Brevet FR3043795A1 — publié le 20170519

Domaine de l'invention La présente invention se rapporte à un dispositif et un procédé de déflection d'un faisceau lumineux et notamment un dispositif et un procédé pour dévier de manière asservie un faisceau laser à l'aide d'un micro-miroir. Etat de la technique Les lasers à balayage sont utilisés dans un grand nombre d'applications, par exemple pour la projection d'images, dans les projecteurs et pour détecter l'environnement de véhicules. Un laser à balayage est un dispositif qui dirige un faisceau laser sur une installation de dé- flection commandée par un signal de réglage pour que le faisceau laser réfléchi balaie une plage d'angle solide intéressante, par exemple un écran. Le balayage correspond à un parcours transversal de la zone d'angle solide ou de l'écran, par exemple selon un motif en zigzag ; la densité de détection souhaitée dépend de l'application. Le document US 2010/079 836 Al décrit un exemple de laser à balayage décrit ci-après en s'appuyant sur la figure 7 de ce document. La figure 7 montre un laser à balayage 1, habituel, ayant une source lumineuse 2 générant un faisceau laser 3 et une installation di- rigée sur une installation de déflection 4. Le faisceau laser 3 arrivant sur l'installation de déflection 4 est dévié en direction de l'écran 6 sous la forme d'un faisceau laser dévié 5 ; l'installation de déflection 4 est commandée par une installation d'asservissement 7 pour balayer l'écran 6. Pour cela, l'installation de déflection 4 tourne autour d'un premier axe de rotation encore appelé axe de rotation rapide, de manière à parcourir périodiquement l'écran 6 dans la direction horizontale de la gauche vers la droite et en retour. En outre, l'installation de déflection 4 tourne autour d'un second axe de rotation encore appelé axe de rotation lente, de façon que le faisceau laser 5 parcoure périodique- ment l'écran 6 de haut en bas et en retour. La combinaison des mouvements autour du premier et du second axe, c'est-à-dire de l'axe de rotation lent et de l'axe de rotation rapide, donne un motif en zigzag sur l'écran 6 selon la figure 7. L'installation d'asservissement 7 reçoit les signaux de position 8 qui indexent la position respective de l'installation 3043795 2 de déflection 4 et adaptent les signaux de commande 9 pour commander ainsi l'installation de déflection 4. Les procédés habituels de détection de la position actuelle de l'installation de déflection 4 fonctionnement par exemple selon le principe électrostatique ou piezzo- 5 résistant ou électromagnétique. Exposé et avantages de l'invention La présente invention a pour objet un dispositif pour dé- vier un faisceau lumineux comportant une installation de déflection réglable, une installation d'asservissement pour générer un signal de 10 réglage commandant l'installation de déflection pour balayer une zone d'angle solide à l'aide d'un faisceau lumineux dévié par l'installation de déflection selon un mouvement périodique, et une installation de détecteur pour saisir l'incidence ou l'absence d'incidence du faisceau lumineux de balayage sur l'installation de détecteur et en déduire, un signal 15 de mesure. L'installation d'asservissement adapte le signal de réglage en fonction au moins du signal de mesure. Le faisceau lumineux arrivant sur l'installation de déflec- tion peut être un faisceau fourni par une installation du dispositif, par 20 exemple une source lumineuse ou une installation injectant un faisceau lumineux d'origine extérieure dans le dispositif. Le faisceau lumineux est notamment un faisceau laser. Une installation de déflection comporte notamment un micro-miroir c'est-à-dire une surface réfléchissante réglable, micromé- 25 canique, et un actionneur pour la déplacer, c'est-à-dire pour dévier de manière commandée la surface réfléchissante pour dévier de manière ciblée un faisceau lumineux. Le balayage de la zone d'angle solide peut par exemple servir à balayer un écran, comme cela a été décrit ci-dessus en référence à l'état de la technique et à la figure 7. Le balayage 30 peut notamment être un mouvement rapide, par exemple horizontal, selon un axe de rotation rapide du micro-miroir et un mouvement lent, par exemple un mouvement horizontal selon un axe de rotation lent du micro-miroir ; ces mouvements sont combinés et le mouvement rapide est plus rapide que le mouvement lent. Le mouvement périodique est un 35 mouvement continu toujours dans le même sens de rotation comme par 3043795 3 exemple celui d'un micro-miroir rotatif et aussi un mouvement périodique de va-et-vient comme par exemple celui d'un micro-miroir fonctionnant en mode résonant. La déflection de la lumière par l'installation de déflection se fait également en totalité ou en partie par la déforma- 5 tion de la surface réfléchissante. L'invention a également pour objet un procédé de déflection du faisceau lumineux consistant à : commander une installation de déflection à l'aide d'un signal de commande pour balayer une zone d'angle solide à l'aide d'un fais- 10 ceau lumineux dévié par l'installation de déflection selon un mou- vement périodique, saisir l'incidence ou l'absence d'incidence du faisceau lumineux de balayage sur l'installation de détecteur, générer un signal de mesure en fonction du résultat de la saisie, et 15 adapter le signal de réglage en se fondant sur le signal de mesure. La présente invention décrit un dispositif et un procédé pour dévier un faisceau lumineux sans utiliser les capteurs de position usuels pour déterminer la position instantanée, c'est-à-dire l'orientation de l'installation de déflection. 