Brevet FR3067167A1 — publié le 20181207

ELEMENT DE CONVERSION SPECTRALE POUR RAYONNEMENT ELECTROMAGNETIQUE La présente invention concerne un élément de conversion spectrale pour rayonnement électromagnétique, et un procédé de collecte d'un rayonnement Térahertz. Dans le cadre de la présente description, on appelle rayonnement Térahertz un rayonnement électromagnétique dont la longueur d'onde est comprise entre 30 pm (micromètre) et 3 mm (millimètre), correspondant à une fréquence qui est comprise entre 0,1 THz (Térahertz), soit 100 MHz (Mégahertz), et 10 THz. On appelle rayonnement infrarouge un rayonnement électromagnétique dont la longueur d'onde est comprise entre 1 pm et 30 pm, correspondant à une fréquence qui est comprise entre 10 THz et 300 THz. L'imagerie infrarouge, basée sur la détection d'images qui sont formées à partir de rayonnement infrarouge, dites images infrarouges, est très utilisée pour de nombreuses applications. De ce fait, des caméras infrarouges sont disponibles aujourd'hui à coût réduit, notamment des caméras qui fonctionnent dans les domaines spectraux de longueur d'onde compris entre 3 pm et 5 pm, ou compris entre 8 pm et 12 pm. De nombreuses applications ont par ailleurs été identifiées pour des systèmes d'imagerie efficaces pour saisir des images qui sont formées par du rayonnement Térahertz, c'est-à-dire dont l'information d'image correspond à des sources, des réflecteurs ou des diffuseurs de rayonnement Térahertz présents dans un champ d'observation. Toutefois, le développement de capteurs d'images qui soient sensibles à du rayonnement Térahertz nécessite des investissements importants, si bien que de tels capteurs ne sont pas disponibles à ce jour à des prix qui seraient compatibles avec les applications envisagées. A partir de cette situation, un but de la présente invention consiste à fournir des images qui révèlent des sources, réflecteurs ou diffuseurs de 3067167 - 2 - rayonnement Térahertz présents dans un champ d'observation, à un coût qui est faible, c'est-à-dire de l'ordre de ou peu supérieur à celui d'un système d'acquisition d'images infrarouges. Un but annexe de l'invention est de fournir de telles images qui 5 appartiennent au domaine spectral du rayonnement Térahertz, avec des systèmes d'imagerie qui soient simples et faciles d'utilisation. Un autre but de l'invention est de fournir des images qui appartiennent au domaine spectral du rayonnement Térahertz, avec des résolutions spatiales qui soient fines. 10 Encore un autre but de l'invention est de fournir des images qui appartiennent au domaine spectral du rayonnement Térahertz, mais qui sont restreintes à l'intérieur de fenêtres spectrales prédéterminées et facilement variables. Un but complémentaire peut alors être de fournir facilement des images multispectrales dont certaines au moins des composantes 15 appartiennent au domaine spectral du rayonnement Térahertz. Pour atteindre l'un au moins de ces buts ou d'autres, un premier aspect de l'invention propose un élément de conversion spectrale pour rayonnement électromagnétique, qui comprend : - un support bidimensionnel, avec des zones juxtaposées qui sont 20 dédiées respectivement à des pixels ; - un ensemble de premières antennes, dites antennes Térahertz, qui sont portées fixement par le support bidimensionnel et dimensionnées pour présenter un premier pic d'absorption du rayonnement électromagnétique lorsqu'une longueur d'onde du rayonnement est 25 comprise entre 30 pm et 3 mm, au moins une des antennes Térahertz étant située à l'intérieur de chaque zone de pixel ; et - un ensemble de secondes antennes, dites antennes infrarouges, qui sont aussi portées fixement par le support bidimensionnel mais dimensionnées pour présenter un second pic d'absorption du rayonnement électromagnétique lorsque la longueur d'onde du 3067167 - 3 - rayonnement est comprise entre 1 pm et 30 pm, au moins une des antennes infrarouges étant située à l'intérieur de chaque zone de pixel. Autrement dit, chaque antenne Térahertz est absorbante pour du rayonnement Térahertz, possiblement à l'intérieur d'une partie restreinte de 5 l'ensemble du domaine spectral Térahertz, et aussi possiblement avec une sélectivité par rapport à la polarisation de ce rayonnement. Simultanément, chaque antenne infrarouge est absorbante pour du rayonnement infrarouge. D'après la loi de Kirchhoff supposée bien connue, chaque antenne infrarouge est aussi efficace pour émettre du rayonnement 10 infrarouge dans une fenêtre spectrale qui est superposée au second pic d'absorption du rayonnement électromagnétique. Selon une caractéristique de l'invention, l'élément de conversion est agencé de sorte qu'une des antennes Térahertz et une des antennes infrarouges qui sont situées toutes deux dans une même zone de pixel, quelle 15 que soit cette zone de pixel, soient couplées thermiquement l'une à l'autre avec une résistance thermique qui est inférieure à chaque autre résistance thermique qui existe entre l'une quelconque des antennes Térahertz et l'une quelconque des antennes infrarouges lorsque ces antennes Térahertz et infrarouge sont situées dans des zones de pixels respectives qui sont 20 différentes. Autrement dit, chaque zone de pixel réalise un couplage thermique entre les antennes Térahertz et infrarouge de cette zone, mais avec une interférence entre zones de pixels différentes, couramment désignée par «crosstalk» en anglais, qui est réduite. L'élément de conversion de l'invention réalise donc une conversion 25 d'énergie à l'intérieur de chaque zone de pixel, entre le rayonnement