Brevet FR3038892A1 — publié le 20170120

Cellule à gaz pour un capteur atomique et procédé de remplissage d'une cellule à gaz. L'invention concerne le domaine des cellules à gaz 5 et des capteurs atomiques comportant des cellules à gaz. Le terme « à gaz » peut désigner un gaz quelconque, une vapeur, ou une vapeur alcaline ou un mélange d'un gaz et d'une vapeur. Les capteurs atomiques comprennent par exemple des 10 horloges atomiques, des micro-magnétomètres ou encore des micro-gyromètres. De tels capteurs atomiques peuvent par exemple être destinés aux systèmes de télécommunication, navigation et défense. De telles cellules optiques à gaz sont parfois 15 qualifiées de « cellules » ou de « microcellules » et les capteurs associés « micro-horloges atomiques », « micro-magnétomètres » et « micro-gyromètres ». Dans l'ensemble du texte, le terme « micro » doit être compris dans le contexte et avec le sens indiqué. 20 Une application typique est une horloge atomique à l'échelle d'une puce, connue sous l'acronyme CSAC (pour Chip-Scale Atomic Clock). Le fonctionnement des capteurs atomiques repose sur une spectroscopie optique des atomes d'un gaz emplissant la 25 cavité d'une cellule munie d'au moins une fenêtre optique. Cette cavité est ainsi qualifiée de « cavité optique ». Le gaz est usuellement une vapeur alcaline, comme du césium ou du rubidium. Cette spectroscopie permet de mesurer une ou plusieurs grandeurs spectrales associées à la ou les 30 quantités physiques que le capteur cherche à observer, par exemple une fréquence, un champ magnétique ou une accélération. Ainsi par exemple dans le cas d'une micro-horloge atomique, le fonctionnement du capteur peut être basé sur 35 la mesure de la fréquence d'une transition micro-onde 3038892 2 particulière des atomes du gaz, dite transition d'horloge. Dans cette application, la micro-horloge atomique met alors typiquement en oeuvre le principe de la résonnance atomique par piégeage cohérent de population connu sous l'acronyme CPT (pour Coherent Population Trapping). Par ailleurs, la largeur de la raie observée par spectroscopie, et donc la stabilité de fréquence dans le cas d'une horloge atomique, est déterminée par le temps de relaxation des atomes alcalins à partir de l'état cohérent dans lequel ils ont été pompés vers leur état fondamental, temps qui est notamment fonction des collisions des atomes avec les parois de la cellule, qui entrainent la perte de leur cohérence. Pour améliorer la qualité de la spectroscopie du gaz, et donc la précision et stabilité du capteur atomique, il est ainsi connu d'adjoindre à la vapeur alcaline un gaz, dit gaz tampon ou atmosphère tampon, permettant de ralentir la diffusion des atomes alcalins vers les parois de la cellule et de confiner lesdits atomes alcalins. De tels capteurs atomiques offrent l'intérêt d'être de petites tailles, économes en énergie et de présenter une très bonne précision et stabilité de mesure. Un exemple d'un tel capteur atomique est connu des travaux du consortium MAC-TFC, l'institut FEMTO-ST (acronyme pour Franche-Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique - Sciences et Technologies) qui a conçu et réalisé une cellule à vapeur de césium très compacte (quelques mm3) pour une horloge atomique, avec micro-usinage MEMS (acronyme pour MicroElectroMechanical Systems) du silicium et soudure anodique (voir par exemple « New approach of fabrication and dispensing of micromachined cesium vapor cell » de L. Nieradko, C. Gorecki, A. Douahi, V. Giordano, J.C. Beugnot, J. Dziuban et M. Moraja publié dans JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS d'août 2008). 3038892 3 La réalisation de cellules optiques à gaz et de tels capteurs atomiques fait usuellement appel aux méthodes de microfabrication d'empilements de substrats de silicium et de verre, fixés entre eux par des soudures anodiques. 5 Un procédé habituel de microfabrication d'une cellule commence ainsi par la gravure de cavités dans un substrat de silicium. Un premier substrat de verre est ensuite soudé, usuellement par soudure anodique, d'un côté de ce substrat. Enfin, un deuxième substrat de verre est 10 soudé sur la face opposée après incorporation de l'atmosphère tampon et du métal alcalin, qui peut prendre diverses formes selon la méthode de remplissage employée. Pour introduire le métal alcalin dans la cavité notamment contenant certaine optique, on peut réaliser la fabrication, et l'étape de soudure anodique, dans une atmosphère déposant une 15 du césium et un gaz tampon ou en quantité de métal alcalin sous forme liquide ou solide dans une cavité de la cellule. Toutefois le scellement en présence de césium pur 20 apporte des complications. La soudure anodique doit en effet débuter à basse température, pour éviter l'évaporation de métal déposé dans la cavité, et continuer pendant que la température est augmentée. Ceci peut mener à des disparités de pression du gaz tampon comme indiqué dans 25 le document US2012/0298295A1. Pour simplifier la fabrication du capteur atomique et permettre la mise en oeuvre d'un équipement de soudure anodique standard dans les conditions optimales, il est connu d'utiliser un composé solide appelé dispenseur qui 30 est introduit dans la cellule lors de l'étape de scellement. Un tel composé est par exemple constitué d'un alliage Zr-Al et de chromate de césium, approprié pour rester stable à la température de la soudure anodique. Le dispenseur est ensuite chauffé localement, par exemple à 35 l'aide d'un laser de puissance afin de libérer du césium 3038892 4 pur et d'établir une vapeur saturée dans la cellule. Après activation la plupart des atomes de césium sont en phase liquide ou en phase solide, en fonction de la température. Une telle méthode est par exemple détaillée dans le 5 document « From the Implementation to the Characterisation and Assembling of Microfabricated Optical Alkali Vapor Cell for MEMS Atomic Clocks. » de Nieradko, Lukasz, et al., paru en 2007 dans la revue Solid-State Sensors, pages 45-48. Si elle simplifie la fabrication du capteur, la 10 présence d'un dispenseur dans chaque cellule est toutefois également contraignante. D'une part, elle limite la densité de cellules réalisables sur un wafer, ce qui augmente le coût de production par cellule. D'autre part, elle augmente la taille de la cellule, et par conséquent celle du capteur 15 atomique qui l'intègre. La cellule pâtit également d'une dissipation thermique plus importante (surface radiante plus grande). Par ailleurs, l'utilisation d'un dispenseur par cellule impose un coût fixe non négligeable pour chaque cellule. La quantité de césium libérée lors de l'activation 20 par chauffage est également difficile à contrôler. La quantité de métal alcalin peut ainsi varier de façon importante entre des cellules provenant d'un même lot de fabrication. La condensation de césium peut alors être excessive et obstruer la fenêtre optique, ou à l'inverse, 25 la quantité de césium peut être insuffisante pour garantir une durée de vie satisfaisante. Par ailleurs, une étude a indiqué que le dispenseur pouvait provoquer des variations de l'atmosphère et compromettre les performances de l'horloge qui l'intègre (« Aging Study on a Micro- 30 Fabricated Cs Buffer-Gas Cell for Atomic Clock Applications. » de Abdullah, Salman et al. paru en 2014 dans Proc. European Frequency and Time Forum). Enfin, le dispenseur n'étant usuellement pas fixé dans la cavité, il peut heurter les parois si la cellule est soumise à des 35 chocs ou à des vibrations. Les particules qui composent le 3038892 5 dispenseur peuvent alors se désagréger et venir obstruer la fenêtre optique. L'un des objectifs de l'invention est ainsi d'éviter la présence d'un dispenseur dans la cellule finale 5 ou d'empêcher les interactions entre le dispenser et l'atmosphère de la cavité optique. Le gaz tampon adjoint dans la cellule peut être composé d'une ou de plusieurs espèces atomiques ou moléculaires. 10 Cependant, la présence d'une atmosphère tampon présente l'inconvénient d'introduire une dépendance de la mesure spectroscopique en fonction de la température de la cellule (par exemple une dépendance quadratique de la fréquence de la transition d'horloge avec la température). 