Brevet FR3054973A1 — publié le 20180216

DOMAINE TECHNIQUE La présente invention concerne un appareil destiné à être utilisé dans le mélange et la distribution d'un courant de fluide durcissable dans un moule pour produire des tampons de polissage pour la planarisation 5 mécano-chimique de substrats, l'appareil comprenant un cadre de dispositif d'actionnement sur lequel est monté un jeu de plaques fixées de manière amovible au cadre de dispositif d'actionnement et adaptées pour couper le courant de fluide durcissable quand le moule est plein et pour être libérées du cadre de dispositif d'actionnement après avoir coupé le 10 courant de fluide durcissable, et une unité de distributeur pour le déversement continu du courant de fluide durcissable dans un moule ouvert et étant adapté pour permettre le retrait des plaques libérées du cadre de dispositif d'actionnement pendant le déversement continu et le déversement subséquent dans un nouveau moule, ainsi que des procédés 15 pour utiliser l'appareil. ETAT DE LA TECHNIQUE On sait que la fabrication des tampons de polissage destinés à être utilisés dans la planarisation mécano-chimique inclut le déversement, 20 par exemple par pompage, d'un mélange formateur d'uréthane dans un moule et le durcissement, suivi par le démoulage et la coupe du polyuréthane durci dans une direction parallèle à la surface du moule pour former une couche ayant l'épaisseur souhaitée, par exemple, par tronçonnage, puis la mise en forme de la couche résultante, par exemple, 25 par meulage, fraisage ou profilage en un tampon de polissage. Auparavant, les procédés connus pour former de tels produits moulés nécessitaient de la part de l'utilisateur qu'il arrête manuellement le déversement du mélange formateur d'uréthane après le remplissage de chaque moule. Ceci signifiait que l'utilisateur devait insérer rapidement un 30 petit récipient sous le courant de mélange formateur d'uréthane en cours 3054 9 73 2 de déversement tout en maintenant la buse de déversement très proche de la surface du moule et sans établir aucun contact avec la matière dans le moule (le "gâteau"); ensuite, l'utilisateur devait relever la buse et disposer sous elle un récipient de plus grande taille, comme un bac, pour capturer le mélange formateur d'uréthane tandis qu'il continuait à être déversé après le remplissage du moule, jusqu'à ce que le déversement puisse être arrêté. Ce processus manuel entraînait des défauts quand l'opérateur ou le récipient entrait en contact avec le gâteau; par exemple, l'action de glisser un petit récipient sous un courant de matière fluide conduisait communément au dépôt d'une petite quantité de matière de manière non uniforme sur le sommet du moule du côté opposé au côté d'insertion du récipient par l'utilisateur, ce qui conduisait à un "défaut de soutien" (« sling defect » en anglais). Outre l'adresse nécessaire, l'opération nécessitait que l'utilisateur soit placé juste au-dessus du gâteau tandis que le mélange formateur d'uréthane était déversé, ce qui exposait l'utilisateur à des risques d'éclaboussures et d'émanations. De plus, pour réduire les coûts en matières premières, le pompage du mélange formateur d'uréthane devait être arrêté après le remplissage de chaque moule, ce qui conduisait à des rendements plus bas et des pertes de matières premières. Le brevet chinois publié no. CN 204249185 U, au nom de Chengzhong, décrit dans un modèle d'utilité un dispositif de collecte de déchets pour collecter une mousse de polyuréthane non durcie dans un processus de moulage de manière à empêcher la mousse de dégoutter ou de se répandre sur ou dans un moule déjà rempli. Le dispositif de Chengzhong inclut une plaque de collecte de déchets circulaire montée à rotation sur une traverse mobile qui repose juste au-dessus du moule et suit un dispositif de remplissage de moule ou distributeur de manière à empêcher le distributeur de laisser échapper de la matière sous forme de mousse dans le moule après son remplissage. Le dispositif de Chengzhong 3054973 3 comporte une lame qui racle la mousse collectée sur la plaque et l'introduit dans un récipient de collecte. Le brevet de Chengzhong ne décrit pas des procédés de moulage continu ou une quelconque solution pour permettre le déversement continu dans des moules successifs. 5 La présente demanderesse a conçu un procédé de moulage continu pour produire des gâteaux destinés à être utilisés dans la production de tampons de polissage mécano-chimique dépourvus de défauts, comme les défauts de soutien. 10 EXPOSE DE L'INVENTION La présente invention concerne un appareil destiné à être utilisé dans le mélange et la distribution d'un courant de fluide durcissable, de préférence sous forme d'une mousse, dans un moule ouvert pour remplir le moule pour produire des tampons de polissage pour la planarisation 15 mécano-chimique de substrats, comme des semi-conducteurs et des lentilles, qui comprend un cadre de dispositif d'actionnement sur lequel est monté un jeu de plaques, de préférence deux plaques, fixées de manière amovible au cadre de dispositif d'actionnement et adaptées pour couper le courant de fluide durcissable quand le moule est plein et pour être libérées 20 du cadre de dispositif d'actionnement après la coupe du courant de fluide durcissable, et une unité de distributeur pour le déversement continu du courant de fluide durcissable dans un moule ouvert, où l'appareil, l'unité de distributeur, ou l'unité de distributeur et le cadre de dispositif d'actionnement sont adaptés pour permettre le retrait des plaques libérées 25 du cadre de dispositif d'actionnement pendant le déversement continu après que le moule soit plein et pour permettre le déversement subséquent dans un nouveau moule, par exemple par relevage du cadre de dispositif d'actionnement et de l'unité de distributeur sur une distance suffisante pour permettre à un utilisateur de placer un récipient au-dessus 3054973 4 du moule pour intercepter les plaques, par exemple par l'utilisation d'une ou plusieurs unités de dispositif d'actionnement pour déplacer l'appareil. Dans certains modes de