Brevet FR3036710A1 — publié le 20161202

- 1 - DESCRIPTION L'objet de la présente invention est un diaphragme amélioré entre un creuset et un substrat destiné à être utilisé dans le procédé CSS, utilisé notamment pour la fabrication de cellules solaires à couche mince de CdTe ou resp. d'un produit semi-fini et soutient un revêtement plus régulier du substrat par un comportement d'émission thermique optimisé. Lors de la fabrication de cellules solaires à couche mince selon l'état de la technique, on applique sur un substrat, habituellement du verre, une ou plusieurs couches transparentes de contact avant (par ex. TCO - transparent conducting oxide). Sur cette couche de contact avant, on précipite une couche de CdS (sulfure de cadmium) pur ou modifié sur laquelle, ensuite, on précipite la couche de CdTe (tellurure de cadmium). Enfin, on applique la ou les couches de contact arrière. L'application de la couche de CdS se fait souvent selon l'état de la technique dans le procédé CSS (Close spaced sublimation) : le substrat de verre avec la couche de contact avant préparée est déplacé sous vide au-dessus d'un creuset contenant du CdS. Ce creuset est chauffé et le matériau à vaporiser (CdS) est vaporisé (sublimé) hors du creuset et se dépose sur la couche de contact avant du substrat, laquelle est maintenue à une température inférieure à celle du creuset. De même, l'application suivante de la couche de CdTe se fait préférentiellement avec le procédé CSS. Dans le procédé décrit et aussi par la suite, les étapes de nettoyage, de recuit et de vitrification selon l'état de la technique sont considérées comme connues et ne seront pas explicitées. L'application de couches antiréfléchissantes et de protection (par ex. pelliculage arrière ou en verre) est également considérée comme connue. Dans le procédé CSS de précipitation de CdS, on s'efforce de mettre en forme la couche CdS de manière à ce qu'elle soit aussi mince que possible pour limiter la dégradation des propriétés optiques de la cellule solaire par cette couche. Néanmoins, il faut en même temps garantir que la couche de CdS ne présente aucun défaut (trous - pin holes), par où il pourrait y avoir des courts-circuits entre le contact avant et la couche de CdTe. Selon l'état de la technique, on préfère une épaisseur de 60 nm à 200 nm pour la couche de CdS pour satisfaire ces deux exigences. 3036710 - 2 - De même, au cours de la précipitation de CdTe, on s'efforce d'obtenir une couche d'épaisseur aussi constante que possible. L'épaisseur de la couche de CdTe est préférentiellement de 2000 nm à 10000 nm, particulièrement préférentiellement de 3000 nm à 5000 nm. 5 À grande échelle, l'application des couches de CdS et CdTe est effectuée en ce que les substrats avec la couche de contact avant préparée (celle tournée dans la direction des creusets) sont chauffés et passés à vitesse constante au-dessus de l'ouverture du creuset, de sorte que se forment des couches de CdS ou resp. de CdTe d'épaisseur régulière. Dans 10 le procédé CSS, les substrats ont une température Ti, à laquelle la substance à appliquer (CdS ou resp. CdTe) se dépose sur la surface du substrat. Pour que la substance se vaporise hors du creuset, il y règne une température T2, à laquelle la substance à appliquer se sublime Cette température T2 est nettement supérieure à la température T1 du substrat. 15 Le procédé est réalisé selon l'état de la technique dans des chambres à vide chauffées raccordées les unes après les autres, à travers lesquelles les substrats sont déplacés sur un système de transport constitué de rouleaux, de courroies, ou dans des cadres de transport qui soutiennent les substrats sur leur bord latéral. 20 Des recherches ont montré que lors du procédé CSS, l'adsorption et la désorption de la substance vaporisée tendent vers un équilibre. Celui-ci dépend de la température du substrat (plus précisément de la température de la couche appliquée). Il est ainsi essentiel de réguler avec exactitude la température du substrat afin d'atteindre l'épaisseur de 25 couche recherchée. Toutefois, au cours du déplacement du substrat au-dessus d'un creuset, la température du substrat monte de façon continue en raison du rayonnement thermique issu du creuset. Cela peut aller jusqu'au point où la précipitation de la substance à appliquer s'en trouve réduite voire inversée, 30 et où ainsi la substance à précipiter ou resp. la couche de substance précédemment précipitée est revaporisée. En l'état actuel de la technique, la chaleur doit être extraite par le côté arrière du substrat (refroidissement). Par suite du réchauffement croissant du côté du substrat tourné vers le creuset, il apparaît des températures variables au-dessus de sections d'épaisseur de couche individuelles. Il est néanmoins nécessaire que toute la précipitation de couches (des premiers nanomètres jusqu'au dernier micron) soit effectuée dans un domaine de températures étroit. 