Brevet FR3037442A1 — publié le 20161216

PHOTODIODE SPAD COUVERTE D'UN RESEAU. DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE La présente invention concerne le domaine des photodiodes, en particulier les photodiodes de type SPAD. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE Une photodiode est un composant sensible à la lumière, comprenant une couche en matériau semi-conducteur présentant une zone dopée N (présentant un excès d'électrons) et une zone dopée P (présentant un défaut d'électrons). La zone dopée N et la zone dopée P sont séparées par une jonction PN, au niveau de laquelle se forme une zone de déplétion, également nommée zone de charge d'espace. Chaque zone dopée N ou P est reliée à un connecteur électrique, afin de polariser la diode. Un photon absorbé par la couche en matériau semi-conducteur génère une paire électron-trou, c'est-à-dire une charge électrique positive et une charge électrique négative. Dans une photodiode dite SPAD, pour l'anglais « single-photon avalanche diode », une polarisation inverse est appliquée entre la zone dopée N et la zone dopée P. La tension de polarisation est de préférence supérieure (ou égale), en valeur absolue, à la tension de claquage de la photodiode (tension électrique inverse minimum qui la rend conductrice dans le sens bloquant). Cette polarisation crée un fort champ électrique au niveau de la jonction PN, qui accélère les charges électriques photo-générées. Ces charges ont suffisamment d'énergie pour exciter par impact d'autres charges électriques (ionisation par impact). Cette réaction en chaîne est nommée effet d'avalanche, et a lieu dans une zone dite d'avalanche 3037442 2 entre la zone dopée N et la zone dopée P. Ainsi, l'absorption d'un photon génère un signal électrique bref et intense, dit signal électrique utile. Une photodiode de type SPAD permet donc de détecter avec une grande précision des signaux lumineux de très faible intensité et de dater l'arrivée de chaque photon. Une 5 photodiode de type SPAD est également nommée photodiode à avalanche en mode Geiger. Si le photon est absorbé dans la zone d'avalanche, la paire électron-trou déclenche immédiatement l'effet d'avalanche. Si le photon est absorbé hors de la zone d'avalanche, la charge minoritaire de la paire électron-trou peut diffuser dans 10 la couche en matériau semi-conducteur puis atteindre la zone d'avalanche où elle déclenche l'effet d'avalanche. La résolution temporelle du signal électrique utile est donc limitée par l'incertitude sur l'emplacement précis où est absorbé le photon et où se forme la paire électron-trou. En d'autres termes, le temps de transit du porteur généré, 15 jusqu'à la zone d'avalanche, n'est pas connu avec précision, ce qui limite la résolution temporelle de la détection de photons. Cette dispersion temporelle est nommée également gigue de la photodiode, ou « jitter » en anglais. On pourrait envisager de réduire l'épaisseur de la photodiode, à une épaisseur proche de celle de la zone d'avalanche. Cependant, la zone d'avalanche 20 présente généralement une très faible épaisseur, typiquement de l'ordre de 0,3 um. Cette solution ne permet donc pas d'absorber suffisamment de photons pour offrir à la photodiode une sensibilité satisfaisante. En effet, il faut une certaine épaisseur de matériau pour absorber la lumière, cette épaisseur dépendant de la longueur d'onde considérée et augmentant en allant vers l'infra-rouge, 25 notamment pour le silicium. Par exemple, il faut une épaisseur supérieure à 1 um de silicium, pour absorber efficacement le proche infra-rouge dans le silicium. Une solution connue pour offrir à la fois une bonne résolution temporelle et une grande sensibilité consiste donc à augmenter l'épaisseur de matériau semiconducteur afin d'absorber efficacement les photons incidents, et accélérer les 3037442 3 porteurs migrant vers la zone d'avalanche afin de diminuer le « jitter ». Pour accélérer les porteurs vers la zone d'avalanche, on crée un champ électrique dans toute l'épaisseur de la couche en matériau semi-conducteur. Ceci est réalisé en abaissant le niveau de dopage moyen du matériau semi-conducteur, et en 5 augmentant (en valeur absolue) la tension de polarisation aux bornes de la diode. Un inconvénient de cette solution est qu'elle nécessite l'utilisation de tensions de polarisation très élevées. Un objectif de la présente invention est de proposer une photodiode de type SPAD présentant une grande sensibilité, et qui ne présente pas au moins l'un 10 des inconvénients de l'art antérieur. En particulier, un but de la présente invention est de proposer une photodiode de type SPAD présentant à la fois une grande sensibilité dans les grandes longueurs d'onde (supérieure à 600 nm, et même 800 nm) et une faible gigue. 15 EXPOSÉ DE L'INVENTION Cet objectif est atteint avec une photodiode de type SPAD, présentant une couche en matériau semi-conducteur comprenant une zone dopée N et une zone dopée P, séparées par une zone d'avalanche. 20 Selon l'invention, la photodiode comprend en outre : une première couche dite bas indice ; et une structure périodique présentant une pluralité de motifs élémentaires ; la première couche bas indice présentant un indice de réfraction inférieur à celui 25 de la couche en matériau semi-conducteur et à celui de la structure périodique, et la couche en matériau semi-conducteur étant intercalée entre la première couche bas indice et la structure périodique. 