Brevet FR3058562A1 — publié le 20180511

Dispositif et procédé de contrôle de l'étanchéité d'une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs La présente invention concerne un dispositif de contrôle de l'étanchéité d'au moins une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs. La présente invention concerne également un procédé de contrôle de l'étanchéité d'au moins une enceinte de transport. Dans l'industrie de fabrication de semi-conducteurs, des enceintes de transport tels que des FOUP (« Front Opening Unified Pod » en anglais), permettent de transporter les substrats, tels que des plaquettes semi-conductrices, d'un équipement à l'autre ou de stocker les substrats entre deux étapes de fabrication. Ces enceintes de transport déterminent un espace confiné sous pression atmosphérique, séparé de l'environnement d'utilisation et de transport du substrat, pour le transport et le stockage d'un ou de plusieurs substrats dans les salles blanches, dans lesquelles l'atmosphère intérieure est maintenue avec un taux de contamination très bas. Ces enceintes de transport sont des éléments standardisés dont l'ouverture et la fermeture peuvent être gérées de manière automatique directement par les équipements de fabrication. Les enceintes de transport comportent une enveloppe rigide périphérique dont l'ouverture peut être obturée par une porte amovible, un joint de porte étant interposé entre la porte et l'enveloppe. L'enceinte de transport n'est cependant pas totalement étanche car des ports de ventilation (« breathing port » en anglais) sont ménagés dans l'enveloppe ou la porte pour permettre l'équilibrage des pressions entre l'intérieur et l'extérieur de l'enceinte. Pour diminuer encore les risques de contamination à l'intérieur de ces enceintes, il est actuellement préconisé de purger régulièrement l'atmosphère interne de ces enceintes. Des développements récents prévoient en outre l'agencement de clapets antiretour dans les ports de ventilation de certaines enceintes de transport, les clapets anti-retour étant montés en série des filtres. Les clapets anti-retour permettent la fermeture presque étanche des enceintes pour conserver le plus longtemps possible l'atmosphère interne des enceintes en légère surpression de gaz de purge sans échange de gaz avec l'extérieur. 3058562 2 Cette augmentation du degré d'étanchéité au niveau des ports de ventilation rend le niveau d'étanchéité de la porte déterminant. En effet, si l'étanchéité de la porte n'est pas garantie, du gaz non filtré peut entrer dans l'enceinte de transport, ce qui est particulièrement dommageable pour les substrats. Des mesures ont en effet établi une 5 corrélation entre le niveau d'étanchéité de la porte de l'enceinte de transport et le niveau de contamination en particules des substrats contenus dans ces enceintes. Le niveau d'étanchéité de la porte est donc directement lié au rendement de production. Toutefois, aucun moyen actuel ne permet la réalisation d'un contrôle de l'étanchéité de la porte d'une enceinte de transport de manière automatique permettant de réaliser un 10 contrôle d'étanchéité en cours de production. Un des buts de la présente invention est donc de proposer un dispositif de contrôle de l'étanchéité d'au moins une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs pouvant être automatisé pour réaliser des contrôles d'étanchéité fiables, rapides et en cours de production. 15 A cet effet, l'invention a pour objet un dispositif de contrôle de l'étanchéité d'au moins une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs, ladite enceinte de transport comprenant : - une enveloppe rigide présentant une ouverture, - une porte amovible permettant d'obturer l'ouverture, et 20 - au moins deux ports de ventilation, caractérisé en ce que le dispositif de contrôle comporte au moins une interface configurée pour s'accoupler à l'enceinte de transport, l'interface comprenant - au moins deux têtes de connexion, au moins une tête de connexion étant formée par une tête de mesure configurée pour s'engager dans un port de 25 ventilation de l'enceinte de transport, la tête de mesure comprenant : un embout saillant, débouchant par au moins un orifice, un élément d'étanchéité périphérique entourant l'embout, l'élément d'étanchéité périphérique étant agencé en amont du au moins un orifice, 30 - tous les ports de ventilation de l'enceinte de transport étant accouplés à une tête de connexion de l'interface. Le dispositif de contrôle permet ainsi de contrôler l'étanchéité de la porte de l'enceinte en accédant à l'atmosphère intérieure de l'enceinte de transport depuis 3058562 3 l'extérieur de celle-ci, de manière étanche et sans modification de l'enceinte qui reste standard. L'étanchéité de fermeture de l'enceinte de transport peut donc être contrôlée en cours de production, de manière entièrement automatisée et alors qu'elle contient des substrats semi-conducteurs. Il est alors possible de réaliser un contrôle 5 d'étanchéité en quelques minutes, tel qu'en moins de cinq minutes, pour une gamme de fuites de conductance allant de 0.011/s à quelques l/s, la conductance étant le rapport du débit de fuite sur la différence de pression générant cette fuite. La tête de mesure peut être configurée pour s'engager dans un port de ventilation de l'enceinte de transport en repoussant le clapet anti-retour entrant lorsque 10 le port de ventilation est muni d'un clapet anti-retour entrant. La tête de mesure permet ainsi de raccorder une ligne de mesure à un port de ventilation de l'enceinte de transport en ouvrant les clapets anti-retour éventuellement présents sur l'enceinte de transport. Le maintien ouvert des clapets anti-retour entrants par les têtes de mesure permet notamment d'injecter des flux de gaz contrôlés dans l'enceinte de transport, en 15 s'affranchissant de la variabilité des organes élastiques des clapets qui pourraient augmenter l'incertitude des mesures, la raideur des organes élastiques pouvant présenter de fortes dispersions d'une enceinte de transport à l'autre. Ce maintien ouvert des clapets permet également d'éviter les effets de vibration des clapets lorsque ceux-ci prennent un état instable entre la position ouverte et la position fermée. 