Brevet FR3054724A1 — publié le 20180202

PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN GUIDE À ONDE LENTE EN GERMANIUM ET PHOTODIODE INCORPORANT CE GUIDE À ONDE LENTE [1] L'invention concerne un procédé de fabrication d'un guide à onde lente en 5 germanium sur une dalle en silicium. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'une photodiode mettant en oeuvre ce procédé de fabrication d'un guide à onde lente ainsi qu'une photodiode fabriquée à l'aide de ce procédé. [2] La demande US9035409B2 décrit une photodiode comportant un guide à onde lente. De plus, la demande US9035409B2 décrit un procédé de fabrication du 10 guide à onde lente en germanium sur une dalle en silicium s'étendant principalement dans un plan appelé « plan de la dalle ». Ce guide à onde lente comporte une section horizontale, parallèle au plan de la dalle, qui présente un même motif répété avec un pas régulier le long d'un axe optique, ces motifs étant disposés de façon symétrique de part et d'autre de l'axe optique de manière à ce que cet agencement de motifs 15 ralentisse la propagation du signal optique le long de l'axe optique à l'intérieur du guide à onde lente. [3] Dans les modes de réalisation de la demande US9035409B2, les motifs du guide à onde lente sont des trous traversant de part en part un ruban central en germanium ou des encoches réalisées dans des flancs latéraux de ce ruban central. 20 [004] Pour fabriquer un tel guide à onde lente et une telle photodiode, la demande US9035409B2 enseigne que les motifs du guide à onde lente sont directement gravés dans le germanium. [5] L'incorporation d'un tel guide à onde lente dans une photodiode présente notamment l'avantage d'augmenter de façon très significative le coefficient 25 d'absorption de la photodiode, c'est-à-dire la quantité de lumière absorbée par unité de longueur. Ce coefficient est typiquement exprimé en dB/µm. [6] Toutefois, il a été observé que le germanium dans lequel ont été gravés les motifs présente de nombreux défauts de sorte que l'efficacité de la photodiode de la demande US9035409B2 pourrait encore être améliorée s'il était possible de fabriquer 30 un tel guide à onde lente en germanium mais avec moins de défauts. L'efficacité d'une photodiode est le rapport entre la puissance du courant généré par la photodiode lorsqu'un signal optique est détecté, divisé par la puissance du signal optique reçu sur l'entrée de cette photodiode. [7] L'invention vise donc à proposer un procédé de fabrication d'un guide à onde 35 lente en germanium sur une dalle en silicium qui permet d'obtenir un guide à onde lente présentant moins de défauts que celui obtenu à l'aide du procédé décrit dans la demande US9035409B2. Elle a donc pour objet un tel procédé dans lequel le procédé comporte : - la réalisation dans la dalle en silicium d'une cavité dont la section, parallèle au plan 40 de la dalle, est identique à la section horizontale du guide à onde lente et dont le fond 3054724 2 est situé à l'intérieur de la dalle en silicium, puis - l'exécution d'une opération de croissance épitaxiale en phase vapeur du germanium sur le fond de la cavité jusqu'à remplir complètement cette cavité de germanium, le germanium étant ainsi déposé sur la dalle en silicium et, en même temps, structuré 5 pour former les motifs du guide à onde lente, et - avant la mise en oeuvre de ladite opération de croissance épitaxiale, le dépôt d'une couche de protection sur une face supérieure de la dalle en silicium qui entoure la cavité, cette couche de protection étant réalisée dans un matériau sur lequel le germanium ne peut pas croître lors de ladite opération de croissance épitaxiale, ou, 10 après la mise en oeuvre de ladite opération de croissance épitaxiale, le retrait du germanium qui a crû sur cette face supérieure de la dalle en silicium qui entoure la cavité. [8] Les inventeurs ont observé qu'une partie importante des défauts du guide à onde lente fabriqué selon le procédé de la demande US9035409B2 sont causés par 15 l'opération de gravure des motifs dans le germanium. [9] Le procédé ci-dessus de fabrication du guide à onde lente permet de structurer les motifs du guide à onde lente sans qu'il soit nécessaire pour cela de recourir à une opération de gravure du germanium. On obtient donc un guide à onde lente en germanium qui présente des motifs aptes à ralentir la propagation du signal 20 optique tout présentant peu de défauts. [0010] L'invention a également pour objet un procédé de fabrication d'une photodiode sur une dalle en silicium s'étendant principalement dans un plan appelé « plan de la dalle », ce procédé comportant : - la réalisation sur la dalle en silicium d'un premier guide d'onde comportant un ruban 25 apte à guider un signal optique depuis une entrée jusqu'à une sortie, - la réalisation sur la dalle en silicium d'un guide à onde lente en germanium s'étendant le long d'un axe optique à partir d'une entrée couplée optiquement à la sortie du premier guide d'onde, ce guide à onde lente comportant : - une section horizontale, parallèle au plan de la dalle, qui présente un même 30 motif répété avec un pas régulier le long d'un axe optique, ces motifs étant disposés de façon symétrique de part et d'autre de l'axe optique de manière à ce que cet agencement de motifs ralentisse la propagation d'un signal optique le long de l'axe optique à l'intérieur du guide à onde lente, et - deux régions dopées de signes opposés, disposées de part et d'autre de l'axe 35 optique pour capter les porteurs de charges générés par le signal optique qui se propage dans ce guide à onde lente, ce guide à onde lente étant fabriqué en mettant en oeuvre le procédé revendiqué de fabrication d'un guide à onde lente. 3054724 3 [0011] Lorsqu'une photodiode est fabriquée en mettant en oeuvre le procédé revendiqué, le guide à onde lente en germanium de cette photodiode présente moins de défauts dans la zone d'absorption maximum que s'il avait subi une opération de gravure. Par conséquent, l'efficacité de la photodiode fabriquée par le procédé revendiqué est meilleure. [0012] L'invention a également pour objet une photodiode fabriquée par le procédé revendiqué de fabrication d'une photodiode, cette photodiode comportant : - une dalle en silicium s'étendant principalement dans un plan appelé « plan de la dalle », - un premier guide d'onde comportant un ruban apte à guider un signal optique depuis une entrée, destinée à recevoir un signal optique à détecter, jusqu'à une sortie, ce ruban étant formé sur la dalle, - un guide à onde lente en germanium s'étendant le long d'un axe optique à partir d'une première entrée, couplée optiquement à la sortie du premier guide d'onde, ce 15 guide à onde lente comportant : - deux régions dopées de signes opposés