Brevet FR3068830A1 — publié le 20190111

Système d'encapsulation pour composants électroniques et batteries Domaine technique de l'invention La présente invention se rapporte aux systèmes d'encapsulation d'objets tels de que composants microélectroniques et batteries. Elle concerne plus particulièrement le domaine des batteries, et notamment des batteries à ions de lithium, qui peuvent être encapsulées de cette manière. L'invention concerne également un nouveau procédé de fabrication de batteries à couches minces à ions de lithium, présentant une architecture et encapsulation nouvelles qui leur confèrent une autodécharge particulièrement faible, et une durée de vie améliorée. Etat de la technique Les composants microélectroniques et batteries, et en particulier les batteries en couches minces, doivent être encapsulées pour être durables car l'oxygène et l'humidité les dégradent. En particulier, les batteries à ions de lithium sont très sensibles à l'humidité, et ont besoin d'une encapsulation qui leur assure une durée de vie supérieure à 10 ans. Avec la généralisation des dispositifs électroniques portables et des réseaux de capteurs autonomes le besoin en batteries rechargeables à forte densité d'énergie et forte densité de puissance s'est renforcé considérablement. Les batteries Li-ion en couches minces disposent d'une forte densité d'énergie et d'une forte densité de puissance, sont rechargeables, et ne présentent pas d'effet mémoire : elles sont capables de satisfaire ce besoin, mais leur fiabilité et leur durée de vie restent des facteurs critiques. Les batteries Li-ion en couches minces comprennent des électrodes et un électrolyte entièrement solide, c'est-à-dire exemptes de liquide. L'épaisseur des différentes couches qui les constituent ne dépasse normalement pas les 10 pm, et est souvent comprise entre 1 et 4 pm. On observe que ces batteries en couches minces telles que les batteries multicouches sont sensibles à l'autodécharge. En fonction du positionnement des électrodes, notamment la proximité des bords des électrodes pour les batteries multicouches et de la propreté des découpes, un courant de fuite peut apparaitre sur les extrémités, un court-circuit rampant qui diminue la performance de la batterie. Ce phénomène est exacerbé si le film d'électrolyte est très mince. Ces batteries Li-ion entièrement solides en couches minces utilisent le plus souvent des anodes comportant une couche de lithium métallique. On observe que les matériaux d'anode présentent une forte variation de leur volume pendant les cycles de charge et 2 décharge de la batterie. En effet, lors d'un cycle de charge et de décharge, une partie du lithium métallique est transformée en ions de lithium qui s'insèrent dans la structure des matériaux de cathode, ce qui s'accompagne d'une réduction du volume de l'anode. Cette variation cyclique du volume peut détériorer les contacts mécaniques et électriques entre 5 les couches d'électrodes et d'électrolyte. Cela diminue les performances de la batterie au cours de sa vie. La variation cyclique du volume des matériaux d'anode induit également une variation cyclique du volume des cellules des batteries. Elle engendre ainsi des contraintes cycliques sur le système d'encapsulation, susceptibles d'amorcer des fissures qui sont à 10 l'origine de la perte d'étanchéité (ou même d'intégrité) du système d'encapsulation. Ce phénomène est une autre cause de la diminution des performances de la batterie au cours de sa vie En effet, les matériaux actifs des batteries Li-ion sont très sensibles à l'air et en particulier à l'humidité. Les ions lithium mobiles réagissent spontanément avec des traces d'eau 15 pour former du Li0H, induisant un vieillissement calendaire des batteries. Tous les matériaux à insertion et électrolytes conducteurs des ions lithium ne sont pas réactifs au contact de l'humidité. A titre d'exemple, le Li4Ti5012 ne se détériore pas au contact de l'atmosphère ou de traces d'eau. En revanche, dès qu'il est chargé en lithium sous forme Li4+xTi5012 avec x>0, alors le surplus de lithium inséré (x) est, quant à lui, sensible à 20 l'atmosphère et réagit spontanément avec les traces d'eau pour former du Li0H. Le lithium ayant réagi n'est alors plus disponible pour le stockage d'électricité, induisant une perte de capacité de la batterie. Pour éviter l'exposition des matériaux actifs de la batterie Li-ion à l'air et à l'eau et empêcher ce type de vieillissement, il est essentiel de la protéger par un système 25 d'encapsulation. De nombreux systèmes d'encapsulation pour des batteries en couches minces sont décrits dans la littérature. Le document