Brevet FR3073319A1 — publié le 20190510

B16384 - 17-GR4-0321 1 PUCE AMEMOIRE NON VOLATILE EMBARQUEE A MATERIAU A CHANGEMENT DE PHASE Domaine La présente demande concerne les puces électroniques, et en particulier une puce contenant une mémoire non volatile à matériau à changement de phase, et un procédé de fabrication 5 d'une telle puce. Exposé de l'art antérieur Une puce à mémoire non volatile embarquée à matériau à changement de phase comprend simultanément des circuits logiques et des points mémoire à matériau à changement de phase. Les 10 points mémoire et les divers transistors des circuits sont reliés électriquement par des vias à des pistes d'interconnexion situées dans des couches électriquement isolantes. Chaque point mémoire comprend un matériau à changement de phase et un élément résistif de chauffage du matériau à 15 changement de phase. L'élément résistif de chauffage permet de faire passer le matériau à changement de phase d'un état cristallin à l'état amorphe pour la programmation du point mémoire, et de un état amorphe à l'état cristallin pour l'effacement du point mémoire. L'élément de chauffage est 20 typiquement situé sous le matériau à changement de phase et sur B16384 - 17-GR4-0321 2 un via de liaison à l'une des bornes de l'un des transistors de la mémoire. Les puces à mémoire non volatile embarquée à matériau à changement de phase obtenues par des procédés connus présentent divers inconvénients. En particulier, on souhaite réduire la résistance électrique d'accès aux transistors due notamment à la résistance électrique des vias. Résumé Un mode de réalisation prévoit de pallier tout ou 10 partie des inconvénients ci-dessus. Ainsi, un mode de réalisation prévoit un procédé de fabrication d'une puce électronique comportant des points mémoire à matériau à changement de phase et des transistors, comprenant : a) former les transistors et des premiers et 15 deuxièmes vias s'étendant depuis des bornes des transistors et atteignant une même hauteur ; b) former un premier niveau de métal comprenant des premières pistes d'interconnexion en contact avec les premiers vias ; c) pour chaque point mémoire, former un élément de chauffage du matériau à changement de phase 20 sur un des deuxièmes vias ; d) former le matériau à changement de phase de chaque point mémoire sur l'élément de chauffage ; et e) former un deuxième niveau de métal comprenant des deuxièmes pistes d'interconnexion et situé au-dessus des matériaux à changement de phase, et former des troisièmes vias s'étendant 25 des matériaux à changement de phase jusqu'aux deuxièmes pistes d'interconnexion. Selon un mode de réalisation, le procédé, comprend entre les étapes b) et c), le dépôt d'une couche de protection sur les premières pistes d'interconnexion. 30 Selon un mode de réalisation, la couche de protection est en nitrure de silicium. Selon un mode de réalisation, le procédé comprend à l'étape c) : cl) déposer une première couche en un isolant thermique recouvrant les deuxièmes vias ; c2) graver des 35 portions de la première couche jusqu'au niveau des sommets des B16384 - 17-GR4-0321 3 deuxièmes vias puis former des premiers espaceurs contre les flancs des portions restantes de la première couche, en faisant en sorte que le sommet de chaque deuxième via soit partiellement recouvert d'un des premiers espaceurs et partiellement exposé ; 5 c3) former une deuxième couche conforme en le matériau du futur élément de chauffage ; c4) former un deuxième espaceur recouvrant la portion de la deuxième couche située contre chaque premier espaceur, puis retirer les parties exposées de la deuxième couche ; c5) former un troisième espaceur contre chaque deuxième espaceur ; c6) graver partiellement la structure jusqu'au niveau des sommets de deuxièmes vias de manière à individualiser les éléments de chauffage constitués chacun d'une portion de la deuxième couche ; et c7) recouvrir la structure d'une troisième couche de protection. Selon un mode de réalisation, le procédé comprend à l'étape c) : c8)déposer un isolant thermique dans les parties gravées à l'étape c2) et restées