20 En particulier, le signal de mesure qui indexe l'incidence (arrivée) et l'absence d'incidence (absence d'arrivée) du faisceau laser de balayage se fait avec un bit en attribuant par exemple la valeur logique 1 à l'incidence du faisceau lumineux et la valeur logique 0 à l'absence d'incidence du faisceau lumineux. Cela permet de réduire la quantité 25 des données nécessaires à l'asservissement de la déflection du faisceau lumineux, notamment par comparaison aux capteurs de position usuels dont les informations de position se composent par exemple de 10 bits et plus. Néanmoins grâce à la réalisation connue et à la position fixe de l'installation de détecteur, notamment de celle des photodétecteurs de 30 l'installation de détecteur, un signal à 1 bit permet de déterminer de manière précise la position de l'installation de déflection. L'invention permet ainsi de réduire les moyens de com- mutation nécessaires pour la détection et l'exploitation, par exemple dans le cas d'un laser à balayage. De plus, on évite le thermocalibrage 35 coûteux des capteurs de position usuels. En outre, on détermine de 3043795 4 manière plus précise les effets du vieillissement sur l'installation de déflection et on les compense sans que cela ne soit compliqué comme pour les effets de vieillissement des capteurs de position usuels. Les effets de vieillissement sont par exemple la dérive du décalage ou la ré- 5 duction de la sensibilité. De plus, la séparation spatiale de l'installation de détecteur et de l'installation de déflection qui chauffent en continu sous l'effet du faisceau lumineux, réduit le décalage thermique et le défaut de sensibilité thermique. L'invention augmente la disponibilité et la fiabilité des 10 dispositifs et procédés de déflection de la lumière. La détection de posi- tion, nouvelle, implicite, à l'aide de l'installation de détecteur, aboutit à un degré poussé d'indépendance par comparaison aux détecteurs de position usuels. Elle peut par exemple être combinée à des capteurs de position usuels, ce qui permet d'augmenter la redondance et/ou le con- 15 trôle de plausibilité. Selon un développement, l'installation de détecteur saisit dans chaque période d'un mouvement périodique autour d'un axe de rotation rapide du balayage de la zone d'angle solide, au moins une fois l'incidence ou l'absence d'incidence du faisceau lumineux de balayage 20 sur l'installation de détecteur. Cela permet de réduire la quantité de données nécessaires et en même temps, de saisir de manière précise le mouvement périodique de l'installation de déflection. Comme le mouvement autour de l'axe de rotation rapide du balayage est plus rapide que le mouvement périodique autour de l'axe de rotation lent du ba- 25 layage, une période du mouvement périodique autour de l'axe de rota- tion lent comprend une multiplicité de périodes du mouvement périodique autour de l'axe de rotation rapide. Cela permet également de saisir de manière précise la période du mouvement périodique autour de l'axe de rotation lent, notamment si l'installation de déflection pour 30 dévier le faisceau lumineux est identique par rapport à l'axe de rotation rapide ou est couplée selon une relation de mouvement fixe à une installation de déflection pour dévier le faisceau lumineux selon l'axe de rotation lent. Selon un autre développement, l'installation de détecteur 35 comporte un premier photodétecteur et un second photodétecteur pour 3043795 5 saisir dans chaque période du mouvement périodique autour de l'axe de rotation rapide du balayage de la zone d'angle solide, chaque fois l'incidence ou l'absence d'incidence du faisceau lumineux de balayage sur le premier et le second photodétecteurs. Comme décrit ci-dessus, la 5 saisie se traduit par la formation d'un signal de mesure avec un seul bit. Un photodétecteur est n'importe quelle installation qui permet de détecter la lumière incidente, c'est-à-dire la lumière arrivant sur le photodétecteur. Le photodétecteur est par exemple un détecteur optique tel qu'une photo diode. Le photodétecteur peut également reposer sur 10 d'autres effets physiques liés à l'arrivée d'un faisceau lumineux sur le photodétecteur comme par exemple l'élévation de température. On peut également utiliser plus de deux photodétecteurs installés par exemple dans une ou plusieurs rangées. On arrive ainsi à plusieurs points de mesure et de ce fait, à une plus grande robustesse de l'asservissement. 