US 2002 / 0 071 989 décrit un système d'encapsulation d'une batterie en couches minces entièrement solide comprenant un empilement d'une première couche d'un matériau diélectrique choisi parmi l'alumine (A1203), la silice (5i02), le nitrure de 30 silicium (Si3N4), le carbure de silicium (SiC), l'oxide de tantale (Ta205) et le carbone amorphe, d'une seconde couche d'un matériau diélectrique et d'une couche d'étanchéité disposée sur la seconde couche et recouvrant la totalité de la batterie. Le document US 5 561 004 décrit plusieurs systèmes de protection d'une batterie Lithium en couches minces. Un premier système proposé comprend une couche de parylène recouverte d'un film d'aluminium déposée sur les composants actifs de la batterie. 3 Toutefois, ce système de protection contre la diffusion de l'air et de la vapeur d'eau n'est efficace que pendant environ un mois. Un deuxième système proposé comprend des couches alternées de parylène (500 nm d'épaisseur) et de métal (environ 50 nm d'épaisseur). Le document précise qu'il est préférable de revêtir ces batteries encore 5 d'une couche d'époxy durcie aux ultraviolets (UV) de manière à réduire la vitesse de dégradation de la batterie par des éléments atmosphériques. Selon l'état de la technique la plupart des batteries Li-ion sont encapsulées dans des feuilles de polymère métallisées (appelées « pouch ») refermées autour de la cellule batterie et thermoscellées au niveau des rubans (appelés « tabs ») de connectique. Ces 10 emballages sont relativement souples et les connections positive et négative de la batterie sont alors noyées dans le polymère thermoscellé qui a servi à refermer l'emballage autour de la batterie. Toutefois, cette soudure entre les feuilles de polymère n'est pas totalement étanche aux gaz de l'atmosphère, les polymères servant à thermo-sceller la batterie sont assez perméables aux gaz de l'atmosphère. On observe que la perméabilité augmente 15 avec la température, ce qui accélère le vieillissement. Cependant la surface de ces soudures exposées à l'atmosphère reste très faible, et le reste du packaging est constitué de feuilles d'aluminium pris en sandwich entre ces feuilles de polymère. En général, deux feuilles d'aluminium sont associées afin de minimiser les effets liés à la présence de trous, de défauts dans chacune de ces feuilles 20 d'aluminium. La probabilité pour que deux défauts, sur chacun des feuillards soit alignés est fortement réduite. Ces technologies de packaging permettent de garantir environ 10 à 15 ans de durée de vie calendaire pour une batterie de 10 Ah de 10 x 20 cm2 de surface, dans des conditions normales d'utilisation. Si la batterie est exposée à une température élevée, cette durée de 25 vie peut se réduire à moins de 5 ans ; cela reste insuffisant pour de nombreuses applications. Des technologies similaires peuvent être utilisées pour d'autres composants électroniques, tels que des condensateurs, des composants actifs. En conséquence, il existe un besoin pour des systèmes et des procédés d'encapsulation de batteries en couches minces et d'autres composants électroniques, qui protègent le 30 composant contre l'air, l'humidité et les effets de la température. Plus particulièrement il existe un besoin pour des systèmes et procédés d'encapsulation des batteries à ions de lithium en couches minces, qui les protège contre l'air et l'humidité ainsi que contre leur détérioration lorsque la batterie est soumise à des cycles de charge et de décharge. Le système d'encapsulation doit être étanche et hermétique, doit envelopper et recouvrir 35 totalement le composant ou la batterie, doit être suffisamment souple pour pouvoir accompagner des légers changements de dimensions (« respirations ») de la cellule 4 batterie, et doit également permettre de séparer galvaniquement les bords d'électrodes de signes opposés afin d'éviter tout court-circuit rampant. Un objectif de la présente invention est de remédier au moins en partie aux inconvénients de l'art antérieur évoqués ci-dessus. 5 Un autre objectif de la présente invention est de proposer des batteries lithium ion dotées d'une durée de vie très élevée et présentant une faible autodécharge. Objets de l'invention La présente invention propose comme premier objet un système d'encapsulation 30 d'un 10 objet tel qu'un composant électronique ou d'une batterie, caractérisé en ce qu'il est formé par trois couches successives comprenant i. une première couche de recouvrement 31, 31' composée d'une matière électriquement isolante déposée par ALD (Atomic Layer Deposition), qui recouvre au moins en partie ledit objet, 15 ii. une deuxième couche de recouvrement 32, 32' comprenant du parylène, disposée sur la première couche de recouvrement, iii. une troisième couche de recouvrement 33, 33' déposée sur la deuxième couche de recouvrement de manière à protéger la deuxième couche d'encapsulation, notamment de l'oxygène et à accroître la durée de vie de l'objet. 