Brevet FR3039647A1 — publié le 20170203

Procédé d'analyse d'impuretés organiques présentes à la surface d'un substrat, et dispositif de collecte des impuretés organiques à la surface d'un substrat Domaine technique de l'invention L'invention est relative à un procédé d'analyse d'impuretés organiques présentes à la surface d'un substrat, et à un dispositif de collecte d'impuretés organiques présentes à la surface dudit substrat. État de la technique La fabrication de plaquettes de silicium destinées à la fabrication de cellules photovoltaïques est réalisée par découpes de lingots de silicium. Au cours de cette étape de fabrication, les plaquettes sont contaminées par des éléments tels que des résidus organiques. Cette contamination pose plusieurs problèmes. Le premier concerne la contamination des outils de fabrication de cellules photovoltaïques qui sont bien souvent disposés en salle blanche. Le second problème est relatif à la dégradation des performances de la cellule photovoltaïque à cause des réflexions parasites dues aux résidus organiques qui n'ont pas été éliminés. Aussi, pour éviter ce genre d'ennuis, il est primordial de connaître la nature des contaminants présents sur les plaquettes de silicium obtenues à partir d'un même lingot, de sorte à réaliser un nettoyage adapté avant toute étape ultérieure de fabrication des cellules photovoltaïques. 3039647 2 Des techniques permettant de déterminer le type d'impuretés organiques à la surface d'un substrat sont déjà connues. Elles présentent l'avantage de permettre une détection d'impuretés en très faible quantité. 5 L'une des techniques les plus courantes pour analyser la nature des résidus organiques présents à la surface d'un substrat consiste dans un premier temps à réaliser une analyse de la plaquette par thermodésorption, suivie d'une chromatographie en phase gazeuse couplée à une analyse par spectroscopie de masse. Cette méthode est encore appelée la TD-GC-MS 10 ou « ThermoDesorption - Gas Chromatography - Mass Spectroscopy » en anglais. Elle permet de déterminer avec précision quels sont les contaminants volatiles présents sur la surface du substrat, mais elle présente l'inconvénient de ne pas détecter les résidus présents à la surface et qui ne peuvent pas passer en phase gazeuse. Cette technique est par ailleurs 15 complexe et coûteuse à mettre en oeuvre, ce qui la rend peu accessible pour réaliser des analyses de routine. Un procédé alternatif à la TD-GC-MS est l'analyse par Spectroscopie Infrarouge à Transformée de Fourier, encore appelée FTIR ou « Fourier 20 Transform InfraRed Spectroscopy ». Celle-ci peut être mise en oeuvre de trois façons différentes selon la nature de l'échantillon à analyser. Les analyses peuvent être réalisées en incidence rasante, en transmission, ou en réflexion totale atténuée encore appelée ATR ou « Attenuated Total Reflection » en anglais. 25 Ces trois techniques permettent d'obtenir des informations probantes pour l'étude de molécules organiques, mais la méthode ATR est la plus adaptée. Celle-ci consiste à accoler un cristal à la surface à analyser, et à éclairer la surface à travers le cristal au moyen d'un rayonnement infrarouge. Une 30 partie de l'énergie du faisceau incident subit des réflexions multiples dans le cristal puis parvient jusqu'à un détecteur, tandis qu'une autre partie de 3039647 3 l'énergie est transmise à la surface à analyser sous forme d'ondes évanescentes. Le spectre de Fourier de la lumière arrivant finalement sur le détecteur est caractéristique de la surface analysée. Cela permet de déterminer la nature des résidus organiques présents sur le substrat. 5 Cette technique peut être efficace si la rugosité de la surface est faible, et de préférence inférieure à 0,2 pm. Si la rugosité est plus élevée, le contact entre le cristal et la surface à analyser n'est pas continu, ce qui entraîne des réflexions parasites et diminue fortement la qualité du spectre de Fourier 10 obtenu. Pour utiliser cette méthode d'analyse, il est donc nécessaire de polir la surface du substrat. Cette étape de polissage est non seulement longue et coûteuse, mais elle présente aussi l'inconvénient de modifier les paramètres 15 caractéristiques de la pollution à la surface du substrat (nature des contaminants, concentration, etc.). Il est par ailleurs nécessaire d'avoir un substrat de référence pour soustraire le spectre du substrat de référence du spectre global mesuré. Or il est vain 20 de vouloir se procurer un substrat de nature identique et qui soit exempt de tout contaminant. En effet, tant que les analyses ne sont pas réalisées, le type de résidus organiques présents sur la surface du substrat n'est pas connu de manière précise, et la surface ne peut donc être nettoyée de manière appropriée. 