Brevet FR3045153A1 — publié le 20170616

Procédé et dispositif de prélèvement d'un échantillon d'un objet irradiant DOMAINE TECHNIQUE La présente invention est relative à un procédé et à un dispositif de prélèvement superficiel d'un échantillon de matière d'un objet irradiant (radioactif), ou de prélèvement d'un échantillon de matière irradiante déposée sur la surface d'un objet (irradiant ou non) contaminé par cette matière. ETAT DE LA TECHNIQUE Le brevet US3074276 décrit un appareil permettant de prélever un échantillon de matière radioactive déposée sur une surface. L'appareil comporte un boitier renfermant un disque portant un film adhésif. En appliquant l'adhésif sur la surface et en exerçant une pression, de la matière déposée sur la surface est retenue par l'adhésif, de sorte que la radioactivité de la matière ainsi prélevée peut être ensuite mesurée en plaçant l'appareil en regard d'un compteur de radioactivité. Un tel appareil ne permet généralement pas de prélever de la matière d'un objet irradiant « massif ». En outre, dans un tel procédé de prélèvement de matière dans lequel on recueille de la matière déposée sur une surface en appliquant manuellement un support de collecte de matière sur la surface et en recueillant la matière collectée sur le support de collecte, on ne peut pas maitriser la quantité de matière collectée, cette quantité dépendant notamment de l'effort exercé lorsqu'on applique le support de collecte sur la surface contaminée, et de la cohésion entre la matière déposée sur la surface et cette surface. Ainsi, de tels procédés de prélèvement ne permettent pas de maitriser la dangerosité de l'échantillon prélevé ; en conséquence, la manipulation, le transport, et l'analyse d'un échantillon de matière prélevée de cette manière nécessitent d'employer des installations, des appareils, et des procédures particuliers prévus pour assurer la sécurité des opérateurs. 3045153 2 Le brevet US6253629 décrit un procédé de prélèvement de matière radioactive solide contenue dans un fût, dans lequel on utilise une foreuse comportant une vis logée dans une enveloppe cylindrique prolongée en partie supérieure par une trémie qui est percée d'un orifice 5 d'évacuation d'un échantillon prélevé dans le fût par forage. Le contact de la matière radioactive prélevée dans le fût avec la vis, l'enveloppe, et la trémie, provoque nécessairement la contamination de ces organes. Par ailleurs, un tel procédé n'est pas adapté au prélèvement d'une 10 faible quantité de matière. La demande W02009/047299décrit un procédé pour améliorer l'analyse, en captant l'échantillon de matière mis en suspension sous l'action d'un faisceau ionique et en analysant de la matière de façon quantitative, et ce, indépendamment de la composition de l'échantillon. 15 Ce procédé répond à l'inconvénient de la technique SIMS dont l'ionisation et la captation dépendent de la composition de l'échantillon, ce qui rend difficile la quantification des éléments. A cet effet, l'objet est placé dans une chambre dans laquelle un vide poussé est fait. Un collecteur, tel qu'une tranche de silicium ou de 20 germanium, est nettoyé et préparé, puis est introduit dans la chambre et disposé à faible distance de l'objet. Un diaphragme comportant une ouverture est disposé entre l'objet et le collecteur pour limiter la surface du collecteur exposée aux particules de matière pulvérisées. Lorsque l'objet est soumis à un bombardement d'ions tels qu'02+ et Xe+, des 25 particules de matière pulvérisées par le faisceau ionique sont recueillies sur le collecteur qui est transféré dans un autre appareil pour analyser l'échantillon de matière déposé sur le collecteur. L'objet et/ou le collecteur peuvent être placés sur un/des positionneur(s) motorisés de précision susceptible(s) de déplacer l'objet 30 ou le collecteur selon plusieurs axes de translation ou de rotation. L'impact d'un faisceau d'ions à la surface d'un objet provoque une pulvérisation de particules - ions, électrons, ou atomes - ou d'amas de 3045153 3 particules qui sont arraché(e)s - ou éjecté(e)s - de l'objet, et qui se propagent dans diverses directions. Les particules pulvérisées provenant de l'objet peuvent alors se déposer sur les parois de la chambre de prélèvement, de la colonne 5 ionique délivrant le faisceau ionique, et d'instruments ou détecteurs disposés dans la chambre. Lorsque l'objet soumis au faisceau d'ions