libres à l'étape c5), jusqu'au niveau supérieur de la première couche ; c9) déposer un isolant thermique dans les parties gravées à l'étape c5) et restées vides après l'étape c6), jusqu'au niveau supérieur de la première couche ; et c10) retirer les parties de la structure situées au-dessus du niveau des sommets des éléments de chauffage. Selon un mode de réalisation, on laisse en place à l'étape c6) pour chaque élément de chauffage un ruban s'étendant dans le sens de l'épaisseur des espaceurs, ledit ruban comprenant l'élément de chauffage entre des portions des espaceurs, la largeur dudit ruban étant inférieure à 30 nm. Selon un mode de réalisation, le procédé comprend, 30 avant l'étape cl), le dépôt d'une couche d'arrêt de gravure. Selon un mode de réalisation, chaque isolant thermique est oxyde de silicium ou en oxycarbure de silicium, et lesdits espaceurs et la troisième couche sont en nitrure de silicium ou en carbonitrure de silicium. B16384 - 17-GR4-0321 4 Un mode de réalisation prévoit une puce électronique comprenant : des transistors et des points mémoire à matériau changement de phase ; un premier niveau de métal comportant des premières pistes d'interconnexion reliées à des bornes des 5 transistors par des premiers vias ; et une deuxième niveau de métal comportant des deuxièmes pistes d'interconnexion et situé au-dessus du premier niveau de métal, dans laquelle les matériaux à changement de phase des points mémoire sont situés entre les premier et deuxième niveaux de métal sur des éléments 10 de chauffage reliés aux transistors par des deuxièmes vias, et sont reliés à des deuxièmes pistes du deuxième niveau de métal par des troisièmes vias. Selon un mode de réalisation, chaque élément de chauffage traverse une région thermiquement isolante. 15 Selon un mode de réalisation, chaque élément de chauffage est entouré d'une région de protection séparant l'élément de chauffage de la région thermiquement isolante. Selon un mode de réalisation, la région thermiquement isolante comprend de l'oxyde de silicium ou de l'oxycarbure de 20 silicium, et la région de protection est en nitrure de silicium ou en carbonitrure de silicium. Brève description des dessins Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes 25 de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la figure 1 est une vue en coupe, partielle et schématique, d'une puce à mémoire embarquée à matériau à changement de phase ; les figures 2A à 2C sont des vues en coupe, partielles et schématiques, illustrant des étapes d'un mode de réalisation d'un procédé de fabrication d'une puce à mémoire embarquée à matériau à changement de phase ; et B16384 - 17-GR4-0321 5 les figures aA à 3M illustrent schématiquement un exemple plus détaillé d'étapes de mise en oeuvre du procédé des figures 2A à 2C. Description détaillée 5 De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références dans les différentes figures et, de plus, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle. Par souci de clarté, seuls les éléments utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés. En 10 particulier, les transistors et leur procédé de fabrication, connus de l'homme du métier, ne sont pas décrits en détails. Dans la description qui suit, lorsque l'on fait référence à des qualificatifs de position tels que les termes "dessus", "dessous", "supérieur", "inférieur", "horizontal", 15 "vertical", etc., il est fait référence à l'orientation de l'élément concerné dans les vues en coupe, étant entendu que, dans la pratique, les dispositifs décrits peuvent être orientés différemment. La figure 1 est une vue en coupe, partielle et 20 schématique, d'une puce à mémoire non volatile embarquée à matériau à changement de phase. La puce comprend une région 102 dans laquelle sont situés des circuits comportant des transistors 110, et une région 104 dans laquelle sont situés des points mémoire à 25 matériau à changement de phase associés à des transistors 112. Un transistor 110 et un transistor 112 sont représentés chacun par une grille isolée flanquée d'espaceurs. La puce a été obtenue de