Brevet FR3038058A1 — publié le 20161230

DISPOSITIF DE MESURE DE TOPOGRAPHIE D'UNE SURFACE D'UN ENSEMBLE DE SYSTEMES La présente invention a trait à un dispositif de mesure de topographie d'une 5 surface d'un ensemble de systèmes. Un tel dispositif est principalement utilisé pour étudier la fiabilité et les modes de défaillance de chaque système. Par « surface », on entend la partie extérieure du système qui circonscrit le volume occupé par celui-ci. La surface peut donc être à 3 dimensions. On ne se 10 limite donc pas à la définition mathématique de « surface » qui est une entité à 2 dimensions. Chaque système peut appartenir à différents domaines techniques. A titre d'exemples non limitatifs, on peut citer l'électronique, en particulier la microélectronique, l'automobile, l'aérospatiale, le secteur médical. Dans le 15 domaine de la microélectronique, le système peut être par exemple une tranche semi-conductrice (« wafer» en langue anglaise), un connecteur, un support (« socket » en langue anglaise), un circuit imprimé, un carré (« die » en langue anglaise) de circuit imprimé, une matrice de billes (« Ball Grid Array-BGA-» en langue anglaise), l'encapsulation d'un circuit imprimé (« Package on package - 20 PoP- » en langue anglaise) etc. Un dispositif connu de l'état de la technique, notamment du document FR 2 870 935, comporte : - une enceinte thermique adaptée pour recevoir l'ensemble de systèmes électroniques, 25 - des moyens de chauffage infrarouge agencés dans l'enceinte pour chauffer l'ensemble de systèmes électroniques, - des moyens de projection agencés hors de l'enceinte pour projeter une lumière structurée dans le domaine visible à la surface de chaque système électronique, 30 - des moyens de capture d'image agencés hors de l'enceinte pour capturer la lumière structurée réfléchie par la surface de chaque système électronique. Les moyens de chauffage infrarouge permettent de solliciter chaque système qui est alors soumis à une excitation thermique. Chaque système microélectronique est susceptible de subir des déformations thermomécaniques 3038058 2 et de donner lieu à des défauts, par exemple des défauts d'interfaces, des gauchissements de surface, ou encore des ouvertures de circuits électriques aux interconnexions entre différents composants. La mesure de topographie de surface conduit classiquement à soumettre chaque système à un profil de température compris entre -60°C et 300°C. A titre d'exemple, la vitesse de variation de température est de l'ordre de ± 3°C/s. La mesure de topographie de surface doit s'effectuer idéalement de manière continue, c'est-à-dire sans attendre l'établissement de l'équilibre thermique après chaque variation de température, et ce afin de réduire la durée de l'opération et de simuler le profil de température d'un four de refusion. Pour ce faire, l'enceinte doit présenter une inertie thermique d'absorption la plus faible possible. L'enceinte de l'état de la technique comporte une partie mobile entre : - une position ouverte dans laquelle elle autorise l'accès à l'intérieur de l'enceinte, et - une position fermée dans laquelle elle obture l'enceinte. Le dispositif de l'état de la technique comporte une plaque disposée à l'intérieur de l'enceinte, la plaque étant réglable en hauteur. Les systèmes électroniques dont la topographie de surface est à mesurer sont déposés sur la plaque en déplaçant préalablement la partie mobile de l'enceinte en position ouverte. Un tel dispositif de l'état de la technique n'est pas entièrement satisfaisant dans la mesure où : - la position des systèmes électroniques sur la plaque n'est pas aisément reproductible, impactant la reproductibilité des mesures et la précision des 25 mesures liée à un étalonnage préalable des moyens de capture d'image par rapport à une position de référence, - un opérateur doit approcher ses mains à l'intérieur de l'enceinte afin de récupérer les systèmes électroniques après les mesures sur la plaque, alors que l'intérieur de l'enceinte est potentiellement encore chaud, avec donc des risques 30 de brûlure. La présente invention vise à remédier en tout ou partie aux inconvénients précités, et concerne à cet effet un dispositif de mesure de topographie d'une 3038058 3 surface d'un ensemble de systèmes, l'ensemble de systèmes pouvant être disposé