Brevet FR3048844A1 — publié le 20170915

Domaine de l'invention La présente invention se rapporte à un procédé de réali- sation d'un dispositif à électret ainsi que ce dispositif comme résultant du procédé et un transducteur sonore capacitif. Etat de la technique Le document DE 10 2012 202 422 A 1 décrit un transducteur sonore notamment utilisé pour la détection du champ environnant, fondé sur le son. Le dispositif comporte une matière à électrets qui forme une capacité entre une première et une seconde structure d'électrode. La matière à électret est appliquée sur la première structure d'électrode. Au-dessus de cette matière à électret on a la seconde structure d'électrodes. La matière à électret peut être appliquée par un procédé d'impression. Le document US 2007/0230722 décrit un micro à con- densateur à électret utilisant un film à électret sur un polymère perfluo- ré. Le polymère perfluoré est, par exemple, dissout dans un solvant à base de fluor et ensuite il est appliqué sous la forme d'un film mince par un procédé de revêtement. Après cette application, on laisse sécher pour éliminer le solvant du film. But de l'invention Les dispositifs à électret, connus, ont toutefois en commun que la stabilité de la polarisation des électrets utilisés est souvent insuffisante pour conserver la charge électrique, par exemple à des températures de fonctionnement élevées pendant une durée prolongée. Or, cela est indispensable pour garantir une utilisation sans défaillance de dispositifs à électret dans des capteurs de champ environnant équipant, par exemple, des véhicules. Exposé et avantages de l'invention Pour résoudre ce problème, l'invention a pour objet un procédé de fabrication d'un dispositif à électret et aussi le dispositif ré- sultant directement de ce procédé. L'invention a pour objet un transducteur capacitif de son utilisant le dispositif à électret selon l'invention. Le procédé de fabrication selon l'invention comporte les étapes suivantes : 3048844 2 a) dans une première étape on dissout un polymère fluoré amorphe dans un solvant pour obtenir une solution de polymère fluoré, b) ensuite, on imprime la solution de polymère fluoré sur une plaque de support ; en particulier, cette étape d'impression se caractérise 5 par une structure définie, choisie librement et utilisée par impres- sion, c) ensuite, on élimine le solvant contenu dans la solution de poly- mère fluoré, imprimée. On obtient ainsi un revêtement de polymère fluoré amorphe de structure quelconque, 10 d) dans la quatrième étape du procédé, on charge, de manière élec- trostatique, le polymère fluoré amorphe, imprimé, pour obtenir une structure à électret, e) dans la dernière étape du procédé, on effectue un post-traitement thermique du dispositif à électret. Le dispositif à électret qui se 15 compose de la plaque de support et de l'électret imprimé sur la plaque de support, reste pendant une durée définie à une température supérieure à la future température d'utilisation du dispositif à électret. L'invention repose sur la considération que des polymères 20 fluorés amorphes utilisés dans ce procédé de fabrication comme matière à électret, possèdent, des pièges du fait de la forte imbrication des chaînes de polymère. Comme ces pièges s'étendent sur l'ensemble du volume de la couche de polymère, on les appelle « pièges volumiques ». Les porteurs de charges qui se trouvent dans ces pièges volumiques 25 sont accrochés d'une manière significativement plus stable que les charges de surface. Les polymères fluorés amorphes, tels que, par exemple, Poly[4,5-difluoro-2 ,2 -bis(trifluoromethyl) - 1 ,3 -dioxole-cotetrefluoroethylene], sont utilisés pour cette raison dans le procédé comme matière à électret car, contrairement à un polymère fluoré par- 30 tiellement cristallin, usuel, tel que PTFE, FEP ou PFA, ils se dissolvent dans un solvant approprié tel que, par exemple, du perfluorotrialkylamine ou perfluortributlyamine et peuvent ainsi être liquéfiés. A l'état liquide, les polymères s'utilisent comme matière à électret, de manière simple pour revêtir des surfaces en technique d'impression. 