Brevet FR3063163A1 — publié le 20180824

CAPTEUR D'EMPREINTE A LED AU NITRURE DE GALLIUM DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE L'invention concerne le domaine des capteurs pour imager une empreinte liée aux plis particuliers de la peau, en particulier une empreinte digitale, mais également une empreinte palmaire, plantaire, ou phalangeaire. Ces diverses empreintes sont désignées ensemble sous le terme d'empreintes papillaires. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE On connaît dans l'art antérieur différents capteurs d'empreinte papillaire, en particulier des capteurs de type optique, dans lesquels l'acquisition d'une image de l'empreinte met simplement en oeuvre un éclairage de l'empreinte et une acquisition d'image en champ proche. Ces capteurs optiques se présentent généralement sous la forme d'un empilement comprenant une couche émettrice de lumière, une matrice de photo-détecteurs, et le cas échéant une couche transparente de protection sur laquelle l'utilisateur doit positionner son doigt. La demande de brevet FR-1563178 déposée le 23 décembre 2015 décrit un exemple d'un tel capteur, comprenant une matrice de photo-détecteurs surmontée par une série de bandes d'OLED parallèles entre elles. Un objectif de la présente invention est de proposer une alternative à un tel capteur d'empreinte papillaire. EXPOSÉ DE L'INVENTION Cet objectif est atteint avec un capteur d'empreinte papillaire, comprenant des moyens d'émission lumineuse et un photo-détecteur matriciel, entrelacés ensemble dans et/ou au-dessus d'un même substrat semiconducteur, dans lequel : 3063163 2 les moyens d'émission lumineuse sont constitués de plusieurs diodes électroluminescentes au nitrure de gallium, dites LED au nitrure de gallium, ou d'une unique LED au nitrure de gallium présentant une série d'ouvertures traversantes ; et - le substrat reçoit des circuits de contrôle comportant une pluralité de pistes 5 métalliques de connexion, chaque LED au nitrure de gallium s'étendant au-dessus d'une piste métallique des circuits de contrôle. Les moyens d'émission lumineuse et le photo-détecteur matriciel sont entrelacés, c'est-à-dire imbriqués ensemble sans recouvrement entre une LED au nitrure de gallium 10 des moyens d'émission lumineuse et un photo-détecteur du photo-détecteur matriciel. Pour réaliser des LED au nitrure de gallium et leurs circuits électroniques de contrôle, le procédé courant consiste à réaliser un ensemble de LED de façon monolithique sur un substrat de report, puis à rapporter le tout sur un deuxième substrat recevant les circuits de contrôle, de façon que chaque LED ait une électrode connectée à une piste métallique 15 des circuits de contrôle. Ce procédé de réalisation nécessite un alignement précis des circuits de contrôle avec les LED, lors de l'étape d'assemblage de ces deux éléments. Dans un capteur d'empreinte papillaire, ces difficultés d'alignement sont encore décuplées, puisque le positionnement des LED est également fonction de la position des 20 photo-détecteurs du photo-détecteur matriciel. Par conséquent, l'homme du métier avait jusqu'à présent exclu de recourir à des LED au nitrure de gallium dans un capteur d'empreinte papillaire comprenant des moyens d'émission lumineuse et un photo-détecteur matriciel entrelacés. Or, les inventeurs ont eu l'idée originale de s'intéresser néanmoins aux récents 25 développements dans le domaine des LED au nitrure de gallium. Dans la demande de brevet PCT/FR2016/051140, il est décrit un nouveau procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage comportant une pluralité de diodes au nitrure de gallium. Ce procédé comprend les étapes suivantes : 3063163 3 - rapporter, sur une face de circuits intégrés de contrôle comportant une pluralité de pistes métalliques de connexion, un empilement actif de diode comportant au moins des première et deuxième couches semi-conductrices dopées de types de conductivité opposés, de façon que la deuxième couche de l'empilement soit 5 électriquement connectée aux pistes métalliques des circuits de contrôle ; et - former dans l'empilement actif des tranchées délimitant une pluralité de diodes connectées à des pistes métalliques distinctes des circuits de contrôle. Lors de l'étape de report de l'empilement actif, sur un substrat recevant des circuits 10 de contrôle, les positions des LED dans l'empilement actif ne sont pas encore définies. Il n'y a donc pas de contrainte forte en termes de précision d'alignement, lors du report. La délimitation des LED dans l'empilement actif peut ensuite être réalisée par des procédés de structuration offrant une précision d'alignement nettement supérieure à celle pouvant être obtenue par report d'un substrat sur un autre. 15 Il devient alors envisageable de réaliser un capteur d'empreinte papillaire comprenant une ou plusieurs LED au nitrure de gallium, entrelacée(s) avec les photo-détecteurs d'un photo-détecteur matriciel, et pilotée(s) par des circuits de contrôle réalisés de préférence en technologie CMOS. Le recours à une technologie CMOS permet de limiter l'encombrement des circuits 20 de contrôle, dans le capteur d'empreinte. Grâce à la grande précision d'alignement des LED sur le substrat, le capteur d'empreinte peut comprendre des LED au nitrure de gallium réparties selon un très petit pas de pixel, par exemple 50,8 um ou moins. Un faible pas de répartition des LED est avantageux pour la mise en oeuvre de 25 procédés de détection du vivant, pour reconnaître si une empreinte est constituée ou non de tissu humain vivant. Un faible pas de répartition des LED est également avantageux pour ajouter au capteur d'empreinte papillaire une fonction d'afficheur émissif. La grande précision d'alignement des LED permet également de positionner une LED au nitrure de gallium dans un espace restreint entre deux photo-détecteurs. 3063163 4 En particulier, on peut positionner une LED au nitrure de gallium entre les photo-détecteurs du photo-détecteur matriciel, malgré que lesdits photo-détecteurs soient répartis selon un très petit pas de pixel (par exemple 50,8 um, voire même 25,4 um ou moins). 