dans un porte-échantillon, le dispositif comportant : - une enceinte adaptée pour recevoir l'ensemble de systèmes, l'enceinte comprenant une partie transparente dans le domaine visible, 5 - des moyens de chauffage infrarouge agencés dans l'enceinte pour chauffer l'ensemble de systèmes, - des moyens de projection agencés hors de l'enceinte pour projeter une lumière structurée dans le domaine visible à la surface de chaque système et à travers la partie transparente de l'enceinte, 10 - des moyens de capture d'image agencés hors de l'enceinte pour capturer la lumière structurée réfléchie par la surface de chaque système et se propageant à travers la partie transparente de l'enceinte, les moyens de capture d'image pouvant être étalonnés par une mire d'étalonnage, le dispositif étant remarquable en ce qu'il comporte : 15 - un tiroir de chargement destiné à charger la mire d'étalonnage à l'intérieur de l'enceinte lors d'une phase d'étalonnage, le tiroir étant destiné à charger le porte-échantillon à l'intérieur de l'enceinte lors d'une phase de mesure, - des moyens de guidage agencés pour guider le tiroir dans un plan de guidage entre une première position dans laquelle le tiroir est situé hors de 20 l'enceinte, et une deuxième position dans laquelle le tiroir est situé à l'intérieur de l'enceinte, - des moyens de déplacement motorisés configurés pour déplacer la mire d'étalonnage suivant une direction perpendiculaire au plan de guidage lors de la phase d'étalonnage. Ainsi, un tel dispositif selon l'invention autorise une meilleure reproductibilité et une meilleure précision des mesures grâce : - au tiroir et aux moyens de guidage qui permettent de guider le tiroir dans la deuxième position à l'intérieur de l'enceinte, et donc de manière reproductible, et - à de tels moyens de déplacement motorisés qui autorisent l'étalonnage de moyens de capture d'image du type à lumière structurée. En outre, un tel dispositif selon l'invention permet d'éviter à un opérateur d'approcher ses mains à l'intérieur de l'enceinte afin de récupérer l'ensemble de systèmes après les mesures grâce aux moyens de guidage qui permettent de 3038058 4 guider le tiroir dans la première position hors de l'enceinte, réduisant ainsi fortement le risque de brûlures. Dans un mode de réalisation, le dispositif comporte le porte-échantillon, et le 5 porte-échantillon comporte un ensemble d'ouvertures traversantes ménagées en son sein, chaque ouverture traversante étant destinée à recevoir un système parmi l'ensemble de systèmes. Ainsi, de telles ouvertures traversantes permettent de faciliter le chauffage de l'ensemble de systèmes. 10 Dans un mode de réalisation, le porte-échantillon présente une surface plane définie par une première direction et une deuxième direction perpendiculaire à la première direction, et l'ensemble d'ouvertures traversantes forme des motifs régulièrement espacés suivant la première direction et suivant la deuxième 15 direction. Ainsi, de tels motifs formés par les ouvertures traversantes permettent : - de faciliter ultérieurement l'analyse des mesures de topographie de surface en séparant distinctement l'ensemble de systèmes, - assurer une répartition équilibrée de l'ensemble de système à l'intérieur de 20 l'enceinte, ce qui est difficilement réalisable par un opérateur. Dans un mode de réalisation, le porte-échantillon comporte un évidement s'étendant sur le pourtour de chaque ouverture traversante, l'évidement étant conformé pour maintenir en position le système reçu dans l'ouverture traversante 25 correspondante. Ainsi, un tel évidement permet un maintien latéral du système correspondant sans introduire de contraintes mécaniques. Selon une forme d'exécution, le porte-échantillon est réalisé dans un matériau 30 sélectionné dans le groupe comportant un métal, une céramique, le graphite et le quartz. Ainsi, de tels matériaux sont choisis de sorte que le porte-échantillon présente une faible inertie thermique d'absorption et/ou ne modifie pas le comportement thermomécanique du système. 