Brevet FR3074959A1 — publié le 20190614

PROCEDE DE COLLAGE PAR ADHESION DIRECTE Domaine technique L'invention se rapporte au domaine technique du collage par adhésion directe de deux substrats. L'invention trouve notamment son application dans le transfert de couches minces pour la fabrication de dispositifs électroniques. Etat de la technique antérieure Un procédé de collage par adhésion directe connu de l'état de la technique, notamment du document M. Tedjini et al., « Inteace water desion in silicon direct bondi /1», Appl. Phys. Lett., 109, 111603, 2016 (ci-après D1), comporte les étapes : au) prévoir des premier et deuxième substrats, comprenant chacun une première surface et une seconde surface opposée ; bo) coller le premier substrat au deuxième substrat par une adhésion directe avec les premières surfaces des premier et deuxième substrats de manière à former une interface de collage. D1 enseigne que l'interface de collage n'est pas isolée de l'atmosphère sous laquelle est exécutée l'étape bo). En particulier, des molécules d'eau peuvent pénétrer l'interface de collage, avec une certaine cinétique, et ce tant qu'une étape co) de recuit thermique à haute température (supérieure à 1000°C) n'est pas exécutée. Cette pénétration des molécules d'eau à l'interface de collage conduit à la création de défauts et à la modification de l'adhérence de l'interface de collage. Un tel procédé de l'état de la technique n'est donc pas entièrement satisfaisant dans la 25 mesure où il apparaît nécessaire : (i) soit de contrôler l'atmosphère (en particulier le taux d'humidité) sous laquelle est exécutée l'étape bo) jusqu'au moment de l'exécution de l'étape co) ; (ii) soit d'exécuter l'étape co) rapidement après l'étape bo), i.e. plus rapidement que la cinétique de progression de l'eau dans l'interface de collage, ce qui suppose une gestion 30 contraignante des temps d'attente des substrats collés. Par ailleurs, selon l'application envisagée, des étapes intermédiaires entre les étapes bo) et co) sont susceptibles de devoir être exécutées dans un environnement très humide, et donc potentiellement dégradant pour l'interface de collage. On peut citer par exemple : - une étape de caractérisation acoustique avant l'étape co), ou 2 - une étape de meulage (« grinding» en langue anglaise) avant l'étape co), permettant d'amincir des hétérostructures afin de supporter le recuit thermique malgré des coefficients de dilatation thermique différents. 5 Exposé de l'invention L'invention vise à remédier en tout ou partie aux inconvénients précités. A cet effet, l'invention a pour objet un procédé de collage par adhésion directe d'un premier substrat à un deuxième substrat, comportant les étapes successives : a) prévoir les premier et deuxième substrats, comprenant chacun : 10 - une première surface et une seconde surface opposée ; - des bords latéraux reliant les première et seconde surfaces ; b) coller le premier substrat au deuxième substrat par une adhésion directe avec les premières surfaces des premier et deuxième substrats de manière à former une interface de collage ; 15 c) rendre hydrophobes les bords latéraux des premier et deuxième substrats, de part et d'autre de l'interface de collage. Ainsi, un tel procédé selon l'invention permet, grâce à l'étape c), d'isoler l'interface de collage de l'atmosphère environnante, en particulier des molécules d'eau, qui ne peuvent y 20 pénétrer. Il n'est pas donc pas nécessaire de contrôler l'atmosphère, en particulier son taux d'humidité. En outre, une étape de recuit thermique à haute température (supérieure à 1000°C) peut alors être exécutée ultérieurement sans contrainte de temps d'attente, en l'absence de craintes concernant la cinétique de progression de l'eau dans l'interface de collage. Cette isolation de l'interface de collage conférée par l'étape c) est localisée sur les bords latéraux des premier et deuxième substrats, de