Brevet FR3066282A1 — publié le 20181116

B15703 - 16-GR3-0559 1 DIVISEUR DE SIGNAL OPTIQUE Domaine La présente demande concerne le domaine des dispositifs optiques ou optoélectroniques, en particulier des puces optiques ou optoélectroniques, et concerne plus particulièrement 5 un diviseur de signal optique. Exposé de l'art antérieur Dans des applications de communication optique ou d'optique numérique, des puces optiques ou optoélectroniques sont utilisées pour recevoir ou transmettre des informations 10 sous forme de signal optique. La longueur d'onde du signal optique correspond à une valeur standard, par exemple de 1310, 1490 ou 1550 nm. Dans la puce, le signal circule dans un guide d'onde intégré à la puce, typiquement sur un substrat de silicium. Après réception ou avant transmission, il peut être 15 souhaitable de diviser le signal optique en plusieurs signaux circulant dans plusieurs guides d'onde. La figure 1 correspond à la figure 2 de la demande de brevet US 2014/0169740, et représente un diviseur 100 d'un signal optique IN. 20 Le diviseur 100 comprend deux guides d'onde 102A et 102B. Dans une partie centrale 104, les guides d'onde sont plus proches l'un de l'autre que dans le reste du diviseur, et sont 3066282 B15703 - 16-GR3-0559 2 couplés optiquement du fait de leur proximité. De part et d'autre de la partie centrale, les guides d'onde comportent des portions 106 courbées chacune successivement dans deux sens opposés. Les portions 106 éloignent les guides d'onde l'un de l'autre jusqu'à des portions 108 rectilignes découplées optiquement. Un signal optique IN entre par le guide d'onde 102A et est divisé en deux signaux OUTA et OUTB sortant par les deux guides d'onde. La configuration des guides d'onde est prévue pour que l'intensité du signal IN soit également répartie entre les signaux OUTA et OUTB. En pratique, la configuration du diviseur ne correspond pas exactement à celle prévue, du fait de l'imprécision et de la variabilité du procédé de fabrication. Les signaux obtenus OUTA et OUTB n'ont alors pas des intensités égales. L'écart entre les intensités souhaitées et obtenues peut être différent pour divers diviseurs réalisés simultanément par un même procédé de fabrication, ou pour divers diviseurs réalisés par diverses mises en oeuvre d'un même procédé de fabrication. La demande de brevet susmentionné décrit, en relation avec sa figure aA, une solution pour résoudre ce problème. Cette solution présente divers inconvénients, tels que des problèmes d'encombrement et de pertes de l'intensité du signal optique, ainsi que des problèmes de mise en oeuvre et de sensibilité à l'imprécision du procédé de fabrication. Par ailleurs, la longueur d'onde du signal optique peut varier autour de la valeur standard, typiquement de plus ou moins 10 nm. La répartition d'intensité entre les signaux OUTA et OUTB dépend de la longueur d'onde, et il en résulte, dans les diviseurs de signal optique connus, un écart supplémentaire entre les intensités souhaitées et obtenues. On obtient typiquement une répartition de 45 %/55 %, au lieu des 50 %/50 % prévus. Résumé Un mode de réalisation prévoit de pallier tout ou 35 partie des inconvénients décrits ci-dessus. 3066282 B15703 - 16-GR3-0559 3 Ainsi, un mode de réalisation prévoit un diviseur de signal optique comprenant deux guides d'onde de part et d'autre d'un axe, dans lequel chaque guide d'onde comporte des premier et deuxième tronçons plus proches de l'axe que le reste du guide 5 d'onde, les premiers tronçons des deux guides d'onde étant couplés optiquement et les deuxièmes tronçons des deux guides d'onde étant couplés optiquement ; chaque guide d'onde comprend entre le premier et le deuxième tronçon, à partir du premier tronçon une première portion courbée comportant successivement 10 une courbure dont la concavité est tournée du côté opposé à l'axe puis une courbure dont la concavité est tournée vers l'axe, et à partir du deuxième tronçon une deuxième portion courbée comportant successivement une courbure dont la concavité est tournée du côté opposé à l'axe puis une courbure dont la 15 concavité est tournée vers l'axe ; et les premières portions courbées des deux guides d'onde sont