20 Au moins une tête de connexion peut être formée par une tête obstruante comportant un élément d'étanchéité borgne configuré pour obturer un port de ventilation de l'enceinte de transport, tous les ports de ventilation de l'enceinte de transport étant soit engagés par une tête de mesure, soit obturés par une tête obstruante. 25 Ainsi, toutes les fuites éventuelles de gaz autres que celles situées entre la porte et l'enveloppe de l'enceinte de transport sont maîtrisées, c'est à dire qu'elles sont soit obstruées, soit raccordées à une tête de mesure, de sorte que le contrôle d'étanchéité de l'enceinte de transport reflète uniquement le contrôle de l'étanchéité de fermeture de la porte de l'enceinte. 30 Selon une ou plusieurs caractéristiques du dispositif de contrôle, prise seule ou en combinaison : 3058562 4 - le au moins un élément d'étanchéité périphérique est élastique et au moins partiellement comprimé ou déformé lorsque l'enceinte de transport est accouplée à l'interface, - le au moins un élément d'étanchéité borgne est élastique et au moins 5 partiellement comprimé ou déformé lorsque l'enceinte de transport est accouplée à l'interface, - l'interface comporte au moins un moyen de maintien configuré pour maintenir l'enceinte de transport, - les têtes de connexion sont mobiles, 10 - l'interface comporte en outre au moins un actionneur de têtes configuré pour déplacer les têtes de connexion entre une position de retrait et une position saillante de contrôle de l'étanchéité, - les têtes de connexion sont fixes et font saillie de l'interface, - le au moins un élément d'étanchéité périphérique et/ou l'élément 15 d'étanchéité borgne comporte une ventouse, un joint torique ou un joint à lèvres ou un soufflet, - l'interface comporte deux têtes de mesure et deux têtes obstruantes, - le dispositif de contrôle comporte au moins une ligne de mesure reliée à un embout d'une tête de mesure, la ligne de mesure comportant un dispositif 20 de contrôle du débit et/ou un capteur de pression, - la ligne de mesure comporte au moins un orifice calibré d'auto-contrôle monté en dérivation de la tête de mesure et une vanne trois voies apte à mettre en communication le dispositif de contrôle du débit et le capteur de pression de la ligne de mesure, avec le au moins un orifice calibré d'auto- 25 contrôle en étant isolé de la tête de mesure, - le dispositif de contrôle comporte une ligne de prélèvement reliée à l'embout d'une tête de mesure, la ligne de prélèvement comportant une pompe de prélèvement, - le dispositif de contrôle comporte une ligne d'étalonnage reliée à l'embout 30 d'une tête de mesure, la ligne d'étalonnage comportant au moins un orifice calibré d'étalonnage. L'invention a aussi pour objet un procédé de contrôle de l'étanchéité d'au moins une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de 3058562 5 substrats semi-conducteurs au moyen d'un dispositif de contrôle tel que décrit précédemment, dans lequel on accouple une enceinte de transport à une interface du dispositif de contrôle de manière à ce que tous les ports de ventilation de l'enceinte de transport soient accouplés à une tête de connexion de l'interface, au moins une tête de 5 connexion étant formée par une tête de mesure engagée dans un port de ventilation de l'enceinte de transport. Tous les ports de ventilation de l'enceinte de transport sont, soit engagés par une tête de mesure, soit obturés par une tête obstruante de l'interface. Selon une ou plusieurs caractéristiques du procédé de contrôle, prise seule ou 10 en combinaison : - le au moins un élément d'étanchéité périphérique est au moins partiellement comprimé ou déformé lorsque l'enceinte de transport est accouplée à l'interface, - le au moins un élément d'étanchéité borgne est au moins partiellement 15 comprimé ou déformé lorsque l'enceinte de transport est accouplée à l'interface, - on injecte un flux de gaz contrôlé dans une ligne de mesure raccordée à une tête de mesure engagée dans un port de ventilation de l'enceinte de transport accouplée à l'interface, puis on arrête l'injection et on mesure la 20 descente en pression dans la ligne de mesure, - on injecte un flux de gaz constant dans une ligne de mesure raccordée à une tête de mesure engagée dans un port de ventilation de l'enceinte de transport accouplée à l'interface, en mesurant l'évolution de la pression au cours du temps dans la ligne de mesure, 25 - le procédé de contrôle comprend une étape préalable de conditionnement dans laquelle on établit une pression initiale prédéterminée dans une ligne de mesure raccordée à une tête de mesure engagée dans un port de ventilation de l'enceinte de transport accouplée à l'interface, - le procédé de contrôle comporte une étape de calibration dans laquelle une 30 ligne d'étalonnage est raccordée à l'enceinte de transport par une tête de mesure engagée dans un port de ventilation de l'enceinte de transport accouplée à l'interface pour générer une fuite calibrée et on mesure la pression dans une ligne de mesure raccordée à une tête de mesure 3058562 6 engagée dans un port de ventilation de l'enceinte de transport accouplée à l'interface, - le procédé de contrôle comporte une étape d'auto-contrôle dans laquelle on mesure la pression dans une ligne de mesure comportant un orifice calibré 5 d'auto-contrôle monté en dérivation de la tête de mesure, l'orifice calibré d'auto-contrôle étant mis en communication avec le dispositif de contrôle du débit et le capteur de pression de la ligne de mesure en étant isolé de la tête de mesure. 