disposées de part et d'autre de l'axe optique pour capter les porteurs de charges générés par le signal optique qui se propage dans ce guide à onde lente, et - une section horizontale, parallèle au plan de la dalle, qui présente des motifs 20 disposés de façon symétrique de part et d'autre de l'axe optique et répétés avec un pas régulier p le long de cet axe optique de manière à ralentir la propagation du signal optique dans le guide à onde lente, dans laquelle : - la photodiode comporte une cavité, creusée dans la dalle en silicium, dont le fond 25 est situé à l'intérieur de la dalle en silicium et dont la section, parallèle au plan de la dalle, est identique à la section horizontale du guide à onde lente, et - le guide à onde lente remplit complètement cette cavité et s'étend, dans une direction perpendiculaire au plan de la dalle, depuis le fond de cette cavité jusqu'à une face supérieure située au même niveau ou au-dessus de la face supérieure de la 30 dalle. [0013] Les modes de réalisation de la photodiode peuvent présenter une ou plusieurs des caractéristiques suivantes : ^ la photodiode comporte également : - un deuxième guide d'onde comportant un ruban apte à guider un signal 35 optique depuis une autre entrée, destinée à recevoir un autre signal optique à détecter, jusqu'à une autre sortie, ce ruban étant formé sur la dalle, et - le guide à onde lente comporte, le long de l'axe optique et du côté opposé à la première entrée, une deuxième entrée optiquement couplée à la sortie du 3054724 4 deuxième guide d'onde ; ^ le guide à onde lente comporte un ruban central qui s'étend le long de l'axe optique pour guider le signal optique le long de cet axe optique, et le motif comporte deux dents latérales disposées chacune d'un côté respectif du ruban 5 central et symétriques l'une de l'autre par rapport à un plan longitudinal, ce plan longitudinal étant perpendiculaire au plan de la dalle et contenant l'axe optique, la longueur de chacune de ces dents étant supérieure ou égale à la largeur du ruban central, la longueur d'une dent étant égale à la distance la plus courte entre son extrémité distale et le plan longitudinal et la largeur du 10 ruban central étant égale à la distance la plus courte entre deux flancs verticaux en vis-à-vis de ce ruban central situés chacun d'un côté respectif de l'axe optique et entre deux dents successives ; ^ la longueur de plus d'un tiers des dents est deux fois supérieure ou égale à la largeur du ruban central ; - la dalle comporte des régions dopées de signes opposés directement en contact avec le guide à onde lente, ces régions dopées de la dalle comportant des bords dopés verticaux de la cavité directement en contact mécanique et électrique avec des flancs verticaux du guide à onde lente ; - la sortie du premier guide d'onde est en vis-à-vis et directement en contact mécanique avec la première entrée du guide à onde lente ; - l'épaisseur du guide à onde lente est égale à la profondeur de la cavité. [0014] Les modes de réalisation de la photodiode peuvent présenter un ou plusieurs des avantages suivants : - En équipant la photodiode de deux entrées, il est possible de l'utiliser pour détecter deux signaux optiques différents. Cela permet donc de diviser par deux le nombre de photodiodes nécessaires pour faire ce travail. De plus, grâce à la présence du guide à onde lente interposé entre ces deux entrées, la diaphonie entre ces entrées est très fortement limitée, ce qui rend possible l'utilisation pratique d'une telle photodiode à deux entrées. - Le fait d'utiliser des dents dont la longueur est supérieure à la largeur du ruban central du guide à onde lente permet d'améliorer le taux d'absorption du signal optique guidé. En effet, cette conformation laisse le ruban central inchangé de sorte que la totalité du volume du ruban central est exploité pour récupérer des photons. A l'inverse, dans les modes de réalisation de la demande US9035409B2, les motifs diminuent le volume du ruban central. Le fait d'accroître ce taux d'absorption permet, à performance identique, de concevoir des photodiodes plus courtes. - Le fait d'utiliser des dents au moins deux fois plus longue que la largeur du ruban 3054724 5 central permet en plus d'augmenter la largeur spectrale de la bande interdite. La bande interdite est ici définie comme étant la bande de longueurs d'onde à l'intérieur de laquelle l'atténuation du signal optique dépasse -27 dB. - Le fait que les bords dopés de la cavité soient directement en contact mécanique et 5 électrique avec les flancs dopés du guide à onde lente limitent l'intensité du courant d'obscurité (« dark current » en anglais) dans la photodiode. - Le fait d'avoir la sortie du premier guide d'onde directement en contact avec l'entrée du guide à onde lente limite les pertes causées par le couplage optique entre la sortie de ce premier guide d'onde et l'entrée du guide à onde lente. 10 - Le fait que l'épaisseur du guide à onde lente soit égale à la profondeur de la cavité dans laquelle il est reçu permet de fabriquer une photodiode très plane et donc peu encombrante et compatible avec les interconnexions électriques utilisées couramment en électronique. [0015] L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, 15 donnée uniquement à titre d'exemple non limitatif et faite en se référant aux dessins sur lesquels : - La figure 1 est une illustration schématique, en perspective, d'une photodiode ; - La figure 2 est une illustration schématique et partielle, en vue de dessus, de la photodiode de la figure 1 ; 20 - La figure 3 est une illustration schématique, en vue de dessus, d'une dent d'un guide à onde lente de la photodiode de la figure 1 ; - Les figures 4 et 5 sont des illustrations schématiques, en coupe transversale à deux endroits différents, du guide à onde lente de la photodiode de la figure 1 ; - La figure 6 est un graphe représentant le taux de transmission de la photodiode de 25 la figure 1 en fonction de la longueur d'onde du signal optique et pour différentes longueurs des dents de la figure 3; - La figure 7 est une illustration schématique d'un dispositif incorporant la photodiode de la figure 1 ; - La figure 8 est un organigramme d'un procédé de fabrication de la photodiode de la 30 figure 1 ; - Les figures 9 à 15 sont des illustrations schématiques, en coupe transversale, de différents états de fabrication de la photodiode de la figure 1 ; - Les figures 16 et 17 sont des illustrations schématiques et partielles, en vue de dessus, d'un troisième et d'un quatrième modes de réalisation d'une photodiode. 35 [0016] Dans ces figures, les mêmes références sont utilisées pour désigner les mêmes éléments. Dans la suite de cette description, les caractéristiques et fonctions bien connues de l'homme du métier ne sont pas décrites en détail. 