15 Selon un autre développement préférentiel, l'installation de déflection fonctionne en mode résonant et repose sur un signal de réglage adapté au signal de mesure de façon que l'amplitude du mouvement périodique, notamment l'amplitude du mouvement périodique autour de l'axe de rotation rapide du balayage, soit augmentée ou dimi- 20 nuée en fonction du signal de mesure par l'installation de déflection, notamment l'actionneur de l'installation de déflection. Selon un autre développement préférentiel, l'installation d'asservissement augmente ou diminue respectivement l'amplitude du mouvement périodique aux instants de mesure successifs par le signal 25 de réglage, adapté, l'amplitude étant augmentée si l'installation de dé- tecteur saisit l'absence d'incidence du faisceau lumineux de balayage sur l'installation de détecteur, et l'amplitude est respectivement diminuée si l'installation de détecteur saisit l'incidence du faisceau lumineux de balayage sur l'installation de détecteur. Cela permet de réguler 30 de façon particulièrement précise l'amplitude de l'installation de déflec- tion. Selon un autre développement, l'installation de déflection fonctionne en mode quasi statique, et l'installation de détecteur comporte un premier photodétecteur et un second photodétecteur, le pre- 35 mier photodétecteur saisissant dans chaque période du mouvement 3043795 6 périodique autour de l'axe de rotation rapide du balayage de la zone d'angle solide, précisément une fois l'incidence ou l'absence d'incidence du faisceau lumineux de balayage à un emplacement correspondant au débattement positif maximum de l'installation de déflection, et le second 5 photodétecteur saisissant dans chaque période du mouvement pério- dique autour de l'axe de rotation rapide du balayage de la zone d'angle solide, précisément une fois l'incidence ou l'absence d'incidence du faisceau lumineux de balayage à un emplacement correspondant au débattement négatif maximum de l'installation de déflection. 10 Le premier et le second photodétecteurs sont avantageu- sement situés au point d'inversion du mouvement périodique autour de l'axe de rotation rapide du balayage ou à proximité du point d'inversion respectif. Selon un autre développement préférentiel, l'installation 15 d'asservissement est commandée par une grandeur guide externe pour générer le signal de réglage. Le dispositif comporte une installation d'interpolation pour saisir une première valeur de la grandeur guide à l'instant de l'incidence du faisceau lumineux de balayage sur le premier photodétecteur et une seconde valeur de la grandeur guide à l'instant 20 de l'incidence du faisceau lumineux de balayage sur le second photodé- tecteur, l'installation d'interpolation saisissant d'autres valeurs de la grandeur guide entre les première et seconde valeurs saisies de la grandeur guide pour interpoler, et la grandeur guide est adaptée aux autres valeurs d'interpolation de la grandeur guide en se fondant sur les 25 autres valeurs interpolées de la grandeur guide pour la commande de l'installation d'asservissement. Selon un autre développement du procédé de l'invention, on augmente toujours l'amplitude du mouvement périodique de l'installation de déflection si l'installation de détecteur saisit une ab- 30 sence d'incidence du faisceau lumineux de balayage sur l'installation de détecteur parmi un ensemble d'instants de mesure successifs, et on diminue toujours l'amplitude du mouvement périodique de l'installation de déflection si l'installation de détecteur saisit l'incidence du faisceau lumineux sur l'installation de détecteur parmi un ensemble d'instants 35 de mesure successifs. 3043795 7 De plus, l'amplitude du mouvement périodique de l'installation de déflection sera toujours diminuée si l'installation de détecteur saisit à l'un des instants de mesure successifs, notamment de façon régulière parmi l'ensemble des points de mesure, l'incidence du 5 faisceau lumineux de balayage sur l'installation de détecteur. Cela per- met de générer avantageusement le basculement du signal de réglage ainsi que l'amplitude de l'installation de déflection, notamment le micro-miroir de l'installation de déflection avec une constante de temps particulièrement réduite. Le basculement peut également être appelé 10 scintillement ou tremblement et représente l'aller et venue de la valeur du signal. Par la connaissance précise de l'amplitude, on pourra par exemple calculer de manière précise les passages par O. Les passages par 0 sont souvent utilisés pour synchroniser le dispositif avec des systèmes en amont ou en aval tels que par exemple la projection d'images, 15 le pilote du laser, le verrouillage de phase à l'instant de l'injection de l'énergie ou autre élément de ce type. Le mouvement périodique évoqué ci-dessus ou dans la suite autour de l'axe de rotation rapide englobe toute modification ou développement en plus ou en variante du mouvement périodique autour 20 de l'axe de rotation lente. Selon un autre développement, la commande de l'installation de déflection se fait en fonction d'une grandeur guide externe. On saisit une première valeur de la grandeur guide à l'instant de l'incidence du faisceau lumineux de balayage sur un premier photodé- 25 tecteur et une seconde valeur de la grandeur guide à l'instant de l'incidence du faisceau lumineux de balayage sur un second photodétecteur, on interpole d'autres valeurs de la grandeur guide entre les première et seconde valeurs de la grandeur guide et on adapte la grandeur guide en se fondant sur les autres valeurs interpolées de la gran- 30 deur guide. Dessins La présente invention sera décrite ci-après de manière plus détaillée à l'aide d'un dispositif de déflection d'un faisceau lumineux et d'un procédé de déflection d'un faisceau lumineux représentés 35 dans les dessins annexés dans lesquels : 