Brevet FR3073281A1 — publié le 20190510

Domaine de l'invention La présente invention a pour objet un capteur de vitesse de rotation comportant un substrat ayant un plan d'extension principale, et comportant un dispositif d'éléments de rotation, détectant les vitesses de rotation selon un premier axe d'extension principal du subs- trat et selon un second axe principal d'extension, perpendiculaire au premier axe principal d'extension du substrat. Etat de la technique De tels capteurs de vitesse de rotation sont spécifiques aux systèmes micro-électromécaniques (MEMS) servant à mesurer des vitesses de rotation. De façon caractéristique, de tels capteurs sont réalisés sur des substrats à base de silicium. En particulier, dans les applications à l'automobile, on utilise fréquemment des capteurs de vitesse de rotation qui permettent, de façon caractéristique, de mesurer des vitesses de rotation autour d'un axe. On connaît également, selon l'état de la technique, des capteurs de vitesse de rotation fonctionnant autour de deux axes pour des applications au domaine automobile. Les capteurs connus selon l'état de la technique ont, néanmoins, l'inconvénient de ne pouvoir réaliser des mesures de vitesse de rotation selon des directions différentes, avec une grande précision ou non réalisables avec une grande robustesse / fiabilité. But de l'invention La présente invention a pour but de développer un capteur de vitesse de rotation permettant de faire des mesures de vitesse de rotation autour de trois axes et en même temps d'être résistant vis-à-vis d'accélérations extérieures linéaires et/ou de vitesse de rotation et notamment pour garantir une sécurité de fonctionnement particulière. Exposé et avantages de l'invention A cet effet, l'invention a pour objet un capteur de vitesse de rotation comportant un substrat ayant un plan principal d'extension, le capteur de vitesse de rotation comportant un dispositif d'éléments de rotation, détectant les vitesses de rotation selon un premier axe principal d'extension du substrat et les vitesses de rotation selon un second axe principal d'extension, perpendiculaire au premier axe principal d'extension du substrat, ce capteur étant caractérisé en ce qu'il com- 2 prend un dispositif de capteur détectant la vitesse de rotation perpendiculaire au plan d'extension principale du substrat, le dispositif de capteur et aussi le dispositif d'éléments de rotation étant entraînés à la fois par un dispositif d'entraînement, développant un mouvement 5 d'entraînement le long du premier axe principal d'extension. Le capteur de vitesse de rotation selon l'invention a l'avantage, vis-à-vis de l'état de la technique, de comporter un dispositif de capteur pour la détection d'une vitesse de rotation appliquée perpendiculairement au plan principal d'extension du substrat. A la fois le 10 dispositif de capteur et le dispositif d'éléments de rotation qui détectent les vitesses de rotation selon un premier axe principal d'extension du substrat et selon un second axe principal d'extension perpendiculaire au premier axe principal d'extension du substrat, sont entraînés à l'aide d'un dispositif d'entraînement. Ce dispositif d'entraînement assure un 15 mouvement d'entraînement le long du premier axe principal d'extension. L'invention permet avantageusement d'entraîner à la fois le dispositif d'éléments de rotation et le dispositif de capteur à l'aide du même dispositif d'entraînement (par exemple avec le même cadre d'entraînement). Il en résulte l'avantage d'éviter dans le coeur des cap- 20 teurs, d'autres structures d'entraînement ainsi que des chemins de branchement et les câblages correspondants. Grâce à l'entraînement commun, le circuit intégré spécifique à l'application (circuit ASIC) peut être réalisé d'une manière plus compacte avec notamment une seule boucle de régulation de 25 l'entraînement. L'avantage de l'entraînement commun est d'éviter éga- lement des fréquences d'entraînement différentes des divers coeurs de capteurs. Ainsi, on réduit au minimum l'influence réciproque qui pourrait, par exemple, résulter des interactions parasitaires des forces d'entraînement. 30 De plus, l'emballage est plus simple et d'éventuels dé- fauts de positionnement des axes de mesure entre eux peuvent être déterminés par les tolérances de la fabrication monolithique du capteur ce qui réduit les ordres de grandeur par rapport à un dispositif formé de coeurs séparés, en technique de montage et de câblage. 