Brevet FR3062209A1 — publié le 20180727

DOMAINE TECHNIQUE DE L'INVENTION La présente invention concerne le domaine de la détection optique de particules en général et plus particulièrement de particules de taille micrométrique, voire nanométrique. Elle trouvera pour application particulièrement avantageuse mais non limitative la détection des particules de poussière, des particules de fumée pour détecter les incendies ou encore la détection des particules polluantes et notamment les particules dites fines. ETAT DE LA TECHNIQUE Les détecteurs de particules sont généralement basés sur la diffraction de la lumière visible, ou proche infrarouge, par des particules. Ces détecteurs comportent ainsi généralement des capteurs optiques configurés pour mesurer la diffraction de la lumière par les particules. Les détecteurs comprennent une source de lumière et un canal à travers lequel passent les particules à détecter. En l'absence de particules, il n'y a pas de diffraction, les capteurs optiques ne mesurent donc pas de lumière. En présence de particules, la lumière est diffractée par les particules et les capteurs optiques détectent la lumière diffractée dans leur angle solide de détection. Cette mesure permet ainsi de détecter une ou plusieurs particules. Alors que l'intensité de la lumière diffractée et son diagramme angulaire sont des caractéristiques de la nature, de la forme, de la taille et de la concentration des particules, les solutions connues ne permettent pas de mesurer l'ensemble de ces caractéristiques de manière fidèle, à un coût raisonnable et en occupant un encombrement limité. Le document FR2963101 décrit une solution existante. Cette solution prévoit une source de lumière véhiculée par un guide d'ondes qui illumine un canal gravé dans un substrat de silicium et à travers lequel des particules vont circuler. La diffraction de la lumière incidente par ces particules est détectée par deux photodiodes périphériques réalisées sur le substrat de silicium. Cette solution permet de réduire l'encombrement du capteur. En revanche, il est extrêmement difficile avec ce type de solution d'obtenir des informations suffisamment précises et complètes sur les particules. 3062209 2 Il est notamment difficile, voire impossible, de déterminer la nature des particules. Il existe donc un besoin consistant à proposer une solution pour améliorer la précision et la quantité d'informations relatives aux particules, afin par 5 exemple de déterminer leur nature. Tel est l'objectif de la présente invention. RESUME DE L'INVENTION La présente invention concerne un détecteur de particules 10 comprenant au moins : o Un dispositif optique apte à être connecté à au moins une source lumineuse et configuré pour émettre au moins un rayonnement lumineux généré par ladite source lumineuse ; o Un substrat s'étendant dans selon un plan principal (x, y) et 15 définissant une partie au moins d'un canal destiné à recevoir un fluide comprenant des particules, le canal s'étendant principalement selon une direction perpendiculaire (z) au plan principal (x, y), une portion au moins du substrat étant configurée pour recevoir une partie au moins du rayonnement lumineux émis 20 par le dispositif optique. Le détecteur comprend en outre une matrice de photodétecteurs et au moins une surface réfléchissante, apte à réfléchir le rayonnement lumineux. La matrice de photodétecteurs et la surface réfléchissante sont disposées de part et d'autre de ladite portion du substrat. Avantageusement, le détecteur est 25 configuré de sorte que si des particules sont présentes dans le canal, une partie au moins du rayonnement lumineux émis par le dispositif optique traverse le canal en étant diffracté au moins partiellement par au moins une particule, puis se réfléchit au moins en partie sur la surface réfléchissante, puis parvient ensuite au moins en partie à la matrice de photodétecteurs. 30 L'association du canal, de l'au moins une surface réfléchissante et d'une matrice de photodétecteurs, permet de capter un plus grand nombre de rayons lumineux diffractés par les particules. 