15 Ainsi, des variations de température de la cellule se traduisent par des variations des grandeurs spectrales mesurées et donc de la mesure du capteur atomique. Il est donc nécessaire d'utiliser une atmosphère tampon pour laquelle la dépendance thermique induite sur 20 les grandeurs spectrales présente un point d'inversion autour de la température de fonctionnement de la cellule. On connait notamment du document « Quadratic Dependence on Temperature of Cs 0-0 Hyperfine Resonance Frequency in Single Ne Buffer Gas Microfabricated Vapour 25 Cell. » de Miletic, Danijela et al., paru en 2010 dans la revue Electronics Letters vol. 46 une atmosphère tampon composée uniquement de néon qui permet d'annuler la dépendance thermique de la fréquence de la transition horloge autour de 80 °C. 30 Une telle atmosphère tampon permet de faire fonctionner le capteur atomique dans une plage de température limitée à quelques degrés en dessous de la température de fonctionnement de la cellule, soit par exemple jusqu'à 70 ou 75 °C pour une atmosphère tampon de 35 néon pur car les contraintes énergétiques permettent 3038892 6 usuellement uniquement de chauffer la cellule sans pouvoir la refroidir et l'électronique associée dissipe également de l'énergie sous forme de chaleur. Pour répondre aux standards industriels actuels, 5 ces systèmes doivent pourtant pouvoir fonctionner dans une plage allant de -40 °C à +85 °C, voir au-delà pour certaines applications. On connait par ailleurs des atmosphères tampon composées de diazote et d'argon qui permettent, en ajustant 10 les pressions partielles du mélange, d'obtenir un point d'inversion variable jusqu'à 120 °C comme cela est décrit dans le document « RF-Interrogated End-State Chip-Scale Atomic Clock. » de Braun, Alan M et al., paru en 2007 dans les 39th Annual Precise Time and Time Interval Meeting. 15 L'utilisation du diazote avec un dispenseur présente toutefois des inconvénients car le diazote est absorbé par le dispenseur. D'autres atmosphères tampon composées de gaz rares, qui ne réagissent pas avec le dispenseur, ont également été 20 étudiées mais présentent des inconvénients. Ainsi ces mélanges sont difficiles à contenir de manière stable, imposent un élargissement spectrale défavorable et sont de manière générale moins favorables que le diazote pour atténuer l'effet de « radiation trapping » qui réduit la 25 qualité du signal et les performances du capteur. Un autre but de l'invention est ainsi notamment de permettre l'utilisation, dans une cellule à vapeur, d'une diversité de gaz tampon sans que le fonctionnement ou la fabrication de la cellule à vapeur ne présente les 30 inconvénients détaillés ci-avant. Enfin, lors du procédé de soudure anodique, des molécules composées d'oxygène peuvent être générées. Les procédés existants ne permettent donc pas d'atteindre des 35 niveaux de vide inférieurs à 10-4 mbar, qui sont 3038892 7 nécessaires pour des applications comme le piégeage magnéto-optique d'atomes ou le piégeage d'ions. Encore un autre but de l'invention est ainsi notamment d'améliorer la qualité du vide par rapport à ce 5 qui est usuellement obtenu lors d'un scellement par soudure anodique. L'invention a ainsi pour premier objet une cellule à gaz, destinée notamment à être incluse dans un capteur atomique tel qu'une horloge atomique, un magnétomètre 10 atomique ou un gyromètre atomique, en étant associée d'une part, à au moins un laser d'émission d'un faisceau laser extérieur entrant impactant la cellule et, d'autre part, à un photodétecteur de réception d'un faisceau laser extérieur sortant de la cellule, le faisceau laser ayant 15 pénétré la cellule, la cellule comprenant une cavité munie d'au moins une fenêtre optique et apte à être emplie d'un gaz. La cellule est caractérisée en ce qu'elle comprend en outre 20 - une cuvette de scellement comportant o une embouchure de cavité adaptée pour permettre un passage de gaz entre la cuvette de scellement et la cavité optique, o une embouchure de canal conçue pour 25 permettre une arrivée de gaz dans la cuvette de scellement par un canal d'arrivée de gaz, et o un accès de scellage, et - une membrane fermant hermétiquement l'accès de scellage de la cuvette de scellement, 30 et en ce que la membrane est apte à être déformée plastiquement par chauffage pour venir fermer hermétiquement au moins l'une parmi l'embouchure de cavité et l'embouchure de canal, de sorte à séparer hermétiquement la cavité optique du canal d'arrivée de gaz. 35 Selon une réalisation, la cellule comprend en outre 3038892 8 un dispositif de chauffe en contact avec la membrane, notamment un élément résistif apte à être parcouru par un courant électrique ou une couche d'un matériau absorbant pour au moins une longueur d'onde lumineuse qui n'est pas 5 sensiblement absorbée par la membrane. Selon une réalisation, la cellule comprend un ensemble multicouche comportant, d'une part, une plaquette - ou wafer - conformable conformée en creux pour présenter un évidement débouchant en au moins 10 une ouverture, ledit évidement étant apte à être empli d'un gaz, et, d'autre part, au moins une plaquette - ou wafer - en verre fermant hermétiquement ladite ouverture de l'évidement pour former la cavité optique munie d'au moins une fenêtre 15 optique, la plaquette - ou wafer - en verre et la plaquette - ou wafer - conformée en creux étant disposées en regard l'une de l'autre et scellées l'une à l'autre, en particulier par soudure anodique. Selon une réalisation, la membrane est une portion 20 de la plaquette - ou wafer - en verre, et en particulier la fenêtre optique et la membrane sont formées par deux portions écartées l'une de l'autre d'une seule et même plaquette - ou wafer - en verre. Selon une réalisation, la plaquette - ou wafer - 25 conformable est conformée en creux pour présenter un deuxième évidement, formant la cuvette de scellement, et débouchant en au moins une deuxième ouverture, formant l'accès de scellage. Selon une réalisation, la cuvette de scellement et 30 la membrane sont formées dans la plaquette - ou wafer - en verre, en particulier la plaquette - ou wafer - en verre comporte au moins une première sous-couche en verre et une deuxième sous-couche en verre superposées et solidarisées, la cuvette de scellement étant formée dans la première 35 sous-couche en verre, la membrane étant formée dans la 3038892 9 deuxième sous-couche en verre. Selon une réalisation, le canal d'arrivée de gaz est formé dans l'une au moins de la plaquette - ou wafer - conformable et de la plaquette - ou wafer - en verre, de 5 sorte à traverser sensiblement la totalité d'une épaisseur de ladite plaquette - ou wafer -, de manière sensiblement perpendiculaire à un plan d'extension de ladite plaquette ou wafer. Selon une réalisation, la membrane est en verre, et 10 en particulier est une portion amincie d'une plaquette - ou wafer - en verre. Selon une réalisation, la cuvette de scellement comporte une zone de scellage entourant l'embouchure de canal, sensiblement plane et parallèle à la membrane non 15 déformée, et conçue pour venir former un contact hermétique avec la membrane déformée plastiquement par chauffage de sorte à séparer hermétiquement la cavité optique du canal d'arrivée de gaz. Selon une réalisation, une distance entre la 20 membrane non déformée plastiquement et la zone de scellage - mesurée perpendiculairement à ladite membrane non déformée plastiquement et ladite zone de scellage - est inférieure à une centaine de microns. Selon une réalisation, un diamètre de la zone de 25 scellage de la cuvette de scellement est supérieur à trois fois ladite distance entre la membrane non déformée plastiquement et la zone de scellage. Selon une réalisation, une épaisseur de la membrane est inférieure à 500 microns, de préférence inférieure à 30 100 microns. Selon une réalisation, la cellule comprend une source d'un gaz reliée au canal d'arrivée de gaz et adaptée pour emplir la cavité optique avec un gaz par l'intermédiaire du canal d'arrivée de gaz et de la cuvette 35 de scellement, au moyen de l'embouchure de cavité et de 3038892 10 l'embouchure de canal. Selon une réalisation, la source comprend une cavité source reliée au canal d'arrivée de gaz et un dispenseur de métal alcalin reçu dans la cavité source et 5 adapté pour générer une vapeur alcaline par chauffage. Selon une réalisation, la cellule comprend, outre la cavité optique, une cavité additionnelle emplie d'un gaz additionnel, adjacente à et séparée de la cavité optique par une paroi conçue pour être percée et permettre un 10 mélange dudit gaz additionnel avec un gaz contenu dans la cavité optique. Selon une réalisation, la paroi de la cavité additionnelle est apte à être percée par une action sans contact exogène à la cellule 2, notamment par une 15 interaction avec la paroi d'un faisceau laser impulsionnel, d'un faisceau laser continu ou d'une décharge électrique. Selon une réalisation, la cavité optique est emplie d'un gaz, et la membrane est dans un état déformé plastiquement dans lequel la membrane ferme hermétiquement 20 