de celle de la mesure des caractéristiques des wafers, le dispositif mesurant des contraintes 15 thermiques. Une des contraintes de ce type de dispositif de mesure est que le dépôt se fait à l'intérieur d'un bâti sous vide dans laquelle il est, bien entendu, impossible d'introduire des éléments optiques. Dans ce cas, l'émission et la réception de lumière se font nécessairement à l'extérieur du 20 bâti, au travers de hublots transparents. Or, la plaquette peut être de dimensions importantes. Il existe ainsi des wafers dont le diamètre est de 250 millimètres. Pour contrôler une plaquette de cette taille, il serait possible de déplacer la source de lumière et le récepteur pour réaliser différentes mesures mais on comprend que toute la difficulté serait alors de conserver la 25 précision et la qualité de la mesure, sachant que le contrôle doit s'effectuer en temps réel de façon à pouvoir agir si les opérations de dépôt se déroulent mal. De plus, dans la plupart des cas, ces mouvements visant à déplacer la source de lumière sont difficiles ou impossibles à effectuer à cause de la taille réduite des hublots. 30 Le dispositif de mesure selon l'invention ne présente pas ces inconvénients. Il repose sur le fait qu'il est possible de déplacer la zone éclairée de la surface réfléchissante, y compris pour des surfaces de grande dimension sans déplacer le récepteur. Plus précisément, l'invention a pour 35 objet un dispositif de mesure de la déformation d'au moins une surface 3066816 3 réfléchissante d'un objet, ledit dispositif comprenant au moins un motif d'éclairage composé de points lumineux, une caméra et un dispositif d'analyse d'images, le motif d'éclairage et la caméra étant agencés de façon qu'en position de mesure de la déformation de ladite surface, l'image du motif soit visible par le détecteur de la caméra au travers de la surface, ladite image étant représentative de la déformation de la zone éclairée de la surface par le motif d'éclairage, caractérisé en ce que le dispositif de mesure comporte des moyens de réalisation d'au moins deux mesures, chaque mesure comportant l'émission d'un motif d'éclairage, lesdits moyens de réalisation des deux mesures étant agencés de façon que le premier motif d'éclairage associé à la première mesure éclaire une première zone de la surface différente de la seconde zone de la surface éclairée par le second motif d'éclairage associé à la seconde mesure, la caméra étant fixe entre les deux mesures. Avantageusement, les moyens de réalisation comportent des moyens de déplacement de l'objet dans un plan déterminé entre les deux mesures et des moyens de mesure dudit déplacement. Avantageusement, les moyens de déplacement de l'objet dans ledit plan sont des moyens de déplacement en rotation ou en translation. Avantageusement, le dispositif de mesure comprend des moyens de déplacement, de déformation ou de grandissement du motif d'éclairage. Avantageusement, le dispositif de mesure comporte un écran de visualisation et des moyens de génération graphique dudit motif d'éclairage sur ledit écran de visualisation. Avantageusement, le dispositif de mesure comporte une source d'éclairage éclairant un écran opaque comportant des ouvertures agencées de façon à former ledit motif d'éclairage. Avantageusement, le dispositif de mesure comporte un séparateur optique plan semi-réfléchissant agencé de façon que l'image du motif de points, après transmission par ledit séparateur optique, réflexion sur la surface et réflexion sur ledit séparateur optique se forme sur le détecteur de la caméra ou après réflexion sur ledit séparateur optique, réflexion sur la surface et transmission par ledit séparateur optique se forme sur le détecteur de la caméra. 