Brevet FR3054722A1 — publié le 20180202

B15227 - 16-R0-0334 1 STRUCTURE DE PROTECTION D'UN CIRCUIT INTEGRE CONTRE LES DECHARGES ELECTROSTATIQUES Domaine La présente invention concerne la protection des circuits intégrés contre des décharges électrostatiques. Exposé de l'art antérieur Un circuit intégré comprend des plots métalliques destinés à assurer des connexions vers l'extérieur. Certains des plots sont adaptés à recevoir des potentiels d'alimentation. Les autres plots sont adaptés à recevoir et/ou à fournir des signaux d'entrée-sortie. Des rails d'alimentation, reliés aux plots d'alimentation, sont généralement prévus tout autour du circuit pour alimenter ses différents composants. Généralement, une couche isolante recouvre le circuit, ne laissant accessibles que les plots métalliques. Un tel circuit reçoit et/ou fournit généralement des signaux à faible niveau de tension (par exemple 1 à 5 V) et à faible intensité de courant (par exemple 1 1.1A à 10 mA), et est susceptible d'être endommagé lorsque des surtensions ou des surintensités surviennent entre des plots du circuit. On prévoit donc d'associer à chaque plot une structure 20 de protection. La structure de protection doit pouvoir évacuer rapidement des courants importants, susceptibles d'apparaître 3054722 B15227 - 16-R0-0334 2 lorsqu'une décharge électrostatique survient entre deux plots du circuit. Le document US 6765771 décrit un exemple de structure de protection comprenant un thyristor. 5 Résumé Ainsi, un mode de réalisation prévoit un circuit intégré protégé contre des décharges électrostatiques comprenant au moins un plot d'entrée-sortie et une borne destinée à être reliée à une source d'un potentiel de référence et comprenant, en outre, une 10 structure de protection comprenant : un thyristor connecté en direct entre le plot et la borne, le thyristor comportant une première résistance entre sa gâchette de cathode et la borne ; et entre le thyristor et le plot, au moins une diode Zener, 15 l'anode de la diode Zener étant connectée à la gâchette de cathode du thyristor et la cathode de la diode Zener étant reliée au plot par l'intermédiaire d'au moins une deuxième résistance, la jonction de la diode Zener étant distincte des jonctions de la structure PNPN du thyristor. Selon un mode de réalisation, la structure de protection comprend, en outre, au moins une troisième résistance entre gâchette d'anode du thyristor et le plot. Selon un mode de réalisation, la structure de protection comprend, en outre, une diode, l'anode de la diode étant connectée 25 à la borne et la cathode de la diode étant connectée au plot. Selon un mode de réalisation, le circuit comprend un substrat dopé d'un premier type de conductivité et ayant une face et la structure de protection comprend, en outre, une première région semiconductrice dopée d'un second type de conductivité 30 opposé au premier type de conductivité et s'étendant dans le substrat depuis la face, la première région comprenant une première portion s'étendant selon une première direction et se prolongeant à chaque extrémité par une deuxième portion s'étendant selon une deuxième direction perpendiculaire à la première 35 direction, le thyristor comprenant un premier transistor et un 3054722 B15227 - 16-R0-0334 3 deuxième transistor, la première portion de la première région formant la base du premier transistor. Selon un mode de réalisation, le circuit comprend des moyens pour commander le déclenchement du premier transistor 5 avant, après ou en même temps que le déclenchement du deuxième transistor. Selon un mode de réalisation, la structure de protection comprend, en outre, une deuxième région semiconductrice dopée du premier type de conductivité, plus fortement dopée que le 10 substrat, s'étendant dans la première portion de la première région seulement sur une partie de la profondeur de la première portion de la première région, la deuxième région formant l'émetteur du premier transistor. Selon un mode de réalisation, la structure de protection 15 comprend, en outre, dans chaque deuxième portion de la première région, une troisième région semiconductrice dopée du premier type de conductivité, plus fortement dopée que le substrat, s'étendant dans la deuxième portion de la première région seulement sur une partie de la profondeur de la deuxième portion de la première 20 région, la troisième région formant l'anode de la diode Zener. Selon un mode de réalisation, la structure de protection comprend, en outre, dans chaque deuxième portion de la première région, au moins une quatrième région semiconductrice dopée du deuxième type de conductivité, s'étendant depuis la face, traversant la troisième région semiconductrice et venant au contact de la deuxième portion de la première région, la quatrième région formant la cathode de la diode Zener. Selon un mode de réalisation, la structure de protection comprend, en outre, une cinquième région semiconductrice dopée du deuxième type de conductivité, la cinquième région étant située en profondeur dans le substrat, la première région recouvrant partiellement la cinquième région et étant au contact de la cinquième région. 3054722 B15227 - 16-R0-0334 4 Selon un mode de réalisation, la cinquième région délimite au moins une première zone du substrat recouvrant la cinquième région et formant la base du deuxième transistor. Selon un mode de réalisation, la cinquième région forme 5 une résistance électrique reliée à la cathode de chaque diode Zener. Selon un mode de réalisation, la cinquième région forme un shunt relié à la base du premier transistor. Selon un mode de réalisation, la cinquième région forme 10 au moins en partie la cathode ou l'anode de la diode. Selon un mode de réalisation, la structure de protection comprend, en outre, deux sixièmes régions semiconductrices dopées du deuxième type de conductivité, s'étendant dans le substrat depuis la face et venant au contact de la cinquième région, les 15 deux sixièmes régions étant situées de part et d'autre de la première portion de la première région, chaque sixième région étant séparée des deuxièmes portions de la première région par une deuxième zone du substrat, les sixièmes régions formant la cathode de la diode. 