5 On peut ainsi entrelacer les moyens d'émission lumineuse et le photo-détecteur matriciel, tout en ayant une bonne résolution en détection et sans supprimer de pixels du photo-détecteur matriciel. On peut en particulier entrelacer les moyens d'émission lumineuse avec un photo- détecteur matriciel présentant un très faible pas de pixel, ce faible pas de pixel permettant 10 de réduire les dimensions du capteur d'empreinte, à performances égales. Puisqu'il n'y a pas de recouvrement entre les moyens d'émission lumineuse et le photo-détecteur matriciel, plus la surface du substrat dédiée aux LED au nitrure de gallium est importante, plus celle dédiée aux photo-détecteurs est restreinte. Une LED au nitrure de gallium peut offrir des puissances d'émission lumineuse très 15 élevées, malgré une faible surface, grâce à un rendement élevé (bien supérieur à celui des OLED). On peut donc réserver beaucoup de surface du substrat aux photo-détecteurs, tout en maintenant une puissance d'émission lumineuse suffisante. On réalise ainsi un capteur d'empreinte papillaire d'une grande sensibilité, la quantité de signal optique détectée 20 étant directement liée à la surface occupée par les photo-détecteurs. Par exemple, les moyens d'émission lumineuse occupent sur le substrat une surface au moins dix fois inférieure à la surface occupée par le photo-détecteur matriciel, et même au moins cinquante fois inférieure. Ces fortes puissances d'émission lumineuse permettent en outre que les LED au 25 nitrure de gallium soient réparties selon un pas de répartition supérieur à celui des photo- détecteurs. La grande efficacité énergétique d'une LED au nitrure de gallium permet également de minimiser une consommation électrique du capteur d'empreinte papillaire. Le capteur d'empreinte papillaire selon l'invention comprend avantageusement une 30 couche de protection recouvrant les moyens d'émission lumineuse et le photo-détecteur 3063163 5 matriciel, et formant alors la couche la plus externe du capteur d'empreinte papillaire, du côté opposé au substrat. En variante, la couche la plus externe du capteur d'empreinte papillaire, du côté opposé au substrat, est par exemple une couche conductrice servant également de 5 protection à l'égard des décharges électrostatiques. Le photo-détecteur matriciel s'étend selon une surface dite surface de capture du capteur d'empreinte papillaire, entrelacé avec les moyens d'émission lumineuse. La surface de capture est par exemple une surface comprise entre 3x3 mm2 et 12x12 mm2, par exemple 4x4 mm2, ou 7x7 mm2, ou 10x12 mm2. 10 Une distance entre une surface supérieure de la couche la plus externe du capteur d'empreinte papillaire, du côté opposé au substrat, et le photo-détecteur matriciel, est avantageusement inférieure ou égale à un pas de répartition des photo-détecteurs formant le photo-détecteur matriciel. De préférence, les moyens d'émission lumineuse sont constitués de plusieurs LED au 15 nitrure de gallium, réparties selon une matrice de répartition à N lignes et M colonnes, avec N et M des entiers supérieurs à 3 pouvant être égaux. En variante, les moyens d'émission lumineuse sont constitués de plusieurs LED au nitrure de gallium, chacune en forme de bande, réparties selon une ou deux colonnes de bandes parallèles entre elles. 20 Le capteur d'empreinte papillaire selon l'invention peut comprendre des parois, qui s'étendent chacune entre au moins une LED au nitrure de gallium appartenant aux moyens d'émission lumineuse, et une photodiode appartenant au photo-détecteur matriciel, chaque paroi étant réfléchissante à une longueur d'onde centrale d'émission de ladite LED du nitrure de gallium. 25 Selon un mode de réalisation avantageux, les moyens d'émission lumineuse sont polychromatiques, certaines au moins des LED au nitrure de gallium comprenant un empilement actif de LED recouvert par un ou plusieurs empilement(s) de conversion photoluminescent(s). Le capteur d'empreinte papillaire selon l'invention peut comprendre en outre un 30 matériau pyroélectrique s'étendant entre les LED au nitrure de gallium, ou dans les 3063163 6 ouvertures traversantes de l'unique LED au nitrure de gallium, le matériau pyroélectrique s'étendant en outre entre une ou plusieurs électrode(s) inférieure(s), du côté du substrat, et une ou plusieurs électrode(s) supérieure(s), du côté opposé au substrat, de manière à former une matrice d'éléments de conversion pyroélectrique. 5 De préférence, le photo-détecteur matriciel est constitué de photodiodes formées dans le substrat semiconducteur, et le matériau pyroélectrique remplit entièrement les espaces entre les LED au nitrure de gallium, respectivement les ouvertures traversantes de l'unique LED au nitrure de gallium. Avantageusement, chaque LED au nitrure de gallium des moyens d'émission 10 lumineuse comprend une électrode supérieure de LED, du côté opposé au substrat, l'au moins une électrode supérieure de LED et l'au moins une électrode supérieure du matériau pyroélectrique étant formées ensemble d'un seul tenant par une même couche conductrice, transparente, qui s'étend sans ouverture au-dessus du substrat. Ladite couche conductrice est de préférence de l'oxyde d'indium-étain. 15 Selon un mode de réalisation avantageux, les éléments de conversion pyroélectrique sont connectés chacun à des moyens de mesure de charges pyroélectriques, et le capteur d'empreinte papillaire comprend en outre : au moins un élément de chauffage, pour chauffer les éléments de conversion pyroélectrique ; et 20 des moyens de synchronisation, connectés aux moyens de mesure et à l'élément de chauffage d'un même élément de conversion pyroélectrique, et agencés pour piloter une mesure des charges pyroélectriques générées par l'élément de conversion pyroélectrique, à des instants prédéterminés relativement à l'activation dudit élément de chauffage. 25 L'au moins un élément de chauffage peut comprendre une série de résistances électriques s'étendant au-dessus d'une couche d'isolation électrique, recouvrant elle-même ladite couche conductrice. L'invention concerne également un téléphone intelligent équipé de moyens 30 d'acquisition d'image et d'un flash, comprenant en outre un capteur d'empreinte papillaire 3063163 7 selon l'invention, le flash étant constitué par une pluralité de LED au nitrure de gallium formées sur le substrat du capteur d'empreinte papillaire. L'invention concerne aussi un procédé de fabrication d'un capteur d'empreinte papillaire selon l'invention, comportant les étapes suivantes : 5 a) rapporter, sur une face du substrat semiconducteur recevant les circuits de contrôle, un empilement actif de LED comportant au moins des première et deuxième couches semi-conductrices dopées de types de conductivité opposés, de façon que la deuxième couche de l'empilement soit électriquement connectée aux pistes métalliques des circuits de contrôle ; 10 b) former dans l'empilement actif des tranchées pour délimiter les plusieurs LED au nitrure de gallium ou pour percer les ouvertures traversantes dans l'unique LED au nitrure de gallium ; et c) réaliser le photo-détecteur matriciel dans ou au-dessus du substrat, l'étape c) étant mise en oeuvre avant ou après les étapes a) et b). 