Brevet FR3061360A1 — publié le 20180629

DISPOSITIF ELECTROLU MI NESCENT DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE La présente concerne un dispositif électroluminescent comprenant au moins une structure électroluminescente. Plus particulièrement, l'au moins une structure électroluminescente est éventuellement dépourvue de substrat support, et dont la conception des électrodes permet d'homogénéiser la température de ladite diode en fonctionnement. ART ANTÉRIEUR La figure 1 illustre un dispositif électroluminescent 10 connu de l'état de la technique. Le dispositif 10 comprend une pluralité de diodes électroluminescentes 11 agencées de manière matricielle (n lignes et m colonnes), et reposant sur la face avant d'un substrat support épais 12, de plusieurs dizaines de micromètres d'épaisseur (par exemple 80 um). Une couche d'interconnexion 13, destinée à adresser individuellement chacune des diodes ou groupes de diodes électroluminescentes 11, est également formée sur une face arrière du substrat support épais 12, et reliée à un circuit de commande via un interposeur 14. Cependant, un tel dispositif n'est pas satisfaisant. En effet, un substrat support épais impose la formation de tranchées relativement profondes dans ledit substrat support de manière à isoler électriquement les diodes électroluminescentes. Toutefois la formation de tranchées profondes est compliquée à mettre en oeuvre, et rend, surtout, difficile la considération des diodes électroluminescentes d'une taille inférieure à 30 um. Par ailleurs, les tranchées profondes sont généralement formées par une étape de gravure profonde par des ions réactifs (« DRIE » ou « Deep Reactive Ion etching » selon la terminologie Anglo-Saxonne) dont le coût est souvent trop important. 3061360 2 Ainsi, afin de simplifier le procédé de fabrication des diodes électroluminescentes, il est envisagé un amincissement, voire un retrait, du substrat support permettant alors de considérer la formation de tranchées peu profondes (par exemple d'une profondeur inférieure à 10 um), voire de s'en affranchir. 5 Toutefois, un substrat support épais assure une fonction thermomécanique destinée à limiter les différences de température (« thermal spreading » selon la terminologie Anglo-Saxonne) pouvant survenir entre le centre et le contour d'une diode électroluminescente en fonctionnement, et dont l'efficacité est intimement liée à son épaisseur. Plus particulièrement, l'amincissement du substrat support dégrade ses 10 propriétés thermomécaniques. A titre d'exemple, les figures 2a et 2b illustrent le profil en température de diodes électroluminescentes en fonctionnement reposant, respectivement, sur un substrat support de 80 um et de 5 um. A cet égard, un substrat support de 80 um d'épaisseur limite l'écart en température à 7°C entre le centre C et le contour B d'une diode tandis que cet écart s'élève à 57°C dès lors que le substrat support 15 est aminci pour présenter une épaisseur de 5 um. Un tel écart de température peut induire des contraintes thermomécaniques au sein de la diode électroluminescente, qui à terme peuvent dégrader les performances de ladite diode. En outre, une différence de température importante entre le centre et le bord d'une diode électroluminescente génère une différence d'intensité lumineuse 20 perceptible à l'ceil humain, et nuit au confort visuel dès lors que cette différence de luminosité dépasse 30 % Ainsi un objectif de la présente invention est de proposer un dispositif électroluminescent comprenant des structures électroluminescentes, et permettant l'emploi d'un substrat support d'épaisseur inférieure à 20 um, plus particulièrement 25 inférieure à 10 um, sans toutefois dégrader la gestion thermique desdites structures électroluminescentes. Un autre objectif de la présente invention est de proposer un dispositif électroluminescent dont le procédé de fabrication est plus simple à mettre en oeuvre que ceux connus de l'état de la technique. 3061360 3 EXPOSÉ DE L'INVENTION Les buts de l'invention sont, au moins en partie, atteints par un dispositif électroluminescent comprenant : - au moins une structure électroluminescente comprenant une première 5 face et une seconde face essentiellement parallèles, - une première électrode en contact, selon une surface de contact, avec l'une ou l'autre des première et seconde faces, le dispositif étant caractérisé en ce que la première électrode est conformée pour imposer une décroissance, depuis une première région et en direction 10 d'au moins une seconde région de la surface de contact, d'une densité de courant susceptible de traverser la structure électroluminescente. Par en contact, on entend en contact électrique. Par première face, on entend l'une des face avant ou face arrière, et par seconde face on entend l'autre des face avant et face arrière. 15 Il est évident sans qu'il soit nécessaire de le préciser que la première région et la seconde région appartiennent à la même surface de contact. Par dispositif électroluminescent, nous entendons un dispositif qui comprend une structure électroluminescente, une première électrode, et une seconde électrode. La première électrode contacte électriquement l'une ou l'autre des première et 20 seconde faces, tandis que la seconde électrode contacte électriquement l'une ou l'autre des première et seconde faces qui n'est pas en contact avec la première électrode. La présence de la seconde électrode est au moins implicite, et n'est donc pas nécessairement précisée. La décroissance, de la première région vers l'au moins une seconde 25 région, de la densité de courant susceptible de traverser la structure électroluminescente permet ainsi de réduire l'écart en température entre lesdites première et seconde région et plus particulièrement au sein de ladite structure électroluminescente. Autrement dit, cette décroissance de la densité de courant permet d'uniformiser la température de la structure électroluminescente, plus particulièrement 3061360 4 dès lors que le dispositif électroluminescent est disposé sur un substrat support d'épaisseur inférieure à 20 um, voire inférieure à 10 um. Il est par conséquent inutile de doter le dispositif d'un substrat support épais, par exemple présentant une épaisseur de plusieurs dizaines de micromètres. 