Brevet FR3054318A1 — publié le 20180126

DÉTECTEUR BOLOMÉTRIQUE AVEC MATRICE DE FILTRES À MODE GUIDÉ DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE L'invention concerne un détecteur bolométrique, c'est-à-dire un détecteur comprenant un élément absorbeur, qui absorbe un rayonnement électromagnétique incident et dont la température augmente en réaction à cette absorption, et un élément thermométrique dont une grandeur électrique ou magnétique varie avec la température. Un tel détecteur peut se présenter sous forme matricielle, constitué d'une pluralité de bolomètres élémentaires juxtaposés formant chacun un pixel du détecteur. Un détecteur bolométrique est adapté notamment à détecter des rayonnements électromagnétiques situés dans l'infrarouge, en particulier à des longueurs d'onde comprises entre 0,7 um et 5 mm. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE On connaît dans l'art antérieur des détecteurs bolométriques de type matriciel, dans lesquels chaque pixel est formé par un bolomètre tel que décrit à la figure 1A de la demande de brevet FR-2977937. Dans chaque pixel, le bolomètre comprend une planche bolométrique suspendue au-dessus d'un réflecteur, à une distance X0/4 de celui-ci, où )to est la longueur d'onde centrale d'une bande spectrale de détection. La planche bolométrique comprend un élément absorbeur tel qu'une fine couche de métal, qui absorbe un rayonnement électromagnétique incident et dont la température augmente en réaction à cette absorption, et un élément thermométrique dont la résistivité varie avec la température. Le réflecteur et la planche bolométrique forment ensemble une cavité quart-d'onde permettant une absorption élevée, typiquement 90%, sur une bande spectrale allant de 8 à 12 um ou sur une bande spectrale allant de 3 um à 5 um. 3054318 2 Un inconvénient de ce bolomètre est qu'il n'offre pas une grande sélectivité spectrale, toutes les longueurs d'onde étant absorbées sur une large bande spectrale, de plusieurs micromètres de large. Pour pallier cet inconvénient, la demande de brevet FR-2977937 propose de déposer, 5 sur la planche bolométrique, un empilement métal-isolant-métal (structure MIM). Au moins une dimension latérale de l'empilement est déterminée pour générer une résonance plasmonique avec une radiation incidente de fréquence comprise dans ladite large bande spectrale. On obtient ainsi un bolomètre présentant une grande sélectivité spectrale. Un inconvénient de ces empilements déposés sur la planche bolométrique est qu'ils 10 augmentent la masse thermique de cette dernière, et donc sa constante de temps thermique. Un objectif de la présente invention est de proposer un détecteur bolométrique de type matriciel, dans lequel chaque pixel est un bolomètre présentant une grande sélectivité spectrale, et qui ne présente pas au moins l'un des inconvénients de l'art antérieur. 15 En particulier, un but de la présente invention est de proposer un détecteur bolométrique de type matriciel, dans lequel chaque pixel est un bolomètre présentant une grande sélectivité spectrale, et une masse thermique réduite équivalente à celle de la planche bolométrique considérée seule. 20 EXPOSÉ DE L'INVENTION Cet objectif est atteint avec un détecteur bolométrique comprenant une matrice de pixels, chaque pixel comprenant une planche bolométrique suspendue au-dessus d'un substrat. Selon l'invention, chaque pixel comprend en outre : 25 une capsule respective, formant une cavité à l'intérieur de laquelle s'étend la planche bolométrique ; et une structure tridimensionnelle, dite structure diffractive, constituée de plots répartis selon un pas régulier sur une paroi supérieure de la capsule, du côté opposé à la 3054318 3 planche bolométrique, ou dans l'épaisseur de ladite paroi supérieure, pour former avec ladite paroi supérieure un filtre à mode guidé en transmission. Il est connu de mettre en oeuvre une encapsulation des planches bolométriques 5 d'une matrice de bolomètres, afin de placer ces planches bolométriques sous une atmosphère contrôlée, en particulier sous vide ou sous pression réduite. Une encapsulation individuelle de chaque planche bolométrique d'une matrice de bolomètres est également connue en soi, notamment du document EP 1 243 903. Cette encapsulation individuelle est connue de l'homme du métier sous l'appellation « Pixel Level 10 Packaging ». Une idée à la base de l'invention consiste à mettre en oeuvre une encapsulation individuelle de chaque planche bolométrique d'une matrice de bolomètres, et à exploiter cette encapsulation individuelle pour affiner une sensibilité spectrale de chaque pixel de ladite matrice. 