Brevet FR3065800A1 — publié le 20181102

RÃ©sonateur configurÃ© pour Ãªtre intÃ©grÃ© Ã un capteur angulaire inertiel DOMAINE La prÃ©sente invention concerne le domaine des capteurs angulaires inertiels vibrants tels qu'un gyromÃ¨tre ou un gyroscope, et plus particuliÃ¨rement des capteurs micro-Ã©lectromÃ©caniques ou MEMS (micro electro-mechanical system en anglais). CONTEXTE Les capteurs angulaires inertiels vibrants de type MEMS sont gÃ©nÃ©ralement classÃ©s en deux familles selon la nature du rÃ©sonateur. 15 Un rÃ©sonateur est une structure physique ayant une rÃ©sonance mÃ©canique Ã une frÃ©quence dite frÃ©quence de rÃ©sonance. Dans la premiÃ¨re famille, le rÃ©sonateur est un corps deformable, gÃ©nÃ©ralement de rÃ©volution (anneau, cylindre, hÃ©misphÃ¨re, disque). Dans la deuxiÃ¨me famille, le rÃ©sonateur est constituÃ© d'une ou 20 plusieurs masses indÃ©formables reliÃ©es Ã un support par des Ã©lÃ©ments Ã©lastiques. La prÃ©sente invention porte tout particuliÃ¨rement sur un rÃ©sonateur appartenant Ã la deuxiÃ¨me famille, et se prÃ©sentant donc sous forme d'un systÃ¨me masse/ressort. Un capteur angulaire inertiel comprend gÃ©nÃ©ralement des 25 actionneurs agencÃ©s pour mettre le rÃ©sonateur en vibration Ã une frÃ©quence de rÃ©sonance donnÃ©e, et des dÃ©tecteurs des dÃ©formations du rÃ©sonateur. Les actionneurs et les dÃ©tecteurs de dÃ©formations sont gÃ©nÃ©ralement montÃ©s entre le rÃ©sonateur et le support. Un capteur angulaire inertiel de type MEMS permet de mesurer une 30 vitesse angulaire (mode gyromÃ¨tre) ou une position angulaire (mode gyroscope). Pour obtenir un capteur inertiel performant, il est important que les caractÃ©ristiques du rÃ©sonateur soient isotropes, c'est-Ã -dire qu'elles soient identiques quelle que soit l'orientation de la vibration du 35 rÃ©sonateur. Autrement dit, il n'y a pas de dÃ©faut de mesure dÃ©pendant de la position angulaire de la vibration. 10 3065800 2 Si l'on prend l'exemple d'un gyroscope dont le rÃ©sonateur prÃ©sente deux modes propres dont les orientations de la vibration sont Ã 90 degrÃ©s, lorsqu'une rotation est appliquÃ©e au support du rÃ©sonateur, le mouvement relatif de la vibration par rapport au 5 rÃ©sonateur est exactement l'opposÃ© de cette rotation. Pour amÃ©liorer la prÃ©cision d'un tel gyroscope, les caractÃ©ristiques de raideur et d'amortissement du rÃ©sonateur doivent Ãªtre isotropes, c'est Ã dire uniformes dans toutes les directions. Pour des rÃ©alisations classiques de capteurs de type MEMS, les prÃ©cisions d'usinage des rÃ©sonateurs ne sont pas suffisantes pour obtenir l'isotropie de raideur requise. Par exemple, pour un rÃ©sonateur dont la frÃ©quence est de l'ordre de 10kHz, l'anisotropie de frÃ©quence obtenue peut atteindre Â±1%, soit Â±100Hz, alors que le besoin fonctionnel pour la rÃ©alisation d'un gyroscope vibrant prÃ©cis nÃ©cessite une anisotropie trÃ¨s infÃ©rieure Ã Â±1Hz. Un objectif consiste Ã proposer une solution de correction de l'anisotropie de frÃ©quence d'un rÃ©sonateur Ã masse suspendue permettant d'obtenir un gyroscope vibrant performant. Un rÃ©sonateur Ã masse suspendue est un type de rÃ©sonateur connu dans le domaine des MEMS. Il comprend au moins un systÃ¨me masse/ressort possÃ©dant deux modes propres orthogonaux