5 La présente invention contraste avec les dispositifs électroluminescents connus de l'état de la technique pour lesquels la première et ou la seconde électrodes sont généralement conformées pour imposer une densité de courant uniforme sur toute la surface formée par l'une et/ou l'autre des première et seconde faces. Par ailleurs, dès lors qu'une pluralité de structures électroluminescentes 10 est considérée, il n'est pas nécessaire d'avoir recours à la formation de tranchées profondes (par tranchées profondes, nous entendons des tranchées d'au moins 10 um de profondeur). En effet, afin de délimiter les structures électroluminescentes et les isoler électriquement, des tranchées d'une profondeur inférieure à 10 um sont suffisantes. En outre, des tranchées peu profondes ouvrent aussi la voie à la 15 formation de structures électroluminescentes de plus petite taille, par exemple de côté inférieur à 20 um, voire inférieur à 10 um. Selon un mode de mise en oeuvre, la surface de contact comprend un centre et un contour, la première région comprenant le centre de la surface de contact, avantageusement, la densité de courant est maximale au niveau de la première région. 20 I I est également évident que le contact entre la première électrode avec l'une ou l'autre des première et seconde face se fait au moins au centre de ladite face. Selon un mode de mise en oeuvre, la première électrode présente un profil d'épaisseur décroissant selon au moins deux directions opposées depuis le centre vers le contour de la surface de contact. 25 Dans ce cas de figure, il est admis, sans qu'il soit nécessaire de le préciser, que l'au moins une seconde région est adjacente au contour de la surface de contact. Par deux directions opposées, nous entendons deux directions du plan formé par la surface de contact. Les deux directions opposées passent également par le centre de ladite surface de contact. Il est également admis tout au long de la description, sans qu'il soit nécessaire de le préciser, que bien préférentiellement parallèles, les deux 3061360 5 directions opposées peuvent présenter une déviation d'angle, par exemple une déviation d'angle inférieure à 200 . Plus particulièrement, le profil d'épaisseur est décroissant selon les deux directions opposées partant du centre vers le contour. Il est par ailleurs admis que 5 l'épaisseur de la première électrode présente une épaisseur maximale au centre. Selon un mode de mise en oeuvre, le profil d'épaisseur comprend des paliers parallèles à l'une ou l'autre des première et seconde faces. Selon un mode de mise en oeuvre, le profil d'épaisseur présente une décroissante monotone et continue. 10 Selon un mode de mise en oeuvre, la première électrode comprend au moins un des matériaux choisi parmi : Cu, Al, Ti, Ni, Ag, Pd, Pt, Rh, Au, In, un oxyde transparent conducteur, avantageusement, l'oxyde transparent conducteur comprend au moins un des matériaux choisi parmi : oxyde d'indium et d'étain (ITO), oxyde de zinc (Zn0), oxyde de zinc dopé avec du gallium (GZO), oxyde de zinc dopé avec du gallium et de l'indium 15 (IGZO), oxyde de zinc dopé avec de l'aluminium (AZO), oxyde de zinc dopé avec du gallium et de l'aluminium (AGZO), oxyde de cadmium dopé avec de l'indium, dioxyde d'étain (5n02). De manière avantageuse, les éléments précités (métalliques et oxyde transparent conducteur) peuvent être mis sous forme d'encre, par exemple avec au moins 20 un des composés choisi parmi : DEPOT-PSS (poly(3,4- éthylènedioxythiophène) et poly(styrène sulfonate) de sodium), graphène, nanotubes de carbone. Selon un mode de mise en oeuvre, la première électrode comprend un matériau présentant un coefficient de température positif, avantageusement, le matériau comprend au moins un des éléments choisi parmi : céramique de Titanate de Baryum, 25 céramique de Titanate de Strontium, céramique de Titanate de Plomb, Nitrure de tantale. Selon un mode de mise en oeuvre, la première électrode présente une surface de contact métallique texturée avec l'une ou l'autre des première et seconde, la surface de contact métallique texturée comprenant des régions de contact métallique et des régions dépourvues de contact métallique. 