Brevet FR3055471A1 — publié le 20180302

B15125 - 16-GR3-0011FRO1 1 PUCE PROTEGEE CONTRE LES ATTAQUES FACE ARRIERE Domaine La présente demande concerne les puces électroniques, plus particulièrement des puces électroniques protégées contre des attaques effectuées depuis la face arrière. Exposé de l'art antérieur Des puces électroniques contenant des informations confidentielles, telles que des puces de cartes bancaires, sont susceptibles de subir des attaques de pirates visant à déterminer le fonctionnement de la puce et à en extraire les informations confidentielles. On considère ici le cas où, pour réaliser une attaque, un pirate creuse une cavité à partir de la face arrière de la puce, par exemple par un faisceau d'ions, en ayant éventuellement aminci le substrat précédemment. Le pirate peut alors installer dans la cavité des contacts avec les composants situés en face avant, et analyser le fonctionnement de la puce. Il serait souhaitable d'avoir une puce pouvant résister à ces types d'attaque. Résumé Ainsi, un mode de réalisation prévoit une puce semiconductrice comprenant au moins deux vias isolés traversant la puce de la face avant à la face arrière dans laquelle, du 3055471 B15125 - 16-GR3-0011FRO1 2 côté de la face arrière, les vias sont connectés à une même bande conductrice et, du côté de la face avant, chaque via est séparé d'un plot conducteur par une couche d'un diélectrique. Selon un mode de réalisation, la puce comprend une 5 pluralité d'éléments tels que ci-dessus dont les bandes conductrices sont parallèles les unes aux autres. Selon un mode de réalisation, la bande conductrice forme un serpentin sur au moins une portion de la surface de la face arrière. 10 Selon un mode de réalisation, la puce comprend des plots conducteurs leurres ou des vias leurres. Selon un mode de réalisation, la face arrière de la puce est uniformément recouverte d'un matériau isolant. Selon un mode de réalisation, la couche de 15 diélectrique est de l'oxyde de silicium. Selon un mode de réalisation, la bande conductrice est en cuivre, en titane ou en aluminium. Selon un mode de réalisation, le matériau isolant recouvrant la face arrière est un polymère ou de l'oxyde de 20 silicium. Un mode de réalisation prévoit un procédé de fabrication d'une puce semiconductrice comprenant les étapes suivantes : formation de plots conducteurs sur la face avant d'un substrat ; amincissement de la face arrière ; gravure d'ouvertures sous les plots conducteurs depuis la face arrière avec arrêt lorsque le plot conducteur est atteint ; dépôt d'une couche d'un diélectrique sur les parois et le fond des ouvertures ; et formation d'une couche conductrice dans les ouvertures et d'une bande conductrice reliant les couches conductrices entre elles. 3055471 B15125 - 16-GR3-0011FRO1 3 Selon un mode de réalisation, chaque plot conducteur est une région dopée de type N. Selon un mode de réalisation, les régions dopées de type N ont une hauteur comprise entre 1 um et 10 um. 5 Brève description des dessins Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles 10 la figure lA est une vue de dessus d'un mode de réalisation d'une puce protégée des attaques face arrière ; la figure 1B est une vue en coupe selon la ligne B-B de la figure lA ; la figure 1C est un schéma électrique équivalent ; 15 la figure 2 représente le schéma électrique d'un exemple de capacimètre ; la figure 3 est une vue de dessus d'un mode de réalisation d'une puce protégée des attaques la figure 4 est une vue de dessus 20 réalisation d'une puce protégée des attaques la figure 5 est une vue en coupe réalisation d'une puce protégée des attaques la figure 6 est une vue en coupe réalisation d'une puce protégée des attaques 25 la figure 7 est une vue en coupe réalisation d'une puce protégée des attaques les figures 8A à 8D sont des vues face arrière ; d'un autre mode de