Brevet FR3054666A1 — publié le 20180202

Le domaine technique de l'invention est celui des résonateurs mécaniques destinés à être intégrés dans des instruments de métrologie, en particulier les instruments détectant la présence d'éléments chimiques dans l'atmosphère et en mesurant la concentration. Le résonateur constitue l'élément sensible de l'instrument. La fréquence, la stabilité et la qualité de la résonance sont liées aux dimensions, à la géométrie, au matériau constitutif et à l'environnement du résonateur. La résonance est entretenue par des moyens externes. Le facteur de qualité d'un résonateur est défini comme étant le rapport entre l'énergie stockée dans le résonateur, sous forme d'énergie cinétique et potentielle de déformation, 15 et l'énergie perdue au cours d'un cycle d'oscillation. Un des résonateurs mécaniques les plus connus est le diapason en quartz mis en oeuvre dans l'industrie horlogère. La résonance est maintenue par un circuit électronique accordé, mais c'est la qualité de la résonance mécanique des 20 deux poutres du diapason qui assure la stabilité et la pureté de la fréquence de résonance. Ce résonateur étant encapsulé dans un boîtier où le vide a été réalisé, l'énergie se perd essentiellement dans le support de fixation. 25 La figure 1 illustre un exemple de résonateur horloger 10 réalisé dans une plaque de quartz d'épaisseur T = 0,2 mm. Le diapason est formé de deux poutres parallèles parallélépipédiques 1 identiques solidaires à une de leurs extrémités d'une partie commune 2 fixée au support. Le 30 diapason est ainsi symétrique par rapport au plan médian n Les dimensions des poutres dans le plan de la plaque sont : longueur Lb = 3,8 mm et largeur Wb = 0,6 mm. Pour faciliter l'usinage, la largeur Ws de la fente séparant les poutres est égale à 0,2 mm, c'est-à-dire égale à 35 l'épaisseur T de la plaque. 3054666 2 L'élancement d'une poutre est défini comme étant le rapport entre sa longueur Lb et sa largeur Wb. Ainsi, dans l'exemple présenté, l'élancement vaut environ 6,3. A la fréquence de résonance mécanique du diapason 5 horloger, qui est de 32,768 kHz, les deux poutres vibrent en opposition de phase en flexion dans le plan de la plaque. L'élancement est suffisamment grand pour que les contraintes mécaniques soient essentiellement des contraintes alternatives d'extension et de compression réparties sur la 10 longueur des poutres, mais qu'elles soient peu présentes dans la partie commune où elles s'atténuent rapidement, ce qui permet de limiter les pertes d'énergie lorsque la zone de fixation à l'embase est éloignée de la zone d'encastrement des poutres. Le facteur de qualité d'un tel résonateur est ainsi typiquement de l'ordre de 80 000. Un circuit électronique externe accordé maintient la résonance au moyen d'électrodes disposées de façon appropriée et connue sur les poutres. La maîtrise de réalisation et le bas coût de production 20 de ces résonateurs incite à vouloir les utiliser dans des domaines techniques autres que celui de l'horlogerie, par exemple celui de la métrologie. Des résonateurs de ce type sont utilisés dans des applications de mesure de grandeurs physiques, les 25 déformations des poutres, induites par exemple par une accélération ou une rotation, sont détectées par des électrodes qui, outre leur fonction d'excitation d'un mode de résonance dit mode pilote, peuvent avoir une fonction de détection d'un mode de résonance, dit mode détecteur, modifié 30 par la variation de la grandeur physique considérée (FR2954489). Ces résonateurs sont aussi utilisés en présence d'un fluide, généralement un gaz ou un mélange de gaz comme l'atmosphère terrestre par exemple. 35 La présence d'un fluide modifie les pertes d'énergie subies par le résonateur. En plus des pertes dans le support de fixation, apparaissent des pertes liées au frottement 3054666 3 visqueux des poutres avec le fluide et un couplage acoustique lié aux variations de pression du fluide engendrées par le mouvement des poutres. Dans l'état de l'art de ce domaine, on peut citer 5 l'utilisation de diapasons horlogers pour la technique de mesure dite Quartz Enhanced Photoacoutic Spectroscopy (QEPAS) introduite dans l'article intitulé "Quartz-enhanced photoacoustic spectroscopy", A. A. Kosterev & al, OPTICS LETTERS / Vol. 27, N° 21 / November 1, 2002 ». 