3 Un autre avantage du capteur multiaxes selon l'invention est d'éviter les modes parasites qui pourraient aboutir de différentes manières à l'émission d'un signal de défaut par le capteur, par exemple, par l'excitation (résonance) par des forces extérieures (vibrations) ou par 5 des interactions non linéaires de nature mécanique ou électrostatique du système. L'invention garantit une fiabilité particulièrement avantageuse et une sécurité du capteur de vitesse de rotation permettant son application au domaine automobile. Contrairement à cela, dans le cas de l'utilisation d'un 10 système connu selon l'état de la technique composé de trois capteurs monoaxes, (identiques) et (des structures d'entraînement distinctes), tous les capteurs ont les mêmes modes de perturbation qui se situent du fait du procédé, à des fréquences légèrement différentes si bien que globalement le nombre des modes parasites pour de tels capteurs con- 15 nus selon l'état de la technique est triplé dans la plage de fréquences considérée, ce qui est un inconvénient. Un élément de capteur multiaxe selon l'invention peut être conçu pour avoir moins du triple du nombre de modes parasites. Un élément de capteur à trois axes permet de réduire significativement 20 le nombre des modes parasites si les structures de détection sont réali- sées respectivement pour être sensibles à plus d'un axe de mesure. Une vitesse de rotation appliquée perpendiculairement au plan d'extension principale du substrat signifie selon l'invention que l'axe de rotation pour la vitesse de rotation concernée est perpendicu- 25 laire au plan principal d'extension du substrat. La même remarque s'applique aux vitesses de rotation concernant le premier et le second axe principal d'extension du substrat. Comme le dispositif d'éléments de rotation selon l'invention comprend un premier élément de rotation et un second élé- 30 ment de rotation, le premier élément de rotation étant entraîné en rota- tion par un premier dispositif d'entraînement autour d'un premier axe de rotation, le second élément de rotation étant entraîné en rotation par le dispositif d'entraînement autour du second axe de rotation, le premier axe de rotation étant perpendiculaire au plan d'extension principal 35 et le second axe de rotation étant perpendiculaire au plan d'extension 4 principale, cela permet, de façon avantageuse, que des accélérations extérieures linéaires et de rotation, ne génèrent pas de signal différentiel (ou ne génèrent qu'un signal différentiel minimal). Cela permet une mesure de la vitesse de rotation non influencées par les vibrations autour 5 de deux axes (le premier et le second axe principal d'extension du subs- trat). En outre, cela permet de ne réduire que les modes parasites. Selon un développement de l'invention, les électrodes de détection sont placés en dessous du premier et du second élément de rotation pour mesurer le basculement des éléments de rotation autour du premier 10 et/ou du second axe principal d'extension. Comme le dispositif de capteur comporte une première, une seconde et une troisième masse, la première et la seconde masse étant réalisées en partie pour effectuer un mouvement dans le même sens pendant le mouvement d'entraînement, la troisième masse étant 15 réalisée au moins en partie pour effectuer un mouvement en sens oppo- sé du mouvement de la première et de la seconde masse pendant le mouvement d'entraînement, la troisième masse étant disposée notamment dans une direction parallèle au second axe principal d'extension du substrat, entre la première masse et la seconde masse alors selon ce 20 développement de l'invention, on a une forme de réalisation particuliè- rement avantageuse du dispositif de capteur à trois masses. Un mouvement de même sens signifie que la première et la seconde masse se déplacent simultanément dans une (la même) direction le long du premier axe principal d'extension. La troisième masse se déplace pendant 25 ce temps, en sens opposé, c'est-à-dire dans la direction opposée. En principe, la première, la seconde et la troisième masse peuvent effectuer respectivement en totalité ou seulement en partie (par exemple avec seulement une composante d'entraînement des cadres de la masse respective) le même mouvement d'entraînement. 30 De façon particulièrement avantageuse, la troisième masse est pratiquement double de la première et de la seconde masse. Comme une première structure d'entraînement du dispositif d'entraînement est associée à la première masse, cette première structure d'entraînement étant reliée mécaniquement au premier élé- 35 ment de rotation, une seconde structure d'entraînement du dispositif 5 d'entraînement étant associée à la seconde masse en étant reliée mécaniquement au second élément de rotation, un développement de la présente invention permet un couplage avantageux du dispositif de capteur et du dispositif d'éléments de rotation. Cela permet de façon particuliè- 5 rement avantageuse, un entraînement des deux côtés des deux élé- ments de rotation. Cela permet, par exemple, de coupler la première masse à l'aide d'une première poutre ou entretoise (notamment en plus par un ressort) au premier élément de rotation et la seconde masse à l'aide d'une seconde poutre ou entretoise (et notamment en plus avec 10 un ressort) au second élément de rotation. Cela permet pendant le mouvement