3043795 8 la figure 1 est un schéma servant à la description d'un dispositif de déflection d'un faisceau lumineux selon un mode de réalisation de la présente invention, la figure 2 est un schéma servant à décrire un dispositif de déflec- 5 tion d'un faisceau lumineux selon un autre mode de réalisation de la présente invention, la figure 3 est un schéma par blocs du dispositif de la figure 2, la figure 4 est un graphique servant à décrire le fonctionnement du dispositif selon la figure 2 et la figure 3, 10 la figure 5 est un schéma par blocs d'un dispositif de déflection d'un faisceau lumineux selon un autre mode de réalisation de l'invention, la figure 6 est un ordinogramme schématique servant à décrire le procédé de déflection d'un faisceau lumineux selon un autre mode 15 de réalisation de l'invention, et la figure 7 est un schéma d'un laser à balayage, connu. Description de modes de réalisation La figure 1 montre schématiquement un dispositif 10 de déflection d'un faisceau lumineux 50 selon un mode de réalisation de 20 l'invention. Le dispositif 10 se compose d'une installation de déflection 12, réglable, actionnée par un signal de réglage 60, notamment de façon résonnante et/ou quasi statique, pour dévier un faisceau lumineux 50 fourni, notamment un faisceau laser dans une direction spa- 25 tiale souhaitée ou dans un angle solide souhaité. Le dispositif 10 comporte une installation d'émission 14 qui génère un faisceau laser 50 et le dirige sur l'installation de déflection 12, réglable, par exemple une source lumineuse ou une installation pour injecter un faisceau lumineux 50 généré de manière externe, notamment un faisceau laser, dans 30 le dispositif 10. L'installation de fourniture 14 comporte par exemple un certain nombre d'éléments optiques tels que des lentilles, des diaphragmes, des guides de lumière ou moyens analogues. En variante, le montage du dispositif 10 selon l'invention par rapport à une source de lumière externe peut également diriger un faisceau lumineux généré de 3043795 9 manière externe comme faisceau lumineux 50 sur l'installation de déflection 12. Le faisceau lumineux 50, fourni, arrive sur l'installation de déflection 12 qui le dévie selon la position instantanée, c'est-à-dire 5 l'orientation de l'installation de déflection 12. Le dispositif 10 comporte en outre une installation de détecteur 18 pour saisir notamment de manière périodique l'incidence ou l'absence d'incidence du faisceau de lumière de balayage 50 sur l'installation de détecteur 18 et générer en fonction de cela, un signal de mesure 61. Une installation 10 d'asservissement 16 du dispositif adapte le signal de réglage 60 en fonc- tion au moins du signal de mesure 61. En particulier, l'adaptation se fait pour compenser une amplitude trop forte ou trop faible de l'installation de déflection 12 ou du faisceau lumineux 50, dévié. La figure 2 montre schématiquement un dispositif 110 15 pour dévier un faisceau lumineux 50 selon un autre mode de réalisation de l'invention. Pour la suite de la description du dispositif 110, on se reportera également à la figure 3 qui est un schéma par blocs du dispositif 110. Le dispositif 110 comporte une installation de déflection 20 112, réglable, qui se compose d'un micro-miroir 122 tournant autour d'un axe de rotation 111. Une installation d'actionnement pour faire tourner le micro-miroir sans l'installation d'actionnement (ou actionneur) assurant la rotation du micro-miroir 122, n'est pas représentée de manière explicite à la figure 2. Le micro-miroir 122 est par exemple fixé 25 à un ressort de torsion. A la figure 2, l'installation de déflection 112 est représentée dans une position déviée, par exemple selon l'angle a. Le dispositif 110 comporte une installation de fourniture 14 comme cela a été indiqué ci-dessus en référence à la figure 1 ou encore il reçoit un faisceau lumineux 50 d'origine externe, notamment un faisceau laser. 30 Le faisceau lumineux 50, ainsi fourni, arrive sur l'installation de déflec- tion 112 qui le dévie selon son angle de déflection actuel a. La figure 2 montre en outre un diaphragme optionnel 113 muni d'une ouverture 119 à travers laquelle le faisceau lumineux 50 dévié par l'installation de déflection 112 doit passer pour arriver dans la plage d'angle solide 115 35 à balayer ou sur l'objet. 3043795 10 L'axe de rotation 111 de l'installation de déflection 112 est, selon la figure 2 et selon l'exemple de réalisation décrit ici, un unique axe de rotation ou axe de rotation rapide du micro-miroir 122. Cet axe de rotation rapide permet de dévier par exemple horizontale- 5 ment le faisceau lumineux 50. La déviation/déflection verticale et de manière générale la déflection dans une direction perpendiculaire à la direction de déflection assurée par l'axe de rotation rapide, s'obtient par exemple à l'aide d'une autre installation de déflection réglable (celle-ci n'est pas représentée). En option, le dispositif 110 peut avoir un détec- 10 teur de position 123, supplémentaire, selon l'état usuel de la technique, pour saisir la position du micro-miroir 122 ; ce dispositif génère un signal de position utilisé ou susceptible d'être utilisé pour contrôler par exemple la plausibilité du signal de mesure 61. La figure 2 montre au niveau de l'arête gauche de 15 l'ouverture 