courbées différemment. Selon un mode de réalisation, à partir des premiers tronçons des deux guides d'onde, les premières portions courbées des deux guides d'onde s'éloignent de l'axe (204) jusqu'à des 20 distances à l'axe différentes. Selon un mode de réalisation, lesdites distances à l'axe ont une différence comprise entre 15 et 40 nm. Selon un mode de réalisation, l'un au moins des deux guides d'onde comprend une portion rectiligne entre les première 25 et deuxième portions courbées. Selon un mode de réalisation, les portions courbées sont à rayon de courbure variant continûment et ont des extrémités droites. Selon un mode de réalisation, les courbures des 30 portions courbées comprennent chacune une portion de courbe de Bézier d'ordre 3 dont le point de contrôle de départ est une des extrémités de la courbure et dont les deux points de contrôle intermédiaires sont confondus et situés sur un axe tangent à la courbure au point de contrôle de départ. 3066282 B15703 - 16-GR3-0559 4 Selon un mode de réalisation, chaque courbure comprend en outre un arc de cercle qui se raccorde à la courbe de Bézier en suivant la courbure de la courbe de Bézier ; et chaque courbure est symétrique par rapport à l'axe de symétrie de l'arc 5 de cercle. Selon un mode de réalisation, chaque guide d'onde est symétrique par rapport à un axe supplémentaire orthogonal audit axe (204). Selon un mode de réalisation, chacune des portions 10 courbées est symétrique par rapport à son centre. Selon un mode de réalisation, les guides d'onde sont en silicium entouré d'oxyde silicium. Selon un mode de réalisation, les guides d'ondes comprennent chacun, sur un ruban d'épaisseur comprise entre 110 15 et 130 nia, une nervure centrale de largeur comprise entre 310 et 330 rua, l'épaisseur du guide d'onde étant comprise entre 300 et 320 nia. Selon un mode de réalisation, la longueur d'onde du signal optique est de de 1310, 1490 ou 1550 nia. 20 Un mode de réalisation prévoit une puce de communica- tion optique comprenant un diviseur tel que ci-dessus. Brève description des dessins Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes 25 de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la figure 1, décrite précédemment, représente un diviseur de signal optique ; la figure 2A est une vue de dessus schématique d'un 30 mode de réalisation d'un diviseur de signal optique ; les figures 2B et 2C sont des exemples de vues en coupe schématiques du diviseur de signal optique de la figure 2A ; la figure 3 est une vue de dessus schématique d'un 35 autre mode de réalisation d'un diviseur de signal optique ; et 3066282 B15703 - 16-GR3-0559 5 la figure 4 est une vue de dessus schématique d'un exemple de courbure d'un guide d'onde d'un mode de réalisation d'un diviseur de signal optique. Description détaillée 5 De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes réfé- rences dans les différentes figures et, de plus, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle. Par souci de clarté, seuls les éléments utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés. 10 Dans la description qui suit, lorsque l'on fait réfé- rence à des qualificatifs de position tels que les termes "gauche", "droite", etc., il est fait référence à l'orientation de l'élément concerné dans les figures concernées. Sauf précision contraire, l'expression "de l'ordre de" signifie à 15 10 % près, de préférence à 5 % près. La figure 2A est une vue de dessus schématique d'un mode de réalisation d'un diviseur de signal optique 200. Le diviseur de signal optique 200 comprend deux guides d'onde 202A et 202B de part et d'autre d'un axe 204. On a seulement repré- 20 senté une ligne médiane de chacun des guides d'ondes. La structure des guides d'ondes de part et d'autre de leurs lignes médianes sera décrite plus en détail en relation avec les figures 2B et 2C. Chaque guide d'onde comporte deux tronçons, 206A et 25 208A pour le guide d'onde 202A, 206B et 208B pour le guide d'onde 202B, plus proches de l'axe que le reste du guide d'onde. Les tronçons 206A, 206B, 208A et 208B sont de préférence rectilignes. Les tronçons 206A et 206B sont parallèles et symétriques par rapport à l'axe 204, et sont couplés