comporte un matériau dangereux pour un être humain, en particulier un matériau radioactif, l'accumulation de ces dépôts au cours du temps aboutit à une 10 contamination de ces parois qui peut rendre dangereux l'usage du dispositif de prélèvement. EXPOSÉ DE L'INVENTION Un objectif de l'invention est de proposer un procédé et un dispositif de prélèvement superficiel d'un échantillon de matière d'un 15 objet irradiant, ou de prélèvement d'un échantillon de matière déposée sur une surface contaminée par cette matière, qui soit amélioré et/ou qui remédie, en partie au moins, aux lacunes ou inconvénients des procédés et dispositifs connus de prélèvement d'un échantillon. Un objectif de l'invention est de proposer un procédé et un 20 dispositif de prélèvement d'un échantillon de matière d'un objet radioactif, qui permette de maitriser le débit de dose de l'échantillon de façon à pouvoir manipuler et analyser l'échantillon par des procédures et installations non dédiés (non adaptés) au traitement de produits radioactifs. 25 Un objectif de l'invention est de proposer un procédé et un dispositif de prélèvement d'un échantillon de matière d'un objet radioactif qui permette de limiter -et le cas échéant d'éviter- la contamination des moyens utilisés pour effectuer le prélèvement. A cet effet, il est proposé de séparer des particules de matière de la 30 surface ou de l'objet, à l'aide de moyens de séparation actifs et contrôlables, c'est-à-dire dont les effets peuvent être - facilement et/ou rapidement - activés et désactivés, de sorte que la quantité de matière 3045153 4 formant l'échantillon et le débit de dose de l'échantillon peuvent être maitrisés, et de recueillir des particules séparées de la surface ou de l'objet par lesdits moyens de séparation, pour former l'échantillon, sur au moins un support de collecte disposé en regard et à distance de la 5 surface ou de l'objet, et s'étendant autour des moyens de séparation, de sorte que la contamination des moyens de séparation par les particules séparées de la surface ou objet et non collectées sur le support de collecte, peut être limitée. En d'autres termes et selon un aspect de l'invention, il est proposé 10 un procédé de prélèvement d'un échantillon de matière sur une surface contaminée ou à proximité d'une surface d'un objet irradiant, qui comporte les opérations suivantes : - disposer la surface ou l'objet en regard de moyens de séparation aptes à provoquer la séparation de particules de la matière déposée sur 15 la surface - respectivement de la matière superficielle de l'objet -, en fonction de signaux de commande délivrés aux moyens de séparation; - disposer au moins un support de collecte de matière à distance de la surface ou objet, le (ou les) support(s) de collecte s'étendant autour des moyens de séparation; et 20 - commander le fonctionnement des moyens de séparation afin de soumettre la surface ou objet aux moyens de séparation, provoquer la séparation de particules de matière de la surface ou objet par les moyens de séparation, et permettre le dépôt de ces particules sur le support de collecte. 25 Les moyens de séparation peuvent être commandés par des signaux électriques de commande. Les moyens de séparation peuvent être alimentés par une source d'énergie électrique. Les moyens de séparation peuvent comporter un outil de coupe, 30 un outil de perçage, ou un outil abrasif, qui peut être mis au contact de la surface ou de l'objet pour provoquer la séparation de particules de 3045153 5 matière de cette surface ou objet, et autour duquel s'étend(ent) le(s) support(s) de collecte. Les moyens de séparation peuvent provoquer un chauffage ou un bombardement de la surface ou de l'objet pour provoquer la séparation 5 de particules de matière de cette surface ou objet. Les moyens de séparation peuvent comporter ou produire un faisceau, en particulier un faisceau de particules ou un faisceau laser, qui peut être dirigé vers la surface ou l'objet pour provoquer la séparation de particules de matière de cette surface ou objet, et autour 10 duquel s'étend(ent) le(s) support(s) de collecte. Le(s) support(s) de collecte peut (peuvent) être disposé(s), dimensionné(s), et configuré(s) pour favoriser la collecte de particules séparées de la surface ou objet par les moyens de séparation, sur le(s) support(s) de collecte. 