Brevet FR3051376A1 — publié le 20171124

PROCEDE D'EXFOLIATION DE PARTICULES DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE L'invention concerne un procédé d'exfoliation de particules en suspension dans un fluide soumis à des contraintes de cisaillement et à de la cavitation. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE Un procédé d'exfoliation de particules, telles que des particules de graphite, connu de l'état de la technique et décrit dans le brevet US 2015/0239741 comprend l'introduction d'un fluide porteur chargé desdites particules dans un réacteur à cavitation. Le réacteur à cavitation est par exemple le dispositif décrit au paragraphe §[0058] et aux figures 3a et 3b de la demande US 2015/0239741. Selon ce procédé connu de l'état de la technique, dès lors que le fluide porteur chargé en particules est introduit dans le réacteur à cavitation en marche, des bulles de cavitation sont formées. L'exfoliation des particules est alors déclenchée par une onde de choc générée par l'implosion desdites bulles de cavitation. Ainsi, ce procédé connu de l'état de la technique, appliqué au graphite, permet de former des particules de graphène présentant une épaisseur comprise par exemple entre 10 et 20 nm. Les particules de graphène se présentent sous forme de micro feuillets comprenant un nombre réduit de plans mono atomiques de carbone graphite. L'épaisseur desdites particules de graphène est mesurée selon une direction perpendiculaire aux plans monoatomiques de carbone graphite. La demande de brevet CN 102249222 propose également un procédé d'exfoliation par génération de bulles de cavitation. Le procédé, ainsi proposé, comprend l'écoulement d'un fluide chargé en particules, ledit écoulement étant adapté pour générer des bulles de cavitation dans ledit fluide chargé en particules de sorte qu'une exfoliation des particules soit provoquée sous l'action d'une onde de choc générée par l'implosion des particules. 3051376 2 Cependant, les deux procédés relatifs aux demandes US 2015/0239741 et CN 102249222 ne sont pas satisfaisants. En effet, les contraintes apportées par la cavitation du fluide porteur ne permettent pas d'atteindre l'efficacité requise pour ce type de procédé. 5 Par ailleurs, la distribution en taille des particules formées, par le procédé d'exfoliation selon l'état de la technique, est trop importante. En outre, les procédés connus de l'état de la technique ne permettent pas d'ajuster la taille des particules formées, et plus particulièrement ne permettent pas d'obtenir de grande tailles (par exemple de taille supérieure à 1 um) 10 Enfin, de tels procédés connus de l'art antérieur nécessitent souvent de grandes quantités de fluide porteur, excluant ainsi l'utilisation de fluides toxiques. Un but de l'invention est de proposer un procédé d'exfoliation présentant une efficacité améliorée par rapport aux procédés connus de l'état de la technique. EXPOSÉ DE L'INVENTION 15 Le but de l'invention est résolu par un procédé d'exfoliation de particules, le procédé comprend l'écoulement, selon un premier débit, d'un fluide porteur chargé en particules, dans une première section, puis dans une deuxième section d'un conduit, la première section et la deuxième section étant contiguës, le premier débit étant adapté pour générer des contraintes de cisaillement et des bulles de cavitation dans le fluide 20 porteur chargé en particules lors de son passage dans la première section du conduit, la seconde section du conduit présentant un diamètre hydraulique adapté pour provoquer une implosion des bulles de cavitation dès lors que le fluide porteur chargé en particules débouche de la première section et s'écoule dans la seconde section, de sorte qu'une exfoliation des particules soit provoquée sous l'action combinée des contraintes de 25 cisaillements et d'une onde de choc générée par l'implosion des bulles de cavitation, la première section du conduit présentant un diamètre hydraulique inférieur à 300 um, de préférence inférieur à 150 um, encore plus préférentiellement inférieur à 90 um. Ainsi, le procédé selon l'invention permet de réaliser l'exfoliation de particules en suspension dans un fluide porteur en écoulement dans le conduit en imposant 3051376 3 une pression à l'écoulement beaucoup plus faible que ce qui est connu de l'état de la technique. En effet, pour un diamètre hydraulique inférieur à 300 um, il peut être envisagé d'exercer une pression sur le fluide porteur en écoulement inférieure à 20 bars, de préférence