15 BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés à titre purement indicatif et nullement limitatif, en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels : 20 la figure 1 illustre de façon schématique, et selon une vue en coupe, un premier mode de réalisation d'un capteur d'empreinte selon l'invention ; les figures 2A à 2D illustrent de façon schématique, et selon des vues de dessus, différentes variantes de répartition des LED et des photo-détecteurs dans un capteur d'empreinte selon l'invention ; 25 - les figures 3A et 3B illustrent de façon schématique, et selon des vues de dessus, différents mode de réalisation de moyens d'éclairage polychromatiques, dans un capteur d'empreinte selon l'invention ; 3063163 8 la figure 4 illustre un deuxième mode de réalisation d'un capteur d'empreinte selon l'invention, dans lequel les moyens d'émission lumineuse sont entrelacés avec des éléments de conversion pyroélectrique ; - la figure 5 illustre une première variante du mode de réalisation de la figure 4, 5 comportant en outre une couche conductrice assurant une protection à l'égard des décharges électrostatiques ; - la figure 6 illustre une deuxième variante du mode de réalisation de la figure 4, dans lequel des électrodes du capteur d'empreinte selon l'invention forment une couche conductrice assurant une protection à l'égard des décharges électrostatiques ; 10 les figures 7 et 8 illustrent de manière schématique le principe d'une détection thermique de type actif, avec chauffage des éléments de conversion pyroélectrique ; la figure 9 illustre un troisième mode de réalisation d'un capteur d'empreinte selon l'invention, comprenant des moyens de chauffage des éléments de conversion pyroélectrique ; 15 - les figures 10 et 11 illustrent deux variantes d'un quatrième mode de réalisation d'un capteur d'empreinte selon l'invention, dans lequel le photo-détecteur matriciel est constitué d'une matrice de diodes PiN ; et - la figure 12 illustre de manière schématique une application avantageuse du capteur d'empreinte selon l'invention. 20 EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Par souci de clarté, seuls les éléments utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés. En particulier, les circuits de contrôle ne sont pas détaillés, l'invention ne résidant pas dans ces circuits de contrôle. Pour 25 les mêmes raisons, la composition des empilements formant la ou les diode(s) au nitrure de gallium n'est pas détaillée. Dans la description qui suit, les termes « sur », « au-dessus », « sous », « dessous », se rapportent à l'orientation des figures correspondantes. Pour plus de clarté, on a représenté sur certaines des figures les axes (Ox), (Oy) et/ou (Oz) d'un repère orthonormé. 3063163 9 La figure 1 illustre de façon schématique, et selon une vue en coupe, un premier mode de réalisation d'un capteur d'empreinte papillaire 100 selon l'invention. Le capteur d'empreinte 100 comprend un substrat semiconducteur 110, par exemple 5 en silicium, comportant des circuits de contrôle (non représentés) réalisés de préférence en technologie CMOS. Les circuits de contrôle comportent des pistes métalliques de connexion 120, assurant la connexion électrique entre ces circuits de contrôle et des dispositifs électroniques montés sur le substrat. 10 Les pistes métalliques de connexion 120 formées chacune par une fine couche métallique enterrée dans le substrat 110, et affleurant à sa surface supérieure. Une pluralité de photodiodes 130 s'étend directement dans le substrat 110. Les photodiodes 130 sont formées par de simples jonctions PN, et s'étendent directement dans le silicium du substrat. Chaque photodiode 130 est formée par 15 implantation de dopants dans le silicium, et connectée à des circuits de contrôle par des moyens connus de l'homme du métier, de façon à permettre que des rayons lumineux incidents sur une face supérieure du substrat parviennent jusqu'à la jonction PN correspondante. Les photodiodes 130 sont agencées selon une matrice de répartition rectangulaire, 20 de préférence carrée, et forment ensemble un photo-détecteur matriciel. Les photodiodes 130 s'étendent ensemble selon une surface dite surface de capture du capteur d'empreinte papillaire. La résolution du photo-détecteur matriciel est de préférence de 500 dpi, soit un pas de pixel de 50,8 um. 25 En variante, cette résolution est de 1000 dpi (soit un pas de pixel de 25,4 um) ou même 2000 dpi (soit un pas de pixel de 12,7 um). Des LED au nitrure de gallium 140 s'étendent au-dessus du substrat, en recouvrant chacune une unique piste métallique 120 du substrat. Dans la suite, les LED au nitrure de gallium sont notées simplement « LED GaN ». 3063163 10 De préférence, une projection verticale (selon (Oz)) d'une LED GaN 140 coïncide avec l'étendue de la piste métallique 120 correspondante. Ladite piste métallique 120 assure la connexion entre une électrode inférieure de la LED GaN correspondante, et des circuits de contrôle dans le substrat 110. 5 Chaque LED GaN 140 comporte ici un empilement actif de LED comprenant au moins des première et deuxième couches semi-conductrices dopées de types de conductivité opposés. De préférence, ces deux couches semi-conductrices sont séparées par une couche émissive par exemple à base de puits quantiques, ou présentant un dopage dit intrinsèque. De manière avantageuse, chaque LED GaN 140 et la piste métallique 120 10 correspondantes sont séparées par un plot métallique 141. Le plot métallique 141 est en contact physique direct, d'un côté avec la piste métallique 120, et de l'autre avec la LED GaN 140. Le plot métallique 141 présente la même section que l'empilement actif de la LED GaN, dans un plan (xOy) parallèle au plan du substrat. Les plots métalliques 141 proviennent d'une étape avantageusement mise en oeuvre 15 lors de la fabrication de LED(s) au nitrure de gallium selon le procédé décrit dans l'exposé de l'invention. Cette étape consiste à recouvrir d'une couche métallique l'empilement actif de LED et/ou le substrat recevant des circuits de contrôle, avant le report de l'empilement actif de LED. Cette couche métallique peut améliorer et/ou faciliter la fixation de l'empilement actif 20 de LED, sur le substrat recevant des circuits de contrôle. Lors de la gravure de tranchées délimitant une pluralité de diodes (ou structurant une unique diode), la couche métallique est structurée avec l'empilement actif de LED ce qui forme les plots métalliques 141. Le cas échéant, des pistes métalliques de connexion 120 du substrat CMOS peuvent être gravées lors de la même étape de gravure, de sorte que ces pistes ne dépassent pas à 25 côté d'une LED GaN. Les LED GaN 140 forment ensemble des moyens d'émission lumineuse. Elles sont réparties ici sur le substrat recevant les photodiodes 130, sans recouvrir ces dernières. 