15 A cet effet, lorsque les particules séparées de la surface ou objet par les moyens de séparation se déplacent - par exemple sont pulvérisées - selon au moins une direction de déplacement privilégiée, le(s)support(s) de collecte peut (peuvent) s'étendre en travers de cette (ces) direction(s) privilégiée(s). 20 Selon un mode de réalisation, les moyens de séparation comportent et produisent un faisceau ionique qui est dirigé vers la surface ou l'objet et est focalisé sensiblement sur la surface ou objet, etle(s)support(s) de collecte s'étend (s'étendent) autour du faisceau ionique. 25 Selon un mode de réalisation, un procédé de prélèvement d'un échantillon d'un objet irradiant comporte les opérations suivantes : - disposer l'objet dans une chambre sous vide équipée d'une colonne ionique agencée pour produire un faisceau ionique focalisé sur une - ou au voisinage d'une - surface de l'objet ; 30 - disposer un support d'échantillon (également désigné « support de collecte » ou « support de prélèvement ») entre la colonne ionique et l'objet, à distance de l'objet et sur le trajet du faisceau ionique, le 3045153 6 support d'échantillon comportant une ouverture permettant le passage du faisceau ionique au travers du support d'échantillon ; - soumettre l'objet au faisceau ionique traversant le support d'échantillon pour provoquer le dépôt de particules de l'objet pulvérisées 5 par le faisceau ionique, sur le support d'échantillon, les particules déposées formant l'échantillon ; et - extraire de la chambre le support d'échantillon portant l'échantillon. La (ou les) dimension(s) de l'ouverture prévue dans le support 10 d'échantillon est (sont) alors choisie(s) suffisamment réduite(s), de façon à limiter la propagation de particules de l'objet pulvérisées par le faisceau ionique, au travers de cette ouverture, et à limiter le dépôt de ces particules sur les parois de la chambre. A cet effet, selon un mode de réalisation, l'angle sous lequel est vue 15 l'ouverture prévue dans le support d'échantillon, par un observateur (fictif) situé sur l'objet - et/ou au foyer du faisceau ionique -, peut être inférieur ou égal à 15 degrés environ, en particulier situé dans une plage allant de 4 ou 5 degrés environ jusqu'à 10 ou 11 degrés environ. La distance séparant la surface ou objet du (des) support(s) 20 d'échantillon peut être choisie suffisamment réduite pour limiter l'étendue du (des) support(s) et favoriser la collecte des particules par le (les) support(s). La forme, le nombre, l'orientation, et/ou la (ou les) dimension(s) des supports d'échantillon peuvent être choisies pour permettre 25 l'interception et la collecte d'une partie substantielle des particules séparées de la surface ou objet sous l'action des moyens de séparation, par le support d'échantillon. A cet effet, selon un mode de réalisation, l'angle sous lequel est vu le(s) support(s) d'échantillon par un observateur (fictif) situé sur l'objet, 30 dans la zone d'application des moyens de séparation - par exemple au foyer d'un faisceau ionique -, peut être au moins égal à 60 ou 70 degrés 3045153 7 environ, en particulier situé dans une plage allant de 60 ou 70 degrés environ jusqu'à 120 ou 180 degrés environ. Le(s) support(s) d'échantillon peut (peuvent) présenter une forme plane, en particulier une forme de plaque ou de disque mince. 5 Alternativement, le(s) support(s) d'échantillon peut (peuvent) présenter une forme gauche (non plane) dont la concavité est dirigée vers l'objet ou surface, en particulier une forme de coque mince susceptible d'entourer une partie substantielle au moins de l'objet. Une partie au moins du (des) support(s) d'échantillon, en 10 particulier, lorsque le support d'échantillon est unique, l'ouverture et la partie du support d'échantillon entourant l'ouverture, peut (peuvent) s'étendre le long d'un plan (en particulier dans un plan)sensiblement perpendiculaire à l'axe de propagation d'un faisceau produit par les moyens de séparation, et/ou le long d'un(dans un) plan sensiblement 15 perpendiculaire à une direction de déplacement privilégiée de particules arrachées de l'objet ou surface par les moyens de séparation. L'ouverture et cette partie du support d'échantillon peuvent s'étendre à proximité de la surface de l'objet soumise au bombardement ou faisceau. 