25 Aucune technique d'analyse de résidus organiques présents sur la surface d'un substrat n'est réellement concluante pour déterminer avec précision quelles sont les impuretés, et mettre en place un protocole de nettoyage adéquat. 30 3039647 4 Objet de l'invention Un objet de l'invention consiste en une méthode d'analyse d'impuretés organiques à la surface d'un substrat qui soit fiable, facile à mettre en oeuvre 5 et bon marché. La méthode comporte avantageusement les étapes suivantes : - fournir un substrat comportant une première face principale, - fournir un film polymère ayant un module d'Young inférieur à 3 GPa, 10 - appliquer le film polymère contre la première face principale du substrat pour récupérer des impuretés organiques présentes sur la première face principale, - analyser le film polymère par Spectroscopie Infrarouge à Transformée de Fourier, de sorte à obtenir un spectre de Fourier, 15 - déterminer la composition chimique des impuretés organiques présentes à la surface du film polymère à partir de la comparaison entre le spectre de Fourier et un spectre de Fourier de référence. Selon un aspect de l'invention, le film polymère peut de préférence avoir un 20 module d'Young inférieur à 2 GPa. Il peut également avoir une épaisseur supérieure à 50 pm. Il est de façon générale choisi parmi la famille des polymères aliphatiques saturés, de préférence sans liaison 0-H, C-0, N-H, C=0, en particulier dans 25 la famille des thermoplastiques semicristallins, par exemple en polyéthylène, en polypropylène, en polyméthylpentène, en polybutène-1. Il peut également être choisi dans la famille des élastomères tels que le polyisobutylène, les copolymères éthylène-propylène ou encore parmi les films à base de paraffine. 30 3039647 5 L'analyse du film polymère par Spectroscopie Infrarouge à Transformée de Fourier peut être de préférence une analyse FTIR-ATR, durant laquelle la face du film polymère ayant été appliquée sur le substrat est placée contre un cristal servant d'élément de réflexion interne. Ce cristal peut par exemple 5 être un cristal de germanium ou de carbone diamant. Selon un mode de mise en oeuvre particulier, le film polymère peut être appliqué sur le substrat avec une pression comprise entre 104 et 105 Pa. Le film polymère peut être posé sur le substrat et subir au moins une phase 10 d'augmentation de pression suivie d'une phase de diminution de pression. Par ailleurs, la méthode d'analyse peut comprendre des étapes préalables suivantes . - fournir un film polymère de référence, 15 - analyser le film polymère de référence par Spectroscopie Infrarouge à Transformée de Fourier, de sorte à obtenir le spectre de Fourier de référence. Dans ce cas, la comparaison entre le spectre de Fourier et le spectre de 20 Fourier de référence peut être obtenue par soustraction du spectre de Fourier de référence au spectre de Fourier. L'invention concerne également un dispositif de collecte d'impuretés organiques sur une face principale d'un substrat. Celui-ci comporte 25 avantageusement : - un support de substrat, - des moyens de déplacement d'une tête configurée pour être en contact avec le substrat disposé sur le support de substrat, la tête étant recouverte d'un film polymère amovible, 30 - un système de commande configuré pour contrôler les moyens de déplacement et la pression exercée par la tête sur le substrat. 3039647 6 Selon un aspect de l'invention, la tête peut être une tête métallique. Celle-ci peut être recouverte d'une couche amortissante. 