3037442 4 De préférence, la structure périodique comprend une pluralité de plots régulièrement espacés, les espaces entre les plots étant au moins partiellement remplis par un matériau dit matériau bas indice, présentant un indice de réfraction inférieur à celui de la couche en matériau semi-conducteur et à celui de la structure 5 périodique. Avantageusement, la structure périodique présente un dopage N ou P, et un seul des motifs élémentaires est relié à un élément de contact électrique, pour polariser la photodiode. La couche en matériau semi-conducteur peut être en silicium, et la 10 première couche bas indice en dioxyde de silicium. De préférence, une différence entre l'indice de réfraction de la couche en matériau semi-conducteur et l'indice de réfraction de la première couche bas indice est supérieure ou égale à 0,5. La structure périodique présente avantageusement un pas compris entre 15 100 nm et 1000 nm. L'épaisseur de la couche en matériau semi-conducteur est avantageusement comprise entre 0,5 um et 3 um. La hauteur des motifs élémentaires est de préférence inférieure à 1 um. Un rapport de la largeur d'un plot, divisée par le pas de la structure 20 périodique peut être compris entre 0,25 et 0,80. La structure périodique forme de préférence un réseau en deux dimensions, le pas de ce réseau étant identique dans chacune desdites deux dimensions. La structure périodique peut être formée dans un même bloc en matériau 25 semi-conducteur que la couche en matériau semi-conducteur. En variante, la structure périodique peut être formée dans une couche en silicium poly-cristallin déposée sur la couche en matériau semi-conducteur. L'invention concerne également une matrice d'au moins deux photodiodes dans laquelle : 3037442 5 - la structure périodique comprend une pluralité de plots régulièrement espacés, les espaces entre les plots étant au moins partiellement remplis par un matériau dit matériau bas indice, présentant un indice de réfraction inférieur à celui de la couche en matériau semi-conducteur et à celui de la structure 5 périodique ; et les structures périodiques voisines sont séparées par des tranchées remplies par ledit matériau bas indice. L'invention concerne aussi un procédé de fabrication d'une photodiode selon 10 l'invention, comprenant une étape de structuration d'une région supérieure d'un bloc en matériau semi-conducteur, pour former un ensemble constitué par la structure périodique montée sur la couche en matériau semi-conducteur. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'une matrice de photodiodes selon l'invention, comprenant les étapes suivantes : 15 structuration d'une région supérieure d'un bloc en matériau semi- conducteur, pour former un ensemble constitué par une pluralité de structures périodiques montées sur une couche en matériau semi-conducteur ; gravure de tranchées entre deux structures périodiques voisines, les étapes de gravure de tranchées et de structuration étant réalisées par une unique 20 étape de gravure ; et - dépôt du matériau bas indice, remplissant les tranchées et les espaces entre des plots formant les structures périodiques, ledit matériau bas indice présentant un indice de réfraction inférieur à celui du bloc en matériau semiconducteur. 25 3037442 6 BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés à titre purement indicatif et nullement limitatif, en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels : 5 - la figure 1 illustre de manière schématique un premier mode de réalisation d'une photodiode selon l'invention ; - la figure 2 illustre de manière schématique un deuxième mode de réalisation d'une photodiode selon l'invention ; - la figure 3 illustre une répartition de l'absorption de la lumière dans la 10 photodiode illustrée en figure 2; - la figure 4 illustre l'efficacité quantique dans une photodiode selon l'invention ; - la figure 5 illustre un procédé de fabrication d'un exemple de photodiode selon le deuxième mode de réalisation de l'invention ; 15 - la figure 6 illustre un troisième mode de réalisation d'une photodiode selon l'invention ; - la figure 7 illustre un quatrième mode de réalisation d'une photodiode selon l'invention ; - la figure 8 illustre un cinquième mode de réalisation d'une photodiode 20 selon l'invention ; et la figure 9 illustre une répartition de l'absorption de la lumière dans la photodiode illustrée en figure 8. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS 25 On va tout d'abord illustrer l'invention à l'aide de la figure 1, illustrant de manière schématique un premier mode de réalisation d'une photodiode 100 selon l'invention. 