Brevet FR3051973A1 — publié le 20171201

DOMAINE TECHNIQUE DE L'INVENTION La présente invention concerne le domaine de la microélectronique et de la nanoélectronique et plus particulièrement le domaine des transistors partiellement désertés et des transistors totalement désertés montés sur une 5 même tranche de semi-conducteur. ETAT DE LA TECHNIQUE Dans le domaine des circuits intégrés formés à partir de substrats élaborés de type semi-conducteur sur isolant, désignés par leur acronyme SOI, 10 de l'anglais « Semiconductor On Insulator », il existe généralement deux types de transistors utilisés : Des transistors dits partiellement désertés désignés par leur acronyme PDSOI, de l'anglais « Partially Depleted Semiconductor On Insulator », et des transistors dits totalement désertés désignés par leur acronyme FDSOI, de l'anglais « Fully Depleted Semiconductor On Insulator ». 15 Un substrat élaboré SOI est caractérisé par la présence d'une fine couche superficielle de semi-conducteur monocristallin, du silicium monocristallin par exemple, reposant sur une couche continue isolante d'oxyde, par exemple d'oxyde de silicium, dit oxyde enterré ou encore BOX acronyme de l'anglais « Buried Oxide layer ». La solidité et la rigidité mécanique de l'ensemble sont 20 assurées par une couche sur laquelle repose la BOX et qui constitue le corps du substrat SOI, souvent qualifié du vocable anglais de « bulk » pour indiquer que le substrat de départ est très généralement fait d'un matériau semiconducteur massif, du silicium par exemple. Cette structure offre de nombreux avantages pour la réalisation des transistors MOS acronyme de l'anglais 25 « Metal-Oxide-Semiconductor ». Notamment, elle permet une réduction drastique des capacités parasites en raison de la présence de la couche continue isolante. Les deux types de transistors FDSOI et PDSOI répondent à des besoins spécifiques dans le domaine de l'électronique analogique et numérique, et plus 30 particulièrement dans le domaine de l'électronique radiofréquence. Il est ainsi connu de l'art antérieur des dispositifs électroniques comprenant des transistors FDSOI et des transistors PDSOI sur des mêmes puces électroniques. 3051973 2 L'art antérieur présente alors plusieurs solutions de formation de ce type de dispositifs électroniques. Toutefois des solutions s'avèrent relativement complexes et couteuses à mettre en oeuvre afin d'obtenir de manière reproductible et sur une même puce des transistors dont les performances sont élevées. Il existe donc un réel besoin de simplifier la fabrication et de diminuer les coûts de production de ce type de dispositifs électroniques. RESUME DE L'INVENTION La présente invention concerne un procédé de formation d'un dispositif électronique destiné à accueillir au moins un transistor totalement déserté (FDSOI) et au moins un transistor partiellement déserté (PDSOI), à partir d'un empilement de couches comprenant au moins une couche isolante surmontée d'au moins une couche active en un matériau semi-conducteur, le procédé comprenant au moins les étapes suivantes : - Former au moins une tranchée isolante à travers l'épaisseur de la couche active pour définir dans ladite couche active, de part et d'autre de la tranchée isolante, au moins une première région active sur laquelle est destiné à être formé au moins un transistor partiellement déserté (PDSOI) et au moins une deuxième région active sur laquelle est destiné à être formé au moins un transistor totalement déserté (FDS01) ; - Former, au-dessus de l'au moins une première région active et sur une partie de la tranchée isolante, une couche de masquage sans recouvrir l'au moins une deuxième région active et sans recouvrir une partie de la tranchée isolante ; - Graver simultanément par une gravure sèche de sorte à former des zones gravées : o une partie de l'épaisseur de la couche active de l'au moins une deuxième région active de manière à former au moins une deuxième région active amincie et à obtenir, dans l'au moins une deuxième région active amincie, une épaisseur de la couche active plus faible que dans l'au moins une première région active ; 3051973 3 o au moins une partie de l'épaisseur de la partie non recouverte de la tranchée isolante de sorte à former une partie gravée de la tranchée isolante ; o et la totalité de la couche de masquage. 5 - Ajuster, après l'étape de gravure sèche, la hauteur de la surface de l'au moins une deuxième région active amincie à la hauteur de la surface de ladite partie gravée de la tranchée isolante. La présente invention permet de former sur un même substrat semi- 10 conducteur de préférence de type SOI, une pluralité de transistors partiellement désertés de type PDSOI et de transistors totalement désertés de type FDSOI en un minimum d'étapes par l'utilisation d'étapes à la fois économiques en termes de temps de procédé mais également par rapport aux chimies utilisées couramment dans l'art antérieur. La présente invention bénéficie en effet d'une 15 synergie de ces étapes afin de maximiser l'utilité de chacune d'entre elles tout en minimisant leur nombre. Cette synergie repose sur deux étapes que sont une étape de gravure sèche et une étape de formation d'une couche d'oxyde sacrificielle : la gravure 20 sèche permet de graver simultanément une pluralité de couches et de matériaux différents et la couche d'oxyde sacrificielle permet d'améliorer les performances du transistor FDSOI tout en facilitant la formation des zones de sources et de drains par son effet d'écrantage lors des étapes d'implantation ionique ultérieures. 25 La gravure sèche est une étape permettant d'amincir rapidement et simplement une région de la couche active tout en amincissant une portion des tranchées isolantes environnant ladite région amincie de la couche active. 30 Avantageusement, cette étape de gravure sèche permet de retirer la couche de masquage, nommée également masque dur, des zones PDSOI en même temps qu'elle permet d'amincir une région de la couche active et une portion des tranchées isolantes. Afin d'être en mesure de graver simultanément 3051973 4 trois matériaux de nature différente et cela de manière à ce que l'épaisseur d'amincissement souhaitée corresponde à la gravure complète d'un des trois matériaux, de préférence la couche de masquage, le choix de leur nature et de leur structure est un point critique, tout comme le choix de la gravure sèche. 