3054724 6 [0017] La figure 1 représente une photodiode 2 à deux entrées 6 et 8. La photodiode 2 est apte à détecter un signal optique qui entre, en alternance, par l'entrée 6 et l'entrée 8. Plus précisément, la photodiode 2 convertit le signal optique en un signal électrique généré entre deux prises de contact 10 et 12 (figures 4 et 5). 5 Typiquement, la longueur d'onde À du signal optique à détecter est comprise entre 1260 nm et 1625 nm et, de préférence entre 1260 nm et 1360 nm (bande O) ou entre 1530 nm et 1565 nm (bande C). Ici, la longueur d'onde À est égale à 1310 nm. [0018] La photodiode 2 comporte une dalle 14 en silicium qui s'étend dans un plan horizontal PD appelé « plan de la dalle ». Dans cette demande, les figures sont 10 orientées par rapport à un repère orthogonal XYZ. Les directions X et Y sont horizontales et la direction Y est parallèle à un axe optique 14 le long duquel se propage le signal optique à l'intérieur de la photodiode 2. La direction Z représente la verticale. Dans ce texte, les termes tels que « supérieur », « inférieur », « dessus », « dessous » sont définis par rapport à la direction Z. 15 [0019] Ici, les expressions « éléments réalisés en matériau M », « éléments en matériau M » ou « éléments M » désignent le fait que plus de 95 % et, de préférence, plus de 97 % ou 99 % de la masse de cet élément est constitué par le matériau M. [0020] Dans ce mode de réalisation, la dalle 14 est formée par la couche en silicium monocristallin d'un substrat SOI (« Silicon-On-Insulator »). Par conséquent, elle 20 s'étend directement sur une couche diélectrique 16 elle-même directement déposée sur un substrat 18. [0021] L'épaisseur e14 de la dalle 14 est typiquement supérieure à 50 nm ou 100 nm et généralement inférieure à 1 lm. Ici, l'épaisseur e14 est égale à 300 nm. [0022] La dalle 14 présente une face supérieure horizontale 20 du côté opposé au 25 substrat 18. [0023] La couche 16 est réalisée dans un matériau dont l'indice de réfraction est strictement inférieur à celui du silicium. Par exemple, la couche 16 est réalisée en oxyde de silicium (SiO2) ou en nitrure de silicium. Le substrat 18 est par exemple en silicium. Son épaisseur est typiquement supérieure à 140 lm ou 500 lm ou 725 lm. 30 [0024] La photodiode 2 comporte deux guides d'onde 22 et 24 ainsi qu'un guide à onde lente 26 en germanium réalisés sur la face supérieure 20. Dans ce mode de réalisation, la photodiode 2 est symétrique par rapport à un plan longitudinal vertical PL contenant l'axe optique 14 et par rapport à un plan médian vertical PM perpendiculaire à l'axe 14. Les guides 22 et 24 sont chacun disposés d'un côté 35 respectif du plan médian PM et seul le guide 22 est décrit plus en détail. [0025] Le guide 22 comporte un ruban 28 rectiligne qui s'étend le long de l'axe 14 depuis l'entrée 6 jusqu'à une sortie 30. Le ruban 28 est conformé pour guider le signal optique reçu sur l'entrée 6 jusqu'à la sortie 30. Ici, il est conformé pour guider un seul mode du signal optique de sorte que le guide d'onde 22 est un guide d'onde monomode. Par exemple, la section transversale du ruban 28 est rectangulaire. Dans 3054724 7 ce mode de réalisation, le ruban 28 est en silicium monocristallin. Il ne forme qu'un seul bloc de matière avec la dalle 14. [0026] L'épaisseur e28 du ruban 28 est ici constante. Généralement, l'épaisseur e28 est inférieure ou égale à l'épaisseur e14 de la dalle 14. Par exemple, l'épaisseur e28 est 5 supérieure ou égale à 50 nm ou 100 nm et, de préférence, inférieure à 250 nm ou 500 nm. Ici, l'épaisseur e28 est égale à 150 nm. [0027] Dans ce mode de réalisation, à l'intérieur d'une zone de transition 22E (Figure 2), la section transversale du ruban 28 s'évase, dans la direction X, au fur et à mesure que l'on se rapproche de la sortie 30. Ainsi, la section transversale de la 10 sortie 30 est plus large que la section transversale de l'entrée 6. Une telle zone de transition améliore le couplage optique entre les guides 22 et 26. [0028] Par la suite, lorsque l'on parle de « largeur » du guide 22, on désigne la largeur du ruban 28 mesurée dans la direction X. Plus précisément, par largeur du guide 22, on désigne la distance la plus courte, mesurée dans la direction X, entre 15 des flancs latéraux verticaux du ruban 28. Cette largeur est comprise entre 200 nm et 3 lm. Ici, cette largeur est notée W6 au niveau de l'entrée 6 et W30 au niveau de la sortie 30. Ici, W6 est égale à 0,4 lm et W30 est égale à 0,6 lm. La longueur du guide 22, dans la direction Y, est supérieure à À. [0029] Le guide 26 comporte des motifs répétés périodiquement dans la direction Y. 20 Ces motifs sont agencés de manière à former un cristal photonique capable de ralentir la propagation du signal optique de longueur d'onde À qui se propage le long de l'axe 14. Dans ce mode de réalisation, les motifs sont des dents 40 réparties à intervalles réguliers sur des flancs latéraux verticaux d'un ruban central 32 du guide 26. Les dents 40 et le ruban 32 sont décrits plus en détail en référence aux figures 2 25 à 5. [0030] Le ruban 32 est rectiligne et s'étend le long de l'axe 14 entre deux entrées 34 et 36 disposées chacune d'un côté opposé. Dans ce mode de réalisation, les entrées 34 et 36 sont confondues, respectivement, avec la sortie 30 et la sortie du guide 24. [0031] Ici, la section transversale du ruban 32 est rectangulaire. Sa largeur, notée 30 W32 est typiquement comprise entre 200 nm et 3 lm. Ici, la largeur W32 est égale à la largeur de la section transversale de la sortie 30. [0032] La largeur W32 est définie uniquement entre deux dents 40 immédiatement consécutives. Entre deux dents 40 immédiatement consécutives, la largeur W32 est prise égale à la distance la plus courte, mesurée dans la direction X, entre les flancs 35 latéraux verticaux en vis-à-vis du ruban 32 situés de chaque côté de l'axe 14. Cette largeur W32 est ici constante. [0033] Dans ce mode de réalisation, le ruban 32 comme les dents 40 sont réalisées dans un seul et même bloc de germanium. 