3036710 - 3 - De plus, dans une campagne de revêtement, c'est-à-dire du remplissage d'un creuset jusqu'à ce que le matériau qu'il contient soit complètement vaporisé, il faut réguler la température du creuset afin de garantir une vitesse de revêtement constante (ex. 640°C au début, 680°C à 5 la fin). S'y rattache aussi une modification indésirable de la température du substrat au cours d'une campagne (en raison d'un changement du rayonnement thermique des creusets). C'est pourquoi on s'efforce de réduire le couplage thermique entre le creuset et le substrat. Pour obtenir une répartition aussi régulière que possible de la 10 substance vaporisée à appliquer, on dispose souvent des diaphragmes entre les creusets et les substrats. La substance vaporisée à appliquer peut traverser ces diaphragmes : la répartition de la substance à appliquer s'en trouve égalisée. Pour garantir une traversée continue du matériau à travers le diaphragme, on chauffe ce dernier activement afin d'empêcher que le 15 matériau ne se condense. Ce chauffage se fait préférentiellement au moyen d'un chauffage par résistance électrique effectué soit directement, soit indirectement. Le document «Mathias HADRICH, thèse "Materialwissenschaftliche Untersuchungen an CdTe-CdS- Heterosolarzellen", Université Friedrich-Schiller, Iéna, 2009, 20 http ://www. db-thuering en. de/servlets/DerivateS ervlet/Derivate- 18406/H%C3%A4drich/Dissertation.pdf (lien en date du 26.11.2013)», ci-après désigné par "HADRICH", explicite au chapitre 4, p. 25-27, plus avant les propriétés du diaphragme, le procédé CSS et les procédés en cours. Au point 4.2, p. 28, HADRICH précise : "Une modification 25 essentielle ... est l'utilisation d'un substrat de verre recouvert de FTO (5n02:F) de 3 mm d'épaisseur, sur lequel le profil de température pendant la vaporisation doit, lui aussi, être adapté pour empêcher que la couche de CdS repasse en phase vapeur par suite d'un chauffage trop long." Il est donc déjà fait mention dans la littérature que 30 l'échauffement thermique trop fort du substrat (plus précisément des matériaux déjà déposés) pose problème dans le cadre du procédé CSS. Il faut donc réduire l'échauffement thermique du substrat au-dessus du creuset dans le cadre du procédé CSS. Selon l'invention, le problème est résolu avec un dispositif pour 35 revêtement par procédé CSS de substrats, comportant un creuset chauffé avec une substance capable de se sublimer et une ouverture, qui est dirigée vers un substrat à recouvrir disposé devant cette ouverture ou passant 3036710 - 4 - devant cette ouverture, où, entre le substrat et l'ouverture du creuset et en couvrant toute l'ouverture du creuset, est disposé un diaphragme avec des ouvertures, caractérisé en ce que le diaphragme présente, sur la face tournée vers le creuset et/ou le substrat, une structure de surface et/ou un revêtement 5 et/ou une couverture, qui augmente(nt) l'émission thermique dans la direction du creuset et/ou rédui(sen)t l'émission thermique dans la direction du substrat, comparé à un diaphragme sans structure de surface et/ou revêtement et/ou couverture. Des formes de réalisation avantageuses du dispositif sont caractérisées en ce que : 10 - la structure de surface consiste en une surface rendue rugueuse de la face du diaphragme tournée vers le creuset, - le revêtement consiste en une surface noircie de la face du diaphragme tournée vers le creuset, - la couverture consiste en la disposition d'une tôle de 15 couverture avec des ouvertures correspondant au diaphragme sur la face du diaphragme tournée vers le creuset, - la structure de surface consiste en une surface polie de la face du diaphragme tournée vers le substrat, - le revêtement consiste en un éclaircissement avec du A1203 ou 20 en un dépôt d'une couche réfléchissante sur la face du diaphragme tournée vers le substrat, - la couverture consiste en la disposition d'une tôle de couverture avec des ouvertures correspondant au diaphragme sur la face du diaphragme tournée vers le substrat, 25 - il y a un espace libre entre la couverture et le diaphragme, - l'espace libre est rempli de matériau isolant thermique, les zones des ouvertures et du diaphragme et de la couverture restant libres, et, - le matériau isolant thermique est de la fibre de carbone ou de la fibre de verre. 