3066816 4 Avantageusement, le dispositif de mesure comporte des moyens de réalisation d'une pluralité de mesures réalisant une cartographie complète de la déformation de ladite surface. Avantageusement, le motif d'éclairage comporte au moins deux 5 points lumineux ou un ensemble de points lumineux. Avantageusement, l'objet est une plaquette de semi-conducteur ou « wafer », la surface réfléchissante étant l'une des faces de ladite plaquette. L'invention concerne également l'utilisation d'un dispositif de 10 mesure comme décrit ci-dessus, pour le suivi d'un traitement entrainant une déformation de la surface réfléchissante d'un objet dans un bâti de croissance, caractérisé en ce que les mesures sont effectuées pendant le dépôt d'au moins une couche de matériau sur ladite surface réfléchissante. Avantageusement, les mesures sont effectuées en continu sur au 15 moins deux objets différents. L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre donnée à titre non limitatif et grâce aux figures annexées parmi lesquelles : 20 La figure 1 présente un premier mode de réalisation du dispositif de mesure selon l'invention, le dispositif comportant un plateau tournant ; Les figures 2 et 3 illustrent le principe de la mesure optique des déformations de la plaquette ; La figure 4 présente un second mode de réalisation du dispositif 25 de mesure selon l'invention, le dispositif comportant un écran de visualisation comme motif d'éclairage ; La figure 5 présente une variante de ce second mode de réalisation du dispositif de mesure selon l'invention ; Les figures 6 et 7 présentent un troisième mode de réalisation du 30 dispositif de mesure selon l'invention et une variante de ce dit mode de réalisation. La figure 8 présente un quatrième mode de réalisation. Comme il a été dit, le dispositif de mesure peut être utilisé pour 35 mesurer les déformations d'une surface réfléchissante d'un objet. Il est 3066816 5 particulièrement bien adapté à la mesure de déformation de plaquettes de semi-conducteur. Les exemples qui suivent sont tous dans ce domaine technique sans qu'il puisse être considéré comme restrictif. A titre de premier exemple non limitatif, la figure 1 représente un 5 premier mode de réalisation du dispositif de mesure selon l'invention des déformations d'une plaquette 10. Sur ces figures et sur les suivantes, la plaquette est représentée par un arc de cercle épais de façon à illustrer les déformations. On a également représenté en pointillés fins le cheminement des rayons lumineux issus d'un point particulier du motif d'éclairage et en 10 pointillés larges le champ couvert par l'objectif de la caméra. Généralement, les plaquettes ont une épaisseur comprise entre 100 microns et 700 microns. Leur diamètre est généralement compris entre 25 millimètres et 250 millimètres. Le dispositif de mesure peut mesurer, en adaptant sa configuration, des déformations dont le rayon de courbure local, 15 concave ou convexe, varie entre quelques millimètres et quelques dizaines de kilomètres. Les substrats sont, par exemple, en arséniure de gallium. Le dispositif de mesure comporte des moyens 20 permettant de créer un motif d'éclairage 21 de forme connue. Il est possible de réaliser ce motif à partir de composants discrets tels que des sources d'éclairage 20 éclairant des symboles transparents percés dans un écran opaque. On peut également utiliser des écrans de visualisation sur lesquels on affiche le motif d'éclairage. Dans ce cas, il devient facile de modifier le motif d'éclairage ou de le dupliquer ou de le déplacer sur l'écran de visualisation ou encore de modifier sa luminance ou sa couleur. 25 Il peut être intéressant, pour limiter la lumière parasite, d'utiliser un rayonnement monochromatique ou spectralement limité. Dans ce cas, le récepteur photosensible est muni d'un filtre spectral qui transmet uniquement le rayonnement d'émission. Le motif géométrique d'éclairage est généralement constitué de 30 points lumineux qui peuvent être structurés sous forme de matrice. A titre d'exemple, la figure 3 représente un réseau de ce type comportant 9 points lumineux 22 disposés sur une matrice comportant 3 colonnes et 3 lignes. Sur cette figure 3, les points lumineux sont représentés par des disques. L'utilisation de points lumineux facilite le traitement du signal, comme on le verra. On peut utiliser, pour obtenir plus de précisions, des matrices 3066816 6 comportant plus de points. L'augmentation du nombre de points lumineux augmente la précision des mesures mais allonge d'autant les temps de traitement des images. Or, pour certaines applications, il est intéressant de travailler en temps réel avec un nombre de points lumineux limité. 