3037442 7 La photodiode 100 est adaptée à détecter un rayonnement électromagnétique à des longueurs d'onde dans le rouge et le proche infrarouge, comprises notamment entre 600 nm et 1000 nm. Dans la suite, on prend l'exemple d'une photodiode adaptée à détecter un rayonnement électromagnétique à 5 850 n m . La photodiode 100 présente une couche en matériau semi-conducteur 110, présentant une zone dopée N 111 et une zone dopée P 112. La zone dopée N 111 et la zone dopée P 112 sont superposées, et séparées par une jonction PN 114. Une zone d'avalanche 113 (représentée entre deux traits mixtes) s'étend dans et autour 10 de la jonction PN. En variante, la zone 111 est dopée P, et la zone 112 est dopée N. La photodiode 100 est de type SPAD, adaptée à être polarisée en inverse par une tension de polarisation supérieure à la tension de claquage, par exemple comprise entre 1 et 3 fois la tension de claquage. En particulier, la zone dopée N 111 est reliée à un premier connecteur électrique (non représenté) adapté à être 15 porté à un premier potentiel électrique, et la zone dopée P est reliée à un second connecteur électrique (non représenté) adapté à être porté à un second potentiel électrique, les premier et second potentiels électriques définissant ensemble une tension supérieure (en valeur absolue) à la tension de claquage. Le matériau semi-conducteur forme un milieu absorbant, constitué par 20 exemple de silicium, la photodiode étant adaptée à détecter un rayonnement électromagnétique 140 à une longueur d'onde de 850 nm. Une structure périodique 120 est disposée directement sur la couche en matériau semi-conducteur 110. Cette structure périodique 120 peut être gravée dans un bloc en matériau semi-conducteur, de façon à former directement 25 l'ensemble constitué par la couche 110 et la structure périodique 120. En variante, la structure périodique 120 est faite d'un matériau non métallique, différent de celui de la couche 110. Ce matériau est essentiellement transparent à la longueur d'onde que la photodiode 100 est adaptée à détecter. Dans tout le texte « essentiellement transparent » signifie par exemple « présentant un coefficient 3037442 8 d'extinction inférieur à quelques 10-2 à la longueur d'onde de travail, par exemple 5.10-2 ». La structure périodique 120 présente une pluralité de motifs élémentaires, c'est-à-dire une pluralité de plots 121 régulièrement espacés les uns des autres. Un 5 plot désigne ici un volume plein de forme quelconque, par exemple un cylindre, ou un cube, ou un anneau cylindrique, ou un cube percé d'un trou traversant (les plusieurs plots dessinant alors une grille). La forme du plot peut conférer à la structure périodique une périodicité selon une ou deux dimensions de l'espace. Dans le premier cas, on parle également de barre, ou de ligne. La structure 10 périodique 120 présente de préférence une périodicité selon deux dimensions, (associée(s) chacune à un axe parallèle à la surface supérieure de la photodiode). La période peut être différente selon chacune des deux dimensions. On a alors une efficacité quantique qui dépend de la polarisation de la lumière, ce qui peut permettre de détecter une polarisation particulière. La structure périodique 15 présente avantageusement au moins cinq motifs élémentaires selon chaque dimension de l'espace où elle présente une périodicité (soit au moins 5x5 motifs élémentaires dans le cas d'une périodicité selon deux dimensions). La structure périodique 120 peut être recouverte d'une fine couche de passivation (oxyde thermique par exemple), qui suit la forme des motifs 20 élémentaires sans combler entièrement les espaces, ou interstices 122 entre eux/elles. L'indice optique de cette couche de passivation peut être quelconque. La structure périodique 120 forme un réseau résonnant sub-longueur d'onde, le pas étant inférieur à la longueur d'onde dans le matériau du milieu incident, du rayonnement électromagnétique que la photodiode 100 est adaptée 25 à détecter. Le milieu incident est celui qui recouvre la structure périodique, ici de l'air. Le pas est donc, ici, inférieur à 850 nm. Ici, ce matériau est de l'air (le milieu incident est le milieu). Ce pas est notamment inférieur à 850 nm. 3037442 9 On rappelle que la longueur d'onde dans un matériau est la longueur d'onde dans le vide divisée par l'indice optique de ce matériau. La couche en matériau semi-conducteur 110 est déposée directement sur une première couche dite bas indice 130, présentant un indice de réfraction 5 inférieur à celui de la couche 110 et celui de la structure périodique 120. Dans tout le texte, on considère des indices de réfraction à une longueur d'onde que la photodiode est adaptée à détecter, en particulier à 850 nm. La première couche bas indice 130 forme une gaine inférieure d'un guide d'onde. La gaine supérieure du guide d'onde est formée ici par l'air entourant la 10 photodiode, et remplissant ici les espaces 122 entre les plots (ou ce qu'il en subsiste après application de la fine couche de passivation définie plus haut). La combinaison de ce guide d'onde et de la structure périodique 120 engendre des modes guidés dans la couche en matériau semi-conducteur 110. On constate de façon surprenante que pour certaines valeurs des paramètres 15 géométriques de la photodiode (dimensions des plots de la structure périodique 120, épaisseurs de la structure périodique 120 et de la couche en matériau semiconducteur 110), le champ électromagnétique est renforcé localement dans des régions situées à l'intérieur de la couche en matériau semi-conducteur 110, et que ce champ est quasiment nul dans la structure périodique. En particulier, le champ 20 électromagnétique est concentré dans au moins une sous-couche de la couche en matériau semi-conducteur 110. L'homme du métier aurait attendu une répartition plus homogène du champ électromagnétique dans un guide d'onde multimode de forte épaisseur (ici environ 5 à 10 fois la longueur d'onde dans la couche en matériau semi-conducteur 110, voir plus loin). 