Brevet FR3061172A1 — publié le 20180629

DISPOSITIF CHAUFFANT COMPRENANT UN SUBSTRAT VERRIER REVETU SUR SES DEUX FACES L'invention concerne un dispositif chauffant muni d'une enceinte délimitant une cavité, ladite cavité étant fermée par une paroi ou une porte incorporant un vitrage confinant la chaleur dans la cavité du dispositif. L'invention concerne également un tel vitrage et son utilisation comme élément constitutif d'un tel dispositif. Un dispositif chauffant comprend en général une enceinte délimitée par une ou plusieurs parois dont une porte vitrée. Des moyens de chauffage permettent le chauffage de la cavité à l'intérieur de l'enceinte à une température élevée. Les dispositifs chauffants peuvent être notamment choisis parmi les fours, les cheminées, les fourneaux... Les vitrages utilisés comme éléments constitutifs d'une porte ou éventuellement d'une paroi d'un dispositif chauffant sont en général des vitrages multiples, c'est-à-dire des vitrages comprenant plusieurs substrats verriers, notamment des triples ou quadruple vitrages. Les vitrages multiples contribuent à maintenir la chaleur à l'intérieur du dispositif chauffant tout en gardant la surface extérieure du vitrage froide au toucher, pour la protection des utilisateurs contre les brûlures. Un tel vitrage multiple comprend au moins deux substrats maintenus à distance de manière à délimiter un espace. Les faces du vitrage sont par convention désignées à partir de l'intérieur du dispositif chauffant et en numérotant les faces des substrats de l'intérieur vers l'extérieur du dispositif chauffant. Les vitrages utilisés comme éléments constitutifs d'un dispositif chauffant peuvent comprendre des substrats revêtus de revêtements fonctionnels réfléchissants les rayonnements infrarouges (IR). Ces revêtements permettent de diminuer la quantité d'énergie dissipée vers l'extérieur du dispositif chauffant en réfléchissant la chaleur vers l'intérieur de l'enceinte. L'utilisation de ces revêtements concourt à réduire la consommation énergétique du dispositif chauffant tout comme l'échauffement de la paroi externe du vitrage constitutif de la porte dudit four. Par exemple, la demande de brevet EP1293726 A2 décrit une barrière en verre comprenant sur une première surface un revêtement réfléchissant la chaleur déposé par pyrolyse et sur une deuxième surface un revêtement réfléchissant la chaleur déposé par un procédé de dépôt physique en phase vapeur (PVD). 3061172 2 Les revêtements comprenant des couches métalliques fonctionnelles à base d'argent (ou couches d'argent) sont connus comme les plus performants pour réduire l'émissivité des vitrages tout en préservant les qualités optiques et esthétiques de la paroi ou de la porte, notamment une bonne vision à travers celle-ci. Ces revêtements 5 assurent également une meilleure protection des utilisateurs, une plus basse consommation énergétique et un plus grand confort d'utilisation. Cependant, la résistance thermique des revêtements comprenant ces couches métalliques fonctionnelles à base d'argent est souvent insuffisante. La faible résistance chimique et thermique de ces revêtements peut se traduire à long terme 10 par l'apparition de défauts tels que des points de corrosion, des rayures, le démouillage de l'argent, voire de l'arrachement total ou partiel de l'empilement. Ce phénomène est accentué lorsque de tels vitrages incorporant des couches minces d'argent sont utilisés dans des dispositifs chauffants, par exemple comme porte de fours, et sont soumis à des cycles de traitement thermique à températures 15 élevées longs et répétés dans un environnement humide, comme les traitements de pyrolyse. Ces cycles de traitement thermique en milieu humide accélèrent alors la dégradation des couches d'argent notamment par démouillage ou corrosion de l'argent. Egalement, tout défaut ou rayure, qu'il soit dû à la corrosion ou à des 20 sollicitations mécaniques, sont susceptibles d'altérer non seulement les performances énergétiques et optiques mais également l'esthétique du substrat revêtu. La demande US 2012/0084963 divulgue cependant un vitrage multiple utilisé comme un élément constitutif d'une porte de four comprenant un substrat transparent revêtu d'un empilement de couches minces comprenant au moins une couche 25 métallique fonctionnelle à base d'argent et une couche de protection supérieure à base d'oxyde de zirconium. Les couches à base d'oxyde de zirconium protègent l'empilement lors d'un traitement thermique à température élevée. Cependant, les substrats revêtus de telles couches de protection sont sujets à la corrosion en milieu humide à chaud. 30 La demande W02016/097560 décrit un vitrage comprenant un substrat transparent revêtu d'un empilement de couches minces comprenant au moins une couche métallique fonctionnelle à base d'argent caractérisé en ce que l'empilement comprend une couche de protection supérieure à base d'oxyde de titane et de zirconium. 3061172 3 Il est indiqué dans ces demandes qu'un tel empilement comprenant une couche fonctionnelle à base d'argent est suffisamment durable pour que l'empilement soit positionné en face 1 de la paroi du dispositif. Bien que les empilements décrits dans les publications reportées 5 précédemment permettent en principe de satisfaire les critères requis de résistance chimique et mécanique à la température habituelle de fonctionnement du four, il est actuellement encore recherché des configurations de paroi ou porte de four dont les performances d'isolation thermiques sont optimales et faciles à fabriquer, de préférence à moindre coût. 10 Il est en particulier recherché une architecture permettant non seulement de garantir une face extérieure froide de la paroi du coté extérieur, pour garantir la sécurité de l'utilisation, mais également de confiner efficacement la chaleur dans l'enceinte ou la cavité du dispositif. Egalement, il est recherché un dispositif qui est le plus économe possible en énergie, en particulier dont le refroidissement de la paroi 15 ne nécessite pas ou peu d'action