3062209 3 En effet, la matrice de photodétecteurs peut recevoir d'une part les rayons lumineux diffractés par les particules et qui parviennent après diffraction directement sur la matrice de photodétecteurs et d'autre part les rayons qui parviennent sur la matrice de photodétecteurs après réflexion sur la surface 5 réfléchissante. L'invention permet ainsi d'augmenter le diagramme de diffraction auquel l'on a accès. En effet, dans le cadre du développement de la présente invention il a été remarqué que dans une solution du type de celle décrite dans le document 10 FR2963101 cité ci-dessus, les photodétecteurs captent la lumière diffractée latéralement et détectent un angle solide de la diffraction qui est très limité. Ce type de solution ne permet alors d'accéder qu'à une portion limitée du diagramme de diffraction ce qui réduit la richesse des informations disponibles et limite la connaissance que l'on peut avoir des particules, en particulier leur 15 nature. Avec l'invention, la combinaison de la surface réfléchissante, de la matrice de photodétecteurs et du substrat portant le canal permet d'approximer à une mesure bidimensionnelle une diffraction tridimensionnelle. La présente invention permet ainsi une projection sur une même matrice 20 de photodiodes d'un très grand nombre de faisceaux lumineux diffractés dans des directions variées en trois dimensions. La géométrie de la présente invention permet une projection d'un espace vectoriel de propagation tridimensionnelle vers un espace de mesure bidimensionnel. 25 L'invention permet ainsi de collecter des informations en plus grande quantité et plus précises concernant les particules. La détection des particules et l'identification de leurs paramètres, tel que leurs tailles ou leur nature, est donc améliorée. De manière particulièrement avantageuse, la présente invention permet la 30 détermination de l'indice de réfraction des particules. 3062209 4 La présente invention concerne aussi un procédé de réalisation d'au moins un détecteur de particules selon la présente invention, comprenant au moins les étapes suivantes : o Fournir au moins un premier substrat comprenant au moins une 5 matrice de photodétecteurs et une partie d'au moins un dispositif optique configurée pour émettre au moins un rayonnement lumineux, le premier substrat s'étendant selon un plan principal (x, y) ; o Fournir au moins un deuxième substrat comprenant au moins une 10 couche réfléchissante, apte à réfléchir ledit au moins un rayonnement lumineux et s'étendant en partie au moins selon le plan principal (x, y) ; o Former un troisième substrat en assemblant le premier substrat et le deuxième substrat de sorte que la matrice de photodétecteurs 15 et la surface réfléchissante soient disposées de part et d'autre d'une portion au moins du substrat ; o Avant et/ou après l'étape de formation du troisième substrat, former au moins un canal de circulation des particules s'étendant principalement selon une direction perpendiculaire (z) audit plan 20 principal (x, y) et traversant de part en part le troisième substrat de sorte que, si des particules sont présentes dans le canal, une partie au moins du rayonnement lumineux émis par le dispositif optique traverse le canal en étant diffracté au moins partiellement par au moins une particule, puis se réfléchisse au moins en partie 25 sur la surface réfléchissante, puis parvienne ensuite au moins en partie à la matrice de photodétecteurs. De manière avantageuse, dans le cas où l'étape de formation du canal est réalisée avant l'étape de formation du troisième substrat, le procédé comprend 30 les étapes suivantes : o Formation d'au moins une première portion du canal au travers du premier substrat selon la direction perpendiculaire (z) et situé à proximité de la portion distale ; 3062209 5 o Formation d'au moins une deuxième portion du canal au travers du deuxième substrat selon ladite direction perpendiculaire (z) ; o Dépôt d'au moins une couche réfléchissante additionnelle, apte à réfléchir ledit au moins un rayonnement lumineux, sur au moins 5 une partie de la deuxième portion du canal et de préférence sur au moins une paroi dudit au moins un canal. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES Les buts, objets, ainsi que les caractéristiques et avantages de l'invention 10 ressortiront mieux de la description détaillée de modes de réalisation de cette dernière qui sont illustrés par les dessins d'accompagnement suivants dans lesquels : La figure la est vue du dessus d'un détecteur de particules selon un premier mode de réalisation de la présente invention. Sur cette figure, une 15 projection du diagramme de diffraction de rayons lumineux par des particules est schématisée. Cette figure représente une disposition possible d'une matrice de photodétecteurs relativement à un canal de circulation des particules et à la portion distale d'un dispositif optique. La figure lb illustrent une vue selon la coupe A-A de la figure 1 a. Sur 20 cette figure, le chemin optique de rayons lumineux extraits depuis un réseau d'extraction est représenté. Ce chemin optique rencontre le flux de particules dans le canal de circulation des particules formant alors des rayons lumineux diffractés représentés schématiquement sur cette figure. Les réflexions des rayons lumineux extraits et des rayons lumineux diffractés par une couche 25 réfléchissante supérieure sont représentées également. La figure 2a est une vue du dessus, similaire à la vue de la figure la, mais selon une variante du mode de réalisation de la figure la dans laquelle des photodétecteurs sont distribués sur l'ensemble d'un substrat de sorte à couvrir une plus grande surface de détection. 