Brevet FR3061827A1 — publié le 20180713

MODULE ELECTRIQUE TRIDIMENSIONNEL COMPORTANT UN CONDENSATEUR DE DECOUPLAGE L'invention concerne l'électronique de puissance, et en particulier la réalisation de circuits électroniques de puissance à architecture tridimensionnelle et comportant des composants montés en surface (CMS). En particulier, des composants CMS incluent en général des condensateurs de découplage présentant une première électrode au potentiel d'un premier substrat et une deuxième électrode au potentiel d'un deuxième substrat. Dans l'exemple détaillé dans le document US20150296623, un condensateur a ses deux électrodes connectées électriquement à deux contacts électriques respectifs d'un même substrat. Le condensateur est positionné allongé, c'est-à-dire qu'un axe reliant ses deux électrodes est parallèle au substrat. La connexion électrique entre chaque électrode et son contact électrique respectif est réalisée par l'intermédiaire d'un cadre conducteur dont une première extrémité est soudée à un contact du substrat et dont une deuxième extrémité est soudée à une électrode du condensateur. L'utilisation de tels cadres métalliques permet de réduire les contraintes thermomécaniques entre le condensateur et le substrat, pouvant apparaître du fait des différences de coefficient de dilatation thermique entre le condensateur et le substrat. Si on souhaitait créer une architecture tridimensionnelle à partir de ce document, un tel condensateur utilisé en condensateur de découplage serait ainsi fixé à un premier substrat par l'intermédiaire de deux cadres métalliques à deux contacts électriques de ce premier substrat. Un deuxième substrat serait positionné parallèle au premier substrat, de sorte que le condensateur serait interposé entre les premier et deuxième substrats. Aucune solution satisfaisante n'est connue pour rapporter le potentiel du deuxième substrat vers une des électrodes du condensateur sans créer de court-circuit. Par ailleurs, une telle architecture s'avèrerait relativement volumineuse, en particulier lorsque la différence de potentiel entre les substrats est importante, ce qui induirait une distance importante entre les substrats. La tenue en tension entre le deuxième substrat et l'électrode du condensateur au potentiel du premier substrat serait alors assurée par l'espacement entre cette électrode et le deuxième substrat. Une solution a été proposée dans le document `Realization and characterization of an IGBT Module Based on the Power Chip-on-Chip 3D Concept', rédigé par Ms Marchesini et alias, qui propose de monter un condensateur de découplage associé à un demi-pont, sur un troisième substrat. Le premier substrat comporte une diode et un transistor IGBT, le deuxième substrat comporte également une diode et un transistor IGBT. Ce troisième ICG11082 FR Depot Texte.docx 3061827 2 substrat est placé entre des premier et deuxième substrats et déborde latéralement. Le condensateur est placé sur le débordement du troisième substrat. Les deux faces du troisième substrat sont polarisées à ces potentiels différents, correspondant aux potentiels des premier et deuxième substrats. 5 Une telle architecture présente des inconvénients. En effet, l'interconnexion induit des inductances parasites de maille. Lorsque le condensateur de découplage est connecté à d'autres composants haute fréquence d'un des deux substrats, ces inductances de maille peuvent occasionner des limitations de performances du système électrique, notamment 10 des pertes électriques considérables à haute fréquence. De plus, le maintien mécanique de l'espacement entre les deux substrats peut s'avérer délicat à réaliser. L'invention vise à résoudre un ou plusieurs de ces inconvénients. L'invention porte ainsi sur un module électrique tridimensionnel, comprenant des 15 premier et deuxième substrats parallèles, chacun desdits premier et deuxième substrats comportant un contact électrique orienté vers l'autre desdits premier et deuxième substrats. Le module comprend en outre un condensateur comprenant : -une première électrode connectée électriquement et solidaire du contact du 20 premier substrat, et -une deuxième électrode connectée électriquement et solidaire du contact du deuxième substrat ; -une continuité de matière étant formée entre les premier et deuxième substrats, perpendiculairement aux premier et deuxième substrats, et à 25 travers ledit condensateur. L'invention porte également sur les variantes suivantes. L'homme du métier comprendra que chacune des caractéristiques des variantes suivantes peut être combinée indépendamment aux caractéristiques ci-dessus, sans pour autant constituer une généralisation intermédiaire. 