30 Selon l'état de la technique, les diaphragmes sont fabriqués plats et étendus et disposés entre l'ouverture du creuset et le substrat, parallèlement à ce dernier. Les diagrammes actuellement utilisés sont fabriqués à partir de matériau homogène (par ex. graphite, molybdène). L'épaisseur des diaphragmes se situe dans le domaine de 3 mm à 10 mm, 35 préférentiellement à env. 5 mm Les orifices sont répartis de façon régulière ou selon un motif qui améliore l'homogénéité du revêtement dans le diaphragme. Des explications concernant la disposition et les dimensions 3036710 - 5 - des orifices ou resp. les calculs nécessaires à leur interprétation se trouvent également dans HADRICH. Il est caractéristique que le nombre d'orifices sur la bordure du diaphragme augmente généralement car l'essentiel de la substance se vaporise au milieu du creuset et cela doit être compensé par un 5 plus grand nombre d'orifices en bordure. Néanmoins, outre le nombre des orifices dans le diaphragme, on peut aussi faire varier leurs diamètres. Les diaphragmes selon l'état de la technique présentent dans toutes les directions de l'espace (aussi bien dans la direction du substrat que dans la direction du creuset) des propriétés thermiques identiques, en particulier des 10 propriétés d'émissions thermiques identiques. Le dispositif selon l'invention prévoit de disposer les substrats au-dessus de diaphragmes qui ont des propriétés thermiques anisotropes. En particulier, les diaphragmes doivent présenter dans la direction du substrat une capacité d'émission thermique plus faible que dans la direction du 15 creuset. Les dimensions et dispositions des orifices peuvent être reprises de l'état de la technique. On obtient la différence de capacité d'émission thermique par des matériaux différents ou par des propriétés différentes des matériaux (structure de surface) sur la face du diaphragme tournée vers le creuset 20 et/ou celle tournée vers le substrat. La capacité d'émission thermique se détermine comme un degré d'émission thermique (ici : degré d'émission). La mesure du degré d'émission thermique se fait avec des méthodes selon l'état de la technique. Ainsi, on utilise par exemple des thermomètres à rayonnement (thermopiles), bolomètres ou détecteurs quantiques. 25 Dans une première forme de réalisation préférentielle, la face du diaphragme tournée vers le creuset présente une structure de surface rendue rugueuse, tandis que la face tournée vers le substrat est lisse, voire polie. La rugosité peut, par exemple, être créée par sablage. Dans une autre forme de réalisation préférentielle, la face du 30 diaphragme tournée vers le creuset est recouverte d'un matériau qui présente un degré d'émission plus élevé que celui du matériau du diaphragme. Dans encore une autre forme de réalisation préférentielle, la face du diaphragme tournée vers le substrat est recouverte d'un matériau 35 qui présente un degré d'émission plus faible que celui du matériau du diaphragme. 3036710 - 6 - Une autre forme de réalisation préférentielle prévoit que la face du diaphragme tournée vers le creuset soit recouverte d'un matériau qui présente un degré d'émission plus élevé que celui du matériau du diaphragme et que la face du diaphragme tournée vers le substrat soit 5 recouverte d'un matériau qui présente un degré d'émission plus faible que celui du matériau du diaphragme. Des formes de réalisation préférentielles prévoient que le diaphragme soit fabriqué en plusieurs couches, préférentiellement en deux ou trois couches, avec le matériau de plus faible degré d'émission orienté 10 vers le substrat. D'autres développements avantageux présentent, pour réduire la transmission de chaleur à travers le diaphragme, un espace libre entre au moins deux de ces couches ou la disposition de matériau isolant thermique entre au moins deux de ces couches. Les mesures indiquées plus haut d'augmentation du degré 15 d'émission thermique du côté du creuset peuvent être combinées avec des mesures de diminution du degré d'émission thermique du côté du substrat selon les exigences techniques, et vice versa. On trouvera les données sur les degrés d'émission thermique dans les ouvrages de référence et bases de données accessibles au public. 