inférieure à 10 bars. Plus particulièrement, pour un diamètre hydraulique 5 inférieur à 150 um, une pression exercée sur le fluide porteur comprise entre 6 et 8 bars est suffisante pour mettre en oeuvre le procédé selon l'invention. Par ailleurs, la première section, du fait de son faible diamètre hydraulique, représente un volume confiné, par rapport à ce qui est connu de l'état de la technique. Ce confinement impose alors un plus grand nombre de bulles de cavitation, et 10 de taille plus petite par rapport à l'état de l'art. Ainsi, l'implosion des bulles de cavitation crée, du fait de la petite taille desdites bulles, une onde de choc de moindre intensité par rapport à l'état de la technique. Par conséquent, ladite onde de choc permet d'assister l'exfoliation due au cisaillement, sans pour autant briser les plans exfoliés (les plans de graphène par exemple). Il est ainsi possible d'obtenir des particules exfoliées de plus 15 grande taille que celles obtenues par les procédés connus de l'état de la technique (par plus grande taille nous entendons plus grande étendue selon le plan d'exfoliation). La qualité des particules exfoliées s'en trouve améliorée. Par conséquent, une amélioration de l'efficacité du procédé peut être observée . Il peut également être avantageux pour la section transversale de la première section de présenter une forme allongée (par forme 20 allongée nous entendons une forme longue, effilée). La forme allongée de la section transversale peut être définie par son rapport d'aspect. Ainsi, la section transversale peut présenter une forme allongée avec un rapport d'aspect supérieur à 3. Selon un tel rapport d'aspect, il est possible d'obtenir un confinement selon une seule dimension, et par conséquent de fabriquer un grand nombre de premières sections sur un même dispositif 25 ou sur une même puce. Contrairement à ce que l'homme du métier aurait pu envisager, le traitement d'une plus grande quantité de particules à exfolier ne passe pas nécessairement par l'augmentation du volume du conduit (dimensionnement à la hausse). En outre, la réduction du diamètre hydraulique permet également d'augmenter les contraintes de cisaillement s'exerçant sur les particules à exfolier. 3051376 4 Selon un mode de mise en oeuvre, le premier débit est adapté pour que l'écoulement du fluide porteur chargé en particules dans la première section soit laminaire. Ainsi, un écoulement laminaire permet également d'augmenter l'amplitude des contraintes de cisaillement (par opposition à un écoulement 5 essentiellement turbulent). Par ailleurs, dans un écoulement laminaire confiné, les contraintes de cisaillement ne sont pas uniquement localisées au niveau des parois de la première section, et s'exercent donc sur une plus grande fraction de fluide porteur que ce qui est observé pour un écoulement turbulent. L'écoulement laminaire permet ainsi d'améliorer le 10 rendement par rapport aux procédés connus de l'état de la technique. Selon un mode de réalisation alternatif, le premier débit est adapté pour que l'écoulement du fluide porteur chargé en particules dans la première section soit turbulent. Selon un mode de mise en oeuvre, le premier débit est adapté pour que 15 les bulles de cavitation formées dans le fluide porteur chargé en particules présentent une taille inférieure à 50 iim. Selon un mode de mise en oeuvre, le fluide porteur a une viscosité supérieure ou égale à 1 mPa.s, par exemple, le fluide porteur comprend au moins un des éléments choisi parmi : eau, butanol, isopropanol, N - Méthyle - 2 pyrolidone (NMP), 20 acétone , toluène. Ainsi, le procédé selon l'invention permet l'emploi de fluides porteurs présentant une viscosité plus importante, sans nécessairement recourir à des systèmes de pompage plus puissants pour imposer un débit d'écoulement audit fluide porteur. Par ailleurs, nombre de fluides porteurs dont la viscosité est supérieure à 25 1 mPa.s peuvent présenter une toxicité avérée. Contrairement aux procédés connus de l'état de la technique, le procédé d'exfoliation selon la présente invention ne nécessite que de très faibles quantités de fluide porteur, ouvrant ainsi la voie à l'utilisation de fluides porteurs toxiques. Selon un mode de mise en oeuvre, les particules comprennent au moins un des éléments choisi parmi : graphite, dichalcogénures de métaux de transition. 3051376 5 Selon un mode de mise en oeuvre, le premier débit est supérieur à 1 litre par heure. Selon un mode de mise en oeuvre, la section transversale de la première section de conduit est circulaire, rectangulaire, triangulaire, ou trapézoïdale.. 