part et d'autre de l'interface de collage (donc sans pénétrer l'interface de collage), et ce afin de ne pas détériorer l'interface de collage lors de l'exécution de l'étape c). Il est à noter que l'isolation de l'interface de collage conférée par l'étape c) peut s'étendre aux secondes surfaces des premier et deuxième substrats. En d'autres termes, il est possible de rendre également hydrophobes les secondes surfaces des premier et deuxième substrats lors de l'étape c), pour des raisons de simplicité de mise en oeuvre. Toutefois, le caractère hydrophobe des secondes surfaces des premier et deuxième substrats n'a pas d'effet technique sur la pénétration des molécules d'eau dans l'interface de collage, contrairement au caractère hydrophobe des bords latéraux des premier et deuxième substrats. 3 Définitions - Par « substrat», on entend un support physique autoporté, réalisé dans un matériau de base permettant la fabrication d'un dispositif électronique ou d'un composant électronique. Un substrat est classiquement une tranche (« wafer» en langue anglaise) découpée dans un 5 lingot monocristallin de matériau semi-conducteur. - Par « adhésion directe », on entend un collage spontané issu de la mise en contact direct de deux surfaces, c'est-à-dire en l'absence d'un élément additionnel tel qu'une colle, une cire ou une brasure. L'adhésion provient principalement des forces de van der Waals issues de l'interaction électronique entre les atomes ou les molécules de deux surfaces, des liaisons 10 hydrogène du fait des préparations des surfaces ou des liaisons covalentes établies entre les deux surfaces. On parle également de collage par adhésion moléculaire ou de collage direct. Le collage par adhésion directe est avantageusement effectué à température et pression ambiantes, et ne saurait être assimilé à un collage par thermocompression, à un collage eutectique, ou encore à un collage anodique. Le collage par adhésion directe peut être suivi 15 d'un recuit thermique de renforcement. - Par « hydrophobe », on entend une surface caractérisée par un angle de contact avec une goutte d'eau compris entre 500 et 180°, de préférence compris entre 70° et 180°, plus préférentiellement compris entre 90° et 180°, encore plus préférentiellement compris entre 90° et 150°. 20 Le procédé selon l'invention peut comporter une ou plusieurs des caractéristiques suivantes. Selon une caractéristique de l'invention, l'étape c) est exécutée par une formation d'une 25 couche sur les bords latéraux des premier et deuxième substrats, de part et d'autre de l'interface de collage, ladite couche étant réalisée dans un matériau hydrophobe. Ainsi, un avantage procuré par une couche dédiée est de pouvoir assurer le caractère hydrophobe quel que soit le matériau des premier et deuxième substrats. 30 Selon une caractéristique de l'invention, le matériau hydrophobe est sélectionné parmi la paraffine ou un revêtement fluoré. Selon une caractéristique de l'invention, l'étape c) est exécutée par un traitement hydrophobe des bords latéraux des premier et deuxième substrats, de part et d'autre de 35 l'interface de collage. 4 Ainsi, un avantage procuré par un traitement hydrophobe des bords latéraux est la simplicité de mise en oeuvre. Il n'est pas nécessaire de former puis d'enlever une couche dédiée. 5 Selon une caractéristique de l'invention, le traitement hydrophobe est un traitement chimique, de préférence appliqué avec une solution acide ou avec des vapeurs acides. Selon une caractéristique de l'invention, le traitement hydrophobe est un traitement de surface, de préférence appliqué avec un plasma, plus préférentiellement un plasma fluoré. 