Brevet FR3046451A1 — publié le 20170707

La présente invention concerne un système de génération de déplacement d'une plaque de support selon six degrés de liberté. Ce système a pour but de permettre le déplacement relatif entre deux plaques, une plaque (ou plateforme) de support qui est apte à porter un dispositif optique, mécanique ou autre, pour réaliser des mesures, des traitements,..., et une plaque inférieure qui est posée sur un élément de support, par exemple sur un poste de travail. Pour générer un tel déplacement selon six degrés de liberté, on connaît un positionneur de type hexapode, qui est un robot parallèle constitué de six actionneurs formant des jambes. Les six jambes sont actionnées pour changer de longueur et varier l'orientation de la plateforme supérieure. Ainsi, à une position donnée de la plateforme supérieure correspond un ensemble de six longueurs uniques des jambes. Les systèmes de type robot parallèle, notamment des hexapodes, 15 présentent généralement des inconvénients, et en particulier un encombrement important et/ou un domaine de travail restreint. La présente invention a pour objet de remédier à ces inconvénients. Elle concerne un système de génération de déplacement d'une plaque de support, la plaque de support étant, dans une position dite neutre, 20 sensiblement parallèle à un plan XY défini par une direction dite X et une direction dite Y, ledit système étant configuré pour pouvoir déplacer ladite plaque selon au moins certains des six degrés de liberté, lesdits six degrés de liberté correspondant, respectivement, à une translation dite Xi le long de la direction X et une rotation dite (DX autour de cette direction X, à une translation 25 dite Yi le long de la direction Y et une rotation dite (DY autour de cette direction Y, à une translation dite Zi le long d'une direction dite Z et une rotation dite (DZ autour de cette direction Z, la direction Z étant orthogonale auxdites directions X et Y. Selon l'invention, ledit système de génération de déplacement 30 comprend au moins deux étages de commande superposés selon la direction Z et solidarisés l'un à l'autre, au moins l'un desdits étages de commande 3046451 2 comprend un module de commande, et ledit au moins un module de commande comprend uniquement des unités de déplacement configurées pour générer chacune un déplacement en translation dans le plan XY, et ceci respectivement selon des directions différentes. 5 Ainsi, grâce à l'invention, comme précisé ci-dessous, le système de génération de déplacement est de type modulaire. En raison de cette architecture modulaire et de l'utilisation d'unités de déplacement configurées pour générer uniquement des déplacements en translation, on obtient un système de génération de déplacement très compact comme précisé ci-après. 10 De plus, le système de génération de déplacement présente un domaine de travail étendu. Ceci permet de remédier aux inconvénients précités. De façon avantageuse, les unités de déplacement sont agencées dans le plan XY et positionnées de manière à présenter des directions de translation différentes qui forment, respectivement, un angle de 120° entre elles. Dans un mode de réalisation préféré, un premier module de commande comprend : - une première plaque inférieure et une première plaque supérieure ; - au moins deux unités de déplacement, les unités de déplacement étant fixées sur une face supérieure de la première plaque inférieure ; et - des rails de guidage rectilignes, chacun desdits rails de guidage étant monté sur l'une desdites unités de déplacement auquel il est associé, chacun desdits rails de guidage étant agencé orthogonalement à la direction de déplacement de l'unité de déplacement associée et étant configuré de manière à se déplacer sous l'action de l'unité de déplacement associée, chacun desdits rails de guidage portant un chariot mobile qui est configuré pour être librement mobile orthogonalement à la direction de déplacement de l'unité de déplacement associée, chacun desdits chariots mobiles étant lié à une face inférieure de la première plaque supérieure. Dans ce cas, dans une première variante de réalisation, le premier module de commande est configuré pour générer des déplacements Xi et Yi 3046451 3 et il comprend deux unités de déplacement et un rail de guidage auxiliaire rectiligne, le rail de guidage auxiliaire étant agencé selon une direction différente des directions de déplacement des