Brevet FR3054892A1 — publié le 20180209

SUBSTRAT MUNI D'UN EMPILEMENT A PROPRIETES THERMIQUES COMPORTANT AU MOINS UNE COUCHE COMPRENANT DU NITRURE DE SILICIUM-ZIRCONIUM ENRICHI EN ZIRCONIUM, SON UTILISATION ET SA FABRICATION L'invention concerne un substrat transparent notamment en un matériau rigide minéral comme le verre, ledit substrat étant revêtu d'un empilement de couches minces comprenant une couche fonctionnelle de type métallique pouvant agir sur le rayonnement solaire et/ou le rayonnement infrarouge de grande longueur d'onde. L'invention concerne plus particulièrement l'utilisation de tels substrats pour fabriquer des vitrages d'isolation thermique et/ou de protection solaire. Ces vitrages peuvent être destinés aussi bien à équiper les bâtiments que les véhicules, en vue notamment de diminuer l'effort de climatisation et/ou d'empêcher une surchauffe excessive (vitrages dits - de contrôle solaire ») et/ou diminuer la quantité d'énergie dissipée vers l'extérieur (vitrages dits - bas émissifs ») entraînée par l'importance toujours croissante des surfaces vitrées dans les bâtiments et les habitacles de véhicules. Ces vitrages peuvent par ailleurs être intégrés dans des vitrages présentant des fonctionnalités particulières, comme par exemple des vitrages chauffants ou des vitrages électrochromes. Un type d'empilement de couches connu pour conférer aux substrats de telles propriétés est constitué d'une couche métallique fonctionnelle à propriétés de réflexion dans l'infrarouge et/ou dans le rayonnement solaire, notamment une couche fonctionnelle métallique à base d'argent ou d'alliage métallique contenant de l'argent. Dans ce type d'empilement, la couche fonctionnelle se trouve ainsi disposée entre deux revêtements antireflets comportant chacun en général plusieurs couches qui sont chacune en un matériau diélectrique du type nitrure et notamment nitrure de silicium ou d'aluminium ou du type oxyde. Du point de vue optique, le but de ces revêtements qui encadrent la couche fonctionnelle métallique est - d'antirefléter » cette couche fonctionnelle métallique. Un revêtement de blocage est toutefois intercalé parfois entre un ou chaque revêtement antireflet et la couche métallique fonctionnelle, le revêtement de blocage disposé sous la couche fonctionnelle en direction du substrat et la protège lors d'un éventuel traitement thermique à haute température, du type bombage et/ou trempe et le revêtement de blocage disposé sur la couche fonctionnelle à l'opposé du substrat protège cette couche d'une éventuelle dégradation lors du 3054892 - 2 - dépôt du revêtement antireflet supérieur et lors d'un éventuel traitement thermique à haute température, du type bombage et/ou trempe. Il est connu, par exemple de la demande de brevet européen N° EP 718 250 5 qu'une couche diélectrique dite - de mouillage » à base d'oxyde de zinc disposée directement sous une couche fonctionnelle métallique à base d'argent, en direction du substrat porteur, favorise l'obtention d'un état cristallographique adéquat de la couche fonctionnelle métallique tout en présentant l'avantage de pouvoir supporter un traitement thermique à haute température de bombage, trempe. 10 Ce document divulgue par ailleurs l'effet favorable de la présence d'une couche déposée sous forme métallique directement sur et au contact de la couche fonctionnelle à base d'argent pour la protection de la couche fonctionnelle pendant le dépôt des autres couches au-dessus et pendant le un traitement thermique à haute température. L'homme du métier connaît ce type de couche sous l'appellation 15 générique de - couche de blocage » ou - blocker ». Ce document divulgue surtout que la présence d'une couche barrière, comprenant par exemple du nitrure de silicium, dans chacun des revêtements antireflet, l'une en dessous de la couche de mouillage en direction du substrat et l'autre au-dessus de la couche de blocage, permet de réaliser un empilement qui 20 résiste bien à un traitement thermique de bombage ou de trempe. Un but de l'invention est d'améliorer l'art antérieur, en mettant au point un nouveau type d'empilement de couches monocouche fonctionnelle qui présente une faible résistance par carré (et donc une émissivité réduite) mais aussi une transmission lumineuse élevée et un facteur