face arrière ; d'un autre mode de face arrière ; d'un autre mode de face arrière ; d'un autre mode de face arrière ; en coupe illustrant des étapes successives d'un procédé de fabrication d'une puce protégée des attaques face arrière ; et 30 les figures 9A et 9B sont des vues en coupe illustrant des étapes successives d'un autre procédé de fabrication d'une puce protégée des attaques face arrière. Description détaillée De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes 35 références dans les différentes figures et, de plus, les 3055471 B15125 - 16-GR3-0011FR01 4 diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle. Par souci de clarté, seuls les éléments utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés. Dans la description qui suit, lorsque l'on fait 5 référence à des qualificatifs de position absolue, tels que les termes "avant", "arrière", etc., ou relative, tels que les termes "supérieur", etc., il est fait référence à l'orientation des figures dans une position normale d'utilisation. Dans les vues de dessus, les éléments figurés en pointillés sont vus par 10 transparence de la puce considérée. La figure lA est une vue de dessus d'un mode de réalisation d'une puce semiconductrice 1 protégée des attaques face arrière. La figure 1B est une vue en coupe selon le plan B-B de la figure 1A. Deux plots conducteurs 3 et 4 sont formés sur 15 la face avant de la puce 1. En regard de chacun de ces plots conducteurs, des ouvertures ont été formées à partir de la face arrière de la puce. Ces ouvertures ont ensuite été gainées d'une couche d'un diélectrique 6 recouverte d'une couche conductrice 8. Ainsi, les parties supérieures 9 et 10 de la couche 20 conductrice 8 sont respectivement en regard des plots conducteurs 3 et 4. Il existe ainsi un condensateur Cl entre le plot 3 et la partie supérieure 9 de la couche conductrice 8 et un condensateur C2 entre le plot 4 et la partie supérieur 10 de la couche conductrice 8. Une bande conductrice 12 s'étend sur la 25 face arrière et connecte les couches conductrices 8 formées en regard des plots conducteurs 3 et 4. Dans le cas où le substrat de la puce est en un matériau conducteur, la bande conductrice 12 est séparée du substrat par une couche d'isolant 13. Comme l'illustre la figure 1C, il existe, entre les 30 plots 3 et 4, deux condensateurs Cl et C2 connectés en série par la bande 12. On a également figuré un condensateur C3 correspondant à diverses capacités parasites incluant la capacité de couplage direct entre les plots conducteurs 3 et 4. La capacité du condensateur C3 est normalement très inférieure à la valeur de la capacité des condensateurs Cl et C2 en série. Un 3055471 B15125 - 16-GR3-0011FR01 5 capacimètre 14 mesure la valeur normale de l'ensemble des capacités C1, C2 et C3. Si la connexion constituée par la bande 12 entre les capacités Cl et C2 est coupée, la valeur de la capacité mesurée par le capacimètre chute brutalement. Ce 5 dispositif permet donc de détecter toute atteinte à l'intégrité de la bande conductrice 12. De façon classique, un pirate tentera pour réaliser une analyse des composants situés entre les plots 3 et 4 d'amincir la puce à partir de la face arrière. Il détruira alors 10 la bande conductrice 12 et cela sera détecté. De même si le pirate effectue un perçage qui affecte la bande 12, ceci sera également détecté. La figure 2 représente le schéma électrique d'un exemple de capacimètre mesurant la capacité C entre les bornes 3 15 et 4 d'un condensateur. La borne 4 est reliée à la terre et la borne 3 est reliée à un noeud entre la sortie d'un inverseur 20 et l'entrée d'une bascule de Schmitt 22 ayant des seuils haut et bas, Vhigh et Vlow. La sortie de la bascule 22 est connectée à l'entrée de l'inverseur 20. La tension de sortie de la bascule 20 22, Vout, peut prendre deux valeurs, 0 et Vdd, fournies à la bascule 22 par la terre et une source de tension continue fixe Vdd. L'inverseur 20 comprend deux transistors MOS 24 et 26, respectivement à canal P et à canal N. Le transistor 24 relie, via ses noeuds de conduction, la sortie d'une source 28 de 25 courant I et le noeud 3. Le transistor 26 relie, via ses noeuds de conduction, le noeud 3 et l'entrée d'une source 30 de courant I. De plus, l'entrée de la source 28 est reliée à la source de tension continue Vdd et la sortie de la source 30 est reliée à la terre. 