dont les frÃ©quences de vibration sont proches, permettant de mesurer les rotations d'axe perpendiculaire au plan de vibration de la masse. La masse suspendue prÃ©sente trois degrÃ©s de libertÃ© dont deux translations et une rotation. La demande brevet franÃ§ais FR 2 983 574 propose une solution permettant d'Ã©quilibrer un capteur angulaire inertiel vibrant tel qu'un gyroscope vibrant en rendant plus stable l'anisotropie d'amortissement du rÃ©sonateur. Le rÃ©sonateur dÃ©crit comprend deux masses concentriques de formes annulaires carrÃ©es. L'Ã©quilibrage repose sur la correction du balourd dynamique rÃ©sultant du dÃ©placement du centre de gravitÃ© global des masses Ã la frÃ©quence de vibration. La correction est obtenue grÃ¢ce Ã une structure mÃ©canique particuliÃ¨re du capteur angulaire inertiel et un ajustement individuel des raideurs des ressorts Ã©lectrostatiques. Les ressorts Ã©lectrostatiques utilisÃ©s ont des directions d'action perpendiculaires aux cotÃ©s des masses ce qui ne 3065800 3 permet pas une compensation de l'anisotropie de frÃ©quence dans toutes les directions. RESUME 5 La prÃ©sente invention propose une solution permettant de rendre le rÃ©sonateur isotrope en raideur dans toutes les directions, et ce par un rÃ©glage essentiellement Ã©lectrique et non mÃ©canique, rendant cette solution avantageusement applicable Ã des capteurs angulaires inertiels 10 pouvant prÃ©senter des structures mÃ©caniques et des formes variables. La prÃ©sente invention porte sur un rÃ©sonateur configurÃ© pour Ãªtre intÃ©grÃ© Ã un capteur angulaire inertiel, ledit rÃ©sonateur comprenant au moins une masse suspendue par des ressorts mÃ©caniques et possÃ©dant un nombre N de paires Pi (2 i N) de ressorts Ã©lectrostatiques, ledit 15 rÃ©sonateur possÃ©dant au moins quatre axes de symÃ©trie S1,S2,S3 et S4, et prÃ©sentant les caractÃ©ristiques suivantes : - chaque paire Pi est constituÃ©e de deux ressorts Ã©lectrostatiques ayant chacun un axe D privilÃ©giÃ© d'action, ces ressorts Ã©lectrostatiques Ã©tant placÃ©s de telle sorte que leurs axes D 20 respectifs forment un angle droit, - pour au moins un ressort Ã©lectrostatique d'une des paires et un ressort Ã©lectrostatique d'une autre paire, l'angle formÃ© par ces deux ressorts Ã©lectrostatiques est Ã©gal Ã un angle prÃ©dÃ©fini. Le rÃ©sonateur peut Ã©galement comporter une ou plusieurs des 25 caractÃ©ristiques suivantes : - l'angle prÃ©dÃ©fini est prÃ©fÃ©rentiellement de 45 degrÃ©s, - chaque paire Pi est symÃ©trique d'au moins une autre paire Pj (avec j# i) par rapport Ã au moins l'un des axes de symÃ©trie S1,S2,S3,S4 du rÃ©sonateur, 30 - chaque ressort Ã©lectrostatique forme un angle alpha=90/N degrÃ©s avec au moins deux des quatre axes de symÃ©trie S1,S2,S3 et 54 du rÃ©sonateur. - dans le cas oÃ¹ N est strictement supÃ©rieur Ã deux, chaque ressort de chaque paire Pi est symÃ©trique d'au moins deux 35 ressorts d'autres paires, respectivement par rapport Ã l'un des axes de symÃ©tries S1,S2,S3,S4 du rÃ©sonateur, 3065800 4 - dans le cas oÃ¹ N est strictement supÃ©rieur Ã deux, chaque paire Pi est symÃ©trique de deux autres paires PJ,Pk (avec j# i, k # et k # j) respectivement par rapport Ã deux des axes de symÃ©tries S1,S2,S3,S4 du rÃ©sonateur, 5 - dans le