10 L'onde acoustique est le moyen externe qui entretient la résonance du diapason. L'onde se propage à une vitesse constante c dans un fluide donné si la température et la pression P sont constantes. Dans l'atmosphère terrestre, dans les conditions normales de pression et de température, la 15 vitesse du son est d'environ 340 m.s-1. Enfin, la longueur d'onde 2 du son est liée à sa fréquence f et à la vitesse de propagation c par la relation suivante : À=c/f (R) Les auteurs de l'article soulignent que le diapason horloger est très facile à mettre en oeuvre (approvisionnement, coût), mais que sa conception n'est probablement pas optimisée vis-à-vis de la détection d'une onde photo acoustique. Ils suggèrent qu'un résonateur spécialement conçu pour cet usage devrait permettre d'améliorer la sensibilité du dispositif, mais sans donner plus d'indication (paragraphe central de la dernière colonne de l'article). Comme l'essentiel des pertes d'énergie d'un tel résonateur est égal à la somme des pertes dans le support, des pertes dues aux frottements visqueux et des pertes dues au couplage acoustique, il est logique de minimiser chacune de ces pertes. L'invention a pour but de présenter un résonateur dans lequel les pertes dues aux frottements visqueux et les pertes 3054666 4 dans le support sont minimisées et dans lequel les pertes acoustiques sont au contraire favorisées et d'adjoindre à ce résonateur un moyen apte à lui restituer ses pertes acoustiques, l'ensemble constituant un dispositif optimisé 5 ayant de faibles pertes, y compris acoustiques, donc ayant un facteur de qualité élevé. L'invention porte sur un résonateur comportant une poutre, de longueur Lb et de largeur Wb, réalisée dans une plaque plane d'épaisseur T solidaire à l'une et/ou l'autre de 10 ses extrémités d'une partie massive fixée à un support. Cette poutre a un mode résonnant en flexion dans le plan de la plaque à une fréquence f. Ce mode résonnant est excité en présence d'une onde acoustique provenant d'une source d'énergie extérieure, par exemple d'un faisceau laser modulé 15 à la fréquence f partiellement absorbé en traversant le fluide comme dans l'article précité. A proximité du faisceau, un transfert d'énergie du laser vers le fluide s'effectue à la fréquence f de modulation du laser, créant ainsi une onde acoustique de longueur d'onde 1\. 20 Il est connu que, dans la relation (R), la vitesse c varie peu en fonction de la fréquence f de l'onde acoustique et de la pression P du fluide (pour des pressions supérieures à 10 Pa). De même, la vitesse c varie relativement peu en fonction de la température pour les températures 25 habituellement rencontrées, c'est-à-dire entre -10°C et +40°C : c évolue comme la racine carrée de la température absolue dans l'hypothèse d'un gaz parfait. Il est donc possible de concevoir un résonateur type ayant une grande sensibilité dans de nombreuses conditions 30 d'utilisation tout en ayant des dimensions, une géométrie et un matériau constitutif définis. Ainsi les résonateurs conformes à la présente invention sont des résonateurs mécaniques spécialement conçus pour favoriser le couplage avec une onde acoustique incidente et 35 pour être intégrés dans des instruments de métrologie, en particulier les instruments mesurant la présence d'éléments 3054666 5 chimiques absorbants dans un fluide qui peut être l'atmosphère terrestre. Quand le mode résonnant est excité, la présence du résonateur perturbe relativement peu l'onde acoustique qui se 5 propage dans tout l'espace environnant le résonateur. De ce fait, l'onde acoustique interagit non seulement sur la face de la poutre tournée vers la source d'énergie ou chant intérieur de la poutre, mais également sur la face opposée ou chant extérieur de la poutre. 10 Si la source d'énergie est dans le plan de la plaque, mais éloignée de la poutre sur un axe coupant perpendiculairement sa longueur Lb, l'onde acoustique est considérée comme plane lorsqu'elle agit sur les chants de la poutre. Si la distance Wb entre les deux chants de la poutre 15 est égale à X/2, la variation de pression sur le chant intérieur de la poutre sera en opposition de phase avec la variation de pression sur le chant extérieur de la poutre, induisant une synergie des efforts exercés par l'onde acoustique sur la poutre. La nature périodique de l'onde 20 acoustique conduit à des valeurs optimisées théoriques de 1/2 + n.X,n étant un nombre entier positif ou nul. Cette condition sur la largeur Wb de la poutre est nécessaire pour obtenir un résonateur selon l'invention. Si la source d'énergie n'est pas en champ lointain, 25 l'écart de phase entre les variations de pression sur les chants de la poutre est variable autour de U. Cela conduit à définir une fourchette de valeurs de la largeur Wb comprise entre X/4 + nX et 3 ?