20 Avantageusement, le système d'encapsulation d'un objet comprend une couche de recouvrement comprenant du parylène, de préférence du parylène N et un système d'encapsulation (30) déposé sur la dite couche de recouvrement comprenant du parylène. Un deuxième objet est un composant électronique ou une batterie, de préférence une batterie en couches minces comprenant un système d'encapsulation 30. 25 Un autre objet est une batterie en couches minces comprenant un empilement alterné entre au moins une anode 10, 10' et au moins une cathode 20, 20', chacune constituée d'un empilement de couches minces et dans lequel l'anode 10, 10' comprend o au moins une couche mince d'un matériau actif d'anode 12, et 30 o éventuellement une couche mince d'un matériau d'électrolyte 13, et dans lequel empilement la cathode 20, 20'comprend o au moins une couche mince d'un matériau actif de cathode 22, et 5 o éventuellement une couche mince d'un matériau d'électrolyte 23 de sorte que la batterie comprenne successivement au moins une couche mince d'un matériau actif d'anode 12, au moins une couche mince d'un matériau d'électrolyte 13,23 et au moins une couche mince d'un 5 matériau actif de cathode 22, - un système d'encapsulation 30 dans lequel ladite première couche 31,31' recouvre au moins en partie l'empilement, ledit système d'encapsulation 30 recouvrant partiellement ledit empilement, une première anode 10 ou cathode 20 comprenant au moins une zone de connexion accessible, alors 10 que la cathode 20 ou l'anode 10 adjacente comprend une zone de recouvrement ZRT, qui est recouverte par au moins ladite première couche de recouvrement (31,31') et ladite deuxième couche de recouvrement (32,32'), ladite zone de recouvrement étant située en regard des zones de connexion ZC de la première anode ou cathode, selon une direction perpendiculaire au plan dudit empilement. 15 Un autre objet de l'invention est un procédé de fabrication d'un composant électronique ou d'une batterie encapsulé(e), comprenant la formation d'un système d'encapsulation 30 et dans lequel on dépose successivement de manière à former ledit système d'encapsulation 30 : (i) une première couche 31,31' de recouvrement composée d'une matière 20 électriquement isolante par ALD (Atomic Layer Deposition), (ii) une deuxième couche de recouvrement 32,32' comprenant du parylène, déposée sur ladite première couche de recouvrement, (iii) une troisième couche de recouvrement 33,33', déposée sur la deuxième couche de recouvrement, apte à, et déposée de manière à, protéger la deuxième couche 25 d'encapsulation notamment de l'oxygène. Un autre objet de l'invention est un procédé de fabrication d'un composant électronique ou d'une batterie encapsulé(e), comprenant la formation d'un système d'encapsulation selon l'invention et dans lequel on dépose successivement de manière à former ledit 30 système d'encapsulation : - une couche de recouvrement comprenant du parylène sur ledit composant électronique ou ladite batterie - une première couche (31,31') de recouvrement composée d'une matière électriquement isolante par ALD (Atomic Layer Deposition) déposée sur ladite 35 couche de recouvrement comprenant du parylène, 6 - une deuxième couche de recouvrement (32,32') comprenant du parylène, déposée sur ladite première couche de recouvrement, - une troisième couche de recouvrement (33,33'), déposée sur la deuxième couche de recouvrement, apte à, et déposée de manière à, protéger la deuxième 5 couche d'encapsulation notamment de l'oxygène. Encore un autre objet de l'invention est un procédé de fabrication d'une batterie en couches minces, ladite batterie comprenant un empilement alterné entre au moins une anode 10, 10' et au moins une cathode 20, 20', chacune constituée d'un empilement de couches minces et 10 dans lequel l'anode 10, 10' comprend, o au moins une couche mince d'un matériau actif d'anode 12, et o éventuellement une couche mince d'un matériau d'électrolyte 13, et dans lequel la cathode 20, 20' comprend o au moins une couche mince d'un matériau actif de cathode 22, et 15 o éventuellement une couche mince d'un matériau d'électrolyte 23 de sorte que la batterie comprenne successivement au moins une couche mince d'un matériau actif d'anode 12, au moins une couche mince d'un matériau d'électrolyte 13,23 et au moins une couche