119 du diaphragme 113, un premier photodétecteur 115, par exemple une photodiode et au niveau de l'arête droite de l'ouverture 119, il y a un second photodétecteur 117, par exemple une photodiode. De manière générale, le premier et le second photodétecteurs 115, 117 sont parallèles et installés notamment chacun à proximité de l'un des 20 deux points d'inversion de mouvement ou zones d'inversion de mouve- ment du faisceau lumineux 50 dévié, selon le mouvement périodique autour de l'axe de rotation rapide 111. Le premier et le second photodétecteurs 115, 117 sont par exemple de forme rectangulaire ou de préférence en forme de bande dont l'axe longitudinal est parallèle à l'axe de 25 rotation rapide 111 et ainsi perpendiculaire à la direction de mouve- ment autour de l'axe de rotation rapide 111. Les photodétecteurs 115, 117 servant à détecter le faisceau lumineux 50 permettent également de détecter celui-ci en plus lorsqu'il tourne autour de l'axe de rotation lent par rapport à l'axe de rotation rapide 111, c'est-à-dire lorsqu'il est bas- 30 culé. Le premier et le second photodétecteurs 115, 117 constituent en commun une installation de détection 118 pour saisir périodiquement l'incidence ou le défaut d'incidence du faisceau lumineux à balayage 50 sur l'installation de détection 118 et de générer en fonction de cela, le signal de mesure 61 comme cela est représenté schématiquement à la 35 figure 3. 3043795 11 La figure 3 est un schéma par blocs du dispositif 110. La figure 3 montre le dispositif 110 comportant une installation d'asservissement 116 pour générer un signal de commande ou de réglage 60 qui commande l'installation de déflection 112 pour balayer la 5 plage d'angle solide 115 ou l'objet, à l'aide du faisceau lumineux 50 dé- vié par l'installation de déflection 112 selon un mouvement périodique. Pour cela, le signal de réglage 60 est par exemple une tension électrique appliquée à l'installation d'actionnement de l'installation de déflection 112 qui fait tourner le micro-miroir 122 autour de l'axe de rotation 111. 10 L'installation d'asservissement 116 reçoit une grandeur guide externe 62 qui, en fonction du signal de mesure 61 généré, modifie, par exemple une grandeur guide par exemple elle la diminue pour générer une grandeur guide modifiée 63. De manière préférentielle, le signal de mesure est préparé par une installation de prétraitement 138 du dispositif 110 ; 15 cela signifie que le signal est traité pour générer un signal de mesure traité 66, qui aura été modifié en se fondant sur la grandeur guide externe 63. La valeur actuelle du signal de mesure traité 66 peut être déduite directement ou indirectement de la valeur actuelle de la grandeur guide 62, pour générer la valeur actuelle respective de la grandeur guide 20 modifiée 63. L'installation d'asservissement 116 comporte une installation de commande 126 qui reçoit la grandeur guide modifiée 63 et transmet en fonction de celle-ci, un signal de commande 64 à l'installation d'entraînement 136 de l'installation d'asservissement 116 ; 25 celle-ci produit un signal de réglage 60 adapté au signal de commande 64. Comme le montre schématiquement la figure 3, l'installation d'asservissement 116, l'installation de commande 126 et l'installation d'entraînement 136 peuvent être réalisées sous la forme d'un circuit intégré dédié 140 (encore appelé circuit ASIC) du dispositif 110. 30 L'installation de déflection 112 et l'installation de détecteur 118 peuvent faire partie d'un système micromécanique MEMS 140 du dispositif 110. Le premier et le second photodétecteurs 115, 117 génèrent respectivement un signal de mesure 61 ou signal commun qui comporte un bit. L'état logique 0 signifie qu'il n'y a pas d'incidence de 35 faisceau lumineux sur le photodétecteur 115, 117 respectif. L'état, lo- 3043795 12 gigue 1, signifie que le faisceau lumineux 50 est arrivé sur le photodétecteur 115, 117 correspondant. La saisie de l'incidence ou de la non incidence correspond respectivement à l'une des multiplicités de l'un des multiples instants de mesure successifs, notamment réguliers, 5 comme cela est représenté schématiquement à titre d'exemple à la fi- gure 4 et sera décrit ci-après. L'installation de déflection 112 du dispositif 110 fonc- tionne en mode résonnant. Comme explicité à l'aide de la figure 2, pour chaque période du mouvement périodique autour de l'axe de rotation 10 rapide 111, chacun des photodétecteurs 115, 117 vérifie la détection ou la non détection du faisceau lumineux 50. A chacun des instants de mesure successifs, l'installation d'asservissement 116 détermine si l'amplitude du mouvement périodique autour de l'axe de rotation rapide 111 doit être augmentée ou diminuée. Toujours, si à un instant de me- 15 sure, on a un défaut d'incidence du faisceau lumineux 50 sur l'installation de détecteur 118, c'est-à-dire sur le premier ou sur le second photodétecteurs 115, 117, on augmente l'amplitude. Si à un des instants de mesure, on saisit l'incidence du faisceau lumineux de balayage 50 sur l'installation de détecteur 118, notamment sur le premier 20 ou le second photodétecteurs 115, 117, on diminue l'amplitude. L'augmentation ou la diminution de l'amplitude du mouvement périodique peuvent se faire notamment en augmentant ou en diminuant l'amplitude du