3061360 6 Selon un mode de mise en oeuvre, la densité de régions de contact métallique diminue de la première région vers la seconde région. Selon un mode de mise en oeuvre, les régions dépourvues de contact métallique correspondent à des évidements formés dans l'une ou l'autre des électrodes 5 avant et arrière. Selon un mode de mise en oeuvre, les évidements sont remplis d'un matériau diélectrique, avantageusement le matériau diélectrique comprend au moins des matériaux choisi parmi : dioxyde de silicium, nitrure de silicium. Selon un mode de mise en oeuvre, les régions de contact métallique 10 présentent une densité décroissance du centre vers le bord de la première ou seconde face avec laquelle la première électrode est en contact. Selon un mode de mise en oeuvre, les régions de contact métallique ont une forme circulaire. Selon un mode de mise en oeuvre, l'au moins une structure 15 électroluminescente comprend d'une de ses première et seconde faces vers l'autre des première et seconde face, une couche électroluminescente reposant sur un substrat support présentant une épaisseur inférieure à 10 um, avantageusement inférieur à 5 um. Selon un mode de mise en oeuvre, la couche électroluminescente comprend une couche active intercalée entre une première couche de semi-conducteur et 20 une seconde couche de semi-conducteur. Selon un mode de mise en oeuvre, la couche active comprend au moins des matériaux choisi parmi : GaN, InGaN, InGaAs, InGaAIP, GaAs. Selon un mode de mise en oeuvre, la couche électroluminescente comprend des nanofils perpendiculaires à la face avant. 25 Selon un mode de mise en oeuvre, le dispositif comprend une pluralité de structures électroluminescentes agencées de manière matricielle. L'invention concerne également une méthode de dimensionnement de la première électrode destinée à être mise en oeuvre dans le dispositif électroluminescent selon l'invention, le dispositif électroluminescent comprenant au moins une structure 30 électroluminescente comprenant une première et une seconde faces essentiellement 3061360 7 parallèles, la première électrode étant en contact, selon une surface de contact, avec l'une ou l'autre des première et seconde face, la méthode comprenant les étapes suivantes : a) une étape de détermination du profil d'une densité de courant devant traverser l'une des première et seconde faces, ledit profil de densité de courant étant 5 déterminé depuis une première région et en direction d'au moins une seconde région de la surface de contact ; b) une étape réalisation de la première électrode permettant de réaliser le profil de densité de courant de l'étape a). Selon un mode de mise en oeuvre, l'étape a) de détermination du profil 10 de densité de courant est exécutée de manière à ce que l'écart en température entre la première et la seconde régions soit inférieur à un écart de température prédéterminée, avantageusement l'écart de température prédéterminé est inférieur à 20°C, encore plus avantageusement inférieur à 10°C, voire inférieur à 5°C. Selon un mode de mise en oeuvre, l'étape b) d'adaptation comprend un 15 ajustement d'un profil en épaisseur de la première électrodes. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS D'autres caractéristiques et avantages apparaîtrons dans la description qui va suivre des modes de mise en oeuvre du dispositif électroluminescent selon l'invention, donnés à titre d'exemples non limitatifs, en référence aux dessins annexés dans 20 lesquels : - la figure 1 est une représentation schématique d'un dispositif électroluminescente connu de l'état de la technique, - les figures 2a et 2b sont des représentations graphiques du profil en température (sur l'axe vertical, en « °C ») de la face avant d'une diode électroluminescente 25 en fonction de la distance par rapport au centre C de ladite diode (sur l'axe horizontal), plus particulièrement, les figures 2a et 2b sont relatives à une diode électroluminescente reposant, respectivement, sur un substrat support de 80 um et de 5 um d'épaisseur, 3061360 8 - la figure 3a est une représentation schématique selon un plan de coupe transverse d'une structure électroluminescente susceptible d'être mise en oeuvre dans le cadre de la présente invention, - la figure 3b est une représentation schématique selon un plan de coupe 5 transverse d'une structure électroluminescente comprenant une pluralité de nanofils s'étendant perpendiculairement à la face avant, et susceptible d'être mise en oeuvre dans la cadre de la présente invention, - les figures 4a et 4b sont des représentations schématiques d'un dispositif électroluminescent selon un premier mode de réalisation de l'invention, 10 - la figure 5 est une représentation graphique de variation de résistance (selon l'axe vertical) en fonction de la température (axe horizontal) d'un matériau présentant un coefficient de température positif et susceptible d'être mis en oeuvre dans le cadre d'un second mode de réalisation de l'invention, - la figure 6a est une représentation schématique d'un dispositif 15 électroluminescent selon un troisième mode de réalisation de l'invention, - la figure 6b est une représentation schématique, en vue de dessus, d'une électrode arrière susceptible d'être mise en oeuvre dans le cadre du troisième mode de réalisation de la présente invention - la figure 7 est une représentation schématique, en coupe transversale, 20 d'un dispositif électroluminescent selon la présente invention, et destiné à la mise en oeuvre d'un procédé de dimensionnement de l'une et/ou l'autre des électrodes avant et arrière selon l'invention - la figure 8 est une représentation graphique de l'évolution de la densité de coutant (selon l'axe verticale) en fonction de la distance par rapport au centre (axe 25 horizontal). EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS L'invention décrite de manière détaillée ci-dessous met en oeuvre un dispositif électroluminescent comprenant une structure électroluminescente dont la gestion thermique est assurée pour une nouvelle architecture d'électrode (dite première 3061360 9 électrode). Selon l'invention, la première électrode est adaptée pour imposer une décroissance de la densité de courant traversant la structure électroluminescente d'une première région vers une seconde région de la surface de contact entre l'électrode et la face concernées. Plus particulièrement, la densité de courant présente un maximum au 5 niveau de la première région de la surface de contact, et décroit en direction de la seconde région. Ainsi, l'architecture des électrodes permet de limiter l'écart en température au sein de la structure électroluminescente. Plus particulièrement, dans un exemple particulier de l'invention qui est détaillé dans la suite de la description, l'architecture de la première électrode permet de limiter l'augmentation par effet Joule de la température du contour 10 de la structure électroluminescente par rapport à son centre, sans nécessairement avoir recours à un substrat support épais. Nous notons dès à présent que la première région telle que défini dans la présente invention, est une région au niveau de laquelle la densité de courant susceptible d'être injectée dans le dispositif électroluminescent est la plus importante. 