réalisation, le jeu de plaques comprend une plaque d'interception et une plaque de soutien, où, une fois que le 5 moule est plein, la plaque d'interception se déplace juste sous le courant de fluide durcissable à une distance d'au plus 2,54 cm ou, de préférence, à une distance d'au plus 1 cm de la surface du moule et la plaque de soutien se déplace sous la partie de la plaque d'interception qui se déplace juste sous le courant de fluide durcissable du côté du courant de fluide 10 durcissable opposé à la plaque d'interception pour intercepter tout courant de fluide durcissable qui est répandu par la plaque d'interception. Dans certains modes de réalisation, l'appareil comportant le cadre de dispositif d'actionnement sur lequel sont montés un ou plusieurs bras pour commander le mouvement du jeu de plaques et auxquels le jeu 15 de plaques est fixé de manière amovible, comporte de préférence un jeu de deux plaques et deux bras, comme une plaque d'interception fixée de manière amovible à un bras d'interception et une plaque de soutien fixée de manière amovible à un bras de soutien. Dans certains modes de réalisation, l'appareil comprend un 20 jeu de deux plaques, une plaque d'interception et une plaque de soutien, chaque plaque étant fixée de manière amovible à un bras qui est fixé à son extrémité opposée au cadre de dispositif d'actionnement, respectivement, un bras d'interception et un bras de soutien, où chaque bras se déplace de manière arquée pour former une ouverture entre les 25 deux plaques pour permettre l'écoulement du courant de fluide durcissable depuis l'unité de distributeur et pour maintenir l'ouverture ouverte tandis que le moule est en cours de remplissage, et, quand le moule est plein, pour fermer l'ouverture et pour couper l'écoulement du courant de fluide durcissable dans le moule, de sorte qu'une partie de la plaque 30 d'interception et une partie de la plaque de soutien se chevauchent à 3054973 5 l'endroit du courant de fluide durcissable, de préférence, la partie chevauchante de la plaque d'interception s'ajustant à coulissement dans la partie chevauchante de la plaque de soutien. Dans certains modes de réalisation le bras d'interception et le 5 bras de soutien sont fixés au cadre de dispositif d'actionnement, avec le bras gauche fixé au côté droit du cadre de dispositif d'actionnement et le bras droit fixé au côté gauche du cadre de dispositif d'actionnement de sorte que les bras eux-mêmes ne se touchent ni n'interfèrent mutuellement en aucun point. 10 Dans certains modes de réalisation, chaque plaque dans le jeu de plaques est libérée du cadre de dispositif d'actionnement par un dispositif d'actionnement à galet comprenant un galet sollicité par un ressort ou une attache et un boîtier de maintien/libération de plaque dans lequel au moins une partie de chaque plaque glisse, de sorte que le galet 15 ou attache maintient la plaque en position entre le galet ou attache et le boîtier de maintien/libération de plaque et de sorte que le dispositif d'actionnement à galet libère chaque plaque en soulevant le galet ou attache à distance du boîtier de maintien/libération de plaque et en permettant à la plaque de tomber à distance de l'appareil. 20 Dans certains modes de réalisation, un dispositif d'actionnement à galet est situé à l'extrémité de chaque bras, et chaque dispositif d'actionnement à galet libère chaque plaque de l'extrémité de chaque bras. Dans certains modes de réalisation chaque plaque dans le jeu 25 de plaques est constituée d'une matière jetable ou recyclable, comme le papier, le bambou, un polyester, comme le polyéthylènetéréphtalate (PET), ou une polyoléfine, comme le polyéthylène basse densité (LDPE). Dans certains modes de réalisation, l'appareil comprend en outre une ou plusieurs unités de dispositif d'actionnement, de préférence, 30 deux unités de dispositif d'actionnement adaptées pour déplacer l'unité de 3054973 6 distributeur, ou l'unité de distributeur et le cadre de dispositif d'actionnement, vers le haut et à distance de la surface du moule pour permettre à un utilisateur ou à un robot de placer un récipient sous le courant de fluide durcissable pour intercepter le jeu de plaques quand 5 elles sont libérées et pour intercepter le courant de fluide durcissable tandis qu'un nouveau moule est placé sous l'unité de distributeur et qu'un nouveau jeu de plaques est fixé au cadre de dispositif d'actionnement, la ou les unités de dispositif d'actionnement étant adaptées en outre pour abaisser l'unité de distributeur et le cadre de dispositif d'actionnement 10 dans une position pour déverser le courant de fluide durcissable dans le nouveau moule. Dans certains modes de réalisation, chaque unité de dispositif d'actionnement est choisie parmi un dispositif d'actionnement électronique programmable ayant une liaison mécanique qui permet un mouvement 15 programmé, comme un robot, de préférence un robot ayant un bras à six axes capable de mouvement axial XYZ et de mouvement de rotation, un dispositif d'actionnement entraîné par un engrenage, comme une vis à billes à axe Z automatique, et un dispositif d'actionnement pneumatique, comme une came ou cylindre pneumatique, de préférence un ou deux 20 robots programmés électroniquement. La présente invention concerne également des procédés pour utiliser l'appareil de l'un quelconque des modes de réalisation précédents, qui comprennent le mélange et le déversement continus d'un courant de fluide durcissable de l'unité de distributeur dans un moule pour former un 25 gâteau et la coupe du courant de fluide durcissable proprement au moyen de le jeu de plaques et à proximité de la surface supérieure du gâteau pour éviter les défauts ou la perte complète de tout le gâteau. Dans certains modes de réalisation, les procédés comprennent en outre l'interception de le jeu de plaques quand elles sont libérées du 30 cadre de dispositif d'actionnement, de préférence, d'un bras auquel 3054973 7 chaque plaque est fixée de manière amovible, et l'interception du courant de fluide durcissable quand il est coupé, l'interception comprenant le relevage de l'unité