Brevet FR3037397A1 — publié le 20161216

La présente invention concerne le domaine de la mesure de pression, plus particulièrement dans le domaine aéronautique. ETAT DE LA TECHNIQUE Un dispositif de détection de pression comprend un bâti sur lequel est fixé un capteur de pression. Le capteur de pression comprend un substrat portant une première électrode et une membrane qui porte une deuxième électrode en regard de la première électrode. La membrane est soumise à la pression du fluide à mesurer et est sus- ceptible de se déformer sous cette pression de telle manière que la distance entre les électrodes, mesurée selon un axe normal aux électrodes varie en fonction de la pression. Les deux électrodes soumises à une tension électrique forment donc un condensateur dont la capacité varie en fonction de la pression, la mesure de cette capacité permettant de déterminer la pression. Il existe également des dispositifs comportant d'autres moyens de mesurer la déformation de la membrane comme par exemple des jauges de contrainte. Un inconvénient de ces dispositifs dans leur en- semble est que leur précision dépend de la température et des variations de celles-ci. En effet, la membrane et le substrat étant géné- ralement dans des matériaux différents, les variations de température font naître dans le dispositif des dilatations différentielles qui engendrent des contraintes altérant la déformation de la membrane et faussant donc la mesure de la pression. OBJET DE L'INVENTION Un but de l'invention est de fournir un moyen pour améliorer la précision des capteurs. BREF EXPOSE DE L'INVENTION A cet effet, on prévoit, selon l'invention, un dispositif de détection de pression comprend un bâti sur 3037397 2 lequel est fixé un capteur de pression comprenant une membrane qui a une surface destinée à être soumise à un fluide sous pression et qui est agencée pour se déformer élastiquement en fonction de la pression, et des moyens 5 de détermination de la déformation de la membrane selon un axe normal à un plan moyen de la membrane au repos. La membrane est portée par un cadre relié au bâti par une structure de découplage mécanique pour isoler la membrane de contrainte résultant d'une dilatation thermique diffé- 10 rentielle entre le cadre et le bâti, la membrane et le cadre étant en un même matériau. La structure de découplage mécanique permet d'empêcher que les dilatations thermiques différentielles n'influent sur le comportement de la membrane, ou tout au 15 moins limite l'effet des dilatations thermiques différen- tielles sur le comportement de la membrane. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront à la lecture de la description qui suit de modes de réalisation particuliers non limita- 20 tifs de l'invention. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES Il sera fait référence aux dessins annexés, parmi lesquels : - la figure 1 est une vue schématique en coupe 25 transversale d'un dispositif selon un premier mode de réalisation de l'invention ; - la figure 2 est une vue de dessus d'un dispositif selon le premier mode de réalisation de l'invention ; 30 - la figure 3 est une vue de dessus d'un disposi- tif selon une variante du premier mode de réalisation de l'invention ; - la figure 4 est une vue schématique en coupe transversale d'un dispositif selon un deuxième 35 mode de réalisation ; 3037397 3 - la figure 5 est une vue partielle de détail de la zone V de la figure 4. DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION En référence aux figures, le dispositif de détec- 5 tion de pression comprend un bâti 1 sur lequel est fixé un capteur de pression généralement désigné en 2. Le capteur de pression 2 comprend une membrane 3 qui a une surface 4 destinée à être soumise à un fluide sous pression et qui est agencée pour se déformer élastiquement en 10 fonction de la pression. Le capteur de pression 2 com- prend en outre des moyens de détermination de la déformation de la membrane 3 selon un axe 5 normal à un plan moyen de la membrane 3 au repos. Selon l'invention, la membrane 3 est portée par 15 un cadre 6 en un même matériau que la membrane 3. Le cadre 6 est porté par une structure de découplage mécanique, généralement désignée en 7, reliée au bâti 1 et agencée pour isoler la membrane 3 de contrainte résultant d'une dilatation thermique différentielle entre le cadre 20 6 et le bâti 1. Selon le premier mode de réalisation représenté sur les figures 1 à 3, la structure de découplage 7 comporte une platine 8 solidaire du cadre 6 et des bras 9 s'étendant entre la platine 8 et le bâti 1. La platine 8, 25 la membrane 3 et le cadre 6 sont en un même matériau. Les bras 9 sont élastiquement déformables de manière à transformer en mouvement résultant parallèle au plan moyen toute dilatation thermique différentielle entre le bâti 1 et la platine 8. 