solaire élevé, et cela éventuellement 25 après un (ou des) traitement(s) thermique(s) à haute température de bombage et/ou trempe et/ou recuit. Un but de l'invention est par ailleurs que l'empilement présente une colorimétrie favorable, et cela éventuellement après un (ou des) traitement(s) thermique(s) à haute température de bombage et/ou trempe et/ou recuit et 30 notamment une couleur en réflexion côté empilement qui n'est pas trop rouge et/ou une couleur en transmission qui n'est pas trop jaune. Il a été découvert que, d'une manière surprenante, la présence d'une couche comprenant du nitrure de silicium-zirconium avec une certaine proportion atomique de zirconium par l'ensemble formé par le silicium et le zirconium, dans un tel 35 empilement avait des effets très favorables sur l'obtention d'un facteur solaire plus élevé et cela tant en configuration double vitrage qu'en configuration triple vitrage et sur l'obtention d'une telle colorimétrie. 3054892 - 3 - L'invention a ainsi pour objet, dans son acception la plus large, un substrat transparent muni sur une face principale d'un empilement de couches minces comportant une seule couche fonctionnelle métallique à propriétés de réflexion dans l'infrarouge et/ou dans le rayonnement solaire, notamment à base d'argent ou 5 d'alliage métallique contenant de l'argent, et deux revêtements antireflet, lesdits revêtements antireflet comportant chacun au moins une couche diélectrique, ladite couche fonctionnelle étant disposée entre les deux revêtements antireflet, remarquable en ce qu'au moins le revêtement antireflet situé entre ledit substrat et ladite couche fonctionnelle, voire les deux revêtements antireflet comporte(nt) une 10 couche comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz, avec un ratio atomique de Zr sur la somme Si + Zr, y / (x + y), qui est compris entre 25,0 % et 40,0 % en intégrant ces valeurs. Une plage de ratio atomique de Zr sur la somme Si + Zr, y / (x + y) particulièrement adéquate entre 26,32 % et 37,5 % en intégrant ces valeurs. Ce 15 matériau peut être déposé avec une cible comportant de 70,0 % à 60,0 % atomique de Si pour 25,0 % à 36,0 % atomique de Zr ; cette cible étant pulvérisée dans une atmosphère contenant de l'azote. Une autre plage de ratio atomique de Zr sur la somme Si + Zr, y / (x + y) particulièrement adéquate est entre 27,0 % et 37,0 % en intégrant ces valeurs. 20 Il est possible que ladite couche comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz, voire que chaque couche comportant du nitrure de silicium zirconium SixZryNz comporte un ratio atomique de Zr sur la somme Si + Zr qui est compris entre 26,0 % et 30,0 % en intégrant ces valeurs, ou compris entre 31,0 % et 38,0 % en intégrant ces valeurs, ou compris entre 25,5 % et 32,5 % en intégrant ces valeurs. 25 Le revêtement antireflet situé entre ledit substrat et ladite couche fonctionnelle peut être le seul des deux revêtements antireflet à comporter une couche comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz, et éventuellement il peut comporter une seule couche comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz, avec un ratio atomique de Zr sur la somme Si + Zr, y / (x + y), qui est 30 compris entre 25,0 % et 40,0 % en intégrant ces valeurs, voire entre 27,0 % et 37,0 % en intégrant ces valeurs. Dans le cas où l'empilement comporte plusieurs couches comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz, alors le ratio atomique de Zr sur la somme Si + Zr, y / (x + y) pour chacune de ces couches est, de préférence compris entre 25,0 % et 35 40,0 % en intégrant ces valeurs, voire pour chacune de ces couches est entre 27,0 % et 37,0 % en intégrant ces valeurs mais il n'est pas forcément le même pour toutes ces couches comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz. 3054892 - 4 - Il est possible que le rapport y / (x + y) soit différent pour deux couches comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz, dudit empilement. Dans le cas où chacun des deux revêtements antireflet comporte une couche comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz, éventuellement ils peuvent 5 comporter chacun une seule couche comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz, avec un ratio atomique de Zr sur la somme Si + Zr, y / (x + y), qui est compris entre 25,0 % et 40,0 % en intégrant ces valeurs, voire entre 27,0 % et 37,0 % en intégrant ces valeurs, ou compris entre 26,0 % et 30,0 % en intégrant ces valeurs, ou compris entre 31,0 % et 38,0 % en intégrant ces valeurs, ou compris entre 25,5 % 10 et 32,5 % en intégrant ces valeurs. Une plage de ratio atomique de Zr sur la somme Al + Si + Zr, y / (w + x + y) particulièrement adéquate est entre 25,0 % et 36,0 % en intégrant ces valeurs. Ce matériau peut être déposé avec une cible comportant de 70,0 % à 60,0 % atomique de Si pour 25,0 % à 36,0 % atomique de Zr avec 5,0 % atomique de Al dans tous les 15 cas ; cette cible étant pulvérisée dans une atmosphère contenant de l'azote. Par - substrat transparent » au sens de la présente invention, il faut comprendre que le substrat n'est pas opaque et qu'il présenterait sans l'empilement une transmission lumineuse d'au moins 5 %. Par - revêtement » au sens de la présente invention, il faut comprendre qu'il 20 peut y avoir une seule couche ou plusieurs couches de matériaux différents à l'intérieur du revêtement. Par - au contact » on entend au sens de l'invention qu'aucune couche n'est interposée entre les deux couches considérées. Par - à base de » on entend au sens de l'invention que l'élément ou le 25 matériau ainsi désigné est présent à plus de 50 % atomique dans la couche considérée. Avantageusement, l'unique couche fonctionnelle métallique à propriétés de réflexion dans l'infrarouge et/ou dans le rayonnement solaire, est une couche continue. 30 Avantageusement, l'empilement selon l'invention ne comporte pas de couche comprenant de l'oxyde de titane ; Le dioxyde de titane, Ti02, présente un indice de réfraction très élevé et cet indice peut être trop élevé pour les applications visées. L'oxyde de titane sous-stoechiométrique, TiOb avec b qui est un nombre inférieur à 2 peut constituer une couche haut indice mais son indice de réfraction est fonction de 35 son oxydation et son oxydation est difficile à contrôler industriellement ; l'empilement selon l'invention est ainsi plus facile à fabriquer industriellement. 3054892 - 5 - De préférence, ladite couche comportant du nitrure de silicium zirconium de l'empilement selon l'invention, ou chacune des couches comportant du nitrure de silicium zirconium de l'empilement selon l'invention, ne comporte pas de titane. De préférence, ladite couche comportant du nitrure de silicium zirconium, 5 SixZryNz, présente une nitruration z comprise entre 4/3 (x + y) et 5/3 (x + y) en intégrant ces valeurs ; de préférence encore, chaque couche comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz, présente une nitruration z comprise entre 4/3 (x + y) et 5/3 (x + y) en intégrant ces valeurs. De préférence par ailleurs, ladite couche comportant du nitrure de silicium 10 zirconium dudit empilement, ou chacune des couches comportant du nitrure de silicium zirconium dudit empilement, ne comporte pas d'oxygène introduit volontairement. La présence d'oxygène dans la ou les couche comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz, est à éviter car cela provoque une diminution de l'indice de réfraction de la couche. Par le fait que cette couche ne comporte pas 15 d'oxygène, il faut comprendre qu'il n'y a pas d'oxygène en quantité significative par rapport à l'azote, c'est-à-dire en quantité relative d'au moins 5 % atomique rapporté à la quantité totale d'azote et d'oxygène, sachant que l'affinité des éléments Si et Zr est plus grande pour l'oxygène que pour l'azote. Dans une variante particulière, le revêtement antireflet situé entre ledit 20 substrat et ladite couche fonctionnelle comporte en outre une couche comportant du nitrure de silicium sans zirconium, ladite couche comportant du nitrure de silicium sans zirconium étant de préférence située entre ledit substrat et ladite couche comportant du nitrure de silicium zirconium, et de préférence encore à la fois directement sur ladite face principale du substrat et directement sous ladite couche 25 comportant du nitrure de silicium zirconium. De préférence alors, ladite couche revêtement antireflet situé entre ledit substrat et ladite couche fonctionnelle et comportant du nitrure de silicium sans zirconium présente une épaisseur comprise entre 5,0 et 25,0 nm en incluant ces valeurs, voire entre 15,0 et 20,0 nm en incluant ces valeur. 