Brevet FR3054928A1 — publié le 20180209

PROCEDE D'ENCAPSULATION D'UN CIRCUIT INTEGRE POUR FORMER UN MODULE DE PUISSANCE TRIDIMENSIONNEL L'invention concerne les modules de puissance tridimensionnels, et en 5 particulier les procédés de fabrication de tels modules de puissance. Un module de puissance est un élément dont le fonctionnement s'assimile à celui d'un ou plusieurs interrupteurs. Sa structure est généralement constituée de l'association de différents éléments : -des puces incluant un composant semi-conducteur assurant la fonction 10 commutation électrique ; -un substrat isolant permettant à la fois l'isolation électrique et le transfert du flux de chaleur dissipée par les puces ; -une semelle pour une liaison à un dissipateur thermique ; -un encapsulant ; 15 -un boîtier ; -des connexions électriques internes et externes ; -parfois des capacités de découplage. L'augmentation des températures de fonctionnement est une des évolutions actuelles de l'électronique de puissance. Les puces à composants en 20 silicium sont limitées par une température de jonction maximale généralement comprise entre 125 et 200°C, ce qui freine le dévebppement des applications hautes températures. En outre, la tension de claquage d'un composant en Silicium est limitée et ses pertes de commutation à haute fréquence sont élevées. Ce type d'application concerne des domaines aussi variés que l'aéronautique 25 civile et militaire, la traction ferroviaire, l'automobile, la distribution énergétique, le forage pétrolier terrestre et maritime, la recherche géothermale, ou le spatial. Pour des applications haute tension et/ou haute fréquence, des puces à transistors à hétérojonction, et incluant en particulier des transistors à haute mobilité électronique à nitrure de type III, sont utilisées de façon croissante. 30 Un des enjeux majeurs de l'électronique de puissance pour la montée en température, en tension ou en fréquence des modules de puissance est la disponibilité de techniques d'encapsulation fiables de différentes puces et composants, assurant à la fois l'interconnexion électrique des composants semiconducteurs, l'évacuation de la chaleur générée par ces composants et parfois la 35 tenue mécanique du module. Outre le semiconducteur des composants, des limitations en performances électriques, en montée en température et en fiabilité des composants et modules de puissance, proviennent des matériaux de leur encapsulation. L'une des limites majeures est la création de contraintes thermomécaniques liées à la différence 40 de coefficient de dilatation des matériaux lors d'une variation de température. ICG11087 FR Depot Texte.docx 3054928 2 De nouveaux concepts d'encapsulation proposent de réaliser une structure tridimensionnelle, notamment en vue de refroidir le module encapsulé par deux faces et en vue de réduire l'encombrement en surface du module. La thèse de M. Bassem Mouawad, publiée sous l'intitulé « assemblages innovants en électronique de puissance utilisant la technique de « Spark Plasma Sintering » », décrit un exemple de procédé d'encapsulation d'un module. Dans cet exemple, deux substrats à base céramique à cuivre lié directement sont fournis. Chaque substrat à base céramique comporte une face munie d'une couche de cuivre mise en forme selon un motif bidimensionnel et selon un motif dans son épaisseur. Les motifs dans l'épaisseur définissent notamment trois plots. Un premier plot est destiné à se fixer sur une puce, des deuxième et troisième plots sont destinés à se fixer à des plots de la couche de cuivre de l'autre substrat à base céramique, positionné en vis-à-vis. Par brasure, on fixe le premier plot de chaque couche de cuivre à une face respective de la puce, et on fixe mutuellement les deuxièmes plots et les troisièmes plots de ces couches de cuivre en vis-à-vis. L'association des deuxièmes et troisièmes plots des deux substrats forme une structure permettant de reprendre des efforts de compression appliqués transversalement sur les substrats. La définition d'un motif dans l'épaisseur de la couche de cuivre s'avère 20 complexe et coûteuse. Par ailleurs, le positionnement relatif entre les substrats, et entre le module et les substrats s'avère délicat avec un niveau de précision suffisant. L'invention vise à résoudre un ou plusieurs de ces inconvénients. L'invention porte ainsi sur un procédé d'encapsulation d'un circuit intégré, 25 comprenant : -la formation de premier et deuxième supports