30 Lorsque la tension Vin à l'entrée de la bascule 22 et donc aux bornes du condensateur atteint la valeur Vlow, la bascule 22 passe dans un état tel que sa sortie Vout prend la valeur 0. L'inverseur 20 passe alors dans un état tel que le transistor 24 devient passant, et le condensateur se charge 35 jusqu'à ce que Vin atteigne la valeur Vhigh, déclenchant le 3055471 B15125 - 16-GR3-0011FRO1 6 changement d'état de la bascule 22 dont la sortie passe à Vdd. L'inverseur 20 passe alors dans un état tel que le transistor 26 devient passant, et le condensateur se décharge jusqu'à ce que Vin atteigne la valeur Vlow, déclenchant le changement d'état de 5 la bascule 22 dont la sortie passe à 0. La mesure de la capacité C se fait par l'intermédiaire de la mesure de la période T du signal de sortie de la bascule 22. La période T correspond à une charge et une décharge à courant fixe I du condensateur C sur une plage de tension [Vlow, 10 Vhigh]. La valeur de la capacité C est donc la moitié de la période T multipliée par la valeur I du courant et divisée par la différence de tension AV = Vhigh - Vlow. Le dispositif de protection tel que présenté en relation avec les figures lA et 1B n'est en fait efficace que 15 pour détecter un amincissement de la puce ou un perçage ciblant précisément des composants placés entre les deux plots conducteurs 3 et 4. Dans la structure de la figure 3, on a répété parallèlement les unes aux autres des structures telles que 20 celle des figures lA et 1B. Ainsi, la figure 3 représente plusieurs bandes conductrices 12 s'étendant sur la face arrière du substrat entre des vias disposés en regard de plots 3 et 4. La largeur des bandes 12 et la distance 32 séparant les bandes 12 sont déterminées en prenant en compte la taille 25 minimale de percée possible avec les technologies existantes, de telle manière qu'un perçage 34, quel que soit son emplacement, coupe au moins une connexion entre deux plots conducteurs. Actuellement la taille d'une percée est par exemple de 3 x 3 pm2. 30 Le mode de réalisation de la figure 3 permet de couvrir et donc de protéger une surface plus grande que le mode de réalisation des figures lA et 1B. De plus, la surveillance de la capacité entre chaque couple de plots 3 et 4 permet de déterminer l'emplacement de l'attaque avec une précision qui 35 dépend de la densité de plots. 3055471 B15125 - 16-GR3-0011FR01 7 La figure 4 est une vue de dessus d'un autre mode de réalisation d'une puce protégée des attaques face arrière. On a construit sur la puce une structure telle que décrite dans les figures lA et 1B, où la bande conductrice 12 est prolongée en 5 forme de serpentin sous la surface à protéger. Les dimensions du serpentin, la largeur de la bande métallique 12, ainsi que la distance 36 entre deux parties voisines de la bande conductrice 12 sont déterminées en prenant en compte la taille minimale de percée possible avec les technologies existantes, de telle 10 manière qu'un perçage 38, quel que soit son emplacement, coupe la connexion entre les plots conducteurs. Cette configuration permet de détecter, par une seule mesure de capacité, une tentative de perçage sur l'ensemble de la surface à protéger. La figure 5 est une vue en coupe d'un autre mode de 15 réalisation d'une puce protégée des attaques face arrière. La face arrière d'une structure telle que celle de la figure 1B est recouverte uniformément d'un matériau isolant 40 qui remplit les ouvertures en regard des plots conducteurs 3 et 4. Ce remplissage sert par exemple à rigidifier la structure 20 mécaniquement, à améliorer l'opacité ou à perturber les attaques chimiques ou par polissage face arrière. De plus la présence du matériau 40 sur la face arrière masque la présence des bandes conductrices 12. A titre d'exemple, le matériau de remplissage peut être un polymère ou un oxyde de silicium. 