Brevet FR3038442A1 — publié le 20170106

La présente invention concerne un appareil de support, un appareil de mesure et un procédé pour fabriquer un article. Par exemple, dans les instruments astronomiques/d'observation spatiale, tels que les télescopes, dans les observatoires astronomiques, et les instruments industriels tels que les appareils d'exposition pour les écrans plats, il existe un besoin d'augmenter la taille des éléments optiques, tels que les lentilles ou les miroirs, ou des éléments de division qui composent de tels éléments optiques. Les diamètres ou longueurs diagonales des éléments vont, par exemple d'un à quelques mètres. Lorsque les épaisseurs de paroi des grands éléments optiques sont réduites pour réduire leur poids, et que ces derniers sont supportés, la déformation et la contrainte qui se produisent à cause de la force externe, telle que la gravité, sont augmentées. Pour cette raison, les caractéristiques optiques des éléments optiques (telles que les aberrations d'onde) sont considérablement modifiées. Par conséquent, le nombre et les agencements des points de support des dispositifs qui supportent ces grands éléments optiques sont déterminés de sorte que la déformation et la contrainte qui se produisent dans les éléments optiques satisfont des conditions admissibles. Lorsque les caractéristiques des éléments optiques doivent être mesurées, afin d'obtenir les caractéristiques visées lorsqu'ils sont utilisés, la reproductibilité de leur état de support et la reproductibilité de la contrainte et de la déformation qui se produisent dans les éléments optiques doivent être élevées. Le brevet japonais mis à l'inspection publique 2014181986 décrit un appareil de support qui supporte un élément optique par une pluralité de supports, dont chaque orientation par rapport à l'élément optique est rendue variable avec un mécanisme rotatif. En initialisant l'orientation de chaque support, la déformation est réduite 3038442 2 et une reproductibilité élevée de l'état de support est obtenue. Etant donné que l'appareil de support dans le brevet japonais mis à l'inspection publique 2014-181986 comprend 5 le mécanisme rotatif, la rigidité peut être inférieure à celle au moment où l'élément optique est supporté par des points de support fixes sans le mécanisme rotatif. Par conséquent, un objet à mesurer, tel que l'élément optique, et ses supports peuvent être considérablement influencés 10 par la vibration provenant de l'intérieur et de l'extérieur d'un appareil de mesure. En général, la vibration (vibration localisée) de l'objet à mesurer provoquée par la vibration provenant de l'intérieur et de l'extérieur de l'appareil de mesure réduit la précision de mesure. Par 15 exemple, lorsque la forme de l'élément optique doit être mesurée, des erreurs flagrantes dues à la vibration dans un composant de fréquence spatiale particulier (un ordre relativement élevé) parmi les informations qui indiquent la forme, peuvent se produire. 20 La présente invention propose, par exemple, un appareil de support avantageux pour le contrôle de vibration. Selon la présente invention, on propose un appareil de support qui comprend une pluralité de mécanismes de support 25 configurés pour supporter un objet, chacun comprenant un premier élément qui comprend une pluralité de supports pour supporter l'objet de sorte que le premier élément peut tourner autour d'un axe avec au moins un degré de liberté ; et un dispositif de contrôle de vibration prévu par rapport 30 à chacun parmi la pluralité de mécanismes de support et configure pour contrôler la vibration du premier élément. D'autres caractéristiques de la présente invention ressortiront plus clairement d'après la description suivante des modes de réalisation exemplaires en référence 35 aux dessins joints. 3038442 3 Les figures 1A à 1C illustrent un appareil de support selon un premier mode de réalisation. Les figures 2A à 2C illustrent une structure exemplaire d'un deuxième élément. 5 La figure 3 illustre un exemple spécifique d'une structure de l'appareil de support. Les figures 4A à 4C illustrent des configurations exemplaires des distributions de contrôle de vibration. Les figures 5A à 5D illustrent chacune des structures 10 exemplaires des dispositifs de contrôle de vibration. La figure 6 illustre des centres de gravité exemplaires d'une partie qui tourne. Les figures 7A à 7C illustrent une structure exemplaire d'un appareil de support selon un deuxième mode 15 de réalisation. Les figures 8A à 8C illustrent une structure exemplaire d'un appareil de support selon un troisième mode de réalisation. Les figures 9A à 9C illustrent une structure 20 exemplaire d'un appareil de support selon un quatrième mode de réalisation. Les figures 10A à 10G illustrent une structure exemplaire d'un deuxième élément. La figure 11 illustre un exemple spécifique d'une 25 structure de l'appareil de support. La figure 12 illustre des centres de gravité exemplaires d'une partie qui tourne. Les figures 13A à 13C illustrent une structure exemplaire d'un appareil de support selon un cinquième mode 30 de réalisation. La figure 14 illustre des configurations exemplaires des dispositifs de contrôle de vibration. Les figures 15A à 15C illustrent une structure exemplaire d'un appareil de support selon un sixième mode 35 de réalisation. 3038442 4 La figure 16 illustre des configurations exemplaires des dispositifs de contrôle de vibration. La figure 17 illustre une structure exemplaire d'un appareil de mesure. 