Brevet FR3042293A1 — publié le 20170414

PROCÉDÉ ET SYSTÈME DE CARACTÉRISATION DE FRONTS D'ONDES OPTIQUES RENVOI AUX DEMANDES CONNEXES [0001] La présente demande revendique la priorité de la demande de brevet provisoire américaine n° 62/240 430, déposée le 12 octobre 2015, intitulée "Method and System for Characterizing Optical Wavefronts," dont la divulgation est incorporée ici par référence dans sa totalité à toutes fins utiles. ÉTAT ANTÉRIEUR DE L'INVENTION [0002] De nombreuses techniques ont été utilisées pour la détection de fronts d'ondes. De manière générale, les capteurs de fronts d'ondes sont utilisés pour mesurer des aberrations d'un front d'onde optique. [0003] Bien que diverses techniques aient été utilisées pour mettre en oeuvre des capteurs de fronts d'ondes qui mesurent les caractéristiques de fronts d'onde, il existe un besoin dans l'art pour des procédés et systèmes améliorés de détection de fronts d'ondes. RÉSUMÉ DE LINVENTION [0004] Des modes de réalisation de l'invention concernent généralement le domaine de la détection de fronts d'ondes optiques. Plus particulièrement, les procédés et appareils décrits ici portent sur une caractérisation améliorée des fronts d'ondes en utilisant, par exemple, un masque d'amplitude en damier basé sur le principe de l'interférométrie à cisaillement latéral (LSI). Dans un mode de réalisation particulier, des procédés et appareils qui surmontent la limitation de la résolution spatiale associée aux techniques conventionnelles de détection de fronts d'ondes, comme l'interférométrie à cisaillement latéral (LSI), sont fournis. [0005] Conformément à un mode de réalisation de la présente invention, un procédé de mesure de caractéristiques d'un front d'onde d'un faisceau incident est fourni. Le procédé comporte l'obtention d'un interférogramme associé au faisceau incident traversant un masque de transmission sur lequel est disposé au moins un revêtement anti-réflexion et l'exécution d'une transformation de Fourier sur l'interférogramme afin de produire un interférogramme dans le domaine fréquence. Le procédé comporte également la sélection d'un sous-ensemble d'harmoniques de l'interférogramme du domaine fréquence, l'exécution d'une transformation de Fourier inverse individuelle sur chacune du sous-ensemble d'harmoniques pour fournir un ensemble d'harmoniques dans le domaine spatial, et l'extraction d'un profil de phase à partir 3042293 2 de chacune de l'ensemble des harmoniques du domaine spatial. Le procédé comporte en outre la suppression des discontinuités de phase du profil de phase, la rotation du profil de phase, et la reconstruction d'un front de phase du front d'onde du faisceau incident. [0006] Conformément à un autre mode de réalisation de la présente invention, un procédé 5 de détection de front d'onde optique est fourni. Le procédé comporte la fourniture d'un masque de transmission d'amplitude ayant un côté d'entrée de lumière, un côté de sortie de lumière, et un axe de transmission optique allant du côté d'entrée de lumière au côté de sortie de lumière. Le masque de transmission d'amplitude peut être caractérisé par un motif en damier ayant une cellule unitaire carrée de taille A. Le procédé comporte également 10 l'orientation d'un champ lumineux incident d'une longueur d'onde X pour qu'il frappe le côté d'entrée de lumière et la propagation du champ lumineux incident à travers le masque de transmission d'amplitude. Le procédé comporte en outre la production d'une pluralité de champs lumineux diffractés sur le côté de sortie de lumière et la détection, au niveau d'un détecteur disposé à une distance L du masque de transmission d'amplitude, d'un 15 interférogramme associé à la pluralité de champs lumineux diffractés. Pour une longueur Az Az 4 Az d'onde fixe X, la distance satisfait 0 tl. Bien que dans cette figure le coin soit illustré dans le sens horizontal, il pourrait aussi être 25 formé dans le sens vertical, à savoir, entre le bord latéral inférieur (non montré) et le bord latéral supérieur opposé 1420. L'homme de métier pourra envisager de nombreuses variations, modifications et variantes. Relativement à la figure 14, l'épaisseur du masque de transmission varie en fonction de la position latérale (c.