3063163 11 On détaille dans la suite différents exemples de répartition des photodiodes 130 et des LED GaN 140, réalisant un entrelacement du photo-détecteur matriciel avec les moyens d'émission lumineuse. Les espaces entre les LED GaN 140 sont remplis par un isolant électrique 145 5 transparent. Dans tout le texte, le terme transparent implique un coefficient de transmission supérieur à 80%, et même supérieur à 90%, à la longueur d'onde d'émission des LED GaN 140 (le cas échéant aux longueurs d'onde d'émission respectives des différents types de LED GaN). 10 L'isolant électrique 145 est par exemple de l'oxyde de silicium. Les LED GaN 140 et l'isolant électrique 145 forment ensemble un étage supplémentaire du capteur d'empreinte papillaire 100. Ici, l'isolant électrique 145 remplit entièrement les espaces entre les LED GaN 140, formant avec elles une couche sans ouverture. 15 Les LED GaN 140 sont recouvertes chacune d'une électrode supérieure 142, en matériau conducteur tel que du métal ou de l'oxyde d'indium-étain. Les électrodes supérieures 142 sont connectées à une piste métallique du substrat par un via (non représenté) qui traverse ledit étage supplémentaire du capteur d'empreinte 100. 20 L'ensemble est recouvert d'une fine couche de protection 160, transparente, assurant une protection à l'égard de contacts répétés avec des tissus humains. La couche de protection 160 peut être un conducteur électrique ou un isolant, selon qu'elle recouvre des électrodes portées au même potentiel ou à des potentiels différents. La couche de protection 160 peut être constituée d'une couche d'oxyde, d'une 25 couche d'un polymère époxyde (peinture époxy), ou d'une couche de carbone amorphe dite DLC (pour « Diamond-Like Carbon »), etc. Elle présente avantageusement une épaisseur inférieure à 30 um, et même inférieure à 20 um, voire inférieure à 1µm pour du DLC. Elle forme la couche la plus externe du capteur d'empreinte, du côté opposé au 30 substrat semiconducteur. 3063163 12 En fonctionnement, une empreinte est appuyée contre une surface de contact 161 du capteur d'empreinte, sur une face externe de la couche de protection, du côté opposé au substrat 110. Les LED GaN 140 émettent un rayonnement lumineux en direction de la couche de protection 160, qui est rétrodiffusé par l'empreinte. Le rayonnement 5 rétrodiffusé est reçu par les photodiodes 130, sensibles sur au moins une partie du spectre d'émission des LED GaN 140. Une distance entre la surface de contact 161 et les photodiodes 130 est de préférence inférieure au pas de répartition de celles-ci, par exemple inférieure ou égale à 50,8 um, et même inférieure ou égale à 25 um. Le capteur d'empreinte selon l'invention peut ainsi 10 former un dispositif compact, fonctionnant en champ proche, sans moyens de focalisation disposés entre la surface de contact et les photodiodes 130. Les photodiodes sont avantageusement réparties selon une matrice carrée. Si elles sont réparties selon une matrice rectangulaire, on considère le plus petit parmi les deux pas définissant alors la répartition des photodiodes. 15 Avantageusement, une distance entre la surface de contact 161 et les photodiodes 130 est mesurée à partir d'un plan recevant les électrodes supérieures des photodiodes (ici, la face supérieure du substrat semiconducteur, du côté de la surface de contact). Les figures 2A à 2D illustrent différentes variantes de répartition des LED GaN 140 et 20 des photodiodes 130, représentées en vue de dessus. Dans chacune de ces variantes, les photodiodes 130 sont agencées selon une matrice carré de pas P, où P vaut par exemple 50,8 um, ou 25,4 um, voire même moins. La matrice de photodiodes est par exemple un carré d'au moins 100 pixels de côté. A la figure 2A, les moyens d'émission lumineuse sont constitués d'une pluralité de 25 LED GaN 140, réparties selon une matrice de répartition carré de même pas P. Une répartition matricielle permet que les LED GaN 140 forment également un dispositif d'affichage émissif (ici, un dispositif d'affichage monochrome). Afin de maximiser une surface de capture du capteur d'empreinte papillaire, chaque photodiode 130 présente, selon une vue de dessus, un renfoncement à l'intérieur duquel 30 s'étend une LED GaN 140. 3063163 13 Chaque LED GaN 140 présente en particulier une forme carrée, disposée au creux d'une photodiode 130 en forme de L. Une LED GaN peut émettre de fortes puissances optiques, même en présentant de très petites dimensions. Ainsi, chaque LED GaN peut présenter selon une vue de dessus une 5 forme carrée ou rectangulaire de moins de 10 um de côté, par exemple 4 um ou 3 um ou 2 um de côté. Les faibles dimensions de chaque LED GaN permettent qu'elles soient réparties selon un faible pas de pixel, sans pour autant empêcher une bonne détection de signal par les photodiodes. 10 La variante illustrée en figure 2B diffère de celle de la figure 2A en ce que le pas de répartition des LED GaN 140 est un multiple entier du pas de répartition des photodiodes 130. Les LED GaN 140 peuvent toujours former un dispositif d'affichage émissif, permettant par exemple l'affichage de motifs simples tels qu'une croix lorsque le capteur 15 d'empreinte est prêt à recevoir une empreinte, ou lorsqu'une empreinte a été correctement détectée. Chaque LED GaN 140 est disposée ici à l'angle de quatre photodiodes 130. Chaque photodiode 130 présente un renfoncement à l'intérieur duquel s'étend un coin d'une LED GaN 140. 20 Cette variante permet de combiner un très petit pas de pixel du photo-détecteur matriciel, réalisant un capteur d'empreinte de haute résolution, et un pas de pixel plus élevé pour les LED GaN, offrant un éclairage suffisant pour la détection d'empreinte et pouvant former un dispositif d'affichage émissif de bonne qualité. Par exemple, la résolution du photo-détecteur matriciel est de 2000 dpi, alors que la 25 résolution de la matrice de LED GaN est de 300 dpi. Selon des variantes non représentées, la répartition des LED GaN ne présente pas partout le même pas. En variante, les photodiodes et les LED GaN sont réparties selon une matrice rectangulaire. Les LED GaN peuvent alors être réparties selon le même pas de répartition 30 que les photodiodes, selon chaque dimension du plan du photo-détecteur matriciel. 3063163 14 Alternativement, selon chaque dimension du plan du photo-détecteur matriciel, le pas de répartition des LED GaN est un multiple du pas de répartition des photodiodes. A la figure 2C, chaque LED GaN a une forme de bande, et s'étend entre deux lignes de photodiodes 130, d'un bord à l'autre de la surface de capture définie par l'ensemble des 5 photodiodes 130. Les LED GaN peuvent alors être connectées aux circuits de contrôle, uniquement depuis le bord du capteur d'empreinte. Cette variante permet de réaliser des figures d'éclairement constituées de bandes lumineuses et de bandes sombres. 10 La demande de brevet FR-1563180, déposée le 23 décembre 2015, décrit un procédé de reconnaissance du vivant, utilisant de telles figures d'éclairement pour déterminer un coefficient d'absorption et un coefficient de diffusion réduit caractéristiques d'une l'empreinte, et ainsi reconnaître si l'empreinte est constituée ou non de tissu humain vivant. 