d'entraînement, un mouvement d'entraînement parallèle de la première et de la seconde masses le long du premier axe principal d'extension et ce mouvement des masses se poursuit par un mouvement de rotation du premier et du second élément de rotation et cela 15 notamment en ce que le premier et le second éléments de rotation exé- cutent l'un par rapport à l'autre un mouvement de rotation en opposition de phase autour du premier ou du second axe de rotation. Comme le premier élément de rotation et le second élément de rotation sont reliés par une structure de ressort notamment de 20 façon à interdire le basculement parallèle du premier et du second élé- ments de rotation autour du premier axe principal d'extension et autoriser le basculement antiparallèle du premier et du second éléments de rotation autour du premier axe principal d'extension, alors un développement de la présente invention permet un couplage particulièrement 25 avantageux du premier et du second élément de rotation. De façon avantageuse, la structure de ressort est reliée à au moins une structure d'entretoise de la troisième structure d'entraînement, notamment en ce qu'à l'aide de la structure de ressort et de la structure d'entretoise, on réalise une liaison mécanique entre la troisième masse et le premier 30 élément de rotation ainsi qu'avec le second élément de rotation. Comme le premier élément de rotation et le second élément de rotation sont reliés mécaniquement par une structure de couplage, comportant notamment au moins une structure de bascule, réalisée pour interdire le basculement parallèle du premier et du second 35 élément de rotation autour du second axe principal d'extension et le 6 basculement antiparallèle du premier et du second éléments de rotation autour du second axe principal d'extension, l'invention permet uniquement des basculements antiparallèle du premier et du second éléments de rotation dans la direction du second axe principal d'extension, ce qui 5 permet avantageusement seulement un mouvement de détection anti- parallèle des deux éléments de rotation. Le premier élément de rotation et le second élément de rotation étant reliés mécaniquement par une autre structure de couplage croisée par au moins une structure d'entretoise de la troisième 10 structure d'entraînement, la structure d'entretoise étant disposée de préférence dans la zone de croisement, dans une couche supplémentaire en-dessous de l'autre structure de couplage, alors l'invention permet de relier la troisième structure d'entraînement de préférence avec le premier et le second élément de rotation, notamment dans la zone com- 15 prise entre le premier et le second éléments de rotation (dans la direc- tion du second axe principal d'extension). De manière particulièrement avantageuse, la troisième structure d'entraînement est reliée par la structure de ressort entre le premier et le second élément de rotation. Le premier élément de rotation étant relié au substrat par 20 une première suspension, le second élément de rotation étant relié au substrat par une seconde suspension, la première suspension étant en partie dans un évidement central du premier élément de rotation et notamment la seconde suspension étant en partie dans un évidement central du second élément de rotation, l'invention permet une rotation 25 avantageuse du premier et du second élément de rotation autour du premier et du second axe de rotation. En particulier, la première et la seconde suspension sont réalisées de façon que le premier et le second élément de rotation tournent respectivement autour du premier et du second axe de rotation et basculent en même temps autour du premier 30 et du second axe principal d'extension. La première masse étant reliée par un premier dispositif de ressort à la troisième masse, la seconde masse étant reliée par un second dispositif de ressort à la troisième masse, l'invention permet de réaliser le dispositif de capteur de façon particulièrement avantageuse 35 pour détecter les vitesses de rotation appliquées perpendiculairement 7 au plan principal d'extension du substrat. De façon particulièrement avantageuse, le premier et le second dispositif de ressort permettent un mouvement en opposition de phase de la première et de la troisième masse ainsi que de la seconde et de la troisième masse selon le second 5 axe principal d'extension. En particulier, de façon avantageuse, une zone partielle du premier dispositif d'entraînement entourée par la première masse (une première partie du cadre d'entraînement) est reliée à une zone partielle du troisième dispositif d'entraînement entourée par la troisième masse (une troisième partie d'un cadre d'entraînement) le 10 premier dispositif de ressort. De façon toute aussi préférentielle, une zone partielle du second dispositif d'entraînement entourée par la seconde masse (une seconde partie d'un cadre d'entraînement) est reliée à une zone partielle