10 D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description suivante, donnée à titre d'exemple, sans caractère limitatif, en regard des dessins annexés sur lesquels: la figure 1 montre une vue schématique en coupe et de côté d'un exemple d'enceinte de transport ayant des clapets anti-retour d'entrée et 15 de sortie représentés en position fermée ainsi qu'un dispositif de contrôle de l'étanchéité de l'enceinte de transport, la figure 2a est une vue schématique d'un fond de l'enveloppe de l'enceinte de transport de la figure 1, la figure 2b est une vue schématique d'un autre exemple de fond 20 d'enceinte de transport, la figure 2c est une vue schématique d'un autre exemple de fond d'enceinte de transport, la figure 3a montre une vue sensiblement de dessus de l'interface du dispositif de contrôle de la figure 1 en position de retrait, 25 la figure 3b est une vue similaire à la figure 3a avec deux têtes de mesure et deux têtes obstruantes de l'interface en position de saillie, la figure 4 est une vue similaire à la figure 1, montrant une ligne d'étalonnage de l'interface, la figure 5 montre différentes étapes d'un procédé de contrôle de 30 l'étanchéité d'une enceinte de transport, la figure 6 est une vue similaire à la figure 1, montrant l'enceinte de transport positionnée et maintenue à l'interface, 3058562 7 la figure 7 est une vue similaire à la figure 6, montrant l'enceinte de transport accouplée à l'interface, la figure 8 est un graphique montrant l'évolution de la pression au cours du temps pour un contrôle de l'étanchéité réalisé selon le procédé de la 5 figure 5, et la figure 9 est un graphique montrant l'évolution de la pression au cours du temps pour deux injections de flux de gaz constants et distincts au cours d'un contrôle de l'étanchéité réalisé selon une autre méthode. Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de 10 référence. Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées 15 pour fournir d'autres réalisations. La figure 1 montre une vue schématique en coupe et de côté d'un dispositif de contrôle 1 de l'étanchéité d'au moins une enceinte de transport 2. L'enceinte de transport 2 permet le convoyage et le stockage d'au moins un 20 substrat semi-conducteur 3, tel que des plaquettes (« wafers » en anglais) ou des photomasques, entre les étapes de fabrication de semi-conducteurs. L'atmosphère intérieure des enceintes de transport 2 est à pression atmosphérique d'air ou d'azote. Il s'agit par exemple de boîtes normalisées à ouverture latérale de type FOUP (« Front Opening Unified Pod » en anglais) ou de boîtes normalisées d'ouverture latérale de 25 type MAC (« Multi Application Carrier » en anglais) ou de boîtes à ouverture inférieure de type SMIF (« Standard Mechanical InterFace » en anglais) ou de boites de transport pour photomasques de type RSP (« Reticle SMIF Pod » en anglais). L'enceinte de transport 2 comporte une enveloppe 4 rigide, en matériau plastique, présentant une ouverture 5 et une porte amovible 6 comportant un joint 30 d'étanchéité périphérique 7, la porte amovible 6 permettant d'obturer l'ouverture 5. L'ouverture 5 peut être latérale (figure 1) ou inférieure. L'enceinte de transport 2 comporte au moins deux ports de ventilation 8, 9, chaque un port de ventilation 8, 9 comportant un orifice 12 ménagé dans le fond 4a de 3058562 8 l'enveloppe 4 dans le cas d'une enceinte à ouverture latérale ou ménagé dans la porte 6 dans le cas d'une enceinte à ouverture par le fond. Chaque port de ventilation 8, 9 comporte un filtre 10 à particules agencé dans l'orifice 12, empêchant l'entrée de particules à l'intérieur de l'enceinte de transport 2. 5 Les ports de ventilation 8, 9 peuvent être seulement formés par un orifice 12 pourvu d'un filtre 10, le flux de gaz pouvant entrer et sortir simultanément et indifféremment dans chaque port de ventilation de l'enceinte 2. D'autres exemples d'enceintes de transport 2 présentent au moins un port de ventilation 8 comportant un clapet anti-retour entrant 11 (appelé « port d'entrée » par la 10 suite) et au moins un port de ventilation 9 comportant un clapet anti-retour sortant 15 (appelé « port de sortie » par la suite). Les clapets 11, 15 sont agencés dans un orifice 12 respectif, en amont ou en aval du filtre 10. Les clapets anti-retour sortant 15 s'ouvrent en cas de surplus gazeux à l'intérieur de l'enceinte de transport 2 par rapport à la pression atmosphérique extérieure et les 15 clapets anti-retour entrant 11 à l'inverse, s'ouvrent en cas de dépression à l'intérieur de l'enceinte 2. Un gaz de purge peut être injecté dans l'enceinte de transport 2 au niveau d'un clapet anti-retour entrant 11, le surplus d'air s'évacuant par un clapet antiretour sortant 15. Il est ainsi possible de purger l'atmosphère interne de l'enceinte de 20 transport 2 sans ouverture et sans modification de l'enceinte 2 et donc, en cours de production. L'enceinte de transport 2 comporte par exemple deux ports d'entrée 8 et deux ports de sortie 9 (figure 2a). Les quatre ports d'entrée et de sortie 8, 9 peuvent être agencés aux quatre coins du fond 4a de l'enveloppe 4 de l'enceinte 2. Pour une 25 enceinte de transport 2 à ouverture 5 latérale, les ports de sortie 9 sont par exemple situés aux coins les plus proches de la porte 6. D'autres réalisations sont envisageables. Par exemple, pour une enceinte de transport 2 à ouverture 5 latérale, l'enceinte de transport 2 peut comporter un unique port d'entrée 8 et un unique port de sortie 9, par exemple situés aux deux coins du 30 fond 4a, à proximité de la porte 6 (figure 2b). Selon un autre exemple, l'enceinte de transport 2 comporte trois ports d'entrée 8 et un unique port de sortie 9, le port de sortie 9 étant par exemple agencé dans un coin proche de la porte 6. 3058562 9 Selon un exemple de réalisation, le clapet anti-retour entrant 11 comporte un obturateur mobile 13 et un organe élastique 14 (figure 1). L'obturateur 13 est mobile entre une position ouverte et une position fermée dans laquelle il obture l'orifice 12. Il comporte par exemple un disque complémentaire d'un palier cylindrique de l'orifice 12. 