Brevet FR3064750A1 — publié le 20181005

La présente invention concerne le domaine technique des capteurs mesurant des forces d'accélération selon trois axes et elle vise plus précisément les accéléromètres triaxiaux piézoélectriques. Le principe de fonctionnement d'un accéléromètre est bien connu. Une 5 masse sismique exerce, sous l'effet de l'accélération, des efforts de compression ou de cisaillement sur un matériau piézoélectrique qui génère alors une charge électrique proportionnelle à la force qui lui est appliquée, en l'occurrence, proportionnelle à l'accélération. D'une manière générale, un tel capteur comporte un élément 10 piézoélectrique possédant un axe de symétrie parallèle à un des axes de mesure. Cet élément piézoélectrique présente un axe de polarisation parallèle à cet axe de mesure. Dans le cas d'un capteur du type à compression, cet élément piézoélectrique est monté en compression entre une masse sismique et un support ou une embase, à l'aide d'une vis assurant 15 la compression de l'élément piézoélectrique et l'assemblage entre la masse sismique et le support. Une électrode est aménagée sur la face de l'élément piézoélectrique en contact avec le support tandis qu'une contre-électrode est aménagée sur la face de l'élément piézoélectrique en contact avec la masse sismique. 20 L'électrode et la contre-électrode sont reliées à un circuit de traitement pour traiter les signaux électriques délivrés par l'électrode et la contre-électrode. En effet, lorsqu'une accélération intervient selon cet axe de mesure dans le sens embase-masse sismique, l'élément piézoélectrique qui est soumis à une compression produit des charges positives sur la contre- 25 électrode. Dans le cas où l'accélération intervient selon cet axe de mesure mais dans le sens opposé masse sismique-embase, l'élément piézoélectrique qui est soumis à une détente produit des charges négatives sur la contre-électrode. Dans l'état de la technique, il est connu de nombreuses solutions 30 d'accéléromètres mettant en oeuvre un tel principe et permettant la mesure de forces d'accélération selon trois axes. Une première catégorie de solutions consiste à utiliser au moins trois éléments piézoélectriques montés pour être 3064 750 2 sensibles aux forces d'accélération selon trois axes. Par exemple, le brevet US 6 038 924 décrit un accéléromètre triaxial comportant trois éléments sensibles décalés angulairement et un circuit logique annulant les forces transverses dans chaque direction à partir des signaux provenant des trois directions. Cette catégorie d'accéléromètres présente une complexité de mise en oeuvre liée notamment aux conditions géométriques de l'assemblage des éléments à respecter. Une deuxième catégorie de solutions consiste à utiliser un seul élément piézoélectrique comportant plusieurs parties polarisées différemment comme proposé par le brevet US 5 052 226 ou comportant plusieurs électrodes et contre-électrodes pour réduire les influences externes électriques ou électromagnétiques comme proposé par le brevet US 5 117 696. Si l'utilisation d'un seul élément piézoélectrique permet de limiter le coût d'un tel capteur, un tel capteur ne permet pas de mesurer les forces d'accélération selon trois axes et ne permet pas de supprimer les efforts transverses parasites. La présente invention vise à remédier aux inconvénients de l'état de la technique en proposant un capteur de conception simple, apte à mesurer des forces d'accélération selon trois axes, ce capteur mettant en oeuvre un élément piézoélectrique tout en permettant de supprimer notamment les efforts transverses parasites. Pour atteindre un tel objectif, l'objet de l'invention concerne un capteur d'accélération triaxial pour mesurer simultanément des forces d'accélération selon un premier axe, un deuxième axe et un troisième axe perpendiculaires 25 entre eux deux à deux, le capteur comportant : - un élément piézoélectrique présentant un axe de révolution parallèle au troisième axe, l'élément piézoélectrique étant monté entre un support et une masse sismique, et présentant un axe de polarisation