Brevet FR3038057A1 — publié le 20161230

DISPOSITIF DE MESURE DE TOPOGRAPHIE D'UNE SURFACE D'UN SYSTEME La présente invention a trait à un dispositif de mesure de topographie d'une surface d'un système. Un tel dispositif est principalement utilisé pour étudier la fiabilité et les modes de défaillance du système. Par « surface », on entend la partie extérieure du système qui circonscrit le volume occupé par celui-ci. La surface peut donc être à 3 dimensions. On ne se limite donc pas à la définition mathématique de « surface » qui est une entité à 2 dimensions. Le système peut appartenir à différents domaines techniques. A titre d'exemples non limitatifs, on peut citer l'électronique, en particulier la microélectronique, l'automobile, l'aérospatiale, le secteur médical. Dans le domaine de la microélectronique, le système peut être par exemple une tranche semi-conductrice (« wafer» en langue anglaise), un connecteur, un support (« socket » en langue anglaise), un circuit imprimé, un carré (« die » en langue anglaise) de circuit imprimé, une matrice de billes (« Ball Grid Array -BGA-» en langue anglaise), l'encapsulation d'un circuit imprimé (« Package on package - PoP- » en langue anglaise) etc. Un dispositif connu de l'état de la technique, notamment du document FR 2 870 935, comporte : - une enceinte thermique adaptée pour recevoir le système, - des moyens de chauffage agencés dans l'enceinte pour chauffer le système, - des moyens de projection agencés hors de l'enceinte pour projeter une lumière structurée dans le domaine visible à la surface du système électronique, - des moyens de capture d'image agencés hors de l'enceinte pour capturer la lumière structurée réfléchie par la surface du système électronique. Les moyens de chauffage permettent de solliciter le système qui est alors soumis à une excitation thermique. Le système microélectronique est susceptible de subir des déformations thermomécaniques et de donner lieu à des défauts, par exemple des défauts d'interfaces, des gauchissements de surface, ou encore des ouvertures de circuits électriques aux interconnexions entre différents composants. Les moyens de chauffage sont généralement de type infrarouge ou de type convectif. 3038057 2 La mesure de topographie de surface conduit classiquement à soumettre le système à un profil de température compris entre -60°C et 300°C. A titre d'exemple, la vitesse de variation de température est de l'ordre de ± 3°C/s. La mesure de topographie de surface doit s'effectuer idéalement de manière 5 continue, c'est-à-dire sans attendre l'établissement de l'équilibre thermique après chaque variation de température, et ce afin de réduire la durée de l'opération et de simuler le profil de température d'un four de refusion. Pour ce faire, l'enceinte doit présenter une inertie thermique d'absorption la plus faible possible. Dans l'état de la technique, l'enceinte comprend des parois réalisées en 10 verre ou en quartz de silice qui sont transparents dans le domaine visible et dans le domaine infrarouge. Une telle enceinte de l'état de la technique permet d'obtenir une inertie thermique d'absorption convenable, c'est-à-dire suffisamment faible pour la plupart des systèmes mesurés. Toutefois, l'inertie thermique d'absorption peut s'avérer trop importante et occasionner une durée 15 d'opération longue lorsque l'on applique une vitesse de variation de température élevée à certains systèmes mesurés, et ce quels que soient les moyens de chauffage. En outre, lorsque les moyens de chauffage sont de type infrarouge, une telle enceinte de l'état de la technique n'est pas entièrement satisfaisante dans la 20 mesure où le rayonnement infrarouge est transmis hors de l'enceinte à travers les parois qui sont transparentes dans le domaine infrarouge. Certains éléments du dispositif qui sont disposés hors de l'enceinte peuvent alors être détériorés, tout particulièrement lorsque les moyens de chauffage infrarouge présentent une puissance élevée. 