deux unités de déplacement et portant un chariot mobile configuré pour être librement mobile, le chariot 5 mobile étant fixé à la face inférieure de la première plaque supérieure. En outre, dans une deuxième variante de réalisation, le premier module de commande est configuré pour générer des déplacements Yi et (DZ et il comprend deux unités de déplacement et un rail de guidage auxiliaire rectiligne, le rail de guidage auxiliaire étant agencé selon une direction 10 différente des directions de déplacement des deux unités de déplacement et portant un chariot mobile configuré pour être librement mobile, chacun desdits trois chariots mobiles étant pourvu d'un système de rotation configuré pour être librement rotatif dans le plan XY, les trois systèmes de rotation étant liés, chacun, à la face inférieure de la première plaque supérieure. Dans ce cas, 15 avantageusement, le système comporte un étage de commande auxiliaire configuré pour générer un déplacement Xi dudit premier module de commande. Par ailleurs, dans une troisième variante de réalisation (préférée), le premier module de commande est configuré pour générer des déplacements 20 Xi, Yi et OZ, et il comprend : - trois unités de déplacement ; et - trois rails de guidage rectilignes, chacun desdits rails de guidage étant monté sur l'une desdites unités de déplacement auquel il est associé, chacun desdits rails de guidage étant agencé orthogonalement à la direction de déplacement 25 de l'unité de déplacement associée et étant configuré de manière à se déplacer sous l'action de l'unité de déplacement associée, chacun desdits rails de guidage portant un chariot mobile qui est configuré pour être librement mobile orthogonalement à la direction de déplacement de l'unité de déplacement associée, chacun desdits chariots mobile étant pourvu d'un 30 système de rotation configuré pour être librement rotatif dans le plan XY, les 3046451 4 trois systèmes de rotation étant liés, chacun, à la face inférieure de la première plaque supérieure. Par ailleurs, dans un mode de réalisation préféré, un second module de commande est configuré pour générer des déplacements ex, eY et Zi, et il 5 comprend : - une seconde plaque inférieure et une seconde plaque supérieure ; - trois unités de déplacement configurées pour générer un déplacement en translation, les unités de déplacement étant fixées sur une face supérieure de la seconde plaque inférieure ; et 10 - trois rails de guidage rectilignes, chacun desdits rails de guidage étant monté, de façon inclinée par rapport au plan XY, sur l'une desdites unités de déplacement auquel il est associé, chacun desdits rails de guidage étant agencé longitudinalement à la direction de déplacement de l'unité de déplacement associée et étant configuré de manière à se déplacer sous 15 l'action de l'unité de déplacement associée, chacun desdits rails de guidage portant un chariot mobile qui est configuré pour être librement mobile, chacun desdits chariots mobile étant pourvu d'une rotule configurée pour être librement rotative, les trois rotules étant articulées, chacune, à la face inférieure de la première plaque supérieure. 20 Dans une première variante de réalisation, il comporte, de plus, au moins l'un, mais de préférence plusieurs des trois étages de commande auxiliaires suivants : - un étage de commande auxiliaire configuré pour générer un déplacement Xi ; 25 - un étage de commande auxiliaire configuré pour générer un déplacement Yi ; et - un étage de commande auxiliaire configuré pour générer un déplacement OZ. En outre, dans une seconde variante de réalisation (préférée), le 30 système de génération de déplacement comprend uniquement deux étages de commande, dont un premier, dit inférieur, comprend ledit premier module 3046451 5 de commande configuré pour générer des déplacements Xi, Yi et E)Z, et dont un second, dit supérieur, comprend ledit second module de commande configuré pour générer des déplacements ex, eY et Zi. Les figures annexées feront bien comprendre comment l'invention 5 peut être réalisée. Sur ces figures, des références identiques désignent des éléments semblables. La figure 1 est une vue en perspective d'un mode de réalisation préféré d'un système de génération de déplacement. La figure 2 est une vue en perspective, dans une position montée, 1 0 d'un premier module de commande du système de génération de déplacement de la figure 1, associé à un étage de commande auxiliaire. La figure 3 est une vue en perspective, partiellement éclatée, du module de commande de la figure 2. La figure 4 est une vue éclatée, en perspective, du module de 15 commande de la figure 2. La figure 5 est une vue en perspective d'un second module de commande du système de génération de déplacement de la figure 1. La figure 6 est une vue éclatée, en perspective, du module de commande de la figure 5. 