la manière décrite ci-après. On a d'abord formé les transistors 110 et 112 dans et 30 sur un substrat 114. On a ensuite mis en oeuvre des étapes de dépôt sur la structure de couches électriquement isolantes (non représentées), et de formation d'éléments électriquement conducteurs dans ces couches d'isolant. Les éléments conducteurs formés sont successivement : B16384 - 17-GR4-0321 6 - des vias 120A et des vias 120B, les vias 120A s'étendant à partir de prises de contact 122A des drains des transistors 112, et les vias 120B s'étendant à partir de prises de contact 122B des drains, des sources et des grilles des transistors 110 et 5 des sources des transistors 112; les vias 120A et 120B atteignent un même niveau Li au-dessus du substrat 114 ; - des points mémoire 130 comprenant chacun, sur un des vias 120A, un élément de chauffage 132 surmonté d'une région 134 de matériau à changement de phase ; 10 - des vias 140 situés sur les vias 120B, et des vias 142 situés chacun sur une des régions 134, les vias 140 et 142 s'étendant jusqu'à un même niveau L2 au-dessus du substrat 114 ; - un premier niveau de métal M1 comprenant des premières pistes d'interconnexion 150 en contact avec les vias 140 et 142 ; et 15 - un deuxième niveau de métal M2 comprenant des deuxièmes pistes d'interconnexion 160 reliées aux pistes 150 par des vias 162. Dans la puce ainsi obtenue, les prises de contact, ou bornes, 122B des transistors sont reliées aux pistes 150 du 20 premier niveau de métallisation M1 par des empilements 170 d'un via 120B et d'un via 140. Un problème est que la résistance électrique de chaque empilement 170 est élevée, en particulier en raison de la hauteur élevée de l'empilement 170 et en raison de diverses difficultés, notamment d'alignement, pour réaliser 25 le contact électrique entre le via 120B et le via 140. Il résulte de cette résistance électrique diverses difficultés de performance et de consommation électrique, en particulier des circuits de la région 102. Les figures 2A à 2C sont des vues en coupe, partielles 30 et schématiques, illustrant des étapes d'un mode de réalisation d'un procédé de fabrication d'une puce à mémoire à matériau à changement de phase embarquée. Seule une région 104 de mémoire à matériau à changement de phase est représentée, de manière partielle, en figures 2A et 2B. Comme en figure LA, les couches B16384 - 17-GR4-0321 7 isolantes recouvrant les transistors et le substrat ne sont pas représentés en figures 2A et 2B. A l'étape de la figure 2A, on forme des éléments identiques ou similaires à ceux de la puce de la figure 1 situés 5 sous le même niveau Li que celui de la figure 1, disposés de manière identique ou similaire. Ces éléments sont notamment, dans la région 104, un transistor 112, et, à partir des prises de contact de drain 122A et de source 122B du transistor 112, des vias respectifs 120A et 120B s'étendant jusqu'au niveau Li. 10 On forme un premier niveau de métal M1' comprenant des premières pistes d'interconnexion 202 sur les vias 120B. On note qu'on ne forme pas de piste sur les vias 120A. Contrairement aux pistes 150 de la figure 1, les pistes 202 sont directement en contact avec les vias 120B. 15 A l'étape de la figure 2B, on forme des points mémoire 130 comprenant chacun, sur un des vias 120A, un élément de chauffage 132 surmonté d'une région 134 de matériau à changement de phase. A l'étape de la figure 2C, on forme un deuxième niveau 20 de métal M2, situé au-dessus du niveau des régions 134 et comprenant des deuxièmes pistes d'interconnexion 160. Les pistes 160 sont reliées aux pistes 150 par des vias 162 et aux régions 134 par des vias 204. Dans la puce obtenue, chaque point mémoire a son 25 matériau à changement de phase 134 situé entre les niveaux M1' et M2. Selon un avantage, du fait que les régions 134 de matériau à changement de phase sont situées entre les niveaux M1' et M2, on a pu relier directement les pistes 202 du premier 30 niveau de métal M1' aux prises de contact 122B des transistors par les vias 120B. La résistance électrique d'accès aux transistors est particulièrement réduite. En