Brevet FR3041474A1 — publié le 20170324

Dispositif d'imagerie sans lentille et procédé d'observation associé Description DOMAINE TECHNIQUE Le domaine technique de l'invention est l'observation d'un échantillon comportant des particules par imagerie sans lentille. ART ANTERIEUR L'observation d'échantillons, et en particulier des échantillons biologiques, par imagerie sans lentille, connaît un développement important depuis ces dix dernières années. Cette technique permet d'observer un échantillon en le plaçant entre une source de lumière, produisant une onde lumineuse incidente, et un photodétecteur matriciel, sans disposer de système optique de grossissement entre l'échantillon et le photodétecteur. Ainsi, le photodétecteur collecte une image d'une onde lumineuse transmise par l'échantillon. Cette image est formée de figures d'interférence entre l'onde lumineuse incidente émise par la source et transmise par l'échantillon, et des ondes de diffraction, résultant de la diffraction, par des particules présentes dans l'échantillon, de l'onde lumineuse incidente. Ces figures d'interférences sont parfois dénommées figures de diffraction, ou désignées par le terme anglais « diffraction pattern ». Le document W02008090330 décrit un dispositif permettant l'observation de particules biologiques, en l'occurrence des cellules, par imagerie sans lentille. Le dispositif permet d'associer, à chaque cellule, une figure d'interférence dont la morphologie permet d'identifier le type de cellule. L'imagerie sans lentille apparaît alors comme une alternative simple, et peu onéreuse, à un microscope classique. De plus, elle permet d'obtenir un champ d'observation nettement plus étendu que ne peut l'être celui d'un microscope. On comprend alors que les perspectives d'application liées à cette technologie sont importantes. Le document US2012/0218379, postérieur au document précédent, reprend l'essentiel des enseignements de W02008090330, tout en décrivant des algorithmes de reconstruction holographiques qui, appliqués à l'image formée sur le détecteur, permettent de reconstruire l'image de l'échantillon dans différents plans de reconstruction. 3041474 2 Le document W02011045360 décrit le recours à une technologie similaire pour l'observation de particules contenues dans un film liquide recouvrant un support transparent. Chaque particule forme, à la surface d'un détecteur, une figure de diffraction, dont le contraste est amplifié lorsque l'épaisseur du film se réduit. 5 Ainsi, l'imagerie sans lentille permet d'observer un échantillon comportant des particules, sur la base de figures élémentaires formées par chaque particule sous l'effet d'une illumination par une onde incidente. Compte tenu de l'intérêt suscité par cette technologie, notamment pour des applications dans la santé, l'agroalimentaire ou l'environnement, les inventeurs ont cherché à améliorer ses 10 performances, et en particulier la sensibilité et le contraste des figures formées par chaque particule. EXPOSE DE L'INVENTION Un premier objet de l'invention est un dispositif pour réaliser une image d'un échantillon comportant : 15 une source de lumière, apte à émettre une onde lumineuse, dite onde incidente, à une longueur d'onde, selon un axe de propagation, vers l'échantillon ; un capteur d'image ; un support, apte à recevoir l'échantillon, disposé entre la source de lumière et le capteur d'image ; 20 caractérisé en ce que : le support comprend une première couche mince, comprenant un premier matériau transparent à ladite longueur d'onde, d'un premier indice de réfraction, s'étendant selon un plan, dit plan de la couche mince ; ladite première couche mince comportant une pluralité d'inclusions, réalisées selon un 25 deuxième matériau transparent à ladite longueur d'onde, d'un deuxième indice de réfraction ; la distance entre deux inclusions adjacentes étant inférieure à ladite longueur d'onde ; les dites inclusions définissant un premier réseau de diffraction dans ladite première couche mince, apte à confiner une partie de l'onde incidente selon un plan parallèle 30 audit plan de couche mince. 