/4 + nX, n étant un entier positif ou nul, dans laquelle la synergie des efforts exercés par l'onde 30 acoustique sur les chants de la poutre est moindre mais existe encore. Un résonateur selon l'invention peut présenter des perfectionnements pour améliorer ses autres performances. Ainsi, selon un mode de réalisation, la longueur de la 35 poutre est telle que seul le mode fondamental de résonance en 3054666 6 flexion soit possible ce qui revient à limiter son élancement. Pour une poutre encastrée à ses deux extrémités, l'élancement est compris entre 2 et 5, pour une poutre 5 encastrée à l'une de ses extrémités l'élancement est compris entre 1,2 et 3,6. La condition d'élancement ne dépend pas des dimensions absolues des poutres, c'est-à-dire que cette condition est valable quel que soit Lb. En revanche, la condition 10 d'élancement dépend du matériau constitutif de la poutre et du fluide l'environnant. Une telle conformation de la poutre limite les pertes d'énergie dues aux frottements visqueux des poutres avec le fluide. 15 De préférence, un résonateur selon l'invention sera un diapason comportant deux poutres adjacentes parallèles encastrées à une de leurs extrémités dans une partie commune. Le diapason, de façon connue, permet un meilleur confinement de l'énergie en limitant les pertes d'énergie dans le 20 support. Si dans un diapason horloger comportant deux poutres ayant un élancement d'environ 6,3 les contraintes sont essentiellement des contraintes alternatives d'extension et de compression réparties sur la longueur des poutres et peu 25 présentes au niveau de l'encastrement dans la partie commune où elles s'atténuent rapidement, il n'en est pas de même lorsque le diapason comporte des poutres fonctionnant dans un fluide comme de l'air et ayant un élancement de l'ordre de 2,3. 30 A la fréquence de résonance mécanique du diapason, les deux poutres vibrent en opposition de phase en flexion dans le plan de la plaque, mais du fait de leur faible élancement, les contraintes mécaniques sont des contraintes alternatives d'extension/compression et de cisaillement au niveau de 35 l'encastrement dans la partie commune. Les modifications des contraintes liées à l'élancement réduit des poutres des résonateurs selon l'invention 3054666 7 conduisent à définir une conformation particulière de la partie commune permettant de limiter les pertes dans le support. Cette partie commune, massive, a la forme d'un 5 parallélépipède rectangle dont la longueur est supérieure au double de la largeur d'une poutre et la hauteur supérieure à la longueur d'une poutre. Par massive, il faut comprendre pesante et non creuse. De part et d'autre de ce parallélépipède sont disposés deux trapèzes isocèles dont les 10 grandes bases ont une longueur égale à la longueur de la partie commune. La petite base d'un des deux trapèzes isocèles supporte les poutres, les chants externes des poutres du diapason coïncidant avec les extrémités de cette base. La petite base de l'autre trapèze isocèle supporte 15 l'élément de liaison intermédiaire reliant le résonateur à son support. La longueur de cette seconde petite base est très inférieure à la longueur du parallélépipède et de l'ordre de la moitié ou du tiers de la largeur d'une poutre, la surface de la partie commune étant voisine de trois fois 20 la surface des deux poutres. En conséquence, la masse de la partie commune est voisine de trois fois la masse des deux poutres. Les pertes d'énergie vers le support sont ainsi réduites par rapport à celles d'un résonateur horloger. 25 Dans le fonctionnement envisagé dans l'invention, le résonateur optimisé est excité par une source d'énergie extérieure. Les électrodes n'ont donc qu'une fonction de détection. Comme déjà décrit, l'élancement réduit des poutres des 30 résonateurs selon l'invention induit, outre les contraintes de flexion dans les poutres, des contraintes de cisaillement dans la zone d'encastrement sur la partie commune. La conformation particulière des électrodes est adaptée pour améliorer la détection, par effet piézoélectrique, des 35 vibrations du résonateur. Les électrodes ont deux polarités et couvrent, sous forme de plages conductrices, la totalité de la surface 3054666 8 totale des deux poutres et de la partie commune hormis les zones d'isolation inter électrodes. La conformation des électrodes est caractéristique du fait qu'elle concerne les poutres et la partie commune. 