parallèle à l'axe de révolution ; 30 - une série d'électrodes aménagées sur une face de l'élément piézoélectrique ; 3064750 3 - une contre-électrode aménagée sur une face de l'élément piézoélectrique opposée de celle pourvue des électrodes ; - un circuit de traitement relié aux électrodes et à la contre-électrode pour traiter les signaux électriques de mesure délivrés par les électrodes et la contre-électrode. Selon l'invention : - les électrodes et la contre-électrode sont aménagées d'une part de manière circulaire autour de l'axe de révolution et d'autre part, en vis-à-vis les unes des autres pour constituer au moins trois paires formées chacune 10 d'une électrode et de la contre-électrode situées en vis-à-vis, et délivrant chacune un signal de mesure ; - le circuit de traitement assure la numérisation des signaux de mesure et le traitement des signaux de mesure numérisés pour délivrer : - un signal sensible selon le premier axe, à partir de la combinaison 15 des signaux de mesure numérisés ; - un signal sensible selon le deuxième axe, à partir de la combinaison des signaux de mesure numérisés ; - un signal sensible selon le troisième axe, à partir de la combinaison des signaux de mesure. 20 De plus, le capteur selon l'invention peut présenter en outre en combinaison au moins l'une et/ou l'autre des caractéristiques additionnelles suivantes : - l'élément piézoélectrique est monté en compression entre le support et la masse sismique de manière que les accélérations mesurées soient converties en signaux de mesure grâce à son mode de déformation longitudinale et en ce que l'élément piézoélectrique est réalisé sous la forme d'un disque présentant deux faces planes opposées sur l'une desquelles les électrodes sont aménagées et sur l'autre desquelles est aménagée la contre-électrode ; - l'élément piézoélectrique est monté entre le support et la masse sismique dont le centre de masse est déporté du plan de symétrie de l'élément piézoélectrique normale à son axe de révolution de manière que les 3064750 4 accélérations mesurées soient converties en signaux de mesure grâce à son mode de déformation en cisaillement et en ce que l'élément piézoélectrique est réalisé sous la forme d'un disque présentant deux faces planes opposées reliées entre elles par des faces cylindriques interne et externe sur l'une 5 desquelles les électrodes sont aménagées et sur l'autre desquelles est aménagée la contre-électrode ; - le circuit de traitement affecte lors du traitement de chaque signal de mesure, pour délivrer lors d'une phase d'étalonnage, les signaux sensibles selon les trois axes un ensemble de coefficients correcteurs déterminés 10 préalablement lors d'une phase d'étalonnage ; - la série d'électrodes comporte une première et une deuxième électrodes disposées diamétralement opposées par rapport à l'axe de révolution pour récupérer des charges de l'élément selon le premier axe, et une troisième et une quatrième électrodes disposées diamétralement 15 opposées par rapport à l'axe de révolution pour récupérer des charges de l'élément selon le deuxième axe ; - une électrode annulaire aménagée de manière symétrique autour de l'axe de révolution et en vis-à-vis d'une contre-électrode pour délivrer un signal sensible selon le troisième axe ; 20 - le circuit de traitement comporte en entrée, au moins un circuit de numérisation des signaux délivrés par les électrodes et la contre-électrode ; - l'élément piézoélectrique comporte un empilement de matériaux piézoélectriques ; - l'élément piézoélectrique comporte un empilement de deux 25 matériaux piézoélectriques possédant des axes de polarisation de sens opposé ; - l'embase et la masse sismique sont reliées entre elles par un dispositif assurant la compression de l'élément piézoélectrique. Diverses autres caractéristiques ressortent de la description faite 30 ci-dessous en référence aux dessins annexés qui montrent, à titre d'exemples non limitatifs, des formes de réalisation de l'objet de l'invention, 3064750 5 La Figure 1 est une vue en coupe élévation d'un exemple de réalisation d'un capteur d'accélération triaxial conforme à l'invention, fonctionnant selon un mode de déformation en compression. La Figure 2 est une vue d'un exemple préféré de réalisation des 5 électrodes du capteur d'accélération triaxial conforme à l'invention illustré à la Fig. 1. La Figure 3 est une vue d'un autre exemple de réalisation des électrodes du capteur d'accélération triaxial conforme à l'invention illustré à la Fig. 1. 