optiquement du fait de 30 leur proximité. Les tronçons 208A et 208B sont parallèles et symétriques par rapport à l'axe 204, et sont couplés optiquement du fait de leur proximité. Entre les tronçons 206A et 208A, le guide d'onde 202A comprend : 3066282 B15703 - 16-GR3-0559 6 - à partir du tronçon 206A, une portion courbée 210A comportant successivement une courbure 216 dont la concavité est tournée du côté opposé à l'axe puis une courbure 218 dont la concavité est tournée vers l'axe ; et 5 - à partir du tronçon 208A, une portion courbée 212A comportant successivement une courbure 216 dont la concavité est tournée du côté opposé à l'axe puis une courbure 218 dont la concavité est tournée vers l'axe. Entre les tronçons 206B et 208B, le guide d'onde 202B 10 comprend : - à partir du tronçon 206B, une portion courbée 210B comportant successivement une courbure 216 dont la concavité est tournée du côté opposé à l'axe puis une courbure 218 dont la concavité est tournée vers l'axe ; et 15 - à partir du tronçon 208B, une portion courbée 212B comportant successivement une courbure 216 dont la concavité est tournée du côté opposé à l'axe puis une courbure 218 dont la concavité est tournée vers l'axe. A titre d'exemple, chaque guide d'onde est symétrique 20 par rapport à un axe 214 orthogonal à l'axe 204. A titre d'exemple, les courbures de sens opposés, 216 et 218, de chaque portion courbée sont symétriques l'une de l'autre par rapport au centre 220 de la portion courbée. Par ailleurs, chaque guide d'onde comprend, en dehors 25 de la partie entre tronçons 206A, 206B et 208A, 208B, des portions courbées 222 à courbures successives de sens opposés. Les portions courbées 222 éloignent le guide d'onde de l'axe à partir de chaque tronçon jusqu'à des portions 224 découplées optiquement, par exemple rectilignes et parallèles à l'axe. 30 On propose ici que les portions courbées 210A et 210B soient courbées de manières différentes, c'est-à-dire que les portions courbées présentent une dissymétrie entre elles par rapport à l'axe 214. Le guide d'onde 202A est prévu pour recevoir un signal 35 optique IN par la portion 224 reliée au tronçon 206A, en partie 3066282 B15703 - 16-GR3-0559 7 gauche de la figure. La configuration des guides d'ondes au niveau des tronçons 206A et 208A est prévue pour que par exemple 100 % du signal optique passe du guide d'onde 202A au guide d'onde 202B. On prévoit ainsi que la moitié droite du diviseur 5 reçoive le signal IN par le guide d'onde 202B. La configuration des guides d'onde au niveau des tronçons 208A et 208B est prévue pour que le signal optique IN soit alors divisé en deux parties OUTA et OUTB par exemple égales, sortant du diviseur en partie droite dans les guides d'onde respectifs 202A et 202B. 10 En pratique, du fait des imprécisions et de la varia- bilité du procédé de fabrication, la configuration des guides d'ondes diffère de celle prévue. En outre, la longueur d'onde du signal peut différer de la valeur standard. Comme exposé en préambule, pour ces raisons, le signal IN entrant dans la partie 15 droite par le guide d'onde 202B n'est alors pas divisé en deux parties égales. Cependant, pour ces mêmes raisons, le signal IN entrant en partie gauche par le guide d'onde 202A n'est pas transféré à 100 % dans le guide d'onde 202B dans la partie gauche. Une partie AIN subsiste dans le guide d'onde 202A et 20 entre dans la partie droite par ce guide d'onde. Du fait que les portions courbées des guides d'onde entre les tronçons couplés sont courbées de manières différentes, les signaux AIN et IN ont une différence de phase à leur entrée dans les tronçons 208A et 208B. En effet, la prévision de 25 portions courbées de manières différentes entraine une différence de longueur des guides d'ondes 202A et 202B entre les tronçons couplés optiquement et/ou une différence d'indice optique effectif. On prévoit les portions courbées des guides d'onde pour que les interférences entre signaux AIN et IN au 30 niveau des tronçons 208A et 208B réduisent l'écart d'intensité entre les signaux OUTA et OUTB. Ceci est possible pour diverses mises en oeuvre du procédé de fabrication parce que les imprécisions et la variabilité du procédé