effet, contrairement aux empilements 170 de la puce de la figure 1, les vias 120B sont formés en une seule étape. De plus, les vias 120B ont une hauteur réduite par rapport aux empilements 170 de la B16384 - 17-GR4-0321 8 puce de la figure 1. Il en résulte que les circuits de la région 102 ont une consommation électrique réduite. On note que cet avantage de résistance électrique réduite existe aussi pour la liaison directe par le via 120B entre les transistors 112 de la 5 région 104 de points mémoire et les pistes 202, ce qui permet une consommation électrique réduite des points mémoire. Selon un autre avantage, la liaison entre le matériau à changement de phase 134 et les pistes 160 est formée par un unique via 204, contrairement à la liaison entre le matériau à 10 changement de phase 134 et les pistes 160 de la puce de la figure 1, formée par l'intermédiaire d'un via 142, d'une piste 150 et un d'un via 162. On évite ainsi diverses difficultés de réalisation du via 142 de la figure 1, telles que des difficultés d'alignement. 15 Les figures m. à 3L illustrent schématiquement un exemple plus détaillé d'étapes de mise en oeuvre du procédé des figures 2A à 2C. Les figures m. à 3F sont des vues partielles en coupe selon une première direction, la figure 3G est une vue partielle de dessus, la figure 3H est une vue partielle en 20 perspective, les figures 31 et 3J sont des vues partielles en coupe selon une deuxième direction orthogonale à la première direction, et les figures 3K et 3L sont des vues partielles en coupe selon la première direction. Seule la région 104 de mémoire est représentée, de manière partielle. 25 La figure m. illustre l'étape de formation du premier niveau de métal de la figure 2A. On part de la structure comprenant les éléments situés sous le niveau Li, en particulier les vias 120A et 120B, dont seules les parties supérieures sont représentées. Les vias 120A et 120B sont dans une couche 30 d'isolant 302, par exemple en oxyde de silicium ou à base d'oxyde de silicium, et affleurent la surface de la couche d'isolant 302 au niveau Li. A titre d'exemple, les vias 120A et 120B sont en tungstène. On recouvre la structure d'une couche 304 d'arrêt de 35 gravure, par exemple en carbonitrure de silicium. On forme B16384 - 17-GR4-0321 9 ensuite sur la structure une couche 306, de préférence thermiquement isolante et à faible constante diélectrique, par exemple en un oxyde de silicium, par exemple poreux. A titre d'exemple, la couche 304 a une épaisseur comprise entre 10 et 5 25 nm. La couche 306 a une épaisseur comprise par exemple entre 30 et 200 rua. On grave ensuite des tranchées 308 traversant les couches 306 et 304 aux emplacements des futures premières pistes d'interconnexion 202, c'est-à-dire au-dessus des vias 120B. Les 10 tranchées sont gravées jusqu'à la surface supérieure, ou sommet, des vias 120B. Après cela, on remplit les tranchées 308 d'un matériau électriquement conducteur, par exemple du cuivre, jusqu'au niveau supérieur de la couche 306. Pour effectuer ce 15 remplissage, on peut par exemple recouvrir la structure d'une couche du matériau conducteur remplissant les tranchées 308, puis retirer par polissage mécanochimique l'ensemble des éléments situés au-dessus du niveau supérieur de la couche 306. A l'étape de la figure 3B, on recouvre la structure 20 d'une couche 310, par exemple en nitrure de silicium, destinée à protéger les pistes 202 au cours de la réalisation du point mémoire. On forme ensuite une couche d'oxyde de silicium 312 sur la structure. A titre d'exemple la couche de protection 310 a une épaisseur comprise entre 10 et 40 rua. 25 Après cela, on grave toute l'épaisseur des couches 312, 310, 306 et 304 dans des parties 314, de manière à dégager au moins en partie le sommet de chacun des vias 120A. Les portions restantes des couches gravées présentent des flancs 316. Pour chaque via 120A, un flanc 316 est positionné par 30 rapport au via 120A d'une manière choisie décrite ci-après en relation avec l'étape de la figure 3C. A l'étape de la figure 3C, on forme un espaceur 320 contre chaque