10 La Figure 4 est une vue en coupe élévation d'un exemple de réalisation d'un capteur d'accélération triaxial conforme à l'invention, fonctionnant selon un mode de déformation en cisaillement. La Figure 5 est une vue en perspective de l'élément piézoélectrique mis en oeuvre pour le capteur illustré à la Fig. 4. 15 La Figure 6 est un schéma synoptique illustrant le traitement des signaux du capteur d'accélération triaxial conforme à l'invention. Tel que cela ressort plus précisément des Figures, l'objet de l'invention concerne un capteur d'accélération 1 adapté pour mesurer simultanément des forces d'accélération selon un premier axe X, un deuxième axe Y et un 20 troisième axe Z perpendiculaires entre eux deux à deux. Le capteur 1 comprend un élément piézoélectrique 2 présentant un axe de polarisation P parallèle au troisième axe Z. Cet élément piézoélectrique 2 comporte un axe de révolution S parallèle au troisième axe Z. Dans l'exemple illustré sur la Fig. 1, l'élément piézoélectrique 2 est réalisé sous la forme d'un disque 25 présentant deux faces planes opposées 2a, 2b s'étendant parallèlement entre elles dans le plan X, Y. L'élément piézoélectrique 2 est pourvu en son centre, d'un passage traversant 3 centré sur l'axe de révolution S. Selon un premier mode de réalisation illustré par les Fig. 1 et 2, cet élément piézoélectrique 2 est monté en compression entre un support ou 30 une embase 5 et une masse sismique 6 selon le mode de déformation longitudinale d33. Dans l'exemple illustré sur les dessins, l'embase 5 et la masse sismique 6 sont reliées entre elles par un dispositif 7 assurant la 3064750 6 compression de l'élément piézoélectrique 2 selon le troisième axe Z. Par exemple, le dispositif de compression est une vis 7 qui prend appui par sa tête 8 sur la masse sismique 6, en étant vissée dans un trou taraudé 9 réalisé dans l'embase 5, en traversant l'élément piézoélectrique 2 par le 5 passage 3. Bien entendu, le montage en compression de l'élément piézoélectrique 2 peut être réalisé de manière différente à l'aide par exemple d'un axe à la place de la vis 7. Classiquement, l'élément piézoélectrique 2 est isolé électriquement de l'embase 5 et de la masse sismique 6. Cet élément piézoélectrique 2 est 10 pourvu sur sa face plane 2a en contact avec le support 5, d'une série d'électrodes A, B, C, D,... et sur sa face plane opposée 2b en contact avec la masse sismique 6, d'une contre-électrode K. Ces électrodes A, B, C, D,... et cette contre-électrode K sont reliées à un circuit de traitement 10 représenté à la Fig. 6, adapté pour acquérir et traiter les signaux électriques Sa, Sb, 15 Sc, Sd, ... délivrés par les électrodes et la contre-électrode, comme cela sera expliqué dans la suite de la description. Conformément à l'invention, les électrodes A, B, C, D,... et la contre-électrode K sont aménagées de manière circulaire autour de l'axe de révolution S et en vis-à-vis ou en regard les unes des autres pour constituer 20 au moins trois, et dans l'exemple illustré à la Fig. 2, quatre paires formées chacune d'une électrode et de la contre-électrode. Pour chacune des paires, une électrode et la contre-électrode sont situées en face l'une de l'autre. Dans l'exemple illustré à la Fig. 2, chaque électrode A, B, C, D présente la forme d'un secteur circulaire s'étendant selon une plage de 25 l'ordre de 900. Ainsi, les électrodes A, B, C, D sont distribuées de manière circulaire autour de l'axe de révolution S. Dans l'exemple illustré, les électrodes A et B sont symétriquement opposées par rapport à l'axe de révolution S parallèle au troisième axe Z, en étant centrées sensiblement selon le premier axe X pour être sensibles principalement à une