ont des effets similaires corrélés dans les moitiés droite et gauche du diviseur, et le 3066282 B15703 - 16-GR3-0559 8 signal AIN est alors d'autant plus intense que l'écart à réduire est important. A titre d'exemple, les portions courbées 210A et 210B s'éloignent de l'axe à partir des tronçons 206A et 206B jusqu'à 5 des distances à l'axe différentes, respectivement dA et dB. La différence entre les distances dA et dB est par exemple choisie pour créer une différence de phase entre les signaux AIN et IN de ii + 2*n*ii, où n est un entier de préférence égal à 0. La configuration prévue des tronçons couplés optique- 10 ment et des portions courbées peut être obtenue par modélisation numérique. A titre d'exemple, la configuration prévue est choisie parmi un ensemble de configurations prédéfinies. Dans chaque configuration prédéfinie, chaque portion courbée et chaque tronçon couplé est défini par un ensemble de paramètres 15 tels que des angles, des longueurs, des rayons de courbure, dont des exemples sont décrits ci-après en relation avec la figure 5. Pour chaque configuration prédéfinie, on simule le fonctionnement du diviseur par un modèle numérique à la portée de l'homme de métier. Pour chaque configuration prédéfinie, la simulation 20 est répétée pour diverses configurations que l'on obtiendrait en pratique compte tenu des imprécisions et de la variabilité du procédé de fabrication, et pour diverses longueurs d'ondes du signal optique dans l'intervalle par exemple de plus ou moins 15 nm autour de la longueur d'onde prévue. On choisit alors la 25 configuration prédéfinie qui présente le moins d'écart entre les signaux OUTA et OUTB. Selon un avantage, l'écart entre la répartition d'intensité des signaux OUTA et OUTB souhaitée et obtenue est particulièrement faible quelle que soit la longueur d'onde dans l'intervalle visé ci-dessus. En outre, cet écart est 30 particulièrement faible pour diverses mises en oeuvre du procédé de fabrication. Selon un autre avantage, chacun des guides d'ondes comprend entre les tronçons couplés optiquement seulement deux portions courbées à courbures successives de sens opposés, 35 contrairement à des diviseurs de signaux connus tels que celui 3066282 B15703 - 16-GR3-0559 9 de la figure 3 de la demande de brevet US 2014/0169740 susmentionnée. Ceci permet de limiter davantage l'effet des imprécisions et de la variabilité du procédé de fabrication sur la répartition d'intensité entre les signaux OUTA et OUTB. Cet 5 avantage est renforcé du fait que les deux guides d'onde ont le même nombre de portions courbées disposées de manière similaire de part et d'autre de l'axe. En effet, les effets des imperfections et de la variabilité du procédé sur les deux guides d'ondes se compensent alors partiellement. 10 Selon un autre avantage, chacun des guides d'onde comprend, entre l'entrée et la sortie du diviseur, seulement quatre portions courbées à courbures successives de sens opposés. Il en résulte un diviseur particulièrement compact, du fait que l'espace nécessaire pour réaliser ces portions est 15 limité. En outre, les portions courbées 210A et 212A d'une part, et 212A et 212B d'autre part, peuvent être raccordées directement les unes aux autres. Selon un autre avantage, du fait que chacun des guides d'onde peut comprendre, entre l'entrée et la sortie du diviseur, 20 seulement quatre portions courbées à courbures successives de sens opposés, les pertes d'intensité du signal optique sont particulièrement faibles. En effet, l'essentiel des pertes du signal optique a lieu au niveau des portions courbées. Selon un autre avantage, du fait que chacun des guides 25 d'onde comprend, entre l'entrée et la sortie du diviseur, seulement quatre portions courbées à courbures successives de sens opposés, la modélisation numérique est particulièrement simple. Les figures 2B et 2C sont des exemples de vues en 30 coupe schématiques de deux parties du diviseur de signal optique de la figure 2A. La figure 2B représente une partie non couplée optiquement d'un guide d'onde, et la figure 2C représente des tronçons couplés optiquement de deux guides d'onde. A titre d'exemple, chaque guide d'onde est en silicium 35 et est entouré