5 L'organe élastique 14, tel qu'un ressort de compression, sollicite l'obturateur mobile 13 en position fermée. L'ouverture du clapet anti-retour entrant 11 permet l'entrée d'un gaz dans l'enceinte de transport 2 sous l'exercice d'un effort extérieur à l'enceinte de transport 2, la position du clapet étant déterminée par la différence de pression amont/aval du 10 clapet. Lorsque la différence de pression entre la pression extérieure et la pression intérieure de l'enceinte de transport 2 est supérieure à un seuil de tarage du clapet, l'obturateur mobile 13 se déplace à l'encontre de l'organe élastique 14 en position ouverte et du gaz peut entrer dans l'enceinte de transport 2. Le port de sortie 9 se différencie du port d'entrée 8 par le fait que son ouverture 15 permet la sortie d'un gaz de l'enceinte de transport 2, le clapet anti-retour de sortie 15 s'ouvrant sous l'exercice d'un effort exercé à l'intérieur de l'enceinte de transport 2. Ainsi, lorsque la différence de pression entre la pression intérieure et la pression extérieure de l'enceinte de transport 2 est supérieure à un seuil de tarage du clapet, l'obturateur mobile 13 se déplace à l'encontre de l'organe élastique 14 en position 20 ouverte et du gaz peut sortir de l'enceinte de transport 2. Les orifices 12 et les filtres 10 du au moins un port d'entrée 8 et du au moins un port de sortie 9 peuvent être identiques. Les obturateurs mobiles 13 et les organes élastiques 14 du clapet anti-retour entrant 11 et du clapet anti-retour de sortie 15 peuvent également être les mêmes, l'obturateur mobile 13 du clapet anti-retour entrant 25 11 étant agencé en position inversée par rapport à l'obturateur mobile 13 du clapet anti-retour de sortie 15. Le dispositif de contrôle 1 de l'étanchéité d'au moins une enceinte de transport 2 comporte au moins une interface 20 configurée pour s'accoupler à l'enceinte de transport 2. 30 L'interface 20 comprend au moins deux têtes de connexion dont au moins une tête de mesure 23 configurée pour s'engager dans un orifice 12 d'un port de ventilation 8 de l'enceinte de transport 2. Les têtes de connexion peuvent toutes être des têtes de mesure 23. 3058562 10 Au moins une tête de connexion peut être formée par une tête obstruante 24. L'interface 20 comprend alors au moins une tête de mesure 23 et au moins une tête obstruante 24. La tête de mesure 23 comporte un embout 29 saillant, débouchant par au moins 5 un orifice 30, ainsi qu'un élément d'étanchéité périphérique 31 entourant l'embout 29 en amont du au moins un orifice 30. L'embout 29 est rigide. C'est par exemple un tube, par exemple en matériau métallique. Il fait saillie dans une direction axiale, destiné à être perpendiculaire à la paroi de l'enceinte de transport 2 accouplée à l'interface 20. Deux orifices 30 10 débouchent par exemple latéralement de l'extrémité de l'embout 29, les orifices 30 étant par exemple diamétralement opposés. L'élément d'étanchéité périphérique 31 permet la circulation étanche des gaz entre l'embout 29 et le port de ventilation 8 de l'enceinte de transport 2 accouplée, via le au moins un orifice 30. 15 L'élément d'étanchéité périphérique 31 est par exemple en matériau élastique, tel qu'en silicone. C'est par exemple une ventouse (figure 3b), un joint torique ou un joint à lèvres ou un soufflet. La ventouse permet d'obtenir de manière simple une très bonne étanchéité, le poids de l'enceinte de transport 2 pouvant suffire à déformer la ventouse saillant d'un plateau 25 horizontal. 20 L'élément d'étanchéité périphérique 31 peut également être en matériau rigide, tel qu'en matériau PEEK, l'étanchéité pouvant être obtenue par compression de l'organe élastique 14 dans le cas où le port d'entrée 8 comporte un clapet anti-retour entrant 11. La tête de mesure 23 est configurée pour s'engager dans un orifice 12 d'un port 25 de ventilation 8 de l'enceinte de transport 2 notamment en repoussant l'obturateur mobile 13 du clapet anti-retour entrant 11 lorsque le port de ventilation 8 est muni d'un clapet anti-retour entrant 11 et par exemple en comprimant ou en déformant au moins partiellement l'élément d'étanchéité périphérique 31. Ainsi, lorsque la tête de mesure 23 est engagée dans un port de ventilation 8 de 30 l'enceinte 2 munie d'un clapet anti-retour entrant 11, l'extrémité de l'embout 29 rigide appuie sur l'obturateur mobile 13 pour le repousser. 3058562 11 La tête de mesure 23 peut ainsi permettre de raccorder une ligne de mesure 40 à un port de ventilation 8 de l'enceinte de transport 2 de manière étanche et en ouvrant les clapets anti-retour entrant 11 éventuellement présents. La tête obstruante 24 comporte un élément d'étanchéité borgne 32, configuré 5 pour être au moins partiellement comprimé ou déformé pour obturer un port de ventilation 9 de l'enceinte de transport 2 lorsque l'enceinte de transport 2 est accouplée à l'interface 20. L'élément d'étanchéité borgne 32 est par exemple au moins partiellement en matériau élastique, tel qu'en silicone. C'est par exemple une ventouse (figure 3b), un 10 joint torique ou un joint à lèvres ou un soufflet. L'interface 20 peut comporter plusieurs têtes de mesure 23 et peut comporter plusieurs têtes obstruantes 24. Ainsi, dans le premier exemple illustré par la figure 1 et la figure 2a où l'enceinte de transport 2 comporte deux ports d'entrée 8 et deux ports de sortie 9, l'interface 20 15 comporte deux têtes de mesure 23 et deux têtes obstruantes 24 (figure 3a et 3b), une tête de mesure 23 étant configurée pour s'engager dans un port d'entrée 8 respectif et une tête obstruante 24 étant configurée pour obturer un port de sortie 9 respectif. Par ailleurs, lorsque l'enceinte de transport 2 est accouplée à l'interface 20, tous les ports de ventilation 8, 9 de l'enceinte de transport 2 sont accouplés à l'interface 20. 20 Les ports de ventilation 8, 9 sont soit engagés par une tête de mesure 23, soit obturés par une tête obstruante 24, au moins une tête de mesure 23 étant engagée dans un port de ventilation 8. A l'état accouplé, les éléments d'étanchéité périphérique et borgne 31, 32 peuvent être au moins partiellement comprimés ou déformés. Ainsi, toutes les fuites éventuelles de gaz autres que celles situées entre la porte 25 6 et l'enveloppe 4 sont maîtrisées, c'est à dire qu'elles sont soit obstruées, soit raccordées à une tête de mesure 23, de sorte que le contrôle d'étanchéité de l'enceinte de transport 2 reflète uniquement le contrôle de l'étanchéité de fermeture de la porte 6 de l'enceinte 2. En outre, les têtes de mesure 23 permettent de maintenir les clapets anti-retour 30 entrants 11 éventuellement présents en position ouverte, ce qui permet d'accéder à l'intérieur de l'enceinte de transport 2, sans modification et sans ouverture de celle-ci et pendant toute la durée d'un contrôle d'étanchéité. 