Térahertz qui est incident sur chaque première antenne de cette zone de pixel et du rayonnement infrarouge qui est émis par chaque seconde antenne de cette même zone de pixel. En outre, les premières antennes déterminent la fenêtre spectrale de sensibilité de l'élément de conversion pour le rayonnement 30 Térahertz incident, et les secondes antennes déterminent la fenêtre spectrale d'émission du rayonnement infrarouge. L'énergie du rayonnement Térahertz dans la fenêtre spectrale des premières antennes est ainsi convertie en 3067167 - 4 - énergie de rayonnement infrarouge dans la fenêtre spectrale des secondes antennes. La conversion est réalisée à l'intérieur de zones de pixels qui sont découplées les unes des autres, pour constituer une matrice qui permet de conserver une indication de la zone spatiale dans laquelle le rayonnement 5 Térahertz est ou a été incident. Lorsqu'il est disposé dans un plan objet d'un instrument de saisie d'image infrarouge, l'élément de conversion de l'invention permet à l'instrument de saisir des images qui révèlent des sources, des réflecteurs ou des diffuseurs de rayonnement Térahertz présents dans un champ d'observation. 10 Ainsi, de telles images Térahertz peuvent être saisies pour un coût qui est sensiblement similaire à la somme du coût de l'instrument de saisie d'image infrarouge et de l'élément de conversion proposé par l'invention. Or l'élément de conversion de l'invention, parce qu'il peut être fabriqué par des techniques de gravure et de dépôt de matériaux qui sont maîtrisées à ce jour, peut avoir 15 un prix de revient qui est compatible avec les applications envisagées. Préférablement, l'élément de conversion peut être agencé de sorte que chaque résistance thermique entre une antenne Térahertz et une antenne infrarouge qui sont situées toutes deux dans une même zone de pixel, quelle que soit cette zone de pixel, soit inférieure à un dixième, de préférence 20 inférieure à un centième, de chaque autre résistance thermique qui existe entre l'une quelconque des antennes Térahertz et l'une quelconque des antennes infrarouges lorsque ces antennes Térahertz et infrarouge sont situées dans des zones de pixels respectives qui sont différentes. Ainsi, les interférences - ou «crosstalk» - entre zones de pixels différentes de l'élément de conversion sont 25 suffisamment réduites pour qu'une image infrarouge qui soit nette résulte de la conversion d'énergie du rayonnement Térahertz reçu, en rayonnement infrarouge, séparément pixel par pixel. Dans divers modes de réalisation de l'invention, chaque antenne Térahertz ou infrarouge peut être du type métal-diélectrique-métal, ou être du 30 type résonateur de Helmholtz, ou encore être formée par une portion d'un matériau qui est absorbant pour le rayonnement Térahertz ou infrarouge, respectivement. 3067167 - 5 - De façon générale pour l'invention, les dimensions transversales suivantes, mesurées parallèlement au support bidimensionnel, sont avantageuses : - entre 30 pm et 5000 pm, c'est-à-dire 5 mm, pour chaque zone de pixel, 5 - entre 1 pm et 300 pm pour chaque antenne Térahertz, et - entre 0,1 pm et 5 pm pour chaque antenne infrarouge. Pour produire un découplage encore plus efficace entre deux zones de pixels quelconques qui sont voisines, le support bidimensionnel peut présenter une portion de liaison pour relier deux zones de pixels voisines, et présenter 10 des évidements qui limitent transversalement chaque portion de liaison. Ainsi, toutes les zones de pixels peuvent être solidaires dans le support bidimensionnel, alors que des passages de diffusion thermique entre deux zones de pixels qui sont voisines ont des sections qui sont restreintes par certains des évidements. L'élément de conversion de l'invention peut ainsi 15 former une pièce unique qui est facile à manipuler et à incorporer dans un instrument d'imagerie. Possiblement, chaque antenne Térahertz peut posséder une géométrie qui est sélectionnée parmi plusieurs géométries distinctes correspondant à des polarisations différentes ou des longueurs d'onde différentes pour le 20 rayonnement électromagnétique qui est absorbé avec une efficacité maximale. Dans ce cas, chaque zone de pixel peut comporter au moins une de ces géométries d'antennes Térahertz, de préférence une seule géométrie d'antenne par zone de pixel. Les géométries d'antennes Térahertz sont alors alternées entre des zones de pixels qui sont différentes, préférablement selon 25 un motif d'alternance qui est identique dans tout l'élément de conversion. L'élément de conversion peut ainsi produire des images multispectrales et/ou des images qui correspondent à des polarisations différentes du rayonnement Térahertz qui est absorbé. De cette façon, une information plus complète peut être recueillie sur les sources, réflecteurs et diffuseurs de rayonnement 30 Térahertz qui sont présents dans un champ d'observation. Lorsque chaque zone de pixel ne comporte qu'une seule géométrie d'antenne, les différentes composantes spectrales de chaque image multispectrale, ou les différentes 3067167 - 6 - composantes de polarisation de chaque image multi-polarisation, présentent une diaphonie, ou «crosstalk» en anglais, qui est très réduite ou nulle. Toutefois, une résolution qui est plus fine peut être obtenue pour l'image multispectrale ou multi-polarisation lorsque des antennes de géométries 5 différentes sont contenues dans chaque zone de pixel. Selon des premières configurations, dites en transmission, qui sont possibles pour des éléments de conversion conformes à l'invention, les antennes Térahertz d'une