25 La présente invention vise à remédier en tout ou partie aux inconvénients précités, et concerne à cet effet un dispositif de mesure de topographie d'une surface d'un système, le dispositif comportant : - une enceinte adaptée pour recevoir le système, l'enceinte comprenant une 30 partie transparente dans le domaine visible, - des moyens de chauffage agencés dans l'enceinte pour chauffer le système, - des moyens de projection agencés hors de l'enceinte pour projeter une lumière structurée dans le domaine visible à la surface du système et à travers la partie transparente de l'enceinte, 303 805 7 3 - des moyens de capture d'image agencés hors de l'enceinte pour capturer la lumière structurée réfléchie par la surface du système et se propageant à travers la partie transparente de l'enceinte, le dispositif étant remarquable en ce que l'enceinte comporte : 5 - une paroi interne destinée à être orientée vers le système, et une paroi externe opposée à la paroi interne, - un milieu de séparation agencé pour séparer la paroi interne et la paroi externe, le milieu de séparation présentant une effusivité thermique inférieure à 5000 J. K1. m-2. 5-1/2. 10 Ainsi, un tel dispositif selon l'invention permet d'obtenir une inertie thermique d'absorption convenable, c'est-à-dire suffisamment faible pour la plupart des systèmes mesurés. En effet, le paramètre prépondérant gouvernant l'inertie thermique d'absorption est l'effusivité E d'un matériau. L'effusivité est 15 donnée par la formule E= (À p c)112 où À est la conductivité thermique du matériau, p est la masse volumique du matériau, et c est la capacité thermique massique du matériau. Le stockage de chaleur dans le milieu de séparation est d'autant plus important que la chaleur peut pénétrer facilement le milieu de séparation (À élevée) et que le milieu de séparation peut stocker de l'énergie sans se réchauffer 20 ou se refroidir notablement (p c élevée). On recherche donc à minimiser l'effusivité afin de minimiser l'inertie thermique d'absorption. Le fait que le milieu de séparation présente une effusivité thermique inférieure à 5000 J. m-2. 5-1/2 permet d'obtenir une inertie thermique d'absorption inférieure ou de l'ordre de celle du quartz. 25 Avantageusement, la paroi interne et la paroi externe sont réalisées dans un matériau opaque dans le domaine infrarouge. Le fait que la paroi interne et la paroi externe sont réalisées dans un matériau opaque dans le domaine infrarouge permet d'éviter une forte 30 transmission du rayonnement infrarouge hors de l'enceinte, et par là-même une détérioration de certains éléments du dispositif qui sont disposés hors de l'enceinte lorsque les moyens de chauffage sont des moyens de chauffage infrarouge, et ce y compris lorsque les moyens de chauffage infrarouge présentent une puissance élevée. La paroi interne et la paroi externe peuvent être 303 805 7 4 réalisées dans un matériau opaque dans le domaine infrarouge identique. En revanche, le ou les matériaux opaques de la paroi interne et de la paroi externe sont différents du milieu de séparation, ce qui autorise un choix différencié du ou des matériaux opaques et du milieu de séparation afin d'allier une faible 5 transmission du rayonnement infrarouge et une faible inertie thermique d'absorption, ce qui n'est pas possible avec une enceinte constituée d'un seul matériau tel que le quartz. Par « domaine infrarouge », on entend un domaine spectral s'étendant entre 0,7 pm et 400 pm, correspondant à un chauffage radiant. 10 Par « opaque », on entend que la paroi interne et la paroi externe transmettent chacune au maximum 10% d'un rayonnement incident en intensité dans le domaine spectral considéré. Avantageusement, le milieu de séparation présente une effusivité 15 thermique inférieure à 1500 J. m-2. S-1/2 préférentiellement inférieure à 1000 J. m-2. s'/2, , plus préférentiellement inférieure à 500 J. m-2. 5-1/2, encore plus préférentiellement inférieure à 100 J. m-2. 5-1/2. Ainsi, plus l'effusivité thermique du milieu de séparation est faible, plus l'inertie thermique d'absorption du dispositif est faible, et meilleures sont les 20 performances du dispositif en termes de comportement dynamique, c'est-à-dire un temps d'attente réduit de l'établissement de l'équilibre thermique après chaque variation de température à l'intérieur de l'enceinte. Une effusivité thermique inférieure à 1500 J. m-2. S-1/2 permet d'obtenir une inertie thermique d'absorption inférieure ou de l'ordre de celle d'un verre 25 (silice fondue). Une effusivité thermique inférieure à 100 J. m-2. S-1/2 permet d'obtenir une inertie thermique d'absorption de l'ordre de celle d'une laine, par exemple une laine de roche ou une laine de céramique, ou encore de celle d'une mousse, par exemple une mousse de polystyrène ou une mousse de polyuréthane. 