15 En particulier, on utilise une capsule recouvrant ladite planche bolométrique pour former un filtre à mode guidé, en disposant sur cette capsule une structure diffractive. Aucun élément de filtrage n'est déposé directement sur la planche bolométrique, de sorte que le filtrage n'augmente pas la masse thermique de la planche bolométrique. On obtient ainsi un détecteur bolométrique de type matriciel, dans lequel chaque 20 pixel est un bolomètre présentant une grande sélectivité spectrale, et une faible constante de temps thermique (temps de réponse court). La faible constante de temps thermique est obtenue sans diminution de la section de bras de soutien supportant la planche bolométrique, donc sans dégradation de l'isolation thermique des planches bolométriques, et donc sans perte de sensibilité du bolomètre. 25 En outre, la fabrication d'un tel détecteur bolométrique n'implique qu'un nombre réduit d'étapes, puisque l'on exploite pour le filtrage spectral l'encapsulation des planches bolométriques. On peut remarquer qu'il n'aurait pas été possible de déposer une structure MIM telle que décrite en introduction, sur un élément d'encapsulation de la planche bolométrique, 3054318 4 car la structure MIM n'offre un filtrage efficace que si elle travaille en absorption, et non en transmission. De préférence, la matrice de pixels est formée de plusieurs types de pixels qui 5 diffèrent les uns des autres par les dimensions latérales de la paroi supérieure de la capsule, et par le pas de répartition des plots de la structure diffractive. Dans chaque pixel, le pas de répartition des plots de la structure diffractive et la longueur d'onde centrale d'une plage de sensibilité spectrale du pixel sont avantageusement reliés par la relation : Ài p= Nef f avec Neff l'indice effectif du mode guidé dans la paroi supérieure de la capsule, p le pas de répartition des plots de la structure diffractive, et Ài la longueur d'onde centrale de la plage de sensibilité spectrale du pixel. De préférence, dans chaque pixel, la structure diffractive est un réseau de plots à 15 section carrée, répartis selon un maillage carré. Dans chaque pixel, la structure diffractive peut être en métal. Dans chaque pixel, la paroi supérieure de la capsule présente avantageusement une épaisseur comprise entre I21\1c - 250 nm} et I- + 250 nm}, avec : 21\1c 41 la longueur d'onde centrale d'une plage de sensibilité spectrale du détecteur 20 bolométrique ; et Nc l'indice de réfraction moyen de la paroi supérieure de la capsule, à la longueur d'onde Àm. Dans chaque pixel, les dimensions latérales de la paroi supérieure de la capsule peuvent être adaptées pour que le mode guidé dans ladite paroi supérieure forme une 25 onde stationnaire. De préférence, dans chaque pixel, la paroi supérieure de la capsule présente une section carrée, dont la largeur est inférieure au pas de la matrice de pixels, et est égale : Ài m* Nef f 10 3054318 5 avec m un entier supérieur ou égal à l'unité ; Ài la longueur d'onde centrale de la plage de sensibilité spectrale du pixel ; et Neff l'indice effectif du mode guidé dans la paroi supérieure de la capsule. 5 Ledit nombre entier peut être le plus grand nombre entier permettant que ladite largeur soit inférieure au pas de la matrice de pixels. Dans chaque pixel, la distance entre la paroi supérieure de la capsule et la planche bolométrique, est avantageusement comprise entre 10 - 6 et -, avec À11,1 la longueur d'onde centrale d'une plage de sensibilité spectrale du détecteur bolométrique. 