Brevet FR3073098A1 — publié le 20190503

« Source laser à solide » Domaine technique La présente invention concerne une source laser à solide. Plus particulièrement, l'invention concerne une source laser à solide pulsée produisant des pulsations brèves et énergétiques. État de la technique antérieure Les lasers à solide, ou lasers à semi-conducteurs, sont largement utilisés dans des applications industrielles, telles que le marquage de matériaux, la découpe et la soudure, ou dans des applications scientifiques. Les lasers à solide consistent en un milieu à gain solide non conducteur pompé optiquement par des diodes ou des lampes à arc (également appelées lampes flash). Les sources laser à solide déclenchées permettent de produire des impulsions brèves et énergétiques, trouvant ainsi des applications, par exemple, dans des procédés de traitement des matériaux. De tels lasers comprennent un atténuateur variable actif ou passif permettant de moduler les pertes dans la cavité laser, en basculant entre un état opaque et un état transparent. Lorsque l'atténuateur est opaque, les pertes dans le résonateur du laser, également appelé cavité laser, sont très élevées, la lumière émise par le milieu à gain ne pouvant pas circuler dans le résonateur et revenir dans le milieu à gain. Le processus de l'émission laser ne peut donc pas s'amorcer. L'énergie fournie par la source de pompage s'accumule alors dans le médium à gain. Lorsque l'atténuateur est transparent, les pertes dans le résonateur sont très faibles et la radiation peut circuler dans celui-ci. Grâce à l'énergie accumulée dans le medium à gain, la puissance dans le résonateur augmente très rapidement, ce qui permet de délivrer une pulsation courte et énergétique. Ce procédé est appelé Q-switching dans la terminologie anglo- saxonne. L'atténuateur variable, ou commutateur-Q, peut être actif et donc contrôlé par un signal externe, comme des modulateurs électro-optiques ou 2 acousto-optiques. L'atténuateur variable peut aussi être passif, comme un absorbant saturable. Pour obtenir des pulsations très énergétiques (de l'ordre de plusieurs centaines de millijoules) et brèves (de l'ordre de quelques nanosecondes), le 5 pompage est typiquement réalisé par lampe flash. Cependant, de tels systèmes ne sont pas très robustes et plutôt encombrants. De plus, la cadence des pulsations ne dépasse généralement pas 30 Hz environ. Alternativement, pour générer des pulsations très énergétiques et brèves, des systèmes laser à étages amplificateurs sont utilisés. Un exemple 10 d'un tel système, connu sous le nom anglo-saxon de master oscillator power amplifier (MOPA), consiste en un laser de pompe (l'oscillateur) et au moins un amplificateur optique pour amplifier la puissance de sortie du laser de pompe. Des éléments optiques supplémentaires, par exemple pour la modulation de phase, d'intensité ou de longueur d'onde, peuvent ainsi être 15 places dans l'oscillateur ou entre l'oscillateur et l'amplificateur pour ne pas les exposer à des intensités trop importantes. Aussi, on utilise deux modules de pompage en série pour éviter une dépolarisation due à la biréfringence induite par des effets thermiques qui peuvent survenir en cas de forte pompage. 20 De tels systèmes sont cependant très encombrants, coûteux et complexes, et ils ne permettent pas de générer des pulsations avec une cadence de plus de 200 Hz environ. De plus, la modification du gain dans l'amplificateur peut altérer la forme temporelle de la pulsation, ce qui peut être indésirable pour certaines applications. 25 Exposé de l'invention Le but de la présente invention est de remédier à tout ou partie des inconvénients précités. En particulier, l'invention vise à proposer une source laser à solide compacte générant des impulsions brèves, très énergétiques et 30 à une cadence élevée. Cet objectif est atteint avec une source laser pulsée à solide et un système d'émission de faisceau laser selon les aspects suivants de l'invention. 