15 Cette variante est donc particulièrement avantageuse pour reconnaître si une empreinte est constituée ou non de tissu humain vivant, à partir de sa réponse à des éclairements prédéterminés. Le terme « bande » désigne ici n'importe quel motif de forme allongée, tel qu'un long rectangle, un serpentin, une ligne de triangles, etc. Une bande en forme de long rectangle 20 présente par exemple une largeur inférieure ou égale à 4 um, et une longueur de plusieurs centaines de um, voire plusieurs millimètres, avantageusement la longueur de la surface de capture. Selon une variante non représentée, les moyens d'émission lumineuse sont constitués de deux colonnes de bandes de LED. Chaque colonne peut être connectée à des 25 circuits de contrôle depuis un bord respectif du capteur d'empreinte. A la figure 2D, les moyens d'émission lumineuse sont constitués d'une unique LED GaN 140, en forme de grille. Chaque ouverture de la grille reçoit une photodiode 130. Cette variante offre une connectique particulièrement simple pour les moyens d'émission lumineuse (mais bien sûr ne peut pas former un afficheur émissif). 30 Chaque ouverture de la grille peut également recevoir plusieurs photodiodes. 3063163 15 Dans chacune des variantes détaillées ci-dessus, des LED GaN s'étendent chacune entre des photodiodes, ou des photodiodes s'étendent chacune dans les trous d'une LED en forme de grille. La ou les LED GaN forme(nt) ainsi des moyens d'émission lumineuse entrelacés avec un photo-détecteur matriciel. 5 Dans un cas extrême, le capteur d'empreinte selon l'invention est un capteur à balayage, comportant seulement quelques lignes de photodiodes et une ligne de LED GaN. Les moyens d'émission lumineuse peuvent être polychromatiques, c'est-à-dire adaptés à émettre à différentes longueurs d'onde, par exemple trois longueurs d'onde telles que le rouge, le bleu, ou le vert. 10 Les moyens d'émission lumineuse peuvent être constitués par différents types d'empilements actifs de LED, qui diffèrent par leurs longueurs d'onde d'émission respectives. Selon une variante avantageuse, les moyens d'émission lumineuse sont constitués d'une pluralité d'empilements actifs de LED ayant tous le même spectre d'émission, et dont 15 certains au moins sont recouverts par un ou plusieurs empilement(s) de conversion photoluminescent(s). On nomme alors « LED GaN » l'ensemble constitué par un empilement actif de LED et le cas échéant le ou les empilement(s) de conversion photoluminescent(s) correspondant. 20 Les moyens d'émission lumineuse peuvent alors être réalisés à l'aide du procédé décrit dans la demande de brevet français n°16 54282. Ce procédé comprend des étapes de dépôt et gravure de différents types d'empilements de conversion photoluminescents, au-dessus d'une série d'empilements actifs de LED à base de nitrure de gallium. Les figures 3A et 3B illustrent deux exemples de réalisation de moyens d'émission 25 lumineuse polychromatiques. A la figure 3A, les LED GaN sont réparties en blocs de trois LED, selon une matrice de répartition carrée. Chaque bloc consiste en trois LED GaN (1401, 1402, 1403) directement voisines, émettant respectivement dans le rouge, le bleu, et vert. 3063163 16 A la figure 3B, les LED GaN sont réparties selon une matrice de répartition carrée, les LED étant alternativement une LED GaN (1401) émettant dans le rouge, ou une LED GaN émettant dans le bleu (1402), ou une LED GaN émettant dans le vert (1403). De nombreuses autres variantes peuvent être mises en oeuvre. Par exemple, les LED 5 GaN peuvent être en forme de bande, les bandes étant alternativement rouge, bleu ou verte. On peut également utiliser d'autres couleurs que le rouge, le bleu et le vert. Des moyens d'émission lumineuse polychromatiques sont avantageux pour la mise en oeuvre de procédés de reconnaissance du vivant. Ils peuvent également former un dispositif d'affichage émissif en couleurs. 10 De manière avantageuse, le capteur d'empreinte comprend des moyens (non représentés) pour éviter que le rayonnement émis par une LED GaN ne soit reçu directement par une photodiode voisine, sans avoir été d'abord rétrodiffusé sur une empreinte. 15 Par exemple, des parois peuvent s'étendre entre une LED GaN et des photodiodes voisines, réfléchissantes à la longueur d'onde centrale d'émission de ladite LED GaN. Une paroi est dite réfléchissante lorsqu'elle présente un coefficient de réflexion supérieur à 70%, et même 80%, à ladite longueur d'onde centrale d'émission. Lesdites parois sont formées par exemple par des plots métalliques de forme 20 annulaire entourant chacun une LED GaN, ou par des barrières métalliques s'étendant chacune en ligne droite de part et d'autre d'une LED GaN en forme de bande. En complément ou en variante, les LED GaN sont agencées pour émettre un faisceau lumineux collimaté. Pour cela, l'empilement actif de LED peut comprendre des miroirs de Bragg formant 25 une cavité résonante (RCLED, pour « Resonant Cavity LED »). Afin d'éviter d'aveugler les photodiodes, on peut également allumer les LED GaN de façon séquentielle, et ne lire que les photodiodes situées à distance d'une LED GaN allumée. 3063163 17 La figure 4 illustre un mode de réalisation particulièrement avantageux dans lequel les moyens d'émission lumineuse sont entrelacés avec des éléments de conversion pyroélectrique. Le capteur d'empreinte 400 de la figure 4 ne sera décrit que pour ses différences 5 relativement au mode de réalisation de la figure 1. Le capteur d'empreinte 400 de la figure 4 comprend ici une couche structurée 450 en matériau pyroélectrique, s'étendant avec les LED GaN 440 dans l'étage supplémentaire du capteur d'empreinte tel que décrit ci-avant, au-dessus du substrat 410. La pyroélectricité d'un matériau est sa capacité à générer des charges électriques, 10 dites pyroélectriques, en réponse à une variation de température. Le matériau pyroélectrique est par exemple un copolymère de polyfluorure de vinylidène (PVDF-TrFE), ou un nitrure III-V tel que le nitrure d'aluminium, ou un mélange de nitrures comprenant du nitrure d'aluminium. Par nature, les matériaux pyroélectriques sont de bons isolants électriques, de sorte 15 que la couche structurée 450 en matériau pyroélectrique remplace avantageusement l'isolant électrique 145 utilisé dans le premier mode de réalisation. La couche structurée 450 en matériau pyroélectrique doit en outre être transparente, pour laisser passer la lumière jusqu'aux photodiodes 430. Pour cela, la couche structurée 450 en matériau pyroélectrique peut présenter une faible épaisseur, par exemple moins de 20 1 um, et/ou être constituée d'un matériau pyroélectrique transparent tel que le PVDF-TrFE. Dans la