25 Les régions dans lesquelles le champ électromagnétique est plus intense sont utilisées pour réaliser une photodiode de type SPAD de même sensibilité et de plus grande résolution temporelle, comparée à une photodiode SPAD selon l'art antérieur. 3037442 10 Pour cela, on positionne les régions où le champ électromagnétique est renforcé dans ou à proximité de la zone d'avalanche de la photodiode SPAD. Ainsi, l'absorption des photons est renforcée dans ou à proximité de la zone d'avalanche. On peut alors réduire l'épaisseur d'une région du matériau semi-conducteur située 5 en dehors de la zone d'avalanche, et dont le rôle est simplement d'absorber des photons qui diffuseront ensuite jusqu'à la zone d'avalanche. Dans l'art antérieur, une photodiode SPAD détectant un rayonnement à 850 nm et absorbant 90% des photons incidents, est constituée d'une couche de silicium de 40 um d'épaisseur. Grâce à l'invention, on ramène cette épaisseur à 10 quelques micromètres seulement, en tout état de cause moins de 10 um. Grâce à cette épaisseur réduite, le temps de transit des porteurs jusqu'à la zone d'avalanche est réduit. On peut ainsi, à sensibilité égale, à la fois réduire la tension de polarisation et améliorer la résolution temporelle de la photodiode SPAD (c'est-à-dire réduire la gigue). Par exemple, on réduit d'un facteur deux cette 15 tension de polarisation (20 V au lieu de 40V). On obtient une photodiode à faible dispersion temporelle et forte efficacité quantique. Une photodiode de type SPAD est utilisée par exemple pour mesurer un temps de vol, c'est-à-dire une durée écoulée entre l'émission d'un signal laser, et la détection d'un signal rétrodiffusé sur un objet à détecter. Les mesures de temps 20 de vol sont utilisées couramment en télémétrie, détection de présence, reconnaissance de mouvement en 3D, etc. L'invention permet d'augmenter la précision de cette mesure de temps de vol. L'invention évite en outre d'avoir à abaisser le niveau de dopage moyen dans la couche en matériau semi-conducteur, ce qui s'avère particulièrement 25 avantageux en technologie CMOS. L'épaisseur réduite de la couche en matériau semi-conducteur permet également de réduire le courant d'obscurité. Cet avantage se retrouve dans n'importe quel type de photodiode, les régions où le champ électromagnétique est renforcé étant positionnées dans ou à proximité de la jonction PN. 3037442 11 La figure 2 illustre de manière schématique un deuxième mode de réalisation d'une photodiode 200 selon l'invention. La photodiode 200 ne diffère de la photodiode illustrée en figure 1, qu'en ce que les espaces 222 entre les plots, sont 5 remplis par un matériau bas indice (matériau solide). Le matériau bas indice présente un indice de réfraction inférieur à celui de la couche en matériau semiconducteur 210 et celui de la structure périodique 220. De préférence, ce matériau bas indice est identique au matériau de la première couche bas indice. De préférence, les espaces 222 sont entièrement remplis par le matériau bas 10 indice. Le matériau bas indice forme une deuxième couche bas indice 250. Il peut constituer une couche de passivation entre les plots, en contact direct avec la structure périodique 210. La deuxième couche bas indice 250 est essentiellement transparente à la longueur d'onde que la photodiode 200 est adaptée à détecter. 15 Dans l'exemple illustré en figure 2, la deuxième couche bas indice 250, constituée dudit matériau bas indice, recouvre la structure périodique 210, s'insère entre les plots 210 et dépasse au-dessus de ces derniers. Selon une variante non représentée, ladite deuxième couche bas indice 250 affleure au sommet des plots. Une troisième couche peut alors recouvrir 20 l'ensemble ainsi formé, du côté des plots. Cette troisième couche est alors essentiellement transparente à la longueur d'onde que la photodiode 200 est adaptée à détecter. Cette troisième couche peut être constituée d'un matériau présentant un indice de réfraction inférieur à celui de la couche en matériau semiconducteur 210 et celui de la structure périodique 220. La troisième couche et la 25 deuxième couche bas indice peuvent être constituées de matériaux différents. La figure 3 illustre une répartition de l'absorption dans la photodiode 200. On observe que l'absorption présente de grandes variations d'intensité, et se concentre essentiellement dans des régions situées en dehors de la structure 3037442 12 périodique 220, à l'intérieur de la couche 210 en matériau semi-conducteur (la représentation en noir et blanc perd une partie de l'information). On a représenté par un rectangle blanc une sous-couche 270 de la couche 210 en matériau semiconducteur, recevant les régions où se concentre l'absorption. Par exemple, la 5 sous-couche 270 absorbe 75% d'un flux lumineux incident, et présente une épaisseur proche de 1 um. La sous-couche 270 est nommée région de haute sensibilité. On positionne la zone d'avalanche 213 dans cette sous-couche 270. On décrit dans la suite des dimensions et indices préférentiels de la photodiode selon l'invention, la longueur d'onde à détecter étant choisie égale à 10 850 nm. La différence d'indice entre la couche en matériau semi-conducteur 210 et la première couche bas indice 230 est supérieure à 0,5, de préférence supérieure à 1. De la même façon, la différence d'indice entre la structure périodique 220 et 15 la première couche bas indice 230 est supérieure à 0,5, de préférence supérieure à 1. Lorsque la photodiode comprend une deuxième couche bas indice, les mêmes différences d'indice sont vérifiées entre cette deuxième couche, et la couche en matériau semi-conducteur, respectivement la structure périodique. 