10 Les différents types de pixels peuvent se distinguer également les uns des autres par les dimensions de la planche bolométrique. De préférence, les différents types de pixels se distinguent alors également par les dimensions et/ou la structure de bras de soutien, qui s'étendent parallèles à la planche bolométrique pour supporter celle-ci au-dessus du substrat, les dimensions et/ou la 15 structure desdits bras de soutien définissant une isolation thermique entre la planche bolométrique et le substrat, et d'un pixel à l'autre de la matrice de pixels, ladite isolation thermique est d'autant plus élevée que la surface de la planche bolométrique est faible. Dans chaque pixel, la capsule présente avantageusement au moins une ouverture traversante, dite évent, chaque évent étant fermé par un plot de la structure diffractive. 20 En variante, dans chaque pixel, la capsule peut présenter au moins une ouverture traversante, dite évent, chaque évent étant fermé par un plot de bouchage distinct des plots de la structure diffractive. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS 25 La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés à titre purement indicatif et nullement limitatif, en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels : les figures 1A et 1B illustrent de façon schématique, selon une vue en coupe et selon une vue de dessus, un pixel d'un détecteur bolométrique selon l'invention ; 3054318 6 la figure 2 illustre de façon schématique, selon une vue de dessus, un exemple d'un détecteur bolométrique selon l'invention ; la figure 3 illustre la sélectivité spectrale de différents types de pixels d'un détecteur bolométrique selon l'invention ; 5 la figure 4 illustre un premier mode de réalisation d'un procédé de fabrication d'un détecteur bolométrique selon l'invention ; la figure 5 illustre des étapes d'un second mode de réalisation d'un procédé de fabrication d'un détecteur bolométrique selon l'invention ; et la figure 6 illustre de façon schématique, selon une vue en coupe, un pixel selon 10 une variante avantageuse d'un détecteur bolométrique selon l'invention. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Le détecteur bolométrique selon l'invention est destiné à la détection d'un rayonnement électromagnétique dans l'infrarouge. 15 Il s'agit en particulier d'un détecteur matriciel, constitué d'une pluralité de pixels agencés par exemple en lignes et colonnes, en une matrice de pixels. Pour des raisons de lisibilité des figures, on a illustré en figures lA et 1B, et de façon schématique, un unique pixel 100 d'un détecteur bolométrique selon l'invention. La largeur P du pixel 100 définit le pas de la matrice de pixels. 20 Le pixel 100 comprend en particulier une planche bolométrique 110, suspendue au- dessus d'un substrat 120, en appui sur des éléments de soutien 111 par l'intermédiaire de bras de soutien 112. Les éléments de soutien 111 forment des pieds verticaux, qui s'étendent selon un axe orthogonal au plan de la planche bolométrique 110. Les éléments de soutien 111 règlent 25 la distance entre le substrat 120 et la planche bolométrique 110. Les bras de soutien 112 s'étendent dans le plan de la planche bolométrique, et la relient aux éléments de soutien 111. L'isolation thermique entre le substrat et la planche bolométrique 110 dépend des dimensions des bras de soutien 112. 3054318 7 Dans le détecteur bolométrique matriciel selon l'invention, tous les pixels sont formés côte à côte sur le même substrat. La planche bolométrique 110, également nommée membrane bolométrique, est constituée d'une membrane d'absorption et d'un élément thermométrique. 