20 Selon un mode de réalisation, les deuxièmes zones du substrat forment un shunt relié à la base du deuxième transistor. Selon un mode de réalisation, la structure de protection comprend, en outre, deux septièmes régions semiconductrices dopées du deuxième type de conductivité, s'étendant dans le substrat 25 depuis la face et ne venant pas au contact de la cinquième région ni au contact des deuxièmes portions de la première région, les deux septièmes régions étant situées de part et d'autre de la première portion de la première région, chaque septième région étant intercalée entre la première portion de la première région 30 et l'une des sixièmes régions, les septièmes régions formant l'émetteur du deuxième transistor. Brève description des dessins Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de 3054722 B15227 - 16-R0-0334 5 réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la figure 1 est un schéma électrique d'un mode de réalisation d'une structure de protection d'un circuit intégré 5 contre les décharges électrostatiques ; la figure 2 est une vue de dessus, partielle et schématique, de régions dopées d'un substrat semiconducteur de la structure de protection de la figure 1 et des contacts reliant ces régions dopées à des pistes métalliques du premier niveau de 10 métallisation ; les figures 3 et 4 sont des vues en coupe, partielles et schématiques, de la figure 2 respectivement selon les lignes III-III et IV-IV ; la figure 5 est une vue de dessus, partielle et 15 schématique, des pistes métalliques du premier niveau de métallisation de la structure de protection de la figure 1 et des contacts reliant ces pistes aux régions dopées du substrat ; la figure 6 est une vue de dessus, partielle et schématique, des pistes métalliques des premier et deuxième 20 niveaux de métallisation de la structure de protection de la figure 1 et des vias conducteurs reliant les pistes métalliques du premier niveau de métallisation aux pistes métalliques du deuxième niveau de métallisation ; les figures 7A, 8A, 9A, 10A, 11A et 12A représentent 25 chacune le schéma électrique de la structure de protection de la figure 1 sur lequel est indiqué le parcours emprunté par le courant à différentes phases de fonctionnement de la structure de protection de la figure 1 ; et les figures 7B, 8B, 9B, 10B, 11B et 12B représentent 30 chacune la caractéristique courant-tension de la structure de protection de la figure 1 dans laquelle la portion de la caractéristique au niveau de laquelle se situe le point de fonctionnement de la structure de protection à différentes phases de fonctionnement est mise en évidence. 3054722 B15227 - 16-R0-0334 6 Description détaillée De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références aux différentes figures et, de plus, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle. Par souci de clarté, 5 seuls les éléments qui sont utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés. Dans la description qui suit, lorsque l'on fait référence à des qualificatifs de position relative, tels que les termes "dessus", "supérieur", etc., ou à des qualificatifs d'orientation, tels que 10 les termes "horizontal", "vertical", etc., il est fait référence à l'orientation des figures ou à un circuit intégré dans une position normale d'utilisation. Sauf précision contraire, les expressions "approximativement", "sensiblement", et "de l'ordre de" signifient à 10 % près, de préférence à 5 % près. 15 Par ailleurs, dans la présente description, on utilise le terme "connecté" pour désigner une liaison électrique directe, sans composant électronique intermédiaire, par exemple au moyen d'une piste conductrice, et le terme "couplé" ou le terme "relié", pour désigner soit une liaison électrique directe (signifiant 20 alors "connecté") soit une liaison via un ou plusieurs composants intermédiaires (résistance, condensateur, etc.). Selon un mode de réalisation, il est prévu pour chaque plot d'alimentation ou d'entrée/sortie d'un circuit intégré une structure de protection contre les décharges électrostatiques 25 reliant le plot à une borne de masse. Le terme masse désigne ici et dans la suite de la description un potentiel de référence commun à divers composants du circuit intégré, par exemple un potentiel d'alimentation basse. Les connexions à la masse du circuit intégré peuvent se faire par l'intermédiaire d'un rail de 30 masse, ou rail d'alimentation basse, ce rail étant relié à un plot, accessible à l'extérieur du circuit et adapté à être mis au potentiel de référence choisi. Selon un mode de réalisation, la structure de protection comprend un thyristor pour l'évacuation, en cas de décharge 35 électrostatique positive, d'un courant important du plot vers la 3054722 B15227 - 16-R0-0334 7 borne de masse. Selon un mode de réalisation, les résistances de dérivation ou shunts reliées aux bases des transistors bipolaires composant le thyristor sont réalisées indépendamment l'une de l'autre et leurs valeurs peuvent être ajustées selon le 5 fonctionnement souhaité de la structure de protection. Le circuit de commande de la gâchette du thyristor comprend au moins une diode Zener. Les shunts des bases des transistors bipolaires composant le thyristor sont de préférence formés par des régions semiconductrices dopées d'un substrat semiconducteur. Ceci permet 10 de façon avantageuse de réduire la surface occupée par la structure de protection. Une structure de protection compacte peut ainsi être obtenue. Selon un mode de réalisation, la structure de protection comprend en outre une diode pour l'évacuation, en cas de décharge électrostatique négative, d'un courant entre le plot 15 et la borne de masse. La figure 1 représente un schéma électrique équivalent d'une mode de réalisation d'une structure de protection 10 contre les décharges électrostatiques. La figure 1 représente un plot d'entrée-sortie PAD d'un circuit intégré. Le plot d'entrée-sortie 20 PAD est couplé à la structure de protection 10 connectée entre ce plot PAD et une borne de masse GND du circuit. La structure de protection 10 comprend un thyristor Thy, connecté en direct entre le plot d'entrée-sortie PAD et la masse GND. En figure 1, le thyristor Thy est représenté par un transistor 25 bipolaire Tl de type PNP et un transistor bipolaire T2 de type NPN, la base du transistor bipolaire Tl étant reliée au collecteur du transistor bipolaire T2 et la base du transistor bipolaire T2, qui correspond à la gâchette de cathode du thyristor, étant reliée au collecteur du transistor bipolaire Tl. L'émetteur du transistor 30 bipolaire