30 Selon une variante, le module électrique tridimensionnel comprend un composant électronique et le premier substrat comporte une piste conductrice raccordant électriquement le composant électronique et la première électrode du condensateur. Selon encore une variante, le module électrique tridimensionnel comprend 35 en outre un circuit d'alimentation configuré pour appliquer des potentiels distincts sur les contacts électriques des premier et deuxième substrats. Selon une autre variante, un corps isolant est disposé entre les première et deuxième électrodes, ladite continuité de matière étant formée à travers ledit corps isolant. ICG11082 FR Depot Texte.docx 3061827 3 Selon encore une autre variante, la première électrode est soudée au contact du premier substrat, et la deuxième électrode est soudée au contact du second substrat, lesdits contacts étant alignés selon une direction perpendiculaire aux premier et deuxième substrats. 5 Selon une variante, les contacts des premier et deuxième substrats sont décalés selon une direction parallèle aux premier et deuxième substrats, un matériau diélectrique étant interposé sur le côté du contact du premier substrat, entre ladite deuxième électrode et ledit premier substrat. Selon encore une variante, le module électrique tridimensionnel comprend 10 en outre un premier cadre métallique soudé d'une part au contact du premier substrat et d'autre part à la première électrode, et un deuxième cadre métallique soudé d'une part au contact du deuxième substrat et d'autre part à la deuxième électrode. Selon une autre variante, dans lequel une partie du matériau diélectrique 15 est également interposée entre le contact du premier substrat et la première électrode. Selon encore une autre variante, les contacts des premier et deuxième substrats sont décalés selon une direction parallèle aux premier et deuxième substrats, la première électrode comportant une extrémité axiale et la deuxième 20 électrode comportant une extrémité axiale, ledit corps isolant étant disposé entre les extrémités axiales des première et deuxième électrodes, la première électrode comportant un prolongement latéral s'étendant latéralement le long du corps, la deuxième électrode comportant un prolongement latéral s'étendant latéralement le long du corps à l'opposé du prolongement latéral de la première électrode, le 25 condensateur comprenant un matériau diélectrique interposé entre le corps et le prolongement latéral de la première électrode et comprenant un matériau diélectrique interposé entre le corps et le prolongement latéral de la deuxième électrode. Selon une variante : 30 -le prolongement latéral de la première électrode s'étend sur le côté de la deuxième électrode ; -un matériau diélectrique est interposé entre la deuxième électrode et le prolongement latéral de la première électrode ; -le prolongement latéral de la deuxième électrode s'étend sur le côté de la 35 première électrode ; -un matériau diélectrique est interposé entre la première électrode et le prolongement latéral de la deuxième électrode. Selon encore une variante : ICG11082 FR Depot Texte.docx 3061827 4 -la première électrode inclut une couche métallique formée sur ledit diélectrique interposé entre le corps et le prolongement latéral de la première électrode ; -la deuxième électrode inclut une couche métallique formée sur ledit matériau 5 diélectrique interposé entre le corps et le prolongement latéral de la deuxième électrode. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront clairement de la description qui en est faite ci-après, à titre indicatif et nullement 10 limitatif, en référence aux dessins annexés, dans lesquels : -la figure 1 est une vue en coupe transversale d'un exemple d'un module électrique tridimensionnel selon un premier mode de réalisation ; -la figure 2 est un schéma électrique équivalent du module électrique de la figure 1 ; 15 -la figure 3 est une vue en perspective et en coupe longitudinale, d'un exemple de condensateur de l'état de la technique ; -la figure 4 est une vue en coupe transversale d'une première variante d'un module électrique tridimensionnel selon un deuxième mode de réalisation ; -la figure 5 est une vue en coupe longitudinale pour la formation d'une 20 deuxième variante d'un module électrique tridimensionnel selon le deuxième mode de réalisation ; -la figure 6 est une vue en coupe transversale d'une troisième variante d'un module électrique tridimensionnel