part, et les antennes infrarouges d'autre part, peuvent être portées par deux faces opposées du support bidimensionnel. Les 10 résistances thermiques sont alors produites le long de chemins de diffusion thermique qui traversent le support bidimensionnel entre les deux faces opposées. Selon des secondes configurations, dites en réflexion, qui sont aussi possibles pour des éléments de conversion conformes à l'invention, les 15 antennes Térahertz et les antennes infrarouges peuvent être portées ensemble par une même face du support bidimensionnel. Par exemple, les antennes Térahertz peuvent être réparties dans une première partie d'une structure en couches qui est portée par la face du support bidimensionnel, et les antennes infrarouges peuvent être réparties dans une seconde partie de la même 20 structure en couches qui est située au-dessus ou au-dessous de la première partie, par rapport à un ordre d'empilement des couches sur la face du support bidimensionnel. Un second aspect de l'invention propose un procédé de collecte d'un rayonnement Térahertz, qui comprend les actions suivantes : 25 - disposer un élément de conversion qui est conforme au premier aspect de l'invention, dans du rayonnement Térahertz de sorte que l'élément de conversion produise un rayonnement infrarouge à partir d'une énergie du rayonnement Térahertz ; et - disposer un capteur du rayonnement infrarouge sur un trajet du 30 rayonnement infrarouge qui est produit par l'élément de conversion. Pour des applications diverses qui n'appartiennent pas au domaine de l'imagerie, le capteur du rayonnement infrarouge peut comprendre au moins 3067167 - 7 - une cellule photovoltaïque, une cellule photoconductrice, ou une cellule bolométrique, qui est efficace pour absorber une partie au moins du rayonnement infrarouge produit par l'élément de conversion. Pour des applications d'imagerie, le capteur du rayonnement 5 infrarouge peut comprendre au moins un détecteur d'image qui est sensible au rayonnement infrarouge. Le procédé comprend alors en outre les actions de : - disposer un objectif qui est efficace pour le rayonnement Térahertz sur un trajet de ce rayonnement Térahertz en amont de l'élément de conversion ; et 10 - disposer aussi un système imageur qui est efficace pour le rayonnement infrarouge sur un trajet du rayonnement infrarouge entre l'élément de conversion et le détecteur d'image. L'objectif forme ainsi une image d'une scène sur l'élément de conversion avec le rayonnement Térahertz qui provient de la scène, et le 15 système imageur forme une image de l'élément de conversion sur le détecteur d'image avec le rayonnement infrarouge qui est produit par l'élément de conversion. D'autres particularités et avantages de la présente invention apparaîtront dans la description ci-après d'exemples de réalisation non 20 limitatifs, en référence aux dessins annexés, dans lesquels : - la figure 1 est une vue en coupe transversale d'un élément de conversion conforme à l'invention ; - les figures 2a et 2b représentent l'élément de conversion de la figure 1, vu en plan par dessus et par dessous ; 25 - la figure 3 est un diagramme spectral d'absorption de rayonnement électromagnétique, relatif à des antennes d'un élément de conversion conforme à l'invention ; - les figures 4a à 4c illustrent trois modes de réalisation possibles pour des antennes d'éléments de conversion conformes à l'invention ; et 3067167 -8- - la figure 5 correspond à la figure 1 pour une configuration différente d'un élément de conversion aussi conforme à l'invention. Pour raison de clarté, les dimensions des éléments qui sont représentés dans ces figures ne correspondent ni à des dimensions réelles ni à 5 des rapports de dimensions réels. En outre, des références identiques qui sont indiquées dans des figures différentes désignent des éléments identiques ou qui ont des fonctions identiques. Conformément aux figures 1, 2a et 2b, un support bidimensionnel 1 qui peut être de la forme d'un film à simple couche ou multicouche, possède deux 10 faces opposées notées S1 et S2 respectivement. La face S1 porte des antennes 2, et la face S2 porte des antennes 3. Les antennes 2 et 3 possèdent des intervalles spectraux d'absorption de rayonnement électromagnétique qui sont séparés, comme représenté dans le diagramme de la figure 3: les antennes 2 sont absorbantes pour des valeurs de longueur d'onde du rayonnement 15 électromagnétique qui appartiennent au domaine 30 pm - 3 mm, correspondant à du rayonnement Térahertz, et les antennes 3 sont absorbantes pour des valeurs de longueur d'onde du rayonnement électromagnétique qui appartiennent au domaine 1 pm - 30 pm, correspondant à du rayonnement infrarouge. Dans la figure 3, À désigne la longueur d'onde du 20 rayonnement électromagnétique, exprimée en micromètres, et A(À) désigne l'absorption spectrale de ce rayonnement. IR désigne le domaine spectral du rayonnement infrarouge, et TH désigne le domaine spectral du rayonnement Térahertz. Possiblement, chaque antenne 2, dite antenne Térahertz, peut être absorbante sélectivement à l'intérieur d'un pic noté P1, qui correspond à une 25 bande réduite, ou très réduite à l'intérieur de l'intervalle spectral du rayonnement Térahertz. De même, chaque antenne 3, dite antenne infrarouge, peut être absorbante sélectivement à l'intérieur d'un pic noté P2, qui correspond à une bande réduite à l'intérieur de l'intervalle spectral du rayonnement infrarouge. 