15 Par dispositif électroluminescent, nous entendons un dispositif qui comprend une structure électroluminescente, une première électrode, et une seconde électrode. La première électrode contact électriquement l'une ou l'autre des première et seconde faces, tandis que la seconde électrode contact électriquement l'une ou l'autre des première et seconde faces qui n'est pas en contact avec la première électrode. La présence 20 de la seconde électrode est au moins implicite, et n'est donc pas nécessairement précisée. Le dispositif électroluminescent 100, selon la présente invention, est maintenant décrit en relation avec les figures 3, 4a, 4b, 5, 6a et 6b. Le dispositif électroluminescent 100 comprend au moins une structure électroluminescente 110. 25 Par structure électroluminescente, on entend une structure qui, dès lors qu'elle est traversée par un courant, émet de la lumière. L'au moins une structure électroluminescente peut être de forme carrée, et de côté compris entre 3 et 400um. Le dispositif électroluminescent 100 (tel qu'illustré à la figure 3a) peut 30 comprendre une pluralité de structures électroluminescentes 110 agencées, par exemple, 3061360 10 sous forme matricielle. Par forme matricielle, nous entendons un maillage à N lignes et M colonnes. Chaque structure électroluminescente 110 est alors disposée à l'intersection d'une ligne avec une colonne du maillage. Deux structures électroluminescentes adjacentes peuvent être séparées 5 par une tranchée d'une largeur inférieure à 3 iim, avantageusement inférieure à 1 iim. La structure électroluminescente 110 comprend une première face 120 et une seconde face 130 essentiellement parallèles. Par première face, on entend l'une des face avant ou face arrière, et par seconde face on entend l'autre des face avant et face arrière. 10 La première face 120 comprend un centre 120C et un contour 120B. La seconde face 130 comprend un centre 130C et un contour 130B. Par centre d'une face, nous entendons le barycentre de ladite face. Le dispositif électroluminescent 100 peut être interfacé avec un interposeur via une électrode formée sur la face arrière 130 de la structure 15 électroluminescente 110 (ladite électrode est alors dite électrode arrière). Une électrode en contact avec la face avant est dite électrode avant. La surface de contact entre l'électrode avant et la face avant est dite surface de contact avant. Une électrode en contact avec la face arrière est dite électrode arrière. La surface de contact entre l'électrode arrière et la face arrière est dite surface de contact 20 arrière. La structure électroluminescente 110 peut comprendre de sa face avant 120 vers sa face arrière 130, une couche électroluminescente 140 reposant sur un substrat support 150, la structure électroluminescente 110 présentant une épaisseur inférieure à 10 iim, avantageusement inférieur à 5 iim. 25 Le substrat support 150 peut, par exemple, comprendre du silicium. La couche électroluminescente 140 peut comprendre une couche active 111 intercalée entre une première couche de semi-conducteur 112 et une seconde couche de semi-conducteur 113. La première couche de semi-conducteur 112 peut comprendre du GaN 30 de type n (par type n, on entend dopé avec des espèces donneuses d'électrons). 3061360 11 La seconde couche de semi-conducteur 113 peut comprendre du GaN de type p (par type p, on entend dopé avec des espèces donneuses de trous). La couche active 111 peut comprendre au moins un des matériaux choisi parmi : GaN, GaAs, InGaN, InGaAIP. 5 La couche active 111, la première couche de semi-conducteur 112 et la seconde couche de semi-conducteur 113 peuvent être formées par des techniques de dépôt de films par épitaxie sur un substrat. La formation desdites couches fait appel à des techniques connues de l'homme du métier et n'est donc pas décrite en détails dans la présente invention. 10 Des tranchées sont également formées au niveau des films formés par épitaxie de manière à délimiter les structures électroluminescentes 110 (nous parlons de « pixelisation »), mais également dans le substrat afin d'isoler électriquement lesdites structures électroluminescentes 110. Le substrat est ensuite aminci à une épaisseur inférieure à 20 um, 15 avantageusement inférieure à 10 um, encore plus avantageusement inférieure à 5 um. Les techniques d'amincissement, et de maintien par des substrats temporaires (aussi appelés « poignées ») sont connues de l'homme du métier et ne sont donc pas décrites en détails dans la présente invention. De manière alternative (tel qu'illustré à la figure 3b), la structure 20 électroluminescente 110 peut comprendre des nanofils 200 perpendiculaires à la face avant. Chaque nanofil 200 peut comprendre de façon non limitative un empilement formé, d'une zone 201 d'InGaN-n, d'une zone active 202, d'une zone 203 de GaN-p ou d'InGaN-p. A cet égard, l'homme du métier peut consulter la demande de brevet [1] citée à la fin de la description, et plus particulièrement, de la page 19 ligne 24 à la page 20 ligne 10. 