5 La membrane d'absorption est constituée d'un matériau adapté à absorber et convertir en chaleur l'énergie d'un rayonnement électromagnétique incident, notamment un rayonnement infrarouge à des longueurs d'onde comprises entre 0,7 um et 3 mm, et plus particulièrement entre 3 um et 20 um. La membrane d'absorption peut être en métal, en particulier en nitrure de titane (TiN). L'épaisseur de la membrane d'absorption est 10 adaptée pour obtenir un bon couplage électromagnétique avec le milieu de propagation du rayonnement électromagnétique incident (adaptation d'impédance). La membrane d'absorption est en contact thermique avec l'élément thermométrique. L'élément thermométrique est par exemple une couche d'un matériau présentant une forte variation de résistivité en fonction de la température, déposée 15 directement sur la membrane d'absorption. L'élément thermométrique est par exemple en oxyde de vanadium ou en silicium amorphe. De façon connue en soi, l'élément thermométrique est relié à des moyens de mesure d'une résistance électrique, intégrés dans le substrat 120 et non représentés sur les figures. L'élément thermométrique permet ainsi de mesurer l'échauffement de la membrane 20 d'absorption, et donc l'énergie du rayonnement électromagnétique incident sur celle-ci. La connexion électrique entre la planche bolométrique et des circuits de lecture situés dans le substrat est assurée de préférence par les éléments de soutien 111. Le substrat est ici en silicium. La surface supérieure du substrat est recouverte d'une fine couche métallique (non 25 représentée), par exemple de l'aluminium ou du cuivre ou du titane, d'épaisseur comprise entre 50 nm et 200 nm. Cette fine couche métallique forme une surface réfléchissante 121, qui s'étend sous la planche bolométrique 110 et réfléchit aux longueurs d'onde auxquelles la planche bolométrique est absorbante. 3054318 8 La surface réfléchissante 121 et la planche bolométrique 110 forment ensemble une cavité quart-d'onde, permettant d'améliorer l'absorption par la planche bolométrique. On donnera dans la suite plus de détails sur le dimensionnement de la cavité quart-d'onde. Selon l'invention, chaque pixel comprend en outre une capsule 130, nommée 5 également capot. L'intérieur de la capsule 130 définit une cavité 140, à l'intérieur de laquelle s'étend la planche bolométrique 110. En d'autres termes, chaque capsule 130 recouvre une unique planche bolométrique 110. 10 La capsule 130 désigne une structure tridimensionnelle comprenant des parois latérales 131, et une paroi supérieure 132. Les parois latérales 131 de la capsule entourent latéralement la planche bolométrique 110. Les parois latérales 131 s'étendent ici verticalement, c'est-à-dire parallèles à la 15 normale au substrat. La plus petite distance bord à bord entre la planche bolométrique 110 et les parois latérales 131 est généralement de l'ordre du micromètre, de préférence supérieure à 100 nm. Afin d'assurer l'isolation thermique de la planche bolométrique 110, celle-ci n'est pas 20 en contact avec les parois latérales 131 de la capsule 130. La paroi supérieure 132 de la capsule s'étend au-dessus de la planche bolométrique 110, de sorte que la planche bolométrique 110 se trouve entre ladite paroi supérieure 132 et le substrat 120. La paroi supérieure 132 de la capsule s'étend horizontalement, c'est-à-dire parallèle 25 au substrat. La paroi supérieure 132 de la capsule est en contact physique direct avec les parois latérales 131, sur tout son périmètre. La paroi supérieure 132 de la capsule présente de préférence une section carrée, dans un plan parallèle au substrat (voir figure 1B). 3054318 9 Cependant, l'invention n'est pas limitée à cet exemple, et on pourra réaliser de nombreuses variantes dans lesquelles cette section n'est pas carrée, par exemple circulaire. La paroi supérieure 132 de la capsule s'étend à distance de la planche bolométrique. 5 On donnera dans la suite plus de détails sur cette distance. Dans le détecteur bolométrique matriciel selon l'invention, les parois supérieures respectives des différentes capsules sont espacées les unes des autres, sans contact physique direct entre elles. La capsule 130 est constituée de matériau transparent dans la gamme de longueurs 10 d'onde que le détecteur bolométrique est destiné à détecter, ici l'infrarouge. De préférence, ce matériau est un matériau diélectrique. La capsule 130 est par exemple en silicium amorphe. La cavité 140 formée par la capsule est fermée par le substrat 120, de façon à définir à l'intérieur de chaque capsule 130 un volume fermé recevant une planche bolométrique. 