Brevet FR3047321A1 — publié le 20170804

MIROIR DEFORMABLE L'invention se situe dans le domaine de l'optique active spatiale et concerne un miroir déformable, aussi connu sous le nom de miroir actif déformé par un actionneur. Un télescope dispose d'un miroir principal, aussi appelé miroir primaire. Le miroir primaire concentre les rayons lumineux vers un miroir secondaire qui les renvoie au foyer du télescope. Le miroir primaire ne doit pas se déformer sous l'effet de la gravité par exemple. Souvent, un miroir intermédiaire déformable est utilisé pour corriger les défauts du miroir primaire. Et le miroir intermédiaire est déformé par un ou plusieurs actionneurs. Les télescopes modernes sont équipés d'optiques déformables dites « actives ». Le miroir d'un tel télescope est donc déformé en permanence par des actionneurs fixés directement sur l'arrière du miroir afin 15 de toujours optimiser les performances optiques du télescope. Pour avoir une bonne résolution, les actionneurs disposent d'une tête flottante montée sur ressorts permettant de diviser par un facteur important le déplacement de l'actionneur. 20 Néanmoins, la connexion entre le miroir et la tête flottante de l'actionneur pose plusieurs problèmes. Tout d'abord, on peut déplorer un défaut d'intégration important générant une déformée du miroir non corrigeable. Il s'agit de ce qu'on appelle les couples parasites. Il peut aussi se produire un mauvais alignement et guidage de la tête flottante par les 25 ressorts, ce qui a pour conséquence d'injecter des couples parasites lorsque l'actionneur est en fonctionnement pour déformer le miroir. Enfin, lors du lancement, le lancement impose une contrainte supplémentaire nécessitant une connexion rigide entre le miroir et les actionneurs, des moments et efforts importants sont engendrés sur le miroir du fait des masses 30 additionelles déportées portées par le miroir (notamment la masse des têtes flottantes). L'invention vise à pallier tout ou partie des problèmes cités plus haut en proposant un miroir déformable ayant une membrane déformable par 3047321 2 un actionneur comprenant en outre une plaque plane et des éléments de liaison situés entre l'actionneur et la membrane pour découpler de la membrane les couples parasites issus de l'actionneur, pour décharger les efforts et moments dynamiques arrivant sur le miroir lors des phases de 5 lancement et également sous gravité. A cet effet, l'invention a pour objet un miroir déformable comprenant une membrane déformable s'étendant au repos dans un premier plan et ayant une face avant réfléchissante et une face arrière opposée à la 10 face avant, une structure porteuse, un actionneur ayant une première et une seconde extrémités, la première extrémité étant fixée sur la structure porteuse, la seconde extrémité étant apte à se déplacer par rapport à la première extrémité selon un premier axe sensiblement perpendiculaire au premier plan pour exercer sur la face arrière un effort axial selon le premier 15 axe, de façon à déformer localement la membrane déformable, une plaque sensiblement plane dans un deuxième plan sensiblement parallèle au premier plan, positionnée entre l'actionneur et la membrane déformable, liée à la face arrière et apte à se déformer quand l'actionneur exerce l'effort axial, et en ce que la plaque est rigide dans le deuxième plan de façon à reprendre 20 des efforts appliqués au miroir dans le deuxième plan. Selon un mode de réalisation, le miroir comprend un élément élastique positionné entre la plaque et la membrane déformable. 25 Selon un autre mode de réalisation, la plaque est liée à la face arrière par l'intermédiaire d'un coupleur configuré pour transmettre uniquement un effort axial entre l'actionneur et la membrane déformable et pour permettre un déplacement libre dans le premier plan de la membrane déformable par rapport à la plaque. 30 Selon un autre mode de réalisation, le miroir comprend un élément élastique positionné entre la plaque et la seconde extrémité de l'actionneur. 35 Selon un autre mode de réalisation, le miroir comprend un élément élastique positionné entre la plaque et la structure porteuse. 