20 Les méthodes de mesure en l'état de la technique sont également documentées. Dans une forme de réalisation préférentielle, le diaphragme se compose de graphite avec une épaisseur de matériau préférentiellement dans le domaine de 3 mm à 10 mm, particulièrement préférentiellement de 25 4 mm à 8 mm et tout particulièrement préférentiellement de 5 mm à 7 mm. Les revêtements avec des matériaux présentant des degrés d'émission différents de celui du matériau du diaphragme ont préférentiellement des épaisseurs dans le domaine entre 100 nm et 0,1 mm, particulièrement préférentiellement dans le domaine entre 150 nm et 50 !am 30 et tout particulièrement préférentiellement dans le domaine entre 300 nm et 10 !am. Le revêtement peut être réalisé dans la direction du creuset sous forme de noircissement (SiC, graphite). Le revêtement peut être réalisé dans la direction du substrat sous forme d'éclaircissement (A1203) ou de dépôt de couche réfléchissante. Les matériaux adéquats pour les revêtements ne 35 polluent pas le procédé. Ce sont souvent des matériaux oxydes ou céramiques avec une rugosité naturelle. Les matériaux de ce genre sont préférentiellement : A1203, SiC ou du graphite pyrolytique. 3036710 - 7 - Dans une autre forme de réalisation préférentielle, le diaphragme est réalisé en graphite de l'épaisseur de matériau désignée plus haut et, dans la direction du substrat, il est muni d'une tôle présentant des ouvertures reposant à plat correspondant au diaphragme. La tôle se 5 compose préférentiellement de molybdène et présente en l'occurrence préférentiellement une épaisseur de 0,05 mm à 1,5 mm, particulièrement préférentiellement de 0,075 mm à 1,25 mm et tout particulièrement préférentiellement de 0,1 mm à 1 mm Dans une forme de réalisation préférentielle, les ouvertures de la tôle sont plus grandes que celles du 10 diaphragme. On empêche ainsi avantageusement que les ouvertures soient envahies par du matériau de revêtement qui se dépose sur la tôle. En outre, le chauffage (direct ou indirect) de la tôle est préférentiel dans cette optique. Dans encore une forme de réalisation préférentielle, il y a un espace libre (de 1 mm à 3 mm) entre le diaphragme et la tôle : le diaphragme et/ou la 15 tôle présentent des entretoises locales qui assurent un intervalle constant entre le diaphragme et la tôle. Une forme de réalisation utilisée préférentiellement prévoit les entretoises sous forme de bordures autour des ouvertures. Il est ici particulièrement avantageux qu'un contact conducteur de chaleur soit assuré autour des ouvertures, qui rapproche la température 20 de la tôle, en particulier dans la région des ouvertures, de celle du diaphragme. Cela contribue à prévenir les dépôts de matériau de revêtement dans la région des ouvertures de la tôle. Un développement de cette forme de réalisation présente un matériau isolant thermique dans l'espace libre. Comme matériau isolant thermique, on peut utiliser, par exemple, des fibres 25 de carbone ou de verre. Le diaphragme multicouche ainsi constitué présente une transmission de chaleur avantageusement réduite. Figures La Fig. 1 montre schématiquement la disposition d'une forme de réalisation du diaphragme selon l'invention au-dessus du creuset (3) 30 avec une substance granulée à vaporiser (31). Le diaphragme (2) se compose ici du diaphragme proprement dit (2) et de la tôle disposée au-dessus de celui-ci (21), qui est séparée du diaphragme proprement dit (2) par un intervalle (22). Au-dessus du diaphragme (2) est représentée la substance vaporisée (33) à la répartition spatiale uniformisée. Ensuite, elle 35 se dépose sur la face inférieure du substrat (1) déplacé en continu à la vitesse (11). 3036710 - 8 - La Fig. 2a montre schématiquement un diaphragme selon l'invention (2) avec un revêtement (24) sur la face tournée vers le substrat, qui présente un degré d'émission thermique plus faible que celui de la face non-recouverte tournée vers le creuset du diaphragme (2). 