Brevet FR3039657A1 — publié le 20170203

Dispositif de mise en forme d'un faisceau laser pour un capteur atomique. L'invention concerne le domaine des capteurs atomiques comportant des cellules à vapeur alcaline et des dispositifs de mise en forme de faisceau laser ainsi que les dispositifs de mise en forme de faisceau laser pour de tels capteurs atomiques. Les capteurs atomiques sont notamment des horloges atomiques, des micro-magnétomètres ou encore des micro-gyromètres. De tels capteurs atomiques peuvent par exemple être destinés aux systèmes de télécommunication, navigation et défense. De tels capteurs sont parfois qualifiés de « micro- horloges atomiques », « micro-magnétomètres » et « micro-gyromètres ». Dans l'ensemble du texte, le terme « micro » doit être compris dans le contexte et avec le sens indiqués. Le fonctionnement des capteurs atomiques repose sur une spectroscopie optique des atomes d'un gaz emplissant une cavité munie d'une fenêtre optique. Le gaz est usuellement une vapeur alcaline, comme du césium ou du rubidium. Cette spectroscopie permet de mesurer une ou plusieurs grandeurs spectrales associées à la ou les quantités physiques que le capteur cherche à observer, par exemple une fréquence, une période temporelle, un champ magnétique ou une accélération. De tels capteurs atomiques offrent l'intérêt d'être de petites tailles, économes en énergie et de présenter une 30 très bonne précision et stabilité de mesure. Un capteur atomique typique selon l'invention est une horloge atomique à l'échelle d'une puce, connue sous l'acronyme CSAC (pour Chip-Scale Atomic Clock). Un exemple 3039657 2 en est la CSAC dénommée SA.45s de la société MICROSEMI qui présente un volume de 16 cm3, une masse de 35 g et nécessite une puissance de seulement 120mW. Dans le cas d'une micro-horloge atomique, le 5 fonctionnement du capteur est usuellement basé sur la mesure de la fréquence d'une transition micro-onde particulière des atomes du gaz, dite transition d'horloge et met en oeuvre le principe de la résonnance atomique par piégeage cohérent de population connu sous l'acronyme CPT 10 (pour Coherent Population Trapping). Une telle micro-horloge atomique est également connu des travaux du consortium MAC-TFC, l'institut FEMTOST (acronyme pour Franche-Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique - Sciences et Technologies) qui a 15 développé une cellule à vapeur de césium très compacte (quelques mm3), avec micro-usinage MEMS (acronyme pour MicroElectroMechanical Systems) du silicium et soudure anodique (voir par exemple « New approach of fabrication and dispensing of micromachined cesium vapor cell » de L. 20 Nieradko, C. Gorecki, A. Douahi, V. Giordano, J.C. Beugnot, J. Dziuban et M. Moraja publié dans JOURNAL OF MICRONANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS d'août 2008). Une telle cellule présente un diamètre de fenêtre optique de 2 millimètres environ. 25 Cette cellule a une architecture dite « transmissive », le laser, un laser à cavité verticale connu sous l'acronyme VCSEL (pour Vertical Cavity Surface Emitting Laser), et le photo détecteur, (photodiode) étant situés de part et d'autre de la cellule proprement dite, le faisceau laser la traversant de part en part, y entrant par le premier couvercle en verre et en sortant par le second couvercle en verre. Le faisceau issu d'un tel laser à cavité verticale 3039657 3 est caractérisé par une divergence (FWHM 10-15°) et une taille (de l'ordre de 20 microns au niveau du miroir de sortie) relativement faibles. Ainsi, la distance requise pour atteindre un 5 diamètre de faisceau correspondant à la fenêtre optique de la cellule et permettant d'éclairer l'ensemble des atomes, si possible avec des intensités équivalentes (illumination uniforme), est donc élevée si aucun dispositif supplémentaire n'est ajouté, ce qui limite la taille 10 minimale du capteur atomique. Pour cela, dans le cadre du consortium MAC-TFC, a été développé un système télescopique permettant d'augmenter la divergence du faisceau et de collimater le faisceau avant son entrée dans la cellule. 15 Une telle solution permet de réduire l'encombrement mais implique un alignement de plusieurs composants optiques qui est une opération délicate aux dimensions de la cellule. Une autre solution est notamment connue du document 20 US 7619485 et illustrée en particulier sur la figure 6 de ce document. Cette solution consiste à replier le faisceau laser issu du laser à cavité verticale, à l'aide de miroirs ou d'un prisme, sans changer les valeurs de divergence du faisceau. 