du troisième dispositif d'entraînement, entourée par la troisième masse (une troisième partie d'un cadre d'entraînement) par 15 le second dispositif de ressort. Le procédé selon l'invention de réalisation d'un capteur de vitesse de rotation selon un mode de réalisation de la présente invention a, vis-à-vis de l'état de la technique, les avantages déjà décrits pour le capteur de vitesse de rotation selon l'invention, ou d'une forme de 20 réalisation du capteur de vitesse de rotation selon l'invention. Dessins La présente invention sera décrite ci-après, de manière plus détaillée à l'aide de capteurs de vitesse de rotation représentés dans les dessins annexés dans lesquels : 25 la figure 1 est une vue de dessus schématique d'un capteur de vi- tesse de rotation correspondant à un premier mode de réalisation de l'invention, la figure 2 est une vue de dessus schématique d'un capteur de vitesse de rotation correspondant à un second mode de réalisation de 30 l'invention, la figure 3 est une vue de dessus schématique d'un capteur de vitesse de rotation correspondant à un troisième mode de réalisation de l'invention, 8 la figure 4, la figure 5 et la figure 6 sont des vues schématiques d'une première suspension 11 ou d'une seconde suspension 21 selon des formes de réalisation de la présente invention, la figure 7 est une vue schématique d'un capteur de vitesse de rota- 5 tion correspondant à un quatrième mode de réalisation de l'invention, la figure 8 montre schématiquement une zone partielle d'un capteur de vitesse de rotation correspondant à un mode de réalisation de la présente invention, 10 la figure 9 montre schématiquement une zone partielle d'un capteur de vitesse de rotation selon un cinquième mode de réalisation de la présente invention. Les différentes figures utilisent les mêmes références pour désigner les mêmes éléments dont la description ne sera pas sys- 15 tématiquement reprise. Description de modes de réalisation de l'invention Des exemples de dispositif d'éléments de rotation 10, 20 servant à la détection de vitesses de rotation appliqués à un premier axe principal d'extension 100 du substrat et de vitesses de rotation appli- 20 quées à un second axe principal d'extension 200 perpendiculaire au premier axe principal d'extension 100 du substrat sont présentés aux figures 1, 2, 3 et 7. Des dispositifs de capteurs 40 pour la détection de vitesses de rotation appliquées perpendiculairement au plan d'extension 25 principal 100, 200 du substrat sont représentés aux figures 1, 2, 3 et 7. La figure 1 est une vue de dessus schématique d'un capteur de vitesse de rotation 1 selon un premier mode de réalisation de l'invention. Le capteur de vitesse de rotation 1 comprend un dispositif d'éléments de rotation 10, 20 pour détecter les vitesses de rotation ap- 30 pliquées dans un premier axe principal d'extension 100 du substrat et un second axe principal d'extension 200 perpendiculaire au premier axe principal d'extension 100. Le dispositif d'éléments de rotation 10, 20 comprend un premier élément de rotation 10 et un second élément de rotation 20 ; le premier élément de rotation 10 est entraîné autour du 35 premier axe de rotation par le dispositif d'entraînement 30. Le second 9 élément de rotation 20 est entraîné par le dispositif d'entraînement 30 autour d'un second axe de rotation. Le premier et le second élément de rotation 10, 20 ont chacun un évidement central. Le premier et le second axe de rotation sont perpendiculaires au plan principal 5 d'extension 100, 200. Ainsi, le premier élément de rotation 10 est relié au substrat par une première suspension 11 ; le second élément de rotation 20 est relié au substrat par une seconde suspension 21. La première suspension 11 est située (au moins en partie) dans l'évidement central du premier élément de rotation 10 et la seconde suspension 21 10 est située (au moins en partie) dans l'évidement central du second élé- ment de rotation 20. Le mouvement d'entraînement du premier et du second élément de rotation 10, 20 se fait en opposition de phase comme l'indiquent les flèches tracées sur les éléments de rotation 10 et 20. En- 15 dessous et/ou au-dessus des éléments de rotation 10, 20 on a, de pré- férence, des électrodes de détection qui ne sont pas représentées. Ces électrodes de détection permettent de détecter le basculement des éléments de rotation 10, 20. En outre, le capteur de vitesse de rotation 1 comporte un dispositif de capteur 40. Le dispositif de capteur 40 sert à 20 détecter une vitesse de rotation perpendiculaire au plan principal d'extension 100, 200 du substrat. A la fois le dispositif de capteur 40 et aussi le dispositif d'éléments de rotation 10, 20 peuvent être entraînés à l'aide du dispositif d'entraînement 30. Le dispositif d'entraînement 30 effectue un mouvement d'entraînement le long du premier axe principal 25 d'extension 100. Le dispositif d'entraînement 30 comprend