20 La figure 7 est une vue, en perspective, du module de commande de la figure 5, associé à deux étages de commande auxiliaires. La figure 8 est une vue, en perspective, du module de commande de la figure 5, associé à trois étages de commande auxiliaires. Le système 1 représenté sur la figure 1 et permettant d'illustrer 25 l'invention, est un système pour générer un déplacement d'une plaque (ou plateforme) 2, de préférence globalement plane, par rapport à un support (non représenté) sur lequel est posé (et notamment fixé) le système 1. La plaque 2, par exemple en métal, est agencée sensiblement parallèlement à un plan XY défini par une direction dite X (ou direction 30 longitudinale) et une direction dite Y (ou direction latérale), dans une position dite neutre de la plaque 2, c'est-à-dire dans une position de base sans 3046451 6 activation des différents moyens de déplacement précisés ci-dessous du système 1. Ces directions X et Y font partie d'un repère R (ou XYZ) qui est représenté sur les figures 1, 2 et 5 à 7. Ce repère R destiné à faciliter la 5 compréhension comprend, en plus des directions (ou axes) X et Y formant le plan XY, une direction (ou axe) dite Z (ou verticale) qui est orthogonale audit plan XY. Pour des raisons de clarté, le repère R représenté de façon détaillée sur la figure 1 est positionné à l'extérieur du système 1. Toutefois, la direction 1 0 Z passe par un axe vertical central. Comme indiqué ci-dessus, la plaque de support 2 est dans la position neutre (non activée), sensiblement parallèle au plan XY. Le système 1 est configuré pour pouvoir déplacer ladite plaque 2 selon au moins certains des six degrés de liberté. 15 Ces six degrés de liberté (représentés par des doubles flèches) correspondent, respectivement, comme illustré sur la figure 1 : - à une translation, nommée Xi, le long de la direction X ; - à une rotation dite OX, autour de la direction X ; - à une translation, nommée Yi, le long de la direction Y ; 20 - à une rotation dite (DY, autour de la direction Y ; - à une translation, nommée Zi, le long de la direction Z ; et - à une rotation dite OZ, autour de la direction Z. Les adjectifs « supérieur » et « inférieur » dans la description ci-après, s'appliquent par rapport aux sens défini par la flèche de la direction Z, 25 supérieur étant dans le sens (+z) de la flèche et inférieur étant dans le sens opposé (-z), comme représenté sur la figure 1. La plaque 2 peut supporter des éléments particuliers (non représentés), qui peuvent être fixés sur elle, via des moyens de fixation, par exemple des vis, traversant des trous 3 visibles dans la plaque 2 (figure 1). 3046451 7 De plus, le système 1 peut-être posé et fixé sur un élément de support (non représenté) via des moyens de fixation, par exemple des vis, traversant des trous 4 visibles dans une plaque 5 inférieure du système 1 (figure 1). Dans une application préférée, le système 1 fait partie d'un dispositif 5 (ou machine) de positionnement précis pour l'industrie du semi-conducteur, en particulier pour des applications de traitement ou de contrôle soit en atmosphère standard soit dans des cuves à vide, ou pour l'industrie de l'optique et de l'optoélectronique, pour le positionnement d'optiques, de composants optoélectroniques, ... 10 Dans un mode de réalisation préféré, représenté sur la figure 1, le système 1 comprend deux étages de commande El et E2 superposés selon la direction Z et solidarisés l'un à l'autre. Le système 1 est de type modulaire, et chacun desdits étages de commande El et E2 comprend un module de commande M1 et M2. 