Brevet FR3073956A1 — publié le 20190524

METHODE D'ACQUISITION D'HOLOGRAMMES PAR HOLOGRAPHIE ELECTRONIQUE HORS AXE OPTIQUE EN MODE PRECESSION DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE ET ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE La présente invention se rapporte à une méthode d'acquisition d'hologrammes par holographie électronique hors axe optique en vue d'obtenir des images de phases offrant des artefacts atténués. Le principe de l'holographie a été inventé par Dennis Gabor en 1948, pour l'optique électronique. Cette technique d'imagerie permet d'enregistrer les figures d'interférences ou hologrammes formés dans un microscope électronique à transmission. Cette technique permet alors de reconstruire le front d'onde du faisceau électronique, et d'en déduire la phase. L'une des configurations les plus utilisées, pour la microscopie électronique en transmission, est nommée l'holographie électronique hors axe optique telle que décrite dans le document Midgley, P. A. Micron 32, 167-184 (2001). Cette configuration utilise un biprisme à électrons, également appelé biprisme de Mdllenstedt pour dévier les électrons. On enregistre un hologramme entre l'onde de référence et l'onde qui a traversé l'objet l'aide d'un biprisme de Mdllenstedt installé au niveau du diaphragme de sélection d'aire du microscope. Ce biprisme permet de faire superposer une partie du faisceau électronique (onde de référence) avec l'autre partie ayant traversé l'échantillon (onde diffusée), et ainsi de former la figure d'interférence... Contrairement à l'imagerie classique pour laquelle l'image d'intérêt est l'intensité perçue par le détecteur, l'holographie électronique hors axe optique enregistre un interférogramme, à partir duquel l'image de phase de l'échantillon peut être directement reconstruite. Cette image de phase de l'échantillon est sensible à différents champs physiques tels que le potentiel électrique; ou le potentiel magnétique. Avec l'utilisation d'une configuration spécifique de champ sombre, l'holographie est sensible au champ de déformation mécanique, comme décrit dans le document US8502143. De 2 plus l'image de phase est quantitative. Par conséquent l'image de phase peut être utilisée pour détecter la présence d'un ou plusieurs champs physiques et elle peut transformée en une mesure du champ physique étudié, comme cela est décrit par exemple dans le document M.J. Hytch, F. Houdellier, F. Hüe, and E. Snoeck, Ultramicroscopy 111, 1328 5 (2011). Mais l'holographie électronique hors axe optique est sensible aux effets de diffraction des électrons se produisant lors de la mesure d'échantillons cristallins, ce qui engendre des artefacts dans l'image de phase, dont la mesure quantitative devient alors fausse. 10 Afin de réduire ces artefacts, un grand soin est porté à la préparation des échantillons, notamment pour éviter les courbures et les épaisseurs inhomogènes. Une telle préparation d'échantillon peut être très contraignante. Le document Gan, Z., DiNezza, M., Zhang, Y-H., Smith, D. J. & McCartney, M. R. Microscopy and Microanalysis 21, 1406-1412 (2015) décrit l'existence 15 de ces artefacts et propose d'atténuer ceux-ci en adaptant l'orientation cristalline de l'échantillon relativement au faisceau d'électron. Le manipulateur s'éloigne notamment des orientations cristallines principales. EXPOSÉ DE L'INVENTION C'est par conséquent un but de la présente invention d'offrir une 20 méthode d'acquisition d'hologrammes par holographie électronique en vue d'obtenir des artefacts, liés aux effets de diffraction, atténués. Le but énoncé ci-dessus est atteint par une méthode d'acquisition d'images de phase par holographie électronique hors axe optique, l'acquisition se faisant en mode précession. 25 Le mode précession signifie que le faisceau incident effectue au moins une révolution, le faisceau incident formant un angle par rapport à l'axe optique du microscope, et génère un cône de précession. L'angle peut être constant ou non. Dans le cas d'un cône de précession symétrique généré par un cercle, l'angle du cône est nommé angle de précession. 3 Les inventeurs ont pensé à réaliser de l'holographie hors axe optique en mode précession, alors que le mode précession est utilisé en microscopie électronique pour l'acquisition de clichés de diffraction afin d'obtenir des intensités représentatives des conditions de diffraction cinématique. 