30 Plus précisément ici, la platine 8 a un pourtour sensiblement rectangulaire et est monté dans un logement 10 du bâti 1 de contour rectangulaire, les bras 9 reliant le pourtour de la platine 8 à la paroi du logement 10. En référence à la figure 2, les bras 9 comportent 35 une portion incurvée 9.1 reliée à la platine 8 et une 3037397 4 portion rectiligne 9.2 reliée au bâti 1. Les portions incurvées 9.1 sont incurvées dans un même sens. La portion incurvée 9.1 de chaque bras 9 est solidaire de la platine 8 au voisinage d'un des angles de 5 la platine 8. Chaque portion rectiligne 9.2 s'étend selon une direction qui est comprise dans un plan parallèle à la membrane 3 au repos mais qui n'est pas sécante de l'axe sensible 5. La portion rectiligne 9.2 de chaque bras 9 10 est solidaire du bâti 1 au voisinage d'un des angles du logement 10, ledit angle étant l'angle voisin de celui se trouvant en regard de l'angle de la platine 8 auquel la portion incurvée 9.1 du même bras 9 est reliée. Les portions rectilignes 9.2 s'étendent symétriquement par rap- 15 port à l'axe sensible 5. Les bras 9 permettent de transformer toute dilatation thermique différentielle entre la platine 8 et le bâti 1 en un mouvement résultant constitué d'une rotation autour de l'axe sensible 5. 20 Dans le premier mode de réalisation, les moyens de détermination, connus en eux-mêmes, comprennent par exemple une première électrode solidaire de la platine 8 et une deuxième électrode portée par la membrane 3 en regard de la première électrode. Ainsi, lorsque la membrane 25 3 est soumise à la pression du fluide à mesurer, elle se déforme sous cette pression de telle manière que la distance entre les électrodes, mesurée selon l'axe 5 varie en fonction de la pression. Les deux électrodes soumises à une tension électrique forment donc un condensateur 30 dont la capacité varie en fonction de la pression, la me- sure de cette capacité permettant de déterminer la pression. A cette fin, les électrodes sont reliées à une unité de commande, connue en elle-même et non représentée ici, par des fils ayant une longueur et une souplesse 35 suffisantes pour ne pas entraver les mouvements de la 3037397 5 platine 8. Dans la variante de la figure 3, la structure de découplage 7 comprend un cadre intermédiaire 11 et les bras 9 sont rectilignes et comportent une première série 5 de bras 9.A sensiblement parallèles entre eux reliant la platine 8 au cadre intermédiaire 11 et une deuxième série de bras 9.B qui sont sensiblement perpendiculaires aux bras 9.A de la première série et qui s'étendent entre le cadre intermédiaire 11 et le bâti 1. 10 Les bras 9.A, 9.B permettent de transformer toute dilatation thermique différentielle entre la platine 8 et le bâti 1 en translation de la platine 8 dans un plan perpendiculaire à l'axe 5. Les éléments identiques ou analogues à ceux pré- 15 cédemment décrits porteront une référence numérique iden- tique à ceux-ci dans la description qui suit du deuxième mode de réalisation en relation avec la figure 4. Dans ce mode de réalisation, la structure de dé- couplage 7 comprend un bloc 13 solidaire du bâti 1 et re- 20 lié par une liaison 12 à un seul côté du cadre 6, la liaison étant agencée pour que le cadre s'étende en porte-à-faux par rapport au bâti 1. Le dispositif est agencé de telle manière que l'ensemble constitué par des éléments 2, 3, 6, 7 soit 25 dans des matériaux de même nature que l'élément sensible pour ne pas introduire de différence de dilatation entre l'élément sensible et la structure de découplage 7. L'élément sensible peut de ce fait être assemblé sur la structure de découplage 7 de manière totalement rigide. 30 Ce mode de découplage est plus précisément adapté à des éléments sensibles en silicium mais aussi en alliage de silicium (carbure de silicium, nitrure de silicium), en quartz (« silica fuse »), et en diamant. Cette structure reste facile à usiner par des méthodes méca- 35 niques ou chimiques par voie humide ou sèche. 