5 La Fig. 2b montre schématiquement un diaphragme selon l'invention (2) avec un revêtement (25) sur la face tournée vers le creuset, qui présente un degré d'émission thermique plus élevé que celui de la face non-recouverte tournée vers le substrat du diaphragme (2). La Fig. 2c montre schématiquement un diaphragme selon 10 l'invention (2) avec un revêtement (24) sur la face tournée vers le substrat et un revêtement (25) sur la face tournée vers le creuset. Le revêtement sur la face tournée vers le substrat (24) présente un degré d'émission thermique plus faible que celui du matériau non-recouvert du diaphragme (2), tandis que le revêtement (25) sur la face tournée vers le creuset présente un degré 15 d'émission thermique plus élevé que celui du matériau non-recouvert du diaphragme (2). Exemple de réalisation Un substrat (1) de dimensions 1600 mm x 1200 mm x 3,2 mm est recouvert d'une couche d'oxyde d'indium et d'étain (ITO) d'une 20 épaisseur de 250 nm comme couche de contact avant transparente. Ensuite, le substrat (1) avec la couche de contact avant orientée vers le bas est introduit dans une succession de chambres à vide ou une chambre à vide continue avec différentes sections. Le substrat est chauffé dans la première chambre à vide (la première section) à une température de 25 500°C. On le fait au moyen de dispositifs de chauffage adéquats, tandis que le substrat (1), reposant sur un dispositif de transport (non figuré), est déplacé par celui-ci à travers la première chambre à vide (ou la première section de la chambre à vide). Le substrat atteint la chambre à vide suivante (ou la section suivante) et est déplacé par le dispositif de transport (vitesse 30 de déplacement 1,5 m/min) avec un intervalle de 0,5 cm au-dessus d'un creuset (3) avec des granulés de CdS (31). Le creuset (3) s'étend sur toute la largeur (perpendiculairement au dispositif de transport (11)) du substrat (1) et dans la direction de transport (11) sur une longueur de 17 cm. Le CdS (31) dans le creuset (3) est chauffé à 620°C et sublimé Les gaz qui 35 s'élèvent (32) traversent un diaphragme (22) d'une épaisseur de 6 mm et se déposent sur la couche de contact avant du substrat (1). Quand le CdS (32) gazeux qui s'élève traverse les ouvertures (23) du diaphragme (2), il 3036710 - 9 - s'égalise en termes de répartition spatiale au-dessus du diaphragme (2). Le diaphragme (2) se compose de graphite de 5 mm d'épaisseur et présente des ouvertures circulaires (23) de 3 mm de diamètre. Sur la face tournée vers le creuset, le diaphragme (2) est rendu rugueux. La face tournée vers le 5 substrat présente une tôle de molybdène (21) de 1 mm avec des ouvertures qui correspondent au diaphragme (2). Du fait de la tôle de molybdène (21), le diaphragme (2) chauffé ne rayonne pas directement sur le substrat (1). La tôle de molybdène (21) entre le diaphragme (2) et le substrat (1) protège le substrat. Puisque la face inférieure du diaphragme (2) est rendue rugueuse, 10 la chaleur est renvoyée préférentiellement par le diaphragme (2) sous forme de rayonnement en direction du creuset (3). La face supérieure de la partie en graphite du diaphragme (2) est lisse et transmet déjà donc moins de chaleur à la tôle de molybdène (21) disposée au-dessus. Dans le cadre du réapprovisionnement régulier en granulés de 15 CdS des creusets, le diaphragme (2) disposé de façon amovible sur les creusets est nettoyé et libéré des dépôts qui s'y forment. Quand le substrat (1) a dépassé le creuset (3), la couche de contact avant présente une couche complète (excepté au niveau des surfaces d'appui) et homogène de CdS (non figurée) d'une épaisseur de 65 nm 20 Après application de cette couche de CdS, le traitement ultérieur du substrat (1) se fait selon l'état de la technique. Pour ce faire, le substrat (1) est transporté à 500°C dans les chambres de traitement suivantes. La couche de CdTe est alors également appliquée avec une épaisseur de 5000 nm par le procédé CSS en utilisant un diaphragme (2) selon l'invention. Ensuite, 25 l'application de la ou des couches de contact arrière est effectuée avec un procédé selon l'état de la technique. La couche de contact arrière se compose ici d'une succession de couches comprenant une couche de compatibilisation et une couche de contact à proprement parler. Ici, une couche de compatibilisation est fabriquée avec Te (50 nm) par gravure à 30 l'acide nitrique et l'acide phosphorique de la couche de CdTe, sur laquelle, ensuite, la couche Mo (250 nm) se dépose pour former une couche de contact à proprement parler. Ensuite, les étapes de traitement suivantes se font selon l'état de la technique. 