30 Dans une autre variante particulière, éventuellement cumulable avec la précédente, le revêtement antireflet situé au-dessus de ladite couche fonctionnelle à l'opposé dudit substrat comporte en outre une couche comportant du nitrure de silicium sans zirconium, ladite couche comportant du nitrure de silicium sans zirconium étant de préférence située entre au-dessus de ladite couche comportant 35 du nitrure de silicium zirconium. 3054892 - 6 - De préférence alors, ladite couche du revêtement antireflet situé au-dessus de ladite couche fonctionnelle et comportant du nitrure de silicium sans zirconium présente une épaisseur comprise entre 25,0 et 35,0 nm en incluant ces valeurs. Ces solutions permettent de diminuer le coût car le nitrure de silicium sans 5 zirconium coûte moins cher que le nitrure de silicium-zirconium. Dans une variante particulière, le revêtement antireflet situé au-dessus de ladite couche fonctionnelle et à l'opposé dudit substrat comporte en outre une couche en un matériau diélectrique à faible indice, notamment à base d'oxyde de silicium. Le matériau de cette couche être constitué uniquement de Si et de 0 ; il 10 peut être en particulier du dioxyde de silicium ou du dioxyde de silicium dopé à l'aluminium. Cette couche en un matériau diélectrique à faible indice est, de préférence, la dernière couche diélectrique du revêtement antireflet situé au-dessus de ladite couche fonctionnelle. Le matériau de cette couche diélectrique d'indice faible présente de 15 préférence un indice compris entre 1,60 et 1,80 ; La couche présente de préférence une épaisseur comprise entre 15,0 et 60,0 nm, voire entre 20,0 et 58,0 nm, voire entre 30,0 et 55,0 nm. Une couche à base d'oxyde de zinc peut être située en dessous et au contact de ladite couche fonctionnelle. Cela a pour effet de participer activement à 20 l'obtention d'une couche fonctionnelle métallique présentant un taux de cristallisation élevée, et ainsi une résistance par carré faible, et donc une faible émissivité. De préférence, ladite couche comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz, qui est située entre ledit substrat et ladite couche fonctionnelle présente 25 une épaisseur comprise entre 10,0 et 30,0 nm en incluant ces valeurs. De préférence par ailleurs, ladite couche comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz, qui est située au-dessus de ladite couche fonctionnelle à l'opposé dudit substrat présente une épaisseur comprise entre 6,0 et 12,0 nm en incluant ces valeurs. 30 De préférence, l'empilement ne comporte aucune couche comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz, qui ne serait pas avec un ratio atomique de Zr sur la somme Si + Zr, y / (x + y), qui est compris entre 25,0 % et 40,0 %. L'empilement peut ainsi comporter une dernière couche (« overcoat » en anglais), c'est-à-dire une couche de protection. Cette couche de protection 35 présente, de préférence, une épaisseur physique comprise entre 0,5 et 10,0 nm. 3054892 - 7 - Le vitrage selon l'invention incorpore au moins le substrat porteur de l'empilement selon l'invention, éventuellement associé à au moins un autre substrat. Chaque substrat peut être clair ou coloré. Un des substrats au moins notamment peut être en verre coloré dans la masse. Le choix du type de coloration va dépendre du 5 niveau de transmission lumineuse et/ou de l'aspect colorirnétrique recherchés pour le vitrage une fois sa fabrication achevée. Le vitrage selon l'invention peut présenter une structure feuilletée, associant notamment au moins deux substrats rigides du type verre par au moins une feuille de polymère thermoplastique, afin de présenter une structure de type 10 verre/empilement de couches minces/feuille(s)/verre. Le polymère peut notamment être à base de polyvinylbutyral PVB, éthylène vinylacétate EVA, polyéthylène téréphtalate PET, polychlorure de vinyle PVC. Le vitrage peut par ailleurs présenter une structure de type verre/empilement de couches minces/feuille(s) de polymère. 