25 L'ensemble des nanofils d'une structure électroluminescente 110 repose avantageusement sur le substrat support 150. Le dispositif électroluminescent 100 selon l'invention présente également une première électrode 160 adaptée pour imposer le passage d'un courant (ou d'une densité de courant) au travers de la structure électroluminescente 110. 3061360 12 La première électrode (160, 170) est en contact, selon une surface de contact 121, 131, avec l'une ou l'autre des première 120 et seconde 130 faces. La première électrode 160, 170 est conformée pour imposer une décroissance, depuis une première région et en direction d'au moins une seconde région de la surface de contact 121, 131, 5 d'une densité de courant susceptible de traverser la structure électroluminescente 110. Par première et seconde régions, on entend deux régions appartenant à la surface de contact. La surface de contact comprend un centre et un contour. La première région peut comprendre le centre (nous parlons alors de 10 région centrale) de la surface de contact. Avantageusement, la densité de courant peut être maximale au niveau de la première région. Dans ce cas de figure, la première région est en correspondance avec un contact d'alimentation de l'électrode avant ou arrière considérée. Nous considérerons que deux éléments sont en correspondance dès lors qu'ils sont positionnés l'un et l'autre 15 sur deux faces opposées de l'électrode, et se projettent l'un sur l'autre selon l'épaisseur de ladite électrode. De manière avantageuse, la première électrode présente un profil d'épaisseur décroissant selon au moins deux directions opposées depuis le centre vers le contour de la surface de contact. 20 Nous allons limiter la description à une première région de la surface contact qui est en coïncidence avec le centre de la face ou arrière considérée. A cet égard, pour toute la suite de l'énoncé, nous confondrons les termes première région et centre. Par ailleurs, dans la suite de la description, la seconde région est supposée être adjacente au contour de la surface de contact. 25 L'homme du métier avec ses connaissances générales et la description peut aisément généraliser la présente invention à une première région qui n'est pas centrale, par exemple, la première région peut être adjacente à un bord de la surface de contact. Plus particulièrement, la première électrode est conformée pour imposer 30 une décroissance, selon au moins deux directions opposées partant du centre vers le 3061360 13 contour de la surface de contact (autrement dit de la première région vers la seconde région), d'une densité de courant susceptible de traverser ladite face, ladite densité de courant présentant également un maximum au centre de ladite surface de contact. Ainsi, dès lors que la densité de courant susceptible de traverser la 5 première face et/ou la seconde face décroit du centre vers le contour de ladite face, on observe une diminution de l'écart des pertes par effet joule entre le centre et le contour par rapport à l'écart constaté dans les dispositifs connus de l'état de la technique. Il en résulte ainsi une meilleure uniformité en température de la structure électroluminescente 110. 10 Selon un premier mode de réalisation, la première électrode 160, 170, présente un profil d'épaisseur décroissant du centre vers le contour de la surface de contact 121, 131. Plus particulièrement, le profil d'épaisseur est décroissant selon les deux directions opposées partant du centre vers le contour. Selon ce premier mode de réalisation, la première électrode peut 15 avantageusement recouvrir intégralement l'une ou l'autre des première 120 ou seconde 130 faces de la structure électroluminescente 110. Par exemple, le profil d'épaisseur comprend des paliers parallèles à l'une ou l'autre des première et seconde faces. A cet égard, la figure 4a représente le dispositif électroluminescent 100 20 pourvue d'une première électrode (dans cet exemple sur la face avant) selon l'invention et présentant un profil d'épaisseur décroissant du centre vers le contour par paliers. Une telle électrode peut être obtenue par des étapes successives de masquage par photolithographie et de gravure d'une électrode d'épaisseur sensiblement constante. 25 Toujours selon le premier mode de réalisation, la première électrode peut présenter un profil d'épaisseur décroissante monotone et continue du centre vers le contour (figure 4b). La fabrication de cette électrode peut comprendre les étapes successives suivantes : 3061360 14 a) une étape de dépôt d'une couche de matériau d'électrode, d'une épaisseur comprise entre 50 nm et 500 nm (par exemple ,150 nm), sur l'une ou l'autre des première et seconde face de la structure électroluminescente, b) une étape de dépôt d'une couche de résine photo lithographique, 5 d'une épaisseur inférieure à 10 um, avantageusement inférieure à 5 um, sur la couche de matériau d'électrode (la résine photo lithographique peut par exemple comprendre du 2um), c) une étape de fluage de la couche de résine photo lithographique à une température supérieure à la température de transition vitreuse Tg de ladite résine de 10 manière à ce que ladite couche de résine présente un profil d'épaisseur décroissante monotone et continue du centre vers le contour, d) une étape de gravure sèche jusqu'au retrait au moins partiel de la couche de résine photo lithographique (l'étape de gravure peut avantageusement être exécutée par un plasma d'argon ou d'oxygène). 