5 Il est possible de détecter la vibration du diapason en connectant un amplificateur de charges différentiel aux électrodes qui permet de générer une tension électrique représentative de l'amplitude de la vibration. Au-delà de la conformation particulière d'un résonateur 10 selon l'invention, une dernière voie d'amélioration vise la restitution de l'énergie perdue due au couplage acoustique entre le résonateur et son environnement. L'invention vise donc aussi un dispositif comportant un résonateur selon l'invention et un moyen de confinement 15 acoustique disposé à proximité du résonateur réfléchissant l'énergie acoustique émise par le résonateur. Ce moyen est une cavité acoustique résonante, caractérisée en ce que : - elle possède une fréquence propre de résonance 20 acoustique égale à la fréquence propre de résonance mécanique du diapason. - le mode acoustique résonnant à la fréquence propre de résonance acoustique présente des noeuds et des ventres tels que chacun des deux chants intérieurs du résonateur se situe 25 au niveau d'un ventre central et que chacun des deux chants extérieurs se situe au sein de ventres en opposition de phase avec le ventre central. - pour maximiser le facteur de qualité acoustique, le matériau des parois de la cavité doit être rigide. 30 Un résonateur mécanique selon notre invention est donc très bien couplé à ce mode acoustique car ses dimensions sont compatibles avec la longueur d'onde acoustique, et donc avec la distribution spatiale du mode de pression. 35 La figure 1 illustre un résonateur de l'art antérieur de type diapason horloger. 3054666 9 La figure 2A illustre la variation de pression AP existant entre les deux chants d'une poutre de largeur Wb du résonateur de la figure 1. La figure 2B illustre la variation de pression LP' 5 existant entre les deux chants d'une poutre de largeur Wb' d'un résonateur selon l'invention. La figure 3A illustre un diapason selon l'invention comportant deux poutres de largeur Wb'. La figure 3B illustre une conformation optimisée 10 d'électrodes de détection d'un diapason optimisé selon l'invention. La figure 4A illustre le principe d'un diapason équipé de son moyen de confinement acoustique, avec une onde de pression stationnaire représentée en 1D. 15 Les figures 4B et 4C illustrent une des formes possibles pour le moyen de confinement acoustique, à savoir une cavité cylindrique vue de face et de dessus. L'idée à la base de l'invention est de définir un objet 20 simple présentant un couplage acoustique élevé dans les conditions de mise en oeuvre des résonateurs : forme, nature du matériau constitutif de l'objet, mode vibratoire et nature du fluide. L'objet choisi est une poutre parallélépipédique adaptée 25 de longueur Lb', de largeur Wb' et d'épaisseur T', du type de celle constituant une branche de diapason de l'art antérieur. Elle est réalisée dans un matériau rigide, par exemple de type quartz ou silicium. La vibration de résonance de la poutre est une vibration de flexion dans le plan défini par 30 ses longueur et largeur. Les modes de vibration sont le mode fondamental et, éventuellement, les modes harmoniques. Les fluides sont des gaz ou des mélanges de gaz comme l'oxygène, l'azote, le gaz carbonique, l'oxyde de carbone, l'hydrogène, l'hélium. 35 On appelle chants de la poutre les deux faces définies par la longueur Lb' et l'épaisseur T' de la poutre. 3054666 10 Les pertes d'énergie d'une poutre résonnante dans les conditions de mise en oeuvre de l'invention sont de trois types : les pertes acoustiques, les pertes visqueuses et les pertes dans le support, ce dernier type de perte étant le 5 seul essentiellement rencontré dans les résonateurs de type horloger encapsulés sous vide si l'on néglige les pertes thermoélastiques (Frédéric Lochon, Isabelle Dufour, Dominique Rebiere « A microcantilever chemical sensors optimization by taking into account losses ». Sensors and Actuators B : 10 Chemical, Elsevier, 2006,118, pp 292-296). Pour exprimer l'influence des pertes d'un résonateur, le facteur de qualité est un moyen pratique. Le facteur de qualité d'un résonateur est défini comme étant le rapport entre l'énergie stockée dans le résonateur, sous forme 15 d'énergie cinétique et potentielle de déformation, et l'énergie perdue au cours d'un cycle d'oscillation. Le facteur de qualité global Qg du résonateur est défini par la formule : 1/Qg = 1/Qa + 1/Qv + 1/Qs 20 avec 4a = facteur de qualité acoustique Qv = facteur de qualité visqueux 4s = facteur de qualité support 25 Cette formule souligne que c'est le facteur de qualité le plus faible qui dégrade le facteur de qualité global, la configuration optimale étant obtenue lorsque les facteurs de qualité sont égaux et le plus élevés possible. Contrairement à cette approche, l'invention