3038058 5 Dans un mode de réalisation, le dispositif comporte des organes de butée contre lesquels vient en butée le tiroir dans la deuxième position. Ainsi, de tels organes de butée permettent d'assurer la reproductibilité du 5 positionnement du tiroir à l'intérieur de l'enceinte dans la deuxième position, et par là-même d'assurer la reproductibilité du positionnement du porte-échantillon à l'intérieur de l'enceinte. Dans un mode de réalisation, les moyens de déplacement motorisés sont 10 configurés pour déplacer le tiroir suivant la direction perpendiculaire au plan de guidage, et le tiroir est destiné à recevoir la mire d'étalonnage lors de la phase d'étalonnage, les moyens de déplacement motorisés comportant de préférence deux moteurs synchrones agencés de part et d'autre du tiroir. Ainsi, la présence de deux moteurs synchrones agencés de part et d'autre du 15 tiroir permet d'éviter que la mire d'étalonnage ne soit en porte-à-faux. Selon une variante de réalisation, le dispositif comporte un porte-outils destiné à recevoir la mire d'étalonnage lors de la phase d'étalonnage, le porte-outils étant destiné à recevoir le porte-échantillon lors de la phase de mesure, et 20 les moyens de déplacement motorisés sont configurés pour déplacer le porte- outils suivant la direction perpendiculaire au plan de guidage. Avantageusement, les moyens de déplacement motorisés comportent trois moteurs synchrones, et le porte-outils est monté sur les trois moteurs synchrones 25 en appui du type trait-point-plan. Ainsi, un tel montage du porte-outils permet d'étalonner simplement et avec précision les moyens de capture d'image. Dans un mode de réalisation, l'enceinte comporte une partie mobile entre : 30 - une position ouverte dans laquelle elle autorise le déplacement du tiroir de la première position vers la deuxième position, et réciproquement, et - une position fermée dans laquelle elle obture l'enceinte, et le tiroir est monté solidaire de la partie mobile de l'enceinte de sorte que le tiroir est déplacé dans la première position lorsque ladite partie mobile est 3038058 6 déplacée dans la position ouverte, et de sorte que le tiroir est déplacé dans la deuxième position lorsque ladite partie mobile est déplacée dans la position fermée. Ainsi, la récupération du porte-échantillon situé à l'intérieur de l'enceinte est 5 facilitée car il suffit de déplacer la partie mobile de l'enceinte en position ouverte. L'opérateur n'a plus besoin de s'approcher de l'intérieur de l'enceinte pour déplacer le tiroir dans la première position, et les risques de brûlure sont donc fortement réduits voire absents. 10 Dans un mode de réalisation, le dispositif comporte un automate configuré pour charger ou décharger le porte-échantillon lorsque le tiroir est dans la première position. Ainsi, le temps de chargement ou de déchargement du porte-échantillon est minimisé. 15 Avantageusement, l'automate est configuré pour déplacer la partie mobile de l'enceinte de la position ouverte vers la position fermée et réciproquement. Selon une forme d'exécution, les moyens de guidage comportent deux 20 glissières agencées de part et d'autre du tiroir, et le dispositif comporte une surface d'appui s'étendant le long de chaque glissière, la surface d'appui étant conformée pour supporter un bord latéral du porte-échantillon. Ainsi, de telles surfaces d'appui confèrent au porte-échantillon une meilleure stabilité à l'intérieur de l'enceinte, ce qui permet d'exploiter des mesures de 25 topographie de surface de plus grande précision. D'autres caractéristiques et avantages apparaîtront dans la description qui va suivre de différents modes de réalisation de l'invention, donnés à titre d'exemples non limitatifs, en référence aux dessins annexés dans lesquels : 30 - la figure 1 est une vue partielle en perspective d'un dispositif selon l'invention, - la figure 2 est une vue d'un porte-échantillon équipant un dispositif selon l'invention, - la figure 3 est une vue partielle de dessus d'un dispositif selon l'invention, 3038058 7 - la figure 4 est une vue partielle de côté à l'échelle agrandie d'un dispositif selon l'invention illustrant plus particulièrement les moyens de guidage, - la figure 5 est une vue partielle de côté à l'échelle agrandie d'un dispositif selon l'invention illustrant plus particulièrement les moyens de déplacement 5 motorisés, - la figure 6 est une vue schématique partielle en coupe d'une enceinte équipant un dispositif selon l'invention, - la figure 7 est une vue en perspective d'un porte-outils équipant un dispositif selon l'invention. 