15 A l'issue de l'étape d), le profil d'épaisseur de l'électrode est conforme au profil d'épaisseur de la couche de résine photo lithographique à l'issue de l'étape c) de fluage. De manière avantageuse, la première électrode 160, 170 peut comprendre un oxyde transparent conducteur. 20 L'oxyde transparent conducteur peut comprendre au moins un des matériaux choisi parmi : oxyde d'indium et d'étain (ITO), oxyde de zinc (Zn0), oxyde de zinc dopé avec du gallium (GZO), oxyde de zinc dopé avec du gallium et de l'indium (IGZO), oxyde de zinc dopé avec de l'aluminium (AZO), oxyde de zinc dopé avec du gallium et de l'aluminium (AGZO), oxyde de cadmium dopé avec de l'indium, dioxyde d'étain (Sn02). 25 Toujours de manière avantageuse, la première électrode 160, 170 peut comprendre un métal. Le métal peut comprendre au moins un des métaux choisi parmi : Cu, Al, Ti, Ni, Ag, Pd, Pt, Rh, Au, In. De manière avantageuse, les éléments précités (métalliques et oxyde 30 transparent conducteur) peuvent être mis sous forme d'encre, par exemple avec au moins 3061360 15 un des composés choisi parmi : DEPOT-PSS (poly(3,4- éthylènedioxythiophène) et poly(styrène sulfonate) de sodium), graphène, nanotubes de carbone. Selon ce premier mode de réalisation, le profil d'épaisseur de la première électrode 160, 170 impose une décroissance du centre vers le contour de la densité de 5 courant traversant la structure électroluminescente. Cette décroissance de la densité de courant s'accompagne à la fois d'une uniformisation de la température au sein de la structure électroluminescente, mais également d'une diminution de la température moyenne de la structure électroluminescente. 10 Par ailleurs, la présente invention permet de considérer également des structures électroluminescentes de tailles inférieures à celles connues de l'état de la technique. En outre, le retrait au moins partiel du substrat support permet également d'envisager des matrices de structures électroluminescentes flexibles. 15 Selon un second mode de réalisation, la première électrode 160, 170 peut comprendre un matériau présentant un coefficient de température positif (autrement dit une électrode ayant un comportement de type thermistance à coefficient positif), avantageusement, le matériau comprend au moins un des éléments choisi parmi : céramique de Titanate de Baryum, céramique de Titanate de Strontium, céramique de 20 Titanate de Plomb, Nitrure de tantale. Un tel matériau présente une résistivité variable dès lors qu'il est soumis à une variation de température (telle que présentée à la figure 5). Plus particulièrement, la résistivité électrique dudit matériau augmente avec la température dans le domaine de température considéré du fonctionnement du dispositif. Ainsi, une électrode, avant par 25 exemple, faite d'un tel matériau, auto régule la densité de courant traversant la structure électroluminescence en fonction de la température régnant localement au niveau de la face de la structure électroluminescente avec laquelle elle est en contact. De manière avantageuse, l'épaisseur de la première électrode 160, 170 peut être comprise 1 nm et 10 iim. 3061360 16 Selon ce second mode de réalisation, la première électrode 160, 170 peut avantageusement recouvrir intégralement, respectivement, l'une ou l'autre des première 120 et seconde 130 faces de la structure électroluminescente 110. Les figures 6a et 6b illustrent une mise en oeuvre d'un troisième mode de 5 réalisation d'une première électrode disposée sur la face arrière de la structure électroluminescente (la première électrode étant dans ce cas de figure identifiée à une électrode arrière). L'homme du métier, au regard des éléments techniques fournis dans la présente description, peut aisément mettre en oeuvre le troisième mode de réalisation au 10 niveau de l'électrode avant 160. Selon le troisième mode de réalisation de l'invention (figure 6a et 6b), la première électrode 170 présente une surface de contact métallique texturée avec la première face 130 (identifiée à la face arrière), la surface de contact métallique texturée comprenant des régions de contact métallique 171 et des régions dépourvues de contact 15 métallique 172. Par surface de contact métallique texturée, on entend une surface pour laquelle le contact métallique entre une électrode et la face de la structure électroluminescente avec laquelle elle est en contact n'est pas homogène, autrement dit, le contact métallique varie du centre vers le bord. 20 Par contact métallique, nous entendons un contact adapté pour laisser passer un courant d'une électrode vers la structure électroluminescente et inversement. Par opposition, une région dépourvue de contact métallique ne laisse pas passer de courant entre une électrode et la structure électroluminescente. Ainsi, selon la présente invention, la densité de régions de contact 25 métallique 171 peut diminuer du centre vers le contour de face arrière 170. De manière avantageuse, les régions dépourvues de contact métallique 172 peuvent comprendre des évidements formés dans l'électrode arrière 170. Par évidement formé dans l'électrode, on entend une cavité formé dans le volume de ladite électrode et à partir de sa surface de contact 30 Les évidements peuvent être remplis d'un matériau diélectrique. 3061360 17 Par exemple, le matériau diélectrique peut comprendre au moins des matériaux choisi parmi : dioxyde de silicium, nitrure de silicium. Les régions de contact métallique 171 peuvent présenter une densité décroissance du centre vers le bord de la face arrière 130. 