3 Selon un premier aspect, l'invention concerne une source laser pulsée à solide comprenant : un premier résonateur formé par un premier miroir réfléchissant et un miroir de sortie partiellement réfléchissant, 5 un module laser placé entre les miroirs du premier résonateur, comprenant : o un barreau laser en matériau solide à gain adapté pour générer un faisceau laser, et o une source de pompage laser adaptée pour émettre dans 10 le barreau laser un faisceau de pompe. Le barreau laser est adapté pour amplifier le faisceau de pompe pour générer le faisceau laser, et le miroir de sortie est adapté pour transmettre partiellement le faisceau laser. La source laser pulsée à solide comprend en outre : 15 un dispositif d'atténuation variable pouvant basculer entre un état opaque et un état transparent pour le faisceau laser pour permettre à la source laser de fonctionner en un mode déclenché, le dispositif étant placé entre le module laser et le miroir réfléchissant, un élément polarisant linéairement disposé entre le dispositif 20 d'atténuation variable et le module laser, et un élément retardateur de phase disposé entre le miroir de sortie et le module laser. La source laser selon la présente invention présente de nombreux avantages. Le module laser étant utilisé comme l'unique oscillateur de la 25 source laser pour produire la radiation laser, la source laser est particulièrement compacte, tout en délivrant des impulsions très énergétiques. Des dispositifs supplémentaires tels que des étages amplificateurs ou des lampes flash ne sont pas nécessaires, rendant ainsi la source laser beaucoup plus robuste et relativement peu coûteuse par rapport 30 à des sources laser pulsées à solide de l'art antérieur. De manière avantageuse, l'élément retardateur de phase a pour effet d'améliorer l'homogénéité du faisceau laser sortant de la source laser. Le profil du faisceau laser se trouve plus lisse grâce à la diminution de pertes dues à la dépolarisation dans le milieu à gain. La dépolarisation peut avoir 4 lieu dû à des effets thermiques dans le milieu à gain, conduisant à de la biréfringence du matériau, cette biréfringence introduite étant d'autant plus forte que la puissance de pompage est élevée. L'élément retardateur de phase compense à lui seul la biréfringence introduite dans le barreau laser, 5 même en cas de forte puissance de pompage. L'énergie de sortie de la source laser est augmentée de manière significative grâce à l'élément retardateur de phase par rapport à une même source laser sans cet élément. En outre, l'élément retardateur participe également à la protection du barreau en matériau à gain contre les réflexions parasites venant de l'extérieur de la 10 cavité laser. Préférentiellement, l'élément retardateur de phase est une lame de quart d'onde dont l'axe rapide est parallèle à la direction de polarisation linéaire. Une telle lame n'augmente pas l'encombrement de la cavité. Selon un mode de réalisation, la source laser selon l'invention 15 comprend en outre un deuxième miroir réfléchissant adapté pour former un deuxième résonateur avec le miroir de sortie, le deuxième miroir étant placé du côté opposé du module laser par rapport au miroir de sortie lorsque le deuxième résonateur est formé. Selon ce mode de réalisation, le deuxième résonateur est adapté pour permettre à la source laser de fonctionner en un 20 mode quasi-continuous wave (QCW, terme anglo-saxon pour le fonctionnement en mode quasi-continu) et le deuxième miroir est mobile pour permettre de basculer entre le premier et le deuxième résonateur. Ainsi, la source laser selon ce mode de réalisation permet d'adapter facilement son mode de fonctionnement aux besoins des applications 25 souhaitées, en utilisant le même module laser et sans intervention mécanique complexe. La source laser peut ainsi s'employer pour une multitude d'applications très diverses demandant des énergies et cadences des pulsations laser différentes, tout en restant compacte et robuste. Selon des modes de réalisation, le dispositif d'atténuation variable 30 comprend un modulateur électro-optique, un modulateur acousto-optique, un modulateur rotatif ou un atténuateur variable passif. Avantageusement, la source laser selon l'invention comprend en outre un module de conversion de fréquence réglable adapté pour recevoir un 5 faisceau émis par le barreau laser et émettre un faisceau dont la longueur d'onde est modifiée par rapport à la longueur d'onde du faisceau émis par le barreau laser. Par exemple, pour une longueur d'onde du faisceau émis par le barreau 5 laser de 1064 nm, le module de conversion de fréquence peut doubler ou tripler la fréquence et délivrer des faisceaux d'une longueur d'onde de 532 nm ou 355 nm, respectivement. Selon des modes de réalisation, la cadence de pulsation est comprise entre 1 Hz et 1000 Hz environ. Selon d'autres modes de réalisation, la 10 cadence de pulsation peut être inférieure à 1 Hz ou supérieure à 1 kHz. De manière préférentielle, le barreau laser est en grenat d'yttrium et d'aluminium (YAG) dopé au néodyme (Nd3±) (Nd:YAG) et la longueur d'onde du faisceau laser émis par le barreau est de 1064 nm. Avantageusement, la source de pompage laser comprend au moins une 15 diode laser pulsée ou continue. Selon des modes de réalisation, le premier miroir réfléchissant est un miroir deformable ou un miroir à réflectivité variable, ces deux types de miroirs étant adaptés pour modifier ou mettre en forme le profil du faisceau laser. 