10 Pour les différents modes de réalisation, les mêmes références seront utilisées pour des éléments identiques ou assurant la même fonction, par souci de simplification de la description. Les caractéristiques techniques décrites ci-après pour différents modes de réalisation sont à considérer isolément ou selon toute combinaison techniquement possible. 15 Le dispositif 1 illustré aux figures 1 à 7 est un dispositif de mesure de topographie d'une surface d'un ensemble de systèmes (non illustré), l'ensemble de systèmes pouvant être disposé dans un porte-échantillon 4, le dispositif 1 comportant : 20 - une enceinte 2 adaptée pour recevoir l'ensemble de systèmes, l'enceinte 2 comprenant une partie transparente 20 dans le domaine visible, - des moyens de chauffage infrarouge agencés dans l'enceinte 2 pour chauffer l'ensemble de systèmes, - des moyens de projection agencés hors de l'enceinte 2 pour projeter une 25 lumière structurée dans le domaine visible à la surface de chaque système et à travers la partie transparente 20 de l'enceinte 2, - des moyens de capture d'image agencés hors de l'enceinte 2 pour capturer la lumière structurée réfléchie par la surface de chaque système et se propageant à travers la partie transparente 20 de l'enceinte 2, les moyens de 30 capture d'image 6 pouvant être étalonnés par une mire d'étalonnage. Le dispositif 1 comporte en outre : - un tiroir 3 de chargement destiné à charger la mire d'étalonnage à l'intérieur de l'enceinte 2 lors d'une phase d'étalonnage, le tiroir 3 étant destiné à 3038058 8 charger le porte-échantillon 4 à l'intérieur de l'enceinte 2 lors d'une phase de mesure, - des moyens de guidage agencés pour guider le tiroir 3 dans un plan de guidage entre une première position dans laquelle le tiroir 3 est situé hors de 5 l'enceinte 2, et une deuxième position dans laquelle le tiroir 3 est situé à l'intérieur de l'enceinte 2, - des moyens de déplacement motorisés configurés pour déplacer la mire d'étalonnage suivant une direction perpendiculaire au plan de guidage lors de la phase d'étalonnage. 10 Chaque système peut appartenir à différents domaines techniques. A titre d'exemples non limitatifs, on peut citer l'électronique, en particulier la microélectronique, l'automobile, l'aérospatiale, le secteur médical. Dans le domaine de la microélectronique, le système peut être par exemple une tranche semi-conductrice (« wafer» en langue anglaise), un connecteur, un support 15 (« socket » en langue anglaise), un circuit imprimé, un carré (« die » en langue anglaise) de circuit imprimé, une matrice de billes (« Ball Grid Array -BGA-» en langue anglaise), l'encapsulation d'un circuit imprimé (« Package on package - PoP- » en langue anglaise) etc. La partie transparente 20 de l'enceinte 2 comporte avantageusement : 20 - une première surface vitrée 20a à travers laquelle est projetée la lumière structurée, - une seconde surface vitrée 20b à travers laquelle se propage la lumière structurée réfléchie par la surface de chaque système. L'enceinte 2 du dispositif 1 comporte avantageusement : 25 - une paroi interne 21 destinée à être orientée vers l'ensemble de systèmes, et une paroi externe 22 opposée à la paroi interne 21, la paroi interne 21 et la paroi externe 22 étant réalisées dans un matériau opaque dans le domaine infrarouge, - un milieu de séparation 23 agencé pour séparer la paroi interne 21 et la 30 paroi externe 22, le milieu de séparation 23 présentant une effusivité thermique inférieure à 5000 J. m-2. 5-1/2. Le milieu de séparation 23 présente avantageusement une effusivité thermique inférieure à 1500 J. m-2.S1/2 , préférentiellement inférieure à 1000 J. K-1. m-2. 5-1/2, plus préférentiellement inférieure à 500 J. m-2. 