Brevet FR3067521A1 — publié le 20181214

Module photovoltaïque comportant une électrode avant semi-réfléchissante à conductivité améliorée Domaine technique de l'invention La présente invention se rapporte à un module photovoltaïque semi-réfléchissant qui présente la caractéristique d'avoir une électrode avant à conductivité améliorée. Etat de la technique L'évolution et l'accessibilité croissante des dispositifs photovoltaïques pour la production d'énergie électrique renouvelable pour le grand public ont conduit les industriels à s'interroger sur l'esthétisme et l'intégrabilité des solutions proposées. Il est connu de l'homme du métier des solutions de modules photovoltaïques semi-transparents répondant à ces critères et décrits par exemple dans le brevet US2016/0126407 A2. Ces solutions présentent l'inconvénient d'être tributaire énergétiquement du taux de transparence recherchée et donc d'être moins performant qu'un module photovoltaïque opaque de technologie photovoltaïque équivalente. Pour résoudre cette problématique, certains industriels ont proposé des solutions de modules photovoltaïques pleins (par - 20 opposition aux modules semi-transparents dont la surface active ne représente qu'un pourcentage de la surface totale du module photovoltaïque) recouverts d'un dispositif semi-transparent réfléchissant ou absorbant une partie du flux lumineux incident afin de former une surface colorée ou une image, et transmettant l'autre partie du flux lumineux incident sur le module photovoltaïque, tel que décrit dans le brevet US 8,264,775 B2. 25 Il est possible par exemple de laminer un verre imprimé directement sur le module photovoltaïque tel que décrit dans le brevet FR 3004846 A2. Sous certaines conditions de conception, les performances électriques du module photovoltaïque avec verre imprimé laminé peuvent atteindre jusqu'à 90% des performances du module initial. Il est connu aussi de l'homme du métier d'autres solutions qui consistent à 30 associer des dispositifs photovoltaïques à des filtres colorés comme les filtres interférentiels tels que décrits dans les brevets WO 2014/045141 A2 et WO 2014/045144 A1. Ces solutions, bien que permettant de répondre à la problématique d'esthétisme des panneaux photovoltaïques, mettent en oeuvre des procédés de fabrication complexes et coûteux dûs au contrôle des épaisseurs des multiples couches à déposer. 35 2 Pour générer des aspects métalliques neutres ou colorés et semi-transparents, on connait différentes techniques. La plus connue historiquement est le dépôt d'une couche métallique suffisamment fine pour générer de la semi-transparence. A titre d'exemple, une couche d'or de l'ordre de 24 nm aura un aspect vert-bleuté car une partie 5 des photons de faible longueur d'onde visible (donc de grande énergie) vont pénétrer dans le métal sans interagir avec les électrons de la bande de conduction et vont donc traverser la fine couche d'or. D'autres techniques utilisent l'effet plasmonique pour générer le piégeage des photons aux interfaces métal/diélectrique, permettant ainsi une transmission dite 10 extraordinaire de certaines longueurs d'onde en fonction des caractéristiques intrinsèques des interfaces. Une première technique consiste par exemple à utiliser une feuille métallique extrêmement fine et ondulée. Un tel exemple de réalisation est décrit dans la thèse de Jean Sauvage-Vincent, publiée le 24 septembre 2014 sous l'intitulé : « les modes plasmon 15 sur film métallique ondulé, appliqués aux documents de sécurité ». Pour générer ce type de résultat, un réseau sinusoïdal de pas 370 nm, de profondeur 70 nm, et une couche d'argent de 40nm d'épaisseur comprise entre deux couches de polystyrène ont été réalisés. Cependant, les effets visuels générés par ce type de structures présentent une forte variation colorimétrique angulaire. Cet aspect peut être perçu comme un défaut pour _ 20 les applications de type bardage de bâtiment où l'architecte souhaite souvent que la couleur perçue soit la même quelle que soit la position de l'observateur vis-à-vis dudit bardage. Une autre méthode consiste à perforer la surface métallique de nano-trous ou de nano-lignes. Cette méthode permet d'augmenter la tolérance angulaire de la colorimétrie 25 recherchée. Par exemple, la publication de l'équipe du Dr Fei