flanc 316, c'est-à-dire que l'on recouvre la structure d'une couche du matériau de l'espaceur 320, par 35 exemple un nitrure de silicium, et que l'on retire les portions B16384 - 17-GR4-0321 10 horizontales de cette couche par gravure anisotrope. La position par rapport au via 120A du flanc 316 obtenu à l'étape de la figure 3B, et l'épaisseur de l'espaceur 320, sont choisis de sorte que l'espaceur 320 recouvre partiellement le sommet du via 5 120A en laissant le via 120A partiellement exposé, c'est-à-dire de sorte que le flanc exposé de l'espaceur se trouve à l'aplomb du via 120A. A titre d'exemple, les espaceurs 320 ont une épaisseur comprise entre 5 et 30 nia. A l'étape de la figure 3D, on recouvre la structure de 10 manière conforme d'une couche 132A destinée à former les futurs éléments de chauffage. La couche 132A est par exemple en nitrure de silicium et de titane TiSiN. La couche 132A recouvre un flanc de chaque espaceur 320 et une partie de chaque via 120A. A titre d'exemple, la couche 132A a une épaisseur comprise entre 2 et 15 10 rua. A l'étape de la figure 3E, on forme un espaceur 330, par exemple en nitrure de silicium, contre la portion de la couche 132A recouvrant chaque espaceur 320. On retire par gravure les portions restées exposées de la couche 132A. A cette 20 étape, seules subsistent de la couche 132A des portions verticales 332 entre les espaceurs 320 et 330, et des portions horizontales 334 sous les espaceurs 330. A titre d'exemple, les espaceurs 330 ont une épaisseur comprise entre 5 et 30 nia. A l'étape de la figure 3F, on forme un espaceur 340, 25 par exemple en nitrure de silicium, contre chaque espaceur 330. Les espaceurs 340 recouvrent les flancs des portions horizontales 334 des restes de la couche 132A. A titre d'exemple, les espaceurs 340 ont une épaisseur comprise entre 5 et 30 nia. 30 Après cela, on recouvre la structure d'une couche 342, de préférence thermiquement isolante, par exemple en oxyde de silicium, atteignant, dans les parties 314 gravées à l'étape de la figure 3B et restées libres, le niveau de la surface supérieure de la couche 310. On retire ensuite par polissage B16384 - 17-GR4-0321 11 mécanochimique l'ensemble des éléments situés au-dessus du niveau supérieur de la couche 310. La figure 3G est une vue de dessus de la structure de la figure 3F, dans l'exemple d'un flanc 316 rectiligne. On grave 5 les divers éléments recouvrant les vias 120A, 120B et l'isolant 302, jusqu'au niveau supérieur des vias 120A et 120B, dans des régions 350 représentées en figure 3G par des hachures délimitées par des pointillés. Les régions 350 sont prévues pour que la gravure laisse en place, pour chaque via 120A, les 10 éléments situés en vue de dessus par exemple dans une bande 352 passant sur le via 120A et s'étendant dans le sens de l'épaisseur des espaceurs, c'est-à-dire orthogonalement à la direction du flanc 316. Les régions 350 sont prévues pour que la gravure laisse en outre en place les parties des couches 304, 15 306 et de la couche de protection 310 encadrant et recouvrant les pistes 202. La figure 3H représente la structure obtenue après gravure des régions 350. La gravure a individualisé pour chaque via 120A une portion verticale de la couche 132A située sur le 20 via 120A (dont seule une partie de la face supérieure est visible). Cette portion forme l'élément de chauffage 132. L'élément de chauffage se prolonge en partie basse par une partie horizontale 334. On a laissé en place des portions des espaceurs 320, 330 prenant l'élément de chauffage en sandwich et 25 recouvrant la partie horizontale 334, et une portion d'espaceur 340 contre le flanc de la partie horizontale 334. De préférence, la largeur de l'élément de chauffage, correspondant à la largeur de la bande 352, est réduite, par exemple inférieure à 30 rua. A titre d'exemple, l'élément de 30 chauffage est intégralement situé sur le via 120A. A titre d'exemple, le via 120A a un diamètre compris entre 30 et 60 rua. A l'étape de la figure 31, on recouvre de manière conforme l'ensemble de la structure d'une couche de protection 360, par