5-1/2, encore plus 3038058 9 préférentiellement inférieure à 100 J. Kl. m-2. s-112. Le milieu de séparation 23 est avantageusement sélectionné dans le groupe comportant une lame d'air, un matériau à base d'un silicate de calcium, un matériau à base d'une laine. Ces matériaux sont poreux, et présentent donc une masse volumique faible, ce qui 5 permet d'obtenir une inertie thermique d'absorption faible de l'enceinte 2. Lorsque le milieu de séparation 23 est un matériau à base d'une laine, la laine est avantageusement une laine de roche ou une laine de céramique. De telles laines présentent une faible conductivité thermique, une faible capacité thermique massique ainsi qu'une faible masse volumique, si bien que l'effusivité thermique 10 est faible (inférieure à 100 J. Kl. m-2. s-1/2). En outre, de telles laines sont réfractaires jusqu'à une température de 300°C, ce qui permet d'avoir une bonne tenue mécanique dans le temps. Le milieu de séparation 23 présente avantageusement une épaisseur de l'ordre de 6 mm. La paroi interne 21 et la paroi externe 22 de l'enceinte 2 sont 15 avantageusement réalisées dans un matériau textile, de préférence sélectionné dans le groupe comportant une toile de verre, une toile aramide, et une toile de silice. La paroi interne 21 et la paroi externe 22 de l'enceinte 2 sont avantageusement réalisées dans le même matériau textile. La paroi interne 21 et la paroi externe 22 sont avantageusement montées solidaires entre elles par 20 couture. La paroi interne 21 et la paroi externe 22 de l'enceinte 2 sont avantageusement tendues à l'aide d'un ensemble de tiges 210 formant un cadre. Les tiges 210 sont de préférence métalliques. Le matériau textile est avantageusement réfractaire jusqu'à une température d'au moins 300°C. La paroi interne 21 de l'enceinte 2 présente avantageusement une épaisseur comprise 25 entre 0,3 mm et 0,7 mm, de préférence comprise entre 0,4 et 0,6 mm. Les moyens de projection comportent avantageusement un projecteur 5 agencé hors de l'enceinte 2 pour projeter la lumière structurée dans le domaine visible à la surface de chaque système et à travers la partie transparente 20 de l'enceinte 2, plus précisément à travers la première surface vitrée 20a de 30 l'enceinte 2. La lumière structurée forme avantageusement un réseau de franges de moiré. Les moyens de capture d'image comportent avantageusement une caméra 6 agencée hors de l'enceinte 2 pour capturer la lumière structurée réfléchie par la surface de chaque système et se propageant à travers la partie transparente 20 3038058 10 de l'enceinte 2, plus précisément à travers la seconde surface vitrée 20b de l'enceinte 2. La caméra 6 est adaptée pour fournir les mesures de topographie de la surface de chaque système à partir de la lumière structurée capturée. Le dispositif 1 comporte avantageusement : 5 - des moyens d'injection agencés pour injecter un fluide à l'intérieur de l'enceinte 2, - des moyens d'expulsion agencés pour expulser un fluide hors de l'enceinte 2. Le fluide est avantageusement à température ambiante, c'est-à-dire une 10 température comprise entre 20°C et 30°C, ou réfrigéré. Le fluide est avantageusement de l'air ou de l'azote liquide. Les moyens d'injection comportent avantageusement des ventilateurs (non illustrés) agencés pour injecter de l'air à température ambiante à l'intérieur de l'enceinte 2. La vitesse de variation en température pour le refroidissement peut être de l'ordre de -3°C/s pour des 15 températures supérieures à 120°C. Les moyens d'expulsion comportent avantageusement un conduit principal 7 comprenant deux conduits secondaires 70. Chaque conduit secondaire 70 présente une première extrémité débouchant dans le conduit principal 7, et une seconde extrémité débouchant dans une hotte (non illustrée) présente dans l'enceinte 2. Les moyens d'injection et les moyens 20 d'expulsion sont avantageusement adaptés pour refroidir le système jusqu'à une température de -60°C. Les moyens de chauffage infrarouge comportent avantageusement des lampes 8 à infrarouge. Les moyens de chauffage infrarouge sont agencés à l'intérieur de l'enceinte 2 de manière à améliorer l'homogénéité thermique dans 25 l'enceinte 2. Plus précisément, les lampes 8 à infrarouge sont destinées à être agencées sous l'ensemble de systèmes. Les moyens de chauffage infrarouge sont avantageusement adaptés pour chauffer l'ensemble de systèmes jusqu'à une température de 300°C. Par « infrarouge », on entend un domaine spectral s'étendant entre 0,7 pm et 400 pm, correspondant à un chauffage radiant. 