Cheng, intitulée « Aluminium plasmonic metamaterials for structural color printing », publiée le 26 mai 2015 au sein de la revue OPTICS EXPRESS, présente des structures générant une couleur déterminée d'apparence stable pour un angle d'observation de plus de 70°. Le dispositif est un dispositif multi-couches metal/diélectrique/métal consistant en une couche de 30 nm 30 d'aluminium (couche supérieure), une couche de 45 nm d'alumine (A1203) et une couche d'aluminium dite miroir de 100 nm (couche inférieure). Des réseaux de trous à géométrie triangulaire sont générés dans la couche supérieure métallique. Par exemple pour obtenir la couleur bleue, les trous sont espacés avec une période de 280 nm et ont un rayon de 80 nm. Cependant l'architecture de cette solution ne permet pas d'envisager son 35 intégration à des dispositifs photovoltaïques en face avant desdits dispositifs du fait de la couche miroir opaque à la lumière visible. 3 D'autre part, une bonne conductivité électrique de l'électrode avant est difficile à obtenir lorsque le conducteur doit aussi être très transparent car la transparence est obtenue en général grâce à des épaisseurs très faibles. Cela implique que la section de 5 l'électrode transparente qui est parcourue par le courant électrique est faible et cela engendre une augmentation de la résistivité électrique du matériau. Il est donc nécessaire de faire un compromis entre la forte transparence que l'on souhaite conserver et les grandes performances électriques du dispositif qui diminuent alors d'autant que la transparence augmente. En général, dans les dispositifs photovoltaïques à couches 10 minces, cette surface conductrice et transparente est constituée d'oxydes métalliques en couches minces comme par exemple : Sn02:F : dioxyde d'étain dopé fluor ITO : oxyde d'indium ZnO : oxyde de zinc. 15 Afin d'augmenter leur conductivité, certains oxydes peuvent être dopés avec des métaux, tel que l'oxyde de zinc dopé à l'aluminium. D'autres solutions consistent à leur associer des grilles métalliques telles que décrites dans le brevet FR 3017215 Al. Ces solutions ne cherchent qu'à augmenter la conductivité de ladite électrode en conservant une transparence optimale. Buts de l'invention La présente invention vise à résoudre la double problématique d'augmentation de la conductivité électrique de l'électrode transparente dans les dispositifs photovoltaïques en couches minces et de rendre cette surface esthétique en la rendant semiréfléchissante. L'aspect semi-réfléchissant ayant pour objectif de scinder le flux lumineux de telle sorte que préférentiellement 70% du flux lumineux incident soit transmis vers la couche d'absorbeur du dispositif photovoltaïque. L'aspect semi-réfléchissant peut-être coloré, ou former une image. L'aspect semi-réfléchissant comparé aux solutions standards en absorption permet de générer soit un aspect miroir soit des effets colorés plus brillants. Objets de l'invention L'invention a plusieurs objets, qui concernent un module photovoltaïque semi- 4 réfléchissant, une méthode de fabrication d'un mode de réalisation dudit module, ainsi que son intégration dans des appareils électroniques fixes ou portables. L'invention a en particulier pour objet un module photovoltaïque semi-réfléchissant comportant au moins : 5 (a) un substrat; (b) une couche mince d'un matériau conducteur transparent formant l'électrode avant et comportant deux faces appelées face interne et face externe ; (c) une ou plusieurs couches minces semi-conductrices en contact avec la face interne de l'électrode transparente avant de manière à former une ou plusieurs jonctions 10 et appelée absorbeur ; (d) une couche mince métallique formant l'électrode arrière et ayant une face en contact avec l'absorbeur. Ledit module est caractérisé en ce que la face externe de l'électrode avant est en contact électrique avec une couche mince conductrice semi-réfléchissante apte 15 simultanément à accroître la conductivité de ladite électrode avant, à réfléchir de 20 à 50% de la lumière émise par une source de lumière sur tout ou partie de son spectre, et à transmettre le complément de ladite lumière vers l'électrode avant pour qu'il soit absorbé par l'absorbeur. 