5 Les régions de contact métallique 171 peuvent avoir une forme circulaire (figure 6b). Les trois modes de réalisation présentés peuvent également être envisagés pour la seconde électrode. Autrement dit le dispositif électroluminescente peut comprendre une première et une seconde électrode, dites, respectivement, électrode 10 avant et électrode arrière (ou inversement électrode arrière et électrode avant), disposées chacune sur une face différente de la structure électroluminescente (les première et seconde faces). L'électrode avant 160 est en contact, selon une surface de contact avant 121, avec la face avant 120, tandis que l'électrode arrière 170 est en contact, selon une surface de contact arrière 131, avec la face arrière 130. 15 Toujours selon ses trois modes de réalisation, et de manière alternative à ce qui précède, la seconde électrode n'est pas en contact avec une face externe (autrement dit l'une ou l'autre des première et seconde face), et contacte la structure électroluminescente via un évidement traversant formé dans la structure électroluminescente. 20 L'invention concerne également une méthode de dimensionnement de la première électrode 160, 170. La première électrode 160, 170 peut avantageusement être conçue de sorte que, en fonctionnement, la structure électroluminescente 110 présente un écart en température entre le centre et le bord inférieur à un écart prédéterminé, dit écart 4T/T (AT 25 étant l'écart en température entre le centre et le contour selon une des deux direction opposées, et T la température au centre de la face avant 120 ou arrière 130 concernée). Plus particulièrement, il peut s'agir de dimensionner la première électrode 160, 170 adaptée pour imposer un profil particulier de la densité de courant selon les deux directions opposées partant du centre vers le contour de l'une ou l'autre des 30 première et seconde face. Le profil particulier de la densité de courant correspond à un 3061360 18 rapport 4J/J (4J étant l'écart de la densité de courant entre le centre et le contour selon une des deux direction opposées, et J la densité de courant au centre de la face avant 120 ou arrière 130 concernée). Ainsi pour un dispositif électroluminescent donné, il est possible de 5 simuler ou de mesurer l'écart 4T/T dudit dispositif en fonctionnement. Ces techniques font partie des connaissances générales de l'homme du métier, et ne sont par conséquent par décrite dans la présente invention. Il est également possible de d'établir une relation entre l'écart 4T/T et le rapport 4J/J. 10 Par exemple, la méthode de dimensionnement de la première électrode 160, 170 peut comprendre les étapes suivantes : a) une étape de détermination du profil d'une densité de courant devant traverser l'une ou l'autre des première et seconde faces 160, 170, ledit profil de densité de courant étant déterminé selon au moins deux directions opposées partant du centre vers 15 le contour d'une des première et seconde faces ; b) une étape réalisation de la première électrode 160, 170 permettant de réaliser le profil de densité de courant de l'étape a). Par réalisation de l'électrode, on entend la détermination des caractéristiques géométriques et le choix du matériau la formant, et permettant de réaliser 20 le profil de densité de courant déterminé à l'étape a). Plus particulièrement, l'étape a) de détermination du profil de densité de courant peut être exécutée de manière à ce que l'écart en température entre le centre et le bord de l'une ou l'autre des première et seconde 120, 130 soit inférieur à un écart de température prédéterminé, avantageusement l'écart de température prédéterminé est 25 inférieur à 20°C, encore plus avantageusement inférieur à 10°C, toujours plus avantageusement inférieur à 5°C. Toujours plus particulièrement, l'étape b) de réalisation de l'électrode comprend un ajustement d'un profil en épaisseur de la première électrode. Ainsi, à titre d"exemple, le dispositif électroluminescent illustré à la 30 figure 7 comprend une structure électroluminescente de 253 um par 380 um (seule une 3061360 19 demi structure est représentée à la figure 7). La diagonale de ladite structure est donc de 456 um (selon la direction R représentée à la figure 7). L'électrode avant 160 est faite d'oxyde d'indium et d'étain (de résistivité électrique de 3,12x10-6 ohm.m) d'épaisseur E2 au niveau du contour égale à 100 nm. Dans 5 le cadre d'une simulation, l'épaisseur E1 au centre peut prendre les valeurs données dans le tableau suivant, et varie linéairement du centre vers le contour (selon la direction R): Epaisseur électrode avant au centre Densité de courant au niveau du contour 200 nm 0,48J0 300 nm 0,57J0 400 nm 0,64J0 500 nm 0,68J0 600 nm 0,72J0 Jo (également dit J(x=0)) étant la densité de courant au niveau du centre de l'électrode avant 160. 10 La structure électroluminescente peut comprendre une couche de GaN d'épaisseur égale à 5 um. Il est alors possible de simuler numériquement l'évolution de la densité de courant J(x) selon la direction de la diagonale de l'électrode avant 160 (en fonction de la distance x par rapport au centre). 15 Il est par exemple connu que la densité de courant J(x) (selon une des deux directions opposée) est donnée par la relation suivante : 1(x) =J(x =0).Exp(- Fx) ) p \ + pptp y Pelectrode 20 Avec Ls= ( telectrode 3061360 20 ID, étant la résistance surfacique de contact entre l'électrode arrière 170 et la couche de GaN, pp étant la résistivité du matériau formant l'électrode arrière 170 dans la direction orthogonale à ladite électrode, 5 tp l'épaisseur de l'électrode arrière 170, Pelectrode la résistivité du matériau formant l'électrode arrière selon la direction x, telectrodre la longueur de l'électrode arrière 170. La figure 8 donne un exemple de l'évolution de la densité de courant J(x) 10 (sur l'axe vertical) en fonction de la distance par rapport au centre x (selon l'axe horizontal), pour une épaisseur au centre de l'électrode avant égale à 200 nm, et Jo représente la densité de courant au niveau du centre de l'électrode avant 160. Une décroissance exponentielle de la densité de courant est clairement observée. 