5 Les modes de réalisation de la présente invention sont décrits ci-dessous en référence aux dessins joints. Sur toutes les figures proposées pour décrire les modes de réalisation, en général (sauf mention contraire), les mêmes numéros de référence sont utilisés, par exemple, pour des 10 éléments correspondants et les mêmes descriptions ne sont pas répétées. Les figures 1A à 1C illustrent un appareil de support 1 selon un premier mode de réalisation. La figure 1A est une vue de dessus de l'appareil de support 1. La 15 figure 1B est une vue latérale de l'appareil de support 1 et représente également une direction de gravité DG. La figure 1C est une vue latérale de l'appareil de support 1 qui supporte un objet W. Ici, l'appareil de support 1 est placé sur un étage de mesure MS d'un appareil de mesure M 20 avec un substrat de mise en place 101 intercalé entre eux. Trois deuxièmes éléments 102 sont prévus sur le substrat de mise en place 101. Les deuxièmes éléments 102 supportent des premiers éléments 103. Les deuxièmes éléments 102 supportent les premiers éléments 103 de sorte que les 25 premiers éléments 103 peuvent tourner autour des axes avec au moins un degré de liberté par rapport au substrat de mise en place 101. Ici, chaque premier élément 103 peut tourner autour d'un axe AX1. Ici, une pluralité de mécanismes (ici, trois mécanismes) comprenant chacun le 30 premier élément 103 et le deuxième élément 102 sont également désignés sous le terme de « pluralité de mécanismes de support ». Les figures 2A à 2C illustrent une structure exemplaire d'un deuxième élément. Comme représenté sur la 35 figure 2A (vue de face) et la figure 2B (vue latérale), le deuxième élément 102 comprend un arbre 1021 et un palier 3038442 5 1022, qui permettent au premier élément 103 de tourner. Ici, le palier 1022 est raccordé au substrat de mise en place 101 avec un carter de palier 1023 intercalé entre eux. L'arbre 1021 est raccordé au premier élément 103 avec 5 un bras rotatif 1024 intercalé entre eux. Ceci permet au premier élément 103 de pouvoir tourner par rapport au substrat de mise en place 101 avec une force de friction très faible par friction de roulement du palier. Le deuxième élément 102 peut comprendre une charnière à axe 10 unique 1025, comme représenté sur la figure 2C pour supporter ainsi le premier élément 103 de sorte que le premier élément 103 peut tourner autour de l'axe avec un degré de liberté par rapport au substrat de mise en place 101. 15 Chaque premier élément 103 comprend deux supports 104 (104a et 104b). Les deux supports sont disposés, chacun dans l'une des deux régions du premier élément correspondant obtenu en divisant le premier élément 103 correspondant par un plan qui comprend l'axe AX1 du 20 deuxième élément 102 et qui est le long de la direction de gravité. Par conséquent, en référence à la figure 1C, lorsque l'objet W est supporté par un total de six supports 104, chaque premier élément 103 tourne (voir la formule (1)) de sorte que les moments autour de l'axe AX1 25 s'équilibrent. Ceci permet de limiter correctement les trois degrés de liberté de l'objet W, c'est-à-dire le mouvement de translation dans la direction de gravité et les rotations autour de deux directions qui sont orthogonales à la gravité et qui sont orthogonale entre 30 elles. Ceci explique pourquoi chaque premier élément 103 peut tourner via le deuxième élément 102 correspondant de sorte que les forces agissant sur les supports respectifs (forces de réaction de support) s'équilibrent. Ici, une force Fa et une force Fb qui agissent sur les supports 35 respectifs peuvent être déterminées par une distance La de l'axe AX1 jusqu'à l'un des supports et une distance Lb de 3038442 6 l'axe AX1 jusqu'à l'autre support. C'est-à-dire que les forces (forces de réaction de support) qui agissent sur les supports respectifs peuvent être obtenues par les distances des supports respectifs jusqu'à l'axe : 5 Fa-La = Fb-Lb ---(1) Ici, chaque support 104 peut comprendre une surface sphérique servant de surface qui est en contact avec l'objet W. Chaque support 104 peut être réalisé avec une résine pour empêcher l'endommagement de l'objet W. 10 La figure 3 illustre un exemple spécifique d'une structure de l'appareil de support. En référence à la figure 3, il est souhaitable qu'un centre de gravité CG1 de chaque premier élément 103 (élément qui tourne) soit disposé au-dessous de l'axe AX1 dans la direction de 15 gravité DG. Grâce à cela, même lorsque l'objet W n'est pas supporté par les premiers éléments 103, il est possible de stabiliser l'orientation des premiers éléments 103 (c'est-à-dire stabiliser l'angle de rotation autour des axes AX1). Pour cette raison, ceci est avantageux des points de vue de 20 la reproductibilité du fonctionnement des premiers éléments 103 qui supportent l'objet, c'est-à-dire que la reproductibilité de l'état de support de l'objet et la reproductibilité de déformation et de contrainte qui se produisent dans l'objet (tel qu'un élément optique). Par 25 conséquent, le centre de gravité d'une partie qui tourne par rapport à l'axe AX1 du deuxième élément 102 correspondant, c'est-à-dire le centre de gravité d'une partie comprenant le premier élément correspondant 103 est disposé au-dessous de l'axe AX1 dans la direction de 30 gravité. Ici, chaque premier élément 103 est suspendu au deuxième élément 102 correspondant par une section de suspension 107. De plus, les supports 104 sont disposés au-dessus du premier élément 103 correspondant à une distance suffisante de ce dernier dans la direction de gravité de 35 sorte que l'objet W n'est pas en contact avec la section de support 107. Le centre de gravité CG1 de chaque partie qui 3038442 7 tourne est disposé au-dessous de l'axe AX1 correspondant dans la direction de gravité. Par conséquent, même lorsque l'appareil de support ne supporte pas l'objet, l'orientation de chaque partie qui tourne est stabilisée, 5 et il est possible d'améliorer la reproductibilité de la déformation ou contrainte qui se produit dans l'objet alors que l'appareil de support supporte l'objet. En tant que dispositifs de contrôle de vibration, deux amortisseurs de masse 105 (amortisseurs de vibration 10 dynamiques) sont raccordés à chaque premier élément 103. Sur la figure 1, chaque amortisseur de masse comprend un élément de masse (masse) 105 (105a ou 105b) et des ressorts 106 (106a ou 106b). Cette structure est avantageuse des points de vue du contrôle de vibration lié à la rotation de 15 chaque premier élément 103 dans son intégralité autour de l'axe AX1 et le contrôle de vibration lié au mouvement de translation des positions localisées des deux côtés du centre de gravité de chaque premier élément 103 dans une direction qui est parallèle à la direction de gravité. 