25 Un pirate cherchant à analyser les composants d'une puce semiconductrice et connaissant l'existence et la nature d'un système de protection pourra utiliser cette information pour chercher à violer le système de protection. On propose ici de rendre la connaissance du système de protection plus 30 difficile en y incorporant des leurres. La figure 6 illustre un premier type de leurre. Une ouverture 42 sur la face arrière est formée de la même façon que les ouvertures creusées sous les plots 3 et 4, mais n'est pas située en regard d'un plot conducteur. Elle est, de plus, 3055471 B15125 - 16-GR3-0011FRO1 8 connectée à la bande 12 de telle manière qu'elle fait partie de la connexion entre les deux électrodes 3 et 4. La figure 7 illustre un second type de leurre. Un plot conducteur 44 est disposé sur la face avant mais n'est pas en 5 regard d'un via relié à une bande conductrice sur la face arrière. Le plot 44 est placé parmi les composants du circuit. Une analyse de ce composant en face avant ne donnera aucune information sur le dispositif de protection. Le dispositif de protection de la puce tel que décrit 10 en relation avec les figures lA et 1B peut être fabriqué de diverses façons. Les figures 8A à 8D illustrent des étapes successives d'un procédé de fabrication de ce dispositif. La figure 8A illustre la formation de plots conducteurs 3 et 4 sur la face avant d'une puce semiconductrice. 15 Les plots sont par exemple formés par implantation de dopant à haute dose. Après cela, la plaquette est amincie à partir de sa face arrière par exemple jusqu'à une épaisseur de 100 à 200 pm, par exemple 140 pm. La figure 8B illustre la gravure d'une ouverture 45 20 sous chaque plot conducteur 3 ou 4 depuis la face arrière avec arrêt lorsque le plot conducteur est atteint. La figure 8C illustre le dépôt d'une couche d'un diélectrique 6 sur les parois et le fond des ouvertures 45. Dans ce mode de réalisation, le diélectrique 6 situé hors des 25 ouvertures 45 a été retiré. La figure 8D illustre le dépôt d'une couche conductrice 8 dans les ouvertures 45. Cette couche est maintenue sur la face arrière en une bande conductrice 12 qui relie les couches conductrices 8 entre elles. 30 Les figures 9A et 9B illustrent des étapes d'un autre procédé de fabrication. La figure 9A illustre des caissons isolants STI (de l'anglais "Shallow Trench Isolation" ou isolement par tranchées peu profondes) 50 formés sur la face avant. Des plots 35 conducteurs 3 et 4 sont formés sur les caissons 50. Les plots 3 3055471 B15125 - 16-GR3-0011FR01 9 et 4 sont, par exemple, des plots de polysilicium formés en même temps que les grilles de transistors MOS, ou des plots de tungstène, formés en même temps que les contacts électriques de transistors MOS. 5 L'étape suivante, illustrée par la figure 9B, correspond à l'étape précédemment décrite en relation avec la figure 8B : la formation d'ouvertures 45 en regard des plots conducteurs, mais cette fois-ci avec arrêt quand les ouvertures atteignent les caissons STI 50. A titre de variante, la 10 formation des ouvertures 45 peut comprendre une étape de gravure d'une partie de l'épaisseur du matériau diélectrique formant les caissons STI 50. Les dernières étapes, le dépôt d'une couche de diélectrique et le dépôt d'une couche conductrice, sont 15 similaires aux étapes du procédé décrit en relation avec les figures 8C et 8D. A titre d'exemple, le diélectrique 6 peut être de l'oxyde de silicium et le conducteur 8 du cuivre, du titane ou de l'aluminium. 