3058562 12 L'interface 20 peut en outre comporter un moyen de positionnement 21, configuré pour positionner et supporter l'enceinte de transport 2. Le moyen de positionnement 21 comporte par exemple trois pions de centrage 21a, 21b, 21c faisant saillie du plateau 25 de l'interface 20 (figure 3b). Les pions de 5 centrage 21a, 21b, 21c sont configurés pour s'engager dans trois cavités complémentaires 16a, 16b, 16c, ménagées dans le fond 4a de l'enceinte de transport 2 (figure 2a) de manière à positionner et supporter l'enceinte de transport 2. Il s'agit d'un moyen de positionnement de la norme SEMI. En fonctionnement automatique, une enceinte de transport 2 peut être chargée sur une interface 20 par descente de 10 l'enceinte de transport 2 sur les pions de centrage 21a, 21b, 21c, le contact de l'enceinte de transport 2 avec les pions 21a, 21b, 21c arrêtant la descente de l'enceinte de transport 2. L'interface 20 peut en outre comporter au moins un moyen de maintien configuré pour maintenir l'enceinte de transport 2. 15 Le moyen de maintien comporte par exemple un doigt de maintien 22 mobile entre une position d'attente (figure 3a) et une position de maintien (figure 3b) dans laquelle le doigt 22 maintient l'enceinte de transport 2. Le doigt de maintien 22 est par exemple mobile en translation. Il est apte à s'engager dans une cavité de retenue 17 de forme complémentaire ménagée dans le fond 4a de l'enceinte de transport 2 (figure 20 2a) en position de maintien pour retenir axialement l'enceinte de transport 2. L'interface 20 peut comporter des moyens de maintien différents et normés de manière à pouvoir maintenir différentes types d'enceintes de transport 2, ici à ouverture latérale. L'interface 20 peut comporter un moyen de maintien comprenant une clé de 25 verrouillage 26 mobile entre une position d'attente (figure 3a) et une position de maintien (figure 3b) dans laquelle la clé 26 maintient l'enceinte de transport 2. La clé de verrouillage 26 est mobile axialement et elle est apte à pivoter de 90° dans la position de maintien pour s'engager dans une cavité de retenue complémentaire ménagée dans le fond 4a de l'enceinte de transport 2. 30 Selon un exemple de réalisation, la au moins une tête de mesure 23 et la au moins une tête obstruante 24 sont fixes et font saillie d'un plateau 25 de l'interface 20. Ainsi, le positionnement de l'enceinte de transport 2 sur les au moins une tête de mesure 23 et obstruante 24 permet de positionner et d'accoupler l'enceinte de 3058562 13 transport 2 à l'interface 20 en engageant la au moins une tête de mesure 23 dans un port de ventilation 8 et en obstruant au moins un port de ventilation 9 par une tête obstruante 24. Lorsque l'interface 20 comporte un moyen de positionnement 21 et un moyen de 5 maintien 22 et que les éléments d'étanchéité périphérique et borgne 31, 32 sont élastiques, les éléments d'étanchéité périphérique et borgne 31, 32 à l'état non comprimé ou non déformés, peuvent faire saille de l'interface 20 légèrement au-delà de l'extrémité du moyen de positionnement 21. Ainsi, le positionnement et le maintien de l'enceinte de transport 2 accouplée à l'interface 20 permettent d'engager au moins 10 une tête de mesure 23 dans un port de ventilation 8 et d'obstruer au moins un port de ventilation 9 par une tête obstruante 24. Selon un autre exemple de réalisation, le dispositif de contrôle 1 comporte au moins un actionneur de têtes 33, tel qu'un vérin, configuré pour déplacer la au moins une tête de mesure 23 et la au moins une tête obstruante 24 entre une position de 15 retrait (figure 3a) et une position saillante de contrôle de l'étanchéité (figure 3b). Dans ce cas, l'interface 20 comporte de préférence un moyen de maintien 22 pour maintenir l'enceinte de transport 2 au moment du déplacement de l'actionneur 33. La course de déplacement d de l'actionneur de têtes 33 dépend de la position des éléments d'étanchéité périphérique et borgne 31, 32 en position de retrait. Ceux-ci 20 peuvent affleurer des trous 34 ménagés dans le plateau 25 de l'interface 20 ou être situés au-dessous du plateau 25 ou dépasser du plateau 25 en position de retrait. On prévoit par exemple que la course de déplacement d de l'actionneur 33 soit supérieure à 0.5mm (figure 6), ce qui permet à des éléments d'étanchéité périphérique et borgne 31, 32 affleurant le plateau 25 en position de retrait, d'être déplacés au-delà 25 du moyen de positionnement 21 de manière à ouvrir au moins partiellement les clapets anti-retour entrants 11 quelque soit la raideur des organes élastiques 14, et éventuellement en comprimant ou déformant au moins partiellement les éléments d'étanchéité périphérique et borgne 31, 32. Le dispositif de contrôle 1 peut comporter au moins une ligne de mesure 40 30 reliée à un embout 29 d'une tête de mesure 23. La ligne de mesure 40 comporte un dispositif de contrôle du débit 41 et/ou un capteur de pression 42. Le dispositif de contrôle du débit 41 est par exemple un débitmètre massique réglable. Il permet l'injection contrôlée de différents flux de gaz, par exemple dans la 3058562 14 gamme Osccm-2000sccm, dans une canalisation 39 de la ligne de mesure 40 débouchant sur l'embout 29 de la tête de mesure 23. Le capteur de pression 42 est par exemple apte à mesurer des pressions comprises entre 0 et 10 mbar dans la canalisation 39. 5 Le dispositif de contrôle du débit 41 est par exemple interposé entre l'embout 29 et un filtre à particules 43a agencé en aval d'un manodétendeur réglable 43b, lui-même agencé en aval d'une source de gaz de purge, dans la direction d'écoulement des gaz allant de la source de gaz vers le dispositif de contrôle du débit 41. Le dispositif de contrôle du débit 41 et le capteur de pression 42 peuvent être 10 agencés sur une même ligne de mesure 40 (figure 1). Dans le cas où le dispositif de contrôle 1 comporte deux têtes de mesure 23, le dispositif de contrôle du débit 41 peut être monté sur une première ligne de mesure 40 raccordée à un premier embout 29 et le capteur de pression 42 peut être monté sur une deuxième ligne de mesure 40 raccordée à un deuxième embout 29. Dans ces deux cas, la ligne de mesure 40 15 équipée du dispositif de contrôle du débit 41 et/ou du capteur de pression 42 est raccordée à une tête de mesure 23 destinée à s'engager dans un port de ventilation sans clapet ou un port d'entrée 8 muni d'un clapet anti-retour entrant 11. Le dispositif de contrôle 1 peut comporter une ligne de prélèvement 49 reliée à l'embout 29 d'une tête de mesure 23 pour abaisser la pression dans la canalisation 20 reliée à la tête de mesure 23. La ligne de prélèvement 49 comprend une pompe de prélèvement 44, telle qu'une petite pompe à membrane, et une vanne d'isolation 44a. La pompe de prélèvement 44 est montée en aval de la vanne d'isolation 44a dans la direction d'écoulement des gaz, de manière à pouvoir isoler la pompe de prélèvement 44 de la 25 tête de mesure 23. La ligne de prélèvement 49 peut être montée en dérivation d'une ligne de mesure 40 comportant un dispositif de contrôle du débit 41 et/ou un capteur de pression 42. Il peut aussi s'agir d'une ligne distincte. La ligne de prélèvement 49 équipée d'une pompe de prélèvement 44 peut être raccordée à une tête de mesure 23 destinée à 30 s'engager dans un port de ventilation sans clapet ou dans un port d'entrée 8 muni d'un clapet anti-retour entrant 11 ou dans un port de sortie 9 muni d'un clapet anti-retour sortant 15. 