au moins l'une parmi l'embouchure de cavité et l'embouchure de canal, en séparant hermétiquement la cavité optique du canal d'arrivée de gaz. L'invention a également pour objet un ensemble de 25 cellules comportant une pluralité de cellules telles que décrites ci-avant, dont les canaux d'arrivée de gaz sont reliés à une unique source de gaz, en particulier dans lequel ladite pluralité de cellules forme un ensemble solidaire et rigide adapté pour être découpé de sorte à 30 séparer les cellules les unes des autres. L'invention a encore pour objet un procédé d'emplissage de gaz d'une cellule, dans lequel : - on dispose d'une cellule telle que décrite ci-35 avant ou d'un ensemble de cellules tel que décrit ci-avant, 3038892 11 - on dispose d'une source d'un gaz reliée au canal d'arrivée de gaz de la cellule ou de l'ensemble de cellules, - on emplit la cavité optique avec le gaz de la 5 source par l'intermédiaire du canal d'arrivée de gaz et de la cuvette de scellement, au moyen de l'embouchure de cavité et de l'embouchure de canal, et - on déforme plastiquement par chauffage la membrane pour venir fermer hermétiquement au moins l'une 10 parmi l'embouchure de cavité et l'embouchure de canal, de sorte à séparer hermétiquement la cavité optique du canal d'arrivée de gaz. Selon une réalisation, on déforme plastiquement la membrane par chauffage au moyen d'un laser dirigé sur la 15 membrane. Selon une réalisation, on déforme plastiquement la membrane par chauffage en faisant circuler un courant électrique dans un élément résistif en contact avec la membrane. 20 Selon une réalisation, la source est un dispenseur de métal alcalin reçu dans une cavité source reliée au canal d'arrivée de gaz de la cellule ou de l'ensemble de cellules, et on emplit la cavité optique en chauffant ledit dispenseur. 25 Selon une réalisation, après avoir déformé plastiquement la membrane pour séparer hermétiquement la cavité optique du canal d'arrivée de gaz, on sépare la cellule de la source de gaz. Selon une réalisation, après avoir déformé 30 plastiquement la membrane pour séparer hermétiquement la cavité optique du canal d'arrivée de gaz, on perce une paroi séparant de la cavité optique une cavité additionnelle emplie d'un gaz additionnel, de sorte à mélanger ledit gaz additionnel avec un gaz contenu dans la 35 cavité optique. 3038892 12 L'invention a encore pour objet un procédé de mise sous vide d'une cellule, dans lequel : - on dispose d'une cellule telle que décrite ci-avant ou d'un ensemble de cellules tel que décrit ci-avant, 5 - on dispose d'une station de pompage reliée au canal d'arrivée de gaz de la cellule ou de l'ensemble de cellules, - on actionne la station de pompage pour aspirer un gaz contenu dans la cavité optique par l'intermédiaire du 10 canal d'arrivée de gaz et de la cuvette de scellement, au moyen de l'embouchure de cavité et de l'embouchure de canal, et - on déforme plastiquement par chauffage la membrane pour venir fermer hermétiquement au moins l'une 15 parmi l'embouchure de cavité et l'embouchure de canal, de sorte à séparer hermétiquement la cavité optique du canal d'arrivée de gaz. L'invention a encore pour objet un procédé de 20 fabrication d'une cellule telle que décrite ci-avant, dans lequel - on dispose d'une plaquette - ou wafer - conformable et d'au moins au moins une plaquette - ou wafer - en verre, 25 - on conforme en creux la plaquette - ou wafer - conformable, en particulier on la grave, pour former un évidement débouchant en au moins une ouverture, - on conforme au moins l'une parmi la plaquette ou wafer - conformable et la plaquette - ou wafer - en 30 verre, en particulier on la grave, de sorte à former un canal d'arrivée de gaz et une cuvette de scellement comportant o une embouchure de cavité adaptée pour permettre un passage de gaz entre la cuvette de 35 scellement et la cavité optique, 3038892 13 o une embouchure de canal conçue pour permettre une arrivée de gaz dans la cuvette de scellement par le canal d'arrivée de gaz, et o un accès de scellage, 5 - on forme un ensemble multicouche comportant la plaquette - ou wafer - conformable et ladite au moins au moins une plaquette - ou wafer - en verre de sorte que o on ferme hermétiquement l'ouverture de l'évidement pour former une cavité optique munie d'au moins 10 une fenêtre optique et apte à être emplie d'un gaz, et o on ferme hermétiquement l'accès de scellage avec une membrane apte à être déformée plastiquement par chauffage pour venir fermer hermétiquement au moins l'une parmi l'embouchure de cavité et l'embouchure de canal, de 15 sorte à séparer hermétiquement la cavité optique du canal d'arrivée de gaz. L'invention a enfin pour objet un capteur atomique comprenant une cellule telle que décrite ci-avant, 20 associée, de façon compacte, d'une part, à un laser d'émission d'un faisceau laser extérieur entrant impactant la cellule et, d'autre part, à un photodétecteur de réception d'un faisceau laser extérieur sortant de la cellule. 25 Sur les dessins : - la figure 1 est un schéma en perspective et en coupe d'un capteur atomique selon un mode de réalisation de l'invention, comportant une cellule à gaz selon un mode de 30 réalisation de l'invention, à laquelle sont associés un laser d'émission d'un faisceau laser entrant impactant la cellule et un photodétecteur de réception d'un faisceau laser extérieur sortant de la cellule, - les figures 2A à 2F illustrent les étapes 35 successives d'un procédé de réalisation d'une cellule telle 3038892 14 que celle représentée sur la figure 1 selon une coupe transversale pour les figures 2A à 2E et une vue de dessus pour la figure 2F ; les figures 2A à 2C illustrent plus spécialement la conformation d'une plaquette - ou wafer 5 conformable, la figure 2D, l'assemblage de la plaquette ou wafer - conformable et de plaquette - ou wafer - en verre pour former un ensemble multicouche et réaliser la cellule proprement dite, la figure 2E le scellement de la cellule après emplissage de gaz par déformation de la 10 membrane et la figure 2F illustre une vue de dessus de la cellule de la figure 2E, - les figures 3A à 3C illustrent les étapes successives d'un procédé d'emplissage de gaz d'une cellule telle que celle représentée sur les figures 1 et les 15 figures 2A à 2E ; la figure 3A illustre plus spécialement l'emplissage de gaz de la cavité optique, la figure 3B le scellement de la cellule après emplissage par déformation de la membrane et la figure 3C la séparation de la cellule de la source de métal alcalin, 20 - la figure 3D illustre une vue de dessus de la cellule de la figure 3B, - la figure 3E illustre une vue de dessus d'un ensemble de cellules comportant une pluralité de cellules telles que celle des figures 3A à 3D, 25 - les figures 4A à 41 illustrent les étapes successives d'un procédé de réalisation d'une cellule selon un deuxième mode de réalisation de l'invention dans lequel la cuvette de scellement et la membrane sont définies dans la plaquette - ou wafer - de verre, selon une coupe 30 transversale pour les figures 4A à 4H et une vue de dessus pour la figure 41 ; les figures 4A à 4F illustrent plus spécialement la définition de la cuvette de scellement et de la membrane dans les première sous-couche en verre et deuxième sous-couche en verre d'une plaquette - ou wafer - 35 en verre, la figure 4G, l'assemblage d'une plaquette - ou 3038892 15 wafer - conformable et de la plaquette - ou wafer - en verre pour former un ensemble multicouche et réaliser la cellule proprement dite, la figure 4H le scellement de la cellule après emplissage de gaz par déformation de la 5 membrane et la figure 41 illustre une vue de dessus de la cellule de la figure 4H, - la figure 5A illustre une vue en coupe d'une variante de réalisation d'une cellule selon le mode de réalisation des figures 4A à 41, dans laquelle la cavité 10 optique est non traversante et de forme pyramidale, - la figure 5B illustre une vue de dessus d'un ensemble de cellules comportant une pluralité de cellules telles que celle de la figure 5A, - la figure 6 illustre une vue en coupe d'une 15 variante de réalisation d'une cellule selon le mode de réalisation des figures 1 et 2A à 2E, dans laquelle la membrane est une portion amincie d'une plaquette - ou wafer - en verre, - Les figures 7A à 7C illustrent les étapes 20 successives d'un procédé d'emplissage de gaz d'une cellule selon une variante de réalisation d'une cellule telle que celle des figures 1 et 2A à 2E, dans laquelle la cellule comporte une cavité additionnelle emplie de gaz additionnel, la figure 7A illustre plus spécialement 25 l'emplissage de gaz de la cavité optique, la figure 7B le scellement de la cellule après emplissage par déformation de la membrane et la figure 7C le perçage de la paroi séparant la cavité additionnelle de la cavité optique pour mélanger le gaz additionnel et le gaz de la cavité optique, 30 - la figure 7D illustre une vue de dessus d'un ensemble de cellules comportant une pluralité de cellules telles que celle des figures 7A à 7C, - Les figures 8A à 8C illustrent les étapes successives d'un procédé de mise sous vide d'une cellule 35 selon un mode de réalisation de l'invention, la figure 8A 3038892 16 illustre plus spécialement l'actionnement d'une station de pompage pour aspirer un gaz contenu dans la cavité optique, la figure 8B le scellement de la cellule après mise sous vide par déformation de la membrane et la figure 8C la 5 séparation de la cellule de la station de pompage. Sur les différentes figures, les mêmes références désignent des éléments identiques ou similaires. La figure 1 illustre un exemple d'un capteur atomique 1 selon l'invention incorporant une cellule 2. 