20 Par extension et dans toute l'invention, on appelle module photovoltaïque une ou plusieurs cellules photovoltaïques comportant des couches minces agencées de manière à former une diode photovoltaïque entre deux électrodes. Selon les modes de réalisation retenus, l'électrode avant est constituée de graphène ou d'un oxyde conducteur transparent tel que le FTO (oxyde d'étain dopé au 25 fluor), l'ITO (oxyde d'Indium dopé à l'étain), l'IZO (oxyde d'Indium et de Zinc), l'AZO (oxyde de Zinc dopé à l'Aluminium), le BZO (oxyde de Zinc dopé au Bore), le GZO (oxyde de Zinc dopé au Gallium) ou le ZnO (oxyde de Zinc) L'électrode arrière est formée d'un ou plusieurs métaux tel que l'aluminium (AI), le nickel (Ni), l'or (Au), l'argent (Ag), le cuivre (Cu), le molybdène (Mo), le chrome (Cr), le 30 titane (Ti) ou le palladium (Pd). La couche d'absorbeur est composée d'un ou plusieurs matériaux semi-conducteurs inorganiques et/ou organiques, par exemple à base de silicium amorphe ou microcristallin, de GaAs (arséniure de gallium), de CdTe (tellurure de cadmium), de CIGS (cuivre - indium - gallium - sélénium) ou à base de polymères. Il peut s'agir de jonctions de type p-i-n ou p-n, ou encore d'architectures tandem, c'est-à-dire 35 comportant plusieurs couches de matériaux qui absorbent préférentiellement une partie différente du spectre lumineux. Elles peuvent être conçues pour convertir la lumière visible 5 et/ou la lumière ultra-violette et/ou la lumière infrarouge en électricité. Avantageusement, le choix des matériaux semi-conducteurs et de l'épaisseur de l'absorbeur est fonction de la quantité et du spectre de la lumière transmise au travers de l'électrode avant. La couche mince conductrice semi-réfléchissante peut être une couche métallique. 5 Ce mode de réalisation est particulièrement avantageux car les pertes par absorption dans un métal étant faibles, la quasi-totalité de la lumière incidente sur le module photovoltaïque est soit réfléchie à la surface de ladite couche mince métallique, soit transmise vers l'électrode avant transparente pour être absorbée dans l'épaisseur de l'absorbeur directement ou après réflexion sur l'électrode arrière métallique. La partie réfléchie de la 10 lumière a une fonction esthétique pour moduler l'apparence dudit module photovoltaïque et l'autre partie transmise sert directement à produire de l'énergie électrique par effet photovoltaïque. Ladite couche mince conductrice semi-réfléchissante peut être composée d'un ou plusieurs métaux tel que l'aluminium (AI), le nickel (Ni), l'or (Au), l'argent (Ag), le cuivre 15 (Cu), le molybdène (Mo), le chrome (Cr), le titane (Ti) ou le palladium (Pd). En fonction de la nature du métal, il peut y avoir une réflexion privilégiée de certains photons dans le visible, ce qui entraîne une modulation de la couleur du module photovoltaïque perçue par un observateur. Dans un premier mode de réalisation, la couche mince conductrice semi- 20 réfléchissante est une couche plane d'épaisseur comprise entre 3 et 30 nm, avantageusement comprise entre Set 10 nm. La planéité de la couche conductrice semiréfléchissante permet une réflexion spéculaire de la lumière, ce qui permet de rendre la surface du module photovoltaïque miroir. Ainsi, l'image d'un objet réfléchi à la surface dudit module n'entraîne pas ou peu de déformations dudit objet. L'épaisseur 25 nanométrique de la couche semi-réfléchissante est calculée, en fonction du matériau, de manière à ce que 20 à 50% de la lumière incidente à la surface du module soit réfléchie. Les méthodes de calcul de ces épaisseurs sont connues de l'homme du métier. Selon un mode de réalisation, la couche mince conductrice semi-réfléchissante est composée de deux couches métalliques appelées première et seconde couches 30 métalliques, lesdites couches métalliques étant séparées par une couche diélectrique, la première couche métallique étant en contact avec l'électrode transparente. Dans un autre mode de réalisation, la couche mince conductrice semiréfléchissante est perforée dans tout ou partie de son épaisseur par une pluralité d'ouvertures de tailles comprises entre 1 et 100 microns appelées microstructures. 