3058562 15 La pompe de prélèvement 44 permet de faciliter le contrôle de pression dans l'enceinte de transport 2, notamment en permettant d'atteindre plus rapidement une pression souhaitée lors d'un contrôle d'étanchéité de l'enceinte 2. La ligne de mesure 40 peut également comporter au moins un orifice calibré 5 d'auto-contrôle 46 monté en dérivation de la tête de mesure 23 ainsi qu'une vanne trois voies 47. L'orifice calibré d'auto-contrôle 46 peut comporter un filtre à particules. La vanne trois voies 47 est apte à mettre en communication le dispositif de contrôle du débit 41 et le capteur de pression 42, et éventuellement la ligne de prélèvement 49, avec l'orifice calibré d'auto-contrôle 46 en étant isolé de la tête de 10 mesure 23 pour le contrôle de la ligne de mesure 40 (flèche F1 sur la figure 1). La vanne trois voies 47 est également apte à mettre en communication le dispositif de contrôle du débit 41 et le capteur de pression 42, et éventuellement la ligne de prélèvement 49, avec la tête de mesure 23 en étant isolé de l'orifice calibré d'auto-contrôle 46 pour le contrôle d'étanchéité de l'enceinte de transport 2 (flèche F2 15 sur la figure 1). Le dispositif de contrôle 1 peut comporter une ligne d'étalonnage 50 reliée à un embout 29 d'une tête de mesure 23, la ligne d'étalonnage 50 comportant au moins un orifice calibré d'étalonnage 48 (figure 4). L'orifice calibré d'étalonnage 48 peut comporter un filtre à particules. 20 La ligne d'étalonnage 50 peut être montée en dérivation d'une ligne de mesure 40 comportant un dispositif de contrôle du débit 41 et/ou un capteur de pression 42, l'orifice calibré d'étalonnage 48 étant alors monté en amont d'une vanne. Il peut aussi s'agir d'une ligne distincte, comportant par exemple également une ligne de prélèvement 49. Dans ce cas, la tête de mesure 23 peut être pourvue d'un actionneur 25 de tête 33 dédié, pour déplacer la tête de mesure 23 en position saillante uniquement lors d'une étape de calibration. Cette ligne d'étalonnage 50 équipée d'un orifice calibré d'étalonnage 48 peut être raccordée à une tête de mesure 23 destinée à s'engager dans un port de ventilation sans clapet ou dans un port d'entrée 8 muni d'un clapet anti-retour entrant 11 pour 30 s'assurer de que le clapet reste ouvert le temps de la calibration. La ligne d'étalonnage 50 permet ainsi de générer une fuite calibrée dans l'enceinte de transport 2 pour la calibration du dispositif de contrôle 1. 3058562 16 Le dispositif de contrôle 1 peut comporter plusieurs interfaces 20 pour le contrôle simultané de l'étanchéité de plusieurs enceintes de transport 2 accouplées à une interface 20 respective. On va maintenant décrire un exemple de procédé de contrôle 100 de l'étanchéité 5 d'une enceinte de transport 2 (figure 5) au moyen d'un dispositif de contrôle 1 comportant par exemple deux têtes de mesure 23 et deux têtes obstruantes 24, le dispositif de contrôle 10 comportant en outre un actionneur de têtes 33. Le procédé de contrôle 100 peut comporter une étape d'auto-contrôle 101, dans laquelle on mesure la pression dans la ligne de mesure 40 raccordée à une fuite 10 calibrée en étant isolé de la tête de mesure 23. Pour cela, on met en communication le dispositif de contrôle du débit 41 et le capteur de pression 42 d'une ligne de mesure 40, et éventuellement la pompe de prélèvement 44, avec l'orifice calibré d'auto-contrôle 46, en étant isolé de la tête de mesure 23 (flèche F1 sur la figure 1). 15 L'étape d'auto-contrôle 101 de la ligne de mesure 40 peut être réalisée à tout moment, avec ou sans enceinte de transport 2 accouplée. Elle permet de vérifier le bon fonctionnement du dispositif de contrôle 1, ce qui permet d'éviter les erreurs d'interprétation des mesures de pression. Les étapes ci-après du procédé de contrôle 100 nécessitent l'accouplement 20 d'une enceinte de transport 2 à l'interface 20. Pour cela, par exemple, on commence par positionner l'enceinte de transport 2 sur les pions de centrage 21a, 21b, 21c, le doigt de maintien 22 étant en position d'attente, les têtes de mesure 23 et les têtes obstruantes 24 étant en position de retrait (figure 3a). 25 Puis, on commande le déplacement du doigt de maintien 22 dans la position de maintien pour maintenir l'enceinte de transport 2 (figures 3b, 6). Puis, on commande le déplacement de l'actionneur de têtes 33 pour déplacer les têtes de mesure 23 et les têtes obstruantes 24 en position saillante de contrôle de l'étanchéité (figure 3b, 7). 30 L'engagement des têtes de mesure 23 dans un orifice 12 d'un port de ventilation 8 respectif de l'enceinte de transport 2 repousse l'obturateur mobile 13 des clapets anti-retour entrant 11 et déforme au moins partiellement les éléments d'étanchéité périphérique 31. 3058562 17 Les éléments d'étanchéité borgne 32 des têtes obstruantes 24 sont en outre au moins partiellement déformés et obturent un port de ventilation 9 respectif de l'enceinte de transport 2. L'enceinte de transport 2 est alors accouplée à l'interface 20. 