selon le deuxième mode de réalisation ; -la figure 7 est une vue en coupe transversale d'une quatrième variante 25 d'un module électrique tridimensionnel selon le deuxième mode de réalisation. L'invention propose de former une entretoise entre deux substrats d'un module électrique tridimensionnel (en particulier pour un module de puissance), par l'intermédiaire d'un condensateur de découplage. Ce condensateur de 30 découplage comporte une première électrode connectée électriquement et solidaire d'un contact d'un premier substrat, et une deuxième électrode connectée électriquement et solidaire d'un contact du deuxième substrat. Les connectiques d'un tel condensateur de découplage présentent ainsi des inductances propres (impactant les inductances de maille) plus réduites, 35 favorisant le fonctionnement à haute fréquence du module électrique. Un tel condensateur de découplage participe également à la résistance mécanique du module électrique, en particulier sa résistance à une compression appliquée perpendiculairement aux deux substrats. ICG11082 FR Depot Texte.docx 3061827 5 La figure 1 est une vue en coupe transversale d'un exemple d'un module électrique tridimensionnel 1 selon un premier mode de réalisation. Le module électrique 1 est ici illustré pour une application particulière à un onduleur. Le module électrique comprend les substrats 11 et 12 de structure connue en soi. 5 Les substrats 11 et 12 sont sensiblement plans et positionnés parallèles l'un de l'autre. Le substrat 11 comporte une face supérieure orientée vers le substrat 12 et comportant un contact électrique 111 orienté vers ce substrat 12. Le substrat 12 comporte une face inférieure orientée vers le substrat 11 et comportant un contact électrique 121 orienté vers ce substrat 11. Les contacts 111 et 121 sont 10 ici alignés selon une direction perpendiculaire aux substrats 11 et 12, direction illustrée par la droite en tirets-points. Le module électrique 1 comporte un condensateur 5 de structure connue en soi pour un composant monté en surface. Si la capacité du condensateur 5 est insuffisante, il peut être connecté à un autre condensateur déporté le cas échéant. 15 Le condensateur 5 comporte une première électrode 51 et une deuxième électrode 52, situées à des extrémités axiales opposées de ce condensateur 5. Un corps 53, dont la partie externe est isolante, est disposé entre les électrodes 51 et 52. L'électrode 51 est connectée électriquement et est solidaire du contact 111 du substrat 11. L'électrode 52 est connectée électriquement et est solidaire 20 du contact 121 du substrat 12. Ainsi, un potentiel d'alimentation du substrat 11 peut être appliqué directement sur l'électrode 51 sans nécessiter une éventuelle interconnexion électrique tridimensionnelle provenant du substrat 12. De même, un potentiel d'alimentation du substrat 12 peut être appliqué directement sur l'électrode 52 sans nécessiter une éventuelle interconnexion électrique 25 tridimensionnelle provenant du substrat 11. L'inductance de maille du module électrique 1 peut ainsi être réduite. Les électrodes 51 et 52 peuvent être connectées électriquement et fixées respectivement aux contacts 111 et 121 par l'intermédiaire de soudures ou de brasures ou par frittage ou par collage conducteur. Par ailleurs, on maintient une distance optimale entre le potentiel du 30 contact électrique 111 et l'électrode 52 d'une part, et le potentiel du contact électrique 121 et l'électrode 51 d'autre part, ce qui favorise une résistance à une tension de claquage : la tension de claquage du condensateur 5 dimensionne ainsi la tension de claquage du module électrique 1 (au moins dans la zone du condensateur). . 35 Comme illustré à la figure 1, une continuité de matière est formée entre les substrats 11 et 12 selon un axe perpendiculaire à ces substrats 11 et 12, illustré par la ligne en tirets-points. En effet, la continuité de matière est ici formée entre les contacts électriques 111 et 121, par l'intermédiaire de l'électrode 51, du corps 53 et de l'électrode 52. Le condensateur 5 forme donc ici une entretoise entre les 40 substrats 11 et 12, participant à la résistance en compression entre ces substrats ICG11082 FR Depot Texte.docx 3061827 6 11 et 12 selon leur direction perpendiculaire. Le condensateur 5 est ici positionné perpendiculairement aux substrats 11 et 12, c'est-à-dire que ses électrodes 51 et 52 sont alignées selon l'axe en tirets-points perpendiculaire aux substrats 11 et 12. 