de distributeur ou du cadre de dispositif d'actionnement et de l'unité de distributeur sur une distance suffisante pour permettre à 5 un utilisateur de placer un récipient au-dessus du moule pour intercepter les plaques sans toucher la surface du moule et la mise en place sous le jeu de plaques et sous le courant de fluide durcissable d'un récipient suffisamment grand pour contenir le jeu de plaques et la quantité de courant de fluide durcissable qui s'écoule de l'unité de distributeur après la 10 coupe du courant de fluide durcissable et avant qu'un nouveau moule soit placé sous l'unité de distributeur. Dans certains modes de réalisation, les procédés comprennent en outre la mise en place d'un nouveau moule sous l'unité de distributeur et la fixation amovible d'un nouveau jeu de plaques sur le cadre de 15 dispositif d'actionnement, de préférence, chacune à l'extrémité d'un bras fixé au cadre de dispositif d'actionnement. Dans certains modes de réalisation, les procédés, le déversement continu est automatisé en synchronisation avec un convoyeur automatisé pour les moules pour placer un nouveau moule 20 sous l'unité de distributeur après que le moule soit plein et qu'un nouveau jeu de plaques a été fixée au cadre de dispositif d'actionnement. Sauf indication contraire, les conditions de température et de pression sont la température ambiante et la pression standard. Sauf indication contraire, tout terme contenant des parenthèses 25 peut désigner le terme entier contenant des parenthèses et le terme sans parenthèses, et les combinaisons de chaque alternative. Ainsi le terme "(poly)isocyanate" signifie isocyanate, polyisocyanate, ou leurs mélanges. Toutes les plages indiquées sont inclusives et combinables. Par exemple, le terme "une plage de 5x10-2 à 3 Pa.s (50 à 3000 30 cPs), ou de 10-1 Pa.s ou plus (100 cPs ou plus) ou plus" inclut 5x10-2 à 10- 3054973 8 1 Pa.s (50 à 100 cPs), 5x10-2 à 3 Pa.s (50 à 3000 cPs) et 10-1 à 3 Pa.s (100 à 3000 cPs). Tel qu'il est utilisé ici, le terme "dispositif d'actionnement" désigne un dispositif qui commande électroniquement, mécaniquement, 5 par exemple par le biais d'une liaison mécanique à un cylindre, et/ou mécaniquement le mouvement d'un autre élément auquel il est relié. Tel qu'il est utilisé ici, le terme "ASTM" désigne les publications de ASTM International, West Conshohocken, PA. Tel qu'il est utilisé ici, le terme "polyisocyanate" signifie toute 10 molécule contenant des groupes isocyanate, ayant trois ou plus de trois groupes isocyanate, y compris des groupes isocyanate bloqués. Tel qu'il est utilisé ici, le terme "prépolymère de polyisocyanate" signifie toute molécule contenant des groupes isocyanate qui est le produit de la réaction d'un excès de diisocyanate ou de polyisocyanate avec un 15 composé contenant de l'hydrogène actif contenant deux ou plusieurs groupes à hydrogène actif, comme les diamines, les diols, les triols et les polyols. Tel qu'il est utilisé ici, le terme "distance suffisante" désigne une distance supérieure, de préférence supérieure d'au moins 2 cm, ou, 20 de préférence encore, supérieure d'au moins 4 cm à la hauteur d'un récipient qui est placé entre, d'une part, l'unité de distributeur et le cadre de dispositif d'actionnement et, d'autre part, la surface supérieure d'un moule pour intercepter le jeu de plaques et un courant de fluide durcissable qui est déversé en continu. 25 Tel qu'il est utilisé ici, sauf indication contraire, le terme "% en poids de NCO" (wt.% NCO en anglais) désigne la quantité indiquée sur une fiche de spécifications ou MSDS pour un produit donné contenant des groupes NCO ou des groupes NCO bloqués. Tel qu'il est utilisé ici, le terme "% en poids" représente le 30 pourcentage en poids. 3054973 9 DESCRIPTION DES DESSINS La figure 1 représente un mode de réalisation d'un appareil selon la présente invention montrant, entre autres choses, le cadre de 5 dispositif d'actionnement pour le jeu de plaques. La figure 2 représente deux bras de l'appareil de la présente invention montré sur la figure 1, montrant une vue en perspective d'un jeu de deux plaques et d'un bras pour chaque plaque sur lequel est fixée de manière amovible une plaque pour couper le courant de fluide durcissable. 10 DESCRIPTION DETAILLEE La demanderesse a conçu un appareil qui permet la distribution continue d'un courant de fluide durcissable pour produire des tampons de polissage pendant le remplissage et entre les remplissages de 15 moules séparés utilisés pour produire des tampons de polissage mécano-chimique. Le jeu de plaques dans l'appareil de la présente invention maintient le courant de fluide durcissable suffisamment longtemps pour qu'un récipient ou collecteur, par exemple un bac, soit placé sous l'écoulement du courant de fluide durcissable de sorte que le jeu de 20 plaques qui maintenait la matière tombe dans le récipient. L'appareil de la présente invention contribue à éliminer les défauts de moulage, incluant les défauts de soutien tout en permettant à l'utilisateur de continuer à déverser le courant de fluide durcissable pour remplir d'autres moules. Tandis que, pour arrêter 'l'écoulement en stoppant la pompe, il faut 25 plusieurs secondes à une minute pour stabiliser de nouveau l'écoulement, ce qui conduit à des pertes de matières premières. En permettant une délivrance continue du courant de fluide durcissable, la demanderesse a constaté qu'il est possible de réduire les coûts en matières premières en évitant de purger l'appareil de mélange et de moulage après le 3054973 10 remplissage de chaque moule, c'est-à-dire quand chaque gâteau est déversé. L'appareil de la présente invention fonctionne dans les meilleures conditions avec deux plaques en les déplaçant de manière 5 arquée pour les amener ensemble au niveau de leur bord frontal à une distance pouvant atteindre 2,54 cm ou, de préférence, 1 cm de la surface du moule (gâteau) et en coupant ou tranchant le courant de fluide durcissable pour arrêter proprement son écoulement dans le moule. L'appareil relève ensuite les plaques et les libère dans un récipient, par 10 exemple un