vise à 30 définir les dimensions de la poutre afin d'augmenter le couplage acoustique de celle-ci avec le fluide environnant. En conséquence, les pertes acoustiques sont importantes ce qui va à l'encontre des enseignements de l'état de l'art. La dimension caractérisante de l'invention est la 35 largeur Wb' de la poutre. Dans l'état de l'art il n'existe pas de relation liant la largeur de la poutre à la longueur 3054666 11 d'onde de l'onde émise à la fréquence de résonance f de la poutre. Sur les figures 2, la longueur d'onde est en abscisse et la pression en ordonnée. Sur ces figures, la largeur de la 5 poutre Wb ou Wb', représentée en gris, est superposée à l'onde acoustique sinusoïdale à la fréquence de résonance f de la poutre. L'onde acoustique représentée est plane afin de faciliter la compréhension. Si l'onde vient d'une source extérieure, la source est très éloignée de la poutre et dans 10 le plan de vibration de flexion de celle-ci. Si l'onde acoustique est générée par la poutre en mouvement, les déplacements de celle-ci sont négligés. Dans le cas général illustré à la figure 2A, la variation de pression AP entre les chants de la poutre liée à 15 sa largeur est faible. En revanche, dans le cas de l'invention, illustré à la figure 2B, la variation de pression îP' entre les chants de la poutre, séparés d'une distance égale à la moitié de la longueur d'onde, est maximale puisque les variations de pression sur chaque chant 20 sont en opposition de phase. Dans le cas d'une source extérieure, l'onde incidente crée un effort sur un chant d'amplitude égale et de signe opposé à l'effort appliqué sur l'autre chant, ce qui induit que les deux efforts s'additionnent de façon optimale pour 25 exciter le mode de vibration en flexion de la poutre. Généralement, l'onde acoustique n'est pas plane et il n'est pas possible d'obtenir des efforts en opposition de phase sur la surface des deux chants de la poutre. Dans ces conditions, la largeur Wb est comprise entre X/4 + nX et 3 30 X/4 + nX, n étant un entier positif ou nul. Ces dimensions s'appliquent aussi dans le cas où c'est la poutre qui génère l'onde acoustique. La dimension de largeur ainsi définie augmente le couplage acoustique de la poutre avec le fluide environnant. 35 Par ailleurs, les performances d'un résonateur selon l'invention ont été améliorées en limitant les pertes 3054666 12 d'énergie des deux autres types : les pertes visqueuses et les pertes dans le support. Pour limiter les pertes visqueuses d'un résonateur poutre optimisé de l'invention, la longueur Lb' de la poutre 5 est un paramètre important car il détermine la fréquence de résonance. Le mode de flexion fondamental permet d'obtenir l'un des meilleurs facteurs de qualité. Pour une poutre encastrée, l'élancement varie en fonction du matériau constitutif et du fluide environnant. 10 Les élancements optimisés pour une poutre encastrée à l'une de ses extrémités, comme représentés sur la figure 3A pour le quartz et le silicium dans l'air, l'hélium, l'hydrogène, l'oxygène et le gaz carbonique sont présentés dans le tableau ci-dessous : 15 CO2 02 Air He H2 Quartz 2.6 2.4 2.3 1.4 1.2 Silicium 3.2 2.9 2.8 1.7 1.45 L'épaisseur T' de la poutre est de l'ordre du quart de la largeur Wb' de la poutre. Pour une poutre encastrée à ses deux extrémités, 20 l'élancement est compris entre 2 et 5 selon le matériau et la nature du fluide. Pour limiter les pertes dans le support, il est connu que les performances d'une poutre unique sont moins bonnes que celles d'un diapason. Ce type de résonateur a donc été 25 étudié pour être mis en oeuvre dans le cadre de l'invention. Le faible élancement des poutres conformes à l'invention modifie la nature des contraintes au niveau de la zone d'encastrement sur la partie commune fixée au support. En particulier il existe des contraintes élevées de 30 cisaillement dans la zone d'encastrement. Il en résulte une conformation particulière du diapason de l'invention, illustrée à la figure 3A, qui augmente notablement la contribution de la partie commune à la 3054666 13 vibration du résonateur et à la détection de ladite vibration. Pour cet exemple de réalisation, la fréquence est égale à 42 500 Hz, soit une longueur d'onde de 8 mm dans l'air dans 5 les conditions normales de pression, le matériau utilisé est du quartz sous forme d'une plaque plane usinée de dimensions L' = 23.75 mm, soit 2.97 À, par W' = 13.8 mm, soit 1.72 À et d'épaisseur T' = 1 mm, soit À/8. Le plan de la plaque est sensiblement parallèle au plan 10 cristallographique XY du quartz, et les axes