20 La distance séparant le(s) support(s) d'échantillon de la zone d'application des moyens de séparation, en particulier du point de focalisation d'un faisceau ionique, peut par exemple être située dans une plage allant de 1 millimètre environ à 10 millimètres environ, en particulier dans une plage allant de 2 ou 3 millimètres environ à 5 25 millimètres environ. Le support d'échantillon peut s'étendre continument autour de l'ouverture, de sorte que celle-ci présente un contour fermé. La nature et les paramètres de fonctionnement des moyens de séparation, en particulier la nature des ions d'un faisceau ionique, 30 l'énergie, et la durée d'application des moyens de séparation, peuvent être choisis et commandés en fonction notamment de la nature de la surface ou objet irradiant, pour favoriser la séparation de particules de la 3045153 8 surface ou objet, et l'accumulation de ces particules sur le support d'échantillon, à concurrence d'une masse - ou d'un volume d'échantillon présentant un faible débit de dose, de sorte que l'échantillon puisse être analysé dans un appareil ou une installation, et 5 selon une procédure conventionnelle. On peut notamment stopper l'application des moyens de séparation lorsque la masse - ou le volume - d'échantillon accumulé sur le(s) support(s) d'échantillon, atteint une valeur déterminée. On peut par exemple obtenir ainsi un échantillon dont la masse 10 n'excède pas quelques microgrammes (lig). L'objet peut reposer sur un support d'objet qui peut lui-même reposer sur un mouvement objet, c.à.d. un dispositif de positionnement motorisé susceptible de déplacer le support d'objet - et l'objet - selon plusieurs axes de translation ou de rotation. 15 Le(s) support(s) d'échantillon peut (peuvent) alors reposer sur la surface contaminée ou sur l'objet, sur le support d'objet, ou sur le mouvement objet. En particulier, au moins un support d'échantillon peut être solidarisé à l'objet ou surface, au support d'objet, ou au mouvement objet, notamment de façon amovible. 20 A cet effet, la liaison entre un support d'échantillon et l'objet ou surface, le support d'objet, ou le mouvement objet, peut être obtenue par adhésion. Alternativement, le(s) support(s) d'échantillon peut (peuvent) être solidarisé(s) aux moyens de séparation, de façon amovible également. 25 En particulier, un support d'échantillon peut comporter une partie adhésive par laquelle le support d'échantillon peut être solidarisé au support d'objet, au mouvement objet, ou aux moyens de séparation. Notamment lorsqu'un support d'échantillon présente une forme plane, le support d'échantillon peut reposer sur la surface ou objet, sur 30 le support d'objet, ou sur le mouvement objet, par l'intermédiaire d'une (ou plusieurs) entretoise(s). 3045153 9 Selon un autre aspect de l'invention, il est proposé un support de prélèvement d'un échantillon de matière d'un objet irradiant ou sur une surface contaminée soumis(e) à des moyens de séparation provoquant une séparation de particules de matière de l'objet ou surface, qui 5 comporte une ouverture permettant le passage des moyens de séparation au travers du support, et une surface de collecte de particules séparées de l'objet ou surface, qui entoure l'ouverture. Le support d'échantillon peut notamment être réalisé, en partie au moins, dans une matière plastique ou métallique. 10 Le support d'échantillon peut présenter ou comporter une structure stratifiée (feuilletée), notamment une structure comportant au moins une couche de matière adhésive déposée sur une couche (ou feuille) de matière plastique ou métallique, une couche de matière adhésive pouvant former des moyens de solidarisation temporaire du 15 support d'échantillon à l'objet ou surface, ou aux moyens de séparation, et une autre couche de matière adhésive pouvant former des moyens de solidarisation temporaire de particules séparées de l'objet ou surface, au support d'échantillon. Selon un autre aspect de l'invention, il est proposé un dispositif de 20 prélèvement de matière d'un objet ou de matière déposée sur une surface caractérisé en ce qu'il comporte: - des moyens de séparation aptes à provoquer la séparation de particules de la matière déposée sur la surface - respectivement de la matière superficielle de l'objet -; 25 - au moins un support de collecte de matière disposé à distance de la surface ou objet, le (ou les) support(s) de collecte s'étendant autour des moyens de séparation; et - des moyens de commande raccordés aux moyens de séparation et agencés pour délivrer des signaux de commande aux moyens de 30 séparation