Brevet FR3062216A1 — publié le 20180727

Domaine de l'invention La présente invention a pour objet un composant pour limiter l'angle d'incidence de la lumière et un procédé pour réaliser un tel composant ainsi que microspectromètre équipé d'un tel composant. L'invention a également pour objet un programme d'ordinateur pour exécuter le procédé. Etat de la technique Dans les microspectromètres, la lumière incidente selon une direction en biais peut fausser les résultats des mesures. But de l'invention La présente invention a pour but de développer un composant permettant de limiter l'angle d'incidence de la lumière ainsi qu'un microspectromètre équipé d'un tel composant et un procédé pour réaliser le composant. L'invention a également pour but de développer un dispositif appliquant ce procédé et un programme d'ordinateur pour la mise en oeuvre du procédé. Exposé et avantages de l'invention A cet effet, la présente invention a pour objet un compo- sant pour limiter l'angle d'incidence de la lumière, ayant une première structure d'écran orientée transversalement à la direction d'incidence de la lumière sur un premier côté du substrat du composant et une seconde structure d'écran orientée transversalement à la direction d'incidence sur le second côté du substrat opposé au premier côté. La direction d'incidence est, par exemple, la normale à la surface du composant. L'angle d'incidence est, par exemple, la plage angulaire entourant la direction d'incidence. Une structure d'écran est une couche transparente à la lumière ayant des ouvertures ou orifices d'écran transparents à la lumière. Les ouvertures d'écran de la première structure d'écran et/ou de seconde structure d'écran peuvent avoir une forme hexago- nale. Un motif en nids d'abeilles permet d'arriver à un degré de remplissage élevé. Les orifices d'écran de la première structure d'écran et/ou de la seconde structure d'écran peuvent avoir une forme annu- laire. Un orifice d'écran de forme annulaire comporte un ilot central 3062216 2 transparent à la lumière dans la matière de la structure d'écran. La forme annulaire sépare par filtrage la composante de lumière d'incidence perpendiculaire et laisse passer les composants de lumière dans une direction d'incidence inclinée. 5 Dans la région des orifices d'écran, le substrat a une ma- trice formée de structures de guides de lumière orientés dans la direction d'incidence. Par paires d'ouverture d'écran, la matrice comporte un guide de lumière. Un guide de lumière entre des ouvertures d'écran permet de filtrer la lumière ayant une incidence fortement inclinée. 10 Les structures guides de lumière peuvent être réalisées sous la forme d'évidements du substrat. Les structures de guides de lumière peuvent être découpées dans le substrat. Des structures guides de lumière peuvent avoir une forme conique et réaliser la seconde structure d'écran. Les structures de 15 guide de lumière coniques évitent le dépôt d'une seconde structure d'écran. L'invention a également pour objet un microspectromètre caractérisé en ce qu'il comprend : - un composant, 20 - un élément spectral, et - un détecteur, - le composant et l'élément spectral étant situés dans le chemin optique du microspectromètre en amont du détecteur. Le microspectromètre comporte une source lumineuse. 25 Le composant et l'élément spectral peuvent être installés entre le détec- teur et la source lumineuse. L'invention a également pour objet un procédé de réalisa- tion d'un composant consistant à déposer une première structure d'écran sur un premier côté d'un substrat du composant, cette première 30 structure d'écran ayant un premier motif formé d'ouvertures d'écran et déposer une seconde structure d'écran sur le second côté du substrat opposé au premier côté, la seconde structure d'écran ayant un second motif formé d'ouvertures d'écran. Le procédé peut, par exemple être réalisé sous la forme 35 d'un programme ou d'un circuit ou d'une forme mixte composée d'un 3062216 3 programme et d'un circuit appliqués par exemple dans un appareil de commande ou un dispositif. L'invention, telle que présentée, a également pour objet un dispositif pour appliquer les étapes d'une variante du procédé pré- 5 senté ci-dessus dans des installations correspondantes, pour les com- mander ou appliquer