une pre- mière structure d'entraînement 31, une seconde structure d'entraînement 32 et une troisième structure d'entraînement 33. La première structure d'entraînement 31 est associée à une première masse 41 du dispositif de capteurs 40. La première structure 30 d'entraînement 31 comprend notamment une poutre. La poutre (et en plus un ressort) relient la première masse 41 à l'élément de rotation 10. La seconde structure d'entraînement 32 est associée à une seconde masse 42 du dispositif de capteur 40. La seconde structure d'entraînement 32 comprend notamment une poutre. La poutre (et en 10 plus un ressort) relie la seconde masse 42 au second élément de rotation 20. Le dispositif de capteur 40 comporte également une troisième masse 43. La première et la seconde masse 41, 42 effectuent un 5 mouvement de même sens pendant le mouvement d'entraînement. La troisième masse 43 effectue un mouvement en sens opposé au mouvement de la première et de la seconde masse 41, 42 pendant le mouvement d'entraînement (référence est faite au premier axe principal d'extension 100). Ces mouvements sont indiqués par les flèches asso- 10 ciées aux masses 41, 42, 43. La première, la seconde et la troisième masse 41, 42, 43 du mode de réalisation présenté sont essentiellement parallèles au second axe principal d'extension 200. La première masse 41 et la troisième masse 43 sont reliées par un premier dispositif de ressort 37 ; la troisième masse 43 et la seconde masse 42 sont reliées 15 par un second dispositif de ressort 38. Le premier et le second dispositif de ressort (ou structure de couplage) 37, 38 permettent le mouvement antisymétrique des masses 41, 42, 43, c'est-à-dire le mouvement en phase de la première et de la seconde masse et le mouvement en opposition de phase de la troisième masse dans la direction du second axe 20 principal d'extension 200 (cela est indiqué par les flèches). Une struc- ture de ressort 70 est prévue entre le premier élément de rotation 10 et le second élément de rotation 20 ; cette structure relie les deux éléments de rotation 10, 20. La structure de ressort 70 interdit le basculement parallèle du premier et du second élément de rotation 10, 20 25 autour du premier axe principal d'extension 100 et permet le bascule- ment antiparallèle du premier et du second élément de rotation autour du premier axe principal d'extension 100. La structure de ressort 70 est reliée à une structure d'entretoise 45 de la troisième structure d'entraînement 33 du dispositif 30 d'entraînement 30. La structure d'entretoise 45 comprend notamment deux poutres, parallèles à la direction du premier axe principal d'extension et reliées par une entretoise à la structure de ressort 70. La structure de ressort 70 et la structure d'entretoise 45 réalisent une liaison mécanique entre la troisième masse 43 et le premier élément de ro- 35 tation 10 ainsi qu'avec le second élément de rotation 20. Le premier 11 élément de rotation 10 et le second élément de rotation 20 sont en outre reliés mécaniquement par une structure de couplage 60 et une autre structure de couplage 63. La structure de couplage 60 comprend une structure de bascule 61 qui interdit le basculement parallèle du premier 5 et du second élément de rotation 10, 20 autour du second axe principal d'extension 200 et permet un basculement antiparallèle du premier et du second élément de rotation autour du second axe principal d'extension 200. Le basculement antiparallèle, possible du premier et du second élément de rotation 10, 20 dans la direction parallèle au se- 10 cond axe principal d'extension 200 et dans la direction parallèle au premier axe principal d'extension 100 est représenté par des flèches (ces flèches sont figurées par des croix et des points) perpendiculaires à la vue de dessus (et ainsi au plan principal d'extension 100 ou 200) dans le premier et le second élément de rotation 10, 20. 15 L'autre structure de couplage 63 est croisée sans contact par la structure d'entretoise 45 notamment par les deux poutres de la structure d'entretoise 45. Cela est possible car la structure d'entretoise 45 (les deux poutres) dans cette zone de croisement 81, se trouve dans une couche supplémentaire qui est en dessous (c'est-à-dire plus près 20 du substrat) que l'autre structure de couplage 63 et en particulier éga- lement que les zones restantes de la structure d'entretoise 45 à l'extérieur de la zone de croisement 81. L'autre structure 63 comprend une autre structure de bascule 61 qui interdit le basculement parallèle du premier et du second élément de rotation 10, 20 autour du second 25 axe principal d'extension 200 et autorise le basculement antiparallèle du premier et du second élément de rotation autour du second axe principal d'extension 200. Selon l'invention, le premier élément de rotation 10, le second élément de rotation 20 ainsi que le dispositif de capteurs 40 sont entraînés par le même dispositif d'entraînement 30. Cela 30 signifie que la seconde et la troisième structure d'entraînement 31, 32, 33 transmettent le mouvement d'entraînement de la première, de la seconde et de la troisième masses 41, 42, 43 le long du premier axe principal d'extension 100 aux éléments de rotation 10, 20 et ainsi les éléments de rotation 10, 20 sont entraînés autour du premier et du se- 35 cond axe de rotation. 