pour commander le fonctionnement des moyens de séparation afin de soumettre la surface ou objet aux moyens de séparation, provoquer la séparation de particules de matière de la 3045153 10 surface ou objet par les moyens de séparation, et permettre le dépôt de ces particules sur le support de collecte. Le(s) support(s) de collecte de matière forme(nt) ledit (lesdits) support(s) d'échantillon ; il(s) peut (peuvent) présenter l'une au moins 5 des caractéristiques décrites dans la présente demande, et peut (peuvent) être utilisé(s) dans un procédé tel que décrit dans la présente demande. D'autres aspects, caractéristiques, et avantages de l'invention apparaissent dans la description suivante qui se réfère aux figures 10 annexées et illustre, sans aucun caractère limitatif, des modes préférés de réalisation de l'invention. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES La figure 1 illustre schématiquement, en vue en coupe transversale, un dispositif pour le prélèvement d'un échantillon selon un 15 mode de réalisation. La figure 2 illustre schématiquement, en vue en coupe transversale, un dispositif pour le prélèvement d'un échantillon selon un autre mode de réalisation. La figure 3 illustre schématiquement, en vue en coupe 20 transversale, un support de prélèvement d'échantillon selon un mode de réalisation. La figure 4 illustre schématiquement, en vue en plan, le support de prélèvement d'échantillon de la figure 3, et est une vue selon IV de la figure 3. 25 La figure 5 illustre schématiquement, en vue en coupe transversale, un support de prélèvement d'un échantillon selon un autre mode de réalisation. La figure 6 illustre schématiquement, en vue en plan, le support de prélèvement d'échantillon de la figure 5, et est une vue selon VI de la 30 figure 5. 3045153 11 La figure 7 illustre schématiquement, en vue en coupe transversale, un support de prélèvement d'échantillon selon un autre mode de réalisation. La figure 8 illustre schématiquement, en vue en coupe 5 transversale, un dispositif pour le prélèvement d'échantillon selon un autre mode de réalisation. La figure 9 illustre schématiquement, en vue en plan, les supports de prélèvement d'échantillon de la figure 8, et est une vue selon IX de la figure 8. 10 DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION Sauf indication explicite ou implicite contraire, des éléments ou organes - structurellement ou fonctionnellement - identiques ou similaires, sont désignés par des repères identiques sur les différentes figures. 15 Comme illustré figure 1 notamment, le dispositif 10 utilisé pour prélever un échantillon d'un objet 12 irradiant, comporte une chambre 11 de prélèvement délimitée par des parois 40 et agencée pour recevoir l'objet 12 irradiant. La chambre 11 est reliée à des moyens (non représentés) de 20 production d'un vide poussé dans la chambre 11, et est équipée de moyens (non représentés) de transfert, tels qu'une porte ou un sas, permettant l'introduction d'un objet irradiant dans la chambre 11 ainsi que l'extraction de l'objet irradiant et d'un échantillon prélevé sur l'objet irradiant, hors de la chambre. 25 La chambre 11 reçoit une colonne ionique 14 produisant un faisceau ionique se propageant selon l'axe 15 jusqu'à la surface de l'objet 12, au point 18 de focalisation du faisceau ionique. Dans le mode de réalisation illustré figure 2, l'appareil 10 peut être essentiellement constitué par un microscope électronique à balayage 30 (MEB) et à faisceau ionique 61 focalisé (FIB), dont la chambre 11 reçoit également une colonne électronique 16 produisant un faisceau d'électrons se propageant jusqu'à la surface de l'objet 12. 3045153 12 Dans ce mode de réalisation, l'objet 12 est déposé sur un mouvement objet 29. Ainsi, l'axe 15 du faisceau ionique 61 peut être sensiblement normal (figure 1) à la surface de l'objet 12 soumise au bombardement 5 ionique, ou bien peut être incliné (figure 2) par rapport à la normale à cette surface. Afin de recueillir une grande partie des particules pulvérisées par interaction du faisceau ionique et de l'objet 12, un support 20 de prélèvement d'un échantillon de l'objet 12 est disposé dans la chambre, à 10 faible distance de l'objet 12 et du point 18 de focalisation du faisceau ionique, sur le trajet du faisceau ionique. Ce support d'échantillon 20 comporte une face4l de collecte des particules pulvérisées (repérées 43 figure 2) de