30 Dans un mode de réalisation, le milieu de séparation est sélectionné dans le groupe comportant une lame d'air, un matériau à base d'un silicate de calcium, un matériau à base d'une laine. 3038057 5 Ainsi, de tels milieux de séparation permettent d'obtenir une effusivité thermique inférieure à 5000 J. m-2. 5-1/2. Dans un mode de réalisation, la paroi interne et la paroi externe de 5 l'enceinte sont réalisées dans un matériau textile, le matériau textile étant de préférence sélectionné dans le groupe comportant une toile de verre, une toile aramide, et une toile de silice. Ainsi, le fait que la paroi interne et la paroi externe de l'enceinte sont réalisées dans un matériau textile permet de rendre robuste l'enceinte 10 relativement à une enceinte en quartz de silice qui demeure fragile en raison de sa faible épaisseur. En outre, un matériau textile autorise un assemblage aisé pour la formation de l'enceinte. Par ailleurs, la toile de verre, la toile aramide et la toile de silice sont opaques dans le domaine infrarouge, et sont réfractaires jusqu'à une température d'au moins 300°C. 15 Avantageusement, le matériau textile est réfractaire jusqu'à une température d'au moins 300°C. Avantageusement, le dispositif comporte : 20 - une première couche métallique interposée entre la paroi interne de l'enceinte et le milieu de séparation, - une deuxième couche métallique interposée entre la paroi externe de l'enceinte et le milieu de séparation. Ainsi, de telles couches métalliques permettent de minimiser les transferts 25 de chaleur par rayonnement entre la paroi externe et la paroi interne, et permettent d'améliorer l'étanchéité de l'enceinte à l'air chaud. Selon une variante de réalisation, la paroi interne et la paroi externe de l'enceinte sont réalisées dans un matériau sélectionné dans le groupe comportant 30 un métal et un acier inoxydable. Dans un mode de réalisation, le dispositif comporte une armature, et des moyens de rappel élastique, et l'enceinte est montée sur l'armature contre l'action des moyens de rappel élastique. 3038057 6 Ainsi, de tels moyens de rappel élastique permettent d'absorber les déformations thermomécaniques de l'enceinte, augmentant par là-même sa robustesse. 5 Dans un mode de réalisation, le dispositif comporte : - des moyens d'injection agencés pour injecter un fluide à l'intérieur de l'enceinte, - des moyens d'expulsion agencés pour expulser un fluide hors de l'enceinte. Ainsi, de tels moyens d'injection et d'expulsion permettent de refroidir le système. Le fluide est avantageusement à température ambiante, c'est-à-dire une 10 température comprise entre 20°C et 30°C ou réfrigéré. Le fluide est avantageusement de l'air ou de l'azote liquide. Dans un mode de réalisation, la paroi interne de l'enceinte présente une épaisseur comprise entre 0,3 mm et 0,7 mm, de préférence comprise entre 0,4 15 mm et 0,6 mm. Ainsi, une telle épaisseur de la paroi interne de l'enceinte contribue à l'obtention d'une faible inertie thermique d'absorption de l'enceinte. D'autres caractéristiques et avantages apparaîtront dans la description qui 20 va suivre de différents modes de réalisation de l'invention, donnés à titre d'exemples non limitatifs, en référence aux dessins annexés dans lesquels : - la figure 1 est une vue en perspective d'un dispositif selon l'invention, en l'absence de capot de protection, - la figure 2 est une vue partielle en perspective à l'échelle agrandie du dispositif 25 illustré à la figure 1, - la figure 3 est une vue partielle de côté en transparence du dispositif illustré à la figure 1, - la figure 4 est une vue en perspective d'un distributeur de fluide équipant l'intérieur d'une enceinte d'un dispositif selon l'invention, 30 - la figure 5 est une vue partielle en perspective du dispositif illustré à la figure 1 représentant une partie de l'enceinte, - la figure 6 est une vue partielle en perspective du dispositif illustré à la figure 1, représentant une armature destinée à supporter la partie de l'enceinte illustrée à la figure 5, 3038057 7 - la figure 7 est une vue partielle à l'échelle agrandie du dispositif illustré à la figure 1, - la figure 8 est une vue schématique partielle en coupe d'une enceinte équipant le dispositif illustré à la figure 1. 