suite, la couche structurée 450 en matériau pyroélectrique est nommée simplement « matériau pyroélectrique ». Le matériau pyroélectrique 450 s'étend dans les espaces entre les LED GaN 440 (ou 25 dans les ouvertures traversantes d'une unique LED GaN). Ici, le matériau pyroélectrique 450 forme avec les LED GaN 440 une couche s'étendant sans ouverture au-dessus du substrat. De préférence, le matériau pyroélectrique 450 ne recouvre pas les LED GaN 440. En variante, le matériau pyroélectrique 450 peut former des bandes distinctes, 30 entre les LED GaN. 3063163 18 On a représenté le cas où le matériau pyroélectrique 450 dépasse au-dessus des LED GaN, l'épaisseur du matériau pyroélectrique étant comprise par exemple entre 2 et 3 um, alors que l'épaisseur des LED GaN est d'environ 0,5 um. Le matériau pyroélectrique 450 recouvre un ensemble de pistes métalliques 451 5 affleurant à la surface supérieure du substrat 410, et formant ensemble une matrice d'électrodes inférieures du matériau pyroélectrique. Le matériau pyroélectrique 450 est également recouvert d'un ensemble de pistes conductrices 452 situées chacune au regard d'une électrode inférieure 451 du matériau pyroélectrique, et formant ensemble une matrice d'électrodes supérieures du matériau 10 pyroélectrique. Si les électrodes supérieures 452 ne sont pas transparentes à la longueur d'onde d'émission des LED GaN, elles s'étendent sur le matériau pyroélectrique sans recouvrir les photodiodes, comme illustré en figure 4. Les électrodes inférieures, supérieures, et le matériau pyroélectrique, forment 15 ensemble une matrice d'éléments de conversion pyroélectrique. Chaque élément de conversion pyroélectrique comprend : - une électrode supérieure 452, connectée à une source de potentiel constant, par exemple à la masse (ou même la terre) ; une électrode inférieure 451, connectée à des circuits de mesure de charges 20 pyroélectriques (non représentés) ; et une portion du matériau pyroélectrique, directement interposée entre ces électrodes, destinée à être exposée à une variation temporelle de température et permettant de générer des charges pyroélectriques entre ces électrodes, correspondant à ladite variation de température. 25 Ces éléments de conversion pyroélectrique forment ensemble une matrice de transducteurs de variation temporelle de température, et plus particulièrement un capteur d'empreinte papillaire de type thermique, permettant de discriminer des éléments de conversion pyroélectrique surmontés par une crête, respectivement par une vallée d'une 30 empreinte. 3063163 19 On réalise ainsi un capteur d'empreinte dans lequel les moyens d'émission lumineuse sont entrelacés avec les pixels d'un capteur thermique, de façon à fournir des mesures optiques et thermiques se rapportant à une même région d'une empreinte. On peut ainsi consolider et/ou compléter et/ou corriger des mesures optiques par 5 des mesures thermiques, pour fournir une image de meilleure qualité. Par exemple, des mesures optiques réalisées sur un doigt sec sont complétées par des mesures thermiques, plus fiables sur doigt sec. Les mesures thermiques sont obtenues sans augmentation sensible de l'encombrement du capteur d'empreinte, puisque les éléments de conversion 10 pyroélectrique sont réalisés principalement en remplaçant tout ou partie d'un isolant électrique par un matériau présentant en outre des propriétés de pyroélectricité. De préférence, un pas de répartition des éléments de conversion pyroélectriques est égal à un pas de répartition des photodiodes 430. Les circuits de mesure de charges pyroélectriques sont avantageusement intégrés 15 dans le substrat 410, en technologie CMOS, et mettent en oeuvre des techniques de mesures passives (lecture en courant des charges) ou actives (lecture en tension), avec une série de transistors. Les circuits de mesure de charges pyroélectriques et les circuits de mesure pour la lecture des photodiodes peuvent être distincts, ou partagés en utilisant un ou plusieurs 20 transistors pour aiguiller les charges. Un circuit de sélection permet de piloter chaque LED individuellement au niveau du pixel. Les éléments de conversion pyroélectrique et les LED GaN sont recouverts par une deuxième couche d'isolant électrique 460, transparent. De préférence, cette deuxième couche d'isolant électrique 460 forme également 25 une protection à l'égard des contacts répétés avec les tissus humains. Elle est par exemple en DLC. Selon une variante non représentée, les différents éléments de conversion pyroélectrique partagent une même électrode supérieure s'étendant au-dessus de la matrice d'électrodes inférieures. 3063163 20 Selon une autre variante, ce sont les électrodes supérieures qui sont connectées aux circuits de mesure, la ou les électrode(s) inférieure(s) étant connectée(s) à une source de potentiel constant. Selon une autre variante, le matériau pyroélectrique et les LED GaN s'étendent 5 jusqu'à la même hauteur au-dessus du substrat. La plus faible épaisseur de matériau pyroélectrique est alors compensée par une forte sensibilité des circuits de mesure, intégrés en technologie CMOS dans le substrat, et comprenant par exemple un amplificateur pour chaque élément de conversion pyroélectrique. Selon une autre variante, le matériau pyroélectrique s'étend dans des ouvertures 10 traversantes gravées dans un isolant électrique distinct, entre les LED GaN (ou dans les ouvertures traversantes d'une unique LED GaN). Selon une autre variante, le matériau pyroélectrique s'étend d'un seul tenant et sans ouverture au-dessus du substrat, une fine couche de matériau de conversion pyroélectrique recouvrant alors la ou les LED GaN. 15 Des charges peuvent s'accumuler lorsque le doigt est en contact avec le capteur d'empreinte, jusqu'à provoquer une décharge électrostatique. De préférence, le capteur d'empreinte selon l'invention comprend en outre une protection à l'égard des décharges électrostatiques. Le capteur d'empreinte 500 de la figure 5 ne sera décrit que pour ses différences 20 relativement au mode de réalisation de la figure 4. Dans ce capteur d'empreinte 500, les LED GaN 540, le matériau pyroélectrique 550, et leurs électrodes supérieures respectives 542, 552, sont recouverts d'un deuxième isolant électrique 570, transparent, tel que de l'oxyde de silicium. Le deuxième isolant électrique 570 est lui-même recouvert d'une couche conductrice 25 580 connectée à une source de potentiel constant (de préférence la masse, et encore plus préférentiellement la terre), pour protéger le capteur d'empreinte à l'égard des décharges électrostatiques. Cette couche conductrice forme également un blindage électromagnétique, notamment à l'égard de rayonnements électromagnétiques à 50 ou 60 Hz. 3063163 21 La couche conductrice 580 est constituée d'un matériau électriquement conducteur et transparent, de préférence de l'oxyde d'indium-étain (ITO). Elle présente une épaisseur de quelques centaines de nanomètres, de préférence moins de 1 um. La couche conductrice 580 s'étend sans ouverture, au-dessus du substrat, en 5 recouvrant l'ensemble des photodiodes du photo-détecteur matriciel et l'ensemble des moyens d'émission lumineuse. Elle est elle-même recouverte d'une couche de protection 560, optionnelle, telle que décrite en référence à la figure 1. 