l'objet 12, qui s'étend en regard et à proximité de la surface 42 de l'objet 12 soumis au 15 bombardement ionique, autour d'une ouverture 24 traversant le support 20 et permettant le passage du faisceau ionique au travers du support 20. Pour limiter la propagation de particules 43 de l'objet 12 pulvérisées par le faisceau ionique, au travers de l'ouverture 24, et pour 20 limiter le dépôt de ces particules sur les parois 40 de la chambre, on peut par exemple utiliser un support 20 d'échantillon en forme de disque ou couronne illustré(e) figures 3 et 4, ou bien un support en forme de coque parallélépipédique illustrée figures 5 et 6, ou en forme de coque hémisphérique illustrée figure 7. 25 Selon un exemple de réalisation, le support 20 en forme de couronne peut présenter un diamètre extérieur 22 de l'ordre de 5 à 10 millimètres, et peut comporter une ouverture 24 dont le diamètre 21 peut être de l'ordre de 100 micromètres à 1 millimètre. En disposant ce support à une distance du foyer 18 et/ou de la 30 surface 42 de l'objet 12, qui est de l'ordre de 3 millimètres par exemple, l'angle 25 (figure 1) sous lequel est vue l'ouverture 24 à partir du foyer 18 du faisceau ionique peut être de l'ordre de 5 à 10 degrés environ, ce 3045153 13 qui limite le passage des particules 43 au travers de l'ouverture 24, tandis que l'angle 26 (figure 1) sous lequel est vu le support 20 à partir du foyer 18 peut être de l'ordre de 100 à 120 degrés environ, ce qui permet d'intercepter la majeure partie des particules 43 produites par le 5 faisceau ionique, par la surface inférieure 41 du support sur laquelle ces particules se déposent. A cet effet, on peut disposer un support 20 plan sur des entretoises 27 illustrées figure 2, qui reposent sur le mouvement objet 29, et dont la hauteur est choisie en fonction de la distance choisie pour 10 séparer la face 41 du support 20, de l'objet 12. Lorsque le support 20 est en forme de coque (figures 5 à 7), sa hauteur 28 peut être choisie dans le même but, et le support 20 peut reposer sur le mouvement objet par sa base 45, en entourant l'objet irradiant 12, ou peut reposer sur l'objet ou une surface 12 contaminée. 15 Comme illustré figure 3, le support 20 présente une structure stratifiée comportant une couche 31 de matière adhésive déposée sur la face inférieure d'une feuille 32 de matière plastique ou métallique, ainsi qu'une couche 30 antiadhésive recouvrant la couche adhésive 31, de sorte que la couche 30 est facilement séparable (pelable) du support 20, 20 lorsque l'on souhaite découvrir l'adhésif afin de faire adhérer le support 20 au support 29 ou aux entretoises 27 par exemple, par l'intermédiaire de la matière adhésive de la couche 31. Dans ce mode de réalisation, le support 20 comporte en outre une seconde couche 33 de matière adhésive déposée sur la face supérieure 25 de la feuille 33, ainsi qu'une couche 34 antiadhésive recouvrant la couche adhésive 33, de sorte que la couche 34 est facilement séparable du support 20, lorsque l'on souhaite découvrir l'adhésif 33 afin de faire adhérer au support 20 des particules arrachées à un objet ou surface, par l'intermédiaire de la matière adhésive de la couche 33. 30 Dans le mode de réalisation illustré figures 8 et 9, le dispositif 10 de prélèvement comporte un actionneur 50 commandé par une unité 53 de commande (telle qu'un calculateur), et entrainant en rotation selon 3045153 14 un axe 15 un outil 51 de perçage ou d'abrasion (tel qu'un foret) s'étendant selon cet axe. Pour provoquer la séparation de particules de matière 120 déposée sur une surface 12, l'extrémité inférieure de l'outil 51 est placée au 5 contact du dépôt de matière 120, et son fonctionnement est commandé par l'unité 53. Afin de recueillir des particules pulvérisées par interaction de l'outil 51 et du dépôt de matière 120, trois supports 20 de prélèvement sont disposés à faible distance de la surface 12 et du dépôt 120, autour 10 de la partie inférieure de l'outil 51. Chacun de ces supports d'échantillon 20 comporte une face inférieure 41 de collecte des particules de matière séparées de la surface 12 par l'outil 51, qui s'étend en regard et à proximité de la surface 12, et présente un contour circulaire illustré figure 9. REVENDICATIONS1 -Procédé de prélèvement d'un échantillon de matière (120) d'un objet (12) irradiant, caractérisé en ce qu'il comporte les opérations suivantes : - disposer