3048844 3 L'utilisation de la technique d'impression a l'avantage d'un espace de liberté de forme maximale pour les structures à électret avec une épaisseur de couche de 10-25 gin. Alors que les électrets à base de films usuels du commerce doivent tout d'abord être mis à leur 5 forme géométrique par emboutissage ou découpe, on peut réaliser une multiplicité de couches à électret par une solution polymère, en technique d'impression, par une disposition appropriée dans le plan au cours d'une étape du procédé. Pendant le séchage, c'est-à-dire pendant l'élimination du solvant contenu dans la solution de polymère fluoré, 10 imprimée, il faut que le degré de cristallisation du polymère fluoré reste aussi réduit que possible. On aura un maximum de pièges volumiques dans la couche de polymère si la teneur amorphe dans le polymère et ainsi la plus grande partie possible des irrégularités restent conservés dans le polymère. 15 La température de séchage et la durée du séchage sont déterminantes car, la température et la durée influencent la croissance des cristaux et ainsi la cristallinité. Lors de la polarisation consécutive ou de la charge électrostatique du polymère fluoré amorphe, imprimé, on ne piège pas tous les supports de charge dans les pièges volumiques, 20 mais ils restent également à la surface. Ces charges de surface sont significativement plus mal accrochées dans l'électret et n'ont, de ce fait, pas une stabilité très poussée. Le post-traitement thermique de la structure à électret après la charge électrostatique produit d'une part une élimination partielle 25 des charges de surface et d'autre part, la diffusion des porteurs de charge de surface dans des pièges volumiques plus profondément installés. Ainsi, les porteurs de charge sont mieux accrochés dans l'électret, ce qui conduit à une stabilité de polarisation plus élevée de la structure à électret. La vitesse à laquelle les porteurs de charge sont 30 enlevés dépend, de manière exponentielle de l'énergie d'activation ther- mique appliquée. L'enlèvement de porteurs de charge beaucoup moins stables peut ainsi se régler par les paramètres de pointes de température et durée d'action du post-traitement thermique. Il est important que le niveau de température dépasse la température d'utilisation fu- 3048844 4 ture du dispositif à électret pour garantir la stabilité de la polarisation permanente pour l'utilisation. De façon préférentielle, l'impression de la solution de po- lymère fluoré se fait par sérigraphie. Cela permet d'obtenir des épais- 5 seurs de couche comparables à celles des films à électret du commerce. Ces couches correspondent à une épaisseur de l'ordre de 10-15 gin. Le procédé de sérigraphie permet, dans le cas le plus simple, la réalisation de dispositifs multiples de transducteurs sonores, encore appelés réseaux de transducteurs sonores car dans une étape de fabrication, on 10 fabrique un grand nombre de couches à électret en quantités et dimen- sions pratiquement quelconques. Pour l'épaisseur de couche requise, le procédé de sérigraphie est le procédé le plus avantageux. Mais, on peut également envisager d'autres procédés d'impression de la solution de polymère fluoré tels que, par exemple, l'impression offset ou un procédé 15 d'impression par jet d'encre. Selon un développement préférentiel de l'invention, la charge électrostatique du polymère fluoré, amorphe, imprimé se fait par un traitement par effet couronne (traitement « corona »). On polarise ainsi le polymère et on génère une structure à électret si bien que, par 20 exemple, on applique une tension de condensateur permanente pour un convertisseur capacitif de son. De façon préférentielle, la future température d'utilisation maximale au-dessus de laquelle on chauffe le dispositif à électret pendant le post-traitement thermique se situe dans une plage de tempéra- 25 ture comprise entre 90 et 100°C. Cela correspond sensiblement à la température maximale de fonctionnement d'une électrode de condensateur d'un transducteur capacitif de son dans les capteurs d'environnement. Cela garantit la polarisation de l'électret, même si l'on utilise la structure à électret dans un convertisseur sonore capacitif tel 30 que, par exemple, un capteur de champ environnant d'un véhicule. Pour appliquer le dispositif à électret fabriqué par le procédé de l'invention à un transducteur sonore, il suffit, selon un mode de réalisation préférentiel de l'invention, si possible lors de l'impression de la solution de polymère-fluoré sur la plaque de support, d'avoir de pré- 35 férence au moins deux zones distinctes de la plaque de support qui sont 