3054724 8 [0034] La figure 2 représente plus en détail la photodiode 2. Sur cette figure, les pointillés indiquent qu'une portion centrale du guide 26 n'a pas été représentée pour simplifier l'illustration. [0035] Les zone de transition 22E et 24E des guides 22 et 24 sont représentées sur 5 cette figure 2. [0036] Le guide 26 s'étend le long de l'axe 14 sur une longueur L26 supérieure à dmin et, de préférence, supérieure à 2dmin ou 5dmin. dmin est définie par la relation suivante : dmin = Max[À ; 5p], où : - Max[...] est la fonction qui retourne la plus grande des valeurs listées entre les 10 crochets, - À est la longueur d'onde du signal optique, et - p est le pas entre les dents 40 et sera décrit plus loin. [0037] Typiquement, L26 est supérieure à 1 lm ou 10 lm ou 15 lm et, généralement, inférieure à 1 mm ou 6 mm. Dans la plus part des cas, la longueur L26 est compris 15 entre 1 lm et 50 lm. Ici, la longueur L26 est égale à 15 lm. [0038] Les dents latérales 40 sont disposées de façon périodique dans la direction Y de manière à ralentir la propagation du signal optique dans cette direction. Pour simplifier la figure 2, la référence 40 n'a été indiquée que pour quelques-unes des dents représentées sur cette figure. Un agrandissement d'une telle dent 40 est 20 également visible sur la figure 3. [0039] Chaque dent 40 s'étend, le long d'une direction 41 (figure 3) d'extension depuis une extrémité proximale 42 jusqu'à une extrémité distale 44. Typiquement, la direction 41 est centrée sur la dent 40 et passe par le centre géométrique de cette dent 40. Le centre géométrique d'une dent est le barycentre de tous les points 25 appartenant à cette dent en affectant le même poids à chacun de ces points. Les directions 41 des dents 40 situées du même côté de l'axe 14 sont parallèles entre elles. Ici, la direction 41 est sensiblement parallèle à la direction X. Ainsi, dans ce mode de réalisation, l'angle a entre la direction 41 et l'axe 14 est égal à 90° à plus ou moins 3° près ou plus ou moins 5° près. L'extrémité proximale 42 est ancrée dans les 30 flancs latéraux du ruban 32. Ainsi, le flanc latéral du ruban 32 situé entre deux dents 40 consécutives relie les extrémités proximales 42 de ces deux dents. Pour cela, il s'étend d'une extrémité proximale 42 jusqu'à la suivante dans la direction Y. [0040] Chaque dent 40 ne forme qu'un seul bloc de matière avec le ruban 32. [0041] Chaque dent 40 comporte un point 46 d'intersection respectif entre sa 35 direction 41 d'extension et l'axe 14. [0042] La dent 40 comporte deux flancs latéraux verticaux 50, 52 qui s'étendent chacun depuis l'extrémité proximale 42 jusqu'à l'extrémité distale 44. Ici, ces flancs 50 et 52 sont plats et tous les deux parallèles à la direction X. Dans ce mode de réalisation, l'extrémité distale 44 est également plane. Elle est formée par un plan 3054724 9 vertical parallèle à la direction Y. Ainsi, dans ce mode de réalisation, la section horizontale de la dent 40 est rectangulaire. [0043] La largeur W40 des dents 40 dans la direction Y est constante. Par exemple, la largeur W40 est comprise entre p/5 et p/(1,2) et, de préférence, égale à p/2. Ici, le 5 facteur de forme des dents 40 est inférieur à dix et, de préférence, inférieur à 3,5. De préférence, le facteur de forme des dents 40 est compris entre 1,1 et 3,1. Le facteur de forme de la dent 40 est égal au rapport de la longueur sur la largeur du plus petit rectangle horizontal contenant entièrement la dent 40 et son point 46 d'intersection. Ici, le facteur de forme est égal à L40/W40, où Le est la longueur de la dent 40. La 10 longueur 1-40 est la distance la plus courte, dans la direction X, entre l'axe 14 et l'extrémité distale 44 de cette dent. [0044] Les dents 40 sont disposées avec un pas p régulier dans la direction Y de part et d'autre de l'axe 14. Le pas p est égal à la distance qui sépare deux points 46 d'intersection immédiatement consécutifs le long de l'axe 14. Le pas p est inférieur à 15 À/neff et, de préférence, égale à À/(2neff)où ne est l'indice effectif de propagation du mode optique se propageant dans le guide 26. L'indice ne est aussi connu sous le nom de « constante de phase du mode ». Il est défini par la relation suivante : ng = ne' - Àdneff/dÀ, où ng est l'indice de groupe. [0045] Le pas p est généralement supérieur à 50 nm. Dans la plus part des cas, le 20 pas p est compris entre 100 nm et 2 lm. Ici, pour les applications numériques, le pas p est pris égal à 170 nm. [0046] Le facteur de remplissage du guide 26 est défini comme étant égal au rapport S1/S2 où : - S1 est la surface de la projection orthogonale du guide 26 sur un plan horizontal, 25 c'est-à-dire la surface de la projection orthogonale des parties réalisées en germanium du guide 26, et - S2 est la surface de la projection orthogonale de la plus petite enveloppe convexe qui contient entièrement la projection orthogonale du guide 26 sur ce même plan horizontal. 30 [0047] Ainsi, plus le facteur de remplissage est faible, plus la surface de germanium à l'intérieur du guide 26 est faible. Typiquement, le facteur de remplissage est compris entre 0,25 et 0,75 ou entre 0,45 et 0,55. Ici, le facteur de remplissage est choisi égal à 0,5. [0048] La figure 4 représente une coupe verticale, parallèle au plan XZ, qui coupe le 35 guide 26 entre deux dents 40. Ainsi, sur cette figure, seul le ruban 32 du guide 26 est visible. Le guide 26 est logé à l'intérieur d'une cavité 60 creusée dans la dalle 14. La cavité 60 comporte un fond horizontal 62 et des bords verticaux 64 réalisés à l'intérieur de la dalle 14. 3054724 10 [0049] En pratique, à cause d'imperfections dans le procédé de fabrication de la photodiode 2, les bords verticaux et les flancs verticaux ne sont pas parfaitement verticaux. Par exemple, l'angle entre les bords ou flancs verticaux et l'horizontale est compris entre 80° et 100°. Sur les figures, ces imperfections n'ont pas été 5 représentées. [0050] La profondeur P6o de la cavité 60 est strictement inférieure à l'épaisseur e14 de la dalle 14. Par exemple, l'écart entre l'épaisseur e14 et la profondeur P60 est supérieur ou égal à 20 nm ou 30 nm de sorte qu'il subsiste une fine couche de silicium sous la cavité 60. Ici, l'écart entre l'épaisseur e14 et la profondeur P6o est égale à 50 nm. Pour 10 les simulations numériques, la profondeur P 60 est choisie égale à 250 nm. [0051] La section horizontale de la cavité 60 est identique à la section horizontale du guide 26 décrite en référence aux figures 2 et 3. [0052] Le guide 26 s'étend verticalement depuis une face horizontale inférieure 66 jusqu'à une face supérieure 68 du côté opposé. Les faces 66 et 68 sont reliées l'une 15 à l'autre par des flancs latéraux verticaux 70 du guide 26. La face 66 est plane et repose directement sur le fond 62 de la cavité 60. [0053] L'épaisseur e26 du guide 26 correspond à la distance la plus courte entre les faces 66 et 68. Ici, l'épaisseur e26, en tous points du guide 26, est strictement supérieure à la profondeur P 60 de sorte que la face 68 est située au-dessus de la face 20 20 de la dalle 14. Par exemple, l'épaisseur e26 est telle que la relation suivante soit vérifiée : e26 = P60 + e22. Généralement, l'épaisseur e26 est inférieure à 2P60. De préférence, l'épaisseur e26 est égale à P60 + e22 à plus ou moins 10 nm près ou plus ou moins 20 nm près. [0054] La partie inférieure des flancs verticaux 70 repose directement sur les