12 La figure 2 est une vue schématique de dessus d'un second mode de réalisation d'un capteur de vitesse de rotation 1 selon l'invention. Le second mode de réalisation est analogue au premier mode de réalisation représenté à la figure 1 à la différence qu'il n'y a pas 5 d'autre structure de couplage 63. Cela permet d'installer la structure d'entretoise 45 (notamment les poutres de celle-ci) dans la même couche que les autres éléments et non pas dans une zone de croisement 81 d'une couche supplémentaire. La figure 3 est une vue schématique de dessus d'un troi- 10 sième mode de réalisation d'un capteur de vitesse de rotation 1 selon l'invention. Ce troisième mode de réalisation est analogue au premier mode de réalisation représenté à la figure 1, à la différence qu'il n'y a pas de structure d'entretoise 45. Ainsi, il n'y a pas de liaison mécanique entre la structure de ressort 70 et la troisième masse 43. 15 La figure 4, la figure 5 et la figure 6 sont des vues de des- sus schématiques d'une première suspension 11 d'un premier élément de rotation 10 ou d'une seconde suspension 21 d'un second élément de rotation 20 selon les formes de réalisation de la présente invention. La première et la seconde suspension 11, 21 du substrat sont réalisées de 20 façon que le premier ou le second élément de rotation 10, 20 puissent effectuer un mouvement de rotation autour du premier axe de rotation ou autour du second axe de rotation, perpendiculaires à la surface principale d'extension 100, 200 du substrat tout en permettant le basculement du premier et du second élément de rotation 10, 20 autour du 25 premier et du second axe principal d'extension 100, 200 (ou autour d'axes parallèles à celui-ci). La figure 7 est une vue de dessus schématique d'un capteur de vitesse de rotation selon un quatrième mode de réalisation de la présente invention. Ce quatrième mode de réalisation comprend les 30 composants représentés schématiquement à la figure 1. En outre, ce quatrième mode de réalisation du dispositif de capteur 40 a une structure de détection qui peut se déplacer dans la direction de détection, une structure de Coriolis qui peut se déplacer dans la direction d'entraînement et dans la direction de détection ainsi qu'une structure 35 d'entraînement qui peut se déplacer dans la direction d'entraînement. 13 Chacune des masses 41, 42, 43 comprend respectivement une zone partielle de la structure de détection, de la structure de Coriolis et de la structure d'entraînement. Pour la seconde masse 42, les zones partielles correspondantes de la structure de Coriolis 42' et de la structure 5 de détection 42" portent des références. La structure de Coriolis est re- liée par des ressorts à la structure d'entraînement. De même, la structure de Coriolis est reliée par des ressorts à la structure de détection. Pour la troisième masse 43, le cadre de Coriolis est séparé du cadre d'entraînement. Pour avoir un mode de détection commun, on peut réa- 10 liser une liaison 80 par une couche supplémentaire. Les zones partielles de la structure de détection des différentes masses 41, 42, 43 sont reliées respectivement par un croisillon de couplage qui permet un mouvement en opposition de phase de deux masses voisines et interdit un mouvement en phases. Les différentes zones partielles du cadre 15 d'entraînement sont reliées par des structures de couplage 37, 38 (bas- cules de couplage) qui permettent également le mouvement en phase de masses voisines 41, 42, 43 dans le mode d'entraînement et interdisent le mouvement en opposition de phase. Le dispositif d'entraînement 30 comprend les structures d'entraînement de la première, de la seconde et 20 de la troisième masse 41, 42, 43 et de plus, comme le cadre périphé- rique (notamment avec de petites interruptions) est réalisé autour des éléments de rotation 10, 20 et des structures de Coriolis du dispositif de capteur 40 ainsi qu'entre les éléments de rotation 10, 20 à l'aide de la structure de cadre 45, la structure de ressort 70 et d'une autre struc- 25 ture d'entretoise on utilise la couche supplémentaire. Pour réaliser le dispositif d'entraînement 30 en-dessous ou au-dessus de la structure de couplage 60 ou de l'autre structure de couplage 63. Selon l'invention, la couche supplémentaire peut être significativement plus mince que la couche contenant les autres compo- 30 sants (comme cela est représenté à titre d'exemple à la figure 8) de sorte que la structure d'entretoise 45 ou l'autre structure d'entretoise peuvent s'utiliser