5 Selon un mode de mise en oeuvre, la première section présente une longueur inférieure à 5 mm. Selon un mode de réalisation, le fluide porteur, préalablement à son écoulement dans la première section, est engazé. Ainsi, le nombre de bulles de cavitation augmente par rapport à une 10 fluide non engazé. L'invention concerne également un dispositif d'exfoliation de particules comportant un conduit, le conduit comprenant une première section, et une deuxième section reliées de manière étanche de sorte qu'un fluide puisse s'écouler de la première section vers la seconde section, la première section présentant un premier diamètre 15 hydraulique, et la seconde section présentant un second diamètre hydraulique supérieur au premier diamètre hydraulique, le premier diamètre hydraulique étant inférieur à 300 um, de préférence inférieur à 150 um, encore plus préférentiellement inférieur à 90 um. Selon un mode de réalisation, une pompe ou un système à air comprimé est connectée au dispositif, ladite pompe ou ledit système à air comprimé étant adapté 20 pour générer un écoulement d'un fluide de la première section vers la seconde section. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS D'autres caractéristiques et avantages apparaîtront dans la description qui va suivre du procédé d'exfoliation selon l'invention, donnés à titre d'exemples non limitatifs, en référence aux dessins annexés dans lesquels : 25 - la figure 1 est une représentation schématique d'un conduit 1 comprenant une première section 2 et une seconde section 3 pour le mise en oeuvre du procédé selon l'invention ; - la figure 2 est une représentation de l'agencement des plans carbonés (P1, P2 et P3) dans le graphite ; 3051376 6 - la figure 3 est une illustration des contraintes de cisaillement présentes lors d'un écoulement d'un fluide dans un conduit, le sens et la direction de l'écoulement sont symbolisés par la flèche F, la distribution des vitesses d'écoulement du fluide dans le conduit est illustrée par les flèches V; ; 5 - la figure 4 est un exemple de mise en oeuvre du procédé d'exfoliation selon l'invention. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS En référence aux figures 1 et 2, nous allons donc décrire un procédé d'exfoliation de particules. 10 Un procédé d'exfoliation de particules selon la présente invention comprend la fourniture d'un fluide porteur chargé en particules. Le fluide porteur peut présenter une fraction volumique solide inférieure à 5 %. Par fraction volumique solide, nous entendons le volume de la phase solide sur le volume total de la suspension. 15 La taille des particules peut être comprise entre 0,1 um et 50 um, par exemple 5 um. Les particules sont adaptées pour être exfoliées lors de la mise en oeuvre du procédé selon l'invention. Par particules adaptées pour être exfoliées, nous entendons détacher par 20 feuilles ou par lamelles la surface desdites particules. L'exfoliation des particules peut être générée par application d'une énergie, supérieure à une énergie prédéterminée, au niveau desdites particules. De manière générale, les particules susceptibles d'être exfoliées peuvent comprendre une structure cristallographique lamellaire, plus particulièrement, lesdites 25 particules peuvent comprendre l'empilement de feuillets constitués de plans monoatomiques. A cet égard, des particules comprenant une structure cristallographique lamellaire seront exfoliées selon une direction parallèle aux dits plans mono atomiques. Dans le cas de particules comprenant une structure lamellaire, l'énergie prédéterminée correspond à l'énergie de liaison entre les feuillets. Plus particulièrement, l'ordre de 3051376 7 grandeur de l'énergie de liaison entre deux plans de graphite est de 10 kJ/mol (cette énergie peut également être exprimée pour un atome : 120 meV/atome). A cet égard, les particules peuvent comprendre au moins un élément choisi parmi : graphite, dichalcogénures de métaux de transition. 5 Le procédé selon l'invention ne se limite cependant pas aux particules présentant une structure cristallographique lamellaire. Le fluide porteur peut comprendre de l'eau. Cependant, nous verrons, dans la suite de l'exposé de l'invention, qu'il est possible d'utiliser d'autres types de fluides porteurs. 