5 Le condensateur 5 est ici un condensateur de découplage entre les substrats 11 et 12. Les électrodes 51 et 52 sont ainsi destinées à recevoir des potentiels d'alimentation différents appliqués au substrat 11 et 12 respectivement. En particulier, le module électrique 1 est associé à un circuit d'alimentation 2, configuré pour appliquer des potentiels distincts sur les contacts électriques 111 10 et 121 des substrats 11 et 12 respectivement. Le substrat 11 comporte en outre un autre contact électrique 113 décalé latéralement par rapport au contact 111. Les contacts électriques 111 et 113 sont connectés électriquement par l'intermédiaire d'une piste conductrice 112. Un composant électronique 3 est ici connecté électriquement au contact électrique 15 113. Le composant électronique 3 est en l'occurrence une diode. Le substrat 12 comporte en outre un autre contact électrique 123 décalé latéralement par rapport au contact 121. Les contacts électriques 121 et 123 sont connectés électriquement par l'intermédiaire d'une piste conductrice 122. Un composant électronique 4 est ici connecté électriquement au contact électrique 20 123. Le composant électronique 4 est en l'occurrence un transistor IGBT. Les composants 3 et 4 sont par exemple destinés à la formation d'un circuit en demi-pont, comme l'exemple illustré schématiquement à la figure 2. Les contacts 113 et 123 et les composants 3 et 4 sont alignés selon un axe 25 perpendiculaire aux substrats 11 et 12. L'anode 31 de la diode 3 est connectée électriquement et fixée au contact électrique 113. Ce contact électrique 113 est porté à un potentiel d'alimentation du substrat 11. La diode 3 comporte une cathode 33. La cathode 33 est connectée électriquement à un contact d'une sortie de tension alternative 10. Le contact 10 30 est interposé entre la diode 3 et le transistor IGBT 4. Le drain 43 du transistor IGBT 4 est connecté électriquement et fixé au contact électrique 123. Ce contact électrique 123 est porté un potentiel d'alimentation du substrat 12. Le transistor IGBT 4 comporte une grille de commande 42 commandée de façon connue en soi par un circuit de commande 35 non illustré. Le transistor 4 comporte une source 41. La source 41 est connectée électriquement au contact de sortie de tension alternative 10. Le schéma électrique équivalent du module électrique 1 complété pour former un demi-pont est illustré à la figure 2. Le circuit d'alimentation 2 applique 40 une tension +Dc sur le drain 43 et sur l'électrode 52, et une tension -Dc sur la ICG11082 FR Depot Texte.docx 3061827 7 source 31 et sur l'électrode 51. Une telle application d'onduleur s'avère en pratique particulièrement compacte et optimisée pour limiter les inductances de maille parasites. L'invention s'avère ainsi particulièrement avantageuse pour des composants de commutation à haute fréquence (par exemple typiquement au 5 moins égale à 100kHz) et/ou à haute tension (par exemple typiquement au moins égale à 100V), domaines d'application de prédilection pour des IGBT, des MOSFET ou des transistors à haute mobilité électronique. L'invention s'avère également avantageuse à basse fréquence, en réduisant les surtensions et les ondulations. 10 La figure 3 est une vue en perspective et en coupe longitudinale d'un exemple de condensateur 5 selon l'état de la technique. Des plaques métalliques 531 et 532 sont logées à l'intérieur du corps 53. Le corps 53 comprend un matériau diélectrique 533 encapsulant ces plaques métalliques 531 et 532. Les 15 plaques métalliques 531 sont connectées à l'électrode 51 et s'étendent en direction de l'électrode 52. Les plaques métalliques 531 sont isolées électriquement de l'électrode 52 par l'intermédiaire du matériau diélectrique 533. Les plaques métalliques 532 sont connectées à l'électrode 52 et s'étendent en direction de l'électrode 51. Les plaques métalliques 532 sont isolées 20 électriquement de l'électrode 51 par l'intermédiaire du matériau diélectrique 533. Le matériau diélectrique 533 forme ici une continuité de matière entre les électrodes 51 et 52, permettant d'exercer un effort en compression entre les électrodes 51 et 52. Le condensateur 5 forme également une continuité de matière selon une direction transversale au corps 53. 25 La figure 4 est une vue en coupe transversale d'une première variante d'un module électrique tridimensionnel 1 selon un deuxième mode de réalisation de l'invention. Le module électrique 1 comprend les substrats 11 et 12 sensiblement plans et positionnés parallèles l'un de l'autre. Le substrat 11 comporte une face 30 supérieure orientée vers le substrat 12 et comportant un contact électrique 111 orienté vers ce substrat 12. Le substrat 12 comporte une face inférieure orientée vers le substrat 11 et comportant un contact électrique 121 orienté vers ce substrat 11. Les contacts 111 et 121 sont ici décalés selon une direction parallèle aux substrats 11 et 12. Les contacts 111 et 121 sont donc ici non superposés. 