35 L'épaisseur de ladite couche peut alors être supérieure à 30 nm. La transmittance de 6 ladite couche est alors contrôlée par la surface totale de l'ensemble des micro-trous. Le module présente alors un aspect réfléchissant de type métallique. Dans un autre mode de réalisation alternatif, la couche mince conductrice semiréfléchissante est perforée dans tout ou partie de son épaisseur par une pluralité 5 d'ouvertures de tailles inférieures à 1 micron appelées nanostructures. Dans ce mode de réalisation, l'épaisseur du métal peut être supérieure à 50 nm, la transmittance des photons étant assurée au travers des ouvertures par des effets sub-longueurs d'onde appelés effets plasmoniques. Le plasmon de surface généré lors de l'effet plasmonique est classiquement défini comme la variation de l'oscillation collective des électrons à 10 l'interface d'un métal et d'un diélectrique. Pour exciter un plasmon de surface, il convient de garantir l'accord de fréquence entre l'oscillation des électrons et l'onde excitatrice incidente, un couplage aura alors lieu et l'énergie de l'onde excitatrice sera transférée en partie ou en totalité dans le plasmon de surface. En pourcentage, la transmittance de la couche mince conductrice semi-réfléchissante nanostructurée est bien supérieure à la 15 surface globale de toutes les ouvertures rapportée à la surface totale de ladite couche mince. Selon la taille des nanostructures, certains photons sont plus ou moins réfléchis ou transmis en fonction de leur énergie. Cela a pour conséquence de générer des couleurs indépendantes de l'angle d'observation dans une large plage angulaire allant de 00 (observation strictement perpendiculaire à la surface) à plus de 70°, ce qui rend 20 homogène l'aspect de surface dudit module. Lesdites nanostructures peuvent être agencées selon un réseau périodique ou pseudo-aléatoire. Avantageusement, lesdites ouvertures sont identiques entre elles et agencées en un réseau ordonné de manière à ce que la transmittance et la réflectivité de la couche mince conductrice semi-réfléchissante soit uniforme sur toute sa surface. Dans 25 ce cas, l'apparence de la surface du module est homogène, ce qui peut être un avantage pour une intégration esthétique du module photovoltaïque. Dans certains modes de réalisation, les nanostructures peuvent avoir la forme de bandes, de cercles ou de polygones, deux nanostructures adjacentes pouvant être séparées par des distances typiquement comprises entre 50 nm et 1000 nm, avantageusement entre 150 nm et 500 30 nm. Selon un mode de réalisation, lesdites ouvertures sont agencées selon un réseau périodique ou pseudo-aléatoire. Selon un mode de réalisation, deux ouvertures adjacentes sont séparées par des distances comprises entre 50 et 1000 nm. 35 7 Selon un mode de réalisation, les ouvertures ont la forme de bandes, de cercles ou de polygones. Selon deux variantes, le substrat est en contact électrique soit avec l'électrode arrière, soit avec la couche mince conductrice semi-réfléchissante. Dans la première 5 configuration, le substrat peut être indifféremment transparent ou opaque, par exemple en aluminium ou en inox. Dans la seconde configuration, le substrat est obligatoirement transparent et peut être constitué d'un matériau inorganique tel que le verre ou bien d'un polymère de type PMMA, PET, polyimide ou polycarbonate. Dans tous les cas de figure, le substrat peut être rigide ou flexible. 10 Selon un autre mode de réalisation, la couche mince conductrice semi- réfléchissante est composée d'une couche métallique associée à une couche diélectrique, la couche métallique étant en contact avec l'électrode transparente. L'association de ces deux fines couches permet en fonction des objectifs visés, soit d'augmenter la transparence de la couche métallique seule par effet plasmonique soit de modifier la 15 couleur perçue du module photovoltaïque. Dans le premier cas d'utilisation, on vise à maximiser à la fois la transparence et la conductivité, alors que dans le second cas on favorise l'aspect esthétique du module via la coloration et la conductivité. Selon un autre mode de réalisation, la couche mince conductrice serniréfléchissante est composé de deux couches métalliques appelées première et seconde 20 couches métalliques, lesdites couches métalliques étant séparées par une couche diélectrique, la première couche métallique étant en contact avec l'électrode transparente. Un autre objet de l'invention concerne un procédé de fabrication du module photovoltaïque semi-réfléchissant