5 La précession de la sonde électronique permet d'atténuer les artefacts, liés aux effets de diffraction, dans l'image de phase obtenue grâce à l'holographie électronique dans le cas d'un échantillon cristallin. Ces phénomènes sont particulièrement importants lorsque le cristal a une variation d'épaisseur, une forte épaisseur du fait des effets de diffraction dynamique et/ou des changements 10 d'orientation résultant de la courbure, d'un échantillon poly-cristallin... Selon l'invention, c'est l'image de phase qui est directement affectée par la précession de la sonde, et non une image d'intensité comme c'est le cas dans les méthodes utilisant classiquement la précession. Grâce à l'invention la préparation des échantillons peut être moins 15 contraignante. La méthode peut comporter : une première phase de réglage comprenant les étapes : 20 diffraction, - alignement du microscope électronique en mode holographie, 25 plan image, - alignement du microscope en mode précession, - vérification de la stabilité de l'échantillon dans le plan image et de la - insertion du biprisme et ajustement de caractéristiques du biprisme, - vérification de la stabilité de l'échantillon et de l'hologramme dans le une deuxième phase d'acquisition d'au moins un hologramme. L'alignement en mode holographie comporte par exemple les réglages des lentilles objectif, de diffraction et intermédiaire. De manière avantageuse, ces réglages ne sont plus modifiés jusqu'à l'acquisition de l'hologramme. 4 La présente invention a alors pour objet une méthode d'acquisition d'au moins un hologramme d'un échantillon par holographie hors axe optique mettant en oeuvre un microscope électronique en transmission, ledit microscope comportant une source d'un faisceau électronique, au moins une lentille objectif, un porte-échantillon, au 5 moins un biprisme à électrons et des moyens de déplacement du faisceau électronique en mode précession en amont du porte-échantillon et des moyens de compensation de la précession en aval du porte-échantillon, ladite méthode comportant l'activation des moyens de déplacement du faisceau électronique en mode de précession et des moyens de compensation de la précession et l'acquisition d'un hologramme dudit échantillon en 10 mode précession. De manière avantageuse, la méthode d'acquisition comporte, après mise en place de l'échantillon dans le microscope, dans une première phase, les étapes : - alignement du microscope électronique en mode holographie sans 15 biprisme à électrons, - alignement du microscope électronique en mode précession, - vérification de la stabilité de l'image de l'échantillon dans le plan image et la stabilité de la diffraction du microscope, - mise en place du biprisme à électrons dans le microscope et 20 ajustement de caractéristiques dudit biprisme à électrons, - vérification de la stabilité de l'échantillon et de l'hologramme dans le plan image, dans une deuxième phase, l'acquisition d'au moins un hologramme. Par exemple, la stabilité de l'image de l'échantillon est considérée 25 comme suffisante dans le plan image lorsque son déplacement est inférieur à la résolution de mesure voulue, et dans laquelle la stabilité de la diffraction est suffisante lorsque l'opérateur considère que elle est stable visuellement. De préférence, si la stabilité de l'image de l'échantillon dans le plan image et la stabilité de la diffraction du microscope, n'est pas suffisante, l'étape d'alignement en mode précession est au moins en partie répétée. De manière 5 avantageuse, préalablement à la répétition de l'étape d'alignement en mode précession, la hauteur de l'échantillon par rapport à une lentille objectif est modifiée. La méthode d'acquisition peut comporter, après la mise en place du biprisme à électrons dans le microscope et ajustement de caractéristiques dudit biprisme 5 à électrons, une étape de vérification de la stabilité de l'image de l'échantillon et de l'hologramme dans le plan image. Par exemple, l'image de l'échantillon dans le plan image est considérée comme suffisante lorsque le mouvement de l'échantillon est inférieur à la résolution spatiale voulue, et dans laquelle la stabilité de l'hologramme est suffisante lorsqu'il 10 présente un contraste d'au moins 5%. Dans un exemple avantageux, si la stabilité de l'image n'est pas