30 Le dispositif 1 comporte avantageusement des moyens de commande configurés pour commander les moyens de chauffage, les moyens d'injection et les moyens d'expulsion de manière à faire varier la température à l'intérieur de l'enceinte 2 avec une vitesse de variation de température de l'ordre de ± 3°C/s. 3038058 11 Selon un mode de réalisation, le dispositif 1 comporte le porte-échantillon 4. Le porte-échantillon 4 comporte avantageusement un ensemble d'ouvertures traversantes 40 ménagées en son sein, chaque ouverture traversante 40 étant destinée à recevoir un système parmi l'ensemble de systèmes. Le porte- 5 échantillon 4 présente préférentiellement la forme d'un parallélépipède rectangle. Le porte-échantillon 4 présente avantageusement une surface plane 41 définie par une première direction X'-X et une deuxième direction Y'-Y perpendiculaire à la première direction. L'ensemble d'ouvertures traversantes 40 forme avantageusement des motifs régulièrement espacés suivant la première direction 10 X'-X et suivant la deuxième direction Y'-Y. Le porte-échantillon 4 comporte avantageusement un évidement 42 s'étendant sur le pourtour de chaque ouverture traversante 40, l'évidement 42 étant conformé pour maintenir en position le système reçu dans l'ouverture traversante 40 correspondante. La forme et les dimensions des évidements 42 dépendent du système à mesurer. Le 15 porte-échantillon 4 est avantageusement réalisé dans un matériau sélectionné dans le groupe comportant un métal, une céramique, le graphite et le quartz. Le tiroir 3 présente une surface plane 30 définie par la première direction X'-X et la deuxième direction Y'-Y. En d'autres termes, la surface plane 30 du tiroir 3 et la surface plane 41 du porte-échantillon 4 sont parallèles. La surface 20 plane 30 du tiroir 3 comporte des ouvertures 300 ménagées en son sein de manière à faciliter le chauffage de l'ensemble de systèmes en conjugaison avec l'ensemble d'ouvertures traversantes 40 du porte-échantillon 4. La surface plane 30 du tiroir 3 présente une section longitudinale sensiblement en forme du chiffre « 8 ». La surface plane 30 du tiroir 3 correspond au plan de guidage. 25 Les moyens de guidage sont agencés pour guider le tiroir 3 dans le plan de guidage, suivant la direction Y'-Y, entre la première position et la deuxième position. Les moyens de déplacement motorisés sont configurés pour déplacer la mire d'étalonnage (non illustrée) suivant une troisième direction Z'-Z 30 perpendiculaire au plan de guidage défini par la première direction X'-X et la deuxième direction Y'-Y. Le plan de guidage est de préférence horizontal, et la troisième direction Z'-Z est de préférence verticale. Dans un mode de réalisation illustré à la figure 3, les moyens de déplacement motorisés sont avantageusement configurés pour déplacer le tiroir 3 3038058 12 suivant la troisième direction Z'-Z perpendiculaire au plan de guidage. Les moyens de déplacement motorisés comportent avantageusement deux moteurs synchrones Ml, M2 agencés de part et d'autre du tiroir 3 suivant la direction X'-X. Le tiroir 3 est destiné à recevoir la mire d'étalonnage lors de la phase 5 d'étalonnage. La mire d'étalonnage permet de faire la correspondance entre les unités arbitraires de la caméra 6 et les unités de dimension du système international. Les dimensions suivant la première direction X'-X et suivant la deuxième direction Y'-Y sont mesurées par les pixels de la caméra 6. La dimension suivant la troisième direction Z'-Z est codée par la phase de la lumière 10 structurée, par exemple la phase du réseau de franges de moiré, projetée à la surface de chaque système. L'étalonnage de la caméra 6 consiste donc à faire la correspondance entre les pixels de la caméra 6 et les unités de dimension du système international, puis à faire la correspondance entre la phase du réseau de franges de moiré et les unités de dimension du système international. Plus 15 précisément, une première mire d'étalonnage est déplacée suivant la troisième direction Z'-Z par les moyens de déplacement motorisés dans le champ de vision de la caméra 6 de manière à faire la correspondance entre les pixels de la caméra 6 et les unités de dimension du système international. Puis une deuxième mire d'étalonnage est déplacée par les moyens de déplacement motorisés dans 20 le champ de vision de la caméra 6 de manière à faire la correspondance entre la phase du réseau de franges de moiré et les unités de dimension du système international. Le déplacement suivant la troisième direction Z'-Z possède avantageusement une précision micrométrique. Chaque moteur synchrone M1, M2 est avantageusement un moteur