20 Par exemple, la couche en matériau semi-conducteur et la structure périodique sont en silicium (n=3,65 à 850 nm), et la première couche bas indice (et le cas échéant la deuxième couche bas indice) est en dioxyde de silicium (n=1,45 à 850 nm). La première couche bas indice 230 présente avantageusement une épaisseur 25 supérieure à 50 nm, de préférence supérieure à 500 nm. L'épaisseur de la couche en matériau semi-conducteur 210 est notée h2. Plus cette épaisseur est importante, plus la densité spectrale des modes dans la couche en matériau semi-conducteur est importante. Une grande densité spectrale de modes offre une grande acceptance angulaire de la photodiode. De préférence, h2 3037442 13 est supérieur à 0,7 um lorsque la structure périodique 220 présente une périodicité selon deux dimensions. On obtient ainsi une efficacité quantique, moyennée sur un cône d'angles d'incidence de quelques dizaines de degrés, supérieure d'un facteur 5 à 10 par rapport à l'art antérieur, sur une largeur spectrale de plusieurs 5 centaines de nanomètres. Cette condition correspond à h2 supérieure à 1,0 um lorsque la structure périodique 220 présente une périodicité selon une seule dimension. En tout état de cause, l'épaisseur h2 est supérieure à 0,5 um, afin de bénéficier d'une absorption suffisante. 10 L'épaisseur h2 est de préférence inférieure à 3 um. La hauteur h1 pic-vallée des plots de la structure périodique est inférieure ou égale à 1 um, typiquement comprise entre 0,1 um et 1,0 um. Les plots sont par exemple des cubes de côté a. En variante, il peut s'agir de plots cylindriques de diamètre a. En variante, la structure périodique est formée 15 par des barres de largeur a, par exemple des parallélépipèdes à base rectangulaire. Le rapport -a entre la largeur a des plots, et le pas P de la structure P périodique, est compris entre 0,25 et 0,80 (la largeur a et le pas P étant mesurés selon le même axe). Ce rapport est vérifié selon un ou deux axes, selon que la structure périodique 220 présente une périodicité selon une ou deux dimensions. 20 Un fonctionnement de la photodiode indépendant de la polarisation du rayonnement lumineux incident est assuré par une structure périodique 220, présentant une périodicité selon deux dimensions, et avec les mêmes dimensions des plots considérés dans chacune de ces deux dimensions. Le pas P de la structure périodique 220 est avantageusement supérieur au À. À. 25 rapport -, et inférieur au rapport -, avec : ne ff ng in f - À la longueur d'onde que la photodiode est destinée à détecter, 3037442 14 nef f l'indice effectif du guide d'onde formé dans la photodiode, égal en première approximation à l'indice de réfraction de la couche 210 en matériau semi-conducteur, et %trip l'indice de réfraction de la première couche bas indice 230. 5 En d'autres termes, la photodiode étant destinée à détecter un rayonnement à une longueur d'onde dite d'intérêt, la structure périodique présente un pas P : supérieur au rapport de la longueur d'onde d'intérêt divisée par l'indice de réfraction de la couche en matériau semi-conducteur ; et 10 inférieur au rapport de la longueur d'onde d'intérêt divisée par l'indice de réfraction de la première couche bas indice. En pratique, le pas P est compris généralement entre 100 nm et 1000 nm, plus préférentiellement entre 200 nm et 700 nm. En prenant l'exemple d'une 15 première couche bas indice en dioxyde de silicium (Si02), et une couche en matériau semi-conducteur en silicium (Si), le pas P est compris entre 230 nm et 580 nm. Une méthode pour déterminer des dimensions optimales de la photodiode selon l'invention peut consister à : 20 fixer un pas P, dans les limites précisées ci-dessus ; fixer une hauteur h1, dite profondeur du réseau ; puis ajuster la largeur a des plots et l'épaisseur h=h1+h2 par optimisation d'une efficacité quantique calculée par simulation numérique. 25 La figure 4 représente l'efficacité quantique à 850 nm dans une photodiode selon l'invention, en fonction de la largeur a des plots (axe des abscisses) et de l'épaisseur h=h1+h2 de la structure périodique et de la couche en matériau semiconducteur, toutes deux en silicium. On a fixé P=500 nm et h1=300 nm. 3037442 15 On identifie ainsi des couples de largeur a et d'épaisseur h=h1+h2, correspondant à de plus grandes efficacités quantiques. On choisit de préférence un couple, situé sur la figure 4, dans une large zone associée à de grandes efficacités quantiques. On bénéficie ainsi d'une bonne tolérance sur les dimensions 5 de la photodiode. Ainsi, on choisit par exemple h=1550 nm et a=350 nm. h=1550 correspond à environ 5 à 10 fois la longueur d'onde dans le matériau de la couche en matériau semi-conducteur 110 : 1550 nm 7 longueur d'onde dans le vide que la photodiode est adaptée à détecter: 850 nm - indice du silicium: 3,65 10 On décrit en référence à la figure 5, un procédé de réalisation d'un exemple d'une photodiode telle qu'illustrée schématiquement à la figure 2. De préférence, plusieurs photodiodes sont fabriquées simultanément selon ce procédé, formant ainsi une matrice de photodiodes selon l'invention. 