PNP Tl est connecté au plot PAD et l'émetteur du transistor bipolaire NPN T2 est connecté à la masse GND. La structure de protection 10 comprend en outre : une résistance R1 reliant, de préférence connectant, le plot PAD à un noeud N1 ; 3054722 B15227 - 16-R0-0334 5 plot PAD 8 connectant, le connectant, le DZ montées en noeud N1 une résistance R2 reliant, de préférence à un noeud N2 ; une résistance R3 reliant, de préférence au noeud N2 ; une diode Zener DZ ou des diodes Zener parallèle (une seule diode Zener étant représentée en figure 1) l'anode de chaque diode Zener étant reliée, de préférence connectée, à la base du transistor bipolaire NPN T2 et la cathode de chaque diode Zener étant reliée, de préférence connectée, au 10 noeud N1 ; une résistance R4 reliant, de préférence connectant, la base du transistor bipolaire PNP Tl au plot PAD ; une résistance R5 reliant, de préférence connectant, la base du transistor bipolaire PNP Tl au noeud N2 ; 15 une diode D dont l'anode est reliée, de préférence connectée, à la masse GND et dont la cathode est reliée, de préférence connectée, au plot PAD ; et une résistance R6 reliant, de préférence connectant, les anodes de chaque diode Zener DZ à la masse GND. 20 Les figures 2 à 6 illustrent un mode de réalisation de façon intégrée de la structure de protection 10 représentée en figure 1. La structure de protection 10 comprend des régions dopées formées dans un substrat semiconducteur 12, par exemple en 25 silicium monocristallin, dopé d'un premier type de conductivité, par exemple dopée de type P, et comprenant une face supérieure 14 sur laquelle repose un empilement de couches isolantes 16 dans lesquelles et sur lesquelles sont formées des pistes conductrices électriquement de différents niveaux de métallisation, des 30 contacts conducteurs électriquement et des vias conducteurs électriquement. La structure de protection 10 comprend plusieurs régions semiconductrices dopées formées dans le substrat 12. Selon un mode de réalisation, ces régions sont disposées de façon sensiblement 35 symétrique par rapport à deux plans de symétrie perpendiculaires 3054722 B15227 - 16-R0-0334 9 Pl et P2. Dans la suite de la description, on appelle Dl une direction perpendiculaire au plan Pl et on appelle D2 une direction perpendiculaire au plan P2. La figure 2 est une vue de dessus de la face 14 du 5 substrat 12 et les figures 3 et 4 sont des vues en coupe de la figure 2 respectivement selon les lignes et IV-IV. Comme cela apparaît sur ces figures, la structure de protection 10 comprend : une région 20 dopée de type P, plus fortement dopée (P+) 10 que le substrat 12 (P-), s'étendant dans le substrat 12 depuis la face 14 et formant en vue de dessus un anneau, par exemple de forme rectangulaire, délimitant une portion de la face 14 ; une région 22 dopée de type N, faiblement dopée (N-) s'étendant dans le substrat 12 depuis la face 14 à l'intérieur la 15 région annulaire 20 et ayant par exemple en vue de dessus une forme de "H", les plans Pl et P2 étant chacun un plan de symétrie de la région 22, la région 22 comprenant une portion centrale 24, ayant en vue de dessus une forme par exemple rectangulaire dont le grand axe est parallèle à la direction Dl, les plans Pl et P2 20 étant chacun un plan de symétrie de la portion centrale 24, la portion centrale 24 se prolongeant aux extrémités par deux portions 26 latérales, ayant chacune en vue de dessus une forme par exemple rectangulaire dont le grand axe est parallèle à la direction D2, les portions latérales 26 étant disposées de façon 25 symétrique l'une de l'autre par rapport au plan Pl, le plan P2 étant un plan de symétrie pour chaque portion latérale 26 ; une région 28, dont le bord latéral est représentée en traits pointillés en figure 2, dopée de type N, plus fortement dopée que la région 22 et formée en profondeur dans le substrat 30 12, en contact avec le fond de la région 22 et ayant en vue de dessus une forme par exemple rectangulaire dont le grand axe est parallèle à la direction Dl, les plans Pl et P2 étant chacun un plan de symétrie de la région 28 ; une région 30 dopée de type P, plus fortement dopée (P+) 35 que le substrat 12, s'étendant dans le substrat 12 depuis la face 3054722 B15227 - 16-R0-0334 10 14 à l'intérieur la région annulaire 20 et ayant par exemple en vue de dessus une forme rectangulaire, les plans Pl et P2 étant chacun un plan de symétrie de la région 30, le grand axe de la région 30 étant sensiblement parallèle à la direction Dl ; 5 deux régions 32 dopées de type N, fortement dopée (N+), s'étendant chacune dans l'une des portions latérales 26 de la région 22 et ayant chacune par exemple en vue de dessus une forme de bande rectiligne, les deux régions 32 s'étendant parallèlement l'une à l'autre et étant disposées de façon symétrique l'une de 10 l'autre par rapport au plan Pl, le plan P2 étant un plan de symétrie pour chaque région 32, le grand axe de chaque région 32 étant sensiblement parallèle à la direction D2 ; deux régions 34 dopées de type P, fortement dopée (P+) s'étendant chacune dans l'une des portions latérales 26 de la 15 région 22 et ayant chacune par exemple en vue de dessus une forme de rectangle, les deux régions 34 s'étendant parallèlement l'une à l'autre et étant disposées de façon symétrique l'une de l'autre par rapport au plan Pl, le plan P2 étant un plan de symétrie pour chaque région 34, le grand axe de chaque région 34 étant 20 sensiblement parallèle à la direction D2, chaque région 34 étant interposée entre l'une des bandes 32 et la région 30 ; des régions 36 dopées de type N, plus fortement dopées (N+) que la région 22 et formant des îlots distincts, s'étendant dans le substrat 12 depuis la face 14 dans les régions 34, sur 25 une profondeur supérieure à la profondeur des régions 34, de sorte que le fond de chaque région 36 est en contact électrique avec l'une des portions latérales 24 de la région 22, chaque région 36 ayant en vue de dessus par exemple une forme de disque ou de polygone, notamment d'octogone, les régions 36 étant disposées de 30 façon symétrique par rapport aux plans Pl et P2, huit régions 36 étant représentées à titre d'exemple en figure 2, quatre régions 36 étant situées dans l'une des régions 34 et quatre régions 36 étant situées dans l'autre région 34 ; deux régions 38 dopées de type N s'étendant dans le 35 substrat 12 depuis la face 14 à l'intérieur