-à-d. horizontalement) pour produire le profil de coin. 30 [0095] L'ajout d'un angle de coin repousse les faisceaux secondaires hors du voisinage des termes H(1,1), H(1,-1), H(-1,1), et H(-1,-1). En plus des revêtements AR, l'ajout d'un coin au substrat dévie les réflexions secondaires hors de la gamme des diffractions de premier ordre 3042293 24 et d'ordre zéro. Le coin dévie toute réflexion secondaire hors du voisinage des premières harmoniques dans le domaine de fréquence spatiale. Le filtrage des termes de premier ordre plus tard dans la réduction de données élimine automatiquement les réflexions secondaires. [0096] Dans une mise en oeuvre utilisant un substrat à coin pour le masque en damier, 5 l'angle de coin (en radians) est supérieur ou égal à Î-N,i4k , où Â est la longueur d'onde du rayonnement optique et A est la périodicité des cellules de damier. Par exemple, dans certains modes de réalisation pour une longueur d'onde de 500 nm, et une périodicité A de 60 microns, l'angle de coin sera supérieur à 8,8 mrad (c.-à-d. 0,5 degré). [0097] La gamme d'angles de coin exposée ici repose sur l'angle de diffraction dans le 10 réseau dans le masque (proportionnel à ) et les valeurs numériques pour positionner les franges de telle sorte qu'elles soient filtrées. Bien sûr, en fonction du champ de vision utilisé pour filtrer les modes de premier ordre, les valeurs numériques spécifiques peuvent être modifiées comme il convient pour l'application particulière. En conséquence, de plus petits angles de coin peuvent être utilisés en fonction de la configuration particulière du système. 15 Comme exemple, si la distance entre le terme C.C. et la première harmonique est une distance dans le domaine de fréquence spatiale, le rayon du filtrage peut être réglé à 50 % de la distance. Dans ce cas, l'angle de coin serait compris dans la gamme de f.,i2t1 comme exposé plus haut. [0098] Ainsi que l'homme de métier le réalisera, l'angle de coin est fonction de la longueur 20 d'onde et selon la longueur d'onde utilisée, différents angles de coin peuvent être utilisés comme il convient pour l'application particulière. [0099] Dans certaines mises en oeuvre, un revêtement AR et le coin du substrat peuvent être appliqués ensemble, de telle sorte que, quand la gamme de longueurs d'onde du revêtement AR n'est pas applicable, le coin puisse être utilisé pour traiter les réflexions secondaires. Par 25 exemple, un revêtement AR exploitable dans la gamme des longueurs d'onde de 1 Jim peut être appliqué et un angle de coin de 0,5 degré peut être utilisé pour réduire ou empêcher les réflexions secondaires dans la gamme des longueurs d'onde de 0,5 um. [0100] Dans certaines mises en oeuvre, la surface sur laquelle le motif de damier est imprimé est sensiblement parallèle au plan de détection (c.-à-d. au plan de la puce de caméra) 30 pour établir une tolérance d'alignement convenable. Par exemple, le parallélisme entre le 3042293 25 masque en damier et le plan de détection peut être inférieur à 1 mrad. Cet agencement optique permet une plus grande tolérance d'alignement de l'orientation du capteur par rapport au faisceau entrant. Autrement dit, la précision du front d'onde n'est valable que dans une étroite gamme de gradients du front d'onde incident à moins que le parallélisme soit meilleur 5 que 1 mrad. Un bon parallélisme élargit la gamme du gradient du front d'onde du faisceau d'entrée pouvant être réduit avec précision. Le parallélisme ici se réfère spécifiquement au parallélisme entre la surface de chrome du damier et le plan de la puce CCD, où le chrome est revêtu sur un substrat de verre, le côté chrome faisant face au plan de la puce CCD. Le parallélisme entre le masque en damier et la puce CCD (qui peut réfléchir une partie 10 importante de la lumière), peut être modifié de l'état parallèle tout en maintenant toujours le parallélisme requis pour la tolérance d'alignement (p. ex. par - 1 mrad ou moins). [0101] Dans certaines mises en oeuvre, le plan du motif en damier n'est pas parallèle au plan du détecteur au sens exposé ci-dessus (autrement dit le parallélisme n'est pas établi à moins de 1 mrad). A condition de connaître les angles d'inclinaison verticale et horizontale ( x, Oy) 15 du masque en damier mesurés dans le système de coordonnées des axes de damier par rapport au plan du détecteur, il est toujours possible d'obtenir le front d'onde correct en ajoutant des termes de correction ( Lg,A) à la phase de chaque harmonique OSA 1 r (7) = Lt9xx+ Byyl 1 r AS =-Lxx+eyy] SL 20 où L est la distance entre le masque et