35 Les objets, parties constitutives et caractéristiques de l'invention illustrés sur les dessins annexés sont référencés comme suit sur les figures : 303 6 7 - 10 - 1 : Substrat (verre) 11 : Direction de déplacement du substrat 2 : Diaphragme 21 : Tôle 22 : Intervalle entre le diaphragme et la tôle 23 : Ouverture dans le diaphragme 24 : Revêtement sur la face du diaphragme tournée vers le substrat 25 : Revêtement sur la face du diaphragme tournée vers le creuset 3 : Creuset 31 : Granulés de la substance à vaporiser 32 : Substance à vaporiser sublimée s'élevant des granulés 33 : Substance à vaporiser sublimée après sa traversée du 15 diaphragme Bien entendu, l'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation décrits et représentés aux dessins annexés. Des modifications restent possibles, notamment du point de vue de la constitution des divers éléments ou par substitution d'équivalents techniques, sans sortir pour 20 autant du domaine de protection de l'invention. 5 10 10 REVENDICATIONS1. Dispositif pour revêtement par procédé de sublimation dans un espace rapproché, soit Close Spaced Sublimation ou "CSS", de substrats, comportant un creuset (3) chauffé avec une substance capable de se sublimer et une ouverture, qui est dirigée vers un substrat (1) à recouvrir 5 disposé devant cette ouverture ou passant devant cette ouverture, où, entre le substrat et l'ouverture du creuset et en couvrant toute l'ouverture du creuset (3), est disposé un diaphragme (2) avec des ouvertures (23), caractérisé en ce que le diaphragme (2) présente, sur la face tournée vers le creuset (3) et/ou le substrat (1), une structure de surface et/ou un revêtement 10 (24, 25) et/ou une couverture, qui augmente(nt) l'émission thermique dans la direction du creuset (3) et/ou rédui(sen)t l'émission thermique dans la direction du substrat (1), comparé à un diaphragme (2) sans structure de surface et/ou revêtement (24, 25) et/ou couverture. 2. Dispositif pour revêtement par procédé CSS de substrats 15 selon la revendication 1, caractérisé en ce que la structure de surface consiste en une surface rendue rugueuse de la face du diaphragme (2) tournée vers le creuset (3). 3. Dispositif pour revêtement par procédé CSS de substrats selon la revendication 1, caractérisé en ce que la face du diaphragme (2) 20 tournée vers le creuset (3) est recouverte d'un matériau qui présente un degré d'émission plus élevé que celui du matériau du diaphragme (2). 4. Dispositif pour revêtement par procédé CSS de substrats selon la revendication 3, caractérisé en ce que le matériau du revêtement est réalisé en SiC ou en graphite. 25 5. Dispositif pour revêtement par procédé CSS de substrats selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couverture consiste en la disposition d'une tôle (21) de couverture-avec des ouvertures correspondant au diaphragme (2) sur la face du diaphragme (2) tournée vers le creuset (3). 6. Dispositif pour revêtement par procédé CSS de substrats 30 selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que la structure de surface consiste en une surface polie de la face du diaphragme (2) tournée vers le substrat (1). 7. Dispositif pour revêtement par procédé CSS de substrats selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que la face du 3036710 - 12 - diaphragme (2) tournée vers le substrat (1) est recouverte d'un matériau qui présente un degré d'émission plus faible que celui du matériau du diaphragme (2). 8. Dispositif pour revêtement par procédé CSS de substrats 5 selon la revendication 7, caractérisé en ce que le matériau de revêtement est du A1203 ou une couche réfléchissante. 9. Dispositif pour revêtement par procédé CSS de substrats selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que la couverture consiste en la disposition d'une tôle (21) de couverture avec des ouvertures 10 correspondant au diaphragme (2) sur la face du diaphragme (2) tournée vers le substrat (1). 10. Dispositif pour revêtement par procédé CSS de substrats selon la revendication 5 ou 7, caractérisé en ce qu'il y a un espace libre entre la couverture et le diaphragme (2). 15 11. Dispositif pour revêtement par procédé CSS de substrats selon la revendication 10, caractérisé en ce que l'espace libre est rempli de matériau isolant thermique, les zones des ouvertures et du diaphragme (2) et de la couverture restant libres. 12. Dispositif pour revêtement par procédé CSS de substrats 20 selon la revendication 11, caractérisé en ce que le matériau isolant thermique est de la fibre de carbone ou de la fibre de verre.