15 De plus, chacun desdits modules de commande M1 et M2 comprend des unités de déplacement U1 et U2 configurées pour générer, chacune, uniquement un déplacement en translation, et ceci dans le plan XY. Ces unités de déplacement U1 et U2 qui comportent par exemple, chacune, un moteur électrique ou un moteur d'un autre type, sont 20 commandables, de façon usuelle, par un opérateur (ou par un système de commande automatique), par l'intermédiaire d'un élément de commande non représenté. En particulier, la distance et le sens de la translation (dans la direction considérée), et éventuellement la vitesse de translation, sont commandables. Chacune de ces unités de déplacement U1 et U2 définit donc 25 un axe motorisé (selon sa direction (ou axe) de translation). La position recherchée de la plaque 2 est obtenue par une combinaison particulière de commandes (et donc de positionnements) des différentes unités de déplacement U1 et U2 considérées. De plus, les unités de déplacement U1 et U2 sont configurées pour 30 générer, chacune, un déplacement en translation, respectivement selon des directions différentes. Plus précisément, les unités de déplacement U1 et U2 3046451 8 sont agencées dans le plan XY et positionnées de manière à présenter des directions de translation différentes qui forment, respectivement, de préférence un angle de 120° entre elles. Dans le mode de réalisation préféré, représenté sur la figure 1, le 5 système 1 comprend uniquement les deux étages de commande El et E2 ; - dont le premier E1, inférieur, comprend ledit module de commande M1 qui est configuré pour générer des déplacements Xi, Yi et E)Z (c'est-à-dire des translations selon les directions X et Y et une rotation autour de la direction Z) ; et 10 - dont le second E2, supérieur, comprend ledit module de commande M2 qui est configuré pour générer des déplacements E)X, OY et Zi. Plus précisément, dans un mode de réalisation préféré, le module de commande M1 comprend, comme représenté sur les figures 2 à 4 : - une plaque inférieure 5 et une plaque supérieure 6 ; 15 - trois unités de déplacement U1. Les trois unités de déplacement U1 sont fixées sur une face supérieure 5A de la plaque inférieure 5, comme visible sur la figure 3 ; et - trois rails de guidage 7 rectilignes. Chacun des trois rails de guidage 7 est monté sur l'une des trois 20 unités de déplacement Ul, auquel il est associé. Ainsi, le module de commande M1 comprend un rail de guidage 7 par unité de déplacement U1 et chaque unité de déplacement U1 est pourvue d'un rail de guidage 7. Chacun des rails de guidage 7 est agencé orthogonalement à la 25 direction de déplacement de l'unité de déplacement U1 associée, comme représenté pour un rail de guidage 7 sur la partie droite de la figure 3, qui comprend un axe longitudinal L2. Cet axe longitudinal L2 du rail de guidage 7 est orthogonal à l'axe longitudinal (ou axe de déplacement) Ll de l'unité de déplacement Ul. 30 Chacun des rails de guidage 7 est configuré de manière à se déplacer (selon la direction L1) sous l'action de l'unité de déplacement U1 associée. 3046451 9 En outre, chacun des rails de guidage 7 porte un chariot mobile 8. Ce chariot mobile 8 est configuré pour être librement mobile selon la direction L2, c'est-à-dire orthogonalement à la direction de déplacement L1 de l'unité de déplacement U1 associée. 5 Par ailleurs, chacun des chariots mobiles 8 est pourvu d'un système de rotation 9 comprenant, de préférence, un roulement à billes 10, qui est configuré pour être librement rotatif dans le plan de la plaque supérieure 6 correspondant au plan XY dans la position neutre. Les trois systèmes de rotation 9 sont liés, chacun, à la face inférieure 10 6A de la plaque supérieure 6, par l'intermédiaire d'éléments de fixation 11 usuels agencés dans la plaque supérieure 6. De plus, le module de commande M1 comporte une paroi latérale fermée 12 qui est solidaire de la plaque inférieure 5, comme représenté sur la figure 4. 15 Par conséquent, une commande par un opérateur ou un système de commande automatique d'une unité de déplacement U1 génère le déplacement du rail de guidage 7. Pendant ce déplacement du rail de guidage 7, le chariot mobile 8 peut se déplacer librement et agir sur la position de la plaque supérieure 6. 20 Par ailleurs, dans un mode de réalisation préféré, le second module de commande M2 comprend, comme représenté sur les figures 5 à 7 : - une plaque inférieure 13 et une plaque supérieure 14 (qui correspond à la plaque 2 ou à une plaque sur laquelle est fixée la plaque 2) ; - trois unités de déplacement U2 configurées pour générer un déplacement en 25 translation. Les trois unités de déplacement U2 sont fixées sur une face supérieure 13A (figure 5) de la plaque inférieure 13. Les unités de déplacement U2 sont, de préférence, similaires aux unités de déplacement U1 du module de commande M1 ; et - trois rails de guidage 15 rectilignes. 