20 Selon des modes de réalisation, le polariseur est un polariseur Brewster, un bi-prisme polariseur ou un polariseur en couche mince. Selon un deuxième aspect, l'invention concerne un système d'émission de faisceau laser, comprenant : une source laser selon le premier aspect de l'invention, 25 au moins une fibre optique dans laquelle le faisceau laser transmis par le miroir de sortie est injecté. Selon des modes de réalisation, le système comprend une source laser selon le premier aspect de l'invention, et le système comprend en outre au moins une fibre optique supplémentaire, de façon à ce que au moins un 30 faisceau laser non transmis par le miroir de sortie puisse être injecté dans la fibre optique supplémentaire. 6 Avantageusement, ce mode de réalisation permet de récupérer de la lumière qui n'est pas transmise par le miroir de sortie. Il peut s'agir, par exemple, de faisceaux réfléchis sur un élément optique de la cavité dans des axes autres que celui de la cavité. Ainsi, l'énergie de ces faisceaux peut être 5 recombinée avec l'énergie du faisceau laser sortant par le miroir de sortie. Description des figures D'autres avantages et particularités de l'invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée de mises en oeuvre et de modes de 10 réalisation nullement limitatifs, et des dessins annexés suivants : - la figure 1 montre, dans une vue schématique de coupe, une source laser selon un mode de réalisation de l'invention ; et - la figure 2 représente schématiquement un système d'émission laser selon un mode de réalisation de l'invention. 15 Description de modes de réalisation Les modes de réalisation décrits par la suite étant nullement limitatifs, on pourra notamment considérer des variantes de l'invention ne comprenant qu'une sélection de caractéristiques décrites ou illustrées isolées des autres 20 caractéristiques décrites ou illustrées (même si cette sélection est isolée au sein d'une phrase comprenant ces autres caractéristiques), si cette sélection de caractéristiques est suffisante pour conférer un avantage technique ou pour différencier l'invention par rapport à l'état de la technique antérieure. Cette sélection comprend au moins une caractéristique de préférence 25 fonctionnelle sans détails structurels, et/ou avec seulement une partie des détails structurels si cette partie uniquement est suffisante pour conférer un avantage technique ou à différencier l'invention par rapport à l'état de la technique antérieure. 30 En référence à la figure 1, un mode de réalisation de la source laser 1 selon le premier aspect de l'invention va être décrit. 7 La source laser 1 comprend un premier résonateur optique R1 qui est formé par un premier miroir 2 et un miroir de sortie 3 alignés l'un par rapport à l'autre. Le premier miroir 2 est un miroir réfléchissant avec un taux de réflexion idéal de 100%. Dans le mode de réalisation représenté, le premier 5 miroir 2 est concave. Ceci permet d'éviter les effets thermiques à l'intérieur de la cavité et d'obtenir un faisceau laser à la sortie dont l'énergie est plus stable par rapport à un miroir réfléchissant plat. Le miroir de sortie 3 est partiellement réfléchissant, permettant à la fois de former le premier résonateur avec le premier miroir 2 et de transmettre de la radiation à la 10 longueur d'onde du faisceau laser généré par le résonateur. Par exemple, le taux de réflexion du miroir de sortie 3 peut être de 20% et le taux de transmission de 80%. La source laser 1 comprend, à l'intérieur du premier résonateur R1, un module laser 4. Le module laser 4 comprend un barreau laser en matériau 15 solide à gain adapté pour générer un faisceau laser. Le module laser 4 comprend également une source de pompage pour émettre dans le barreau laser de la radiation de pompe et pomper le barreau laser. Le barreau laser amplifie alors la radiation de pompe pour générer le faisceau laser. Selon un mode de réalisation préféré, le module laser comprend, 20 comme médium à gain, un cristal de Nd:YAG, dont la