comme des ressorts de flexion pour les mouvements sortant du plan principal d'extension 100 ou 200. Pour le mouvement de détection selon lequel les éléments de rotation 10, 20 basculent autour 35 du premier axe principal d'extension 100, il est avantageux que le dis- 14 positif d'entraînement 30 (ou le cadre d'entraînement) puissent sortir du plan à proximité de la liaison avec les éléments de rotation 10, 20. Cela est fait dans ce mode de réalisation par d'autres structures fait dans la couche supplémentaire à proximité de la structure de ressort 70 et du 5 cadre extérieur. Selon une variante, le dispositif de capteur 40 ne se compose que de deux cadres. Les structures de détection sont alors intégrées dans le cadre de Coriolis et elles bougent avec le mouvement d'entraînement. 10 La figure 8 est une vue schématique d'une zone partielle d'un capteur de vitesse de rotation 1 correspondant à un mode de réalisation de l'invention ; en particulier, la vue en perspective montre la couche supplémentaire. Cette couche supplémentaire comporte la structure d'entretoise 45 dans la zone de croisement 81 avec l'autre 15 structure de couplage 63. De façon préférentielle, la couche supplémen- taire est plus mince que la couche dans les autres éléments du capteur de vitesse de rotation 1. La figure 9 montre schématiquement une zone partielle d'un capteur de vitesse de rotation correspondant à un cinquième mode 20 de réalisation de l'invention. Dans ce mode de réalisation, la zone de croisement 81 de l'autre structure de couplage 63 et de la structure d'entretoise 45 comporte les autres structures de couplage 63 de la couche supplémentaire (et non la structure d'entretoise 45). L'autre structure de couplage 63 comprend ici trois structures de bascule 61. 25 Cette triple structure de bascule permet le mouvement de détection souhaité pour les éléments de rotation 10, 20 comme le montrent les flèches pénétrant dans le plan et sortant du plan. De façon avantageuse, dans ce mode de réalisation, la couche supplémentaire la plus mince est au repos pendant le mouvement d'entraînement et elle n'est 30 pas sollicitée. La structure de couplage 60 a les mêmes caractéristiques que celles décrites ci-dessus pour l'autre structure de couplage 63. 35 15 NOMENCLATURE DES ELEMENTS PRINCIPAUX 100, 200 Plan principal d'extension 100 Premier axe principal d'extension 5 200 Second axe principal d'extension 10 Dispositif d'éléments de rotation 11 Première suspension 20 Dispositif d'élément de rotation 21 Seconde suspension 10 30 Dispositif d'entraînement 31 Première structure d'entraînement 32 Seconde structure d'entraînement 33 Troisième structure d'entraînement 37 Premier dispositif de ressort 15 38 Second dispositif de ressort Dispositif de capteur 41 Première masse 42 Seconde masse 43 Troisième masse 20 45 Structure d'entretoise REVENDICATIONS1°) Capteur de vitesse de rotation (1) comportant un substrat ayant un plan principal d'extension (100, 200), le capteur de vitesse de rotation (1) comportant un dispositif d'éléments de rotation (10, 20), le dispositif d'éléments de rotation (10, 20) détectant les vitesses de rotation selon un premier axe principal d'extension (100) du substrat et les vitesses de rotation dans un second axe principal d'extension (200), perpendiculaire au premier axe principal d'extension (100) du substrat, capteur caractérisé en ce qu'il comprend un dispositif de capteur (40) détectant la vitesse de rotation perpendicu- laire au plan d'extension principale (100, 200) du substrat, le dispositif de capteur (40) et aussi le dispositif d'éléments de rotation (10, 20) étant entraînés à la fois par un dispositif d'entraînement (30), développant un mouvement d'entraînement le long du premier axe principal d'extension (100). 2°) Capteur de vitesse de rotation (1) selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dispositif d'éléments de rotation (10, 20) comprend un premier élément de rotation (10) et un second élément de rotation (20), le premier élément de rotation (10) étant entraîné par le dispositif d'entraînement (30) autour d'un premier axe de rotation, le second élément de rotation (20) étant entraîné par le dispositif d'entraînement (30) autour d'un second axe de rotation, le premier axe de rotation étant perpendiculaire au plan d'extension principale (100, 200), et le second axe de rotation étant perpendiculaire au plan principal d'extension (100, 200). 3°) Capteur de vitesse de rotation (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que 17 le dispositif de capteur (40) comprend une première masse (41), une seconde masse (42) et une troisième masse (43), la première et la seconde masse (41, 42) étant réalisées au moins en partie pour se déplacer dans le même sens pendant le mouve- 5 ment d'entraînement, la troisième masse (43) étant réalisée au moins en partie pour se déplacer pendant le mouvement d'entraînement dans une direction opposée à celle du mouvement de la première et de la seconde masses (41, 42), 10 la troisième masse (43) étant notamment disposée dans une direc- tion parallèle au second axe d'extension principale (200) du substrat entre la première masse (41) et la seconde masse (42). 