accélération 30 selon le premier axe X tandis que les électrodes C et D sont symétriquement opposées par rapport à l'axe de révolution S parallèle au troisième axe Z, en étant centrées sensiblement selon le deuxième axe Y pour être sensibles 3064750 7 principalement à une accélération selon le deuxième axe Y. Il est à noter que les électrodes A, B, C, D peuvent être réalisées de manière non symétrique. Chaque électrode A, B, C, D se trouve positionnée en regard de la contre-électrode K réalisée de manière circulaire autour de l'axe de 5 révolution S. Ainsi, chaque électrode A, B, C, D est située en face selon la direction du troisième axe Z, de la contre-électrode K. Il est ainsi formé quatre paires d'électrodes et contre-électrode A-K, B-K, C-K, D-K délivrant chacune un signal de mesure respectivement Sa, Sb, Sc, Sd dans l'exemple illustré. Typiquement, la contre-électrode est une référence commune, 10 comme la masse. Bien entendu, le nombre d'électrodes distribuées de manière circulaire autour de l'axe de révolution S peut être différent de quatre. La Fig. 3 illustre un autre exemple de réalisation dans lequel la série d'électrodes comporte en plus des électrodes A, B, C, D, de la Fig. 2, une 15 électrode annulaire E centrée autour du troisième axe Z et sensible plus précisément à la compression selon le troisième axe Z. Selon cette variante de réalisation, la contre-électrode K comporte en plus, une partie annulaire centrée autour du troisième axe Z et située en face de l'électrode annulaire E. Dans l'exemple illustré, l'électrode annulaire E est située au 20 centre mais elle peut être située aussi à la périphérie des électrodes. Les Fig. 4 et 5 illustrent un deuxième mode de réalisation du capteur pour lequel la masse sismique 6 exerce, sous l'effet de l'accélération, des efforts de cisaillement sur l'élément piézoélectrique 2. Comme expliqué ci-avant, cet élément piézoélectrique 2 présente un axe de polarisation P 25 parallèle au troisième axe Z. Selon ce mode de réalisation, l'élément piézoélectrique 2 est monté entre le support 5 et la masse sismique 6 dont le centre de masse est déporté par rapport au plan de symétrie de l'élément piézoélectrique 2 qui est normal à son axe de révolution S. Compte tenu du déport du centre de masse, les accélérations mesurées sont converties en 30 signaux de mesure Sa, Sb, Sc, Sd, ... grâce à son mode de déformation en cisaillement dis. 3064750 8 L'élément piézoélectrique 2 est réalisé sous la forme d'un disque présentant deux faces planes opposées 2a, 2b reliées entre elles par des faces cylindriques interne 21 et externe 2e centrées sur l'axe de révolution S. L'une des faces cylindriques (à savoir la face cylindrique externe 2e dans 5 l'exemple illustré) est aménagée pour recevoir les électrodes A, B, C, D,... tandis que l'autre des faces cylindriques (à savoir la face cylindrique interne 2i dans l'exemple illustré) est aménagée pour recevoir la contre-électrode K. Chaque électrode A, B, C, D se trouve positionnée en regard de la 10 contre-électrode K réalisée de manière circulaire autour de l'axe de révolution S. Ainsi, chaque électrode A, B, C, D est située en face de la contre-électrode K selon une direction normale à la direction du troisième axe Z. Il est ainsi formé quatre paires d'électrodes et contre-électrode A-K, B-K, C-K, D-K délivrant chacune un signal de mesure respectivement Sa, 15 Sb, Sc, Sd dans l'exemple illustré. Dans l'exemple illustré à la Fig. 5, les électrodes A et B sont symétriquement opposées par rapport à l'axe de révolution S parallèle au troisième axe Z, en étant centrées sensiblement selon le premier axe X pour être sensible principalement à une accélération selon le premier axe X tandis 20 que les électrodes C et D sont symétriquement opposées par rapport à l'axe de révolution S parallèle au troisième axe Z, en étant centrées sensiblement selon le deuxième axe Y pour être sensible principalement à une accélération selon le deuxième axe Y. Il est à noter que les électrodes A, B, C, D peuvent être réalisées de manière non symétrique. 