5 Les ports d'entrée 8 et les ports de sortie 9 de l'enceinte de transport 2 sont, soit engagés par une tête de mesure 23, soit obturés par une tête obstruante 24, au moins une tête de mesure 23 étant engagée dans un port de ventilation 8, les éléments d'étanchéité périphérique et borgne 31, 32 étant au moins partiellement déformés. Le procédé de contrôle 100 peut comporter une étape de calibration 102 dans 10 laquelle une ligne d'étalonnage 50 est raccordée à l'enceinte de transport 2 par une tête de mesure 23 pour générer une fuite calibrée (figure 4). On mesure la pression dans une ligne de mesure 40 raccordée à une tête de mesure 23 engagée dans un port de ventilation 8 de l'enceinte de transport 2 accouplée à l'interface 20. Cette étape de calibration 102 permet notamment d'ajuster les valeurs 15 théoriques de fuites déduites des mesures de pression, avec les données en situation réelle, notamment pour ne pas prendre en compte les déformations de l'enceinte de transport 2 en surpression. L'étape de calibration 102 peut être effectuée au démarrage du dispositif de contrôle 1, puis régulièrement. Le procédé de contrôle 100 peut comprendre une étape préalable de 20 conditionnement 103, dans laquelle on établit une pression initiale prédéterminée PO dans la ligne de mesure 40 raccordée à une tête de mesure 23 engagée dans un port de ventilation 8 de l'enceinte de transport 2 accouplée à l'interface 20. La pression initiale prédéterminée PO peut être établie au moyen de la pompe de prélèvement 44 et du dispositif de contrôle du débit 41. 25 Les mesures réalisées sur une même enceinte de transport 2 présentent alors une bonne répétabilité. Les mesures réalisées sur différentes enceintes de transport 2 peuvent alors être comparées entre elles, ce qui facilite l'interprétation à donner aux résultats. En outre, la pompe de prélèvement 44 permet un contrôle aisé et rapide de la pression initiale prédéterminée P0, ce qui permet de ne pas perdre en cadence de 30 production. Cette étape de conditionnement 103 peut être réitérée à chaque nouveau contrôle d'étanchéité. Le contrôle d'étanchéité de l'enceinte de transport 2 proprement dit, peut être réalisé principalement de deux manières. 3058562 18 Selon un premier exemple, on met l'atmosphère interne de l'enceinte de transport 2 en surpression, c'est-à-dire à une pression supérieure à la pression atmosphérique de quelques millibars en injectant un flux de gaz contrôlé dans une tête de mesure 23 engagée dans un port de ventilation 8 de l'enceinte de transport 2 5 accouplée à l'interface 20 (étape de montée en pression 104, figure 8). Puis on arrête l'injection et on mesure la descente en pression dans une ligne de mesure 40 d'une tête de mesure 23 engagée dans un port de ventilation 8 (étape de descente en pression 105). La courbe temporelle de descente en pression permet de déterminer la 10 conductance d'un flux de fuite. Plus la descente en pression est rapide et plus la fuite est importante. Cette méthode est sensible et particulièrement adaptée aux fuites faibles, telles que de l'ordre de 0,11/s. La mesure de la descente en pression au cours du temps est possible grâce au maintien ouvert des clapets anti-retour entrants 11 par les têtes de mesure 23 pendant toute la durée du contrôle. 15 Selon un deuxième exemple, on injecte un flux de gaz constant dans une tête de mesure 23 engagée dans un port de ventilation 8 de l'enceinte de transport 2 accouplée à l'interface 20 et on mesure l'évolution de la pression au cours du temps dans la ligne de mesure 40 (figure 9). L'évolution de la pression en fonction du temps et du flux de gaz injecté permet 20 de déterminer un flux de fuite. Cette méthode permet de mesurer de plus grosses fuites, telles que de l'ordre de quelques Vs. Le maintien ouvert des clapets anti-retour entrants 11 par les têtes de mesure 23 permet d'injecter des flux de gaz contrôlés en s'affranchissant de la variabilité des organes élastiques 14 des clapets qui pourraient augmenter l'incertitude des mesures, 25 la raideur des organes élastiques 14 présentant de fortes dispersions d'une enceinte de transport 2 à l'autre. Ce maintien des clapets permet également d'éviter les effets de vibration des clapets lorsque ceux-ci sont dans un état instable entre la position ouverte et la position fermée. Le dispositif de contrôle 1 permet ainsi de contrôler l'étanchéité de l'enceinte de 30 transport 2 au niveau du joint d'étanchéité périphérique 7, en ayant accès à l'atmosphère intérieure de l'enceinte de transport 2 depuis l'extérieur de l'enceinte de transport 2, sans modification de l'enceinte 2 qui reste standard, que l'enceinte de transport 2 comporte ou non des clapets anti-retour 11, 15. L'enceinte de transport 2 3058562 19 peut donc être contrôlée en cours de production, de manière entièrement automatisée et alors qu'elle contient des substrats semi-conducteurs 3. 5 REVENDICATIONS1. Dispositif de contrôle (1) de l'étanchéité d'au moins une enceinte de transport (2) pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semiconducteurs (3), ladite enceinte de transport (2) comprenant : une enveloppe (4) rigide présentant une ouverture (5), une porte amovible (6) permettant d'obturer l'ouverture (5), et au moins deux ports de ventilation (8, 9), caractérisé en ce que le dispositif de contrôle (1) comporte au moins une interface (20) configurée pour s'accoupler à l'enceinte de transport (2), l'interface (20) comprenant : au moins deux têtes de connexion (23, 24), au moins une tête de connexion étant formée par une tête de mesure (23) configurée pour s'engager dans un port de ventilation (8) de l'enceinte de transport (2), la tête de mesure (23) comprenant : - un embout (29) saillant, débouchant par au moins un orifice (30), et - un élément d'étanchéité périphérique (31) entourant l'embout (29), l'élément d'étanchéité périphérique (31) étant agencé en amont du au moins un orifice (30), tous les ports de ventilation (8, 9) de l'enceinte de transport (2) étant accouplés à une tête de connexion (23, 24) de l'interface (20). 2. Dispositif de contrôle (1) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que au moins une tête de connexion est formée par une tête obstruante (24) comportant un élément d'étanchéité borgne (32) configuré pour obturer un port de ventilation (9) de l'enceinte de transport (2), tous les ports de ventilation (8, 9) de l'enceinte de transport (2) étant soit engagés par une tête de mesure (23), soit obturés par une tête obstruante (24). 