mince d'un matériau actif de cathode 22, 20 ledit procédé comprenant les étapes suivantes : (a) on forme une superposition primaire, comprenant une succession alternée de feuilles de cathode et de feuilles d'anode, ladite superposition primaire étant destinée à former au moins une batterie, deux feuilles adjacentes définissant au moins une région en saillie RS, destinée à former ladite zone de connexion 25 accessible ZC, ainsi qu'au moins une région en retrait RT, destinée à former ladite zone de recouvrement RTC, (b) on dépose le système d'encapsulation selon l'invention par le procédé précédemment décrit. Avantageusement, après l'étape (b), on fait apparaître la zone de connexion accessible 30 ZC ou chaque zone de connexion accessible ZC. Dans un mode de réalisation, après l'étape (b), on réalise une étape (c) comprenant au moins une découpe primaire perpendiculairement au plan de ladite superposition primaire de manière à rendre accessible une zone de connexion ZC au niveau de l'anode ci-après zone de connexion anodique et on réalise au moins une découpe primaire 7 perpendiculairement au plan de ladite superposition primaire de manière à rendre accessible une zone de connexion ZC au niveau de la cathode ci-après zone de connexion cathodique. Avantageusement, les découpes primaires sont réalisées au niveau de bords opposés de 5 ladite superposition primaire. Dans un premier mode de réalisation, les bords des deux feuilles adjacentes de la superposition primaire comprenant une succession alternée de feuilles de cathode et de feuilles d'anode sont des bords droits, le bord d'une première feuille formant la région en saillie RS alors que le bord d'une deuxième feuille formant la région en retrait RR. 10 Dans un second mode de réalisation, dans le bord d'une première feuille de la superposition primaire comprenant une succession alternée de feuilles de cathode et de feuilles d'anode, des premières échancrures 50, 50', 50", 50" ayant une première ou grande section, la paroi desdites premières échancrures constituant ladite région en retrait, et on réalise, dans une deuxième feuille adjacente, des deuxièmes échancrures 15 ayant une deuxième ou petite section, inférieure à la première section, la paroi desdites deuxièmes échancrures 50, 50', 50", 50" constituant ladite région en saillie RS. Avantageusement, les feuilles de cathode et les feuilles d'anode, présentent des échancrures 50, 50', 50", 50" en forme de cercle. Avantageusement, on réalise, dans une première feuille, des premiers orifices ayant une 20 première ou grande section, la paroi desdits orifices constituant ladite région en retrait, on réalise, dans une deuxième feuille adjacente, des deuxièmes orifices ayant une deuxième ou petite section, inférieure à la première section, la paroi desdits orifices constituant ladite région en saillie RS, on remplit le volume intérieur desdits orifices au moyen du système d'encapsulation et on réalise chaque découpe secondaire à l'intérieur desdits 25 premiers et deuxièmes orifices, de sorte que les zones de connexion ZC sont formées au voisinage des parois présentant la petite section et les zones de recouvrement sont formées au voisinage des parois présentant la grande section. Avantageusement, on réalise, dans deux feuilles adjacentes, des premières et deuxièmes fentes, mutuellement décalées selon la direction perpendiculaire au plan desdites feuilles, 30 on remplit le volume intérieur desdites fentes au moyen du système d'encapsulation et on réalise chaque découpe secondaire à l'intérieur desdites fentes, de sorte que les zones de connexion sont formées au voisinage des parois d'une première fente et les zones de recouvrement sont formées au voisinage des parois d'une deuxième fente. 8 Avantageusement, après l'étape (c), les zones de connexion ZC anodique et cathodique sont connectées électriquement entre elles par un dépôt en couche mince d'un conducteur électronique et dans lequel le dépôt est réalisé par ALD 41, 41'. Avantageusement, on réalise des terminaisons 40, 40' anodiques et cathodiques par 5 métallisation des sections préalablement recouvertes d'une couche mince d'un conducteur électronique. Avantageusement, après l'étape (c), les zones de connexion anodique et cathodique sont connectées électriquement entre elles par un système de terminaison comprenant successivement : 10 o une première couche métallique optionnelle, de préférence déposée par ALD 41, 41', o une seconde couche 42, 42' à base de résine époxy chargée à l'argent, déposée sur la première couche métallique, et o une troisième couche 43, 43' à base d'étain, déposée sur la deuxième 15 