exemple en nitrure de silicium. B16384 - 17-GR4-0321 12 A l'étape de la figure 3J, on dépose sur la structure une couche 370 d'un matériau de préférence thermiquement isolant, par exemple un oxyde de silicium, atteignant, dans les parties des régions 150 restées libres, le niveau supérieur des 5 éléments de chauffage 132. On retire ensuite par polissage mécanochimique tous les éléments situés au-dessus du niveau supérieur des éléments de chauffage 132. Chaque élément de chauffage 132 ainsi obtenu est entièrement entouré par les portions des espaceurs 320, 330, 340 10 et de la couche 360. A l'étape de la figure 3K, on recouvre la structure : d'une couche 134A du matériau à changement de phase, par exemple un chalcogénure ; d'une couche électriquement conductrice 380, par exemple en nitrure de titane ; puis d'une couche de masquage 15 382, par exemple en nitrure de silicium. A l'étape de la figure 3L, on grave les couches 382, 380 et 134A dans des régions 390, de manière à laisser en place sur chaque élément de chauffage une région 134A du matériau à changement de phase surmontée d'une portion de la couche 380 20 formant une prise de contact. On a ainsi formé les points mémoire. Après cela, on recouvre la structure d'une couche de protection 392, par exemple un nitrure de silicium. L'étape de la figure 3M correspond à celle de la 25 figure 2C, de formation des vias 162 et 204 et des deuxièmes pistes d'interconnexion 160. On recouvre la structure d'un isolant 400, par exemple à base d'oxyde de silicium, jusqu'à un niveau L3. On recouvre ensuite la structure successivement d'une 30 couche 402 d'arrêt de gravure par exemple en carbonitrure de silicium et d'une couche 404 à faible constante diélectrique, par exemple en oxyde de silicium, par exemple poreux. On grave des tranchées 406 traversant les couches 404 et 402 sur toute leur épaisseur aux emplacements des futures 35 deuxièmes pistes d'interconnexion 160. B16384 - 17-GR4-0321 13 On grave les emplacements des futurs vias 162 et 204 à partir du fond des tranchées 406, jusqu'aux pistes 202 pour les vias 162 (emplacement 408), et jusqu'à la prise de contact 380 (emplacement 410) pour les vias 204. 5 Après cela, on remplit les tranchées 406 et les emplacements 408 et 410 d'un matériau conducteur, par exemple du cuivre, jusqu'au niveau supérieur de la couche 404. Outre les avantages déjà décrits, un avantage de la puce obtenue en mettant en oeuvre l'exemple de procédé des 10 figures aA à 3M provient du fait que chaque élément de chauffage 132 est encadré latéralement de portions des couches 306 et 342, ainsi que de portions de la couche 370 (non visibles en figure 3M. Les portions des couches 306 et 342 encadrent l'élément de chauffage 132 selon une direction orthogonale à celle du flanc 15 316 (selon le plan de la figure 3M), et les portions de la couche 370 encadrent l'élément de chauffage 132 selon une direction parallèle à celle du flanc 316. Les portions des couches 306, 342 et 370 forment ainsi une région thermiquement isolante, par exemple en oxyde de silicium, traversée par 20 l'élément de chauffage 132. L'oxyde de silicium a une conductivité thermique faible, inférieure à une valeur de l'ordre de 1,5 W/(m-K), soit par exemple plus de 10 à 40 fois plus faible que celle du nitrure de silicium (qui peut être par exemple de l'ordre de 17 W/(m-K)). Ceci permet d'éviter que, 25 lorsque l'élément de chauffage s'échauffe au cours par exemple de la programmation du point mémoire, les régions environnant l'élément de chauffage s'échauffent elles aussi. Un tel échauffement risquerait de provoquer, par exemple, l'effacement de points mémoires voisins. En outre, on évite qu'une partie de 30 la chaleur produite dans l'élément de chauffage soit perdue dans les régions environnantes. Des quantités réduites de chaleur produite suffisent alors pour échauffer l'élément de chauffage, ce qui correspond à une consommation électrique réduite pour programmer et effacer le point mémoire. B16384 - 17-GR4-0321 14 On note que chaque élément de chauffage est séparé des matériaux des couches 306, 342 et 370 