25 Une telle solution permet de s'affranchir d'alignements contraignants. En effet, contrairement aux lentilles, un mauvais positionnement du système de repli (en translation) n'est pas plus dommageable que le serait la même erreur de positionnement de la source ou de la 30 cellule. L'utilisation d'un prisme présente à cet égard l'intérêt, par rapport à des miroirs diélectriques (présentant également une faible absorption) d'offrir un 3039657 4 excellent contrôle de l'orientation des surfaces réfléchissantes. En effet, la tolérance angulaire est en général spécifiée ±15 arcsec (±0.004°) même pour des prismes de quelques millimètres de côté. 5 Toutefois, la spectroscopie de la vapeur alcaline par le mécanisme du piégeage cohérent de population requiert un faisceau laser entrant dans la cellule dont l'état de polarisation est circulaire. Par ailleurs, les réflexions du faisceau laser dans 10 le prisme peuvent modifier sensiblement la polarisation du faisceau laser. En effet, même si le faisceau lumineux ne quitte par le prisme lorsque l'angle d'incidence est supérieur à l'angle critique défini plus haut (i.e. il n'y a pas de flux d'énergie à travers le dioptre), le champ 15 électromagnétique pénètre en revanche légèrement dans le milieu extérieur, avec des profondeurs de pénétration différentes selon l'orientation du champ électrique (parallèle ou perpendiculaire au plan d'incidence). Les deux composantes du faisceau laser subissant des déphasages 20 différents, un faisceau laser polarisé linéairement deviendra par exemple polarisé elliptiquement après une réflexion totale. L'article « Polarization properties of retroreflecting right-angle Prisms » de A. M. A. Azzam paru dans la revue Applied Optics, vol. 47, p359 (2008) décrit 25 notamment plus en détail ce phénomène. Il existe ainsi un besoin pour un dispositif de mise en forme de faisceau laser garantissant un dimensionnement et une polarisation contrôlée d'un faisceau laser à l'entrée de la cellule d'un capteur atomique. Il 30 existe aussi un besoin pour un tel dispositif qui offre une déperdition de puissance limitée du faisceau laser lors de la mise en forme. Il existe enfin un besoin pour un tel dispositif qui soit le plus petit possible et dont la 3039657 5 fabrication et l'intégration dans un capteur atomique soit aisés, notamment en limitant le nombre d'alignements optiques contraignants à mettre en oeuvre. 5 L'invention a ainsi pour premier objet un dispositif de mise en forme d'un faisceau laser, destiné notamment à être inclus dans un capteur atomique tel qu'une horloge atomique, un magnétomètre atomique ou un gyromètre atomique, en étant associé, d'une part, à un laser 10 d'émission d'un faisceau laser, et, d'autre part, à une cellule à vapeur alcaline comprenant une cavité emplie d'un gaz apte à être pénétrée par un faisceau laser mis en forme et à un photodétecteur de réception d'un faisceau laser ayant pénétré la cellule, 15 le dispositif de mise en forme comprenant un prisme rétro-réflecteur comportant une zone d'entrée d'un faisceau laser entrant, une zone de sortie d'un faisceau laser sortant ainsi que deux faces de réflexion d'un faisceau laser interne, lesdites faces de réflexion formant entre 20 elles un angle droit. Le dispositif de mise en forme est caractérisé en ce qu'il comprend en outre un polariseur linéaire disposé en amont de la zone d'entrée du prisme rétro-réflecteur de sorte à être 25 traversé par un faisceau laser entrant dans le prisme rétro-réflecteur par la zone d'entrée et apte à imposer une polarisation linéaire audit faisceau laser entrant, et une lame à biréfringence de forme disposée en aval de la zone de sortie du prisme rétro-réflecteur de sorte à 30 être traversée par un faisceau laser sortant du prisme rétro-réflecteur par la zone de sortie et apte à imposer une polarisation circulaire audit faisceau laser sortant pour obtenir un faisceau laser mis en forme. 3039657 6 Selon une réalisation, le polariseur linéaire comporte un réseau métallique sub-longueur d'onde, et dans lequel le réseau métallique sub-longueur d'onde du polariseur linéaire comporte une pluralité de lames 5 métalliques s'étendant parallèlement les unes aux autres selon une direction de lame métallique et étant juxtaposées les unes par rapport aux autres selon une direction passante du réseau métallique perpendiculaire à la direction de lame métalliques. 10 Selon une réalisation, la direction passante du réseau métallique est parallèle à une direction d'intersection entre des plans géométrique d'extension respectifs des deux faces de réflexion. Ceci permet de garantir le caractère linéaire de la polarisation au cours 15 des réflexions totales internes. Selon une réalisation, la lame à biréfringence de forme est une lame à biréfringence de forme artificielle comportant un réseau diélectrique sub-longueur d'onde d'ordre zéro, et dans lequel le réseau diélectrique sub- 20 longueur d'onde d'ordre zéro de la lame à biréfringence de forme comporte une pluralité de lames diélectriques s'étendant parallèlement les unes aux autres selon une direction de lame diélectrique et étant juxtaposées les unes par rapport aux autres selon une direction de réseau 25 diélectrique perpendiculaire à la direction de lame diélectrique. Selon une réalisation, la direction de lame diélectrique forme un angle de 45° avec la direction de lame métallique. 