Brevet FR3062910A1 — publié le 20180817

- 1 - « Ligne à retard optique, interféromètre à faible cohérence implémentant cette ligne, dispositif et procédé de mesure mettant en oeuvre cet interféromètre » Domaine technique La présente invention concerne une ligne à retard optique. Elle vise également un interféromètre à faible cohérence implémentant cette ligne, ainsi qu'un dispositif et procédé de mesure mettant en oeuvre cet interféromètre. Le domaine de l'invention est en particulier celui de la mesure d'épaisseur de couches et de distances relatives dans des dimensions micrométriques ou nanométriques. Etat de la technique antérieure Les interféromètres à faible cohérence, en particulier mis en oeuvre dans le domaine temporel, nécessitent l'utilisation de lignes à retard optiques capables d'introduire des retards ou différences de marches entre faisceaux optiques correspondant aux étendues de mesure recherchées. La fréquence avec laquelle la ligne à retard peut balayer l'étendue de mesure correspond à la fréquence de mesure de l'interféromètre. Cette fréquence d'acquisition constitue d'ailleurs une limitation importante des interféromètres à faible cohérence dans le domaine temporel. Parmi les techniques de lignes existantes, on connaît par le document FR 2817039 un dispositif de mesure optique implémentant un interféromètre à division d'amplitude. Ce document divulgue en particulier une ligne à retard basée sur un polygone à faces parallèles tournant qui permet de moduler le trajet optique le long d'un faisceau traversant le polygone de part en part. L'utilisation d'un dispositif en rotation permet de générer des différences de marche de plusieurs millimètres à des cadences élevées. Toutefois ce dispositif présente l'inconvénient que le trajet optique varie de manière fortement non-linéaire en fonction de la rotation du polygone, ce qui nécessite une détection avec une très grande bande passante pour détecter des interférogrammes dans toute l'étendue de mesure. Un autre inconvénient de ce dispositif est que le trajet optique dans 3062910 - 2 - le polygone est important, ce qui peut dégrader la qualité des mesures si le matériau du polygone est dispersif. La présente invention a pour objectif de proposer un dispositif de ligne à retard optique qui permette une utilisation dans des interféromètres 5 à faible cohérence dans le domaine temporel. La présente invention a également pour objectif de proposer un dispositif de ligne à retard optique permettant d'introduire des variations de trajets optiques centimétriques à des fréquences élevées. La présente invention a également pour objectif de proposer un 10 dispositif de ligne à retard optique permettant d'introduire des variations de trajet optique à vitesse essentiellement constante. La présente invention a également pour objectif de proposer un dispositif de ligne à retard optique permettant de minimiser la dispersion optique introduite. 15 Exposé de l'invention Cet objectif est atteint avec une ligne à retard optique destinée à être mise en oeuvre dans un interféromètre, comprenant un polygone en 20 rotation. Selon l'invention, ce polygone est agencé pour moduler les trajets optiques respectifs d'un premier et d'un second faisceau lumineux, issus d'un même faisceau dit de mesure, et dirigés à travers le polygone respectivement vers un premier et un second réflecteur, de façon à générer 25 un retard optique par différence entre les trajets optiques de ces premier et second faisceaux. La ligne à retard optique selon l'invention peut en outre avantageusement comprendre des éléments de conditionnement de faisceaux et un élément séparateur dit de décodage pour séparer le faisceau 30 lumineux de mesure en premier et second faisceaux respectivement incidents sur une face du polygone identique ou différente selon respectivement un premier angle d'incidence et un second angle d'incidence, de sorte que ces premier et second faisceaux, en subissant respectivement deux réfractions sur deux faces parallèles du polygone, 3062910 - 3 - atteignent respectivement le premier et le second réflecteur et soient réfléchis puis dirigés via le polygone vers l'élément séparateur de décodage, ces premier et second faisceaux étant agencés de sorte que les premier et second angles d'incidence soient différents. 