3041474 3 le dispositif ne comportant pas d'optique de grossissement entre le support et le capteur d'image. Le premier réseau de diffraction peut notamment être configuré pour engendrer, à ladite longueur d'onde, une réflexion résonante de l'onde incidente, de façon à réfléchir une partie de 5 ladite onde lumineuse incidente vers la source de lumière. Selon un mode de réalisation, le support est délimité par une face inférieure et une face supérieure ; ladite première couche mince est alors apte à confiner une partie de la lumière incidente dans un guide d'onde délimité par l'une desdites faces, ou situé à une distance inférieure à ladite longueur d'onde par rapport à l'une desdites faces. La première couche mince 10 peut être adjacente à l'une desdites faces, le premier réseau de diffraction étant un réseau résonant, apte à confiner une partie de l'onde incidente dans ledit plan de couche mince, ladite première couche mince formant alors ledit guide d'onde. Selon ce mode de réalisation, le support peut comporter également un miroir de Bragg, disposé entre la source de lumière et ladite première couche mince, et formé par au moins deux couches 15 adjacentes, s'étendant parallèlement à ladite couche mince, réalisées selon un troisième matériau d'un troisième indice et un quatrième matériau d'un quatrième indice, ledit troisième indice étant différent dudit quatrième indice. Le troisième matériau et le quatrième matériau peuvent respectivement le premier matériau et le deuxième matériau constituant la couche mince. Le miroir de Bragg peut être placé à une distance de la première couche mince 20 sensiblement égale à un multiple impair du quart de la longueur d'onde. Selon un mode de réalisation, le support comporte une deuxième couche mince, s'étendant parallèlement à ladite première couche mince, de telle sorte que la deuxième couche mince comprend un cinquième matériau transparent à ladite longueur d'onde, d'un cinquième indice de réfraction, s'étendant selon ledit plan de la 25 couche mince, - ladite deuxième couche mince comporte une pluralité d'inclusions, réalisées en un sixième matériau transparent à ladite longueur d'onde, d'un sixième indice de réfraction; - deux inclusions adjacentes de ladite deuxième couche mince sont distantes l'une de 30 l'autre d'une distance inférieure à ladite longueur d'onde, de telle sorte que ces 3041474 4 inclusions définissent un réseau de diffraction dans ladite deuxième couche mince, apte à confiner une partie de l'onde incidente dans ladite deuxième couche mince ; la distance entre la première couche mince et la deuxième couche mince est inférieure à ladite longueur d'onde. 5 Selon un mode de réalisation, le support comporte un guide d'onde planaire, s'étendant parallèlement à ladite première couche mince, cette dernière étant disposée entre ledit guide d'onde planaire et la source de lumière, le premier réseau de diffraction étant configuré pour engendrer un couplage optique avec le guide d'onde planaire, de telle sorte qu'une partie de l'onde incidente est couplée audit guide d'onde planaire. Le support peut alors être délimité par 10 une face inférieure, disposée en vis-à-vis du capteur d'image. Le guide d'onde planaire peut alors être adjacent de ladite face inférieure ou situé à une distance, inférieure à ladite longueur d'onde, de ladite face inférieure Quel que soit le mode de réalisation, chaque inclusion peut être cylindrique ou conique, de base circulaire ou polygonale, ou encore de forme hémisphérique. Le diamètre ou la diagonale de 15 chaque inclusion est de préférence inférieure à ladite longueur d'onde. Selon une variante, chaque inclusion a une forme de bande, s'étendant selon une direction longitudinale dans le plan de couche mince, la largeur de ladite inclusion, selon une direction perpendiculaire à ladite direction longitudinale, étant inférieure à ladite longueur d'onde. Quel que soit le mode de réalisation, le dispositif peut comporter l'une quelconque des 20 caractéristiques ci-après, prises isolément ou en combinaison : l'épaisseur de la première couche mince, et de l'éventuelle deuxième couche mince, est inférieure à 1 p.m ; le réseau défini par les inclusions dans la première couche mince est périodique ; les premiers matériaux et les deuxièmes matériaux de la couche mince sont choisis 25 parmi les diélectriques ou les semi-conducteurs. Un autre objet de l'invention est un procédé d'observation d'un échantillon, comprenant une particule, le procédé comportant les étapes suivantes : disposer l'échantillon au contact d'un support, ledit support étant disposé entre une source de lumière et un capteur d'image ; 30 illuminer le support et l'échantillon à l'aide d'une onde lumineuse incidente, produite par la source de lumière, selon un axe de propagation ; 3041474 5 le support, en particulier tel que décrit dans la description, comportant une première couche mince, s'étendant selon un plan de couche mince, comportant un premier réseau de diffraction engendrant un confinement d'une partie de l'onde incidente selon un plan parallèle audit plan de