par des portions des espaceurs 320, 330 et 340 et de la couche 360 par exemple en nitrure de silicium. Les portions des espaceurs 320, 330 et 340 5 et de la couche 360 forment ainsi une région de protection de l'élément de chauffage. Ceci permet que chaque élément de chauffage soit uniquement en contact avec le nitrure de silicium. On évite ainsi un contact entre l'élément de chauffage et un matériau tel que, par exemple, l'oxyde de silicium des 10 couches 306, 342 et 370. Un tel contact serait susceptible d'altérer le matériau de l'élément de chauffage, par exemple si l'élément de chauffage est en nitrure de silicium et de titane. Selon un autre avantage, la prévision d'un élément de chauffage de largeur réduite permet de réduire le volume de 15 matériau à changement de phase à chauffer pour la programmation ou l'effacement. Des quantités réduites de chaleur produite dans l'élément de chauffage suffisent à programmer et effacer le point mémoire, ce qui permet une consommation électrique réduite. 20 Des modes de réalisation particuliers ont été décrits. Diverses variantes et modifications apparaîtront à l'homme de l'art. Bien que, dans les étapes des figures aA à 3M, des régions thermiquement isolantes (portions des couches 306, 342 et 370) traversées par des éléments de chauffage soient en oxyde 25 de silicium, on pourra utiliser pour ces régions tout matériau thermiquement isolant adapté, c'est-à-dire ayant une conductivité thermique inférieure par exemple à 2 W/(m-K). A titre d'exemple, on pourra remplacer l'oxyde de silicium de tout ou partie de ces régions par de l'oxycarbure de silicium, par 30 exemple poreux. On pourra alors omettre les espaceurs 320 et 340 dans le cas où on utilise pour ces régions un matériau pouvant être en contact avec l'élément de chauffage sans risque de l'endommager. En outre, bien que les espaceurs 320, 330 et 340, et 35 la couche 370 décrits ci-dessus soient en nitrure de silicium, B16384 - 17-GR4-0321 15 on pourra remplacer le nitrure de silicium de tout ou partie de ces régions par tout autre matériau adapté à protéger l'élément de chauffage, tel que du carbonitrure de silicium. Bien qu'un exemple particulier d'étapes de mise en 5 oeuvre du procédé des figures 2A à 2C ait été décrit en relation avec les figures aA à 3M, on peut prévoir toutes autres étapes adaptées à mettre en oeuvre le procédé des figures 2A à 2C. En particulier, on peut remplacer les étapes de formation des éléments de chauffage et de formation de régions de matériau à 10 changement de phase, décrites en relation avec les figures aA à 3M, par tout procédé de formation d'éléments de chauffage surmontés de régions de matériau à changement de phase. Bien que les transistors 110 et 112 décrits ci-dessus soient représentés par des grilles flanquées d'espaceurs, les 15 transistors 110 et/ou 112 peuvent être des transistors bipolaires, les grilles, sources et drains décrits ci-dessus correspondant alors respectivement aux bases, REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication d'une puce électronique comportant des points mémoire (130) à matériau à changement de phase (134) et des transistors (110, 112), comprenant : a) former les transistors et des premiers et deuxièmes 5 vias (120B, 120A) s'étendant depuis des bornes (122A, 122B) des transistors et atteignant une même hauteur ; b) former un premier niveau de métal comprenant des premières pistes d'interconnexion (202) en contact avec les premiers vias (120B) ; 10 c) pour chaque point mémoire (130), former un élément de chauffage (132) du matériau à changement de phase sur un des deuxièmes vias (120A) ; d) former le matériau à changement de phase (134) de chaque point mémoire sur l'élément de chauffage (132) ; et 15 e) former un deuxième niveau de métal comprenant des deuxièmes pistes d'interconnexion et situé au-dessus des matériaux à changement de phase, et former des troisièmes vias (204) s'étendant des matériaux à changement de phase jusqu'aux deuxièmes pistes d'interconnexion. 20 2. Procédé selon la revendication 1, comprenant, entre les étapes b) et c), le dépôt d'une couche de protection (310) sur les premières pistes d'interconnexion. 