isolants électriquement, incluant une impression tridimensionnelle, lesdits premier et deuxième supports formés présentant chacun une surface plane, de façon à former un renfoncement dans le premier support par rapport à sa surface plane, et de façon à former, par 30 rapport à la surface plane de chacun des premier et deuxième supports, des premier et deuxième reliefs, de sorte que les premier et deuxième reliefs du premier support coopèrent avec les premier et deuxième reliefs du deuxième support pour guider le premier support en coulissement par rapport au deuxième support selon une direction transversale auxdites surfaces planes ; 35 -la formation d'un premier contact électrique dans ledit renfoncement ; -le positionnement d'une puce dans ledit renfoncement et la formation d'un contact électrique entre une première électrode de la puce et ledit premier contact électrique ; -la formation d'un deuxième contact électrique sur ledit deuxième support 40 et le dépôt d'un matériau de brasage sur ledit deuxième contact électrique; ICG11087 FR Depot Texte.docx 3054928 3 -la superposition des premier et deuxième supports de façon à superposer leurs premiers et deuxièmes reliefs respectifs et de façon à positionner le matériau de brasage à l'aplomb d'une deuxième électrode de ladite puce ; -le coulissement du premier support selon ladite direction transversale par 5 rapport au deuxième support jusqu'à amener le matériau de brasage en contact avec la deuxième électrode de la puce ; -le brasage du matériau de brasage de façon à fixer ladite puce audit deuxième support. L'invention porte également sur les variantes suivantes. L'homme du 10 métier comprendra que chacune des caractéristiques des variantes suivantes peut être combinée indépendamment aux caractéristiques ci-dessus, sans pour autant constituer une généralisation intermédiaire. Selon une variante, un espacement est ménagé entre les surfaces planes respectives des premier et deuxième supports. 15 Selon une autre variante, le procédé comprend une étape d'injection d'une résine isolante électriquement dans ledit espacement. Selon encore une variante, ladite impression tridimensionnelle inclut la formation d'un canal à l'intérieur du premier ou du deuxième support, ce canal débouchant sur ladite surface plane de ce support, ladite étape d'injection de la résine isolante incluant l'injection de ladite résine isolante par l'intermédiaire dudit canal. Selon encore une autre variante, ladite impression tridimensionnelle inclut l'impression d'une céramique sélectionnée dans le groupe constitué de A1203, AIN ou BeOx. Selon une variante, la formation desdits premier et deuxième contacts électriques est réalisée par liaison directe de cuivre sur ladite céramique. Selon encore une variante, la formation desdits premier et deuxième contacts électriques est réalisée par dépôt physique en phase vapeur. Selon une autre variante, ladite impression tridimensionnelle inclut la 30 formation d'ailettes de refroidissement dans lesdits premier et deuxième supports. Selon encore une variante, lesdites ailettes de refroidissement sont ménagées sur des faces desdits premier et deuxième supports opposées auxdites surfaces planes. 35 Selon encore une autre variante, ladite puce inclut un transistor à hétérojonction. Selon une variante, lesdits premiers reliefs des premier et deuxième supports présentent une forme se rétrécissant en s'éloignant de ladite surface plane. ICG11087 FR Depot Texte.docx 3054 92 8 4 Selon une autre variante, lesdits premiers reliefs formés présentent une face latérale de forme conique. Selon encore une variante, lesdits premiers reliefs formés présentent une surface hémisphérique. 5 Selon encore une autre variante, un desdits reliefs formés présentent une forme sans symétrie par rapport à un axe normal à leur surface plane. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront clairement de la description qui en est faite ci-après, à titre indicatif et nullement 10 limitatif, en référence aux dessins annexés, dans lesquels : -les figures 1 à 4 sont des vues en coupe transversale d'un support de circuit intégré à différentes étapes d'un exemple de procédé de fabrication; -la figure 5 est une vue de dessus du support de circuit intégré à une autre étape d'un exemple de procédé de fabrication ; 15 -la figure 6 est une vue en perspective du support de circuit intégré de la figure 4 ; -la figure 7 est une vue en coupe transversale d'un autre support du circuit intégré à une étape d'un exemple de procédé de fabrication ; -la figure 8 est une vue de dessous du support de la figure 7 ; 20 -les figures 9 et 10 sont des vues en coupe transversale d'un circuit intégré à différentes étapes d'un exemple de procédé d'encapsulation selon l'invention ; -la figure 11 est une vue en perspective du circuit intégré à l'issue du procédé d'encapsulation ; -la figure 12 est une vue en coupe transversale d'une variante de circuit 25 intégré à une étape d'un autre exemple de procédé d'encapsulation selon l'invention ; -les figures 13 à 16 sont des vues en perspective de différents exemples de formes de reliefs mâles en vue de positionner les supports l'un par rapport à l'autre. La figure 1 est une vue en coupe transversale d'un premier support 2 de circuit intégré 1, lors d'une étape de son procédé de fabrication. Par une impression tridimensionnelle d'un matériau diélectrique, le support 2 est formé. Le support 2, ainsi formé par impression tridimensionnelle, présente une surface plane 20 au niveau de sa face supérieure. Un renfoncement 221 est formé en retrait par rapport à la surface plane 20. Un autre renfoncement 222 (illustré ultérieurement) est également formé en retrait par rapport à la surface plane 20. Des premier et deuxième reliefs 211 et 212 sont formés par rapport à la surface plane 20. Les reliefs 211 et 212 sont positionnés à des emplacements différents du support 2. Les reliefs 211 et 212 sont ici des plots formés en saillie par rapport ICG11087 FR Depot Texte.docx 3054928 5 à la surface plane 20. Le support 2 est formé d'un seul tenant lors de l'impression tridimensionnelle. Lors de l'impression tridimensionnelle, on forme avantageusement des ailettes de refroidissement 25 au niveau de la face inférieure du support 2. 5 L'impression tridimensionnelle peut être réalisée par impression d'une céramique sélectionnée (de manière non-exhaustive) dans le groupe constitué de ; - le nitrure d'aluminium - Le nitrure de Bore 10 - Le nitrure de Silicium - l'alumine (ou oxyde d'aluminium) On notera que ces céramiques peuvent être plus ou moins chargées afin de modifier leurs propriétés physiques. À la figure 2, on réalise une métallisation de la face supérieure du support 15 2, de façon à métalliser au moins le fond 223 du renfoncement 221 et le fond du renfoncement 222 avec une couche de métal 230. La métallisation de cette face supérieure est par exemple réalisée pleine plaque, de sorte que la couche de métal 230 recouvre ici les reliefs 211 et 212, ainsi que la surface plane 20. Une métallisation pleine plaque peut par exemple être réalisée par PVD. Les dépôts 20 couches-minces (PVD) appliqués sur la céramique peuvent être par exemple: - Ti/Pt/Au - Cr/Ni/Au - NiCr/Au - Argent, cuivre, ou AuSn. 25 Une métallisation peut aussi être réalisée par exemple par liaison directe de cuivre, par exemple pleine plaque. D'autres renfoncements et d'autres reliefs peuvent également être formés lors de l'impression tridimensionnelle du support 2 mais ne seront pas davantage détaillés. À la figure 3, on réalise une mise en forme de la couche de métal 230, pour 30 délimiter un contact métallique 231 sur le fond 223 du renfoncement 221. La mise en forme de la couche de métal 230 peut également servir à définir des pistes conductrices sur la surface plane 20, par exemple pour créer des connexions électriques. La mise en forme de la couche de métal 230 peut par exemple être mise en oeuvre par des étapes de photolithographie et de gravure, de façon 35 connue en soi. La mise en forme de la couche de métal 230 vise notamment à retirer la majeure partie de la couche 230 de la surface plane 20, et des reliefs 211 et 212. La couche 230 est retirée des parois latérales 225 du renfoncement 221 mais une partie de la couche 230 peut être conservée sur une paroi latérale 225 du renfoncement 221 pour former une connexion avec le contact métallique 40 231. De façon similaire, la mise en forme de la couche de métal 230 peut délimiter le contact métallique 232 sur le fond du renfoncement 222. ICG11087 FR Depot Texte.docx 3054928 6 À la figure 4, on a déposé une pâte de brasage 241 sur le contact métallique 231. Additionnellement, on a déposé une pâte de brasage 242 (illustrée à la figure 5) sur le contact métallique 232. Comme illustré aux figures 5 et 6, on a ensuite positionné une puce 41 en 5 contact avec la pâte de brasage 241 au fond du renfoncement 221. Une électrode