5 Selon un mode de réalisation particulier du dispositif, les moyens de déplacement peuvent permettre à la fois le déplacement vertical et horizontal de la tête. Ils peuvent également comprendre des moyens de mémorisation de la trajectoire de la tête. 10 Le dispositif peut également comprendre des moyens de maintien du substrat sur le support. L'invention concerne enfin un système d'analyse d'impuretés comprenant un dispositif de collecte comportant les caractéristiques précitées, ainsi qu'un 15 spectromètre infrarouge à transformée de Fourier configuré pour réaliser des analyses FTIR-ATR. Description sommaire des dessins 20 D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la description qui va suivre de modes particuliers de réalisation de l'invention donnés à titre d'exemples non limitatifs et représentés aux dessins annexés, dans lesquels : 25 - les figures 1 à 3 illustrent de façon schématique un mode de mise en oeuvre de la méthode d'analyse des impuretés à la surface d'un substrat, - la figure 4 représente des spectres de Fourier d'un film polymère de référence et de deux films polymères, - la figure 5 présente le spectre résiduel des résidus organiques, 30 - la figure 6 présente un mode de réalisation d'un dispositif de collecte de résidus organiques, 3039647 7 - la figure 7 illustre schématiquement, en vue de dessus, une trajectoire possible de la tête du dispositif de collecte sur le substrat. 5 Description détaillée Un lingot monocristallin obtenu par croissance cristalline est généralement découpé au moyen d'une scie à fil diamant de sorte à former un lot de plaquettes. Ces plaquettes sont elles-mêmes découpées par la suite afin de 10 réaliser des cellules photovoltaïques par exemple. Les huiles utilisées lors de la découpe du lingot sont en partie éliminées par un nettoyage grossier, mais des traces subsistent et sont préjudiciables lors du procédé de fabrication de cellules photovoltaïques. Les résidus 15 organiques contaminent les outils utilisés pour la fabrication, et dégradent les performances des cellules réalisées. Aussi, la nature des contaminants de l'une des plaquettes doit être déterminée de manière précise pour mettre en oeuvre un protocole global de 20 nettoyage adapté à un lot de plaquettes issu d'un même lingot et/ou des mêmes outils de transformation. Des analyses FTIR sont conseillées car elles permettent de déterminer avec précision quelle est la composition chimique d'une surface. Les analyses 25 FTIR-ATR sont en particulier bien adaptées à l'étude de composés organiques mais pour donner des informations détaillées, il faut que la surface étudiée soit polie optiquement, c'est-à-dire qu'elle ait une rugosité inférieure à 0,2 dam. 30 Obtenir une telle rugosité est impossible pour des plaquettes sciées avec une scie à fil diamanté. Un aspect de l'invention consiste donc à collecter à la 3039647 8 surface 2a d'un film polymère 2 des impuretés organiques 3 présentes initialement sur une plaquette ou plus généralement sur un substrat 1. L'analyse des contaminants est avantageusement réalisée avant l'étape de polissage afin d'éviter de polluer les outils utilisés pour le polissage. 5 Pour que les résidus organiques 3 soit déplacés d'une première face principale la du substrat 1 à la surface 2a du film polymère 2, le film polymère 2 est placé au moins une fois contre la première face principale la du substrat 1. Cela correspond à l'étape de mise en oeuvre illustrée à la 10 figure 1. Lors de la mise en contact du substrat 1 et du film polymère 2, une certaine quantité d'impuretés organiques 3 présentes à la surface du substrat 1 est transférée à la surface 2a du film polymère 2 (cf. figure 2). La surface 2a est 15 ensuite analysée par Spectroscopie Infrarouge à Transformée de Fourier, afin d'obtenir un spectre de Fourier caractéristique de sa composition chimique (cf. figure 3). On notera que les figures 1 à 3 ne sont pas réalisées à l'échelle, et que les 20 impuretés organiques 3 ont une épaisseur bien moindre (de quelques nanomètres à quelques microns) que l'épaisseur du film polymère 2 (quelques dizaines de microns) et du substrat 1 (quelques centaines de microns). 25 A ce stade, le spectre de Fourier contient à la fois une information sur le film polymère 2 et sur la nature des impuretés organiques 3 présentes sur la surface 2a. Pour déterminer quelles sont les impuretés organiques 3, le spectre de Fourier doit être comparé à un spectre de Fourier de référence qui est caractéristique du film polymère dépourvu de tout résidu organique, ou 30 dépourvu des impuretés organiques à éliminer. 