20 Comme représenté sur la figure 4A, un amortisseur de masse (105c et 106c) peut être raccordé à un côté supérieur de chaque premier élément 103. Comme représenté sur la figure 4B (vue de face) et la figure 4C (vue de dessus), un amortisseur de masse annulaire (105d et 106d) peut être 25 raccordé à chaque premier élément 103. Ici, les figures 4A à 4C illustrent une configuration exemplaire de chaque dispositif de contrôle de vibration. Les structures des figures 4A à 4C sont avantageuses pour faire vibrer chaque premier élément 103 dans son intégralité dans une direction 30 parallèle à la direction de gravité. Ici, on décrit des amortisseurs de vibration dynamiques non amortis qui n'impliquent pas l'amortissement. Lorsque la masse d'un premier élément 103 est m, la constante de ressort d'un deuxième élément 102 35 est kl, la masse des éléments de masse 105 est md et la constante de rappel des ressorts 106 est k2, une fréquence 3038442 8 angulaire naturelle on, définie par le premier élément 103 et les ressorts qui supportent le premier élément 103, et une fréquence angulaire naturelle od des amortisseurs de vibration dynamiques sont exprimées par les formules (2) et 5 (3) suivantes, respectivement : Wn = \lk I rn cod - k2 md - - - (3) Les équations de mouvements lorsqu'une force externe (force d'excitation) ayant une fréquence angulaire (0 agit 10 à partir de l'étage de mesure MS de l'appareil de mesure M par rapport au premier élément 103 sont exprimées par les formules (4) et (5) : MY' ± k1.X1 - k2 (X2 - X1) = P sin cot - - - (4) Md .Ï2 k2(X 2 X1 ) -0 15 Ici, xl désigne le déplacement du premier élément 103, et x2 désigne le déplacement des éléments de masse 105. Lorsque le déplacement statique du premier élément 103 est xst, l'amplitude de vibration forcée provoquée par la force d'excitation est exprimée par les formules (6) à (8) : [ 2 1_ co 2 COd ==111) - . . (7) COd2 C°2 k2 C°2 ki con2 4 k2 20 A cause de la formule (6), le déplacement du premier élément 103 lorsque od = (0 est 0. Ici, si la fréquence 25 angulaire naturelle on, définie par le premier élément et ses ressorts, et la fréquence angulaire naturelle od des amortisseurs de vibration dynamiques sont déterminées de sorte que on = od, la formule (9) est obtenue par les formules (2) et (3) ; et en outre la formule (10) est 30 obtenue par les formules (6) et (8) : k2/k1 = md/m ---(9) 3038442 9 6,2 2 A71 k2 X [I_ - 2 J11 WC° 2 )[1 k2 W2 cod 2 k1 tudd - - ( 1 0 ) C'est-à-dire que lorsque Od = 0, 1X1/Xsij = 0, et le premier élément est fixe. Par conséquent, la masse md des éléments de masse 105 (105a et 105b) et la constante de 5 rappel k2 sont déterminées afin de satisfaire la formule (9). Les moments autour de l'axe AX1 sont exprimés par la formule (11) : Fa-La+mda-g-la = Fb-Lb+mdb-g-lb ---(11) Ici, g désigne la constante de gravitation 10 (accélération gravitationnelle). Lorsque les deux éléments de masse sont les masses les plus simples, c'est-à-dire des masses équivalentes (mda = mdb), et les distances par rapport à l'axe AX1 dans les directions horizontales sont égales entre elles, la condition dans la formule (11) est 15 satisfaite. La condition réside dans le fait que les amortisseurs de masse sont disposés de manière symétrique par rapport à un plan qui comprend l'axe AX1 et qui est le long de la direction de gravité, et l'équilibre entre les moments lorsque l'objet W est supporté, n'est pas modifié 20 par les moments qui sont générés par les amortisseurs de masse. Les figures 5A a 5D illustrent des structures exemplaires des dispositifs de contrôle de vibration. En référence à la figure 5A, les éléments de masse 1051 (1051a 25 et 1051b) peuvent être raccordés à chaque premier élément par des ressorts à lame 1061 respectifs (1061a et 1061b) ayant une constante de rappel prédéterminée. En variante, comme représenté sur les figures 5B et 5C, les éléments de masse (1052a et 1052b) peuvent être raccordés à chaque 30 premier élément par des ressorts à lames parallèles correspondants 1062 (1062a et 1062b) ayant une constante de rappel prédéterminée. Encore en variante, comme représenté sur la figure 5D, les éléments de masse 1053 (1053a et 3038442 10 1053b) peuvent être raccordés à chaque premier élément par des ressorts hélicoïdaux correspondants 1063 (1063a et 1063b). Etant donné que le fait de réduire la stabilité de 5 l'appareil de support 1 comprenant les premiers éléments 103 en raccordant les amortisseurs de vibration dynamiques peut détériorer la précision de mesure de l'appareil de mesure M, il est nécessaire d'éviter cela. Par conséquent, le centre de gravité de chaque partie comprenant le premier 10 élément 103 correspondant et qui tourne, a seulement besoin que sa rotation vers le haut soit empêchée par rapport à son axe AX1 correspondant. Ici, la figure 6 illustre des centres de gravité exemplaires d'une partie qui tourne. En référence à la figure 6, les amortisseurs de vibration 15 dynamiques 1054 (1054a et 1054b) et 1064 (1064a et 1064b) sont raccordés à chaque premier élément 103 et le centre de gravité de la partie qui tourne est déplacé vers CG1'. Etant donné que le centre de gravité CG1' existe au-dessous du centre de gravité original CG1, ceci contribue à la 20 stabilité de l'appareil de support (précision de l'appareil de mesure). En amenant les distances des supports 104 respectifs à l'axe AX1 à différer, il est possible de changer le rapport entre les forces de réaction au niveau des supports 25 respectifs par rapport à l'objet W. Par exemple, lorsque le rapport de la distance entre le support 104a et AX1 et de la distance entre le support 104b et AX1 est de 2 sur 1, le rapport de force de réaction lorsque l'objet ne tourne pas est de 1 sur 2. Même dans ce cas, les amortisseurs de 30 vibration dynamiques peuvent être construits de sorte que l'équilibre entre les moments au niveau de chaque premier élément 103 n'est pas modifié. Comme décrit ci-dessus, l'appareil de support selon le mode de réalisation permet à l'objet d'être supporté avec 35 sa vibration qui est contrôlée sans gâcher la reproductibilité de l'état de support de l'objet. 