15 On part d'un substrat dit silicium sur isolant (ou SOI, pour l'anglais « silicon on insulator »), formé par une fine couche de silicium sur une couche de dioxyde de silicium. Le dioxyde de silicium forme la première couche bas indice 530. La fine couche de silicium peut être épaissie, puis dopée N ou P. On obtient la couche 515. Par exemple, la couche 515 est épaissie et présente par exemple un 20 dopage du même type que le dopage d'une zone dopée qui la recouvre in fine dans la photodiode (ici un dopage P). En variante, la couche 515 reste fine et présente un dopage du type opposé au dopage d'une zone dopée qui la recouvre in fine dans la photodiode, afin d'éviter la remontée vers la surface de porteurs générés par les défauts de l'interface entre la première couche bas indice 530 et la couche de 25 silicium 515. Dans une première étape 501, on dépose par épitaxie sur la couche 515, une couche 516 de silicium faiblement dopé P. La couche 516 (et le cas échéant la couche 515) forme un bloc en matériau semi-conducteur. 3037442 16 A l'étape 502, on réalise, dans une même étape de gravure, la structure périodique 520 selon l'invention et des tranchées d'isolation 570. Les tranchées d'isolation présentent ainsi une profondeur égale à la hauteur pic-vallée des plots 521 de la structure périodique. 5 Les tranchées d'isolation 570 sont destinées à séparer des photodiodes voisines d'une même matrice de photodiodes, et sont nommées STI (pour l'anglais « Shallow Trench Isolation »). La gravure de la structure périodique sépare, dans la couche en silicium 516, une structure périodique 520 selon l'invention et une couche qui formera la couche 10 en matériau semi-conducteur selon l'invention, après définition des zones dopées. L'étape de gravure de tranchées d'isolation est communément mise en oeuvre pour fabriquer une matrice de photodiodes selon l'invention, de sorte que la mise en oeuvre de l'invention oblige simplement à modifier un masque utilisé pour la gravure. 15 De préférence, les surfaces gravées sont passivées par une fine couche d'oxyde thermique. A l'étape 503, les tranchées d'isolation 570 et les espaces 522 entre les plots 521 de la structure périodique 520 sont remplis par un oxyde déposé par plasma, par exemple du dioxyde de silicium. Cet oxyde forme le matériau bas indice selon 20 l'invention, situé entre les plots de la structure périodique (deuxième couche bas indice 550). La région de haute sensibilité 570, telle que décrite en référence à la figure 3, est entourée par des pointillés. Dans une étape 504, on réalise une jonction PN sous la structure périodique 25 520, et dans la région de haute sensibilité 570. Cette jonction PN est formée par implantation ionique, formant dans la couche 516 et sous la structure périodique, une zone dopée N, 511, et une zone dopée P, 512. En variante, la couche 515 est épaissie et fortement dopée P, et la couche 516 est dopée N, ce qui forme une jonction PN. 3037442 17 La zone dopée N et la zone dopée P sont séparées par la jonction PN, au niveau de laquelle se trouvera (après application d'une tension de polarisation adaptée) une zone d'avalanche 513. La jonction PN est de préférence suffisamment éloignée de la structure 5 périodique pour que la zone d'avalanche 513 n'empiète pas sur la structure périodique 520. Par exemple, la jonction PN est située à plus de 200 nm sous la structure périodique. Pour cela, la zone dopée N 511 est réalisée par implantation par exemple de phosphore entre 100 et 200 keV. La structure périodique 520 peut rester non dopée. En variante, la structure 10 périodique est dopée N, comme la zone dopée supérieure 511. La zone dopée P, 512, est connectée à la surface de la photodiode par des régions fortement dopées P 582 formées par plusieurs implantations successives. La zone dopée N, 511, est connectée à la surface de la photodiode par une unique région fortement dopée N 581, située dans un unique plot de la structure 15 périodique. La région 581 est formée par implantation ionique à faible énergie, et se trouve de préférence au bord de la photodiode. La zone dopée N, 511, est reliée à un potentiel VHv, via la région 581 et un premier connecteur électrique (non représenté). La zone dopée P, 512, est reliée à un potentiel VLv, via les régions 582 et un second connecteur électrique (non 20 représenté). Le potentiel VHv est très supérieur au potentiel VLv. Les potentiels électriques VLv et VHv définissent ensemble une tension de polarisation de la photodiode supérieure à sa tension de claquage, pour former une photodiode de type SPAD. En particulier la zone dopée P, 512, peut être reliée à la masse, et la zone dopée N, 511, peut être reliée à une source de tension par l'intermédiaire 25 d'une résistance d'extinction R (communément nommée résistance de quench) servant à arrêter le phénomène d'avalanche (R=100 ko par exemple). Le fait que la zone dopée N ne soit pas reliée au potentiel VHv par chacun des plots de la structure périodique participe également à arrêter le phénomène d'avalanche. 