5 Pour les différents modes de réalisation, les mêmes références seront utilisées pour des éléments identiques ou assurant la même fonction, par souci de simplification de la description. Les caractéristiques techniques décrites ci-après pour différents modes de réalisation sont à considérer isolément ou selon toute combinaison techniquement possible. 10 Le dispositif 1 illustré aux figures 1 à 8 est un dispositif 1 de mesure de topographie d'une surface d'un système (non illustré), le dispositif 1 comportant : - une enceinte 2 adaptée pour recevoir le système, l'enceinte 2 comprenant une partie transparente 20 dans le domaine visible, 15 - des moyens de chauffage agencés dans l'enceinte 2 pour chauffer le système, - des moyens de projection agencés hors de l'enceinte 2 pour projeter une lumière structurée dans le domaine visible à la surface du système et à travers la partie transparente 20 de l'enceinte 2, - des moyens de capture d'image agencés hors de l'enceinte 2 pour capturer la 20 lumière structurée réfléchie par la surface du système et se propageant à travers la partie transparente 20 de l'enceinte 2. L'enceinte 2 du dispositif 1 comporte : - une paroi interne 21 destinée à être orientée vers le système, et une paroi externe 22 opposée à la paroi interne 21, 25 - un milieu de séparation 23 agencé pour séparer la paroi interne 21 et la paroi externe 22, le milieu de séparation 23 présentant une effusivité thermique inférieure à 5000 J. m-2. 5-1/2. Le système peut appartenir à différents domaines techniques. A titre 30 d'exemples non limitatifs, on peut citer l'électronique, en particulier la microélectronique, l'automobile, l'aérospatiale, le secteur médical. Dans le domaine de la microélectronique, le système peut être par exemple une tranche semi-conductrice (« wafer » en langue anglaise), un connecteur, un support (« socket » en langue anglaise), un circuit imprimé, un carré (« die » en langue 3038057 8 anglaise) de circuit imprimé, une matrice de billes (« Bali Grid Array-BGA-» en langue anglaise), l'encapsulation d'un circuit imprimé (« Package on package - PoP- » en langue anglaise) etc. 5 La partie transparente 20 de l'enceinte 2 comporte avantageusement : - une première surface vitrée 20a à travers laquelle est projetée la lumière structurée, - une seconde surface vitrée 20b à travers laquelle se propage la lumière structurée réfléchie par la surface du système. 10 Les moyens de projection comportent avantageusement un projecteur 3 agencé hors de l'enceinte 2 pour projeter la lumière structurée dans le domaine visible à la surface du système et à travers la partie transparente 20 de l'enceinte 2, plus précisément à travers la première surface vitrée 20a de l'enceinte 2. La 15 lumière structurée forme avantageusement un réseau de franges de moiré. Les moyens de capture d'image comportent avantageusement une caméra 4 agencée hors de l'enceinte 2 pour capturer la lumière structurée réfléchie par la surface du système et se propageant à travers la partie transparente 20 de 20 l'enceinte 2, plus précisément à travers la seconde surface vitrée 20b de l'enceinte 2. La caméra 4 est adaptée pour fournir les mesures de topographie de la surface du système à partir de la lumière structurée capturée. Le milieu de séparation 23 présente avantageusement une effusivité 25 thermique inférieure à 1500 J. m-2. S-1/2 préférentiellement inférieure à 1000 J. m-2. s'/2, , plus préférentiellement inférieure à 500 J. m-2. 5-1/2, encore plus préférentiellement inférieure à 100 J. m-2. 5-1/2. Le milieu de séparation 23 est avantageusement sélectionné dans le groupe comportant une lame d'air, un matériau à base d'un silicate de calcium, un matériau à base d'une laine. Ces 30 matériaux sont poreux, et présentent donc une masse volumique faible, ce qui permet d'obtenir une inertie thermique d'absorption faible de l'enceinte 2. Lorsque le milieu de séparation 23 est un matériau à base d'une laine, la laine est avantageusement une laine de roche ou une laine de céramique. De telles laines présentent une faible conductivité thermique, une faible capacité thermique 303 805 7 9 massique ainsi qu'une faible masse volumique, si bien que l'effusivité thermique est faible (inférieure à 100 J. m-2. s'/2). ) En outre, de