4°) Capteur de vitesse de rotation (1) selon la revendication 3, 15 caractérisé en ce que la première masse (41) ayant une première structure d'entraînement (31) du dispositif d'entraînement (30), la première structure d'entraînement (31) étant reliée mécaniquement au premier élément de rotation (10), 20 la seconde masse (42) ayant une seconde structure d'entraînement (32) du dispositif d'entraînement (30), *la seconde structure d'entraînement (32) étant reliée mécaniquement au second élément de rotation (20). 25 5°) Capteur de vitesse de rotation (1) selon l'une des revendications 3 ou 4, caractérisé en ce qu' une troisième structure d'entraînement (33) du dispositif d'entraînement (30) est associée à la troisième masse (43). 30 6°) Capteur de vitesse de rotation (1) selon l'une des revendications 2 à 5, caractérisé en ce qu' une structure de ressort (70) étant prévue entre le premier élément de rotation (10) et le second élément de rotation (20), 18 le premier élément de rotation (10) et le second élément de rotation (20) étant reliés par la structure de ressort (70), notamment de façon à bloquer un basculement parallèle du premier et du second éléments de rotation autour du premier axe principal d'extension (100) et permettre 5 un basculement antiparallèle du premier et du second éléments de rota- tion autour du premier axe d'extension principale (100). 7°) Capteur de vitesse de rotation (1) selon la revendication 6, caractérisé en ce que 10 la structure de ressort (70) est reliée à au moins une structure d'échelle (45) de la troisième structure d'entraînement (33), notamment de façon à réaliser à l'aide de la structure de ressort (70) et de la structure d'échelle (45), une liaison mécanique entre la troisième masse (43) et le premier élément de rotation (10) ainsi que le second élément de rotation 15 (20). 8°) Capteur de vitesse de rotation (1) selon l'une des revendications 2 à 7, caractérisé en ce que 20 le premier élément de rotation (10) et le second élément de rotation (20) sont reliés mécaniquement par une structure de couplage (60), comportant notamment au moins une structure de basculement (61), développée pour bloquer le basculement parallèle du premier et du second éléments de rotation autour du second axe principal d'extension (200) 25 et permettre le basculement antiparallèle du premier et du second élé- ment de rotation autour de l'axe principal d'extension (200). 9°) Capteur de vitesse de rotation (1) selon la revendication 8, caractérisé en ce que 30 le premier élément de rotation (10) et le second élément de rotation (20) sont reliés mécaniquement par un autre structure de couplage (63), croisée par au moins une structure d'entraînement (45) de la troisième structure d'entraînement (33), 19 * la structure d'échelle (45) étant prévue de préférence dans la zone d'intersection d'une couche supplémentaire en-dessous de l'autre couche de couplage (63). 5 10°) Capteur de vitesse de rotation (1) selon l'une des revendications 1 à 11, caractérisé en ce que le premier élément de rotation (10) est relié par une première suspension (11) au substrat, 10 le second élément de rotation (20) est relié par une seconde sus- pension (21) au substrat, en particulier, la première suspension (11) est prévu dans un évidement central du premier élément de rotation (10), et, la seconde suspension (21) est au moins en partie dans un évidement central 15 du second élément de rotation (20). 11°) Capteur de vitesse de rotation (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que 20 la première masse (41) est reliée à la troisième masse (43) par un pre- mier dispositif de ressort (37), et la seconde masse (42) est reliée à la troisième masse (43) par un second dispositif de ressort (38). 12°) Procédé de réalisation d'un capteur de vitesse de rotation (1) selon 25 l'une quelconque des revendications 1 à 11, comportant un substrat ayant un plan d'extension principale (100, 200), et un dispositif d'éléments de rotation (10, 20), détectant les vitesses de rotation selon un premier axe d'extension principal (100) du substrat et les vitesses de rotation dans un second axe principal d'extension (200) perpendiculaire 30 au premier axe principal d'extension (100) du substrat, le capteur comprenant un dispositif de capteur (40), détectant la vitesse de rotation perpendi- culaire au plan d'extension principale (100, 200) du substrat, à la fois le dispositif de capteur (40) et aussi le dispositif d'élément de 35 rotation (10, 20) étant entraîné par un dispositif d'entraînements (30), 20 développant un mouvement d'entraînement le long du premier axe principal d'extension (100). 5