l'objet (12) en regard de moyens de séparation (14, 50, 51, 61) agencés pour provoquer la séparation de particules de la matière superficielle de l'objet (12) en fonction de signaux de commande délivrés aux moyens de séparation; - disposer au moins un support (20) de collecte de matière (120) à distance de l'objet (12), le (ou les) support(s) de collecte s'étendant autour des moyens de séparation (14, 50, 51, 61); et - commander le fonctionnement des moyens de séparation (14, 50, 51, 61) afin de soumettre l'objet (12) aux moyens de séparation, provoquer la séparation de particules (43) de matière de l'objet par les moyens de séparation, et permettre le dépôt de ces particules (43) sur le(s) support(s)(20) de collecte. 2 - Procédé selon la revendication 1 dans lequel les moyens de séparation (51) comportent un outil de coupe, un outil de perçage, ou un outil abrasif, qui peut être mis au contact de l'objet (12) pour provoquer la séparation de particules (43) de matière de l'objet, et autour duquel s'étend(ent) le(s) support(s) (20) de collecte. 3 - Procédé selon la revendication 1 dans lequel les moyens de séparation (14, 50, 51, 61) provoquent un chauffage ou un bombardement de l'objet (12) pour provoquer la séparation de particules (43) de matière de l'objet et le dépôt de ces particules (43) sur le(s) support(s) (20) de collecte. 4 - Procédé selon la revendication 1 dans lequel les moyens de séparation (61) comportent ou produisent un faisceau, en particulier un faisceau de particules ou un faisceau laser, qui peut être dirigé vers l'objet (12) pour provoquer la séparation de particules (43) de matière de l'objet, et autour duquel s'étend(ent) le(s) support(s) (20) de collecte. 3045153 16 5 - Procédé selon la revendication 4 dans lequel les moyens de séparation comportent ou produisent un faisceau ionique (61) qui est dirigé vers l'objet (12) et est focalisé sensiblement sur l'objet. 6 - Procédé selon la revendication 5 qui comporte les opérations 5 suivantes : - disposer l'objet (12) dans une chambre (40) sous vide équipée d'une colonne ionique (14) agencée pour produire un faisceau ionique (61) focalisé sur une - ou au voisinage d'une - surface de l'objet ; - disposer un support (20) de collecte entre la colonne ionique et 10 l'objet, à distance de l'objet et sur le trajet du faisceau ionique, le support de collecte comportant une ouverture (24) permettant le passage du faisceau ionique au travers du support de collecte; - soumettre l'objet au faisceau ionique traversant le support de collecte, pour provoquer le dépôt de particules de l'objet pulvérisées par 15 le faisceau ionique, sur le support de collecte, les particules déposées formant l'échantillon ; et - extraire de la chambre le support de collecte portant l'échantillon. 7 - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6 dans 20 lequel l'angle (25) sous lequel est vue l'ouverture (24) par un observateur situé sur l'objet (12), est inférieur ou égal à 15 degrés environ, en particulier situé dans une plage allant de 4 ou 5 degrés environ jusqu'à 10 ou 11 degrés environ. 8 - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7 dans 25 lequel les particules séparées de l'objet par les moyens de séparation se déplacent - sont pulvérisées - selon au moins une direction de déplacement privilégiée, et le(s)support(s) (20) de collecte s'étend(ent) en travers de cette (ces) direction(s) privilégiée(s). 9 - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 8 dans 30 lequel l'angle (26) sous lequel est vu le(s) support(s) d'échantillon (20) par un observateur situé sur l'objet, est au moins égal à 60 ou 70 3045153 17 degrés environ, en particulier situé dans une plage allant de 60 ou 70 degrés environ jusqu'à 120 ou 180 degrés environ. 10 - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9 dans lequel la distance séparant le(s) support(s) de collecte de la zone 5 d'application des moyens de séparation, en particulier du point de focalisation d'un faisceau ionique, est située dans une plage allant de 1 millimètre environ à 10 millimètres environ, en particulier dans une plage allant de 2 ou 3 millimètres environ à 5 millimètres environ. 11 - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 10 10 dans lequel on stoppe l'application des moyens de séparation lorsque la masse - ou le volume - d'échantillon accumulé sur le(s) support(s) de collecte, atteint une valeur déterminée. 