bords 25 verticaux 64 en vis-à-vis de la cavité 60. La partie supérieure des flancs verticaux 70 fait saillie au-delà de la face 20 de la dalle 14. [0055] Pour obtenir un courant à partir des charges électriques générées par le signal optique lorsqu'il interagit avec le germanium, le guide 26 est agencé pour former une diode PiN (« Positive intrinsic Negative »). À cet effet, dans la direction X, 30 le guide 26 comporte trois régions contiguës de dopages différents, à savoir : - une région 72 dopée P, - une région intrinsèque 74 (« intrinsic region » en anglais), et - une région 76 dopée N. [0056] Ici, la région 74 s'étend le long de l'axe 14 et les régions 72 et 76 sont situées 35 de part et d'autre du plan longitudinal PL. Les régions 72 et 76 comportent chacune des flancs verticaux 70 respectifs. [0057] Pour qu'un courant puisse traverser la photodiode 2, la région 72 est électriquement raccordée à la prise 10 par l'intermédiaire d'une région 80 dopée P réalisée à l'intérieur de la dalle 14. Plus précisément, la région 80 s'étend du bord 40 vertical 64 de la cavité 60, directement en contact avec le flanc vertical 70 de la 3054724 11 région 72, jusqu'à une extrémité inférieure de la prise 10. La région 76 est électriquement raccordée à la prise 12 par l'intermédiaire d'une région 82 dopée N réalisée dans la dalle 14. La région 82 s'étend d'un bord vertical 64 de la cavité 60, directement en contact avec un flanc vertical 70 de la région 76, jusqu'à l'extrémité 5 inférieure de la prise 12. [0058] La partie supérieure du guide 26 qui fait saillie au-dessus de la face 20 de la dalle 4 est encapsulée dans un matériau diélectrique 84. Le matériau 84 a un indice de réfraction inférieur à celui du silicium et du germanium. Typiquement, le matériau 84 est du SiO2 ou du SiN. Les prises 10 et 12 traversent verticalement ce matériau 10 84 pour atteindre, respectivement, les régions 80 et 82. [0059] La figure 5 représente en coupe verticale, parallèlement au plan XZ, le guide 26 au niveau d'une paire de dents 40. [0060] La figure 6 représente l'évolution du coefficient de transmission T(À), exprimé en décibels (dB), de la photodiode 2 en fonction de la longueur d'onde À du signal 15 optique qui la traverse dans un sens allant de l'entrée 6 vers l'entrée 8. Le coefficient T(À) est égal au rapport : - de la puissance du signal optique au niveau de l'entrée 8, sur - la puissance du signal optique au niveau de l'entrée 6. [0061] Les courbes 90 à 95 ont été obtenues par simulation numérique et, plus 20 précisément, par la méthode FDTD-3D (« Finite-Difference Time-Domain 3 Dimensions »). [0062] Les courbes 91 à 95 ont été obtenues en simulant la photodiode 2 pour différentes longueurs L40 des dents 40 comprises entre 0,45 lm et 1,24 lm. La courbe 90 est une courbe de référence correspondant à un cas où le guide 26 est 25 dépourvu de dent (L40 = W32/2). On rappelle ici que la largeur W32 du ruban 32 est de 0,6 lm de sorte que la longueur L40, telle que définie précédemment, doit être supérieure à 0,3 pm pour que la dent 40 fasse saillie au-delà des flancs verticaux 70 du ruban 32. [0063] Ici, les courbes 90 à 95 correspondent, respectivement, aux longueurs L40 30 suivantes : 0,45 lm ; 0,6 lm ; 0,77 lm ; 0,92 lm ; 1,08 µm et 1,24 lm. [0064] Ce graphe montre que même pour une longueur L40 faible, le taux T(À) présente un minimum inférieur à 25 dB pour une longueur d'onde À d'environ 1,3 lm. Par conséquent, même dans ce cas, la majorité du signal optique entrant est absorbée par le guide 26. La photodiode 2 présente donc un taux d'absorption 35 supérieur à 1,5 dB/µm. [0065] De plus, ce graphe montre aussi que la longueur Le peut être ajustée expérimentalement ou par simulation numérique pour atteindre des taux T(À) de transmission encore plus faibles. Par exemple, ici, pour une longueur Le égale à 0,92 lm (courbe 93), il est possible d'obtenir un taux T(À) inférieur à 40 dB et donc un 40 taux d'absorption encore plus élevé. Enfin, il est aussi possible d'adapter la longueur 3 0 5 4 72 4 12 Le pour élargir la bande interdite du guide 26. Par exemple, ici, une longueur L40 égale à 1,24 lm (courbe 95) permet d'obtenir une bande interdite beaucoup plus large qu'avec une longueur Le égale à 0,92 lm. [0066] La figure 7 représente un dispositif 100 incorporant la photodiode 2 pour 5 détecter un signal optique circulant dans un guide d'onde 102 dans un sens A et, en alternance, dans un sens opposé B. Dans ce mode de réalisation, le dispositif 100 comporte un anneau résonant 104 couplé optiquement au guide 102, par exemple, par un couplage évanescent. Cet anneau 104 comporte : - une portion 106 qui s'étend à proximité du guide 102 est qui est couplée 10 optiquement à ce guide par le couplage évanescent, - la photodiode 2, - une portion recourbée 108 qui raccorde optiquement une extrémité 106G de la portion 106 à l'entrée 6 de la photodiode 2, et - une autre portion recourbée 110 qui raccorde optiquement une extrémité 106D de la 15 portion 106 à l'entrée 8 de la photodiode 2. [0067] Lorsqu'un signal optique se propage dans le sens A, une fraction de ce signal optique est transmise à l'anneau 104 par l'intermédiaire du couplage évanescent. Cette fraction de signal optique se propage alors à l'intérieure des portions 106 et 110 jusqu'à l'entrée 8. Ensuite, cette fraction du signal optique est détectée par la 20 photodiode 2. Comme indiqué précédemment, cette fraction du signal optique est pratiquement totalement absorbée par le guide 26 de sorte que la puissance de cette fraction de signal optique restituée sur l'entrée 6 est infime. Ainsi, cela ne perturbe pas le signal optique qui circule dans le guide 102. [0068] Lorsque le signal optique se propage dans le guide 102 dans le sens B, le 25 fonctionnement du dispositif 100 est le même sauf que la fraction du signal optique à détecter est reçue sur l'entrée 6 et non pas sur l'entrée 8 de la photodiode 2. La même photodiode 2 permet donc de détecter deux signaux optiques différents. [0069] La fabrication de la photodiode 2 va maintenant être décrite à l'aide de l'organigramme de la figure 8 et en référence aux figures 9 à 15. 