30 De façon générale, l'absorption de rayonnement électromagnétique par une structure matérielle dépend des matériaux de cette structure, et éventuellement en outre de ses dimensions géométriques. Ainsi, chaque 3067167 - 9 - antenne Térahertz 2 possède une structure qui est conçue pour présenter une absorption importante dans le domaine spectral du rayonnement Térahertz (pic P1 du diagramme de la figure 3). Selon un premier mode de réalisation possible qui est illustré par la 5 figure 4a, chaque antenne 2 peut être constituée d'une portion 2i de matériau isolant électriquement, qui est intercalée entre deux portions de couches conductrices électriquement, de préférence entre deux portions de couches métalliques. L'une de ces portions est désignée par la référence 2m, et l'autre peut être formée par une partie de la face du support 1. Une telle structure 10 d'antenne est connue sous la désignation métal-isolant-métal, et est grandement documentée dans la littérature disponible. Elle forme un résonateur de Fabry-Pérot, pour lequel la position en longueur d'onde du pic d'absorption P1 dépend des dimensions de la portion 2m mesurées parallèlement à la face du support 1. Par exemple, une longueur I de la portion 15 métallique 2m, appelée longueur de cavité et mesurée parallèlement au support 1, correspond à une longueur d'onde d'absorption maximale d'environ quatre fois cette longueur de cavité I, lorsque la portion de matériau isolant 2i est en polyimide, polyméthylméthacrylate (PMMA), polyéthylène (PET), ou en résine photosensible négative à base d'époxy, telle que connue sous 20 l'acronyme SU-8. La portion de couche métallique 2m peut être en or, cuivre ou aluminium, par exemple. Lorsque les longueurs de diffusion thermique qui existent parallèlement au support 1, entre des antennes 2 qui sont voisines, sont très supérieures aux longueurs de diffusion thermique qui existent perpendiculairement au support 25 1, entre des antennes 2 et 3 qui sont couplées à l'intérieur d'une même zone de pixel, le matériau isolant 2i peut être continu entre des antennes 2 qui sont voisines. Il peut ainsi former une couche qui est continue, et qui peut servir de support mécanique pour l'élément de conversion spectrale. Selon un deuxième mode de réalisation possible qui est illustré par la 30 figure 4b, chaque antenne 2 peut être constituée d'une portion d'un matériau qui présente une absorption importante du rayonnement électromagnétique, lorsque ce rayonnement possède une longueur d'onde qui est comprise entre 3067167 -10- 30 pm et 3 mm. Par exemple, une couche d'un polymère dopé, tel que du PMMA dopé ou du PET dopé, d'épaisseur e = 5 pm environ lorsqu'elle est mesurée perpendiculairement au support 1, et qui est déposée sur un film métallique qui constitue ce support 1, peut constituer une antenne 2 pour 5 laquelle l'absorption se produit de façon à peu près homogène sur toute la bande de rayonnement Térahertz. Comme précédemment, lorsque les longueurs de diffusion thermique qui existent entre des antennes 2 qui sont voisines sont très supérieures aux longueurs de diffusion thermique qui existent entre des antennes 2 et 3 qui sont couplées à l'intérieur d'une même 10 zone de pixel, la couche de polymère dopé qui constitue les portions absorbantes du rayonnement Térahertz peut être continue entre des antennes 2 voisines. Elle peut alors aussi remplir la fonction de support mécanique pour l'élément de conversion spectrale. Selon un troisième mode de réalisation possible qui est illustré par la 15 figure 4c, chaque antenne 2 peut être constituée par un résonateur de Helmholtz. Un tel résonateur est constitué par une cavité à parois métalliques, qui est reliée à l'extérieur par un col. De façon avantageuse mais non-limitative pour ce mode de réalisation, le support 1 peut être en matériau métallique, et la cavité et le col sont formés dans le support 1 à partir de la face Si. La cavité et 20 le col peuvent être très allongés perpendiculairement au plan de la figure 4c, et dans ce plan, la cavité possède une surface de section S, et le col possède une largeur w et une hauteur h. Par exemple, les valeurs suivantes : S = 6 pm2, w = 0,2 pm et h = 1 pm, produisent un pic d'absorption Pi qui est centré approximativement sur la valeur de longueur d'onde 50 pm. Une bibliographie 25 abondante est aussi disponible au sujet de tels résonateurs de Helmholtz. Dans ces exemples numériques, l'autre dimension de l'antenne 2, qui est mesurée aussi parallèlement au support 1, est supposée très supérieure à la première dimension donnée précédemment. Toutefois, une telle géométrie quasi-unidimensionnelle pour chaque antenne n'est pas indispensable. Par 30 exemple, pour le premier mode de réalisation de la figure 4a, à base d'une portion de matériau isolant électriquement qui est intercalée entre deux portions de couches conductrices électriquement, des géométries bidimensionnelles peuvent être utilisées comme représenté sur les figures 2a 3067167 et 2b. En particulier, chaque antenne peut avoir une forme rectangulaire dans un plan de projection qui est parallèle au support 1. Pour un élément de conversion tel que représenté aux figures 1, 2a et 2b, chaque antenne Térahertz est portée par le support 1 de façon à être 5 couplée thermiquement avec lui, de sorte que l'absorption de rayonnement Térahertz par cette antenne 2 produise de la chaleur qui est transférée au support 1. Par exemple, pour le premier mode de réalisation des antennes 2 (figure 4a), le support 1 peut former directement l'une des deux portions de couches conductrices électriquement. Pour le deuxième mode de réalisation 10 (figure 4b), la portion du matériau qui est absorbant pour le rayonnement