30 Selon une réalisation, le polariseur linéaire et la lame à biréfringence de forme sont disposés côte à côte sur une plaquette - ou wafer - en verre. Selon une réalisation, la zone d'entrée et la zone 3039657 7 de sortie du prisme rétro-réflecteur forment deux portions d'une face de transmission du prisme rétro-réflecteur, et dans lequel le polariseur linéaire et la lame à biréfringence de forme sont placés en regard de ladite face 5 de transmission, étant soit formés sur ladite face de transmission soit formés sur une plaquette ou wafer en verre placée en regard de ladite face de transmission. L'invention a également pour objet un procédé de 10 fabrication d'un dispositif de mise en forme d'un faisceau laser destiné notamment à être inclus dans un capteur atomique tel qu'une horloge atomique, un magnétomètre atomique ou un gyromètre atomique, en étant associé, d'une part, à un laser d'émission d'un faisceau laser, et, 15 d'autre part, à une cellule à vapeur alcaline comprenant une cavité emplie d'un gaz apte à être pénétrée par un faisceau laser mis en forme et à un photodétecteur de réception d'un faisceau laser ayant pénétré la cellule, dans lequel : 20 on dispose d'un prisme rétro-réflecteur comportant une zone d'entrée d'un faisceau laser entrant, une zone de sortie d'un faisceau laser sortant ainsi que deux faces de réflexion d'un faisceau laser interne, lesdites faces de réflexion formant entre elles un angle droit, 25 on forme et on dispose un polariseur linéaire apte à imposer une polarisation linéaire à un faisceau laser entrant et disposé en amont de la zone d'entrée du prisme rétro-réflecteur de sorte à être traversé par un faisceau laser entrant dans le prisme rétro-réflecteur par la zone 30 d'entrée, et on forme et on dispose une lame à biréfringence de forme apte à imposer une polarisation circulaire à un faisceau laser sortant et disposée en aval de la zone de 3039657 8 sortie du prisme rétro-réflecteur de sorte à être traversée par un faisceau laser sortant du prisme rétro-réflecteur par la zone de sortie. Selon une réalisation, 5 on forme le polariseur linéaire par dépôt d'une couche de matériau métallique sur une plaquette - ou wafer - en verre, notamment une couche d'aluminium ou d'or, et on forme la lame à biréfringence de forme sur ladite plaquette - ou wafer - en verre soit par dépôt d'une 10 couche de matériau diélectrique, notamment une couche de nitrure de silicium, sur ladite plaquette - ou wafer - en verre soit par gravure de ladite plaquette - ou wafer - en verre, on dispose le polariseur linéaire en amont de la 15 zone d'entrée du prisme rétro-réflecteur et la lame à biréfringence de forme en aval de la zone de sortie du prisme rétro-réflecteur en plaçant la plaquette - ou wafer - en verre en regard d'une face de transmission du prisme rétro-réflecteur, la zone d'entrée et la zone de sortie du 20 prisme rétro-réflecteur formant deux portions de ladite face de transmission. Selon une réalisation, on forme et on dispose le polariseur linéaire en amont de la zone d'entrée du prisme rétro-réflecteur par 25 dépôt d'une couche de matériau métallique, notamment une couche d'aluminium ou d'or, sur une face de transmission du prisme rétro-réflecteur, la zone d'entrée du prisme rétro-réflecteur formant une portion de ladite face de transmission, et 30 on forme et on dispose la lame à biréfringence de forme en aval de la zone de sortie du prisme rétro-réflecteur soit par dépôt d'une couche de matériau diélectrique, notamment une couche de nitrure de silicium, 3039657 9 sur la face de transmission du prisme rétro-réflecteur, la zone de sortie du prisme rétro-réflecteur formant une portion de ladite face de transmission, soit par gravure de ladite face de transmission. 5 L'invention a enfin pour objet un capteur atomique comportant un dispositif de mise en forme d'un faisceau laser tel que décrit ci-avant, associé, de façon compacte, d'une part, à un laser d'émission d'un faisceau laser et, 10 d'autre part, à une cellule à vapeur alcaline comprenant une cavité emplie d'un gaz en phase vapeur apte à être pénétrée par un faisceau laser mis en forme et un photodétecteur de réception d'un faisceau laser ayant pénétré la cellule. 15 Selon une réalisation, une direction préférentielle de polarisation d'un faisceau laser émis par le laser d'émission est sensiblement alignée avec la direction passante du réseau métallique du polariseur linéaire. 20 Sur les dessins : - la figure 1 est un schéma en coupe transversale d'un capteur atomique selon un mode de réalisation de l'invention, comportant un dispositif de mise en forme d'un faisceau laser selon un mode de réalisation de l'invention, 25 à laquelle sont associés un laser d'émission d'un faisceau laser ainsi qu'une cavité emplie d'un gaz apte à être pénétrée par un faisceau laser mis en forme et un photodétecteur de réception d'un faisceau laser ayant pénétré la cellule, 30 - la figure 2 est une vue de détail en perspective d'un polariseur linéaire du dispositif de mise en forme d'un faisceau laser de la figure 1, comportant un réseau métallique de lames métalliques, 3039657 10 - la figure 3 est une vue de détail en perspective d'une lame à biréfringence de forme du dispositif de mise en forme d'un faisceau laser de la figure 1, comportant un réseau diélectrique sub-longueur d'onde d'ordre zéro de 5 lames diélectriques, et - la figure 4 est un schéma de détail en perspective du dispositif de mise en forme d'un faisceau laser de la figure 1, sur lequel est indiqué le trajet d'un faisceau laser comprenant des portions de faisceau laser 10 initial, faisceau laser entrant, faisceau laser interne, faisceau laser sortant et faisceau laser mis en forme. Sur les différentes figures, les mêmes références désignent des éléments identiques ou similaires. La figure 1 illustre un exemple d'un capteur 15 atomique 1 selon l'invention incorporant une cellule à vapeur alcaline 2, un laser 3 d'émission d'un faisceau laser, par exemple un laser à cavité verticale (VCSEL pour Vertical Cavity Surface Emitting Laser) et un photodétecteur de réception 4 d'un faisceau laser ayant 20 pénétré dans la cellule 2. On désigne par 5, le faisceau laser. Le capteur atomique 1 est par exemple une horloge atomique à l'échelle d'une puce (CSAC pour Chip-Scale Atomic Clock) reposant sur le principe de la résonance 25 atomique par piégeage cohérent de population (CPT pour Coherent Population Trapping). Dans des variantes de l'invention, le capteur atomique 1 pourrait être un magnétomètre atomique ou un gyromètre atomique par exemple. 