30 La figure 2b est une vue selon la coupe A-A de la figure 2a. Sur cette figure, de manière identique à la figure 1 b, sont schématisés les chemins optiques de rayons lumineux extraits depuis un réseau d'extraction située au 3062209 6 niveau d'une portion distale d'un guide d'ondes, ainsi que ceux de rayons lumineux diffractés et réfléchis. La figure 2c est une vue selon la coupe B-B de la figure 2a. Sur cette figure, de manière identique à la figure 2b, sont schématisés les chemins 5 optiques de rayons lumineux extraits depuis le réseau d'extraction, ainsi que ceux de rayons lumineux diffractés et réfléchis. La figure 3a est une vue du détail A de la figure 1 a. Il s'agit d'une vue du dessus d'un exemple du réseau d'extraction et de ses dimensions. La figure 3b est une vue du détail B de la figure I b. Il s'agit d'une vue en 10 coupe du réseau d'extraction, la coupe étant prise au niveau de la portion distale du guide d'ondes. Les figures 4a à 6d illustrent des étapes de réalisation d'un détecteur selon la présente invention. Plus précisément : Les figures 4a à 4h illustrent, selon un mode de réalisation et selon un 15 vue selon la coupe A-A, les étapes de formation du réseau d'extraction sur un premier substrat comprenant une matrice de photodétecteurs et au moins la portion distale du guide d'ondes destinée à comprendre le réseau d'extraction. Les figures 5a à 5d illustrent, selon le premier mode de réalisation et selon un vue selon la coupe A-A, les étapes principales de formation d'un 20 deuxième substrat et de la couche réfléchissante. Les figures 6a à 6d illustrent, selon le premier mode de réalisation et selon un vue selon la coupe A-A, l'assemblage des premier et deuxième substrats illustrés en figures 4h et 5d ainsi que la formation du canal de circulation des particules. 25 Les figure 7a et 7b illustrent, selon encore un autre mode de réalisation, deux vues selon la coupe A-A coupant le canal de circulation des particules. Sur la figure 7a, on a représenté un chemin optique qui traverse le canal directement en sortie du réseau d'extraction. Sur la figure 7b, on a représenté un chemin optique qui traverse le canal 30 directement en sortie du réseau d'extraction après réflexion sur une surface réfléchissante. 3062209 7 La figure 8a est une vue du dessus d'une variante du mode de réalisation de la figure 7a dans lequel des photodétecteurs sont distribués sur l'ensemble d'un substrat de sorte à couvrir une plus grande surface de détection. Les figures 8b et 8c sont des vues selon la coupe B-B du détecteur selon 5 la figure 8a. Ces figures 8b et 8c correspondent aux vues 7a et 7b appliquées au mode de réalisation de la figure 8a. Les figures 9a à 9f illustrent des étapes de réalisation du détecteur illustré en figures 8a à 8c. Les figures 9a et 9b illustrent, selon un mode de réalisation et selon une 10 vue selon la coupe A-A, les étapes de formation du réseau d'extraction sur un premier substrat comprenant une matrice de photodétecteurs et au moins la portion distale du guide d'ondes ainsi que la formation d'une première portion du canal. Les figures 9c à 9e illustrent, selon un mode de réalisation et selon un 15 vue selon la coupe A-A, les étapes de formation d'un deuxième substrat et d'une deuxième portion du canal ainsi que le dépôt de la couche réfléchissante supérieure. La figure 9f illustre, selon un mode de réalisation et selon une vue selon la coupe A-A, l'assemblage des premier et deuxième substrats. 20 Les figures 10 et 11 illustrent deux modes de réalisation de la présente invention dans lesquels le substrat comprend deux canaux de circulation des particules. Sur ces figures, une projection des diagrammes de diffraction de rayons lumineux par des particules est schématisée. Ces figures représentent des dispositions possibles d'une matrice de photodétecteurs relativement aux 25 deux canaux de circulation des particules. Sur ces figures, le dispositif optique comprend un guide d'ondes se séparant en deux bras. La figure 11 est une vue du dessus d'une variante du mode de réalisation de la figure 10 dans lequel des photodétecteurs sont distribués sur l'ensemble d'un substrat de sorte à couvrir une plus grande surface de détection. 