couche. Dans un autre mode de réalisation, après l'étape (c), les zones de connexion anodique et cathodique sont connectées électriquement entre elles par un système de terminaison comprenant successivement : 20 o une première couche métallique, optionnelle, de préférence déposée par ALD (41), o une seconde couche (42) à base de résine époxy chargée à l'argent, déposée sur la première couche métallique, et o une troisième couche (43a) à base de nickel, déposée sur la deuxième couche, 25 o une quatrième couche (43b) à base d'étain ou de cuivre, déposée sur la troisième couche. Avantageusement, les feuilles présentent des dimensions nettement supérieures à celles de la batterie finale, caractérisé en ce qu'on réalise au moins une autre découpe dite 30 secondaire, dans une partie médiane desdites feuilles. Avantageusement, ladite matière électriquement isolante est choisie parmi des matières polymères organiques ou inorganiques non conductrices ayant des propriétés de barrière par rapport à l'eau. Avantageusement, ladite matière électriquement isolante est choisie parmi A1203, Si02, SiOyNx et les résines époxydes. 9 Avantageusement, la deuxième couche de recouvrement comprend du parylène N. Avantageusement, l'épaisseur de la première couche mince de recouvrement est inférieure à 200 nm, de préférence comprise entre 5 nm et 200 nm, et encore plus préférentiellement d'environ 50 nm et l'épaisseur de la deuxième couche de recouvrement 5 est comprise entre 1 pm et 50 pm, de préférence d'environ 10 pm. Avantageusement, l'épaisseur de la troisième couche mince de recouvrement est comprise entre 1 pm et 50 pm, de préférence inférieure à 10 pm, préférentiellement inférieure à 5 pm et encore plus préférentiellement d'environ 2 pm. Avantageusement, la couche de matériau d'anode est réalisée à partir d'un matériau 10 choisi parmi : (i) les oxynitrures d'étain (de formule typique SnOxNy) ; (ii) le phosphate de fer lithié (de formule typique LiFePO4) ; (iii) les oxynitrures mixtes de silicium et étain (de formule typique SiaSnnOyN, avec a>0, b>0, a-FLK2, 0 0, b>0, a-FLK2, 0 0, b>0, a+b>0, a-FLK2, 0 0, b>0, a-FLK2, 0 REVENDICATIONS1. Système d'encapsulation (30) d'un objet tel qu'un composant électronique ou d'une batterie, caractérisé en ce qu'il est formé par trois couches successives comprenant (i) une première couche de recouvrement (31,31') composée d'une matière électriquement isolante déposée par ALD (Atomic Layer Deposition), qui recouvre au moins en partie ledit objet, (ii) une deuxième couche de recouvrement (32,32') comprenant du parylène, disposée sur la première couche de recouvrement, (iii) une troisième couche de recouvrement (33,33') déposée sur la deuxième couche de recouvrement de manière à protéger la deuxième couche d'encapsulation, notamment de l'oxygène et à accroître la durée de vie de l'objet. Système d'encapsulation d'un objet comprenant une couche de recouvrement comprenant du parylène, de préférence du parylène N et un système d'encapsulation (30) déposé sur la dite couche de recouvrement comprenant du parylène selon la revendication 1. Composant électronique ou batterie comprenant un système d'encapsulation (30) selon la revendication 1 ou la revendication 2. Batterie selon la revendication 3, comprenant un empilement alterné entre au moins une anode (10,10') et au moins une cathode (20,20'), chacune constituée d'un empilement de couches minces et 25 dans lequel l'anode (10,10') comprend o au moins une couche mince d'un matériau actif eanode (12), et o éventuellement une couche mince d'un matériau d'électrolyte (13), et dans lequel empilement la cathode (20,20') comprend o au moins une couche mince d'un matériau actif de cathode (22), et 30 o éventuellement une couche mince d'un matériau d'électrolyte (23) de sorte que la batterie comprenne successivement au moins une couche mince d'un matériau actif d'anode (12), au moins une couche mince d'un matériau d'électrolyte (13,23) et au moins une couche mince d'un matériau actif de cathode (22), 35 un système d'encapsulation (30) selon la revendication 1, dans lequel ladite première couche (31,31') recouvre au moins en partie l'empilement, 10 2. 15 3. 20 4. 31 ledit système recouvrant partiellement ledit empilement, une première anode (10) ou cathode (20) comprenant au moins une zone de connexion accessible, alors que la cathode (20) ou l'anode (10) adjacente comprend une zone de recouvrement (ZRT), qui est recouverte par au moins ladite première couche de recouvrement (31,31') et 5 ladite deuxième couche de recouvrement (32,32') , ladite zone de recouvrement étant située en regard des zones de connexion (ZC) de la première anode ou cathode, selon une direction perpendiculaire au plan dudit empilement. 