15 Le profil de densité de courant obtenu pour chacune des épaisseurs est associé à un écart en température entre le centre et le bord de la face concernée (avant ou arrière). Les inventeurs ont clairement remarqué qu'un rapport 4J/J au niveau du contour sur la densité de courant au niveau du centre de l'ordre de 30% permet d'atteindre 20 une différence de luminosité entre le centre et le contour inférieure à 30%. 3061360 21 RÉFÉRENCES 5 [1] FR3012676 10 REVENDICATIONS1. Dispositif électroluminescent (100) comprenant : - au moins une structure électroluminescente (110) comprenant une première face (120) et une seconde face (130) essentiellement parallèles, - une première électrode (160, 170) en contact, selon une surface de contact (121, 131), avec l'une ou l'autre des première (120) et seconde (130) faces, le dispositif étant caractérisé en ce que la première électrode (160, 170) est conformée pour imposer une décroissance, depuis une première région et en direction d'au moins une seconde région de la surface de contact (121, 131), d'une densité de courant susceptible de traverser la structure électroluminescente (110). 2. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel la surface de contact (121,131) comprend un centre et un contour, la première région comprenant le centre de la surface de contact (121, 131), avantageusement, la densité de courant est maximale au niveau de la première région. 3. Dispositif selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la première électrode (160, 170) présente un profil d'épaisseur décroissant selon au moins deux directions opposées depuis le centre vers le contour de la surface de contact (121, 131). 4. Dispositif selon la revendication 3, dans lequel le profil d'épaisseur comprend des paliers parallèles à l'une ou l'autre des première (120) et seconde (130) faces. 5. Dispositif selon la revendication 3, dans lequel le profil d'épaisseur présente une décroissante monotone et continue. 6. Dispositif selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la première électrode (160, 170) présente une surface de contact métallique texturée avec l'une ou 3061360 23 l'autre des première (120) et seconde (130) faces, la surface de contact métallique texturée comprenant des régions de contact métallique (171) et des régions dépourvues de contact métallique (172). 5 7. Dispositif selon la revendication 6, dans lequel la densité de régions de contact métallique (171) diminue de la première région vers la seconde région. 8. Dispositif selon la revendication 6 ou 7, dans lequel les régions dépourvues de contact métallique (172) correspondent à des évidements formés dans 10 l'une et/ou l'autre des électrodes avant et arrière. 9. Dispositif selon l'une des revendications 5 à 8, dans lequel les régions de contact métallique (172) ont une forme circulaire. 15 10. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel l'au moins une structure électroluminescente (110) comprend d'une de ses première et seconde face vers l'autre des première et seconde faces, une couche électroluminescente reposant sur un substrat support présentant une épaisseur inférieure à 10 um, avantageusement inférieur à 5 um. 20 11. Dispositif selon la revendication 10, dans lequel la couche électroluminescente comprend une couche active intercalée entre une première couche de semi-conducteur et une seconde couche de semi-conducteur. 12. Dispositif selon la revendication 10, dans lequel la couche 25 électroluminescente comprend des nanofils perpendiculaires à la face avant (120). 13. Méthode de dimensionnement de la première électrode (160, 170) destinée à être mise en oeuvre dans le dispositif électroluminescent (100) selon l'une des revendications 1 à 12, le dispositif électroluminescent comprenant au moins une structure 30 électroluminescente (110) comprenant une première face (120) et une seconde face (130) 3061360 24 essentiellement parallèles, la première électrode (160, 170) étant en contact, selon une surface de contact (121, 131), avec l'une ou l'autre des première et seconde face (120, 130), la méthode comprenant les étapes suivantes : a) une étape de détermination du profil d'une densité de courant devant 5 traverser l'une des première et/ou seconde faces (120, 130), ledit profil de densité de courant étant déterminé depuis une première région et en direction d'au moins une seconde région de la surface de contact (121, 131) ; b) une étape de réalisation de la première électrode permettant de reproduire le profil de densité de courant de l'étape a). 10 14. Méthode selon la revendication 13, dans laquelle l'étape a) de détermination du profil de densité de courant est exécutée de manière à ce que l'écart en température entre la première région et la seconde région soit inférieur à un écart de température prédéterminée, avantageusement l'écart de température prédéterminé est 15 inférieur à 20°C, encore plus avantageusement inférieur à 10°C, voire inférieur à 5°C. 15. Méthode selon la revendication 13 ou 14, dans laquelle l'étape b) d'adaptation comprend un ajustement d'un profil en épaisseur de la première électrode.