cas oÃ¹ N est strictement supÃ©rieur Ã deux, chaque ressort de chaque paire Pi est symÃ©trique de quatre ressorts d'autres paires, respectivement par rapport Ã l'un des axes de symÃ©tries S1,S2,S3,S4 du rÃ©sonateur. L'invention propose en deuxiÃ¨me lieu un capteur angulaire inertiel 10 comprenant un support, et un rÃ©sonateur tel que dÃ©crit ci-dessus dont l'au moins une masse est reliÃ©e au support par les N paires de ressorts Ã©lectrostatiques et par des ressorts mÃ©caniques. Le capteur angulaire inertiel peut comporter une ou plusieurs des caractÃ©ristiques suivantes : 15 le capteur angulaire inertiel comprend une masse intÃ©rieure et une masse extÃ©rieure couplÃ©es entre elles par des ressorts de couplage, ces masses Ã©tant chacune reliÃ©e au support par des ressorts mÃ©caniques, et chacune reliÃ©e au support par un nombre N de ressorts Ã©lectrostatiques. 20 la masse extÃ©rieure est de forme annulaire sensiblement carrÃ©e. les masses intÃ©rieure et extÃ©rieure ont les mÃªmes axes de symÃ©trie. L'invention propose en troisiÃ¨me lieu un procÃ©dÃ© de correction de la raideur d'un rÃ©sonateur intÃ©grÃ© dans un capteur angulaire inertiel tel 25 que dÃ©crit ci-dessus comprenant des Ã©tapes de : - mesure des frÃ©quences de vibration du rÃ©sonateur pour diffÃ©rentes orientations de la vibration, au moyen de capteurs de dÃ©formations, - dÃ©termination, Ã partir de ces mesures, du dÃ©faut de raideur Ku 30 du rÃ©sonateur, - calcul Ã partir du dÃ©faut de raideur Ku, des tensions Ã appliquer sur une sÃ©lection de ressorts, - application des tensions calculÃ©es sur la sÃ©lection de ressorts, rÃ©itÃ©ration des Ã©tapes prÃ©cÃ©dentes si l'anisotropie de frÃ©quence 35 de vibration du rÃ©sonateur est supÃ©rieure Ã une valeur d'anisotropie de frÃ©quence seuil. 3065800 5 Selon un mode prÃ©fÃ©rÃ© de rÃ©alisation de ce procÃ©dÃ©, la valeur d'anisotropie de frÃ©quence seuil est de 1Hz. L'invention sera mieux comprise et d'autres dÃ©tails, caractÃ©ristiques et avantages de l'invention apparaÃ®tront Ã la lecture de 5 la description suivante faite Ã titre d'exemple non limitatif en rÃ©fÃ©rence aux dessins. BREVE DESCRIPTION DES DESSINS 10 La FIG.1 est un exemple de rÃ©sonateur Ã masse suspendue. La FIG.2 est une illustration sous forme de schÃ©ma simplifiÃ© d'un ressort Ã©lectrostatique. La FIG.3 est une illustration d'un exemple de mode de rÃ©alisation de l'invention avec quatre ressorts Ã©lectrostatiques. 15 La FIG.4 est une illustration d'un motif formÃ© par huit ressorts Ã©lectrostatiques, selon un exemple de mode de rÃ©alisation de la prÃ©sente invention. La FIG.5 est une illustration d'un rÃ©sonateur Ã masse suspendue selon un exemple de mode de rÃ©alisation de la prÃ©sente invention. 20 La FIG.6 est une illustration d'un rÃ©sonateur Ã masse suspendue selon un exemple de mode de rÃ©alisation de la prÃ©sente invention. La FIG.7 est une illustration d'un capteur inertiel Ã©quipÃ© d'un rÃ©sonateur selon un exemple de mode de rÃ©alisation. La FIG.8 est une illustration d'un capteur inertiel Ã©quipÃ© d'un 25 rÃ©sonateur selon un exemple de mode de rÃ©alisation. DESCRIPTION DETAILLEE La prÃ©sente invention porte sur un rÃ©sonateur 1 destinÃ© Ã Ãªtre 30 intÃ©grÃ© dans un capteur angulaire inertiel 2, par exemple