5 A titre d'exemple, le diamètre des points lumineux est d'environ 500 microns et la distance entre deux points de l'ordre de quelques millimètres. Lorsque le dispositif de mesure est utilisé avec une enceinte à vide, le motif d'éclairage est en dehors de l'enceinte. La distance séparant le 10 motif d'éclairage de la plaquette est de l'ordre de quelques dizaines de centimètres. Le dispositif de mesure peut fonctionner avec différents angles d'inclinaison entre le centre du motif d'éclairage et la normale à la surface de la plaquette. Toutefois, si l'on souhaite faire fonctionner le dispositif de mesure en incidence normale ou quasi-normale, il est nécessaire de 15 l'adapter comme on le verra dans la suite de la description de façon à séparer la voie d'émission de la voie de réception. La plaquette forme par réflexion une image 23 du motif d'éclairage 21 représentée en pointillés sur la figure 1 et les suivantes. Le dispositif de mesure comporte également un récepteur 20 photosensible 30. Il s'agit d'une caméra. Elle comporte un objectif 31 dont la focale est de quelques centimètres et une matrice de photorécepteurs non représentée sur les différentes figures. On peut utiliser, par exemple, un objectif dont la focale vaut 50 millimètres ou 100 millimètres. L'ouverture de cet objectif définit classiquement la profondeur de champ. Il n'est pas 25 nécessaire que la matrice de photorécepteurs ait une résolution élevée. Comme on le voit sur la figure 1, l'axe optique de la caméra est disposé de façon que l'image finale 24 de l'image 23 du motif d'éclairage réfléchie par la plaquette se trouve sensiblement au centre du champ de la caméra. La caméra occupe donc une position symétrique de celle du motif d'éclairage 30 par rapport à la normale à la surface de la plaquette. Le champ de vision de la caméra munie de son objectif doit permettre de voir la totalité de l'image du motif. Comme il a été dit, l'optique de la caméra peut comporter un filtrage spectral adapté à la bande spectrale d'émission du motif d'éclairage de façon à réduire la lumière parasite. 3066816 7 Pour un motif d'éclairage 21 tel que représenté sur la figure 2 et comportant neuf points lumineux 22, on obtient, au final, après réflexion sur la plaquette et focalisation par l'objectif 31 une image 24 représentée sur la figure 3. Elle comporte neuf points lumineux représentés par des disques 26. 5 Si la plaquette était parfaitement plane, cette image 24 serait constituée des disques 25 représentés en traits fins. Elle serait l'image parfaite du motif d'éclairage. Si la plaquette est déformée, cette image est déformée et elle est constituée des disques 26 représentés en traits gras. Il est possible, en 10 analysant l'image par des moyens d'analyse d'image 40 de connaître avec une grande précision, supérieure à celle de la matrice de photodétection, les positions des centres de chaque image 26 de chaque point lumineux 22. On peut utiliser, à cet effet, les techniques dites d' « upscaling » ou de changement de résolution qui permettent d'augmenter artificiellement 15 la résolution de l'image. Typiquement, le grandissement de l'upscaling est de huit pour ce type d'application. Par conséquent, il est possible de connaître dans un repère bidimensionnel (X, Y), comme on le voit sur la figure 3, très précisément les distances x1 en X et Yi en Y entre les points lumineux 26 à un temps t1 et de 20 les comparer aux distances xo et yo obtenues entre les points lumineux 25 à un temps tO sur une surface de référence. Les rapports entre les moyennes de ces distances donnent accès aux grandissements dans des directions déterminées. Les principes d'optique géométrique permettent de déduire les déformations à partir de la mesure de ces grandissements. En utilisant les 25 mêmes principes d'optique, l'étude des grandissements dans plusieurs directions permet de déduire l'anisotropie de la déformation. En ajoutant la propriété d'invariance de la brillance avec l'angle d'incidence, on peut appliquer ces principes quel que soit l'angle entre le motif d'éclairage et la normale à la surface de la plaquette. 