5. Procédé de fabrication d'un composant électronique ou d'une batterie encapsulé(e), comprenant la formation d'un système d'encapsulation selon la revendication 1 et dans lequel on dépose successivement de manière à former ledit système d'encapsulation : une première couche (31,31') de recouvrement composée d'une matière électriquement isolante par ALD (Atomic Layer Deposition), une deuxième couche de recouvrement (32,32') comprenant du parylène, déposée sur ladite première couche de recouvrement, une troisième couche de recouvrement (33,33'), déposée sur la deuxième couche de recouvrement, apte à, et déposée de manière à, protéger la deuxième couche d'encapsulation notamment de l'oxygène. 6. Procédé de fabrication d'un composant électronique ou d'une batterie encapsulé(e), comprenant la formation d'un système d'encapsulation selon la revendication 2 et dans lequel on dépose successivement de manière à former ledit système d'encapsulation : une couche de recouvrement comprenant du parylène sur ledit composant électronique ou ladite batterie une première couche (31,31') de recouvrement composée d'une matière électriquement isolante par ALD (Atomic Layer Deposition) déposée sur ladite couche de recouvrement comprenant du parylène, une deuxième couche de recouvrement (32,32') comprenant du parylène, déposée sur ladite première couche de recouvrement, une troisième couche de recouvrement (33,33'), déposée sur la deuxième couche de recouvrement, apte à, et déposée de manière à, protéger la deuxième couche d'encapsulation notamment de l'oxygène. 7. Procédé de fabrication d'une batterie en couches minces selon la revendication 5, ladite batterie comprenant un empilement alterné entre au moins une anode (10) et 32 au moins une cathode (20,201, chacune constituée d'un empilement de couches minces et dans lequel l'anode (10,10') comprend : o au moins une couche mince d'un matériau actif d'anode (12), et o éventuellement une couche mince d'un matériau d'électrolyte (13), 5 et dans lequel la cathode (20,20') comprend : o au moins une couche mince d'un matériau actif de cathode (22), et o éventuellement une couche mince d'un matériau d'électrolyte (23) de sorte que la batterie comprenne successivement au moins une couche mince d'un matériau actif d'anode (12), au moins une couche mince d'un matériau 10 d'électrolyte (13,23) et au moins une couche mince d'un matériau actif de cathode (22), ledit procédé comprenant les étapes suivantes : (a) on forme une superposition primaire, comprenant une succession alternée de feuilles de cathode et de feuilles d'anode, ladite superposition primaire étant 15 destinée à former au moins une batterie, deux feuilles adjacentes définissant au moins une région en saillie (RS), destinée à former ladite zone de connexion accessible (ZC), ainsi qu'au moins une région en retrait (RT), destinée à former ladite zone de recouvrement (RTC), (b) on dépose le système d'encapsulation selon la revendication 1 par le procédé 20 selon la revendication 5. 8. Procédé de fabrication d'une batterie selon la revendication 7 dans lequel, après l'étape (b), on fait apparaître la zone de connexion accessible (ZC) ou chaque zone de connexion accessible (ZC). 25 9. Procédé de fabrication d'une batterie selon la revendication 7 ou 8 dans lequel, après l'étape (b), on réalise une étape (c) comprenant au moins une découpe primaire perpendiculairement au plan de ladite superposition primaire de manière à rendre accessible une zone de connexion (ZC) au niveau de l'anode ci-après zone de 30 connexion anodique et on réalise au moins une découpe primaire perpendiculairement au plan de ladite superposition primaire de manière à rendre accessible une zone de connexion (ZC) au niveau de la cathode ci-après zone de connexion cathodique. 33 10. Procédé de fabrication d'une batterie selon la revendication 9, caractérisé en ce que les découpes primaires sont réalisées au niveau des bords opposés de ladite superposition primaire. 5 11. Procédé de fabrication d'une batterie selon l'une quelconque des revendications 7 à 8, caractérisé en ce que les bords des deux feuilles adjacentes de la superposition primaire comprenant une succession alternée de feuilles de cathode et de feuilles d'anode sont des bords droits, le bord d'une première feuille formant la région en saillie (RS) alors que le bord d'une deuxième feuille formant la région en retrait (RR). 