bac, qui est maintenu en place tandis que le courant de fluide durcissable s'écoule de manière continue jusqu'à ce que le moule suivant arrive puis est retiré, après quoi a lieu le déversement dans le moule ou gâteau suivant. Sans le jeu de (deux) plaques, il serait nécessaire de positionner un récipient (bac) sous le courant de fluide durcissable jusqu'à 15 ce que le moule ouvert suivant soit placé sous le courant. Le récipient peut détériorer le gâteau. Le jeu de plaques est jetable ou réutilisable. L'appareil est adapté pour permettre le déversement du courant de fluide durcissable dans un nouveau moule par le fait qu'il inclut un 20 boîtier de maintien/libération de plaque qui permet à chaque plaque dans le jeu de plaques de s'enclencher ou se fixer en place sur le boîtier. Pendant l'utilisation, on peut relever l'appareil en l'éloignant d'un moule rempli, et l'appareil libère alors le jeu de plaques du cadre de dispositif d'actionnement. Lorsque les plaques précédentes sont libérées, de 25 nouvelles plaques peuvent être fixées en place et l'appareil peut être positionné avec l'unité de distributeur juste au-dessus de la surface d'un nouveau moule, et les plaques peuvent être positionnées pour permettre à l'unité de distributeur de remplir le nouveau moule. Comme le montre la figure 1, un cadre de dispositif 30 d'actionnement 1 est relié à et commande deux bras, un bras 3054973 11 d'interception 2 et un bras de soutien 6. Le bras d'interception 2 est relié à son extrémité distale par rapport à la liaison au cadre de dispositif d'actionnement 1 à un boîtier de maintien/libération de plaque 3 auquel la plaque d'interception 4 est fixée de manière amovible. Le bras de soutien 5 6 est relié à son extrémité distale par rapport à la liaison au cadre de dispositif d'actionnement 1 à un boîtier de maintien/libération de plaque 11 auquel la plaque de soutien 5 est fixée de manière amovible. Le cadre de dispositif d'actionnement 1 est montré dans une position fermée dans laquelle la plaque d'interception 4 et la plaque de soutien 5 coupent le 10 courant de fluide durcissable 8 provenant de la buse 7, une unité de distributeur. Pendant l'utilisation, le cadre de dispositif d'actionnement 1 maintient le bras d'interception 2 et le bras de soutien 6 de sorte qu'il existe une ouverture entre la plaque d'interception 4 et la plaque de soutien 5 pour permettre au courant de fluide durcissable 8 de s'écouler 15 sans obstacle de la buse 7 dans un moule (non représenté), en-dessous. Quand le moule est plein, le bras de soutien 6 et le bras d'interception 2 du cadre de dispositif d'actionnement 1 se déplacent pour fermer toute ouverture entre eux, de sorte que la plaque d'interception 4 située sur le dessus intercepte la majeure partie du courant de fluide durcissable 8 20 tandis que la plaque de soutien 5 parvient en dessous et empêche toute éclaboussure du courant de fluide durcissable 8 sur le contenu du moule, situé au-dessous (non représenté). Plus spécifiquement, le bras de soutien 6 se déplace en sens inverse des aiguilles d'une montre de manière arquée et le bras d'interception 2 se déplace dans le sens des aiguilles 25 d'une montre de manière arquée pour fermer l'ouverture entre la plaque d'interception 4 et la plaque de soutien 5. Le positionnement des bras dans le cadre de dispositif d'actionnement de la présente invention est tel que le bras gauche est fixé au côté droit du cadre de dispositif d'actionnement et que le bras droit est 30 fixé au côté gauche du cadre de dispositif d'actionnement de sorte que les 3054973 12 bras ne se touchent pas. Ce positionnement permet l'angle de pivotement correct, de sorte que les bras ferment le jeu de plaques si bien qu'elles se chevauchent mutuellement à l'endroit du courant de fluide durcissable, avec un espace minimal ou absent entre elles. Par exemple, comme le 5 montre la figure 1, les bras (bras d'interception 2 et bras de soutien 6) sont montés sur des côtés opposés du cadre de dispositif d'actionnement 1 en utilisant l'axe d'écoulement du courant de fluide durcissable 8 comme axe central vertical (non représenté); quand le bras d'interception 2 et le bras de soutien 6 sont dans une position fermée, la plaque 10 d'interception 4 et la plaque de soutien 5 se chevauchent sans espace entre leurs extrémités qui se chevauchent. Comme le montre la figure 1, le boîtier de maintien/libération de plaque 3 comprend un galet sollicité par un ressort monté sur un dispositif d'actionnement à galet 9. Pendant l'utilisation, le dispositif 15 d'actionnement à galet 9 maintient la plaque d'interception 4 en position entre le galet et le boîtier de maintien/libération de plaque 3; le dispositif d'actionnement à galet libère la plaque d'interception 4 en retirant le galet à distance de la plaque et en permettant à la plaque d'interception 4 de tomber à distance de l'appareil. Un autre boîtier de maintien/libération de 20 plaque 11, identique, sur le bras de soutien 6 comprend un dispositif d'actionnement à galet 10 qui maintient la plaque de soutien 5 en position entre le galet et le boîtier de maintien/libération de plaque 11; le dispositif d'actionnement à galet libère la plaque de soutien 5 en retirant le galet à distance de la plaque. Pendant l'utilisation de l'appareil, le cadre de 25 dispositif d'actionnement 1 ou un robot maintenant le cadre de dispositif d'actionnement 1 est relevé de la surface du moule tandis qu'un autre dispositif d'actionnement ou robot (non représenté) soulève la buse 7 de la surface du moule pour permettre à un utilisateur ou à encore un autre dispositif d'actionnement (non représenté) de placer un récipient 30 approprié (non représenté) sous la plaque d'interception 4 et la plaque de 3054973 13 soutien 5, ce qui permet à la plaque d'interception 4 et à la plaque de soutien 5 d'être retirées de l'appareil. Pendant l'utilisation, la plaque d'interception 4 et la plaque de soutien 5 sont libérées simultanément dans un seul récipient. 