3038442 11 Les figures 7A à 7C illustrent une structure exemplaire d'un appareil de support 2 selon un deuxième mode de réalisation. Le deuxième mode de réalisation utilise des amortisseurs en tant que dispositifs de 5 contrôle de vibration. La figure 7A est une vue de dessus de l'appareil de support 2. La figure 7B est une vue latérale de l'appareil de support 2 et représente également une direction de gravité DG. La figure 7C est une vue latérale de l'appareil de support 2 qui supporte un 10 objet W. En tant qu'amortisseurs, l'appareil de support 2 comprend deux amortisseurs à huile (amortisseurs à fluide) 207 (207a et 207b). Deux extrémités de chaque amortisseur à huile sont raccordées, une à un premier élément 203 et 15 l'autre à un substrat de mise en place 201. Ici, chaque amortisseur à huile est un amortisseur de type à piston-cylindre. La différence entre les pressions d'huile l'avant et à l'arrière de chaque piston provoquée par le mouvement de chaque piston sert de force de résistance 20 (résistance au fluide) contre chaque piston, et devient une force d'amortissement par rapport à la vibration du premier élément 203 correspondant. Bien que dépendant de la structure des amortisseurs, en général, la force de résistance est proportionnelle à la puissance d'une vitesse 25 v. Ici, les amortisseurs à huile 207 génèrent des forces d'amortissement qui sont à peu près identiques. Comme représenté sur les figures 7A à 7C, les amortisseurs à huile 207 sont disposés symétriquement par rapport à un plan qui comprend l'axe AX1 et qui est le long de la 30 direction de gravité. Grâce à cela, étant donné que l'équilibre des moments au niveau du premier élément 203 n'est pas modifié, même si les amortisseurs à huile sont raccordés, les influences sur la reproductibilité de l'état de support de l'objet peuvent être dans une plage 35 admissible. Les amortisseurs selon le deuxième mode de réalisation peuvent être, conjointement avec les 3038442 12 amortisseurs de vibration dynamiques, disposés côte à côte dans l'appareil de support selon le premier mode de réalisation. Comme décrit ci-dessus, l'appareil de support selon le 5 mode de réalisation permet à l'objet d'être supporté avec sa vibration qui est contrôlée sans gâcher la reproductibilité de l'état de support de l'objet. Les figures 8A à 8C illustrent une structure exemplaire d'un appareil de support 3 selon un troisième 10 mode de réalisation. Le troisième mode de réalisation est un autre mode de réalisation dans lequel des amortisseurs sont utilisés en tant que dispositifs de contrôle de vibration. La figure 8A est une vue de dessus de l'appareil de support 3. La figure 8B est une vue latérale de 15 l'appareil de support 3, et représente également une direction de gravité DG. La figure 8C est une vue latérale de l'appareil de support 3 qui supporte un objet W. L'appareil de support 3 comprend deux amortisseurs magnétiques 308 (308a et 308b) en tant qu'amortisseurs. Les 20 amortisseurs magnétiques 308 comprennent chacun des sections d'aimant 3081 (3081a et 3081b) et une section de conducteur 3082. Lorsque les sections d'aimant et la section de conducteur se déplacent les unes par rapport aux autres, un courant de Foucault qui est proportionnel à la 25 vitesse relative de ces mouvements est généré au niveau de la section de conducteur. Une force de Lorentz agissant sur la section de conducteur due au courant de Foucault, et une force de réaction agissant sur les sections d'aimant contre la force de Lorentz deviennent des forces de résistance, à 30 cause desquelles le mouvement relatif entre les sections d'aimant et la section de conducteur est gêné. Les sections d'aimant 3081 et la section de conducteur 3082 peuvent être disposées sur un substrat de mise en place 101 et un premier élément 103. 35 Ici, les amortisseurs magnétiques 308 génèrent des forces d'amortissement qui sont à peu près identiques. 3038442 13 Comme représenté sur les figures 8A à 8C, les amortisseurs magnétiques 308 sont symétriquement disposés par rapport à un plan qui comprend un axe AX1 et qui est le long d'une direction de gravité. Grâce à cela, étant donné que 5 l'équilibre des moments au niveau de chaque premier élément 103 n'est pas modifié, même si les amortisseurs magnétiques sont raccordés, les influences sur la reproductibilité de l'état de support de l'objet peuvent être dans une plage admissible. Les amortisseurs selon le deuxième mode de 10 réalisation peuvent être, conjointement avec les amortisseurs de vibration dynamiques, disposés côte à côte dans l'appareil de support selon le premier mode de réalisation. Comme décrit ci-dessus, l'appareil de support selon le 15 mode de réalisation, permet à l'objet d'être supporté avec sa vibration qui est contrôlée sans gâcher la reproductibilité de l'état de support de l'objet. Les figures 9A à 9C illustrent une structure exemplaire d'un appareil de support 4 selon un quatrième 20 mode de réalisation. Le quatrième mode de réalisation diffère du premier mode de réalisation en ce que le nombre de supports passe de 6 à 9. La figure 9A est une vue de dessus de l'appareil de support 4. La figure 9B est une vue latérale de l'appareil de support 4, et représente 25 également une direction de gravité DG. La figure 9C est une vue latérale de l'appareil de support 4 qui supporte un objet W. Ici, l'appareil de support 4 est placé sur un étage de mesure MS d'un appareil de mesure M avec un substrat de mise en place 101 intercalé entre eux. Trois 30 deuxièmes éléments 402 sont prévus sur le substrat de mise en place 101. Les deuxièmes éléments 402 supportent les premiers éléments 403 ; les deuxièmes éléments 402 supportent les premiers éléments 403 de sorte que les premiers éléments 403 peuvent tourner autour des axes avec 35 deux degrés de liberté par rapport au substrat de mise en 3038442 14 place 101. Ici, chaque premier élément 403 peut tourner autour d'un axe AX41 et d'un axe AX42. Les figures 10A à 10G illustrent une structure exemplaire d'un deuxième élément. Comme représenté sur la 5 figure 10A (vue de face) et la figure 10B (vue latérale), le deuxième élément 402 comprend des arbres 4021a et 4021b et des paliers 4022a, 4022b, 4022c, 4022d qui permettent au premier élément 403 de tourner. Ici, les paliers 4022a et 4022b sont raccordés au substrat de mise en place 101 avec 10 des carters de palier 4023a et 4023b intercalés entre eux, respectivement. D'autre part, les paliers 4022c et 4022d sont raccordés au premier élément 403 avec des carters de palier 4023c et 4023d intercalés entre eux, respectivement. En outre, l'arbre 4021a raccordé au premier élément 403 est 15 monté sur les paliers 4022a et 4022b et l'arbre 4021b raccordé au substrat de mise en place 101 est monté sur les paliers 4022c et 4022d. Ceci permet au premier élément 403 de pouvoir tourner par rapport au substrat de mise en place 101 avec une force de friction très faible par la friction 20 de roulement des paliers. Comme représenté sur la figure 10C, les arbres 4021a et 4021b peuvent être intégrés entre eux ou bien, comme représenté sur la figure 10D, les arbres 4021a et 4021b peuvent être raccordés entre eux par un élément central 4024. 