10 Selon une caractéristique de l'invention, l'étape b) est suivie d'une étape consistant à appliquer un traitement thermique aux premier et deuxième substrats collés, le traitement thermique étant exécuté à une température comprise entre 100°C et 300°C. Ainsi, un avantage procuré par un tel traitement thermique est de réduire la cinétique de 15 progression de l'eau dans l'interface de collage, et ce sans fermer l'interface de collage, c'est-à-dire que les molécules d'eau peuvent encore pénétrer dans l'interface de collage où il reste des espaces vides. Un tel traitement thermique autorise un temps d'attente plus long avant d'exécuter l'étape c), sans risque de détérioration de l'interface de collage. 20 Selon une caractéristique de l'invention, l'étape b) est exécutée à une température comprise entre 20°C et 30°C. Ainsi, l'étape b) de collage est exécutée à température ambiante. Selon une caractéristique de l'invention, l'étape c) est exécutée à l'issue de l'étape b), après 25 une durée d'attente inférieure à 6 heures, de préférence inférieure à 1 heure, plus préférentiellement inférieure à 15 minutes. Ainsi, un avantage procuré par de telles durées d'attente est d'exécuter l'étape c) suffisamment tôt, c'est-à-dire avant les effets de la cinétique de progression de l'eau dans l'interface de collage. 30 Selon une caractéristique de l'invention, les bords latéraux des premier et deuxième substrats prévus lors de l'étape a) sont réalisés dans un matériau sélectionné parmi Si, Ge, un oxyde de silicium, SiC, un matériau III-V, un matériau II-VI. Par « matériau A-B », on entend un alliage binaire entre des éléments situés 35 respectivement dans la colonne A et dans la colonne B du tableau périodique des éléments. 5 Brève description des dessins D'autres caractéristiques et avantages apparaîtront dans l'exposé détaillé de différents modes de réalisation de l'invention, l'exposé étant assorti d'exemples et de références aux 5 dessins joints. Figure 1 est une vue schématique en coupe selon la normale aux première surfaces -et secondes surfaces- des premier et deuxième substrats, illustrant un collage direct de deux substrats à bords arrondis. Figure 2 est une vue schématique en coupe selon la normale aux première surfaces -et 10 secondes surfaces- des premier et deuxième substrats, illustrant un collage direct de deux substrats à bords arrondis, et recouverts chacun d'un oxyde. Figure 3 est une vue schématique en coupe selon la normale aux première surfaces -et secondes surfaces- des premier et deuxième substrats, illustrant la formation d'une couche hydrophobe sur les bords latéraux arrondis des substrats. 15 Figure 4 est une vue schématique en coupe selon la normale aux première surfaces -et secondes surfaces- des premier et deuxième substrats, illustrant un collage direct de deux substrats à bords francs. Figure 5 est une vue schématique en coupe selon la normale aux première surfaces -et secondes surfaces- des premier et deuxième substrats, illustrant la formation d'une couche 20 hydrophobe sur les bords latéraux francs des deux substrats. Figures 6a et 6b sont des images obtenues par microscopie acoustique, illustrant les effets respectivement d'une présence et d'une absence d'une couche hydrophobe sur la qualité de l'interface de collage, l'interface de collage étant immergée pendant une semaine dans de l'eau liquide après la formation de la couche hydrophobe. 25 Figures 7a et 7b sont des images obtenues par microscopie acoustique, illustrant les effets respectivement d'une présence et d'une absence d'une couche hydrophobe sur la qualité de l'interface de collage, l'interface de collage étant soumise à un stockage pendant une semaine dans de l'air humide (à 45% d'humidité relative) après la formation de la couche hydrophobe. Figures 8a et 8b sont des images obtenues par microscopie acoustique, illustrant les effets 30 respectivement d'une présence et d'une absence d'une couche hydrophobe sur la qualité de l'interface de collage, l'interface de collage étant immergée pendant deux semaines dans de l'eau liquide avant la formation de la couche hydrophobe. Après la formation de la couche hydrophobe, les collages sont stockés pendant 2 jours. 