10 La figure 6 illustre une variante d'un capteur d'empreinte 600 selon l'invention, dans laquelle les électrodes supérieures des LED GaN et les électrodes supérieures des éléments de conversion pyroélectrique sont formées ensemble d'un seul tenant. Une solution évidente consiste à remplacer la pluralité d'électrodes supérieures par une unique couche métallique, percée par des ouvertures traversantes pour laisser passer 15 la lumière au-dessus des LED GaN et des photodiodes. La figure 6 illustre une solution plus astucieuse, dans laquelle une unique couche conductrice 680 s'étend d'un seul tenant et sans ouverture au-dessus du substrat, en contact physique direct avec les empilements de LED et le matériau pyroélectrique. La couche conductrice 680 s'étend au-dessus de l'ensemble des photodiodes du 20 photo-détecteur matriciel et l'ensemble des moyens d'émission lumineuse. Cette unique couche conductrice 680 est constituée d'un matériau électriquement conducteur, et transparent, de préférence de l'oxyde d'indium-étain (ITO). Cette unique couche conductrice 680 est connectée à une source de potentiel constant, de préférence la masse, et encore plus préférentiellement la terre. 25 Elle forme les électrodes supérieures des LED GaN 640, et les électrodes supérieures des éléments de conversion pyroélectrique. Comme elle ne présente pas d'ouverture traversante, elle forme également un blindage électromagnétique efficace au-dessus du substrat, et une bonne protection à l'égard des décharges électrostatiques, 3063163 22 Cette variante est particulièrement avantageuse avec un matériau pyroélectrique ne nécessitant pas d'être polarisé avant utilisation, par exemple du nitrure d'aluminium, ou un mélange de nitrures comprenant du nitrure d'aluminium. Si le matériau pyroélectrique nécessite d'être polarisé, le sens de polarisation doit être choisi de manière à protéger les 5 transistors dans les circuits de contrôle CMOS. Cette variante est particulièrement avantageuse lorsque le matériau pyroélectrique et les LED GaN s'étendent jusqu'à même hauteur au-dessus du substrat. De préférence, la surface de contact du capteur d'empreinte est formée sur une face supérieure de la couche conductrice 680, ou sur une face supérieure d'une couche de 10 protection 660 recouvrant directement la couche conductrice (comme illustré en figure 6). Un capteur d'empreinte basé sur l'utilisation d'un matériau pyroélectrique peut être utilisé selon différents modes de détection. Selon un mode de détection dit passif, on exploite une différence de température initiale entre les éléments de conversion pyroélectrique et l'empreinte. 15 Au niveau d'une crête, l'empreinte est en contact physique direct avec la surface de contact du capteur, réalisant ainsi un transfert thermique par conduction entre l'empreinte et un élément de conversion pyroélectrique. Le transfert de chaleur est efficace, ce qui se traduit par une forte variation de la température de l'élément de conversion pyroélectrique, dans les instants qui suivent le positionnement de l'empreinte sur la 20 surface de contact. Au niveau d'une vallée, l'empreinte n'est pas est en contact physique direct avec la surface de contact du capteur. Le transfert thermique entre l'empreinte et un élément de conversion pyroélectrique se fait par convection. Le transfert de chaleur est moindre, ce qui se traduit par une faible variation de la température de l'élément de conversion 25 pyroélectrique, dans les instants qui suivent le positionnement de l'empreinte sur la surface de contact. Un inconvénient de ce type de détection est que rapidement les températures ne varient plus, de sorte qu'il n'est plus possible d'imager une empreinte. Une solution consiste à déplacer l'empreinte relativement à la surface de contact du 30 capteur, pour retarder ou éviter l'équilibre thermique. 3063163 23 La matrice d'éléments de conversion pyroélectrique forme alors une matrice rectangulaire. Il reste que si l'empreinte et les éléments de conversion pyroélectrique présentent la même température initiale, il n'y aura aucune variation de température, et donc aucune 5 charge pyroélectrique générée à mesurer. Un autre mode de détection, dit actif, consiste à chauffer les éléments de conversion pyroélectrique. Ainsi, on augmente et on entretient un déséquilibre thermique entre les éléments de conversion pyroélectrique et l'empreinte. 10 Les figures 7 et 8 illustrent de manière schématique le principe d'une détection thermique de type actif. La figure 7 illustre très schématiquement le dispositif mis en oeuvre pour chaque élément de conversion pyroélectrique, comportant : - des moyens 701 de mesure de charges électriques, connectés à l'élément de 15 conversion pyroélectrique, ici par l'intermédiaire de son électrode inférieure ; un élément de chauffage 702, agencé pour chauffer le matériel pyroélectrique de l'élément de conversion pyroélectrique ; et des moyens de synchronisation 703, connectés à l'élément de chauffage 702 et aux moyens de mesure 701, configurés pour piloter une mesure de charges à des instants 20 prédéterminés relativement à l'activation du chauffage. La figure 8 illustre une impulsion de courant fournie à l'élément de chauffage 702, définie par un courant constant lo entre les instants ti et t2, et nul ailleurs. Cette impulsion de courant active le chauffage de l'élément de conversion 25 pyroélectrique par l'élément de chauffage 702, entre les instants ti et t2. Lorsque l'élément de conversion pyroélectrique est recouvert par une vallée de l'empreinte, la chaleur est transmise à l'empreinte par convection par l'air. L'efficacité de ce transfert de chaleur est moindre, de sorte que la température de l'élément de conversion pyroélectrique augmente fortement entre les instants ti et t2 (variation de 30 température AL). 