25 Comme représenté sur la figure 10E (vue de face) et la figure 10F (vue latérale), le deuxième élément 402 peut comprendre une charnière bi-axiale 4025 pour supporter ainsi le premier élément 403 de sorte que le premier élément 403 peut tourner avec deux degrés de liberté par 30 rapport au substrat de mise en place 101. Comme représenté sur la figure 10G, le deuxième élément 402 peut comprendre un joint universel 4027 pour supporter ainsi le premier élément 403 de sorte que le premier élément 403 peut tourner avec deux degrés de liberté par rapport au substrat 35 de mise en place 101. Ici, les axes de rotation peuvent être des axes physiques ou imaginaires. 3038442 15 Chaque premier élément 403 comprend trois supports 404 (404a, 404b et 404c). Au moins l'un des supports est disposé dans chacune de deux régions formées en divisant le premier élément 403 correspondant par un plan qui comprend 5 l'axe AX41 et qui est le long de la direction de gravité. Au moins l'un des supports est disposé dans chacune des deux régions formées en divisant le premier élément 403 correspondant par un plan qui comprend l'autre axe AX42 et qui est le long de la direction de gravité. Par conséquent, 10 lorsque, en référence à la figure 9C, l'objet W est supporté par un total de neuf supports 404, chaque premier élément 403 tourne de sorte que les moments autour de l'axe AX1 et de l'axe AX2 s'équilibrent (voir les formules (12) et (13)). Ceci permet de limiter correctement les trois 15 degrés de liberté de l'objet W, c'est-à-dire, le mouvement de translation dans la direction de gravité et les rotations autour de deux directions qui sont orthogonales par rapport à la gravité et qui sont orthogonales entre elles. Ceci s'explique par le fait que le premier élément 20 403 peut tourner via le deuxième élément 402 correspondant de sorte que les forces agissant sur les supports respectifs (forces de réaction de support) s'équilibrent. Ici, les forces Fa, Fb et Fc qui agissent sur les trois supports (404a, 404b et 404c) peuvent chacune être 25 déterminées par la distance de l'axe au support. C'est-à- dire que les forces (forces de réaction de support) qui agissent sur les supports respectifs peuvent être obtenues par les distances entre les supports respectifs et l'axe par les formules (12) et (13) : 30 Fb-Lb1 = Fc-Lc1 ---(12) Fa-La2 = Fb-Lb2+Fc-Lc2 ---(13) Ici, chaque support 404 peut comprendre une surface sphérique servant de surface qui est en contact avec l'objet W. Chaque support 404 peut être réalisé avec une 35 résine pour empêcher l'endommagement de l'objet W. La figure 11 illustre un exemple spécifique d'une structure de 3038442 16 l'appareil de support. En référence à la figure 11, il est souhaitable qu'un centre de gravité CG4 de chaque premier élément 403 soit disposé au-dessous de l'axe AX41 et de l'axe AX42. Ceci s'explique par le fait que même lorsque 5 l'objet n'est pas supporté par les premiers éléments 403, il est possible de stabiliser l'orientation des premiers éléments 403 par rapport aux axes AX41 et ax42. Si l'orientation est stabilisée, ceci peut être avantageux des points de vue de la reproductibilité de déformation et de 10 contrainte qui se produisent dans l'objet alors que l'appareil de support supporte l'objet. Par conséquent, le centre de gravité d'une partie qui tourne par rapport a l'axe AX41 et à l'axe AX42 du deuxième élément 402 correspondant, c'est-à-dire que le centre de gravité d'une 15 partie comprenant le premier élément 103 correspondant est disposé au-dessous des axes AX41 et AX42 dans la direction de gravité. Ici, chaque premier élément 403 est suspendu au deuxième élément 402 correspondant par une section de suspension 407. Les supports 404 sont disposés au-dessus du 20 premier élément 403 correspondant, à une distance suffisante de ce dernier dans la direction de gravité de sorte que l'objet W n'est pas en contact avec la section de suspension 407. Le centre de gravité CG4 de chaque partie qui tourne, est disposé au-dessous des axes AX41 et AX42 25 dans la direction de gravité. Par conséquent, même lorsque l'appareil de support ne supporte pas l'objet, l'orientation de chaque partie qui tourne est stabilisée, de sorte qu'il est possible d'améliorer la reproductibilité de la déformation ou de la contrainte qui se produit dans 30 l'objet alors que l'appareil de support supporte l'objet. En tant que dispositifs de contrôle de vibration, trois amortisseurs de masse (amortisseurs de vibration dynamiques) sont raccordés à chaque premier élément 403. Chaque amortisseur de masse comprend un élément de masse 35 405 (405a, 405b ou 405c) et des ressorts 406 (406a, 406b ou 406c). Chaque amortisseur de masse peut être construit afin 3038442 17 de satisfaire de la formule (2) à la formule (10). Comme dans le premier mode de réalisation, les ressorts 406 des amortisseurs de masse peuvent être des ressorts à lames ou des ressorts hélicoïdaux. 5 Etant donné que le fait de réduire la stabilité de l'appareil de support 4 comprenant les premiers éléments 403 en raccordant les amortisseurs de vibration dynamiques peut détériorer la précision de mesure de l'appareil de mesure M, il est nécessaire d'éviter cela. Par conséquent, 10 le centre de gravité de chaque partie comprenant le premier élément 403 correspondant et qui tourne, doit simplement être empêché de se déplacer vers le haut par rapport à son axe AX41 et AX42 correspondant. Ici, la figure 12 illustre des centres de gravité exemplaires d'une partie qui tourne. 