3048844 5 imprimées avec la solution de polymère fluoré. Ces deux zones peuvent avoir des formes différentes et ainsi elles pourront se distinguer l'une de l'autre par leur forme. Par exemple, les deux régions peuvent être rectangulaires ; dans un autre mode de réalisation on peut également avoir 5 une forme rectangulaire et une forme circulaire. Ces deux régions ou zones sont écartées horizontalement de moins de la moitié de la longueur d'ondes dans l'air, du voisin le plus proche. Dans le cas d'une fréquence de travail de 48 kHz, cela correspond à une distance de 3,6 mm. La fréquence de travail est la fréquence des signaux sonores reçus 10 et traités par les transducteurs. Ce dispositif également appelé « dispo- sitif en forme de réseau », offre, dans l'utilisation ultérieure de la structure à électret, par exemple, dans des transducteurs de son, des possibilités étendues de traitement du signal par rapport à un transducteur simple. 15 L'élimination du solvant contenu dans la solution de po- lymère fluoré, imprimée selon l'étape b) du procédé de l'invention se fait de préférence par un traitement thermique de la plaque de support et de la solution de polymère fluoré, imprimée sur la plaque de support. Le traitement thermique solidifie le polymère et génère une structure 20 amorphe de polymère. De plus, cet échauffement produit des transfor- mations Béta. Les transformations Béta permettent de faire tourner la chaîne de polymère ou de bouger les chaînes latérales, ce qui génère des pièges volumiques supplémentaires pour de la polarisation. La conversion Béta correspond d'une part à des mouvements des groupes laté- 25 raux d'une chaîne de polymère et d'autre part, à des mouvements de plusieurs atomes le long de la chaîne de polymère. On ne peut avoir une rotation simple le long de la chaîne dans un polymère car il faut déplacer globalement un segment de chaîne important. Cela n'est pas possible à cause de l'obstacle constitué par les molécules voisines. Mais, on 30 peut déplacer plusieurs atomes le long de la même chaîne. S'il y a une déformation de la chaîne de polymère par le déplacement de plusieurs atomes le long de la chaîne, cela se traduit par une relaxation du « vilebrequin » car ainsi la chaîne du polymère se présente sous la forme d'un vilebrequin. Les transformations Beta se produisent en dessous de la 3048844 6 température de transformation vitreuse (les transformations à la température vitreuse sont encore appelées transformations Alpha. Le traitement thermique utilisé pour renforcer le poly- mère commence, de préférence, tout d'abord par le chauffage de la 5 plaque de support et de la solution de polymère fluoré appliquée sur la plaque de support à une première température constante, comprise entre 50°C et 100°C pour une durée de 5 à 30 minutes. Cela permet d'évaporer la plus grande partie du solvant, mais la concentration de polymère dans la solution reste néanmoins longtemps encore en des- 10 sous de la limite de cristallisation. Lorsqu'on atteint cette limite critique de cristallisation, la solution est sursaturée et la croissance cristalline peut commencer. La croissance cristalline du polymère doit toutefois être maintenue à un niveau aussi faible que possible car ainsi on développe des pièges volumiques d'autant plus importants dans la couche 15 de polymère si la partie amorphe dans le polymère reste élevée et ainsi une partie aussi importante que possible des irrégularités reste dans le polymère. Si finalement on atteint la limite de cristallisation par la vaporisation du solvant, il faut arrêter aussi rapidement que possible, la 20 croissance cristalline. C'est pourquoi, dans une seconde étape du trai- tement thermique, on augmente linéairement la température dans une période comprise entre 1 et 5 minutes, à une seconde température constante comprise entre 100 et 150°C. L'élévation de température permet d'atteindre de nouveau 25 une teneur plus élevée de polymère dans la solution sans sursaturer la solution et commencer ainsi la croissance cristalline. La concentration de polymère dans la solution reste ainsi toujours en dessous de la limite de cristallisation. La plaque de support et la solution de polymère fluoré, imprimée sur celle-ci seront alors chauffées à la seconde tempéra- 30 ture pour une période comprise entre 5 et 15 minutes. Cela permet d'évaporer une autre partie