supplémentaire, comme par exemple la ventilation d'air de refroidissement au travers des différents vitrages constitutifs de ladite paroi. L'objet de la présente invention est de proposer un dispositif chauffant et un vitrage pour entrer dans la constitution d'une porte ou d'une paroi d'un tel dispositif, 20 permettant de résoudre efficacement les problèmes précédemment exposés. Plus particulièrement, l'invention concerne un dispositif chauffant muni d'une enceinte délimitant une cavité, ledit dispositif comprenant une porte ou une paroi comprenant un vitrage de préférence multiple, ledit vitrage comprend au moins un 25 substrat transparent revêtu sur chaque face d'un empilement de couches minces, dont : - sur une première face, tournée vers ladite cavité, un premier empilement réfléchissant la chaleur essentiellement grâce à une ou plusieurs couches fonctionnelles à base d'un oxyde mixte d'étain et d'indium, 30 - sur l'autre face, tournée vers l'extérieur du dispositif, un second empilement réfléchissant la chaleur essentiellement grâce à une ou plusieurs couches fonctionnelles à base d'un métal choisi parmi l'or ou de préférence l'argent. Selon des modes préférés de réalisation de l'invention, qui peuvent être le cas échéant combinés entre eux : 3061172 4 - Le premier empilement est positionné, dans le vitrage, au contact de la cavité du dispositif chauffant. - Le premier empilement comprend comme couche fonctionnelle un oxyde d'indium et d'étain dans lequel le pourcentage atomique de Sn dans l'oxyde est 5 avantageusement compris dans un domaine allant de 5 à 70%, notamment de 10 à 60%. - Le premier empilement comprend comme couche fonctionnelle une couche d'ITO comprenant une proportion massique d'environ 85 à 95 % d'oxyde d'indium et d'environ 15 à 5 % d'oxyde d'étain. 10 - Le premier empilement comprend successivement à partir du substrat : - au moins une sous couche d'un composé diélectrique notamment choisi parmi le nitrure de silicium, l'oxyde de silicium, - une couche fonctionnelle d'ITO, - au moins une surcouche d'un composé diélectrique notamment choisi 15 parmi le nitrure de silicium, l'oxyde de silicium, ou l'oxyde d'étain et de zinc. - Le premier empilement comprend successivement à partir du substrat : - une première sous-couche à base de nitrure de silicium, - une deuxième sous-couche à base d'oxyde de silicium, 20 - une couche fonctionnelle d'ITO, - une première surcouche à base de nitrure de silicium, - une deuxième surcouche à base d'oxyde de silicium. - Le premier empilement comprend successivement à partir du substrat : - au moins une sous couche d'un composé diélectrique notamment choisi 25 parmi le nitrure de silicium, l'oxyde de silicium, l'oxyde d'étain et de zinc - une première couche fonctionnelle d'ITO, - une couche intermédiaire d'un composé diélectrique, notamment choisi parmi l'oxyde de silicium, de nitrure de silicium ou d'oxyde d'étain et de zinc, - une deuxième couche fonctionnelle d'ITO, 30 - au moins une surcouche d'un composé diélectrique notamment choisi parmi le nitrure de silicium, l'oxyde de silicium, ou l'oxyde d'étain et de zinc. - Le second empilement comprend au moins une couche métallique fonctionnelle à base d'argent et au moins deux revêtements diélectriques, chaque revêtement diélectrique comportant au moins une couche diélectrique, de manière à ce que chaque couche à base d'argent soit disposée entre deux revêtements diélectriques. 3061172 5 - L"empilement comprend au moins une couche de blocage située en-dessous et au-contact d'une couche métallique fonctionnelle à base d'argent et/ou au moins une couche de blocage située au-dessus et au-contact d'une couche métallique fonctionnelle à base d'argent. 5 - Le second empilement présente une émissivité normale inférieure ou égale à 10%, de préférence inférieure à 5% et de préférence encore inférieure ou égale à 3%. Par « émissivité normale » d'un revêtement ou d'un empilement, on entend son émissivité normale à 283 K au sens de la norme NF-EN 12898 (2001), l'empilement étant normalement déposé sur un verre clair d'épaisseur 4 mm. 10 - L'empilement comprend : - un revêtement diélectrique situé en-dessous de la couche métallique fonctionnelle à base d'argent, - éventuellement une couche de blocage, - une couche métallique fonctionnelle à base d'argent, 15 - éventuellement une couche de blocage, - un revêtement diélectrique situé au-dessus de la couche métallique fonctionnelle à base d'argent, - une couche de protection supérieure. - L'empilement comprend : 20 - un revêtement diélectrique situé en-dessous de la couche métallique fonctionnelle à base d'argent comprenant au moins une couche diélectrique à base de nitrure de silicium et/ou d'aluminium et éventuellement une couche diélectrique à fonction stabilisante à base d'oxyde de zinc ou d'oxyde d'étain et de zinc, 25 - éventuellement une couche de blocage, - une couche métallique fonctionnelle à base d'argent, - éventuellement une couche de blocage, - un revêtement diélectrique situé au-dessus de la couche métallique fonctionnelle à base d'argent comprenant au moins une couche diélectrique à 30 base de nitrure de silicium et/ou d'aluminium, - une couche de protection supérieure. - Le substrat revêtu des deux empilements est bombé et/ou trempé. - Le vitrage comprend au moins un revêtement supplémentaire réfléchissant la chaleur, déposé sur au moins un autre substrat constitutif du vitrage. 3061172 6 - Ledit revêtement supplémentaire réfléchissant la chaleur est de préférence encore disposé sur la face 3 et/ou 5 du vitrage, de manière très préférée en face 3 du vitrage. - Ledit revêtement supplémentaire réfléchissant la chaleur comprend comme couche fonctionnelle un oxyde transparent conducteur choisi parmi l'oxyde d'indium et d'étain 5 (ITO) ou un oxyde d'étain dopé pour le rendre conducteur électrique, notamment l'oxyde d'étain dopé au fluor (Sn02 :F) ou l'oxyde d'étain dopé à l'antimoine (Sn02 : Sb) ou ledit revêtement supplémentaire réfléchissant la chaleur est un empilement comprenant comme couche fonctionnelle au moins une couche d'argent. - Le vitrage est un vitrage multiple comprend deux substrats. 