30 [0070] Le procédé débute par une étape 118 de fourniture d'un substrat SOI 124 (Figure 9) correspondant à l'empilement du substrat 18, de la couche 16 et de la dalle 14. [0071] Ensuite, lors d'une étape 120, les guides 22 et 24 sont fabriqués. La fabrication d'un guide d'onde en forme de « rib » tels que les guides 22 et 24 est bien 35 connue. Ainsi, cette étape n'est pas décrite en détail. Par exemple, les rubans 28 des guides 22, 24 sont fabriquées par gravure et amincissement de l'épaisseur de la dalle 14. [0072] Lors d'une étape 126, une couche 128 de protection (Figure 10) est déposée sur la face supérieure 20 de la dalle 14. Cette couche 128 est réalisée dans un 3054724 13 matériau sur lequel le germanium ne peut pas croître lors d'une opération de croissance du germanium par épitaxie en phase vapeur. Par exemple, la couche 128 est réalisée en dioxyde de silicium. Son épaisseur est typiquement supérieure ou égale à 50 nm et généralement inférieure à 1 lm. 5 [0073] Ensuite, lors d'une étape 130, une cavité 132 (Figure 12) ayant la même section horizontale que le guide 26 est creusée dans la couche 128 à l'emplacement où doit être réalisée la cavité 60. Par exemple, la cavité 132 est réalisée par photolithographie. À cet effet, lors d'une opération 134, une couche 136 (Figure 11) de résine photosensible est déposée sur la face supérieure de la couche 128. Puis un 10 évidement 138 (Figure 11) qui traverse de part en part l'épaisseur de la couche 136 de résine est réalisé pour mettre à nu la portion de la face supérieure de la couche 128 à graver. La section horizontale de l'évidement 138 est identique à la section horizontale du guide 26. [0074] Ensuite, lors d'une opération 142, la couche 128 est gravée à travers 15 l'évidement 138 pour obtenir la cavité 132. [0075] Lors d'une étape 144 (figure 13), la couche 136 de résine est retirée pour mettre à nu la face supérieure de la couche 128 dans laquelle la cavité 132 a été réalisée. [0076] Lors d'une étape 148, la cavité 132 (figure 14) est prolongée, dans la 20 direction verticale, à l'intérieur de la dalle 14 pour réaliser la cavité 60 dans cette dalle 14. Lors de cette étape 148, la couche 128 est donc utilisée comme un masque, c'est-à-dire que la dalle 14 est gravée à travers la cavité 132. La gravure de la dalle 14 est interrompue avant d'atteindre la couche 16 pour qu'il subsiste une fine couche de silicium d'au moins 30 nm d'épaisseur entre le fond 62 de la cavité 60 et la couche 25 16. [0077] Lors d'une étape 150 (figure 15), on exécute l'opération de croissance épitaxiale en phase vapeur de germanium sur le fond 62 de la cavité 60 jusqu'à remplir complètement cette cavité 60. Typiquement, cette opération est réalisée en mettant en oeuvre une méthode connue sous l'acronyme RP-CVD (« Reduced 30 Pressure Chemical Vapor Deposition »). Pour cela, une faible épaisseur de germanium est d'abord déposée sous faible température directement sur le fond 62. Par exemple, par faible température, on désigne une température inférieure à 400 °C. Lors de cette première phase, la température est également généralement supérieure à 200 °C. Par faible épaisseur, on désigne une épaisseur inférieure à 50 nm et 35 généralement supérieure ou égale à 30 nm. Ici, lors de la première phase, l'épaisseur de germanium déposée sur le fond 62 est de 40 nm. [0078] Ensuite, on procède à une deuxième phase de croissance sous température plus élevée de la couche de germanium à l'intérieur de la cavité 60. Typiquement, lors de la deuxième phase, la température est supérieure à 650 °C ou 700 °C. Ici, elle est 40 de 730 °C. Cette deuxième phase est utilisée pour déposer 410 nm de germanium à 3054724 14 l'intérieur de la cavité 60 et donc complètement remplir cette cavité. À ce stade, l'épaisseur de germanium est égale à l'épaisseur e26 souhaitée. [0079] Un tel procédé est par exemple décrit dans l'article suivant : Vivien L. et Al : «42 GHz p.i.n Germanium photodetector integrated in a silicon-on-insulator 5 waveguide », Optics Express, Vol. 17, N°8, 13/4/2009, pages 6252-6257. Par la suite cet article est désigné par le terme « Vivien2009 ». Ce procédé n'est donc pas décrit ici plus en détail. [0080] Lors de l'étape 150, l'épaisseur e26 de germanium déposée reste inférieure à l'épaisseur critique au-delà de laquelle le nombre de défauts de dislocation du 10 germanium devient très important. De plus, typiquement, l'épaisseur e26 est ajustée pour que la face supérieure 68 du guide 26 soit, en tout point, située à une altitude inférieure à 500 nm et, de préférence, inférieure à 200 nm ou 100 nm au-dessus du plan horizontal contenant la face 20 de la dalle 14. [0081] Lors de l'étape 150, le germanium croît uniquement à l'intérieur de la cavité 15 60 et non pas sur la couche 128. Ainsi, en même temps que le germanium est déposé sur la dalle 14, les dents 40 sont formées car la section transversale de la cavité 60 est identique à celle souhaitée pour le guide d'onde 26. [0082] Lors d'une étape 152, la couche 128 est retirée et l'on procède alors au dopage localisé du germanium 26 et de la dalle 14 pour obtenir les régions dopées 20 72, 76, 80 et 82. Ce dopage est nécessaire pour récupérer le photo-courant. [0083] Lors d'une étape 154, le guide 26 est encapsulé dans la couche 84. [0084] La figure 16 représente une partie gauche d'une photodiode 190. Les autres parties de la photodiode 190 se déduisent par symétrie par rapport au plan médian PM. La photodiode 190 est identique à la photodiode 2 sauf que le guide 22 est 25 remplacé par deux guides d'onde 192 et 194. Ici, le guide 194 est le symétrique du guide 192 par rapport au plan longitudinal PL. Le guide 192 comporte une entrée 196 et une sortie 198. Le guide 192 est par exemple construit de façon similaire ou identique à ce qui a été décrit pour le guide 22 sauf qu'il est dépourvu de zone de transition. La sortie 198 est en contact direct avec l'entrée 34 du guide 26. 30 [0085] Dans ce mode de réalisation, la photodiode 190 comporte plusieurs entrées raccordées à la même entrée 34 du guide 26. Ce mode de réalisation permet d'augmenter encore plus le nombre d'entrées de la photodiode et donc de limiter encore plus le nombre de photodiodes à utiliser pour détecter des signaux optiques qui se propagent, en alternance, dans plusieurs guides d'onde différents. 35 [0086] La figure 18 représente une partie gauche d'une photodiode 200. Les autres parties de la photodiode 200 se déduisent par symétrie par rapport au plan PM. [0087] La photodiode 200 est identique à la photodiode 2 sauf que le guide 26 est remplacé par un guide à onde lente 202. Le guide 202 est identique au guide 26 sauf que les dents 40 sont remplacées par des plots 204. Ces plots sont issus de la dalle 40 14 par une protection avant gravure de la cavité 60. Le guide 200 est similaire à celui 3054724 15 décrit en référence à la figure 1 de la demande US9035409B2 et seuls quelques détails sont donnés ici. [0088] Les plots 204 sont répétés, avec le pas p le long de l'axe 14. Chaque plot 204 est un cylindre vertical dont la section transversale est par exemple circulaire. Il 5 s'étendant depuis le fond 62 de la cavité 60 jusqu'à la face supérieure 68 du guide à onde lente. Par exemple, la partie inférieure de chaque plot qui est situé à l'intérieur de la cavité 60 est réalisée en silicium monocristallin. La partie inférieure de chaque plot 204 ne forme qu'un seul bloc de matière avec la dalle 14. La partie supérieure du plot 204 qui dépasse au-dessus de la face 20 est par exemple réalisée en oxyde de 10 silicium. Avec ce choix des matériaux pour le plot 204, la photodiode 200 est fabriquée avec le même procédé que celui de la figure. [00891 Variante du guide à onde lente. [0090] Ce qui a été décrit ci-dessus s'applique aussi au cas où la photodiode est une diode PN (Positive Negative). Dans ce dernier cas, la région intrinsèque 74 est omise. 