30 Les figures 12 et 13 illustrent un dispositif optique selon deux modes de réalisation de la présente invention. Sur ces figures, le dispositif optique comprend un guide d'ondes se séparant en deux bras. 3062209 8 Les dessins joints sont donnés à titre d'exemples et ne sont pas limitatifs de l'invention. Ces dessins sont des représentations schématiques et ne sont pas nécessairement à l'échelle de l'application pratique. En particulier les dimensions relatives des différentes couches, photodétecteurs et guide d'ondes 5 ne sont pas représentatives de la réalité. DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION Dans le cadre de la présente invention, le terme « sur », « surmonte », « recouvre » ou « sous-jacent » ou leurs équivalents ne signifient pas « au 113 contact de ». Ainsi par exemple, le dépôt d'une première couche sur une deuxième couche, ne signifie pas obligatoirement que les deux couches ou substrats sont directement au contact l'une de l'autre mais cela signifie que la première couche recouvre au moins partiellement la deuxième couche en étant soit directement à son contact soit en étant séparée d'elle par au moins une 15 autre couche ou au moins un autre élément. Dans la description qui suit, des numéros de référence similaires seront utilisés pour décrire des concepts similaires à travers des modes de réalisation différents de l'invention. Sauf indication spécifique contraire, des caractéristiques techniques 20 décrites en détail pour un mode de réalisation donné peuvent être combinées aux caractéristiques techniques décrites dans le contexte d'autres modes de réalisation décrits à titre exemplaire et non limitatif. Dans le cadre de la présente invention, le terme « particule », ou ses équivalents ont pour définition un constituant d'un système physique considéré 25 comme élémentaire par rapport aux propriétés étudiées. Par exemple une particule est un élément de matière dont la plus grande dimension est inférieure au millimètre (10-3 mètres) et de préférence à quelques dizaines de micromètres (10-6 mètres) et de préférence inférieure au micromètre, voire de l'ordre du nanomètre (1OE9 mètres). De manière générale, il s'agit d'objets 30 3062209 9 composés de matière dont les dimensions sont petites par rapport aux dimensions du canal de circulation des particules. De manière préférée dans le cadre de la présente invention, les termes « rayonnement lumineux », «onde » ou « rayon » ou leurs équivalents ont pour 5 définition un flux électromagnétique ayant une longueur d'onde principale lambda ou une longueur d'onde lambda moyenne autour de la longueur d'onde principale avec un écart type de préférence inférieur ou de l'ordre de 20% par exemple et se propageant de préférence selon une seule direction principale ou une direction moyenne autour de la direction principale avec un écart type 10 inférieur ou de l'ordre de 10% par exemple. Cette direction de propagation est appelée également « chemin optique ». Dans ce qui suit, les termes « diffusion », « diffraction » ou leurs équivalents se réfèrent au phénomène par lequel un milieu de propagation produit une répartition, dans de nombreuses directions, de l'énergie d'une onde 15 électromagnétique, lumineuse par exemple. Dans ce qui suit, le terme "Transparence" ou ses équivalents se réfèrent au phénomène de laisser relativement se propager un rayonnement lumineux dans un matériau dit transparent. Dans la présente description, un matériau est considéré comme transparent dès lors qu'il laisse passer au moins 50% d'un 20 rayonnement lumineux, de préférence au moins 75% et avantageusement au moins 90%. Avant d'entamer une revue détaillée de modes de réalisation de l'invention, sont énoncées ci-après des caractéristiques optionnelles qui peuvent éventuellement être utilisées en association ou alternativement : 25 - Avantageusement, le substrat présente une première face tournée en regard de ou disposée au contact de la surface réfléchissante et une deuxième face, opposée à la première face et tournée en regard de ou disposée au contact de la matrice de photodétecteurs. - Avantageusement, la matrice de photodétecteurs et la surface 30 réfléchissante sont situées en partie au moins et de préférence entièrement, au droit l'une de l'autre selon ladite direction perpendiculaire (z). 