longitudinaux des branches 1' sont sensiblement parallèles à l'axe cristallographique X du quartz (contrairement au diapason horloger montré à la figure 1A, dont les branches sont sensiblement parallèles à l'axe cristallographique Y du 15 quartz). Le diapason 100 est symétrique par rapport à un plan n perpendiculaire au plan de la plaque. Le diapason 100 est formé de deux branches sensiblement parallélépipédiques 1' de longueur Lb' = 6,8 mm, soit 0.85 X, et de largeur Wb' = 4 mm, soit 0.5 X, identiques et 20 solidaires, chacune à une extrémité, d'une partie commune 2' constituée des quatre zones 21, 22, 23, 24 délimitées par des traits en pointillés. La partie commune 2' est solidaire d'un bras de fixation 3 au niveau de la zone 24 opposée à la zone 21 solidaire des 25 deux branches. La zone de raccordement 21 entre les branches l' et la partie principale 22 de la partie commune 2' présente une forme de trapèze isocèle dont les chants 211 tournés vers l'extérieur relient les chants extérieurs des branches aux 30 chants de la partie commune principale 22 avec une inclinaison d'un angle A valant sensiblement 120° par rapport à l'axe X (ce qui permet, dans le cas où le diapason est réalisé par usinage chimique, d'éviter la formation de facettes obliques sur lesdits chants). La hauteur de ce 35 trapèze est d'environ 1,4 mm. 3054666 14 De façon analogue la zone 23 permettant de raccorder les zones 22 et 24 de la partie commune 2' présentent un angle de 120° par rapport à l'axe X cristallographique du quartz. La hauteur de ce trapèze vaut environ 3,5 mm. 5 Le diapason 100 est fixé, par exemple par collage, sur une embase de boîtier B (non représentée) au niveau des surfaces 31 (montrées par des hachures) du bras de fixation 3. L'épaisseur T' de la plaque et la largeur de la fente 10 Ws' sont sensiblement égales à 1 mm, soit À/8. La partie commune 2' est solidaire des deux branches au niveau de la zone de raccordement 21 qui permet de raccorder les branches à la zone 22 de forme rectangulaire, et dont la dimension W' prise perpendiculairement au plan n est 15 supérieure à la largeur (2Wb' + Ws') contenant les deux branches : W' vaut sensiblement 1,5 fois (2Wb' + Ws'). Par ailleurs, la dimension L22 de la zone 22 prise parallèlement à l'axe X vaut sensiblement la moitié de la longueur Lc' de la partie commune 2'. Par exemple, Lc' vaut 15.45 mm, soit 20 1,93 À et L22 vaut 7,6 mm, soit 0,95 À. La largeur W24 de la zone 24 est très inférieure à W' W24 vaut sensiblement 1,6 mm, soit 2\15. Dans ces conditions, la surface de la partie commune 2' vaut environ trois fois la surface totale 2.Lb'.Wb' des deux 25 branches 1'. Pour le diapason selon l'invention, la masse de matière de la partie commune est donc nettement plus important que celui des deux branches, contrairement au cas du diapason horloger. La figure 3B montre en vue de face des électrodes 30 équipant le résonateur 100 de la figure 3A et permettant, par effet piézoélectrique, de détecter la vibration du résonateur. Les électrodes sont sous la forme de plages conductrices 41, 42 et 51, représentées par des zones hachurées, disposées sur les deux grandes faces de la plaque, 35 et agissant dans les branches 1' et dans la partie commune 2'. Les électrodes 41 et 42 ont la même polarité électrique, différente de la polarité de l'électrode 51. Les électrodes 3054666 15 41, 42 et 51 disposées sur l'une des grandes faces sont directement en regard respectivement des électrodes 41, 42 et 51 disposées sur l'autre grande face (indiquées à l'aide d'un trait de référence en pointillé), et chacune des électrodes a 5 la même polarité électrique que l'électrode disposée en regard sur l'autre grande face. Les formes relativement complexes des électrodes 41, 42 et 51 sont issues de simulations numériques par éléments finis et sont liées à la distribution relativement complexe 10 des contraintes mécaniques générées par la vibration du diapason, ces contraintes étant de trois types : la contrainte d'extension/compression Txx suivant l'axe X, la contrainte d'extension/compression Tyy suivant l'axe Y, et la contrainte de cisaillement Txy dans le plan XY. La 15 conformation des électrodes est caractéristique du fait qu'elles concernent indifféremment les poutres de façon classique, mais aussi la partie commune 2'. Les électrodes 41, 42 de même polarité, et les électrodes 51 sont raccordées à des plages de connexion respectivement 70 et 71 situées sur 20 le bras de fixation 3, au moyen de pistes de raccordement de type référencé 60. Ainsi, les plages de connexion 70 et 71 connectent