le plan du détecteur et x et y sont les coordonnées de la puce CCD. Cette approximation des petits angles est utile dans la plupart des mises en oeuvre. S1 est identique à arg H(1,1) et S2 est identique à arg H(-1,1) dans l'équation (4). Un nouveau S1 est construit en ajoutant L\, dans l'équation (7) à l'ancien S1 et ce nouveau S1 est substitué à arg H(1,1) dans l'équation (4). Une correction et substitution semblable est exécutée pour 25 S2. Nous omettons les expressions de S3 et S4 soit arg H(-1,-1) = S4= arg H(1,-1) Les angles 9x, Oy peuvent être déterminés en introduisant une inclinaison verticale connue dans la mesure et en comparant le résultat au front d'onde réduit. Les valeurs optimales de ex, Oy sont choisies où la différence est réduite, par exemple, un minimum. 3042293 26 [0102] Ces corrections peuvent être utilisées quand le parallélisme est inférieur à 50 mrad, à 40 mrad, à 30 mrad, à 20 mrad, à 10 mrad, à 5 mrad, à 2 mrad et aussi quand le parallélisme est inférieur à 1 mrad comme exposé plus haut. Par exemple, si le parallélisme est compris entre 20 mrad et 10 mrad, en fonction des tolérances mécaniques établies à la construction de 5 système, la correction peut alors être utilisée pour améliorer la performance du système. [0103] Dans certaines mises en oeuvre, une petite perturbation aléatoire de la périodicité est introduite dans la conception du motif de damier. Par exemple, si la périodicité nominale du damier est 60 itm, la périodicité des cellules unitaires en unités de microns peut varier comme 61, 59, 59, 60, 61, 61, 59, 60, 60, 60, 59,..... dans la dimension horizontale suite à cette 10 perturbation. Dans certains modes de réalisation, une perturbation aléatoire semblable est également appliquée à la dimension verticale des cellules. La perturbation aléatoire de la périodicité introduit une signature spatiale unique dans le front d'onde réduit. L'emplacement moyen des harmoniques sera le même que dans le cas sans perturbation mais avec une perturbation aléatoire les harmoniques présenteront des lobes secondaires supplémentaires. 15 La variation aléatoire apparaît dans la phase du front d'onde réduit. La signature unique mesurée avec un faisceau de référence collimaté est mise en mémoire et peut être utilisée ultérieurement pour suivre une inclinaison verticale importante présente dans le front d'onde concerné. Pour de grandes valeurs d'inclinaison verticale, la projection d'une cellule de damier sur la puce CCD peut franchir la frontière de la cellule d'origine et se déplacer dans 20 l'espace projeté d'une autre cellule adjacente. De ce fait, une ambiguïté de phase d'un multiple entier de 2n peut être présente dans la mesure. L'utilisation de la valeur aléatoire crée un motif qui peut être adapté horizontalement et verticalement pour suivre le compte de pixels décalés de l'image projetée par rapport à l'image de référence, supprimant ainsi l'ambiguïté de phase 21c. 25 [0104] L'application d'une grille perturbée est montrée aux figures 12A-12H. La figure 12A illustre une image grossie d'un motif de damier perturbé aléatoirement. La figure 12B représente l'arg(Hi,i) d'un faisceau de référence (faisceau optiquement plat) qui est mesuré avant de mesurer d'autres éléments optiques de test, appelés arg(Huref). La figure 12C représente Parg(Hi,i) d'un faisceau de test (faisceau à aberration optique) et appelé 30 arg(Hi,i,test)- Les deux contiennent des motifs de phase en croisillons découlant de l'irrégularité de la grille de damier perturbée illustrée à la figure 12A. 3042293 27 [0105] La figure 12D est le motif produit quand le motif à la figure 12B est soustrait du motif montré à la figure 12C avec le motif montré à la figure 12C décalé par plusieurs pixels (p. ex. vers le haut ou vers le bas) avant la soustraction. La figure 12E est le motif produit quand le motif à la figure 12B est soustrait du motif montré à la figure 12C mais sans décaler 5 le motif montré à la figure 12C. Une comparaison des figures 12D et 12E démontre qu'a moins d'avoir un enregistrement spatial parfait, le motif de phase en croisillons apparairaîtra dans la sortie d'arg(Hi,i,test) - arg(Huref). On constate un comportement semblable pour arg(H - arg(1-11,- ,ref). [0106] La figure 12F est une carte illustrant le front d'onde effectif du faisceau de test. Le 10 motif de phase non aligné montré à la figure 12D apparaît dans le front