satisfaisante, l'étape d'acquisition d'au moins un hologramme est une acquisition d'hologrammes discrets. De préférence, le mode précession est activé au cours de l'étape 15 d'alignement en mode holographie ou au plus tard au début de l'étape d'alignement en mode précession. Par exemple, lors de l'ajustement de caractéristiques dudit biprisme à électrons, l'angle de précession est non nul. Avantageusement, lors de l'ajustement du réglage de la précession, ledit 20 biprisme à électron est inséré. Au moins au début de la deuxième phase, l'angle de précession peut être réglé à une valeur donnée pour l'acquisition dudit au moins un hologramme. La présente invention a également pour objet une méthode d'obtention d'au moins une image de phase d'un échantillon, comportant la méthode d'acquisition 25 d'au moins un hologramme selon l'invention, et une étape d'obtention d'au moins une image de phase par traitement dudit au moins un hologramme obtenu à la fin de la méthode d'acquisition. La présente invention a également pour objet une méthode de détermination d'au moins un champ physique d'un échantillon comportant la méthode 6 d'obtention d'au moins une image de phase selon la présente invention et une étape de traitement de ladite image de phase pour déterminer ledit champ physique. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise sur la base de la description 5 qui va suivre et des dessins en annexe sur lesquels: - la figure 1A est une représentation schématique d'un microscope électronique en transmission pour la mise en oeuvre de la méthode d'acquisition selon l'invention, - la figure 1B est une représentation schématique du faisceau déviée-en 10 mode précession, - la figure 2 est un organigramme d'un exemple d'une méthode d'acquisition d'images de phase selon l'invention, - la figure 3 est une photo d'un échantillon au microscope électronique en transmission à balayage, 15 - la figure 4 est un hologramme de l'échantillon de la figure 3 obtenu à partir de la méthode d'acquisition selon l'invention, - la figure 5 est un hologramme de l'échantillon de la figure 3 obtenu à partir d'une méthode d'acquisition de l'état de la technique, - la figure 6 est une image de phase obtenue à partir de l'hologramme 20 de la figure 4, - la figure 7 est une image de phase obtenue à partir de l'hologramme de la figure 5, - la figure 8 est une représentation graphique de la variation de la phase le long des profils P1 et P2. 25 EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Dans la description qui va suivre, les termes « faisceau » et « sonde » sont utilisés tous deux pour désigner le faisceau électronique du microscope. 7 Sur la figure 1A, on peut voir une représentation schématique d'un exemple de microscope électronique en transmission pouvant mettre en oeuvre une méthode d'acquisition d'images de phase d'échantillons selon l'invention. L'échantillon est l'environnement pour lequel on souhaite acquérir une 5 ou des images de phase et à partir de laquelle ou desquelles par exemple on peut déterminer le ou les champs physiques de cet environnement. L'échantillon E peut être un environnement solide cristallin et/ou amorphe, par exemple un matériau semi-conducteur, pour déterminer un champ physique de celui-ci. 10 Le microscope électronique en transmission 2, désigné par la suite TEM, peut comporter dans cet ordre une source d'électrons 4 produisant un faisceau d'électrons, un système condenseur 6, une lentille objectif 8, un porte-échantillon 10, un diaphragme objectif 12, une lentille intermédiaire 14, un biprisme à électrons 16 ou biprisme de Môllenstedt, un système de projecteur 18 et un écran 19 sur lequel se forme 15 l'hologramme. Le microscope comporte également des moyens pour réaliser une illumination en mode précession. Par exemple, ces moyens comportent des moyens 20 pour provoquer une déflexion du faisceau incident. Par exemple ces moyens comportent des bobines 22 entre le système condenseur et la lentille objectif. Les bobines 22 sont 20 alimentées électriquement de sorte produire un champ magnétique apte provoquer une déflexion du faisceau d'électrons incident Fi d'un angle a de déflexion par rapport à l'axe optique X, appelé demi-angle de précession de sorte que le faisceau incident en se déplaçant génère un cône de précession C tel que représenté sur la figure 18. Le point fixe O