respectivement les deux polarités de la totalité des électrodes, le diapason équipé de ses électrodes constituant 25 un dipôle lié de façon piézoélectrique à la vibration. Il est possible de détecter la vibration du diapason, par exemple en connectant les plages 70 et 71 à un amplificateur de charges différentiel (non représenté) qui permet de générer par exemple une tension électrique 30 représentative de l'amplitude de la vibration. On notera que les électrodes montrées à la figure 3B, étant disposées seulement sur les deux grandes faces de la plaque, sont bien adaptées à des fabrications à faible coût. Par exemple, lorsque la structure du résonateur est obtenue par gravure 35 chimique d'un wafer en quartz, les électrodes peuvent être aisément réalisées par gravure des masques métalliques recto 3054666 16 et verso qui ont préalablement été utilisés pour la gravure chimique du quartz. L'invention vise à concevoir un résonateur pour fonctionner dans un fluide. Or le résonateur décrit présente 5 des pertes acoustiques importantes, ce qui n'est pas favorable en l'état à l'obtention d'un facteur de qualité global élevé. Pour obtenir un dispositif optimisé conforme à l'invention et ayant un facteur de qualité élevé, il faut 10 adjoindre au résonateur décrit ci-dessus un moyen apte à lui restituer la quasi-totalité de l'énergie des pertes acoustiques dues à son couplage avec le fluide. Le rôle du moyen apte à restituer l'énergie acoustique ou moyen de confinement est de renvoyer les ondes acoustiques 15 émises par le résonateur sur lui-même afin de créer une nouvelle force d'excitation participant alors à la vibration. Le moyen de confinement de l'invention est une cavité acoustique résonnante. Le résonateur est placé au coeur de la cavité acoustique résonnante, qui prend la forme d'une cavité 20 creuse. Il est connu que toute cavité creuse présente le phénomène de résonance acoustique. Il existe donc des modes propres acoustiques de résonance au sein de cette cavité, et chacun est associé à une fréquence de résonance et un facteur de qualité. Ces trois paramètres peuvent par exemple être 25 calculés pour une forme quelconque par des logiciels de simulation par éléments finis. La cavité acoustique selon l'invention, associée au résonateur mécanique en flexion, est caractérisé en ce que : - elle possède une fréquence propre de résonance 30 acoustique égale ou proche de la fréquence propre de résonance mécanique du diapason. - le mode propre acoustique résonnant, correspondant à la fréquence propre de résonance acoustique du point précédent, présente des noeuds et des ventres suivant la 35 position dans la cavité. Les ventres peuvent correspondre soit à des surpressions (+), soit à des dépressions (-). La 3054666 17 majorité de la surface des deux chants intérieurs doit se situer au sein de ventres de même signe, c'est-à-dire soit une surpression, soit une dépression. La majorité de la surface des deux chants extérieurs doit également se 5 retrouver au sein de ventres de même signe, mais de signe opposés à ceux des chants intérieurs. - le facteur de qualité acoustique du mode précédemment décrit doit être maximisé. A titre d'exemple, le matériau utilisé pour réaliser les parois de la cavité doit être 10 rigide. Un résonateur mécanique selon notre invention est donc très bien couplé à ce mode acoustique dans la mesure où ses dimensions sont compatibles avec la longueur d'onde acoustique, et donc avec la distribution spatiale du mode de 15 pression (dont la distance entre les ventres successifs est justement égal à //2). Une illustration simplifiée est présentée sur la figure 4A, où l'on a tracé les ventres de surpression (+) et les ventres de dépression (-) du mode acoustique résonnant. 20 L'onde représentée possède bien cette propriété d'avoir une dépression pour les deux chants intérieurs au diapason, et une surpression pour les deux chants extérieurs. Une autre illustration à la figure 4B montre le même principe pour une cavité de forme cylindrique de directrice 25 circulaire de rayon X, vue de face à la même échelle que celle du capteur. Le mode acoustique est alors radial et on voit bien que les chants occupent bien majoritairement les zones avec les signes voulus. La figure 4C montre une vue de dessus de la même cavité. 30 Les facteurs de qualité typiques de résonateurs de type diapason dans un fluide respectivement de type horloger, du type selon l'invention seul et de type optimisé sont repris dans le tableau ci-dessous avec les facteurs de qualité globaux correspondant : 35 3054666 18 Q, 4, Q, Qg Horloger 80 000 10 000 2 000 000 8850 Invention 400 000 100 000 7 000 6437 Optimisé 400 000 100 000 400 000 66 667 Le facteur de qualité pénalisant des résonateurs horlogers, est celui de l'amortissement visqueux qui est lié à leurs petites dimensions, nécessaires à leurs applications. 