30 La cellule 2 comprend notamment une cavité de gaz 6 munie d'au moins une fenêtre optique 7 et emplie d'un gaz. Le gaz est par exemple un gaz comprenant un élément alcalin en phase vapeur comme du césium ou du rubidium et, le cas 3039657 11 échéant un gaz tampon. Le terme « gaz » peut désigner un gaz, une vapeur, ou une vapeur alcaline ou un mélange d'un gaz et d'une vapeur. Le capteur atomique 1 comporte par ailleurs un 5 dispositif 8 de mise en forme d'un faisceau laser. Le dispositif 8 est intercalé, sur le trajet du faisceau laser 5, entre le laser 3 et la cellule 2 et est apte à recevoir un faisceau laser 5 du laser 3 et à transmettre un faisceau laser 5 pénétrant dans la cavité de 10 gaz 6 par la fenêtre optique 7 de la cellule 2. Le dispositif 8 de mise en forme comprenant un prisme rétro-réflecteur 9, un polariseur linéaire 10 et une lame à biréfringence de forme 11. Comme illustré sur les figures 1 et 4, le prisme 15 rétro-réflecteur 9 comporte une zone d'entrée 12 d'un faisceau laser entrant 5b, une zone de sortie 13 d'un faisceau laser sortant 5d ainsi que deux faces de réflexion 14, 15 d'un faisceau laser interne 5c. Les faces de réflexion 14, 15 forment entre elles 20 un angle droit. Par « les faces forment entre elles un angle droit », on entend que les faces de réflexion 14, 15 s'étendent respectivement selon des plans géométriques d'extension respectifs Pl, P2, tels que lesdits plans 25 géométriques d'extension Pl, P2 forment un angle droit géométrique l'un avec l'autre. Dans l'exemple de réalisation de la figure 1, la zone d'entrée 13 et la zone de sortie 13 forment deux portions d'une face de transmission 16 du prisme rétro- 30 réflecteur 9. La face de transmission 16 du prisme rétro-réflecteur 9 peut par exemple être orientée à 45° de chacune des faces de réflexion 14, 15. 3039657 12 Ici également, par « la face de transmission est orientée à 45° de chacune des faces de réflexion 14, 15 », on entend que la face de transmission s'étend selon un plan géométrique d'extension P3 et les faces de réflexion 14, 15 5 s'étendent respectivement selon des plans géométriques d'extension respectifs Pl, P2, tels que le plan géométrique d'extension P3 de la face de transmission forme un angle géométrique de 45° avec chacun des plans géométriques d'extension Pl, P2 des faces de réflexion 14, 15. 10 On remarquera que, autant l'angle entre les faces de réflexion 14, 15 doit être précisément contrôlé pour garantir une rétro-réflexion du faisceau laser, autant l'orientation entre la face de transmission 16 et les faces de réflexion 14, 15 est moins critique car elle implique, 15 au moins pour des angles faibles, principalement un décalage spatial du faisceau et non une erreur angulaire. Ainsi, par exemple, l'angle entre les faces de réflexion 14, 15 est avantageusement proche de 90° à ±15 arcsec (±0.004°). 20 Le trajet du faisceau laser 5 dans le prisme rétro- réflecteur est illustré sur la figure 4 et se décompose de la manière suivante. Un faisceau laser entrant 5b pénètre dans le prisme rétro-réflecteur 9 par la zone d'entrée 12 et rencontre une 25 première face de réflexion 14 pour générer un faisceau laser interne 5c. Le faisceau laser interne 5c se propage dans le prisme rétro-réflecteur jusqu'à rencontrer une seconde face de réflexion 15 et générer un faisceau laser sortant 5d quittant le prisme rétro-réflecteur 9 par la 30 zone de sortie 13. Le faisceau laser entrant 5b et le faisceau laser sortant 5d sont ainsi parallèles entre eux dans un plan de coupe H du prisme rétro-réflecteur 9. 3039657 13 Un tel plan de coupe H du prisme rétro-réflecteur 9 est notamment un plan perpendiculaire à direction d'intersection I entre des plans géométriques d'extension Pl, P2 respectifs des deux faces de réflexion 14, 15. 5 Le prisme rétro-réflecteur peut par exemple être réalisé en un matériau tel que le N-BK7, Sodalime, N-BaK1 ou encore N-SF11. Avantageusement, le prisme rétro-réflecteur peut être réalisé en un matériau présentant un indice de 10 réfraction suffisamment élevé pour garantir une réflexion totale du faisceau laser incident même lorsque celui-ci présente une divergence relative élevée, comme illustré sur la figure 1. Le prisme rétro-réflecteur peut être par exemple 15 être réalisé en N-BaK1 caractérisé par un indice de réfraction n=1,564 à une longueur d'onde de 852,1 nm, un tel indice de réfraction garantissant une réflexion totale pour un faisceau laser présentant un angle d'incidence sur la face de transmission 16 compris entre -8° et +8°. 