15 En référence à la figure 12, les amortisseurs de vibration dynamiques 4054 (4054b, 4054c) sont raccordés à chaque premier élément 403, et le centre de gravité de chaque partie qui tourne est déplacé vers CG4'. Etant donné que le centre de gravité CG4' existe au-dessous du centre de 20 gravité original CG4, cela contribue à améliorer la stabilité de l'appareil de support (précision de l'appareil de mesure). Bien que, dans la description précédente du mode de réalisation, l'exemple dans lequel les amortisseurs de masse (amortisseurs de vibration dynamiques) sont 25 utilisés en tant que dispositifs de contrôle de vibration, est décrit, à la place des amortisseurs de masse, on peut utiliser d'autres dispositifs de contrôle, tels que des amortisseurs à huile comme dans le deuxième mode de réalisation ou des amortisseurs magnétiques comme dans le 30 troisième mode de réalisation. Comme décrit ci-dessus, l'appareil de support selon le mode de réalisation, permet à l'objet d'être supporté avec sa vibration qui est contrôlée sans gâcher la reproductibilité de l'état de support de l'objet. 35 Les figures 13A à 13C illustrent une structure exemplaire d'un appareil de support 5 selon un cinquième 3038442 18 mode de réalisation. Le cinquième mode de réalisation diffère du premier mode de réalisation en ce que le nombre de supports passe de 6 à 12. La figure 13A est une vue de dessus de l'appareil de support 5. La figure 13B est une 5 vue latérale de l'appareil de support 5 et représente également une direction de gravité DG. La figure 13c est une vue latérale de l'appareil de support 5 qui supporte un objet W. Ici, l'appareil de support 5 est placé sur un étage de mesure MS d'un appareil de mesure M avec un 10 substrat de mise en place 101 intercalé entre eux. Trois deuxièmes éléments 512 (également appelés quatrièmes éléments) sont prévus sur le substrat de mise en place 101. Les deuxièmes éléments 402 comprennent des éléments 513 (également appelés troisièmes éléments). Chaque élément 513 15 peut tourner autour d'un axe AX5 avec un degré de liberté par rapport à un substrat de mise en place 501. Comme dans le premier mode de réalisation, chaque deuxième élément 512 peut comprendre un palier ou un mécanisme de charnière comprenant un ressort à lames. En variante, chaque deuxième 20 élément 512 peut comprendre une partie d'ajustement coulissante. Chaque élément 513 comprend deux éléments 502 (502a et 502b) (également appelés deuxièmes éléments dans un sens étroit). Les deux éléments sont disposés, chacun dans l'une 25 des deux régions formées en divisant l'élément correspondant 513 par un plan qui comprend l'axe AX5 du deuxième élément 512 et qui est le long de la direction de gravité. Les éléments 502a et 502b supportent des premiers éléments 503a et 503b respectifs de sorte que chacun des 30 premiers éléments 503a et 503b peut tourner avec un degré de liberté par rapport à l'élément 513 correspondant. C'est-à-dire que chaque premier élément 503a peut tourner autour d'un axe AX5a de l'élément 502a correspondant, et chaque premier élément 503b peut tourner autour d'un axe 35 AX5b de l'élément 502b correspondant. Chaque premier élément 503 comprend deux supports 504 (504a et 504b ou 3038442 19 504c et 504d). Grâce à cela, l'objet W est supporté par 12 supports. En tant que structures de support, premiers éléments et deuxièmes éléments, les structures de support, les premiers éléments et les deuxièmes éléments décrits du 5 premier mode de réalisation au quatrième mode de réalisation, peuvent être utilisés, comme étant appropriés. Ici, chaque élément 513 (troisième élément) supporte une pluralité d'unités comprenant les premiers éléments 503 et les deuxièmes éléments 502 (dans un sens étroit). Chaque 10 quatrième élément 512 (au niveau des deuxièmes éléments dans un sens large) supporte le troisième élément 513 correspondant de sorte que le troisième élément 513 peut tourner autour des axes avec au moins un degré de liberté. Deux amortisseurs de masse (comprenant chacun des 15 éléments de masse 505 (505a et 505b) et des ressorts 506 (506a et 506b)) sont raccordés à chaque premier élément 503. Chaque amortisseur de masse peut être construit pour satisfaire les relations de la formule (2) à la formule (10). Comme dans le premier mode de réalisation, les 20 ressorts 506 peuvent être des ressorts à lames ou des ressorts hélicoïdaux. Etant donné que le fait de réduire la stabilité de l'appareil de support 5 comprenant les premiers éléments 503 en raccordant les amortisseurs de vibration dynamiques 25 peut détériorer la précision de mesure de l'appareil de mesure M, il est nécessaire d'éviter cela. Par conséquent, le centre de gravité de chaque partie comprenant le premier élément 503 correspondant et qui tourne, doit uniquement être empêché de se déplacer vers le haut par rapport à 30 l'axe AX5a et à l'axe AX5b. Etant donné que les amortisseurs de vibration dynamiques sont raccordés à chaque premier élément 503 et le centre de gravité de chaque partie qui tourne, est déplacé vers le bas, ce qui contribue à améliorer la stabilité de l'appareil de support 35 (précision de l'appareil de mesure). Comme représenté sur la figure 14, les amortisseurs de masse peuvent être 3038442 20 raccordés en variante ou en plus à chaque élément 513. Ici, la figure 14 illustre des configurations exemplaires des dispositifs de contrôle de vibration. Même dans ce cas, les amortisseurs de masse (dispositifs de contrôle de 5 vibration) peuvent être raccordés de sorte que le centre de gravité de chaque partie qui tourne, n'existe pas au-dessus de l'axe AX5 du deuxième élément 512 correspondant pour empêcher une réduction de stabilité de l'appareil de support. 