d'onde reconstruit montré à la figure 12G. Le motif de phase aligné montré à la figure 12H reconstruit le front d'onde d'origine sans le motif en croisillon. [0107] Par exemple, dans les exemples divulgués ci-dessus, supposons que le front d'onde d'entrée ait un terme d'inclinaison verticale de O microradians dans le sens horizontal. Ceci 15 peut être interprété comme Ox + n-Ax , où n est un entier positif ou négatif et L est la distance entre le masque et le plan du détecteur. Quand le terme d'inclinaison verticale du front d'onde du faisceau d'entrée est réputé se trouver suffisamment en deçà de A,/ L , l'ambiguïté disparaît. Toutefois, quand cette information n'est pas disponible, la signature spatiale aléatoire peut être utilisée pour identifier l'entier inconnu n ou régler le capteur là où n=0. La 20 valeur d'entier correcte n est trouvée en exécutant une inter-corrélation de la signature spatiale actuelle avec le motif de signature de référence enregistré. [0108] Des modifications non aléatoires (c.-à-d. déterministes) de la périodicité peuvent être utilisées dans certains modes de réalisation pour parvenir à des objectifs semblables de périodicité aléatoire. 25 101091 Dans un mode de réalisation, un trou d'aiguille peut être placé devant le capteur (p. ex. masque et imageur CCD) de telle sorte que la projection du trou d'aiguille se trouve dans une gamme donnée pour garantir que le capteur est orienté vers le faisceau à un angle prédéterminé par rapport à l'angle quand la référence est obtenue. Le trou d'aiguille peut être monté sur un socle mécanique stable de telle sorte que la position latérale du trou d'aiguille 30 par rapport au reste du système (masque et puce CCD) puisse être répétée. Par exemple, le 3042293 28 trou d'aiguille (p. ex. un trou d'aiguille de 100 larn) peut être placé à une distance donnée devant le masque en damier et l'image du trou d'aiguille sur le CCD peut être mesurée. Cette position est marquée comme référence puis le capteur est orienté pour une opération ultérieure pour placer l'image du trou d'aiguille en-deçà d'une valeur de tolérance donnée, par 5 exemple à moins de 0,05 mm de la position de référence (en fonction de la distance entre le masque en damier et le trou d'aiguille, p. ex. 2 cm), qui correspond dans certains modes de réalisation à une précision de 50 p.rad. [0110] La figure 13 est un diagramme schématique simplifié illustrant des éléments d'un système de détection de front d'onde comportant un trou d'aiguille conformément à un mode 10 de réalisation de la présente invention. Dans cette géométrie, un trou d'aiguille 1310 est utilisé conjointement avec un masque en damier 1312 et un détecteur 1314. 101111 Relativement à la figure 13, si l'on suppose que la flèche pleine 1320 est l'état dans lequel le capteur (p. ex. le détecteur 1314) est aligné et un fichier de référence est généré, la flèche en pointillés 1322 indique un désalignement. Soit le sens du faisceau d'entrée, soit 15 l'orientation du capteur peut être réglé pour rétablir la projection du trou d'aiguille afin qu'elle coïncide avec la flèche pleine 1320 à la figure 13. [0112] On comprendra également que les exemples et modes de réalisation décrits ici ne sont donnés qu'à titre illustratif et que suite à leur lecture, l'homme de métier pourra envisager diverses modifications ou divers changements qui seront inclus dans l'esprit de la présente 20 demande et l'étendue des revendications annexées. REVENDICATIONS: 1. Procédé de mesure de caractéristiques d'un front d'onde d'un faisceau incident, le procédé comprenant : l'obtention d'un interférogramme associé au faisceau incident traversant un masque de transmission sur lequel est disposé au moins un revêtement anti-réflexion ; l'exécution d'une transformation de Fourier sur l'interférogramme pour produire un interférogramme dans le domaine fréquence ; la sélection d'un sous-ensemble d'harmoniques de l'interférogramme dans le 10 domaine fréquence ; l'exécution d'une transformation de Fourier inverse individuelle sur chacune du sous-ensemble d'harmoniques pour produire un ensemble d'harmoniques de domaine spatial ; l'extraction d'un profil de phase à partir de chacune de l'ensemble 15 d'harmoniques de domaine spatial ; l'élimination des discontinuités de phase dans le profil de phase ; la rotation du profil de phase ; et la reconstruction d'un front de phase du front d'onde du faisceau incident. 