20 Le polariseur linéaire 10 est illustré plus en détail sur la figure 2 et comporte un réseau métallique 17 sub-longueur d'onde. Ce réseau métallique 17 sub-longueur d'onde 25 comporte une pluralité de lames métalliques 18. Les lames métalliques 18 s'étendent parallèlement les unes aux autres selon une direction de lame métallique DM. Les lames métalliques 18 sont par ailleurs juxtaposées les unes par rapport aux autres selon une 30 direction passante DP du réseau métallique 17 perpendiculaire à la direction de lame métalliques DM. Par « réseau sub-longueur d'onde », on entend notamment que les lames métalliques sont juxtaposées les 3039657 14 unes par rapport aux autres avec une période spatiale selon la direction passante DP inférieure à la longueur d'onde du faisceau laser 5, sous incidence normale, divisée par l'indice de réfraction du substrat supportant les lames 5 métalliques, par exemple inférieure à environ 900 nm dans le cas d'une horloge atomique au césium. Les lames métalliques 18 sont par exemple réalisées en aluminium ou en or. Ainsi, le polariseur linéaire 10 peut par exemple 10 être formé par dépôt d'une couche de matériau métallique sur une plaquette - ou wafer - en verre 19, notamment une couche d'aluminium ou d'or. Dans un exemple de réalisation fourni à titre purement indicatif, le polariseur linéaire 10 est formé par 15 dépôt d'une couche d'aluminium d'une épaisseur de 300 nm mise en forme pour présenter des lames métalliques 18 espacées les unes des autres avec une période de 200 nm et ayant chacune une largeur de 90 nm selon la direction passante du réseau 17, c'est-à-dire présentant un facteur 20 de remplissage (largeur/période) de 0,45. Dans un autre exemple de réalisation fourni également à titre purement indicatif, le polariseur linéaire 10 est formé par dépôt d'une couche d'or d'une épaisseur de 350 nm mise en forme pour présenter des lames 25 métalliques 18 espacées les unes des autres avec une période de 200 nm et ayant chacune une largeur de 157 nm selon la direction passante du réseau 17, c'est-à-dire présentant un facteur de remplissage (largeur/période) de 0,45. 30 D'autres dimensionnements du polariseur linéaire 10, du réseau métallique 17 et des lames métalliques 18 sont bien évidemment envisageables. Le polariseur linéaire 10 est disposé en amont de 3039657 15 la zone d'entrée 12 du prisme rétro-réflecteur 9 de sorte à être traversé par un faisceau laser entrant 5b dans le prisme rétro-réflecteur 9 par la zone d'entrée 12. Le polariseur linéaire 10 est apte à imposer une polarisation 5 linéaire audit faisceau laser entrant 5b. Plus précisément, le polariseur linéaire 10 reçoit un faisceau laser initial 5a émis par le laser 3 et le transforme en un faisceau laser entrant 5b ayant une polarisation linéaire définie. 10 En effet, la composante du faisceau laser initial 5a incident qui est parallèle à la direction de lame métalliques DM est convertie en un déplacement d'électrons dans les lames métalliques 18 et donc absorbée par le polariseur linéaire 10, tandis que la composante du 15 faisceau laser initial 5a incident qui est parallèle à la direction passante DP du réseau métallique est laissée intacte dans le faisceau laser entrant 5b. Dans un mode de réalisation particulier de l'invention, le laser 3 d'émission, par exemple un laser à 20 cavité verticale (VCSEL pour Vertical Cavity Surface Emitting Laser), peut comporter un réseau qui garantit l'oscillation sur un seul mode de polarisation, notamment une polarisation linéaire fixée et connue. Dans ce mode de réalisation, le faisceau laser initial 5a peut alors 25 présenter une polarisation linéaire selon une direction de polarisation DL fixée par le laser 3. Il est important de noter que les contraintes d'assemblage du laser 3 dans le capteur atomique 1 rendent très délicat l'alignement précis de cette direction de 30 polarisation DL avec les autres éléments du capteur atomique comme la lame à biréfringence de forme 11, le prisme à réflexion 9 ou encore la cellule optique 2. Avantageusement, la polarisation linéaire du 3039657 16 faisceau laser initial 5a, émis par le laser 3 d'émission, est sensiblement alignée avec la direction passante DP du réseau métallique 17 du polariseur linéaire 10, c'est-à-dire que la direction de polarisation DL et la direction 5 passante DP du réseau métallique sont sensiblement alignées. Par « sensiblement alignée », on entend que les deux directions sont parallèles ou bien proche d'être parallèles, par exemple forment un angle inférieur à 10° 10 entre elles. Par ailleurs, le polariseur linéaire 10 est placé en regard de la face de transmission 16 du prisme rétro-réflecteur 9, en étant soit disposé sur ladite face de transmission 16 soit formés sur une plaquette - ou wafer - 15 en verre 19 en contact avec ladite face de transmission 16. Comme illustré sur la figure 2, le réseau métallique 17 du polariseur linéaire 10 peut notamment s'étendre dans un plan géométrique d'extension PP, formé par la direction passante DP et la direction de lame 20 métalliques DM, tel que ledit plan géométrique d'extension PP soit parallèle au plan géométrique d'extension P3 de la face de transmission 16. La direction passante DP du réseau métallique 17 peut en particulier être parallèle à la direction 25 d'intersection I entre les plans géométrique