3. Dispositif de contrôle (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la tête de mesure (23) est configurée pour s'engager dans un port de ventilation (8) de l'enceinte de transport (2) en repoussant le clapet anti-retour entrant (11) lorsque le port de ventilation (8) est muni d'un clapet anti-retour entrant (11). 3058562 21 4. Dispositif de contrôle (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le au moins un élément d'étanchéité périphérique (31) est élastique et au moins partiellement comprimé ou déformé lorsque l'enceinte de transport (2) est accouplée à l'interface (20). 5 5. Dispositif de contrôle (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que l'interface (20) comporte au moins un moyen de maintien (22, 26) configuré pour maintenir l'enceinte de transport (2). 6. Dispositif de contrôle (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les têtes de mesure (23, 24) sont mobiles, l'interface 10 (20) comportant en outre au moins un actionneur de têtes (33) configuré pour déplacer les têtes de connexion (23, 24) entre une position de retrait et une position saillante de contrôle de l'étanchéité. 7. Dispositif de contrôle (1) selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que les têtes de connexion (23, 24) sont fixes et font saillie de l'interface (20). 15 8. Dispositif de contrôle (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'élément d'étanchéité périphérique (31) comporte une ventouse. 9. Dispositif de contrôle (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'interface (20) comporte deux têtes de mesure (23) et 20 deux têtes obstruantes (24). 10. Dispositif de contrôle (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte au moins une ligne de mesure (40) reliée à un embout (29) d'une tête de mesure (23), la ligne de mesure (40) comportant un dispositif de contrôle du débit (41) et/ou un capteur de pression (42). 25 11. Dispositif de contrôle (1) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la ligne de mesure (40) comporte au moins un orifice calibré d'auto-contrôle (46) monté en dérivation de la tête de mesure (23) et une vanne trois voies (47) apte à mettre en communication le dispositif de contrôle du débit (41) et le capteur de pression (42) de la ligne de mesure (40) avec le au moins un 30 orifice calibré d'auto-contrôle (46) en étant isolé de la tête de mesure (23). 12. Dispositif de contrôle (1) selon l'une des revendications 10 ou 11, caractérisé en ce qu'il comporte une ligne de prélèvement (49) reliée à l'embout (29) d'une 3058562 22 tête de mesure (23), la ligne de prélèvement (49) comportant une pompe de prélèvement (44). 13. Dispositif de contrôle (1) selon l'une des revendications 10 à 12, caractérisé en ce qu'il comporte une ligne d'étalonnage (50) reliée à l'embout (29) d'une tête 5 de mesure (23), la ligne d'étalonnage (50) comportant au moins un orifice calibré d'étalonnage (48). 14. Procédé de contrôle (100) de l'étanchéité d'au moins une enceinte de transport (2) pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semiconducteurs (3) au moyen d'un dispositif de contrôle (1) selon l'une des 10 revendications précédentes, dans lequel on accouple une enceinte de transport (2) à une interface (20) du dispositif de contrôle (1) de manière à ce que tous les ports de ventilation (8, 9) de l'enceinte de transport (2) soient accouplés à une tête de connexion (23, 24) de l'interface (20), au moins une tête de connexion (23) étant formée par une tête de mesure (23) engagée dans un port 15 de ventilation (8, 9) de l'enceinte de transport (2). 15. Procédé de contrôle (100) selon la revendication précédente, dans lequel tous les ports de ventilation (8, 9) de l'enceinte de transport (2) sont, soit engagés par une tête de mesure (23), soit obturés par une tête obstruante (24) de l'interface (20). 20 16. Procédé de contrôle selon l'une des revendications 14 ou 15, caractérisé en ce que le au moins un élément d'étanchéité périphérique (31) est au moins partiellement comprimé ou déformé lorsque l'enceinte de transport (2) est accouplée à l'interface (20). 17. Procédé de contrôle (100) selon l'une des revendications 14 à 16, caractérisé 25 en ce qu'on injecte un flux de gaz contrôlé dans une ligne de mesure (40) raccordée à une tête de mesure (23) engagée dans un port de ventilation (8) de l'enceinte de transport (2) accouplée à l'interface (20), puis on arrête l'injection et on mesure la descente en pression dans la ligne de mesure (40). 18. Procédé de contrôle (100) selon l'une des revendications 14 à 17, caractérisé 30 en ce qu'on injecte un flux de gaz constant dans une ligne de mesure (40) raccordée à une tête de mesure (23) engagée dans un port de ventilation (8) de l'enceinte de transport (2) accouplée à l'interface (20), en mesurant l'évolution de la pression au cours du temps dans la ligne de mesure (40). 3058562 23 19. Procédé de contrôle (100) selon l'une des revendications 14 à 18, caractérisé en ce qu'il comprend une étape préalable de conditionnement (103) dans laquelle on établit une pression initiale prédéterminée (P0) dans une ligne de mesure (40) raccordée à une tête de mesure (23) engagée dans un port de 5 ventilation (8) de l'enceinte de transport (2) accouplée à l'interface (20). 20. Procédé de contrôle (100) selon l'une des revendications 14 à 19, caractérisé en ce qu'il comporte une étape de calibration (102) dans laquelle une ligne d'étalonnage (50) est raccordée à l'enceinte de transport (2) par une tête de mesure (23) engagée dans un port de ventilation (8) de l'enceinte de transport 10 (2) accouplée à l'interface (20) pour générer une fuite calibrée et on mesure la pression dans une ligne de mesure (40) raccordée à une tête de mesure (23) engagée dans un port de ventilation (8) de l'enceinte de transport (2) accouplée à l'interface (20). 21. Procédé de contrôle (100) selon l'une des revendications 14 à 20, caractérisé 15 en ce qu'il comporte une étape d'auto-contrôle (101) dans laquelle on mesure la pression dans une ligne de mesure (40) comportant un orifice calibré d'auto-contrôle (46) monté en dérivation de la tête de mesure (23), l'orifice calibré d'auto-contrôle (46) étant mis en communication avec le dispositif de contrôle du débit (41) et le capteur de pression (42) de la ligne de mesure (40) en étant 20 isolé de la tête de mesure (23).