autour duquel tourne le faisceau incident Fi correspond à la zone de l'échantillon 25 qui est analysée. Les valeurs de a peuvent varier de 0,01° à 5° et de préférence entre 0,1° et 1°. Cette déflexion est également appelée « scan ». De manière avantageuse, les moyens pour réaliser une illumination en mode précession comportent également des moyens 23 pour compenser l'effet de la déflexion du faisceau incident Fi sur le faisceau transmis. Ces moyens sont situés après 30 l'échantillon. Par exemple, ces moyens de compensation comportent des bobines 24 en 8 aval de la lentille objectif qui sont alimentées électriquement de sorte à produire un champ magnétique apte à compenser l'effet de la déflexion du faisceau incident Fi sur le faisceau transmis. Cette compensation est également appelée correction « descan ». Le faisceau électronique incident est tournant, ainsi du fait de 5 précession, il forme un cône dont le sommet est situé sur l'échantillon comme cela est représenté sur la figure 18. En variante, la précession pourrait être réalisée par rotation de l'échantillon. Les moyens de précession sont reliés à une unité de commande 26. 10 La méthode d'acquisition d'au moins un hologramme selon l'invention comporte l'acquisition d'au moins un hologramme en mode holographie hors axe optique en mode précession. Pour cela, lors de l'acquisition de l'hologramme, les moyens de déplacement du faisceau électronique en mode précession et les moyens de compensation de la précession sont activés. L'hologramme ainsi obtenu permet d'obtenir 15 une image de phase présentant un moyennage des effets de diffraction le long du cône de précession, et ainsi moins d'artefacts liés aux effets de diffraction. La méthode d'acquisition selon l'invention peut se dérouler selon une première phase I de réglage du microscope électronique en transmission et une deuxième phase II d'acquisition du ou des hologrammes 20 L'échantillon que l'on souhaite étudier est mis en place dans le TEM. La première phase de réglage du TEM comporte : - une étape 100 d'alignement du TEM en mode holographie, - une étape 200 d'alignement du TEM en mode précession, - une étape 300 de vérification de la stabilité de l'échantillon-dans le 25 plan image et de la diffraction, - une étape 400 de mise en place du biprisme à électrons et d'ajustement de ses caractéristiques, - une étape 500 de vérification de la stabilité de l'échantillon et de l'hologramme dans le plan image. 9 L'étape 100 d'alignement du TEM en mode holographie est réalisée en l'absence du biprisme. Le TEM est aligné dans la configuration optique utilisée pour l'holographie et est bien connu de l'homme du métier qui veut utiliser un TEM en mode holographie. Le microscope est utilisé dans une configuration optique, dans laquelle le 5 plan image de la lentille objectif n'est pas conjugué avec l'emplacement physique du biprisme dans le microscope. Cet alignement comporte par exemple : - la sous-étape 102 de réglage du TEM dans la configuration optique qui sera utilisée pour l'holographie, par exemple le choix du grandissement dans une 10 configuration optique où le plan image de la lentille objectif n'est pas conjugué avec l'emplacement du biprisme et le réglage du système condenseur pour une illumination optimisée pour l'holographie. - La sous-étape 104 qui consiste à ajuster les points pivot de l'alignement usuel d'un TEM de la sonde, le centre de rotation de la sonde, l'astigmatisme 15 objectif et la focalisation en ajustant la hauteur de l'échantillon, De manière avantageuse, un correcteur d'aberration image est utilisé pour corriger les aberrations qui sont introduites par l'utilisation d'un angle de précession. Il est alors possible d'utiliser des valeurs d'angle précession plus élevées, afin d'atténuer plus significativement les artefacts liés à la diffraction. 20 - La sous-étape 106 qui consiste à aligner la diffraction en réglant sa focalisation, l'astigmatisme de diffraction et en centrant la diffraction. Avantageusement, il peut être prévu préalablement à la sous-étape 104 la sous-étape 108 d'activation du mode précession du microscope, afin d'avoir accès aux contrôles (de « scan » et de « descan ») de la précession, en conservant un angle de 25 précession nul. L'activation du mode précession à ce moment-là permet de régler la diffraction dans les conditions exactes utilisées pour la précession. De manière avantageuse, les courants des lentilles objectif, de diffraction et intermédiaire ainsi que l'astigmatisme objectif ne sont plus modifiés jusqu'à l'acquisition des images. 