3037397 6 Les déflexions liées au découplage sont localisés dans une partie très affinée de la liaison 12 à proximité de l'ensemble 2, 3, 6, 7 qui est comparativement infiniment rigide en cyclage thermique et/ou en vibrations. 5 A épaisseur et longueur donnée (L) de la liaison 12 (la longueur L est mesurée le long de la liaison 12 entre le bloc 13 et le cadre 6), l'efficacité du découplage (déformation acceptable de l'ensemble des éléments 3, 6 vis à vis de la performance du capteur) dépend du 10 rapport d2/d1 et d3/d1 où : d'l est l'épaisseur minimale de la liaison 12 (zone la plus flexible), d2 est l'épaisseur maximale de la liaison 12 à l'endroit de son raccordement au bloc 7 et d3 est l'épaisseur du cadre 6. Dans tous les cas, ces rapports sont de préférence com- 15 pris entre 10 et 100 de manière que l'effort restant ap- pliqué à l'élément sensible malgré la déformation de la liaison 12 soit acceptable au regard des performances attendues. Le fait d'augmenter la longueur ou de diminuer l'épaisseur de la liaison 12 permet d'améliorer encore 20 l'efficacité du découplage. L'élément sensible peut comprendre une membrane sensible à la pression et une cavité arrière pour enfermer une pression de référence qui peut être le vide. Dans ce cas, les moyens de détermination, connus 25 en eux-mêmes, comprennent des jauges de contrainte fixées à la membrane 3 pour en mesurer la déformation. Les jauges de contrainte sont reliées à une unité de commande, non représentée ici, par des fils ayant une longueur et une souplesse suffisantes pour ne pas entraver 30 les mouvements du cadre 6. Bien entendu, l'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation décrits mais englobe toute variante entrant dans le champ de l'invention telle que définie par les revendications. 35 En particulier, le dispositif peut avoir d'autres REVENDICATIONS1. Dispositif de détection de pression comprend un bâti sur lequel est fixé un capteur de pression com- prenant une membrane qui a une surface destinée à être soumise à un fluide sous pression et qui est agencée pour se déformer élastiquement en fonction de la pression, et des moyens de détermination de la déformation de la membrane selon un axe normal à un plan moyen de la membrane au repos, caractérisé en ce que la membrane est portée par un cadre relié au bâti par une structure de découplage mécanique pour isoler la membrane de contrainte résultant d'une dilatation thermique différentielle entre le cadre et le bâti, la membrane et le cadre étant en un même matériau. 2. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel la structure de découplage comporte une platine solidaire du cadre et des bras élastiquement déformables s'étendant entre la platine et le bâti de manière à transformer en mouvement résultant parallèle au plan moyen toute dilatation thermique différentielle entre le bâti et la platine, la platine, la membrane et le cadre sont en un même matériau. 3. Dispositif selon la revendication 2, dans le- quel les bras comportent une portion incurvée, les por- tions incurvées l'étant dans un même sens de telle sorte que le mouvement résultant soit une rotation autour de l'axe sensible. 4. Dispositif selon la revendication 3, dans le- quel les bras comportent une portion rectiligne s'étendant selon une direction non sécante de l'axe sen- sible, les portions rectilignes s'étendant symétriquement par rapport à l'axe sensible. 5. Dispositif selon la revendication 4, dans le- quel la platine a un pourtour sensiblement rectangulaire 3037397 9 et est logée dans un logement du bâti de contour rectangulaire, la portion incurvée de chaque bras étant solidaire de la platine au voisinage d'un des angles de la platine et la portion rectiligne de chaque bras étant so- 5 lidaire du bâti au voisinage d'un des angles du logement. 6. Dispositif selon la revendication 2, dans lequel la structure de découplage mécanique comprend un cadre intermédiaire et les bras comportent une première série de bras sensiblement parallèles entre eux reliant 10 la platine au cadre intermédiaire et une deuxième série de bras qui sont sensiblement perpendiculaires aux bras de la première série et qui s'étendent entre le cadre in- termédiaire et le bâti. 7. Dispositif selon la revendication 1, dans le- 15 quel la structure de découplage comporte une liaison du cadre au bâti sur un seul côté, la liaison étant agencée pour que le cadre s'étende en porte-à-faux par rapport au bâti.