couche mince ; 5 collecter, sur le capteur d'image, une onde de diffraction générée par ladite particule et acquérir une image représentative de cette onde de diffraction ; Le support peut notamment réfléchir une partie de l'onde incidente et bloquer une transmission de l'onde incidente vers le capteur d'image. Selon un mode de réalisation, 10 le support est délimité par une face inférieure et une face supérieure, la face inférieure étant située en regard du capteur d'image; ladite première couche mince confine une partie de la lumière incidente dans un guide d'onde délimité par l'une desdites faces, ou situé à une distance inférieure à ladite longueur d'onde d'une desdites faces, pour former un faisceau dit confiné se 15 propageant dans ledit guide d'onde ; et dans lequel l'échantillon est placé au contact de la face délimitant ledit guide d'onde. Le guide d'onde peut être formé par ladite première couche mince. Le support peut comprendre une deuxième couche mince, s'étendant parallèlement à ladite première couche mince, et formant un deuxième réseau de diffraction, apte à confiner une 20 partie de l'onde incidente dans ladite deuxième couche mince, la première et la deuxième couche mince étant distantes l'une de l'autre d'une distance inférieure à ladite longueur d'onde. Selon un mode de réalisation, le guide d'onde est un guide d'onde planaire, adjacent de la face inférieure du support, ou situé à une distance inférieure à ladite longueur d'onde de ce dernier, la première couche mince agissant pour coupler une partie de l'onde incidente audit guide 25 d'onde planaire. Quel que soit le mode de réalisation, la particule, contenue dans l'échantillon, peut former une onde de diffraction à partir du faisceau confiné dans ledit guide d'onde, une partie de cette onde de diffraction étant détectée par ledit capteur d'image. Un autre objet de l'invention est une utilisation du dispositif tel que précédemment décrit pour 30 l'observation d'échantillons biologiques. 3041474 6 L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, comprenant des exemples non limitatifs et se référant aux figures présentées ci-dessous. FIGURES La figure 1A représente un premier mode de réalisation de l'invention. 5 La figure 1B est une vue en coupe d'un exemple de réseau de diffraction. La figure 2A représente le résultat de simulations mettant en évidence l'évolution de la réflectance en fonction de la longueur d'onde, selon le premier mode de réalisation. La figure 2B représente le résultat de simulations mettant en évidence l'évolution de l'intensité du champ électrique à une interface du réseau de diffraction et du support, en fonction de la longueur 10 d'onde, selon le mode de réalisation représenté sur la figure 1A. La figure 2C représente une figure, dite figure de diffraction, formée sur un capteur d'image, par une onde de diffraction générée par une particule de diamètre 100nm placée contre le support, selon le mode de réalisation représenté sur la figure 1A. Les figures 2D et 2E représentent un profil simulé de l'intensité d'une figure de diffraction formée, à une longueur 15 d'onde de résonance du réseau de diffraction, par une particule de diamètre 100 nm respectivement selon une configuration de l'art antérieur et selon le premier mode de réalisation. La figure 2F représente l'évolution, en fonction du diamètre d'une particule observée, du ratio entre l'intensité d'une figure de diffraction, à la longueur d'onde de résonance du réseau de 20 diffraction, selon le premier mode de réalisation, sur l'intensité d'une figure de diffraction selon une configuration de l'art antérieur. La figure 3 représente un deuxième mode de réalisation de l'invention. La figure 4 représente un troisième mode de réalisation de l'invention. La figure 5A représente un quatrième mode de réalisation de l'invention. La figure 5B montre 25 une comparaison de l'évolution de la réflectance, en fonction de la longueur d'onde, selon le premier mode de réalisation et selon le quatrième mode de réalisation. La figure 5C montre une comparaison de l'intensité du champ électrique à une interface du réseau de diffraction et du support, en fonction de la longueur d'onde, respectivement selon le premier mode de réalisation et selon le quatrième mode de réalisation. La figure 5D montre un profil d'une figure 30 de diffraction formée par une particule sur un capteur d'image, à la longueur d'onde de résonance du réseau de diffraction, respectivement selon l'art antérieur, selon le premier mode de réalisation et selon le quatrième mode de réalisation. 