de type MEMS. Nous nous rÃ©fÃ©rons dans un premier temps Ã la FIG.1 illustrant un exemple de rÃ©sonateur Ã masse 3 suspendue sur un support 4. Celui-ci comprend au moins une masse 3 vibrante suspendue au moyen d'au 35 moins deux ressorts mÃ©caniques 5 orthogonaux. La masse 3 suspendue prÃ©sente trois degrÃ©s de libertÃ© soit deux translations sur les axes X et 3065800 6 Y et une rotation autour de l'axe Z orthogonal aux axes X et Y. A tout ressort mÃ©canique correspond une certaine raideur. En parallÃ¨le des ressorts mÃ©caniques 5, sont placÃ©s des ressorts Ã©lectrostatiques 50 dont le principe de fonctionnement est donnÃ© en 5 FIG.2. La FIG.2 est une illustration sous forme de schÃ©ma simplifiÃ© d'un ressort Ã©lectrostatique. Comme illustrÃ© dans la FIG.2, un ressort Ã©lectrostatique est constituÃ© d'au moins deux surfaces parallÃ¨les 6 et 7 formÃ©es par une Ã©lectrode fixe 8 et une Ã©lectrode mobile 9 dont 10 l'entrefer e, c'est Ã dire l'interstice entre les deux surfaces, varie sous l'effet de la vibration. Le dÃ©placement de l'Ã©lectrode mobile se fait suivant un axe de dÃ©formation privilÃ©giÃ© D du ressort 50. Une attraction Ã©lectrostatique entre les deux surfaces 6 et 7 se manifeste par une force Ã©lectrostatique F appliquÃ©e sur l'Ã©lectrode mobile 9. Une tension 15 continue V est appliquÃ©e entre les deux surfaces. Cette tension V gÃ©nÃ¨re une raideur nÃ©gative qui s'additionne Ã la raideur mÃ©canique du ressort mÃ©canique de faÃ§on Ã constituer la raideur totale du ressort Ã©quivalent. Le ressort 50 reprÃ©sentÃ© dans la FIG.2 est une version simplifiÃ©e. 20 En effet, les Ã©lectrodes 8 et 9 peuvent Ã©galement avoir une forme de peignes inter-digitÃ©s en silicium par exemple. Le principe de fonctionnement reste le mÃªme que prÃ©cÃ©demment. Un objectif de la prÃ©sente invention est de contrÃ´ler la frÃ©quence de la vibration du rÃ©sonateur 1 par un ajustement des raideurs des 25 ressorts Ã©lectrostatiques 50. Une analyse thÃ©orique montre que le dÃ©faut de raideur Ku d'un rÃ©sonateur constituÃ© d'une masse suspendue tel que reprÃ©sentÃ© en FIG.1 est une fonction dont la variable est le double de la position angulaire 0 de la vibration, mesurÃ©e autour de l'axe perpendiculaire au 30 plan dans lequel se dÃ©place la masse 3. Cette fonction est illustrÃ©e par l'Ã©quation (1) : Ku (0) = k(1 + ak cos(20)) (1) OÃ¹ ak est le demi Ã©cart relatif des raideurs Kx -raideur dans la direction X- et Ky -raideur dans la direction Y ;k est la valeur moyenne 35 des raideur Kx et Ky . 3065800 7 Dans les cas particulier oÃ¹ 0 vaut 0 degrÃ©s, le dÃ©faut de raideur Ku peut Ãªtre exprimÃ© par l'Ã©quation (2), et dans le cas oÃ¹ 0 vaut 90 degrÃ©s, Ku peut Ãªtre exprimÃ© par l'Ã©quation (3): Ku(0)= k(1 + 8k) = Kx (2) 5 Ku(90) = k(1- 8k) = Ky (3) L'angle 0 est l'angle entre la direction de dÃ©placement de la masse 3 et l'axe X du plan (X,Y) dans lequel se dÃ©place la masse 3. Il permet de dÃ©finir l'orientation initiale du dÃ©faut de raideur Ku. 10 Les dÃ©fauts d'orientation des ressorts mÃ©caniques 5 de la FIG.1 et/ou l'utilisation de ressorts 5 sur deux axes introduisent une composante sin(20). Les ressorts Ã©lectrostatiques 50 doivent donc Ãªtre positionnÃ©s sur le rÃ©sonateur 1 de faÃ§on Ã pouvoir compenser