10 - Le vitrage est un vitrage multiple comprend trois substrats. - Le vitrage est un vitrage multiple comprend quatre substrats. L'invention porte également sur le vitrage décrit précédemment comprenant une pluralité de substrats transparents dont un substrat revêtu sur chaque face d'un 15 empilement de couches minces, dont : - sur une première face, tournée vers l'extérieur dudit vitrage, un premier empilement réfléchissant la chaleur essentiellement grâce à une ou plusieurs couches fonctionnelles à base d'un oxyde mixte d'étain et d'indium, - sur l'autre face, tournée vers l'intérieur du vitrage, un second empilement 20 réfléchissant la chaleur essentiellement grâce à une ou plusieurs couches fonctionnelles à base d'un métal choisi parmi l'or ou de préférence l'argent. En outre un autre objet de la présente invention est une paroi ou une porte pour dispositif chauffant comprenant un vitrage tel que décrit précédemment, en particulier l'utilisation d'un tel vitrage comme élément constitutif de la paroi ou d'une porte d'un 25 dispositif chauffant muni d'une enceinte et/ou d'une cavité tel qu'un four. On donne ci-après d'autres détails de mise en oeuvre et/ou de réalisation de la présente invention : Le vitrage est de préférence choisi parmi les vitrages multiples comprenant au 30 moins deux substrats transparents, qui peuvent être clairs ou teintés selon l'invention. Ainsi, le vitrage selon l'invention peut comprendre un ou plusieurs substrats transparents revêtus d'un empilement de couches minces sur chacune de ses faces tel que décrit précédemment. Egalement le vitrage selon l'invention peut comprendre un ou plusieurs substrats transparents revêtus d'un empilement de couches minces 35 sur chacune de ses faces tel que décrit précédemment, ledit substrat faisant face à la 3061172 7 cavité de l'enceinte et l'empilement réfléchissant la chaleur essentiellement grâce à une ou plusieurs couches fonctionnelles en oxyde transparent conducteur ITO étant disposé immédiatement au contact de l'atmosphère de la cavité. Les substrats transparents utilisés selon l'invention sont de préférence en un 5 matériau rigide minéral, comme en verre, notamment silico-sodo-calcique, borosilicate, aluminosilicate ou vitrocéramique. Selon un mode de réalisation avantageux, les substrats sont des verres borosilicates qui résistent bien à de très hautes températures. L'épaisseur du ou des substrats varie généralement entre 0,5 mm et 19 mm. L'épaisseur du ou des substrats est de préférence inférieure ou 10 égale à 6 mm, voire inférieure ou égale 4 mm. Le substrat transparent revêtu des deux empilements peut avoir subi un traitement thermique à température élevée choisi parmi un recuit, par exemple par un recuit flash tel qu'un recuit laser ou flammage, une trempe et/ou un bombage. La température du traitement thermique est supérieure à 400°C, de préférence supérieure à 450°C, et mieux supérieure à 15 500°C. Le substrat revêtu de l'empilement peut donc être bombé et/ou trempé. Le substrat revêtu des empilements sur chaque face est de préférence un verre trempé notamment lorsqu'il fait partie d'un vitrage utilisé dans comme élément constitutif d'un dispositif chauffant ou d'une porte anti-feu. Selon un mode de réalisation, le vitrage est double et comporte deux 20 substrats, un substrat extérieur et un substrat intérieur et 4 faces. La face 1 est à l'intérieur du dispositif chauffant et constitue donc la paroi intérieure du vitrage. Les faces 2 et 3 sont à l'intérieur du double vitrage. La face 4 est à l'extérieur du dispositif chauffant et constitue donc la paroi extérieure du vitrage. Selon un autre mode de réalisation, le vitrage est triple et comporte trois 25 substrats, un substrat extérieur, un substrat central et un substrat intérieur, et 6 faces. La face 1 à l'intérieur du dispositif chauffant et constitue donc la paroi intérieure du vitrage. Les faces 2 à 5 sont à l'intérieur du triple vitrage. La face 6 est à l'extérieur du dispositif chauffant et constitue donc la paroi extérieure du vitrage. Selon un autre mode de réalisation, le vitrage est quadruple et comporte trois 30 substrats, un substrat extérieur, un substrat central et un substrat intérieur, et 8 faces. La face 1 à l'intérieur du dispositif chauffant et constitue donc la paroi intérieure du vitrage. Les faces 2 à 7 sont à l'intérieur du quadruple vitrage. La face 8 est à l'extérieur du dispositif chauffant et constitue donc la paroi extérieure du vitrage ou du dispositif chauffant selon l'invention. 3061172 8 En ce qui concerne le premier empilement comprenant une ou plusieurs couches fonctionnelles en oxyde transparent conducteur en tant que couche fonctionnelle réfléchissant la chaleur (et donc pas d'autres couches conductrices notamment en un métal tel que l'argent), on utilise selon l'invention tout revêtement 5 comprenant une couche fonctionnelle à base de et de préférence en oxyde transparent conducteur du type ITO, c'est-à-dire basé sur un oxyde mixte entre l'étain et l'indium. Par l'expression « à base de », on entend notamment au sens de la présente invention que la couche concernée comprend au moins 80%, voire 90% et même 95% en poids du composé considéré. La couche peut même être 10 avantageusement constituée ou essentiellement constituée d'un tel composé. Ces couches conductrices et néanmoins transparentes présentent en effet de faibles émissivités, corrélées avec des faibles résistivités ou résistances carrées. Ce sont des couches de matériaux obtenues par dépôt sous vide par pulvérisation cathodique, éventuellement assistée par champ magnétique («Magnétron»). De façon 15 surprenante, il a été trouvé selon la présente invention que de tels empilements, présentaient de performances supérieures, en termes d'isolation thermique, à un empilement dont la couche fonctionnelle est à base d'oxyde d'étain dopé au fluor (Sn02:F). Ce dernier matériau est habituellement déposé par voie chimique, comme par exemple par dépôt de vapeur chimique (« CVD »), éventuellement améliorée par 20 plasma (« PECVD »). Plus particulièrement, de façon inattendue, des performances très supérieures ont été obtenues lorsque ces empilements à base d'ITO étaient combinés, sur l'autre face du substrat verrier, à un revêtement de faible émissivité comprenant une couche fonctionnelle (réflective) en argent. De préférence, l'empilement déposé est un empilement dont la ou les couches fonctionnelles sont à 25 base d'ITO. Le pourcentage atomique de Sn dans l'oxyde est avantageusement compris dans un domaine allant de 5 à 70%, notamment de 10 à 60%. Plus particulièrement, selon l'invention, on utilise de préférence une couche d'un mélange d'oxyde d'indium(III) (In203) et d'oxyde d'étain (IV) (Sn02), dans la proportion massique d'environ 85 à 95 % du premier et d'environ 15 à 5 % du second. 