de la puce 41 est par exemple placée en contact avec la pâte de brasage 241, par exemple une électrode de polarisation d'un substrat de la puce 41. Une connexion électrique est ainsi formée entre une électrode de la puce 41 et le contact 231. Par ailleurs, on a avantageusement positionné un connecteur de 10 puissance 5 contre la pâte de brasage 241, sur le côté de la puce 41, et en porte-à-faux par rapport à un bord latéral du support 2. Par une étape de brasage, on a fixé la puce 41 au contact 231, par l'intermédiaire de la pâte de brasage 241. Par une étape de brasage, on a également fixé le connecteur de puissance 5 au contact 231, par l'intermédiaire de la pâte de brasage 241. Additionnellement, on 15 a ici positionné une puce 42 en contact avec une pâte de brasage 242 au fond de l'autre renfoncement 222. Une électrode de la puce 42 est par exemple placée en contact avec la pâte de brasage 242, par exemple une électrode de polarisation d'un substrat de la puce 42. Par une étape de brasage, on a fixé la puce 42 au contact 232, par l'intermédiaire de la pâte de brasage 242. 20 Par une impression tridimensionnelle d'un matériau diélectrique, un autre support 3 de circuit intégré 1 est formé. Le support 3 peut alors présenter la géométrie illustrée aux figures 7 et 8. Le support 3, ainsi formé par impression tridimensionnelle, présente une surface plane au niveau de sa face inférieure. Un 25 renfoncement 321 est formé en retrait par rapport à la surface plane 30. Un autre renfoncement 322 est formé en retrait par rapport à la surface plane 30. Des premiers et deuxièmes reliefs 311 et 312 sont formés par rapport à la surface plane 30. Les reliefs 311 et 312 sont positionnés à des emplacements différents du support 3. Les reliefs 311 et 312 sont ici des alésages en retrait par rapport à 30 la surface plane 30. Les reliefs 311 et 312 présentent par exemple une forme complémentaire de celle des reliefs 211 et 212, ou sont configurés pour pouvoir loger la majeure partie des reliefs 211 et 212. Le support 3 est formé d'un seul tenant lors de l'impression tridimensionnelle. Lors de l'impression tridimensionnelle, on forme avantageusement des ailettes de refroidissement 35 35 au niveau de la face supérieure du support 3. L'impression tridimensionnelle peut être réalisée par impression d'une céramique sélectionnée dans le groupe constitué de de A1203, AIN, BeOx ou tout autre matériau présentant des propriétés d'isolant électrique et idéalement de bonnes propriétés de conducteur thermique. ICG11087 FR Depot Texte.docx 3054928 7 On a réalisé une métallisation de la face inférieure du support 3, de façon à métalliser au moins le fond du renfoncement 321 avec une couche de métal. La métallisation de cette face inférieure est par exemple réalisée pleine plaque, de sorte que la couche de métal recouvre initialement les reliefs 311 et 312, ainsi 5 que la surface plane 20. Une métallisation pleine plaque peut par exemple être réalisée par PVD sur un matériau céramique formé lors de l'impression tridimensionnelle. Les dépôts couches-minces (PVD) appliqués sur la céramique peuvent être par exemple: - Ti/Pt/Au 10 - Cr/Ni/Au - NiCr/Au - Argent, cuivre, ou AuSn. D'autres renfoncements et d'autres reliefs peuvent également être formés lors de l'impression tridimensionnelle du support 3 mais ne seront pas davantage 15 détaillés. On a réalisé une mise en forme de la couche de métal, pour délimiter un contact métallique 331 sur le fond du renfoncement 321, et pour délimiter un contact métallique 332 sur le fond 324 du renfoncement 322. La mise en forme de la couche de métal peut également servir à définir des pistes conductrices sur 20 la surface plane 30, par exemple pour créer des connexions électriques. La mise en forme de la couche de métal peut par exemple être mise en oeuvre par des étapes de photolithographie et de gravure, de façon connue en soi. La mise en forme de la couche de métal du support 3 vise notamment à retirer la majeure partie de cette couche de la surface plane 30, et des reliefs 311 et 312. La couche 25 de métal est retirée des parois latérales du renfoncement 321 et du renfoncement 322, mais une partie de la couche de métal peut être conservée sur une paroi latérale /plan incliné du renfoncement 321 et/ou du renfoncement 322, pour former une connexion avec le contact métallique 331 ou avec le contact métallique 332 le cas échéant. 