telles laines sont réfractaires jusqu'à une température de 300°C, ce qui permet d'avoir une bonne tenue mécanique dans le temps. Le milieu de séparation 23 présente 5 avantageusement une épaisseur de l'ordre de 6 mm. Dans un mode de réalisation, la paroi interne 21 et la paroi externe 22 sont avantageusement réalisées dans un matériau opaque dans le domaine infrarouge. La paroi interne 21 et la paroi externe 22 de l'enceinte 2 sont 10 avantageusement réalisées dans un matériau textile, de préférence une toile de verre. La paroi interne 21 et la paroi externe 22 de l'enceinte 2 sont avantageusement réalisées dans le même matériau textile. La paroi interne 21 et la paroi externe 22 sont avantageusement montées solidaires entre elles par couture. La paroi interne 21 et la paroi externe 22 de l'enceinte 2 sont 15 avantageusement tendues à l'aide d'un ensemble de tiges 210 formant un cadre (visibles aux figures 7 et 8). Les tiges 210 sont de préférence métalliques. Le matériau textile est avantageusement réfractaire jusqu'à une température d'au moins 300 °C. La paroi interne 21 de l'enceinte 2 présente avantageusement une épaisseur comprise entre 0,3 mm et 0,7 mm, de préférence comprise entre 0,4 et 20 0,6 mm. Selon une forme d'exécution non illustrée, le dispositif 1 comporte avantageusement : - une première couche métallique interposée entre la paroi interne 21 de l'enceinte 2 et le milieu de séparation 23, 25 - une deuxième couche métallique interposée entre la paroi externe 22 de l'enceinte 2 et le milieu de séparation 23. Dans un mode de réalisation, la paroi interne 21 et la paroi externe 22 de l'enceinte 2 sont réalisées dans un matériau sélectionné dans le groupe comportant un métal et un acier inoxydable. 30 Le dispositif 1 comporte avantageusement : - une armature 5, et - des moyens de rappel élastique. 3038057 10 L'enceinte 2 est montée sur l'armature 5 contre l'action des moyens de rappel élastique. Plus précisément, les moyens de rappel élastique comportent avantageusement des ressorts de torsion 50 présentant chacun : - une première extrémité montée sur l'armature 5, 5 - une seconde extrémité opposée à la première extrémité, la seconde extrémité étant montée sur une tige 210 parmi l'ensemble de tiges 210 formant le cadre. Le dispositif 1 comporte avantageusement : - des moyens d'injection agencés pour injecter un fluide à l'intérieur de l'enceinte 10 2, - des moyens d'expulsion agencés pour expulser un fluide hors de l'enceinte 2. Le fluide est avantageusement à température ambiante ou réfrigéré. Le fluide est avantageusement de l'air ou de l'azote liquide. Les moyens d'injection comportent avantageusement : 15 - des ventilateurs 6 agencés pour injecter de l'air à température ambiante à l'intérieur de l'enceinte 2, - des distributeurs 10 de fluide agencés pour distribuer l'air injecté par les ventilateurs 6 à l'intérieur de l'enceinte 2. Les distributeurs 10 de fluide comportent avantageusement plusieurs 20 séries d'orifices 100a, 100b, 100c ménagés en leur sein agencées pour diriger l'air des ventilateurs 6 selon différentes directions de manière à homogénéiser le refroidissement à l'intérieur de l'enceinte 2. La vitesse de variation en température pour le refroidissement peut être de l'ordre de -3°C/s pour des températures supérieures à 120°C. Les moyens 25 d'expulsion comportent avantageusement un conduit principal 7 comprenant deux conduits secondaires 70. Chaque conduit secondaire 70 présente une première extrémité débouchant dans le conduit principal 7, et une seconde extrémité débouchant dans une hotte 8 présente dans l'enceinte 2. 30 Les moyens de chauffage sont avantageusement des moyens de chauffage infrarouge. Les moyens de chauffage infrarouge comportent avantageusement des lampes 9 à infrarouge. Les moyens de chauffage infrarouge sont agencés à l'intérieur de l'enceinte 2 de manière à améliorer l'homogénéité thermique dans l'enceinte 2. Plus précisément, les lampes 9 à 3038057 11 infrarouge sont destinées à être agencées sous le système. Les moyens de chauffage infrarouge comportent avantageusement des lampes 9' à infrarouge montées sur la hotte 8. Les lampes 9' à infrarouge sont destinées à être agencées au-dessus du système. Les moyens de chauffage infrarouge sont 5 avantageusement adaptés pour chauffer le système jusqu'à