10 Le capteur atomique 1 est par exemple une horloge atomique à l'échelle d'une puce (CSAC pour Chip-Scale Atomic Clock) reposant sur le principe de la résonnance atomique par piégeage cohérent de population (CPT pour Coherent Population Trapping). Le capteur atomique 1 15 comprend une cellule 2 à vapeur alcaline (césium) à laquelle sont associés, d'une part, un laser 3 d'émission d'un faisceau laser extérieur entrant impactant la cellule 2, par exemple un laser à cavité verticale (VCSEL pour Vertical Cavity Surface Emitting Laser) et, d'autre part, 20 un photodétecteur de réception 4 d'un faisceau laser extérieur sortant de la cellule 2. On désigne par 5, le faisceau laser. La cellule 2 comprend tout d'abord une cavité optique 11 qui est munie d'au moins une fenêtre optique 9 25 et est apte à être emplie d'un gaz. Le gaz comprend par exemple une vapeur alcaline comme du césium ou du rubidium et, le cas échéant un gaz tampon. À cette fin, la cellule 2 comprend d'une part un 30 ensemble multicouche 6 qui prend par exemple la forme d'un boitier 6. Cet ensemble multicouche 6 inclut, en premier lieu, une plaquette - ou wafer - 7, dénommée « plaquette ou wafer - 7 conformable » ou bien « plaquette - ou wafer - 7 conformée en creux », selon qu'on la considère à 35 l'état originel non conformé ou à l'état conformé, étant 3038892 17 donné qu'elle est in fine conformée en creux comme il est exposé. La plaquette - ou wafer - 7 s'étend selon un plan d'extension H entre une première face 7a et une deuxième 5 face 7b, opposées l'une à l'autre et sensiblement parallèles au plan d'extension H. Comme illustré par les figures 2A à 2C, la plaquette - ou wafer - 7 est conformée en creux pour présenter un évidement 25 sur au moins l'une de ses faces 10 7a, 7b, débouchant en au moins une ouverture 25a, sur au moins l'une de ses faces 7a, 7b. L'évidement 25 se comprend relativement à un plan de base frontal S la plaquette - ou wafer - 7, sur lequel est appliquée la plaquette - ou wafer - en verre 8, par 15 exemple à la première face 7a. Pour former l'évidement 25, la plaquette - ou wafer - 7 conformable peut être gravée, notamment gravée par l'ouverture 25a de l'évidement 25. L'évidement 25 peut par exemple être formé par gravure ionique réactive 20 profonde ou par gravure humique anisotrope KOH. L'évidement 25 est apte à être empli d'un gaz pour former une portion de la cavité optique 11. L'ensemble multicouche 6 inclut, en second lieu, au moins une plaquette - ou wafer - en verre 8 qui est formée 25 d'une seule plaquette ou de plusieurs plaquettes superposées comme cela sera détaillé plus loin. La plaquette - ou wafer - en verre 8 est disposée pour fermer hermétiquement l'ouverture 25a de l'évidement 25 de sorte à former, avec ledit évidement 25, la cavité 30 optique 11 munie d'au moins une fenêtre optique. À cette fin, la plaquette - ou wafer - conformée en creux 7 et la plaquette - ou wafer - en verre 8 sont disposées en regard l'une de l'autre, l'une contre l'autre. La plaquette - ou wafer - en verre 8 s'étend par 35 exemple également selon un plan d'extension H entre une 3038892 18 première face 8a et une deuxième face 8b, opposées l'une à l'autre et sensiblement parallèles au plan d'extension H. Une face 8a, 8b de la plaquette - ou wafer - en verre 8 est ainsi disposée en regard et en contact avec une 5 face 7a, 7b de la plaquette - ou wafer - 7. Les plaquettes 7, 8 sont scellées l'une à l'autre, de façon fixe et étanche, en particulier par soudure anodique entre leurs faces en regard. L'ensemble multicouche 6 (et donc par extension la 10 cellule 2) peut avoir une forme extérieure parallélépipédique ou cylindrique ou une autre forme. Il est généralement aplati et compact moyennant un volume qui peut être de quelques mm3 ou de quelques dizaines de mm3. Il présente un plan d'extension H, et deux plans 15 transversaux perpendiculaires, à savoir un premier plan transversal qui est le plan des figures 2A à 2E (et le plan médian de la cavité optique 11) et un second plan médian transversal perpendiculaire. La cellule 2 comporte ainsi au moins une fenêtre 20 optique 9 formée par une portion de la plaquette - ou wafer - en verre 8. La cellule 2 peut également comporter une deuxième fenêtre optique 10 qui peut être disposée du même côté de la cellule 2 que la fenêtre optique 9, les deux fenêtres 25 optiques étant par exemple formées par deux portions écartées l'une de l'autre de la plaquette - ou wafer - en verre 8. Alternativement, la deuxième fenêtre optique 10 peut être disposée d'un côté de la cellule 2 opposé au côté 30 de la fenêtre optique 9, les deux fenêtres optiques étant formées par deux plaquettes - ou wafer - en verre 8 distinctes, placées sur des faces 7a, 7b respectivement opposées de la plaquette - ou wafer - conformée en creux 7. La cellule 2 comprend par ailleurs une cuvette de 35 scellement 13. 3038892 19 La cuvette de scellement 13 est munie d'une embouchure de cavité 14, d'une embouchure de canal 15 et d'un accès de scellage 16. L'embouchure de cavité 14 est adaptée pour 5 permettre un passage de gaz entre la cuvette de scellement 13 et la cavité optique 11. L'embouchure de canal 15 est conçue pour permettre une arrivée de gaz dans la cuvette de scellement 13 par un canal d'arrivée de gaz 17. 10 Enfin, l'accès de scellage 16 est fermé hermétiquement par une membrane 18 illustrée sur la figure 2D. La membrane 18 est apte à être déformée plastiquement par chauffage pour venir fermer 15 hermétiquement au moins l'une parmi l'embouchure de cavité 14 et l'embouchure de canal 15, de sorte à séparer hermétiquement la cavité optique 11 du canal d'arrivée de gaz 17. La membrane 18 peut notamment être en verre de 20 sorte à pouvoir être déformée plastiquement de manière aisée et à assurer une fermeture hermétique au gaz d'au moins l'une parmi l'embouchure de cavité 14 et l'embouchure de canal 15. Plus précisément, la membrane 18 est apte à être 25 placée, en premier lieu, dans un état initial - ou non-déformé - illustré sur les figures 2D, 3A, 4G, 7A et 8A. Dans cet état initial, la membrane 18 est sensiblement plane et n'obstrue ni l'embouchure de cavité 14 ni l'embouchure de canal 15. Dans cet état de la 30 membrane 18, il existe donc une communication entre la cavité optique 11 et le canal d'arrivée de gaz 17 par l'intermédiaire de la cuvette de scellement 13. Il est ainsi possible d'emplir la cavité optique 11 avec un gaz amené par l'intermédiaire du canal d'arrivée de 35 gaz 17 et de la cuvette de scellement, au moyen de 3038892 20 l'embouchure de cavité et de l'embouchure de canal. Ainsi par exemple, une cavité source 19 peut être reliée au canal d'arrivée de gaz 17. Une telle cavité source 19 peut recevoir une source 5 de métal alcalin, tel que du césium ou du rubidium, sous différentes formes. La source de métal alcalin peut être du métal alcalin pur à l'état solide ou liquide. La source de métal alcalin peut être un composé 10 chimique comprenant des atomes alcalins, libérés par la suite par un post-traitement thermique ou radiatif. La source de métal alcalin peut être un dispenseur 19a de métal alcalin, tel que du césium ou du rubidium, la vapeur alcaline étant générée par chauffage du dispenseur 15 19a, notamment après scellement étanche de la cellule 2 et avant déformation plastique de la membrane 18. La cavité source 19 peut être formée dans la plaquette - ou wafer - conformable 7, par exemple en conformant en creux la plaquette - ou wafer - conformable 7 20 pour présenter un évidement de façon similaire à ce qui a été décrit ci-avant concernant la cavité optique 11. La plaquette ou wafer - 7 conformable peut ainsi être gravée par gravure ionique et/ou chimique. La cavité source 19 peut ainsi être adjacente à la 25 cavité optique 11, et reliée à ladite cavité optique 11 par le canal d'arrivée de gaz 17 et la cuvette de scellement 13. Une telle cavité source 19 peut également être emplie de gaz, et reliée au canal d'arrivée de gaz 17. 