Térahertz peut être formée directement sur le support 1. Enfin, pour le troisième mode de réalisation (figure 4c), le support 1 peut être en matériau métallique, et être suffisamment épais pour que la cavité et le col puissent être formés dans le support 1 à partir de sa face St 15 Pour les trois modes de réalisation, le support 1 peut être un film d'or (Au), de cuivre (Cu) ou d'aluminium (AI), à titre d'exemples non-limitatifs. Chaque antenne infrarouge 3 a pour fonction d'émettre du rayonnement infrarouge dans la bande spectrale de longueur d'onde qui est comprise entre 1 pm et 30 pm, lorsqu'elle reçoit de la chaleur qui a été produite 20 par l'absorption de rayonnement Térahertz par l'une des antennes 2. Chaque antenne 3 est constituée d'au moins une autre portion d'un matériau approprié, qui émet du rayonnement infrarouge en fonction de la température de cette portion. Lorsque cette température augmente, du fait de la chaleur reçue par diffusion thermique en provenance de l'une des antennes Térahertz 2, la 25 quantité du rayonnement infrarouge émis augmente aussi, mais tout en restant limitée par la valeur d'émissivité du matériau de cette antenne 3. Toutefois, la structure d'antenne qui présente le pic d'absorption P2 assure que cette émissivité est importante. Dit autrement, une structure d'antenne qui présente un pic d'absorption du rayonnement électromagnétique est aussi efficace pour 30 émettre du rayonnement électromagnétique à la longueur d'onde de ce pic d'absorption, lorsqu'elle est chauffée. Les trois modes de réalisation qui ont été décrits plus haut pour les 3067167 - 12 - antennes Térahertz 2 peuvent être repris dans leurs principes pour les antennes infrarouges 3, en adaptant toutefois les matériaux utilisés et les dimensions géométriques pour un pic d'absorption P2 qui est situé dans l'intervalle de longueur d'onde compris entre 1 pm et 30 pm. 5 En particulier, pour le premier mode de réalisation, de type métal- isolant-métal, la portion matériau isolant, maintenant référencée 3i dans la figure 4a, peut être en sulfure de zinc (ZnS), mais aussi en silice (Si02), en carbure de silicium (SiC), en silicium ou en germanium, alors que la portion de matériau conducteur électriquement 3m ainsi que la partie concernée du 10 support 1 peuvent encore être or, cuivre ou aluminium. La formule numérique des résonateurs de Fabry-Pérot est encore applicable pour ce mode de réalisation des antennes 3, pour déterminer la longueur de cavité I en fonction de la longueur d'onde d'absorption maximale qui est désirée pour le pic P2. Par exemple, lorsque la portion de matériau 3i est en sulfure de zinc, la valeur de 15 2 pm pour la longueur de cavité I produit la valeur de 10 pm pour la longueur d'onde centrale du pic d'absorption P2. Pour le deuxième mode de réalisation (figure 4b), le matériau absorbant à utiliser pour chaque antenne infrarouge 3 peut être de la silice (Si02). Lorsque l'épaisseur e de cette couche de silice est de 0,7 pm environ, 20 et que cette couche est encore déposée sur un film métallique qui constitue le support 1, une émissivité moyenne qui est supérieure à 50% est obtenue dans l'intervalle de longueur d'onde compris entre 8 pm et 12 pm. Enfin, pour le troisième mode de réalisation, à résonateur de Helmholtz, les valeurs 0,65 pm2 pour la section de cavité S, 0,2 pm pour la 25 largeur de col w, et 0,5 pm pour la hauteur de col h, correspondent à une longueur d'onde centrale de 10 pm pour le pic d'absorption P2. Le support 1 et les antennes 2 et 3 qui sont portées par celui-ci forment un élément de conversion spectral conforme à l'invention, désigné globalement par la référence 10. Pour le fonctionnement de cet élément de conversion 10, 30 chaque antenne Térahertz 2 doit être couplée thermiquement de façon efficace à au moins une antenne infrarouge 3 qui lui est associée. Toutefois, plusieurs antennes infrarouges 3 peuvent être associées à une même antenne Térahertz 3067167 -13- 2. Par antenne 2 qui est couplée thermiquement avec une antenne 3 de façon efficace, on entend que la résistance de diffusion thermique entre ces deux antennes est inférieure d'un facteur au moins 10 ou 100, à une résistance de diffusion thermique qui existe entre l'antenne 2 et une antenne 3 qui ne lui est 5 pas associée. Un tel couplage thermique sélectif peut être obtenu par une répartition appropriée des antennes 2 et 3 parallèlement au support bidimensionnel 1 : des antennes 2 et 3 qui sont associées l'une avec l'autre peuvent être situées au droit l'une de l'autre selon la direction perpendiculaire à la face Si du support 1, ou peu éloignées l'une de l'autre parallèlement à la 10 face Si, alors que des antennes 2 et 3 qui ne sont pas associées sont plus éloignées l'une de l'autre parallèlement à la face Si. Selon une conception pratique de l'élément de conversion 10, des zones distinctes, dites zones de pixels, sont définies sur le support bidimensionnel 1, sur sa face Si, par exemple selon une répartition matricielle, 15 en lignes et en colonnes perpendiculaires. Deux antennes 2 et 3 qui sont alors situées dans une même zone de pixel ZP sont couplées thermiquement entre elles au sens qui a été défini plus haut, alors que des antennes 2 et 3 qui sont situées dans des zones de pixels ZP différentes présentent entre elles un couplage thermique moins intense, c'est-à-dire une résistance de diffusion 20 thermique inter-pixel qui est au moins 10 fois, sinon au moins 100 fois, supérieure à la résistance de diffusion thermique intra-pixel. Pour augmenter encore le rapport entre les valeurs