30 Selon un mode très préféré de la présente invention, l'empilement déposé sur la première face est un empilement comprenant deux couches fonctionnelles à base d'ITO, les deux couches fonctionnelles étant séparées par au moins une couche d'un matériau diélectrique. Chaque couche à base d'ITO peut notamment posséder une épaisseur 35 physique comprise dans un domaine allant de 20 à 80 nm, notamment de 30 à 3061172 9 80 nm. L'épaisseur physique cumulée de toutes les couches à base d'ITO est de préférence comprise dans un domaine allant de 40 à 200 nm, notamment de 60 à 160 nm. La ou chaque couche intermédiaire diélectrique est de préférence à base d'un 5 composé choisi parmi les oxydes, les nitrures ou les oxynitrures de silicium, d'aluminium, de titane, d'étain, de zinc, de zirconium, de niobium, de nickel, de chrome ou d'un de leurs mélanges. Elle est de préférence essentiellement constituée d'un tel composé, voire constituée d'un tel composé. Plus particulièrement, la (ou les) couche intermédiaire diélectrique est de 10 préférence essentiellement constituée d'un composé choisi parmi un oxyde, nitrure ou oxynitrure de silicium et/ou d'aluminium, un nitrure ou un oxyde de titane, un oxyde de nickel et de chrome, un nitrure de niobium, un oxyde d'étain et de zinc. De manière préférée, la ou chaque couche intermédiaire diélectrique est à base (ou essentiellement constituée) d'oxyde de silicium, de nitrure de silicium, d'oxyde de 15 titane, d'oxyde d'étain et de zinc. L'oxyde ou le nitrure de silicium sont particulièrement préférés. Le nitrure de silicium ou l'oxyde d'étain et de zinc sont particulièrement appréciés car leur indice de réfraction est proche de celui de l'ITO, si bien que leur présence ne perturbe pas les propriétés optiques de l'empilement. De préférence, l'indice de réfraction pour une longueur d'onde de 550 nm de la (ou les) 20 couche intermédiaire (notamment de l'unique couche intermédiaire) est d'au moins 1,8, notamment 1,9, avantageusement compris dans un domaine allant de 1,8 à 2,5, notamment de 1,9 à 2,2. Le nombre de couches intermédiaires séparant les couches à base d'ITO varie de préférence de 1 à 5, notamment de 1 à 3 ou de 1 ou 2. Avantageusement, l'empilement de couches minces comprend au moins deux 25 couches (notamment deux couches) à base d'un oxyde transparent électro- conducteur séparées par au plus deux couches intermédiaires, notamment par une seule couche intermédiaire. Parmi les combinaisons préférées, l'empilement comprend (ou est constitué de) successivement à partir du substrat : 30 - une couche d'adhésion, par exemple à base ou essentiellement constituée de silice, - une première couche d'ITO, - une couche intermédiaire diélectrique, par exemple à base ou essentiellement constituée de silice, de nitrure de silicium ou d'oxyde d'étain et de 35 zinc, 3061172 10 - une deuxième couche d'ITO, - une couche barrière à l'oxygène, par exemple à base ou essentiellement constituée de nitrure de silicium, - une couche à bas indice de réfraction, par exemple à base ou 5 essentiellement constituée de silice. En ce qui concerne le second empilement réfléchissant la chaleur essentiellement grâce à une ou plusieurs couches fonctionnelles à base d'un métal choisi parmi l'or ou de préférence l'argent : 10 Les couches à base d'or ou de préférence à base d'argent sont déposées entre des revêtements diélectriques qui comprennent généralement plusieurs couches diélectriques permettant d'ajuster les propriétés optiques de l'empilement et permettre une transmission lumineuse suffisante pour permettre la vision extérieure de l'enceinte. Ces couches diélectriques permettent en outre de protéger la couche 15 d'argent des agressions chimiques ou mécaniques. L'empilement de couches minces comprend donc avantageusement au moins une couche métallique fonctionnelle à base d'argent, au moins deux revêtements diélectriques, chaque revêtement diélectrique comportant au moins une couche diélectrique, de manière à ce que chaque couche métallique fonctionnelle soit disposée entre deux revêtements 20 diélectriques. L'empilement est déposé par pulvérisation cathodique, notamment assistée par un champ magnétique (procédé magnétron). Selon ce mode de réalisation avantageux, toutes les couches de l'empilement sont déposées par pulvérisation cathodique assistée par un champ magnétique. 