qui comporte une couche mince métallique nanostructurée, une couche diélectrique et une couche métallique. L'ensemble des trois 25 couches est de plus microstructuré pour permettre de moduler la transmittance de ces trois couches. Ledit procédé de fabrication comporte successivement les étapes suivantes: (i) on approvisionne un substrat comportant plusieurs couches minces formant successivement l'électrode métallique, l'absorbeur et l'électrode transparente ; 30 (ii) on dépose successivement sur ladite électrode transparente une première couche métallique, une couche diélectrique et une seconde couche métallique ; (iii) on structure une première résine non permanente sur ladite seconde couche métallique pour former un premier masque comportant des nanostructures ; (iv) on grave au travers du premier masque la seconde couche métallique pour 35 aboutir à une seconde couche métallique perforée de nanostructures ; (v) on dissout la première résine non permanente formant le premier masque ; 8 (vi) on structure une seconde résine sur ladite seconde couche métallique perforée de nanostructures pour former un second masque comportant des microstructures ; (vii) on grave au travers du second masque le reste de la seconde couche 5 métallique, la couche diélectrique et la première couche métallique ; (viii) optionnellement on dissout la seconde résine formant le second masque. Un autre objet de l'invention concerne un appareil fixe ou portable qui intègre un module photovoltaïque semi-réfléchissant selon l'invention. Cet appareil peut être notamment un téléphone, une montre, une liseuse ou livre électronique, ou encore un 10 ordinateur. Enfin un dernier objet de l'invention concerne un bâtiment qui intègre en façade un module photovoltaïque semi-réfléchissant selon l'invention. Figures 15 L'invention sera mieux comprise à l'aide de sa description détaillée, en relation avec les figures, dans lesquelles : La figure 1A est un schéma d'une vue en coupe d'une portion de module photovoltaïque à base de silicium amorphe éclairée par une source lumineuse. La figure 1B est un schéma d'une vue en coupe d'une portion de module 20 photovoltaïque à base de CIGS éclairé par une source lumineuse. La figure 2A est un schéma d'une vue en coupe d'une portion de module photovoltaïque d'architecture similaire à celle présentée à la figure 1A au sein duquel la conductivité a été améliorée par la présence d'une couche additionnelle fine métallique. La figure 2B est un schéma d'une vue en coupe d'une portion de module 25 photovoltaïque d'architecture similaire à celle présentée à la figure 1B au sein duquel la conductivité a été améliorée par la présence d'une couche additionnelle fine métallique. La figure 3 est un schéma d'une vue en coupe d'une portion de module photovoltaïque d'architecture similaire à la figure 1B au sein duquel la conductivité a été améliorée par la présence d'un ensemble multicouches micro et nano-structurées. 30 Les figures 4A et 4B sont des schémas d'une vue en coupe d'une portion de module photovoltaïque lors des étapes permettant la fabrication d'un module dont l'architecture est présentée à la figure 3. Description détaillée 35 La portion d'un module photovoltaïque de la figure 1A est composée : 9 - d'un substrat transparent (1) de verre ; - d'une électrode avant (4) transparente conductrice en dioxyde d'étain dopé au fluor (Sn02:F) ; - d'un absorbeur (3) formé au moins d'une couche de silicium amorphe (aSi) 5 formant une ou plusieurs jonctions n i p; - d'une électrode arrière (2) conductrice métallique composée d'aluminium (AI). La portion d'un module photovoltaïque de la figure 1B est composée : - d'un substrat transparent (1) de verre ; 10 - d'une électrode arrière (2) métallique en molybdène (Mo); - d'une couche photo-active généralement appelée absorbeur (3) et constituée de CIGS (alliage de cuivre, d'indium, de gallium et de sélénium); - d'une électrode avant (4) conductrice transparente en oxyde de zinc (Zn0). 15 L'épaisseur de chaque couche mince varie de quelques centaines de nanomètres à quelques microns. Les cellules sont éclairées par une source lumineuse (10) faisant préférentiellement face à la face externe (42) de l'électrode avant alors que la face interne (41) est en contact avec l'absorbeur (3). 