3047321 3 Selon un autre mode de réalisation, l'actionneur comprend une tête libre en translation dans un troisième plan sensiblement parallèle au deuxième plan et libre en rotation positionnée sur la seconde extrémité de 5 l'actionneur et la tête est reliée à la structure porteuse par au moins un élément élastique, de façon à limiter le déplacement de la seconde extrémité de l'actionneur. Selon un autre mode de réalisation, le miroir comprend un pied 10 d'encastrement reliant la membrane déformable à la structure porteuse, et la plaque a une extrémité fixée dans le pied d'encastrement. Selon un autre mode de réalisation, la plaque est évidée de façon à favoriser sa déformation quand l'actionneur exerce l'effort axial. Selon un autre mode de réalisation, le miroir comprend plusieurs actionneurs ayant chacun une première et une seconde extrémité, la première extrémité étant fixée sur la structure porteuse, la seconde extrémité étant apte à se déplacer par rapport à la première extrémité selon un premier axe sensiblement perpendiculaire au premier plan pour exercer sur la face arrière un effort axial selon le premier axe, de façon à déformer localement la membrane déformable. L'invention concerne tout mode de réalisation résultant d'une 25 combinaison de deux ou plusieurs des modes de réalisation précédemment cités. L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparaîtront à la lecture de la description détaillée de plusieurs modes de 30 réalisation donnés à titre d'exemple, description illustrée par le dessin joint dans lequel : la figure 1 représente schématiquement un premier mode de réalisation d'un miroir déformable selon l'invention ; la figure 2 représente schématiquement un deuxième mode de 35 réalisation d'un miroir déformable selon l'invention ; la figure 3 représente schématiquement un troisième mode de réalisation d'un miroir déformable selon l'invention ; 3047321 4 la figure 4 représente schématiquement un quatrième mode de réalisation d'un miroir déformable selon l'invention ; la figure 5 représente schématiquement un cinquième mode de réalisation d'un miroir déformable selon l'invention ; 5 la figure 6 représente schématiquement un sixième mode de réalisation d'un miroir déformable selon l'invention ; la figure 7 représente schématiquement un septième mode de réalisation d'un miroir déformable selon l'invention ; la figure 8 représente schématiquement un huitième mode de 10 réalisation d'un miroir déformable selon l'invention ; la figure 9 représente schématiquement un neuvième mode de réalisation d'un miroir déformable selon l'invention ; la figure 10 représente schématiquement un dixième mode de réalisation d'un miroir déformable selon l'invention ; 15 la figure 11 représente schématiquement un onzième mode de réalisation d'un miroir déformable selon l'invention, la figure 12 représente schématiquement un douzième mode de réalisation d'un miroir déformable selon l'invention comprenant plusieurs actionneurs. 20 Par souci de clarté, les mêmes éléments porteront les mêmes repères dans les différentes figures. La figure 1 représente schématiquement un premier mode de 25 réalisation d'un miroir déformable 10 selon l'invention. Le miroir déformable 10 comprend une membrane déformable 11 s'étendant au repos dans un premier plan 13 et ayant une face avant réfléchissante et une face arrière 12, opposée à la face avant, une structure porteuse 14, un actionneur 15 ayant une première 16 et une seconde 17 extrémités, la première extrémité 16 30 étant fixée sur la structure porteuse 14, la seconde extrémité 17 étant apte à se déplacer par rapport à la première extrémité 16 selon un premier axe Z sensiblement perpendiculaire au premier plan 13 pour exercer sur la face arrière 12 un effort axial selon le premier axe Z, de façon à déformer localement la membrane déformable 11. Selon l'invention, le miroir 35 déformable 10 comprend une plaque 18 sensiblement plane dans un 3047321 5 deuxième plan 19 sensiblement parallèle au premier plan 13, positionnée entre l'actionneur 15 et la membrane déformable 11, liée à la face arrière 12 et apte à se déformer quand l'actionneur 15 exerce l'effort axial, et la plaque 18 est rigide dans le deuxième plan 19 de façon à reprendre des efforts 5 appliqués au miroir 10 dans le deuxième plan 19. La plaque plane 18 peut être également appelée plaque plane filtrante du fait de son action filtrante des efforts, moments et couples parasites appliqués au miroir 10. Par ailleurs, le fait que la plaque 18 est 10 rigide dans le deuxième plan 19 de façon à reprendre les efforts appliqués au miroir 10 est à prendre à un sens large dans lequel le terme efforts inclut également les moments et couples parasites appliqués au miroir. Le miroir déformable 