du solvant et de solidifier le polymère. Lorsqu'on atteint la limite de cristallisation, on termine aussi rapidement que possible le procédé de séchage et ainsi on maintient un niveau aussi faible que possible de développement cristallin et ensuite on élève de 35 façon linéaire la seconde température sur une période comprise entre 1 3048844 7 et 5 minutes jusqu'à une température maximale comprise entre 150°C et 200°C. On chauffe à cette température maximale, la plaque de support et la solution de polymère fluoré imprimée sur la plaque de support, de manière constante pendant une durée comprise entre 5 et 15 5 minutes jusqu'à ce que finalement le reste de solvant soit complètement évaporé et que le polymère soit complètement solidifié. L'accrochage du polymère fluoré amorphe, imprimé sera amélioré de préférence par des groupes chimiques latéraux, notamment des groupes carboxyle (COOH) à la plaque de support. Les groupes laté- 10 raux font partie de la molécule et se développent par la synthèse du po- lymère, ce qui a l'avantage que la structure à électret, future, ne pourra plus être enlevée facilement, par exemple par des actions mécaniques. Selon un autre développement de l'invention, le produit direct du procédé de l'invention est un dispositif à électret composé 15 d'une plaque de support et d'au moins une structure à électret impri- mée sur la plaque de support. La structure à électret, imprimée a une stabilité de polarisation significativement supérieure pour son utilisation à des températures élevées par comparaison aux applications dans l'industrie et dans la construction automobile comme température de 20 fonctionnement acceptable (par exemple jusqu'à +85°C) et par compa- raison aux couches à électret sur film, du commerce. Ainsi, le FEP (Fluor-Ethylène-Propylène) comme matière à électret à base de film, semi-cristallin, le meilleur connu jusqu'alors, se décharge pour des stockages à long terme à 95°C sur plus de 300 jours, de 12% (pourcentage 25 mesuré par le potentiel de surface). La structure à électret imprimée se- lon l'invention ne se décharge en revanche dans le même intervalle que d'environ 4%. La structure à électret a ainsi une stabilité de polarisation plus de doublée pour de tels paramètres. Selon un autre développement, l'invention a pour objet 30 un transducteur sonore, capacitif, comportant une cale et une mem- brane susceptible d'osciller comme première électrode de condensateur. La cale peut être de forme annulaire, mais en fonction de la structure à électret elle peut également avoir n'importe quelle autre forme adaptée à la structure à électret. De plus, le transducteur sonore capacitif com- 35 porte le dispositif à électret fabriqué selon l'invention avec la structure à 3048844 8 électret et une couche conductrice supplémentaire comme seconde électrode de condensateur entre la structure à électret et la plaque de support du dispositif à électret. La structure à électret fournit la tension du transducteur capacitif. La membrane du transducteur capacitif se 5 trouve à une première extrémité de la cale, ouverte vers l'environnement et le dispositif à électret à la seconde extrémité ouverte vers l'environnement de la cale. La membrane est ainsi installée à la première extrémité de la cale de façon à séparer la structure à électret comme partie du dispositif à électret par rapport à l'environnement. 10 Entre les deux électrodes de condensateur, on peut introduire un dié- lectrique pour générer un champ électrique. Le dispositif à électret peut faire partie du diélectrique car il se trouve entre les deux électrodes de condensateur. Ce transducteur sonore capacitif a l'avantage d'être de construction simple et de ne pas nécessiter d'alimentation en tension 15 externe. En outre, la plaque de support du transducteur sonore capaci- tif a, de préférence, au moins deux structures à électret, imprimées sur la plaque de support. Ces deux structures à électret sont séparées de l'environnement par une membrane. Avec plusieurs transducteurs il est possible de saisir plus précisément l'environnement. 