30 Chacun des trois rails de guidage 15 est monté sur l'une des trois unités de déplacement U2, auquel il est associé. Ainsi, le module de 3046451 10 commande M2 comprend un rail de guidage 15 par unité de déplacement U2 et chaque unité de déplacement U2 est pourvue d'un rail de guidage 15. Chacune des unités de déplacement U2 est fixée sur la face supérieure 13A pour générer un déplacement selon une direction donnée 5 dans le plan XY, comme illustré par la direction L3 pour l'unité de déplacement U2 visible sur la droite de la figure 5. En outre, chacun des rails de guidage 15 est agencé longitudinalement à la direction de déplacement L3 de l'unité de déplacement U2 associée. De plus, il est configuré de manière à se déplacer sous l'action 10 de l'unité de déplacement U2 associée. Par ailleurs, chacun des rails de guidage 15 porte un chariot mobile 16 qui est configuré pour être librement mobile. Chacun des rails de guidage 15 est monté de façon inclinée, selon la direction verticale Z par rapport au rail de guidage associé. 15 Comme représenté sur la figure 6, dans un plan vertical XZ ou YZ, la direction de déplacement L4 du chariot mobile 16 librement mobile présente un angle a, non nul par rapport à la direction de déplacement du rail de guidage 15 (sous l'action de l'unité de déplacement U2). Pour ce faire, le rail de guidage 15 est lié à l'unité de déplacement U2 via un élément de support 20 17 en biseau de forme triangulaire dans le plan vertical. En raison de son positionnement sur l'unité de déplacement U2, le chariot mobile 17 se déplace dans le plan XY selon la direction L3. Comme représenté sur la figure 5, la projection L4A de la direction L4 de déplacement dans le plan XY, est parallèle (ou confondue) à la direction L3. 25 Par ailleurs, le chariot mobile 16 comprend un élément de support 18 en biseau, qui coopère avec l'élément de support 17 en biseau, et qui est adapté à ce dernier pour que la face supérieure de l'élément de support 18 soit sensiblement parallèle à la face inférieure de l'élément de support 17. En outre, chacun des chariots 18 est pourvu d'une rotule 19 30 configurée pour être librement rotative. 3046451 11 Les trois rotules 19 sont montées, chacune, de façon articulée, à la face inférieure 14A de la plaque supérieure 14. En raison notamment de son architecture modulaire et de l'utilisation d'unités de déplacement U1 et U2 configurées pour générer uniquement des 5 déplacements en translation, le système 1 (de génération de déplacement) tel que décrit ci-dessus est très compact, et de plus, il présente un domaine de travail étendu, notamment par rapport à des systèmes usuels (en particulier de type hexapode). Dans le mode de réalisation préféré du système 1 tel que décrit ci- 1 0 dessus et représenté sur la figure 1, ledit système 1 comprend deux étages de commande El et E2 comprenant, respectivement, les modules de commande M1 et M2 tels que décrits ci-dessus. Toutefois, dans le cadre de la présente invention, et comme précisé ci-dessous : 15 - le module de commande M1 peut être réalisé différemment, notamment en modifiant au moins l'une de ses caractéristiques, en particulier lorsqu'il doit mettre en oeuvre uniquement certains des déplacements Xi, Yi et OZ ; et - le système de génération de déplacement 1 peut comporter uniquement l'un de ces deux modules de commande M1 et M2, qui est alors associé à un ou 20 plusieurs étages de commande auxiliaires. Ainsi, dans une première variante de réalisation par rapport à celle des figures 2 à 4 précitées, le module de commande M1 est configuré pour générer uniquement des déplacements Xi et Yi. Dans cette première variante de réalisation (non représentée 25 spécifiquement), le module de commande M1 comprend uniquement deux unités de déplacement U1, ainsi qu'un rail de guidage auxiliaire rectiligne. Ce rail de guidage auxiliaire remplace la troisième unité de déplacement U1 des modes de réalisation des figures 2 à 4. Le rail de guidage auxiliaire est agencé selon une direction différente 30 des directions de déplacement des deux unités de déplacement et identique à celle de la troisième unité de déplacement des figures 2 à 4. 3046451 12 De plus, le rail de guidage porte un chariot mobile configuré pour être librement mobile et le rail de guidage auxiliaire est agencé de sorte que le chariot mobile puisse se déplacer, librement, selon la direction de déplacement de ladite troisième unité de déplacement remplacée. 