10 est représenté schématiquement avec un 15 seul actionneur 15. L'invention s'applique aussi à un miroir déformable comprenant deux, trois ou, plus généralement, une pluralité d'actionneurs. Un miroir déformable peut comprendre typiquement 24 actionneurs. Le nombre d'actionneurs d'un miroir déformable peut aussi atteindre 100. Un grand nombre d'actionneurs permet d'obtenir une grande précision de 20 déformation de la membrane déformable. Chaque actionneur exerce un effort axial selon l'axe Z sur la face arrière de la membrane déformable. Plus précisément, l'actionneur est configuré pour tirer sur la face arrière de la membrane déformable sensiblement perpendiculairement au plan de la membrane déformable. L'actionneur peut aussi pousser sur la face arrière de la membrane déformable sensiblement perpendiculairement au plan de la membrane déformable. Ainsi l'actionneur exerce un effort uniaxial selon l'axe Z sur la membrane déformable pour la déformer. La plaque 18 est rigide dans son plan 19 et souple hors de son plan afin d'encaisser tous les efforts dans son plan 19. La plaque 18 est constituée d'un matériau métallique, par exemple en titane ou en acier inoxydable. La plaque 18 peut être fine, par exemple de l'ordre de 0,5 mm pour une membrane déformable de l'ordre de 3,5 mm d'épaisseur. 304 732 1 6 Avantageusement, le miroir déformable 10 peut comprendre un élément élastique 21 positionné entre la plaque 18 et la membrane déformable 11. L'élément élastique 21 peut être par exemple un ressort ou 5 une mousse ou tout autre élément présentant une certaine élasticité. L'élément élastique 20 permet d'obtenir un rapport de réduction important entre l'actionneur 15 et la membrane déformable 11 et permet de filtrer des couples et moments issus des actionneurs. 10 La figure 2 représente schématiquement un deuxième mode de réalisation d'un miroir déformable 20 selon l'invention. Le miroir déformable 20 comprend les mêmes éléments que le miroir déformable 10 présenté sur la figure 1 mais se différencie du miroir déformable 10 par le fait qu'il comprend un élément élastique 22 positionné entre la plaque 18 et la 15 seconde extrémité 17 de l'actionneur 15. Cette configuration permet de limiter le déplacement de la seconde extrémité 17 de l'actionneur 15 et ainsi d'obtenir une précision importante de la déformation de la membrane déformable 11 lorsque l'actionneur 15 exerce un effort axial selon l'axe Z. L'élément élastique 22 peut être par exemple un ressort ou une mousse ou 20 tout autre élément présentant une certaine élasticité. L'élément élastique 22 permet d'obtenir, en fonction de la raideur choisie de l'élément élastique 22, un rapport de réduction important entre l'actionneur 15 et la membrane déformable 11. Selon le déplacement possible de l'actionneur 15 et de la raideur choisie de l'élément 22, il est possible, lorsque l'actionneur 15 génère 25 un effort axial sur la face arrière de la membrane déformable 11, d'obtenir une déformation contrôlée de la membrane déformable 11. La figure 3 représente schématiquement un troisième mode de réalisation d'un miroir déformable 30 selon l'invention. Le miroir déformable 30 30 comprend les mêmes éléments que le miroir déformable 10 présenté sur la figure 1 mais se différencie du miroir déformable 10 par le fait que la plaque 18 est liée à la face arrière 12 par l'intermédiaire d'un coupleur 31 configuré pour transmettre uniquement un effort axial entre l'actionneur 15 et la membrane déformable 11 et pour permettre un déplacement libre dans le 35 premier plan de la membrane déformable 11 par rapport à la plaque 18. Le 3047321 7 coupleur 31 peut être par exemple une pièce longitudinale métallique, aussi appelée biellette, avantageusement ayant un coefficient de dilatation très faible. Le coupleur 31 peut être constitué en titane, en acier inoxydable ou en alliage de 64% fer et de 36 % nickel. Le coupleur 31 peut présenter des 5 strictions permettant de créer une souplesse en flexion filtrant les moments parasites, ces moments étant repris par la plaque filtrante 18. Le miroir déformable 30 est représenté schématiquement avec un seul coupleur 31. L'invention s'applique aussi à un miroir déformable 10 comprenant deux, trois ou, plus généralement, une pluralité de coupleurs 31 répartis uniformément ou non-uniformément entre la plaque 18 et la membrane déformable 11. La figure 4 représente schématiquement un quatrième mode de 15 réalisation