12 - Dispositif de prélèvement d'un échantillon de matière d'un objet (12), caractérisé en ce qu'il comporte: 15 - des moyens de séparation (14, 50, 51, 61) aptes à provoquer la séparation de particules (43) de la matière superficielle de l'objet; - au moins un support (20) de collecte de matière disposé à distance de l'objet, le (ou les) support(s) de collecte s'étendant autour des moyens de séparation (14, 50, 51, 61); et 20 - des moyens de commande (53) raccordés aux moyens de séparation et agencés pour délivrer des signaux de commande aux moyens de séparation pour commander le fonctionnement des moyens de séparation afin de soumettre l'objet aux moyens de séparation, provoquer la séparation de particules (43) de matière de l'objet par les 25 moyens de séparation, et permettre le dépôt de ces particules sur le support (20) de collecte. 13 - Dispositif selon la revendication12 dans lequel le(s) support(s) (20) de collecte présente(nt) une forme plane, en particulier une forme de plaque ou de disque mince. 30 14 - Dispositif selon la revendication12 dans lequel le(s) support(s) (20) de collecte présente(nt) une forme gauche dont une 3045153 18 concavité est dirigée vers l'objet (12), en particulier une forme de coque permettant d'entourer une partie substantielle au moins de l'objet. 15 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 12 à 14 dans lequel une partie au moins du (des) support(s) (20) de collecte peut 5 s'étendre le long d'un plan sensiblement perpendiculaire à l'axe de propagation d'un faisceau (61) produit par les moyens de séparation, et/ ou le long d'un plan sensiblement perpendiculaire à une direction de déplacement privilégiée de particules (43) arrachées de l'objet par les moyens de séparation. 10 16 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 12 à 15 qui comporte un support (20) de collecte qui délimite une ouverture (24) présentant un contour fermé. 17 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 12 à 16 dans lequel l'objet (12) repose sur un support d'objet ou sur un 15 mouvement objet. 18 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 12 à 17 dans lequel le(s) support(s) (20) de collecte repose(nt) sur l'objet (12), sur un support d'objet, ou sur un mouvement objet, le cas échéant par l'intermédiaire d'entretoises (27). 20 19 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 12 à 18 dans lequel le(s) support(s) (20) de collecte est (sont) solidarisé(s) à l'objet (12), à un support d'objet, ou à un mouvement objet, de façon amovible, en particulier par adhésion. 20 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 12 à 18 25 dans lequel le(s) support(s) (20) de collecte est (sont) solidarisé(s) aux moyens de séparation, de façon amovible. 21 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 12 à 20 dans lequel un support (20) de collecte comporte une partie adhésive par laquelle le support de collecte peut être solidarisé au support 30 d'objet, au mouvement objet, ou aux moyens de séparation. 22 - Support (20) de collecte d'un échantillon de matière d'un objet (12) irradiant ou de matière déposée sur une surface (12) 3045153 19 contaminée, l'objet ou surface étant soumis(e) à des moyens de séparation (14, 50, 51, 61) provocant une séparation de particules (43) de matière de l'objet ou surface, caractérisé en ce qu'il comporte une ouverture (24) permettant le passage des moyens de séparation au 5 travers du support (20) de collecte, et une surface (41) de collecte de particules (43) séparées de l'objet ou surface, qui entoure l'ouverture (24). 23 - Support selon la revendication 22 qui est réalisé, en partie au moins, dans une matière plastique ou métallique. 10 24 - Support selon la revendication 22 ou 23 qui présente ou comporte une structure stratifiée (feuilletée). 25 - Support selon l'une quelconque des revendications 22 à 24 qui comporte au moins une couche (31, 33) de matière adhésive déposée sur une couche (32) de matière plastique ou métallique. 15 26 - Support selon l'une quelconque des revendications 22 à 25 qui comporte une couche (31) de matière adhésive pour la solidarisation temporaire du support de collecte à l'objet ou surface (12), ou aux moyens de séparation (14, 50, 51, 61), et une couche(33) de matière adhésive pour la solidarisation temporaire de particules (43) séparées de 20 l'objet ou surface, au support (20) de collecte.