35 Le module électrique 1 comporte un condensateur 5, de structure identique à celle du premier mode de réalisation. Le condensateur 5 est ici positionné parallèlement aux substrats 11 et 12, c'est-à-dire que ses électrodes 51 et 52 sont alignées selon une direction parallèle aux substrats 11 et 12. L'encombrement d'un condensateur 5 étant généralement plus important suivant sa direction axiale 40 que suivant sa direction transversale, le deuxième mode de réalisation permet ICG11082 FR Depot Texte.docx 3061827 8 avantageusement de réduire l'encombrement du module électrique 1 selon une direction perpendiculaire aux substrats 11 et 12, par réduction de la distance entre les substrats 11 et 12. Par exemple, pour un condensateur 5 présentant une tension de claquage 5 de 1000 V, un modèle commercialisé (avec les plus petites dimensions actuellement pour des composants céramiques) présente une longueur de 2,1 mm entre ces électrodes 51 et 52, et une hauteur d'électrode de 1,4 mm. Même en interposant du matériau diélectrique entre les électrodes du condensateur 5 et les substrats 11 et 12, une telle configuration permet de réduire l'encombrement 10 du module électrique 1 selon une direction perpendiculaire aux substrats 11 et 12. L'électrode 51 est connectée électriquement et est solidarisée au contact 111 du substrat 11, par l'intermédiaire d'un cadre métallique 13. Le cadre métallique 13 peut être soudé d'une part au contact 111, et d'autre part à une face 15 d'extrémité de l'électrode 51. L'électrode 52 est connectée électriquement et est solidarisée au contact 121 du substrat 12, par l'intermédiaire d'un cadre métallique 14. Le cadre métallique 14 peut être soudé ou brasé d'une part au contact 121, et d'autre part à une face d'extrémité de l'électrode 52. L'utilisation de cadres métalliques 13 et 14 permet d'absorber des déformations éventuelles 20 liées à des différences de coefficients de dilatation thermique ou à des dispersions géométriques. Comme pour le premier mode de réalisation, on peut appliquer des potentiels d'alimentation très différents sur les électrodes 51 et 52 respectivement. 25 Un matériau diélectrique 56 est positionné au moins sur le côté des contacts électriques 111 et 121, afin de s'interposer entre l'électrode 51 et le substrat 12 d'une part, et entre l'électrode 52 et le substrat 11 d'autre part. Le matériau diélectrique 56 est solide, pour assurer un maintien mécanique transversal. Par ailleurs, le matériau diélectrique 56 est également interposé entre 30 une face latérale de l'électrode 51 et une paroi du cadre métallique 13 parallèle au substrat 11. Par ailleurs, le matériau diélectrique 56 est également interposé entre une face latérale de l'électrode 52 et une paroi du cadre métallique 14 parallèle au substrat 12. Une continuité de matière à travers le condensateur 5 est ainsi obtenue 35 perpendiculairement au substrat 11 et 12, par exemple à travers : -un axe traversant du matériau diélectrique 56, le corps 53, puis du matériau diélectrique 56 ; -un axe traversant du matériau diélectrique 56, l'électrode 51, du matériau diélectrique 56 et une paroi du cadre 13 ; ICG11082 FR Depot Texte.docx 3061827 9 -un axe traversant du matériau diélectrique 56, l'électrode 52, du matériau diélectrique 56 et une paroi du cadre 14. Le matériau diélectrique 56 est par exemple un matériau diélectrique de remplissage entre les substrats 11 et 12. 5 Le condensateur 5 forme donc ici une entretoise entre les substrats 11 et 12, participant à la résistance en compression entre ces substrats 11 et 12 selon leur direction perpendiculaire. Avec un gel diélectrique en silicone d'encapsulation tel que celui commercialisé par la société Quantum silicones sous la référence commerciale 10 Qsi1550, une épaisseur de 57um est suffisante entre un substrat et une électrode du condensateur 5 pour résister à une tension de claquage de 1000V. On peut choisir un matériau diélectrique de remplissage soit rigide à température ambiante (pour garantir une tenue mécanique des matériaux diélectriques 54 et 55), soit compressible si l'on souhaite conférer une certaine flexibilité à la structure. 