d'un miroir déformable 40 selon l'invention. Le miroir déformable 40 comprend les mêmes éléments que le miroir déformable 30 présenté sur la figure 3 mais se différencie du miroir déformable 30 par le fait qu'il comprend un élément élastique 22 positionné entre la plaque 18 et la seconde extrémité 17 de l'actionneur 15. Cette configuration permet de 20 limiter le déplacement de la seconde extrémité 17 de l'actionneur 15 et ainsi d'obtenir une précision importante de la déformation de la membrane déformable 11 lorsque l'actionneur 15 exerce un effort axial selon l'axe Z. La figure 5 représente schématiquement un cinquième mode de 25 réalisation d'un miroir déformable 50 selon l'invention. Le miroir déformable 50 comprend les mêmes éléments que le miroir déformable 10 présenté sur la figure 1 mais se différencie du miroir déformable 10 par le fait qu'il comprend un élément élastique 51 positionné entre la plaque 18 et la structure porteuse 14. L'élément élastique 51 peut être par exemple un 30 ressort ou une mousse ou tout autre élément présentant une certaine élasticité. L'élément élastique 51 permet de limiter le déplacement de la seconde extrémité 17 de l'actionneur 15 et ainsi d'obtenir une précision importante de la déformation de la membrane déformable 11 lorsque l'actionneur 15 exerce un effort axial selon l'axe Z. 35 304 732 1 8 La figure 6 représente schématiquement un sixième mode de réalisation d'un miroir déformable 60 selon l'invention. Le miroir déformable 60 comprend les mêmes éléments que le miroir déformable 50 présenté sur la figure 5 mais se différencie du miroir déformable 50 par le fait qu'il 5 comprend un élément élastique 22 positionné entre la plaque 18 et la seconde extrémité 17 de l'actionneur 15. Cette configuration permet de limiter le déplacement de la seconde extrémité 17 de l'actionneur 15 et ainsi d'obtenir une précision importante de la déformation de la membrane déformable 11 lorsque l'actionneur 15 exerce un effort axial selon l'axe Z. 10 Dans la configuration du miroir déformable 50 et du miroir déformable 60, il est possible d'avoir un deuxième élément élastique 52 positionné entre la plaque 18 et la structure porteuse 14. Par exemple, la plaque 18 peut être reliée à la structure porteuse 14 par plusieurs éléments 15 élastiques, par exemple trois éléments élastiques autour de chaque actionneur, avantageusement positionnés à 120°. La figure 7 représente schématiquement un septième mode de réalisation d'un miroir déformable 70 selon l'invention. Le miroir déformable 20 70 comprend les mêmes éléments que le miroir déformable 50 présenté sur la figure 5 mais se différencie du miroir déformable 50 par le fait que la plaque 18 est liée à la face arrière 12 par l'intermédiaire d'un coupleur 31 configuré pour transmettre uniquement un effort axial entre l'actionneur 15 et la membrane déformable 11 et pour permettre un déplacement libre dans le 25 premier plan de la membrane déformable 11 par rapport à la plaque 18. Comme expliqué précédemment pour le miroir déformable 30 représenté sur la figure 3, le coupleur 31 peut être par exemple une pièce longitudinale métallique, aussi appelée biellette, avantageusement ayant un coefficient de dilatation très faible. Le coupleur 31 peut être constitué en titane, en acier 30 inoxydable ou en alliage de 64% fer et de 36 % nickel. Le coupleur 31 peut présenter des strictions permettant de créer une souplesse en flexion filtrant les moments parasites. De même que précédemment, le miroir déformable 70 est 35 représenté schématiquement avec un seul coupleur 31. L'invention 304 732 1 9 s'applique aussi à un miroir déformable comprenant deux, trois ou, plus généralement, une pluralité de coupleurs 31 répartis uniformément ou non-uniformément entre la plaque 18 et la membrane déformable 11. 