6 Figures 1 à 5 ne sont pas représentées à l'échelle pour en simplifier leur compréhension. Exposé détaillé des modes de réalisation Les éléments identiques ou assurant la même fonction porteront les mêmes références 5 pour les différents modes de réalisation, par souci de simplification. Un objet de l'invention est un procédé de collage par adhésion directe d'un premier substrat 1 à un deuxième substrat 2, comportant les étapes successives : a) prévoir les premier et deuxième substrats 1, 2, comprenant chacun : 10 - une première surface 10, 20 et une seconde surface 11, 21 opposée ; - des bords latéraux 12, 22 reliant les première et seconde surfaces 10, 20, 11, 21 ; b) coller le premier substrat 1 au deuxième substrat 2 par une adhésion directe avec les premières surfaces 10, 20 des premier et deuxième substrats 1, 2 de manière à former une interface de collage IC ; 15 c) rendre hydrophobes les bords latéraux 12, 22 des premier et deuxième substrats 1, 2, de part et d'autre de l'interface de collage IC. Premier et deuxième substrats Les premier et/ou deuxième substrats 1, 2 peuvent être réalisés dans un matériau semiconducteur. Les premier et/ou deuxième substrats 1, 2 peuvent être recouverts d'un oxyde 3. 20 Les bords latéraux 12, 22 des premier et deuxième substrats 1, 2 prévus lors de l'étape a) peuvent être réalisés dans un matériau sélectionné parmi Si, Ge, un oxyde de silicium, SiC, un matériau III-V, un matériau II-VI. Comme illustré aux figures 1 à 3, les bords latéraux 12, 22 des premier et deuxième substrats 1, 2 peuvent être des bords arrondis, en raison de la présence de chanfreins. Comme 25 illustré aux figures 4 et 5, les bords latéraux 12, 22 des premier et deuxième substrats 1, 2 peuvent être des bords francs. Etape b) de collage L'étape b) est préférentiellement exécutée à température ambiante, c'est-à-dire à une température comprise entre 20°C et 30°C. Toutefois, l'étape b) peut être exécutée à plus 30 haute température, par exemple entre 200°C et 400°C. L'étape b) peut être exécutée à pression ambiante. 7 Etape c) : bords latéraux rendus hydrophobes Selon un premier mode de mise en oeuvre, l'étape c) est exécutée par une formation d'une couche 4 sur les bords latéraux 12, 22 des premier et deuxième substrats 1, 2, de part et d'autre de l'interface de collage IC, ladite couche 4 étant réalisée dans un matériau 5 hydrophobe. Le matériau hydrophobe est avantageusement sélectionné parmi la paraffine ou un revêtement fluoré. A titre d'exemples non limitatifs, lorsque les premier et deuxième substrats 1, 2 sont réalisés en silicium ou recouverts d'un oxyde de silicium, le revêtement fluoré peut être : - un vernis NovecTM 2702, commercialisé par la société 31VITm ; 10 - un vernis NovecTM 1700, commercialisé par la société 31VITm . Selon un second mode de mise en oeuvre, l'étape c) est exécutée par un traitement hydrophobe des bords latéraux 12, 22 des premier et deuxième substrats 1, 2, de part et d'autre de l'interface de collage IC. 15 Selon une première variante, le traitement hydrophobe est un traitement chimique, de préférence appliqué avec une solution acide ou avec des vapeurs acides. Lorsque les premier et deuxième substrats 1, 2 sont réalisés en silicium, le traitement chimique peut être appliqué avec une solution de HF ou avec des vapeurs de HF. Lorsque les premier et deuxième substrats 1, 2 sont réalisés en InP, le traitement chimique peut être appliqué avec une solution 20 de HC1 ou avec des vapeurs de HC1. Un tel traitement chimique peut également rendre hydrophobes les secondes surfaces 11, 21 des premier et deuxième substrats 1, 2, sans toutefois avoir d'effet technique sur la pénétration des molécules d'eau dans l'interface de collage IC. Selon une seconde variante, le traitement hydrophobe est un traitement de surface, de 25 préférence appliqué avec un plasma, plus préférentiellement un plasma