3039647 9 Le spectre de référence peut par exemple être obtenu à partir de l'analyse par Spectroscopie Infrarouge à Transformée de Fourier du film polymère 2 avant que ce dernier soit placé contre le substrat 1. Il peut également être déterminé à partir d'un autre film polymère 2 issu de préférence de la même 5 plaque de polymère pour que les rugosités du film de référence et du film sur lequel se trouvent les impuretés soient comparables. La comparaison entre les deux spectres de Fourier est réalisée par la soustraction du spectre de Fourier de référence au spectre de Fourier du film polymère 2 qui a été contaminé par les impuretés organiques 3. 10 Les propriétés du film polymère 2 doivent être judicieusement choisies pour que le spectre de Fourier permette de déterminer avec précision quelles sont les impuretés présentes sur la surface 2a. 15 Le film polymère 2 a de préférence un module d'Young inférieur à 3 GPa. Il est de façon avantageuse inférieur à 2GPa et il peut être supérieur à 1MPa et encore avantageusement supérieur à 100MPa. Un tel module d'Young confère une ductilité suffisante au matériau pour que ce dernier puisse être déformé sans se rompre. Utiliser un film polymère ayant cette propriété 20 permet donc d'exercer des contraintes sur le film lors de la collecte des impuretés (positionnement du film sur la tête du dispositif de collecte comme on le verra plus loin, et adaptation à la rugosité du substrat), et lors des analyses FTIR-ATR (positionnement du film contre le cristal de sorte à réaliser un contact intime). Ceci permet en particulier de limiter la perte de 25 signal infrarouge lors des analyses. Le film polymère 2 doit par ailleurs résister aux frottements lors de la collecte des impuretés sur le substrat 1. S'il est trop fin, celui-ci peut être endommagé et donc il est préférable que l'épaisseur du film polymère 2 utilisé soit 30 supérieure à 50 dam. S'il est trop épais, le film polymère 2 peut devenir trop rigide pour que la collecte d'impuretés organiques 3 soit efficace et que les 3039647 10 analyses ultérieures soient réalisées de manière précise. Le film polymère a donc de préférence une épaisseur inférieure à 500 pm. La nature chimique du film polymère 2 joue également un rôle important, car 5 la contribution des résidus organiques 3 sur le spectre de Fourier doit se distinguer facilement de celle du film 2. Le polymère choisi pour réaliser le film 2 a de préférence une chaîne ne comportant que des liaisons C-H, pour avoir une absorbance très faible afin d'influencer le moins possible le spectre de Fourier. Il est de plus avantageusement inerte chimiquement et 10 hydrophobe. Il est de préférence choisi de façon générale parmi la famille des polymères aliphatiques saturés, de préférence sans liaison 0-H, C-0, N-H, C=0, et en particulier dans la famille des thermoplastiques semi-cristallins. Le film 15 polymère peut par exemple être en polyéthylène, en polypropylène, en polyméthylpentène (PMP), polybutène-1 (PB-1), être choisi dans la famille des élastomères tels que le polyisobutylène (PIB), les copolymère éthylène-propylène (EPR pour ethylene propylene rubber ou EPM) ou encore parmi les films à base de paraffine. Afin de garantir la souplesse du matériau et 20 donc la qualité des mesures FTIR, lorsque le film est en polyéthylène, il est préférable que le polyéthylène soit de basse densité. Au delà des propriétés qui viennent d'être énoncées, le polyéthylène présente l'intérêt d'être translucide et donc de permettre la visualisation des 25 impuretés organiques 3 sur la surface 2a du film 2. Ce polymère présente également la particularité d'être inerte, et donc de ne pas réagir chimiquement avec les impuretés organiques 3 lors de la collecte. Selon un mode particulier de mise en oeuvre du procédé, les analyses par 30 Spectroscopie Infrarouge à Transformée de Fourier peuvent être réalisées à l'aide d'un module ATR. 3039647 11 Dans ce cas, la surface 2a du film polymère 2 ayant été en contact avec la première face principale la du substrat 1 est placée contre un cristal 4 du module ATR servant d'élément de réflexion interne. Le film polymère 2 peut 5 être simplement placé contre le cristal 4 ou pressé contre ce dernier afin de réaliser un contact intime. Le maintien du film polymère 2 est par exemple réalisé au moyen d'une vis dynamométrique, de sorte à exercer une pression de quelques N/mm, de 10 préférence inférieure à 50 N/mm, et avantageusement inférieure à 10 N/mm. L'avantage de ce type de système est de permettre un serrage reproductible des films polymères, et donc de réaliser facilement des analyses comparatives de différents films. 