les étapes du procédé. De telles variantes d'exécution de l'invention sous la forme d'un dispositif permettent également de résoudre rapidement et efficacement le problème posé. Le dispositif comporte à cet effet, au moins une unité de 10 calcul pour traiter les signaux ou les données, au moins une unité de mémoire pour enregistrer les signaux ou les données, au moins une interface avec un capteur ou un actionneur pour enregistrer des signaux venant du capteur ou pour émettre des signaux de données ou de commande vers l'actionneur et/ou au moins une interface de communi- 15 cation pour enregistrer ou émettre des données intégrées dans un pro- tocole de communication. L'unité de calcul est, par exemple, un processeur de signal, un microcontrôleur ou un moyen analogue ; l'unité de mémoire est une mémoire flash, une mémoire EEPROM ou une mémoire magnétique. L'interface de communication permet 20 d'enregistrer ou d'émettre des données par une liaison sans fil et/ou une liaison par fil et cette interface de communication enregistre ou émet les données, par exemple, sous une forme électrique ou optique par des liaisons de transmission de données correspondantes ou des lignes de transmission de données, pour la réception ou l'émission. 25 Le dispositif selon l'invention est un appareil électrique qui traite les signaux de capteur et fournit des signaux de commande et/ou de données en fonction de ces signaux de capteur. Le dispositif comporte une interface réalisée sous la forme d'un circuit et/ou d'un programme. Dans le cas d'une réalisation sous la forme d'un circuit, les 30 interfaces peuvent être, par exemple, une partie d'un système ASIC qui comporte différentes fonctions du dispositif. Il est également possible que les interfaces comportent leurs propres circuits intégrés ou soient constitués au moins en partie de composants discrets. Dans le cas d'une réalisation sous la forme d'un programme, les interfaces peuvent 3062216 4 être des modules de programme dans un microcontrôleur à côté d'autres modules de programme. De façon avantageuse, l'invention a pour objet un pro- duit-programme d'ordinateur ou un programme d'ordinateur avec un 5 code programme enregistré sur un support lisible par une machine ou un support de mémoire tel qu'une mémoire de semi-conducteur, un disque dur ou une mémoire optique utilisé pour exécuter, appliquer et/ou commander les étapes du procédé selon l'une des formes de réalisation décrites et en particulier lorsque le produit-programme ou le pro- 10 gramme sont appliqués par un ordinateur ou un dispositif. Dessins La présente invention sera décrite ci-après, de manière plus détaillée à l'aide d'exemples de composants et de procédés selon l'invention représentés dans les dessins annexés dans lesquels les 15 mêmes éléments portent les mêmes références. Ainsi, - la figure 1 est une vue en coupe schématique d'un exemple de réalisation d'un composant selon l'invention, - la figure 2 est une représentation d'une fonction de filtre d'un 20 composant selon un exemple de réalisation, - la figure 3 est une vue en coupe d'un composant ayant un exemple de réalisation de structure d'écran, - la figure 4 est une vue en coupe d'un composant ayant des sillons coniques correspondant à un exemple de réalisation, 25 - la figure 5 est une représentation d'un composant en nid d'abeilles avec une structure d'écran selon un exemple de réalisation, - la figure 6 représente une fonction de filtre d'un composant ayant une structure d'écran selon un exemple de réalisation, 30 - les figures 7-19 sont des vues en coupe de différents exemples de réalisation de microspectromètres selon l'invention, - la figure 20 montre un ordinogramme d'un procédé de réalisation d'un composant selon l'invention, - la figure 21 est une représentation d'un dispositif pour réaliser un 35 composant selon un exemple de l'invention. 3062216 5 Description de modes de réalisation de l'invention La figure 1 est une vue en coupe d'un composant 100 se- lon un exemple de réalisation de l'invention. Le composant 100 est un limiteur d'angle d'incidence 100 d'un microspectromètre. Le composant 5 100 a deux structures d'écran 102, 104 sur les côtés opposés ou faces opposées d'un substrat 106. Les structures d'écran 102, 104 sont orientées perpendiculairement à la direction d'incidence de la lumière 108 par construction. Les deux structures d'écran 102, 104 ont chacune un motif 110, 112 formé d'ouvertures ou d'orifices d'écran 114. 