30 Les traitements d'image nécessitent des moyens de calcul informatiques tant au niveau des ressources de calcul que des moyens de mémorisation totalement compatibles avec les performances des ordinateurs de bureau actuels et peuvent être effectués en temps réel, c'est-à-dire dans l'intervalle de temps séparant deux mesures, soit quelques centièmes de 35 seconde. 3066816 8 Les déformations mesurées sont celles de la zone éclairée 11 de la plaquette par le motif d'éclairage. Si la plaquette a des dimensions importantes, cette zone ne couvre que partiellement la plaquette 10. Aussi, le 5 dispositif de mesure selon l'invention comporte des moyens de réalisation d'au moins deux mesures, chaque mesure comportant l'émission d'un motif d'éclairage, lesdits moyens de réalisation des deux mesures étant agencés de façon que le premier motif d'éclairage associé à la première mesure éclaire une première zone de la plaquette différente de la seconde zone de la 10 plaquette éclairée par le second motif d'éclairage associé à la seconde mesure, la caméra étant fixe entre les deux mesures. Une alternative est la cartographie de la courbure par l'utilisation d'un réseau de spots fixes couvrant tout l'écran et dont l'image couvre toute la surface d'étude. Dans le cas présent, le dispositif de mesure comporte un plateau 15 tournant 50 disposé sous la plaquette 10. L'axe de rotation de ce plateau est parallèle à la normale à la surface de la plaquette. L'intérêt de cette disposition est que, pour des raisons d'homogénéisation des couches déposées, la plupart des enceintes à vide comportent d'office ce type de plateau tournant. Ainsi, pour réaliser une cartographie complète de la 20 plaquette, il suffit d'enregistrer une série de mesures correspondant à différents angles de rotation de la plaquette. Si la déformation de la plaquette est homogène et isotrope, le dispositif de mesure permet de mesurer en continu la déformation, avec une sensibilité identique à celle obtenue avec une plaquette fixe, et ce malgré la mise en rotation. 25 Dans les conditions typiques de dépôts de films minces d'atomes sur la plaquette, pour conserver la sensibilité à l'échelle de la monocouche tout en moyennant la mesure pour optimiser le rapport signal sur bruit, la caméra doit avoir une fréquence d'acquisition de 10 Hz au minimum. Il est nécessaire de connaître précisément la position de la 30 plaquette à l'instant de la mesure. Différentes techniques sont possibles pour déterminer cette position. Une technique possible consiste à réaliser un étalonnage de la plaquette avant dépôt. Cet étalonnage présente l'intérêt d'enregistrer l'ensemble des défauts du système. Ainsi, pendant les mesures, les écarts mesurés correspondent uniquement aux déformations 35 induites par le dépôt sur la plaquette. 3066816 9 A titre d'exemple, si le plateau tourne à une vitesse de 12 tours/mn et si la caméra réalise des mesures à la cadence de 30 enregistrements par seconde, on réalise ainsi une série d'enregistrements correspondant à des zones séparées de 2.4 degrés. Ces zones étant 5 angulairement proches, il est alors possible, par interpolation entre deux angles successifs de référencer parfaitement la courbure à tout angle de rotation du plateau tournant. Toute mesure réalisée par la suite pourra, grâce à la connaissance de l'angle à laquelle elle est réalisée, être comparée à la valeur de référence au même angle, déduite de l'interpolation. 10 Le mouvement de rotation de la plaquette est bien adapté à la caractérisation « in-situ », c'est-à-dire pendant le dépôt des couches sur la plaquette. On peut également réaliser des mouvements de translation de la plaquette dans son plan de façon à réaliser une caractérisation complète de 15 la plaquette. Là encore, il suffit de parfaitement connaître les déplacements linéaires de la plaquette, soit par la mesure directe du déplacement, soit par des caractérisations préalables. La mesure par déplacements linéaires est bien adaptée à la caractérisation soit de plaquettes vierges de façon à déterminer leur planéité avant dépôt, soit