10 Le procédé d'exfoliation selon l'invention comprend l'écoulement du fluide porteur chargé des particules à exfolier dans un conduit 1. Le fluide porteur s'écoule dans le conduit 1 dans le sens et la direction indiqués par la flèche représentée sur la figure 1. Le conduit 1 comprend au moins une première section 2 et une seconde 15 section 3. La première section 2 peut présenter une section transversale de forme circulaire ou rectangulaire ou triangulaire, ou trapézoïdale, sans toutefois se limiter aux formes citées. La seconde section 3 peut présenter une section transversale de forme 20 circulaire ou rectangulaire, ou triangulaire, ou trapézoïdale, sans toutefois se limiter aux formes citées. La première section 2 et la seconde section 3 sont contiguës et reliées de manière étanche de sorte que le fluide porteur chargé des particules s'écoule de la première section 2 vers la seconde section 3. 25 Avant d'être injecté dans la première section 2 du conduit 1, le fluide porteur chargé en particules peut se trouver dans un réservoir 6 connecté à ladite première section 2. L'écoulement du fluide porteur chargé en particules est exécuté selon un premier débit. Le premier débit peut, par exemple, être imposé par un système de 30 pompage 5 (ou une pompe) ou un système à air comprimé. Le système de pompage ou 3051376 8 ledit système à air comprimé peut être connecté au réservoir 6 de manière à pousser le fluide porteur chargé en particules dans la première section 2. Aussi, selon l'invention, le premier débit et le diamètre hydraulique de la première section 2 sont adaptés pour que des contraintes de cisaillement et de la cavitation 5 soient générées au niveau du fluide porteur lors de son passage dans ladite première section 2. A cet égard, tel que représenté à la figure 3, nous décrivons l'apparition des contraintes de cisaillement dans le cadre d'un écoulement dit « écoulement laminaire ». Il est entendu que des contraintes de cisaillement apparaissent également 10 dans un écoulement turbulent (par écoulement turbulent, nous entendons un écoulement qui n'est pas laminaire). En référence à la figure 3, dès lors qu'un fluide porteur s'écoule, selon le sens et la direction de la flèche F, dans un conduit 4 s'étendant selon un axe XX', une variation spatiale de la vitesse dudit fluide porteur peut être observée (la distribution des vitesses d'écoulement du fluide porteur dans le conduit 4 est illustrée à la figure 3 par 15 les flèches V,). Ainsi, l'écoulement d'un fluide porteur dans un conduit 4, par exemple de forme tubulaire, présentera une vitesse d'écoulement plus importante au centre du conduit 4 (position A) qu'au niveau de la paroi dudit conduit 4 (position B). Nous disons qu'il se produit un cisaillement. Plus précisément, la vitesse du fluide porteur au centre du conduit 4 est maximale, tandis qu'elle est nulle au niveau des parois dudit conduit 4. Ainsi, 20 dès lors que le fluide porteur est chargé en particules, les contraintes en cisaillement générées lors de l'écoulement du fluide porteur s'exercent sur les particules. L'amplitude des contraintes de cisaillement dépend de la viscosité du fluide porteur, de son débit, de la section de passage (la section de passage étant la section transversale du conduit 4) et de la hauteur caractéristique de l'écoulement (hauteur H représentée à la figure 3). 25 Par ailleurs, le diamètre hydraulique de la seconde section 3 du conduit 1 est adapté pour provoquer l'implosion des bulles de cavitation formées dans le fluide lors de son passage dans la première section 2 du conduit 1. Autrement dit, dès que les bulles de cavitation formées dans la première section 2 du conduit 1 pénètrent dans la seconde section 3 du conduit 1, une augmentation brusque de pression se produit (du fait du 30 ralentissement de l'écoulement du fluide porteur au niveau de la seconde section 3), et 3051376 9 provoque ainsi l'implosion desdites bulles de cavitation. Cette implosion s'accompagne d'une onde de choc qui se propage dans le conduit, et plus particulièrement dans la seconde section 3. Le diamètre hydraulique de la seconde section 3 peut être supérieur au diamètre hydraulique de la première section 2. 