25 Les signaux de mesure Sa, Sb, Sc, Sd sont récupérés par le circuit de traitement 10 qui assure la numérisation de ces signaux de mesure et le traitement des signaux de mesure numérisés pour délivrer : - un signal sensible Sx selon le premier axe X, à partir de la combinaison des signaux de mesure numérisés ; 30 - un signal sensible Sy selon le deuxième axe Y, à partir de la combinaison des signaux de mesure numérisés ; 3064750 g - un signal sensible Sz selon le troisième axe Z, à partir de la combinaison des signaux de mesure numérisés. Le circuit de traitement effectue ainsi un calcul numérique à l'aide d'un choix des signaux de mesure pour obtenir un signal sensible sur chacun des 5 trois axes X, Y, Z. Ainsi, pour l'exemple illustré à la Fig. 2, les électrodes A et B sont affectées à la récupération des charges électriques de l'élément piézoélectrique sensible selon le premier axe X. L'électrode A récupère les charges négatives de compression pour une accélération selon le premier 10 axe X et le sens entrant représenté par la flèche à la Fig. 2. L'électrode B récupère les charges positives de détente pour une accélération selon le premier axe X et le sens entrant représenté par la flèche à la Fig. 2. De manière similaire, les électrodes C et D sont affectées à la récupération des charges électriques de l'élément piézoélectrique sensible 15 selon le deuxième axe Y. L'électrode C récupère les charges négatives de compression pour une accélération selon le deuxième axe Y et le sens entrant représenté par la flèche à la Fig. 2. L'électrode D récupère les charges positives de détente pour une accélération selon le deuxième axe Y et le sens entrant représenté par la flèche à la Fig. 1 Comme expliqué ci- 20 dessus, ces quatre électrodes A, B, C, D, sont combinées avec la contre-électrode K. Dans une réalisation parfaite, pour une accélération purement selon le premier axe X et nulle selon le deuxième axe Y, chaque paire C-K ou D-K d'électrode et contre-électrode reçoit une partie d'effort en compression et 25 une partie d'effort en détente qui engendrent une annulation des charges électriques apparaissant sur ces paires C-K ou D-K d'électrode et de contre-électrode. Le capteur 1 selon l'invention est donc bien uniquement sensible selon le premier axe X, en étant insensible dans le sens transverse à savoir le deuxième axe Y. 30 De manière similaire, pour une accélération purement selon le deuxième axe Y et nulle selon le premier axe X, chaque paire A-K ou B-K d'électrode et contre-électrode reçoit une partie d'effort en compression et 3064750 10 une partie d'effort en détente qui engendrent une annulation des charges électriques apparaissant sur ces paires A-K ou B-K d'électrodes et contre-électrode. Le capteur 1 selon l'invention est donc bien uniquement sensible selon le deuxième axe Y, en étant insensible dans le sens transverse à savoir 5 le premier axe X. Pour une accélération selon un axe quelconque dans le plan formé par le premier axe X et le deuxième axe Y, les charges électriques apparaissent sur les paires d'électrodes et contre-électrodes, affectées au premier axe X et au deuxième axe Y, proportionnellement à la décomposition vectorielle de 10 l'axe d'application de l'accélération, selon les premier et deuxième axes X, Y. D'une manière générale, il apparaît avantageux d'affecter à chaque signal de mesure, un coefficient correcteur permettant de supprimer les influences des efforts transverses parasites ou les défauts d'orientation de l'élément piézoélectrique, des électrodes ou contre-électrode. Cette 15 correction est réalisée lors d'une phase d'étalonnage du capteur pour chacun des trois axes. De façon avantageuse, lors de cette phase d'étalonnage, il peut être envisagé d'ajuster les signaux sensibles selon chaque axe, à une valeur normée. 