15 En variante, la cavité 140 formée par la capsule est fermée par une couche recouvrant le substrat 120. En tout état de cause, la planche bolométrique 110 s'étend à l'intérieur d'un volume fermé, de préférence hermétiquement, à l'intérieur duquel règne un vide ou une pression réduite, par exemple une pression inférieure à 10-3 mbar. 20 Il est connu en soi d'encapsuler les planches bolométriques, chacune à l'intérieur d'une capsule respective. Dans l'art antérieur, chaque planche bolométrique ainsi encapsulée définit un bolomètre à faible sélectivité spectrale, absorbant toutes les longueurs d'onde sur une large bande spectrale, dite bande spectrale initiale. 25 La bande spectrale initiale présente une largeur spectrale de plusieurs micromètres. L'idée à la base de l'invention est d'utiliser la paroi supérieure 132 de la capsule, pour former un filtre à mode guidé qui ne transmet qu'une partie de ladite bande spectrale initiale. 3054318 10 Les filtres à mode guidés sont connus de l'homme du métier. Ils sont par exemple étudiés par Z. S. Liu et al. dans l'article « High-efficiency guided-mode resonance lifter », Optics Letters, Vol. 23, No. 19, ter octobre 1998. Ils sont également décrits dans le brevet US 8,698,207, qui s'intéresse en particulier 5 à des filtres à mode guidé en transmission. Un filtre à mode guidé exploite un phénomène de résonance de mode guidé qui résulte du couplage entre un ordre de diffraction d'une structure diffractive et un mode guidé d'un guide d'onde. Selon l'invention, on forme dans le pixel 100 un filtre à mode guidé en transmission, 10 en utilisant comme guide d'onde la paroi supérieure 132 de la capsule, et en formant sur celle-ci une structure diffractive 150. La paroi supérieure 132 de la capsule présente donc à la fois une fonction de guide pour le filtre à mode guidé, et une fonction d'étanchéité pour enfermer la planche bolométrique dans un vide ou sous pression réduite. 15 Le filtre à mode guidé ne transmet vers la planche bolométrique 110 qu'une petite plage de longueurs d'onde. Cette petite plage de longueurs d'onde forme donc la plage de longueurs d'onde que le pixel 100 est adapté à détecter, nommée plage de sensibilité spectrale du pixel 100. En d'autres termes, la plage de sensibilité spectrale du pixel 100 correspond à la plage 20 de transmission du filtre à mode guidé selon l'invention. La longueur d'onde centrale de la plage de sensibilité spectrale du pixel 100 est notée ,i. La plage de sensibilité spectrale du pixel est située dans la bande spectrale initiale mentionnée ci-avant, et présente une largeur spectrale plus faible, par exemple inférieure 25 au micromètre. Ainsi, la longueur d'onde centrale de la plage de sensibilité du pixel 100 ne peut prendre que des valeurs situées dans la bande spectrale initiale mentionnée ci-avant. La structure diffractive 150 est une structure tridimensionnelle constituée d'une pluralité de plots 151 répartis selon un pas régulier, sur la paroi supérieure 132 de la capsule 130, du côté opposé à la planche bolométrique 110. 3054318 11 La structure diffractive 150 s'étend ici directement sur la paroi supérieure 132 de la capsule. En variante, une fine couche d'accroche peut être intercalée entre la paroi supérieure 132 de la capsule et la structure diffractive 150. 