15 La figure 5 est une vue en coupe longitudinale d'un condensateur 5 pour la formation d'une deuxième variante d'un module électrique tridimensionnel 1 selon le deuxième mode de réalisation. Comme pour la variante illustrée à la figure 4, le condensateur 5 est destiné à être positionné parallèlement aux 20 substrats 11 et 12, c'est-à-dire que ses électrodes 51 et 52 seront alignées selon une direction parallèle aux substrats 11 et 12. Le condensateur 5 comporte une première électrode 51 et une deuxième électrode 52. L'électrode 51 comporte une extrémité axiale, et un prolongement latéral 511. L'électrode 52 comporte une extrémité axiale, et un prolongement 25 latéral 521. Les extrémités axiales respectives des électrodes 51 et 52 sont positionnées axialement de part et d'autre d'un corps 53, dont la surface externe au moins est isolante. Les prolongements latéraux 511 et 521 s'étendent latéralement de part et d'autre le long du corps 53. Dans cet exemple, le prolongement latéral 511 s'étend jusque sur le côté de l'électrode 52. Dans cet 30 exemple, le prolongement latéral 521 s'étend jusque sur le côté de l'électrode 51. La connexion électrique et la fixation de l'électrode 51 à un contact conducteur du substrat 11 est destinée à être réalisée par l'intermédiaire du prolongement latéral 511. La connexion électrique et la fixation de l'électrode 52 à un contact conducteur du substrat 12 est destinée à être réalisée par l'intermédiaire du 35 prolongement latéral 521. Le condensateur 5 comprend en outre un matériau diélectrique 54 interposé entre le corps 53 et le prolongement latéral 521. Le matériau diélectrique 54 comporte également un prolongement 541 interposé entre le prolongement latéral 521 et l'électrode 51. Le prolongement 541 permet donc ICG11082 FR Depot Texte.docx 306 1 8 2 7 10 d'isoler électriquement l'électrode 51 par rapport au prolongement latéral 521 et par rapport au substrat 12. Le condensateur 5 comprend en outre un matériau diélectrique 55 interposé entre le corps 53 et le prolongement latéral 511. Le matériau 5 diélectrique 55 comporte également un prolongement 551 interposé entre le prolongement latéral 511 et l'électrode 52. Le prolongement 551 permet donc d'isoler électriquement l'électrode 52 par rapport au prolongement latéral 511 et par rapport au substrat 11. Outre les avantages de la variante de la figure 4, cette variante permet 10 d'améliorer le contact électrique entre les électrodes 51 et 52 et leurs contacts électriques respectifs des substrats 11 et 12, et permet d'améliorer la résistance en compression appliquée perpendiculairement entre les substrats 11 et 12. En outre, un tel condensateur 5 est approprié pour réaliser le dépôt des matériaux diélectriques 54 et 55 par des procédés tels que le PECVD lors de sa fabrication. 15 Les matériaux diélectriques ainsi déposés peuvent présenter une très grande rigidité diélectrique, permettant de réduire l'épaisseur des matériaux diélectriques 54 et 55. Par ailleurs, en intégrant de tels matériaux diélectriques 54 et 55 dès le procédé de fabrication du condensateur 5, on contrôle particulièrement bien la structure et la géométrie de ces matériaux diélectriques 54 et 55, et donc la 20 tension de claquage entre les électrodes 51 et 52. Par ailleurs, du fait de la géométrie des électrodes 51 et 52, un tel condensateur 5 inclut intrinsèquement des cadres métalliques intégrés à ses électrodes 51 et 52. Les électrodes 51 et 52 peuvent être au moins partiellement formées par une métallisation des matériaux diélectriques 54 et 55. 25 On peut citer un certain nombre de matériaux diélectriques et leurs propriétés en vue de réaliser les matériaux diélectriques 54 et 55 (ou 56 pour la variante précédente). Le choix des matériaux pourra également être réalisé en fonction du comportement en température du matériau, en fonction des 30 applications visées pour le condensateur 5. Matériaux Rigidité diélectrique kV/mm Distance pour tension claquage de 1000V Gels Qsil 550 17,5 57,1pm diélectriques Quantum silicones Qsil 1000 18 55,6pm Quantum silicones Duraseal 1533 Cotronics Corp 19,7 50,8iim ICG11082 FR Depot Texte.docx 3061827 11 Sylgard 527 Dow Corning 15 66,7pm Nusil R-21060 Nusil 20 50pm Qsil 550 17,5 57,1pm Quantum silicones Céramiques AIN 15 66,7pm BeO 12 83,3pm Si3Na 14,8 67,6pm A1203 13 76,9pm Divers Résine Epoxyde 20 50pm Duralco 4703 Polyimide 28 35,7pm Si02-PECVD 600 1,7pm Si3N4-PECVD 1000 lprn La figure 6 est une vue en coupe longitudinale d'un condensateur 5 pour la formation d'une troisième variante d'un module électrique tridimensionnel 1 selon le deuxième mode de réalisation. Comme pour la variante illustrée à la 5 figure 