le dÃ©faut de raideur 15 quelle que soit son orientation initiale, donc quel que soit l'angle 0. Cela conduit Ã la nÃ©cessitÃ© de pouvoir compenser Ã la fois les composantes cosinus cos(20) et sinus sin(20) du dÃ©faut de raideur Ku. La raideur Ku Ã©tant une fonction de variable 20, le passage d'une composante cosinus Ã une composante sinus est rÃ©alisÃ© par une 20 rotation physique de 45 degrÃ©s. Or, les ressorts Ã©lectrostatiques 50 ne permettent de crÃ©er que des raideurs nÃ©gatives. Pour cette raison, au moins une paire P de ressorts Ã©lectrostatiques 50 dont les axes de dÃ©formation forment un angle droit est nÃ©cessaire pour augmenter ou diminuer la raideur Kx ou Ky. 25 La FIG.3 est une illustration d'un exemple de mode de rÃ©alisation d'un rÃ©sonateur avec quatre ressorts Ã©lectrostatiques. Dans le cas de la FIG.3, le rÃ©sonateur 2 comprend deux paires de ressorts Ã©lectrostatiques 50 dÃ©calÃ©es d'un angle diffÃ©rent de 0 et 90 degrÃ©s par rapport Ã l'axe X, soit deux paires P1 et P2 de ressorts Ã©lectrostatiques 30 50 dÃ©calÃ©s deux Ã deux par exemple de 45 degrÃ©s, chaque paire Ã©tant constituÃ©e de deux ressorts 50 dont les axes privilÃ©giÃ©s D d'action forment un angle droit, comme l'illustre la FIG.3. Pour simplifier la reprÃ©sentation des ressorts 50 dans leurs positions et orientations respectives, chaque ressort 50 est reprÃ©sentÃ© par une flÃ¨che. Cette 35 configuration permet des compensations indÃ©pendantes des composantes sinus et cosinus. Il est prÃ©vu de pouvoir utiliser quatre 3065800 8 ressorts Ã©lectrostatiques dont chacun forme respectivement un angle a- fi, a+ fl,a- fi + 90 et a+ fi + 90 avec l'axe X, avec 0 2,1 i N) de ressorts 50 suivant la forme du rÃ©sonateur 1, rÃ©guliÃ¨rement espacÃ©s d'un angle 25 identique. Un exemple de rÃ©alisation comportant avantageusement huit ressorts Ã©lectrostatiques 50 est illustrÃ© dans les FIG.4, FIG.5 et FIG.6, correspondant Ã quatre paires notÃ©es P1,P2,P3 et P4. La FIG.4 est une illustration d'un motif formÃ© par huit ressorts Ã©lectrostatiques, selon un exemple de mode de rÃ©alisation de la 30 prÃ©sente invention. Selon ce mode de rÃ©alisation, les huit ressorts Ã©lectrostatiques 50 sont espacÃ©s de 45 degrÃ©s et dÃ©finissent ensemble un motif 10 dont l'orientation par rapport aux axes de symÃ©trie S1,S2,S3 et S4 du rÃ©sonateur 1 est libre, ce qui conduit Ã un grand nombre de topologies possibles. 35 Pour un rÃ©sonateur dont la forme est carrÃ©e, comme l'illustre la FIG.5, une orientation prÃ©fÃ©rentielle est obtenue en tournant le motif de 3065800 9 la FIG.4 d'un angle de 22,5 degrÃ©s, ce qui conduit Ã un angle constant de 22,5 degrÃ©s entre chaque ressort Ã©lectrostatique 5 et deux des quatre axes de symÃ©trie (S1,S2,S3 et S4) du rÃ©sonateur 1. Dans la FIG.5, les ressorts Ã©lectrostatiques 50 dÃ©finissent un motif notÃ© 10.1. Dans 5 cette configuration, les ressorts 50 sont positionnÃ©s de telle sorte qu'ils puissent Ãªtre regroupÃ©s en un nombre N de paires Pi (oÃ¹ 2, 21 iN,) de ressorts 50 dont les axes privilÃ©giÃ©s D d'action forment un angle droit, et de tel sorte que chaque ressort 50 forme un angle de 90/N degrÃ©s avec au moins deux des axes de symÃ©trie du rÃ©sonateur 1. 