5 Les trois chariots mobiles sont directement fixés sur la face inférieure 6A de la plaque supérieure 6 et ne sont pas pourvus de système de rotation. Le module de déplacement conforme à cette première variante de réalisation, peut être associé, au sein d'un système de génération de déplacement : 10 - à un premier étage de commande auxiliaire qui est configuré pour générer, de façon usuelle, un déplacement E)Z de manière à obtenir un système de génération de déplacement Xi, Yi et E)Z ; - à un second étage de commande auxiliaire qui est configuré pour générer, de façon usuelle, un déplacement Zi de manière à obtenir un système de 15 génération de déplacement selon Xi, Yi et Zi ; ou - simultanément auxdits premier et second étages de commande auxiliaires. En outre, dans une seconde variante de réalisation, le premier module de commande M1 est configuré pour générer uniquement des déplacements Yi et E)Z. 20 Dans cette seconde variante de réalisation, le module de commande M1 comprend deux unités de déplacement U1, ainsi qu'un rail de guidage auxiliaire rectiligne. Le rail de guidage auxiliaire est agencé selon une direction différente des directions de déplacement des deux unités de déplacement et identique à 25 celle de la troisième unité de déplacement des figures 2 à 4. De plus, le rail de guidage auxiliaire, ainsi que les deux unités de déplacement, portent, chacun, un chariot mobile configuré pour être librement mobile. Dans ce cas, chacun des trois chariots mobiles, similaires par 30 exemple au chariot mobile 8, est pourvu d'un système de rotation configuré 3046451 13 pour être librement rotatif dans le plan XY, tel que le système de rotation 9 précité. De plus, les trois systèmes de rotation sont liés, chacun, à la face inférieure 6A de la plaque supérieure 6A. 5 Associé à cette seconde variante de réalisation, le système 1 peut comporter, dans un mode de réalisation particulier, un étage de commande auxiliaire E3 représenté en trait fin (à titre d'illustration) sur la figure 2. Cet étage de commande auxiliaire E3 est configuré pour générer un déplacement Xi dudit module de commande Ml. 10 Cet étage de commande auxiliaire E3 peut comporter un élément de déplacement 20 pour générer le déplacement Xi. Dans un mode de réalisation particulier, l'élément de déplacement 20 est pourvu d'un rail de guidage 21 portant un chariot mobile 22, et de moyens de commande de déplacement (non représentés) du chariot mobile 22 sur le rail de guidage 21, tels qu'un 15 moteur électrique par exemple. Le chariot mobile 22 est donc monté mobile sur le rail de guidage 21 et il porte le module de commande M1 conforme à la seconde variante de réalisation. Par ailleurs, dans une autre variante de réalisation (représentée sur 20 les figures 7 et 8), le système de génération de déplacement comprend, associés au module de commande M2, au lieu du module de commande Ml, au moins l'un (mais de préférence plusieurs) des trois étages de commande auxiliaires suivants : - un étage de commande auxiliaire E5 configuré pour générer un déplacement 25 Xi ; - un étage de commande auxiliaire E4 configuré pour générer un déplacement Yi ; et - un étage de commande auxiliaire E6 configuré pour générer un déplacement ez. 30 Toutes les combinaisons du module de commande M2 avec l'un ou plusieurs des étages de commande auxiliaires E4 à E6 sont possibles, en 3046451 14 fonction des applications envisagées (et des déplacements devant être commandés). Ainsi, dans une première réalisation représentée sur la figure 7, le système de génération de déplacement comprend les deux étages de 5 commande auxiliaires E4 et E5 qui sont représentés en trait fin sur cette figure 7. L'étage de commande auxiliaire E4 peut comporter un élément de déplacement 23 pour générer le déplacement Yi. Dans un mode de réalisation particulier, l'élément de déplacement 23 est pourvu d'un rail de guidage 25 10 portant un chariot mobile 26, et de moyens de commande de déplacement (non représentés) du chariot mobile 26 sur le rail de guidage 25, tels qu'un moteur électrique par exemple, qui sont commandables, de façon usuelle, par un opérateur ou par un système de commande automatique. Le chariot mobile 26 est donc monté mobile sur le rail de guidage 25 et il porte l'étage de 15 commande auxiliaire E5. L'étage de commande auxiliaire E5 peut comporter un élément de déplacement 24 pour générer le déplacement Xi. Dans un mode de réalisation particulier, l'élément de déplacement 24 est également pourvu d'un rail de guidage 27 portant également un chariot mobile 28, et de moyens de 20 commande déplacement (non représentés) du chariot mobile 28 sur le rail de guidage 27, tels qu'un moteur électrique par exemple, qui sont commandables, de façon usuelle, par un opérateur ou par un système de commande automatique. Le chariot mobile 28 est donc monté mobile sur le rail de guidage 27 et il porte le module de commande M2. 