5 Les premier et second faisceaux sont de préférence agencés de sorte que les premier et second angles d'incidence varient en sens opposé pendant au moins une partie de la rotation du polygone. Les premier et second faisceaux sont par exemple agencés de sorte que lorsque l'un des premier ou second angle d'incidence varie entre une 10 valeur minimale ou nulle et une valeur maximale, l'autre de ces premier ou second angle d'incidence varie entre cette valeur maximale et cette valeur minimale ou nulle. Dans une forme particulière de réalisation d'une ligne à retard selon l'invention, les premier et second faisceaux sont agencés pour être incidents 15 sur le polygone selon un axe passant par le centre de rotation du polygone. Le polygone peut être un polygone à faces parallèles. Il peut comprendre par exemple quatre, six ou huit faces. Il peut être réalisé par exemple dans l'un des matériaux suivants : un matériau d'indice de réfraction supérieur à 1,4, un matériau d'indice de 20 réfraction supérieur à 2, un verre, du silicium (qui présente un indice de réfraction dans l'infrarouge de l'ordre de 3.6). Il est à noter que plus l'indice de réfraction est élevé, plus la différence de trajets optiques ou le retard introduit par un polygone de dimension donnée est élevé. Les premier et second faisceaux peuvent être avantageusement 25 dirigés vers le polygone avec au moins l'un des moyens suivants : des fibres optiques, un circuit d'optique intégrée avec des guides d'onde planaire, en propagation libre. Suivant un autre aspect de l'invention, il est proposé un interféromètre à faible cohérence, implémentant une ligne à retard selon 30 l'invention, comprenant une source lumineuse à spectre large, un élément séparateur de codage relié optiquement à la source lumineuse et agencé (i) pour émettre un faisceau lumineux de façon à illuminer un objet et (ii) pour transmettre un faisceau réfléchi par cet objet vers un élément séparateur de décodage agencé pour séparer ce faisceau réfléchi en deux premier et 3062910 -4- second faisceaux, un polygone en rotation prévu au sein de la ligne à retard pour (i) recevoir en incidence les premier et second faisceaux et les diriger respectivement vers des premiers et seconds réflecteurs et (ii) moduler les trajets optiques respectifs des premier et second faisceaux, et des moyens 5 détecteurs reliés optiquement à l'élément séparateur de décodage et agencés pour traiter les premier et second faisceaux réfléchis de façon à détecter un signal représentatif d'interférences. Dans un mode particulier de réalisation d'un interféromètre à faible cohérence selon l'invention, celui-ci comprend en outre un interféromètre 10 laser comportant une source laser pour émettre un faisceau lumineux de métrologie et des moyens pour insérer ce faisceau de métrologie dans la ligne à retard et l'élément séparateur de décodage est en outre agencé pour séparer le faisceau de métrologie en deux premier et second faisceaux de métrologie superposés respectivement aux premier et seconds faisceaux 15 incidents sur le polygone. L'interféromètre à faible cohérence selon l'invention peut en outre avantageusement comprendre un détecteur de métrologie associé à la source laser via un élément séparateur de métrologie relié optiquement à l'élément séparateur de décodage, ainsi qu'au titre des moyens d'insertion 20 du faisceau de métrologie, un multiplexeur/démultiplexeur optique interposé d'une part entre l'élément séparateur de métrologie et l'élément séparateur de décodage et d'autre part entre les moyens de détecteurs et l'élément séparateur de décodage. Dans un mode particulièrement avantageux de réalisation d'un 25 interféromètre à faible cohérence selon l'invention, celui-ci comprend en outre des moyens collimateurs disposés entre l'élément séparateur de codage et l'objet et prévus pour collimater ou focaliser le faisceau de mesure et générer par réflexion interne partielle un faisceau de référence, la différence de distances optiques totales entre l'élément séparateur de 30 décodage et respectivement les premier et second réflecteurs le long des premier et second faisceaux étant ajustée de sorte à reproduire la distance optique souhaitée entre les moyens collimateurs et l'objet. L'interféromètre selon l'invention peut en outre avantageusement comprendre des moyens de codage angulaire disposés sur un axe de 3062910 -5- rotation du polygone rotatif, ainsi que des moyens pour mesurer le déplacement de l'un et/ou l'autre des premier et second faisceaux respectivement sur l'un et/ou l'autre des premier et second réflecteurs. Suivant encore un autre aspect de l'invention, il est proposé un 5 dispositif de mesure optique sur un objet, implémentant un interféromètre à faible cohérence comprenant une source lumineuse à spectre large, un élément séparateur de codage relié optiquement à cette source lumineuse et agencé (i) pour émettre un faisceau lumineux de façon à illuminer l'objet et (ii) pour transmettre un faisceau réfléchi par cet objet vers un élément 10 séparateur de décodage agencé pour séparer le faisceau réfléchi en deux premier et second faisceaux, un polygone en rotation prévu au sein d'une ligne à retard pour (i) recevoir en incidence les premier et second faisceaux et les diriger respectivement vers des premiers et seconds réflecteurs et pour (ii) moduler les trajets optiques respectifs des premier et second 15 faisceaux, et des moyens détecteurs reliés optiquement à l'élément séparateur de décodage et agencés pour traiter les premier et second faisceaux réfléchis de façon