20 La figure 2A est un schéma d'une portion de module photovoltaïque telle que présentée à la figure 1A dans laquelle on a déposé une fine couche métallique (5) entre le substrat (1) et la face externe (42) de l'électrode avant (4) transparente. La figure 2B est un schéma d'une portion de module photovoltaïque telle que présentée à la figure 1B sur laquelle on a déposé une fine couche métallique (5) sur la face externe (42) de 25 l'électrode avant (4) transparente. Dans les deux cas, cette fine couche métallique (5) est une couche mince semiréfléchissante qui, lorsque le module est éclairé par une source de lumière (10), permet simultanément : 30 - d'augmenter la conductivité de l'électrode avant (4) ; - de générer un effet miroir sur l'ensemble du module photovoltaïque ; - de transmettre plus de 50% de la lumière incidente dans tout ou partie du spectre de ladite lumière. 35 A titre d'exemple, il est possible d'utiliser comme couche mince semi-réfléchissante une fine couche d'argent de 22 nm. La transmission de la couche d'argent est d'environ : 10 - 50% pour la longueur d'onde 460 nm ; - 40% pour la longueur d'onde 540 nm ; - 30% pour la longueur d'onde 640 nm. 5 Un effet miroir sera alors perceptible par un utilisateur observant ledit module du côte de la face avant éclairée par la source lumineuse (10). La couleur si elle ne paraît pas argentée, dépendra en outre de la nature et de l'épaisseur de l'électrode avant (4), ainsi que des couches de l'absorbeur (3). 10 Optionnellement, il est possible d'associer une fine couche de diélectrique (non représentée ici) à ladite fine couche métallique. Ladite fine couche métallique (5) est alors en contact d'une part avec ladite fine couche diélectrique et d'autre part avec la face externe (42) de l'électrode transparente. La fine couche de diélectrique peut être directement pulvérisée sur la fine couche métallique ou inversement en fonction du 15 procédé de fabrication et de l'architecture du module photovoltaïque. L'association de ces deux fines couches permet en fonction des objectifs visés, soit d'augmenter la transparence de la couche métallique (5) seule par effet plasmonique, soit de modifier la couleur perçue du module photovoltaïque. Dans le premier cas d'utilisation, on vise à maximiser à la fois la transparence et la conductivité, alors que dans le second cas on 20 favorise l'aspect esthétique du module via la coloration et la conductivité. La figure 3 est un schéma d'une portion d'un module photovoltaïque telle que présentée à la figure 1B sur laquelle on a déposé successivement trois couches de type métal(5)/diélectrique(6)/métal(7) sur la face externe (42) de l'électrode transparente (4). 25 La couche métallique externe (7) est une fine couche métallique dont l'épaisseur est comprise entre 2 nm et 30 nm. L'épaisseur de la couche diélectrique (6) est fonction de l'épaisseur de ladite couche métallique externe, mais est préférentiellement inférieure à 100 nm. La couche métallique interne (5) en contact avec l'électrode avant (4) a une épaisseur telle que cette couche métallique présente un taux de réflexion du spectre 30 visible supérieur à 90%. Ladite couche a préférentiellement une épaisseur supérieure à 50 nm. L'ensemble de ces trois couches peut donc être considéré comme opaque. Afin de le rendre semi-transparent à la lumière visible, ledit ensemble est microstructuré. Cette microstructuration se matérialise par la réalisation d'ouvertures (11) dans les trois couches ce qui permet de contrôler la transmittance dudit ensemble. 35 La nanostructuration de la couche métallique externe (7) en association avec la couche diélectrique (6) permet de créer un effet plasmonique permettant la gestion de la 11 transmission et de la réflexion de tout ou partie du spectre visible au travers des deux couches métal (7) nanostructuré/diélectrique (6). Cet ensemble permet le contrôle de la couleur perçue du module photovoltaïque. Cet ensemble de couches multiples micro et nano-structurées génère un effet de 5 type miroir coloré, tout en augmentant la conductivité de l'électrode avant (4). Un autre objet de l'invention concerne un procédé de fabrication du module photovoltaïque semi-transparent selon un mode de réalisation particulier de l'invention. Les figures 4A, 4B, illustrent plusieurs objets issus