d'extension Pl, P2 des deux faces de réflexion 14, 15. De cette manière, la polarisation linéaire appliquée au faisceau laser entrant 5b est conservée lors des réflexions dans le prisme 9 et donc conservée dans le 30 faisceau laser sortant 5d. Par ailleurs, la lame à biréfringence de forme 11 est illustrée plus en détail sur la figure 3. La lame à 3039657 17 biréfringence de forme 11 est par exemple une lame à biréfringence de forme, ou à biréfringence artificielle. A cette fin, la lame à biréfringence de forme 11 comporte un réseau diélectrique 20 sub-longueur d'onde 5 d'ordre zéro. Ce réseau diélectrique 20 comporte une pluralité de lames diélectriques 21. Les lames diélectriques 21 s'étendent parallèlement les unes aux autres selon une direction de lame diélectrique DD. 10 Les lames diélectriques 21 sont par ailleurs juxtaposées les unes par rapport aux autres selon une direction de réseau diélectrique DR perpendiculaire à la direction de lame diélectrique DD. Par « réseau sub-longueur d'onde », on entend ici 15 également que les lames diélectriques sont juxtaposées les unes par rapport aux autres avec une période spatiale selon la direction de réseau diélectrique DR inférieure à la longueur d'onde du faisceau laser 5, sous incidence normale, divisée par l'indice de réfraction du substrat 20 supportant les lames diélectriques, par exemple inférieure à environ 900 nm dans le cas d'une horloge atomique au césium. Par « réseau diélectrique d'ordre zéro », en anglais « zero order grating », on entend un réseau 25 diélectrique dont la période séparant les lames diélectriques est suffisamment petite pour que le réseau diélectrique ne génère pas d'ordres de diffraction propagatifs excepté les ordres 0. Un tel réseau diélectrique d'ordre zéro permet de 30 contrôler le déphasage entre la composante transverse électrique et la composante transverse magnétique d'un faisceau laser incident, et donc la polarisation de la lumière sortante en fonction de la polarisation de la 3039657 18 lumière entrante. Les lames diélectriques 21 sont par exemple réalisées en verre ou en nitrure de silicium (Si3N4). Ainsi, la lame à biréfringence de forme 11 peut par 5 exemple être formée par dépôt d'une couche de nitrure de silicium (Si3N4) sur une plaquette - ou wafer - en verre 19, par exemple la plaquette - ou wafer - en verre 19 sur laquelle est formé le polariseur linéaire 10. Alternativement, la lame à biréfringence de forme 10 11 peut être formée en verre (silice), par exemple par gravure d'une plaquette - ou wafer - en verre 19, par exemple la plaquette - ou wafer - en verre 19 sur laquelle est formé le polariseur linéaire 10. Dans un exemple de réalisation fourni à titre 15 purement indicatif, la lame à biréfringence de forme 11 est formée par gravure d'une plaquette - ou wafer - en verre 19, mise en forme pour présenter des lames diélectriques 21 d'une épaisseur de 2710 nm espacées les unes des autres avec une période de 580 nm, le réseau diélectrique 20 20 présentant un facteur de remplissage (largeur/période) de 0,464. Le rapport d'aspect d'un tel réseau (épaisseur/largeur) est donc d'environ 10. Dans un autre exemple de réalisation fourni également titre purement indicatif, la lame à 25 biréfringence de forme 11 est formée par dépôt d'une couche de nitrure de silicium d'une épaisseur de 598 nm mise en forme pour présenter des lames diélectriques 21 espacées les unes des autres avec une période de 580 nm, le réseau diélectrique 20 présentant un facteur de remplissage 30 (largeur/période) de 0,331. Le rapport d'aspect d'un tel réseau (épaisseur/largeur) est donc d'environ 3. D'autres dimensionnements de la lame à biréfringence de forme 11, du réseau diélectrique 20 et des 3039657 19 lames diélectriques 21 sont bien évidemment envisageables. La lame à biréfringence de forme 11 est disposée en aval de la zone de sortie 13 du prisme rétro-réflecteur 9 de sorte à être traversé par un faisceau laser sortant 5d 5 du prisme rétro-réflecteur 9 par la zone d'entrée 13. La lame à biréfringence de forme 11 est apte à imposer une polarisation circulaire audit faisceau laser sortant 5d pour obtenir un faisceau laser mis en forme 5e. Un tel réseau diélectrique d'ordre zéro permet de 10 contrôler le déphasage entre la composante transverse électrique et la composante transverse magnétique d'un faisceau laser incident, et donc la polarisation de la lumière sortante en fonction de la polarisation de la lumière entrante. 15 En effet, comme détaillé ci-avant, le réseau diélectrique 20 permet de contrôler le déphasage entre la composante transverse électrique et la composante transverse magnétique d'un faisceau laser incident, et donc la polarisation de la lumière sortante en fonction de la 20 polarisation de la lumière entrante. Le réseau diélectrique 20 se comporte donc comme un matériau anisotrope, où l'anisotropie ne relève pas des propriétés intrinsèque du matériau mais dépend de la structure périodique réalisée à sa surface, qui est suffisamment petite pour manipuler 25 l'indice de réfraction artificiellement. Les dimensions du réseau diélectrique 20 sont déterminées de sorte à ce que, pour un faisceau sortant 5d ayant une polarisation linéaire, la polarisation du faisceau mis en forme 5e soit circulaire, et par exemple 30 présente une ellipticité de la polarisation circulaire inférieure à 1,1. Les exemples de réseau diélectriques 21 détaillés ci-dessus permettent d'obtenir une telle polarisation. 