4, le condensateur 5 est destiné à être positionné parallèlement aux substrats 11 et 12, c'est-à-dire que ses électrodes 51 et 52 seront sensiblement alignées selon une direction parallèle aux substrats 11 et 12. Par rapport à la variante de la figure 5, cette variante vise à améliorer la résistance de claquage, tout en favorisant une bonne résistance de contact avec les contacts conducteurs 10 des substrats 11 et 12. Les substrats 11 et 12 et leurs contacts électriques 111 et 121 présentent ici la même structure et la même géométrie que pour la variante de la figure 4. Par rapport au condensateur illustré à la figure 4, le condensateur 5 comporte des électrodes 51 et 52 dissymétriques. Les électrodes 51 et 52 15 comportent chacune un côté présentant une surépaisseur pour leur fixation aux cadres métalliques 13 et 14 respectivement, et un côté dépourvu de surépaisseur de façon à augmenter la distance de ce côté par rapport à un substrat. Les surépaisseurs respectives des électrodes 51 et 52 sont positionnées sur des côtés opposés du condensateur 5. Les électrodes 51 et 52 peuvent être formées 20 au moins en partie par un dépôt métallique (par exemple par électrodéposition) sur le corps 53. L'électrode 51 est connectée électriquement et est solidarisée au contact 111 du substrat 11, par l'intermédiaire d'un cadre métallique 13. Le cadre métallique 13 peut être soudé d'une part au contact 111, et d'autre part à une face ICG11082 FR Depot Texte.docx 3061827 12 d'extrémité de l'électrode 51. L'électrode 52 est connectée électriquement et est solidarisée au contact 121 du substrat 12, par l'intermédiaire d'un cadre métallique 14. Le cadre métallique 14 peut être soudé ou brasé ou fritté ou collé d'une part au contact 121, et d'autre part à une face d'extrémité de l'électrode 52. 5 L'utilisation de cadres métalliques 13 et 14 permet d'absorber des déformations éventuelles liées à des différences de coefficients de dilatation thermique. Un matériau diélectrique 56 est positionné au moins sur le côté des contacts électriques 111 et 121, afin de s'interposer d'une part entre le substrat 12 et l'électrode 51 et le corps 53, d'autre part entre le substrat 11 et l'électrode 10 52 et le corps 53. Par ailleurs, le matériau diélectrique 56 est également interposé entre une face latérale de l'électrode 51 et une paroi du cadre métallique 13 parallèle au substrat 11. Par ailleurs, le matériau diélectrique 56 est également interposé entre une face latérale de l'électrode 52 et une paroi du cadre métallique 14 parallèle au substrat 12. Les parties latérales du corps 53 s'étendant sur le 15 côté des électrodes 51 et 52 permettent d'augmenter la tension de claquage entre une électrode et le substrat placé à l'opposée. Le matériau diélectrique 56 est ici un matériau d'encapsulation du module électrique 1 s'étendant entre les substrats 11 et 12. 20 La figure 7 est une vue en coupe longitudinale d'un condensateur 5 pour la formation d'une quatrième variante d'un module tridimensionnel 1 selon le deuxième mode de réalisation. Par rapport à la troisième variante, le condensateur 5 diffère uniquement par la présence d'un matériau diélectrique 54 en remplacement du matériau diélectrique 56. Le matériau diélectrique 54 est ici 25 intégré dans le condensateur 5. Comme le matériau diélectrique 56 de la variante de la figure 6, le matériau diélectrique 56 : -est positionné au moins sur le côté du contact électrique 121, afin de s'interposer d'une part entre le substrat 12 et l'électrode 51 et le corps 53 ; -est positionné au moins sur le côté du contact électrique 111, afin de 30 s'interposer d'une part entre le substrat 11 et l'électrode 52 et le corps 53 ; -est interposé entre une face latérale de l'électrode 51 et une paroi du cadre métallique 13 parallèle au substrat 11 ; -est interposé entre une face latérale de l'électrode 52 et une paroi du cadre métallique 14 parallèle au substrat 12. 35 Les électrodes 51 et 52 peuvent être formées au moins en partie par un dépôt métallique (par exemple par électrodéposition) sur le matériau diélectrique 54. ICG11082 FR Depot Texte.docx REVENDICATIONS1. Module électrique tridimensionnel (1), comprenant des premier et deuxième substrats parallèles (11,12), chacun desdits premier et deuxième substrats comportant un contact électrique (111,121) orienté vers l'autre desdits premier et deuxième substrats ; Caractérisé en ce qu'il comprend en outre un condensateur (5) comprenant : -une première électrode (51) connectée électriquement et solidaire du contact (111) du premier substrat (11), et -une deuxième électrode (52) connectée électriquement et solidaire du contact (121) du deuxième substrat (12) ; -une continuité de matière étant formée entre les premier et deuxième substrats, perpendiculairement aux premier et deuxième substrats, et à travers ledit condensateur (5). 