de résistance de diffusion thermique inter-pixel et intra-pixel, il est possible pour le support 1 de présenter des découpes entre les zones de pixels ZP. De cette façon, une 25 section de diffusion thermique est réduite entre des zones de pixels ZP qui sont voisines, augmentant ainsi la valeur de résistance de diffusion thermique inter-pixel. Dans les figures 2a et 2b, les références 5 indiquent des découpes, ou évidements, qui sont ménagées entre des zones de pixels ZP qui sont voisines. Les références 4 désignent des portions de liaison résiduelles du 30 support 1, entre les découpes 5, qui assurent la cohésion mécanique de l'ensemble de l'élément de conversion 10. Pour le mode de réalisation de la figure 4c, dans lequel les antennes 2 3067167 - 14 - et 3 sont toutes du type résonateur de Helmholz, l'élément de conversion 10 peut n'être constitué que du support 1 en matériau métallique, qui est muni des cavités et des cols qui forment les résonateurs. Eventuellement ses faces S1 et S2 peuvent être recouvertes d'un matériau isolant, pour protéger les cavités, 5 notamment de la corrosion du matériau métallique. Un tel mode de réalisation nécessite que le support 1 soit plus épais. Alors les évidements 5 peuvent être conçus pour amincir localement le support 1, entre les zones de pixels adjacentes, dans le même but de réduction du couplage thermique inter-pixel. Par exemple, les zones de pixels ZP peuvent avoir un pas d'environ 10 1 mm selon les directions de lignes et de colonnes de la matrice de l'élément de conversion 10. A l'intérieur de chaque zone de pixel ZP, chaque antenne Térahertz 2 peut avoir une dimension transversale qui est inférieure à 0,3 mm, parallèlement à la face S1 du support 1, et chaque antenne infrarouge 2 peut avoir une dimension transversale qui est inférieure à 5 pm, encore 15 parallèlement à la face S1 du support 1, ces dimensions transversales d'antennes dépendant des longueurs d'onde centrales qui sont voulues pour les pics d'absorption P1 et P2, comme expliqué plus haut. Dans ces conditions, chaque zone de pixel ZP peut ne contenir qu'une seule antenne Térahertz 2 et une multitude d'antennes infrarouges 3, ces dernières pouvant être réparties à 20 l'intérieur de la zone de pixel ZP selon un réseau carré, par exemple. Les figures 1, 2a et 2b illustrent une telle géométrie pour l'élément de conversion 10. Etant donné de telles dimensions pour les zones de pixels ZP et pour les antennes 2 et 3, il est aussi possible de disposer plusieurs antennes 25 Térahertz 2 à l'intérieur de chaque zone de pixel ZP, toutes les zones de pixels ZP ayant des configurations identiques. Ainsi, à l'intérieur de chaque zone de pixel ZP, des antennes Térahertz 2 qui ont des géométries différentes peuvent correspondre à des positions en longueur d'onde du pic d'absorption P1 qui sont distinctes. La distribution des antennes infrarouges 3 dans chaque zone 30 de pixel ZP permet encore d'émettre du rayonnement infrarouge en réponse à l'absorption de rayonnement Térahertz par l'une quelconque des antennes Térahertz. De cette façon, l'élément de conversion 10 peut présenter un intervalle spectral de sensiblité qui est agrandi, par rapport à l'utilisation d'une 3067167 - 15 - seule géométrie d'antennes Térahertz. Par ailleurs, il est aussi possible d'affecter des géométries différentes d'antennes Térahertz, produisant des positions spectrales différentes pour le pic d'absorption P1, à des zones de pixels ZP qui sont voisines, notamment en 5 utilisant un motif d'alternance déterminé pour les géométries d'antennes Térahertz entre les zones de pixels ZP, à la façon d'un filtre de Bayer. L'élément de conversion 10 permettra ainsi de relayer des images Térahertz multispectrales, lorsqu'il sera mis en oeuvre pour une fonction d'imagerie comme expliqué plus loin. 10 Alternativement ou en combinaison, des antennes Térahertz 2 qui ont des géométries différentes peuvent être sensibles à des polarisations distinctes du rayonnement Térahertz. En effet, de façon connue, la forme de chaque antenne 2 parallèlement à la face Si du support 1, détermine une polarisation du rayonnement pour laquelle cette antenne présente une efficacité, ou 15 sensibilité, supérieure. Les données d'image qui sont ainsi recueillies comportent une information de polarisation qui peut être utile pour certaines applications, notamment des applications de surveillance d'environnement et de reconnaissance d'éléments intrus. Un élément de conversion 10 qui est conforme à l'invention peut avoir 20 une configuration en transmission, ou une configuration en réflexion. Les figures 1, 2a et 2b correspondent à la configuration en transmission. Dans ce cas, les antennes Térahertz 2 et les antennes infrarouges 3 sont situées sur les deux faces opposées du support 1 : les antennes 2 sur la face Si et les antennes 3 sur la face S2, opposée à la face 25 Si, conformément à la figure 1. Le couplage thermique entre les antennes 2 et 3 est alors produit par des chemins de diffusion thermique qui traversent le support 1 entre les faces Si et S2. Une telle configuration en transmission permet en général des mises en oeuvre de l'élément de conversion 10 qui sont plus simples. 