5 Comme le montre la figure 2, le boîtier de maintien/libération de plaque 3 (Fig. 1) sur la plaque d'interception 4 (Fig. 1) comprend le dispositif d'actionnement à galet 9. Le boîtier de maintien/libération de plaque 11 (Fig. 1) sur la plaque de soutien 5 (Fig. 1) comprend le dispositif d'actionnement à galet 10 (Fig. 1). Dans le mécanisme montré 10 sur la figure 2, des galets pincent les plaques avec un cylindre à air sollicité par un ressort. Le cylindre déplace les galets vers l'intérieur et vers l'extérieur, ce qui permet de libérer les plaques tandis que le ressort pousse les plaques vers le bas en les pinçant et les maintient en place. Chaque bras fixé au cadre de dispositif d'actionnement, de 15 préférence le bras d'interception et le bras de soutien, peut être monté sur un tourillon ou axe avec un engrenage ou un excentrique relié à un engrenage, ou, dans le cas d'un excentrique, un galet. Ainsi, sur le cadre de dispositif d'actionnement, quand on est face à l'unité, le bras de soutien se déplace dans le sens des aiguilles d'une montre pour s'ouvrir et 20 dans le sens inverse des aiguilles d'une montre pour se fermer et le bras d'interception se déplace en sens inverse des aiguilles d'une montre pour s'ouvrir et dans le sens des aiguilles d'une montre pour se fermer. De préférence, les bras qui sont fixés au cadre de dispositif d'actionnement peuvent être déplacés par des dispositifs d'actionnement 25 rotatifs électriques et/ou par un actionnement robotique, par exemple, un robot commandé électroniquement à six axes dans lequel le sixième axe entraîne un jeu d'engrenages pour réaliser un mouvement d'accélération et de décélération plus contrôlé et programmable. Tel qu'il est utilisé ici, le terme "axe" désigne un plateau dans 30 un robot avec des fixations montées sur celui-ci pouvant tourner 3054973 14 axialement. Par exemple un robot à six axes comporte six plateaux de ce type. Chaque plaque dans le jeu de plaques est configurée pour s'adapter à coulissement à une extrémité (à distance du courant de fluide 5 durcissable) dans un boîtier de maintien/libération de plaque. Le boîtier de maintien/libération de plaque comprend une bride contre laquelle le dispositif d'actionnement à galet peut s'appuyer pour former une attache ou dispositif de maintien pour la plaque; il suffit que la bride soit de taille suffisante pour recevoir une extrémité de la plaque à l'intérieur. 10 Chaque plaque dans le jeu de plaques est jetable ou recyclable et peut être constituée par du papier, du bambou, du bois, un composite à base de bois ou une matière plastique recyclable, comme le polyéthylène basse densité (LDPE) ou le polyéthylène téréphtalate (PET). Les récipients pour intercepter le jeu de plaques peuvent être 15 tous récipients de taille suffisante pour contenir toutes les plaques et la quantité de courant de fluide durcissable qui est déversée depuis le moment où le courant de fluide durcissable est coupé jusqu'au moment où un nouveau moule est situé sous l'unité de distributeur et un nouveau jeu de plaques est fixé au cadre de dispositif d'actionnement ou à ses bras. 20 Les unités de dispositif d'actionnement qui déplacent l'appareil de la présente invention, y compris l'unité ou les unités de dispositif d'actionnement pour l'unité de distributeur et le cadre de dispositif d'actionnement, peuvent être choisies parmi un dispositif d'actionnement électronique programmable ayant une liaison mécanique qui permet un 25 mouvement programmé comme un robot, de préférence un robot ayant un bras à six axes capable de mouvement axial XYZ et de mouvement de rotation, un dispositif d'actionnement entraîné par un engrenage et un dispositif d'actionnement pneumatique, comme un cylindre pneumatique, de préférence, un robot programmé électroniquement. 3054973 15 De préférence, les unités de dispositif d'actionnement qui soulèvent et abaissent l'unité de distributeur et le cadre de dispositif d'actionnement qui déplace le jeu de plaques comprennent des robots. Par exemple, un robot soulève et abaisse l'unité de distributeur, tandis qu'un 5 autre robot soulève et abaisse le cadre de dispositif d'actionnement. De préférence encore, un troisième robot déplace un récipient sous le jeu de plaques lorsque l'unité de distributeur et le cadre de dispositif d'actionnement ont été soulevés à distance de la surface du moule de manière à permettre l'insertion du récipient sous le jeu de 10 plaques. Pour réduire l'encombrement, l'unité ou les unités de dispositif d'actionnement de la présente invention ainsi que le dispositif d'actionnement à galet comprennent de préférence un dispositif d'actionnement programmable électroniquement. 15 Le dispositif d'actionnement à galet de la présente invention maintient chaque plaque du jeu de plaques en place et déplace un galet ou attache qui maintient chaque plaque du jeu de plaques en place pour libérer la plaque. L'appareil de la présente invention est utilisé en liaison avec un 20 équipement pour le stockage, le mélange ou la formation et la distribution des différents composants d'un courant de fluide durcissable pour produire des tampons de polissage; et l'appareil est spécifiquement lié et positionné à la sortie de l'équipement de distribution, par exemple une unité de distributeur. 25 Un appareil de mélange approprié pour former le courant de fluide durcissable destiné à être utilisé dans la présente invention peut comprendre un réservoir de stockage pour chacun des composants du courant de fluide durcissable, un réservoir de mélange et un dispositif de distribution, comme une entrée commandée par une vanne pour le 30 mélange fluide incluant une ouverture, par exemple une buse ou une 3054973 16 sortie pour distribuer le courant de fluide durcissable dans un moule ouvert. Des appareils appropriés pour former le courant de fluide durcissable peuvent être trouvés, par exemple, dans le brevet U.S. no. 7,275,928 B2, au nom de Kolesar et al. 5 L'appareil de mélange peut inclure une ou plusieurs entrées de gaz, de préférence de l'air ou de l'oxygène, couplées à un réservoir de stockage ou un réservoir de mélange en amont quelconque. Toutes les entrées de gaz peuvent être couplées en retour à une seule source de gaz. Le réservoir de mélange peut être, par exemple, un réservoir de 10 préparation de prémélange pour recevoir, séparément, le ou les composants de la matière fluide depuis les réservoirs de stockage en des proportions souhaitées ou fixées sous forme d'un prémélange fluide et pour former un courant de fluide durcissable ayant une masse volumique apparente souhaitée. 