10 Bien que, dans la description précédente du mode de réalisation, l'exemple dans lequel les amortisseurs de masse (amortisseurs de vibration dynamiques) sont utilisés en tant que dispositifs de contrôle de vibration, est décrit, à la place des amortisseurs de masse, on peut 15 utiliser d'autres dispositifs de contrôle de vibration, tels que les amortisseurs à huile comme dans le deuxième mode de réalisation ou des amortisseurs magnétiques comme dans le troisième mode de réalisation. Comme décrit ci-dessus, l'appareil de support selon le 20 mode de réalisation permet à l'objet d'être supporté avec sa vibration qui est contrôlée sans gâcher la reproductibilité de l'état de support de l'objet. Les figures 15A à 15C illustrent une structure exemplaire d'un appareil de support 6 selon un sixième mode 25 de réalisation. Le sixième mode de réalisation diffère du cinquième mode de réalisation en ce que le nombre de supports passe de 12 à 27. La figure 15A est une vue de dessus de l'appareil de support 6. La figure 15B est une vue latérale de l'appareil de support 6 et représente 30 également une direction de gravité DG. La figure 15C est une vue latérale de l'appareil de support 6 qui supporte un objet W. Ici, l'appareil de support 6 est placé sur un étage de mesure MS d'un appareil de mesure M avec un substrat de 35 mise en place 101 intercalé entre eux. Trois deuxièmes éléments 612 sont prévus sur le substrat de mise en place 3038442 21 101. Les trois deuxièmes éléments 612 comprennent trois éléments 613. Chaque élément 613 peut tourner avec deux degrés de liberté par rapport à un substrat de mise en place 601. C'est-à-dire que chaque élément 613 peut tourner 5 autour des axes AX61 et AX62 passant par un centre de rotation CR6. Comme dans le premier mode de réalisation, chaque deuxième élément 612 peut comprendre un palier ou un mécanisme de charnière comprenant un ressort à lames. En variante, chaque deuxième élément 612 peut comprendre une 10 partie d'ajustement coulissante. Ici, dans le mode de réalisation, par souci de simplification, le centre de rotation CR6 est illustré. Cependant, cette illustration est simplement prévue à titre d'exemple de chaque deuxième élément qui supporte le premier élément correspondant de 15 sorte que le premier élément peut tourner avec au moins deux degrés de liberté, et ne limite pas la structure des deuxièmes éléments. Chaque élément 613 comprend trois éléments 602a, 602b et 602c. Au moins l'un des trois éléments est disposé dans 20 chacune des deux régions formées en divisant l'élément correspondant 613 par un plan qui comprend l'axe AX61 du deuxième élément 612 et qui est le long d'une direction de gravité. De plus, au moins l'un des trois éléments est disposé dans chacune des deux régions formées en divisant 25 l'élément 613 correspondant par un plan qui comprend l'autre axe AX62 et qui est le long de la direction de gravité. Les éléments 602 supportent des premiers éléments 603 (603a à 603c) respectifs de sorte que les premiers éléments 603 peuvent tourner avec deux degrés de liberté 30 par rapport à l'élément 613 correspondant. Chaque premier élément 603 comprend trois supports 604 (tel que 604a). Au moins l'un des trois supports est disposé dans chacune des deux régions formées en divisant l'élément 603 correspondant par un plan qui comprend l'un des axes, 35 c'est-à-dire l'axe AX6 et qui est le long de la direction de gravité. Au moins l'un des trois supports est disposé 3038442 22 dans chacune des deux régions formées en divisant le premier élément 603 correspondant par un plan qui comprend l'autre axe AX6 et qui est le long de la direction de gravité. Grâce à cela, en référence à la figure 15C, 5 l'objet W est supporté par un total de 27 supports 604. Dans ce cas, chaque premier élément 603 tourne de sorte que les moments autour des axes AX61 et AX62 et les deux axes (tels que les axes AX6a1 et AX6a2) des éléments 602 s'équilibrent. Ceci permet de limiter correctement les 10 trois degrés de liberté de l'objet W, c'est-à-dire, le mouvement de translation dans la direction de gravité et les rotations autour de deux directions qui sont orthogonales à la gravité et qui sont orthogonales entre elles. Ceci s'explique par le fait que chaque premier 15 élément 603 peut tourner via le deuxième élément 612 correspondant de sorte que les forces agissant sur les supports respectifs (forces de réaction de support) s'équilibrent. En tant que structures de support, premiers éléments et deuxièmes éléments, les structures des 20 supports, les premiers éléments et les deuxièmes éléments décrits du premier mode de réalisation au cinquième mode de réalisation peuvent être utilisés comme étant appropriés. Trois amortisseurs de masse (éléments de masse 605 (605f) et ressorts 606) sont raccordés à chaque premier 25 élément 603. Chaque amortisseur de masse peut être construit afin de satisfaire de la formule (2) à la formule (10). Comme dans le premier mode de réalisation, les ressorts 606 peuvent être des ressorts à lame ou des ressorts hélicoïdaux. 30 Etant donné que le fait de réduire la stabilité de l'appareil de support 6 comprenant les premiers éléments 603 en raccordant les amortisseurs de vibration dynamiques peut détériorer la précision de mesure de l'appareil de mesure M, il est nécessaire d'éviter cela. Par conséquent, 35 le centre de gravité de chaque partie comprenant le premier élément 603 correspondant et qui tourne, doit simplement 3038442 23 être empêché de se déplacer vers le haut par rapport aux axes (tels que les axes AX6a1 et AX6a2). Etant donné que les amortisseurs de vibration dynamiques sont raccordés à chaque premier élément 603 et que le centre de gravité de 5 chaque partie qui tourne est déplacé vers le bas, cela contribue à améliorer la stabilité de l'appareil de support (précision de l'appareil de mesure). Comme représenté sur la figure 16, les amortisseurs de masse peuvent être raccordés en variante ou en plus à chaque élément 613. Ici, 10 la figure 16 illustre des configurations exemplaires de dispositifs de contrôle de vibration. Même dans ce cas, les amortisseurs de masse (dispositifs de contrôle de vibration) peuvent être raccordés de sorte que le centre de gravité de chaque partie qui tourne, n'existe pas au-dessus 15 de l'axe AX61 ni de l'axe AX62 du second élément 612 pour empêcher une réduction de la stabilité de l'appareil de support. Bien que, dans la description précédente du mode de réalisation, l'exemple dans lequel les amortisseurs de 20 masse (amortisseurs de vibration dynamiques) sont utilisés en tant que dispositifs de contrôle de vibration, est décrit, à la place des amortisseurs de masse, on peut utiliser d'autres dispositifs de contrôle de vibration, tels que des amortisseurs à huile comme dans le deuxième 25 mode de réalisation ou des amortisseurs magnétiques comme dans le troisième mode de réalisation. Comme décrit ci-dessus, l'appareil de support selon le mode de réalisation permet à l'objet d'être supporté avec sa vibration qui est contrôlée sans gâcher la 30 reproductibilité de l'état de support de l'objet. La figure 17 illustre une structure de l'appareil de mesure M comprenant l'un quelconque des appareils de