20 Dessins La présente invention sera décrite ci-après, de manière plus détaillée, à l'aide d'un procédé de réalisation d'un dispositif à électret et un tel dispositif résultant du procédé, représenté dans les dessins annexés dans lesquels : 25 la figure 1 montre schématiquement un premier mode de réalisa- tion du procédé pour fabriquer un dispositif à électret, la figure 2 montre l'évolution de l'étape de traitement thermique pour éliminer le solvant contenu dans la solution de polymère fluoré, imprimée, 30 la figure 3 montre un premier mode de réalisation d'un transduc- teur sonore capacitif selon l'invention, la figure 4 montre un premier mode de réalisation d'un transducteur sonore capacitif selon une disposition multiple de l'invention. 35 3048844 9 Description de modes de réalisation de l'invention La figure 1 montre un procédé selon l'invention pour réa- liser un dispositif à électret sous la forme d'un ordinogramme. Dans une étape de procédé 5 on dissout un polymère fluoré amorphe comme, 5 par exemple, Poly[4 , 5-difluoro-2 ,2 -bis(trifluoromethyl) - 1,3 -dioxole-co- tetrefluoroethylene]. Comme solvant approprié on utilise, par exemple, du perfluortrialkylamine ou du perfluortributylamine. Ensuite, dans l'étape de procédé 10 on imprime la solution de polymère fluoré sur la plaque de support 150. Cette opération d'impression peut se faire, par 10 exemple, par sérigraphie. En option, on peut également imprimer au moins deux régions ou zones de la plaque de support 150 avec la solution de polymère fluoré. Ces zones permettent une quelconque adaptation du dispositif à électret, par la forme, par exemple, rectangulaire, carrée, ronde, ovale ou en L. 15 En éliminant le solvant contenu dans la solution de po- lymère fluoré, imprimée, comme étape suivante du procédé 20 on obtient un polymère fluoré amorphe, imprimé. Pour générer la structure à électret 120 on polarise le po- lymère fluoré amorphe, imprimé, ensuite dans une étape de procédé 50. 20 Cette polarisation peut se faire, par exemple, par un traitement à effet couronne (traitement « corona »). Dans une dernière étape 60 du procédé on effectue le post-traitement thermique du dispositif à électret. Cela consiste à chauffer le dispositif à électret pendant une durée déterminée à une 25 température supérieure à la température future maximale d'utilisation du dispositif à électret. Cette température d'utilisation future, maximale, du dispositif à électret se situe, par exemple, dans une plage de température comprises entre 90 et 100°C. En option, on élimine le solvant contenu dans la solution 30 de polymère fluoré, imprimée dans l'étape 20 par un traitement ther- mique de la plaque de support 150 et de la solution de polymère fluoré imprimée sur la plaque de support 150. Ce traitement thermique est représenté par les étapes de procédé 25, 30, 35, 45, 50 à la figure 1. Pour cela, dans l'étape de procédé 25 on chauffe la plaque de support 35 150 et la solution de polymère fluoré imprimée sur la plaque de support 3048844 10 150 à une première température constante comprise entre 50°C et 100°C pendant une durée comprise entre 5 et 15 minutes. Ensuite, dans l'étape 30, on augmente la première température sur un intervalle compris entre 1 et 5 minutes à une seconde température comprise entre 5 100 et 150°C. Ensuite, dans l'étape de procédé 35 on chauffe la plaque de support 150 et la solution de polymère fluoré imprimée sur la plaque de support 150, en conservant la seconde température, pendant une durée comprise entre 5 et 15 minutes. Ensuite, dans l'étape de procédé 40 on chauffe à la seconde température pendant une durée comprise 10 entre 1 et 5 minutes, à la température maximale comprise entre 150 et 200°C. Enfin, dans l'étape 45 du procédé, on chauffe la solution de polymère fluoré, imprimée de la plaque de support 150 et qui est, elle-même, appliquée sur cette plaque, à une température maximale constante pendant une durée comprise entre 5 et 15 minutes. 15 La figure 2 montre, à titre d'exemple, une courbe de tem- pérature 80, c'est-à-dire l'étape du traitement thermique pour éliminer le solvant contenu dans la solution de polymère fluoré imprimée. L'axe X 100 représente le temps en minutes et l'axe Y 90 représente la température du four en °C. Tout d'abord pendant 5 minutes on maintient la 20 température à 50°C et ensuite on l'augmente linéairement pendant une durée de 2 minutes pour atteindre 100°C. On suppose que la température est maintenue constante à 100°C pendant 5 minutes avant de l'augmenter de nouveau, de manière linéaire sur une durée de 2 minutes pour arriver à 150°C. Cette température est ensuite maintenue 25 