15 Les vitrages selon l'invention sont aptes à subir un traitement thermique sans dommage pour l'empilement de couches minces. Ils sont donc éventuellement bombés et/ou trempés. Le vitrage peut être bombé et/ou trempé en étant constitué d'un seul substrat, celui muni de l'empilement. Il s'agit alors d'un vitrage dit - monolithique ». Dans le 20 cas où ils sont bombés, notamment en vue de constituer des vitrages pour véhicules, l'empilement de couches minces se trouve de préférence sur une face au moins partiellement non plane. Le vitrage peut aussi être un vitrage multiple, notamment un double-vitrage, au moins le substrat porteur de l'empilement pouvant être bombé et/ou trempé. Il 25 est préférable dans une configuration de vitrage multiple que l'empilement soit disposé de manière à être tourné du côté de la lame de gaz intercalaire. Dans une structure feuilletée, l'empilement peut être en contact avec la feuille de polymère. Le vitrage peut aussi être un triple vitrage constitué de trois feuilles de verre séparées deux par deux par une lame de gaz. Dans une structure en triple vitrage, le 30 substrat porteur de l'empilement peut être en face 2 et/ou en face 5, lorsque l'on considère que le sens incident de la lumière solaire traverse les faces dans l'ordre croissant de leur numéro. Lorsque le vitrage est monolithique ou multiple du type double-vitrage, triple vitrage ou vitrage feuilleté, au moins le substrat porteur de l'empilement peut être 35 en verre bombé ou trempé, ce substrat pouvant être bombé ou trempé avant ou après le dépôt de l'empilement. 3054892 - 8 - La présente invention se rapporte par ailleurs à un procédé de fabrication du substrat selon l'invention, dans lequel ladite couche comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz est fabriquée par pulvérisation, dans une atmosphère comportant de l'azote, d'une cible comportant un ratio atomique de Zr sur la somme 5 Si + Zr, y / (x + y), qui est compris entre 25,0 % et 40,0 % en intégrant ces valeurs, voire 26,32 % et 37,5 % en intégrant ces valeurs, voire entre 27,0 % et 37,0 % en intégrant ces valeurs. De préférence, ladite atmosphère ne comporte pas d'oxygène. Par le fait que cette atmosphère ne comporte pas d'oxygène, il faut comprendre qu'il n'y a pas 10 d'oxygène introduit volontairement dans l'atmosphère de pulvérisation de ladite cible. La présente invention se rapporte par ailleurs à une cible pour la mise en oeuvre du procédé selon l'invention, ladite cible comportant un ratio atomique de Zr sur la somme Si + Zr, y / (x + y), qui est compris entre 25,0 % et 40,0 % en intégrant 15 ces valeurs, voire 26,32 % et 37,5 % en intégrant ces valeurs, voire entre 27,0 % et 37,0 % en intégrant ces valeurs. Avantageusement, la présente invention permet ainsi de réaliser un empilement de couches minces monocouche fonctionnelle métallique qui présente 20 un facteur solaire plus élevé et un aspect colorinnétrique satisfaisant, notamment après traitement thermique de bombage ou trempe. Les détails et caractéristiques avantageuses de l'invention ressortent des exemples non limitatifs suivants, illustrés à l'aide des figures ci-jointes illustrant : 25 en figure 1, un empilement monocouche fonctionnelle, la couche fonctionnelle étant déposée directement sous un revêtement de sur-blocage ; en figure 2, une solution de double vitrage incorporant un empilement monocouche fonctionnelle ; en figure 3, la courbe de l'indice de réfraction, à 550 nm, du nitrure de 30 silicium-zirconium (« SiZr ») en fonction de la teneur en Zr par rapport à la somme de Zr + Si, ainsi que l'indice de réfraction, à 550 nm, du dioxyde de titane TiO2 ; et en figure 4, la courbe du coefficient d'absorption, à 380 nm, du nitrure de silicium-zirconium(« SiZr ») en fonction de la teneur en Zr par rapport à la somme de Zr + Si, ainsi que le coefficient d'absorption, à 380 nm, du dioxyde de titane Ti02. 35 Dans les figures 1 et 2, les proportions entre les épaisseurs des différentes couches ou des différents éléments ne sont pas respectées afin de faciliter leur lecture. 3054892 9 La figure 1 illustre une structure d'un empilement 14 monocouche fonctionnelle selon l'invention déposé sur une face 29 d'un substrat 30 verrier, transparent, dans laquelle la couche fonctionnelle 140 unique, en particulier à base 5 d'argent ou d'alliage métallique contenant de l'argent, est disposée entre deux revêtements antireflet, le revêtement antireflet sous-jacent 120 situé en dessous de la couche fonctionnelle 140 en direction du substrat 30 et le revêtement antireflet sus-jacent 160 disposé au-dessus de la couche fonctionnelle 140 à l'opposé du substrat 30. 