25 Le système de génération de déplacement selon cette première réalisation est donc en mesure de générer des déplacements Xi, Yi, Zi, ex et E)Y. En outre, dans une seconde réalisation préférée, représentée sur la figure 8, le système de génération de déplacement comprend, associés au 30 module de commande M2, simultanément les trois étages de commande 3046451 15 auxiliaires E4, E5 et E6 qui sont représentés en trait fin sur cette figure 8. Les étages de commande auxiliaire E4 et E5 sont similaires à ceux de la figure 7. Quant à l'étage de commande auxiliaire E6, il peut comporter un élément de mise en rotation 29, par exemple un moteur, pour générer le 5 déplacement E)Z, c'est-à-dire pour générer une rotation autour de l'axe Z. Dans l'exemple représenté sur la figure 8, l'élément de mise en rotation 29 (qui est commandable de façon usuelle par un opérateur ou par un système de commande automatique), est monté sur la plaque supérieure 14 du module de commande M2. 10 Le système de génération de déplacement selon cette seconde réalisation est donc en mesure de générer les déplacements Xi, Yi, Zi, ex, eY et E)Z (c'est-à-dire des déplacements selon les six degrés de liberté). REVENDICATIONS1. Système de génération de déplacement d'une plaque de support, la plaque de support (2) étant, dans une position dite neutre, sensiblement parallèle à un plan XY défini par une direction dite X et une direction dite Y, ledit système (1) étant configuré pour pouvoir déplacer ladite plaque (2) selon au moins certains des six degrés de liberté, lesdits six degrés de liberté correspondant, respectivement, à une translation dite Xi le long de la direction X et une rotation dite E)X autour de cette direction X, à une translation dite Yi le long de la direction Y et une rotation dite E)Y autour de cette direction Y, à une translation dite Zi le long d'une direction dite Z et une rotation dite E)Z autour de cette direction Z, la direction Z étant orthogonale auxdites directions X et Y, caractérisé en ce qu'il comprend au moins deux étages de commande (E1, E2) superposés selon la direction Z et solidarisés l'un à l'autre, en ce qu'au moins l'un desdits étages de commande (E1, E2) comprend un module de commande (M1, M2), et en ce que ledit au moins un module de commande (M1, M2) comprend uniquement des unités de déplacement (U1, U2) configurées pour générer chacune un déplacement en translation dans le plan XY, et ceci respectivement selon des directions différentes. 2. Système selon la revendication 1, caractérisé en ce que les unités de déplacement (U1, U2) sont agencées dans le plan XY et positionnées de manière à présenter des directions de translation différentes qui forment, respectivement, un angle de 120° entre elles. 3. Système selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce qu'un premier module de commande (M1) comprend : - une première plaque inférieure (5) et une première plaque supérieure (6) ; - au moins deux unités de déplacement (U1), les unités de déplacement (U1) étant fixées sur une face supérieure (5A) de la première plaque inférieure (5) ; et 3046451 17 - des rails de guidage (7) rectilignes, chacun desdits rails de guidage (7) étant monté sur l'une desdites unités de déplacement (U1) auquel il est associé, chacun desdits rails de guidage (7) étant agencé orthogonalement à la direction de déplacement de l'unité de déplacement (U1) associée et étant 5 configuré de manière à se déplacer sous l'action de l'unité de déplacement (U1) associée, chacun desdits rails de guidage (7) portant un chariot mobile (8) qui est configuré pour être librement mobile orthogonalement à la direction de déplacement de l'unité de déplacement (U1) associée, chacun desdits chariots mobiles (8) étant lié à une face inférieure (6A) de la première plaque 10 supérieure (6). 