3062209 10 Cela permet d'augmenter efficacement la quantité de rayons lumineux diffractés mesurés tout en conservant un encombrement très limité. - Avantageusement, le détecteur de particules selon la présente invention est configuré de sorte qu'une partie au moins du rayonnement lumineux 5 soit réfléchie par une partie au moins de la surface réfléchissante avant de traverser le canal pour être diffractée par au moins une particule. L'utilisation d'une surface réfléchissante située avant la traversée du canal de particules, par exemple située au regard de la sortie du dispositif optique tel qu'un guide d'ondes, permet à la présente invention 10 de tirer parti des rayons rétrodiffusés en plus des rayons lumineux diffractés, augmentant d'autant le nombre de mesures et donc la richesse des informations détectées. - Avantageusement, le substrat est formé d'au moins un matériau laissant passer au moins 50%, de préférence au moins 75% et de préférence au 15 moins 90% dudit rayonnement lumineux, de préférence le substrat comprend un matériau transparent relativement au rayonnement lumineux. - Avantageusement, le dispositif optique présente une portion distale par laquelle le rayonnement lumineux est émis, la portion distale et la 20 matrice de photodétecteurs sont situées de part et d'autre du canal par rapport à ladite direction perpendiculaire (z). Cela permet d'augmenter la quantité de rayons lumineux diffractés reçus par la matrice de photodétecteurs. - Avantageusement, la matrice de photodétecteurs s'étend autour, de 25 préférence tout autour, du canal. - Selon ce mode de réalisation, la matrice s'étend sur 360° autour du canal. Cela permet de maximiser la quantité de rayons lumineux diffractés reçus par la matrice de photodétecteurs. 30 Le positionnement de photodétecteurs sous le guide d'ondes permet également de disposer de photodétecteurs aveugles permettant de déterminer virtuellement la position relative des autres photodétecteurs et donc de connaître virtuellement la géométrie du détecteur. Par 3062209 11 ailleurs, cela permet de faciliter le positionnement du dispositif optique en réduisant des contraintes de positionnement. De manière plus générale, la matrice de photodétecteurs s'étend autour du canal en couvrant un arc de cercle d'au moins 1800 et de préférence 5 250° et de préférence 300°. - Avantageusement, au moins une partie de la surface réfléchissante est portée par au moins une partie de la paroi du canal. - Avantageusement, le substrat comprend au moins un premier substrat et un deuxième substrat, le premier substrat portant la matrice de 10 photodétecteurs et de préférence une partie au moins du dispositif optique et le deuxième substrat portant au moins la surface réfléchissante, de préférence le premier substrat étant configuré pour assurer une fonction de détection du rayonnement lumineux diffracté et le deuxième substrat étant configuré pour assurer au moins en partie 15 une fonction de réflexion du rayonnement lumineux diffracté en direction de la matrice de photodétecteurs. - Avantageusement, le substrat comprend au moins un premier substrat et un deuxième substrat, le premier substrat portant au moins une première portion du canal et le deuxième substrat portant au moins une deuxième 20 portion du canal, chaque portion s'étendant selon ladite direction perpendiculaire (z), la surface moyenne de la section de la première portion est sensiblement égale ou inférieure à la surface moyenne de la section de la deuxième portion, la surface moyenne de la section d'une portion correspondant à la moyenne des surfaces prise sur l'ensemble 25 de la hauteur selon l'axe z. - Selon un mode de réalisation, l'épaisseur moyenne de la première portion est sensiblement égale ou inférieure à l'épaisseur moyenne de la deuxième portion, les épaisseurs étant mesurées selon ladite direction perpendiculaire (Z). 30 - Avantageusement, le substrat est un substrat monocouche. - Alternativement, le substrat est un substrat multicouche. - Avantageusement, le dispositif optique est formé dans ledit substrat. - Avantageusement, la surface réfléchissante recouvre tout le substrat. 3062209 12 - Avantageusement, la matrice de photodétecteurs et la surface réfléchissante sont décalées suivant la direction perpendiculaire (z). Cela permet de disposer d'un espace, comprenant de préférence un matériau transparent au rayonnement lumineux, dans lequel certains 5 rayons lumineux diffractés peuvent se propager jusqu'à rencontrer la matrice de photodétecteurs de manière directe ou après réflexion sur la surface réfléchissante. - Avantageusement, le rayonnement lumineux est un rayonnement monochromatique. 