10 Les motifs 110, 112 sont orientés l'un par rapport à l'autre. Le substrat 106 de cet exemple est transparent. Les structures d'écran 102, 104 sont réalisées sous la forme de masques à ouvertures en une matière opaque à la lumière. Chaque ouverture d'écran 114 d'une structure d'écran 102 est située en regard d'une ou- 15 verture d'écran 114 de la seconde structure d'écran 104 selon la direc- tion de l'incidence 108. Dans un exemple de réalisation, on génère un contour géométrique dans le substrat 106 qui permet de minimiser la variance de l'angle d'incidence par rapport à l'axe optique 108 ou à la normale 20 108 à la surface du miroir de résonateur d'un système optique. Le principe de base du réseau tubulaire formant le filtre angulaire 100 repose sur les zones à transparence optique 104, par exemple l'air, le verre ou pour des longueurs d'ondes Si supérieures à 1100 nm et des zones 110 qui absorbent la lumière. Selon la conception 25 des surfaces 110 absorbant la lumière, on peut influencer le chemine- ment des rayons et ainsi la répartition angulaire des rayons. Différentes formes de réalisation du réseau tubulaire 100 sont représentées. La figure 2 représente une fonction de filtre 200 d'un 30 composant 1 correspondant à un exemple de réalisation. La fonction de filtre 200 est présentée dans un diagramme qui représente l'intensité lumineuse en coordonnées polaires à partir de l'origine 202. La fonction de filtre 200 suppose une transmission naturelle 204. La transmission naturelle 204 a une intensité lumineuse maximale pour un angle 35 d'incidence de 90° par rapport à la surface du composant transmetteur. 3062216 6 A mesure que l'angle d'incidence s'ouvre, l'intensité lumineuse diminue jusqu'à être nulle pour une orientation parallèle au composant transmetteur. La fonction de filtre 200 présente également son intensité lumineuse maximale pour un angle d'incidence de 90° par rapport à la 5 surface du composant. Jusqu'à un angle d'environ 5°, la fonction de filtre 200 correspond à la transmission naturelle 204. A partir de 5°, la transparence de la fonction de filtre 200 décroit rapidement pour atteindre une valeur nulle déjà pour un angle d'environ 10°. En d'autres termes, à la figure 2 on a présenté l'objectif 10 d'une conception de filtre possible d'un réseau de tubes. Partant d'un émetteur déterminé ou de la cible, seules des directions de rayonnement 200, déterminées traversent le réseau de tubes. Selon la conception du réseau de tubes, on peut filtrer des répartitions angulaires différentes. 15 La figure 3 est une vue en coupe d'un composant 100 ayant une structure d'écran selon un exemple de réalisation. Le composant 100 correspond, pour l'essentiel, au composant de la figure 1. Contrairement à cela, le substrat 106 est opaque à la lumière. Dans la région des ouvertures d'écrans 114, le substrat 106 a des trous de 20 transparents 300 qui servent de guide de lumière 300 entre un côté du composant 100 et l'autre côté de ce composant 100. La seconde structure d'écran 104 correspond à la struc- ture d'écran de la figure 1. La première structure d'écran 102 a des ouvertures d'écran 114 de forme annulaire. Ainsi, au milieu de l'ouverture 25 d'écran 114 on a un îlot 302 en une matière opaque. L'îlot 302 est tenu par des structures de maintien au-dessus de l'orifice traversant 300. L'îlot 302 coupe la lumière incidente arrivant perpendiculairement sur le composant 100. Les ouvertures d'écran 114 de forme annulaire de la première structure d'écran 102 et les ouvertures d'écran 114 de forme 30 ponctuelle de la seconde structure d'écran 104 permettent à la lumière de traverser dans une plage angulaire inclinée par rapport à la verticale au composant 100. Le composant 100 présenté a une matrice de guides de lumière encore appelé réseau tubulaire. Le composant 100 limite la va- 35 riance de l'angle d'incidence dans les systèmes optiques. Le composant 3062216 7 100 est caractérisé en ce que le substrat 106 comporte une répartition en matrice d'éléments guides de lumière 300, parallèles, qui sont délimités par des parois absorbant la lumière