3037442 18 La mesure de la tension aux bornes de la photodiode 500 est réalisée par un montage amplificateur suiveur. On peut réaliser une variante de la photodiode décrite ci-dessus, en inversant tous les dopages N et P. 5 On peut également former la première couche bas indice dans une couche de dioxyde de silicium plus épaisse que l'oxyde isolant d'un SOI standard. La figure 6 illustre un troisième mode de réalisation d'une photodiode 600 selon l'invention. 10 La photodiode illustrée en figure 6 ne diffère du mode de réalisation de la figure 5 qu'en ce qu'elle est adaptée à mesurer des photons arrivant sur la photodiode du côté du SOI initial, et non du côté opposé à celui-ci. On parle d'illumination BSI, pour l'anglais « Bock Side Illumination ». On part d'un SOI tel que décrit en référence à la figure 6. Dans ce mode de 15 réalisation, les étapes technologiques sont faites sur la face avant d'un SOI, puis l'ensemble réalisé est retourné. Le silicium du SOI est épaissi pour former une couche de silicium 615 dopée N. Une couche de silicium 616 est réalisée par épitaxie au-dessus de la couche 615. Des tranchées sont creusées entre les futures photodiodes, remplies ensuite par 20 du dioxyde de silicium, ce dioxyde de silicium recouvrant entièrement la couche 615 et formant la première couche bas indice 630 selon l'invention. On réalise dans la couche de silicium 616 une jonction PN entre une zone dopée N 611 et une zone dopée P 612, et des régions fortement dopées 681, 682 destinées à relier la zone dopée N 611 et la zone dopée P 612 au potentiel VHV, 25 respectivement VIA/. La première couche bas indice 630 peut être gravée localement pour laisser passer des connecteurs électriques. Ensuite, on retourne l'empilement ainsi formé, et on grave sa surface supérieure pour retirer l'oxyde du SOI et graver la couche de silicium 615 afin d'y 3037442 19 former la structure périodique 620. La structure périodique est ensuite recouverte d'une couche en dioxyde de silicium formant la deuxième couche bas indice 650. Ici, les faces gravées de la structure périodique ne sont pas passivées par dépôt d'oxyde, et la couche en silicium 615 est dopée N (dopage du type opposé à 5 celui de la zone dopée adjacente), afin d'éviter que des porteurs générés par les défauts d'interface de la structure périodique ne diffusent jusque dans la zone d'avalanche. La figure 7 illustre un quatrième mode de réalisation d'une photodiode 700 10 selon l'invention. La photodiode illustrée en figure 7 ne diffère du mode de réalisation de la figure 5 qu'en ce que la structure périodique 720 n'est pas formée dans le même bloc de silicium que la couche en matériau semi-conducteur, mais dans une couche d'un matériau différent. 15 Par exemple, après avoir réalisé par épitaxie la couche de silicium 716 sur un SOI, on recouvre l'ensemble par une couche de silicium poly-cristallin, dans laquelle sera gravée la structure périodique selon l'invention, et servant également de grille pour un transistor 790 voisin. 20 La figure 8 illustre un cinquième mode de réalisation d'une photodiode 800 selon l'invention. La photodiode illustrée en figure 8 ne diffère du mode de réalisation de la figure 5 qu'en ce qu'elle présente deux jonctions PN superposées, associées chacune à une zone d'avalanche 813A, 813B, et partageant une même zone dopée 25 intercalaire. En particulier, une zone dopée P est située entre deux zones dopées N, formant une jonction PN de chaque côté. Les deux jonctions PN sont situées chacune dans une région de haute sensibilité 870A, 870B telle que décrite en référence à la figure 3. Ces régions de 3037442 20 haute sensibilité 870A, 870B sont illustrées à la figure 9, montrant la répartition de champ électromagnétique dans la photodiode. Les régions de haute sensibilité 870A, 870B sont superposées, et séparées par une sous-couche dans laquelle l'intensité du champ électromagnétique est très faible (intensité moyenne au 5 moins 10 fois moindre que dans les régions 870A, 870B). Une telle photodiode est obtenue à l'aide d'un procédé tel qu'illustré en figure 5, la couche en silicium 816 étant cette fois faiblement dopée P, sur une couche en silicium 815 dopée N et formant l'une parmi les deux zones dopées N. La photodiode 800 forme ainsi un détecteur bi-spectral, chaque jonction PN 10 étant dédiée à la détection d'une longueur d'onde différente. L'invention n'est pas limitée aux exemples décrits ci-dessus, et de nombreuses variantes pourront être mises en oeuvre sans sortir du cadre de la présente invention. 15 Par exemple, la structure périodique pourra se présenter sous la forme d'une grille, forme complémentaire d'un maillage carré de plots cubiques. L'invention est particulièrement avantageuse pour une couche en matériau semi-conducteur constituée de silicium, ce matériau présentant une faible absorption, en particulier dans le rouge et l'infrarouge. Cependant, l'invention 20 n'est pas limitée à ce matériau semi-conducteur ni à ces longueurs d'onde. REVENDICATIONS1. Photodiode (100; 200; 500; 600; 700; 800) de type SPAD, présentant une couche en matériau semi-conducteur (110 ; 210) comprenant une zone dopée N (111 ; 511 ; 611) et une zone dopée P (112 ; 512 ; 612), séparées par une zone d'avalanche (113; 213; 513; 813A; 813B), caractérisée en ce qu'elle comprend en outre : une première couche dite bas indice (130; 230; 530; 630; 730) ; et une structure périodique (120; 220; 520; 620; 720) présentant une pluralité de motifs élémentaires ; la première couche bas indice (130; 230; 530; 630 ; 730) présentant un indice de réfraction inférieur à celui de la couche en matériau semi-conducteur et à celui de la structure périodique, et la couche en matériau semi-conducteur (110; 210) étant intercalée entre la première couche bas indice et la structure périodique. 