15 De préférence, les réservoirs de stockage incluent des réservoirs séparés pour un polymère ou une résine fluide, comme un polyisocyanate, et un agent de durcissement fluide, comme une diamine ou triamine aromatique. De préférence encore, les réservoirs de stockage incluent des 20 réservoirs séparés pour un polymère ou une résine fluide, pour des microsphères ou des ingrédients porogènes, et pour un agent de durcissement fluide. De préférence, les microsphères ou les ingrédients porogènes sont stockés dans une trémie de fluidisation qui comprend une membrane 25 poreuse disposée au-dessus d'un distributeur relié à une source de gaz de fluidisation, comme l'air ou l'oxygène, via un conduit d'entré de gaz, où les microsphères ou les ingrédients porogènes sont fluidisés et leur masse volumique apparente est ainsi réduite. 3054973 17 Un exemple de trémie de fluidisation appropriée peut être trouvé, par exemple, dans le brevet U.S. no. 7,396,497 B2 au nom de Koetas et al. Quand ils sont utilisés pour former des courants de fluide 5 durcissables à partir de multiples matières qui ne réagissent pas lors du mélange, comme les polyuréthanes et les charges, par exemple des prépolymères de polyisocyanate et des microsphères, de telles matières peuvent être mélangées pour former un prémélange fluide ayant une masse volumique apparente souhaitée. Dans un tel cas, l'appareil de 10 mélange de la présente invention peut comprendre en outre un réservoir pour le prémélange fluide et une boucle de recirculation pour faire recirculer le prémélange fluide dans le réservoir de préparation de prémélange et pour mélanger le prémélange fluide jusqu'à ce qu'il soit mélangé de manière homogène et présente la masse volumique apparente 15 souhaitée pour le moulage, par exemple de 0,5 à 1,2 g/cm3. De préférence, l'appareil de mélange comprend un réservoir pour un polymère ou une résine fluide, un réservoir pour des microsphères ou des ingrédients porogènes, et un réservoir pour un ou plusieurs agents de durcissement, ainsi qu'un réservoir de préparation de 20 prémélange incluant la boucle de recirculation pour mélanger le polymère ou la résine fluide et les microsphères ou les ingrédients porogènes pour former un prémélange de polymère, et en aval de ceci, le réservoir de mélange, qui est un réservoir de traitement de prémélange pour mélanger le ou les agents de durcissement avec le prémélange de polymère pour 25 former le courant de fluide durcissable. Le réservoir de traitement de prémélange est situé juste en amont de l'ouverture pour la distribution du courant de fluide durcissable dans un moule ouvert. De préférence, pour minimiser l'entraînement de gaz dans le courant de fluide durcissable et tout défaut dans les produits moulés qui 30 en résulte, l'appareil de mélange comprend en aval du réservoir de 3054 9 73 18 mélange un ensemble de tête mélangeuse adapté pour recevoir le contenu du réservoir de mélange et pour distribuer le courant de fluide durcissable résultant dans un moule. Un exemple d'ensemble de tête mélangeuse approprié peut 5 être trouvé, par exemple, dans le brevet U.S. no. 7,947,098 B2, au nom de Esbenshade et al. L'appareil de la présente invention comprend l'unité de distributeur et le cadre de dispositif d'actionnement L'appareil de la présente invention traite un courant de fluide 10 durcissable utilisé pour mouler un tampon de polissage mécano-chimique. Un exemple de courant de fluide durcissable selon la présente invention peut être un composant uréthane contenant un composant microsphères, ou un composant uréthane contenant un composant agent de durcissement et un composant microsphères polymériques. Quand le 15 composant uréthane contient un composant agent de durcissement, la combinaison des deux composants est utilisée directement et ces deux composants sont combinés juste avant le remplissage d'un moule et le durcissement. Le composant uréthane peut comprendre un ou plusieurs 20 prépolymères d'uréthane à terminaison isocyanate qui sont le produit de la réaction d'un ou plusieurs prépolymères polyols ayant un certain nombre de moles de groupes hydroxyle avec un diisocyanate dans un nombre de moles en excès de réactifs contenant des groupes isocyanate; où le prépolymère d'uréthane à terminaison isocyanate a 2 à 12 % en poids de 25 groupes isocyanate (NCO) qui n'ont pas réagi. Les composés isocyanates appropriés sont les diisocyanates aliphatiques, aromatiques et alicycliques, comme ceux choisis parmi le 2,4-toluènediisocyanate; le 2,6-toluènediisocyanate; le 4,4'-diphénylméthanediisocyanate; le naphtalène-1,5-diisocyanate; le toluidine- 30 diisocyanate; le paraphénylènediisocyanate; le xylylène-diisocyanate; 3054973 19 l'isophoronediisocyanate; l'hexaméthylènediisocyanate; le 4,4'-dicyclohexylméthanediisocyanate; le cyclohexanediisocyanate; et leurs mélanges. Un prépolymère polyol approprié est choisi dans le groupe consistant en les diols, les polyols, les polyol diols, leurs copolymères et 5 leurs mélanges. De préférence, le prépolymère polyol est choisi parmi les polyéther polyols (par exemple le poly(oxytétraméthylène)glycol, le poly(oxypropylène)glycol et leurs mélanges); les polycarbonatepolyols; les polyesterpolyols; les polycaprolactonepolyols; leurs mélanges; et leurs 10 mélanges avec un ou plusieurs polyols de faible masse moléculaire choisis dans le groupe consistant en l'éthylèneglycol; le 1,2-propylèneglycol; le 1,3-propylèneglycol; le 1,2-butanediol; le 1,3-butanediol; le 2-méthy1-1,3-propanediol; le 1,4-butanediol; le néopentylglycol; le 1,5-pentanediol; le 3-méthyl-1,5-pentanediol; le 1,6-hexanediol; le 15 diéthylèneglycol; le dipropylèneglycol; et le tripropylèneglycol. De préférence encore, le prépolymère polyol est