d'oxyde de silicium. Chaque guide d'onde s'étend 3066282 B15703 - 16-GR3-0559 10 symétriquement de part et d'autre de la ligne médiane dont la position est indiquée par une flèche 250. Chaque guide d'onde comprend une nervure 252, centrale sur un ruban 254. A titre d'exemple, le ruban a une épaisseur dépendant de l'application 5 visée, par exemple comprise entre 50 et 160 nia, généralement de 160 nia. La largeur du ruban 254 est par exemple comprise entre 2 et 5 um. L'épaisseur totale de la nervure et du ruban est par exemple comprise entre 300 et 320 nia, de préférence 310 nia. La largeur de la nervure dépend de la longueur d'onde du signal et 10 de l'épaisseur du ruban, et est par exemple comprise entre 310 et 450 nia, de préférence 320 nia. Les guides d'onde en couplage optique ont une distance bord à bord entre nervures comprise par exemple entre 200 et 300 nia, de préférence 250 nia pour une longueur d'onde de 15 1310 nia. Les rubans 254 des deux guides d'onde forment alors un ruban commun. La figure 3 illustre un autre mode de réalisation d'un diviseur 300 de signal optique. Le diviseur 300 correspond au diviseur 200 de la figure 2A, dans lequel le guide d'onde 202A 20 comprend une portion rectiligne 302A parallèle à l'axe 204 entre les portions courbées 210A et 212A. Selon un avantage, par rapport au diviseur 200 de la figure 2, on obtient une différence de longueur des guides entre tronçons couplés plus importante, ce qui permet des déphasages 25 plus importants entre les signaux AIN et IN, et des variations plus fortes de ce déphasage en fonction de la longueur d'onde. On peut ainsi ajuster les portions courbées pour que les intensités des signaux OUTA et OUTB correspondent à celles souhaitées et ne dépendent pas de variations de la longueur 30 d'onde autour de la longueur d'onde standard. A titre de variante, non représentée, on pourra également prévoir que le guide d'onde 202B comprenne en outre une portion rectiligne entre les portions 210A et 212B. La figure 4 est une vue de dessus schématique d'un 35 exemple d'une courbure 400 d'un guide d'onde du diviseur 200 de 3066282 B15703 - 16-GR3-0559 11 la figure 2 ou 300 de la figure 3. La ligne médiane du guide d'onde est représentée. La courbure 400 peut être l'une des courbures 216, 218 des portions courbées 210A, 210B, et 212A, 212B. 5 La courbure 400 fait passer le guide d'onde d'une orientation selon un axe 402 en un point 404 à une orientation selon un axe 406 en un point 408. Chaque point d'extrémité 404 ou 408 est par exemple un point d'extrémité d'une autre courbure du type de la courbure 400 ou d'une portion rectiligne du guide 10 d'onde, par exemple un des tronçons couplés. La courbure 400 comprend en partie centrale un arc 410 d'un cercle 412, de centre 414. A titre d'exemple, la courbure 400 est symétrique par rapport à l'axe 416 de symétrie de l'arc de cercle 410. De part et d'autre de l'arc 410, chaque extrémité 15 404, 408 est reliée par une portion de courbe 418 qui démarre de l'extrémité en étant droite, c'est-à-dire avec un rayon de courbure infini à l'extrémité, et s'incurve progressivement pour se raccorder à l'arc en un point 420 en suivant la courbure du cercle. A titre d'exemple, la courbure 400 est une courbe de 20 Bézier 422 d'ordre trois, dont le point de contrôle PO de départ se situe au point d'extrémité 404, dont les points de contrôle intermédiaires successifs Pl et P2 sont confondus et situés sur l'axe 402, et dont le point de contrôle P3 d'arrivée est situé sur un axe 426 passant par les points Pl et P2, par exemple 25 orthogonal à l'axe 402. En effet, du fait que les points Pl, P2 et P3 sont alignés, la portion 418 de la courbe de Bézier 422 est droite au point de départ 404. A titre d'exemple, les points PO et P3 sont à la même distance du point Pl, P2. A titre de variante, les points Pl, P2 et P3 peuvent être alignés de toute 30 autre manière adaptée à obtenir une portion de courbe qui s'incurve progressivement et se raccorde à l'arc de cercle en suivant la courbure du cercle. Du fait que le rayon de courbure de chaque courbe de Bézier varie continûment et que chaque courbe de Bézier et l'arc 35 de cercle se raccordent avec le même rayon de courbure, le rayon 3066282 B15703 - 16-GR3-0559 12 de courbure varie de manière continue de l'extrémité 404 à l'extrémité 408. Du fait que les courbures des guides d'onde sont en outre à extrémités droites, le rayon de courbure varie continûment le long du guide d'onde. 5 Selon un avantage, on évite ainsi tout changement abrupt de rayon de courbure, susceptible de provoquer la réflexion, le retour en arrière et la perte d'une partie du signal optique. Le dispositif présente alors des pertes particulièrement faibles. 