dans une bande large. Les éléments guides de lumière 300 sont réalisés ici par 5 de l'air, du gaz ou le vide alors que les parois et le cas échéant les revê- tements existants portent mécaniquement la structure. Selon une variante de réalisation, les éléments guides de lumière 300 sont réalisés dans un diélectrique solide, par exemple du verre ou du silicium pour les longueurs d'ondes supérieures à 1100 nm. 10 Le diélectrique est, de façon idéale, la matière du substrat. Les parois absorbantes sont intégrées ou enfoncées dans cette matière du substrat. Les deux surfaces horizontales du composant 100 ou les extrémités des guides de lumière 300 sont munis, de préférence, d'un 15 revêtement anti-réfléchissant. Des structures dans lesquelles la lumière est guidée dans un réseau de tubes optiques et non dans l'air / le vide, mais dans un diélectrique solide, permet d'arriver à un degré de remplissage très poussé des structures de réseau tubulaire et ainsi à une intensité lumi- 20 neuse très élevée. En même temps on augmente la robustesse mécanique. En d'autres termes, la figure 3 montre une réalisation possible d'un réseau de tubes dans lequel, par exemple, on élimine la plage angulaire centrale. Cette conception élimine la réflexion directe de 25 la source lumineuse tout en ayant une construction compacte. De plus, il est possible d'éliminer par filtrage, des grandeurs de mesure en fonction de l'angle du rayonnement. La figure 4 est une vue en coupe d'un composant 100 ayant des sillons de section triangulaire 300 selon un exemple de réali- 30 sation. Le composant 100 correspond pratiquement au composant de la figure 3. Mais au contraire de celui-ci, la seconde structure d'écran 104 est constituée ici par le substrat 106. De plus, les guides de lumière 300 vont en se rétrécissant vers la seconde structure d'écran 104. La section d'ouverture des guides de lumière 300 forme les ouvertures 35 d'écran 114 de cette seconde structure d'écran 104. 3062216 8 La figure 4 montre une conception répondant aux exigences de la figure 3. Cette conception a néanmoins un degré de remplissage réduit. La même remarque s'applique à la conception de la figure 5. 5 La figure 5 montre un composant 100 avec une structure d'écran 102 en nids d'abeilles selon un exemple de réalisation. Le composant 100 correspond ainsi pour l'essentiel aux composants des figures 3 et 4. Les ouvertures d'écran 114 de forme annulaire de la première structure d'écran 102 sont ici de forme hexagonale. Les ouver- 10 tures d'écran 114 ont un motif 110 en nids d'abeilles. Ce motif 110 en nids d'abeilles permet d'atteindre un degré de remplissage plus élevé de la structure d'écran 102. Dans les exemples de réalisation des figures 3 à 5 on uti- lise des plages d'angles d'incidence définies pour éliminer la réflexion 15 directe par la cible ou pour optimiser l'intensité lumineuse à l'endroit du détecteur. Une telle réalisation hexagonale des différents tubes 114 est une solution avantageuse car le rapport entre le degré de remplissage et les caractéristiques du filtre angulaire est bon. Un revêtement 20 anti-réflexion supplémentaire des deux surfaces augmente le rendement lumineux. La figure 6 représente une fonction de filtre 200 d'un composant ayant une structure d'écran selon un exemple de réalisation. La fonction de filtre 200 correspond, par exemple, à un composant tel 25 que ceux représentés aux figures 3 à 5. La fonction de filtre 200 se pré- sente sous la forme d'un diagramme comme celui de la figure 2. Ce diagramme représente l'intensité lumineuse en coordonnées polaires par rapport à l'origine 202. La fonction de filtre 200 suppose la transmission naturelle 204. La fonction de filtre a deux maxima symétriques gé- 30 nérés par l'ouverture d'écran de forme annulaire. Les figures 7 à 19 sont des vues en coupe de différents exemples de réalisation de microspectromètres 700 selon l'invention. Les microspectromètres ont chacun un composant 100 pour limiter l'angle d'incidence, un élément spectral 702 et un détecteur 704. Les 35 microspectromètres 700 ont en outre chacun une vitre protectrice 706. 