25 Sauf mention contraire, les épaisseurs évoquées dans le présent document sont des épaisseurs physiques. On entend par couche mince, une couche présentant une épaisseur comprise entre 0,1 nm et 200 micromètres, suivant sa nature et sa composition. Dans toute la description le substrat selon l'invention est considéré posé 30 horizontalement. L'empilement de couches minces est déposé au-dessus du substrat. Le sens des expressions « au-dessus » et « en-dessous » et « inférieur » et « supérieur » est à considérer par rapport à cette orientation. A défaut de stipulation spécifique, les expressions « au-dessus » et « en-dessous » ne signifient pas nécessairement que deux couches et/ou revêtements sont disposés au contact l'un 35 de l'autre. Lorsqu'il est précisé qu'une couche est déposée « au contact » d'une autre 3061172 11 couche ou d'un revêtement, cela signifie qu'il ne peut y avoir une ou plusieurs couches intercalées entre ces deux couches. La couche métallique fonctionnelle est typiquement à base d'argent et comprend en général au moins 80 %, de préférence au moins 90 % et mieux au 5 moins 95 %, voire au moins 98% en masse d'argent par rapport à la masse de la couche fonctionnelle. De préférence, la couche métallique fonctionnelle à base d'argent comprend moins de 1,0% en masse de métaux autres que de l'argent par rapport à la masse de la couche métallique fonctionnelle à base d'argent. L'épaisseur des couches fonctionnelles à base d'argent est par ordre de 10 préférence croissant comprise de 5 à 20 nm, de 8 à 15 nm. L'empilement peut comprendre au moins une couche de blocage dont la fonction est de protéger les couches d'argent en évitant une éventuelle dégradation liée au dépôt d'un revêtement diélectrique ou liée à un traitement thermique. Ces couches de blocages sont situées de préférence au-contact des couches métalliques 15 fonctionnelles à base d'argent. L'empilement peut comprendre au moins une couche de blocage située en-dessous et au-contact d'une couche métallique fonctionnelle à base d'argent et/ou au moins une couche de blocage située au-dessus et au-contact d'une couche métallique fonctionnelle à base d'argent. 20 Parmi les couches de blocage traditionnellement utilisées, on peut citer les couches de blocage à base d'un métal choisi parmi le niobium Nb, le tantale Ta, le titane Ti, le chrome Cr ou le nickel Ni ou à base d'un alliage obtenu à partir d'au moins deux de ces métaux, notamment d'un alliage de nickel et de chrome (NiCr). L'épaisseur de chaque surcouche ou sous-couche de blocage est de 25 préférence : - d'au moins 0,2 nm ou d'au moins 0,5 nm et/ou - d'au plus 5,0 nm ou d'au plus 2,0 nm. Les revêtements diélectriques présentent une épaisseur supérieure à 15 nm, de préférence comprise entre 15 et 50 nm et mieux de 30 à 45 nm. 30 On entend par couches diélectriques à fonction barrière, une couche en un matériau apte à faire barrière à la diffusion de l'oxygène et de l'eau à haute température, provenant de l'atmosphère ambiante ou du substrat transparent, vers la couche fonctionnelle. Les couches diélectriques à fonction barrière peuvent être à base de composés de silicium et/ou d'aluminium choisis parmi les oxydes tels que 35 Si02, les nitrures tels que les nitrure de silicium Si3N4 et les nitrures d'aluminium AIN, 3061172 12 et les oxynitrures SiOxNy, éventuellement dopé à l'aide d'au moins un autre élément. Les couches diélectriques à fonction barrière peuvent également être à base d'oxyde de zinc et d'étain. On entend par couches diélectriques à fonction stabilisante, une couche en un 5 matériau apte à stabiliser l'interface entre la couche fonctionnelle et cette couche. Les couches diélectriques à fonction stabilisante sont de préférence à base d'oxyde cristallisé, notamment à base d'oxyde de zinc, éventuellement dopé à l'aide d'au moins un autre élément, comme l'aluminium. La ou les couches diélectriques à fonction stabilisante sont de préférence des couches d'oxyde de zinc. 10 La ou les couches diélectriques à fonction stabilisante peuvent se trouver au- dessus et/ou en-dessous d'au moins une couche métallique fonctionnelle à base d'argent ou de chaque couche métallique fonctionnelle à base d'argent, soit directement à son contact ou soit séparées par une couche de blocage. Selon un mode de réalisation avantageux, La couche diélectrique à base de 15 nitrure de silicium et/ou d'aluminium est de préférence au-contact de la couche de protection supérieure qui peut être avantageusement à base d'oxyde de titane ou à base d'oxyde de titane et de zirconium tel que décrit dans la demande W02016/097560. La couche diélectrique à base de nitrure de silicium et/ou d'aluminium a notamment une épaisseur : 20 - inférieure ou égale à 100 nm, inférieure ou égale à 50 nm ou inférieure ou égale à 45 nm, et/ou - supérieure ou égale à 15 nm, supérieure ou égale à 20 nm ou supérieure ou égale à 25 nm. Selon ce mode de réalisation, l'empilement peut par exemple comprendre : 25 - un revêtement diélectrique situé en-dessous de la couche métallique fonctionnelle à base d'argent, - éventuellement une couche de blocage, - une couche métallique fonctionnelle à base d'argent, - éventuellement une couche de blocage, 30 - un revêtement diélectrique situé au-dessus de la couche métallique fonctionnelle à base d'argent, - une couche de protection supérieure. Selon un mode de réalisation, l'empilement comprend : - un revêtement diélectrique situé en-dessous de la couche métallique fonctionnelle 35 à base d'argent comprenant au moins une couche diélectrique à base de nitrure de 3061172 13 silicium et/ou d'aluminium et éventuellement une couche diélectrique à fonction stabilisante à base d'oxyde de zinc, - éventuellement une couche de blocage, - une couche métallique fonctionnelle à base d'argent, 5 - éventuellement une couche de blocage, - un revêtement diélectrique situé au-dessus de la couche métallique fonctionnelle à base d'argent comprenant au moins une couche diélectrique à base de nitrure de silicium et/ou d'aluminium, - une couche de protection supérieure. 10 Selon un autre mode possible de réalisation de l'invention, le second empilement peut comprendre plusieurs couches fonctionnelles à base d'un métal choisi parmi l'or ou de préférence l'argent, et en particulier deux ou trois couches en argent, chacune d'elle étant séparée de la suivante de préférence par au moins une couche de matériau diélectrique notamment tels que ceux précédemment décrits. 15 Selon un tel mode de réalisation, l'empilement peut par exemple comprendre : - un revêtement diélectrique situé en-dessous de la couche métallique fonctionnelle à base d'argent, - éventuellement une couche de blocage, - une première couche métallique fonctionnelle à base d'argent, 20 - éventuellement une couche de blocage, - un revêtement diélectrique situé au-dessus de la première couche métallique fonctionnelle à base d'argent, - éventuellement une couche de blocage, - une deuxième couche métallique fonctionnelle à base d'argent, 25 - éventuellement une couche de blocage, - un revêtement diélectrique situé au-dessus de la deuxième couche métallique fonctionnelle à base d'argent, - une couche de protection supérieure. 