3041474 7 La figure 6A représente un cinquième mode de réalisation de l'invention. La figure 6B représente une comparaison de l'évolution de la réflectance, en fonction de la longueur d'onde, selon le premier, le quatrième et le cinquième mode de réalisation. La figure 6C représente une comparaison de l'intensité du champ électrique à une interface du réseau de diffraction et du 5 support, en fonction de la longueur d'onde, respectivement selon le premier, le quatrième et le cinquième mode de réalisation. La figure 6D représente une comparaison de l'image formée sur le capteur d'image par une particule diffractante placée contre le support, respectivement selon le premier, le quatrième et le cinquième mode de réalisation. La figure 6E montre un profil d'intensité d'une figure de diffraction dans le plan de détection du capteur d'image, à la 10 longueur d'onde de résonance du réseau de diffraction, respectivement selon le premier, le quatrième et le cinquième mode de réalisation. Les figures 7A et 7B représentent une simulation de la distribution spatiale de l'intensité du champ électrique sur la face inférieure du support respectivement selon le quatrième mode de réalisation et le cinquième mode de réalisation. 15 La figure 8A représente les résultats de simulations permettant la détermination de la longueur d'onde de résonance du réseau de diffraction décrit dans le cinquième mode de réalisation en fonction l'épaisseur du guide d'onde planaire et de la distance le séparant du réseau de diffraction. La figure 8B représente les résultats de simulations permettant une estimation de l'intensité du champ électrique à une interface du réseau de diffraction et du support selon le 20 cinquième mode de réalisation, en fonction de son épaisseur et de la distance le séparant du réseau de diffraction. La figure 9 représente un sixième mode de réalisation. La figure 10A représente un septième mode de réalisation, comprenant deux réseaux de diffraction. La figure 10B représente la réflectance, en fonction de la longueur d'onde, de chaque 25 réseau pris isolément ainsi que de la combinaison des deux réseaux. La figure 10C représente l'intensité du champ électrique, en fonction de la longueur d'onde, dans chaque réseau pris isolément, ainsi que l'intensité du champ électrique, en fonction de la longueur d'onde, à une interface du réseau de diffraction située à proximité de la face inférieure délimitant le support, et du support. 30 Dans ces figures, les mêmes références sont utilisées pour désigner les mêmes éléments. 3041474 8 EXPOSE DE MODES DE REALISATION PARTICULIERS La figure 1 représente un premier mode de réalisation de l'invention. Une source de lumière 11 produit une onde lumineuse 12 en direction d'un support 20, ce dernier étant disposé entre la source de lumière 11 et un capteur d'image 30. 5 L'échantillon à analyser est placé contre un support 20. Le support est délimité par une face supérieure 205, disposée face à la source de lumière 11, et une face inférieure 20, disposée en vis-à-vis du capteur d'image 30. Dans cet exemple, l'échantillon est un échantillon liquide prenant la forme d'un film fin, comportant des particules 25 et s'étendant contre la face inférieure 20, du support. D'une façon 10 générale, une particule a une taille avantageusement inférieure à 1 mm, voire inférieure à 500 um, et de préférence une taille comprise entre 5 nm et 100 um. Il peut notamment s'agir d'une particule biologique, de type bactérie, ou autre microorganisme, virus, cellule, par exemple une cellule sanguine. La source de lumière 11 est de préférence ponctuelle. Elle peut notamment comprendre un 15 diaphragme 18, ou filtre spatial. L'ouverture du diaphragme est typiquement comprise entre 5 um et 1mm, de préférence entre 50 um et 500 um, par exemple 150 um. Le diaphragme peut être remplacé par une fibre optique, dont une première extrémité est placée face la source de lumière 11 et dont une deuxième extrémité est placée en regard de la face supérieure 205 du support. La source de lumière est par exemple une diode laser ou une diode 20 électroluminescente. La bande spectrale d'émission de la source de lumière est de préférence ajustée à une longueur d'onde de résonance d'un réseau de diffraction formé dans le support, décrite par la suite. La bande spectrale d'émission peut se situer dans le domaine visible, proche UV (> 200 nm), proche infra-rouge ( REVENDICATIONS1. Dispositif pour réaliser une image d'un échantillon comportant : une source de lumière (11), apte à émettre une onde lumineuse (12), dite onde incidente, à une longueur d'onde (X), selon un axe de