5 Par diamètre hydraulique, nous entendons quatre fois l'aire de la section transversale d'un conduit 1 divisé par le périmètre mouillé par le fluide de ladite section transversale. La section transversale d'un conduit 1 est définie par l'intersection d'un plan avec ledit conduit 1, le plan étant disposé selon une direction perpendiculaire à l'écoulement d'un fluide dans ledit conduit 1 (ou l'axe d'élongation du conduit). Ainsi, le 10 diamètre hydraulique d'un tube de section circulaire correspond au diamètre de ladite section circulaire. Lors de l'écoulement du fluide chargé en particules, les contraintes tangentielles (les contraintes tangentielles étant définies par le produit de la viscosité du fluide porteur par le taux de cisaillement) générées dans la première section 2 du conduit 15 1 s'exercent sur lesdites particules, de sorte qu'une exfoliation des particules peut être observée (l'intensité des contraintes tangentielles peut atteindre 1000 N.m-2). Nous notons que l'amplitude des contraintes de cisaillement s'exerçant sur les particules est fonction du gradient de vitesse du fluide porteur en écoulement selon une direction perpendiculaire à son écoulement (autrement dit perpendiculairement à la flèche représentée à la figure 1). 20 Ainsi, pour un cisaillement supérieur à 10' s-1, il est possible d'exfolier des particules de graphite, et ainsi de former des particules de graphène d'une épaisseur inférieure à 20 nm, avantageusement les particules de graphène obtenues par le procédé selon l'invention sont des feuillets d'épaisseur mono atomique. L'implosion des bulles de cavitation, dans la seconde section 3 du conduit 25 1, génère une contrainte supplémentaire qui s'exerce sur les particules. En effet, l'implosion des bulles de cavitation provoque un onde de choc, qui se propage dans le conduit 1, et qui accentue l'exfoliation des particules amorcée par les contraintes de cisaillement dans la première section 2 du conduit 1. Ainsi, au moment de leur traversée du conduit 1, les particules sont alors soumises à la combinaison des contraintes dues au 30 cisaillement et des contraintes générées par l'onde de choc. 3051376 10 Par ailleurs, la première section 2, du fait de son faible diamètre hydraulique, représente un volume confiné, par rapport à ce qui est connu de l'état de la technique. Ce confinement impose alors un plus grand nombre de bulles de cavitation, et de taille plus petite par rapport à l'état de l'art. Ainsi, l'implosion de chaque bulle de 5 cavitation crée, du fait de la petite taille de ladite bulle, une onde de choc de moindre intensité par rapport à l'état de la technique. Par conséquent, ladite onde de choc permet d'assister l'exfoliation due au cisaillement, sans pour autant briser les plans exfoliés (les plans de graphène par exemple). Il est ainsi possible d'obtenir des particules exfoliées de plus grande taille que celles obtenues par les procédés connus de l'état de la technique 10 (par plus grande taille nous entendons plus grande étendue selon le plan d'exfoliation). La qualité des particules exfoliées s'en trouve améliorée. L'implosion des bulles de cavitation permet ainsi d'améliorer le rendement du procédé d'exfoliation. Nous associons le rendement du procédé d'exfoliation à la quantité de particules exfoliées (par exemple du graphène) en fonction 15 de la quantité de particules (par exemple de graphite) sur laquelle le procédé est appliqué. Par quantité de particules, nous entendons une masse. Selon l'invention, le diamètre hydraulique de la première section 2 est inférieur à 300 um, de préférence inférieur à 150 um, encore plus préférentiellement inférieur à 90 um. 20 Par exemple, la première section 2 du conduit 1 peut être un tube dont le diamètre est égal à 80 um. Selon un autre exemple, la première section 2 peut présenter une section transversale rectangulaire de 100 um de hauteur, et de 80 um de largeur (le diamètre hydraulique est dans ce cas égal à 89 um). Selon un exemple supplémentaire, la première section 2 peut présenter une section trapézoïdale, de grande base de 1000 um, 25 de petite base de 790 um, et de côtés de 64 um (ce qui correspond à un diamètre hydraulique de 108 um, et un rapport d'aspect de 19). Pour un tel diamètre hydraulique de la première section 2 du conduit 1, la pression à appliquer au fluide porteur, pour générer des contraintes de cisaillement et de la cavitation dans ladite première section 2, peut être inférieure à 30 bars, 30 préférentiellement inférieure à 10 bars, par exemple comprise entre 5 et 9 bars, 3051376 11 préférentiellement entre 6 et 8 bars. Ainsi, pour de telles pressions, il n'est pas nécessaire de mettre en oeuvre des systèmes de pompage compliqués, et dont l'entretien est coûteux. Par exemple, une pompe d'une puissance inférieure à 5 kW, et permettant d'imposer une pression inférieure à 35 bars, peut permettre de mettre en 5 oeuvre le procédé d'exfoliation selon l'invention. Par ailleurs, un diamètre hydraulique de la première section 2 inférieur à 300 um, de préférence inférieur à 150 um rend l'effet combiné des contraintes de cisaillement et de l'onde de choc associée à l'implosion de bulles de cavitation plus efficace que les procédés connus de l'état de la technique. 