10 Cela permet de connaître avec précision la longueur d'onde du rayonnement lumineux reçu par les photodétecteurs afin de concevoir avec précision le présent détecteur afin d'accroître sa sensibilité au travers du choix des matériaux et de leur géométrie. - Avantageusement, le dispositif optique comprend au moins un guide 15 d'ondes, porté par le substrat, configuré pour guider le rayonnement lumineux en direction du canal. Cela permet de disposer d'une source de rayonnement lumineux éloignée du canal. Le guide d'ondes permet d'amener au plus près du canal le rayonnement lumineux et de préférence tout en le conformant 20 aux besoins de détection. - Avantageusement, le dispositif optique comprend au moins une portion distale conformée pour former, en sortie du dispositif optique un réseau d'extraction configuré pour générer un ensemble de rayons lumineux extraits, de préférence parallèles les uns avec les autres, en sortie du 25 dispositif optique, le réseau d'extraction présente une forme qui s'évase dans le plan principal (x, y) en direction du canal. - Avantageusement, le réseau d'extraction comprend une pluralité de rainures elliptiques, chaque rainure étant une rainure d'extraction d'une partie au moins du rayonnement lumineux. 30 - Avantageusement, le réseau d'extraction comprend au moins une pluralité de rainures elliptiques et la pluralité de rainures forme une alternance de tranchées et de saillies. 3062209 13 Cela permet de choisir lors de la conception du guide d'ondes la longueur d'extraction et donc la dimension du faisceau extrait portant les rayons lumineux extraits, ainsi que la divergence du faisceau extrait. En effet, l'épaisseur de la gravure détermine la morphologie des rainures 5 d'extraction et, par là même, les dimensions du faisceau extrait. Lorsque la gravure est partielle, le faisceau extrait est large, et peu divergent, donc composé de rayons lumineux extraits ayant sensiblement la même déviation verticale correspondant à l'angle a. Lorsque la gravure est profonde, le faisceau extrait est étroit 10 spatialement, donc divergent, donc composé de rayons lumineux extraits ayant des déviations verticales variant autour de la valeur de l'angle a. Cet aspect elliptique permet de suivre le profil du front d'onde du rayonnement lumineux lors de sa propagation dans ladite portion distale. Avantageusement, le dispositif optique comprend au moins un guide 15 d'ondes comprenant un coeur présentant une portion distale et une gaine enrobant le coeur, le coeur présentant, au niveau de la portion distale, une pluralité de rainures de plus faible épaisseur que le reste de la portion distale disposées de manière périodique selon un pas P tel que P satisfasse l'expression suivante : 20 neff neff - ng Avec : À la longueur d'onde du rayonnement lumineux ; neff l'indice de réfraction effectif du mode fondamental du rayonnement lumineux ; n, l'indice de réfraction du coeur du guide d'ondes ; 25 rlg l'indice de réfraction de la gaine du guide d'ondes ; neff étant compris entre n, et ng. Cela permet d'obtenir une extraction du rayonnement lumineux depuis le réseau d'extraction selon une direction de propagation faisant un angle a entre le plan (x, y) dans lequel le guide d'ondes s'étend principalement et 30 la direction principale d'extension du canal (z) avec de préférence a compris entre 0 et 900 . 3062209 14 - Le rayonnement lumineux se propageant dans le guide d'ondes forme un angle a avec le plan principal (x, y), avec 0°1:90°, de préférence 10°(;(45° et de préférence 20°(;(40° et de préférence 20°(;(30° et de préférence a environ égal à 25°. Ces valeurs permettent une détection 5 efficace des rayons lumineux non diffractés tout en conservant un faible parasitage. - Avantageusement, le dispositif optique comprend au moins un guide d'ondes, le guide d'ondes étant monomode. - Avantageusement, le dispositif optique comprend au moins un guide 10 d'ondes comprenant un coeur et une gaine, l'épaisseur h du guide d'ondes mesurée selon ladite direction perpendiculaire (z) est telle que : À, h REVENDICATIONS1. Détecteur (60) de particules comprenant au moins : o Un dispositif optique (15) apte à être connecté à au moins une source lumineuse (1) et configuré pour émettre au moins un rayonnement lumineux généré par ladite source lumineuse (1) ; o Un substrat (100) s'étendant dans selon un plan principal (x, y) et définissant une partie au moins d'au moins un canal (50, 50c, 50d) destiné à recevoir un fluide comprenant des particules (60), ledit au moins un canal (50, 50c, 50d) s'étendant principalement selon une direction perpendiculaire (z) au plan principal (x, y), une portion au moins du substrat (100) étant configurée pour recevoir une partie au moins du rayonnement lumineux émis par le dispositif optique (15) ; caractérisé en ce que le détecteur comprend en outre une matrice (20) de photodétecteurs (21) et au moins une surface réfléchissante (41) ; la matrice (20) de photodétecteurs (21) et la surface réfléchissante (41) étant disposées de part et d'autre de ladite portion du substrat (100) de sorte que une partie au moins du rayonnement lumineux émis par le dispositif optique (15) traverse ledit au moins un canal (50, 50c, 50d) en étant diffracté par au moins une particule (60), puis se réfléchit sur la surface réfléchissante (41), puis parvient ensuite à la matrice (20) de photodétecteurs (21). 