30 Une telle cavité source 19 peut également être connectée à une source de gaz ou de métal alcalin exogène à la cellule 2 ou à l'ensemble multicouche 6. Comme cela est illustré sur les figures 3E, 5B, 7D, une pluralité de cellules 2 peut être arrangée de telle 35 sorte que les canaux d'arrivée de gaz 17 des cellules 2 3038892 21 sont reliés à une unique cavité source 19. Une telle pluralité de cellules 2 peut alors former un ensemble 20 de cellules. Un tel ensemble 20 de cellules peut en particulier 5 être un ensemble unique et rigide. Les canaux d'arrivée de gaz 17 des cellules 2 peuvent être reliés à un canal commun d'arrivée de gaz 21 de l'ensemble 20. Le canal commun d'arrivée de gaz 21 peut être relié à une cavité source 19 telle que détaillée ci-avant pour une cellule 2 unique. 10 Ainsi par exemple, les cellules 2 de l'ensemble 20 peuvent être fabriquées à partir d'un unique ensemble multicouche 6. L'ensemble 20 peut ainsi comporter une plaquette - ou wafer - 7 conformable et au moins une plaquette - ou wafer - en verre 8 de telle sorte que les 15 cellules optiques à vapeur 2 de l'ensemble 20 partagent ladite plaquette - ou wafer - 7 conformable et ladite au moins une plaquette - ou wafer - en verre 8. L'ensemble 20 de cellules peut également comporter des portions de découpe 22 entre les cellules 2 de 20 l'ensemble 20, aptes à être découpées pour permettre de séparer les cellules 2 de l'ensemble 20 après fabrication et emplissage de gaz. Les cellules 2 de l'ensemble 20 peuvent ainsi être scellées individuellement et la quantité de césium dans 25 chaque cellule 2 peut être contrôlée. Ceci réduit la taille et le coût de fabrication des cellules et peut améliorer les performances de l'horloge ou du capteur. Par ailleurs, la membrane 18 est apte à être placée, en deuxième lieu, dans un état déformé, plus 30 particulièrement un état déformé plastiquement par chauffage. Cet état déformé de la membrane 18 est illustré sur les figures 1, 2E, 3B, 3C, 4H, 5A, 6, 7B, 7C, 8B et 8C. Dans cet état déformé, la membrane 18 vient fermer hermétiquement au moins l'une parmi l'embouchure de cavité 35 14 et l'embouchure de canal 15. De cette manière, la 3038892 22 membrane 18 sépare hermétiquement la cavité optique 11 du canal d'arrivée de gaz 17. Dans cet état déformé de la membrane 18, la cavité optique 11 est isolée du canal d'arrivée de gaz 17 et plus 5 particulièrement isolée de l'extérieur de la cellule 2. Ainsi, au cours d'un procédé d'emplissage de gaz selon l'invention, une fois la cavité optique 11 emplie de gaz par l'intermédiaire du canal d'arrivée de gaz 17, on déforme plastiquement par chauffage la membrane 18 pour 10 venir fermer hermétiquement au moins l'une parmi l'embouchure de cavité 14 et l'embouchure de canal 15, de sorte à séparer hermétiquement la cavité optique 11 du canal d'arrivée de gaz 17. Dans un mode de réalisation de l'invention, on peut 15 déformer plastiquement la membrane 18 par chauffage au moyen d'un laser dirigé sur la membrane 18. Pour cela, le matériau de la membrane 18 peut être tel qu'il absorbe au moins une longueur d'onde de la lumière pour 20 membrane 18. Alternativement, la membrane 18 peut être munie être chauffé par ledit laser dirigé sur la d'un dispositif de chauffe 23 permettant de chauffer et déformer plastiquement la membrane 18. Le dispositif de chauffe 23 peut être disposé sur 25 une face externe 18a de la membrane 18, opposée à une face interne 18b de la membrane 18 obstruant l'accès de scellage 16 de la cuvette de scellement 13. Dans une réalisation, le dispositif de chauffe 23 peut être une couche 23 d'un matériau absorbant pour au 30 moins une longueur d'onde lumineuse qui n'est pas sensiblement absorbée par la membrane 18 de manière à concentrer localement de l'énergie en vue de l'échauffement local de la membrane. Par « pas sensiblement absorbée par la membrane », 35 on entend que l'absorption de la lumière à ladite longueur 3038892 23 d'onde lumineuse, par la membrane 18, n'est pas suffisante pour déformer plastiquement la membrane 18 par chauffage sans nécessiter un laser d'une puissance rédhibitoire pour ce faire. 5 De cette manière, un laser dirigé sur la membrane 18 peut déformer plastiquement la membrane 18 par chauffage. Dans un autre mode de réalisation de l'invention, on peut déformer plastiquement la membrane 18 par chauffage 10 par effet Joules. Pour cela, le dispositif de chauffe 23 en contact avec la membrane 18 peut être un élément résistif 23 apte à être parcouru par un courant électrique pour chauffer la membrane 18 par effet Joules. 15 Ledit élément résistif 23 peut par exemple être une couche d'un matériau résistif. La déformation de la membrane 18 peut par ailleurs faire intervenir une différence de pression entre l'extérieur et l'intérieur de la cuvette de scellement. 20 Ainsi, la membrane 18 peut être déformée sous l'action conjointe d'un chauffage et d'une différence de pression entre l'extérieur et l'intérieur de la cuvette de scellement, c'est-à-dire entre la face externe 18a et la face interne 18b de la membrane 18. 25 De cette manière, il est possible d'assurer une déformation de la membrane 18 vers l'intérieur de la cuvette de scellement 13. La cuvette de scellement 13 et la membrane 18 peuvent être réalisées de différentes manières qui vont 30 maintenant être détaillées plus avant. En se référant aux figures 2A à 2E, 3A à 3C, 6, 7A à 7C et 8A à 8C, la cuvette de scellement 13 peut être formée dans la plaquette - ou wafer - conformable 7. Plus précisément, la plaquette - ou wafer - 35 conformable 7 peut être conformée en creux pour présenter 3038892 24 un deuxième évidement 26 débouchant sur au moins une deuxième ouverture 26a. Le deuxième évidement 26 peut alors former la cuvette de scellement 13, et la deuxième ouverture 26a former l'accès de scellage 16 de la cuvette 5 de scellement 13. Pour former le deuxième évidement 26, la plaquette - ou wafer - 7 conformable peut être gravée, par exemple par gravure ionique et/ou chimique, notamment par gravure par la deuxième ouverture 26a du deuxième évidement 26. 10 Dans un mode de réalisation de l'invention, l'évidement 25 formant une portion de la cavité optique 11 et le deuxième évidement 26 sont gravés sur une même face de la plaquette - ou wafer - 7 conformable, par exemple la première face 7a. 15 Dans ce mode de réalisation, l'embouchure de cavité 14 peut être formée par un recouvrement de l'évidement 25 et du deuxième évidement 26 sur la première face 7a de la plaquette - ou wafer - 7 conformable. Dans un autre mode de réalisation, l'évidement 25 20 formant une portion de la cavité optique 11 et le deuxième évidement 26 peuvent être respectivement gravés sur des faces opposées de la plaquette - ou wafer - 7 conformable, respectivement sur la première face 7a et sur la deuxième face 7b. 25 Dans ce mode de réalisation, l'embouchure de cavité 14 peut être formée par un canal de liaison, défini dans la plaquette - ou wafer - 7 conformable, et reliant l'évidement 25 formant une portion de la cavité optique 11 et le deuxième évidement 26. Ledit canal de liaison peut 30 notamment être défini par conformation en creux, par exemple par gravure. Dans un dernier mode de réalisation, l'évidement 25 formant une portion de la cavité optique 11 peut être traversant et déboucher sur les deux faces 7a, 7b opposées 35 de la plaquette - ou wafer - 7 conformable. 3038892 25 Dans ce mode de réalisation, l'embouchure de cavité 14 peut alors être formée par un recouvrement de l'évidement 25 et du deuxième évidement 26 sur l'une des faces 7a, 7b de la plaquette - ou wafer - 7 conformable. 5 Par ailleurs, le canal d'arrivée de gaz 17 peut également être défini dans la plaquette - ou wafer - 7 conformable, notamment par gravure à partir de la cuvette de scellement 13. Le canal d'arrivée de gaz 17 peut déboucher d'une 10 part à l'endroit de l'embouchure de canal 15 de la cuvette de scellement 13 et d'autre part à au moins une deuxième embouchure de canal 24, par exemple localisée à proximité de la cavité source 19. Dans un mode de réalisation de l'invention illustré 15 sur les figures 1, 2A à 2E, 3A à 3C, 6, 7A à 7C et 8A à 8C, le canal d'arrivée de gaz 17 est formé dans la plaquette ou wafer - conformable 7 de sorte à traverser sensiblement la totalité de l'épaisseur de ladite plaquette - ou wafer conformable 7, de manière sensiblement perpendiculaire au 20 plan d'extension H de ladite plaquette - ou wafer conformable 7. Le canal d'arrivée de gaz 17 formé dans la plaquette - ou wafer - conformable 7 peut également présenter des coudes ou conformations appropriées pour 25 atteindre la source 19. La cuvette de scellement 13 est notamment illustrée sur les figurez 2D, 2E et 2F et peut comporter une zone de scellage 28 sensiblement plane et parallèle à la membrane 18 dans l'état non déformée. 