10 En effet, la première section 2 du conduit 1 constitue un environnement plus confiné que celui décrit dans le document CN 102249222. Par ailleurs, contrairement à la présente invention, le dispositif décrit dans le document CN 102249222 ne permet pas de réaliser un écoulement laminaire. De manière particulièrement avantageuse, le fluide porteur présente une 15 viscosité supérieure à 1 mPa.s, par exemple, le fluide porteur comprend au moins un des éléments choisi parmi : eau, un mélange d'eau et d'isopropanol. Par ailleurs, étant donnée la faible quantité de fluide porteur pour la mise en oeuvre du procédé selon l'invention, des fluides porteurs toxiques peuvent être utilisés, comme par exemple : toluène, acétone, N - Méthyle - 2 - pyrolidone (NMP). 20 De manière particulièrement avantageuse, l'écoulement du fluide porteur dans la première section 2 peut être laminaire. Par écoulement laminaire, nous entendons un écoulement où des couches de fluide « glissent » les unes par rapport aux autres, la vitesse de chacune décroissant du centre de la canalisation vers les parois, sans qu'il y ait de mélange de matière entre les couches. Ainsi, la mise oeuvre d'un écoulement 25 laminaire conjugué à un très fort taux de cisaillement permet d'augmenter de façon significative les contraintes de cisaillement et par conséquent d'améliorer le rendement du procédé. Cet ensemble de conditions, dans une première section 2 présentant un diamètre hydraulique inférieur à 90 um, peut être mis en oeuvre en imposant, avec un système de pompage, une pression typiquement comprise entre 5 et 15 bars suivant la 30 viscosité du fluide considéré. 3051376 12 Le procédé selon l'invention permet d'envisager l'intégration de conduits 1 sur des puces (« Chip » selon la terminologie Anglo-Saxonne). Le dispositif pour la mise en oeuvre du procédé d'exfoliation selon l'invention est peu encombrant. Ledit dispositif peut, par ailleurs, être fabriqué par des techniques de micro fabrication bien connues de 5 l'homme du métier, et très répandues dans les salles banches destinées à la fabrication de dispositifs microélectronique ou MEMS. Le pilotage sur puce de la température du conduit 1 permet d'augmenter facilement la valeur de la pression saturante du fluide porteur, c'est-à-dire l'intensité de la cavitation. Il en résulte une augmentation du rendement de la délamination, avec un dispositif peu encombrant, intégrable dans une chaîne de 10 production ou dans une salle blanche. Les techniques de micro fabrication permettent d'envisager une production de microréacteurs (une pluralité de conduits 1) disposés en parallèle, l'ensemble pouvant traiter une quantité de fluide porteur conséquente. L'augmentation du rendement permettra aussi de traiter moins de fluide porteur, et par exemple de travailler avec des suspensions dispersées dans un liquide plus visqueux que 15 l'eau pour augmenter la contrainte tangentielle subie par les particules. Un exemple de mise en oeuvre de l'invention est donné à la figure 4. Le conduit est formé sur un substrat de silicium par des techniques de gravure. La première section 2 est d'une largeur de 50 um et d'une profondeur de 150 um (ce qui correspond à un diamètre hydraulique de 75 um). 20 La seconde section 3 est d'une largeur de 500 um et d'une hauteur de 150 um. Le fluide porteur comprend de l'eau. Une pompe ou un système à air comprimé est employé pour générer un débit de fluide porteur de 1 litre par heure. 25 La mise en oeuvre du procédé selon l'exemple de la figure 4 permet d'atteindre un rendement de quelques pourcents. L'invention concerne également un dispositif d'exfoliation de particules comportant un conduit 1, le conduit 1 comprend une première section 2, et une deuxième section 3 reliées de manière étanche de sorte qu'un fluide puisse s'écouler de la première 30 section 2 vers la seconde section 3, la première section 2 présentant un premier diamètre 3051376 13 hydraulique, et la seconde section 3 présentant un second diamètre hydraulique supérieur au premier diamètre hydraulique, le premier diamètre hydraulique étant inférieur à 150 um, de préférence inférieur à 90 um, encore plus préférentiellement inférieur à 80 um. 5 Un tel conduit 1 peut être obtenu entre autres