5 La structure diffractive 150 est de préférence en métal, par exemple de l'or, du cuivre, ou de l'aluminium. La structure diffractive 150 peut ainsi présenter un indice de réfraction élevé, et donc une épaisseur réduite. L'épaisseur h de la structure diffractive 150 est comprise avantageusement entre 10 30 nm et 250 nm, et même entre 30 nm et 200 nm, par exemple égale à 150 nm. Selon le mode de réalisation avantageux illustré sur les figures lA et 1B, la structure diffractive 150 est constituée d'un réseau de plots 151, répartis selon un maillage carré, et présentant chacun une section carré. La structure diffractive d'onde présente elle-même une forme carrée, avec autant de 15 plots en largeur qu'en longueur. Le pas p du réseau de plots est inférieur à la longueur d'onde centrale de la plage de sensibilité spectrale du pixel 100, Ài. En particulier, le pas p du réseau de plots et la longueur d'onde centrale de la plage 20 de sensibilité spectrale du pixel 100, Ài, sont reliés par la formule suivante : P = Neff (1) avec Neff l'indice effectif du mode guidé dans la paroi supérieure 132 de la capsule. Le mode guidé est de préférence le mode TMo, c'est-à-dire le mode transverse 25 magnétique d'ordre zéro du guide d'onde diélectrique, ici la paroi supérieure 132 de la capsule. L'indice effectif Neff dépend de la longueur d'onde Ài et du mode considéré, ainsi que des propriétés du milieu (en particulier indice de réfraction et géométrie). Pour une même valeur du pas p, la largeur du plot 151 modifie la largeur de la plage 30 de sensibilité spectrale du pixel. Plus les plots sont larges, plus cette plage est étroite. 3054318 12 Les dimensions latérales de la paroi supérieure 132 de la capsule dépendent également de la valeur de la longueur d'onde centrale de la plage de sensibilité spectrale du pixel 100, Ài. 5 En particulier, les dimensions latérales de la paroi supérieure 132 de la capsule sont adaptées pour que le mode guidé dans la paroi supérieure de la capsule, forme une onde stationnaire dans ladite paroi supérieure 132, avec des noeuds au niveau des bords de la paroi supérieure 132. Avec une structure diffractive 150 telle que décrite en référence aux figures 1A et 1B, 10 cette condition est vérifiée avec une paroi supérieure 132 à section carrée de côté Lo, Lo étant une longueur égale à un nombre entier de longueurs d'onde dudit mode guidé. Cette condition s'écrit : = Trt * Neff (3) 15 m étant un entier strictement positif ; Ài étant la longueur d'onde centrale de la plage de sensibilité spectrale du pixel 100 ; et Neff étant l'indice effectif du mode guidé dans la paroi supérieure 132 de la capsule. Le rapport -24 est égal au pas p du réseau de plots formant la structure diffractive Neff 20 150. En outre, et de façon évidente, la longueur Lo doit être strictement inférieure à la largeur P du pixel 100, ou en d'autres termes, au pas de la matrice de bolomètres formant le détecteur bolométrique selon l'invention. Cette condition s'écrit : 25 0 REVENDICATIONS1. Détecteur bolométrique (1000) comprenant une matrice de pixels (100; 100A; 1008; 100c; 100D; 600), chaque pixel (100; 100A; 1008; 100c; 100D; 600) comprenant une planche bolométrique (110) suspendue au-dessus d'un substrat (120), caractérisé en ce que chaque pixel comprend en outre : une capsule respective (130), formant une cavité (140) à l'intérieur de laquelle s'étend la planche bolométrique (110) ; et une structure tridimensionnelle (150 ; 650), dite structure diffractive, constituée de plots (151 ; 651) répartis selon un pas régulier (p) sur une paroi supérieure (132) de la capsule, du côté opposé à la planche bolométrique, ou dans l'épaisseur de ladite paroi supérieure (632), pour former avec ladite paroi supérieure (132 ; 632) un filtre à mode guidé en transmission. 2. Détecteur (1000) selon la revendication 1, caractérisé que la matrice de pixels est formée de plusieurs types de pixels (100 ; 100A ; 100B ; 100c ; 100D; 600) qui diffèrent les uns des autres par les dimensions latérales (Lo; LOA; LOB; Loc; LoD) de la paroi supérieure (132 ; 632) de la capsule, et par le pas (p) de répartition des plots (151 ; 651) de la structure diffractive. 3. Détecteur (1000) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que dans chaque pixel (100 ; 100A ; 100B ; 100c ; 100D; 600), le pas (p) de répartition des plots de la structure diffractive et la longueur d'onde centrale (2k) d'une plage de sensibilité spectrale du pixel sont reliés par la relation : Ài p= Nef f avec Neff l'indice effectif du mode guidé dans la paroi supérieure (132 ; 632) de la capsule, p le pas de répartition des plots de la structure diffractive, et Ài la longueur d'onde centrale de la plage de sensibilité spectrale du pixel. 