la région annulaire 3054722 B15227 - 16-R0-0334 11 20 et ayant chacune par exemple en vue de dessus une forme de bande rectiligne, les deux régions 38 s'étendant parallèlement l'une à l'autre et étant disposées de façon symétrique l'une de l'autre par rapport au plan P2, le plan Pl étant un plan de 5 symétrie pour chaque région 38, le grand axe de chaque région 38 étant sensiblement parallèle à la direction Dl, les régions 38 étant situées de part et d'autre de la portion centrale 24 de la région 22 ; deux régions 40 dopées de type N s'étendant dans le 10 substrat 12 jusqu'à atteindre la région enterrée 28 depuis la face 14 à l'intérieur la région annulaire 20 et ayant chacune par exemple en vue de dessus une forme de rectangle, les deux régions 40 s'étendant parallèlement l'une à l'autre et étant disposées de façon symétrique l'une de l'autre par rapport au plan P2, le plan 15 Pl étant un plan de symétrie pour chaque région 40, le grand axe de chaque région 40 étant sensiblement parallèle à la direction Dl, les régions 40 étant situées de part et d'autre de la portion centrale 24 de la région 22, chaque région 38 étant située entre l'une des régions 40 et la portion centrale 24 de la région 22, 20 les régions dopées de type N ne sont pas en contact avec les portions latérales 26 de la région 22 dopée de type N ; deux régions 42 dopées de type P, plus fortement dopées (P+) que le substrat 12, s'étendant dans le substrat 12 depuis la face 14 à l'intérieur la région annulaire 20 et ayant chacune par 25 exemple en vue de dessus une forme d'une bande rectiligne, les deux régions 42 s'étendant parallèlement l'une à l'autre et étant disposées de façon symétrique l'une de l'autre par rapport au plan P2, le plan Pl étant un plan de symétrie pour chaque région 42, le grand axe de chaque région 42 étant sensiblement parallèle à 30 la direction Dl, les régions 42 étant situées de part et d'autre de la portion centrale 24 de la région 22, chaque région 42 étant située entre l'une des régions 40 et l'une des régions 38 ; et deux régions 44 dopées de type N, plus fortement dopées (N+) que les régions 40, chaque région 44 s'étendant dans l'une 35 des régions 40, les deux régions 44 s'étendant parallèlement l'une 3054722 B15227 - 16-R0-0334 12 à l'autre et étant disposées de façon symétrique l'une de l'autre par rapport au plan P2, le plan Pl étant un plan de symétrie pour chaque région 44, le grand axe de chaque région 44 étant sensiblement parallèle à la direction Dl. 5 La structure de protection 10 comprend, en outre, des régions en un matériau isolant électriquement, non représentées en figure 3 et 4, formées en surface du substrat 12 et séparant latéralement les régions 20, 30, 32, 34, 38, 44, 42 fortement dopées de type N et P. Ces régions en un matériau isolant 10 électriquement, qui correspondent par exemple à des tranchées d'isolation électrique du type STI (sigle anglais pour Shallow Trench Isolation) s'étendent en relief depuis la face 14 et en profondeur depuis la face 14 dans le substrat 12 et dans les régions 22 et 40 dopées de type N entre les régions 20, 30, 32, 15 34, 38, 44, 42 fortement dopées de type N et P. La figure 5 est une vue de dessus représentant les pistes conductrices 50 du premier niveau de métallisation de la structure de protection 10. Sur les figures 2 et 5, on a en outre représenté par des carrés noirs des contacts 52 conducteurs électriquement 20 qui réalisent la connexion électrique entre les régions dopées de la structure de protection 10 formées dans le substrat 12 et des pistes conductrices 50 du premier niveau de métallisation. Les pistes conductrices 50 du premier niveau de métallisation et les contacts 52 sont également représentés sur les figures 3 et 4. 25 La figure 6 est une vue de dessus représentant en traits pleins deux pistes 60, 62 conductrices électriquement de la structure de protection 10 du deuxième niveau de métallisation et en traits mixtes les pistes conductrices 50 du premier niveau de métallisation. La piste conductrice 60 est connectée au plot PAD 30 et la piste conductrice 62 est connectée à la masse GND. La piste conductrice 60 a la forme générale d'un peigne à trois dents et la piste conductrice 62 a la forme générale d'un peigne à quatre dents, les trois dents de la piste conductrice 60 étant intercalées entre les quatre dents de la piste conductrice 62. En figure 6, on a en outre représenté par des carrés noirs des vias 3054722 B15227 - 16-R0-0334 13 63 conducteurs électriquement qui réalisent la connexion électrique entre les pistes conductrices 50 du premier niveau de métallisation et les pistes conductrices 60, 62 du deuxième niveau de métallisation. 5 Les pistes conductrices 50 du premier niveau de métallisation sont disposées de façon sensiblement symétrique par rapport aux plans de symétrie Pl et P2. Parmi les pistes conductrices 50, on distingue : une piste conductrice centrale 64 reliée à la région 30 10 et à la piste conductrice 60 ; des pistes conductrices 66 reliées aux régions 38 et reliées à la piste conductrice 62 ; une piste conductrice 68 de forme annulaire entourant les pistes conductrices 64 et 66, et reliée aux régions 42 et 34 ; 15 une piste conductrice 70 de forme annulaire entourant la piste conductrice 68, reliée aux régions 32 et 40 et reliée à la piste conductrice 60 ; et une piste conductrice 72 de forme annulaire entourant la piste conductrice 70, reliée à la région 20 et reliée à la 20 piste conductrice 62. Le substrat 12 faiblement dopé de type P peut correspondre à une couche formée par épitaxie sur un support et ayant une épaisseur de 4 fun à 8 gm. Il participe notamment au fonctionnement de la diode D qui est polarisée en direct lors de 25 décharges électrostatiques négatives. La concentration de dopants de type P du substrat 12 est typiquement de l'ordre de 1015 atomes/cm3 à 1017 atomes/cm3. Les régions 22 et 40 de type N peuvent être une région formée en utilisant les technologies de fabrication de transistors 30 CMOS et peuvent correspondre aux caissons dopés de type N utilisés lors de la formation de transistors CMOS. La portion 24 de la région 22 forme la base du transistor PNP Tl du thyristor Thy. Les régions 22 et 40 délimitent en partie des zones 74 partiellement isolées du substrat 12 et constituent le caisson 35 dans lequel sont formées les diodes Zener. Les régions 22 et 40 3054722 B15227 - 