propagation (Z), vers l'échantillon ; un capteur d'image (30) ; un support (20, 120, 220, 320, 420, 520), apte à recevoir l'échantillon, disposé entre la source de lumière (11) et le capteur d'image (30) ; caractérisé en ce que : le support comprend une première couche mince (21, 321, 421, 521), comprenant un premier matériau transparent à ladite longueur d'onde (21a) d'un premier indice de réfraction (ni), s'étendant selon un plan (P21, P321, P421, P521), dit plan de la couche mince, ladite première couche mince comportant une pluralité d'inclusions, réalisées en un deuxième matériau (21b) transparent à ladite longueur d'onde d'un deuxième indice de réfraction (n2); la distance entre deux inclusions adjacentes étant inférieure à ladite longueur d'onde (X) ; les dites inclusions définissant un premier réseau de diffraction dans ladite première couche mince, apte à confiner une partie de l'onde incidente (12) selon un plan parallèle audit plan de couche mince. le dispositif ne comportant pas d'optique de grossissement entre le support (20) et le capteur d'image (30). 2. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel le premier réseau de diffraction est configuré pour engendrer, à ladite longueur d'onde, une réflexion résonante de l'onde incidente (12), de façon à réfléchir une partie de ladite onde lumineuse incidente vers la source de lumière. 3. Dispositif selon la revendication 1 ou la revendication 2, dans lequel le support étant délimité par une face inférieure (20,, 120,, 220, 320,, 420,, 520,) et une face supérieure (205, 1205, 2205, 3205, 4205, 5205), ladite première couche mince est apte à confiner une partie de la lumière incidente dans un guide d'onde adjacent de l'une desdites faces. 3041474 26 4. Dispositif selon la revendication 3, dans lequel la première couche mince (21, 321, 421) est adjacente à l'une desdites faces, le premier réseau de diffraction étant un réseau résonant, apte à confiner une partie de l'onde incidente dans ledit plan de couche mince, ladite première couche mince formant alors ledit guide d'onde. 5 5. Dispositif selon la revendication 3 ou la revendication 4, dans lequel le support (220) comporte également un miroir de Bragg (22), disposé entre la source de lumière et ladite première couche mince (21), et formé par au moins deux couches adjacentes, s'étendant parallèlement à ladite couche mince (21), réalisées selon un troisième matériau (22a) d'un troisième indice et un quatrième matériau (22b) d'un quatrième indice, ledit troisième indice étant différent dudit 10 quatrième indice. 6. Dispositif selon la revendication 5, dans lequel le troisième matériau (22a) et le quatrième matériau (22b) correspondent respectivement le premier matériau (21a) et au deuxième matériau (21b). 7. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 5 ou 6, dans lequel le miroir de Bragg 15 (22) est placé à une distance de la première couche mince (21) sensiblement égale à un multiple impair du quart de la longueur d'onde (X). 8. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le support (520) comporte une deuxième couche mince (541), s'étendant parallèlement à ladite première couche mince (521), 20 la deuxième couche mince comprenant un cinquième matériau (41a) transparent à ladite longueur d'onde, d'un cinquième indice de réfraction (ns) ; ladite deuxième couche mince comportant une pluralité d'inclusions, réalisées en un sixième matériau (41b) transparent à ladite longueur d'onde, d'un sixième indice de réfraction (n6); 25 deux inclusions adjacentes de ladite deuxième couche mince étant distantes l'une de l'autre d'une distance inférieure à ladite longueur d'onde (X), de telle sorte que ces inclusions définissent un réseau de diffraction dans ladite deuxième couche mince, apte à confiner une partie de l'onde incidente (12) dans ladite deuxième couche mince ; la distance entre la première couche mince (521) et la deuxième couche mince (541) étant inférieure à ladite longueur d'onde (X). 9. Dispositif selon la revendication 3, dans lequel : 3041474 27 le support (320) comporte un guide d'onde planaire (23), s'étendant parallèlement à ladite première couche mince (321) ; ladite première couche mince (321) est disposée entre ledit guide d'onde planaire et la source de lumière (11), le premier réseau de diffraction étant configuré pour 5 engendrer un couplage optique avec le guide d'onde planaire, de telle sorte qu'une partie de l'onde incidente (12) est couplée audit ledit guide d'onde planaire. 