à produire un signal représentatif d'interférences, ce dispositif de mesure optique comprenant en outre des moyens pour analyser ce signal représentatif d'interférence de façon à 20 générer des données de mesure relatives à l'objet. Suivant encore un autre aspect de l'invention, il est proposé un procédé pour effectuer des mesures optiques sur un objet, implémentant une technique d'interféromètre à faible cohérence mettant en oeuvre une source lumineuse à spectre large, un élément séparateur de codage relié 25 optiquement à cette source lumineuse et agencé (i) pour émettre un faisceau lumineux de façon à illuminer l'objet et (ii) pour transmettre un faisceau réfléchi par cet objet vers un élément séparateur de décodage agencé pour séparer le faisceau réfléchi en deux premier et second faisceaux, un polygone en rotation prévu au sein d'une ligne à retard pour 30 (i) recevoir en incidence les premier et second faisceaux et les diriger respectivement vers des premiers et seconds réflecteurs et pour (ii) moduler les trajets optiques respectifs des premier et second faisceaux, et des moyens détecteurs reliés optiquement à l'élément séparateur de décodage et agencés pour traiter les premier et second faisceaux réfléchis 3062910 - 6 - de façon à produire un signal représentatif d'interférences, ce procédé de mesure optique comprenant en outre une analyse de ce signal représentatif d'interférence de façon à générer des données de mesure relatives à l'objet. La présente invention permet de générer des variations de trajets 5 optiques de plus grande amplitude et surtout avec une bonne linéarité. Avec la présente invention, il devient possible d'atteindre une fréquence et une amplitude de variation des trajets optiques bien plus élevées que celles obtenues par exemple avec un dispositif interférométrique tel que divulgué par le document FR 2817039. En 10 particulier, l'amplitude de variation d'un trajet optique obtenue avec la présente invention est le double de celle obtenue avec le dispositif interférométrique divulgué dans le document d'art antérieur précité. A titre d'exemple, on peut observer une amplitude de 20 mm à plusieurs centaines de Hz avec un octogone en verre (n=1.5, diamètre 10cm). 15 Par ailleurs, la présente invention procure une bonne linéarité de la variation de trajet optique qui permet l'utilisation de détections à bande fréquentielle étroite plus sensibles. A l'inverse, dans le dispositif de mesure interférométrique divulgué dans le document FR 2817039, la variation de trajet optique est fortement non linéaire, ce qui génère des franges 20 d'interférence dans une très grande plage de fréquence. De plus, on observe avec la présente invention une compensation de la dispersion d'indice dans le polygone en rotation du fait qu'on mesure une différence entre faisceaux qui parcourent des trajets optiques de longueur sensiblement identique dans l'élément en rotation, au contraire de ce qui se 25 passe dans le dispositif de mesure optique de l'art antérieur dans lequel un seul faisceau traverse le polygone et subit la dispersion d'indice due à toute l'épaisseur. Il est à noter que la dispersion d'indice représente la variation de l'indice de réfraction en fonction de la longueur d'onde, qui provoque notamment un élargissement des interférogrammes. 30 La présente invention rend également possible l'utilisation de matériaux à fort indice mais fortement dispersifs, permettant des variations de trajets optiques plus importantes. On peut citer par exemple le silicium (n = 3.6) avec des longueurs d'ondes IR (1310 nm / 1550 nm ...). 3062910 - 7 - Le polygone peut être du même matériau que l'objet cible, par exemple du silicium, ce qui permet une compensation totale de la dispersion dans l'objet cible. Ce polygone est en rotation à vitesse constante, ce qui évite les phénomènes d'accélération/décélération et les vibrations. 5 Description des figures et modes de réalisation D'autres avantages et particularités de l'invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée de mises en oeuvre et de modes de réalisation nullement limitatifs, et des dessins annexés suivants : 10 - la figure 1 est une vue schématique d'un mode de réalisation de l'art antérieur qui illustre le principe de fonctionnement ; - la figure 2 est une vue schématique d'un mode particulier de réalisation d'un dispositif de mesure optique interférométrique selon l'invention ; et 15 - la figure 3 illustre un exemple de l'évolution de la variation de trajet optique dans la ligne à retard selon l'invention en fonction de l'angle de rotation du polygone. Ces modes de réalisation étant nullement limitatifs, on pourra notamment considérer des variantes de l'invention ne comprenant qu'une 20 sélection de caractéristiques décrites ou illustrées par la suite isolées des autres caractéristiques décrites ou illustrées (même si cette sélection est isolée au sein d'une phrase comprenant ces autres caractéristiques), si cette sélection de caractéristiques est suffisante pour conférer un avantage technique ou pour différencier l'invention par rapport à l'état de la technique 25 antérieure. Cette sélection comprend au moins une caractéristique de préférence fonctionnelle sans détails structurels, et/ou avec seulement une partie des détails structurels si cette partie uniquement est suffisante pour conférer un avantage technique ou à différencier l'invention par rapport à l'état de la technique antérieure. 