16-R0-0334 14 peuvent s'étendre jusqu'à une profondeur comprise entre 1 fun et 2 gm, par exemple environ 1,5 gm. La concentration de dopants de type N des régions 22 et 40 est typiquement de l'ordre de 1016 atomes/cm3 à 1017 atomes/cm3. La longueur maximale mesurée selon 5 la direction Dl de la région 22 peut être comprise entre 10 fun et 100 gm, par exemple environ 15 La longueur maximale mesurée selon la direction D2 des portions latérales 26 de la région 22 peut être comprise entre 10 fun et 100 gm, par exemple 13 gm. La longueur mesurée selon la direction Dl de la région 40 peut être 10 comprise entre 1 et 50 gm, par exemple environ 10 La largeur mesurée selon la direction D2 de la région 40 peut être comprise entre 1 et 5 gm, par exemple environ 2 gm. De façon avantageuse, les régions 22 et 40 de type N sont formées par implantation de dopants avec la même dose et la même énergie. Les 15 conditions d'implantation peuvent être les mêmes que celles mises en oeuvre pour la fabrication de caisson de type N utilisés lors de la formation de transistors à canal P. La région enterrée 28 de type N permet de délimiter, avec les régions 22 et 40, les zones 74 partiellement isolées du 20 substrat 12. Elle est en contact électrique avec la région 22. La région 28 peut être formée à une profondeur moyenne de l'ordre de 1,5 fun et avoir une épaisseur de l'ordre de 0,5 La concentration de dopants de type N de la région enterrée 28 est typiquement de l'ordre de 1017 atomes/cm3. La longueur mesurée 25 selon la direction Dl de la région 28 peut être comprise entre 10 fun et 100 gm, par exemple environ 15 La largeur mesurée selon la direction D2 de la région 28 peut être comprise entre 10 et 50 gm, par exemple environ 13 gm. Les régions 32, 38, 44 fortement dopées de type N peuvent 30 être formées par implantation en utilisant les technologies de fabrication des drains et des sources de transistors MOS à canal N. Les régions 38 forment l'émetteur du transistor NPN 14 du thyristor Thy et les régions 32 et 44 forment des contacts pour les régions 22 et 40 de type N. Les régions 32, 38, 44 peuvent 35 s'étendre jusqu'à une profondeur comprise entre 0,2 fun et 0,4 gm, 3054722 B15227 - 16-R0-0334 15 par exemple environ 0,3 pin. La concentration de dopants de type N des régions 32, 38, 44 est typiquement de l'ordre de 1019 atomes/cm3 à 1020 atomes/cm3. La longueur mesurée selon la direction Dl de la région 38 est de l'ordre de la longueur mesurée 5 selon la direction Dl de la portion 24 de la région 22 et peut être comprise entre 10 fun et 100 La largeur mesurée selon la direction D2 de la région 38 peut être comprise entre 0,5 fun et 5 gm, par exemple environ 1 La longueur mesurée selon la direction Dl de la région 44 est légèrement inférieure à la 10 longueur mesurée selon la direction Dl de la région 38 peut être comprise entre 5 et 100 gm, par exemple environ 7,6 La largeur mesurée selon la direction D2 de la région 44 peut être comprise entre 0,1 et 1 gm, par exemple environ 0,4 La longueur mesurée selon la direction D2 de la région 32 est 15 légèrement inférieure à la longueur mesurée selon la direction D2 de la portion 26 de la région 22 et peut être comprise entre 10 pn et 100 par exemple environ 13 La largeur mesurée selon la direction Dl de la région 32 peut être comprise entre 0,1 fun et 1 Les régions 20, 30, 34, 42 fortement dopées de type P peuvent 20 être formées par implantation en utilisant les technologies de fabrication des drains et des sources de transistors MOS à canal P. La région 30 forme l'émetteur du transistor PNP Tl du thyristor Thy. Les régions 42 forment un contact pour la base du transistor NPN T2 du thyristor Thy. Les régions 34 forment l'anode des diodes 25 Zener DZ. Les régions 20 forment des contacts d'anode pour la diode D. Les régions 20, 30, 34, 42 peuvent s'étendre jusqu'à une profondeur comprise entre 0,2 et 0,4 gm, par exemple environ 0,3 gm. La concentration de dopants de type P des régions 20, 30, 34, 42 est typiquement de l'ordre de 1019 atomes/cm3 à 30 1020 atomes/cm3. La longueur mesurée selon la direction Dl de la région 30 est de l'ordre de la longueur mesurée selon la direction Dl de la région 38 et peut être comprise entre 10 fun et 100 La largeur mesurée selon la direction D2 de la région 30 peut être comprise entre 0,1 fun et 1 gm. La longueur mesurée selon la 35 direction D2 de la région 34 est de l'ordre de la longueur mesurée 3054722 B15227 - 16-R0-0334 16 selon la direction D2 de la région 32 et peut être comprise entre 10 fun et 100 La largeur mesurée selon la direction Dl de la région 34 peut être comprise entre 1 fun et 10 gm, par exemple environ 2,5 La longueur mesurée selon la direction Dl de la 5 région 42 est de l'ordre de la longueur mesurée selon la direction Dl de la région 38 et peut être comprise entre 10 fun et 50 La largeur mesurée selon la direction D2 de la région 42 peut être comprise entre 0,1 fun et 1 De façon avantageuse, les régions 20, 30, 34, 42 fortement dopées de type P sont formées par 10 implantation de dopants avec la même dose et la même énergie. Les conditions d'implantation peuvent être les mêmes que celles mises en oeuvre pour la fabrication des drains et des sources de transistors MOS à canal P. Les régions 20, 30, 32, 34, 38, 44, 42 fortement dopées 15 de type N et P forment en outre des régions de reprise de contact et sont électriquement reliées par des contacts 52 avec les pistes métalliques 64, 66, 68, 70, 72 du premier niveau de métallisation. Les régions 36 dopées de type N ont une concentration de dopants qui peut être différente de celles des régions 32, 38, 20 44 fortement dopées de type N. Elles peuvent être formées par implantation de dopants sur une profondeur supérieure à celle des régions 34 dopées de type P de façon à être en contact électrique avec la région 22 dopée de type N. Les régions 36 sont donc en continuité électrique avec les régions 26 dopées de type N. Les 25 régions 36 dopées de type N sont en contact avec les régions 34 dopées de type P pour former les jonctions des diodes Zener. La concentration de dopants des régions 36 détermine la tension d'avalanche des diodes Zener, par exemple entre 5 V et 5,5 V. Les régions 36 peuvent s'étendre jusqu'à une profondeur de l'ordre de 30 0,5 La concentration de dopants de type N des régions 36 est typiquement de l'ordre de 1018 atomes/cm3. Le diamètre du cercle