10 D'autre part, Ã partir du motif 10.1 de la FIG.5, il est possible de permuter -pour chacun des cÃ´tÃ©s C1,C2,C3 et C4 du rÃ©sonateur 1- deux ressorts 50, ce qui conduit au motif 10.2 de la FIG.6. Le motif 10.2 est dÃ©fini par l'ensemble des ressorts Ã©lectrostatiques 50 de la FIG.6. Chaque motif 10.1 et 10.2 fournit une topologie des ressorts 50, 15 indiquant leurs positions et orientations relatives. Ainsi, le rÃ©sonateur 1 comprend au moins une masse 3, un nombre N de paires Pi (N > 2, 1 de ressorts Ã©lectrostatiques 50, et au moins quatre axes de symÃ©trie S1,S2,S3 et 54. Dans les exemples de rÃ©alisation illustrÃ©s dans les FIG.5 et FIG.6, N vaut quatre (N=4). 20 Les modes de rÃ©alisation du rÃ©sonateur 1, illustrÃ©s dans les FIG.5 et FIG.6 prÃ©sentent les caractÃ©ristiques communes suivantes : - chaque paire Pi est constituÃ©e de deux ressorts Ã©lectrostatiques 50 ayant chacun un axe D privilÃ©giÃ© d'action, ces ressorts Ã©lectrostatiques 50 Ã©tant placÃ©s de telle sorte que leurs axes D 25 respectifs forment un angle droit, - pour au moins un ressort d'une des paires et un ressort d'une autre paire, l'angle formÃ© par ces deux ressorts est Ã©gal Ã un angle prÃ©dÃ©terminÃ©, et par exemple de 45 degrÃ©s. - chaque paire Pi est symÃ©trique d'au moins une autre paire Pi 30 (avec j# i) par rapport Ã au moins l'un des axes de symÃ©trie S1,S2,S3,S4 du rÃ©sonateur 1, - chaque ressort 50 de chaque paire Pi est symÃ©trique d'au moins deux ressorts 50 d'autres paires, respectivement par rapport Ã l'un des axes de symÃ©tries S1,S2,S3,S4 du rÃ©sonateur 1. 35 Le mode de rÃ©alisation du rÃ©sonateur 1, prÃ©sentÃ© en FIG.5 prÃ©sente les caractÃ©ristiques particuliÃ¨res suivantes : 3065800 10 - chaque paire Pi est symÃ©trique de deux autres paires PJ,Pk (avec k # i, et k # j) respectivement par rapport Ã deux des axes de symÃ©tries S1,S2,S3,S4 du rÃ©sonateur 1, - chaque ressort 50 de chaque paire Pi est symÃ©trique de quatre 5 ressorts 50 d'autres paires, respectivement par rapport Ã l'un des axes de symÃ©tries S1,S2,S3,S4 du rÃ©sonateur 1. - chaque ressort 50 de chaque paire Pi forme un angle alpha=90/N degrÃ©s avec au moins deux des quatre axes de symÃ©trie du rÃ©sonateur 1. 10 Les modes de rÃ©alisation du rÃ©sonateur 1 prÃ©sentÃ©s en FIG.5 et FIG.6 permettent une compensation tous azimuts (dans toutes les directions) de l'anisotropie de frÃ©quence du rÃ©sonateur 1. La prÃ©sente invention prÃ©voit Ã©galement un capteur angulaire inertiel 2 Ã©quipÃ© d'un rÃ©sonateur 1 tel que dÃ©crit prÃ©cÃ©demment. Ce capteur angulaire inertiel 15 2 comprend un support 4, et un rÃ©sonateur 1 dont la/les masse(s) 3 est/sont reliÃ©e(s) au support par les N paires de ressorts Ã©lectrostatiques et par des ressorts mÃ©caniques 5. Selon un mode de rÃ©alisation illustrÃ© en FIG.7, le capteur 2 comporte deux masses concentriques 3.1 (masse intÃ©rieure) et 3.2 20 (masse extÃ©rieure) chacune reliÃ©e par des ressorts mÃ©caniques 5 - chacun constituÃ© ici de deux lames flexibles positionnÃ©es Ã 90 degrÃ©s-Ã un support 4. Des ressorts de couplage 11 relient les deux masses 3.1 et 3.2 entre elles. Des ressorts Ã©lectrostatiques 50 sont montÃ©s entre chaque masse 3.1 et 3.2 et le support 4. Chaque masse 3.1 et 3.2 25 dispose de trois degrÃ©s de libertÃ© dans le plan, Ã