pas à pas, présentant de préférence une 25 résolution de 1000 pas par tour. Selon une variante de réalisation illustrée à la figure 7, le dispositif 1 comporte avantageusement un porte-outils 9 destiné à recevoir la mire d'étalonnage lors de la phase d'étalonnage. Le porte-outils 9 est destiné à recevoir le porte-échantillon 4 lors de la phase de mesure. Les moyens de 30 déplacement motorisés sont avantageusement configurés pour déplacer le porte-outils 9 suivant la direction Z'-Z perpendiculaire au plan de guidage. Les moyens de déplacement motorisés comportent avantageusement trois moteurs synchrones Ml, M2, M3 montés sur le châssis du dispositif 1. Le porte-outils 9 est avantageusement monté sur les trois moteurs synchrones Ml, M2, M3 en appui 3038058 13 du type trait-point-plan par l'intermédiaire de doigts. Le porte-outils 9 comporte avantageusement des taquets 90 mobiles dans un plan parallèle au plan de guidage. Les taquets 90 sont agencés pour maintenir en position la mire d'étalonnage dans ledit plan parallèle au plan de guidage. 5 L'enceinte 2 comporte une partie mobile 24 entre : - une position ouverte dans laquelle elle autorise le déplacement du tiroir 3 de la première position vers la deuxième position, et réciproquement, et - une position fermée dans laquelle elle obture l'enceinte 2. Le tiroir 3 est avantageusement monté solidaire de la partie mobile 24 de 10 l'enceinte de sorte que le tiroir 3 est déplacé dans la première position lorsque ladite partie mobile 24 est déplacée dans la position ouverte, et de sorte que le tiroir 3 est déplacé dans la deuxième position lorsque ladite partie mobile 24 est déplacée dans la position fermée. Le dispositif 1 comporte avantageusement un automate (non illustré) 15 configuré pour charger ou décharger le porte-échantillon 4 lorsque le tiroir 3 est dans la première position. L'automate est avantageusement configuré pour déplacer la partie mobile 24 de l'enceinte 2 de la position ouverte vers la position fermée et réciproquement. Les moyens de guidage comportent deux glissières 10 agencées de part et 20 d'autre du tiroir 3. Les glissières 10 s'étendent suivant la deuxième direction Y'-Y. Le dispositif 1 comporte une surface d'appui 11 s'étendant le long de chaque glissière 10, la surface d'appui 11 étant conformée pour supporter un bord latéral du porte-échantillon 4. Les surfaces d'appui 11 sont de préférence planes. Le dispositif 1 comporte avantageusement des organes de butée contre lesquels 25 vient en butée le tiroir 3 dans la deuxième position. Les organes de butée sont disposés avantageusement aux extrémités des glissières 10. REVENDICATIONS1. Dispositif (1) de mesure de topographie d'une surface d'un ensemble de systèmes, l'ensemble de systèmes pouvant être disposé dans un porte- échantillon (4), le dispositif (1) comportant : - une enceinte (2) adaptée pour recevoir l'ensemble de systèmes, l'enceinte (2) comprenant une partie transparente (20) dans le domaine visible, - des moyens de chauffage infrarouge (8) agencés dans l'enceinte (2) pour chauffer l'ensemble de systèmes, - des moyens de projection (5) agencés hors de l'enceinte (2) pour projeter une lumière structurée dans le domaine visible à la surface de chaque système et à travers la partie transparente (20) de l'enceinte (2), - des moyens de capture d'image (6) agencés hors de l'enceinte (2) pour capturer la lumière structurée réfléchie par la surface de chaque système et se propageant à travers la partie transparente (20) de l'enceinte (2), les moyens de capture d'image (6) pouvant être étalonnés par une mire d'étalonnage, le dispositif étant caractérisé en ce qu'il comporte : - un tiroir (3) de chargement destiné à charger la mire d'étalonnage à l'intérieur de l'enceinte (2) lors d'une phase d'étalonnage, le tiroir (3) étant destiné à charger le porte-échantillon (4) à l'intérieur de l'enceinte (2) lors d'une phase de mesure, - des moyens de guidage (10) agencés pour guider le tiroir (3) dans un plan de guidage (X, Y) entre une première position dans laquelle le tiroir (3) est situé hors de l'enceinte (2), et une deuxième position dans laquelle le tiroir (3) est situé à l'intérieur de l'enceinte (2), - des moyens de déplacement motorisés configurés pour déplacer la mire d'étalonnage suivant une direction (Z'-Z) perpendiculaire au plan de guidage (X, Y) lors de la phase d'étalonnage. 