20 Dans l'exemple d'une réalisation parfaite des capteurs, sans effets transverses parasites ni défauts d'orientation de l'élément piézoélectrique, des électrodes ou contre-électrode, le circuit de traitement 10 illustré à la Fig.6 assure la numérisation des signaux de mesure Sa, Sb, Sc, Sd et assure par exemple, le traitement de ces signaux de mesure numérisés Sa, 25 Sb, Sc, Sd pour délivrer : - un signal sensible Sx selon le premier axe X, obtenu à partir par exemple de la différence entre les premier Sa et deuxième Sb signaux de mesure ; - un signal sensible Sy selon le deuxième axe Y, obtenu à partir par 30 exemple de la différence entre les troisième Sc et quatrième Sd signaux de mesure ; 3064750 11 - un signal sensible Sz selon le troisième axe Z, obtenu à partir de la somme par exemple des premier Sa, deuxième Sb, troisième Sc et quatrième Sd signaux de mesure. Ainsi les signaux sensibles deviennent : 0 - Sa} Sb Sc {Sx1 [1 -1 0 -1 { Sd Sy = 0 0 1 1 Sz 1 1 1 5 Bien entendu, comme expliqué ci-dessus, un ensemble de coefficients correcteur H est avantageusement affecté à chaque signal de mesure Sa, Sb, Sc, Sd, pour compenser les défauts d'orientation et les effets transverses ainsi que potentiellement toutes les imperfections de réalisation du capteur. 10 Avantageusement, lors de cette phase d'étalonnage, le circuit de traitement 10 ajuste les signaux sensibles Sx, Sy et Sz à une valeur normée en multipliant les valeurs par un gain de correction G propre à chaque axe X, Y, Z. Ainsi, de façon plus générale, les signaux sensibles deviennent : Sa} r} [Gx 0 0 - -Fixa Hxb Hxd Sy = 0 Gy 0 Hya Hyb Hyr Hydi fast. Sz 0 0 Gz_ _Hza Hzb Hzr Hzd Sd 15 Tel que cela ressort de la description qui précède, le capteur 1 selon l'invention permet de mesurer les accélérations selon trois axes X, Y, Z, avec un seul élément piézoélectrique 2 utilisé en mode longitudinal d33 ou en mode cisaillement d15, avec possibilité de compensation des effets transverses, des défauts d'orientation de l'élément piézoélectrique 2 ou des 20 électrodes A, B, C, D, ..., ou d'autres défauts de réalisation du capteur, et avec possibilité d'ajustement des sensibilités finales à des valeurs normées. Cette conception est particulièrement intéressante pour garantir une excellente qualité métrologique tout en réduisant le coût du capteur en évitant des montages mécaniques précis. 25 Dans les exemples illustrés aux Fig. 2 et 5, les électrodes et la contre-électrode présentent un profil de secteur circulaire. Bien entendu, la 3064750 12 forme des électrodes et de la contre-électrode peut être différente tout en étant réalisée de manière circulaire. Selon un exemple préféré de réalisation, l'élément piézoélectrique 2 est réalisé par une unique céramique. Selon un autre exemple de réalisation, l'élément piézoélectrique 2 comporte un empilement de matériaux piézoélectriques. Dans le cas d'utilisation avec des transitoires thermiques importants, l'élément piézoélectrique 2 comporte un empilement de deux matériaux piézoélectriques possédant des axes de polarisation de sens opposé. 10 L'invention n'est pas limitée aux exemples décrits et représentés car diverses modifications peuvent y être apportées sans sortir de son cadre. REVENDICATIONS1 - Capteur d'accélération triaxial pour mesurer simultanément des forces d'accélération selon un premier axe (X), un deuxième axe (Y) et un troisième axe (Z) perpendiculaires entre eux deux à deux, le capteur 5 comportant : - un élément piézoélectrique (2) présentant un axe de révolution (S) parallèle au troisième axe (Z), l'élément piézoélectrique (2) étant monté entre un support (5) et une masse sismique (6), et présentant un axe de polarisation (P) parallèle à l'axe de révolution (S) ; 10 - une série d'électrodes (A, B, C, D, E, ...) aménagées sur une face de l'élément piézoélectrique ; - une contre-électrode (K) aménagée sur une face de l'élément piézoélectrique opposée de celle pourvue des électrodes ; - un circuit de traitement (10) relié aux électrodes et à la 15 contre-électrode pour traiter les signaux électriques de mesure (Sa, Sb, Sc, Sd, Se, ...) délivrés par les électrodes et la contre-électrode ; caractérisé en ce que : - les électrodes (A, B, C, D, E, ...) et la contre-électrode (K) sont aménagées d'une part de manière circulaire autour de l'axe de 20 révolution (S) et d'autre part, en vis-à-vis les unes des autres pour constituer au