30 On donne ci-après différents modes de réalisation de la présente invention, en relation avec la figure 1 ci-joint annexée : La figure 1 illustre trois exemples de dispositifs chauffants comprenant des vitrages multiples selon l'invention, un vitrage comprenant 4 substrats (configurations I à IV), un triple vitrage (configuration V) et un double vitrage (configuration VI). 35 3061172 14 Exemples Selon l'invention, des empilements de couches minces définis ci-après sont déposés sur un premier substrat en verre clair sodo-calcique clair d'une épaisseur de 4mm. 5 Sur une première face du substrat, on dépose un empilement conforme à l'exemple 1 de la demande W02015/033067. Plus précisément, on a déposé par pulvérisation cathodique magnétron AC sur un substrat de verre clair silico-sodo-calcique de 4 mm d'épaisseur l'empilement A suivant: 10 Verre / SiNx (2nm) / 5i02 (34nm) / ITO (118nm) / SiNx (6nm) / 5i02 (65nm) / TiO2 (3nm). Les chiffres entre parenthèses correspondent aux épaisseurs physiques 15 déposées pour chaque couche, exprimées en nanomètres. Les couches d'oxyde de silicium et de nitrure de silicium ont été déposées à l'aide de cibles de silicium dopé à l'aluminium (8% atomique) sous un plasma d'argon avec ajout respectivement d'oxygène et d'azote. Les couches d'ITO ont été déposées à l'aide de cibles d'ITO sous un plasma d'argon. La couche d'ITO est constituée d'un 20 mélange d'oxyde d'indium(III) (In203) et d'oxyde d'étain (IV) (5n02), dans la proportion massique d'environ 90 % du premier et d'environ 10 % du second. La couche barrière de SiNx a été déposée sous une pression de 2,0 pbar. L'émissivité normale de cet empilement, telle que mesurée selon la norme FR-EN 12898, est de 18%. 25 Sur la deuxième face du substrat, on dépose selon les techniques classiques de dépôt par pulvérisation cathodique l'empilement B suivant comportant une couche fonctionnelle d'argent, et dont l'émissivité normale est de 3% : 30 Verre / SiNx (30nm) / ZnO (5nm) / NiCr (0,5nm) / Ag (12nm) / NiCr (0,5nm) / ZnO (5nm) / SiNx (30nm) / TiO2 (3nm). On a ensuite monté ce substrat revêtu sur ces deux faces dans la paroi d'un four, en association avec un ou plusieurs autres substrats verriers comme indiqué sur 35 les configurations illustrées par la figure 1. 3061172 15 Selon l'invention, le substrat précédemment décrit est positionné directement au contact de l'enceinte du four, de telle façon que le premier empilement, dont la couche fonctionnelle est en ITO, est tournée vers ladite enceinte (face 1 du vitrage) et le second empilement dont la couche fonctionnelle est en argent est positionnée en 5 face 2 du vitrage constitutif de la paroi du four. Selon les configurations I à IV, la paroi comprend quatre substrats verriers : - un premier substrat selon l'invention tel que décrit précédemment, - puis trois substrats verriers successifs, dont les faces sont numérotées successivement de 2 à 8 (cf. figure 1). 10 Selon la configuration I, les deux substrats intermédiaires sont des produits verriers commercialisés par la société AGC sous la référence Planibel G®. Ils comprennent chacun sur une face un revêtement C déposé par pyrolyse-CVD et constitué d'une couche d'oxyde d'étain dopé au fluor. La face comprenant le revêtement est tournée vers la cavité du four (c'est-à-dire en face 3 et 5 de la paroi). 15 La configuration III est identique à la configuration II mais le deuxième substrat n'est revêtu d'aucun empilement de couches minces. La configuration IV est identique à la configuration II mais le troisième substrat n'est revêtu d'aucun empilement de couches minces. Selon la configuration V, la paroi comprend seulement trois substrats verriers : 20 un premier substrat selon l'invention tel que décrit précédemment, puis deux substrats verriers successifs, dont les faces sont numérotées successivement de 2 à 6. Le substrat intermédiaire est un Planibel G® et le revêtement est positionné en face 3 du vitrage. Selon la configuration VI, la paroi comprend uniquement deux substrats 25 verriers : un premier substrat selon l'invention tel que décrit précédemment, puis un substrat qui n'est revêtu d'aucun empilement de couches minces. Dans un deuxième temps, on a préparé des configurations comparatives, dans lesquelles on a positionné les différents empilements réfléchissant la chaleur sur 30 d'autres faces du vitrage quadruple. Plus précisément : - Selon la configuration VII, on a positionné le revêtement C (Planibel) sur les faces 1 et 3 et l'empilement A (ITO) sur les faces 5 et 6 du vitrage. - Selon la configuration VIII, on a positionné l'empilement C sur les faces 1 et 5 et l'empilement A sur les faces 3 et 4 du vitrage. 3061172 16 - Selon la configuration IX, on a positionné l'empilement A sur les faces 1 et 2 et le revêtement C sur les faces 3 et 5 du vitrage. - Selon la configuration X, on a positionné l'empilement A sur les faces 1, 3 et 5 du vitrage. 5 - Selon la configuration XI, on a positionné l'empilement A sur les faces 1 et 2 et le revêtement C sur la face 5 du vitrage. On a également préparé à titre comparatif deux configurations conformes à l'enseignement de la demande EP1293726A2, comprenant des couches d'oxyde 10 transparent conducteur déposées par pyrolyse CVD en face 1 du vitrage. Pour ce faire, on utilise, comme premier substrat au contact de la cavité, deux substrats verriers commerciaux comprenant sur une face une couche de 5n02 :F déposé par CVD-pyrolyse : - le produit verrier Planibel décrit précédemment, 15 - un produit verrier commercialisé par la société NSG sous la référence TEC®, dans laquelle l'empilement réfléchissant la chaleur présente une émissivité de 12% (revêtement D). Plus précisément, - Selon la configuration XII, on dépose sur le produit Planibel, sur la face non 20 recouverte par l'empilement pyrolytique, l'empilement B à base d'argent décrit précédemment. Ce substrat comparatif est positionné en remplacement du premier substrat selon l'invention dans la paroi à quatre substrats de l'exemple Il, la couche fonctionnelle pyrolytique (le revêtement C) étant tournée vers ladite enceinte (face 1 du vitrage). 