10 Selon l'invention, on passe ensuite à l'étape 200 d'alignement du TEM en mode précession. Si la sous-étape 106 d'activation du mode précession n'a pas eu lieu, le mode précession est activé à la sous étape 201 et est réglé de sorte à appliquer un angle 5 de précession au faisceau d'électrons. La valeur de l'angle de précession a sera avantageusement celle qui sera utilisée pour l'acquisition des images, ou une autre valeur. Par exemple, l'angle de précession a est de l'ordre de 0,5°. L'objectif de l'étape 200 est d'obtenir une image immobile ou quasi-immobile à la fois dans le plan de diffraction et dans le plan image lorsque la précession 10 est active. Dans la présente demande, on considère que l'image de l'échantillon est stable dans le plan image lorsque son déplacement est inférieur à la résolution spatiale voulue pour la mesure, c'est un facteur limitant la résolution spatiale finale par exemple à l'ordre du nm avec un angle de précession a de l'ordre de 0,3°. On considère que l'image 15 de la diffraction est immobile dans le plan de diffraction lorsqu'elle est stable visuellement. Et on considère que l'hologramme est suffisamment stable lorsqu'il présente un contraste d'au moins 5%; le contraste de l'hologramme est donné par (ImaxImin)/(Imax+Imin), où Imax et 1min sont respectivement l'intensité maximale et minimale des franges. 20 L'étape 200 comporte des sous-étapes d'alignement en mode image et en mode diffraction qui sont faites en l'absence de compensation de la précession et en présence de la compensation de la précession. Par exemple, l'étape d'alignement 200 comporte - sans compensation de la précession, une sous étape 202 consistant à 25 aligner les points pivots des moyens de précession de sorte que la sonde électronique ne bouge plus sur l'échantillon. En effet en mode précession, le point fixe de la sonde est sur l'échantillon. - sans compensation de la précession, la sous-étape 204 consistant à aligner la distorsion des moyens de précession de sorte que les faisceaux transmis et 30 diffractés décrivent des cercles. 11 - Avec compensation de la précession, une sous-étape 206 consistant à ajuster la compensation de translation de la sonde après traversée de l'échantillon par les moyens de compensation de la précession, afin que l'image ne bouge pas dans le plan image. 5 - Avec compensation de la précession, une sous-étape 208 d'ajustement de la compensation de l'angle de précession, de sorte que l'image de diffraction soit stabilisée. A la fin de l'étape 200, lors d'une étape 300 il est vérifié si la stabilité de l'échantillon dans le plan image et de la diffraction est suffisante. Si cette stabilité n'est 10 pas suffisante, on retourne à l'étape 206. Dans une variante, préalablement à la répétition de l'étape 206, on peut réajuster la focalisation à lune sous-étape 210 en modifiant la hauteur de sorte à s'assurer que le point fixe de la sonde est bien dans le plan de l'échantillon. Comme expliqué ci-dessus, on considère que l'échantillon est 15 suffisamment stable dans le plan image lorsque son déplacement est inférieur à la résolution de mesure souhaitée, et que la diffraction est stable lorsque l'opérateur considère qu'elle est stable visuellement. Lorsque l'échantillon est suffisamment stable dans le plan image-et que la diffraction est suffisamment stable, on passe à l'étape 400 lors de laquelle on réalise de 20 nouveaux réglages d'ajustement en présence du biprisme. Tout d'abord, on insère le biprisme dans le TEM en aval de la lentille objectif. Ensuite on ajuste des caractéristiques du biprisme, telles que sa position, son orientation et sa polarisation en tension. L'ajustement du biprisme est bien connu de l'homme du métier en holographie. La position et l'orientation du biprisme servent à 25 séparer l'onde de référence de l'onde objet. La polarisation du biprisme sert à régler l'interfrange et la largeur de l'hologramme en vue de la résolution spatiale et du champ de vue souhaités. En outre, on peut rendre la sonde elliptique en ajustant l'astigmatisme condenseur, pour augmenter la cohérence spatiale du faisceau dans la direction 30 perpendiculaire au biprisme. Ces ajustements peuvent avantageusement être réalisés en 12 modifiant l'angle de précession, par exemple en utilisant un angle de précession à 0° pour limiter les mouvements. Dans une variante, un diaphragme objectif peut être mis en place dans le plan focal de la lentille objectif. 