de différentes étapes dudit 10 procédé. La première étape consiste à approvisionner un substrat (1) portant plusieurs couches minces formant successivement l'électrode métallique (2), l'absorbeur (3) et l'électrode avant (4) transparente (figure 1B). L'étape suivante consiste à déposer successivement sur ladite électrode avant (4) transparente une première couche métallique (5), une couche d'un matériau diélectrique (6), et une seconde couche 15 métallique (7) (figure 4A). Les techniques de dépôt de métaux ou de diélectriques sous vide ou en solution sont connues de l'homme du métier. On structure ensuite une première résine non permanente sur ladite seconde couche métallique (7) pour former un premier masque (non représenté) comportant des nanostructures circulaires. Les techniques usuelles de photolithographie ou de 20 lithographie par nanoimpression (plus connue sous le terme anglais « Nano-lmprint Lithography ») permettent de réaliser un tel masque et sont également connues de l'homme du métier. L'étape suivante consiste à graver au travers du premier masque la seconde couche métallique (7) pour aboutir à une seconde couche métallique perforée de nanostructures circulaires (8) qui ont un lien direct, de par leurs formes et leurs 25 dimensions, avec les nanostructures du premier masque. La gravure chimique peut se faire par voie liquide ou par voie sèche. On dissout par la suite la première résine non permanente formant le premier masque pour aboutir à l'objet représenté sur la figure 4B. On procède ensuite à la structuration d'une seconde résine sur ladite seconde couche métallique (7) perforée de nanostructures, pour former un second masque (non 30 représenté) comportant des microstructures sous la forme de bandes. Enfin, on grave au travers du second masque le reste de la seconde couche métallique (7), la couche diélectrique (6) et la première couche métallique (5) pour aboutir à des ouvertures complètes (11) dans l'épaisseur des trois couches (5,6,7) précédemment gravées. Ces ouvertures (11) sont des microsillons qui correspondent, de par leurs formes et leurs 35 dimensions, aux microstructures du second masque. Optionnellement, si la seconde résine employée pour la réalisation du deuxième masque est non permanente, on peut 12 dissoudre ladite seconde résine pour aboutir à l'objet représenté sur la figure 3. Dans une variante non représentée, la seconde résine permanente peut faire partie intégrante du module photovoltaïque semi-transparent. 5 Liste des repères utilisés sur les figures : 1 Substrat 2 Electrode arrière métallique 3 Absorbeur 4 Electrode avant transparente 41 Face interne de l'électrode avant 42 Face externe de l'électrode avant 5 Fine couche métallique 6 Fine couche de diélectrique 7 Fine couche métallique 71 Fine couche métallique nanostructurée 8 Nanostructures circulaires 10 Source de lumière 11 Ouvertures 10 Avantages de l'invention Il résulte de ce qui précède que l'invention atteint les buts fixés. Elle décrit un module photovoltaïque dont la conductivité est améliorée par la présence d'une couche mince semi-réfléchissante et dont l'aspect esthétique est contrôlé. L'aspect esthétique, en 15 fonction des architectures, peut être à effet miroir, à effet coloré, REVENDICATIONS1. Module photovoltaïque semi-réfléchissant susceptible d'être éclairé par une source de lumière (10) et comportant au moins : (a) un substrat (1) ; (b) une couche mince d'un matériau conducteur transparent formant l'électrode avant (4) et comportant deux faces appelées face interne (41) et face externe (42) ; (c) une ou plusieurs couches minces semi-conductrices (3) en contact avec la face interne (41) de l'électrode transparente () avant de manière à former une ou plusieurs jonctions et appelée absorbeur (3) ; (d) une couche mince métallique (2) formant l'électrode arrière et ayant une face en contact avec l'absorbeur (3) ; ledit module étant caractérisé en ce que la face externe (42) de l'électrode avant (4) est en contact électrique avec une couche mince conductrice semi-réfléchissante (5) apte simultanément à accroître la conductivité de ladite électrode avant, à réfléchir de 20 à 50% de la lumière émise par la source (10) sur tout ou partie de son spectre, et à transmettre le complément de lumière vers l'électrode avant (4) pour qu'il soit absorbé par l'absorbeur (3). 