30 La zone de scellage 28 entoure l'embouchure de canal 15 et est conçue pour venir former un contact hermétique au gaz avec la membrane 18 dans l'état déformée. Dans un mode de réalisation particulier de l'invention, l'embouchure de canal 15 et la zone de 35 scellage 28 sont sensiblement circulaires ou coronaires et 3038892 26 concentriques et forment un fond de la cuvette de scellement 13 conformée en creux dans la plaquette - ou wafer - 7 conformable. Une distance entre la membrane 18, dans l'état non- 5 déformée plastiquement et la zone de scellage 28 - prise perpendiculairement à ladite membrane 18 dans l'état non-déformée et ladite zone de scellage 28 - peut notamment être inférieure à une centaine de microns, de préférence inférieure à quelques dizaines de microns. 10 De cette manière, la membrane 18 dans l'état déformée, peut venir aisément fermer hermétiquement l'embouchure de canal 15, de sorte à séparer hermétiquement la cavité optique 11 du canal d'arrivée de gaz 17. Plus précisément, la cuvette de scellement 13 peut 15 être de forme sensiblement cylindrique et peut par exemple présenter un diamètre de quelques dizaines de microns ou quelques centaines de microns et de préférence supérieur à trois fois ladite distance entre la membrane 18, dans l'état non-déformée plastiquement et la zone de scellage 20 28. Un diamètre de la zone de scellage 28 peut ainsi être supérieur à quelques dizaines de microns, par exemple supérieur à une centaine de microns. Dans un mode de réalisation illustré sur les 25 figures 4A à 41, 5A à 5B, la membrane 18 peut être constituée par une portion de la plaquette - ou wafer - en verre 8. En particulier, dans ce mode de réalisation, la fenêtre optique 9 et la membrane 18 peuvent être formées 30 par deux portions écartées l'une de l'autre d'une seule et même plaquette - ou wafer - en verre 8. Alternativement, la membrane 18 peut être constituée par une portion d'une deuxième plaquette - ou wafer - en verre 8. Les deux plaquettes - ou wafer - en 35 verre 8 distinctes peuvent alors être notamment 3038892 27 respectivement placées sur les faces 7a, 7b respectivement opposées de la plaquette - ou wafer - conformée en creux 7. Dans la variante de réalisation de l'invention, illustrée notamment sur les figures 4A à 41, 5A et 5B, la 5 cuvette de scellement 13 et la membrane 18 peuvent toutes les deux être formées dans la plaquette - ou wafer - en verre 8. De cette manière, la cuvette de scellement 13 et la membrane 18 peuvent notamment être placées au-dessus de la 10 cavité optique 11, c'est-à-dire à l'endroit de l'ouverture 25a de l'évidement 25, comme illustré sur la figure 5A. Ceci permet de réduire encore davantage l'encombrement de la cellule 2. Plus précisément, la plaquette - ou wafer - en 15 verre 8 peut alors comporter au moins une première sous-couche en verre 27a et une deuxième sous-couche en verre 27b. La première sous-couche en verre 27a et la deuxième sous-couche en verre 27b peuvent être superposées et 20 solidarisées, de sorte à être scellées l'une à l'autre, de façon fixe et étanche, en particulier par soudure directe entre leurs faces en regard. Pour la soudure des deux substrats de verre, on peut ainsi appliquer une force importante en chauffant, et il n'est pas nécessaire de 25 mettre en oeuvre une décharge électrique. La cuvette de scellement 13 peut alors être formée dans la première sous-couche en verre 27a de manière similaire à ce qui a été décrit ci-avant concernant la plaquette - ou wafer - 7 conformable. 30 Ainsi, la première sous-couche en verre 27a peut être conformée en creux pour présenter le deuxième évidement 26 débouchant au en au moins une deuxième ouverture 26a. Le deuxième évidement 26 peut alors former la cuvette de scellement 13, et la deuxième ouverture 26a 35 former l'accès de scellage 16 de la cuvette de scellement 3038892 28 13. Dans ce mode de réalisation, l'embouchure de cavité 14 peut être un canal traversant la première sous-couche en verre 27a, pour déboucher en regard de la cavité optique 11 5 et notamment à l'endroit de l'ouverture 25a de l'évidement 25 formant une portion de la cavité optique 11. Le canal d'arrivée de gaz 17 peut par ailleurs être défini, au moins en partie dans la première sous-couche en verre 27a de manière similaire à ce qui a été décrit ci-10 avant concernant la plaquette - ou wafer - 7 conformable. La cuvette de scellement 13 et/ou le canal d'arrivée de gaz 17 définis dans la première sous-couche en verre 27a peuvent par ailleurs présenter les mêmes caractéristiques et dimensionnements que la cuvette de 15 scellement 13 et/ou le canal d'arrivée de gaz 17 définis dans la plaquette - ou wafer - 7 conformable décrits ci-avant. Pour former le deuxième évidement 26, la première sous-couche en verre 27a peut ainsi être gravée, par 20 exemple par gravure ionique et/ou chimique, notamment par gravure par la deuxième ouverture 26a du deuxième évidement 26. La membrane 18 peut alors être formée dans la deuxième sous-couche en verre 27b de manière similaire à ce 25 qui a été décrit ci-avant en relation avec la plaquette ou wafer - en verre 8. Ainsi, la membrane 18 peut alors être constituée par une portion de la deuxième sous-couche en verre 27b. Dans ce mode de réalisation, la membrane 18 30 déformée plastiquement peut venir fermer hermétiquement l'embouchure de cavité 14 pour séparer hermétiquement la cavité optique 11 du canal d'arrivée de gaz 17. Pour faciliter la déformation de la membrane 18, la membrane 18 peut notamment être une portion amincie d'une 35 plaquette - ou wafer - en verre 8, comme illustré par la 3038892 29 figure 6. Par « une portion amincie d'une plaquette - ou wafer - en verre », on entend une portion amincie d'une plaquette - ou wafer - en verre 8 en totalité ou une 5 portion amincie de la deuxième sous-couche en verre 27b d'une plaquette - ou wafer - en verre 8. Ainsi par exemple une épaisseur de la membrane 18 peut être inférieure à quelques centaines de microns, par exemple 500 microns, voire inférieure à une centaine de 10 microns. Comme cela est illustré sur les figures 7A à 7D, la cellule 2 peut en outre comporter une cavité additionnelle 29 apte à être emplie d'un gaz additionnel. Le gaz additionnel emplissant la cavité 15 additionnelle 29 peut notamment être un gaz tampon ou un composant du gaz tampon tel que décrit ci-avant. Le gaz additionnel peut ainsi être tel qu'il permette de ralentir la diffusion des atomes alcalins vers les parois de la cellule 2 et de confiner lesdits atomes alcalins. Le gaz 20 additionnel peut également être tel que la dépendance des grandeurs spectrales avec la température induite par le gaz tampon présente un point d'inversion autour de la température de fonctionnement de la cellule 2. Le gaz additionnel peut par exemple comporter du 25 diazote et/ou de l'argon. La cavité additionnelle 29 est adjacente à la cavité optique 11. Plus précisément, la cavité additionnelle 29 est séparée de la cavité optique 11 par une paroi 30 conçue pour être percée et permettre un 30 mélange du gaz additionnel avec un gaz contenu dans la cavité optique 11. De cette manière, il est possible d'emplir la cavité optique 11 par un gaz alcalin au moyen d'un dispenseur 19a, de séparer hermétiquement la cavité optique 35 11 du dispenseur 19a par déformation de la membrane 18, et 3038892 30 enfin de percer la paroi 30 séparant la cavité additionnelle 29 de la cavité optique 11 de sorte à mélanger ledit gaz additionnel avec un gaz contenu dans la cavité optique 11. 