5 Lorsque l'étape 400 est terminée, on vérifie lors de l'étape 500 la stabilité de l'échantillon et de l'hologramme dans le plan image. Préalablement à l'étape 500, on peut modifier à l'étape 600 l'angle de précession a à la valeur souhaitée pour l'acquisition de l'hologramme, par exemple 0,25°. On considère que l'échantillon est suffisamment stable dans le plan 10 image lorsque le mouvement de l'échantillon est inférieur à la résolution spatiale souhaitée, par exemple de l'ordre du nm avec un angle de précession a de l'ordre de 0,3°, et que l'hologramme est suffisamment stable lorsqu'il présente un contraste d'au moins 5%. Le contraste de l'hologramme est donné par (Imax-In-'n)/(Iniax+In-fin), où Imax et In-fin sont respectivement l'intensité maximale et minimale des franges.] 15 Si l'échantillon et l'hologramme ne sont pas suffisamment stables dans l'image, on retourne à l'étape 202, sans reprendre l'alignement des distorsions des moyens de précession, i.e. sans appliquer l'étape 204. On peut prévoir de réajuster cet alignement de la précession sur l'hologramme, i.e. repartir à l'étape 202 en laissant le biprisme inséré afin de conserver les alignements du biprisme et de l'astigmatisme 20 condenseur réalisés en étape 400 (boucle 510). Si l'échantillon et l'hologramme sont suffisamment stables, la première phase est terminée et la deuxième phase d'acquisition peut avoir lieu directement. L'angle de précession est choisi et réglé s'il est différent de celui utilisé pour l'étape 600. La deuxième phase Il comporte l'acquisition d'au moins un hologramme 25 et ensuite la reconstruction d'une image de phase à partir du ou des hologrammes. Le temps de pose est un multiple du temps mis par la sonde pour effectuer une période de révolution. Selon un autre exemple de réalisation, lors de l'étape 500 de vérification de la stabilité de-l'échantillon et de l'hologramme dans le plan image, si la stabilité n'est 30 pas suffisante, on termine la première phase et on passe à la deuxième phase 13 d'acquisition lors de laquelle on acquiert des images en mode précession discrète : une série d'hologrammes est enregistrée en fixant la sonde à chaque hologramme ; i.e. la sonde est inclinée de l'angle de précession souhaité et avec une position fixe de la sonde sur le cercle décrivant la précession, ensuite la sonde est pivotée pas à pas de sorte 5 qu'elle décrive le cercle, et un hologramme est enregistré à chaque pas. Par exemple, on enregistre 90 hologrammes avec un pas angulaire de 4° afin de décrire une révolution complète. La série d'hologrammes peut ensuite être traitée de manière à retrouver la phase moyenne de la série d'hologramme. Ce traitement est par exemple décrit par exemple dans le document E. Voelkl and D. Tang, Ultramicroscopy 110, 447 (2010). 10 Cette acquisition discrète permet d'éviter les effets de moyennage spatial de l'échantillon dû à un mauvais réglage de la compensation du mouvement de l'échantillon. L'acquisition discrète peut être utilisée de manière régulière que l'alignement soit satisfaisant ou non. 15 La figure 3 est une image réalisée par un microscope électronique à balayage par transmission d'un biseau de silicium réalisé par un faisceau d'ion focalisé, on peut voir les franges d'égale épaisseur. Sur la figure 4 on peut voir un hologramme du biseau de silicium par une méthode d'acquisition en mode précession selon l'invention. L'angle de précession est de 20 0,25° et le temps de révolution est de 1 s. Le temps de pose de la caméra a été choisi égal à 4 s. Les étapes 100 à 500 de la première phase de la méthode selon l'invention ont été réalisées. A titre de comparaison, la figure 5 montre un hologramme du biseau de silicium par une méthode classique d'holographie hors axe optique de l'état de la 25 technique, i.e. sans précession. Sur les figures 6 et 7, on peut voir les images de phase reconstruites à partir des hologrammes des figures 4 et 5 respectivement. Ces images ont été obtenues par un traitement de Fourier usuel, avec un masque limitant la résolution à 2 nm. Le tracé de profils Pl, P2 permet une comparaison quantitative. 