3. Procédé selon la revendication 2, dans lequel la couche de protection (310) est en nitrure de silicium. 25 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, comprenant à l'étape c) : cl) déposer une première couche (306) en un isolant thermique recouvrant les deuxièmes vias ; c2) graver des portions de la première couche jusqu'au 30 niveau des sommets des deuxièmes vias puis former des premiers espaceurs (320) contre les flancs (316) des portions restantes de la première couche, en faisant en sorte que le sommet de chaque deuxième via (120A) soit partiellement recouvert d'un des premiers espaceurs et partiellement exposé ; B16384 - 17-GR4-0321 17 c3) former une deuxième couche (132A) conforme en le matériau du futur élément de chauffage (132) ; c4) former un deuxième espaceur (330) recouvrant la portion de la deuxième couche (132A) située contre chaque 5 premier espaceur (320), puis retirer les parties exposées de la deuxième couche ; c5) former un troisième espaceur (340) contre chaque deuxième espaceur (330) ; c6) graver partiellement la structure jusqu'au niveau 10 des sommets de deuxièmes vias (120A) de manière à individualiser les éléments de chauffage (132) constitués chacun d'une portion de la deuxième couche (132A) ; et c7) recouvrir la structure d'une troisième couche (360) de protection. 15 5. Procédé selon la revendication 4, comprenant à l'étape c) : c8) déposer un isolant thermique (342) dans les parties gravées à l'étape c2) et restées libres à l'étape c5), jusqu'au niveau supérieur de la première couche (304) ; 20 c9) déposer un isolant thermique (370) dans les parties gravées à l'étape c5) et restées vides après l'étape c6), jusqu'au niveau supérieur de la première couche (310) ; et c10) retirer les parties de la structure situées au-dessus du niveau des sommets des éléments de chauffage (132). 25 6. Procédé selon la revendication 4 ou 5, dans lequel on laisse en place à l'étape c6) pour chaque élément de chauffage un ruban s'étendant dans le sens de l'épaisseur des espaceurs, ledit ruban comprenant l'élément de chauffage entre des portions des espaceurs, la largeur dudit ruban étant 30 inférieure à 30 nia. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 4 à 6, comprenant, avant l'étape cl), le dépôt d'une couche d'arrêt de gravure (304). 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 4 35 à 7, dans lequel chaque isolant thermique (306, 342, 370) est un B16384 - 17-GR4-0321 18 oxyde de silicium ou en oxycarbure de silicium, et lesdits espaceurs (320, 330, 340) et la troisième couche sont en nitrure de silicium ou en carbonitrure de silicium. 9. Puce électronique comprenant : des transistors (110, 112) et des points mémoire (130) à matériau changement de phase (134) ; un premier niveau de métal comportant des premières pistes d'interconnexion (202) reliées à des bornes des transistors par des premiers vias ; et une deuxième niveau de métal comportant des deuxièmes pistes d'interconnexion (160) et situé au-dessus du premier niveau de métal, dans laquelle les matériaux à changement de phase des points mémoire sont situés entre les premier et deuxième niveaux 15 de métal sur des éléments de chauffage reliés aux transistors par des deuxièmes vias (120A), et sont reliés à des deuxièmes pistes du deuxième niveau de métal par des troisièmes vias (204). 10. Puce électronique selon la revendication 9, dans 20 laquelle chaque élément de chauffage (132) traverse une région thermiquement isolante (306, 342, 370). 11. Puce électronique selon la revendication 10, dans laquelle chaque élément de chauffage (132) est entouré d'une région de protection (320, 330, 340, 360) séparant l'élément de 25 chauffage de la région thermiquement isolante (306, 342, 370). 12. Puce électronique selon la revendication 11, dans laquelle la région thermiquement isolante (306, 342, 370) comprend de l'oxyde de silicium ou de l'oxycarbure de silicium, et la région de protection (320, 330, 340, 360) est en nitrure 30 de silicium ou en carbonitrure de silicium.