20 On comprendra que les deux procédés décrits ici sont susceptibles de nombreuses variantes. D'autres procédés pourront être utilisés pour atteindre le résultat souhaité. Des modes de réalisation particuliers ont été décrits. Diverses variantes et modifications apparaîtront à l'homme de 25 l'art. En particulier, le nombre de plots conducteurs 3 et 4 et la forme des bandes conductrices 12 les reliant les uns aux autres peuvent varier dans la mesure où tout perçage en face arrière coupe au moins une connexion entre deux plots conducteurs reliés entre eux par un capacimètre. La bande 30 conductrice, au lieu d'avoir une forme en serpentin, pourra prendre la forme d'une spirale, ou plus généralement celle de n'importe qu'elle courbe remplissante, comme par exemple une courbe de Peano ou une courbe de Koch, s'étendant sur une portion de surface à protéger de la face arrière de la puce, de 35 telle manière qu'un perçage, quel que soit son emplacement sur 3055471 B15125 - 16-GR3-0011FR01 10 la surface à protéger, coupe la bande conductrice. Des structures en peignes peuvent également être utilisées. Divers modes de réalisation avec diverses variantes ont été décrits ci-dessus. On notera que l'homme de l'art pourra 5 combiner divers éléments de ces divers modes de réalisation et variantes sans faire preuve d'activité inventive. REVENDICATIONS1. Puce semiconductrice comprenant au moins deux vias isolés (8) traversant la puce de la face avant à la face arrière dans laquelle, du côté de la face arrière, les vias sont connectés à une même bande conductrice (12) et, du côté de la face avant, chaque via est séparé d'un plot conducteur (3, 4) par une couche d'un diélectrique (6). 2. Puce semiconductrice comprenant une pluralité d'éléments selon la revendication 1, les bandes conductrices (12) étant parallèles les unes aux autres. 3. Puce semiconductrice selon la revendication 1, dans laquelle la bande conductrice (12) forme un serpentin sur au moins une portion de la surface de la face arrière. 4. Puce semiconductrice selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, comprenant des plots conducteurs leurres (44) ou des vias leurres (42). 5. Puce semiconductrice selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans laquelle la face arrière de la puce est uniformément recouverte d'un matériau isolant (40). 6. Puce semiconductrice selon la revendication 5, dans 20 laquelle le matériau isolant (40) recouvrant la face arrière est un polymère ou de l'oxyde de silicium. 7. Puce semiconductrice selon l'une, quelconque des revendications 1 à 6, dans laquelle la couche de diélectrique (6) est de l'oxyde de silicium. 25 8. Puce semiconductrice selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans laquelle la bande conductrice (12) est en cuivre, en titane ou en aluminium. 9. Procédé de fabrication d'une puce semiconductrice comprenant les étapes suivantes : 30 formation de plots conducteurs (3, 4) sur la face avant d'un substrat ; amincissement de la face arrière ; 3055471 B15125 - 16-GR3-0011FRO1 12 gravure d'ouvertures sous les plots conducteurs (3, 4) depuis la face arrière avec arrêt lorsque le plot conducteur est atteint ; dépôt d'une couche d'un diélectrique (6) sur les 5 parois et le fond des ouvertures ; et formation d'une couche conductrice (8) dans les ouvertures et d'une bande conductrice (12) reliant les couches conductrices (8) entre elles. 10. Procédé de fabrication d'une puce semiconductrice 10 selon la revendication 9, dans lequel chaque plot conducteur (3, 4) est une région dopée de type N. 11. Procédé de fabrication d'une puce semiconductrice selon la revendication 10, dans lequel les régions dopées de type N ont une hauteur comprise entre 1 gut et 10 um.