3062216 9 La figure 7 montre l'élément spectral 702 entre le compo- sant 100 et le détecteur 704. Le composant 100 est relié à la vitre protectrice 706 du microspectromètre 700. La figure 8 montre l'élément spectral 702 entre le compo- 5 sant 100 et le détecteur 704. Le composant 100 est relié à l'élément spectral 702. La figure 9 montre l'élément spectral 702 entre le compo- sant 100 et le détecteur 704. Le composant 100 est intégré dans l'élément spectral 702. 10 La figure 10 montre le composant 100 entre l'élément spectral 702 et le détecteur 704. Le composant 100 est intégré dans l'élément spectral 702. A la figure 11, le composant 100 se trouve entre l'élément spectral 702 et le détecteur 704. Le composant 100 se trouve sur le dé- 15 tecteur 704. La figure 12 montre le composant 100 entre l'élément spectral 702 et le détecteur 704. Le composant 100 est intégré dans le détecteur 704. La figure 13 montre l'élément spectral 702 entre le com- 20 posant 100 et le détecteur 704. Le composant 100 est relié au micros- pectromètre 700 par la vitre protectrice 706. La vitre protectrice 706 est également munie d'une couche anti-réflexion 1300. La figure 14 montre l'élément spectral 702 entre le com- posant 100 et le détecteur 704. Le composant 100 est relié à l'élément 25 spectral 702. Une couche anti-réflexion 1300 est prévue entre le com- posant 100 et la vitre protectrice 706. La figure 15 montre le composant 100 entre l'élément spectral 702 et le détecteur 704. La couche anti-réflexion 1300 se trouve entre le composant 100 et l'élément spectral 702. Le composant 30 100 et la couche anti-réflexion 1300 sont intégrés dans l'élément spec- tral 702. A la figure 16, le composant 100 se trouve entre l'élément spectral 702 et le détecteur 704. La couche anti-réflexion 1300 se trouve entre le composant 100 et l'élément spectral 702. Le composant 3062216 10 100 et la couche anti-réflexion 1300 sont intégrés dans l'élément spectral 702. A la figure 17, le composant 100 se trouve entre l'élément spectral 702 et le détecteur 704. Le composant 100 est intégré dans 5 l'élément spectral 702. La couche anti-réflexion 1300 se trouve entre le composant 100 et le détecteur 704. A la figure 18, le composant 100 se trouve entre l'élément spectral 702 et le détecteur 704. Le composant 100 se trouve sur le détecteur 704. La couche anti-réflexion 1300 se trouve entre le composant 10 100 et l'élément spectral 702. A la figure 19, le composant 100 se trouve entre l'élément spectral 702 et le détecteur 704. Le composant 100 est intégré dans le détecteur 704. La couche anti-réflexion 1300 se trouve entre le composant 100 et l'élément spectral 702. 15 En d'autres termes, on a un spectromètre miniaturisé 700 ayant une limitation de l'angle d'incidence réalisée par un réseau tubulaire 100. L'interféromètre de Fabry-Pérot, micromécanique, (FPI) 702 se compose de deux éléments de miroir sur un substrat et le cas 20 échéant au-dessus d'un orifice traversant. L'interféromètre 702 peut également être réalisé avec deux substrats munis d'orifices traversant. Le rayon lumineux est conduit verticalement à travers la structure en sandwich à deux miroirs très réfléchissants et chaque fois deux zones à bande étroite autour de la longueur d'onde de résonnance et des har- 25 moniques en fonction de la distance entre les deux miroirs. En modi- fiant l'écart on peut régler la longueur d'onde de résonance souhaitée. Le détecteur 704 décrit ci-après permet de mesurer la puissance lumineuse et de recevoir ainsi en série un spectre. Un filtre passe-bande, amont, supplémentaire permet de filtrer l'ordre souhaité de longueurs 30 d'onde de façon à minimiser les défauts d'autres ordres liés au mode de la cavité. Par exemple, dans des interféromètres de Fabry-Pérot (FPI) 702 comme filtre à variations linéaires ou comme filtre accordé mécaniquement (FPI) 702, une variation de l'angle d'incidence du rayon 35 lumineux décale les longueurs d'ondes à mesurer. Si en même temps 3062216 11 les rayons lumineux arrivent avec des angles d'incidence différents sur le filtre FPI 702, on diminue la résolution en longueur d'ondes, possible, et les spectres ayant des variations fortes de transmission ou des variations d'absorption dans une petite plage de longueur d'onde ne peuvent 5 plus être bien résolus. Dans cette répartition des angles d'incidence on effectue en plus un centrage autour d'un certain angle par rapport à la direction normale conduisant