fluoré. Le plasma fluoré peut être un plasma de CF4 ou de CHF3. Lorsque les premier et deuxième substrats 1, 2 sont réalisés en silicium ou recouverts de dioxyde de silicium, le traitement de surface peut être appliqué avec un plasma de CF4. Un tel traitement de surface peut également rendre hydrophobes les secondes surfaces 11, 21 des premier et deuxième substrats 1, 2, sans 30 toutefois avoir d'effet technique sur la pénétration des molécules d'eau dans l'interface de collage IC. L'étape c) est exécutée à l'issue de l'étape b), avantageusement après une durée d'attente inférieure à 6 heures, de préférence inférieure à 1 heure, plus préférentiellement inférieure à 8 15 minutes. L'attente entre les étapes b) et c) s'effectue avantageusement sous une atmosphère sèche, c'est-à-dire comportant moins de 1 ppm d'eau. Traitement thermique : réduction de la cinétique de progression de l'eau L'étape b) est avantageusement suivie d'une étape b1) consistant à appliquer un traitement 5 thermique aux premier et deuxième substrats collés 1, 2, le traitement thermique étant exécuté à une température comprise entre 100°C et 300°C. L'étape b1) est exécutée avant l'étape c). Recuit thermique : renforcement de l'interface de collage Le procédé comporte avantageusement une étape d) consistant à appliquer un recuit thermique aux premier et deuxième substrats collés 1, 2, l'étape d) étant exécutée après l'étape 10 c). Le recuit thermique appliqué lors de l'étape d) est avantageusement exécuté à une température supérieure ou égale à 1000°C. Le procédé comporte avantageusement une étape, exécutée immédiatement avant l'étape d), et consistant à: - retirer la couche 4 formée lors de l'étape c) ; 15 - ou annihiler le traitement hydrophobe appliqué lors de l'étape c). Exemple de mise en oeuvre n°1 Les premier et deuxième substrats 1, 2 sont deux tranches de silicium de 200 mm de diamètre et de 725 um d'épaisseur. Les premier et deuxième substrats 1, 2 sont nettoyés et hydrolysés dans des bains d'eau déionisée enrichie en ozone et dans une solution d'APM 20 (« Ammonia-Peroxyde Mixture» en langue anglaise) à 70°C. Les premier et deuxième substrats 1, 2 sont collés par collage direct à température ambiante, et à pression ambiante. L'étape c) est exécutée en formant un revêtement fluoré sur les bords latéraux 12, 22 des premier et deuxième substrats 1, 2, de part et d'autre de l'interface de collage IC, ainsi que sur les secondes surfaces 11, 21 des premier et deuxième substrats 1, 2. Pour ce faire, l'étape c) 25 est exécutée en faisant tourner les premier et deuxième substrats 1, 2 collés dans un bain de NovecTM 2702. On peut enlever le surplus de revêtement fluoré à l'aide d'un solvant (e.g. NovecTM 7200) et d'un rinçage avec de l'alcool isopropylique (IPA). Ce revêtement fluoré peut être retiré ultérieurement par un plasma 02. 30 Afin d'obtenir une étude comparative, l'exemple de mise en oeuvre n°1 a été renouvelé en l'absence d'étape c). Des résultats sont illustrés aux figures 6a, 6b, après les étapes suivantes : - un recuit thermique des substrats 1, 2 à 150°C, pendant 30 minutes ; 9 - immersion des substrats 1, 2 dans de l'eau liquide pendant une semaine ; - séchage des substrats 1, 2 et recuit thermique à 300°C pendant deux heures. On constate l'absence d'une couronne C de défauts lorsque l'étape c) est exécutée. De la même façon, des résultats sont illustrés aux figures 7a, 7b, après les étapes 5 suivantes : - un recuit thermique des substrats 1, 2 à 150°C, pendant 30 minutes ; - stockage des substrats 1, 2 dans de l'air humide (à 45% d'humidité relative) pendant une semaine ; - séchage des substrats 1, 2 et recuit thermique à 300°C pendant deux heures. 