25 - Selon la configuration XIII, on dépose, sur la face du produit TEC non recouverte par l'empilement pyrolytique, l'empilement B à base d'argent décrit précédemment. Ce substrat comparatif est positionné en remplacement du premier substrat selon l'invention dans la paroi à quatre substrats de l'exemple Il, la couche fonctionnelle pyrolytique (le revêtement D) étant tournée vers 30 ladite enceinte (face 1 du vitrage). L'enceinte munie des différentes portes est ensuite chauffé à une température de l'ordre de 425°C à 430°C et les températures entre chaque substrat constitutif de la paroi sont classiquement mesurées à l'aide de thermocouples. 35 Les résultats sont reportés dans le tableau 1 ci-dessous : 3061172 17 Dans le tableau 1 on note A une face revêtue par l'empilement A (comprenant la couche fonctionnelle d'ITO et d'émissivité 18%), B une face revêtue par l'empilement B (comprenant la couche fonctionnelle d'argent), C une face revêtue par 5 le revêtement C (comprenant la couche pyrolytique Sn02 :F d'émissivité 16%), D une face revêtue par le revêtement D (comprenant la couche pyrolytique Sn02 :F d'émissivité 12%) et X une face non revêtue. essai F1 F2 F3 F4 F5 F6 F7 F8 Porte verre intermédiaire Cavité extérieure Tmax Tmax Tmax Tmax Tmoy porte (S1-S2) (S2-S3) (S3-S4) I A BCX C X X X 65 133 135 99 431 Il A B X X C X X X 63 118 130 84 430 III A BCX X X X X 67 108 119 69 428 IV A B X X X X X X 65 146 119 71 421 V A BCX X X - - 65 175 102 NA 423 VI A B X X - - - - 70 158 NA NA 423 VII C X C X A A X X 67 236 152 108 426 VIII C X A A C X X X 71 241 161 102 427 IX A A CX C X X X 68 233 147 86 424 X C X CX C X X X 71 239 162 103 425 XI A A X X C X X X 68 231 158 92 423 XII CB X X C X X X 60 217 169 76 426 XIII DB X X C X X X 62 131 146 77 429 Tableau 1 10 Dans le tableau 1, « Tmax porte » indique la température maximale mesurée sur la porte extérieure, « Tmax S1-S2 » la température maximale mesurée dans l'espace entre le substrat 1 et le substrat 2, « Tmax S2-S3 » la température maximale mesurée dans l'espace entre le substrat 2 et le substrat 3, « Tmax S3-S4 » la 15 température maximale mesurée dans l'espace entre le substrat 3 et le substrat 4. Les résultats reportés dans le tableau 1 démontrent les avantages de la présente invention : les exemples I à IV selon l'invention comprenant une paroi dont le premier substrat est revêtu, sur la face tournée vers la cavité du four, d'un revêtement 20 comprenant une couche fonctionnelle d'ITO et sur l'autre face d'un revêtement comprenant une couche fonctionnelle d'argent permettent une meilleure isolation de ladite cavité, comme le montre la diminution sensible de la température dans l'espace 3061172 18 entre ledit premier substrat et le second substrat. La diminution de température entre les deux premiers substrats, observée grâce à la configuration particulière des empilements présents sur le premier substrat, permet ainsi une meilleure isolation de la cavité, ce qui se traduit par plusieurs avantages : 5 - Dans le cas d'un four à pyrolyse, une telle amélioration de l'isolation permet de limiter la chauffe nécessaire pour maintenir les hautes températures nécessaire à ladite pyrolyse. - Lors du fonctionnement normal du four pour la cuisson des aliments (c'est-à-dire à une température maximale de 240°C), cette meilleure isolation permet de réduire 10 significativement la consommation énergétique du four et donc d'en améliorer le classement énergétique. - Egalement la ventilation nécessaire au refroidissement des parties verrières de la paroi peut être fortement réduite, voire supprimée. 15 Selon un autre avantage, il devient possible selon l'invention d'utiliser dans de telles parois des empilements dont la couche fonctionnelle est en argent et qui ne sont pas spécifiquement configurés pour résister à la chaleur, en raison de la diminution sensible de la température « subie » par lesdits revêtements lors des phases de nettoyage du four par pyrolyse. 20 En outre, l'utilisation d'une paroi selon l'invention pourrait permettre de simplifier la configuration de la porte (configuration à 3 verres plutôt que 4), comme le démontre l'exemple IV, tout en assurant les niveaux de sécurité requis. Enfin dans le cas d'un four conventionnel (non pyrolytique) dont la paroi ne comprendrait que deux ou trois substrats verriers, on peut voir que des niveaux 25 d'isolation tout à fait convenable, et même améliorés, peuvent être obtenus. La comparaison des exemples II, XII et XIII montre que seule la combinaison particulière de revêtements selon l'invention permet d'obtenir un tel résultat. En particulier, de manière très surprenante et inattendue, on démontre que le remplacement d'un revêtement TCO pyrolytique à base d'oxyde d'étain par un 30 empilement de couches à base d"ITO selon l'invention permet d'améliorer significativement les propriétés d'isolation de la paroi, alors même que l'émissivité mesurée pour lesdits revêtements TCO pyrolytique à base d'oxyde d'étain est inférieure à celle à celle dudit empilement de couches à base d'ITO. Les exemples I, Il et III montre en outre, par comparaison avec l'exemple IV, 35 que l'isolation thermique de la cavité peut encore être améliorée si un revêtement 3061172 19 supplémentaire réfléchissant la chaleur, du type TCO (Sn02 :F ou ITO) ou empilement à l'argent, est disposé sur la face 3 et/ou 5 du vitrage, notamment en face 3 du vitrage. REVENDICATIONS1. Dispositif chauffant muni d'une enceinte délimitant une cavité, ledit dispositif comprenant une porte ou une paroi incorporant un vitrage multiple, ledit vitrage comprenant au moins un substrat transparent revêtu sur chaque face d'un empilement de couches minces, dont : - sur une première face, tournée vers ladite cavité, un premier empilement réfléchissant la chaleur essentiellement grâce à une ou plusieurs couches fonctionnelles à base d'un oxyde mixte d'étain et d'indium, - sur l'autre face, tournée vers l'extérieur du dispositif, un second empilement réfléchissant la chaleur essentiellement grâce à une ou plusieurs couches fonctionnelles à base d'un métal choisi parmi l'or ou l'argent, de préférence l'argent. 