à un décalage de l'ensemble du spectre, c'est-à-dire à un défaut de décalage des longueurs d'onde. Ici l'angle d'incidence est réduit par un filtre 100, sup- 10 plémentaire de type "Réseau Tubulaire". Le système de spectromètre miniature 700 représenté a au moins un élément spectral 702 et un photo-détecteur 704. En variante, un système de monochromateur a une source de longueurs d'onde en bande large, un guide de lumière 100 15 avec limitation des variations d'angle d'incidence / d'émission sur l'élément spectral 702 ainsi que d'éléments spectral 702 lui-même. Dans le système de spectromètre miniature 700 ou du système monochromatique, le guide de lumière 100 peut utiliser plusieurs segments différents pour rendre maximale l'intensité sur le dé- 20 tecteur 704 ou réaliser des rapports d'aspect, importants et ainsi obtenir des plages d'angles d'acceptance, étroites. Dans le système de spectromètre miniature 700 ou du système monochromatique, le guide de lumière 100 peut également être composé de réflecteurs ou de géométrie de lentilles, c'est-à-dire de sur- 25 faces continues ou de lentilles de Fresnel. L'élément spectral 702 peut être un composant d'interféromètre micromécanique de Fabry-Pérot. L'élément spectral 702 comporte au moins un substrat et au moins deux éléments de miroir l'un au-dessus de l'autre en étant écartés d'un intervalle. 30 Divers emplacements de montage sont possibles dans le système de spectromètre 700. Différents emplacements de montage sont également possibles dans un système de monochromateur. Le spectromètre 700 présenté peut avoir un dispositif d'éclairage excentré ou concentrique. L'angle d'incidence ou l'angle d'émission des rayons 3062216 12 lumineux réfléchis à l'emplacement de la cible sont limités par le contour 100 du réseau tubulaire dans le chemin optique. On réalise une construction compacte par l'intégration des géométries de réseau tubulaire 100 à l'aide de procédés en tech- 5 nique MEMS. On a ainsi une structure mince avec une petite plage an- gulaire ce qui est synonyme d'un rapport d'aspect important. Le rapport d'aspect important dans un élément mince s'obtient par de petites sections de tube. Le composant 100 peut être intégré directement dans le 10 capuchon 706, le détecteur 704 ou dans le substrat MEMS 702. Les structures de "réseau tubulaire" 100 peuvent être prévues en différents endroits du chemin optique, ce qui permet un procédé de fabrication globale simple. Par une disposition séquentielle d'un réseau tubulaire 15 100, d'un filtre FPI 702 et d'un détecteur à bande large 704 on obtient des spectromètres 700 ayant une bonne caractéristique de mesure avec une faible largeur de bande des longueurs d'ondes mesurées et une bonne résolution. Dans les différents composants du spectromètre, on peut placer ce réseau tubulaire 100 comme aux figures 7-19, c'est-à- 20 dire à chaque fois sur des composants ou en-dessous de ceux-ci ou monolitiquement dans ceux-ci. En plus du réseau tubulaire 100 on peut intégrer un filtre anti-réflexion 1300 comme arête ARC ou filtre à bande passante pour optimiser la plage de mesure du spectromètre 700, sans équi- 25 vogue. Un tel filtre 1300 peut être installé sous les composants ci- dessus ou être intégré monolitiquement dans ceux-ci. La disposition séquentielle d'un réseau tubulaire 100, d'un filtre FPI 702 et d'une source lumineuse à bande large permet de réaliser un monochromateur en bande large à faible largeur de bande et 30 correspondant à la longueur d'onde mesurée. Dans les différents com- posants, ce réseau tubulaire 100 peut être placé chaque fois sur, en dessous ou monolitiquement dans ce composant. La figure 20 montre un ordinogramme d'un procédé de réalisation d'un composant selon un exemple de réalisation. Le procédé 35 a deux étapes 2000, 2002 de séparation. Dans l'étape 2000 la découpe 3062216 13 dépose une première structure d'écran sur le premier côté d'un substrat du composant et la première structure d'écran est déposée à partir des ouvertures d'écran selon un premier motif. Dans la deuxième étape 2002 de dépôt on dépose une seconde structure d'écran sur le second 5 côté du substrat en regard du premier côté et cette seconde structure d'écran est déposée avec un second motif d'ouverture d'écran. La figure 21 représente un dispositif 2100 pour réaliser un composant selon un exemple de réalisation. Le dispositif 2100 a une installation 2102 pour déposer une première structure d'écran sur un 10 premier côté d'un substrat du composant avec le premier motif d'ouverture d'écran. En outre, l'installation 2102 de dépôt permet de déposer une seconde structure d'écran sur le second côté du substrat en regard du premier côté et ayant un second motif d'ouverture d'écran. Pour cela, l'installation 2102 peut servir à déposer une installation ré- 15 versible ou deux installations subordonnées. 