dans lequel s'inscrit en vue de dessus la section de chaque région 36 est compris entre 1 et 2 par exemple environ 1,4 gm. L'émetteur du transistor PNP Tl est formé par la région 35 30 fortement dopée de type P. Il est connecté directement au plot 3054722 B15227 - 16-R0-0334 17 PAD. La portion centrale 24 de la région 22 dopée de type N forme la base du transistor PNP Tl et le collecteur du transistor NPN T2. Elle forme en outre la gâchette d'anode du thyristor Thy. Les zones 74 du substrat 12 forment le collecteur du transistor PNP 5 Tl et forment la base du transistor NPN T2. Elles forment en outre la gâchette de cathode du thyristor Thy. Le potentiel des zones 74 du substrat 12 est commandé par la région 42 fortement dopée de type P. L'émetteur du transistor NPN T2 est formée par la région 38 fortement dopée de type N. 10 La cathode de la diode D est formée par les régions 40 dopées de type N et les portions latérales 26 de la région 22 dopée de type N avec les régions fortement dopées de type N 32 et 44 formant les contacts électriques. La région enterrée 28 participe également à la formation de la cathode de la diode D. 15 L'anode de la diode D est formée par la portion du substrat 12 voisine de la région 20 fortement dopée de type P qui joue en outre le rôle d'un anneau de garde. L'anode des diodes Zener est formée par la région 34 dopée de type P. La cathode des diodes Zener est formée par chaque 20 région 36 dopée de type N. Chaque région 36 est suffisamment profonde pour traverser les régions 34 en profondeur afin d'obtenir une continuité électrique avec les portions latérales 26 sous-jacentes de la région 22 dopée de type N. Le contact de cathode est formé par les régions 32 fortement dopées de type N. 25 Les parties 76, visible en figure 3, des portions latérales 26 qui s'étendent entre les régions 36 et les régions 32 adjacentes forment une résistance série d'accès depuis le plot PAD vers la cathode des diodes Zener DZ. Les parties 76 correspondent sensiblement à la résistance R1 en figure 1. Les parties 78, 30 visibles en figure 3, des portions latérales 26 qui s'étendent entre chaque région 36 et la région enterrée 28 forment une résistance série d'accès de chaque diode Zener DZ vers la région enterrée 28. Les parties 78 correspondent sensiblement à la résistance R3 en figure 1. Les parties 80 des portions latérales 35 26 qui s'étendent sous les régions 34 forment également une 3054722 B15227 - 16-R0-0334 18 résistance série d'accès vers le plot PAD. Les parties 80 correspondent sensiblement à la résistance R2 en figure 1. Les parties 76, 78 et 80 forment un pont résistif illustrant les résistances d'accès dans les portions latérales 26 de la région 5 22 au voisinage de chaque diode Zener. Les caractéristiques de la diode Zener peuvent de façon avantageuse être ajustées indépendamment de celles du thyristor Thy. La structure de protection 10 comprend un shunt à la base du transistor NPN T2 réalisé par la résistance R6 entre 10 chaque zone 74 du substrat 12 et la masse GND. Ceci est réalisé en interrompant localement les parois de type N qui entourent latéralement les zones 74 du substrat 12 de façon à obtenir un chemin électrique entre chaque zone 74 et le reste du substrat 12. Selon un mode de réalisation, il est prévu des zones 82 du 15 substrat 12, visibles en figure 2, reliant chaque zone 74 au reste du substrat 12. Les zones 82 s'étendent entre les régions 40 dopées de type N et les portions latérales 26 de la région 22 dopée de type N. La valeur de la résistance R6 est commandée par la forme des zones 82, en particulier par le rapport entre la 20 longueur des zones 82 mesurées selon la direction D2 qui est sensiblement égale à la largeur mesurée selon la direction D2 des zones 40 et la longueur des zones 82 mesurées selon la direction Dl qui est sensiblement égale à la distance mesurée selon la direction Dl séparant les régions 40 et les portions 26 de la 25 région 22. La structure de protection 10 comprend un shunt à la base du transistor PNP Tl réalisé par plusieurs chemins résistifs correspondant aux résistances R1, R2, R3, R4 et R5 entre la base du transistor PNP Tl et le plot PAD en figure 1. Un premier chemin 30 est formé essentiellement par les parties 84, visibles en figure 4, de la région enterrée 28 qui relient la région semiconductrice 24 dopée de type N et la région semiconductrice 40 dopée de type N. Les parties 84 correspondent sensiblement à la résistance R4. Un second chemin résistif est formé d'une part par les parties 35 86, visibles en figure 3, de la région enterrée 28 qui relient la 3054722 B15227 - 16-R0-0334 19 portion centrale 24 de la région semiconductrice 22 dopée de type N et les portions latérales 26 de la région semiconductrice 22 et d'autre part par les parties 78 et 80 des portions latérales 26 de la région 22 dopée de type N. Les parties 86 correspondent 5 sensiblement à la résistance R5. Les parties 84 et 86 s'étendent sensiblement selon des directions perpendiculaires. Le shunt à la base du transistor PNP Tl est donc formé par des chemins résistifs ayant des structures à trois dimensions. Les valeurs des résistances R1, R2, R3, R4, R5 et R6 peuvent être chacune de 10 l'ordre de quelques centaines d'ohms. Les figures 7A, 7B, 8A, 8B, 9A, 9B, 10A, 10B, 11A, 11b, 12A et 12B illustrent le fonctionnement de la structure de protection 10. Les caractéristiques courant-tension des figures 7B, 8B, 9B, 10B, 11B et 12B ont été obtenues par des mesures 15 électriques réelles. L'échelle sur l'axe de abscisses est de 2 V par division et l'échelle sur l'axe des ordonnées est de 10 mA par division. La diode D fournit un chemin à faible tension vers la masse GND lors de décharges électrostatiques négatives. Le 20 thyristor Thy fournit un chemin à faible tension vers la masse GND lors de décharges électrostatiques positives. Le rôle des diodes Zener est de commander le déclenchement du thyristor Thy. Le rôle du shunt à la base du transistor NPN T2 est de déterminer le courant de déclenchement de la gâchette de cathode du thyristor 25 Thy et de déterminer la tension de maintien du thyristor Thy. Le rôle du shunt à la base du transistor PNP Tl est de déterminer le courant de déclenchement de la gâchette d'anode du thyristor Thy et de déterminer la tension de maintien du thyristor Thy. Les shunts à la base du transistor NPN T2 et à la base du transistor 30 PNP Tl déterminent l'intensité du courant circulant dans les diodes Zener DZ au point de déclenchement du thyristor Thy. Les valeurs relatives des shunts à la base du transistor NPN T2 et à la base du transistor PNP Tl déterminent lequel des deux transistors Tl et T2 se déclenchent en premier en régime continu. 