5 Le facteur de qualité est proportionnel au rapport surface/volume. Le résonateur diapason de l'invention présente bien des facteurs de qualité support et visqueux améliorés par rapport au diapason horloger mais son facteur de qualité 10 acoustique est fortement dégradé, comme souhaité. Le facteur de qualité acoustique du dispositif optimisé comportant un résonateur de l'invention est très élevé du fait de la coopération du résonateur avec la cavité résonnante. 15 Le dispositif optimisé présente, comme il est souhaitable, des facteurs de qualité élevés et de valeurs voisines, c'est-à-dire dans une fourchette de 1 à 4 contre une fourchette de 1 à 200 pour un diapason horloger de l'état de l'art. REVENDICATIONS1- Résonateur mécanique (100), réalisé dans une plaque plane d'un matériau d'épaisseur T', comportant une partie commune (2') sur laquelle est encastrée au moins une poutre parallélépipédique (1') de longueur Lb', de largeur Wb' entre ses deux chants qui a un mode résonnant en flexion dans le plan de la plaque à une fréquence f à laquelle elle émet une onde acoustique de longueur d'onde X dans un fluide, poutre sur laquelle sont disposées des électrodes, caractérisé en ce que la largeur Wb' est comprise entre X/4 + nX et 3X/4 + nX, n étant un entier positif ou nul. 2- Résonateur selon la revendication 1 caractérisé en ce que la largeur Wb' est égale à X/2 + nX. 3- Résonateur selon la revendication 1 ou 2 caractérisé en ce que la poutre est encastrée à ses deux extrémités et que le mode résonnant est le mode fondamental 20 en flexion, la valeur du rapport de la longueur Lb' de la poutre sur la largeur Wb' de la poutre est compris entre 2 et 5. 4- Résonateur selon la revendication 1 ou 2 caractérisé en ce que la poutre est encastrée à une seule de 25 ses extrémités et en ce que le mode résonnant est le mode fondamental en flexion, la valeur du rapport de la longueur Lb' de la poutre sur la largeur Wb' de la poutre est compris entre 1,2 et 3,2. 5- Résonateur selon la revendication 4 caractérisé en 30 ce qu'il comporte deux poutres (1') identiques disposées parallèlement formant diapason encastrées sur la partie commune massive (2') dont la masse est voisine de trois fois celle des deux poutres. 6- Résonateur selon la revendication 5 caractérisé en 35 ce que la partie commune (2') a la forme d'un parallélépipède 3054666 rectangle 22 dont la longueur W' est supérieure au double de la largeur Wb' d'une poutre et la hauteur L22 supérieure à la longueur Lb' d'une poutre, de part et d'autre de ce parallélépipède sont disposés deux trapèzes isocèles 21, 23 5 dont les grandes bases ont une longueur égale à la longueur de la partie commune, les deux poutres (1'), disposées parallèlement à une distance Ws' voisine de celle de l'épaisseur T' de la plaque sont encastrées sur la petite base du premier trapèze isocèle 21, les chants externes des 10 poutres du diapason coïncidant avec les extrémités de cette base, la petite base du second trapèze isocèle 23 supporte l'élément de liaison intermédiaire 24 reliant le résonateur à son support, la longueur de cette seconde petite base est inférieure à la moitié de la largeur Wb' d'une poutre. 15 7- Résonateur selon la revendication 6 caractérisé en ce que les électrodes sont disposées sur chaque poutre et sur la partie commune dont elles occupent la totalité de la surface hormis les zones d'isolation inter électrodes. 8- Résonateur selon la revendication 7 caractérisé en 20 ce que les électrodes sont disposées conformément à la représentation de la figure 3B. 9- Dispositif comportant un résonateur selon l'une des revendications 1 à 8 caractérisé en ce qu'il comporte un moyen de confinement acoustique disposé à proximité du 25 résonateur réfléchissant l'énergie acoustique émise par le résonateur. 10- Dispositif selon la revendication 9 prise en dépendance d'une des revendications 5 à 8 caractérisé en ce que le moyen est une cavité acoustique résonnante à la 30 fréquence de résonance mécanique du diapason, le mode acoustique résonnant de la cavité présentant des noeuds et des ventres tels que chacun des deux chants intérieurs du résonateur se situe au niveau d'un ventre central et que chacun des deux chants extérieurs se situe au niveau de 35 ventres en opposition de phase avec le ventre central.