4. Système selon la revendication 3, caractérisé en ce que le premier module de commande (M1) est configuré pour générer des déplacements Xi et Yi, et il comprend deux unités de déplacement et un rail de guidage auxiliaire rectiligne, le rail de guidage 15 auxiliaire étant agencé selon une direction différente des directions de déplacement des deux unités de déplacement et portant un chariot mobile configuré pour être librement mobile, le chariot mobile étant fixé à la face inférieure de la première plaque supérieure. 5. Système selon la revendication 3, 20 caractérisé en ce que le premier module de commande (M1) est configuré pour générer des déplacements Yi et E)Z, et il comprend deux unités de déplacement et un rail de guidage auxiliaire rectiligne, le rail de guidage auxiliaire étant agencé selon une direction différente des directions de déplacement des deux unités de déplacement et portant un chariot mobile 25 configuré pour être librement mobile, chacun desdits trois chariots mobiles étant pourvu d'un système de rotation configuré pour être librement rotatif dans le plan XY, les trois systèmes de rotation étant liés, chacun, à la face inférieure de la première plaque supérieure. 6. Système selon la revendication 5, 3046451 18 caractérisé en ce qu'il comporte un étage de commande auxiliaire (E3) configuré pour générer un déplacement Xi dudit premier module de commande (M1). 7. Système selon la revendication 3, 5 caractérisé en ce que le premier module de commande (M1) est configuré pour générer des déplacements Xi, Yi et E)Z, et il comprend : - trois unités de déplacement (U1) ; et - trois rails de guidage (7) rectilignes, chacun desdits rails de guidage (7) étant monté sur l'une desdites unités de déplacement (U1) auquel il est associé, 10 chacun desdits rails de guidage (7) étant agencé orthogonalement à la direction de déplacement de l'unité de déplacement (U1) associée et étant configuré de manière à se déplacer sous l'action de l'unité de déplacement (U1) associée, chacun desdits rails de guidage (7) portant un chariot mobile (8) qui est configuré pour être librement mobile orthogonalement à la direction 15 de déplacement de l'unité de déplacement (U1) associée, chacun desdits chariots mobiles (8) étant pourvu d'un système de rotation (9) configuré pour être librement rotatif dans le plan XY, les trois systèmes de rotation (9) étant liés, chacun, à la face inférieure (6A) de la première plaque supérieure (6). 8. Système selon l'une quelconque des revendications précédentes, 20 caractérisé en ce qu'un second module de commande (M2) est configuré pour générer des déplacements E)X, OY et Zi, et il comprend : - une seconde plaque inférieure (13) et une seconde plaque supérieure (14) ; - trois unités de déplacement (U2) configurées pour générer un déplacement en translation, les unités de déplacement (U2) étant fixées sur une face 25 supérieure (13A) de la seconde plaque inférieure (13) ; et - trois rails de guidage (15) rectilignes, chacun desdits rails de guidage (15) étant monté, de façon inclinée par rapport au plan XY, sur l'une desdites unités de déplacement (U2) auquel il est associé, chacun desdits rails de guidage (15) étant agencé longitudinalement à la direction de déplacement de 30 l'unité de déplacement (U2) associée et étant configuré de manière à se déplacer sous l'action de l'unité de déplacement (U2) associée, chacun 3046451 19 desdits rails de guidage (15) portant un chariot mobile (16) qui est configuré pour être librement mobile, chacun desdits chariots mobiles (16) étant pourvu d'une rotule (19) configurée pour être librement rotative, les trois rotules (19) étant articulées, chacune, à la face inférieure (14A) de la première plaque 5 supérieure (14). 9. Système selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'il comporte, de plus, au moins l'un des trois étages de commande auxiliaires suivants : - un étage de commande auxiliaire (E5) configuré pour générer un 10 déplacement Xi ; - un étage de commande auxiliaire (E4) configuré pour générer un déplacement Yi ; et - un étage de commande auxiliaire (E6) configuré pour générer un déplacement E)Z. 15 10. Système selon les revendications 7 et 8, caractérisé en ce qu'il comprend uniquement deux étages de commande (E1, E2), dont un premier (El ), dit inférieur, comprend ledit premier module de commande (M1) configuré pour générer des déplacements Xi, Yi et E)Z, et dont un second, dit supérieur, comprend ledit second module de commande 20 (M2) configuré pour générer des déplacements E)X, OY et Zi.