10 On constate également l'absence d'une couronne C de défauts lorsque l'étape c) est exécutée. Par ailleurs, il a été constaté que l'exécution de l'étape c) empêche également l'eau de sortir de l'interface de collage IC. Pour ce faire, l'exemple de mise en oeuvre n°1 a été modifié 15 en introduisant une étape consistant à immerger les substrats 1, 2 dans de l'eau liquide pendant 2 semaines avant l'exécution de l'étape c). En outre, comme précédemment, l'exemple de mise en oeuvre n°1 modifié a été renouvelé, en l'absence d'étape c), afin d'obtenir une étude comparative. Des résultats sont illustrés aux figures 8a, 8b, après les étapes suivantes : 20 - un recuit thermique des substrats 1, 2 à 150°C, pendant 30 minutes ; - stockage des substrats 1, 2 dans une atmosphère d'azote sèche (moins de 1 ppm d'eau) pendant deux jours ; - recuit thermique des substrats 1, 2 à 300°C pendant deux heures. On constate la présence de la couronne C de défauts jusqu'au bord lorsque l'étape c) est 25 exécutée, ce qui montre que l'exécution de l'étape c) empêche l'eau de sortir de l'interface de collage IC. Exemple de mise en oeuvre n°2 Les premier et deuxième substrats 1, 2 sont deux tranches de silicium de 200 mm de diamètre et de 725 !am d'épaisseur. Les premier et deuxième substrats 1, 2 sont nettoyés et 30 hydrolysés dans des bains d'eau déionisée enrichie en ozone et dans une solution d'APM (« Ammonia-Peroxyde Mixture» en langue anglaise) à 70°C. Les premier et deuxième substrats 1, 2 sont collés par collage direct à température ambiante, et à pression ambiante. L'étape c) est exécutée en formant un revêtement fluoré sur les bords latéraux 12, 22 des premier et deuxième substrats 1, 2, de part et d'autre de l'interface de collage IC, ainsi que sur 10 les secondes surfaces 11, 21 des premier et deuxième substrats 1, 2. Pour ce faire, l'étape c) est exécutée en faisant tourner les premier et deuxième substrats 1, 2 collés dans un bain de NovecTM 1700. On peut enlever le surplus de revêtement fluoré à l'aide d'un solvant (e.g. NovecTM 7200 ou 7100) et d'un rinçage avec de l'alcool isopropylique (IPA). Ce revêtement 5 fluoré peut être retiré ultérieurement par un plasma 02. Exemple de mise en oeuvre n°3 Les premier et deuxième substrats 1, 2 sont deux tranches de silicium de 200 mm de diamètre et de 725 um d'épaisseur. Les premier et deuxième substrats 1, 2 sont nettoyés et hydrolysés dans des bains d'eau déionisée enrichie en ozone et dans une solution d'APM 10 (« Ammonia-Peroxyde Mixture» en langue anglaise) à 70°C. Les premier et deuxième substrats 1, 2 sont collés par collage direct à température ambiante, et à pression ambiante. L'étape c) est exécutée en formant de la paraffine sur les bords latéraux 12, 22 des premier et deuxième substrats 1, 2, de part et d'autre de l'interface de collage IC, ainsi que sur les secondes surfaces 11, 21 des premier et deuxième substrats 1, 2. Pour ce faire, l'étape c) est 15 exécutée en faisant tourner les premier et deuxième substrats 1, 2 collés dans un bain de paraffine fondue. La paraffine peut être retirée ultérieurement avec un solvant tel que l'acétone. Exemple de mise en oeuvre n°4 Les premier et deuxième substrats 1, 2 sont deux tranches de silicium de 200 mm 20 de diamètre et de 725 um d'épaisseur. Les premier et deuxième substrats 1, 2 sont nettoyés et hydrolysés dans des bains d'eau déionisée enrichie en ozone et dans une solution d'APM (« Ammonia-Peroxyde Mixture» en langue anglaise) à 70°C. Les premier et deuxième substrats 1, 2 sont collés par collage direct à température ambiante, et à pression ambiante. L'étape c) est exécutée par un traitement hydrophobe chimique, appliqué sur les bords 25 latéraux 12, 22 des premier et deuxième substrats 1, 2, de part et d'autre de l'interface de collage IC, ainsi que sur les secondes surfaces 11, 21 des premier et deuxième substrats 1, 2. Pour ce faire, l'étape c) est exécutée en faisant tourner les premier et deuxième substrats 1, 2 collés dans un bain de HF dilué à 10%. Un tel traitement chimique peut être annihilé ultérieurement à l'aide d'une solution d'APM à 70°C, ou à l'aide d'un plasma 02. 