2. Détecteur selon la revendication précédente dans lequel le substrat (100) présente une première face tournée en regard de ou disposée au contact de la surface réfléchissante (41) et dans lequel le substrat (100) présente une deuxième face, opposée à la première face et tournée en regard de ou disposée au contact de la matrice (20) de photodétecteurs (21). 3. Détecteur selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel la matrice (20) de photodétecteurs (21) et la surface réfléchissante 3062209 45 (41) sont situées en partie au moins et au droit l'une de l'autre selon ladite direction perpendiculaire (z). 4. Détecteur selon l'une quelconque des revendications précédentes 5 configuré de sorte qu'une partie au moins du rayonnement lumineux soit réfléchie par une partie au moins de la surface réfléchissante (41) avant de traverser ledit au moins un canal (50, 50c, 50d) pour être diffractée par au moins une particule (60). 10 5. Détecteur selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel le substrat (100) est formé d'au moins un matériau laissant passer au moins 50%, de préférence au moins 75% et de préférence au moins 90% dudit rayonnement lumineux, de préférence le substrat comprend un matériau transparent relativement au rayonnement lumineux. 15 6. Détecteur selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel le dispositif optique (15) présente une portion distale (10, 10b, 10c) par laquelle le rayonnement lumineux est émis et dans lequel la portion distale (10, 10b, 10c) et la matrice (20) de photodétecteurs (21) 20 sont situées de part et d'autre dudit au moins un canal (50, 50c, 50d) par rapport à ladite direction perpendiculaire (z). 7. Détecteur selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel la matrice (20) de photodétecteurs (21) s'étend autour dudit au 25 moins un canal (50, 50c, 50d). 8. Détecteur selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel au moins une partie de la surface réfléchissante (41) est portée par au moins une partie de la paroi dudit au moins un canal (50, 50c, 30 50d). 9. Détecteur selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel le substrat (100) comprend au moins un premier substrat (30) et un deuxième substrat (40), le premier substrat (30) portant la matrice 3062209 46 (20) de photodétecteurs (21) et de préférence une partie au moins du dispositif optique (15) et le deuxième substrat (40) portant au moins la surface réfléchissante (41). 5 10. Détecteur selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel le substrat (100) comprend au moins un premier substrat (30) et un deuxième substrat (40), le premier substrat (30) portant au moins une première portion (50a) dudit au moins un canal (50, 50c, 50d) et le deuxième substrat (40) portant au moins une deuxième portion (50b) 10 dudit au moins un canal (50, 50c, 50d), chaque portion (50a et 50b) s'étendant selon ladite direction perpendiculaire (z) et dans lequel la surface moyenne de la section de la première portion (50a) est sensiblement égale ou inférieure à la surface moyenne de la section de la deuxième portion (50b), la surface moyenne de la section d'une 15 portion correspondant à la moyenne des surfaces d'une portion prise sur l'ensemble de la hauteur selon l'axe z. 11. Détecteur selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel le dispositif optique (15) comprend au moins une portion distale 20 (10, 10b, 10c) conformée pour former, en sortie du dispositif optique (15), un réseau d'extraction (10a) configuré pour générer un ensemble de rayons lumineux extraits (11) et dans lequel le réseau d'extraction (10a) présente une forme qui s'évase dans le plan principal (x, y) en direction dudit au moins un canal (50, 50c, 50d). 