35 Selon un mode de réalisation, les niveaux de déclenchement des 3054722 B15227 - 16-R0-0334 20 transistors Tl et T2 sont proches. Ceci permet d'atteindre une vitesse maximale de déclenchement du thyristor Thy en rendant passant sensiblement de façon simultanée les jonctions base-émetteur des transistors Tl et T2. Ceci permet d'obtenir un 5 déclenchement plus rapide du thyristor Thy par rapport à un thyristor classique déclenché par une gâchette unique. En effet, de façon classique, le déclenchement d'un thyristor est réalisé en rendant passant le transistor NPN T2 puis en rendant passant le transistor PNP Tl. La durée pour rendre conducteur le thyristor 10 Thy est alors égale à la somme de la durée AT1 de la mise à l'état passant du transistor NPN T2 et de la durée AT2 de la mise à l'état passant du transistor PNP Tl. Lorsque les niveaux de déclenchement des transistors Tl et T2 sont proches, la durée pour rendre conducteur le thyristor Thy est alors seulement égale à la 15 durée maximale parmi les durées AT1 et AT2. La réduction de la durée de déclenchement du thyristor Thy permet de façon avantageuse d'améliorer la protection apportée par la structure de protection 10, notamment pour la protection des drains de transistors MOS à canal N. Lorsque le thyristor Thy est passant, 20 le courant de conduction est auto-entretenu. La résistance série à l'état passant de la structure de protection 10 est faible, par exemple de l'ordre de 1 ohm et la chute de tension aux bornes de la structure de protection 10 peut être de l'ordre de 1 V. Les figures 7A et 7B illustrent le cas où une tension 25 positive inférieure à la tension d'avalanche de la diode Zener est appliquée entre le plot PAD et la masse GND. Aucun courant ne circule entre le plot PAD et la masse GND par la structure de protection 10. Le point de fonctionnement de la structure de protection 10 se trouve sur la partie Fl de la caractéristique 30 courant-tension. Les figures 8A et 8B illustrent le cas où une tension positive supérieure à la tension d'avalanche de la diode Zener est appliquée entre le plot PAD et la masse GND avec un faible courant. Le courant circule du plot PAD vers la masse en passant 35 successivement par la résistance R1 (et éventuellement également 3054722 B15227 - 16-R0-0334 21 les résistances R2, R3, R4 et R5), les diodes Zener DZ et la résistance R6. La tension aux bornes des diodes Zener DZ est sensiblement constante, par exemple d'environ 5,5 V. Le point de fonctionnement de la structure de protection 10 se trouve sur la 5 partie F2 de la caractéristique courant-tension. Lorsque le courant augmente à partir du cas précédent, la tension aux bornes de la résistance R1 augmente et la tension aux bornes de la résistance R6 augmente. A un premier niveau de courant In, la différence de potentiel émetteur-base du transistor 10 NPN T2 atteint la tension de seuil, par exemple 0,6 V, du transistor T2 qui devient passant. A un deuxième niveau de courant Ip, la différence de potentiel émetteur-base du transistor PNP Tl atteint la tension de seuil, par exemple 0,6 V, du transistor Tl qui devient passant. Selon les valeurs des résistances R1 et R6, 15 le courant In peut être inférieur strictement au courant Ip, supérieur strictement au courant Ip ou sensiblement égal au courant Ip. Les figures 9A et 9B illustrent le cas où une tension positive supérieure à la tension d'avalanche de la diode Zener 20 est appliquée entre le plot PAD et la masse GND, dans le cas où le courant In est inférieur strictement à Ip, et dans le cas où le courant fourni par le plot PAD devient supérieur à In. Le transistor NPN T2 devient passant. Le point de fonctionnement de la structure de protection 10 se trouve sur la partie F3 de la 25 caractéristique courant-tension. Les figures lo.A. et 10B illustrent le cas où une tension positive supérieure à la tension d'avalanche de la diode Zener est appliquée entre le plot PAD et la masse GND, dans le cas où le courant Ip est inférieur strictement à In, et dans le cas où 30 le courant fourni par le plot PAD devient supérieur à Ip. Le transistor PNP Tl devient passant. Le point de fonctionnement de la structure de protection 10 se trouve sur la partie F3 de la caractéristique courant-tension. Les figures 11A et 11B illustrent le cas où une tension 35 positive supérieure à la tension d'avalanche de la diode Zener 3054722 B15227 - 16-R0-0334 22 est appliquée entre le plot PAD et la masse GND et dans le cas où le courant fourni par le plot PAD devient supérieur à In et à Ip. Les transistors Tl et T2 sont alors passants. Le point de fonctionnement de la structure de protection 10 se trouve sur la 5 partie F4 de la caractéristique courant-tension. Le niveau auquel la partie F3 et la partie F4 se rejoignent en partie supérieure de la caractéristique courant-tension est déterminé notamment par les courants In et Ip. Plus la partie F3 est étendue selon l'axe des ordonnées, plus 10 l'intensité du courant nécessaire au déclenchement du thyristor Thy est élevée. Ceci peut être avantageux pour éviter un déclenchement indésirable du thyristor Thy lors du fonctionnement normal du circuit intégré. Les figures 12A et 12B illustrent le cas où une tension 15 négative est appliquée entre le plot PAD et la masse GND. La diode D est polarisée en direct et conduit le courant entre la masse GND et le plot PAD. Le point de fonctionnement de la structure de protection 10 se trouve sur la partie F5 de la caractéristique courant-tension. 