3039657 20 Pour adapter les dimensions du réseau diélectrique 20, on peut par exemple mettre en oeuvre les équations des théories du milieu effectif (en anglais « EMT »). A ce sujet, il est également fait référence aux indications du 5 document "Submicrometer periodicity gratings as artificial anisotropic dielectrics," de D. C. Flanders, paru dans la revue Appl. Phys. Lett. 42, 492-494 (1983). Par ailleurs, la lame à biréfringence de forme 11 est placé en regard de la face de transmission 16 du prisme 10 rétro-réflecteur 9, en étant soit disposé sur ladite face de transmission 16 soit formés sur une plaquette - ou wafer - en verre 19 en contact avec ladite face de transmission 16. Ainsi par exemple, le polariseur linéaire 10 et la 15 lame à biréfringence de forme 11 peuvent être disposés côte à côte sur la plaquette - ou wafer - en verre 19. Comme illustré sur la figure 3, le réseau diélectrique 20 de la lame à biréfringence de forme 11 peut notamment s'étendre dans un plan géométrique d'extension 20 PL, formé par la direction de lame diélectrique DD et la direction de réseau diélectrique DR, tel que ledit plan géométrique d'extension PL soit parallèle au plan géométrique d'extension P3 de la face de transmission 16. Par ailleurs, le plan géométrique d'extension PL du 25 réseau diélectrique 20 peut être parallèle au plan géométrique d'extension PP du réseau métallique 17. Plus particulièrement, la direction de lame diélectrique DD du réseau diélectrique 21 peut former un angle de 45° avec la direction de lame métallique DM. 30 De manière similaire, étant donné que la direction de réseau diélectrique DR et la direction de lame diélectrique DD du réseau diélectrique 21 sont perpendiculaires, la direction de réseau diélectrique DR 3039657 21 peut former un angle de 45° avec la direction de lame métallique DM. Ou encore, étant donné que la direction passante DP du réseau métallique et la direction de lame métallique DM 5 du réseau métallique 17 sont perpendiculaires, la direction passante DP du réseau métallique peut former un angle de 45° avec la direction de réseau diélectrique DR ou la direction de lame diélectrique DD. De ces manières, le faisceau laser mis en forme 5e 10 peut présenter une polarisation circulaire. REVENDICATIONS1. Dispositif (8) de mise en forme d'un faisceau laser (5), destiné notamment à être inclus dans un capteur 5 atomique (1) tel qu'une horloge atomique, un magnétomètre atomique ou un gyromètre atomique, en étant associé, d'une part, à un laser (3) d'émission d'un faisceau laser (5), et, d'autre part, à une cellule (2) à vapeur alcaline comprenant une cavité (6) emplie d'un gaz apte à être 10 pénétrée par un faisceau laser mis en forme (5e) et à un photodétecteur de réception (4) d'un faisceau laser ayant pénétré la cellule, le dispositif de mise en forme comprenant un prisme rétro-réflecteur (9) comportant une zone d'entrée (12) d'un 15 faisceau laser entrant (5b), une zone de sortie (13) d'un faisceau laser sortant (5d) ainsi que deux faces de réflexion (14, 15) d'un faisceau laser interne (5c), lesdites faces de réflexion formant entre elles un angle droit, 20 le dispositif de mise en forme étant caractérisé en ce qu'il comprend en outre un polariseur linéaire (10) disposé en amont de la zone d'entrée (12) du prisme rétro-réflecteur (9) de sorte à être traversé par un faisceau laser entrant (5b) dans le 25 prisme rétro-réflecteur par la zone d'entrée et apte à imposer une polarisation linéaire audit faisceau laser entrant, et une lame à biréfringence de forme (11) disposée en aval de la zone de sortie (13) du prisme rétro-réflecteur 30 de sorte à être traversée par un faisceau laser sortant (5d) du prisme rétro-réflecteur par la zone de sortie et apte à imposer une polarisation circulaire audit faisceau laser sortant pour obtenir un faisceau laser mis en forme 3039657 23 (5e) . 2. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel le polariseur linéaire (10) comporte un réseau métallique 5 (17) sub-longueur d'onde, et dans lequel le réseau métallique sub-longueur d'onde du polariseur linéaire comporte une pluralité de lames métalliques (18) s'étendant parallèlement les unes aux autres selon une direction de lame métallique (DM) et étant juxtaposées les unes par 10 rapport aux autres selon une direction passante du réseau métallique (DP) perpendiculaire à la direction de lame métalliques. 3. Dispositif selon la revendication 2, dans lequel 15 la direction passante (DP) du réseau métallique (17) est parallèle à une direction d'intersection (I) entre des plans géométrique d'extension (P1, P2) respectifs des deux faces de réflexion (14, 15). 20 4. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel la lame à biréfringence de forme (11) comporte un réseau diélectrique (20) sublongueur d'onde d'ordre zéro, et dans lequel le réseau diélectrique sub-longueur d'onde d'ordre zéro de la lame à 25 biréfringence de forme comporte une pluralité de lames diélectriques (21) s'étendant parallèlement les unes aux autres selon une direction de lame diélectrique (DD) et étant juxtaposées les unes par rapport aux autres selon une direction de réseau diélectrique (DR) perpendiculaire à la 30 direction de lame diélectrique. 