signal de réglage 60. La figure 4 montre un schéma graphique servant à expli- 25 quer le fonctionnement du dispositif 110. L'axe horizontal 93 représente le temps et l'axe vertical 94 représente l'amplitude. L'amplitude du signal de réglage 60 qui est par exemple de forme sinusoïdale, commute par exemple entre une première valeur 91 et une seconde valeur 92 inférieure à la première valeur 91. Chaque fois qu'à un instant de mesure, 30 on saisit l'incidence du faisceau lumineux 50 sur l'installation de détec- teur 118, l'amplitude du signal d'actionnement 60 passe sur la seconde valeur 92. Chaque fois qu'un instant de mesure saisit l'absence d'incidence du faisceau lumineux sur l'installation de détecteur 118, on met l'amplitude du signal de réglage 60 sur la première valeur 91. Ainsi, 35 l'amplitude 96 de l'installation de déflecteur 112 augmente ou diminue 3043795 13 de manière correspondante ; cela signifie que le débattement du micro-miroir 122 augmente ou diminue. En variante, l'amplitude du signal de réglage 60 peut également avoir plusieurs niveaux et augmenter ou diminuer de manière continue. L'augmentation ou la diminution de 5 l'amplitude 96 n'est représentée qu'à titre d'exemple à la figure 4. La première durée, c'est-à-dire la durée pendant laquelle l'amplitude du signal de réglage 60 reste sur la première valeur 91, peut être différente de la seconde durée qui correspond à la durée à laquelle l'amplitude du signal de réglage reste sur la seconde valeur 92. Par exemple, la se- 10 conde durée peut être cinq fois plus longue ou parfois neuf fois plus longue que la première durée. Les instants de mesure successifs sont par exemple choi- sis pour que la saisie de l'incidence ou de la non incidence (absence d'incidence) du faisceau lumineux sur l'installation de détecteur 118 se 15 fasse de manière régulière si pour le mode de fonctionnement actuel ou un mode de fonctionnement idéal du dispositif 110, le faisceau lumineux 50 arrive selon le mouvement périodique autour de l'axe de rotation rapide 111 précisément sur le premier ou le second photodétecteurs 115, 117. En variante ou de façon synonyme, on peut 20 choisir les instants de mesure pour que dans le fonctionnement actuel ou le fonctionnement idéal du dispositif 110, ils coïncident à chaque inversion du faisceau lumineux 50 pour le mouvement de l'axe de rotation rapide 111. De façon avantageuse, le dispositif 110 génère un bascu- 25 lement du signal de réglage 60 occasionné par l'alternance permanente entre l'augmentation et la diminution de l'amplitude du fait de l'alternance de détection et de non détection par le faisceau laser à balayage 50 par l'installation de détecteur 118. Ce basculement a l'avantage d'offrir une constante de temps significativement plus petite 30 que la constante de temps de l'installation de déflection 112. Cela per- met de régler plus précisément l'amplitude et cela d'autant plus précisément qu'il y a le basculement entre la détection et la non détection. C'est pourquoi, il est avantageux d'avoir un temps mort particulièrement réduit au retour du signal de mesure 61 vers l'installation de ré- 3043795 14 gulation 116 et une largeur de bande plus élevée pour l'installation de régulation 116. Les systèmes à micro-miroir fonctionnant en mode ré- sonnant, usuels, sont des systèmes de très grande qualité ayant des 5 constantes de temps avec une variation d'amplitude d'environ 0,1 seconde. De même, ils ont une fréquence de résonance significativement élevée dans la plage kHz, par exemple de 20 kHz. Comme cela a été indiqué ci-dessus, on a ainsi un basculement avantageux, occasionné par l'alternance permanente entre la détection et la non-détection. 10 La figure 5 montre un schéma par blocs d'un dispositif 210 pour dévier un faisceau lumineux 50 correspondant à un autre mode de réalisation de la présente invention. Le dispositif 210 est une variante du dispositif 110 qui, dans cette réalisation, comporte à la place du circuit ASIC 130 du dispositif 110, le circuit ASIC 230 du dis- 15 positif 210, et se distingue plus précisément dans la réalisation de l'installation d'asservissement 216 du dispositif 210 et ainsi dans l'exploitation des signaux du système micromécanique 140 ; pour le reste, il est identique au dispositif 110. De plus, l'installation de déflection 112 du dispositif 210 fonctionne en mode quasi statique. 20 Pour chaque période du mouvement périodique autour de l'axe de rotation rapide 111 de balayage de la plage d'angle solide ou d'objet 115, le premier photodétecteur 115 du dispositif 210 détecte précisément une fois l'incidence ou l'absence d'incidence du faisceau lumineux 50 de balayage à l'endroit correspondant au débattement po- 25 sitif maximum de l'installation de déflection 112. Le second photodétec- teur 117 du dispositif 210 détecte à chaque période du mouvement périodique autour de l'axe de rotation rapide du balayage de la plage d'angle solide, précisément une fois l'incidence ou l'absence d'incidence du faisceau lumineux de balayage 50 à l'emplacement correspondant au 30 débattement négatif maximum de l'installation de déflection 112. Le premier et le second photodétecteurs 115, 117 se trouvent respectivement à un point d'inversion ou une zone d'inversion du mouvement périodique autour de l'axe de rotation rapide de balayage 111 ou à proximité du point d'inversion ou de la zone d'inversion respective. 