2. Procédé selon la revendication 1 comprenant en outre : 20 la mesure d'une amplitude associée aux harmoniques de domaine spatial ; et le calcul d'un profil d'intensité associé au front d'onde du faisceau incident. 3. Procédé selon la revendication 1 dans lequel le masque de transmission comprend un masque de transmission d'amplitude uniquement en damier. 4. Procédé selon la revendication 1 dans lequel le masque de transmission 25 comprend une perturbation aléatoire de la périodicité. 5. Procédé selon la revendication 1 dans lequel le sous-ensemble d'harmoniques comprend une harmonique la plus proche d'une origine dans chaque quart ou une harmonique la plus proche de l'origine dans deux quarts adjacents. 3042293 30 6. Procédé selon la revendication 1 dans lequel le profil de phase caractérise une pente du front de phase. 7. Procédé selon la revendication 1 dans lequel la reconstruction du front de phase comprend l'exécution d'une intégration bidimensionnelle du profil de phase associé 5 à chacune de l'ensemble d'harmoniques de domaine spatial. 8. Procédé d'exécution d'une détection de front d'onde optique, le procédé comprenant : la fourniture d'un masque de transmission d'amplitude, en particulier d'un masque de transmission d'amplitude comprenant un masque de transmission d'amplitude uniquement, ayant des bords latéraux, un côte d'entrée de lumière, un côté de sortie de lumière, et un axe de transmission optique allant du côté d'entrée de lumière au côté de sortie de lumière, dans lequel le masque de transmission d'amplitude est caractérisé par un coin défini par une première distance entre le côté d'entrée de lumière et le côté de sortie de lumière au niveau d'un premier bord latéral et une seconde distance entre le côté d'entrée de lumière et le côté de sortie de lumière au niveau d'un second bord latéral opposé au premier bord latéral ; l'orientation d'un champ de lumière incident d'une longueur d'onde X pour qu'il frappe le côté d'entrée de lumière ; la propagation du champ de lumière incident à travers le masque de transmission d'amplitude ; la production d'une pluralité de champs de lumière diffractés sur le côté de sortie de lumière ; et la détection, au niveau d'un détecteur disposé à une distance L du masque de transmission d'amplitude, d'un interférogramme associé à la pluralité de champs de lumière 25 diffractés. 9. Procédé selon la revendication 8 dans lequel : le masque de transmission d'amplitude est caractérisé par un motif en damier ayant une cellule unitaire carrée de taille A ; et 2 A2 4 A2 0 10. Procédé selon la revendication 8 dans lequel le détecteur est caractérisé par une taille de pixel et A est environ 10 fois supérieure à la taille de pixel. 11. Procédé selon la revendication 8 dans lequel: 10 nm 12. Procédé selon la revendication 8 dans lequel l'interférogramme comporte des informations de pente de phase, le procédé comprenant en outre l'intégration d'une pente de phase bidimensionnelle calculée au moyen de l'interférogramme pour construire un front de phase associé au champ de lumière incident. 10 13. Procédé selon la revendication 12 dans lequel la construction du front de phase comprend l'exécution d'une analyse de porteuse spatiale dans le domaine de Fourier, l'analyse de porteuse spatiale dans le domaine de Fourier comprenant la sélection de termes de porteuse situés diagonalement, mais pas orthogonalement, par rapport aux axes du masque de transmission d'amplitude, et en particulier comprenant l'exécution d'une optimisation point 15 par point sur les termes de porteuse diagonaux pour affiner une résolution spatiale du front d'onde. 14. Capteur de front d'onde comprenant un masque de transmission d'amplitude uniquement comportant une surface d'entrée de lumière et une surface de sortie de lumière, dans lequel un revêtement anti20 réflexion est disposé sur au moins 1"une de la surface d'entrée de lumière ou de la surface de sortie de lumière ; un détecteur disposé à une distance, L, optiquement en aval du masque de transmission d'amplitude uniquement ; et un ordinateur couplé au détecteur. 15. Capteur de front d'onde selon la revendication 14 dans lequel : le masque de transmission d'amplitude uniquement est caractérisé par un motif en damier ayant une cellule unitaire carrée de taille A ; et A2 1 A' 1 A2 L 16. Capteur de front d'onde selon la revendication 14 dans lequel le masque de transmission d'amplitude uniquement comprend un motif périodique sensiblement bidimensionnel à perturbation aléatoire de la périodicité dans au moins une partie du motif périodique bidimensionnel. 