30 Lors d'une étape du procédé d'encapsulation illustrée à la figure 9, les supports 2 et 3 sont positionnés en vis-à-vis, de sorte que la surface inférieure du support 3 fasse face à la surface supérieure du support 2. Les surfaces planes 20 et 30 sont positionnées parallèles l'une par rapport à l'autre. Les reliefs 311 et 35 312 sont positionnés en vis-à-vis des reliefs 211 et 212 respectivement. Les renfoncements 221 et 222 sont positionnés en vis-à-vis des renfoncements 321 et 322 respectivement. La pâte à braser 341 est alors positionnée à l'aplomb d'une électrode supérieure de la puce 41. La pâte à braser 342 est alors positionnée à l'aplomb d'une électrode supérieure de la puce 42. ICG11087 FR Depot Texte.docx 3054928 8 Lors de l'étape du procédé d'encapsulation illustrée à la figure 10, on fait coulisser le support 2 et le support 3 l'un par rapport à l'autre selon une direction transversale, c'est-à-dire une direction perpendiculaire à leurs surfaces planes 20 et 30, de façon à les rapprocher. Les reliefs 211 et 212 du support 2 coopèrent 5 alors avec les reliefs 311 et 312 du support 3 pour les guider en coulissement l'un par rapport à l'autre selon la direction transversale. Le coulissement relatif entre les supports 2 et 3 est poursuivi jusqu'à amener la pâte à braser 341 en contact avec la puce 41 et jusqu'à amener la pâte à braser 342 en contact avec la puce 42. Durant ce coulissement, la coopération 10 entre les reliefs 211, 212 et 311, 312 permet de garantir le positionnement relatif entre les pâtes à braser 341 et 342 d'une part, et les puces 41 et 42 d'autre part, en empêchant un pivotement relatif des supports 2 et 3 par rapport à une direction normale aux surfaces planes 20 et 30, et en empêchant un coulissement relatif des supports 2 et 3 selon une direction parallèle aux surfaces planes 20 et 30. 15 Le circuit intégré 1 obtenu à ce stade est avantageusement conçu pour qu'un espace 11 soit ménagé entre les supports 2 et 3 lorsque la pâte à braser 341 atteint le contact avec la puce 41 et lorsque la pâte à braser 342 atteint le contact avec la puce 42. On limite ainsi les risques de fluage excessif des pâtes à braser 341 et 342 lors d'étapes ultérieures, et on permet une injection ultérieure 20 d'une résine ou d'un matériau diélectrique entre les supports 2 et 3 et autour des puces 41 et 42. Une fois les pâtes à braser 341 et 342 en contact respectivement avec des électrodes supérieures respectives des puces 41 et 42, on réalise le brasage des pâtes à braser 341 et 342 avec ces puces 41 et 42. On forme ainsi une fixation 25 des puces 41 et 42 au support 3, ainsi qu'une connexion électrique entre les électrodes supérieures des puces 41 et 42 avec les contacts électriques 331 et 332 respectivement. La figure 11 illustre une vue en perspective du circuit intégré 1 à l'issue de l'étape de brasage. Le procédé d'encapsulation peut se poursuivre par l'injection 30 d'un matériau d'encapsulation entre les supports 2 et 3, par exemple par l'intermédiaire de l'espace 11. Le matériau d'encapsulation injecté est un matériau diélectrique, typiquement une résine époxyde ou une mousse d'encapsulation. Le circuit intégré 1 obtenu à l'issue du procédé d'encapsulation présente un refroidissement amélioré, les faces externes des supports 2 et 3 contribuant 35 au refroidissement. Ce refroidissement est encore amélioré dans l'exemple illustré, du fait de la présence des ailettes de refroidissement respectives 25 et 35 sur les faces externes des supports 2 et 3 respectivement. Par ailleurs, un tel circuit intégré 1 ainsi obtenu peut présenter un encombrement plus réduit dans le plan des surfaces planes 20 et 30, des pistes 40 conductrices pouvant notamment être réparties entre les supports 2 et 3. ICG11087 FR Depot Texte.docx 3054928 9 Dans l'exemple illustré, les renfoncements des supports 2 et 3 présentent des parois latérales (par exemple la paroi latérale 225) sensiblement verticales. On peut également envisager qu'une ou plusieurs des parois latérales des 5 renfoncements soit inclinées par rapport à la normale aux surfaces planes 20 ou 30. En particulier, les parois latérales destinées à recevoir un dépôt métallique s'étendant d'une des surfaces planes 20 ou 30 jusqu'à une paroi de fond du renfoncement présenteront avantageusement une telle inclinaison pour faciliter la tenue de la métallisation et l'insertion d'une puce dans le renfoncement. 