30 La figure 1 illustre un schéma de principe d'un interféromètre à faible cohérence de l'art antérieur basé sur un interféromètre de Michelson simple et mettant en oeuvre une ligne à retard basée sur un polygone tournant, tel que décrit dans le document FR 2817039. 3062910 - 8 - Ce dispositif 1 comprend un interféromètre à fibre optique dans lequel une source de lumière 4 alimente un séparateur de faisceaux 5 sous la forme d'un coupleur 5. Les sources de lumière peuvent être des sources à spectre large telles que LED (Light Emitting Diode), S-LED (Super Light 5 Emitting Diode), E-LED (Edge Light Emitting Diode) ou encore des sources super-fluorescentes. Le coupleur 5 permet d'obtenir deux faisceaux lumineux, un premier faisceau lumineux 11 envoyé vers un objet 6 à mesurer, et un second faisceau lumineux 12 envoyé dans la ligne à retard vers un miroir 10. Ces 10 deux faisceaux lumineux sont réfléchis puis renvoyés dans le coupleur 5 qui transmet le mélange de ces deux faisceaux lumineux vers un récepteur 7. La ligne à retard comprend un polygone 9, doté dans le mode de réalisation présenté de huit faces, et disposé en amont du miroir 10. Ce polygone est en rotation. 15 Le second faisceau lumineux provenant du coupleur 5 traverse le polygone 9 en subissant deux réfractions sur deux faces parallèles avant d'atteindre le miroir 10. A chaque instant, ce faisceau pénètre dans le polygone 9 par une face dont la normale fait un angle d'incidence e par rapport à la direction d'incidence du faisceau. Du fait de la traversée des 20 faces parallèles, ce second faisceau lumineux traversant le polygone sort toujours parallèle à lui-même quelle que soit la valeur de l'angle O. Le miroir 10 est agencé de sorte à être perpendiculaire au faisceau, ce qui permet de renvoyer ce faisceau sur lui-même et de le coupler dans la même fibre optique après une nouvelle traversée du polygone 9. 25 Le second faisceau lumineux de la ligne à retard ne subit pas de réflexion totale à l'intérieur du polygone qui constitue une lame à faces parallèles dont l'épaisseur varie en fonction de l'angle d'incidence O. Dans le dispositif 1, le rôle de la ligne à retard est de réaliser une opération de corrélation temporelle entre les signaux issus de l'objet 6 et du 30 miroir 10. On obtient ainsi en sortie du récepteur 7 un interférogramme dépendant du retard introduit par la ligne à retard. Il est à noter que le dispositif pourrait aussi être traité en propagation libre, sans fibres optiques. 3062910 - 9 - Dans le mode de réalisation présenté, le dispositif comprend un collimateur 12 qui permet de collimater ou focaliser le second faisceau lumineux issu de la fibre optique à une distance correspondant à celle du miroir 10 au travers du polygone 9. 5 Comme expliqué précédemment, l'angle d'incidence e(t) varie en fonction de la rotation du polygone 9. Entre le collimateur 12 pris comme point de référence et le miroir, le second faisceau parcourt un chemin optique dans la ligne à retard : L(e) = L1(e) + L2(e) + L3(e) (Eq. 1) 10 Où L1(e) est la distance optique parcourue par le faisceau entre le collimateur et la face d'entrée du polygone 9, L2(e) est la distance optique parcourue par le faisceau à l'intérieur du polygone 9 et L3(e) est la distance optique parcourue par le faisceau entre le polygone 9 et le miroir 10. On rappelle que les distances optiques correspondent aux distances 15 géométriques multipliées par l'indice de réfraction du milieu. Pour un octogone dont la distance entre les faces est Dp et l'indice de réfraction n, on a : DP (Eq. 2) Ll(e) = Dfp 2 cos0 D 1,2(0) = n2 P (Eq. 3) -1122 -sin2 0 20 L3(0) = Dpm D 2 coPs0 + C1(0) tan 0 (Eq. 4) Dfp représente la distance entre collimateur et le centre de rotation du polygone 9, le long de l'axe du faisceau issu du collimateur. Dpm représente la distance entre le centre de rotation du polygone 9 et le miroir, le long du même axe. d(e) représente le déplacement du faisceau à la sortie du 25 polygone, qui s'exprime conne suit : d(e) = Dp sin 0 [1 cos e (Eq. 5) -1122-sin2 01 On va maintenant décrire, en référence à la figure 2, un exemple particulier de réalisation d'un dispositif de mesure optique interférométrique 30 selon l'invention. Ce dispositif de mesure interférométrique 2, équipé de fibres optiques, comprend un interféromètre à faible cohérence doté d'une source 3062910 - 10 - lumineuse 24 réalisée par exemple sous la forme d'une