15 Il est avantageux d'avoir un bon contact entre le film 2 et le cristal 4, pour que les réflexions parasites soient peu nombreuses et donc augmenter le rapport signal sur bruit. Le spectre de Fourier obtenu est plus précis, et la détermination de la nature des résidus organiques présents à la surface 2a du film 2 est facilitée. 20 Différents cristaux 4 peuvent être utilisés pour réaliser les analyses FTIRATR. Ceux-ci peuvent être par exemple en silicium, en germanium ou en diamant. Le germanium est préféré ici pour son indice de réfraction élevé permettant de multiplier les réflexions dans le cristal. Le faisceau lumineux 25 utilisé lors des analyses FTIR-ATR parcourt le chemin 5 schématiquement représenté à la figure 3. La collecte des impuretés présentes sur la première face principale la peut être réalisée suivant différents protocoles qu'il est possible d'ajuster par 30 exemple en fonction de la quantité de résidus organiques 3 visibles sur le substrat 1. Le film polymère 2 peut par exemple être pressé contre la 3039647 12 première face principale la du substrat 1, et éventuellement être déplacé à la surface, de sorte à collecter un maximum d'impuretés. Selon une mise en oeuvre particulière, le film polymère 2 peut être appliqué 5 sur le substrat 1 avec une pression comprise entre 104 et 105 Pa pour collecter un pourcentage élevé d'impuretés 3 tout en gardant le film 2 intact. Il est également possible de collecter de manière répétée des impuretés organiques 3 présentes sur un substrat 1 à l'aide d'un même film polymère 2, 10 de façon à augmenter la quantité de résidus à analyser et à déterminer de manière plus précise quelles sont leurs caractéristiques chimiques. Pour réaliser la collecte de manière répétée, la pression exercée lors de l'application du film polymère sur le substrat peut être variable, et comprendre au moins une phase d'augmentation de pression et au moins 15 une phase de diminution de pression. La figure 4 présente plusieurs spectres de Fourier obtenus lors d'analyses FTIR-ATR réalisées respectivement sur un film polymère propre (courbe B), un premier film polymère (courbe A) et sur un deuxième film polymère 20 (courbe C). On observe en particulier que les spectres de Fourier sont très différents dans les zones 1000-1300 cm-1, 1550-1700 cm-1, et 3000-3600 cm', ce qui traduit la présence d'impuretés en concentrations différentes sur les premier et deuxième films polymères. 25 Si avantageusement une pression identique a été appliquée lors de la collecte des impuretés, il est possible de comparer les deux courbes A et C. Les pics du spectre de Fourier du deuxième film polymère étant plus élevés que ceux du spectre de Fourier du premier film polymère, on en déduit que la concentration en impuretés est plus élevée sur le deuxième film que sur le 30 premier. Cela peut être dû à l'application du film polymère sur un substrat plus sale, ou à une application plus longue ou répétitive sur le substrat. 303 964 7 13 Pour exploiter les données obtenues lors des analyses FTIR-ATR, une comparaison doit être réalisée entre le spectre caractéristique des films polymères contaminés, et un spectre de référence. Le spectre de référence 5 peut par exemple être un spectre caractéristique du film polymère propre issu de données de la littérature, ou être un spectre obtenu par analyse FTIR-ATR sur le film polymère propre avant que celui-ci soit contaminé par les résidus organiques 3 du substrat 1. Si le film polymère 2 placé contre le substrat 1 correspond à une partie d'une plaque de plus grande dimension, il 10 est également possible d'utiliser le spectre obtenu par analyse FTIR-ATR d'une partie de la plaque différente de la partie utilisée pour l'analyse des impuretés organiques 3. Les deuxième et troisième solutions sont préférées pour réaliser une comparaison de qualité, et donc obtenir des informations précises sur la nature chimique des impuretés organiques 3. 