25 12. Détecteur selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel le dispositif optique (15) comprend au moins un guide d'ondes (2) comprenant un coeur présentant une portion distale (10, 10b, 10c) et une gaine enrobant le coeur, le coeur présentant, au niveau de la portion 30 distale (10, 10b, 10c), une pluralité de rainures disposées de manière périodique selon un pas P tel que P satisfasse l'expression suivante : r neff neff - ng 3062209 47 avec : À la longueur d'onde du rayonnement lumineux ; neff l'indice de réfraction effectif du mode fondamental du rayonnement lumineux ; n, l'indice de réfraction du coeur du guide d'ondes (2) ; 5 ng l'indice de réfraction de la gaine du guide d'ondes (2) ; neff étant compris entre n, et ng. 13. Détecteur selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel le dispositif optique (15) comprend au moins un guide d'ondes (2) 10 comprenant un coeur et une gaine et dans lequel l'épaisseur h du guide d'ondes mesurée selon ladite direction perpendiculaire (z) est telle que : À, h 14. Détecteur selon l'une quelconque des revendications précédentes comprenant au moins un premier canal (50c) et un deuxième canal (50d) 20 de circulation des particules (60), chaque canal (50c, 50d) étant destiné à recevoir le fluide comprenant des particules (60) et étant configuré pour recevoir une partie au moins du rayonnement lumineux émis par le dispositif optique (15). 25 15. Détecteur selon la revendication précédente, configuré de sorte que le rayonnement lumineux reçu par chaque canal (50c, 50d) provient d'une unique source lumineuse (1). 16. Détecteur selon l'une quelconque des revendications précédentes 30 comprenant au moins un premier et au moins un deuxième canal (50c, 50d) de circulation des particules (60) et dans lequel le dispositif optique (15) comprend au moins un guide d'ondes (2) comprenant au moins une jonction (3, 4a) configurée pour former au moins un premier bras (4b) du 7cVn,2 - ng 2 3062209 48 guide d'ondes (2) et au moins un deuxième bras (4c) du guide d'ondes, le détecteur étant configuré pour que : o une partie au moins du rayonnement lumineux émis par le dispositif optique (15) au travers du premier bras (4b) du guide 5 d'ondes (2) traverse le premier canal (50c) en étant diffracté par au moins une particule (60), puis se réfléchit sur la surface réfléchissante (41), puis parvient ensuite à la matrice (20) de photodétecteurs (21) ; o une partie au moins du rayonnement lumineux émis par le 10 dispositif optique (15) au travers du deuxième bras (4b) du guide d'ondes (2) traverse le deuxième canal (50d) en étant diffracté par au moins une particule (60), puis se réfléchit sur la surface réfléchissante (41), puis parvient ensuite à la matrice (20) de photodétecteurs (21). 15 17. Procédé de réalisation d'au moins un détecteur de particules (60) selon l'une quelconque des revendications précédentes, comprenant au moins les étapes suivantes : o Fournir au moins un premier substrat (30) comprenant au moins 20 une matrice (20) de photodétecteurs (21) et une partie d'au moins un dispositif optique (15) configuré pour émettre au moins un rayonnement lumineux, le premier substrat (30) s'étendant selon un plan principal (x, y) ; o Fournir au moins un deuxième substrat (40) comprenant au moins 25 une couche réfléchissante (41) et s'étendant en partie au moins selon le plan principal (x, y) ; o Former un troisième substrat (100) en assemblant le premier substrat (30) et le deuxième substrat (40) de sorte que la matrice (20) de photodétecteurs (21) et la surface réfléchissante (41) 30 soient disposées de part et d'autre d'une portion au moins du substrat (100) ; o Avant et/ou après l'étape de formation du troisième substrat (100), former au moins un canal (50, 50c, 50d) de circulation des 3062209 49 particules (60) s'étendant principalement selon une direction perpendiculaire(z) audit plan principal (x, y) et traversant de part en part le troisième substrat (100) de sorte que une partie au moins du rayonnement lumineux émis par le dispositif optique (15) 5 traverse le canal (50, 50c, 50d) en étant diffracté par au moins une particule (60), puis se réfléchisse sur la surface réfléchissante (41), puis parvienne ensuite à la matrice (20) de photodétecteurs (21). 10 18. Procédé selon la revendication précédente dans lequel, dans le cas où l'étape de formation dudit au moins un canal (50, 50c, 50d) est réalisée avant l'étape de formation du troisième substrat (100), le procédé comprend les étapes suivantes : o Formation d'au moins une première portion (50a) dudit au moins 15 un canal (50, 50c, 50d) au travers du premier substrat (30) selon la direction perpendiculaire (z) et située à proximité de la portion distale (10, 10b, 10c) ; o Formation d'au moins une deuxième portion (50b) du canal (50, 50c, 50d) au travers du deuxième substrat (40) selon ladite 20 direction perpendiculaire (z) ; o Dépôt d'au moins une couche réfléchissante additionnelle (42) sur au moins une partie de la deuxième portion (50b) dudit au moins un canal (50, 50c, 50d) et de préférence sur au moins une paroi (41a) dudit au moins un canal (50, 50c, 50d). 25