2. Module photovoltaïque semi-réfléchissant selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche mince conductrice semi-réfléchissante (5) est une couche métallique. 3. Module photovoltaïque semi-réfléchissant selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche mince conductrice semi-réfléchissante (5) est composée d'une couche métallique associée à une couche diélectrique (6), la couche métallique (5) étant en contact avec l'électrode transparente (2). 4. Module photovoltaïque semi-réfléchissant selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche mince conductrice semi-réfléchissante (5) est composée de deux couches métalliques appelées première et seconde couches métalliques, lesdites couches métalliques étant séparées par une couche diélectrique, la première couche métallique étant en contact avec l'électrode transparente. 14 5. Module photovoltaïque semi-réfléchissant selon la revendication 2, caractérisé en ce que la couche métallique (5) a une épaisseur comprise entre 3 et 30 nm. 5 6. Module photovoltaïque semi-réfléchissant selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la couche mince conductrice semiréfléchissante (5) est perforée dans tout ou partie de son épaisseur par une pluralité d'ouvertures (11) de tailles comprises entre 1 et 100 microns appelées microstructures. 10 7. Module photovoltaïque semi-réfléchissant selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la couche mince conductrice semiréfléchissante (5) est perforée dans tout ou partie de son épaisseur par une pluralité d'ouvertures (11) de tailles inférieures à 1 micron appelées nanostructures. 15 8. Module photovoltaïque semi-réfléchissant selon l'une quelconque des revendications 6 ou 7, caractérisé en ce que lesdites ouvertures (11) sont agencées selon un réseau périodique ou pseudo-aléatoire. 9. Module photovoltaïque semi-réfléchissant selon l'une quelconque des 20 revendications 6 à 8, caractérisé en ce que deux ouvertures (11) adjacentes sont séparées par des distances comprises entre 50 et 1000 nm. 10. Module photovoltaïque semi-réfléchissant selon l'une quelconque des revendications 6 à 9, caractérisé en ce que les ouvertures (11) ont la forme de bandes, 25 de cercles ou de polygones. 11. Module photovoltaïque semi-réfléchissant selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le substrat (1) est en contact avec l'électrode arrière (2). 30 12. Module photovoltaïque semi-réfléchissant selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que le substrat (1) est transparent et en contact avec la couche mince conductrice semi-réfléchissante (1). 35 13. Procédé de fabrication d'un module photovoltaïque semi-réfléchissant selon la revendication 12, dans lequel, successivement : 15 (i) on approvisionne un substrat (1) comportant plusieurs couches minces formant successivement l'électrode métallique (2), l'absorbeur (3) et l'électrode transparente (4) ; (ii) on dépose successivement sur ladite électrode transparente une première 5 couche métallique, une couche diélectrique et une seconde couche métallique ; (iii) on structure une première résine non permanente sur ladite seconde couche métallique pour former un premier masque comportant des nanostructures ; (iv) on grave au travers du premier masque la seconde couche métallique pour aboutir à une seconde couche métallique perforée de nanostructures ; 10 (v) on dissout la première résine non permanente formant le premier masque ; (vi) on structure une seconde résine sur ladite seconde couche métallique perforée de nanostructures pour former un second masque comportant des microstructures ; (vii) on grave au travers du second masque le reste de la seconde couche 15 métallique, la couche diélectrique et la première couche métallique ; (viii) optionnellement on dissout la seconde résine formant le second masque. 14. Appareil fixe ou portable, tel que notamment un téléphone portable, une montre, une liseuse, un livre électronique, ou un ordinateur, caractérisé en ce qu'il intègre 20 un module photovoltaïque semi-réfléchissant selon l'une quelconque des revendications 1 à 12. 15. Bâtiment caractérisé en ce qu'il intègre en façade un module photovoltaïque semi-réfléchissant selon l'une quelconque des revendications 1 à 12. 25