radiation laser émise a une longueur d'onde de 1064 nm. La source de pompage est, de préférence, constituée par une pluralité de diodes laser à semi-conducteur. Par exemple, la source de pompage comprend au moins une matrice de diodes laser agencé axialement autour 25 du barreau laser ou sur un côté longitudinal du barreau, pour un pompage transversal du barreau. L'agencement des diodes sur le côté ou autour du barreau permet d'obtenir un module laser intégré et particulièrement compact. Les diodes laser peuvent, par exemple, être des diodes laser à cavité verticale émettant par la surface, ou VCSEL (pour la terminologie 30 anglaise vertical-cavity surface-emitting laser). Les diodes laser peuvent également être des diodes laser standard. Les diodes laser peuvent, par exemple, émettre à une longueur d'onde de 808 nm. 8 La puissance crête de pompage est relativement élevée. Par exemple, pour un module laser pompé par des diodes laser standard, la puissance crête de pompage peut être de l'ordre de 10 kW, et la puissance moyenne peut être de l'ordre de 200 W. Pour un module laser pompé par des VCSEL, la 5 puissance crête de pompage peut être de l'ordre de 1,5 kW, et la puissance moyenne peut être de l'ordre de 30 W. Le module laser 4 peut également comprendre des moyens de refroidissement pour refroidir la source de pompage. Un tel moyen de refroidissement peut être, de manière avantageuse, un dissipateur 10 thermique, par exemple en cuivre. Un autre moyen peut être de la circuiterie adaptée pour faire circuler de l'eau de refroidissement autour de la source de pompage. La source laser 1 selon la présente invention émet de la radiation laser pulsée. 15 Selon un mode de réalisation, les diodes laser de la source de pompage sont pulsées avec une durée d'impulsion comprise entre 10 bas et 1 ms. Ce mode de fonctionnement étant proche d'un fonctionnement d'excitation continue, il est appelé quasi-continuous wave mode (QCW) selon la terminologie anglaise. 20 Selon un autre mode de réalisation, les diodes laser de la source de pompage peuvent être des diodes laser continues (CW, pour le terme anglo-saxon continuous wave). Toujours en référence à la figure 1, la source laser 1 selon la présente invention comprend en outre un dispositif d'atténuation variable QS (formé 25 par les éléments référencés 6 et 7) disposé entre le module laser 4 et le premier miroir 2. Le dispositif d'atténuation variable QS est capable de basculer entre un état opaque et un état transparent pour le faisceau laser. Lorsque le dispositif QS bascule de l'état opaque à l'état transparent, la source laser 1 est déclenchée. Le mode de fonctionnement en mode déclenché de la 30 source laser 1 permet la formation de grandes pulsations brèves et énergétiques. Cette technique est appelée commutation-Q, ou Q-switching selon la terminologie anglaise, du fait de la commutation du facteur de qualité du résonateur. 9 Le basculement entre l'état opaque et l'état transparent du dispositif d'atténuation QS est commandé par un signal extérieur ; il s'agit alors de commutation-Q active. Le signal peut être mécanique (par exemple, une roue hacheuse) ou électrique. Selon des modes de réalisation, le dispositif QS peut 5 être un modulateur acousto-optique ou électro-optique. Pour certaines applications de la source laser 1, l'atténuateur variable peut également être de nature passive. La source laser 1 selon l'invention comprend en outre un élément polarisant 5 pour polariser la lumière linéairement. Ce polariseur 5 peut être, 10 par exemple, un polariseur Brewster, un bi-prisme polariseur, ou un polariseur en couche mince. Le polariseur 5 est disposé entre le module laser 4 et le dispositif d'atténuation variable QS. La lumière cheminant entre le module laser 4 et le dispositif d'atténuation QS est alors polarisée linéairement. 