3054318 27 5 4. Détecteur (1000) selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que dans chaque pixel (100 ; 100A ; 100B ; 100c ; 100D; 600), la structure diffractive (150 ; 650) est un réseau de plots (151 ; 651) à section carrée, répartis selon un maillage carré. 5. Détecteur (1000) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce 10 que dans chaque pixel (100 ; 100A ; 100B ; 100c ; 100D; 650), la structure diffractive (150 ; 650) est en métal. 15 6. Détecteur (1000) selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que dans chaque pixel (100; 100A; 1008; 100c; 100D; 600), la paroi supérieure (132; 632) de la capsule présente une épaisseur comprise entreFv12' - 250 nm} et Fv12' + 250 nm}, Nc Nc avec : )LM la longueur d'onde centrale d'une plage de sensibilité spectrale du détecteur bolométrique (1000) ; et Nc l'indice de réfraction moyen de la paroi supérieure (132 ; 632) de la capsule, à la 20 longueur d'onde Àyi. 7. Détecteur (1000) selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que dans chaque pixel (100; 100A; 1008; 100c; 100D; 600), les dimensions latérales de la paroi supérieure (132 ; 632) de la capsule sont adaptées pour que le mode guidé dans ladite 25 paroi supérieure (132 ; 632) forme une onde stationnaire. 8. Détecteur (1000) selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que dans chaque pixel (100; 100A; 1008; 100c; 100D; 600), la paroi supérieure (132; 632) de la capsule présente une section carrée, dont la largeur (Lo; LOA; LOB; Loc; LoD) est inférieure au pas (P) de la matrice de pixels, et est égale : 3054318 28 Ài m* Neff avec m un entier supérieur ou égal à l'unité ; Ài la longueur d'onde centrale de la plage de sensibilité spectrale du pixel ; et 5 Neff l'indice effectif du mode guidé dans la paroi supérieure (132 ; 632) de la capsule. 9. Détecteur (1000) selon la revendication 8, caractérisé en ce que ledit nombre entier est le plus grand nombre entier permettant que ladite largeur (Lo; LOA; LOB; Loc; LoD) soit inférieure au pas (P) de la matrice de pixels. 10 10. Détecteur (1000) selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que dans chaque pixel (100; 100A; 1008; 100c; 100D; 600), la distance entre la paroi supérieure (132 ; 632) de la capsule et la planche bolométrique (110), est comprise entre 4,1 4,1 - et -, avec Àivi la longueur d'onde centrale d'une plage de sensibilité spectrale du 10 6 15 détecteur bolométrique (1000). 11. Détecteur (1000) selon l'une quelconque des revendications 2 à 10, caractérisé en ce que les différents types de pixels (100; 100A; 100B; 100c; 100D; 600) se distinguent également les uns des autres par les dimensions de la planche bolométrique (110). 20 12. Détecteur (1000) selon la revendication 11, caractérisé en ce que les différents types de pixels (100; 100A; 1008; 100c; 100D; 600) se distinguent également par les dimensions et/ou la structure de bras de soutien (112), qui s'étendent parallèles à la planche bolométrique (110) pour supporter celle-ci au-dessus du substrat (120), les 25 dimensions et/ou la structure desdits bras de soutien définissant une isolation thermique entre la planche bolométrique (110) et le substrat (120), et en ce que d'un pixel à l'autre de la matrice de pixels, ladite isolation thermique est d'autant plus élevée que la surface de la planche bolométrique (110) est faible. 3054318 29 13. Détecteur (1000) selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que dans chaque pixel (100; 100A; 1008; 100c; 100D; 600), la capsule (130) présente au moins une ouverture traversante (45), dite évent, chaque évent (45) étant fermé par un plot (46A) de la structure diffractive. 14. Détecteur (1000) selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que dans chaque pixel (100; 100A; 1008; 100c; 100D; 600), la capsule (130) présente au moins une ouverture traversante (55), dite évent, chaque évent (55) étant fermé par un plot de bouchage (58A) distinct des plots de la structure diffractive. 5 10