savoir deux translations selon les axes X et Y et une rotation selon un axe normal au plan formÃ© par les axes X et Y. Les masses 3.1 et 3.2 ont des axes de symÃ©trie confondus, formant les axes de symÃ©trie S1,S2,S3,S4 du capteur 2, lesdites masses possÃ©dant 30 des frÃ©quences propres identiques. Un mode de vibration utilisÃ© correspond Ã des dÃ©placements en opposition des deux masses. Cette vibration peut avoir une orientation quelconque. Pour chacune des masses 3.1 et 3.2, une topologie de ressorts Ã©lectrostatiques 50 telle que celle dÃ©crite par le motif 10.2 de la FIG.6 a Ã©tÃ© utilisÃ©e. 35 Dans l'exemple de mode de rÃ©alisation de la FIG.7, il y a quatre paires de ressorts Ã©lectrostatiques 50 pour chaque masse suspendue 3065800 11 3.1 et 3.2. Selon un mode prÃ©fÃ©rÃ© de rÃ©alisation, les masses 3.1 et 3.2 sont de formes annulaires sensiblement carrÃ©es. Cependant, cela n'est pas une obligation pour la masse intÃ©rieure 3.1 qui peut Ãªtre carrÃ©e et pleine. 5 Dans la FIG.8, est reprÃ©sentÃ© un autre mode de rÃ©alisation d'un capteur angulaire inertiel 2 dans lequel la topologie de ressorts Ã©lectrostatiques 50 utilisÃ©e est dÃ©crite par le motif 10.1 de la FIG.5. Par ailleurs, il est possible, selon un autre mode de rÃ©alisation possible, d'employer une topologie de ressorts dÃ©fini par un motif diffÃ©rent pour 10 chaque masse 3.1 et 3.2, par exemple le motif 10.1 pour la masse 3.1 et le motif 10.2 pour la masse 3.2 ou l'inverse. Dans le mode de rÃ©alisation du capteur 2 de la FIG.7, le rÃ©sonateur 1 comprend deux systÃ¨mes masses/ressorts, le premier systÃ¨me comprenant la masse 3.1 et des ressorts mÃ©caniques 5 15 associÃ©s, et le deuxiÃ¨me systÃ¨me comprenant la masse 3.2 et des ressorts mÃ©caniques 5 associÃ©s. Les ressorts Ã©lectrostatiques 50 peuvent avantageusement prÃ©senter une structure sous forme d'Ã©lectrodes en peignes dont les dents sont intercalÃ©es les unes entre les autres. Les peignes des 20 ressorts Ã©lectrostatiques 50 ont un mode de fonctionnement Ã entrefer variable. La prÃ©sente invention prÃ©voit Ã©galement un procÃ©dÃ© de correction de la raideur du rÃ©sonateur 1 intÃ©grÃ© dans un capteur angulaire inertiel tel que dÃ©crit prÃ©cÃ©demment, et comportant les Ã©tapes de : 25 - mesure de la frÃ©quence de vibration du rÃ©sonateur pour diffÃ©rentes orientations de la vibration, au moyen de capteurs 12 de dÃ©formation placÃ©s entre les blocs de ressorts Ã©lectrostatiques 50, comme illustrÃ© dans les FIG.7 et FIG.8. - dÃ©termination, Ã partir de ces mesures, de l'amplitude de 30 l'anisotropie et de son orientation, i.e. le dÃ©faut de raideur Ku du rÃ©sonateur, - calcul des tensions Ã appliquer sur certains ressorts pour compenser les composantes sinus et cosinus du dÃ©faut de raideur du rÃ©sonateur, 35 - si l'anisotropie de frÃ©quence de vibration du rÃ©sonateur est supÃ©rieure Ã une valeur prÃ©dÃ©terminÃ©e, prÃ©fÃ©rentiellement de 1Hz, les Ã©tapes prÃ©cÃ©dentes sont rÃ©itÃ©rÃ©es. 3065800 12 La procÃ©dure ci-dessus permet de rendre isotrope en raideur, par un rÃ©glage Ã©lectrique et non un rÃ©glage mÃ©canique un rÃ©sonateur 1 destinÃ© Ã Ãªtre intÃ©grÃ© dans un capteur angulaire inertiel 2 sous forme d'un systÃ¨me masses/ressorts. 