diode superluminescente à spectre large (environ 80 nm) autour d'une longueur d'onde de 1310 nm. Cette source lumineuse 24 est reliée par une fibre optique à un coupleur de codage 25 qui émet via une fibre optique de 5 mesure 250 un faisceau de mesure illuminant via un collimateur 28 un objet à mesurer 26. La lumière réfléchie est transmise par le coupleur de codage 25 vers un coupleur de décodage 40. La lumière réfléchie peut être constituée des réflexions du faisceau de mesure sur les interfaces de l'objet 26 et facultativement d'une onde de 10 référence générée par exemple par réflexion de Fresnel à l'extrémité de la fibre de mesure 250 au niveau du collimateur 28 ou par tout autre moyen. Cette onde de référence peut permettre de mesurer des distances sans être affecté par des perturbations dans les fibres optiques. La lumière réfléchie est séparée par le coupleur de décodage 40 en 15 deux faisceaux Li1, Li2 dirigés vers un polygone de rotation 29 au sein d'une ligne à retard LR selon l'invention. Ces faisceaux Li1, Li2, après modulation de leur trajet optique par le polygone 40 et réflexions sur des réflecteurs miroirs 21, 22, sont dirigés par le coupleur de décodage 40 vers un détecteur 27. 20 Lorsqu'on reproduit un retard entre deux réflexions du faisceau transmis, par exemple entre un faisceau de mesure réfléchi par une interface de l'objet et le faisceau de référence, dans la ligne à retard LR, on obtient un pic d'interférence sur le détecteur 27. La largeur de ce pic d'interférences correspond à la longueur de cohérence de la source. Les 25 distances optiques totales entre le coupleur de décodage 40 et les miroirs 21, 22 le long des faisceaux Li1, Li2 sont ajustées en fonction de la distance de travail souhaitée entre le collimateur 28 (ou le faisceau de référence) et l'objet 26. On peut ainsi mesurer des épaisseurs optiques entre couches de 30 l'objet 26 et/ou des distances par rapport à la référence. Le dispositif de mesure optique 2 comprend en outre un interféromètre laser IL pour effectuer une mesure directe de la différence de trajets optiques introduite entre les faisceaux Li1, Li2 dans la ligne à retard LR. Cet interféromètre laser IL comprend une source laser de métrologie 3062910 31, par exemple une diode laser émettant à une longueur d'onde de 1550 nm, avec une longueur de cohérence supérieure aux différences de trajet optique atteignables dans la ligne à retard LR. Il comprend également un premier multiplexeur 33 pour insérer un faisceau de métrologie émis par la 5 source laser de métrologie 31 dans la ligne à retard LR de sorte que ce faisceau de métrologie soit séparé par le coupleur de décodage 40 en deux faisceaux de métrologie superposés respectivement aux deux faisceaux Li1, Li2. L'interféromètre laser IL comprend également un démultiplexeur 30 permettant de séparer en retour les faisceaux lumineux de l'interféromètre 10 à faible cohérence (à 1310 nm) et de l'interféromètre laser ( à 1550 nm) issus du coupleur de décodage 40, de façon à transmettre respectivement ces faisceaux réfléchis à un détecteur de métrologie 32 pour mesurer un signal d'interférence de métrologie continu entre les faisceaux de métrologie issus respectivement des faisceaux incidents Li1, Li2, et au détecteur 27 de 15 l'interféromètre à faible cohérence. L'analyse du signal d'interférence de métrologie permet d'obtenir une mesure de la variation de trajet optique dans la ligne à retard LR, telle qu'elle est également subie par les faisceaux de l'interféromètre à faible cohérence. Cette analyse peut comporter à titre d'exemple non limitatif un 20 dépliement de phase ou une détection de passage par zéro. On va maintenant décrire plus en détail, en référence aux figures 2 et 3, un exemple de réalisation de la ligne à retard LR et de ses différents composants. Dans le mode de réalisation présenté, le polygone 29 comprend huit 25 faces. La distance Dp entre faces est égale à 10 cm. Le polygone 29 est réalisé en verre (BK7) dont l'indice de réfraction n est de l'ordre de 1.5. On peut également envisager un matériau à fort indice supérieur à 2, tel que du silicium d'indice 3.6 qui est transparent pour des longueurs d'onde dans le proche infrarouge. 30 Si le polygone 29 est en rotation à une vitesse constante correspondant à une fréquence de rotation de 100 Hz, dans la mesure où on peut réaliser 16 mesures par tour (deux par face), on obtient ainsi une fréquence de mesure de 1.6 kHz. 3062910 - 12 - Le premier faisceau Lii est incident sur le polygone selon un angle e1 qui est l'angle entre la normale à la face d'entrée et la direction d'incidence du faisceau. Le second faisceau Li2 est incident sur le polygone selon un angle e2 5 qui est l'angle entre la normale à la face d'entrée et la direction d'incidence du faisceau. Pour des raisons de simplicité et parce que cela n'influe pas sur les calculs des trajets optiques, dans toute cette description les angles d'incidence e1 et e2 sont comptés en valeur absolue, ou non signée. 