15 De préférence, le dispositif d'atténuation variable QS comprend une cellule Pockels 6 combinée avec une lame quart d'onde 7. La lame à retard 7 est disposée entre la cellule Pockels 6 et le premier miroir 2. La cellule Pockels 6 est commandée avec un champ électrique appliqué à celle-ci. Dans l'exemple de la figure 1, le polariseur 5 est disposé entre la cellule Pockels 6 20 et le module laser 4. Dans l'ensemble consistant en la cellule Pockels 6, le polariseur 5 et la lame quart d'onde 7, chaque élément est orienté d'une certaine manière par rapport à l'axe optique 10. Grâce à cela, l'ensemble peut être commuté entre l'état opaque et l'état transparent au moyen du signal de champ électrique. Selon un exemple, le polariseur 5 polarise la lumière 25 linéairement selon l'axe se trouvant dans le plan de planche, et l'axe rapide de la lame quart d'onde 7 est orienté à 45° par rapport au plan de la planche, les deux axes étant perpendiculaires à l'axe optique 10. Avec le champ électrique appliqué, la cellule Pockels agit également comme une lame quart d'onde. 30 Toujours en référence à la figure 1, la source laser 1 selon la présente invention comprend en outre un élément 8 retardateur de phase. Cet élément 8 retardateur de phase est disposé entre le miroir de sortie 3 et le module laser 4. L'élément 8 est disposé de façon à ne pas altérer la polarisation linéaire de la lumière se propageant dans la cavité. L'élément 8 a pour effet 10 d'améliorer l'homogénéité et le profil du faisceau laser en compensant la biréfringence introduite par le matériau à gain dû à des effets thermiques. La biréfringence introduite est d'autant plus forte que la puissance de pompage est élevée. 5 L'élément 8 permet également de protéger le barreau laser contre les réflexions parasites venant de l'extérieur de la cavité, permettant ainsi d'éviter l'utilisation d'un isolateur extérieur qui rendrait la source laser 1 plus encombrante et coûteuse. De plus, l'énergie de sortie de la source laser 1 est augmentée de manière significative grâce à l'élément 8 retardateur de phase 10 par rapport à la même source laser sans cet élément 8. L'augmentation de l'énergie de sortie est, par exemple, de l'ordre de 10-15% en fonction de l'orientation des axes cristallographiques de l'élément 8 dans le plan de rotation perpendiculaire à l'axe optique 10. L'élément 8 retardateur de phase est, de préférence, une lame 8 quart 15 d'onde. Selon un mode de réalisation, l'axe rapide de la lame 8 quart d'onde coïncide avec le plan de la planche, et le polariseur 5 ainsi que le dispositif 6 d'atténuation variable sont agencés de manière à ce que la lumière se propageant entre le polariseur 5 et le module laser 4 est polarisée linéairement dans le plan de la planche. Ainsi, la direction de polarisation 20 linéaire de la lumière coïncide avec l'axe rapide de la lame quart d'onde 8. La polarisation du faisceau laser sortant de la source laser 1 est circulaire. Selon un mode de réalisation particulièrement avantageux, la source laser 1 selon l'invention est adaptée pour fonctionner soit avec le premier résonateur R1, soit avec un deuxième résonateur R2. Le deuxième résonateur 25 R2 est formé par le miroir de sortie 3 et un deuxième miroir réfléchissant 9 (représenté en trait pointillé sur la figure 1). Lorsque la source laser 1 fonctionne avec le deuxième résonateur R2, le deuxième miroir 9 est placé du côté opposé du module laser 4 par rapport au miroir de sortie 3. Le deuxième résonateur R2 ne contenant pas de commutateur-Q, la 30 durée et la cadence des impulsions sont déterminées par les pulsations délivrées par la source de pompage du module laser 4. De manière avantageuse, le deuxième résonateur R2 permet la source laser 1 de fonctionner dans un régime QCW, aussi appelé mode relaxé. Par exemple, les 11 pulsations laser émises peuvent avoir une durée comprise entre 10 ps et 1000 ps environ, selon la durée des pulsations de la source de pompage, par exemple des diodes laser QCW. Lorsque la source laser 1 fonctionne avec le deuxième résonateur R2, la lumière à la sortie de la source 1 n'est pas 5 polarisée circulairement. Toutefois, l'élément retardateur 8 conserve ses effets d'homogénéisation et augmentation d'énergie de sortie comme dans le cas du mode déclenché. Dans le mode relaxé, cette augmentation est toutefois inférieure d'environ 50% à celle que l'on obtient en mode déclenché. Pour permettre à la source laser 1 le basculement entre un 10 fonctionnement avec le premier résonateur R1 et avec le deuxième résonateur R2, le deuxième miroir réfléchissant 9 est monté de manière mobile dans la source laser 1. En particulier, le deuxième miroir 9 est pivotable dans le plan perpendiculaire à l'axe optique 10 de la source laser 1. Pour mettre en oeuvre le deuxième résonateur R2, le deuxième miroir 15 réfléchissant 9 doit être mis en place de manière précise, par exemple, en buté mécanique, et répétable à la position souhaitée, pour assurer la performance de la cavité ainsi obtenue. Pour ce faire, le deuxième miroir 9 peut être monté, par exemple, sur un élément de montage pivotable dans le plan perpendiculaire à l'axe