2. Module électrique tridimensionnel (1) selon la revendication 1, comprenant un composant électronique (3) et dans lequel le premier substrat (11) comporte une piste conductrice (112) raccordant électriquement le composant électronique et la première électrode (51) du condensateur. 3. Module électrique tridimensionnel (1) selon la revendication 1 ou 2, comprenant en outre un circuit d'alimentation (2) configuré pour appliquer des potentiels distincts (+Dc, -Dc) sur les contacts électriques (111,121) des premier et deuxième substrats (11,12). 4. Module électrique tridimensionnel (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel un corps isolant (53) est disposé entre les première et deuxième électrodes (51,52), ladite continuité de matière étant formée à travers ledit corps isolant (53). 30 5. Module électrique tridimensionnel (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la première électrode (51) est soudée au contact (111) du premier substrat (11), et dans lequel la deuxième électrode (52) est soudée au contact (121) du second substrat (12), lesdits contacts 35 (111,121) étant alignés selon une direction perpendiculaire aux premier et deuxième substrats. 6. Module électrique tridimensionnel (1) selon la revendication 4, dans lequel les contacts (111,121) des premier et deuxième substrats (11,12) sont décalés 40 selon une direction parallèle aux premier et deuxième substrats, un matériau diélectrique (56) étant interposé sur le côté du contact (111) du premier substrat, entre ladite deuxième électrode (52) et ledit premier substrat (11). ICG11082 FR Depot Texte.docx 25 3061827 14 7. Module électrique tridimensionnel (1) selon la revendication 6, comprenant en outre un premier cadre métallique (13) soudé d'une part au contact (111) du premier substrat (11) et d'autre part à la première électrode (51), et un 5 deuxième cadre métallique (14) soudé d'une part au contact (121) du deuxième substrat (12) et d'autre part à la deuxième électrode (52). 8. Module électrique tridimensionnel (1) selon la revendication 7, dans lequel une partie dudit matériau diélectrique (56) est également interposée entre le 10 contact (111) du premier substrat (11) et la première électrode (51). 9. Module électrique tridimensionnel (1) selon la revendication 4, dans lequel les contacts (111,121) des premier et deuxième substrats (11,12) sont décalés selon une direction parallèle aux premier et deuxième substrats, la première 15 électrode (51) comportant une extrémité axiale et la deuxième électrode (52) comportant une extrémité axiale, ledit corps isolant (53) étant disposé entre les extrémités axiales des première et deuxième électrodes, la première électrode (51) comportant un prolongement latéral (511) s'étendant latéralement le long du corps (53), la deuxième électrode (52) comportant un prolongement latéral 20 (521) s'étendant latéralement le long du corps (53) à l'opposé du prolongement latéral (51) de la première électrode, le condensateur comprenant un matériau diélectrique (55) interposé entre le corps et le prolongement latéral de la première électrode et comprenant un matériau diélectrique (54) interposé entre le corps et le prolongement latéral de la deuxième électrode. 10. Module électrique tridimensionnel (1) selon la revendication 9, dans lequel : -le prolongement latéral (511) de la première électrode s'étend sur le côté de la deuxième électrode ; -un matériau diélectrique (551) est interposé entre la deuxième électrode et le prolongement latéral de la première électrode ; -le prolongement latéral (521) de la deuxième électrode s'étend sur le côté de la première électrode ; -un matériau diélectrique (541) est interposé entre la première électrode et le prolongement latéral de la deuxième électrode. 35 11. Module électrique tridimensionnel (1) selon la revendication 9 ou 10, dans lequel -la première électrode (51) inclut une couche métallique formée sur ledit diélectrique (55) interposé entre le corps et le prolongement latéral de la 40 première électrode ; ICG11082 FR Depot Texte.docx 3061827 15 -la deuxième électrode (52) inclut une couche métallique formée sur ledit matériau diélectrique (54) interposé entre le corps et le prolongement latéral de la deuxième électrode. ICG11082 FR Depot Texte.docx