de plaquettes terminées de façon à 20 contrôler leur état de surface après dépôt. Un des principaux avantages de cette technique est que les mesures peuvent être réalisées hors des enceintes à vide « ex-situ », dans un environnement beaucoup moins contraignant que celui des enceintes à vide. Un des intérêts de réaliser des mesures en continu est que, même 25 si l'image du motif est très déformée en cas de déformations importantes de la plaquette, il est toujours possible de suivre l'évolution de cette déformation de façon qu'il n'y ait jamais d'ambiguïté sur les points mesurés. A titre de second exemple non limitatif, la figure 4 représente un 30 second mode de réalisation du dispositif de mesure selon l'invention des déformations d'une plaquette 10. On a utilisé les mêmes notations sur cette figure 4 que celles de la figure 1. La caméra utilisée est de même nature. Dans ce second mode, la plaquette 10 reste fixe. Pour obtenir le déplacement des zones de mesure, on déplace le motif d'éclairage. Il existe 35 différentes méthodes pour réaliser ce déplacement du motif. La méthode la 3066816 10 plus simple et la plus reproductible consiste à déplacer le motif sur un écran de visualisation. Ce déplacement est symbolisé par des chevrons disposés dans deux axes différents sur la figure 4. Ainsi, dans cette configuration, aucune pièce mécanique n'est mobile. Par ailleurs, il est facile non 5 seulement de déplacer le motif d'éclairage, mais il est également possible de le dupliquer ou de l'agrandir ou de le modifier. Il est également aisé de connaître parfaitement les positions sur l'écran de visualisation des points lumineux constituant le motif d'éclairage. La luminosité et la résolution des écrans de visualisation actuels sont suffisantes pour réaliser des motifs 10 lumineux et de petite dimension. A titre d'exemple, la luminance des spots est comprise entre 200 et 500 cd/m2 et la résolution moyenne de l'écran est entre 100 et 500 DPI ou « Dots Per Inch ». Là encore, en réalisant une série de mesures, on détermine la cartographie complète des déformations de la plaquette. 15 Dans une variante représentée en figure 5, il est possible de mesurer plusieurs plaquettes 10a, 10b et 10c dans une même série de mesures, par exemple, pour réaliser le contrôle de la reproductibilité des opérations de dépôt. Ce type de contrôle est normalement réalisé ex-situ dans des conditions environnementales plus favorables. 20 Comme on le voit sur les figures 1, 4 et 5, tant que l'angle d'incidence 6 des faisceaux d'émission conserve une certaine valeur, par exemple supérieure à quelques degrés, la partie générant le motif d'éclairage est naturellement disjointe de la caméra de réception. Il n'en va pas de même lorsque cet angle d'incidence est faible ou nul, c'est-à-dire lorsque 25 les mesures sont réalisées en incidence normale ou quasi-normale sur la plaquette. Pour résoudre ce problème, le dispositif de mesure comporte un séparateur optique plan semi-réfléchissant comme on le voit sur les figures 6 et 7. Ce séparateur 60 est agencé de façon que l'image du motif de points, 30 après transmission par le séparateur optique, réflexion sur la plaquette et réflexion sur ledit séparateur optique se forme sur le détecteur de la caméra. On peut également inverser motif d'éclairage et caméra. Dans ce cas, l'image du motif de points après réflexion sur ledit séparateur optique, réflexion sur la plaquette et transmission par ledit séparateur optique se 35 forme sur le détecteur de la caméra. 3066816 11 Bien entendu, il est possible avec ce montage d'obtenir des déplacements de la zone de mesure soit par des déplacements du motif d'éclairage sur un écran de visualisation, comme on le voit sur la figure 7, soit par des déplacements ou des rotations de la plaquette. 5 Il est également, possible, comme indiqué sur la figure 8, de réaliser simultanément le contrôle de plusieurs plaquettes en utilisant un dispositif d'éclairage dont le motif d'éclairage est de grandes dimensions et comporte un grand nombre de points d'éclairage, et d'obtenir une cartographie de la déformation instantanée. 