2. Dispositif (1) selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte le porte- échantillon (4), et en ce que le porte-échantillon (4) comporte un ensemble d'ouvertures traversantes (40) ménagées en son sein, chaque ouverture traversante (40) étant destinée à recevoir un système parmi l'ensemble de systèmes. 3038058 15 3. Dispositif (1) selon la revendication 2, caractérisé en ce que le porte-échantillon (4) présente une surface plane (41) définie par une première direction (X'-X) et une deuxième direction (Y'-Y) perpendiculaire à la première direction (X'-X), et en 5 ce que l'ensemble d'ouvertures traversantes (40) forme des motifs régulièrement espacés suivant la première direction (X'-X) et suivant la deuxième direction (Y'- Y). 4. Dispositif (1) selon la revendication 2 ou 3, caractérisé en ce que le porte- 10 échantillon (4) comporte un évidement (42) s'étendant sur le pourtour de chaque ouverture traversante (40), l'évidement (42) étant conformé pour maintenir en position le système reçu dans l'ouverture traversante (40) correspondante. 5. Dispositif (1) selon l'une des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que le 15 porte-échantillon (4) est réalisé dans un matériau sélectionné dans le groupe comportant un métal, une céramique, le graphite et le quartz. 6. Dispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'il comporte des organes de butée contre lesquels vient en butée le tiroir (3) dans la 20 deuxième position. 7. Dispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que les moyens de déplacement motorisés sont configurés pour déplacer le tiroir (3) suivant la direction (Z'-Z) perpendiculaire au plan de guidage (X, Y), et en ce que 25 le tiroir (3) est destiné à recevoir la mire d'étalonnage lors de la phase d'étalonnage, les moyens de déplacement motorisés comportant de préférence deux moteurs synchrones (M1, M2) agencés de part et d'autre du tiroir (3). 8. Dispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il 30 comporte un porte-outils (9) destiné à recevoir la mire d'étalonnage lors de la phase d'étalonnage, le porte-outils (9) étant destiné à recevoir le porte-échantillon (4) lors de la phase de mesure, et en ce que les moyens de déplacement 3038058 16 motorisés sont configurés pour déplacer le porte-outils (9) suivant la direction (Z'- Z) perpendiculaire au plan de guidage (X, Y). 9. Dispositif (1) selon la revendication 8, caractérisé en ce que les moyens de 5 déplacement motorisés comportent trois moteurs synchrones (M1, M2, M3), et en ce que le porte-outils (9) est monté sur les trois moteurs synchrones (M1, M2, M3) en appui du type trait-point-plan. 10. Dispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que 10 l'enceinte (2) comporte une partie mobile (24) entre : - une position ouverte dans laquelle elle autorise le déplacement du tiroir (3) de la première position vers la deuxième position, et réciproquement, et - une position fermée dans laquelle elle obture l'enceinte (2), et en ce que le tiroir (3) est monté solidaire de la partie mobile (24) de l'enceinte 15 (2) de sorte que le tiroir (3) est déplacé dans la première position lorsque ladite partie mobile (24) est déplacée dans la position ouverte, et de sorte que le tiroir (3) est déplacé dans la deuxième position lorsque ladite partie mobile (24) est déplacée dans la position fermée. 20 11. Dispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 10, caractérisé en ce qu'il comporte un automate configuré pour charger ou décharger le porte-échantillon (4) lorsque le tiroir (3) est dans la première position. 12. Dispositif (1) selon la revendication 11 en combinaison avec la revendication 25 10, caractérisé en ce que l'automate est configuré pour déplacer la partie mobile (24) de l'enceinte (2) de la position ouverte vers la position fermée et réciproquement. 13. Dispositif (1) selon l'une des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que les 30 moyens de guidage comportent deux glissières (10) agencées de part et d'autre du tiroir (3), et en ce que le dispositif (1) comporte une surface d'appui (11) s'étendant le long de chaque glissière (10), la surface d'appui (11) étant conformée pour supporter un bord latéral du porte-échantillon (4).