5 La figure 8 représente schématiquement un huitième mode de réalisation d'un miroir déformable 80 selon l'invention. Le miroir déformable 80 comprend les mêmes éléments que le miroir déformable 70 présenté sur la figure 7 mais se différencie du miroir déformable 70 par le fait qu'il comprend un élément élastique 22 positionné entre la plaque 18 et la 10 seconde extrémité 17 de l'actionneur 15. Cette configuration permet de limiter le déplacement de la seconde extrémité 17 de l'actionneur 15 et ainsi d'obtenir une précision importante de la déformation de la membrane déformable 11 lorsque l'actionneur 15 exerce un effort axial selon l'axe Z. 15 La figure 9 représente schématiquement un neuvième mode de réalisation d'un miroir déformable 90 selon l'invention. Le miroir déformable 90 comprend les mêmes éléments que le miroir déformable 70 présenté sur la figure 7 mais se différencie du miroir déformable 70 par le fait qu'il comprend un pied d'encastrement 91 reliant la membrane déformable 11 à la 20 structure porteuse 14, et la plaque 18 a une extrémité fixée dans le pied d'encastrement 91. Le pied d'encastrement 91 relie la membrane déformable 11 à la structure porteuse 14. Le pied d'encastrement 91 peut être central. Dans ce cas, la membrane déformable est reliée en son centre au pied d'encastrement. Par exemple, le pied d'encastrement 91 peut comprendre 25 une bague sur laquelle est collée la membrane déformable de façon à maintenir en position la membrane déformable. Le miroir déformable selon l'invention peut aussi comprendre plusieurs pieds d'encastrement (par exemple trois pieds d'encastrement positionnés à 120°), par exemple positionnés en périphérie du miroir. Dans ce cas, la membrane déformable 30 est reliée aux pieds d'encastrement au niveau de sa zone périphérique ou peut l'être aussi sur un diamètre intermédiaire du miroir. Le fait que la plaque 18 ait une extrémité fixée dans le pied d'encastrement 91 permet de réduire les contraintes qui lui sont appliquées 35 notamment lors du lancement. 304 732 1 10 La figure 10 représente schématiquement un dixième mode de réalisation d'un miroir déformable 100 selon l'invention. Le miroir déformable 100 comprend les mêmes éléments que le miroir déformable 10 présenté sur 5 la figure 1 mais se différencie du miroir déformable 10 par le fait que la plaque 18 a une extrémité fixée dans le pied d'encastrement 91, comme expliqué précédemment dans le mode de réalisation présenté sur la figure 9. A noter que la variante de la plaque 18 ayant une extrémité fixée 10 dans le pied d'encastrement 91 peut s'appliquer à tous les modes de réalisations présentés ci-dessus. De façon plus générale, toutes les caractéristiques présentées sur chacun des modes de réalisation présentés précédemment peuvent se 15 combiner sans sortir du cadre de l'invention. La figure 11 représente schématiquement un onzième mode de réalisation d'un miroir déformable 110 selon l'invention. Le miroir déformable 110 comprend les mêmes éléments que le miroir déformable 90 présenté sur 20 la figure 9 mais se différencie du miroir déformable 90 par le fait que l'actionneur 15 comprend une tête 92 libre en translation dans un troisième plan sensiblement parallèle au deuxième plan et libre en rotation positionnée sur la seconde extrémité 17 de l'actionneur 15 et la tête 92 est reliée à la structure porteuse 14 par au moins un élément élastique 52, de façon à 25 limiter le déplacement de la seconde extrémité 17 de l'actionneur 15. La tête 92 est dite flottante du fait qu'elle est libre en rotation et en translation et est uniquement soumise à un effort uniaxial selon l'axe de l'actionneur 15. La tête 92 permet de diviser par un certain facteur le déplacement de la seconde extrémité 17 de l'actionneur 15. 30 Une seule tête flottante est représentée sur la figure 11 mais l'invention s'applique aussi à un miroir déformable comprenant plusieurs têtes flottantes, jusqu'à une tête flottante par actionneur. 3047321 11 On peut noter que le mode de réalisation avec tête flottante peut être combiné avec tous les autres modes de réalisation déjà présentés. Néanmoins, en présence d'un élément élastique entre l'actionneur 15 et la plaque 18 ou entre la plaque 18 et la structure porteuse 14, la tête flottante 5 92 n'est pas nécessaire puisque le déplacement de la seconde extrémité 17 de l'actionneur 15 est alors limitée par le ou les éléments élastiques. Avantageusement, la plaque 18 peut être évidée, dans le but de l'assouplir, de façon à favoriser sa déformation quand l'actionneur 15 exerce 10 l'effort axial. Ainsi, il est possible d'obtenir une bonne déformation de la plaque 18 sans augmenter les efforts que doit fournir chaque actionneur 15. Par ailleurs, en évidant la plaque 18, on obtient un léger gain de poids du miroir déformable. 