2. Photodiode (200 ; 500 ; 600 ; 700 ; 800) selon la revendication 1, caractérisée en ce que la structure périodique comprend une pluralité de plots (212 ; 521) régulièrement espacés, les espaces (122; 222 ; 522) entre les plots étant au moins partiellement remplis par un matériau dit matériau bas indice, présentant un indice de réfraction inférieur à celui de la couche en matériau semi-conducteur et à celui de la structure périodique. 3. Photodiode (100 ; 200 ; 500 ; 700 ; 800) selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que la structure périodique (520 ; 720) présente un dopage N ou P et en ce qu'un seul des motifs élémentaires est relié à un élément de contact électrique, pour polariser la photodiode. 4. Photodiode (100; 200; 500; 600; 700; 800) selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que la couche en matériau semi- 3037442 22 conducteur est en silicium, et la première couche bas indice (130; 230; 530; 630; 730) est en dioxyde de silicium. 5. Photodiode (100; 200; 500; 600; 700; 800) selon l'une quelconque des 5 revendications 1 à 4, caractérisée en ce qu'une différence entre l'indice de réfraction de la couche en matériau semi-conducteur (110 ; 210) et l'indice de réfraction de la première couche bas indice (130 ; 230 ; 530 ; 630 ; 730) est supérieure ou égale à 0,5. 10 6. Photodiode (100; 200; 500; 600; 700; 800) selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisée en ce que la structure périodique (120 ; 220 ; 520; 620; 720) présente un pas (P) compris entre 100 nm et 1000 nm. 7. Photodiode (100; 200; 500; 600; 700; 800) selon l'une quelconque des 15 revendications 1 à 6, caractérisée en ce que l'épaisseur (h2) de la couche en matériau semi-conducteur (110; 210) est comprise entre 0,5 um et 3 um. 8. Photodiode (100; 200; 500; 600; 700; 800) selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisée en ce que la hauteur (h1) des motifs élémentaires 20 est inférieure à 1 um. 9. Photodiode (100; 200; 500; 600; 700; 800) selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisée en ce qu'un rapport (c),) de la largeur (a) d'un plot, divisée par le pas (P) de la structure périodique (120; 220; 520; 620; 720) 25 est compris entre 0,25 et 0,80. 10. Photodiode (100; 200; 500; 600; 700; 800) selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisée en ce que la structure périodique (120 ; 220 ; 3037442 23 520; 620; 720) forme un réseau en deux dimensions, le pas (P) de ce réseau étant identique dans chacune desdites deux dimensions. 11. Photodiode (100 ; 200 ; 500 ; 600 ; 800) selon l'une quelconque des 5 revendications 1 à 10, caractérisée en ce que la structure périodique (120; 220; 520 ; 620) est formée dans un même bloc en matériau semi-conducteur que la couche en matériau semi-conducteur (110; 210). 12. Photodiode (700) selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, 10 caractérisée en ce que la structure périodique (720) est formée dans une couche en silicium poly-cristallin déposée sur la couche en matériau semi-conducteur. 13. Matrice d'au moins deux photodiodes (200 ; 500 ; 800) selon la revendication 11 caractérisée en ce que : 15 la structure périodique comprend une pluralité de plots (212 ; 521) régulièrement espacés, les espaces (122; 222; 522) entre les plots étant au moins partiellement remplis par un matériau dit matériau bas indice, présentant un indice de réfraction inférieur à celui de la couche en matériau semi-conducteur et à celui de la structure périodique ; et 20 les structures périodiques (220 ; 520) voisines sont séparées par des tranchées (570) remplies par ledit matériau bas indice. 14. Procédé de fabrication d'une photodiode (100; 200; 500; 600; 800) selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, caractérisé par une étape de 25 structuration d'une région supérieure d'un bloc en matériau semi-conducteur, pour former un ensemble constitué par la structure périodique (120 ; 220 ; 520 ; 620) montée sur la couche en matériau semi-conducteur (110; 210). 3037442 24 15. Procédé de fabrication d'une matrice de photodiodes (200; 500; 800) selon la revendication 13, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes : structuration d'une région supérieure d'un bloc (516) en matériau semiconducteur, pour former un ensemble constitué par une pluralité de 5 structures périodiques (520) montées sur une couche en matériau semi- conducteur ; gravure de tranchées (570) entre deux structures périodiques (520) voisines, les étapes de gravure de tranchées et de structuration étant réalisées par une unique étape de gravure (502) ; et 10 dépôt (503) du matériau bas indice, remplissant les tranchées (570) et les espaces (522) entre des plots formant les structures périodiques, ledit matériau bas indice présentant un indice de réfraction inférieur à celui du bloc en matériau semi-conducteur.