3043795 15 L'installation d'asservissement 216 du dispositif 210 a une installation d'interpolation 238 pour saisir une première valeur de la grandeur guide 62 à l'instant de l'arrivée du faisceau lumineux à balayage 50 sur le premier photodétecteur 115 et une seconde valeur de 5 la grandeur guide 62 à l'instant de l'arrivée du faisceau lumineux de balayage 50 sur le second photodétecteur 117. L'installation d'interpolation 238 fait l'interpolation entre d'autres valeurs de la grandeur guide 62 entre les première et seconde valeurs saisies de la grandeur guide 62, notamment en liaison avec les instants d'arrivée sur le 10 premier ou le second photodétecteur 115, 117 pour fournir un signal d'interpolation 65. La grandeur guide 62 est adaptée et notamment recalibrée par l'installation de régulation d'asservissement 216 en fonction du signal d'interpolation 65. La figure 6 montre schématiquement un ordinogramme 15 pour décrire le procédé de déflection d'un faisceau lumineux selon un autre mode de réalisation de la présente invention. Le procédé présenté à la figure 6 est appliqué par le dispositif selon l'invention, notamment un dispositif tel que les dispositifs 10, 110, 210 et peut être adapté à différents développements et variantes pour le dispositif de l'invention. 20 Dans l'étape S02, on commande l'installation de déflec- tion 12, 112 à l'aide d'un signal de commande 60 pour balayer une plage d'angle solide 115 à l'aide du faisceau lumineux 50 dévié par l'installation de déflection 12, 112 selon un mouvement périodique. Dans l'étape SO1 en option, on fournit le faisceau lumineux 50 utilisé 25 par une installation de fourniture 14 et notamment on génère le fais- ceau à l'aide de cette installation. Dans l'étape S03, on saisit notamment de façon périodique l'arrivée ou le défaut d'arrivée (incidence ou absence d'incidence) du faisceau lumineux de balayage 50 sur une installation de détecteur 18, 118. Dans l'étape SO4, on génère un signal de 30 mesure 61 fondé sur le résultat de la saisie selon l'étape S03. Dans l'étape S05, on adapte le signal de réglage 60 en fonction du signal de mesure 61. A titre d'exemple, comme cela est décrit en relation avec le dispositif 110, le signal de mesure 61 a un bit, notamment un bit qui indique l'incidence ou l'absence d'incidence du 35 faisceau lumineux 50 sur l'installation de détecteur 18, 118 ; on pourra 3043795 16 toujours augmenter l'amplitude de l'installation de déflection 12, 112 si le signal de mesure 61 correspond à un état logique 0 ; on pourra toujours le diminuer si le signal de mesure 61 correspond à un état logique 1. En variante, comme cela a été décrit en relation avec le dispositif 5 210, les valeurs de la grandeur guide 61 peuvent être interpolées et ser- vir à l'adaptation compensatrice de la grandeur guide 62, par exemple à l'aide de l'installation d'interpolation 238 du dispositif 210. 10 3043795 17 5 10 12 14 16 18 50 NOMENCLATURE DES ELEMENTS PRINCIPAUX 60 Dispositif de déflection d'un faisceau lumineux Installation de déflection Installation de fourniture d'un faisceau lumineux Installation d'asservissement Installation de détecteur Faisceau lumineux Signal de réglage 10 61 Signal de mesure 62 Grandeur guide 63 Grandeur guide modifiée 64 Signal de commande 66 Signal de mesure traité 15 91 Première valeur du signal de réglage 92 Seconde valeur du signal de réglage 93 Axe horizontal 96 Amplitude de l'installation de déflection 110, 113 Dispositif de déflection d'un faisceau lumineux 20 111 Axe de rotation rapide 115, 117 Photodétecteur 119 Orifice 122 Micro-miroir rotatif 123 Détecteur de position 25 126 Installation de commande 136 Installation d'entraînement 138 Installation de prétraitement 140 Système micromécanique (MEMS) 210 Dispositif fonctionnant en mode quasi statique 30 216 Installation d'asservissement 238 Installation d'interpolation 35 REVENDICATIONS1°) Dispositif (10, 110, 210) pour dévier un faisceau lumineux (50) comportant : une installation de déflection (12, 112) réglable, une installation d'asservissement (16, 116, 216) pour générer un signal de réglage (60) commandant l'installation de déflection (12, 112) pour balayer une zone d'angle solide (115) à l'aide d'un faisceau lumineux (50) dévié par l'installation de déflection (12, 112) selon un mouvement périodique, et une installation de détecteur (18, 118) pour saisir l'incidence ou l'absence d'incidence du faisceau lumineux de balayage (50) sur l'installation de détecteur (18, 118) et en déduire, un signal de mesure (61), dispositif dans lequel l'installation d'asservissement (16, 116, 216) adapte le signal de réglage (60) au moins en fonction du signal de mesure (61). 2°) Dispositif (110, 210) selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'installation de détecteur (118) saisit dans chaque période d'un mou- vement périodique autour d'un axe de rotation rapide (111) du balayage de la zone d'angle solide (115), au moins une fois l'incidence ou l'absence d'incidence du faisceau lumineux de balayage (50) sur l'installation de détecteur (118). 