10 12. Procédé de fabrication d'une batterie selon l'une quelconque des revendications 7 à 9, caractérisé en ce qu'on réalise, dans le bord d'une première feuille de la superposition primaire comprenant une succession alternée de feuilles de cathode et de feuilles d'anode, des premières échancrures (50, 50', 50", 50") ayant une 15 première ou grande section, la paroi desdites premières échancrures constituant ladite région en retrait, et on réalise, dans une deuxième feuille adjacente, des deuxièmes échancrures ayant une deuxième ou petite section, inférieure à la première section, la paroi desdites deuxièmes échancrures (50, 50', 50", 50") constituant ladite région en saillie (RS). 20 13. Procédé de fabrication d'une batterie selon la revendication 12, caractérisé en ce que les feuilles de cathode et les feuilles d'anode, présentent des échancrures (50, 50', 50", 50") en forme de cercle. 25 14. Procédé de fabrication d'une batterie selon l'une quelconque des revendications 7 à 9, caractérisé en ce qu'on réalise, dans une première feuille, des premiers orifices ayant une première ou grande section, la paroi desdits orifices constituant ladite région en retrait, on réalise, dans une deuxième feuille adjacente, des deuxièmes orifices ayant une deuxième ou petite section, inférieure à la première section, la 30 paroi desdits orifices constituant ladite région en saillie (RS), on remplit le volume intérieur desdits orifices au moyen du système d'encapsulation et on réalise des découpes secondaires à l'intérieur desdits premiers et deuxièmes orifices, de sorte que les zones de connexion (ZC) sont formées au voisinage des parois présentant la petite section et les zones de recouvrement sont formées au voisinage des parois 35 présentant la grande section. 34 15. Procédé de fabrication d'une batterie selon l'une quelconque des revendications 7 à 11, caractérisé en ce qu'on réalise, dans deux feuilles adjacentes, des premières et deuxièmes fentes, mutuellement décalées selon la direction perpendiculaire au plan desdites feuilles, on remplit le volume intérieur desdites fentes au moyen du système 5 d'encapsulation et on réalise des découpes secondaires à l'intérieur desdites fentes, de sorte que les zones de connexion sont formées au voisinage des parois d'une première fente et les zones de recouvrement sont formées au voisinage des parois d'une deuxième fente. 10 16. Procédé de fabrication d'une batterie selon l'une quelconque des revendications 9 à 15 dans lequel, après l'étape (c), les zones de connexion (ZC) anodique et cathodique sont connectées électriquement entre elles par un dépôt en couche mince d'un conducteur électronique et dans lequel le dépôt est réalisé par ALD (41, 41'). 15 17. Procédé de fabrication d'une batterie selon l'une quelconque des revendications 9 à 15 caractérisé en ce qu'on réalise des terminaisons (40, 40') anodiques et cathodiques par métallisation des sections préalablement recouvertes d'une couche mince d'un conducteur électronique. 20 18. Procédé de fabrication d'une batterie selon l'une quelconque des revendications 9 à 15 dans lequel, après l'étape (c), les zones de connexion anodique et cathodique sont connectées électriquement entre elles par un système de terminaison comprenant successivement; o une première couche métallique optionnelle, de préférence déposée par ALD 25 (41,41'), o une seconde couche (42, 42') à base de résine époxy chargée à l'argent, déposée sur la première couche métallique, et o une troisième couche (43, 43') à base d'étain, déposée sur la deuxième couche. 30 19. Procédé de fabrication d'une batterie selon l'une quelconque des revendications 9 à 15 dans lequel, après l'étape (c), les zones de connexion anodique et cathodique sont connectées électriquement entre elles par un système de terminaison comprenant successivement : o une première couche métallique, optionnelle, de préférence déposée par ALD 35 (41), o une seconde couche (42) à base de résine époxy chargée à l'argent, déposée sur la première couche métallique, et o une troisième couche (43a) à base de nickel, déposée sur la deuxième couche, 35 o une quatrième couche (43b) à base d'étain ou de cuivre, déposée sur la troisième couche. 20. Procédé de fabrication d'une batterie selon l'une quelconque des revendications 7 à 5 19, dans lequel les feuilles présentent des dimensions nettement supérieures à celles de la batterie finale, caractérisé en ce qu'on réalise au moins une autre découpe dite secondaire, dans une partie médiane desdites feuilles. 21. Procédé de fabrication d'une batterie selon l'une quelconque des revendications 7 à 10 20, caractérisé en ce que ladite matière électriquement isolante est choisie parmi A1203, Si02, SiOyNx, et les résines époxydes. 