14 La figure 8 représente les valeurs de phases (1) en radian le long des profils P1 et P2 en nm. La zone I correspond à une zone de vide, la zone II correspond à du silicium amorphe et la zone III correspond à du silicium cristallin. On constate que les artefacts liés aux effets de diffraction sont 5 nettement réduits en comparant les figures 6 et 7, et plus aisément en comparant les profils P1 et P2 sur le tracé en figure 8. Sur la figure 8, nous observons que l'holographie électronique en précession donne des valeurs équivalentes pour la phase dans la partie amorphe de l'échantillon, relativement à l'holographie électronique. L'augmentation de l'épaisseur linéaire de l'échantillon en biseau s'observe par une augmentation linéaire de 10 la phase. Cependant, dans le cas de l'holographie électronique classique (figure 7), la phase ne croit plus de manière linéaire avec l'augmentation de l'épaisseur dans la partie cristalline de l'échantillon. Cela est dû aux franges d'égale épaisseur causées par les effets de diffraction et aux effets de diffraction dynamique. La méthode d'acquisition selon l'invention permet de corriger ces artefacts et de retrouver une augmentation linéaire de 15 la phase avec l'épaisseur aussi dans la partie cristalline (figure 6). Selon une variante de réalisation, il est possible de réaliser l'étape d'alignement 100 du TEM en mode de Lorentz, pour utiliser l'avantage du large champ de vue que permet ce mode pour l'holographie. Selon une variante de réalisation, lors de l'enregistrement du ou des 20 hologrammes, un diaphragme objectif mobile peut être envisagé ; son déplacement peut être commandé, afin de lui donner mouvement circulaire synchrone à la rotation de la figure de diffraction, permettant de sélectionner précisément un faisceau transmis ou diffracté pour réaliser des expériences d'holographie en champ clair ou en champ sombre. 25 Afin de réaliser une configuration optique d'holographie électronique en précession en champ sombre, le TEM est, lors de l'étape 100, aligné à la manière d'une configuration optique de type « champ sombre », sur un faisceau diffracté voulu. Le faisceau diffracté est alors dans l'axe optique au lieu du faisceau transmis. Les étapes 200 à 500 ont ensuite lieu. 30 15 Grâce à la méthode d'acquisition selon l'invention, il est possible : - de mesurer les champs physiques dans un l'échantillon avec des artefacts, liés aux effets de diffraction dans le cristal, atténués. - d'imager la phase d'un échantillon monocristallin en restant en 5 axe de zone. Par exemple, on peut mesurer la phase au sein d'une couche fine en axe de zone, afin de diminuer les effets de projection des interfaces. - d'imager la phase d'un échantillon monocristallin d'épaisseur non homogène. On peut alors par exemple déterminer le potentiel interne moyen (MIP) des matériaux dans des biseaux ou une carte d'épaisseur par holographie en utilisant l'image 10 d'amplitude reconstruite de l'hologramme, telle que décrite dans le document Midgley, P. A. Micron 32, 167-184 (2001). - d'imager la phase d'un échantillon monocristallin courbé. On peut par exemple mesurer l'aimantation dans des matériaux ferromagnétiques, la polarisation dans un matériau ferroélectrique ou mesurer le champ de déformation par holographie 15 électronique en précession en champ sombre, avec un faible angle de précession, par exemple de l'ordre de 0,1°, ce qui permet de s'affranchir partiellement des effets de courbure du cristal et d'obtenir une valeur de la déformation plus proche de la valeur moyenne de la déformation à travers l'épaisseur de l'échantillon. - d'imager la phase d'un échantillon monocristallin épais. Par 20 exemple, on peut déterminer les dopants dans les semi-conducteurs, nécessitant des échantillons épais, à partir de la mesure de leur potentiel électrique. - d'imager la phase d'un échantillon poly-cristallin. - de réaliser des hologrammes sur des semi-conducteurs III-V, qui ont la particularité d'avoir des contrastes de diffraction difficile à éliminer en jouant sur 25 l'orientation de l'échantillon. REVENDICATIONS1. Méthode d'acquisition d'au moins un hologramme d'un échantillon par holographie hors axe optique mettant en oeuvre un microscope électronique en transmission, ledit microscope comportant une source d'un faisceau électronique, au moins une lentille objectif, un porte-échantillon, au moins un biprisme à électrons et des moyens de déplacement du faisceau électronique en mode précession en amont du porte-échantillon et des moyens de compensation de la précession en aval du porte-échantillon, ladite méthode comportant l'activation des moyens de déplacement du faisceau électronique en mode de précession et des moyens de compensation de la précession et l'acquisition d'un hologramme dudit échantillon en mode précession. 