5 Avantageusement, un oxyde, de préférence de silicium, formé par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma dit oxyde LPCVD de l'acronyme anglais « Low-Pressure Chemical Vapor Deposition » et un oxyde, de préférence de silicium, formé par dépôt chimique en phase vapeur réalisée à 10 pression sous-atmosphérique dit oxyde PECVD de l'acronyme « Plasmaenhanced chemical vapor deposition » ont été astucieusement choisis afin de satisfaire cette condition. L'oxyde PECVD forme les tranchées isolantes tandis que l'oxyde LPCVD forme la couche de masquage. Ainsi, une seule étape de gravure permet ainsi de graver trois matériaux différents dans les conditions 15 d'amincissement et de retrait souhaitées. Cette étape de gravure sèche conduit cependant à la formation de gouttières au niveau de la jonction entre la région amincie de la couche active et les parties gravées des tranchées isolantes. Ces gouttières résultent 20 directement de la nature de la gravure sèche à l'interface entre deux matériaux différents et entraînent la formation ultérieure de rails de matériau polycristallin dans les étapes postérieures de la formation des transistors FDSOI. Ce phénomène de formation de gouttières, dit de « Microtrenching » en anglais, est bien connu de l'Homme du métier et l'aurait ainsi dissuadé d'utiliser une 25 gravure sèche afin d'amincir la couche active ainsi qu'une partie des tranchées isolantes. En effet, à première vue, ces gouttières laissent penser que les performances des transistors FDSOI seront amoindries. Toutefois, au cours du 30 développement de la présente invention, les effets de ces gouttières sur les performances des transistors ont pu être maîtrisés. De manière surprenante, l'étape d'ajustement de la hauteur de la surface de l'au moins une deuxième région amincie active à la hauteur de la surface de ladite partie gravée de la 3051973 5 tranchée isolante permet de maîtriser la structure de ces gouttières de telle sorte qu'elles ne nuisent pas aux performances des transistors FDSOI. Concernant l'utilisation d'une couche d'oxyde sacrificielle, celle-ci assure 5 au moins trois fonctions distinctes en synergie avec la problématique de la réduction du coût de fabrication et avec l'étape précédente de gravure sèche. En effet, cette couche d'oxyde sacrificielle permet, d'une part d'améliorer l'état de surface de la couche active amincie en éliminant les défauts de surface 10 de la région amincie de la couche active induits par la gravure sèche, et d'autre part d'ajuster la hauteur de cette région amincie de la couche active à la hauteur de la surface de la partie gravée de la tranchée isolante de sorte à éliminer les nuisances des gouttières et optimiser les performances du transistor FDSOI, tout en conservant des étapes exécutables simplement pour 15 obtenir ledit transistor. La présente invention concerne également un dispositif électronique destiné à accueillir au moins un transistor totalement déserté de type FDSOI et au moins un transistor partiellement déserté de type PDSOI obtenu par le 20 procédé selon la présente invention. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES Les buts, objets, ainsi que les caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront mieux de la description détaillée d'un mode de réalisation de cette 25 dernière qui est illustré par les dessins d'accompagnement suivants dans lesquels : - La figure 1 illustre, selon un mode de réalisation de la présente invention, un substrat de type SOI comprenant avantageusement une pluralité de couches situées à la surface d'une structure SOI dont une couche de 30 masquage. C'est de préférence à partir de ce type d'empilement de couches que la présente invention peut être mise en oeuvre. 3051973 6 - La figure 2 illustre, selon un mode de réalisation de la présente invention, une étape de dépôt d'une résine destinée à masquer les futures régions PDSOI. - La figure 3 illustre, selon un mode de réalisation de la présente 5 invention, le retrait de ladite pluralité de couches au niveau de la future région FDSOI. - La figure 4 illustre, selon un mode de réalisation de la présente invention, une étape de gravure sèche après avoir retiré ladite résine. Cette étape de gravure sèche a pour objectif, entre autre, d'amincir les couches non 10 recouvertes par ladite couche de masquage. - La figure 5 illustre, selon un mode de réalisation de la présente invention, l'état du substrat après l'étape de gravure sèche avec la présence d'une couche d'oxyde résiduelle et la présence de gouttières. - La figure 6 illustre, selon un mode de réalisation de la présente 15 invention, une étape de nettoyage humide configurée pour supprimer ladite couche d'oxyde résiduelle. - La figure 7 illustre, selon un mode de réalisation de la présente invention, une étape de formation d'une couche d'oxyde sacrificielle à la surface de la couche active amincie. 20 - La figure 8 illustre, selon un mode de réalisation de la présente invention, une étape d'ajustement de la hauteur de la couche d'oxyde sacrificielle à la hauteur de la couche d'oxyde PECVD. - La figure 9 illustre, selon un mode de réalisation de la présente invention, une étape de retrait d'une couche de nitrure. 25 - La figure 10 illustre, selon un mode de réalisation de la présente invention, une étape d'implantation ionique afin de former des zones de sources et de drains. - La figure 11 illustre, selon un mode de réalisation de la présente invention, un transistor FDSOI et deux transistors PDSOI formés selon un 30 exemple de mise en oeuvre de la présente invention. Les dessins joints sont donnés à titre d'exemples et ne sont pas limitatifs de l'invention. Ces dessins sont des représentations schématiques et ne sont pas nécessairement à l'échelle de l'application pratique. En particulier, 3051973 7 les épaisseurs relatives des couches et des substrats ne sont pas représentatives de la réalité. DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION 5 On entend par transistor PDSOI ou plus généralement dispositif PDSOI, un dispositif construit dans une zone dont l'épaisseur est plus grande que la couche maximale de déplétion (en anglais maximum depletion layer) \N - d_max. On entend par transistor