support décrits ci-dessus. L'appareil de mesure M supporte, par exemple, l'appareil de support 1 selon le premier mode 35 de réalisation sur l'étage de mesure MS, et peut supporter l'objet W sur l'appareil de support 1. L'un quelconque de 3038442 24 l'appareil de support 2 selon le deuxième mode de réalisation à l'appareil de support 6 selon le sixième mode de réalisation, peut être supporté sur l'étage de mesure MS. L'appareil de mesure M peut réaliser des mesures avec 5 la vibration de l'objet qui est contrôlée sans gâcher la reproductibilité de l'état de support de l'objet W, en mesurant l'objet W supporté par l'appareil de support en utilisant une tête de mesure MH (dispositif de mesure). Par conséquent, il est possible de prévoir un appareil de 10 mesure qui est avantageux du point de vue de la précision de mesure. En tant que tête de mesure MH, on peut utiliser différents instruments de mesure indépendamment du fait qu'il utilise un système d'interféromètre, ou un système avec contact/sans contact de sonde. 15 Un procédé pour fabriquer un article selon un mode de réalisation peut être utilisé, par exemple, pour fabriquer des articles, tels que différentes pièces ou différents éléments, tels que des éléments optiques. Le procédé pour fabriquer un article selon le mode de réalisation comprend 20 l'étape consistant à mesurer la forme ou les caractéristiques (telles que des caractéristiques optiques) d'un objet W en utilisant l'appareil de mesure décrit ci-dessus, et l'étape consistant à traiter l'objet sur la base de la mesure (résultats) à l'étape de mesure. Par exemple, 25 la forme de l'objet est mesurée en utilisant l'appareil de mesure, et sur la base de la mesure, l'objet est traité (travaillé ou fabriqué) de sorte que la forme de l'objet devient une forme ayant une valeur de conception (celle dans une plage admissible). Etant donné que le procédé pour 30 fabriquer un article selon le mode de réalisation peut mesurer un objet avec une haute précision en utilisant l'appareil de mesure, le procédé est avantageux par rapport aux procédés existants en termes d'au moins l'un parmi la rentabilité, la qualité, la productivité et les coûts de 35 production des articles. 3038442 25 Bien que les modes de réalisation de la présente invention ont été décrits, il va sans dire que la présente invention n'est pas limitée à ces modes de réalisation. Différentes modifications et différents changements peuvent 5 être apportés dans le cadre de la présente invention. Alors que la présente invention a été décrite en référence aux modes de réalisation exemplaires, il faut comprendre que l'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation exemplaires décrits. Le but des revendications 10 suivantes est d'être en accord avec l'interprétation la plus large afin d'englober toutes ces modifications et les structures et fonctions équivalentes. REVENDICATIONS1. Appareil de support comprenant : une pluralité de mécanismes de support configurés pour supporter un objet, chacun comprenant un premier élément qui comprend une pluralité de supports pour supporter l'objet et qui peut tourner autour d'un axe avec au moins un degré de liberté ; et un dispositif de contrôle de vibration prévu par 10 rapport à chacun de la pluralité de mécanismes de support et configure pour contrôler la vibration du premier élément. 2. Appareil de support selon la revendication 1, dans 15 lequel chacun de la pluralité de mécanismes de support comprend en outre un deuxième élément qui supporte le premier élément de sorte que le premier élément peut tourner autour de l'axe et chacun de la pluralité de mécanismes de support est configure pour permettre au 20 premier élément de tourner autour de l'axe de sorte qu'une pluralité de forces au niveau de la pluralité de supports sont équilibrées dans un cas dans lequel l'objet est supporté ainsi. 25 3. Appareil de support selon la revendication 1 ou la revendication 2, dans lequel au moins l'un des dispositifs de contrôle de vibration est raccordé à chacune des deux régions de l'un de la pluralité de mécanismes de support obtenu en divisant l'un de la pluralité de mécanismes de 30 support par un plan qui comprend l'axe et qui est le long d'une direction de gravité. 4. Appareil de support selon la revendication 3, dans lequel une pluralité de dispositifs de contrôle de 35 vibration, composés d'au moins un dispositif de contrôle de 3038442 27 vibration raccordé à chacune des deux régions, sont disposés symétriquement par rapport au plan. 5. Appareil de support selon la revendication 3, dans 5 lequel une pluralité de dispositifs de contrôle de vibration, composés d'au moins un dispositif de contrôle de vibration raccordé à chacune des deux régions, sont configurés de sorte qu'une pluralité de moments respectivement générés ainsi autour de l'axe sont 10 équilibrés. 6. Appareil de support selon la revendication 2, comprenant en outre : un troisième élément qui supporte une pluralité 15 d'unités, comprenant chacune le premier élément et le second élément ; et un quatrième élément qui supporte le troisième élément de sorte que le troisième élément peut tourner autour d'un axe avec au moins un degré de liberté. 20 7. Appareil de support selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel le dispositif de contrôle de vibration est raccordé au premier élément. 25 8. Appareil de support selon la revendication 6, dans lequel le dispositif de contrôle de vibration est raccordé au troisième élément. 9. Appareil de support selon l'une quelconque des 30 revendications 1 à 8, dans lequel le dispositif de contrôle de vibration comprend un amortisseur de vibration dynamique. 10. Appareil de support selon l'une quelconque des 35 revendications 1 à 9, dans lequel le dispositif de contrôle de vibration comprend un amortisseur. 3038442 28 11. Appareil de mesure comprenant : un appareil de support selon l'une quelconque des revendications 1 à 10 ; et 5 un dispositif de mesure configure pour mesurer un objet supporté par l'appareil de support. 12. Procédé pour fabriquer un article, le procédé comprenant les étapes consistant à: réaliser la mesure d'un objet à l'aide d'un appareil de mesure selon la revendication 11 ; et traiter l'objet, dont la mesure a été réalisée, en fonction de la mesure réalisée.