10 Ces deux revêtements antireflet 120, 160, comportent chacun au moins une couche diélectrique 122, 123, 124, 126, 128 ; 162, 163, 164, 166, 168. Eventuellement, d'une part la couche fonctionnelle 140 peut être déposée directement sur un revêtement de sous-blocage (non illustré) disposé entre le revêtement antireflet sous-jacent 120 et la couche fonctionnelle 140 et d'autre part 15 la couche fonctionnelle 140 peut être déposée directement sous un revêtement de sur-blocage 150 disposé entre la couche fonctionnelle 140 et le revêtement antireflet sus-jacent 160. Les couches de sous et/ou sur-blocage, bien que déposées sous forme métalliques et présentées comme étant des couches métalliques, sont parfois dans la 20 pratique des couches oxydées car une de leurs fonctions (en particulier pour la couche de sur-blocage) est de s'oxyder au cours du dépôt de l'empilement afin de protéger la couche fonctionnelle. Lorsqu'un empilement est utilisé dans un vitrage multiple 100 de structure 25 double vitrage, comme illustré en figure 2, ce vitrage comporte deux substrats 10, 30 qui sont maintenus ensemble par une structure de châssis 90 et qui sont séparés l'un de l'autre par une lame de gaz intercalaire 15. Le vitrage réalise ainsi une séparation entre un espace extérieur ES et un espace intérieur IS. 30 L'empilement peut être positionné en face 3 (sur la feuille la plus à l'intérieur du bâtiment en considérant le sens incident de la lumière solaire entrant dans le bâtiment et sur sa face tournée vers la lame de gaz). La figure 2 illustre ce positionnement (le sens incident de la lumière solaire entrant dans le bâtiment étant illustré par la double flèche) en face 3 d'un 35 empilement de couches minces 14 positionné sur une face intérieure 29 du substrat 30 en contact avec la lame de gaz intercalaire 15, l'autre face 31 du substrat 30 étant en contact avec l'espace intérieur IS. 3054892 - 10 - Toutefois, il peut aussi être envisagé que dans cette structure de double vitrage, l'un des substrats présente une structure feuilletée. Les couches déposées peuvent être classées en trois catégories : 5 i- les couches en matériau antireflet/diélectrique, présentant un rapport n/k sur toute la plage de longueur d'onde du visible supérieur en 5 : les couches à base de nitrure de silicium, à base de nitrure de silicium-zirconium, à base d'oxyde de zinc, à base d'oxyde de zinc et d'étain, à base d'oxyde de titane, à base d'oxyde titane-zirconium, à base d'oxyde de silicium, ... ; 10 ii- les couches fonctionnelles métalliques en matériau à propriétés de réflexion dans l'infrarouge et/ou dans le rayonnement solaire : par exemple à base d'argent ou en argent ; Il a été constaté que l'argent présente un rapport 0 REVENDICATIONS1. Substrat (30) transparent muni sur une face principale d'un empilement de couches minces comportant une seule couche fonctionnelle (140) métallique à propriétés de réflexion dans l'infrarouge et/ou dans le rayonnement solaire, notamment à base d'argent ou d'alliage métallique contenant de l'argent, et deux revêtements antireflet (120, 160), lesdits revêtements antireflet comportant chacun au moins une couche diélectrique (122, 128 ; 162, 168), ladite couche fonctionnelle (40) étant disposée entre les deux revêtements antireflet (20, 60), caractérisé en ce qu'au moins le revêtement antireflet (120) situé entre ledit substrat (30) et ladite couche fonctionnelle (140), voire les deux revêtements antireflet (120, 160) comporte(nt) une couche (126, 166) comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz, avec un ratio atomique de Zr sur la somme Si + Zr, y / (x + y), qui est compris entre 25,0 % et 40,0 % en intégrant ces valeurs, voire 26,32 % et 37,5 % en intégrant ces valeurs, voire entre 27,0 % et 37,0 % en intégrant ces valeurs. 2. Substrat (30) selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite couche (126, 166) comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz, présente une nitruration z comprise entre 4/3 (x + y) et 5/3 (x + y) en intégrant ces valeurs. 