15 [0091] Dans une autre variante, en tout point du guide 26, l'épaisseur e26 est égale à la profondeur P60. Dans ce cas, la face supérieure 68 du guide 26 affleure la face supérieure 20 de la dalle 14. [0092] Une fine couche d'oxyde de silicium inférieure à 5 nm d'épaisseur peut exister entre les bords verticaux de la cavité 60 et les flancs verticaux 70 du guide à 20 onde lente. [0093] Dans une autre mode de réalisation, les régions dopées 72, 76 sont omises. Dans ce mode de réalisation, le dopage est alors uniquement réalisé dans la dalle 14 et seuls les régions 80 et 82 sont dopées. Un tel dopage peut alors aussi être réalisé dans le substrat SOI 124, avant l'étape 118, par des implantations localisées d'ions 25 (Bore/Phosphore par exemple). Dès lors, l'étape 152 peut aussi être omise. [0094] Le guide à onde lente n'est pas nécessairement symétrique par rapport au plan médian Pm. Par exemple, la zone de transition 22E peut être plus courte ou plus longue que la zone 24E. [0095] En variante, l'angle entre la direction 41 d'extension des dents 40 et l'axe 14 30 est différent de 90°. Par exemple, cet angle est compris entre 30° et 150° ou entre 45° et 135°. Ainsi, dans ces modes de réalisation, les dents sont inclinées soit vers l'avant soit vers l'arrière par rapport à la direction de propagation du signal optique. [0096] Les dents 40 peuvent avoir d'autres formes. En particulier, il n'est pas nécessaire que la section horizontale de ces dents soit rectangulaire. Par exemple, la 35 section horizontale de la dent 40 peut aussi être triangulaire, carrée, circulaire ou autres. La dent 40 peut aussi avoir une section horizontale identique à celle représentée dans l'un des articles suivants : - A. Brimont et al, « High speed silicon electro-optical modulators enhanced via slow light propagation », Optics express 20876, 14/14/2011, Vol 19, no 21 ; 40 - Shayan Mookherjea et al, « Localisation in silicon nanophotonic slow - light 3054724 16 waveguides », Nature photonics, vol 2, 02/2008. [0097] La longueur L40 peut être supérieure à 2À. Toutefois, dans ce cas, la partie de la dent 40 qui s'étend au-delà de 2À a très peu d'influence sur le fonctionnement du guide à onde lente. Dès lors, lorsque la longueur L40 est supérieure à 2À, la longueur 5 des dents 40 peut être quelconque à partir du moment où elle reste supérieure à 2À. En particulier, dans ce cas, il n'est pas nécessaire que toutes les dents 40 du guide 26 aient la même longueur. De même, dans ce cas, les dents 40 dont les longueurs sont supérieures à 2À n'ont pas besoin d'être symétriques, par rapport au plan PL. [0098] La largeur du ruban 32 du guide 26 n'est pas nécessairement constante. Par 10 exemple, cette largeur peut varier progressivement jusqu'à un minimum situé à équidistance des deux entrées. [0099] En variante, le même guide à onde lente est utilisé pour ralentir simultanément plusieurs signaux optiques ayant des longueurs d'onde différentes. Par exemple, dans ce cas, chaque longueur d'onde différente correspond à un point 15 de fonctionnement respectif du guide à onde lente. [00100] Variante des guides d'onde en silicium : [00101] Le guide d'onde en silicium peut être remplacé par un guide d'onde en silicium multimode. [00102] Dans un autre mode de réalisation, le ruban 28 en silicium est séparé de la 20 dalle en silicium par une fine couche d'un autre matériau comme par exemple, une couche d'oxyde de silicium. Dans une autre variante, le ruban 28 est réalisé dans un matériau différent du matériau de la dalle 14, comme cela est décrit dans la demande US8761220. Par exemple, le ruban est réalisé en silicium polycristallin. [00103] Dans une autre variante, le guide d'onde 24 est omis de sorte que la 25 photodiode ne comporte plus qu'une seule entrée. [00104] En variante, la zone de transition entre les guides 22 et 26 est omise. Par exemple, la section transversale du guide 22 est constante depuis l'entrée 6 jusqu'à la sortie 30. [00105] Dans un autre mode de réalisation, les guides 22 et 24 sont différents. Par 30 exemple, ils sont conformés pour guider des signaux optiques différents. [00106] Autres variantes : [00107] L'oxyde de silicium utilisé pour encapsuler le guide 26 et les guides 22 et 24 peut être remplacé par un autre matériau comme du nitrure de silicium. [00108] Enfin, les photodiodes décrites précédemment, et en particulier les 35 photodiodes à deux entrées en vis-à-vis, peuvent aussi être fabriquées par d'autres procédés que le procédé de la figure 8. Par exemple, en variante, la couche 128 est omise lors du procédé de fabrication. Dans ce cas, lors de l'étape de croissance du germanium, la couche de germanium croit également non seulement à l'intérieur de la cavité 60 mais aussi sur la totalité de la face 20 de la dalle 14 en silicium. Ensuite, 40 une étape de polissage, par exemple un polissage mécanico-chimique ou CMP 3054724 17 (Chemical Mecanical Polissing) est mise en oeuvre pour éliminer l'épaisseur de germanium présent sur la face supérieure 60 de la dalle 14 sans pour autant retirer l'épaisseur de germanium logé à l'intérieur de la cavité. En procédant ainsi, on obtient un guide à onde lente identique au guide 26 sauf que l'épaisseur e26 de ce guide est 5 égale à la profondeur P60 de la cavité 60. Les autres étapes de fabrication de la photodiode sont, par exemple, identiques à celles précédemment décrites. [00109] Un autre procédé possible de fabrication des photodiodes décrites, consiste à remplacer la couche 128 de protection par une une couche d'arrêt identique mais réalisée dans un matériau sur lequel le germanium peut croître par épitaxie lors de 10 l'étape (150). Ensuite, la couche de germanium qui a crû sur cette couche d'arrêt est retirée par polissage, par exemple par un polissage CMP, en utilisant cette couche d'arrêt comme couche d'arrêt de ce polissage. Puis, la couche d'arrêt est elle-même retirée ou non. REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication d'une guide à onde lente en germanium sur une dalle en silicium s'étendant principalement dans un plan appelé « plan de la dalle », ce guide à onde lente comportant une section horizontale, parallèle au plan de la dalle, qui présente