5. Dispositif selon la revendication 4 et l'une quelconque des revendications 2 et 3, dans lequel la 3039657 24 direction de lame diélectrique (DD) forme un angle de 45° avec la direction de lame métallique (DM). 6. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel le polariseur linéaire (10) et la lame à biréfringence de forme (11) sont disposés côte à côte sur une plaquette - ou wafer - en verre (19). 7. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel la zone d'entrée (12) et la zone de sortie (13) du prisme rétro-réflecteur (9) forment deux portions d'une face de transmission (16) du prisme rétro-réflecteur, et dans lequel le polariseur linéaire (10) et la lame à biréfringence de forme (11) sont placés en regard de ladite face de transmission(16) , étant soit formés sur ladite face de transmission (16) soit formés sur une plaquette - ou wafer - en verre (19) placée en regard de ladite face de transmission (16). 8. Procédé de fabrication d'un dispositif (8) de mise en forme d'un faisceau laser (5) destiné notamment à être inclus dans un capteur atomique (1) tel qu'une horloge atomique, un magnétomètre atomique ou un gyromètre atomique, en étant associé, d'une part, à un laser (3) d'émission d'un faisceau laser (5), et, d'autre part, à une cellule (2) à vapeur alcaline comprenant une cavité (6) emplie d'un gaz apte à être pénétrée par un faisceau laser mis en forme (5e) et à un photodétecteur de réception (4) d'un faisceau laser ayant pénétré la cellule, dans lequel : - on dispose d'un prisme rétro-réflecteur (9) comportant une zone d'entrée (12) d'un faisceau laser entrant (5b), une zone de sortie (13) d'un faisceau laser sortant (5d) ainsi que deux faces de réflexion (14, 15) 3039657 25 d'un faisceau laser interne (5c), lesdites faces de réflexion formant entre elles un angle droit, - on forme et on dispose un polariseur linéaire (10) apte à imposer une polarisation linéaire à un faisceau 5 laser entrant (5b) et disposé en amont de la zone d'entrée (12) du prisme rétro-réflecteur de sorte à être traversé par un faisceau laser entrant dans le prisme rétro-réflecteur par la zone d'entrée, et - on forme et on dispose une lame à biréfringence 10 de forme (11) apte à imposer une polarisation circulaire à un faisceau laser sortant (5d) et disposée en aval de la zone de sortie (13) du prisme rétro-réflecteur de sorte à être traversée par un faisceau laser sortant du prisme rétro-réflecteur par la zone de sortie. 15 9. Procédé selon la revendication 8, dans lequel on forme le polariseur linéaire (10) par dépôt d'une couche de matériau métallique sur une plaquette - ou wafer - en verre (19), notamment une couche d'aluminium ou 20 d'or, et on forme la lame à biréfringence de forme (11) sur ladite plaquette - ou wafer - en verre (19) soit par dépôt d'une couche de matériau diélectrique, notamment une couche de nitrure de silicium, sur ladite plaquette - ou wafer - 25 en verre soit par gravure de ladite plaquette - ou wafer en verre, on dispose le polariseur linéaire (10) en amont de la zone d'entrée (12) du prisme rétro-réflecteur et la lame à biréfringence de forme (11) en aval de la zone de sortie 30 (13) du prisme rétro-réflecteur (9) en plaçant la plaquette - ou wafer - en verre (19) en regard d'une face de transmission (16) du prisme rétro-réflecteur (9), la zone d'entrée (12) et la zone de sortie (13) du prisme rétro- 3039657 26 réflecteur formant deux portions de ladite face de transmission (16). 10. Procédé selon la revendication 8, dans lequel 5 on forme et on dispose le polariseur linéaire (10) en amont de la zone d'entrée (12) du prisme rétro-réflecteur (9) par dépôt d'une couche de matériau métallique, notamment une couche d'aluminium ou d'or, sur une face de transmission (16) du prisme rétro-réflecteur 10 (9), la zone d'entrée (12) du prisme rétro-réflecteur (9) formant une portion de ladite face de transmission (16), et on forme et on dispose la lame à biréfringence de forme (11) en aval de la zone de sortie (13) du prisme rétro-réflecteur (9) soit par dépôt d'une couche de 15 matériau diélectrique, notamment une couche de nitrure de silicium, sur la face de transmission (16) du prisme rétro-réflecteur (9), la zone de sortie (13) du prisme rétro-réflecteur formant une portion de ladite face de transmission (16), soit par gravure de ladite face de 20 transmission (16). 11. Capteur atomique (1) comportant un dispositif (8) de mise en forme d'un faisceau laser (5) selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, associé, de façon 25 compacte, d'une part, à un laser (3) d'émission d'un faisceau laser (5) et, d'autre part, à une cellule (2) à vapeur alcaline comprenant une cavité (6) emplie d'un gaz apte à être pénétrée par un faisceau laser mis en forme (5e) et un photodétecteur de réception (4) d'un faisceau 30 laser (5) ayant pénétré la cellule. 12. Capteur atomique (1) selon la revendication 11, dans lequel une direction préférentielle de polarisation 3039657 27 (DL) d'un faisceau laser (5) émis par le laser (3) d'émission est sensiblement alignée avec la direction passante (DP) du réseau métallique (17) du polariseur linéaire (10).