30 La figure 5 illustre la configuration en réflexion. Dans ce cas, toutes les antennes 2 et 3 sont situées sur la face Si du support 1. Selon un mode de réalisation possible pour une telle configuration en réflexion, les antennes 2 et 3067167 -16- 3 peuvent être réalisées au sein d'une structure multicouche ST qui est formée uniquement sur la face S1 du support 1. Par exemple, les antennes 2 peuvent être formées au sein d'une partie inférieure de la structure ST, plus proche du support 1, et les antennes 3 peuvent être formées au sein d'une partie 5 supérieure de la structure ST, plus éloignée du support 1. Une telle configuration est favorisée si les antennes infrarouges 3 sont suffisamment transparentes pour le rayonnement Térahertz, qui est destiné aux antennes 2 sous-jacentes au sein de la structure ST. Un avantage d'une telle configuration en réflexion résulte de la proximité accrue entre les antennes 2 et 3 qui sont 10 associées, produisant un couplage thermique entre elles qui est augmenté. Des premières applications pour un élément de conversion 10 qui est conforme à l'invention, peuvent consister à collecter de l'énergie radiative qui appartient au domaine Térahertz, par exemple en provenance d'une source thermique ou du soleil. Pour cela, la face du support 1 qui porte les antennes 15 Térahertz 2 est exposée au rayonnement Térahertz, et un capteur qui est efficace pour absorber du rayonnement infrarouge, par exemple une cellule photovoltaïque, photoconductrice, ou bolométrique, est placé en vis-à-vis de la face du support 1 qui porte les antennes infrarouges 3. Dans les figures 1 et 5, les références TH et IR désignent respectivement le rayonnement Térahertz 20 dont l'énergie est collectée, et le rayonnement infrarouge qui est transmis au capteur, lui-même désigné par la référence 20. Eventuellement, un concentrateur du rayonnement TH, désigné symboliquement par la référence 30, peut être utilisé pour augmenter la quantité collectée du rayonnement TH. Le concentrateur 30 peut être notamment un miroir, par exemple un miroir 25 parabolique. De même, un concentrateur du rayonnement infrarouge IR, désigné par la référence 21, peut être utilisé entre l'élément de conversion 10 et le capteur infrarouge 20. Des secondes applications pour un élément de conversion 10 qui est conforme à l'invention, concernent l'acquisition d'images formées avec du 30 rayonnement Térahertz. Pour cela, un objectif qui est efficace pour le rayonnement Térahertz TH est disposé entre une scène à observer et la face du support 1 qui porte les antennes Térahertz 2. La référence 30 désigne maintenant un tel objectif, de façon symbolique pour de telles applications 3067167 - 17 - d'imagerie. Un tel objectif peut être à base de miroirs, ou de composants réfringents qui sont efficaces pour le rayonnement Térahertz TH, par exemple en polytétrafluoroéthylène (PTFE connu sous l'appellation commerciale de TeflonTm), ou en polyimide, PMMA, PET, etc. La référence 20 désigne alors un 5 détecteur d'image infrarouge, qui est sensible au rayonnement infrarouge IR tel que produit par l'élément de conversion 10. Ce peut être par exemple un détecteur du type matriciel. Dans ces conditions, la référence 21 désigne un système imageur, qui est efficace pour le rayonnement infrarouge IR, et qui conjugue optiquement la face du support 1 qui porte les antennes infrarouges 3 10 avec la surface photosensible du détecteur d'image 20. La résolution d'image qui est alors obtenue dépend principalement de la taille des zones de pixels ZP de l'élément de conversion 10, ainsi que de la résolution du détecteur d'image 20. En outre, lorsque l'élément de conversion 10 comporte plusieurs antennes Térahertz 2 par zone de pixel ZP, et que celles-ci sont sensibles à des 15 longueurs d'onde différentes du domaine Térahertz, alors l'élément de conversion 10 permet de saisir une image multispectrale à chaque cycle d'acquisition du détecteur d'image 20. Il est entendu que l'invention peut être reproduite en adaptant ou modifiant certains aspects secondaires de celle-ci par rapport aux modes de 20 réalisation qui ont été décrits en détail ci-dessus. En particulier, l'utilisation des évidements dans le support bidimensionnel entre zones de pixels adjacentes n'est pas indispensable, bien que préférée. REVENDICATIONS1. Elément de conversion spectrale (10) pour rayonnement électromagnétique, comprenant : - un support bidimensionnel (1), avec des zones (ZP) juxtaposées qui sont dédiées respectivement à des pixels ; - un ensemble de premières antennes (2), dites antennes Térahertz, qui sont portées fixement par le support bidimensionnel (1) et dimensionnées pour présenter un premier pic d'absorption (P1) du rayonnement électromagnétique lorsqu'une longueur d'onde du rayonnement est comprise entre 30 pm et 3 mm, correspondant à du rayonnement dit Térahertz, au moins une des antennes Térahertz étant située à l'intérieur de chaque zone de pixel (ZP) ; et - un ensemble de secondes antennes (3), dites antennes infrarouges, qui sont aussi portées fixement par le support bidimensionnel (1) mais dimensionnées pour présenter un second pic d'absorption (P2) du rayonnement électromagnétique lorsque la longueur d'onde du rayonnement est comprise entre 1 pm et 30 pm, correspondant à du rayonnement dit infrarouge, au moins une des antennes infrarouges étant située à l'intérieur de chaque zone de pixel (ZP) ; l'élément de conversion étant agencé de sorte qu'une des antennes Térahertz (2) et une des antennes infrarouges (3) qui sont situées toutes deux dans une même zone de pixel (ZP), quelle que soit ladite zone de pixel, soient couplées thermiquement l'une à l'autre avec une résistance thermique qui est inférieure à chaque autre résistance thermique qui existe entre l'une quelconque des antennes Térahertz et l'une quelconque des antennes infrarouges lorsque lesdites antennes Térahertz et infrarouge sont situées dans des zones de pixels respectives qui sont différentes. 