2. Méthode d'acquisition selon la revendication 1, comportant, après mise en place de l'échantillon dans le microscope, dans une première phase, les étapes : - alignement du microscope électronique en mode holographie sans biprisme à électrons, - alignement du microscope électronique en mode précession, - vérification de la stabilité de l'image de l'échantillon dans le plan image et la stabilité de la diffraction du microscope, - mise en place du biprisme à électrons dans le microscope et ajustement de caractéristiques dudit biprisme à électrons, - vérification de la stabilité de l'échantillon et de l'hologramme dans le plan image, dans une deuxième phase, l'acquisition d'au moins un hologramme. 3. Méthode d'acquisition selon la revendication 2, dans laquelle la stabilité de l'image de l'échantillon est considérée comme suffisante dans le plan image lorsque son déplacement est inférieur à la résolution de mesure voulue, et dans laquelle la stabilité de la diffraction est suffisante lorsque l'opérateur considère que elle est stable visuellement. 17 4. Méthode d'acquisition selon la revendication 2 ou 3, dans laquelle, si la stabilité de l'image de l'échantillon dans le plan image et la stabilité de la diffraction du microscope, n'est pas suffisante, l'étape d'alignement en mode précession est au 5 moins en partie répétée. 5. Méthode d'acquisition selon la revendication 4, dans laquelle préalablement à la répétition de l'étape d'alignement en mode précession, la hauteur de l'échantillon par rapport à une lentille objectif est modifiée. 10 6. Méthode d'acquisition selon l'une des revendications 1 à 5, comportant, après la mise en place du biprisme à électrons dans le microscope et ajustement de caractéristiques dudit biprisme à électrons, une étape de vérification de la stabilité de l'image de l'échantillon et de l'hologramme dans le plan image. 15 7. Méthode d'acquisition selon la revendication 6, dans laquelle la stabilité de l'image de l'échantillon dans le plan image est considérée comme suffisante lorsque le mouvement de l'échantillon est inférieur à la résolution spatiale voulue, et dans laquelle la stabilité de l'hologramme est suffisante lorsqu'il présente un contraste 20 d'au moins 5%. 8. Méthode d'acquisition selon la revendication 6 ou 7, dans laquelle si la stabilité de l'image n'est pas satisfaisante, l'étape d'acquisition d'au moins un hologramme est une acquisition d'hologrammes discrets. 25 9. Méthode d'acquisition selon l'une des revendications 1 à 8, dans laquelle le mode précession est activé au cours de l'étape d'alignement en mode holographie ou au plus tard au début de l'étape d'alignement en mode précession. 30 18 10. Méthode d'acquisition selon l'une des revendications 1 à 9, dans laquelle, lors de l'ajustement de caractéristiques dudit biprisme à électrons, l'angle de précession est non nul. 5 11. Méthode d'acquisition selon l'une des revendications 1 à 10, dans laquelle, lors de l'ajustement du réglage de la précession, ledit biprisme à électron est inséré. 10 12. Méthode d'acquisition selon l'une des revendications 1 à 11, dans laquelle, au moins au début de la deuxième phase, l'angle de précession est réglé à une valeur donnée pour l'acquisition dudit au moins un hologramme. 13. Méthode d'obtention d'au moins une image de phase d'un 15 échantillon, comportant la méthode d'acquisition d'au moins un hologramme selon l'une des revendications 1 à 12, et une étape d'obtention d'au moins une image de phase par traitement dudit au moins un hologramme obtenu à la fin de la méthode d'acquisition. 14. Méthode de détermination d'au moins un champ physique d'un 20 échantillon comportant la méthode d'obtention d'au moins une image de phase selon la revendication précédente et une étape de traitement de ladite image de phase pour déterminer ledit champ physique.