3. Substrat (30) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que ladite couche (126, 166) comportant du nitrure de silicium zirconium ne comporte pas 20 d'oxygène. 4. Substrat (30) selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le revêtement antireflet (120) situé entre ledit substrat (30) et ladite couche fonctionnelle (140) comporte en outre une couche (122) comportant du nitrure de silicium sans zirconium, ladite couche (122) comportant du nitrure de 25 silicium sans zirconium étant de préférence située entre ledit substrat (30) et ladite couche (126) comportant du nitrure de silicium zirconium. 5. Substrat (30) selon la revendication 4, caractérisé en ce que ladite couche (122) comportant du nitrure de silicium sans zirconium présente une épaisseur comprise entre 5,0 et 25,0 nm en incluant ces valeurs, voire entre 15,0 et 30 20,0 nm en incluant ces valeurs. 6. Substrat (30) selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le revêtement antireflet (160) situé au-dessus de ladite couche fonctionnelle (140) à l'opposé dudit substrat (30) comporte en outre une couche (168) comportant du nitrure de silicium sans zirconium, ladite couche (168) 3054892 - 24 - comportant du nitrure de silicium sans zirconium étant de préférence située entre au-dessus de ladite couche (166) comportant du nitrure de silicium zirconium. 7. Substrat (30) selon la revendication 6, caractérisé en ce que ladite couche (168) comportant du nitrure de silicium sans zirconium présente une 5 épaisseur comprise entre 25,0 et 35,0 nm en incluant ces valeurs. 8. Substrat (30) selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que le revêtement antireflet (160) situé au-dessus de ladite couche fonctionnelle (140) et à l'opposé dudit substrat (30) comporte en outre une couche (169) en un matériau diélectrique à faible indice, notamment à base d'oxyde 10 de silicium. 9. Substrat (30) selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'une couche à base d'oxyde de zinc est située en dessous et au contact de ladite couche fonctionnelle (140). 10. Substrat (30) selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé 15 en ce que ladite couche (126) comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz, qui est située entre ledit substrat (30) et ladite couche fonctionnelle (140) présente une épaisseur comprise entre 10,0 et 30,0 nm en incluant ces valeurs. 11. Substrat (30) selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que ladite couche (166) comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz, qui est située au-dessus de ladite couche fonctionnelle (140) à l'opposé dudit substrat (30) présente une épaisseur comprise entre 6,0 et 12,0 nm en incluant ces valeurs. 12. Vitrage (100) incorporant au moins un substrat (30) selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, éventuellement associé à au moins un autre 25 substrat. 13. Vitrage (100) selon la revendication 12 monté en monolithique ou en vitrage multiple du type double-vitrage ou triple vitrage ou vitrage feuilleté, caractérisé en ce qu'au moins le substrat porteur de l'empilement est bombé et/ou trempé. 30 14. Utilisation du substrat selon l'une quelconque des revendications 1 à 13, pour réaliser une électrode transparente d'un vitrage chauffant ou d'un vitrage électrochrome ou d'un dispositif d'éclairage ou d'un dispositif de visualisation ou d'un panneau photovoltaïque. 3054892 - 25 - 15. Procédé de fabrication du substrat selon l'une quelconque des revendications 1 à 13, dans lequel ladite couche (126, 166) comportant du nitrure de silicium zirconium, SixZryNz est fabriquée par pulvérisation, dans une atmosphère comportant de l'azote, d'une cible comportant un ratio atomique de Zr sur la somme 5 Si + Zr, y / (x + y), qui est compris entre 25,0 % et 40,0 % en intégrant ces valeurs, voire 26,32 % et 37,5 % en intégrant ces valeurs, voire entre 27,0 % et 37,0 % en intégrant ces valeurs. 16. Procédé selon la revendication 15, caractérisé en ce que ladite atmosphère ne comporte pas d'oxygène. 10 17. Cible pour la mise en oeuvre du procédé selon la revendication 15 ou la revendication 16 comportant un ratio atomique de Zr sur la somme Si + Zr, y / (x + y), qui est compris entre 25,0 % et 40,0 % en intégrant ces valeurs, voire 26,32 % et 37,5 % en intégrant ces valeurs, voire entre 27,0 % et 37,0 % en intégrant ces valeurs.