10 Les axes ou les directions d'incidence respectifs des faisceaux incidents Lii et Li2 sont agencés pour passer par le centre de rotation du polygone. Cette condition n'est pas indispensable mais permet d'exploiter au mieux et de manière symétrique l'étendue de variation de chemin optique procurée par chaque face. 15 Les faisceaux incidents Lii, Li2 sont agencés pour que les angles d'incidence respectifs e1 et e2 sur les faces d'entrée varient en sens opposé, au moins pendant une partie de la rotation du polygone. En effet, lorsque ces angles varient en sens opposé, les variations respectives de trajet optique le long des faisceaux incidents Lii, Li2 varient également en sens 20 opposé et donc leurs différences se cumulent. De préférence, pour optimiser l'amplitude de variation des trajets optiques, on ajuste les angles d'incidence respectifs e1 et e2 de telle sorte que : e2 = emax el, (Eq. 6) emax étant l'angle d'incidence maximal (également en valeur absolue 25 on non signée) sur une face d'un faisceau dont la direction d'incidence passe par le centre de rotation du polygone. Dans ces conditions, cet angle emax est atteint lorsque le faisceau atteint une face du polygone à une extrémité, vers une arête entre deux faces successives. 30 Comme expliqué précédemment, les faisceaux incidents Lii, Li2 peuvent également être agencés de sorte à présenter une différence d'angle d'incidence maximale inférieure à emax mais dans ce cas on limite l'étendue de mesure exploitable car les angles d'incidences e1 et e2 varient dans le même sens pendant une partie de la rotation du polygone. 3062910 - 13 - A titre d'exemple non limitatif tel qu'illustré en figure 2, les faisceaux incidents Li1, Li2 sont ajustés de sorte que lorsque : - e1 = 0 (faisceau Li1 incident perpendiculaire et au centre de la face d'entrée), alors 5 - e2 = emax (faisceau Li2 incident selon un angle d'incidence maximal sur une face, vers une arête de cette face). Lorsque le polygone 29 comporte huit faces, emax = 22.5 degrés. Plus généralement, pour un polygone à N faces, emax = 360 /N/2. Ainsi, lors du passage d'une face devant, respectivement, les 10 faisceaux Li1, Li2, les angles d'incidence varient de la manière suivante, en valeur absolue : e1 = 22.5 ... 0 ... 22.5, et e2 = 0 ... 22.5 ... 0 Dans ces conditions, la variation de trajet optique dans la ligne à 15 retard LR correspond à : DL(61) = 2 [Lil(t91) - L12(62)] = 2 [L1(61)+L2(61)+L3(61)-L1(emax-e1)-L2(emax-e1)-L3(emax-el)]- (Eq- 7) Pour détecter des débuts et fins de course, le dispositif peut 20 comprendre un codeur angulaire sur l'axe de rotation du polygone. On peut également utiliser les interruptions de faisceau lors des passages des arêtes entre faces pour détecter ces transitions. La figure 3 illustre des résultats obtenus avec un polygone à huit faces, présentant une distance entre faces Dp égale à 10 cm et un indice de 25 réfraction n égal à 1.5. La courbe 51 illustre la variation de trajet optique totale (OPD) le long du faisceau lumineux 12 en fonction de l'angle d'incidence e telle qu'obtenue avec la ligne à retard de l'art antérieur illustrée à la figure 1. On constate que cette courbe est fortement non-linéaire, avec en outre une 30 vitesse de variation nulle pour 6=0. Dans ces conditions, la fréquence des franges d'interférence sur les détecteurs varie du quasi-continu à des fréquences élevées, et nécessite donc des bandes passantes de détection très importantes et peu favorables à une détection à faible bruit. 3062910 - 14 - La courbe 51 illustre également la variation de trajet optique totale 2*Li1 le long du premier faisceau incident Li1 dans le dispositif de l'invention. La courbe 52 illustre la variation de trajet optique totale (OPD) 2*Li2 5 le long du second faisceau incident Li2 dans le dispositif de l'invention. Les courbes 51 et 52 sont normalisées par rapport à leur valeur à l'origine. La courbe 53 illustre la variation de trajet optique totale DL en fonction de l'angle d'incidence e du premier faisceau incident Li1 telle 10 qu'obtenue avec la ligne à retard de l'invention, par différence entre les trajets optiques 2*Li1 et 2*Li2. On constate que cette variation de trajet optique présente une excellente linéarité, ce qui permet l'utilisation de détections à bande étroite. En outre, on obtient une variation de trajet optique (ou étendue de mesure) correspondant au double de celle 15 atteignable avec un seul faisceau incident (plus de 20mm). Suivant des variantes de modes de réalisation, les faisceaux incidents Li1, Li2 peuvent être situés sur une même face ou sur une face différente du polygone. Suivant des variantes de mode de réalisation, les faisceaux de la 20 métrologie laser peuvent être distincts des faisceaux incidents Li1, Li2 de l'interféromètre à faible cohérence. Dans ce cas la métrologie laser peut être réalisée sous la forme d'un interféromètre distinct de l'interféromètre à faible cohérence. Suivant des variantes de mode de réalisation, on peut concevoir dans 25 le cadre de la présente invention plusieurs interféromètres sur un même polygone. En particulier, plusieurs faisceaux peuvent être superposés dans le sens de l'épaisseur du polygone, et/ou plusieurs voies peuvent être prévues sur plusieurs faces. 