15 Le spectre de Fourier du film polymère contaminé par les résidus organiques 3 et le spectre de Fourier de référence d'un film polymère propre peuvent être comparés l'un à l'autre par soustraction, de sorte que le spectre de Fourier résiduel corresponde uniquement au spectre de Fourier des 20 impuretés organiques 3. L'exploitation des spectres de Fourier des films polymères permet d'obtenir un spectre résiduel tel que celui représenté à la figure 5. Le premier pic observé dans la zone 1000-1300 cm-lest caractéristique d'une liaison simple 25 C-0 dans un mode de vibration d'élongation. La gamme de nombre d'onde, ainsi que la forte intensité du pic traduisent la présence de molécules comprenant des groupes alcools sur le film polymère 2. Le deuxième pic situé dans la zone 1550-1700 cm-1 révèle la présence de 30 composés comprenant d'une liaison double C=0 dans un mode de vibration d'élongation. La position et l'intensité du pic dans le spectre de Fourier sont 3039647 14 caractéristiques de molécules comportant des liaisons C=0 telles que les groupes amides, cétones, aldéhydes ou esthers. Enfin le pic situé dans la troisième zone 3000-3600 cm-1 peut être 5 caractéristique à la fois d'une liaison simple N-H présente dans un groupe amide dans un mode de vibration d'élongation, d'une liaison simple 0-H d'un groupe alcool dans un mode de vibration d'élongation liée, ou d'une liaison simple 0-H d'un groupe alcool dans un mode de vibration d'élongation libre. 10 A partir de ces caractéristiques chimiques, les fonctions chimiques présentes dans les résidus organiques 3 peuvent être déterminées, ce qui peut permettre de retrouver la nature des résidus, en couplant par exemple ces résultats à des analyses chromatographiques. 15 Les impuretés organiques 3 présentes à la surface du substrat 1 peuvent avantageusement être ramassées au moyen d'un dispositif de collecte 10 tel que celui représenté à la figure 6. Le dispositif 10 comporte un support 11 de substrat 1, comme par exemple 20 une platine. Ce support 11 peut par exemple être conçu pour se déplacer horizontalement et verticalement afin de s'adapter aux contraintes de l'utilisateur. Il se peut en effet que le substrat 1 soit plus ou moins épais, et plus ou moins grand, et qu'il faille le déplacer verticalement ou horizontalement pour réaliser la collecte d'impuretés organiques 3. 25 Pour éviter tout mouvement intempestif du substrat 1 par rapport au support 11, le substrat 1 peut être fixé sur le support 11 à l'aide de moyens de maintien (non représentés). Ceux-ci peuvent par exemple être des clips fixés sur le support 11 et configurés pour pincer les bords du substrat 1. Ils 30 peuvent également comprendre des lames pivotantes destinées à bloquer le substrat 1 lorsqu'elles sont placées sur les bords. Ces moyens de maintien 3039647 15 ne sont toutefois pas optimaux lorsque le substrat 1 est peu épais et que la face principale la a une rugosité de surface très faible. Les moyens de maintien pourraient en effet fragiliser le substrat 1, voir même les casser, ou rayer la surface de manière irréversible. 5 En alternative, il est possible de maintenir le substrat 1 sur le support 11 et de l'empêcher de bouger en exerçant une dépression entre le substrat 1 et le support 11. L'aspiration peut par exemple être réalisée avec une pompe à vide. Ce genre de système présente l'avantage de ne pas endommager le 10 substrat 1 et en particulier la première face principale la qui est ici la face opposée au support 11. Pour ramasser les impuretés présentes sur le substrat 1, le dispositif 10 comporte une tête 12 avantageusement recouverte du film polymère 2. 