FDSOI ou plus généralement dispositif FDSOI, 10 un dispositif construit dans une zone dont l'épaisseur est plus faible que la couche maximale de déplétion (en anglais maximum depletion layer) \N - d_max. L'épaisseur de cette couche maximale de déplétion \N - d_max est donnée par l'équation : Wd max = (2EsiEo2(PF /qN A) 1/2 15 Avec : - Es; : la constante diélectrique relative du silicium ; - cc): la constante diélectrique absolue du vide ; - (pF=(kT/q) In(N A 41 - k : la constante de Boltzmann ; 20 - T : la température ; - n 1: la concentration intrinsèque de porteurs du silicium - q : la charge électrique élémentaire ; - N A : la concentration en impuretés. Ce qui à la température ambiante (300 K) donne (pF =0.0259 In(N 25 .5x1 01°) Dans ce qui suit, on entend par : - « zone PDSOI », une zone du substrat destinée à recevoir au moins un transistor PDSOI et comprenant une couche active et une partie des tranchées isolantes situées de part et d'autre de la couche active 30 considérée. 3051973 8 « zone FDSOI », une zone du substrat destinée à recevoir au moins un transistor FDSOI et comprenant une couche active et une partie des tranchées isolantes situées de part et d'autre de la couche active considérée. 5 « région active PDSOI », une région du substrat comprenant une couche active destinée à la formation d'au moins un transistor PDSOI. « région active FDSOI », une région du substrat comprenant une couche active destinée à la formation d'au moins un transistor FDSOI. « oxyde PECVD », un oxyde formé par dépôt chimique en phase vapeur 10 assisté par plasma. « oxyde LPCVD », un oxyde formé par dépôt chimique en phase vapeur réalisé à pression sous-atmosphérique. Il est précisé que dans le cadre de la présente invention, le terme « tranche », « substrat » ou « puce » ou leurs équivalents ont pour définition un 15 dispositif comprenant avantageusement une ou plusieurs couches de semiconducteurs et configuré pour recevoir la formation de structures semiconductrices de type transistors par exemple. Il est précisé que dans le cadre de la présente invention, le terme « Substrat SOI », ou ses équivalents ont pour définition un substrat caractérisé 20 par la présence d'une couche superficielle de semi-conducteur monocristallin, du silicium monocristallin par exemple, reposant sur une couche continue isolante d'oxyde, par exemple d'oxyde de silicium, dit oxyde enterré ou encore BOX acronyme de l'anglais « buried oxide layer ». La solidité et la rigidité mécanique de l'ensemble sont assurées par une couche de support par 25 exemple en silicium. Il est précisé que, dans le cadre de la présente invention, les termes « sur », « surmonte » ou « sous-jacent » ou leurs équivalent ne signifient pas obligatoirement « au contact de ». Ainsi par exemple, le dépôt d'une première couche sur une deuxième couche, ne signifie pas obligatoirement que les deux 30 couches sont directement au contact l'une de l'autre mais cela signifie que la première couche recouvre au moins partiellement la deuxième couche en étant, soit directement à son contact, soit en étant séparée d'elle par une autre couche ou un autre élément. 3051973 9 Dans la description qui suit, les épaisseurs sont généralement mesurées selon des directions perpendiculaires au plan de la face inférieure de la couche à graver ou d'un substrat sur lequel la couche inférieure est disposée. Ainsi, les épaisseurs sont généralement prises selon une direction verticale sur les 5 figures représentées. Dans la description qui suit, on entend par « même hauteur » ou par ses équivalents, le fait que deux surfaces distinctes soient situées dans un même plan parallèle au substrat c'est-à-dire, relativement aux figures de l'exemple non limitatif, le fait que deux surfaces distinctes soient situées dans un même plan 10 horizontal. Dans ce qui suit, on entend par « mise à niveau », « ajustement de hauteur » ou par leurs équivalents, le fait de modifier l'épaisseur d'une couche de sorte à ce que sa surface soit située dans même plan que la surface d'une autre couche, typiquement un même plan horizontal relativement aux figures de 15 l'exemple non limitatif. Dans le cadre de la présente invention, on qualifie de résine un matériau organique ou organo-minéral pouvant être mis en forme par une exposition à un faisceau d'électrons, de photons ou de rayons X ou mécaniquement. Dans ce qui suit, on entend par « gravure » l'enlèvement partiel ou total 20 d'un matériau donné. Dans ce qui suit, on entend par « gravure humide », une technique de gravure nécessitant l'utilisation d'une chimie en milieu humide, par des bains généralement. Dans ce qui suit, on entend par « gravure sèche », une technique de 25 gravure dans un milieu non humide, et de préférence par l'utilisation d'un plasma. On entend par « conforme », une géométrie de couches qui présente, aux tolérances de fabrication près, une épaisseur constante malgré les changements de direction des couches, par exemple au niveau de flancs 30 verticaux de certaines structures. Le terme « étape » ne signifie pas obligatoirement que les actions menées durant une étape soient simultanées ou immédiatement successives. Certaines actions d'une première étape peuvent notamment être suivies d'actions liées à 3051973 10 une étape différente, et d'autres actions de la première étape peuvent être reprises ensuite. Ainsi, le terme étape ne s'entend pas forcément d'actions unitaires et inséparables dans le temps et dans l'enchaînement des phases du procédé. 