5 De cette manière, on évite toute interaction entre le gaz additionnel et le dispenseur 19a. Par ailleurs, si une source de métal alcalin est utilisée à la place d'un dispenseur 19a, par exemple un composé chimique à base de baryum tel qu'un mélange de 10 chlorure de césium et d'azoture de baryum, la réabsorption du gaz de la cavité optique 11 par le baryum est également empêchée. Si la source de métal alcalin est de l'azoture de césium, la production indésirable de diazote supplémentaire 15 dans la cavité optique 11 due à la décomposition involontaire de l'azoture de césium est également empêchée. De cette manière, on évite ainsi plus généralement toute interaction entre le gaz additionnel ou le gaz contenu dans la cavité optique 11 et la source de métal 20 alcalin provenant de la cavité source 19. Dans un exemple de réalisation de l'invention, un élément mobile est logé dans la cavité additionnelle 29. L'élément mobile est adapté pour être déplacé par une action extérieure, par exemple par une force magnétique, 25 pour venir percer la paroi 30 de la cavité additionnelle 29. Dans une autre réalisation de l'invention, la paroi 30 de la cavité additionnelle 29 est apte à être percée par une action sans contact exogène à la cellule 2, notamment 30 par une interaction avec la paroi 29 d'un faisceau laser impulsionnel, d'un faisceau laser continu ou d'une décharge électrique. La paroi 30 peut être structurée en angle et/ou inclure des indentations de façon à favoriser son perçage 35 ou sa rupture. 3038892 31 Par ailleurs, lors du perçage de la paroi, le volume occupé par le gaz additionnel et le gaz de la cavité optique 11 augmente et leurs pressions partielles respectives diminuent. 5 Pour une pression cible donnée, la pression de gaz additionnel à établir dans la cavité additionnelle 29 est donc supérieure à cette pression cible et dépend du volume des cavités 29 et 11. Ceci offre la possibilité d'effectuer la soudure anodique entre les plaquettes - ou wafer - de 10 l'ensemble multicouche 6 à une pression supérieure à la pression cible (typiquement 10 kPa), ce qui augmente avantageusement la tension applicable sans créer de décharge électrique à travers le gaz. En faisant varier le volume de la cavité 15 additionnelle 29 entre différentes cellules 2, il est possible d'obtenir des cellules 2 de différentes pressions sur un même substrat, notamment dans un même ensemble 20 de cellules. Ceci est utile pour corriger une inhomogénéité de 20 pression due, par exemple, à des gradients de température lors de la soudure anodique et augmenter le rendement de production. Il est également possible de réaliser rapidement des tests d'optimisation. Par ailleurs, en scellant les cavités 25 additionnelles 29 avec un gaz additionnel différent du gaz source fourni par la source 19, un mélange des deux gaz est obtenu après perçage de la paroi 30. En faisant varier les rapports des volumes des cavités 29, 11 entre les cellules 2 d'un même substrat, notamment d'un même ensemble 20 de 30 cellules, des atmosphères tampon ayant des rapports de pressions partielles différents peuvent être produites en une fois. Dans le cas où des variations du rapport des pressions partielles du gaz additionnel et du gaz source sont observées sur un même substrat, il est ainsi possible 35 de les compenser pour augmenter le rendement de production. 3038892 32 Cette solution présente également un intérêt pour déterminer la composition optimale d'une atmosphère tampon. Par ailleurs, les parois de la cavité optique 11 peuvent être recouvertes d'un revêtement anti-relaxant. Un 5 tel revêtement anti-relaxant est conçu pour limiter la perte de cohérence induite par les collisions des atomes avec les parois de la cavité optique 11. Certains revêtements anti-relaxants ne résistent pas à la température élevée de la soudure anodique. 10 Selon la présente invention, un tel revêtement anti-relaxant peut alors être introduit dans la cellule 2 par le canal d'arrivée de gaz 17 et la cuvette de scellement 13, et en particulier après les étapes de soudure anodique. La membrane 18 est alors déformée 15 plastiquement après l'introduction du revêtement antirelaxant pour sceller la cellule 2 sans endommager le revêtement anti-relaxant. Enfin, dans une variante de réalisation de l'invention, le canal d'arrivée de gaz 17 de la cellule 2 20 peut être relié à une station de pompage 31 apte à aspirer un gaz contenu dans la cavité optique 11. Un procédé de mise sous vide d'une cellule 2 peut ainsi comporter l'actionnement de la station de pompage 31 pour aspirer un gaz contenu dans la cavité optique 11. 25 Après que l'actionnement de ladite station de pompage 31 ait permis d'atteindre, dans la cavité optique 11, un vide jugé suffisant, le canal d'arrivée de gaz 17 peut alors être séparé de la cavité optique 11 par déformation de la membrane 18. 30 Par « vide », on entend une pression inférieure à la pression atmosphérique et avantageusement inférieure à 10-4 mbar. La station de pompage 31 peut notamment être actionnée après les étapes de soudure anodique. 35 De cette manière, il est possible d'atteindre les 3038892 33 conditions nécessaires pour le piégeage magnéto-optique d'atomes ou le piégeage d'ions. REVENDICATIONS1. Cellule (2) à gaz, destinée notamment à être incluse dans un capteur atomique (1) tel qu'une horloge 5 atomique, un magnétomètre atomique ou un gyromètre atomique, en étant associée d'une part, à au moins un laser (3) d'émission d'un faisceau laser (5) extérieur entrant impactant la cellule et, d'autre part, à un photodétecteur de réception (4) d'un faisceau laser extérieur sortant de 10 la cellule, le faisceau laser ayant pénétré la cellule, la cellule comprenant une cavité optique (11) munie d'au moins une fenêtre optique (9) et apte à être emplie d'un gaz, la cellule étant caractérisée en ce qu'elle comprend en outre 15 - une cuvette de scellement (13) comportant o une embouchure de cavité (14) adaptée pour permettre un passage de gaz entre la cuvette de scellement (13) et la cavité optique (11), o une embouchure de canal (15) conçue pour 20 permettre une arrivée de gaz dans la cuvette de scellement (13) par un canal d'arrivée de gaz (17), et o un accès de scellage (16), et - une membrane (18) fermant hermétiquement l'accès de scellage de la cuvette de scellement, 25 et en ce que la membrane (18) est apte à être déformée plastiquement par chauffage pour venir fermer hermétiquement au moins l'une parmi l'embouchure de cavité (14) et l'embouchure de canal (15), de sorte à séparer hermétiquement la cavité optique (11) du canal d'arrivée de 30 gaz (17). 2. Cellule selon la revendication 1, comprenant en outre un dispositif de chauffe (23) en contact avec la membrane (18), notamment un élément résistif apte à être 35 parcouru par un courant électrique ou une couche d'un 3038892 35 matériau absorbant pour au moins une longueur d'onde lumineuse qui n'est pas sensiblement absorbée par la membrane. 3. Cellule selon l'une quelconque des revendications 1 et 2, comprenant un ensemble multicouche (6) comportant, d'une part, une plaquette - ou wafer - conformable (7) conformée en creux pour présenter un évidement (25) 10 débouchant en au moins une ouverture (25a), ledit évidement étant apte à être empli d'un gaz, et, d'autre part, au moins une plaquette - ou wafer - en verre (8) fermant hermétiquement ladite ouverture (25a) de l'évidement (25) pour former la cavité optique (11) munie 15 d'au moins une fenêtre optique (9), la plaquette - ou wafer - en verre (8) et la plaquette - ou wafer - conformée (7) en creux étant disposées en regard l'une de l'autre et scellées l'une à l'autre, en particulier par soudure anodique. 20 4. Cellule selon la revendication 3, dans laquelle la membrane (18) est une portion de la plaquette - ou wafer - en verre (8), et en particulier dans laquelle la fenêtre optique (9) et la membrane (18) sont formées par 25 deux portions écartées l'une de l'autre d'une seule et même plaquette - ou wafer - en verre (8). 5. Cellule selon l'une quelconque des revendications 3 et 4, dans laquelle la plaquette - ou 30 wafer - conformable (7) est conformée en creux pour présenter un deuxième évidement (26), formant la cuvette de scellement (13), et débouchant en au moins une deuxième ouverture (26a), formant l'accès de scellage (16). 35 6. Cellule selon l'une quelconque des 3038892 36 revendications 3 et 4, dans laquelle la cuvette de scellement (13) et la membrane (18) sont formées dans la plaquette - ou wafer - en verre (8), en particulier dans laquelle la plaquette - ou wafer - en verre comporte au 5 moins une première sous-couche en verre (27a) et une deuxième sous-couche en verre (27b) superposées et solidarisées, la cuvette de scellement (13) étant formée dans la première sous-couche en verre, la membrane (18) étant formée dans la deuxième sous-couche en verre. 7. Cellule selon l'une quelconque des revendications 3 à 6, dans laquelle le canal d'arrivée de gaz (17) est formé dans l'une au moins de la plaquette - ou wafer - conformable (7) et de la plaquette - ou wafer - en verre (8), de sorte à traverser sensiblement la totalité d'une épaisseur de ladite plaquette - ou wafer -, de manière sensiblement perpendiculaire à un plan d'extension de ladite plaquette - ou wafer. 