constante à 5 minutes. La figure 3 est une vue de côté en coupe d'un mode de réalisation d'un transducteur sonore capacitif 135 selon l'invention. Le transducteur sonore capacitif 135 comporte une cale d'épaisseur 140, une membrane 110, une structure à électret 120, une plaque de sup- 30 port 150 et une couche conductrice 145 entre la structure à électret 120 et la plaque de support 150. La membrane électro-conductrice 110 susceptible d'osciller sert de première électrode de condensateur et se trouve à une première extrémité ouverte vers l'environnement de la cale d'épaisseur 140. La couche conductrice 145 entre la plaque de support 35 150 et la structure à électret 120 sert de seconde électrode conductrice. 3048844 11 Le dispositif d'électrode composé de la structure à électret imprimée en continu sur la plaque de support 150 et la structure à électret, chargée électro-statiquement, sur la plaque de circuit, alimente le transducteur sonore capacitif 135 en tension et est relié à la seconde extrémité de la 5 cale 150. La structure à électret 120 est ainsi séparée de l'environnement. La cale d'écartement 150 peut être de forme annulaire ou d'une pièce réunie ou encore de différentes pièces. Entre la membrane 110 comme première électrode de condensateur et la couche conductrice 145 comme seconde électrode de condensateur, un diélec- 10 trique 130 isole l'une de l'autre la première et la seconde électrodes de condensateur. Le diélectrique 130 est n'importe quel milieu dont les supports de charge ne sont pas en général mobiles (par exemple de l'air). La structure à électret 120 peut servir de diélectrique car elle est entre les deux des électrodes de condensateur. 15 La figure 4 est une vue de côté en coupe d'un mode de réalisation d'un transducteur sonore capacitif 136. Dans cet exemple, le dispositif à électret se compose d'une plaque de support 151 avec plusieurs structures à électret 120. Entre la plaque de support 151 et l'ensemble des structures à électret 120 on a à chaque fois une couche 20 conductrice 145 comme seconde électrode de condensateur. Le disposi- tif à électret peut être à chaque seconde extrémité ouverte tournée vers l'environnement de plusieurs organes d'écartement 140. Les différentes structures à électret 120 sont entourées à la manière d'un anneau, chaque fois par un organe d'écartement 140. La membrane oscillante 25 111, commune, est la première électrode de condensateur à l'autre ex- trémité des quatre organes d'écartement 140 de sorte que les structures à électret 120 sont séparées. On pourrait également envisager que les structures à électret 120 des différentes membranes 111 sont séparées de l'environnement. On peut également avoir plus de deux structures à 30 électret 120, installées suivant une forme annulaire en étant entourées d'au moins une cale d'épaisseur 140. 35 3048844 12 NOMENCLATURE DES ELEMENTS PRINCIPAUX 5-60 Etapes du procédé de fabrication d'un dispositif à électret 80 Courbe de température du traitement thermique 5 pour éliminer le solvant 110 Membrane électro-conductrice 111 Membre comme première électrode de condensateur 120 Structure à électret 130 Diélectrique 10 135 Transducteur sonore capacitif 136 Transducteur sonore capacitif 140 Cale d'épaisseur / organe d'écartement 145 Couche conductrice 150 Plaque de support 15 REVENDICATIONS1°) Procédé de réalisation d'un dispositif à électret comportant une plaque de support (150, 151) et au moins une structure à électret (120) imprimée sur la plaque de support (150, 151), le procédé consistant à a. dissoudre un polymère fluoré amorphe dans un solvant pour générer une solution de polymère fluoré, b. imprimer la solution de polymère fluoré sur une plaque de support (150, 151), c. éliminer le solvant contenu dans la solution de polymère fluoré imprimée, d. charger électro-statiquement le polymère fluoré, amorphe, imprimé pour générer une structure à électret (120), procédé caractérisé en ce que dans l'étape e. on effectue un post-traitement thermique du dispositif à électret et on le chauffe pendant une durée définie à une température donnée supérieure à la température maximale d'utilisation du dispositif à électret. 2°) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu' dans l'étape b) on imprime la solution de polymère fluoré par sérigraphie. 