par des techniques de micro fabrication comprenant : - la fourniture d'un substrat de silicium (par exemple un substrat de silicium nitruré i.e. : comprenant une couche de nitrure de silicium sur sa surface), ou un substrat de silicium sur isolant( ledit substrat comprenant une couche de silicium de 10 150 um (ou 300 um) d'épaisseur), - la définition d'un motif représentant le conduit 1 par des technique de photolithographie, - la gravure sèche (par plasma) ou liquide (avec du KOH ou du TMAH) du motif défini lors de l'étape de photolithographie, de manière à créer une cavité dans la 15 couche de silicium, ladite cavité étant destinée à former le conduit 1, - le collage par scellement anodique d'un substrat de borosilicate (par exemple un substrat en PYREX connu sous la référence Corning 7740 de la société Corning, le substrat en PYREX peut être préalablement percé pour assurer l'écoulement du fluide porteur) sur la couche de silicium de manière à fermer la cavité, et former le conduit 1. 20 Une pompe 5 peut être connectée au conduit 1, ladite pompe 5 étant adaptée pour générer un écoulement d'un fluide de la première section 2 vers la seconde section 3. REVENDICATIONS1. Procédé d'exfoliation de particules, le procédé comprend l'écoulement, selon un premier débit, d'un fluide porteur chargé en particules, dans une première section (2), puis dans une deuxième section d'un conduit (1), la première section (2) et la deuxième section étant contiguës, le premier débit étant adapté pour générer des contraintes de cisaillement et des bulles de cavitation dans le fluide porteur chargé en particules lors de son passage dans la première section (2) du conduit (1), la seconde section (3) du conduit (1) présentant un diamètre hydraulique adapté pour provoquer une implosion des bulles de cavitation dès lors que le fluide porteur chargé en particules débouche de la première section (2) et s'écoule dans la seconde section (3), de sorte qu'une exfoliation des particules soit provoquée sous l'action combinée des contraintes de cisaillements et d'une onde de choc générée par l'implosion des bulles de cavitation, le procédé étant caractérisé en ce que la première section (2) du conduit (1) présente un diamètre hydraulique inférieur à 300 um, de préférence inférieur à 150 um, encore plus préférentiellement inférieur à 90 um. 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel le premier débit est adapté pour que l'écoulement du fluide porteur chargé en particules dans la première section (2) soit laminaire. 3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, dans lequel le premier débit est adapté pour que les bulles de cavitation formées dans le fluide porteur chargé en particules présentent une taille inférieure à 50 um. 4. Procédé selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel le fluide porteur a une viscosité supérieure à 1 mPa.s, par exemple, le fluide porteur comprend au moins un des éléments choisi parmi : eau, un mélange d'eau et d'isopropanol, NMP, acétone, toluène. 3051376 15 5. Procédé selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel les particules comprennent au moins un des éléments choisi parmi : graphite, dichalcogénures de métaux de transition 5 6. Procédé selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel le premier débit est supérieur à 1 litre par heure. 7. Procédé selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel la section transversale de la première section (2) de conduit (1) est circulaire ou rectangulaire, ou 10 triangulaire, ou trapézoïdale. 8. Procédé selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel la première section (2) présente une longueur inférieure à 5 mm. 15 9. Dispositif d'exfoliation de particules comportant un conduit (1), le conduit (1) comprenant une première section (2), et une deuxième section (3) reliées de manière étanche de sorte qu'un fluide puisse s'écouler de la première section (2) vers la seconde section (3), la première section (2) présentant un premier diamètre hydraulique, et la seconde section (3) présentant un second diamètre hydraulique supérieur au premier 20 diamètre hydraulique, le premier diamètre hydraulique étant inférieur à 300 um, de préférence inférieur à 150 um, encore plus préférentiellement inférieur à 90 um. 10. Dispositif selon la revendication 9, dans lequel une pompe (5) est connectée au dispositif, ladite pompe (5) étant adaptée pour générer un écoulement d'un 25 fluide de la première section (2) vers la seconde section (3).