5 On entend par « structure » d'un matériau, la répartition spatiale de ses constituants élémentaires d'un point de vue cristallographique. Ainsi deux couches d'un même matériau peuvent être de même nature mais présenter des structures cristallines différentes l'une de l'autre. On entend par « nature » d'un matériau, sa composition chimique et/ou sa 10 structure cristalline. Ainsi deux couches peuvent être de même composition chimique mais de nature différente d'un point de vue cristallographique. Avant d'entamer une revue détaillée de modes de réalisation de l'invention, sont énoncées ci-après des caractéristiques optionnelles qui 15 peuvent éventuellement être utilisées en association ou alternativement : - Avantageusement, la tranchée d'isolation 110 comprend au moins un oxyde formé par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma, cet oxyde est appelé par la suite oxyde PECVD. - Avantageusement la couche de masquage 330 comprend au moins un 20 oxyde formé par dépôt chimique en phase vapeur réalisée à pression sous-atmosphérique, cet oxyde est appelé par la suite oxyde LPCVD. - Avantageusement, l'oxyde PECVD est un oxyde de silicium. - Avantageusement, l'oxyde LPCVD est un oxyde de silicium. Le choix des conditions de dépôt et de la nature des oxydes PECVD et 25 LPCVD détermine leur vitesse de gravure respective lors de l'étape de gravure sèche 400. Selon un mode de réalisation de la présente invention, les conditions de formation et de gravure de ces deux oxydes sont configurées pour que le temps de gravure total de l'oxyde LPCVD corresponde à la gravure de l'épaisseur souhaitée de l'oxyde PECVD. 30 - Avantageusement, la gravure sèche 400, l'oxyde 110 formé par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma et l'oxyde 330 formé par dépôt chimique en phase vapeur réalisée à pression sous-atmosphérique sont configurés, en particulier l'épaisseur de ces oxydes 3051973 11 et/ou leur sélectivité à la gravure, pour que le temps de formation de l'au moins une partie gravée de la tranchée isolante 112 corresponde au temps de gravure de la totalité de l'épaisseur de la couche de masquage 330. 5 - Avantageusement, l'étape d'ajustement de la hauteur de la surface 221a de l'au moins une deuxième région active amincie 220a à la hauteur de la surface 113 de ladite partie gravée de la tranchée isolante 112 comprend au moins les étapes suivantes : o oxydation d'au moins une portion de la deuxième région active 10 amincie 220a de sorte à former une couche d'oxyde sacrificielle 225 ; o retrait au moins partiel de la couche d'oxyde sacrificielle 225 de sorte à former une couche d'oxyde sacrificielle résiduelle 230 et de sorte à ce que la surface 231 de la couche d'oxyde sacrificielle 15 résiduelle 230 soit à la même hauteur que la surface 113 de la partie non recouverte de la tranchée isolante gravée 112. - Avantageusement, la couche d'oxyde sacrificielle 225 est formée par une étape d'oxydation sur une partie de l'épaisseur de l'au moins une deuxième région active amincie 220a. 20 - Selon un mode de réalisation, la couche d'oxyde sacrificielle 225 a une épaisseur comprise de préférence entre 2 nm et 20 nm, avantageusement entre 5nm et 15nm, et préférentiellement égale à 7.5 nm. - Avantageusement, la couche d'oxyde sacrificielle 225 a une épaisseur 25 comprise de préférence entre 6nm et 8nm, et avantageusement égale à 5nm. - Avantageusement, la couche d'oxyde sacrificielle résiduelle 230 a une épaisseur comprise de préférence entre 0 et 10 nm, avantageusement entre 2 nm et 7 nm, et préférentiellement égale à 5 nm. 30 - Avantageusement, la gravure sèche 400 est une gravure par plasma. - Avantageusement, le plasma est un plasma haute densité. - Avantageusement, les paramètres de la gravure sèche par plasma sont : 3051973 12 lè' phase (dite de percée ou de Breakthrough) ^ Puissance source TCP 500W ; ^ Pression 4mT ; ^ Pression d'Hélium (He) au dos de tranche (He Cooling) 5 8T; ^ CF4 50 sccm (Standard Cubic Centimeter per Minute, débit en centimètre cube par minute mesuré dans les conditions standard de température et de pression) ; ^ Puissance de polarisation (en anglais « bias ») 50W ; 10 o 2ème phase (dite de gravure silicium) ^ Puissance source TCP 600W ; ^ Pression 25mT ; ^ Pression d'Hélium au dos de tranche (He Cooling) 8T ; ^ C12 125 sccm 02 19 sccm ; 15 ^ Puissance de polarisation (en anglais « bias ») 400W ; 3ème phase (dite de nettoyage final) ^ Puissance source TCP 1200W ; ^ Pression 10mT ; ^ Pression d'Hélium au dos de tranche (He Cooling) 8T ; 20 ^ Argon (Ar) 120 sccm / 02 12 sccm / CF4 60 sccm; ^ Puissance de polarisation (en anglais « bias ») OW. - Avantageusement, la couche active 200 a une épaisseur initiale comprise de préférence entre 100 nm et 200 nm, avantageusement entre 125 nm et 180 nm, et préférentiellement égale à 140 nm. 25 - Avantageusement, la première région active 210 a une épaisseur comprise de préférence entre 100 nm et 200 nm, avantageusement entre 125 nm et 180 nm, et préférentiellement égale à 140 nm. - Avantageusement, l'au moins une deuxième région active amincie 220a a une épaisseur comprise de préférence entre 25 nm et 100 nm, 30 avantageusement entre 50nm et 85nm, et préférentiellement égale à 70nm. - Avantageusement, l'étape de gravure sèche 400 est suivie d'une étape de nettoyage humide de la surface desdites zones gravées. 3051973 13 - Avantageusement, l'étape de nettoyage humide de la surface desdites zones gravées est configurée pour éliminer des matériaux résiduels issus de l'étape de gravure sèche 400. - Avantageusement, les matériaux résiduels sont des oxydes du 5 matériau semi-conducteur. - Avantageusement, la tranchée isolante 110 est en contact avec la couche isolante 100. - Avantageusement, l'étape de formation de la couche de masquage 330 au-dessus d'au moins la première région active 210 et sur une partie au 10 moins de la tranchée isolante 110 est précédée de la formation d'une couche d'oxyde intermédiaire 310 sur la première région active 210. - Avantageusement, l'étape de formation de la couche d'oxyde intermédiaire 310 sur la première région active 210 est suivie par la formation d'une couche de nitrure 320 au-dessus de la couche d'oxyde 15 intermédiaire 310 de sorte à ce que la couche de masquage 330 soit au moins en partie en contact avec ladite couche de nitrure 320. - Selon un mode de réalisation, la couche isolante 100 a une épaisseur comprise entre 50 nm et 1000 nm, avantageusement entre 200 nm et 600nm et de préférence égale à 400 nm. 20 - Avantageusement, la couche d'oxyde intermédiaire 310 a une épaisseur comprise entre 1 nm et 10 nm, et de préférence entre 2 nm et 7 nm, et préférentiellement égale à 5 nm. - Avantageusement, la couche de nitrure 320 a une épaisseur comprise entre 10nm et 150nm, et de préférence entre 50nm et 100nm, et 25 préférentiellement égale à 70nm. - Selon un mode de réalisation l'épaisseur des STI 110 est comprise entre 100 nm et 200 nm, avantageusement entre 125 nm et 180 nm, et préférentiellement égale à 140 nm. - Avantageusement, l'épaisseur de la couche de masquage 330 est 30 comprise entre 20 nm et 100 