choisi dans le groupe consistant en le polytétraméthylèneétherglycol (PTMEG); les polyols contenant un ou des groupes ester (comme adipates d'éthylèneglycol, les adipates de butylèneglycol); les 20 polypropylèneétherglycols (PPG); les polycaprolactonepolyols; leurs copolymères; et leurs mélanges. De manière particulièrement préférable, le prépolymère polyol est choisi parmi le PTMEG et le PPG. De préférence, le prépolymère d'uréthane à terminaison isocyanate de la présente invention est un prépolymère de polyisocyanate 25 linéaire contenant deux groupes isocyanate. De préférence, le prépolymère d'uréthane à terminaison isocyanate utilisé dans le procédé de la présente invention a 2 à 10 % en poids (de préférence encore 4 à 8 % en poids; de manière 3054973 20 particulièrement préférable 5 à 7 % en poids) de groupes isocyanate (NCO) qui n'ont pas réagi. Le composant agent de durcissement peut comprendre une diamine aromatique ou d'autres amines multifonctionnelles, comme des 5 diamines aromatiques, par exemple, la 4,4'-méthylène-bis-o-chloroaniline ("MbOCA"); la 4,4'-méthylène-bis-(3-chloro-2,6-diéthylaniline) ("MCDEA"); la diméthylthiotoluènediamine; le triméthylèneglycol di-p-aminobenzoate; le polytétrarnéthylèneoxyde di-p-aminobenzoate; le polytétraméthylèneoxyde mono-p-aminobenzoate; le polypropylèneoxyde di-p-a mino- 10 benzoate; le polypropylèneoxyde mono-p-aminobenzoate; le 1,2-bis(2-aminophénylthio)éthane; la 4,4'-méthylène-bis-aniline; la diéthyltoluènediamine; la 5-tert-butyl-2,4-toluènediamine; la 3-tert-buty1-2,6-tol uènediami ne; la 5-tert-a my1-2,4-tol uènediami ne; et la 3-tert-amyl-2,6-toluènediamine et la chlorotoluènediamine. 15 Le composant microsphères peut comprendre des microsphères polymériques ou des ingrédients porogènes comme, par exemple, des bulles de gaz piégées, des matières polymériques à noyau creux, comme des microsphères polymériques, des matières polymériques à noyau creux rempli de liquide, comme des microsphères polymériques remplies de 20 fluide, des matières solubles dans l'eau et une matière en phase insoluble (par exemple huile minérale). De préférence, les microsphères comprennent des matières polymériques à noyau creux distribuées uniformément dans tout le courant de fluide durcissable. De préférence, les microsphères ont un diamètre moyen en 25 poids inférieur à 150 pm (de préférence encore inférieur à 100 pm; de manière particulièrement préférable de 5 à 50 pm). De préférence, la pluralité de microéléments comprend des microsphères polymériques ayant des parois d'enveloppe en polyacrylonitrile ou en copolymère de polyacrylonitrile (par exemple billes 30 ExpancelTM de Akzo Nobel, Amsterdam, Pays-Bas). 3054973 21 Selon la présente invention, les microsphères sont incorporées dans le courant de fluide durcissable à une porosité de 0 à 50 vol.%, ou, de préférence, à une porosité de 5 à 35 vol.%. Le tampon de polissage mécano-chimique de la présente 5 invention produit présente une masse volumique > 0,6 g/cm3 telle qu'elle est mesurée selon ASTM D1622-08 (2008). Ainsi, le tampon de polissage mécano-chimique de la présente invention produit présente une masse volumique de 0,6 à 1,2 g/cm3, ou, de préférence, de 0,7 à 1,1 g/cm3, ou, de préférence encore, de 0,75 à 1,0 g/cm3) telle qu'elle est mesurée selon 10 ASTM D1622-08 (2008). Le tampon de polissage mécano-chimique de la présente invention peut être disposé sur une couche de base, comme un non-tissé traité avec un polymère ou une résine. Pour permettre le déversement continu d'un courant de fluide 15 durcissable selon la présente invention, les procédés d'utilisation de l'appareil de la présente invention comprennent le mélange et le déversement continus d'un courant de fluide durcissable depuis une unité de distributeur dans un moule pour former un gâteau et la coupe du courant de fluide durcissable nettement et à proximité, par exemple à une 20 distance inférieure ou égale à 2,54 cm, ou, de préférence, à 1 cm ou moins de la surface supérieure du gâteau pour éviter les défauts ou la perte totale de tout le gâteau. Dans les procédés de la présente invention ce processus de déversement continu peut être automatisé avec un convoyeur 25 automatique pour les moules. EXEMPLES: Des essais de moulage ont été réalisés avec un processus continu de la présente invention utilisant un polyuréthane à un composant 30 chargé de polymère en microsphères mélangé et déversé dans un moule 3054973 22 en forme de gâteau rond via une unité de distributeur disposée verticalement. L'exemple 1 (selon l'invention) et l'exemple comparatif 2 ont été réalisés chacun pour un total de 5 moules (gâteaux). Dans l'exemple 1, l'appareil de la présente invention tel qu'il est 5 montré sur la figure 1 a été utilisé, un opérateur insérant un bac de 3,785 L sous l'unité de distributeur pour intercepter le jeu de deux plaques, une plaque d'interception et une plaque de soutien, et le polyuréthane chargé de polymère en microsphères a été déversé après que chaque moule soit plein et avant que le déversement dans le moule suivant puisse 10 commencer. En outre, dans l'exemple 1, l'appareil était fixé à une vis à billes à axe Z automatique relevant et abaissant l'unité de distributeur et le cadre de dispositif d'actionnement dans et hors des moules. Dans l'exemple comparatif 2, l'unité de distributeur et le cadre de dispositif d'actionnement étaient déplacés par un robot avec tous les 15 axes dans une position fixée pour permettre l'égouttage dans un bac de 3,785 L après chaque gâteau pour tout débordement. Avant le déplacement dans ce bac, le polyuréthane chargé de polymère en microsphères devait être stoppé. Les cinq moules dans l'exemple 1 ont été remplis en un temps 20 plus court de 14 °A) que le temps nécessaire pour remplir les moules dans l'exemple comparatif 2. De plus, au cours du remplissage des cinq moules, la quantité de polyuréthane chargé de polymère en microsphères perdue entre les déversements dans les moules dans l'exemple 1 était inférieure de 50 % à la quantité perdue dans l'exemple comparatif 2. Dans l'exemple 25 1, les produits moulés