2. Dispositif chauffant selon la revendication précédente, dans lequel le premier empilement est positionné, dans le vitrage, au contact de la cavité du dispositif chauffant. 3. Dispositif chauffant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel que le premier empilement comprend comme couche fonctionnelle un oxyde d'indium et d'étain dont le pourcentage atomique de Sn dans l'oxyde est avantageusement compris dans un domaine allant de 5 à 70%, notamment de 10 à 60%. 4. Dispositif chauffant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le premier empilement comprend comme couche fonctionnelle une couche d'oxyde d'indium et d'étain comprenant une proportion massique d'environ 85 à 95 % d'oxyde d'indium et d'environ 15 à 5 % d'oxyde d'étain. 5. Dispositif chauffant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le premier empilement comprend successivement à partir du substrat : - au moins une sous couche d'un composé diélectrique notamment choisi parmi le nitrure de silicium, l'oxyde de silicium, ou l'oxyde d'étain et de zinc - une couche fonctionnelle d'ITO, - au moins une surcouche d'un composé diélectrique notamment choisi parmi le nitrure de silicium, l'oxyde de silicium, ou l'oxyde d'étain et de zinc. 6. Dispositif chauffant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le premier empilement comprend successivement à partir du substrat : - au moins une sous couche d'un composé diélectrique notamment choisi parmi le nitrure de silicium, l'oxyde de silicium, l'oxyde d'étain et de zinc 3061172 21 - une première couche fonctionnelle d'ITO, - une couche intermédiaire d'un composé diélectrique. notamment choisi parmi l'oxyde de silicium, de nitrure de silicium ou d'oxyde d'étain et de zinc, - une deuxième couche fonctionnelle d'ITO. - au moins une surcouche d'un composé diélectrique notamment choisi parmi le nitrure de silicium, l'oxyde de silicium, ou l'oxyde d'étain et de zinc. 7. Dispositif chauffant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le second empilement comprend au moins une couche métallique fonctionnelle à base d'argent et au moins deux revêtements diélectriques, chaque 10 revêtement diélectrique comportant au moins une couche diélectrique, de manière à ce que chaque couche à base d'argent soit disposée entre deux revêtements diélectriques. 8. Dispositif chauffant selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le second empilement présente une émissivité normale, telle que mesurée 15 selon la norme EN 12898, inférieure ou égale à 10%, de préférence inférieure ou égale à 5% et de préférence encore inférieure ou égale à 3%. 9. Dispositif chauffant selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel le vitrage est un vitrage multiple comprenant deux, trois ou quatre substrats. 20 10. Dispositif chauffant selon la revendication 9 dans lequel le vitrage est un vitrage multiple comprenant deux substrats. 11. Dispositif chauffant selon la revendication 9 dans lequel le vitrage est un vitrage multiple comprenant trois substrats. 12. Dispositif chauffant selon la revendication 9 dans lequel le vitrage est un 25 vitrage multiple comprenant quatre substrats. 13. Dispositif chauffant selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel au moins le substrat revêtu de l'empilement est bombé et/ou trempé et de préférence dans lequel tous les substrats du vitrage sont trempés. 14. Dispositif chauffant selon l'une quelconque des revendications précédentes 30 dans lequel le vitrage comprend au moins un revêtement supplémentaire réfléchissant la chaleur, déposé sur au moins un autre substrat constitutif du vitrage. 15_ Dispositif chauffant selon la revendication précédente, dans lequel ledit revêtement supplémentaire réfléchissant la chaleur est disposé sur la troisième face et/ou sur la cinquième face du vitrage, de l'intérieur vers l'extérieur dudit dispositif 35 chauffant, de préférence encore sur la troisième face du vitrage. 3061172 22 16. Dispositif chauffant selon l'une des revendications 14 ou 15, dans lequel ledit revêtement supplémentaire réfléchissant la chaleur comprend comme couche fonctionnelle un oxyde transparent conducteur choisi parmi l'oxyde d'indium et d'étain (ITO) ou un oxyde d'étain dopé pour le rendre conducteur électrique, notamment 5 l'oxyde d'étain dopé au fluor (Sn02 :F) ou l'oxyde d'étain dopé à l'antimoine (Sn02 : Sb) ou dans lequel ledit revêtement supplémentaire réfléchissant la chaleur est un empilement comprenant comme couche fonctionnelle au moins une couche d'argent. 17. Vitrage pour dispositif chauffant tel que décrit dans l'une des revendications précédentes, comprenant une pluralité de substrats transparents dont 10 un substrat revêtu sur chaque face d'un empilement de couches minces, dont : - sur une première face, tournée vers l'extérieur dudit vitrage, un premier empilement réfléchissant la chaleur essentiellement grâce à une ou plusieurs couches fonctionnelles à base d'un oxyde mixte d'étain et d'indium, - sur l'autre face, tournée vers l'intérieur du vitrage, un second empilement 15 réfléchissant la chaleur essentiellement grâce à une ou plusieurs couches fonctionnelles à base d'un métal choisi parmi l'or ou de préférence l'argent. 18. Paroi ou porte pour dispositif chauffant comprenant un vitrage selon la revendication 17. 19. Utilisation du vitrage selon la revendication 18 comme élément constitutif 20 de la paroi ou d'une porte d'un dispositif chauffant muni d'une enceinte et/ou d'une cavité tel qu'un four.