22. Procédé de fabrication d'une batterie selon l'une quelconque des revendications 7 à 21, caractérisé en ce que la deuxième couche de recouvrement comprend du 15 parylène N. 23. Procédé de fabrication d'une batterie selon l'une quelconque des revendications 7 à 22, caractérisé en ce que l'épaisseur de la première couche mince de recouvrement est inférieure à 200 nm, de préférence comprise entre 5 nm et 200 nm, et encore plus 20 préférentiellement d'environ 50 nm et l'épaisseur de la deuxième couche de recouvrement est comprise entre 1 pm et 50 pm, de préférence d'environ 10 pm. 24. Procédé de fabrication d'une batterie selon l'une quelconque des revendications 7 à 23, caractérisé en ce que l'épaisseur de la troisième couche mince de recouvrement 25 est comprise entre 1 pm et 50 pm, de préférence inférieure à 10 pm, préférentiellement inférieure à 5 pm et encore plus préférentiellement d'environ 2 pm. 25. Procédé de fabrication d'une batterie selon l'une quelconque des revendications 7 à 24, caractérisé en ce que la couche de matériau d'anode est réalisée à partir d'un 30 matériau choisi parmi : les oxynitrures d'étain (de formule typique SnOxKly) ; le phosphate de fer lithié (de formule typique LiFePO4); les oxynitrures mixtes de silicium et étain (de formule typique SiaSnbOyNx avec 35 a>0, b>0, 0 0, b>0, a+bs2, 0 0, b>0, a+b>0, a+112, 0 0, b>0, a+bs2, 0 26. Procédé selon l'une quelconque des revendications 7 à 25, caractérisé en ce que la 10 couche de matériau d'électrolyte est réalisée à partir de matériau d'électrolyte choisi parmi : 2 Al x - 0 les grenats de formule Lid A (1-04)z OÙ ^ A' représente un cation de degré d'oxydation +II, de préférence Ca, Mg, Sr, Ba, Fe, Mn, Zn, Y, Gd ; et où 15 - g représente un cation de degré d'oxydation +III, de préférence Al, Fe, Cr, Ga, Ti, La ; et où - (T04) représente un anion dans lequel T est un atome de degré d'oxydation +IV, situé au centre d'un tétraèdre formé par les atomes d'oxygène, et dans lequel T04 représente avantageusement l'anion silicate ou zirconate, sachant 20 que tout ou partie des éléments T d'un degré d'oxydation +1V peuvent être remplacés par des atomes d'un degré d'oxydation +111 ou +V, tels que AI, Fe, As, V, Nb, In, Ta; - sachant que : d est compris entre 2 et 10, préférentiellement entre 3 et 9, et encore plus préférentiellement entre 4 et 8; x est de 3 mais peut être compris 25 entre 2,6 et 3,4 (de préférence entre 2,8 et 3,2) ; y est de 2 mais peut être compris entre 1,7 et 2,3 (de préférence entre 1,9 et 2,1) et z est de 3 mais peut être compris entre 2.9 et 3.1; o les grenats, de préférence choisi parmi : le Li7La3Zr2012; le LieLa2BaTa2012 ; le Li6,5La3Nb1,751r10.25012 ; le L15La3M2012 avec M = Nb ou Ta ou un mélange des 30 deux composés ; le Li7_xBaxLa3-xM2012 avec 0ÉxÉ1 et M = Nb ou Ta ou un mélange des deux composés ; le Li7..'La3Zr2_xMx012 avec 0ÉxÉ2 et M = AI, Ga ou Ta ou un mélange de deux ou trois de ces composés ; o les phosphates lithiés, de préférence choisi parmi : le Li3PO4; le Li3(Sc2-xMx)(P003 avec M=A1 ou Y et 0 É x 5 1; le Li1.xMx(Sc)2..x(PO4)3 avec M = AI, Y, Ga ou un 35 mélange des trois composés et 0 x 5 0,8; le 1-11.xMx(Gai-rScy)2-x(PO4)3 avec 0 5 X 5 0,8; 0 É y É 1 et M= Al ou Y ou un mélange des deux composés; le Li1'M,,(Ga)2.',(PO4)3 avec M = Al; Y ou un mélange des deux composés et 0 x 37 0,8 ; le Li1.'Alx112-x(P043 avec 0 SXS 1, ou le Lii.xAlxGe2-x(P003 avec 0 SxS 1 ; ou le Lii,x+zMeei-y-riy)2-xSizP3_z012 avec 05)(50,8 et Osys1,0 & Oszs0,6 et M= Al, Ga ou Y ou un mélange de deux ou trois de ces composés ; le Li3,y(Sc2Mx)QyP3- y012, avec NI = Al et/ou Y et Q = Si et/ou Se, Osxs 0,8 et Os ysl; ou le 5 Lii-Fx-EyMxSc2-xQyP39012, avec M = Al, Y, Ga ou un mélange des trois composés et Q = Si et/ou Se, 0 S xS 0,8 et 0 s y 5 1; ou le Li1+x-FelMx(Ga1-rScy)2-x1:1P3-,012 avec 0 x 0,8 ;Os ysl;Oszs 0,6 avec M = AI ou Y ou un mélange des deux composés et Q= Si et/ou Se; ou Li1+xNxM2-xP3012, avec 0 27. Batterie en couches minces susceptible d'être obtenue par le procédé selon l'une 15 quelconque des revendications 7 à 26. 28. Batterie en couches minces susceptible d'être obtenue par le procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 26, caractérisée en ce que ledit système d'encapsulation revêt totalement quatre des six faces de ladite batterie et 20 partiellement les deux faces restantes latéralement opposées, les dites deux faces restantes étant partiellement revêtues par au moins ladite première couche de recouvrement (31,31') et au moins ladite deuxième couche (32,32') et les dites deux faces restantes comprenant une zone de connexion anodique et une zone de connexion cathodique. 25