15 Comme évoqué en relation avec la méthode d'analyse d'impuretés organiques 3, le film polymère 2 peut avantageusement être réalisé dans un polymère choisi parmi les polyoléfines. Le film polymère 2 est avantageusement monté de manière amovible sur la 20 tête 12 pour pouvoir être enlevé à la fin du processus de collecte, et appliqué contre le cristal 4 afin de réaliser l'analyse FTIR-ATR. La tête 12 recouverte du film polymère 2 peut être déplacée verticalement afin d'être mise en contact avec le substrat 1 et d'exercer une pression à la 25 fois suffisante pour permettre la collecte d'impuretés organiques 3, mais également suffisamment faible pour ne pas casser le substrat 1. Par exemple, pour un substrat 1 tel qu'une plaquette de silicium ayant une épaisseur minimale de 50 dam et par exemple comprise entre 80 dam et 2000 dam, la pression exercée par la tête 12 sur le substrat 1 doit être comprise 30 entre 104 et 105 Pa. 3039647 16 Pour que la pression exercée par la tête 12 sur le substrat 1 soit suffisante, le matériau de la tête 12 doit être choisi de sorte que son module d'Young ne soit pas trop faible et qu'elle ne soit pas déformée lorsqu'elle est appliquée sur le substrat 1. Le matériau de la tête 12 peut par exemple être choisi 5 parmi les métaux et les alliages métalliques. La tête 12 peut avantageusement être recouverte d'une couche amortissante 13 destinée à empêcher la détérioration du substrat 1 et de la couche polymère 2 lors de la collecte. La couche amortissante 13 a de préférence un 10 module d'Young inférieur à 500 MPa, et avantageusement inférieur à 100 MPa. Elle peut par exemple être réalisée en silicone, en mousse ou en caoutchouc. La tête 12 est déplacée par des moyens de déplacement 14 comprenant un 15 ressort 14a monté sur un bras articulé 14b. Ce mécanisme permet un déplacement de la tête à la fois horizontal et vertical. Les moyens de déplacement 14 sont dirigés par un système de commande 15 contrôlant également la pression exercée par la tête sur le substrat 1. Le système de commande 15 peut également comporter des moyens de mémorisation 20 capables d'enregistrer les coordonnées tridimensionnelles de la tête 12, et donc de mémoriser sa trajectoire ou de préenregistrer un parcours à effectuer. Lors de la collecte, il envisageable de réaliser un réglage spatial grossier du 25 dispositif 10 au moyen de la tête 12 et du support 11 de substrat 1, de sorte à centrer la tête horizontalement par rapport au substrat 1, et à maintenir cette dernière à une faible distance du substrat 1. Ensuite, la collecte d'impuretés organiques 3 peut commencer en déplaçant latéralement le support 11 de substrat 1, et en déplaçant verticalement la tête 12. Des cycles 30 d'augmentation et de diminution de pression peuvent par exemple être mis 3039647 17 en oeuvre afin de récolter une quantité d'impuretés dopantes suffisante pour réaliser les analyses FTIR-ATR. La figure 7 présente à ce titre un exemple de trajectoire que la tête 12 peut 5 réaliser en étant placée contre le substrat 1. La trajectoire de la tête 12 peut également être réalisée de manière aléatoire par un algorithme de commande, ou au contraire être contrôlée par un utilisateur qui souhaite analyser une zone spécifique du substrat 1, notamment si celui-ci est sali de manière hétérogène. 10 A l'issue de la collecte, le film polymère 2 est détaché de la tête 12 du dispositif 10, et les analyses FTIR-ATR sont effectuées. Un spectre de référence du film polymère 2 seul peut par exemple être obtenu en analysant dans un premier temps une zone non contaminée du film, et une zone 15 contaminée par la suite. Même si le film polymère 2 a été étiré pour être attaché sur la tête 12 lors de la collecte, cela ne change pas la nature chimique du film, et ne perturbe donc pas les analyses effectuées. 20 REVENDICATIONS1. Méthode d'analyse d'impuretés organiques (3) à la surface d'un substrat (1), la méthode d'analyse comportant les étapes suivantes : - fournir un substrat (1) comportant une première face principale (I a), - fournir un film polymère (2) ayant un module d'Young inférieur à 3GPa, - appliquer le film polymère (2) contre la première face principale (1a) du substrat (1) pour récupérer des impuretés organiques (3) présentes - 10 sur la première face principale (1a), - analyser le film polymère (2) par Spectroscopie Infrarouge à Transformée de Fourier, de sorte à obtenir un spectre de Fourier, - déterminer la composition chimique des impuretés organiques (3) présentes à la surface du film polymère (2) à partir de la comparaison 15 entre le spectre de Fourier et un spectre de Fourier de référence. 