nm, de préférence entre 35 nm et 65 nm, et avantageusement égale à 42.5 nm. - Avantageusement, les conditions de formation de cet oxyde PECVD sont les suivantes : 3 0 5 1 9 73 14 o 1 ère phase : ^ 02200 sccm, ^ SiH4 40 sccm, ^ H21200 sccm 5 ^ Puissance Haute fréquence (13,56 MHz) 0 W ^ Puissance basse fréquence (250 kHz) 3000W o 2ème phase : ^ 0277 sccm, ^ SiH4 40 sccm, 10 ^ H21200 sccm ^ Puissance Haute fréquence (13,56 MHz) 2450W ^ Puissance basse fréquence (250 kHz) 2750W o 3ème phase : ^ 02104 sccm, 15 ^ SiH4 55 sccm, ^ H21200 sccm ^ Puissance Haute fréquence (13,56 MHz) 3000W ^ Puissance basse fréquence (250 kHz) 2750W - Avantageusement, les conditions de formations de cette couche de 20 masquage 330 par LPCVD sont les suivantes : Température 650°C ,pression 250 mTorr , débit de TEOS 100CC / minute. - Avantageusement, l'étape de nettoyage humide est réalisée à base d'acide fluorhydrique de type DHF / SC1 / SC2 et comprend les paramètres suivants : 25 o DHF18 SC1 SC2 sur FSI o HF 170 cc/mn + Eau DI chaude 1700 cc/mn 88 sec o SC1 : H202 200 cd mn NH4OH 125cc/mn Eau DI Chaude 1500 cc/mn 45sec o NH4OH 40 cc/mn Eau Di Chaude 1600 cc/mn 180 sec 30 o SC2: HCL 40 cc/mn H202 = 200 cc/m, Eau DI Chaude 1600cc/mn 3051973 15 Un exemple de réalisation de l'invention va maintenant être détaillé en référence aux figures. La présente invention prévoit un procédé de fabrication sur un même substrat SOI 10 de transistors PDSOI et de transistors FDSOI. Un tel substrat 5 10 comprend une fine couche superficielle d'un semi-conducteur monocristallin, avantageusement du silicium monocristallin, dite couche active 200. Cette couche active 200 repose sur une couche isolante 100. De préférence cette couche active 200 repose elle-même sur une couche de support, non représentée. 10 Selon un mode de réalisation dont le résultat est illustré par la figure 1, à partir de ce substrat SOI, une couche d'oxyde intermédiaire 310 est formée sur l'ensemble de la surface du substrat. Cette couche d'oxyde intermédiaire 310 comprend de préférence de l'oxyde de silicium. Selon un mode de réalisation, une couche de nitrure 320 est déposée sur 15 l'ensemble de la couche d'oxyde intermédiaire 310. Cette couche de nitrure 320 est avantageusement formée par LPCVD. Selon un mode de réalisation la composition chimique de cette couche de nitrure est Si3N4. Une fois ces deux couches (310 et 320) formées, une série d'étapes de lithographies permet de former des tranchées isolantes 110 dites STI de leurs 20 acronyme de l'anglais « Shallow trench isolation » illustrées dans la figure 1. De manière très avantageuse, ces STI 110 sont formées à partir d'un oxyde PECVD, et de préférence d'un oxyde PECVD de silicium. De préférence, les STI 110 sont en contact avec la BOX 100 comme illustré dans la figure 1. 25 Il est connu de l'Homme du métier de nombreuses techniques permettant de former des STI. Pour la présente invention, le critère de la nature de l'oxyde est un critère important. En effet, cet oxyde est de préférence un oxyde de silicium formé par PECVD. Un mode de formation envisageable de ces STI 100 repose sur l'utilisation 30 de techniques de lithographie classiques afin de former des tranchées dans le substrat 10. Ces tranchées sont alors ensuite remplies d'un oxyde, avantageusement d'un oxyde PECVD de silicium. 3051973 16 De part et d'autre de ces STI 110, des régions de la couche actives 200 sont définies. Une première région active 210 est dite région active PDSOI car elle est destinée à former des transistors PDSOI 700. Une deuxième région active 220 est dite région active FDSOI car elle est destinée à former des 5 transistors FDSOI 600. Une fois ces régions 210 et 220 définies par la formation des STI 110, une couche de masquage 330 est déposée selon de préférence un dépôt conforme afin de former la couche 330 illustrée en la figure 1. De manière très avantageuse, la couche de masquage 330 comprend un 10 oxyde LPCVD, et de préférence un oxyde LPCVD de silicium. Cette couche de masquage 330 peut également être appelée masque dur ou « hard mask » en anglais. Une fois la couche de masquage 330 formée, nous obtenons un substrat tel qu'illustré par la figure 1. 15 On définit alors deux zones illustrées en figure 2 : o une zone PDSOI 201 comprenant une région active PDSOI 210, c'est-à-dire une couche active 210 destinée à la formation d'au moins un transistor PDSOI 700, et comprenant une portion des STI 110 situées de part et d'autre de la couche active 210. 20 o une zone FDSOI 202 comprenant une région active FDSOI 220, c'est- à-dire une couche active 220 destinée à la formation d'au moins un transistor FDSOI 600, et comprenant une portion des STI 110 situées de part et d'autre de la couche active 220. La figure 2 illustre également le dépôt au-dessus des zones PDSOI d'une 25 couche protectrice 340, avantageusement comprenant une résine. Cette couche protectrice 340 est avantageusement déposée sur une partie au moins de la surface 331 de la couche de masquage 330. Selon un mode de réalisation préféré, la couche protectrice 340 est déposée de manière à recouvrir une partie des STI 110, de préférence 30 sensiblement 50% de leur surface. Elle est ouverte par l'un des nombreux procédés connus de lithographie, par exemple de photolithographie s'il s'agit d'une résine photosensible. 3051973 17 La figure 3 illustre une étape de gravure des zones FDSOI de manière à retirer la couche de masquage 330, la couche de nitrure 320 et la couche d'oxyde intermédiaire 310. Cette étape de gravure est préférentiellement réalisée par voie chimique à base d'une chimie Fluorocarbonée par exemple. 5 Cette gravure, de préférence humide, a pour résultat d'exposer la surface 221 de la région active FDSOI 220, ainsi qu'une partie au moins de la surface des STI 110. La figure 4 illustre l'étape de gravure sèche 400 configurée pour amincir la 10 zone FDSOI 202, et plus particulièrement la couche active 220 et une portion au moins des STI 110, la portion non recouverte par la couche de masquage 330. Cette étape de gravure sèche 400 est avantageusement précédée du retrait de la couche protectrice 340. Ce retrait peut avantageusement être 15 réalisé à l'aide d'un plasma oxygène. Ce retrait est de préférence suivi d'un nettoyage humide afin de retirer tout résidu de la couche protectrice 340. De plus, un nettoyage de l'oxyde natif présent à la surface du substrat peut être avantageusement réalisé par une chimie base de Tétrafluorure de carbone. Ce nettoyage prépare alors les surfaces de la zone FDSOI 202 à 20 l'étape de gravure sèche 400. L'étape de gravure sèche 400, réalisé par plasma, de préférence par un plasma haute densité, a pour objectif d'amincir la zone FDSOI. Ce plasma haute densité est avantageusement basé sur une chimie à base de chlore et d'oxygène. 