8. Cellule selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans laquelle la membrane (18) est en verre, et en particulier est une portion amincie d'une plaquette - ou wafer - en verre (8). 9. Cellule selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans laquelle la cuvette de scellement (13) comporte une zone de scellage (28) entourant l'embouchure de canal (15), sensiblement plane et parallèle à la membrane non déformée, et conçue pour venir former un contact hermétique avec la membrane déformée plastiquement par chauffage de sorte à séparer hermétiquement la cavité optique (11) du canal d'arrivée de gaz (17). 10. Cellule selon la revendication 9, dans laquelle 3038892 37 une distance entre la membrane (18) non déformée plastiquement et la zone de scellage (28) - mesurée perpendiculairement à ladite membrane non déformée plastiquement et ladite zone de scellage - est inférieure à 5 une centaine de microns. 11. Cellule selon l'une quelconque des revendications 9 et 10, dans laquelle un diamètre de la zone de scellage (28) de la cuvette de scellement (13) est 10 supérieur à trois fois ladite distance entre la membrane (18) non déformée plastiquement et la zone de scellage (28). 12. Cellule selon l'une quelconque des 15 revendications 1 à 11, dans laquelle une épaisseur de la membrane (18) est inférieure à 500 microns, de préférence inférieure à 100 microns. 13.Cellule selon l'une quelconque des 20 revendications 1 à 12, qui comprend une source d'un gaz (19, 19a) reliée au canal d'arrivée de gaz (17) et adaptée pour emplir la cavité optique (11) avec un gaz par l'intermédiaire du canal d'arrivée de gaz (17) et de la cuvette de scellement (13), au moyen de l'embouchure de 25 cavité (14) et de l'embouchure de canal (15). 14. Cellule selon la revendication 13, dans laquelle la source comprend une cavité source (19) reliée au canal d'arrivée de gaz (17) et un dispenseur (19a) de 30 métal alcalin reçu dans la cavité source et adapté pour générer une vapeur alcaline par chauffage. 15. Cellule selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, qui comprend, outre la cavité 35 optique (11), une cavité additionnelle (29) emplie d'un gaz 3038892 38 additionnel, adjacente à et séparée de la cavité optique (11) par une paroi (30) conçue pour être percée et permettre un mélange dudit gaz additionnel avec un gaz contenu dans la cavité optique. 5 16. Cellule selon la revendication 15, dans laquelle la paroi (30) de la cavité additionnelle (29) est apte à être percée par une action sans contact exogène à la cellule (2), notamment par une interaction avec la paroi 10 d'un faisceau laser impulsionnel, d'un faisceau laser continu ou d'une décharge électrique. 17. Cellule selon l'une quelconque des revendications 1 à 16, dans laquelle la cavité optique (11) 15 est emplie d'un gaz, et dans laquelle la membrane (18) est dans un état déformé plastiquement dans lequel la membrane (18) ferme hermétiquement au moins l'une parmi l'embouchure de cavité (14) et l'embouchure de canal (15), en séparant hermétiquement la cavité optique (11) du canal d'arrivée de 20 gaz (17). 18. Ensemble de cellules comportant une pluralité de cellules selon l'une quelconque des revendications 1 à 17, dont les canaux d'arrivée de gaz (17) sont reliés à une 25 unique source de gaz (19), en particulier dans lequel ladite pluralité de cellules (2) forme un ensemble (20) solidaire et rigide adapté pour être découpé de sorte à séparer les cellules (2) les unes des autres. 30 19. Procédé d'emplissage de gaz d'une cellule (2), dans lequel : - on dispose d'une cellule (2) selon l'une des revendications 1 à 17 ou d'un ensemble de cellules (20) selon la revendication 18, 35 - on dispose d'une source (19, 19a) d'un gaz reliée 3038892 39 au canal d'arrivée de gaz (17) de la cellule ou de l'ensemble de cellules, - on emplit la cavité optique (11) avec le gaz de la source par l'intermédiaire du canal d'arrivée de gaz 5 (17) et de la cuvette de scellement (13), au moyen de l'embouchure de cavité (14) et de l'embouchure de canal (15), et - on déforme plastiquement par chauffage la membrane (18) pour venir fermer hermétiquement au moins 10 l'une parmi l'embouchure de cavité (14) et l'embouchure de canal (15), de sorte à séparer hermétiquement la cavité optique (11) du canal d'arrivée de gaz (17). 20. Procédé d'emplissage de gaz selon la 15 revendication 19, dans lequel on déforme plastiquement la membrane (18) par chauffage au moyen d'un laser dirigé sur la membrane. 21. Procédé d'emplissage de gaz selon la 20 revendication 19, dans lequel on déforme plastiquement la membrane (18) par chauffage en faisant circuler un courant électrique dans un élément résistif (23) en contact avec la membrane. 25 22. Procédé d'emplissage de gaz selon l'une quelconque des revendications 19 à 21, dans lequel la source est un dispenseur (19a) de métal alcalin reçu dans une cavité source (19) reliée au canal d'arrivée de gaz (17) de la cellule ou de l'ensemble de cellules, et dans 30 lequel on emplit la cavité optique (11) en chauffant ledit dispenseur. 23. Procédé d'emplissage de gaz selon l'une quelconque des revendications 19 à 22, dans lequel, après 35 avoir déformé plastiquement la membrane (18) pour séparer 3038892 hermétiquement la cavité optique du canal d'arrivée de gaz, on sépare la cellule (2) de la source de gaz. 24. Procédé d'emplissage de gaz selon l'une 5 quelconque des revendications 19 à 23, dans lequel, après avoir déformé plastiquement la membrane (18) pour séparer hermétiquement la cavité optique (11) du canal d'arrivée de gaz (17), on perce une paroi (30) séparant de la cavité optique (11) une cavité additionnelle (29) emplie d'un gaz 10 additionnel, de sorte à mélanger ledit gaz additionnel avec un gaz contenu dans la cavité optique. 25. Procédé de mise sous vide d'une cellule, dans lequel : 15 - on dispose d'une cellule (2) selon l'une des revendications 1 à 17 ou d'un ensemble de cellules (20) selon la revendication 18, - on dispose d'une station de pompage (31) reliée au canal d'arrivée de gaz (17) de la cellule ou de 20 l'ensemble de cellules, - on actionne la station de pompage (31) pour aspirer un gaz contenu dans la cavité optique (11) par l'intermédiaire du canal d'arrivée de gaz (17) et de la cuvette de scellement (13), au moyen de l'embouchure de 25 cavité (14) et de l'embouchure de canal (15), et - on déforme plastiquement par chauffage la membrane (18) pour venir fermer hermétiquement au moins l'une parmi l'embouchure de cavité (14) et l'embouchure de canal (15), de sorte à séparer hermétiquement la cavité 30 optique (11) du canal d'arrivée de gaz (17). 26. Procédé de fabrication d'une cellule selon l'une des revendications 1 à 17 dans lequel - on dispose d'une plaquette - ou wafer - 35 conformable (7) et d'au moins au moins une plaquette - ou 3038892 41 wafer - en verre (8), - on conforme en creux la plaquette - ou wafer conformable, en particulier on la grave, pour former un évidement (25) débouchant en au moins une ouverture (25a), 5 - on conforme au moins l'une parmi la plaquette - ou wafer - conformable (7) et la plaquette - ou wafer - en verre (8), en particulier on la grave, de sorte à former un canal d'arrivée de gaz (17) et une cuvette de scellement (13) comportant 10 o une embouchure de cavité (14) adaptée pour permettre un passage de gaz entre la cuvette de scellement (13) et la cavité optique (11), o une embouchure de canal (15) conçue pour permettre une arrivée de gaz dans la cuvette de 15 scellement (13) par le canal d'arrivée de gaz (17), et o un accès de scellage (16), - on forme un ensemble multicouche (6) comportant la plaquette - ou wafer - conformable (7) et ladite au moins au moins une plaquette - ou wafer - en verre (8) de 20 sorte que o on ferme hermétiquement l'ouverture (25a) de l'évidement (25) pour former une cavité optique (11) munie d'au moins une fenêtre optique (9) et apte à être emplie d'un gaz, et 25 o on ferme hermétiquement l'accès de scellage (16) avec une membrane (18) apte à être déformée plastiquement par chauffage pour venir fermer hermétiquement au moins l'une parmi l'embouchure de cavité (14) et l'embouchure de canal (15), de sorte à séparer hermétiquement la cavité 30 optique (11) du canal d'arrivée de gaz (17). 27.Capteur atomique (1) comprenant une cellule (2) selon l'une quelconque des revendications 1 à 17, associée, de façon compacte, d'une part, à un laser (3) d'émission 35 d'un faisceau laser (5) extérieur entrant impactant la 3038892 42 cellule et, d'autre part, à un photodétecteur de réception (4) d'un faisceau laser extérieur sortant de la cellule.