30 Bien sûr, l'invention n'est pas limitée aux exemples qui viennent d'être décrits et de nombreux aménagements peuvent être apportés à ces exemples sans sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS1. Ligne à retard optique (LR) destinée à être mise en oeuvre dans un interféromètre, comprenant un polygone en rotation (29), caractérisée en ce que ledit polygone (29) est agencé pour moduler les trajets optiques respectifs d'un premier et d'un second faisceau lumineux (Li1, Li2), issus d'un même faisceau dit de mesure, et dirigés à travers ledit polygone (29) respectivement vers un premier et un second réflecteur (21, 22), de façon à générer un retard optique par différence entre les trajets optiques desdits premier et second faisceaux (Li1, Li2). 2. Ligne à retard optique (LR) selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'elle comprend en outre des éléments de conditionnement de faisceaux et un élément séparateur dit de décodage (40) pour séparer le faisceau lumineux de mesure en des premier et second faisceaux (Li1, Li2) respectivement incidents sur une face dudit polygone (29) identique ou différente selon respectivement un premier angle d'incidence (01) et un second angle d'incidence (02), de sorte que lesdits premier et second faisceaux, en subissant respectivement deux réfractions sur deux faces parallèles dudit polygone (29), atteignent respectivement le premier et le second réflecteur (21, 22) et soient réfléchis puis dirigés via ledit polygone (29) vers l'élément séparateur de décodage (40), lesdits premier et second faisceaux (Li1, Li2) étant agencés de sorte que lesdits premier et second angles d'incidence (01, 02) soient différents. 3. Ligne à retard (LR) selon la revendication 2, caractérisée en ce que les premier et second faisceaux (Li1, Li2) sont agencés de sorte que les premier et second angles d'incidence (01, 02) varient en sens opposé pendant au moins une partie de la rotation du polygone (29). 4. Ligne à retard (LR) selon la revendication 3, caractérisée en ce que les premier et second faisceaux (Li1, Li2) sont agencés de sorte que lorsque l'un des premier ou second angle d'incidence (01, 02) varie 3062910 -16- entre une valeur minimale ou nulle et une valeur maximale, l'autre desdits premier ou second angle d'incidence (01, 02) varie entre ladite valeur maximale et ladite valeur minimale ou nulle. 5 5. Ligne à retard (LR) selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisée en ce que les premier et second faisceaux (Li1, Li2) sont agencés pour être incidents sur le polygone (29) selon un axe passant par le centre de rotation dudit polygone (29). 10 6. Ligne à retard selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le polygone (29) est un polygone à faces parallèles. 7. Ligne à retard selon l'une quelconque des revendications 15 précédentes, caractérisé en ce que le polygone (29) est réalisé dans l'un des matériaux suivants : un matériau d'indice de réfraction supérieur à 1,4, un matériau d'indice de réfraction supérieur à 2, un verre, du silicium. 20 8. Ligne à retard (LR) selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les premier et second faisceaux (Li1, Li2) sont dirigés vers le polygone (29) avec au moins l'un des moyens suivants : des fibres optiques, un circuit d'optique intégrée avec des guides d'onde planaire, en propagation libre. 25 9. Interféromètre à faible cohérence, implémentant une ligne à retard (LR) selon l'une quelconque des revendications précédentes, comprenant une source lumineuse à spectre large (24), un élément séparateur de codage (25) relié optiquement à ladite source 30 lumineuse (24) et agencé (i) pour émettre un faisceau lumineux de façon à illuminer un objet (26) et (ii) pour transmettre un faisceau réfléchi par ledit objet (26) vers un élément séparateur de décodage (40) agencé pour séparer ledit faisceau réfléchi en deux premier et second faisceaux (Li1, Li2), un polygone en rotation (29) prévu au 35 sein de ladite ligne à retard (LR) pour (i) recevoir en incidence lesdits premier et second faisceaux (Li1, Li2) et les diriger respectivement 3062910 - 17 - vers des premiers et seconds réflecteurs (21, 22) et (ii) moduler les trajets optiques respectifs desdits premier et second faisceaux (Li1, Li2), et des moyens détecteurs (27) reliés optiquement audit élément séparateur de décodage (40) et agencés pour traiter lesdits 5 premier et second faisceaux réfléchis de façon à détecter un signal représentatif d'interférences. 