15 La figure 12 représente schématiquement un douzième mode de réalisation d'un miroir déformable 120 selon l'invention comprenant plusieurs actionneurs. Le miroir déformable 120 comprend les mêmes éléments que les miroirs déformables présentés sur les figures précédentes. En effet, l'invention concerne aussi un miroir déformable comprenant plusieurs 20 actionneurs ayant chacun une première et une seconde extrémités, la première extrémité étant fixée sur la structure porteuse, la seconde extrémité étant apte à se déplacer par rapport à la première extrémité selon un premier axe sensiblement perpendiculaire au premier plan pour exercer sur la face arrière un effort axial selon le premier axe, de façon à déformer localement la 25 membrane déformable. Les actionneurs peuvent être répartis uniformément ou non sur la structure porteuse, et leur nombre est généralement défini en fonction des dimensions de la membrane déformable. 30 REVENDICATIONS1. Miroir déformable (10, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80, 90, 100, 110, 120) comprenant : - une membrane déformable (11) s'étendant au repos dans un premier plan (13) et ayant une face avant réfléchissante et une face arrière 5 (12) opposée à la face avant, - une structure porteuse (14), - un actionneur (15) ayant une première (16) et une seconde (17) extrémités, la première extrémité (16) étant fixée sur la structure porteuse (14), la seconde extrémité (17) étant apte à se déplacer par rapport à la 10 première extrémité (16) selon un premier axe (Z) sensiblement perpendiculaire au premier plan (13) pour exercer sur la face arrière (12) un effort axial selon le premier axe (Z), de façon à déformer localement la membrane déformable (11), caractérisé en ce qu'il comprend une plaque (18) sensiblement plane dans 15 un deuxième plan (19) sensiblement parallèle au premier plan (13), positionnée entre l'actionneur (15) et la membrane déformable (11), liée à la face arrière (12) et apte à se déformer quand l'actionneur (15) exerce l'effort axial, et en ce que la plaque (18) est rigide dans le deuxième plan (19) de façon à reprendre des efforts appliqués au miroir dans le deuxième plan (19). 20 2. Miroir déformable (10, 20, 50, 60, 100, 120) selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend un élément élastique (21) positionné entre la plaque (18) et la membrane déformable (11). 25 3. Miroir déformable (30, 40, 70, 80, 90, 110) selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que la plaque (18) est liée à la face arrière (12) par l'intermédiaire d'un coupleur (31) configuré pour transmettre uniquement un effort axial entre l'actionneur (15) et la membrane déformable (11) et pour permettre un déplacement libre dans le 30 premier plan (13) de la membrane déformable (11) par rapport à la plaque (18). 3047321 13 4. Miroir déformable (20, 40, 60, 80, 100) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend un élément élastique (22) positionné entre la plaque (18) et la seconde extrémité (17) de l'actionneur (15). 5. Miroir déformable (50, 60, 70, 80, 90) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend un élément élastique (51) positionné entre la plaque (18) et la structure porteuse (14). 6. Miroir déformable (110) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'actionneur (15) comprend une tête (92) libre en translation dans un troisième plan sensiblement parallèle au deuxième plan (19) et libre en rotation positionnée sur la seconde extrémité (17) de l'actionneur (15) et en ce que la tête (92) est reliée à la structure porteuse (14) par au moins un élément élastique (52), de façon à limiter le déplacement de la seconde extrémité (17) de l'actionneur (15). 7. Miroir déformable (90, 100, 110) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend un pied d'encastrement (91) reliant la membrane déformable (11) à la structure porteuse (14), et en ce que la plaque (18) a une extrémité fixée dans le pied d'encastrement (91). 8. Miroir déformable (10, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80, 90, 100, 110, 120) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la plaque (18) est évidée de façon à favoriser sa déformation quand l'actionneur (15) exerce l'effort axial. 9. Miroir déformable (120) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend plusieurs actionneurs ayant chacun une première et une seconde extrémités, la première extrémité étant fixée sur la structure porteuse, la seconde extrémité étant apte à se déplacer par rapport à la première extrémité selon un premier axe sensiblement perpendiculaire au premier plan pour exercer sur la face 3047321 14 arrière un effort axial selon le premier axe, de façon à déformer localement la membrane déformable. 5