20 Des modes de réalisation particuliers ont été décrits. Diverses variantes et modifications apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, bien qu'un mode de réalisation ait été décrit pour un circuit intégré formé dans un substrat semiconducteur dopé de type P, il est clair que la présente 25 invention peut être mise en oeuvre avec un substrat dopé de type N en inversant les types de dopage des régions décrites précédemment. REVENDICATIONS1. Circuit intégré protégé contre des décharges électrostatiques comprenant au moins un plot d'entrée-sortie (PAD) et une borne (GND) destinée à être reliée une source d'un potentiel de référence et comprenant, en outre, une structure de protection (10) comprenant : un thyristor (Thy) connecté en direct entre le plot et la borne, le thyristor comportant une première résistance (R6) entre sa gâchette de cathode et la borne ; et entre le thyristor et le plot, au moins une diode Zener (DZ), l'anode de la diode Zener étant connectée à la gâchette de cathode du thyristor et la cathode de la diode Zener étant reliée au plot par l'intermédiaire d'au moins une deuxième résistance (R1), la jonction de la diode Zener étant distincte des jonctions de la structure PNPN du thyristor. 2. Circuit intégré selon la revendication 1, dans lequel la structure de protection (10) comprend, en outre, au moins une troisième résistance (R4) entre gâchette d'anode du thyristor (Thy) et le plot (PAD). 3. Circuit intégré selon la revendication 1 ou 2, dans 20 lequel la structure de protection (10) comprend, en outre, une diode (D), l'anode de la diode étant connectée à la borne (GND) et la cathode de la diode étant connectée au plot (PAD). 4. Circuit intégré selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, comprenant un substrat (12) dopé d'un 25 premier type de conductivité et ayant une face (14), dans lequel la structure de protection (10) comprend, en outre, une première région semiconductrice (22) dopée d'un second type de conductivité opposé au premier type de conductivité et s'étendant dans le substrat depuis la face, la première région comprenant une 30 première portion (24) s'étendant selon une première direction (Dl) et se prolongeant à chaque extrémité (24) par une deuxième portion (26) s'étendant selon une deuxième direction (D2) perpendiculaire à la première direction, et dans lequel le thyristor (Thy) comprend un premier transistor (Tl) et un deuxième transistor 3054722 B15227 - 16-R0-0334 24 (T2), la première portion de la première région formant la base du premier transistor. 5. Circuit intégré selon la revendication 4, comprenant des moyens (R4, R6) pour commander le déclenchement du premier 5 transistor (Tl) avant, après ou en même temps que le déclenchement du deuxième transistor (Tl, T2). 6. Circuit intégré selon la revendication 4 ou 5, dans lequel la structure de protection (10) comprend, en outre, une deuxième région semiconductrice (30) dopée du premier type de 10 conductivité, plus fortement dopée que le substrat (12), s'étendant dans la première portion (24) de la première région (22) seulement sur une partie de la profondeur de la première portion (24) de la première région (22), la deuxième région formant l'émetteur du premier transistor (Tl). 15 7. Circuit intégré selon la revendication 6, dans lequel la structure de protection (10) comprend, en outre, dans chaque deuxième portion (26) de la première région (22), une troisième région semiconductrice (34) dopée du premier type de conductivité, plus fortement dopée que le substrat (12), 20 s'étendant dans la deuxième portion (26) de la première région (22) seulement sur une partie de la profondeur de la deuxième portion (26) de la première région (22), la troisième région formant l'anode de la diode Zener (DZ). 8. Circuit intégré selon la revendication 7, dans 25 lequel la structure de protection (10) comprend, en outre, dans chaque deuxième portion (26) de la première région (22), au moins une quatrième région semiconductrice (36) dopée du deuxième type de conductivité, s'étendant depuis la face (14), traversant la troisième région semiconductrice (34) et venant au contact de la 30 deuxième portion (26) de la première région (22), la quatrième région formant la cathode de la diode Zener (DZ). 9. Circuit intégré selon l'une quelconque des revendications 4 à 8, dans lequel la structure de protection (10) comprend, en outre, une cinquième région semiconductrice (28) 35 dopée du deuxième type de conductivité, la cinquième région étant 3054722 B15227 - 16-R0-0334 25 située en profondeur dans le substrat (12), la première région recouvrant partiellement la cinquième région et étant au contact de la cinquième région. 10. Circuit intégré selon la revendication 9, dans 5 lequel la cinquième région (28) délimite au moins une première zone (74) du substrat (12) recouvrant la cinquième région et formant la base du deuxième transistor (T2). 11. Circuit intégré selon la revendication 9 ou 10, dans lequel la cinquième région (28) forme une résistance électrique 10 reliée à la cathode de chaque diode Zener (DZ). 12. Circuit intégré selon l'une quelconque des revendications 9 à 11, dans lequel la cinquième région (28) forme un shunt (R4) relié à la base du premier transistor (Tl). 13. Circuit intégré selon la revendication 9 dans sa 15 dépendance à la revendication 3, dans lequel la cinquième région (28) forme au moins en partie la cathode ou l'anode de la diode (D). 14. Circuit intégré selon la revendication 9 dans son rattachement à la revendication 3, dans lequel la structure de protection (10) comprend, en outre, deux sixièmes régions semiconductrices (40) dopées du deuxième type de conductivité, s'étendant dans le substrat (12) depuis la face (14) et venant au contact de la cinquième région (28), les deux sixièmes régions étant situées de part et d'autre de la première portion (24) de la première région (22), chaque sixième région étant séparée des deuxièmes portions (26) de la première région (22) par une deuxième zone (82) du substrat (12), les sixièmes régions formant la cathode de la diode (D). 15. Circuit intégré selon la revendication 14, dans 30 lequel les deuxièmes zones (82) du substrat (12) forment un shunt relié à la base du deuxième transistor (T2). 16. Circuit intégré selon la revendication 14 ou 15, dans lequel la structure de protection (10) comprend, en outre, deux septièmes régions semiconductrices (38) dopées du deuxième 35 type de conductivité, s'étendant dans le substrat (12) depuis la 3054722 B15227 - 16-R0-0334 26 face (14) et ne venant pas au contact de la cinquième région (28) ni au contact des deuxièmes portions (26) de la première région (22), les deux septièmes régions étant situées de part et d'autre de la première portion (24) de la première région (22), chaque 5 septième région étant intercalée entre la première portion (24) de la première région (22) et l'une des sixièmes régions (40), les septièmes régions formant l'émetteur du deuxième transistor (T2).