3063163 24 Lorsque l'élément de conversion pyroélectrique est recouvert par une crête de l'empreinte, la chaleur est transmise au doigt par conduction. L'efficacité de ce transfert de chaleur est grande, de sorte que la température de l'élément de conversion pyroélectrique augmente faiblement entre les instants ti et t2 (variation de température 5 ATc REVENDICATIONS1. Capteur d'empreinte papillaire (100 ; 400 ; 500 ; 600 ; 900 ; 1000 ; 1100 ; 10), comprenant des moyens d'émission lumineuse et un photo-détecteur matriciel, entrelacés ensemble dans et/ou au-dessus d'un même substrat semiconducteur (110; 410; 1010), caractérisé en ce que : les moyens d'émission lumineuse sont constitués de plusieurs diodes électroluminescentes au nitrure de gallium (140; 440; 540; 640; 1401, 1401, 1403), dites LED au nitrure de gallium, ou d'une unique LED au nitrure de gallium présentant une série d'ouvertures traversantes ; et le substrat reçoit des circuits de contrôle comportant une pluralité de pistes métalliques de connexion (120), chaque LED au nitrure de gallium s'étendant au-dessus d'une piste métallique des circuits de contrôle. 2. Capteur d'empreinte papillaire (100 ; 400 ; 500 ; 600 ; 900 ; 1000 ; 1100 ; 10) selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'une distance entre une surface supérieure de la couche la plus externe du capteur d'empreinte papillaire, du côté opposé au substrat, et le photo-détecteur matriciel, est inférieure ou égale à un pas de répartition des photo-détecteurs formant le photo-détecteur matriciel. 3. Capteur d'empreinte papillaire (100 ; 400 ; 500 ; 600 ; 900 ; 1000 ; 1100 ; 10) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les moyens d'émission lumineuse sont constitués de plusieurs LED au nitrure de gallium (140 ; 440 ; 540 ; 640 ; 1401, 1401, 1403), réparties selon une matrice de répartition à N lignes et M colonnes, avec N et M des entiers supérieurs à 3 pouvant être égaux. 4. Capteur d'empreinte papillaire (100 ; 400 ; 500 ; 600 ; 900 ; 1000 ; 1100 ; 10) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les moyens d'émission lumineuse sont 3063163 29 constitués de plusieurs LED au nitrure de gallium (140; 440; 540; 640), chacune en forme de bande, réparties selon une ou deux colonnes de bandes parallèles entre elles. 5. Capteur d'empreinte papillaire (100 ; 400 ; 500 ; 600 ; 900 ; 1000 ; 1100 ; 10) selon 5 l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comprend des parois, qui s'étendent chacune entre au moins une LED au nitrure de gallium (140 ; 440 ; 540 ; 640 ; 1401, 1401, 1403) appartenant aux moyens d'émission lumineuse, et une photodiode (130; 430; 1030) appartenant au photo-détecteur matriciel, chaque paroi étant réfléchissante à une longueur d'onde centrale d'émission de ladite LED du nitrure de 10 gallium. 6. Capteur d'empreinte papillaire (100 ; 400 ; 500 ; 600 ; 900 ; 1000 ; 1100 ; 10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que les moyens d'émission lumineuse sont polychromatiques, certaines au moins des LED au nitrure de gallium (140 ; 15 440 ; 540 ; 640 ; 1401, 1401, 1403) comprenant un empilement actif de LED recouvert par un ou plusieurs empilement(s) de conversion photoluminescent(s). 7. Capteur d'empreinte papillaire (400; 500; 600; 900; 1100; 10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un 20 matériau pyroélectrique (450; 550; 1150) s'étendant entre les LED au nitrure de gallium (440; 540; 640; 1401, 1401, 1403), ou dans les ouvertures traversantes de l'unique LED au nitrure de gallium, le matériau pyroélectrique s'étendant en outre entre une ou plusieurs électrode(s) inférieure(s) (451), du côté du substrat, et une ou plusieurs électrode(s) supérieure(s) (452 ; 552 ; 680 ; 980), du côté opposé au substrat, de manière 25 à former une matrice d'éléments de conversion pyroélectrique. 8. Capteur d'empreinte papillaire (400 ; 500 ; 600 ; 900 ; 10) selon la revendication 7, caractérisé en ce que le photo-détecteur matriciel est constitué de photodiodes formées dans le substrat semiconducteur, et en ce que le matériau pyroélectrique (450 ; 550) remplit entièrement les espaces entre les LED au nitrure de gallium (440 ; 540 ; 640 ; 3063163 30 1401, 1401, 1403), respectivement les ouvertures traversantes de l'unique LED au nitrure de gallium. 9. Capteur d'empreinte papillaire (600 ; 900) selon la revendication 7 ou 8, caractérisé 5 en ce que chaque LED au nitrure de gallium (640) des moyens d'émission lumineuse comprend une électrode supérieure de LED, du côté opposé au substrat, l'au moins une électrode supérieure de LED et l'au moins une électrode supérieure du matériau pyroélectrique étant formées ensemble d'un seul tenant par une même couche conductrice (680 ; 980), transparente, qui s'étend sans ouverture au-dessus du substrat. 10 10. Capteur d'empreinte papillaire (600 ; 900) selon la revendication 9, caractérisé en ce que ladite couche conductrice (680 ; 980) est de l'oxyde d'indium-étain. 11. Capteur d'empreinte papillaire (900) selon l'une quelconque des revendications 7 à 15 10, caractérisé en ce que les éléments de conversion pyroélectrique sont connectés chacun à des moyens de mesure (701) de charges pyroélectriques, et en ce que le capteur d'empreinte papillaire comprend en outre : au moins un élément de chauffage (702 ; 891 ; 993, 994), pour chauffer les éléments de conversion pyroélectrique ; et 20 des moyens de synchronisation (703), connectés aux moyens de mesure (701) et à l'élément de chauffage d'un même élément de conversion pyroélectrique, et agencés pour piloter une mesure des charges pyroélectriques générées par l'élément de conversion pyroélectrique, à des instants prédéterminés relativement à l'activation dudit élément de chauffage. 25 12. Capteur d'empreinte papillaire (900) selon les revendications 9 et 11, caractérisé en ce que l'au moins un élément de chauffage comprend une série de résistances électriques (993) s'étendant au-dessus d'une couche d'isolation électrique (992), recouvrant elle-même ladite couche conductrice (980). 30 3063163 31 13. Téléphone intelligent (12) équipé de moyens d'acquisition d'image (11) et d'un flash, caractérisé en ce qu'il comprend un capteur d'empreinte papillaire (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, et en ce que le flash est constitué par une pluralité de LED au nitrure de gallium formées sur le substrat du capteur d'empreinte papillaire. 5 14. Procédé de fabrication d'un capteur d'empreinte papillaire (100 ; 400 ; 500 ; 600 ; 900 ; 1000 ; 1100 ; 10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes : a) rapporter, sur une face du substrat semiconducteur (110 ; 410 ; 1010) recevant 10 les circuits de contrôle, un empilement actif de LED comportant au moins des première et deuxième couches semi-conductrices dopées de types de conductivité opposés, de façon que la deuxième couche de l'empilement soit électriquement connectée aux pistes métalliques (120) des circuits de contrôle ; b) former dans l'empilement actif des tranchées pour délimiter les plusieurs LED 15 au nitrure de gallium (140 ; 440 ; 540 ; 640 ; 1401, 1401, 1403) ou pour percer les ouvertures traversantes dans l'unique LED au nitrure de gallium ; et c) réaliser le photo-détecteur matriciel dans ou au-dessus du substrat, l'étape c) étant mise en oeuvre avant ou après les étapes a) et b).