obtenus n'avaient pas de défauts de soutien, bien que le processus de distribution et de moulage soit continu. REVENDICATIONS1. Appareil destiné à être utilisé dans le mélange et la distribution d'un courant de fluide durcissable dans un moule ouvert pour remplir le moule pour produire des tampons de polissage pour la planarisation mécano-chimique de substrats caractérisé en ce qu'il comprend un cadre de dispositif d'actionnement (1) sur lequel est monté un jeu de deux plaques (4, 5) fixées de manière amovible au cadre de dispositif d'actionnement (1) et adaptées pour couper le courant de fluide durcissable (8) quand le moule est plein, et pour être libérées du cadre de dispositif d'actionnement (1) après la coupe du courant de fluide durcissable (8), et une unité de distributeur (7) pour le déversement continu du courant de fluide durcissable (8) dans un moule ouvert, l'appareil étant adapté pour permettre le retrait des plaques (4, 5) libérées du cadre de dispositif d'actionnement (1) pendant le déversement continu après que le moule soit plein. 2. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que le jeu de plaques comprend une plaque d'interception (4) et une plaque de soutien (5), où, une fois que le moule est plein, la plaque d'interception (4) est configurée pour se déplacer juste sous le courant de fluide durcissable (8) à une distance de la surface du moule d'au plus 2,54 cm et où la plaque de soutien (5) est configurée pour se déplacer sous la partie de la plaque d'interception (4) qui se déplace juste sous le courant de fluide durcissable (8) du côté du courant de fluide durcissable (8) opposé à la plaque d'interception (4) pour intercepter tout courant de fluide durcissable (8) qui est répandu par la plaque d'interception (4). 3. Appareil selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce qu'un jeu de deux bras (2, 6) est monté sur le cadre de dispositif 30 d'actionnement (1) pour commander le mouvement du jeu de deux 3054 9 73 24 plaques, les plaques étant une plaque d'interception (4) fixée de manière amovible à un bras d'interception (2) et une plaque de soutien (5) fixée de manière amovible à un bras de soutien (6). 4. Appareil selon la revendication 3 caractérisé en ce qu'il 5 comprend le jeu de deux plaques, la plaque d'interception (4) et la plaque de soutien (5), chaque plaque étant fixée de manière amovible à un bras (2, 6) qui est fixé à son extrémité opposée au cadre de dispositif d'actionnement (1), où chaque bras est configuré pour se déplacer de manière arquée pour former une ouverture entre les deux plaques (4, 5) 10 pour permettre l'écoulement du courant de fluide durcissable (8) depuis l'unité de distributeur (7) et pour maintenir l'ouverture ouverte tandis que le moule est en cours de remplissage, et, quand le moule est plein, pour fermer l'ouverture et pour couper l'écoulement du courant de fluide durcissable (8) dans le moule, de sorte qu'une partie de la plaque 15 d'interception (4) et une partie de la plaque de soutien (5) se chevauchent à l'endroit du courant de fluide durcissable (8). 5. Appareil selon la revendication 3 ou 4, caractérisé en ce que le bras d'interception (2) et le bras de soutien (6) sont fixés au cadre de dispositif d'actionnement (1), avec le bras gauche fixé au côté droit du 20 cadre de dispositif d'actionnement (1) et le bras droit fixé au côté gauche du cadre de dispositif d'actionnement (1) de sorte que les bras eux-mêmes ne se touchent ni n'interfèrent mutuellement en aucun point. 6. Appareil selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que chaque plaque dans le jeu de plaques 25 est configurée pour être libérée du cadre de dispositif d'actionnement (1) par un dispositif d'actionnement à galet (9, 10) comprenant un galet sollicité par un ressort ou une attache et un boîtier de maintien/libération de plaque (3, 11) dans lequel au moins une partie de chaque plaque est configurée pour glisser, de sorte que le galet ou attache maintient la plaque en position entre le galet ou attache et le boîtier de 3054973 25 maintien/libération de plaque et de sorte que le dispositif d'actionnement à galet libère chaque plaque en soulevant le galet ou attache à distance du boîtier de maintien/libération de plaque et en permettant à la plaque de tomber à distance de l'appareil. 5 7. Appareil selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que chaque plaque dans le jeu de plaques est constituée d'une matière jetable ou recyclable, comme le papier, le bambou, un polyester, comme le polyéthylène téréphtalate (PET), ou une polyoléfine, comme le polyéthylène basse densité (LDPE). 10 8. Appareil selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une ou plusieurs unités de dispositif d'actionnement adaptées pour déplacer l'unité de distributeur (7) ou l'unité de distributeur (7) et le cadre de dispositif d'actionnement (1) vers le haut et à distance de la surface du moule pour 15 permettre à un utilisateur ou à un robot de placer un récipient sous le courant de fluide durcissable (8) pour intercepter le jeu de plaques quand elles sont libérées et pour intercepter le courant de fluide durcissable (8) tandis qu'un nouveau moule est placé sous l'unité de distributeur (7) et qu'un nouveau jeu de plaques est fixé au cadre de dispositif 20 d'actionnement (1), la ou les unités de dispositif d'actionnement étant adaptées en outre pour abaisser l'unité de distributeur et le cadre de dispositif d'actionnement dans une position pour déverser le courant de fluide durcissable dans le nouveau moule. 9. Appareil selon la revendication 8, caractérisé en ce que 25 chaque unité de dispositif d'actionnement est choisie parmi un dispositif d'actionnement électronique programmable ayant une liaison mécanique qui permet un mouvement programmé, un dispositif d'actionnement entraîné par un engrenage et un dispositif d'actionnement pneumatique. 10. Appareil selon la revendication 9, caractérisé en ce que 30 chaque unité de dispositif d'actionnement est un robot électronique 3054973 26 programmable ayant une liaison mécanique qui permet un mouvement programmé.