2. Elément de conversion (10) selon la revendication 1, agencé de sorte que chaque résistance thermique entre une antenne Térahertz (2) et une antenne infrarouge (3) qui sont situées toutes deux dans une même zone de 3067167 - 19 - pixel (ZP), quelle que soit ladite zone de pixel, soit inférieure à un dixième, de préférence inférieure à un centième, de chaque autre résistance thermique qui existe entre l'une quelconque des antennes Térahertz et l'une quelconque des antennes infrarouges lorsque lesdites antennes Térahertz et infrarouge sont 5 situées dans des zones de pixels respectives qui sont différentes. 3. Elément de conversion (10) selon la revendication 1 ou 2, dans lequel chaque antenne Térahertz (2) ou infrarouge (3) est de type métaldiélectrique-métal, ou est de type résonateur de Helmholtz, ou est formée par une portion d'un matériau absorbant du rayonnement infrarouge ou Térahertz, 10 respectivement. 4. Elément de conversion (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel chaque zone de pixel (ZP) possède des dimensions transversales qui sont comprises entre 30 pm et 5000 pm, chaque antenne Térahertz (2) possède une dimension transversale qui est 15 comprise entre 1 pm et 300 pm, et chaque antenne infrarouge (3) possède une dimension transversale qui est comprise entre 0,1 pm et 5 pm, lesdites dimensions transversales étant mesurées parallèlement au support bidimensionnel (1). 5. Elément de conversion (10) selon l'une quelconque des 20 revendications précédentes, dans lequel le support bidimensionnel (1) présente des portions de liaison (4) pour relier deux zones de pixels (ZP) quelconques qui sont voisines, et présente des évidements (5) qui limitent transversalement chaque portion de liaison, de sorte que toutes les zones de pixels soient solidaires dans ledit support bidimensionnel, et que des passages de diffusion 25 thermique entre deux zones de pixels qui sont voisines aient des sections restreintes par certains des évidements. 6. Elément de conversion (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel chaque antenne Térahertz (2) possède une géométrie qui est sélectionnée parmi plusieurs géométries 30 distinctes, lesdites géométries d'antennes Térahertz correspondant à des 3067167 - 20 - polarisations différentes ou des longueurs d'onde différentes pour le rayonnement électromagnétique qui est absorbé avec une efficacité maximale, et dans lequel chaque zone de pixel (ZP) comporte au moins une desdites géométries d'antennes Térahertz (2), de préférence une seule géométrie 5 d'antenne, et les géométries d'antennes Térahertz sont alternées entre des zones de pixels qui sont différentes, préférablement selon un motif d'alternance qui est identique dans tout l'élément de conversion (10). 7. Elément de conversion (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel les antennes Térahertz (2) d'une part, et les 10 antennes infrarouges (3) d'autre part, sont portées par deux faces opposées du support bidimensionnel (1), les résistances thermiques étant produites le long de chemins de diffusion thermique qui traversent le support bidimensionnel entre les deux faces opposées. 8. Elément de conversion (10) selon l'une quelconque des 15 revendications 1 à 6, dans lequel les antennes Térahertz (2) et les antennes infrarouges (3) sont portées ensemble par une même face du support bidimensionnel (1), par exemple les antennes Térahertz sont réparties dans une première partie d'une structure (ST) en couches qui est portée par la face du support bidimensionnel, et les antennes infrarouges sont réparties dans une 20 seconde partie de la structure en couches qui est située au-dessus ou au- dessous de ladite première partie de la structure en couches, par rapport à un ordre d'empilement des couches sur la face du support bidimensionnel. 9. Procédé de collecte d'un rayonnement Térahertz (TH), ledit procédé comprenant : 25 - disposer un élément de conversion (10) qui est conforme à l'une quelconque des revendications précédentes, dans le rayonnement Térahertz (TH) de sorte que l'élément de conversion produise un rayonnement infrarouge (IR) à partir d'une énergie du rayonnement Térahertz ; et 3067167 -21- - disposer un capteur de rayonnement infrarouge (20) sur un trajet du rayonnement infrarouge (IR) qui est produit par l'élément de conversion (10). 10. Procédé selon la revendication 9, suivant lequel le capteur de 5 rayonnement infrarouge (20) comprend au moins une cellule photovoltaïque, une cellule photoconductrice, ou une cellule bolométrique, efficace pour absorber une partie au moins dudit rayonnement infrarouge (IR). 11. Procédé selon la revendication 9, suivant lequel le capteur de rayonnement infrarouge (20) comprend au moins un détecteur d'image qui est 10 sensible au rayonnement infrarouge (IR), et le procédé comprend en outre de disposer un objectif (30) qui est efficace pour le rayonnement Térahertz (TH) sur un trajet dudit rayonnement Térahertz en amont de l'élément de conversion (10), et de disposer aussi un système imageur (21) qui est efficace pour le rayonnement infrarouge sur un trajet dudit rayonnement infrarouge (IR) entre 15 l'élément de conversion (10) et le détecteur d'image (20), l'objectif (30) formant une image d'une scène sur l'élément de conversion (10) avec le rayonnement Térahertz (TH) qui provient de la scène, et le système imageur (21) formant une image de l'élément de conversion (10) sur le détecteur d'image (20) avec le rayonnement infrarouge (IR) qui est 20 produit par ledit élément de conversion.