5 17. Capteur de front d'onde selon la revendication 14 dans lequel le masque de transmission d'amplitude uniquement comprend une forme de coin, dans lequel les un ou plusieurs revêtements anti-réflexion sont exploitables pour réduire les réflexions dans une première gamme de longueurs d'onde et la forme de coin est exploitable pour réduire les réflexions secondaires dans une seconde gamme de longueurs d'onde différente de la 10 première gamme de longueurs d'onde. 18. Capteur de front d'onde selon la revendication 14 dans lequel le masque de transmission d'amplitude uniquement est aligné parallèlement au plan de détecteur à moins de 1 mrad de parallélisme. 19. Capteur de front d'onde selon la revendication 14 dans lequel 15 l'ordinateur comporte un support de mémorisation non transitoire lisible par ordinateur comprenant une pluralité d'instructions lisibles par ordinateur mises en oeuvre de manière tangible sur le support de mémorisation lisible par ordinateur, lesquelles, à leur exécution par un processeur de données, permettent une mesure de caractéristiques d'un front d'onde d'un faisceau incident, la pluralité d'instructions comprenant : 20 des instructions qui amènent le processeur de données à obtenir un interférogramme associé au faisceau incident traversant un masque de transmission ; des instructions qui amènent le processeur de données à exécuter une transformation de Fourier sur l'interférogramme pour produire un interférogramme dans le domaine fréquence ; 25 des instructions qui amènent le processeur de données à sélectionner un sous- ensemble d'harmoniques de l'interférogramme dans le domaine fréquence ; des instructions qui amènent le processeur de données à exécuter une transformation de Fourier inverse individuelle sur chacune du sous-ensemble d'harmoniques pour produire un ensemble d'harmoniques de domaine spatial ; des instructions qui amènent le processeur de données à extraire un profil de phase de chacune de l'ensemble d'harmoniques de domaine spatial ; 3042293 33 des instructions qui amènent le processeur de données à éliminer les discontinuités de phase dans le profil de phase ; des instructions qui amènent le processeur de données à tourner le profil de phase ; et 5 des instructions qui amènent le processeur de données à reconstruire un front de phase du front d'onde du faisceau incident. 20. Capteur de front d'onde selon la revendication 19 dans lequel le masque de transmission d'amplitude uniquement n'est pas aligné parallèlement au plan du détecteur à moins de 1 mrad de parallélisme, dans lequel la pluralité d'instructions comprend 10 en outre des instructions qui amènent le processeur de données à utiliser un terme de correction pour compenser le fait que le masque de transmission d'amplitude uniquement n'est pas aligné parallèlement au plan du détecteur à moins de 1 mrad de parallélisme. 21. Capteur de front d'onde comprenant : un masque de transmission d'amplitude uniquement comportant une surface 15 d'entrée de lumière et une surface de sortie de lumière, dans lequel le masque de transmission d'amplitude uniquement comprend un motif périodique sensiblement bidimensionnel avec une perturbation aléatoire de la périodicité dans au moins une partie du motif périodique bidimensionnel ; un détecteur disposé à une distance, L, optiquement en aval du masque de 20 transmission d'amplitude uniquement ; et un ordinateur couplé au détecteur. 22. Capteur de front d'onde comprenant - un masque de transmission d'amplitude uniquement présentant une surface d'entrée de lumière, une surface de sortie de lumière, et des bords latéraux, dans lequel le 25 masque de transmission d'amplitude uniquement est caractérisé par un coin défini par une première distance entre le côté d'entrée de lumière et le côté de sortie de lumière au niveau d'un premier bord latéral et une seconde distance entre le côté d'entrée de lumière et le côté de sortie de lumière au niveau d'un second bord latéral opposé au premier bord latéral différente de la première distance ; 30 un détecteur disposé à une distance, L, optiquement en aval du masque de transmission d'amplitude uniquement ; et 3042293 34 un ordinateur couplé au détecteur.