optique 10. Le pivotement de l'élément de 20 montage, de préférence motorisé, peut être commandé par un signal extérieur, de manière automatisée ou manuelle. Ainsi, en pivotant le deuxième miroir réfléchissant 9, la source laser 1 peut fonctionner soit avec le premier résonateur R1 en un régime déclenché délivrant des brèves pulsations (de l'ordre de quelques ns à quelques dizaines 25 de ns), soit avec le deuxième résonateur R2 en un régime QCW délivrant des pulsations plus longues (de l'ordre de quelques dizaines à quelques centaines de ps). La source laser 1 selon ce mode de réalisation permet alors d'adapter facilement son mode de fonctionnement aux besoins des applications souhaitées, en utilisant le même module laser 4 et sans intervention 30 mécanique complexe. La radiation émise par la source laser 1 selon l'invention est, de préférence, multimode. La radiation peut être rendu monomode, par exemple, en plaçant un pinhole de taille adaptée à proximité du miroir de 12 sortie 3 de la cavité, au niveau de la taille du faisceau sortant du module laser 4. Selon des modes de réalisation de la présente invention, la cadence de pulsation est comprise environ entre 1 Hz et 1 kHz pour le mode déclenché 5 et le mode QCW. La cadence d'impulsion détermine l'énergie maximale d'une pulsation pour une durée de pulsation donnée. Pour le mode déclenché, des exemples de valeurs de l'énergie d'une pulsation en fonction de la cadence sont donnés dans le tableau 1, pour une durée de pulsation de 10 ns. 10 Tableau 1. Energie, mJ Cadence, Hz 100 1000 120 300 220 200 300 100 400 10 Pour le mode QCW, des exemples de valeurs de l'énergie d'une pulsation en fonction de la cadence sont donnés dans le tableau 2, pour une durée de pulsation de 250 bas. 15 Tableau 2. Energie, mJ Cadence, Hz 250 1000 225 300 420 200 1000 100 1800 10 13 La durée des pulsations est donnée, entre autres, par la longueur de la cavité. Selon des modes réalisation, la longueur de la cavité (R1) est comprise entre 300 mm et 450 mm environ. Selon des modes de réalisation, la source laser selon la présente 5 invention peut également comprendre un module de conversion de fréquence (non représenté). Les techniques de conversion de fréquence, comme le doublage de fréquence, sont connues. Le module de conversion de fréquence est réglable afin de pouvoir obtenir le doublage ou le triplage de fréquence selon l'application de la source laser 1 souhaitée. Ainsi, pour une longueur 10 d'onde d'émission du module laser 4 de 1064 nm, le doublage de fréquence permet d'obtenir une longueur d'onde d'émission de la source laser 1 de 532 nm, et le triplage de fréquence permet d'obtenir une longueur d'onde de 355 nm. De manière avantageuse, le premier miroir réfléchissant 2 de la cavité 15 est un miroir déformable ou un miroir à réflectivité variable. Le profil du faisceau laser peut ainsi être modulé ou mis en forme et adapté selon l'application souhaitée de la source laser 1. En référence au deuxième aspect de l'invention, la figure 2 représente un système 11 d'émission de faisceau laser selon un mode de réalisation. Le 20 système laser 11 comprend la source laser 1 selon l'un des modes de réalisation décrit ci-dessus, et au moins une fibre optique 12 dans laquelle le faisceau laser transmis par le miroir de sortie est injecté. Le faisceau laser émis par le miroir de sortie de la source laser 1 est couplé dans la fibre optique 12 par un moyen de couplage 13. Ce moyen de couplage 13 est connu de 25 l'homme du métier. Le moyen de couplage 13 peut être, par exemple, une lentille ou un système de lentilles. De préférence, le faisceau laser est couplé dans plusieurs fibres optiques, par exemple trois fibres identiques. Ceci permet de distribuer l'énergie de sortie sur ces fibres et ainsi de pouvoir augmenter l'énergie de sortie sans détériorer les fibres optiques. Selon un 30 mode de réalisation préféré, l'au moins une fibre optique 12 est une fibre multimode. Selon un mode de réalisation particulièrement avantageux, le système laser 11 comprend également deux fibres optiques supplémentaires 14, 15. 14 Ces fibres supplémentaires 14, 15 sont agencés latéralement par rapport à l'axe longitudinale de la cavité, par exemple sur les côtés d'un boitier entourant la cavité. Ainsi, des réflexions latérales sur des éléments optiques dans la cavité peuvent être récupérées et injectées dans les fibres 5 supplémentaires 14, 15 par des moyens connus. Ce mode de réalisation est particulièrement avantageux lorsque le polariseur utilisé est un polariseur Brewster, produisant des réflexions latérales de part et d'autre de la plaque de verre constituant le polariseur. Ceci permet de minimiser les pertes dues à ces réflexions. 