10 Par ailleurs, au point 420, le guide d'onde a une direction 428 faisant un angle a avec l'axe 402. L'angle a, l'angle 13 entre l'axe 406 et l'axe 402, et la distance d entre l'axe 402 et le point 408 sont trois paramètres qui définissent la courbure 400 à partir du point 404 et de l'axe 402. Pour que 15 des portions courbées soient courbées différemment dans les deux guides d'onde, on peut choisir pour ces portions courbées des paramètres a, 13 et/ou d différents. A titre d'exemple, le rayon du cercle 412 est compris entre 50 lm et 60 pin, par exemple 40 pin. L'angle a est par 20 exemple compris entre 0 et 45°. L'angle 13 est par exemple compris entre 5 et 45°. A titre d'exemple, on peut choisir des angles 13 identiques pour les deux portions courbées, par exemple un angle de 10°. On peut alors prévoir des rayons différents pour les 25 cercles 412 des portions courbées, par exemple de l'ordre de 50 pin, afin d'obtenir une différence entre les distances à l'axe dA et dB (mentionnées ci-dessus en relation avec la figure 2) par exemple comprise 40 à 80 nm. Dans un autre exemple, on peut choisir des mêmes rayons pour les cercles 412 des portions 30 courbées, par exemple de 50 pin. On peut alors prévoir des angles 13 différents afin d'obtenir une différence entre dA et dB comprise entre 100 et 250 nm. A titre de variante, la courbure particulière 400 peut être remplacée par toute courbure à extrémités droites et à 35 rayon de courbure variant continûment. Par exemple, l'arc de 3066282 B15703 - 16-GR3-0559 13 cercle 410 peut être omis, et la courbure peut être formée d'une seule courbe de Bézier dont les points de contrôle intermédiaires Pl et P2 sont confondus avec le point 430 de rencontre des axes 402 et 406, et les points de contrôle PO de départ et 5 P3 d'arrivée sont respectivement les points 404 et 408. Des modes de réalisation particuliers ont été décrits. Diverses variantes et modifications apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, on a décrit des portions courbées comprenant des courbures de sens opposés symétriques par rapport au 10 centre de la portion courbée. Chaque portion courbée peut ne pas être symétrique par rapport à son centre, et peut comprendre, par exemple, des courbures du type de la courbure 400 de la figure 4 définies par des paramètres cx, 13 et d différents pour les deux courbures. 15 En outre, bien que des portions courbées décrites comprennent deux courbures du type de la courbure 400 raccordées par leurs extrémités, chaque portion courbée peut comprendre une portion rectiligne entre les deux courbures. Ainsi, les portions courbées des deux guides d'onde peuvent être courbées différem- 20 ment du fait de la présence d'une telle partie rectiligne dans une seule des portions courbées, ou de la présence de parties rectilignes de longueurs différentes dans les portions courbées. Dans les modes de réalisation décrits, on a prévu une partie gauche qui fait passer 100 % du signal d'un guide d'onde 25 à l'autre, suivie d'une partie droite qui divise les 100% du signal en deux parties égales, de qui permet d'obtenir des signaux OUTA et OUTB d'intensités égales. On pourra obtenir des signaux OUTA et OUTB d'intensité égale on prévoyant toute manière adaptée de répartir le signal d'entrée IN entre les 30 guides d'ondes de la partie gauche, puis les signaux de chacun des guides d'ondes. En particulier, on pourra choisir que la partie gauche divise le signal IN en deux parties égales, et que la partie droite transfère 100 % du signal de chaque guide d'onde dans l'autre guide d'onde. En outre, bien que l'on ait décrit ici, à titre d'exemple, les deux signaux OUTA et OUTB 3066282 B15703 - 16-GR3-0559 14 d'intensités égales, on peut aussi prévoir pour les signaux OUTA et OUTB toute répartition souhaitée différente de 50%/50%. De plus, on peut prévoir, en pratique, dans les modes de réalisation décrits, que chaque courbure soit formée d'une 5 succession de segments rectilignes qui suivent la courbure avec une précision par exemple inférieure à celle du procédé de fabrication, ou par exemple inférieure à 1 nia. REVENDICATIONS1. Diviseur de signal optique (IN) comprenant deux guides d'onde (202A, 202B) de part et d'autre d'un axe (204), dans lequel : chaque guide d'onde comporte des premier (206A, 206B) et deuxième (208A, 208B) tronçons plus proches de l'axe que le reste du guide d'onde, les premiers tronçons des deux guides d'onde étant couplés optiquement et les deuxièmes tronçons des deux guides d'onde étant couplés optiquement ; chaque guide d'onde comprend entre le premier et le 10 deuxième tronçon, à partir du premier tronçon une première portion courbée (210A, 210B) comportant successivement une courbure (216) dont la concavité est tournée du côté opposé à l'axe puis une courbure dont la concavité (218) est tournée vers l'axe, et à partir du deuxième tronçon une deuxième portion 15 courbée (212A, 212B) comportant successivement une courbure dont la concavité est tournée du côté opposé à l'axe puis une courbure dont la concavité est tournée vers l'axe ; et les premières portions courbées des deux guides d'onde sont courbées différemment. 20 2. Diviseur selon la revendication 1, dans lequel, à partir des premiers tronçons des deux guides d'onde, les premières portions courbées (210A, 210B) des deux guides d'onde s'éloignent de l'axe (204) jusqu'à des distances (dA, dB) à l'axe différentes. 25 3. Diviseur selon la revendication 2, dans lequel lesdites distances (dA, dB) à l'axe ont une différence comprise entre 15 et 40 rua. 4. Diviseur selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel l'un au moins (202A) des deux guides d'onde 30 comprend une portion rectiligne (302A) entre les première (210A) et deuxième (212A) portions courbées. 5. Diviseur selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel les portions courbées (210A, 210B, 212A, 3066282 B15703 - 16-GR3-0559 16 212B) sont à rayon de courbure variant continûment et ont des extrémités droites. 6. Diviseur selon la revendication 5, dans lequel les courbures (400) des portions courbées (210A, 210B, 212A, 212B) 5 comprennent chacune une portion (410) de courbe de Bézier d'ordre 3 (422) dont le point de contrôle de départ (PO) est une des extrémités (404) de la courbure et dont les deux points de contrôle intermédiaires (P1,P2) sont confondus et situés sur un axe (402) tangent à la courbure au point de contrôle de départ. 7. Diviseur selon la revendication 6, dans lequel : chaque courbure (400) comprend en outre un arc de cercle (410) qui se raccorde à la courbe de Bézier en suivant la courbure de la courbe de Bézier (422) ; et chaque courbure est symétrique par rapport à l'axe de symétrie (416) de l'arc de cercle. 8. Diviseur selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel chaque guide d'onde (202A, 202B) est symétrique par rapport à un axe supplémentaire (214) orthogonal audit axe (204). 9. Diviseur selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel chacune des portions courbées (210A, 210B, 212A, 212B) est symétrique par rapport à son centre (220). 10. Diviseur selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, dans lequel les guides d'onde (202A, 202B) sont en 25 silicium entouré d'oxyde silicium. 11. Diviseur selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, dans lequel les guides d'ondes (202A, 202B) comprennent chacun, sur un ruban (254) d'épaisseur comprise entre 110 et 130 nia, une nervure (252) centrale de largeur comprise entre 310 30 et 330 rua, l'épaisseur du guide d'onde étant comprise entre 300 et 320 nia. 12. Diviseur selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, dans lequel la longueur d'onde du signal optique est de de 1310, 1490 ou 1550 nia. 3066282 B15703 - 16-GR3-0559 17 13. Puce de communication optique comprenant un diviseur selon l'une quelconque des revendications 1 à 12.