3°) Dispositif (110, 210) selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'installation de détecteur (118) comporte un premier photodétecteur (115) et un second photodétecteur (118) pour saisir dans chaque pé- riode du mouvement périodique autour de l'axe de rotation rapide (111) du balayage de la zone d'angle solide (115), chaque fois l'incidence ou l'absence d'incidence du faisceau lumineux de balayage (50) sur le premier et le second photodétecteurs (115, 117). 3043795 19 4°) Dispositif (110) selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'installation de déflection (112) fonctionne en mode résonnant, et le signal de réglage (60) adapté en fonction du signal de mesure 5 (61) augmente ou diminue l'amplitude du mouvement périodique en fonction du signal de mesure (61). 5°) Dispositif (110) selon la revendication 4, caractérisé en ce que 10 l'installation d'asservissement (116) augmente ou diminue respec- tivement l'amplitude du mouvement périodique aux instants de mesure successifs par le signal de réglage (60), adapté, l'amplitude étant augmentée si l'installation de détecteur (118) saisit l'absence d'incidence du faisceau lumineux de balayage (50) sur 15 l'installation de détecteur (118), et l'amplitude est respectivement diminuée si l'installation de détecteur (118) saisit l'incidence du faisceau lumineux de balayage (50) sur l'installation de détecteur (118). 20 6°) Dispositif (210) selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'installation de déflection (112) fonctionne en mode quasi statique, l'installation de détecteur (118) comporte un premier photodétecteur (115) et un second photodétecteur (117), 25 le premier photodétecteur (115) saisissant dans chaque période du mouvement périodique autour de l'axe de rotation rapide (111) du balayage de la zone d'angle solide (115) précisément une fois l'incidence ou l'absence d'incidence du faisceau lumineux de balayage (50) à un emplacement correspondant au débattement posi- 30 tif maximum de l'installation de déflection (112), et le second photodétecteur (117) saisissant dans chaque période du mouvement périodique autour de l'axe de rotation rapide (111) du balayage de la zone d'angle solide (115), précisément une fois l'incidence ou l'absence d'incidence du faisceau lumineux de ba- 3043795 20 layage (50) à un emplacement correspondant au débattement négatif maximum de l'installation de déflection (112). 7°) Dispositif (210) selon la revendication 6, 5 caractérisé en ce que l'installation d'asservissement (216) est commandée par une grandeur guide externe (62) pour générer le signal de réglage (60), le dispositif (210) comporte une installation d'interpolation (238) pour saisir une première valeur de la grandeur guide (62) à 10 l'instant de l'incidence du faisceau lumineux de balayage (50) sur le premier photodétecteur (115) et une seconde valeur de la grandeur guide (62) à l'instant de l'incidence du faisceau lumineux de balayage (50) sur le second photodétecteur (117), l'installation d'interpolation (238) saisissant d'autres valeurs de la 15 grandeur guide (62) entre les première et seconde valeurs saisies de la grandeur guide (62) pour interpoler, et la grandeur guide (62) est adaptée aux autres valeurs d'interpolation de la grandeur guide (62) en se fondant sur les autres valeurs interpolées de la grandeur guide (62) pour la com- 20 mande de l'installation d'asservissement (216). 8°) Procédé de déflection du faisceau lumineux (50) consistant à : commander (S02) une installation de déflection (12, 112) à l'aide d'un signal de commande (60) pour balayer une zone d'angle solide 25 (115) à l'aide d'un faisceau lumineux (50) dévié par l'installation de déflection (12, 112) selon un mouvement périodique, saisir (S03) l'incidence ou l'absence d'incidence du faisceau lumi- neux de balayage (50) sur l'installation de détecteur (18, 118), générer (SO4) un signal de mesure (61) en fonction du résultat de 30 la saisie (S03), et adapter (S05) le signal de réglage (60) en se fondant sur le signal de mesure (61). 9°) Procédé selon la revendication 8, 35 caractérisé en ce que 3043795 21 l'on augmente toujours l'amplitude du mouvement périodique de l'installation de déflection (112) si l'installation de détecteur (118) saisit une absence d'incidence du faisceau lumineux de balayage (50) sur l'installation de détecteur (118) parmi un ensemble 5 d'instants de mesure successifs, et on diminue toujours l'amplitude du mouvement périodique de l'installation de déflection (112) si l'installation de détecteur (118) saisit l'incidence du faisceau lumineux (50) sur l'installation de détecteur (118) parmi un ensemble d'instants de mesure successifs. 10 10°) Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que la commande (S02) de l'installation de déflection (112) se fait en fonction d'une grandeur guide externe (62), 15 on saisit une première valeur de la grandeur guide (62) à l'instant de l'incidence du faisceau lumineux de balayage (50) sur un premier photodétecteur (115) et une seconde valeur de la grandeur guide (62) à l'instant de l'incidence du faisceau lumineux de balayage (50) sur un second photodétecteur (117), et 20 on interpole d'autres valeurs de la grandeur guide (62) entre les première et seconde valeurs de la grandeur guide (62) et on adapte la grandeur guide (62) en se fondant sur les autres valeurs interpolées de la grandeur guide (62). 25