5 REVENDICATIONS1. RÃ©sonateur (1) configurÃ© pour Ãªtre intÃ©grÃ© Ã un capteur angulaire inertiel (2), ledit rÃ©sonateur (1) comprenant au moins une masse (3) suspendue par des ressorts mÃ©caniques (5) , un nombre N de paires Pi (2 i N) de ressorts Ã©lectrostatiques (50), ledit rÃ©sonateur (1) dÃ©finissant au moins quatre axes de symÃ©trie S1,S2,S3 et S4, caractÃ©risÃ© en ce que : - chaque paire Pi est constituÃ©e de deux ressorts Ã©lectrostatiques (50) ayant chacun un axe D privilÃ©giÃ© d'action, ces ressorts Ã©lectrostatiques (50) Ã©tant placÃ©s de tel sorte que leurs axes D respectifs forment un angle droit, - pour au moins un ressort d'une des paires et un ressort d'une autre paire, l'angle formÃ© par ces deux ressorts est Ã©gal Ã un angle prÃ©dÃ©fini. 2. RÃ©sonateur (1) selon la revendication 1, caractÃ©risÃ© en ce que l'angle prÃ©dÃ©fini est de 45 degrÃ©s. 3. RÃ©sonateur (1) selon l'une des revendications prÃ©cÃ©dentes, caractÃ©risÃ© en ce que chaque paire Pi est symÃ©trique d'au moins une autre paire Pi (avec i) par rapport Ã au moins l'un des axes de symÃ©trie S1,S2,S3,S4 du rÃ©sonateur (1), 4. RÃ©sonateur (1) selon l'une des revendications prÃ©cÃ©dentes, caractÃ©risÃ© en ce que chaque ressort (50) de chaque paire Pi forme un angle alpha=90/N degrÃ©s avec au moins deux des quatre axes de symÃ©trie S1,S2,S3 et 54 du rÃ©sonateur (1). 5. Capteur angulaire inertiel (2) comprenant un support (4), caractÃ©risÃ© en ce qu'il comprend un rÃ©sonateur (1) selon l'une quelconque des revendications prÃ©cÃ©dentes dont l'au moins une masse (3) est reliÃ©e au support par les N paires de ressorts Ã©lectrostatiques (50) et par des ressorts mÃ©caniques (5). 6. Capteur angulaire inertiel (2) selon la revendication 5, caractÃ©risÃ© en ce qu'il comprend une masse intÃ©rieure (3.1) et une masse extÃ©rieure (3.2) couplÃ©es entre elles par des ressorts de couplage (11), ces masses (3.1) et (3.2) Ã©tant chacune reliÃ©e au support (4) par des ressorts mÃ©caniques (5), et chacune reliÃ©e au support (4) par un nombre N de ressorts Ã©lectrostatiques (5). 3065800 14 7. Capteur angulaire inertiel (2) selon la revendication 6 caractÃ©risÃ© en ce que la masse extÃ©rieure (3.2) est de forme annulaire sensiblement carrÃ©e. 8. Capteur angulaire inertiel (2) selon la revendication 6 ou 7 5 caractÃ©risÃ© en ce que les masses (3.1) et (3.2) ont les mÃªmes axes de symÃ©trie. 9. ProcÃ©dÃ© de correction de la raideur d'un rÃ©sonateur (1) intÃ©grÃ© dans un capteur angulaire inertiel (2) selon l'une des revendications 5 Ã 8, comprenant des Ã©tapes de : 10 - mesure des frÃ©quences de vibration du rÃ©sonateur (1) pour diffÃ©rentes orientations de la vibration, au moyen de capteurs (12) de dÃ©formations, - dÃ©termination, Ã partir de ces mesures, du dÃ©faut de raideur Ku du rÃ©sonateur (1), 15 - calcul Ã partir du dÃ©faut de raideur Ku, des tensions Ã appliquer sur une sÃ©lection de ressorts (50), - application des tensions calculÃ©es sur la sÃ©lection de ressorts (50), - rÃ©itÃ©ration des Ã©tapes prÃ©cÃ©dentes si l'anisotropie de frÃ©quence 20 de vibration du rÃ©sonateur (1) est supÃ©rieure Ã une valeur d'anisotropie de frÃ©quence seuil. 10. ProcÃ©dÃ© selon la revendication 9, caractÃ©risÃ© en ce que la valeur d'anisotropie de frÃ©quence seuil est de 1Hz. 25