10.Interféromètre à faible cohérence selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un interféromètre laser (IL) 10 comportant une source laser (31) pour émettre un faisceau lumineux de métrologie et des moyens pour insérer ledit faisceau de métrologie dans la ligne à retard (LR) et en ce que l'élément séparateur de décodage (40) est en outre agencé pour séparer ledit faisceau de métrologie en deux premier et second faisceaux de 15 métrologie superposés respectivement aux premier et seconds faisceaux (Li1, Li2) incidents sur le polygone (29). 11.Interféromètre à faible cohérence selon la revendication 10, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un détecteur de métrologie 20 (32) associé à la source laser (31) via un élément séparateur de métrologie (30) relié optiquement à l'élément séparateur de décodage (40). 12.Interféromètre à faible cohérence selon la revendication 11, 25 caractérisé en ce qu'il comprend en outre, au titre des moyens d'insertion du faisceau de métrologie, un multiplexeur/démultiplexeur optique (33) interposé d'une part entre l'élément séparateur de métrologie (30) et l'élément séparateur de décodage (40) et d'autre part entre les moyens de détecteurs (27) et 30 ledit élément séparateur de décodage (40). 13.Interféromètre à faible cohérence selon l'une des revendications 9 à 12, caractérisé en ce qu'il comprend en outre des moyens collimateurs (28) disposés entre l'élément séparateur de codage (25) 35 et l'objet (26) et prévus pour collimater ou focaliser le faisceau de mesure et générer par réflexion interne partielle un faisceau de 3062910 - 18 - référence, la différence de distances optiques totales entre l'élément séparateur de décodage (40) et respectivement les premier et second réflecteurs (21, 22) le long des premier et second faisceaux (Li1, Li2) étant ajustée de façon à reproduire la distance optique 5 souhaitée entre lesdits moyens collimateurs (28) et ledit objet (26). 14.Interféromètre selon l'une quelconque des revendications 9 à 13, caractérisé en ce qu'il comprend en outre des moyens de codage angulaire disposés sur un axe de rotation du polygone rotatif. 10 15.Interféromètre selon l'une quelconque des revendications 9 à 14, caractérisé en ce qu'il comprend en outre des moyens pour mesurer le déplacement de l'un et/ou l'autre des premier et second faisceaux respectivement sur l'un et/ou l'autre des premier et second 15 réflecteurs (21, 22). 16.Dispositif (2) de mesure optique sur un objet (26), implémentant un interféromètre à faible cohérence comprenant une source lumineuse à spectre large (24), un élément séparateur de codage (25) relié 20 optiquement à ladite source lumineuse (24) et agencé (i) pour émettre un faisceau lumineux de façon à illuminer ledit objet (26) et (ii) pour transmettre un faisceau réfléchi par ledit objet (26) vers un élément séparateur de décodage (40) agencé pour séparer ledit faisceau réfléchi en deux premier et second faisceaux (Li1, Li2), un 25 polygone en rotation (29) prévu au sein d'une ligne à retard (LR) pour (i) recevoir en incidence lesdits premier et second faisceaux et les diriger respectivement vers des premiers et seconds réflecteurs (21, 22) et pour moduler les trajets optiques respectifs desdits premier et second faisceaux (Li1, Li2), et des moyens détecteurs 30 (27) reliés optiquement audit élément séparateur de décodage (40) et agencés pour traiter lesdits premier et second faisceaux réfléchis de façon à produire un signal représentatif d'interférences, ce dispositif de mesure optique (2) comprenant en outre des moyens pour analyser ce signal représentatif d'interférence de façon à 35 générer des données de mesure relatives audit objet. 3062910 - 19 - 17.Procédé pour effectuer des mesures optiques sur un objet (26), implémentant une technique d'interféromètre à faible cohérence mettant en oeuvre une source lumineuse à spectre large (24), un élément séparateur de codage (25) relié optiquement à ladite source 5 lumineuse (24) et agencé (i) pour émettre un faisceau lumineux de façon à illuminer ledit objet (26) et (ii) pour transmettre un faisceau réfléchi par ledit objet (26) vers un élément séparateur de décodage (40) agencé pour séparer ledit faisceau réfléchi en deux premier et second faisceaux (Li1, Li2), un polygone en rotation (29) prévu au 10 sein d'une ligne à retard (LR) pour (i) recevoir en incidence lesdits premier et second faisceaux (Li1, Li2) et les diriger respectivement vers des premiers et seconds réflecteurs (21, 22) et (ii) pour moduler les trajets optiques respectifs desdits premier et second faisceaux (Li1, Li2), et des moyens détecteurs (27) reliés 15 optiquement audit élément séparateur de décodage (40) et agencés pour traiter lesdits premier et second faisceaux réfléchis de façon à produire un signal représentatif d'interférences, ce procédé de mesure optique comprenant en outre une analyse de ce signal représentatif d'interférence de façon à générer des données de 20 mesure relatives audit objet (26).