25 Selon un mode de réalisation, la gravure sèche 400 par plasma haute densité est configurée pour atteindre une vitesse de gravure de l'ordre de 1 nm par seconde pour les matériaux considérés, et de préférence pour la couche active 220 avantageusement composée de silicium monocristallin. De manière préférée, cette gravure sèche 400 est assujettie à une boucle 30 rétroactive de mesure de l'épaisseur gravée, avantageusement par interférométrie. Ainsi, la gravure est opérée par multiples gravures successives séparées d'une mesure interférométrique de l'épaisseur consommée des matériaux considérés et de préférence de la couche active 220. 3051973 18 Avantageusement, cette gravure sèche 400 est configurée pour amincir la couche active 220 de la région FDSOI. Préférentiellement, cette gravure sèche 400 est configurée pour amincir une portion des STI 110, portion appartenant à la région FDSOI. 5 De préférence, cette gravure sèche 400 est configurée pour retirer totalement la couche de masquage 330, avantageusement de l'ensemble du substrat 10. De manière particulièrement astucieuse, cette gravure sèche 400 est configurée pour simultanément amincir deux matériaux de nature différente et 10 retirer un troisième matériau. Ladite gravure sèche 400 est configurée pour que le temps de retrait total de la couche de masquage 330 corresponde au temps de gravure nécessaire à l'amincissement souhaité des portions des STI 110 et de la couche active 220. Un des avantages de cette étape de gravure sèche 400 est la possibilité 15 d'atteindre une épaisseur optimale de la couche active amincie 220a de l'ordre de 75 nm pour la formation de transistors FDSOI 600. Cette étape de gravure sèche 400 est particulièrement innovante du fait qu'en une seule étape, la couche active 220 est amincie afin d'atteindre l'épaisseur souhaitée pour la formation de transistors FDSOI 600, la couche de 20 masquage 330 est retirée des régions PDSOI et une portion des STI 110, entourant les couches actives 220, est amincie également. Cette étape de gravure sèche 400 permet d'éviter l'utilisation de multiples gravures chimiques qui, en termes à la fois de temps de procédé et de coûts, n'est pas économique. 25 Les matériaux intervenant dans cette étape de gravure sèche 400 ont été choisis et formés spécifiquement afin de satisfaire les conditions de vitesses de gravure relatives afin d'obtenir le résultat illustré en figure 5. La figure 5 illustre le résultat de la gravure sèche 400 décrite 30 précédemment. La couche active amincie 220a et les parties gravées des STI 112 ont été formées en même temps que le retrait total de la couche de masquage 330. 3051973 19 En conséquence de cette gravure sèche 400, une couche d'oxyde résiduelle 410 a été formée sur l'ensemble des surfaces gravées, par exemple sur l'ensemble du substrat 10. Il s'agit d'un résidu de l'étape de gravure sèche 400. 5 On remarque également la formation de cavités 120, dites gouttières 120 de par leur forme géométrique, aux interfaces verticales entre la couche active 220a et les parties gravées des STI 112. Ce phénomène de gouttière 120 est bien connu de l'Homme du métier, il est traditionnellement observé aux interfaces verticales entre deux matériaux de 10 nature différente lors d'une gravure simultanée de ces deux matériaux. Ce phénomène est une des raisons qui détournerait l'Homme du métier de la présente invention. En effet, cette discontinuité structurelle semble aux premiers abords un défaut affectant les performances des transistors FDSOI 600. 15 Cependant, au cours de la mise au point de la présente invention, il a été noté, et cela de manière surprenante, que ces défauts structurels 120, c'est à dire ces gouttières 120, peuvent être amoindries et qu'elles ne présentent alors pas ou que peu de limitations quant aux performances des transistors FDSOI 600. 20 En effet, les gouttières 120 sont amoindries par l'ajustement des différents procédés de gravure chimique. De fait, la profondeur des gouttières 120 dans les zones de transistors FDSOI se trouve réduite et évite la présence après la gravure du polysilicium de la grille, de filaments de polysilicium source de connexions parasites entre les différentes lignes de polysilicium des transistors 25 FDSOI. Comme il sera présenté ci-après, ces gouttières 120 se remplissent de matériaux polycristallins lors des étapes ultérieures de formation des transistors FDSOI 600 et principalement de la grille desdits transistors FDSOI 600. 30 Une étape de nettoyage humide, illustrée en figure 6, fait suite à la gravure sèche 400. Ce nettoyage humide est configuré pour retirer la couche d'oxyde résiduelle 410 de l'ensemble des surfaces considérées. 3051973 20 Par exemple, ce nettoyage humide peut être réalisé à base d'acide fluorhydrique, de préférence dilué. Ce nettoyage humide est configuré pour mettre à nu au moins l'une parmi les surfaces suivantes : 5 o la surface 321 de la couche de nitrure 320 ; o la surface 221a de la couche active amincie 220a ; o la surface des gouttières 120 ; o la surface des STI 110. 