une température de 300°C. Les moyens d'injection et les moyens d'expulsion sont avantageusement adaptés pour refroidir le système jusqu'à une température de -60°C. Le dispositif 1 comporte avantageusement des moyens de commande 10 configurés pour commander les moyens de chauffage, les moyens d'injection et les moyens d'expulsion de manière à faire varier la température à l'intérieur de l'enceinte 2 avec une vitesse de variation de température de l'ordre de ± 3°C/s. L'enceinte 2 comporte avantageusement une partie 24 montée mobile 15 entre une position fermée et une position ouverte dans laquelle la partie 24 autorise le chargement du système à l'intérieur de l'enceinte 2. REVENDICATIONS1. Dispositif (1) de mesure de topographie d'une surface d'un système, le dispositif (1) comportant : - une enceinte (2) adaptée pour recevoir le système, l'enceinte (2) comprenant une partie transparente (20) dans le domaine visible, - des moyens de chauffage (9, 9') agencés dans l'enceinte (2) pour chauffer le système, - des moyens de projection (3) agencés hors de l'enceinte (2) pour projeter une lumière structurée dans le domaine visible à la surface du système et à travers la partie transparente (20) de l'enceinte (2), - des moyens de capture d'image (4) agencés hors de l'enceinte (2) pour capturer la lumière structurée réfléchie par la surface du système et se propageant à travers la partie transparente (20) de l'enceinte (2), le dispositif (1) étant caractérisé en ce que l'enceinte (2) comporte : - une paroi interne (21) destinée à être orientée vers le système, et une paroi externe (22) opposée à la paroi interne (21), - un milieu de séparation (23) agencé pour séparer la paroi interne (21) et la paroi externe (22), le milieu de séparation (23) présentant une effusivité thermique inférieure à 5000 J. m-2. 5-1/2. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que la paroi interne (21) et la paroi externe (22) sont réalisées dans un matériau opaque dans le domaine infrarouge. 3. Dispositif (1) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le milieu de séparation (23) présente une effusivité thermique inférieure à 1500 J. m-2. - 1/2 S , préférentiellement inférieure à 1000 J. m-2. -1/2 S plus préférentiellement inférieure à 500 J. K-1. m -2. s -1/2, encore plus préférentiellement inférieure à 100 J. K1. m-2. 5-1/2. 4. Dispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le milieu de séparation (23) est sélectionné dans le groupe comportant une lame d'air, un matériau à base d'un silicate de calcium, un matériau à base d'une laine. 3038057 13 5. Dispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que la paroi interne (21) et la paroi externe (22) de l'enceinte (2) sont réalisées dans un matériau textile, le matériau textile étant de préférence sélectionné dans le 5 groupe comportant une toile de verre, une toile aramide, et une toile de silice. 6. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que le matériau textile est réfractaire jusqu'à une température d'au moins 300°C. 10 7. Dispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il comporte : - une première couche métallique interposée entre la paroi interne (21) de l'enceinte (2) et le milieu de séparation (23), - une deuxième couche métallique interposée entre la paroi externe (22) de 15 l'enceinte (2) et le milieu de séparation (23). 8. Dispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que la paroi interne (21) et la paroi externe (22) de l'enceinte (2) sont réalisées dans un matériau sélectionné dans le groupe comportant un métal et un acier inoxydable. 20 9. Dispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'il comporte une armature (5), et des moyens de rappel élastique (50), et en ce que l'enceinte (2) est montée sur l'armature (5) contre l'action des moyens de rappel élastique (50). 25 10. Dispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce qu'il comporte : - des moyens d'injection (6, 10) agencés pour injecter un fluide à l'intérieur de l'enceinte (2), 30 - des moyens d'expulsion (7, 70) agencés pour expulser un fluide hors de l'enceinte (2). 3038057 14 11. Dispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que la paroi interne (21) de l'enceinte (2) présente une épaisseur comprise entre 0,3 mm et 0,7 mm, de préférence comprise entre 0,4 mm et 0,6 mm.