30 Exemple de mise en oeuvre n°5 Les premier et deuxième substrats 1, 2 sont deux tranches de silicium de 200 mm de diamètre et de 725 um d'épaisseur. Les premier et deuxième substrats 1, 2 sont nettoyés et hydrolysés dans des bains d'eau déionisée enrichie en ozone et dans une solution d'APM 11 (« Ammonia-Peroxyde Mixture» en langue anglaise) à 70°C. Les premier et deuxième substrats 1, 2 sont collés par collage direct à température ambiante, et à pression ambiante. L'étape c) est exécutée par un traitement hydrophobe de surface, appliqué sur les bords latéraux 12, 22 des premier et deuxième substrats 1, 2, de part et d'autre de l'interface de 5 collage IC, ainsi que sur les secondes surfaces 11, 21 des premier et deuxième substrats 1, 2. Pour ce faire, l'étape c) est exécutée en soumettant les premier et deuxième substrats 1, 2 collés à un plasma fluoré CF4. Un tel traitement de surface peut être annihilé ultérieurement à l'aide d'une solution d'APM à 70°C, ou à l'aide d'un plasma 02. 10 L'invention ne se limite pas aux modes de réalisation exposés. L'homme du métier est mis à même de considérer leurs combinaisons techniquement opérantes, REVENDICATIONS1. Procédé de collage par adhésion directe d'un premier substrat (1) à un deuxième substrat (2), comportant les étapes successives : a) prévoir les premier et deuxième substrats (1, 2), comprenant chacun : - une première surface (10, 20) et une seconde surface (11, 21) opposée ; - des bords latéraux (12, 22) reliant les première et seconde surfaces (10, 20, 11, 21) ; b) coller le premier substrat (1) au deuxième substrat (2) par une adhésion directe avec les premières surfaces (10, 20) des premier et deuxième substrats (1, 2) de manière à former une 10 interface de collage (IC) ; c) rendre hydrophobes les bords latéraux (12, 22) des premier et deuxième substrats (1, 2), de part et d'autre de l'interface de collage (IC). 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel l'étape c) est exécutée par une formation 15 d'une couche (4) sur les bords latéraux (12, 22) des premier et deuxième substrats (1, 2), de part et d'autre de l'interface de collage (IC), ladite couche (4) étant réalisée dans un matériau hydrophobe. 3. Procédé selon la revendication 2, dans lequel le matériau hydrophobe est sélectionné 20 parmi la paraffine ou un revêtement fluoré. 4. Procédé selon la revendication 1, dans lequel l'étape c) est exécutée par un traitement hydrophobe des bords latéraux (12, 22) des premier et deuxième substrats (1, 2), de part et d'autre de l'interface de collage (IC). 25 5. Procédé selon la revendication 4, dans lequel le traitement hydrophobe est un traitement chimique, de préférence appliqué avec une solution acide ou avec des vapeurs acides. 30 6. Procédé selon la revendication 4, dans lequel le traitement hydrophobe est un traitement de surface, de préférence appliqué avec un plasma, plus préférentiellement un plasma fluoré. 7. Procédé selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel l'étape b) est suivie d'une 35 étape consistant à appliquer un traitement thermique aux premier et deuxième substrats (1, 2) 13 collés, le traitement thermique étant exécuté à une température comprise entre 100°C et 300°C. 8. Procédé selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel l'étape b) est exécutée à une 5 température comprise entre 20°C et 30°C. 9. Procédé selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel l'étape c) est exécutée à l'issue de l'étape b), après une durée d'attente inférieure à 6 heures, de préférence inférieure à 1 heure, plus préférentiellement inférieure à 15 minutes. 10. Procédé selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel les bords latéraux (12, 22) des premier et deuxième substrats (1, 2) prévus lors de l'étape a) sont réalisés dans un matériau sélectionné parmi Si, Ge, un oxyde de silicium, SiC, un matériau III-V, un matériau II-VI. 15