10 La figure 12 est une vue en coupe transversale d'une variante du circuit intégré 1. Cette variante de circuit intégré 1 diffère de celle illustrée à la figure 10 uniquement par la structure de son support 2. Le support 2 comporte ici un canal 27 débouchant au niveau de la surface plane 20. Le canal 27 communique par 15 ailleurs avec une entrée, ici ménagée sur un bord latéral du support 2. Le canal 27 peut être utilisé à l'issue de la configuration obtenue à la figure 10. Le canal 27 peut alors être utilisé pour injecter le matériau d'encapsulation dans l'espace 11. 20 Les figures 13 à 16 illustrent à titre d'exemple différentes variantes de reliefs mâles, pouvant être formés sur un des supports 2 ou 3, en vue de favoriser son guidage par rapport à l'autre support. Dans les exemples des figures 13 à 16, les reliefs illustrés sont des reliefs mâles formés sur le support 2. Le ou les reliefs mâles peuvent également être ménagés sur le support 3 et coopérer avec des 25 reliefs femelles du support 2. Les reliefs mâles des figures 13 à 16 présentent avantageusement une section décroissante lorsqu'on s'éloigne de leur surface plane 20, de sorte qu'ils s'insèrent aisément dans les reliefs femelles du support 3, avant de favoriser le guidage en coulissement et le centrage par rapport à ces reliefs femelles, 30 lorsqu'on poursuit le coulissement. A la figure 13, le relief 21 comporte un cône 213 et un renflement de section triangulaire 214. Le renflement 214 traverse ici le cône 213 et présente une hauteur moindre par rapport au cône 213. Le cône 213 peut présenter davantage une fonction de centrage par rapport à un relief femelle, le renflement 214 pouvant 35 présenter une fonction de verrouillage face à des pivotements relatifs des supports 2 et 3 autour d'une direction normale à la surface plane 20. On peut également prévoir que le renflement 214 ne pénètre pas dans un relief femelle du support 3. Le renflement 214 peut alors servir de butée pour la surface plane 30, et ainsi maintenir une valeur calibrée de l'espace 11, du fait de sa hauteur moindre 40 par rapport au cône 213. ICG11087 FR Depot Texte.docx 3054928 10 A la figure 14, le relief 21 comporte une forme hémisphérique 213 et un renflement de section triangulaire 214. Le renflement 214 traverse ici l'hémisphère 213 et présente une hauteur moindre par rapport à cet hémisphère 213. L'hémisphère 213 peut présenter davantage une fonction de centrage par 5 rapport à un relief femelle, le renflement 214 pouvant présenter une fonction de verrouillage face à des pivotements relatifs des supports 2 et 3 autour d'une direction normale à la surface plane 20. On peut également prévoir que le renflement 214 ne pénètre pas dans un relief femelle du support 3. Le renflement 214 peut alors servir de butée pour la surface plane 30, et ainsi maintenir une 10 valeur calibrée de l'espace 11, du fait de sa hauteur moindre par rapport à l'hémisphère 214. A la figure 15, le relief 21 comporte des renflements 213 et 214 de section triangulaire et orientés selon des directions perpendiculaires. Les renflements peuvent coopérer avec des reliefs femelles du support 3 pour verrouiller un 15 pivotement relatif des supports 2 et 3 autour d'une direction normale à la surface plane 20. A la figure 16, deux reliefs 211 et 212 de formes différentes ont été ménagés sur la surface plane 20, avec respectivement une forme de renflement de section triangulaire, et une forme de cône. 20 L'invention s'applique avantageusement à un circuit intégré 1, dans lequel au moins une des puces fixées inclut un composant de puissance ou présentant une tension de claquage élevée (typiquement plusieurs centaines de Volts). Le circuit intégré 1 comprend par exemple une puce 41 incluant un transistor à 25 hétérojonction. La pâte à braser illustrée dans les exemples précédents se présente sous la forme d'une couche. On peut également envisager de déposer la pâte à braser sous forme de plots dissociés, de façon à réduire les risques de fluage de cette 30 pâte à braser au-delà de renfoncements dans lesquels elle est initialement positionnée. Selon une variante, un des supports peut être réalisé par impression tridimensionnelle initiale d'un matériau conducteur, suivie d'un dépôt d'un 35 matériau isolant pour recouvrir ce matériau conducteur. L'isolation au niveau des faces planes des supports peut être formée par un dépôt de matériau isolant autrement que par impression tridimensionnelle. ICG11087 FR Depot Texte.docx REVENDICATIONS1. Procédé d'encapsulation d'un circuit intégré (1), comprenant : -la formation de premier et deuxième supports isolants électriquement (2, 3), incluant une impression tridimensionnelle, les premier et deuxième supports formés présentant chacun une surface plane (20, 30), de façon à former un renfoncement (221) dans le premier support par rapport à sa surface plane (20), et de façon à former, par rapport à la surface plane de chacun des premier et deuxième supports, des premier (211, 311) et deuxième (212, 312) reliefs, de sorte que les premier et deuxième reliefs (211, 212) du premier (2) support coopèrent avec les premier et deuxième reliefs (311, 312) du deuxième support (3) pour guider le premier support en coulissement par rapport au deuxième support selon une direction transversale auxdites surfaces planes (20, 30) ; -la formation d'un premier contact électrique (231) dans ledit renfoncement (221) ; -le positionnement d'une puce (41) dans ledit renfoncement et la formation d'un contact électrique entre une première électrode de la puce (41) et ledit premier contact électrique (231) ; -la formation d'un deuxième contact électrique (331) sur ledit deuxième support (3) et le dépôt d'un matériau de brasage (241) sur ledit deuxième contact électrique; -la superposition des premier et deuxième supports (2, 3) de façon à superposer leurs premiers et deuxièmes reliefs respectifs et de façon à positionner le matériau de brasage (241) à l'aplomb d'une deuxième électrode de ladite puce (41) ; -le coulissement du premier support (2) selon ladite direction transversale par rapport au deuxième support (3) jusqu'à amener le matériau de brasage (241) en contact avec la deuxième électrode de la puce ; -le brasage du matériau de brasage (241) de façon à fixer ladite puce (41) audit deuxième support (3). 2. Procédé d'encapsulation selon la revendication 1, dans lequel un espacement (10) est ménagé entre les surfaces planes (20,30) respectives des premier et deuxième supports (2, 3). 3. Procédé d'encapsulation selon la revendication 2, comprenant une étape d'injection d'une résine isolante électriquement dans ledit espacement (10). 4. Procédé d'encapsulation selon la revendication 3, dans lequel ladite impression tridimensionnelle inclut la formation d'un canal (27) à l'intérieur du premier ou du deuxième support, ce canal débouchant sur ladite surface plane (20) de ce support, ladite étape d'injection de la résine isolante incluant l'injection de ladite résine isolante par l'intermédiaire dudit canal (27). ICG11087 FR Irreg Texte.docx 3054928 12 5. Procédé d'encapsulation selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel ladite impression tridimensionnelle inclut l'impression d'une céramique sélectionnée dans le groupe constitué de A1203, AIN ou BeOx. 5 6. Procédé d'encapsulation selon la revendication 5, dans lequel la formation desdits premier et deuxième contacts électriques (231,331) est réalisée par liaison directe de cuivre sur ladite céramique. 10 7. Procédé d'encapsulation selon la revendication 5, dans lequel la formation desdits premier et deuxième contacts électriques (231,331) est réalisée par dépôt physique en phase vapeur. 8. Procédé d'encapsulation selon l'une quelconque des revendications 15 précédentes, dans lequel ladite impression tridimensionnelle inclut la formation d'ailettes de refroidissement (25,35) dans lesdits premier et deuxième supports (2, 3). 9. Procédé d'encapsulation selon la revendication 8, dans lequel lesdites ailettes 20 de refroidissement (25,35) sont ménagées sur des faces desdits premier et deuxième supports opposées auxdites surfaces planes (20,30). 10. Procédé d'encapsulation selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel ladite puce (41) inclut un transistor à hétérojonction. 11. Procédé d'encapsulation selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel lesdits premiers reliefs des premier et deuxième supports présentent une forme se rétrécissant en s'éloignant de ladite surface plane. 12. Procédé d'encapsulation selon la revendication 11, dans lequel lesdits premiers reliefs formés présentent une face latérale de forme conique. 13. Procédé d'encapsulation selon la revendication 11, dans lequel lesdits 35 premiers reliefs formés présentent une surface hémisphérique. 14. Procédé d'encapsulation selon la revendication 11, dans lequel un desdits reliefs formés présente une forme sans symétrie par rapport à un axe normal à sa surface plane. 40 ICG11087 FR Irreg Texte.docx 25 30