2. Méthode d'analyse selon la revendication 1, dans laquelle le film polymère (2) a un module d'Young inférieur à 2 GPa. 20 3. Méthode d'analyse selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, dans laquelle le film polymère (2) a une épaisseur supérieure à 50 pm. 4. Méthode d'analyse selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans laquelle le film polymère (2) est réalisé dans un matériau choisi dans la 25 famille des polymères aliphatiques saturés, de préférence sans liaison 0-H, C-0, N-H, C=O, et de préférence dans la famille des thermoplastiques semicristallins ou des élastomères. 5. Méthode d'analyse selon la revendication 4, dans laquelle le film 30 polymère (2) est réalisé dans un matériau choisi parmi le polyéthylène, le 3039647 19 polypropylène, le polyméthylpentène, le polybutène-1, le polyisobutylène, les copolymère éthylène-propylène, ou dans un matériau à base de paraffine. 6. Méthode d'analyse selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, 5 dans laquelle l'analyse du film polymère (2) par Spectroscopie Infrarouge à Transformée de Fourier est une analyse FTIR-ATR. 7. Méthode d'analyse selon la revendication 6, dans laquelle la face du film polymère (2) ayant été appliquée sur le substrat (1) est placée contre un cristal (4) servant d'élément de réflexion interne lors de l'analyse FTIR-ATR. 8. Méthode d'analyse selon la revendication 7, dans laquelle le cristal (4) est un cristal de germanium ou en diamant. 9. Méthode d'analyse selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans laquelle le film polymère (2) est appliqué sur le substrat (1) avec une pression comprise entre 104 et 105 Pa. 10. Méthode d'analyse selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, dans laquelle le film polymère (2) est posé sur le substrat (1), et subit au moins une phase d'augmentation de pression suivie d'une phase de diminution de pression. 11. Méthode d'analyse selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, comportant les étapes préalables suivantes : - fournir un film polymère de référence, - analyser le film polymère de référence par Spectroscopie Infrarouge à Transformée de Fourier, de sorte à obtenir le spectre de Fourier de référence. 3039647 20 12. Méthode d'analyse selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, dans laquelle la comparaison entre le spectre de Fourier et le spectre de Fourier de référence est obtenue par soustraction du spectre de Fourier de référence au spectre de Fourier. 5 13. Système d'analyse d'impuretés comprenant : - un dispositif de collecte (10) d'impuretés organiques (3) sur une principale (1a) d'un substrat (1) comprenant : o un support (11) de substrat (1), 10 o des moyens de déplacement (13) d'une tête (12) configurée pour être en contact avec le substrat (1) disposé sur le support (11) de substrat (1), la tête (12) étant recouverte d'un film polymère (2) amovible, o un système de commande (14) configuré pour contrôler les 15 moyens de déplacement (13) et la pression exercée par la tête (12) sur le substrat (1), et - un spectroscope infrarouge à transformée de Fourier configuré pour réaliser des analyses FTIR-ATR. 20 14. Système d'analyse d'impuretés selon la revendication 13, dans lequel la tête (12) du dispositif de collecte (10) est une tête métallique. 15. Système d'analyse d'impuretés selon l'une quelconque des revendications 13 ou 14, dans lequel la tête (12) du dispositif de collecte (10) 25 est recouverte d'une couche amortissante. 16. Système d'analyse d'impuretés selon l'une quelconque des revendications 13 à 15, dans lequel les moyens de déplacement (13) du dispositif de collecte (10) permettent le déplacement vertical et horizontal de 30 la tête. 3039647 21 17. Système d'analyse d'impuretés selon l'une quelconque des revendications 13 à 16, dans lequel le dispositif de collecte (10) comporte des moyens de mémorisation de la trajectoire de la tête. 5 18. Système d'analyse d'impuretés selon l'une quelconque des revendications 13 à 17, dans lequel le dispositif de collecte (10) comporte des moyens de maintien du substrat (1) sur le support (11). 10