3°) Procédé selon l'une des revendications 1 à 2, caractérisé en ce que la charge électrostatique du polymère fluoré amorphe, imprimé, pour générer une structure à électret (120) dans l'étape d) se fait par un traitement par effet couronne. 4°) Procédé selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la future élévation de température maximale unique du dispositif à électret correspond à une température dans une plage de température comprise entre 90°C et 100°C. 3048844 14 5°) Procédé selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que dans l'étape b) du procédé, on imprime au moins deux zones de la plaque de support (150, 151) avec la solution de polymère fluoré et au 5 moins ces deux zones, ont dans la direction horizontale, une distance inférieure à la moitié de l'onde de son dans l'air en fonction de la fréquence de travail du transducteur sonore. 6°) Procédé selon l'une des revendications 1 à 5, 10 caractérisé en ce qu' on élimine le solvant contenu dans la solution de polymère fluoré imprimée de l'étape c) par un traitement thermique, de la plaque de support (150, 151) et de la solution de polymère fluoré imprimée sur la plaque de support (150, 151). 15 7°) Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que le traitement thermique se compose des étapes suivantes : chauffage de la plaque de support (150, 151) et découverte de la 20 solution de polymère fluoré imprimée sur la plaque de support (150, 151) à une première température constante comprise entre 50 et 100°C pendant une durée comprise entre 5 et 15 minutes, élévation linéaire de la première température sur une période comprise entre 1 et 5 minutes à une seconde température comprise 25 entre 100 et 150°C, chauffage de la plaque de support (150, 151) et de la solution de polymère fluoré imprimée sur la plaque de support (150, 151) pour une seconde température constante pendant une durée comprise entre 5 minutes et 15 minutes, 30 élévation linéaire de la seconde température pendant une période comprise entre 1 et 5 minutes jusqu'à une température maximale comprise entre 150°C et 200°C, et chauffage de la plaque de support (150, 151) et de la solution de polymère fluoré imprimée sur la plaque de support (150, 151) pour 3048844 15 une température maximale constante pendant une durée comprise entre 5 et 15 minutes. 8°) Procédé selon l'une des revendications 1 à 7, 5 caractérisé en ce qu' on augmente l'accrochage du polymère fluoré amorphe, imprimé à la plaque de support (150, 151) par des groupes latéraux chimiques, notamment des groupes carboxyle. 10 9°) Dispositif à électret comportant une plaque de support (150, 151) et au moins une structure à électret (120) imprimée sur la plaque de support (150, 151) par un procédé selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que la stabilité de polarisation de la structure à électret (120) est au moins 15 double de celle de l'électret d'un film, mesurée à une température supé- rieure à 80°C pendant une durée d'au moins 300 jours. 10°) Transducteur sonore capacitif (135, 136) comportant : - au moins un organe d'écartement (140), 20 - une membrane oscillante (110, 111) comme première électrode de condensateur, la membrane (110, 111) se trouvant à une première extrémité ouverte de l'environnement d'au moins un organe d'écartement (140), - le dispositif à électret selon la revendication 9, dont la couche 25 conductrice (145) se trouve entre la plaque de support (150, 151) et la structure d'électrode (120) du dispositif à électret comme seconde électrode de condensateur, - un diélectrique (130) installé entre la première et la seconde électrodes de condensateur, 30 - le dispositif à électret étant installé sur la deuxième extrémité ou- verte de l'organe d'écartement (140), orientée vers l'environnement, de façon que le diélectrique (130) isole électriquement l'une de l'autre les première et seconde électrodes de condensateur, la membrane (110, 111) étant installée à la pre- 3048844 16 mière extrémité de l'organe d'écartement (140) pour séparer la structure à électret (120) vis-à-vis de l'environnement. 11°) Transducteur capacitif (135, 136) comportant étape 10, 5 caractérisé en ce que la plaque de support (150, 151) comporte au moins deux structures à électret (120) imprimées sur la plaque de support (150, 151), au moins ces deux structures à électret (120) étant séparées de l'environnement par au moins une membrane (110, 111). 10