10 Les figures 7 et 8 illustrent l'étape d'ajustement de la hauteur de la surface 221a de la couche active amincie 220a à la hauteur de la surface 113 des parties gravée des STI 112. Cet ajustement de hauteur permet alors, entre autre, d'amoindrir la forme géométrique des gouttières 120 de sorte à ce qu'elles ne présentent pas de limitation quant aux performances des transistors 15 FDSOI. Avantageusement, les gouttières 120 sont amoindries par l'ajustement des différents procédés de gravure chimique. De fait, la profondeur des gouttières dans les zones de transistors FDSOI se trouve réduite et évite la présence après la gravure du polysilicium de la grille, de filaments de polysilicium source 20 de connexions parasites entre les différentes lignes de polysilicium des transistors FDSOI. Cet ajustement de hauteur comprend au moins deux étapes : la formation d'une couche d'oxyde sacrificielle 225 et le retrait d'une portion au moins de 25 cette couche d'oxyde sacrificielle 225. La formation et le retrait partiel d'une couche d'oxyde sacrificielle 225 agissent en synergie avec l'étape de gravure sèche 400 précédente pour réduire les coûts de production de dispositifs électroniques. Tout d'abord, cette couche d'oxyde sacrificielle 225 permet d'améliorer 30 l'état de surface de la couche active amincie 220a, c'est-à-dire de nettoyer structurellement la surface 221a. En effet, la surface 221a résulte d'une gravure sèche qui peut laisser la surface 221a endommagée au niveau cristallographique sur une très faible épaisseur de l'ordre de quelques 3051973 21 nanomètres par exemple. Le retrait partiel de cette couche d'oxyde sacrificielle 225 permet alors de retirer la partie endommagée de la surface 221a en ne laissant qu'une couche d'oxyde sacrificielle résiduelle 230 dont la surface 231 ne présente plus ces dommages structurels. 5 Ensuite, le retrait partiel de la couche d'oxyde sacrificielle 225 permet la mise à niveau de la surface 231 de la couche d'oxyde sacrificielle résiduelle 230 avec la hauteur des surfaces 113 des parties gravées des STI 112. Cette mise à niveau supprime alors les effets limitants des gouttières 120 sur les performances des transistors FDSOI 600. 10 Pour finir, la couche d'oxyde sacrificielle résiduelle 230 forme un écran aux implantations ioniques ultérieurement réalisées dans le but de former des zones de sources (610, 710) et de drains (620, 720). Cet écran assure une meilleure homogénéité d'implantation en évitant les effets de canalisation et il 15 permet également de limiter les dommages structurels dus aux implantations ioniques. Ainsi, une seule étape d'ajustement de hauteur permet de rétablir une structure de surface absente de défauts, d'éliminer les inconvénients résultant de la formation de gouttières 120 et de permettre des implantations ioniques 20 futures. La figure 9 illustre une étape de retrait de la couche de nitrure 320 au niveau des zones PDSOI de sorte à mettre à nu la surface 311 de la couche d'oxyde intermédiaire 310. Ce retrait peut être réalisé par voie humide par 25 exemple afin de ne pas endommager la surface 231. La figure 10 illustre l'étape d'implantation ionique 500 afin de former des zones de sources et de drains. Avantageusement, cette étape d'implantation ionique 500 peut 30 comprendre deux sous étapes correspondant à une première implantation ionique des zones PDSOI suivie d'une deuxième implantation ionique des zones FDSOI. Cela permet ainsi de disposer de plusieurs degrés de liberté dans le choix des doses et des éléments implantés afin de répondre aux divers 3051973 22 besoins en termes de caractéristiques des transistors PDSOI 700 et FDSOI 600. Cette étape d'implantation ionique 500 bénéficie avantageusement de la présence de la couche d'oxyde intermédiaire 310 au niveau des zones PDSOI 5 et de la couche d'oxyde sacrificielle résiduelle 231 au niveau des zones FDSOI afin d'assurer une bonne homogénéité d'implantation et de limiter les défauts structurels d'implantation ionique. Les couches d'oxyde intermédiaire 310 au niveau des zones PDSOI et d'oxyde sacrificielle résiduelle 231 au niveau des zones FDSOI jouent alors le rôle d'écran pour les optimiser la formation des 10 sources et des drains. La figure 11 illustre, selon un mode de réalisation, un transistor FDSOI 600 formé au-dessus de la région active FDSOI amincie 220a et deux transistors PDSOI 700, à moitié représentés dans la figure 11, formés au- 15 dessus des régions actives PDSOI 210. Dans la figure 11, chaque transistor est illustré sommairement. Chaque transistor comprend au moins une zone de source (610, 710) et une zone de drain (620, 720), surélevés dans cet exemple, une grille (630, 730) comprenant de préférence une pluralité de couches et potentiellement des espaceurs isolant 20 électriquement les flancs de chaque grille (630, 730) des zones de sources (610, 710) et de drains (620, 720). La figure 11 permet d'illustrer la position des transistors PDSOI 700 et des transistors FDSOI 600 par rapport aux zones PDSOI 201 et aux zones FDSOI 202 selon un mode de réalisation de la présente invention. 25 La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif électronique apte à former sur une même tranche de silicium des transistors PDSOI et FDSOI. La présente invention comprend des étapes qui ont été étudiées, développées et optimisées afin de présenter entre elles une synergie 30 de sorte à réduire les coûts de production d'un tel dispositif tout en ne sacrifiant pas les performances de ce type de dispositifs électroniques. Ainsi, certaines des pluralités ont des effets multiples afin de réduire le nombre total d'étapes nécessaires. 3051973 23 L'invention n'est pas limitée aux modes de réalisations précédemment décrits et s'étend à tous les modes de réalisation couverts par les revendications. 5 3051973 24 REFERENCES 10. Empilement de couches, substrat SOI 100. Couche isolante, BOX, oxyde de silicium 5 110. Tranchées isolantes, STI (Shallow Trench Isolation) 111. Partie recouverte des tranchées isolantes par la couche de masquage 112. Partie gravée des tranchées isolantes 113. Surface de la partie gravée des tranchées isolantes 120. Cavités, Gouttières 10 200. Couche active ; 201. Zone PDSOI 202. Zone FDSOI 15 210. Première région active, région active PDSOI, couche active 220. Deuxième région active, région active FDSOI, couche active 220a. Deuxième région active amincie, région active FDSOI amincie, couche active amincie 221. Surface de la deuxième région active 20 221a. Surface de la deuxième région active amincie 225. Couche d'oxyde sacrificielle 226. Surface de la couche d'oxyde sacrificielle 230. Couche d'oxyde sacrificielle résiduelle 231. Surface de la couche d'oxyde sacrificielle résiduelle 25 310. Couche d'oxyde intermédiaire 311. Surface de la couche d'oxyde intermédiaire 320. Couche de nitrure 30 321. Surface de la couche de nitrure 330. Couche de masquage 331. Surface de la couche de masquage 3051973 25 340. Couche protectrice, résine 400. Gravure sèche ; 5 500. Implantation ionique ; 600. Transistor