un même motif répété avec un pas régulier le long d'un axe optique, ces motifs étant disposés de façon symétrique de part et d'autre de l'axe optique de manière à ce que cet agencement de motifs ralentisse la propagation du signal optique le long de l'axe optique à l'intérieur du guide à onde lente, caractérisé en ce que le procédé comporte : - la réalisation (148) dans la dalle en silicium d'une cavité dont la section, parallèle au plan de la dalle, est identique à la section horizontale du guide à onde lente et dont le fond est situé à l'intérieur de la dalle en silicium, puis - l'exécution (150) d'une opération de croissance épitaxiale en phase vapeur du 15 germanium sur le fond de la cavité jusqu'à remplir complètement cette cavité de germanium, le germanium étant ainsi déposé sur la dalle en silicium et, en même temps, structuré pour former les motifs du guide à onde lente, et - avant la mise en oeuvre de ladite opération de croissance épitaxiale, le dépôt (126) d'une couche de protection sur une face supérieure de la dalle en silicium qui entoure 20 la cavité, cette couche de protection étant réalisée dans un matériau sur lequel le germanium ne peut pas croître lors de ladite opération de croissance épitaxiale, ou, après la mise en oeuvre de ladite opération de croissance épitaxiale, le retrait du germanium qui a crû sur cette face supérieure de la dalle en silicium qui entoure la cavité. 25 2. Procédé de fabrication d'une photodiode sur une dalle en silicium s'étendant principalement dans un plan appelé « plan de la dalle », ce procédé comportant : - la réalisation (120) sur la dalle en silicium d'un premier guide d'onde comportant un ruban apte à guider un signal optique depuis une entrée jusqu'à une sortie, 30 - la réalisation sur la dalle en silicium d'un guide à onde lente en germanium s'étendant le long d'un axe optique à partir d'une entrée couplée optiquement à la sortie du premier guide d'onde, ce guide à onde lente comportant : - une section horizontale, parallèle au plan de la dalle, qui présente un même motif répété avec un pas régulier le long d'un axe optique, ces motifs étant 35 disposés de façon symétrique de part et d'autre de l'axe optique de manière à ce que cet agencement de motifs ralentisse la propagation d'un signal optique le long de l'axe optique à l'intérieur du guide à onde lente, et 3054724 19 - deux régions dopées de signes opposés, disposées de part et d'autre de l'axe optique pour capter les porteurs de charges générés par le signal optique qui se propage dans ce guide à onde lente, caractérisé en ce que le guide à onde lente est fabriqué en mettant en oeuvre le 5 procédé conforme à la revendication 1. 3. Photodiode fabriquée par un procédé conforme à la revendication 2, cette photodiode comportant : - une dalle (14) en silicium s'étendant principalement dans un plan appelé « plan de 10 la dalle », - un premier guide d'onde (22 ; 192, 194) comportant un ruban apte à guider un signal optique depuis une entrée, destinée à recevoir un signal optique à détecter, jusqu'à une sortie, ce ruban étant formé sur la dalle, - un guide (26 ; 202) à onde lente en germanium s'étendant le long d'un axe optique à 15 partir d'une première entrée, couplée optiquement à la sortie du premier guide d'onde, ce guide à onde lente comportant : - deux régions (72, 76) dopées de signes opposés disposées de part et d'autre de l'axe optique pour capter les porteurs de charges générés par le signal optique qui se propage dans ce guide à onde lente, et 20 - une section horizontale, parallèle au plan de la dalle, qui présente des motifs (40 ; 204) disposés de façon symétrique de part et d'autre de l'axe optique et répétés avec un pas régulier p le long de cet axe optique de manière à ralentir la propagation du signal optique dans le guide à onde lente, caractérisée en ce que : 25 - la photodiode comporte une cavité (60), creusée dans la dalle en silicium, dont le fond (62) est situé à l'intérieur de la dalle en silicium et dont la section, parallèle au plan de la dalle, est identique à la section horizontale du guide à onde lente, et - le guide à onde lente remplit complètement cette cavité et s'étend, dans une direction perpendiculaire au plan de la dalle, depuis le fond (62) de cette cavité 30 jusqu'à une face supérieure située au même niveau ou au-dessus de la face supérieure de la dalle. 4. Photodiode selon la revendication 3, dans laquelle la photodiode comporte également : 35 - un deuxième guide d'onde (24) comportant un ruban apte à guider un signal optique depuis une autre entrée (8), destinée à recevoir un autre signal optique à détecter, jusqu'à une autre sortie, ce ruban étant formé sur la dalle, et 3054724 20 - le guide à onde lente comporte, le long de l'axe optique et du côté opposé à la première entrée (34), une deuxième entrée (36) optiquement couplée à la sortie du deuxième guide d'onde. 5 5. Photodiode selon l'une quelconque des revendications 3 à 4, dans laquelle : - le guide (26) à onde lente comporte un ruban central (32) qui s'étend le long de l'axe optique pour guider le signal optique le long de cet axe optique, et - le motif comporte deux dents latérales (40) disposées chacune d'un côté respectif du ruban central et symétriques l'une de l'autre par rapport à un plan longitudinal, ce 10 plan longitudinal étant perpendiculaire au plan de la dalle et contenant l'axe optique, la longueur de chacune de ces dents étant supérieure ou égale à la largeur du ruban central, la longueur d'une dent étant égale à la distance la plus courte entre son extrémité distale (44) et le plan longitudinal et la largeur du ruban central étant égale à la distance la plus courte entre deux flancs verticaux (70) en vis-à-vis de ce ruban central situés chacun d'un côté respectif de l'axe optique et entre deux dents successives. 6. Photodiode selon la revendication 5, dans laquelle la longueur de plus d'un tiers des dents est deux fois supérieure ou égale à la largeur du ruban central. 20 7. Photodiode selon l'une quelconque des revendications 3 à 6, dans laquelle la dalle comporte des régions dopées (80, 82) de signes opposés directement en contact avec le guide à onde lente, ces régions dopées de la dalle comportant des bords dopés verticaux (64) de la cavité directement en contact mécanique et 25 électrique avec des flancs verticaux (70) du guide à onde lente. 8. Photodiode selon l'une quelconque des revendications 3 à 7, dans laquelle la sortie (30) du premier guide d'onde est en vis-à-vis et directement en contact mécanique avec la première entrée (34) du guide à onde lente. 30 9. Photodiode selon l'une quelconque des revendications 3 à 8, dans laquelle l'épaisseur du guide à onde lente est égale à la profondeur de la cavité (60).