10 REVENDICATIONS1. Dispositif de mesure de la déformation d'au moins une surface 5 réfléchissante (10) d'un objet, ledit dispositif comprenant au moins un motif d'éclairage (21) composé de points lumineux (22), une caméra (30, 31) et un dispositif d'analyse d'images (40), le motif d'éclairage et la caméra étant agencés de façon qu'en position de mesure de la déformation de ladite surface, l'image (24) du motif de points soit visible par le détecteur de la 10 caméra au travers de la surface, la ladite image étant représentative de la déformation de la zone éclairée (11) de la surface par le motif d'éclairage, caractérisé en ce que le dispositif de mesure comporte des moyens de réalisation d'au moins deux mesures, chaque mesure comportant l'émission d'un motif d'éclairage, lesdits moyens de réalisation des deux 15 mesures étant agencés de façon que le premier motif d'éclairage associé à la première mesure éclaire une première zone de la surface différente de la seconde zone de la surface éclairée par le second motif d'éclairage associé à la seconde mesure, la caméra étant fixe entre les deux mesures. 20 2. Dispositif de mesure selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de réalisation comportent des moyens de déplacement (50) de l'objet dans un plan déterminé entre les deux mesures et des moyens de mesure dudit déplacement. 25 3. Dispositif de mesure selon la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens de déplacement de l'objet dans ledit plan sont des moyens de déplacement en rotation ou en translation. 4. Dispositif de mesure selon l'une des revendications 30 précédentes, caractérisé en ce que le dispositif de mesure comprend des moyens de déplacement, de déformation ou de grandissement du motif d'éclairage. 5. Dispositif de mesure selon l'une des revendications 35 précédentes, caractérisé en ce que le dispositif de mesure comporte un 3066816 13 écran de visualisation (20) et des moyens de génération graphique dudit motif d'éclairage sur ledit écran de visualisation. 6. Dispositif de mesure selon l'une des revendications 1 à 4, 5 caractérisé en ce que le dispositif de mesure comporte une source d'éclairage éclairant un écran opaque comportant des ouvertures agencées de façon à former ledit motif d'éclairage. 7. Dispositif de mesure selon l'une des revendications 10 précédentes, caractérisé en ce que le dispositif de mesure comporte un séparateur optique (60) plan semi-réfléchissant agencé de façon que l'image du motif de points, après transmission par ledit séparateur optique, réflexion sur la surface et réflexion sur ledit séparateur optique se forme sur le détecteur de la caméra ou après réflexion sur ledit séparateur optique, 15 réflexion sur la surface et transmission par ledit séparateur optique se forme sur le détecteur de la caméra. 8. Dispositif de mesure selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le dispositif de mesure comporte des 20 moyens de réalisation d'une pluralité de mesures réalisant une cartographie complète de la déformation de ladite surface. 9. Dispositif de mesure selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le motif d'éclairage comporte au moins 25 deux points lumineux. 10. Dispositif de mesure selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le motif d'éclairage comporte un ensemble de points lumineux répartis sur une matrice. 11. Dispositif de mesure selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'objet est une plaquette de semiconducteur ou « wafer », la surface réfléchissante étant l'une des faces de ladite plaquette. 30 35 12. Utilisation d'un dispositif de mesure selon l'une des revendications précédentes, pour le suivi d'un traitement entrainant une 3066816 14 déformation de la surface réfléchissante d'un objet dans un bâti de croissance, caractérisé en ce que les mesures sont effectuées pendant le dépôt d'au moins une couche de matériau sur ladite surface réfléchissante. 13. Utilisation d'un dispositif de mesure selon l'une des revendications précédentes dans un dispositif de contrôle de plaquettes de semi-conducteurs, caractérisé en ce que les mesures sont effectuées en continu sur au moins deux objets différents.