totalement déserté, transistor FDSOI 610. Zone de source 620. Zone de drain 10 630. Grille 700. Transistor partiellement déserté, transistor PDSOI 710. Zone de source 720. Zone de drain 15 730. Grille REVENDICATIONS1. Procédé de formation d'un dispositif électronique destiné à accueillir au moins un transistor totalement déserté (FDSOI) (600) et au moins un transistor partiellement déserté (PDSOI) (700), à partir d'un empilement de couches (10) comprenant au moins une couche isolante (100) surmontée d'au moins une couche active (200) en un matériau semi-conducteur, le procédé comprenant au moins les étapes suivantes : - former au moins une tranchée isolante (110) à travers l'épaisseur de la couche active (200) pour définir dans ladite couche active (200), de part et d'autre de la tranchée isolante (110), au moins une première région active (210) sur laquelle est destiné à être formé au moins un transistor PDSOI (700) et au moins une deuxième région active (220) sur laquelle est destiné à être formé au moins un transistor FDSOI (600) ; former, au-dessus de l'au moins une première région active (210) et sur une partie de la tranchée isolante (110), une couche de masquage (330) sans recouvrir l'au moins une deuxième région active (220) et sans recouvrir une partie de la tranchée isolante (110) ; - graver (400) simultanément par une gravure sèche de sorte à former des zones gravées : o une partie de l'épaisseur de la couche active (200) de l'au moins une deuxième région active (220) de manière à former au moins une deuxième région active amincie (220a) et à obtenir dans l'au moins une deuxième région active amincie (220a) une épaisseur de la couche active (200) plus faible que dans l'au moins une première région active (210), o au moins une partie de l'épaisseur de la partie non recouverte de la tranchée isolante (110) de sorte à former une partie gravée de la tranchée isolante (112), o et la totalité de la couche de masquage (330), ajuster, après l'étape de gravure sèche (400), la hauteur de la surface (221a) de l'au moins une deuxième région active amincie (220a) à la hauteur de la surface (113) de ladite une partie gravée de la tranchée isolante (112). 3051973 27 2. Procédé selon la revendication précédente dans lequel la tranchée d'isolation (110) comprend au moins un oxyde formé par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma. 5 3. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel la couche de masquage (330) comprend au moins un oxyde formé par dépôt chimique en phase vapeur réalisée à pression sous-atmosphérique. 4. Procédé selon les deux revendications précédentes dans lequel la 10 gravure sèche (400), l'oxyde (110) formé par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma et l'oxyde (330) formé par dépôt chimique en phase vapeur réalisée à pression sous-atmosphérique sont configurés pour que le temps de formation de l'au moins une partie gravée de la tranchée isolante (112) corresponde au temps de gravure de la totalité de l'épaisseur de la couche de 15 masquage (330). 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel l'étape d'ajustement de la hauteur de la surface (221a) de l'au moins une deuxième région active amincie (220a) à la hauteur de la surface (113) de ladite 20 partie gravée de la tranchée isolante (112) comprend au moins les étapes suivantes : - oxydation d'au moins une portion de la deuxième région active amincie (220a) de sorte à former une couche d'oxyde sacrificielle (225) ; 25 - retrait partiel de la couche d'oxyde sacrificielle (225) de sorte à former une couche d'oxyde sacrificielle résiduelle (230) et de sorte à ce que la surface (231) de la couche d'oxyde sacrificielle résiduelle (230) soit à la même hauteur que la surface (113) de la partie gravée de la tranchée isolante (112). 30 6. Procédé selon la revendication précédente dans lequel la couche d'oxyde sacrificielle (225) est formée par une étape d'oxydation sur une partie de l'épaisseur de l'au moins une deuxième région active amincie (220a). 3051973 28 7. Procédé selon l'une quelconque des deux revendications précédentes dans lequel la couche d'oxyde sacrificielle (225) a une épaisseur comprise de préférence entre 6nm et 8nm, et avantageusement égale à 5nm. 5 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel la gravure sèche (400) est une gravure par plasma. 9. Procédé selon la revendication précédente dans lequel le plasma est un 10 plasma haute densité. 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel la couche active (200) a une épaisseur initiale comprise de préférence entre 100nm et 200nm, avantageusement entre 125nm et 180nm, et 15 préférentiellement égale à 140nm, et dans lequel la première région active (210) a une épaisseur comprise de préférence entre 100nm et 200nm, avantageusement entre 125nm et 180nm, et préférentiellement égale à 140nm, et dans lequel l'au moins une deuxième région active amincie (220a) a une épaisseur comprise de préférence entre 25nm et 100nm, avantageusement 20 entre 50nm et 85nm, et préférentiellement égale à 70nm. 11. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel l'étape de gravure sèche (400) est suivie d'une étape de nettoyage humide de la surface desdites zones gravées. 25 12. Procédé selon la revendication précédente dans lequel l'étape de nettoyage humide de la surface desdites zones gravées est configurée pour éliminer des matériaux résiduels issus de l'étape de gravure sèche (400). 30 13. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel la tranchée isolante (110) est en contact avec la couche isolante (100). 3051973 29 14. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel l'étape de formation de la couche de masquage (330) au-dessus d'au moins la première région active (210) et sur une partie au moins de la tranchée isolante (110) est précédée de la formation d'une couche d'oxyde intermédiaire 5 (310) sur la première région active (210). 15. Procédé selon la revendication précédente dans lequel l'étape de formation de la couche d'oxyde intermédiaire (310) sur la première région active (210) est suivie par la formation d'une couche de nitrure (320) au-dessus de la io couche d'oxyde intermédiaire (310) de sorte à ce que la couche de masquage (330) soit au moins en partie en contact avec ladite couche de nitrure (320).