10 Bien sûr, l'invention n'est pas limitée aux exemples qui viennent d'être décrits et de nombreux aménagements peuvent être apportés à ces exemples sans sortir du cadre de l'invention. De plus, les différentes caractéristiques, formes, variantes et modes de réalisation de l'invention peuvent être 15 associées les unes avec les autres selon diverses combinaisons dans la mesure où elles ne sont pas incompatibles ou exclusives les unes des autres. En particulier, REVENDICATIONS1. Source laser (1) pulsée à solide, comprenant : - un premier résonateur (R1) formé par un premier miroir réfléchissant (2) et un miroir de sortie (3) partiellement réfléchissant, - un module laser (4) placé entre les miroirs (2, 3) du premier résonateur (R1), comprenant : o un barreau laser en matériau solide à gain adapté pour générer un faisceau laser, et o une source de pompage laser adaptée pour émettre dans le barreau laser un faisceau de pompe, dans lequel le barreau laser est adapté pour amplifier le faisceau de pompe pour générer le faisceau laser, et le miroir de sortie (3) est adapté pour transmettre partiellement le faisceau laser, - un dispositif d'atténuation variable (QS), pouvant basculer entre un état opaque et un état transparent pour le faisceau laser pour permettre à la source laser (1) de fonctionner en un mode déclenché, le dispositif (QS) étant placé entre le module laser (4) et le miroir réfléchissant (2), - un élément polarisant linéairement (5) disposé entre le dispositif d'atténuation variable (QS) et le module laser (4), et - un élément retardateur de phase (8) disposé entre le miroir de sortie (3) et le module laser (4). 2. Source laser (1) selon la revendication 1, comprenant en outre un deuxième miroir réfléchissant (9) adapté pour former un deuxième résonateur (R2) avec le miroir de sortie (3), le deuxième miroir (9) étant placé du côté opposé du module laser (4) par rapport au miroir de sortie (3) lorsque le deuxième résonateur (R2) est formé, dans laquelle : - le deuxième résonateur (R2) est adapté pour permettre à la source laser (1) de fonctionner en un mode quasi-continuous wave, QCW, et 16 - le deuxième miroir (9) est mobile pour permettre de basculer entre le premier et le deuxième résonateur. 3. Source laser (1) selon la revendications 1 ou 2, dans laquelle le dispositif d'atténuation variable (QS) comprend l'un parmi un 5 modulateur électro-optique, un modulateur acousto-optique, un modulateur rotatif et un atténuateur variable passif. 4. Source laser (1) selon l'une des revendications précédentes, comprenant en outre un module de conversion de fréquence réglable adapté pour recevoir un faisceau émis par le module laser (4) et 10 émettre un faisceau dont la longueur d'onde est modifiée par rapport à la longueur d'onde du faisceau émis par le module laser (4). 5. Source laser (1) selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle la cadence de pulsation est comprise entre 1 Hz et 1000 Hz. 6. Source laser (1) selon l'une des revendications précédentes, dans 15 laquelle le barreau laser est en Nd:YAG et la longueur d'onde du faisceau laser émis par le module laser (4) est de 1064 nm. 7. Source laser (1) selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle la source de pompage laser comprend au moins une diode laser pulsée ou continue. 20 8. Source laser (1) selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle le premier miroir réfléchissant (2) est un miroir deformable ou un miroir à réflectivité variable adapté pour modifier le profil du faisceau laser. 9. Source laser selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle 25 l'élément retardateur de phase est une lame de quart d'onde dont l'axe rapide est parallèle à la direction de polarisation linéaire. 10.Système (11) d'émission de faisceau laser, comprenant : - une source laser (1) selon l'une des revendications 1 à 11, et - au moins une fibre optique (12) dans laquelle le faisceau laser 30 transmis par le miroir de sortie (3) est injecté. 17 11.Système (11) selon la revendication 10, comprenant en outre au moins une fibre optique supplémentaire (14, 15), de façon à ce que au moins un faisceau laser non transmis par le miroir de sortie (3) puisse être injecté dans la fibre optique supplémentaire (14, 15). 5