10. Dispositif selon la revendication 9, dans lequel le support (320) est délimité par une face inférieure (320,), disposée en vis-à-vis du capteur d'image (30), et dans lequel le guide d'onde planaire (23) est adjacent de ladite face inférieure. 10 11. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel chaque inclusion est cylindrique ou conique, de base circulaire ou polygonale, ou hémisphérique le diamètre ou la plus grande diagonale étant inférieure à ladite longueur d'onde. 15 12. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, dans lequel chaque inclusion a une forme de bande, s'étendant selon une direction longitudinale dans le plan de ladite première couche mince, la largeur de ladite inclusion, selon une direction perpendiculaire à ladite direction longitudinale, étant inférieure à ladite longueur d'onde. 13. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'épaisseur de 20 la première couche mince (21, 321, 421, 521) est inférieure à 1 um. 14. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le réseau défini par les inclusions dans la première couche mince est périodique. 15. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les premiers matériaux (21a) et les deuxièmes matériaux (21b) de la couche mince (21, 321, 421, 521) sont 25 choisis parmi les diélectriques ou les semi-conducteurs. 16. Procédé d'observation d'un échantillon, comprenant une particule (25), le procédé comportant les étapes suivantes : - disposer l'échantillon au contact d'un support (20, 120, 220, 320, 420, 520), ledit support étant disposé entre une source de lumière (11) et un capteur d'image (30) ; 3041474 28 illuminer le support et l'échantillon à l'aide d'une onde lumineuse incidente (12), produite par la source de lumière (11), le support (20) comportant une première couche mince (21, 321, 421, 521), s'étendant selon un plan de couche mince (P21, P321, P421, P521), formant un premier réseau de 5 diffraction, confinant une partie de l'onde incidente (12) selon un plan parallèle audit plan de la couche mince, formant ainsi un faisceau confiné se propageant selon ledit plan parallèle au plan de couche mince, collecter, sur le capteur d'image (30), une onde de diffraction (26) générée par ladite particule (25), et acquérir une image représentative de cette onde de diffraction; 10 17. Procédé selon la revendication 16, dans lequel le support réfléchit une partie de l'onde incidente (12) et bloque une transmission de l'onde incidente vers le capteur d'image (30). 18. Procédé selon la revendication 16 ou la revendication 17, dans lequel le support est délimité par une face inférieure (20,, 120,, 220,, 320,, 420,, 520,) et une face supérieure (205, 1205, 2205, 3205, 4205, 5205), la face inférieure étant située en 15 regard du capteur d'image (30) ; ladite première couche mince confine une partie de la lumière incidente dans un guide d'onde adjacent de l'une desdites faces, pour former un faisceau dit confiné se propageant dans ledit guide d'onde ; et dans lequel l'échantillon est placé au contact de la face délimitant ledit guide d'onde. 20 19. Procédé selon l'une quelconque des revendications 16 à 18, dans lequel le guide d'onde est formé par ladite première couche mince (21, 421). 20. Procédé selon la revendication 19, dans lequel le support comprend une deuxième couche mince (541), s'étendant parallèlement à ladite première couche mince (521), et formant un deuxième réseau de diffraction, apte à confiner une partie de l'onde incidente (12) dans ladite 25 deuxième couche mince (541), la première et la deuxième couche mince étant distantes l'une de l'autre d'une distance inférieure à ladite longueur d'onde. 21. Procédé selon la revendication 18, le guide d'onde est un guide d'onde planaire (23), adjacent de la face inférieure (320,) du support (320), la première couche mince (321) agissant pour coupler une partie de l'onde incidente (12) audit guide d'onde planaire. 3041474 29 22. Procédé selon l'une quelconque des revendications 16 à 21, dans lequel la particule (25) forme une onde de diffraction (26) à partir du faisceau confiné dans ledit guide d'onde (21, 23), une partie de cette onde de diffraction (26) étant détectée par ledit capteur d'image. 23. Procédé selon la revendication 22, dans lequel ladite particule est disposée à une distance 5 dudit guide d'onde inférieure à ladite longueur d'onde. 24. Procédé selon l'une quelconque des revendications 16 à 23, dans lequel la particule (25) est une particule biologique par exemple un microorganisme ou un virus ou une cellule. 25. Procédé selon l'une quelconque des revendications 16 à 24, dans lequel l'échantillon comporte un liquide, dans lequel baigne ladite particule (25).