moins trois paires formées chacune d'une électrode et de la contre-électrode situées en vis-à-vis, et délivrant chacune un signal de mesure (Sa, Sb, Sc, Sd, Se,...) ; - le circuit de traitement (10) assure la numérisation des 25 signaux de mesure et le traitement des signaux de mesure numérisés pour délivrer : - un signal sensible (Sx) selon le premier axe (X), à partir de la combinaison des signaux de mesure numérisés ; - un signal sensible (Sy) selon le deuxième axe (Y), à partir 30 de la combinaison des signaux de mesure numérisés ; - un signal sensible (Sz) selon le troisième axe (Z), à partir de la combinaison des signaux de mesure. 3064750 14 2 - Capteur d'accélération triaxial selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément piézoélectrique (2) est monté en compression entre le support (5) et la masse sismique (6) de manière que les accélérations mesurées soient converties en signaux de mesure (Sa, Sb, Sc, Sd, Se,...) grâce à son mode de déformation longitudinale et en ce que l'élément piézoélectrique (2) est réalisé sous la forme d'un disque présentant deux faces planes opposées sur l'une desquelles les électrodes sont aménagées et sur l'autre desquelles est aménagée la contre-électrode. 3 - Capteur d'accélération triaxial selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément piézoélectrique (2) est monté entre le support (5) et la masse sismique (6) dont le centre de masse est déporté du plan de symétrie de l'élément piézoélectrique (2) normale à son axe de révolution (S) de manière que les accélérations mesurées soient converties en signaux de mesure (Sa, Sb, Sc, Sd, Se,...) grâce à son mode de déformation en cisaillement et en ce que l'élément piézoélectrique (2) est réalisé sous la forme d'un disque présentant deux faces planes opposées reliées entre elles par des faces cylindriques interne (2i) et externe (2e) sur l'une desquelles les électrodes sont aménagées et sur l'autre desquelles est aménagée la contre-électrode. 4 - Capteur d'accélération triaxial selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le circuit de traitement affecte lors du traitement de chaque signal de mesure (Sa, Sb, Sc, Sd, Se,...), pour délivrer lors d'une phase d'étalonnage, les signaux sensibles (Sx, Sy, Sz) selon les trois axes (X, Y, Z) un ensemble de coefficients correcteurs déterminés préalablement lors d'une phase d'étalonnage. 5 - Capteur d'accélération triaxial selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la série d'électrodes comporte une première (A) et une deuxième électrodes (B) disposées diamétralement opposées par rapport à l'axe de révolution (S) pour récupérer des charges de l'élément selon le premier axe (X), et une troisième (C) et une quatrième (D) électrodes disposées diamétralement opposées par rapport à l'axe de 3064750 15 révolution (S) pour récupérer des charges de l'élément selon le deuxième axe (Y). 6 - Capteur d'accélération triaxial selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'il comporte une électrode annulaire (E) aménagée de manière symétrique autour de l'axe de révolution et en vis-à-vis d'une contre-électrode pour délivrer un signal sensible selon le troisième axe (Z). 7 - Capteur d'accélération triaxial selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que le circuit de traitement (10) comporte en entrée, au moins un circuit de numérisation des signaux délivrés par les électrodes et la 10 contre-électrode. 8 - Capteur d'accélération triaxial selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que l'élément piézoélectrique (2) comporte un empilement de matériaux piézoélectriques. 9 - Capteur d'accélération triaxial selon la revendication 8, 15 caractérisé en ce que l'élément piézoélectrique (2) comporte un empilement de deux matériaux piézoélectriques possédant des axes de polarisation (P) de sens opposé. 10 - Capteur d'accélération triaxial selon l'une des revendications 1 à 2 et 4 à 9, caractérisé en ce que l'embase (5) et la masse sismique (6) 20 sont reliées entre elles par un dispositif (7) assurant la compression de l'élément piézoélectrique.