3062216 14 NOMENCLATURE DES ELEMENTS PRINCIPAUX 100 Composant / réseau tubulaire 102 Structure d'écran / première structure d'écran 5 104 Structure d'écran / seconde structure d'écran 106 Substrat 108 Direction d'incidence de la lumière 110 Zone absorbant la lumière 110, 112 Motif des ouvertures d'écran 10 114 Ouverture d'écran /Orifice d'écran de forme ponctuelle 200 Fonction de filtre 202 Origine du système de coordonnées 204 Transmission naturelle 300 Guide de lumière / orifice traversant 15 302 Ilot 700 Microspectromètre 702 Elément spectral 704 Détecteur 706 Vitre protectrice / vitrage du microspectromètre 20 1300 Couche anti-réflexion 2000-2002 Deux étapes du procédé de dépôt 25 REVENDICATIONS1°) Composant (100) pour limiter l'angle d'incidence de la lumière, le composant (100) ayant une première structure d'écran (102) orientée transversalement à la direction d'incidence (108) de la lumière sur un premier côté du substrat (106) du composant (100) et une seconde structure d'écran (104) orientée transversalement à la direction d'incidence (108) sur le second côté du substrat (106) opposé au premier côté, - les structures d'écran (102, 104) ayant un motif (110, 112) d'ouvertures d'écran (114). 2°) Composant (100) selon la revendication 1, caractérisé en ce que les ouvertures d'écran (114) de la première structure d'écran (102) et/ou la seconde structure d'écran (104) ont une forme hexagonale. 3°) Composant (100) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les ouvertures d'écran (114) de la première structure d'écran (102) et/ou de la seconde structure d'écran (104) sont de forme annulaire. 4°) Composant (100) selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que dans la région des ouvertures d'écran (114), le substrat (106) a une ma- trice formée de structures de guides de lumière (300) orientées dans la direction d'incidence (108). 5°) Composant (100) selon la revendication 4, caractérisé en ce que les structures de guides de lumière (300) sont réalisées sous la forme d'évidements dans le substrat (106). 6°) Composant (100) selon l'une des revendications 4 et 5, caractérisé en ce que 3062216 16 les structures de guides de lumière (100) sont de forme conique et constituent la seconde structure d'écran (104). 7°) Microspectromètre (700), 5 caractérisé en ce qu'il comprend - un composant (100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, - un élément spectral (702), et - un détecteur (704), - le composant (100) et l'élément spectral (702) étant situés dans le 10 chemin optique du microspectromètre (700) en amont du détecteur (704). 8°) Microspectromètre (700) selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comporte 15 une source lumineuse, le composant (100) et l'élément spectral (702) étant situés entre le détecteur (704) et la source lumineuse. 9°) Procédé de réalisation d'un composant (100) comprenant les étapes 20 suivantes consistant à: - déposer (2000) une première structure d'écran (102) sur un premier côté d'un substrat (106) du composant (100), cette première structure d'écran (102) ayant un premier motif (110) formé d'ouvertures d'écran (114), et 25 - déposer (2002) une seconde structure d'écran (104) sur le second cô- té du substrat (106) opposé au premier côté, la seconde structure d'écran (104) ayant un second motif (112) formé d'ouvertures d'écran (114). 30 10°) Dispositif (2100) conçu pour exécuter les étapes du procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes dans des unités (2102) correspondantes. 3062216 17 11°) Programme d'ordinateur conçu pour exécuter le procédé selon l'une des revendications précédentes, et support de mémoire lisible par une machine contenu dans le programme d'ordinateur. 5